(57)【要約】      （修正有）【課題】基板をブレイクテーブルに搭載にあたり、そのブレイクテーブルを受け刃に干渉せずに移動することができる構成とし、基板をブレイクテーブルに搭載する作業及び取り出す作業を、自動で行うことができるブレイク装置及びブレイク装置に備えられるブレイクテーブルを提供する。【解決手段】本発明は、スクライブラインが形成された基板を保持して搬送するリング形状のブレイクテーブル４と、先端の刃を降下させてスクライブラインに沿って押し当てることで基板をブレイクするブレード部と、刃と対向する下方の位置で且つブレイクテーブル４の孔部１６内に配備され、刃が押し当てられた基板からの押圧を受け止める受け刃１０ａ、１０ｂと、を有しているブレイク装置１において、ブレイクテーブル４には、孔部１６から基板の搬送方向の一方側を開口するように切り欠かれた切り欠き部１７が設けられている。【選択図】図１
2020192733.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクライブラインが形成されてブレイク対象となる基板を保持して搬送するリング形状のブレイクテーブルと、
先端の刃を降下させてスクライブラインに沿って押し当てることで前記基板をブレイクするブレード部と、
前記刃と対向する下方の位置で且つ前記ブレイクテーブルの孔部内に配備され、前記刃が押し当てられた前記基板からの押圧を受け止める受け刃と、
を有しているブレイク装置において、
前記ブレイクテーブルには、孔部から前記基板の搬送方向の一方側を開口するように切り欠かれた切り欠き部が設けられている
ことを特徴とするブレイク装置。
【請求項２】
前記受け刃は、長尺の部材で形成されていて、
前記切り欠き部の幅は、前記受け刃の長手方向より広い幅とされている
ことを特徴とする請求項１に記載のブレイク装置。
【請求項３】
前記切り欠き部が設けられた前記ブレイクテーブルは、平面視でＵ字形状又はＣ字形状とされている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のブレイク装置。
【請求項４】
前記基板を前記ブレイクテーブルに搭載する搭載位置と、前記ブレイクテーブルに搭載された前記基板をブレイクするブレイク位置と、を有し、
前記搭載位置と前記ブレイク位置は、前記基板の搬送方向において一直線上に列べられて配置されていて、
前記ブレイクテーブルは、前記搭載位置と前記ブレイク位置との間を移動可能とされている
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のブレイク装置。
【請求項５】
前記切り欠き部は、前記ブレイクテーブル上において反搭載位置側に設けられている
ことを特徴とする請求項４に記載のブレイク装置。
【請求項６】
スクライブラインが形成されてブレイク対象となる基板を保持し搬送するリング形状のブレイクテーブルと、
先端の刃を降下させてスクライブラインに沿って押し当てることで前記基板をブレイクするブレード部と、
前記刃と対向する下方の位置で且つ前記ブレイクテーブルの孔部内に配備され、前記刃が押し当てられた前記基板からの押圧を受け止める受け刃と、
を有するブレイク装置に備えられるブレイクテーブルであって、
前記ブレイクテーブルには、孔部から前記基板の搬送方向の一方側を開口するように切り欠かれた切り欠き部が設けられていて、
前記切り欠き部の幅は、長尺の部材で形成された前記受け刃の長手方向より広い幅とされていて、
前記切り欠き部が設けられた前記ブレイクテーブルは、平面視でＵ字形状又はＣ字形状とされていて、
前記基板を前記ブレイクテーブルに搭載する搭載位置と、前記ブレイクテーブルに搭載された前記基板をブレイクするブレイク位置と、を有し、
前記搭載位置と前記ブレイク位置は、前記基板の搬送方向において一直線上に列べられて配置されていて、
前記ブレイクテーブルは、前記搭載位置と前記ブレイク位置との間を移動可能とされていて、
