(57)【要約】【課題】安価な手法で摺動性に優れた摺動部材、および摺動部材の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の摺動部材は、基材の表面に摺動性を高めるために設けられる摺動部材である。摺同部材は、基材から最も遠い側（最も外側）に位置する第１固体潤滑層と、第１固体潤滑層の基材側（内側）に接する第２固体潤滑層と、を含む。第１固体潤滑層および第２固体潤滑層は、固体潤滑剤を含む。第１固体潤滑層における固体潤滑剤の粒径範囲が、第２固体潤滑層における固体潤滑剤の粒径範囲よりも小さい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の表面に摺動性を高めるために設けられる摺動部材であって、
前記基材から最も遠い側に位置する第１固体潤滑層と、前記第１固体潤滑層の前記基材側に接する第２固体潤滑層と、を含み、
前記第１固体潤滑層および前記第２固体潤滑層は、固体潤滑剤を含み、
前記第１固体潤滑層における前記固体潤滑剤の粒径範囲が、前記第２固体潤滑層における前記固体潤滑剤の粒径範囲よりも小さい、摺動部材。
【請求項２】
前記固体潤滑剤は、鱗片状または球状である、請求項１に記載の摺動部材。
【請求項３】
前記固体潤滑剤は、二硫化モリブデン、三酸化アンチモン、二硫化タングステン、グラファイト、窒化ホウ素および高分子系材料から選択される少なくとも１種である、請求項１または２に記載の摺動部材。
【請求項４】
前記第２固体潤滑層の前記基材側に、さらに第３固体潤滑層を含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の摺動部材。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の摺動部材の製造方法であって、
前記第２固体潤滑層の形成に用いた塗料を攪拌し、該塗料中の固体潤滑剤を破砕することによって得られる塗料を用いて前記第１固体潤滑層を形成する、摺動部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、摺動部材、および摺動部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧縮機などの種々の機器の摺動部に用いられる摺動部材について、その摺動性を確保するために、自己潤滑性を有する固体潤滑剤を用いる方法が知られている（例えば、特許文献１（国際公開第２０１４／０９１７５７号）、特許文献２（特開２００６−３４８３４３号公報）参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１４／０９１７５７号
【特許文献２】特開２００６−３４８３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
摺動部材では、耐摩耗性、低摩擦性、なじみ性等の摺動性が要求される。特許文献１および特許文献２では、固体潤滑剤を含む複数の固体潤滑層を積層することにより、摺動性を確保している。
【０００５】
特許文献１では、塗布方法により、複数の固体潤滑層を形成し、最も内側（基材側）に位置する固体潤滑層における固体潤滑剤の平均粒径が、最も外側に位置する固体潤滑層（他の部材と接触する側、最外層）における固体潤滑剤の平均粒径よりも小さくなっている。すなわち、他の部材と接触する摺動面には、基材側に比べ、平均粒径の大きな固体潤滑剤が存在することになる。このため、最外層は凹凸の多い層となり、過剰な凹凸は摺動部材の摺動性の低下要因になる。
【０００６】
また、特許文献２では、マグネトロンスパッタイオンプレーティング方法により、複数の固体潤滑層を形成している。マグネトロンスパッタイオンプレーティング装置は高価であり、さらにチャンバー寸法の制約を受け、大型部材には適用できない。
