(57)【要約】【課題】簡単な構成で、室の液体を循環できる液体吐出ヘッドを提供すること。【解決手段】液体吐出ヘッドは、プレートと、流路ベースと、を備える。プレートは、一方の主面に開口する圧力室、前記圧力室の開口の液体の流れ方向の二次側において、前記液体の流れ方向を前記圧力室に向かう流れに変換する液体導入部、及び、前記圧力室につながり、且つ、他方の主面に開口する、前記液体を吐出するノズルを有する。流路ベースは、前記プレートの一方の主面側に設けられ、前記一方の主面の面方向に沿って、前記プレートとともに前記液体が流れる液室を形成する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の主面に開口する圧力室、前記圧力室の開口の液体の流れ方向の二次側において、前記液体の流れ方向を前記圧力室に向かう流れに変換する液体導入部、及び、前記圧力室につながり、且つ、他方の主面に開口する、前記液体を吐出するノズルを有するプレートと、
前記プレートの一方の主面側に設けられ、前記一方の主面の面方向に沿って、前記プレートとともに前記液体が流れる液室を形成する流路ベースと、
を備える液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記液体導入部は、前記一方の主面上に設けられる請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記液体導入部は、前記圧力室の開口の前記液体の流れ方向で二次側に設けられ、前記圧力室に対向し、且つ、前記一方の主面の面方向に対して傾斜する傾斜面を有する、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記液体導入部は、前記一方の主面であって、且つ、前記圧力室の開口の前記液体の流れ方向で一次側に設けられ、端部が前記圧力室とつながる、前記液室を流れる前記液体の流れ方向に沿った溝である、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記液体導入部の前記液室を流れる前記液体の流れ方向に直交する方向の幅は、前記圧力室の前記液室を流れる前記液体の流れ方向に直交する方向の幅よりも小さい、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
液体が一方向に流れる第１室を含む流路部と、
前記流路部につながり、且つ、前記流路部の内面に開口する第２室と、
前記第２室の開口の二次側における前記第１室を流れる前記液体の流れ方向を前記第２室に向かう流れに変換する液体導入部と、
を備える流路部材。
【請求項７】
前記液体導入部は、感光性樹脂からなる、請求項２又は請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、液体吐出ヘッド及び流路部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従前から、一方向に流れる液体の流路に対して直交する方向に室を有する流路部材は、室に液体が循環し難い、という問題がある。例えば、流路部材として、印刷装置等に用いられるインク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドが挙げられる。液体吐出ヘッドは、液体を吐出する圧力室が変形することで圧力室内の液体をノズルから吐出する機能を有する。しかしながら、圧力室内の液体が循環し難いと、印刷待機時にノズル内の液体が乾燥して増粘する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１７９５５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、簡単な構成で、室の液体を循環できる液体吐出ヘッド及び流路部材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の液体吐出ヘッドは、プレートと、流路ベースと、を備える。プレートは、一方の主面に開口する圧力室、前記圧力室の開口の液体の流れ方向の二次側において、前記液体の流れ方向を前記圧力室に向かう流れに変換する液体導入部、及び、前記圧力室につながり、且つ、他方の主面に開口する、前記液体を吐出するノズルを有する。流路ベースは、前記プレートの一方の主面側に設けられ、前記一方の主面の面方向に沿って、前記プレートとともに前記液体が流れる液室を形成する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。
