(57)【要約】【課題】研削砥石の摩耗量を低減すること【解決手段】研削砥石７４０による被加工物Ｗの研削中に、所定のタイミングで制御手段９によってエア源２３１とシリンダ２１とが連通された状態に切り替え制御され、エア源２３１が発揮する空気の圧力によってテーブル２２を下から付勢してシリンダ２１の上側に突出させて、テーブル２２の上に配設されたドレス砥石２００を被加工物Ｗからオーバーハングした研削砥石７４０に接触させてドレスする。研削砥石７４０がドレスされて、研削能力が回復されると、制御手段９によって吸引源２３０とシリンダ２１とが連通された状態に切り替えられ、ドレス砥石２００が研削砥石７４０から離間される。制御手段９による切り替え制御を行うことでドレスが必要なときにのみ、間欠的にドレス砥石２００を研削砥石７４０に接触させることができ、研削砥石７４０の摩耗量を低減できる。【選択図】図４
2020104213.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研削砥石を用いて被加工物を研削加工する被加工物の研削方法であって、
チャックテーブルに被加工物を保持させる保持工程と、
該チャックテーブルが保持した被加工物に回転する環状の研削砥石の下面の一部を接触させ被加工物を研削する研削工程と、
該研削工程中に、被加工物からオーバーハングし被加工物に接触していない該研削砥石の下面にドレス砥石を間欠的に接触させ該研削砥石をドレスするドレス工程と、を備えた研削方法。
【請求項２】
該ドレス工程は、
該研削砥石を回転させるモータの負荷電流値が予め設定した第１の許容値を上回ったら、該ドレス砥石を該研削砥石に接触させる接触工程と、
該負荷電流値が予め設定した該第１の許容値より小さい値の第２の許容値を下回ったら、該研削砥石から該ドレス砥石を離間させる離間工程と、を備え、
該接触工程と該離間工程とを繰り返す請求項１記載の研削方法。
【請求項３】
該研削砥石は、砥粒の粒度が＃３０００〜＃４０００であり、かつ、ビトリファイドボンドによって砥粒が結合されて形成されたものであり、
該ドレス砥石は、メタルボンドによって砥粒が結合されて形成されたものまたは砥粒を基材に電着して形成されたものである請求項１記載の研削方法。
【請求項４】
請求項１または２記載の研削方法を実施可能とする研削装置であって、
被加工物を保持するチャックテーブルと、
環状の研削砥石が回転可能に装着され該チャックテーブルが保持した被加工物を研削する研削手段と、
該研削砥石を回転させるモータと、
該モータの負荷電流値を測定する負荷電流値測定部と、
被加工物からオーバーハングした該研削砥石に該ドレス砥石を接触させるとともに該研削砥石から該ドレス砥石を離間させる昇降機構を備えるドレス手段と、
該負荷電流値測定部が測定した該負荷電流値に応じて該昇降機構を制御する制御手段と、を備え、
該制御手段は、
該負荷電流値が予め設定した第１の許容値を上回ったら該ドレス砥石を該研削砥石に接触させ、
該負荷電流値が予め設定した該第１の許容値より小さい第２の許容値を下回ったら該ドレス砥石を該研削砥石から離間させる、研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の研削方法及び研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
研削装置を用いた被加工物の研削加工において、被加工物が軟質な樹脂等からなる場合、研削加工によって研削砥石の隙間に樹脂等が入り込んで研削砥石の目詰まり等が生じるため、適宜研削砥石のドレスをする必要がある。また、被加工物が、硬度の高い難削材からなる場合、研削砥石が目つぶれするため、この場合も研削砥石をドレスする必要がある。例えば特許文献１に示すような、研削砥石のドレスと被加工物の研削とを並行して実施できる研削装置を用いて、被加工物を研削しながら研削砥石のドレスを行うことで、研削加工が行われたあとも研削砥石の下面を整形された状態に維持することができる。