(57)【要約】【課題】磁石および感磁素子を備えたエンコーダにおいて、各部品の寸法精度が低くても、磁石と感磁素子のギャップを精度良く管理すること。【解決手段】エンコーダ１０は、回転軸２と一体に回転する磁石ホルダ１９、および、磁石ホルダ１９に固定される第１磁石１６１、第２磁石１６２を備えた磁石組立体１５と、第１磁石１６１、第２磁石１６２の着磁面１６１ａ、１６２ａと対向する第１感磁素子１７１と第２感磁素子１７２、および、第１感磁素子１７１と第２感磁素子１７２の信号が入力されるエンコーダ回路が設けられた基板６０を備えた回路基板組１３と、回路基板組１３が載る基準面Ｐを備えたエンコーダホルダ１４と、を有する。磁石組立体１５は、基準面Ｐと第２磁石１６２の着磁面１６２ａとが所定の位置関係に位置するように位置決めされて、回転軸２に固定される。【選択図】図１３
2020118592.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータの回転軸と一体に回転する磁石ホルダ、および、前記磁石ホルダに固定される磁石を備えた磁石組立体と、
前記磁石の着磁面と対向する感磁素子、および、前記感磁素子の信号が入力されるエンコーダ回路が設けられた基板を備えた回路基板組と、
前記回路基板組が載る基準面を備えたエンコーダホルダと、を有するエンコーダの製造方法であって、
前記エンコーダホルダを前記モータに固定し、
前記基準面と前記着磁面とが所定の位置関係となる位置に前記磁石組立体を位置決めして前記回転軸に固定し、
前記回路基板組を前記基準面に当接させて前記エンコーダホルダに固定することを特徴とするエンコーダの製造方法。
【請求項２】
前記所定の位置関係は、前記基準面と前記着磁面とが同一面上に位置する位置関係であることを特徴とする請求項１に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項３】
前記磁石は、周方向にＮ極とＳ極が１極ずつ着磁された第１磁石、および、Ｎ極とＳ極が周方向に交互に複数着磁された第２磁石を備え、
前記感磁素子は、前記第１磁石と対向する第１感磁素子、および、前記第２磁石と対向する第２感磁素子を備え、
前記第１磁石と前記第２磁石は、径方向に離間し、
前記磁石ホルダは、前記第１磁石と前記第２磁石の間に位置するシールド部を備え、
前記第２磁石の着磁面を、前記第１磁石の着磁面および前記シールド部の先端面よりも前記第２感磁素子側に突出させた位置に前記第１磁石および前記第２磁石を位置決めして、前記磁石ホルダに固定することを特徴とする請求項１または２に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項４】
磁性材からなる治具を前記基準面に載せて、前記磁石の着磁面を前記治具に吸着することにより、前記磁石組立体を位置決めして前記回転軸に固定することを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項５】
磁性材からなる治具に前記着磁面を吸着した状態で、前記基準面に前記治具が接触するまで、前記回転軸を前記磁石ホルダに対して圧入することを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項６】
前記磁石ホルダは、止めねじにより前記回転軸に固定され、
前記エンコーダホルダは、前記磁石ホルダが配置される磁石配置孔と、前記磁石配置孔を囲む部分を径方向に貫通する貫通部と、を備え、
前記貫通部から、前記止めねじを固定する作業を行うことを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項７】
前記エンコーダホルダに固定された少なくとも２本のスプリングピンを前記回路基板組の孔に嵌め込むことにより、前記回路基板組を周方向に位置決めすることを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項８】
前記回路基板組は、前記磁石側から前記基板を覆う基板ホルダを備え、
前記感磁素子は、前記磁石と対向するセンサ面を備え、前記基板ホルダに設けられたセンサ基準面に対して前記センサ面が位置決めされており、
前記基板ホルダを前記基準面に当接させて、前記回路基板組を前記エンコーダホルダに
固定することを特徴とする請求項１から７の何れか一項に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項９】
回転軸と一体に回転する磁石ホルダ、および、前記磁石ホルダに固定される磁石を備えた磁石組立体と、
前記磁石の着磁面と対向する感磁素子、および、前記感磁素子の信号が入力されるエンコーダ回路が設けられた基板を備えた回路基板組と、
前記回路基板組が載る基準面を備えたエンコーダホルダと、を有し、
前記基準面と前記着磁面とが、所定の位置関係に位置決めされて、前記磁石組立体が前記回転軸に固定されていることを特徴とするエンコーダ。
【請求項１０】
前記所定の位置関係は、前記基準面と前記着磁面とが同一面上に位置する位置関係であることを特徴とする請求項９に記載のエンコーダ。
【請求項１１】
前記磁石ホルダは、前記回転軸が配置される軸孔と、前記軸孔を囲む部分を貫通するねじ孔を備え、
前記エンコーダホルダは、前記磁石ホルダが配置される磁石配置孔と、前記磁石配置孔を囲む部分を径方向に貫通する貫通部と、を備えることを特徴とする請求項９または１０に記載のエンコーダ。
【請求項１２】
前記回路基板組は、前記基板に対して前記磁石と同じ側に配置される基板ホルダを備え、前記基板ホルダが前記基準面と当接しており、
前記感磁素子は、前記磁石と対向するセンサ面を備え、前記センサ面と前記基板ホルダに設けられたセンサ基準面とが同一面上に位置することを特徴とする請求項９から１１の何れか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１３】
請求項９から１２の何れか一項に記載のエンコーダと、
前記回転軸を備えたモータと、を有することを特徴とするエンコーダ付きモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感磁素子によってロータの回転を検出するエンコーダおよびエンコーダ付きモータ、ならびにエンコーダの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ロータの回転を検出するエンコーダを備えたモータが開示される。特許文献１のモータにおいて、エンコーダは、基板に搭載される感磁素子と、モータの回転軸と一体に回転する磁石を備える。磁石は、接着等により磁石ホルダに固定され、磁石ホルダを介して回転軸に固定される。感磁素子を搭載した基板は、エンコーダホルダ（基板ホルダ）を介してモータケースに固定される。
【０００３】
また、特許文献２には、基板を直接エンコーダホルダに固定せず、基板ホルダと基板とを組み立ててエンコーダホルダに固定するエンコーダを備えたモータが開示される。特許文献２では、感磁素子は、基板に搭載される第１感磁素子と、基板ホルダに搭載される第２感磁素子を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−８６５５７号公報
【特許文献２】特開２０１８−４２３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
エンコーダにおいて、磁石と感磁素子とのギャップにばらつきがあると、角度検出の精度が低下する。そのため、エンコーダの組立時に、磁石と感磁素子とのギャップを精度良く管理することが求められる。しかしながら、従来、エンコーダの組立工程は、少なくとも、磁石ホルダに磁石を固定する工程、モータの回転軸に磁石ホルダを固定する工程、モータケースにエンコーダホルダを固定する工程、および、感磁素子が搭載された部材（基板、あるいは、基板と他部材とを組み立てた回路基板組）をエンコーダホルダに固定する工程、を含む。このような組立工程を行う場合、磁石と感磁素子とのギャップのばらつきは、少なくとも、感磁素子が搭載される部材の寸法公差、エンコーダホルダの寸法公差、および、磁石ホルダの寸法公差の合計値以上のばらつきとなる。
【０００６】
上記のように、磁石と感磁素子との間に介在する部品（例えば、エンコーダホルダ、基板、磁石ホルダ）の寸法公差を積み上げることによって磁石と感磁素子とのギャップのばらつきが決まる場合には、当該ギャップを精度良く管理するためには、これらの部品の寸法精度を向上させる必要がある。しかしながら、寸法精度を向上させると、各部品の加工コストが増大し、部品コストが増大するという問題がある。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、磁石および感磁素子を備えたエンコーダにおいて、各部品の寸法精度が低くても、磁石と感磁素子のギャップを精度良く管理することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明は、モータの回転軸と一体に回転する磁石ホルダ、および、前記磁石ホルダに固定される磁石を備えた磁石組立体と、前記磁石の着磁面と対向する感磁素子、および、前記感磁素子の信号が入力されるエンコーダ回路が設けられ
