(57)【要約】【課題】複数のサンプルを縦方向に積層して、異なる測定評価を次々に行うような使い方を可能とするソケット装置を提供する。【解決手段】筒状の枠体１０１の内側空間に設けられた測定対象載置台１０２に測定対象のＬＳＩ４００を載置し測定評価を行う。この装置は、枠体１０１を縦方向に所望の数だけ積層することができる。どの枠体のＬＳＩ４００を選択して測定評価を実行するかは、アーム２２２の下方先端部の縁部対向接触片２５１と外部対向接触片２５２を、何れの枠体１０１と測定対象載置台１０２の縁部接触片１０４と対応接触片１３１に接続させるかによってコントロールすることができる。【選択図】図１Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の枠体の内側空間に少なくとも１枚設けられ、測定対象のＬＳＩを載置したときに前記ＬＳＩの端子に接続するＬＳＩ接続接触片を有すると共に前記ＬＳＩ接続接触片に電気的に接続され縁部に設けられた縁部接触片とを備えた測定対象載置台と、
前記枠体の枠体自体に設けられ、前記測定対象載置台の前記縁部接触片に空隙を介して対応する対応接触片と、この対応接触片に電気的に接続され、前記枠体に接して設けられる測定機器に電気的接続を得る電気的接続部とを備える外部接続機構と、
前記複数の測定対象載置台の縁部接触片と前記対応接触片との間の空隙を移動可能であり、１つの測定対象載置台における縁部接触片と前記対応接触片間を電気的に連絡する電気連絡手段を備える空隙移動体と
を具備することを特徴とする評価用ソケット装置。
【請求項２】
前記電気的連絡手段は、前記縁部接触片に対向した状態で前記縁部接触片と接触する縁部対向接触片と、前記外部接続機構の前記対応接触片に対向した状態で前記対応接触片と接触する外部対向接触片と、前記縁部対向接触片と外部対向接触片とを電気的に接続する導体とを具備することを特徴とする請求項１に記載の評価用ソケット装置。
【請求項３】
前記測定対象載置台は、筒状の前記枠体の内壁面に結合された可塑性の基部と、この基部の上部に設けられ前記基部の外周辺より内側に外周辺を有する接触板とを有し、
前記縁部接触片と前記縁部対向接触片とは、傾斜面に設けられた導体により構成され、前記縁部接触片と前記縁部対向接触片の少なくとも一方に設けられた弾性部が前記電気的連絡手段の移動時に圧縮されて縮まる材質により構成されていることを特徴とする請求項２に記載の評価用ソケット装置。
【請求項４】
前記対応接触片と前記外部対向接触片とは、いずれか一方が凹部に他方が凸部に形成され、凸部に形成された側が前記電気的連絡手段の移動時に圧縮されて縮まる材質により構成されていることを特徴とする請求項２または３に記載の評価用ソケット装置。
【請求項５】
前記電気的連絡手段を、前記複数の測定対象載置台の縁部接触片と、この縁部接触片のそれぞれに対応する前記対応接触片との間の空隙を移動させ停止させる電気的連絡手段移動部を具備したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の評価用ソケット装置。
【請求項６】
前記測定対象載置台が筒状の枠体の内側空間に１枚設けられたソケットを複数重ねたソケット部が、前記電気的連絡手段移動部の下部に接合された構成を有することを特徴とする請求項５に記載の評価用ソケット装置。
【請求項７】
筒状の枠体の内側空間に少なくとも１枚設けられ、測定対象のＬＳＩを載置したときに前記ＬＳＩの端子に接続するＬＳＩ接続接触片を有すると共に前記ＬＳＩ接続接触片に電気的に接続され縁部に設けられた縁部接触片とを備えた測定対象載置台と、
前記枠体の枠体自体に設けられ、前記測定対象載置台の前記縁部接触片に空隙を介して対応する対応接触片と、この対応接触片に電気的に接続され、前記枠体に接して設けられる測定機器に電気的接続を得る電気的接続部とを備える外部接続機構と、
前記複数の測定対象載置台の縁部接触片と前記対応接触片との間の空隙を移動可能であり、１つの測定対象載置台における縁部接触片と前記対応接触片間を電気的に連絡する電気連絡手段を備える空隙移動体と
を具備することを特徴とする評価用ソケット装置を用い、
前記電気連絡手段について前記空間を移動させて、１つの測定対象載置台における縁部接触片と前記対応接触片間を電気的に連絡させて、この測定対象載置台に載置されたＬＳＩとの間で信号の送受を行って、当該ＬＳＩの測定評価を行い、
更に、前記電気連絡手段について前記空間を移動させて、別の１つの測定対象載置台における縁部接触片と前記対応接触片間を電気的に連絡させて、この測定対象載置台に載置されたＬＳＩとの間で信号の送受を行って、当該ＬＳＩの測定評価を行い、
