(57)【要約】      【課題】可動電極部に固定される錘の実装構造を提供する。      【解決手段】振動発電素子１は、複数の櫛歯電極１１０を有する固定電極部１１１と、複数の櫛歯電極１２０を有する可動電極部１２と、可動電極部１２に固定される錘１０ａ、１０ｂと、錘１０ａ、１０ｂに設けられ、錘１０ａ、１０ｂを可動電極部１２に固定する樹脂１０５を収容する樹脂溜め部１０３とを備える。      【選択図】図６
2020065324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の櫛歯電極を有する固定電極部と、
複数の櫛歯電極を有する可動電極部と、
前記可動電極部に固定される錘と、
前記錘または前記可動電極部に設けられ、前記錘を前記可動電極部に固定する樹脂を収容する樹脂溜め部とを備える振動発電素子。
【請求項２】
請求項１に記載の振動発電素子において、
前記樹脂溜め部の中心は、前記錘の重心と前記可動電極部の重心とを通る直線上に設定されている振動発電素子。
【請求項３】
請求項１に記載された振動発電素子において、
前記樹脂溜め部に収容される前記樹脂は、前記錘または前記可動電極部の上面に表面張力により盛り上がった状態で前記樹脂溜め部に収容される振動発電素子。
【請求項４】
請求項３に記載の振動発電素子において、
前記樹脂溜め部は、前記錘の前記可動電極部に固定される面側に設けられた凹部である、振動発電素子。
【請求項５】
請求項３に記載の振動発電素子において、
前記樹脂溜め部は、前記可動電極部の前記錘が固定される面側に設けられた凹部である、振動発電素子。
【請求項６】
請求項１に記載の振動発電素子において、
前記樹脂溜め部は、前記錘を厚さ方向に貫通する貫通孔である、振動発電素子。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれか一項に記載の振動発電素子において、
前記可動電極部は、前記可動電極部の前記櫛歯電極の配列方向の中心部に、前記櫛歯電極の配列方向と直交する方向に延在された中央帯部を有し、前記錘は、前記中央帯部に沿って延在された帯状部を有し、前記樹脂溜め部は、前記錘の前記櫛歯電極の配列方向と直交する方向の中心に対して対称に設けられている振動発電素子。
【請求項８】
請求項７に記載の振動発電素子において、
前記錘は、前記帯状部に一体的に設けられ、少なくとも前記固定電極部の前記櫛歯電極および固定電極部の前記櫛歯電極の一部を覆う平板状部を有する振動発電素子。
【請求項９】
請求項１から８までのいずれか一項に記載の振動発電素子において、
前記錘は、前記可動電極部を構成する材料より大きい比重の材料により形成されている振動発電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動発電素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＭＥＭＳ技術を利用した非常に小型の振動発電素子が開発されている。例えば、特許文献１では、櫛歯電極が形成された固定部に対して櫛歯電極が形成された可動部を振動させることで発電を行うようにしている。このような振動発電素子においては、小さな環境振動でも効率良く発電するために可動部の質量をより大きくすることが重要であり、特許文献１に記載の振動発電素子では可動部上に別途形成された錘を装着する構造としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許６３３８０７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１には、錘が可動部に装着される（明細書段落［００５９］参照）ことが記載されているだけであり、錘を可動部に装着する手段については記載されていない。そこで、可動部に固定される錘の実装構造を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様による振動発電素子は、複数の櫛歯電極を有する固定電極部と、複数の櫛歯電極を有する可動電極部と、前記可動電極部に固定される錘と、前記錘または前記可動電極部に設けられ、前記錘を前記可動電極部に固定する樹脂を収容する樹脂溜め部とを備える。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、錘と可動電極部とを接合する樹脂のはみ出しを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、真空パッケージに封入された振動発電素子を示す図である。
【図２】図２は、振動発電素子の各部の構成を示す図である。
【図３】図３は、振動平面内における重心位置のずれを説明する図である。
【図４】図４は、振動平面に垂直な方向の位置ずれを説明する図である。
【図５】図５は、図１に示された錘を可動電極部側からみた斜視図である。
【図６】図６は、可動電極部と錘との接合構造の第１の実施形態を示し、図１（ｂ）における可動電極部と錘との接合構造を示す拡大図である。
【図７】図７（ａ）〜（ｃ）は、図６に示す可動電極部と錘との接合構造を形成する各工程の図である。
【図８】図８（ａ）〜（ｄ）は、振動発電素子のＭＥＭＳ加工体の形成手順の一例を示す図である。
【図９】図９は、ＭＥＭＳ加工体の形成手順の図８に続く工程を示す図である。
【図１０】図１０は、可動電極部と錘との接合構造の第２の実施形態を示す断面図である。
【図１１】図１１は、可動電極部と錘との接合構造の第３の実施形態を示し、可動電極部に錘を接合する前の状態を示す図である。
【図１２】図１２は、第３の実施形態における可動電極部と錘との接合構造を示す断面図である。
