(57)【要約】【課題】物品を昇降させる昇降体を備えた天井搬送車における昇降時の障害物判定機構について、扱い易いものを備えた天井搬送車を提供する。【解決手段】筐体５０を保持する昇降体１６を搬送用位置２４と移載用位置３４との間で昇降させる際に、カメラ４０が撮像した画像に基づき、カメラ４０によって撮像された撮像範囲４２内の障害物の有無を判定する。【選択図】図１
2020111419.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に配置された搬送軌道に沿って走行して、搬送対象の物品を前記搬送軌道に沿って搬送する天井搬送車において、
前記搬送軌道に沿って走行する走行台車と、前記走行台車と共に前記搬送軌道に沿って移動する本体部と、前記本体部に設けられており搬送用位置と前記搬送用位置より下方の移載用位置との間で昇降可能な昇降体と、前記本体部より下方を撮像する撮像装置と、前記天井搬送車の動作を制御する制御器と、を備え、
前記昇降体は、前記搬送用位置より下方の物品載置台に配置されている前記物品を前記移載用位置へと下降して保持する取得動作と、前記搬送用位置において保持している前記物品を前記移載用位置へと下降して前記物品載置台に配置する解放動作と、が可能であり、
前記制御器は、前記昇降体に前記取得動作または前記解放動作を行わせる際に、前記撮像装置が撮像した画像に基づき、前記撮像装置によって撮像された撮像範囲内の障害物の有無を判定すること
を特徴とする天井搬送車。
【請求項２】
前記制御器は、前記昇降体に前記取得動作または前記解放動作を行わせる際に、前記撮像装置が撮像した画像の中から、予め定められた複数の指標体を探索し、前記複数の指標体の位置を基準に、障害物の有無を判定する監視範囲を設定すること
を特徴とする請求項１に記載の天井搬送車。
【請求項３】
前記制御器は、前記昇降体に前記取得動作または前記解放動作を行わせる際に、前記撮像装置が撮像した画像の中から、予め定められた規格形状に相似する形状を探索して指標部とし、その指標部の位置を基準に、障害物の有無を判定する監視範囲を設定すること
を特徴とする請求項１に記載の天井搬送車。
【請求項４】
前記取得動作または前記解放動作の開始時に前記撮像装置が撮像した画像を基準画像とし、前記取得動作または前記解放動作の継続中に前記撮像装置が撮像した画像を動作中画像とし、
前記制御器は、前記基準画像における前記監視範囲内の画像データと、前記動作中画像における前記監視範囲内の画像データと、の間に、予め定められた閾値を超える差分が生じた場合に、前記撮像範囲内に障害物が存在すると判定すること
を特徴とする請求項２または請求項３に記載の天井搬送車。
【請求項５】
前記制御器は、前記昇降体に前記取得動作または前記解放動作を行わせる際に、前記撮像装置が撮像した画像を、その画像が撮像された時刻と共に記録することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の天井搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は天井搬送車に関するものであり、特に搬送対象の物品を搬送軌道に沿って搬送し、物品を昇降させることが可能な昇降体を備えた天井搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーンルームなどの半導体デバイス製造設備において使用される搬送装置の一種として、特許文献１に記載されているような、設備の天井に配置された搬送軌道に沿って搬送する天井搬送車（天井走行搬送装置）がある。この天井搬送車はホイスト付台車を備えており、半導体製造装置のロードポートとの間で半導体のウェハキャリアを昇降させることができる。
【０００３】
特許文献１に記載の天井搬送車においては、ウェハキャリアを昇降させる際にその昇降経路内に障害物が存在するかどうかを調べるため、光学式の障害物検知センサが設けられている。この障害物検知センサは、予め設定された検出範囲内に光を照射し、その反射光の光量などに基づき検出範囲における障害物の有無を調べることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３３７１８９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されているような天井搬送車が備える光学式の障害物検知センサでは、ある程度の広がりを持つ検出範囲の全域に対して一つの光源で一度に照射を行うことはできないため、障害物検知を行う際には、ある一点での検知が完了した後、照射角度を切り替えて別の点で検知を行うという動作を何度も繰り返す必要がある。
