(57)【要約】【課題】単一の制御端末によって複数台の測定ヘッドによる測定を可能にするパーティクル計測システムを提供する。【解決手段】パーティクル計測システム１００は、複数の光学式の測定ヘッド１１０（１），１１０（２）と、複数の測定ヘッドにそれぞれ対応して配置される複数の制御ユニット１４０（１），１４０（２）と、単一の制御端末１５０とを備える。複数の測定ヘッドを用いた測定のためのソフトウェア処理時において、制御端末１５０には、複数の測定ヘッドにそれぞれ対応させて、複数の実行領域１６０（１），１６０（２）及び複数のデータ領域１７０（１），１７０（２）が確保される。各実行領域を用いて、測定ヘッド毎に関連するデータ処理が別個に実行されるとともに、各データ領域を用いて、測定ヘッド毎に別個に、実行領域で処理されたデータが保存される。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学式の複数の測定ヘッドと、
前記複数の測定ヘッドにそれぞれ対応して配置される複数の制御ユニットと、
プロセッサ、メモリ、及び、データ記録部を有する、単一の制御端末とを備え、
前記制御端末は、前記プロセッサによる所定のソフトウェア処理によって前記複数の測定ヘッドを用いた測定を実行するための演算処理を、前記複数の測定ヘッドにそれぞれ対応して別個に確保された複数の実行領域を用いて実行し、
前記データ記録部には、前記複数の測定ヘッドのそれぞれに対応する複数のデータ領域が別個に確保され、
前記複数の実行領域は、前記複数の測定ヘッドにそれぞれ対応する、複数の通信領域、複数の演算領域、及び、複数の記憶領域をそれぞれ有し、
前記複数の通信領域は、前記複数の制御ユニットのそれぞれを経由して、前記複数の測定ヘッドとの間でのデータ通信処理を実行し、
前記複数の演算領域の各々は、前記複数の通信領域のうちの対応する通信領域を用いて取得された、前記複数の測定ヘッドのうちの対応する測定ヘッドに関連するデータ処理を実行し、
前記複数の記憶領域は、前記複数の測定ヘッドのそれぞれについて、前記複数の演算領域と、前記データ記録部の前記複数のデータ領域との間で、パーティクル測定に関するデータの受け渡しを行い、
前記複数のデータ領域の各々には、前記複数の実行領域のうちの対応する１つの実行領域を用いて処理された、前記対応する測定ヘッドに関連するデータが保持される、パーティクル計測システム。
【請求項２】
前記プロセッサは、前記複数の実行領域が別個に順次確保されるように、前記メモリの割り当ての運用を制御する、請求項１記載のパーティクル計測システム。
【請求項３】
前記複数の実行領域の各々によって処理されたデータを保持する各前記データ領域は、前記プロセッサが、前記複数の実行領域の各々に対して、前記データ記録部内の異なる領域を動的に割り当てることで確保される、請求項１又は２に記載のパーティクル計測システム。
【請求項４】
前記制御端末は、モニタ画面をさらに有し、
前記複数の実行領域は、前記複数の測定ヘッドに対応する複数の表示領域をそれぞれ有し、
前記複数の表示領域の各々は、前記対応する測定ヘッドによる測定結果を前記モニタ画面に表示するためのデータを一時的に保持する、請求項１〜３のいずれか１項に記載のパーティクル計測システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パーティクル計測システムに関し、より特定的には、複数台の測定ヘッドを有するパーティクル計測システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光源から照射される光路に対して受光検知素子を配置することにより、光学的に当該光路の微小粒子（パーティクル）の通過を検出する機構が公知である。例えば、特開２０１３−１６０５１４号公報（特許文献１）には、単一のレーザ光源による光路に配置された複数個の受光検知素子の出力から、被測定粒子の粒径を測定する計測装置が記載されている。このような光学式の計測装置では、レーザ光源及び受光検知素子によって構成される測定ヘッドが、パーティクルを検出するために配置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１６０５１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
通常、光学式のパーティクル計測システムは、測定ヘッド、測定ヘッドを制御する制御ユニット、及び、制御ユニットとの通信によって測定結果をモニタする制御端末とを含んで構成される。一方で、複数台の測定ヘッドが配置されたパーティクル計測システムでは、コストダウンや省スペースの観点から、単一の制御端末によって、全ての測定ヘッドによるパーティクルの測定を統括的に制御することが求められている。
