(57)【要約】【課題】蒸気洗浄後の乾燥を早く行うことができる蒸気洗浄・減圧乾燥装置を提供する。【解決手段】蒸気洗浄・減圧乾燥装置１０は、ワークＷを気密に収容する真空槽１１と、真空槽１１内に洗浄液の蒸気を供給する蒸気発生槽（蒸気供給部）１２と、排気口１３２が真空槽１１には接続されていない真空ポンプ１３と、真空槽１１と真空ポンプ１３の吸気口１３１を接続する第１排気管１６１と、第１排気管１６１の途中に設けられた凝縮器１４と、第１排気管１６１とは別に設けられた、真空槽１１と真空ポンプ１３の吸気口１３１を接続する第２排気管１６２と、真空槽１１と真空ポンプ１３との間の排気経路を第１排気管１６１と第２排気管１６２のいずれかに切り替える切替弁１９１とを備える。真空槽１１内に残存していた洗浄液の蒸気を凝縮器１４で凝縮させる操作を行う段階から突沸乾燥を行うことができるため、蒸気洗浄後の乾燥を早く行うことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
a) ワークを気密に収容する真空槽と、
b) 前記真空槽内に洗浄液の蒸気を供給する蒸気供給部と、
c) 排気口が前記真空槽には接続されていない真空ポンプと、
d) 前記真空槽と前記真空ポンプの吸気口を接続する第１排気管と、
e) 前記第１排気管の途中に設けられた凝縮器と、
f) 前記第１排気管とは別に設けられた、前記真空槽と前記真空ポンプの吸気口を接続する第２排気管と、
g) 前記真空槽と前記真空ポンプとの間の排気経路を前記第１排気管と前記第２排気管のいずれかに切り替える切替弁と
を備えることを特徴とする蒸気洗浄・減圧乾燥装置。
【請求項２】
さらに、前記第２排気管内を加熱するヒータを備えることを特徴とする請求項１に記載の蒸気洗浄・減圧乾燥装置。
【請求項３】
さらに、前記排気口に接続されている、洗浄液の貯留槽を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸気洗浄・減圧乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを蒸気で洗浄した後に減圧下で乾燥する蒸気洗浄・減圧乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗浄液を気化させた蒸気を用いてワークを洗浄した後に、ワークに付着した洗浄液を除去するために減圧乾燥を行う蒸気洗浄・減圧乾燥装置が用いられている（例えば特許文献１参照）。蒸気洗浄・減圧乾燥装置では、まず、真空槽内にワークを収容したうえで、蒸気を該真空槽内に導入する。これにより、蒸気が低温のワークの表面に接触して液化し、該表面が洗浄される（蒸気洗浄）。この液化の際に、蒸気はワークと熱交換を行い、ワークが加温される。ワークの表面が十分に洗浄され、ワークが十分加温された後、蒸気の供給を停止し、真空槽内を減圧することにより、ワークの表面に付着していた洗浄液が気化し、該表面が乾燥する（減圧乾燥）。
【０００３】
蒸気洗浄が終了した後、そのまま真空槽内を減圧すると、真空槽内に蒸気の状態のままで残存する洗浄液が真空槽から排出されて真空ポンプ内に侵入し、そこで冷却されて凝縮（液化）する。その結果、真空ポンプの動作が妨げられ、真空槽内を減圧させる能力が低下してしまう。そこで従来より、真空槽と真空ポンプの間に凝縮器を設け、蒸気が真空ポンプに到達する前に凝縮器で蒸気を凝縮させることが行われている（例えば、特許文献１の「従来の技術」欄参照）。しかしながら、この構成では、凝縮器内で液化した洗浄液が真空ポンプで減圧されることにより蒸発してしまうため、真空槽内の圧力を凝縮器内での洗浄液の蒸気圧以下に下げることが難しい。
【０００４】
