(57)【要約】      （修正有）【課題】負圧の異常原因が吸着ノズルの詰まりかフィルタの詰まりであるかを判定する。【解決手段】表面実装機は、ヘッドユニットと、ヘッドユニットに昇降可能に支持された複数本の実装ヘッドと、コントローラと、を備え、実装ヘッドは、内部にエアを供給する供給経路を有するノズルシャフトと、供給経路に取り付けられたフィルタと、ノズルシャフトの先端に取り付けられた吸着ノズルと、を含み、コントローラは、実装ヘッドに負圧の異常がある場合、吸着ノズルとノズルシャフトの組み合わせを変更して、供給経路の圧力又はエア流量を再計測することにより得られた計測結果に基づいて、負圧の異常原因が、吸着ノズルの詰まりか前記フィルタの詰まりであるかを判定する。【選択図】図７
2020202306.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面実装機であって、
ヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットに昇降可能に支持された複数本の実装ヘッドと、
コントローラと、を備え、
前記実装ヘッドは、
内部にエアを供給する供給経路を有するノズルシャフトと、
前記供給経路に取り付けられたフィルタと、
前記ノズルシャフトの先端に取り付けられた吸着ノズルと、を含み、
前記コントローラは、前記実装ヘッドに負圧の異常がある場合、前記吸着ノズルと前記ノズルシャフトの組み合わせを変更して、前記供給経路の圧力又はエア流量を再計測することにより得られた計測結果に基づいて、負圧の異常原因が、前記吸着ノズルの詰まりか前記フィルタの詰まりであるかを判定する、表面実装機。
【請求項２】
請求項１に記載の表面実装機であって、
前記コントローラは、前記実装ヘッドに負圧の異常がある場合、前記吸着ノズルと前記ノズルシャフトの組み合わせを、正常品との間で変更して、前記供給経路の圧力又はエア流量を再計測する、表面実装機。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の表面実装機であって、
前記コントローラは、負圧の異常原因に応じたメンテナンス処理を行う、表面実装機。
【請求項４】
表面実装機の点検方法であって、
前記表面実装機は、複数本の実装ヘッドを有するヘッドユニットを含み、
前記実装ヘッドに負圧の異常がある場合、前記実装ヘッドの吸着ノズルとノズルシャフトの組み合わせを変更して、供給経路の圧力又はエア流量を再計測することにより得られた計測結果に基づいて、負圧の異常原因が、吸着ノズルの詰まりかフィルタの詰まりであるかを判定する、表面実装機の点検方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、表面実装機を点検する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面実装機は、プリント基板に電子部品を実装する装置である。表面実装機は、実装ヘッドを有している。実装ヘッドは、ノズルシャフトと吸着ノズルを有している。吸着ノズルはノズルシャフトの先端に取り付けられている。ノズルシャフトにはエアの供給経路が形成されており、エアの供給経路を通じて吸着ノズルに負圧を供給することで、吸着ノズルにより、電子部品を吸着保持する。
【０００３】
エアの供給経路に、フィルタを配置することで、ごみなどの異物を拿捕することが出来る。フィルタの詰まりを検出する方法を開示した文献として、下記の特許文献１がある。特許文献１では、実装動作直後に測定したエア流量が、２つの閾値の間にある場合、フィルタが詰まっていると判断している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４２６２９６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
実装ヘッドの負圧の異常は、供給経路のエア供給量や圧力を計測することで、判断できる。しかし、単に供給経路のエア供給量や圧力を計測するだけでは、負圧の異常原因を特定することが困難な場合があった。つまり、フィルタが詰まっている場合だけでなく、吸着ノズルが詰まっている場合も、負圧の異常が起きるため、供給経路の圧力やエア供給量の計測値からだけでは、負圧の異常原因が、フィルタの詰まりなのか、吸着ノズルの詰まりなのか、判定することが出来ない。
