(57)【要約】【課題】電子部品の個体によって電極位置がずれていた場合であっても電極へのコンタクトミスなく正確な測定を行う。【解決手段】電子部品Ｗの被測定面Ｗ１を第１吸着保持機構３０により吸着保持して搬送する第１回転搬送機構３と、第１吸着保持機構３０に吸着保持された電子部品Ｗの電極面Ｗ０を撮像する第１カメラと、第１回転搬送機構３から電子部品Ｗを第２吸着保持機構４０に受け取って試験位置Ｐ２７へ搬送する第２回転搬送機構４と、第２吸着保持機構４０に吸着保持された電子部品Ｗを撮像する第２カメラ７と、第２カメラ７により確認した電子部品Ｗの位置および姿勢に基づいて第２吸着保持機構４０に吸着保持された電子部品Ｗの位置および姿勢を補正し、第１カメラにより確認した電子部品Ｗの電極の位置および姿勢に基づいて測定部の位置を補正した後、測定部を進行させて電子部品Ｗの電極に接触させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を吸着保持する第１吸着保持機構を備え、円周方向に間欠回転しつつ、供給ユニットから供給される電子部品の電極面と反対側の面を前記第１吸着保持機構により吸着保持して搬送する第１回転搬送機構と、
前記第１吸着保持機構に吸着保持された電子部品の電極面を撮像して電極の位置および姿勢を確認するための第１カメラと、
電子部品を吸着保持する第２吸着保持機構を備え、円周方向に間欠回転しつつ、前記第１回転搬送機構から電子部品を受け取って試験位置へ搬送する第２回転搬送機構と、
前記第２吸着保持機構に吸着保持された電子部品を撮像して電子部品の位置および姿勢を確認するための第２カメラと、
前記試験位置において電子部品の電極に接触する測定部であり、前記第２カメラにより確認した電子部品の位置および姿勢に基づいて前記第２吸着保持機構に吸着保持された電子部品の位置および姿勢を補正し、前記第１カメラにより確認した電子部品の電極の位置および姿勢に基づいて当該測定部の位置を補正した後、または、前記第１カメラにより確認した電子部品の電極の位置および姿勢と前記第２カメラにより確認した電子部品の位置および姿勢とに基づいて当該測定部の位置を補正した後、前記電子部品の電極に接触する測定部と
を含む試験装置。
【請求項２】
前記第１回転搬送機構と前記第２回転搬送機構とは、それぞれの回転軸が直交する位置にある請求項１記載の試験装置。
【請求項３】
前記第１回転搬送機構と前記第２回転搬送機構とは、それぞれの回転軸が平行な位置にある請求項１記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品に対する光学特性試験や電気特性試験等の試験を行う試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の試験装置として、例えば特許文献１に記載の半導体装置が知られている。この半導体装置では、吸着保持装置により移載された半導体装置の電極位置がカメラによって検出され、この検出された電極の位置ずれ量が判定され、この判定された位置ずれ量を元に測定ユニットのコンタクトの位置補正が行われる。この半導体装置では、移載される半導体装置の電極は吸着保持装置によって隠されないため、電極側からカメラによって検出することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３０８２９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、被測定面と電極面とが対向している電子部品の試験の際には、電子部品の測定ユニットが電子部品の被測定面の対面位置に配置される。そのため、電子部品の被測定面側を吸着しておくことができず、被測定面と反対側の面である電極面側を吸着して搬送することになる。したがって、上記特許文献１に記載のように搬送中に電極位置ずれを確認することができない。
【０００５】