そこで特許文献１に記載の蒸気洗浄・減圧乾燥装置では、蒸気洗浄が終了した後、真空槽内の蒸気を吸引し、蒸気を凝縮する凝縮器を介して真空槽に戻すという第１工程を行った後に、凝縮器を介することなく真空槽内を減圧することによりワークを減圧乾燥させるという第２工程を行う。この構成によれば、真空槽内の圧力を第１工程において凝縮器内の蒸気圧まで下げた後、第２工程で真空ポンプの能力まで低下させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平11-030478号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の装置では、第１工程において凝縮器内の蒸気を真空槽に戻すことから、真空槽内の真空度の低下が緩慢となる。
【０００７】
真空槽内におけるワークの洗浄は、前述のとおり、次のように行われる。まず、真空槽内にワークを収容したうえで、蒸気を該真空槽内に導入する。これにより、蒸気が低温のワークの表面に接触して液化し、該表面が洗浄される（蒸気洗浄）。この液化の際に、蒸気はワークと熱交換を行い、ワークが加温される。ワークの表面が十分に洗浄され、ワークが十分加温された後、蒸気の供給を停止し、真空槽内を減圧することにより、ワークの表面に付着していた洗浄液が気化し、該表面が乾燥する（減圧乾燥）。この減圧乾燥の際に、減圧を急速に行うことにより、ワーク表面に付着した洗浄液の内部から突沸を生じさせ、乾燥を促進することができる（突沸乾燥）。
【０００８】
しかし、特許文献１に記載の装置では、このような急速な減圧ができないことから、突沸乾燥を行うことができない。
【０００９】
本発明が解決しようとする課題は、蒸気洗浄後の乾燥を早く行うことができる蒸気洗浄・減圧乾燥装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために成された本発明に係る蒸気洗浄・減圧乾燥装置は、
a) ワークを気密に収容する真空槽と、
b) 前記真空槽内に洗浄液の蒸気を供給する蒸気供給部と、
c) 排気口が前記真空槽には接続されていない真空ポンプと、
d) 前記真空槽と前記真空ポンプの吸気口を接続する第１排気管と、
e) 前記第１排気管の途中に設けられた凝縮器と、
f) 前記第１排気管とは別に設けられた、前記真空槽と前記真空ポンプの吸気口を接続する第２排気管と、
g) 前記真空槽と前記真空ポンプとの間の排気経路を前記第１排気管と前記第２排気管のいずれかに切り替える切替弁と
を備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る蒸気洗浄・減圧乾燥装置では、蒸気洗浄は真空槽内にワークを収容したうえで、洗浄液の蒸気を蒸気供給部から真空槽内に供給することにより行う。これによってワークの表面が十分に洗浄され、ワークが十分加温された後、蒸気供給部からの蒸気の供給を停止し、以下のように減圧乾燥を行う。
【００１２】
まず、切替弁によって排気経路を第１排気管側に設定する。すると、洗浄後に真空槽内に残存していた洗浄液の蒸気は、真空槽から凝縮器に導入され、その多くが凝縮器で凝縮する。そのため、洗浄液の蒸気が真空ポンプ内で凝縮することが抑えられ、真空槽内を減圧させる能力が低下することが抑えられる。凝縮器を通過した気体は吸気口から真空ポンプを経て排出口から排出される。この排出口が真空槽には接続されていないことから、気体は真空槽に戻されることなく、真空槽の外に排出される。これにより、真空槽内を急速に減圧し、ワーク表面に付着した洗浄液の内部から突沸を生じさせ、乾燥を促進することができる（突沸乾燥）。このように、真空槽内に残存していた洗浄液の蒸気を凝縮器で凝縮させる段階から突沸乾燥を行うため、蒸気洗浄後の乾燥を早く行うことができる。
【００１３】