【０００７】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、安価な手法で、摺動性に優れた摺動部材、および摺動部材の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の摺動部材は、基材の表面に摺動性を高めるために設けられる摺動部材である。摺同部材は、基材から最も遠い側（最も外側）に位置する第１固体潤滑層と、第１固体潤滑層の基材側（内側）に接する第２固体潤滑層と、を含む。第１固体潤滑層および第２固体潤滑層は、固体潤滑剤を含む。第１固体潤滑層における固体潤滑剤の粒径範囲が、第２固体潤滑層における固体潤滑剤の粒径範囲よりも小さい。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、安価な手法で、摺動性に優れた摺動部材、および摺動部材の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態１における摺動部材を示す断面図である。
【図２】実施の形態１における摺動部材の表面に存在する二硫化モリブデンを示す平面図である。
【図３】実施の形態１における摺動部材の表面に存在する三酸化アンチモンを示す平面図である。
【図４】実施の形態１における摺動部材の製造方法を示すプロセスフロー図である。
【図５】実施の形態２における摺動部材を示す断面図である。
【図６】従来例における摺動部材を示す断面図である。
【図７】従来例における摺動部材の表面に存在する二硫化モリブデンを示す平面図である。
【図８】従来例における摺動部材の表面に存在する三酸化アンチモンを示す平面図である。
【図９】従来例における摺動部材を示す断面図である。
【図１０】実施の形態３における摺動部材を示す断面図である。
【図１１】実施の形態３における摺動部材の製造方法を示すプロセスフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表す。
【００１２】
実施の形態１．
＜摺動部材＞
図１は、実施の形態１における摺動部材を示す断面図である。図１に示されるように、摺動部材の第１固体潤滑層１１および第２固体潤滑層１２には、固体潤滑剤である二硫化モリブデン１および三酸化アンチモン２が共存している。
【００１３】
なお、摺動部材の表面には、固体潤滑剤である二硫化モリブデン１および三酸化アンチモン２が共存している。図２は、実施の形態１における摺動部材の表面に存在する二硫化モリブデンを示す平面図である。図３は、実施の形態１における摺動部材の表面に存在する三酸化アンチモンを示す平面図である。
【００１４】
固体潤滑剤とは、摺動部材に配合することにより摺動部材の摺動性を高めることのできる化合物である。固体潤滑剤は、素材自身の摩擦係数が極めて小さいという性質（自己潤滑性）を有することが好ましい。
【００１５】
固体潤滑剤としては、例えば、二硫化モリブデン、三酸化アンチモン、二硫化タングステン、グラファイト、窒化ホウ素などが挙げられる。
【００１６】
本実施の形態では、固体潤滑剤として層状結晶構造物質を用いる。層状結晶構造物質は鱗片状の物質が重なりあってなる層状構造を有する。層状結晶構造物質に荷重が加わると横滑り現象が起こり、摺動部材の摺動性を向上させる。
【００１７】
層状結晶構造物質としては、例えば、厚さ１μｍの固体潤滑剤（例えば、二硫化モリブデン）の薄片が数１００層以上重なりあってなる層状構造を有する物質が挙げられる。層状結晶構造物質を構成する各層に対し剪断方向の荷重が加わると、剪断力により各層が同一方向に滑る。この滑りが摺動性の向上に寄与する。
【００１８】
本実施の形態では、上記の二硫化モリブデンの薄片は、鱗片状である。図１に示されるように、鱗片状の二硫化モリブデン１の固体潤滑層内での断面形状は、長細い形状となる。なお、鱗片状とは、例えば、粒径を平均厚みで除して表されるアスペクト比が２０以上６０以下であるフレーク形状または扁平形状などの形状である。
【００１９】
