(57)【要約】【課題】シリンダの伸縮時における速度波形の歪を抑制できるとともにコストを低減できるシリンダ装置を提供する。【解決手段】シリンダ装置１は、液体の供給により伸縮するシリンダ２と、ポンプ１４が吐出する液体をシリンダ２へ供給制御してシリンダ２の伸縮量を制御するサーボ弁３と、シリンダの伸縮を妨げる抵抗装置４とを備えている。このように構成されたシリンダ装置１では、シリンダ２の伸縮が抵抗装置４によって抑制されるのでサーボ弁３の駆動量が大きくなりサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が極めて短くなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の供給により伸縮するシリンダと、
ポンプが吐出する液体を前記シリンダへ供給制御して前記シリンダの伸縮量を制御するサーボ弁と、
シリンダの伸縮を妨げる抵抗装置とを備えた
ことを特徴とするシリンダ装置。
【請求項２】
前記抵抗装置は、前記シリンダの伸縮を妨げるばねを有する
ことを特徴とする請求項１に記載のシリンダ装置。
【請求項３】
前記抵抗装置は、前記シリンダの伸縮を妨げる錘を有する
ことを特徴とする請求項１または２に記載のシリンダ装置。
【請求項４】
前記シリンダは、チューブと、前記チューブ内に移動自在に挿入されて前記チューブ内を伸長側室と収縮側室とに区画するピストンと、前記チューブ内に移動自在に挿入されて前記ピストンに連結されるロッドとを有し、
前記抵抗装置は、前記ロッドと前記チューブの一方または両方に取り付けられて前記ロッドの前記チューブに対する移動を妨げる磁石を有する
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のシリンダ装置。
【請求項５】
前記抵抗装置は、前記シリンダの伸縮を妨げるダンパを有する
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のシリンダ装置。
【請求項６】
前記シリンダは、チューブと、前記チューブ内に移動自在に挿入されて前記チューブ内を伸長側室と収縮側室とに区画するピストンと、前記チューブ内に移動自在に挿入されて前記ピストンに連結されるロッドとを有し、
前記抵抗装置は、前記伸長側室と前記収縮側室とを連通する通路と、前記通路に設けられて前記通路を通過する液体の流れに抵抗を与える抵抗要素とを有する
ことを特徴とする請求項５に記載のシリンダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリンダ装置は、たとえば、テレスコピック型のシリンダと、ポンプが吐出する作動油をシリンダへ供給してシリンダを伸縮作動させるサーボ弁とを備えている。サーボ弁は、シリンダの伸長側室と収縮側室との各々に接続される制御ポートを備えてコントローラによって制御されており、選択した制御ポートへコントローラが指示する流量を供給するようになっている。
【０００３】
このようなサーボ弁は、中立位置で遮断ポジションを採るようになっており、一方の制御ポートから他方の制御ポートへ液体の供給を切換える際には遮断ポジションを跨ぐ必要がある。また、サーボ弁は、遮断ポジションにて各制御ポートを閉じきって各制御ポートへ全く液体を供給しないオーバーラップ型と、遮断ポジションにて閉じきらずに各制御ポートへ少ない流量の液体を供給するアンダーラップ型とがある。
【０００４】
オーバーラップ型のサーボ弁を使ってシリンダを正弦波で伸縮させる場合、サーボ弁が遮断ポジションでシリンダに作動油が供給されなくなってシリンダが一定時間静止するので、図９に示すように、シリンダの速度の波形は、速度０付近で乱れてしまう。
【０００５】
また、アンダーラップ型のサーボ弁を使ってシリンダを正弦波で伸縮させる場合、サーボ弁が閉じきりにならずシリンダを狙い通りに静止させられないのでフィードバック制御で大きな力を指示する指令が入力されてしまい、図１０に示すように、シリンダの速度の波形は速度０を過ぎた付近で乱れてしまう。
【０００６】
いずれにしても、サーボ弁を利用したシステムでは、制御ポートが切換えられるシリンダの伸縮の切換わり時において、シリンダの伸縮速度の波形に歪が生じてしまう。
