(57)【要約】【課題】安定した駆動を行うことのできる圧電駆動装置を提供する。【解決手段】圧電駆動装置は、第１軸に沿う方向に並んでいる第１面および第２面を有し、第２軸および第３軸を含む平面に沿って振動する圧電振動子と、圧電振動子に配置され、圧電振動子と第２軸に沿う方向に並んでいる凸部と、第２軸に沿って圧電振動子から凸部に向かう方向に圧電振動子を付勢する付勢部と、を有し、付勢部は、圧電振動子の第１面側に配置され、圧電振動子を付勢方向に付勢すると共に第１軸方向の一方側に向けて付勢する第１面側棒状部と、圧電振動子の第２面側に配置され、圧電振動子を付勢方向に付勢すると共に第１軸方向の他方側に向けて付勢する第２面側棒状部と、を有する。【選択図】図１２
2020005435.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交する３軸を第１軸、第２軸および第３軸としたとき、
前記第１軸に沿う方向に並んでいる第１面および第２面を有し、前記第２軸および前記第３軸を含む平面に沿って振動する圧電振動子と、
前記圧電振動子に配置され、前記圧電振動子と前記第２軸に沿う方向に並んでいる凸部と、
前記第２軸に沿って前記圧電振動子から前記凸部に向かう方向に前記圧電振動子を付勢する付勢部と、を有し、
前記付勢部は、
前記圧電振動子の前記第１面側に配置され、前記第３軸に沿う方向に延在し、弾性を有する第１面側棒状部と、
前記圧電振動子の前記第２面側に配置され、前記第３軸に沿う方向に延在し、弾性を有する第２面側棒状部と、を有し、
前記第３軸に垂直な平面における前記第１面側棒状部の断面形状は、第２軸に沿う一対の辺と前記一対の辺に接続し前記第１軸および前記第２軸の両方に傾斜した第１の辺を有し、前記第１軸に沿う方向の長さおよび前記第２軸に沿う方向の長さよりも、前記第１軸および前記第２軸の両方に交差して前記第１の辺に垂直な第４軸に沿う方向の長さの方が小さく、
前記第３軸に垂直な平面における前記第２面側棒状部の断面形状は、第２軸に沿う一対の辺と前記一対の辺に接続し前記第１軸および前記第２軸の両方に傾斜した第２の辺を有し、前記第１軸に沿う方向の長さおよび前記第２軸に沿う方向の長さよりも、前記第１軸および前記第２軸の両方に交差して前記第１の辺に垂直な第５軸に沿う方向の長さの方が小さく、
前記第３軸方向からの平面視で、
前記第４軸および前記第５軸は、前記第２軸に対して互いに逆向きに傾いていることを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項２】
前記第２軸と前記第４軸との成す角は、前記第２軸と前記第５軸との成す角と等しい請求項１に記載の圧電駆動装置。
【請求項３】
前記圧電振動子は、前記第１面側棒状部によって前記第１面から前記第２面に向かう方向に付勢され、前記第２面側棒状部によって前記第２面から前記第１面に向かう方向に付勢されている請求項１または２に記載の圧電駆動装置。
【請求項４】
前記圧電振動子は、前記第１面側棒状部によって前記第２面から前記第１面に向かう方向に付勢され、前記第２面側棒状部によって前記第１面から前記第２面に向かう方向に付勢されている請求項１または２に記載の圧電駆動装置。
【請求項５】
前記第１軸および前記第２軸を含む平面における前記第１面側棒状部の断面形状は、平行四辺形であり、
前記第１軸および前記第２軸を含む平面における前記第２面側棒状部の断面形状は、前記第１面側棒状部の前記断面形状とは傾きが逆の平行四辺形である請求項１ないし４のいずれか１項に記載の圧電駆動装置。
【請求項６】
前記第１面側棒状部および前記第２面側棒状部は、それぞれ、シリコンから構成されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の圧電駆動装置。
【請求項７】
互いに直交する３軸を第１軸、第２軸および第３軸としたとき、
前記第１軸に沿う方向に並んでいる第１面および第２面を有し、前記第２軸および前記第３軸を含む平面に沿って振動する圧電振動子と、
前記圧電振動子に配置され、前記圧電振動子と前記第２軸に沿う方向に並んでいる凸部と、
前記第２軸に沿って前記圧電振動子から前記凸部に向かう付勢方向に前記圧電振動子を付勢する付勢部と、を有し、
前記付勢部は、
前記圧電振動子の前記第１面側に配置され、前記圧電振動子を前記付勢方向に付勢すると共に前記第１軸方向の一方側に向けて付勢する第１ばね部と、
前記圧電振動子の前記第２面側に配置され、前記圧電振動子を前記付勢方向に付勢すると共に前記第１軸方向の他方側に向けて付勢する第２ばね部と、を有することを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項８】
互いに直交する３軸を第１軸、第２軸および第３軸としたとき、
前記第１軸に沿う方向に並んでいる第１面および第２面を有し、前記第２軸および前記第３軸を含む平面に沿って振動する圧電振動子と、
前記圧電振動子に配置され、前記圧電振動子と前記第２軸に沿う方向に並んでいる凸部と、
前記第２軸に沿って前記圧電振動子から前記凸部に向かう方向に前記圧電振動子を付勢する付勢部と、を有し、
前記付勢部は、
前記圧電振動子の前記第１面側に位置し、前記第３軸に沿う方向に延在し、弾性を有する第１面側棒状部と、
前記圧電振動子の前記第２面側に位置し、前記第３軸に沿う方向に延在し、弾性を有する第２面側棒状部と、を有し、
前記第３軸に垂直な平面における前記第１面側棒状部の断面形状は、前記第１軸に沿う方向の長さおよび前記第２軸に沿う方向の長さよりも、前記第１軸および前記第２軸の両方に交差する第４軸に沿う方向の長さの方が小さく、
前記第３軸に垂直な平面における前記第２面側棒状部の断面形状は、前記第１軸に沿う方向の長さおよび前記第２軸に沿う方向の長さよりも、前記第１軸および前記第２軸の両方に交差する第５軸に沿う方向の長さの方が小さく、
前記第３軸方向からの平面視で、前記第４軸および前記第５軸が前記第２軸に対して互いに逆向きに傾いている圧電駆動装置の製造方法であって、
