(57)【要約】【課題】ケーブルに発生する揺れを軽減した測定装置を提供する。【解決手段】コネクタを備える測定対象物が着脱可能に載置される測定台と、一端がコネクタに接触して電気的に接続される第１接触部と、第１接触部に電気的に接続される第２接触部と、を有する可動ブロックと、可動ブロックを測定位置と退避位置とに移動させる移動機構と、少なくとも可動ブロックが測定位置にある際に、第２接触部の一端と接続され、測定台に固定された固定接触部と、一端が固定接触部と接続され、他端が外部機器と接続されるケーブルと、を備え、可動ブロックは、測定位置において、測定対象物のコネクタと第１接触部とが接続され、可動ブロックは、退避位置において、測定対象物のコネクタと第１接触部とが外されている、測定装置である。【選択図】図１
2020118608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コネクタを備える測定対象物が着脱可能に載置される測定台と、
一端が前記コネクタに接触して電気的に接続される第１接触部と、前記第１接触部に電気的に接続される第２接触部と、を有する可動ブロックと、
前記可動ブロックを測定位置と退避位置とに移動させる移動機構と、
少なくとも前記可動ブロックが測定位置にある際に、前記第２接触部の一端と接続され、前記測定台に固定された固定接触部と、
一端が前記固定接触部と接続され、他端が外部機器と接続されるケーブルと、を備え、
前記可動ブロックは、前記測定位置において、前記測定対象物のコネクタと前記第１接触部とが接続され、
前記可動ブロックは、前記退避位置において、前記測定対象物のコネクタと前記第１接触部とが外されている、
測定装置。
【請求項２】
前記固定接触部は、前記第２接触部の一端と接触および分離可能である、
請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記固定接触部を支持する治具基板を備え、
前記治具基板は前記測定台に固定される、
請求項２に記載の測定装置。
【請求項４】
前記第１接触部および前記第２接触部は、それぞれ、プローブであり、
前記固定接触部は、コネクタである、
請求項１から３のいずれか１つに記載の測定装置。
【請求項５】
前記第１接触部および前記固定接触部は、それぞれ、プローブであり、
前記第２接触部は、コネクタである、
請求項１から３のいずれか１つに記載の測定装置。
【請求項６】
前記プローブは高周波プローブであり、
前記コネクタは高周波コネクタである、
請求項４または５に記載の測定装置。
【請求項７】
前記第１接触部の他端と前記第２接触部の他端とを接続し、前記可動ブロックに固定される導体を有する、請求項１から６のいずれか１つに記載の測定装置。
【請求項８】
前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを上下方向および水平方向に接近および離隔する搬送ユニットを備える、
請求項１から７のいずれか１つに記載の測定装置。
【請求項９】
前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを上下方向に接近および離隔するスライダを備える、
請求項１から７のいずれか１つに記載の測定装置。
【請求項１０】
前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを回転方向に接近および離隔するロータリジョイントを備える、
請求項１から７のいずれか１つに記載の測定装置。
【請求項１１】
前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを斜め方向に接近および離隔するスライダを備える、
請求項１から７のいずれか１つに記載の測定装置。
【請求項１２】
前記測定対象物は、高周波回路モジュールである、
請求項１から１１のいずれか１つに記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置に関し、特に通信回路を有するモジュールの特性を測定する測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、製造された通信回路を有するモジュールは工場から出荷される前に、仕様で決められた性能を発揮できるかを検査するために、測定装置により必要な特性値が測定される。