そして、本実施の形態では、第１固体潤滑層１１における固体潤滑剤の粒径範囲が、第２固体潤滑層１２における固体潤滑剤の粒径範囲よりも小さいため、固体潤滑層の外側表面に過剰な凹凸（例えば、グロス値が５以下となる凹凸）の形成を抑制でき、摺動部材の摺動性を高めることができる。
【００２０】
本実施の形態において、固体潤滑剤の粒径は、断面図における粒子の形状をもとに決定したフェレー径である。フェレー径を決定するための平行線は、粒径が最大となるように設定する。粒径範囲は、２００μｍ２（平方マイクロメートル）の領域を１０カ所観察し、各領域にて同じ種類の粒子の最大粒径を求め、この１０カ所での最大粒径の中の最小値と最大値とで範囲が定義される。例えば、領域１の最大値が５μｍ、領域２〜領域９までの最大値が６〜１０μｍ、領域１０の最大値が１２μｍであれば、粒径範囲は５〜１２μｍとなる。
【００２１】
なお、「第１固体潤滑層１１における固体潤滑剤の粒径範囲が、第２固体潤滑層１２の固体潤滑剤の粒径範囲よりも小さい」とは、第１固体潤滑層１１における固体潤滑剤の粒径範囲の少なくとも一部が、第２固体潤滑層１２の固体潤滑剤の粒径範囲よりも小さいことを意味する。したがって、例えば、第１固体潤滑層１１における固体潤滑剤の粒径範囲が４〜８μｍであり、第２固体潤滑層１２の固体潤滑剤の粒径範囲が１〜５μｍであってもよい。
【００２２】
ただし、本発明の効果をより確実に得るためには、第１固体潤滑層１１における固体潤滑剤の粒径範囲の全てが、第２固体潤滑層１２の固体潤滑剤の粒径範囲（最小値）よりも小さいことが好ましい。
【００２３】
固体潤滑層（第１固体潤滑層および第２固体潤滑層）は、例えば、樹脂バインダーと、該樹脂バインダー中に分散された上記の固体潤滑剤と、を含む。
【００２４】
樹脂バインダーとしては、例えば、ポリアミドイミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂等を用いることができる。溶媒としては、例えば、トルエン、エタノール、イソプロパノール、酢酸ブチル、Ｎ−メチルピロリドン等を用いることができる。
【００２５】
二硫化モリブデンは、酸化性雰囲気下では、酸化して三酸化モリブデンを形成し、摺動性が低下する。そこで、固体潤滑層に二硫化モリブデンと鱗片状の三酸化アンチモンを共存させ、固体潤滑層内にて三酸化アンチモンを優先的に酸化させ、二硫化モリブデンの酸化を抑制することが好ましい。
【００２６】
なお、鱗片状の三酸化アンチモン２の固体潤滑層内での断面形状は、図１に示されるように二硫化モリブデン１より小さく、長さも短い。
【００２７】
＜摺動部材の製造方法＞
図４は、実施の形態１における摺動部材の製造方法を示すプロセスフロー図である。
【００２８】
基材１０としては、例えば、アルミニウムの合金材料などの金属材料からなる部材が挙げられる。なお、塗装前に、基材１０に対して、トルエン、エタノール、イソプロピルアルコール等による脱脂処理を行うことが好ましい。
【００２９】
固体潤滑層は、例えば、固体潤滑剤、樹脂バインダーおよび溶媒を含む塗料を基材等の表面に塗布し、乾燥させる（溶媒を蒸発させる）ことにより形成することができる。基材１０上への固体潤滑層の形成は、例えば、攪拌機能付きのスプレーガンを用いた塗装により行うことができる。
【００３０】
スプレーガンには、固体潤滑剤、樹脂バインダー、溶媒を含む塗料が充填される。塗料は、例えば、固体潤滑剤として鱗片状の二硫化モリブデンを含み、二硫化モリブデンの酸化抑制のための三酸化アンチモンも含み得る。二硫化モリブデン（原料粉末）の粒径範囲は、第２固体潤滑層１２での粒径範囲が５〜１２μｍとなるように調整される。三酸化アンチモン（原料粉末）の粒径範囲は、第２固体潤滑層１２での粒径範囲が２〜３μｍとなるように調整される。
【００３１】
本塗料を用い、基材上に厚さ１０μｍの塗装を行う。塗装後の基材１０は、５０〜１００℃にて仮乾燥を行う。
【００３２】