この研削装置を用いた研削加工では、研削加工によって生じた目詰まり等を解消するために研削加工を停止して別途研削砥石のドレスを行うという手間をかけることなく、被加工物を連続的に研削加工することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−０２０２５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上に挙げた研削加工と研削砥石のドレスとの並行実施では、被加工物の研削中にドレス砥石を研削砥石に連続的に当てているため、必要以上にドレスされることにより研削砥石が過大に消耗してしまい不経済である。本発明が解決しようとする課題は、ドレスによる研削砥石の摩耗の量を低減することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、研削砥石を用いて加工物を研削加工する被加工物の研削方法であって、チャックテーブルに被加工物を保持させる保持工程と、該チャックテーブルが保持した被加工物に回転する環状の研削砥石の下面の一部を接触させ被加工物を研削する研削工程と、該研削工程中に、被加工物からオーバーハングし被加工物に接触していない該研削砥石の下面にドレス砥石を間欠的に接触させ該研削砥石をドレスするドレス工程と、を備えた研削方法である。
【０００６】
上記の研削方法に備えるドレス工程においては、該研削砥石を回転させるモータの負荷電流値が予め設定した第１の許容値を上回ったら、該ドレス砥石を該研削砥石に接触させる接触工程と、該負荷電流値が予め設定した該第１の許容値より小さい値の第２の許容値を下回ったら、該研削砥石から該ドレス砥石を離間させる離間工程と、を備え、該接触工程と該離間工程とを繰り返すことが望ましい。
【０００７】
上記の研削方法による研削の際に用いられる該研削砥石は、砥粒の粒度が＃３０００〜＃４０００であり、かつ、ビトリファイドボンドによって砥粒が結合されて形成されたものであり、該ドレス砥石は、メタルボンドによって砥粒が結合されて形成されたものまたは砥粒が基材に電着されて形成されたものであることが望ましい。
【０００８】
本発明は、上記の研削方法を実施可能とする研削装置であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、環状の研削砥石が回転可能に装着され該チャックテーブルが保持した被加工物を研削する研削手段と、該研削砥石を回転させるモータと、該モータの負荷電流値を測定する負荷電流値測定部と、被加工物からオーバーハングした該研削砥石に該ドレス砥石を接触させるとともに該研削砥石から該ドレス砥石を離間させる昇降機構を備えるドレス手段と、該負荷電流値測定部が測定した該負荷電流値に応じて該昇降機構を制御する制御手段と、を備え、該制御手段は、該負荷電流値が予め設定した第１の許容値を上回ったら該ドレス砥石を該研削砥石に接触させ、該負荷電流値が予め設定した該第１の許容値より小さい第２の許容値を下回ったら該ドレス砥石を該研削砥石から離間させる、研削装置である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、研削砥石の一部を被加工物に接触させて研削を行う研削工程中に、被加工物に接触していない研削砥石の下面にドレス砥石を間欠的に接触させるため、研削砥石が必要以上にドレスされて過度に磨耗するおそれが低減される。
【００１０】
また、研削砥石が目詰まり等して負荷電流値が上昇したときに、ドレス砥石を研削砥石に接触させて研削砥石の目詰まりを解消し、研削砥石の目詰まりが解消されて負荷電流値が低下したらドレス砥石を研削砥石から離間させるため、研削砥石のドレスを適切なタイミングで適切な時間だけ行うことができる。したがって、研削砥石がドレス砥石に接触している時間を削減することができ、研削砥石の摩耗量を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】研削装置全体を表す斜視図である。
【図２】研削開始時における研削装置の断面図である。
【図３】研削砥石がドレス砥石に当接されているときの研削装置の断面図である。
【図４】研削砥石からドレス砥石を離間させたときの研削装置の断面図である。
【図５】研削及びドレスによって推移する負荷電流値を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
１  研削装置の構成
