(57)【要約】【課題】  音叉型圧電振動片が超小型になっても振動椀の剛性を高めるとともに、断線の生じにくい良好な特性を有する音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子を提供する。【解決手段】  音叉型圧電振動片２は、基部２０、上記基部から突出し励振電極２５，２６が形成された振動腕２１，２２、上記振動腕の主面に形成された長溝Ｇ１〜Ｇ４、上記各長溝の基部側端部に形成された突起部Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４、を備えている。突起部には、周囲の土手部と肉厚が同じ平坦部と、次第に肉厚が薄くなる傾斜部とが形成されている。長溝の内部には、上記励振電極の一部が形成され、長溝から基部にかけて突起部の平坦部と傾斜部とを経由して励振電極が延出されている。【選択図】  図２
2020065223.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部、
上記基部から突出し励振電極が形成された複数の振動腕、
上記振動腕の主面に形成された長溝と当該長溝の周囲の土手部と
を備えており、
上記長溝は、上記振動腕の突出する方向に沿った長手方向と、上記振動腕の突出する方向に直交する方向に沿った幅方向を具備しており、
上記長溝の長手方向の基部側端部には、突起部が形成され、
上記突起部は、上記土手部と肉厚が同じ平坦部と当該平坦部から長溝の中心に向かって次第に肉厚が薄くなる傾斜部とを備えており、
上記平坦部の上記長溝の長手方向における突出寸法は、上記長溝の幅方向の幅寸法より短く形成され、
上記振動椀の長溝の内部と、当該長溝に形成された突起部の平坦部と傾斜部とは、
上記基部から上記長溝の基部側端部を経由して延出された上記励振電極の一部が形成されている、
ことを特徴とする音叉型圧電振動片。
【請求項２】
上記突起部は、上記長溝の基部側端部の中央に形成されており、当該突起部の平坦部は長溝の中心に向かって次第に面積が狭まる
ことを特徴とする請求項１に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項３】
請求項１、または請求項２に記載の音叉型圧電振動片が、容器の内部に搭載され収容されるとともに気密封止された音叉型圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は音叉形状からなる圧電振動片と、当該圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
音叉型圧電振動子等の圧電振動子は基準クロック源として様々な電子機器に用いられている。例えば、表面実装型の音叉型圧電振動子は、基部と当該基部の一端側から同一方向に突出する一対の振動腕を備え、当該一対の振動腕には振動腕を駆動させるための励振電極等が形成された音叉型圧電振動片が絶縁性容器の凹部に収容される。そして、音叉型圧電振動片の基部の他端側が前記容器の凹部の内底面に形成された電極パッド上に、導電性の接合材を介して導電接合され、前記容器の凹部の開口端に平板状の蓋が接合された構成となっている。
【０００３】
近年、通信機器の高性能化や小型化に伴い、音叉型圧電振動片も更なる小型化と特性面の高品質化が求められている。これに対して、音叉型圧電振動片の小型化に伴うＣＩの増加を抑制するために、振動腕の主面に長溝を形成し、当該溝の内部に励振電極を形成することで電界効率を高めることが必要不可欠な構成となっている。そして、音叉型圧電振動片の小型化が進むほど振動椀の主面に対する長溝の幅の比率を増し、その深さを増す傾向にある。
【０００４】