そこで、本発明においては、電子部品の試験を行う際に電極面側を吸着搬送する場合であっても、電極位置を確認して位置および姿勢を補正することにより、電極へのコンタクトミスなく正確な測定を行うことが可能な試験装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の試験装置は、電子部品を吸着保持する第１吸着保持機構を備え、円周方向に間欠回転しつつ、供給ユニットから供給される電子部品の電極面と反対側の面を第１吸着保持機構により吸着保持して搬送する第１回転搬送機構と、第１吸着保持機構に吸着保持された電子部品の電極面を撮像して電極の位置および姿勢を確認するための第１カメラと、電子部品を吸着保持する第２吸着保持機構を備え、円周方向に間欠回転しつつ、第１回転搬送機構から電子部品を受け取って試験位置へ搬送する第２回転搬送機構と、第２吸着保持機構に吸着保持された電子部品を撮像して電子部品の位置および姿勢を確認するための第２カメラと、試験位置において電子部品の電極に接触する測定部であり、第２カメラにより確認した電子部品の位置および姿勢に基づいて第２吸着保持機構に吸着保持された電子部品の位置および姿勢を補正し、第１カメラにより確認した電子部品の電極の位置および姿勢に基づいて当該測定部の位置を補正した後、または、第１カメラにより確認した電子部品の電極の位置および姿勢と第２カメラにより確認した電子部品の位置および姿勢とに基づいて当該測定部の位置を補正した後、電子部品の電極に接触する測定部とを含むものである。
【０００７】
本発明の試験装置によれば、第１回転搬送機構において電極面と反対側の面が第１吸着保持機構に吸着保持された電子部品の電極面を第１カメラにより撮像して電極の位置および姿勢を確認するとともに、第２回転搬送機構において第１回転搬送機構から電子部品を受け取って第２吸着保持機構に吸着保持された電子部品を第２カメラにより撮像して電子部品の位置および姿勢を確認し、第２カメラにより確認した電子部品の位置および姿勢に基づいて第２吸着保持機構に吸着保持された電子部品の位置および姿勢を補正し、第１カメラにより確認した電子部品の電極の位置および姿勢に基づいて測定部の位置を補正した後、または、第１カメラにより確認した電子部品の電極の位置および姿勢と第２カメラにより確認した電子部品の位置および姿勢とに基づいて測定部の位置を補正した後、測定部を電子部品の電極にコンタクトミスなく接触させることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の試験装置によれば、電子部品の試験を行う際に電極面側を吸着搬送する場合であっても、電極位置を確認して位置および姿勢を補正することにより、電極へコンタクトミスなく接触させて、正確な試験を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態における試験装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１の試験装置の正面図である。
【図３】本発明の第２実施形態における試験装置の概略構成を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（実施の形態１）
図１は本発明の第１実施形態における試験装置の概略構成を示す平面図、図２は図１の試験装置の正面図である。
【００１１】
図１および図２に示すように、本発明の第１実施形態における試験装置１は、円周方向Ｒ１に間欠回転しつつ、供給ユニット２から供給される電子部品Ｗを吸着保持して搬送する第１回転搬送機構３と、円周方向Ｒ２に間欠回転しつつ、第１回転搬送機構３から電子部品Ｗを受け取って試験位置Ｐ２７へ搬送する第２回転搬送機構４と、電子部品Ｗの移載先となる収容ユニット５とを有する。
【００１２】
本実施形態における試験対象である電子部品Ｗは、対向する２平面が被測定面Ｗ０と電極面Ｗ１とに分かれている。なお、電子部品Ｗの大きさに限定はないが、０２０２（０．２ｍｍ×０．２ｍｍ）サイズ以下の微小チップに対応する。
【００１３】
