(57)【要約】【課題】  免震機能を維持したまま、水平移動を抑制しやすく対象物を支持する対象物支持装置を提供しようとする。【解決手段】  従来の対象物支持装置にかわって、基台に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを左右一対の第一軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内機構とを持つ水平移動案内機構と、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、上方の端部をテーブルに回転自在に固定され下方の端部を前記案内ブロックに回転自在に固定される左右一対の主リンクと一方の端部を該主リンクに回転自在に連結され他方の端部を前記基台に回転自在に支持されるリンクであるサポートリンクとを持つリンク機構と、左右一対の前記主リンクに互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、を有する、ものとした。【選択図】    図１
2020067175.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を支持する対象物支持装置であって、
対象物を乗せられるテーブルと、
基礎に支持される基台と、
前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、
を備え、
前記テーブル支持機構が、
他方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第一軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内機構とを持つ水平移動案内機構と、
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、
上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される左右一対のリンクである左右一対の主リンクと一方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクであるサポートリンクとを持つリンク機構と、
左右一対の前記主リンクに互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、
を有し、
ここで、
前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、
前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり、
前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造である、
ことを特徴とする対象物支持装置。
【請求項２】
前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道に沿って移動自在かつ前記他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される、
ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【請求項３】
左右一対の前記第一軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる、
ことを特徴とする請求項２に記載の対象物支持装置。
【請求項４】
前記第二軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である、
ことを特徴とする請求項３に記載の対象物支持装置。
【請求項５】
前記一方サポート回転中心が前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置し、
前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方回転中心との距離と前記前記一方サポート回転中心と前記他方サポート回転中心との距離とが各々に等しい、
ことを特徴とする請求項４に記載の対象物支持装置。
【請求項６】
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる、
ことを特徴とする請求項５に記載の対象物支持装置。
【請求項７】
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する、
ことを特徴とする請求項６に記載の対象物支持装置。
【請求項８】
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、
左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される、
ことを特徴とする請求項７に記載の対象物支持装置。
【請求項９】
一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、
を有し、
前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持つ、
ことを特徴とする請求項８に記載の対象物支持装置。
【請求項１０】
前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される、
ことを特徴とする請求項９に記載の対象物支持装置。
【請求項１１】
左右一対の前記第三軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる、
ことを特徴とする請求項１０に記載の対象物支持装置。
【請求項１２】
前記第四軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である、
ことを特徴とする請求項１１に記載の対象物支持装置。
【請求項１３】
前記テーブル支持機構が、
前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な揺動運動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構と、
を有する、
ことを特徴とする請求項１２に記載の対象物支持装置。
【請求項１４】
Ｎ個のテーブル支持機構と、
を備え、
上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する、
ことを特徴とする請求項１３に記載の対象物支持装置
【請求項１５】
前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道に沿って移動自在かつ前記他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持され、
前記第二軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である、
ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【請求項１６】
前記一方サポート回転中心が前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置し、
前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方回転中心との距離と前記前記一方サポート回転中心と前記他方サポート回転中心との距離とが各々に等しい、
ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【請求項１７】
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる、
ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【請求項１８】
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致する、
ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【請求項１９】
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する、
ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【請求項２０】
左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、
左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される、
ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【請求項２１】
前記テーブル支持機構が、
一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、
を有し、
前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持つ、
ことを特徴とする請求項２０に記載の対象物支持装置。
【請求項２２】
前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持ち、
前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される、
ことを特徴とする請求項２０に記載の対象物支持装置。
【請求項２３】
前記テーブル支持機構が、
一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、
を有し、
左右一対の前記第三軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる、
ことを特徴とする請求項２０に記載の対象物支持装置。
【請求項２４】
前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持され、
前記第４軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である、
ことを特徴とする請求項２０に記載の対象物支持装置。
【請求項２５】
前記テーブル支持機構が、
前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な揺動運動を抑制する揺動運動抑制機構と、
を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【請求項２６】
Ｎ個のテーブル支持機構と、
を備え、
上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する、
ことを特徴とする請求項１に記載の対象物支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物を支持する対象物支持装置に係る。特に、上下方向の振動に対する免震機能に注目した対象物支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
水平方向の対象物支持装置（例えば、免震テーブル）として、従来より、いくつかの構成のものが考案されている。水平方向の免震テーブルは比較的容易に実現できる。免震テーブルに支えられる対象物の重量が、Ｘ−Ｙテーブルやベアリング等により支えられているため水平方向のばね定数を比較的小さく設定して地震時に水平加速度振動に応答できる。例えば、ベアリング等の機構で垂直方向の荷重を支え、水平方向の振動に対する抵抗力を抑制し、免震作用を効果的に発揮できる。
【０００３】
一方、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、簡易な構成、かつ、低コストで実現できるものが要請されている。
【０００４】
地震の波には様々な周期を持った波が重なっており、その中でも周期が０．５〜１．０秒程度の波の成分が卓越している。対象物支持装置の上下方向の固有周期を１秒より大きくすることで、対象物支持装置の地震波に対する共振を避けて、免震効果を大きくすることができる。対象物支持装置の上下方向の固有周期を１秒、２秒、３秒、５秒と大きくするほど免震効果が大きくなる。少なくとも２秒程度にすることが好ましい。
【０００５】
対象物支持装置の上下方向の固有周期を２秒程度にするためには、上下方向のばねを柔らかくすることが必要である。ここで、対象物支持装置の上下方向の固有周期を２秒程度にするためには、ばね定数が一定である場合、対象物の質量に関わらず、約１ｍの静的たわみが必要となることが分かっている。これは、無負荷の状態の免震装置に対象物を静かに乗せると約１ｍ程度沈んでつりあい、この静的つりあい位置を中心に上下振動して免震効果を発揮する。対象物支持装置は、高さが１ｍ〜数十ｃｍ程度になる。免震装置の上下方向の固有周期を３秒、５秒にすると、さらに静的たわみが大きくなる。
【０００６】
特に、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、一定の荷重に対しては静的たわみが極めて小さく、一定の荷重以上になると軟らかいばね定数をもつ非線形ばね特性をもつ免震装置が好ましい。
例えば、対象物をテーブルに置くと、一つの位置まで静的にたわみ、その静的吊りあい位置で静的に吊りあう。地震が発生すると、静的吊りあい位置を中心に上下に振動する。
【０００７】
本願出願人、他は、 対象物が載置され基台に対して上下動するテーブルと、このテーブルと前記基台との間に設置され、前記テーブルの上下動に応じて上下方向のバネ力を生じる上下方向バネ部材と、前記テーブルと前記基台とを連結し、前記テーブルの上下動に伴って水平方向に沿って可動する水平可動部を有する連結部材と、この連結部材の前記水平可動部に係合され、当該水平可動部の可動に応じて水平方向にバネ力を生じる水平方向バネ部材と、を備え、前記連結部材は、前記テーブルの上下動に伴って相互間の距離が変化する前記水平可動部をそれぞれ備えた一対のリンク部材を備えると共に、当該一対のリンク部材は、それぞれの一端部が前記テーブルに回動自在に係合され、前記水平方向バネ部材は、その両端が前記各水平可動部にそれぞれ連結されている、ことを特徴とする免震装置、を考案した。
上記考案では、一対のリンク部材が水平可動部を持つため、テーブルの基台に対する水平方向の相対移動を抑制するための機構をさらに設ける必要がある。
市場は、本願出願人が考案した対象物支持装置をさらに簡易な構造を付加することで、免震機能を維持したまま水平移動を抑制しやすくすることを望んでいる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、免震機能を維持したまま水平移動を抑制しやすい対象物支持装置を提供しようとする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明に係る対象物を支持する対象物支持装置を、対象物を乗せられるテーブルと、基礎に支持される基台と、前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、を備え、前記テーブル支持機構が、他方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第一軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内機構とを持つ水平移動案内機構と、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される左右一対のリンクである左右一対の主リンクと一方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクであるサポートリンクとを持つリンク機構と、左右一対の前記主リンクに互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、を有し、ここで、前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸であり、前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造であり前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造である、ものとした。
