(57)【要約】【課題】排出側個別流路の隔壁のクロストークを抑制して吐出特性のばらつきを低減した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を吐出するノズル２１と該ノズルに連通する圧力発生室１２とを含む個別流路と、複数の前記個別流路へ液体を供給する供給側共通流路と、複数の前記個別流路から液体を排出する排出側共通流路と、を具備する流路部材と、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせて、前記ノズルから液体を吐出させるエネルギー発生素子３００と、を備え、前記個別流路は、前記供給側共通流路と前記ノズル２１との間の供給側個別流路と、前記ノズル２１と前記排出側共通流路との間の排出側個別流路１８と、を含み、複数の前記排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁は、複数の前記供給側個別流路を隔てる第１隔壁よりも厚い。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズルと該ノズルに連通する圧力発生室とを含む個別流路と、複数の前記個別流路へ液体を供給する供給側共通流路と、複数の前記個別流路から液体を排出する排出側共通流路と、を具備する流路部材と、
前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせて、前記ノズルから液体を吐出させるエネルギー発生素子と、
を備え、
前記個別流路は、前記供給側共通流路と前記ノズルとの間の供給側個別流路と、前記ノズルと前記排出側共通流路との間の排出側個別流路と、を含み、
複数の前記排出側個別流路を隔てる第２隔壁は、複数の前記供給側個別流路を隔てる第１隔壁よりも厚いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第２隔壁は、複数の前記圧力発生室を隔てる隔壁よりも厚いことを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記流路部材は、前記ノズルと前記圧力発生室との間の連通路を有し、
前記第２隔壁は、複数の前記連通路を隔てる隔壁よりも厚いことを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
複数の前記排出側個別流路は、複数の前記ノズルが並べられたノズル面に直交する方向において、前記ノズル面からの距離が異なる流路を含むことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
液体を吐出するノズルと圧力発生室を含む個別流路と、複数の前記個別流路へ液体を供給する供給側共通流路と、複数の前記個別流路から液体を排出する排出側共通流路と、を具備する流路部材と、
前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせて、ノズルから液体を吐出させるエネルギー発生素子と、
を備え、
前記個別流路は、前記供給側共通流路と前記ノズルとの間の供給側個別流路と、前記ノズルと前記排出側共通流路との間の排出側個別流路と、を含み、
複数の前記排出側個別流路は、複数の前記ノズルが並べられたノズル面に直交する方向において、前記ノズル面からの距離が異なる流路を含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
複数の前記排出側個別流路のうち、前記ノズル面からの距離が異なる流路は、共通の前記排出側共通流路に連通していることを特徴とする請求項５記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
複数の前記排出側個別流路のうち、前記ノズル面からの距離が第１の距離の流路と、前記第１の距離よりも遠い第２の距離の流路とは、複数の前記排出側個別流路が並ぶ方向において、繰り返し配置されていることを特徴とする請求項５又は６記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
複数の前記排出側個別流路は、複数の前記ノズルが並べられたノズル面の面内方向において、前記ノズルからの向きが異なる流路を含むことを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
液体を吐出するノズルと圧力発生室を含む個別流路と、複数の前記個別流路へ液体を供給する供給側共通流路と、複数の前記個別流路から液体を排出する排出側共通流路と、を具備する流路部材と、
前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせて、ノズルから液体を吐出させるエネルギー発生素子と、
を備え、
前記個別流路は、前記供給側共通流路と前記ノズルとの間の供給側個別流路と、前記ノズルと前記排出側共通流路との間の排出側個別流路と、を含み、
複数の前記排出側個別流路は、複数の前記ノズルが並べられたノズル面の面内方向において、前記ノズルからの向きが異なる流路を含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
前記排出側共通流路は、前記面内方向において、複数の前記ノズルを挟む第１の排出側共通流路と、第２の排出側共通流路と、を含むことを特徴とする請求項９記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
前記圧力発生室が並設された列を２列具備し、
前記排出側共通流路は、２列の前記圧力発生室の列に共通して連通することを特徴とする請求項９又は１０記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１２】
複数の前記排出側個別流路のうち、前記第１の排出側共通流路に連通する流路と、前記第２の排出側共通流路に連通する流路とは、複数の前記排出側個別流路が並ぶ方向において繰り返し配置されていることを特徴とする請求項１０記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１３】
前記排出側個別流路は、１つの前記ノズルに対して複数設けられていることを特徴とする請求項１〜１２の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１４】
前記排出側個別流路の流れの方向から見て、前記排出側個別流路の幅は、前記排出側個別流路の高さよりも小さいことを特徴とする請求項１〜１３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１５】
請求項１〜１４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を噴射する液体噴射ヘッドには、ノズルから液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。
【０００３】
インクジェット式記録ヘッドとしては、ノズルに連通する圧力発生室と、圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーター等のエネルギー発生素子と、を具備し、エネルギー発生素子によって圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせることで、インクをノズルから吐出させる。
【０００４】
また、ノズルによるインクの増粘や、インクに含まれる成分の沈降によってインク滴の吐出特性、すなわち、インク滴の重量や吐出速度にばらつきが生じ、着弾ばらつきが生じるという問題がある。
【０００５】
このため、圧力発生室のインクを循環させるようにしたインクジェット式記録ヘッドが
案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１４３９８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、排出側の個別流路の隔壁が薄く、隣り合うエネルギー発生素子の駆動の有無、すなわち、隣り合う圧力発生室内の圧力変動の有無によって、排出側の個別流路の隔壁が撓み変形し、インク滴の重量に変動が生じる、所謂、構造クロストークが発生してしまうという問題がある。特にノズルの高密度化に伴い排出側の個別流路を高密度に配置することで隔壁も薄くなっていくため、隔壁の剛性が低下して、構造クロストークが発生し易いという問題がある。
【０００８】
また、排出側の個別流路の経路が長くなることによっても隔壁の剛性が低下すると共に、経路が長い排出側の個別流路の流路断面積を大きくすることによっても隔壁の剛性が低下し、構造クロストークが発生し易いという問題がある。
【０００９】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑み、排出側個別流路の隔壁のクロストークを抑制して吐出特性のばらつきを低減した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するノズルと該ノズルに連通する圧力発生室とを含む個別流路と、複数の前記個別流路へ液体を供給する供給側共通流路と、複数の前記個別流路から液体を排出する排出側共通流路と、を具備する流路部材と、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせて、前記ノズルから液体を吐出させるエネルギー発生素子と、を備え、前記個別流路は、前記供給側共通流路と前記ノズルとの間の供給側個別流路と、前記ノズルと前記排出側共通流路との間の排出側個別流路と、を含み、複数の前記排出側個別流路を隔てる第２隔壁は、複数の前記供給側個別流路を隔てる第１隔壁よりも厚いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【００１２】
また、本発明の他の態様は、液体を吐出するノズルと圧力発生室を含む個別流路と、複数の前記個別流路へ液体を供給する供給側共通流路と、複数の前記個別流路から液体を排出する排出側共通流路と、を具備する流路部材と、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせて、ノズルから液体を吐出させるエネルギー発生素子と、を備え、前記個別流路は、前記供給側共通流路と前記ノズルとの間の供給側個別流路と、前記ノズルと前記排出側共通流路との間の排出側個別流路と、を含み、複数の前記排出側個別流路は、複数の前記ノズルが並べられたノズル面に直交する方向において、前記ノズル面からの距離が異なる流路を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【００１３】
また、本発明の他の態様は、液体を吐出するノズルと圧力発生室を含む個別流路と、複数の前記個別流路へ液体を供給する供給側共通流路と、複数の前記個別流路から液体を排出する排出側共通流路と、を具備する流路部材と、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせて、ノズルから液体を吐出させるエネルギー発生素子と、を備え、前記個別流路は、前記供給側共通流路と前記ノズルとの間の供給側個別流路と、前記ノズルと前記排出側共通流路との間の排出側個別流路と、を含み、複数の前記排出側個別流路は、複数の前記ノズルが並べられたノズル面の面内方向において、前記ノズルからの向きが異なる流路を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【００１４】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図６】比較例に係る記録ヘッドの断面図である。
【図７】実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。
【図８】実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。
【図９】実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。
