(57)【要約】【課題】液圧着装置の可動部材への金属インサートの必要性をなくす。【解決手段】液圧マウント装置は、中心軸上に配置される上側部分および下側部分を有し、ハウジングチャンバを形成するハウジングを有する。パーティション部材が、ハウジングチャンバをポンピングチャンバと収容チャンバとに分割するよう、ハウジングチャンバ内に配置されている。ポンピングチャンバは、上側部分とパーティション部材との間に延設される。収容チャンバは、下側部分とパーティション部材との間に延設される。デカップラが、ポンピングチャンバと収容チャンバとを分離するパーティション部材に取り付けられる。エラストマー材料製の可動部材が、ポンピングチャンバ内に配置されるとともにデカップラに取り付けられる。可動部材は、第一硬度レベルを有する第一エラストマー材料と第二硬度レベルを有する第二エラストマー材料とで形成される。第一硬度レベルと第二硬度レベルとが互いに異なる。第二硬度レベルは第一硬度レベルより小さい。【選択図】図１
2020041696.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心軸上に配置される上側部分および下側部分を有し、ハウジングチャンバを形成する、ハウジングと、
前記ハウジングチャンバをポンピングチャンバと収容チャンバとに分割するよう前記ハウジングチャンバ内に配置されるパーティション部材であって、前記ポンピングチャンバは前記上側部分と前記パーティション部材との間にあり、前記収容チャンバは前記下側部分と前記パーティション部材との間にあるパーティション部材と、
前記ポンピングチャンバと前記収容チャンバとを分離する前記パーティション部材に取り付けられるデカップラと、
前記ポンピングチャンバ内に配置され、前記デカップラに取り付けられるエラストマー材料製の可動部材と、
を備える、液圧マウント装置であって、
前記可動部材は第一エラストマー材料および第二エラストマー材料で形成されており、前記第一エラストマー材料は第一硬度レベルを有し、前記第二エラストマー材料は第二硬度レベルを有し、前記第一硬度レベルと前記第二硬度レベルとは互いに異なる、
液圧マウント装置。
【請求項２】
前記第二硬度レベルは、前記第一硬度レベルより小さい、
請求項１に記載の液圧マウント装置。
【請求項３】
前記可動部材は、前記中心軸上に配置される円形形状を有し、内側部分と外側部分とを含み、前記内側部分は前記中心軸上に配置されており、前記外側部分は前記内側部分の回りに延設されている、
請求項２に記載の液圧マウント装置。
【請求項４】
前記外側部分は前記第二硬度レベルを有する前記第二エラストマー材料で形成されており、前記内側部分は前記第一硬度レベルを有する前記第一エラストマー材料で形成されている、
請求項３に記載の液圧マウント装置。
【請求項５】
前記ポンピングチャンバ内に、前記デカップラに隣接して、かつ、前記デカップラから間隔を空けて配置されるキャップを更に備え、
前記可動部材は、前記キャップと前記デカップラとの間に固定される、
請求項３又は４に記載の液圧マウント装置。
【請求項６】
前記キャップは、前記可動部材の前記外側部分を前記キャップと前記デカップラとの間に固定するよう、前記キャップから外側に前記デカップラに向かって延設され、前記可動部材の前記外側部分に係合する突起部を有し、
前記外側部分の前記第二硬度レベルは、前記可動部材が受ける体積変化に応じてヒンジ動作を可能とするレベルである、
請求項５に記載の液圧マウント装置。
【請求項７】
前記デカップラは、前記可動部材の移動を制限するよう、前記可動部材に隣接して、かつ、前記可動部材から間隔を空けて配置されるプラスチック材料で形成される圧縮プレートを有する、
請求項１から６のいずれか１項に記載の液圧マウント装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の液圧マウント装置のためのデカップラであって、
中心軸上に配置され、支持部材上端部と支持部材下端部との間で延設される支持部材と、
前記中心軸上に配置され、前記中心軸から前記支持部材上端部へと外側に径方向に延設され、前記支持部材上端部に取り付けられるエラストマー材料製の前記可動部材と、
を備えるデカップラ。
【請求項９】
請求項５又は６記載の液圧マウント装置のためのデカップラであって、
中心軸上に配置され、支持部材上端部と支持部材下端部との間で延設される支持部材と、