【０００５】
この発明はこのような問題点を解決するためになされたものであって、本発明の目的は、単一の制御端末によって複数台の測定ヘッドによる測定を可能にするパーティクル計測システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のある局面では、パーティクル計測システムは、光学式の複数の測定ヘッドと、複数の測定ヘッドにそれぞれ対応して配置される複数の制御ユニットと、単一の制御端末とを備える。制御端末は、内部にプロセッサ、メモリ、及び、データ記録部を，外部に入力装置（キーボードやマウス，タッチパネルなど）や表示装置（モニタ画面など）を有する。制御端末は、プロセッサ処理によってメモリ上に複数の測定ヘッドにそれぞれ対応した複数の実行領域を展開（確保）することができる。各実行領域には，通信領域，演算領域，記憶領域，表示領域があり，当該測定ヘッドのパーティクル測定に係るデータ処理を実行する。通信領域は、制御ユニットを経由して、測定ヘッドと制御端末の間でのデータ通信処理を実現している。演算領域は、通信領域で取得した測定ヘッドに関連するデータ処理を実行する。記憶領域は，演算領域とデータ記録部の間で，パーティクル測定に関するデータの受け渡しを行う。表示領域は，パーティクル測定に関するデータのモニタ表示を行う。データ記録部には、複数の測定ヘッドのそれぞれに対応する複数のデータ領域が別個に確保される。複数のデータ領域の各々には、複数の実行領域のうちの対応する１つの実行領域を用いて処理された、対応する測定ヘッドに関連するデータが保持される。
【０００７】
上記パーティクル計測システムによれば、制御端末において、複数の測定ヘッドのそれぞれに対応させて複数の実行領域及び複数のデータ領域を確保することにより、単一の制御端末によって複数台の測定ヘッドによる測定を可能にするパーティクル計測システムを実現することができる。
【０００８】
プロセッサは、複数の実行領域が別個に順次確保されるように、メモリの割り当ての運用を制御することができる。複数の実行領域の各々によって処理されたデータを保持する各データ領域は、プロセッサが、複数の実行領域の各々に対して、データ記録部内の異なる領域を動的に割り当てることで確保することができる。
【０００９】
このようにすると、複数のデータ領域によって、複数の測定ヘッドのそれぞれで測定されたパーティクルに関するデータについて、両者の競合を確実に回避して個別に保存することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、単一の制御端末によって複数台の測定ヘッドによる測定を可能にするパーティクル計測システムを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施の形態に係るパーティクル計測システムの構成を説明するためのブロック図である。
【図２】表示モニタにおける第１の表示例を説明する概念図である。
【図３】表示モニタにおける第２の表示例を説明する概念図である。
【図４】１台の測定ヘッドの制御構成を説明する機能ブロック図である。
【図５】複数台配置された測定ヘッドの制御構成の第１の比較例を説明する機能ブロック図である。
【図６】複数台の測定ヘッドの制御構成の第２の比較例を説明する機能ブロック図である。
【図７】本実施の形態に係るパーティクル計測システムによる複数台の測定ヘッドの制御構成を説明するためのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお以下では、図中の同一または相当部分に同一符号を付して、その説明は原則的に繰返さないものとする。
【００１３】
図１は、本実施の形態に係るパーティクル計測システムの構成を説明するためのブロック図である。パーティクル計測システムは、例えば、半導体製造装置（エッチング装置、イオン注入装置、及び、有機ＥＬ（Electro  Luminescence）用成膜装置等）において、最終製品の品質、性能、及び、歩留りに影響を及ぼす、数十（ｎｍ）程度の微細なパーティクルを測定する目的で配置される。
【００１４】
図１を参照して、本実施の形態に係るパーティクル計測システム１００は、光学式の測定ヘッド１１０と、測定ヘッド１１０の制御ユニット１４０と、制御端末１５０とを備える。パーティクル計測システム１００では、複数台ずつ配置されて測定ヘッド１１０及び制御ユニット１４０が、単一の制御端末１５０によって制御される。
