(57)【要約】      （修正有）【課題】プラズマエッチング装置において、脱ガスの発生量が少なく簡便に脱着可能な防着シートを提供する。【解決手段】プラズマエッチング装置の真空室の内壁表面にエッチング処理によって発生する反応物が堆積することを防止するために、真空室の内壁表面に付着させるプラズマエッチング装置用防着シートである。前記プラズマエッチング装置用防着シートは、少なくともアラミド繊維からなる織物または編物である布帛からなる。前記布帛は、少なくとも熱可塑性樹脂層を有している。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマエッチング装置の真空室の内壁表面にエッチング処理によって発生する反応物が堆積することを防止するために、真空室の内壁表面に付着させるプラズマエッチング装置用防着シート。
【請求項２】
前記プラズマエッチング装置用防着シートが、布帛であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマエッチング装置用防着シート。
【請求項３】
前記布帛が、少なくともアラミド繊維からなる織物または編物であることを特徴とする請求項２に記載のプラズマエッチング装置用防着シート。
【請求項４】
前記布帛の厚みが、０．０１ｍｍ以上、１．０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項２または３に記載のプラズマエッチング装置用防着シート。
【請求項５】
前記布帛が、少なくとも熱可塑性樹脂層を有することを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載のプラズマエッチング装置用防着シート。
【請求項６】
前記熱可塑性樹脂層がシリコーン樹脂またはポリイミド樹脂を含有することを特徴とする請求項５に記載のプラズマエッチング装置用防着シート。
【請求項７】
前記プラズマエッチング装置用防着シートの全面積に対して前記熱可塑性樹脂層が形成された部分の面積が０．１％以上、４０％以下であることを特徴とする請求項５または６に記載のプラズマエッチング装置用防着シート。
【請求項８】
前記熱可塑性樹脂層の１％熱重量減少温度が２５０℃以上であることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載のプラズマエッチング装置用防着シート。
【請求項９】
請求項５〜８に記載のプラズマエッチング装置用防着シートの熱可塑性樹脂層を形成するために用いられる粘着シートであって、該粘着シートの熱可塑性樹脂層が２５℃において粘着性を有することを特徴とする粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマエッチング装置用防着シートおよび粘着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プラズマエッチング装置においては、エッチングガスを用いて有機物あるいは金属膜を選択的に除去することができるが、除去成分、エッチングガスの共重合成分、除去成分とエッチング成分の共重合成分などが発生し、これが真空室内に堆積することが課題となっていた（特許文献１）。
【０００３】
また、真空成膜装置（スパッタ装置、プラズマＣＶＤ成膜装置など）は減圧雰囲気化で原料の粒子を気体化させるなどして、基板に成膜する装置であるが、真空成膜装置においても装置の内壁に原料が堆積するため、堆積物の除去を簡便に行うことが求められている。特許文献２には真空成膜装置等において様々な防着版が検討されていることが記載されているが、“カプトン”（登録商標）テープ等の使用による固定方法は、特にテープの粘着成分から発生するガスが狙いとする成膜の純度に悪影響を及ぼすことが懸念されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３９９３９３０号
【特許文献２】特開２０１４−２０５８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
