(57)【要約】【課題】低誘電率及び低損失に加えて特性インピーダンスの安定化により、信号伝達速度が安定したシリカガラスヤーン及びシリカガラスクロスを提供する。【解決手段】曲率半径５ｍｍ以下で且つ折れ角が１２０度以下の屈曲点を有する糸癖の糸癖密度が、０．１０個／ｃｍ以下であるシリカガラスヤーンとした。前記シリカガラスヤーンの引っ張り強度が、２．０ＧＰａ以上であり、前記シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントの破断開始強度が、前記シリカガラスヤーンの引っ張り強度の８０．０％以上であることが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
曲率半径５ｍｍ以下で且つ折れ角が１２０度以下の屈曲点を有する糸癖の糸癖密度が０．１０個／ｃｍ以下である、シリカガラスヤーン。
【請求項２】
前記シリカガラスヤーンの引っ張り強度が、２．０ＧＰａ以上であり、前記シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントの破断開始強度が、前記シリカガラスヤーンの引っ張り強度の８０．０％以上である請求項１に記載のシリカガラスヤーン。
【請求項３】
前記シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントのフィラメント径が３．０〜１０．０μｍであり、フィラメント本数が２０〜３００本であり、かつ撚り数が４〜２４撚り／ｍである請求項１又は２に記載のシリカガラスヤーン。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のシリカガラスヤーンを用いて、製織、開繊してなるシリカガラスクロス。
【請求項５】
測定圧６３．２ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの平均値が、測定圧１５７．９ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの平均値の１００〜１１０％である請求項４に記載のシリカガラスクロス。
【請求項６】
測定圧６３．２ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの変動係数が、１０％以内である請求項４又は５に記載のシリカガラスクロス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波用プリント配線基板に好適に用いられるシリカガラスヤーン及びシリカガラスクロスに関する。
【背景技術】
【０００２】
２０２０年にも運用開始が予定されている第５世代移動体通信規格では、従来から用いられている６ＧＨｚ帯以下に加えて２８ＧＨｚ帯の高周波が用いられるとされているが、更に次世代の第６世代移動体通信規格では、ミリ波帯の高周波も一部使用されると計画されている。
【０００３】
また、移動体通信に限らず、ＩｏＴ／Ｍ２Ｍの普及に伴い、データ通信の分野でも急激に膨大化するデータに対応して、あらゆるネットワーク機器を構成する電子回路の高周波化が進んでいる。例えば、現在策定が進められているＷｉＦｉ通信規格のひとつであるＩＥＥＥ８０２ａｄは、６０ＧＨｚ帯の使用が開始されている。
【０００４】
このような高周波に対応した通信機器やネットワーク機器に用いられる高周波用プリント配線基板では、低損失及び低遅延の信号処理が求められ、これに伴い高周波用プリント配線基板に用いられるガラスクロスも低誘電率及び低損失のものが求められている。
【０００５】
例えば、特許文献１では、石英ガラス製太繊維の原料となるインゴットの炉内への送り速度を制御し、石英ガラスフィラメントの原料となる石英ガラス製太繊維の線引速度を制御することにより、表面平滑性に優れ、質量及び厚さばらつきが少なく、寸法安定性に優れたシリカガラスクロスが提案されている。
【０００６】
他方、ネットワーク機器間のデータ伝送方式もデータ伝送レートの高速化に伴い、従来のパラレル伝送方式から高速差動シリアル伝送方式に変化しており、高周波用プリント配線基板に要求される特性も、低誘電率及び低損失に加えて、特性インピーダンスの安定化による信号伝達速度が重要な要素となってきている。
【０００７】
例えば、特許文献２では、ガラスクロスと樹脂の比誘電率の違いにより生じるインピーダンスの変化や伝搬遅延時間差を低減すべく斜め配線を採用し、これによって副次的に発生する共振周波数の問題を事前に想定、回避して配線設計をすることにより、信号品質を確保し、高速信号伝達を良好に行える多層プリント配線が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１６−１１４８４号公報
【特許文献２】特開２０１６−２０７７７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、特許文献１の場合、低誘電率及び低損失のシリカガラスクロスが得られるものの、高周波用プリント配線基板に用いられることを考慮すると、これらに加えて、更に特性インピーダンスの安定化による信号伝達速度が求められる。
【００１０】
また、特許文献２の場合、断面方向に存在するガラス繊維と樹脂の分布状況により、比誘電率が場所によって変化することに起因する誘電特性の差について、ガラスクロス自体の物性を変えて回避するのではなく、回路の配置によって設計的に回避する。このため、基板自体に内在するガラスクロスと樹脂の比誘電率の違いそのものを低減するものではない。
【００１１】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、低誘電率及び低損失に加えて特性インピーダンスの安定化により、信号伝達速度が安定したシリカガラスヤーン及びシリカガラスクロスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意検討を行った結果、高周波用のプリント配線基板を構成するシリカガラスクロスに関して、シリカガラスクロスの平坦度及びシリカガラスクロスの欠陥が大きく関与している事を見出した。そして、更にこれらの観点から、原料であるシリカガラスヤーンについて、糸癖による屈曲点が少ないことが重要な要素である事を見出し、本発明をなすに至った。
【００１３】
即ち、本発明のシリカガラスヤーンは、曲率半径５ｍｍ以下で且つ折れ角が１２０度以下の屈曲点を有する糸癖の糸癖密度が、０．１０個／ｃｍ以下である。
【００１４】
前記シリカガラスヤーンの引っ張り強度が、２．０ＧＰａ以上であり、前記シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントの破断開始強度が、前記シリカガラスヤーンの引っ張り強度の８０．０％以上であることが好ましい。