供給ユニット２は、電子部品Ｗを取り出し位置に移動させる装置である。供給ユニット２は、例えばＸＹステージ、パーツフィーダやウェハリングホルダ等である。ＸＹステージは、電子部品Ｗを二次元アレイ状に配置した平板状のトレイを有し、このトレイを平板の面が拡がる二次元方向に移動させるものである。パーツフィーダは、投入された個別の電子部品Ｗを整列搬送させて取り出し位置に移動させるものである。ウェハリングホルダは、電子部品Ｗをウェハシート上に二次元アレイ状に貼着したウェハリングを保持し、このウェハリングをリング面が拡がる二次元方向に移動させるものである。本実施形態における供給ユニット２は、ウェハリングホルダである。電子部品Ｗは、供給ユニット２において、電極面Ｗ１側がウェハシートの表面に貼着されており、被測定面Ｗ０側が外側となってウェハシートの表面に並んでいる。
【００１４】
第１回転搬送機構３は、電子部品Ｗを先端で吸着保持および離脱させる複数の第１吸着保持機構３０と、複数の第１吸着保持機構３０が同一円周上に円周等配位置で設置される回転テーブル３１と、回転テーブル３１を駆動するモータとしてのダイレクトドライブモータ３２とを備えている。第１吸着保持機構３０は、回転テーブル３１の円周中心からの半径方向に沿って延び、その円周平面と平行に先端を外方に向けて配置されている。第１回転搬送機構３は、ダイレクトドライブモータ３２で回転テーブル３１を、その円周中心を通って半径方向と直交する軸（回転軸）３３を回転中心として円周方向Ｒ１に所定角度ずつ間欠回転させる。
【００１５】
第１吸着保持機構３０は、供給位置Ｐ１１において供給ユニット２から供給される電子部品Ｗの電極面Ｗ１と反対側の面である被測定面Ｗ０を吸着保持する。第１回転搬送機構３は、電子部品Ｗを吸着保持した第１吸着保持機構３０を、回転軸３３を回転中心として所定角度ずつ間欠回転させることにより、外周に沿って円周方向Ｒ１に搬送する。
【００１６】
第１回転搬送機構３の検出位置Ｐ１４には、第１カメラ６が半径方向外方に設置されている。第１カメラ６は、第１吸着保持機構３０に吸着保持された電子部品Ｗの電極面Ｗ１を撮像して電極の位置および姿勢を確認するためのものである。第１カメラ６により撮像された検出位置Ｐ１４に停止する電子部品Ｗの電極面Ｗ１の画像から電子部品Ｗの電極の位置および姿勢が検出される。
【００１７】
第２回転搬送機構４は、電子部品Ｗを先端で吸着保持および離脱させる複数の第２吸着保持機構４０と、複数の第２吸着保持機構４０が同一円周上に円周等配位置で設置される回転テーブル４１と、回転テーブル４１を駆動するモータとしてのサーボモータ４２とを備えている。第２吸着保持機構４０は、回転テーブル４１の円周中心からの半径方向に沿って延び、その円周方向と平行に先端を外方に向けて配置されている。
【００１８】
第２回転搬送機構４は、サーボモータ４２で回転テーブル４１を、その円周中心を通って半径方向と直交する軸（回転軸４３）を回転中心として円周方向Ｒ２に所定角度ずつ間欠回転させる。なお、第１回転搬送機構３の回転軸３３と第２回転搬送機構４の回転軸４３とは直交する位置にある。
【００１９】
第２吸着保持機構４０は、受渡位置Ｐ１５（Ｐ２１）において第１回転搬送機構３から電子部品Ｗを受け取る。第１回転搬送機構３の第１吸着保持機構３０は電子部品Ｗの電極面Ｗ１を外方に向けて吸着保持しているため、第２吸着保持機構４０は電子部品Ｗの電極面Ｗ１を吸着保持する。第２回転搬送機構４は、電子部品Ｗを吸着保持した第２吸着保持機構４０を、回転軸４３を回転中心として所定角度ずつ間欠回転させることにより、外周に沿って円周方向Ｒ２に搬送する。
【００２０】
第２回転搬送機構４の検出位置Ｐ２２には、第２カメラ７が半径方向外方に設置されている。第２カメラ７は、第２吸着保持機構４０に吸着保持された電子部品Ｗの被測定面Ｗ０を撮像して電子部品Ｗの位置および姿勢を確認するためのものである。第２カメラ７により撮像された検出位置Ｐ２２に停止する電子部品Ｗの被測定面Ｗ０の画像から電子部品Ｗの位置および姿勢が検出される。
【００２１】
第２回転搬送機構４の補正位置Ｐ２３には、第２カメラ７により確認した電子部品Ｗの位置および姿勢に基づいて第２吸着保持機構４０に吸着保持された電子部品Ｗの位置および姿勢を補正するＸＹθ補正ユニット８が配置される。ＸＹθ補正ユニット８には、電子部品Ｗを保持する吸引口（図示せず。）が形成されており、この吸引口で電子部品Ｗを保持しつつ、ＸＹ方向への移動およびθ回転を行うことにより、電子部品Ｗの位置および姿勢を補正する。
