(57)【要約】      （修正有）【課題】搬送治具に、フィルム状基材、半導体部材等のワークの貼着、加工及び剥離を多数回繰り返して使用することができ、かつ、剥離帯電を抑制することができる、両面粘着シートを提供する。【解決手段】第一の導電性粘着剤層２０と、第二の導電性粘着剤層３０と、が積層された両面粘着シート１０であって、前記第一の導電性粘着剤層２０及び前記第二の導電性粘着剤層３０は、シリコーン系粘着剤及び導電性フィラーを含有し、前記第一の導電性粘着剤層２０の粘着力は、前記第二の導電性粘着剤層３０の粘着力の方よりも大きく、前記第一の導電性粘着剤層２０及び前記第二の導電性粘着剤層３０を貫く厚み方向に導電性を有する両面粘着シート。【選択図】図１
2020111679.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の導電性粘着剤層と、第二の導電性粘着剤層と、が積層された両面粘着シートであって、
前記第一の導電性粘着剤層及び前記第二の導電性粘着剤層は、シリコーン系粘着剤及び導電性フィラーを含有し、
前記第一の導電性粘着剤層の粘着力は、前記第二の導電性粘着剤層の粘着力よりも大きく、
前記第一の導電性粘着剤層及び前記第二の導電性粘着剤層を貫く厚み方向に導電性を有する両面粘着シート。
【請求項２】
前記第一の導電性粘着剤層と前記第二の導電性粘着剤層との間に、導電性基材又は多孔質基材からなる支持体層を備える請求項１に記載の両面粘着シート。
【請求項３】
前記第一の導電性粘着剤層のステンレス板（ＳＵＳ３０４、表面仕上げＢＡ）に対する粘着力（剥離角度９０°、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）が、１．０Ｎ／２５ｍｍ以上である、請求項１又は２に記載の両面粘着シート。
【請求項４】
前記第二の導電性粘着剤層のポリイミドフィルム（厚さ５０μｍ）に対する粘着力（剥離角度９０°、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）が、０．０１〜２．０Ｎ／２５ｍｍである、請求項１〜３のいずれか一項に記載の両面粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、両面粘着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス製品の軽量化、小型化、高精度化に対応して、ポリイミドフィルムと配線用導体を積層成形したフレキシブルプリント配線基板（以下、ＦＰＣ基板（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｏａｒｄｓ）と略す。）が使用されている。このようなＦＰＣ基板は、フィルム状基材へパターン形成し、積層やソルダーレジスト処理工程、更に実装工程を経ることにより、製造される。
【０００３】
上記ＦＰＣ基板を製造するにあたり、基材として薄肉で可撓性の高いフィルム状基材が用いられることから、いわゆるロール・トゥ・ロールでフィルム状基材を搬送しながら、回路形成用のフォトレジストをコーティングする工程、乾燥させる工程、露光する工程、現像する固定、硬化させる工程、めっき工程、はんだ処理工程（リフロー工程を含む。）、各工程間における洗浄・乾燥工程等といった多くの加工工程を順次施す連続工程が採用されている。
【０００４】
また、フィルム状基材、半導体部材等のワークを補強材（すなわち、搬送治具）に保持させることで補強し、搬送しながら、この状態で従来の枚葉状のプリント配線板の製造と同様の工程にて加工処理を施すことで、ＦＰＣ基板を製造することも行われている。このような工法において、フィルム状基材、半導体部材等のワークを搬送治具に保持させるにあたって、搬送治具上に、シリコーン樹脂から形成された感圧接着性の有機物層を形成することが行われている（特許文献１，２，３）。
【０００５】
更に、ポリイミドフィルムの両表面に、シリコーン樹脂から形成された感圧接着性の有機物層（すなわち、粘着剤層）が形成された両面粘着シートが、フィルム状基材、半導体部材等のワークを搬送治具に保持させる用途に用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４５７１４３６号公報
【特許文献２】特許第４６９５３４９号公報
【特許文献３】特許第４６９５３５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の両面粘着シートは、両表面の粘着剤層にシリコーン系粘着剤を用いて、粘着力を適切に調整することで、搬送治具に、フィルム状基材、半導体部材等のワークの貼着及び剥離を多数回繰り返して、半導体装置の製造の用途に使用することができる。しかしながら、ワークの剥離の際に、剥離帯電が生じて、フィルム状基材上の半導体部材や、半導体部材のワーク自体が静電破壊されるおそれがあった。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、搬送治具に対して、フィルム状基材、半導体部材等のワークの貼着、加工及び剥離を多数回繰り返して使用することができ、かつ、剥離帯電を抑制することができる、両面粘着シートを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下の態様を有する。
［１］第一の導電性粘着剤層と、第二の導電性粘着剤層と、が積層された両面粘着シートであって、
前記第一の導電性粘着剤層及び前記第二の導電性粘着剤層は、シリコーン系粘着剤及び導電性フィラーを含有し、
前記第一の導電性粘着剤層の粘着力は、前記第二の導電性粘着剤層の粘着力よりも大きく、
前記第一の導電性粘着剤層及び前記第二の導電性粘着剤層を貫く厚み方向に導電性を有する両面粘着シート。
［２］前記第一の導電性粘着剤層と前記第二の導電性粘着剤層との間に、導電性基材又は多孔質基材からなる支持体層を備える前記［１］に記載の両面粘着シート。
［３］前記第一の導電性粘着剤層のステンレス板（ＳＵＳ３０４、表面仕上げＢＡ）に対する粘着力（剥離角度９０°、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）が、１．０Ｎ／２５ｍｍ以上である、前記［１］又は［２］に記載の両面粘着シート。
