(57)【要約】【課題】液管から蒸発器への液導入性を向上したループ型ヒートパイプを提供する。【解決手段】本ループ型ヒートパイプは、作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、前記蒸発器内に設けられた第１多孔質体と、前記液管内に設けられた第２多孔質体と、を有し、前記蒸発器と前記液管との接続領域は、前記第１多孔質体及び前記第２多孔質体の一方から他方の側に延伸した多孔質の第１延伸部と、前記第１延伸部と接する空間部と、を備え、前記第１延伸部の先端側は、前記第１多孔質体及び前記第２多孔質体の他方に形成された第１凹部内に挿入されている。【選択図】図３
2020067221.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動流体を気化させる蒸発器と、
前記作動流体を液化する凝縮器と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、
前記蒸発器内に設けられた第１多孔質体と、
前記液管内に設けられた第２多孔質体と、
を有し、
前記蒸発器と前記液管との接続領域は、
前記第１多孔質体及び前記第２多孔質体の一方から他方の側に延伸した多孔質の第１延伸部と、
前記第１延伸部と接する空間部と、を備え、
前記第１延伸部の先端側は、前記第１多孔質体及び前記第２多孔質体の他方に形成された第１凹部内に挿入されているループ型ヒートパイプ。
【請求項２】
平面視で前記第１延伸部が複数個並置されている請求項１に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項３】
前記第１延伸部の先端面は、前記第１凹部の内壁面と接している請求項１又は２に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項４】
前記接続領域は、前記第１多孔質体及び前記第２多孔質体の他方から一方の側に延伸した多孔質の第２延伸部を備え、
前記第２延伸部の先端側は、前記第１多孔質体及び前記第２多孔質体の一方に形成された第２凹部内に挿入されている請求項１乃至３の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項５】
平面視で前記第２延伸部が複数個並置されている請求項４に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項６】
前記第１延伸部と前記第２延伸部とが平面視で交互に配置されている請求項５に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項７】
前記第２延伸部の先端面は、前記第２凹部の内壁面と接している請求項４乃至６の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項８】
前記第１多孔質体及び前記第２多孔質体は積層された所定数の金属層を含み、
前記第２延伸部は、前記所定数の金属層のうちの１層以上の金属層が延伸して形成されている請求項４乃至７の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項９】
前記第１多孔質体及び前記第２多孔質体は積層された所定数の金属層を含み、
前記第１延伸部は、前記所定数の金属層のうちの１層以上の金属層が延伸して形成されている請求項１乃至８の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
【請求項１０】
前記所定数の金属層は、
一方の面側から窪む第１有底孔と、他方の面側から窪む第２有底孔と、前記第１有底孔と前記第２有底孔とが部分的に連通して形成された細孔と、を備えた金属層を含む請求項８又は９に記載のループ型ヒートパイプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ループ型ヒートパイプに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器に搭載されるＣＰＵ（Central Processing Unit）等の発熱部品を冷却するデバイスとして、ヒートパイプが知られている。ヒートパイプは、作動流体の相変化を利用して熱を輸送するデバイスである。
【０００３】
ヒートパイプの一例として、発熱部品の熱により作動流体を気化させる蒸発器と、気化した作動流体を冷却して液化する凝縮器とを備え、蒸発器と凝縮器とがループ状の流路を形成する液管と蒸気管で接続されたループ型ヒートパイプが挙げられる。ループ型ヒートパイプでは、作動流体はループ状の流路を一方向に流れる。
【０００４】
又、ループ型ヒートパイプの蒸発器や液管内には、多孔質体が設けられており、多孔質体に生じる毛細管力で液管内の作動流体を蒸発器に誘導し、蒸発器から液管に蒸気が逆流することを抑制している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第６１４６４８４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、蒸発器と液管との接続領域は空間となっており、蒸発器内に設けられた多孔質体と液管内に設けられた多孔質体は接続領域には存在しない。すなわち、蒸発器内に設けられた多孔質体と液管内に設けられた多孔質体は接続領域において分断されており、両者は接続されていない。
【０００７】
そのため、液管から蒸発器内への液循環が悪くなると共に、接続領域に不必要な液溜まりが発生して液管から蒸発器への液導入が阻害される場合がある。
【０００８】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、液管から蒸発器への液導入性を向上したループ型ヒートパイプを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本ループ型ヒートパイプは、作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、前記蒸発器内に設けられた第１多孔質体と、前記液管内に設けられた第２多孔質体と、を有し、前記蒸発器と前記液管との接続領域は、前記第１多孔質体及び前記第２多孔質体の一方から他方の側に延伸した多孔質の第１延伸部と、前記第１延伸部と接する空間部と、を備え、前記第１延伸部の先端側は、前記第１多孔質体及び前記第２多孔質体の他方に形成された第１凹部内に挿入されていることを要件とする。
【発明の効果】
【００１０】
開示の技術によれば、液管から蒸発器への液導入性を向上したループ型ヒートパイプを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。
【図２】第１実施形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。
【図３】第１実施形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図である。
【図４】多孔質体について説明する図である。
【図５】従来のループ型ヒートパイプについて説明する図である。
【図６】第１実施形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その１）である。
【図７】第１実施形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その２）である。
【図８】第１実施形態の変形例１に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図（その１）である。
