(57)【要約】【課題】基板の切断品質を向上させることができる基板移送及び切断装置とこれを用いる基板移送及び切断方法を提供する。【解決手段】設置台と、設置台上に設置され、ローディングされる基板を移送する移送部、及び設置台上に設置され、移送される基板を吸着して固定する吸着部と、を含み、移送部と吸着部は、基板移送方向に互いに間隔をあけて設置され、移送部は、基板移送方向に上流側に設置されている第1の移送ステージと、第1の移送ステージより基板移送方向に下流側に設置されている第2の移送ステージと、吸着部より基板移送方向に下流側に設置されている第3の移送ステージと、を含み、第2の移送ステージと、第3の移送ステージは移動可能に形成される。【選択図】図１
2020111499.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
設置台と、
前記設置台上に設置され、ローディングされる基板を移送する移送部、及び
前記設置台上に設置され、移送される前記基板を吸着して固定する吸着部を含み、
前記移送部と前記吸着部は、基板移送方向に互いに間隔をあけて設置され、
前記移送部は、前記基板移送方向に上流側に設置されている第1の移送ステージと、前記第1の移送ステージより前記基板移送方向に下流側に設置されている第2の移送ステージと、前記吸着部より前記基板移送方向に下流側に設置されている第3の移送ステージと、を含み、
前記第2の移送ステージと、前記第3の移送ステージは移動可能に形成される基板移送及び切断装置。
【請求項２】
前記第2の移送ステージと前記第3の移送ステージの移動方向は、基板の厚さ方向である請求項1に記載の基板移送及び切断装置。
【請求項３】
前記吸着部は、前記基板移送方向に上流側に設置されている第1の吸着ステージと、前記第1の吸着ステージより前記基板移送方向に下流側に設置されている第2の吸着ステージと、を含み、
前記第2の吸着ステージは移動可能に形成される請求項1に記載の基板移送及び切断装置。
【請求項４】
前記第2の吸着ステージの移動方向は、基板の厚さ方向である請求項3に記載の基板移送及び切断装置。
【請求項５】
前記吸着部上に吸着された前記基板をスクライブまたはブレイクする部材を含む請求項1に記載の基板移送及び切断装置。
【請求項６】
設置台と、
前記設置台上に設置され、ローディングされた基板を移送する移送部、及び
前記設置台上に設置され、移送される前記基板を吸着して固定する吸着部を含み、
前記移送部と前記吸着部は、基板移送方向に互いに間隔をあけて設置され、
前記移送部は、前記基板移送方向に上流側に設置されている第1の移送ステージと、前記第1の移送ステージより前記基板移送方向に下流側に設置されている第2の移送ステージと、を含み、
前記吸着部は、前記基板移送方向に上流側に設置されている第1の吸着ステージと、前記第1の吸着ステージより前記基板移送方向に下流側に設置されている第2の吸着ステージと、を含み、
前記第2の吸着ステージは、前記基板を吸着して固定する構成と、前記基板を移送する構成と、をすべて備え、
前記第2の移送ステージと、前記第2の吸着ステージは移動可能に形成される基板移送及び切断装置。
【請求項７】
基板を移送部上で移送する移送段階と、
前記基板を吸着部上で吸着して固定する吸着段階と、
前記吸着段階で吸着された前記基板をスクライブするスクライブ段階またはブレイクするブレイク段階、及び
前記スクライブ段階または前記ブレイク段階が完了した後、前記基板に対する吸着を解除する吸着解除段階
を含み、
前記移送段階での前記移送部及び前記吸着部のいずれか一方または両方の高さと、前記吸着段階での前記移送部及び前記吸着部のいずれか一方または両方の高さが互いに異なることを特徴とする基板移送及び切断方法。
【請求項８】
前記移送段階では、前記吸着部の高さを前記移送部の高さより低く設定し、前記吸着段階では、前記吸着部の高さを前記移送部の高さと同一に設定することを特徴とする請求項7に記載の基板移送及び切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板移送及び切断装置とこれを用いた基板移送及び切断方法に関し、より詳細には、基板を移送する移送部と、基板を吸着して固定する吸着部が基板の厚さ方向に移動可能なように構成された基板移送及び切断装置とこれを用いた基板移送及び切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液晶表示装置などの表示パネルは、通常、脆性材料基板であるマザー基板(mother substrate)を使用して形成されている。液晶表示装置は、一対のマザー基板を適当な間隔をあけて接合させ、その間隔内に液晶を封入することにより、表示パネルとなる。