【００１５】
測定ヘッド１１０は、測定空間に対してレーザ光を照射する光源１１２と、測定空間に照射されたレーザ光の上をパーティクルが通過する際に発生する散乱光を検出するための受光部１１４と、センサを含む機器類１１５とを含む。受光部１１４は、例えば、アレイ配置された光電子増倍管によって構成することができる。さらに、測定ヘッド１１０には、記憶領域１１６が設けられる。記憶領域１１６には、光源１１２及び機器類１１５の制御パラメータ等が保持される。測定ヘッド１１０及び制御ユニット１４０は、ケーブル１９５によって接続されることで通信可能に構成される。
【００１６】
受光部１１４の出力（光強度）は、ケーブル１９５を経由して、制御ユニット１４０へ入力される。又、測定ヘッド１１０に配置された各種センサ（温度センサ、圧力センサ等）の検出値についても、ケーブル１９５を経由して、制御ユニット１４０で収集される。例えば、当該センサによる検出値を、測定ヘッド１１０の異常監視に用いることができる。
【００１７】
制御ユニット１４０は、光源制御部１４２と、パーティクル測定部１４３と、異常監視部１４４とを有する。光源制御部１４２は、測定ヘッド１１０の光源１１２を制御する。測定ヘッド１１０の光源１１２の制御に必要なパラメータは、測定ヘッド１１０内部の記憶領域１１６に格納されており、制御ユニット１４０は、自身の起動時に、ケーブル１９５を経由して、測定ヘッド１１０から当該パラメータ値を読み出す。
【００１８】
パーティクル測定部１４３は、ケーブル１９５を経由して伝送された受光部１１４の出力値に基づいて、測定空間に存在するパーティクルを測定する。例えば、特許文献１に記載されるように、公知の手法に従って、パーティクルの個数及び粒径を測定することができる。異常監視部１４４は、測定ヘッド１１０のセンサによる検出値に基づいて、測定ヘッド１１０の異常を検出する。
【００１９】
制御端末１５０は、「プロセッサ」に相当するＣＰＵ（Central  Processing  Unit）１５１と、メモリ１５２と、データ記録部１５３とを有する。制御端末１５０には、入力装置１５５と、モニタ画面１５６とが接続される。制御端末１５０及び制御ユニット１４０は、ケーブル１９０によって接続されることにより、相互に通信可能に構成される。制御端末１５０は、パーソナルコンピュータ等の端末で構成されて、専用のソフトウェアをインストールすることで、制御ユニット１４０と通信して、測定ヘッド１１０や制御ユニット１４０が取得した情報を獲得し、かつ、当該情報を用いた演算を実行する。さらに、演算結果について、モニタ画面１５６を表示したり、データ記録部１５３にファイル等の形式で保存したりすることができる。
【００２０】
ＣＰＵ１５１は、上述の専用ソフトウェアに従った演算処理を実行する。メモリ１５２は、いわゆるメインメモリに相当し、ＣＰＵ１５１による演算処理に使用されるメモリ空間を構成する。上述のソフトウェア処理を経て、メモリ１５２内に測定ヘッドに対応した作業領域（以下、実行領域とも称する）が形成される。
【００２１】
データ記録部１５３は、ハードディスク等によって構成され、ソフトウェア処理に使用されるデータ及びソフトウェア処理で得られたデータの記憶に用いられる。入力装置１５５は、マウスやキーボード等で構成されており、ユーザからの指示入力等を受け付ける機能を有する。
【００２２】
モニタ画面１５６は、例えば、液晶ディスプレイによって構成される。モニタ画面１５６がタッチパネルで構成される場合には、タッチパネル上に表示されたスイッチを、入力装置１５５として用いることも可能である。
【００２３】
代表的には、ＣＰＵ１５１によるソフトウェア処理によって、測定ヘッド１１０によるパーティクルの測定結果を示す情報が、モニタ画面１５６に表示される。
【００２４】
図２及び図３には、モニタ画面１５６における表示例が示される。
図２に示された第１の表示例では、時間経過に伴う、測定された粒子数の累積値を示す折れ線グラフがモニタ画面１５６に表示される。これにより、異常の発生及び解消の検知に有用である、時間経過に伴うパーティクルの発生の増減を、ユーザが容易に把握することができる。
【００２５】
一方で、図３に示された第２の表示例では、これまでに測定された粒子数の累積値が、複数段階（例えば、７段階）の粒径区分毎に表示された棒グラフが、モニタ画面１５６に表示される。これにより、パーティクルの発生原因の解析に有用である、パーティクルの粒径に関する情報を、ユーザが容易に把握することができる。
【００２６】