［４］前記第二の導電性粘着剤層のポリイミドフィルム（厚さ５０μｍ）に対する粘着力（剥離角度９０°、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）が、０．０１〜２．０Ｎ／２５ｍｍである、前記［１］〜［３］のいずれか一項に記載の両面粘着シート。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、搬送治具に対して、フィルム状基材、半導体部材等のワークの貼着、加工及び剥離を多数回繰り返して使用することができ、かつ、剥離帯電を抑制することができる、両面粘着シートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る第一実施形態の両面粘着シートの概略断面図である。
【図２】本発明に係る第二実施形態の両面粘着シートの概略断面図である。
【図３】本発明に係る両面粘着シートの使用方法の一例を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係る実施形態の両面粘着シートについて説明する。なお、以下の説明で用いる図面において、各構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。
なお、本実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
【００１３】
［第一実施形態の両面粘着シート］
図１は、本発明に係る第一実施形態の両面粘着シートの概略断面図である。
第一実施形態の両面粘着シート１０は、第一の導電性粘着剤層２０と、第二の導電性粘着剤層３０と、が積層された両面粘着シートであり、第一の導電性粘着剤層２０の側に剥離シート４０が積層され、第二の導電性粘着剤層３０の側に剥離シート４１が積層されている。
第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０は、シリコーン系粘着剤及び導電性フィラーを含有し、第一の導電性粘着剤層２０の粘着力は、第二の導電性粘着剤層３０の粘着力の方よりも大きい。
第一の導電性粘着剤層２０は、剥離シート４０が剥がされて、フィルム状基材、半導体部材等のワークをリフロー工程用の搬送治具に固定することができ、第二の導電性粘着剤層３０は、剥離シート４１が剥がされて、第一実施形態の両面粘着シートを、リフロー工程用の搬送治具に、フィルム状基材、半導体部材等のワークを仮固定するために使用することができる。第二の導電性粘着剤層３０の粘着力は、第一の導電性粘着剤層２０の粘着力よりも小さいので、搬送治具に対して、ワークの貼着及び剥離を多数回繰り返すことができる。
【００１４】
第一実施形態の両面粘着シート１０は、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０を貫く厚み方向に導電性を有するので、リフロー工程用の搬送治具に対して、ワークの貼着及び剥離を多数回繰り返して使用しても、剥離帯電を抑制することができる。
【００１５】
第一実施形態の両面粘着シート１０は、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０を貫く厚み方向及び平面方向に導電性を有することが好ましい。
【００１６】
第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０において、シリコーン系粘着剤は、ポリオルガノシロキサンと、ポリオルガノシロキサンに架橋して粘着剤を硬化する硬化剤（架橋剤）とを主体として構成される。シリコーン系粘着剤に含有されるポリオルガノシロキサンとしては、ポリジメチルシロキサン、ポリアルキルアルケニルシロキサン、ポリメチルフェニルシロキサンが、耐熱性が高く好適である。
【００１７】
第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０において、シリコーン系粘着剤は、その硬化反応機構から、硬化剤として過酸化物を用いる有機過酸化物硬化型と、ポリオルガノシロキサンに付加反応により結合（架橋）して粘着剤を硬化する硬化剤を用いる付加反応型に分類されるが、有機過酸化物硬化型のシリコーン系粘着剤を用いた場合には、硬化反応過程でラジカルの残査である低分子の有機物が発生する。そのため、有機過酸化物硬化型のシリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を具備する粘着シートを用いる場合には、粘着シート貼着工程や、リフロー工程等において、有機過酸化物硬化型のシリコーン系粘着剤の硬化反応が進行してワークを汚染する恐れがある。従って、このような恐れのない付加反応型のシリコーン系粘着剤を用いることがより好ましい。
【００１８】
具体的には、ポリオルガノシロキサンとしてポリジメチルシロキサンを用いる場合には、ポリジメチルシロキサンが不飽和結合を有さず付加反応が進行しないため、硬化剤として過酸化物を用いる有機過酸化物硬化型のシリコーン系粘着剤のみが得られる。これに対して、ポリオルガノシロキサンとしてポリアルキルアルケニルシロキサンを用いる場合には、ポリアルキルアルケニルシロキサンが不飽和結合のあるビニル基を有するため、ビニル基と反応する活性水素基を有するポリアルキル水素シロキサン等を硬化剤として添加し、白金系触媒を添加することにより、付加反応型のシリコーン系粘着剤を得ることができる。この付加反応型のシリコーン系粘着剤は１００〜２５０℃で数分間加熱することにより硬化する。
【００１９】
第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０において、導電性フィラーは、材質として、金、銀、銅、鉛、亜鉛、鉄及びニッケル等の金属又はその合金からなる導電性金属、ならびに前記導電性金属の複合体、カーボン等が挙げられる。前記複合体としては、例えば、銀コート銅、銀コートニッケル、金コート銅、金コートニッケル等が挙げられる。前記カーボンとしては、カーボンブラック、グラファイト、グラフェン、フラーレン、カーボンナノチューブ等が挙げられる。耐熱性の面で、金粉、銀粉、カーボン粉が好ましく、カーボン粉がさらに好ましい。形状としては、球状粉、フレーク状粉、円盤状粉、樹枝状粉、針状粉、不定形状粉等が挙げられる。導電性フィラーの体積平均粒子径は、０．０１〜１００μｍであることが好ましく、０．０５〜５０μｍであることがより好ましく、０．１０〜２０μｍであることが特に好ましい。前記下限値以上であることで、導電性フィラー同士の接点を確保し易く、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０の体積抵抗率を小さくすることができ、前記上限値以下であることで、両面粘着シートの表面をより滑らかにすることができる。
