(57)【要約】【課題】粘着面に付着した異物を良好に除去することができる部品保持治具の粘着面再生方法を提供する。【解決手段】部品保持治具における粘着面１２ａに付着した異物１３を除去して粘着面１２ａを再生する方法であって、粘着面１２ａ上に、粘着面１２ａと接する面２１ａの算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下であり、粘着面１２ａが露出する開口部２１ｂを有するマスク部材２１を配置する第一工程と、粘着面１２ａ上からマスク部材２１上に亘って硬化性樹脂組成物２２を配し、硬化性樹脂組成物２２を硬化させる第二工程と、マスク部材２１と硬化性樹脂組成物２２の硬化物とを同時に剥離する第三工程とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品保持治具における弾性部材の粘着面に付着した異物を除去して前記粘着面を再生する方法であって、
前記粘着面上に、前記粘着面と接する面の算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下であり、前記粘着面が露出する開口部を有するマスク部材を配置する第一工程と、
前記粘着面上から前記マスク部材上に亘って硬化性樹脂組成物を配し、前記硬化性樹脂組成物を硬化させる第二工程と、
前記マスク部材と前記硬化性樹脂組成物の硬化物とを同時に剥離する第三工程と
を有する部品保持治具の粘着面再生方法。
【請求項２】
前記マスク部材が、ポリエチレンテレフタレートからなる板状部材である請求項１記載の部品保持治具の粘着面再生方法。
【請求項３】
前記粘着面が、シリコーンゴム又はフッ素系エラストマーからなる請求項１又は２記載の部品保持治具の粘着面再生方法。
【請求項４】
前記硬化性樹脂組成物が、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル又は酢酸ビニルモノマーを含有する請求項１から３いずれか１項記載の部品保持治具の粘着面再生方法。
【請求項５】
前記第三工程において、前記硬化物を温めながら剥離する請求項４記載の部品保持治具の粘着面再生方法。
【請求項６】
前記硬化性樹脂組成物が、フッ素系エラストマーを含有する請求項１から５いずれか１項記載の部品保持治具の粘着面再生方法。
【請求項７】
前記硬化性樹脂組成物の硬化後の厚みは、２５μｍ以上３００μｍ以下である請求項１から６いずれか１項記載の部品保持治具の粘着面再生方法。
【請求項８】
前記異物が、埃、塵、ガラス、金属、又はシリコンを含有する小片であり、前記小片の最大径が５ｍｍ以下である請求項１から７いずれか１項記載の部品保持治具の粘着面再生方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品保持治具の粘着面再生方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、セラミックコンデンサ、チップ抵抗、コイル、シリコンウエハ等の電子部品を搬送する保持治具には、その粘着面に電子部品を粘着して保持することが可能な弾性部材が備えられている。弾性部材の粘着面に電子部品を粘着させたり取り外したりする際に、電子部品を構成するシリコン基板の端部や微細金属電極の一部が欠けたり、削られたりすることがある。また、ウエハからダイシングされた電子部品に、ウエハの切り屑が付着していることがある。このため、使用後の弾性部材の粘着面には、電子部品の破片や切り屑等の異物が付着していることがある。
【０００３】