プラズマエッチング装置においては、真空成膜装置とは異なり成膜を目的としていないことから、テープ等の粘着成分から発生したガスによる表面汚染の懸念は少ない。そのため、粘着剤から発生するガス量が少なければ、粘着剤を用いた防着版の固定も許容できると考えられる。しかしながら、ガスの発生量は可能な限り抑えることが好ましい。一方で、真空室に防着体を脱着する方法は、簡便に作業可能なことが求められており、真空室の内壁の全面を耐熱テープで覆うためには、粘着層と真空室の内壁の間に空気が入らないように作業する必要があり、非常に時間がかかる作業である。
本発明が解決しようとする課題は、脱ガスの発生量が少なく簡便に脱着可能な防着シートを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明は、プラズマエッチング装置の真空室の内壁表面にエッチング処理によって発生する反応物が堆積することを防止するために、真空室の内壁表面に付着させるプラズマエッチング装置用防着シートからなる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ガスの発生が少ない防着シート、ガスの発生が少なく、簡便な脱着を可能とする粘着シートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、屈曲部への防着シート追随性評価における、防着シートの貼り合わせ箇所を示したものである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明において、防着シートにてプラズマエッチング装置の内壁を覆うことにより、真空エッチング処理により発生する堆積物が真空室の内壁に直接付着することを防ぐことができる。
【００１０】
本発明の防着シートとしては、金属フィルム、有機フィルム、布帛などの使用が考えられる。内壁の形状にもよるが、防着シートに柔軟性があると、固定が容易であるため、布帛を含有していることが好ましく、ガスを少なくする観点から耐熱性が高い布帛であることがより好ましい。具体的には布帛の分解温度が２００℃以上であることが好ましく、３００℃以上であることがより好ましい。布帛としては不織布、織物、編物のいずれでもよい。
【００１１】
耐熱性を有する布帛としては、限定するわけではないが、ガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維からなる織物あるいは編物等が挙げられる。アラミド繊維からなる織物あるいは編物であることが、布帛の柔軟性から好ましい。以下にアラミド繊維からなる織物あるいは編物の具体的な製品を挙げるが、これに限定されるものではない。
【００１２】
アラミド繊維の織物としては、帝国繊維株式会社製Ｔ７１３，Ｔ７７０、Ｋ７１３、Ｋ７２８、ＫＥ７４００，ＫＥ３０５１，ＫＥ２２１０、ＫＥ５８４７、ＫＥ２６５９などが挙げられる。より好ましくはフィラメント織物であるＴ７１３，Ｔ７７０、Ｋ７１３、Ｋ７２８、ＫＥ７４００である。紡績糸織物と比較して異物が発生しにくい。
【００１３】
アラミド繊維の編物としては帝国繊維株式会社製ＫＥ２０１８、ＫＥ２０２０１が挙げられる。
【００１４】
織物と編物のいずれを使用しても良いが、柔軟性の観点からは編物のほうがより好ましい。
布帛の厚みとしては０．０１ｍｍ以上、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．０２ｍｍ以上、０．５ｍｍ以下であることがより好ましい。布帛の厚みが０．０１ｍｍより薄いと、防着シートとしての強度が十分でなく、１．０ｍｍ以上であると布帛の原料の使用量が多くなり、防着シートの原料として高価になる。
【００１５】
防着シートとして布帛を用いる場合、熱可塑性樹脂層を有することが好ましい。布帛に熱可塑性樹脂層を有することで、布帛から糸などの異物が脱離することを抑えることができる。また熱可塑製樹脂層が室温で柔軟性をもつことで、布帛の柔軟性を損なわず取り扱うことができる。具体的には２５℃での引っ張り弾性率が０．０１ＭＰａ以上、１０ＭＰａ以下であることが好ましく、より好ましくは０．１ＭＰａ以上、２ＭＰａ以下である。
【００１６】
布帛に熱可塑性樹脂層を含有させる方法としては、特に限定するわけでは無いが熱可塑性樹脂層を含有する樹脂溶液を布帛に含ませた上で、オーブンなどで硬化させる方法がある。
【００１７】
また布帛の片面あるいは両面に熱可塑樹脂量層が偏在し、偏在している面が粘着性を有していることが好ましい。その粘着性により真空室の内壁に布帛を固定することが可能である。
【００１８】