た基板を備えた回路基板組と、前記回路基板組が載る基準面を備えたエンコーダホルダと、を有するエンコーダの製造方法であって、前記エンコーダホルダを前記モータに固定し、前記基準面と前記着磁面とが所定の位置関係となる位置に前記磁石組立体を位置決めして前記回転軸に固定し、前記回路基板組を前記基準面に当接させて前記エンコーダホルダに固定することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明のエンコーダは、回転軸と一体に回転する磁石ホルダ、および、前記磁石ホルダに固定される磁石を備えた磁石組立体と、前記磁石の着磁面と対向する感磁素子、および、前記感磁素子の信号が入力されるエンコーダ回路が設けられた基板を備えた回路基板組と、前記回路基板組が載る基準面を備えたエンコーダホルダと、を有し、前記基準面と前記着磁面とが、所定の位置関係に位置決めされて、前記磁石組立体が前記回転軸に固定されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明では、このように、回路基板組が固定されるエンコーダホルダの面を基準面とし、この基準面と磁石の着磁面とが所定の位置関係となるように、磁石組立体を位置決めして固定する。例えば、基準面に治具を当接させ、治具に対して磁石組立体を当接させて位置決めする。しかる後に、基準面に対して回路基板組を当接させて固定する。このようにすると、エンコーダホルダと磁石ホルダの寸法精度が低くても、基準面に対して磁石（着磁面）が精度良く位置決めされる。従って、磁石と感磁素子とのギャップのばらつきは、感磁素子が搭載される回路基板組側の部品の寸法公差のみとなり、モータと回路基板組との間の部品、および、磁石と回転軸との間の部品の寸法公差が積み上がることを回避できる。従って、これらの部品（例えば、エンコーダホルダおよび磁石ホルダ）の寸法精度が低くても、磁石と感磁素子のギャップを精度良く管理することができる。
【００１１】
なお、本発明において、回路基板組は、基板上に感磁素子を配置した構成に限定されるものではなく、基板と他部材とを組み立てた組立体であって、感磁素子の一部あるいは全部が基板ではなく他部材に配置された構成であってもよい。
【００１２】
本発明において、前記所定の位置関係は、前記基準面と前記着磁面とが同一面上に位置する位置関係であることが好ましい。このようにすると、治具には両部材を当接させる平面（位置決め面）があればよい。従って、治具を単純な形状にすることができ、高精度な加工を必要としない。従って、安価な治具を使用して組み立てることができるので、製造コストを下げることができる。
【００１３】
本発明において、前記磁石は、周方向にＮ極とＳ極が１極ずつ着磁された第１磁石、および、Ｎ極とＳ極が周方向に交互に複数着磁された第２磁石を備え、前記感磁素子は、前記第１磁石と対向する第１感磁素子、および、前記第２磁石と対向する第２感磁素子を備え、前記第１磁石と前記第２磁石は、径方向に離間し、前記磁石ホルダは、前記第１磁石と前記第２磁石の間に位置するシールド部を備え、前記第２磁石の着磁面を、前記第１磁石の着磁面および前記シールド部の先端面よりも前記第２感磁素子側に突出させた位置に前記第１磁石および前記第２磁石を位置決めして、前記磁石ホルダに固定することが好ましい。このようにすると、第２磁石と第２感磁素子とのギャップを小さくすることができる。第２感磁素子は、複数着磁された磁石の磁界を検出する感磁素子であるため、検出精度に対するギャップのばらつきの影響が大きい。従って、第２磁石と第２感磁素子とのギャップを小さくすることができれば、検出精度の低下を抑制できる。
【００１４】
本発明において、磁性材からなる治具を前記基準面に載せて、前記磁石の着磁面を前記治具に吸着することにより、前記磁石組立体を位置決めして前記回転軸に固定することが好ましい。このように、磁力を利用して位置決めすることにより、容易に、且つ、精度良く磁石組立体を位置決めすることができる。
【００１５】
この場合に、磁性材からなる治具に前記着磁面を吸着した状態で、前記基準面に前記治具が接触するまで、前記回転軸を前記磁石ホルダに対して圧入することが好ましい。このようにすると、磁石によって吸着した状態で回転軸を圧入できるため、圧入作業が容易である。また、治具と磁石ホルダとを位置決めした状態で保持する別の治具を用いる必要がない。
【００１６】
本発明のエンコーダの製造方法において、前記磁石ホルダは、止めねじにより前記回転軸に固定され、前記エンコーダホルダは、前記磁石ホルダが配置される磁石配置孔と、前記磁石配置孔を囲む部分を径方向に貫通する貫通部と、を備え、前記貫通部から、前記止めねじを固定する作業を行うことができる。また、本発明のエンコーダにおいて、前記磁石ホルダは、前記回転軸が配置される軸孔と、前記軸孔を囲む部分を貫通するねじ孔を備え、前記エンコーダホルダは、前記磁石ホルダが配置される磁石配置孔と、前記磁石配置孔を囲む部分を径方向に貫通する貫通部と、を備える構成を採用することができる。このようにすると、エンコーダホルダの高さの範囲内でエンコーダホルダの内周側へドライバなどの固定用工具を用いてアクセスできるため、エンコーダホルダの高さの範囲内で磁石ホルダの固定作業を行うことができる。従って、固定作業を行うスペースを確保するために、エンコーダが大型化することを回避できる。
【００１７】
本発明において、前記エンコーダホルダに固定された少なくとも２本のスプリングピンを前記回路基板組の孔に嵌め込むことにより、前記回路基板組を周方向に位置決めすることが好ましい。このようにすると、回路基板組を精度良く位置決めできる。従って、感磁素子の位置精度を高めることができ、検出精度を高めることができる。
【００１８】
本発明のエンコーダの製造方法において、前記回路基板組は、前記磁石側から前記基板を覆う基板ホルダを備え、前記感磁素子は、前記磁石と対向するセンサ面を備え、前記基板ホルダに設けられたセンサ基準面に対して前記センサ面が位置決めされており、前記基板ホルダを前記基準面に当接させて、前記回路基板組を前記エンコーダホルダに固定することが好ましい。また、本発明のエンコーダにおいて、前記回路基板組は、前記基板に対して前記磁石と同じ側に配置される基板ホルダを備え、前記基板ホルダが前記基準面と当接しており、前記感磁素子は、前記磁石と対向するセンサ面を備え、前記センサ面と前記基板ホルダに設けられたセンサ基準面とが同一面上に位置することが好ましい。このようにすると、基準面に対する感磁素子の位置精度を高めることができる。従って、磁石と感磁素子のギャップを精度良く管理することができる。
【００１９】
次に、本発明のエンコーダ付きモータは、上記のエンコーダと、前記回転軸を備えたモータと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、回路基板組が固定されるエンコーダホルダの面を基準面とし、この基準面と磁石の着磁面とが所定の位置関係となるように、磁石組立体を位置決めして固定する。例えば、基準面に治具を当接させ、治具に対して磁石組立体を当接させて位置決めする。しかる後に、基準面に対して回路基板組を当接させて固定する。このようにすると、エンコーダホルダと磁石ホルダの寸法精度が低くても、基準面に対して磁石（着磁面）が精度良く位置決めされる。従って、磁石と感磁素子とのギャップのばらつきは、感磁素子が搭載される回路基板組側の部品の寸法公差のみとなり、モータと回路基板組との間の部品、および、磁石と回転軸との間の部品の寸法公差が積み上がることを回避できる。従って、これらの部品（例えば、エンコーダホルダおよび磁石ホルダ）の寸法精度が低くても、磁石と感磁素子のギャップを精度良く管理することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明を適用したエンコーダを備えたエンコーダ付きモータの外観斜視図である。
【図２】エンコーダ、第１軸受ホルダ、および回転軸の断面図（図１のＡ−Ａ断面図）およびその部分拡大図である。
【図３】エンコーダ、第１軸受ホルダ、および回転軸の断面図（図１のＢ−Ｂ断面図）である。
【図４】エンコーダ、第１軸受ホルダ、および回転軸を反出力側から見た分解斜視図である。
【図５】エンコーダ、第１軸受ホルダ、および回転軸を出力側から見た分解斜視図である。
【図６】エンコーダケースを取り外したエンコーダおよび第１軸受ホルダの斜視図である。
【図７】エンコーダケースを取り外したエンコーダおよび第１軸受ホルダの分解斜視図である。
【図８】回路基板組を反出力側から見た分解斜視図である。
【図９】回路基板組を出力側から見た分解斜視図である。
【図１０】磁石組立体の分解斜視図である。
【図１１】第１磁石と第２磁石の着磁分極線の位置を示す説明図である。
【図１２】磁石組立体の製造方法のフローチャートである。
【図１３】磁石組立体および回路基板組の位置決め構造を示す部分分解断面図である。
