(57)【要約】【課題】防塵部材から基板へ加わる圧力による感磁素子の感度の変化を抑制し、且つ、エンコーダの大型化を抑制すること。【解決手段】エンコーダ１０は、回転軸２と一体に回転する磁石１６と、感磁素子１７およびコネクタ１８が搭載される基板６０と、磁石１６と反対側から基板６０を覆うエンコーダカバー１２と、エンコーダカバー１２と基板６０との間に配置される防塵部材１２６を備える。基板６０は、エンコーダカバー１２の開口部１２３から外部へ延びる露出部分６１Ａを備え、露出部分６１Ａにコネクタ１８が配置される。防塵部材１２６は、基板６０の中心に配置される第１感磁素子１７１の中心に対して開口部１２３側に配置され、開口部１２３の縁に沿って直線状に延びている。防塵部材１２６は絶縁性の多孔体であり、好ましくは半独立半連続気泡体である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸と一体に回転する磁石と、
前記磁石と対向する感磁素子と、
前記感磁素子およびコネクタが搭載される基板と、
前記磁石と反対側から前記基板を覆うエンコーダカバーと、
前記エンコーダカバーと前記基板との間に配置される防塵部材と、を有し、
前記基板は、前記磁石と反対側から見て前記エンコーダカバーの開口部から前記エンコーダカバーの外側へ延びている露出部分、および、前記エンコーダカバーに覆われた収容部分を備え、
前記露出部分に前記コネクタが配置され、
前記収容部分に配置される少なくとも１つの前記感磁素子のうち、最も前記コネクタ側に位置する前記感磁素子を第１感磁素子とした場合に、
前記防塵部材は、前記第１感磁素子の中心に対して前記開口部側に配置され、前記エンコーダカバーと前記基板との間で圧縮されて前記開口部を塞ぐことを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
前記開口部は、前記磁石と反対側から見て直線状の直線部を備え、
前記防塵部材は、前記直線部に沿う形状であることを特徴とする請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項３】
前記直線部は、前記コネクタの長手方向に沿って延びていることを特徴とする請求項２に記載のエンコーダ。
【請求項４】
前記磁石は、周方向にＮ極とＳ極が１極ずつ着磁された第１磁石、および、Ｎ極とＳ極が周方向に交互に複数着磁された第２磁石を備え、
前記感磁素子は、前記第１磁石と対向する前記第１感磁素子、および、前記第２磁石と対向する第２感磁素子を備え、
前記第２感磁素子は、前記磁石と反対側から見て、前記防塵部材と重ならない位置にあることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のエンコーダ。
【請求項５】
前記防塵部材は、多孔体であることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載のエンコーダ。
【請求項６】
前記防塵部材は、半独立半連続気泡体であることを特徴とする請求項５に記載のエンコーダ。
【請求項７】
請求項１から６の何れか一項に記載のエンコーダと、
前記回転軸を備えたモータと、を有することを特徴とするエンコーダ付きモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感磁素子が搭載される基板を備えたエンコーダおよびエンコーダ付きモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ロータの回転を検出するエンコーダが開示されている。特許文献１のエンコーダは、基板に搭載される感磁素子（磁気センサ）と、モータの出力軸と一体に回転する磁石を備える。基板はモータケースに固定されたホルダによって支持される。感磁素子を搭載した基板はエンコーダカバー（カバー部材）によって覆われる。エンコーダカバーは、エンコーダケースの内側面に固定される。
【０００３】
特許文献１では、エンコーダカバーの内側に弾性変形可能な防塵部材が配置される。防塵部材は、エンコーダカバーと基板との間で圧縮されて基板に押し付けられている。防塵部材で基板を覆うことにより、基板に付着していた導電性の異物の移動や新たな異物の付着が抑制されるため、導電性の異物によって基板上の回路が短絡することを抑制できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−３８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１では、防塵部材は基板全体を覆っている。このため、基板全体に防塵部材からの圧力がかかっており、基板上の電子部品への影響が懸念される。特に、高性能な電子部品の性能への影響が無視できなくなっており、感磁素子においても、基板に加わる応力による抵抗値の変化の影響が無視できなくなっている。このため、感磁素子の感度の変化により精度の良い検出ができないおそれがある。
【０００６】
また、エンコーダカバーで基板全体を覆うと、基板上のコネクタまでエンコーダカバーで覆うことになるため、エンコーダカバーの高さをコネクタより大きくしなければならず、エンコーダカバーとコネクタの間に隙間を作らなくてはならない。従って、エンコーダが大型化するという問題がある。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、基板を覆うエンコーダカバーおよび防塵部材を備えたエンコーダにおいて、防塵部材から基板へ加わる圧力による感磁素子の感度の変化を抑制し、且つ、エンコーダの大型化を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明のモータは、回転軸と一体に回転する磁石と、前記磁石と対向する感磁素子と、前記感磁素子およびコネクタが搭載される基板と、前記磁石と反対側から前記基板を覆うエンコーダカバーと、前記エンコーダカバーと前記基板との間に配置される防塵部材と、を有し、前記基板は、前記磁石と反対側から見て前記カバーの開口部から前記エンコーダカバーの外側へ延びている露出部分、および、前記エンコーダカバーに覆われた収容部分を備え、前記露出部分に前記コネクタが配置され、前記収容部分に配置される少なくとも１つの前記感磁素子のうち、最も前記コネクタ側に位置する前記感磁素子を第１感磁素子とした場合に、前記防塵部材は、前記第１感磁素子の中心に対して前記開口部側に配置され、前記エンコーダカバーと前記基板との間で圧縮されて
前記開口部を塞ぐことを特徴とする。
【０００９】