以下、上記と同様に前記電気連絡手段を前記空間を移動させて、該当する対象載置台に載置されたＬＳＩとの間で信号の送受を行って、当該ＬＳＩの測定評価を行うことを特徴とするＬＳＩの測定評価方法。
【請求項８】
前記複数の測定対象載置台中の少なくとも１つの測定対象載置台に載置されたＬＳＩとの間で送受する信号を他の測定対象載置台に載置されたＬＳＩと異ならせて、少なくとも異なる２種の測定評価を行うことを特徴とする請求項７に記載のＬＳＩの測定評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、評価用ソケット装置及びこの評価用ソケット装置を用いたＬＳＩの測定評価方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、サンプルＬＳＩの評価を行う場合には、評価用のＤＵＴ（Device Under Test）ボードに搭載されたソケットにサンプルを装填して測定評価を行うものであった。この場合、１つのソケットに対して１つのサンプルを充填することができるのみであり、１つのサンプルを測定評価する毎に取り外しと次のサンプルの充填を行う必要があり、効率の悪いものであった。
【０００３】
従って、効率良く測定評価を行うためには、評価用のＤＵＴボードを複数用意する必要があり、多くの費用が必要となる問題があった。
【０００４】
上記に対し、特許文献１には、電気的配線を備える２つ以上のラバーと、電気的配線を備える２つ以上のガイドと、ラバー及びガイドを収納するソケットフレームとを備え、ラバー及びガイドの個数が同じであり、ラバーとガイドがソケットフレームの収納空間内で最下部に一つのラバーが位置するように交互に積層される半導体パッケージテスト用ソケットが開示されている。
【０００５】
この特許文献１に記載の半導体パッケージテスト用ソケットは、複数層の単一層チップ半導体パッケージを積層した状態のテストが可能となるため、マルチチップ半導体パッケージを製造することなく当該マルチチップ半導体パッケージに対するテスト結果が得られるというものである。
【０００６】
更に、特許文献２には、試験対象のＩＣの電気的特性を測定する複数の測定部を互いに並列させたＩＣソケットと、各測定部のそれぞれに対するＩＣの搬入及び各測定部のそれぞれからのＩＣの搬出をベルトコンベヤ方式で行う複数のベルトコンベヤ制御装置と、ＩＣソケットの各測定部のそれぞれに試験信号を供給するテスタ本体を備えるＩＣソケットが開示されている。
【０００７】
上記特許文献２の発明によれば、検査ボードにおけるＩＣソケットの実装面積を増やすことなく、多数のＩＣを同時に搬送し、同時に検査することが可能であるというものである。
【０００８】
更に、特許文献３には、ＴＡＢテープに半導体チップが実装された半導体装置において、ＴＡＢテープの両面に電気的に導通したテストパッドが設けられたものが開示されている。
【０００９】
この特許文献３に開示の半導体装置を上下方向に積層させた場合にそれぞれのテストパッドが電気的に接続された状態となり、一括して効率の良い試験を行うことができるというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００８−２０４５８号公報
【特許文献２】特開２００６−１２６０６３号公報
【特許文献３】特開平５−８２６１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記の従来例に係る評価用ソケット装置では、複数のサンプルを縦方向に積層して同時に同じ測定試験を効率的に行うことができるものの、異なる測定評価を次々に行うような使い方はできないものであった。
【００１２】
本実施形態は、縦方向に積層することにより複数の測定対象ＬＳＩの測定評価を行う場合に面積をとることがなく、異なる測定評価を次々に行うような使い方が可能な評価用ソケット装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
実施形態に係る評価用ソケット装置は、筒状の枠体の内側空間に少なくとも１枚設けられ、測定対象のＬＳＩを載置したときに前記ＬＳＩの端子に接続するＬＳＩ接続接触片を有すると共に前記ＬＳＩ接続接触片に電気的に接続され縁部に設けられた縁部接触片とを備えた測定対象載置台と、前記枠体の枠体自体に設けられ、前記測定対象載置台の前記縁部接触片に空隙を介して対応する対応接触片と、この対応接触片に電気的に接続され、前記枠体に接続されて設けられる測定機器に電気的接続を得る電気的接続部とを備える外部接続機構と、前記複数の測定対象載置台の縁部接触片と前記対応接触片との間の空隙を移動可能であり、１つの測定対象載置台における縁部接触片と前記対応接触片間を電気的に連絡する電気連絡手段を備える空隙移動体とを具備することを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１Ａ】本発明に係るソケット装置の実施形態の断面図であり、積層した３段のソケットの最上段のソケットに設けられたＬＳＩに対して測定評価を行う前の状態を示す図。
