(57)【要約】      （修正有）【課題】連続する不規則な非水平被研磨面の場合でも、当たり具合よく研磨を行うことが可能な研磨機を提供する。【解決手段】非水平被研磨面用研磨機であって、研磨動力源１０と、前記研磨動力源により駆動される研磨パッド３０との間に変形装置２０が設けられ、前記変形装置により、前記研磨パッドの一側に、変形夾角を生じる１セットの偏移手段２２及び変形具２３が独立して設けられ、これにより前記研磨パッドの一側はいずれも独立して、変形夾角の相対的な変化によりさまざまな非水平被研磨面に具合よく当たることができ、とりわけ連続する不規則な非水平被研磨面の場合、本発明は既知の技術よりも優れた研磨効果を得ることができる。【選択図】図５
2020019077.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非水平被研磨面用研磨機であって、
研磨動力源と、
非水平被研磨面に応じて変形を生じることが可能な弾性材料からなり、前記研磨動力源により駆動されて非水平被研磨面に研磨を施す研磨パッドと、
前記研磨動力源と、前記研磨パッドとの間に設けられ、少なくとも前記研磨動力源を支持し、且つ基準水平線を設定する支持手段と、前記支持手段の二つの側にそれぞれ装着され、且つ前記研磨パッドとの間に介在する２つの偏移手段とを含み、各偏移手段は、前記支持手段との間に、少なくとも１つの第１の変形具が連設され、且つ各偏移手段は、前記研磨パッドとの間に、少なくとも２つの向き合って設けられる第２の変形具が連設され、これにより研磨パッドの一側が非水平被研磨面に研磨を施すときに変形が生じ、且つ研磨パッドの一側に対応する偏移手段は、独立して前記第１の変形具で前記支持手段の前記基準水平線に対して第１の変形夾角を形成し、且つ前記研磨パッドの一側は、第２の変形具で前記支持手段の前記基準水平線に対して第２の変形夾角を形成する変形装置と、を含むことを特徴とする非水平被研磨面用研磨機。
【請求項２】
前記第２の変形具は、向き合って設けられる２群とするのが好ましいことを特徴とする請求項１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項３】
２群の前記第２の変形具は、前記偏移手段の４つの隅部にそれぞれ設けられるのが好ましいことを特徴とする請求項２に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項４】
前記第１の変形具は、向き合って設けられる２つの第２の変形具の中間位置に１つ設けられることを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項５】
前記第１の変形具は、向き合って設けられる２つとするのが好ましいことを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項６】
各前記第１の変形具は、向き合って設けられる２つの第２の変形具の中間位置に設けられるのが好ましいことを特徴とする請求項５に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項７】
前記第１の変形具及び前記第２の変形具は、両端の固定部と、中間の変形部とを含むことを特徴とする請求項１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項８】
前記第１の変形具の中間の変形部の変形量は、前記第２の変形具の中間の変形部の変形量以上となることを特徴とする請求項７に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項９】
前記第１の変形具及び前記第２の変形具は、ばね、板ばね、又はゴムであってもよいことを特徴とする請求項１、請求項７又は請求項８に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１０】
前記支持手段は、前記研磨パッドと同じ形状であることを特徴とする請求項１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１１】
前記支持手段はさらに、前記研磨パッドまで被覆する被覆部を含むことを特徴とする請求項１０に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１２】