弾性部材の粘着面に付着した異物を除去すれば、その弾性部材を有する電子部品保持治具を再び使用することができる。このような異物を除去する方法として、例えば、特許文献１には、異物が付着した弾性部材の粘着面に、硬化性樹脂組成物を配して硬化物を剥離することによって、硬化物と同時に異物を除去する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−８５４８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、硬化性樹脂組成物を粘着面に配置する際に、必要のない部分にはみ出してしまった硬化性樹脂が新たな異物となることがある。また、保持治具の基体が樹脂の場合には、硬化性樹脂組成物が接着するという問題がある。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、粘着面に付着した異物を良好に除去することができる部品保持治具の粘着面再生方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、部品保持治具における弾性部材の粘着面に付着した異物を除去して粘着面を再生する方法であって、粘着面上に、粘着面と接する面の算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下であり、粘着面が露出する開口部を有するマスク部材を配置する第一工程と、粘着面上からマスク部材上に亘って硬化性樹脂組成物を配し、硬化性樹脂組成物を硬化させる第二工程と、マスク部材と硬化性樹脂組成物の硬化物とを同時に剥離する第三工程とを有する部品保持治具の粘着面再生方法である。
【０００７】
マスク部材は、ポリエチレンテレフタレートからなる板状部材であることが好ましい。
【０００８】
粘着面は、シリコーンゴム又はフッ素系エラストマーからなることが好ましい。
【０００９】
硬化性樹脂組成物は、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル又は酢酸ビニルモノマーを含有する物が好ましい。
【００１０】
第三工程において、硬化物を温めながら剥離することが好ましい。
【００１１】
硬化性樹脂組成物は、フッ素系エラストマーを含むことが好ましい。
【００１２】
硬化性樹脂組成物の硬化後の厚みは、２５μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
【００１３】
異物は、埃、塵、ガラス、金属、又はシリコンを含有する小片であり、小片の最大径は５ｍｍ以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の部品保持治具の粘着面再生方法によれば、粘着面に付着した異物を良好に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の部品保持治具の粘着面再生方法を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明するが、以下の実施形態は例示の目的で提示するものであり、本発明は、以下に示す実施形態に何ら限定されるものではない。
【００１７】
［部品保持治具の粘着面再生方法］
本発明の部品保持治具の粘着面再生方法は、図１に示すように、部品保持治具における弾性部材１２の粘着面１２ａに付着した異物１３を除去して粘着面１２ａを再生する方法であって、粘着面１２ａ上に、粘着面１２ａと接する面２１ａの算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下であり、粘着面１２ａが露出する開口部２１ｂを有するマスク部材２１を配置する第一工程と、粘着面１２ａ上からマスク部材２１上に亘って硬化性樹脂組成物２２を配し、硬化性樹脂組成物２２を硬化させる第二工程と、マスク部材２１と硬化性樹脂組成物２２の硬化物とを同時に剥離する第三工程とを有するものである。
なお、算術平均粗さＲａは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１に従い測定した値である。
【００１８】
（第一工程）
本実施形態では、図１（ａ）に示すように、粘着面１２ａを有する弾性部材１２が、基体１１上に設けられている場合について説明する。また、図１（ａ）は、使用後の部品保持治具を示し、弾性部材１２の粘着面１２ａには、使用後の異物１３が付着している様子を示している。