本発明は、実装ヘッドの負圧に異常があった場合、その原因が吸着ノズルの詰まりなのか、フィルタの詰まりなのか、判定することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
表面実装機は、ヘッドユニットと、前記ヘッドユニットに昇降可能に支持された複数本の実装ヘッドと、コントローラと、を備え、前記実装ヘッドは、内部にエアを供給する供給経路を有するノズルシャフトと、前記供給経路に取り付けられたフィルタと、前記ノズルシャフトの先端に取り付けられた吸着ノズルと、を含み、前記コントローラは、前記実装ヘッドに負圧の異常がある場合、前記吸着ノズルと前記ノズルシャフトの組み合わせを変更して、前記供給経路の圧力又はエア流量を再計測することにより得られた計測結果に基づいて、負圧の異常原因が、前記吸着ノズルの詰まりか前記フィルタの詰まりであるかを判定する。
【０００７】
この構成では、実装ヘッドに負圧の異常がある場合、その原因が、吸着ノズルの詰まりなのか、フィルタの詰まりなのか、判定することができる。
【０００８】
前記表面実装機の一実施態様として、前記コントローラは、前記実装ヘッドに負圧の異常がある場合、前記吸着ノズルと前記ノズルシャフトの組み合わせを、正常品との間で変更して、前記供給経路の圧力又はエア流量を再計測してもよい。正常品と組み合わせることで、異常の原因が特定し易くなる。正常品とは、正常にエアが流れる吸着ノズルやノズルシャフトの事である。つまり、詰まりのない吸着ノズルやフィルタに詰まりがないノズルシャフトである。
【０００９】
前記表面実装機の一実施態様として、前記コントローラは、負圧の異常原因に応じたメンテナンス処理してもよい。原因に応じた適切なメンテナンスが可能である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、実装ヘッドの負圧に異常があった場合、その原因が吸着ノズルの詰まりなのか、フィルタの詰まりなのか、判定することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】表面実装機の平面図
【図２】ヘッドユニットの側面図
【図３】実装ヘッドの断面図
【図４】吸着ノズルをノズルシャフトから脱着された時の断面図
【図５】詰まり原因の特定方法の概念図
【図６】表面実装機のブロック図
【図７】メンテナンス処理のフローチャート
【図８】１次判定処理のフローチャート
【図９】２次判定処理のフローチャート
【図１０】３次判定処理のフローチャート
【図１１】詰まり原因の判定処理のフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜実施形態１＞
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて、説明する。図１は、表面実装機１１の平面図である。表面実装機１１は、基台３１と、搬送コンベア３２と、ヘッドユニット３３と、駆動部３４と、フィーダ３５を備える。搬送コンベア３２は、作業対象のプリント基板Ｐを、基台３１上においてＸ方向に搬送する。
【００１３】
駆動部３４は、ヘッドユニット３３を、基台３１上において、平面方向（ＸＹ方向）に移動させる装置である。
【００１４】
駆動部３４としては、モータを駆動源とする２軸や３軸のボール螺子機構などを例示することが出来る。フィーダ３５は、プリント基板Ｐに実装する電子部品Ｂを供給する装置である。
【００１５】
図２に示すように、ヘッドユニット３３は、支持部材３８に対してスライド可能に支持されており、複数本の実装ヘッド４０を備えている。実装ヘッド４０は、ヘッドユニット３３に対して、昇降操作可能に支持されている。
【００１６】
図３に示すように、実装ヘッド４０は、ノズルシャフト４１と、吸着ノズル４５とを備える。ノズルシャフト４１は、軸中心部にエアの供給経路４２を有している。ノズルシャフト４１は外周にシャフトホルダ４３を有している。吸着ノズル４５は、ノズルシャフト４１の先端に取り付けられている。
