(57)【要約】【課題】超音波センサに校正片を組み込みながら、超音波センサの薄型化と被検体の厚さの計測精度を両立することができる超音波検査システムを提供する。【解決手段】超音波検査システムは、圧電素子４、及び圧電素子４と被検体の間に介在する校正片５を備えた超音波センサ１と、校正片５及び被検体を一回往復した超音波の伝播時間と校正片５を一回往復した超音波の伝播時間との差分に基づいて被検体の厚さを演算する制御装置２とを備える。校正片５は、被検体の表面に沿って延在すると共に、その延在方向の一方側の端面に圧電素子４が固着された伝播部６と、伝播部６の延在方向の他方側に形成され、被検体の表面に接触媒質を介し接触する底面９、及び被検体の表面に垂直な方向にて傾けられた傾斜面１０を有する伝播方向転換部７とを備える。【選択図】図２
2020063975.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を送受信する圧電素子、及び前記圧電素子と被検体の間に介在する校正片を備えた超音波センサと、
前記校正片及び前記被検体を一回往復した超音波の伝播時間と前記校正片を一回往復した超音波の伝播時間との差分に基づいて前記被検体の厚さを演算する制御装置と、を備えた超音波検査システムであって、
前記校正片は、
前記被検体の表面に沿って延在すると共に、その延在方向の一方側の端面に前記圧電素子が固着された伝播部と、
前記伝播部の延在方向の他方側に形成され、前記被検体の前記表面に接触媒質を介し接触する底面、及び前記被検体の前記表面に垂直な方向にて傾けられた傾斜面を有する伝播方向転換部とを備え、
前記圧電素子から前記伝播部を介し前記伝播方向転換部に伝播された超音波を前記傾斜面で反射して前記底面へ向けて伝播し、前記底面に到達した超音波のうち前記底面で反射された一部の超音波と前記底面で透過して前記被検体を一回往復した一部の超音波を前記傾斜面で反射して前記伝播部へ向けて伝播するように構成されたことを特徴とする超音波検査システム。
【請求項２】
請求項１に記載の超音波検査システムにおいて、
前記校正片は、前記校正片を一回往復する超音波の伝播時間が、前記被検体を一回往復する超音波の伝播時間より長くなるように構成されたことを特徴とする超音波検査システム。
【請求項３】
請求項１に記載の超音波検査システムにおいて、
前記超音波センサを複数備え、
前記複数の超音波センサの校正片は、前記校正片を一回往復する超音波の伝播時間が互いに異なるように構成されたことを特徴とする超音波検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検体の厚さを計測する超音波検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
非破壊検査技術のひとつである超音波検査は、低コスト性、適用の容易性などの特徴から幅広い分野で採用されている。原子力プラント、火力プラントや化学プラントなどでは、配管や容器などの健全性を担保するため、その肉厚を計測する超音波検査が定期的に実施されている。具体的には、配管や容器などから保温材を取り外した後、予め規定された検査点に超音波センサを押し付けて、超音波検査を実施する。そのため、検査前後で保温材の着脱が必要であり、検査箇所が高所であれば、検査前後で足場の組み立て・撤去も必要となる。また、配管や容器などに超音波センサを手動で押し当てるため、超音波の伝播方向が適切となるように、超音波センサを注意深く配置する必要がある。原子力プラントなどでは、多数の配管や容器などを検査することが規定されており、多大な労力や時間を要する。
【０００３】
そこで、例えば保温材下の配管の外面に、超音波センサを予め固定しておく手法が提案されている。これにより、保温材の着脱なしに超音波検査を実施することができる。また、プラントの運転中に超音波検査を実施することで、定期検査の負荷を低減することが可能となる。しかしながら、本手法では、保温材下の配管の外面に超音波センサを固着するため、従来のように校正板を別途用意して、計測前後で機器を校正することが困難となる。そこで、超音波センサに校正板を組み込む方法が開示されている（例えば特許文献１）。
【０００４】