また、音叉型圧電振動片が小型化されると、その小型化に応じて音叉型圧電振動片の振動椀も小さくなり、特に振動椀の長さが比較的短くなることで、基準クロック源として比較的低周波用途（特に、時計等のクロック源として利用される３２．７６８ＫＨｚ等）に対応することが難しくなっている。これに対して、音叉型圧電振動片の各振動椀には、前記励振電極を有する振動部とは別に、当該振動部の先端で、かつ振動部よりも幅広の錘部を構成することが必要となることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】ＷＯ２０１４／２０８２５１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように、音叉型圧電振動片も更なる小型化に伴って、振動椀の端部と長溝との間に形成された土手部の幅が従来と比較して細くなり、励振電極の引き回しに伴う断線が生じやすくなり、振動椀の剛性が低下するといった問題点があった。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、音叉型圧電振動片が超小型になっても振動椀の剛性を高めるとともに、断線の生じにくい良好な特性を有する音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために請求項１に係る発明は、基部、上記基部から突出し励振電極が形成された複数の振動腕、上記振動腕の主面に形成された長溝と当該長溝の周囲の土手部とを備えており、上記長溝は、上記振動腕の突出する方向に沿った長手方向と、上記振動腕の突出する方向に直交する方向に沿った幅方向を具備しており、上記長溝の長手方向の基部側端部には、突起部が形成され、上記突起部は、上記土手部と肉厚が同じ平坦部と当該平坦部から長溝の中心に向かって次第に肉厚が薄くなる傾斜部とを備えており、上記平坦部の上記長溝の長手方向における突出寸法は、上記長溝の幅方向の幅寸法より短く形成され、上記振動椀の長溝の内部と、当該長溝に形成された突起部の平坦部と傾斜部とは、上記基部から上記長溝の基部側端部を経由して延出された上記励振電極の一部が形成されていることを特徴とする。
【０００９】
上記発明によれば、振動椀の長溝の長手方向の基部側端部には突起部が形成され、当該突起部は土手部と同じ肉厚の平坦部と次第に肉厚が薄くなる傾斜部とを備えており、上記平坦部の突出寸法を長溝の幅寸法より短く形成しているため、突起部により、振動椀の長溝の基部側領域の容積を全体として大きく削減することなく、かつ同領域の剛性を高めることができる。結果として、長溝の内部に形成される励振電極の面積も大きく削減されず、音叉型圧電振動片の励振時の電界効率を低下させることがないので、ＣＩの増加を抑制して良好な特性を確保することができ、振動椀の剛性を高めることができる。
【００１０】
しかも、突起部の平坦部は長溝の幅寸法より短く形成しながら、その先端には次第に肉厚が薄くなる傾斜部が形成されていることで、振動椀の先端側と基部側との剛性を大きく変化させることがなく、かつ突起部による極端な剛性の変化点を生じることもないため、振動椀の剛性の変化に伴って音叉型圧電振動片の屈曲振動を妨げにくく不要な振動モードが発生するのも抑制することができる。
【００１１】
さらに、この様に傾斜面と短い平坦部からなる突起部を経由して振動椀の長溝の内部と基部とが励振電極の一部により延出されており、長溝と土手部との間に生じる段差を軽減した状態で電極が引き出されるため、励振電極の断線を抑制することができる。
【００１２】
また、上述の構成に加えて、上記突起部は、上記長溝の基部側端部の中央に形成されており、当該突起部の平坦部は長溝の中心に向かって次第に面積が狭まる様に形成してもよい。
【００１３】
上記発明によれば、上述の作用効果に加えて、突起部は長溝の基部側端部の中央に形成されており、当該突起部の平坦部は長溝の中心に向かって次第に面積が狭まる様に形成されていることで、より一層、振動椀の先端側と基部側との剛性を大きく変化させることがなくなり、かつ突起部による極端な剛性の変化点を生じることもない。このため、より一層、音叉型圧電振動片の屈曲振動を妨げにくく不要な振動モードが発生するのもさらに抑制することができる。
【００１４】
また、上述の構成に加えて、上記振動腕の突出端部には幅広の錘部を形成してもよい。
【００１５】
上記発明によれば、上述の作用効果に加えて、振動腕の突出端部の幅広の錘部により、音叉型圧電振動片の小型化に伴う低周波化が行え、この錘部が存在することによるさらなる剛性不足にも対応できる。結果として、振動腕折れなどのリスクがなくなる。
【００１６】