この操作をしばらく継続すると、蒸気洗浄の終了後に真空槽内に残存していた蒸気及び突沸乾燥の開始時にワーク表面から気化した洗浄液の気体はほぼ排出され、真空槽からは、突沸乾燥の開始時には気化し切らずにワーク表面に残存した洗浄液のみが排出されるようになる。そうなると、真空槽から排出される気体を、凝縮器を介さずに直接真空ポンプに導入しても、真空ポンプの動作はほとんど妨げられない。そこで、切替弁により、排気経路を第２排気管側に切り替える。これにより、凝縮器内で液化した洗浄液が真空ポンプで減圧されることで蒸発することを防ぎ、真空槽内の減圧が促進されるため、ワークの乾燥をさらに促進することができる。
【００１４】
本発明に係る蒸気洗浄・減圧乾燥装置において、さらに、前記第２排気管内を加熱するヒータを備えることが望ましい。これにより、第２排気管を通して真空槽内を減圧する際に、真空槽から排出された洗浄液の蒸気が第２排気管内で加熱されるため、真空ポンプ内で多少冷却されても蒸気の状態のままで通過し易くなり、真空ポンプにおいて蒸気が液化することを抑えることができる。そのため、真空槽内を減圧させる能力が低下することをより一層抑えることができる。
【００１５】
本発明に係る蒸気洗浄・減圧乾燥装置において、さらに、前記（真空ポンプの）排気口に接続されている、洗浄液の貯留槽を備えることが望ましい。これにより、第１排気管を通して真空槽内を減圧する際に凝縮器で凝縮しなかった洗浄液、及び第２排気管を通して真空槽内を減圧する際に真空槽から排出された洗浄液を貯留槽で回収し、蒸気洗浄・減圧乾燥装置の周囲の環境に悪影響を与えることを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る蒸気洗浄・減圧乾燥装置により、蒸気洗浄後の乾燥を早く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る蒸気洗浄・減圧乾燥装置の一実施形態を示す概略構成図。
【図２】本実施形態の蒸気洗浄・減圧乾燥装置における真空乾燥時の初期の動作を示す概略図。
【図３】本実施形態の蒸気洗浄・減圧乾燥装置における真空乾燥時の後期の動作を示す概略図。
【図４】本実施形態の蒸気洗浄・減圧乾燥装置の変形例を示す概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１〜図４を用いて、本発明に係る蒸気洗浄・減圧乾燥装置の実施形態を説明する。
【００１９】
(1) 本実施形態の蒸気洗浄・減圧乾燥装置の構成
本実施形態の蒸気洗浄・減圧乾燥装置１０は、図１に示すように、真空槽１１と、蒸気発生槽（蒸気供給部）１２と、真空ポンプ１３と、凝縮器１４と、凝縮器側一時貯留槽１５１と、真空槽側一時貯留槽１５２と、貯留槽１５とを有する。
【００２０】
真空槽１１と蒸気発生槽１２は蒸気供給管１２１で接続されている。真空槽１１と真空ポンプ１３の吸気口１３１は、途中に凝縮器１４が設けられた第１排気管１６１と、凝縮器１４を介することなく設けられた第２排気管１６２という2つの排気管で接続されている。第１排気管１６１及び第２排気管１６２の真空槽１１側は、共通の真空槽側接続管１６５１によって該真空槽１１と接続されている。また、第１排気管１６１及び第２排気管１６２の吸気口１３１側は、共通のポンプ側接続管１６５２によって該吸気口１３１と接続されている。真空ポンプ１３の排気口１３２は第３排気管１６３によって貯留槽１５の下部（後述のように、該貯留槽１５に貯留される洗浄液Ｌの液面よりも下側）と接続されており、真空槽１１には接続されていない。第２排気管１６２にはヒータ１８が設けられている。
【００２１】