【図２】同液体吐出装置の液体吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図。
【図３】同液体吐出ヘッドの断面図。
【図４】同液体吐出ヘッドの液体導入部の要部構成を示す平面図。
【図５】同液体導入部の要部構成を示す断面図。
【図６】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面図。
【図７】同液体吐出ヘッドの液体導入部の要部構成を示す平面図。
【図８】同液体導入部の要部構成を示す断面図。
【図９】第３の実施形態に係る流路部材の要部構成を示す断面図。
【図１０】第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例を示す流れ図。
【図１１】同液体吐出ヘッドの製造方法の一例を示す説明図。
【図１２】第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成及び製造方法を模式的に示す断面図。
【図１３】同液体吐出ヘッドに用いられる部材の構成を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを有する液体吐出装置１について、図１乃至図５を用いて説明する。
【０００８】
図１は、第１の実施形態に係る液体吐出装置１を示す概略図、図２は、液体吐出装置１の液体吐出ヘッド２１の構成を示す分解斜視図であり、図３は、液体吐出ヘッド２１の断面図であり、図４は、液体吐出ヘッド２１の液体導入部５６の要部構成を示す平面図、図５は、液体導入部５６の要部構成をＶ−Ｖ線断面で示す断面図である。なお、図３乃至図５の液体吐出ヘッド２１は、電極５８及び駆動素子５７を省略して示す。
【０００９】
図１に示すように、液体吐出装置１は、例えばインクジェットプリンタ等の記録装置である。図１に示すように、液体吐出装置１は、例えば、記録媒体である記録紙Ｐを搬送しながら画像形成等の各種処理を行う。液体吐出装置１は、筐体１０と、給紙カセット１１と、排紙トレイ１２と、保持ローラ１３と、搬送装置１４と、保持装置１５と、画像形成装置１６と、除電剥離装置１７と、反転装置１８と、クリーニング装置１９とを備える。
【００１０】
給紙カセット１１は、複数の記録紙Ｐを収容する。給紙カセット１１は、筐体１０内に配置される。排紙トレイ１２は、筐体１０の上部に配置される。排紙トレイ１２は、画像形成がされ、排出された記録紙Ｐを受ける。
【００１１】
搬送装置１４は、記録紙Ｐが搬送される経路に沿って配置された複数のガイドおよび複数の搬送ローラを有する。搬送ローラは、モータに駆動されて回転することで、記録紙Ｐを給紙カセット１１から排紙トレイ１２まで搬送する。
【００１２】
保持ローラ１３は、導体によって形成された円筒状のフレームと、このフレームの表面に形成された薄い絶縁層とを有する。フレームは、接地、即ちグランド接続されている。保持ローラ１３は、その表面上に記録紙Ｐを保持した状態で回転することにより、記録紙Ｐを搬送する。
【００１３】
保持装置１５は、搬送装置１４によって給紙カセット１１から搬出された記録紙Ｐを、保持ローラ１３の外周面に吸着させて、保持ローラ１３に保持させる。保持装置１５は、記録紙Ｐを保持ローラ１３に対して押圧した後、帯電による静電気力で記録紙Ｐを保持ローラ１３に吸着させる。
【００１４】
画像形成装置１６は、保持装置１５によって保持ローラ１３の外面に保持された記録紙Ｐに、画像を形成する。画像形成装置１６は、保持ローラ１３の表面に面する複数の液体吐出ヘッド２１と、複数の液体吐出ヘッド２１に接続される複数のインクタンク２３と、複数の液体吐出ヘッド２１に接続される複数の制御部２４と、を備える。複数の液体吐出ヘッド２１は、例えば、シアン、マゼンダ、イエロー、ブラックの四色のインクを、それぞれ記録紙Ｐに吐出することで、画像を形成する。
【００１５】
液体吐出ヘッド２１は、対応する色のインクを収容するインクタンク２３に接続される。液体吐出ヘッド２１は、保持ローラ１３に保持された記録紙Ｐに、インク滴を吐出することで文字や画像を形成する。
【００１６】
図１に示すように、インクタンク２３は、インク等の液体を貯留する。複数のインクタンク２３は、それぞれ液体吐出ヘッド２１に接続される。
【００１７】
図１に示すように、制御部２４は、後述する複数の配線電極５８ａに、駆動素子５７を駆動するための信号を伝送する。
【００１８】
