(57)【要約】【課題】電気的特性を向上させることができる水晶素子および水晶デバイスを提供する。【解決手段】平面視して、略矩形となっている水晶片１２１と、水晶片１２１の両主面に設けられている励振電極部１２３と、励振電極部１２３から水晶片１２１の一方の短辺ｔ１まで延設されている接続引出部１２４と、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２の両端部に設けられている凸部１２５と、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１の両端部に設けられている突出部１２６とを有している。また、凸部１２５には、凹部Ｋａが形成されており、突出部１２６には、窪み部Ｋｂが形成されている。【選択図】図４
2020120350.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面視して、略矩形となっている水晶片と、
前記水晶片の両主面に設けられている励振電極部と、
前記励振電極部から前記水晶片の一方の短辺まで延設されている接続引出部と、
前記水晶片の他方の短辺の両端部に設けられている凸部と、
を有していることを特徴とする水晶素子。
【請求項２】
請求項１に記載の水晶素子であって、
前記水晶片の他方の短辺を含む前記水晶片の側面を平面視して、前記凸部に凹部が形成されている
ことを特徴とする水晶素子。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の水晶素子であって、
前記水晶片の一方の短辺の両端に設けられている突出部と、
を有していることを特徴とする水晶素子。
【請求項４】
請求項３に記載の水晶素子であって、
前記水晶片の一方の短辺を含む前記水晶片の側面を平面視して、前記突出部に窪み部が形成されている
ことを特徴とする水晶素子。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４に記載の水晶素子と、
前記水晶素子の前記接続引出部の一部が電気的に接続される搭載パッドが上面に設けられている基板部を主体とする基体と、
前記基体と接合され前記水晶素子を気密封止する蓋体と、
前記接続引出部の一部と前記搭載パッドとを電気的に接続する導電部材と、
を有している水晶デバイス。
【請求項６】
請求項５に記載の水晶デバイスであって、
前記導電部材が、前記突出部に形成されている窪み部内に充填されている
ことを特徴とする水晶デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶素子および当該水晶素子を用いた水晶デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶素子は、一対の励振電極および一対の接続引出部からなる金属パターンが形成されている水晶片を有している。このような水晶片は、平面視して、直線となっている四辺からなる矩形形状となっている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−８５３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
水晶素子は、接続電極部および接続引出部からなる金属パターンに交番電圧を印加したとき、励振電極部に挟まれている部分において主振動である厚みすべり振動が生じるが、同時に、副次的な振動である輪郭振動が生じる。また、主振動である厚みすべり振動が、励振電極部で挟まれている部分から漏れ伝搬し、水晶片の端部において反射した振動が生じる。このように、副次的な振動である輪郭振動や励振電極部から漏れ伝搬し水晶片の端部において反射した振動をスプリアス振動という。前述した水晶素子は、平面視して矩形形状の水晶片を用いているため、水晶片の外形寸法に依存する輪郭振動および漏れ伝搬し水晶片の端部において反射した振動が、主振動である厚みすべり振動に与える影響が大きくなり、電気的特性が低下する虞がある。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するために鑑みてなされており、電気的特性を向上させることができる水晶素子および水晶デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