本実施の形態に係るパーティクル計測システムでは、測定ヘッド１１０及び制御ユニット１４０の組が複数設けられるとともに、１台の制御端末１５０によって、複数台の測定ヘッド１１０によるパーティクルの測定を統合制御する。
【００２７】
まず、図４を用いて、１台の測定ヘッド１１０の制御構成を説明する。
図４を参照して、１台の測定ヘッド１１０を有するパーティクル計測システム１００ａにおいて、測定ヘッド１１０には、図１に示された、光源１１２を制御するために、記憶領域１１６、演算領域１１７、及び、通信領域１１８が設けられる。上述のように、記憶領域１１６には、光源１１２の制御に必要なパラメータが保持される。
【００２８】
制御ユニット１４０では、記憶領域１４５、演算領域１４６、及び、通信領域１４７，１４８が形成される。通信領域１１８及び通信領域１４８を用いて、ケーブル１９５（図１）を経由して、測定ヘッド１１０と制御ユニット１４０との間で通信が可能である。このため、上述したように、制御ユニット１４０は、起動時に、通信領域１１８から、記憶領域１１６に保持された光源１１２の制御パラメータを取得する必要がある。更に、制御ユニット１４０は、取得したパラメータ値をもとに演算領域１４６によって生成された、光源１１２を制御するためのデータを、通信領域１４８から測定ヘッド１１０へ送出することができる。
【００２９】
さらに、機器類１１５に含まれるセンサ及び受光部１１４を含む各種センサからの出力信号は、ケーブル１９５を用いたＡＩＯ（Analog  Input／Output）又はＤＩＯ（Digital  Input／Output）によって、測定ヘッド１１０から制御ユニット１４０へ伝送される。
【００３０】
制御ユニット１４０は、測定ヘッド１１０に装備されているセンサ等の出力信号（検出値）のモニタにより、異常監視部１４４（図１）による測定ヘッド１１０の異常監視を行うことができる。
【００３１】
更に、制御ユニット１４０の演算領域１４６は、受光部１１４（図１）によって検出した光強度を示す、受光部１１４からの出力信号（電圧値）と閾値との比較によって、パーティクル測定に関する演算値を生成する。
【００３２】
制御端末１５０では、専用ソフトウェアを動作させると、メモリ１５２に制御領域１８０が割り付けられる。制御領域１８０には、測定ヘッドに対応した演算処理を実行するための実行領域１６０が作成される。実行領域１６０は、通信領域１６１と、記憶領域１６２と、演算領域１６３と、表示領域１６４とを含む。通信領域１６１は、ケーブル１９０を介して、制御ユニット１４０の通信領域１４７との間で双方向に通信する。これにより、制御ユニット１４０及び制御端末１５０の間でのデータ授受が可能となる。
【００３３】
演算領域１６３は、制御ユニット１４０から伝送されたデータを用いた演算処理によって、測定ヘッド１１０によるパーティクルの測定結果を収集するともに、当該測定結果を用いたモニタ画面１５６での表示を制御する。当該演算処理には、入力装置１５５によってユーザから指示された条件が反映される。
【００３４】
制御端末１５０には、更に、データ記録部１５３を用いてデータ領域１７０が形成される。データ領域１７０は、制御パラメータファイル１７５及び画面設定ファイル１７６等の設定ファイル系が保持されるサブ領域１７１と、パーティクルの測定データを格納する制御データファイル１７７が保持されるサブ領域１７２とを有する。データ領域１７０に保持される各ファイルには、ハードディスク内のフォルダ及びファイル名等を指定する固定パスがそれぞれ設けられる。即ち、データ領域１７０は、固定されたアクセス先となる。
【００３５】
設定ファイル系の制御パラメータファイル１７５及び画面設定ファイル１７６のデータは、必要に応じて、記憶領域１６２に読み出されて、演算領域１６３による演算処理に用いられる。一方で、測定データ系の制御データファイル１７７に対しては、演算領域１６３の演算処理によって記憶領域１６２に生成された、パーティクルの測定結果が書き込まれて保存される。
【００３６】
上記演算処理によって、測定ヘッド１１０でのセンサ検出値に基づく、異常発生時におけるユーザへの報知、及び、測定ヘッド１１０における制御パラメータの最適値調整をさらに実行することも可能である。調整された制御パラメータの最適値は、通信領域１６１を用いて、制御端末１５０から制御ユニット１４０へ送出されて、測定ヘッド１１０の制御に用いられる。
【００３７】