【０００７】
この問題を解決するため、小流量の特性に優れる小容量サーボ弁と大流量の特性に優れる大容量サーボ弁の二つの流量特性の異なるサーボ弁を利用したシリンダ装置が開発されている。このようなシリンダ装置では、たとえば、目標流量が小容量サーボ弁で制御可能な範囲であれば小容量サーボ弁のみで流量制御を行い、目標流量が大容量サーボ弁で制御可能な範囲であれば大容量サーボ弁のみで流量制御を行っている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００８】
また、他のシリンダ装置では、大容量サーボ弁に制御ポートの切換時にオーバーラップして閉じきりとなるサーボ弁を利用し、目標流量が小容量サーボ弁で制御可能な範囲では大容量サーボ弁を閉じきって小容量サーボ弁で流量制御行っている（たとえば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平５−５２２０２号公報
【特許文献２】特開平９−２９１９０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
このように従来のシリンダ装置は、シリンダを高速で動作させたい場合には大容量サーボ弁を選択し、シリンダを高精度へ変位させたい場合には小容量サーボ弁を選択する。小容量サーボ弁における制御ポート切換時や小流量を通過させる場合の弁体の位置の変化に対する流量変化は、大容量サーボ弁のそれよりも小さいので、速度波形における歪を小さく改善できるのであるが、いまだ歪は残ってしまう。また、サーボ弁を二つ設けなければならず、コストも嵩んでしまう。
【００１１】
そこで、本発明は、シリンダの伸縮時における速度波形の歪を抑制できるとともにコストを低減できるシリンダ装置の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記した目的を達成するため、本発明のシリンダ装置は、液体の供給により伸縮するシリンダと、ポンプが吐出する液体をシリンダへ供給してシリンダの伸縮を制御するサーボ弁と、シリンダの伸縮を妨げる抵抗装置とを備えている。このように構成されたシリンダ装置では、シリンダの伸縮が抵抗装置によって抑制されるのでサーボ弁の駆動量が大きくなりサーボ弁が遮断ポジションを採る時間が極めて短くなる。よって、サーボ弁を複数設ける必要もなく、オーバーラップ型とアンダーラップ型のサーボ弁の形式を問わずに、シリンダの速度波形の歪を抑制できる。
【００１３】
また、抵抗装置は、錘であっても、ばねであっても、ダンパであっても、磁石であっても、伸長側室と収縮側室とを連通する通路と抵抗要素とで構成されてもよい。このように構成されたシリンダ装置によれば、シリンダの伸縮を容易に妨げ得る。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のシリンダ装置によれば、シリンダの伸縮時における速度波形の歪を抑制できるとともにコストを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】一実施の形態におけるシリンダ装置の構成図である。
【図２】オーバーラップ型のサーボ弁の電流流量特性を示した図である。
【図３】アンダーラップ型のサーボ弁の電流流量特性を示した図である。
【図４】一実施の形態の第一変形例におけるシリンダ装置の構成図である。
【図５】一実施の形態の第二変形例におけるシリンダ装置の構成図である。
【図６】一実施の形態の第三変形例におけるシリンダ装置の構成図である。
【図７】一実施の形態の第四変形例におけるシリンダ装置の構成図である。
【図８】一実施の形態の第五変形例におけるシリンダ装置の構成図である。
【図９】オーバーラップ型のサーボ弁を利用した従来のシリンダ装置の速度波形を示した図である。
【図１０】アンダーラップ型のサーボ弁を利用した従来のシリンダ装置の速度波形を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図に示した実施の形態に基づき、本発明を説明する。図１に示すように、一実施の形態におけるシリンダ装置１は、液体の供給により伸縮するシリンダ２と、シリンダ２の伸縮量を制御するサーボ弁３と、シリンダ２にオフセット荷重を与える抵抗装置４とを備えている。なお、サーボ弁３は、コントローラＣによって制御され、コントローラＣの指示する通りに液体をシリンダ２に供給制御してシリンダ２を伸縮駆動してシリンダ２の伸縮量を制御する。