第一工程は、図１（ｂ）に示すように、粘着面１２ａ上に、粘着面１２ａと接する面２１ａの算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下であり、粘着面１２ａが露出する開口部２１ｂを有するマスク部材２１を配置する工程である。
以下、第一工程の詳細について説明する。
【００１９】
−弾性部材−
弾性部材１２の形状は、電子部品等の被粘着物を粘着して保持することが可能な粘着面を有する形状であればよく、例えば、シート状、板状等の平坦形状が挙げられる。弾性部材１２の厚みは特に限定されず、例えば０．００５ｍｍ〜５ｍｍ程度に設定され得る。
弾性部材１２の粘着面１２ａの面積は用途に応じて適宜設定され、例えば、１００ｃｍ２（１０ｃｍ×１０ｃｍ）〜６００ｃｍ２（２０ｃｍ×３０ｃｍ）とすることができる
【００２０】
弾性部材１２の粘着面１２ａの全体が均一な粘着性を有していてもよいし、粘着面１２ａの一部が他の部分と異なる不均一な粘着性を有していてもよい。粘着面１２ａの粘着性が不均一である場合、その粘着面１２ａにおいて、相対的に強い粘着性を有する強粘着部と、相対的に弱い粘着性を有する弱粘着部と、粘着性を有さない非粘着部とが、任意に配置された構成が例示できる。例えば、被粘着物を粘着して保持する主要な役割を果たす強粘着部が、弱粘着部又は非粘着部の間に一定間隔でアレイ状に配置された構成が挙げられる。
【００２１】
弾性部材１２の粘着面１２ａは、電子部品等の被粘着物を粘着して保持することが可能な粘着力を有している。強粘着部の粘着力は、被粘着物を充分に保持する観点から、後述する測定方法で測定して、１〜６０ｇ／ｍｍ２が好ましく、７〜６０ｇ／ｍｍ２がより好ましい。
上記の粘着力を有すると、例えば、シリコンウエハ、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のガラス板、チップコンデンサ、セラミックコンデンサ、コイルフィルター、抵抗素子、導電回路、コンデンサ、ＬＳＩ、インダクタ等の電子部品を容易に粘着して保持し、必要に応じて容易に取り外すことができる。
【００２２】
上記粘着力の測定方法は、粘着面１２ａの少なくとも測定部位が平坦である場合に適用され、次の通りに行われる。まず、測定する粘着面１２ａを備えた弾性部材１２を水平に固定し、測定環境を２１±１℃、湿度５０±５％に設定する。次に、デジタルフォースゲージに取り付けられた直径１０ｍｍの円柱を成したステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）製の接触子を、下降速度１０ｍｍ／分で下降させ、弾性部材１２の粘着面１２ａ（例えば強粘着部）に接触させる。この接触子を粘着面１２ａに対して、２５ｇ／ｍｍ２の押込み荷重で垂直に３秒間押圧する。その後、１８０ｍｍ／分の上昇速度で接触子を粘着面１２ａから垂直に引き離す。このときにデジタルフォースゲージによって引き離し荷重を読み取る。この操作を、粘着面１２ａの複数箇所、例えば１０箇所で行い、得られる複数の引き離し荷重を算術平均した値を粘着面１２ａの粘着力とする。
【００２３】
上記粘着力の測定において用いる、弾性部材１２の固定装置としては、例えば、吸着固定装置（商品名：電磁チャック、ＫＥＴ−１５３０Ｂ、カネテック社製）や市販の真空吸引チャックプレートが挙げられる。上記の接触子を取り付けるデジタルフォースゲージとしては、例えば「商品名：ＺＰ−５０Ｎ、イマダ社製」が挙げられる。上記粘着力の測定は、手動で行ってもよいが、例えば、テストスタンド（例えば、商品名：ＶＥＲＴＩＣＡｌ  ＭＯＤＥＬ  ＭＯＴＯＲＩＺＥＤ  ＳＴＡＮＤ  シリーズ、イマダ社製）等の機器を用いて、自動で行ってもよい。
【００２４】