【０００６】
このような光源の照射角度切り替えにはモータなどの駆動機構を用いて機械的な動きを行う必要があるため、使用のたびに摩擦などにより装置の機構が損耗していく。そのため、従来の障害物検知センサは機構の寿命が短いという問題があった。
【０００７】
また一般的な光学式の障害物検知センサでは、照射角度の切り替え幅、すなわち投光ピッチは一定の角度に固定されている（一定の角度ずつしか角度を切り替えることができない）ため、その投光ピッチの中間に収まる小さな障害物を検知することができないという問題もあった。
【０００８】
さらに、天井側に配置される障害物検知センサから下方へ距離を空けたロードポートに向けて光を照射するため、照射角度が少しずれるだけでも照射点が大きくずれてしまい、所望の位置へと光を照射することができなくなってしまう。そのため光源の光軸合わせが精密に行われなければならず、もしも光軸がずれた場合には作業員が設備の天井側へ登って高所で光軸合わせの調整作業を行う必要があり、非常に手間がかかってしまうという問題もあった。このように、従来の光学式の障害物検知センサを備えた天井搬送車は扱いの難しい面があった。以上の問題に鑑み、本発明は、障害物の有無の判定を行う機構についてより扱い易いものを備えた天井搬送車を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明に係る天井搬送車の実施形態の一例では、天井に配置された搬送軌道に沿って走行して、搬送対象の物品を前記搬送軌道に沿って搬送する天井搬送車において、前記搬送軌道に沿って走行する走行台車と、前記走行台車と共に前記搬送軌道に沿って移動する本体部と、前記本体部に設けられており搬送用位置と前記搬送用位置より下方の移載用位置との間で昇降可能な昇降体と、前記本体部より下方を撮像する撮像装置と、前記天井搬送車の動作を制御する制御器と、を備え、前記昇降体は、前記搬送用位置より下方の物品載置台に配置されている前記物品を前記移載用位置へと下降して保持する取得動作と、前記搬送用位置において保持している前記物品を前記移載用位置へと下降して前記物品載置台に配置する解放動作と、が可能であり、前記制御器は、前記昇降体に前記取得動作または前記解放動作を行わせる際に、前記撮像装置が撮像した画像に基づき、前記撮像装置によって撮像された撮像範囲内の障害物の有無を判定することを特徴とする。
【００１０】
また好ましくは、前記制御器は、前記昇降体に前記取得動作または前記解放動作を行わせる際に、前記撮像装置が撮像した画像の中から、予め定められた複数の指標体を探索し、前記複数の指標体の位置を基準に、障害物の有無を判定する監視範囲を設定するとよい。
【００１１】
また好ましくは、前記制御器は、前記昇降体に前記取得動作または前記解放動作を行わせる際に、前記撮像装置が撮像した画像の中から、予め定められた規格形状に相似する形状を探索して指標部とし、その指標部の位置を基準に、障害物の有無を判定する監視範囲を設定するとよい。
【００１２】
また好ましくは、前記取得動作または前記解放動作の開始時に前記撮像装置が撮像した画像を基準画像とし、前記取得動作または前記解放動作の継続中に前記撮像装置が撮像した画像を動作中画像とし、前記制御器は、前記基準画像における前記監視範囲内の画像データと、前記動作中画像における前記監視範囲内の画像データと、の間に、予め定められた閾値を超える差分が生じた場合に、前記撮像範囲内に障害物が存在すると判定するとよい。
【００１３】
また好ましくは、前記制御器は、前記昇降体に前記取得動作または前記解放動作を行わせる際に、前記撮像装置が撮像した画像を、その画像が撮像された時刻と共に記録するとよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の天井搬送車の実施形態の一例によれば、撮像装置により撮像された画像を基づき障害物の有無が判定されるため、従来の光学式の障害物検知センサのような光源の照射角度を切り替えるための駆動機構が不要であり、障害物判定を行うための機構の寿命が長くなる。
【００１５】
また撮像装置が撮像する画像にはその撮像範囲内に含まれる物体が全て映ることになるため、従来の光学式の障害物検知センサでは検知できなかった小さな障害物も検知することができる。
【００１６】