本発明では、このように、感磁素子が搭載された基板を覆うエンコーダカバーが開口部を備えており、開口部からエンコーダカバーの外側に延びている基板の部分（露出部分）にコネクタが配置される。従って、エンコーダカバーとコネクタの間に必要以上な隙間を作らなくてもよく、また、エンコーダカバーの高さをコネクタより低くすることもできるので、エンコーダカバーを設けたことによるエンコーダの大型化を抑制できる。また、開口部を塞ぐ防塵部材を備えているので、基板上へ異物が移動することを抑制できる。さらに、防塵部材は、最もコネクタ側に位置する感磁素子の中心より開口部側に配置されているため、防塵部材の使用量が少なくて済む配置でありながら、基板上への異物の侵入を効果的に抑制できる。また、防塵部材からの応力が感磁素子の配置領域全体に加わることがないため、基板に加わる応力による感度の変化を抑制でき、検出精度の低下を抑制できる。
【００１０】
本発明において、前記開口部は、前記磁石と反対側から見て直線状の直線部を備え、前記防塵部材は、前記直線部に沿う形状であることが好ましい。このようにすると、防塵部材の形状を単純にすることができるため、部品としての材料取りがよく、材料コストを低減させることができ、製造も容易である。また、開口部への位置決めが容易であるため、防塵部材の取付作業が容易である。
【００１１】
本発明において、前記直線部は、前記コネクタの長手方向に沿って延びていることが好ましい。このように、コネクタの長手方向が開口部に沿う方向となるようにコネクタを配置することにより、開口部の外側に基板を大きく突出させる必要がない。従って、基板の大型化を抑制でき、エンコーダの大型化を抑制できる。
【００１２】
本発明において、前記磁石は、周方向にＮ極とＳ極が１極ずつ着磁された第１磁石、および、Ｎ極とＳ極が周方向に交互に複数着磁された第２磁石を備え、前記感磁素子は、前記第１磁石と対向する前記第１感磁素子、および、前記第２磁石と対向する第２感磁素子を備え、前記第２感磁素子は、前記磁石と反対側から見て、前記防塵部材と重ならない位置にあることが好ましい。このように、複数着磁された磁石の磁界を検出する感磁素子を防塵部材から離して配置することにより、応力による感度変化に敏感な感磁素子への応力の影響を抑制できる。従って、検出精度の低下を抑制できる。
【００１３】
本発明において、前記防塵部材は、多孔体であることが好ましい。このようにすると、基板や電子部品との接触によって変形しやすい。従って、感磁素子への応力の影響を抑制しつつ、異物の移動を抑制できる。また、弾性変形可能な多孔体であれば、簡易な打ち抜き加工によって所望の形状を得ることができる。また、形状精度が低くても開口部を塞ぐことができる。従って、防塵部材を安価に製造できる。
【００１４】
本発明において、前記防塵部材は、半独立半連続気泡体であることが好ましい。半独立半連続気泡体は、独立気泡体より柔らかいので、基板や電子部品との接触によって独立気泡体より変形させやすい。従って、感磁素子への応力の影響を抑制しつつ、異物の移動を抑制できる。
【００１５】
次に、本発明のエンコーダ付きモータは、上記のエンコーダと、前記回転軸を備えたモータと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、感磁素子が搭載された基板を覆うエンコーダカバーが開口部を備えており、開口部からエンコーダカバーの外側に延びている基板の部分（露出部分）にコネク
タが配置される。従って、エンコーダカバーとコネクタの間に必要以上な隙間を作らなくてもよく、また、エンコーダカバーの高さをコネクタより低くすることもできるので、エンコーダカバーを設けたことによるエンコーダの大型化を抑制できる。また、開口部を塞ぐ防塵部材を備えているので、開口部から基板上へ異物が移動することを抑制できる。さらに、防塵部材は、最もコネクタ側に位置する感磁素子の中心より開口部側に配置されているため、防塵部材の使用量が少なくて済む配置でありながら、開口部からの異物の侵入を効果的に抑制できる。また、防塵部材からの応力が感磁素子の配置領域全体に加わることがないため、基板に加わる応力による感度の変化を抑制でき、検出精度の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明を適用したエンコーダを備えたエンコーダ付きモータの外観斜視図である。
【図２】エンコーダ、第１軸受ホルダ、および回転軸の断面図（図１のＡ−Ａ断面図）およびその部分拡大図である。
【図３】エンコーダ、第１軸受ホルダ、および回転軸の断面図（図１のＢ−Ｂ断面図）である。
【図４】エンコーダ、第１軸受ホルダ、および回転軸を反出力側から見た分解斜視図である。
【図５】エンコーダ、第１軸受ホルダ、および回転軸を出力側から見た分解斜視図である。
【図６】エンコーダケースを取り外したエンコーダおよび第１軸受ホルダの斜視図である。
【図７】エンコーダカバーの固定構造および防塵部材の配置領域の説明図である。
【図８】回路基板組を反出力側から見た分解斜視図である。
【図９】回路基板組を出力側から見た分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、図面を参照して、本発明を適用したエンコーダおよびエンコーダ付きモータの実施形態を説明する。図１は本発明を適用したエンコーダ１０を備えたエンコーダ付きモータ１の外観斜視図である。図２はエンコーダ１０、第１軸受ホルダ４２Ａ、および回転軸２の断面図（図１のＡ−Ａ断面図）およびその部分拡大図であり、図３はエンコーダ１０、第１軸受ホルダ４２Ａ、および回転軸２の断面図（図１のＢ−Ｂ断面図）である。また、図４、図５はエンコーダ１０、第１軸受ホルダ４２Ａ、および回転軸２の分解斜視図であり、図２は反出力側Ｌ２から見た分解斜視図、図３は出力側Ｌ１から見た分解斜視図である。
【００１９】
エンコーダ付きモータ１は、回転軸２を備えるモータ３と、回転軸２の回転を検出するエンコーダ１０を備える。本明細書において、ＸＹＺの３方向は互いに直交する方向であり、これら３方向の一方側をそれぞれＸ１、Ｙ１、Ｚ１とし、他方側をそれぞれＸ２、Ｙ２、Ｚ２とする。Ｚ方向は回転軸２の中心軸線Ｌと平行であり、Ｘ方向およびＹ方向は中心軸線Ｌと直交する。
【００２０】
（モータ）
モータ３は、ロータおよびステータ（図示省略）を収容するモータケース４を備える。ロータは回転軸２と一体に回転し、ステータはモータケース４に固定される。モータケース４から外部へ突出する回転軸２の端部には、被駆動部材が連結される。本明細書において、モータケース４から回転軸２が突出する方向を出力側Ｌ１とし、出力側Ｌ１の反対側を反出力側Ｌ２とする。エンコーダ１０は、モータ３の反出力側Ｌ２の端部に固定される。