【０００３】
例えば、特許文献１の回路基板検査装置では、上側フィクスチャとパーソナルコンピュータとを接続するケーブルをクランパにて固定保持している。これにより、上側フィクスチャが上下移動する際の、上側フィクスチャとケーブルとの各接続箇所への振動ストレスを低減している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−５９８５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の測定装置では、上側フィクスチャの移動に伴い、上側フィクスチャからクランパ、クランパからＰＣと接続しているケーブルは、依然としてフィクスチャの上下移動に追随して上下方向に揺れる。この結果、ケーブルの揺れを原因として、ケーブル内を伝達する測定信号が乱れる場合があり、測定誤差が大きくなる場合や破損する場合がある。
【０００６】
したがって、本発明の目的は、ケーブルに発生する揺れを軽減した測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一態様によれば、
コネクタを備える測定対象物が着脱可能に載置される測定台と、
一端が前記コネクタに接触して電気的に接続される第１接触部と、前記第１接触部に電気的に接続される第２接触部と、を有する可動ブロックと、
前記可動ブロックを測定位置と退避位置とに移動させる移動機構と、
少なくとも前記可動ブロックが測定位置にある際に、前記第２接触部の一端と接続され、前記測定台に固定された固定接触部と、
一端が前記固定接触部と接続され、他端が外部機器と接続されるケーブルと、を備え、
前記可動ブロックは、前記測定位置において、測定対象物のコネクタと前記第１接触部とが接続され、
前記可動ブロックは、前記退避位置において、測定対象物のコネクタと前記第１接触部とが外されている、
測定装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る測定装置によれば、ケーブルに発生する揺れを軽減した測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態１における測定装置の概略側面図
【図２】実施形態１における測定装置の測定治具の概略上面図
【図３】測定装置１における可動ブロックの動きを説明する概略図
【図４】測定対象物の一例を示す図
【図５】実施形態１の変形例における測定装置の概略側面図
【図６】実施形態１の変形例における測定装置の測定治具の概略上面図
【図７】実施形態２における測定装置の概略側面図
【図８】測定対象物の一例を示す図
【図９】実施形態３における測定装置の概略側面図
【図１０】実施形態４における測定装置の概略側面図
【図１１】実施形態５における測定装置の概略側面図
【図１２】実施形態６における測定装置の概略側面図
【図１３】実施形態７における測定装置の概略側面図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の一態様の測定装置は、コネクタを備える測定対象物が着脱可能に載置される測定台と、一端が前記コネクタに接触して電気的に接続される第１接触部と、前記第１接触部に電気的に接続される第２接触部と、を有する可動ブロックと、前記可動ブロックを測定位置と退避位置とに移動させる移動機構と、少なくとも前記可動ブロックが測定位置にある際に、前記第２接触部の一端と接続され、前記測定台に固定された固定接触部と、一端が前記固定接触部と接続され、他端が外部機器と接続されるケーブルと、を備え、前記可動ブロックは、前記測定位置において、測定対象物のコネクタと前記第１接触部とが接続され、前記可動ブロックは、前記退避位置において、測定対象物のコネクタと前記第１接触部とが外されている、測定装置である。
【００１１】
このような構成によれば、外部機器と接続されるケーブルは、測定台に固定された固定接触部と接続され、測定対象物のコネクタと接続される第１接触部を有する可動ブロックとは直接的に接続されていない。したがって、可動ブロックとケーブルとは連動していないので、測定対象物の測定の際にケーブルが揺れるのを低減することができる。
【００１２】
また、前記固定接触部は、前記第２接触部の一端と接触および分離可能でもよい。
【００１３】
