(57)【要約】【課題】長時間を要さずに分光感度を測定すること。【解決手段】少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、当該局所領域ごとに撮像することと、撮像された前記局所領域に基づいて、前記局所領域に対応する局所画像の画素値を測定することと、測定された前記局所画像の画素値と、前記局所領域の分光特性とに基づいて、当該局所画像の分光感度を測定すること、とを含む、イメージセンサの分光感度測定方法を提供する。【選択図】図１
2020005053.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、当該局所領域ごとに撮像することと、
撮像された前記局所領域に基づいて、前記局所領域に対応する局所画像の画素値を測定することと、
測定された前記局所画像の画素値と、前記局所領域の分光特性とに基づいて、当該局所画像の分光感度を測定することとを含む、イメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項２】
前記局所領域を撮像した後、当該局所領域とは異なる局所領域を撮像して、それぞれ前記分光感度を測定し、複数の前記分光感度からイメージセンサの面全体における分光感度を算出することを含む、請求項１に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項３】
前記局所領域を複数回撮像して、複数の前記局所画像から平均画像を生成することと、
生成された前記平均画像の画素値を測定することと、
測定された前記平均画像の画素値と、前記局所領域の分光特性とに基づいて、当該平均画像の平均分光感度を測定し、複数の前記平均分光感度からイメージセンサの面全体における平均分光感度を算出すること、
とを含む、請求項１に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項４】
前記局所領域が撮像された後、撮像された当該局所領域に隣接する１以上の色単位で撮像領域を変更し、繰り返し撮像することを含む、請求項１に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項５】
撮像される撮像面内で分光反射率が略一定の補正用チャートを撮像することと、
撮像された前記補正用チャートに基づいて、前記補正用チャートに対応する第１の補正画像を用いて、チャート画像の輝度ムラを補正する、第１の補正をすることを含む、請求項１に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項６】
前記局所領域を遮光した状態でノイズ除去用画像を撮像することと、
撮像された前記ノイズ除去用画像に基づいて、前記ノイズ除去用画像に対応する第２の補正画像を用いて、チャート画像の固定パターンノイズを除去する、第２の補正をすることを含む、請求項１に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項７】
前記チャートに２以上の照明光が照射され、その照射によって反射された反射光に基づき前記局所領域を撮像することを含む、請求項１に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項８】
前記チャートを構成する色が、少なくとも１種以上の光源により生成され、
前記光源によって生成された色の光を、分光感度を測定するイメージセンサに照射することを含む、請求項１に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項９】
前記チャートが、検知可能な被写体として形成され、
当該チャートの一部にマーカーが設けられ、
前記マーカーの位置が前記イメージセンサに検知された後、前記局所領域ごとの撮像が開始されることを含む、請求項１に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項１０】
前記チャートが、波長を連続的に変化させ、所定の波長を出力することを含む、請求項１に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項１１】
前記チャートが透過式のチャートにより形成され、
前記局所領域が撮像され、前記局所領域と対向する位置に前記局所画像が生成され、
前記局所画像が生成される前記チャートの逆側から、光を照射するバックライト光源が分光感度を測定するイメージセンサに光を照射することを含む、請求項１０に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項１２】
前記チャートが透過式のチャートにより形成され、
前記局所領域が撮像され、前記局所領域と対向する位置に前記局所画像が生成され、
前記局所画像が生成される前記チャートの逆側から、光を照射するバックライト光源が分光感度を測定するイメージセンサに光を照射することを含む、請求項１に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項１３】
前記チャートには、前記２種以上の色が空間方向に所定の繰り返しによって配列されることを含む、請求項１に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
【請求項１４】
少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、当該局所領域ごとに撮像する撮像部によって撮像することと、
撮像された前記局所領域に基づいて、前記局所領域に対応する局所画像の画素値を測定することと、
測定された前記局所画像の画素値と、前記撮像部の分光感度とに基づいて、前記局所領域の分光特性を測定することと、
測定された前記分光特性に設けられる所定の閾値に基づいて、前記撮像部が良品か否かを閾値判定することと、
前記撮像部を含む分光感度測定装置の選別を行うこと、
とを含む、分光感度測定装置の検査方法。
【請求項１５】
少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、当該局所領域ごとに撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された前記局所領域に基づいて、前記局所領域に対応する局所画像の画素値を測定する画素値測定部と、
前記画素値測定部で測定された前記局所画像の画素値と、前記局所領域の分光特性とに基づいて、当該局所画像の分光感度を測定する分光感度測定部と、
を備える分光感度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、イメージセンサの分光感度測定方法、分光感度測定装置の検査方法及び分光感度測定装置に関し、特に、イメージセンサを分光器として使用する際の分光感度を測定する分光感度測定方法、分光感度測定装置の検査方法及び分光感度測定装置の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラの中心部品である固体撮像装置（イメージセンサ）の需要が、益々高まっている。例えば、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサは、分光器として利用されることが検討されている。
【０００３】
イメージセンサを分光器として利用する場合は、イメージセンサの分光感度を測定する必要がある。ここで、イメージセンサの分光感度を測定する方法として、単一波長の光源の光をイメージセンサに照射する方法が一般的である。また、一般的な分光感度の測定方法として、例えば、ツェルニターナー型やエバート型の分光測定装置などを用いて測定することが知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−２８１０４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した分光感度を測定する分光感度測定装置は、単一波長の光源の波長を変化させながらイメージセンサに照射するため、分光感度を測定するのに長時間を要するという問題があった。
【０００６】
そこで、本技術は、このような状況に鑑みてなされたものであり、長時間を要さずに分光感度を測定することができる、イメージセンサの分光感度測定方法、分光感度測定装置の検査方法及び分光感度測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上述の目的を解決するために鋭意研究を行った結果、長時間を要さずに分光感度を測定することに成功し、本技術を完成するに至った。
【０００８】
すなわち、本技術では、まず、少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、当該局所領域ごとに撮像することと、
撮像された前記局所領域に基づいて、前記局所領域に対応する局所画像の画素値を測定することと、
測定された前記局所画像の画素値と、前記局所領域の分光特性とに基づいて、当該局所画像の分光感度を測定することとを含む、イメージセンサの分光感度測定方法を提供する。この場合、前記局所領域を撮像した後、当該局所領域とは異なる局所領域を撮像して、それぞれ前記分光感度を測定し、複数の前記分光感度からイメージセンサの面全体における分光感度を算出するようにしてもよい。
【０００９】
本技術に係るイメージセンサの分光感度測定方法において、前記局所領域を複数回撮像して、複数の前記局所画像から平均画像を生成することと、
生成された前記平均画像の画素値を測定することと、
測定された前記平均画像の画素値と、前記局所領域の分光特性とに基づいて、当該平均画像の平均分光感度を測定し、複数の前記平均分光感度からイメージセンサの面全体における平均分光感度を算出すること、を含むようにしてもよい。
本技術に係るイメージセンサの分光感度測定方法において、前記局所領域が撮像された後、撮像された当該局所領域に隣接する１以上の色単位で撮像領域を変更し、繰り返し撮像することを含むようにしてもよい。
【００１０】
本技術に係るイメージセンサの分光感度測定方法において、撮像される撮像面内で分光反射率が略一定の補正用チャートを撮像することと、
撮像された前記補正用チャートに基づいて、前記補正用チャートに対応する第１の補正画像を用いて、チャート画像の輝度ムラを補正する、第１の補正をすることを含むようにしてもよい。
【００１１】
本技術に係るイメージセンサの分光感度測定方法において、前記局所領域を遮光した状態でノイズ除去用画像を撮像することと、
撮像された前記ノイズ除去用画像に基づいて、前記ノイズ除去用画像に対応する第２の補正画像を用いて、チャート画像の固定パターンノイズを除去する、第２の補正をすることを含むようにしてもよい。
【００１２】
本技術に係るイメージセンサの分光感度測定方法において、前記チャートに２以上の照明光が照射され、その照射によって反射された反射光に基づき前記局所領域を撮像することを含むようにしてもよい。
【００１３】
