(57)【要約】【課題】ケージの昇降移動により発生するパーティクルの発生箇所の削減及び当該パーティクルの拡散を防止可能な移載機を提供する。【解決手段】カセット９０を支持するケージ２０と、ケージ２０を昇降自在に支持する昇降装置３０と、を備える移載機１０であって、昇降装置３０は、ケージ２０を支持する装置本体３１と、装置本体３１を支持する支柱３２と、支柱３２に沿って設けられるラック３４と、装置本体３１に回転可能に設けられラック３４に係合するピニオン３５と、を備え、ピニオン３５の回転により装置本体３１を支柱３２の長手方向に昇降移動させるラックアンドピニオン機構部３３と、を備え、ラックアンドピニオン機構部３３は、支柱３２とともにカバー４０によって被覆されるものである。【選択図】図１
2020141083.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を支持するケージと、前記ケージを昇降自在に支持する昇降装置と、を備える移載機であって、
前記昇降装置は、   
前記ケージを支持する装置本体と、
前記装置本体を支持する支柱と、
前記支柱に沿って設けられるラックと、前記装置本体に回転可能に設けられ前記ラックに係合するピニオンと、を備え、前記ピニオンの回転により前記装置本体を前記支柱の長手方向に昇降移動させるラックアンドピニオン機構部と、
を備え、
前記ラックアンドピニオン機構部は、前記支柱とともにカバーによって被覆されること
を特徴とする移載機。
【請求項２】
前記装置本体は４本の支柱により昇降可能に支持されること
を特徴とする請求項１に記載の移載機。
【請求項３】
前記昇降装置は、前記ピニオンを回転する駆動部が前記装置本体に設けられていること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の移載機。
【請求項４】
前記装置本体は、所定長さのワイヤを介して、前記ケージを吊下げ支持すること
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の移載機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を支持するケージと、ケージを昇降自在に支持する昇降装置と、を備える移載機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記移載機としては、例えば、半導体製品或いは液晶表示素子製品の仕掛かり品である基板に対して蒸着処理等の所定の処理を行う処理装置に付設されるものがある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１の移載機が付設される処理装置においては、基板が収容されたカセットが搬送台車により当該処理装置の近傍まで搬送される。搬送されたカセットは、当該処理装置の上方に設けられる荷受台に搬送される。特許文献１の移載機は、荷受台に搬送されたカセットを処理装置まで搬送する。また、特許文献１の移載機は、当該処理装置において処理された基板が収容されたカセットを処理装置から荷受台まで搬送する。
特許文献１の移載機は、荷受台に載置されたカセットを把持するためのケージを備える。特許文献１の移載機は、荷受台に載置されたカセットに対してケージを昇降させる第１昇降機構と、カセットを把持したケージを処理装置に対して昇降させる第２昇降機構と、を備える。特許文献１の移載機においては、第１昇降機構を作動させることにより、ケージを荷受台に載置されたカセットまで移動させる。特許文献１の移載機においては、第２昇降機構を作動させることにより、カセットを把持したケージを処理装置まで移動させる。すなわち、特許文献１の移載機においては、カセットを載置台と処理装置との間で昇降移動させる場合には、第１昇降機構と第２昇降機構とを適宜作動させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】韓国登録特許第１０−１５１１９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記移載機のように、昇降機構によってカセットを昇降移動させる移載機においては、カセットを昇降移動させる際に、昇降機構の作動に起因するパーティクルが発生する。そのため、上記移載機のように、第１昇降機構及び第２昇降機構を作動させる移載機においては、パーティクルの発生源が第１昇降機構及び第２昇降機構となり、パーティクルの発生箇所が広範囲に存在するという問題があった。すなわち、パーティクルの発生源を所定の箇所に集約することができず、また、ケージの昇降移動により発生するパーティクルの発生箇所を削減することが難しいという問題があった。