また、前記固定接触部を支持する治具基板を備え、前記治具基板は前記測定台に固定されてもよい。
【００１４】
また、前記第１接触部および前記第２接触部は、それぞれ、プローブであり、前記固定接触部は、コネクタでもよい。
【００１５】
また、前記第１接触部および前記固定接触部は、それぞれ、プローブであり、前記第２接触部は、コネクタでもよい。
【００１６】
また、前記プローブが高周波プローブであり、前記コネクタが高周波コネクタでもよい。
【００１７】
また、前記第１接触部の他端と前記第２接触部の他端とを接続し、前記可動ブロックに固定される導体を有してもよい。
【００１８】
また、前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを上下方向および水平方向に接近および離隔する搬送ユニットを備えてもよい。
【００１９】
また、前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを上下方向に接近および離隔するスライダを備えてもよい。
【００２０】
また、前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを回転方向に接近および離隔するロータリジョイントを備えてもよい。
【００２１】
また、前記移動機構は、前記測定対象物に対して、前記可動ブロックを斜め方向に接近および離隔するスライダを備えてもよい。
【００２２】
また、前記測定対象物は、高周波回路モジュールでもよい。
【００２３】
以下、本発明に係る測定装置について、図面を参照しながら説明する。なお、図面において、実質的に同じ機能、構成を有する部材については同一の符号を付して、明細書においてはその説明を省略する場合がある。また、図面は理解しやすくするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示している。
【００２４】
なお、以下で説明する実施形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものであり、本発明がこの構成に限定されるものではない。また、以下の実施形態において具体的に示される数値、形状、構成、ステップ、ステップの順序などは、一例を示すものであり、本発明を限定するものではない。以下の実施形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、全ての実施形態において、各変形例における構成も同様であり、各変形例に記載した構成をそれぞれ組み合わせてもよい。
【００２５】
（実施形態１）
以下に、本発明の実施形態１にかかる測定装置１について説明する。図１は、実施形態１における測定装置１を示す概略側面図である。図２は、実施形態１における測定装置１を示す概略上面図である。
【００２６】
測定装置１は、測定対象である測定対象物３が載置される測定治具５と、測定対象物３に測定用の信号を供給する信号供給部７と、測定対象物３からの出力信号を測定する測定器９とを備える。
【００２７】
信号供給部７は、モジュールを制御する信号やモジュールへの電源を供給する。
【００２８】
測定器９は、測定対象物３からの信号出力、例えば、１０ＧＨｚ以上の高周波信号を測定する。測定用の信号は、高周波信号に限られず、種々の信号であってもよい。これにより、測定対象物３の性能が仕様基準内にあるかどうかを判別することができる。
【００２９】
測定治具５は、測定対象物３と電気的に接続される治具基板１１と、測定対象物３が着脱可能に載置され、治具基板１１が固定される測定台１３と、測定対象物３と治具基板１１との接続を入り切りする可動ブロック１５と、可動ブロック１５を測定位置と退避位置として移動させる移動機構としての搬送ユニット１７とを備える。搬送ユニット１７は、可動ブロック１５を上下方向および水平方向に搬送する。
【００３０】
可動ブロック１５は、一端２１ｋ（図３参照）が測定対象物３のコネクタ１９に接触して電気的に接続される第１接触部２１を有する。また、可動ブロック１５は、一端２３ｋが第１接触部２１の他端２１ｍに接続される導体２３と、一端２５ｍと導体２３の他端２３ｍと接続される他端２５ｋとを有する第２接触部２５を有する。可動ブロック１５は、測定対象物３に対して接近および離隔可能に可動する。測定治具５は、さらに、第２接触部２５の一端２５ｍと接触および分離可能に接続され、測定台１３に治具基板１１を介して固定された固定接触部２７と、一端が固定接触部２７と電気的に接続され、他端が信号供給部７または測定器９、および電源等の外部機器と接続されるケーブル２９と、を備える。