【図１４】磁石組立体および回路基板組の組立方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に、図面を参照して、本発明を適用したエンコーダおよびエンコーダ付きモータの実施形態を説明する。図１は本発明を適用したエンコーダ１０を備えたエンコーダ付きモータ１の外観斜視図である。図２はエンコーダ１０、第１軸受ホルダ４２Ａ、および回転軸２の断面図（図１のＡ−Ａ断面図）およびその部分拡大図であり、図３はエンコーダ１０、第１軸受ホルダ４２Ａ、および回転軸２の断面図（図１のＢ−Ｂ断面図）である。また、図４、図５はエンコーダ１０、第１軸受ホルダ４２Ａ、および回転軸２の分解斜視図であり、図２は反出力側Ｌ２から見た分解斜視図、図３は出力側Ｌ１から見た分解斜視図である。
【００２３】
エンコーダ付きモータ１は、回転軸２を備えるモータ３と、回転軸２の回転を検出するエンコーダ１０を備える。本明細書において、ＸＹＺの３方向は互いに直交する方向であり、これら３方向の一方側をそれぞれＸ１、Ｙ１、Ｚ１とし、他方側をそれぞれＸ２、Ｙ２、Ｚ２とする。Ｚ方向は回転軸２の中心軸線Ｌと平行であり、Ｘ方向およびＹ方向は中心軸線Ｌと直交する。
【００２４】
（モータ）
モータ３は、ロータおよびステータ（図示省略）を収容するモータケース４を備える。ロータは回転軸２と一体に回転し、ステータはモータケース４に固定される。モータケース４から外部へ突出する回転軸２の端部には、被駆動部材が連結される。本明細書において、モータケース４から回転軸２が突出する方向を出力側Ｌ１とし、出力側Ｌ１の反対側を反出力側Ｌ２とする。エンコーダ１０は、モータ３の反出力側Ｌ２の端部に固定される。
【００２５】
図１に示すように、モータケース４は、中心軸線Ｌ方向に延びる筒状ケース４１と、筒状ケース４１の反出力側Ｌ２の端部に固定される第１軸受ホルダ４２Ａと、筒状ケース４１の出力側Ｌ１の端部に固定される第２軸受ホルダ（図示省略）を備える。エンコーダ１
０は、第１軸受ホルダ４２Ａに対して反出力側Ｌ２から固定される。図４に示すように、第１軸受ホルダ４２Ａは、出力側Ｌ１に凹む円形凹部４４と、円形凹部４４の外周側に拡がるフランジ４５と、円形凹部４４の縁に沿って反出力側Ｌ２に突出する環状壁４６を備える。
【００２６】
図２〜図４に示すように、円形凹部４４の底部中央には軸受４３が保持される。軸受４３は、回転軸２の反出力側Ｌ２の端部を回転可能に支持する。また、円形凹部４４の底部には、軸受４３の外周部分を反出力側Ｌ２から押さえるように環状のプレート４７が取り付けられる。回転軸２は、プレート４７の中心に設けられた貫通孔４８に通され、軸受４３に支持される。プレート４７は、３本のねじによって円形凹部４４の底部に固定される。
【００２７】
本形態では、プレート４７は磁性材からなり、モータ３側からエンコーダ１０側へ侵入する磁気ノイズを遮蔽する。プレート４７の外周縁には、等角度間隔の３箇所に切り欠き４７１が形成されている。切り欠き４７１には、後述するエンコーダホルダ１４の脚部１５０が配置される。
【００２８】
（エンコーダ）
図２〜図５に示すように、エンコーダ１０は、第１軸受ホルダ４２Ａに固定されるエンコーダケース１１と、エンコーダケース１１の内側に配置されるエンコーダカバー１２と、エンコーダカバー１２の内側に配置される回路基板組１３と、回路基板組１３が固定されるエンコーダホルダ１４と、エンコーダホルダ１４の内周側に配置される磁石組立体１５と、エンコーダケース１１とエンコーダカバー１２の間に配置されるケーブル案内部材２０を備える。
【００２９】
磁石組立体１５は、反出力側Ｌ２の面に配置される磁石１６を備えており、回転軸２の反出力側Ｌ２の先端に固定される。従って、磁石１６は回転軸２と一体に回転する。回路基板組１３は、基板ホルダ５０と、基板ホルダ５０に固定される基板６０とを備える。回路基板組１３は、回転軸２に固定された磁石１６と対向する感磁素子１７を備えており、感磁素子１７の信号は、基板６０上のエンコーダ回路に入力される。本形態では、感磁素子１７としてＭＲ素子を用いる。
【００３０】
（エンコーダケース）
エンコーダケース１１は、中心軸線Ｌ方向に見た場合に略矩形の端板部１１１と、端板部１１１の外周縁から出力側Ｌ１へ延びる筒状の側板部１１２を備える。図１に示すように、側板部１１２のＸ１側を向く側面には、エンコーダケーブル５を通すための配線取り出し部１１３が設けられている。図４、図５に示すように、配線取り出し部１１３は、側板部１１２に形成された切り欠き部１１７と、切り欠き部１１７に取り付けられる保持部材１１８と、保持部材１１８および切り欠き部１１７を覆うエンコーダケーブルホルダ１１９を備える。
【００３１】
エンコーダケース１１と第１軸受ホルダ４２Ａは、側板部１１２の出力側Ｌ１の端面とフランジ４５との間にシール部材１１４を介在させて、４箇所の角部に固定ねじを締め込むことによって固定される。本形態では、エンコーダケース１１およびモータケース４はアルミなどの非磁性材からなる。
【００３２】
（エンコーダホルダ）
図４、図５に示すように、エンコーダホルダ１４は、円形の磁石配置孔１４１が形成された胴部１４０と、胴部１４０から外周側に突出する３本の脚部１５０を備える。図５に示すように、脚部１５０の出力側Ｌ１の端面は、胴部１４０の出力側Ｌ１の端面よりも出
力側Ｌ１に突出している。脚部１５０は、第１軸受ホルダ４２Ａの円形凹部４４の内側に配置され、プレート４７の外周縁に形成された切り欠き４７１に配置されて、円形凹部４４の底面に当接する。脚部１５０には、ホルダ固定ねじ１４５を通す固定孔１４７が設けられている。エンコーダホルダ１４は、３本のホルダ固定ねじ１４５によって脚部１５０が円形凹部４４の底面にねじ止めされることにより、第１軸受ホルダ４２Ａに固定される。エンコーダホルダ１４を第１軸受ホルダ４２Ａに固定すると、磁石配置孔１４１の中央に、回転軸２および磁石組立体１５が配置される。
【００３３】
エンコーダホルダ１４には、回路基板組１３が固定される。図４に示すように、エンコーダホルダ１４は、胴部１４０の反出力側Ｌ２の端面である環状面１４３を備えており、環状面１４３から突出するボス部１４４を３箇所に備えている。回路基板組１３は、３本の基板固定ねじ６５によってボス部１４４にねじ止めされる。回路基板組１３は、ボス部１４４の先端面である基準面Ｐに反出力側Ｌ２から当たることにより、中心軸線Ｌ方向に位置決めされる。エンコーダホルダ１４に回路基板組１３を固定することにより、回路基板組１３に搭載された感磁素子１７と、磁石組立体１５の磁石１６とが所定のギャップで対向する。
【００３４】
エンコーダホルダ１４は、磁石配置孔１４１を囲む胴部１４０を径方向に貫通する貫通部１４８を備える。貫通部１４８は、周方向に離間した２箇所に設けられている。本形態では、貫通部１４８は、胴部１４０を出力側Ｌ１の端部から反出力側Ｌ２に切り欠いた切り欠き部である。貫通部１４８を備えていれば、回転軸２の反出力側Ｌ２の端部に磁石組立体１５を固定する際、第１軸受ホルダ４２Ａに固定されたエンコーダホルダ１４の外周側から、磁石配置孔１４１にドライバなどの固定用工具を用いてアクセスすることができる。
【００３５】
エンコーダホルダ１４に回路基板組１３を固定する際、回路基板組１３の周方向の位置決めは、位置決めピン６６を用いて行われる。図５に示すように、回路基板組１３は、位置決めピン６６の端部が嵌まる２箇所の位置決め孔１３１を備える。位置決め孔１３１は、基板ホルダ５０に設けられている。一方、図４に示すように、エンコーダホルダ１４は、環状面１４３よりも反出力側Ｌ２に突出する凸部を２箇所に備えており、各凸部は、位置決めピン６６の端部が嵌まる位置決め孔１４６を備える。エンコーダホルダ１４と回路基板組１３は、周方向に離間した２箇所において、２本の位置決めピン６６の一端および他端をそれぞれエンコーダホルダ１４の位置決め孔１４６と回路基板組１３の位置決め孔１３１に嵌め込むことにより、周方向に位置決めされる。位置決めピン６６はスプリングピンであるため、回路基板組１３の周方向のがたつきを防止して位置決めを行うことができる。
【００３６】
（エンコーダカバー）
図６は、エンコーダケース１１を取り外したエンコーダ１０および第１軸受ホルダ４２Ａの斜視図である。図７は、エンコーダケース１１を取り外したエンコーダ１０および第１軸受ホルダ４２Ａの分解斜視図である。図２〜図７に示すように、エンコーダカバー１２は、回路基板組１３に対して磁石１６とは反対側（反出力側Ｌ２）から対向する端板部１２１と、端板部１２１の外周縁から出力側Ｌ１へ延びる側板部１２２を備える。図２、図３に示すように、エンコーダカバー１２は、回路基板組１３を磁石１６とは反対側（反出力側Ｌ２）から覆っている。側板部１２２は回路基板組１３の外周側を囲んでおり、回路基板組１３に搭載された感磁素子１７の外周側を囲んでいる。側板部１２２の先端は、回路基板組１３よりも出力側Ｌ１まで延びている。図３、図６に示すように、エンコーダカバー１２は、側板部１２２の先端がエンコーダホルダ１４の環状面１４３に当接することにより、中心軸線Ｌ方向に位置決めされる。
【００３７】