仮乾燥により、第２固体潤滑層１２内での二硫化モリブデン、三酸化アンチモンの配置が安定する。乾燥後の塗装面（第２固体潤滑層１２の表面）のグロスメーターでのグロス値は、３〜５である。
【００３３】
グロス値（鏡面光沢度）は、JIS Z 8741に準拠しており、日本電色工業株式会社製ハンディ型光沢計PG-1Mによって測定される６０度鏡面光沢度（Gｓ（６０°））である。グロス値は、表面の凹凸と相関があり、グロス値が小さいと凹凸が大きく、グロス値が大きいと凹凸は小さくなる。
【００３４】
第２固体潤滑層１２を形成後、スプレーガン内の塗料は、スプレーガンの攪拌機能を用いて２時間攪拌する。攪拌により二硫化モリブデンの粒径範囲は、例えば１〜２μｍとなる。三酸化アンチモンの粒径範囲は、例えば１μｍ以下である。攪拌後の塗料を用い、第２固体潤滑層１２上に厚さ２μｍの塗装を行う。塗装後の基材１０上の塗料に対して、１６５℃にて本乾燥を行う。これにより、第１固体潤滑層１１が形成される。乾燥後の塗装面（第１固体潤滑層１１の表面）のグロスメーターでのグロス値は、例えば、７〜８である。
【００３５】
第１固体潤滑層１１の形成により、グロス値は第２固体潤滑層１２の３〜５から７〜８にまで大きくなっており、表面の凹凸は小さくなっている。
【００３６】
第１固体潤滑層１１における二硫化モリブデンの粒径範囲が、第２固体潤滑層１２の二硫化モリブデンよりも小さいため、過剰な凹凸（例えば、グロス値で５以下となる凹凸）の形成を抑制でき、摺動性を確保できる。
【００３７】
また、第１固体潤滑層１１における三酸化アンチモンの粒径範囲も、第２固体潤滑層１２の三酸化アンチモンよりも小さい。このため、第２固体潤滑層１２と第１固体潤滑層１１の酸化アンチモンが同濃度であっても、第１固体潤滑層１１内の三酸化アンチモンの表面積が増えるため、第１固体潤滑層１１内での三酸化アンチモンをより優先的に酸化させ、二硫化モリブデンの酸化を抑制する効果が高まる。
【００３８】
また、第１固体潤滑層１１を形成する塗料は、第２固体潤滑層１２を形成した塗料を攪拌し、二硫化モリブデンを破砕（小片化）したものである。このため、複数の塗料を用意することなく、一種類の塗料にて、連続して複数の固体潤滑層を形成できる。
【００３９】
なお、第２固体潤滑層に粒径範囲の大きい二硫化モリブデンが存在するため、第１固体潤滑層が摩耗し、第１固体潤滑層が露出したときに、大面積の横滑り面を有する二硫化モリブデン部分で摺動するため、摩耗進行後も摺動性を確保できる。
【００４０】
本実施の形態の摺動部材の製造方法によれば、マグネトロンスパッタイオンプレーティング装置のような高価な装置を必要とせずに、安価な手法で、摺動性に優れた摺動部材を提供することができる。
【００４１】
図６は従来例における摺動部材を示す断面図である。図６に示されるように、従来の摺動部材の固体潤滑層１４には、二硫化モリブデン１および三酸化アンチモン２が共存している。
【００４２】
なお、摺動部材の表面には、固体潤滑剤である二硫化モリブデン１および三酸化アンチモン２が共存している。図７は、従来例における摺動部材の表面に存在する二硫化モリブデンを示す平面図である。図８は、従来例における摺動部材の表面に存在する三酸化アンチモンを示す平面図である。
【００４３】
このように、第１固体潤滑層１１を形成しない場合、固体潤滑層１４における二硫化モリブデンの粒径範囲は５〜１２μｍとなり、固体潤滑層１４の表面にグロス値で３〜５となる凹凸が存在する。
【００４４】
実施の形態２．
図５は、実施の形態２における摺動部材を示す断面図である。本実施の形態において、固体潤滑剤の形状は、鱗片状ではなく、球状である。すなわち、図５に示されるように、固体潤滑層（第１固体潤滑層１１および第２固体潤滑層１２）は、球状の固体潤滑剤３を含む。それ以外の点は、実施の形態１と同様であるため、重複する説明は省略する。なお、球状とは、真球状でなくてもよく、本発明の効果を奏する範囲で球状に近い形状であればよい。
【００４５】