前記被覆部には、外部の除塵機と接続するための開口部が設けられることを特徴とする請求項１１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１３】
前記研磨動力源は、手動式で、直接外部から前記支持手段に力を加えることを特徴とする請求項１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１４】
前記支持手段の外部は、外部から力を加えることを補助するケーシングを含むことを特徴とする請求項１３に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１５】
前記研磨動力源は、動力軸を備えて前記研磨パッドに接続される動力研磨機であってもよいことを特徴とする請求項１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１６】
前記動力研磨機は、電動式、又は空圧駆動式であってもよいことを特徴とする請求項１５に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非水平被研磨面用研磨機に関し、詳しく言えば、連続する不規則な非水平被研磨面の場合でも、研磨パッドが当たり具合よく研磨を行うことが可能な研磨機に関する。
【背景技術】
【０００２】
凹面や凸面などの非水平被研磨面に用いる研磨技術に関しては、例えば、特許文献１〜特許文献１０が挙げられる。
【０００３】
上記した特許は、さまざまな非水平被研磨面用研磨機を開示している。これらは主として、駆動手段を介して支持板に接続しており、支持板及び研磨パッドの両側はそれぞれ変形具を介して接続しているものである。初期状態、又は被研磨面が水平状態の場合、研磨パッド及び支持板は水平状態にあり、変形具に変形が生じていない。使用者が非水平被研磨面を研磨する場合、研磨パッドはその中心線を軸線に、両側が非水平被研磨面の弧度に沿うように、変形具の変形した状態により前記軸線に対して偏移し、前記非水平被研磨面に当たって研磨を行う。
【０００４】
上記した各特許では、変形具を、レバーで軸着した形態とする場合でも、ばねなどの弾性部品とする場合でも、研磨パッドと支持板との間における変形した状態は一定で、しかもその程度が限定されているため、研磨パッドは、被研磨面の弧度が大きい場合には、具合よく当たって研磨することができない。また、例えばレバーで軸着した形態とする場合には、特許文献１０のように、支持板が研磨パッドに対して水平状態を保つには、両側の変形具は、同時に変形を生じる必要があるが、実際、非水平被研磨面の弧度が研磨パッドの両側に見合うケースはまれであり、とりわけ凹凸が続く波状の非水平被研磨面の場合にこのような研磨機は、被研磨面の形状の変化に応じて研磨することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１−１０】中国特許公開第１０１７４３０９６号明細書  中国特許公開第１０３２３１３２０号明細書  英国特許登録第６８０８６６号明細書  特開平５−３２９７６２  特開平８−１１０４６  特開２０００−１１７６０９  特開２００１−１１３４５３  特開２００９−２３３８１０  米国特許登録第５９４７８０３号明細書  米国特許登録第９８３３８７１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、連続する不規則な非水平被研磨面の場合には、当たり具合よく研磨を行うことができないという課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記した目的を達成するために、非水平被研磨面用研磨機を提供する。前記非水平被研磨面用研磨機では、研磨動力源と前記研磨動力源により駆動される研磨パッドとの間に変形装置が設けられ、前記変形装置は少なくとも、前記研磨動力源を支持し、且つ基準水平線を設定する支持手段を備え、且つ前記変形装置により前記研磨パッドの一側に、第１の変形夾角及び第２の変形夾角を生成する１セットの偏移手段、第１の変形具、及び第２の変形具が独立して設けられる。これにより、研磨パッドの一側はいずれも独立して、第１の変形夾角か、第２の変形夾角か、又は両者の組み合わせによる変化角度により、さまざまな非水平被研磨面、特に連続する不規則な非水平被研磨面に当たることにより、前記支持手段が研磨中に水平状態を保つことができるので、優れた研磨効果を得ることができる。
【０００８】