エンコーダカバー１２は、配線取り出し部１１３とは反対側（Ｘ２側）を向く開口部１２３を備える。開口部１２３は、端板部１２１および側板部１２２の周方向の一部を径方向と直交する平面で直線状に切り欠いた切り欠き部である。回路基板組１３は、Ｘ２側の端部がエンコーダカバー１２の外部に配置される。従って、基板６０は、開口部１２３の外側に配置される露出部分６１Ａと、エンコーダカバー１２に収容される収容部分６１Ｂを備える。回路基板組１３は、基板６０の露出部分６１Ａに配置されたコネクタ１８を備える。コネクタ１８をエンコーダカバー１２の外側に配置することにより、エンコーダカバー１２の高さを小さくすることができ、エンコーダ１０の全体高さを小さくすることができる。
【００３８】
図６に示すように、エンコーダカバー１２の開口部１２３は、反出力側Ｌ２から見て回路基板組１３と重なる直線部１２７を備える。直線部１２７は、端板部１２１の端部であり、Ｙ方向に延びている。コネクタ１８は、長手方向をＹ方向に向けて、直線部１２７の中央部分に沿って配置される。直線部１２７の中央には、端板部１２１のエッジをＸ１側へ折り曲げた折り曲げ部１２８が設けられている。後述するように、エンコーダカバー１２とエンコーダケース１１の間には、コネクタ１８に接続されるエンコーダケーブル５が通るケーブル通路２３が設けられている。ケーブル通路２３はＸ方向に延びており、反出力側Ｌ２から見て直線部１２７の中央部分と重なっている。折り曲げ部１２８は、ケーブル通路２３に面した範囲に設けられている。
【００３９】
エンコーダカバー１２は、導電性の固定部材１２５により、回路基板組１３に固定される。図４に示すように、エンコーダカバー１２には、端板部１２１を貫通する固定孔１２４が２箇所に設けられている。また、回路基板組１３には、エンコーダカバー１２の固定孔１２４と対向する２箇所に、固定孔１３２が設けられている。２本の固定部材１２５の一端を固定孔１３２に嵌め込み、他端をエンコーダカバー１２の固定孔１２４に嵌め込むことにより、エンコーダカバー１２が回路基板組１３に対して固定される。固定孔１２４、１３２は、周方向に離間した２箇所に設けられている。固定部材１２５はスプリングピンであり、固定部材１２５の端部は、固定孔１２４、１３２に圧入される。固定部材１２５としてスプリングピンを用いることにより、エンコーダカバー１２の周方向のがたつきが防止される。従って、固定部材１２５により、エンコーダカバー１２の周方向の位置決めを行うことができる。
【００４０】
固定部材１２５は導電性の金属（例えば、ＳＵＳ）からなる導通部材である。固定孔１３２は基板６０に設けられており、２箇所のうちの１箇所は、基板６０上のエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続されるランドが設けられたグランドスルーホール１３３である。従って、２箇所の固定孔１３２に固定部材１２５を嵌め込むことにより、２本の固定部材１２５のうちの１本は、基板６０上のエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続される。
【００４１】
エンコーダカバー１２は、導電性を有する磁性材からなり、シールド部材（第１シールド部材）として機能する。例えば、エンコーダカバー１２は鉄、パーマロイなどで形成されている。本形態では、エンコーダカバー１２は、ＳＰＣＣやＳＰＣＥなどの磁性金属板をプレス加工して形成されている。このように、磁性材で形成されたエンコーダカバー１２によって感磁素子１７を備えた回路基板組１３を覆うことにより、磁性材によって外乱磁界などの磁気ノイズおよび電磁波ノイズを吸収し、感磁素子１７およびエンコーダ回路を磁気ノイズおよび電磁波ノイズから遮蔽することができる。また、エンコーダカバー１２は、２本の固定部材１２５のうちの１本を介して、エンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続される。このように、シグナルグランド電位の部材によって回路基板組１３を覆うことにより、感磁素子１７およびエンコーダ回路をモータケース４からのフレームグランドノイズなどの電気的ノイズから遮蔽することができる。
【００４２】
また、後述するように、回路基板組１３は、基板６０を出力側Ｌ１から覆う基板ホルダ５０を備えており、基板ホルダ５０には、感磁素子１７を覆うようにシールド部材８０（第２シールド部材）が取り付けられている。基板ホルダ５０およびシールド部材８０は、導電性の金属、例えばアルミからなり、エンコーダ回路のシグナルグランドと接続されている。従って、感磁素子１７およびエンコーダ回路は、磁石１６側からも電気的ノイズから遮蔽されているため、開口部１２３を除く全方位で電気的ノイズから遮蔽されている。
【００４３】
（防塵部材）
図２に示すように、エンコーダカバー１２と基板６０との間には、開口部１２３を塞ぐ防塵部材１２６が配置される。防塵部材１２６は弾性部材からなり、回路基板組１３に対してエンコーダカバー１２を固定した状態では、エンコーダカバー１２の端板部１２１と基板６０との間で圧縮されている。図５〜図７に示すように、防塵部材１２６は直線状の部材であり、開口部１２３の縁に沿って直線状に延びている。開口部１２３に防塵部材１２６を配置することにより、導電性の異物が基板６０上へ侵入することを抑制することができる。
【００４４】
図６に示すように、防塵部材１２６は、開口部１２３の直線部１２７に沿ってＹ方向に延びている。図５に示すように、防塵部材１２６は、Ｘ方向の幅およびＺ方向の高さが一定の直方体状の部材である。防塵部材１２６の配置領域Ｃ（図２参照）は、基板６０の中心よりも開口部１２３側（Ｘ２側）である。後述するように、感磁素子１７は、基板６０の中心に搭載された第１感磁素子１７１と、基板ホルダ５０のＸ１側の縁に配置された第２感磁素子１７２を備える。２つの感磁素子のうち、最もコネクタ１８側に配置される感磁素子は第１感磁素子１７１であり、防塵部材１２６は、第１感磁素子１７１の中心に対して開口部１２３側（Ｘ２側）に位置する。第２感磁素子１７２は、基板６０の中心に対して防塵部材１２６が配置される側とは反対側の端部に配置され、反出力側Ｌ２から見て防塵部材１２６と全く重ならない位置に配置されている。
【００４５】
防塵部材１２６は絶縁性の多孔体である。例えば、防塵部材１２６は、ゴムやウレタン等の絶縁材料からなる発泡体である。本形態では、防塵部材１２６は半独立半連続気泡体であり、ＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ジエンゴム）からなる。このように、防塵部材１２６はスポンジ状の柔らかい弾性部材であるため、基板６０とエンコーダカバー１２との間で両部材に密着する形状に変形して、開口部１２３を塞いでいる。防塵部材１２６は、組立前の形状はエンコーダカバー１２と基板６０との隙間より大きく、組み立てることによって圧縮されている。
【００４６】
なお、防塵部材１２６として多孔体を用いる代わりに、絶縁性の充填剤をエンコーダカバー１２と基板６０との隙間に注入して隙間を塞いでもよい。例えば、充填剤として、常温で硬化するシリコーンゴム系の弾性接着剤を用いることができる。
【００４７】
（ケーブル案内部材）
図２〜図５に示すように、エンコーダケース１１とエンコーダカバー１２の間には、同一形状の２個のケーブル案内部材２０が配置される。ケーブル案内部材２０は、ＸＺ面と平行な案内面２１と、案内面２１とは反対側を向く円弧面２２を備える。２個のケーブル案内部材２０は、円弧面２２が同一円上に位置し、且つ、案内面２１がＹ方向に対向するように位置決めされて、エンコーダケース１１に固定される。エンコーダケース１１の端板部１１１には、２個のケーブル案内部材２０を図２、図３に示す配置で位置決めするための位置決め部が設けられている。
【００４８】
図３に示すように、エンコーダケース１１は、端板部１１１から出力側Ｌ１へ突出する
円弧状のリブ１１５と、リブ１１５の内周側に設けられた凸部１１６を備える。リブ１１５および凸部１１６は、ケーブル案内部材２０を位置決めするための位置決め部である。リブ１１５は、ケーブル案内部材２０の円弧面２２と接触し、凸部１１６は、ケーブル案内部材２０を貫通する位置決め孔２４に配置される。ケーブル案内部材２０は、例えば、接着剤によって端板部１１１に固定される。
【００４９】
ケーブル案内部材２０は、弾性部材からなり、エンコーダカバー１２の端板部１２１とエンコーダケース１１の端板部１１１との間で圧縮される。ケーブル案内部材２０は、防塵部材１２６と同様に、絶縁性の多孔体である。本形態では、防塵部材１２６は独立気泡体であり、マイクロセルポリマーシートからなる。エンコーダカバー１２は、ケーブル案内部材２０の弾性復帰力により、エンコーダホルダ１４に押し付けられる。従って、振動等によってエンコーダカバー１２が回路基板組１３から外れるおそれを少なくすることができる。
【００５０】
