(57)【要約】【課題】  磁界発生部を有する振動波アクチュエータにおいて、駆動力伝達部材（としての、接触体又は対向部材）から失われる駆動力を低減することを目的とする。【解決手段】  本発明の振動波アクチュエータは、振動体と、振動体と接触する、第１の軌道を有する接触体と、第１の軌道と対向する第２の軌道を有する対向部材と、第１の軌道と第２の軌道に挟持されている回転部と、磁界を発生し、振動体に対して、振動体が接触体を押圧する押圧方向に磁力を作用させる磁界発生部と、を有することを特徴とする。【選択図】  図２
2020058103.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体と、
前記振動体と接触する、第１の軌道を有する接触体と、
前記第１の軌道と対向する第２の軌道を有する対向部材と、
前記第１の軌道と前記第２の軌道に挟持されている回転部と、
磁界を発生し、前記振動体に対して、前記振動体が前記接触体を押圧する押圧方向に磁力を作用させる磁界発生部と、を有することを特徴とする振動波アクチュエータ。
【請求項２】
前記振動体、前記磁界発生部、前記接触体及び前記対向部材を、前記押圧方向に、順に有することを特徴とする請求項１に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項３】
前記振動体と前記接触体の間に、前記磁界発生部及び前記対向部材が固定されている固定部材を有することを特徴とする請求項２に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項４】
前記押圧方向に弾性変形可能な支持部材を有し、前記振動体は、前記支持部材によって、前記固定部材に固定されていることを特徴とする請求項３に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項５】
前記振動体が前記接触体を押圧することによって、前記接触体が前記回転部を押圧することにより、前記回転部が、前記第１の軌道と前記第２の軌道に挟持されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項６】
前記対向部材が、終端部を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項７】
前記振動体、前記磁界発生部及び前記接触体を、前記押圧方向に、順に有し、前記対向部材を、前記振動体の、前記押圧方向に直交する方向に有することを特徴とする請求項１に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項８】
前記押圧方向に弾性変形可能な支持部材を有し、前記振動体は、前記支持部材によって、前記対向部材に固定されていることを特徴とする請求項１又は７に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項９】
前記振動体が前記接触体を押圧することによって、前記対向部材が前記回転部を押圧することにより、前記回転部が、前記第１の軌道と前記第２の軌道に挟持されていることを特徴とする請求項１，７，８のいずれか１項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１０】
前記接触体が、終端部を有することを特徴とする請求項１、７乃至９のいずれか１項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１１】
前記回転部は、転動ボールであることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１２】
前記回転部は、回転コロであることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１３】
少なくとも前記第１の軌道と前記第２の軌道のいずれか一方は、断面がＶ字状の、溝であることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１４】
前記磁界発生部が、永久磁石であることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動波アクチュエータ。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の振動波アクチュエータと、
前記接触体又は前記対向部材によって駆動力が伝達されている被駆動部材としてのレンズ又は撮像素子と、
