(57)【要約】【課題】電動アクチュエータの動力伝達部や電動アクチュエータで制御する弁体の劣化状態を示す劣化指標を容易に計算する。【解決手段】開度制御部１９Ａが、モータ１３を駆動制御して、任意の制御開度に出力軸１６を回動し、劣化指標処理部１９Ｂが、出力軸１６を任意の制御開度に回動した際にリターンスプリング１５およびモータ１３に生じたスプリングトルクＴｓおよびモータトルクＴｍに基づいて、動力伝達部１４および弁体２２の劣化指標として、動力伝達部１４および弁体２２にかかる負荷トルクＴｑを計算する。【選択図】  図１
2020118281.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁体を回動するための出力軸と、
動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、
前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、
前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備え、
前記制御回路は、
前記モータを駆動制御して前記出力軸を回動する開度制御部と、
前記出力軸を回動中の所定の計測タイミングに前記リターンスプリングおよび前記モータに生じた、スプリングトルクおよびモータトルクに基づいて、前記動力伝達部および前記弁体の劣化指標として、前記動力伝達部および前記弁体にかかる負荷トルクを計算する劣化指標処理部とを有する
ことを特徴とする電動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の電動アクチュエータにおいて、
前記出力軸の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサをさらに備え、
前記劣化指標処理部は、前記計測タイミングに前記出力側角度センサで検出された出力側開度と、前記リターンスプリングのばね定数とに基づいて、前記スプリングトルクを計算する
ことを特徴とする電動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の電動アクチュエータにおいて、
前記劣化指標処理部は、前記計測タイミングに前記モータに流れたモータ電流に基づいて、前記モータトルクを計算することを特徴とする電動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１に記載の電動アクチュエータにおいて、
前記劣化指標処理部は、前記モータトルクをＴｍとし、前記計測タイミングにおける前記出力軸の出力側開度をθａｘとし、前記リターンスプリングのばね定数をｋとした場合、前記負荷トルクＴｑを次の式で計算することを特徴とする電動アクチュエータ。
Ｔｑ＝−Ｔｍ−ｋ×θａｘ
【請求項５】
弁体を回動するための出力軸と、動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備える電動アクチュエータで用いられる劣化指標計算方法であって、
前記制御回路の開度制御部が、前記モータを駆動制御して前記出力軸を回動する開度制御ステップと、
前記制御回路の劣化指標処理部が、前記出力軸を回動中の所定の計測タイミングに前記リターンスプリングおよび前記モータに生じた、スプリングトルクおよびモータトルクに基づいて、前記動力伝達部および前記弁体の劣化指標として、前記動力伝達部および前記弁体にかかる負荷トルクを計算する劣化指標処理ステップと
を備えることを特徴とする劣化指標計算方法。
【請求項６】
請求項５に記載の劣化指標計算方法において、
前記劣化指標処理ステップは、前記計測タイミングに前記出力軸の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサで検出された出力側開度と、前記リターンスプリングのばね定数とに基づいて、前記スプリングトルクを計算するステップを含むことを特徴とする劣化指標計算方法。
【請求項７】
請求項６に記載の劣化指標計算方法において、