２個のケーブル案内部材２０の間の空間は、Ｘ方向に延びるケーブル通路２３となる。図２に示すように、回路基板組１３は、基板６０の中心を挟んで配線取り出し部１１３とは反対側の端部（Ｘ２側の端部）にコネクタ１８が配置され、コネクタ１８の差し込み口１８１は、配線取り出し部１１３とは反対側（Ｘ２側）を向いている。図２、図６に示すように、エンコーダケーブル５の先端に設けられたケーブル側コネクタ６は、配線取り出し部１１３とは反対側からコネクタ１８の差し込み口１８１に接続される。エンコーダケーブル５は、コネクタ１８からＸ２側へ引き出され、コネクタ１８のＸ２側でＸ１側へ折り返す形状に屈曲させられ、ケーブル通路２３を通って配線取り出し部１１３へ引き回される。従って、エンコーダケーブル５は、コネクタ１８から配線取り出し部１１３とは反対側へ引き出されて配線取り出し部１１３の側へ折り返される第１部分５Ａと、ケーブル案内部材２０に沿って配線取り出し部１１３の側へ直線状に延びる第２部分５Ｂを備える。
【００５１】
上記のように、エンコーダカバー１２の開口部１２３は、ケーブル通路２３に面した範囲に折り曲げ部１２８が設けられている。従って、エンコーダケーブル５は端板部１２１のエッジに接触することはなく、折り曲げ部１２８に接触するので、エンコーダケーブル５が損傷するおそれが少ない。
【００５２】
（回路基板組）
図８は回路基板組１３を反出力側Ｌ２から見た分解斜視図であり、図９は回路基板組１３を出力側Ｌ１から見た分解斜視図である。図８、図９に示すように、回路基板組１３は、基板ホルダ５０と、基板ホルダ５０に対して反出力側Ｌ２から当接する基板６０と、基板ホルダ５０に対して基板６０を固定する導電性の固定部材７０と、基板ホルダ５０に出力側Ｌ１から固定されるシールド部材８０を備える。基板６０は、中心軸線Ｌ方向に見て略円形であり、Ｘ２側の縁にコネクタ１８が搭載されている。コネクタ１８は、基板６０の縁を直線状に切り欠いた直線部６１に沿って配置されている。基板ホルダ５０は、中心軸線Ｌ方向に見て基板６０と略同一形状であり、基板６０と基板ホルダ５０は、中心軸線Ｌ方向に当接する。
【００５３】
基板６０には、基板ホルダ５０に対する固定用の固定孔６２が２箇所に形成されている。２箇所の固定孔６２は、基板ホルダ５０の中心を挟んで反対側に配置されている。また、２箇所の固定孔６２のうちの一方は、基板６０に搭載されたエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続されたグランドスルーホール６２１である。なお、２箇所の固定孔６２のどちらをグランドスルーホール６２１にしても良い。また、固定孔６２を３か所以上設け、３か所で基板６０と基板ホルダ５０を固定してもよい。
【００５４】
基板ホルダ５０は、基板６０と対向する平面部５３と、平面部５３の外周縁から反出力側Ｌ２に立ち上がる縁部５４を備える。平面部５３には、基板６０の固定孔６２と対向する２箇所に固定孔５１が形成されている。固定部材７０の一端および他端を、それぞれ、基板６０の固定孔６２と基板ホルダ５０の固定孔５１に嵌め込むことにより、基板ホルダ５０に基板６０が固定される。固定部材７０はスプリングピンである。固定部材７０としてスプリングピンを用いることにより、基板ホルダ５０に対する基板６０のがたつきが防止される。また、上記のように、固定部材７０は導電性の金属、例えばＳＵＳで形成された導通部材であり、固定孔６２のうちの１つはグランドスルーホール６２１であるため、固定部材７０を介して基板ホルダ５０に基板６０が取り付けられると、固定部材７０およびグランドスルーホール６２１を介して、基板ホルダ５０が基板６０に搭載されたエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続される。なお、固定部材７０を半田接合により固定孔６２に固定してもよい。
【００５５】
基板ホルダ５０には、エンコーダホルダ１４のボス部１４４に対応する３か所に基板固定ねじ６５を通すためのボス部５２が形成されている。本形態では、ボス部５２の反出力側Ｌ２の先端面が、基板６０と当接する当接面となっている。また、ボス部５２の出力側Ｌ１の端面は、エンコーダホルダ１４と当接する当接面となっている。
【００５６】
基板６０には、ボス部５２と対向する３か所に固定孔６３が形成されている。回路基板組１３は、３本の基板固定ねじ６５をそれぞれ基板６０の固定孔６３および基板ホルダ５０のボス部５２に通して、その先端をエンコーダホルダ１４のボス部１４４にねじ止めすることにより、エンコーダホルダ１４に固定される。エンコーダホルダ１４は樹脂などの絶縁材からなる。従って、エンコーダホルダ１４を介して第１軸受ホルダ４２Ａに回路基板組１３を固定すると、基板ホルダ５０は第１軸受ホルダ４２Ａから絶縁される。
【００５７】
基板６０は、反出力側Ｌ２を向く反出力側基板面６０ａ、および、出力側Ｌ１を向く出力側基板面６０ｂを備える。反出力側基板面６０ａには、エンコーダ回路を構成する回路素子、エンコーダケーブル５を接続するためのコネクタ１８、および、接続端子１７３などが搭載されている。接続端子１７３は、基板６０の外周縁に配置され、基板６０の中心を挟んでコネクタ１８とは反対側に配置されている。基板６０の外周縁には、接続端子１７３の径方向外側に切り欠き部６４が形成されている。図９に示すように、感磁素子１７は、出力側基板面６０ｂの中央に配置される第１感磁素子１７１、および、フレキシブル配線基板１７４を介して接続端子１７３と接続される第２感磁素子１７２を備える。フレキシブル配線基板１７４は、基板６０の切り欠き部６４を通り、基板６０の出力側Ｌ１に引き回されている。第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２は、それぞれ、基板６０上に構成されたエンコーダ回路のシグナルグランドと接続されるグランド端子（図示省略）を備える。また、出力側基板面６０ｂには、第１感磁素子１７１の近傍に２つのホール素子１７５が搭載されている。２つのホール素子１７５は、感磁素子１７の位置を基準として９０度離れた角度位置に配置されている。
【００５８】
基板ホルダ５０の平面部５３の中央には、円形の貫通孔５６が形成されている。また、平面部５３の出力側Ｌ１の面には、出力側Ｌ１に突出する段差部５７が形成されている。段差部５７は、貫通孔５６を囲む領域から平面部５３の外周縁に向かって帯状に延びている。段差部５７には、略矩形の貫通孔５８が形成されている。基板ホルダ５０に基板６０を固定したとき、貫通孔５６に第１感磁素子１７１およびホール素子１７５が配置される。また、貫通孔５８には、フレキシブル配線基板１７４を介して基板６０上の接続端子１７３と接続された第２感磁素子１７２が配置される。第２感磁素子１７２は、貫通孔５８の縁に固定され、基板ホルダ５０に搭載されている。
【００５９】
後述するように、磁石組立体１５の反出力側Ｌ２の先端には、円形の第１磁石１６１、
および、第１磁石１６１と同軸に配置される環状の第２磁石１６２が配置される。回路基板組１３をエンコーダホルダ１４に対して固定すると、図２、図３に示すように、第１感磁素子１７１と第１磁石１６１が対向し、第２感磁素子１７２と第２磁石１６２が対向する。エンコーダ１０は、第１感磁素子１７１の出力側Ｌ１の表面と第１磁石１６１との間、および、第２感磁素子１７２の出力側Ｌ１の表面と第２磁石１６２の間に所定のギャップが形成されるように組み立てられている。後述するように、本形態では、エンコーダホルダ１４の基準面Ｐを基準として磁石組立体１５および回路基板組１３を位置決めすることにより、感磁素子１７と磁石１６とのギャップを精度良く管理する。
【００６０】
第１感磁素子１７１およびその近傍に配置される２個のホール素子１７５と第１磁石１６１は、１回転で得られる第１感磁素子１７１の出力の周期を２個のホール素子１７５により判別することでアブソリュートエンコーダとして機能する。一方、第２感磁素子１７２と第２磁石１６２は、１回転で複数周期の出力が得られるため、インクリメンタルエンコーダとして機能する。エンコーダ１０は、これらの２組のエンコーダの出力を処理することにより、高分解能で、且つ、高精度な位置検出を行うことができる。
【００６１】
（シールド部材）
シールド部材８０は、基板ホルダ５０の段差部５７に出力側Ｌ１から取り付けられている。シールド部材８０は可撓性のシート材であり、段差部５７に形成された貫通孔５６および貫通孔５８を完全に塞ぐ大きさである。段差部５７は出力側Ｌ１を向くシールド取付面５９を備えており、シールド部材８０は、導電性接着剤を介してシールド取付面５９に固定される。上記のように、シールド部材８０は、基板ホルダ５０と同様に、導電性の非磁性金属、例えばアルミで形成されている。このため、シールド部材８０は、基板ホルダ５０を介して、基板６０に搭載されたエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続される。
【００６２】
シールド部材８０は、貫通孔５６に配置された第１感磁素子１７１、および、貫通孔５８に配置された第２感磁素子１７２を覆っている。従って、第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２は、シールド部材８０を介して第１磁石１６１および第２磁石１６２と対向する。基板ホルダ５０にシールド部材８０を取り付けたことにより、第１感磁素子１７１と第２感磁素子１７２は、シグナルグランド電位の部材（基板ホルダ５０およびシールド部材８０）によってモータ３から遮蔽される。従って、第１磁石１６１および第２磁石１６２との隙間から回り込んでくるフレームグランドノイズや電源ノイズなどを効果的に遮蔽できる。なお、第１感磁素子１７１と第２感磁素子１７２は、シールド部材８０を介して第１磁石１６１および第２磁石１６２と対向するが、シールド部材８０は非磁性金属であるため、電磁波ノイズについては良好に遮蔽しつつ、磁気式のエンコーダとしての機能が損なわれることはない。