【００１０】
上記本発明の構成により、前記特定水平軸は特定の水平方向に延びる水平軸である。前記一方構造は前記テーブルまたは前記基台の一方の構造である。前記他方構造は前記テーブルまたは前記基台の他方の構造である。水平移動案内機構の左右一対の案内ブロックが、他方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される。水平移動案内機構の案内機構が、左右一対の該案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第一軌道に沿って各々に移動自在に案内する。上下方向ばね部材が、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる。リンク機構の左右一対の主リンクが、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。リンク機構のサポートリンクが、一方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され他方の端部を前記他方構造に回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。水平方向ばね部材が、左右一対の前記主リンクに互いに接近する向きに特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる。
その結果、サポートリンクが主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
【００１１】
以下に、本発明の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。
【００１２】
また、前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道に沿って移動自在かつ前記他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道に沿って移動自在かつ前記他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
その結果、テーブルの上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際のサポートリンクの他方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
【００１３】
また、左右一対の前記第一軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道に沿って移動自在かつ前記他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
その結果、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
【００１４】
また、前記第二軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記第二軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である。
その結果、サポートリンクの他方の端部が第二軌道に沿って直線状に上下移動し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
【００１５】
また、前記一方サポート回転中心が前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置し、前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方サポート回転中心との距離とが各々に等しい。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記一方サポート回転中心が前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置し、
前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方サポート回転中心との距離とが各々に等しい。
その結果、主リンクとサポートリンクとが移動しつつ安定して傾斜し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
【００１６】
また、  左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる、
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる。
その結果、設計の自由度が増える。
【００１７】
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する。
その結果、設計の自由度が増える。
【００１８】
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。
その結果、設計の自由度が増える。
【００１９】
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
その結果、設計の自由度が増える。
【００２０】
また、前記テーブル支持機構が、一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ一方水平移動案内機構と、を有し、前記リンク機構が左右一対の前記主リンクと前記サポートリンクと他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである一方サポートリンクとを持つ。
上記本発明にかかる実施形態の構成により、前記テーブル支持機構の一方水平移動案内機構が、一方構造に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロックと左右一対の該一方案内ブロックを特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内機構とを持つ。
リンク機構の一方サポートリンクが、他方の端部を左右一対の該主リンクのうちの少なくともひとつの該主リンクに回転中心である他方サポート回転中心の回りに回転自在に連結され一方の端部を前記一方構造に回転中心である一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されるリンクである。
その結果、サポートリンクと一方サポートリンクとが主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
【００２１】
また、前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
上記本発明にかかる実施形態の構成により、
前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される。
その結果、テーブルの上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際の一方のサポートリンクの一方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
【００２２】
また、左右一対の前記第三軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
上記本発明にかかる実施形態の構成により、左右一対の前記第三軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
その結果、左右一対の第三軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
【００２３】
また、前記第四軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である。
上記本発明にかかる実施形態の構成により、前記第四軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である。
その結果、一方サポートリンクの一方の端部が第四軌道に沿って直線状に上下移動し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
【００２４】
また、前記テーブル支持機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な揺動運動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構と、を有する、
上記本発明に係る実施形態の構成により、上下移動案内機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な揺動運動を抑制し上下方向に移動自在に案内する。
その結果、テーブルの揺動運動を抑制できる。
【００２５】
また、Ｎ個のテーブル支持機構と、を備え、上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する。
その結果、Ｎ個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように本発明に係る  対象物支持装置は、その手順と構成により、以下の効果を有する。
前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させ、左右一対の案内機構が特定水平軸に添って離れた左右一対の案内ブロックを前記テーブルまたは前記基台の他方に対して第一軌道に沿って移動自在に案内し、左右一対の主リンクの一方の端部が前記テーブルまたは前記基台の一方に回転自在に固定され、他方の端部が左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、左右一対の主リンクに互いに接近する向きにばね力を作用させ、サポートリンクの一方の端部をすくなくとも一方の主リンクに回転自在に固定され、他方の端部を前記テーブルまたは前記基台の他方に回転自在に固定される様にしたので、サポートリンクが主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、前記サポートリンクが他方の端部を前記他方構造に上下方向に延びる第二軌道である第二軌道に沿って移動自在になる様にしたので、テーブルの上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際のサポートリンクの他方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
また、左右一対の前記第一軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の第一軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、前記第二軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である様にしたので、サポートリンクの他方の端部が第二軌道に沿って直線状に上下移動し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
また、前記一方サポート回転中心が前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置して、前記一方回転中心と前記一方サポート回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方回転中心との距離と前記一方サポート回転中心と前記他方サポート回転中心との距離とが各々に等しくなる様にしたので、主リンクとサポートリンクとが移動しつつ安定して傾斜し、主リンクを介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクの各々の前記一方回転中心が一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記主リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記主リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、交差点で連結する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の案内機構が特定水平軸に添って離れた左右一対の案内ブロックを前記テーブルまたは前記基台の他方に対して第三軌道に沿って移動自在に案内し、左右一対の主リンクの一方の端部が左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、他方の端部が左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、左右一対の主リンクに互いに接近する向きにばね力を作用させ、サポートリンクの一方の端部をすくなくとも一方の主リンクに回転自在に固定され、他方の端部を前記テーブルまたは前記基台の他方に回転自在に固定され、一方サポートリンクの一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の他方に回転自在に固定され、他方の端部をすくなくとも一方の主リンクに回転自在に固定される様にしたので、サポートリンクと一方サポートリンクとが主リンクを介してテーブルの左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、前記一方サポートリンクが一方の端部を前記一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道に沿って移動自在かつ前記一方サポート回転中心の回りに回転自在に支持される様にしたので、テーブルの上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際の一方のサポートリンクの一方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
また、左右一対の前記第三軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の第三軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、第四軌道が上下方向に沿って延びる直線状軌道である様にしたので、一方サポートリンクの一方の端部が第四軌道に沿って直線状に上下移動し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
また、上下移動案内機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な揺動運動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、テーブルの傾斜を抑制できる。
また、上から見てＮ個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する様にしたので、Ｎ個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
従って、免震機能を維持したまま水平移動を抑制しやすい対象物支持装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図２】本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
【図３】本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図４】本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
【図５】本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図６】本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
【図７】本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図８】本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