図１に示すように、除電剥離装置１７は、画像が形成された記録紙Ｐを除電することで、保持ローラ１３から記録紙Ｐを剥離する。具体例として、除電剥離装置１７は、電荷を供給して記録紙Ｐを除電し、記録紙Ｐと保持ローラ１３との間に爪を挿入し、記録紙Ｐを保持ローラ１３から剥離する。なお、保持ローラ１３から剥離された記録紙Ｐは、搬送装置１４によって、排紙トレイ１２または反転装置１８に搬送される。
【００１９】
図１に示すように、反転装置１８は、保持ローラ１３から剥離された記録紙Ｐの表裏面を反転させ、当該記録紙Ｐを再び保持ローラ１３の表面上に供給する。反転装置１８は、例えば記録紙Ｐを前後方向逆にスイッチバックさせる所定の反転経路に沿って記録紙Ｐを搬送することにより、記録紙Ｐを反転させる。
【００２０】
図１に示すように、クリーニング装置１９は、保持ローラ１３を清浄する。クリーニング装置１９は、保持ローラ１３の回転方向において除電剥離装置１７よりも下流にある。クリーニング装置１９は、回転する保持ローラ１３の表面にクリーニング部材１９ａを当接させ、回転する保持ローラ１３の表面を洗浄する。
【００２１】
図２及び図３に示すように、液体吐出ヘッド２１は、例えば、共通液室（第１室）５１と、吸入口５２と、吐出口５３と、複数の圧力室（第２室）５４と、複数のノズル５５と、複数の液体導入部５６と、駆動素子５７と、電極５８と、を備える。また、図２に示すように、液体吐出ヘッド２１は、プレート６１及び流路ベース６２を備える。液体吐出ヘッド２１は、プレート６１及び流路ベース６２が一体に組み立てられることで、共通液室５１と、吸入口５２と、吐出口５３と、複数の圧力室５４と、複数のノズル５５と、複数の液体導入部５６が構成される。
【００２２】
図２及び図３に示すように、共通液室５１は、一方向に延びる流路である。共通液室５１は、例えば、プレート６１の一方の主面及び流路ベース６２のプレート６１と対向する主面の間に形成される、一方向に長い矩形板状の空間である。
【００２３】
図２及び図３に示すように、吸入口５２は、共通液室５１の一次側に設けられる。吸入口５２は、インクタンク２３に管等を介して接続される。吐出口５３は、共通液室５１の二次側に設けられる。吐出口５３は、インクタンク２３に管等を介して接続される。
【００２４】
図２及び図３に示すように、圧力室５４は、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向に窪む室である。圧力室５４は、例えば、プレート６１の一方の主面に開口しており、共通液室５１につながっている。圧力室５４は、例えば、プレート６１に設けられた円柱状の室であり、円形の開口を有する。圧力室５４は、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向の、閉塞した室であり、駆動素子５７が駆動することでノズル５５から液体を吐出できる。
【００２５】
図２及び図３に示すように、各ノズル５５は、各圧力室５４につながり、プレート６１の他方の主面に開口している。ノズル５５は、例えば、プレート６１に設けられた円柱状又は円錐台形状の空間である。
【００２６】
図３乃至図５に示すように、液体導入部５６は、共通液室５１を流れる液体の流れ方向で圧力室５４の二次側において、共通液室５１を流れる液体の流れ方向を圧力室５４に向かう流れに変換する。具体例として、液体導入部５６は、プレート６１の一方の主面上に設けられた突起である。液体導入部５６の圧力室５４側の端面は、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して傾斜し、圧力室５４に対向する。換言すると、液体導入部５６の圧力室５４側の端面は、圧力室５４に対向するようにプレート６１の一方の主面に対して傾斜する。
【００２７】
図４及び図５に示すように、液体導入部５６は、例えば、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向の幅が、圧力室５４の共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向の幅、即ち圧力室５４の内径よりも小さくなっている。
【００２８】