平面視して、略矩形となっている水晶片と、水晶片の両主面に設けられている励振電極部と、励振電極部から水晶片の一方の短辺まで延設されている接続引出部と、水晶片の他方の短辺の両端部に設けられている凸部と、を有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
上記の構成によれば、電気的特性が向上された水晶素子および水晶デバイスを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本実施形態に係る水晶デバイスの一例である水晶振動子の斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面における断面図である。
【図３】本実施形態に係る水晶素子の斜視図である。
【図４】（ａ）は、本実施形態に係る水晶素子の上面を平面視した平面図であり、（ｂ）は、本実施形態に係る水晶素子の下面を上面側から平面透視した平面図である。
【図５】（ａ）は、本実施形態に係る水晶素子の一方の短辺を含む側面を側面視した側面図であり、（ｂ）は、本実施形態に係る水晶素子の他方の短辺を含む側面を側面視した側面図である。
【図６】本実施形態に係る水晶素子で用いる水晶片の上面を平面視した平面図である。
【図７】本実施形態に係る水晶素子を基体に実装したときの状態を示す状態図である。
【図８】図７のＢ−Ｂ断面における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照にして説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致しない。
【００１０】
（水晶デバイスの概略説明）
図１および図２は、本発明の実施形態における水晶デバイスの一例である水晶振動子に関する図面である。図３~図６は、本発明の実施形態における水晶素子に関する図面であ
る。図７および図８は、本実施形態に係る水晶素子が基体に実装されたときの状態を説明するための状態図である。
【００１１】
水晶振動子は、例えば、全体として、概略、薄型の直方体形状とされる電子部品であり、その寸法は適宜設定されてよい。例えば、長辺または短辺の長さが０．６ｍｍ〜７．５ｍｍであり、厚さが０．２ｍｍ〜１．２ｍｍとなっている。比較的小さいものは、長辺または短辺の長さが０．６ｍｍ〜３．２ｍｍであり、厚さが０．２ｍｍ〜０．８ｍｍである。
【００１２】
水晶振動子は、例えば、素子収容空間が形成されている基体１１０と、素子収容空間内に収容されている水晶素子１２０と、素子収容空間を塞ぐ蓋体１３０と、を有している。素子収容空間は、蓋体１３０により封止され、その内部は、例えば、真空とされ、または、適当なガス（例えば、窒素）が封入されている。
【００１３】
基体１１０は、基体１１０の主体となる基板部１１０ａと、水晶素子１２０を実装するための搭載パッド１１１と、水晶振動子を不図示の回路基板等に実装するための外部端子１１２と、を有している。基板部１１０ａは、搭載パッド１１１と所定の二つの外部端子１１とを電気的に接続するための導体（図示せず）を有している。図示しない導体は、基体１１０の表面および／または内部に設けられている。基体１１０は、例えば、基体１１０に素子収容空間を形成するための、枠状の枠部１１０ｂを有している。また、枠部１１０ｂは、基板部１１０ａの上面の縁部に沿って設けられている。基体１１０を構成している基板部１１０ａおよび枠部１１０ｂは、セラミック等の絶縁材料からなり、搭載パッド１１１および外部端子１１２は、例えば、金属等からなる導電層により構成されている。
【００１４】
蓋体１３０は、例えば、金属から構成され、基体１１０の上面にシーム溶接等により接合されている。
【００１５】
水晶素子１２０は、水晶片１２１と、水晶片１２１に設けられている一対の金属パターン１２２を有している。
【００１６】
水晶片１２１は、いわゆるＡＴカット水晶片である。すなわち、水晶において、Ｘ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）およびＺ軸（光軸）からなる直交座標系ＸＹＺを、Ｘ軸回りに例えば、３０°〜４５°（一例として３５°１５′）回転させて直交座標系ＸＹ´Ｚ´を定義したとき、ＸＺ´平面に平行な一対の主面を有している。
【００１７】
水晶素子１２０は、水晶片１２１と、水晶片１２１に設けられている一対の金属パターン１２２を有している。金属パターン１２２は、水晶片１２１に電圧を印加する一対の励振電極部１２３、および、水晶素子１２０を基体１１０の搭載パッド１１１に実装するた
めの一対の接続引出部１２４から構成されている。