粘着面１２ａの表面粗さは、被粘着物の取り付け及び取り外しを容易にする観点から調整されていてもよく、例えば、十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−１９９４）が０．５〜３μｍに調整されていることが好ましい。ここで例示した十点平均粗さＲｚは、カットオフ０．８ｍｍ、測定長さ２．４ｍｍの条件で測定し、複数箇所の測定値を算術平均した値である。
ここで、上記の粘着面１２ａの表面粗さは、粘着面１２ａに異物１３が付着していない状態の数値である。
【００２５】
粘着面１２ａの硬度（ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３［デュロメータＡ］）は、被粘着物の取り付け及び取り外しを容易にする観点から調整されていてもよく、例えば、５〜６０程度に調整されていることが好ましい。硬度が、５以上であると充分な粘着力が得られやすく、６０以下であると被粘着物の取り外しを容易に行うことができる。
【００２６】
本実施形態では、弾性部材１２は、基体１１上に設けているが、単独で使用してもよい。
基体１１の形状は特に限定されず、弾性部材１２を支持する目的に適した形状が適宜採用される。基体１１を形成する材料は特に限定されず、例えば、金属、樹脂、セラミックス等が挙げられる。
【００２７】
弾性部材１２の少なくとも粘着面１２ａは、粘着剤組成物によって形成され得る。粘着面１２ａを構成するゴム材料としては、例えば、シリコーンゴム、フッ素系エラストマー、ウレタン系エラストマー、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合エラストマー等の各種エラストマー等が挙げられる。なかでも、強度、耐薬品性に優れたシリコーンゴム、フッ素系エラストマーが好ましい。シリコーンゴムとしては、例えば、特許第４６５６５８２号公報に記載された粘着性組成物によって得られたものが好ましい。フッ素系エラストマーとしては、例えば、特開２００６−１９８５４１号公報、特開平０８−１９９０７０号公報、特開２０００−００７８３５号公報、特開２００１−１０６８９３号公報、特開２００３−２０１４０１号公報等に記載されたものが好ましい。
【００２８】
−マスク部材−
マスク部材２１は、基体１１及び弾性部材１２の形状に合わせて適宜選択することができる。例えば、矩形、楕円形、円形、その他の多角形等の任意の形状に設定される。
また、マスク部材２１は、粘着面１２ａ上に配置した時に、粘着面１２ａが露出する開口部２１ｂを有する。開口部２１ｂの形状も、基体１１及び弾性部材１２の形状に合わせて設定される。
マスク部材２１を使用することにより、従来技術において問題であった、弾性部材１２からはみ出ることにより、新たな異物の原因となることを防止することができる。また、樹脂の基体１１を使用したときでも、硬化性樹脂組成物２２が付着することがない。
【００２９】
マスク部材２１は、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、又はポリイミドからなる板状部材であることが好ましい。
後述の第三工程で、硬化性樹脂組成物２２の硬化物を温めながら剥離する場合があるが、この加熱工程を考慮すれば、マスク部材２１は、１００℃以上の耐熱性を有する材料からなることが好ましい。例えば、耐熱性を有するマスク部材２１としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミドが好ましい。
【００３０】
マスク部材２１は、粘着面１２ａと接する面２１ａの算術平均粗さＲａは１．０μｍ以下であり、０．５μｍ以下がより好ましく、０．１μｍ以下が更に好ましい。マスク部材２１の粘着面１２ａと接する面２１ａの算術平均粗さＲａが、上記範囲であることにより、粘着面１２ａへの密着性が良いため、硬化性樹脂組成物２２がマスク部材２１と粘着面２１ａとの間に入り込むことを防ぐことができる。したがって、回り込んで硬化した樹脂組成物が、新たな異物１３となって粘着面１２ａ上に付着するということがない。