【００３１】
測定台１３は、例えば、床または床に固定された別のテーブルに固定されている。測定台１３は、工業用樹脂素材から作られている。測定台１３の上面には下方に凹んだ領域であるワークポケット１４が形成されている。ワークポケット１４は、測定対象物３のサイズと、測定対象物３の公差と、クリアランスとを合計した広さを有する。
【００３２】
可動ブロック１５は、測定台１３と同様に、工業用樹脂素材から作られている。可動ブロック１５の第１接触部２１は、プローブ２１ａと多ピンプローブ２１ｂとをそれぞれ備えている。プローブ２１ａおよび多ピンプローブ２１ｂはどちらも金属製の導体である。プローブ２１ａとプローブ２５ａとは、互いに、導体２３ａにより接続されている。このように、第１接触部２１は、複数のプローブを有していてもよいし、１本だけのプローブを有していてもよい。
【００３３】
また、可動ブロック１５の第２接触部２５は、プローブ２５ａと多ピンプローブ２５ｂとをそれぞれ備えている。プローブ２５ａおよび多ピンプローブ２５ｂはどちらも金属製の導体である。また、多ピンプローブ２１ｂと多ピンプローブ２５ｂとは、互いに、導体２３ｂにより接続されている。このように、第２接触部２５は、複数のプローブを有していてもよいし、１本だけのプローブを有していてもよい。また、プローブ２１ａ、２５ａは、例えば、信号線と接地線とを有する高周波プローブである。
【００３４】
第１接触部２１と第２接触部２５とを接続する導体２３（２３ａ、２３ｂ）は、可動ブロック１５内に配置された金属線でもよいし、ケーブルでもよい。導体２３の一端は第１接触部２１を介して、導体２３の他端は第２接触部２５を介してそれぞれ可動ブロック１５に固定されている。導体２３としてのケーブルは硬くてもよいし、柔らかくてもよい。導体２３の長さは短く、またそれぞれの両端が可動ブロック１５に固定されているので、導体２３に大きな揺れが発生しない構造になっている。
【００３５】
治具基板１１には、第２接触部２５と接触および分離可能な固定接触部２７が取り付けられている。固定接触部２７は、導体３３を介して接続コネクタ３１と接続されている。なお、固定接触部２７は、例えば、コネクタでもよいし、治具基板１１の表面に電極を形成したランドであってもよい。固定接触部２７の上面の高さは測定対象物の高さと異なっていてもよい。また、固定接触部２７と第２接触部２５との接続方向は、上方向に限らず斜め方向や横方向であってもよい。接続コネクタ３１は、治具基板１１に固定されており、ケーブル２９と接続されている。信号供給部７および測定器９と接続されるケーブル２９は、接続コネクタ３１および導体３３を介して測定の際に不動の固定接触部２７に接続されている。
【００３６】
固定接触部２７は、高周波コネクタ２７ａと、多ピンコネクタ２７ｂとを有する。高周波コネクタ２７ａはプローブ２５ａと接触および分離可能であり、多ピンコネクタ２７ｂは多ピンプローブ２５ｂと接触および分離可能である。固定接触部２７は、例えば、信号線と接地線とを有する高周波コネクタである。
【００３７】
接続コネクタ３１は、ケーブル２９を介して測定器９に接続される高周波接続コネクタ３１ａと、ケーブル２９を介して信号供給部７に接続される多ピン接続コネクタ３１ｂとを有する。高周波接続コネクタ３１ａは、測定器９と接続されるケーブル２９と高周波コネクタ２７ａとを接続する中継機器である。また、多ピン接続コネクタ３１ｂは、信号供給部７と接続されるケーブル２９と多ピンコネクタ２７ｂとを接続する中継機器である。
【００３８】
図３は、測定装置１における可動ブロック１５の動きを説明する概略図である。測定対象物３がワークポケット１４内に載置される前は、可動ブロック１５は測定台１３の上方および側方に退避した退避位置に位置する。したがって、ワークポケット１４の上方は開放されており視認可能な状態である。このように、可動ブロック１５が測定対象物３から離隔した状態において、測定対象物３が測定台１３のワークポケット１４内に載置される。この後、搬送ユニット１７により、可動ブロック１５が上下方向（Ｚ方向）および水平方向（Ｘ軸方向）に移動し、測定対象物３および治具基板１１に接近するように搬送される。そして、測定位置において可動ブロック１５の第１接触部２１と測定対象物３のコネクタ１９が電気的に接続され、可動ブロック１５の第２接触部２５と固定接触部２７とが電気的に接続される。