特許文献１の超音波計測装置は、配管の外面に固定された超音波センサと、探傷器本体とを備えている。例えば特許文献１の図２で示されるように、超音波センサは、超音波を送受信する圧電素子と、圧電素子の下面に固着された（言い換えれば、圧電素子と被検体の間に介在する）校正板とを備えている。探傷器本体は、配管の内面で１回反射された（言い換えれば、校正板及び配管を一回往復する）超音波の伝播時間と校正板の下面で１回反射された（言い換えれば、校正板を一回往復する）超音波の伝播時間との差分に基づいて、配管の肉厚を演算する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−７８９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の従来技術には、次のような課題が存在する。例えば特許文献１の図５（Ｃ）で示されるように、校正板が比較的薄い場合は、校正板の下面で２回反射された（言い換えれば、校正板を２回往復する）超音波の受信タイミングが、配管の内面で１回反射された超音波の受信タイミングより早くなる。そして、校正板の下面で複数回反射された（言い換えれば、校正板を複数回往復する）超音波の受信タイミングが、配管の内面で１回反射された超音波の受信タイミングと重なるか若しくは近くなって、前者の超音波が後者の超音波に影響を及ぼす可能性がある。したがって、超音波センサの薄型化を図ることができるものの、配管の厚さの計測精度が損なわれる。
【０００７】
一方、例えば特許文献１の図５（Ｂ）で示されるように、校正板が比較的厚い場合は、校正板の下面で２回反射された超音波の受信タイミングが、配管の内面で１回反射された超音波の受信タイミングより遅くなる。そのため、前者の超音波が後者の超音波に影響を及ぼさない。したがって、配管の厚さの計測精度を確保することができるものの、超音波センサの薄型化が損なわれる。
【０００８】
本発明は、上記事柄に鑑みてなされたものであり、その目的は、超音波センサに校正片を組み込みながら、超音波センサの薄型化と被検体の厚さの計測精度を両立することができる超音波検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、超音波を送受信する圧電素子、及び前記圧電素子と被検体の間に介在する校正片を備えた超音波センサと、前記校正片及び前記被検体を一回往復した超音波の伝播時間と前記校正片を一回往復した超音波の伝播時間との差分に基づいて前記被検体の厚さを演算する制御装置と、を備えた超音波検査システムであって、前記校正片は、前記被検体の表面に沿って延在すると共に、その延在方向の一方側の端面に前記圧電素子が固着された伝播部と、前記伝播部の延在方向の他方側に形成され、前記被検体の前記表面に接触媒質を介し接触する底面、及び前記被検体の前記表面に垂直な方向にて傾けられた傾斜面を有する伝播方向転換部とを備え、前記圧電素子から前記伝播部を介し前記伝播方向転換部に伝播された超音波を前記傾斜面で反射して前記底面へ向けて伝播し、前記底面に到達した超音波のうち前記底面で反射された一部の超音波と前記底面で透過して前記被検体を一回往復した一部の超音波を前記傾斜面で反射して前記伝播部へ向けて伝播するように構成される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、超音波センサに校正片を組み込みながら、超音波センサの薄型化と被検体の厚さの計測精度を両立することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態における超音波検査システムの構成を、被検体である配管と共に表す概略図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における超音波センサの構造を表す断面図である。
【図３】図２中矢印III方向から見た図である。
【図４】本発明の第１の実施形態における受信波形の具体例を表す図である。
【図５】本発明の第１の実施形態における制御装置の処理手順を表すフローチャートである。
【図６】本発明の第１の実施形態における校正片の伝播方向転換部の傾斜面の傾斜角を説明するための図である。
【図７】本発明の第２の実施形態における超音波検査システムの構成を、被検体である配管と共に表す概略図である。
