(57)【要約】【課題】簡単にワークの固定方式を変更できる多孔質パッド及びワークチャック装置を提供する。【解決手段】多孔質パッド１０は、流体を通過させ、磁性体のワークＷを磁力により固定可能なマグネットチャック５０のチャック面５０ａに設置される。多孔質パッド１０には、チャック面５０ａに位置する吸引開口部の一例である第１開口部５３ａ１に対向して位置し、第１開口部５３ａ１を介して真空ポンプ３０により真空引きされる溝部１５が形成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体のワークを磁力により固定可能なマグネットチャックのチャック面に設置される流体を通過させる多孔質パッドであって、
前記多孔質パッドには、前記チャック面に形成される吸引開口部に対向して位置し、前記吸引開口部を介して真空ポンプにより真空引きされる溝部が形成される、
多孔質パッド。
【請求項２】
前記多孔質パッドにおける前記チャック面に対向する裏面に配置される複数の凸部を備え、
前記溝部は前記複数の凸部の間の隙間に形成される、
請求項１に記載の多孔質パッド。
【請求項３】
前記複数の凸部は、それぞれ、前記チャック面に接触する接触面を備え、
前記接触面の面積は、前記吸引開口部の面積よりも小さく形成される、
請求項２に記載の多孔質パッド。
【請求項４】
前記多孔質パッドの前記裏面に位置し、前記複数の凸部を囲むように前記裏面の外周に枠状に形成され、前記チャック面に接触する周縁部を備える、
請求項２又は３に記載の多孔質パッド。
【請求項５】
前記複数の凸部は、前記裏面に沿い互いに直交する第１方向及び第２方向に並べられ、
前記第１方向に並べられた第１群の前記凸部は、前記第１群の前記凸部に前記第２方向に隣り合う前記第１方向に並べられた第２群の前記凸部に対して、前記第１方向にずれた位置に配置される、
請求項２から４のいずれか１項に記載の多孔質パッド。
【請求項６】
前記多孔質パッドは、前記マグネットチャックとの間で吸引力を発生させる磁性を帯びたセラミックにより形成される、
請求項１から５のいずれか１項に記載の多孔質パッド。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の多孔質パッドと、
前記マグネットチャックと、を備え、
前記マグネットチャックは、前記マグネットチャックの側周面に位置し前記真空ポンプに接続される第１端部、及び前記チャック面に露出する前記吸引開口部である第２端部を有する流通路を備え、
前記溝部は、前記多孔質パッドにおける前記チャック面に対向する裏面の全域にわたって連続的に形成され、
前記第２端部は前記溝部の一部に対向して位置する、
ワークチャック装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多孔質パッド及びワークチャック装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、設置されるワークに対して真空状態を形成することによりワークを吸着する真空チャック装置が知られている。例えば、特許文献１に記載の真空チャック装置は、被吸着物であるワークが表面に設置される多孔質セラミック基板と、多孔質セラミック基板の背面側を負圧（真空）とすることによりワークを多孔質セラミック基板の表面に吸着させる真空ポンプと、を備える。
【０００３】
例えば、特許文献２及び３に記載されるように、磁性体のワークを磁力により固定する永磁チャックや電磁チャック等のマグネットチャック装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１７６８５２号公報
【特許文献２】特開２００４−１４１９９３号公報
【特許文献３】特開平７−９４３２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ワークの材質、形状等の諸条件によって、特許文献１に記載される真空によりワークを固定する方式と特許文献２及び３に記載される磁力によりワークを固定する方式を使い分けたい場合がある。このワークを固定する方式を変更する場合には、真空チャック装置とマグネットチャック装置を交換する必要があり、手間がかかっていた。
【０００６】