場合によっては、向き合って設けられる２つの第２の変形具と、前記２つの第２の変形具の中間位置に設けられる第１の変形具とにより、研磨パッドが非水平被研磨面に応じて変形を生じるように補助する構成とする。
【０００９】
場合によっては、前記偏移手段の４つの隅部にそれぞれ向き合って設けられる２群の第２の変形具と、前記第２の変形具の中間位置に設けられる２つの第１の変形具とにより、研磨パッドが非水平被研磨面に応じて変形を生じるように補助する構成とする。
【００１０】
場合によっては、前記研磨動力源を手動式とし、且つ前記支持手段は、外部から力を加えることを補助するケーシングを含み、さらに、前記研磨パッドまで被覆し、且つ外部の除塵機と接続するための開口部が設けられる被覆部を含む構成とする。
【００１１】
場合によっては、前記研磨動力源を電動式か、又は空圧駆動式の動力研磨機とし、前記動力研磨機は、動力軸を備え、前記研磨パッドに接続されて研磨を行う構成とする。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】一実施例の初期状態の断面概略図である。
【図２】一実施例における変形装置の分解した状態の概略図である。
【図３Ａ】一実施例における非水平被研磨面が凹面の場合の変形した状態の概略図である。
【図３Ｂ】一実施例における非水平被研磨面が凹面の場合の変形した状態の概略図である。
【図４Ａ】一実施例における非水平被研磨面が凸面の場合の変形した状態の概略図である。
【図４Ｂ】一実施例における非水平被研磨面が凸面の場合の変形した状態の概略図である。
【図５】一実施例における非水平被研磨面が凹凸面の場合の変形した状態の概略図である。
【図６】動力研磨機を用いる一実施例の断面概略図である。
【図７】手動研磨機を用いる一実施例の分解した状態の概略図である。
【図８】手動研磨機を用いる一実施例の外観の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に図面を参照しながら、本発明の詳細及びその技術内容について詳しく説明する。
【００１４】
本発明は、非水平被研磨面用研磨機を提供する。図１及び図２に示すように、研磨動力源１０と、研磨動力源１０により駆動される非水平被研磨面に研磨を施す研磨パッド３０とを含む。研磨パッド３０は、非水平被研磨面に応じて変形を生じることが可能な弾性材料からなり、且つ縦方向には、可撓性金属層、ゴムやスポンジなどフレキシブルな材料で作製した圧縮層と、変形可能な軟質研磨層とに分かれる構成としてもよい。なお、変形を生じ得る研磨パッド３０は、既知の技術でさまざまな形態にて実施されているため、本発明の技術要件を構成するものではなく、研磨パッド３０のその他の実施形態についての説明も省略する。
【００１５】
本発明では、研磨動力源１０と、弾性の研磨パッド３０との間に変形装置２０が設けられ、変形装置２０は少なくとも、研磨動力源１０を支持し、且つ基準水平線を設定する支持手段２１と、支持手段２１の両側にそれぞれ装着され、且つ研磨パッド３０との間に介在する２つの偏移手段２２とを備える。各偏移手段２２は、支持手段２１との間に少なくとも１つの第１の変形具２３が連設され、且つ各偏移手段２２は研磨パッド３０との間に、少なくとも２つの向き合って設けられる第２の変形具２４が連設され、これにより研磨パッド３０の一側が非水平被研磨面に研磨を施すときに変形が生じると、研磨パッド３０の一側に対応する偏移手段２２は、独立して第１の変形具２３で支持手段２１の基準水平線に対して第１の変形夾角Ｒ１を形成し、且つ研磨パッド３０の一側は、第２の変形具２４で支持手段２１の基準水平線に対して第２の変形夾角Ｒ２を形成する。図１に示すように、第２の変形具２４と第１の変形具２３は互い違いに配列し、且つ第１の変形具２３は、両端の固定部２３２、２３３と、中間の変形部２３１とを含み、第２の変形具２４は、両端の固定部２４２、２４３と、中間の変形部２４１とを含み、第１の変形具２３の固定部２３２、２３３は、支持手段２１及び偏移手段２２に接続し、第２の変形具２４の固定部２４２、２４３は、偏移手段２２及び研磨パッド３０に接続し、ここで、第１の変形具２３及び第２の変形具２４はばね、板ばね、又はゴムなどであってもよい。
【００１６】
変形した状態の形成を示すために、本実施例ではまず、第１の変形具２３及び第２の変形具２４をばねにして説明する。図１及び図２に示すように、初期状態、又は使用者が水平被研磨面に研磨を施すとき、支持手段２１と研磨パッド３０は、相対的な水平状態にあり、且つ偏移手段２２と支持手段２１も相対的な水平状態にある。
