(57)【要約】      （修正有）【課題】簡単な操作で搬送路の長さを任意に変更したり微調節することができる伸縮式ベルトコンベヤ装置を提供する。【解決手段】ガイドレール１５に沿って移動するスライドレール１６と、プーリ軸５に回転する従動プーリ６と、従動プーリと対向する駆動軸７に回転する第１駆動プーリ８と、駆動軸を駆動する駆動手段１１と、従動プーリと第１駆動プーリ間に掛け回される主搬送ベルト１４と、従動プーリの後のスライドレール前端部の第１可動プーリ軸１８に回転する第１可動プーリ１９と、第１駆動プーリの後に第１可動プーリと対向する第２可動プーリ軸２０に回転する第２可動プーリ２１と、第１可動プーリと第２可動プーリ間に掛け回される補助搬送ベルト２２と、第１可動プーリ及び第２可動プーリと対向する駆動軸に回転する第２駆動プーリ９と、基台に設けた第２駆動プーリ前の補助搬送ベルト２２上部回走部２２ｂを押圧する押圧ローラ２５を備える。【選択図】図１
2020019643.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台の上面のガイドレールに沿って前後方向に移動可能なスライドレールと、前記基台の前端部に設けられ、左右方向を向くプーリ軸回りに回転する従動プーリと、前記従動プーリと対向するように前記基台の後端部に設けられ、左右方向を向く駆動軸回りに回転する第１駆動プーリと、前記駆動軸を駆動する駆動手段と、前記従動プーリと前記第１駆動プーリ間に掛け回され回走する主搬送ベルトと、前記従動プーリよりも後方に位置するように前記スライドレールの前端部に設けられ、左右方向を向く第１可動プーリ軸回りに回転する第１可動プーリと、前記第１駆動プーリよりも後方において前記第１可動プーリと対向するように前記スライドレールの後端部に設けられ、左右方向を向く第２可動プーリ軸回りに回転する第２可動プーリと、前記第１可動プーリと前記第２可動プーリ間に掛け回され回走する補助搬送ベルトと、前記第１可動プーリ及び前記第２可動プーリと対向するように前記駆動軸回りに回転する第２駆動プーリと、前記基台に設けられ、前記第２駆動プーリの前方において前記補助搬送ベルトの上部回走部を下方に押圧する押圧ローラと、を備えることを特徴とする伸縮式ベルトコンベヤ装置。
【請求項２】
前記第１駆動プーリと前記第２駆動プーリの直径を略等しくしたことを特徴とする請求項１に記載の伸縮式ベルトコンベヤ装置。
【請求項３】
前記第１駆動プーリと前記第２駆動プーリは、互いに重合または近接して前記駆動軸に嵌合されていることを特徴とする請求項１または２に記載の伸縮式ベルトコンベヤ装置。
【請求項４】
前記従動プーリ、前記第１、第２駆動プーリ及び前記第１、第２可動プーリを歯付プーリとするとともに、前記主搬送ベルト及び前記補助搬送ベルトを歯付ベルトとしたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の伸縮式ベルトコンベヤ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送路の長さを変更可能とした伸縮式ベルトコンベヤ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送路の長さが一定のベルトコンベヤでは、搬送物の受け入れ場所や搬送後の受け渡し場所が変更された場合に、変更された受け入れ場所から搬送物をベルトコンベヤの始端部に移載する作業や、ベルトコンベヤの終端部から受け渡し場所に搬送物を受け渡す作業が煩雑となる。この場合、搬送路の長さの異なる別のベルトコンベヤに交換するなどの必要が生じ、非常に手間がかかる。
【０００３】