本技術に係るイメージセンサの分光感度測定方法において、前記チャートを構成する色が、少なくとも１種以上の光源により生成され、前記光源によって生成された色の光を、分光感度を測定するイメージセンサに照射することを含むようにしてもよい。
【００１４】
本技術に係るイメージセンサの分光感度測定方法において、前記チャートが、検知可能な被写体として形成され、
当該チャートの一部にマーカーが設けられ、
前記マーカーの位置が前記イメージセンサに検知された後、前記局所領域ごとの撮像が開始されることを含むようにしてもよい。
【００１５】
本技術に係るイメージセンサの分光感度測定方法において、前記チャートが、波長を連続的に変化させ、所定の波長を出力することを含むようにしてもよい。この場合、前記チャートが透過式のチャートにより形成され、
前記局所領域が撮像され、前記局所領域と対向する位置に前記局所画像が生成され、
前記局所画像が生成される前記チャートの逆側から、光を照射するバックライト光源が分光感度を測定するイメージセンサに光を照射することを含むようにしてもよい。
【００１６】
本技術に係るイメージセンサの分光感度測定方法において、前記チャートが透過式のチャートにより形成され、
前記局所領域が撮像され、前記局所領域と対向する位置に前記局所画像が生成され、
前記局所画像が生成される前記チャートの逆側から、光を照射するバックライト光源が分光感度を測定するイメージセンサに光を照射することを含むようにしてもよい。
【００１７】
本技術に係るイメージセンサの分光感度測定方法において、前記チャートには、前記２種以上の色が空間方向に所定の繰り返しによって配列されることを含むようにしてもよい。
【００１８】
また、本技術では、少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、当該局所領域ごとに撮像する撮像部によって撮像することと、
撮像された前記局所領域に基づいて、前記局所領域に対応する局所画像の画素値を測定することと、
測定された前記局所画像の画素値と、前記撮像部の分光感度とに基づいて、前記局所領域の分光特性を測定することと、
測定された前記分光特性に設けられる所定の閾値に基づいて、前記撮像部が良品か否かを閾値判定することと、
前記撮像部を含む分光感度測定装置の選別を行うこと、とを含む、分光感度測定装置の検査方法を提供する。
【００１９】
また、本技術では、少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、当該局所領域ごとに撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された前記局所領域に基づいて、前記局所領域に対応する局所画像の画素値を測定する画素値測定部と、
前記画素値測定部で測定された前記局所画像の画素値と、前記局所領域の分光特性とに基づいて、当該局所画像の分光感度を測定する分光感度測定部と、を備える分光感度測定装置を提供する。
【発明の効果】
【００２０】
本技術によれば、長時間を要さずに分光感度を測定することができる。なお、本技術の効果は、必ずしも上記の効果に限定されるものではなく、本技術に記載されたいずれかの効果であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本技術を適用した第１の実施形態のイメージセンサの分光測定方法の一例を示した説明図である。
【図２】本技術を適用した第１の実施形態の複数の局所領域を有するチャートの構成を示した説明図である。
【図３】本技術を適用した第１の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法を示すフローチャートである。
【図４】本技術を適用した第３の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法を示すフローチャートである。
【図５】シェーディング補正データを測定する場合の概念を示した説明図である。
【図６】本技術を適用した第４の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法を示すフローチャートである。
【図７】本技術に係る第５の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法として、チャートがイメージセンサに光を照射し、イメージセンサの分光感度の測定方法を示した説明図である。
【図８】本技術を適用した第６の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法として、チャートに形成された複数のマーカーを示した説明図である。
【図９】本技術を適用した第７の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法として、複数枚のチャートに、複数の照明が照明光を照射していることを示した説明図である。
【図１０】本技術を適用した第８の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法として、リニアバリアブルフィルタを用いてイメージセンサに光を照射する分光感度測定方法の一例を示す説明図である。
【図１１】本技術を適用した第９の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法として、バックライト光源を用いてイメージセンサに光を照射する分光感度測定方法の一例を示す説明図である。
【図１２】本技術を適用した第１０の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法において適用可能なチャートを示した説明図である。
【図１３】本技術を適用した第１１の実施形態の分光感度測定装置の検査方法として分光感度測定装置の機能ブロック図を示している。
【図１４】本技術を適用した第１２の実施形態に係る分光感度測定装置の構成の一例を示した機能ブロック図である。
【図１５】本技術を適用した第１３の実施形態に係る分光感度測定装置の構成の一例を示した機能ブロック図である。
【図１６】マクベスチャートをイメージセンサで撮像する例を示した説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本技術を実施するための好適な形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本技術の代表的な実施形態の一例を示したものであり、これにより本技術の範囲が狭く解釈されることはない。
【００２３】
説明は以下の順序で行う。
【００２４】
１．本技術の概要
２．第１の実施形態の分光感度測定方法（測定方法１）
３．第２の実施形態の分光感度測定方法（測定方法２）
４．第３の実施形態の分光感度測定方法（測定方法３）
５．第４の実施形態の分光感度測定方法（測定方法４）
６．第５の実施形態の分光感度測定方法（光源とチャートの例１）
７．第６の実施形態の分光感度測定方法（光源とチャートの例２）
８．第７の実施形態の分光感度測定方法（光源とチャートの例３）
９．第８の実施形態の分光感度測定方法（光源とチャートの例４）
１０．第９の実施形態の分光感度測定方法（光源とチャートの例５）
１１．第１０の実施形態の分光感度測定方法（チャートの例）
１２．第１１の実施形態の分光感度測定装置の検査方法
１３．第１２の実施形態の分光感度測定装置（第１の例）
１４．第１３の実施形態の分光感度測定装置（第２の例）
【００２５】
＜１．本技術の概要＞
本技術は、イメージセンサを分光器として使用する場合に関し、長時間を要さずに分光感度を測定することができる。
【００２６】
例えば、マルチスペクトル画像やハイパースペクトル画像を取得する方法として、Ｆａｂｒｙ−Ｐｅｒｏｔフィルタを用いる方法や、Ｐｌａｓｍｏｎｉｃフィルタを用いる方法が知られている。
【００２７】
しかしながら、Ｆａｂｒｙ−ＰｅｒｏｔフィルタやＰｌａｓｍｏｎｉｃフィルタを使用した場合、Ｆａｂｒｙ−ＰｅｒｏｔフィルタやＰｌａｓｍｏｎｉｃフィルタは、分光感度がカラーフィルタの分光感度よりもばらつきが大きいことが知られている。また、Ｆａｂｒｙ−ＰｅｒｏｔフィルタやＰｌａｓｍｏｎｉｃフィルタを使用して分光感度を測定した場合、デバイスごとのばらつきも大きかった。
【００２８】
そのため、Ｆａｂｒｙ−ＰｅｒｏｔフィルタやＰｌａｓｍｏｎｉｃフィルタを使用する場合は、所定の仕様を示すプロファイルに校正する、キャリブレーションという処理が必要であった。
【００２９】
また、Ｆａｂｒｙ−ＰｅｒｏｔフィルタやＰｌａｓｍｏｎｉｃフィルタを用いたセンサの分光感度は、入射角にも依存していた。そのため、Ｆａｂｒｙ−ＰｅｒｏｔフィルタやＰｌａｓｍｏｎｉｃフィルタを使用する場合には、センサ内の像高別に分光感度を測定する必要があった。
【００３０】
ここで、イメージセンサの分光感度を測定する方法として、単一波長の光源をイメージセンサに照射する方法が一般的に知られている。しかしながら、この方法は、単一波長の波長を変化させながらイメージセンサに照射するため、分光感度測定装置が大型化してしまい、分光感度測定装置が高価となり、さらに測定に長時間を要していた。
【００３１】
これに対し、被写体を撮像することにより、イメージセンサの分光感度を測定する方法が知られている。例えば、被写体として自然物や人工物を撮像して分光感度を測定する方法や色を再現するためのチャートを撮像することにより、分光感度を測定する方法が知られている。
【００３２】
図１６に、分光感度を測定する方法の一例として、色を再現するために色見本が配列されたマクベスチャートを撮像する方法を示す。図１６は、マクベスチャートをイメージセンサで撮像する例を示した説明図である。
【００３３】
図１６に示すように、チャート２００Ｐは、照明３００Ｐの照明光により照らされている。そして、イメージセンサ１００Ｐは、照明３００Ｐの照明光により照らされたチャート２００Ｐを撮像する。このように、図１６では、イメージセンサ１００Ｐがチャート２００Ｐを撮像することを示している。これにより、イメージセンサ１００Ｐは、チャート２００Ｐを撮像し、得られた撮像画像に基づいて、キャリブレーションを行っていた。
【００３４】
しかしながら、イメージセンサ１００Ｐは、撮像画像に基づいて、キャリブレーションを実行しても、イメージセンサ１００Ｐの撮像面における分光感度の変化に対応することができなかった。また、照明３００Ｐの照明光やレンズによるシェーディングの影響も撮像時には考慮されていなかった。
【００３５】
本技術は、上記の事情に鑑みてなされたものである。本技術では、特に、イメージセンサの撮像面の像高を考慮した分光感度を測定することにより、イメージセンサの分光感度を高精度に測定することができる。
【００３６】
＜２．第１の実施形態の分光感度測定方法（測定方法１）＞
本技術に係る第１の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、局所領域ごとに撮像することと、撮像された局所領域に基づいて、局所領域に対応する局所画像の画素値を測定することと、測定された局所画像の画素値と、局所領域の分光特性とに基づいて、その局所画像の分光感度を測定することを含む、イメージセンサの分光感度測定方法である。
【００３７】