前記切り欠き部は、前記ブレイクテーブル上において反搭載位置側に設けられている
ことを特徴とするブレイク装置に備えられるブレイクテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、脆性材料基板などの基板などをブレイクするブレイク装置に関する技術であり、特にブレイク対象となる基板を保持するブレイクテーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、脆性材料基板などの基板を分断するにあたっては、その基板にスクライブライン（垂直クラック）を形成するスクライブ工程と、スクライブラインに沿って基板を分断するブレイク工程がある。そのうち、ブレイク工程ではブレイク装置が用いられている。
ブレイク装置は、スクライブラインが形成されている面を下面として基板を配置し、その基板のスクライブラインと一致するようにブレード（刃）と、基板の下側であってブレードと対向する位置に受け刃とを配置し、スクライブラインの真上から基板の上面に対してブレードを押し付けて、スクライブラインの背面を押圧することにより、スクライブラインに沿って垂直の断面で基板を分断する。ブレイク装置に関する技術としては、例えば、特許文献１に開示されているものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−０４３４１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
さて、従来より行われているブレイク工程時の動作について、図５を用いて説明する。
図５は、従来のブレイク装置１０１を用いたブレイク工程時の動作を模式的に示した図である。
図５の（ａ）に示すように、ブレイク装置１０１は、スクライブライン１１２が形成された基板１１３を保持し、回転可能とされているリング形状のブレイクテーブル１０４と、ブレイクテーブル１０４を移動可能に支持する移動テーブル１０３と、スクライブライン１１２に沿って基板１１３を分断するブレード（刃）が先端に取り付けられたブレード部（図示せず）と、移動テーブル１０３を支持し、ブレードと対向する位置に受け刃１１０を備える支持テーブル１０２と、ブレイクテーブル１０４を上方から囲い、ブレード部を昇降自在に吊下する門型の架台１０５と、を有している。
【０００５】
図５の（ｂ）に示すように、スクライブライン１１２が格子状に形成された基板１１３は、環状のリング部材１１４（ダイシングリング）に張り渡された粘着フィルム１１５の中心部分に貼り付けられ、反対側の面が保護用シートに保護されている。その基板１１３は、作業者の手によって、ブレイクテーブル１０４に搭載される。
図５の（ｃ）、（ｄ）に示すように、ブレード部を下降させて、先端に備えられている刃を、スクライブライン１１２に沿って押し当てることで、基板１１３をブレイクする。ブレイクテーブル１０４を、例えば９０°回転させて、格子状のスクライブライン１１２全てに対してブレイクを行い、各チップを分離する。ブレイク後の基板１１３は、作業者の手によって、ブレイクテーブル１０４から取り出される。
【０００６】
従来のブレイク工程においては、以上のように行われていたが、近年では、ブレイク工程を全て自動化する要望が挙がってきている。すなわち、作業者の手によって行われてきた、基板１１３をブレイクテーブル１０４に搭載する作業及び、基板１１３をブレイクテーブル１０４から取り出す作業を、自動で行えるようにすることが望まれている。
さて、ブレイクテーブル１０４を支持する移動テーブル１０３は、ボールねじ１２７などの移動機構により、図５中に示すｙ軸方向を向いたレール１３１上を移動することが可能とされている。
【０００７】
しかしながら、移動テーブル１０３は、基板１１３のブレイク時にスクライブライン１１２に沿わせるために、受け刃１１０がリング形状のブレイクテーブル１０４の孔部１１６内を移動するものであるので、移動テーブル１０３のｙ軸方向の移動量は限定される。
