(57)【要約】      （修正有）【課題】液体の流速の低下を抑制しつつ、吐出口を高密度に配備することができる液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体供給方法を提供する。【解決手段】吐出口列Ｌを形成する吐出口１１と、圧力室１２と、吐出エネルギー発生素子１６と、流路１３と、流動エネルギー発生素子１７と、をそれぞれ複数備える液体吐出ヘッドにおいて、前記流路１３の少なくとも１つは、前記吐出口列Ｌを挟んで位置する両端部の間において液体が流れるように、前記吐出口列Ｌと交差する方向に延在する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出口列を形成する複数の吐出口と、
前記複数の吐出口に対応する複数の圧力室と、
前記複数の圧力室内のインクを当該複数の圧力室のそれぞれに対応する前記複数の吐出口から吐出させるための複数の吐出エネルギー発生素子と、
前記複数の圧力室を通して液体を流すための複数の流路と、
前記複数の流路内の液体を流動させるための複数の流動エネルギー発生素子と、
を備える液体吐出ヘッドであって、
前記複数の流路の少なくとも１つは、前記吐出口列を挟んで位置する両端部の間において液体が流れるように、前記吐出口列と交差する方向に延在することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記流路の両端部の一方と前記流動エネルギー発生素子との間の流抵抗Ｒ１と、前記流路の両端部の他方と前記流動エネルギー発生素子との間の流抵抗Ｒ２と、は異なる請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記吐出口列は、第１吐出口列と第２吐出口列とを含み、
前記複数の流路は、第１吐出口列を形成する前記複数の吐出口に対応する前記複数の圧力室を通して液体を流すための複数の第１流路と、第２吐出口列を形成する前記複数の吐出口に対応する前記複数の圧力室を通して液体を流すための複数の第２流路と、を含み、
前記複数の第１流路の少なくとも１つは、前記第１吐出口列を挟んで位置する両端部の間において液体が流れるように、前記第１吐出口列と交差する方向に延在し、
前記複数の第２流路の少なくとも１つは、前記第２吐出口列を挟んで位置する両端部の間において液体が流れるように、前記第２吐出口列と交差する方向に延在する請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１吐出口列と前記第１吐出口列との間に位置する前記第１流路の端部と前記第２流路の端部は、共通の供給流路または共通の流出流路に連通する請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１吐出口列および前記第２吐出口列を形成する前記複数の吐出口は、所定のピッチで配列され、
前記第１吐出口列における前記吐出口と、前記第２吐出口列における前記吐出口は、前記所定のピッチの半分のピッチずれている請求項３または４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１吐出口列における前記吐出口と、前記第２吐出口列における前記吐出口は、サイズが異なる請求項３から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記流動エネルギー発生素子は電気熱変換素子であり、前記流抵抗Ｒ１，Ｒ２の比Ｒ１／Ｒ２は、０．０５から０．４０である請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記流動エネルギー発生素子は電気熱変換素子であり、前記流動エネルギー発生素子は、前記吐出エネルギー発生素子よりも前記両端部の一方の近くに位置する請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記流動エネルギー発生素子が電気熱変換素子である請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記吐出エネルギー発生素子が電気熱変換素子である請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドの前記流路に液体を供給する供給手段と、