さらに、上記移載機においては、昇降機構をカバーで被覆することが難しく発生したパーティクルを封じ込めることが難しい。そのため、ケージの昇降移動により発生するパーティクルが周囲に拡散することを防止することが難しいという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、ケージの昇降移動により発生するパーティクルの発生箇所の削減及び当該パーティクルの拡散を防止可能な移載機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の解決しようとする課題は以上であり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００７】
即ち、本発明の移載機は、被搬送物を支持するケージと、前記ケージを昇降自在に支持する昇降装置と、を備える移載機であって、前記昇降装置は、前記ケージを支持する装置本体と、前記装置本体を支持する支柱と、前記支柱に沿って設けられるラックと、前記装置本体に回転可能に設けられ前記ラックに係合するピニオンと、を備え、前記ピニオンの回転により前記装置本体を前記支柱の長手方向に昇降移動させるラックアンドピニオン機構部と、を備え、前記ラックアンドピニオン機構部は、前記支柱とともにカバーによって被覆されるものである。
上記構成では、ケージを支持する装置本体が、ラックと、ピニオンとを備えるラックアンドピニオン機構部によって昇降移動するとともに、ラックアンドピニオン機構部がカバーによって被覆される。
【０００８】
本発明の移載機は、上記移載機において、前記装置本体は４本の支柱により昇降可能に支持されるものである。
上記構成では、４本の支柱が装置本体を支持する。
【０００９】
本発明の移載機は、上記移載機において、前記昇降装置は、前記ピニオンを回転する駆動部が前記装置本体に設けられているものである。
上記構成では、装置本体に設けられる駆動部が駆動することでピニオンが回転する。そして、ピニオンが回転することで、装置本体が支柱の長手方向に昇降移動する。
【００１０】
本発明の移載機は、上記移載機において、前記装置本体は、所定長さのワイヤを介して、前記ケージを吊下げ支持するものである。
上記構成では、ケージが、装置本体に設けられるワイヤによって吊下げ支持される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の移載機によれば、ラックと、ピニオンとを備えるラックアンドピニオン機構部を支柱に沿って設け、ケージを支持する装置本体を当該ラックアンドピニオン機構部によって昇降移動させるため、パーティクルの発生源を、支柱に沿って設けたラックアンドピニオン機構部に集約できる。また、ラックアンドピニオン機構部をカバーによって被覆することで、発生したパーティクルをカバー内に封じ込めることができる。このようなことから、ケージの昇降移動により発生するパーティクルの発生箇所を削減することができるとともに、ケージの昇降移動により発生するパーティクルの拡散を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る移載機の斜視図である。
【図２】本発明に係る移載機の平面図である。
【図３】本発明に係る移載機においてケージがカセットを把持して下降する前の正面図である。
【図４】本発明に係る移載機においてケージがカセットを把持して下降した場合の正面図である。
【図５】（ａ）は、本発明に係る移載機において、支柱からカバーを外した場合のラックアンドピニオン機構部近傍の拡大斜視図であり、（ｂ）は、本発明に係る移載機において、支柱にカバーを被覆させた場合のラックアンドピニオン機構部近傍の拡大斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明に係る移載機１０について説明する。