本発明は、上記実状を鑑みてなされたものであり、簡単にワークの固定方式を変更できる多孔質パッド及びワークチャック装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る多孔質パッドは、磁性体のワークを磁力により固定可能なマグネットチャックのチャック面に設置される流体を通過させる多孔質パッドであって、前記多孔質パッドには、前記チャック面に形成される吸引開口部に対向して位置し、前記吸引開口部を介して真空ポンプにより真空引きされる溝部が形成される。
【０００８】
また、上記多孔質パッドは、前記多孔質パッドにおける前記チャック面に対向する裏面に配置される複数の凸部を備え、前記溝部は前記複数の凸部の間の隙間に形成される、ようにしてもよい。
【０００９】
また、前記複数の凸部は、それぞれ、前記チャック面に接触する接触面を備え、前記接触面の面積は、前記吸引開口部の面積よりも小さく形成される、ようにしてもよい。
【００１０】
また、上記多孔質パッドは、前記多孔質パッドの前記裏面に位置し、前記複数の凸部を囲むように前記裏面の外周に枠状に形成され、前記チャック面に接触する周縁部を備える、ようにしてもよい。
【００１１】
また、前記複数の凸部は、前記裏面に沿い互いに直交する第１方向及び第２方向に並べられ、前記第１方向に並べられた第１群の前記凸部は、前記第１群の前記凸部に前記第２方向に隣り合う前記第１方向に並べられた第２群の前記凸部に対して、前記第１方向にずれた位置に配置される、ようにしてもよい。
【００１２】
また、前記多孔質パッドは、前記マグネットチャックとの間で吸引力を発生させる磁性を帯びたセラミックにより形成される、ようにしてもよい。
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係るワークチャック装置は、前記多孔質パッドと、前記マグネットチャックと、を備え、前記マグネットチャックは、前記マグネットチャックの側周面に位置し前記真空ポンプに接続される第１端部、及び前記チャック面に露出する前記吸引開口部である第２端部を有する流通路を備え、前記溝部は、前記多孔質パッドにおける前記チャック面に対向する裏面の全域にわたって連続的に形成され、前記第２端部は前記溝部の一部に対向して位置する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、多孔質パッド及びワークチャック装置において、簡単にワークの固定方式を変更できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る工作機械の概略的な断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る（ａ），（ｂ）はマグネットチャックの概略的な断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る多孔質パッドの概略的な底面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明に係る多孔質パッド及びワークチャック装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
図１に示すように、工作機械１は、テーブル６０と、ワークチャック装置１１と、加工部４０と、真空ポンプ３０と、を備える。
なお、以下の説明では、ワークＷが設置される多孔質パッド１０の設置面１０ａに沿う互いに直交する方向をＸ方向及びＹ方向と規定し、設置面１０ａに直交する方向をＺ方向と規定する。ワークＷは、例えば、太陽電池パネル、半導体パネル、液晶パネル、プリント基板、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）パネル、ガラス板又はポリマー等のフィルム等である。
【００１７】
テーブル６０は図示しない駆動部によりＸ方向及びＹ方向の少なくとも何れかに移動する。マグネットチャック５０は、テーブル６０上に固定部材６１により固定され、テーブル６０とともに移動する。
加工部４０は、ワークＷを固定するワークチャック装置１１にＺ方向に対向するように位置する。加工部４０は、ワークチャック装置１１に固定されたワークＷを切削又は研磨する工具４１を備える。
【００１８】