前記吐出エネルギー発生素子および前記流動エネルギー発生素子を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１２】
複数の吐出エネルギー発生素子によって、吐出口列を形成する複数の吐出口から、当該複数の吐出口に対応する複数の圧力室内の液体が吐出され、複数の流動エネルギー発生素子によって、前記複数の圧力室を通る複数の流路に液体が流される液体吐出ヘッドに対して、液体を供給する液体供給方法であって、
前記複数の流路の少なくとも１つは、前記吐出口列を挟んで位置する両端部の間において液体が流れるように、前記吐出口列と交差する方向に延在し、
前記少なくも１つの流路を通して、当該流路が通る前記圧力室に液体を供給することを特徴とする液体供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクなどの液体を吐出可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体供給方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドとして、例えば、液体のインクを吐出するインクジェット記録ヘッドにおいては、インクを吐出する吐出口からインク中の揮発成分が蒸発して、吐出口内のインクが増粘するおそれがある。このようなインクの増粘により、インクの吐出速度などが変化して、インクの着弾精度の低下を含む吐出不良が生じることがある。特に、インクの吐出動作の休止時間が長い場合には、インクの粘度の増加が顕著となり、インク中の固形分が吐出口内に固着し、インクの流抵抗が増加してインクの吐出不良が生じやすくなる。
【０００３】
特許文献１には、インクを循環させるＵ字型の循環流路に吐出口を連通させて、インクの流れを吐出口内に入り込ませることにより、吐出口内のインクを増粘しにくくする構成が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１１／１４６０６９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の構成においては、複数の吐出口によって吐出口列が形成される場合に、Ｕ字型の循環流路における２つの直線部分が吐出口列上に位置することになる。複数の吐出口を吐出口列上において高密度に配備するためには、Ｕ字型の循環流路を狭くしなければならず、その分、インクの流抵抗が増大して、インクの循環流の速度が小さくなる。また、このようなＵ字型の循環流路に、インクを流動させるための流動エネルギー発生素子を備える場合には、流動エネルギー発生素子のサイズも小さくしなければならず、インクの循環流の速度がさらに小さくなる。インクの循環流の速度が小さくなった場合には、吐出口内に増粘インクが滞留して、インクの吐出不良が生じやすくなる。
【０００６】
本発明の目的は、液体の流速の低下を抑制しつつ、吐出口を高密度に配備することができる液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体供給方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体吐出ヘッドは、吐出口列を形成する複数の吐出口と、前記複数の吐出口に対応する複数の圧力室と、前記複数の圧力室内のインクを当該複数の圧力室のそれぞれに対応する前記複数の吐出口から吐出させるための複数の吐出エネルギー発生素子と、前記複数の圧力室を通して液体を流すための複数の流路と、前記複数の流路内の液体を流動させるための複数の流動エネルギー発生素子と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記複数の流路の少なくとも１つは、前記吐出口列を挟んで位置する両端部の間において液体が流れるように、前記吐出口列と交差する方向に延在することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、液体の流路の両端部が吐出口列を挟んで位置することにより、液体の流速の低下を抑制しつつ、吐出口を高密度に配備することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの説明図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドにおけるインクの循環流の発生原理の説明図である。