【図９】本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図１０】本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
【図１１】本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図１２】本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
【図１３】本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図１４】本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
【図１５】本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図１６】本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
【図１７】本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図１８】本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
【図１９】本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図２０】本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
【図２１】本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
【図２２】本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
【図２３】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力グラフである。
【図２４】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力の比較グラフである。
【図２５】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１である。
【図２６】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１の側面図である。
【図２７】本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その１の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。
【００２９】
最初に、本発明の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
【００３０】
対象物支持装置は、対象物を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物１０を支持して、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。
【００３１】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００は、対象物１０を乗せるものである。
基台２００は、基礎に支持されるものである。
テーブル支持機構３００は、基台２００を基礎としてテーブル１００を支持する機構である。
以下に、テーブル支持機構３００の構造を説明する。
ここで、説明の便宜上、特定の水平方向に延びる水平軸を特定水平軸ｘと、テーブル１００または基台２００の一方の構造を一方構造と、テーブル１００または基台２００の他方の構造を他方構造と、呼称する。
【００３２】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０とで構成されてもよい。
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と上下移動案内機構（図示せず）とで構成されてもよい。
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０と上下移動案内機構（図示せず）とで構成されてもよい。
【００３３】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成されてもよい。
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と一方垂直移動案内機構３５２で構成されてもよい。
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０と一方垂直移動案内機構３５２で構成されてもよい。
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と上下移動案内機構（図示せず）とで構成されてもよい。
【００３４】
水平移動案内機構３１０は、他方構造に設けられる。
水平移動案内機構３１０は、左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌと左右一対の案内機構３１０Ｒｒ、３１０Ｒｌとで構成される。
左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌは、他方構造に対して特定水平軸ｘに沿って離れて配される。
左右一対の案内機構３１０Ｒｒ、３１０Ｒｌは、左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第一軌道ｇ１に沿って各々に移動自在に案内する。
【００３５】
例えば、水平移動案内機構３１０が基台２００に設けられる場合、左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌは基台２００に対して特定水平軸ｘに沿って離れて配される。
左右一対の案内機構３１０Ｒｒ、３１０Ｒｌは、左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第一軌道ｇ１に沿って各々に移動自在に案内する。
図１乃至１４は、水平移動案内機構３１０が基台２００に設けられる様子を示す。
【００３６】
例えば、水平移動案内機構３１０がテーブル１００に設けられる場合、左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌは、テーブル１００に対して特定水平軸ｘに沿って離れて配される。
左右一対の案内機構３１０Ｒｒ、３１０Ｒｌは、  左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の第一軌道ｇ１である左右一対の第一軌道に沿って各々に移動自在に案内する。
【００３７】
左右一対の案内機構３１０Ｒｒ、３１０Ｒｌは、左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌを第一軌道ｇ１にそって案内するレール構造であってもよい。
左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌは、レール構造に案内される車輪を持っていてもよい。
第一軌道ｇ１の形状については、後述する。  
【００３８】
一方水平移動案内機構３１２は、一方構造に設けられる。
一方水平移動案内機構３１２は、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌと左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌとで構成される。
左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌは、一方構造に対して特定水平軸ｘに沿って離れて配される。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する。
【００３９】
例えば、一方水平移動案内機構３１２がテーブル１００に設けられる場合、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌはテーブル１００に対して特定水平軸ｘに沿って離れて配される。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する。
図１５乃至２１は、一方水平移動案内機構３１２がテーブル１００に設けられる様子を示す。
【００４０】
例えば、一方水平移動案内機構３１２が基台２００に設けらる場合、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌは、基台２００に対して特定水平軸ｘに沿って離れて配される。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、  左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる左右一対の軌道である左右一対の第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する。
【００４１】
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを第三軌道ｇ３にそって案内するレール構造を持っていてもよい。
左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌは、レール構造に案内される車輪Ｗを持っていてもよい。
第三軌道ｇ３の形状については、後述する。  
【００４２】
上下方向ばね部材３２０は、基台２００を基礎としてテーブル１００に上向きのばね力を発生させる部材である。
上下方向ばね部材３２０は、設計上選択されたばね定数をもつ。
上下方向ばね部材３２０は、圧縮ばねでもよい。
例えば、圧縮ばねは、下端を基台２００に連結され、上端をテーブル１００に連結され、上向きの圧縮力をテーブル１００に作用させる。
上下方向ばね部材３２０は、引張ばねでもよい。
例えば、引張ばねは、下端をテーブル１００に連結され、上端を基台に連結され、上向きの引張力をテーブル１００に作用させる。
図１乃至２２は、圧縮ばねがテーブル１００と基台２００との間に設けられる様子を、模式的に示す。
【００４３】
リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１とサポートリンク３３２とで構成される。
リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１と左右一対のサポートリンク３３２とで構成されてもよい。
左右一対の主リンク３３１は、右側主リンク３３１ｒと左側主リンク３３１ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２は、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を一方構造に回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定され、上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌに回転中心である他方回転中心３３１Ｃｄの回りに回転自在に固定される左右一対のリンクである。
【００４４】
リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌと一方サポートリンク３３３と主リンク連結軸３３４とで構成されてもよい。
リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌとサポートリンク３３２と一方サポートリンク３３３と主リンク連結軸３３４とで構成されてもよい。
リンク機構３３０は、左右一対の主リンク３３１とサポートリンク３３２と左右一対の一方サポートリンク３３３と主リンク連結軸３３４とで構成されてもよい。
左右一対の一方サポートリンク３３３は、右側一方サポートリンク３３３ｒと左側一方サポートリンク３３３ｌとで構成されてもよい。
一方サポートリンク３３３は、一方構造に一方サポート回転軸３３３ｕで回転自在に連結され、主リンク３３１に他方サポート回転軸３３３ｄで回転自在に連結されるリンク構造である。
【００４５】
例えば、水平移動案内機構３１０が基台２００に設けられる場合、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、上方の端部をテーブル１００に回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定され、下方の端部を案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌに回転中心である他方回転中心３３１Ｃｄの回りに回転自在に固定される。
右側主リンク３３１ｒは、上方の端部である一方の端部をテーブル１００に回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定され、下方の端部である他方の端部を右側案内ブロック３１０Ｂｒに回転中心である他方回転中心３１１Ｃｄの回りに回転自在に固定される。
左側主リンク３３１ｌは、上方の端部である一方の端部をテーブル１００に回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定され、下方の端部である他方の端部を左側案内ブロック３１０Ｂｌに回転中心である他方回転中心３３１Ｃｄの回りに回転自在に固定される。
一方連結軸３３１ｕが、主リンクの一方の端部を回転自在にテーブル１００に連結し、他方連結軸３３１ｄが主リンクの他方の端部を案内ブロック３１０に回転自在に連結する。
【００４６】
例えば、水平移動案内機構３１０がテーブル１００に設けられる場合、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、下方の端部を基台２００に回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定され、上方の端部を案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌに回転中心である他方回転中心３３１Ｃｄの回りに回転自在に固定される。
右側主リンク３３１ｒは下方の端部を基台２００に回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定され、上方の端部を右側案内ブロック３１０Ｂｒに回転中心である他方回転中心３３１Ｃｄの回りに回転自在に固定される。
左側主リンク３３１ｌは下方の端部を基台２００に回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定され、上方の端部を左側案内ブロック３１０Ｂｌに回転中心である他方回転中心３３１Ｃｄの回りに回転自在に固定される。
一方連結軸３３１ｕが、主リンクの一方の端部を回転自在に基台２００に連結し、他方連結軸３３１ｄが主リンクの他方の端部を案内ブロック３１１に回転自在に連結する。
【００４７】
例えば、一方水平移動案内機構３１２がテーブル１００に設けられる場合、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、上方の端部を一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
右側主リンク３３１ｒは、上方の端部である一方の端部を左側一方案内ブロック３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
左側主リンク３３１ｌは、上方の端部である一方の端部を右側一方案内ブロック３１２Ｂｒに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
一方連結軸３３１ｕが、主リンクの一方の端部を左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに回転自在に連結する。