本技術に係る第１の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法によれば、イメージセンサを分光器として使用することにより、分光感度測定装置が高価とならず、また、長時間を要さずに分光感度を測定することができる。
【００３８】
ここで、チャートは、撮像される対象である。本技術では、チャートを構成する態様として、３つの態様が想定されている。１つ目は、チャートに光源を当てることにより色見本が形成され、カラーチャートが構成される場合である。２つ目は、チャートの色が光源の光により生成されて、チャートが構成される場合である。３つ目は、チャートが透過式のチャートにより形成されて、バックライト光源を用いて構成される場合である。以下、これら３つの態様について、それぞれ説明する。
【００３９】
図１に、本技術に係る第１の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法の一例を示す。図１は、第１の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法として、イメージセンサ１００が、照明３００の照明光が照らされているチャート２００を撮像する例を示している。
【００４０】
図２に、本技術に係る第１の実施形態のチャート２００の構成の一例を示す。図２は、局所領域２０１、局所領域２０２、局所領域２０３、局所領域２０４、局所領域２０５、局所領域２０６、局所領域２０７、局所領域２０８及び局所領域２０９を有するチャート２００を正面から見た正面図である。なお、特に断りがない限り、「右」とは、図２中の右方向を意味し、「下」とは、図２中の下方向を意味する。
【００４１】
図２では、例えば、チャート２００は、９つの局所領域（局所領域２０１、局所領域２０２、局所領域２０３、局所領域２０４、局所領域２０５、局所領域２０６、局所領域２０７、局所領域２０８及び局所領域２０９）を有している。各局所領域２０１〜２０９は、少なくとも２種以上の色から構成されている。一例として、例えば、各局所領域２０１〜２０９は、同一の色の組み合わせにより構成されている。なお、２種以上とは、色を再現して校正するのに必要な十分な色数を意味するものとする。
【００４２】
ここで、９つの局所領域（局所領域２０１、局所領域２０２、局所領域２０３、局所領域２０４、局所領域２０５、局所領域２０６、局所領域２０７、局所領域２０８及び局所領域２０９）のうち、いずれか１つを特定する必要がない場合は、局所領域を総称して単に局所領域２１０ということにする。局所領域２１０は、一例として、４行×６列からなる２４色を有している。また、色を構成する最小単位をパッチという。
【００４３】
図３に、本技術に係る第１の実施形態に係るイメージセンサ１００の分光感度測定方法のフローチャートの一例を示す。図３は、第１の実施形態に係るイメージセンサ１００の分光感度測定方法を示すフローチャートである。
【００４４】
まず、イメージセンサ１００は、ユーザの操作に従って、少なくとも２種以上の色から構成される局所領域２１０を複数有するチャート２００を、局所領域２１０ごとに撮像する（ステップＳ００１）。イメージセンサ１００は、局所領域２１０を撮像することにより、その局所領域２１０に対応する局所画像を生成する。
【００４５】
次に、イメージセンサ１００は、撮像した局所領域２１０に基づいて、局所領域２１０に対応する局所画像の画素値を測定する（ステップＳ００３）。イメージセンサ１００は、撮像した局所画像に対して信号処理を実施することができるため、局所画像の画素値を測定することができる。
【００４６】
そして、イメージセンサ１００は、測定された局所画像の画素値と、局所領域２１０の分光特性とに基づいて、その局所画像の分光感度を測定する（ステップＳ００５）。
【００４７】
具体的には、イメージセンサ１００は、次式を適用し、測定された局所画像の画素値ｂと、局所領域２１０の分光特性Ａとに基づいて、その局所画像の分光感度ｘを測定する。
【００４８】
【数１】
2020005053.tif 000003
【００４９】
ここで、画素値ｂは、測定された画素値であるため、観測画素値とも呼ばれる。分光特性Ａは、照明３００の分光強度とチャート２００の分光反射率とから算出することができる既知の値である。
【００５０】
局所画像の分光感度ｘは、方程式の数が十分な場合は、最小二乗法で求めることができる。しかしながら、方程式の数が未知数よりも少ない場合には、解が存在しない、又は解が複数存在する不良設定問題となる。この場合、最小二乗法で分光感度ｘを解くことができないが、例えば、Ｔｉｋｈｏｎｏｖ正則化、Ｗｉｅｎｅｒ推定、又は２次計画法等により分光感度ｘを求めることが可能である。
【００５１】
一般に、方程式の数が多い方が解が安定する。そのため、方程式の数を増やすことが望ましい。ここで、方程式の数を増やすためには、撮影する局所領域２１０の色数を増やすことにより実現することができる。
【００５２】
また、例えば、分光感度ｘの代表値や分散が分かっている場合は、次式のように、分布によらないノンパラメトリックな推定方法により分光感度ｘの近似解を得ることもできる。
【００５３】
【数２】
2020005053.tif 000004
【００５４】
なお、ｘ０は、分光感度の代表値であり、Σ−１は、分光感度の共分散行列である。
【００５５】
イメージセンサ１００は、局所画像ごとの分光感度ｘを測定することができるので、複数の分光感度ｘからイメージセンサの面全体における分光感度Ｘを算出することができる（ステップＳ００７）。即ち、イメージセンサ１００は、局所領域２１０を撮像した後、その局所領域２１０とは異なる局所領域を撮像して、それぞれ分光感度ｘを測定し、複数の分光感度ｘからイメージセンサの面全体における分光感度Ｘを算出することができる。
【００５６】
なお、イメージセンサ１００は、局所領域２１０を撮像した後、撮像した局所領域２１０に隣接する１以上の色単位（即ち、パッチ単位）で撮像領域ＩＲを変更し、繰り返し撮像することができる。なお、イメージセンサ１００が撮像する領域を、撮像領域ＩＲ（図２参照）という。
【００５７】
イメージセンサ１００は、例えば、１パッチずらして撮像する場合、局所領域２０１を撮像した後、撮像領域ＩＲを局所領域２０１の右側に１パッチ分、即ち、１列分ずらして撮像を行う。なお、撮像領域ＩＲをずらす量は、１パッチに限定されるものではない。例えば、撮像領域ＩＲをずらす量が２パッチ分であってもよく、この場合、右側に２列分ずらして撮像を行う。
【００５８】
また、イメージセンサ１００は、局所領域２１０ごとに繰り返し撮像することができるので、例えば、局所領域２０１から撮像を開始した場合、局所領域２０１から局所領域２０３まで、１パッチずつ撮像することができる。さらに、イメージセンサ１００は、下方向にも１パッチずつずらして撮像することができるので、例えば、局所領域２０１から局所領域２０３まで撮像した後、撮像領域ＩＲを局所領域２０１から下方向に１パッチずらし、再び右方向に１パッチずつ撮像することができる。
【００５９】
このように、イメージセンサ１００は、複数の局所領域２１０に対応する複数の局所画像の分光感度ｘを測定する。これにより、イメージセンサ１００は、測定した複数の局所画像の分光感度ｘから補間処理を行い、イメージセンサ１００の面全体における分光感度Ｘを算出する。なお、補間処理は、公知の補間処理を適用することができ、一例として、バイリニア補間やスプライン補間等が適用可能である。また、イメージセンサ１００の面全体とは、イメージセンサ１００が光を受光する面全体をいう。例えば、イメージセンサ１００がフォトダイードを備えるときは、フォトダイオードの受光面の全体をいう。
【００６０】
以上説明したように、第１の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法では、少なくとも２種以上の色から構成される局所領域２１０を複数有するチャート２００を、局所領域２１０ごとに撮像する。また、第１の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法は、撮像された局所領域２１０に基づいて、局所領域に対応する局所画像の画素値ｂを測定する。そして、第１の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法は、測定された局所画像の画素値ｂと、局所領域の分光特性Ａとに基づいて、その局所画像の分光感度ｘを測定し、複数の分光感度ｘからイメージセンサの面全体における分光感度Ｘを算出する。
【００６１】
これにより、本技術に係る第１の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法は、単一波長の光源の波長を変化させる必要が無いため、長時間を要さずに分光感度を測定することができる。特に、第１の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法は、チャート２００の局所領域２１０をパッチ単位で細かく分割し、分光特性を測定することができるので、イメージセンサの面全体における分光感度を高精度に測定することができる。
【００６２】
＜３．第２の実施形態の分光感度測定方法（測定方法２）＞
本技術に係る第２の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、局所領域を複数回撮像して、複数の局所画像から平均画像を生成することと、生成された平均画像の画素値を測定することと、測定された平均画像の画素値と、局所領域の分光特性とに基づいて、その平均画像の平均分光感度を測定し、複数の平均分光感度からイメージセンサの面全体における平均分光感度を算出すること、を含む、イメージセンサの分光感度測定方法である。
【００６３】
第２の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法では、第１の実施形態で説明したフローチャートのステップＳ００１において、イメージセンサ１００が、局所領域２１０を複数回撮像する。例えば、第２の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法では、同一の局所領域２１０を複数回撮像することにより、複数の局所画像を生成することができる。そして、イメージセンサ１００は、複数の局所画像から平均画像を生成する。
【００６４】
これにより、第２の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法では、ステップＳ００３において、その生成された平均画像の画素値を測定することができる。また、第２の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法では、ステップＳ００５において、イメージセンサ１００が、測定された平均画像の画素値ｂと、局所領域の分光特性Ａとに基づいて、その平均画像の平均分光感度を測定する。そして、第２の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法では、ステップＳ００７において、複数の平均分光感度からイメージセンサの面全体における平均分光感度を算出することができる。