【００３９】
図４は、測定対象物３の一例を示す図である。測定対象物３は、例えば、複数の電子部品から構成される通信回路を有するモジュールである。測定対象物３は、コネクタ１９として高周波コネクタ１９ａと多ピンコネクタ１９ｂとを備える。高周波コネクタ１９ａは測定器９と電気的に接続されている。多ピンコネクタ１９ｂは、信号供給部７と電気的に接続されており、制御信号が多ピンコネクタ１９ｂを介して測定対象物３に供給される。また、外部電源からの電力が多ピンコネクタ１９ｂを介して測定対象物３の測定対象の通信回路へ供給される。測定対象物３の出力値は、高周波コネクタ１９ａから測定器９へ送られる。このようにして、測定対象物３に対して種々の測定が実施される。
【００４０】
測定対象物３の測定が終了すると、可動ブロック１５が搬送ユニット１７により上方および水平方向横方向に離れ、退避位置に搬送される。これにより、可動ブロック１５の第１接触部２１と測定対象物３のコネクタ１９との接続が外され、可動ブロック１５の第２接触部２５と固定接触部２７との接続が外される。可動ブロック１５が測定対象物３から離れることにより、測定対象物３が上方から視認可能な状態となる。その後、測定台１３のワークポケット１４から測定対象物３が取り出され、別の測定対象物３と交換される。
【００４１】
実施形態１の測定装置１によれば、コネクタ１９を備える測定対象物３が着脱可能に載置される測定台１３と、一端２１ｋがコネクタ１９に接触して電気的に接続される第１接触部２１と、第１接触部２１に電気的に接続される第２接触部２５と、を有する可動ブロック１５と、可動ブロック１５を測定位置と退避位置とに移動させる搬送ユニット１７と、少なくとも可動ブロック１５が測定位置にある際に、第２接触部２５の一端２５ｍと接続され、測定台１３に固定された固定接触部２７と、一端が固定接触部２７と接続され、他端が外部機器である信号供給部７および測定器９と接続されるケーブル２９と、を備え、可動ブロック１５は、測定位置において、測定対象物３のコネクタ１９と第１接触部２１とが接続され、可動ブロック１５は、退避位置において、測定対象物３のコネクタ１９と第１接触部２１とが外されている。これだけの構成により、信号供給部７および測定器９と接続されるケーブル２９は、測定の際に動きの少ない固定接触部２７に接続されている。すなわち、第１接触部２１を有する可動ブロック１５の動きに、信号供給部７と接続されるケーブル２９や、測定器９と接続されるケーブル２９が追随しない。したがって、可動ブロック１５の移動時に、ケーブル２９が揺れるのを低減し、ケーブル２９に応力負荷がかからない。
【００４２】
また、従来の測定装置では、可動する測定フィクスチャから測定値が出力されるケーブルに負荷がかかる。特に、上側フィクスチャが上下移動する際、上側フィクスチャからクランパ、クランパからＰＣに接続されるケーブルのコネクタ部分には、ケーブル荷重による揺れ応力がかかる。また、ケーブルにおいても、測定フィクスチャの上下移動に伴い伸びと曲がりを繰り返すことになるので、ケーブル内の導体線が疲労し、ケーブル破断になる場合がある。そこで、測定装置のケーブルとして、疲労破断に強く耐久性のあるケーブルを選定していた。実施形態１のケーブル２９は固定されているので、通常のケーブルを使用することができ、ケーブルのコストダウンを図ることができる。また、曲げ等のケーブル負荷が緩和されるので、ケーブル２９として、例えば、高周波同軸ケーブル、極太ケーブル、導波管等も用いることができる。
【００４３】
また、ケーブル２９の疲労破断限界評価をしなくてもよいので、測定装置１の開発スピードを速めることができる。また、従来の測定装置では、ケーブルの曲がり具合で信号特性が変わる事があったが、実施形態１の測定装置ではケーブル２９が固定されているので信号特性劣化が大幅に低減される。
【００４４】
また、従来の測定装置では、ケーブルは破損しやすいので、消耗品として品質管理対象品に選定され、ケーブル交換の管理をしなければならなかった。ケーブルの交換頻度は、接触プローブの約１０倍の交換頻度となるので、メンテナンス作業、作業費用が発生していたが、この管理や費用を不要にすることができる。