を有することを特徴とする光学機器。
【請求項１６】
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の振動波アクチュエータと、
前記接触体又は前記対向部材によって駆動力が伝達されている被駆動部材と、
を有することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型アクチュエータなどに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、磁界を発生し、振動体（下記特許文献１では振動体２）と接触体（下記特許文献１では被駆動部材２０）を互いに引き寄せる（振動体が接触体を押圧する押圧方向に磁力を発生させる）磁界発生部を有する振動波アクチュエータ（下記特許文献１では振動型駆動装置１）がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３１２５１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
磁界発生部を有する振動波アクチュエータにおいて、（振動体と接触する）接触体と、上記接触体と対抗する対向部材（上記特許文献１では保持板７）と、の間に、（滑り摩擦による）摩擦力が発生していた。そして、この摩擦力により、被駆動部材に駆動力を伝達する駆動力伝達部材（上記特許文献１では被駆動部材２０）からの駆動力（の一部）が失われていた。
【０００５】
本発明は、磁界発生部を有する振動波アクチュエータにおいて、駆動力伝達部材（としての、接触体又は対向部材）から失われる駆動力を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の振動波アクチュエータは、振動体と、前記振動体と接触する、第１の軌道を有する接触体と、前記第１の軌道と対向する第２の軌道を有する対向部材と、前記第１の軌道と前記第２の軌道に挟持されている回転部と、磁界を発生し、前記振動体に対して、前記振動体が前記接触体を押圧する押圧方向に磁力を作用させる磁界発生部と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、（振動体と接触する）接触体が有する第１の軌道と、前記第１の軌道と対向する対向部材が有する第２の軌道と、の間に、（滑り摩擦よりも摩擦力が小さい）転がり摩擦による摩擦力が働くようにすることにより、上記課題を解決し、被駆動部材に駆動力を伝達する駆動力伝達部材（としての接触体又は対向部材）から失われる駆動力を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る振動波アクチュエータの構成要素を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る振動波アクチュエータの構成要素を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る振動波アクチュエータの構成要素を示す断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る振動波アクチュエータの構成要素を示す斜視図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る振動波アクチュエータの構成要素を示す断面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る振動波アクチュエータの構成要素を示す斜視図である。
【図７】本発明の第３の実施形態に係る振動波アクチュエータの構成要素を示す分解斜視図である。
【図８】本発明の第４の実施形態に係る、振動波アクチュエータを備える電子機器（光学機器）の構成要素を示す（ａ）上面図と（ｂ）ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る振動波アクチュエータ１の構成要素を示す斜視図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る振動波アクチュエータ１の構成要素を示す分解斜視図である。
【００１１】
図１に示すように、振動波アクチュエータ１は、固定部材６０、固定部材６０に固定されている、第１のガイド部３５及び第２のガイド部３６を有する対向部材３１、対向部材３１によりガイドされている、駆動体としての接触体２１を備えている。なお、図１，２では、対向部材３１は、ループではない形状（終端部を有する形状）、具体的には、一方向に延びた形状であるが、ループ形状（終端部を有しない形状）であってもよい。