【００１７】
負圧発生器５１から供給経路４２に負圧を供給することで、吸着ノズル４５の先端に吸引力が生じ、電子部品Ｂを吸着保持することが出来る。また負圧の供給を停止することで、電子部品Ｂの保持を解くことが出来る。負圧は、大気圧よりも低い圧力のことを意味する。
【００１８】
負圧発生器５１は、エア源５３から供給されるエアにより、負圧を発生させるエジェクタでもよい。負圧発生器５１とエア源５３との間に、エアの切り換え弁５２を設けてもよい。負圧発生器５１と切り換え弁５２は、実装ヘッド４０ごとに設けてもよい。
【００１９】
また、各実装ヘッド４０のノズルシャフト４１には、圧力センサ５５がそれぞれ取り付けられている。圧力センサ５５は、供給経路４２の圧力を検出する。圧力はゲージ圧でもいいし、絶対圧でもよい。
【００２０】
ヘッドユニット３３及び実装ヘッド４０は、フィーダ３５から供給される電子部品Ｂを、基台中央の作業位置にて、プリント基板Ｐに実装する機能を果たす。
【００２１】
表面実装機１１は、図１に示すように、カメラ３７を有している。カメラ３７は、基台３１上において撮影面を上方に向けて配置されている。カメラ３７は、吸着ノズル４５に保持された電子部品Ｂを下方から撮影する。
【００２２】
カメラ３７の画像から、吸着ノズル４５に対する電子部品Ｂの吸着状態を検出することが出来る。つまり、カメラ３７の画像から吸着ノズル４５に対する電子部品Ｂの吸着位置のずれ量を検出することが出来る。また、吸着ノズル４５に対する電子部品Ｂの吸着角度のずれ量を検出することが出来る。
【００２３】
カメラ３７により撮影した画像の認識結果（吸着位置のずれや吸着角度のずれ）に基づいて、プリント基板Ｐに対する電子部品Ｂの位置や角度を補正することで、電子部品Ｂの搭載精度を高めることが出来る。
【００２４】
図４に示すように、吸着ノズル４５は、ノズルシャフト４１の先端から着脱することが出来る。ノズルシャフト４１の先端部４１Ａの供給経路４２内には、フィルタ４４が取り付けられている。フィルタ４４は、吸引されるゴミや異物を拿捕する。吸着ノズル４５を取り外すことで、フィルタ４４を交換することが出来る。
【００２５】
吸着ノズル４５は、いわゆるバフィングノズルであり、ノズルホルダ４６と、ノズル本体４７と、ばね４８と、を備える。ノズルホルダ４６がシャフトホルダ４３に突き当たることで、ノズルシャフト４１に対して、吸着ノズル４５が上下方向で位置決めされるようになっている。ノズル本体４７は、ノズルホルダ４６に対して出没可能に取り付けられている。ばね４８は、ノズル本体４７の外周に取り付けられており、ノズル本体４７を突出方向に付勢する。
【００２６】
バフィングノズルは、部品搭載時などノズル先端に荷重が加わった時に、ばね４８が縮みつつ、ノズル本体４７がノズルホルダ４６からの突出量を小さくするように変位することで、衝撃を吸収することが出来る。
【００２７】
また、ノズルホルダ４６は、鍔部４６Ａを有している。鍔部４６Ａは、ノズルシャフト４１から吸着ノズル４５を着脱する時に、吸着ノズル４５を、所定の固定部４９に引っ掛けてロックしておくために設けられている（図４参照）。
【００２８】
ノズルシャフト４１に対する吸着ノズル４５の着脱は、人手又は表面実装機１１により行うことが出来る。つまり、ノズルシャフト４１を吸着ノズル４５に対して上下方向に相対移動させることで実行出来る。
【００２９】
２．負圧の異常原因の特定
負圧発生器５１を動作させても、実装ヘッド４０の負圧に異常がある場合、つまり、供給経路４２の圧力が所定レベルまで下がらない場合、電子部品Ｂの吸着不良が発生する。そのため、実装ヘッド４０の負圧に異常がないか、点検を行うことが望ましい。異常の有無は、圧力センサ５０を用いて、実装ヘッド４０の供給経路４２の圧力を計測し、それを閾値と比較することで、検査できる。
【００３０】
しかし、圧力センサ５０の計測値から負圧の異常を判断することは出来るものの、異常の発生原因が、吸着ノズル４５の詰まりによるものか、吸着ノズル４５の奥にあるフィルタ４４が詰まっているものなのか、判断することが出来ない。
【００３１】