図１７乃至２２には、一方水平移動案内機構３１２がテーブル１００に設けられ、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、上方の端部を左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される様子が示される。
【００４８】
例えば、一方水平移動案内機構３１２が基台２００に設けられる場合、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌは、下方の端部を一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
右側主リンク３３１ｒは下方の端部を左側一方案内ブロック３１２Ｂｌに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
左側主リンク３３１ｌは下方の端部を右側一方案内ブロック３１２Ｂｒに回転中心である一方回転中心３３１Ｃｕの回りに回転自在に固定される。
一方連結軸３３１ｕが、主リンクの一方の端部を回転自在に左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに回転自在に連結する。
【００４９】
図１乃至１４に、左右一対の主リンク３３１が、一方の端部をテーブル１００に一方連結軸３３１ｕにより回転自在に連結され、他方の端部を他方連結軸３３１ｄにより基台２００に設けられた水平移動案内機構３１０の案内ブロック３１０Ｂに回転自在に各々に連結される様子が示される。
図１５乃至２２に、左右一対の主リンク３３１が、一方の端部をテーブル１００に設けられる一方水平案内機構３１２の左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに一方連結軸３３１ｕにより回転自在に連結され、他方の端部を他方連結軸３３１ｄにより基台２００に設けられた水平移動案内機構３１０の左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌに回転自在に各々に連結される様子が示される。
【００５０】
左右一対の主リンク３３１を左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク３３１の各々の一方回転中心３３１Ｃｕが所定の離間距離Ｈ１だけ離れてもよい。
図１乃至１０、図１３乃至１６に、左右一対の主リンク３３１を左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク３３１の各々の一方回転中心３３１Ｃｕが所定の離間距離Ｈ１だけ離れている様子が示される。
【００５１】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１の各々の一方回転中心３３１Ｃｕが一致してもよい。
図１１、１２は、左右一対の主リンク３３１を左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１の各々の一方回転中心３３１Ｃｕが一致している様子が示される。
【００５２】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク３３１が各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差してもよい。
図１３、１４に、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク３３１が各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差する様子が示される。
【００５３】
左右一対の主リンク３３１Ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンクが各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差し、左右一対のリンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結されてもよい。
図１５、１６に、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される様子が示される。
。
【００５４】
サポートリンク３３２は、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３１１ｌのうちの少なくともひとつの主リンクに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に回転中心である他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持されるリンクである。
図９乃至１６には、一個のサポートリンク３３２は、一方の端部を左右一対の主リンク３３１のうちの少なくともひとつの主リンク３３１に回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に回転中心である他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される様子が示される。
一方サポート連結軸３３２ｕが一個のサポートリンク３３２の一方の端部を回転自在に主リンク３３１に連結する。他方サポート連結軸３３２ｄがサポートリンク３３２の他方の端部を他方構造に回転自在に支持される。
【００５５】
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌは、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに各々に回転自在に連結され、他方の端部を他方構造に回転中心である他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に各々に支持される左右一対のリンクである。
図１乃至８には、左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに各々に回転自在に連結され、他方の端部を基台２００（他方構造）に回転中心である他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される様子が示される。
左右一対の一方サポート連結軸３３２ｕが、右側サポートリンク３３２ｒの一方の端部を回転自在に右側主リンク３３１ｒに連結し、左側サポートリンク３３２ｌの一方の端部を回転自在に左側主リンク３３１に連結する。
左右一対の他方サポート連結軸３３２ｄが、右側サポートリンク３３２ｒの他方の端部を回転自在に他方構造に連結し、左側サポートリンク３３２ｌの他方のの端部を他方構造に回転自在に支持する。
【００５６】
サポートリンク３３２が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されてもよい。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心の回りに回転自在に支持されてもよい。
サポートリンク３３２の他方の端部は、垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に支持されてもよい。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの他方の端部は、垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に支持されてもよい。
垂直移動案内機構３５０は、他方構造に固定される。
例えば、サポートリンク３３２の他方の端部は、基台２００に固定される垂直移動案内機構３５０を介して他方構造である基台２００に支持されてもよい。
【００５７】
一方サポートリンク３３３は、他方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌのうちの少なくともひとつの主リンクに回転中心である他方サポート回転中心３３３Ｃｄの回りに回転自在に連結され、一方の端部を一方構造に回転中心である一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に支持されるリンクである。
図１７乃至１８には、一個の一方サポートリンク３３３は、他方の端部を左右一対の主リンク３３１のうちの少なくともひとつの主リンク３３１に回転中心である他方サポート回転中心３３３Ｃｄの回りに回転自在に連結され、一方の端部を一方構造に回転中心である一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に支持される様子が示される。
他方サポート連結軸３３３ｄが一個の一方サポートリンク３３３の他方の端部を回転自在に主リンク３３１に連結する。一方サポート連結軸３３３ｕが一方サポートリンク３３３の一方の端部を一方構造に回転自在に支持される。
【００５８】
図示しないが、左右一対の一方サポートリンク３３３ｒ、３３３ｌは、他方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である他方サポート回転中心３３３Ｃｄの回りに各々に回転自在に連結され、一方の端部を一方構造に回転中心である一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に各々に支持される左右一対のリンクであってもよい。
左右一対の他方サポート連結軸３３３ｄが、右側一方サポートリンク３３３ｒの一方の端部を回転自在に左側主リンク３３１ｌに連結し、左側一方サポートリンク３３３ｌの一方の端部を回転自在に右側主リンク３３１ｒに連結する。
左右一対の一方サポート連結軸３３３ｕが、左右一対のサポートリンク３３３ｒ、３３３ｌの一方の端部を回転自在に一方構造に各々に連結する。
【００５９】
一方サポートリンク３３３が、一方の端部を一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道ｇ４に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に支持されてもよい。
左右一対の一方サポートリンク３３３ｒ、３３３ｌが、一方の端部を一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道ｇ４に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に支持されてもよい。
サポートリンク３３２の一方の端部は、一方垂直移動案内機構３５２を介して一方構造に支持されてもよい。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌの一方の端部は、一方垂直移動案内機構３５２を介して一方構造に支持されてもよい。
一方垂直移動案内機構３５２は、一方構造に設けられる。
例えば、一方サポートリンク３３３の一方の端部は、テーブル１００に固定される一方垂直移動案内機構３５２を介して一方構造であるテーブル１００に支持されてもよい。
【００６０】
垂直移動案内機構３５０は、サポート案内ブロック３５０Ｂとサポート案内機構３５０Ｒとで構成されてもよい。
サポート案内ブロック３５０Ｂは他方構造に対して配される。
サポート案内機構３５０Ｒは、サポート案内ブロック３５０Ｂを他方構造に対して特定水平軸ｘに直交する垂直軸に沿って延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在に案内する機構である。
サポートリンク３３２が、他方の端部をサポート案内ブロック３５０Ｂに他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
例えば、サポート案内機構３５０Ｒは、サポート案内ブロック３５０Ｂを第二軌道ｇ２に沿って案内するレール構造である。
【００６１】
垂直移動案内機構３５０は、左右一対のサポート案内ブロック３５０Ｂｒ、３５０Ｂｌと左右一対のサポート案内機構３５０Ｒｒ、３５０Ｒｌとで構成されてもよい。
左右一対のサポート案内ブロック３５０Ｂｒ、３５０Ｂｌは、左右に離れて他方構造に対して配される。
左右一対のサポート案内機構３５０Ｒｒ、３５０Ｒｌは、左右一対のサポート案内ブロック３５０Ｂｒ、３５０ｌを他方構造に対して特定水平軸ｘに直交する垂直軸に沿って延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在に案内する。
左右一対のサポート案内ブロック３５０Ｂは、右側サポート案内ブロック３５０Ｂｒと
左側サポート案内ブロック３５０Ｂｌとで構成される。
左右一対のサポート案内機構３５０Ｒは、右側サポート案内機構３５０Ｒｒと左側サポート案内機構３５０Ｒｌとで構成される。
右側サポートリンク３３２ｒが、他方の端部を右側サポート案内ブロック３５０Ｂｒに他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
左側サポートリンク３３２ｌが、他方の端部を左側サポート案内ブロック３５０Ｂｌに他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
例えば、右側サポート案内機構３５０Ｒｒは、右側サポート案内ブロック３５０Ｂｒを第二軌道ｇ２に沿って案内するレール構造である。左側サポート案内機構３５０Ｒｌは、左側サポート案内ブロック３５０Ｂｌを第二軌道ｇ２に沿って案内するレール構造である。
【００６２】
一方垂直移動案内機構３５２は、一方構造に設けられる。
一方垂直移動案内機構３５２は、一方サポート案内ブロック３５２Ｂと一方サポート案内機構３５２Ｒとで構成されてもよい。
一方サポート案内ブロック３５２Ｂは、一方構造に対して配される。
一方サポート案内機構３５２Ｒは、一方サポート案内ブロック３５２Ｂを一方構造に対して特定水平軸ｘに直交する垂直軸に沿って延びる軌道である第四軌道ｇ４に沿って移動自在に案内する機構である。
一方サポートリンク３３３が、一方の端部を一方サポート案内ブロック３５２Ｂに一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
例えば、一方サポート案内機構３５２Ｒは、一方サポート案内ブロック３５２Ｂを第四軌道ｇ４に沿って案内するレール構造である。
【００６３】
一方垂直移動案内機構３５２の第四軌道ｇ４が、直線状である特定水平軸に直交する向きに延びていてもよい。
一方垂直移動案内機構３５２の第四軌道ｇ４が、主リンク３３１とサポートリンク３３２と一方サポートリンク３３３のジオメトリに対応して、テーブル１００が真直ぐ上下運動する様になっていてもよい。
【００６４】
一方垂直移動案内機構３５２は、左右一対の一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒ、３５２Ｂｌと左右一対の一方サポート案内機構３５２Ｒｒ、３５２Ｒｌとで構成されてもよい。
左右一対の一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒ、３５２Ｂｌは、左右に離れて一方構造に対して配される。
左右一対の一方サポート案内機構３５２Ｒｒ、３５２Ｒｌは、左右一対の一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒ、３５２Ｂｌを一方構造に対して特定水平軸ｘに直交する垂直軸に沿って延びる軌道である第四軌道ｇ４に沿って移動自在に案内する。
左右一対の一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒ、３５２Ｂｌは、右側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒと左側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｌとで構成される。
左右一対の一方サポート案内機構３５２Ｒは、右側一方サポート案内機構３５２Ｒｒと左側一方サポート案内機構３５２Ｒｌとで構成される。
右側一方サポートリンク３３３ｒが、一方の端部を右側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒに一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左側一方サポートリンク３３３ｌが、一方の端部を左側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｌに一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