【００２２】
第２回転搬送機構４の試験位置Ｐ２７には、電子部品Ｗの被測定面Ｗ０の測定を行う測定手段としての測定ユニット９が配置されている。第２回転搬送機構４の試験位置Ｐ２７には、試験位置Ｐ２７に対して進退動作して電子部品Ｗの電極に接触する測定部としてのプローブ（図示せず。）と、プローブの進退動作をガイドする測定部ガイドとしてのプローブガイド（図示せず。）と、プローブおよびプローブガイドを駆動する駆動手段（図示せず。）とを備えている。
【００２３】
収容ユニット５は、電子部品Ｗの載置箇所を収容予定位置に移動させる装置である。例えば、ＸＹステージ、ウェハリングホルダや、電子部品Ｗを収容するポケットが形成されたテープを順次送り出すテーピングユニット等が挙げられる。本実施形態における収容ユニット５はウェハリングホルダである。
【００２４】
次に、上記構成の試験装置１の動作について説明する。
図１の供給位置Ｐ１１において第１吸着保持機構３０は、供給ユニット２のウェハリングホルダ上のウェハシートから電子部品Ｗをピックアップする。このとき、第１吸着保持機構３０は、供給ユニット２から供給される電子部品Ｗの電極面Ｗ１と反対側の面である被測定面Ｗ０を吸着保持する。第１回転搬送機構３は、電子部品Ｗを吸着保持した第１吸着保持機構３０を、回転軸３３を回転中心として所定角度ずつ間欠回転することにより、電子部品Ｗを検出位置Ｐ１４まで搬送する。
【００２５】
検出位置Ｐ１４において、第１吸着保持機構３０に吸着保持された電子部品Ｗの電極面Ｗ１を第１カメラ６により撮像して、電極の位置および姿勢を確認する。具体的には、電子部品Ｗの外形を基準にして、第１カメラ６の基準座標系上での電極Ｗの正規位置からの位置ずれ量（ΔＸ１，ΔＹ１）および姿勢ずれ量（Δθ１）を検出する。第１回転搬送機構３は第１吸着保持機構３０を、回転軸３３を回転中心として所定角度ずつ間欠回転することにより、電子部品Ｗを受渡位置Ｐ１５まで搬送する。
【００２６】
受渡位置Ｐ１５では、第１回転搬送機構３の第１吸着保持機構３０から第２回転搬送機構４の第２吸着保持機構４０への電子部品Ｗの受け渡しを行う。このとき、第２吸着保持機構４０は、電子部品Ｗの電極面Ｗ１を吸着保持する。第２回転搬送機構４は、図２の受渡位置Ｐ２１（図１の受渡位置Ｐ１５）で電子部品Ｗを吸着保持した第２吸着保持機構４０を、回転軸４３を回転中心として所定角度だけ間欠回転することにより、電子部品Ｗを検出位置Ｐ２２まで搬送する。
【００２７】
検出位置Ｐ２２において、第２吸着保持機構４０に吸着保持された電子部品Ｗの被測定面Ｗ０を第２カメラ７により撮像して、電子部品Ｗの位置および姿勢を確認する。具体的には、第２カメラ７の基準座標系上で、電子部品Ｗの正規位置からの位置ずれ量（ΔＸ２，ΔＹ２）および姿勢ずれ量（Δθ２）を検出する。第２回転搬送機構４は第２吸着保持機構４０を、回転軸４３を回転中心として所定角度だけ間欠回転することにより、電子部品Ｗを補正位置Ｐ２３まで搬送する。
【００２８】
補正位置Ｐ２３では、第２吸着保持機構４０からＸＹθ補正ユニット８へ電子部品Ｗを一旦受け渡し、ＸＹθ補正ユニット８により第２カメラ７で検出した位置ずれ量（ΔＸ２，ΔＹ２）および姿勢ずれ量（Δθ２）を解消するように電子部品Ｗの位置および姿勢を補正して、電子部品Ｗを第２吸着保持機構４０へ戻す。第２回転搬送機構４は第２吸着保持機構４０を、回転軸４３を回転中心として所定角度ずつ間欠回転することにより、電子部品Ｗを試験位置Ｐ２７まで搬送する。
【００２９】
試験位置Ｐ２７では、第１カメラ６により確認した電子部品Ｗの電極の位置および姿勢に基づいてプローブの位置を補正した後、プローブを進行させて電子部品Ｗの電極に接触させる。なお、本実施形態においては、プローブガイドの位置を補正することにより、プローブの位置を補正する。
【００３０】
具体的には、第１カメラ６により検出した電子部品Ｗの外形を基準とした位置ずれ量（ΔＸ１，ΔＹ１）および姿勢ずれ量（Δθ１）に合わせて、プローブガイドを第１カメラ６の基準座標系で移動させて補正する。次に、プローブをプローブガイドとともに進行させ、最後にプローブのみを進行させて、電子部品Ｗの電極に接触させ、測定を行う。