【００２０】
導電性フィラーの体積平均粒子径は、レーザー回折式粒子径分布測定装置を使用することで測定できる。
【００２１】
本発明に係る両面粘着シートは、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０を貫く厚み方向に導電性を有し、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０を貫く厚み方向の体積抵抗率は、１０３〜１０１２Ω・ｃｍであることが好ましく、１０４〜１０１０Ω・ｃｍであることがより好ましく、１０４〜１０９Ω・ｃｍであることが特に好ましい。
【００２２】
本発明に係る両面粘着シートは、２６０℃、５ｍｉｎで加熱処理後の、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０を貫く厚み方向の体積抵抗率は、加熱処理前の１〜１００００％であることが好ましく、また、１０３〜１０１２Ω・ｃｍであることが好ましく、１０４〜１０１０Ω・ｃｍであることがより好ましく、１０４〜１０９Ω・ｃｍであることが特に好ましい。
【００２３】
第一実施形態の両面粘着シート１０の体積抵抗率は、第一の導電性粘着剤層２０とステンレス板（ＳＵＳ３０４、表面仕上げＢＡ）とをラミネートロールを用いて貼合せ、次に、リング状プローブ（商品名：ＵＲＳプローブ、三菱化学社製、内側電極の外径５．９ｍｍ、外側電極の内径１１．０ｍｍ、外側電極の外径１７．８ｍｍ）と測定ステージ（商品名：レジテーブルＵＦＬ、三菱化学社製）との間に両面粘着シート１０を、リング状プローブと第二の導電性粘着剤層３０とが、ステンレス板と測定ステージとが接触するように挟み、約３ｋｇ重の圧力で押さえ付けつつ、プローブの内側の電極と測定ステージとの間に１０Ｖの電圧を印加して抵抗率測定装置（商品名：ハイレスタＵＸ、三菱化学社製）で求めた。このようなリング電極法による体積抵抗率測定法の詳細はＪＩＳ−Ｋ６９１１を参照することができる。
【００２４】
第一の導電性粘着剤層２０において、導電性フィラーの含有量は、構成成分の全量に対して、５〜５０質量％であることが好ましく、７〜４５質量％であることがより好ましく、１０〜４０質量％であることが特に好ましい。第二の導電性粘着剤層３０における、導電性フィラーの含有量も同様である。
また、第一の導電性粘着剤層２０における構成成分の全量と第二の導電性粘着剤層３０における構成成分の全量とを合計した構成成分の全量に対して、第一の導電性粘着剤層２０における導電性フィラーの含有量と第二の導電性粘着剤層３０における導電性フィラーの含有量とを合計した導電性フィラーの含有量は、５〜５０質量％であることが好ましく、７〜４５質量％であることがより好ましく、１０〜４０質量％であることが特に好ましい。
【００２５】
第一の導電性粘着剤層２０のステンレス板（ＳＵＳ３０４、表面仕上げＢＡ）に対する粘着力（剥離角度９０°、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）は、第二の導電性粘着剤層３０のポリイミドフィルム（厚さ５０μｍ）に対する粘着力（剥離角度９０°、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）の方よりも大きく、第一の導電性粘着剤層２０のステンレス板に対する粘着力は、１．０Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、２．０Ｎ／２５ｍｍ以上であることがより好ましく、３．０Ｎ／２５ｍｍ以上であることが特に好ましい。
【００２６】
本発明に係る両面粘着シートは、２６０℃、５ｍｉｎで加熱処理後の、第一の導電性粘着剤層２０のステンレス板に対する粘着力は、加熱処理前に対する変化率が３０％以内であることが好ましく、また、１．０Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、２．０Ｎ／２５ｍｍ以上であることがより好ましく、３．０Ｎ／２５ｍｍ以上であることが特に好ましい。
【００２７】
第一の導電性粘着剤層のステンレス板に対する粘着力は、第一の導電性粘着剤層２０とステンレス板（ＳＵＳ３０４、表面仕上げＢＡ）とをラミネートロールを用いて貼合せ、次に、第二の導電性粘着剤層３０上にポリイミドテープを貼り合せ、更に、ポリイミドテープと両面粘着シート１０との積層体をステンレス板から、剥離角度９０°、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、測定幅２５ｍｍの条件で引き剥がすことで、測定される。前述の測定方法の詳細は、ＪＩＳ−Ｚ０２３７を参照することができる。
【００２８】
第二の導電性粘着剤層３０のポリイミドフィルム（厚さ５０μｍ）に対する粘着力（剥離角度９０°、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）は、０．０１〜２．０Ｎ／２５ｍｍであることが好ましく、０．０２〜１．５Ｎ／２５ｍｍであることがより好ましく、０．０３〜１．０Ｎ／２５ｍｍであることが特に好ましい。
【００２９】
本発明に係る両面粘着シートは、２６０℃、５ｍｉｎで加熱処理後の、第二の導電性粘着剤層３０のポリイミドフィルムに対する粘着力は、加熱処理前に対する変化率が３０％以内であることが好ましく、また、０．０１〜２．０Ｎ／２５ｍｍであることが好ましく、０．０２〜１．５Ｎ／２５ｍｍであることがより好ましく、０．０３〜１．０Ｎ／２５ｍｍであることが特に好ましい。
【００３０】