ワークチャック装置１１は、ワークＷを磁力により固定する磁力固定方式とワークＷを真空により固定する真空固定方式の何れか選択された方式により、ワークＷを固定する。
ワークチャック装置１１は、マグネットチャック５０と、多孔質パッド１０と、を備える。
マグネットチャック５０は、例えば永磁チャックであり、磁性体のワークＷを磁力により固定する。マグネットチャック５０は、多孔質パッド１０又は磁性体のワークＷが設置されるＸ方向及びＹ方向に沿うチャック面５０ａを備える。
【００１９】
詳しくは、図１に示すように、マグネットチャック５０は、複数の非磁性体５１と、複数の磁石５２と、ベース板５３と、を備える。
ベース板５３は、磁性体材料、例えば、鉄により、ＸＹ平面に沿う板状をなす。ベース板５３は、複数の非磁性体５１を保持し、複数の磁石５２を回転可能に保持する。
複数の非磁性体５１は、それぞれＹＺ平面に沿う板状に形成され、Ｘ方向に並べられている。
磁石５２はＹ方向に延びる円柱状に形成され、径方向に対向する位置にＮ極及びＳ極が着磁されている。各磁石５２は、例えば、作業者により図示しない操作レバーが操作されることにより、Ｎ極とＳ極の位置関係が変化するように、Ｙ方向に延びる中心軸を中心に回転可能である。複数の磁石５２は、Ｘ方向に沿って並べられ、複数の非磁性体５１にＺ方向に対向する位置に設けられる。
【００２０】
図２（ｂ）に示すように、各磁石５２は、図示しない操作レバーの操作を通じて、Ｎ極とＳ極がＺ方向に並ぶ非チャック位置に回転すると、磁石５２のＮ極からの磁力線Ｌｍは、非磁性体５１を跨がずに、当該磁石５２のＳ極に到達する。よって、磁力線ＬｍがワークＷを通過しないため、ワークＷは磁力によりマグネットチャック５０に固定されない。
【００２１】
図２（ａ）に示すように、各磁石５２は、図示しない操作レバーの操作を通じて、Ｎ極とＳ極がＸ方向に並ぶチャック位置に回転すると、磁石５２のＮ極からの磁力線Ｌｍは、非磁性体５１を跨いでワークＷを通過し、当該磁石５２のＳ極に到達する。よって、磁力線ＬｍがワークＷを通過するため、ワークＷは磁力によりマグネットチャック５０に固定される。
【００２２】
図１に示すように、ベース板５３には、空気等の流体が通過可能な空洞を有する流通路５３ａ，５３ｂが形成されている。一対の流通路５３ａ，５３ｂは、複数の非磁性体５１及び複数の磁石５２をＸ方向から挟み込むように、ベース板５３のＸ方向の両端に位置する。各流通路５３ａ，５３ｂは、ベース板５３の側周面とベース板５３の上面であるチャック面５０ａを繋ぐようにＬ字状に形成されている。
【００２３】
図４に示すように、流通路５３ａは、ベース板５３の上面、すなわち、マグネットチャック５０のチャック面５０ａに開口する第１開口部５３ａ１と、ベース板５３の側周面に開口する第２開口部５３ａ２と、を備える。第２開口部５３ａ２は、流通管３５を介して真空ポンプ３０に接続されている。
第１開口部５３ａ１は、多孔質パッド１０の後述する溝部１５内の空気を吸引し、溝部１５内を真空とする吸引開口部である。図３に示すように、第１開口部５３ａ１は、多孔質パッド１０の後述する凸部１６ａの直径Ｄ１よりも大きい直径Ｄ２を有する円形をなす。
流通路５３ｂは、流通路５３ａと同様に構成される。
【００２４】
図１に示すように、多孔質パッド１０は、マグネットチャック５０のチャック面５０ａに設置される。多孔質パッド１０は、長方形の板状に形成され、流体を通過させる通気性及び通水性を有するセラミックである。多孔質パッド１０は、例えば、アルミナ又は炭化ケイ素等の無機質材料の粉粒体からなる骨材とその骨材相互を結合するための結合材、例えば、ビトリファイドボンド、レジノイド、セメント、ゴム及びガラス等の混合材料を成型金型に投入して焼結することで形成される。多孔質パッド１０は、微細な気孔が無数に形成された多孔質構造となっている。多孔質パッド１０の気孔率（気孔密度）は、骨材と結合材の混合割合により調整することができる。また、気孔の平均孔径は、骨材の粒度を選定することにより調整することができる。多孔質パッド１０は、連なった微細気孔を介して空気又は液体を通過させることができる通気性及び通水性を有する。
【００２５】