前記劣化指標処理ステップは、前記計測タイミングに前記モータに流れたモータ電流に基づいて、前記モータトルクを計算するステップを含むことを特徴とする劣化指標計算方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スプリングリターン形の電動アクチュエータに関し、特に、電動アクチュエータの動力伝達部、および、電動アクチュエータで制御する弁体に関する劣化状態の判定に用いる劣化指標を計算するための劣化指標計算技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
バルブやダンパなどの操作端を電動で開閉制御する電動アクチュエータの１つとして、出力軸に取り付けたリターンスプリングの復帰力で電源供給遮断時に出力軸を所定の回動位置まで戻す、いわゆるスプリングリターン形の電動アクチュエータがある（例えば、特許文献１など参照）。
【０００３】
この電動アクチュエータは、通電時、動力伝達部を介してモータで出力軸を回動させて操作端の開度を調整すると同時にリターンスプリングを巻き上げ、モータのディテントトルクで回動位置を保持している。これにより、その後に外部からの電源供給が遮断された場合、モータの電動クラッチへの電源供給が停止されてクラッチ断となって、モータのディテントトルクが非常に小さくなるため、リターンスプリングの復帰力により全閉位置や全開位置などの所定の回動位置まで、出力軸が強制的に戻されることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１６４８７８号公報
【特許文献２】特開２０１５−１２５０３８号公報
【特許文献３】特開２０１５−１１４１８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
通常、電動アクチュエータで用いられる動力伝達部は、減速ギヤから構成されており、電動アクチュエータで制御する弁体は、耐食性を有する材料からなる。したがって、これら動力伝達部や弁体は、長期間にわたり十分な耐久性を持つと考えられる。このため、動力伝達部や弁体の劣化状態を検出する必要性は低く、従来より電動アクチュエータの劣化判定機能として具体化されていない。
一方、電動アクチュエータや操作端には保証期間が設定されていて、保証期間の満了に応じて新たなものに交換する必要がある。しかし、実際には保証期間を超えて長期間にわたり使用される場合もある。
【０００６】
このような保証期間を超えて長期にわたり使用した場合、電動アクチュエータの動力伝達部が劣化して故障や経年変化などにより設計当初の動力伝達トルクが得られない場合も考えられる。また、弁体が劣化して変形、故障、経年変化などにより設計当初の性能が得られない場合も考えられる。このような場合、電動アクチュエータから弁体を精度よく開閉制御できなくなったり、電源供給遮断時、リターンスプリングの復帰力により、出力軸を全閉位置や全開位置などの所定の回動位置まで確実に戻せなくなったりする可能性がある。このため、動力伝達部や弁体の劣化状態を把握しておくことが重要となる。
【０００７】
本発明はこのような課題を解決するためのものであり、電動アクチュエータの動力伝達部や電動アクチュエータで制御する弁体の劣化状態を示す劣化指標を容易に計算できる劣化指標計算技術を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的を達成するために、本発明にかかる電動アクチュエータは、弁体を回動するための出力軸と、動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備え、前記制御回路は、前記モータを駆動制御して前記出力軸を回動する開度制御部と、前記出力軸を回動中の所定の計測タイミングに前記リターンスプリングおよび前記モータに生じた、スプリングトルクおよびモータトルクに基づいて、前記動力伝達部および前記弁体の劣化指標として、前記動力伝達部および前記弁体にかかる負荷トルクを計算する劣化指標処理部とを有している。
【０００９】
また、本発明にかかる上記電動アクチュエータの一構成例は、前記出力軸の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサをさらに備え、前記劣化指標処理部は、前記計測タイミングに前記出力側角度センサで検出された出力側開度と、前記リターンスプリングのばね定数とに基づいて、前記スプリングトルクを計算するようにしたものである。