さらに例えば、液体導入部５６は、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向の幅が、圧力室５４の共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向の幅の半分より小さい。即ち、液体導入部５６の共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向の幅は、圧力室５４の半径よりも小さい。液体導入部５６は、圧力室５４の共通液室５１を流れる液体の流れ方向の中心、及び、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に直交する方向の端部から、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に直交する方向にずれて配置される。
【００２９】
図２に示すように、駆動素子５７は複数のノズル５５の周囲にそれぞれ配置される。例えば、駆動素子５７はプレート６１の他方の主面に、且つ、ノズル５５の周囲に設けられる。駆動素子５７はノズル５５と同軸に配置され、円環形状を有している。
【００３０】
図２に示すように、電極５８は、複数の駆動素子５７にそれぞれ接続される。電極５８は、例えば、配線電極５８ａ及び共有電極５８ｂを含む。配線電極５８ａは、駆動素子５７を独立して駆動するための個別電極として用いられる。
【００３１】
図２に示すように、プレート６１は、矩形板状に形成される。プレート６１は、例えば、複数の圧力室５４と、複数のノズル５５と、複数の液体導入部５６と、ノズル５５に設けられた駆動素子５７と、駆動素子５７に接続された電極５８と、を備える。プレート６１は、例えば、複数の圧力室５４が形成された第１プレート６１ａと、複数のノズル５５、駆動素子５７及び電極５８が設けられる第２プレート６１ｂと、で構成され、それらを一体に貼り合わせたものである。
【００３２】
図２に示すように、流路ベース６２は、矩形板状である。流路ベース６２は、一方向に長い矩形板状の窪み６２ａと、窪み６２ａの長手方向の一端側で窪み６２aにつながる吸入口５２と、窪み６２ａの長手方向の他端側で窪み６２aにつながる吐出口５３と、を備える。プレート６１及び流路ベース６２は、一体に組み合わさることで共通液室５１を形成する流路部である。
【００３３】
このように構成された液体吐出装置１の液体吐出ヘッド２１によれば、共通液室５１を流れる液体の一部が液体導入部５６の端面にあたると、当該液体の一部は、液体導入部５６の端面によって圧力室５４に向かう流れに変換される。このため、液体吐出ヘッド２１は、共通液室５１を流れる液体の一部を液体導入部５６によって、圧力室５４に導くことができる。圧力室５４内へ液体を導入することができるため、圧力室５４に液体の流れが生じることから、圧力室５４内に液体が滞留し液体の粘度が増加することを防止できる。
【００３４】
加えて、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に直交する方向の液体導入部５６の幅を、圧力室５４の幅よりも小さくすることで、圧力室５４から共通液室５１へと戻る流れを生じさせることができる。これにより、圧力室５４内に液体が導入される流れ及び圧力室５４内から液体が排出される流れが生じることから、液体吐出ヘッド２１は、圧力室５４へより液体を導くことが可能となる。
【００３５】
このように、液体吐出装置１は、印刷待機時においても、圧力室５４内の液体が循環することから、印刷待機時にノズル内の液体が乾燥して増粘することを防止できる。
【００３６】
また、液体導入部５６は、共通液室５１の液体が流れる流れ方向で、圧力室５４の二次側に設けられた、傾斜面を有する突起である。このため、液体吐出ヘッド２１は、簡単な構成の液体導入部５６を設けるだけで液体を圧力室５４に導入することができる。
【００３７】
上述したように、第１の実施形態に係る液体吐出装置１によれば、液体吐出ヘッド２１の圧力室５４の二次側で共通液室を流れる液体の一部の流れ方向を圧力室５４へ向かう流れに変換する液体導入部５６を設けている。このため、液体吐出ヘッド２１は、簡単な構成で、圧力室５４内へ液体を導入できる。
【００３８】
次に、第２の実施形態に係る液体吐出装置１に用いられる液体吐出ヘッド２１Ａについて、図６乃至図８を用いて説明する。図６は、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１Ａの断面図である。図７は、液体吐出ヘッド２１Ａの液体導入部５６Ａの要部構成を示す平面図である。図８は、液体導入部５６Ａの要部構成を図７中のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面で示す断面図である。なお、図６乃至図８の液体吐出ヘッド２１Ａは、電極５８及び駆動素子５７を省略して示す。なお、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１Ａの構成中、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００３９】