【図３】図１における吐出用ヒータと循環用ヒータの駆動パルスの説明図である。
【図４】比較例としての液体吐出ヘッドの説明図である。
【図５】本発明の他の実施形態における液体吐出ヘッドの説明図である。
【図６】本発明のさらに他の実施形態における液体吐出ヘッドの説明図である。
【図７】本発明のさらに他の実施形態における液体吐出ヘッドの説明図である。
【図８】本発明の液体吐出装置の構成例の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１１】
（第１の実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドとして、インク（液体）を吐出する（インクジェット）記録ヘッド２０を説明するための概略斜視図である。ヘッド本体５０上には、接続部材５１および記録素子基板５２が設けられている。記録素子基板５２の基板１８上には、複数の吐出口１１が形成されたオリフィスプレート１９が備えられている。複数の吐出口１１は、２つの吐出口列Ｌを形成するように所定のピッチで配列される。吐出口列Ｌの数は２つに限定されない。図１（ｂ）は、オリフィスプレート１９の一部を切り欠いた記録素子基板５２の拡大平面図であり、図１（ｃ）は、図１（ｂ）のＩｃ−Ｉｃ線に沿う断面図である。
【００１２】
基板１８とオリフィスプレート１９との間には、隔壁２１により仕切られて吐出口１１毎に対応する圧力室１２と、それらの圧力室１２を通してインクを流すための流路１３と、が形成されている。流路１３は、吐出口列Ｌと交差（本例の場合、直交）する方向に延在し、圧力室１２の一方の端部に連通する図１（ｃ）中左側の第１流路１３Ａと、圧力室１２の他方の端部に連通する図１（ｃ）中右側の第２流路１３Ｂと、を含む。第１流路１３Ａは、基板１８を貫通する供給流路１４に連通し、第２流路１３Ｂは、基板１８を貫通する流出流路１５に連通する。したがって、供給流路１４に連通する第１流路１３Ａは、吐出口列Ｌよりも図１（ｂ）中の左側に位置し、流出流路１５に連通する第２流路１３Ｂは、吐出口列Ｌよりも図１（ｂ）中の右側に位置する。流路１３の両端部は、吐出口列Ｌを挟んで互いに反対側に位置する。
【００１３】
第１流路１３Ａには、供給流路１４を通して外部からインクが供給され、第２流路１３Ｂ内のインクは、流出流路１５を通して外部に流出される。本例においては、流出流路１５から流出されたインクを供給流路１４に戻して循環させることにより、流路１３内に、矢印Ｆのようなインクの循環流を形成する。尚、供給流路１４と流出流路１５は個別の流路と接続され、記録ヘッド外で共通化される構成、もしくは供給流路１４と流出流路１５はチップ内で共通化されている構成のいずれでもよい（不図示）。
【００１４】
記録ヘッド２０の内部および外部におけるインクの循環流路中には、インク内の気泡などを含む異物を除去するフィルタを備えてもよい。吐出口１１には、インクと大気との界面であるメニスカスが形成される。
【００１５】
基板１８には、圧力室内のインクを吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子（圧力発生素子）として、電気熱変換素子（吐出用ヒータ）１６が備えられている。吐出用ヒータ１６は、吐出口１１および圧力室１２と共に、供給流路１４よりも流出流路１５の近くに位置する。吐出用ヒータ１６を発熱駆動して圧力室１２内のインクを発泡させることにより、その発泡エネルギーを利用して吐出口１１からインクを吐出することができる。吐出エネルギー発生素子としては、本例のようなヒータ１６に限定されず、ピエゾ素子等を用いることができる。また基板１８には、流路内のインクを矢印Ｆ方向に流動させるためのエネルギーを発生する流動エネルギー発生素子（圧力発生素子）として、電気熱変換素子（循環用ヒータ）１７が備えられている。循環用ヒータ１７は、流出流路１５よりも供給流路１４の近くに位置する。尚、流動エネルギー発生素子としては、本例のようなヒータを用いることが好ましいが、ピエゾ素子または電極を用いたマイクロポンプ等を用いてもよい。
【００１６】