【図１０】実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。
【図１１】実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。
【図１２】実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。
【図１３】実施形態２に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。
【図１４】実施形態２に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。
【図１５】一実施形態に係る記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。図２は、インクジェット式記録ヘッドのノズル面側の平面図である。図３は、図２のＡ−Ａ′線断面図である。図４は、図２のＢ−Ｂ′線断面図であり、図５は、図３のＣ−Ｃ′線断面図である。
【００１７】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）は、流路部材として、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、ケース部材４０及びコンプライアンス基板４５等の複数の部材を備える。
【００１８】
流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には振動板５０が形成されている。振動板５０は、二酸化シリコン層や酸化ジルコニウム層から選択される単一層又は積層であってもよい。
【００１９】
流路形成基板１０には、複数の隔壁１１によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。なお、本実施形態では、流路形成基板１０の第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２の間の部分を隔壁１１と称する。この隔壁１１は、第２の方向Ｙに沿って形成されている。すなわち、隔壁１１は、流路形成基板１０の第２の方向Ｙにおける圧力発生室１２に重なる部分のことをいう。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの両方に直交する方向を第３の方向Ｚと称し、詳しくは後述するケース部材４０側をＺ１側、ノズルプレート２０側をＺ２側と称する。なお、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚは、互いにそれぞれ直交する方向としたが、特にこれに限定されず、直交以外の角度で交差する方向であってもよい。
【００２０】
また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクに流路抵抗を付与するインク供給路１３が設けられている。本実施形態のインク供給路１３は、第１の方向Ｘにおいて圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されている。なお、インク供給路１３は、幅を絞る構成に限定されず、第３の方向Ｚの高さを絞るようにしてもよい。
【００２１】
このような流路形成基板１０の第３の方向Ｚの一方面側であるＺ１側には、上述のように振動板５０が形成され、この振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが成膜及びリソグラフィー法によって積層されて圧電アクチュエーター３００を構成している。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が、圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせるエネルギー素子となっている。ここで、圧電アクチュエーター３００は、圧電素子とも言い、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分を言う。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、振動板５０、第１電極６０が、振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板５０を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００２２】
また、このような各圧電アクチュエーター３００の第２電極８０には、リード電極９０がそれぞれ接続され、このリード電極９０を介して各圧電アクチュエーター３００に選択的に電圧が印加されるようになっている。
【００２３】
また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、保護基板３０が接合されている。
【００２４】
保護基板３０の圧電アクチュエーター３００に対向する領域には、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電アクチュエーター保持部３１が設けられている。圧電アクチュエーター保持部３１は、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００２５】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００２６】
また、保護基板３０には、保護基板３０を第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。そして、各圧電アクチュエーター３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３２内に露出するよう延設されており、貫通孔３２内でフレキシブルケーブル１２０と電気的に接続されている。フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路１２１が実装されている。
【００２７】
また、保護基板３０上には、複数の圧力発生室１２に連通する供給側供給流路を保護基板３０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、保護基板３０の流路形成基板１０とは反対面側が接合されると共に、後述する連通板１５にも接合して設けられている。
【００２８】
このようなケース部材４０には、供給側共通流路４１が設けられている。供給側共通流路４１は、本実施形態では、ケース部材４０を第３の方向Ｚに貫通して、第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２に亘って連続して設けられている。このような供給側共通流路４１のノズルプレート２０側の開口は連通板１５によって封止されている。また、供給側共通流路４１の壁の一部は、流路形成基板１０及び保護基板３０によって画成されている。そして、供給側共通流路４１には、流路形成基板１０のインク供給路１３を介して複数の圧力発生室１２が共通して連通する。
【００２９】
なお、ケース部材４０には、２列の圧力発生室１２に対して、第２の方向Ｙの両側のそれぞれに供給側共通流路４１が設けられており、圧力発生室１２の列毎に外側の共通する供給側共通流路４１と連通する。
【００３０】
また、供給側共通流路４１とは、供給側個別流路に直接分岐される流路のことであり、例えば、複数の供給側共通流路へ液体を分岐する流路は含まれない。つまり、本実施形態では、ケース部材４０には、２つの供給側共通流路４１が設けられているが、例えば、２つの供給側共通流路４１に同じインクを供給する場合、特に図示していないが、ケース部材４０よりも上流側で２つの供給側共通流路４１にインクを分岐する流路は含まれない。
【００３１】
また、第３の方向Ｚにおいてケース部材４０の保護基板３０とは反対側の供給側共通流路４１が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。コンプライアンス基板４５は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４７とを具備する。固定基板４７の供給側共通流路４１に対応する領域は厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、供給側共通流路４１の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部４８ａとなっている。コンプライアンス基板４５は、可撓部４８ａが撓むことにより、供給側共通流路４１内のインクの圧力変動を吸収する。
【００３２】
また、コンプライアンス基板４５には、第３の方向Ｚに貫通するインク導入口４９が設けられており、図示しない外部のインク供給手段からインク導入口４９を介して供給側共通流路４１にインクが供給される。
【００３３】
また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して、フレキシブルケーブル１２０が挿通される接続口４３が設けられている。
【００３４】
一方、流路形成基板１０の保護基板３０とは反対面側であるＺ２側には、連通板１５とノズルプレート２０とが順次積層されている。
【００３５】
本実施形態の連通板１５は、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とが第３の方向Ｚに積層されて構成されている。第１の連通板１５１は、流路形成基板１０側、すなわち第３の方向ＺのＺ１側に設けられており、第２の連通板１５２は、ノズルプレート２０側、すなわち、第３の方向ＺのＺ２側に設けられている。
【００３６】
このような連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通する連通路であるノズル連通路１６が設けられている。ノズル連通路１６は、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とを第３の方向Ｚに亘って貫通して設けられている。
【００３７】
ノズルプレート２０には、圧力発生室１２の各々にノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。ノズル２１は、同じ種類の液体（一例としてインク）を吐出するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている（図２参照）。
【００３８】
本実施形態の供給側共通流路４１とノズル２１との間の供給側個別流路は、インク供給路１３と圧力発生室１２とノズル連通路１６とを含む。
【００３９】
また、連通板１５には、排出側共通流路１７が設けられている。排出側共通流路１７は、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して、第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２に亘って連続して設けられている。排出側共通流路１７の第３の方向ＺのＺ１側の開口は、第１の連通板１５１によって封止されている。また、排出側共通流路１７の第３の方向ＺのＺ２側の開口は、ノズルプレート２０によって封止されている。このような排出側共通流路１７は、本実施形態では、第３の方向Ｚから平面視した際に、供給側共通流路４１に少なくとも一部が重なる位置に配置されており、供給側共通流路４１と第１の連通板１５１によって隔離されている。また、排出側共通流路１７は、第２の方向Ｙにおける圧力発生室１２とは反対側の端部が、供給側共通流路４１よりも外側まで延設されている。そして、供給側共通流路４１よりも外側に延設された排出側共通流路１７には、第１の連通板１５１及びケース部材４０に亘って設けられた排出路４２の一端が接続されている。排出路４２の他端は、第３の方向Ｚにおいてケース部材４０の連通板１５とは反対のＺ１側の面に開口して設けられており、排出側共通流路１７内のインクは、排出路４２を介してケース部材４０の第３の方向Ｚのノズル面２０ａとは反対面側から記録ヘッド１の外部に排出される。なお、排出路４２を介して記録ヘッド１の外部に排出されたインクは、記録ヘッド１にインクを供給するインク供給手段に戻されて、インク供給手段と記録ヘッド１との間で循環するようにしてもよく、インク供給手段以外の部分に排出させて、例えば、廃棄するようにしてもよい。