【００６５】
以上説明したように、第２の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法では、局所領域２１０を複数回撮像して、複数の局所画像から平均画像を生成する。また、第２の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法では、生成された平均画像の画素値ｂを測定し、測定された平均画像の画素値ｂと、局所領域の分光特性Ａとに基づいて、その平均画像の平均分光感度を測定する。これにより、第２の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法では、複数の平均分光感度からイメージセンサの面全体における平均分光感度を算出することができる。
【００６６】
＜４．第３の実施形態の分光感度測定方法（測定方法３）＞
本技術に係る第３の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、撮像される撮像面内で分光反射率が略一定の補正用チャートを撮像することと、撮像された補正用チャートに基づいて、補正用チャートに対応する第１の補正画像を用いて、チャート画像の輝度ムラを補正する、第１の補正をすることを含む、イメージセンサの分光感度測定方法である。
【００６７】
第３の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法では、第１の実施形態で説明したフローチャートの処理に加えて、さらに、イメージセンサ１００が、分光反射率が一定の補正用チャートを撮像し、シェーディングを測定する。これにより、第３の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、チャート２００（又は局所領域２１０）を撮像して得られた画像に対して、第１の補正としてのシェーディング補正を行うことができる。
【００６８】
図４に、本技術に係る第３の実施形態に係るイメージセンサ１００の分光感度測定方法のシェーディング補正を実行する場合のフローチャートの一例を示す。図４は、第１の実施形態に係るイメージセンサ１００の分光感度測定方法において、シェーディング補正を実行する場合のフローチャートである。なお、図３のイメージセンサ１００の分光感度測定方法と同一の処理には同一の符号を付し、説明を適宜省略するものとする。
【００６９】
まず、イメージセンサ１００は、撮像される撮像面内で分光反射率が略一定の補正用チャートを撮像し、シェーディングを測定する（ステップＳ１０１）。ここで、分光反射率が略一定とは、例えば、補正用チャートの分光反射率の５０％を基準とした場合、分光反射率が４８％から５２％となる分光反射率を略一定とする。即ち、例えば、分光反射率を所定の基準値（例えば、５０％）に対し、±２％の幅を略一定と規定することができる。また、分光反射率が一定とは、略一定に含まれるものとする。また、基準値となる５０％は、所望の値に設定することができる。
【００７０】
イメージセンサ１００は、補正用チャートを撮像すると、シェーディング補正関数ｓを示す次式を適用し、シェーディング補正データを求める。
【数３】
2020005053.tif 000005
【００７１】
次に、イメージセンサ１００は、局所領域２１０ごとに撮像し、その局所領域２１０に対応する局所画像を生成する（ステップＳ００１）。イメージセンサ１００は、局所領域２１０に基づいて、局所領域２１０に対応する局所画像の画素値ｂを測定する（ステップＳ００３）。
【００７２】
次に、イメージセンサ１００は、画素値ｂにシェーディング補正関数ｓを適用することにより、輝度ムラを補正することができる（ステップＳ１０３）。
【００７３】
そして、イメージセンサ１００は、第１の実施形態に係るイメージセンサ１００の分光感度測定方法と同様に、Ｔｉｋｈｏｎｏｖ正則化を適用し、次式により、輝度ムラを補正したセンサの分光感度ｘを求めることができる（ステップＳ００５）。
【数４】
2020005053.tif 000006
【００７４】
なお、λは、正則化パラメータを意味し、Ｆは、１次微分方程式、２次微分方程式からなる微分行列とする。
【００７５】
なお、ステップＳ１０１では、補正用チャートを１回撮像するようになっていたが、補正用チャートを複数回撮像し、白平均画像を生成するようにしてもよい。この場合、イメージセンサ１００は、補正用チャートを複数回撮像した白平均画像を、本技術の第１の実施形態に適用できるだけでなく、本技術の第２の実施形態にも適用することができる。
【００７６】
また、シェーディング補正データの算出方法は、式（３）に限定されるものではない。例えば、イメージセンサ１００は、局所領域２１０を撮像し、局所画像の輝度値を足した値を元に撮像面内での輝度を評価し、その逆関数をシェーディング補正関数とすることもできる。
【００７７】
また、イメージセンサ１００は、チャート２００を用いて局所領域２１０を撮像することにより、補正用チャートに相当するデータを生成することができる。
【００７８】
図５に、補正用チャートに相当するシェーディング補正データの測定方法を示す。図５は、シェーディング補正データを測定する場合の概念を示した説明図である。
【００７９】
図５Ａでは、チャート２００の各局所領域２１０の一部に分光反射率が略一定の領域があることを示している。イメージセンサ１００は、例えば、分光反射率が略一定の領域として、局所領域２０１の白色領域２０１Ｗ、局所領域２０２の白色領域２０２Ｗ、局所領域２０３の白色領域２０３Ｗ、局所領域２０４の白色領域２０４Ｗ、局所領域２０５の白色領域２０５Ｗ、局所領域２０６の白色領域２０６Ｗ、局所領域２０７の白色領域２０７Ｗ、局所領域２０８の白色領域２０８Ｗ及び局所領域２０９の白色領域２０９Ｗを撮像する。
【００８０】
これにより、イメージセンサ１００は、分光反射率が略一定の領域であるチャート２００の９つの白色領域２０１Ｗ〜白色領域２０９Ｗを撮像領域ＩＲに含めることができる。そして、イメージセンサ１００は、９つの白色領域２０１Ｗ〜白色領域２０９Ｗの撮像データを補間することにより、図５Ｂに示すシェーディング補正データＣＣを生成することができる。
【００８１】
ここで、照明のムラは、低周波な変化であるため、離散的なデータでも十分な精度で補間することができる。さらに、イメージセンサ１００は、撮像した画像データから輝度画像を生成することができるので、シェーディング補正を実行することができる。
【００８２】
＜５．第４の実施形態の分光感度測定方法（測定方法４）＞
本技術に係る第４の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、局所領域を遮光した状態でノイズ除去用画像を撮像することと、撮像されたノイズ除去用画像に基づいて、ノイズ除去用画像に対応する第２の補正画像を用いて、チャート画像の固定パターンノイズを除去する、第２の補正をすることを含む、イメージセンサの分光感度測定方法である。
【００８３】
第４の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法では、第１の実施形態で説明したフローチャートの処理に加えて、さらに、イメージセンサ１００が、局所領域２１０を遮光した状態でノイズ除去用画像を撮像する。これにより、第４の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法では、撮像されたノイズ除去用画像に基づいて、ノイズ除去用画像に対応する第２の補正画像を用いて、第２の補正としての固定パターンノイズを除去する補正をことができる。
【００８４】
図６に、本技術に係る第４の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法の固定パターンノイズを除去する補正を実行する場合のフローチャートの一例を示す。図６は、第１の実施形態に係るイメージセンサ１００の分光感度測定方法において、固定パターンノイズを除去する補正を実行する場合のフローチャートである。なお、図３のイメージセンサ１００の分光感度測定方法と同一の処理には、同一の符号を付し、説明を適宜省略するものとする。
【００８５】
まず、イメージセンサ１００は、局所領域２１０を遮光した状態でノイズ除去用画像を撮像する（ステップＳ２０１）。イメージセンサ１００は、ノイズ除去用画像を撮像することにより、固定パターンノイズを測定することができる。
【００８６】
次に、イメージセンサ１００は、局所領域２１０ごとに撮像し、その局所領域２１０に対応する局所画像を生成する（ステップＳ００１）。
【００８７】
そして、イメージセンサ１００は、局所領域２１０に対応する局所画像の画素ごとに固定パターンノイズを除去する（ステップＳ２０３）。
【００８８】
これにより、イメージセンサ１００は、固定パターンノイズを除去した局所画像の画素値を測定する（ステップＳ００３）。
【００８９】
このように、本技術に係る第４の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法は、局所画像の固定パターンノイズを除去することができるので、分光感度の測定を高精度に行うことができる。なお、本技術に係る第４の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法は、第１の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法に適用できるだけでなく、第２の実施形態又は第３の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法にも重畳して適用することができる。
【００９０】
例えば、ステップＳ２０１では、ノイズ除去用画像を１回撮像するようになっていたが、ノイズ除去用画像を複数回撮像し、平均画像を生成するようにしてもよい。この場合、イメージセンサ１００は、ノイズ除去用画像を複数回撮像した平均画像を、本技術の第１の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法に適用できるだけでなく、本技術の第２の実施形態又は第３の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法にも重畳して適用することができる。
【００９１】
＜６．第５の実施形態の分光感度測定方法（光源とチャートの例１）＞
本技術に係る第５の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、前記チャートを構成する色が、少なくとも１種以上の光源により生成され、当該チャートが、分光感度を測定するイメージセンサにＬＥＤ又はレーザ光等、様々な光源による光を照射することを含む、イメージセンサの分光感度測定方法である。
【００９２】
本技術に係る第５の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法によれば、チャートが、分光感度を測定するイメージセンサに、例えば、ＬＥＤ又はレーザ光を照射することができるので、イメージセンサは、狭帯域の光源を使用して、その波長の分光感度を直接測定することができる。