【図９】第１実施形態の変形例１に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図（その２）である。
【図１０】第１実施形態の変形例２に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図である。
【図１１】第１実施形態の変形例３に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図である。
【図１２】第１実施形態の変形例４に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図である。
【図１３】第１実施形態の変形例５に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図である。
【図１４】第１実施形態の変形例６に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１３】
〈第１実施形態〉
［第１実施形態に係るループ型ヒートパイプの構造］
まず、第１実施形態に係るループ型ヒートパイプの構造について説明する。図１は、第１実施形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。
【００１４】
図１を参照すると、ループ型ヒートパイプ１は、蒸発器１０と、凝縮器２０と、蒸気管３０と、液管４０と、注入口６０とを有する。ループ型ヒートパイプ１は、例えば、スマートフォンやタブレット端末等のモバイル型の電子機器２に収容することができる。
【００１５】
ループ型ヒートパイプ１において、蒸発器１０は、作動流体Ｃを気化させて蒸気Ｃｖを生成する機能を有する。凝縮器２０は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖを液化させる機能を有する。蒸発器１０と凝縮器２０は、蒸気管３０及び液管４０により接続されており、蒸気管３０及び液管４０によって作動流体Ｃ又は蒸気Ｃｖが流れるループである流路５０が形成されている。
【００１６】
注入口６０は、作動流体Ｃを液管４０内に注入するための入り口であり、作動流体Ｃを注入後に気密封止されている。但し、本実施形態では、注入口６０を液管４０に接続しているが、注入口６０を凝縮器２０や蒸気管３０に接続してもよい。この場合、凝縮器２０や蒸気管３０に注入された作動流体Ｃは、流路５０内を流れて液管４０内に移動する。
【００１７】
図２は、第１実施形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。図１及び図２に示すように、蒸発器１０には、例えば４つの貫通孔１０ｘが形成されている。蒸発器１０に形成された各貫通孔１０ｘと回路基板１００に形成された各貫通孔１００ｘにボルト１５０を挿入し、回路基板１００の下面側からナット１６０で止めることにより、蒸発器１０と回路基板１００とが固定される。
【００１８】
回路基板１００には、例えば、ＣＰＵ等の発熱部品１２０がバンプ１１０により実装され、発熱部品１２０の上面が蒸発器１０の下面と密着する。蒸発器１０内の作動流体Ｃは、発熱部品１２０で発生した熱により気化し、蒸気Ｃｖが生成される。
【００１９】
図１に示すように、蒸発器１０に生成された蒸気Ｃｖは、蒸気管３０を通って凝縮器２０に導かれ、凝縮器２０において液化する。これにより、発熱部品１２０で発生した熱が凝縮器２０に移動し、発熱部品１２０の温度上昇が抑制される。凝縮器２０で液化した作動流体Ｃは、液管４０を通って蒸発器１０に導かれる。蒸気管３０の幅Ｗ１は、例えば、８ｍｍ程度とすることができる。又、液管４０の幅Ｗ２は、例えば、６ｍｍ程度とすることができる。蒸気管３０の幅Ｗ１や液管４０の幅Ｗ２は、これに限らず、例えば互いに等しくてもよい。
【００２０】
作動流体Ｃの種類は特に限定されないが、蒸発潜熱によって発熱部品１２０を効率的に冷却するために、蒸気圧が高く、かつ蒸発潜熱が大きい流体を使用することが好ましい。そのような流体としては、例えば、アンモニア、水、フロン、アルコール、及びアセトンを挙げることができる。
【００２１】
蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、液管４０、及び注入口６０は、例えば、金属層が複数積層された構造とすることができる。金属層は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。金属層の各々の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。
【００２２】
なお、金属層は銅層には限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。又、金属層の積層数は特に限定されない。
【００２３】
図３は、第１実施形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図であり、図３（ａ）は図１のＳ部の平面図である。又、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図３（ｃ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、図３（ａ）では、最外金属層である金属層８１及び８６の図示を省略している。又、図３（ａ）は断面図ではないが、便宜上、各部に図３（ｂ）及び図３（ｃ）に対応するハッチングを施している。
【００２４】
図３に示すように、蒸発器１０及び液管４０は、金属層８１〜８６の６層が積層された構造である。蒸発器１０及び液管４０において、金属層８１及び８６が最外層であり、金属層８２〜８５が内層である。但し、蒸発器１０及び液管４０における金属層の積層数は６層には限定されず、最低３層以上の金属層が積層されていればよい。すなわち、２層の最外層の間に１層以上の内層が積層されていればよい。
【００２５】
金属層８１及び８６は、蒸発器１０及び液管４０を構成する金属層の積層構造の厚さ方向の両外側に位置し、金属層８２〜８５は金属層８１と金属層８６との間に積層されている。本実施形態では、金属層８１及び８６は、孔や溝が形成されていないベタ状とされており、蒸発器１０及び液管４０の外壁の一部を構成している。
【００２６】
金属層８１〜８６は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。金属層８１〜８６の各々の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。なお、金属層８１〜８６は銅層には限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。
【００２７】
蒸発器１０内には多孔質体８３０が設けられ、液管４０内には多孔質体８４０が設けられている。より詳しくは、蒸発器１０の内層（金属層８２〜８５）において、離間して配置された互いに対向する管壁８８０と管壁８９０との間に多孔質体８３０が設けられている。管壁８８０、８９０と多孔質体８３０は、一体的に（連続して）設けられている。図面では、便宜上、管壁と多孔質体の境界を実線で示し、ハッチングも異なっている。又、液管４０の内層（金属層８２〜８５）において、蒸発器１０と同様に、離間して配置された互いに対向する管壁８８０と管壁８９０との間に多孔質体８４０が設けられている。管壁８８０、８９０と多孔質体８４０は、一体的に（連続して）設けられている。図面では、便宜上、管壁と多孔質体の境界を実線で示し、ハッチングも異なっている。
