(57)【要約】【課題】加工装置のメンテナンス等の妨げになり得る箇所を容易に把握することを可能とする手袋を提供する。【解決手段】手のひらが挿入される手のひら挿入部と、指が挿入される指挿入部と、を含む手袋であって、手のひら挿入部及び指挿入部には、芯物質を内包するマイクロカプセルが含有され、手のひら挿入部又は指挿入部に所定の圧力がかかると、マイクロカプセルが破れて芯物質が流出し、圧力がかかった箇所が認識可能となる。【選択図】図１
2020041246.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
手のひらが挿入される手のひら挿入部と、指が挿入される指挿入部と、を含む手袋であって、
該手のひら挿入部及び該指挿入部には、芯物質を内包するマイクロカプセルが含有され、
該手のひら挿入部又は該指挿入部に所定の圧力がかかると、該マイクロカプセルが破れて該芯物質が流出し、該圧力がかかった箇所が認識可能となることを特徴とする手袋。
【請求項２】
該芯物質は、発色剤又は顕色剤の一方であり、
該手のひら挿入部及び該指挿入部には、該発色剤又は該顕色剤の他方が更に含有され、
該発色剤と該顕色剤とが反応することにより、該圧力がかかった箇所が変色することを特徴とする請求項１に記載の手袋。
【請求項３】
該手のひら挿入部及び該指挿入部は、該マイクロカプセルを含有するポリウレタンで構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の手袋。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置のメンテナンス等に用いられる手袋に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェーハなどの半導体ウェーハや、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板などのパッケージ基板に代表される板状の被加工物を加工する際には、被加工物を切削する切削装置、レーザービームの照射によって被加工物を加工するレーザー加工装置などの各種の加工装置が用いられる。これらの加工装置はクリーンルーム内に設置され、被加工物に対して所定の加工を施す。
【０００３】
クリーンルームの面積が大きくなると、クリーンルームの建設や維持管理に要するコストが増大するため、クリーンルームには省スペース化が求められている。近年では、加工装置がクリーンルーム内で占めるスペースを削減するため、クリーンルームに設置される各種の加工装置の小型化、省スペース化が進められている。
【０００４】
例えば特許文献１には、複数の切削装置を隣接するように配置し、これらの切削装置で排気管及び排水管を含む配管エリアを共用することにより、被加工物を切削する設備の省スペース化を図る手法が開示されている。また、特許文献２には、加工前の被加工物を支持するロードテーブル、加工後の被加工物を支持するアンロードテーブル、及び被加工物を搬送する搬送手段の配置を工夫することによって、加工装置の省スペース化を図る手法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２７２８４２号公報
【特許文献２】特開２０１７−８４９５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
加工装置の小型化、省スペース化が進むと、加工装置を構成する構成要素が密集し、部品交換や清掃などのメンテナンスを行うためのスペースが狭くなる。その結果、加工装置のメンテナンスを手作業で行う際、作業者の手が意図せず加工装置の構成要素に接触し、作業が妨げられることがある。
【０００７】
そのため、加工装置のメンテナンスを行う際には、あらかじめ加工装置の構成要素が備える部品の位置や形状を正確に把握することが望まれる。しかしながら、様々な構成要素が複雑に密集した加工装置では各部品の位置や形状を把握しにくく、メンテナンスの妨げになり得る箇所（阻害箇所）の特定が困難な場合がある。
【０００８】