図１に示すように、移載機１０は、半導体製品或いは液晶表示素子製品を製造する製造設備に設けられるものである。より詳しくは、移載機１０は、半導体製品或いは液晶表示素子製品の仕掛かり品である基板に対して蒸着処理等の所定の処理を行う処理装置（図示せず）に付設される装置である。なお、移載機１０は、基板に対して所定の処理を行う処理装置に付設されるものに限定されるものではなく、当該処理装置以外の装置に付設される装置、被搬送物を保管等する設備に付設する装置、等であっても構わない。
移載機１０が付設される上記処理装置には、上記基板を収納したカセット９０（「被搬送物」の一例）が搬送される。カセット９０は、上記製造設備内に設けられる走行レールに沿って走行する搬送台車（図示せず）によって上記処理装置まで搬送される。カセット９０は、その一方側面或いは両側面が開口した略箱型形状の部材により形成され、その内部に複数の基板を収容可能に構成されている。当該搬送台車により搬送されたカセット９０は、上記処理装置の上方に設けられる荷受台１１に載置される。
移載機１０は、荷受台１１に載置されたカセット９０を上記処理装置のロードポート（図示せず）に移載する。又は、移載機１０は、上記処理装置のロードポートに載置されたカセット９０を荷受台１１に移載する。すなわち、移載機１０は、カセット９０を、荷受台１１と上記処理装置のロードポートとの間で昇降移動させる。
【００１４】
図１から図４に示すように、移載機１０は、カセット９０を支持するケージ２０と、ケージ２０を昇降自在に支持する昇降装置３０と、から主に構成されている。
ケージ２０は、カセット９０の上面に設けられるフランジ部９１と係合して、カセット９０を支持する。ケージ２０は、後述する昇降装置３０の装置本体３１の下方に設けられる。ケージ２０は、ケージ本体２１と、係合部２２と、旋回機構２３と、から主に構成されている。
ケージ本体２１は、ケージ２０の本体部分である。ケージ本体２１は、昇降装置３０により吊り下げられた状態で支持される。ケージ本体２１は箱体により形成される。ケージ本体２１は、その箱体の内部に支持部材（図示せず）を備える。ケージ本体２１は、当該支持部材を介して係合部２２及び旋回機構２３を支持する。
係合部２２は、カセット９０のフランジ部９１と係合する。係合部２２は、ケージ本体２１の支持部材において、係合するカセット９０のフランジ部９１に対応する位置に設けられる。係合部２２は、旋回機構２３の駆動により、ケージ本体２１の支持部材に対して旋回する。係合部２２は、ケージ本体２１の支持部材に対して旋回することで、カセット９０のフランジ部９１と係合する係合状態と、カセット９０のフランジ部９１との係合を解除する係合解除状態と、にカセット９０のフランジ部９１との係合状態を切り換える。
旋回機構２３は、係合部２２をケージ本体２１の支持部材に対して旋回させる。旋回機構２３は、ケージ本体２１の支持部材に支持される。旋回機構２３は、係合部２２毎に設けられる旋回軸２４を回動させるための駆動モータ（図示せず）を備える。旋回機構２３は、駆動モータ（図示せず）を駆動させて旋回軸２４を回動させることで、係合部２２を所定の方向に旋回させる。
【００１５】
昇降装置３０は、ケージ２０を支持する装置本体３１と、装置本体３１を支持する支柱３２と、装置本体３１を支柱３２の長手方向に昇降移動させるラックアンドピニオン機構部３３と、から主に構成されている。
装置本体３１は、昇降装置３０の本体部分である。装置本体３１は、平面視で略矩形状に形成される。装置本体３１は、所定長さのワイヤ８０を介して、ケージ２０を吊り下げた状態で支持する。すなわち、装置本体３１は、ケージ２０を昇降移動させることなく、装置本体３１の下方においてケージ２０を吊り下げて固定する。装置本体３１は複数本（図１においては４本）のワイヤ８０によってケージ２０を吊り下げて支持する。装置本体３１がケージ２０を支持する機構をワイヤ８０による吊下げ固定方式とすることで、ワイヤ８０の硬さによりケージ２０の揺れを抑えつつも、ケージ２０を装置本体３１に対して拘束されない状態にすることができる。また、ワイヤ８０のみでケージ２０を吊り下げるため、ケージ２０の支持機構の部品点数を削減できる。
支柱３２は、平面視略矩形状に形成される装置本体３１の角部のそれぞれに配置されて高さ方向（鉛直方向）に沿って延在する。すなわち、４本の支柱３２が装置本体３１を昇降可能に支持する。４本の支柱３２には、隣接する支柱３２同士を相互に接続する補強部材１２が設けられている。支柱３２の中間部には、カセット９０を載置するための荷受台１１が設けられている。