【０００３】
このような表示パネルを製造する際には、マザー基板を接合させた接合マザー基板を分断することにより、接合マザー基板から複数の表示パネルを作る加工がなされている。このような接合マザー基板を分断するための基板分断装置が韓国公開特許公報第2006-0125915号(以下、「特許文献1」とする。)に開示されている。
【０００４】
図6は、特許文献1の図32に図示された基板分断装置の主要構成を概略的に示す斜視図である。
【０００５】
図6を参照すると、基板分断装置(200)は、位置決めユニット部(220)、スクライブユニット部(240)、バッファコンベヤ部(260)、スチームブレイクユニット部(280)、パネル反転ユニット部(320)、及びパネル端子分離部(340)を備えている。
【０００６】
位置決めユニット部(220)が配置されている側を基板搬入側、パネル端子分離部(340)が配置されている側を基板搬出側とするとき、基板は、基板搬入側の位置決めユニット部(220)に供給された後、スクライブユニット部(240)、バッファコンベヤ部(260)、スチームブレイクユニット部(280)、パネル反転ユニット部(320)、及びパネル端子分離部(340)に沿って順番に搬送されつつ、基板分断作業が行われ、以後、基板搬出側に搬送される。
【０００７】
つまり、設置台(230)の上方に設置された位置決めユニット部(220)に供給される基板は、位置決めユニット部(220)に形成された複数の基板支持ユニット(図示せず)上にローディングされ、基板支持ユニットに設置されたベルト(図示せず)上で基板の位置が決められた後、ベルトの回転動作により次の段階であるスクライブユニット部(240)に搬送される。
【０００８】
一方、スクライブユニット部(240)は、設置台(250)の上方にX方向に沿って設置された切断装置ガイド体(242)と、この切断装置ガイド体(242)を間に置いてY方向に沿って配置される第1の基板支持ユニット部(241A)及び第2の基板支持ユニット部(241B)を有する。また、第1の基板支持ユニット部(241A)の第1の基板支持ユニット(244A)と第2の基板支持ユニット部(241B)の第2の基板支持ユニット(244B)は、それぞれフレーム(243A)及びフレーム(243B)に対して平行に配置される。
【０００９】
この場合、位置決めユニット部(220)からスクライブユニット部(240)に搬送される基板は、第1の基板支持ユニット部(241A)の第1の基板支持ユニット(244A)にローディングされ、クランプ装置(251)によってクランプされる。その後、第1の基板支持ユニット(244A)に設置されたベルトを回転移動させると同時に、クランプ装置(251)をY方向に沿って移動させることによって、基板が切断装置ガイド体(242)を介してスクライブされ、スクライブされた基板は、第2の基板支持ユニット部(241B)の第2の基板支持ユニット(244B)に搬送される。
【００１０】
スクライブ作業が完了し、第2の基板支持ユニット(244B)のベルト上に搬送された基板は、第2の基板支持ユニット(244B)のベルトとブレイクコンベア部(260)のベルトの回転移動により、ブレイクコンベア部(260)に搬送される。ブレイクコンベア部(260)への搬送が完了した基板は、ブレイクコンベア部(260)の回転移動が停止した状態で、スチームブレイクユニット(280)でブレイクした後、ピックアップロボット等によりピックアップされ、排出コンベア部(340)などに排出される。また、ブレイクコンベア部(260)の回転移動が停止した状態でも、基板のスクライブ及び切断のために、スクライブユニット部(240)を構成する第1の基板支持ユニット(244A)及び第2の基板支持ユニット(244B)のベルトは、回転移動し続けるように制御される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】韓国公開特許公報第2006-0125915号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
一般的に、基板をスクライブしたり、ブレイクする装置は、基板を移送する部材と、前記部材から移送された基板に対してスクライブラインを形成するスクライブ工程、または形成されたスクライブラインに沿って基板をブレイクするブレイク工程の中に基板を安定的に支持するために、基板を吸着して固定する部材を備えている。
【００１３】
ところで、従来の装置の場合、基板を移送する部材と基板を吸着して固定する部材との間の間隔により、基板の移送がスムーズに行われず、基板の切断品質にも問題が発生する可能性がある。
【００１４】