すなわち、移動テーブル１０３は、支持テーブル１０２に備えられた受け刃１１０に干渉しない範囲に移動する。
【０００８】
また、ブレイクテーブル１０４の上方には、門型の架台１０５を構成する掛け渡し部が覆うように配備されていて、その掛け渡し部から昇降自在のブレード部（図示せず）が吊下されている。このブレード部は、昇降自在となっているものの、基板１１３のブレイク時に先端のブレード（刃）を持ち上げるものであるので、上下方向（ｚ軸方向）の移動量は限定されている。すなわち、ブレイクテーブル１０４とブレード部の間の高さは、低く制限されている。
【０００９】
このような、ブレイクテーブル１０４の上方空間が狭い状況では、基板１１３をブレイクテーブル１０４に搭載する作業、及び、取り出す作業を自動で行うことは難しい。
そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、基板をブレイクテーブルに搭載にあたって、そのブレイクテーブルの構成を受け刃に干渉せずに移動することができる構成とし、基板をブレイクテーブルに搭載する作業及び、基板をブレイクテーブルから取り出す作業を、全て自動で行うことができるブレイク装置及びブレイク装置に備えられるブレイクテーブルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するため、本発明においては以下の技術的手段を講じた。
本発明にかかるブレイク装置は、スクライブラインが形成されてブレイク対象となる基板を保持して搬送するリング形状のブレイクテーブルと、先端の刃を降下させてスクライブラインに沿って押し当てることで前記基板をブレイクするブレード部と、前記刃と対向する下方の位置で且つ前記ブレイクテーブルの孔部内に配備され、前記刃が押し当てられた前記基板からの押圧を受け止める受け刃と、を有しているブレイク装置において、前記ブレイクテーブルには、孔部から前記基板の搬送方向の一方側を開口するように切り欠かれた切り欠き部が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
好ましくは、前記受け刃は、長尺の部材で形成されていて、前記切り欠き部の幅は、前記受け刃の長手方向より広い幅とされているとよい。
好ましくは、前記切り欠き部が設けられた前記ブレイクテーブルは、平面視でＵ字形状又はＣ字形状とされているとよい。
好ましくは、前記基板を前記ブレイクテーブルに搭載する搭載位置と、前記ブレイクテーブルに搭載された前記基板をブレイクするブレイク位置と、を有し、前記搭載位置と前記ブレイク位置は、前記基板の搬送方向において一直線上に列べられて配置されていて、前記ブレイクテーブルは、前記搭載位置と前記ブレイク位置との間を移動可能とされているとよい。
【００１２】
好ましくは、前記切り欠き部は、前記ブレイクテーブル上において反搭載位置側に設けられているとよい。
本発明にかかるブレイク装置に備えられるブレイクテーブルは、スクライブラインが形成されてブレイク対象となる基板を保持し搬送するリング形状のブレイクテーブルと、先端の刃を降下させてスクライブラインに沿って押し当てることで前記基板をブレイクするブレード部と、前記刃と対向する下方の位置で且つ前記ブレイクテーブルの孔部内に配備され、前記刃が押し当てられた前記基板からの押圧を受け止める受け刃と、を有するブレイク装置に備えられるブレイクテーブルであって、前記ブレイクテーブルには、孔部から前記基板の搬送方向の一方側を開口するように切り欠かれた切り欠き部が設けられていて、前記切り欠き部の幅は、長尺の部材で形成された前記受け刃の長手方向より広い幅とされていて、前記切り欠き部が設けられた前記ブレイクテーブルは、平面視でＵ字形状又はＣ字形状とされていて、前記基板を前記ブレイクテーブルに搭載する搭載位置と、前記ブレイクテーブルに搭載された前記基板をブレイクするブレイク位置と、を有し、前記搭載位置と前記ブレイク位置は、前記基板の搬送方向において一直線上に列べられて配置されていて、前記ブレイクテーブルは、前記搭載位置