【００２８】
図４は、多孔質体について説明する図であり、図４（ａ）は図３（ａ）のＣ部の拡大図、図４（ｂ）は図３（ｂ）のＤ部の拡大図である。なお、図４では、多孔質体８４０について説明するが、多孔質体８３０も多孔質体８４０と同一構造である。
【００２９】
図４（ａ）、（ｂ）に示すように、多孔質体８４０において、１層目（一方の最外層）の金属層８１及び６層目（他方の最外層）の金属層８６には、孔や溝は形成されていない（つまり、最外層の金属層はべた状である）。これに対して、金属層８２には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔８２ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔８２ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【００３０】
有底孔８２ｘと有底孔８２ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔８２ｘと有底孔８２ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔８２ｘと有底孔８２ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔８２ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔８２ｘと有底孔８２ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔８２ｚを形成している。
【００３１】
有底孔８２ｘ及び８２ｙの平面形状は、例えば、直径が１００〜３００μｍ程度の円形とすることができるが、楕円形や多角形等の任意の形状として構わない。有底孔８２ｘ及び８２ｙの深さは、例えば、金属層８２の厚さの半分程度とすることができる。Ｘ方向に隣接する有底孔８２ｘの間隔Ｌ１は、例えば、１００〜４００μｍ程度とすることができる。Ｙ方向に隣接する有底孔８２ｘの間隔についても同様である。Ｘ方向に隣接する有底孔８２ｙの間隔Ｌ２は、例えば、１００〜４００μｍ程度とすることができる。Ｙ方向に隣接する有底孔８２ｙの間隔についても同様である。
【００３２】
有底孔８２ｘ及び８２ｙのＸＺ平面に平行な断面形状及びＹＺ平面に平行な断面形状は、例えば、略半円形や略半楕円形とすることができる。但し、有底孔８２ｘ及び８２ｙのＸＺ平面に平行な断面形状及びＹＺ平面に平行な断面形状は、底面側から開口側に向かって拡幅するテーパ形状や、底面に対して垂直な形状であっても構わない。
【００３３】
細孔８２ｚの短手方向の幅Ｗ３は、例えば、１０〜５０μｍ程度とすることができる。又、細孔８２ｚの長手方向の幅Ｗ４は、例えば、５０〜１５０μｍ程度とすることができる。
【００３４】
金属層８３には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔８３ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔８３ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【００３５】
有底孔８３ｘと有底孔８３ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔８３ｘと有底孔８３ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔８３ｘと有底孔８３ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔８３ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔８３ｘと有底孔８３ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔８３ｚを形成している。有底孔８３ｘ及び８３ｙ、細孔８３ｚの形状等は、例えば、有底孔８２ｘ及び８２ｙ、細孔８２ｚの形状等と同様とすることができる。
【００３６】
又、金属層８２の有底孔８２ｙと金属層８３の有底孔８３ｘとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔８７ｚを形成している。
【００３７】
金属層８４には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔８４ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔８４ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【００３８】
有底孔８４ｘと有底孔８４ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔８４ｘと有底孔８４ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔８４ｘと有底孔８４ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔８４ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔８４ｘと有底孔８４ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔８４ｚを形成している。有底孔８４ｘ及び８４ｙ、細孔８４ｚの形状等は、例えば、有底孔８２ｘ及び８２ｙ、細孔８２ｚの形状等と同様とすることができる。
【００３９】
又、金属層８３の有底孔８３ｙと金属層８４の有底孔８４ｘとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔８８ｚを形成している。
【００４０】
金属層８５には、上面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔８５ｘと、下面側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔８５ｙとが、それぞれ複数個形成されている。
【００４１】
有底孔８５ｘと有底孔８５ｙとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。又、有底孔８５ｘと有底孔８５ｙとは、平面視でＹ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔８５ｘと有底孔８５ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔８５ｚを形成している。又、Ｙ方向に交互に配置された有底孔８５ｘと有底孔８５ｙとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔８５ｚを形成している。有底孔８５ｘ及び８５ｙ、細孔８５ｚの形状等は、例えば、有底孔８２ｘ及び８２ｙ、細孔８２ｚの形状等と同様とすることができる。
【００４２】
又、金属層８４の有底孔８４ｙと金属層８５の有底孔８５ｘとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔８９ｚを形成している。
【００４３】
各金属層に形成された細孔同士は互いに連通しており、互いに連通する細孔は多孔質体８４０内に三次元的に広がっている。そのため、作動流体Ｃは、毛細管力により、互いに連通する細孔内を三次元的に広がる。
【００４４】