すなわち、実際に基板を移送し吸着する工程において、基板を移送する部材と、基板を吸着して固定する部材との間には、基板の搬送方向に連結が途切れている乗換部が存在するので、基板を移送する部材上で移送される基板は、乗換部の間を乗り移らなければならない。
【００１５】
このとき、両部材の間にZ軸方向(基板の厚さ方向)への位置ずれが全く発生しないように、すなわち、前記各部材が互いに完璧に同じ高さを有し、水平をなすように設定することは現実的に不可能である。
【００１６】
したがって、従来の装置では、基板を移送する移送部と、基板を吸着して固定する部材は、互いに高さの差を置いて固定されているので、移送過程で基板が移送部または吸着部と衝突したり、基板と吸着部との間に非吸着領域が発生するなどの問題がある。これに対して、図7及び図8を参照して詳細に説明する。
【００１７】
図7は、従来の基板移送及び切断装置による問題点を概略的に示す概略図であって、図7(a)は、移送部の高さを吸着部の高さより低く固定した状態であり、図7(b)は、移送部の高さを吸着部の高さより高く固定した状態であり、図8は、従来の基板移送及び切断装置の吸着部を拡大して示す拡大図である。
【００１８】
まず、図7(a)に示したように、移送部の高さを吸着部の高さより低くして固定する場合、移送部上で移送される基板が吸着部と衝突することになる問題が発生するので、実際の工程では移送部と吸着部の高さをこのように設定することはできない。
【００１９】
その反面、図7(b)に示したように、移送部の高さを吸着部の高さより高くして固定する場合、移送部から吸着部に移る領域で基板に傾きが生じ、基板と吸着部との間に浮きが発生することになる。すなわち、基板が吸着部に吸着されない非吸着領域が発生することになるが、これについては、図8を参照してより詳細に説明する。
【００２０】
図8に示したように、従来の基板移送及び切断装置の場合、基板と吸着部の衝突を防止するために、吸着部の設置時、その高さを移送部の高さより低くして固定するので、上流側吸着部の高さが移送部の高さより低く、下流側吸着部の高さが上流側吸着部の高さより低い階段式構造を形成することになる。
【００２１】
したがって、基板が移送部と吸着部上に水平にローディングされるのではなく、基板移送方向に沿って斜めにローディングされるため、基板が吸着部に吸着されない非吸着領域が発生することになる。これにより、基板が吸着部に確実に吸着されないので、スクライブヘッドまたはブレイクバーが基板の上面と当接するとき、基板に動きが発生し、基板の切断品質に問題が発生することになる。
【００２２】
また、スクライブヘッドまたはブレイクバーが基板の上面と垂直に当接するのではなく、多少傾いた状態で、すなわち、スクライブヘッドまたはブレイクバーと基板の上面とが、鋭角(α)をなして当接することになる。したがって、スクライブラインが基板の上面に対して垂直に形成されるのではなく、Z軸を基準に傾いて形成されたり、ブレイク工程で好ましいクラックの伸展が行われず、基板の断面がきれいに切断されない問題が発生することになる。
【００２３】
そこで、本発明は、前記したような問題点を解決するために提案されたものであって、その目的は、移送部と吸着部の高さを固定することによる前述した問題点を解決し、基板の切断品質をさらに向上させ得る基板移送及び切断装置とこれを用いた基板移送及び切断方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
前記本発明の目的を達成するために、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置は、設置台と、前記設置台上に設置され、ローディングされる基板を移送する移送部、及び前記設置台上に設置され、移送される前記基板を吸着して固定する吸着部と、を含み、前記移送部と前記吸着部は、基板移送方向に互いに間隔をあけて設置され、前記移送部は、前記基板移送方向に上流側に設置されている第1の移送ステージと、前記第1の移送ステージより前記基板移送方向に下流側に設置されている第2の移送ステージと、前記吸着部より前記基板移送方向に下流側に設置されている第3の移送ステージと、を含み、前記第2の移送ステージと、前記第3の移送ステージは移動可能に形成される。
【００２５】
また、前記第2の移送ステージと前記第3の移送ステージの移動方向は、基板の厚さ方向であってもよい。
【００２６】
また、前記吸着部は、前記基板移送方向に上流側に設置されている第1の吸着ステージと、前記第1の吸着ステージより前記基板移送方向に下流側に設置されている第2の吸着ステージと、を含み、前記第2の吸着ステージは移動可能に形成されてもよい。
【００２７】
また、前記第2の吸着ステージの移動方向は、基板の厚さ方向であってもよい。
【００２８】
