(57)【要約】【課題】メンテナンスの際に、配管やドライポンプの分離・分解を伴わない配管洗浄具を提供すること。【解決手段】配管洗浄具１は、配管Ａの外周を囲むようにかつ管長方向へ移動自在に固着する所定のアウター体１０と、配管Ａの内部に設ける所定のインナー体２０とを備える。インナー体２０は、アウター体１０と同じ方向へ移動する。アウター体１０は、帯状体１１、１２の内周面上に固着するアウター体磁石体１３、１４を備え、インナー体２０は、インナー基体２１の外周面上に固着するインナー体磁石体２３を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管の外部に装着するアウター体と、
当該配管の内部に配設するインナー体とで構成し、
前記アウター体には、少なくとも当該配管に装着した際に管長方向の一方側又は他方側へ自在に移動する移動装着手段を、
前記インナー体には、少なくとも当該配管に配設した際に管長方向に連通する中空箇所を、
それぞれ有し、
前記アウター体を当該配管の管長方向の一方側又は他方側へ移動させた際に前記インナー体も同じ方向へ移動することを特徴とする配管洗浄具。
【請求項２】
前記アウター体の移動装着手段を、当該配管に装着する際に配管の外側を囲むように装着する複数の帯状体と、前記すべての帯状体を一体に締結する帯状体締結体と、当該アウター体の管長方向への移動を滑らかにするアウター体滑動体とした請求項１の配管洗浄具。
【請求項３】
前記帯状体締結体を３個以上設けた請求項２の配管洗浄具。
【請求項４】
前記帯状体締結体を均等間隔で４個設けた請求項３の配管洗浄具。
【請求項５】
前記アウター体を当該配管の管長方向の一方側又は他方側へ移動させた際に前記インナー体も同じ方向へ移動させるために、
前記アウター体を構成するすべての帯状体の配管外壁対向面上にアウター体磁石体を、
前記インナー体の配管内壁対向面上にインナー体磁石体を、
それぞれ固着した請求項１から請求項４いずれかに記載した配管洗浄具。
【請求項６】
前記インナー体磁石体の磁極方向と前記アウター体磁石体の磁極方向を同じにした請求項５の配管洗浄具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、半導体、液晶、太陽電池、ＬＥＤ等を製造する設備（以下、「真空設備」という。）の配管内部を洗浄する配管洗浄具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空設備では、プロセスチャンバーから放出される気体中に残存する昇華性物質などが真空排気系で粉体化することが従来から知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
粉体化した物質が真空設備の配管内部で堆積し続け当該配管を閉塞させてしまうことがある。また、配管と連通するドライポンプを停止させてしまうこともある。
【０００４】
前述の様な不具合を防止又は抑制するために、真空設備の配管やドライポンプ等を分離・分解して行うメンテナンスが定期的に行なわれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１８−０４８５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述した様な不具合を防止又は抑制するために前述したようなメンテナンスを行なうことは有効であるが、真空設備内のいずれかの箇所で分離・分解が行なわれるため当該設備を全面的に停止することになり、当該設備の稼働時間が短縮されてしまう。
【０００７】
ところで、真空設備のレイアウトが、プロセスチャンバーとドライポンプとが垂直配管で接続されるレイアウト（プロセスチャンバーを２階、ドライポンプを１階又は地下階に設置するようなレイアウト）の場合には、配管内部で粉体化した物質が配管の内壁に堆積し固体化した後に、配管を通じて伝達される振動やその自重などによってまとまって落下し、落下先のドライポンプを停止あるいは故障させてしまうケースも生じている。
【０００８】
そこで、前述した様な垂直配管レイアウトを含めた配管の閉塞、配管と連通するドライポンプの停止あるいは故障を防止又は抑制することはもとより、真空設備の稼働時間をより長くすることが可能な配管洗浄具を提供することを課題とした。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明は、配管の外部に装着するアウター体と、当該配管の内部に配設するインナー体とで構成し、前記アウター体には、少なくとも当該配管に装着した際に管長方向の一方側又は他方側へ自在に移動する移動装着手段を、前記インナー体には、少なくとも当該配管に配設した際に管長方向に連通する中空箇所を、それぞれ有し、前記アウター体を当該配管の管長方向の一方側又は他方側へ移動させた際に前記インナー体も同じ方向へ移動することを特徴とする配管洗浄具を提供する。
【００１０】
また、本願発明は、前記アウター体の移動装着手段を、当該配管に装着する際に配管の外側を囲むように装着する複数の帯状体と、前記すべての帯状体を一体に締結する帯状体締結体と、当該アウター体の管長方向への移動を滑らかにするアウター体滑動体とした配管洗浄具を提供する。