偏在させる方法としては布帛の厚み以上の熱可塑性樹脂溶液中で硬化させる方法、布帛の片面にスプレーで樹脂溶液を塗布させる方法、熱可塑性樹脂溶液を離型処理がされたフィルム状で硬化したあとに、熱プレス等により転写させる方法などがあるが、これに限定されない。
【００１９】
熱可塑性樹脂層に含まれる樹脂としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、アクリロニトリル系樹脂、ブタジエン系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フェノール樹脂、脂環式樹脂などがある。ガスの発生を少なくするためには耐熱性の高い樹脂が好ましく、弾性率のコントロールが容易であることが好ましい。これらの観点からシリコーン樹脂あるいはポリイミド樹脂がより好ましく、ポリイミド樹脂がさらに好ましい。
【００２０】
シリコーン樹脂としてはシリコーン粘着剤が好ましい。具体的には東レ・ダウコーニング株式会社製  ＬＴＣ７５５  Ｃｏａｔｉｎｇ、７６４６  Ａｄｈｅｓｉｖｅ、ＳＨ  ４２８０  ＰＳＡ、Ｇ２−７７３５  Ａｄｈｅｓｉｖｅ、信越化学工業株式会社製  ＫＲ−１００、ＫＲ−１０１−１０、ＫＲ−１３０、ＫＲ−３７００、ＫＲ−３７０１、Ｘ−４０−３２３７、Ｘ−４０−３２４０、Ｘ−４０−３２９１−１、ＫＲ−３７０４、Ｘ−４０−３３２３，Ｘ−４０−３２７０−１，Ｘ−４０−３３０６が挙げられるが、これに限定するものではない。
【００２１】
ポリイミド樹脂は、少なくとも酸二無水物の残基とジアミンの残基を有するものである。熱可塑性を有するためには、主鎖上にアルキル基、エステル基、シリコーン基を有することが好ましい。耐熱性の観点からはシリコーン基を有することがより好ましい。シリコーン基を主鎖上に含有させるには、例えばシリコーン基を有する酸二無水物あるいはシリコーン基を有するジアミンを用いることが好ましく、原料の入手のしやすさからシリコーンジアミンを有することが好ましい。
【００２２】
ポリイミド樹脂に含まれる好ましいシリコーンジアミン残基は耐熱性および低弾性率の観点から、全ジアミン残基中５０モル％以上、９５モル％以下が好ましく、より好ましくは６０モル％以上、９２モル％以下、さらに好ましくは７０モル％以上、９０モル％以下である。
シリコーンジアミンの具体例としては、α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサン、α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジエチルシロキサン、α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジプロピルシロキサン、α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジブチルシロキサン、α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジフェノキシシロキサン、α，ω−ビス（２−アミノエチル）ポリジメチルシロキサン、α，ω−ビス（２−アミノエチル）ポリジフェノキシシロキサン、α，ω−ビス（４−アミノブチル）ポリジメチルシロキサン、α，ω−ビス（４−アミノブチル）ポリジフェノキシシロキサン、α，ω−ビス（５−アミノペンチル）ポリジメチルシロキサン、α，ω−ビス（５−アミノペンチル）ポリジフェノキシシロキサン、α，ω−ビス（４−アミノフェニル）ポリジメチルシロキサン、α，ω−ビス（４−アミノフェニル）ポリジフェノキシシロキサンなどが挙げられる。
【００２３】
ポリイミド樹脂は、芳香族ジアミンの残基または脂環式ジアミンの残基を有しても良い。耐熱性の観点から芳香族ジアミンがより好ましい。
芳香族ジアミンまたは脂環式ジアミンの具体例としては、以下の物が挙げられるがこれに限定されるものではない。