図２は、循環用ヒータ１７によるインクの循環流の発生原理を説明するための図である。図２（ａ）は、循環用ヒータ１７によりインクが加熱されて、インクの膜沸騰による気泡Ｂが成長したときにおける図１（ｃ）と同様の断面図である。循環用ヒータ１７が流出流路１５よりも供給流路１４の近くに位置するため、循環用ヒータ１７と供給流路１４との間の流抵抗Ｒ１は、循環用ヒータ１７と流出流路１５との間の流抵抗Ｒ２よりも小さい。図２（ａ）には、このような流抵抗Ｒ１，Ｒ２を電気抵抗として表した等価回路が組み合わされている。インクの膜沸騰により生じた気泡Ｂは、流抵抗Ｒ１，Ｒ２の差のために、図２（ａ）のように、小さい流抵抗Ｒ１の供給流路１４側に片寄って成長する。したがって流路１３内において、供給流路１４に向かうインクの流れＦａは、流出流路１５に向かうインクの流れＦｂよりも大きくなる。
【００１７】
図２（ｂ），（ｃ）は、気泡Ｂの収縮過程におけるインクの流れの説明図である。気泡Ｂの収縮過程においては、その収縮分の容積を補うようにインクが流れ込む。その際、図２（ｂ）のように、小さい流抵抗Ｒ１側の供給流路１４から流れ込むインクの流れＦｃは、大きい流抵抗Ｒ２側の流出流路１５から流れ込むインクの流れＦｄよりも大きい。そのため、気泡Ｂの消泡位置は、循環用ヒータ１７上から流出流路１５寄りにずれる。結果的に、図２（ｃ）のように、供給流路１４から流出流路１５に向かうインクの循環流Ｆが生じる。
【００１８】
吐出口１１からのインク中の揮発成分の蒸発により濃縮されて増粘したインクは、インクの循環流Ｆにより吐出口１１内に滞留しにくくなる。すなわち、インクの循環流Ｆの一部が吐出口１１内に入り込むことにより、吐出口１１内の増粘インクを第２流路１３Ｂ内に送り出され、第１流路１３Ａから吐出口１１内に新鮮なインクを流し込まれる。このように、増粘インクを吐出口１１内に滞留しにくくすることにより、増粘インクの影響を抑えて、所期のインク吐出状態を維持することができる。
【００１９】
このような循環流Ｆの大きさは、流抵抗Ｒ１，Ｒ２の比、および気泡Ｂの大きさの影響を受ける。例えば、循環用ヒータ１７、即ち流動エネルギー発生素子が電気熱変換素子である場合を前提として、流抵抗比Ｒ１／Ｒ２を０．０５から０．４０の範囲に設定することが好ましい。流抵抗比Ｒ１／Ｒ２をこの範囲とすることにより、循環流Ｆの速度を大きくすることができる。また、気泡Ｂが大きいほど、循環流Ｆの速度が大きくなる。循環流Ｆの速度を大きくためには、循環用ヒータ１７のサイズを大きくして大きい気泡Ｂを発生させること、および流路１３内の流抵抗を小さくすることが重要となる。しかし、循環用ヒータ１７を高密度に配置する場合には、必然的に、循環用ヒータ１７が小さくなって、循環流Ｆの速度が小さくなる。また、循環用ヒータ１７、即ち流動エネルギー発生素子が電気熱変換素子である場合を前提として、流動エネルギー発生素子は、吐出エネルギー発生素子よりも流路１３の両端部の一方の近くに位置することが、良好な循環流Ｆを発生させるために好ましい。
【００２０】
循環流Ｆは、時間経過と共に減衰し、一定時間後に停止する。したがって、循環流Ｆをある時間定常的に発生させるためには、循環用ヒータ１７の発熱駆動を繰り返す必要がある。循環用ヒータ１７の駆動周期は、吐出口１１内における濃縮インクを排出することができればよく、特に限定されない。例えば、１００Ｈｚ〜１０ｋＨｚ程度の周期で循環用ヒータ１７を駆動する。通常、その駆動周波数が高いほど、濃縮インクの排出効果は大きくなる。しかし、循環用ヒータ１７の駆動時の発熱によるインクの温度上昇を考慮して、循環用ヒータ１７を適切に駆動する必要がある。
【００２１】
図３は、本実施形態における吐出用ヒータ１６および循環用ヒータ１７の駆動タイミングの説明図である。
【００２２】
本例において、吐出用ヒータ１６および循環用ヒータ１７には、特定のパルス幅の駆動パルスＰ１，Ｐ２が印加される。吐出用ヒータ１６は、記録データに対応する駆動パルスＰ２に基づいてインクを吐出するように駆動される。循環用ヒータ１７は、その循環用ヒータ１７の駆動によって生じるインクの圧力変動が、インクの吐出動作に影響しないように駆動する。例えば、吐出用ヒータ１６の駆動中と、その駆動期間の前後の一定期間と、を避けて、循環用ヒータ１７を駆動する。循環用ヒータ１７のサイズを小さくして、それを高密度に配備した場合には、循環流Ｆの速度が小さくなるために、循環流Ｆが時間の経過と共に減衰しやすくなる。この場合、特定の時間定常的に循環流Ｆを発生させるためには、循環用ヒータ１７の駆動周波数を高くする必要があり、その分、インクの昇温が顕著になる。このようなインクの上昇を抑える上においては、図１（ｂ）のような流路１３の構成が有効である。すなわち、ヒータ１６，１７を互いに干渉させることなく高密度に配備することができ、循環用ヒータ１７に関しては、その小サイズ化を抑えつつ、それを高密度に配備することができるからである。このような流路１３の構成の利点は、下記の比較例としのＵ字型の流路構成との対比からも明らかである。