但し、図４では、有底孔８２ｘと有底孔８３ｘと有底孔８４ｘと有底孔８５ｘ、及び有底孔８２ｙと有底孔８３ｙと有底孔８４ｙと有底孔８５ｙが平面視で重複する形態を例示しているが、これには限定されない。すなわち、互いに連通する細孔が多孔質体８４０内に三次元的に広がる形態であれば、有底孔８２ｘと有底孔８３ｘと有底孔８４ｘと有底孔８５ｘとは必ずしも平面視で重複しなくてもよい。又、有底孔８２ｙと有底孔８３ｙと有底孔８４ｙと有底孔８５ｙとは必ずしも平面視で重複しなくてもよい。
【００４５】
図５は、従来のループ型ヒートパイプについて説明する図であり、図５（ａ）は図３（ａ）に対応する平面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図であり図３（ｃ）に対応する断面を示している。
【００４６】
図５に示すように、従来のループ型ヒートパイプ１Ｘにおいて、蒸発器１０の内層（金属層８２〜８５）において、離間して配置された互いに対向する管壁８８０と管壁８９０との間には多孔質体８３０が設けられている。又、液管４０の内層（金属層８２〜８５）において、蒸発器１０と同様に、離間して配置された互いに対向する管壁８８０と管壁８９０との間には多孔質体８４０が設けられている。又、蒸発器１０と液管４０との間には接続領域７０が設けられているが、接続領域７０には多孔質体８３０及び８４０は配置されていない。すなわち、従来のループ型ヒートパイプ１Ｘでは、接続領域７０の互いに対向する管壁８８０と管壁８９０との間は空間部７０Ｓのみが存在する。
【００４７】
これに対して、図３に示すように、ループ型ヒートパイプ１では、蒸発器１０内には多孔質体８３０が設けられ、液管４０内には多孔質体８４０と空間部４０Ｓが設けられている。又、蒸発器１０と液管４０の接続領域７０には、多孔質の延伸部８３１と空間部７０Ｓが設けられている。空間部７０Ｓは、延伸部８３１の側面８３１ｑ及び８３１ｒの一部及び多孔質体８３０の端部の一部、多孔質体８４０の端部の一部と接している。
【００４８】
多孔質の延伸部８３１は、平面視において、多孔質体８３０の接続領域７０側端面８３０ｅのＸ方向中央部近傍からＹ方向に（液管４０側に）突起している。
【００４９】
多孔質の延伸部８３１は、蒸発器１０内の多孔質体８３０と一体的に（連続して）設けられている。又、多孔質の延伸部８３１と多孔質体８３０は、同じ材料から形成されている。多孔質の延伸部８３１と蒸発器１０内の多孔質体８３０は、平面視において、例えば、凸形状を構成している。
【００５０】
液管４０内に設けられた多孔質体８４０の蒸発器１０側の端部には、凹部８４４を有している。より詳しくは、凹部８４４は、平面視において、多孔質体８４０の接続領域７０側端面８４０ｅのＸ方向中央部近傍からＹ方向に（液管４０側に）窪んでいる。
【００５１】
多孔質体８３０及び８４０は積層された４つの金属層（金属層８２〜８５）を含むが、延伸部８３１も多孔質体８３０及び８４０と同様に積層された４つの金属層（金属層８２〜８５）を含む。すなわち、延伸部８３１は、４つの金属層（金属層８２〜８５）が延伸して形成されており、多孔質体８３０及び８４０と同様の多孔質構造である。
【００５２】
又、凹部８４４も多孔質体８３０及び８４０と同様に積層された４つの金属層（金属層８２〜８５）を含む。すなわち、凹部８４４は、４つの金属層（金属層８２〜８５）が窪んで形成されており、多孔質体８３０及び８４０と同様の多孔質構造である。
【００５３】
延伸部８３１のＹ方向の先端側（液管４０側）は、平面視において、接続領域７０を超えて液管４０内に達し、多孔質体８４０に形成された凹部８４４内に挿入されている。
【００５４】
延伸部８３１の先端面８３１ｐ、側面８３１ｑ、及び８３１ｒは、凹部８４４の内壁面とは接していない。つまり、延伸部８３１の先端面８３１ｐ、側面８３１ｑ、及び８３１ｒは、凹部８４４の内壁面と離間して配置され、互いに対向している。延伸部８３１の先端面８３１ｐ、側面８３１ｑ、及び８３１ｒと凹部８４４の内壁面との間には空間部４０Ｓが形成されている。空間部４０Ｓは、空間部７０Ｓと連通している。なお、図３（ｂ）及び図３（ｃ）に示すように、延伸部８３１の上面は金属層８１の下面に接し、延伸部８３１の下面は金属層８６の上面に接している。
【００５５】
［第１実施形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法］
次に、第１実施形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法について、多孔質体の製造工程を中心に説明する。図６及び図７は、第１実施形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図であり、図４（ｂ）に対応する断面を示している。なお、図６及び図７では多孔質体８４０の形成について図示するが、多孔質体８３０についても同様の方法により形成される。
【００５６】
まず、図６（ａ）に示す工程では、図１の平面形状に形成された金属シート８２０を準備する。そして、金属シート８２０の上面にレジスト層３１０を形成し、金属シート８２０の下面にレジスト層３２０を形成する。金属シート８２０は、最終的に金属層８２となる部材であり、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から形成することができる。金属シート８２０の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。レジスト層３１０及び３２０としては、例えば、感光性のドライフィルムレジスト等を用いることができる。
【００５７】
次に、図６（ｂ）に示す工程では、金属シート８２０の多孔質体８４０を形成する領域において、レジスト層３１０を露光及び現像して、金属シート８２０の上面を選択的に露出する開口部３１０ｘを形成する。又、レジスト層３２０を露光及び現像して、金属シート８２０の下面を選択的に露出する開口部３２０ｘを形成する。開口部３１０ｘの形状及び配置は、図４に示した有底孔８２ｘの形状及び配置に対応するように形成する。又、開口部３２０ｘの形状及び配置は、図４に示した有底孔８２ｙの形状及び配置に対応するように形成する。
【００５８】
次に、図６（ｃ）に示す工程では、開口部３１０ｘ内に露出する金属シート８２０を金属シート８２０の上面側からハーフエッチングすると共に、開口部３２０ｘ内に露出する金属シート８２０を金属シート８２０の下面側からハーフエッチングする。これにより、金属シート８２０の上面側に有底孔８２ｘが形成され、下面側に有底孔８２ｙが形成される。又、表裏でＸ方向に交互に配置された開口部３１０ｘと開口部３２０ｘとは、平面視で部分的に重複しているため、重複する部分が連通して細孔８２ｚが形成される。又、平面視でレジスト層３１０及び３２０が何れも形成されていない領域は、両面からハーフエッチングされて貫通する。この領域は最終的に空間部となる。金属シート８２０のハーフエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。
【００５９】
次に、図６（ｄ）に示す工程では、レジスト層３１０及び３２０を剥離液により剥離する。これにより、金属層８２が完成する。
【００６０】
次に、図７（ａ）に示す工程では、孔や溝が形成されていないベタ状の金属層８１及び８６を準備する。又、金属層８２と同様の方法により、金属層８３〜８５を形成する。金属層８３〜８５に形成される有底孔及び細孔の位置は、例えば、図４に示した通りである。
【００６１】