例えば、多孔質パッド１０は磁性を帯びたセラミックであってもよい。多孔質パッド１０はマグネットチャック５０との間で磁気的な吸引力を発生させる。多孔質パッド１０とマグネットチャック５０の間で作用する吸引力は、作業者の手の力によって、多孔質パッド１０がマグネットチャック５０から離れる程度に設定されることが好ましい。例えば、多孔質パッド１０のセラミックは、磁性を帯びさせるため、鉄系成分及びマンガン系成分の少なくとも何れかを含む。
【００２６】
図１に示すように、多孔質パッド１０は、ワークＷが設置される表面である設置面１０ａと、設置面１０ａの反対側の裏面１０ｂと、を備える。多孔質パッド１０の裏面１０ｂには、真空ポンプ３０により真空とされる溝部１５が形成されている。溝部１５は、多孔質パッド１０の裏面１０ｂの全域にわたって一連の空間として形成されている。
【００２７】
詳しくは、図３に示すように、多孔質パッド１０の裏面１０ｂには、裏面１０ｂの外周に枠状に形成される周縁部１７と、周縁部１７に囲まれた領域に配置される複数の凸部１６ａ，１６ｂと、が形成される。
複数の凸部１６ａ，１６ｂの間に溝部１５が形成される。
複数の凸部１６ａは、それぞれ、円板状に形成されている。凸部１６ａの直径Ｄ１は、マグネットチャック５０の第１開口部５３ａ１の直径Ｄ２よりも小さく設定される。これにより、マグネットチャック５０の第１開口部５３ａ１の全域が凸部１６ａにより塞がれることが抑制される。
複数の凸部１６ｂは、それぞれ半円板状に形成され、周縁部１７の内周側の側面１７ａに沿って側面１７ａに対して隙間を有して配置される。凸部１６ｂの直線部分１６ｄは、周縁部１７の側面１７ａと平行をなす。これにより、溝部１５の形成範囲を多孔質パッド１０の裏面１０ｂの外周側に広げることができる。従って、設置面１０ａの外周側のワークＷの吸着度を高めることができる。
図４に示すように、複数の凸部１６ａ，１６ｂの突出側（図４の下側）の端面は、マグネットチャック５０のチャック面５０ａに接触する接触面１６ｓである。
【００２８】
図３に示すように、複数の凸部１６ａ，１６ｂは、互いに隙間を持って行方向Ｒｗと列方向Ｃｌに沿って配置されている。列方向Ｃｌに互いに隣り合う２つの行Ｒｗ１，Ｒｗ２における凸部１６ａの配置位置は行方向Ｒｗにずらされている。例えば、第１行Ｒｗ１の複数の凸部１６ａ１は、行方向Ｒｗにおいて、第２行Ｒｗ２の複数の凸部１６ａ２の中間に位置している。このように、凸部１６ａを配置することにより、隣り合う複数の凸部１６ａ間の距離を大きくすることができる。これにより、第１開口部５３ａ１における隣り合う複数の凸部１６ａにより塞がれる面積を小さくすることができる。
なお、行Ｒｗ１に並ぶ凸部１６ａ１は第１群の凸部の一例であり、行Ｒｗ２に並ぶ凸部１６ａ２は第２群の凸部の一例である。
【００２９】
図３に示すように、周縁部１７は、多孔質パッド１０の裏面１０ｂに凸部１６ａ，１６ｂを囲む枠状に形成される。図４に示すように、周縁部１７の突出側（図４の下側）の端面は、マグネットチャック５０のチャック面５０ａに接触する接触面１７ｓである。周縁部１７の接触面１７ｓは、凸部１６ａ，１６ｂの接触面１６ｓと同一平面上に位置する。周縁部１７の接触面１７ｓがマグネットチャック５０のチャック面５０ａに面接触することにより、溝部１５内の空間が外部空間から遮断され、溝部１５内の真空度が向上する。
【００３０】
次に、工作機械１の使用方法について説明する。作業者は、ワークＷの形状又は材質、加工の種類等に応じて、ワークチャック装置１１の固定方式を磁力固定方式と真空固定方式のうち何れかを選択し、選択した固定方式にてワークＷをワークチャック装置１１に固定する。なお、作業者は作業ロボットに置換可能である。
まずは、磁力固定方式が選択された場合について説明する。この磁力固定方式は、磁性体のワークＷのみを固定することができ、非磁性体のワークＷを固定することができない。
作業者は、マグネットチャック５０のチャック面５０ａから多孔質パッド１０を取り外し、チャック面５０ａに磁性体のワークＷを設置する。そして、作業者は、マグネットチャック５０の図示しない操作レバーを操作することにより、図２（ａ）に示すように、各磁石５２を非チャック位置からチャック位置に回転させる。これにより、磁性体のワークＷは磁力によりマグネットチャック５０に固定される。ワークＷがマグネットチャック５０に固定された状態で、加工部４０はワークＷを加工する。
以上で、磁力固定方式が選択された場合の説明を終了する。