【００３１】
（第二工程）
第二工程は、粘着面１２ａ上からマスク部材２１上に亘って硬化性樹脂組成物２２を配し、硬化性樹脂組成物２２を硬化させる工程である。
以下、第二工程の詳細について説明する。
【００３２】
−硬化性樹脂組成物−
弾性部材１２が有する粘着面１２ａに配する硬化性樹脂組成物２２としては、粘着面１２ａに配した後に粘着面１２ａ上で硬化した硬化物が、粘着面１２ａから容易に剥離され得るものが好ましい。また、剥離の際に、粘着面１２ａに付着していた異物１３を硬化物と共に除去できるものが好ましい。
ここで、「硬化」とは物理的作用又は化学的作用によって硬化性組成物の成分が固体に変化するこという。
このような硬化性樹脂組成物２２としては、例えば、分散媒に樹脂が分散された樹脂組成物、分散媒に樹脂前駆体が分散又は溶解された樹脂前駆体組成物が挙げられる。ここで、「樹脂」には一般的な合成樹脂の他、ゴム及びエラストマーも含まれる。
【００３３】
分散媒に樹脂が分散された樹脂組成物としては、例えば、次に例示する水分散系接着剤組成物が挙げられる。ここで、水分散系接着剤組成物は、エマルションであってもよいし、非エマルションであってもよい。水分散系接着剤組成物は、配する粘着面１２ａを劣化させたり、粘着面１２ａに付着している異物１３を変性させたりするおそれが少ないので好ましい。
具体的な水分散系接着剤組成物としては、例えば、水にポリ酢酸ビニル（酢酸ビニル樹脂）が分散されたポリ酢酸ビニル分散液、水にエチレン−酢酸ビニル樹脂共重体（ＥＶＡ）が分散されたＥＶＡ分散液、水にポリビニルアルコールが分散されたポリビニルアルコール分散液、水に天然ゴム（ラテックス）が分散されたラテックス分散液、水にエーテルセルロース（セルロースのエーテル誘導体：例えばメチルセルロース）が分散されたエーテルセルロース分散液、水に澱粉が分散された澱粉分散液、水にαオレフィン（例えばイソブチレン）と無水マレイン酸の共重合体が分散されたαオレフィン系樹脂分散液、水にラテックス状のスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲラテックス）が分散されたＳＢＲラテックス分散液、水に（メタ）アクリル系樹脂が分散された（メタ）アクリル系樹脂分散液、水にウレタン系樹脂が分散されたウレタン系樹脂分散液、水に公知の水性高分子及びイソシアネートが分散されたイソシアネート架橋型樹脂分散液、水にフェノール樹脂が分散されたフェノール樹脂分散液、水にメラミン樹脂が分散されたメラミン樹脂分散液、水にウレア樹脂が分散されたウレア樹脂分散液等が挙げられる。
これらの分散液には、公知の添加剤が含まれていてもよい。
【００３４】
分散媒に樹脂が分散された樹脂組成物としては、例えば、次に例示する有機溶剤系接着剤組成物が挙げられる。有機溶剤系接着剤組成物は、粘着面１２ａに配した後に有機溶剤を除去するための乾燥が水に比べて容易であるため好ましい。
具体的な有機溶剤系接着剤組成物としては、例えば、溶剤に天然ゴムが含まれた天然ゴム溶液、溶剤にカゼインが含まれたカゼイン溶液、溶剤に（メタ）アクリル系樹脂が含まれた（メタ）アクリル系樹脂溶液、溶剤にウレタン系樹脂が含まれたウレタン系樹脂溶液、溶剤に塩化ビニル樹脂が含まれた塩化ビニル樹脂溶液、溶剤にクロロプレンゴムが含まれたクロロプレンゴム溶液、溶剤にスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）が含まれたＳＢＲ溶液、溶剤にニトリルゴムが含まれたニトリルゴム溶液、溶剤にニトロセルロースが含まれたニトロセルロース溶液、溶剤にフェノール樹脂が含まれたフェノール樹脂溶液、溶剤にメラミン樹脂が含まれたメラミン樹脂溶液、溶剤にウレア樹脂が含まれたウレア樹脂溶液、溶剤にフッ素系エラストマー（フッ素含有エラストマー）が含まれたフッ素系エラストマー溶液、溶剤にシリコーンゴムが含まれたシリコーンゴム溶液、等が挙げられる。