【００１７】
図３Ａ、図３Ｂは、非水平被研磨面が凹面の場合の変形した状態の概略図を示す。同図に示すように、使用者が手動で研磨動力源１０を介して支持手段２１に力を加えて、研磨パッド３０で曲面に研磨を施す場合、研磨パッド３０の両側が曲面の弧度に応じて変形を生じるように、研磨動力源１０から加わった力及び研磨パッド３０の両側からの反発力は、変形可能な第１の変形具２３の中間の変形部２３１及び第２の変形具２４の中間の変形部２４１を変形させる。なお、中間の変形部２３１、２４１の変形形態は、材料により異なり、中間の変形部２３１、２４１の圧縮、湾曲又はそれらの組み合わせを含みこれだけに限定されない。そして、第１の変形具２３の中間の変形部２３１が変形を生じると、両端の固定部２３２、２３３に連接された偏移手段２２を、中間の変形部２３１の変形量だけ支持手段２１により設定された基準水平線に対して第１の変形夾角Ｒ１を形成するように協働させ、且つ研磨パッド３０一側は、第２の変形具２４の変形量だけ支持手段２１の基準水平線に対して第２の変形夾角Ｒ２を形成し、第１の変形夾角Ｒ１と第２の変形夾角Ｒ２による相対的な変化値により研磨パッド３０の変形した状態を形成し、そして研磨パッド３０が図３Ａに示す曲面形態に具合よく当たることになる。また、同様の適用形態の他の例として、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、被研磨面が凸面の場合、研磨パッド３０の一側は上記と同様に、第２の変形具２４の変形量だけ支持手段２１の基準水平線に対して第２の変形夾角Ｒ４を形成し、且つ偏移手段２２は支持手段２１により設定された基準水平線に対して第１の変形夾角Ｒ３を形成し、第１の変形夾角Ｒ３と第２の変形夾角Ｒ４による相対的な変化値により研磨パッド３０の変形した状態を形成し、そして研磨パッド３０が図４Ａに示す凸面形態に具合よく当たることになる。
【００１８】
図５に示すように、研磨パッド３０が研磨中に接する曲面位置の弧度が変わると、第１の変形具２３及び第２の変形具２４の変形量も変化し、また、研磨パッド３０が弧度の変化する曲面又は凸面に当たる状況においては、第１の変形夾角Ｒ１、Ｒ３及び第２の変形夾角Ｒ２、Ｒ４は、それに応じて変化する角度か、組み合わせた角度であってもよく、且つ本発明では、研磨パッド３０の二つの側（離れた二つの位置）に独立してそれぞれ１セットの偏移手段２２、第１の変形具２３、及び第２の変形具２４が設けられるため、研磨パッド３０の二つの側はいずれも、第１の変形夾角Ｒ１とＲ３、及び第２の変形夾角Ｒ２とＲ４による相対的な変化角度を独立して利用し非水平被研磨面に具合よく当たることができる。これは、図５に示すような連続する不規則な非水平被研磨面の研磨にとって特に好適である。すなわち、研磨パッド３０に対応する被研磨面に、凸面と曲面の両方が存在する状況においては、研磨パッド３０の二つの側は、変形装置２０を利用し独立して変形することができるため、その二つの側が異なる弧度で変形した状態において被研磨面に当たることができ、また図５に示すように、研磨パッド３０の一方側の被研磨面が凸面で、他方側の被研磨面が凹面である状況においては、研磨パッド３０はなおも各側が独立して、変形した状態で被研磨面に具合よく当たることができるので、スムーズに研磨を施すことが可能になる。
【００１９】
図６に示すように、研磨動力源５０はまた、電動式か、又は空圧駆動式の動力研磨機としてもよい。この場合には、前記動力研磨機は動力軸５１を備え、研磨パッド３０に接続される。動力研磨機を研磨動力源５０にして動力軸５１で研磨パッド３０を連動させることにより、直線又は偏心状態での研磨を行う。
【００２０】
図７及び図８に示すように、研磨パッド３０は通常、長方形の形態とし、研磨パッド３０の寸法に応じて、第１の変形具２３ａ及び第２の変形具２４ａの設けられた数も異なる。例えば、研磨パッド３０の寸法が大きい場合、研磨を行うときに、変形を実現するには精度がより高く安定的なバランス手段が必要となるため、このとき、第１の変形具２３ａは、２つ以上を向き合わせて設けてもよく、且つ２群にして向き合って設けられるのが好ましい。また、２群の第２の変形具２４ａは、偏移手段２２の４つの隅部にそれぞれ設けられ、縦方向には、各第１の変形具２３ａが、向き合って設けられる２つの第２の変形具２４ａの中間位置にあり、互い違いに設けられるのが好ましい。また、被研磨面により必要とされる変形状態も異なるように、第１の変形具２３ａの中間の変形部２３１の変形量を第２の変形具２４ａの中間の変形部２３１の変形量以上としてもよい。