また、前記吸着部上に吸着された前記基板をスクライブまたはブレイクする部材をさらに含んでもよい。
【００２９】
また、本発明の他の実施形態に係る基板移送及び切断装置は、設置台と、前記設置台上に設置され、ローディングされる基板を移送する移送部、及び前記設置台上に設置され、移送される前記基板を吸着して固定する吸着部と、を含み、前記移送部と前記吸着部は、基板移送方向に互いに間隔をあけて設置され、前記移送部は、前記基板移送方向に上流側に設置されている第1の移送ステージと、前記第1の移送ステージより前記基板移送方向に下流側に設置されている第2の移送ステージと、を含み、前記吸着部は、前記基板移送方向に上流側に設置されている第1の吸着ステージと、前記第1の吸着ステージより前記基板移送方向に下流側に設置されている第2の吸着ステージと、を含み、前記第2の吸着ステージは、前記基板を吸着して固定する構成と、前記基板を移送する構成と、をすべて備え、前記第2の移送ステージと、前記第2の吸着ステージは移動可能に形成される。
【００３０】
また、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断方法は、基板を移送部上で移送する移送段階と、前記基板を吸着部上で吸着して固定する吸着段階と、前記吸着段階で吸着された前記基板をスクライブするスクライブ段階またはブレイクするブレイク段階、及び前記スクライブ段階または前記ブレイク段階が完了した後、前記基板に対する吸着を解除する吸着解除段階と、を含み、前記移送段階での前記移送部及び前記吸着部のいずれか一方または両方の高さと、前記吸着段階での前記移送部及び前記吸着部のいずれか一方または両方の高さが互いに異なる。
【００３１】
また、前記移送段階では、前記吸着部の高さを前記移送部の高さより低く設定し、前記吸着段階では、前記吸着部の高さを前記移送部の高さと同一に設定してもよい。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によると、移送部及び吸着部の少なくとも一つの高さを適切に変更することにより、基板と吸着部との間の非吸着領域をなくし、スクライブまたはブレイク時の安定性を確保することができ、スクライブヘッドまたはブレイクバーが基板の上面と垂直に当接するようにし、スクライブラインを正しく形成し、クラックを好ましく伸展させ、基板の切断品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置の主要構成を示す斜視図。
【図２】本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置の主要構成を示す側面図。
【図３】本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置において、移送部と吸着部が基板の厚さ方向に移動する構成を示す図であって、図3(a)は、基板が搬入されて移送される状態を示し、図3(b)は、吸着部で基板を吸着して固定した状態を示す。
【図４】本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置の吸着部を示す拡大図。
【図５】本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置を用いて基板を移送及びスクライブする方法を示すフローチャート。
【図６】従来の基板移送及び切断装置の主要構成を示す斜視図。
【図７】従来の基板移送及び切断装置による問題点を示す概略図。
【図８】従来の基板移送及び切断装置の吸着部を示す拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明の実施例について関連図面を参照して詳細に説明することにする。
【００３５】
図1は、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置の主要構成を示す斜視図であり、図2は、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置の主要構成を示す側面図である。
【００３６】
図1及び図2を参照すると、本実施形態に係る基板移送及び切断装置(100)は、設置台(110)と、移送部(120)と、吸着部(130)と、スクライブ部(140)と、を含む。
【００３７】
まず、設置台(110)は、基板移送及び切断装置(100)の他の部材が設置され、これを支持するための部材であって、設置台(110)の上面には、基板搬入側から基板(2)の移送方向に沿って、移送部(120)と、吸着部(130)と、スクライブ部(140)と、が設置されている。本発明の一実施形態において、設置台(110)は、板状の部材とビーム状の部材からなっているが、その材質と形状は特に限定しない。