表示領域１６４には、モニタ画面１５６での表示に用いられるデータが一時的に記憶される。モニタ画面１５６は、表示領域１６４から送出されたデータに従う画像を表示する。尚、モニタ画面１５６での表示内容について、表示モード、縦軸及び横軸のスケール設定、及び、表示データの切替え等は、入力装置１５５から入力することができる。即ち、演算領域１６３では、入力装置１５５に入力された表示内容に関するユーザ指示に従って画面表示のための演算処理を実行するとともに、当該処理後のデータが演算領域１６３から表示領域１６４へ出力されることによって、ユーザ指示に従った画面表示の制御が可能となる。
【００３８】
これにより、パーティクル測定システムでは、測定ヘッド１１０によるオンラインでの測定結果について、モニタ画面１６５への表示、及び、データ領域１７０への測定結果の格納を並列に実行することが可能となる。或いは、図４に示された、データ領域１７０へのデータ保存とは反対方向に、制御データファイル１７７に格納されたデータを読み出して演算処理することによって、過去の測定結果をモニタ画面１６５に表示することも可能である。
【００３９】
次に、図５及び図６を用いて、複数台配置された測定ヘッド１１０の制御構成の比較例を説明する。以下では、説明を簡略化するために、測定ヘッド１１０が２台配置された構成を例示する。
【００４０】
図５及び図６を参照して、第１及び第２の比較例を通じて、制御ユニット１４０は、複数台配置された測定ヘッド１１０に対して、１対１で配置される。例えば、測定ヘッド１１０（１）及び１１０（２）にそれぞれ対応して、制御ユニット１４０（１）及び１４０（２）が配置される。制御ユニット１４０（１）及び１４０（２）の各々は、図４に示した制御ユニット１４０と同様に構成される。
【００４１】
これに対して、制御端末１５０を１台のままとすることで、コストダウン及び省スペースを図ることができる。しかしながら、図４の構成では、制御端末１５０は、通信領域１６１が１台の制御ユニット１４０と通信している間、他の制御ユニット１４０との間で通信することができない。
【００４２】
従って、図５に示された第１の比較例に係るパーティクル計測システム１００ｂでは、制御端末１５０は、図４の構成と比較して、実行領域１６０内に、複数の制御ユニット１４０（１）及び１４０（２）にそれぞれ対応させて、複数の通信領域１６１（１）及び１６１（２）を確保する。図４と比較して、測定ヘッド１１０及び制御ユニット１４０の台数に対応させて通信領域１６１を増設することで、制御端末１５０は、複数の制御ユニット１４０との間で並列に通信することが可能となる。
【００４３】
しかしながら、図５の構成では、演算領域１６３は、図４と同様に単一であるので、複数の制御ユニット１４０と通信したデータを、複数の通信領域１６１（１），１６１（２）から演算領域１６１へ渡す際に、データの競合が発生する。この様な競合によってデータが破壊される虞があるため、複数台の測定ヘッド１１０の制御、及び、パーティクル測定結果の処理を正常に実行することが困難となる。
【００４４】
図６に示された第２の比較例に係るパーティクル計測システム１００ｃでは、制御領域１８０内に、複数の制御ユニット１４０（１）及び１４０（２）にそれぞれ対応する複数の実行領域１６０（１），１６０（２）が確保される。この結果、図５と同様の複数の通信領域１６１（１）及び１６１（２）に加えて、複数の記憶領域１６２（１）、１６２（２）、複数の演算領域１６３（１），１６３（２）、及び、複数の表示領域１６４（１），１６４（２）が、複数の制御ユニット１４０（１）及び１４０（２）に対応して確保される。
【００４５】
これにより、図６の構成では、複数台の測定ヘッド１１０の制御、及び、パーティクル測定結果の処理についてのデータ処理を正常に実行することが可能となる。一方で、固定されたアクセス先となるデータ領域１７０については、図４と同様に単一である。この結果、データ領域１７０に格納される、制御パラメータファイル１７５、画面設定ファイル１７６、及び、制御データファイル１７７等の各ファイルが、複数の測定ヘッド１１０（１），１１０（２）によって共有される形となってしまう。これにより、演算領域１６３（１），１６３（２）で演算された、複数の測定ヘッド１１０（１），１１０（２）に関連するデータをデータ領域１７０に保存する際に、データの競合が発生する。の競合によって、特に、それぞれによるパーティクル測定結果の正常な保存が困難化することが懸念される。
【００４６】
図７は、本実施の形態に係るパーティクル計測システムによる複数台の測定ヘッドの制御構成を説明するためのブロック図である。
【００４７】