また撮像された画像内のどこかに移載用位置とその周囲が含まれていればよく、撮像装置の向きはそれほど精密に設定される必要がないため、従来行われていた高所に登って光源の向きを手作業で調整するという時間と手間のかかる作業が不要となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態の一例における天井搬送車と物品載置台を示す側面図。
【図２】物品載置台の天面および物品載置台に設けられたロケートピンを示す平面図。
【図３】トップフランジを含む筐体の形状を示す平面図。
【図４】障害物検知処理の手順を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１に、本発明に係る天井搬送車の実施形態の一例を示す。この天井搬送車１０が使用される設備（半導体製造設備など）内において、天井側に搬送軌道としてのレール２０が配置されており、天井搬送車１０上部の走行台車１２がこのレール２０に沿って走行する。走行台車１２は天井搬送車１０の本体部１４と連結しており、この本体部１４には昇降体１６が設けられている。そして昇降体１６にはホイスト機構１８が備わっており、設備の天井側と床側との間で昇降が可能になっている。
【００１９】
設備の床側には物品載置台３２が設けられている。この物品載置台３２は設備内で搬送される物品としての筐体５０（半導体のウェハキャリアとしての前面開放一体式ポッド、いわゆるFOUPなど）が安定して載置されることが可能な台であり、例えば半導体製造装置のロードポートなどが物品載置台３２として機能する。
【００２０】
昇降体１６はアーム１９やチャックなどにより筐体５０を保持することが可能であり、本体部１４内（天井側）の搬送用位置２４と、物品載置台３２上方（床側）の移載用位置３４との間で筐体５０を昇降させることができる。具体的には、昇降体１６は取得動作と解放動作を行うことができる。取得動作においては、筐体５０を保持していない状態の昇降体１６が搬送用位置２４から移載用位置３４へと下降し、物品載置台３２上の移載用位置３４に配置された筐体５０上部のトップフランジ５２が昇降体１６のアーム１９で把持されることで、筐体５０が昇降体１６により保持される。
【００２１】
解放動作においては、筐体５０を保持した状態の昇降体１６が搬送用位置２４から物品載置台３２上方の移載用位置３４へと下降し、昇降体１６による筐体５０の保持が解除されることにより、物品載置台３２に筐体５０が配置される。
【００２２】
本実施形態の天井搬送車１０においては、本体部１４の下方、昇降体１６の昇降経路から外れた箇所に撮像装置としてのカメラ４０が設けられている。このカメラ４０は下方に向けられていて、本体部１４より下方を撮像するようになっている。カメラ４０により撮像される画像に収まることになる撮像範囲４２は、下方に行くにつれ広がってゆき、物品載置台３２の高さにおいては、図１に示す通り、筐体５０が配置される範囲を含む広い範囲が撮像範囲４２に収まることとなる。この撮像範囲４２は物品載置台３２のみならずその周囲（物品載置台３２よりも外側）にまで広がっていることもある。
【００２３】
また天井搬送車１０には、この天井搬送車１０の動作を制御する制御器１５（プロセッサなど）が備えられている。この制御器１５により、走行台車１２の走行動作や、昇降体１６の取得動作および解放動作、そしてカメラ４０により撮像された画像の画像処理などが行われる。なお図１においては制御器１５が本体部１４に内蔵されたものとして示しているが、天井搬送車１０とは別体で、通信を介して天井搬送車１０の動作を制御するコンピュータなどが制御器１５として機能することもできる。
【００２４】
制御器１５は、天井搬送車１０の現在位置に応じて、レール２０に沿って走行する搬送動作を行うか、走行を停止して昇降体１６を昇降させる取得動作または解放動作を行うか、を切り替えることができる。例えば半導体設備においてはどの筐体５０をどの物品載置台３２（ロードポート）に配置すべきか、あるいはどの物品載置台３２に配置されている筐体５０をどの天井搬送車１０が搬送すべきであるか、といったことが設備の管理者が操作する上位装置によって指定されていることがある。その場合、制御器１５は、そうした指定情報を上位装置から受信して、天井搬送車１０が現在保持している（搬送している）筐体５０を配置すべき物品載置台３２の上方、あるいはその天井搬送車１０が搬送すべき筐体５０が配置されている物品載置台３２の上方に天井搬送車１０が到達した際に、走行台車１２による走行を停止し、取得動作または解放動作を開始する。ここで、制御器１５は、取得動作または解放動作のために昇降体１６を昇降させる前に、カメラ４０を用いて、動作開始時の本体部１４下方の状況を示す基準画像を撮像する。