本発明では、実装ヘッド４０の負圧に異常があった場合、ノズルシャフト４１と吸着ノズル４５の組み合わせを変えて、供給経路４２の圧力を再計測することで、詰まりの発生箇所を特定する。
【００３２】
つまり、図５に示すように、まず、負圧発生器５１を動作させた後、検査対象の実装ヘッド４０について、供給経路４２の圧力を圧力センサ５０で計測して、閾値と比較することで、圧力のレベルを判定する（１次判定）。
【００３３】
そして圧力が閾値まで下がっていない場合（負圧の異常）、その吸着ノズル４５を、正常な吸着ノズルＡ０と交換する。「正常」とは、詰まりのないと言う意味である。そして、供給経路４２の圧力を再計測して、圧力のレベルを判定する（２次判定）。２次判定で、圧力が閾値まで下がっている場合（ＯＫ）、吸着ノズル４５が詰まっていると判断する。
【００３４】
２次判定で圧力が、閾値まで下がっていない場合、吸着ノズル４５を、正常なフィルタＣ０を装着した正常なノズルシャフトＢ０に組み付けて、供給経路４２の圧力を再計測し、圧力のレベルを判定する（３次判定）。
【００３５】
３次判定の結果、圧力が閾値まで下がっている場合（ＯＫ）、フィルタ４４が詰まっていると、判断できる。また、圧力が閾値まで下がっていない場合（ＮＧ）、フィルタ４４と吸着ノズル４５の双方が詰まっていると判断する。
【００３６】
図６は、表面実装機１１の電気的構成を示すブロック図である。コントローラ１００は、表面実装機１１の制御装置である。コントローラ１００は、ＣＰＵ１０１とメモリ１０３とを有している。コントローラ１００には、搬送コンベア３２、駆動部３４、カメラ３７などの各装置が接続されている。
【００３７】
また、コントローラ１００には、各実装ヘッド４０に対応して設けられた切り換え弁５２と圧力センサ５５がそれぞれ接続されている。コントローラ１００は、各圧力センサ５５から各実装ヘッド４０について供給経路４２の圧力を取得することが出来る。
【００３８】
図７は、ヘッドユニット３３の点検処理のフローチャートである。点検処理は、実装作業の待機時間に行ってもよい。また、前回実行時から所定時間が経過したタイミングで行ってもよい。
【００３９】
点検処理は、コントローラ１００により実行され、図７に示すように１次判定処理（Ｓ１０）、正常な実装ヘッド４０の有無を判定する処理（Ｓ２０）、２次判定処理（Ｓ３０）、３次判定処理（Ｓ４０）、異常原因の判定処理（Ｓ５０）、異常原因に応じたメンテナンス処理（Ｓ６０）の６つのステップから構成されている。
【００４０】
１次判定処理（Ｓ１０）は、ヘッドユニット３３に搭載された各実装ヘッド４０について、供給経路４２の圧力を計測して、負圧の異常を判定する処理である。１次判定処理は、コントローラ１００により、実行される。
【００４１】
１次判定処理は、図８に示すように、Ｓ１１〜Ｓ１６の６つのステップから構成してもよい。Ｓ１１は、計測対象の実装ヘッド４０を、１番目の実装ヘッド４０に指定する処理である。「Ｎ」は、実装ヘッド４０の番号である。
【００４２】
Ｓ１２は、計測対象のＮ番目の実装ヘッド４０について、供給経路４２の圧力を計測する処理である。圧力の計測は、負圧発生器５１を動作させた状態で、供給経路４２の圧力を圧力センサ５５で計測することにより行う。
【００４３】
Ｓ１３は、Ｓ１２の計測値を閾値と比較して、Ｎ番目の実装ヘッド４０の圧力が正常か判定する処理である。計測値が閾値よりも下がっている場合、「負圧は正常」と判断し、高い場合、「負圧の異常」と判断する。
【００４４】
Ｓ１３で正常と判断された場合、Ｓ１５に移行し、異常と判断された場合、Ｓ１４に移行する。Ｓ１４は、負圧の異常と判断された実装ヘッド４０の番号Ｎを、メモリ１０３に記憶する処理である。
【００４５】
Ｓ１５は、番号Ｎを更新（＋１）して、次に圧力計測を行う実装ヘッド４０を指定する処理である。Ｓ１６は、未計測の実装ヘッド４０の有無を判断する処理である。
【００４６】
Ｓ１〜Ｓ１６の処理を繰り返し行うことで、１番目の実装ヘッド４０から圧力計測を順番に行うことが出来る。図２の例では、ヘッドユニット３３に８本の実装ヘッド４０が搭載されているため、８本の実装ヘッド４０について、圧力計測が順番に行われる。
【００４７】