【００１７】
以下、シリンダ装置１の各部について詳細に説明する。まず、シリンダ２は、図１に示すように、チューブ１１と、チューブ１１内に移動自在に挿入されるとともにチューブ１１内を伸長側室Ｒ１と収縮側室Ｒ２とに区画するピストン１２と、チューブ１１内に移動自在に挿入されるとともにピストン１２に連結されるロッド１３とを備えており、ロッド１３が伸長側室Ｒ１と収縮側室Ｒ２の両方に挿通される両ロッド型シリンダとされている。また、シリンダ装置１は、シリンダ２の駆動のためにポンプ１４とタンク１５とを備えている。なお、伸長側室Ｒ１と収縮側室Ｒ２およびタンク１５には、本例では、液体として作動油が充填されているが、作動油以外の液体を利用してもよい。
【００１８】
そして、シリンダ２は、ポンプ１４から吐出される液体としての作動油のチューブ１１内への供給によって伸縮作動する。具体的には、ポンプ１４が吐出される作動油が伸長側室Ｒ１へ供給されて収縮側室Ｒ２がタンク１５に連通されるとシリンダ２は伸長作動し、反対に、ポンプ１４が吐出される作動油が収縮側室Ｒ２へ供給されて伸長側室Ｒ１がタンク１５に連通されるとシリンダ２は収縮作動する。そして、シリンダ装置１では、ポンプ１４およびタンク１５とシリンダ２との間にサーボ弁３を設けており、ポンプ１４とタンク１５を伸長側室Ｒ１と収縮側室Ｒ２のいずれに接続するかをサーボ弁３によって制御している。
【００１９】
サーボ弁３は、４ポート３位置のサーボ弁であって、供給ポートｐがポンプ１４に、排出ポートｔがタンク１５に、制御ポートａがシリンダ２の伸長側室Ｒ１に、制御ポートｂがシリンダ２の収縮側室Ｒ２にそれぞれ連通されている。そして、サーボ弁３は、詳しくは図示しないが、ソレノイドによって駆動されるスプールを備えており、スプールの位置によって伸側供給ポジション、縮側供給ポジションおよび遮断ポジションのいずれか一つのポジションを採る電磁弁とされている。サーボ弁３は、伸側供給ポジションでは伸長側室Ｒ１をポンプ１４へ連通するとともに収縮側室Ｒ２をタンク１５へ連通し、縮側供給ポジションでは伸長側室Ｒ１をタンク１５へ連通するとともに収縮側室Ｒ２をポンプ１４へ連通し、遮断ポジションでは伸長側室Ｒ１と収縮側室Ｒ２をポンプ１４とタンク１５の双方への連通を阻止する。また、サーボ弁３は、伸側供給ポジションと縮側供給ポジションとのそれぞれで通過流量の調整が可能とされている。
【００２０】
そして、サーボ弁３は、コントローラＣから電流が供給されると与えられる電流量に応じて、伸側供給ポジション、縮側供給ポジションおよび遮断ポジションに切換わる。具体的には、サーボ弁３は、遮断ポジションで制御ポートａ，ｂを閉じきるオーバーラップ型のサーボ弁とされており、電流量の絶対値がＩ１未満である場合、遮断ポジションを採り、電流量がＩ１を超えると電流量の絶対値にほぼ比例して制御ポートａへの流量が増加し、ソレノイドへ与える電流の向きが反対となって電流量が−Ｉ１未満になると電流量の絶対値にほぼ比例して制御ポートｂへの流量が増加する。よって、供給される電流量に対するサーボ弁３が制御ポートａ，ｂへ供給する流量は、図２に示すようになる。また、ポンプ１４は、本例では、コントローラＣによって、一定回転数で駆動されており、サーボ弁３による作動油を供給する室の選択と流量調整により、シリンダ２のストロークの方向、変位および速度が制御される。なお、サーボ弁３は、遮断ポジションで制御ポートａ，ｂへごく少量の作動油を供給するアンダーラップ型とされてもよく、アンダーラップ型のサーボ弁３が供給される電流量に対してサーボ弁３が制御ポートａ，ｂへ供給する流量は、図３に示すようになる。
【００２１】
コントローラＣは、シリンダ２に対する目標変位とシリンダ２の出力としてのストロークの変位との偏差からサーボ弁３へ与える電流指令を求め、シリンダ２を目標変位通りに伸縮させるよう制御する。
【００２２】