【００２５】
例えば解放動作の開始時には、天井搬送車１０の下方の物品載置台３２には筐体５０が載っておらず、物品載置台３２の天面が露出している。図２の平面図に、物品載置台３２の天面の様子を示す。
【００２６】
物品載置台３２の天面には、筐体５０を配置すべき目標位置５５の目印として、指標体としてのロケートピン３６が設けられている。このロケートピン３６の配置・形状は、半導体製造設備のロードポートのものであれば規格により定められている。例えば上向き凸で平面視円形状のピンが３つ一組でそれぞれ正三角形の頂点をなすように天面に埋め込まれて配置され、その一組が１つの目標位置５５に対応する。図２の物品載置台３２には２ヵ所の目標位置５５が用意されている。
【００２７】
以下、図２中の左側の目標位置５５に対して解放動作が行われるものとして説明する。まず、カメラ４０により目標位置５５を含む撮像範囲４２の基準画像が撮像される。制御器１５は、その基準画像に対して画像処理を行い、画像内に含まれる複数（ここでは３つ）のロケートピン３６を探索する。例えば物品載置台３２が金属製で天面が金属光沢により銀色となっている一方で、ロケートピン３６が黒色に着色されているのであれば、銀色の背景の中に黒色の円が存在する部分を探索する。またロケートピン３６の頂上部が白色、裾部分が黒色というように色分けされているのであれば、白黒の二重円を探索する。
【００２８】
ロケートピン３６の探索は撮像範囲４２の全域に対して行われてもよいが、探索時間短縮のために、画像の内どの範囲で探索を行うかが予め定められていてもよい。例えば図２に示す楕円形の３つの探索範囲４６の中でロケートピン３６の探索が行われるようになっていてもよい。この探索範囲４６の設定としては例えば、「画像左端からＸピクセル右側、下端からＹピクセル上側の点を中心とする所定形状の楕円」といったように、どのような画像であっても定義することが可能な範囲が設定されているとよい。
【００２９】
ロケートピン３６が所定の数（ここでは３つ）だけ発見されたら、制御器１５は、それらのロケートピン３６の位置を基にして、障害物が存在するかどうかの監視対象となる監視範囲４８を決定する。例えば３つのロケートピン３６を通る仮想円３８の中心座標３９を算出し、その中心座標３９から所定距離を空けた範囲を監視対象４８とする。
【００３０】
ここで、３つのロケートピン３６の位置から、仮想円３８の横軸３８Ｘと縦軸３８Ｙの向きを算出することも可能である。この仮想円３８の横軸３８Ｘと縦軸３８Ｙの向きは、目標位置５５に筐体５０を配置する際の望ましい筐体５０の向きに対応する。図２においてはカメラ４０の向きがズレており撮像範囲４２の向きが仮想円３８の横軸３８Ｘと縦軸３８Ｙの向きから傾いている様子を示しているが、このように撮像範囲４２が傾いていても、３つのロケートピン３６の位置を基に、望ましい向きの横軸３８Ｘと縦軸３８Ｙを算出することが可能である。
【００３１】
前述のように中心座標３９から所定距離を空けた範囲を監視対象４８とする際には、撮像範囲４２が傾いている可能性も考慮し、画像の縦横枠に沿った方向の距離ではなく、算出された仮想円３８の横軸３８Ｘと縦軸３８Ｙと平行な方向の距離を用いて監視範囲４８の設定が行われることが望ましい。図２においては、仮想円３８の中心座標３９から横軸３８Ｘの方向で左右に距離ＬＸずつ開けた範囲、かつ中心座標３９から縦軸３８Ｙの方向で距離ＬＹ１だけ離れた位置から距離ＬＹ２だけ離れた位置までの長方形状の範囲が監視範囲４８となっている。なお図２に示すように、この監視範囲４８は目標位置５５よりも外側に設定されている。
【００３２】
一方、取得動作の開始時には、天井搬送車１０の下方の物品載置台３２には筐体５０が載っているため、カメラ４０により、この筐体５０の天面が撮像される。筐体５０が例えば半導体のウェハキャリアとしての前面開放一体式ポッド（FOUP）であれば、その形状、寸法は規格により予め定められている。特に、昇降体１６のアーム１９やチャックにより把持されるトップフランジ５２の輪郭形状が規格形状として定められている。
【００３３】
そこで取得動作時には、撮像された基準画像内からトップフランジ５２の規格形状に相似する形状を探索して指標部とする。図３の平面図に、具体的な筐体５０の天面形状、特にトップフランジ５２の輪郭形状の一例を図示する。
【００３４】