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、加工装置のメンテナンス等の妨げになり得る箇所を容易に把握することを可能とする手袋の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、手のひらが挿入される手のひら挿入部と、指が挿入される指挿入部と、を含む手袋であって、該手のひら挿入部及び該指挿入部には、芯物質を内包するマイクロカプセルが含有され、該手のひら挿入部又は該指挿入部に所定の圧力がかかると、該マイクロカプセルが破れて該芯物質が流出し、該圧力がかかった箇所が認識可能となる手袋が提供される。
【００１０】
なお、好ましくは、該芯物質は、発色剤又は顕色剤の一方であり、該手のひら挿入部及び該指挿入部には、該発色剤又は該顕色剤の他方が更に含有され、該発色剤と該顕色剤とが反応することにより、該圧力がかかった箇所が変色する。また、好ましくは、該手のひら挿入部及び該指挿入部は、該マイクロカプセルを含有するポリウレタンで構成されている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の一態様に係る手袋は、芯物質を内包するマイクロカプセルが含有された手のひら挿入部及び指挿入部を備える。そして、手のひら挿入部又は指挿入部に所定の圧力がかかると、マイクロカプセルが破れて芯物質が流出し、手袋の圧力がかかった箇所が変色等によって認識可能となる。
【００１２】
例えば、加工装置のメンテナンスを行う前に、手袋を装着した状態で手を加工装置の内部に挿入し、メンテナンスを行う位置に配置する。このとき、手袋と加工装置の構成要素とが接触すると、手袋の該構成要素と接触した箇所が変色等によって認識可能となる。これにより、作業者の手と接触しやすくメンテナンス作業の妨げになり得る加工装置の構成要素の位置を容易に把握できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】手袋を示す斜視図である。
【図２】図２（Ａ）は手袋を示す正面図であり、図２（Ｂ）は手のひら挿入部を示す断面図であり、図２（Ｃ）は指挿入部を示す断面図である。
【図３】阻害箇所の特定の様子を示す斜視図である。
【図４】指挿入部の一部が変色した手袋を示す背面図である。
【図５】図５（Ａ）は変形例に係る手袋を示す正面図であり、図５（Ｂ）は変形例に係る手のひら挿入部を示す断面図であり、図５（Ｃ）は変形例に係る指挿入部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る手袋の構成例について説明する。図１は手袋１１を示す斜視図である。手袋１１は、例えば加工装置のメンテナンスなどを行う作業者の手に装着される。
【００１５】
手袋１１は、手首が挿入される手首挿入部１３と、手のひらが挿入される手のひら挿入部１５と、指が挿入される指挿入部１７とを備える。手のひら挿入部１５は手首挿入部１３と連結されており、指挿入部１７は手のひら挿入部１５と連結されている。
【００１６】
指挿入部１７は、手のひら挿入部１５から手袋１１の手首挿入部１３とは反対側の端部に向かって５つの領域に分岐しており、これらの５つの領域によって、親指が挿入される第１挿入部１７ａ、人差し指が挿入される第２挿入部１７ｂ、中指が挿入される第３挿入部１７ｃ、薬指が挿入される第４挿入部１７ｄ、及び小指が挿入される第５挿入部１７ｅがそれぞれ構成される。
【００１７】
手袋１１の内部には、手首挿入部１３の端部１３ａから手のひら挿入部１５を介して指挿入部１７の先端に向かう収容空間１９が形成されている。この収容空間１９は、手首挿入部１３の端部１３ａで開口しており、第１挿入部１７ａ、第２挿入部１７ｂ、第３挿入部１７ｃ、第４挿入部１７ｄ、及び第５挿入部１７ｅの先端でそれぞれ閉塞している。
【００１８】
手に手袋１１を装着する際は、手首挿入部１３の端部１３ａから収容空間１９に手を挿入する。これにより、手のひらが手のひら挿入部１５に、５本の指が指挿入部１７にそれぞれ挿入され、手が手袋１１によって覆われる。
【００１９】