そして、負圧の異常と判断された実装ヘッド４０がある場合、その番号Ｎがメモリ１０３に記憶される。全実装ヘッド４０について、負圧の異常の有無が判定されると、１次判定処理Ｓ１０は、終了する。
【００４８】
図７に示すように、Ｓ１０の１次判定処理が終了すると、Ｓ２０に移行して、正常な実装ヘッド４０の有無を判定する処理が実行される。１次判定処理で、１本でも正常と判断された実装ヘッド４０が存在した場合、Ｓ２０では、ＹＥＳ判定される。
【００４９】
Ｓ２０でＹＥＳ判定がされた場合、コントローラ１００により、２次判定処理（Ｓ３０）が実行される。２次判定処理は、１次判定処理で、負圧の異常と判定された実装ヘッド４０について、組付けられている吸着ノズル４５を正常な吸着ノズル４５に付け替えた後、供給経路４２の圧力を再計測して、圧力のレベルを判定する処理である。
【００５０】
正常な吸着ノズル４５は、ヘッドユニット３３に搭載された８本の実装ヘッド４０のうち、１次判定処理で、「負圧は正常」と判定された他の実装ヘッド４０に取り付けられている吸着ノズル４５でもよい。吸着ノズル４５の付け替えは、作業者が行ってもいいし、コントローラ１００がヘッドユニット３３を用いて行ってもよい。
【００５１】
２次判定処理は、図９に示すように、Ｓ３１〜Ｓ３９の９つのステップから構成してもよい。Ｓ３１は、計測対象の実装ヘッド４０を、１番目の実装ヘッド４０に指定する処理である。「Ｎ」は、実装ヘッド４０の番号である。
【００５２】
Ｓ３２は、Ｎ番目の実装ヘッド４０が、１次判定処理で、負圧の異常と判定されたエラーヘッドか、否かを判定する処理である。エラーヘッドである場合、Ｓ３３に移行し、正常ヘッドである場合、Ｓ３８に移行する。
【００５３】
Ｓ３３では、Ｎ番目の実装ヘッド（エラーヘッド）について、ノズルシャフト４１の先端に取り付けられている吸着ノズル４５を、正常な吸着ノズル４５に付け替える処理が行われる。
【００５４】
Ｓ３４は、ノズルを交換したＮ番目の実装ヘッド４０について、供給経路４２の圧力を再計測する処理である。圧力の計測は、負圧発生器５１を動作させた状態で、供給経路４２の圧力を圧力センサ５５で計測することにより行う。
【００５５】
Ｓ３５は、Ｓ３４の計測値を閾値と比較して、吸着ノズル４５を付け替えたＮ番目の実装ヘッド４０の圧力が正常か判定する処理である。計測値が閾値よりも下がっている場合、「負圧は正常」と判断し、高い場合、「負圧の異常」と判断する。
【００５６】
Ｓ３５で正常と判断された場合、Ｓ３６に移行して、正常と判断されたＮ番目の実装ヘッド４０を、エラーヘッドから除外する処理が実行される。
【００５７】
Ｓ３５で異常と判断された場合、Ｓ３７に移行して、異常と判断されたＮ番目の実装ヘッドについて、ノズルシャフト４１と吸着ノズル４５の組み合わせを、１次判定時の組み合わせに戻す処理が実行される。つまり、Ｓ３３で付け替えた吸着ノズル（正常な吸着ノズル）４５を取り外して、元の吸着ノズル（１次判定時点の吸着ノズル）４５に付け替える処理が行われる。
【００５８】
Ｓ３８は、番号Ｎを更新（＋１）して、再計測を次に行う実装ヘッド４０を指定する処理である。Ｓ３９は、次の実装ヘッド４０が有るか、否かを判断する処理である。
【００５９】
Ｓ３１〜Ｓ３９の処理を繰り返し行うことで、全てのエラーヘッド、つまり、１次判定処理で、負圧の異常と判断された実装ヘッド４０について、吸着ノズル４５を正常品と付け替えて、圧力の再計測が順番に行われ、負圧は正常か異常かの判定が行われる。
【００６０】
そして、全エラーヘッドについて、圧力の再計測と負圧の異常判定が終了すると、２次判定処理（Ｓ３０）は終了する。
【００６１】
２次判定処理が終了すると、コントローラ１００により３次判定処理（Ｓ４０）が実行される。３次判定処理は、エラーヘッド、つまり２次判定処理のＳ３５でＮＯ判定された実装ヘッド４０について、吸着ノズル４５をノズルシャフト４１が正常な他の実装ヘッド４０に付け替えた後、供給経路４２の圧力を再計測して、圧力のレベルを判定する処理である。
【００６２】