本実施の形態では、固体潤滑剤として、層状結晶構造物質ではなく、例えば、高分子系材料を用いることができる。高分子系材料としては、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＩ（ポリイミド）、ＰＦＡ（四フッ化エチレン（Ｃ２Ｆ４）とパーフルオロアルコキシエチレンとの共重合体）などを用いることができる。
【００４６】
本実施の形態では、摺動部材の製造にスプレーガンを用いる場合、スプレーガンは２種類（第１のスプレーガンおよび第２のスプレーガン）を用意する。各スプレーガンには、固体潤滑剤、樹脂バインダーおよび溶媒を含む塗料が充填される。固体潤滑剤としては、例えば、ＰＴＦＥが用いられる。
【００４７】
ここで、第１のスプレーガンに充填されるＰＴＦＥの粒径範囲は、例えば４〜８μｍである。第２のスプレーガンに充填されるＰＴＦＥの粒径範囲は、例えば１〜２μｍである。
【００４８】
尚、粒径は、断面図における粒子の形状をもとに決定した面積円相当径である。粒径範囲は、２００μｍ２（平方マイクロメートル）の領域を１０カ所観察し、各領域にて同じ種類の固体潤滑剤の粒子の最大粒径を求め、この１０カ所の最大粒径の中の最小値と最大値で範囲として定義される。例えば、領域１の最大値が４μｍ、領域２〜領域９までの最大値が５〜７μｍ、領域１０の最大値が８μｍであれば、粒径範囲は４〜８μｍとなる。
【００４９】
第１のスプレーガンを用い、厚さ１０μｍの塗装を行う（第２固体潤滑層１２）。塗装後の基材１０は、５０〜１００℃にて仮乾燥を行う。仮乾燥により、第２固体潤滑層１２が形成され、第２固体潤滑層１２内でのＰＴＦＥの配置が安定する。乾燥後の塗装面（第２固体潤滑層１２の表面）のグロスメーターでのグロス値は、例えば４〜６である。
【００５０】
第２固体潤滑層１２を形成後、第２のスプレーガンを用い、第２固体潤滑層１２上に厚さ２μｍの塗装を行う（第１固体潤滑層１１）。塗装後の基材１０上の塗料に対して、１６５℃にて本乾燥を行う。乾燥後の塗装面（第１固体潤滑層１１の表面）のグロスメーターでのグロス値は、７〜９である。
【００５１】
第１固体潤滑層１１におけるＰＴＦＥ（固体潤滑剤）の粒径範囲が、第２固体潤滑層１２のＰＴＦＥ（固体潤滑剤）よりも小さいため、固体潤滑層の外側表面に過剰な凹凸（例えば、グロス値が６以下となる凹凸）の形成を抑制でき、摺動部材の摺動性を確保することができる。
【００５２】
このように、固体潤滑剤は、鱗片状である必要はなく、球状であっても第２固体潤滑層１２よりも微細な固体潤滑剤を含む第１固体潤滑層１１が存在するため、第２固体潤滑層１２のみのときと比べ、グロス値は大きくなり、表面の凹凸は小さくなる。
【００５３】
実施の形態１では、鱗片状の二硫化モリブデン、二硫化タングステン、グラファイト、窒化ホウ素等を用いる例について説明したが、高分子系の材料と同様に、これらの固体潤滑剤も球状であってよい。なお、二硫化モリブデンを用いる場合、二硫化モリブデンの酸化抑制のために、三酸化アンチモンを固体潤滑剤として併用することが好ましい。
【００５４】
固体潤滑剤が、鱗片状の層状結晶構造物質（二硫化モリブデン等）、球状の層状結晶構造物質、または球状の高分子系の材料のいずれである場合でも、摺動性を高める効果が得られるが、鱗片状の層状結晶構造物質を用いた場合に、本発明の効果がより顕著となる。このため、固体潤滑剤として実施の形態１に記載の二硫化モリブデンを用いることが好ましく、固体潤滑剤として二硫化モリブデンと三酸化アンチモンを併用することがより好ましい。
【００５５】
図９は、従来例における摺動部材を示す断面図である。このように、第１固体潤滑層１１を形成しない場合、最外層（固体潤滑層）におけるＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）の粒径範囲は４〜８μｍであり、固体潤滑層の表面にはグロス値で４〜６となる凹凸が存在する。
【００５６】
実施の形態３．
図１０は、実施の形態３における摺動部材を示す断面図である。図１１は、実施の形態３における摺動部材の製造方法を示すプロセスフロー図である。
