(57)【要約】【課題】シリンダ装置に封入された電気粘性流体が低速となる領域における粒子の堆積を防止し、シリンダ装置の減衰特性の低下を抑制する。【解決手段】ピストンを有するピストンロッドと、内筒を構成しピストンロッドが挿入された第一の電極と、外筒を構成し第一の電極の外周面に対向するように設けられた第二の電極と、第一の電極及び第二の電極を収容したベースシェルと、ベースシェルの内部に封入された電気粘性流体と、第一の電極と第二の電極との間に電圧を印加する電圧印加ユニットと、を含むシリンダ装置であって、第二の電極の外周面には、外面絶縁層が設けられている。【選択図】図３
2020118273.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピストンを有するピストンロッドと、
内筒を構成し前記ピストンロッドが挿入された第一の電極と、
外筒を構成し前記第一の電極の外周面に対向するように設けられた第二の電極と、
前記第一の電極及び前記第二の電極を収容したベースシェルと、
前記ベースシェルの内部に封入された電気粘性流体と、
前記第一の電極と前記第二の電極との間に電圧を印加する電圧印加ユニットと、を含み、
前記第二の電極の外周面には、外面絶縁層が設けられている、シリンダ装置。
【請求項２】
前記第二の電極の内周面には、内面絶縁層が設けられている、請求項１記載のシリンダ装置。
【請求項３】
前記内面絶縁層は、前記外面絶縁層よりも薄い、請求項２記載のシリンダ装置。
【請求項４】
前記外面絶縁層の最外表面層は、フッ素系材料を含む、請求項１記載のシリンダ装置。
【請求項５】
前記内面絶縁層の最外表面層は、フッ素系材料を含む、請求項２記載のシリンダ装置。
【請求項６】
前記電気粘性流体は、絶縁性を有する粒子を含み、
前記外面絶縁層の表面における凹凸の平均凸間ピッチは、前記絶縁性を有する粒子の平均粒径以下である、請求項１記載のシリンダ装置。
【請求項７】
前記外面絶縁層の表面における前記凹凸の平均凹凸高さは、前記絶縁性を有する粒子の平均粒径以下である、請求項６記載のシリンダ装置。
【請求項８】
前記内面絶縁層の厚さは、前記外面絶縁層の厚さの０．２倍以下である、請求項２記載のシリンダ装置。
【請求項９】
前記内面絶縁層の厚さは、前記第一の電極と前記第二の電極との距離の０．１倍以下である、請求項２記載のシリンダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、車両は、走行中の振動を短時間で減衰させて、乗り心地や走行安定性を向上するためのシリンダ装置を備えている。
【０００３】
シリンダ装置としては、路面状態等に応じて減衰力を制御するために電気粘性流体（電気レオロジー流体組成物：ＥＲＦ）を用いたものが知られている。
【０００４】
特許文献１には、電気絶縁性媒体中に電気レオロジー効果を有する粒子を含有する電気レオロジー流体組成物を電極間に介在させてなる力の伝達を制御する装置であって、電気絶縁性媒体が互いに相分離しかつ比重の異なる２種以上の媒体からなり、この電気絶縁性媒体の少なくとも１種が前記の粒子より比重が大きいものが開示されている。この構成により、前記の粒子は、媒体中で器底に沈殿することなく、軽微な撹拌によって容易に再分散されることが記載されている。
【０００５】
特許文献２には、自動車、鉄道車両等の振動を緩衝するためのシリンダ装置であって、内筒、外筒及び電極筒を有し、電界または磁界により流体の性状が変化する機能性流体が封入され、電極通路の下流側に調整弁を設けた構成により、減衰力特性をチューニングすることができるものが開示されている。
【０００６】
特許文献３には、クラッチ、バルブ、ショックアブソーバー等の機械装置に用いる電気粘性流体への電圧印加用電極において、電気粘性流体との接触面に絶縁層を積層することにより、電極の耐久性を向上させたものが開示されている。この文献には、有機絶縁層形成材料として、フッ素樹脂（ポリテトラフルオロエチレン）やポリエチレンテレフタレートなどの材料が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平８−１２７７９０号公報
【特許文献２】特開２０１７−１５２４４号公報
【特許文献３】特開平３−１１３１２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載の装置は、電気レオロジー流体組成物に含まれる粒子の沈殿の問題に対する解決手段を提供するものであるが、粒子の電極への付着の問題を解決するものではない。