と前記ブレイク位置との間を移動可能とされていて、前記切り欠き部は、前記ブレイクテーブル上において反搭載位置側に設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、基板をブレイクテーブルに搭載にあたって、そのブレイクテーブルの構成を受け刃に干渉せずに移動することができる構成とし、基板をブレイクテーブルに搭載する作業及び、基板をブレイクテーブルから取り出す作業を、全て自動で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明にかかるブレイク装置の概略を模式的に示した斜視図である。
【図２】本発明にかかるブレイク装置の平面図である。
【図３】本発明にかかるブレイク装置のＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明にかかるブレイク装置を用いたブレイク工程時の動作を模式的に示した図である。
【図５】従来のブレイク装置を用いたブレイク工程時の動作を模式的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明にかかるブレイク装置１及びブレイク装置１に備えられるブレイクテーブル４の実施形態を、図を参照して説明する。
なお、以下に説明する実施形態は、本発明を具体化した一例であって、その具体例をもって本発明の構成を限定するものではない。また、図面に関して、見やすくするため、構成部品の一部を省略したり、仮想線などを用いて描いている。また、ブレイク装置１におけるｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向等については、図面に示す通りである。
【００１６】
図１は、本発明にかかるブレイク装置１の概略を模式的に示した斜視図である。図２は、本発明にかかるブレイク装置１の平面図である。図３は、本発明にかかるブレイク装置１のＡ−Ａ断面図である。
図１〜図３に示すように、本発明にかかるブレイク装置１は、前工程であるスクライブ工程にてスクライブライン１２が形成された基板１３に対して、そのスクライブライン１２に沿って刃９（ブレード）を上方から押し当てることで、基板１３をブレイクしてチップを分離する装置である。
【００１７】
図１などに示すように、ブレイク装置１は、複数の支柱からなる基台（図示せず）上に支持されている支持テーブル２を有している。支持テーブル２は、図１〜図３中に示すｙ軸方向に移動可能に移動テーブル３を下方から支持している。移動テーブル３は、基板１３を保持するリング形状のブレイクテーブル４を下方から支持している。
支持テーブル２には、ブレイクテーブル４の上方を覆う門型の架台５が立設されている。架台５は、支持テーブル２の上面から立設されたｘ軸方向に一対の支柱６と、一対の支柱６の上部を掛け渡すように設けられた掛け渡し部７と、を有している。掛け渡し部７には、ブレード部８が吊下状に取り付けられている。
【００１８】
ブレード部８は、長尺な平板で形成されていて、その先端（下端）にスクライブライン１２に沿って基板１３を分断するブレード９（刃）が形成されている。ブレード部８は、ブレード９の稜線がｘ軸方向を向くように配備される。すなわち、ブレード部８は、ｘ軸方向に幅が広いブレード９を備えるものといえる。ブレード部８は、昇降機構（図示せず）により、架台５に対してｚ軸方向に昇降自在に備えられている。
【００１９】
ブレード９と対向する下方であって、支持テーブル２の上面には、受け刃１０が設けられている。受け刃１０は、ブレイク時に、ブレード９が押し当てられた基板１３からの押圧力を受け止める部材である。
詳しくは、受け刃１０は、ブレード９と同じ長さを有する長尺な部材である。すなわち、受け刃１０は、稜線がｘ軸方向を向くと共に、ブレード９と対向する位置に配備される。この受け刃１０の幅は、ブレード部８と同様に、ｘ軸方向に広いものである。
【００２０】