次に、図７（ｂ）に示す工程では、図７（ａ）に示す順番で各金属層を積層し、加圧及び加熱により固相接合を行う。これにより、隣接する金属層同士が直接接合され、蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０を有するループ型ヒートパイプ１が完成し、蒸発器１０に多孔質体８３０が形成され、液管４０に多孔質体８４０が形成される。その後、真空ポンプ等を用いて液管４０内を排気した後、注入口６０から液管４０内に作動流体Ｃを注入し、その後注入口６０を封止する。
【００６２】
ここで、固相接合とは、接合対象物同士を溶融させることなく固相（固体）状態のまま加熱して軟化させ、更に加圧して塑性変形を与えて接合する方法である。なお、固相接合によって隣接する金属層同士を良好に接合できるように、金属層８１〜８６の全ての材料を同一にすることが好ましい。
【００６３】
このように、蒸発器１０には多孔質体８３０が設けられており、多孔質体８３０は接続領域７０まで延びている。又、液管４０には多孔質体８４０が設けられており、多孔質体８４０は接続領域７０まで延びている。更に、接続領域７０は、多孔質体８３０から延伸した延伸部８３１と、延伸部８３１と接する空間部７０Ｓとを備えており、延伸部８３１は多孔質体８３０及び８４０と同様の多孔質構造である。そして、延伸部８３１の先端側は、多孔質体８４０に形成された凹部８４４内に挿入されている。
【００６４】
多孔質体８４０は、毛細管力による作動流体Ｃの移動及び貯蔵効果が高い反面、例えば貯蔵限界量まで作動流体Ｃが移動してこないと、多孔質体８４０外へ作動流体Ｃが漏れ出せない。従って、従来のループ型ヒートパイプのように、液管と蒸発器との接続領域が空間部のみを備え、多孔質体からの延伸部が存在しない場合、液管から蒸発器への液導入に支障が生じる場合がある。
【００６５】
一方、ループ型ヒートパイプ１では、接続領域７０に延伸部８３１を設け、延伸部８３１の先端側を多孔質体８４０に形成された凹部８４４内に挿入されている。そのため、延伸部８３１を構成する多孔質体に生じる毛細管力によって、液管４０内の液相の作動流体Ｃを蒸発器１０まで効果的に誘導することが可能となり、液管４０から蒸発器１０への液導入性を向上できる。
【００６６】
又、仮に、液管と蒸発器との接続領域に延伸部のみを設け空間部を設けないと、蒸発器１０からのヒートリークが生じ、熱輸送特性が低下してしまうおそれがある。ループ型ヒートパイプ１では、接続領域７０に延伸部８３１に加え空間部７０Ｓを設けているため、蒸発器１０からのヒートリークを抑制することができる。又、空間部７０Ｓは作動流体Ｃを貯留する領域としても利用できるため、ドライアウト（作動流体Ｃが枯渇した状態）を防止することが可能となる。
【００６７】
〈第１実施形態の変形例１〉
第１実施形態の変形例１では、多孔質体を構成する一部の金属層のみから延伸部を形成する例を示す。なお、第１実施形態の変形例１において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００６８】
図８は、第１実施形態の変形例１に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図であり、図３（ａ）に対応する平面図である。又、図８（ｂ）は図８（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図８（ｃ）は図８（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、図８（ａ）では、最外層である金属層８１及び８６の図示を省略している。又、図８（ａ）は断面図ではないが、便宜上、各部に図８（ｂ）及び図８（ｃ）に対応するハッチングを施している。
【００６９】
図８に示すように、第１実施形態の変形例１では、接続領域７０は、多孔質体８３０から延伸した延伸部８３２と、延伸部８３２と接する空間部７０Ｓとを備えている。延伸部８３２は、平面形状は図３に示す延伸部８３１と同様であるが、延伸部８３１が金属層８２〜８５により形成されていたのに対し、延伸部８３２は金属層８３及び８４のみにより形成されている点が延伸部８３１と相違する。
【００７０】
又、多孔質体８４０の金属層８３及び８４のみに凹部８４５が設けられ、延伸部８３２のＹ方向の先端側（液管４０側）は、平面視において、接続領域７０を超えて液管４０内に達し、多孔質体８４０に形成された凹部８４５内に挿入されている。
【００７１】
延伸部８３２の先端面８３２ｐ、側面８３２ｑ、及び８３２ｒは、凹部８４５の内壁面とは接していない。つまり、延伸部８３２の先端面８３２ｐ、側面８３２ｑ、及び８３２ｒは、凹部８４５の内壁面と離間して配置され、互いに対向している。延伸部８３２の先端面８３２ｐ、側面８３２ｑ、及び８３２ｒと凹部８４５の内壁面との間には空間部４０Ｓが形成されている。空間部４０Ｓは、空間部７０Ｓと連通している。なお、図８（ｂ）及び図８（ｃ）に示すように、延伸部８３２の凹部８４５内に挿入された部分の上面は金属層８２の下面に接し、凹部８４５内に挿入された部分の下面は金属層８５の上面に接している。
【００７２】
なお、図９（ａ）に示すように、延伸部８３２を金属層８２及び８５のみで形成し、凹部８４５を金属層８２及び８５のみに形成してもよい。又、図９（ｂ）に示すように、延伸部８３２を金属層８２及び８４のみで形成し、凹部８４５を金属層８２及び８４のみに形成してもよい。又、図９（ｃ）に示すように、延伸部８３２を金属層８２及び８３のみで形成し、凹部８４５を金属層８２及び８３のみに形成してもよい。又、図９（ｄ）に示すように、延伸部８３２を金属層８４及び８５のみで形成し、凹部８４５を金属層８４及び８５のみに形成してもよい。或いは、延伸部８３２を金属層８２〜８５のうちの何れか１層又は３層で形成し、凹部８４５は、延伸部８３２を形成した金属層のみに形成してもよい。
【００７３】
このように、多孔質体８３０を構成する全ての金属層８２〜８５からではなく、一部の金属層のみから延伸部８３２を形成してもよい。延伸部８３２を形成する一部の金属層としては、金属層８２〜８５から１層以上３層以下の任意の金属層を選択することができる。すなわち、延伸部８３２は、多孔質体８３０及び８４０を構成する所定数の金属層のうちの１層以上の金属層が延伸して形成されてもよい。この場合も、第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００７４】
〈第１実施形態の変形例２〉
第１実施形態の変形例２では、接続領域に延伸部を複数個並置する例を示す。なお、第１実施形態の変形例２において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００７５】
図１０は、第１実施形態の変形例２に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図であり、図３（ａ）に対応する平面図である。又、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図１０（ｃ）は図１０（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、図１０（ａ）では、最外層である金属層８１及び８６の図示を省略している。又、図１０（ａ）は断面図ではないが、便宜上、各部に図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）に対応するハッチングを施している。
【００７６】
図１０に示すように、第１実施形態の変形例２では、接続領域７０は、多孔質体８３０から延伸した多孔質の延伸部８３２ａ、８３２ｂ、及び８３２ｃを備えている。多孔質の延伸部８３２ａ、８３２ｂ、及び８３２ｃと蒸発器１０内の多孔質体８３０は、平面視において、例えば、櫛歯形状を構成している。