【図１Ｂ】本発明に係るソケット装置の実施形態の断面図であり、積層した３段のソケットの最上段のソケットに設けられたＬＳＩに対して測定評価を行う場合を示す図。
【図１Ｃ】本発明に係るソケット装置の実施形態の断面図であり、積層した３段のソケットの第２段のソケットに設けられたＬＳＩに対して測定評価を行う場合を示す図。
【図１Ｄ】本発明に係るソケット装置の実施形態の断面図であり、積層した３段のソケットの最下段のソケットに設けられたＬＳＩに対して測定評価を行う場合を示す図。
【図２Ａ】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成するソケットの平面図。
【図２Ｂ】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成するソケットの底面図。
【図２Ｃ】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成するソケットの断面図。
【図３Ａ】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成する電気的連絡手段移動部の平面図。
【図３Ｂ】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成する電気的連絡手段移動部の底面図。
【図３Ｃ】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成する電気的連絡手段移動部の断面図。
【図４Ａ】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成する電気的連絡手段移動部に用いられるアームの斜視図。
【図４Ｂ】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成する電気的連絡手段移動部に用いられるアームの要部における通常状態の断面図。
【図４Ｃ】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成する電気的連絡手段移動部に用いられるアームの要部における圧力を受けた状態の断面図。
【図５】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成する測定対象載置台の要部における断面図であり、（ａ）は通常状態の断面図、（ｂ）は圧力を受けた状態の断面図。
【図６】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成する測定対象載置台と枠体の間の間隙において、アームの要部によって電気的非接続状態から電気的接続状態となるまでの過程示す断面図。
【図７】本発明に係るソケット装置の実施形態を構成する測定対象載置台と枠体の間の間隙において、アームの要部によって電気的接続状態から電気的非接続状態となるまでの過程示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下添付図面を参照して、本発明に係る評価用ソケット装置の実施形態を説明する。本実施形態に係る評価用ソケット装置は、図１Ａに示すように、ソケット部１００と電気的連絡手段移動部２００とを備え、図示しないテーブル等に置かれた測定機器３００上に、上記ソケット部１００が積層され、更に、このソケット部１００に電気的連絡手段移動部２００が積層された構成となっている。この実施形態では、３つのソケット１００Ｓが積層されている。
【００１６】
ソケット部１００は、例えば図２Ｃに示されるように、四角筒状の枠体１０１を備え、この枠体１０１の内側空間に１枚の測定対象載置台１０２が水平に設けられている。本実施形態では、３つのソケット１００Ｓが積層され、それぞれのソケット１００Ｓに１枚の測定対象載置台１０２が設けられている。従って、各枠体１０１を一体のものに構成したソケット部１００とすることも可能であり、この場合には、枠体１０１に少なくとも１枚（本実施形態では、３枚）の測定対象載置台１０２が設けられた構成となる。
【００１７】