【００２１】
図１に示すように、モータケース４は、中心軸線Ｌ方向に延びる筒状ケース４１と、筒状ケース４１の反出力側Ｌ２の端部に固定される第１軸受ホルダ４２Ａと、筒状ケース４１の出力側Ｌ１の端部に固定される第２軸受ホルダ（図示省略）を備える。エンコーダ１０は、第１軸受ホルダ４２Ａに対して反出力側Ｌ２から固定される。図４に示すように、第１軸受ホルダ４２Ａは、出力側Ｌ１に凹む円形凹部４４と、円形凹部４４の外周側に拡がるフランジ４５と、円形凹部４４の縁に沿って反出力側Ｌ２に突出する環状壁４６を備える。
【００２２】
図２〜図４に示すように、円形凹部４４の底部中央には軸受４３が保持される。軸受４３は、回転軸２の反出力側Ｌ２の端部を回転可能に支持する。また、円形凹部４４の底部には、軸受４３の外周部分を反出力側Ｌ２から押さえるように環状のプレート４７が取り付けられる。回転軸２は、プレート４７の中心に設けられた貫通孔４８に通され、軸受４３に支持される。プレート４７は、３本のねじによって円形凹部４４の底部に固定される。
【００２３】
本形態では、プレート４７は磁性材からなり、モータ３側からエンコーダ１０側へ侵入する磁気ノイズを遮蔽する。プレート４７の外周縁には、等角度間隔の３箇所に切り欠き４７１が形成されている。切り欠き４７１には、後述するエンコーダホルダ１４の脚部１５０が配置される。
【００２４】
（エンコーダ）
図２〜図５に示すように、エンコーダ１０は、第１軸受ホルダ４２Ａに固定されるエンコーダケース１１と、エンコーダケース１１の内側に配置されるエンコーダカバー１２と、エンコーダカバー１２の内側に配置される回路基板組１３と、回路基板組１３が固定されるエンコーダホルダ１４と、エンコーダホルダ１４の内周側に配置される磁石組立体１５と、エンコーダケース１１とエンコーダカバー１２の間に配置されるケーブル案内部材２０を備える。
【００２５】
磁石組立体１５は、反出力側Ｌ２の面に配置される磁石１６を備えており、回転軸２の反出力側Ｌ２の先端に固定される。従って、磁石１６は回転軸２と一体に回転する。回路基板組１３は、基板ホルダ５０と、基板ホルダ５０に固定される基板６０とを備える。回路基板組１３は、回転軸２に固定された磁石１６と対向する感磁素子１７を備えており、感磁素子１７の信号は、基板６０上のエンコーダ回路に入力される。本形態では、感磁素子１７としてＭＲ素子を用いる。
【００２６】
（エンコーダケース）
エンコーダケース１１は、中心軸線Ｌ方向に見た場合に略矩形の端板部１１１と、端板部１１１の外周縁から出力側Ｌ１へ延びる筒状の側板部１１２を備える。図１に示すように、側板部１１２のＸ１側を向く側面には、エンコーダケーブル５を通すための配線取り出し部１１３が設けられている。図４、図５に示すように、配線取り出し部１１３は、側板部１１２に形成された切り欠き部１１７と、切り欠き部１１７に取り付けられる保持部材１１８と、保持部材１１８および切り欠き部１１７を覆うエンコーダケーブルホルダ１１９を備える。
【００２７】
エンコーダケース１１と第１軸受ホルダ４２Ａは、側板部１１２の出力側Ｌ１の端面とフランジ４５との間にシール部材１１４を介在させて、４箇所の角部に固定ねじを締め込むことによって固定される。本形態では、エンコーダケース１１およびモータケース４はアルミなどの非磁性材からなる。
【００２８】
（エンコーダホルダ）
図４、図５に示すように、エンコーダホルダ１４は、円形の磁石配置孔１４１が形成された胴部１４０と、胴部１４０から外周側に突出する３本の脚部１５０を備える。図５に示すように、脚部１５０の出力側Ｌ１の端面は、胴部１４０の出力側Ｌ１の端面よりも出力側Ｌ１に突出している。脚部１５０は、第１軸受ホルダ４２Ａの円形凹部４４の内側に配置され、プレート４７の外周縁に形成された切り欠き４７１に配置されて、円形凹部４４の底面に当接する。脚部１５０には、ホルダ固定ねじ１４５を通す固定孔１４７が設けられている。エンコーダホルダ１４は、３本のホルダ固定ねじ１４５によって脚部１５０が円形凹部４４の底面にねじ止めされることにより、第１軸受ホルダ４２Ａに固定される。エンコーダホルダ１４を第１軸受ホルダ４２Ａに固定すると、磁石配置孔１４１の中央に、回転軸２および磁石組立体１５が配置される。
【００２９】
エンコーダホルダ１４には、回路基板組１３が固定される。図４に示すように、エンコーダホルダ１４は、胴部１４０の反出力側Ｌ２の端面である環状面１４３を備えており、環状面１４３から突出するボス部１４４を３箇所に備えている。回路基板組１３は、３本の基板固定ねじ６５によってボス部１４４にねじ止めされる。回路基板組１３は、ボス部１４４の先端面に反出力側Ｌ２から当たることにより、中心軸線Ｌ方向に位置決めされる。エンコーダホルダ１４に回路基板組１３を固定することにより、回路基板組１３に搭載された感磁素子１７と、磁石組立体１５の磁石１６とが所定のギャップで対向する。
【００３０】
エンコーダホルダ１４に回路基板組１３を固定する際、回路基板組１３の周方向の位置決めは、位置決めピン６６を用いて行われる。図５に示すように、回路基板組１３は、位置決めピン６６の端部が嵌まる２箇所の位置決め孔１３１を備える。位置決め孔１３１は、基板ホルダ５０に設けられている。一方、図４に示すように、エンコーダホルダ１４は、環状面１４３よりも反出力側Ｌ２に突出する凸部を２箇所に備えており、各凸部は、位置決めピン６６の端部が嵌まる位置決め孔１４６を備える。エンコーダホルダ１４と回路基板組１３は、周方向に離間した２箇所において、２本の位置決めピン６６の一端および他端をそれぞれエンコーダホルダ１４の位置決め孔１４６と回路基板組１３の位置決め孔１３１に嵌め込むことにより、周方向に位置決めされる。位置決めピン６６はスプリングピンであるため、回路基板組１３の周方向のがたつきを防止して位置決めを行うことができる。
【００３１】
（磁石組立体）
磁石組立体１５は、磁石ホルダ１９と、磁石ホルダ１９に保持される磁石１６を備える。図２〜図５に示すように、磁石ホルダ１９は、略円板状の磁石保持部１９１と、磁石保持部１９１の中心から出力側Ｌ１に突出する筒状の軸部１９２を備える。軸部１９２には、回転軸２の先端が圧入、接着剤、および止めネジの何れか、あるいは、これらを併用して固定される。本形態では、軸部１９２を径方向に貫通するねじ孔に止めネジが締め込まれ、軸部１９２の中心を通る軸孔に配置される回転軸２を側面から固定する。図２〜図４に示すように、磁石１６は、磁石保持部１９１の中央に形成された凹部に嵌合する円形の第１磁石１６１、および、磁石保持部１９１の外周縁に形成された段部に嵌合する環状の第２磁石１６２を備える。第１磁石１６１は周方向にＮ極とＳ極が１極ずつ着磁されている。一方、第２磁石１６２はＮ極とＳ極が周方向に交互に複数極ずつ着磁されている。