この輪郭形状には特徴的な形状の切り欠きなどが複数あるため、この全体形状と相似する形状があればほぼ確実にトップフランジ５２の位置を確定することができる。しかし物品載置台３２と筐体５０がどちらも銀色で色差がほとんどない場合や、設備照明の当たり方によりトップフランジ５２が十分に照らされていないような場合には全体形状を正確に探索することが困難である。そこで、ここでは複数の箇所で形状探索し、そのうちの数箇所を発見することでトップフランジ５２の位置を確定できるという手法を用いる。
【００３５】
具体的には、図３中に示すトップフランジ５２の四隅５４の形状を探索する。この四隅５４もそれぞれ特徴的な形状をしているため、これらと相似する形状が発見されればトップフランジ５２の位置が発見されたものと判断できる。なお、四隅５４の他に、トップフランジ５２各辺に設けられている切り欠き形状などを探索することも可能である。
【００３６】
例えば四隅５４のうち、右上と左下、または左上と右下、つまり対角線上の２つの部分が発見されればトップフランジ５２の位置を発見したものと判断できる。前述の通りトップフランジ５２の輪郭形状は規格により定められているので、そのうち指標部となる一部分だけでも発見されて位置が確定したならば、トップフランジ５２の他の部分の位置も算出が可能である。ここでは発見された四隅５４の位置を基に、トップフランジ５２の中心点５９の位置を算出する。そして、その中心点５９から所定距離を空けた範囲を監視対象４８とする。図３においては、中心点５９から左右に距離ＬＸずつ開けた範囲、かつ中心点５９から距離ＬＹ１だけ離れた位置から距離ＬＹ２だけ離れた位置までの長方形状の範囲が監視範囲４８となっている。なお図３に示すように、この監視範囲４８は筐体５０よりも外側に設定されている。
【００３７】
以上のようにして、取得動作または解放動作の開始時には、基準画像撮像の処理（図４のステップＳ１）、基準画像内の指標体または指標部を探索する指標探索の処理（ステップＳ２）、監視範囲４８設定の処理（ステップＳ３）が行われる。そして監視範囲４８が設定されたら、ホイスト機構１８により昇降体１６の昇降動作が開始される（ステップＳ４）。
【００３８】
昇降動作が始まったら、制御器１５は、カメラ４０を用いて昇降動作の最中における物品載置台３２天面の様子を示す動作中画像を撮像する（ステップＳ５）。そして、この動作中画像と基準画像との間で、監視範囲４８内に映っているものに違いが生じていないかどうかが判定される（ステップＳ６）。
【００３９】
ステップＳ６について詳しく説明すると、上記のように監視範囲４８は目標位置５５または筐体５０よりも外側に設定されているため、その監視範囲４８内には取得動作または解放動作の実行中、物品載置台３２の天面しか映らず、常に一定となる（基準画像の状態から変化しない）はずである。動作実行中に監視範囲４８内の画像に変化があるとすれば、それは監視範囲４８内に障害物（作業者の手など）が入り込んだということである。そこでステップＳ６では、動作中画像と基準画像との間で、監視範囲４８内について差分が生じていないかの判定が行なわれる。なお、障害物がなくとも装置の微小振動や照明条件の変動などにより些細な色彩変化が生じることはあるので、わずかな差分は許容する。差分が予め定められた閾値（例えば４０ピクセル）を超えた場合（ステップＳ６−ＹＥＳ）に、障害物が存在していると判定される。
【００４０】
障害物が存在していると判定された場合、制御器１５は昇降体１６や上位装置に対して障害物検知信号を発信する（ステップＳ７）。実際に障害物が存在した場合にどのように対処するかは設備によって異なるが、例えば障害物が除去されるまで動作を停止したり、あるいは「障害物が検知された」ことを記録はするが動作はそのまま継続したりすることが考えられる。
【００４１】
障害物検知信号の発信後、または動作中画像と基準画像との比較で閾値を超える差分が発見されなかった場合（ステップＳ６−ＮＯ）には、制御器１５は取得動作または解放動作が完了したかどうかを判定する（ステップＳ８）。これは例えば天井搬送車１０に設けられた重量計などにより昇降体１６が本体部１４内へ帰ってきており筐体５０が保持されているかどうかを調べることにより判定することが可能である。
【００４２】
取得動作または解放動作が完了している（ステップＳ８−ＹＥＳ）ならば、制御器１５は停止している走行台車１２の駆動を再開し、レールに沿った走行を行う搬送動作に移行する。まだ取得動作または解放動作が完了していない（ステップＳ８−ＮＯ）ならば、動作中画像を撮像するところから前述の動作を繰り返す（ステップＳ５に戻る）。以上のようにして、本実施形態の天井搬送車１０は障害物の有無を判定しながら取得動作または解放動作を行うことができる。