【００９３】
図７に、本技術に係る第５の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法を示す。図７は、本技術に係る第５の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法として、チャート２２４がイメージセンサ１００に光を照射し、イメージセンサ１００の分光感度の測定方法を示した説明図である。
【００９４】
図７Ａは、チャート２２４が光源２２０により構成され、イメージセンサ１００に光を照射する構成を示した説明図である。また、図７Ｂは、チャート２２４が照射する光の構成例を示した説明図である。
【００９５】
図７Ａに示すように、チャート２２４は、光源２２０により構成されている。チャート２２４を構成する色は、少なくとも１種以上の光源により生成されている。例えば、光源２２０は、青色光源２２１、緑色光源２２２及び赤色光源２２３を有している。また、光源２２０は、第１のミラー２３１、第２のミラー２３２及び第３のミラー２３３を有している。なお、図７Ａでは、光源が３つの場合を例示しているが、光源の数は３つに限定されるものではない。例えば、第５の実施形態では、光源を１０個程度、設けるようにしてもよい。この場合、紫外線や赤外線なども含めるようにしてもよい。
【００９６】
第１のミラー２３１は、青色光源２２１から出射された光をイメージセンサ１００に向けて反射する。第２のミラー２３２は、緑色光源２２２から出射された光をイメージセンサ１００に向けて反射する。第３のミラー２３３は、赤色光源２２３から出射された光をイメージセンサ１００に向けて反射する。
【００９７】
図７Ｂに示すように、チャート２２４は、青色光源２２１Ａ、緑色光源２２２Ａ及び赤色光源２２３Ａの光をイメージセンサ１００に照射することができる。
【００９８】
これにより、本技術に係る第５の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法では、チャート２２４は、例えば、狭帯域光源を使用して、イメージセンサ１００にＬＥＤ又はレーザ光を照射することができるので、波長を高精度に測定することができる。
【００９９】
＜７．第６の実施形態の分光感度測定方法（光源とチャートの例２）＞
本技術に係る第６の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、チャートが、検知可能な被写体として形成され、そのチャートの一部にマーカーが設けられ、マーカーの位置がイメージセンサに検知された後、局所領域ごとの撮像が開始されることを含む、イメージセンサの分光感度測定方法である。
【０１００】
本技術に係る第６の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法によれば、イメージセンサ１００がチャート２００の一部であるマーカーを検知すると、イメージセンサ１００の分光感度測定方法を開始することができる。
【０１０１】
図８に、本技術に係る第６の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法の一例として、複数のマーカー３２０、マーカー３２１、マーカー３２２、マーカー３２３及びマーカー３２４がチャート２５０に形成された例を示す。図８は、第６の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法として、複数のマーカー３２０、マーカー３２１、マーカー３２２、マーカー３２３及びマーカー３２４が形成されたチャート２５０を示した説明図である。
【０１０２】
第６の実施形態では、チャート２５０は、検知可能な被写体として形成される。そして、チャート２５０には、５つのマーカー３２０〜３２４が設けられている。例えば、マーカー３２０は、チャート位置検出用光源として、青色を点灯する。マーカー３２１は、チャート位置検出用光源として、赤色を点灯する。マーカー３２２は、チャート位置検出用光源として、緑色を点灯する。マーカー３２３は、チャート位置検出用光源として、黄色を点灯する。マーカー３２４は、チャート位置検出用光源として、シアン色を点灯する。
【０１０３】
例えば、５つのマーカー３２０〜３２４のうち、少なくともいずれかのマーカーが点灯し、点灯しているマーカーをイメージセンサ１００が検知すると、その点灯するマーカーの位置が検出され、イメージセンサ１００は、検知したマーカーを消灯させる。
【０１０４】
これにより、本技術に係る第６の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法では、イメージセンサ１００が、検知したマーカーのチャート位置検出用光源を消灯させ、局所領域２１０ごとに撮像を開始することができる。第６の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法では、イメージセンサ１００が撮像開始位置を特定することができるので、チャート２５０のパッチの分光特性が変化することを防止することができる。
【０１０５】
なお、マーカー３２０〜３２４は、５つに限定されるものではなく、チャート位置検出用光源として光源の数を増やしてもよい。この場合、光源の数が増えることにより、マーカーを検知する精度を向上させることができる。
【０１０６】
また、マーカー３２０〜３２４は、光源の色数を増やし、検知される情報を増やすことも可能である。なお、マーカー３２０〜３２４は、光源に限定されるものではなく、イメージセンサ１００で検知することが可能な被写体であってもよい。例えば、マーカーの代わりに光学フィルタや塗料を適用することにより、本技術に係る第６の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法が適用可能である。
【０１０７】
＜８．第７の実施形態の分光感度測定方法（光源とチャートの例３）＞
本技術に係る第７の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、チャートに２以上の照明光が照射され、その照射によって反射された反射光に基づき局所領域を撮像することを含む、イメージセンサの分光感度測定方法である。
【０１０８】
本技術に係る第７の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法によれば、例えば、チャートに複数の光源を照射し、その反射した光を撮像することができる。さらに、複数のチャートを設け、複数の照明の照明光が複数のチャートに照射して、その照射によって反射された反射光に基づいて局所領域を撮像するようにしてもよい。また、照明光は、例えば、ＬＥＤ又はレーザ光であって、反射されたＬＥＤ又はレーザ光に基づき局所領域を撮像するようにしてもよい。また、照明光は、ハロゲンランプ、キセノンランプ又は蛍光灯等であって、反射されたハロゲンランプ、キセノンランプ又は蛍光灯等に基づき局所領域を撮像するようにしてもよい。
【０１０９】
図９に、本技術に係る第７の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法を示す。図９は、第７の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法として、３枚のチャート２００、チャート２４１及びチャート２４２に、３つの照明３００、照明３０１及び照明３０２が照明光を照射していることを示した説明図である。
【０１１０】
第７の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法では、例えば、１枚のチャート２００に３つの照明３００、照明３０１及び照明３０２の照明光を照射することができるので様々な波長の分光測定を行うことができる。また、３枚のチャート２００、チャート２４１及びチャート２４２に、３つの照明３００、照明３０１及び照明３０２の照明光を照射することもできるので、より一層、様々な波長の分光感度を測定することができる。
【０１１１】
＜９．第８の実施形態の分光感度測定方法（光源とチャートの例４）＞
本技術に係る第８の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、チャートが、波長を連続的に変化させ、所定の波長を出力することを含む、イメージセンサの分光感度測定方法である。
【０１１２】
本技術に係る第８の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法では、波長を連続的に変化させて所定の波長を出力するチャートであればよく、透過式であっても反射式であっても良い。以下、透過式のチャートを用いて、波長を連続的に変化させる場合について、説明する。なお、反射式のチャートの場合については、プリズムを用いることにより所定の波長を出力することができる。
【０１１３】
本技術に係る第８の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、チャートが透過式のチャートにより形成されている。透過式チャートは、局所領域が撮像され、局所領域と対向する位置に局所画像が生成され、局所画像が生成されるチャートの逆側から、光を照射するバックライト光源が分光感度を測定するイメージセンサに光を照射する。
【０１１４】
本技術に係る第８の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法によれば、例えば、バックライト光源を用いて、透過式のチャートを通った光をイメージセンサが撮影することができる。なお、透過式のチャートとして、ガラスフィルタやリニアバリアブルフィルタなどを用いることができる。
【０１１５】
図１０に、本技術に係る第８の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法において、チャート２００がリニアバリアブルフィルタで構成され、イメージセンサ１００に光を照射する一例を示す。図１０は、第８の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法として、バックライト光源３３０を用いてイメージセンサ１００に光を照射する分光感度測定方法の一例を示す説明図である。なお、図１０において、「右」とは、図１０中において右方向を意味し、「下」とは、図１０中において下方向を意味するものとする。
【０１１６】
図１０に示すように、バックライト光源３３０は、バックライト３３１と、リニアバリアブルフィルタ３３２と、ガラス基板３３３とを備えている。
【０１１７】
バックライト３３１は、リニアバリアブルフィルタ３３２の右側から、左方向に位置するイメージセンサ（図示せず）に向けて光を照射する。バックライト３３１は、例えば、ハロゲンランプやキセノンランプ等を光源として、リニアバリアブルフィルタ３３２を介して様々な波長の光をイメージセンサ（図示せず）に照射する。
【０１１８】