【００４０】
このような排出側共通流路１７とノズル２１との間には、排出側個別流路１８が設けられている。本実施形態では、排出側個別流路１８は、一端がノズル連通路１６に連通し、他端が排出側共通流路１７に開口しており、排出側個別流路１８を介してノズル連通路１６と排出側共通流路１７とが連通している。すなわち、本実施形態では、供給側共通流路４１と排出側共通流路１７との間には、個別流路として供給側個別流路と排出側個別流路１８とを有する。
【００４１】
排出側個別流路１８は、本実施形態では、１つのノズル２１に対して１つ設けられたものであり、ノズル面２０ａから当該ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚの距離が異なる第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを有する。本実施形態では、ノズル面２０ａに近くノズル面２０ａからの距離が第１の距離となる排出側個別流路１８を第１の排出側個別流路１８１と称し、ノズル面２０ａからの距離が第１の距離よりも遠い第２の距離となる排出側個別流路１８を第２の排出側個別流路１８２と称する。
【００４２】
第１の排出側個別流路１８１は、図３及び図５に示すように、第２の連通板１５２のノズルプレート２０側の面に開口する凹部を、ノズルプレート２０によって覆うことで、第２の連通板１５２とノズルプレート２０との接合界面に形成されている。
【００４３】
第２の排出側個別流路は、図４及び図５に示すように、第２の連通板１５２の第１の連通板１５１側の面に開口する凹部を、第１の連通板１５１によって覆うことで、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との接合界面に設けられている。
【００４４】
また、第１の方向Ｘに並設されたノズル２１の列に連通する第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とは、ノズル面２０ａの面内方向、すなわち第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内方向において、ノズル２１からの向きが同じ方向に配置されている。すなわち、一方のノズル２１の列に連通する第１の排出側個別流路１８１及び第２の排出側個別流路１８２は、第２の方向Ｙに沿って他方のノズル２１の列の第１の排出側個別流路１８１及び第２の排出側個別流路１８２とは反対側に向かって延設されている。このため、第１の方向Ｘに並設されたノズル２１の列に連通する第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とは、同じ排出側共通流路１７に連通して設けられている。
【００４５】
なお、本実施形態では、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とは、流路断面形状及び流路断面積が同じとなるように形成されている。これにより、複数の排出側個別流路１８の流路断面積及び経路長を同じにして、流路抵抗を揃えて、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。なお、第１の排出側個別流路１８１及び第２の排出側個別流路１８２は、第１の方向Ｘにおいてノズル連通路１６の幅よりも大きな幅で形成されている。また、本実施形態の第１の排出側個別流路１８１及び第２の排出側個別流路１８２は、排出側個別流路１８を流れるインクの方向、すなわち第２の方向Ｙから見て、ノズル連通路１６の並設方向である第１の方向Ｘの幅は、ノズル連通路１６のインクが流れる第３の方向Ｚの高さよりも小さい。このように、排出側個別流路１８の第１の方向Ｘの幅を、第３の方向Ｚの高さよりも小さくすることで、複数の排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを厚くすると共に、排出側個別流路１８の流路抵抗が増大するのを抑制して、流路抵抗の増大によるインクの排出不良やインク滴の吐出不良を抑制することができる。もちろん、排出側個別流路１８は、第１の方向Ｘの幅が、第３の方向Ｚの高さよりも大きくてもよい。
【００４６】
このような同じノズル２１の列に連通してノズル面２０ａからの距離が近い第１の排出側個別流路１８１とノズル面２０ａからの距離が遠い第２の排出側個別流路１８２とは、図５に示すように、排出側個別流路１８の並ぶ第１の方向Ｘにおいて繰り返し配置されている。本実施形態では、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とは、第１の方向Ｘにおいて１つずつ交互に配置されている。なお、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とが第１の方向Ｘにおいて繰り返し配置されているとは、２つ以上の複数ずつが交互に配置されているものも含む。つまり、第１の排出側個別流路１８１が２つ以上連続して並設されて構成された第１群と、第２の排出側個別流路１８２が２つ以上連続して並設された第２群と、が交互に配置されていることも含む。
【００４７】
このように、同じノズル２１の列に連通する排出側個別流路１８を、ノズル面２０ａからの距離が異なる第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とで構成し、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを第１の方向Ｘに１つずつ交互に繰り返し配置することで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁を、供給側個別流路を隔てる第１隔壁よりも厚くすることができる。
【００４８】
ここで、第２隔壁とは、第１の方向Ｘで隣り合う排出側個別流路１８を隔てる隔壁のことであり、第２隔壁は、第１の方向Ｘにおける排出側個別流路１８に重なる部分のことを言う。すなわち、本実施形態では、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とが第１の方向Ｘに１つずつ交互に繰り返し配置されているが、第２隔壁とは、第１の方向Ｘで互いに隣り合う２つの第１の排出側個別流路１８１の間の部分と、第１の方向Ｘで互いに隣り合う２つの第２の排出側個別流路の間の部分と、のことを言う。
【００４９】
また、第２隔壁と厚さが比較される供給側個別流路を隔てる第１隔壁とは、供給側個別流路を隔てる隔壁のうち、最も薄い隔壁のことである。本実施形態の供給側個別流路は、インク供給路１３、圧力発生室１２及びノズル連通路１６であるため、第１隔壁としては、第１の方向Ｘにおいて複数のインク供給路１３を隔てる隔壁、第１の方向Ｘにおいて複数の圧力発生室１２を隔てる隔壁１１、第１の方向Ｘにおいて複数のノズル連通路１６を隔てる隔壁が挙げられる。本実施形態のインク供給路１３は、圧力発生室１２の第１の方向Ｘの幅を絞ることで形成されているため、圧力発生室１２を隔てる隔壁１１の方が、インク供給路１３を隔てる隔壁よりも薄い。また、本実施形態では、圧力発生室１２の第１の方向Ｘの幅よりも、ノズル連通路１６の第１の方向Ｘの幅の方が小さいため、圧力発生室１２を隔てる隔壁１１の方が、ノズル連通路１６を隔てる隔壁よりも薄い。したがって、本実施形態の第１隔壁の中で最も薄い隔壁とは、第１の方向Ｘで圧力発生室１２を隔てる隔壁１１である。
【００５０】
そして、本実施形態では、ノズル面２０ａからの距離が異なる第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを第１の方向Ｘに１つずつ交互に繰り返し配置することで、第１の方向Ｘで排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１は、圧力発生室１２を隔てる第１隔壁である隔壁１１の厚さｄ２よりも厚い、すなわち、ｄ１＞ｄ２となっている。また、本実施形態では、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを第１の方向Ｘに１つずつ交互に繰り返し配置することで、第１の方向Ｘで排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１は、ノズル連通路１６を隔てる第１隔壁の厚さｄ３よりも厚い、すなわち、ｄ１＞ｄ３となっている。
【００５１】
ちなみに、図６に示すように、全ての排出側個別流路１８をノズル面２０ａから同じ距離で配置した場合、すなわち、排出側個別流路１８として第１の排出側個別流路１８１のみを設けた場合、第２の方向Ｙで排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１Ｘは、図５に示す第２隔壁の厚さｄ１よりも薄くなる。このように第２隔壁が薄く剛性が低くなると、隣り合う圧力発生室１２のうち一方の圧力発生室１２に圧力変化が生じ、他方の圧力発生室１２に圧力変化が生じなかった場合に、一方の圧力発生室１２の圧力変化によって第２隔壁が撓み変形して圧力を吸収してしまい、インク滴の吐出特性、すなわち、重量や吐出速度が減少する。また、隣り合う圧力発生室１２の両方に同時に圧力変化が生じると、第２隔壁が変形しないことからインク滴の吐出特性、特にインク重量や吐出速度が減少しない。したがって、第２隔壁が薄く、剛性が低いと、隣り合う圧力発生室１２の圧力変化の有無によってインク滴の吐出特性にばらつきが生じる、所謂構造クロストークが生じ、インク滴の着弾位置ズレが生じ、印刷品質が低下してしまう。このような排出側個別流路１８の第２隔壁の剛性が低いことによる構造クロストークは、特に、排出側個別流路を隔てる第２隔壁の厚さｄ１Ｘが、圧力発生室１２の隔壁１１の厚さｄ２よりも薄くなることで大きく影響する。すなわち、図６に示すようにノズル面２０ａからの距離が同じ排出側個別流路を設けた場合、排出側個別流路を隔てる第２画壁の厚さｄ１Ｘは、圧力発生室１２を隔てる隔壁の厚さｄ２よりも薄くなり易い。そして、圧力発生室１２を隔てる隔壁１１においても構造クロストークが発生するものの、排出側個別流路１８の第２隔壁の厚さｄ１Ｘが圧力発生室１２の隔壁１１の厚さｄ２よりも薄く剛性が低いと、圧力発生室１２の隔壁１１と排出側個別流路１８の第２隔壁との両方で構造クロストークが発生し、インク吐出特性、特に重量及び吐出速度への影響が大きくなる。また、排出側個別流路１８の経路が長い場合にも、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の剛性が低下する。また、第２隔壁の厚さが薄いと、排出側個別流路１８の流路断面積を大きくすることができず、排出側個別流路１８の流路抵抗が大きくなってしまう。
【００５２】
本実施形態では、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを第１の方向Ｘに１つずつ交互に配置するようにしたため、第１の方向Ｘで排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁を厚くして第２隔壁の剛性が低下するのを抑制して、構造クロストークの発生を抑制することができる。したがって、圧力発生室１２内のインクの圧力変動によって第２隔壁が撓み変形するのを抑制して、インク滴の吐出特性、すなわち、重量や吐出速度にばらつきが生じるのを抑制して、着弾位置ズレを低減し、印刷品質を向上することができる。また、第２隔壁を厚くすることができるため、圧力発生室１２を第１の方向Ｘに高密度に配置しても、排出側個別流路１８同士が干渉することなく、また、排出側個別流路１８の流路断面積を比較的大きくすることができる。したがって、ノズル２１を高密度に配置することができると共に、排出側個別流路１８の流路抵抗を減少させることができる。
