(57)【要約】【課題】狭い空間に入り込むことができ、且つ研磨対象物にツールを押し付ける力を適切に維持することができる処理ツールを提供する。【解決手段】処理ツールは、第１端部と第２端部とを有するアームと、前記アームに接続される支持部材と、前記支持部材と前記アームとを枢動可能に接続する接続部と、前記接続部よりも前記アームの第１端部側に位置する第１位置に取り付けられ、処理対象物に押し付けられるように構成される処理部と、前記接続部よりも前記アームの前記第２端部側に位置する第２位置に一端が枢動可能に取り付けられ、他端が前記支持部材に枢動可能に取り付けられる付勢装置と、を有する。【選択図】図２
2020104180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１端部と第２端部とを有するアームと、
前記アームに接続される支持部材と、
前記支持部材と前記アームとを枢動可能に接続する接続部と、
前記接続部よりも前記アームの前記第１端部側に位置する第１位置に取り付けられ、処理対象物に押し付けられるように構成される処理部と、
前記接続部よりも前記アームの前記第２端部側に位置する第２位置に一端が枢動可能に取り付けられ、他端が前記支持部材に枢動可能に取り付けられる付勢装置と、を有する、処理ツール。
【請求項２】
請求項１に記載された処理ツールにおいて、
前記付勢装置は、ピストンとシリンダとを有し、
前記処理部が前記処理対象物に押し付けられたとき、前記ピストン及び前記シリンダには、互いに離れる方向に力が印加される、処理ツール。
【請求項３】
請求項１又は２に記載された処理ツールにおいて、
前記付勢装置は、ピストンとエアシリンダとを有し、
前記処理ツールは、さらに、前記エアシリンダに供給される空気の空気圧を制御する第１制御装置を有する、処理ツール。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載された処理ツールにおいて、
前記接続部は、前記支持部材と前記アームとを枢動可能に接続する支点ピンを含む、処理ツール。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載された処理ツールにおいて、
前記処理部を駆動する駆動源を有する、処理ツール。
【請求項６】
請求項５に記載された処理ツールにおいて、
前記駆動源は、エアグラインダと、前記エアグラインダにより回転される第１シャフトと、前記第１シャフトに取り付けられた第１プーリと、を有し、
前記処理部は、前記処理対象物に押し付けられる処理ヘッドと、前記処理ヘッドから延びる第２シャフトと、前記第２シャフトに取り付けられた第２プーリと、を含み、
前記処理ツールは、さらに、前記第１プーリと前記第２プーリとを連結するベルトを有する、処理ツール。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載された処理ツールにおいて、
前記支持部材は、マニピュレータと着脱可能に接続される接続部分を有する、処理ツール。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載された処理ツールにおいて、
前記接続部よりも前記アームの前記第１端部側に複数の前記処理部を有する、処理ツール。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載された処理ツールと、
前記処理ツールが取り付けられ、前記処理ツールの前記処理部を前記処理対象物に押し付けるように構成されるマニピュレータと、
前記マニピュレータの動作を制御する第２制御装置と、を有する、処理装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載された処理ツールを用いて処理対象物を加工する
方法であって、
前記処理ツールをマニピュレータに取り付ける工程と、
制御装置によって、前記処理ツールの処理部を駆動する工程と、
前記制御装置によって、前記マニピュレータの動作を制御して、前記処理部を前記処理対象物に押し付ける工程と、を有する、加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理ツール及びこれを備えた処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