凝縮器１４の底部と凝縮器側一時貯留槽１５１は第１洗浄液回収管１７１により接続され、凝縮器側一時貯留槽１５１と貯留槽１５は第２洗浄液回収管１７２により接続されている。真空槽１１の底部と真空槽側一時貯留槽１５２は第３洗浄液回収管１７３により接続され、真空槽側一時貯留槽１５２と貯留槽１５は第４洗浄液回収管１７４により接続されている。第４洗浄液回収管１７４中には送液ポンプ１７４１が設けられている。また、真空槽側一時貯留槽１５２とポンプ側接続管１６５２の間は真空槽側一時貯留槽排気管１６４で接続されている。
【００２２】
真空槽１１は、ワークＷを気密に収容するものである。真空槽１１の上面には蓋１１１が設けられており、ワークＷを真空槽１１内に搬入する時、及びワークＷを真空槽１１から搬出する際には蓋１１１を開放し、蒸気洗浄及び真空乾燥を行っている間は蓋１１１を閉鎖することにより真空槽１１内を密閉（気密に）することができる。
【００２３】
蒸気発生槽１２は、洗浄液Ｌを加熱することにより、洗浄液Ｌの蒸気を発生させるものである。
【００２４】
真空ポンプ１３は、後述のように第１排気管１６１と第２排気管１６２のいずれかを通して真空槽１１内を排気するポンプである。真空槽１１は気密であるため、真空ポンプ１３で内部が排気されると、内部の圧力は低下（真空度は上昇）する。
【００２５】
凝縮器１４は、それを通過する気体を冷却することにより、該気体を凝縮させる（液化する）ものである。
【００２６】
貯留槽１５は、真空槽１１内から回収される洗浄液Ｌを貯留するものである。第３排気管１６３からは、真空ポンプ１３の排気口１３２から排気された洗浄液の蒸気（気体）が貯留槽１５内に導入され、貯留槽１５内に貯留されている液体の洗浄液Ｌに吸収され、液体となって回収される。洗浄液Ｌに吸収されなかった気体は、貯留槽１５に設けられた排出口（図示せず）から排出される。
【００２７】
凝縮器側一時貯留槽１５１は、真空槽１１内から回収される洗浄液Ｌのうち、凝縮器１４で凝縮するものを一時的に貯留するものである。上述のように、貯留槽１５には第３排気管１６３及び第２洗浄液回収管１７２が接続されており、それらのうち前者は貯留槽１５に貯留される洗浄液Ｌの液面よりも下側に接続されている。真空槽側一時貯留槽１５２は、真空槽１１内で液化した洗浄液Ｌを一時的に貯留するものである。
【００２８】
ヒータ１８は、第２排気管１６２の外周に設けられており、第２排気管１６２内を通過する気体を加熱するものである。
【００２９】
第１排気管１６１の凝縮器１４よりも真空槽側接続管１６５１寄りの位置には開閉弁１９１１が、第１排気管１６１の凝縮器１４よりもポンプ側接続管１６５２の位置には開閉弁１９１２が、第２排気管１６２のヒータ１８よりも真空槽側接続管１６５１寄りの位置には開閉弁１９１３が、第２排気管１６２のヒータ１８よりもポンプ側接続管１６５２の位置には開閉弁１９１４が、それぞれ設けられている。これら4個の開閉弁１９１１〜１９１４は、図示せぬ制御部により、以下のように開放又は閉鎖される。開閉弁１９１１と１９１２は常に同時に開放又は閉鎖され、開閉弁１９１３と１９１４は常に同時に開放又は閉鎖される。また、開閉弁１９１１及び１９１２が開放されるときには開閉弁１９１３及び１９１４は閉鎖され、開閉弁１９１３及び１９１４が開放されるときには開閉弁１９１１及び１９１２は閉鎖される。これらの制御により、開閉弁１９１１及び１９１２が開放され（図２中で"O"と表記）、開閉弁１９１３及び１９１４が閉鎖されている（図２中で"C"と表記）ときには、真空槽１１と真空ポンプ１３との間の排気経路は第１排気管１６１側となる（図２中に太線で表示）。一方、開閉弁１９１３及び１９１４が開放され（図３中で"O"と表記）、開閉弁１９１１及び１９１２が閉鎖されている（図３中で"C"と表記）ときには、真空槽１１と真空ポンプ１３との間の排気経路は第２排気管１６２側となる（図３中に太線で表示）。このように、これら4個の開閉弁１９１１〜１９１４を合わせたものは、真空槽１１と真空ポンプ１３との間の排気経路を第１排気管１６１と第２排気管１６２のいずれかに切り替える切替弁１９１として機能する。