【００１２】
ここで、「接触体」とは、振動体と接触し、振動体に発生した振動によって、振動体に対して相対移動する部材のことをいう。接触体と振動体の接触は、接触体と振動体の間に他の部材が介在しない直接接触に限られない。接触体と振動体の接触は、振動体に発生した振動によって、接触体が振動体に対して相対移動するならば、接触体と振動体の間に他の部材が介在する間接接触であってもよい。「他の部材」は、接触体及び振動体とは独立した部材（薄紙など）に限られない。「他の部材」は、接触体又は振動体に、メッキや窒化処理などによって形成された表面処理部分であってもよい。
【００１３】
接触体２１は、固定部材６０など振動波アクチュエータを構成する他の部品に対して、図中Ｘ方向（対向部材３１の長手方向）に相対移動（駆動）して、外部へ駆動力を伝達する。接触体２１がＸ方向に移動できるように、接触体２１自体と、第１のガイド部３５及び第２のガイド部３６からなる対向部材３１と、によりガイドされている。
【００１４】
図２に示すように、固定部材６０の中心付近には、矩形板状の永久磁石（磁界発生部）５１が固定されている。接触体２１が、固定部材６０の図中Ｚ方向（磁界発生部により発生された磁界によって、振動体が接触体を押圧する押圧方向）に配置されている。なお、磁界発生部としては、永久磁石の他に、電磁石であってもよい。
【００１５】
第１のガイド部３５が、接触体２１の図中Ｙ方向（Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向）の逆方向に配置されている。第１のガイド部３５と固定部材６０は、ビス止め等により固定されている。第２のガイド部３６が、接触体２１のＹ方向に配置されている。第２のガイド部３６と固定部材６０は、ビス止め等により固定されている。第１のガイド部３５及び第２のガイド部３６は、接触体２１の一部が、接触体２１のＺ方向から覆うように配置されている。
【００１６】
接触体２１（の第１の軌道２１１）、第１のガイド部３５（の第２の軌道３１１）、第２のガイド部３６（の第２の軌道３１１）、回転部４１は、接触体２１のガイド機構を構成する。接触体２１には、Ｚ方向側の面の３箇所に溝（第１の軌道）２１１が形成されている。また、第１のガイド部３５には、Ｚ方向の逆方向側の面の１箇所に溝（第２の軌道）３１１が形成されている。また、第２のガイド部３６には、Ｚ方向の逆方向側の面の２箇所に溝（第２の軌道）３１１が形成されている。第１の軌道２１１と第２の軌道３１１の間には、転動ボール（回転部）４１が配置されており、回転部４１は第１の軌道２１１と第２の軌道３１１に挟持されている。接触体２１は、固定部材６０及び磁界発生部５１とは接触しないように配置されている。
【００１７】
固定部材６０のＺ方向の逆方向には、振動体ユニット１００が配されている。振動体ユニット１００は、振動体１０及び支持部材７０を有する。
【００１８】
振動体１０は、強磁性体、たとえば、マルテンサイト系ステンレスで形成されている弾性体１１、電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子１２、不図示の電気信号入力部材を有する。弾性体１１には、矩形板状の振動部１１ａ、振動部１１ａの第１の面（Ｚ方向側の面）から延出する２つの突起部１１ｃ、振動部１１ａから第１の面に沿うように（Ｙ方向、Ｙ方向の逆方向に）延出する２つの支持部１１ｂが形成されている。振動部１１ａの第１の面と対向する第２の面（Ｚ方向の逆方向側の面）には、圧電素子１２が接着されている。振動体１０は、公知技術と同様に交流電気信号を圧電素子１２に入力することによって、超音波領域の振動を発生させることができる。
【００１９】
支持部材７０には、第１の固定部７０ａ、第２の固定部７０ｂ、弾性変形可能な弾性変形部７０ｃが形成されている。支持部材７０は、第２の固定部７０ｂを介して、振動体１０（弾性体１１の２つの支持部１１ｂ）に、溶接などにより固定されている。支持部材７０は、第１の固定部７０ａを介して、固定部材６０に固定されている。つまり、振動体ユニット１００は、支持部材７０の第１の固定部７０ａを介して、固定部材６０に固定されている。振動体ユニット１００と固定部材６０は第１の固定部７０ａのみで接しており、振動体ユニット１００は、磁界発生部５１とは接触しないように配置されている。
【００２０】
磁界発生部５１は、弾性体１１の振動部１１ａと、接触体２１と、の間に必然的に形成される空間に配置されているので、スペースが有効に活用されている。
【００２１】