第二の導電性粘着剤層３０のポリイミドフィルムに対する粘着力は、第一の導電性粘着剤層２０とステンレス板（ＳＵＳ３０４、表面仕上げＢＡ）とをラミネートロールを用いて貼合せ、次に、第二の導電性粘着剤層３０上に、ポリイミドフィルムを、質量３ｋｇのローラを２往復させることで貼合せ、更に、前記ポリイミドフィルムを、第二の導電性粘着剤層３０から、剥離角度９０°、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、測定幅２５ｍｍの条件で引き剥がすことで測定される。前述の測定方法の詳細は、ＪＩＳ−Ｚ０２３７を参照することができる。
【００３１】
第一の導電性粘着剤層２０の側の剥離シート４０、及び、第二の導電性粘着剤層３０の側の剥離シート４１として、従来公知の剥離シートを使用することができる。剥離シートとしては、ポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリイミドフィルム、剥離紙、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、液晶ポリアリレート、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）等や、それらに離型処理等を施したフィルム等を使用することができる。耐熱性の面で、ポリイミドフィルム、剥離紙、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、液晶ポリアリレート、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）が好ましい。
【００３２】
第一の導電性粘着剤層２０の厚さは、１〜２００μｍであることが好ましく、１０〜１００μｍであることがより好ましい。第二の導電性粘着剤層３０の厚さは、１〜２００μｍであることが好ましく、１０〜１００μｍであることがより好ましい。剥離シート４０の厚さは、１０〜２００μｍであることが好ましく、２５〜１００μｍであることがより好ましい。剥離シート４１の厚さは、１０〜２００μｍであることが好ましく、２５〜１００μｍであることがより好ましい。
第一の導電性粘着剤層２０と第二の導電性粘着剤層３０とを合計した厚さは、２〜４００μｍであることが好ましく、２０〜２００μｍであることがより好ましい。
【００３３】
［第一実施形態の両面粘着シートの製造方法］
初めに、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０の原料となるシリコーン系粘着剤及び導電性フィラー、並びに、必要応じて溶剤をそれぞれ均一に攪拌混合することで、第一の導電性粘着剤組成物及び第二の導電性粘着剤組成物を調製する。溶剤量を調整することで、第一の導電性粘着剤層及び第二の導電性粘着剤層の形成を容易にすることができる。
【００３４】
前記溶剤は、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン、シクロヘキサノン、ｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン等の有機溶剤が好ましい。
攪拌混合は、例えば、スキャンデックス、ペイントコンディショナー、サンドミル、らいかい機、三本ロール又はビーズミル等の撹拌機により、またこれらを組み合わせて行うことができる。更に攪拌混合後に第一の導電性粘着剤組成物及び第二の導電性粘着剤組成物から気泡を除去するために真空脱泡することが好ましい。
【００３５】
第一の導電性粘着剤組成物及び第二の導電性粘着剤組成物の塗工方法としては、公知の方法で行うことができ、例えば、ナイフコート、ダイコート、リップコート、ロールコート、カーテンコート、バーコート、グラビアコート、フレキソコート、ディップコート、スプレーコート、スピンコート等の塗工方法が好ましい。
【００３６】
それぞれの塗工の後、必要応じて、室温もしくは５０〜３００℃の温度条件下で加熱することにより硬化させて、第一の導電性粘着剤層及び第二の導電性粘着剤層をそれぞれ作製することができる。加熱温度は、リフロー時のアウトガス発生による発泡を防ぐ観点から、２００〜２５０℃が好ましい。
【００３７】
より具体的には、例えば、剥離シート４０の上に、第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、剥離シート４０の上に第一の導電性粘着剤層２０を形成する。次に、第一の導電性粘着剤層２０の上に、第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、第一の導電性粘着剤層２０の上に第二の導電性粘着剤層３０を形成する。更に、第二の導電性粘着剤層３０の上に、剥離シート４１を積層させる。これにより、剥離シート４０、第一の導電性粘着剤層２０、第二の導電性粘着剤層３０及び剥離シート４１がこの順に積層された、図１で示される第一実施形態の両面粘着シート１０を作製することができる。
【００３８】
例えば、剥離シート４１の上に、第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、剥離シート４１の上に第二の導電性粘着剤層３０を形成する。次に、第二の導電性粘着剤層３０の上に、第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、第二の導電性粘着剤層３０の上に第一の導電性粘着剤層２０を形成する。更に、第一の導電性粘着剤層２０の露出面と、剥離シート４０の剥離処理面とを貼り合わせる。これによっても、剥離シート４０、第一の導電性粘着剤層２０、第二の導電性粘着剤層３０及び剥離シート４１がこの順に積層された、図１で示される第一実施形態の両面粘着シート１０を作製することができる。
【００３９】
例えば、剥離シート４０の上に、第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、剥離シート４０の上に第一の導電性粘着剤層２０を形成する。これと並行して、剥離シート４１の上に、第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、剥離シート４１の上に第二の導電性粘着剤層３０を形成する。更に、これらのうち、第一の導電性粘着剤層２０の露出面と、第二の導電性粘着剤層３０の露出面とを貼り合わせる。これによっても、剥離シート４０、第一の導電性粘着剤層２０、第二の導電性粘着剤層３０及び剥離シート４１がこの順に積層された、図１で示される第一実施形態の両面粘着シート１０を作製することができる。