測定対象載置台１０２は、上面方向から見たときの平面図である図1Ａに示されるように、測定対象のＬＳＩ４００を載置したときに上記ＬＳＩ４００の端子に接続するＬＳＩ接続接触片１０３を有すると共に、上記ＬＳＩ接続接触片１０３に電気的に接続され縁部に設けられた導体である縁部接触片１０４を備えている。
【００１８】
上記測定対象載置台１０２は、例えば図１Ａ等に示されるように、筒状の上記枠体１０１の内壁面に結合された可塑性の基部１１０と、この基部１１０の上部に設けられ上記基部１１０の外周辺より内側に外周辺を有する接触板１２０とを有している。ＬＳＩ接続接触片１０３は、測定対象載置台１０２の接触板１２０における上面において、ＬＳＩ４００の端子に対応する位置にバンプとして形成されることができる。ＬＳＩ接続接触片１０３は、測定対象のＬＳＩ４００を接触板１２０における上面に所定の向きで載置しただけで、必要なＬＳＩ４００の端子に接続がなされるように、適当な位置に配置されて設けられている。縁部接触片１０４も接触板１２０における縁部に設けられている。縁部接触片１０４は、接触板１２０の対向する２辺の稜の部分に、図２Ａの如く、測定試験に必要な複数が設けられている。更に、測定対象載置台１０２には、ＬＳＩ４００を載置した後に固定する図示しない固定具が備えられている。固定具は、測定対象載置台１０２とＬＳＩ４００を一体として、上面‐側面‐底面‐側面‐上面と何周か周回して固定するバンドタイプのもの、測定対象載置台１０２とＬＳＩ４００の対向する側面の１か所以上に設けられ、相互に係合するフックタイプのものなど、適当なものにより実現することができる。
【００１９】
上記枠体１０１の枠体自体（柱の部分）には、枠体１０１より測定対象載置台１０２へ僅かに突出した突出部１３０の内部に対応接触片１３１が設けられている。この対応接触片１３１は複数であり、上記測定対象載置台１０２における複数の上記縁部接触片１０４に対して、空隙１１２を介して対応する関係となるように設けられている。突出部１３０の内部において、対応接触片１３１が露出して示されているが、突出部１３０の外部からは見えないため、図２Ａと図２Ｂでは破線により示しているが、図２ＡのＸ−Ｘ断面図である図２Ｃ等では、実線により描いている。
【００２０】
空隙１１２は、上記測定対象載置台１０２における基部１１０に形成されている。空隙１１２における長辺の長さは、接触板１２０の一辺の長さにほぼ等しくされている。空隙１１２には、接触板１２０が食み出して形成されており、ソケット１００Ｓを下側から上側に見上げた図２Ｂに示すように、空隙１１２に接触板１２０の縁部が見えるようになされている。空隙１１２の枠体１０１側の長辺は、対応接触片１３１を内部に保持する突出部１３０の、対応接触片１３１が設けられた凹部の入口まで延びている。
【００２１】
接触板１２０の縁部接触片１０４に近い部位の断面図は、図５（ａ）と図５（ｂ）に示される通りに構成されている。即ち、ＬＳＩ接続接触片１０３と縁部接触片１０４とを電気的に接続するため、導体１０６がＬＳＩ接続接触片１０３に接続されて設けられ、また、縁部接触片１０４には横方向に真直ぐに延びる導体１０８が接続されて設けられている。導体１０６は、折り曲げられて縁部接触片１０４の方向へ延びる導体１０６Ａを有しており、その先端には接触片１０７が設けられている。上記導体の先端には、接触片１０８Ａが設けられている。この接触片１０８Ａと接触片１０７は通常状態で接触し、電気的導通状態にある。
【００２２】
接触板１２０は弾性を有し、上記図５（ａ）の状態から図５（ｂ）に示されるように可塑性を有するアーム２２２によって横方向の矢印Ｆ方向へ押圧されると、導体１０８がＦ方向へ移動される。導体１０６ＡもＦ方向へ移動するが、押圧力が加えられた位置に近い側ほど歪みが大きく、導体１０８の先端に設けられた接触片１０８Ａと導体１０６Ａの先端に設けられた接触片１０７とは離れて、ＬＳＩ接続接触片１０３と縁部接触片１０４との間は非導通の状態となる。
【００２３】
上記の状態から横方向の矢印Ｆ方向への押圧力が無くなると、上記図５（ｂ）の状態から図５（ａ）に示される状態へと戻り、導体１０８の先端に設けられた接触片１０８Ａと導体１０６Ａの先端に設けられた接触片１０７とは接触して、ＬＳＩ接続接触片１０３と縁部接触片１０４との間は導通の状態となる。
【００２４】
ここでは、接触板１２０が弾性を有し、アーム２２２が可塑性であるが、この関係は逆でも良い。従って、上記縁部接触片１０４と上記縁部対向接触片２５１の少なくとも一方に設けられた弾性部が、後述する縁部対向接触片２５１と外部対向接触片２５２及び導体２５５によって構成される電気的連絡手段の移動時に圧縮されて縮まる材質により構成されていれば良い。