【００１０】
また、本発明にかかる上記電動アクチュエータの一構成例は、前記劣化指標処理部が、前記計測タイミングに前記モータに流れたモータ電流に基づいて、前記モータトルクを計算するようにしたものである。
【００１１】
また、本発明にかかる上記電動アクチュエータの一構成例は、前記劣化指標処理部が、前記モータトルクをＴｍとし、前記計測タイミングにおける前記出力軸の出力側開度をθａｘとし、前記リターンスプリングのばね定数をｋとした場合、前記負荷トルクＴｑを次の式、Ｔｑ＝−Ｔｍ−ｋ×θａｘで計算するようにしたものである。
【００１２】
また、本発明にかかる劣化指標計算方法は、弁体を回動するための出力軸と、動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備える電動アクチュエータで用いられる劣化指標計算方法であって、前記制御回路の開度制御部が、前記モータを駆動制御して前記出力軸を回動する開度制御ステップと、前記制御回路の劣化指標処理部が、前記出力軸を回動中の所定の計測タイミングに前記リターンスプリングおよび前記モータに生じた、スプリングトルクおよびモータトルクに基づいて、前記動力伝達部および前記弁体の劣化指標として、前記動力伝達部および前記弁体にかかる負荷トルクを計算する劣化指標処理ステップとを備えている。
【００１３】
また、本発明にかかる上記劣化指標計算方法の一構成例は、前記劣化指標処理ステップが、前記計測タイミングに前記出力軸の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサで検出された出力側開度と、前記リターンスプリングのばね定数とに基づいて、前記スプリングトルクを計算するを含んでいる。
【００１４】
また、本発明にかかる上記劣化指標計算方法の一構成例は、前記劣化指標処理ステップが、前記計測タイミングに前記モータに流れたモータ電流に基づいて、前記モータトルクを計算するステップを含んでいる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、動力伝達部および弁体の劣化指標として、動力伝達部および弁体にかかる負荷トルクを容易に把握できるため、当初の設計値からの乖離幅に応じて、動力伝達部および弁体の劣化状態を容易に把握することができる。したがって、乖離幅が大きくなって劣化が進んだ場合には、故障発生する前に適切な対応をとることができ、極めて効果的な予知保全を実現することが可能となる。これにより、保証期間を超える長期使用を想定した場合でも、一定の信頼性を提供することが可能となる。また、角度センサや制御回路など、電動アクチュエータの既存構成を用いて劣化指標を容易に計算でき、回路規模さらには製品コストの増大を必要とすることなく、電動アクチュエータの信頼性を高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、電動アクチュエータの構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、流量制御処理を示すフローチャートである。
【図３】図３は、出力側センサ出力値と出力側開度との関係を示すグラフである。
【図４】図４は、劣化指標処理を示すフローチャートである。
【図５】図５は、劣化指標処理動作を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
まず、図１を参照して、本実施の形態にかかる電動アクチュエータ１０について説明する。図１は、電動アクチュエータの構成を示すブロック図である。
【００１８】
この電動アクチュエータ１０は、例えば、空調システム等の設備において、配管を流れる冷温水の流量を制御する流量制御バルブや、空気の風量を調整する風量調整ダンパーなどの弁体を電動制御する装置である。以下では、図１に示すように、流量制御バルブの弁本体２０に電動アクチュエータ１０を取り付けた場合を例として説明するが、これに限定されるものではなく、風量調整ダンパーなど、電動制御可能な弁体を有する他の機器に取り付けた場合にも、同様にして適用可能である。