また、上述の音叉型圧電振動片が、容器の内部に搭載され収容されるとともに気密封止された音叉型圧電振動子に適用することができ、上述と同様の作用効果が音叉型圧電振動子として得られる。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように本発明によれば、音叉型圧電振動片が超小型になっても振動椀の剛性を高めるとともに、断線の生じにくい良好な特性を有する音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係る音叉型水晶振動子の模式的な断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る音叉型水晶振動片の一主面側の模式的な平面図である。
【図３】図２の音叉型水晶振動片の他主面側の平面図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係る音叉型水晶振動片の一主面側の模式的な平面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態として、音叉型水晶振動片（音叉型圧電振動片）を用いた音叉型水晶振動子（音叉型圧電振動子）を例に挙げ、図面を参照しながら説明する。本実施形態における音叉型水晶振動子（以下、水晶振動子と略）は略直方体状のパッケージ構造からなる表面実装型の水晶振動子である。本実施形態ではその平面視の外形寸法は例えば縦１．６ｍｍ、横１．０ｍｍとなっている。なお、水晶振動子の平面視の外形寸法は当該寸法に限定されるものではないが、同寸法以下の超小型の水晶振動子に対して好適である。
【００２０】
本発明の実施形態に係る水晶振動子１は、図１に示すように凹部５を有する絶縁材料からなる容器３と、音叉型水晶振動片２（以下、水晶振動片２と略）と、凹部５を封止する平板状の蓋４が主な構成部材となっている。なお、図１では水晶振動片に形成される各種電極の記載は省略している。水晶振動片２は、容器３の凹部５の内部に収容された後、蓋４が凹部５を覆うように容器３の開口端に接合されることによって気密に封止される。ここで容器３と蓋４とは図示しない封止材を介して接合される。
【００２１】
容器３はアルミナ等のセラミックを主体とした絶縁材料から成る箱状体であり、例えば２枚のセラミックグリーンシートを積層して一体焼成することによって成形されている（図１参照）。容器３は枠状の堤部３０の内側に平面視矩形状の凹部５を有している。堤部３０の上面には図示しない封止材が平面視で枠状に形成されており、前記接合材は蓋４の外周部分と対応している。
【００２２】
凹部５の内底面３０１の一短辺側には、水晶振動片２と導電接合される２つの電極パッド６，７（図１では一方のみ図示）が、互いに隙間を空けた状態で並列して形成されている。２つの電極パッド６，７は、図示しない内部配線およびビアを介して容器３の外底面３０２の４隅に設けられた４つの外部接続端子８（図１では２つのみ図示）のうちの２つの端子と電気的に接続されている。これら２つの電極パッド６，７は互いに異極となっている。
【００２３】
本実施形態では２つの電極パッド６，７は、タングステンメタライズ層の上面に金をメッキ等の手法を用いて積層することによって形成されている。なお前記メタライズ層として、タングステンの代わりにモリブデンを用いてもよい。
【００２４】
電極パッド６，７のタングステン部分はメタライズの最小単位厚みの点から２段に重ね塗りされている。これは、本実施形態では水晶振動子の薄型化を図るために容器３を２層構成としたことによって凹部５の内底面３０１に段部を形成することができないため、水晶振動片２の搭載後の状態で、水晶振動片の下面（内底面３０１に対向する面）と前記内底面３０１との間に或る程度の隙間を確保するためである。
【００２５】
蓋４はコバールを基体とする平面視矩形状の金属性の蓋体であり、当該蓋の表裏面にはニッケルメッキ層が形成されている。また蓋４の容器との接合面側には、前記ニッケルメッキ層の上に金属からなるロウ材が全面に亘って形成されている。本実施形態では前記ロウ材として銀ロウが使用されている。
【００２６】
次に本実施形態における水晶振動片について図２、図３を参照しながら説明する。なお説明の便宜上、水晶振動片２の対向する２つの主面（２ａ，２ｂ）のうち、容器に搭載される際に電極パッド６，７に対面する側の主面を裏面２ｂとし、当該裏面に対向する反対側の主面を表面２ａとして説明する。図２は水晶振動片の表面側（２ａ）から見た平面図を、図３は水晶振動片の裏面側（２ｂ）から見た平面図をそれぞれ表している。