【００６３】
（磁石組立体）
図１０は、磁石組立体の分解斜視図である。磁石組立体１５は、磁石ホルダ１９と、磁石ホルダ１９に保持される磁石１６を備える。図１０に示すように、磁石ホルダ１９は、略円板状の磁石保持部１９１と、磁石保持部１９１の中心から出力側Ｌ１へ突出する筒状の軸部１９２を備える。軸部１９２には、回転軸２の先端が圧入、接着剤、および止めねじの何れか、あるいは、これらを併用して固定される。図２、図３に示すように、本形態では、軸部１９２を径方向に貫通するねじ孔１９５に止めねじ１９６が締め込まれ、軸部１９２の中心を通る軸孔１９７に配置される回転軸２を側面から固定する。図１０に示すように、磁石１６は、磁石保持部１９１の中央に形成された凹部に嵌合する円形の第１磁石１６１、および、磁石保持部１９１の外周縁に形成された段部に嵌合する環状の第２磁石１６２を備える。
【００６４】
磁石ホルダ１９は鉄などの磁性材からなる。磁石保持部１９１は、第１磁石１６１と第２磁石１６２の磁気干渉を抑制するためのシールド部１９３と、第２磁石１６２の出力側Ｌ１に位置するヨーク部１９４を備える。磁石組立体１５において、第１磁石１６１と第２磁石１６２は径方向に離間しており、シールド部１９３は、第１磁石１６１と第２磁石１６２の間に配置される。シールド部１９３は、反出力側Ｌ２に突出する環状凸部であり、ヨーク部１９４は、第２磁石１６２の出力側Ｌ１において径方向外側へ環状に延びている。
【００６５】
第１磁石１６１は、反出力側Ｌ２を向く着磁面１６１ａを備えており、着磁面１６１ａは、シールド部１９３の先端面１９３ａより出力側Ｌ１に凹んだ位置に位置する（図１３参照）。また、第２磁石１６２は、反出力側Ｌ２を向く着磁面１６２ａを備えており、着磁面１６２ａは、シールド部１９３の先端面１９３ａより反出力側Ｌ２（第２感磁素子１７２側）へ突出した位置に位置する（図１３参照）。第１磁石１６１と第２磁石１６２は、シールド部１９３と径方向に接している。また、シールド部１９３は、中心軸線Ｌ方向（すなわち、回転軸２の軸線方向）の高さが径方向の幅より小さい幅広の凸部である。
【００６６】
図１１は、第１磁石１６１と第２磁石の着磁分極線の位置を示す説明図であり、磁石組立体１５を反出力側Ｌ２から見た平面図である。第１磁石１６１は周方向にＮ極とＳ極が１極ずつ着磁されている。一方、第２磁石１６２はＮ極とＳ極が周方向に交互に複数極ずつ着磁されている。図１１に示す例では、第２磁石１６２には、６４の磁極対が設けられている。なお、磁極対の数は６４に限定されない。
【００６７】
磁石組立体１５は、第１磁石１６１と第２磁石１６２の着磁分極線の位置が一致していない。図１１に示すように、第１磁石１６１の着磁分極線Ｍ１は、第２磁石１６２のＮ極領域もしくはＳ極領域の周方向の中央（すなわち、周方向で隣り合う着磁分極線Ｍ２の中間点）と同一の角度位置に位置する。磁石ホルダ１９は、着磁分極線Ｍ１、Ｍ２の位置を目標位置に合わせるための位置基準を備える。本形態では、位置基準となる目印を備えており、目印は、シールド部１９３の先端面１９３ａに設けられたケガキ線１９８である。ケガキ線１９８は径方向に延びており、径方向で反対側の２箇所に設けられている。ケガキ線１９８の角度位置は、第１磁石１６１の着磁分極線Ｍ１の目標位置と一致する。
【００６８】
なお、着磁分極線Ｍ１、Ｍ２の位置を合わせるために磁石ホルダ１９に設ける位置基準は、ケガキ線１９８とは異なるものでもよい。例えば、凹部や凸部、あるいは切り欠きを位置基準とすることができる。また、第１磁石１６１の側に位置基準と嵌合する形状を設けることにより、機械的な嵌め合いによって位置決めを行うことができる。
【００６９】
（磁石組立体の製造方法）
図１２は、磁石組立体１５の製造方法のフローチャートである。磁石組立体１５は、着磁分極線Ｍ１、Ｍ２の角度位置が一致しない位置関係となるように第１磁石１６１と第２磁石１６２の磁極の目標位置を設定して製造される。図１１に示すように、第１磁石１６１の目標位置は、着磁分極線Ｍ１とケガキ線１９８（位置基準となる目印）の角度位置が一致する位置である。また、第２磁石１６２の目標位置は、Ｎ極領域もしくはＳ極領域の周方向の中央（周方向で隣り合う着磁分極線Ｍ２の中間点）とケガキ線１９８の角度位置とが一致する位置である。
【００７０】
図１２に示すように、ステップＳＴ１１では、磁石ホルダ１９に対して着磁済みの第１磁石１６１を位置決めして固定する。このとき、ケガキ線１９８を基準として、第１磁石１６１の着磁分極線Ｍ１とケガキ線１９８の角度位置とを一致させることにより第１磁石１６１の周方向の位置決めを行うと共に、第１磁石１６１の着磁面１６１ａが、シールド部１９３の先端面１９３ａよりも出力側Ｌ１に凹んだ位置に配置されるように、中心軸線
Ｌ方向の位置決めを行う。磁石保持部１９１に対する第１磁石１６１の固定は、圧入、接着剤等の方法で行う。
【００７１】
次に、第２ステップＳＴ１２では、着磁前の第２磁石１６２を磁石保持部１９１の外周縁の段部に固定する。このとき、第２磁石１６２は着磁前であるため周方向の位置決めは行わないが、反出力側Ｌ２の表面（着磁面１６２ａとなる面）が、シールド部１９３の先端面１９３ａよりも反出力側Ｌ２へ突出した位置に配置されるように、第２磁石１６２の中心軸線Ｌ方向の位置決めを行って固定する。磁石保持部１９１に対する第２磁石１６２の固定は、圧入、接着剤等の方法で行う。
【００７２】
続いて、第３ステップＳＴ１３では、磁石保持部１９１に固定された第２磁石１６２を着磁機にセットし、ケガキ線１９８を基準として、着磁分極線Ｍ２の位置が図１１に示す配置となるように、第２磁石１６２を着磁する。すなわち、周方向で隣り合う着磁分極線Ｍ２の中間点が着磁分極線Ｍ１の角度位置と一致するように、第２磁石１６２を着磁する。このように、位置基準となるケガキ線１９８を設けておくことにより、着磁分極線Ｍ１、Ｍ２の位置精度を高めることができる。
【００７３】
（感磁素子と磁石とのギャップ管理）
図１３は、磁石組立体１５および回路基板組１３の位置決め構造を示す部分分解断面図であり、図６のＤ−Ｄ位置で切断した部分分解断面図である。エンコーダ１０は、感磁素子１７と磁石１６とのギャップを精度良く管理するため、エンコーダホルダ１４に設けられた基準面Ｐを基準として、磁石組立体１５と回路基板組１３が組み立てられている。上記のように、基準面Ｐは、回路基板組１３が当接するボス部１４４の先端面である。図７に示すように、基準面Ｐは、周方向に離間した３箇所に設けられている。
【００７４】
図１３に示すように、磁石組立体１５は、第１磁石１６１の着磁面１６１ａの位置Ｈ１と、シールド部１９３の先端面１９３ａの位置Ｈ２と、第２磁石１６２の着磁面１６２ａの位置Ｈ３とが中心軸線Ｌ方向で異なる。磁石組立体１５において、最も反出力側Ｌ２に位置する面は、第２磁石１６２の着磁面１６２ａである。磁石組立体１５は、基準面Ｐと第２磁石１６２の着磁面１６２ａとが中心軸線Ｌ方向で所定の位置関係となる位置に位置決めされて、回転軸２に固定される。本形態では、基準面Ｐと着磁面１６２ａとが同一面上に位置する位置関係となる位置に磁石組立体１５が位置決めされて回転軸２に固定される。
【００７５】
このように、基準面Ｐと着磁面１６２ａとを同一面上に配置した後、基準面Ｐに回路基板組１３のボス部５２を当接させて固定する場合には、第２感磁素子１７２のセンサ面１７２ａと着磁面１６２ａとのギャップＧは、図１３に示すように、回路基板組１３におけるボス部５２の先端面とセンサ面１７２ａとの高低差と一致する。第２感磁素子１７２は、基板ホルダ５０のシールド取付面５９とセンサ面１７２ａとを同一面上に位置決めして取り付けられている。つまり、回路基板組１３において、シールド取付面５９は、基板ホルダ５０に設けられたセンサ基準面である。従って、センサ面１７２ａと着磁面１６２ａとのギャップＧは、基板ホルダ５０におけるシールド取付面５９（センサ基準面）とボス部５２の先端面との高低差であるため、ギャップＧの管理は、基板ホルダ５０の寸法精度を管理することにより行うことができる。本形態では、基板ホルダ５０はアルミ製であるため、容易に加工精度を高めることができる。従って、ギャップＧを精度良く管理することができる。
【００７６】
図１４は、磁石組立体１５および回路基板組１３の組立方法のフローチャートである。図１４に示すように、ステップＳＴ２１では、エンコーダホルダ１４をモータケース４（第１軸受ホルダ４２Ａ）に対して固定する。次に、ステップＳＴ２２では、エンコーダホ
ルダ１４に設けられた基準面Ｐと第２磁石１６２の着磁面１６２ａとが所定の位置関係となる位置に磁石組立体１５を位置決めする。本形態では、平板状の治具１００を用いてこの位置決めを行う。例えば、治具１００に設けられた位置決め面１０１を基準面Ｐに当接させると共に、第２磁石１６２の着磁面１６２ａを位置決め面１０１に当接させる。