【００３１】
次に、真空固定方式が選択された場合について説明する。この真空固定方式は、ワークＷが磁性体であるか、非磁性体であるかに関わらず、ワークＷを固定することができる。
作業者は、マグネットチャック５０のチャック面５０ａに多孔質パッド１０を設置する。このとき、各磁石５２がチャック位置にあれば、多孔質パッド１０は磁性を帯びているため、チャック面５０ａとの間で磁気的な吸引力が作用する。よって、多孔質パッド１０がチャック面５０ａに対して位置ずれすることが抑制される。
図４に示すように、チャック面５０ａに多孔質パッド１０が設置されると、多孔質パッド１０の裏面１０ｂにマグネットチャック５０の第１開口部５３ａ１が対面した状態となる。
図３を参照して上述したように、第１開口部５３ａ１の直径Ｄ２は、凸部１６ａの直径Ｄ１よりも大きい。このため、多孔質パッド１０がチャック面５０ａに対して設置される位置及び向きに関わらず、第１開口部５３ａ１の少なくとも一部が溝部１５に通じる。すなわち、第１開口部５３ａ１の全域が凸部１６ａに塞がれることはない。
好ましくは、図３に示すように、第１開口部５３ａ１は、溝部１５のうち４つの凸部１６ａに囲まれる部位に対向する。これにより、第１開口部５３ａ１の全域が溝部１５に対向し、溝部１５内の空気が第１開口部５３ａ１を介して真空ポンプ３０側に送られやすく、溝部１５内の真空度を高めることができる。
【００３２】
チャック面５０ａに多孔質パッド１０が設置された後、多孔質パッド１０の設置面１０ａにはワークＷが設置される。そして、真空ポンプ３０が動作される。すると、多孔質パッド１０の溝部１５が真空とされ、これにより、ワークＷが多孔質パッド１０の設置面１０ａに固定される。ワークＷが設置面１０ａに固定された状態で、加工部４０はワークＷを加工する。
以上で、真空固定方式が選択された場合の説明を終了する。
多孔質パッド１０をチャック面５０ａに設置するか否かにより、磁力固定方式と真空固定方式の間で固定方式を簡単に切り替えることができる。
【００３３】
（効果）
以上、説明した一実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）多孔質パッド１０は、流体を通過させ、磁性体のワークＷを磁力により固定可能なマグネットチャック５０のチャック面５０ａに設置される。多孔質パッド１０には、チャック面５０ａに位置する吸引開口部の一例である第１開口部５３ａ１に対向して位置し、第１開口部５３ａ１を介して真空ポンプ３０により真空引きされる溝部１５が形成される。
この構成によれば、多孔質パッド１０の表面である設置面１０ａにワークＷが設置される。そして、多孔質パッド１０の溝部１５が真空とされることにより、設置面１０ａにワークＷが固定される。これにより、真空固定方式によりワークＷが固定される。
また、多孔質パッド１０がマグネットチャック５０のチャック面５０ａから取り外された後、チャック面５０ａに磁性体のワークＷが設置される。この状態で、マグネットチャック５０により磁性体のワークＷがチャック面５０ａに固定される。これにより、磁力固定方式によりワークＷが固定される。
以上のように、磁力固定方式と真空固定方式の間でワークＷの固定方式を簡単に変更することができる。例えば、磁力固定方式から真空固定方式に変更するにあたって、マグネットチャック５０をテーブル６０から取り外す必要がなく、多孔質パッド１０をマグネットチャック５０のチャック面５０ａに設置するだけでよいため、手間がかからない。
【００３４】
（２）多孔質パッド１０は、多孔質パッド１０におけるチャック面５０ａに対向する裏面１０ｂに配置される複数の凸部１６ａを備える。溝部１５は複数の凸部１６ａの間の隙間に形成される。
この構成によれば、複数の凸部１６ａの間に一連の溝部１５が形成される。溝部１５が形成される溝領域は、溝部１５が形成されず凸部１６ａが形成される非溝領域よりも、多孔質パッド１０の厚さが薄くなり、通気抵抗が低くなる。通気抵抗が低くなると、ワークＷの設置面１０ａへの吸着力が高まる。このように、溝領域と非溝領域で吸着力を異ならせることにより、例えば、可撓性のワークＷの反りを抑制することができる。
【００３５】
（３）複数の凸部１６ａは、それぞれ、チャック面５０ａに接触する接触面１６ｓを備える。接触面１６ｓの面積は、第１開口部５３ａ１の面積よりも小さく形成される。