【００３２】
磁石ホルダ１９は磁性材からなる。磁石保持部１９１は、第１磁石１６１と第２磁石１６２の磁気干渉を抑制するためのシールド部１９３と、第２磁石１６２の出力側Ｌ１に位置するヨーク部１９４（図８、図９参照）を備える。磁石組立体１５において、第１磁石１６１と第２磁石１６２は径方向に離間しており、シールド部１９３は、第１磁石１６１と第２磁石１６２の間に配置される。シールド部１９３は、反出力側Ｌ２に突出する環状凸部であり、ヨーク部１９４は、第２磁石１６２の出力側Ｌ１において径方向外側へ環状
に延びている。
【００３３】
（エンコーダカバー）
図６は、エンコーダケースを取り外したエンコーダおよび第１軸受ホルダの斜視図である。図７は、エンコーダカバーの固定構造および防塵部材の配置領域の説明図である。図２〜図７に示すように、エンコーダカバー１２は、回路基板組１３に対して磁石１６とは反対側（反出力側Ｌ２）から対向する端板部１２１と、端板部１２１の外周縁から出力側Ｌ１へ延びる側板部１２２を備える。図２、図３に示すように、エンコーダカバー１２は、回路基板組１３を磁石１６とは反対側（反出力側Ｌ２）から覆っている。側板部１２２は回路基板組１３の外周側を囲んでおり、回路基板組１３に搭載された感磁素子１７の外周側を囲んでいる。側板部１２２の先端は、回路基板組１３よりも出力側Ｌ１まで延びている。図３、図６に示すように、エンコーダカバー１２は、側板部１２２の先端がエンコーダホルダ１４の環状面１４３に当接することにより、中心軸線Ｌ方向に位置決めされる。
【００３４】
エンコーダカバー１２は、配線取り出し部１１３とは反対側（Ｘ２側）を向く開口部１２３を備える。開口部１２３は、端板部１２１および側板部１２２の周方向の一部を径方向と直交する平面で直線状に切り欠いた切り欠き部である。回路基板組１３は、Ｘ２側の端部がエンコーダカバー１２の外部に配置される。従って、基板６０は、開口部１２３の外側に配置される露出部分６１Ａと、エンコーダカバー１２に収容される収容部分６１Ｂを備える。回路基板組１３は、基板６０の露出部分６１Ａに配置されたコネクタ１８を備える。コネクタ１８をエンコーダカバー１２の外側に配置することにより、エンコーダカバー１２の高さを小さくすることができ、エンコーダ１０の全体高さを小さくすることができる。
【００３５】
図６に示すように、エンコーダカバー１２の開口部１２３は、反出力側Ｌ２から見て回路基板組１３と重なる直線部１２７を備える。直線部１２７は、端板部１２１の端部であり、Ｙ方向に延びている。コネクタ１８は、長手方向をＹ方向に向けて、直線部１２７の中央部分に沿って配置される。直線部１２７の中央には、端板部１２１のエッジをＸ１側へ折り曲げた折り曲げ部１２８が設けられている。後述するように、エンコーダカバー１２とエンコーダケース１１の間には、コネクタ１８に接続されるエンコーダケーブル５が通るケーブル通路２３が設けられている。ケーブル通路２３はＸ方向に延びており、反出力側Ｌ２から見て直線部１２７の中央部分と重なっている。折り曲げ部１２８は、ケーブル通路２３に面した範囲に設けられている。
【００３６】
エンコーダカバー１２は、導電性の固定部材１２５により、回路基板組１３に固定される。図４、図７に示すように、エンコーダカバー１２には、端板部１２１を貫通する固定孔１２４が２箇所に設けられている。また、回路基板組１３には、エンコーダカバー１２の固定孔１２４と対向する２箇所に、固定孔１３２が設けられている。２本の固定部材１２５の一端を固定孔１３２に嵌め込み、他端をエンコーダカバー１２の固定孔１２４に嵌め込むことにより、エンコーダカバー１２が回路基板組１３に対して固定される。固定孔１２４、１３２は、周方向に離間した２箇所に設けられている。固定部材１２５はスプリングピンであり、固定部材１２５の端部は、固定孔１２４、１３２に圧入される。固定部材１２５としてスプリングピンを用いることにより、エンコーダカバー１２の周方向のがたつきが防止される。従って、固定部材１２５により、エンコーダカバー１２の周方向の位置決めを行うことができる。
【００３７】
固定部材１２５は導電性の金属（例えば、ＳＵＳ）からなる導通部材である。固定孔１３２は基板６０に設けられており、２箇所のうちの１箇所は、基板６０上のエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続されるランドが設けられたグランドスルーホール１
３３である。従って、２箇所の固定孔１３２に固定部材１２５を嵌め込むことにより、２本の固定部材１２５のうちの１本は、基板６０上のエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続される。
【００３８】
エンコーダカバー１２は、導電性を有する磁性材からなり、シールド部材（第１シールド部材）として機能する。例えば、エンコーダカバー１２は鉄、パーマロイなどで形成されている。本形態では、エンコーダカバー１２は、ＳＰＣＣやＳＰＣＥなどの磁性金属板をプレス加工して形成されている。このように、磁性材で形成されたエンコーダカバー１２によって感磁素子１７を備えた回路基板組１３を覆うことにより、磁性材によって外乱磁界などの磁気ノイズおよび電磁波ノイズを吸収し、感磁素子１７およびエンコーダ回路を磁気ノイズおよび電磁波ノイズから遮蔽することができる。また、エンコーダカバー１２は、２本の固定部材１２５のうちの１本を介して、エンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続される。このように、シグナルグランド電位の部材によって回路基板組１３を覆うことにより、感磁素子１７およびエンコーダ回路をモータケース４からのフレームグランドノイズなどの電気的ノイズから遮蔽することができる。
【００３９】
また、後述するように、回路基板組１３は、基板６０を出力側Ｌ１から覆う基板ホルダ５０を備えており、基板ホルダ５０には、感磁素子１７を覆うようにシールド部材８０（第２シールド部材）が取り付けられている。基板ホルダ５０およびシールド部材８０は、導電性の金属、例えばアルミからなり、エンコーダ回路のシグナルグランドと接続されている。従って、感磁素子１７およびエンコーダ回路は、磁石１６側からも電気的ノイズから遮蔽されているため、開口部１２３を除く全方位で電気的ノイズから遮蔽されている。
