(57)【要約】【課題】ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法等を提供すること。【解決手段】ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法は、真空チャンバー２０とドライ真空ポンプ３０との間に介在する垂直方向に配設された配管４０に所定の加振装置１を装着して、当該配管４０を振動させることにより、ドライ真空ポンプの停止又は故障を回避又は防止する。加振装置１は、配管４０の外周に装着するクランプ部１１と、クランプ部１１から延伸する支持部１２と、支持部１２と接続する所定の振動源１３と、を少なくとも備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空設備を構成するドライ真空ポンプが停止又は故障することを回避又は防止する方法であって、
真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する垂直方向に配設された配管に所定の加振装置を装着して、当該配管を振動させることにより、
ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法。
【請求項２】
真空設備を構成するドライ真空ポンプが停止又は故障することを回避又は防止する方法であって、
真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する垂直方向に配設された配管に所定の加振装置を装着して、当該配管を超音波振動させることにより、
ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法。
【請求項３】
請求項１のドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法に使用する加振装置であって、
真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在して配設される垂直方向配管の外周に装着するクランプ部（１１）と、
前記クランプ部から延伸する支持部（１２）と、
前記支持部に接続する振動源（１３）と、
を少なくとも備える加振装置。
【請求項４】
請求項２のドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法に使用する加振装置であって、
真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在して配設される垂直方向配管の外周に装着するクランプ部と、
前記クランプ部から延伸する支持部と、
前記支持部に接続する振動源と、
を少なくとも備え、
前記振動源（１３）として、超音波発信装置（１３２）及び超音波変換装置（１３１）とで構成した加振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを防止する方法及び前記方法を実現するために使用する真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する垂直方向に配設された配管に装着する所定の加振装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体等を製造する真空設備のレイアウトについて、真空チャンバー、ドライ真空ポンプ等を同層階に設置する場合（以下、「同層階レイアウト」と呼ぶ。）が従来は多かった。
【０００３】
ところが最近は、真空チャンバーを２階に設置してドライ真空ポンプをその下層階（例えば、１階）に設置するといったレイアウト（以下、「上下層階レイアウト」と呼ぶ。）が増えている。
【０００４】
従来の様な同層階レイアウトの場合は、真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する配管は水平方向に配設されるため、真空チャンバーから放出された粉体は、重力の影響を受けながら配管内を水平方向に移動するため、微量ずつしかドライ真空ポンプに到達しない。
【０００５】
一方で、上下層階レイアウトの場合は、真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する配管は垂直方向に配設される。このようなレイアウトにおける真空チャンバーから放出された粉体について、同層階レイアウトの場合と同様に微量ずつドライ真空ポンプに到達する粉体も存在はするが、配管の内周面にいったん付着し一定程度堆積をした後にその自重等でまとまって落下し、ドライ真空ポンプに到達することもある。
【０００６】
ところで、流路内の残留流体を、超音波振動を利用して洗浄する加振装置の発明が存在する（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−３５８３６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した様な上下層階レイアウトで粉体がまとまって多量に落下してドライ真空ポンプに到達した場合、ドライ真空ポンプの停止（ロック）が生じたり、あるいはドライ真空ポンプの故障につながる可能性もある。
【０００９】
前述した特許文献１の加振装置は、流路内の残留物を、超音波振動を利用して洗浄するという点では同様であるが、残留塗料洗浄を目的とし人の手による操作を必要とする装置であるという点で異なる。そのため、上述した様な環境下では必要とされる効果は得られないものと考える。
【００１０】
そこで、上述した様な環境下で使用されるドライ真空ポンプが、真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法並びにその方法で使用する加振装置を提供することを課題とした。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願発明は、真空設備を構成するドライ真空ポンプが停止又は故障することを回避又は防止する方法であって、真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する垂直方向に配設された配管に所定の加振装置を装着して、当該配管を振動させることにより、ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法を提供する。
【００１２】
本願発明は、真空設備を構成するドライ真空ポンプが停止又は故障することを回避又は防止する方法であって、真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する垂直方向に配設された配管に所定の加振装置を装着して、当該配管を超音波振動させることにより、ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法を提供する。