【００２３】
図４は、比較例としてのＵ字型の流路３０の構成の説明図である。流路３０は、図４（ａ）のように、吐出口列Ｌの左側から右側に向かうインクの流れを形成する流路部３０Ａと、そのインクの流れ方向を同図中の上方に変える流路部３０Ｂと、吐出口列Ｌの右側から左側に向かうインクの流れを形成する流路部３０Ｃと、を含む。圧力室１２および吐出用ヒータ１６は流路部３０Ｃに位置し、循環用ヒータ１７は、吐出口列Ｌ上に位置するように流路部３０Ａに配備されている。流路部３０Ａ，３０Ｃは、吐出口列Ｌの左側において共通の供給流路３１に連通されており、外部から供給流路３１内に供給されたインクは、流路３０を通して矢印のように循環される。
【００２４】
このようなＵ字型の流路３０の構成においては、吐出口列Ｌ上に直線状の流路部３０Ａ，３０Ｃが存在し、吐出口列Ｌの延在方向において吐出口１１と循環用ヒータ１７が交互に位置する。図４（ａ）の流路３０は、吐出口列Ｌ方向の記録解像度を３００ｄｐｉとして、吐出口１１と循環用ヒータ１７との間のピッチを６００ｄｐｉに対応する長さとした場合の構成例である。図４（ｂ）の流路３０は、吐出口列Ｌ方向の記録解像度を６００ｄｐｉとして、吐出口１１と循環用ヒータ１７との間のピッチを１２００ｄｐｉに対応する長さとした場合の構成例である。例えば、図１（ｂ）の構成における吐出口１１間のピッチＰを記録解像度６００ｄｐｉに対応する長さとし、図１（ｂ）と図４（ａ）におけるヒータ１６，１７のサイズを同じとした場合を想定する。この場合、図４（ａ）の構成においては、吐出口列Ｌ方向の記録解像度が半分の３００ｄｐｉとなってしまう。また、Ｕ字型の流路３０の構成において、図１（ｂ）と同様の６００ｄｐｉの記録解像度を実現するためには、図４（ｂ）のようにヒータ１６，１７のサイズを小さくしなければならない。このような循環用ヒータ１７の小サイズ化、および流路３０が狭くなることによる流抵抗の増大化に伴って、インクの循環流の速度が小さくなり、吐出口１１内に増粘インクが滞留しやすくなる。
【００２５】
（他の実施形態）
図５から図７は、本発明の異なる他の実施形態における流路構成の説明図である。図５（ａ），図６（ａ），図７（ａ）は図１（ｂ）に対応する断面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＶｂ−Ｖｂに沿う断面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＶＩｂ−ＶＩｂに沿う断面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＶＩＩｂ−ＶＩＩｂに沿う断面図である。
【００２６】
図５の実施形態においては、２つの吐出口列Ｌ１，Ｌ２のそれぞれにおける吐出口１１の位置が半ピッチ（Ｐ／２）ずれており、それらの吐出口列Ｌ１，Ｌ２に対して、互いに逆向きのインクの循環流Ｆ１，Ｆ２を生じさせるように流路１３が形成されている。そのため、吐出口列Ｌ１に対応する流路１３におけるヒータ１６，１７の位置関係と、吐出口列Ｌ２に対応する流路１３におけるヒータ１６，１７の位置関係と、は図５（ｂ）中の左右方向において逆の関係となっている。供給流路１４は、吐出口列Ｌ１，Ｌ２の流路１３のそれぞれにおける第１流路１３Ａに共通に連通するように、吐出口列Ｌ１，Ｌ２の間に形成されている。流出流路１５は、吐出口列Ｌ１，Ｌ２の流路１３のそれぞれにおける第２流路１３Ｂに個別に対応するように、吐出口列Ｌ１，Ｌ２の外側（図５（ａ）中の左右両側）に形成されている。このように、２つの吐出口列Ｌ１，Ｌ２から同じインクを吐出することにより、結果的に、ピッチＰ／２に対応する高解像度を実現しつつ、大きな循環流Ｆ１，Ｆ２を生じさせることができる。
【００２７】