ドライエッチングにより第１基板をその厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進めることにより前記第１面側棒状部を形成し、ドライエッチングにより第２基板をその厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進めることにより前記第２面側棒状部を形成する工程と、
前記圧電振動子の前記第１面側に前記第１面側棒状部を配置し、前記圧電振動子の前記第２面側に前記第２面側棒状部を配置する工程と、を含むことを特徴とする圧電駆動装置の製造方法。
【請求項９】
互いに直交する３軸を第１軸、第２軸および第３軸としたとき、
前記第１軸に沿う方向に並んでいる第１面および第２面を有し、前記第２軸および前記第３軸を含む平面に沿って振動する圧電振動子と、
前記圧電振動子に配置され、前記圧電振動子と前記第２軸に沿う方向に並んでいる凸部と、
前記第２軸に沿って前記圧電振動子から前記凸部に向かう方向に前記圧電振動子を付勢する付勢部と、を有し、
前記付勢部は、
前記圧電振動子の前記第１面側に位置し、前記第３軸に沿う方向に延在し、弾性を有する第１面側棒状部と、
前記圧電振動子の前記第２面側に位置し、前記第３軸に沿う方向に延在し、弾性を有する第２面側棒状部と、を有し、
前記第３軸に垂直な平面における前記第１面側棒状部の断面形状は、前記第１軸に沿う方向の長さおよび前記第２軸に沿う方向の長さよりも、前記第１軸および前記第２軸の両方に交差する第４軸に沿う方向の長さの方が小さく、
前記第３軸に垂直な平面における前記第２面側棒状部の断面形状は、前記第１軸に沿う方向の長さおよび前記第２軸に沿う方向の長さよりも、前記第１軸および前記第２軸の両方に交差する第５軸に沿う方向の長さの方が小さく、
前記第３軸方向からの平面視で、前記第４軸および前記第５軸が前記第２軸に対して互いに逆向きに傾いている圧電駆動装置の製造方法であって、
ウェットエッチングにより第１基板をその厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進めることにより前記第１面側棒状部を形成し、ウェットエッチングにより第２基板をその厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進めることにより前記第２面側棒状部を形成する工程と、
前記圧電振動子の前記第１面側に前記第１面側棒状部を配置し、前記圧電振動子の前記第２面側に前記第２面側棒状部を配置する工程と、を含むことを特徴とする圧電駆動装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電駆動装置および圧電駆動装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、圧電駆動装置として特許文献１のマイクロモーターが知られている。特許文献１のマイクロモーターは、板状の圧電セラミックと、圧電セラミックの一方の主面に配置された共通電極と、他方の主面に配置された４つの個別電極と、圧電セラミックに取り付けられ、被駆動部材に当接するセラミックスペーサーと、を有する。４つの個別電極に駆動電圧を印加するとセラミックスペーサーが圧電セラミックの主面に平行な面内で回転振動し、この回転運動によって被駆動部材が駆動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１８４３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のマイクロモーターは、セラミックスペーサーが圧電セラミックの主面に平行な面内に沿って回転振動した際に、圧電セラミックの厚さ方向にも振動して、被駆動部材の駆動が不安定となる恐れがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の圧電駆動装置は、互いに直交する３軸を第１軸、第２軸および第３軸としたとき、
前記第１軸に沿う方向に並んでいる第１面および第２面を有し、前記第２軸および前記第３軸を含む平面に沿って振動する圧電振動子と、
前記圧電振動子に配置され、前記圧電振動子と前記第２軸に沿う方向に並んでいる凸部と、
前記第２軸に沿って前記圧電振動子から前記凸部に向かう方向に前記圧電振動子を付勢する付勢部と、を有し、
前記付勢部は、
前記圧電振動子の前記第１面側に配置され、前記第３軸に沿う方向に延在し、弾性を有する第１面側棒状部と、
前記圧電振動子の前記第２面側に配置され、前記第３軸に沿う方向に延在し、弾性を有する第２面側棒状部と、を有し、
前記第３軸に垂直な平面における前記第１面側棒状部の断面形状は、第２軸に沿う一対の辺と前記一対の辺に接続し前記第１軸および前記第２軸の両方に傾斜した第１の辺を有し、前記第１軸に沿う方向の長さおよび前記第２軸に沿う方向の長さよりも、前記第１軸および前記第２軸の両方に交差して前記第１の辺に垂直な第４軸に沿う方向の長さの方が小さく、
前記第３軸に垂直な平面における前記第２面側棒状部の断面形状は、第２軸に沿う一対の辺と前記一対の辺に接続し前記第１軸および前記第２軸の両方に傾斜した第２の辺を有し、前記第１軸に沿う方向の長さおよび前記第２軸に沿う方向の長さよりも、前記第１軸および前記第２軸の両方に交差して前記第１の辺に垂直な第５軸に沿う方向の長さの方が小さく、
前記第３軸方向からの平面視で、
前記第４軸および前記第５軸は、前記第２軸に対して互いに逆向きに傾いていることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧電モーターの全体構成を示す平面図である。
【図２】圧電駆動装置が有する振動体を示す平面図である。
【図３】図２中のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図２中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】圧電駆動装置に印加する電圧を示す図である。
【図６】図５に示す電圧を印加した時の圧電モーターの駆動を示す図である。
【図７】圧電駆動装置に印加する電圧を示す図である。