【００２５】
上記枠体１０１の枠体自体（柱部分の内部）には、対応接触片１３１のそれぞれに接続され、上記ＬＳＩ４００の端子と上記枠体１０１に接して設けられる測定機器３００に電気的接続を得る電気的接続部１０９を備える。電気的接続部１０９に対応する測定機器３００における上面の位置には、測定機器３００の所要回路等へ接続される図示しない端子が設けられている。また、電気的接続部１０９は、枠体１０１内の１つの対応接触片１３１に対応して、図２Ｃに示すように縦方向に延びる２条の導体１０９Ａにより構成される。２条の導体間１０９Ａには、両者を連絡するため横方向に延びた横棒導体１０９Ｂが設けられている。
【００２６】
以上のように、上記枠体１０１の枠体１０１自体（内部）には、上記測定対象載置台１０２の上記縁部接触片１０４に空隙１１２を介して対応する対応接触片１３１と、この対応接触片１３１に電気的に接続され、上記枠体１０１に接して設けられる測定機器３００に電気的接続を得る電気的接続部１０９とが設けられている。これらの対応接触片１３１と電気的接続部１０９とは、外部接続機構を構成する。
【００２７】
電気的連絡手段移動部２００は、図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃに示されるように構成されている。直方体の形状のボックス２１０を本体部とするものである。ボックス２１０の内部には、内部天板２２１と、内部天板２２１に連結された板状の２枚のアーム２２２とが上下方向に移動可能な空間２２３が設けられている。電気的連絡手段移動部２００は、後述する縁部対向接触片２５１と外部対向接触片２５２及び導体２５５によって構成される電気的連絡手段を、空隙１１２において移動させ停止させる機能を有するものである。ボックス２１０の底部における枠体１０１の上部に重なる部位である脚部２６０は、ソケット１００Ｓの枠体１０１に嵌合するスリーブ状に形成されている。勿論、ソケット１００Ｓの枠体１０１側がスリーブ状であり、上記脚部２６０が挿抜される構成であっても良い。
【００２８】
アーム２２２は、下部先端部において内側が先端面２２４へ向かって細く絞られて傾斜部が形成されており、この傾斜部は、測定対象載置台１０２の接触板１２０の縁部接触片１０４が設けられた斜面と同じ傾斜角を有している。アーム２２２の下部先端部における上記傾斜部には、図４Ａに示すように測定対象載置台１０２の接触板１２０の縁部接触片１０４に接触する縁部対向接触片２５１が設けられている。アーム２２２において、縁部対向接触片２５１が設けられている面の裏側の面には、「く」の字に折れ曲がった外部対向接触片２５２が外側に突出して設けられている。この外部対向接触片２５２は、先端面２２４から縁部対向接触片２５１までの距離よりも短い距離の位置に設けられている。この外部対向接触片２５２は、上記外部接続機構の上記対応接触片１３１に対向した状態で上記対応接触片１３１と接触する外部対向接触片を構成する。
【００２９】
上記外部対向接触片２５２は、ソケット１００Ｓの枠体１０１に設けられた対応接触片１３１に対応して接触し、電気的接続を得るものである。即ち、図６（ｃ）に示されているように、ソケット１００Ｓにおける測定対象載置台１０２の接触板１２０の縁部接触片１０４に縁部対向接触片２５１が接触したときに、枠体１０１に設けられた対応接触片１３１に外部対向接触片２５２が接触するように、縁部対向接触片２５１と外部対向接触片２５２がアーム２２２に設けられている。
【００３０】
アーム２２２における縁部対向接触片２５１と外部対向接触片２５２が設けられている部位には、この部分の断面図である図４Ｂ、図４Ｃに示されるように、縁部対向接触片２５１と外部対向接触片２５２間を電気的に接続する導体２５５が層状の積層構成で設けられている。また、外部対向接触片２５２が設けられている部位の後方部は、弾性体２５６となっており、外部対向接触片２５２をアーム２２２側へ押し付けると、弾性体２５６が圧縮されて外部対向接触片２５２がアーム２２２内へ収納された状態となる。
【００３１】
このとき、外部対向接触片２５２に近接した層状の導体２５５の一部が図４Ｃに示されるように、外部対向接触片２５２と共にアーム２２２の内側へ移動し、導体２５５の一部が分断された状態となる。即ち、縁部対向接触片２５１と外部対向接触片２５２間が電気的接続されない状態となる。
【００３２】
この状態から、外部対向接触片２５２をアーム２２２側へ押し付ける力を無くすと、弾性体２５６が膨張して元の大きさに戻り、外部対向接触片２５２が元の位置へ戻り、更に、導体２５５の一部が元の位置へ戻る。この結果、縁部対向接触片２５１と外部対向接触片２５２間が電気的接続された状態となる。