図１に示す研削装置１は、チャックテーブル３０において保持された被加工物Ｗを研削手段７によって研削する研削装置である。被加工物Ｗは略円板形状のワークであり、被加工物Ｗの上面Ｗａは中心Ｗｏを有する。研削装置１のベース１０の上には、チャックテーブル３０と、チャックテーブル３０を下から囲繞するカバー３１と、カバー３１に接続された蛇腹カバー３２とが配設されている。チャックテーブル３０は、多孔質部材によって形成された吸引部３００と、吸引部３００を支持する枠体３０１とを備えている。チャックテーブル３０の下方には吸引源３６が接続されており、吸引源３６によって生み出される吸引力によって、吸引部３００の上面である保持面３００ａの上に載置された被加工物Ｗが、保持面３００ａに吸引保持される。また、チャックテーブル３０は、有底筒状のケーシング３４によって支持されており、研削時にはケーシング３４の内部に配設された回転手段３３によって駆動されて回転軸３５のまわりに回転する。
【００１３】
研削装置１のベース１０の内部に配設された内部ベース１００の上には、水平移動手段４が備えられている。水平移動手段４は、Ｙ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に平行に配設された一対のガイドレール４１と、ボールネジ４０に連結されボールネジ４０を回転軸４５のまわりに回動させるモータ４２と、内部のナットがボールネジ４０に螺合し底部がガイドレール４１に摺接する可動板４３とを備えている。モータ４２がボールネジ４０を回転軸４５のまわりに回転させると、可動板４３がガイドレール４１に案内されて水平方向（Ｙ軸方向）に相対的に移動し、これに伴い、可動板４３にケーシング３４を介して支持されたチャックテーブル３０が、カバー３１とともにＹ軸方向に往復移動する。また、カバー３１がＹ軸方向に移動すると、蛇腹カバー３２が伸縮する。
【００１４】
研削装置１のベース１０の上の後方側（＋Ｙ方向側）にはコラム１１が立設されており、コラム１１の−Ｙ方向側の側面には研削手段７と研削手段７をＺ軸方向に昇降移動させる研削送り手段５とが配設されている。研削手段７は、Ｚ軸方向の軸心７５を有する回転軸７０と、回転軸７０を回転可能に支持するハウジング７１と、回転軸７０を回転駆動するモータ７２と、回転軸７０の下端に接続された円環状のマウント７３と、マウント７３の下面に着脱可能に連結された研削ホイール７４とを備える。研削ホイール７４は、基台７４１と、基台７４１の下面７４１ａに環状に配列された略直方体形状の複数の研削砥石７４０とを備える。研削砥石７４０は、砥粒が結合剤等によって固着されて形成されており、その下面７４０ａが、被加工物Ｗを研削する研削面となっている。
【００１５】
なお、研削砥石７４０に用いられる砥粒の粒度は、被加工物Ｗの材質に応じて設定する。例えば、被加工物Ｗがエポキシ樹脂からなる場合は、粒度の番手が＃３０００〜＃４０００であることが好ましく、また、この場合の結合剤はビトリファイドボンドであることが好ましい。
【００１６】
研削送り手段５は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０に平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０の上端に連結されボールネジ５０を回動させるモータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合し側部がガイドレール５１に摺接する昇降板５３と、昇降板５３に連結され研削手段７を保持するホルダ５４とを備えており、モータ５２がボールネジ５０を回動させると、これに伴い昇降板５３がガイドレール５１に案内されてＺ軸方向に昇降移動し、ホルダ５４に保持された研削手段３が保持面３００ａに対して垂直なＺ軸方向に研削送りされる構成となっている。
【００１７】
研削装置１には、研削装置１の各部を電気信号によって制御する制御手段９が配設されており、制御手段９には、負荷電流値測定部９０が配設されている。負荷電流値測定部９０は、上記のモータ７２にかかる負荷電流の値を測定する図示しない電流計を備え、モータ７２に接続されている。また、負荷電流値測定部９０には負荷電流値の上限値である第１の許容値と下限値である第２の許容値とを記憶させることができる。なお、負荷電流値の上限許容値である第１の許容値よりも、下限許容値である第２の許容値は、小さい値である。