【００４０】
（防塵部材）
図２に示すように、エンコーダカバー１２と基板６０との間には、開口部１２３を塞ぐ防塵部材１２６が配置される。防塵部材１２６は弾性部材からなり、回路基板組１３に対してエンコーダカバー１２を固定した状態では、エンコーダカバー１２の端板部１２１と基板６０との間で圧縮されている。図５〜図７に示すように、防塵部材１２６は直線状の部材であり、開口部１２３の縁に沿って直線状に延びている。開口部１２３に防塵部材１２６を配置することにより、導電性の異物が基板６０上へ侵入することを抑制することができる。
【００４１】
図６に示すように、防塵部材１２６は、開口部１２３の直線部１２７に沿ってＹ方向に延びている。図５に示すように、防塵部材１２６は、Ｘ方向の幅およびＺ方向の高さが一定の直方体状の部材である。図７に示すように、防塵部材１２６の配置領域Ｃは、基板６０の中心よりも開口部１２３側（Ｘ２側）である。後述するように、感磁素子１７は、基板６０の中心に搭載された第１感磁素子１７１と、基板ホルダ５０のＸ１側の縁に配置された第２感磁素子１７２を備える。２つの感磁素子のうち、最もコネクタ１８側に配置される感磁素子は第１感磁素子１７１であり、防塵部材１２６は、第１感磁素子１７１の中心に対して開口部１２３側（Ｘ２側）に位置する。第２感磁素子１７２は、基板６０の中心に対して防塵部材１２６が配置される側とは反対側の端部に配置され、反出力側Ｌ２から見て防塵部材１２６と全く重ならない位置に配置されている。
【００４２】
防塵部材１２６は絶縁性の多孔体である。例えば、防塵部材１２６は、ゴムやウレタン等の絶縁材料からなる発泡体である。本形態では、防塵部材１２６は半独立半連続気泡体であり、ＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ジエンゴム）からなる。このように、防塵部材１２６はスポンジ状の柔らかい弾性部材であるため、基板６０とエンコーダカバー１２との間で両部材に密着する形状に変形して、開口部１２３を塞いでいる。防塵部材１２６は、組立前の形状はエンコーダカバー１２と基板６０との隙間より大きく、組み立てることによって圧縮されている。
【００４３】
なお、防塵部材１２６として多孔体を用いる代わりに、絶縁性の充填剤をエンコーダカバー１２と基板６０との隙間に注入して隙間を塞いでもよい。例えば、充填剤として、常温で硬化するシリコーンゴム系の弾性接着剤を用いることができる。
【００４４】
（ケーブル案内部材）
図２〜図５に示すように、エンコーダケース１１とエンコーダカバー１２の間には、同一形状の２個のケーブル案内部材２０が配置される。ケーブル案内部材２０は、ＸＺ面と平行な案内面２１と、案内面２１とは反対側を向く円弧面２２を備える。２個のケーブル案内部材２０は、円弧面２２が同一円上に位置し、且つ、案内面２１がＹ方向に対向するように位置決めされて、エンコーダケース１１に固定される。エンコーダケース１１の端板部１１１には、２個のケーブル案内部材２０を図２、図３に示す配置で位置決めするための位置決め部が設けられている。
【００４５】
図３に示すように、エンコーダケース１１は、端板部１１１から出力側Ｌ１へ突出する円弧状のリブ１１５と、リブ１１５の内周側に設けられた凸部１１６を備える。リブ１１５および凸部１１６は、ケーブル案内部材２０を位置決めするための位置決め部である。リブ１１５は、ケーブル案内部材２０の円弧面２２と接触し、凸部１１６は、ケーブル案内部材２０を貫通する位置決め孔２４に配置される。ケーブル案内部材２０は、例えば、接着剤によって端板部１１１に固定される。
【００４６】
ケーブル案内部材２０は、弾性部材からなり、エンコーダカバー１２の端板部１２１とエンコーダケース１１の端板部１１１との間で圧縮される。ケーブル案内部材２０は、防塵部材１２６と同様に、絶縁性の多孔体である。本形態では、防塵部材１２６は独立気泡体であり、マイクロセルポリマーシートからなる。エンコーダカバー１２は、ケーブル案内部材２０の弾性復帰力により、エンコーダホルダ１４に押し付けられる。従って、振動等によってエンコーダカバー１２が回路基板組１３から外れるおそれを少なくすることができる。
【００４７】
２個のケーブル案内部材２０の間の空間は、Ｘ方向に延びるケーブル通路２３となる。図４に示すように、回路基板組１３は、基板６０の中心を挟んで配線取り出し部１１３とは反対側の端部（Ｘ２側の端部）にコネクタ１８が配置され、コネクタ１８の差し込み口１８１は、配線取り出し部１１３とは反対側（Ｘ２側）を向いている。エンコーダケーブル５の先端に設けられたケーブル側コネクタ６は、配線取り出し部１１３とは反対側からコネクタ１８の差し込み口１８１に接続される。エンコーダケーブル５は、コネクタ１８からＸ２側へ引き出され、コネクタ１８のＸ２側でＸ１側へ折り返す形状に屈曲させられ、ケーブル通路２３を通って配線取り出し部１１３へ引き回される。従って、エンコーダケーブル５は、コネクタ１８から配線取り出し部１１３とは反対側へ引き出されて配線取り出し部１１３の側へ折り返される第１部分５Ａと、ケーブル案内部材２０に沿って配線取り出し部１１３の側へ直線状に延びる第２部分５Ｂを備える。
【００４８】
上記のように、エンコーダカバー１２の開口部１２３は、ケーブル通路２３に面した範囲に折り曲げ部１２８が設けられている。従って、エンコーダケーブル５は端板部１２１のエッジに接触することはなく、折り曲げ部１２８に接触するので、エンコーダケーブル５が損傷するおそれが少ない。
【００４９】
（回路基板組）
図８は回路基板組１３を反出力側Ｌ２から見た分解斜視図であり、図９は回路基板組１３を出力側Ｌ１から見た分解斜視図である。図８、図９に示すように、回路基板組１３は、基板ホルダ５０と、基板ホルダ５０に対して反出力側Ｌ２から当接する基板６０と、基
板ホルダ５０に対して基板６０を固定する導電性の固定部材７０と、基板ホルダ５０に出力側Ｌ１から固定されるシールド部材８０を備える。基板６０は、中心軸線Ｌ方向に見て略円形であり、Ｘ２側の縁にコネクタ１８が搭載されている。コネクタ１８は、基板６０の縁を直線状に切り欠いた直線部６１に沿って配置されている。基板ホルダ５０は、中心軸線Ｌ方向に見て基板６０と略同一形状であり、基板６０と基板ホルダ５０は、中心軸線Ｌ方向に当接する。
【００５０】