このような問題を解消するために、例えば特許文献１に記載されているような伸縮式ベルトコンベヤが提供されている。この伸縮式ベルトコンベヤは、アウタケースとインナケースとからなる伸縮可能なベルト支持台と、アウタケースの後端部とインナケースの前端部とに設けられた１対のローラと、両ローラに巻回されたベルトと、このベルトがほぼＺ字状をなして周回するように、インナケースの後端部とアウタケースの前端部とに設けられた２個のテンションローラと、アウタケースとインナケース間に設けられ、インナケースを伸長または縮退させることにより、ベルト支持台を伸縮させるシリンダとを備え、シリンダを作動させてベルト支持台を伸縮させることにより、ベルトの搬送路の長さを変更しうるようにしたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１０７１１号公報（第２頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記特許文献１に記載されている伸縮式ベルトコンベヤにおいては、ベルトに伸縮代を持たせるために多数のローラを配して複雑な折り返し部を構成しているため、伸縮したベルトに適正なテンションを生じさせることが難しく、搬送路の長さを変更する作業が煩雑となるという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、簡単な操作で搬送路の長さを任意に変更したり微調節することができるようにした伸縮式ベルトコンベヤ装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の伸縮式ベルトコンベヤ装置は、
基台の上面のガイドレールに沿って前後方向に移動可能なスライドレールと、前記基台の前端部に設けられ、左右方向を向くプーリ軸回りに回転する従動プーリと、前記従動プーリと対向するように前記基台の後端部に設けられ、左右方向を向く駆動軸回りに回転する第１駆動プーリと、前記駆動軸を駆動する駆動手段と、前記従動プーリと前記第１駆動プーリ間に掛け回され回走する主搬送ベルトと、前記従動プーリよりも後方に位置するように前記スライドレールの前端部に設けられ、左右方向を向く第１可動プーリ軸回りに回転する第１可動プーリと、前記第１駆動プーリよりも後方において前記第１可動プーリと対向するように前記スライドレールの後端部に設けられ、左右方向を向く第２可動プーリ軸回りに回転する第２可動プーリと、前記第１可動プーリと前記第２可動プーリ間に掛け回され回走する補助搬送ベルトと、前記第１可動プーリ及び前記第２可動プーリと対向するように前記駆動軸回りに回転する第２駆動プーリと、前記基台に設けられ、前記第２駆動プーリの前方において前記補助搬送ベルトの上部回走部を下方に押圧する押圧ローラと、を備えることを特徴としている。
この特徴によれば、スライドレールを前後方向に移動させるだけの簡単な操作で、第１、第２可動プーリに掛け回された補助搬送ベルトが前後方向に移動し、第２駆動プーリと第２可動プーリ間を回走する補助搬送ベルトの上部回走部の長さが変更されるので、ベルトコンベヤ装置全体の搬送路の長さを容易に変更することができる。また、スライドレールの移動量を変えるだけで、搬送路の長さを任意に変更したり無段階に微調節することが容易にできる。
【０００８】
前記第１駆動プーリと前記第２駆動プーリの直径を略等しくしたことを特徴としている。
この特徴によれば、主搬送ベルトと補助搬送ベルトの回走速度が等しくなるので、補助搬送ベルトに移載された搬送物を主搬送ベルトに等速で移送することができる。
【０００９】
前記第１駆動プーリと前記第２駆動プーリは、互いに重合または近接して前記駆動軸に嵌合されていることを特徴としている。
この特徴によれば、主搬送ベルトと補助搬送ベルトは互いに近接して回走駆動されるので、補助搬送ベルトに移載された搬送物を落下させることなく主搬送ベルトに円滑に移送することができる。
【００１０】
前記従動プーリ、前記第１、第２駆動プーリ及び前記第１、第２可動プーリを歯付プーリとするとともに、前記主搬送ベルト及び前記補助搬送ベルトを歯付ベルトとしたことを特徴としている。
この特徴によれば、歯付ベルトは歯付プーリに噛合した状態で回送し、滑りが発生しないので、主搬送ベルト及び補助搬送ベルトを駆動手段により確実に回走駆動することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の伸縮式ベルトコンベヤ装置の実施例の斜視図である。
【図２】同じく側面図である。
【図３】同じく平面図である。
【図４】同じく搬送路を延長したときの斜視図である。