なお、図１では指挿入部１７が第１挿入部１７ａ、第２挿入部１７ｂ、第３挿入部１７ｃ、第４挿入部１７ｄ、及び第５挿入部１７ｅを備える手袋１１の構成を示しているが、手袋１１の形状は用途に応じて適宜設定される。例えば手袋１１は、親指が挿入される第１挿入部と、他の４本の指が挿入される第２挿入部とによって構成されるミトンタイプの手袋であってもよい。
【００２０】
例えば手袋１１は、シリコンウェーハなどの半導体ウェーハや、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板などのパッケージ基板に代表される板状の被加工物を加工する加工装置のメンテナンスを行う際に用いられる。加工装置の例としては、被加工物を切削する切削装置、被加工物を研削する研削装置、被加工物を研磨する研磨装置、被加工物をレーザービームの照射によって加工するレーザー加工装置などが挙げられる。
【００２１】
加工装置の内部では、加工装置を構成する多数の構成要素が複雑に密集しており、部品交換や清掃などのメンテナンスを行うためのスペースが十分に確保されていないことがある。この場合に加工装置のメンテナンスを手作業で行うと、作業者の手が意図せず加工装置の構成要素に接触し、作業が妨げられることがある。
【００２２】
そのため、加工装置のメンテナンスを行う際には、あらかじめ加工装置の構成要素が備える部品の位置や形状を正確に把握することが望まれる。しかしながら、様々な構成要素が複雑に密集した加工装置では各部品の位置や形状を把握しにくく、メンテナンスの妨げになり得る箇所（阻害箇所）の特定が困難な場合がある。
【００２３】
本実施形態に係る手袋１１は、芯物質を内包するマイクロカプセルが含有された手のひら挿入部１５及び指挿入部１７を備える。そして、手のひら挿入部１５又は指挿入部１７に所定の圧力がかかると、マイクロカプセルが破れて芯物質が流出し、手袋１１の圧力がかかった箇所が変色等によって認識可能となる。
【００２４】
例えば、加工装置のメンテナンスを行う前に、手袋１１を装着した状態で手を加工装置の内部に挿入し、メンテナンスを行う位置に配置する。このとき、手袋１１と加工装置の構成要素とが接触すると、手袋１１の該構成要素と接触した箇所が変色等によって認識可能となる。これにより、作業者の手と接触しやすくメンテナンス作業の妨げになり得る加工装置の構成要素の位置を容易に把握できる。以下、本実施形態に係る手袋１１の詳細について説明する。
【００２５】
図２（Ａ）は手袋１１を示す正面図である。また、図２（Ｂ）は手のひら挿入部１５のＡ−Ａ´線における断面図であり、図２（Ｃ）は指挿入部１７のＢ−Ｂ´線における断面図である。手袋１１は、手の形状に沿って形成された基材層２１によって構成されており、この基材層２１によって覆われた領域が手袋１１の収容空間１９に相当する。
【００２６】
図２（Ｂ）及び図２（Ｃ）に示すように、手のひら挿入部１５及び指挿入部１７はそれぞれ、収容空間１９を囲む基材層２１によって構成されている。そして、基材層２１には、芯物質を内包する複数のマイクロカプセル２３が含有されている。マイクロカプセル２３に内包された芯物質は、例えば、外部からの圧力によってマイクロカプセル２３が破れた際、手袋１１を変色させることが可能な物質でなる。
【００２７】
具体的には、芯物質として、基材層２１に浸透する染料などの着色剤を用いることができる。マイクロカプセル２３に着色剤が内包されている場合、手のひら挿入部１５又は指挿入部１７に所定の圧力がかかると、マイクロカプセル２３が破れて着色剤が流出する。そして、流出した着色剤が基材層２１に浸透し、基材層２１が着色される。これにより、手のひら挿入部１５又は指挿入部１７の圧力がかかった箇所が変色し、該箇所に印が付された状態となる。
【００２８】
なお、マイクロカプセル２３が破れていない状態では、マイクロカプセル２３に内包された着色剤の色は認識されないことが望ましい。そのため、マイクロカプセル２３は、可視光に対して遮光性を有する材料（可視光に対する透光性が低い材料、可視光が透過しにくい材料）でなることが好ましい。
【００２９】
また、芯物質として、顕色剤と反応して発色する発色剤を用いてもよい。具体的には、マイクロカプセル２３に、ロイコ色素等でなる発色剤を内包させるとともに、発色剤と反応して発色剤を発色させる顕色剤を基材層２１に含有させる。