【図８】図７に示す電圧を印加した時の圧電モーターの駆動を示す図である。
【図９】図１中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１０】圧電駆動装置の上面図である。
【図１１】圧電駆動装置の下面図である。
【図１２】圧電駆動装置の断面図である。
【図１３】圧電駆動装置の製造工程を示すフローチャートである。
【図１４】圧電駆動装置の製造方法を示す断面図である。
【図１５】圧電駆動装置の製造方法を示す断面図である。
【図１６】圧電駆動装置の製造方法を示す断面図である。
【図１７】圧電駆動装置の製造方法を示す断面図である。
【図１８】圧電駆動装置の製造方法を示す断面図である。
【図１９】本発明の第２実施形態に係る圧電駆動装置を示す断面図である。
【図２０】本発明の第３実施形態に係る圧電駆動装置を示す断面図である。
【図２１】梁の変形例を示す断面図である。
【図２２】梁の変形例を示す断面図である。
【図２３】梁の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の圧電駆動装置および圧電駆動装置の製造方法を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【０００８】
＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態に係る圧電駆動装置について説明する。
【０００９】
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電モーターの全体構成を示す平面図である。図２は、圧電駆動装置が有する振動体を示す平面図である。図３は、図２中のＡ−Ａ線断面図である。図４は、図２中のＢ−Ｂ線断面図である。図５は、圧電駆動装置に印加する電圧を示す図である。図６は、図５に示す電圧を印加した時の圧電モーターの駆動を示す図である。図７は、圧電駆動装置に印加する電圧を示す図である。図８は、図７に示す電圧を印加した時の圧電モーターの駆動を示す図である。図９は、図１中のＣ−Ｃ線断面図である。図１０は、圧電駆動装置の上面図である。図１１は、圧電駆動装置の下面図である。図１２は、圧電駆動装置の断面図である。図１３は、圧電駆動装置の製造工程を示すフローチャートである。図１４ないし図１８は、それぞれ、圧電駆動装置の製造方法を示す断面図である。
【００１０】
なお、各図には、互いに直交する３軸としてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を示す。また、以下では、説明の便宜上、Ｘ軸に沿う方向を「Ｘ軸方向」ともいい、Ｙ軸に沿う方向を「Ｙ軸方向」ともいい、Ｚ軸に沿う方向を「Ｚ軸方向」ともいう。また、各軸の矢印方向先端側を「プラス側」ともいい、基端側を「マイナス側」ともいう。また、Ｘ軸方向プラス側を「上」ともいい、マイナス側を「下」ともいう。
【００１１】
図１に示す圧電モーター１は、例えば、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクター等の各種電子機器の駆動源として用いることができる。
【００１２】
図１に示すように、圧電モーター１は、回動軸Ｏまわりに回転可能な被駆動部としてのローター２と、ローター２の外周面２１に当接する圧電駆動装置３と、を有する。このような圧電モーター１では、圧電駆動装置３を屈曲振動させることにより、ローター２が回動軸Ｏまわりに回転する。なお、圧電モーター１の構成としては、図１の構成に限定されない。例えば、ローター２の周方向に沿って複数の圧電駆動装置３を配置し、複数の圧電駆動装置３の駆動によってローター２を回転させてもよい。また、圧電駆動装置３は、ローター２の外周面２１ではなく、ローター２の主面２２に当接していてもよい。また、被駆動部は、ローター２のような回転体に限定されず、例えば、直線移動する直動体であってもよい。
【００１３】
図１に示すように、圧電駆動装置３は、振動体４と、振動体４をローター２に向けて付勢する付勢部５と、有する。また、図２に示すように、振動体４は、圧電振動子４１と、圧電振動子４１を支持する支持部４２と、圧電振動子４１と支持部４２とを接続する接続部４３と、圧電振動子４１に取り付けられ、圧電振動子４１の振動をローター２に伝達する凸部４４と、を有する。
【００１４】
圧電振動子４１は、Ｘ軸方向を厚さ方向とし、Ｙ軸およびＺ軸を含むＹ−Ｚ平面に広がる板状をなす。この圧電振動子４１は、Ｘ軸方向に沿って平行に並んでいる第１面４ａおよび第２面４ｂを有する。圧電振動子４１は、Ｙ軸方向に伸縮しながらＺ軸方向に屈曲することによりＳ字状に屈曲振動する。圧電振動子４１は、Ｘ軸方向からの平面視で、伸縮方向であるＹ軸方向を長手とする長手形状となっている。ただし、圧電振動子４１の形状としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。
【００１５】
また、図２に示すように、圧電振動子４１は、５つの圧電素子６を有する。圧電素子６Ｃは、圧電振動子４１の中央部において、圧電振動子４１の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って配置されている。この圧電素子６Ｃに対して圧電振動子４１の一方側（Ｚ軸方向プラス側）には圧電素子６Ａ、６Ｂが圧電振動子４１の長手方向に並んで配置され、他方側（Ｚ軸方向マイナス側）には圧電素子６Ｄ、６Ｅが圧電振動子４１の長手方向に並んで配置されている。これら５つの圧電素子６Ａ〜６Ｅは、それぞれ、圧電振動子４１の長手方向に伸縮するようになっており、圧電素子６Ａ〜６Ｅを所定のタイミングで伸縮させることにより、圧電振動子４１がその面内においてＳ字状に屈曲振動する。
【００１６】
また、支持部４２は、圧電振動子４１を支持している。支持部４２は、Ｘ軸方向からの平面視で、圧電振動子４１の基端側（Ｙ軸方向マイナス側）を囲むＵ字形状となっている。ただし、支持部４２の形状や配置としては、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。