図６の実施形態においては、図５の実施形態において第２流路１３Ｂ毎に対応する流出流路１５の形状を変更し、その形状を吐出口列方向に沿って延在する長孔形状とする。これにより、複数の第２流路１３Ｂに対して長孔形状の流出流路１５が共通化される。同様に、供給流路１４も長孔形状とする。
【００２８】
図７の実施形態においては、図５の実施形態における循環流Ｆ１，Ｆ２と逆向きの循環流Ｆ３，Ｆ４を生じさせるように、吐出口列Ｌ１，Ｌ２に対応する流路が形成されている。流出流路１５は、吐出口列Ｌ１，Ｌ２の流路１３のそれぞれにおける第２流路１３Ｂに共通に連通するように、吐出口列Ｌ１，Ｌ２の間に形成されている。供給流路１４は、吐出口列Ｌ１，Ｌ２の流路１３のそれぞれにおける第１流路１３Ａに個別に対応するように、吐出口列Ｌ１，Ｌ２の外側（図５（ａ）中の左右両側）に形成されている。
【００２９】
前述した実施形態においては、吐出口列を形成する複数の吐出口に対応する複数の流路の全てを流路１３のように構成した。しかし、それら複数の吐出口のうち、少なくとも１つを流路１３のように構成してもよい。また、上述した実施形態においては、異なる吐出口列を形成する吐出口のサイズは、いずれも同一とした。しかし、異なる吐出口列を形成する吐出口のサイズを異ならせて、インクの吐出量を異ならせてもよい。
【００３０】
（インクジェット記録装置の構成例）
上述した実施形態における記録ヘッド（液体吐出ヘッド）２０は、いわゆるシリアルスキャン方式およびフルライン方式等の種々のインクジェット記録装置（液体吐出装置）に用いることができる。図８（ａ）は、シリアルスキャン方式のインクジェット記録装置の構成例であり、同図中の矢印Ｘ方向（主走査方向）に移動するキャリッジ５３に対して、上述した実施形態の記録ヘッド２０が着脱可能に搭載される。キャリッジ５３はガイド部材５４Ａ，５４Ｂによってガイドされ、記録媒体Ｐは、ロール５５，５６，５７，５８によって矢印Ｙ方向（副走査方向）に搬送される。記録ヘッド２０がキャリッジ５３と共に主走査方向に移動しつつインクを吐出する動作と、記録媒体Ｐを副走査方向に搬送する動作と、を繰り返すことにより、記録媒体Ｐ上に画像が記録される。
【００３１】
図８（ｂ）は、図８（ａ）のインクジェット記録装置の制御系のブロック図である。ＣＰＵ（制御部）１００は、記録装置の動作の制御処理およびデータ処理等を実行する。ＲＯＭ１０１には、それらの処理手順等のプログラムが格納され、ＲＡＭ１０２は、それらの処理を実行するためのワークエリアなどとして用いられる。記録ヘッド２０におけるヒータ１６は、ヘッドドライバ２０Ａを介して駆動される。画像の記録は、ヒータ１６の駆動データ（画像データ）および駆動制御信号（ヒートパルス信号）をヘッドドライバ２０Ａに供給することにより行われる。ＣＰＵ１００は、モータドライバ１０３Ａを介して、キャリッジ５３を主走査方向に駆動するためのキャリッジモータ１０３を制御し、またモータドライバ１０４Ａを介して、記録媒体Ｐを副走査方向に搬送するためのＰ．Ｆモータ１０４を制御する。また、ＣＰＵ１００は、前述したように、圧力室１２を通して流路１３にインクを流すために、マイクロポンプなどを含む循環機構１０５を制御する。
【００３２】
本発明は、上述した実施形態のようなインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置のみに特定されず、種々の液体を吐出可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出方法として広く適用することができる。本発明の液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体供給方法は、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。本発明は、例えば、バイオチップ作製および電子回路印刷などの用途において用いることができる。
【符号の説明】
【００３３】
１１  吐出口
１２  圧力室
１３  流路
１６  吐出用ヒータ（吐出エネルギー発生素子）
１７  循環用ヒータ（流動エネルギー発生素子）
Ｌ  吐出口列
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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