【００２１】
本発明を操作しやすくするために、支持手段２１の研磨パッド３０に対応する部分を長方形としてもよく、そして研磨動力源１０は研磨パッド３０の寸法に応じて、中間位置か、又は二つの側の位置に設けてもよい。図８に示すように、さらに、支持手段２１ａは、研磨パッド３０まで被覆する被覆部２１１を含み、且つ支持手段２１ａの外部は、外部から力を加えることを補助するように、支持手段２１ａ及び被覆部２１１を被覆するケーシング２１２をさらに含み、また、被覆部２１１及びケーシング２１２には、外部の除塵機（図示せず）と接続するための開口部２１３が設けられてもよく、そして研磨パッド３０が研磨を施しながら内部のホコリや屑を取り除くことができる。
【００２２】
上記より分かるように、本発明では、研磨動力源１０、５０と、研磨パッド３０との間に装着される変形装置２０により、研磨パッド３０の一側と、支持手段２１、２１ａとの間に１セットの偏移手段２２、第１の変形具２３、２３ａ、及び第２の変形具２４、２４ａが独立して設けられるため、研磨パッド３０の一側はいずれも独立して、第１の変形夾角Ｒ１と第２の変形夾角Ｒ２による変化角度を生じることで、さまざまな非水平被研磨面に具合よく当たることができ、とりわけ連続する不規則な非水平被研磨面の場合に、本発明は既知の技術よりも優れた研磨効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００２３】
１０、５０  研磨動力源
５１    動力軸
２０    変形装置
２１、２１ａ  支持手段
２１１   被覆部
２１２   ケーシング
２１３   開口部
２２    偏移手段
２３、２３ａ  第１の変形具
２３１   中間の変形部
２３２、２３３ 固定部
２４、２４ａ  第２の変形具
２４１   中間の変形部
２４２、２４３ 固定部
３０    研磨パッド
Ｒ１、Ｒ３  第１の変形夾角
Ｒ２、Ｒ４  第２の変形夾角
【図１】
2020019077.tif 000003
【図２】
2020019077.tif 000004
【図３Ａ】
2020019077.tif 000005
【図３Ｂ】
2020019077.tif 000006
【図４Ａ】
2020019077.tif 000007
【図４Ｂ】
2020019077.tif 000008
【図５】
2020019077.tif 000009
【図６】
2020019077.tif 000010
【図７】
2020019077.tif 000011
【図８】
2020019077.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成30年12月28日(2018.12.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非水平被研磨面用研磨機であって、
研磨動力源と、
非水平被研磨面に応じて変形を生じることが可能な弾性材料からなり、前記研磨動力源により駆動されて非水平被研磨面に研磨を施す研磨パッドと、
前記研磨動力源と、前記研磨パッドとの間に設けられ、少なくとも前記研磨動力源を支持し、且つ基準水平線を設定する支持手段と、前記支持手段の二つの側にそれぞれ装着され、且つ前記研磨パッドとの間に介在する２つの偏移手段とを含み、
各偏移手段と前記支持手段との間には、それぞれ独立して変形する少なくとも１つの第１の変形具が連設され、且つ各偏移手段と前記研磨パッドとの間には、それぞれ独立して変形する少なくとも２つの向き合って設けられる第２の変形具が連設され、
これにより研磨パッドの一側が非水平被研磨面に研磨を施すときに変形が生じ、且つ研磨パッドの一側に対応する偏移手段は、独立して前記各第１の変形具で前記支持手段の前記基準水平線に対して第１の変形夾角をそれぞれ形成し、且つ前記研磨パッドの一側は、独立して前記各第２の変形具で前記支持手段の前記基準水平線に対して第２の変形夾角をそれぞれ形成する変形装置と、を含むことを特徴とする非水平被研磨面用研磨機。
【請求項２】
前記第２の変形具は、向き合って設けられる２群とすることを特徴とする請求項１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項３】