【００４０】
［第二実施形態の両面粘着シート］
図２は、本発明に係る第二実施形態の両面粘着シートの概略断面図である。なお、図２以降の図において、既に説明済みの図に示すものと同じ構成要素には、その説明済みの図の場合と同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００４１】
第二実施形態の両面粘着シート１１は、第一の導電性粘着剤層２０と、第二の導電性粘着剤層３０と、が積層された両面粘着シートであり、第一の導電性粘着剤層２０と第二の導電性粘着剤層３０との間に、導電性基材からなる支持体層５０を備える。第二実施形態の両面粘着シート１１は、支持体層５０を備えるので、加工性、取り扱い性に優れる。具体的には、貼り直しし易く、剥離シートを剥がし易く、また、打ち抜き加工がし易くなる。
【００４２】
第二実施形態の両面粘着シート１１は、第一の導電性粘着剤層２０、支持体層５０及び第二の導電性粘着剤層３０を貫く厚み方向に導電性を有する。支持体層５０は、多孔質基材からなるものであって、第一の導電性粘着剤層２０と第二の導電性粘着剤層３０とが接触するように積層されるものである。第二実施形態の両面粘着シート１１は、第一の導電性粘着剤層２０の側に剥離シート４０が積層され、第二の導電性粘着剤層３０の側に剥離シート４１が積層されている。
【００４３】
導電性基材からなる支持体層５０は、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０が接触され、第一の導電性粘着剤層２０、支持体層５０及び第二の導電性粘着剤層３０を貫く厚み方向に導電性が付与されるものであればよく、金属箔であってもよく、めっき、蒸着又はスパッタリングされた膜であってもよく、グラファイトシートやカーボン紙であってもよい。
【００４４】
多孔質基材からなる支持体層５０としては、不織布、メッシュ又は、パンチングプレートであってもよく、導電性を有する多孔質基材であってもよい。
【００４５】
支持体層５０は、第一の導電性粘着剤層２０、支持体層５０及び第二の導電性粘着剤層３０を貫く厚み方向の体積抵抗率を小さくすることができることから、導電性基材、導電性を有する多孔質基材からなることが好ましい。支持体層５０は、耐熱性の観点から、材質として、金属材料、カーボン材料、又はポリイミド、アラミド、パルプ等の有機材料からなるものが好ましい。
【００４６】
支持体層５０の厚さは、導電性基材では０．１〜１００μｍであってもよく、０．５〜５０μｍであることがより好ましく、１〜３５μｍであることが特に好ましい。多孔質基材では、１０〜１０００μｍであってもよく、１０〜５００μｍであることが好ましく、１０〜２００μｍであることが特に好ましい。
【００４７】
［第二実施形態の両面粘着シートの製造方法］
初めに、第一実施形態の両面粘着シートの製造方法と同様、第一の導電性粘着剤組成物及び第二の導電性粘着剤組成物を調製する。また、支持体層５０となる導電性基材又は多孔質基材を準備する。
【００４８】
例えば、剥離シート４０の上に、第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、剥離シート４０の上に第一の導電性粘着剤層２０を形成する。次に、第一の導電性粘着剤層２０の上に、支持体層５０となる導電性基材又は多孔質基材を積層して、第一の導電性粘着剤層２０の上に、支持体層５０を形成する。更に、支持体層５０の上に、第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、支持体層５０の上に第二の導電性粘着剤層３０を形成する。また更に、第二の導電性粘着剤層３０の上に、剥離シート４１を積層させる。これにより、剥離シート４０、第一の導電性粘着剤層２０、支持体層５０、第二の導電性粘着剤層３０及び剥離シート４１がこの順に積層された、図２で示される第二実施形態の両面粘着シート１１を作製することができる。
【００４９】
例えば、剥離シート４１の上に、第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、剥離シート４１の上に第二の導電性粘着剤層３０を形成する。次に、第二の導電性粘着剤層３０の上に、支持体層５０となる導電性基材又は多孔質基材を積層して、第二の導電性粘着剤層３０の上に、支持体層５０を形成する。更に、支持体層５０の上に、第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、支持体層５０の上に、第一の導電性粘着剤層２０を形成する。更に、第一の導電性粘着剤層２０の露出面と、剥離シート４０の剥離処理面とを貼り合わせる。これによっても、剥離シート４０、第一の導電性粘着剤層２０、支持体層５０、第二の導電性粘着剤層３０及び剥離シート４１がこの順に積層された、図２で示される第二実施形態の両面粘着シート１１を作製することができる。
【００５０】
例えば、支持体層５０の上に、第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、支持体層５０の上に第二の導電性粘着剤層３０を形成する。次に、第二の導電性粘着剤層３０の露出面と、剥離シート４１の剥離処理面とを貼り合わせる。上下を反転させてから、支持体層５０の上に、第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、支持体層５０の上に第一の導電性粘着剤層２０を形成する。更に、第一の導電性粘着剤層２０の露出面と、剥離シート４０の剥離処理面とを貼り合わせる。これによっても、剥離シート４０、第一の導電性粘着剤層２０、支持体層５０、第二の導電性粘着剤層３０及び剥離シート４１がこの順に積層された、図２で示される第二実施形態の両面粘着シート１１を作製することができる。
【００５１】