【００１７】
また、接続部４３は、圧電振動子４１の屈曲振動の節となる部分、具体的にはＹ軸方向の中央部と支持部４２とを接続している。接続部４３は、圧電振動子４１に対してＺ軸方向マイナス側に位置する第１接続部４３１と、Ｚ軸方向プラス側に位置する第２接続部４３２と、を有する。ただし、接続部４３の構成は、その機能を発揮することができる限り、特に限定されない。
【００１８】
以上のような圧電振動子４１、支持部４２および接続部４３は、図３および図４に示すように、２つの圧電素子ユニット６０を互いに向かい合わせて貼り合せた構成となっている。各圧電素子ユニット６０は、基板６１と、基板６１上に配置された圧電素子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄ、６０Ｅと、圧電素子６０Ａ〜６０Ｅを覆う保護層６３と、を有する。基板６１としては、例えば、シリコン基板を用いることができる。
【００１９】
圧電素子６０Ａ〜６０Ｅは、それぞれ、基板６１上に配置された第１電極６０１と、第１電極６０１上に配置された圧電体６０２と、圧電体６０２上に配置された第２電極６０３と、を有する。第１電極６０１は、圧電素子６０Ａ〜６０Ｅに共通して設けられている。一方、圧電体６０２および第２電極６０３は、それぞれ、圧電素子６０Ａ〜６０Ｅに個別に設けられている。
【００２０】
このような２つの圧電素子ユニット６０は、圧電素子６０Ａ〜６０Ｅが配置されている側の面を対向させた状態で接着剤６９を介して接合されている。また、各圧電素子ユニット６０の第１電極６０１同士が図示しない配線等を介して電気的に接続されている。また、各圧電素子ユニット６０の圧電素子６０Ａが有する第２電極６０３同士が図示しない配線等を介して電気的に接続されており、これら２つの圧電素子６０Ａから圧電素子６Ａが構成されている。また、各圧電素子ユニット６０の圧電素子６０Ｂが有する第２電極６０３同士が図示しない配線等を介して電気的に接続されており、これら２つの圧電素子６０Ｂから圧電素子６Ｂが構成されている。また、各圧電素子ユニット６０の圧電素子６０Ｃが有する第２電極６０３同士が図示しない配線等を介して電気的に接続されており、これら２つの圧電素子６０Ｃから圧電素子６Ｃが構成されている。また、各圧電素子ユニット６０の圧電素子６０Ｄが有する第２電極６０３同士が図示しない配線等を介して電気的に接続されており、これら２つの圧電素子６０Ｄから圧電素子６Ｄが構成されている。また、各圧電素子ユニット６０の圧電素子６０Ｅが有する第２電極６０３同士が図示しない配線等を介して電気的に接続されており、これら２つの圧電素子６０Ｅから圧電素子６Ｅが構成されている。
【００２１】
圧電体６０２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスを用いることができる。また、圧電体６０２としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。
【００２２】
また、圧電体６０２の形成方法としては、特に限定されず、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよい。本実施形態では、圧電体６０２をゾル−ゲル法を用いて形成している。これにより、例えば、バルク材料から形成する場合と比べて薄い圧電体６０２が得られ、圧電駆動装置３の薄型化を図ることができる。
【００２３】
凸部４４は、圧電振動子４１の先端部に設けられ、圧電振動子４１からＹ軸方向プラス側へ突出している。そして、凸部４４の先端部は、ローター２と接触している。そのため、圧電振動子４１の振動は、凸部４４を介してローター２に伝達される。凸部４４の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ジルコニア、アルミナ、チタニア等の各種セラミックスが挙げられる。
【００２４】
例えば、図５に示す駆動信号Ｖ１を圧電素子６Ａ、６Ｅに印加し、駆動信号Ｖ２を圧電素子６Ｃに印加し、駆動信号Ｖ３を圧電素子６Ｂ、６Ｄに印加する。これにより、図６に示すように、圧電振動子４１がＳ字状に屈曲振動し、これに伴って、凸部４４が図中反時計回りに楕円運動する。このような凸部４４の楕円運動によってローター２が送り出されて、ローター２が時計回りに回転する。
【００２５】
反対に、図７中の駆動信号Ｖ１’を圧電素子６Ａ、６Ｅに印加し、駆動信号Ｖ２’を圧電素子６Ｃに印加し、駆動信号Ｖ３’を圧電素子６Ｂ、６Ｄに印加する。これにより、図８に示すように、圧電振動子４１が図６とは逆のＳ字状に屈曲振動し、これに伴って、凸部４４が図中時計回りに楕円運動する。このような凸部４４の楕円運動によってローター２が送り出されて、ローター２が反時計回りに回転する。
【００２６】
ただし、ローター２を回転させることができれば、圧電素子６Ａ〜６Ｅに印加する駆動信号のパターンは、特に限定されない。
【００２７】
次に、付勢部５について説明する。付勢部５は、凸部４４をローター２の外周面２１に向けて付勢する部材である。付勢部５は、図９に示すように、振動体４の上面である第１面４ａ側に位置する第１基板５１と、振動体４の下面である第２面４ｂ側に位置する第２基板５２と、を有する。そして、第１基板５１と第２基板５２とで振動体４を挟み込んでいる。第１、第２基板５１、５２としては、例えば、シリコン基板を用いることができる。
【００２８】
なお、本実施形態では、１つの振動体４を第１、第２基板５１、５２で挟み込んでいるが、これに限定されず、例えば、複数の振動体４が積層してなる積層体を第１、第２基板５１、５２で挟み込んだ構成であってもよい。これにより、１つの圧電駆動装置３に含まれる振動体４の数が増え、その分、大きいトルクでローター２を回転させることができる。
【００２９】
図９および図１０に示すように、第１基板５１は、接着剤Ｄを介して支持部４２の上面と固定された基部５１１と、対象物に固定される固定部５１２と、基部５１１と固定部５１２とを接続するばね部５１３（第１ばね部）と、を有する。同様に、図９および図１１に示すように、第２基板５２は、接着剤Ｄを介して支持部４２の下面に固定された基部５２１と、対象物に固定される固定部５２２と、基部５２１と固定部５２２とを接続するばね部５２３（第２ばね部）と、を有する。第１、第２基板５１、５２は、互いに同じ形状、大きさであり、振動体４に対して対称的に設けられている。