例えば、２，５−ジアミノフェノール、３，５−ジアミノフェノール、３，３’−ジヒドロキシベンジジン、４，４’−ジヒドロキシ−３，３’−ジアミノフェニルプロパン、４，４’−ジヒドロキシ−３，３’−ジアミノフェニルヘキサフルオロプロパン、４，４’−ジヒドロキシ−３，３’−ジアミノフェニルスルホン、４，４’−ジヒドロキシ−３，３’−ジアミノフェニルエーテル、３，３’−ジヒドロキシ−４，４’−ジアミノフェニルエーテル、４，４’−ジヒドロキシ−３，３’−ジアミノフェニルプロパンメタン、４，４’−ジヒドロキシ−３，３’−ジアミノベンゾフェノン、１，３−ビス（４−アミノ−３−ヒドロキシフェニル）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ベンゼン、ビス（４−（４−アミノ−３−ヒドロキシフェノキシ）ベンゼン）プロパン、ビス（４−（３−アミノ−４−ヒドロキシフェノキシ）ベンゼン）スルホン、ビス（４−（３−アミノ−４−ヒドロキシフェノキシ））ビフェニル、ｐ−フェニレンジアミン、ｍ−フェニレンジアミン、２，５−ジアミノトルエン、２，４−ジアミノトルエン、３，５−ジアミノ安息香酸、２，６−ジアミノ安息香酸、２−メトキシ−１，４−フェニレンジアミン、４，４’−ジアミノベンズアニリド、３，４’−ジアミノベンズアニリド、３，３’−ジアミノベンズアニリド、３，３’−ジメチル−４，４’−ジアミノベンズアニリド、９，９−ビス（４−アミノフェニル）フルオレン、９，９−ビス（３−アミノフェニル）フルオレン、９，９−ビス（３−メチル−４−アミノフェニル）フルオレン、９，９−ビス（３，５−ジメチル−４−アミノフェニル）フルオレン、９，９−ビス（３−メトキシ−４−アミノフェニル）フルオレン、９，９−ビス（４−アミノフェニル）フルオレン−４−カルボン酸、９，９−ビス（４−アミノフェニル）フルオレン−４−メチル、９，９−ビス（４−アミノフェニル）フルオレン−４−メトキシ、９，９−ビス（４−アミノフェニル）フルオレン−４−エチル、９，９−ビス（４−アミノフェニル）フルオレン−４−スルホン、９，９−ビス（４−アミノフェニル）フルオレン−３−カルボン酸、９，９−ビス（４−アミノフェニル）フルオレン−３−メチル、１，３−ジアミノシクロヘキサン、２，２’−ジメチルベンジジン、３，３’−ジメチルベンジジン、３，３’−ジメトキシベンジジン、２，４−ジアミノピリジン、２，６−ジアミノピリジン、１，５−ジアミノナフタレン、２，７−ジアミノフルオレン、ｐ−アミノベンジルアミン、ｍ−アミノベンジルアミン、４，４’−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、３，３’−ジアミノジフェニルエーテル、３，４’−ジアミノジフェニルエーテル、４，４’−ジアミノジフェニルスルホン、３，３’−ジアミノジフェニルスルホン、３，３’−ジアミノジフェニルメタン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、４，４’−ジアミノジフェニルサルファイド、３，３’−ジアミノベンゾフェノン、３，４’−ジアミノベンゾフェノン、４，４’−ジアミノベンゾフェノン、３，３’−ジメチル−４，４’−ジアミノジフェニルメタン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］メタン、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］メタン、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、１，４−ジアミノシクロヘキサン、４，４’−メチレンビス（シクロヘキシルアミン）、３，３’−メチレンビス（シクロヘキシルアミン）、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジメチルジシクロヘキシルメタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジメチルジシクロヘキシル、ベンジジンなどが挙げられる。上記芳香族ジアミンおよび脂環式ジアミンは単独でもよく、２種以上を使用してもよい。
【００２４】
前記ポリイミド樹脂は、酸二無水物残基として芳香族テトラカルボン酸二無水物の残基を含むことが好ましい。芳香族テトラカルボン酸二無水物の残基を含むことで１％重量減少温度を高くすることができる。
【００２５】