【図１３】図１３は、錘の変形例１を示し、図１３（ａ）は錘の平面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）の中心線Ｌ５−Ｌ５に沿う断面図、図１３（ｃ）は図１３（ａ）の中心線Ｌ４−Ｌ４に沿う断面図である。
【図１４】図１４は、錘の変形例２を示し、図１４（ａ）は錘の平面図、図１４（ｂ）は図１４（ａ）の中心線Ｌ５−Ｌ５に沿う断面図、図１４（ｃ）は図１４（ａ）の中心線Ｌ４−Ｌ４に沿う断面図である。
【図１５】図１５は、錘の変形例３を示し、図１５（ａ）は錘の平面図、図１５（ｂ）は図１５（ａ）の中心線Ｌ５−Ｌ５に沿う断面図、図１５（ｃ）は図１５（ａ）の中心線Ｌ４−Ｌ４に沿う断面図である。
【図１６】図１６（ａ）、（ｂ）は、比較例の構造を示し、図１６（ａ）は錘を可動電極部に接着する前の図であり、図１６（ｂ）は錘を可動電極部に接着した状態の図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
−第１の実施形態−
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１は真空状態のパッケージ２内に封入された振動発電素子１を示す図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）はＡ−Ａ断面図である。なお、図１（ａ）の平面図ではパッケージ２の内部構造が分かるように、パッケージ２の上面側（ｚ軸正方向側）に設けられた上蓋３の図示を省略した。
【０００９】
振動発電素子１は、固定部１１と、可動電極部１２と、可動電極部１２を弾性支持する弾性支持部１３と、可動電極部１２の表裏両面に固着された一対の錘１０ａ、１０ｂとを備えている。振動発電素子１の固定部１１は、ダイボンドによりパッケージ２に固定される。パッケージ２は、例えば、電気絶縁性の材料（例えば、セラミックス）で形成されている。パッケージ２の上端には、パッケージ２内を真空封入するための上蓋３がシーム溶接される。
【００１０】
固定部１１上には固定電極部１１１が形成され、その固定電極部１１１には、ｘ軸方向に延びる櫛歯電極１１０がｙ軸方向に複数形成されている。可動電極部１２には、ｘ軸方向に延びる櫛歯電極１２０がｙ軸方向に複数形成されている。詳細には、可動電極部１２は、ｘ軸方向に延在する中央帯部１２１（図１（ｂ）参照）と、中央帯部１２１のｘ軸方向の中心から、それぞれ、ｙ軸正方向、およびｙ軸負方向に延在する枝部１２２を有する。可動電極部１２の各枝部１２２には、ｙ軸方向に所定の間隔をおいて複数の櫛歯電極１２０が配列されている。ｘ軸方向に延在する複数の櫛歯電極１１０と各枝部１２２から延在される櫛歯電極１２０とは、ｙ軸方向に隙間を介して互いに噛合するように配置されている。固定電極部１１１には電極パッド１１２が形成されている。
【００１１】
可動電極部１２は、固定部１１上に形成された接続部１１４に弾性支持部１３を介して機械的および電気的に接続されている。接続部１１４には電極パッド１１３が形成されている。電極パッド１１２、１１３は、ワイヤー２２によってパッケージ２に設けられた電極２１ａ、２１ｂに接続されている。本実施の形態では可動電極部１２はｘ軸方向に振動するように構成されており、可動電極部１２がｘ軸方向に振動すると、固定電極部１１１の櫛歯電極１１０に対する櫛歯電極１２０の挿入量が変化して発電が行われる。錘１０ａ、１０ｂは、接着用の樹脂１０５により可動電極部１２に接合されている。錘１０ａ、１０ｂと可動電極部１２との接合構造については後述する。
【００１２】
図２は振動発電素子１の各部の構成を示す図である。後述するように、振動発電素子１は、ＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板を用いて一般的なＭＥＭＳ加工技術により形成される。ＳＯＩ基板はＳｉの支持層とＳｉＯ２のボックス層とＳｉの活性層とから成る３層構造の基板であり、固定部１１は支持層により形成され、固定電極部１１１、可動電極部１２、弾性支持部１３および接続部１１４は活性層により形成される。
【００１３】
図２（ａ）は、振動発電素子１のＭＥＭＳ加工体、すなわち錘１０ａ、１０ｂを固着する前の振動発電素子１を示す図である。図２（ａ）では、固定部１１上の固定電極部１１１と、可動電極部１２、弾性支持部１３および接続部１１４とをハッチングを施して示した。可動電極部１２は４組の弾性支持部１３によって弾性支持されている。各弾性支持部１３は、弾性変形可能な３本のビーム１３ａ〜１３ｃを備えている。
【００１４】
接続部１１４は、可動電極部１２のｘ軸方向振動の範囲を制限する制限部としても機能する。接続部１１４の可動電極部１２に対向する面には、突起１１４ａが形成されている。可動電極部１２のｘ軸方向端面が接続部１１４の突起１１４ａに衝突することによって、可動電極部１２の振動の振幅が制限される。なお、図２（ａ）では突起を接続部１１４に形成したが、可動電極部１２側に形成しても良い。
【００１５】
図２（ｂ）は、振動発電素子１の固定部１１のみを示す図である。図２（ｂ）の固定部１１上に示したハッチング領域１１Ｃは、固定電極部１１１が固定されている領域を示す。ビーム１３ａの端部は固定部１１上に固定される。図２（ｂ）の固定部１１上に示したハッチング領域１１Ａは、ビーム１３ａの端部が固定されている領域を示す。ビーム１３ｃの端部は、固定部１１上に形成された接続部１１４に接続されている。図２（ｂ）の固定部１１上に示したハッチング領域１１Ｂは、接続部１１４が固定されている領域を示す。
【００１６】