【０００９】
特許文献２に記載のシリンダ装置は、減衰力特性を調整するための調整弁を設けたものであるが、粒子の電極への付着の問題を解決するものではない。
【００１０】
特許文献３に記載の電圧印加用電極は、電気粘性流体との接触面に絶縁層を設けることにより、分極促進剤として使用されている水、多価アルコール等の電気化学的消耗や、電気化学反応等による金属電極の溶出等の問題を解決するものである。
【００１１】
電気粘性流体を用いるシリンダ装置は、電極とベースシェルとの間や電極間において大きな電位差を生じるため、電極の耐久性が求められるとともに、電気粘性流体に含まれる粒子が電極からの力により低速領域において電極に付着してしまう問題が懸念されている。電極への粒子の付着は、シリンダ装置の減衰特性の低下につながる。
【００１２】
本発明の目的は、シリンダ装置に封入された電気粘性流体が低速となる領域における粒子の堆積を防止し、シリンダ装置の減衰特性の低下を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のシリンダ装置は、ピストンを有するピストンロッドと、内筒を構成しピストンロッドが挿入された第一の電極と、外筒を構成し第一の電極の外周面に対向するように設けられた第二の電極と、第一の電極及び第二の電極を収容したベースシェルと、ベースシェルの内部に封入された電気粘性流体と、第一の電極と第二の電極との間に電圧を印加する電圧印加ユニットと、を含み、第二の電極の外周面には、外面絶縁層が設けられている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、シリンダ装置に封入された電気粘性流体が低速となる領域における粒子の堆積を防止し、シリンダ装置の減衰特性の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来のシリンダ装置の基本構造を示す概略縦断面図である。
【図２】本発明の第一の実施形態に係るシリンダ装置を示す概略縦断面図である。
【図３】本発明の第二の実施形態に係るシリンダ装置を示す概略縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
最初に、シリンダ装置の基本構造について説明する。
【００１７】
シリンダ装置は、車両の各車輪に対応して一つずつ設けられ、車両のボディと車軸との間に生じる衝撃・振動を緩和する装置である。
【００１８】
図１は、従来のシリンダ装置の基本構造を示す概略縦断面図である。本図は、電極に絶縁層を設けていない例である。
【００１９】
本図に示すように、シリンダ装置１は、一端（図示下端）にピストン９が設けられ他端（不図示）にヘッドが設けられたロッド６（ピストンロッド）と、シリンダ装置１の外郭を構成する円筒状のベースシェル２（容器）と、内筒４（シリンダ）と、外筒３と、を備えている。外筒３は、ベースシェル２と内筒４との間に設けられた円筒状の部材である。ロッド６、内筒４、外筒３及びベースシェル２は、同心に配置されている。ベースシェル２には、電気粘性流体８が封入されている。
【００２０】
内筒４と外筒３との間には、電気粘性流体８の流路２２が形成されている。外筒３とベースシェル２との間には、電気粘性流体８の流路２３が形成されている。
【００２１】
内筒４の内部には、ピストン９が上下方向に摺動自在に挿嵌されている。内筒４の内部は、ピストン９によってピストン下室９Ｌとピストン上室９Ｕとに区画されている。ピストン９には、上下方向に貫通する複数の貫通孔９ｈが周方向に等間隔で配設されている。ピストン下室９Ｌとピストン上室９Ｕとは、貫通孔９ｈを介して連通している。なお、貫通孔９ｈには、逆止弁が設けられており、電気粘性流体８は、貫通孔９ｈを一方向に流れるようになっている。
【００２２】
内筒４の下端部には、ボディ１０が設けられている。ボディ１０には、貫通孔１０ｈが設けられている。ボディ１０の下方、すなわちボディ１０とベースシェル２の底板との間には、流路２４が形成されている。ピストン下室９Ｌは、貫通孔１０ｈを介して流路２４と連通している。流路２２と流路２３とは、流路２４を介して連通している。
【００２３】
ベースシェル２には、上端板２ａが設けられている。上端板２ａには、オイルシール７が設置されている。ロッド６は、上端板２ａ及びオイルシール７を貫通するように設置されている。ロッド６の下端部に設けられたピストン９は、内筒４内に配設されている。外筒３及び内筒４の上端部は、オイルシール７に接している。これにより、ベースシェル２に封入された電気粘性流体８が漏洩することを防止することができる。