【００１１】
また、本願発明は、帯状体締結体を３個以上設けた（好ましくは均等間隔で４個設けたもの。）配管洗浄具を提供する。
【００１２】
本願発明は、前記アウター体を当該配管の管長方向の一方側又は他方側へ移動させた際に前記インナー体も同じ方向へ移動させるために、前記アウター体を構成するすべての帯状体の配管外壁対向面上にアウター体磁石体を、前記インナー体の配管内壁対向面上にインナー体磁石体を、それぞれ固着した前述の配管洗浄具を提供する。
【００１３】
また、本願発明は、前記インナー体磁石体の磁極方向と前記アウター体磁石体の磁極方向を同じにした配管洗浄具を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本願発明の配管洗浄具は、所定の構成を有し、アウター体を当該配管の管長方向の一方側又は他方側へ移動させた際にインナー体も同じ方向へ移動する配管洗浄具であるため、分離・分解を伴うことなく配管の内部を洗浄することができるため、メンテナンス時間を飛躍的に短縮できる。よって、真空設備の稼働時間をより長くすることができる。また、メンテナンスコストの低減にも資する。
【００１５】
本願発明の配管洗浄具は、当該配管に装着する際に配管の外側を囲むように装着する複数の帯状体と、前記すべての帯状体を一体に締結する帯状体締結体と、当該アウター体の管長方向への移動を滑らかにするアウター体滑動体からなる移動装着手段を採用したため、当該配管への装着が容易であり、また、管長方向への移動がスムーズである。
【００１６】
本願発明の配管洗浄具は、帯状体締結体を３個以上設けた（好ましくは均等間隔で４個設けたもの。）ため、管長方向移動の際の加重負荷及びバランスに優れる。また、管長方向への移動がよりスムーズとなる。
【００１７】
本願発明の配管洗浄具は、アウター体を当該配管の管長方向の一方側又は他方側へ移動させた際にインナー体も同じ方向へ移動させるために、前記アウター体磁石体及び前記インナー体磁石体の磁力を利用しているため、比較的簡素な構造となりその結果、製造コストが抑制され、メンテナンスコストが殆どかからない。
【００１８】
本願発明の配管洗浄具は、すべての帯状体の配管外壁対向面上に固着したアウター体磁石体と、インナー体の配管内壁対向面上に固着したインナー体磁石体とを同じ磁極方向にしているため、前記アウター体と前記インナー体が反発し、前記アウター体と前記インナー体及び前記インナー体と当該配管の内壁との接触を抑制できる。よって、当該配管の内壁の損傷防止、前記インナー体の損傷防止及び消耗抑制に資する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は配管洗浄具の全体構成（垂直配管に装着した状態）を示す外観斜視図である。
【図２】図２はアウター体の構成を示す斜視図である。
【図３】図３は垂直配管に装着したアウター体を真上からみた図である。
【図４】図４はインナー体の構成を示す斜視図である。
【図５】図５は真空装置の垂直配管に配管洗浄具を装着した状態を示したイメージ図である。
【図６】図６は洗浄作動（上昇移動時）を説明するためのイメージ図である。
【図７】図７は洗浄作動（下降移動時）を説明するためのイメージ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
プロセスチャンバーとドライポンプとの間に介在する配管の外部及び内部に配管洗浄具を装着及び配設して使用する。
【実施例１】
【００２１】
まずは、配管洗浄具の構成について、図１から図４に従い説明する。
【００２２】
配管洗浄具（１）は、垂直配管（Ａ）の外周を囲むように装着する所定のアウター体（１０）と、前記配管の内部に配設する所定のインナー体（２０）と、で構成する（図１）。
【００２３】
前記アウター体（１０）は、配管に装着した際に当該配管の外側の全周を囲む形状に形成される２体の帯状体（１１、１２）と、前記帯状体のうち図示上方側に配置した第１の帯状体（１１）の内周面上（配管外壁対向面上）に固着する複数のアウター体磁石体（１３）と、前記帯状体のうち図示下方側に配置した第２の帯状体（１２）の内周面上（配管外壁対向面上）に固着する複数のアウター体磁石体（１４）と、前記２体の帯状体を一体的に固定する４個の金属製の帯状体締結体（１５）と、前記各帯状体締結体の両端に設けるアウター体滑動体（１６）と、で構成する（図２）。
【００２４】
前記第１の帯状体（１１）と前記第２の帯状体（１２）とは、同一形状で同一材質のものを使用している。
【００２５】
前記第１の帯状体に固着するアウター体磁石体（１３）について、同一方形状の永久磁石を等間隔で８個配置している（図２及び図３）。
【００２６】
前記第２の帯状体に固着するアウター体磁石体（１４）についても同様としている（図２）。
【００２７】
前記アウター体磁石体（１３、１４）の固着方法について、本実施例では、ネジにより固着しているがその他の一般的な固着手段であっても良い。
【００２８】