【００３８】
移送部(120)は、基板搬入側から搬入されて設置台(110)上にローディングされた基板(2)を基板搬出側まで移送し、基板移送方向に上流側に設置されている第1の移送ステージ(121)と、第1の移送ステージ(121)より基板移送方向に下流側に設置されている第2の移送ステージ(122)と、を含む。第1の移送ステージ(121)と第2の移送ステージ(122)は、設置台(110)上で基板移送方向に互いに間隔をあけて設置されている。
【００３９】
第1の移送ステージ(121)と第2の移送ステージ(122)は、基板(2)を支持しつつ移送するための部材であって、本発明の一実施形態では、コンベアベルトと、ローラなどで構成されているが、基板(2)を移送するために適した部材であれば、その種類と形状を特に限定しない。
【００４０】
第1の移送ステージ(121)は高さが固定されており、第2の移送ステージ(122)と吸着部(130)に対してZ軸方向への基準点となる。
【００４１】
一方、第2の移送ステージ(122)は、基板(2)が搬入されて移送されるときは、第2の移送ステージ(122)から吸着部(130)に移送される過程で、基板(2)が吸着部(130)と衝突することを防止するために、第2の移送ステージ(122)がZ軸方向に上昇して、第2の移送ステージ(122)の高さと第1の移送ステージ(121)の高さが同一になる。そして、基板(2)をスクライブするときは、基板(2)を吸着部(130)に吸着させるために、第2の移送ステージ(122)がZ軸方向に下降して、第2の移送ステージ(122)の高さが第1の移送ステージ(121)の高さより低くなる。
【００４２】
すなわち、従来の基板移送及び切断装置の移送部は、高さが固定された単一のステージで構成されている反面、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置(100)の移送部(120)は、複数の移送ステージで構成されており、第2の移送ステージ(122)がZ軸方向に移動可能に構成されている。
【００４３】
したがって、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置(100)によれば、第2の移送ステージ(122)のZ軸方向への位置を適切に変更することができ、基板(2)と吸着部(130)の衝突を防止できるだけでなく、基板(2)が吸着部(130)上に水平にローディングされ得るようにして、基板(2)と吸着部(130)との間の非吸着領域をなくすことができる。また、吸着固定された基板(2)とスクライブヘッドが垂直に当接することになり、スクライブラインが正しく形成され、以後のブレイク工程でクラックが好ましく伸展し、基板(2)の切断品質を向上させることができる。
【００４４】
次に、吸着部(130)は、移送部(120)から移送された基板(2)を吸着することにより基板(2)を固定し、吸着部(130)上で吸着されて固定された基板(2)上には、スクライブユニット(140)によってスクライブラインが形成される。吸着部(130)は、基板移送方向に上流側に設置されている第1の吸着ステージ(131)と、第1の吸着ステージ(131)より基板移送方向に下流側に設置されている第2の吸着ステージ(132)と、を含むことができる。第1の吸着ステージ(131)と第2の吸着ステージ(132)は、基板移送方向に沿って互いに間隔をあけて設置されている。
【００４５】
第1の吸着ステージ(131)と第2の吸着ステージ(132)は、基板加工装置に用いられる一般的な吸着テーブルであって、金属板に多数の吸着用の貫通孔を形成して吸着面としたタイプのテーブルや、セラミックスなどの多孔質板を吸着面としたタイプのテーブルなどが用いられることができる。
【００４６】
第1の吸着ステージ(131)は高さが固定されており、第1の移送ステージ(121)と同様に、移送部(120)と第2の吸着ステージ(132)に対してZ軸方向への基準点となる。
【００４７】
一方、第2の吸着ステージ(132)は、基板(2)が搬入されて移送されるときは、第1の吸着ステージ(131)から第2の吸着ステージ(132)に移送される過程で、基板(2)が第2の吸着ステージ(132)と衝突することを防止するために、第2の吸着ステージ(132)がZ軸方向に下降して、第2の吸着ステージ(132)の高さが第1の吸着ステージ(131)の高さより低くなる。そして、基板(2)をスクライブするときは、基板(2)を第1の吸着ステージ(131)と第2の吸着ステージ(132)上に吸着させるために、第2の吸着ステージ(132)がZ軸方向に上昇して、第2の吸着ステージ(132)の高さと第1の吸着ステージ(131)の高さが同一になる。