【００１５】
前記シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントのフィラメント径が３．０〜１０．０μｍであり、フィラメント本数が２０〜３００本であり、かつ撚り数が４〜２４撚り／ｍであることが好適である。
【００１６】
本発明のシリカガラスクロスは、本発明のシリカガラスヤーンを用いて、製織、開繊してなるシリカガラスクロスである。
【００１７】
前記シリカガラスクロスにおいて、測定圧６３．２ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの平均値が、測定圧１７６．８ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの平均値の１００〜１１０％であることが好ましい。
【００１８】
前記シリカガラスクロスにおいて、測定圧６３．２ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの変動係数が、１０％以内であることが好適である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、糸癖による屈曲点が少ないシリカガラスヤーンを用いることにより、優れた平坦性を有し、低誘電率及び低損失に加えて特性インピーダンスの安定化により、信号伝達速度が安定したシリカガラスクロスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】シリカガラスヤーンの糸癖の説明図であり、（ａ）は糸癖の測定方法を示す概略拡大図、（ｂ）〜（ｄ）は（ａ）の要部拡大図である。
【図２】実施例１で用いたシリカガラス製太繊維を製造する抵抗加熱式電気炉の模式図である。
【図３】実施例１で用いたシリカガラスフィラメントを製造する方法の模式的説明図である。
【図４】実施例１で用いた改良された抵抗加熱式電気炉のガス導入部の断面図である。
【図５】従来の炉のガス導入部の断面図である。
【図６】シリカガラスヤーンの応力・歪曲線の模式的説明図であり、（Ａ）が全てのシリカガラスフィラメントが同一の引っ張り強度を有する場合であり、（Ｂ）がシリカガラスフィラメントに引っ張り強度がばらつきのある場合である。
【図７】究極的に開繊されたと仮定した場合のシリカガラスクロスの平坦度に関する模式的説明図である。
【図８】本発明のシリカガラスクロスの特性インピーダンス測定用基板の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明について詳細に説明する。
（１）シリカガラスヤーン
本明細書では、シリカガラスを引き伸ばして得られる細い糸状の単繊維をシリカガラスフィラメント、前記シリカガラスフィラメントを束ねたものをシリカガラスストランド、前記シリカガラスストランドを束ねて撚りをかけたものをシリカガラスヤーンと定義する。
【００２２】
本発明のシリカガラスヤーンは、糸癖密度が、０．１０個／ｃｍ以下、好ましくは０．０８個／ｃｍ以下、より好ましくは０．０５個／ｃｍ以下である。
【００２３】
図１はシリカガラスヤーンの糸癖の説明図であり、（ａ）は糸癖の測定方法を示す概略拡大図、（ｂ）〜（ｄ）は（ａ）の要部拡大図である。図１において、符号１０はシリカガラスヤーンである。符号１２はシリカガラスヤーンの屈曲点であり、図１中、糸癖によるシリカガラスヤーンの屈曲点１２を丸印で示す。符号１３は本願の屈曲点ではない曲部である。本発明のシリカガラスヤーン１０における糸癖とは、糸を若干緩めた場合に観測される大きな屈曲であり、糸癖の測定は、シリカガラスヤーンが形成する湾曲の半径を曲率半径とし、曲率半径５ｍｍ以下の湾曲で且つ屈曲の折れ角が１２０度以下の屈曲部を屈曲点として、該屈曲点の数を測定し、糸癖個数とし、糸癖密度を算出するものである。
【００２４】
具体的には、ボビンに巻かれたシリカガラスヤーン１０から、巻かれた最外層のシリカガラスヤーンを試験ヤーンとして用いる。ボビンに巻かれた状態のシリカガラスヤーンの糸癖を検査する場合、シリカガラスヤーンの巻かれた中層部分から試験ヤーンを取り出すことは、それより外層に巻かれているシリカガラスヤーンを除去しなくてはならず無駄が生じることに加え、サンプル部分より上層に巻かれたシリカガラスヤーンの巻き圧の影響によって測定に誤差を生じる可能性がある為、巻かれたシリカガラスヤーンの最外層のシリカガラスヤーンで検査を行うものとする。
固定手段によりシリカガラスヤーン１０の上端部を固定した後、ＪＩＳ  Ｌ  １０１３（２０１０）「化学繊維フィラメント糸試験方法」の「５．試験方法」の５．１  初荷重のａ）に記載された初荷重２．９４ｍＮを用いて、シリカガラスヤーン１０が伸長せず、まっすぐになる程度の荷重で引っ張った状態で、固定間隔Ｌ＝４００ｍｍとなるようにシリカガラスヤーン１０の下端部を固定手段で固定する。その後、シリカガラスヤーン１０の上下端を固定したまま上下の間隔を１ｍｍ（０．２５％）狭め、固定間隔Ｌを３９９ｍｍに調整する。固定間隔を狭める事によって、張っていたシリカガラスヤーン１０に弛みが生じるが、この時のシリカガラスヤーンの状態について、全方向の画像を撮影する。該画像を用いて、シリカガラスヤーン１０が形成する屈曲の曲率半径ｒ及び折れ角度θを、画像解析ソフトを用いて測定する。曲率半径ｒが５ｍｍ以下で且つ折れ角θが１２０度以下の屈曲部１２を屈曲点とし、屈曲点の数を計測する。曲率半径ｒが５ｍｍを超えるか又は折れ角θが１２０度を超える小さな屈曲は糸癖としてカウントしないものとする。測定した全方向の画像中、屈曲点の数が最大である画像の結果を採用し、その屈曲点の個数をシリカガラスヤーンの糸癖個数とし、糸癖密度を算出することができる。
【００２５】
図１の（ｂ）〜（ｄ）に、シリカガラスヤーン１０に形成される曲部の曲率半径ｒ又は折れ角θについての概略説明図を示す。図１（ｄ）に示す如く、本明細書において、糸癖による屈曲点１２とは、屈曲の曲率半径ｒが５ｍｍ以下で且つ屈曲の折れ角θが１２０度以下の屈曲部である。図１（ｂ）で示される曲部１３は曲率半径ｒが５ｍｍを超える為、本願の屈曲点ではない。同様に、図１（ｃ）で示される曲部１３は折れ角θが１２０度より広く、本願の屈曲点ではない。
【００２６】
糸癖密度が０．１個／ｃｍを超えると、シリカガラスヤーン同士が交絡し易くなり、得られるシリカガラスクロスの平坦度が低下する。更に、シリカガラスヤーン同士の交絡に起因してシリカガラスヤーン同士の滑りが悪化することにより、製織後の開繊処理の効果が得られにくくなり、開繊処理後のシリカガラスクロスの平坦度が低下する。なお、糸癖密度の下限は糸癖による屈曲点がないことが好ましいことから、０．００個／ｃｍである。
【００２７】