【００４５】
また、従来の測定装置では、ケーブル個体ごとに信号ロスなどの信号伝達性能が異なるので、ケーブルを交換する度にケーブルそれぞれの信号ロス性能確認や測定系の設定変更を行っていた。実施形態１の測定装置１ではケーブルの破損が著しく低減されるので、このような作業を大幅に減らすことができ、治具メンテナンス作業量を軽減することができる。
【００４６】
また、信号供給部７が測定対象物３へ高周波信号の代わりに直流電流を供給する場合において、測定対象物３の測定される消費電流値が、例えば、μＡオーダーである場合、ケーブルが揺れると出力値が変動する場合がある。したがって、実施形態１の測定装置１を用いれば、ケーブルの揺れを低減することができるので、低消費電流モジュールの測定にも有益である。
【００４７】
なお、上述した実施形態１では、固定接触部２７は治具基板１１に取り付けられていたが、図５および図６に示すように、測定台１３に直接取り付ける構成でもよい。図５は、実施形態１の変形例における測定装置の概略側面図であり、図６は、実施形態１の変形例における測定装置の測定治具の概略上面図である。
【００４８】
また、図５、６に示すように、導体３３および接続コネクタ３１を省略して、ケーブル２９を固定接触部２７に直接接続してもよい。この構成によれば、部品数を低減することができるので、コストダウンを図ることができる。
【００４９】
（実施形態２）
次に、本発明の実施形態２の測定装置１Ｂについて図７および図８を参照して説明する。図７は、実施形態２における測定装置１Ｂの概略側面図である。図８は、測定対象物３Ｂの一例を示す図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態１の測定装置１と実施形態２の測定装置１Ｂと共通である。
【００５０】
実施形態２における測定対象物３Ｂは、例えば、アンテナ回路４５を有するアンテナモジュールである。また、実施形態２における固定接触部２７の高周波コネクタ２７ａは、導体３３ａ、高周波接続コネクタ３１ａ、および、高周波信号の入出力を行うための同軸形状の高周波用のケーブル２９を経由して外部の測定器９Ｂと電気的に接続されている。固定接触部２７の多ピンコネクタ２７ｂは、導体３３ｂ、多ピン接続コネクタ３１ｂ、および、ケーブル２９を経由して、制御信号を送る制御部３９および電力を供給する電源と電気的に接続されている。制御部３９は、例えば、パーソナルコンピュータである。
【００５１】
実施形態２における測定装置１Ｂは、信号供給部７からケーブル２９および可動ブロック１５を経由して測定対象物３Ｂの高周波コネクタ１９ａに高周波信号を供給する。また、測定装置１Ｂは、制御部３９および電源からケーブル２９および可動ブロック１５を経由して、測定対象物３Ｂの多ピンコネクタ１９ｂに、測定対象のアンテナ回路４５を特定する制御信号および電力を供給する。この制御信号によって、測定対象物３のモジュールが起動され、測定モードに切り替えられ、無線信号が放射されるアンテナ回路４５が選択される。
【００５２】
測定装置１Ｂは、それぞれのアンテナ回路４５と無線信号を送受信するアンテナ４３を備える。アンテナ４３は、測定器９Ｂと接続されている。測定器９Ｂは、アンテナ４３によりそれぞれのアンテナ回路４５からの受信した無線信号を測定する。また逆に、信号供給部７が、アンテナ４３へ高周波信号を供給し、アンテナ４３から測定対象物３Ｂへ無線信号が送信される。測定対象物３Ｂのそれぞれのアンテナ回路４５は、多ピンコネクタ１９ｂから受信する制御信号にしたがって、選択されたアンテナ回路４５が受信した無線信号を高周波コネクタ１９ａから出力し、測定器９Ｂにより測定される。
【００５３】
このように、実施形態２の測定装置１Ｂによれば、高周波信号が送られるケーブル２９の揺れが低減されているので、測定対象物３としてのアンテナモジュールの送受信特性や減衰特性を高精度で測定することができる。
【００５４】
（実施形態３）
次に、本発明の実施形態３の測定装置について図９を参照して説明する。図９は、実施形態２における測定装置１Ｃの側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態１の測定装置１と実施形態２の測定装置１Ｃと共通である。