【００１８】
励振電極部１２３は、一対となっており、例えば、水晶片１２１の両主面の中央側（すなわち水晶片１２１の両主面の外縁から離れて）に設けられている。
【００１９】
一対の接続引出部１２４は、接続部１２４ａと引出部１２４ｂとから構成されている。接続部１２４ａは、例えば、水晶片１２１の一方の短辺の縁部に沿って二つ並んで設けられている。引出部１２４ｂは、励振電極部１２３と接続部１２４ａとを電気的に接続するためのものであり、一端が励振電極部１２３に接続され、他端が接続部１２４ａに接続されている。引出部１２４ｂは、例えば、水晶片１２１の長辺と平行となるように設けられている。なお、引出部１２４ｂは、励振電極部１２３と接続部１２４ａとを電気的に接続することができれば、励振電極部１２３から水晶片１２１の長辺に向かって延設され水晶片１２１の長辺１２１の縁部に沿って接続部１２４ａまで延設されてもよい。
【００２０】
水晶素子１２０は、水晶片１２１の主面を基体１１０の基板部１１０ａの上面に対向させて、例えば、基体１１０の素子収容空間内に収容される。接続引出部１２４の接続部１２４ａは、導電部材１４０により基体１１０の搭載パッド１１１に接合される。こにより、水晶素子１２０は、基体１１０の基板部１１０ａに片持ち梁のように支持される。このとき、接続引出部１２４の接続部１２４ａと基体１１０の搭載パッド１１１とは電気的に接続された状態となっている。従って、一対の励振電極部１２３は、接続引出部１２４、導電部材１４０、搭載パッド１１１と電気的に接続され、ひいては、複数の外部端子１１２のいずれか二つと電気的に接続される。導電部材１４０は、例えば、導電性接着材からなる。
【００２１】
水晶振動子は、例えば、不図示の回路基板の実装面に基体１１０の下面を対向させて配置され、外部端子１１２が半田などにより回路基板のパッド上に接合されることによって、回路基板に実装される。回路基板には、例えば、発振回路が構成されている。発振回路は、外部端子１１２および搭載パッド１１１を介して一対の励振電極部１２３に交番電圧を印加して発振信号を生成する。この際、発振回路は、例えば、水晶片１２１の厚みすべり振動のうち基本波振動を利用する。
【００２２】
（水晶素子の概略説明）
図３〜図６は、本実施形態に係る水晶素子に関する図面である。図３は、本実施形態に係る水晶素子の斜視図である。図４は本実施形態に係る水晶素子の上面および下面の平面図であり、図５は本実施形態に係る水晶素子の短辺を含む側面の側面図である。図６は、本実施形態に係る水晶素子で用いる水晶片の平面図である。図７および図８は、本実施形態に係る水晶素子が基体に実装されたときの状態を説明するための状態図である。図７は水晶素子が基体に実装されたとき水晶素子の上面側から平面視したときの状態図であり、図８は図７のＢ−Ｂ断面における断面図である。水晶素子１２０は、図３〜図５に示したように、水晶片１２１と、励振電極部１２３および接続配線部１２４からなる金属パターン１２２と、から構成されている。
【００２３】
（水晶片の詳細説明）
水晶片１２１は、図６に示したように、概略、長手方向をＸ軸方向とする長方形となっている。水晶片１２１は、Ｘ軸方向において互いに対向する（Ｘ軸に対して垂直となる向きに平行となっている）一対の短辺ｔ１、ｔ２を有している。また、水晶片１２１は、一対の短辺ｔ１、ｔ２の両端部同士をつなぐ一対の長辺を有している。なお、用語の「辺」は、厳密には直線であるが、本実施形態では便宜上直線以外であってもよいものとする。
【００２４】
一対の短辺ｔ１、ｔ２のうち一方の短辺ｔ１は、水晶片１２１を平面視したとき、水晶
の結晶軸である＋Ｘ軸側に位置している短辺であり、他方の短辺ｔ２は水晶の結晶軸である−Ｘ軸側に位置している短辺である。
【００２５】
水晶片１２１は、一方の短辺ｔ１の両端部に突出部１２６が設けられている。別の観点では、水晶片１２１を平面視して、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１の両端部から＋Ｘ軸方向に突出部１２６が突出している状態となっている。
【００２６】
突出部１２６が設けられている水晶片１２１の一方の短辺ｔ１を含む水晶片１２１の側面を平面視（側面視）したとき、図６（ａ）に示すように、窪み部Ｋａ（Ｋａ１、Ｋａ２、Ｋａ３）が形成されている。
【００２７】