リニアバリアブルフィルタ３３２は、多層膜フィルタの入射位置を長手方向に移動させることで、波長を連続的に変化させ、所定の波長を出力することができる楔形のフィルタである。リニアバリアブルフィルタ３３２は、分光特性が線形に変化するため、照射する色を増やすことができる。
【０１１９】
ガラス基板３３３は、バックライト光源３３０の出射側に設けられる。ガラス基板３３３は、リニアバリアブルフィルタ３３２を保護するために設けられる。
【０１２０】
本技術に係る第８の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法によれば、バックライト３３１とリニアバリアブルフィルタ３３２との組み合わせによって、イメージセンサ１００に照射する色数を増やすことができるため、分光感度を測定する際の解を安定させることができる。
【０１２１】
＜１０．第９の実施形態の分光感度測定方法（光源とチャートの例５）＞
本技術に係る第９の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、チャートが透過式のチャートにより形成され、局所領域が撮像され、局所領域と対向する位置に局所画像が生成され、局所画像が生成されるチャートの逆側から、光を照射するバックライト光源が分光感度を測定するイメージセンサに光を照射することを含む、イメージセンサの分光感度測定方法である。
【０１２２】
本技術に係る第９の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法によれば、例えば、バックライト光源を用いて、透過式のチャートを通った光をイメージセンサが撮影することができる。なお、透過式のチャートとして、ガラスフィルタを用いることができる。
【０１２３】
図１１に、本技術に係る第８の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法において、チャート２００がガラスフィルタで構成され、イメージセンサ１００に光を照射する一例を示す。図１１は、第９の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法において、バックライト光源３４０を用いてイメージセンサ１００に光を照射する分光感度測定方法の一例を示す説明図である。なお、図１０と同一の構成には同一の符号を付して、説明を適宜省略する。また、図１１において、「右」とは、図１１中に対して右方向を意味し、「下」とは、図１１中に対して下方向を意味するものとする。
【０１２４】
図１１に示すように、バックライト光源３４０は、バックライト３３１と、ガラスフィルタ３３４と、ガラス基板３３３とを備えている。
【０１２５】
バックライト３３１は、透過式のチャート２００であるガラスフィルタ３３４に、例えば、白色光を照射する。なお、バックライト３３１は、白色光に限定されるものではなく、例えば、ハロゲンランプやキセノンランプ等を光源として、ガラスフィルタ３３４を介して様々な波長の光をイメージセンサ（図示せず）に照射してもよい。
【０１２６】
ガラスフィルタ３３４は、一例として、例えば、バックライト３３１から白色光が照射されることにより、チャート２００が有する色をイメージセンサ１００に向けて照射する。ガラスフィルタ３３４は、様々な光源が適用可能なバックライト３３１から照射されるため、照射された様々な光源に対応する波長の光を、イメージセンサに照射することができる。また、ガラスフィルタ３３４は、空間方向に複数のガラスフィルタを備えるようにしてよい。例えば、図２に示したチャート２００において、ガラスフィルタ３３４は、色を構成する１パッチに１つのガラスフィルタを適用し、複数のガラスフィルタから構成されるようにしてもよい。この場合、ガラスフィルタ３３４は、ガラスフィルタの透過率を周期的に変化させるようにしてもよい。なお、空間方向とは、図２のチャート２００において、左下を基準とした場合、右方向と上方向とを空間方向とすることができる。また、空間方向には、平面方向を含ませるようにしてもよい。
【０１２７】
本技術に係る第９の実施形態のイメージセンサ１００の分光感度測定方法によれば、バックライト３３１に対し、ガラスフィルタ３３４を用いて透過する光を制御することができるので、分光感度を測定する光を調整することができる。
【０１２８】
＜１１．第１０の実施形態の分光感度測定方法（チャートの例）＞
本技術に係る第１０の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、チャートには、２種以上の色が空間方向に所定の繰り返しによって配列されることを含む、イメージセンサの分光感度測定方法である。
【０１２９】
図１２に、第１０の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法において、２種以上の色が空間方向に配列されるチャートを示す。図１２は、第１０の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法において適用可能なチャートを示した説明図である。なお、特に断りがない限り、「右」とは、図１２中の右方向を意味し、「下」とは、図１２中の下方向を意味する。
【０１３０】
図１２に示すように、図１２Ａには、局所領域２１０に十分な色数が存在するチャート２００Ａを示す。図１２Ａのチャート２００Ａは、２種以上の色が、長手方向及び短手方向に、所定の繰り返しによって配列されている。即ち、十分な色数が存在する局所領域２１０が、チャート２００Ａの長手方向及び短手方向に繰り返し配列されている。
【０１３１】
図１２Ｂには、２種以上の色が、同心円状の半径方向に、所定の繰り返しによって配列されているチャート２００Ｂを示す。図１２Ｂの場合も同様に、チャート２００Ｂの一部を形成する局所領域には十分な色数が存在する。
【０１３２】
第１０の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法では、例えば、図１２Ａに示すように、十分な色数が存在する局所領域２１０が、長手方向である右方向や短手方向である下方向に繰り返し設けられていればよい。また、第１０の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法は、これに限定されるものではなく、図１２Ｂに示すように、十分な色数が存在する局所領域が、同心円状の半径方向に繰り返し設けられていてもよい。この場合、同心円状の半径方向も空間方向に含まれる。
【０１３３】
本技術に係る第１０の実施形態のイメージセンサの分光感度測定方法では、チャートには、２種以上の色が、空間方向に所定の繰り返しによって配列されているので、分光測定を高精度に行うことができる。
【０１３４】
＜１２．第１１の実施形態の分光感度測定装置の検査方法＞
本技術に係る第１１の実施形態の分光感度測定装置の検査方法は、少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、その局所領域ごとに撮像する撮像部によって撮像することと、撮像された局所領域に基づいて、局所領域に対応する局所画像の画素値を測定することと、測定された局所画像の画素値と、撮像部の分光感度とに基づいて、局所領域の分光特性を測定することと、測定された分光特性に設けられる所定の閾値に基づいて、撮像部が良品か否かを閾値判定することと、撮像部を含む分光感度測定装置の選別を行うこと、とを含む、分光感度測定装置の検査方法である。
【０１３５】
本技術に係る第１１の実施形態の分光感度測定装置の検査方法によれば、分光感度測定装置として使用するイメージセンサの不良品検査を行うことができ、使用するイメージセンサの選別をすることができる。
【０１３６】
なお、第１１の実施形態の分光感度測定装置の検査方法では、撮像部の分光感度を測定する方法として、第１の実施形態で示した分光感度測定方法を適用することができる。例えば、第１１の実施形態の分光感度測定装置の検査方法では、第１の実施形態で示した分光感度測定方法によって撮像部の分光感度を測定し、この分光感度を使用して、イメージセンサの不良品検査を行うことができる。また、分光感度測定装置は、イメージセンサと別体であっても、又は一体であってもよい。第１１の実施形態では、分光感度測定装置の検査方法が、イメージセンサと一体の場合について説明する。
【０１３７】
図１３に、本技術に係る第１１の実施形態の分光感度測定装置の検査方法の一例を示す。図１３は、第１１の実施形態の分光感度測定装置の検査方法として使用する分光感度測定装置の機能ブロック図を示している。
【０１３８】
図１３に示すように、分光感度測定装置１０１は、撮像部１０と、画素値測定部２０と、照明情報取得部３０と、分光感度測定部４０と、分光特性測定部４１と、閾値判定部６０と、選別部７０とを備えている。
【０１３９】
撮像部１０は、少なくとも２種以上の色から構成される局所領域２１０を複数有するチャート２００を、局所領域２１０ごとに撮像する。
【０１４０】
画素値測定部２０は、撮像部１０によって撮像された局所領域２１０に基づいて、局所領域に対応する局所画像の画素値ｂを測定する。
【０１４１】
照明情報取得部３０は、例えば、照明３００の分光強度を取得し、取得した照明３００の分光強度とチャート２００の分光反射率とにより、チャート２００の分光特性Ａを取得する。なお、チャート２００の分光反射率は、既知として予め取得可能な値である。また、例えば、照明情報取得部３０は、分光感度測定装置１０１を分光計として機能させ、チャート２００の分光特性Ａを測定して取得してもよい。なお、照明３００とチャート２００によって得られる光の特性をチャート分光ともいう。
【０１４２】
分光感度測定部４０は、画素値測定部２０で測定された局所画像の画素値ｂと、局所領域２１０の分光特性Ａとに基づいて、その局所画像の分光感度ｘを測定する。
【０１４３】
具体的には、分光感度測定部４０は、次式を適用し、画素値測定部２０で測定された局所画像の画素値ｂと、局所領域２１０の分光特性Ａとに基づいて、その局所画像の分光感度ｘを測定する。
【０１４４】
【数５】
2020005053.tif 000007
【０１４５】
なお、局所画像の分光感度ｘを求める際、方程式の数が十分な場合は、最小二乗法で分光感度ｘを求めることができる。しかしながら、方程式の数が未知数よりも少ない場合には、いわゆる不良設定問題となる。この場合、最小二乗法で分光感度ｘを解くことができないが、例えば、Ｔｉｋｈｏｎｏｖ正則化、Ｗｉｅｎｅｒ推定、２次計画法等により分光感度ｘを求めることが可能である。
【０１４６】
一般に、方程式の数が多い方が解が安定する。そのため、方程式の数を増やすためには、撮影するチャート２００の局所領域２１０の色数を増やすことが望ましい。
【０１４７】
また、分光感度測定部４０は、分光感度測定装置１０１の分光感度ｘの代表値や分散が分かっている場合には、次式のように、分布によらないノンパラメトリックな推定方法により分光感度ｘの近似解を得ることもできる。
【０１４８】
【数６】
2020005053.tif 000008
【０１４９】
なお、ｘ０は、分光感度の代表値であり、Σ−１は、分光感度の共分散行列である。
【０１５０】