【００２４】
流路２３の上部の空間には、不活性ガス１３が充填されている。不活性ガス１３は、窒素等でもよい。
【００２５】
外筒３の内周面には、外電極３ａが設けられている。内筒４は、電極として機能する。以下、内筒４を内電極４ａともいう。
【００２６】
外電極３ａ及び内電極４ａには、電圧印加ユニット１１が接続されている。これにより、外電極３ａと内電極４ａとの間に電圧が印加される。なお、本明細書においては、内電極４ａを「第一の電極」、外電極３ａを「第二の電極」ともいう。
【００２７】
外電極３ａ及び内電極４ａは、電気粘性流体８に直接接触する。このため、外電極３ａ及び内電極４ａの材料には、電気粘性流体８に含まれる成分に起因する電食や腐食が生じにくい材料を採用することが望ましい。その他、外電極３ａ及び内電極４ａの材料としては、腐食されやすい金属を基材としその基材の表面に腐食されにくい金属をめっき処理などで被覆することにより耐食性を向上させた電極材料を採用してもよい。
【００２８】
オイルシール７の材料としては、例えば、ニトリルゴムやフッ素ゴムなどのゴム材料を採用できる。オイルシール７は、電気粘性流体８と直接接触する。このため、オイルシール７は、電気粘性流体８に含まれる粒子によって損傷されにくくするため、当該粒子の硬度と同程度かそれ以上の硬度を有する材料で構成することが望ましい。換言すれば、電気粘性流体８の構成要素として用いる粒子は、オイルシール７の硬度と同程度かそれ以下の硬度を有する材料で構成することが望ましい。
【００２９】
なお、電気粘性流体８に含まれる粒子の詳細については、後述する。
【００３０】
内筒４の上端近傍には、径方向に貫通する複数の横穴５が周方向に等間隔で設けられている。横穴５は、ピストン上室９Ｕと流路２２とを連通する。
【００３１】
車両が凹凸のある道路を走行している時、車体は振動する。この振動を受けて、ロッド６が内筒４の内部で振動する。これにより、ピストン下室９Ｌ及びピストン上室９Ｕの容積がそれぞれ変化する。
【００３２】
車体（図示せず）には、加速度センサ２５が設けられている。本図においては、加速度センサ２５がロッド６の上部に付設されているものとして示している。加速度センサ２５実際の設置位置は、これに限定されるものではない。
【００３３】
加速度センサ２５は、車体の加速度を検出し、検出した信号を電圧印加ユニット１１に出力する。電圧印加ユニット１１は、加速度センサ２５からの信号等に基づいて、電気粘性流体８に印加する電圧を決定する。
【００３４】
電圧印加ユニット１１は、検出された加速度に基づいて必要な減衰力を発生させるための電圧を算出し、その結果に基づいて外電極３ａと内電極４ａとの間に電圧を印加し、電気粘性効果を発現させる。電圧印加ユニット１１により電圧が印加されると、電気粘性流体８の粘度が電圧に応じて変化する。電圧印加ユニット１１は、加速度に基づいて、印加する電圧を調整することで、シリンダ装置１の減衰力を制御し、車両の乗り心地を改善する。
【００３５】
なお、ベースシェル２は、接地されているため、外電極３ａ（外筒３）に電圧が印加されることにより、外電極３ａ（外筒３）とベースシェル２との間に電位差が生じる。
【００３６】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、以下の説明においては、図１と異なる事項のみについて記載する。
【００３７】
図２は、本発明の第一の実施形態に係るシリンダ装置を示す概略縦断面図である。
【００３８】
本図においては、外筒３の外側の表面には絶縁層５１が、外筒３の内側の表面には絶縁層５２が設けられている。絶縁層５１、５２は、樹脂で形成されている。
【００３９】
絶縁層５１は、外筒３とベースシェル２との間に生じる電界を抑制する。
【００４０】
絶縁層５２は、電極反応による劣化を抑制する。
【００４１】
絶縁層５１、５２を設けることにより、電極の耐久性と減衰特性低下の抑制とを両立することができる。
【００４２】
絶縁層５１、５２において、各々に適切な膜厚は異なる。シリンダ装置１として高減衰力、高安全性及び高耐久性を確保するには、絶縁層５２が、絶縁層５１よりも薄いことが望ましい。
【００４３】
図３は、本発明の第二の実施形態に係るシリンダ装置を示す概略縦断面図である。
【００４４】
本図においては、外筒３の外側の表面に絶縁層５１が設けられている。外筒３の内側の表面には絶縁層が設けられていない。
【００４５】