【００１９】
［弁本体］
弁本体２０は、流体が流れる流路２１が内部に形成された金属管からなり、流路２１の途中には流体の流量を制御するための弁体２２が回動自在に取り付けられている。弁体２２には、弁本体２０の外部へ一端が導出された弁軸２６が結合されており、この弁軸２６の回動操作により弁体２２が回動し、流路２１の断面積、すなわち弁開度が変化して、流体の流量が制御される。
【００２０】
流路２１の内壁２３のうち、弁体２２の一次側（流体上流側）には圧力センサＳ１が配置されており、弁体２２の二次側（流体下流側）には圧力センサＳ２が配置されている。これら圧力センサＳ１，Ｓ２は、それぞれ流路２１の一次側圧力Ｐ１および二次側圧力Ｐ２を検出し、得られた検出結果を示す圧力検出信号を電動アクチュエータ１０へ出力する。これら一次側圧力Ｐ１および二次側圧力Ｐ２と、弁開度に相当する出力側開度θａからなる開度現在値θとに基づいて流路２１を流れる流体の流量が計測される。
【００２１】
［電動アクチュエータ］
電動アクチュエータ１０は、ヨーク３１を介して弁本体２０の本体上面２４に取り付けられており、継手３０を介して弁軸２６と接続されている出力軸１６を回動制御することにより、弁体２２の弁開度を制御して、流体の流量制御を行う機能を有している。
電動アクチュエータ１０には、主な構成として、設定回路１１、モータ駆動回路１２、モータ１３、動力伝達部１４、リターンスプリング１５、出力軸１６、出力側角度センサ１７Ａ、記憶回路１８、および制御回路１９が設けられている。
【００２２】
設定回路１１は、上位装置（図示せず）から受信した流量目標信号などの設定信号に含まれる、流量目標値Ｑｒｅｆなどの設定値を取得し、制御回路１９へ出力する機能を有している。
モータ駆動回路１２は、制御回路１９から出力されたモータ制御信号に基づいて、モータ１３を駆動する機能を有している。
【００２３】
モータ１３は、ＤＣモータ、ＡＣモータ、ステッピングモータなどの制御用モータからなり、モータ駆動回路１２からの駆動信号により、指定された方向へ指定された角度分だけシャフト１３Ａを回転させる機能と、外部からの電動アクチュエータ１０に対する電源供給の有無に応じてディテントルクの発生有無を切り替えるのためのクラッチ機能とを有している。
動力伝達部１４は、歯数の異なる複数の歯車が噛合されたギヤボックスなどの動力伝達機構からなり、モータ１３のシャフト１３Ａの回転速度を減速して出力軸１６を回動させる機能を有している。
【００２４】
これにより、制御回路１９から出力されたモータ制御信号に基づいて、モータ駆動回路１２から駆動信号がモータ１３に出力される。また、この駆動信号に応じてモータ１３のシャフト１３Ａが回転し、その回転出力が動力伝達部１４で減速されて出力軸１６を回動させ、継手３０および弁軸２６を介して弁体２２が所定の回動角度すなわち弁開度まで回動することになる。
【００２５】
リターンスプリング１５は、一般的なコイルバネからなり、出力軸１６に取り付けられて、電源遮断時に動力伝達部１４でモータ１３のシャフト１３Ａから解放された出力軸１６を、自己の復帰力で所定の開度位置まで戻すスプリングである。
出力軸１６は、継手３０および弁軸２６を介して弁体２２と連結されて、弁体２２を回動するための軸である。
【００２６】
出力側角度センサ１７Ａは、動力伝達部１４または出力軸１６に取り付けられて、出力軸１６の回動角度を検出し、回動角度に応じた出力側センサ出力値Ｓａを制御回路１９へ出力する角度センサである。
以下では、出力側角度センサ１７Ａとしては、例えば円形差動トランス型角度センサ（特許文献２）や磁気抵抗型角度センサ（特許文献３）を用いた場合を例として説明する。本発明は、これら特許文献２および特許文献３に記載されたすべての内容を含むものとする。なお、出力側角度センサ１７Ａは、これに限定されるものではなく、ポテンショメータ、インクリメンタルエンコーダ、アブソリュートエンコーダなど、回転角度が計測できるセンサを出力側角度センサ１７Ａとして用いてもよい。
【００２７】