【００５７】
図１０に示されるように、本実施の形態の摺動部材は、第２固体潤滑層の基材１０側に、さらに第３固体潤滑層１３を備える。それ以外の点は、実施の形態１と同様であるため、重複する説明は省略する。
【００５８】
固体潤滑剤として鱗片状の二硫化モリブデンと二硫化モリブデンの酸化抑制のための三酸化アンチモンを併用する場合について、本実施の形態の摺動部材の製造方法の流れを説明する。
【００５９】
スプレーガンには、樹脂バインダーおよび溶媒を含む塗料が充填されている。この塗料は二硫化モリブデンは含まず、三酸化アンチモンを含む。三酸化アンチモンの粒径範囲は２〜３μｍである。なお、実施の形態３における三酸化アンチモンおよび二硫化モリブデンの形状は鱗片状である。
【００６０】
本塗料を用い、厚さ２μｍの塗装を行う。塗装後の基材１０は、５０〜１００℃にて仮乾燥を行う。仮乾燥により、第３固体潤滑層１３が形成され、第３固体潤滑層１３内での三酸化アンチモンの配置が安定する。
【００６１】
第３固体潤滑層１３を形成後、スプレーガン内の塗料に二硫化モリブデンを添加する。添加する二硫化モリブデンの粒径範囲は、５〜１２μｍである。本塗料を用い、厚さ１０μｍの塗装を行う。塗装後の基材１０は、５０〜１００℃にて仮乾燥を行う。仮乾燥により、第２固体潤滑層１２が形成され、第２固体潤滑層１２内での二硫化モリブデンおよび三酸化アンチモンの配置が安定する。乾燥後の塗装面（第３固体潤滑層１３の表面）のグロスメーターでのグロス値は、３〜５である。
【００６２】
第２固体潤滑層１２を形成後、スプレーガン内の塗料は、スプレーガンの攪拌機能を用いて２時間攪拌する。攪拌により二硫化モリブデンの粒径範囲は１〜２μｍとなる。三酸化アンチモンの粒径範囲は１μｍ未満である。攪拌後の塗料を用い、第２固体潤滑層１２上に厚さ２μｍの塗装を行う。塗装後の基材１０は、１６５℃にて本乾燥を行う。本乾燥により第１固体潤滑層１１が形成される。乾燥後の塗装面（第１固体潤滑層１１の表面）のグロスメーターでのグロス値は、７〜８である。
【００６３】
層状結晶構造物質として、鱗片状の二硫化モリブデンを用いたが、鱗片状の二硫化タングステン、グラファイト、窒化ホウ素でも、第２固体潤滑層１２よりも微細な層状結晶構造物質を含む第１固体潤滑層１１が形成でき、第２固体潤滑層１２のみのときと比べ、グロス値は大きくなる。
【００６４】
第１固体潤滑層１１における二硫化モリブデンの粒径範囲が、第２固体潤滑層１２の二硫化モリブデンよりも小さいため、過剰な凹凸（例えば、グロス値で５以下となる凹凸）の形成を抑制でき、摺動性を確保できる。
【００６５】
また、第２固体潤滑層１２を形成する塗料は、第３固体潤滑層１３を形成した塗料に二硫化モリブデンを添加したものであり、第１固体潤滑層１１を形成する塗料は、第２固体潤滑層１２を形成した塗料を攪拌し、二硫化モリブデンを破砕（小片化）したものである。このため、複数の塗料を用意することなく、一種類の塗料にて、連続して複数の固体潤滑層を形成できる。
【００６６】
また、本実施の形態において、第２固体潤滑層１２の基材１０側（内側）に形成された第３固体潤滑層１３には、粒径範囲５〜１２μｍの二硫化モリブデンを含まないため、大粒径の粒子が基材と接触した状態で分布する場合に発生する基材と塗料（固体潤滑層）間の密着力低下を抑制できる。
【００６７】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００６８】
１  二硫化モリブデン、２  三酸化アンチモン、３  球状の固体潤滑剤（高分子系材料）、１０  基材、１１  第１固体潤滑層、１２  第２固体潤滑層、１３  第３固体潤滑層、１４  固体潤滑層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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