例えば、右側一方サポート案内機構３５２Ｒｒは、右側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｒを第四軌道ｇ４に沿って案内するレール構造である。左側一方サポート案内機構３５２Ｒｌは、左側一方サポート案内ブロック３５２Ｂｌを第四軌道ｇ４に沿って案内するレール構造である。
【００６５】
一方サポート回転中心３３３Ｃｕが一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置し、一方回転中心３３１Ｃｕと一方サポート回転中心３３３Ｃｕとの距離と一方サポート回転中心３３３Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの距離と一方サポート回転中心３３３Ｃｕと他方サポート回転中心３３３Ｃｄとの距離とが各々に等しくてもよい。
この様にすると、テーブル１００が基台２００に対して垂直に移動できる。
【００６６】
水平方向ばね部材３４０は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる部材である。
水平方向ばね部材３４０は、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる部材であってもよい。
水平方向ばね部材３４０は、設計上選択されたばね定数をもつ。
水平方向ばね部材３４０は、圧縮ばねであってもよい。
例えば、一対の圧縮ばねが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
水平方向ばね部材３４０は、引張ばねであってもよい。
例えば、引張ばねが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、一対の引張ばねが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、引張ばねが、一方の端部を右リンク３３１ｒの他方の端部に連結され、他方の端部を左リンク３３１ｌの他方の端部に連結され、左右一対の主リンク３３１の他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる。
水平方向ばね部材３４０は左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に直接に作用させてもよい。
水平方向ばね部材３４０は左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌを介して作用させてもよい。
図１乃至２２に、引張ばねが、一方の端部を右側主リンク３３０１ｒの他方の端部に連結され、他方の端部を左側主リンク３３１ｌの他方の端部に連結され、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの他方の端部に特定水平軸ｘに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる様子を示す。
【００６７】
上下移動案内機構（図示せず）は、基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な揺動運動を抑制し、上下方向に移動自在に案内する機構である。
上下移動案内機構（図示せず）は、上下方向ばね部材の剪断剛性で実現しても良い。
上下移動案内機構（図示せず）は、基台２００を基礎としてテーブル１００の揺動運動を押さえる復元力を発生させる機構であってもよい。
【００６８】
左右一対の第一軌道ｇ１が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って延びてもよい。
【００６９】
左右一対の第一軌道ｇ１が、直線状であり、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びてもよい。
図１乃至図４は、  左右一対の第一軌道ｇ１が、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びる様子を示す。
【００７０】
左右一対の第一軌道ｇ１が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びてもよい。
左右一対の第一軌道ｇ１が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に一定の比率で偏る様に延びてもよい。
図５乃至６、図９乃至２２は、第一軌道ｇ１が、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向の一方に一定の比率で偏る様に延びる様子を示す。
左右一対の第一軌道ｇ１が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に一定の比率で偏る様に一定の曲率を持って延びてもよい。
図７乃至８は、左右一対の第一軌道ｇ１が、下に凸の曲線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に一定の比率で偏る様に一定の曲率を持って延びている様子を示す。
【００７１】
左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って延びてもよい。
【００７２】
左右一対の第三軌道ｇ３が、直線状であり、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びてもよい。
図１５乃至図２０は、左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びる様子を示す。
【００７３】
左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びてもよい。
左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に延びてもよい。
図２１乃至２２は、第三軌道ｇ３が、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向の一方に一定の比率で偏る様に延びる様子を示す。
左右一対の第三軌道ｇ３が、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に一定の曲率を持って延びてもよい。
例えば、左右一対の第三軌道ｇ３が、上に凸の曲線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に一定の曲率を持って延びている。
【００７４】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが交差し、主リンク連結軸３３４が交差箇所で左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを連結し、水平方向ばね部材３４０が左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの他方構造に向く側に水平方向のばね力を作用させる構造において、左右の一方回転中心３３１Ｃｕの離間距離Ｈ１と左右の他方回転中心３３１Ｃｄの離間距離Ｈ２とが異なっていてもよい。
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが交差し、主リンク連結軸３３４が交差箇所で左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを連結し、水平方向ばね部材３４０が左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの他方構造に向く側に水平方向のばね力を作用させる構造において、左右の一方回転中心３３１Ｃｕの離間距離Ｈ１が左右の他方回転中心３３１Ｃｄの離間距離Ｈ２より小さくてもよい。
この様にすると、上下方向ばね部材の上下方向のばね力と水平ばね部材３４０の水平方向のばね力が合成されてテーブル支持機構が対象物１０に及ぼす支持力を所望の特性にすることができ、設計の自由度が増える。
【００７５】
以下に、本発明の第一乃至図十一の実施形態に係る対象物支持装置を、図を基に、説明する。
図１は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図２は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図３は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図４は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図５は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図６は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図７は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図８は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図９は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図１０は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図１１は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図１２は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図１３は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図１４は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図１５は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図１６は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図１７は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図１８は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図１９は、本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図２０は、本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。図２０は、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。図２１は、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の作用図である。
図中の、太字の上下方向の矢印付き直線、太字の水平方向の矢印付き直線、太字の水平方向の矢印付き曲線は、図示する構造による基台２００に対するテーブル１００の図示する向きの動きの自由度を示す。
直線、曲線に印がないのは、矢印で示す向きの動きが拘束されないことを意味する。
直線、曲線に×印があるのは、矢印で示す方向の動きが拘束されることを意味する。
直線、曲線に△印があるのは、矢印で示す方向の動きが一定限度の範囲内で拘束されることを意味する。
【００７６】
次に、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図１、２は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図と作用図である。
【００７７】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
【００７８】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
【００７９】
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びる。
【００８０】
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ１だけ離れる。
右側主リンク３３１ｒの他方回転中心３３１Ｃｄと左側主リンク３３１ｌの他方回転中心３３１Ｃｄとの離間距離が、所定の離間距離Ｈ１より大きい。
【００８１】
左右一対のサポートリンク３３２は、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３２ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒの一方サポート回転中心３３２Ｃｕと左側サポートリンク３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕとが左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに各々に回転自在に支持されされ、右側サポートリンク３３２ｒの他方サポート回転中心３３２Ｃｄと左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが基台２００に対して回転自在に支持される。
右側サポートリンク３３２ｒの他方サポート回転中心３３２Ｃｄと左側サポートリンク３３２ｌと他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
所定の離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。
【００８２】
次に、本発明の第二の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図３、４は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
【００８３】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
【００８４】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０とで構成される。
【００８５】
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びる。
【００８６】
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ１だけ離れる。
右側主リンク３３１ｒの他方回転中心３３１Ｃｄと左側主リンク３３１ｌの他方回転中心３３１Ｃｄとの離間距離が、所定の離間距離Ｈ１より大きい。
【００８７】
左右一対のサポートリンク３３２は、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３１ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに各々に回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
左右一対のサポートリンク３３２が、他方の端部を垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒの一方サポート回転中心３３２Ｃｕと左側サポートリンク３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕとが左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに各々に回転自在に支持され、右側サポートリンク３３２ｒの他方サポート回転中心３３２Ｃｄと左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが垂直移動案内機構３５０を介して基台２００に対して固定される。
右側サポートリンク３３２ｒの他方サポート回転中心３３２Ｃｄと左側サポートリンク３３２ｌと他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