【００７７】
又、接続領域７０は、延伸部８３２ａ、８３２ｂ、及び８３２ｃの各々の側面８３２ｑ及び８３２ｒの一部及び多孔質体８３０の端部の一部、多孔質体８４０の端部の一部と接する空間部７０Ｓを備えている。
【００７８】
延伸部８３２ａ〜８３２ｃは、金属層８３及び８４のみで形成されている。延伸部８３２ａ〜８３２ｃは、平面視において、多孔質体８３０の接続領域７０側端部から各々がＹ方向に（液管４０側に）突起しており、所定間隔でＸ方向に並置されている。
【００７９】
多孔質体８４０の金属層８３及び８４には、接続領域７０側に開口する３つの凹部８４５ａ、８４５ｂ、及び８４５ｃが、所定間隔でＸ方向に並置されている。延伸部８３２ａのＹ方向の先端側（液管４０側）は、平面視において、接続領域７０を超えて液管４０内に達し、凹部８４５ａ内に挿入されている。又、延伸部８３２ｂのＹ方向の先端側（液管４０側）は、平面視において、接続領域７０を超えて液管４０内に達し、凹部８４５ｂ内に挿入されている。又、延伸部８３２ｃのＹ方向の先端側（液管４０側）は、平面視において、接続領域７０を超えて液管４０内に達し、凹部８４５ｃ内に挿入されている。
【００８０】
延伸部８３２ａ〜８３２ｃの各々の先端面８３２ｐ、側面８３２ｑ、及び８３２ｒは、凹部８４５ａ〜８４５ｃの内壁面とは接していない。つまり、延伸部８３２ａ〜８３２ｃの各々の先端面８３２ｐ、側面８３２ｑ、及び８３２ｒは、凹部８４５ａ〜８４５ｃの内壁面と離間して配置され、互いに対向している。延伸部８３２ａ〜８３２ｃの各々の先端面８３２ｐ、側面８３２ｑ、及び８３２ｒと凹部８４５ａ〜８４５ｃの内壁面との間には空間部４０Ｓが形成されている。空間部４０Ｓは、空間部７０Ｓと連通している。なお、図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）に示すように、延伸部８３２ａ〜８３２ｃの各々の凹部８４５ａ〜８４５ｃ内に挿入された部分の上面は金属層８２の下面に接し、延伸部８３２ａ〜８３２ｃの各々の凹部８４５ａ〜８４５ｃ内に挿入された部分の下面は金属層８５の上面に接している。
【００８１】
なお、図９（ａ）の場合と同様に、延伸部８３２ａ〜８３２ｃを金属層８２及び８５のみで形成し、凹部８４５ａ〜８４５ｃを金属層８２及び８５のみに形成してもよい。又、図９（ｂ）の場合と同様に、延伸部８３２ａ〜８３２ｃを金属層８２及び８４のみで形成し、凹部８４５ａ〜８４５ｃを金属層８２及び８４のみに形成してもよい。又、図９（ｃ）の場合と同様に、延伸部８３２ａ〜８３２ｃを金属層８２及び８３のみで形成し、凹部８４５ａ〜８４５ｃを金属層８２及び８３のみに形成してもよい。又、図９（ｄ）の場合と同様に、延伸部８３２ａ〜８３２ｃを金属層８４及び８５のみで形成し、凹部８４５ａ〜８４５ｃを金属層８４及び８５のみに形成してもよい。或いは、延伸部８３２ａ〜８３２ｃを金属層８２〜８５のうちの何れか１層又は３層で形成し、凹部８４５ａ〜８４５ｃは、延伸部８３２ａ〜８３２ｃを形成した金属層のみに形成してもよい。
【００８２】
このように、接続領域７０に複数の延伸部（例えば、延伸部８３２ａ、８３２ｂ、８３２ｃ）を並置してもよい。接続領域７０に複数の延伸部を設けた場合には、第１実施形態のように接続領域７０に１つの延伸部を設けた場合よりも、より高い効果を奏する。
【００８３】
すなわち、延伸部８３２ａ〜８３２ｃを構成する多孔質体に生じる毛細管力によって、液管４０内の液相の作動流体Ｃを蒸発器１０まで更に効果的に誘導することが可能となり、液管４０から蒸発器１０への液導入性を更に向上できる。又、蒸発器１０からのヒートリークの抑制や、ドライアウトの防止効果を更に高めることができる。
【００８４】
なお、接続領域７０に並置する延伸部の数は３個には限定されず、２個でもよいし、４個以上でもよい。又、各々の延伸部は、Ｘ方向の幅やＹ方向の長さが異なっていてもよい。
【００８５】
〈第１実施形態の変形例３〉
第１実施形態の変形例３では、液管側の多孔質体にも延伸部を設ける例を示す。なお、第１実施形態の変形例３において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００８６】
図１１は、第１実施形態の変形例３に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図であり、図３（ａ）に対応する平面図である。又、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図１１（ｃ）は図１１（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、図１１（ａ）では、最外層である金属層８１及び８６の図示を省略している。又、図１１（ａ）は断面図ではないが、便宜上、各部に図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）に対応するハッチングを施している。
【００８７】
図１１に示すように、第１実施形態の変形例３では、接続領域７０は、第１実施形態の変形例２と同様に、多孔質体８３０から延伸した多孔質の延伸部８３２ａ、８３２ｂ、及び８３２ｃと、多孔質体８４０に設けられた凹部８４５ａ、８４５ｂ、８４５ｃを備えている。又、接続領域７０は、第１実施形態の変形例２とは異なり、多孔質体８４０から延伸した多孔質の延伸部８４２ａ及び８４２ｂと、多孔質体８３０に設けられた凹部８３５ａ、８３５ｂを備えている。延伸部８３２ａ、８３２ｂ、８３２ｃ、８４２ａ、８４２ｂ、及び多孔質体８３０の端部の一部、多孔質体８４０の端部の一部は、空間部７０Ｓと接している。
【００８８】
多孔質体８３０から延伸した延伸部８３２ａ、８３２ｂ、及び８３２ｃと、多孔質体８４０から延伸した延伸部８４２ａ及び８４２ｂは、例えば、平面視で交互に配置することができる。これにより、液管側の多孔質体を進んで動く作動流体と、蒸発器側の多孔質体が作動流体を吸い上げて動く２つの流動効果が得られる。
【００８９】
具体的には、例えば、延伸部８４２ａ及び８４２ｂは、金属層８３及び８４のみで形成されている。延伸部８４２ａ及び８４２ｂは、平面視において、多孔質体８４０の接続領域７０側端部から各々がＹ方向に（蒸発器１０側に）突起しており、所定間隔でＸ方向に並置されている。延伸部８４２ａ及び８４２ｂは、液管４０内の多孔質体８４０と一体的に（連続して）設けられている。
【００９０】
多孔質体８３０の金属層８３及び８４には、接続領域７０側に開口する２つの凹部８３５ａ及び８３５ｂが、所定間隔でＸ方向に並置されている。凹部８３５ａ及び８３５ｂは、平面視において、多孔質体８３０の接続領域７０側端面８３０ｅからＹ方向に（蒸発器１０側に）窪んでいる。延伸部８４２ａのＹ方向の先端側（蒸発器１０側）は、平面視において、接続領域７０を超えて蒸発器１０内に達し、凹部８３５ａ内に挿入されている。又、延伸部８４２ｂのＹ方向の先端側（蒸発器１０側）は、平面視において、接続領域７０を超えて蒸発器１０内に達し、凹部８３５ｂ内に挿入されている。
【００９１】
延伸部８４２ａ及び８４２ｂの各々の先端面８４２ｐ、側面８４２ｑ、及び８４２ｒは、凹部８３５ａ及び８３５ｂの内壁面とは接していない。つまり、延伸部８４２ａ及び８４２ｂの各々の先端面８４２ｐ、側面８４２ｑ、及び８４２ｒは、凹部８３５ａ及び８３５ｂの内壁面と離間して配置され、互いに対向している。延伸部８４２ａ及び８４２ｂの各々の先端面８４２ｐ、側面８４２ｑ、及び８４２ｒと凹部８３５ａ及び８３５ｂの内壁面との間には、空間部１０Ｓが形成されている。空間部１０Ｓは、空間部７０Ｓと連通している。なお、図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）に示すように、延伸部８４２ａ及び８４２ｂの各々の凹部８３５ａ及び８３５ｂ内に挿入された部分の上面は金属層８２の下面に接し、延伸部８４２ａ及び８４２ｂの各々の凹部８３５ａ及び８３５ｂ内に挿入された部分の下面は金属層８５の上面に接している。