２群の前記第２の変形具は、前記偏移手段の４つの隅部にそれぞれ設けられることを特徴とする請求項２に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項４】
前記第１の変形具は、向き合って設けられる２つの第２の変形具の中間位置に１つ設けられることを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項５】
前記第１の変形具は、向き合って設けられる２つとすることを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項６】
各前記第１の変形具は、向き合って設けられる２つの第２の変形具の中間位置に設けられることを特徴とする請求項５に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項７】
前記第１の変形具及び前記第２の変形具は、両端の固定部と、中間の変形部とを含むことを特徴とする請求項１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項８】
前記第１の変形具の中間の変形部の変形量は、前記第２の変形具の中間の変形部の変形量以上となることを特徴とする請求項７に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項９】
前記第１の変形具及び前記第２の変形具は、ばね、板ばね、又はゴムであることを特徴とする請求項１、請求項７又は請求項８に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１０】
前記支持手段は、前記研磨パッドと同じ形状であることを特徴とする請求項１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１１】
前記支持手段はさらに、前記研磨パッドまで被覆する被覆部を含むことを特徴とする請求項１０に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１２】
前記被覆部には、外部の除塵機と接続するための開口部が設けられることを特徴とする請求項１１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１３】
前記研磨動力源は、手動式で、直接外部から前記支持手段に力を加えることを特徴とする請求項１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１４】
前記支持手段の外部は、外部から力を加えることを補助するケーシングを含むことを特徴とする請求項１３に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１５】
前記研磨動力源は、動力軸を備えて前記研磨パッドに接続される動力研磨機であることを特徴とする請求項１に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【請求項１６】
前記動力研磨機は、電動式、又は空圧駆動式であることを特徴とする請求項１５に記載の非水平被研磨面用研磨機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図７及び図８に示すように、研磨パッド３０は通常、長方形の形態とし、研磨パッド３０の寸法に応じて、第１の変形具２３ａ及び第２の変形具２４ａの設けられた数も異なる。例えば、研磨パッド３０の寸法が大きい場合、研磨を行うときに、変形を実現するには精度がより高く安定的なバランス手段が必要となるため、このとき、第１の変形具２３ａは、２つ以上を向き合わせて設けてもよく、且つ２群にして向き合って設けられるのが好ましい。また、２群の第２の変形具２４ａは、偏移手段２２の４つの隅部にそれぞれ設けられ、縦方向には、各第１の変形具２３ａが、向き合って設けられる２つの第２の変形具２４ａの中間位置にあり、互い違いに設けられるのが好ましい。また、被研磨面により必要とされる変形状態も異なるように、第１の変形具２３ａの中間の変形部２３１の変形量を第２の変形具２４ａの中間の変形部２４１の変形量以上としてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
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