シリカガラスヤーンは軟化点が１６００℃〜１７１０℃であり、他のガラス（例えば、Ｅガラスの軟化点は８４０℃）に比べて圧倒的に高いため、フィラメント形状に加工する際に、フィラメント全体が急激に冷却され、その結果構造的に脆く、柔軟性が乏しく、糸癖を生じ易いという性質を有する。
【００２８】
そして、このシリカガラスヤーンを用いて製織する場合、製織時に大きな張力が掛けられるが、製織後はその張力は解放される。この際、糸癖密度が高い（糸癖による屈曲点が多い）シリカガラスヤーンの場合、シリカガラスクロスとなった後も糸癖が微妙な表面の凹凸として残り、その後の開繊処理によっても改善されずに残るため、高い平坦性を有するシリカガラスクロスを得るためには、糸癖密度が低い（糸癖による屈曲点が少ない）方が好ましい。
【００２９】
本発明では、糸癖による屈曲点が少ないシリカガラスヤーンを用いてシリカガラスクロスを製織することによって、シリカガラスクロス内でのシリカガラスヤーン同士の交絡が改善され、シリカガラスクロスの平坦化に効果を及ぼす。更に、シリカガラスヤーン同士の交絡が少ないためシリカガラスヤーン同士の滑り性が向上することにより、開繊処理が効率的に行われ、相乗効果としてより平坦なシリカガラスクロスを安定して製造することができる。
【００３０】
シリカガラスヤーンの引っ張り強度は、シリカガラスヤーンを製織した際の毛羽等の欠陥を生じない観点から又は製織したシリカガラスクロスを開繊する際に適切な水圧で十分な開繊が行うことができるという観点から、好ましくは２．０ＧＰａ以上、より好ましくは２．４ＧＰａ以上、更に好ましくは２．７ＧＰａ以上である。
【００３１】
なお、本明細書において、シリカガラスヤーンの引っ張り強度の測定は、ＪＩＳ  Ｒ３４２０：２０１３「ガラス繊維一般試験方法」のうち、「７．４  引張強さ」、特に「７．４．３  ガラス糸及びロービングの場合」に規定される方法で行われる。本願においては、同ＪＩＳ  Ｒ  ３４２０の７．４．１に記されている３つの引っ張り試験方法のうち、「ａ）定速伸長型引張試験方法（ＣＲＥ）」を採用し、１０個の試験片の破断力から、破断力の算術平均をニュートン（Ｎ）単位で求め、更にその応力をシリカガラスヤーンの断面積（シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントの断面積の総和）で除して、圧力に換算した値を引っ張り強度と定義する。
【００３２】
本発明のシリカガラスヤーン内のシリカガラスフィラメントの強度分布は、シリカガラスヤーンの部分断裂を防止するために重要な要素である。シリカガラスヤーンの部分断裂は、シリカガラスヤーンの毛羽として品質上の問題となる。シリカガラスヤーンの毛羽は、製織の際の糸切れの原因となって製織の妨げとなる上、仮に糸切れを生じなくてもそのままクロスの毛羽として当該クロスを用いた回路基板における絶縁不良の原因となる。
【００３３】
しかしながら、ヤーンの段階で毛羽立ちが認められるシリカガラスヤーンは検査工程において除外できるので、シリカガラスクロスの平坦度や毛羽に対しては直接的な影響は少ない。むしろ問題となるのは、シリカガラスヤーンに内在するシリカガラスフィラメントの強度分布により、製織工程、開繊工程中にシリカガラスヤーンが部分的に断裂して毛羽となる場合である。
【００３４】
特に、高圧のウォータージェット水流を用いて繊維同士を滑らせて行う開繊処理工程においては、シリカガラスヤーン自体に強烈な圧力が加わるために、シリカガラスヤーンに部分的に弱いフィラメントが内在すると、シリカガラスヤーンの部分断裂を生じ易い。
【００３５】
シリカガラスヤーン内部に強度の弱いフィラメントが存在する場合には、部分断裂を防止するために、本来必要な圧力条件を設定することができないために得られるシリカガラスクロスの平坦度が低下してしまう。
【００３６】
そこで、本発明においては、このようなシリカガラスヤーンの部分的断裂を予めシリカガラスヤーンの破断試験における応力・歪曲線を検討することにより予想し、表面欠陥が少ないシリカガラスヤーンを得ることができる。
【００３７】
図６は、シリカガラスヤーンの応力・歪曲線の模式的説明図であり、（Ａ）は全てのシリカガラスフィラメントが同一の引っ張り強度を有する場合であり、（Ｂ）はシリカガラスフィラメントが引っ張り強度にばらつきのある場合である。
本明細書において、応力・歪曲線は、ＪＩＳ  Ｒ  ３４２０：２０１３「ガラス繊維一般試験方法」の「７．４．１  引張試験方法」の「ａ）に規定される定速伸長型引張試験方法（ＣＲＥ）」において、図６に示した如く、横軸をシリカガラスヤーンの歪（歪：つかみ間の長さをつかみ間隔２５０ｍｍで除し、％表記したもの）に、縦軸に応力（シリカガラスヤーンの両端に掛る張力）をプロットして得られる曲線である。
【００３８】
シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメント全てが同一の引っ張り強度を有している場合、シリカガラスヤーンは図６（Ａ）に示されるように、ある応力において一度に破断する。このシリカガラスヤーンが破断した応力を圧力換算した値が、本願における引っ張り強度である。
【００３９】
一方、実際にはシリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントは、強度にばらつきを有している。この場合、歪の増加に伴い強度の弱いシリカガラスフィラメントから順次破断して行く。図６（Ｂ）に示すように、一部のシリカガラスフィラメントの破断によって、シリカガラスヤーンの実質的な断面積が減少し、シリカガラスヤーンに付加された応力が圧力としては増大するために、応力・歪曲線上の歪に対する応力の増加率（曲線の傾き）が変化する。その結果、応力・歪曲線に変曲点が生じる。この変曲点を破断点と定義し、破断点における応力を引張試験開始時のシリカガラスヤーンの断面積で除し、圧力換算した値を破断点の強度と称し、破断点の内、最初の破断点を破断開始点、破断開始点における強度を破断開始強度と定義した。なお、シリカガラスフィラメントの部分破断が、破断開始強度と引っ張り強度の間のいずれかで生じることから、破断開始点における強度について、シリカガラスヤーンの引っ張り強度を基準に規定した。
【００４０】
シリカガラスヤーンの部分断裂を防止する観点から、シリカガラスヤーンの破断開始点が重要である。
シリカガラスフィラメントの破断開始強度は、シリカガラスフィラメントの強度のばらつきを少なくする観点から、シリカガラスヤーンの引っ張り強度の好ましくは８０．０％以上、より好ましくは８５．０％以上、更に好ましくは９０．０％以上であり、シリカガラスフィラメントの破断開始強度の上限は１００．０％である。
【００４１】