本実施の形態の振動発電素子１では、可動電極部１２の質量を増やして発電効率をより向上させるために別体の錘１０ａ、１０ｂを可動電極部１２に装着するようにしている。錘１０ａ、１０ｂの材料には、小さな体積でも大きな質量が得らえるようにＳＯＩ基板よりも比重の大きな材料が使用される。例えば、タングステン（比重19.25）、快削銅（比重8.94）、ステンレス鋼（比重7.93）や、メタルインジェクション法により形成されるタングステン部材（比重13〜17）等の金属や、タングステン樹脂（比重11〜13）のように樹脂に金属材を混入したものなどが用いられる。
【００１７】
このように、別に形成された錘１０ａ、１０ｂを可動電極部１２に装着する構成の場合、可動電極部１２に装着した際の錘１０ａ、１０ｂの重心位置のずれが弾性支持部１３の寿命に大きな影響を与えることが判った。図３および図４は、錘１０ａ、１０ｂの重心位置のずれの影響を説明する図である。図３は振動平面内（図１のｘｙ平面内）での位置ずれを説明する図で、図４は振動平面に垂直な方向（図１のｚ軸方向）の位置ずれを説明する図である。
【００１８】
図３において、（ａ）は位置決めが適切に行われている場合を示し、（ｂ）は位置決めが不適切な場合を示す。図３では錘１０ａ、１０ｂの図示を省略し、錘１０ａ、１０ｂの重心位置のみを符号Ｇで示した。図３（ａ）、（ｂ）において、ラインＬ１は接続部１１４の突起１１４ａの先端を通り振動方向（ｘ軸方向）に平行な直線である。図３（ａ）に示す例では、ｘｙ平面上における錘１０ａ、１０ｂの重心位置ＧはラインＬ１上に位置している。そのため、振動により錘１０ａ、１０ｂの重心に働く力Ｆ１の方向は、ラインＬ１に沿った方向となっている。可動電極部１２が接続部１１４の突起１１４ａに衝突すると突起１１４ａから可動電極部１２に対して反作用の力Ｆ２が働くが、Ｆ１とＦ２は向きは逆であるが方向はラインＬ１に沿った方向である。そのため、可動電極部１２をｘｙ面内で傾けるようなモーメントは発生しない。
【００１９】
なお、可動電極部１２はラインＬ１に対して線対称にｙプラス方向とｙマイナス方向に可動櫛歯群が設けられており、質量に関してもラインＬ１に対して線対称となっている。したがって、ラインＬ１は可動電極部１２の可動電極群が線対称となる基準線と定義することもできる。
【００２０】
一方、図３（ｂ）に示す位置決めが不適切な場合、錘１０ａ、１０ｂの重心位置ＧはラインＬ１に対してｙ軸負方向に位置ずれしている。そのため、可動電極部１２が接続部１１４の突起１１４ａに衝突すると、力Ｆ１および力Ｆ２を表すベクトルが同一ラインに沿った力ではないため可動電極部１２を矢印のように傾けるようなにモーメントが作用し、可動電極部１２がｘｙ面内で傾くことになる。その結果、ビーム１３ｂに意図しない変形が生じビーム破損の原因となる。
【００２１】
振動平面に垂直な方向の位置ずれを説明する図４は、図３（ａ）のラインＬ１に沿ったｘｚ断面を示したものである。図４は衝突時の状態を示す図であって、図４（ａ）は錘１０ａ、１０ｂの合計質量の重心位置ＧがラインＬ１上にある場合を示し、図４（ｂ）は重心位置ＧがラインＬ１よりも図示下側（ｚ軸負方向側）にある場合を示す。
【００２２】
錘１０ａ、１０ｂが同一材料かつ同一形状である場合には、それぞれの重心位置Ｇ１、Ｇ２の可動電極部１２からの高さ寸法は同一となる。そのため、ｘｙ平面上における重心位置Ｇ１、Ｇ２の位置ずれがあった場合でも、錘１０ａ、１０ｂの合計質量の重心位置ＧはラインＬ１を含むｘｙ平面上に位置することになり、可動電極部１２が接続部１１４の突起１１４ａに衝突した際にモーメントは発生しない。
【００２３】
ただし、錘１０ａ、１０ｂの形状が互いに異なる等の理由で、図４（ｂ）に示すように合計質量の重心位置ＧがラインＬ１に対してｚ軸方向に位置ずれしていた場合、可動電極部１２に対する錘１０ａ、１０ｂのｘｙ方向の位置決めが適正であっても、可動電極部１２が接続部１１４の突起１１４ａに衝突した際に可動電極部１２を矢印のように傾けるようなモーメントが発生して、ビーム１３ｂに意図しない変形が生じることになる。
【００２４】
図５は、図１に示された錘を可動電極部側からみた斜視図であり、図６は、可動電極部と錘との接合構造の第１の実施形態を示し、図１（ｂ）における可動電極部と錘との接合構造を示す拡大図である。なお、図６は、図示の都合上、Ｚ方向（厚さ方向）の長さを拡大して図示している。
錘１０ａと錘１０ｂとは同一の形状をしており、以下では、代表として、錘１０ａについて説明する。
錘１０ａは、可動電極部１２の中央帯部１２１に沿ってｘ軸方向に延在される帯状形状を有する。錘１０ａの可動電極部１２の中央帯部１２１側には、ｙ軸方向の長さ（幅）の小さい幅狭部１１５が形成されている。幅狭部１１５の可動電極部１２に対面する一面１１５ａには、一対の位置決め突起１０２と樹脂溜め部１０３が形成されている。図５では、位置決め突起１０２は、円筒形状として例示するが、角筒形状としてもよい。あるいは、円錐形状や角錐形状とすることもできる。
【００２５】
錘１０ａのｘ軸方向の中心線Ｌ２は、ｘｙ面において可動電極部１２のｘ軸方向の中心線と同一位置に配置されている。錘１０ａのｙ軸方向の中心線Ｌ３は、ｘｙ面において接続部１１４の突起１１４ａを通り振動方向（ｘ軸方向）に平行な直線であるラインＬ１と同一位置に配置されている。一対の位置決め突起１０２は、同一形状を有し、各位置決め突起１０２の中心は、中心線Ｌ３上における中心線Ｌ２と対称な位置に配置されている。
従って、ｘｙ面上における錘１０ａの重心の位置と可動電極部１２の重心位置とは一致する。
このことは、錘１０ｂに関しても同様である。このため、ｘｙ面上における錘１０ａ、１０ｂの重心の位置と可動電極部１２の重心位置とは一致する。
【００２６】
可動電極部１２の中央帯部１２１の上面（Ｚ軸正方向側の一面）１２１ａ（図６ａ参照）および下面（Ｚ軸正方向側の一面）１２１ｂ（図６参照）には、それぞれ、位置決め突起１０２が嵌合する位置決め用貫通孔１２３（図７参照）が形成されている。