所定の離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。
【００８８】
次に、本発明の第三の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図５、６は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
【００８９】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
【００９０】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
【００９１】
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図５に、水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏る様子が示される。
【００９２】
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ１だけ離れる。
右側主リンク３３１ｒの他方回転中心３３１Ｃｄと左側主リンク３３１ｌの他方回転中心３３１Ｃｄとの離間距離が、所定の離間距離Ｈ１より大きい。
【００９３】
左右一対のサポートリンク３３２は、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒの一方サポート回転中心３３２Ｃｕと左側サポートリンク３３２ｌの一方サポート回転中心３３２Ｃｕとが左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに各々に回転自在に支持され、右側サポートリンク３３２ｒの他方サポート回転中心３３２Ｃｄと左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが垂直移動案内機構３５０を介して基台２００に対して固定される。
右側サポートリンク３３２ｒの他方サポート回転中心３３２Ｃｄと左側サポートリンク３３２ｌと他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
所定の離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。
【００９４】
次に、本発明の第四の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図７、８は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
【００９５】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
【００９６】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
【００９７】
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、曲線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、曲線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、曲線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、円弧状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、円弧状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図７に、水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、円弧状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
【００９８】
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ１だけ離れる。
右側主リンク３３１ｒの他方回転中心３３１Ｃｄと左側主リンク３３１ｌの他方回転中心３３１Ｃｄとの離間距離が、所定の離間距離Ｈ１より大きい。
【００９９】
左右一対のサポートリンク３３２は、右側サポートリンク３３２ｒと左側サポートリンク３３２ｌとで構成される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
左右一対のサポートリンク３３２ｒ、３３２ｌが、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
左右一対のサポートリンク３３２が、他方の端部を垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、右側サポートリンク３３２ｒの他方サポート回転中心３３２Ｃｄと左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが垂直移動案内機構３５０を介して  基台２００に対して固定される。
右側サポートリンク３３２ｒの他方サポート回転中心３３２Ｃｄと左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ２だけ離れる。
所定の離間距離Ｈ１と所定の離間距離Ｈ２とが等しくても良い。
【０１００】
次に、本発明の第五の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図９、１０は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
【０１０１】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
【０１０２】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
【０１０３】
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図９に、水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
【０１０４】
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ１だけ離れる。
右側主リンク３３１ｒの他方回転中心３３１Ｃｄと左側主リンク３３１ｌの他方回転中心３３１Ｃｄとの離間距離が、所定の離間距離Ｈ１より大きい。
【０１０５】
１個のサポートリンク３３２が、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方の主リンクに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが垂直移動案内機構３５０を介して  基台２００に対して固定される。
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの中間に位置しても良い。
【０１０６】
次に、本発明の第六の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図１１、１２は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
【０１０７】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
【０１０８】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
【０１０９】
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図１１に、水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
【０１１０】
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンクｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが一致する。
右側主リンク３３１ｒの他方回転中心３３１Ｃｄと左側主リンク３３１ｌの他方回転中心３３１Ｃｄとが、特定水平軸ｘに沿って離れる。
【０１１１】
１個のサポートリンク３３２が、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方に回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが垂直移動案内機構３５０を介して  基台２００に対して固定される。
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを正面に見て、左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの中間に位置しても良い。
【０１１２】
次に、本発明の第七の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図１３、１４は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
【０１１３】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
【０１１４】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０とで構成される。
テーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
【０１１５】
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図１３に、水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
【０１１６】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差する。
【０１１７】
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って所定の離間距離Ｈ１だけ離れる。
右側主リンク３３１ｒの他方回転中心３３１Ｃｄと左側主リンク３３１ｌの他方回転中心３３１Ｃｄとの離間距離が、所定の離間距離Ｈ１より大きい。
【０１１８】
１個のサポートリンク３３２が、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方に回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
1個のサポートリンク３３２が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に固定され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄとが垂直移動案内機構３５０を介して  基台２００に対して固定される。
左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの中間に位置しても良い。
【０１１９】
次に、本発明の第八の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図１５、１６は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置では、テーブル支持機構の左右一対の主リンクが交差し、交差箇所で連結される。
【０１２０】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
【０１２１】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０とで構成される。
【０１２２】
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図１５に、水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
【０１２３】
一方水平移動案内機構３１２の左右一対の第三軌道ｇ３は、直線状であり、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びる。
図１５には、一体となった右側一方案内機構３１２Ｒｒと左側一方案内機構３１２Ｒｌが、右側一方案内ブロック３１２Ｂｒと左側一方案内ブロック３１２Ｂｌとを案内する様子が示される。
【０１２４】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差し、左右一対のリンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
主リンク連結軸３３４が、左右一対のリンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとに挟まれて交差する箇所を回転自在に連結する。
【０１２５】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕが、一方水平移動案内機構３１２を介して一方構造に支持される。
一方水平移動案内機構３１２は、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌと一体となった左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌとで構成されてもよい。
一体となった左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する機構である。
一体となった左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸に沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内するレール機構であってもよい。
例えば、一体となった左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内するスリットで形成されるレール機構である。
例えば、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心が、一方水平移動案内機構３１２を介してテーブル１００に支持される。
【０１２６】
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って可変の離間距離Ｈ１だけ離れる。
右側主リンク３３１ｒの他方回転中心３３１Ｃｄと左側主リンク３３１ｌの他方回転中心３３１Ｃｄとの離間距離が、可変の離間距離Ｈ１より大きい。
【０１２７】
１個のサポートリンク３３２が、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方に回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に支持され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが垂直移動案内機構３５０を介して  基台２００に対して固定される。
左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの中間に位置しても良い。
【０１２８】
次に、本発明の第九の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図１７、１８は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置では、テーブル支持機構の左右一対の主リンクが交差し、交差箇所で連結される。
【０１２９】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
【０１３０】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０とで構成される。
【０１３１】
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図１７に、水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
【０１３２】