【００５３】
また、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１を、圧力発生室１２を隔てる第１隔壁である隔壁１１の厚さｄ２よりも厚くすることで、圧力発生室１２を高密度に配置することができ、ノズル２１を高密度に配置して、高解像度化することができる。また、圧力発生室１２の排除体積を増大させて、インク滴の吐出特性を向上することができる。
【００５４】
また、排出側個別流路１８として、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを設けて、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１を厚くすることで、ノズルプレート２０と連通板１５との接着面積を増大させて接合強度を向上することができる。また、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１を厚くして、ノズルプレート２０との接着面積を増大させることができるため、隣り合う排出側個別流路１８の間でのインクのリークを抑制して、インクのリークによる圧力損失によってインク滴の吐出不良や、隣の流路からインク滴が吐出されるなどの不具合が発生するのを抑制することができる。
【００５５】
なお、本実施形態では、連通板１５の流路形成基板１０とは反対側にノズルプレート２０が設けられた構成について説明したが、例えば、連通板１５にその他の部材が接合された場合であっても同様に、その他の部材との接着面積を増大させてその他の部材と連通板１５との剥離を抑制することができると共に、第２隔壁とその他の部材との接着面積を増大させてインクのリークを抑制して、インクのリークによるインク滴の吐出不良等の不具合を抑制することができる。
【００５６】
また、排出側個別流路１８として、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを設けることで、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との接着面積を増大させて、接着強度を向上することができると共に、隣り合う排出側個別流路１８の間でのインクのリークを抑制して、インクの吐出不良を抑制することができる。ちなみに、例えば、排出側個別流路１８として、第２の排出側個別流路１８２のみを設けると、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との接着面積が減少してしまう。
【００５７】
このような記録ヘッド１では、インク導入口から供給側共通流路４１内に供給されたインクは、個別流路であるインク供給路１３、圧力発生室１２、ノズル連通路１６及び排出側個別流路１８を介して排出側共通流路１７に供給される。排出側共通流路１７に供給されたインクは、排出路４２を介して記録ヘッド１の外部に排出される。なお、排出路４２を介して記録ヘッド１の外部に排出されたインクは、記録ヘッド１にインクを供給するインク供給手段に戻されて、インク供給手段と記録ヘッド１との間で循環するようにしてもよく、インク供給手段以外の部分に排出させて、例えば、廃棄するようにしてもよい。このように圧力発生室１２に供給されたインクを循環又は廃棄することで、インクに含まれる気泡が供給側共通流路４１や、圧力発生室１２等の個別流路に留まることなく、記録ヘッド１の外部に排出することができる。したがって、気泡によるインク滴の吐出不良を抑制することができる。また、個別流路のインクを外部に排出することで、ノズル２１によるインクの増粘を抑制することができると共に、インクに含まれる成分の沈降を抑制することができ、インク滴の吐出特性、すなわち、インク滴の重量や吐出速度にばらつきが生じるのを低減し、印刷品質を向上することができる。
【００５８】
以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドである記録ヘッド１では、液体であるインクを噴射するノズル２１と該ノズル２１に連通する圧力発生室１２とを含む個別流路と、複数の個別流路へインクを供給する供給側共通流路４１と、複数の個別流路からインクを排出する排出側共通流路１７と、を具備する流路部材である流路形成基板１０、保護基板３０、ケース部材４０、連通板１５、ノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４５と、圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせて、ノズル２１からインクを吐出させるエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００と、を備え、個別流路は、供給側共通流路４１とノズル２１との間の供給側個別流路であるインク供給路１３、圧力発生室１２、ノズル連通路１６及びノズル２１と、ノズル２１と排出側共通流路１７との間の排出側個別流路１８と、を含み、複数の排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁は、複数の供給側個別流路を隔てる第１隔壁よりも厚い。
【００５９】
このように、複数の排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１を複数の供給側個別流路を隔てる第１隔壁、本実施形態では、圧力発生室１２の隔壁１１の厚さｄ２よりも厚くすることで、隣り合う圧力発生室１２の一方のみに圧力変化を生じさせた場合に第２隔壁が変形するのを抑制して、第２隔壁が圧力を吸収するのを抑制することができる。したがって、隣り合う圧力発生室１２の両方に同時に圧力変化を生じさせた場合と、一方の圧力発生室１２のみに圧力変化を生じさせた場合とで、圧力発生室１２内の圧力変化を同じにして、インク滴の吐出特性、すなわち、重量や吐出速度にばらつきが生じるのを抑制することができる。
【００６０】
また、第１隔壁の厚さを、第２隔壁の厚さよりも薄くすることで、供給側個別流路を高密度に配置することができ、ノズル２１を高密度に配置して高解像度化を図ることができる。
【００６１】
さらに、第２隔壁の厚さを第１隔壁の厚さよりも厚くすることで、排出側個別流路１８を形成する部材間での接着面積を増大させて、接着強度を向上することができ、部材間の剥離を抑制することができる。また、排出側個別流路の間の第２隔壁の厚さを厚くすることで、互いに隣り合う排出側個別流路の間でのインクのリークを抑制することができ、吐出不良を抑制することができる。
【００６２】
なお、第２隔壁が第１隔壁よりも厚いとは、第１隔壁のうち、最も薄い隔壁よりも第２隔壁が厚いことを言う。したがって、第１隔壁のうち、一部の隔壁が第２隔壁よりも薄ければ、第２隔壁よりも厚い第１隔壁があってもよい。
【００６３】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、第２隔壁は、複数の圧力発生室１２を隔てる隔壁１１よりも厚いことが好ましい。これによれば、複数の圧力発生室１２を高密度に配置することができると共に、圧力発生室１２の排除体積を増大させてインク滴の吐出特性を向上することができる。
【００６４】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、流路部材は、ノズル２１と圧力発生室１２との間の連通路であるノズル連通路１６を有し、第２隔壁は、複数のノズル連通路１６を隔てる隔壁よりも厚いことが好ましい。これによれば、ノズル連通路１６を高密度に配置して、ノズル２１の高解像度化を行っても、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁が薄くなるのを抑制して、第２隔壁の剛性が低下することによる構造クロストークの発生を抑制することができる。
【００６５】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、複数の排出側個別流路１８は、複数のノズル２１が並べられたノズル面２０ａに直交する第３の方向Ｚにおいて、ノズル面２０ａからの距離が異なる流路である第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを含むことが好ましい。これによれば、排出側個別流路１８として、ノズル面２０ａからの距離が異なる第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを用いることで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを容易に厚くすることができると共に、排出側個別流路１８の流路断面積を大きくすることができ、流路抵抗が増大するのを抑制することができる。また、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２との流路長を容易に揃えることができ、流路抵抗のばらつきを低減することができる。
【００６６】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、液体であるインクを吐出するノズル２１と圧力発生室１２を含む個別流路と、複数の個別流路へインクを供給する供給側共通流路４１と、複数の個別流路からインクを排出する排出側共通流路１７と、を具備する流路部材である流路形成基板１０、保護基板３０、ケース部材４０、連通板１５、ノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４５と、圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせて、ノズル２１からインクを吐出させるエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００と、を備え、個別流路は、供給側共通流路４１とノズル２１との間の供給側個別流路であるインク供給路１３、圧力発生室１２、ノズル連通路１６及びノズル２１と、ノズル２１と排出側共通流路１７との間の排出側個別流路１８と、を含み、複数の排出側個別流路１８は、複数のノズル２１が並べられたノズル面２０ａに直交する第３の方向Ｚにおいて、ノズル面２０ａからの距離が異なる流路である第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを含む。
【００６７】
このように、排出側個別流路１８として、ノズル面２０ａからの距離が異なる第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを用いることで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを容易に厚くすることができると共に、排出側個別流路１８の流路断面積を大きくすることができ、流路抵抗が増大するのを抑制することができる。
【００６８】
また、第２隔壁の厚さを厚くすることで、排出側個別流路１８を形成する部材間での接着面積を増大させて、接着強度を向上することができ、部材間の剥離を抑制することができる。また、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを厚くすることで、互いに隣り合う排出側個別流路１８の間でのインクのリークを抑制することができ、吐出不良を抑制することができる。
【００６９】
なお、複数の排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁は、複数の供給側個別流路を隔てる第１隔壁より薄いものも含む。