前記中心軸上に配置され、前記中心軸から前記支持部材上端部へと外側に径方向に延設され、前記支持部材上端部に取り付けられるエラストマー材料の前記可動部材と、
を備え、
前記デカップラは、前記キャップを含み、前記キャップは、前記可動部材を前記キャップと前記支持部材との間に固定するよう、支持部材上側フランジに隣接して配置される、
デカップラ。
【請求項１０】
前記中心軸上に配置され、かつ、前記支持部材下端部に接続される基部を更に備え、前記支持部材と前記基部との間を延びる凹部が形成される、
請求項８又は９に記載のデカップラ。
【請求項１１】
前記可動部材の移動を制限するよう、前記可動部材に隣接して、かつ、前記可動部材から間隔を空けて配置されるプラスチック材料で形成される圧縮プレートを更に備え、
前記圧縮プレートは前記凹部内に配置される、
請求項１０に記載のデカップラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概して、液圧マウント装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、振動を防止しながら振動源を支持するマウント（装着器）がある。こうした装着器の周知の応用には、自動車の構成要素の支持がある。こうしたマウントは典型的には、エンジン振動を防止するとともに、車両フレームすなわち車体構造に対するエンジンおよびそれに接続されたパワートレイン要素の運動を制御するよう動作する。エンジンやパワートレインのマウントの多くの応用においては、ある周波数の振動を選択的に防止するよう、マウントの減衰特性が変化することが望ましい。
【０００３】
このような液圧マウント装置の一つとして、米国特許第６０８２７１８号に、中心軸上に配置される上側部分および下側部分を有し、ハウジングチャンバを形成する、ハウジングを有する液圧マウント装置が開示されている。パーティション部材が、ハウジングチャンバをポンピングチャンバと収容チャンバとに分割するよう、ハウジングチャンバ内に配置されている。ポンピングチャンバは、上側部分とパーティション部材との間に延設される。収容チャンバは、下側部分とパーティション部材との間に延設される。デカップラが、ポンピングチャンバと収容チャンバとを分離するパーティション部材に取り付けられる。エラストマー材料の可動部材が、ポンピングチャンバ内に配置されるとともにデカップラに取り付けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６０８２７１８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
典型的には、ユーザが可動部材の剛性を変更するために金属インサートが可動部材内に埋設される。しかしながら、金属インサートを可動部材内に配置することによって、液圧マウント装置の製造コストが増加してしまう。
【０００６】
本発明は、液圧着装置の可動部材への金属インサートの必要性をなくすことを目的とする。また本発明は、可動部材が正圧状態において圧縮プレートへとまた真空状態においてキャップへと押し出されてしまうことを防止することを目的とする。さらにまた本発明は、金属インサートを用いずに異なる硬度レベルを有することができる可動部材を有する低コストの液圧マウント装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一の面では、中心軸上に配置される上側部分および下側部分を有し、ハウジングチャンバを形成する、ハウジングを有する液圧マウント装置を提供する。パーティション部材が、ハウジングチャンバをポンピングチャンバと収容チャンバとに分割するよう、ハウジングチャンバ内に配置されている。ポンピングチャンバは、上側部分とパーティション部材との間に延設される。収容チャンバは、下側部分とパーティション部材との間に延設される。デカップラが、ポンピングチャンバと収容チャンバとを分離するパーティション部材に取り付けられる。エラストマー材料の可動部材が、ポンピングチャンバ内に配置され、デカップラに取り付けられる。可動部材は第一エラストマー材料および第二エラストマー材料から成形される。第一エラストマー材料は第一硬度レベルを有し、第二エラストマー材料が第二硬度レベルを有する。第一硬度レベルと第二硬度レベルとは互いに異なる。
【０００８】