鋳造などで成形された対象物の表面を処理するために、研磨作業が行われる。従来、このような研磨作業は、例えばグラインダを用いて、作業員により行われることがある。しかしながら、研磨作業は、例えば９０ｄＢを超えるような騒音環境、及び粉塵が飛散した環境で行われることが多い。また、作業員は同じ姿勢で長時間に渡って研磨作業を行うこともある。このため、一部の作業現場では、作業員への健康被害が発生する可能性が懸念されている。これに対して、このような研磨作業を作業員に代わって行うロボットが知られている（例えば、引用文献１参照）
【０００３】
特許文献１に記載されるロボットは、マニピュレータと、ツール（研削機械）と、ツールに加えられる力を制御するためのハンドリング装置を有する。ツールは、ハンドリング装置を介してマニピュレータに接続される。マニピュレータは、研削対象物にツールを押し付けることで、研削対象物を研削する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２０１４−５０８０５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
様々な部品等が研磨作業の対象物になる。そのような対象物が、例えばポンプの羽根車、吐出しボウル、ケーシング、及びガイドベーン等である場合、狭い空間に研磨対象位置が存在し得る。この場合、特許文献１に記載されたようなロボットでは、狭い空間に存在する研磨対象位置にツールが入り込めず、研磨できないことがある。なお、これらの対象物に限らず、研磨対象位置が狭い空間に存在する様々な研磨対象物が存在する。
【０００６】
ツールが狭い空間に入り込めるように、ツールの形状を細長くすることも考えられる。しかしながら、例えば特許文献１に記載されたロボットのツールを細長く形成した場合、ハンドリング装置とツールの先端との距離が長くなるので、ツールの先端を研磨対象物に押し付ける力が弱くなり得る。このため、従来は、ロボットのツールが入り込めないような狭い空間に研磨対象位置が存在する場合には、作業員が研磨作業を行わざるを得なかった。
【０００７】
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、狭い空間に入り込むことができ、且つ研磨対象物にツールを押し付ける力を適切に維持することができる処理ツールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一形態によれば、処理ツールが提供される。この処理ツールは、第１端部と第２端部とを有するアームと、前記アームに接続される支持部材と、前記支持部材と前記アームとを枢動可能に接続する接続部と、前記接続部よりも前記アームの前記第１端部側に位置する第１位置に取り付けられ、処理対象物に押し付けられるように構成される処理部と、前記接続部よりも前記アームの前記第２端部側に位置する第２位置に一端が枢動可能に取り付けられ、他端が前記支持部材に枢動可能に取り付けられる付勢装置と、を有する
。
【０００９】
本発明の一形態によれば、処理装置が提供される。この処理装置は、上記処理ツールと、前記処理ツールが取り付けられ、前記処理ツールの前記処理部を前記処理対象物に押し付けるように前記処理ツールを操作するように構成されるマニピュレータと、前記マニピュレータの動作を制御する第２制御装置と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施形態に係る処理装置を示す概略側面図である。
【図２】処理ツールの斜視図である。
【図３】駆動源と研磨部との連結状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一の又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。図１は、本実施形態に係る処理装置を示す概略側面図である。図１に示すように、処理装置１００は、処理ツール１０と、マニピュレータ１０１と、制御装置１１０とを有する。マニピュレータ１０１は、アームセグメント１０４，１０６，１０８を有する。マニピュレータ１０１は、好ましくは６自由度を有する。これにより、先端のアームセグメント１０８を３次元空間の任意の位置に移動させることができる。
【００１２】
処理ツール１０は、マニピュレータ１０１の先端のアームセグメント１０８に着脱可能に取り付けられる。マニピュレータ１０１は、処理ツール１０を処理対象物２００に押し付けることができる。制御装置１１０（第２制御装置の一例に相当する）は、例えば、マニピュレータの動作プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体と、記録媒体のプログラムを実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）等を有する。また、制御装置１１０は、少なくとも電源ユニット、ＣＰＵ、動作プログラムを記憶したメモリ、及び入出力ユニットを含むＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）を含んでもよい。制御装置１１０は、処理対象物２００の形状に応じた動作プログラムに従ってマニピュレータ１０１の動作を制御し、それにより処理対象物２００を処理ツール１０で処理することができる。