【００１３】
また、本願発明は、上述した方法に使用する加振装置であって、真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在して配設される垂直方向配管の外周に装着するクランプ部と、前記クランプ部から延伸する支持部と、前記支持部に接続する振動源と、を少なくとも備える加振装置を提供する。
【００１４】
また、本願発明は、上述した方法に使用する加振装置であって、真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在して配設される垂直方向配管の外周に装着するクランプ部と、前記クランプ部から延伸する支持部と、前記支持部に接続する振動源と、を少なくとも備え、前記振動源として、超音波発信装置及び超音波変換装置とで構成した加振装置を提供する。
【発明の効果】
【００１５】
本願発明のドライ真空ポンプが停止又は故障することを回避又は防止する方法は、真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する垂直方向に配設された配管に所定の加振装置を装着し、その後に前記加振装置からの振動により当該配管を振動させる工程により、既に当該配管の内周面に粉体が付着している場合は、その粉体の量が多量になる前に洗浄できる。また、当該配管の内周面に粉体が付着していない場合は、その後も配管の内周面に一定量以上の粉体が付着堆積しないように抑制又は防止することができる。
【００１６】
本願発明のドライ真空ポンプが停止又は故障することを回避又は防止する方法は、加振装置から発生させる振動を所定の超音波振動にしているため、粉体の洗浄効果や付着堆積を抑制又は防止する効果がより高くなる。
【００１７】
本願発明の加振装置は、真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在して配設される垂直方向配管の外周に装着するクランプ部と、所定の支持部と、所定の振動源と、で構成するため、既存の真空設備に対して容易に装着することが可能である。
【００１８】
本願発明の加振装置は、さらに、前記振動源として、超音波発信装置及び超音波変換装置とで構成するため、粉体の洗浄効果や付着堆積を抑制又は防止する効果がより高くなる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は加振装置の全体構成を示す外観図である。
【図２】図２は垂直配管に加振装置を装着固定した状態をあらわした図である。
【図３】図３は垂直配管内の作動イメージ（加振開始時）をあらわした図である。
【図４】図４は垂直配管内の作動イメージ（加振中）をあらわした図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する垂直方向に配設された配管に所定の加振装置を装着して使用する。
【実施例１】
【００２１】
まずは、加振装置の構成について、図１に従い説明する。
【００２２】
加振装置（１）は、円筒形状の配管の外周に装着固定した際に輪形状になるクランプ部（１１）と、前記クランプ部から延伸する支持部（１２）と、前記支持部と接続する振動源（１３）とで構成する（図１）。
【００２３】
前記クランプ部（１１）の輪形状サイズについて、配管に装着固定した際に隙間なく当該配管の全周囲にわたって接するような輪形状サイズとしている。
【００２４】
前記支持部（１２）を設ける位置（延伸する位置）について、前記クランプ部の固定機構を設ける位置（前記クランプ部の開放位置）と対向する位置から延伸をさせている（図１）。
【００２５】
前記振動源（１３）について、前記支持部（１２）と接続をすることにより、前記クランプ部（１１）を介して当該配管に所定の振動を加えることができる機構であれば良いが、超音波振動を加えることができる機構である方が好ましい。
【００２６】
前記振動源（１３）の具体的な構成について、本実施例では、前記支持部（１２）の端部と螺着により接続する超音波変換装置（１３１）と、前記超音波変換装置と電気的に接続する超音波発信装置（１３２）と、で構成している（図１）。
【００２７】
次に、加振装置を真空設備に装着して稼働させた際の作動について図２から図４に従い説明する。
【００２８】
真空チャンバー（２０）とドライ真空ポンプ（３０）との間に介在する垂直方向に配設される配管（４０）の外周にクランプ部（１１）を装着し固定する（図２）。
【００２９】
なお、前記配管のサイズについて、本作動例ではΦ１００（外径１１４．３ミリメートル、肉厚６ミリメートル）の配管を使用している。また、前記真空チャンバー（２０）の底部には、真空の程度をあげるためのターボ分子ポンプが設けられている。
【００３０】
次に、支持部（１２）の端部に超音波変換装置（１３１）を螺着し、前記超音波変換装置に超音波発信装置（１３２）を電気的に接続した後、所定の超音波振動を発生させる（図２）。
【００３１】
前記前記超音波変換装置（１３１）及び超音波発信装置（１３２）により発生させた超音波振動は、前記支持部（１２）を介して前記クランプ部（１１）に伝わる（図３）。
【００３２】
前記クランプ部（１１）に伝わった超音波振動は、配管（４０）と接している箇所から加振をすることによって当該配管全体へ伝わり、既に当該配管の内周面に付着している粉体を落下させる（図４）。
【００３３】
また、当該配管の内周面に付着しようとする粉体を抑制する。このため、粉体は当該配管の内周面で多量に堆積せず、多量の粉体がまとまってドライ真空ポンプに落下することを防止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本願発明のドライ真空ポンプの停止又は故障を回避又は防止する方法は、ドライ真空ポンプだけでなく、真空設備の稼働率を飛躍的に向上させる優れた方法であるから産業上の利用可能性を有する。また、本願発明の加振装置は、真空設備の稼働率を飛躍的に向上させかつ装着も容易な優れた加振装置であるから産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００３５】
１        加振装置
１１      クランプ部
１２      支持部
１３      振動源
１３１    超音波変換装置
１３２    超音波発信装置
２０      真空チャンバー
３０      ドライ真空ポンプ
４０      垂直配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2020090940.tif 000006