【００１６】
図３から図５に示すように、ラックアンドピニオン機構部３３は、装置本体３１を昇降移動させるための昇降機構である。ラックアンドピニオン機構部３３は、ラック３４と、ラック３４と噛み合う（係合する）ピニオン３５と、ピニオン３５を回転させる駆動装置３６（「駆動部」の一例）と、から主に構成されている。
ラック３４は、４本の支柱３２のそれぞれに設けられる。ラック３４は、ピニオン３５と噛み合う部分が支柱３２の長手方向に沿って延設される。すなわち、ラック３４は、ケージ２０の昇降方向に延設される。
ピニオン３５は、円形状の部材である。ピニオン３５は、４本の支柱３２のそれぞれに設けられるラック３４に対応して設けられる。ピニオン３５は、駆動装置３６の駆動により回転する。ピニオン３５は、回転した状態でラック３４に噛み合う。ピニオン３５は、ラック３４に噛み合った状態でラック３４上を移動する。
駆動装置３６は、本体３７と、ピニオン３５を回転可能に支持する回転軸３８と、回転軸３８を正逆方向に回転させるモータ３９と、から主に構成されている。駆動装置３６においては、モータ３９を駆動させることで回転軸３８が回転する。回転軸３８が回転することでピニオン３５が回転する。
駆動装置３６は、装置本体３１に固定されている。すなわち、駆動装置３６は、装置本体３１側に設けられている。具体的には、駆動装置３６の本体３７を固定部材１５により昇降装置３０の装置本体３１の上部に固定する。駆動装置３６を装置本体３１側に設けることで、ケージ２０を昇降移動させるための駆動装置を支柱３２の上部又は支柱３２の下部に設ける必要がない。さらに、当該駆動装置を４本の支柱３２で囲まれる領域内に配置することができる。そのため、支柱３２の上部及び支柱３２の下部が簡素化された構造となる。さらに、ケージ２０の昇降移動時に装置本体３１及びケージ２０と干渉する駆動装置３６等を、４本の支柱３２で囲まれる領域の外側に配置する必要がない。それゆえに、移載機１０全体を小型化することができる。
駆動装置３６は、４本の支柱３２のそれぞれに対応して設けられるピニオン３５毎に設けられる。すなわち、駆動装置３６は、４本の支柱３２のそれぞれに設けられるラックアンドピニオン機構部３３毎に設けられる。つまり、昇降装置３０は、４台の駆動装置３６を駆動させることにより、ケージ２０を昇降させる。昇降装置３０が４台の駆動装置３６を駆動させることによりケージ２０を昇降させることから、個々の駆動装置３６を構成するモータ３９を小型化することができる。さらに、４台の駆動装置３６のうちのいずれかの駆動装置３６のモータ３９が動作不良となった場合であっても、残りの駆動装置３６のモータ３９を駆動させることで、ケージ２０を昇降させることができる。
【００１７】
図５に示すように、ラックアンドピニオン機構部３３を構成するラック３４及びピニオン３５は、カバー４０によって被覆されている。
カバー４０は、４本の支柱３２のそれぞれに設けられる。カバー４０は、支柱３２の長手方向に沿って延設される。カバー４０は、支柱３２においてラック３４が設けられている側を被覆するように配置される。カバー４０は、支柱３２に取り付けられた際に、カバー４０と支柱３２との間にピニオン３５の昇降移動が可能な空間が形成されるように、ピニオン３５の昇降経路に沿った形状に成形されている。
カバー４０の側面にはスリット４１が形成されている。スリット４１は、カバー４０の長手方向に沿って形成される開口部分である。スリット４１は、カバー４０を支柱３２に取り付けた際に、支柱３２の長手方向に沿って延設される。スリット４１は、ケージ２０の昇降時に駆動装置３６の回転軸３８が鉛直方向に昇降移動可能な程度の幅で開口されている。
【００１８】
次に、移載機１０の動作について説明する。
図１から図４に示すように、上記搬送台車によって上記処理装置まで搬送されたカセット９０は、上記処理装置の上方に設けられる荷受台１１に載置される。移載機１０は、ケージ２０によってカセット９０を把持させるために、装置本体３１を支柱３２に対して下降させる。具体的には、装置本体３１の上部に設けられる駆動装置３６のモータ３９を駆動させてピニオン３５を回転させる。ピニオン３５が回転することでピニオン３５がラック３４に噛み合う。ピニオン３５がラック３４に噛み合いながら回転することで、駆動装置３６の本体３７が下降する。駆動装置３６の本体３７は、固定部材１５を介して装置本体３１に固定されているため、駆動装置３６の本体３７が下降することで、装置本体３１が下降する。