窪み部Ｋａは、例えば、第一窪み部Ｋａ１、第二窪み部Ｋａ２および第三窪み部Ｋａ３から構成されている。第一窪み部Ｋａ１は、図６（ａ）に示すように、水晶片１２１の下面に連なるように、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１の一端側に設けられている。第二窪み部Ｋａ２は、図６（ａ）に示すように、水晶片１２１の下面に連なるように、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１の他端側に設けられている。第三窪み部Ｋａ３は、図６（ａ）に示すように、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１の中点を通過しつつ水晶片１２１の上面及び下面に連なるように設けられている。
【００２８】
水晶片１２１は、他方の短辺ｔ２の両端部に凸部１２５が設けられている。別の観点では、水晶片１２１を平面視して、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２の両端部から−Ｘ軸方向に凸部１２５が突出している状態となっている。
【００２９】
凸部１２５が設けられている水晶片１２１の他方の短辺ｔ２を含む水晶片１２１の側面を平面視（側面視）したとき、図６（ｂ）に示すように凹部Ｋｂ（Ｋｂ１、Ｋｂ２、Ｋｂ３）が形成されている。
【００３０】
凹部Ｋｂは、例えば、第一凹部Ｋｂ１、第二凹部Ｋｂ２および第三凹部Ｋｂ３から構成されている。第一凹部Ｋｂ１は、図６（ｂ）に示すように、水晶片１２１の下面に連なるように、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２の一端側に設けられている。第二凹部Ｋｂ２は、図６（ｂ）に示すように、水晶片１２１の下面に連なるように、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２の他端側に設けられている。第三凹部Ｋｂ３は、図６（ｂ）に示すように、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２の中点を通過しつつ水晶片１２１の上面および下面に連なるように設けられている。
【００３１】
水晶片１２１の各種寸法は、適宜設定されてよい。例えば、水晶片１２１の（Ｘ軸方向）長さは０．４ｍｍ〜７．２ｍｍとなっており、水晶片１２１の短辺ｔ１、ｔ２の長さは０．３ｍｍ〜５．０ｍｍとなっている。
【００３２】
（金属パターンの詳細説明）
金属パターン１２２は、励振電極部１２３と接続引出部１２４とからなり、図３、図４および図５（ａ）に示すように、水晶片１２１の表面に設けられている。
【００３３】
接続引出部１２４は、図３および図４に示すように、接続部１２４ａおよび引出部１２４ｂからなる。
【００３４】
接続部１２４ａは、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１の両端部であって、水晶片１２１の上面、下面および側面に跨って設けられている。このとき、図３および図６（ａ）に示したように、突出部１２６の第一窪み部Ｋａ１および第二窪み部Ｋａ２の内壁面に設けられている。この第一窪み部Ｋａ１および第二窪み部Ｋａ２の内壁面に設けられている接続部
１２４ａは、図７および図８に示すように、水晶素子１２０が基体１１０に実装されているとき、導電部材１４０と接触している。別の観点では、第一窪み部Ｋａ１および第二窪み部Ｋａ２内には、導電部材１４０が重点されているといえる。
【００３５】
接続部１２４ａは、水晶片１２１の上面に設けられている接続部１２４ａの長さｄｕ（水晶素子１２０の上面を平面視したときの水晶片１２１の一方の短辺ｔ１から水晶片１２１の他方の短辺ｔ２側を向く接続部１２４ａの辺までのＸ軸に平行な長さ）が、水晶片１２１の下面に設けられている接続部１２４ａの長さｄｄ（水晶素子１２０の下面を上面側から平面透視したときの水晶片１２１の一方の短辺ｔ１から水晶片１２１の他方の短辺ｔ２側を向く接続部１２４ａの辺までのＸ軸に平行な長さ）よりも短くなっている。
【００３６】
（水晶素子で生じる振動について）
水晶素子１２０の励振電極部１２３に交番電圧を印加すると、一対の励振電極部１２３に挟まれている部分において基本波の厚みすべり振動が生じる。この一対の励振電極部１２３に挟まれている部分で生じる基本波の厚みすべり振動を主振動とする。
【００３７】