記憶回路１８は、不揮発性の半導体メモリからなり、流量現在値Ｑの計算に用いる弁体２２に固有の流量係数Ｃｖを特定するための特性テーブルなど、流量制御や劣化指標計算に用いる各種の処理データを記憶する機能を有している。この特性テーブルには、流路２１の一次側圧力Ｐ１および二次側圧力Ｐ２の差圧ΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２と弁体２２の開度現在値θとの組み合わせごとに、弁体２２に固有の流量係数Ｃｖが予め登録されている。これら特性テーブルの各データは、形状や材質などの弁体２２の特徴に基づいて別途計算されたものである。
【００２８】
制御回路１９は、ＣＰＵとその周辺回路を有し、ＣＰＵとプログラムとを協働させることにより、流量制御や劣化指標計算のため処理を実行する各種の処理部を実現する機能を有している。
制御回路１９は、主な処理部として、開度制御部１９Ａと劣化指標処理部１９Ｂとを備えている。
【００２９】
開度制御部１９Ａは、圧力センサＳ１，Ｓ２から出力された圧力検出信号が示す一次側圧力Ｐ１および二次側圧力Ｐ２と開度現在値θとに基づいて、流路２１を流れる流体の流量現在値Ｑを計算する機能と、この流量現在値Ｑと流量目標値Ｑｒｅｆとの流量偏差ΔＱに基づいて、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路１２へ出力することにより、弁体２２の弁開度を調整して流量現在値Ｑを制御する機能と、劣化指標計算時、任意の制御開度に出力軸１６を回動する機能とを有している。
【００３０】
以下では、劣化指標計算時に出力軸１６の回動を開始し、その後の計測タイミングの到来時点に検出した出力側開度θａｘに基づいて負荷トルクＴｑを計算する場合を例として説明する。なお、計測タイミングについては、出力軸１６を所定の開度まで回動した時点や、回動開始から所定の時間だけ経過した時点など、任意のタイミングを用いればよい。
【００３１】
劣化指標処理部１９Ｂは、計測タイミングが到来した時点に、リターンスプリング１５およびモータ１３に生じた、スプリングトルクＴｓおよびモータトルクＴｍに基づいて、動力伝達部１４および弁体２２の劣化指標として、動力伝達部１４および弁体２２にかかる負荷トルクＴｑを計算する機能を有している。
【００３２】
具体的には、劣化指標処理部１９Ｂは、計測タイミングが到来した時点に、出力側角度センサ１７Ａで検出された出力側開度θａｘと、リターンスプリング１５のばね定数ｋとに基づいて、スプリングトルクＴｓを計算する機能と、計測タイミングが到来した時点に検出したモータ１３のモータ電流に基づいて、モータトルクＴｍを計算する機能とを有している。なお、以下では、モータ電流に基づきモータトルクを計算する場合を例として説明するが、これに限定されるものではなく、他の手法でモータトルクを特定してもよい。
【００３３】
また、劣化指標処理部１９Ｂは、モータトルクをＴｍとし、計測タイミングの到来時における出力軸１６の出力側開度をθａｘとし、リターンスプリング１５のばね定数をｋとした場合、負荷トルクＴｑを後述の式（３）で計算する機能とを備えている。
【００３４】
本発明において、制御開度は、開度制御部１９Ａが開度制御に用いる目標値であり、出力側開度は、出力側角度センサ１７Ａで検出された出力軸１６の回動角度を示す検出値であるものとする。なお、開度は全閉状態と全開状態との間を百分率で表した値であり、回動角度は開度を角度で表した値であるが、両者は一意に対応するものであり、本発明において、制御開度、出力側開度、あるいは弁側開度を、単に回動角度という場合もある。
【００３５】
［第１の実施の形態の流量制御動作］
次に、図２を参照して、出力側角度センサ１７Ａで検出した出力側開度θａを用いた、本実施の形態にかかる電動アクチュエータ１０の流量制御動作について説明する。図２は、流量制御処理を示すフローチャートである。
制御回路１９は、流路２１を流れる流体の流量を制御する場合、図２の流量制御処理を実行する。
【００３６】
図２の流量制御処理の開始時において、設定回路１１には、予め流量目標値Ｑｒｅｆが設定されているものとする。また、記憶回路１８には、弁体２２に関する特性テーブルが予め登録されているものとする。
また、制御回路１９内の記憶部（図示せず）には、出力側角度センサ１７Ａの出力側センサ出力値Ｓａと弁体２２の弁開度との対応関係の基準となる出力側出力基準値Ｓｂが予め設定されているものとする。
【００３７】