【００２７】
図２、図３に示すように、水晶振動片２は音叉形状であり、基部２０と、基部２０の一端側２０１から同一方向に突出する一対の振動腕２１，２２と、基部の他端側２０２の一側面から基部２０の幅方向（図２、図３の符号Ｘで示す軸方向における基部の寸法）の一方に向かって突出した突出部２４とから成っている。
【００２８】
前記一対の振動腕２１，２２の各々の先端側には、振動腕２１，２２の腕幅（振動腕の突出方向に対して直交する方向における腕の寸法）よりも幅広となる幅広部２３，２３（錘部）が形成されている。幅広部２３，２３は、振動腕の突出方向に向かって漸次拡幅する拡幅部（符号省略）を介して、振動腕２１，２２の先端部分と一体で成形されている。前記拡幅部と前記幅広部とは、振動腕と一体で成形されている。なお幅広部２３，２３の各々の先端側２１１，２２１の各隅部は面取り状（Ｃ面状）に加工されている。振動腕２１，２２と拡幅部と幅広部２３，２３は、対向する一対の主面２ａ，２ｂと対向する一対の側面（符号省略）を有している。
【００２９】
一対の振動腕２１，２２の各々の表裏主面には、等価直列抵抗値（Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ。以下、ＣＩ値と略）をより低下させる目的で、長溝Ｇ１〜Ｇ４が形成されている。つまり、振動椀２１の表裏主面には、長溝Ｇ１と長溝Ｇ３とが互いに対向するように形成され、振動椀２２の表裏主面には、長溝Ｇ２と長溝Ｇ４とが互いに対向するように形成されている。長溝Ｇ１〜Ｇ４は、一対の振動腕２１，２２の各々の表裏主面に所定の深さで形成されており、その一端側が基部２０の一端側２０１の領域まで延長され、その他端側が振動腕と拡幅部との境界に対して振動腕の付け根側に位置して形成されている。長溝Ｇ１〜Ｇ４は、振動腕２１，２２の突出する方向に沿った長手方向と（図２、図３の符号Ｙで示す軸方向）、振動腕２１，２２の突出する方向に直交する方向に沿った幅方向（図２、図３で符号Ｘで示す軸方向）とを有している。この長溝Ｇ１〜Ｇ４の周囲には、振動椀の厚みと同じ土手部が隣接して形成されている。なお、長溝Ｇ１〜Ｇ４が存在する振動椀の領域が振動部を構成している。
【００３０】
各振動腕２１，２２の表裏主面に形成される長溝Ｇ１〜Ｇ４の内部には、各長溝の長手方向の基部側端部の中央に、各長溝の長手方向の中心位置に向かって突出する突起部Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４が形成されている。突起部Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４には、長溝Ｇ１〜Ｇ４の周囲の土手部と肉厚が同じ平坦部Ｔ１１，Ｔ２１，Ｔ３１，Ｔ４１と、当該平坦部から長溝Ｇ１〜Ｇ４の中心位置に向かって次第に肉厚が薄くなる傾斜部Ｔ１２，Ｔ２２，Ｔ３２，Ｔ４２とを備えている。本形態の突起部の平坦部Ｔ１１，Ｔ２１，Ｔ３１，Ｔ４１は、長溝Ｇ１〜Ｇ４の中心位置に向かって次第に面積が狭まるように、平面視形状を例えば三角形状に形成している。また、図４に示すように、突起部の平坦部Ｔ１１１，Ｔ２１１，Ｔ３１１，Ｔ４１１（表面２ａのみ図示）の平面視形状を、半楕円形状としてもよい。なお、本形態に限らず、突起部の平坦部は、長溝の中心位置に向かって次第に面積が狭まらない構成としてもよく、例えば平面視形状を矩形状に形成してもよい。また、本形態に限らず、突起部は、長溝の長手方向の基部側端部だけでなく、腕先側端部に形成してもよい。
【００３１】
突起部の平坦部Ｔ１１，Ｔ２１，Ｔ３１，Ｔ４１における長溝Ｇ１〜Ｇ４の長手方向（長溝Ｇ１〜Ｇ４の中心位置）への突出寸法Ｌは、長溝Ｇ１〜Ｇ４の幅方向の幅寸法Ｗより短く形成されている。より具体的には、長溝Ｇ１〜Ｇ４の幅寸法Ｗを  37〜42μmとした場合、突起部の平坦部Ｔ１１，Ｔ２１，Ｔ３１，Ｔ４１の突出寸法Ｌは、3〜15μmとして構成している。
【００３２】