【００３０】
この場合、手のひら挿入部１５又は指挿入部１７に所定の圧力がかかると、マイクロカプセル２３が破れて発色剤が流出する。そして、流出した発色剤と基材層２１に含まれる顕色剤との化学反応によって発色剤が発色する。これにより、手のひら挿入部１５又は指挿入部１７の圧力がかかった箇所が変色し、該箇所に印が付された状態となる。
【００３１】
なお、マイクロカプセル２３に顕色剤を内包させるとともに、発色剤を基材層２１に含有させてもよい。この場合、マイクロカプセル２３が破れると、顕色剤が流出して基材層２１に含有された発色剤と反応し、発色剤が発色する。
【００３２】
上記の着色剤、発色剤、顕色剤の材料に制限はなく、基材層２１の材質や、圧力がかかった箇所に表示される色などに応じて適宜選択できる。また、マイクロカプセル２３の破壊に必要な圧力の大きさは、マイクロカプセル２３の粒径や壁材の厚さなどを調整することによって制御できる。
【００３３】
なお、手袋１１の圧力がかかった箇所を認識可能とする方法は、上記の変色に限らず、発光などであってもよい。例えば、化学反応によって発光する２つの物質の一方をマイクロカプセル２３に内包させ、他方を基材層２１に含有させる。この場合、マイクロカプセル２３が破れると、マイクロカプセル２３に内包された物質と、基材層２１に含まれる物質とが反応して発光し、手袋１１の圧力がかかった箇所が認識可能となる。
【００３４】
また、手袋１１の材質や厚さに制限はなく、手袋１１の用途に応じて適宜設定される。例えば、手袋１１を加工装置のメンテナンスの際に用いる作業用手袋として用いる場合は、柔軟性、耐油性、耐摩耗性に優れるポリウレタンでなる基材層２１にマイクロカプセル２３を含有させることによって手袋１１を構成することが好ましい。また、基材層２１の厚さは、メンテナンスの際に手を適切に保護するため、例えば１．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００３５】
なお、上記では特に手のひら挿入部１５及び指挿入部１７の構成について説明したが、手首挿入部１３も同様に、マイクロカプセル２３を含有する基材層２１によって構成できる。
【００３６】
手袋１１は例えば、加工装置の、メンテナンスの妨げになり得る箇所（阻害箇所）の特定に用いることができる。図３は、阻害箇所の特定の様子を示す斜視図である。図３には、構成要素４を備える切削装置２の阻害箇所が手袋１１によって特定される例を示している。なお、切削装置２は、半導体ウェーハやパッケージ基板などの被加工物を切削する円環状の切削ブレードが装着される加工装置であり、構成要素４は切削ブレードを覆うブレードカバーである。
【００３７】
切削装置２のメンテナンス（部品交換や清掃など）を手作業で行う際、構成要素４が備える部品の先端などが作業者の手に接触し、作業が妨げられることがある。そのため、メンテナンスに先立ち、作業者の手と構成要素４とが接触する可能性がある阻害箇所の位置をあらかじめ確認しておくことが好ましい。この阻害箇所の位置の確認に手袋１１が用いられる。
【００３８】
まず、作業者は手に手袋１１を装着し、自身の手を切削装置２のメンテナンスを行う位置に配置する。このとき、例えば構成要素４の部品６が中指と薬指とに接触し、部品８が親指に接触すると、指挿入部１７のうち部品６，８と接触した領域に所定の圧力がかかる。その結果、指挿入部１７に含まれるマイクロカプセル２３が破れ、圧力がかかった箇所が変色等によって認識可能となる。
【００３９】
図４は、指挿入部１７の一部が変色した手袋１１を示す背面図である。図４に示すように、手袋１１の構成要素４と接触した接触領域２５は、マイクロカプセル２３が破れて芯物質が流出することによって変色する。これにより、メンテナンス時に作業者の手と接触しやすい阻害箇所の位置を容易に把握できる。そして、この阻害箇所の位置に基づいて、メンテナンス時の手の位置や動きを制限したり、阻害箇所が取り除かれるように構成要素４の設計を変更したりすることにより、メンテナンスを安全に行うことができる。
【００４０】