【００４３】
以上のステップＳ１からステップＳ８においては、基準画像と動作中画像との比較により障害物の有無を判定するのみであったが、この判定の履歴が記録として保存されてもよい。例えば天井搬送車１０に、得られた画像データを記録するための画像メモリが設けられているとよい。さらに、天井搬送車１０には現在時刻を測定する時計装置や、その日の稼働開始からの経過時間を計測するタイマが設けられていると好ましい。
【００４４】
例えばステップＳ１における基準画像の撮像時や、ステップＳ５における動作中画像の撮像時に、撮像された画像のデータが、その撮像が行われた時刻と共に画像メモリへ記録される。すなわち、画像の撮像時刻が記録される。このように撮像時刻が記録されることにより、障害物が発生した際、記録されている画像データと撮像時刻を照らし合わせることにより、動作のどの段階で障害物が発生したのかを知ることができる。また、画像が記録されているので、設備の管理者は、障害物がどのようなものだったのかを後で調べることができる。具体例としては、作業者がカメラ４０を遮ったのか、それとも誤検出なのか、について、画像を証拠として調べることが可能となる。カメラ４０は動作中の障害物の有無を調べるための撮像装置、つまり安全性を確保するための機器であるが、その安全性のための機器を、このように作業の履歴を記録するための機器としても利用できる。
【００４５】
上記の実施形態の天井搬送車１０によれば、カメラ４０によって撮像される撮像範囲４２に映る物体が全て検出できるため、従来の光学式の障害物検知センサでは検出できなかった、投光ピッチ（一定角度）の中間に収まる小さな障害物でも検出可能である。
【００４６】
また、従来の光学式の障害物検知センサでは照射角度のため機械的損耗を伴う駆動機構が必要であり寿命が短かったが、カメラ４０という撮像装置には駆動部が不要であり、機器の寿命が長くなる。
【００４７】
なお、上記の実施形態では図２に示すような探索範囲４６や監視範囲４８の設定を自動で行っているが、撮像された画像を制御器１５が外部の調整用コンソールなどの機器へ転送し、その調整用コンソールで作業者が実際に撮像された画像を確認しながら手動で設定を行うことも可能である。この場合でも画像を見ながら設定を変更するだけで障害物判定のための機器の調整が完了するので、従来の光学式の障害物検知センサについて行われていたような、作業者が高所に登って光源の照射角度を手作業で調整するという、時間と手間のかかる作業が不要となる。
【００４８】
また、上記の実施形態では解放動作において物品載置台３２上に筐体５０が存在しない場合にロケートピン３６を複数の指標体として用いて監視範囲４８の設定を行っているが、取得動作時、つまり物品載置台３２上に筐体５０が載っている場合でも、筐体５０天面に予め定められた配置のマーカーが複数設けられているならば、そのマーカーを複数の指標体として用いて監視範囲４８の決定が可能である。
【００４９】
上記の実施形態では取得動作において物品載置台３２上に筐体５０が載っている場合に筐体５０のトップフランジ５２の規格形状を指標部として用いて監視範囲４８の設定を行っているが、解放動作時、つまり物品載置台３２上に筐体５０が存在しない場合でも、物品載置台３２の天面に所定形状のマーカーが設けられているならば、そのマーカーの形状を指標部として用いて監視範囲４８の決定が可能である。
【００５０】
また、上記の実施形態では撮像範囲４２のうち監視範囲４８の状態を調べることで障害物の有無を判定しているが、画像中の輪郭形状を解析するなどして障害物と筐体５０（および正常な作業において写り込む可能性のある障害物ではないもの）との区別をつけることが可能なＡＩや画像解析プログラムなどを用いれば、撮像範囲４２全体（物品載置台３２とその周囲）に対して障害物の有無を判定することも可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０    天井搬送車
１６    昇降体
３２    物品載置台
３６    ロケートピン
４０    カメラ
４２    撮像範囲
４８    監視範囲
５０    筐体
５２    トップフランジ
【図１】
2020111419.tif 000003
【図２】
2020111419.tif 000004
【図３】
2020111419.tif 000005
【図４】
2020111419.tif 000006