よって、本実施形態の場合、外筒３の内側の表面に絶縁層がない状態で電極反応が問題とならない程度であれば適用可能である。言い換えると、外電極３ａを極めて耐食性に優れた材料、例えばステンレス鋼やチタンなどで形成して、十分に劣化を抑制できる場合には、必ずしも図２に示す絶縁層５２は設けなくてもよい。つまり、図３に示すように絶縁層５１だけを設けることにより、本発明の効果を得ることができる。すなわち、絶縁層５１を設けることにより、電界を抑制し、電気粘性流体が低速となる領域における粒子の堆積を防止することができる。
【００４６】
電気粘性流体８は、絶縁性を有する液体（以下「ベースオイル」という。）からなる分散媒に、絶縁性を有する粒子を分散させた懸濁液である。絶縁性を有する粒子は、「分散相」ともいう。
【００４７】
ベースオイルは、絶縁性を有する粒子を分散することが可能であれば、その種類は特に限定されない。具体的には、シリコーンオイルや、パラフィン油、ナフテン油などの鉱物油をベースオイルに採用できる。なお、ベースオイルの粘度は、電気粘性流体８の粘度及び粘度の温度依存性に寄与するため、その粘度は、好ましくは５０ｍｍ２／ｓ以下、更に好ましくは１０ｍｍ２／ｓ以下である。
【００４８】
［分散相を構成する粒子］
上述のとおり、分散相を構成する粒子は、絶縁性を有する粒子である。
【００４９】
具体的な粒子の材料としては、メタクリル系樹脂、ポリウレタン樹脂、アクリル系樹脂、イオン交換樹脂、フェノール樹脂、高密度ポリエチレン、高密度ポリプロピレン、ポリイミド、ポリアミド、ポリアニリン（有機半導体）などの有機物、シリカ、アルミナやチアニアなどの導電性を持たない金属酸化物、セラミックスなどが挙げられる。さらに、粒子として、有機物粒子を金属酸化物で被覆した複合粒子や、金属粒子または有機物粒子を有機半導体で被覆した複合粒子なども挙げられる。また、中空の有機物粒子を採用することもできる。
【００５０】
分散相を構成する粒子の平均粒径（直径）は、特に限定されることはない。電気粘性効果の応答性と効果の大きさを考慮すると、粒子の移動しやすさと粘度増加幅の観点から、好ましい平均粒径は、１μｍ〜１０μｍであり、更に好ましくは３μｍ〜７μｍである。
［絶縁層］
図２及び３に示す絶縁層５１、５２の材料は、絶縁性を有する層を形成できるものであれば、特に限定されない。
【００５１】
具体的には、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、エポキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、フェノール樹脂、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などのパーフルオロ骨格を有するフッ素系樹脂、シリコーン骨格を有するシリコーン系樹脂などが挙げられる。特に、フッ素系樹脂は、水による接触角が大きく撥水性を示し表面エネルギーが低いため、絶縁層形成により電界を弱める効果と粒子の付着抑制の効果とを同時に高められる。このため、外電極３ａのベースシェル側における絶縁層の形成に望ましい。
【００５２】
なお、水による接触角は、一般に９０°以上で撥水性、１５０°以上で超撥水性とされ、角度が大きいほど撥水性が高いことを示す。また、表面エネルギーの指標である臨界表面張力（固体表面に対して接触角が０°となるような液体の表面張力：小さいほど表面エネルギーが小さく撥水性が高い。）がある。
【００５３】
例えば、水の接触角及び臨界表面張力に関して、前述した絶縁層用材料では、ポリアミドであるナイロンは、接触角が７７°であり、臨界表面張力が４６ｄｙｎｅ／ｃｍである。ポリエチレンテレフタレートは、接触角が７９°であり、臨界表面張力が４３ｄｙｎｅ／ｃｍである。ポリエチレンは、接触角が８８°であり、臨界表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍである。フェノール樹脂は、接触角が８０°であり、臨界表面張力は理論上算出できないほど大きい。それに対して、ＰＴＦＥは、接触角が１１４°であり、臨界表面張力が１８ｄｙｎｅ／ｃｍである。ＰＴＦＥは、一般的な樹脂材料と比較して水による接触角が大きく、臨界表面張力（表面エネルギー）は小さい。
【００５４】
これらより、水による接触角は、撥水性を示す９０°以上が好ましく、固体表面に微細加工を施すなどの特殊な処理を施さずに達成可能な１１０°以上が現実的に更に好ましい。ただし、絶縁層表面に特殊な加工を施して更に高い接触角を実現することは本発明の効果が顕著に現れると考えられるため適用してもよい。同様の理由から、表面エネルギーについては、臨界表面張力が２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下であることが好ましい。