振動体ユニット１００は、弾性体１１の突起部１１ｃが接触体２１の接触部２１ａと接するように配置されている。
【００２２】
図３は、図１に示した振動体アクチュエータ１のＡ−Ａ断面を示す断面図である。
【００２３】
振動体１０が有する弾性体１１は、前述のように強磁性体で形成されている。弾性体１１は、磁界発生部５１との磁気作用により（磁界発生部５１により発生された磁界により）、磁界発生部５１に引き付けられ、弾性体１１には、Ｚ方向に、弾性体１１を磁界発生部５１に引き付ける磁力（吸引力）が作用する。
【００２４】
（弾性体１１に対して作用する）吸引力は、振動体１０をＺ方向へ変位させようとする力として振動体１０に作用する。振動体１０は、支持部材７０により、固定部材６０に固定されている。支持部材７０の弾性変形部７０ｃは、Ｚ方向に柔軟な（弾性変形可能な）構造を有しており、振動体１０は、固定部材６０に対して、相対的にＺ方向へ変位しようとする。
【００２５】
振動体１０（弾性体１１の突起部１１ｃ）は、接触体２１（の接触部２１ａ）と接触し、（弾性体１１の）突起部１１ｃから（接触体２１の）接触部２１ａに向けて（Ｚ方向に）加圧力が作用する。また、この加圧力は、回転部４１を介して、第１のガイド部３５及び第２のガイド部３６にも作用して、これらガイド機構（第１のガイド部３５及び第２のガイド部３６）に向けての付勢力として作用する。第１のガイド部３５及び第２のガイド部３６の第２の軌道３１１と接触体２１の第１の軌道２１１は共に、Ｙ方向及びＺ方向に角度を持つ面を備えている。この面に、回転部４１が当接し、付勢力によりＺ方向及びＹ方向の位置が規制される。このように、ガイド機構（の第２の軌道３１１）には付勢力が作用するので、ガイド機構において、がたつきが低減される。また、回転部として転動ボールが用いられているので、第１の軌道２１１と第２の軌道３１１の間に、（滑り摩擦よりも摩擦力が小さい）転がり摩擦による摩擦力が働き、摩擦力の低い、滑らかで安定したガイド機能を有するガイド機構となる。このため、接触体２１は、出力伝達部２１ｃを介して、出力の大きい、滑らかで安定した出力伝達を行うことができる。
【００２６】
吸引力は、加圧力に対する反力（第１の反力）と、支持部材７０の弾性力（力を加えられて変形をしている物体が、反作用として他に及ぼす力）と、の合力と、ほぼ等しくされている。支持部材７０の変形量が小さくなるような位置関係で振動波アクチュエータ１を構成する部品を配置することで、弾性力は十分に小さくなり、吸引力と加圧力に対する反力（第１の反力）の大きさはほぼ等しくされている。
【００２７】
以上説明したように、本発明によれば、１箇所の磁気作用により、加圧力及び付勢力を加えることが可能になる。このように、振動波アクチュエータにおいて、リニア駆動のガイド構成を簡易かつ精度良く実現することが可能になる。更には、構成部品を不要に増やさずに、サイズに対する出力の性能が優れる振動波アクチュエータを実現することが可能になる。
【００２８】
本発明の第１の実施形態は、上記に限定せず、接触体２１を１つの部品として、接触部２１ａや第１の軌道２１１等を形成する構成で説明したが、これらを複数の部品で構成するようにしてもよい。また、振動体ユニット１００は、弾性体１１の２つの突起部１１ｃを駆動方向に並べる構成等としているが、本発明はこれに限定せず、任意の振動体ユニットを適用可能である。
【００２９】
第１の実施形態は、後述する第２の実施形態とは異なり、加圧力が付勢力として作用するので力の伝達効率が比較的高い。しかし、接触体の外側（振動体と対向する面とは反対の面の側）に対向部材を設ける必要があるので、アクチュエータ全体として比較的大型になる。
【００３０】
＜第２の実施形態＞
図４は、本発明の第２の実施形態に係る振動波アクチュエータ２の構成要素を示す斜視図である。図５は、図４に示した振動体アクチュエータ２のＢ−Ｂ断面を示す断面図である。
【００３１】
本実施形態における振動体ユニットは、第１の実施形態における振動体ユニット１００と同一であり、説明は省略する。振動体ユニットは、支持部材７０の第１の固定部７０ａを介して、対向部材３２に保持固定されている。これら振動体ユニット及び対向部材３２により、駆動体が構成されている。対向部材３２は、中央部に矩形の穴が形成されており、振動体ユニットの弾性体１１及び圧電素子１２が干渉せずに収まるようになっている。
【００３２】