本発明のシリカガラスヤーンに用いられるシリカガラスフィラメントのフィラメント径は、シリカガラスクロスの厚さの観点から、好ましくは３．０〜１０．０μｍ、より好ましくは３．５〜７μｍ、更に好ましくは３．５〜５．５μｍである。
【００４２】
なお、シリカガラスフィラメントのフィラメント径の測定は、シリカガラスヤーンを切断して、その切断面を電子顕微鏡で写真撮影し、写真上の切断面の径をノギスで計測して倍率を換算して算出した。
【００４３】
また、シリカガラスフィラメントのフィラメント本数は、シリカガラスクロスの厚さ又はシリカガラスヤーンの強度の観点から、好ましくは２０〜３００本、より好ましくは２５〜２００本、更に好ましくは３０〜１５０本である。
【００４４】
シリカガラスフィラメントのＳｉＯ２組成量は、好ましくは９８．０〜１００．０質量％、より好ましくは９９．０〜１００．０質量％、更に好ましくは９９．５〜１００．０質量％である。
【００４５】
シリカガラスヤーンに用いられるシリカガラスフィラメントの製造方法は、所望の真円度を有するシリカガラスインゴットを公知の紡糸方法により紡糸することにより得られる。糸癖密度が低いシリカガラスヤーンを得るためには、引用文献１に記載されるように、シリカガラス製太繊維の原料となるシリカガラスインゴットの炉内への送り速度を制御し、シリカガラスフィラメントの巻き取り速度を制御するだけでは十分ではなく、更に原料のシリカガラスインゴットの断面の真円度を十分に確保することが必要である。例えば、φ１００〜２００ｍｍのシリカガラスインゴットの場合、真円度が好ましくは５０μｍ以下、より好ましくは３０μｍ以下、更に好ましくは２０μｍ以下になるように、精密研磨することが好ましい。
【００４６】
所望の真円度を有するシリカガラスインゴットは、例えば、円筒研削盤による円筒研削により得られる。具体的には、シリカガラスインゴットを円筒研削盤のチャックの両端に把持し、移動する回転砥石を用いてゆっくりと移動させつつ、シリカガラスインゴットの表面の研削を行う。この際、回転砥石の粗さと切りこみ量を変えて調整しつつ、例えば、荒削り加工工程及び仕上げ加工工程に分けて、複数回の円筒研削を行う。具体的には、荒削り加工工程では、回転砥石の粗さが、好ましくはＪＩＳ粒度表示で＃１００／１２０〜＃１４０／１７０、より好ましくは＃１２０／１４０である砥石を用いて、切り込み量が、好ましくは０．０１０〜０．０３０ｍｍ、より好ましくは０．０１５〜０．０２５ｍｍになるように加工する。その後の仕上げ加工工程では、回転砥石の粗さが、好ましくはＪＩＳ粒度表示で＃２３０／２７０〜＃３２５／４００、より好ましくは＃２７０／３２５である砥石を用いて、切り込み量が好ましくは０．００５〜０．０１０ｍｍ、より好ましくは０．００６〜０．００９ｍｍになるように加工する。１回の円筒研削を行った後、シリカガラスインゴットから厚さ１０ｍｍのサンプルを切り出し、その真円度を計測し、結果を次の円筒研削にフィードバックするという作業を複数回繰り返して、所望の真円度を有するシリカガラスインゴットを得る。
【００４７】
ここで、シリカガラスインゴットの真円度とは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６２１−１９８４  「幾何偏差の定義及び表示」の「４．３  真円度」において定義される円形形状の幾何学的に正しい円からの狂いの大きさをいう。具体的には、同「５．３  真円度」に規定されるように、円形形体を二つの同心の幾何学的円で挟んだとき、同心二円の間隔が最小となる場合の、二円の半径の差をいう。なお、ＪＩＳでは真円度の単位はｍｍ又はμｍで表されるが、本願においては真円度が非常に微小な値であるため、真円度の単位をμｍで表すものとする。
【００４８】
真円度は、原料のシリカガラスインゴットを厚さ１０ｍｍに切断して、ＪＩＳ  Ｂ  ７４５１：１９９７「真円度測定機」を満たす真円度測定機（例えば、ミツトヨ製ラウンドテストＲＡ−２２００ＡＳ等）を用いて測定することができる。
【００４９】
シリカガラスヤーンの製造方法としては、例えば、図２に示すように、所望の真円度を有し、直径５０〜２００ｍｍのシリカガラスインゴット２０を抵抗加熱式電気炉４２内で加熱延伸し、直径１００〜３００μｍのシリカガラス製太繊維４３を製造する。その際、シリカガラス製太繊維の外径をレーザー式外径測定機４４で測定し、シリカガラスインゴット２０の抵抗加熱式電気炉内への挿入速度Ｖ１と、シリカガラス製太繊維の巻き取り速度Ｖ２をフィードバック制御することが好適である。図２において、符号Ｍはシリカガラス製太繊維４３を巻き取るための高精度巻き取り機を示す。また、符号４６は炉心管、符号４８はガス導入管、符号６１はシリカガラス製太繊維４３の巻き取り速度を制御する巻き取り速度制御部、符号６２はシリカガラスインゴット２０の送り速度を制御するインゴット送り速度制御部である。
【００５０】
更に、シリカガラス製太繊維を延伸する際、シリカガラス製太繊維に局所的な外径のばらつきが存在すると、最終的に得られるシリカガラスフィラメントの強度分布が生じてしまうことから、シリカガラス製太繊維の局所的な外径の変動を抑制する目的で、抵抗加熱式電気炉内の温度分布を極力小さくする手段を講じることが好ましい。具体的には、ヒータ保護のために抵抗加熱式電気炉内に導入される不活性ガスの種類、導入経路、ガス流量等に配慮し、不活性ガスによって抵抗加熱式電気炉内の温度均一性が乱されないように注意することが好適である。
例えば、抵抗加熱式電気炉内への窒素ガス等の保護ガスの導入経路について、従来の１個所（図５）から複数個所（図４では、４個所のガス導入管）に増加させ、抵抗加熱式電気炉下部から上部に向けて各部位からのガス流量が均一になるように４つのガス導入管４８をそれぞれに独立した圧力調整器と流量計を配してガスを流すことが好ましい。
【００５１】
前記製造したシリカガラス製太繊維４３からシリカガラスストランドを製造するには、図３に示したように、複数本の直径１００〜３００μｍのシリカガラス製太繊維４３を幅広酸水素火炎バーナーＢ１からのバーナー火炎Ｆ１中に、送りローラ５３の回転数を制御することにより、送り速度を制御しつつ導入すると同時に、バーナーの反対方向からサイジングアプリケーター５０及び集束器４７を介して束ねつつ、巻き取り機４９にて巻き取ることにより加熱延伸して、３０〜１００本のシリカガラスフィラメント１４を作製し、それらをサイジングアプリケーター５０でサイジング剤を塗布後、集束器４７により集束してシリカガラスストランド１８が製造される。製造されたシリカガラスストランド１８は、その後、巻き取り機４９により巻き取られる。この方法では、直径が３．０〜１０．０μｍのシリカガラスフィラメント１４を得ることができる。
【００５２】
前記シリカガラスストランドに対して、撚糸機を用いて所定の撚り数で撚りを掛けることにより、本発明のシリカガラスヤーンを製造することができる。