【００３１】
測定後、第２回転搬送機構４は第２吸着保持機構４０を、回転軸４３を回転中心として所定角度ずつ間欠回転することにより、電子部品Ｗを受渡位置Ｐ２１（受渡位置Ｐ１５）まで搬送する。受渡位置Ｐ２１では、第２回転搬送機構４の第２吸着保持機構４０から第１回転搬送機構３の第１吸着保持機構３０へ電子部品Ｗの受け渡しを行う。このとき、第１吸着保持機構３０は、電子部品Ｗの被測定面Ｗ０を吸着保持する。
【００３２】
第１回転搬送機構３は第１吸着保持機構３０を、回転軸３３を回転中心として所定角度ずつ間欠回転することにより、電子部品Ｗを収容位置Ｐ１７まで搬送する。収納位置Ｐ１７においては試験の結果、良品の電子部品Ｗのみを収容ユニット５のウェハリングホルダ上のウェハシートへ貼付を行う。なお、不良品の電子部品Ｗについては、図示しない不良収納ビンに収納する。
【００３３】
以上のように、本実施形態における試験装置１では、第１回転搬送機構３において電極面Ｗ１と反対側の被測定面Ｗ０が第１吸着保持機構３０に吸着保持された電子部品Ｗの電極面Ｗ１を第１カメラ６により撮像して電極の位置および姿勢を確認するとともに、第２回転搬送機構４において第１回転搬送機構３から電子部品Ｗを受け取って第２吸着保持機構４０に吸着保持された電子部品Ｗを第２カメラ７により撮像して電子部品Ｗの位置および姿勢を確認し、第２カメラ７により確認した電子部品Ｗの位置および姿勢に基づいて第２吸着保持機構４０に吸着保持された電子部品Ｗの位置および姿勢を補正して第１カメラ６により確認した電子部品Ｗの電極の位置および姿勢に基づいてプローブの位置を補正した後、プローブを進行させて電子部品Ｗの電極Ｗにコンタクトミスなく接触させて、正確な試験を行うことができる。
【００３４】
（実施の形態２）
図３は本発明の第２実施形態における試験装置の概略構成を示す正面図である。なお、第２実施形態において、第１実施形態と共通の構成要素については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００３５】
図３に示すように、本発明の第２実施形態における試験装置１Ａでは、第１実施形態におけるＸＹθ補正ユニット８を備えておらず、第２カメラ７を検出位置Ｐ２５に備えている。他の構成部分については第１実施形態における試験装置１と同一である。
【００３６】
この試験装置１Ａでは、前述と同様に第１吸着保持機構３０に吸着保持した電子部品Ｗを検出位置Ｐ１４まで搬送し、第１吸着保持機構３０に吸着保持された電子部品Ｗの電極面Ｗ１を第１カメラ６により撮像して、電極の位置および姿勢を確認（電子部品Ｗの外形を基準にして、第１カメラ６の基準座標系上での電極Ｗの正規位置からの位置ずれ量（ΔＸ１，ΔＹ１）および姿勢ずれ量（Δθ１）を検出）した後、電子部品Ｗを受渡位置Ｐ１５まで搬送する。
【００３７】
そして、受渡位置Ｐ１５において第１回転搬送機構３の第１吸着保持機構３０から受渡位置Ｐ２１の第２回転搬送機構４の第２吸着保持機構４０への電子部品Ｗの受け渡しを行い、第２回転搬送機構４により電子部品Ｗを検出位置Ｐ２５まで搬送する。検出位置Ｐ２５において、第２吸着保持機構４０に吸着保持された電子部品Ｗの被測定面Ｗ０を第２カメラ７により撮像して、電子部品Ｗの位置および姿勢を確認（第２カメラ７の基準座標系上で、電子部品Ｗの正規位置からの位置ずれ量（ΔＸ２，ΔＹ２）および姿勢ずれ量（Δθ２）を検出）した後、電子部品Ｗを試験位置Ｐ２７まで搬送する。
【００３８】
試験位置Ｐ２７では、電子部品Ｗの正規位置からの位置ずれ量（ΔＸ２，ΔＹ２）および姿勢ずれ量（Δθ２）に、電子部品Ｗの外形基準で検出した電極の正規位置からの位置ずれ量（ΔＸ１，ΔＹ１）および姿勢ずれ量（Δθ１）を合成して算出した補正量に基づいて、プローブガイドの位置を移動することによりプローブの位置を補正する。次に、プローブをプローブガイドとともに進行させ、最後にプローブのみを進行させて、電子部品Ｗの電極に接触させ、測定を行う。測定後の処理は第１実施形態と同様である。