【図５】同じく搬送路を延長したときの側面図である。
【図６】本発明の伸縮式ベルトコンベヤ装置をウェーハ剥離装置に適用し、剥離されたウェーハを搬送する例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施形態を、実施例及び図面に基づいて以下に説明する。
【実施例】
【００１３】
図１は、搬送路の長さ変更前における本発明の伸縮式ベルトコンベヤ装置の実施例の斜視図、図２は同じく側面図、図３は同じく平面図を示す。なお、以下においては、搬送物Ｗの搬送方向である図１の左下方及び図２の左方を前方として説明する。本実施例の伸縮式ベルトコンベヤ装置(以下ベルトコンベヤ装置と略称する)１は、床面等に４本の脚柱２により支持された前後方向を向く基台３を有し、基台３の前端部と後端部寄りの上面には、互いに対向する左右１対ずつの略Ｌ字形状のプーリ支持ブラケット４、４の水平片４ａ、４ａが固定されている。
【００１４】
前端部のプーリ支持ブラケット４、４の上向片４ｂ、４ｂには、左右方向を向くプーリ軸５の両端部が回転不能に嵌合されている。プーリ軸５の両端部には、左右１対の従動プーリ６、６が回転自在に嵌合されている。なお、プーリ軸５の両端部を左右のプーリ支持ブラケット４により回転自在に枢支し、両従動プーリ６をプーリ軸５に回転不能に嵌合してもよい。
【００１５】
後端部寄りのプーリ支持ブラケット４、４の上向片４ｂ、４ｂには、左右方向を向く駆動軸７の両端部が回転自在に枢支されている。駆動軸７の両端部には、内側に位置する左右１対の第１駆動プーリ８、８と、外側に位置する左右１対の第２駆動プーリ９、９とが、互いに重合または近接するようにして、かつ同期して回転するように固嵌されている。駆動軸７の中間部には、駆動軸７及び第１駆動プーリ８、第２駆動プーリ９を後述する駆動モータ１１により回転させるための主駆動プーリ１０が相対回転不能に嵌合されている。
【００１６】
従動プーリ６、第１駆動プーリ８、及び第２駆動プーリ９の直径は等しく、かつ従動プーリ６、６と第１駆動プーリ８、８同士は互いに前後に対向している。なお、従動プーリ６、第１駆動プーリ８及び第２駆動プーリ９には、歯付プーリが用いられている。
【００１７】
基台３の後端部の上面には、減速機付きの駆動モータ１１が固定され、その左方に突出する回転軸に取り付けられたモータプーリ１２と主駆動プーリ１０との間には、駆動ベルト１３が掛け回されている。なお、駆動モータ１１の駆動力を駆動軸７に確実に伝達するために、主駆動プーリ１０とモータプーリ１２には、歯付プーリが、駆動ベルト１３には歯付ベルトが使用されている。本実施例では、駆動モータ１１を作動させた際、第１駆動プーリ８及び第２駆動プーリ９は、側面視反時計方向に回転するようにしてある。なお、主駆動プーリ１０、駆動モータ１１及び駆動ベルト１３により、本発明の駆動手段が構成されている。第１駆動プーリ８と第２駆動プーリ９は、共通の駆動軸７に取り付けられているので、単一の駆動手段のみで、第１駆動プーリ８、第２駆動プーリ９、及び後述する主搬送ベルト１４と補助搬送ベルト２２を同時に駆動することができる。
【００１８】
左右の従動プーリ６、６及びそれと対向する第１駆動プーリ８、８間には、無端回走する左右１対の主搬送ベルト１４、１４が掛け回され、この主搬送ベルト１４、１４は、それらの上部回走部１４ａが前方に向かって同期して回走するように、第１駆動プーリ８、８によって駆動される。なお、主搬送ベルト１４には、従動プーリ６及び第１駆動プーリ８の歯と噛合する歯付ベルトが用いられている。
【００１９】
基台３の左右両端部の上面には、前後寸法を基台３のそれよりも若干長寸とした前後方向を向く左右１対のガイドレール１５、１５が、前後のプーリ支持ブラケット４の水平片４ａを挟んで固定されている。なお、本実施例では、左右のガイドレール１５、１５を基台３と別体としてあるが、基板３の上面に一体的に形成されたものであってもよい。左右のガイドレール１５、１５には、スライドレール１６、１６が、左右の従動プーリ６及び第２駆動プーリ９の外側に位置するようにして、前後方向に移動可能に嵌合されている。なお、両スライドレール１６は、図示しないストッパにより図１及び図２に示す前限位置で停止されるようになっている。