【００３０】
また、図９に示すように、固定部５１２、５２２の間には、振動体４と等しい厚さの間座５３が設けられており、間座５３は、接着剤Ｄを介して固定部５１２、５２２に固定されている。これにより、第１、第２基板５１、５２のＸ軸方向への撓みを抑制することができる。間座５３としては、特に限定されず、例えば、ジルコニア、アルミナ、チタニア等の各種セラミックス、各種金属材料、シリコン、各種樹脂材料等を用いることができる。また、固定部５１２、５２２には、貫通孔５４が形成されており、この貫通孔５４を利用して、付勢部５が対象物にねじ止めされる。
【００３１】
図１０に示すように、第１基板５１が有するばね部５１３は、Ｚ軸方向に延び、弾性を有する複数の棒状の梁５１４（第１面側棒状部）を有する。複数の梁５１４は、Ｙ軸方向に並んで配置されている。なお、各梁５１４は、互いに同様の構成であるため、以下では、１つの梁５１４について代表して説明し、他の梁５１４については、その説明を省略する。
【００３２】
図１２に示すように、梁５１４の横断面形状（Ｘ軸およびＹ軸を含むＸ−Ｙ平面における断面形状）は、上面に対して下面がＹ軸方向プラス側にずれた平行四辺形である。そのため、梁５１４の横断面形状は、上面５１４ａと、上面５１４ａに対してＹ軸方向マイナス側にずれた下面５１４ｂと、上面５１４ａと下面５１４ｂとを接続し、Ｘ軸に対して傾斜した一対の側面５１４ｃ、５１４ｄと、を有する。
【００３３】
また、梁５１４の横断面形状は、Ｘ軸方向の長さＬｘ１およびＹ軸方向の長さＬｙ１よりも、Ｘ軸およびＹ軸の両方の軸に交差し、側面５１４ｃ、５１４ｄの法線であるＰ軸（第４軸）に沿う方向の長さＬｐの方が小さい。つまり、Ｌｐ＜Ｌｘ１、Ｌｐ＜Ｌｙ１の関係を満足する。梁５１４の横断面形状は、Ｙ軸に沿う一対の辺（５１４ａと５１４ｂ）と、この一対の辺に接続してＸ軸およびＹ軸の両方に傾斜した辺５１４ｄ（第１の辺）を有している。そしてＰ軸（第４軸）は、傾斜した辺５１４ｄ（第１の辺）の垂線である。また、Ｐ軸は、Ｙ軸方向プラス側がＹ軸方向マイナス側よりもＸ軸方向プラス側に位置するようにＹ軸方向に対して時計回りに角度θｐの角度で傾斜している。
【００３４】
図１１に示すように、第２基板５２が有するばね部５２３は、Ｚ軸方向に延び、弾性を有する複数の梁５２４（第２面側棒状部）を有する。複数の梁５２４は、Ｙ軸方向に並んで配置されている。なお、各梁５２４は、互いに同様の構成であるため、以下では、１つの梁５２４について代表して説明し、他の梁５２４については、その説明を省略する。
【００３５】
図１２に示すように、梁５２４の横断面形状（Ｘ軸およびＹ軸を含むＸ−Ｙ平面における断面形状）は、上面に対して下面がＹ軸方向マイナス側にずれた平行四辺形である。すなわち、梁５２４の横断面形状は、梁５１４の横断面形状とは傾きが逆の平行四辺形である。そのため、梁５２４の横断面形状は、上面５２４ａと、上面５２４ａに対してＹ軸方向マイナス側にずれた下面５２４ｂと、上面５２４ａと下面５２４ｂとを接続し、Ｘ軸に対して傾斜した一対の側面５２４ｃ、５２４ｄと、を有する。特に、本実施形態では、梁５２４の横断面形状は、振動体４のＹ軸に平行な中心線ＣＮに対して梁５１４の横断面形状と線対称となっている。
【００３６】
また、梁５２４の横断面形状は、Ｘ軸方向の長さＬｘ２およびＹ軸方向の長さＬｙ２よりも、Ｘ軸およびＹ軸の両方の軸に交差し、側面５２４ｃ、５２４ｄの法線であるＱ軸（第５軸）に沿う方向の長さＬｑの方が小さい。つまり、Ｌｑ＜Ｌｘ２、Ｌｑ＜Ｌｙ２の関係を満足する。梁５２４の横断面形状は、Ｙ軸に沿う一対の辺（５２４ａと５２４ｂ）と、この一対の辺に接続してＸ軸およびＹ軸の両方に傾斜した辺５２４ｄ（第２の辺）を有している。そしてＰ軸（第４軸）は、傾斜した辺５２４ｄ（第２の辺）の垂線である。また、Ｑ軸は、Ｙ軸方向プラス側がＹ軸方向マイナス側よりもＸ軸方向プラス側に位置するようにＹ軸方向に対して時計回りに角度θｑの角度で傾斜している。すなわち、Ｐ軸およびＱ軸は、Ｙ軸に対して互いに逆向きに傾いている。
【００３７】
なお、前述したように、梁５１４、５２４は、中心線ＣＮに対して対称であるため、Ｌｘ１＝Ｌｘ２、Ｌｙ１＝Ｌｙ２、θｐ＝θｑの関係を満足する。ここで、θｐ、θｑとしては、特に限定されないが、例えば、１０°以上５０°以下であることが好ましく、２０°以上４０°以下であることがより好ましい。これにより、過不足なく、Ｘ軸方向の付勢力を得ることができる。なお、Ｌｘ１＝Ｌｘ２、Ｌｙ１＝Ｌｙ２、θｐ＝θｑの関係は、全ての梁５１４、５２４で満足していることが好ましい。
【００３８】
以上、梁５１４、５２４について説明した。図１２に示すように、横断面形状が平行四辺形の梁５１４、５２４は、矢印Ｆ１、Ｆ２の方向に弾性変形するため、Ｙ軸方向への変形成分Ｃｙ１、Ｃｙ２と、Ｘ軸方向の変形成分Ｃｘ１、Ｃｘ２と、を有する。前述したように、梁５１４、５２４は、互いに逆に傾いた平行四辺形を横断面形状に有するため、言い換えると、Ｐ軸およびＱ軸がＹ軸に対して互いに逆向きに傾いているため、梁５１４のＸ軸方向の変形成分Ｃｘ１と梁５２４のＸ軸方向の変形成分Ｃｘ２とが逆向きであり、特に、Ｃｘ１、Ｃｘ２は、互いに近づく方向を向いている。そのため、梁５１４、５２４をＹ軸方向に弾性変形させて、その復元力を利用して凸部４４をローター２に付勢した際、梁５１４によって振動体４がＸ軸方向マイナス側へ付勢され、梁５２４によって振動体４がＸ軸方向プラス側へ付勢される。このように、振動体４をその両側からＸ軸方向に付勢することにより、Ｘ軸方向に付勢されていない場合と比べて、振動体４のＸ軸方向への不要な振動を低減することができる。
【００３９】