図７を参照して、本実施の形態に係るパーティクル計測システム１００では、図６と同様の複数の実行領域１６０（１），１６０（２）に加えて、複数の制御ユニット１４０（１），１４０（２）にそれぞれ対応させて、複数のデータ領域１７０（１），１７０（２）が確保される。複数のデータ領域１７０（１），１７０（２）は、データ記録部１５３内の異なる（即ち、競合しない）領域が割り当てられる。例えば、図４ではデータ領域１７０が固定されたアクセス先となっているのに対して、図７の制御構成では、実行領域１６０（１），１６０（２）からのアクセス先を可変に修正することによって、複数のデータ領域１７０（１），１７０（２）を、データ記録部１５３内の競合しない領域に割り当てることができる。
【００４８】
この結果、制御端末１５０では、複数の測定ヘッド１１０（１），１１０（２）に対応する複数の制御ユニット１４０（１），１４０（２）の各々に対応させて、異なるデータ領域１７０（１），１７０（２）までの経路を独立に確立できるため、図５及び図６で説明したようなデータ競合は発生しない。これにより、制御データファイル、画面設定ファイル、及び、制御データファイル等の各ファイルは、複数の測定ヘッド１１０（１），１１０（２）毎に個別に確保される。これにより、パーティクル測定結果を含む複数の測定ヘッド１１０（１），１１０（２）に関連するデータを正常に保存することができる。
【００４９】
従って、本実施の形態に係るパーティクル計測システムによれば、複数台の測定ヘッド１１０の制御及びパーティクル測定結果についてのデータ処理、並びに、処理されたデータの蓄積を正常に行うことができる。この結果、単一の制御端末１５０によって複数台の測定ヘッド１１０による測定を可能にするシステム構成を実現することで、コストダウンや省スペース化を図ることができる。
【００５０】
図７の構成例において、複数の実行領域１６０（１），１６０（２）の確保は、物理的に完全に分離された複数の記憶領域を必然的に要求するものではない。例えば、ＣＰＵ１５１によるメモリ割り当ての運用制御によって、メモリ１５２内で同一時間に同一アドレスが重複使用されない様に異なる実行領域１６０（１），１６０（２）を確保することが可能である。これにより、制御端末１５０でのメモリ等のハードウェアの増設を抑制して、複数の実行領域１６０を確保することが容易となる。
【００５１】
一方で、複数のデータ領域１７０（１），１７０（２）は、例えば、データ記録部１５３の内部で異なるドライブ（例えば、Ｃドライブ／Ｄドライブ）、又は、異なるフォルダ内のファイルを固定的に割り当てることで確保される。これにより、複数のデータ領域１７０（１），１７０（２）によって、測定ヘッド１１０（１），１１０（２）のそれぞれで測定されたパーティクルに関するデータ（粒子数、粒径）について、両者の競合を確実に回避して個別に保存できる。従って、モニタ画面１５６での表示モードには、複数の測定ヘッド１１０によって測定された全パーティクルに関するデータの表示と、各測定ヘッド１１０でのパーティクル測定に関するデータの表示との両方を含むことが可能となる。
【００５２】
尚、図７では、２台の測定ヘッド１１０及び制御ユニット１４０によるパーティクル測定の構成例を説明したが、本発明の適用はこのような例に限定されるものではない。即ち、任意のｎ台（ｎ：２以上の自然数）の測定ヘッド１１０及び制御ユニット１４０が配置される構成に対して、実行領域１６０及びデータ領域１７０を、測定ヘッド１１０及び制御ユニット１４０の組に対応させてｎ台ずつ確保することにより、単一の制御端末１５０による制御が可能である。
【００５３】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００５４】
１００，１００ａ〜１００ｃ  パーティクル計測システム、１０５  測定空間配置部、１０５ａ  下側接続口、１０５ｂ  上側接続口、１１０  測定ヘッド、１１２  レーザ光源、１１４  受光検知素子、１１５  機器類、１１６，１４５，１６２，１６２（１），１６２（２）  記憶領域、１４０  制御ユニット、１４２  光源制御部、１４３  パーティクル測定部、１４６，１６３，１６３（１），１６３（２）  演算領域、１４７，１６１，１６１（１），１６１（２）  通信領域、１５０  制御端末、１５２  メモリ、１５３  データ記録部、１５５  入力装置、１５６  モニタ画面、１６０，１６０（１），１６０（２）  実行領域、１６４，１６４（１），１６４（２）  表示領域、１７０  データ領域、１７１，１７２  サブ領域、１８０，１９０  ケーブル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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