【００７０】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、複数の排出側個別流路１８のうち、ノズル面２０ａからの距離が異なる流路である第１の排出側個別流路１８１及び第２の排出側個別流路１８２は、共通の排出側共通流路１７に連通していることが好ましい。これによれば、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とが、それぞれ異なる排出側共通流路に連通している場合、２つの排出側共通流路を設けるスペースが必要になり、大型化してしまうが、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを共通の排出側共通流路１７に連通させることで、共通の排出側共通流路１７を設けるスペースを確保すればよく、小型化を図ることができる。もちろん、複数の排出側個別流路１８のうち、ノズル面２０ａからの距離が異なる流路は、それぞれ異なる排出側共通流路に連通していてもよい。
【００７１】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、複数の排出側個別流路１８のうち、ノズル面２０ａからの距離が第１の距離の流路である第１の排出側個別流路１８１と、第１の距離よりも遠い第２の距離の流路である第２の排出側個別流路１８２とは、複数の排出側個別流路１８が並ぶ第１の方向Ｘにおいて、繰り返し配置されていることが好ましい。これによれば、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを第１の方向Ｘに繰り返し配置することで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを比較的厚くすることができると共に、第２隔壁の厚さに規則性を持たせることができ、第２隔壁の強度ばらつきを低減することができる。
【００７２】
ちなみに、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とが第１の方向Ｘに繰り返し配置されているとは、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とが１つずつ交互に配置されていることも、２つ以上の複数ずつが交互に配置されているものも含む。何れの場合であっても、規則的に繰り返し配置することで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを厚く、複数の第２隔壁の厚さに規則性を持たせることができ、第２隔壁の強度ばらつきを低減することができる。特に、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを１つずつ交互に配置することで、排出側個別流路１８を隔てる複数の第２隔壁の厚さを均等にし易く、第２隔壁の強度ばらつきをさらに抑制することができる。
【００７３】
ここで、例えば、図７に示すように、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを第１の方向Ｘに２つずつ交互に配置した場合であっても、図８に示すように、２つの第１の排出側個別流路１８１を隔てる第２隔壁と、２つの第２の排出側個別流路１８２を隔てる第２隔壁を同じ厚さｄ１となるように設けることができる。
【００７４】
すなわち、第１の方向Ｘで連続する２つの第１の排出側個別流路１８１を、第１の方向Ｘの距離が、ノズル連通路１６よりも排出側共通流路１７側の方が広くなるように設ける。同様に、第１の方向Ｘで連続する２つの第２の排出側個別流路１８２を、第１の方向Ｘの距離が、ノズル連通路１６側よりも排出側共通流路１７側の方が広くなるように設ける。これにより、第１の排出側個別流路１８１を隔てる第２隔壁の厚さと、第２の排出側個別流路１８２を隔てる第２隔壁の厚さとを同じ厚さｄ１にすることができ、第２隔壁の強度ばらつきを抑制することができる。
【００７５】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、排出側個別流路１８の流れの方向から見て、排出側個別流路１８の幅は、排出側個別流路１８の高さよりも小さいことが好ましい。これによれば、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを比較的厚くすることができると共に、排出側個別流路１８の流路断面積を比較的大きくして、流路抵抗が増大するのを抑制することができる。もちろん、排出側個別流路１８の幅は、高さよりも大きくてもよい。
【００７６】
なお、本実施形態では、連通板１５を第１の連通板１５１及び第２の連通板１５２で積層して形成することで、ノズル面２０ａから距離が異なる排出側個別流路１８を容易に形成することができる。もちろん、連通板１５は、第１の連通板１５１及び第２の連通板１５２が第３の方向Ｚに積層されたもの、又は、第１の連通板１５１、第２の連通板１５２及び第３の連通板１５３が第３の方向Ｚに積層されたものに限定されず、例えば、連通板１５は、ノズル面２０ａの面内方向、すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向に分割された複数の部材によって構成されていてもよく、連通板１５は、単一の部材によって形成されたものであってもよい。ちなみに、単一の部材の連通板１５は、例えば、射出成形等によって形成することが可能である。
【００７７】
また、本実施形態では、第１の排出側個別流路１８１を隔てる第２隔壁の厚さｄ１と、第２の排出側個別流路１８２を隔てる第２隔壁の厚さｄ１とを同じ厚さとしたが、特にこれに限定されず、第１の排出側個別流路１８１を隔てる第２隔壁の厚さと、第２の排出側個別流路１８２を隔てる第２隔壁の厚さとは異なる厚さであってもよい。すなわち、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２との流路断面形状が異なる形状であってもよい。もちろん、上述のように第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２との流路断面形状を同じ、すなわち、流路断面積を同じにして、経路長さを同じにすることで、流路抵抗を揃えることができ、第１の排出側個別流路１８１が連通するノズル２１と第２の排出側個別流路１８２が連通するノズル２１とから吐出されるインク滴の吐出特性のばらつきを抑制することができる。
【００７８】
また、本実施形態では、排出側個別流路１８として、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを設けることで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁ｄ１の厚さを、供給側個別流路を隔てる第１隔壁の厚さよりも厚くしたが、特にこれに限定されず、排出側個別流路として、ノズル面２０ａからの距離が異なる第１の排出側個別流路と第２の排出側個別流路とを設けた場合に、第２隔壁の厚さｄ１は、第１隔壁の厚さ以下であってもよい。すなわち、本実施形態では、第１隔壁うち最も薄いのは、圧力発生室１２の隔壁１１であるため、第２隔壁の厚さｄ１は、隔壁１１の厚さｄ２以下、つまり、ｄ１≦ｄ２であってもよい。このように排出側個別流路１８として、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを設けることで、排出側個別流路１８を設けることができるスペースを大きく確保し、このスペースに比較的大きな流路断面積となる排出側個別流路１８を設けることで、排出側個別流路１８の流路抵抗を低減して、排出特性を向上することができる。
【００７９】
さらに、本実施形態では、連通板１５を第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とを積層して構成し、排出側個別流路１８として第３の方向Ｚにおいてノズル面２０ａからの距離が異なる第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、排出側個別流を第３の方向Ｚにおいてノズル面２０ａからの距離が異なる３つ以上の排出側個別流路を設けるようにしてもよい。このような例を図９に示す。なお、図９は、本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。
【００８０】
図９に示すように、連通板１５は、流路形成基板１０側であるＺ１側に設けられた第１の連通板１５１と、ノズルプレート２０側であるＺ２側に設けられた第２の連通板１５２と、第１の連通板１５１及び第２の連通板１５２の間に設けられた第３の連通板１５３と、を具備する。
【００８１】
このような連通板１５には、排出側個別流路１８として、ノズル面２０ａからの第３の方向Ｚの距離が異なる第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２と第３の排出側個別流路１８３とが設けられている。
【００８２】
第１の排出側個別流路１８１は、第３の方向Ｚでノズル面２０ａに最も近くに配置されたものであり、第２の連通板１５２とノズルプレート２０との間に設けられている。具体的には、第１の排出側個別流路１８１は、第２の連通板１５２にノズルプレート２０側に開口するように形成された凹部をノズルプレート２０によって覆うことで形成されている。
【００８３】
第２の排出側個別流路１８２は、第３の方向Ｚでノズル面２０ａに２番目に近く配置されたものであり、第２の連通板１５２と第３の連通板１５３との間に設けられている。具体的には、第２の排出側個別流路１８２は、第２の連通板１５２に第３の連通板１５３側に開口するように設けられた凹部を第３の連通板１５３によって覆うことで形成されている。なお、第２の排出側個別流路１８２は、第３の連通板１５３に凹部を形成し、これを第２の連通板１５２によって覆うことで形成してもよく、第２の連通板１５２及び第３の連通板１５３の両方に凹部を形成することで形成されてもよい。
【００８４】
第３の排出側個別流路１８３は、第３の方向Ｚでノズル面２０ａから最も遠くに配置されたものであり、第１の連通板１５１と第３の連通板１５３との間に設けられている。具体的には、第３の連通板１５３に第２の連通板１５２側に開口するように設けられた凹部を第２の連通板１５２によって覆うことで形成されている。なお、第３の排出側個別流路１８３は、第１の連通板１５１に凹部を形成し、これを第３の連通板１５３によって覆うことで形成してもよく、第１の連通板１５１及び第３の連通板１５３の両方に凹部を形成することで形成してもよい。
【００８５】
このようなノズル面２０ａからの距離が異なる３つの第１の排出側個別流路１８１、第２の排出側個別流路１８２及び第３の排出側個別流路１８３は、排出側個別流路１８が並ぶ第１の方向Ｘに繰り返し配置されている。具体的には、第１の排出側個別流路１８１、第２の排出側個別流路１８２及び第３の排出側個別流路１８３は、それぞれ１つずつ第１の方向Ｘの一方側から他方側に向かってこの順に並設された群を構成し、この群を第１の方向Ｘに繰り返すようになっている。このため、第１の方向Ｘに並設された排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１Ａは、上述した図５に示す排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１よりも厚くすることができる。ちなみに、第１の排出側個別流路１８１、第２の排出側個別流路１８２及び第３の排出側個別流路１８３は、流路断面形状及び流路断面積が同じであり、且つ経路長も同じであるため、第１の方向Ｘに並設された第１の排出側個別流路１８１を隔てる第２隔壁、第２の排出側個別流路１８２を隔てる第２隔壁及び第３の排出側個別流路１８３を隔てる第２隔壁の厚さにばらつきはなく、第２隔壁の強度を揃えることができると共に流路抵抗を揃えてインク滴の吐出特性のばらつきを低減することができる。もちろん、第１の排出側個別流路１８１を隔てる第２隔壁、第２の排出側個別流路１８２を隔てる第２隔壁及び第３の排出側個別流路１８３を隔てる第２隔壁の厚さは、異なるものであってもよい。また、ノズル面２０ａからの距離が異なる排出側個別流路１８の種類は、図９に示すように３つに限定されるものではなく、４つ以上であってもよい。
【００８６】