このように突起部の平坦部Ｔ１１，Ｔ２１，Ｔ３１，Ｔ４１の突出寸法Ｌを長溝Ｇ１〜Ｇ４の幅方向の幅寸法Ｗより短く形成することで、突起部Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４により、振動椀の長溝Ｇ１〜Ｇ４の基部側領域の容積を全体として大きく削減することなく、かつ同領域の剛性を高めることができるようになる。
【００３３】
また、本形態では、突起部Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４が、長溝Ｇ１〜Ｇ４の基部側端部の中央に形成されていることと、突起部の平坦部Ｔ１１，Ｔ２１，Ｔ３１，Ｔ４１が、長溝Ｇ１〜Ｇ４の中心位置に向かって次第に平面視の面積が狭まる三角形状や半楕円形状などの形状様に形成されていることと、突起部の平坦部の先端に次第に肉厚が薄くなる傾斜部Ｔ１２，Ｔ２２，Ｔ３２，Ｔ４２が形成されていることを相互に組み合わせている。このため、振動椀の先端側と基部側との剛性を大きく変化させることがなくなり、かつ突起部による極端な剛性の変化点を生じることもないため、音叉型圧電振動片の屈曲振動を妨げにくく不要な振動モードが発生するのもさらに抑制することができるより好ましい形態となっている。
【００３４】
振動椀２１，２２の長溝Ｇ１〜Ｇ４の内部と、長溝Ｇ１〜Ｇ４に形成された突起部の平坦部Ｔ１１，Ｔ２１，Ｔ３１，Ｔ４１と、傾斜部Ｔ１２，Ｔ２２，Ｔ３２，Ｔ４２とは、後述する第１および第２の励振電極２５，２６の一部が形成されている。第１および第２の励振電極２５，２６は、各突起部の傾斜部と平坦部を経由して長溝の基部側端部から基部２０へと延出され、後述する引出電極２７，２８の一部と接続されている。このため、長溝と周囲の土手部との間に生じる段差を軽減した状態で励振電極が引き出されるため、励振電極の断線を抑制することができる。
【００３５】
ここで、振動椀２１と振動椀２２に形成された長溝Ｇ１と長溝Ｇ２、突起部Ｔ１，Ｔ２とは、振動腕２１と振動椀２２の間にある仮想中心線ＣＬを基準として線対称に形成されるとともに、長溝Ｇ３と長溝Ｇ４、突起部Ｔ３，Ｔ４とは、振動腕２１と振動椀２２の間にある仮想中心線ＣＬを基準として線対称に形成されている。これにより、後述する励振電極２５，２６を介して振動椀２１，２２にかかる電界が、お互いの振動椀で均一にバランスが保たれ、不要な振動を助長することがない。
【００３６】
基部２０には、他端側２０２側が一端側２０１側よりも基部の幅が狭くなる縮幅部２０３が形成されている。この縮幅部２０３の一側面には前述した突出部２４が形成されている。この突出部２４と基部２０とによって平面視では直角に折れ曲がったアルファベットの「Ｌ」字状の部位が形成されている。なお、音叉型水晶振動片は本実施形態における形状に限定されるものではない。例えば前記突出部が、基部の一側面だけでなく基部の他側面（前記一側面と対向する側面）から突出した形状、つまり突出部が基部の両外側に各々突出した形状であってもよい。あるいは前記突出部が、基部から両外側に突出した後、振動腕の突出方向に向きを変えて、互いに平行に突出する左右対称の形状であってもよい。また、基部に突出部が形成されていない形状であってもよい。
【００３７】
前述した水晶振動片の外形や突起部は、１枚の水晶ウエハからフォトリソグラフィ技術とウェットエッチングを用いて一括同時に多数個が成形される。
【００３８】
水晶振動片２には、異電位で構成された第１の励振電極２５および第２の励振電極２６と、第１の励振電極２５と第２の励振電極２６の各々から引回し電極（後述）を経由して引き出された引出電極２７，２８とが形成されている。
【００３９】
また、一対の振動腕２１，２２の表裏主面に形成される第１および第２の励振電極２５，２６の一部は、突起部の平坦部Ｔ１１，Ｔ２１，Ｔ３１，Ｔ４１と、傾斜部Ｔ１２，Ｔ２２，Ｔ３２，Ｔ４２を含む一対の振動腕２１，２２の長溝Ｇ１〜Ｇ４の内部の全体に及んで形成されている。前記長溝を形成することにより、水晶振動片を小型化しても一対の振動腕２１，２２の電界効率が高まり、良好なＣＩ値を得ることができる。なお、突起部の平坦部Ｔ１１，Ｔ２１，Ｔ３１，Ｔ４１と、傾斜部Ｔ１２，Ｔ２２，Ｔ３２，Ｔ４２には第１および第２の励振電極を必ず形成しつつ、長溝Ｇ１〜Ｇ４の内部のうちの一部の領域に第１および第２の励振電極を形成しない構成としてもよい。