【００１９】
装置本体３１が下降することで、ワイヤ８０を介して吊り下げられているケージ２０が下降する。ケージ２０がカセット９０に対して所定位置まで下降すると、カセット９０に対するケージ２０の位置決めを行う。ケージ２０の位置決めが完了すると、ケージ２０の旋回機構が係合部２２を旋回させる。これにより、係合部２２がカセット９０のフランジ部９１に係合する。すなわち、ケージ２０がカセット９０を把持する。ケージ２０がカセット９０を把持すると、ケージ２０はカセット９０を旋回する。
カセット９０が旋回されると、駆動装置３６のモータ３９を駆動して、装置本体３１を下降させる。これにより、カセット９０を把持したケージ２０が下降する。ケージ２０が上記処理装置のロードポートに対して所定位置まで下降すると、当該ロードポートに対するケージ２０の位置決めを行う。ケージ２０の位置決めは、上記処理装置に設けられる位置決め装置（図示せず）により行われる。当該位置決め装置は、ケージ２０の両側面側からケージ２０を挟持する挟持部を備える。当該位置決め装置は、ケージ２０がロードポートに対して所定位置まで下降した際に、ケージ２０の両側面を挟持部によって挟持することにより、ケージ２０の位置決めを行う。
ケージ２０の位置決めが行われると、駆動装置３６のモータ３９を駆動して、装置本体３１を下降させる。これにより、カセット９０が上記処理装置のロードポートに載置される。カセット９０が当該ロードポートに載置されると、ケージ２０の旋回機構が係合部２２を旋回させる。これにより、係合部２２によるカセット９０のフランジ部９１への係合が解除される。すなわち、ケージ２０からカセット９０が離れ、当該ロードへのカセット９０の移載が完了する。
【００２０】
以上のように、移載機１０においては、ラック３４と、ピニオン３５とを備えるラックアンドピニオン機構部３３を支柱３２に沿って設け、ケージ２０を支持する装置本体３１をラックアンドピニオン機構部３３によって昇降移動させるため、パーティクルの発生源を、支柱３２に沿って設けたラックアンドピニオン機構部３３に集約できる。すなわち、移載機１０においては、荷受台１１と上記処理装置のロードポートとの間のカセット９０の移載が、ラックアンドピニオン機構部３３の作動のみで行われるため、カセット９０の移載によるパーティクルの発生をラックアンドピニオン機構部３３のみに限定することができる。このため、カセット９０の移載（ケージ２０の昇降移動）により発生するパーティクルの発生箇所を削減することができる。
移載機１０においては、ラックアンドピニオン機構部３３をカバー４０によって被覆することで、発生したパーティクルをカバー４０内に封じ込めることができる。すなわち、移載機１０においては、カセット９０の移載（ケージ２０の昇降移動）により発生したパーティクルを、カバー４０と支柱３２との間に形成される内部空間に封じ込めることができる。このため、カセット９０の移載（ケージ２０の昇降移動）により発生するパーティクルの拡散を防止することができる。
【符号の説明】
【００２１】
１０                    移載機
２０                    ケージ
３０                    昇降装置
３１                    装置本体
３２                    支柱
３３                    ラックアンドピニオン機構部
３４                    ラック
３５                    ピニオン
３６                    駆動装置（駆動部）
４０                    カバー
８０                    ワイヤ
９０                    カセット（被搬送物）
【図１】
2020141083.tif 000003
【図２】
2020141083.tif 000004
【図３】
2020141083.tif 000005
【図４】
2020141083.tif 000006
【図５】
2020141083.tif 000007