このように、第１１の実施形態に係る分光感度測定装置１０１の検査方法では、分光特性測定部４０が、画素値測定部２０で測定された局所画像の画素値ｂと、局所領域２１０の分光特性Ａとに基づいて、その局所画像の分光感度ｘを測定する。これにより、第１１の実施形態に係る分光感度測定装置１０１の検査方法は、測定したこの局所画像の分光感度ｘを、既知である撮像部１０の分光感度ｘとして扱うことができる。また、分光感度測定装置１０１は、局所領域２１０を撮像した後、その局所領域２１０とは異なる局所領域を撮像して、それぞれ分光感度ｘを測定することができる。これにより、分光感度測定部４０は、例えば、複数の分光感度ｘからイメージセンサの面全体における分光感度Ｘを算出し、撮像部１０の分光感度Ｘとしてもよい。
【０１５１】
次に、分光特性測定部４１は、測定された局所画像の画素値ｂと、撮像部１０の分光感度ｘとに基づいて、局所領域２１０の分光特性Ａ１を測定する。分光特性測定部４１は、撮像部１０で撮像された局所領域２１０の分光特性Ａ１を測定することができる。
【０１５２】
閾値判定部６０は、測定された分光特性Ａ１に設けられる所定の閾値に基づいて、撮像部１０が良品か否かを閾値判定する。この場合、チャート２００の局所領域２１０の分光特性Ａは、既知であるため、分光特性測定部４０で測定した局所領域２１０の分光特性Ａ１が、所定の閾値以内にあるか否かを判定する。
【０１５３】
選別部７０は、閾値判定部６０の判定結果に基づいて、撮像部１０を含む分光感度測定装置１０１の選別を行う。
【０１５４】
以上説明したように、第１１の実施形態の分光感度測定装置１０１の検査方法では、少なくとも２種以上の色から構成される局所領域２１０を複数有するチャート２００を、局所領域２１０ごとに撮像する撮像部１０により撮像する。第１１の実施形態の分光感度測定装置１０１の検査方法は、撮像部１０によって撮像された局所領域２１０に基づいて、局所領域２１０に対応する局所画像の画素値ｂを測定する。そして、第１１の実施形態の分光感度測定装置１０１の検査方法は、測定された局所画像２１０の画素値ｂと、既知である撮像部１０の分光感度ｘとに基づいて、局所領域２１０の分光特性Ａ１を測定する。これにより、第１１の実施形態の分光感度測定装置１００の検査方法は、測定された分光特性Ａ１に設けられる所定の閾値に基づいて、撮像した撮像部１０が良品か否かを閾値判定し、撮像部１０を含む分光感度測定装置１０１の選別を行うことができる。
【０１５５】
このように、本技術に係る第１１の実施形態に係る分光感度測定装置１０１の検査方法は、局所領域２１０の分光特性Ａ１ごとに撮像部１０が良品か否か判定することができるので、撮像部１０を含む分光感度測定装置１００の選別を高精度に行うことができる。
【０１５６】
＜１３．第１２の実施形態の分光感度測定装置（第１の例）＞
本技術に係る第１２の実施形態の分光感度測定装置は、少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、局所領域ごとに撮像する撮像部と、撮像部によって撮像された局所領域に基づいて、局所領域に対応する局所画像の画素値を測定する画素値測定部と、画素値測定部で測定された局所画像の画素値と、局所領域の分光特性とに基づいて、その局所画像の分光感度を測定する分光感度測定部と、を備えるイメージセンサの分光感度測定装置である。
【０１５７】
本技術に係る第１２の実施形態の分光感度測定装置によれば、イメージセンサを分光器として使用することにより、分光感--度測定装置の大型化を回避することができる。なお、分光感度測定装置には、第１１の実施形態で良品と判定された分光感度測定装置を使用することができる。また、第１２の実施形態の分光感度測定装置は、イメージセンサと別体であっても、又は一体であってもよい。第１２の実施形態では、分光感度測定装置が、イメージセンサと一体の場合について説明する。
【０１５８】
図１４に、本技術に係る第１１の実施形態の分光感度測定装置の構成の一例を示す。図１４は、第１２の実施形態に係る分光感度測定装置１０２の構成の一例を示した機能ブロック図である。
【０１５９】
分光感度測定装置１０２は、撮像部１０と、画素値測定部２０と、照明情報取得部３０と、分光感度測定部４０とを備えている。
【０１６０】
撮像部１０は、少なくとも２種以上の色から構成される局所領域２１０を複数有するチャート２００を、局所領域２１０ごとに撮像する。
【０１６１】
画素値測定部２０は、撮像部１０によって撮像された局所領域２１０に基づいて、局所領域に対応する局所画像の画素値ｂを測定する。
【０１６２】
照明情報取得部３０は、例えば、照明３００の分光強度を取得し、取得した照明３００の分光強度とチャート２００の分光反射率とにより、チャート２００の分光特性Ａを取得する。なお、チャート２００の分光反射率は、既知として予め取得可能な値である。また、例えば、照明情報取得部３０は、分光感度測定装置１０２を分光計として機能させ、チャート２００の分光特性Ａを測定して取得してもよい。なお、照明３００とチャート２００によって得られる光をチャート分光という。
【０１６３】
分光感度測定部４０は、画素値測定部２０で測定された局所画像の画素値ｂと、局所領域２１０の分光特性Ａとに基づいて、その局所画像の分光感度ｘを測定する。
【０１６４】
具体的には、分光感度測定部４１は、次式を適用し、画素値測定部２０で測定された局所画像の画素値ｂと、局所領域２１０の分光特性Ａとに基づいて、その局所画像の分光感度ｘを測定する。
【０１６５】
【数７】
2020005053.tif 000009
【０１６６】
なお、局所画像の分光感度ｘを求める際、方程式の数が十分な場合は、最小二乗法で分光感度ｘを求めることができる。しかしながら、方程式の数が未知数よりも少ない場合には、いわゆる不良設定問題となる。この場合、最小二乗法で分光感度ｘを解くことができないが、例えば、Ｔｉｋｈｏｎｏｖ正則化、Ｗｉｅｎｅｒ推定、２次計画法等により分光感度ｘを求めることが可能である。
【０１６７】
一般に、方程式の数が多い方が解が安定する。そのため、方程式の数を増やすためには、撮影するチャート２００の局所領域２１０の色数を増やすことが望ましい。
【０１６８】
また、分光感度測定部４０は、分光感度測定装置１００の分光感度ｘの代表値や分散が分かっている場合には、次式のように、分布によらないノンパラメトリックな推定方法により分光感度ｘの近似解を得ることもできる。
【０１６９】
【数８】
2020005053.tif 000010
【０１７０】
なお、ｘ０は、分光感度の代表値であり、Σ−１は、分光感度の共分散行列である。
【０１７１】
このように、第１２の実施形態に係る分光感度測定装置１０２は、画素値測定部２０で測定された局所画像の画素値ｂと、局所領域２１０の分光特性Ａとに基づいて、その局所画像の分光感度ｘを測定する。
【０１７２】
また、分光感度測定部４０は、複数の局所領域２１０に対応する複数の局所画像の分光感度ｘから補間処理を行うことができるので、イメージセンサの面全体における分光感度Ｘを算出することもできる。なお、補間処理は、公知の補間処理を適用することができ、一例として、例えば、バイリニア補間やスプライン補間等が適用可能である。
【０１７３】
このように、分光感度測定装置１０２は、チャート２００よりも撮像領域を細かく分割して分光感度ｘを測定することができるので、高精度に分光感度ｘを測定することができる。
【０１７４】
また、分光感度測定装置１０２は、撮像部１０により、複数の局所領域２１０を撮像するようになっている。分光感度測定装置１０２は、例えば、局所領域２０１を撮像した後、その局所領域２１０に隣接する色単位（パッチ単位）で撮像領域ＩＲを変更し、繰り返し撮像することができる。
【０１７５】
以上説明したように、第１２の実施形態に係るイメージセンサの分光感度測定装置１０２は、局所領域２１０を複数有するチャート２００を局所領域２１０ごとに撮像する撮像部１０と、撮像部１０によって撮像された局所領域２１０に基づいて、その局所領域２１０に対応する局所画像の画素値を測定する画素値測定部２０と、画素値測定部２０で測定された局所画像の画素値ｂと、局所領域２１０の分光特性Ａとに基づいて、その局所画像の分光感度ｘを測定する分光感度測定部４０と、を備えている。分光感度測定部４０は、複数の分光感度ｘからイメージセンサの面全体における分光感度Ｘを算出することもできる。
【０１７６】
これにより、本技術に係る第１２の実施形態のイメージセンサの分光感度測定装置１０２は、イメージセンサ１００を分光器として使用することができるので、分光感度測定装置の大型化を回避することができる。
【０１７７】
＜１４．第１３の実施形態の分光感度測定装置（第２の例）＞
以下に、本技術に係る第１３の実施形態の分光感度測定装置について、説明する。
【０１７８】
本技術に係る第１３の実施形態の分光感度測定装置は、撮像画像に対して補正を行うことができるので、より高精度に分光感度を測定することができる。
【０１７９】
本技術に係る第１３の実施形態の分光感度測定装置は、本技術に係る第１２の実施形態の分光感度測定装置に、更に補正部を備えるようになっている。なお、第１２の実施形態の分光感度測定装置と同一の構成には同一の符号を付し、説明を適宜省略するものとする。また、第１３の実施形態の分光感度測定装置は、イメージセンサと別体であっても、又は一体であってもよい。第１３の実施形態では、分光感度測定装置が、イメージセンサと一体の場合について説明する。
【０１８０】
図１５に、本技術に係る第１３の実施形態の分光感度測定装置１０３の構成の一例を示す。図１５は、第１３の実施形態の分光感度測定装置１０３の構成の一例を示した機能ブロック図である。
【０１８１】
図１５に示すように、第１３の実施形態の分光感度測定装置１０３は、第１２の実施形態の分光感度測定装置１００に、補正部５０を更に備えるようになっている。
【０１８２】
補正部５０は、第１の補正部５１と、第２の補正部５２とを備えている。なお、補正部５０は、第１の補正部５１と第２の補正部５２の両方を備えている必要はなく、例えば、第１の補正部５１又は第２の補正部５２の少なくともいずれか一方を備えていればよい。
【０１８３】
第１の補正部５１は、補正用チャートに基づいて、補正用チャートに対応する第１の補正画像を用いて、チャート画像の輝度ムラを補正するようになっている。なお、第１の補正画像を、図１５において単に画像という。
【０１８４】
第２の補正部５２は、ノイズ除去用画像に基づいて、ノイズ除去用画像に対応する第２の補正画像を用いて、チャート画像の固定パターンノイズを除去するようになっている。なお、第２の補正画像を、図１５において単に画像という。
【０１８５】
まず、第１の補正部５１による第１の補正処理について説明する。
【０１８６】
撮像部１０Ａは、撮像される撮像面内で分光反射率が略一定の補正用チャートを撮像し、シェーディングを測定する。ここで、分光反射率が略一定とは、例えば、補正用チャートの分光反射率の５０％を基準とした場合、分光反射率が４８％から５２％となるチャートを略一定とする。即ち、例えば、分光反射率を所定の基準値（例えば、５０％）に対して、±２％の幅を略一定と規定することができる。また、分光反射率が一定とは、略一定に含まれるものとする。また、基準値となる５０％は、所望の値に設定することができる。