図３に示すように、受け刃１０は、支持テーブル２上に設けられた支持部材１１に支持されている。その支持部材１１は、間隔を空けてｙ軸方向に一対設けられている。一対の支持部材１１ａ，１１ｂは、互いにｙ軸方向に近接離反することができるものとなっている。
一方の支持部材１１ａの上部に、一方の受け刃１０ａが備えられている。また、他方の支持部材１１ｂの上部に、他方の受け刃１０ｂが備えられている。一対の受け刃１０ａ，１０ｂは、一対の支持部材１１ａ，１１ｂが離反方向に平行移動するとｙ軸方向に移動して開き、近接方向に平行移動すると閉じるものとなっている。
【００２１】
さて、スクライブライン１２が格子状に形成された基板１３は、環状のリング部材１４（ダイシングリング）に張り渡された粘着フィルム１５の中心部分に貼り付けられ、その反対の面（裏面）は保護用シートに保護されている。このように設定されてブレイク対象となる基板１３は、ブレイクテーブル４に搭載される。
ブレイクテーブル４は、円環形状で薄い平板材で形成されている。ブレイクテーブル４は、円形状に周回する縁に基板１３を備えたリング部材１４が載置され、中心の孔部１６にブレイク対象となる基板１３が浮遊状に備えられる。
【００２２】
ブレイクテーブル４の孔部１６の中央には、一対の受け刃１０ａ，１０ｂが配置され、その受け刃１０ａ，１０ｂの上面に基板１３が備えられる。その基板１３の上方にブレード９（刃）が配備される。
図１〜図３に示すように、本発明においては、ブレイクテーブル４をｙ軸方向に大きく移動することができる構成としている。
【００２３】
理由としては、ブレイク工程を全自動化するにあたり、ブレイクする位置に基板１３を自動で搭載することを、図５に示すような従来のブレイク装置１０１で実施しようとしても、そのブレイク位置が構造上狭い空間であるので、基板１３の搭載を自動で行うことは難しいものと知見している。
そこで、本発明では、基板１３が搭載されるブレイクテーブル４に、孔部１６からｙ軸方向（基板１３の搬送方向）の一方側を開口するように切り欠かれた切り欠き部１７を形成し、ｙ軸方向においてブレイク位置とは異なる位置に基板１３を搭載する位置を設けておき、その搭載位置にブレイクテーブル４を移動させて、基板１３の搭載及び取り出しを自動で実施することができる構成としている。
【００２４】
切り欠き部１７は、無端状に形成された円環状部材のｙ軸方向の一部分を切り取るように設けられている。つまり、切り欠き部１７が設けられたブレイクテーブル４は、平面視で、両端が真っ直ぐ突出したＵ字形状、又は、両端が少し内側に回り込んだＣ字形状とするとよい。ブレイクテーブル４は、支持部材１１ａ，１１ｂに支持される受け刃１０ａ，１０ｂを側方から囲うように配備される。なお、切り欠き部１７に関して、無端状に形成された円環状部材の半分までを切り欠いてもよい。
【００２５】
切り欠き部１７の幅、すなわちブレイクテーブル４の一方端と他方端との間隔は、受け刃１０ａ，１０ｂの幅より広い幅（間隔）とされている。その理由としては、ブレイクテーブル４の中央に受け刃１０ａ，１０ｂが配備されており、ブレイクテーブル４がｙ軸方向に設けられた基板１３を搭載する位置に移動する際、一対の受け刃１０ａ，１０ｂなどに干渉することを防ぐためである。
【００２６】
すなわち、本発明のブレイク装置１は、自動で基板１３をブレイクテーブル４に搭載する搭載位置と、ブレイクテーブル４に搭載された基板１３をブレイクするブレイク位置と、を有している。その搭載位置とブレイク位置は、基板１３の搬送方向（ｙ軸方向）において一直線上に列べられて配置されている。
搭載位置は、架台５で上方が覆われているブレイク位置とは異なり、上方が開放されている。このような場所を搭載位置として確保することで、基板１３を自動で、ブレイクテーブル４に搭載すること及びブレイクテーブル４から取り出すことが可能となる。
【００２７】
ブレイクテーブル４は、搭載位置とブレイク位置との間を移動可能とされている。ブレイクテーブル４は、ｙ軸方向であって搭載位置の方向を向かないように、切り欠き部１７により開口されている。つまり、切り欠き部１７の向きは、搭載位置に対して、孔部１６から反対方向を向くように設けられている。