本発明の他の面では、液圧マウント装置のためのデカップラを提供する。デカップラは、中心軸上に配置され、支持部材上端部と支持部材下端部との間に延設される支持部材を有する。エラストマー材料の可動部材は、中心軸上に配置され、中心軸から支持部材上端部へと径方向外側に延設され、支持部材上端部に取り付けられる。可動部材は第一エラストマー材料および第二エラストマー材料から成形される。第一エラストマー材料は第一硬度レベルを有し、第二エラストマー材料は第二硬度レベルを有する。第一硬度レベルと第二硬度レベルとは互いに異なる。
【０００９】
本発明の他の利点は、添付図面を参照して以下の詳細な説明からより理解され、明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一の実施形態にかかる液圧マウント装置の断面図である。
【図２】図１の液圧マウント装置のデカップラの分解拡大断面図である。
【図３】図２の液圧マウント装置のデカップラの分解拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図面を参照して、本発明の一の実施形態に基づいて構成された液圧マウント装置２０を、概略的に図１に示す。図面では、対応する部品には同じ符号を付している。典型的には、液圧マウント装置２０は、車両の構成要素例えば車両のフレーム上に配置されるエンジンを支持するよう用いられる。なお、液圧マウント装置２０を、種々の他の振動源を支持するよう用いることができることは理解されよう。
【００１２】
図１に概略的に示す通り、液圧マウント装置２０は下側部分２４および上側部分２６を有するハウジング２２を有する。下側部分２４および上側部分２６は、中心軸Ａ上に配置され、互いから軸方向に間隔を空けて配置される。略管状の壁２８が、中心軸Ａ上に配置され、下側部分２４を上側部分２６に接続するよう、下側部分２４と上側部分２６との間に延設されており、これにより、下側部分２４と上側部分２６と壁２８との間に延設されるハウジングチャンバ３０，３２，３４を形成している。
【００１３】
下側部分２４は、略椀形状を有し、下側部分閉口端部３６と下側部分開口端部３８との間で中心軸Ａの回りに環状に延設される。下側部分リップ４０が、壁２８と係合するよう、下側部分開口端部３８から径方向外側に（中心軸Ａに対して垂直に）延設される。下側部分２４は、中心軸Ａ上に配置される、円筒状のカラー４２を有する。カラー４２は、下側部分閉口端部３６から外側にかつ中心軸Ａ回りに遠位側端部４４へと環状に延設される。カラー４２は、ハウジング２２を車両に取り付けるための、下側部分２４と遠位側端部４４との間で中心軸Ａに沿って延設される略円筒状の下側部分ボア４６を形成する。
【００１４】
上側部分２６は、略管形状を有し、中心軸Ａ上に配置され、下側部分２４から軸方向に間隔を空けて配置される。上側部分２６は、第一開口端部４８と第二開口端部５０との間で中心軸Ａの回りに環状に延設される。上側部分２６は、第一開口端部４８と第二開口端部５０との間で中心軸Ａに沿って延設される略円筒状の上側部分ボア５２を形成する。上側部分２６は、第二開口端部５０に配置される上側部分リップ５４を有する。上側部分リップ５４は、壁２８と係合するよう、中心軸Ａに対して垂直に、第一開口端部４８から径方向外側に延設される。なお、上側部分２６および下側部分２４の形状を、他の形状（例えば断面正方形または六角形）とできることは理解されよう。
【００１５】
エラストマー材料製の可撓体５６が、上側部分ボア５２に配置される。可撓体５６は、中心軸Ａの回りに環状に、かつ、可撓体下端部５８から可撓体上端部６０へと中心軸Ａに沿って軸方向に延設される。可撓体下端部５８は、上側部分２６の第二開口端部５０に隣接している。可撓体上端部６０は、上側部分２６の第一開口端部４８に隣接しており、車両の励起運動（ｅｘｉｃｉｔａｔｉｏｎ  ｍｏｖｅｍｅｎｔ）に応じて下側部分２４に対して弾性的に変形する。言い換えると、可撓体５６は、上側部分２６に取り付けられ、車両の励起運動（例えば振動運動）に応じて変形する。可撓体５６は、可撓体上端部６０に隣接して配置され、可撓体上端部６０から可撓体５６内へと軸方向に延設される可撓性チャンバ６２を形成する。可撓体５６は、可撓性チャンバ６２に隣接して配置され、可撓性チャンバ６２から間隔を空けて配置される一対の挿入溝６４を更に有する。挿入溝６４は、可撓体下端部５８と可撓体上端部６０との間で延設される。
【００１６】