本実施例の接触体２２は略板状であり、Ｙ方向中央付近に接触部２２ａが形成されている。接触部２２ａを挟み、Ｘ方向が長手方向になるように一対の永久磁石（磁界発生部）５２が接触体２２に固定されている。磁界発生部５２は、接触体２２以外とは接触しないように各部品の形状と配置が決められている。対向部材３２と接触体２２との間には、３個の転動ボール（回転部）４２が配置されて、ガイド機構が形成されており、駆動体と相対移動部１８とがＸ方向に相対移動する振動波アクチュエータ２となる。
【００３３】
弾性体１１は、磁界発生部５２との磁気作用により、磁界発生部５２に引き付けられ、弾性体１１には、Ｚ方向に、弾性体１１を磁界発生部５２に引き付ける吸引力が作用する。この吸引力により、弾性体１１から接触体２２に向けて（Ｚ方向に）加圧力が作用する。そして、その結果、接触体２２から弾性体１１に向けて（Ｚ方向の逆方向に）第１の反力が加わる。また、上記吸引力により、支持部材７０を介して、対向部材３２から接触体２２に向けて（Ｚ方向に）付勢力が作用する。そして、その結果、回転部４２から対向部材３２に向けて（Ｚ方向の逆方向に）第２の反力が加わる。ここでは、力のつり合いから、吸引力は、第１の反力と第２の反力を足し合わせた値と等しくなる。本実施形態の構成により、１箇所の磁気作用により、加圧力及び付勢力を加えることが可能になる。
【００３４】
＜第３の実施形態＞
図６は、本発明の第３の実施形態に係る振動波アクチュエータ３の構成要素を示す斜視図である。本発明の第３の実施形態に係る振動波アクチュエータ３の構成要素を示す分解斜視図である。
【００３５】
本実施形態における振動体ユニットは、第１の実施形態における振動体ユニット１００と同一であり、説明は省略する。振動体ユニットは、支持部材７０の第１の固定部７０ａを介して、対向部材３３に保持固定されている。対向部材３３は、中央部に矩形の穴が形成されており、振動体ユニットの弾性体１１及び圧電素子１２が干渉せずに収まるようになっている。
【００３６】
対向部材３３の中央部には、矩形の永久磁石（磁界発生部）５３が接着固定されている。振動体ユニットと磁界発生部５３とは接触しないように、関連する部品形状及び配置が決められている。
【００３７】
これら振動体ユニット、対向部材３３及び磁界発生部５３により、駆動体が構成されている。また、対向部材３３の４箇所には回転コロ（回転部）４３が回転可能に嵌め合わされ、これら回転部４３を介して、駆動体は接触体２３と組み合わされている。
【００３８】
接触体２３は、Ｘ方向に延伸するような形状であり、Ｘ方向が長手方向になるように、接触部２３ａ、第１のガイド部２３ｂ及び第２のガイド部２３ｃが形成されている。第１のガイド部２３ｂは、接触体２３において、断面がＶ字状の溝が形成された部位であり、この第１のガイド部２３ｂに２個の回転部４３が組み合わされている。第２のガイド部２３ｃは、略平面上であり、この第２のガイド部２３ｃに残り２個の回転部４３が当接する。また、接触体２３の摩擦面２３ａと弾性体１１の突起部１１ｃとが当接し、前記磁界発生部５３と接触体２３とは接触しないように関連する部品形状及び配置が決められている。
【００３９】
接触体２３は、たとえばマルテンサイト系ステンレス材で形成されている。弾性体１１は、磁界発生部５３との磁気作用により、磁界発生部５３に引き付けられ、弾性体１１には、Ｚ方向に、弾性体１１を磁界発生部に５３に引き付ける吸引力が作用する。この吸引力により、弾性体１１から接触体２３に向けて（Ｚ方向に）加圧力が作用する。そして、その結果、接触体２３から弾性体１１に向けて（Ｚ方向の逆方向に）第１の反力が加わる。また、上記吸引力により、支持部材７０を介して、対向部材３３から接触体２３に向けて（Ｚ方向に）付勢力が作用する。そして、その結果、回転部４３から対向部材３３に向けて（Ｚ方向の逆方向に）第２の反力が加わる。ここでは、力のつり合いから、吸引力は、第１の反力と第２の反力を足し合わせた値と等しくなる。本実施形態の構成により、１箇所の磁気作用により、加圧力及び付勢力を加えることが可能になる。
【００４０】
第２の実施形態及び第３の実施形態は、既述の第１の実施形態とは異なり、加圧力は付勢力としては作用しないので、力の伝達効率が比較的低い。しかし、接触体の表面側（振動体と対向する面の側）に対向部材を設けられるので、アクチュエータ全体として比較的小型になる。
【００４１】
なお、図４，６，７では、接触体２２，２３は、ループではない形状（終端部を有する形状）、具体的には、一方向に延びた形状であるが、ループ形状（終端部を有しない形状）であってもよい。
【００４２】
＜第４の実施形態＞