【００３０】
蒸気供給管１２１には、開放時に真空槽１１に蒸気を供給し、閉鎖時に真空槽１１への蒸気の供給を停止する蒸気供給制御弁１９２が設けられている。また、第１洗浄液回収管１７１、第２洗浄液回収管１７２、第３洗浄液回収管１７３及び第４洗浄液回収管１７４にはそれぞれ、開閉弁である第１排液弁１９３１、第２排液弁１９３２、第３排液弁１９３３及び第４排液弁１９３４が設けられている。真空槽１１、凝縮器１４、凝縮器側一時貯留槽１５１及び真空槽側一時貯留槽排気管１６４には、それらの内部を大気に開放する（真空を破る）大気開放弁１９４１、１９４２、１９４３及び１９４４が設けられている。また、真空槽側一時貯留槽排気管１６４には、真空槽側一時貯留槽１５２とポンプ側接続管１６５２との間の排気経路を開閉する開閉弁１９５が設けられている。
【００３１】
(2) 本実施形態の蒸気洗浄・減圧乾燥装置の動作
次に、本実施形態の蒸気洗浄・減圧乾燥装置１０の動作を説明する。
【００３２】
(2-1) 蒸気洗浄時
まず、真空槽１１の蓋１１１を開放し、ワークＷを真空槽１１内に収容した後、蓋１１１を閉鎖する。この状態で、蒸気供給制御弁１９２、第２排液弁１９３２及び第４排液弁１９３４を閉鎖し、第１排液弁１９３１及び第３排液弁１９３３を開放した状態で真空ポンプ１３を動作させる。そして、開閉弁１９１３及び１９１４を閉鎖し、開閉弁１９１１及び１９１２を開放する。これにより、真空槽１１、凝縮器１４、凝縮器側一時貯留槽１５１及び真空槽側一時貯留槽１５２内が減圧される。
【００３３】
真空槽１１内の大気が十分に排出され、真空槽１１内が減圧された後、開閉弁１９１１及び１９１２を閉鎖する。続いて蒸気供給制御弁１９２を開放し、蒸気発生槽１２から蒸気供給管１２１を通して真空槽１１内に洗浄液Ｌの蒸気を供給する。これにより、蒸気の一部がワークＷと熱交換して該ワークＷの表面で液化し、ワークＷの表面が洗浄される（蒸気洗浄）。その際、真空槽１１内で蒸気が液化した洗浄液Ｌは、第３洗浄液回収管１７３を介して真空槽側一時貯留槽１５２に回収される。
【００３４】
真空槽１１内の圧力が蒸気発生槽１２内と同程度まで上昇（真空度が低下）したとき、蒸気供給制御弁１９２を閉鎖し、真空槽１１内への洗浄液Ｌの蒸気の供給を停止する。なお、この蒸気の供給を停止するタイミングは、例えば、蒸気洗浄中に真空槽１１内の圧力を測定し、その圧力の値が所定値以上となった時とする。あるいは、通常は蒸気の供給開始から真空槽１１内の圧力が所定値に達するまでの時間はほぼ一定であることから、蒸気の供給開始から所定時間経過した時を蒸気の供給停止のタイミングとしてもよい。このように蒸気の供給を停止した後、開閉弁１９１１及び１９１２を開放することにより、真空槽１１内の蒸気を排出する。そして、再度、開閉弁１９１１及び１９１２を閉鎖したうえで蒸気供給制御弁１９２を開放し、真空槽１１内に洗浄液Ｌの蒸気を供給する。このように、真空槽１１内への洗浄液Ｌの蒸気の供給と排出を所定回数繰り返し行うことにより、ワークＷの表面が十分に洗浄され、ワークＷが十分加温されたとき、蒸気洗浄の工程が終了する。
【００３５】
蒸気洗浄の終了後、大気開放弁１９４１を開放し、真空槽１１内を大気圧にする。そして、大気開放弁１９４１を開放したままの状態で開閉弁１９５を開放する。これにより、真空槽１１、第３洗浄液回収管１７３、真空槽側一時貯留槽排気管１６４及びポンプ側接続管１６５２を経て真空ポンプ１３に至る空気の流れを形成し、この空気の流れによって、真空槽１１内に残存する洗浄液Ｌの液体を真空槽側一時貯留槽１５２に回収することを促進する。このように、真空槽１１内の洗浄液Ｌの液体を回収しておくことにより、次に述べる減圧乾燥時に洗浄液Ｌの液体が気化して減圧を妨げることを防ぐことができる。洗浄液Ｌの回収後、大気開放弁１９４１、第３排液弁１９３３及び開閉弁１９５を閉鎖する。