【図８】本発明の第２の実施形態における超音波センサの構造を表す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の第１の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。
【００１３】
図１は、本実施形態における超音波検査システムの構成を、被検体である配管と共に表す概略図である。図２は、本実施形態における超音波センサの構造を表す断面図であり、図３は、図２中矢印III方向から見た図である。
【００１４】
本実施形態の被検体である配管２０は、例えば炭素鋼製もしくはステンレス鋼製であって、プラントの運転中に液体もしくは気体が流れて高温となる。そのため、例えばケイ酸カルシウム製、ロックウール製、グラスウール製、無定形水練製、もしくは硬質ウレタンフォーム製の保温材２１で覆われている。
【００１５】
本実施形態の超音波検査システムは、超音波センサ１、制御装置２、及び表示装置３（ディスプレイ）を備えている。
【００１６】
超音波センサ１は、圧電素子４と、圧電素子４と配管２０の間に介在する校正片５とを備えている。圧電素子４は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛などの圧電セラミックス製である。校正片５の材質は、配管２０の材質（炭素鋼もしくはステンレス鋼）と同じにすることが好ましいものの、例えばアルミ、鉛、チタン、黄銅、もしくはアルミナなどのセラミックであってもよい。
【００１７】
校正片５は、四角柱形状の伝播部６と、三角柱形状の伝播方向転換部７とで構成されている。伝播部６は、配管２０の外面（表面）に沿う一方向（図２及び図３中左右方向）に延在し、その延在方向の一方側（図２及び図３中右側）の端面に圧電素子４が固着されている。伝播方向転換部７は、伝播部６の延在方向の他方側（図２及び図３中左側）に形成され、配管２０の外面に耐熱性接着剤８（接触媒質）を介し接触する。なお、図２において、伝播部６は、配管２０の外面から離間されているものの、これに限られない。すなわち、伝播部６と配管２０の外面が隣接していても、それらの間に極わずかでも空気層が存在すれば超音波が伝播しないので、それらの間に接触媒質がなければよい。
【００１８】
校正片５の伝播方向転換部７は、配管２０の外面に耐熱性接着剤８を介し接触する底面９と、配管２０の外面に垂直な方向にて傾けられた傾斜面１０とを有している。校正片５は、圧電素子４から伝播部６を介し伝播方向転換部７に伝播された超音波を、傾斜面１０で反射して底面９へ向けて伝播する。そして、底面９に到達した超音波のうち、図２中矢印Ａで示すように底面９で反射された一部の超音波を、傾斜面１０で反射して伝播部６へ向けて伝播する。また、図２中矢印Ｂで示すように底面９で透過して配管２０の内面で反射された（言い換えれば、配管２０の外面と内面の間を一回往復した）一部の超音波を、傾斜面１０で反射して伝播部６へ向けて伝播する。
【００１９】
制御装置２は、パルサ１１、レシーバ１２、信号処理部１３、及び記憶部１４を有している。なお、信号処理部１３は、プログラムに従って処理を実行するプロセッサ等で構成され、記憶部１４は、ハードディスクやメモリ等で構成されている。
【００２０】
超音波センサ１の圧電素子４は、制御装置２のパルサ１１からの駆動信号（電気信号）によって厚さ方向（図２及び図３中左右方向）に振動して、校正片５に超音波を送信する。また、圧電素子４は、図２中矢印Ａで示すように校正片５の底面９で１回反射された（言い換えれば、校正片５の伝播部６及び伝播方向転換部７を一回往復した）超音波Ａと、図２中矢印Ｂで示すように配管２０の内面で１回反射された（言い換えれば、校正片５及び配管２０を一回往復した）超音波Ｂを受信する。そして、受信した超音波Ａ，Ｂを波形信号（電気信号）に変換して制御装置２のレシーバ１２へ出力する。
【００２１】
制御装置２の信号処理部１３は、レシーバ１２を介して得られた波形信号に対し、所定の処理（詳細には、アナログ信号からデジタル信号への変換処理等）を実行する。これにより、図４で示すように、超音波Ａ，Ｂの波形データを取得する。そして、波形データを記憶部１４へ出力して記憶させると共に、表示装置３へ出力して表示させる。
【００２２】
本実施形態の制御装置２の処理内容について説明する。図５は、本実施形態における制御装置２の処理手順を表すフローチャートである。
【００２３】