ノズルシャフト４１が正常な他の実装ヘッド４０は、ヘッドユニット３３に搭載された８本の実装ヘッド４０のうち、１次判定処理で、「負圧は正常」と判断された他の実装ヘッド４０のノズルシャフトでもよい。吸着ノズル４５の付け替えは、作業者が行ってもいいし、コントローラ１００がヘッドユニット３３を用いて行ってもよい。
【００６３】
３次判定処理は、図１０に示すように、Ｓ４１〜Ｓ４９の９つのステップから構成してもよい。Ｓ４１は、計測対象の実装ヘッド４０を、１番目の実装ヘッド４０に指定する処理である。「Ｎ」は、実装ヘッドの番号である。
【００６４】
Ｓ４２は、Ｎ番目の実装ヘッド４０が、２次判定処理のＳ３５で、負圧の異常と判定されたエラーヘッドか、否かを判定する処理である。エラーヘッドである場合、Ｓ４３に移行し、正常ヘッドである場合、Ｓ４８に移行する。
【００６５】
Ｓ４３では、Ｎ番目の実装ヘッド（エラーヘッド）の吸着ノズル４５を、ノズルシャフト４１が正常な他の実装ヘッド４０に付け替える処理が行われる。
【００６６】
Ｓ４４は、Ｎ番目の吸着ノズル４５を装着した他の実装ヘッド４０について、供給経路４２の圧力を再計測する処理である。圧力の計測は、負圧発生器５１を作動させた状態で、供給経路４２の圧力を圧力センサ５５で計測することにより行う。
【００６７】
Ｓ４５は、Ｓ４４の計測値を閾値と比較して、Ｎ番目の吸着ノズル４５を取り付けた他の実装ヘッド４０の負圧が正常か、判定する処理である。計測値が閾値よりも下がっている場合、「負圧は正常」と判断し、高い場合、「負圧は異常」と判断する。
【００６８】
Ｓ４５で正常と判断された場合、Ｓ４６に移行して、Ｎ番目の実装ヘッド４０をエラーヘッドから除外する処理が実行される。
【００６９】
Ｓ４５で異常と判断された場合、Ｓ４７に移行して、Ｎ番目の吸着ノズル４５を元のノズルヘッド、つまり、Ｎ番目の実装ヘッド４０のノズルシャフト４１に戻す処理が実行される。
【００７０】
Ｓ４８は、番号Ｎを更新（＋１）して、再計測を次に行う実装ヘッド４０を指定する処理である。Ｓ４９は、次の実装ヘッド４０があるか、否かを判断する処理である。
【００７１】
Ｓ４１〜Ｓ４９の処理を繰り返し行うことで、全てのエラーヘッド、つまり、２次判定処理のＳ３５で、「負圧の異常」と判断された実装ヘッド４０について、吸着ノズル４５を他の実装ヘッドに付け替えて、圧力の再計測が順番に行われ、負圧は正常か異常かの判定が行われる。
【００７２】
全エラーヘッドについて、圧力の再計測と負圧の異常判定が終了すると、３次判定処理（Ｓ４０）は終了する。
【００７３】
３次判定処理（Ｓ４０）が終了すると、異常原因を判定する判定処理（Ｓ５０）が実行される。異常の原因の判定処理は、コントローラ１００により実行される。異常原因を判定する判定処理は、Ｓ５１〜Ｓ５９の９つのステップから構成することが出来る。
【００７４】
Ｓ５１では、１次判定は正常であったか、判定を行う。つまり、Ｓ１３の判定結果が正常であったか判定を行う。
【００７５】
Ｓ５２は、Ｓ５１でＮＯ判定された場合に実行される。Ｓ５２では、１次判定処理で、負圧は異常と判定された実装ヘッド４０について、吸着ノズル４５の付け替えが出来たか、否かを判定する。つまり、Ｓ３３の処理が出来たか判定を行う。
【００７６】
Ｓ５３は、Ｓ５２でＮＯ判定された場合、つまり、吸着ノズル４５の付け替えが出来た場合に実行される。Ｓ５３では、１次判定処理で、負圧の異常と判定された実装ヘッド４０について、２次判定処理で、負圧は正常であったか、判定を行う。つまり、Ｓ３５の判定結果が、正常であったか判定を行う。
【００７７】
Ｓ５４は、Ｓ５３でＮＯ判定された場合、つまり、２次判定処理で、負圧の異常と判定された場合に実行される。Ｓ５４では、２次判定処理で、負圧の異常と判定された実装ヘッド４０について、３次判定処理で、負圧は正常であったか、判定を行う。つまり、Ｓ４５の判定結果が、正常であったか判定を行う。
【００７８】
Ｓ５１でＹＥＳ判定の場合、吸着ノズル４５とフィルタ４４の双方とも、正常と判断することが出来る（Ｓ５５）。
【００７９】
Ｓ５２でＮＯ判定の場合、吸着ノズル４５とフィルタ４４のいずれかが、詰まっていると判断することが出来る（Ｓ５６）。
【００８０】
Ｓ５３でＹＥＳ判定の場合、吸着ノズル４５が詰まっている、と判断することが出来る（Ｓ５７）。
【００８１】