前記撚り数は、シリカガラスクロスの開繊のし易さ（撚り数が少ないほど開繊し易い）及びシリカガラスヤーンの強度（撚り数が多いほど強度が高い）の観点から、好ましくは４〜２４撚り／ｍ、より好ましくは４〜１６撚り／ｍ、更に好ましくは４〜１２撚り／ｍである。
【００５３】
また、シリカガラスヤーンの全工程を通じて、シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントの強度分布を低減するため、紡糸又は撚糸の際の糸道に存在する集束器（紡糸工程）、スパイラルワイヤ（紡糸工程）、ヤーンガイド（撚糸工程）、トラベラー（撚糸工程）の変形や傷に配慮することが好ましい。即ち、シリカガラスヤーンは非常に硬くて脆いため、接触する部材を傷つけやすい一方、自身も傷つきやすい。このため、シリカガラスフィラメントやシリカガラスヤーンが接触する箇所は常に綿密な検査を行って傷があった場合は、直ちに傷のない部品に変更することが望ましい。
【００５４】
（２）シリカガラスクロス
本発明のシリカガラスクロスは、本発明のシリカガラスヤーンを用いて製造される。シリカガラスクロスの製造方法は特に制限はなく、公知の方法により製造することができる。具体的には、本発明のシリカガラスクロスは、本発明のシリカガラスヤーンを常法により平織り等にて製織し、開繊した布であり、経糸と緯糸が周期的に交差する形で配置されている。その後、必要に応じてアミノシラン、ビニルシラン、アクリルシラン等のシランカップリング剤により表面処理を行う。シリカガラスクロスに樹脂を含侵させて形成されるプリント配線基板においては、微視的に見ると布の糸と糸との交差部分は樹脂量が少なく、目（経糸と緯糸の間の空隙）の部分では樹脂量が多い。シリカガラスクロスと樹脂との比誘電率の差は大きいため、この樹脂量の相対的な変化によって、基板に微視的な誘電率の分布が生じ、これが基板上部に形成された電子回路を伝搬する高周波信号の伝搬速度に差を生じる。
【００５５】
プリント配線基板に生じる糸目による基板の比誘電率の差を低減するために、シリカガラスクロスを構成するシリカガラスヤーンを製織後、経糸及び緯糸のシリカガラスフィラメントを水流等で押し広げる、いわゆる開繊処置（「目詰め処置」ともいう。）を行う。十分な開繊処理により、シリカガラスヤーンを構成しているフィラメント束は十分にばらけて、平面的に見た場合、シリカガラスヤーン幅は広がり、逆に目は狭くなって、シリカガラスクロスの厚さは薄くなる。
【００５６】
本発明において、シリカガラスクロスの厚さは、好ましくは８〜３５μｍ、より好ましくは１０〜３０μｍである。
【００５７】
糸癖密度が低い、すなわち、糸癖による屈曲点が少ないシリカガラスヤーンを用いた場合、表面の凹凸が少ないシリカガラスクロスが得られる。具体的には、測定圧６３．２ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの平均値が、測定圧１５７．９ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの平均値の好ましくは１００〜１１０％、より好ましくは１００〜１０８％、更に好ましくは１００〜１０５％である。
【００５８】
ここで、シリカガラスクロスの厚さは、通常圧力下で測定されるため、シリカガラスクロス表面の凹凸を測定できず、凹凸の程度を知るためにはほぼ無加重の状態でのシリカガラスクロスの厚さの測定が必要となる。
【００５９】
しかし、無加重状態でのシリカガラスクロス厚さの測定は、測定機の先端がシリカガラスクロス表面に接触したか否かの測定者の感覚による差異が大きく、得られる数値の信頼性が乏しい。そこで、本発明では無加重の状態の代わりに、信頼性が高く、測定機で設定できる極力低い圧力として６３．２ｋＰａ下での測定を行い、通常の圧力である１５７．９ｋＰａ下での測定の結果との差を比較してシリカガラスクロス表面の凹凸の程度を調べた。
【００６０】
なお、シリカガラスクロスの厚さは、ＪＩＳ  Ｒ  ３４２０：２０１３「ガラス繊維一般試験方法」の「７．１０．１．１  試験用機械器具」における「ａ）デッドウエイトマイクロメータ」中の「２）電子式マイクロメータ」を用いて測定する。具体的には、測定圧として６３．２ｋＰａから１５７．９ｋＰａの範囲を含むマイクロメータ（例えば、ミツトヨ測定力可変式デジマックマイクロメータソフトタッチマイクロＣＬＭ２−１０ＱＢＭ）を用いて測定する。操作は、ＪＩＳ  Ｒ  ３４２０：２０１３「ガラス繊維一般試験方法」の「７．１０．１．４  操作」中の「ｂ）Ｂ法」に準じるが、測定圧を６３．２ｋＰａ下及び１５７．９ｋＰａ下で測定した。
ここで、測定力可変式マイクロメータで変えられるのは測定力であるため、測定力を測定アンビルの面積で除することにより、測定力を測定圧に変換する必要がある。例示したミツトヨ測定力可変式デジマックマイクロメータソフトタッチマイクロＣＬＭ２−１０ＱＢＭの場合、測定アンビル直径が６．３５ｍｍであるため、測定力が２Ｎの場合及び５Ｎの場合のそれぞれの測定圧は、６３．２ｋＰａ及び１５７．９ｋＰａとなる。
【００６１】
また、同「７．１０．１．４  操作」中の「ｃ）」に示されるように、クロス厚さの測定は、７５ｍｍ以上離れた５か所について行い、その平均値をシリカガラスクロスの厚さとした。更に、そのばらつきを標準偏差として求め、厚さの平均値で除して変動係数とした。但し、各々の測定点に関して、測定圧６３．２ｋＰａ下及び１５７．９ｋＰａ下で測定を行うものとする。
【００６２】
また、測定圧６３．２ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるシリカガラスクロス厚さの変動係数は、好ましくは１０％以内、より好ましくは７％以内、更に好ましくは５％以内である。即ち、シリカガラスクロス厚さの変動係数を抑えることにより、シリカガラスクロス全体に及ぶ平坦度を均一にすることが可能である。
【００６３】
開繊の度合いを示す尺度として、シリカガラスクロスの平坦度は、下記式（１）によって求められる。
【数１】
2020090432.tif 000003
式（１）中、ＴＣは、シリカガラスクロスの厚さを表し、ＴＡＢＳは、究極的に開繊されたと仮定した場合のシリカガラスクロスの平均厚さを表す。
【００６４】
図７は究極的に開繊されたと仮定した場合のシリカガラスクロスの平坦度に関する模式的説明図である。図７において、符号１４は経糸シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメント、符号１５は究極的に開繊された状態の経糸シリカガラスヤーン、符号１６は基準面である。なお、基準面の幅を１とする。