図１に示すように、切り欠き部１７は、例えば、搭載位置がブレイク位置よりｙ軸方向プラス（＋）側に設けられている場合、ｙ軸方向マイナス（−）側、すなわち搭載位置を背にして孔部１６から開口するように設けられている。
【００２８】
なお、ブレイクテーブル４及び、その孔部１６と切り欠き部１７の大きさなどの形状については、ブレイク対象の基板１３の大きさなどによって異なってくる。
本実施形態のブレイクテーブル４は、移動テーブル３上に設けられた保持部材１８に保持されている。
保持部材１８は、所定の間隔を空けてブレイクテーブル４の下方に備えられている。
【００２９】
保持部材１８は、円環形状で厚い平板材で形成されている。保持部材１８には、孔部１９からｙ軸方向（基板１３の搬送方向）の一方側を開口するように切り欠かれた切り欠き部２０が設けられている。つまり、保持部材１８は、平面視で、孔部１６と切り欠き部１７を備えるブレイクテーブル４と同じ形状に形成されている。
保持部材１８は、円形状に周回する縁の上面に複数の支柱２１が設けられている。その支柱２１の上部に、ブレイクテーブル４が取り付けられている。つまり、保持部材１８は、受け刃１０ａ，１０ｂの高さと略同じとなるように、支柱２１を介してブレイクテーブル４を保持する。保持部材１８の孔部１９には、一対の支持部材１１ａ，１１ｂが配置される。
【００３０】
すなわち、保持部材１８の孔部１９は、ブレイクテーブル４の孔部１６と同じ形状で且つ、ｚ軸方向において同じ位置に設けられている。また同様に、保持部材１８の切り欠き部２０は、ブレイクテーブル４の切り欠き部１７と同じ形状で且つ、ｚ軸方向において同じ位置に設けられている。つまり、保持部材１８は、受け刃１０ａ，１０ｂを支持する支持部材１１ａ，１１ｂを側方から囲うように配備される。
【００３１】
保持部材１８の外周には、ブレイクテーブル４を回転させる歯車２２が設けられている。その歯車２２の隣には、ブレイクテーブル４を回転させるため駆動ユニット２３が設けられている。
なお、保持部材１８及び、その孔部１９と切り欠き部２０の大きさなどの形状については、ブレイク対象の基板１３の大きさなどによって異なってくる。また、保持部材１８に関しては、ブレイクテーブル４を受け刃１０の高さに合わせるために設けられているものであり、その高さについては任意である。また、保持部材１８と、支柱２１と、ブレイクテーブル４を含めた全体を、ブレイクテーブル４とみることも可能である。
【００３２】
保持部材１８は、下方に備えられた移動テーブル３に支持されている。
移動テーブル３は、所定の広さを有する厚い平板材で形成されていて、中央に孔部２４が設けられている。移動テーブル３には、孔部２４からｙ軸方向（基板１３の搬送方向）の一方側を開口するように切り欠かれた切り欠き部２５が設けられている。
移動テーブル３は、孔部２４がブレイクテーブル４の孔部１６と保持部材１８の孔部１９と同じ形状に形成され、ｚ軸方向において同じ位置に設けられている。
【００３３】
また、移動テーブル３は、切り欠き部２５がブレイクテーブル４の切り欠き部１７と保持部材１８の切り欠き部２０と同じ形状に形成され、ｚ軸方向において同じ位置に設けられている。
つまり、平面視（ｚ軸方向）で、移動テーブル３の孔部２４及び切り欠き部２５と、ブレイクテーブル４の孔部１６及び切り欠き部１７と、保持部材１８の孔部１９及び切り欠き部２０とが連通状態となっている。
【００３４】
移動テーブル３は、受け刃１０ａ，１０ｂを支持する支持部材１１ａ，１１ｂを囲うように配備される。移動テーブル３は、下方に備えられた支持テーブル２に、ｙ軸方向に移動自在に支持されている。
なお、移動テーブル３及び、その孔部２４と切り欠き部２５の大きさなどの形状については、ブレイク対象の基板１３の大きさなどによって異なってくる。また、移動テーブル３と、ブレイクテーブル４と、保持部材１８と、支柱２１とを含めた全体をブレイクテーブル４とみることも可能である。