ブッシング６６は、略円筒形状を有し、可撓体５６を車両に固定するための留め具を収容する可撓性チャンバ６２内に配置される。金属材料で形成される一対の外側インサート６８が、可撓体５６に剛性を与えるよう、挿入溝６４に配置される。可撓体５６は、可撓体５６を上側部分５４に固定するよう上側部分リップ５４と係合するための、可撓体下端部５８から径方向外側に上側部分リップ５４と平行に延設される可撓体フランジ７０を有する。
【００１７】
パーティション部材７２が、ハウジングチャンバ３０，３２，３４内において上側部分２６と下側部分２４との間に配置され、中心軸Ａの回りに環状に延設される。パーティション部材７２は、ハウジングチャンバ３０，３２，３４をポンピングチャンバ３０と収容チャンバ３２，３４とに分割する。ポンピングチャンバ３０は、可撓体５６とパーティション部材７２との間に延設される。収容チャンバ３２，３４は、下側部分２４とパーティション部材７２との間に延設される。本発明の一の実施形態では、磁気粘性（ＭＲ）流体をポンピングチャンバ３０内と収容チャンバ３２，３４内とに封入することができる。当該技術分野において知られているように、磁気粘性流体は、剪断特性が変化するよう反応する。より具体的には、磁気粘性流体は、磁気粘性流体に印加される磁界に応じて、その剪断特性を自由流動または粘性流体から制御可能な降伏強さを有する半固体まで変化できる機能がある。
【００１８】
図１および図２からよく分かる通り、デカップラ７４がハウジングチャンバ３０，３２，３４内に配置され、パーティション部材７２に取り付けられており、これにより、ポンピングチャンバ３０と収容チャンバ３２，３４とを分離し、ポンピングチャンバ３０内において追加的な減衰力を提供できる。デカップラ７４は、パーティション部材７２に取り付けられる、金属製の略管状の支持部材７６を有する。支持部材７６は、中心軸Ａの回りに環状に、かつ、中心軸Ａに沿って支持部材上端部７８と支持部材下端部８０との間で延設される。支持部材上端部７８は、ポンピングチャンバ３０内に配置される。支持部材下端部８０は、収容チャンバ３２，３４内に配置される。支持部材上側フランジ８２が、支持部材上端部７８から径方向外側に、かつ中心軸Ａの回りに環状に延設され、パーティション部材７２と係合する。略円形状の基部８４が、略円筒状の凹部８８を形成する支持部材下端部８０に取り付けられる。凹部８８は、基部８４と支持部材上端部７８と支持部材下端部８０との間で中心軸Ａに沿って延設される。支持部材下側フランジ８６が、基部８４から外側に、中心軸Ａに沿って、かつ、中心軸Ａの回りに環状に下側部分に向かって延設され、これにより、カラー４２の遠位側端部４４と係合する。
【００１９】
デカップラ７４は、エラストマー材料製の略円形状の可動部材（ｍｏｖｉｎｇ  ｍｅｍｂｅｒ）９０を有する。可動部材９０は、ポンピングチャンバ３０内において中心軸Ａ上に配置される。可動部材９０は、中心軸Ａから支持部材上端部７８へと径方向外側に延設される。デカップラ７４は、支持部材上端部７８に取り付けられ、ポンピングチャンバ３０を収容チャンバ３２，３４から分離している。エラストマー材料製のダイアフラム（隔壁）９２は、収容チャンバ３２，３４内に配置される。ダイアフラム９２は、下側部分開口端部３８とカラー４２の遠位側端部４４との間で中心軸Ａの回りに環状に延設される。ダイアフラム９２は、下側部分２４とパーティション部材７２と支持部材下側フランジ８６とカラー４２の遠位側端部４４との間で挟持されて、収容チャンバを流体チャンバ３２と補償チャンバ３４とに分割している。流体チャンバ３２は、ダイアフラム９２とパーティション部材７２との間に延設される。補償チャンバ３４は、下側部分２４とダイアフラム９２との間に延設される。
【００２０】
パーティション部材７２は、金属製の略円形状の上側スペーサ９４を有する。上側スペーサ９４は、ポンピングチャンバ３０内において、上側部分２６に軸方向に隣接して上側部分２６の下方に配置され、可撓体フランジ７０と係合状態にあり、これにより、可撓体フランジ７０を上側部分２６と上側スペーサ９４との間に挟持している。上側スペーサ９４は、上側スペーサ９４から外側に延設される少なくとも１つの突出部９６を有する。突出部９６は、可撓体フランジ７０と係合し、可撓体フランジ７０を上側部分２６と上側スペーサ９４との間に固定する。上側スペーサ９４は、少なくとも１つの突出部９６とは反対側に配置される、少なくとも１つの上側スペーサ溝９８を有する。上側スペーサ溝９８は、少なくとも１つの突出部９６から軸方向に間隔を空けて配置され、上側スペーサ９４に沿って中心軸Ａの回りに環状に延設される。エラストマー材料製のシール（封止部）１００が、上側スペーサ溝９８内に配置されて、中心軸Ａの回りに環状に延設される。