基板６０には、基板ホルダ５０に対する固定用の固定孔６２が２箇所に形成されている。２箇所の固定孔６２は、基板ホルダ５０の中心を挟んで反対側に配置されている。また、２箇所の固定孔６２のうちの一方は、基板６０に搭載されたエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続されたグランドスルーホール６２１である。なお、２箇所の固定孔６２のどちらをグランドスルーホール６２１にしても良い。また、固定孔６２を３か所以上設け、３か所で基板６０と基板ホルダ５０を固定してもよい。
【００５１】
基板ホルダ５０は、基板６０と対向する平面部５３と、平面部５３の外周縁から反出力側Ｌ２に立ち上がる縁部５４を備える。平面部５３には、基板６０の固定孔６２と対向する２箇所に固定孔５１が形成されている。固定部材７０の一端および他端を、それぞれ、基板６０の固定孔６２と基板ホルダ５０の固定孔５１に嵌め込むことにより、基板ホルダ５０に基板６０が固定される。固定部材７０はスプリングピンである。固定部材７０としてスプリングピンを用いることにより、基板ホルダ５０に対する基板６０のがたつきが防止される。また、上記のように、固定部材７０は導電性の金属、例えばＳＵＳで形成された導通部材であり、固定孔６２のうちの１つはグランドスルーホール６２１であるため、固定部材７０を介して基板ホルダ５０に基板６０が取り付けられると、固定部材７０およびグランドスルーホール６２１を介して、基板ホルダ５０が基板６０に搭載されたエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続される。なお、固定部材７０を半田接合により固定孔６２に固定してもよい。
【００５２】
基板ホルダ５０には、エンコーダホルダ１４のボス部１４４に対応する３か所に基板固定ねじ６５を通すためのボス部５２が形成されている。本形態では、ボス部５２の反出力側Ｌ２の先端面が、基板６０と当接する当接面となっている。また、ボス部５２の出力側Ｌ１の端面は、エンコーダホルダ１４と当接する当接面となっている。
【００５３】
基板６０には、ボス部５２と対向する３か所に固定孔６３が形成されている。回路基板組１３は、３本の基板固定ねじ６５をそれぞれ基板６０の固定孔６３および基板ホルダ５０のボス部５２に通して、その先端をエンコーダホルダ１４のボス部１４４にねじ止めすることにより、エンコーダホルダ１４に固定される。エンコーダホルダ１４は樹脂などの絶縁材からなる。従って、エンコーダホルダ１４を介して第１軸受ホルダ４２Ａに回路基板組１３を固定すると、基板ホルダ５０は第１軸受ホルダ４２Ａから絶縁される。
【００５４】
基板６０は、反出力側Ｌ２を向く反出力側基板面６０ａ、および、出力側Ｌ１を向く出力側基板面６０ｂを備える。反出力側基板面６０ａには、エンコーダ回路を構成する回路素子、エンコーダケーブル５を接続するためのコネクタ１８、および、接続端子１７３などが搭載されている。接続端子１７３は、基板６０の外周縁に配置され、基板６０の中心を挟んでコネクタ１８とは反対側に配置されている。基板６０の外周縁には、接続端子１７３の径方向外側に切り欠き部６４が形成されている。図９に示すように、感磁素子１７は、出力側基板面６０ｂの中央に配置される第１感磁素子１７１、および、フレキシブル配線基板１７４を介して接続端子１７３と接続される第２感磁素子１７２を備える。フレキシブル配線基板１７４は、基板６０の切り欠き部６４を通り、基板６０の出力側Ｌ１に引き回されている。第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２は、それぞれ、基板６０上に構成されたエンコーダ回路のシグナルグランドと接続されるグランド端子（図示省
略）を備える。また、出力側基板面６０ｂには、第１感磁素子１７１の近傍に２つのホール素子１７５が搭載されている。２つのホール素子１７５は、感磁素子１７の位置を基準として９０度離れた角度位置に配置されている。
【００５５】
基板ホルダ５０の平面部５３の中央には、円形の貫通孔５６が形成されている。また、平面部５３の出力側Ｌ１の面には、出力側Ｌ１に突出する段差部５７が形成されている。段差部５７は、貫通孔５６を囲む領域から平面部５３の外周縁に向かって帯状に延びている。段差部５７には、略矩形の貫通孔５８が形成されている。基板ホルダ５０に基板６０を固定したとき、貫通孔５６に第１感磁素子１７１およびホール素子１７５が配置される。また、貫通孔５８には、フレキシブル配線基板１７４を介して基板６０上の接続端子１７３と接続された第２感磁素子１７２が配置される。第２感磁素子１７２は、貫通孔５８の縁に固定され、基板ホルダ５０に搭載されている。
【００５６】
回路基板組１３をエンコーダホルダ１４に対して固定すると、図２、図３に示すように、第１感磁素子１７１と第１磁石１６１が対向し、第２感磁素子１７２と第２磁石１６２が対向する。エンコーダ１０は、第１感磁素子の出力側Ｌ１の表面と第１磁石１６１との間、および、第２感磁素子１７２の出力側Ｌ１の表面と第２磁石１６２の間に所定のギャップが形成されるように組み立てられている。
【００５７】
第１感磁素子１７１およびその近傍に配置される２個のホール素子１７５と第１磁石１６１は、１回転で得られる第１感磁素子１７１の出力の周期を２個のホール素子１７５により判別することでアブソリュートエンコーダとして機能する。一方、第２感磁素子１７２と第２磁石１６２は、１回転で複数周期の出力が得られるため、インクリメンタルエンコーダとして機能する。エンコーダ１０は、これらの２組のエンコーダの出力を処理することにより、高分解能で、且つ、高精度な位置検出を行うことができる。
【００５８】
（シールド部材）
シールド部材８０は、基板ホルダ５０の段差部５７に出力側Ｌ１から取り付けられている。シールド部材８０は可撓性のシート材であり、段差部５７に形成された貫通孔５６および貫通孔５８を完全に塞ぐ大きさである。段差部５７は出力側Ｌ１を向くシールド取付面５９を備えており、シールド部材８０は、導電性接着剤を介してシールド取付面５９に固定される。上記のように、シールド部材８０は、基板ホルダ５０と同様に、導電性の非磁性金属、例えばアルミで形成されている。このため、シールド部材８０は、基板ホルダ５０を介して、基板６０に搭載されたエンコーダ回路のシグナルグランドと電気的に接続される。
【００５９】
シールド部材８０は、貫通孔５６に配置された第１感磁素子１７１、および、貫通孔５８に配置された第２感磁素子１７２を覆っている。従って、第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２は、シールド部材８０を介して第１磁石１６１および第２磁石１６２と対向する。基板ホルダ５０にシールド部材８０を取り付けたことにより、第１感磁素子１７１と第２感磁素子１７２は、シグナルグランド電位の部材（基板ホルダ５０およびシールド部材８０）によってモータ３から遮蔽される。従って、第１磁石１６１および第２磁石１６２との隙間から回り込んでくるフレームグランドノイズや電源ノイズなどを効果的に遮蔽できる。なお、第１感磁素子１７１と第２感磁素子１７２は、シールド部材８０を介して第１磁石１６１および第２磁石１６２と対向するが、シールド部材８０は非磁性金属であるため、電磁波ノイズについては良好に遮蔽しつつ、磁気式のエンコーダとしての機能が損なわれることはない。