【００２０】
左右のスライドレール１６、１６の両端部の上面には、前後１対ずつのプーリ支持ブラケット４、４の水平片４ａ、４ａが固定されている。後部側の左右のプーリ支持ブラケット４、４の水平片４ａ、４ａ同士は、左右方向を向く連結部材１７により連結され、左右のスライドレール１６、１６は前後方向に同期して移動するように構成されている。
【００２１】
両スライドレール１６に固定した前部側の左右１対のプーリ支持ブラケット４、４の上向片４ｂ、４ｂには、スライドレール１６と共に前後方向に移動する左右方向を向く第１可動プーリ軸１８の両端部が回転不能に嵌合されている。この第１可動プーリ軸１８は、主搬送ベルト１４の上下の回走部間に位置している。第１可動プーリ軸１８の両端部には、スライドレール１６と共に前後方向に移動する第１可動プーリ１９、１９が、左右の従動プーリ６の外方に位置するように回転自在に嵌合されている。第１可動プーリ１９の直径は、従動プーリ６の直径よりも若干小径とされている。なお、第１可動プーリ軸１８の両端部を左右のプーリ支持ブラケット４により回転自在に枢支し、両第１可動プーリ１９を第１可動プーリ軸１８に回転不能に嵌合してもよい。
【００２２】
スライドレール１６に固定した後部側の左右１対のプーリ支持ブラケット４、４の上向片４ｂ、４ｂには、スライドレール１６と共に前後方向に移動する左右方向を向く第２可動プーリ軸２０の両端部が回転不能に嵌合されている。第２可動プーリ軸２０の両端部には、スライドレール１６と共に前後方向に移動する第２可動プーリ２１、２１が、第２駆動プーリ９、９と対向するようにして回転自在に嵌合されている。第１可動プーリ１９と第２可動プーリ２１には、歯付プーリが用いられている。なお、第２可動プーリ軸２０の両端部を左右のプーリ支持ブラケット４により回転自在に枢支し、両第２可動プーリ２１を第２可動プーリ軸２０に回転不能に嵌合してもよい。
【００２３】
第２可動プーリ２１の直径は、第２駆動プーリ９の直径よりも若干大径とされ、第２可動プーリ２１に掛け回される後述の補助搬送ベルト２２の下部回走部２２ａが第２駆動プーリ９の下方を走行するように構成されている。
【００２４】
左右の第１可動プーリ１９、１９と第２可動プーリ２１、２１間には、ベルトコンベヤ装置１の搬送路の長さを変更可能な左右１対の補助搬送ベルト２２、２２が掛け回されている。なお、補助搬送ベルト２２には、第２駆動プーリ９、第１可動プーリ１９及び第２可動プーリ２１の歯と噛合する歯付ベルトが用いられている。第２駆動プーリ９により補助搬送ベルト２２が回走駆動されるように、補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂの下面の歯は、第２駆動プーリ９の上部の歯と噛合している。
【００２５】
また、第２可動プーリ２１の上面の高さは、第２駆動プーリ９の上面の高さと等しくしてあることで、第２駆動プーリ９と第２可動プーリ２１間の補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂは水平をなすとともに、主搬送ベルト１４の上部回走部１４ａと同一平面に整合されており、上部回走部２２ｂに載置された搬送物Ｗが主搬送ベルト１４の上部回走部１４ａに円滑に移送されるようになっている。ベルトコンベヤ装置１の搬送路の全体の長さは、主搬送ベルト１４の上部回走部１４ａの長さに、第２駆動プーリ９から第２可動プーリ２１までの補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂの長さを加えた長さとなる。なお、第１駆動プーリ８と第２駆動プーリ９は同じ駆動モータ１１によって駆動され、またこれらの直径は等しいため、主搬送ベルト１４と補助搬送ベルト２２は同期して同じ方向且つ同じ速度で回走する。
【００２６】