【００１８】
上記のカバー３１の上には、チャックテーブル３０に隣接してドレス手段２が配設されている。ドレス手段２には、テーブル２２と、テーブル２２を収容するシリンダ２１とが備えられており、テーブル２２の上には、ドレス砥石２００が固着された基材２０１が着脱可能に配設されている。
【００１９】
なお、ドレス砥石２０を構成する砥粒の粒度は、被加工物Ｗの材質に応じて設定する。例えば、被加工物Ｗがエポキシ樹脂からなるものである場合は、＃２０００程度の番手の粒度を有する砥粒がメタルボンドによって結合されて形成されたものであるか、または、粒度が同程度の砥粒が電着されて形成されたものであるのが好ましい。
【００２０】
テーブル２２の下方には、テーブル２２を昇降移動させる昇降機構２３が配設され、昇降機構２３には吸引源２３０、エア源２３１及びバルブ２３２が備えられている。吸引源２３０及びエア源２３１は、バルブ２３２を介してシリンダ２１に接続されており、制御手段９によって信号が送られてバルブ２３２が制御されることで、吸引源２３０及びエア源２３１がシリンダ２１に択一的に連通される。吸引源２３０がシリンダ２１に連通されているときには、吸引源２３０で生み出される吸引力によってシリンダ２１の内部の気体を吸引することで、テーブル２２を下方から吸引してシリンダ２１に収容することができる。また、エア源２３１がシリンダ２１に連通されているときには、エア源２３１からシリンダ２１の内部に空気を供給することで、シリンダ２１に収容されたテーブル２２を下方から付勢してシリンダ２１の上方へ突出させることができる。
【００２１】
２  研削装置の動作
上記の構成の研削装置１を用いて研削加工を実施し、研削砥石７４０をドレス砥石２０を用いてドレスする際の研削装置１の動作について説明する。なお、被加工物Ｗは、エポキシ樹脂からなるものであるとする。
【００２２】
（保持工程）
図１に示した研削装置１のチャックテーブル３０の保持面３００ａの上に被加工物Ｗを載置し、吸引源３６が発揮する吸引力によって吸引保持する。
【００２３】
その後、モータ４２の駆動力によってボールネジ４０を回転軸４５の周りに回転させて、ガイドレール４１に沿って可動板４３をＹ軸方向に移動させることで、可動板４３にケーシング３４を介して支持されているチャックテーブル３０をＹ軸方向に移動させる。これにより、チャックテーブル３０とドレス手段２とが研削砥石７４０の下方に移動し、チャックテーブル３０によって保持された被加工物Ｗと研削砥石７４０とのＹ軸方向の位置合わせ及び、ドレス手段２と研削砥石７４０とのＹ軸方向の位置合わせがなされる。
【００２４】
図２に示すように、位置合わせの完了時においては、被加工物Ｗの上面Ｗａの円の中心Ｗｏが研削砥石７４０の下面７４０ａの下方に位置付けられており、研削砥石７４０が研削送りされて研削砥石７４０と被加工物Ｗとが当接した際に、研削砥石７４０の回転軌道が被加工物Ｗの回転中心Ｗｏを通るように被加工物Ｗが位置付けられる。このとき、複数の研削砥石７４０のうちの一部が被加工物Ｗの上方の領域Ａに位置し、それ以外の研削砥石７４０は被加工物Ｗの上方でないテーブル２２側の領域Ｂに位置している。すなわち、被加工物Ｗからオーバーハングした研削砥石７４０のテーブル２２側の領域Ｂが被加工物Ｗから相対的に右方（＋Ｘ方向側）にせり出した状態となっており、ドレス手段２は、研削砥石７４０のオーバーハングした領域Ｂの下方に位置付けられる。
【００２５】
（研削工程）
モータ７２によって駆動されて、回転軸７０がＺ軸方向の軸心７５のまわりに回転するのに伴い、回転軸７０にマウント７３を介して連結された研削ホイール７４の研削砥石７４０が同じく軸心７５の周りに回転する。保持工程において、複数の研削砥石７４０のうちの一部が被加工物Ｗの上方の領域Ａに位置し、それ以外の研削砥石７４０は被加工物Ｗの上方でないテーブル２２側の領域Ｂに位置するようにしたため、複数の研削砥石７４０は、領域Ａと領域Ｂとを交互に通りながら回転する。また、回転手段３３によって駆動されてチャックテーブル３０が回転軸３５のまわりに回転し、これに伴い、チャックテーブル３０に保持された被加工物Ｗが回転軸３５のまわりに回転している。この状態で研削送り手段５のモータ５２によってボールネジ５０を回転駆動し、昇降板５３をガイドレール５１に沿って−Ｚ方向に所定の速度で降下させる。昇降板５３の降下に伴って、昇降板５３に支持されたホルダ５５が降下し、図３に示すように、研削砥石７４０が回転しながらチャックテーブル３０に吸引保持された被加工物Ｗと当接する。さらに続けて回転する研削砥石７４０を−Ｚ方向に所定の研削送り速度で降下させて回転する環状の研削砥石７４０の下面７４０ａの一部をチャックテーブル３０において保持された回転する被加工物Ｗの上面Ｗａに接触させて被加工物Ｗを研削する。