【００５５】
実施形態３の測定装置１Ｃは、実施形態１の測定装置１のよりも、ズレ量に対する許容度の大きいプローブ用の固定接触部２７Ｃを用いる。また、第２接触部２５のプローブ２５ａの先端部はテーパ状になっている。実施形態３の測定装置１Ｃによれば、測定対象物３と治具基板１１とが分離されているので、治具基板１１に取り付けられた固定接触部２７Ｃに接続するプローブ２５ａは特殊な小さなコネクタ用ではなく、汎用のコネクタ用を用いることができるので、安価となる。
【００５６】
一般的に複数のコネクタへの嵌合は位置ズレの問題から、治具設計の困難性が向上するが、プローブの一方をズレ許容度の大きいプローブ・コネクタを用いることで、治具設計の難度が上がるのを抑制することができる。また、第２接触部２５として小さいコネクタ用のプローブを用いる必要がないので、固定接触部２７Ｃとのコンタクト面積が大きく、電気的ロスの小さい、プローブまたは接触端子を用いることができ、測定特性が向上する。
【００５７】
（実施形態４）
次に、本発明の実施形態４の測定装置１Ｄについて図１０を参照して説明する。図１０は、実施形態４における測定装置１Ｄの概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態１の測定装置１と実施形態４の測定装置１Ｄと共通である。
【００５８】
実施形態４の測定装置１Ｄは、固定接触部２７Ｄがプローブ２５ａおよび多ピンプローブ２５ｂであり、可動ブロック１５の第２接触部２５がコネクタ２６である構成である。プローブ２５ａおよび多ピンプローブ２５ｂとコネクタ２６とは、接触および分離可能である。プローブ２５ａおよび多ピンプローブ２５ｂが測定台１３または治具基板１１に固定され、可動する可動ブロック１５から外されているので、プローブ２５ａおよび多ピンプローブ２５ｂに接続されるケーブルのテンションを気にする必要がない。可動ブロック１５の小型化と軽量化が図れる。これにより、可動ブロック１５の設計をさらに簡素化することができる。
【００５９】
（実施形態５）
次に、本発明の実施形態５の測定装置１Ｅについて図１１を参照して説明する。図１１は、実施形態５における実施形態５における測定装置の概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態１の測定装置１と実施形態５の測定装置１Ｅと共通である。
【００６０】
実施形態５における測定治具５Ｅは、移動機構として、可動ブロック１５を回転方向に接近および離隔するロータリジョイント６１を備える。可動ブロック１５は、ロータリジョイント６１の回転軸を中心に回転する。この回転により、可動ブロック１５は測定位置と退避位置とを移動し、可動ブロック１５の第１接触部２１と測定対象物３のコネクタ１９との接触および分離をすることができる。
【００６１】
実施形態５の測定装置１Ｅによれば、可動ブロック１５が上下方向（Ｚ方向）と水平方向（Ｘ方向）の２軸で動かなくてよいので、精度よく第１接触部２１を測定対象物３のコネクタ１９に接続することできる。これにより、測定誤差を低減することができる。また、可動ブロック１５の移動が回転方向の１軸移動となるので、可動ブロック１５の移動時間を短くすることができる。これにより、測定時の待ち時間（非測定時間）を短くすることができ、測定の効率化を図ることができる。
【００６２】
（実施形態６）
次に、本発明の実施形態６の測定装置１Ｆについて図１２を参照して説明する。図１２は、実施形態６における測定装置の概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態１の測定装置１と実施形態６の測定装置１Ｆと共通である。
【００６３】
実施形態６における測定治具５Ｆは、移動機構として、可動ブロック１５Ｆを上下方向（Ｚ方向）に昇降するスライダジョイント６５を備える。すなわち、第２接触部２５の代わりにスライダジョイント６５を介して、可動ブロック１５Ｆの導体２３Ｆとケーブル２９とが常に電気的に接続されている。可動ブロック１５Ｆは、上下方向の移動により、測定位置と退避位置とを移動し、可動ブロック１５Ｆの第１接触部２１と測定対象物３のコネクタ１９との接触および分離をすることができる。
【００６４】