図３は、出力側センサ出力値と出力側開度との関係を示すグラフである。出力側角度センサ１７Ａとして用いられる、円形差動トランス型角度センサおよび磁気抵抗型角度センサは、弁軸２６の中間位置角度すなわち５０％開度を中心として、全閉方向および全開方向に対称となる出力側センサ出力値Ｓａを出力する構造を有している。したがって、図３に示すように、出力側センサ出力値Ｓａと出力側開度θａとの関係は線形比例するとともに、全閉および全開を示す電圧値は、５０％開度を示す電圧値＝０ｖを中心として、等しい電圧幅Ｓｂだけ離れた電圧値−Ｓｂ，Ｓｂとなる。
【００３８】
まず、開度制御部１９Ａは、出力側角度センサ１７Ａから出力側センサ出力値Ｓａを取得し（ステップＳ１００）、予め設定されている出力側出力基準値Ｓｂに基づいて、Ｓａから現在開度値θ（出力側開度θａ）＝５０×（１＋Ｓａ／Ｓｂ）［％］を計算する（ステップＳ１０１）。
【００３９】
この際、出力側角度センサ１７Ａに温度センサＳ３を取り付け、この温度センサＳ３で検出された検出温度Ｔｘに基づいて、出力側角度センサ１７Ａの現在開度値θ（出力側開度θａ）を温度補正してもよい。なお、現在開度値θの温度補正は、本実施の形態において必須ではなく、出力側角度センサ１７Ａのセンサ出力が周囲温度の影響を受けない場合には、温度補正を省くこともできる。
【００４０】
次に、開度制御部１９Ａは、圧力センサＳ１，Ｓ２から出力された圧力検出信号が示す一次側圧力Ｐ１および二次側圧力Ｐ２を取得し（ステップＳ１０２）、これらＰ１，Ｐ２の差圧ΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２を計算する（ステップＳ１０３）。
続いて、開度制御部１９Ａは、差圧ΔＰと開度現在値θに対応する流量係数Ｃｖを記憶回路１８の特性テーブルから取得し（ステップＳ１０４）、流量係数Ｃｖと差圧ΔＰに基づいて、流路２１を流れる流体の流量現在値Ｑを計算する（ステップＳ１０５）。この際、流路２１の口径などによって定まる定数をＡとした場合、流量現在値Ｑは、Ｑ＝Ａ・Ｃｖ・（ΔＰ）1/2で求められる。
【００４１】
この後、開度制御部１９Ａは、ＱとＱｒｅｆの流量偏差ΔＱ＝Ｑ−Ｑｒｅｆを計算し（ステップＳ１０６）、ΔＱとゼロとを比較する（ステップＳ１０７）。
ここで、ΔＱがゼロと等しくΔＱ＝０である場合（ステップＳ１０７：ΔＱ＝０）、開度制御部１９Ａは、弁開度を変更することはないが、流量目標値Ｑｒｅｆが変更にならなくても、管路の状態により流量現在値Ｑが変化するため、ステップＳ１００に戻る。
【００４２】
一方、ΔＱがゼロより小さくΔＱ＜０である場合（ステップＳ１０７：ΔＱ＜０）、開度制御部１９Ａは、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路１２へ出力することにより、モータ１３をΔＱに相当する弁開度分だけ開方向に駆動し（ステップＳ１０８）、ステップＳ１００に戻る。
また、ΔＱがゼロより大きくΔＱ＞０である場合（ステップＳ１０７：ΔＱ＞０）、開度制御部１９Ａは、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路１２へ出力することにより、モータ１３をΔＱに相当する弁開度分だけ閉方向に駆動し（ステップＳ１０９）、ステップＳ１００に戻る。
【００４３】
［劣化指標処理動作］
次に、図４および図５を参照して、本実施の形態にかかる電動アクチュエータ１０の動作について説明する。図４は、劣化指標処理を示すフローチャートである。図５は、劣化指標処理動作を示す説明図である。
制御回路１９は、動力伝達部１４の劣化指標を計算する際、図４の劣化指標処理を実行する。
【００４４】
まず、開度制御部１９Ａは、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路１２へ出力することによりモータ１３を駆動して、出力軸１６の回動を開始する（ステップＳ１５０）。
その後、劣化指標処理部１９Ｂは、計測タイミングが到来するまで待機（ステップＳ１５１：ＮＯ）、計測タイミングが到来した時点で（ステップＳ１５１：ＹＥＳ）、出力側角度センサ１７Ａの出力側センサ出力値Ｓａから得られた出力側開度θａｘを取得する（ステップＳ１５２）。