このようにノズル面２０ａからの距離が異なる３つの排出側個別流路１８を設けた場合であっても、複数の排出側個別流路１８のうち、ノズル面２０ａからの距離が第１の距離の流路と、第１の距離よりも遠い第２の距離の流路とは、複数の排出側個別流路１８が並ぶ第１の方向Ｘにおいて、繰り返し配置されていると言える。すなわち、図９において第１の距離の流路を第１の排出側個別流路１８１とし、第２の距離の流路を第２の排出側個別流路１８２とすれば、第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とは第１の方向Ｘに繰り返し配置されていると言える。また、図９において第１の距離の流路を第２の排出側個別流路１８２とし、第２の距離の流路を第３の排出側個別流路１８３とすれば、第２の排出側個別流路１８２と第３の排出側個別流路１８３とは、第１の方向Ｘに繰り返し配置されていると言える。同様に、図９において、第１の距離の流路を第１の排出側個別流路１８１とし、第２の距離の流路を第３の排出側個別流路１８３とすれば、第１の排出側個別流路１８１と第３の排出側個別流路１８３とは、第１の方向Ｘに繰り返し配置されていると言える。
【００８７】
（実施形態２）
図１０は、本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの連通板のノズル面の面方向に沿った断面図である。図１１は、図１０のＤ−Ｄ′線断面図である。図１２は、図１０のＥ−Ｅ′線断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００８８】
図示するように、本実施形態の連通板１５は、１枚の基板で構成されている。もちろん、連通板１５は、２枚以上の基板を第３の方向Ｚに積層したものであってもよく、２枚以上の基板を第３の方向Ｚに交差する方向に積層したものであってもよい。
【００８９】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。
【００９０】
また、連通板１５には、排出側共通流路１７として、ノズル面２０ａの面内方向において複数のノズル２１、すなわちノズル列を第２の方向Ｙで挟む第１の排出側共通流路１７１と第２の排出側共通流路１７２とを有する。第１の排出側共通流路１７１は、上述した実施形態１の排出側共通流路１７と同様に、第３の方向Ｚからの平面視において供給側共通流路４１と少なくとも一部が重なる位置に配置されている。
【００９１】
また、第１の排出側共通流路１７１は、第２の連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けられており、第２の方向Ｙにおいてノズル連通路１６とは反対側の端部が、供給側共通流路４１よりも外側に延設されている。この供給側共通流路４１よりも外側に延設された第１の排出側共通流路１７１に第１の連通板１５１及びケース部材４０に亘って設けられた排出路４２が接続されている。
【００９２】
また、第２の排出側共通流路１７２は、第２の方向Ｙにおいてノズル連通路１６の間に配置されている。第２の排出側共通流路１７２は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられており、Ｚ１側の開口は流路形成基板１０によって封止され、Ｚ２側の開口がノズルプレート２０によって封止されている。
【００９３】
このような第２の排出側共通流路１７２は、第１の排出側共通流路１７１に対して１つずつ、合計２つ設けるようにしてもよく、２つの第１の排出側共通流路１７１に共通して１つ設けるようにしてもよい。本実施形態では、第２の排出側共通流路１７２は、２つの第１の排出側共通流路１７１に対して共通する１つを設けるようにした。
【００９４】
このように２つの第１の排出側共通流路１７１に共通して１つの第２の排出側共通流路１７２を設けた場合であっても、第１の排出側共通流路１７１と第２の排出側共通流路１７２とは、ノズル面２０ａの面内方向で複数のノズル２１、本実施形態では、ノズル列を挟む位置に設けられていることになる。
【００９５】
また、本実施形態では、２つの第１の排出側共通流路１７１と１つの第２の排出側共通流路１７２とは、第１の方向Ｘの両端部で接続されるように連続して設けられている。このため、２つの第１の排出側共通流路１７１と第２の排出側共通流路１７２とには同じインクが供給される。
【００９６】
ちなみに、本実施形態のように第２の排出側共通流路１７２が、ノズル面２０ａの面内方向で２列のノズル２１の列の間に１つ設けられている場合には、２列のノズル２１に第２の排出側共通流路１７２が連通するため、２列のノズル２１からは同じインクが吐出される。また、図示していないが、ノズル面２０ａの面内方向で２列のノズル２１の間に２つの第２の排出側共通流路１７２を設けた場合には、ノズル２１の各列から異なるインクを吐出することも、また、ノズル２１の各列から同じインクを吐出することもできる。
【００９７】
また、連通板１５には、排出側個別流路１８が設けられている。本実施形態では、排出側個別流路１８は、ノズル２１が並べられたノズル面２０ａの面内方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにおいて、ノズル２１からの向きが異なる第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを有する。
【００９８】
第１の排出側個別流路１８１は、第２の方向Ｙに沿って第２の方向Ｙの一方側、すなわち、ノズル２１から第１の排出側共通流路１７１に向かって延設されている。このような第１の排出側個別流路１８１は、連通板１５とノズルプレート２０との間、すなわち、連通板１５にノズルプレート２０側に開口する凹部を設け、この凹部をノズルプレート２０によって覆うことで形成されている。
【００９９】
第４の排出側個別流路１８４は、第２の方向Ｙに沿って第２の方向Ｙの他方側、すなわち、ノズル２１から第２の排出側共通流路１７２に向かって延設されている。このような第４の排出側個別流路１８４は、連通板１５とノズルプレート２０との間、すなわち、連通板１５にノズルプレート２０側に開口する凹部を設け、この凹部をノズルプレート２０によって覆うことで形成されている。すなわち、本実施形態の排出側個別流路１８である第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とは、ノズル面２０ａからの第３の方向Ｚの距離が同じ距離で設けられている。また、第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とは、流路断面形状及び流路断面積が同じとなるように設けられている。なお、第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とは、第１の方向Ｘにおいてノズル連通路１６の幅よりも大きな幅で形成されている。これにより、排出側個別流路１８の流路抵抗が増大するのを抑制して、流路抵抗の増大によるインクの排出不良やインク滴の吐出不良を抑制することができる。
【０１００】
また、同じノズル２１の列に連通してノズル面２０ａの面内方向でノズル２１からの向きが異なる第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とは、図１０に示すように、排出側個別流路が並ぶ第１の方向Ｘにおいて繰り返し配置されている。本実施形態では、第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とは、第１の方向Ｘにおいて１つずつ交互に配置されている。なお、第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とが第１の方向Ｘにおいて繰り返し配置されているとは、２つ以上の複数ずつが交互に配置されているものも含む。つまり、第１の排出側個別流路１８１が２つ以上連続して並設されて構成された第１群と、第４の排出側個別流路１８４が２つ以上連続して並設された第２群と、が交互に配置されていることも含む。
【０１０１】
このように、同じノズル２１の列に連通する排出側個別流路１８を、ノズル面２０ａの面内方向においてノズル２１からの向きが異なる第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とで構成し、第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを第１の方向Ｘに１つずつ交互に繰り返し配置することで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁を、供給側個別流路を隔てる第１隔壁よりも厚くすることができる。
【０１０２】
ここで、第２隔壁とは、第１の方向Ｘで隣り合う排出側個別流路１８を隔てる隔壁のことであり、第２隔壁は、第１の方向Ｘにおける排出側個別流路１８に重なる部分のことを言う。すなわち、本実施形態では、第１の方向Ｘにおいて互いに隣り合う２つの第１の排出側個別流路１８１と第１の排出側個別流路１８１との間の隔壁、及び、第１の方向Ｘにおいて互いに隣り合う２つの第４の排出側個別流路１８４と第４の排出側個別流路１８４との間の隔壁のことを言う。
【０１０３】
また、第２隔壁と厚さが比較される供給側個別流路を隔てる第１隔壁とは、供給側個別流路を隔てる隔壁のうち、最も薄い隔壁のことである。本実施形態の供給側個別流路は、上述した実施形態１と同様に、インク供給路１３、圧力発生室１２及びノズル連通路１６であるため、第１隔壁としては、第１の方向Ｘにおいて複数のインク供給路１３を隔てる隔壁、第１の方向Ｘにおいて複数の圧力発生室１２を隔てる隔壁１１、第１の方向Ｘにおいて複数のノズル連通路１６を隔てる隔壁が挙げられる。本実施形態のインク供給路１３は、圧力発生室１２の第１の方向Ｘの幅を絞ることで形成されているため、圧力発生室１２を隔てる隔壁１１の方が、インク供給路１３を隔てる隔壁よりも薄い。また、本実施形態では、圧力発生室１２の第１の方向Ｘの幅よりも、ノズル連通路１６の第１の方向Ｘの幅の方が小さいため、圧力発生室１２を隔てる隔壁１１の方が、ノズル連通路１６を隔てる隔壁よりも薄い。したがって、本実施形態の第１隔壁の中で最も薄い隔壁とは、第１の方向Ｘで圧力発生室１２を隔てる隔壁１１である。
【０１０４】
そして、本実施形態では、図１０に示すように、ノズル面２０ａの面内方向でノズル２１からの向きが異なる第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを第１の方向Ｘに１つずつ交互に繰り返し配置することで、第１の方向Ｘで排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１Ｂは、圧力発生室１２を隔てる第１隔壁である隔壁１１の厚さｄ２（図５参照）よりも厚い、すなわち、ｄ１Ｂ＞ｄ２となっている。また、本実施形態では、第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを第１の方向Ｘに１つずつ交互に繰り返し配置することで、第１の方向Ｘで排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１Ｂは、ノズル連通路１６を隔てる第１隔壁の厚さｄ３（図５参照）よりも厚い、すなわち、ｄ１Ｂ＞ｄ３となっている。
【０１０５】
このように、複数の排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１Ｂを、供給側個別流路を隔てる第１隔壁の厚さ、本実施形態では、圧力発生室１２を隔てる隔壁１１の厚さｄ２よりも厚く、さらにノズル連通路１６を隔てる隔壁の厚さｄ３よりも厚くすることで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の強度不足による構造クロストークの発生を抑制して、インク滴の吐出特性、すなわち、重量や吐出速度にばらつきが生じるのを抑制することができる。
【０１０６】
また、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１Ｂを厚くして、ノズルプレート２０との接着面積を増大させることができるため、隣り合う排出側個別流路１８の間でのインクのリークを抑制して、インクのリークによる圧力損失によってインク滴の吐出不良や、隣の流路からインク滴が吐出されるなどの不具合が発生するのを抑制することができる。