【００３５】
支持テーブル２は、ｙ軸方向に長尺で厚い平板材で形成されている。支持テーブル２の上面には、受け刃１０ａ，１０ｂを支持する支持部材１１ａ，１１ｂや、移動テーブル３をｙ軸方向に移動させる搬送機構２６などが配備されている。
搬送機構２６は、駆動力により移動テーブル３をｙ軸方向に搬送する駆動部２７と、移動する移動テーブル３をｙ軸方向に案内する案内部材２８と、を有している。
【００３６】
駆動部２７については、例えば、ボールねじやリニアガイドなど直線運動する直動機器を採用するとよい。本実施形態においては、駆動部２７にボールねじを採用している。ボールねじ２７は、ねじ軸２９の軸心がｙ軸方向を向くように、支持テーブル２上に備えられている。ねじ軸２９上を滑り動くナット３０は、移動テーブル３に取り付けられている。すなわち、移動テーブル３は、ねじ軸２９上を滑り動くナット３０により、ｙ軸方向に移動する。
【００３７】
案内部材２８は、長尺のレール部材３１と、そのレール部材３１上を滑り動くスライダー３２と、を有している。
レール部材３１は、ｙ軸方向に長い部材であり、ｘ軸方向に一対備えられている。本実施形態では、レール部材３１は、支持テーブル２のｘ軸方向の端部に一本ずつ備えられている。一対のレール部材３１の間隔は、移動テーブル３の幅（ｘ軸方向）と略同じである。
【００３８】
スライダー３２は、上方からレール部材３１に摺動自在に嵌り込み、ｙ軸方向に移動するものである。スライダー３２は、下方から支持するように、移動テーブル３に取り付けられている。すなわち、移動テーブル３は、スライダー３２とレール部材３１により、ｙ軸方向に移動可能に支持されている。
次に、本発明のブレイク装置１を用いたブレイク工程時の動作について、図４を用いて説明する。
【００３９】
図４は、本発明にかかるブレイク装置１を用いたブレイク工程（基板１３の分断）の動作を示した図である。
図４の（ａ）に示すように、ブレイクテーブル４を下方から支持する移動テーブル３が、架台５の下方に設けられたブレイク位置にある。このとき、ブレイクテーブル４は、基板１３が搭載されていない状態である。
【００４０】
図４の（ｂ）に示すように、ボールねじ２７を駆動させて、ねじ軸２９上を滑り動くナット３０をｙ軸方向プラス（＋）側に移動させる。このナット３０の移動により、移動テーブル３がｙ軸方向プラス（＋）側に移動する。ブレイクテーブル４、保持部材１８、移動テーブル３は、それぞれに切り欠き部１７，２０，２５が設けられていることにより、一対の受け刃１０ａ，１０ｂから離反する。
【００４１】
移動テーブル３が搭載位置に到着して停止すると、粘着性フィルム１５などに貼り付けられて、リング部材１４に備えられた基板１３が自動で、スクライブライン１２の形成面を下にして、ブレイクテーブル４上に搭載される。
基板１３がブレイクテーブル４上に搭載されると、ボールねじ２７を逆方向に駆動させて、ねじ軸２９上を滑り動くナット３０をｙ軸方向マイナス（−）側に移動させる。このナット３０の逆方向の移動により、移動テーブル３がｙ軸方向マイナス（−）側に移動する。
【００４２】
ブレイクテーブル４、保持部材１８、移動テーブル３は、一対の受け刃１０ａ，１０ｂに向かうこととなる。また、これらブレイクテーブル４、保持部材１８、移動テーブル３は、それぞれに切り欠き部１７，２０，２５が設けられていることにより、一対の受け刃１０ａ，１０ｂを囲うようにブレイク位置に配備される。
図４の（ｃ）に示すように、基板１３が搭載されたブレイクテーブル４がブレイク位置に配備されると、ブレード９の先端に基板１３のスクライブライン１２の位置が合うように、基板１３の角度の位置決めを行う。つまり、一対の受け刃１０ａ，１０ｂの稜線を付き合わせた中心線、ブレード９の先端の稜線及び基板１３のスクライブライン１２がｚ軸方向で一直線上に配置されるように、位置決めを行う。
【００４３】