【００３６】
(2-2) 減圧乾燥時
次に、以下のようにワークＷを減圧乾燥する。
【００３７】
まず、真空ポンプ１３を動作させている状態であって、開閉弁１９１３及び１９１４が閉鎖している状態で、開閉弁１９１１及び１９１２を開放する。これにより、真空槽１１内の洗浄液Ｌの蒸気は第１排気管１６１を通して真空ポンプ１３により排気され（図２）、真空槽１１内が急速に減圧される。これにより、ワークＷの表面に付着した洗浄液Ｌの内部から突沸が生じ、乾燥が促進される（突沸乾燥）。また、第１排気管１６１に設けられた凝縮器１４において、洗浄液Ｌの蒸気が冷却されて凝縮する。そのため、真空ポンプ１３に到達する洗浄液Ｌの蒸気の量を抑えることができる。そのため、真空ポンプ１３内で液化する洗浄液Ｌが真空ポンプ１３に与える負荷の増加によって、真空ポンプ１３の能力が低下すること、すなわち真空槽１１内を減圧させる能力が低下することが抑えられ、さらには真空ポンプ１３が故障することを防ぐことができる。凝縮器１４で凝縮した洗浄液Ｌは、凝縮器１４の底部から第１洗浄液回収管１７１を通って凝縮器側一時貯留槽１５１に貯留される。
【００３８】
このように、真空槽１１内に残存していた洗浄液Ｌの蒸気を凝縮器１４で凝縮させる段階で突沸乾燥を行うため、ワークＷの表面の乾燥を早く行うことができる。
【００３９】
真空ポンプ１３によって排気される気体は、排気口１３２から第３排気管１６３を通って、貯留槽１５内に貯留されている洗浄液Ｌ内に導入される。これにより、排気された気体中の洗浄液Ｌの成分が洗浄液Ｌに吸収されて回収される。残った気体は、貯留槽１５に設けられた排出口（図示せず）から排出される。
【００４０】
第１排気管１６１を通した排気をしばらく継続すると、蒸気洗浄の終了後に真空槽１１内に残存していた蒸気及び突沸乾燥の開始時にワークＷの表面から気化した洗浄液の気体はほぼ排出され、真空槽１１からは、突沸乾燥の開始時には気化し切らずにワークＷの表面に残存した洗浄液Ｌのみが排出されるようになる。そこで、開閉弁１９１１及び１９１２を閉鎖し、開閉弁１９１３及び１９１４を開放することにより、真空槽１１内の気体（ワークＷの表面から気化した洗浄液Ｌの気体を含む）が真空ポンプ１３によって排気される排気経路を第１排気管１６１から第２排気管１６２に切り替える（図３）。これにより、真空槽１１内の気体は凝縮器１４を介することなく第２排気管１６２を通して真空ポンプ１３に導入されるため、凝縮器１４で一旦液化した洗浄液Ｌが再度気化することを防ぐことができる。そのため、真空槽１１内の減圧を促進することができ、ワークＷの乾燥をさらに促進することができる。
【００４１】
このように第２排気管１６２を通した排気を行う際に、ヒータ１８により、第２排気管１６２内を通過する気体を加熱する。これにより、真空槽１１内から排気された、洗浄液Ｌが気化した気体の温度が上昇するため、当該気体が真空ポンプ１３内で冷却されても液化し難くなる。そのため、そのため、真空槽１１内を減圧させる真空ポンプ１３の能力が低下することをより一層抑えることができる。
【００４２】
この段階においても、真空ポンプ１３によって排気される気体は貯留槽１５内の洗浄液Ｌに導入され、気体中の洗浄液Ｌの成分が洗浄液Ｌに吸収されて回収される。
【００４３】
第２排気管１６２を通した排気を継続することによってワークＷが十分に乾燥したタイミングで、開閉弁１９１３及び１９１４を閉鎖し、減圧乾燥を終了する。
【００４４】