以上のように、本実施形態に係る手袋１１は、芯物質を内包するマイクロカプセル２３が含有された手のひら挿入部１５及び指挿入部１７を備える。そして、手のひら挿入部１５又は指挿入部１７に所定の圧力がかかると、マイクロカプセル２３が破れて芯物質が流出し、手袋１１の圧力がかかった箇所が認識可能となる。これにより、作業者の手と接触しやすくメンテナンス作業の妨げになり得る加工装置の構成要素の位置を容易に把握できる。
【００４１】
なお、マイクロカプセル２３に内包された芯物質として発色剤を用いる場合、発色剤を内包するマイクロカプセル２３と、顕色剤とがそれぞれ異なる層に含有されていてもよい。具体的には、発色剤を内包するマイクロカプセル２３を含む層（発色剤層）と、顕色剤を含む層（顕色剤層）とを積層することによって手袋を構成できる。発色剤層と顕色剤層とを含む手袋の構成例を、図５を用いて説明する。
【００４２】
図５（Ａ）は、変形例に係る手袋３１を示す正面図である。また、図５（Ｂ）は変形例に係る手のひら挿入部３５のＣ−Ｃ´線における断面図であり、図５（Ｃ）は変形例に係る指挿入部３７のＤ−Ｄ´線における断面図である。
【００４３】
手袋３１は、手首挿入部３３、手のひら挿入部３５、及び指挿入部３７を備えており、手袋３１の内部には、手首挿入部３３の端部３３ａから手のひら挿入部３５を介して指挿入部３７の先端に向かう収容空間３９が形成されている。また、指挿入部３７は、第１挿入部３７ａ、第２挿入部３７ｂ、第３挿入部３７ｃ、第４挿入部３７ｄ、及び第５挿入部３７ｅを備える。なお、以下に説明のない手袋３１の構成は、前述の手袋１１と同様である。
【００４４】
手袋３１は、手の形状に沿って形成された発色剤層４１と、発色剤層４１の表面の全体にわたって形成された顕色剤層４３とによって構成される。また、発色剤層４１によって覆われた領域が、手袋３１の収容空間３９に相当する。
【００４５】
発色剤層４１は、ポリウレタン等の基材にマイクロカプセル２３を含有させることによって構成される。また、顕色剤層４３は、ポリウレタン等の基材に顕色剤を含有させることによって構成される。ただし、発色剤層４１の基材と顕色剤層４３の基材とは、同一であっても異なっていてもよい。
【００４６】
図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）に示すように、手のひら挿入部３５及び指挿入部３７はそれぞれ、発色剤層４１と顕色剤層４３との積層体によって構成されている。そして、手のひら挿入部３５又は指挿入部３７に所定の圧力がかかると、発色剤層４１に含まれるマイクロカプセル２３が破れ、発色剤が流出する。
【００４７】
流出した発色剤は、発色剤層４１に浸透して顕色剤層４３に達し、顕色剤層４３に含まれる顕色剤と反応する。これにより、発色剤と顕色剤とが反応して発色し、手のひら挿入部３５又は指挿入部３７の圧力がかかった箇所が変色する。
【００４８】
なお、上記では特に手のひら挿入部３５及び指挿入部３７の構成について説明したが、手首挿入部３３も同様に、発色剤層４１と顕色剤層４３との積層体によって構成できる。
【００４９】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００５０】
１１  手袋
１３  手首挿入部
１３ａ  端部
１５  手のひら挿入部
１７  指挿入部
１７ａ  第１挿入部
１７ｂ  第２挿入部
１７ｃ  第３挿入部
１７ｄ  第４挿入部
１７ｅ  第５挿入部
１９  収容空間
２１  基材層
２３  マイクロカプセル
２５  接触領域
３１  手袋
３３  手首挿入部
３３ａ  端部
３５  手のひら挿入部
３７  指挿入部
３７ａ  第１挿入部
３７ｂ  第２挿入部
３７ｃ  第３挿入部
３７ｄ  第４挿入部
３７ｅ  第５挿入部
３９  収容空間
４１  発色剤層
４３  顕色剤層
２  切削装置
４  構成要素
６，８  部品
【図１】
2020041246.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2020041246.tif 000006
【図５】
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