【００３９】
以上のように、本実施形態における試験装置１Ａでは、第１回転搬送機構３において電極面Ｗ１と反対側の被測定面Ｗ０が第１吸着保持機構３０に吸着保持された電子部品Ｗの電極面Ｗ１を第１カメラ６により撮像して電極の位置および姿勢を確認するとともに、第２回転搬送機構４において第１回転搬送機構３から電子部品Ｗを受け取って第２吸着保持機構４０に吸着保持された電子部品Ｗを第２カメラ７により撮像して電子部品Ｗの位置および姿勢を確認し、第１カメラ６により確認した電子部品Ｗの電極の位置および姿勢と第２カメラ７により確認した電子部品Ｗの位置および姿勢とに基づいてプローブの位置を補正した後、プローブを進行させて電子部品Ｗの電極にコンタクトミスなく接触させて、正確な試験を行うことができる。
【００４０】
なお、上記第１および第２実施形態においては、第１回転搬送機構３の回転軸３３と第２回転搬送機構４の回転軸４３とが直交する位置にあるものを例として説明したが、これらの回転軸３３，４３が平行な位置にあっても良い。
【００４１】
第１吸着保持機構３０および第２吸着保持機構４０は、それぞれ回転テーブル３１，４１の円周中心からの半径方向に沿って延び、その円周平面と平行に先端を外方に向けて配置されているが、先端を回転軸３３，４３と平行に向けて配置されたものであっても良い。また、第１吸着保持機構３０および第２吸着保持機構４０は、それぞれ回転テーブル３１，４１の外周部に形成された凹みに電子部品Ｗを吸着するものであっても良い。
【００４２】
検査対象としての電子部品Ｗとしては、ＩＣ、ベアダイ、トランジスタ、ダイオード、光学センサ、ＳＡＷフィルタ、インダクタ、コンデンサ、ＥＳＤ素子、ＭＥＭＳマイクロフォン、発光素子や受光素子等が挙げられる。要するに、試験装置１，１Ａは、被測定面Ｗ０と電極面Ｗ１とが対向している電子部品Ｗの光学特性試験や電気特性試験等に適用可能である。
【００４３】
また、プローブに代わる測定部として、以下のものを採用することが可能である。
・測定基板（ＰＣＢ基板）上に測定ソケットを設けたもの。
・測定ソケット内にポゴピンと呼ばれるバネで逃げる構造のピンもしくは固定された電極が設置されたもの。
・基板無しで測定用電極を固定した測定モジュールを設置したもの。
・電極としてピン、電極用のフラット板、絶縁体と電極を複数枚積み重ねた、いわゆる積層タイプの電極板。
・測定用の電極上に異方性導電膜を置いたもの。
【００４４】
また、上記第１および第２実施形態においては、プローブをプローブガイドとともに進行させ、最後にプローブのみを進行させて電子部品Ｗの電極に接触させる構成としているが、プローブガイド等の測定部ガイドに代えて、プローブ等の測定部を固定する測定部ホルダとし、この測定部ホルダごと測定部を進行させて電子部品の電極に接触させる構成とすることも可能である。あるいは、測定部を進行させるのではなく、電子部品を保持した第２吸着保持機構４０を進行させて電極に測定部を接触させる構成とすることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明の試験装置は、ＩＣ、ベアダイ、トランジスタ、ダイオード、光学センサ、ＳＡＷフィルタ、インダクタ、コンデンサ、ＥＳＤ素子、ＭＥＭＳマイクロフォン、発光素子や受光素子等の電子部品に対する光学特性試験や電気特性試験等の試験を行う装置として有用である。
【符号の説明】
【００４６】
Ｗ  電子部品
Ｗ０  被測定面
Ｗ１  電極面
Ｗ２  電極
１，１Ａ  試験装置
２  供給ユニット
３  第１回転搬送機構
４  第２回転搬送機構
５  収容ユニット
６  第１カメラ
７  第２カメラ
８  補正ユニット
９  測定ユニット
３０  第１吸着保持機構
３１  回転テーブル
３２  ダイレクトドライブモータ
３３  回転軸
４０  第２吸着保持機構
４１  回転テーブル
４２  サーボモータ
４３  回転軸
【図１】
2020067362.tif 000003
【図２】
2020067362.tif 000004
【図３】
2020067362.tif 000005