図６に示されるように、錘１０ａは、一対の位置決め突起１０２を可動電極部１２の中央帯部１２１の位置決め用貫通孔１２３に嵌合した状態で、樹脂溜め部１０３に収容された接着用の樹脂１０５により可動電極部１２の中央帯部１２１に接着される。同様に、錘１０ｂは、一対の位置決め突起１０２を可動電極部１２の中央帯部１２１の位置決め用貫通孔１２３に嵌合した状態で、樹脂溜め部１０３に収容された接着用の樹脂１０５により可動電極部１２の中央帯部１２１に接着される。
【００２７】
図７（ａ）〜（ｃ）は、図６に示す可動電極部と錘との接合構造を形成する各工程の図である。
図７（ａ）に示すように、錘１０ｂの樹脂溜め部１０３および一対の位置決め突起１０２が形成された面を上方に向けて、樹脂溜め部１０３内に液状の樹脂１０５ａを充填する。樹脂溜め部１０３内に充填する液状の樹脂１０５ａの量は、表面張力により中央部が錘１０ｂの上面から少し隆起する程度とする。可動電極部１２の中央帯部１２１の下面１２１ｂ側を錘１０ｂに対面させて、錘１０ｂの一対の位置決め突起１０２に可動電極部１２の中央帯部１２１の位置決め用貫通孔１２３に嵌合する。これにより、可動電極部１２の中央帯部１２１の下面１２１ｂが錘１０ｂに接着される。この状態を図７（ｂ）に示す。
【００２８】
錘１０ｂの樹脂溜め部１０３内に収容された液状の樹脂１０５ａが硬化したら、図７（ｃ）に示すように、可動電極部１２の中央帯部１２１の上面１２１ａのｘ軸方向およびｙ軸方向の中心に、液状の樹脂１０５ａを滴下する。液状の樹脂１０５ａは、表面張力により球状に盛り上がった状態になる。この後、錘１０ａを、樹脂溜め部１０３が形成されている一面１１５ａを可動電極部１２の中央帯部１２１の上面１２１ａに対面させ、錘１０ａの一対の位置決め突起１０２を可動電極部１２の中央帯部１２１の位置決め用貫通孔１２３に嵌合する。これにより、可動電極部１２の中央帯部１２１の上面１２１ａに付着している液状の樹脂１０５ａが錘１０ａの樹脂溜め部１０３内に収容され、図６に示す錘１０ａ、１０ｂが可動電極部１２に接合された接合構造が得られる。
【００２９】
図１６（ａ）、（ｂ）は、比較例の可動電極部と錘との接合構造を示し、図１６（ａ）は錘を可動電極部に接着する前の図であり、図１６（ｂ）は錘を可動電極部に接着した状態の図である。図１６（ａ）、（ｂ）は、図１におけるｙ軸方向に沿う断面図である。
比較例では、可動電極部４０１は、ｙ軸方向に所定間隔で配列された櫛歯電極４０１ａを有する。固定電極の櫛歯電極４１１ａは、隙間を介して可動電極部４０１の櫛歯電極４０１ａと互いに噛合している。但し、図１６（ａ）、（ｂ）では、可動電極部４０１の櫛歯電極４０１ａとの間の隙間は図示されていない。比較例の可動電極部４０１と錘４２０との接合構造では、可動電極部４０１と錘４２０とのいずれにも樹脂溜め部は形成されていない。このため、可動電極部４０１上に樹脂４０５を滴下し、錘４２０を可動電極部４０１に接合しようとすると、樹脂４０５は、広がって可動電極部４０１の外側にはみ出る。このため、可動電極部４０１からはみ出た樹脂４０５により、可動電極部４０１の櫛歯電極４０１ａと固定電極部の櫛歯電極４１１ａが接着される虞がある。
【００３０】
これに対し、本実施形態では、錘１０ａ、１０ｂには、樹脂溜め部１０３が形成されているため、液状の樹脂１０５ａは、樹脂溜め部１０３内に収容される。このため、液状の樹脂１０５ａは、可動電極部１２の中央帯部１２１の上面１２１ａおよび下面１２１ｂの外側にはみ出るのを抑制され、可動電極部１２の櫛歯電極１２０と固定電極部１１１の櫛歯電極１１０が接着されるのを防止することができる。
【００３１】
図８および図９は、振動発電素子１のＭＥＭＳ加工体の形成手順の一例を示す図である。ＭＥＭＳ加工技術によりＳＯＩ基板から振動発電素子を形成する方法は周知の技術であり（例えば、特開２０１７−０７０１６３号公報等参照）、ここでは形成手順の概略を説明する。なお、図８および図９では、図２（ａ）の一点鎖線Ｌ２に沿った断面を模式的に示した。
【００３２】
図８（ａ）は、ＭＥＭＳ加工が行われる基板であるＳＯＩ基板の断面を示す図である。前述したように、ＳＯＩ基板は、Ｓｉの支持層３０１とＳｉＯ２のボックス層３０２とＳｉの活性層３０３とから成る。図８（ｂ）に示す第１のステップでは、活性層３０３の表面に窒化膜（ＳｉＮ膜）３０４を成膜する。図８（ｃ）に示す第２のステップでは、窒化膜３０４をパターニングして、電極パッド１１２、１１３を形成する箇所を保護するための窒化膜パターン３０４ａを形成する。
【００３３】
図８（ｄ）に示す第３のステップでは、可動電極部１２、固定電極部１１１、弾性支持部１３および接続部１１４を形成するためのマスクパターンを形成し、活性層３０３をエッチングする。エッチング加工は、ＤＲＩＥ（Deep Reactive Ion Etching）等によりボックス層３０２に達するまで行われる。図８（ｄ）において、符号Ｂ１で示す部分は固定電極部１１１に対応する部分で、符号Ｂ２で示す部分は可動電極部１２に対応する部分で、符号Ｂ３で示す部分は接続部１１４に対応する部分である。
【００３４】
図９（ａ）に示す第４のステップでは、固定部１１を形成するためのマスクパターンを支持層３０１の表面に形成し、支持層３０１をＤＲＩＥ加工する。図９（ｂ）に示す第５のステップでは、支持層３０１の側および活性層３０３の側に露出するＳｉＯ２のＢＯＸ層を強フッ酸により除去する。図９（ｃ）に示す第６のステップでは、熱酸化法によりＳｉ層の表面にシリコン酸化膜３０５を形成する。図９（ｄ）に示す第６のステップでは、窒化膜パターン３０４ａを除去し、除去した領域にアルミ電極を成膜して電極パッド１１２、１１３を形成する。なお、電極パッド１１３については図９（ｄ）の範囲外に形成されるので、図９（ｄ）には表示されていない。
【００３５】