【００３３】
従って、上記対応接触片１３１と前記外部対向接触片２５２とは、いずれか一方が凹部に他方が凸部に形成され、凸部に形成された側が上記電気的連絡手段の移動時に圧縮されて縮まる材質により構成されているものとすることができる。
【００３４】
図３Ａ、図３Ｃに示すように、ボックス２１０の上部には、回転可能なレバー２３０が設けられ、矢印マーク２３１がソケットの位置を示すソケット位置マーク２３２〜２３５のいずれかを指す位置で停止するようにされている。ソケット位置マーク２３２の上面には、「開」の文字が記載されており、ソケット位置マーク２３３の上面には、「１」の文字が記載されており、ソケット位置マーク２３４の上面には、「２」の文字が記載されており、ソケット位置マーク２３５の上面には、「３」の文字が記載されている。
【００３５】
レバー２３０の中央部の下側には、ネジが形成され、垂直方向に長い回転軸２４１が、ボックス２１０の底板２４２まで延びて形成されている。回転軸２４１のネジに対応して内部天板２２１の中央部には、雌ネジが形成されており、回転軸２４１の第１の方向への回転により内部天板２２１が下方へ移動し、内部天板２２１と共に２本のアーム２２２も下方へ移動する。回転軸２４１が、第１の方向と逆の第２の方向へ回転すると、内部天板２２１が上方へ移動し、内部天板２２１と共に２本のアーム２２２も上方へ移動する。
【００３６】
レバー２３０を操作者が回転して矢印マーク２３１をソケット位置マーク２３２の方向へ向けて止めると、回転軸２４１の回転制御がなされ、これにより内部天板２２１及びアーム２２２は、最上部へ位置付けられる。この状態のときに、ボックス２１０の底面から上側（レバー２３０側）を見ると、図３Ｂに示す如くに、アーム２２２と縁部対向接触片２５１と外部対向接触片２５２が並んだ状態で見ることができる。回転軸２４１の回転制御は、レバー２３０の操作情報を受けたコントローラとコントローラの制御下で回転軸２４１を回転させるモータ等により実現することができる。
【００３７】
レバー２３０を操作者が回転して矢印マーク２３１をソケット位置マーク２３３の方向へ向けて止めると、回転軸２４１の回転制御がなされ、これにより内部天板２２１及びアーム２２２は、その先端付近に設けられた縁部対向接触片２５１が、最上部に積層されたソケット１００Ｓの測定対象載置台１０２の接触板１２０の縁部接触片１０４に接触し、外部対向接触片２５２が同じく最上部に積層されたソケット１００Ｓの枠体１０１に設けられた対応接触片１３１に接触した状態の位置へ位置付けられる。このときの本実施形態におけるソケット装置の断面図は、図１Ｂに示す如くになる。
【００３８】
レバー２３０を操作者が回転して矢印マーク２３１をソケット位置マーク２３４の方向へ向けて止めると、回転軸２４１の回転制御がなされ、これにより内部天板２２１及びアーム２２２は、その先端付近に設けられた縁部対向接触片２５１が、上側から第２番目に積層されたソケット１００Ｓの測定対象載置台１０２の接触板１２０の縁部接触片１０４に接触し、外部対向接触片２５２が同じく上側から第２番目に積層されたソケット１００Ｓの枠体１０１に設けられた対応接触片１３１に接触した状態の位置へ位置付けられる。このときの本実施形態におけるソケット装置の断面図は、図１Ｃに示す如くになる。
【００３９】
レバー２３０を操作者が回転して矢印マーク２３１をソケット位置マーク２３５の方向へ向けて止めると、回転軸２４１の回転制御がなされ、これにより内部天板２２１及びアーム２２２は、その先端付近に設けられた縁部対向接触片２５１が、最下部に積層されたソケット１００Ｓの測定対象載置台１０２の接触板１２０の縁部接触片１０４に接触し、外部対向接触片２５２が同じく最下部に積層されたソケット１００Ｓの枠体１０１に設けられた対応接触片１３１に接触した状態の位置へ位置付けられる。このときの本実施形態におけるソケット装置の断面図は、図１Ｄに示す如くになる。
【００４０】
上記のように、縁部対向接触片２５１と外部対向接触片２５２及び導体２５５を含む２本のアーム２２２は、上記複数の測定対象載置台１０２の接触板１２０の縁部接触片１０４と上記対応接触片１３１との間の空隙１１２を移動可能である空隙移動体を構成する。この空隙移動体は、縁部対向接触片２５１と外部対向接触片２５２及び導体２５５によって構成される、１つの測定対象載置台１０２の接触板１２０における縁部接触片１０４と上記対応接触片１３１間を電気的に連絡する電気連絡手段を備えるものである。
【００４１】