位置決め後、基板１３のブレイクを実行する。すなわち、ブレード部８を昇降機構により下降させて、ブレード９をｚ方向マイナス（−）側に移動させる。一対の受け刃１０ａ，１０ｂにより支持された基板１３に対して、ブレード９をスクライブライン１２の真上から押圧する。ブレード９はスクライブライン１２の背面を押圧し、押圧された基板１３は一対の受け刃１０ａ，１０ｂを押圧する。一対の受け刃１０ａ，１０ｂは、平面領域となっていることにより、基板１３からの押圧力を受け止める。ブレイクテーブル４を回転させて、格子状のスクライブライン１２全てに対してブレイクを行い、各チップを分離する。
【００４４】
図４の（ｄ）に示すように、ブレイク後、ボールねじ２７を駆動させて、ねじ軸２９上を滑り動くナット３０をｙ軸方向プラス（＋）側に移動させる。このナット３０の移動により、移動テーブル３がｙ軸方向プラス（＋）側に移動する。ブレイクテーブル４、保持部材１８、移動テーブル３は、それぞれに切り欠き部１７，２０，２５が設けられていることにより、一対の受け刃１０ａ，１０ｂから離反する。
【００４５】
移動テーブル３が搭載位置に到着して停止すると、ブレイク後の基板１３が自動で、ブレイクテーブル４から取り出される。
また別の基板１３が自動で、スクライブライン１２の形成面を下にして、ブレイクテーブル４上に搭載される。別の基板１３がブレイクテーブル４上に搭載されると、移動テーブル３がｙ軸方向マイナス（−）側に移動し、ブレイクテーブル４は受け刃１０ａ，１０ｂを囲うようにブレイク位置に配備される。その基板１３に対してブレイクが行われる。このように、自動化されたブレイク装置１では、一定のペースで繰り返し基板１３のブレイクを行うことができる。
【００４６】
以上、本発明のブレイク装置１は、ブレイクテーブル４に、一対の受け刃１０ａ，１０ｂの幅より大きい幅の切り欠き部１７を設けて、その一対の受け刃１０ａ，１０ｂに干渉せずに、一直線上に列べられた搭載位置とブレイク位置との間（ｙ軸方向）を移動することができる構成としているので、基板１３をブレイクテーブル４に搭載する作業及び、基板１３をブレイクテーブル４から取り出す作業を、全て自動で行うことができる。
【００４７】
なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。
特に、今回開示された実施形態において、明示されていない事項、例えば、作動条件や操作条件、構成物の寸法、重量などは、当業者が通常実施する範囲を逸脱するものではなく、通常の当業者であれば、容易に想定することが可能な事項を採用している。
【符号の説明】
【００４８】
１  ブレイク装置
２  支持テーブル
３  移動テーブル
４  ブレイクテーブル
５  架台
６  支柱
７  掛け渡し部
８  ブレード部
９  ブレード（刃）
１０  受け刃
１０ａ  受け刃（一方）
１０ｂ  受け刃（他方）
１１  支持部材
１１ａ  支持部材（一方）
１１ｂ  支持部材（他方）
１２  スクライブライン
１３  基板
１４  環状のリング部材（ダイシングリング）
１５  粘着フィルム
１６  孔部（ブレイクテーブル）
１７  切り欠き部（ブレイクテーブル）
１８  保持部材
１９  孔部（保持部材）
２０  切り欠き部（保持部材）
２１  支柱
２２  歯車
２３  駆動ユニット
２４  孔部（移動テーブル）
２５  切り欠き部（移動テーブル）
２６  搬送機構
２７  駆動部（ボールねじ）
２８  案内部材
２９  ねじ軸
３０  ナット
３１  レール部材
３２  スライダー
１０１  ブレイク装置
１０２  支持テーブル
１０３  移動テーブル
１０４  ブレイクテーブル
１０５  架台
１１０  受け刃
１１２  スクライブライン
１１３  基板
１１４  環状のリング部材
１１５  粘着フィルム
１２７  ボールねじ
１３１  レール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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