上述の加工手順により、エレクトレット未形成の振動発電素子１のＭＥＭＳ加工体が形成される。その後、周知のエレクトレット形成方法（例えば、特許５６２７１３０号公報等参照）により、櫛歯電極１１０、１２０の少なくとも一方にエレクトレットを形成する。
【００３６】
振動発電素子１はＭＥＭＳ技術により加工され非常に微小な構造体であり、図１に示したパッケージ２の縦横寸法は数ｃｍで高さ寸法は数ｍｍ程度である。
【００３７】
上記実施形態によれば、下記の効果を奏する。
（１）振動発電素子１は、複数の櫛歯電極１１０を有する固定電極部１１１と、複数の櫛歯電極１２０を有する可動電極部１２と、可動電極部１２に固定される錘１０ａ、１０ｂと、錘１０ａ、１０ｂに設けられ、錘１０ａ、１０ｂを可動電極部１２に固定する樹脂１０５を収容する樹脂溜め部１０３とを備える。このため、錘１０ａ、１０ｂと可動電極部とを接合する樹脂のはみ出しを抑制することができる。
【００３８】
（２）樹脂溜め部１０３の中心は、錘１０ａの重心と可動電極部１２の重心とを通る直線上に設定されている。一般に、ｘｙ平面に平行な異なる面上にある錘１０ａの重心と可動電極部１２の重心とは、ｚ方向に関して同軸になるように構成されるので、樹脂溜め部１０３の中心、錘１０ａの重心および可動電極部１２の重心はｚ方向に関して同軸になっている。このため、樹脂溜め部１０３内に収容される樹脂１０５の影響で可動電極部１２全体の重心位置がｘｙ平面内でずれるのを、防止することができる。
【００３９】
（３）可動電極部１２は、可動電極部１２の櫛歯電極１２０の配列方向の中心部に、櫛歯電極１２０の配列方向と直交する方向に延在された中央帯部１２１を有し、錘１０ａ、１０ｂは、中央帯部１２１に沿って延在された帯状部を有し、樹脂溜め部１０３は、錘１０ａ、１０ｂの櫛歯電極１２０の配列方向と直交する方向の中心に対し対称に設けられている。このため、樹脂溜め部１０３内に収容される樹脂１０５により櫛歯電極１２０の配列方向と直交する方向の重心位置がずれることがない。
【００４０】
（４）錘１０ａ、１０ｂは、可動電極部１２を構成する材料より大きい比重の材料により形成されている。このため、錘１０ａ、１０ｂをより小さくすることができ、振動発電素子１の小型化を図ることができる。
【００４１】
−第２の実施形態−
図１０は、可動電極部と錘との接合構造の第２の実施形態を示す断面図である。
第２の実施形態では、錘１０ａ、１０ｂに形成される樹脂溜め部１０３ａは、錘１０ａまたは錘１０ｂを、厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通する貫通孔として形成されている。
第２の実施形態において、錘１０ａと可動電極部１２とを接合するには、錘１０ａの位置決め突起１０２を可動電極部１２の位置決め用貫通孔１２３に嵌合して、液状の樹脂１０５ａを樹脂溜め部１０３ａ内に注入し、その後、硬化して樹脂１０５にすればよい。また、錘１０ｂと可動電極部１２とを接合するには、錘１０ｂの下面に樹脂漏れシートをあてがい、液状の樹脂１０５ａを樹脂溜め部１０３ａ内に注入し、液状の樹脂１０５ａを半硬化させた後、樹脂漏れシートを剥離して、可動電極部１２に接着し、硬化して樹脂１０５にすればよい。
【００４２】
なお、上記では、錘１０ｂと可動電極部１２とを接合する場合、錘１０ｂの下面に樹脂漏れシートをあてがう方法で例示したが、ＭＥＭＳ加工体を上下反転して、可動電極部１２に固定された錘１０ｂの樹脂溜め部１０３ａ内に液状の樹脂１０５ａを注入するようにしてもよい。
【００４３】
第２の実施形態においても、樹脂溜め部１０３の形状は、中心線Ｌ２および中心線Ｌ３（図５参照）に対して線対称に形成されており、ｘｙ面に平行な面内における錘１０ａ、１０ｂおよび可動電極部１２ａの重心の位置は、ｚ方向に関して同軸である。
第２の実施形態における他の構成は、第１の実施形態と同様である。
従って、第２の実施形態においても、第１の実施形態の効果（１）〜（４）を奏する。
【００４４】
−第３の実施形態−
図１１は、可動電極部と錘との接合構造の第３の実施形態を示し、可動電極部に錘を接合する前の状態を示す図であり、図１２は、第３の実施形態における可動電極部と錘との接合構造を示す断面図である。
第３の実施形態では、樹脂溜め部１０３ｂを錘１０ａ、１０ｂに設けずに、可動電極部１２ａに設けた構造とされている。
樹脂溜め部１０３ｂは、可動電極部１２ａの中央帯部１２１の上面１２１ａおよび下面１２１ｂに設けられている。
第１の実施形態と同様、一対の位置決め突起１０２は、同一形状を有し、各位置決め突起１０２の中心は、中心線Ｌ３上における中心線Ｌ２と対称な位置に配置されている。錘１０ａのｘ軸方向の中心線Ｌ２は、ｘｙ面において可動電極部１２ａのｘ軸方向の中心線と同一位置に配置されている。錘１０ａのｙ軸方向の中心線Ｌ３は、ｘｙ面において接続部１１４の突起１１４ａを通り振動方向（ｘ軸方向）に平行な直線であるラインＬ１と同一位置に配置されている。樹脂溜め部１０３ｂのｙ軸方向の中心は、位置決め用貫通孔１２３と同様、接続部１１４の突起１１４ａを通り振動方向（ｘ軸方向）に平行な直線であるラインＬ１上に配置されている。また、樹脂溜め部１０３ｂのｘ軸方向の中心は、可動電極部１２ａの中央帯部１２１のｘ軸方向の中心に配置されている。樹脂溜め部１０３ｂは、ｘ軸方向の中心線およびｙ軸方向の中心線に対して線対称に形成されている。従って、錘１０ａのｘｙ面に垂直な方向における重心の位置は、ｚ方向に関して可動電極部１２の重心位置と同軸である。
【００４５】
錘１０ａ、１０ｂを可動電極部１２ａに接合する手順を以下に示す。
（１）錘１０ｂの一対の位置決め突起１０２が形成された一面１１５ａを上方に向け、ディスペンサー等により、該一面１１５ａ上に液状の樹脂１０５ａを滴下する。液状の樹脂１０５ａは、表面張力により球状に盛り上がった状態になる。