以上説明した実施形態のソケット装置は、次のようにして使用される。３つのソケット１００Ｓのそれぞれに対して、測定対象のＬＳＩ４００を用意し、測定対象載置台１０２の接触板１２０に載置し、固定具で固定する。この状態が、図２Ｃなどに示される状態である。
【００４２】
次に、最下位に重ねるべきソケット１００Ｓ（ＬＳＩ４００のセット済のもの）を、測定機器３００における上面の位置に載置する。これにより、枠体１０１内の電気的接続部１０９は、測定機器３００の所要回路等へ接続される。最下位のソケット１００Ｓと測定機器３００とは図示しないフックタイプなどの固定具により固定される。
【００４３】
次に２段目のソケット１００Ｓを積層し、更に最上位のソケット１００Ｓを積層する。この状態で、最下位のソケット１００Ｓの電気的接続部１０９と２段目のソケット１００Ｓの電気的接続部１０９と最上位のソケット１００Ｓの電気的接続部１０９とが相互に電気的に接続される。また、３つのソケット１００Ｓについても図示しないフックタイプなどの固定具により固定される。
【００４４】
更に、３段重ねられた最上位のソケット１００Ｓの上に、ボックス２１０を重ねる。ボックス２１０の底部における枠体１０１の上部に重なる部位である脚部２６０は、前述の通りスリーブ状に形成されており、ボックス２１０の底部の脚部２６０は、ソケット１００Ｓの枠体１０１に嵌合する。また、アーム２２２の下部先端部は、測定対象載置台１０２の空隙１１２の上部空間に位置付けられた状態となる（図１Ａ）。このときは、ボックス２１０の上部の矢印マーク２３１は、ソケット位置マーク２３２の方向へ向いて停止した状態である。
【００４５】
次に、ＬＳＩ４００の測定評価を行うことができる。レバー２３０を操作者が回転して矢印マーク２３１をソケット位置マーク２３３の方向へ向けて止めると、回転軸２４１の回転制御がなされ、これにより内部天板２２１及びアーム２２２は下降を開始する。
【００４６】
そして、アーム２２２の下部先端部が図６（ａ）に示すように、測定対象載置台１０２の空隙１１２に入り込む。更に、内部天板２２１及びアーム２２２は下降を続け、外部対向接触片２５２が枠体１０１の突出部１３０に触れて外部対向接触片２５２が圧力を受け、弾性体２５６が圧縮されて外部対向接触片２５２がアーム２２２内へ収納された状態となる（図６（ｂ））。
【００４７】
図６（ｂ）の状態から更に、内部天板２２１及びアーム２２２が下降すると、外部対向接触片２５２が枠体１０１の突出部１３０に設けられた対応接触片１３１方向へ膨張して形状が復旧し、外部対向接触片２５２と対応接触片１３１とが綺麗に接触した状態を呈する。また、アーム２２２の先端付近に設けられた縁部対向接触片２５１についても、ソケット１００Ｓの測定対象載置台１０２の接触板１２０の縁部接触片１０４に綺麗に接触した状態を呈する。このときの状態が図６（ｃ）及び図１Ｂに示されている。
【００４８】
上記状態では、図１ＢのＳ１に示すように、信号や電流が流れることができる。つまり、測定機器３００の所要回路→重ねられた３段のソケットＳにおける電気的接続部１０９→最上段のソケット１００Ｓにおける対応接触片１３１→アーム２２２の外部対向接触片２５２と導体２５５及び縁部対向接触片２５１→測定対象載置台１０２の接触板１２０の縁部接触片１０４と内部の伝導路及びＬＳＩ接続接触片１０３→ＬＳＩ４００の端子及びＬＳＩ４００の回路へと信号や電流を流すことができ、また上記「→」を逆方向にした「←」の向きでも信号や電流を流すことができる。
【００４９】
上記の状態でＬＳＩ４００の測定評価を行った後、第２段目のソケット１００ＳにセットされたＬＳＩ４００の測定評価を行うべく、レバー２３０を操作者が回転する。この回転により矢印マーク２３１をソケット位置マーク２３４の方向へ向けて止めると、回転軸２４１の回転制御がなされ、これにより内部天板２２１及びアーム２２２は下降を開始する（図７（ａ））。
【００５０】
内部天板２２１及びアーム２２２の下降により、外部対向接触片２５２と対応接触片１３１と離れ出し、対応接触片１３１の傾斜部によって外部対向接触片２５２が押圧され、弾性体２５６が圧縮されて外部対向接触片２５２がアーム２２２内へ収納された状態となる（図７（ｂ））。また、アーム２２２の先端付近に設けられた縁部対向接触片２５１の傾斜が上側へ進むことにより、ソケット１００Ｓにおける測定対象載置台１０２の接触板１２０に設けられた縁部接触片１０４が接触板１２０の中央方向へ押圧されて行く。この結果、図５（ｂ）によって説明した通り、ＬＳＩ接続接触片１０３と縁部接触片１０４との間は導通の状態が僅かに残るだけとなる（図７（ｂ））。これによってアーム２２２の移動中に不適切な信号や電流が流れ、ＬＳＩ４００に悪影響を及ぼすなどの不要な動作を回避することができる。