ステップＳ１にて、制御装置２のパルサ１１は、超音波センサ１の圧電素子４に駆動信号を出力して、圧電素子４から超音波を送信させる。その後、圧電素子４は、上述した超音波Ａ，Ｂを受信し、波形信号に変換して制御装置２のレシーバ１２へ出力する。制御装置２の信号処理部１３は、レシーバ１２を介して得られた波形信号に対し所定の処理を実行して、超音波Ａ，Ｂの波形データを取得する。そして、例えば駆動信号の出力タイミングを起点とし、各超音波の振幅（補間値）が最大となるタイミングを終点として、超音波Ａの伝播時間ｔａ及び超音波Ｂの伝播時間ｔｂを計測する。
【００２４】
その後、ステップＳ２に進み、信号処理部１３は、超音波Ｂの伝播時間ｔｂと超音波Ａの伝播時間ｔａの差分（ｔｂ−ｔａ）に基づいて、配管２０の肉厚Ｈを演算する。具体的には、例えば配管２０を伝播する超音波の音速をｖとすれば、下記の式（１）により、配管２０の肉厚Ｈを演算する。信号処理部１３は、算出した配管２０の肉厚Ｈを記憶部１４へ出力して記憶させると共に、表示装置３へ出力して表示させる。なお、本実施形態では、超音波Ｂの伝播時間ｔｂと超音波Ａの伝播時間ｔａの差分（ｔｂ−ｔａ）をとることにより、時間軸の起点の校正が不要となる。
Ｈ＝（ｔｂ−ｔａ）×ｖ／２  ・・・（１）
【００２５】
次に、本実施形態の作用効果を説明する。
【００２６】
本実施形態では、校正片５は圧電素子４と配管２０の間に介在するので、校正片５の底面９で１回反射された（言い換えれば、校正片５を１回往復する）超音波Ａの受信タイミングが、配管２０の内面で１回反射された（言い換えれば、校正片５及び配管２０を一回往復する）超音波Ｂの受信タイミングより早くなる（上述の図４参照）。そのため、超音波Ａと超音波Ｂが互いに影響を及ぼさない。
【００２７】
また、本実施形態では、校正片５は、配管２０の外面に沿う方向に超音波を伝播する伝播部６と、超音波の伝播方向を転換する伝播方向転換部７とを有している。そして、配管２０の外面に垂直な方向における校正片５の高さでなく、配管２０の外面に平行な方向における校正片５の長さを大きくすることにより、校正片５を一回往復する超音波の伝播時間を、配管２０を一回往復する超音波の伝播時間より長くすることができる。これにより、図示しないものの、校正片５の底面９で２回反射された（言い換えれば、校正片５を２回往復する）超音波Ｃの受信タイミングを、配管２０の内面で１回反射された超音波Ｂの受信タイミングより遅らせることができる。そのため、超音波Ｃが超音波Ｂに影響を及ぼさない。したがって、超音波センサ１に校正片５を組み込みながら、超音波センサ１の薄型化と配管２０の肉厚の計測精度を両立することができる。
【００２８】
本実施形態の校正片５の設計方法を補足する。
【００２９】
図６で示すように、校正片５の伝播部６から伝播方向転換部７に伝播された超音波が傾斜面１０に入射する入射角をαとし、傾斜面１０で反射された反射角をβとする。伝播方向転換部７の傾斜面１０で反射された超音波は、底面９に垂直な方向に伝播させることが好ましい。そのため、α＋β＝９０°となることが好ましい。したがって、傾斜面１０の傾斜角（詳細には、底面９と傾斜面１０の間の角度）は反射角βと同じになる。
【００３０】
例えば、傾斜面１０に入射する超音波として縦波を用い、傾斜面１０で反射された超音波として縦波を用いる場合は、α＝βであるため、β＝４５°となる。
【００３１】
一方、例えば、傾斜面１０に入射する超音波として縦波を用い、傾斜面１０で反射されて変換された超音波として横波を用いる場合は、下記の式（２）を用いて傾斜角βを演算する。式中のｖｌは校正片５の縦波音速、ｖｓは校正片５の横波音速である。
Sin（９０°−β）／sinβ＝ｖｌ／ｖｓ  ・・・（２）
【００３２】
校正片５の材質に応じて、縦波音速ｖｌ及び横波音速ｖｓが異なるため、傾斜角βが変化する。校正片５の材質がアルミナである場合は、傾斜角β＝３１°となる。校正片５の材質が炭素鋼もしくはステンレス鋼である場合は、傾斜角β＝２８°となる。校正片５の材質がチタンである場合は、傾斜角β＝２７°となる。校正片５の材質がアルミである場合は、傾斜角β＝２６°となる。校正片５の材質が黄銅である場合は、傾斜角β＝２５°となる。校正片５の材質が鉛である場合は、傾斜角β＝１８°となる。
【００３３】