【００４８】
すなわち、従来の基板移送及び切断装置の吸着部(130)は、高さが固定されている反面、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置(100)の吸着部(130)は、第2の吸着ステージ(132)がZ軸方向に移動可能に構成されている。
【００４９】
したがって、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置(100)によれば、第2の吸着ステージ(132)のZ軸方向への位置を適切に変更することができ、基板(2)と第2の吸着ステージ(132)の衝突を防止できるだけでなく、基板(2)が吸着部(130)上に水平にローディングされ得るようにして、基板(2)と吸着部(130)との間の非吸着領域をなくすことができる。また、吸着固定された基板(2)とスクライブヘッドが垂直に当接することになり、スクライブラインが正しく形成され、これにより、以後のブレイク工程でクラックが好ましく伸展し、基板(2)の切断品質をさらに向上させることができる。
【００５０】
次に、スクライブ部(140)は、第1の吸着ステージ(131)と第2の吸着ステージ(132)との間に設置され、吸着部(130)上に吸着固定されている基板(2)をスクライブする。スクライブ部(140)は、設置台(110)の両側面に取り付けられ、Z軸方向に上に延びている一対の支柱(141)と、一対の支柱(141)を連結するようにX軸方向に延びているビーム(142)と、ビーム(142)の一面に結合されている駆動ユニット(143)と、駆動ユニット(143)の下方に結合されているスクライブユニット(144)と、を含む。
【００５１】
また、スクライブ部(140)は、基板(2)の両面(上面及び下面)を同時にスクライブするために、Z軸方向に下にも延びた一対の支柱(141)を連結するビーム(142)と、その一面に結合されている駆動ユニット(143)とスクライブユニット(144)をさらに含むことができる。
【００５２】
また、移送部(120)は、第3の移送ステージ(123)を含む。第3の移送ステージ(123)は、吸着部(130)より基板移送方向に下流側に設置されており、スクライブユニット(140)によってスクライブラインが形成された基板(2)を、次の段階に移送する。
【００５３】
基板(2)が搬入されて移送されるときは、基板(2)が第3の移送ステージ(123)と衝突することを防止するために、第3の移送ステージ(123)がZ軸方向に下降して、第3の移送ステージ(123)の高さが第2の吸着ステージ(132)の高さより低くなる。以後、基板(2)をスクライブするときには、基板(2)を吸着部(130)に吸着させるために、第3の移送ステージ(123)がZ軸方向に上昇して、第3の移送ステージ(123)の高さが第2の吸着ステージ(132)の高さと同一になる。
【００５４】
したがって、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置(100)によると、第3の移送ステージ(123)のZ軸方向への位置を適切に変更することができ、基板(2)と第3の移送ステージ(123)との間の衝突を防止できるだけでなく、基板(2)と吸着部(130)との間の非吸着領域をなくすことができる。また、これにより、吸着固定された基板(2)とスクライブヘッドが垂直に当接することになり、スクライブラインが正しく形成され、以後のブレイク工程でクラックが好ましく伸展し、基板(2)の切断品質をさらに向上させることができる。
【００５５】
次に、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置(100)において、基板(2)が移送されて吸着される過程に応じる移送部(120)と吸着部(130)の位置関係を、図3及び図4を参照して詳細に説明する。
【００５６】
図3は、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置(100)において、移送部(120)と吸着部(130)がZ軸方向に移動する構成を示す図であって、図3(a)は、基板が搬入されて移送される状態を示し、図3(b)は、吸着部(130)で基板を吸着して固定した状態を示し、図4は、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置(100)の吸着部(130)を示す拡大図である。
【００５７】