図６に示すように、液体吐出ヘッド２１Ａは、対応する色のインクを収容するインクタンク２３に接続される。液体吐出ヘッド２１Ａは、保持ローラ１３に保持された記録紙Ｐに、インク滴を吐出することで文字や画像を形成する。
【００４０】
液体吐出ヘッド２１Ａは、例えば、共通液室５１と、吸入口５２と、吐出口５３と、複数の圧力室５４と、複数のノズル５５と、複数の液体導入部５６Ａと、駆動素子５７と、電極５８と、を備える。また、図６及び図８に示すように、液体吐出ヘッド２１Ａは、プレート６１及び流路ベース６２を備える。液体吐出ヘッド２１Ａは、プレート６１及び流路ベース６２が一体に組み立てられることで、共通液室５１と、吸入口５２と、吐出口５３と、複数の圧力室５４と、複数のノズル５５と、複数の液体導入部５６Ａが構成される。
【００４１】
図６乃至図８に示すように、液体導入部５６Ａは、共通液室５１を流れる液体の流れ方向で圧力室５４の二次側において、共通液室５１を流れる液体の流れ方向を圧力室５４に向かう流れに変換する。具体例として、液体導入部５６Ａは、プレート６１の一方の主面上に設けられた溝により構成される第１液体導入部７１と、圧力室５４の壁部の一部である第２液体導入部７２と、を備えている。
【００４２】
図７及び図８に示すように、第１液体導入部７１は、プレート６１の一方の主面の共通液室５１を流れる液体の流れ方向で圧力室５４の一次側に設けられた溝である。第１液体導入部７１は、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に沿って設けられる。第１液体導入部７１は、例えば、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に沿った方向に長い。また、第１液体導入部７１は、一次側が一次側から二次側に向かって徐々に深くなり、一次側の中途部から二次側は一定の深さになっている。第１液体導入部７１は、例えば、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向の幅が、圧力室５４の共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向の幅、即ち圧力室５４の内径よりも小さい。
【００４３】
さらに例えば、第１液体導入部７１は、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向の幅が、圧力室５４の共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向の幅の半分より小さい。即ち、第１液体導入部７１は、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して直交する方向の幅が圧力室５４の半径よりも小さい。第１液体導入部７１は、圧力室５４の共通液室５１を流れる液体の流れ方向の中心、及び、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に直交する方向の端部から、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に直交する方向にずれて配置される。
【００４４】
図８に示すように、第２液体導入部７２は、共通液室５１内を流れる液体の流れ方向で二次側の圧力室５４の壁部の一部である。具体的には、第２液体導入部７２は、圧力室５４の第１液体導入部７１を流れる液体の流れ方向で第１液体導入部７１と対向する壁部の一部である。
【００４５】
このように構成された液体吐出ヘッド２１Ａによれば、共通液室５１を流れる液体の一部が第１液体導入部７１を流れ、第２液体導入部７２に当たり、当該液体の一部が第２液体導入部７２によって圧力室５４内及び圧力室５４外へ向かう流れに変換される。この圧力室５４内へ向かう流れにより、液体が圧力室５４内に導入される。
【００４６】
このように、液体吐出ヘッド２１Ａは、共通液室５１を流れる液体の一部を、液体導入部５６Ａによって、圧力室５４に導くことができる。圧力室５４内へ液体を導入することができるため、圧力室５４に液体の流れが生じることから、圧力室５４内に液体が滞留し液体の粘度が増加することを防止できる。
【００４７】