例えば、支持体層５０の上に、第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、支持体層５０の上に第一の導電性粘着剤層２０を形成する。次に、第一の導電性粘着剤層２０の露出面と、剥離シート４０の剥離処理面とを貼り合わせる。上下を反転させてから、支持体層５０の上に、第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、支持体層５０の上に第二の導電性粘着剤層３０を形成する。更に、第二の導電性粘着剤層３０の露出面と、剥離シート４１の剥離処理面とを貼り合わせる。これによっても、剥離シート４０、第一の導電性粘着剤層２０、支持体層５０、第二の導電性粘着剤層３０及び剥離シート４１がこの順に積層された、図２で示される第二実施形態の両面粘着シート１１を作製することができる。
【００５２】
例えば、剥離シート４０の上に、第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、剥離シート４０の上に第一の導電性粘着剤層２０を形成する。これと並行して、剥離シート４１の上に、第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、剥離シート４１の上に第二の導電性粘着剤層３０を形成する。更に、第二の導電性粘着剤層３０の露出面と、支持体層５０とを貼り合わせる。これらのうち、第一の導電性粘着剤層２０の露出面と、支持体層５０とを貼り合わせる。これによっても、剥離シート４０、第一の導電性粘着剤層２０、第二の導電性粘着剤層３０及び剥離シート４１がこの順に積層された、図２で示される第二実施形態の両面粘着シート１１を作製することができる。
【００５３】
例えば、剥離シート４１の上に、第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、剥離シート４１の上に第二の導電性粘着剤層３０を形成する。これと並行して、剥離シート４０の上に、第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて、加熱・乾燥させて、剥離シート４０の上に第一の導電性粘着剤層２０を形成する。更に、第一の導電性粘着剤層２０の露出面と、支持体層５０とを貼り合わせる。これらのうち、第二の導電性粘着剤層３０の露出面と、支持体層５０とを貼り合わせる。これによっても、剥離シート４０、第一の導電性粘着剤層２０、第二の導電性粘着剤層３０及び剥離シート４１がこの順に積層された、図２で示される第二実施形態の両面粘着シート１１を作製することができる。
【００５４】
［両面粘着シートの使用方法］
第一実施形態の両面粘着シート１０及び第二実施形態の両面粘着シート１１は、例えば、プリント基板等の製造において、リフロー工程用の搬送治具にワークを仮固定する用途に好適に使用することができる。以下、第一実施形態の両面粘着シート１０の使用方法の例を説明する。第二実施形態の両面粘着シート１１も同様に使用することができる。ただし、本発明に係る両面粘着シートの使用方法は、以下の記載に限定されるものではない。
【００５５】
図３は、本発明に係る両面粘着シートの使用方法の一例を示す概略断面図である。
【００５６】
図３（ａ）に示されるように、搬送治具７２に、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０からなる両面粘着シートを固定することができる。
【００５７】
次に、図３（ｂ）に示されるように、搬送治具７２を接地し、搬送治具７２、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０のうち、第二の導電性粘着剤層３０の露出面にワーク７４を貼り付けて仮固定する。
【００５８】
ワーク７４としては、ＦＰＣ基板、リジット基板（アルミ、ステンレス、ガラスエポキシ、セラミック等）、半導体パッケージ、セラミック部品等が挙げられる。
【００５９】
図３（ｃ）に示されるように、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０からなる両面粘着シートによって、搬送治具７２に仮固定されたワーク７４を搬送し、例えば、レジスト現像、めっき、エッチング、洗浄等の湿式処理工程、フォトレジスト乾燥、ソルダーレジスト乾燥等の加熱処理工程に供することができる。更に、リフロー工程に供することができる。
【００６０】
ワーク７４の各処理工程の後、図３（ｄ）に示されるように、搬送治具７２が接地された状態で、ワーク７４を剥がす。ワーク７４が第二の導電性粘着剤層３０からきれいに剥がれることが重要である。ここで、本発明に係る両面粘着シートにおいては、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０を貫く厚み方向に導電性を有するので、剥離帯電を抑制することができる。また、第一の導電性粘着剤層２０の粘着力は、第二の導電性粘着剤層３０の粘着力の方よりも大きく設計されているので、第一の導電性粘着剤層２０が、搬送治具７２から容易に剥がれないものとすることができる。
【００６１】
図３（ｅ）に示されるように、接地された搬送治具７２に、第一の導電性粘着剤層２０及び第二の導電性粘着剤層３０からなる両面粘着シートが固定された状態に戻すことができる。再度、図３（ｂ）に示されるように、別のワーク７４を第二の導電性粘着剤層３０の露出面に貼り付けて仮固定し、ワーク７４の各処理工程に繰り返し供することができる。ここで、ワークを仮固定する前に、第二の導電性粘着剤層３０の露出面に対して、セロハンテープを押し付けて異物を除去する工程、アルコール系溶剤で洗浄する工程、アルコール系溶剤を拭き取る工程を経てもよい。
【実施例】
【００６２】
以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。
【００６３】
［実施例１］
東レダウコーニング社製のシリコーン粘着剤主剤（ＳＤ ４５６０ ＰＳＡ、固形分濃度６０質量％のトルエン溶液）１００質量部、東レダウコーニング社製の白金触媒（ＳＲＸ−２１２）０．９質量部、トルエン１００質量部に対して、グラファイト粉（体積平均粒子径：３．５μｍ、鱗片状、導電性フィラー）を構成成分の全量（乾燥重量）に対して１７質量％となるように加え、均一に攪拌混合することで、第一の導電性粘着剤組成物を調製した。
【００６４】