まず、基板移送及び切断装置(100)へ搬入されて第1の移送ステージ(121)上にローディングされた基板(2)が、基板移送方向(図3で＋Y方向)に移送される。このとき、固定されている第1の移送ステージ(121)の上面に沿ってY軸方向に延びる仮想線を基準線Aに設定すると、第1の移送ステージ(121)と第2の移送ステージ(122)の上面は、すべて基準線Aと接した状態にある。また、固定されている第1の吸着ステージ(131)の上面に沿ってY軸方向に延びる仮想線を基準線Bに設定すると、基準線Bは基準線AよりZ軸方向に下に位置し、第2の吸着ステージ(132)は基準線BよりZ軸方向に下に位置し、第3の移送ステージ(123)は、第2の吸着ステージ(132)よりZ軸方向に下に位置している。
【００５８】
すなわち、基板(2)が搬入されて第3の移送ステージ(123)まで移送されるときは、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置(100)の移送部(120)と吸着部(130)は、基板移送方向に沿ってZ軸方向に徐々に階段式に低くなるように配置されているため、基板(2)が移送される過程で移送部(120)や吸着部(130)と衝突するおそれがない。
【００５９】
以後、基板(2)が第3の移送ステージ(123)上にローディングされると、基板(2)を吸着部(130)上に吸着させて固定するために、第2の移送ステージ(122)が下降し、第2の吸着ステージ(132)と第3の移送ステージ(123)がそれぞれ上昇して、その上面がすべて基準線Bと接することになる。
【００６０】
すなわち、基板(2)が吸着部(130)上に吸着固定された状態では、第1の移送ステージ(121)を除く残りの部材は、その上面がすべて基準線Bと接しているため、基板(2)が吸着部(130)上に水平にローディングされ、図4に示したように、基板(2)と吸着部(130)との間に非吸着領域が存在しなくなる。
【００６１】
したがって、スクライブ工程時、基板(2)とスクライブユニット(144)が垂直に当接することになり、スクライブラインが好ましく形成され得るだけでなく、以後のブレイク工程においてもクラックが正しく伸展することになる。また、基板(2)の下面が浮かず、吸着部(130)によって吸着された状態で固定されているため、スクライブユニット(144)が基板を加圧しても、基板(2)の動きを最小化することができ、基板の切断品質を向上させることができる。
【００６２】
次に、図5を参照して、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置を用いて基板を移送及び切断する方法を説明する。
【００６３】
図5は、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置を用いて基板を移送及び切断する方法を示すフローチャートである。
【００６４】
まず、基板(2)が基板移送及び切断装置(100)へ搬入される(S100)。このとき、図3(a)に示したように、第1の移送ステージ(121)と第2の移送ステージ(122)は基準線Aに位置しており、第1の吸着ステージ(131)は基準線Bに位置しており、第2の吸着ステージ(132)は基準線BよりZ軸方向に下に位置しており、第3の移送ステージ(123)は、第2の吸着ステージよりZ軸方向に下に位置している。これにより、基板(2)は、第1の移送ステージ(121)、第2の移送ステージ(122)、第1の吸着ステージ(131)、第2の吸着ステージ(132)の順に通って第3の移送ステージ(123)まで移送される。
【００６５】
基板(2)が基板移送方向に沿って移送されて第3の移送ステージ(123)上にローディングされると(S200)、図3(b)に示したように、第2の移送ステージ(122)が基準線Bまで下降し(S300)、第2の吸着ステージ(132)が基準線Bまで上昇し(S400)、第3の移送ステージ(123)が基準線Bまで上昇する(S500)。これにより、基板(2)は、第1の吸着ステージ(131)と第2の吸着ステージ(132)の上面と水平にローディングされる。
【００６６】
次に、第1の吸着ステージ(131)と第2の吸着ステージ(132)が基板(2)を吸着して固定し(S600)、スクライブユニット(140)が固定された基板(2)上にスクライブラインを形成する(S700)。
【００６７】
次に、第1の吸着ステージ(131)と第2の吸着ステージ(132)の吸着が解除され(S800)、第2の移送ステージ(122)が基準線Aまで上昇し(S900)、第2の吸着ステージ(132)が基準線BよりZ軸方向に下に下降し(S1000)、第3の移送ステージ(123)が第2の吸着ステージ(132)よりZ軸方向に下に下降する(S1100)。すなわち、基板(2)が最初に搬入されるときの初期位置に戻る。
【００６８】
次に、基板(2)が基板移送及び切断装置(100)の外部へ搬出される(S1200)。
【００６９】