一方水平移動案内機構３１２の左右一対の第三軌道ｇ３は、直線状であり、特定水平軸ｘに平行に互いに離間する向きに沿って延びる。
【０１３３】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差し、左右一対のリンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
主リンク連結軸３３４が、左右一対のリンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとに挟まれて交差する箇所を回転自在に連結する。
【０１３４】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕが、一方水平移動案内機構３１２を介して一方構造に支持される。
一方水平移動案内機構３１２は、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌと左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌとで構成されてもよい。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する機構である。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸に沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内するレール機構であってもよい。
例えば、左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内するスリットで形成されるレール機構である。
例えば、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心が、一方水平移動案内機構３１２を介してテーブル１００に支持される。
【０１３５】
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って可変の離間距離Ｈ１だけ離れる。
右側主リンク３３１ｒの他方回転中心３３１Ｃｄと左側主リンク３３１ｌの他方回転中心３３１Ｃｄとの離間距離が、可変の離間距離Ｈ１より大きい。
【０１３６】
１個のサポートリンク３３２が、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌのうちのひとつに回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に支持され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが垂直移動案内機構３５０を介して  基台２００に対して固定される。
水平に見て、左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの中間に位置しても良い。
【０１３７】
１個の一方サポートリンク３３３が、他方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌのうちのひとつに回転中心である他方サポート回転中心３３３Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
１個の一方サポートリンク３３３が、一方の端部を一方構造であるテーブル１００に一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に連結される。  
【０１３８】
次に、本発明の第十の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図１９、２０は、本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
本発明の第十の実施形態にかかる対象物支持装置では、テーブル支持機構の左右一対の主リンクが交差し、交差箇所で連結される。
【０１３９】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
【０１４０】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０と一方垂直移動案内機構３５２とで構成される。
【０１４１】
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図１７に、水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
【０１４２】
一方水平移動案内機構３１２の左右一対の第三軌道ｇ３は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って延びる。
一方垂直移動案内機構３５２の第四軌道ｇ４が、直線状であり、特定水平軸ｘに直交する垂直方向に沿って延びてもよい。
【０１４３】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差し、左右一対のリンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
主リンク連結軸３３４が、左右一対のリンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとに挟まれて交差する箇所を回転自在に連結する。
【０１４４】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕが、一方水平移動案内機構３１２を介して一方構造に支持される。
一方水平移動案内機構３１２は、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌと左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌとで構成されてもよい。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する機構である。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂ、３１２Ｂｌを特定水平軸に沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内するレール機構であってもよい。
例えば、左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内するスリットで形成されるレール機構である。
例えば、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心が、一方水平移動案内機構３１２を介してテーブル１００に支持される。
【０１４５】
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って可変の離間距離Ｈ１だけ離れる。
右側主リンク３３１ｒの他方回転中心３３１Ｃｄと左側主リンク３３１ｌの他方回転中心３３１Ｃｄとの離間距離が、可変の離間距離Ｈ１より大きい。
【０１４６】
１個のサポートリンク３３２が、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方に回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に支持され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが垂直移動案内機構３５０を介して  基台２００に対して固定される。
左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの中間に位置しても良い。
【０１４７】
１個の一方サポートリンク３３３が、他方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌのうちのひとつに回転中心である他方サポート回転中心３３３Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
１個の一方サポートリンク３３３が、一方の端部を一方構造であるテーブル１００に一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に連結される。  
１個の一方サポートリンク３３３が、一方の端部を一方垂直移動案内機構３５２を介して一方構造に支持され、一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道ｇ４に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側一方サポートリンク３３３ｌの一方サポート回転中心３３３Ｃｕが一方垂直移動案内機構３５２を介して  テーブル１００に対して固定される。
水平に見て、左側一方サポートリンク３３３ｌの一方サポート回転中心３３３Ｃｕが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに挟まれる中間に位置しても良い。
【０１４８】
次に、本発明の第十一の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。
図２１、２２は、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図、作用図である。
本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置では、テーブル支持機構の左右一対の主リンクが交差し、交差箇所で連結される。
【０１４９】
対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００とで構成される。
テーブル１００と基台２００とテーブル支持機構３００の主要構造は、前述した本発明の実施形態に係る対象物支持装置の主要構造と同じなので、本発明の第十一の実施形態にかかる対象物支持装置を特徴づける構造を主に説明する。
【０１５０】
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と一方水平移動案内機構３１２と上下方向ばね部材３２０とリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と垂直移動案内機構３５０と一方垂直移動案内機構３５２とで構成される。
【０１５１】
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏ってもよい。
水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏ってもよい。
図２１に、水平移動案内機構３１０の左右一対の第一軌道ｇ１は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏っている様子が示される。
【０１５２】
一方水平移動案内機構３１２の左右一対の第三軌道ｇ３は、直線状であり、特定水平軸ｘに沿って互いに離間するに従って、下方に偏る様に延びる。
一方垂直移動案内機構３５２の第四軌道ｇ４が、直線状であり、特定水平軸ｘに直交する垂直方向に沿って延びる。
【０１５３】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差し、左右一対のリンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
主リンク連結軸３３４が、左右一対のリンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとに挟まれて交差する箇所を回転自在に連結する。
【０１５４】
左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕが、一方水平移動案内機構３１２を介して一方構造に支持される。
一方水平移動案内機構３１２は、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌと左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌとで構成されてもよい。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内する機構である。
左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸に沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内するレール機構であってもよい。
例えば、左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌは、左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌを特定水平軸ｘに沿って延びる第三軌道ｇ３に沿って各々に移動自在に案内するスリットで形成されるレール機構である。
例えば、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方回転中心が、一方水平移動案内機構３１２を介してテーブル１００に支持される。
【０１５５】
右側主リンク３３１ｒの一方回転中心３３１Ｃｕと左側主リンク３３１ｌの一方回転中心３３１Ｃｕとが、特定水平軸ｘに沿って可変の離間距離Ｈ１だけ離れる。
右側主リンク３３１ｒの他方回転中心３３１Ｃｄと左側主リンク３３１ｌの他方回転中心３３１Ｃｄとの離間距離が、可変の離間距離Ｈ１より大きい。
【０１５６】
１個のサポートリンク３３２が、一方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方に回転中心である一方サポート回転中心３３２Ｃｕの回りに回転自在に連結される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
１個のサポートリンク３３２が、他方の端部を垂直移動案内機構３５０を介して他方構造に支持され、他方構造に上下方向に延びる軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在かつ他方サポート回転中心３３２Ｃｄの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが垂直移動案内機構３５０を介して  基台２００に対して固定される。
左側サポートリンク３３２ｌの他方サポート回転中心３３２Ｃｄが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの中間に位置しても良い。
【０１５７】
１個の一方サポートリンク３３３が、他方の端部を左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方に回転中心である他方サポート回転中心３３３Ｃｄの回りに回転自在に連結される。
１個の一方サポートリンク３３３が、一方の端部を一方構造であるテーブル１００に一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に連結される。  
１個の一方サポートリンク３３３が、一方の端部を一方垂直移動案内機構３５２を介して一方構造に支持され、一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道ｇ４に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に支持される。
例えば、左側一方サポートリンク３３３ｌの一方サポート回転中心３３３Ｃｕが一方垂直移動案内機構３５２を介して  テーブル１００に対して固定される。
水平に見て、左側一方サポートリンク３３２ｌの一方サポート回転中心３３３Ｃｕが、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに挟まれる中間に位置しても良い。
【０１５８】
以下に、本発明の実施形態に係る対象物支持機構の合成ばね反力を、図を基に、説明する。
図２３は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力グラフである。
図２３中の実線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と水平方向ばね部材３４０のばね力によりテーブル１００に作用する上下方向の反力（Ｎ）の関係を示すカーブである、