これらの溶液には、公知の添加剤が含まれていてもよい。これらの溶液を構成する溶剤は、目的の樹脂を溶解又は分散可能な公知の有機溶剤が適用される。
【００３５】
樹脂前駆体は、樹脂モノマー又はプレポリマーをいう。
樹脂前駆体組成物は、配された粘着面１２ａ上において、樹脂前駆体が反応し樹脂を形成するものである。具体的な樹脂前駆体組成物としては、例えば、水又は有機溶剤に酢酸ビニルが含まれたポリ酢酸ビニル前駆体組成物、水又は有機溶剤にエチレン及び酢酸ビニルが含まれたＥＶＡ前駆体組成物、水又は有機溶剤にビニルアルコールが含まれたポリビニルアルコール前駆体組成物、水又は有機溶剤に（メタ）アクリル酸又はそのアルキルエステルが含まれた（メタ）アクリル系樹脂前駆体組成物、水又は有機溶剤にポリオール及びポリイソシアネートが含まれたウレタン系樹脂前駆体組成物、水又は有機溶剤にエポキシ樹脂プレポリマーが含まれたエポキシ樹脂前駆体組成物、架橋成分を含むフッ素ゴム及び補強フィラーと架橋剤が含まれたフッ素樹脂前駆体組成物、水又は有機溶剤にオルガノポリシロキサン（その末端が例えば水酸基又はビニル基であるもの。）及び架橋剤が含まれたシリコーン系樹脂前駆体組成物等が挙げられる。
樹脂前駆体組成物には、光重合開始剤、熱重合開始剤、硬化剤、安定剤等の公知の添加剤が含まれていてもよい。
【００３６】
硬化性樹脂組成物に含まれる樹脂又は樹脂前駆体の含有量は、硬化性樹脂組成物が粘着面１２ａに配され得る粘度を呈し、その硬化後に、粘着面１２ａ上に硬化物を形成可能な量であればよい。具体的な含有量は、樹脂又は樹脂前駆体の種類にもよるが、硬化性樹脂組成物の総質量に対して、例えば、０．１〜５０質量％の範囲で調整することができる。
【００３７】
−硬化性樹脂組成物を粘着面に配する方法−
弾性部材１２の粘着面１２ａに硬化性樹脂組成物を配する（設ける）方法としては、例えば、粘着面１２ａに硬化性樹脂組成物を塗布（塗工）する方法、粘着面１２ａに硬化性組成物を転写する方法等が挙げられる。
【００３８】
塗布する方法としては、所望の厚みで塗布可能な公知方法が適用でき、例えば、フィルムコーター、フィルムアプリケーター、バーコーター、ダイコーター、スピンコーター、ロールコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬、噴霧、キャスティング、吐出、刷毛塗り等が挙げられる。また、硬化性樹脂組成物の粘度が低い場合には、塗布領域の周囲に囲い（土手）を設けて、硬化性樹脂組成物をその囲いの中へ注入するように塗布してもよい。
【００３９】
粘着面１２ａにおける硬化性樹脂組成物を配する領域は、図１（ｃ）に示すように、粘着面１２ａ上からマスク部材２１上に亘る領域である。すなわち、開口部２１ｂの端部では、硬化性樹脂組成物とマスク部材２１とが接着されて一体化している。このように配することにより、硬化性樹脂組成物が硬化した後、マスク部材２１を剥離するのと同時に、粘着面１２ａ上の硬化物を同時に剥離することができる。
【００４０】
粘着面１２ａに配した硬化性樹脂組成物の厚みは、目的の硬化物の厚みに合わせて適宜設定すればよく、粘着面１２ａに付着した異物１３の全体を覆う程度の厚みで配することが好ましい。例えば、硬化後の厚みで２５μｍ〜３００μｍ程度、好ましくは５０μｍ〜２００μｍの厚みで配することができる。このような厚みであると、硬化物は粘着面１２ａ上で被膜を形成する。被膜の剥離は容易であり、被膜に取り込まれた異物１３の除去も容易である。
【００４１】
−硬化性樹脂組成物の硬化方法−
弾性部材１２の粘着面１２ａに配した硬化性組成物を硬化させる方法としては、例えば、大気圧又は真空下で乾燥する方法、加熱する方法、紫外線等のエネルギー線を照射する方法等の公知方法が適用される。硬化の程度は、完全硬化であってもよいし、半硬化であってもよい。上記の硬化方法のうち、弾性部材１２を繰り返し使用する目的のために、粘着面１２ａを劣化させることを防止する観点から、大気圧又は真空下で乾燥する方法が好ましい。