より具体的に説明すると、例えば、ローター２の外周面２１の非均一性（歪み）や圧電振動子４１の振動バランスのずれ（例えば、一方の圧電素子６０Ａの伸縮量と他方の圧電素子６０Ａの伸縮量とのずれ）によって、凸部４４がＹ−Ｚ面内での楕円運動に加えて、面外方向すなわちＸ軸方向にも振動するおそれがある。このように、凸部４４がＸ軸方向に振動してしまうと、凸部４４が傾いてしまい、凸部４４とローター２の外周面２１との接触状態が変化し、ローター２を安定して駆動させることが困難となる。そこで、本実施形態のように、振動体４にＸ軸方向の圧縮力を加えることにより、凸部４４のＸ軸方向への振動を低減することができ、ローター２をより安定して回転させることができる。
【００４０】
特に、本実施形態では、Ｙ軸とＰ軸とが成す角θｐと、Ｙ軸とＱ軸とが成す角θｑとがほぼ等しい。すなわち、θｐ≒θｑの関係を満足する。これにより、梁５１４によって圧電振動子４１に加わるＸ軸方向マイナス側の力と、梁５２４によって圧電振動子４１に加わるＸ軸方向プラス側の力と、がほぼ等しくなる。このように、圧電振動子４１にその両側からほぼ等しい力を加えることにより、より効果的に、凸部４４のＸ軸方向への振動を低減することができ、ローター２をより安定して回転させることができる。
【００４１】
以上、圧電駆動装置３について説明した。このような圧電駆動装置３は、前述したように、Ｘ軸（第１軸）に沿う方向に並んでいる第１面４ａおよび第２面４ｂを有し、Ｙ軸（第２軸）およびＺ軸（第３軸）を含む平面（Ｙ−Ｚ平面）に沿って振動する圧電振動子４１と、圧電振動子４１に配置され、圧電振動子４１とＹ軸に沿う方向に並んでいる凸部４４と、Ｙ軸に沿って圧電振動子４１から凸部４４に向かう付勢方向に圧電振動子４１を付勢する付勢部５と、を有する。また、付勢部５は、圧電振動子４１の第１面４ａ側に配置され、Ｚ軸に沿う方向に延在し、弾性を有する第１面側棒状部としての梁５１４と、圧電振動子４１の第２面４ｂ側に配置され、Ｚ軸に沿う方向に延在し、弾性を有する第２面側棒状部としての梁５２４と、を有する。また、Ｚ軸に垂直な平面における梁５１４の断面形状は、Ｙ軸に沿う一対の辺５１４ａ、５１４ｂとこの一対の辺５１４ａ、５１４ｂに接続しＸ軸およびＹ軸の両方に傾斜した第１の辺としての辺５１４ｄを有し、Ｘ軸に沿う方向の長さＬｘおよびＹ軸に沿う方向の長さＬｙよりも、Ｘ軸およびＹ軸の両方に交差して辺５１４ｄに垂直なＰ軸（第４軸）に沿う方向の長さＬｐの方が小さく、Ｚ軸に垂直な平面における梁５２４の断面形状は、Ｙ軸に沿う一対の辺５２４ａ、５２４ｂとこの一対の辺５２４ａ、５２４ｂに接続しＸ軸およびＹ軸の両方に傾斜した第２の辺としての辺５２４ｄを有し、Ｘ軸に沿う方向の長さＬｘおよびＹ軸に沿う方向の長さＬｙよりも、Ｘ軸およびＹ軸の両方に交差して辺５２４ｄに垂直なＱ軸（第５軸）に沿う方向の長さＬｑの方が小さい。そして、Ｚ軸方向からの平面視で、Ｐ軸およびＱ軸は、Ｙ軸に対して互いに逆向きに傾いている。
【００４２】
このような構成とすることにより、梁５１４、５２４をＹ軸方向に弾性変形させて、その復元力を利用して凸部４４をローター２に付勢した際、梁５１４によって圧電振動子４１がＸ軸方向の一方側（Ｘ軸方向マイナス側）へ付勢され、梁５２４によって圧電振動子４１がＸ軸方向の他方側（Ｘ軸方向プラス側）へ付勢される。このように、圧電振動子４１をその両側からＸ軸方向に付勢することにより、Ｘ軸方向に付勢されていない場合と比べて、凸部４４のＸ軸方向への不要な振動を低減することができる。そのため、このような構成の圧電駆動装置３によれば、ローター２を安定して回転させることができる。
【００４３】
言い換えると、付勢部５は、圧電振動子４１の第１面４ａ側に配置され、圧電振動子４１をＹ軸に沿う付勢方向に付勢すると共にＸ軸方向の一方側（Ｘ軸方向マイナス側）に向けて付勢する第１ばね部としてのばね部５１３と、圧電振動子４１の第２面４ｂ側に配置され、圧電振動子４１をＹ軸に沿う付勢方向に付勢すると共にＸ軸方向の他方側（Ｘ軸方向プラス側）に向けて付勢する第２ばね部としてのばね部５２３と、を有する。このように、圧電振動子４１をその両側からＸ軸方向に付勢することにより、Ｘ軸方向に付勢されていない場合と比べて、凸部４４のＸ軸方向への不要な振動を低減することができる。そのため、このような構成の圧電駆動装置３によれば、ローター２を安定して回転させることができる。
【００４４】
なお、本実施形態では、ばね部５１３が複数（８本）の梁５１４を有し、各梁５１４が同様の構成となっているが、ばね部５１３全体として圧電振動子４１をＹ軸に沿う付勢方向に付勢すると共にＸ軸方向の一方側に向けて付勢することができれば、ばね部５１３の構成としては、特に限定されない。例えば、梁５１４は、１つ以上７つ以下であってもよいし、９つ以上であってもよい。また、少なくとも１つの梁５１４は、他の梁５１４と異なる構成となっていてもよい。また、各梁５１４は、その機能を発揮することができる限り、延在方向に沿って横断面形状が一定であってもよいし、異なっていてもよい。ばね部５２３についても同様である。
【００４５】
また、前述したように、Ｙ軸とＰ軸との成す角θｐは、Ｙ軸とＱ軸との成す角θｑと等しい。これにより、梁５１４が圧電振動子４１をＸ軸方向の一方側へ付勢する力と、梁５２４が圧電振動子４１をＸ軸方向の他方側へ付勢する力と、がほぼ等しくなる。これにより、圧電振動子４１をＸ軸方向の両側からバランスよく付勢することができるため、凸部４４のＸ軸方向への不要な振動をより効果的に低減することができる。そのため、このような構成の圧電駆動装置３によれば、ローター２をより安定して回転させることができる。なお、θｐとθｑとが等しいとは、θｐとθｑとが一致する場合の他、例えば、θｐとθｑとの間に製造上生じ得る誤差等の僅かな誤差（例えば、±３°以下）がある場合を含む意味である。
【００４６】
また、前述したように、圧電振動子４１は、梁５１４によって第１面４ａから第２面４ｂに向かう方向（Ｘ軸方向マイナス側）に付勢され、梁５２４によって第２面４ｂから第１面４ａに向かう方向（Ｘ軸方向プラス側）に付勢されている。これにより、圧電振動子４１をＸ軸方向の両側から挟み込んで圧縮することができる。そのため、凸部４４のＸ軸方向への不要な振動をより効果的に低減することができる。また、例えば、後述する第２実施形態のように、圧電振動子４１をＸ軸方向の両側から引っ張って伸張する場合と比べて、第１、第２基板５１、５２と振動体４とを接着している接着剤Ｄが剥がれ難い。そのため、圧電駆動装置３の破損が抑制され、圧電駆動装置３の信頼性が向上する。