【００９２】
なお、図９（ａ）の場合と同様に、延伸部８３２ａ〜８３２ｃ、８４２ａ、及び８４２ｂを金属層８２及び８５のみで形成し、凹部８４５ａ〜８４５ｃ、８３５ａ、及び８３５ｂを金属層８２及び８５のみに形成してもよい。又、図９（ｂ）の場合と同様に、延伸部８３２ａ〜８３２ｃ、８４２ａ、及び８４２ｂを金属層８２及び８４のみで形成し、凹部８４５ａ〜８４５ｃ、８３５ａ、及び８３５ｂを金属層８２及び８４のみに形成してもよい。又、図９（ｃ）の場合と同様に、延伸部８３２ａ〜８３２ｃ、８４２ａ、及び８４２ｂを金属層８２及び８３のみで形成し、凹部８４５ａ〜８４５ｃ、８３５ａ、及び８３５ｂを金属層８２及び８３のみに形成してもよい。又、図９（ｄ）の場合と同様に、延伸部８３２ａ〜８３２ｃ、８４２ａ、及び８４２ｂを金属層８４及び８５のみで形成し、凹部８４５ａ〜８４５ｃ、８３５ａ、及び８３５ｂを金属層８４及び８５のみに形成してもよい。或いは、延伸部８３２ａ〜８３２ｃ、８４２ａ、及び８４２ｂを金属層８２〜８５のうちの何れか１層又は３層で形成し、凹部８４５ａ〜８４５ｃ、８３５ａ、及び８３５ｂは、延伸部８３２ａ〜８３２ｃ、８４２ａ、及び８４２ｂを形成した金属層のみに形成してもよい。
【００９３】
このように、蒸発器１０側の多孔質体８３０に延伸部（例えば、延伸部８３２ａ、８３２ｂ、８３２ｃ）を設け、更に液管４０側の多孔質体８４０に延伸部（例えば、延伸部８４２ａ、８４２ｂ）を設けてもよい。この場合は、接続領域７０に設ける延伸部の個数を第１実施形態の変形例１よりも増やすことができるため、第１実施形態の変形例１よりも更に高い効果を奏する。
【００９４】
すなわち、延伸部８３２ａ〜８３２ｃ、８４２ａ、及び８４２ｂを構成する多孔質体に生じる毛細管力によって、液管４０内の液相の作動流体Ｃを蒸発器１０まで更に効果的に誘導することが可能となり、液管４０から蒸発器１０への液導入性を更に向上できる。又、ドライアウトの防止効果を更に高めることができる。
【００９５】
なお、接続領域７０に並置する多孔質体８３０の延伸部の数は３個には限定されず、２個でもよいし、４個以上でもよい。又、接続領域７０に並置する多孔質体８４０の延伸部の数は２個には限定されず、３個以上でもよい。又、各々の延伸部は、Ｘ方向の幅やＹ方向の長さが異なっていてもよい。凹部の数も延伸部の数に従って適宜、変更してもよい。
【００９６】
〈第１実施形態の変形例４〉
第１実施形態の変形例４では、一方の多孔質体の延伸部が他方の多孔質体と全く接しない例を示す。なお、第１実施形態の変形例４において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【００９７】
図１２は、第１実施形態の変形例４に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図であり、図３（ａ）に対応する平面図である。又、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図１２（ｃ）は図１２（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、図１２（ａ）では、最外層である金属層８１及び８６の図示を省略している。又、図１２（ａ）は断面図ではないが、便宜上、各部に図１２（ｂ）及び図１２（ｃ）に対応するハッチングを施している。
【００９８】
図１２に示すように、第１実施形態の変形例４では、接続領域７０は、多孔質体８３０から延伸した延伸部８３３と、延伸部８３３と接する空間部７０Ｓとを備えている。延伸部８３３は、例えば、金属層８３及び８４のみにより形成されている。延伸部８３３は、蒸発器１０内の多孔質体８３０と一体的に（連続して）設けられている。より詳しくは、蒸発器１０内の多孔質体８３０を構成する金属層８３及び８４と一体的に設けられている。
【００９９】
延伸部８３３の金属層８３で形成されている部分は、金属層８２側からハーフエッチングされて薄化されている。又、延伸部８３３の金属層８４で形成されている部分は、金属層８５側からハーフエッチングされて薄化されている。その結果、延伸部８３３は、延伸部８３２（図８等参照）の半分程度の薄さである。
【０１００】
凹部８４５は、金属層８３、８４を厚さ方向に貫通して形成されている。
【０１０１】
延伸部８３３のＹ方向の先端側（液管４０側）は、平面視において、接続領域７０を超えて液管４０内に達し、多孔質体８４０に形成された凹部８４５内に挿入されている。
【０１０２】
延伸部８３３の先端面８３３ｐ、側面８３３ｑ、及び８３３ｒは、凹部８４５の内壁面とは接していない。延伸部８３３の先端側の上下面も凹部８４５とは接していない。つまり、延伸部８３３の先端面８３３ｐ、側面８３３ｑ、及び８３３ｒは、凹部８４５の内壁面と離間して配置され、互いに対向している。そして、延伸部８３３の先端側の上面は、金属層８２の下面と離間して配置され、互いに対向し、延伸部８３３の先端側の下面は、金属層８５の上面と離間して配置され、互いに対向している。延伸部８３３の先端面８３３ｐ、側面８３３ｑ、８３３ｒ、及び上下面と凹部８４５の内壁面との間には空間部４０Ｓが形成されている。空間部４０Ｓは、空間部７０Ｓと連通している。
【０１０３】
なお、延伸部８３３を、上面側から薄化された金属層８２及び下面側から薄化された金属層８３のみで形成し、凹部８４５を金属層８２及び８３のみに形成してもよい。又、延伸部８３３を、上面側から薄化された金属層８４及び下面側から薄化された金属層８５のみで形成し、凹部８４５を金属層８４及び８５のみに形成してもよい。
【０１０４】
又、延伸部８３３を、上面側から薄化された金属層８２のみ又は下面側から薄化された金属層８３のみで形成し、凹部８４５を金属層８２及び８３のみに形成してもよい。又、延伸部８３３を、上面側から薄化された金属層８３のみ又は下面側から薄化された金属層８４のみで形成し、凹部８４５を金属層８３及び８４のみに形成してもよい。又、延伸部８３３を、上面側から薄化された金属層８４のみ又は下面側から薄化された金属層８５のみで形成し、凹部８４５を金属層８４及び８５のみに形成してもよい。
【０１０５】
又、延伸部８３３を、上面側から薄化された金属層８２、薄化されていない金属層８３、及び下面側から薄化された金属層８４のみで形成し、凹部８４５を、金属層８２、８３、及び８４のみに形成してもよい。又、延伸部８３３を、上面側から薄化された金属層８３、薄化されていない金属層８４、及び下面側から薄化された金属層８５のみで形成し、凹部８４５を、金属層８３、８４、及び８５のみに形成してもよい。
【０１０６】
このように、一方の多孔質体の延伸部が他方の多孔質体と全く接していなくてもよい。この場合も、第１実施形態と同様の効果を奏する。又、第１実施形態の効果以外に、蒸発器の多孔質体が液管の多孔質体に非接触となるため、伝熱面積を少なくでき、ヒートリークの量を下げる効果が得られる。なお、多孔質体８３０が複数の延伸部を有する場合や、多孔質体８４０が１つ又は複数の延伸部を有する場合についても同様である。
【０１０７】
〈第１実施形態の変形例５〉
第１実施形態の変形例５では、液管側の多孔質体のみに延伸部を設ける例を示す。なお、第１実施形態の変形例５において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【０１０８】