予備検討によると、伝播方向転換部７の傾斜面１０の傾斜角βが、上記の式（１）を用いて算出された最適値に対し±５°程度ずれても、傾斜面１０で反射された超音波が十分なＳＮ比で伝播することが分かっている。そのため、例えば、傾斜面１０に入射する超音波として縦波を用い、傾斜面１０で反射された超音波として縦波を用いる場合は、傾斜角β＝５０°としてもよい。また、例えば、傾斜面１０に入射する超音波として縦波を用い、傾斜面１０で反射された超音波として横波を用いる場合であって、かつ、校正片５の材質が鉛である場合は、傾斜角β＝１３°としてもよい。したがって、傾斜角βは、１３°〜５０°の範囲内となる。
【００３４】
図２で示すように、圧電素子４と校正片５の傾斜面１０（ここでは、代表的な位置として、校正片５の高さ方向及び長さ方向における傾斜面１０の中心位置とする。以下、同様）の間の超音波の片道伝播距離をＬ１とし、校正片５の傾斜面１０と底面９の間の超音波の片道伝播距離をＬ２としたときに、校正片５内の超音波の片道伝播距離は（Ｌ１＋Ｌ２）で表される。別の言い方をすれば、校正片５内の超音波の片道伝播距離は（伝播部６の長さ＋伝播方向転換部７の長さ／２＋伝播方向転換部７の高さ／２）で表される。
【００３５】
Ｌ２が小さいのでＬ２＝０と仮定し、圧電素子４と校正片５の傾斜面１０の間で伝播する超音波として縦波を用いるのであれば、校正片５内の超音波の片道伝播時間はＬ１／ｖｌで表される。一方、圧電素子４と校正片５の傾斜面１０の間で伝播する超音波として横波を用いるのであれば、校正片５内の超音波の片道伝播時間はＬ１／ｖｓで表される。配管２０内の超音波の片道伝播時間はＨ／ｖで表される。
【００３６】
したがって、圧電素子４と校正片５の傾斜面１０の間で伝播する超音波として縦波を用いるのであれば、校正片５を２回往復する超音波の伝播時間＞校正片５及び配管２０を１回往復する超音波の伝播時間（すなわち、校正片５内の超音波の片道伝播時間＞配管２０内の片道伝播時間）の関係を満たすために、Ｌ１＞Ｈ×ｖｌ／ｖの条件を満たすことが好ましい。一方、圧電素子４と校正片５の傾斜面１０の間で伝播する超音波として横波を用いるのであれば、上述した関係を満たすために、Ｌ１＞Ｈ×ｖｓ／ｖの条件を満たすことが好ましい。このような観点により、図２及び図３中左右方向における伝播部６の長さも、Ｈ×ｖｌ／ｖより大きくなる条件か、若しくは、Ｈ×ｖｓ／ｖより大きくなる条件を満たすことが好ましい。一般的に、ｖｌ＜ｖｓであるから、後者の条件を満たせば、前者の条件も満たす。
【００３７】
なお、図４においては、圧電素子４と校正片５の傾斜面１０の間で伝播する超音波として縦波を用い、校正片５の傾斜面１０と底面９の間で伝播する超音波として横波を用いる場合であって、校正片５の材質がアルミであり、傾斜角βが２６°に設定されている。また、配管２０の材質が炭素鋼であり、配管２０の肉厚Ｈが８mm、校正片５の伝播部６の長さが１３mmに設定されている。
【００３８】
本発明の第２の実施形態を、図７、図８（ａ）、及び図８（ｂ）を用いて説明する。なお、本実施形態において、第１の実施形態と同等の部分は同一の符号を付し、適宜、説明を省略する。
【００３９】
図７は、本実施形態における超音波検査システムの構成を、被検体である配管と共に表す概略図である。図８（ａ）及び図８（ｂ）は、本実施形態における超音波センサの構造を表す断面図である。
【００４０】
本実施形態の超音波検査システムは、２つの超音波センサ１Ａ，１Ｂ、制御装置２、及び表示装置３を備えている。超音波センサ１Ａ，１Ｂは、上述した第１の実施形態の超音波センサ１と同様、圧電素子４及び校正片５を備えている。
【００４１】
制御装置２のパルサ１１は、超音波センサ１Ａ，１Ｂの圧電素子４に駆動信号を同時に出力する。超音波センサ１Ａの圧電素子４は、制御装置２のパルサ１１からの駆動信号によって厚さ方向に振動して、校正片５に超音波を送信する。また、圧電素子４は、図８中矢印Ａ１で示すように校正片５の底面９で１回反射された超音波Ａ１と、図８中矢印Ｂ１で示すように配管２０の内面で１回反射された超音波Ｂ１を受信する。そして、受信した超音波Ａ１，Ｂ１を波形信号に変換して制御装置２のレシーバ１２へ出力する。
【００４２】