（２）可動電極部１２の中央帯部１２１の下面１２１ｂを、錘１０ｂの一面１１５ａに対面させ、可動電極部１２の位置決め用貫通孔１２３を錘１０ｂの各位置決め突起１０２に嵌合する。これにより、錘１０ｂの一面１１５ａに付着している液状の樹脂１０５ａが可動電極部１２の樹脂溜め部１０３ｂ内に収容され、錘１０ｂが可動電極部１２に接合される。
（３）錘１０ａの一対の位置決め突起１０２が形成された一面１１５ａを上方に向け、ディスペンサー等により、該一面１１５ａ上に液状の樹脂１０５ａを滴下する。液状の樹脂１０５ａは、表面張力により球状に盛り上がった状態になる。
（４）ＭＥＭＳ加工体を上下反転し、可動電極部１２の中央帯部１２１の上面１２１ａを、錘１０ａの一面１１５ａに対面させ、可動電極部１２の位置決め用貫通孔１２３を錘１０ｂの各位置決め突起１０２に嵌合する。これにより、錘１０ａの一面１１５ａに付着している液状の樹脂１０５ａが可動電極部１２の樹脂溜め部１０３ｂ内に収容され、錘１０ａが可動電極部１２に接合される。
（５）ＭＥＭＳ加工体を上下反転すれば、図１２に図示された錘１０ａ、１０ｂと可動電極部１２の接合構造が得られる。
【００４６】
上記（１）〜（５）の手順によれば、錘１０ａ、１０ｂに液状の樹脂１０５ａを滴下し、表面張力により液状の樹脂１０５ａが球状に盛り上がった状態にして、錘１０ａ、１０ｂに付着している液状の樹脂１０５ａを可動電極部１２ａの樹脂溜め部１０３ｂ内に収容して接合する。可動電極部１２ａの樹脂溜め部１０３ｂに液状の樹脂１０５ａを収容してから、錘１０ａ、１０ｂを可動電極部１２に接着する方法もある。しかし、この方法の場合、液状の樹脂１０５ａの量や、液状の樹脂１０５ａ内に発生するボイド等により、液状の樹脂１０５ａと可動電極部１２との接着面に空隙が生じ、十分な接着強度が得られない可能性がある。本実施形態では、錘１０ａ、１０ｂに、液状の樹脂１０５ａを滴下し、表面張力により液状の樹脂１０５ａが球状に盛り上がった状態にし、可動電極部１２の樹脂溜め部１０３内に付着している液状の樹脂１０５ａを収容して接合するようにした。つまり、液状の樹脂１０５ａは、可動電極部１２の接着面に密着した状態で樹脂溜め部１０３内に収容される。このため、可動電極部１２の接着面との間に空隙が生じるのを防止することができる。
【００４７】
なお、図１２では、可動電極部１２ａの中央帯部１２１の上下両面に設けた樹脂溜め部１０３ｂをｘｙ面において相対向する位置に配置した構造として例示した。しかし、可動電極部１２ａの中央帯部１２１の上下両面に設ける樹脂溜め部１０３ｂを、ｘｙ面において重ならないように異なる領域に配置してもよい。この場合、可動電極部１２ａ一方の面に設ける樹脂溜め部１０３ｂをｘ軸方向の中心に配置し、可動電極部１２ａの他方の面に設ける樹脂溜め部１０３ｂを、一方の面に設ける樹脂溜め部１０３ｂのｘ軸正方向側およびｘ軸負方向側に、ｘ軸方向の中心を対照軸とする対称位置に配置するとよい。このようにすると、可動電極部１２ａの厚さ（ｚ軸方向の長さ）が小さい場合でも、樹脂溜め部１０３ｂを深くして十分な量の液状樹脂を充填することが可能となり、かつ、ＭＥＭＳ加工品のｘｙ面における重心位置をずらさないようにすることができる。
【００４８】
第３の実施形態のその他の構成は、第１の実施形態と同様である。
従って、第３の実施形態においても、第１の実施形態の効果（１）〜（４）を奏する。
また、第３の実施形態では、樹脂溜め部１０３は、錘１０ａ、１０ｂの可動電極部１２に固定される面側に設けられた凹部であり、樹脂溜め部１０３に収容される樹脂１０５は、可動電極部１２の上面に表面張力により盛り上がった状態で樹脂溜め部１０３に収容されて接合される。つまり、液状の樹脂１０５ａは、可動電極部１２の接着面に密着した状態で樹脂溜め部１０３内に収容される。このため、錘１０ａ、１０ｂと可動電極部１２の接着面に空隙が生じるのを防止することができ、以って、錘１０ａ、１０ｂと可動電極部１２との接合強度を高めることができるという効果を奏する。
【００４９】
上記第１〜第３の実施形態では、錘１０ａ、１０ｂを、可動電極部１２ａの中央帯部１２１の形状に対応した帯状形状として例示した。しかし、錘１０ａ、１０ｂは、以下に示すような態様とすることができる。
【００５０】
［錘の変形例１］
図１３は、錘の変形例１を示し、図１３（ａ）は錘の平面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）の中心線Ｌ５−Ｌ５に沿う断面図、図１３（ｃ）は図１３（ａ）の中心線Ｌ４−Ｌ４に沿う断面図である。
図１３に示す錘１０ｃは、帯状部１６１と平板状部１６２とが一体成型された構造を有する。帯状部１６１は、第１〜第３の実施形態における錘１０ａ、１０ｂに相当する形状を有し、可動電極部１２の中央帯部１２１に接合される。平板状部１６２は、平面視で矩形形状を有し、帯状部１６１より大きい面積を有する。平板状部１６２は、固定電極部１１１の櫛歯電極１１０および可動電極部１２の櫛歯電極１２０の全体もしくは一部を覆う大きさを有する。
【００５１】
平板状部１６２のｘ軸方向の中心線は、ｘｙ面において帯状部１６１のｘ軸方向の中心線と一致している。つまり、帯状部１６１および平板状部１６２のｘ軸方向の中心線は、錘１０ｃのｘ軸方向の中心線Ｌ４となっている。また、平板状部１６２のｙ軸方向の中心線は、ｘｙ面において帯状部１６１のｙ軸方向の中心線と一致している。つまり、帯状部１６１および平板状部１６２のｘ軸方向の中心線は、錘１０ｃのｙ軸方向の軸方向の中心線Ｌ５となっている。錘１０ｃのｙ軸方向の中心線Ｌ５は、接続部１１４の突起１１４ａを通り振動方向（ｘ軸方向）に平行な直線であるラインＬ１と、ｘｙ面において同一位置となっている。
【００５２】