本明細書において、シリカガラスクロスが究極的に開繊された状態とは、シリカガラスクロスを構成するシリカガラスヤーン及びシリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントが束縛なく、完全に平面上に分布した状態を表し、シリカガラスクロスの厚さとしては極限的に薄い（平坦な）状態を示す。実際にはシリカガラスヤーンは撚糸されているために、完全に開繊し平坦化することは有り得ないので、あくまで平坦度を数値化するための尺度として考える。
【００６５】
ここで、究極的に開繊された状態における経糸シリカガラスヤーンを構成するフィラメント１４は、図７（Ａ）に示すように、全て平面に並ぶ状態であるため、経糸シリカガラスヤーンの幅（Ｌｙ）は、下記式（２）で示すことができる。
Ｌｙ＝Ｄｆ×Ｎｆ・・・（２）
（式（２）中、Ｄｆはフィラメント径を表し、Ｎｆはシリカガラスヤーン中のフィラメント本数を表す。）
【００６６】
そして、究極的に開繊された状態においては、図７（Ｂ）に示すように、経糸シリカガラスヤーン自体も全て基準面上に並ぶ状態なので、基準面の幅に対する総フィラメントの幅Ｌは、下記式（３）で示すことができる。
Ｌ＝Ｌｙ×Ｎｙ  ・・・（３）
（式（３）中、Ｌｙはヤーン幅を表し、Ｎｙは基準面の幅中のヤーン本数を表す。）
【００６７】
したがって、基準面の幅当たりのシリカガラスクロスの平均厚さＴａｖｅは、図７（Ｃ）に示すように、経糸シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメント部分（幅Ｌで厚さＤｆ）とシリカガラスフィラメントが無い部分（幅１−Ｌ、厚さ０）の平均値であるので、下記式（４）で示すことができる。
Ｔａｖｅ＝Ｄｆ×Ｌ  ・・・（４）
【００６８】
前記式（２）〜（４）を整理すると、下記式（５）となる。
Ｔａｖｅ＝Ｄｆ×Ｎｙ×Ｄｆ×Ｎｆ＝Ｄｆ２×Ｎｙ×Ｎｆ  ・・・（５）
【００６９】
図７（Ａ）〜（Ｃ）は経糸シリカガラスヤーンに関してのみを示しているが、実際のシリカガラスクロスは緯糸シリカガラスヤーンも含まれる。緯糸シリカガラスヤーンと経糸シリカガラスヤーンは互いに交差するが、この交差によるクロス厚さの増加を無視するとした場合、究極的なシリカガラスクロスの厚さＴＡＢＳは、経糸Ｔａｖｅと緯糸Ｔａｖｅとの和とみなすことができる。したがって、ＴＡＢＳとして下記式（６）が導かれる。
【数２】
2020090432.tif 000004
（式（６）中、ＤＷｆは、経糸シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメント径（ｍｍ）、ＮＷｙは、基準面の幅当たりの経糸シリカガラスヤーンの本数（本）、ＮＷｆは、経糸シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントの本数（本）、ＤＦｆは、緯糸シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメント径（ｍｍ）、ＮＦｙは、基準面の幅当たりの緯糸シリカガラスヤーンの本数（本）、ＮＦｆは、緯糸シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントの本数（本）を表す。）
【００７０】
シリカガラスクロスの平坦度は、好ましくは１．９０以下、より好ましくは１．８８以下、更に好ましくは１．８５以下である。なお、シリカガラスクロスの平坦度の下限は低いことが好ましいことから、１．００である。
【実施例】
【００７１】
以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
【００７２】
［実施例１］
原料のシリカガラスインゴットとして、直径１２１ｍｍ、長さ２，０００ｍｍの合成シリカガラスインゴットを用意し、真円度を測定しつつ円筒研削を繰り返し、最終的に真円度が２０μｍである直径１２０ｍｍ、長さ１，９００ｍｍのシリカガラスインゴットを得た。
【００７３】
円筒研削工程は、シリカガラスインゴットを円筒研削盤の両チャックに保持し、＃１２０／１４０のダイアモンドホイールによる研削砥石を用いて、最大切り込み量０．０２ｍｍで４回の荒削り加工を施した。荒削り後、シリカガラスインゴットを円筒研削盤より外し、研削を施した端部から長さ１０ｍｍのサンプルを切り出し、ミツトヨ製ラウンドテストＲＡ−２２００ＡＳにて真円度測定を行ったところ、６０μｍであった。
【００７４】
次に、荒削り加工済みのシリカガラスインゴットを再度円筒研削盤にセットし、＃３２５／４００のダイアモンドホイールによる研削砥石を用いて、最大切り込み量０．００７ｍｍにて仕上げ加工を２回施した。加工後、同様に真円度測定用サンプルを切り出し、真円度測定を行ったところ、真円度は１０μｍであった。
【００７５】
図２に示す抵抗加熱式電気炉内にて、得られたシリカガラスインゴットを加熱延伸して、直径２３０μｍのシリカガラス製太繊維を製造した。この際、シリカガラス製太繊維の外径をレーザー式外径測定機４４で測定し、シリカガラスインゴット２０の抵抗加熱式電気炉内への挿入速度Ｖ１と、シリカガラス製太繊維の巻き取り速度Ｖ２をフィードバック制御した。なお、抵抗加熱式電気炉の保護ガスである窒素導入口として、図４に示した４つのガス導入管４８を用いて炉内の温度分布を極力小さくし、シリカガラス製太繊維の局所的な外径の変動を抑制した。
【００７６】
次に、図３に示すように、７０本並列に並んでいる幅広酸水素炎バーナーＢ１の火炎中に、前記シリカガラス製太繊維４３を７０本同時に、送りローラ５３の回転数を制御することにより、送り速度を制御しつつ導入すると同時に、バーナーの反対方向からサイジングアプリケーター５０及び集束器４７を介して束ねつつ、巻き取り機４９にて巻き取ることにより、直径が３．７μｍのフィラメント７０本からなるシリカガラスストランドを製造した。
【００７７】
得られたシリカガラスストランドを撚糸機により１６撚り／ｍの撚りを掛けてシリカガラスヤーンを製造した。
【００７８】
更に、このシリカガラスヤーンを用いて、織密度が経糸９５本／インチ（３．７４本／ｍｍ）、緯糸９５本／インチ（３．７４本／ｍｍ）の幅１ｍ、長さ１，０００ｍの平織りシリカガラスクロスを製造した。
【００７９】
次いで、複数の直径０．１〜０．２ｍｍの小口径の回転ノズルがシリカガラスクロスの幅方向に等間隔で配置された高圧のウォータージェットを用いて、シリカガラスクロスの開繊処理を行った。
【００８０】
その後、開繊処理後のシリカガラスクロスは、縦型塗工機を用いて、アミノシラン表面処理剤により表面処理塗工を行った。
【００８１】
なお、実施例１は紡糸及び得られたシリカガラスヤーンからシリカガラスクロスを製造するにあたって２回の試行を行ったため、それぞれシリカガラスヤーン実施例１−１及び１−２、シリカガラスクロス実施例１−１及び１−２とした。