駆動軸７のやや前方の基台３の上面に固定されたローラ支持部材２３には、左右方向を向くローラ支持軸２４が貫通して固着され、このローラ支持軸２４の両端部には、第２駆動プーリ９のやや前方において、左右の補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂの上面を下方に押圧する押圧ローラ２５、２５が回転自在に嵌合されている。ローラ支持軸は２４は、ローラ支持部材２３の内部に設けた付勢手段(図示略)により常時下方に付勢されている。
【００２７】
押圧ローラ２５は、補助搬送ベルト２２に張力を付与する作用と、第２駆動プーリ９の歯に対する補助搬送ベルト２２の歯の噛み合い数を増やす作用とを有している。これらの作用により、第２駆動プーリ９の回転駆動力が補助搬送ベルト２２に確実に伝達され、滑り止めされて回走されるようになる。なお、第１駆動プーリ８と第２駆動プーリ９は、左右に重合または近接して同じ駆動軸７に枢支されているので、第１駆動プーリ８に掛け回されている部分の主搬送ベルト１４の上部回走部１４ａと、第２駆動プーリ９に圧接している部分の補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂとは、これら第１駆動プーリ８及び第２駆動プーリ９の上方にて若干前後方向にオーバーラップしており、すなわち主搬送ベルト１４の上部回走部１４ａと補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂとによって、本実施例に係るベルトコンベヤ装置１全体の搬送路が形成されている。従って、補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂに載置された搬送物Ｗを、主搬送ベルト１４の上部回走部１４ａに支障なく連続して移送することができる。
【００２８】
次に、図４及び図５を参照して、ベルトコンベヤ装置１の搬送路の長さを変更する際の操作要領について説明する。図１〜図３の状態からベルトコンベヤ装置１全体の搬送路を長くする場合は、スライドレール１６、１６を基台３に固定されたガイドレール１５、１５に対し、後方の任意の位置まで同時にスライドさせる。なお、スライドレール１６、１６を任意の位置で停止させておくために、例えば両スライドレール１６の側面に図４の２点鎖線で示すようなねじ付き固定つまみ２６、２６を取付け、ねじの先端をガイドレール１５の側面に押し当てて停止させるようにしてもよい。
【００２９】
スライドレール１６を後方に移動させると、それに取付けられている第１可動プーリ１９、１９と第２可動プーリ２１、２１、及びそれらに掛け回されている補助搬送ベルト２２、２２が、スライドレール１６に追従して後方に移動する。この際、第２駆動プーリ９に圧接している補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂは、駆動モータ１１等、駆動手段の回転抵抗によって殆ど移動せず、下部回走部２２ａのみが後方に移動する。これにより、第２駆動プーリ９と第１可動プーリ１９との間を回走する補助搬送ベルト２２の長さが短くなり、その短くなった分だけ、第２駆動プーリ９と第２可動プーリ２１との間を回走する補助搬送ベルト２２の長さが長くなる。従って、第２駆動プーリ９と第２可動プーリ２１間における補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂの長さが長くなり、すなわちベルトコンベヤ装置１全体の搬送路の長さが後方に延長される。
【００３０】
なお、第１可動プーリ１９及び第２可動プーリ２１は駆動力に従い自由に回転するので、スライドレール１６の移動及び搬送路の長さの変更は、駆動モータ１１により第２駆動プーリ９を回転させた状態でも行うことができる。後方に移動させたスライドレール１６を前方に移動させると、上記とは反対に、第１可動プーリ１９及び第２可動プーリ２１が時計方向に回転することにより、第２駆動プーリ９と第２可動プーリ２１間の補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂの長さは短くなる。
【００３１】