芳香族テトラカルボン酸二無水物の具体例としては、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、３,３’−ジアミノジフェニルスルホン、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、３，３’−ジアミノジフェニルエーテル、３，３’−ジアミノベンゾフェノン、ピロメリット酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’ジメチル−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、５，５’ジメチル−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルスルホキシドテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルスルフィドテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルメチレンテトラカルボン酸二無水物、４，４’−イソプロピリデンジフタル酸無水物、４，４’−（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ジフタル酸無水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、３，３’’，４，４’’−パラターフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’’，４，４’’−メタターフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、１，２，７，８−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物などが挙げられる。上記芳香族テトラカルボン酸二無水物は単独でもよく、２種以上使用してもよい。
【００２６】
また、ポリイミド樹脂の耐熱性を損なわない程度に脂肪族環を持つテトラカルボン酸二無水物を含有させることができる。脂肪族環を持つテトラカルボン酸二無水物の具体例としては、２，３，５−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，３，４−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，３，５−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−ビシクロヘキセンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、１，３，３ａ，４，５，９ｂ−ヘキサヒドロ−５−（テトラヒドロ−２，５−ジオキソ−３−フラニル）−ナフト［１，２−Ｃ］フラン−１，３−ジオンが挙げられる。上記テトラカルボン酸二無水物は単独でもよく、２種以上を使用してもよい。
【００２７】
前記ポリイミド樹脂の分子量の調整は、合成に用いるテトラカルボン酸成分およびジアミン成分を等モルにする、またはいずれかを過剰にすることにより行うことができる。テトラカルボン酸成分またはジアミン成分のどちらかを過剰とし、ポリマー鎖末端を酸成分またはアミン成分などの末端封止剤で封止することもできる。酸成分の末端封止剤としてはジカルボン酸またはその無水物が好ましく用いられ、アミン成分の末端封止剤としてはモノアミンが好ましく用いられる。このとき、酸成分またはアミン成分の末端封止剤を含めたテトラカルボン酸成分の酸当量とジアミン成分のアミン当量を等モルにすることが好ましい。
【００２８】
テトラカルボン酸成分が過剰、あるいはジアミン成分が過剰になるようにモル比を調整した場合は、安息香酸、無水フタル酸、テトラクロロ無水フタル酸、アニリンなどのジカルボン酸またはその無水物、モノアミンを末端封止剤として添加してもよい。
【００２９】
前記ポリイミド樹脂のテトラカルボン酸成分／ジアミン成分のモル比は、樹脂組成物の粘度が塗工等において使用し易い範囲になるように、適宜調整することができ、１００／１００〜１００／９５、あるいは１００／１００〜９５／１００の範囲でテトラカルボン酸成分／ジアミン成分のモル比を調整することが一般的である。モルバランスを崩していくと、樹脂の分子量が低下し、形成した膜の機械的強度が低くなり、粘着力も弱くなる傾向にあるので、粘着力が弱くならない範囲でモル比を調整することが好ましい。
前記ポリイミド樹脂を重合する方法には特に制限は無い。例えば、ポリイミド前駆体であるポリアミド酸を重合する時は、テトラカルボン酸二無水物とジアミンを有機溶剤中、０〜１００℃で１〜１００時間撹拌してポリアミド酸樹脂溶液を得る。ポリイミド樹脂が有機溶媒に可溶性となる場合には、ポリアミド酸を重合後、そのまま温度を１２０〜３００℃に上げて１〜１００時間撹拌し、ポリイミドに変換し、ポリイミド樹脂溶液を得る。この時、トルエン、ｏ−キシレン、ｍ−キシレン、ｐ−キシレンなどを反応溶液中に添加し、イミド化反応で出る水をこれら溶媒と共沸させて除去しても良い。