上述した振動波アクチュエータ１，２，３は、たとえば、撮像装置（光学機器）のレンズ駆動用途や、直動ステージ等の電子機器等、様々な用途に用いることができる。ここでは、一例として、振動波アクチュエータ１又は２又は３をレンズ鏡筒に配置されたレンズの駆動に用いた撮像装置（光学機器）について説明する。
【００４３】
図８（ａ）は、振動波アクチュエータを備える電子機器としての光学機器７００の構成要素を示す上面図である。光学機器７００は、撮像素子７１０及び電源ボタン７２０を搭載したカメラ本体７３０を備える。また、光学機器７００は、第１のレンズ群３１０（図８（ｂ）参照）、第２のレンズ群３２０、第３のレンズ群３３０（図８（ｂ）参照）、第４レンズ群３４０、振動型駆動装置（振動波アクチュエータ）６２０，６４０を備えるレンズ鏡筒７４０を備える。レンズ鏡筒７４０は、交換レンズとして、カメラ本体７３０に対して着脱自在であるが、カメラ本体に対して固定されていてもよい。
【００４４】
光学機器７００では、２つの振動波アクチュエータ６２０，６４０によってそれぞれ、第２のレンズ群３２０，第４レンズ群３４０の駆動が行われる。振動波アクチュエータ６２０，６４０として、図１乃至図７を参照して説明した振動波アクチュエータ１，２，３が用いられる。  図８（ｂ）は、振動波アクチュエータを備える電子機器としての光学機器７００の構成要素を示すブロック図である。第１のレンズ群３１０、第２のレンズ群３２０、第３のレンズ群３３０、第４レンズ群３４０及び光量調節ユニット３５０が、レンズ鏡筒７４０内部の所定の位置に配置されている。第１のレンズ群３１０〜第４レンズ群３４０と光量調節ユニット３５０とを通過した光は、撮像素子７１０に結像し光学像を形成する。撮像素子７１０は、光学像を電気信号に変換して出力し、その出力は、カメラ処理回路７５０へ送られる。
【００４５】
カメラ処理回路７５０は、撮像素子７１０からの出力信号に対して増幅やガンマ補正等を施す。カメラ処理回路７５０は、ＡＥゲート７５５を介してＣＰＵ７９０に接続されていると共に、ＡＦゲート７６０とＡＦ信号処理回路７６５とを介してＣＰＵ７９０に接続されている。カメラ処理回路７５０において所定の処理が施された映像信号は、ＡＥゲート７５５と、ＡＦゲート７６０及びＡＦ信号処理回路７６５を通じてＣＰＵ７９０へ送られる。なお、ＡＦ信号処理回路７６５は、映像信号の高周波成分を抽出して、オートフォーカス（ＡＦ）のための評価値信号を生成し、生成した評価値をＣＰＵ７９０へ供給する。
【００４６】
ＣＰＵ７９０は、撮像装置７００の全体的な動作を制御する制御回路であり、取得した映像信号から、露出決定やピント合わせのための制御信号を生成する。ＣＰＵ７９０は、決定した露出と適切なフォーカス状態が得られるように、振動波アクチュエータ６２０，６４０及びメータ６３０の駆動を制御することによって、第２のレンズ群３２０、第４レンズ群３４０及び光量調節ユニット３５０の光軸方向位置を調整する。ＣＰＵ７９０による制御下において、振動波アクチュエータ６２０は第２のレンズ群３２０を光軸方向に移動させ、振動波アクチュエータ６４０は第４レンズ群３４０を光軸方向に移動させ、光量調節ユニット３５０はメータ６３０により駆動制御されている。
【００４７】
振動波アクチュエータ６２０により駆動されている第２のレンズ群３２０の光軸方向位置は第１のリニアエンコーダ７７０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動波アクチュエータ６２０の駆動にフィードバックされている。同様に、振動波アクチュエータ６４０により駆動されている第４レンズ群３４０の光軸方向位置は第２のリニアエンコーダ７７５により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動波アクチュエータ６４０の駆動にフィードバックされている。光量調節ユニット３５０の光軸方向位置は、絞りエンコーダ７８０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０へ通知されることで、メータ６３０の駆動にフィードバックされている。
【符号の説明】
【００４８】
１，２，３  振動波アクチュエータ
１０  振動体
２１，２２，２３  接触体
２１１，２１２，２１３  第１の軌道
３１，３２，３３  対向部材
３１１，３１２，３１３  第２の軌道
４１，４２  転動ボール（回転部）
４３  回転コロ（回転部）
５１，５２，５３  磁界発生部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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