【００２１】
パーティション部材７２は、前記流体チャンバ３２内において上側スペーサ９４と下側部分２４との間で配置される略円形状の電磁支持リング１０２を有する。電磁支持リング１０２は、ダイアフラム９２を電磁支持リング１０２と下側部分２４との間に挟持するよう、中心軸Ａの回りに環状に延設される。また、電磁支持リング１０２は、シール１００を電磁支持リング１０２と上側スペーサ９４との間に挟持する。電磁支持リング１０２は、凹状部分１０４と、少なくとも１つのチャンネル（流路）１０６と、電磁溝１０８とを形成する。略円筒状の凹状部分１０４は、デカップラ７４を収容するよう中心軸Ａに沿って延設される。凹状部分１０４およびデカップラ７４から径方向に間隔を空けて配置される少なくとも１つのチャンネル１０６は、電磁支持リング１０２を貫通して中心軸Ａに対して平行に延設されており、ポンピングチャンバ３０と流体チャンバ３２との間の流体連通状態を実現する。壁２８に隣接して配置されるとともに少なくとも１つのチャンネル１０６から径方向に間隔を空けて配置される電磁溝１０８は、中心軸Ａの回りに環状に延設される。電磁界生成器１１０が電磁溝１０８内に配置される。電磁界生成器１１０は、略スプール（糸巻き）形状のボビン１１２を有する。ボビン１１２は、電磁溝１０８内に配置されるとともに中心軸Ａの回りに環状に延設される。少なくとも１本のコイル１１４が、ボビン１１２の周囲に環状に巻かれ、選択的に磁束を生成するよう電源１１６に電気的に接続されている。
【００２２】
略円形状のキャップ（蓋部材）１１８が、ポンピングチャンバ３０内において支持部材上側フランジ８２に隣接して、デカップラ７４から間隔を空けて配置され、これにより、可動部材９０をキャップ１１８と支持部材７６との間に固定することができる。キャップ１１８は、磁気粘性流体がキャップ１１８を通って流れることができるよう、キャップ１１８を貫通して延びる少なくとも１つのオリフィス１２０を有する。なお、少なくとも１つのオリフィス１２０は、磁気粘性流体がキャップ１１８を通って流れるのを可能にする、径方向および周方向に互いから間隔を空けて配置される複数のオリフィス１２０を有することもできることは理解されよう。
【００２３】
図３からよく分かる通り、可動部材９０は第一エラストマー材料および第二エラストマー材料で形成される。第一エラストマー材料は第一硬度レベルを有し、第二エラストマー材料は第二硬度レベルを有する。第一硬度レベルと第二硬度レベルとは互いに異なる。なお、本発明の一の実施形態においては、第二硬度レベルは第一硬度レベルより小さくできることを記載しておく。略円形状の可動部材９０は、内側部分１２２と外側部分１２４とを含む。内側部分１２２は、中心軸Ａ上に配置され、第一硬度レベルを有する第一エラストマー材料で形成される。外側部分１２４は、第二硬度レベルを有する第二エラストマー材料で形成され、内側部分１２２の回りに延設される。例えば、外側部分１２４は柔らかいエラストマー材料（例えば軟質ゴム）で形成でき、内側部分１２２は硬いエラストマー材料（例えば硬質ゴム）で形成できることを記載しておく。可動部材９０を第一エラストマー材料と第二エラストマー材料とで形成することによって、金属インサートを用いて異なる硬度レベルを有する可動部材９０を形成するよりも低コストとすることができる。例えば、金属インサートを金型に入れて可動部材９０を形成するのではなく、単に第一エラストマー材料と第二エラストマー材料とを成形（ｍｏｌｄｉｎｇ）することによって可動部材９０を形成することができる。これにより材料費だけでなく人件費を低減することができる。
【００２４】