【００７７】
続いて、ステップＳＴ２３では、磁石組立体１５を回転軸２に固定する。本形態では、エンコーダホルダ１４の貫通部１４８から、ドライバなどの固定用工具を用いて磁石ホルダ１９の軸部１９２に設けられたねじ孔１９５にアクセスして、止めねじ１９６をねじ孔１９５に締め込む。これにより、止めねじ１９６の先端によって回転軸２が磁石ホルダ１９の軸孔１９７の内周面に押し付けられ、磁石ホルダ１９が回転軸２に固定される。ねじ孔１９５は、周方向に離間した２か所に設けられ、各ねじ孔１９５に止めねじ１９６がねじ止めされる。そのため、エンコーダホルダ１４には、磁石ホルダ１９に設けられた２か所のねじ孔１９５の角度間隔と同一の角度間隔で、２か所に貫通部１４８が設けられている。
【００７８】
次に、ステップＳＴ２４では、回路基板組１３をエンコーダホルダ１４に固定する。このとき、エンコーダホルダ１４に設けられた３箇所の基準面Ｐに対して回路基板組１３のボス部５２を当接させて中心軸線Ｌ方向の位置決めを行う。また、周方向の位置決めは、上記の位置決めピン６６によって行う。位置決め後、基板固定ねじ６５（図４参照）によって、回路基板組１３をエンコーダホルダ１４に固定する。これにより、第２磁石１６２の着磁面１６２ａと、第２感磁素子１７２のセンサ面１７２ａとが所定のギャップＧで対向するとともに、第２磁石１６２の着磁面１６２ａと、第２感磁素子１７２のセンサ面１７１ａとが所定のギャップで対向する。
【００７９】
（ターミナル部材）
エンコーダケーブル５は、複数の信号線を金属製の網状のシールドで覆ったシールドケーブルである。エンコーダケーブル５の端部には、信号線から絶縁されて信号線を覆うシールドと接続されたフレームグランド線が複数の信号線と並んで引き出されている。フレームグランド線は、基板６０上にエンコーダ回路と絶縁されて設けられたパターンおよびターミナル部材９を介して、モータ３のフレームグランド電位と電気的に接続される。
【００８０】
図６、図７に示すように、エンコーダホルダ１４を第１軸受ホルダ４２Ａに固定する３本のホルダ固定ねじ１４５のうちの１本は、エンコーダホルダ１４の脚部１５０とターミナル部材９とを重ねて固定するターミナル固定ねじ１４５Ａとなっている。エンコーダホルダ１４の胴部１４０のＸ２側の部分には、出力側Ｌ１へ凹んだ形状の切り欠き部１４９が設けられている。切り欠き部１４９の外周側には３箇所の脚部１５０のうちの１つが配置され、ターミナル部材９は切り欠き部１４９および脚部１５０と重なっている。
【００８１】
ターミナル部材９は導電性の板金部材であり、本形態では、銅製である。ターミナル部材９は、エンコーダホルダ１４の切り欠き部１４９から脚部１５０の上へ延びる固定部９１と、固定部９１から回路基板組１３の側へ延びる腕部９２を備える。固定部９１には、脚部１５０に設けられた固定孔１４７（図５参照）と重なる長孔９３が設けられている。固定部９１は、導電性の固定部材であるターミナル固定ねじ１４５Ａの頭部と脚部１５０との間に挟まれ、ターミナル固定ねじ１４５Ａによって脚部１５０と共に第１軸受ホルダ４２Ａにねじ止めされる。従って、ターミナル部材９は、ターミナル固定ねじ１４５Ａを介してモータケース４のフレームグランドと電気的に接続される。
【００８２】
基板６０には、コネクタ１８と周方向で並ぶ位置に第１貫通孔７が形成されている。また、基板ホルダ５０には、基板６０の第１貫通孔７と中心軸線Ｌ方向で重なる位置に第２貫通孔８が形成されている。ターミナル部材９の腕部９２は、固定部９１から周方向に延
びる第１部分９４と、第１部分９４に対して略直角に屈曲して反出力側Ｌ２へ延びる第２部分９５を備える。回路基板組１３をエンコーダホルダ１４に固定すると、第２部分９５の先端部９６が第１貫通孔７および第２貫通孔８に配置される。第２部分９５の先端部９６を第１貫通孔７に半田付けすると、ターミナル部材９は、第１貫通孔７の縁に設けられたランド７ａと電気的に接続される。
【００８３】
図２、図６に示すように、エンコーダケーブル５の端部には、基板６０上のコネクタ１８に接続されるケーブル側コネクタ６が設けられている。ケーブル側コネクタ６は、複数の信号線およびフレームグランド線のそれぞれに対応する端子を備える。
【００８４】
図８に示すように、基板６０上のコネクタ１８には、複数の端子接続部１８２がコネクタ１８の幅方向に一列に並んで設けられている。複数の端子接続部１８２のうちの１箇所の端子接続部１８２ｂは、基板６０に設けられたパターンを介して、第１貫通孔７の縁に設けられたランド７ａと電気的に接続されている。また、他の端子接続部１８２ａの一部あるいは全部が、基板６０上に設けられたエンコーダ回路と接続されている。ここで、ランド７ａと端子接続部１８２ｂとを接続するパターンは、エンコーダ回路および他の端子接続部１８２ａからは絶縁され、エンコーダ回路のシグナルグランドとは絶縁されている。なお、第１貫通孔７は、パターンと電気的に接続されたスルーホールであってもよい。
【００８５】
ケーブル側コネクタ６を基板６０上のコネクタ１８に接続すると、エンコーダケーブル５のフレームグランド線に対応する端子は、ランド７ａと電気的に接続されている端子接続部１８２ｂと接続される。従って、エンコーダケーブル５のフレームグランド線は、ランド７ａおよび基板６０上のパターンを介して、第１貫通孔７に半田付けされたターミナル部材９と電気的に接続され、ターミナル部材９を介して、モータケース４のフレームグランドと接続される。一方、基板ホルダ５０に形成された第２貫通孔８は基板６０の第１貫通孔７より一回り大きく、ターミナル部材９は第２貫通孔８の縁とは接触しない。従って、基板ホルダ５０は、ターミナル部材９を介してモータケース４のフレームグランドと電気的に接続されることはない。
【００８６】
このように、本形態では、エンコーダケーブル５を基板６０に接続する際に、ケーブル側コネクタ６を基板６０上のコネクタ１８に差し込むだけで、エンコーダケーブル５がモータケース４のフレームグランドと電気的に接続される。エンコーダケーブル５をモータケース４のフレームグランドと電気的に接続することにより、エンコーダケーブル５の外部から侵入する電気的ノイズの遮蔽効果を高めることができる。従って、エンコーダ１０のノイズ耐性を高めることができる。
【００８７】
（本形態の主な作用効果）
以上のように、本形態のエンコーダ１０は、磁石組立体１５と、回路基板組１３と、エンコーダホルダ１４を有する。磁石組立体１５は、回転軸２と一体に回転する磁石ホルダ１９、および、磁石ホルダ１９に固定される磁石１６（第１磁石１６１、第２磁石１６２）を備える。回路基板組１３は、磁石１６の着磁面（着磁面１６１ａ、１６２ａ）と対向する感磁素子１７（第１感磁素子１７１、第２感磁素子１７２）および基板６０を備えており、基板６０には、感磁素子１７の信号が入力されるエンコーダ回路が設けられている。エンコーダホルダ１４は、回路基板組１３が載る基準面Ｐを備える。磁石組立体１５は、基準面Ｐと第２磁石１６２の着磁面１６２ａとが所定の位置関係（本形態では、同一面上）となる位置に位置決めされて、回転軸２に固定されている。
【００８８】
また、エンコーダ１０を組み立てる際には、エンコーダホルダ１４を第１軸受ホルダ４２Ａ（モータ３）に固定し（ステップＳＴ２１）、エンコーダホルダ１４に設けられた基準面Ｐと第２磁石１６２の着磁面１６２ａとが所定の位置関係（本形態では、同一面上）
となる位置に磁石組立体１５を位置決めして（ステップＳＴ２２）、磁石組立体１５を回転軸２に固定し（ステップＳＴ２３）、回路基板組１３を基準面Ｐに載せてエンコーダホルダ１４に固定する（ステップＳＴ２４）。
【００８９】
本形態では、このように、回路基板組１３が固定されるエンコーダホルダ１４の面を基準面Ｐとし、この基準面Ｐと第２磁石１６２の着磁面１６２ａとが所定の位置関係（例えば、同一面上）となるように、磁石組立体１５を位置決めして固定する。例えば、基準面Ｐに治具１００を当接させ、治具１００に対して着磁面１６２ａを当接させて位置決めする。しかる後に、基準面Ｐに対して回路基板組１３を当接させて固定する。このようにすると、エンコーダホルダ１４と磁石ホルダ１９の寸法精度が低くても、基準面Ｐに対して、第２磁石１６２の着磁面１６２ａが精度良く位置決めされる。従って、第２磁石１６２と第２感磁素子１７２とのとのギャップＧのばらつきは、第２感磁素子１７２が搭載される回路基板組１３側の部品（本形態では、基板ホルダ５０）の寸法公差のみとなり、モータ３と回路基板組１３との間の部品（本形態では、エンコーダホルダ１４）、および、第２磁石１６２と回転軸２との間の部品（本形態では、磁石ホルダ１９）の寸法公差が積み上がることを回避できる。従って、これらの部品（エンコーダホルダ１４と磁石ホルダ１９）の寸法精度が低くても、第２磁石１６２と第２感磁素子１７２とのギャップＧを精度良く管理することができる。また、第１磁石１６１と第１感磁素子１７１とのギャップについても、同様に部品の寸法公差が積み上がることを回避できるため、精度良く管理することができる。よって、エンコーダ１０の分解能を高めることができ、エンコーダ１０による角度検出の精度を高めることができる。