加えて、共通液室５１を流れる液体の流れ方向に直交する方向の液体導入部５６Ａの幅を、圧力室５４の幅よりも小さくすることで、圧力室５４から共通液室５１へと戻る流れを生じさせることができる。これにより、圧力室５４内に液体が導入される流れ及び圧力室５４内から液体が排出される流れが生じることから、液体吐出ヘッド２１は、圧力室５４へより液体を導くことが可能となる。
【００４８】
また、液体導入部５６Ａは、共通液室５１の液体が流れる流れ方向に沿った溝である第１液体導入部７１をプレート６１の一方の主面に設けて、第２液体導入部７２を圧力室５４の壁部の一部とする簡単な構成で、液体を圧力室５４に導入することができる。
【００４９】
上述したように、第２の実施形態に係る液体吐出装置１は、液体吐出ヘッド２１Ａによれば、圧力室５４の二次側で共通液室５１を流れる液体の一部の流れ方向を圧力室５４へ向かう流れに変換する液体導入部５６Ａを設けている。このため、液体吐出ヘッド２１Ａは、簡単な構成で、圧力室５４内へ液体を導入できることから、圧力室５４内の液体を循環させることができる。
【００５０】
なお、本実施形態は、上述した例に限定されない。例えば、上述した例では、液体吐出ヘッド２１、２１Ａは、圧力室５４が円柱状の空間である一例を説明したがこれに限定されない。例えば、圧力室５４の形状は矩形柱状や楕円柱状であってもよく、また、円柱状の空間が複数連続する形状や円錐台形状であってもよい。また、上述した例では、駆動素子５７は、プレート６１の他方の主面であって、且つ、ノズル５５の周囲に設けられているがこれに限定されない。例えば、駆動素子５７は、圧力室５４の壁部に一体的に設けられていてもよい。
【００５１】
また、上述した例では、液体吐出ヘッド２１、２１Ａを流路部材とし、第１室を共通液室５１とし、第２室を圧力室５４とし、流路部としてプレート６１及び流路ベース６２の例を用いて説明したがこれに限定されない。即ち、一方向に液体が流れる流路上に、液体の流れ方向と直交する方向に閉塞された、又は、実質的に閉塞された室がある構造であれば、液体導入部５６を適用することが可能である。例えば、図９に示す第３の実施形態の流路部材２１Ｂのように、スプリンクラー等に用いられるＴ字管を流路部８１とし、流路部８１の直交するポート８１ａにスプリンクラーヘッド８２を設けた流路部材２１Ｂに液体導入部５６Ｂを適用することも可能である。また、液体導入部５６Ｂの二次側の形状は、水の滞留を防止するために、傾斜させる形状としてもよい。
【００５２】
このような構成の流路部材２１Ｂは、例えば、流路部８１のスプリンクラーヘッド８２が設けられるポート（室）８１ａに分岐される分岐部８１ｂの二次側に、ポート８１ａに向かって傾斜する傾斜面を有する液体導入部５６Ｂを設けられる。このような構成とすることで、流路部材２１Ｂは、流路部８１内を一方向に流れる液体である水の一部が液体導入部５６Ｂにおいてポート８１ａに向かって流れることにより、スプリンクラーヘッド８２が設けられることでポート８１ａが閉塞していても、ポート８１ａに水が導入されることから、ポート８１ａに水が滞留することがない。このため、ポート８１ａに存する水に含まれる塩素濃度が低下することや、析出物が堆積することを防止できるため、スプリンクラーヘッド８２の動作不良を防止できる効果や、不衛生な水を飲料水として使用することや、不衛生な水をスプリンクラーヘッド８２から放水することを防止できる効果を奏する。このように、一方向に液体が流れる流路上に、当該液体の流れ方向に直交する方向に室が存する流路部材であれば、液体導入部は適宜用いることができる。
【００５３】
また、上述した例では、液体吐出ヘッド２１、２１Ａの構成を説明したが、例えば、液体吐出ヘッド２１、２１Ａの製造方法についても適宜設定可能である。次に、第４の実施形態に係る液体吐出装置１に用いられる液体吐出ヘッド２１の製造方法について、図１０及び図１１を用いて説明する。図１０は、第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１の製造方法の一例として、液体導入部５６の製造方法を示す流れ図である。図１１は、液体導入部５６の製造方法を示す説明図である。
【００５４】
なお、第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１の構成は、製造方法及び液体導入部５６の材料を除き、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１の構成と同様の構成であることから、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００５５】