【００５１】
図７（ｂ）の状態から更に、内部天板２２１及びアーム２２２が下降すると、ＬＳＩ接続接触片１０３と縁部接触片１０４との間は非導通の状態となる（図７（ｃ））。外部対向接触片２５２が枠体１０１の突出部１３０に設けられた対応接触片１３１方向へ膨張して形状が復旧する（図７（ｃ））。
【００５２】
矢印マーク２３１がソケット位置マーク２３４の方向へ向けているので、回転軸２４１の回転制御が継続され、これにより内部天板２２１及びアーム２２２は下降を継続する。この結果、アーム２２２の下部先端部が図６（ａ）に示すように、２段目の測定対象載置台１０２の空隙１１２に入り込む。更に、２段目の測定対象載置台１０２とアーム２２２トン関係が図６（ｂ）、図６（ｃ）に示すように進み、２段目の測定対象載置台１０２にセットされたＬＳＩ４００の測定評価を行うことができる状態となる。上記状態では、図１ＣのＳ１に示すように、信号や電流が流れることができる。つまり、最上段の測定対象載置台１０２にセットされたＬＳＩ４００については、測定機器３００の所要回路等への電気的接続は全くないので、最上段の測定対象載置台１０２にセットされたＬＳＩ４００について行った測定評価を行うことができる。つまり、最上段の測定対象載置台１０２にセットされたＬＳＩ４００に対するものとは異なる電流や信号を所要の回路へ送り、応答を受け取るなどして測定ができるのである。
【００５３】
第２段目の測定対象載置台１０２にセットされたＬＳＩ４００の測定評価を行った後、最下段のソケット１００ＳにセットされたＬＳＩ４００の測定評価を行うべく、レバー２３０を操作者が回転する。この回転により矢印マーク２３１をソケット位置マーク２３５の方向へ向けて止めると、回転軸２４１の回転制御がなされ、これにより内部天板２２１及びアーム２２２は下降を開始する。
【００５４】
上記により、第２段目の測定対象載置台１０２とアーム２２２との関係は、図７（ａ）→図７（ｂ）→図７（ｃ）となり、次に、最下段の測定対象載置台１０２とアーム２２２との関係が、図６（ａ）→図６（ｂ）→図６（ｃ）となる。この結果、図１Ｄに示すように、最下段の測定対象載置台１０２にセットされたＬＳＩ４００の測定評価を行うことができる状態となる。
【００５５】
上記状態では、図１ＤのＳ１に示すように、信号や電流が流れることができる。このとき、最上段及び第２段目の測定対象載置台１０２にセットされたＬＳＩ４００については、測定機器３００の所要回路等への電気的接続は全くないので、最上段及び第２段目の測定対象載置台１０２にセットされたＬＳＩ４００について行った測定評価を行うことができる。
【００５６】
全ての測定評価が終了すると、レバー２３０を操作者が回転して矢印マーク２３１をソケット位置マーク２３２の方向へ向けて止めると、回転軸２４１の回転制御がなされ、これにより内部天板２２１及びアーム２２２は、最上部へ位置付けられる。このときには、先に示した組み立ての場合と逆の手順によって３つのソケット１００Ｓを分離し、夫々のソケットＳにセットされているＬＳＩ４００を取り外し、次の測定評価へと進むことが可能となる。
【００５７】
本実施形態では、３つまでのソケットを組み込んで３つまでのＬＳＩの測定評価を行うことが可能である。アーム２２２の長さが異なる実施形態を用いることにより、原理的にソケットとＬＳＩの個数を必要な数としたソケット装置を構成することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１００  ソケット部
１００Ｓ  ソケット
１０１  枠体
１０２  測定対象載置台
１０３  ＬＳＩ接続接触片
１０４  ＬＳＩ縁部接触片
１０６  導体
１０７  接触片
１０８  導体
１０９  電気的接続部
１１０  基部
１１２  空隙
１２０  接触板
１３０  突出部
１３１  対応接触片
２００  電気的連絡手段移動部
２１０  ボックス
２２１  内部天板
２２２  アーム
２２３  空間
２２４  先端面
２３０  レバー
２３１  矢印マーク
２３２、２３３、２３４、２３５  ソケット位置マーク
２４１  回転軸
２４２  底板
２５１  縁部対向接触片
２５２  外部対向接触片
２５５  導体
２５６  弾性体
２６０  脚部
３００  測定機器
４００  ＬＳＩ
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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