キャップ１１８は、キャップ１１８からデカップラ７４の支持部材上側フランジ８２に向かって外側に延設される突起部１２６を有する。突起部１２６は、可動部材９０の外側部分１２４と係合して、可動部材９０の外側部分１２４をキャップ１１８とデカップラ７４の支持部材上側フランジ８２との間に固定することができる。可動部材９０の外側部分１２４をキャップ１１８とデカップラ７４との間に挟持するよう、突起部１２６を中心軸Ａの回りに環状に延設することができることを記載しておく。可動部材９０の移動を制限するために、プラスチック材で形成される略円形状の圧縮プレート１２８が、可動部材９０に隣接する凹部８８内に配置され、可動部材９０から間隔を空けて配置される。図３からよく分かる通り、可動部材９０の外側部分１２４のみが、突起部１２６とデカップラ７４との間で固定される。より柔らかいエラストマー材料で外側部分１２４が形成されているので、可動部材９０がポンピングチャンバ３０の体積変化を受けたときに、より硬いエラストマー材料で形成される内側部分１２２が外側部分１２４に対して移動／回動することができる。言い換えれば、デカップラ７４と突起部１２６とによって固定される外側部分１２４によって、車両の外部励起／振動運動に応じて内側部分１２２が外側部分１２４に対して移動できるヒンジ動作が提供される。さらに、外側部分１２４がより柔らかいエラストマー材料で形成されているので、この特徴により、可動部材９０をキャップ１１８とデカップラ７４との間で適切にしっかりと固定することができ、その結果、可動部材９０が正圧状態において圧縮プレート１２８へとまた真空状態においてキャップ１１８へと押し出されてしまうことを防止することができる。
【００２５】
動作時において、液圧マウント装置２０が励起運動（例えば振動運動）を受けると、可撓体５６が変形し、これにより、ポンピングチャンバ３０と流体チャンバ３２と補償チャンバ３４との体積変化が生じる。その結果、可動部材９０が体積変化に応じてポンピングチャンバ３０内で撓む。可動部材９０がポンピングチャンバ３０内で撓むと、励起運動に応じた追加的な減衰力を可動部材９０がポンプチャンバ３０に提供する。可動部材９０がポンピングチャンバ３０内で撓むと、外側部分１２４がキャップ１１８とデカップラ７４との間で固定されながら、内側部分１２２は外側部分１２４に対して移動して追加的な減衰力を提供できる。液圧マウント装置２０の減衰率をさらに変化させるために、電源１１６は、電磁場を生成するよう、電磁支持リング１０２に配置されるコイル１１４に電力を供給することができる。コイル１１４によって生成される電磁場に応じて、ポンピングチャンバ３０と流体チャンバ３２とに配置されている磁気粘性流体の粘度が変化する、例えば増加する。その結果、液圧マウント装置２０の減衰率が変化する。
【００２６】
もちろん、本発明に多くの変形および変更を上記の教示に基づいて行うことができ、詳細な説明以外にも添付の特許請求の範囲内で実現できる。上記の記載が本発明の新規性が有用となるあらゆる組み合わせにわたることは理解されよう。装置の請求項における語「前記」の使用は、それが前出されていて、その請求項またはその請求項が従属する請求項の範囲に含まれていることを意味する明確な引用である。「前記」を使用していないものでも、その請求項またはその請求項が従属する請求項の範囲に含まれている場合もある。
【符号の説明】
【００２７】
２０  液圧マウント装置
２２  ハウジング
２４  下側部分
２６  上側部分
２８  壁
３０，３２，３４  ハウジングチャンバ
３０  ポンピングチャンバ
３２，３４  収容チャンバ
３２  流体チャンバ
３４  補償チャンバ
３６  下側部分閉口端部
３８  下側部分開口端部
４０  下側部分リップ
４２  カラー
４４  遠位側端部
４６  下側部分ボア
４８  第一開口端部
５０  第二開口端部
５２  上側部分ボア
５４  上側部分リップ
５６  可撓体
５８  可撓体下端部
６０  可撓体上端部
６２  可撓性チャンバ
６４  挿入溝
６６  ブッシング
６８  外側インサート
７０  可撓体フランジ
７２  パーティション部材
７４  デカップラ
７６  支持部材
７８  支持部材上端部
８０  支持部材下端部
８２  支持部材上側フランジ
８４  基部
８６  支持部材下側フランジ
８８  凹部
９０  可動部材
９２  ダイアフラム
９４  上側スペーサ
９６  突出部
９８  上側スペーサ溝
１００  シール
１０２  電磁支持リング
１０４  凹状部分
１０６  チャンネル
１０８  電磁溝
１１０  電磁界生成器
１１２  ボビン
１１４  コイル
１１６  電源
１１８  キャップ
１２０  オリフィス
１２２  内側部分
１２４  外側部分
１２６  突起部
Ａ  中心軸
【図１】
2020041696.tif 000003
【図２】
2020041696.tif 000004
【図３】
2020041696.tif 000005