【００４７】
また、前述したように、Ｘ軸およびＹ軸を含む平面における梁５１４の断面形状は、平行四辺形であり、Ｘ軸およびＹ軸を含む平面における梁５２４の断面形状は、梁５１４の横断面形状とは傾きが逆の平行四辺形である。これにより、梁５１４、５２４の形状が比較的簡単となり、後述する製造方法によって容易に形成することができる。なお、前記「平行四辺形」とは、完全な平行四辺形である場合の他、平行四辺形から若干崩れた形状も含む意味である。例えば、梁５１４について説明すれば、上面５１４ａと下面５１４ｂとが平行でなく若干傾斜していたり、一対の側面５１４ｃ、５１４ｄが平行でなく若干傾斜していたり、各角部が面取りされていたり、技術常識的に見て実質的に平行四辺形と見做せる場合も「平行四辺形」に含まれる。
【００４８】
また、梁５１４および梁５２４は、それぞれ、シリコンから構成されている。これにより、十分な強度を有する梁５１４、５２４が得られる。また、梁５１４、５２４を高精度に加工することができる。
【００４９】
次に、圧電駆動装置３の製造方法について説明する。図１３に示すように、圧電駆動装置３の製造方法は、付勢部５を形成する付勢部形成工程と、振動体４に付勢部５を配置する付勢部配置工程と、を有する。以下、これら各工程について説明する。
【００５０】
［付勢部形成工程］
まず、シリコン基板からなる第１基板５１をドライエッチングによってパターニングすることにより、基部５１１と、固定部５１２と、ばね部５１３（複数の梁５１４）と、を形成する。この際、図１４に示すように、反応性ガスＧを第１基板５１の厚さ方向に対して傾斜した方向から供給することにより、第１基板５１を厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進め、横断面形状が平行四辺形の梁５１４を形成することができる。
【００５１】
また、シリコン基板からなる第２基板５２をドライエッチングによってパターニングすることにより、基部５２１と、固定部５２２と、ばね部５２３（複数の梁５２４）と、を形成する。この際、図１５に示すように、反応性ガスＧを第２基板５２の厚さ方向に対して傾斜した方向から供給することにより、第２基板５２を厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進め、横断面形状が平行四辺形の梁５２４を形成することができる。
【００５２】
［付勢部配置工程］
次に、振動体４を準備し、図１６に示すように、振動体４の上面側に第１基板５１を配置する。そして、振動体４の支持部４２の上面と第１基板５１の基部５１１の下面とを接着剤Ｄによって接合すると共に、振動体４の支持部４２の下面と第２基板５２の基部５２１の上面とを接着剤Ｄによって接合する。また、第１基板５１と第２基板５２との間に間座５３を配置し、接着剤Ｄを介して間座５３と固定部５１２、５２２とを接合する。これにより、圧電駆動装置３が得られる。
【００５３】
以上のように、上述の圧電駆動装置３の製造方法は、ドライエッチングにより第１基板５１をその厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進めることにより梁５１４（第１面側棒状部）を形成し、ドライエッチングにより第２基板５２をその厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進めることにより梁５２４（第２面側棒状部）を形成する工程と、圧電振動子４１の第１面４ａ側に梁５１４を配置し、圧電振動子４１の第２面４ｂ側に梁５２４を配置する工程と、を含む。このような製造方法によれば、容易に圧電駆動装置３を製造することができる。
【００５４】
なお、圧電駆動装置３の別の製造方法として、例えば、以下のような製造方法が挙げられる。圧電駆動装置３の製造方法は、前述した製造方法と同様に、付勢部５を形成する付勢部形成工程と、振動体４に付勢部５を配置する付勢部配置工程と、を有する（図１３参照）。付勢部配置工程は、前述した製造方法と同様であるため、以下では、付勢部形成工程についてのみ説明する。
【００５５】
［付勢部形成工程］
まず、第１基板５１をウェットエッチングによってパターニングすることにより、基部５１１と、固定部５１２と、ばね部５１３（複数の梁５１４）と、を形成する。この際、図１７に示すように、第１基板５１の上面に配置するマスクＭ１と、下面に配置するマスクＭ２とをＹ軸方向にずらすことにより、第１基板５１を厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進め、横断面形状が平行四辺形の梁５１４を形成することができる。
【００５６】
また、第２基板５２をウェットエッチングによってパターニングすることにより、基部５２１と、固定部５２２と、ばね部５２３（複数の梁５２４）と、を形成する。この際、図１８に示すように、第２基板５２の上面に配置するマスクＭ３と、下面に配置するマスクＭ４とをＹ軸方向にずらすことにより、第２基板５２を厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進め、横断面形状が平行四辺形の梁５２４を形成することができる。
【００５７】
以上のように、上述の圧電駆動装置３の製造方法は、ウェットエッチングにより第１基板５１をその厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進めることにより梁５１４（第１面側棒状部）を形成し、ウェットエッチングにより第２基板５２をその厚さ方向に対して傾斜した方向に掘り進めることにより梁５２４（第２面側棒状部）を形成する工程と、圧電振動子４１の第１面４ａ側に梁５１４を配置し、圧電振動子４１の第２面４ｂ側に梁５２４を配置する工程と、を含む。このような製造方法によれば、容易に圧電駆動装置３を製造することができる。
