(57)【要約】【課題】電子部品の変更に応じて交換の必要なチェンジキットを表示し、適正な交換を可能とする電子部品搬送装置の教示方法。【解決手段】検査部１６に電子部品（ＩＣデバイス９０）を搬送する電子部品搬送装置（搬送装置１０）に取り付けられるチェンジキットの教示方法であって、前記電子部品に係る検査条件を設定し、前記検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出し、抽出した前記チェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示する、電子部品搬送装置の教示方法。【選択図】図８
2020118632.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査部に電子部品を搬送する電子部品搬送装置に取り付けられるチェンジキットの教示方法であって、
前記電子部品に係る検査条件を設定し、
前記検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出し、
抽出した前記チェンジキットに係る画像情報を表示部に表示する、
電子部品搬送装置の教示方法。
【請求項２】
抽出した前記チェンジキットの配置画像を前記表示部に表示する、
請求項１に記載の電子部品搬送装置の教示方法。
【請求項３】
前記チェンジキットは、前記電子部品を収容する凹部を有する収容部材を含み、
抽出した前記収容部材に係る情報を前記表示部に表示する、
請求項１または請求項２に記載の電子部品搬送装置の教示方法。
【請求項４】
前記チェンジキットは、前記電子部品を保持する保持部を含み、
抽出した前記保持部に係る情報を前記表示部に表示する、
請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置の教示方法。
【請求項５】
前記保持部は、前記電子部品を吸着して保持する複数の吸着ヘッドを有し、
複数の前記吸着ヘッドの内から抽出した前記吸着ヘッドに係る情報を前記表示部に表示する、
請求項４に記載の電子部品搬送装置の教示方法。
【請求項６】
カバーと、前記カバーの一部を開閉する扉部とを、更に有し、
前記表示は、前記扉部の開閉動作における前記扉部が閉められた場合に実行する、
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置の教示方法。
【請求項７】
抽出した前記チェンジキットに対応して設置された設置チェンジキットを撮像し、
撮像した画像に基づいて、前記検査条件に対する前記設置チェンジキットの適否を判定し、
前記判定が否の場合に報知する、
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置の教示方法。
【請求項８】
検査部に電子部品を搬送する電子部品搬送装置に取り付けられるチェンジキットの教示プログラムであって、
前記電子部品に係る検査条件を設定するステップと、
前記検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出するステップと、
抽出した前記チェンジキットに係る画像情報を表示部に表示するステップと、を含む、
電子部品搬送装置の教示プログラム。
【請求項９】
抽出した前記チェンジキットに対応して設置された設置チェンジキットを撮像するステップと、
撮像した画像に基づいて、前記設置チェンジキットの前記検査条件に対する適否を判定するステップと、
前記判定が否の場合に報知するステップと、を更に含む、
請求項８に記載の電子部品搬送装置の教示プログラム。
【請求項１０】
検査部に電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
前記電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品に係る検査条件を入力する入力部と、
前記検査条件に基づいて、取り付けるチェンジキットを抽出する抽出部と、抽出した前記チェンジキットに係る表示データを生成する画像処理部と、を含む制御部と、
前記表示データを表示する表示部と、を備えている、
電子部品搬送装置。
【請求項１１】
前記チェンジキットを撮像する撮像部を更に備え、
前記制御部は、前記撮像部で撮像された画像に基づいて、前記チェンジキットの前記検査条件に対する適否を判定する判定部を含み、
前記制御部は、前記判定部の判定結果を前記表示部に表示する、
請求項１０に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１２】
前記搬送部は、搬送アームを有する搬送ロボットを備え、
前記撮像部は、前記搬送アームに取り付けられている、
請求項１１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１３】
前記撮像部は、
前記チェンジキットを撮像することができる非可動部に固定されている、
請求項１１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１４】