この構成によれば、第１開口部５３ａ１の全域が凸部１６ａの接触面１６ｓにより塞がれることが抑制される。よって、溝部１５内を確実に真空とすることができ、これにより、多孔質パッド１０の設置面１０ａにワークＷを確実に固定することができる。
【００３６】
（４）多孔質パッド１０は、多孔質パッド１０の裏面１０ｂに位置し、複数の凸部１６ａを囲むように裏面１０ｂの外周に枠状に形成され、チャック面５０ａに接触する周縁部１７を備える。
この構成によれば、周縁部１７は、溝部１５内の空間が外部空間に繋がることを遮断する。よって、溝部１５内の真空度を高めることができる。
また、多孔質パッド１０の側周面に流体を通過させない遮蔽材がなくても、溝部１５内の真空度を高めることができる。
【００３７】
（５）複数の凸部１６ａは、裏面１０ｂに沿い互いに直交する第１方向の一例である行方向Ｒｗ及び第２方向の一例である列方向Ｃｌに並べられる。行方向Ｒｗに並べられた第１群の凸部１６ａ１は、第１群の凸部１６ａ１に列方向Ｃｌに隣り合う行方向Ｒｗに並べられた第２群の凸部１６ａ２に対して、行方向Ｒｗにずれた位置に配置される。
この構成によれば、凸部１６ａ１と凸部１６ａ２が接近することが抑制され、これにより、第１開口部５３ａ１が凸部１６ａ１の一部と凸部１６ａ２の一部に対向した場合であっても、第１開口部５３ａ１の全域のうち凸部１６ａ１の一部と凸部１６ａ２の一部により塞がれる面積を小さく保つことができる。よって、溝部１５内の真空度を高めることができる。
【００３８】
（６）多孔質パッド１０は、マグネットチャック５０との間で吸引力を発生させる磁性を帯びたセラミックにより形成される。
この構成によれば、多孔質パッド１０はマグネットチャック５０との間で作用する吸引力によりチャック面５０ａに位置決めされる。よって、意図せず、多孔質パッド１０がチャック面５０ａに対して位置ずれすることが抑制される。
【００３９】
（７）ワークチャック装置１１は、多孔質パッド１０と、マグネットチャック５０と、を備える。マグネットチャック５０は、マグネットチャック５０の側周面に位置し真空ポンプ３０に接続される第１端部の一例である第２開口部５３ａ２、及びチャック面５０ａに露出する第２端部の一例である第１開口部５３ａ１を有する流通路５３ａを備える。溝部１５は、多孔質パッド１０におけるチャック面５０ａに対向する裏面１０ｂの全域にわたって連続的に形成される。第１開口部５３ａ１は溝部１５の一部に対向して位置する。
この構成によれば、既存のマグネットチャック５０に流通路５３ａを形成し、マグネットチャック５０のチャック面５０ａに多孔質パッド１０を設置し、真空ポンプ３０を接続するだけで、磁力固定方式のみならず、真空固定方式によってもワークＷを固定可能となる。よって、既存のマグネットチャックに簡単に付加価値を付けることができる。
【００４０】
（８）工作機械１は、ワークチャック装置１１と、ワークチャック装置１１のマグネットチャック５０が固定され、チャック面５０ａに沿う方向に移動するテーブル６０と、ワークチャック装置１１により固定されたワークＷを加工する加工部４０と、を備える。
この構成によれば、加工部４０の種類やワークＷの種類に適するように、磁力固定方式と真空固定方式の間でワークＷの固定方式を選択することができる。
【００４１】
（９）ワークチャック装置１１の使用方法は、チャック面５０ａに多孔質パッド１０が設置される第１工程と、第１工程の後、多孔質パッド１０の設置面１０ａにワークＷが設置される第２工程と、第２工程の後、溝部１５内が真空とされることにより設置面１０ａにワークＷを固定する第３工程と、第１〜第３工程とは別に、チャック面５０ａに設置された多孔質パッド１０が取り外される第４工程と、第４工程の後、チャック面５０ａに磁性体のワークＷが設置され、マグネットチャック５０を介して磁力によりワークＷをチャック面５０ａに固定する第５工程と、を含む。
この使用方法により、磁力固定方式と真空固定方式の間でワークＷの固定方式を選択することができる。
【００４２】
なお、本発明は以上の実施形態及び図面によって限定されるものではない。本発明の要旨を変更しない範囲で、適宜、変更（構成要素の削除も含む）を加えることが可能である。以下に、変形の一例を説明する。