液体吐出ヘッド２１の製造方法の一例として、プレート６１に複数の液体導入部５６を形成する例を、以下、図１０及び図１１を用いて説明する。
【００５６】
なお、本実施形態に係る液体導入部５６は、例えば、感光性樹脂材料により形成される。そして、液体導入部５６は、フォトリソグラフィにより成形される。
【００５７】
図１０及び図１１に示すように、先ず、プレート６１を洗浄する（ＡＣＴ１）。次に、複数の圧力室５４及び複数のノズル５５が形成されたプレート６１に感光性樹脂を塗布する（ＡＣＴ２）。具体的には、プレート６１の共通液室５１側の表面及び複数の圧力室５４に感光性樹脂材料１００を塗布する。なお、感光性樹脂材料１００は、例えば、ポジ型感光性樹脂材料である。また、プレート６１の共通液室５１側の表面とは、例えば、第１プレート６１ａの表面である。
【００５８】
次に、マスク１１０をプレート６１に塗布された感光性樹脂材料１００上に設ける（ＡＣＴ３）。なお、マスク１１０は、液体導入部５６の主面形状に形成され、少なくとも感光性樹脂材料１００の液体導入部５６を形成する領域に設けられる。
【００５９】
次に、マスク１１０側からプレート６１上に塗布された感光性樹脂材料１００の露光を行う（ＡＣＴ４）。具体例として、プレート６１の主面方向に対して直交する方向でプレート６１から離間した位置に設けられた光源から光を照射し、マスク１１０のパターンを転写する。ここで、光とは、例えば紫外線である。
【００６０】
次に、マスク１１０を取り外し、感光性樹脂材料１００を現像する（ＡＣＴ５）。具体例として、例えば、感光性樹脂材料を含むプレート６１を、現像液に浸漬させるか、又は、現像液をスプレーする。これにより、露光された感光性樹脂材料１００が現像液に溶解し、プレート６１から露光された感光性樹脂材料１００が除去される。よって、マスク１１０が設けられていた液体導入部５６を形成する領域の感光性樹脂材料１００がプレート６１上に残存する。即ち、現像後にプレート６１上に残存した感光性樹脂材料１００が液体導入部５６を構成する。また、露光時において光源から照射される光の一部は、マスク１１０に覆われていない領域を通過すると、入射方向がプレート６１の主面又は感光性樹脂材料１００の主面の法線に対して傾斜する。このため、図１１に示すように、液体導入部５６は、圧力室５４側の端面が共通液室５１を流れる液体の流れ方向に対して傾斜し、圧力室５４に対向する。なお、このように液体導入部５６を形成したプレート６１を、流路ベース６２と一体に組み立てることで、液体吐出ヘッド２１が製造される。
【００６１】
このように構成された液体吐出ヘッド２１の液体導入部５６は、フォトリソグラフィにより成形される。また、液体導入部５６は、感光性樹脂材料１００にマスク１１０を設けて露光する加工を行うことで、液体導入部５６の圧力室５４側の端面が傾斜することから、容易に液体導入部５６を形成することが可能となる。
【００６２】
また、このように製造された液体吐出ヘッド２１によれば、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１と同様に、簡単な構成で、室５４、８１ａの液体を循環できる。
【００６３】
次に、第５の実施形態に係る液体吐出装置１に用いられる液体吐出ヘッド２１Ａの製造方法について、図１２及び図１３を用いて説明する。図１２は、第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１Ａの構成及び製造方法を模式的に示す断面図、図１３は液体吐出ヘッド２１Ａに用いられる液体導入部５６Ａを形成する部材１２０の構成を示す平面図である。
【００６４】
なお、第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１Ａの構成は、液体導入部５６Ａを構成する部材として、第３プレート１２０を更に備える構成を除き、上述した第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１Ａの構成と同様の構成であることから、上述した第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１Ａと同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００６５】