抵抗装置４は、本実施の形態では、錘Ｍとされており、横置きにしてシリンダ２のロッド１３に取り付けられており、ロッド１３の慣性質量を付加してシリンダ２を伸縮しづらくしている。このように、抵抗装置４は、ロッド１３がチューブ１１に対して変位する際に、錘Ｍの慣性質量の付加によって前記変位を抑制するため、シリンダ２の伸縮を妨げる。このように構成されたシリンダ装置１では、ロッド１３をチューブ１１に対して変位させるには、ロッド１３に錘Ｍが取り付けられていない場合と比較して、伸長側室Ｒ１或いは収縮側室Ｒ２の圧力を大きくする必要がある。つまり、抵抗装置４である錘Ｍによって慣性質量が付加されたロッド１３を駆動する場合、抵抗装置４を備えていないシリンダのロッドを駆動する場合と比較して、サーボ弁３の制御ポートａ或いは制御ポートｂの開度を大きくする必要がある。
【００２３】
つまり、シリンダ２に抵抗装置４を設けると、抵抗装置４を備えないシリンダ２と比較して、シリンダ２を等しい距離伸縮させる際のサーボ弁３の開度を大きくさせる効果がある。
【００２４】
よって、抵抗装置４をシリンダ２に設けると、シリンダ２の伸縮量に対するサーボ弁３のスプールの駆動量が増え、シリンダ２の駆動中にサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が短くなる。このようにサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が短縮されるので、シリンダ２を伸縮させた場合にサーボ弁３が遮断ポジションを採る際に発生する速度波形の歪が至極小さくなる。抵抗装置４がシリンダ２の伸縮を妨げる抵抗が大きくなればなる程、シリンダ２を伸縮させる際のサーボ弁３の制御ポートａ或いは制御ポートｂを開く開度が大きくなるので、錘Ｍの質量を大きくすればする程、シリンダ２が伸縮する際の速度波形の歪が小さくなる。
【００２５】
なお、錘Ｍは、ロッド１３のチューブ１１に対するストロークを妨げて、シリンダ２の伸縮を妨げるように取り付けられれば良く、たとえば、図４に示した第一変形例のシリンダ装置１ａのように、ロッド１３の変位によって錘Ｍが回転駆動するような取り付け方も可能である。この場合、ロッド１３の一端に螺子軸１６を取付けて、螺子軸１６の外周に螺合して螺子軸１６の軸方向移動によって回転駆動されるように錘Ｍを取付けて、抵抗装置４を構成して、ロッド１３に回転慣性質量を付加してシリンダ２の伸縮を妨げるようにしてもよい。また、ロッド１３の一端に取り付けたラックと、このラックに歯合するピニオンギアと、ピニオンギアに連結される錘とで抵抗装置４を構成して、ロッド１３の軸方向移動によって錘Ｍが回転するようにして、ロッド１３に回転慣性質量を付加してシリンダ２の伸縮を妨げるようにしてもよい。
【００２６】
抵抗装置４は、図５に示した第二変形例のシリンダ装置１ｂのように、シリンダ２のチューブ１１に対するロッド１３の移動を妨げるばねＳであってもよい。ばねＳは、チューブ１１に対してロッド１３が中立位置であるストローク中心から変位すると、ロッド１３の変位を抑制する付勢力を発生する。つまり、ばねＳは、ロッド１３がチューブ１１に対して中立位置から変位するとこの変位を抑制する付勢力を発揮して、シリンダ２の伸縮を妨げる。このようにばねＳを抵抗装置４とする場合も、抵抗装置４によってシリンダ２の伸縮が妨げられるために、シリンダ２の伸縮量に対するサーボ弁３のスプールの駆動量が増え、シリンダ２の駆動中にサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が短くなる。このようにサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が短縮されるので、シリンダ２を伸縮させた場合にサーボ弁３が遮断ポジションを採る際に発生する速度波形の歪が至極小さくなる。抵抗装置４がシリンダ２の伸縮を妨げる抵抗が大きくなればなる程、シリンダ２を伸縮させる際のサーボ弁３の制御ポートａ或いは制御ポートｂを開く開度が大きくなるので、ばねＳのばね定数を大きくすればする程、シリンダ２が伸縮する際の速度波形の歪が小さくなる。
【００２７】