東レダウコーニング社製のシリコーン粘着剤主剤（ＬＴＣ７５５  Ｃｏａｔｉｎｇ、固形分濃度３０質量％のトルエン溶液）１００質量部、東レダウコーニング社製の白金触媒（ＳＲＸ−２１２）０．３質量部、トルエン１００質量部に対して、グラファイト粉（体積平均粒子径：３．５μｍ、鱗片状、導電性フィラー）を構成成分の全量（乾燥重量）に対して２６質量％となるように加え、均一に攪拌混合することで、第二の導電性粘着剤組成物を調製した。
【００６５】
剥離シート４１となる、離型剤が塗布されたポリイミドフィルム（厚さ７５μｍ）の離型処理面上に、第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、２３０℃、１．５ｍｉｎで加熱・乾燥させて、剥離シート４１の上に厚さ２５μｍの第二の導電性粘着剤層３０を形成した。次に、第二の導電性粘着剤層３０の上に、第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、２３０℃、１．５ｍｉｎで加熱・乾燥させて、第二の導電性粘着剤層３０の上に厚さ２５μｍの第一の導電性粘着剤層２０を形成した。更に、第一の導電性粘着剤層２０の上に、剥離シート４０となる、離型剤が塗布されたポリエチレンテレフタレートフィルム（厚さ３８μｍ）の剥離処理面を貼り合わせた。これにより、剥離シート４１、第二の導電性粘着剤層３０、第一の導電性粘着剤層２０及び剥離シート４０がこの順に積層された、図１で示される実施例１の両面粘着シート１０を作製した。
【００６６】
［実施例２］
実施例１において、厚さ２５μｍの第一の導電性粘着剤層２０及び厚さ２５μｍの第二の導電性粘着剤層３０を、塗布量を変更して、厚さ４０μｍの第一の導電性粘着剤層２０及び厚さ１０μｍの第二の導電性粘着剤層３０に変更したこと以外は実施例１と同様にして、図１で示される実施例２の両面粘着シート１０を作製した。
【００６７】
［実施例３］
実施例１において、第二の導電性粘着剤組成物を調製する際の、グラファイト粉（体積平均粒子径：３．５μｍ、鱗片状、導電性フィラー）を構成成分の全量（乾燥重量）に対して２８質量％となるように変更したこと以外は実施例１と同様にして、図１で示される実施例３の両面粘着シート１０を作製した。
【００６８】
［実施例４］
実施例３において、厚さ２５μｍの第一の導電性粘着剤層２０及び厚さ２５μｍの第二の導電性粘着剤層３０を、塗工量を変更して、厚さ４０μｍの第一の導電性粘着剤層２０及び厚さ１０μｍの第二の導電性粘着剤層３０に変更したこと以外は実施例３と同様にして、図１で示される実施例４の両面粘着シート１０を作製した。
【００６９】
［実施例５］
実施例３において、厚さ２５μｍの第一の導電性粘着剤層２０及び厚さ２５μｍの第二の導電性粘着剤層３０を、塗工量を変更して、厚さ５０μｍの第一の導電性粘着剤層２０及び厚さ５０μｍの第二の導電性粘着剤層３０に変更したこと以外は実施例３と同様にして、図１で示される実施例５の両面粘着シート１０を作製した。
【００７０】
［実施例６］
実施例１において、第一の導電性粘着剤組成物を調製する際の、グラファイト粉（体積平均粒子径：３．５μｍ、鱗片状、導電性フィラー）１７質量％を銀コート銅粉（デンドライト状、体積平均粒子径：８μｍ、導電性フィラー）３０質量％に変更し、第二の導電性粘着剤組成物を調製する際の、グラファイト粉（体積平均粒子径：３．５μｍ、鱗片状、導電性フィラー）２６質量％を銀コート銅粉（デンドライト状、体積平均粒子径：８μｍ、導電性フィラー）３０質量％に変更したこと以外は実施例１と同様にして、図１で示される実施例６の両面粘着シート１０を作製した。
【００７１】
［実施例７］
支持体層５０となる銅箔（厚さ２５μｍ）の上に実施例１で調製した第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、２３０℃、１．５ｍｉｎで加熱・乾燥させて、銅箔の上に厚さ２５μｍの第二の導電性粘着剤層３０を形成した。次に、第二の導電性粘着剤層３０の上に、剥離シート４１となるポリイミドフィルム（厚さ７５μｍ）を貼り合わせて、第二の導電性粘着剤層３０の上に、剥離シート４１を形成した。更に、支持体層５０の、第二の導電性粘着剤層３０が形成された面と反対側の面に、第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、２３０℃、１．５ｍｉｎで加熱・乾燥させて、支持体層５０の上に厚さ２５μｍの第一の導電性粘着剤層２０を形成した。また更に、第一の導電性粘着剤層２０の露出面と、剥離シート４０となる、離型剤が塗布されたポリエチレンテレフタレートフィルム（厚さ３８μｍ）の剥離処理面とを貼り合わせた。これにより、剥離シート４１、第二の導電性粘着剤層３０、支持体層５０、第一の導電性粘着剤層２０及び剥離シート４０がこの順に積層された、図２で示される実施例７の第二実施形態の両面粘着シート１１を作製した。
【００７２】
［実施例８］
剥離シート４１となる、離型剤が塗布されたポリイミドフィルム（厚さ７５μｍ）の離型処理面上に、実施例１で調製した第二の導電性粘着剤組成物を塗工し、２３０℃、１．５ｍｉｎで加熱・乾燥させて、剥離シート４１の上に厚さ２５μｍの第二の導電性粘着剤層３０を形成した。次に、支持体層５０となるナイロンメッシュ（厚さ５０μｍ、１５０メッシュ）を貼り合わせて、第二の導電性粘着剤層３０の上に、支持体層５０を形成した。更に、支持体層５０の上に、実施例１で調製した第一の導電性粘着剤組成物を塗工し、２３０℃、１．５ｍｉｎで加熱・乾燥させて、支持体層５０の上に厚さ２５μｍの第一の導電性粘着剤層２０を形成した。更に、第一の導電性粘着剤層２０の上に、剥離シート４０となる、離型剤が塗布されたポリエチレンテレフタレートフィルム（厚さ３８μｍ）の剥離処理面とを貼り合わせた。これにより、剥離シート４１、第二の導電性粘着剤層３０、支持体層５０、第一の導電性粘着剤層２０及び剥離シート４０がこの順に積層された、図２で示される実施例８の両面粘着シート１１を作製した。
【００７３】
［比較例１］
実施例７において、第一の導電性粘着剤組成物、及び第二の導電性粘着剤組成物からグラファイト粉を抜いたこと以外は、実施例７と同様にして、比較例１の両面粘着シート１１を作製した。
【００７４】
［比較例２］
実施例７において、支持体層５０となる厚さ２５μｍの銅箔を、厚さ５０μｍのポリイミドフィルムに変更したこと以外は、実施例７と同様にして、比較例２の両面粘着シート１１を作製した。
【００７５】
＜体積抵抗率の測定＞