錘１０ｃの帯状部１６１には、一対の位置決め突起１０２と３つの樹脂溜め部１０３が形成されている。つまり、変形例１では、各樹脂溜め部１０３は複数の分割樹脂溜め部の１つとして構成されている。一対の位置決め突起１０２の中心および各樹脂溜め部１０３の中心は、中心線Ｌ５上に配置されている。一対の位置決め突起１０２の中心は、錘１０ｃのｘ軸方向の中心線Ｌ４に対して対称位置に配置されている。各樹脂溜め部１０３の形状は、錘１０ｃのｘ軸方向の中心線Ｌ４および錘１０ｃのｘ軸方向の中心線Ｌ５に対して線対称に形成されている。
【００５３】
樹脂溜め部１０３は、図１３では凹部として例示されている。しかし、樹脂溜め部１０３は、錘１０ｃを厚さ方向に貫通する貫通孔としてもよい。また、樹脂溜め部１０３は、錘１０ｃに設けず、可動電極部１２に設ける態様とすることもできる。錘１０ｃの平板状部１６２は、平面視で矩形形状として例示したが、錘１０ｃのｘ軸方向の中心線Ｌ４およびｙ軸方向の中心線Ｌ５に対し対称形状であれば、他の多角形状としてもよい。
【００５４】
［錘の変形例２］
図１４は、錘の変形例２を示し、図１４（ａ）は錘の平面図、図１４（ｂ）は図１４（ａ）の中心線Ｌ５−Ｌ５に沿う断面図、図１４（ｃ）は図１４（ａ）の中心線Ｌ４−Ｌ４に沿う断面図である。
図１４に示す錘１０ｄは、帯状部１６１ａと平板状部１６２ａとが一体成型された構造を有する。帯状部１６１ａは、第１〜第３の実施形態における錘１０ａ、１０ｂに相当する形状を有し、可動電極部１２の中央帯部１２１に接合される。平板状部１６２ａは、平面視で円形状を有し、帯状部１６１ａより大きい面積を有する。平板状部１６２ａは、固定電極部１１１の櫛歯電極１１０および可動電極部１２の櫛歯電極１２０の全体もしくは一部を覆う大きさを有する。
【００５５】
平板状部１６２ａのｘ軸方向の中心線は、ｘｙ面において帯状部１６１ａのｘ軸方向の中心線と一致している。つまり、帯状部１６１ａおよび平板状部１６２ａのｘ軸方向の中心線は、錘１０ｄのｘ軸方向の中心線Ｌ４となっている。また、平板状部１６２ａのｙ軸方向の中心線は、ｘｙ面において帯状部１６１ａのｙ軸方向の中心線と一致している。つまり、帯状部１６１ａおよび平板状部１６２ａのｘ軸方向の中心線は、錘１０ｄのｙ軸方向の軸方向の中心線Ｌ５となっている。錘１０ｄのｙ軸方向の中心線Ｌ５は、接続部１１４の突起１１４ａを通り振動方向（ｘ軸方向）に平行な直線であるラインＬ１と、ｘｙ面において同一位置となっている。
【００５６】
錘１０ｄの帯状部１６１ａには、一対の位置決め突起１０２と１つの樹脂溜め部１０３が形成されている。一対の位置決め突起１０２の中心および各樹脂溜め部１０３の中心は、中心線Ｌ５上に配置されている。一対の位置決め突起１０２の中心は、錘１０ｄのｘ軸方向の中心線Ｌ４に対して対称位置に配置されている。また、樹脂溜め部１０３の形状は、錘１０ｃのｘ軸方向の中心線Ｌ４およびｙ軸方向の中心線Ｌ５に対して線対称に設けられている。
【００５７】
樹脂溜め部１０３は、図１４では凹部として例示されている。しかし、樹脂溜め部１０３は、錘１０ｄを厚さ方向に貫通する貫通孔としてもよい。また、樹脂溜め部１０３は、錘１０ｄに設けず、可動電極部１２に設ける態様とすることもできる。
【００５８】
［錘の変形例３］
図１５は、錘の変形例３を示し、図１５（ａ）は錘の平面図、図１５（ｂ）は図１５（ａ）の中心線Ｌ５−Ｌ５に沿う断面図、図１５（ｃ）は図１５（ａ）の中心線Ｌ４−Ｌ４に沿う断面図である。
図１５に示す錘１０ｅは、帯状部１６１ｂと平板状部１６２ｂとが一体成型された構造を有する。帯状部１６１ｂは、第１〜第３の実施形態における錘１０ａ、１０ｂに相当する形状を有し、可動電極部１２の中央帯部１２１に接合される。平板状部１６２ｂは、平面視で矩形の枠形状を有し、帯状部１６１ｂより大きい面積を有する。平板状部１６２ｂは、固定電極部１１１の櫛歯電極１１０および可動電極部１２の櫛歯電極１２０の一部を覆う大きさを有する。
【００５９】
平板状部１６２ｂのｘ軸方向の中心線は、ｘｙ面において帯状部１６１ｂのｘ軸方向の中心線と一致している。つまり、帯状部１６１ｂおよび平板状部１６２ｂのｘ軸方向の中心線は、錘１０ｅのｘ軸方向の中心線Ｌ４となっている。また、平板状部１６２ｂのｙ軸方向の中心線は、ｘｙ面において帯状部１６１ｂのｙ軸方向の中心線と一致している。つまり、帯状部１６１ｂおよび平板状部１６２ｂのｘ軸方向の中心線は、錘１０ｅのｙ軸方向の軸方向の中心線Ｌ５となっている。錘１０ｅのｙ軸方向の中心線Ｌ５は、接続部１１４の突起１１４ａを通り振動方向（ｘ軸方向）に平行な直線であるラインＬ１と、ｘｙ面において同一位置となっている。
【００６０】
錘１０ｅの帯状部１６１ｂには、一対の位置決め突起１０２と１つの樹脂溜め部１０３が形成されている。一対の位置決め突起１０２の中心および各樹脂溜め部１０３の中心は、中心線Ｌ５上に配置されている。一対の位置決め突起１０２の中心は、錘１０ｅのｘ軸方向の中心線Ｌ４に対して対称位置に配置されている。また、樹脂溜め部１０３の形状は、錘１０ｅのｘ軸方向の中心線Ｌ４およびｙ軸方向の中心線Ｌ５に対して線対称に設けられている。
【００６１】
樹脂溜め部１０３は、図１５では凹部として例示されている。しかし、樹脂溜め部１０３は、錘１０ｅを厚さ方向に貫通する貫通孔としてもよい。また、樹脂溜め部１０３は、錘１０ｄに設けず、可動電極部１２に設ける態様とすることもできる。
上記錘１０ａ、１０ｂの変形例１〜３として例示する錘１０ｃ〜１０ｅは、帯状部１６１、１６１ａ、１６１ｂに平板状部１６２、１６２ａ、１６２ｂを一体的に設けた構造とされている。このため、錘１０ｃ〜１０ｅの質量を錘１０ａ、１０ｂより大きくすることができ、振動発電素子１の発電効率を大きくすることができる。
【００６２】