【００５８】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る圧電駆動装置について説明する。
図１９は、本発明の第２実施形態に係る圧電駆動装置を示す断面図である。
【００５９】
本実施形態に係る圧電駆動装置３は、付勢部５の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。以下の説明では、第２実施形態の圧電駆動装置３に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１９では、前述した第１実施形態と同様の構成について同一符号を付している。
【００６０】
図１９に示すように、本実施形態では、梁５１４のＰ軸は、Ｙ軸方向プラス側がＹ軸方向マイナス側よりもＸ軸方向マイナス側に位置するようにＹ軸方向に対して反時計回りに角度θｐの角度で傾斜している。一方、梁５２４のＱ軸は、Ｙ軸方向プラス側がＹ軸方向マイナス側よりもＸ軸方向プラス側に位置するようにＹ軸方向に対して時計回りに角度θｑの角度で傾斜している。すなわち、Ｐ軸およびＱ軸は、Ｙ軸に対して互いに逆向きに傾いている。特に、本実施形態では、Ｙ軸とＰ軸とが成す角θｐとＹ軸とＱ軸とが成す角θｑとが等しい。
【００６１】
このような構成の梁５１４、５２４は、矢印Ｆ１、Ｆ２の方向に弾性変形するため、Ｙ軸方向への変形成分Ｃｙ１、Ｃｙ２と、Ｘ軸方向の変形成分Ｃｘ１、Ｃｘ２と、を有する。前述したように、Ｐ軸およびＱ軸がＹ軸に対して互いに逆向きに傾いているため、梁５１４のＸ軸方向の変形成分Ｃｘ１と梁５２４のＸ軸方向の変形成分Ｃｘ２とが逆向きである。そのため、梁５１４、５２４をＹ軸方向に弾性変形させて、その復元力を利用して凸部４４をローター２に付勢した際、梁５１４によって振動体４がＸ軸方向プラス側へ付勢され、梁５２４によって振動体４がＸ軸方向マイナス側へ付勢される。このように、振動体４をその両側からＸ軸方向に付勢することにより、Ｘ軸方向に付勢されていない場合と比べて、振動体４のＸ軸方向への不要な振動を低減することができる。
【００６２】
以上のように、本実施形態では、圧電振動子４１は、梁５１４によって第２面４ｂから第１面４ａに向かう方向に付勢され、梁５２４によって第１面４ａから第２面４ｂに向かう方向に付勢されている。これにより、圧電振動子４１をＸ軸方向の両側から引っ張ることができる。そのため、凸部４４のＸ軸方向への不要な振動をより効果的に低減することができる。また、例えば、後述する第２実施形態のように、圧電振動子４１をＸ軸方向の両側から引っ張って伸張する場合と比べて、第１、第２基板５１、５２と振動体４とを接着している接着剤Ｄが剥がれ難い。そのため、圧電駆動装置３の破損が抑制され、圧電駆動装置３の信頼性が向上する。
【００６３】
このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００６４】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る圧電駆動装置について説明する。
図２０は、本発明の第３実施形態に係る圧電駆動装置を示す断面図である。
【００６５】
本実施形態に係る圧電駆動装置３は、振動体４の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。以下の説明では、第３実施形態の圧電駆動装置３に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図２０では、前述した第１実施形態と同様の構成について同一符号を付している。
【００６６】
図２０に示すように、振動体４は、１つの圧電素子ユニット６０で構成されている。この場合、圧電素子６０Ａ〜６０Ｅは、それぞれ、バルク材料から形成されている。また、第１基板５１と支持部４２との間には、第１基板５１と圧電素子６０Ａ〜６０Ｅとの接触を防止するための間座７が設けられている。
【００６７】
このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００６８】
以上、本発明の圧電駆動装置および圧電駆動装置の製造方法を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【００６９】
また、前述した実施形態では、梁５１４、５２４の断面形状が平行四辺形である構成について説明したが、凸部４４をローター２に付勢した際に、梁５１４によって振動体４をＸ軸方向の一方側に向けて付勢し、梁５２４によって振動体をＸ軸方向の他方側に向けて付勢することができれば、特に限定されない。例えば、梁５１４は、図２１ないし図２３に示すような形状であってもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１…圧電モーター、２…ローター、２１…外周面、２２…主面、３…圧電駆動装置、４…振動体、４ａ…第１面、４ｂ…第２面、４１…圧電振動子、４２…支持部、４３…接続部、４３１…第１接続部、４３２…第２接続部、４４…凸部、５…付勢部、５１…第１基板、５１１…基部、５１２…固定部、５１３…ばね部、５１４…梁、５１４ａ…上面、５１４ｂ…下面、５１４ｃ…側面、５１４ｄ…側面、５２…第２基板、５２１…基部、５２２…固定部、５２３…ばね部、５２４…梁、５２４ａ…上面、５２４ｂ…下面、５２４ｃ…側面、５２４ｄ…側面、５３…間座、５４…貫通孔、６、６Ａ〜６Ｅ…圧電素子、６０…圧電素子ユニット、６０Ａ〜６０Ｅ…圧電素子、６０１…第１電極、６０２…圧電体、６０３…第２電極、６１…基板、６３…保護層、６９…接着剤、７…間座、Ｃｘ１、Ｃｘ２、Ｃｙ１、Ｃｙ２…変形成分、ＣＮ…中心線、Ｄ…接着剤、Ｆ１、Ｆ２…矢印、Ｇ…反応性ガス、Ｍ１〜Ｍ４…マスク、Ｏ…回動軸、Ｖ１〜Ｖ３、Ｖ１’〜Ｖ３’…駆動信号、θｐ、θｑ…角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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