【００４３】
（変形例）
上記実施形態においては、加工部４０は工具４１を通じてワークチャック装置１１の多孔質パッド１０又はマグネットチャック５０に固定されたワークＷを切削又は研磨していたが、これに限らず、ワークＷに印刷又は露光等してもよい。
【００４４】
上記実施形態においては、凸部１６ａは円板状をなしていたが、凸部１６ａの形状はこれに限らず、楕円板状、矩形板状等であってもよい。凸部１６ｂも同様に、半円板状に限らず、半楕円板状、矩形板状等であってもよい。
また、凸部１６ａ，１６ｂの数や配置位置も適宜変更可能である。
さらに、例えば、多孔質パッド１０の裏面１０ｂにおける第１開口部５３ａ１が対向する範囲には、凸部１６ａ，１６ｂ及び周縁部１７が形成されないようにしてもよい。
また、凸部１６ａ，１６ｂのうち凸部１６ｂが省略されてもよい。さらに、複数の凸部１６ａ，１６ｂ及び周縁部１７のうち複数の凸部１６ａ，１６ｂが省略されてもよい。
【００４５】
上記実施形態においては、第１行Ｒｗ１の複数の凸部１６ａ１は、第２行Ｒｗ２の複数の凸部１６ａ２に対して行方向Ｒｗにずれた位置に配置されていたが、これに限らず、行方向Ｒｗに一致した位置に配置されてもよい。
【００４６】
上記実施形態におけるマグネットチャック５０の構成は適宜変更可能である。例えば、マグネットチャック５０は、各磁石５２が回転可能に構成されていたが、各磁石５２をチャック位置にて回転不能に構成し、各磁石５２と各非磁性体５１の何れか一方をＸ方向に移動可能に構成されてもよい。
また、マグネットチャック５０は、永磁チャックに限らず、複数の電磁石を備えた電磁チャックであってもよい。マグネットチャック５０が電磁チャックである場合、電磁石に通電されるため、通電に伴う発熱がワークＷにとって問題となる。よって、熱による変形が予想されるワークＷの場合には、真空固定方式によりワークＷを固定することが好ましい。
【００４７】
上記実施形態において、多孔質パッド１０の側周面には、流体を通過させない遮蔽材が設けられていてもよい。この場合、周縁部１７が省略されてもよい。
【００４８】
上記実施形態においては、多孔質パッド１０はセラミックにより形成されていたが、流体を通過可能な多孔体であれば樹脂により形成されていてもよい。
上記実施形態においては、多孔質パッド１０は磁性を帯びていたが、磁性を帯びていなくてもよい。
【００４９】
上記実施形態においては、多孔質パッド１０は、マグネットチャック５０に接着剤又はボルト等により固定されていなかったが、これに限らず、接着剤又はボルト等により固定されてもよい。
【００５０】
上記実施形態において、流通路５３ａ，５３ｂの数、位置及び形状は、適宜変更可能である。例えば、流通路５３ａの第１開口部５３ａ１は多孔質パッド１０の裏面１０ｂの中央に位置していてもよい。
【００５１】
上記実施形態においては、磁力固定方式では、多孔質パッド１０がチャック面５０ａから取り外されたうえで、チャック面５０ａに磁性体のワークＷが設置されていた。しかし、これに限らず、磁力固定方式においても、多孔質パッド１０の設置面１０ａに磁性体のワークＷが設置され、マグネットチャック５０は多孔質パッド１０を介して磁性体のワークＷを磁力により固定してもよい。これにより、磁力固定方式と真空固定方式の間で固定方式を簡単に切り替えることができる。
【符号の説明】
【００５２】
１…工作機械、１０…多孔質パッド、１０ａ…設置面、１０ｂ…裏面、１１…ワークチャック装置、１５…溝部、１６ａ，１６ｂ，１６ａ１，１６ａ２…凸部、１６ｄ…直線部分、１６ｓ，１７ｓ…接触面、１７…周縁部、１７ａ…側面、３０…真空ポンプ、３５…流通管、４０…加工部、４１…工具、５０…マグネットチャック、５０ａ…チャック面、５１…非磁性体、５２…磁石、５３…ベース板、５３ａ，５３ｂ…流通路、５３ａ１…第１開口部（吸引開口部の一例）、５３ａ２…第２開口部、６０…テーブル、６１…固定部材、Ｄ１，Ｄ２…直径、Ｗ…ワーク、Ｌｍ…磁力線、Ｃｌ…列方向（第２方向の一例）、Ｒｗ…行方向（第１方向の一例）、Ｒｗ１…第１行、Ｒｗ２…第２行
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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