【００３０】
ポリイミド樹脂、あるいはポリイミド前駆体であるポリアミド酸合成の溶媒としては、例えば、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドなどのアミド系極性溶媒、また、β−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、δ−バレロラクトン、γ−カプロラクトン、ε−カプロラクトンなどのラクトン系極性溶媒、他には、メチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルカルビトール、エチルカルビトール、乳酸エチル、プロピレングリコールモノ−ｔ−ブチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｔ−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジプロピルエーテル、ジプロピレングリコールジ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールジ−ｔ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、シクロヘキサノン等が挙げられるが、これに限定されない。これらは単独で用いても良いし、２種以上用いても良い。
【００３１】
また粘着シートは熱可塑製樹脂層からなる２５℃で粘着性を有するシートである。ここで、「２５℃で粘着性を有する」とは、室温で基板とフィルムを接着できることを言う。例えば“カプトン”（登録商標）５００Ｈに４ｃｍ角の粘着シートを貼り付け、そこにアズワン株式会社製  Ａ６０６３Ｓ  （アルマイト加工アルミ基板  ３ｃｍ角  厚み３ｍｍ）と接着させる。その後、カプトンを垂直に固定しても、基板が自重で落下しない程度の粘着性を有していることを言う。粘着性の評価は、粘着シートをフィルム上に作成することでも評価をすることが可能である。粘着性を有していない防着シートを、粘着シートにより真空室の内壁に固定することも好ましい。粘着シートは耐熱フィルムや耐熱布と比較して、高耐熱化することが難しいため、ガスの発生を抑える観点から使用量は少ないことが求められる。粘着シートを防着シートに部分的に貼り、プラズマエッチング装置の真空室の内壁表面に固定することで、粘着シートの使用量を低くすることができる。あるいは粘着シートを先に真空室の内壁に付着させ、そこに粘着性を有していない防着シートを貼り付けることも可能である。
さらには防着シート同士を固定することも可能である。真空室が筒状である場合、防着シートを粘着シートにより筒状に成形すると、固定がより容易になるため好ましい。
【００３２】
上記のガス発生の観点から、防着シートの全面積に対して粘着シートの面積が０．１％以上、４０％以下であることが好ましい。０．１％より小さいと固定が不十分で使用中に剥離する恐れがある。４０％より多いことは、ガスの観点から好ましくない。より好ましくは０．５％以上、２０％以下で有り、さらに好ましくは１％以上、１０％以下である。
さらに粘着シートは防着シートを貼り合わせなくても、単独で防着シートとして使用することも可能である。ガスの発生の観点から、防着シートの貼り付けが困難な屈曲部にのみ使用することが好ましい。
粘着シートは熱可塑製樹脂層を架橋させるためにメチロール系樹脂、エポキシ系樹脂を含有することが好ましい。架橋成分がないと熱処理後に粘着シートを剥離すると、糊残りが発生しやすくなる。
【００３３】
粘着シートの作成方法としては、少なくとも熱可塑製樹脂層を含有する樹脂溶液を剥離処理された容器、フィルムあるいは基板上で硬化させることで作成することができる。簡易的にはフッ化炭素を主成分とするシャーレ上に上記樹脂溶液を入れ、加熱により溶媒を除去することで得ることができる。
【００３４】
工業的にはガラス上にスリットコーターなどで塗工し硬化、あるいは離型処理を施した“カプトン”（登録商標）上にコンマコーター等で硬化することで作成することができる。