実施例及び比較例で作製した両面粘着シート１０及び両面粘着シート１１の、第一の導電性粘着剤層２０とステンレス板（ＳＵＳ３０４、表面仕上げＢＡ）とをラミネートロールを用いて貼合せた。次に、リング状プローブ（商品名：ＵＲＳプローブ、三菱化学社製、内側電極の外径５．９ｍｍ、外側電極の内径１１．０ｍｍ、外側電極の外径１７．８ｍｍ）と測定ステージ（商品名：レジテーブルＵＦＬ、三菱化学社製）との間に、実施例及び比較例で作製した両面粘着シート１０及び両面粘着シート１１を、リング状プローブと第二の導電性粘着剤層３０とが、ステンレス板と測定ステージとが接触するように挟み、約３ｋｇ重の圧力で押さえ付けつつ、プローブの内側の電極と測定ステージとの間に１０Ｖの電圧を印加して抵抗率測定装置（商品名：ハイレスタＵＸ、三菱化学社製）で求めた。このようなリング電極法による体積抵抗率測定法の詳細はＪＩＳ−Ｋ６９１１を参照することができる。
【００７６】
更に、それぞれの両面粘着シート１０及び両面粘着シート１１とステンレス板との積層体について、２６０℃、５ｍｉｎで加熱処理後の体積抵抗率を同様に測定した。
結果を表１及び表２に示す。結果が“△”、“○”、”◎“のいずれかであれば、実用上問題なく使用でき、”◎“が最も好ましい。
【００７７】
（評価基準）
◎：１０４〜１０９Ω・ｃｍ
○：１０１０Ω・ｃｍ
△：１０３Ω・ｃｍ、または１０１１〜１０１２Ω・ｃｍ
×：上記以外
【００７８】
＜粘着力の測定＞
実施例及び比較例で作製した両面粘着シート１０及び両面粘着シート１１の、第一の導電性粘着剤層２０とステンレス板（ＳＵＳ３０４、表面仕上げＢＡ）とをラミネートロールを用いて貼合せた。次に、第二の導電性粘着剤層３０上にポリイミドテープを貼り合せた。更に、ポリイミドテープと、両面粘着シート１０または両面粘着シート１１との積層体をステンレス板から、剥離角度９０°、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、測定幅２５ｍｍの条件で引き剥がし、粘着力を測定した。前述の測定方法の詳細は、ＪＩＳ−Ｚ０２３７を参照することができる。
【００７９】
また、２６０℃、５ｍｉｎで加熱処理後の、第一の導電性粘着剤層２０の粘着力を測定する場合には、前記方法において、第二の導電性粘着剤層３０上にポリイミドテープを貼り合せる前に、２６０℃、５ｍｉｎで加熱処理を行った。
結果を表１及び表２に示す。結果が“△”、“○”、”◎“のいずれかであれば、実用上問題なく使用でき、”◎“が最も好ましい。
【００８０】
（評価基準）
◎：３．０Ｎ／２５ｍｍ以上
○：２．０Ｎ／２５ｍｍ以上、３．０Ｎ／２５ｍｍ未満
△：１．０Ｎ／２５ｍｍ以上、２．０Ｎ／２５ｍｍ未満
×：１．０Ｎ／２５ｍｍ未満
【００８１】
実施例及び比較例で作製した両面粘着シート１０及び両面粘着シート１１の、第一の導電性粘着剤層２０とステンレス板（ＳＵＳ３０４、表面仕上げＢＡ）とをラミネートロールを用いて貼合せた。次に、第二の導電性粘着剤層３０上に、厚さ５０μｍのポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製「カプトン２００ＥＮ」）を、質量３ｋｇのローラを２往復させることで貼合せた。更に、前記ポリイミドフィルムを、第二の導電性粘着剤層３０から、剥離角度９０°、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、測定幅２５ｍｍの条件で引き剥がし、粘着力を測定した。前述の測定方法の詳細は、ＪＩＳ−Ｚ０２３７を参照することができる。
【００８２】
また、２６０℃、５ｍｉｎで加熱処理後の、第二の導電性粘着剤層３０の粘着力を測定する場合には、前記方法において、第二の導電性粘着剤層３０上にポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製「カプトン２００ＥＮ」）を貼り合せる前に、２６０℃、５ｍｉｎで加熱処理を行った。
結果を表１及び表２に示す。結果が“△”、“○”、”◎“のいずれかであれば、実用上問題なく使用でき、”◎“が最も好ましい。
【００８３】
（評価基準）
◎：０．０３Ｎ／２５ｍｍ以上、１．０  Ｎ／２５ｍｍ未満
○：０．０２Ｎ／２５ｍｍ、
または１．０Ｎ／２５ｍｍ以上、１．５Ｎ／２５ｍｍ未満
△：０．０２Ｎ／２５ｍｍ、
または１．５Ｎ／２５ｍｍ以上、２．０Ｎ／２５ｍｍ未満
×：上記以外
【００８４】
結果を表１及び表２に示す。
【００８５】
【表１】
2020111679.tif 000003
【００８６】
【表２】
2020111679.tif 000004
【００８７】
比較例１〜２の両面粘着シートは、いずれも、第一の導電性粘着剤層の粘着力は、第二の導電性粘着剤層の粘着力よりも大きいが、第一の導電性粘着剤層及び第二の導電性粘着剤層を貫く厚み方向の体積抵抗率が大きいので、搬送治具に対して、ワークの剥離を繰り返したとき、剥離帯電が生じて、フィルム状基材上の半導体部材や、半導体部材のワーク自体が静電破壊されるおそれがある。
これに対して、実施例１〜８の両面粘着シートは、いずれも、第一の導電性粘着剤層の粘着力は、第二の導電性粘着剤層の粘着力よりも大きく、かつ、第一の導電性粘着剤層及び第二の導電性粘着剤層を貫く厚み方向に良好な導電性を有するので、搬送治具に対して、ワークの貼着、加工及び剥離を多数回繰り返して使用することができ、かつ、剥離帯電を抑制することができる。
また、実施例１〜８の両面粘着シートは、いずれも、２６０℃、５ｍｉｎで加熱処理後も、第一の導電性粘着剤層の粘着力は、第二の導電性粘着剤層の粘着力よりも大きく、かつ、第一の導電性粘着剤層及び第二の導電性粘着剤層を貫く厚み方向に良好な導電性を有するので、搬送治具に対して、ワークの貼着、リフロー工程等の加工及び剥離を多数回繰り返して使用することができ、かつ、剥離帯電をより良好に抑制することができる。
【符号の説明】
【００８８】
１０，１１  両面粘着シート
２０  第一の導電性粘着剤層
３０  第二の導電性粘着剤層
４０  剥離シート
４１  剥離シート
５０  支持体層
７２  搬送治具
７４  ワーク
【図１】
2020111679.tif 000005
【図２】
2020111679.tif 000006
【図３】
2020111679.tif 000007