電子部品を搬送する搬送部と、前記電子部品に係る検査条件を入力する入力部と、前記検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出する抽出部と、抽出した前記チェンジキットの表示データを生成する画像処理部とを含む制御部、および前記表示データを表示する表示部を備えている電子部品搬送装置と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備えている、
電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置の教示方法、電子部品搬送装置の教示プログラム、電子部品搬送装置、および電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１には、電子部品の一例としてのＩＣデバイスを、テストトレイなどに搬送する際に用いられる治具であって、ＩＣデバイスの検査条件に応じて交換されるチェンジキットを用いた搬送装置が開示されている。なお、ここで用いられるチェンジキットとしては、搬送アームに備えられるＩＣデバイス保持用の吸着パッドやシャトルなどに備えられるＩＣデバイスの収容部材などを例示することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１０７９４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されている搬送装置では、ＩＣデバイスの検査条件に応じて適切なチェンジキットを取り付ける必要があるが、適切なチェンジキットが取り付けられていない虞がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願の電子部品搬送装置の教示方法は、検査部に電子部品を搬送する電子部品搬送装置に取り付けられるチェンジキットの教示方法であって、前記電子部品に係る検査条件を設定し、前記検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出し、抽出した前記チェンジキットに係る画像情報を表示部に表示する。
【０００６】
上述の電子部品搬送装置の教示方法において、抽出した前記チェンジキットの配置画像を前記表示部に表示することとしてもよい。
【０００７】
上述の電子部品搬送装置の教示方法において、前記チェンジキットは、前記電子部品を収容する凹部を有する収容部材を含み、抽出した前記収容部材に係る情報を前記表示部に表示することとしてもよい。
【０００８】
上述の電子部品搬送装置の教示方法において、前記チェンジキットは、前記電子部品を保持する保持部を含み、抽出した前記保持部に係る情報を前記表示部に表示することとしてもよい。
【０００９】
上述の電子部品搬送装置の教示方法において、前記保持部は、前記電子部品を吸着して保持する複数の吸着ヘッドを有し、複数の前記吸着ヘッドの内から抽出した前記吸着ヘッドに係る情報を前記表示部に表示することとしてもよい。
【００１０】
上述の電子部品搬送装置の教示方法において、カバーと、前記カバーの一部を開閉する扉部とを、更に有し、前記表示は、前記扉部の開閉動作における前記扉部が閉められた場合に実行することとしてもよい。
【００１１】
上述の電子部品搬送装置の教示方法において、抽出した前記チェンジキットに対応して設置された設置チェンジキットを撮像し、撮像した画像に基づいて、前記検査条件に対する前記設置チェンジキットの適否を判定し、前記判定が否の場合に報知することとしてもよい。
【００１２】
本願の電子部品搬送装置の教示プログラムは、検査部に電子部品を搬送する電子部品搬送装置に取り付けられるチェンジキットの教示プログラムであって、前記電子部品に係る検査条件を設定するステップと、前記検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出するステップと、抽出した前記チェンジキットに係る画像情報を表示部に表示するステップと、を含む。
【００１３】
上述の電子部品搬送装置の教示プログラムにおいて、抽出した前記チェンジキットに対応して設置された設置チェンジキットを撮像するステップと、撮像した画像に基づいて、前記設置チェンジキットの前記検査条件に対する適否を判定するステップと、前記判定が否の場合に報知するステップと、を更に含むこととしてもよい。
【００１４】
本願の電子部品搬送装置は、検査部に電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、前記電子部品を搬送する搬送部と、前記電子部品に係る検査条件を入力する入力部と、前記検査条件に基づいて、取り付けるチェンジキットを抽出する抽出部と、抽出した前記チェンジキットに係る表示データを生成する画像処理部と、を含む制御部と、前記表示データを表示する表示部と、を備えている。
【００１５】
上述の電子部品搬送装置において、前記チェンジキットを撮像する撮像部を更に備え、前記制御部は、前記撮像部で撮像された画像に基づいて、前記チェンジキットの前記検査条件に対する適否を判定する判定部を含み、前記制御部は、前記判定部の判定結果を前記表示部に表示することとしてもよい。