【００１３】
図示の例では、斜流ポンプのインペラが処理対象物２００として示されている。斜流ポンプのインペラは、羽根と羽根との間に狭い空間を有する。このため、従来は作業員によって羽根と羽根との間が研磨されていた。本実施形態に係る処理装置１００は、処理ツール１０を有するので、このようなインペラの羽根と羽根との間も研磨することができる。しかし、これに限らず、本実施形態の処理装置１００は、狭い空間を有さない任意の処理対象物を研磨することができる。
【００１４】
次に、図１に示した処理ツール１０の詳細について説明する。図２は、処理ツール１０の斜視図である。図３は、駆動源と研磨部との連結状態を示す斜視図である。図２に示すように、処理ツール１０は、アーム２０と、支持部材４０と、シリンダ装置３０（付勢装置の一例に相当する）と、研磨部５０と、駆動源６０と、を有する。アーム２０は、第１端部２０ａと第２端部２０ｂとを有し、所定の方向に延びる例えば金属等の剛体である。図示の例では、アーム２０は直線状の剛体であるが、これに限らず、例えばＬ字形、Ｕ字形、湾曲形等であってもよく、剛体ではなく所定の弾性を有するフレキシブルな材料であってもよい。
【００１５】
支持部材４０は、図１に示したマニピュレータ１０１のアームセグメント１０８と着脱可能に接続される接続部分４２を有する。図２に示すように、接続部分４２は、例えばフ
ランジ形状を有し得る。また、支持部材４０は、接続部分４２の逆側の端部において、アーム２０に枢動可能に接続される。具体的には、支持部材４０とアーム２０は、アーム２０の延びる方向と直交する方向に延びる第２支持ピン７４（接続部の一例に相当する）により枢動可能に接続される。第２支持ピン７４は、アーム２０の第１側部２０ｃから第２側部２０ｄまで延びる。言い換えれば、第２支持ピン７４は、アーム２０の幅よりもやや長い。図２に示す例では、支持部材４０は、一対のＣ形チャンネル鋼であり得る。しかしながら、支持部材４０はこれに限らず、第２支持ピン７４及び後述する第１支持ピン７２と接続可能な任意の形状及び材質の部材であり得る。また、図２に示す状態では、支持部材４０は、アーム２０の延びる方向及び第２支持ピン７４の延びる方向と直交する方向に延びて示される。しかしながら、支持部材４０はアーム２０に対して枢動可能に接続されているので、アーム２０に対する支持部材４０の角度は、シリンダ装置３０の伸縮に応じて変化し得る。
【００１６】
シリンダ装置３０は、第２支持ピン７４よりもアーム２０の第２端部２０ｂ側に位置する第２位置２４に一端が枢動可能に取り付けられ、他端が支持部材４０に枢動可能に取り付けられる。具体的には、図２に示すように、シリンダ装置３０は、エアシリンダ３２と、ピストン３４と、を有する。エアシリンダ３２の端部は、アーム２０の第２位置２４に第３支持ピン７６により枢動可能に取り付けられる。また、ピストン３４の端部は、支持部材４０に第１支持ピン７２により枢動可能に取り付けられる。第１支持ピン７２及び第３支持ピン７６は、第２支持ピン７４と同一の方向、即ちアーム２０及び支持部材４０の延びる方向と直交する方向に延びる。
【００１７】
シリンダ装置３０はエアシリンダ３２を有するので、研磨部５０が処理対象物２００（図１参照）に押し付けられているときに、空気ばねの弾性によりシリンダ装置３０が伸縮することができる。また、図１に示した制御装置１１０（第１制御装置の一例に相当する）は、シリンダ装置３０のエアシリンダ３２に供給される空気の空気圧を制御することができる。具体的には、研磨部５０で処理対象物２００（図１参照）を研磨しているときに、制御装置１１０がエアシリンダ３２の空気圧を制御することで、シリンダ装置３０の伸縮量を制御して、支持部材４０に対するアーム２０の角度を調整することができる。同様に、制御装置１１０がエアシリンダ３２の空気圧を制御することで、エアシリンダ３２の空気ばねの弾性を変更して、研磨部５０の押付力を制御することができる。なお、シリンダ装置３０はエアシリンダ３２に限らず、水圧シリンダ又は油圧シリンダ等を採用することもできる。また、エアシリンダ３２によって位置調整や押付力調整を行う必要のない作業を行う場合には、エアシリンダ３２に代えて一定の力を与えるバネを用いて、より簡易的な装置とすることができる。