【００２６】
このとき、ドレス手段２については、吸引源２３０により発揮される吸引力によってシリンダ２１の内部の気体が吸引されており、これによってテーブル２２が下方から吸引されてシリンダ２１に収容されている。そして、テーブル２２の上に配設されたドレス砥石２００の上面２００ａは研削砥石７４０の下面７４０ａから離間されている。
【００２７】
（ドレス工程）
たとえば、研削開始から所定の時間経過後、研削時に生じた研削砥石７４０の目詰まり等の解消を目的とした研削砥石７４０のドレスを行うために、制御手段９からバルブ２３２に制御信号が送られる。制御手段９からバルブ２３２に制御信号が送られると、バルブ２３２が切り替え制御され、吸引源２３０とシリンダ２１とが連通された状態からエア源２３１とシリンダ２１とが連通された状態へと切り替わる。エア源２３１とシリンダ２１とが連通されると、図４に示すように、エア源２３１からシリンダ２１に供給される空気の圧力により、テーブル２２が下方から付勢されてシリンダ２１の上方へと突出する。テーブル２２がシリンダ２１の上方へと突出すると、テーブル２２の上に配設されたドレス砥石２００がオーバーハングした研削砥石７４０の領域Ｂに接触し、被加工物Ｗの研削加工と並行して研削砥石７４０のドレスが行われる。
【００２８】
さらに、研削砥石７４０がドレスされて研削砥石７４０の研削能力が十分に回復したと思われるタイミングで、例えばドレス開始から所定時間経過後、制御手段９からバルブ２３２に制御信号が送られる。制御手段９から送られた制御信号によってバルブ２３２が切り替え制御され、図３のように、エア源２３１とシリンダ２１とが連通された状態から吸引源２３０とシリンダ２１とが連通された状態に切り替わると、再び吸引源２３０が発揮する吸引力によってテーブル２２はシリンダ２１の下方から吸引されて、−Ｚ方向へと降下しシリンダ２１に収容される。テーブル２２が降下されると、ドレス砥石２００が研削砥石７４０から離間され、研削砥石７４０のドレスが行われなくなる。
【００２９】
このように、予め設定された時間の間隔をおいて、制御手段９からバルブ２３２に制御信号を送り、上記のような吸引源２３０とシリンダ２１とが連通されている状態（図３）と、エア源２３１とシリンダ２１とが連通されている状態（図４）とを交互に切り替える。これにより、研削砥石７４０で被加工物Ｗを研削加工しながら、間欠的に研削砥石７４０のドレスを行うことができる。なお、制御手段９からバルブ２３２に制御信号を送るタイミングは、経験上、研削によって生じる研削砥石７４０の目詰まり等により研削砥石７４０の研削能力が低下すると思われるタイミングや、ドレスによって研削砥石７４０の下面７４０ａの自生発刃が促され研削砥石７４０の研削能力が研削開始時と同等となると思われるタイミング等である。また、ドレスを開始するタイミング及びドレスを終了するタイミングは、以下に示すように、実際の目詰まりの状況等に応じて制御するようにしてもよい。この場合、上記ドレス工程は、以下に説明する接触工程と離間工程とから構成ざれる。
【００３０】
（接触工程）
上記のドレス工程では、モータ７２に接続された負荷電流値測定部９０においてモータ７２にかかる負荷電流の値を測定し、負荷電流値が負荷電流値測定部９０に記憶された上限値である第１の許容値を上回ったときに、制御手段９によるバルブ２３２の切り替え制御を行い、ドレスを開始させる。
【００３１】
研削砥石７４０による被加工物Ｗの研削中は、研削によって生じた研削屑等が研削砥石７４０の下面７４０ａに付着して目詰まりが起きることで、研削砥石７４０にかかる負荷は研削前よりも大きくなる。研削砥石７４０の回転時には、図示しない電源からモータ７２に電力が供給され続けており、研削砥石７４０にかかる負荷が大きくなった場合でも回転軸７０を一定の回転数で回転させるようにモータ７２がフィードバック制御されている。従って、研削により研削砥石７４０の下面７４０ａに研削屑が付着して研削砥石７４０にかかる負荷が増大すると、モータ７２にかかる負荷電流値が上昇する。