【０１０７】
以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドである記録ヘッド１では、液体であるインクを噴射するノズル２１と該ノズル２１に連通する圧力発生室１２とを含む個別流路と、複数の個別流路へインクを供給する供給側共通流路４１と、複数の個別流路からインクを排出する排出側共通流路１７と、を具備する流路部材である流路形成基板１０、保護基板３０、ケース部材４０、連通板１５、ノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４５と、圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせて、ノズル２１からインクを吐出させるエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００と、を備え、個別流路は、供給側共通流路４１とノズル２１との間の供給側個別流路であるインク供給路１３、圧力発生室１２、ノズル連通路１６及びノズル２１と、ノズル２１と排出側共通流路１７との間の排出側個別流路１８と、を含み、複数の排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁は、複数の供給側個別流路を隔てる第１隔壁よりも厚い。
【０１０８】
このように、複数の排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１を複数の供給側個別流路を隔てる第１隔壁、本実施形態では、圧力発生室１２の隔壁１１の厚さｄ２よりも厚くすることで、隣り合う圧力発生室１２の一方のみに圧力変化を生じさせた場合に第２隔壁が変形するのを抑制して、第２隔壁が圧力を吸収するのを抑制することができる。したがって、隣り合う圧力発生室１２の両方に同時に圧力変化を生じさせた場合と、一方の圧力発生室１２のみに圧力変化を生じさせた場合とで、圧力発生室１２内の圧力変化を同じにして、インク滴の吐出特性、すなわち、重量や吐出速度にばらつきが生じるのを抑制することができる。
【０１０９】
また、第１隔壁の厚さを、第２隔壁の厚さよりも薄くすることで、供給側個別流路を高密度に配置することができ、ノズル２１を高密度に配置して高解像度化を図ることができる。
【０１１０】
さらに、第２隔壁の厚さを第１隔壁の厚さよりも厚くすることで、排出側個別流路１８を形成する部材間での接着面積を増大させて、接着強度を向上することができ、部材間の剥離を抑制することができる。また、排出側個別流路の間の第２隔壁の厚さを厚くすることで、互いに隣り合う排出側個別流路の間でのインクのリークを抑制することができ、吐出不良を抑制することができる。
【０１１１】
なお、第２隔壁が第１隔壁よりも厚いとは、第１隔壁のうち、最も薄い隔壁よりも第２隔壁が厚いことを言う。したがって、第１隔壁のうち、一部の隔壁が第２隔壁よりも薄蹴れば、第２隔壁よりも厚い第１隔壁があってもよい。
【０１１２】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、複数の排出側個別流路１８は、複数のノズル２１が並べられたノズル面２０ａの面内方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向において、ノズル２１からの向きが異なる流路である第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを含むことが好ましい。これによれば、排出側個別流路１８として、ノズル面２０ａの面内方向でノズル２１からの向きが異なる第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを用いることで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを容易に厚くすることができると共に、排出側個別流路１８の流路断面積を大きくすることができ、流路抵抗が増大するのを抑制することができる。
【０１１３】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、液体であるインクを吐出するノズル２１と圧力発生室１２を含む個別流路と、複数の個別流路へインクを供給する供給側共通流路４１と、複数の個別流路からインクを排出する排出側共通流路１７と、を具備する流路部材である流路形成基板１０、保護基板３０、ケース部材４０、連通板１５、ノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４５と、圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせて、ノズル２１から液体を吐出させるエネルギー発生素子と、圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせて、ノズル２１からインクを吐出させるエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００と、を備え、個別流路は、供給側共通流路４１とノズル２１との間の供給側個別流路であるインク供給路１３、圧力発生室１２、ノズル連通路１６及びノズル２１と、ノズル２１と排出側共通流路１７との間の排出側個別流路１８と、を含み、複数の排出側個別流路１８は、複数のノズル２１が並べられたノズル面２０ａの面内方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向において、ノズル２１からの向きが異なる流路である第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを含む。
【０１１４】
このように、排出側個別流路１８として、ノズル面２０ａからの距離が異なる第１の排出側個別流路１８１と第２の排出側個別流路１８２とを用いることで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを容易に厚くすることができると共に、排出側個別流路１８の流路断面積を大きくすることができ、流路抵抗が増大するのを抑制することができる。
【０１１５】
また、第２隔壁の厚さを厚くすることで、排出側個別流路１８を形成する部材間での接着面積を増大させて、接着強度を向上することができ、部材間の剥離を抑制することができる。また、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを厚くすることで、互いに隣り合う排出側個別流路１８の間でのインクのリークを抑制することができ、吐出不良を抑制することができる。
【０１１６】
なお、複数の排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁は、複数の供給側個別流路を隔てる第１隔壁より薄いものも含む。
【０１１７】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、排出側共通流路１７は、面内方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向において、複数のノズル２１を挟む第１の排出側共通流路１７１と、第２の排出側共通流路１７２と、を含むことが好ましい。このように複数のノズル２１を挟む第１の排出側共通流路１７１と第２の排出側共通流路１７２とを設けることで、ノズル２１からの向きの異なる第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを排出側共通流路１７に連通させるように容易に設けることができる。
【０１１８】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、圧力発生室１２が並設された列を２列具備し、排出側共通流路１７は、２列の圧力発生室１２の列に共通して連通することを特徴とすることが好ましい。これによれば、排出側共通流路１７のうち、第２の排出側共通流路１７２を２列の圧力発生室１２に共通して連通させることで、圧力発生室１２の列毎に第２の排出側共通流路１７２が不要となり、第２の排出側共通流路１７２を設けるスペースを省スペース化することができ、連通板１５の小型化を図ることができる。
【０１１９】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、複数の排出側個別流路１８のうち、第１の排出側共通流路１７１に連通する流路である第１の排出側個別流路１８１と、第２の排出側共通流路１７２に連通する流路である第４の排出側個別流路１８４とは、複数の排出側個別流路１８が並ぶ第１の方向Ｘにおいて交互に配置されていることが好ましい。第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを第１の方向Ｘに繰り返し配置することで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを比較的厚くすることができると共に、第２隔壁の厚さに規則性を持たせることができ、第２隔壁の強度ばらつきを低減することができる。
【０１２０】
ちなみに、第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とが第１の方向Ｘに交互に配置されているとは、第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とが１つずつ交互に配置されていることも、２つ以上の複数ずつが交互に配置されているものも含む。何れの場合であっても、規則的に繰り返し配置することで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを厚く、複数の第２隔壁の厚さに規則性を持たせることができ、第２隔壁の強度ばらつきを低減することができる。特に、第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを１つずつ交互に配置することで、排出側個別流路１８を隔てる複数の第２隔壁の厚さを均等にし易く、第２隔壁の強度ばらつきをさらに抑制することができる。
【０１２１】
また、本実施形態の記録ヘッド１では、排出側個別流路１８の流れの方向から見て、排出側個別流路１８の幅は、排出側個別流路１８の高さよりも小さいことが好ましい。これによれば、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さを比較的厚くすることができると共に、排出側個別流路１８の流路断面積を比較的大きくして、流路抵抗が増大するのを抑制することができる。もちろん、排出側個別流路１８の幅は、高さよりも大きくてもよい。
【０１２２】
なお、本実施形態の第２の方向Ｙの一方側に向かって延設された第１の排出側個別流路１８１と他方側に向かって延設された第４の排出側個別流路１８４のそれぞれに対して、上述した実施形態１のノズル面２０ａから第３の方向Ｚの距離が異なる排出側個別流路１８を適用してもよい、すなわち、本実施形態では、ノズル連通路１６と第１の排出側共通流路１７１とを接続する排出側個別流路１８として、第１の排出側個別流路１８１を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、上述した実施形態１の第２の排出側個別流路１８２又は第３の排出側個別流路１８３を設けるようにしてもよい。すなわち、ノズル連通路１６と第１の排出側共通流路１７１とを接続する排出側個別流路１８は、第３の方向Ｚにおけるノズル面２０ａからの距離が異なる流路を含むものであってもよい。また、ノズル連通路１６と第２の排出側共通流路１７２とを接続する第４の排出側個別流路１８４についても同様に、第２の排出側個別流路１８２と同様の位置、すなわち、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との間に設けるようにしてもよく、第３の排出側個別流路１８３と同様の位置、すなわち、第１の連通板１５１と第３の連通板１５３との間に設けるようにしてもよい。すなわち、ノズル連通路１６と第２の排出側共通流路１７２とを接続する排出側個別流路１８は、第３の方向Ｚにおけるノズル面２０ａからの距離が異なる流路を含むものであってもよい。これにより、さらに第１の方向Ｘで互いに隣り合う排出側個別流路１８の第２隔壁の厚さを厚くすることができ、第２隔壁の構造クロストークの発生を抑制することができると共に、排出側個別流路の横断面積を大きくして流路抵抗を減少させて、構造クロストークの発生を抑制することができる。