【００１８】
駆動源６０は、研磨部５０を駆動するように構成され、図３に示すように、本実施形態では例えばエアグラインダ６２を有する。しかし、これに限らず、駆動源６０は、エアグラインダ６２に代えて、電気グラインダ又はモータ等の電気駆動源、又はエアモータ等の空気駆動源を有していてもよく、駆動源６０の種類は限定されない。ただし、駆動源６０が電気グラインダを採用した場合、長時間の運転により発熱し得る。エアグラインダ６２は、圧縮空気の膨張により冷却され得るので、長時間の運転に適している。駆動源６０は、制御装置１１０に制御される。具体的には、制御装置１１０は、エアグラインダ６２の回転数を制御することができる。
【００１９】
駆動源６０は、さらに、エアグラインダ６２により回転される第１シャフト６６と、第１シャフト６６に取り付けられた第１プーリ６４と、を有する。第１シャフト６６は、図２に示すアーム２０に取り付けられるベアリング６８により、回転可能に支持される。研磨部５０は、処理対象物２００（図１参照）に押し付けられる研磨ヘッド５２と、研磨ヘッド５２から延びる第２シャフト５６と、第２シャフト５６に取り付けられた第２プーリ
５４と、を有する。本実施形態では、研磨ヘッド５２は、円盤状の砥石であり得る。しかしながら、これに限らず、研磨ヘッド５２は、サンドペーパ、研磨用パッド等の比較的柔らかい研磨用部材であってもよい。また、研磨ヘッド５２は、スポンジ又はブラシ等の、処理対象物の表面を洗浄する洗浄部材であってもよい。
【００２０】
さらに、処理ツール１０は、駆動源６０の第１プーリ６４と研磨部５０の第２プーリ５４とを連結するベルト８４と、ベルト８４の張力を適切に維持するテンショナ８２とを有する。これにより、駆動源６０の駆動力がベルト８４を介して研磨部５０に伝達され、研磨部５０の研磨ヘッド５２が周方向に回転する。なお、本実施形態では、第１プーリ６４、第２プーリ５４、ベルト８４によって駆動源６０の駆動力が研磨部５０に伝達されているが、駆動力を伝達する機構はこれに限られない。例えば、第１プーリ６４及び第２プーリ５４に代えてスプロケットを採用し、ベルト８４に代えてスプロケットと係合するチェーンを採用し得る。しかしながら、耐粉塵性の観点からは、本実施形態のようにベルト８４を採用することが好ましい。
【００２１】
図２に示すように、研磨部５０は、第２支持ピン７４よりもアーム２０の第１端部２０ａ側に位置する第１位置２２に取り付けられる。具体的には、アーム２０の第１位置２２に取り付けられた一対のベアリング５８ａ，５８ｂにより、研磨部５０の第２シャフト５６が回転可能に支持される。ベアリング５８ａは、アーム２０の上側（第１支持ピン７２側）に設けられ、ベアリング５８ｂは、アーム２０の下側に設けられる。また、図示の例では、研磨部５０の研磨ヘッド５２及び駆動源６０は、アーム２０の図中下側、即ち支持部材４０とは反対側に設けられる。しかしながら、これに限らず、研磨部５０の研磨ヘッド５２は、アーム２０の図中上側、即ち支持部材４０と同一側に設けることもできる。具体的には、研磨部５０の第２シャフト５６は、アーム２０の図中上側、即ち支持部材４０側まで、アーム２０を貫通して設けられている。図２及び図３に示す研磨ヘッド５２及び第２シャフト５６をベアリング５８ａ，５８ｂから取り外して、第２シャフト５６の向きを１８０度変えることにより、研磨ヘッド５２をアーム２０の図中上側に設けることができる。したがって、第２シャフト５６の向きを変更するだけで、研磨ヘッド５２の位置を容易に変更することができるので、図１に示したマニピュレータ１０１の姿勢の選択肢を増加させることができる。その結果、制御装置１１０に格納される動作プログラムの作成が容易になる。また、これにより、単一の設計図で製作された処理ツール１０を２つの姿勢で使用できるので、設計工数を減らすこともできる。
【００２２】
次に、図２及び図３に示した処理ツール１０の作用及び機能について説明する。処理対象物２００が処理ツール１０によって研磨される場合、まず、図１に示すように、処理ツール１０をマニピュレータ１０１に取り付ける。続いて、制御装置１１０は処理対象物２００に応じた動作プログラムを実行する。具体的には、駆動源６０のエアグラインダ６２が、制御装置１１０により駆動され、研磨部５０の研磨ヘッド５２が高速で回転する。また、制御装置１１０により、シリンダ装置３０のエアシリンダ３２に供給される空気の空気圧が制御される。具体的には、制御部１１０は、エアシリンダ３２とピストン３４とが互いに引き合う方向に動作するように、空気圧を制御する。続いて、制御装置１１０は、マニピュレータ１０１（図１参照）を制御して、処理ツール１０の研磨ヘッド５２を処理対象物２００に押し付けて、処理対象物２００の表面を研磨する。