このとき、平面視して、励振電極部１２３から水晶片１２１の外縁に向かう向きに、主振動が漏れ伝搬している。この励振電極部１２３から水晶片１２１の外縁に向かう向きに生じる振動を漏れ振動とする。漏れ振動が水晶片１２１の外縁にまで到達すると、漏れ振動が水晶片１２１の側面で反射され、水晶片１２１の外縁から励振電極部１２３に向かう向きに振動が生じる。この水晶片１２１の側面で反射された振動を反射振動とする。
【００３８】
また、水晶素子１２０の励振電極部１２３に交番電圧を印加したとき、主振動だけでなく、副次的な振動である輪郭振動が生じる。輪郭振動は、水晶片１２１の外形の長さ（Ｘ軸に平行な長さおよびＺ´軸に平行な長さ）に依存している。
【００３９】
前述しているように、本実施形態に係る水晶素子は、水晶片１２１で生じる基本波の厚みすべり振動（主振動）を利用している。従って、水晶素子１２０および水晶デバイスにおいては、励振電極部１２３に交番電圧を印加したとき、主振動が他の振動、具体的には、反射振動および輪郭振動の影響を受けた状態の主振動が利用されているといえる。
【００４０】
以上のとおり、本実施形態に係る水晶素子１２０は、平面視して、略矩形となっている水晶片１２１と、水晶片１２１の両主面に設けられている励振電極部１２３と、励振電極部１２３から水晶片１２１の一方の短辺ｔ１まで延設されている接続引出部１２４と、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２の両端部に設けられている凸部１２５と、を有している。
【００４１】
このように、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２の両端部に凸部１２５を設けることで、水晶片１２１の長さに依存している輪郭振動の周波数を分散させることが可能となる。また、このようにすることで、励振電極部１２３の縁部と水晶片１２１の他方の短辺ｔ２側の水晶片１２１の長辺の端部との長さを、凸部１２５を設けていない場合と比較して長くすることができる。このため、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２側の水晶片１２１の長辺の端部で生じた反射振動が主振動に与える影響を低減させることができ、水晶素子１２０の電気的特性が低下することを低減させることが可能となる。
【００４２】
また、本実施形態に係る水晶素子１２０は、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２を含む水晶片１２１の側面を平面視して、凸部１２５に凹部Ｋが形成されている。
【００４３】
このように、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２を含む側面に、凹部Ｋａを形成することで、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２における長さを部分的に変化させることができる。このため、水晶片１２１の他方の短辺ｔ２付近で生じる副次的な輪郭振動の周波数を分散させ
ることができ、水晶素子１２０の電気的特性が低下することを低減させることが可能となる。
【００４４】
また、第一凹部Ｋａ１および第二凹部Ｋａ２を凸部１２５に設けることにより、漏れ振動および反射振動を凹部Ｋａが形成されている凸部１２５にて分散させることができ、反射振動が主振動へ与える影響を低減させることが可能となる。この結果、水晶素子１２０の電気的特性が低下することを低減させることができる。
【００４５】
また、本実施形態に係る水晶素子１２０は、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１の両端部に設けられている突出部１２６を有している。
【００４６】
このように、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１の両端部に突出部１２６を設けることで、水晶片１２１の長さに依存している輪郭振動の周波数を分散させることが可能となる。また、このようにすることで、励振電極部１２３の縁部と水晶片１２１の一方の短辺ｔ１側の水晶片１２１の長辺の端部との長さを、突出部１２６を設けていない場合と比較して長くすることができる。このため、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１側の水晶片１２１の長辺の端部で生じた反射振動が主振動に与える影響を低減させることができ、水晶素子１２０の電気的特性が低下することを低減させることが可能となる。
【００４７】