粘着シートの厚みは０．０１ｍｍ以上、０．５ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０．０５ｍｍ以上、０．４ｍｍ以下、さらに好ましくは０．１ｍｍ以上、０．３ｍｍである。粘着シートの厚みが０．０１ｍｍより薄いと、取り扱いが難しく、０．４ｍｍ以上であるとガス量が大きくなる懸念がある。
【００３５】
また、粘着シートの１％重量減少温度は２５０℃以上であることが好ましく、より好ましくは３００℃以上である。１％重量減少温度が、２５０℃より少ないと、ガス量が大きくなる懸念がある。
【００３６】
１％重量減少温度は、熱重量分析装置（ＴＧＡ）を用いて測定することができる。測定方法については、所定量の樹脂をＴＧＡに仕込み、６０℃で３０分保持して樹脂が吸水している水分を除去する。次に、５℃／分で４００℃まで昇温する。得られた重量減少曲線の中から重量が１％減少する温度を評価することで、１％重量減少温度を測定することができる。
粘着シートは室温で貼り付け可能で、真空室にて長時間処理した後も残渣なく簡単に剥離できることが好ましい。さらには基板を加熱すること、あるいはエッチングにより基板の温度が上昇することがあるため、真空雰囲気化の温度も上昇すると考えられる。そのため熱処理後においても、簡単に剥離できることが好ましい。また、剥離評価のために耐熱フィルム上で粘着シートを硬化させることで、耐熱テープが作成できる。この耐熱テープの剥離強度を測定することで、粘着シートの剥離評価を容易にすることが可能である。粘着シート単独では、粘着シートが柔軟性を有していることから、剥離評価において粘着シートが伸びてしまい、測定が困難である。耐熱テープの剥離強度は常温貼り付け後は貼り直しが可能な程度に低い初期粘着性が好ましい。また熱処理後であっても、ピール強度が弱いことが好ましい。例えば、アルマイト加工アルミ基板としては、アズワン株式会社製  Ａ６０６３Ｓ  （アルマイト加工アルミ基板）に耐熱テープを貼り付け、アルマイト加工アルミ基板から９０°方向へ毎秒１ｍｍの速度で剥離した際の剥離強度を測定することで評価可能である。室温貼り付け後の剥離強度は、０．０１Ｎ／ｃｍ以上、１．５Ｎ／ｃｍ以下であることが好ましい。０．０２Ｎ／ｃｍ以上、１．０Ｎ／ｃｍ以下となることがより好ましく、０．０３Ｎ／ｃｍ以上、０．５Ｎ／ｃｍ以下となることがより好ましい。０．０１Ｎ／ｃｍより小さいと使用中の剥がれが懸念され、１．５Ｎ／ｃｍより大きいと貼り直しの作業性が低下する。オーブンで２６０℃１時間処理を行った場合、剥離強度は２．０Ｎ／ｃｍ以下であることが好ましく、１．５Ｎ／ｃｍ以下となることがより好ましい。２．０Ｎ／ｃｍより大きいと、防着シートの剥離の作業性が低くなる。
【実施例】
【００３７】
以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００３８】
合成例１（ポリイミド樹脂溶液）
温度計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷却装置、および、撹拌装置を付した反応釜に、信越化学工業製  Ｘ−２２−１６１Ａ（シリコーンジアミン系化合物）ＡＰＰＳを１３１．７５ｇ、４，４’−ジヒドロキシ−３，３’−ジアミノフェニルスルホン ４．２ｇ、をシクロヘキサノン１１１．３２ｇと共に仕込み、溶解させた後、３，３’，４，４’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物３１．０２ｇを添加し、室温で１時間、続いて６０℃で１時間、続いて１５０℃で４時間反応後、溶剤シクロヘキサノンを用いて濃度を調整して６０質量％のポリイミド樹脂溶液（ｃ−１）を得た。
【００３９】
製造例１（粘着剤溶液の調製）
撹拌装置を付した反応釜に、ポリイミド樹脂溶液（ｃ−１）を８６．４８ｇ、大阪ガスケミカル株式会社製エポキシ樹脂“オグソール”（登録商標）ＣＧ−５００を２．５９ｇ、株式会社三和ケミカル製メチロール樹脂“ニカラック”（登録商標）ＭＷ−１００ＬＭを０．５２ｇ、シクロヘキサノン１０．４１ｇを共に仕込み、室温で２時間撹拌して粘着剤溶液（ｄ−１）を得た。
【００４０】
実施例１