【００１６】
上述の電子部品搬送装置において、前記搬送部は、搬送アームを有する搬送ロボットを備え、前記撮像部は、前記搬送アームに取り付けられていることとしてもよい。
【００１７】
上述の電子部品搬送装置において、前記撮像部は、前記チェンジキットを撮像することができる非可動部に固定されていることとしてもよい。
【００１８】
本願の電子部品検査装置は、電子部品を搬送する搬送部と、前記電子部品に係る検査条件を入力する入力部と、前記検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出する抽出部と、抽出した前記チェンジキットの表示データを生成する画像処理部とを含む制御部、および前記表示データを表示する表示部を備えている電子部品搬送装置と、前記電子部品を検査する検査部と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施形態に係る電子部品搬送装置を備えた電子部品検査装置の概略構成を示す斜視図。
【図２】電子部品搬送装置を備えた電子部品検査装置の概略構成を示す平面図。
【図３】撮像部の概略構成を示す断面図。
【図４】チェンジキットの一例としての部品保持板（収容部材）の概略構成を示す平面図。
【図５】部品保持板の概略構成を示し、図４のＡ‐Ａ断面図。
【図６Ａ】チェンジキットの一例としての吸着ユニットの概要を示す断面図。
【図６Ｂ】吸着ユニットの平面図であり、図６ＡのＰ視図。
【図７】電子部品検査装置の概略構成を示すブロック図。
【図８】本実施形態に係る電子部品搬送装置の教示方法を示すフローチャート。
【図９】電子部品搬送装置の教示方法に係る表示例１を示す説明図。
【図１０】電子部品搬送装置の教示方法に係る表示例２を示す説明図。
【図１１】電子部品搬送装置の教示方法に係る表示例３を示す説明図。
【図１２】電子部品搬送装置の教示方法に係る表示例４を示す説明図。
【図１３】電子部品搬送装置の教示方法に係る表示例５を示す説明図。
【図１４】教示方法に係る変形例１を示すフローチャート。
【図１５】教示方法に係る変形例２を示すフローチャート。
【図１６】チェンジキットの一例である吸着ユニットの選択例を示すフローチャート。
【図１７】吸着ユニットの選択に係る説明のための斜視図。
【図１８】吸着ユニットの選択に係るテストサイトの説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の電子部品搬送装置の教示方法、電子部品搬送装置の教示プログラム、電子部品搬送装置、および電子部品搬送装置を用いた電子部品検査装置を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、以下で説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、本実施形態で説明される構成の全てが、本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２１】
１．電子部品搬送装置、および電子部品検査装置の構成
先ず、図１、図２、図３、図４、図５、図６Ａ、図６Ｂ、および図７を参照して、本発明の実施形態に係る電子部品搬送装置、および該電子部品搬送装置を用いた電子部品検査装置の構成を説明する。図１は、本実施形態に係る電子部品搬送装置を備えた電子部品検査装置の概略構成を示す斜視図である。図２は、電子部品搬送装置を備えた電子部品検査装置の概略構成を示す平面図である。図３は、撮像部の概略構成を示す断面図である。図４は、チェンジキットの一例としての部品保持板（収容部材）の概略構成を示す平面図である。図５は、部品保持板の概略構成を示し、図４のＡ‐Ａ断面図である。図６Ａは、チェンジキットの一例としての吸着ユニットの概要を示す断面図である。図６Ｂは、吸着ユニットの平面図であり、図６ＡのＰ視図である。図７は、電子部品検査装置の概略構成を示すブロック図である。なお、本実施形態に係る電子部品搬送装置には、設定された電子部品に係る検査条件に基づいて、取り付けるチェンジキットを抽出し、抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部に表示する教示方法が適用されている。
【００２２】
なお、図１、図２、および図３では、説明の便宜上、互いに直交する三つの軸であるＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を矢印で図示しており、その矢印の先端側を「＋（プラス）」、基端側を「−（マイナス）」としている。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」という。また、以下では、説明の便宜上、図１中の上方である＋Ｚ方向側を「上」、下方である−Ｚ方向側を「下」という。
【００２３】
また、Ｘ軸とＹ軸とを含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、電子部品の搬送方向の上流側を単に「上流側」、下流側を単に「下流側」ということもある。また、本願明細書における「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば、傾斜角度５°未満程度）傾いた状態も含む。