【００８２】
１．シリカガラスヤーンの評価
得られたシリカガラスヤーンについて、前述した測定方法を用いてシリカガラスヤーンの糸癖密度、シリカガラスヤーンの引っ張り強度及び破断開始強度を測定した。表１に糸癖の結果を、表２にシリカガラスヤーンの引っ張り強度及び破断開始強度の結果をそれぞれ示す。
【００８３】
２．シリカガラスクロスの評価
得られたシリカガラスクロスについて、前述した測定方法を用いてクロス厚さを測定し、その平均値を算出した。すなわち、互いに７５ｍｍ以上離れた５点の測定点において、それぞれ測定圧６３．２ｋＰａ下及び１５７．９ｋＰａ下でクロス厚さをミツトヨ測定力可変式デジマックマイクロメータソフトタッチマイクロＣＬＭ２−１０ＱＢＭにより測定し、それら５点の平均値及び変動係数、測定圧１５７．９ｋＰａ下において測定されるクロス厚さの平均値に対する測定圧６３．２ｋＰａ下において測定されるクロス厚さの平均値の比を算出し、その結果を表３に示す。
【００８４】
また、得られたシリカガラスクロスの表面の平滑性について、以下の方法により、平坦度、光沢及び毛羽を評価した。その結果を表４に示す。
なお、評価は実施例及び比較例のシリカガラスクロスをロールにより引き出し、平坦なテーブル上に敷き、斜め上方より輝度１０，０００ルクスの光源を当てて、目視により評価した。
【００８５】
＜平坦度＞
平坦度は、開繊の度合いを示す尺度として、前述した下記式（１）によって数値化した。
【数３】
2020090432.tif 000005
式（１）中、ＴＣは、シリカガラスクロスの厚さを表し、ＴＡＢＳは、究極的に開繊されたと仮定した場合のシリカガラスクロスの平均厚さを表す。
【００８６】
ＴＡＢＳは、前述した下記式（６）を用いてシリカガラスクロスの各パラメータを入れて算出した。
【数４】
2020090432.tif 000006
【００８７】
各実施例及び比較例について、前記式（６）により究極的なシリカガラスクロス厚さＴＡＢＳを求めると、以下のようになった。
実施例１及び比較例１のＴＡＢＳ＝０．００７２（ｍｍ）
実施例２及び比較例２のＴＡＢＳ＝０．０１４８（ｍｍ）
【００８８】
これらの値を用いて、計算したシリカガラスクロスの平坦度の結果を下記表４に示す。また、平坦度の評価は、平坦度が１．９０以下を「○」、１．９１〜２．００を「△」、２．０１以上を「×」として評価した。
【００８９】
＜光沢＞
光沢については、シリカガラスクロス表面のうねりや糸癖によって、光沢がばらつくことを利用して、光沢のバラつきが認められない場合を「○」、光沢に若干のばらつきが認められる場合を「△」、光沢のバラつきがはなはだしい場合を「×」と評価した。
【００９０】
＜毛羽＞
毛羽については、１０個／ｍ２以下の場合を「○」、１１個／ｍ２以上２０個／ｍ２以下の場合を「△」、２１個／ｍ２以上の場合を「×」と評価した。
【００９１】
［実施例２］
フィラメント直径３．７μｍを５．３μｍに、フィラメント本数７０本を１００本に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、シリカガラスストランドを製造し、１２撚り／ｍの撚りを掛けてシリカガラスヤーンを製造した。
【００９２】
更に、このシリカガラスヤーンを用いて、実施例１と同様の方法より、織密度が経糸６６本／インチ（２．６０本／ｍｍ）、緯糸６８本／インチ（２．６８本／ｍｍ）の平織りシリカガラスクロスを製造した後に、これを実施例１と同じ開繊条件で開繊処理を施した。
【００９３】
実施例２は、紡糸及び得られたシリカガラスヤーンからシリカガラスクロスを製造するにあたって２回の試行を行ったため、それぞれシリカガラスヤーン実施例２−１及び２−２、シリカガラスクロス実施例２−１及び２−２とした。
得られたシリカガラスヤーン及びシリカガラスクロスについて、実施例１と同様の方法により評価を行った。結果を表１〜４に示す。
【００９４】
３．基板の評価
得られたシリカガラスクロスを用いてマイクロストリップラインの回路基板を形成し、特性インピーダンスの安定性を評価した。
【００９５】
マイクロストリップラインによる特性インピーダンス測定には、基板厚さが１００μｍ以上であることが好ましいため、クロス厚さが３０μｍ前後の実施例２−１及び比較例２−１のシリカガラスクロスを２層用いて特性インピーダンス測定用基板を製造し、評価を行った。
【００９６】
特性インピーダンス測定用基板の断面構造を図８に示す。図８において、符号１００はライン、符号１０２はグランド、符号１０３はシリカガラスクロス、符号１０４はプリプレグである。
前記得られたシリカガラスクロス１０３に、シリカガラスフィラーを５０質量％含有するエポキシ樹脂を含浸して、シリカガラスクロス１０３及びエポキシ樹脂からなるプリプレグ１０４を製造した。得られたプリプレグ１０４におけるシリカガラスクロス１０３とエポキシ樹脂の割合は、前者が４０質量％であり、後者が６０質量％であった。
このプリプレグ１０４を２層重ね、更にその外側両面に重ねた銅箔と共に加熱加圧して、両面銅張積層板（両面ＣＣＬ）を製造し、これを特性インピーダンス測定用基板とした。
特性インピーダンス測定用基板の厚さは１００μｍであり、評価するライン１００は、特性インピーダンス測定用基板の両面に形成したマイクロストリップラインでライン幅１００μｍ、ライン長は３０ｍｍとした。
【００９７】
Ａｇｉｌｅｎｔ社製ＴＤＲ５４７５４Ａを用い、特性インピーダンスＺを測定し、その最大値と最小値の差をばらつきとして評価した。
ＴＤＲパルスの立ち上がり時間は２０ｐｓとし、３回の測定を行い、データ両端の値を除外した後、それぞれのＴＤＲタイム（５３．４〜５４．４ｎｓ）における特性インピーダンスＺの平均値の差分（最大値―最小値）を特性インピーダンスＺばらつきとした。
特性インピーダンスＺばらつきが、特性インピーダンスＺに対して２％未満の場合を「○」、それ以上を「×」として評価した。評価結果を表５に示す。
【００９８】
［比較例１］
原料のシリカガラスインゴットの円筒研削を行わない以外は、実施例１と同様の方法により直径２３０μｍのシリカガラス製太繊維を得た後に、実施例１と同様の方法により、シリカガラスフィラメント径３．７μｍ、シリカガラスフィラメント本数７０本からなるシリカガラスストランドを製造し、１６撚り／ｍの撚りを掛けてシリカガラスヤーンを製造した。
【００９９】
更に、このシリカガラスヤーンを用いて実施例１と同様の方法より、織密度が経糸９５本／インチ（３．７４本／ｍｍ）、緯糸９５本／インチ（３．７４本／ｍｍ）の幅１ｍ、長さ１，０００ｍの平織りシリカガラスクロスを製造した後に、これを実施例１と同じ開繊条件により開繊処理を行った。
【０１００】