【００３２】
そこで、モータ７２にかかる負荷電流値の上限値として第１の許容値を負荷電流値測定部９０に予め記憶させておき、研削中にモータ７２にかかる負荷電流値を負荷電流値測定部９０で測定する。負荷電流値測定部９０で測定された負荷電流の値が第１の許容値を上回ると、制御手段９からバルブ２３２に制御信号が送られて切り替え制御が行われ、吸引源２３０とシリンダ２１とが連通された状態（図３）からエア源２３１とシリンダ２１とが連通された状態（図４）へと切り替えられる。
【００３３】
エア源２３１とシリンダ２１とが連通されると、エア源２３１から供給される空気の圧力によってテーブル２２が付勢され、ドレス砥石２００が被加工物Ｗからオーバーハングされた研削砥石７４０の領域Ｂに接触されて研削砥石７４０がドレスされる。
【００３４】
研削砥石７４０がドレスされることで、研削砥石７４０の下面がドレス砥石２００で削られ、研削砥石７４０の下面７４０ａに生じていた目詰まり等が解消されると、研削砥石７４０にかかる負荷が次第に減少し、フィードバック制御されているモータ７２にかかる負荷電流値が低下する。
【００３５】
（離間工程）
負荷電流測定部９０には、負荷電流値の下限値である第２の許容値が予め記憶されており、モータ７２にかかる負荷電流値が低下して第２の許容値を下回ると、制御手段９からバルブ２３２に制御信号が送られてバルブ２３２の切り替え制御が行われ、エア源２３１とシリンダ２１とが連通された状態（図４）から吸引源２３０とシリンダ２１とが連通された状態（図３）へと切り替えられる。吸引源２３０とシリンダ２１とが連通されることで、再び、吸引源２３０に発揮される吸引力により吸引されて降下しテーブル２２がシリンダ２１に収容された状態になるとともに、ドレス砥石２００の上面２００ａが研削砥石７４０の下面７４０ａから離間されてドレスが行われなくなる。
【００３６】
負荷電流値測定部９０に記憶された第１の許容値及び第２の許容値と負荷電流値測定部９０で測定されたモータ７２にかかる負荷電流値との比較に基づいて、制御手段９によるバルブ２３２の切り替え制御が行われることで、上記の接触工程と離間工程とが繰り返し行われ、図５に示すように、モータ７２にかかる負荷電流値が増減する。負荷電流値測定部９０で測定される負荷電流値に応じて間欠的に研削砥石７４０のドレスを行うことができるため、ドレス砥石２００の上面２００ａが研削砥石７４０の下面７４０ａに接触する時間を短縮することができ、ドレスによる研削砥石７４０の摩耗量を削減することができる。
【００３７】
なお、被加工物が難削材の場合においても、同様の制御手法を用いることができる。
【符号の説明】
【００３８】
１：研削装置  １０：ベース  １００：内部ベース
２：ドレス手段  ２００：ドレス砥石  ２００ａ：ドレス砥石の上面  ２０１：基材
２１：シリンダ  ２２：テーブル  ２３：昇降機構  ２３０：吸引源  ２３１：エア源
２３２：バルブ  ３０：チャックテーブル  ３００：吸引部  ３００ａ：保持面
３０１：枠体  ３１：カバー  ３２：蛇腹カバー  ３３：回転手段  ３４：ケーシング
３５：回転軸  ３６：吸引源
４：水平移動手段  ４０：ボールネジ  ４１：ガイドレール  ４２：モータ
４３：可動板  ４５：回転軸
５：研削送り手段  ５０：ボールネジ  ５１：ガイドレール  ５２：モータ
５３：昇降板  ５５：ホルダ
７：研削手段  ７０：回転軸  ７１：ハウジング  ７２：モータ  ７３：マウント
７４：研削ホイール  ７４０：研削砥石  ７４０ａ：研削砥石の下面  ７４１：基台
７５：回転軸
９：制御手段  ９０：負荷電流値測定部
Ｗ：被加工物  Ｗａ：被加工物の上面  Ｗｏ：被加工物の上面の中心
Ａ：研削砥石の外周縁  Ｂ：研削砥石のオーバーハングされた領域
【図１】
2020104213.tif 000003
【図２】
2020104213.tif 000004
【図３】
2020104213.tif 000005
【図４】
2020104213.tif 000006
【図５】
2020104213.tif 000007