Ｓ５４でＹＥＳ判定の場合、フィルタ４４が詰まっている、と判断することが出来る（Ｓ５８）。
【００８２】
Ｓ５４でＮＯ判定の場合、吸着ノズル４５とフィルタ４４の双方とも詰まっている、と判断することが出来る（Ｓ５９）。
【００８３】
異常原因を判定する判定処理（Ｓ５０）を、各実装ヘッド４０についてそれぞれ行うことで、各実装ヘッド４０について負圧の異常の有無と、その原因を特定することが出来る。
【００８４】
異常原因の判定処理（Ｓ５０）が終了すると、次にメンテンナンス処理（Ｓ６０）がコントローラ１００により、実行される。メンテナンス処理（Ｓ６０）は、１次判定処理の結果、いずれかの実装ヘッド４０で、負圧の異常があった場合に実行され、その内容は、異常の原因により異なる。
【００８５】
例えば、吸着ノズル４５の詰まりが原因である場合、コントローラ１００は、メンテナンス処理として、吸着ノズル４５の清掃や交換を実施する。フィルタ４４の詰まりが原因である場合、コントローラ１００は、メンテナンス処理として、フィルタ４４の清掃や交換を実施する。
【００８６】
３．効果説明
この発明では、各実装ヘッド４０について、負圧の異常の有無と、その原因を特定することが出来る。つまり、負圧の異常が発生した場合、その原因が、吸着ノズル４５の詰まりなのか、フィルタ４４の詰まりなのかを切り分けることが出来る。異常の原因に応じた処置を行うことが出来るため、メンテナンス性が向上する。
【００８７】
また、負圧の異常が発生した場合、その原因を切り分ける方法として、実装ヘッド４０から吸着ノズル４５を取り外して、ノズルシャフト単体の状態で、供給経路４２の圧力を再計測する方法が考えられる。ノズルシャフト単体の状態は、吸着ノズル付きの状態に比べて、エアの吸引量が多くなるため、正常時と異常時で計測値に差が生じ難く、詰まりの有無を正確に判断できない場合がある。本発明の方法は、こうした方法と比較して、詰まりの有無を正確に判断できる点でも効果的である。
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【００８８】
（１）実施形態１では、供給経路４２の圧力の計測値から負圧の異常を検出した。これに限らず、供給経路４２のエア流量の計測値から負圧の異常を検出してもよい。つまり、エア流量の計測値が閾値より低い場合、負圧の異常と判断してもよい。この場合、圧力センサ５５に代えて、流量センサを用いて、供給経路４２のエア流量を計測るとよい。
【００８９】
（２）実施形態１では、吸着ノズル４５とノズルシャフト４１の組み合わせを、ヘッドユニット３３に搭載された８本の実装ヘッド４０内で行った。これに限らず、検査用に用意された吸着ノズル４５やノズルシャフト４１との間で、組み合わせを変更するものであったもよい。
【００９０】
（３）実施形態１では、吸着ノズル４５とノズルシャフト４１の組み合わせを、ヘッドユニット３３に搭載された８本の実装ヘッド４０のうち、正常品との間で変更した。これに限らず、ＮＧ品との間で組み合わせを変更するようにしてもよい。ＮＧ品同士で組み合わせを変更した場合でも、再計測により、負圧の異常が無かった場合、組み合わせ変更後の吸着ノズル４５とノズルシャフト４１は正常であることが分かり、詰まり原因は、それ以外の吸着ノズル４５とノズルシャフト４１であることを特定できる。また、１回の組み合わせ変更では、原因の特定が困難な場合でも、組み合わせを変えて複数回行うことで、詰まり原因の特定できる確率は高くなる。
【００９１】
（４）実施形態１では、Ｓ６０でメンテナンス処理を実行したが、メンテナンスの指示を促す表示や警告を行うようにしてもよい。メンテナンスを促す表示は、異常の原因と共に、メンテナンスの内容を指示するものであってもよい。
【符号の説明】
【００９２】
１１  表面実装機
３３  ヘッドユニット
４０  実装ヘッド
４１  ノズルシャフト
４２  供給経路
４４  フィルタ
４５  吸着ノズル
５５  圧力センサ
１００  コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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