【００２４】
図１および図２に示す電子部品検査装置（Electronic component tester）としての検査装置１は、例えば、ＢＧＡ（Ball grid array）パッケージやＬＧＡ（Land grid array）パッケージ等のＩＣデバイス、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＣＩＳ（CMOS Image Sensor）等の電子部品の電気的特性を検査・試験（以下単に「検査(test)」という）するための装置である。なお、以下では、説明の便宜上、検査を行う電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。
【００２５】
電子部品検査装置としての検査装置１は、電子部品としてのＩＣデバイス９０を搬送する電子部品搬送装置（Electronic component handler）としての搬送装置１０と、検査部１６と、表示部４１や音出力部４５を含む報知部４０と、操作部４２と、制御装置３０とを備える。また、検査装置１は、搬送装置１０や検査部１６などを収納するカバーを含む筐体部５と、筐体部５に設けられた扉部７とを備える。なお、筐体部５は、骨組みや壁部やカバーなどによって構成されている。また、扉部７は、筐体部５の一部を開閉することが可能であればよく、カバー内部と外部との間を開閉可能な、押引き扉、スライド扉、シャッターなどを含む。
【００２６】
搬送装置１０は、ＩＣデバイス９０を載せて（Place）置く（Set）ことができる収容部材を搭載している。なお、以下では、ＩＣデバイス９０を載せて置くことを、「ＩＣデバイス９０を載置する」ということがある。収容部材は、凹形状のポケットを備えており、このポケットにＩＣデバイス９０を収容し載置する。収容部材は、チェンジキットの一例であり、例えば供給用トレイ（不図示）、および回収用トレイ１９などに用いられるトレイ２００や、電子部品供給部１４、電子部品回収部１８、温度調整部１２、および回転ステージ（図示せず）などに用いられる部品保持板１００（図４および図５参照）などが該当する。
【００２７】
なお、チェンジキットには、後段にて説明する測定ロボット１７や回収ロボット２０に備えられている保持ユニット３２１（図６Ａおよび図６Ｂ参照）、および保持ユニット３２１に装着されている複数の吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈ（図６Ａおよび図６Ｂ参照）も含まれる。なお、吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈは、吸着ハンドもしくは吸着ユニットなどと呼ばれることもある。
【００２８】
なお、以下では、収容部材を備える、供給用トレイ（不図示）、回収用トレイ１９、電子部品供給部１４、電子部品回収部１８、温度調整部１２、および回転ステージ（不図示）のそれぞれを区別しないときには、電子部品載置部ともいう。また、図２では、電子部品供給部１４、電子部品回収部１８、温度調整部１２、および回転ステージ（図示せず）などに用いられる部品保持板１００と、測定ロボット１７や回収ロボット２０に用いられる保持ユニット３２１および吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈと、の図示を省略している。
【００２９】
図４および図５に示す収容部材の一構成例としての部品保持板１００は、ＩＣデバイス９０を収容する８個のポケットとして、基材１０１の上側の面から凹む、即ち部品保持板１００の上面１００ａから凹む有底の凹部（recces）１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８を有している。８個の凹部１１１〜１１８は、上方に開口し、その横断面積が上面１００ａから下面１００ｂに向かって漸減する形状をなしている。このような形状の凹部１１１〜１１８は、底面と四つの傾斜した側面とで構成されている。このような凹部１１１〜１１８の側面は、ＩＣデバイス９０を載置する際に、ＩＣデバイス９０を凹部１１１〜１１８に案内する案内面として機能する。これにより、ＩＣデバイス９０を部品保持板１００に容易に保持することができる。なお、ポケットとしての凹部の数は、必要に応じて、一つ、もしくは複数設けることができる。
【００３０】
また、凹部１１１〜１１８を構成する側面および底面には、当該面における反射を小さくする反射防止処理が施されている。これにより、後述する撮像部としての撮像装置５１により部品保持板１００を撮像するときに、撮像装置５１が有する撮像素子（図示せず）に不要な光が入射することを抑制することができる。そのため、後述する撮像装置５１によって、より鮮明な画像を得ることができる。反射防止処理としては、特に限定されず、例えば、反射防止膜の形成、光の散乱を大きくする粗面化処理、光の吸収を大きくする黒色処理等が挙げられる。
【００３１】