【００５５】
また、単一の材料でも複数の材料を混合した複合材料でもよい。さらに、易成型材料で形成した樹脂層に表面処理を施すことにより表面を改質してもよい。例えば、ポリアミドで形成した樹脂層の表面を、パーフルオロ骨格を有するフッ素系表面処理剤などで改質するなどが考えられる。
【００５６】
本明細書においては、フッ素系樹脂、フッ素系表面処理剤等を「フッ素系材料」と総称する。そして、絶縁層５１、５２は、フッ素系材料を含む構成であることが望ましい。
【００５７】
絶縁層の厚さに関しては、上述のとおり、絶縁層５２が絶縁層５１よりも薄いことを特徴とする（図２）。電極材料が高耐食性を有する場合、必ずしも絶縁層５２を設ける必要はない（図３）。
【００５８】
さらに、絶縁層５２を設ける場合、電極間距離（外電極３ａと内電極４ａとの距離）の電界強度の低下が顕著にならないように、その厚さは電極間距離の０．１倍以下となるようにすることが好ましい。更に好ましくは電極間距離の０．０１倍以下である。
【００５９】
一方、絶縁層５１の厚さは、絶縁層５２の厚さの５倍以上が好ましく、１０倍以上であれば更に好ましい。言い換えると、絶縁層５２の厚さは、絶縁層５１の厚さの０．２倍以下が好ましく、０．１倍以下であれば更に好ましい。
【００６０】
ただし、絶縁層５２の厚さより絶縁層５１の厚さが大きければ、一様に絶縁層５１、５２を形成した場合と比較し、高い減衰特性、高い性能安定性及び高い安全性を併せ持つ傾向になるため、上記の比率に特に制限されるものではない。絶縁層５１の厚さは、絶縁層の材質、印加電圧、外筒３とベースシェル２との距離、シリンダ装置１の全体構成などを総合的に考慮し、電界を極力減らすように設定する。
【００６１】
絶縁層５１、５２の表面の粗さに関しては、表面の凹凸ピッチ（平均凸間ピッチ）が、電気粘性流体８に含まれる分散相を構成する粒子の平均粒径以下であることが望ましい。これは、この大小関係が満たされない場合に、絶縁層に粒子が引っかかり、絶縁層に粒子が付着しやすくなることが懸念されるためである。また、絶縁層５１、５２の表面の凹凸深さ（平均凹凸高さ）も、分散相を構成する粒子の平均粒径以下であることが望ましい。
【００６２】
ここで、平均凸間ピッチは、例えば、日本工業規格（ＪＩＳ  Ｂ０６０１：２０１３）の横方向のパラメータである輪郭曲線要素の平均長さ、輪郭曲線要素に基づくピークカウント数等に準拠して算出してもよい。平均凹凸高さは、例えば、日本工業規格（ＪＩＳ  Ｂ０６０１：２０１３）の輪郭曲線要素の平均高さ等に準拠して算出してもよい。
【００６３】
絶縁層５１、５２の表面に接する電気粘性流体８の流速に関しては、絶縁層５１側に比べて、絶縁層５２側の方が一般に１０倍以上速い。そのため、絶縁層５２においては、絶縁層５１に比べて、電気粘性流体８に含まれる粒子が付着しにくい。したがって、この観点からも、絶縁層５２の厚さは、絶縁層５１より薄くすることができる。
【００６４】
以下、実施例および比較例を示して具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。
【実施例１】
【００６５】
［絶縁層］
図２に示す位置に絶縁層５１、５２を設けた。電極の材料には炭素鋼を、絶縁層５１、５２の材料にはポリアミドを用いた。絶縁層５２の厚さに対する絶縁層５１の厚さは、約１００倍とした。
【００６６】
［電気粘性流体］
ポリウレタン系微粒子をシリコーンオイルに分散した電気粘性流体を用いた。なお、ポリウレタン微粒子のレーザ回折法による平均粒径は４．２μｍ、シリコーンオイルの粘度は５ｃＰである。
【００６７】
（比較例１）
比較例１において実施例１と異なる点は、電極に絶縁層を設けていないことである。
【００６８】
［加振試験］
シリンダ装置に電気粘性流体を封入し、加振試験を実施した。試験条件は、ピストン振幅５０ｍｍ、ピストン速度０．３ｍ／ｓ、温度２０℃、印加電圧５ｋＶである。
【００６９】
加振試験の結果については、実施例１のシリンダ装置の減衰力を基準として１とした。比較例１のシリンダ装置の減衰力は０．９倍と小さかった。
【００７０】
また、加振試験中に外筒とベースシェルとの電位差を測定したところ、実施例１においては、絶縁層を設けることにより劇的に低下し、電位差はほとんどなかった。これに対して、比較例１の場合、電位差が生じていた。