また、本実施形態に係る水晶素子１２０は、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１を含む水晶片１２１の側面を平面視して、突出部１２６に窪み部Ｋｂが形成されている。
【００４８】
このように、水晶片１２１の一方の短辺を含む側面に、窪み部Ｋｂを形成することで、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１における長さを部分的に変化させることができる。このため、水晶片１２１の一方の短辺ｔ１付近で生じる副次的な輪郭振動の周波数を分散させることができ、水晶素子１２０の電気的特性が低下することを低減させることが可能となる。
【００４９】
また、第一窪み部Ｋｂ１および第二窪み部Ｋｂ２を突出部１２６に設けることにより、漏れ振動および反射振動を窪み部Ｋｂが形成されている突出部１２６にて分散させることができ、反射振動が主振動へ与える影響を低減させることが可能となる。この結果、水晶素子１２０の電気的特性が低下することを低減させることができる。
【００５０】
本発明の実施形態に係る水晶デバイスは、このような水晶素子１２０と、水晶素子１２０の接続引出部１２４の一部、具体的には、接続部１２４ａが電気的に接続される搭載パッド１１１が上面に設けられている基板部１１０ａを主体とする基体１１０と、基体１１０と接合され水晶素子１２０を気密封止する蓋体１３０と、接続引出部１２４の一部と搭載パッド１１１とを電気的に接続する導電部材１４０と、を有している。
【００５１】
このように電気的特性が低下することを低減させることができる水晶素子１２０を用いることで、水晶デバイスの電気的特性を向上させることができる。
【００５２】
また、本発明の実施形態に係る水晶デバイスは、導電部材１４０が、突出部１２６に形成されている窪み部Ｋｂ、具体的には、第一窪み部Ｋｂ１および第二窪み部Ｋｂ２内に充填されている。
【００５３】
このようにすることで、導電部材１４０により水晶素子１２０を基体１１０に実装するとき、第一窪み部Ｋｂ１および第二窪み部Ｋｂ２の壁部により、隣接しあう導電部材１４０が水晶素子１２０の自重により潰され水晶片１２１の下面上で拡がり短絡することを低減することができる。
【００５４】
また、このようにすることで、水晶素子１２０と導電部材１４０との接着面積を窪み部Ｋｂが形成されていない場合と比較して広くすることができるので、接着強度を強くすることができる。この結果、水晶デバイスが落下したときに、水晶デバイスの電気的特性が低下することを低減させることが可能となる。
【００５５】
本発明は、上述した実施形態に限定されず、種々の態様であってよい。
【００５６】
水晶デバイスは、水晶振動子に限定されない。例えば、水晶デバイスは、水晶振動子となる部分と発振回路となる部分を備えた発振器であってもよい。また、水晶振動子は、水晶素子の他に、サーミスタ、ダイオードまたはトランジスタなどの他の電子部品を備えていてもよい。
【００５７】
水晶素子は、平板状でなく、中央部が肉厚となっているメサ型となっていてもよい。
【００５８】
励振電極は、略矩形形状でなく、円形または楕円形状となっていてもよい。
【００５９】
接続引出部は、Ｘ軸方向に沿って直線状に延設されていなくてもよく、例えば、水晶片の長辺側へ延設した後水晶片の短辺に沿って延設されていてもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１１０・・・基体
１１０ａ・・・基板部
１１０ｂ・・・枠部
１１１・・・搭載パッド
１１２・・・外部端子
１２０・・・水晶素子
１２１・・・水晶片
１２２・・・金属パターン
１２３・・・励振電極部
１２４・・・接続引出部
１２４ａ・・・接続部
１２４ｂ・・・引出部
１２５・・・凸部
１２６・・・突出部
Ｋａ・・・凹部
Ｋａ１・・・第一凹部
Ｋａ２・・・第二凹部
Ｋａ３・・・第三凹部
Ｋｂ・・・窪み部
Ｋｂ１・・・第一窪み部
Ｋｂ２・・・第二窪み部
Ｋｂ３・・・第三窪み部
１３０・・・蓋体
１４０・・・導電部材
【図１】
2020120350.tif 000003
【図２】
2020120350.tif 000004
【図３】
2020120350.tif 000005
【図４】
2020120350.tif 000006
【図５】
2020120350.tif 000007
【図６】
2020120350.tif 000008
【図７】
2020120350.tif 000009
【図８】
2020120350.tif 000010