実施形態６の測定装置１Ｆによれば、可動ブロック１５Ｆが上下方向と水平方向の２軸で動かなくてよいので、精度よく第１接触部２１を測定対象物３のコネクタ１９に接続することできる。これにより、測定誤差を低減することができる。また、可動ブロック１５Ｆの移動が上下方向の１軸移動となるので、可動ブロック１５Ｆの移動時間を短くすることができる。これにより、測定時の待ち時間（非測定時間）を短くすることができ、測定の効率化を図ることができる。
【００６５】
（実施形態７）
次に、本発明の実施形態７の測定装置１Ｇについて図１３を参照して説明する。図１３は、実施形態７における測定装置の概略側面図である。なお、以下に記載した事項以外の構成は、実施形態１の測定装置１と実施形態７の測定装置１Ｇと共通である。
【００６６】
実施形態７の測定治具５Ｇは、可動ブロック１５Ｇを斜め方向にスライド可能に支持する支持部７１を備える。支持部７１は、斜め方向に延びるガイド溝７１ａを有する。ガイド溝７１ａは、上端から測定対象物３の方へ接近するように斜め下方に延び、下部において、下方に延びている。
【００６７】
可動ブロック１５Ｇは、実施形態１の可動ブロック１５の構成に加えて、支持部７１のガイド溝７１ａに嵌合されるガイドピン７３を有する。可動ブロック１５Ｇのガイドピン７３が、支持部７１に設けられたガイド溝７１ａに沿って、斜めにスライドして降下する。ガイドピン７３およびガイド溝７１ａを有する支持部７１により移動機構としてのスライダを構成している。可動ブロック１５Ｇは、斜め方向の移動により、測定位置と退避位置とを移動し、可動ブロック１５Ｇの第１接触部２１と測定対象物３のコネクタ１９との接触および分離をすることができる。
【００６８】
実施形態７の測定装置１Ｇによれば、可動ブロック１５Ｇが上下方向と水平方向の２軸で動かなくてよいので、精度よく第１接触部２１を測定対象物３のコネクタ１９に接続することできる。これにより、測定誤差を低減することができる。また、可動ブロック１５Ｇの移動がスライド溝に沿った方向の１軸移動となるので、可動ブロック１５Ｇの移動時間を短くすることができる。これにより、測定時の待ち時間（非測定時間）を短くすることができ、測定の効率化を図ることができる。
【００６９】
本発明は、上記実施形態のものに限らず、次のように変形実施することができる。
【００７０】
（１）上記各実施形態において、可動ブロック１５は移動機構により移動されていたが、移動機構は駆動動力源を有するものであってもよいし、作業者が手動で可動ブロック１５を動かす移動機構でもよい。
【００７１】
（２）上記各実施形態において、第１接触部２１および第２接触部２５としてプローブを用いていたがこれに限られない。第１接触部２１および第２接触部２５として、例えば、テストパッドやピンプローブを用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明は、ケーブルを備える測定装置に適用可能である。
【符号の説明】
【００７３】
１−１Ｅ  測定装置
３、３Ｂ  測定対象物
５−５Ｆ  測定治具
７      信号供給部
９      測定器
１１      治具基板
１３      測定台
１４      ワークポケット
１５、１５Ｆ、１５Ｇ  可動ブロック
１７      搬送ユニット
１９      コネクタ
１９ａ    高周波コネクタ
１９ｂ    多ピンコネクタ
２１      第１接触部
２１ａ    プローブ
２１ｂ    多ピンプローブ
２１ｋ    一端
２１ｍ    他端
２３      導体
２３ｋ    一端
２３ｍ    他端
２５      第２接触部
２５ａ    プローブ
２５ｂ    多ピンプローブ
２５ｍ    一端
２５ｋ    他端
２６      コネクタ
２７、２７Ｃ  固定接触部
２７ａ    高周波コネクタ
２７ｂ    多ピンコネクタ
２９      ケーブル
３１      接続コネクタ
３１ａ    高周波接続コネクタ
３１ｂ    多ピン接続コネクタ
３３      導体
３３ａ    導体
３３ｂ    導体
３９      制御部
４１      アンテナ回路
４３      アンテナ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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