【００６０】
（ターミナル部材）
エンコーダケーブル５は、複数の信号線を金属製の網状のシールドで覆ったシールドケ
ーブルである。エンコーダケーブル５の端部には、信号線から絶縁されて信号線を覆うシールドと接続されたフレームグランド線が複数の信号線と並んで引き出されている。フレームグランド線は、基板６０上にエンコーダ回路と絶縁されて設けられたパターンおよびターミナル部材９を介して、モータ３のフレームグランド電位と電気的に接続される。
【００６１】
図６、図７に示すように、エンコーダホルダ１４を第１軸受ホルダ４２Ａに固定する３本のホルダ固定ねじ１４５のうちの１本は、エンコーダホルダ１４の脚部１５０とターミナル部材９とを重ねて固定するターミナル固定ねじ１４５Ａとなっている。エンコーダホルダ１４の胴部１４０のＸ２側の部分には、出力側Ｌ１へ凹んだ形状の切り欠き部１４９が設けられている。切り欠き部１４９の外周側には３箇所の脚部１５０のうちの１つが配置され、ターミナル部材９は切り欠き部１４９および脚部１５０と重なっている。
【００６２】
ターミナル部材９は導電性の板金部材であり、本形態では、銅製である。ターミナル部材９は、エンコーダホルダ１４の切り欠き部１４９から脚部１５０の上へ延びる固定部９１と、固定部９１から回路基板組１３の側へ延びる腕部９２を備える。固定部９１には、脚部１５０に設けられた固定孔１４７（図５参照）と重なる長孔９３が設けられている。固定部９１は、導電性の固定部材であるターミナル固定ねじ１４５Ａの頭部と脚部１５０との間に挟まれ、ターミナル固定ねじ１４５Ａによって脚部１５０と共に第１軸受ホルダ４２Ａにねじ止めされる。従って、ターミナル部材９は、ターミナル固定ねじ１４５Ａを介してモータケース４のフレームグランドと電気的に接続される。
【００６３】
基板６０には、コネクタ１８と周方向で並ぶ位置に第１貫通孔７が形成されている。また、基板ホルダ５０には、基板６０の第１貫通孔７と中心軸線Ｌ方向で重なる位置に第２貫通孔８が形成されている。ターミナル部材９の腕部９２は、固定部９１から周方向に延びる第１部分９４と、第１部分９４に対して略直角に屈曲して反出力側Ｌ２へ延びる第２部分９５を備える。回路基板組１３をエンコーダホルダ１４に固定すると、第２部分９５の先端部９６が第１貫通孔７および第２貫通孔８に配置される。第２部分９５の先端部９６を第１貫通孔７に半田付けすると、ターミナル部材９は、第１貫通孔７の縁に設けられたランド７ａと電気的に接続される。
【００６４】
図２、図６に示すように、エンコーダケーブル５の端部には、基板６０上のコネクタ１８に接続されるケーブル側コネクタ６が設けられている。ケーブル側コネクタ６は、複数の信号線およびフレームグランド線のそれぞれに対応する端子を備える。
【００６５】
図８に示すように、基板６０上のコネクタ１８には、複数の端子接続部１８２がコネクタ１８の幅方向に一列に並んで設けられている。複数の端子接続部１８２のうちの１箇所の端子接続部１８２ｂは、基板６０に設けられたパターンを介して、第１貫通孔７の縁に設けられたランド７ａと電気的に接続されている。また、他の端子接続部１８２ａの一部あるいは全部が、基板６０上に設けられたエンコーダ回路と接続されている。ここで、ランド７ａと端子接続部１８２ｂとを接続するパターンは、エンコーダ回路および他の端子接続部１８２ａからは絶縁され、エンコーダ回路のシグナルグランドとは絶縁されている。なお、第１貫通孔７は、パターンと電気的に接続されたスルーホールであってもよい。
【００６６】
ケーブル側コネクタ６を基板６０上のコネクタ１８に接続すると、エンコーダケーブル５のフレームグランド線に対応する端子は、ランド７ａと電気的に接続されている端子接続部１８２ｂと接続される。従って、エンコーダケーブル５のフレームグランド線は、ランド７ａおよび基板６０上のパターンを介して、第１貫通孔７に半田付けされたターミナル部材９と電気的に接続され、ターミナル部材９を介して、モータケース４のフレームグランドと接続される。一方、基板ホルダ５０に形成された第２貫通孔８は基板６０の第１貫通孔７より一回り大きく、ターミナル部材９は第２貫通孔８の縁とは接触しない。従っ
て、基板ホルダ５０は、ターミナル部材９を介してモータケース４のフレームグランドと電気的に接続されることはない。
【００６７】
このように、本形態では、エンコーダケーブル５を基板６０に接続する際に、ケーブル側コネクタ６を基板６０上のコネクタ１８に差し込むだけで、エンコーダケーブル５がモータケース４のフレームグランドと電気的に接続される。エンコーダケーブル５をモータケース４のフレームグランドと電気的に接続することにより、エンコーダケーブル５の外部から侵入する電気的ノイズの遮蔽効果を高めることができる。従って、エンコーダ１０のノイズ耐性を高めることができる。
【００６８】
（本形態の主な作用効果）
以上のように、本形態のエンコーダ１０は、回転軸２と一体に回転する磁石１６と、磁石１６と対向する感磁素子１７と、感磁素子１７およびコネクタ１８が搭載される基板６０と、磁石１６と反対側から基板６０を覆うエンコーダカバー１２と、エンコーダカバー１２と基板６０との間に配置される防塵部材１２６とを有する。また、基板６０は、磁石１６と反対側から見てカバーの開口部１２３からエンコーダカバー１２の外側へ延びている露出部分６１Ａ、および、エンコーダカバー１２に覆われた収容部分６１Ｂを備え、露出部分６１Ａにコネクタ１８が配置され、収容部分６１Ｂに感磁素子１７が配置される。そして、最もコネクタ１８側に位置する感磁素子１７は基板６０の中央に配置される第１感磁素子１７１であるが、防塵部材１２６は、第１感磁素子１７１の中心に対して開口部１２３側に配置され、エンコーダカバー１２と基板６０との間で圧縮されて開口部１２３を塞いでいる。
【００６９】