前記帯状体締結体（１５）の個数及びその配置について、前記アウター体（１０）を管長方向へ移動させる際の加重負荷を考慮すると当該配管の周囲に３個以上設けることが好ましい。さらに好ましくは、当該配管の周囲に均等に４個設けた構成である（図３）。
【００２９】
なお、前記帯状体締結体（１５）と前記各帯状体（１１、１２）とは、金属製のネジにより締結している（図２）。
【００３０】
前記アウター体滑動体（１６）について、前記各帯状締結体（１５）の両端部で、その滑動部分が前記垂直間（Ａ）に接しながら自在に回転するように固定されており、前記アウター体（１０）の管長方向への移動をスムーズにしている（図３）。
【００３１】
前記インナー体（２０）は、円筒形状のインナー基体（２１）と、前記インナー基体の両端部に設ける輪形状の掻き取り部（２２）と、前記インナー基体の外側面上（配管内壁対向面上）に固着する複数の（１２個の）インナー体磁石体（２３）とで構成する（図４）。
【００３２】
前記インナー基体（２１）の形状について、配管の形状に対応した円筒形状としているが、掻き取った粉体又は固体が管長方向に連通する中空箇所を通じてドライポンプ側に落下することができればよいものとする（図４）。
【００３３】
前記掻き取り部（２２）を設ける個数及びその配置について、前記インナー体（１０）が移動された際に当該配管の内壁に付着及び堆積している粉体を掻き取ることが可能であれば許容し得るが、性能やバランスを考慮すると本実施例の様な前記インナー基体（２１）の両端面に１個ずつ（１箇所ずつ）設けた構成が好ましい（図４）。
【００３４】
前記アウター体磁石体（１３、１４）の配管外壁対向面側の磁極と前記インナー体磁石体（２３）の配管内壁対向面側の磁極とについて、同じ磁極にしている。
【００３５】
つまり、前記各アウター体磁石体（１３、１４）の配管外壁対向面側の磁極がＮ極の場合には、前記インナー体磁石体（２３）の配管内壁対向側の磁極もＮ極にしている。この様に配置することにより、前記アウター体（１０）と前記インナー体（２０）とは、磁力により吸着せず配管を挟んで反発するため、前記２体の帯状体（１１、１２）の間で前記インナー体磁石体（２３）が維持されるとともに、前記アウター体を管長方向の一方側又は他方側へ移動させた時には前記インナー体も同じ方向へ移動する。
【００３６】
なお、Ｎ極をＳ極に変更しても同様である。
【００３７】
次に、配管洗浄具の作動について図５から図７に従い説明する。
【００３８】
プロセスチャンバーとドライポンプとの間に介在する垂直配管（Ａ）の外側にアウター体（１０）を装着し、その内部にインナー体（２０）を配設する（図５）。
【００３９】
真空設備の稼働時間や稼働状況を見はからって、前記アウター体（１０）を手動で当該配管（Ａ）のプロセスチャンバー側（図６で示す管長方向上方側）に移動させる（図６）。
【００４０】
アウター体磁石体（１４）とインナー体磁石体（２３）が反発し合うため、前記インナー体（２０）も前記アウター体（１０）と管長方向の同一側であるプロセスチャンバー側へ押し上げられる（図６）。
【００４１】
前記インナー体（２０）が前記配管（Ａ）の内部を押し上げられながら移動することにより、前記インナー体の上方側に設けた掻き取り部（２２）が前記配管の内壁又はその近傍に付着している粉体及び堆積している固体を下方側から上方側に向かって掻き取る（図６）。
【００４２】
なお、掻き取られた粉体及び固体は、前記インナー基体（２１）の中空箇所を通じてドライポンプ側（図６で示す下方側）に少量ずつ落下していく。
【００４３】
同様に、前記アウター体（１０）を手動で当該配管（Ａ）のドライポンプ側（図７で示す管長方向下方側）に移動させると、前記インナー体（２０）も前記アウター体と管長方向の同一側であるドライポンプ側へ押し下げられ、前記インナー体の下方側に設けた掻き取り部（２２）が前記配管の内壁又はその近傍に付着している粉体及び堆積している固体を上方側から下方側に向かって掻き取る（図７）。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本願発明は、配管の閉塞、ドライポンプの停止あるいは故障を防止又は抑制することはもとより、真空設備の稼働時間をより長くすることが可能な優れた配管洗浄具であるから産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００４５】
１        配管洗浄具
１０      アウター体
１１      第１の帯状体
１２      第２の帯状体
１３      アウター体磁石体
１４      アウター体磁石体
１５      帯状体締結体
１６      アウター体滑動体
２０      インナー体
２１      インナー基体
２２      掻き取り部
２３      インナー体磁石体
Ａ        配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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