比較例１は、紡糸及び得られたシリカガラスヤーンからシリカガラスクロスを製造するにあたって２回の試行を行ったため、それぞれシリカガラスヤーン比較例１−１及び１−２、シリカガラスクロス比較例１−１及び１−２とした。
得られたシリカガラスヤーン及びシリカガラスクロスについて、実施例１と同様の方法により評価を行った。結果を表１〜４に示す。
【０１０１】
［比較例２］
原料のシリカガラスインゴットの円筒研削を行わない以外は実施例１と同様の方法により、直径２３０μｍのシリカガラス製太繊維を得た後に、他の条件は実施例２と同様の方法によりシリカガラスフィラメント径５．３μｍ、シリカガラスフィラメント本数１００本からなるシリカガラスストランドを製造し、１２撚り／ｍのシリカガラスヤーンを製造した。
【０１０２】
更に、このシリカガラスヤーンを用いて実施例１と同様の方法より、織密度が経糸６６本／インチ（２．６０本／ｍｍ）、緯糸６８本／インチ（２．６８本／ｍｍ）の平織りシリカガラスクロスを製造した後に、これを実施例１と同じ開繊条件で開繊処理を施した。
【０１０３】
比較例２は、紡糸及び得られたシリカガラスヤーンからシリカガラスクロスを製造するにあたって２回の試行を行ったため、それぞれシリカガラスヤーン比較例２−１及び２−２、シリカガラスクロス比較例２−１及び２−２とした。
得られたシリカガラスヤーン及びシリカガラスクロスについて、実施例１と同様の方法により評価を行った。結果を表１〜４に示す。
【０１０４】
また、比較例２−１のシリカガラスクロスに、シリカガラスフィラーを５０質量％含有するエポキシ樹脂を含浸して、シリカガラスクロス及びエポキシ樹脂からなるプリプレグを製造した。得られたプリプレグにおけるシリカガラスクロスとエポキシ樹脂の割合は、前者が４０質量％であり、後者が６０質量％であった。
このプリプレグを２層重ね、更にその外側両面に重ねた銅箔と共に加熱加圧して、両面銅張積層板（両面ＣＣＬ）を製造し、実施例２−１と同様に基板の評価を行った。結果を表５に示す。
【０１０５】
【表１】
2020090432.tif 000007
【０１０６】
【表２】
2020090432.tif 000008
【０１０７】
【表３】
2020090432.tif 000009
【０１０８】
【表４】
2020090432.tif 000010
【０１０９】
【表５】
2020090432.tif 000011
【０１１０】
表１〜表５に示した如く、糸癖による屈曲点が少ないシリカガラスヤーンである実施例１及び２により得られたシリカガラスクロスは、優れた平坦性を有し、光沢にばらつきがなく、毛羽も抑えられており、更に、特性インピーダンスの安定性にも優れていた。
【符号の説明】
【０１１１】
１０：シリカガラスヤーン、１２：シリカガラスヤーンの屈曲点、１３：屈曲点ではない曲部、１４：シリカガラスフィラメント、１５：究極的に開繊された状態の経糸シリカガラスヤーン、１６：基準面、１８：シリカガラスストランド、２０：シリカガラスインゴット、４２：抵抗加熱式電気炉、４３：シリカガラス製太繊維、４４：レーザー式外径測定機、４６：炉心管、４７：集束器、４８：ガス導入管、４９：巻き取り機、５０：サイジングアプリケーター、５３：送りローラ、６１：巻き取り速度制御部、６２：インゴット送り速度制御部、１００：ライン、１０２：グランド、１０３：シリカガラスクロス、１０４：プリプレグ、Ｂ１：幅広酸水素火炎バーナー、Ｆ１：バーナー火炎、Ｍ：高精度巻き取り機、ｒ：曲率半径、Ｖ１：シリカガラスインゴットの挿入速度、Ｖ２：シリカガラス製太繊維の巻き取り速度、θ：折れ角。
【図１】
2020090432.tif 000012
【図２】
2020090432.tif 000013
【図３】
2020090432.tif 000014
【図４】
2020090432.tif 000015
【図５】
2020090432.tif 000016
【図６】
2020090432.tif 000017
【図７】
2020090432.tif 000018
【図８】
2020090432.tif 000019
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月9日(2019.7.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
曲率半径５ｍｍ以下で且つ折れ角が１２０度以下の屈曲点を有する糸癖の糸癖密度が０．１０個／ｃｍ以下であるシリカガラスヤーンであって、
前記シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントのフィラメント径が３．０〜１０．０μｍであり、フィラメント本数が２０〜３００本であり、かつ撚り数が４〜２４撚り／ｍである、シリカガラスヤーン。
【請求項２】
前記シリカガラスヤーンの引っ張り強度が、２．０ＧＰａ以上であり、前記シリカガラスヤーンを構成するシリカガラスフィラメントの破断開始強度が、前記シリカガラスヤーンの引っ張り強度の８０．０％以上である請求項１に記載のシリカガラスヤーン。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のシリカガラスヤーンを用いて、製織、開繊してなるシリカガラスクロス。
【請求項４】
測定圧６３．２ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの平均値が、測定圧１５７．９ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの平均値の１００〜１１０％である請求項３に記載のシリカガラスクロス。
【請求項５】
測定圧６３．２ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの変動係数が、１０％以内である請求項３又は４に記載のシリカガラスクロス。
【請求項６】
曲率半径５ｍｍ以下で且つ折れ角が１２０度以下の屈曲点を有する糸癖の糸癖密度が０．１０個／ｃｍ以下であるシリカガラスヤーンを用いて、製織、開繊してなるシリカガラスクロスであって、
測定圧６３．２ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの平均値が、測定圧１５７．９ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの平均値の１００〜１１０％であるシリカガラスクロス。
【請求項７】
曲率半径５ｍｍ以下で且つ折れ角が１２０度以下の屈曲点を有する糸癖の糸癖密度が０．１０個／ｃｍ以下であるシリカガラスヤーンを用いて、製織、開繊してなるシリカガラスクロスであって、
測定圧６３．２ｋＰａ下で電子式マイクロメータにより測定されるクロス厚さの変動係数が、１０％以内であるシリカガラスクロス。