ベルトコンベヤ装置１全体の搬送路の長さが後方に延長されると、搬送路の始点となる搬送物Ｗの載置位置を後方に移動させることができ、第２駆動プーリ９と第２可動プーリ２１間の補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂに載置された搬送物Ｗは、補助搬送ベルト２２と等速で回走する主搬送ベルト１４の上部回走部１４ａに移送されて前方に搬送される。なお、このようにベルトコンベヤ装置１全体の搬送路の長さを延長しても、搬送路の終点となる搬送物Ｗの回収位置は変更されずに所定位置に維持されている。
【００３２】
このように、スライドレール１６を後方に移動させるだけの簡単な操作で、ベルトコンベヤ装置１全体の搬送路の長さを後方に延長することができるので、搬送物Ｗの受け入れ場所が後方に変更された場合でも速やかに対応することができる。しかも、スライドレール１６の移動量を変えるだけで、ベルトコンベヤ装置１全体の搬送路の長さを任意に変更したり無段階に微調節することが容易にできる。
【００３３】
搬送物Ｗの受け入れ場所が後方に変更される実施態様の一例として、図６は、本実施例のベルトコンベヤ装置１を搬送物Ｗの受け入れ元であるウェーハ剥離装置２７の前方に設置し、ウェーハ剥離装置２７により１枚ずつ剥離されるウェーハ(搬送物)Ｗを前方に搬送する例を示している。ウェーハ剥離装置２７は、図示しない移動手段により、ワーク支持台２８に載置されたウェーハＷに向かって図示左右に往復移動させられる移動部材２９と、移動部材２９に設けられたロッドレスシリンダ等の昇降手段３０と、昇降手段３０により昇降させられ、下降時に最前部のウェーハＷの端面を吸着し、上昇時にウェーハＷを剥離する剥離アーム３１及びその下端部に設けられた吸着パッド３２とを備え、ベルトコンベヤ装置１のスライドレール１６は、移動手段に連係され、移動部材２９と連動して後方に移動するように構成されている。特に図示しないが、左右のスライドレール１６、１６の後端を連結する連結部材１７と、ウェーハ剥離装置２７の移動部材２９に取り付けられた接続部材（図示略）とが接続されており、ウェーハＷを一枚ずつ剥離するごとに後方に移動する移動部材２９に連動して、ベルトコンベヤ装置１のスライドレール１６が後方に移動するようになっている。すなわち本発明のベルトコンベヤ装置１の連結部材１７は、搬送物Ｗの受け入れ元に接続される接続部として構成されている。
【００３４】
吸着パッド３２により吸着されて剥離されたウェーハＷは、剥離アーム３１が前方に回動することにより、受け渡しシリンダ３３の伸縮ロッド３３ａの先端の吸着パッド３４により吸着され、ベルトコンベヤ装置１における第２駆動プーリ９と第２可動プーリ２１間の補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂに移載される。
【００３５】
移動部材２９を含む剥離装置全体及び受け渡しシリンダ３３は、剥離されたウェーハＷが１枚ずつベルトコンベヤ装置１に移載される度毎に、ウェーハＷの厚さ分だけ、移動手段による受け渡し位置が後方に漸次移動されるので、ワーク支持台２８上のウェーハＷの枚数が徐々に少なくなると、受け渡しシリンダ３３に吸着されたウェーハＷを搬送路の後端部に移載することができなくなる。しかし、本実施例のベルトコンベヤ装置１のスライドレール１６は、移動部材２９の移動に連動して後方に移動させられ、図３及び図４に示すように、第２駆動プーリ９と第２可動プーリ２１間の補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂが後方に延長されるので、ワーク支持台２８上のウェーハＷの枚数が少なくなっても、剥離されたウェーハＷを支障なく上部回走部２２ｂに移載することができる。
【００３６】
以上、本発明の伸縮式ベルトコンベヤ装置を実施例に基づいて説明したが、具体的な構成はこの実施例に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲内で、次のような種々の変形や変更があっても、本発明に含まれる。
【００３７】
例えば、前記実施例では、補助搬送ベルト２２を主搬送ベルト１４の外側を回走するものとしたが、主搬送ベルト１４の内側を回送するようにしてもよい。