【０１８７】
撮像部１０Ａは、補正用チャートを撮像すると、シェーディング補正関数ｓを示す次式を適用し、シェーディング補正データを求める。
【数９】
2020005053.tif 000011
【０１８８】
次に、撮像部１０Ａは、局所領域２１０ごとに撮像し、その局所領域２１０に対応する局所画像を生成する。分光感度測定装置１００Ａは、画素値測定部２０Ａにおいて、局所領域２１０に基づいて、局所領域２１０に対応する局所画像の画素値ｂを測定する。
【０１８９】
次に、分光感度測定装置１００Ａは、第１の補正部５１において、画素値ｂにシェーディング補正関数ｓを適用することにより、輝度ムラを補正する。
【０１９０】
これにより、分光感度測定装置１００Ａは、分光感度測定部４１において、Ｔｉｋｈｏｎｏｖ正則化を適用し、次式により、輝度ムラを補正したセンサの分光感度ｘを求めることができる。
【数１０】
2020005053.tif 000012
【０１９１】
なお、λは、正則化パラメータを意味し、Ｆは、１次微分方程式、２次微分方程式からなる微分行列とする。
【０１９２】
次に、第２の補正部５２による第２の補正処理について説明する。
【０１９３】
まず、撮像部１０Ａは、局所領域２１０を遮光した状態でノイズ除去用画像を撮像する。ノイズ除去用画像は、遮光されて撮像されるため、特に、限定されるものではない。撮像部１０Ａは、ノイズ除去用画像を撮像し、撮像されたノイズ除去用画像に基づいて、ノイズ除去用画像に対応する第２の補正画像を用いて、固定パターンノイズを測定する。
【０１９４】
次に、撮像部１０Ａは、局所領域２１０ごとに撮像し、その局所領域２１０に対応する局所画像を生成する。
【０１９５】
そして、分光感度測定装置１００Ａは、第２の補正部５２において、局所領域２１０に対応する局所画像の画素ごとに固定パターンノイズを除去する。
【０１９６】
これにより、分光感度測定装置１００Ａは、画素値測定部２０Ａにおいて、固定パターンノイズを除去した局所画像の画素値ｂを測定することができる。
【０１９７】
また、第１３の実施形態の分光感度測定装置１００Ａでは、撮像部１０Ａが、補正用チャート及びノイズ除去用画像を複数回撮像するようにしてもよい。この場合、撮像部１０Ａは、同一の局所領域２１０を複数回撮像する。
【０１９８】
これにより、撮像部１０Ａは、複数回の撮像に基づく平均画像を生成することができる。また、撮像部１０Ａは、補正用チャート及びノイズ除去用画像もそれぞれ平均画像を生成することができる。
【０１９９】
これにより、本技術に係る第１３の実施形態の分光感度測定装置１００Ａは、局所領域２１０に対応する局所画像の平均画像に、補正用チャートの平均画像とノイズ除去用画像の平均画像とによる補正を適用し、複数の平均分光感度ｘからイメージセンサの面全体における平均分光感度Ｘを算出することができる。
【０２００】
本技術に係る第１３の実施形態の分光感度測定装置によれば、撮像画像に対して補正を行うことができるので、より高精度に分光感度を測定することができる。
【０２０１】
なお、本技術に係る実施形態は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【０２０２】
例えば、第１の実施形態から第１３の実施形態において、イメージセンサ１００は、撮像する局所領域２１０を１パッチずらして繰り返し撮像するようになっていた。イメージセンサ１００は、局所領域２１０をずらす処理をイメージセンサ１００の内部で撮像領域ＩＲをずらしてもよく、また、イメージセンサ１００自体又はチャート２００自体が移動する形態であってもよい。
【０２０３】
また、本明細書に記載された効果はあくまでも例示であって限定されるものではなく、また他の効果があってもよい。
【０２０４】
また、本技術は、以下のような構成を取ることができる。
［１］少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、当該局所領域ごとに撮像することと、
撮像された前記局所領域に基づいて、前記局所領域に対応する局所画像の画素値を測定することと、
測定された前記局所画像の画素値と、前記局所領域の分光特性とに基づいて、当該局所画像の分光感度を測定すること、
とを含む、イメージセンサの分光感度測定方法。
［２］前記局所領域を撮像した後、当該局所領域とは異なる局所領域を撮像して、それぞれ前記分光感度を測定し、複数の前記分光感度からイメージセンサの面全体における分光感度を算出することを含む、前記[１]に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［３］前記局所領域を複数回撮像して、複数の前記局所画像から平均画像を生成することと、
生成された前記平均画像の画素値を測定することと、
測定された前記平均画像の画素値と、前記局所領域の分光特性とに基づいて、当該平均画像の平均分光感度を測定し、複数の前記平均分光感度から前記イメージセンサの面全体における平均分光感度を算出すること、
とを含む、前記[２]に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［４］前記局所領域が撮像された後、撮像された当該局所領域に隣接する１以上の色単位で撮像領域を変更し、繰り返し撮像することを含む、前記［１］乃至［３］のいずれか１つに記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［５］撮像される撮像面内で分光反射率が略一定の補正用チャートを撮像することと、
撮像された前記補正用チャートに基づいて、前記補正用チャートに対応する第１の補正画像を用いて、チャート画像の輝度ムラを補正する、第１の補正をすることを含む、前記［１］乃至［４］のいずれか１つに記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［６］前記局所領域を遮光した状態でノイズ除去用画像を撮像することと、
撮像された前記ノイズ除去用画像に基づいて、前記ノイズ除去用画像に対応する第２の補正画像を用いて、チャート画像の固定パターンノイズを除去する、第２の補正をすることを含む、前記［１］乃至［５］のいずれか１つに記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［７］前記チャートに２以上の照明光が照射され、その照射によって反射された反射光に基づき前記局所領域を撮像することを含む、前記［１］乃至［６］のいずれか１つに記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［８］前記照明光は、ＬＥＤ又はレーザ光であって、
反射された前記ＬＥＤ又は前記レーザ光に基づき前記局所領域を撮像する、前記［７］に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［９］前記チャートを構成する色が、少なくとも１種以上の光源により生成され、
前記光源によって生成された色の光を、分光感度を測定するイメージセンサに照射することを含む、前記［１］乃至［８］のいずれか１つに記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［１０］前記チャートが、検知可能な被写体として形成され、
当該チャートの一部にマーカーが設けられ、
前記マーカーの位置が前記イメージセンサに検知された後、前記局所領域ごとの撮像が開始されることを含む、前記［１］乃至［９］のいずれか１つに記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［１１］前記チャートが、波長を連続的に変化させ、所定の波長を出力することを含む、前記［１］乃至［１０］のいずれか１つに記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［１２］前記チャートが、透過式のチャートに形成され、
前記局所領域が撮像され、前記局所領域と対向する位置に前記局所画像が生成され、
前記局所画像が生成される前記チャートの逆側から、光を照射するバックライト光源が分光感度を測定するイメージセンサに光を照射することを含む、前記［１１］に記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［１３］前記チャートが、透過式のチャートに形成され、
前記局所領域が撮像され、前記局所領域と対向する位置に前記局所画像が生成され、
前記局所画像が生成される前記チャートの逆側から、光を照射するバックライト光源が分光感度を測定するイメージセンサに光を照射することを含む、前記［１］乃至［１１］のいずれか１つに記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［１４］前記チャートには、前記２種以上の色が空間方向に所定の繰り返しによって配列されることを含む、前記［１］乃至［１３］のいずれか１つに記載のイメージセンサの分光感度測定方法。
［１５］少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、当該局所領域ごとに撮像する撮像部によって撮像することと、
撮像された前記局所領域に基づいて、前記局所領域に対応する局所画像の画素値を測定することと、
測定された前記局所画像の画素値と、前記撮像部の分光感度とに基づいて、前記局所領域の分光特性を測定することと、
測定された前記分光特性に設けられる所定の閾値に基づいて、前記撮像部が良品か否かを閾値判定することと、
前記撮像部を含む分光感度測定装置の選別を行うこと、
とを含む、分光感度測定装置の検査方法。
［１６］少なくとも２種以上の色から構成される局所領域を複数有するチャートを、当該局所領域ごとに撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された前記局所領域に基づいて、前記局所領域に対応する局所画像の画素値を測定する画素値測定部と、
前記画素値測定部で測定された前記局所画像の画素値と、前記局所領域の分光特性とに基づいて、当該局所画像の分光感度を測定する分光感度測定部と、
を備えるイメージセンサの分光感度測定装置。
【符号の説明】
【０２０５】
１０、１０Ａ  撮像部
２０、２０Ａ  画素値測定部
３０  照明情報取得部
４０  分光感度測定部
４１  分光特性測定部
５０  補正部
５１  第１の補正部
５２  第２の補正部
６０  閾値判定部
７０  選別部
１００、１０１、１０２  分光感度測定装置（イメージセンサ）
２００、２００Ａ、２００Ｂ、２２０、２４１、２４２、２５０  チャート
２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０  局所領域
３００  照明
３３０、３４０  バックライト光源
３３１  バックライト
３３２  リニアバリアブルフィルタ
３３３  ガラス基板
３３４  ガラスフィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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