図２３中の実破線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と上下方向ばね部材３２０のばね力によりテーブル１００に作用する上下方向の反力（Ｎ）の関係を示すカーブである、
図２３中の細破線は、テーブル１００の上下変位（ｍ）と合成ばね反力の関係を示すカーブである。
軌道ｇとリンクの一方の端部の位置を選択することにより合成ばね反力の特性を選択できる。
【０１５９】
図２４は、本発明の第三乃至十一の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力の比較グラフである。
図２４の（Ａ）〜（Ｄ）は、案内レールの軌道の形状を除くの形状、諸元を一致させ、案内レールの軌道を以下の様にして、合成ばね反力の特性を比較したものである。
（Ａ）軌道が下に凹の曲線である実施形態のもの。
（Ｂ）軌道が上に凹の曲線である実施形態のもの。
（Ｃ）軌道が外側に遷移するに従って上がる直線である実施形態ものの。
（Ｄ）軌道が外側に遷移するに従って下がる直線である実施形態ものの。
図中で、破線で表す合成ばね反力は、軌道が水平直線である軌道ｇをもつ図１、図２に示すテーブル支持構造のものであり、比較のために示した。
図２４の（Ａ）〜（Ｄ）を比較すると以下のことが分かる。
【０１６０】
リンクの一方の端部が上方の端部であり、リンクの案内レールに案内される他方の端部が下方の端部である場合に、案内レールの曲率中心を軌道ｇより上方に位置する様に設定する、または軌道の傾斜が左右に遷移するにしたがって上向きになる様に設定すると、水平の軌道ｇを持つ従来のテーブル支持構造に比較して負ばねのばね定数を大きくしてばねがいわゆる剛になりマイナス傾斜が傾きを鋭くなり、上下ばねと合成した全体のばね特性を平坦にし、対象物を支持する対象物支持装置の応答特性を長周期にすることができる。
【０１６１】
リンクの一方の端部が上方の端部であり、リンクの案内レールに案内される他方の端部が下方の端部である場合に、案内レールの曲率中心が軌道ｇより下方に位置する様に設定し、または軌道の傾斜が左右に遷移するにしたがって下向きになる様に設定すると、水平の軌道ｇを持つ従来のテーブル支持構造に比較して負ばねのばね定数を小さくしてばねがいわゆる軟らかくなりマイナス傾斜の傾きが鈍くなり、上下ばねと合成した全体のばね特性が傾き、対象物を支持する対象物支持装置の応答特性を短周期にすることができる。
【０１６２】
以下に、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例を、図を基に、説明する。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例は、小型の対象物を支持する台に採用する。
図２５は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例である。図２６は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例の側面図である。図２７は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例の平面図である。
例えば、小型の対象物は、美術品である。
例えば、美術品を支持する台は、上下免震台２０と水平免震台３０とガラスケース４０とで構成される。
上下免震台２０は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵する。
水平免震台３０は、垂直方向の移動を拘束し、水平移動を許容して水平移動に応じて減衰力を発生させる台である。
ガラスケース４０は、美術品を覆う透明体である。
【０１６３】
上下免震台２０に採用される対象物支持装置は、テーブル１００と基台２００とＮ個のテーブル支持機構３００とで構成される。
図２５乃至２７に、テーブル１００と基台２００と４個のテーブル支持機構３００とで構成される対象物支持装置が示される。
テーブル支持機構３００は、水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０とで構成される。
先に説明した水平移動案内機構３１０と上下方向ばね部材３２０と左右一対のリンク機構３３０と水平方向ばね部材３４０と同じ構成の説明を省略し、上下免震台２０に採用される対象物支持装置に特徴のある構成を説明する。
【０１６４】
上から見て、Ｎ個のテーブル支持機構がテーブル１００を囲う様に配されてテーブル１００を各々に支持する。
【０１６５】
案内機構が、基台２００の側面を形成する板材に設けられ、第一軌道ｇ１に沿って形成されるスリットＳである。
案内ブロックが、案内機能を形成するスリットＳに案内される車輪Ｗを持つ。
車輪ＷがスリットＳに沿って転動する。
図中の（Ａ）は、直線水平の第一軌道ｇ１をもつ案内レールを設けられるものを示す。
図中の（Ｂ）は、直線傾斜した第一軌道ｇ１をもつ案内レールが設けられるものを示す。
図中の（Ｃ）は、下に凹んだ曲線の第一軌道ｇ１をもつ案内レールが設けられるものを示す。
【０１６６】
上下方向ばね部材３２０が、上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである。
【０１６７】
上述の実施形態に係る対象物支持装置を用いれば、以下の効果を発揮する。
基台２００を基礎としてテーブル１００に上向きのばね力を発生させ、左右一対の案内機構３１０が特定水平軸ｘに添って離れた左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌをテーブル１００または基台２００の他方に対して第一軌道ｇ１に沿って移動自在に案内し、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌの一方の端部がテーブル１００または基台２００の一方に回転自在に固定され、他方の端部が左右一対の案内ブロック３１０Ｂｒ、３１０Ｂｌに回転自在に固定され、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌに互いに接近する向きにばね力を作用させ、サポートリンク３３２の一方の端部をすくなくとも一方の主リンク３３１に回転自在に固定され、他方の端部をテーブル１００または基台２００の他方に回転自在に固定される様にしたので、サポートリンク３３２が主リンク３３１を介してテーブル１００の左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構３００の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、サポートリンク３３２が他方の端部を他方構造に上下方向に延びる第二軌道である第二軌道ｇ２に沿って移動自在になる様にしたので、テーブル１００の上下運動に伴って左右の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが上下運動する際のサポートリンク３３２の他方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
また、左右一対の第一軌道ｇ１が特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の第一軌道ｇ１の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、第二軌道ｇ２が上下方向に沿って延びる直線状軌道である様にしたので、サポートリンク３３２の他方の端部が第二軌道ｇ２に沿って直線状に上下移動し、主リンク部材を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
また、一方サポート回転中心３３２Ｃｕが一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心と３３１Ｃｄを結ぶ仮想の線である主リンク仮想線の上に位置して、
一方回転中心３３１Ｃｕと一方サポート回転中心３３２Ｃｕとの距離と一方サポート回転中心３３２Ｃｕと他方回転中心と３３１Ｃｄの距離と一方サポート回転中心３３２Ｃｕと他方サポート回転中心３３２Ｃｄとの距離とが各々に等しくなる様にしたので、主リンク３３１とサポートリンク３３２とが移動しつつ安定して傾斜し、主リンク３３１を介してテーブル１００の左右移動を安定して抑制できる。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの各々の一方回転中心が所定の離間距離Ｈ１だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌを左右に分ける様に水平に見て左右一対の主リンク３３１ｒ、３３１ｌが各々の一方回転中心３３１Ｃｕと他方回転中心３３１Ｃｄとの間で交差し、交差点で連結する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の一方案内機構３１２Ｒｒ、３１２Ｒｌが特定水平軸ｘに添って離れた左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌをテーブル１００または基台２００の他方に対して第三軌道ｇ３に沿って移動自在に案内し、左右一対の主リンク３３１の一方の端部が左右一対の一方案内ブロック３１２Ｂｒ、３１２Ｂｌに回転自在に固定され、他方の端部が左右一対の案内ブロック３１１Ｂｒ、３１１Ｂｌに回転自在に固定され、左右一対の主リンク３３１に互いに接近する向きにばね力を作用させ、サポートリンク３３２の一方の端部をすくなくとも一方の主リンク３３１に回転自在に固定され、他方の端部をテーブル１００または基台２００の他方に回転自在に固定され、一方サポートリンク３３３の一方の端部をテーブル１００または基台２００の他方に回転自在に固定され、他方の端部をすくなくとも一方の主リンクに回転自在に固定される様にしたので、サポートリンク３３２と一方サポートリンク３３３とが主リンク３３１を介してテーブル１００の左右の動きを抑制でき、リンクとばねの諸元を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、所望の免震機能を発揮できる。
また、一方サポートリンク３３３が一方の端部を一方構造に上下方向に延びる軌道である第四軌道ｇ４に沿って移動自在かつ一方サポート回転中心３３３Ｃｕの回りに回転自在に支持される様にしたので、テーブル１００の上下運動に伴って左右の主リンクが上下運動する際の一方のサポートリンクの一方の端部の上下移動を許し、テーブル支持機構が所望の免震機能を安定して発揮できる。
また、左右一対の第三軌道ｇ３が特定水平軸ｘに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の第三軌道ｇ３の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、第四軌道ｇ４が上下方向に沿って延びる直線状軌道である様にしたので、一方サポートリンク３３３の一方の端部が第四軌道ｇ４に沿って直線状に上下移動し、主リンク３３１を介してテーブルの左右移動を安定して抑制できる。
また、上下移動案内機構（図示せず）が、基台２００を基礎としてテーブル１００の相対的な揺動運動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、テーブル１００の揺動運動を抑制できる。
また、上から見てＮ個のテーブル支持機構３００がテーブルを囲う様に配されてテーブル１００を各々に支持する様にしたので、Ｎ個のテーブル支持機構３００の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
【０１６８】
本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
水平移動案内機構３１０が基台２００に設けられ場合を例にして説明したが、これに限定されない。例えば、水平移動案内機構３１０がテーブル１００に設けられてもよい。
第五乃至十一の実施形態では、テーブル支持構造の下部構造を特定の構造であるとして説明したが、これに限定されない。例えば、テーブル支持構造の下部構造を第一乃至四の実施形態の構造としてもよい。
【符号の説明】
【０１６９】
ｘ  特定水平軸
ｇ１  第一軌道
ｇ２  第二軌道
ｇ３  第三軌道
ｇ４  第四軌道
Ｈ１  離間距離
Ｈ２  離間距離
Ｓ  スリット
Ｗ  車輪
１０  対象物
２０  上下免震台
３０  水平免震台
４０  ガラスケース
１００  テーブル
２００  基台
３００  テーブル支持機構
３１０  水平移動案内機構
３１０Ｂｒ  右側案内ブロック
３１０Ｒｒ  右側案内機構
３１０Ｂｌ  左側案内ブロック
３１０Ｒｌ  左側案内機構
３１２  一方水平移動案内機構
３１２Ｂｒ  右側一方案内ブロック
３１２Ｒｒ  右側一方案内機構
３１２Ｂｌ  左側一方案内ブロック
３１２Ｒｌ  左側一方案内機構
３２０  上下方向ばね部材
３３０  リンク機構
３３１  主リンク
３３１ｒ  右側主リンク
３３１ｌ  左側主リンク
３３１Ｃｕ  一方回転中心
３３１Ｃｄ  他方回転中心
３３１ｕ  一方連結軸
３３１ｄ  他方連結軸
３３２    サポートリンク
３３２ｒ  右側サポートリンク
３３２ｌ  左側サポートリンク
３３２Ｃｕ  一方サポート回転中心
３３２Ｃｄ  他方サポート回転中心
３３２ｕ  一方サポート連結軸
３３２ｄ  他方サポート連結軸
３３３  一方サポートリンク
３３３ｒ  右側一方サポートリンク
３３３ｌ  左側一方サポートリンク
３３３Ｃｕ  一方サポート回転中心
３３３Ｃｄ  他方サポート回転中心
３３３ｕ  一方サポート連結軸
３３３ｄ  他方サポート連結軸
３３４  主リンク連結軸
３４０  水平方向ばね部材
３５０  垂直移動案内機構
３５０Ｂ  サポート案内ブロック
３５０Ｒ  サポート案内機構
３５０Ｂｒ  右側サポート案内ブロック
３５０Ｒｒ  右側サポート案内機構
３５０Ｂｌ  左側サポート案内ブロック
３５０Ｒｌ  左側サポート案内機構
３５２  一方垂直移動案内機構
３５２Ｂ  一方サポート案内ブロック
３５２Ｒ  一方サポート案内機構
３５２Ｂｒ  右側一方サポート案内ブロック
３５２Ｒｒ  右側一方サポート案内機構
３５２Ｂｌ  左側一方サポート案内ブロック
３５２Ｒｌ  左側一方サポート案内ブロック
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１７０】
【特許文献１】特開平１１−３７２１４号
【特許文献２】特開２００９−１６８１５７号
【特許文献３】特開２００８−１５７２８８号
【図１】
2020067175.tif 000003
【図２】
2020067175.tif 000004
【図３】
2020067175.tif 000005
【図４】
2020067175.tif 000006
【図５】
2020067175.tif 000007
【図６】
2020067175.tif 000008
【図７】
2020067175.tif 000009
【図８】
2020067175.tif 000010
【図９】
2020067175.tif 000011
【図１０】
2020067175.tif 000012
【図１１】
2020067175.tif 000013
【図１２】
2020067175.tif 000014
【図１３】
2020067175.tif 000015
【図１４】
2020067175.tif 000016
【図１５】
2020067175.tif 000017
【図１６】
2020067175.tif 000018
【図１７】
2020067175.tif 000019
【図１８】
2020067175.tif 000020
【図１９】
2020067175.tif 000021
【図２０】
2020067175.tif 000022
【図２１】
2020067175.tif 000023
【図２２】
2020067175.tif 000024
【図２３】
2020067175.tif 000025
【図２４】
2020067175.tif 000026
【図２５】
2020067175.tif 000027
【図２６】
2020067175.tif 000028
【図２７】
2020067175.tif 000029