液体吐出ヘッド２１Ａのプレート６１は、プレート６１の第１プレート６１ａの表面に、さらに第３プレート１２０を備える。即ち、プレート６１は、第１プレート６１ａ、第２プレート６１ｂ及び第３プレート１２０が一体に張り合わされることで構成される。
【００６６】
第３プレート１２０は、第１プレート６１ａの表面に、接着剤等によって固定される部材である。第３プレート１２０は、例えば、第１液体導入部７１と、圧力室５４の一部を含む第２液体導入部７２と、を構成する開口１２０ａを複数有する。
【００６７】
次に、液体吐出ヘッド２１Ａの製造方法の一例を説明する。先ず、第３プレート１２０を成形する。具体例として、板状の部材１２０を打ち抜き加工、エッチング、電鋳等によって加工することで、プレート６１に液体導入部５６Ａを構成するための複数の開口１２０Ａを第３プレート１２０に形成する。次に、複数の開口１２０Ａが成形された第３プレート１２０を接着剤等によって第１プレート６１ａの表面に接着する等によって固定する。なお、第２プレート６１ｂも第１プレート６１ａに固定する。これらの工程により第１プレート６１ａ、第２プレート６１ｂ及び第３プレート１２０が一体に組み立てられることで、圧力室５４に液体導入部５６Ａを有するプレート６１が形成される。次に、プレート６１を、流路ベース６２と一体に組み立てることで、液体吐出ヘッド２１Ａが製造される。
【００６８】
このように構成された液体吐出ヘッド２１Ａは、例えば、プレート６１を複数のプレート６１ａ、６１ｂ、１２０により液体導入部５６Ａが構成される。そして、プレート６１の共通液室５１側を構成する第３プレート１２０に、第１液体導入部７１及び第２液体導入部７２を予め設け、このプレート１２０を他のプレート６１ａ、６１ｂと一体に組み立てることでプレート６１を構成する。
【００６９】
これにより、第１液体導入部７１は、第１プレート６１ａの表面及び第３プレート１２０の開口１２０ａにより形成される。また、第２液体導入部７２は、第３プレート１２０の開口１２０ａにより形成される。また、液体導入部５６Ａを含むプレート６１は、第３プレート１２０に第１液体導入部７１及び第２液体導入部７２を構成する開口１２０ａを加工し、そして、複数のプレート６１ａ、６１ｂ、１２０を一体に組み立てる簡単な構成で製造される。また、液体導入部５６Ａを第３プレート１２０に成形する加工は、打ち抜き、エッチング及び電鋳等の比較的容易な加工方法でよく、液体吐出ヘッド２１Ａの製造が容易となる。
【００７０】
また、このように製造された液体吐出ヘッド２１Ａによれば、上述した第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド２１Ａと同様に、簡単な構成で、室５４、８１ａの液体を循環できる。
【００７１】
なお、上述した第２の実施形態に係る液体導入部５６Ａのように、第１液体導入部７１の一次側を、一次側から二次側に向かって徐々に深くし、そして、一次側の中途部から二次側を一定の深さに構成する場合においては、第３プレート１２０の開口１２０ａをエッチングで形成するとともに、エッチングの量を調整することで、容易に形成できる。
【００７２】
以上述べた少なくともひとつの実施形態の液体吐出ヘッド２１、２１Ａ又は流路部材２１Ｂによれば、簡単な構成で、室５４、８１ａの液体を循環できる。
【００７３】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７４】
１…液体吐出装置、１０…筐体、１１…給紙カセット、１２…排紙トレイ、１３…保持ローラ、１４…搬送装置、１５…保持装置、１６…画像形成装置、１７…除電剥離装置、１８…反転装置、１９…クリーニング装置、１９ａ…クリーニング部材、２１…液体吐出ヘッド、２１Ａ…液体吐出ヘッド、２１Ｂ…流路部材、２３…インクタンク、２４…制御部、５１…共通液室（第１室）、５２…吸入口、５３…吐出口、５４…圧力室（第２室）、５５…ノズル、５６…液体導入部、５６Ａ…液体導入部、５６Ｂ…液体導入部、５７…駆動素子、５８…電極、５８ａ…配線電極、５８ｂ…共有電極、６１…プレート、６１ａ…第１プレート、６１ｂ…第２プレート、６２…流路ベース、７１…第１液体導入部、７２…第２液体導入部、８１…流路部、８１ａ…ポート（室）、８１ｂ…分岐部、８２…スプリンクラーヘッド、１００…感光性樹脂材料、１１０…マスク、１２０…第３プレート（部材）、１２０ａ…開口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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