【００２３】
研磨ヘッド５２が処理対象物２００に押し付けられると研磨部５０に力が加わる。その結果、第２支持ピン７４を支点として、シリンダ装置３０のピストン３４及びエアシリンダ３２には、互いに離れる方向に力が加えられる。シリンダ装置３０の空気ばねの弾性力は、この力に対抗して作用する。
【００２４】
図２に示すように、本実施形態の処理ツール１０では、第１位置２２に研磨部５０が取
り付けられる。また、第２位置２４にシリンダ装置３０の一端（エアシリンダ３２の端部）が取り付けられ、シリンダ装置３０の他端（ピストン３４の端部）が支持部材４０に取り付けられる。即ち、処理ツール１０では、アーム２０の第１端部２０ａ側にはシリンダ装置３０が設けられないので、アーム２０の第１端部２０ａ側をコンパクトにすることができる。具体的には、アーム２０の第１端部２０ａ側には、研磨部５０のみが設けられるので、処理対象物２００の羽根と羽根との間の狭い空間に研磨部５０が入り込むことができる。したがって、狭い空間を有する処理対象物２００であっても、処理装置１００により自動的に研磨することができるので、作業員による研磨作業を無くすことができる。
【００２５】
また、本実施形態の処理ツール１０では、アーム２０の第１端部２０ａ側に研磨部５０のみが設けられるので、研磨部５０が狭い空間の奥に到達するように、アーム２０の長さ、即ち研磨部５０と第２支持ピン７４との間の距離を容易に長くすることもできる。なお、アーム２０の長さを長くすると、研磨部５０を処理対象物２００に押し付けたときに、第２支持ピン７４を支点として、シリンダ装置３０に加わる反力も大きくなる。このため、単にアーム２０の長さを長くした場合、研磨部５０の処理対象物２００に対する押し付け力が小さくなり得る。これに対して、本実施形態では、アーム２０の第１端部２０ａ側に研磨部５０が設けられ、アーム２０の第２端部２０ｂ側にシリンダ装置３０が設けられるので、シリンダ装置３０とアーム２０の接続位置、即ち第２位置２４を容易に設計変更することができる。言い換えれば、第２位置２４の設計変更にあたって、研磨部５０の位置を考慮する必要が無い。このため、研磨部５０と第２支持ピン７４との間の距離に応じて第２位置２４を適宜設定することで、研磨部５０の処理対象物２００に対する押し付け力を適切に維持することができる。これは、エアシリンダ３２を設計変更する際も同様である。
【００２６】
また、本実施形態の処理ツール１０においては、シリンダ装置３０がエアシリンダ３２を有する。このため、研磨部５０が処理対象物２００に押し付けられたとき、シリンダ装置３０は、空気ばねの弾性により、研磨部５０の押し付け力に応じて伸縮することができる。また、シリンダ装置３０が、処理対象物２００の形状に応じて伸縮し、研磨部５０を処理対象物２００に一定圧で押し付けているので、押し付け力を一定に保つことができる。なお、研磨部５０の押し付け力を物理的なばねで支持することも考えられるが、この場合、ばね定数が一定であるので、研磨部５０の押し付け力を処理対象物２００に応じて変更することができない。これに対して、本実施形態では、制御装置１１０により、エアシリンダ３２に供給する空気の空気圧が制御されるので、研磨部５０の押し付け力を任意に制御することができる。したがって、処理ツール１０は、様々な処理対象物２００に対して適切な押し付け力で、研磨部５０を押し付けることができる。
【００２７】
本実施形態の処理ツール１０では、駆動源６０により回転した研磨部５０を処理対象物２００に押し付けると、支持部材４０の長手方向軸を中心としたモーメント力が処理ツール１０に加わる。これに対して、本実施形態では、第２支持ピン７４により支持部材４０とアーム２０とが枢動可能に接続される。また、この第２支持ピン７４は、アーム２０の第１側部２０ｃから第２側部２０ｄまで延びる。これにより、処理ツール１０の剛性を高めることができる。
【００２８】
また、本実施形態では、駆動源６０の駆動力が、ベルト８４により研磨部５０に伝達される。したがって、駆動力の伝達機構からの粉塵の発生や、伝達機構の摩耗を抑制することができる。
【００２９】
以上で説明したように、本実施形態の処理装置１００によれば、処理対象物２００を自動で研磨することができる。さらに、処理対象物２００が狭い空間を有する場合であっても、処理装置１００により自動的に研磨することができる。本実施形態の処理装置１００