【００４０】
第１の励振電極２５は、一方の振動腕２１の表裏主面と、引回し電極（符号省略）を介して他方の振動腕２２の外側面と内側面とに形成されている。同様に第２の励振電極２６は、他方の振動腕２２の表裏主面と、引回し電極（符号省略）を介して一方の振動腕２１の外側面と内側面とに形成されている。
【００４１】
引出電極２７，２８は基部２０および突出部２４（裏面２ｂのみ）に形成されている。基部２０に形成された引出電極２７により、他方の振動腕２２の外側面と内側面の各々に形成された第１の励振電極２５と，引回し電極（符号省略）を経由して、一方の振動腕２１の表裏主面に形成された第１の励振電極２５と接続されている。同様に、基部２０に形成された引出電極２８により、一方の振動腕２１の外側面と内側面の各々に形成された第２の励振電極２６と，引回し電極（符号省略）を経由して、他方の振動腕２２の表裏主面に形成された第２の励振電極２６と接続されている。
【００４２】
引出電極２７，２８は、水晶振動片の表面２ａにおいては基部２０の一端側２０１から縮幅部２０３まで引き出されている。一方、水晶振動片の裏面２ｂにおいては他端側２０２および突出部２４の先端側まで引き出されている。そして図３に示すように、水晶振動片の裏面２ｂにおける基部２０の他端側２０２の領域と突出部２４の先端側の各領域とは、容器３の電極パッド６，７と各々電気機械的に接続される接続電極２７１，２８１となっている。
【００４３】
図３に示すように、２つの接続電極２７１，２８１の各々の上面には、導電性の接合材Ｓ，Ｓが各々形成されている。本実施形態では接合材Ｓは、電解めっき法によって形成されためっきバンプとなっている。そして水晶振動片２と電極パッド６，７との導電接合は、ＦＣＢ法（Ｆｌｉｐ  Ｃｈｉｐ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）によって行われている。
【００４４】
幅広部２３，２３を構成する一対の主面と一対の側面の全ての面には、前述した引回し電極が各々形成されている。本実施形態において引回し電極は、幅広部２３の全周と、振動腕２１，２２の拡幅部寄りの部位の全周（一対の主面と一対の側面）とに形成されている。
【００４５】
前述した第１および第２の励振電極２５，２６や引出電極２７，２８、引回し電極（符号省略）は、水晶基材上にクロム（Ｃｒ）層が形成され、このクロム層の上に金（Ａｕ）層が積層された層構成となっている。なお前記各種電極の層構成は、クロム層の上に金層が形成された層構成に限らず、他の層構成であってもよい。
【００４６】
第１および第２の励振電極と引出電極や引回し電極は、真空蒸着法やスパッタリング等によって水晶ウエハの主面全体に成膜された後、フォトリソグラフィ技術とメタルエッチングによって所望のパターンに一括同時に成形されている。
【００４７】
図２に示すように本発明の実施形態では、幅広部２３を構成する面のうち一主面のみ（表面２ａ）に周波数調整用金属膜Ｗ（周波数調整用錘）が形成されている。この周波数調整用金属膜Ｗの質量を、レーザービームやイオンビーム等のビーム照射によって削減することによって水晶振動片２の周波数が微調整される。なお周波数調整用金属膜Ｗは幅広部２３，２３の主面における引回し電極よりも、平面視における面積が一回り小さく形成されている。
【００４８】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
音叉型圧電振動片および音叉型圧電振動子の量産に適用できる。
【符号の説明】
【００５０】
１  音叉型水晶振動子
２  音叉型水晶振動片
２０  基部
２１，２２  振動腕
２３  幅広部
２４  突出部
２５，２６  励振電極
２７，２８  引出電極
３    容器
Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４  長溝
Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４  突起部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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