その後、大気開放弁１９４１を開放することにより、真空槽１１内の圧力を大気圧にする。これにより、真空槽１１の蓋１１１を開放して、蒸気洗浄及び減圧乾燥を行ったワークＷを取り出すことができる。また、大気開放弁１９４２及び１９４３を開放することにより、凝縮器１４及び凝縮器側一時貯留槽１５１内の圧力を大気圧にしたうえで、第２排液弁１９３２を開放することにより、第２洗浄液回収管１７２を通して凝縮器側一時貯留槽１５１内の洗浄液Ｌを貯留槽１５に回収する。さらに、大気開放弁１９４４を開放することによって真空槽側一時貯留槽１５２内の圧力を大気圧にしたうえで、第４排液弁１９３４を開放し、送液ポンプ１７４１を作動させることにより、真空槽側一時貯留槽１５２内の洗浄液Ｌを貯留槽１５に回収する。
【００４５】
ここまでに述べた蒸気洗浄及び減圧乾燥の各工程において、蒸気洗浄を終了するタイミング、排気経路を第１排気管１６１から第２排気管１６２に切り替えるタイミング、及び減圧乾燥を終了するタイミングは、予備実験を行って適宜定めればよい。
【００４６】
本発明は上記実施形態には限定されない。
【００４７】
例えば、上記実施形態では切替弁として4個の開閉弁１９１１〜１９１４を用いたが、その代わりに、図４に示すように、真空槽側接続管１６５１から第１排気管１６１及び第２排気管１６２が分岐する位置、並びに第１排気管１６１及び第２排気管１６２がポンプ側接続管１６５２に合流する位置に三方弁１９１５、１９１６を設けてもよい。この場合、三方弁１９１５及び１９１６だけでは第１排気管１６１と第２排気管１６２の双方を閉鎖することができないため、さらに、真空槽側接続管１６５１に開閉弁１９１７を設ける。
【００４８】
貯留槽１５は、図４に示すように省略してもよい。この場合、貯留槽１５に接続される第２洗浄液回収管１７２及び第４洗浄液回収管１７４、並びにそれらに設けられる第２排液弁１９３２、第４排液弁１９３４及び送液ポンプ１７４１も省略すると共に、第３排気管１６３の下流側の端は大気に開放する。また、ヒータ１８も、図４に示すように省略してもよい。これら貯留槽１５及びヒータ１８は、図１に示した4個の開閉弁１９１１〜１９１４を用いた構成において省略してもよい。あるいは、図１に示した構成において貯留槽１５とヒータ１８のいずれか一方を設けて他方を省略してもよいし、図４に示した三方弁１９１５、１９１６を用いた構成において貯留槽１５とヒータ１８のいずれか一方又は両方を設けてもよい。
【００４９】
貯留槽１５は、単に洗浄液Ｌを貯留する槽として用いるだけでなく、貯留した洗浄液Ｌ中にワークＷを浸漬することによって該ワークＷを洗浄する洗浄槽として用いることもできる。この場合、貯留槽１５での洗浄を行った後に、仕上げとして、上述した真空槽１１内での蒸気洗浄及び減圧乾燥を行うことが好ましい。
【符号の説明】
【００５０】
１０…蒸気洗浄・減圧乾燥装置
１１…真空槽
１１１…真空槽の蓋
１２…蒸気発生槽
１２１…蒸気供給管
１３…真空ポンプ
１３１…吸気口
１３２…排気口
１４…凝縮器
１５…貯留槽
１５１…凝縮器側一時貯留槽
１５２…真空槽側一時貯留槽
１６１…第１排気管
１６２…第２排気管
１６３…第３排気管
１６４…真空槽側一時貯留槽排気管
１６５１…真空槽側接続管
１６５２…ポンプ側接続管
１７１…第１洗浄液回収管
１７２…第２洗浄液回収管
１７３…第３洗浄液回収管
１７４…第４洗浄液回収管
１７４１…送液ポンプ
１８…ヒータ
１９１…切替弁
１９１１、１９１２、１９１３、１９１４、１９１７…開閉弁
１９１５、１９１６…三方弁
１９２…蒸気供給制御弁
１９３１…第１排液弁
１９３２…第２排液弁
１９３３…第３排液弁
１９３４…第４排液弁
１９４１、１９４２、１９４３、１９４４…大気開放弁
Ｌ…洗浄液
Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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