【０１２３】
また、本実施形態では、排出側個別流路１８として、第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを設けることで、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１Ｂを、供給側個別流路を隔てる第１隔壁、すなわち、上述した実施形態１と同様にインク供給路１３を隔てる隔壁、圧力発生室１２を隔てる隔壁１１、ノズル連通路１６を隔てる隔壁のうち最も薄い隔壁よりも厚くしたが、特にこれに限定されず、排出側個別流路として、ノズル面２０ａの面内方向で引き出し方向の異なる第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを設けた場合に、第２隔壁の厚さｄ１Ａは、第１隔壁の厚さ以下であってもよい。すなわち、本実施形態では、第１隔壁うち最も薄いのは、圧力発生室１２の隔壁１１であるため、第２隔壁の厚さｄ１Ａは、隔壁１１の厚さｄ２以下、つまり、ｄ１Ａ≦ｄ２であってもよい。このように排出側個別流路として、第１の排出側個別流路と第４の排出側個別流路とを設けることで、排出側個別流を設けることができるスペースを大きく確保し、このスペースに比較的大きな流路断面積となる排出側個別流路を設けることで、排出側個別流路の流路抵抗を低減して、排出特性を向上することができる。
【０１２４】
また、本実施形態では、ノズル面２０ａの面内方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向において、ノズル２１からの方向が異なる排出側個別流路１８として、第２の方向Ｙに沿って方向が異なる第１の排出側個別流路１８１と第４の排出側個別流路１８４とを設けるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、図１３に示すように、複数の排出側個別流路１８を排出側共通流路１７に向かって放射状に伸びるように設けるようにしてもよい。このような構成であっても、複数の排出側個別流路１８は、ノズル面２０ａの面内方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向において、ノズル２１からの方向が異なると言える。また、図１３のように複数の排出側個別流路１８を放射状に伸びるように設けた場合、複数の排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁はノズル連通路１６側から排出側共通流路１７側に向かって徐々に厚くなる。したがって、第２隔壁の剛性を向上して構造クロストークを抑制することができると共に、隣り合う排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁のノズルプレート２０との接着面積を増大させて、隣り合う排出側個別流路１８間でのインクのリーク等を抑制することができる。
【０１２５】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【０１２６】
例えば、上述した各実施形態では、排出側個別流路１８を１つのノズル２１に対して１つずつ設けるようにしたが、特にこれに限定されず、排出側個別流路１８は、１つのノズル２１に対して２以上の複数設けられていてもよい。
【０１２７】
このような例を図１４に示す。なお、図１４は、上述した実施形態２の変形例を示す図である。
【０１２８】
図１４に示すように、１つのノズル２１に対して２つの排出側個別流路１８が設けられている。具体的には、排出側個別流路１８は、ノズル面２０ａの面内方向において、ノズル２１からの向きが異なる第１の排出側共通流路１７１に連通する第５の排出側個別流路１８５と、第２の排出側共通流路１７２に連通する第６の排出側個別流路１８６とを有する。
【０１２９】
第５の排出側個別流路１８５は、１つのノズル２１に対して第１の方向Ｘに２つ並設されている。また、１つのノズル２１に対して第１の方向Ｘに並設された第５の排出側個別流路１８５は、第１の方向Ｘの幅がノズル連通路１６側よりも第１の排出側共通流路１７１側の方が広くなっている。
【０１３０】
同様に、第６の排出側個別流路１８６は、１つのノズル２１に対して第１の方向Ｘに２つ並設されている。また、１つのノズル２１に対して第１の方向Ｘに並設された第６の排出側個別流路１８６は、第１の方向Ｘの幅がノズル連通路１６側よりも第１の排出側共通流路１７１側の方が広くなっている。
【０１３１】
このように１つのノズル２１に対して複数の排出側個別流路１８を設けることで、１つのノズル２１に対して同じ流路断面積で１つの排出側個別流路１８を設けた場合に比べて、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の剛性を向上して、構造クロストークを低減し易くすることができる。
【０１３２】
なお、図１４では、上述した実施形態２の変形例を説明したが、上述した実施形態１においても同様に、１つのノズル２１に対して２以上の複数の排出側個別流路１８が設けられていてもよい。
【０１３３】
また、例えば、上述した各実施形態では、第１の排出側個別流路１８１は、第２の連通板１５２に設けた凹部をノズルプレート２０によって覆うことで形成するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、ノズルプレート２０に凹部を設け、この凹部を第２の連通板１５２で覆うことで第１の排出側個別流路１８１を形成するようにしてもよく、第２の連通板１５２とノズルプレート２０との両方に凹部を設けて、凹部の開口同士を合わせることで第１の排出側個別流路１８１を形成するようにしてもよい。また、本実施形態では、第１の排出側個別流路１８１を、連通板１５とノズルプレート２０との接合界面に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、連通板１５に接合される部材はノズルプレート２０に限定されず、例えば、コンプライアンス基板等の他の部材であってもよく、連通板１５と他の部材との接合界面に第１の排出側個別流路１８１を設けるようにしてもよい。
【０１３４】
また、上述した各実施形態では、コンプライアンス基板４５を第３の方向Ｚにおいてケース部材４０の流路形成基板１０とは反対側に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、コンプライアンス基板４５を設けないようにしてもよく、また、コンプライアンス基板４５をケース部材４０の側面、すなわちノズル面２０ａの垂線方向に沿った面等に設けるようにしても良い。
【０１３５】
また、上述した各実施形態では、ノズル２１は、第１の方向Ｘに沿った直線状に配置されるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、ノズル２１を第１の方向Ｘに並設した第１ノズル列と、ノズル２１を第１の方向Ｘに並設した第２ノズル列とを、第２の方向Ｙに並設し、第１ノズル列と第２ノズル列とを第２の方向Ｙで同じ位置とならないように第１の方向Ｘにずらした、いわゆる千鳥配置としてもよい。
【０１３６】
さらに、上述した各実施形態では、流路部材として、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、ケース部材４０及びコンプライアンス基板４５を具備するものを例示したが、特にこれに限定されず、流路部材は１つの部材であってもよく、２以上の複数の部材であってもよい。
【０１３７】
また、上述した各実施形態では、個別流路の圧力発生室１２がノズル２１よりも上流側、すなわち、供給側共通流路４１側に位置する構成を例示したが、特にこれに限定されず、圧力発生室１２が、ノズル２１よりも下流側、すなわち、排出側共通流路１７側に位置するものであってもよい。
【０１３８】
また、上述した各実施形態では、圧力発生室１２を隔てる隔壁１１の厚さｄ２は、ノズル連通路１６を隔てる隔壁の厚さｄ３よりも薄い構成を例示したが、特にこれに限定されず、隔壁１１の厚さｄ２は、ノズル連通路１６を隔てる隔壁の厚さｄ３以上の厚さであってもよい。この場合、排出側個別流路１８を隔てる第２隔壁の厚さｄ１、ｄ１Ａは、少なくともノズル連通路１６を隔てる隔壁の厚さｄ３よりも厚ければよい。
【０１３９】
また、上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせるエネルギー発生素子として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、エネルギー発生素子として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【０１４０】
また、これら各実施形態の記録ヘッド１は、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置に搭載される。図１５は、インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【０１４１】
図１５に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッド１は、インク供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。
【０１４２】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。
【０１４３】
なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１４４】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１４５】
Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…カートリッジ、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、６…駆動モーター、７…タイミングベルト、８…搬送ローラー、１０…流路形成基板、１１…隔壁、１２…圧力発生室、１３…インク供給路、１５…連通板、１６…ノズル連通路、１７…排出側共通流路、１８…排出側個別流路、２０…ノズルプレート、２０ａ…ノズル面、２１…ノズル、３０…保護基板、３１…圧電アクチュエーター保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…供給側共通流路、４２…排出路、４３…接続口、４５…コンプライアンス基板、４６…封止膜、４７…固定基板、４８…開口部、４８ａ…可撓部、４９…インク導入口、５０…振動板、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、９０…リード電極、１２０…フレキシブルケーブル、１２１…駆動回路、１５１…第１の連通板、１５２…第２の連通板、１５３…第３の連通板、１７１…第１の排出側共通流路、１７２…第２の排出側共通流路、１８１…第１の排出側個別流路、１８２…第２の排出側個別流路、１８３…第３の排出側個別流路、１８４…第４の排出側個別流路、１８５…第５の排出側個別流路、１８６…第６の排出側個別流路、３００…圧電アクチュエーター（エネルギー発生素子）、Ｘ…第１の方向、Ｙ…第２の方向、Ｚ…第３の方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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