なお、上述した実施の形態では、ＳＯＩ基板により振動発電素子１を形成したが、シリコン基板を用いても良い。シリコン基板を用いる場合、例えば、導電率の小さな真性のシリコン基板の表面から所定厚さの領域にドーピングによりＰ型またはＮ型の導電層を形成し、導電層の下部の真性なシリコン層に固定部１１を形成し、導電層に固定電極部１１１、可動電極部１２、弾性支持部１３を形成すれば良い。
【００６３】
また、上述した振動発電素子１では、可動電極部１２が櫛歯電極１１０、１２０の伸延方向（図１のｘ軸方向）に振動するような構成であったが、例えば、特許６３３８０７１号公報に記載の振動発電素子のように複数の櫛歯電極１１０が並置されている方向（図１のｙ軸方向）に振動するような構成であっても本発明は適用が可能である。
【００６４】
上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。上述した種々の実施の形態および変形例を組み合わせたり、適宜、変更を加えたりしてもよく、本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００６５】
１    振動発電素子
１０ａ〜１０ｅ    錘
１２、１２ａ    可動電極部
１２ａ    可動電極部
１０２    位置決め突起
１０３、１０３ａ、１０３ｂ    樹脂溜め部
１０５    樹脂
１０５ａ    液状の樹脂
１１０    櫛歯電極
１１１    固定電極部
１２０    櫛歯電極
１２１    中央帯部
１２３    位置決め用貫通孔
１６１、１６１ａ、１６１ｂ    帯状部
１６２、１６２ａ、１６２ｂ    平板状部
Ｌ１    接続部１１４の突起１１４ａを通り振動方向（ｘ軸方向）に平行なライン
Ｌ２〜Ｌ５    中心線
【図１】
2020065324.tif 000003
【図２】
2020065324.tif 000004
【図３】
2020065324.tif 000005
【図４】
2020065324.tif 000006
【図５】
2020065324.tif 000007
【図６】
2020065324.tif 000008
【図７】
2020065324.tif 000009
【図８】
2020065324.tif 000010
【図９】
2020065324.tif 000011
【図１０】
2020065324.tif 000012
【図１１】
2020065324.tif 000013
【図１２】
2020065324.tif 000014
【図１３】
2020065324.tif 000015
【図１４】
2020065324.tif 000016
【図１５】
2020065324.tif 000017
【図１６】
2020065324.tif 000018
【手続補正書】
【提出日】令和1年10月21日(2019.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の櫛歯電極を有する固定電極部と、
複数の櫛歯電極を有する可動電極部と、
前記可動電極部に固定される錘と、
前記錘または前記可動電極部に設けられ、前記錘を前記可動電極部に固定する樹脂を収容する樹脂溜め部とを備える振動発電素子。
【請求項２】
請求項１に記載の振動発電素子において、
前記樹脂溜め部の中心は、前記錘の重心と前記可動電極部の重心とを通る直線上に設定されている振動発電素子。
【請求項３】
請求項１に記載された振動発電素子において、
前記樹脂溜め部に収容される前記樹脂は、前記錘または前記可動電極部の上面に表面張力により盛り上がった状態で前記樹脂溜め部に収容される振動発電素子。
【請求項４】
請求項３に記載の振動発電素子において、
前記樹脂溜め部は、前記錘の前記可動電極部に固定される面側に設けられた凹部である、振動発電素子。
【請求項５】
請求項３に記載の振動発電素子において、
前記樹脂溜め部は、前記可動電極部の前記錘が固定される面側に設けられた凹部である、振動発電素子。
【請求項６】
請求項１に記載の振動発電素子において、
前記樹脂溜め部は、前記錘を厚さ方向に貫通する貫通孔である、振動発電素子。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれか一項に記載の振動発電素子において、
前記可動電極部は、前記可動電極部の前記櫛歯電極の配列方向の中心部に、前記櫛歯電極の配列方向と直交する方向に延在された中央帯部を有し、前記錘は、前記中央帯部に沿って延在された帯状部を有し、前記樹脂溜め部は、前記錘の前記櫛歯電極の配列方向と直交する方向の中心に対して対称に設けられている振動発電素子。
【請求項８】
請求項７に記載の振動発電素子において、
前記錘は、前記帯状部に一体的に設けられ、少なくとも前記固定電極部の前記櫛歯電極および前記可動電極部の前記櫛歯電極の一部を覆う平板状部を有する振動発電素子。
【請求項９】
請求項１から８までのいずれか一項に記載の振動発電素子において、
前記錘は、前記可動電極部を構成する材料より大きい比重の材料により形成されている振動発電素子。 
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
可動電極部１２の中央帯部１２１の上面（Ｚ軸正方向側の一面）１２１ａ（図６参照）および下面（Ｚ軸正方向側の一面）１２１ｂ（図６参照）には、それぞれ、位置決め突起１０２が嵌合する位置決め用貫通孔１２３（図７参照）が形成されている。
図６に示されるように、錘１０ａは、一対の位置決め突起１０２を可動電極部１２の中央帯部１２１の位置決め用貫通孔１２３に嵌合した状態で、樹脂溜め部１０３に収容された接着用の樹脂１０５により可動電極部１２の中央帯部１２１に接着される。同様に、錘１０ｂは、一対の位置決め突起１０２を可動電極部１２の中央帯部１２１の位置決め用貫通孔１２３に嵌合した状態で、樹脂溜め部１０３に収容された接着用の樹脂１０５により可動電極部１２の中央帯部１２１に接着される。