によれば、研磨作業に要する時間をある事例では半減することができる。なお、本実施形態では、制御装置１１０がマニピュレータ１０１、駆動源６０、シリンダ装置３０を制御するものとして説明したが、これらを制御する制御装置を各々独立して設けてもよい。また、本実施形態では、アーム２０の第１端部２２側に単一の研磨部５０が設けられているが、これに限らず、複数の研磨部５０を設けてもよい。これにより、複数の処理対象物２００に対して複数の研磨部５０をそれぞれ押し付けて、同時に研磨することができる。
【００３０】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上述した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲及び明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、又は省略が可能である。
【００３１】
以下に本明細書が開示する形態のいくつかを記載しておく。
第１形態によれば、処理ツールが提供される。この処理ツールは、第１端部と第２端部とを有するアームと、前記アームに接続される支持部材と、前記支持部材と前記アームとを枢動可能に接続する接続部と、前記接続部よりも前記アームの前記第１端部側に位置する第１位置に取り付けられ、処理対象物に押し付けられるように構成される処理部と、前記接続部よりも前記アームの前記第２端部側に位置する第２位置に一端が枢動可能に取り付けられ、他端が前記支持部材に枢動可能に取り付けられる付勢装置と、を有する。
【００３２】
第２形態によれば、第１形態の処理ツールにおいて、前記付勢装置は、ピストンとシリンダとを有し、前記処理部が前記処理対象物に押し付けられたとき、前記ピストン及び前記シリンダには、互いに離れる方向に力が印加される。
【００３３】
第３形態によれば、第１形態又は第２形態の処理ツールにおいて、前記付勢装置は、ピストンとエアシリンダとを有し、前記処理ツールは、さらに、前記エアシリンダに供給される空気の空気圧を制御する第１制御装置を有する。
【００３４】
第４形態によれば、第１形態から第３形態のいずれかの処理ツールにおいて、前記接続部は、前記支持部材と前記アームとを枢動可能に接続する支点ピンを含む。
【００３５】
第５形態によれば、第１形態から第４形態のいずれかの処理ツールにおいて、前記処理部を駆動する駆動源を有する。
【００３６】
第６形態によれば、第５形態の処理ツールにおいて、前記駆動源は、エアグラインダと、前記エアグラインダにより回転される第１シャフトと、前記第１シャフトに取り付けられた第１プーリと、を有し、前記処理部は、前記処理対象物に押し付けられる処理ヘッドと、前記処理ヘッドから延びる第２シャフトと、前記第２シャフトに取り付けられた第２プーリと、を含み、前記処理ツールは、さらに、前記第１プーリと前記第２プーリとを連結するベルトを有する。
【００３７】
第７形態によれば、第１形態から第６形態のいずれかの処理ツールにおいて、前記支持部材は、マニピュレータと着脱可能に接続される接続部分を有する。
【００３８】
第８形態によれば、第１形態から第７形態のいずれかの処理ツールは、前記接続部よりも前記アームの前記第１端部側に複数の前記処理部を有する。
【００３９】
第９形態によれば、第１形態から第８形態のいずれかの処理ツールと、前記処理ツール
が取り付けられ、前記処理ツールの前記処理部を前記処理対象物に押し付けるように構成されるマニピュレータと、前記マニピュレータの動作を制御する第２制御装置と、を有する。
【００４０】
第１０形態によれば、第１形態から第９形態のいずれかの処理ツールを用いて処理対象物を加工する方法が提供される。この方法は、前記処理ツールをマニピュレータに取り付ける工程と、制御装置によって、前記処理ツールの処理部を駆動する工程と、前記制御装置によって、前記マニピュレータの動作を制御して、前記処理部を前記処理対象物に押し付ける工程と、を有する。
【符号の説明】
【００４１】
１０…処理ツール
２０…アーム
２０ａ…第１端部
２０ｂ…第２端部
２２…第１位置
２４…第２位置
３０…シリンダ装置
３２…エアシリンダ
３４…ピストン
４０…支持部材
５０…研磨部
５２…研磨ヘッド
５４…第２プーリ
５６…第２シャフト
６０…駆動源
６２…エアグラインダ
６４…第１プーリ
６６…第１シャフト
６８…ベアリング
７２…第１支持ピン
７４…第２支持ピン
７６…第３支持ピン
８４…ベルト
１００…処理装置
１０１…マニピュレータ
１１０…制御装置
２００…処理対象物
【図１】
2020104180.tif 000003
【図２】
2020104180.tif 000004
【図３】
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