【００３８】
また、前記実施例では、駆動軸７を駆動モータ１１と駆動ベルト１３等からなる駆動手段により駆動するようにしたが、左右いずれか一方に突出させた駆動軸７に減速機付きの駆動モータを連結し、駆動モータにより駆動軸７を直接駆動するようにしてもよい。
【００３９】
さらに、前記実施例では、全てのプーリを歯付プーリとするとともに、主搬送ベルト１４及び補助搬送ベルト２２を歯付ベルトとしたが、Ｖ溝付きのプーリ及びＶベルトを用いたり、通常の平プーリ及び平ベルトを用いることもできる。
【００４０】
また、前記実施例では、搬送物Ｗは、補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂに載置され搬送された後、主搬送ベルト１４の上部回走部１４ａに移送されて搬送されるように構成することで、搬送物Ｗが、伸縮式ベルトコンベヤ装置１に載置される受け入れ場所を前後方向に調整したいたが、これに限らず例えば、駆動モータ１１による主搬送ベルト１４及び補助搬送ベルト２２の駆動方向を本実施例と反対方向とすれば、搬送物Ｗは、主搬送ベルト１４の上部回走部１４ａに載置され搬送された後、補助搬送ベルト２２の上部回走部２２ｂに移送されて搬送されるようにしてもよい。このようにすることで、搬送物Ｗが搬送された後の受け渡し場所を前後方向に調整することができる。更に、本発明の伸縮式ベルトコンベヤ装置は、受け入れ及び受け渡し場所が変更されるあらゆる搬送物の搬送にも使用することができることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４１】
１                伸縮式ベルトコンベヤ装置
２                脚柱
３                基台
４                プーリ支持ブラケット
４ａ              水平片
４ｂ              上向片
５                プーリ軸
６                従動プーリ
７                駆動軸
８                第１駆動プーリ
９                第２駆動プーリ
１０              主駆動プーリ
１１              駆動モータ
１２              モータプーリ
１３              駆動ベルト
１４              主搬送ベルト
１４ａ            上部回走部
１５              ガイドレール
１６              スライドレール
１７              連結部材
１８              第１可動プーリ軸
１９              第１可動プーリ
２０              第２可動プーリ軸
２１              第２可動プーリ
２２              補助搬送ベルト
２２ａ            下部回走部
２２ｂ            上部回走部
２３              ローラ支持部材
２４              ローラ支持軸
２５              押圧ローラ
２６              固定つまみ
２７              ウェーハ剥離装置
２８              ワーク支持台
２９              移動部材
３０              昇降手段
３１              剥離アーム
３２              吸着パッド
３３              受け渡しシリンダ
３３ａ            伸縮ロッド
３４              吸着パッド
Ｗ                搬送物
【図１】
2020019643.tif 000003
【図２】
2020019643.tif 000004
【図３】
2020019643.tif 000005
【図４】
2020019643.tif 000006
【図５】
2020019643.tif 000007
【図６】
2020019643.tif 000008