【００４５】
続いて、劣化指標処理部１９Ｂは、計測タイミングが到来した時点にモータ１３に流れたモータ電流に基づいて、モータ１３のモータトルクＴｍを計算するとともに（ステップＳ１５３）、リターンスプリング１５のばね定数ｋと出力側開度θａｘとに基づいて、リターンスプリング１５のスプリングトルクＴｓを計算する（ステップＳ１５４）。
この後、劣化指標処理部１９Ｂは、モータトルクＴｍとスプリングトルクＴｓとに基づいて、動力伝達部１４および弁体２２の劣化指標として、動力伝達部１４および弁体２２にかかる負荷トルクＴｑを計算する（ステップＳ１５５）。
【００４６】
回動中の出力軸１６が任意の開度を通過する時点において、モータ１３、動力伝達部１４、リターンスプリング１５、および弁体２２で発生するそれぞれのトルクは、互いにつりあった状態にあり、これらトルクの総和はゼロとなる。図５に示すように、例えば、出力側開度θａｘにおいて、モータ１３のモータトルクをＴｍとし、リターンスプリング１５のスプリングトルクをＴｓとし、動力伝達部１４における動力伝達トルクをＴｄとし、弁体２２の弁体トルクをＴｖとした場合、出力側開度θａｘにおけるこれらトルクのつり合いは、次の式（１）で表される。
【００４７】
【数１】
2020118281.tif 000003
【００４８】
一方、リターンスプリング１５のばね定数をｋとした場合、出力側開度θａｘにおけるスプリングトルクＴｓは、次の式（２）で表される。
【００４９】
【数２】
2020118281.tif 000004
【００５０】
したがって、これら式（１）および式（２）とに基づいて、負荷トルクＴｑは、次の式（３）で表される。
【００５１】
【数３】
2020118281.tif 000005
【００５２】
この後、劣化指標処理部１９Ｂは、得られた負荷トルクＴｑと予め設定されている負荷トルクＴｑの正常範囲Ｅとを比較し（ステップＳ１５６）、負荷トルクＴｑが正常範囲Ｅ内である場合には（ステップＳ１５６：ＹＥＳ）、動力伝達部１４および弁体２２の劣化状態は正常であると判定し（ステップＳ１５７）、一連の劣化指標処理を終了する。正常範囲Ｅについては、動力伝達部１４および弁体２２の設計時に算出した、負荷トルクＴｑの初期値と許容範囲とに基づいて決定すればよい。
【００５３】
一方、負荷トルクＴｑが正常範囲Ｅ外である場合には（ステップＳ１５６：ＮＯ）、動力伝達部１４または弁体２２の劣化状態は異常であると判定し（ステップＳ１５８）、一連の劣化指標処理を終了する。得られた劣化状態判定結果については、劣化指標処理部１９ＢがＬＣＤやＬＥＤを用いた表示部（図示せず）でアラーム表示してもよく、データ通信により上位装置へ通知してもよい。
【００５４】
この際、劣化指標処理部１９Ｂが、負荷トルクＴｑの経時変化を定期的に計算し、データ通信により上位装置へ順次通知してもよい。さらには、劣化指標処理部１９Ｂが、計算した負荷トルクＴｑを記憶回路１８に時系列データとして順次保存しておき、この時系列データから生成した近似関数に基づき将来の負荷トルクＴｑの推定値Ｔｑ’推定し、推定値Ｔｑ’が正常範囲Ｅから離脱する時期を注意点として予測するようにしてもよい。これにより、動力伝達部１４および弁体２２の劣化時期すなわち交換時期を予測することができる。
【００５５】
［本実施の形態の効果］
このように、本実施の形態は、開度制御部１９Ａが、モータ１３を駆動制御して、任意の制御開度θａに出力軸１６を回動し、劣化指標処理部１９Ｂが、出力軸１６を回動中の所定の計測タイミングにリターンスプリング１５およびモータ１３に生じたスプリングトルクＴｓおよびモータトルクＴｍに基づいて、動力伝達部１４および弁体２２の劣化指標として、動力伝達部１４および弁体２２にかかる負荷トルクＴｑを計算するようにしたものである。
【００５６】
流量制御バルブや風量調整ダンパーなどの操作端が、保証期間を超えて長期にわたり使用された場合、動力伝達部１４や弁体２２が劣化して変形、故障、経年変化などにより設計当初の性能が得られない場合も考えられる。設計当初の性能が得られない場合、電動アクチュエータ１０から弁体２２を精度よく開閉制御できなくなったり、電源供給遮断時、リターンスプリング１５の復帰力により、出力軸１６を全閉位置や全開位置などの所定の回動位置まで確実に戻せなくなったりする可能性がある。このため、動力伝達部１４や弁体２２の劣化状態を把握しておくことが重要となる。