本形態では、このように、感磁素子１７が搭載された基板６０を覆うエンコーダカバー１２が開口部１２３を備えており、開口部１２３からエンコーダカバー１２の外側に延びている基板６０の部分（露出部分６１Ａ）にコネクタ１８が配置される。従って、エンコーダカバーとコネクタの間に必要以上な隙間を作らなくてもよく、また、エンコーダカバー１２の高さをコネクタ１８より低くすることもできるので、エンコーダカバー１２を設けたことによるエンコーダ１０の大型化を抑制できる。また、開口部１２３を塞ぐ防塵部材１２６を備えているので、開口部１２３から基板６０上のエンコーダ回路側へ異物が移動することを抑制できる。さらに、防塵部材１２６は、最もコネクタ１８側（最もＸ２側）に位置する感磁素子１７の中心より開口部１２３側に配置されているため、防塵部材１２６の使用量が少なくて済む配置でありながら、開口部１２３からの異物の侵入を効果的に抑制できる。また、防塵部材１２６からの応力が感磁素子１７の配置領域全体に加わることがないため、基板６０に加わる応力による感度の変化を抑制でき、検出精度の低下を抑制できる。
【００７０】
本形態では、エンコーダカバー１２の開口部１２３は、磁石１６と反対側から見て直線状の直線部１２７を備え、防塵部材１２６は、直線部１２７に沿う形状である。従って、防塵部材１２６の形状が単純であるため、部品としての材料取りがよく、材料コストを低減させることができ、製造も容易である。また、開口部１２３への位置決めが容易であるため、防塵部材１２６の取付作業が容易である。
【００７１】
本形態では、直線部１２７は、コネクタ１８の長手方向に沿って延びている。このように、コネクタ１８の長手方向が開口部１２３に沿う方向となるようにコネクタ１８を配置することにより、開口部１２３の外側に基板６０を大きく突出させる必要がない。従って、基板６０の大型化を抑制でき、エンコーダ１０の大型化を抑制できる。
【００７２】
本形態では、磁石１６は、周方向にＮ極とＳ極が１極ずつ着磁された第１磁石１６１、および、Ｎ極とＳ極が周方向に交互に複数着磁された第２磁石１６２を備え、感磁素子１
７は、第１磁石１６１と対向する第１感磁素子１７１、および、第２磁石１６２と対向する第２感磁素子１７２を備え、第２感磁素子１７２は、磁石１６と反対側から見て、防塵部材１２６と重ならない位置にある。従って、複数着磁された磁石１６の磁界を検出する感磁素子１７が防塵部材１２６から最も遠い側に配置されているので、応力による感度変化に敏感な第２感磁素子１７２への応力の影響を抑制できる。従って、検出精度の低下を抑制できる。
【００７３】
本形態では、防塵部材１２６は多孔体であって柔らかいため、基板６０や基板６０上の電子部品との接触によって防塵部材１２６が変形しやすい。従って、感磁素子１７への応力の影響を抑制しつつ、異物の移動を抑制できる。また、単なる多孔体でなく、半独立半連続気泡体であるため、独立気泡体より柔らかい。従って、基板６０や電子部品との接触によって独立気泡体より変形させやすい。また、弾性変形可能な多孔体は、簡易な打ち抜き加工によって所望の形状に加工できる。さらに、形状精度が低くても開口部１２３を塞ぐことができる。従って、製造コストが安価である。
【００７４】
本形態では、エンコーダカバー１２は、導電性の第１シールド部材として機能する。また、磁石１６側から基板６０を覆う導電性の基板ホルダ５０を有し、基板ホルダ５０には、磁石１６側から感磁素子１７を覆うシールド部材（第２シールド部材）が固定される。従って、基板６０を磁石１６側および磁石１６とは反対側から導電性のシールド部材で覆うことができるので、電磁波ノイズの影響による検出精度の低下を抑制できる。また、基板ホルダ５０およびシールド部材８０は、磁石１６側から感磁素子１７が露出する部分を覆うため、防塵部材としても機能している。
【００７５】
（変形例）
上記形態では、回路基板組１３が基板６０と基板ホルダ５０を備えており、第１感磁素子１７１は基板６０に搭載され、第２感磁素子１７２は基板ホルダ５０に固定されてフレキシブル配線基板１７４によって基板６０に接続されているが、回路基板組１３は、基板ホルダ５０を備えていない構成であってもよい。例えば、第１感磁素子１７１および第２感磁素子１７２を基板６０に搭載し、エンコーダホルダ１４に基板６０を当接させて固定する構造を採用してもよい。
【符号の説明】
【００７６】
１…エンコーダ付きモータ、２…回転軸、３…モータ、４…モータケース、５…エンコーダケーブル、６…ケーブル側コネクタ、７ａ…ランド、７…第１貫通孔、８…第２貫通孔、９…ターミナル部材、１０…エンコーダ、１１…エンコーダケース、１２…エンコーダカバー、１３…回路基板組、１４…エンコーダホルダ、１５…磁石組立体、１６…磁石、１７…感磁素子、１８…コネクタ、１９…磁石ホルダ、２０…ケーブル案内部材、２１…案内面、２２…円弧面、２３…ケーブル通路、２４…位置決め孔、４１…筒状ケース、４２Ａ…第１軸受ホルダ、４３…軸受、４４…円形凹部、４５…フランジ、４６…環状壁、４７…プレート、４８…貫通孔、５０…基板ホルダ、５１…固定孔、５２…ボス部、５３…平面部、５４…縁部、５６…貫通孔、５７…段差部、５８…貫通孔、５９…シールド取付面、６０…基板、６０ａ…反出力側基板面、６０ｂ…出力側基板面、６１…直線部、６１Ａ…露出部分、６１Ｂ…収容部分、６２、６３…固定孔、６４…切り欠き部、６５…基板固定ねじ、６６…位置決めピン、７０…固定部材、８０…シールド部材、９０…折り曲げ位置、９１…固定部、９２…腕部、９３…長孔、９４…第１部分、９５…第２部分、９６…先端部、１１１…端板部、１１２…側板部、１１３…配線取り出し部、１１４…シール部材、１１５…リブ、１１６…凸部、１１７…切り欠き部、１１８…保持部材、１１９…エンコーダケーブルホルダ、１２１…端板部、１２２…側板部、１２３…開口部、１２４…固定孔、１２５…固定部材、１２６…防塵部材、１２７…直線部、１２８…折り曲げ部、１３１…位置決め孔、１３２…固定孔、１３３…グランドスルーホール、１４０…胴
部、１４１…磁石配置孔、１４３…環状面、１４４…ボス部、１４５…ホルダ固定ねじ、１４５Ａ…ターミナル固定ねじ、１４６…位置決め孔、１４７…固定孔、１４９…切り欠き部、１５０…脚部、１６１…第１磁石、１６２…第２磁石、１７１…第１感磁素子、１７２…第２感磁素子、１７３…接続端子、１７４…フレキシブル配線基板、１７５…ホール素子、１８１…差し込み口、１８２、１８２ａ、１８２ｂ…端子接続部、１９１…磁石保持部、１９２…軸部、１９３…シールド部、１９４…ヨーク部、４７１…切り欠き、６２１…グランドスルーホール、Ｃ…防塵部材の配置領域、Ｌ…中心軸線、Ｌ１…出力側、Ｌ２…反出力側
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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