【００４２】
硬化後の硬化物をプレスして、硬化物の粘着面１２ａに対する接着力を強化しても構わないが、プレスによって、粘着面１２ａに付着している異物１３を、弾性部材１２の内部へ刺し込んだり、粉砕したりする可能性を検討すべきである。
【００４３】
（第三工程）
第三工程は、マスク部材２１と硬化性樹脂組成物の硬化物とを同時に剥離する工程である。
以下、第三工程の詳細について説明する。
【００４４】
−硬化物の剥離方法−
粘着面１２ａ上で硬化した硬化物を粘着面１２ａから剥離する方法は、マスク部材２１の端部をつかみ、上方へ向かって又は硬化物の長手方向に沿って平行に、分離が進行するように任意の速度で剥離する方法が挙げられる。
剥離する速度としては、例えば、５０〜３００ｍｍ／分程度が好ましい。
上記速度範囲であると、硬化物の破れが生じ難く、硬化物が異物１３を取り込んだ状態で容易に剥離することができる。
【００４５】
ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル又は酢酸ビニルモノマーを含有する硬化物樹脂組成物を用いた場合、マスク部材２１を剥離する際、硬化物を温めながら行うことが好ましい。温めることによって、保持治具の粘着面の粘着力が低下するので、硬化物を剥離し易くなる。また、温めることによって、硬化物が柔らかくなるため、硬化物が割れることがない。したがって、破損によって新たな異物が生じる可能性が低く、良好に硬化物を剥離することができる。
加熱する温度は、４０℃以上１００℃以下が好ましく、５０℃以上８０℃以下がより好ましい。
【００４６】
硬化物を粘着面１２ａから剥離する際の剥離力は、硬化物が異物１３を保持する保持力に相関する場合がある。上記の剥離力は、ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７：２００９  「粘着テープ・粘着シート試験方法の９０度はく離」に準じて測定され、例えば０．２〜３Ｎ／１０ｍｍが好ましく、０．５〜２Ｎ／１０ｍｍがより好ましい。上記範囲の下限値以上であると、硬化物が異物１３を保持した状態で剥離することが容易になり、異物除去効率を高められる。上記範囲の上限値以下であると、硬化物を剥離する操作が容易になり、弾性部材１２の変形や破損を防ぐことができる。
【００４７】
−粘着面から除去される異物−
弾性部材１２の粘着面１２ａから除去される異物１３とは、その弾性部材１２の本来の用途において粘着面１２ａに粘着させる被粘着物とは異なる物であり、その被粘着物を粘着させることを妨げる恐れのある物である。例えば、被粘着物がセラミックコンデンサ、チップ抵抗、コイル、半導体ウエハ、ガラス基板等の電子部品である場合、異物１３は、例えば、埃、塵、金属、ガラス、又はシリコンを含有する小片である。
【００４８】
異物１３が上記の小片である場合、その最大径が５ｍｍ以下、好ましくは３ｍｍ以下、より好ましくは１ｍｍ以下であると、本態様の方法により容易に除去することができる。ここで、小片の最大径とは、小片の全体を含む最小の仮想球の直径をいう。小片の最大径の測定方法としては、粘着面１２ａの上方から小片を顕微鏡で観察し、仮想球を円で代用して設定し、その直径を定規で測定する方法が挙げられる。
【００４９】
本発明にかかる弾性部材１２の再生方法は、異物１３が粘着面１２ａの表面に対して単に粘着している場合に限られず、異物１３の一部分が粘着面１２ａを突き刺して、粘着面１２ａの内部（弾性部材１２の内部）にその一部分が存在する場合にも有効であり、粘着面１２ａから容易に異物１３を除去することができる。
【符号の説明】
【００５０】
１１    基体
１２    弾性部材
１２ａ  粘着面
１３    異物
２１    マスク部材
２２    硬化性樹脂組成物
２１ａ    粘着面と接する面
２１ｂ    開口部
【図１】
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