超音波センサ１Ｂの圧電素子４は、制御装置２のパルサ１１からの駆動信号によって厚さ方向に振動して、校正片５に超音波を送信する。また、圧電素子４は、図８中矢印Ａ２で示すように校正片５の底面９で１回反射された超音波Ａ２と、図８中矢印Ｂ２で示すように配管２０の内面で１回反射された超音波Ｂ２を受信する。そして、受信した超音波Ａ２，Ｂ２を波形信号に変換して制御装置２のレシーバ１２へ出力する。
【００４３】
ここで、本実施形態では、超音波センサ１Ａの校正片５の伝播部６及び伝播方向転換部７を一回往復する超音波Ａ１の伝播時間と、超音波センサ１Ｂの校正片５の伝播部６及び伝播方向転換部７を一回往復する超音波Ａ２の伝播時間が異なるように構成されている。具体的には、例えば、超音波センサ１Ａにおける圧電素子４と校正片５の傾斜面１０の間の超音波の片道伝播距離Ｌ１Ａと、超音波センサ１Ｂにおける圧電素子４と校正片５の傾斜面１０の間の超音波の片道伝播距離Ｌ２Ａが互いに異なっている。これにより、制御装置２のレシーバ１２は、上述した超音波Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２の波形信号を異なるタイミングで受信するようになっている。
【００４４】
制御装置２の信号処理部１３は、レシーバ１２を介して順次得られた波形信号に対し所定の処理を実行して、超音波Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２の波形データを取得する。そして、例えば駆動信号の出力タイミングを起点とし、各超音波の振幅（補間値）が最大となるタイミングを終点として、超音波Ａ１の伝播時間、超音波Ａ２の伝播時間、超音波Ｂ１の伝播時間、及び超音波Ｂ２の伝播時間を計測する。なお、信号処理部１３は、超音波Ａ１の伝播時間の予想範囲、超音波Ａ２の伝播時間の予想範囲、超音波Ｂ１の伝播時間の予想範囲、及び超音波Ｂ２の伝播時間の予想範囲にそれぞれ対応する４つのゲートを予め記憶しており、これらゲートを用いて超音波Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２を識別するようになっている。
【００４５】
制御装置２の信号処理部１３は、超音波Ｂ１の伝播時間と超音波Ａ１の伝播時間の差分に基づいて、超音波センサ１Ａの位置における配管２０の肉厚Ｈを演算する。また、超音波Ｂ２の伝播時間と超音波Ａ２の伝播時間の差分に基づいて、超音波センサ１Ｂの位置における配管２０の肉厚Ｈを演算する。信号処理部１３は、算出した配管２０の肉厚Ｈを記憶部１４へ出力して記憶させると共に、表示装置３へ出力して表示させる。
【００４６】
以上のように構成された本実施形態においても、第１の実施形態と同様、超音波センサ１Ａ，１Ｂに校正片５を組み込みながら、超音波センサ１Ａ、１Ｂの薄型化と配管２０の厚さの計測精度を両立することができる。また、本実施形態では、制御装置２から超音波センサ１Ａ，１Ｂの圧電素子４への駆動信号の送信タイミングが同じであっても、制御装置２における超音波Ａ１，Ａ２、Ｂ１，Ｂ２の波形信号の受信タイミングを異ならせることができる。これにより、制御装置２の点数の低減や、検査時間の短縮を図りつつ、配管２０の厚さの計測精度を高めることができる。
【００４７】
なお、第２の実施形態の超音波検査システムは、２つの超音波センサ１Ａ，１Ｂを備えた場合を例にとって説明したが、これに限られず、本発明の趣旨及び技術思想を逸脱しない範囲内で変形が可能である。すなわち、超音波検査システムは、３つ以上の超音波センサを備えてもよい。そして、３つ以上の超音波センサの校正片は、伝播部及び伝播方向転換部を一回往復する超音波の伝播時間が互いに異なるように構成されてもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１，１Ａ，１Ｂ    超音波センサ
２                制御装置
４                圧電素子
５                校正片
６                伝播部
７                伝播方向転換部
８                耐熱性接着剤（接触媒質）
９      底面
１０    傾斜面
２０    配管（被検体）
【図１】
2020063975.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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