【００９０】
本形態では、所定の位置関係は、基準面Ｐと着磁面１６２ａとが同一面上に位置する位置関係である。従って、治具１００は、両部材を当接させる平面（位置決め面１０１）を備えていればよいため、治具１００を単純な形状にすることができる。従って、高精度な加工を必要としない安価な治具１００を使用して組み立てることができるため、製造コストを下げることができる。
【００９１】
所定の位置関係は、基準面Ｐと着磁面１６２ａとが同一面上に位置しない位置関係であってもよい。この場合には、基準面Ｐと着磁面１６２ａとの高低差と同じ段差を備えた治具１００を使用して磁石組立体１５を位置決めすればよい。なお、この場合には、第２感磁素子１７２と着磁面１６２ａとのギャップＧは、基準面Ｐと着磁面１６２ａとの高低差を含んだ寸法となるが、ギャップＧのばらつきは、基準面Ｐと着磁面１６２ａが同一面上に位置する場合と同程度である。
【００９２】
本形態の磁石１６は、周方向にＮ極とＳ極が１極ずつ着磁された第１磁石１６１、および、Ｎ極とＳ極が周方向に交互に複数着磁された第２磁石１６２を備える。第１磁石１６１は第１感磁素子１７１と対抗し、第２磁石１６２は第２感磁素子１７２と対向する。第１磁石１６１と第２磁石１６２は径方向に離間しており、磁石ホルダ１９は、第１磁石１６１と第２磁石１６２の間に位置するシールド部１９３を備える。第２磁石１６２の着磁面１６２ａは、第１磁石１６１の着磁面１６２ａおよびシールド部１９３の先端面１９３ａよりも第２感磁素子１７２側に突出した位置に配置されている。従って、第２磁石１６２の着磁面１６２ａが最も突出した位置にあるので、第２磁石１６２と第２感磁素子１７２とのギャップＧを小さくすることができる。第２感磁素子１７２は、複数着磁された磁石１６の磁界を検出する感磁素子１７であるため、角度検出の精度に対するギャップＧのばらつきの影響が大きい。従って、第２磁石１６２と第２感磁素子１７２とのギャップＧを小さくすることにより、角度検出の精度を高めることができる。
【００９３】
ここで、治具１００が磁性材であれば、第２磁石１６２の磁力によって治具１００を吸着して磁石組立体１５を位置決めすることができる。例えば、治具１００を基準面Ｐに当
接させ、第２磁石１６２の着磁面１６２ａで治具１００を吸着することにより、磁力によって磁石組立体１５を位置決めできる。このように、磁力で吸着することにより、着磁面１６２ａを確実に治具１００に当接させることができる。従って、磁石組立体１５を精度良く位置決めできる。また、回転軸２に固定する作業の間は磁力によって磁石組立体１５を保持できるため、磁石組立体１５を保持するための治具を別途必要としない。従って、磁石組立体１５を位置決めして固定する作業を精度良く、且つ、容易に行うことができる。
【００９４】
また、治具１００が磁性材である場合には、圧入によって磁石組立体１５を回転軸２に固定することが好ましい。例えば、第２磁石１６２の着磁面１６２ａによって治具１００を吸着した状態で、基準面Ｐに治具１００が接触するまで、回転軸２を磁石ホルダ１９に対して圧入する。このようにすると、磁力によって治具１００を吸着した状態で磁石ホルダ１９に回転軸２を圧入できるため、磁石組立体１５の固定作業が容易である。
【００９５】
本形態では、磁石ホルダ１９は、回転軸２が配置される軸孔１９７と、軸孔１９７を囲む部分を貫通するねじ孔１９５を備え、エンコーダホルダ１４は、磁石ホルダ１９が配置される磁石配置孔１４１と、磁石配置孔１４１を囲む部分を径方向に貫通する貫通部１４８を備える。磁石ホルダ１９は、止めねじ１９６により回転軸２に固定され、止めねじ１９６を固定する作業は、エンコーダホルダ１４の貫通部１４８から工具を挿入して行う。このように、エンコーダホルダ１４を径方向に貫通する貫通部１４８を設けたことにより、エンコーダホルダ１４の高さの範囲内でエンコーダホルダ１４の内周側へアクセスでき、エンコーダホルダ１４の高さの範囲内で磁石組立体１５の固定作業を行うことができる。従って、固定作業を行うスペースを確保するために、エンコーダ１０が高さ方向に大型化することを回避できる。
【００９６】
本形態では、エンコーダホルダ１４に固定された少なくとも２本のスプリングピンを回路基板組１３の位置決め孔１３１に嵌めることにより、回路基板組１３を周方向に位置決めする。従って、回路基板組１３を精度良く位置決めできるため、感磁素子１７の位置精度を高めることができる。よって、角度検出の精度を高めることができる。
【００９７】
本形態では、回路基板組１３は磁石１６側から基板６０を覆う基板ホルダ５０を備えており、基板ホルダ５０を基準面Ｐに当接させて、回路基板組１３をエンコーダホルダ１４に固定する。また、基板ホルダ５０に設けられたセンサ基準面であるシールド取付面５９に対して第２感磁素子１７２のセンサ面１７２ａが位置決めされる。例えば、本形態では、センサ面１７２ａとシールド取付面５９とが同一面上に配置されるように回路基板組１３が組み立てられている。従って、基板ホルダ５０に対する第２感磁素子１７２の位置精度が高いため、基板ホルダ５０が当接する基準面Ｐに対する第２感磁素子１７２の位置精度が高い。よって、第２磁石１６２と第２感磁素子１７２とのギャップＧを精度良く管理することができる。
【００９８】
（変形例）
（１）上記形態では、回路基板組１３が基板６０と基板ホルダ５０を備えており、第１感磁素子１７１は基板６０に搭載され、第２感磁素子１７２は基板ホルダ５０に固定されてフレキシブル配線基板１７４によって基板６０に接続されているが、回路基板組１３は、基板ホルダ５０を備えていない構成であってもよい。例えば、第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２を基板６０に搭載し、エンコーダホルダ１４に基板６０を当接させて固定する構造を採用してもよい。
【００９９】
（２）第２磁石１６２の着磁を磁石ホルダ１９に固定する前に行い、ケガキ線１９８と着磁分極線Ｍ２の周方向の位置が一致しないように第２磁石１６２の周方向の位置決めを行
い、第２磁石１６２を磁石ホルダ１９に固定する製造方法を採用してもよい。
【符号の説明】
【０１００】
１…エンコーダ付きモータ、２…回転軸、３…モータ、４…モータケース、５…エンコーダケーブル、５Ａ…第１部分、５Ｂ…第２部分、６…ケーブル側コネクタ、７ａ…ランド、７…第１貫通孔、８…第２貫通孔、９…ターミナル部材、１０…エンコーダ、１１…エンコーダケース、１２…エンコーダカバー、１３…回路基板組、１４…エンコーダホルダ、１５…磁石組立体、１６…磁石、１７…感磁素子、１８…コネクタ、１９…磁石ホルダ、２０…ケーブル案内部材、２１…案内面、２２…円弧面、２３…ケーブル通路、２４…位置決め孔、４１…筒状ケース、４２Ａ…第１軸受ホルダ、４３…軸受、４４…円形凹部、４５…フランジ、４６…環状壁、４７…プレート、４８…貫通孔、５０…基板ホルダ、５１…固定孔、５２…ボス部、５３…平面部、５４…縁部、５６…貫通孔、５７…段差部、５８…貫通孔、５９…シールド取付面、６０…基板、６０ａ…反出力側基板面、６０ｂ…出力側基板面、６１…直線部、６１Ａ…露出部分、６１Ｂ…収容部分、６２、６３…固定孔、６４…切り欠き部、６５…基板固定ねじ、６６…位置決めピン、７０…固定部材、８０…シールド部材、９０…折り曲げ位置、９１…固定部、９２…腕部、９３…長孔、９４…第１部分、９５…第２部分、９６…先端部、１００…治具、１０１…位置決め面、１１１…端板部、１１２…側板部、１１３…配線取り出し部、１１４…シール部材、１１５…リブ、１１６…凸部、１１７…切り欠き部、１１８…保持部材、１１９…エンコーダケーブルホルダ、１２１…端板部、１２２…側板部、１２３…開口部、１２４…固定孔、１２５…固定部材、１２６…防塵部材、１２７…直線部、１２８…折り曲げ部、１３１…位置決め孔、１３２…固定孔、１３３…グランドスルーホール、１４０…胴部、１４１…磁石配置孔、１４３…環状面、１４４…ボス部、１４５…ホルダ固定ねじ、１４５Ａ…ターミナル固定ねじ、１４６…位置決め孔、１４７…固定孔、１４８…貫通部、１４９…切り欠き部、１５０…脚部、１６１…第１磁石、１６１ａ…着磁面、１６２…第２磁石、１６２ａ…着磁面、１７１…第１感磁素子、１７１ａ…センサ面、１７２…第２感磁素子、１７２ａ…センサ面、１７３…接続端子、１７４…フレキシブル配線基板、１７５…ホール素子、１８１…差し込み口、１８２、１８２ａ、１８２ｂ…端子接続部、１９１…磁石保持部、１９２…軸部、１９３…シールド部、１９３ａ…先端面、１９４…ヨーク部、１９５…ねじ孔、１９６…止めねじ、１９７…軸孔、１９８…ケガキ線、４７１…切り欠き、６２１…グランドスルーホール、Ｃ…防塵部材の配置領域、Ｇ…ギャップ、Ｌ…中心軸線、Ｌ１…出力側、Ｌ２…反出力側、Ｍ１…第１磁石の着磁分極線、Ｍ２…第２磁石の着磁分極線、Ｐ…基準面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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