【００７１】
さらに、加振試験終了後、シリンダ装置を解体し、ＥＲＦに含まれるイオン量をＩＣＰ−ＭＳ（誘導結合プラズマ質量分析計）で測定したところ、実施例１においては、大きな変化はなかった。これに対して、比較例１の場合は、イオン量に変化があった。これは、絶縁層がないために、電極を構成する炭素鋼からの溶出が生じたことを示している。
【００７２】
また、外筒のベースシェル側の表面における粒子の付着の程度（粒子付着程度）を目視で確認した。粒子付着程度が小さいほど、粒子の堆積を防止する機能が高いことを示している。
【００７３】
その結果、実施例１の場合、粒子付着程度が中程度であった。これに対して、比較例１の場合は、粒子付着程度が大きかった。外筒の表面に粒子が付着し、蓄積すると、減衰特性が低下する。実施例１のように絶縁層を設けることにより、減衰特性の低下を抑制することができる。
【００７４】
以上のとおり、実施例１のように、電極の一つである外筒の両面に、厚さの異なる絶縁層を設けることにより、電気粘性流体を封入したシリンダ装置の電極の劣化を防ぎ、かつ、外筒とベースシェルとの間に望ましくない電界が発生することを抑制し、減衰特性の低下を抑制することができることがわかった。
【００７５】
以下、実施例２〜実施例５および比較例２について説明する。以下の実施例および比較例では、上述の実施例１及び比較例１と同様の方法で加振試験等を行った。
【実施例２】
【００７６】
絶縁層材料にフッ素系樹脂を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、試験を行った。
【実施例３】
【００７７】
絶縁層は、ポリアミドで下地を形成した後、その表面をフッ素系表面処理剤でコーティングしたこと以外は、実施例１と同様にして、試験を行った。
【実施例４】
【００７８】
電極の材料にステンレス鋼、絶縁層材料にフッ素系樹脂を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、試験を行った。
【実施例５】
【００７９】
電極の材料にステンレス鋼を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、試験を行った。
【実施例６】
【００８０】
電極の材料には、ステンレス鋼を用いた。絶縁層は、ポリアミドで下地を形成した後、その表面をフッ素系表面処理剤でコーティングした。これら以外は、実施例１と同様にして、試験を行った。
【実施例７】
【００８１】
電極の材料には、カーボンを用いた。外筒３の内側の表面には絶縁層を設けなかった。言い換えると、図３のように絶縁層５１のみとした。これら以外は、実施例１と同様にして、試験を行った。
【実施例８】
【００８２】
実施例７と同様に、電極の材料には、カーボンを用いた。
【００８３】
絶縁層材料にフッ素系樹脂を用いた。これ以外は、実施例７と同様にして、試験を行った。
【００８４】
（比較例２）
電極の材料には、カーボンを用いた。電極には、絶縁層を設けていない。これら以外は、実施例１と同様にして、試験を行った。
【００８５】
表１は、実施例１〜８及び比較例１〜２についてまとめて示したものである。
【００８６】
本表においては、電極の材料、絶縁層の材料及び形成箇所、シリンダ装置の減衰力、溶出イオンの有無、外筒とベースシェルとの電位差、並びに粒子付着程度を示している。
【００８７】
本表から、絶縁層材料にフッ素系樹脂を用いた実施例２〜４、６及び８は、シリンダ装置の減衰力が高く、粒子付着程度が小さいことがわかる。
【００８８】
【表１】
2020118273.tif 000003
【００８９】
以上のように、種々の実施の形態を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。シリンダ装置の構造や各構成要素は、上述したものに限定されない。
【符号の説明】
【００９０】
１：シリンダ装置、２：ベースシェル、２ａ：上端板、３：外筒、３ａ：外電極、４：内筒、４ａ：内電極、５：横穴、６：ロッド、７：オイルシール、８：電気粘性流体、９：ピストン、９Ｌ：ピストン下室、９Ｕ：ピストン上室、９ｈ、１０ｈ：貫通孔、１０：ボディ、１１：電圧印加ユニット、１３：不活性ガス、２２、２３、２４：流路、２５：加速度センサ、５１、５２：絶縁層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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