株式会社サンプラテック製ＰＴＦＥシャーレ（内径９０ｍｍ）に５ｃｍ角にカットした帝国繊維株式会社製アラミド繊維からなる編物ＫＥ２０１８(厚さ０．９ｍｍ)を置き、粘着剤溶液（ｄ−１）１．０ｇを上からスポイトで織物全面が浸されるように加えた。その後、オーブンにて１５０℃１時間、２００℃１時間、２５０℃１時間と３段階で加熱を行った。その後、Ｔ−７１３の内側でカットすることにより、防着シート（Ａ−１）を作成した。防着シート（Ａ−１）では未処理の編み物で発生していた糸の脱落が発生しなくなっているが、シートは柔軟であった。しかしながら、株式会社アルファーパーチェス製  Ａ６０６３Ｓ  （アルマイト加工アルミ基板）に貼り付けることはできなかった。
【００４１】
実施例２
株式会社サンプラテック製ＰＴＦＥシャーレ（内径９０ｍｍ）に５ｃｍ角にカットした帝国繊維株式会社製アラミド繊維からなる織物Ｔ７１３(厚さ０．４ｍｍ)を置き、粘着剤溶液（ｄ−１）７．５ｇを上からスポイトで織物全面が浸されるように加えた。その後、オーブンにて１５０℃１時間、２００℃１時間、２５０℃１時間と３段階で加熱を行った。その後、Ｔ−７１３の内側でカットすることにより、防着シート（Ａ−２）を作成した。防着シート（Ａ−２）では未処理の織物で発生していた端部のバラケもなく、また株式会社アルファーパーチェス製  Ａ６０６３Ｓ  （アルマイト加工アルミ基板）に容易に貼り付けることが可能であり、オーブンで２６０℃１時間の熱処理後も容易に剥離可能であった。
【００４２】
実施例３
粘着剤溶液（ｄ−１）をバーコーターを用いて、支持フィルム層ＳＲ７（厚さ７５μｍ、ポリエステルフィルム、大槻工業株式会社製）上に塗布し、１５０℃で１０分間乾燥を行い、接着剤層の厚みが５０μｍの粘着層を作成した。この粘着層を帝国繊維株式会社製アラミド繊維からなる織物Ｔ７１３に１５０℃にて加圧転写し、さらにオーブンにて２５０℃１時間加熱することで、防着シート（Ａ−３）を得ることができた。防着シート（Ａ−３）においても、株式会社アルファーパーチェス製  Ａ６０６３Ｓ  （アルマイト加工アルミ基板）に容易に貼り付けることが可能であり、２００℃の熱処理後も容易に剥離可能であった。
【００４３】
さらにこの粘着層を東レ・デュポン株式会社製“カプトン”(登録商標)２００Ｈ(厚さ０．０５ｍｍ)に加圧転写後、オーブンで２５０℃１時間キュアして、耐熱テープを作成した。
【００４４】
耐熱テープを１ｃｍ幅にスリットし、株式会社アルファーパーチェス製  Ａ６０６３Ｓ  （アルマイト加工アルミ基板）に貼り付けた。貼り付け直後の剥離強度は０．０６Ｎ／ｃｍであった。オーブンにて２６０℃１時間処理後の剥離強度は１．３Ｎ／ｃｍであった。
【００４５】
実施例４
株式会社サンプラテック製ＰＴＦＥシャーレ（内径９０ｍｍ）に粘着剤溶液（ｄ−１）５．０ｇを入れた。その後、オーブンにて１５０℃１時間、２００℃１時間、２５０℃１時間と３段階で加熱を行い、粘着シート（Ｄ−１）を得た。
粘着シート（Ｄ−１）を３ｃｍ×１ｃｍにカットした粘着シートを用いると、防着シート（Ａ−１）を５ｃｍ×５ｃｍにカットしたフィルム、東レ・デュポン株式会社製“カプトン”(登録商標)５００Ｈ(厚さ０．１２５ｍｍ)を５ｃｍ×１０ｃｍにカットしたフィルムを垂直に固定したアルマイト加工アルミ基板に貼り付けても、自重で剥離することが無く、室温で１週間放置しても貼り付け状態を保持していた。
さらに “カプトン”（登録商標）５００Ｈに４ｃｍ角の粘着シート（Ｄ−１）を貼り付け、そこにアズワン株式会社製  Ａ６０６３Ｓ  （アルマイト加工アルミ基板  ３ｃｍ角  厚み３ｍｍ）と接着させた。その後、カプトンを垂直に固定しても、基板が自重で落下することはなかった。
さらに、この貼り合わせ基板をオーブンにて２６０で１時間処理を行った。目視での観察では、剥離は見られず、気泡の発生もなかった。また粘着シートはカプトンおよびアルマイト加工アルミ基板から容易に剥離することができ、残渣は確認されなかった。
なお、粘着シート（Ｄ−１）の１％重量減少温度は３４５℃であった。
【００４６】
実施例５  
藤原産業製  “セフティー３”(登録商標)  ２１ｃｍ広口じょうご(アルミ製)を用いて屈曲部への防着シートへの追随性を評価した。防着シート（Ａ−２）、防着シート（Ａ−３）ならびに実施例３で作成した耐熱テープを３ｃｍ角にカットし、広口じょうごの図１に示す箇所に貼り付けを行った。防着シート（Ａ−２）は防着シートにシワがよることなく貼り付けが可能であった。防着シート（Ａ−３）は防着シートにシワが発生したものの貼り付けは可能であった。耐熱テープは屈曲部への貼り付けは困難であった。
【図１】
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