凹部１１１〜１１８は、該当する電子部品、本形態ではＩＣデバイス９０のサイズや形状などの部品データに対応して、中心位置、数、配置ピッチ、輪郭寸法、深さなどが設定される。また、部品保持板１００は、取り付けられる電子部品供給部１４、電子部品回収部１８、温度調整部１２、および回転ステージ（不図示）の、それぞれの構成に合わせて、凹部１１１〜１１８の配置数などが設定される。このように、部品保持板１００は、電子部品供給部１４、電子部品回収部１８、温度調整部１２、および回転ステージのそれぞれの構成や該当する電子部品の形態などに対応した仕様で構成され、検査される電子部品に対応して取り換えられることによって用いられる。
【００３２】
なお、本形態で例示する部品保持板１００は、２列に配置された８個の凹部１１１〜１１８と、凹部１１１〜１１８のそれぞれを繋ぐ溝部１２１，１２２，１２３，１２４，１２５，１２６を有している。また、本形態の部品保持板１００では、ポケットとして８個の凹部１１１〜１１８が設けられた構成を例示しているが、ポケットの数は問わない。
【００３３】
なお、収容部材としてのトレイ２００は、図示しないが、前述した部品保持板１００と同様に、ＩＣデバイス９０を収容するポケットとしての有底の凹部を有している。この凹部に関しても、部品保持板１００と同様に、ＩＣデバイス９０のサイズや形状に対応して、中心位置、数、配置ピッチ、輪郭寸法、深さなどが設定される。トレイ２００は、部品保持板１００と同様に、検査される電子部品に対応して取り換えられることによって用いられる。
【００３４】
図６Ａおよび図６Ｂに示す保持部の一構成例としての保持ユニット３２１は、後述する測定ロボット１７や回収ロボット２０に備えられている。保持ユニット３２１は、吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈがマトリックス状に８個装着された構成となっている。吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈは、それぞれ先端面から凹む吸着部３２２ａ〜３２２ｈが設けられており、吸着部３２２ａ〜３２２ｈの内にＩＣデバイス９０を、例えば真空吸着によって保持し、検査部１６にＩＣデバイス９０を供給したり、検査部１６からＩＣデバイス９０を回収したりすることができる。なお、吸着部３２２ａ〜３２２ｈの掘り込み形状は、ＩＣデバイス９０の外形形状に基づいて、輪郭寸法、深さなどが形成される。
【００３５】
また、搬送装置１０は、図３に示すように、部品保持板１００やトレイ２００などの収容部材の画像を撮像可能な、撮像部としての撮像装置５１、および照明装置５２を備える画像取得部５０を有する。
【００３６】
なお、本実施形態の搬送装置１０は、図７のブロック図に示す構成の検査装置１から、検査部１６、および後述する制御装置３０が有する検査制御部３１２を除いた構成によって成立している。
【００３７】
図１および図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域Ａ２と、検査部１６が設けられている検査領域Ａ３と、デバイス回収領域Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５とに分けられている。
【００３８】
これらの各領域は互いに図示しない壁部やシャッター等により仕切られている。そして、デバイス供給領域Ａ２は、壁部やシャッター等で画成された第１室となっている。また、検査領域Ａ３は壁部やシャッター等で画成された第２室となっている。また、デバイス回収領域Ａ４は、壁部やシャッター等で画成された第３室となっている。また、デバイス供給領域Ａ２を構成する第１室、検査領域Ａ３を構成する第２室、およびデバイス回収領域Ａ４を構成する第３室は、それぞれ、気密性や断熱性を確保することができるように構成されている。これにより、第１室、第２室、および第３室は、それぞれ、湿度や温度を可能な限り維持することができる。なお、第１室および第２室内は、それぞれ、所定の湿度および所定の温度に制御され、例えば、常温環境下、低温環境下、および高温環境下で検査を行うことができるよう構成されている。
【００３９】
検査装置１において、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで各領域を順に経由し、途中の検査領域Ａ３で電気的な検査が行われる。本実施形態の電気的な検査では、例えば、ＩＣデバイス９０の導通が行われるか否かを確認したり、特定の信号が入力された場合に、期待される出力が得られるか否かを確認したりする。これにより、ＩＣデバイス９０の断線や短絡の有無の判断を行うことができる。その他、検査部１６では、ＩＣデバイス９０が備える回路（図示せず）等の動作を確認するための検査を行ってもよい。
【００４０】
以下、図２および図７を参照しながら、検査装置１についてトレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで領域ごとに順次説明する。
【００４１】
１．１．トレイ供給領域