また、抵抗装置４は、図６に示した第三変形例のシリンダ装置１ｃのように、チューブ１１とロッド１３との間に介装されるダンパＤとされてもよい。ダンパＤは、本実施の形態では、テレスコピック型であって伸縮時に減衰力を発揮して、チューブ１１に対するロッド１３の移動を妨げる。つまり、ダンパＤは、ロッド１３がチューブ１１に対して変位するとこの変位を抑制する減衰力を発揮して、シリンダ２の伸縮を妨げる。このようにダンパＤを抵抗装置４とする場合も、抵抗装置４によってシリンダ２の伸縮が妨げられるために、シリンダ２の伸縮量に対するサーボ弁３のスプールの駆動量が増え、シリンダ２の駆動中にサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が短くなる。このようにサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が短縮されるので、シリンダ２を伸縮させた場合にサーボ弁３が遮断ポジションを採る際に発生する速度波形の歪が至極小さくなる。抵抗装置４がシリンダ２の伸縮を妨げる抵抗が大きくなればなる程、シリンダ２を伸縮させる際のサーボ弁３の制御ポートａ或いは制御ポートｂを開く開度が大きくなるので、ダンパＤの減衰力を大きくすればする程、シリンダ２が伸縮する際の速度波形の歪が小さくなる。
【００２８】
さらに、図７に示した第四変形例のシリンダ装置１ｄでは、抵抗装置４は、チューブ１１に対するロッド１３の移動を妨げる磁石１７，１８，１９を備えている。磁石１７は、ロッド１３に装着されており、磁石１８と磁石１９は、磁石１７をロッド１３の移動方向に沿って、磁石１７を挟む位置に設けられている。磁石１８，１９は、互いにＮ極側を対向させてチューブ１１を支持する図示しない架台に設けられており、磁石１７は、磁石１８，１９間にＮ極を望ませてロッド１３に取り付けられている。よって、チューブ１１に対してロッド１３が変位すると、磁石１７が磁石１８，１９の一方に接近するため、磁石１７と磁石１８，１９のうち磁石１７が接近する磁石とが反発しあうので、ロッド１３のチューブ１１の移動が抑制されてシリンダ２の伸縮が妨げられる。なお、磁石は、ロッド１３のチューブ１１に対する変位を抑制するように設置されればよいので、磁石の設置の仕方によって使用する磁石の数は任意に設定できる。たとえば、ロッド１３とチューブ１１の一方に磁性体を取付けるとともに、この磁性体に対向して磁性体を吸引する磁石をロッド１３とチューブ１１の他方に設ければ、一つの磁石の設置によってシリンダ２の伸縮を妨げ得る。このように磁石１７，１８、１９を抵抗装置４とする場合も、抵抗装置４によってシリンダ２の伸縮が妨げられるために、シリンダ２の伸縮量に対するサーボ弁３のスプールの駆動量が増え、シリンダ２の駆動中にサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が短くなる。このようにサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が短縮されるので、シリンダ２を伸縮させた場合にサーボ弁３が遮断ポジションを採る際に発生する速度波形の歪が至極小さくなる。抵抗装置４がシリンダ２の伸縮を妨げる抵抗が大きくなればなる程、シリンダ２を伸縮させる際のサーボ弁３の制御ポートａ或いは制御ポートｂを開く開度が大きくなるので、磁石１７，１８，１９の磁力を大きくすればする程、シリンダ２が伸縮する際の速度波形の歪が小さくなる。
【００２９】
また、抵抗装置４は、図８に示した第五変形例のシリンダ装置１ｅのように、チューブ１１内の伸長側室Ｒ１と収縮側室Ｒ２とを連通する通路２０と、通路２０の途中に設けられて通過する作動油の流れに抵抗を与える抵抗要素としての絞り２１とされもよい。この場合、たとえば、サーボ弁３から作動油を伸長側室Ｒ１へ供給してシリンダ２を伸長させる場合、通路２０を介して収縮側室Ｒ２にも作動油が供給されるので、シリンダ２の伸縮が妨げられてシリンダ２が伸縮しづらくなる。このように通路２０と抵抗要素としての絞り２１とで抵抗装置４を構成しても、抵抗装置４によってシリンダ２の伸縮が妨げられるために、シリンダ２の伸縮量に対するサーボ弁３のスプールの駆動量が増え、シリンダ２の駆動中にサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が短くなる。このようにサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が短縮されるので、シリンダ２を伸縮させた場合にサーボ弁３が遮断ポジションを採る際に発生する速度波形の歪が至極小さくなる。抵抗装置４がシリンダ２の伸縮を妨げる抵抗が大きくなればなる程、シリンダ２を伸縮させる際のサーボ弁３の制御ポートａ或いは制御ポートｂを開く開度が大きくなるので、絞り２１の抵抗を小さくすればする程、シリンダ２が伸縮する際の速度波形の歪が小さくなる。なお、抵抗要素は、絞り２１以外のバルブを利用してもよく、また、抵抗の調節が可能な可変絞りなどの可変バルブを利用する場合、シリンダ２の伸縮しづらさを調節でき、シリンダ装置１ｄを利用する機器に応じてオフセット荷重を容易に変更できる。
【００３０】
以上、本発明のシリンダ装置１は、作動油（液体）の供給により伸縮するシリンダ２と、ポンプ１４が吐出する作動油（液体）をシリンダ２へ供給してシリンダ２の伸縮を制御するサーボ弁３と、シリンダの伸縮を妨げる抵抗装置４とを備えている。このように構成されたシリンダ装置１では、シリンダ２の伸縮が抵抗装置４によって抑制されるのでサーボ弁３の駆動量が大きくなりサーボ弁３が遮断ポジションを採る時間が極めて短くなる。よって、サーボ弁３を複数設ける必要もなく、オーバーラップ型とアンダーラップ型のサーボ弁３の形式を問わずに、シリンダ２の速度波形の歪を抑制できる。よって、本発明のシリンダ装置１によれば、シリンダ２の伸縮時における速度波形の歪を抑制できるとともにコストを低減できる。
【００３１】
また、本実施の形態の抵抗装置４は、錘Ｍであっても、ばねＳであっても、ダンパＤであっても、磁石１７，１８，１９であっても、伸長側室Ｒ１と収縮側室Ｒ２とを連通する通路２０と絞り（抵抗要素）２１とで構成されてもよい。このように構成されたシリンダ装置１によれば、錘Ｍ、ばねＳ、ダンパＤ、磁石１７，１８，１９、伸長側室Ｒ１と収縮側室Ｒ２とを連通する通路２０と絞り（抵抗要素）２１の追加でシリンダ２の伸縮を容易に妨げ得る。
【００３２】
なお、ばねＳは、チューブ１１内に収容されてもよいし、シリンダ２外に設けられてもよい。また、抵抗要素４が伸長側室Ｒ１と収縮側室Ｒ２とを連通する通路２０と絞り（抵抗要素）２１とで構成される場合、シリンダ２の伸縮しづらさを絞り（抵抗要素）２１の調整でチューニングできる。また、抵抗要素を可変弁とする場合には、シリンダ２の伸縮しづらさのチューニングが容易となり、シリンダ装置１ｅを利用する機器を変更しても機器に合わせてシリンダ２の速度波形の歪を抑制できる。なお、図８に示したところでは、伸長側室Ｒ１と収縮側室Ｒ２とを通路２０で連通しているが、伸長側室Ｒ１とタンク１５とを連通する通路と、収縮側室Ｒ２とタンク１５とを連通する通路とを設け、各通路に抵抗要素を設けて、これら通路と抵抗要素を抵抗装置としてもよい。
【００３３】
また、抵抗装置４は、錘Ｍ、ばねＳ、磁石、ダンパＤおよび、通路２０と抵抗要素２１とでなる五つの手段のうち、任意の手段同士を組み合わせて構成されてもよい。
【００３４】
以上、本発明の好ましい実施の形態を詳細に説明したが、特許請求の範囲から逸脱しない限り、改造、変形、及び変更が可能である。
【符号の説明】
【００３５】
１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ・・・シリンダ装置、２・・・シリンダ、３・・・サーボ弁、４・・・抵抗装置、１１・・・チューブ、１２・・・ピストン、１３・・・ロッド、１７，１８，１９・・・磁石、２０・・・通路、２１・・・絞り（抵抗要素）、Ｄ・・・ダンパ、Ｍ・・・錘、Ｓ・・・ばね、Ｒ１・・・伸長側室、Ｒ２・・・収縮側室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2020041649.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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