本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置において、第2の移送ステージと、第2の吸着ステージと、第3の移送ステージの高さを調整するためにサーボモータが使用され得、その他にも、VCM(voice coil motor)など移送部と吸着部の位置を変更するにおいて適切な応答性と正確性を有する部材が使用され得る。
【００７０】
また、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置において、第2の移送ステージと、第2の吸着ステージと、第3の移送ステージがZ軸方向に移動可能なものと説明したが、移動方向はZ軸方向に限らず、基板と装置の衝突を防止し、基板と吸着部との間の吸着を容易にするための適切な方向に移動することができる。
【００７１】
また、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置において、第1の移送ステージと、第1の吸着ステージは固定されており、第2の移送ステージと、第2の吸着ステージと、第3の移送ステージが移動可能なものと説明したが、使用の便宜のために、これを異なるように適用することができる。
【００７２】
例えば、第2の吸着ステージと第3の移送ステージを別個に形成する代わりに、第2の吸着ステージが基板を移送する構成と、基板を吸着して固定する構成をすべて含むことにより、第2の吸着ステージと第3の移送ステージを一つの部材として形成することもできる。すなわち、基板を移送する場合には、第2の吸着ステージの高さが第1の吸着ステージの高さより低くなった状態で、第2の吸着ステージに備えられた基板を移送する構成(例えば、コンベアベルトなど)を通じて基板を移送し、基板が第2の吸着ステージ上に完全にローディングされて基板を吸着する場合には、第2の吸着ステージの高さが第1の吸着ステージの高さと同一になった状態で、第2の吸着ステージに備えられた基板を吸着して固定する構成(例えば、吸着板など)を通じて基板を吸着して固定することもできる。
【００７３】
また、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置において、基板搬入段階では、第1の移送ステージと第2の移送ステージの高さが同一であり、吸着段階では、第2の移送ステージの高さが第1の移送ステージの高さより低くなるものと説明したが、これとは異なり、例えば、基板が搬入されて第2の移送ステージにローディングされるまでは、第1の移送ステージと第2の移送ステージの高さが同一になるように設定し、基板が第2の移送ステージを経て第1の吸着ステージにローディングされるときは、第2の移送ステージがZ軸方向に上昇し、第2の吸着ステージがZ軸方向に下降して、階段式構造を形成することもできる。
【００７４】
また、本発明の一実施形態に係る基板移送及び切断装置が基板のスクライブライン形成工程に使用されるものと説明したが、本発明に係る基板移送及び切断装置は、スクライブ部をブレイク部などに置き換えることで、ブレイク工程でも使用されることができ、スクライブ工程にのみ使用されるものに限定しない。
【００７５】
以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したことに過ぎないものであって、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明の本質的な特性から外れない範囲で様々な修正及び変形が可能である。したがって、本発明に開示された実施例は、本発明の技術思想を限定するためのものではなく、説明するためのものであり、このような実施例によって、本発明の技術思想の範囲が限定されるものではない。本発明の保護範囲は、以下の請求の範囲によって解釈されるべきであり、それと同等の範囲内にあるすべての技術思想は、本発明の権利範囲に含まれるものとして解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００７６】
２      基板
１００  基板移送及び切断装置
１１０  設置台
１２０  移送部
１２１  第1の移送ステージ
１２２  第2の移送ステージ
１２３  第3の移送ステージ
１３０  吸着部
１３１  第1の吸着ステージ
１３２  第2の吸着ステージ
１４０  スクライブユニット
１４１  支柱
１４２  ビーム     
１４３  駆動ユニット
１４４  スクライブユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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