トレイ供給領域Ａ１は、供給トレイとして、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列、保持された収容部材としてのトレイ２００が供給される領域である。トレイ供給領域Ａ１では多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００４２】
１．２．デバイス供給領域
デバイス供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１からのトレイ２００上の複数のＩＣデバイス９０がそれぞれ検査領域Ａ３まで供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１とデバイス供給領域Ａ２とを跨ぐように、トレイ２００を搬送する搬送部（transporter）８０を構成するトレイ搬送機構１１Ａ，１１Ｂが設けられている。
【００４３】
デバイス供給領域Ａ２には、収容部材としての部品保持板１００を備えた温度調整部１２と、搬送アーム１３１（図３参照）を備えた搬送部８０を構成する搬送ロボットとしての供給ロボット１３と、供給空トレイ搬送機構１５とが設けられている。
【００４４】
温度調整部１２は、部品保持板１００にＩＣデバイス９０を保持し、保持されたＩＣデバイス９０を加熱したり冷却したりするなどの制御を行い、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整する。図２に示す構成では、温度調整部１２はＹ軸方向に二つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２に搬送され、温度調整部１２に備えられている部品保持板１００に保持される。
【００４５】
搬送部８０を構成する搬送ロボットとしての供給ロボット１３は、ＩＣデバイス９０の搬送を行う搬送機構であり、デバイス供給領域Ａ２内でＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向に移動可能に支持されている。この供給ロボット１３は、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述する電子部品供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担っている。なお、供給ロボット１３は、複数のシャトルを有し、それぞれのシャトルに対応してＩＣデバイス９０を保持する複数の保持ユニット３２１（図６Ａおよび図６Ｂ参照）を有している。各保持ユニット３２１は、複数の吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈ（図６Ａおよび図６Ｂ参照）を備えており、ＩＣデバイス９０を吸着することで保持することができる。また、供給ロボット１３は、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱、または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００４６】
搬送部８０を構成する供給空トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００をＸ軸方向に搬送する搬送機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによってデバイス供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００４７】
１．３．検査領域
図２に示すように、検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０が検査される領域である。この検査領域Ａ３には、電子部品供給部１４と、検査部１６と、測定ロボット１７と、電子部品回収部１８とが設けられている。なお、本実施形態では、電子部品供給部１４および電子部品回収部１８は、それぞれ、独立して移動可能に構成されているが、これらは、連結、または一体化し、同方向に移動可能に構成されていてもよい。
【００４８】
搬送部８０を構成する電子部品供給部１４は、所定の温度に制御されたＩＣデバイス９０を、部品保持板１００に保持し、検査部１６近傍まで搬送する搬送機構である。この電子部品供給部１４は、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ軸方向に沿って往復移動可能になっている。また、図２に示す構成では、電子部品供給部１４は、Ｙ軸方向に二つ配置されている。温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、いずれかの電子部品供給部１４に搬送され、保持される。なお、この搬送は供給ロボット１３によって行われる。また、電子部品供給部１４では、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱、または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００４９】