【００５７】
本実施の形態によれば、動力伝達部１４および弁体２２の劣化指標として、動力伝達部１４および弁体２２にかかる負荷トルクＴｑを容易に把握できるため、当初の設計値からの乖離幅に応じて、動力伝達部１４および弁体２２の劣化状態を容易に把握することができる。したがって、乖離幅が大きくなって劣化が進んだ場合には、故障発生する前に適切な対応をとることができ、極めて効果的な予知保全を実現することが可能となる。これにより、保証期間を超える長期使用を想定した場合でも、一定の信頼性を提供することが可能となる。また、出力側角度センサ１７Ａ、制御回路１９など、電動アクチュエータ１０の既存構成を用いて劣化指標を容易に計算でき、回路規模さらには製品コストの増大を必要とすることなく、電動アクチュエータ１０の信頼性を高めることが可能となる。
【００５８】
また、負荷トルクＴｑの経時変化を、劣化指標処理部１９Ｂや上位装置でモニタすることにより、動力伝達部１４や弁体２２の劣化時期すなわち交換時期を予測でき、流量制御バルブや風量調整ダンパーなどの予知保全に極めて有用である。また、劣化指標計算時には、弁体２２の開度が一時的に変化するものの、その所要時間は、出力側角度センサ１７Ａで開度を検出するという、極めて短い時間で済むため、アプリケーションによっては、通常の運転動作中であっても劣化指標計算を行うことができる。したがって、劣化指標処理動作を定期的に実行することにより、動力伝達部１４や弁体２２の劣化状態の変化をいち早く検出でき、迅速な対応をとることが可能となる。
【００５９】
また、本実施の形態において、出力軸１６の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサ１７Ａをさらに備え、劣化指標処理部１９Ｂが、計測タイミングに出力側角度センサ１７Ａで検出された制御開度θａとリターンスプリング１５のばね定数とに基づいて、スプリングトルクＴｓを計算するようにしてもよい。これにより、出力側角度センサ１７Ａという極めて簡素な構成でスプリングトルクＴｓを計算できる。
【００６０】
また、本実施の形態において、劣化指標処理部１９Ｂが、計測タイミングにモータ１３に流れたモータ電流に基づいて、モータトルクＴｍを計算するようにしてもよい。これにより、極めて簡素な演算処理でモータトルクＴｍを計算することができる。
【００６１】
また、本実施の形態において、劣化指標処理部１９Ｂが、モータトルクをＴｍとし、計測タイミングにおける出力軸１６の出力側開度をθａｘとし、リターンスプリング１５のばね定数をｋとした場合、負荷トルクＴｑを次の式、Ｔｑ＝−Ｔｍ−ｋ×θａで計算するようにしてもよい。これにより、極めて簡素な演算処理で負荷トルクＴｑを計算することができる。
【００６２】
［実施の形態の拡張］
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明のスコープ内で当業者が理解しうる様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００６３】
１０…電動アクチュエータ、１１…設定回路、１２…モータ駆動回路、１３…モータ、１３Ａ…シャフト、１４…動力伝達部、１５…リターンスプリング、１６…出力軸、１７Ａ…出力側角度センサ、１８…記憶回路、１９…制御回路、１９Ａ…開度制御部、１９Ｂ…劣化指標処理部、２０…弁本体、２１…流路、２２…弁体、２３…内壁、２４…本体上面、２６…弁軸、３０…継手、３１…ヨーク、Ｓ１，Ｓ２…圧力センサ、Ｓ３…温度センサ、Ｑｒｅｆ…流量目標値、Ｑ…流量現在値、ΔＱ…流量偏差、Ｓａ…出力側センサ出力値、Ｓｂ…出力側出力基準値、Ｔｘ…検出温度、Ｐ１…一次側圧力、Ｐ２…二次側圧力、ΔＰ…差圧、θａ，θａｘ…出力側開度、Ｔｍ…モータトルク、Ｔｄ…動力伝達トルク、Ｔｓ…スプリングトルク、Ｔｖ…弁体トルク、Ｔｑ…負荷トルク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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