図１３は、第１実施形態の変形例５に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図であり、図３（ａ）に対応する平面図である。又、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図であり、図１３（ｃ）は図１３（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、図１３（ａ）では、最外層である金属層８１及び８６の図示を省略している。又、図１３（ａ）は断面図ではないが、便宜上、各部に図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）に対応するハッチングを施している。
【０１０９】
図１３に示すように、第１実施形態の変形例５では、蒸発器１０内には、多孔質体８３０と空間部１０Ｓが設けられ、液管４０内には、多孔質体８４０が設けられている。又、蒸発器１０と液管４０の接続領域７０には、多孔質体の延伸部８４１と空間部７０Ｓが設けられている。
【０１１０】
又、接続領域７０は、延伸部８４１の側面８４１ｑ、８４１ｒの一部及び多孔質体８４０の端部の一部と接する空間部７０Ｓを備えている。
【０１１１】
多孔質の延伸部８４１は、平面視において、多孔質体８４０の接続領域７０側端面８４０ｅのＸ方向中央部近傍からＹ方向に（蒸発器１０側に）突起している。
【０１１２】
多孔質の延伸部８４１は、液管４０内の多孔質体８４０と一体的に（連続して）設けられている。又、多孔質の延伸部８４１と多孔質体８４０は、同じ材料から形成されている。多孔質の延伸部８４１と液管４０内の多孔質体８４０は、平面視において、例えば凸形状を構成している。
【０１１３】
蒸発器１０内に設けられた多孔質体８３０の液管４０側の端部には、凹部８３４を有している。より詳しくは、凹部８３４は、平面視において、多孔質体８３０の接続領域７０側端面８３０ｅのＸ方向中央部近傍からＹ方向に（蒸発器１０側）に窪んでいる。
【０１１４】
多孔質体８３０及び８４０は積層された４つの金属層（金属層８２〜８５）を含むが、延伸部８４１も多孔質体８３０及び８４０と同様に積層された４つの金属層（金属層８２〜８５）を含む。すなわち、延伸部８４１は、４つの金属層（金属層８２〜８５）が延伸して形成されており、多孔質体８３０及び８４０と同様の多孔質構造である。又、凹部８３４も多孔質体８３０及び８４０と同様に積層された４つの金属層（金属層８２〜８５）を含む。すなわち、凹部８３４は、４つの金属層（金属層８２〜８５）が窪んで形成されており、多孔質体８３０及び８４０と同様の多孔質構造である。
【０１１５】
延伸部８４１のＹ方向の先端側（蒸発器１０側）は、平面視において、接続領域７０を超えて蒸発器１０内に達し、多孔質体８３０に形成された凹部８３４内に挿入されている。
【０１１６】
延伸部８４１の先端面８４１ｐ、側面８４１ｑ、及び８４１ｒは、凹部８３４の内壁面とは接していない。つまり、延伸部８４１の先端面８４１ｐ、側面８４１ｑ、及び８４１ｒは、凹部８３４の内壁面と離間して配置され、互いに対向している。延伸部８４１の先端面８４１ｐ、側面８４１ｑ、及び８４１ｒと凹部８３４の内壁面との間には空間部１０Ｓが形成されている。空間部１０Ｓは、空間部７０Ｓと連通している。なお、図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）に示すように、延伸部８４１の上面は金属層８１の下面に接し、延伸部８４１の下面は金属層８６の上面に接している。
【０１１７】
このように、液管４０側の多孔質体８４０に延伸部８４１を設けてもよい。この場合も、第１実施形態と同様の効果を奏する。
【０１１８】
なお、多孔質体８４０の延伸部８４１を金属層８２〜８５のうちの何れか１層〜３層で形成し、凹部８３４は、延伸部８４１を形成した金属層のみに形成してもよい。又、多孔質体８４０の延伸部の数は１個には限定されず、２個以上でもよい。又、多孔質体８４０の延伸部の数が２個以上の場合、各々の延伸部は、Ｘ方向の幅やＹ方向の長さが異なっていてもよい。
【０１１９】
〈第１実施形態の変形例６〉
第１実施形態の変形例６では、一方の多孔質体の延伸部の先端面が他方の多孔質体の凹部と接する例を示す。なお、第１実施形態の変形例６において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
【０１２０】
図１４は、第１実施形態の変形例６に係るループ型ヒートパイプの蒸発器と液管との接続領域の構造を例示する図であり、図３（ａ）に対応する平面図である。なお、図１４（ａ）では、最外層である金属層８１及び８６の図示を省略している。又、図１４（ａ）は断面図ではないが、便宜上、各部に図１４（ｂ）及び図１４（ｃ）に対応するハッチングを施している。又、図１４のＡ−Ａ線に沿う断面図については図３（ｂ）と同様であり、図１４のＢ−Ｂ線に沿う断面図については及び図３（ｂ）と同様であるため、図示は省略する。
【０１２１】
図１４のＥ部に示すように、第１実施形態の変形例６では、延伸部８３１の先端面８３１ｐ（ＸＺ平面と略平行な面）が、凹部８４４の内壁面の底面８４４ｐ（ＸＺ平面と略平行な面）と接している点が、第１実施形態（図３参照）と相違する。第１実施形態の変形例６のその他の点は、第１実施形態（図３参照）と同様である。
【０１２２】
このように、一方の多孔質体の延伸部の先端面が他方の多孔質体の凹部と接してもよい。この場合は、第１実施形態の効果に加え、接続領域７０近傍の機械的強度を向上する効果が得られる。
【０１２３】
なお、多孔質体８３０及び／又は８４０の延伸部を金属層８２〜８５のうちの何れか１層〜３層で形成した場合も同様である。又、多孔質体８３０及び／又は８４０の延伸部の数が２個以上の場合も同様である。
【０１２４】
以上、好ましい実施形態について詳説したが、上述した実施形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施形態に種々の変形及び置換を加えることができる。
【０１２５】
例えば、多孔質体の細孔は有底孔を連通して形成しなくてもよく、貫通孔が形成された金属層同士を、貫通孔が部分的に重複するように積層することにより細孔を形成してもよい。
【符号の説明】
【０１２６】
１  ループ型ヒートパイプ
２  電子機器
１０  蒸発器
１０Ｓ、４０Ｓ、７０Ｓ  空間部
１０ｘ  貫通孔
２０  凝縮器
３０  蒸気管
４０  液管
５０  流路
６０  注入口
７０  接続領域
８１、８２、８３、８４、８５、８６  金属層
８２ｘ、８２ｙ、８３ｘ、８３ｙ、８４ｘ、８４ｙ、８５ｘ、８５ｙ  有底孔
８２ｚ、８３ｚ、８４ｚ、８５ｚ、８７ｚ、８８ｚ、８９ｚ  細孔
１００  回路基板
１００ｘ  貫通孔
１１０  バンプ
１２０  発熱部品
１５０  ボルト
１６０  ナット
８３０、８４０  多孔質体
８３０ｅ、８４０ｅ  端面
８３１、８３２、８３２ａ、８３２ｂ、８３２ｃ、８３３、８４１、８４２、８４２ａ、８４２ｂ  延伸部
８３１ｐ、８３２ｐ、８３３ｐ、８４１ｐ、８４２ｐ  先端面
８３１ｑ、８３２ｑ、８３３ｑ、８４１ｑ、８４２ｑ、８３１ｒ、８３２ｒ、８３３ｒ、８４１ｒ、８４２ｒ  側面
８３４、８３５ａ、８３５ｂ、８４４、８４５、８４５ａ、８４５ｂ、８４５ｃ  凹部
８４４ｐ  底面
８８０、８９０  管壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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