搬送部８０を構成し、搬送アーム（不図示）を備える測定ロボット１７は、ＩＣデバイス９０の搬送を行う搬送機構であり、検査領域Ａ３内で移動可能に支持されている。この測定ロボット１７は、デバイス供給領域Ａ２から搬入された電子部品供給部１４上のＩＣデバイス９０を検査部１６上に搬送し、載置することができる。また、ＩＣデバイス９０を検査する場合に、測定ロボット１７は、ＩＣデバイス９０を検査部１６に向けて押圧し、これにより、ＩＣデバイス９０を検査部１６に当接させる。これによって、後述するように、ＩＣデバイス９０の端子と検査部１６のプローブピンとが電気的に接続される。なお、測定ロボット１７は、ＩＣデバイス９０を保持する複数の保持ユニット３２１（図６Ａ参照）を有している。各保持ユニット３２１は、複数の吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈ（図６Ａ参照）を備えており、ＩＣデバイス９０を吸着することで保持することができる。また、測定ロボット１７は、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱、または冷却して、ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。なお、本実施形態では、図示のように測定ロボット１７の数は一つであるが、二つ以上設けられていてもよい。
【００５０】
なお、測定ロボット１７は、図６Ａに示すように、例えば吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｃが、未検査のＩＣデバイス９０を吸着保持した状態で検査部１６の上方に位置させる。そして、吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｃは、ＩＣデバイス９０を吸着保持したまま下降し、検査部１６に押圧して検査を行う。
【００５１】
搬送部８０を構成する電子部品回収部１８は、検査部１６での検査が終了したＩＣデバイス９０を保持し、デバイス回収領域Ａ４まで搬送する搬送機構である。この電子部品回収部１８は、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４との間をＸ軸方向に沿って往復移動可能になっている。また、図２に示す構成では、電子部品回収部１８は、電子部品供給部１４と同様に、Ｙ軸方向に二つ配置されている。検査部１６上のＩＣデバイス９０は、いずれかの電子部品回収部１８に搬送され、載置される。なお、この搬送は測定ロボット１７によって行われる。
【００５２】
なお、測定ロボット１７は、図６Ａに示すように、例えば吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｃに検査済のＩＣデバイス９０を吸着保持させた状態で、検査部１６から電子部品回収部１８の上方まで搬送した後、吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｃを下降させて電子部品回収部１８に載置する。
【００５３】
１．３．１．検査部
検査部１６は、ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査・試験するユニットであり、ＩＣデバイス９０を検査する場合に、そのＩＣデバイス９０を保持する保持部である。検査部１６には、ＩＣデバイス９０を保持した状態で当該ＩＣデバイス９０の端子と電気的に接続される複数のプローブピンを含む複数の検査ソケット（不図示）が設けられている。なお、検査部１６に適用する、換言すれば、検査部１６において、ＩＣデバイス９０の検査に適用する検査ソケットは、複数の検査ソケットのうちから選択して用いることができる。なお、それぞれの検査ソケットを、テストサイトと呼ぶことがある。
【００５４】
そして、ＩＣデバイス９０は、ＩＣデバイス９０の端子と検査ソケットのプローブピンとが電気的に接触することによって接続され、プローブピンを介してＩＣデバイス９０の電気的な検査が行われる。また、検査部１６では、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱、または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００５５】
１．４．デバイス回収領域
図２に示すように、デバイス回収領域Ａ４は、検査が終了したＩＣデバイス９０が回収される領域である。このデバイス回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、搬送アーム１３１を備えた搬送ロボットとしての回収ロボット２０と、回収空トレイ搬送機構２１とが設けられている。また、デバイス回収領域Ａ４には三つの空のトレイ２００も用意されている。
【００５６】
回収用トレイ１９は、ＩＣデバイス９０が載置される電子部品載置部の一つである。回収用トレイ１９は、デバイス回収領域Ａ４内に固定され、本構成ではＸ軸方向に並んで三つ配置されている。また、空のトレイ２００も、ＩＣデバイス９０が載置される電子部品載置部であり、Ｘ軸方向に並んで三つ配置されている。そして、デバイス回収領域Ａ４に移動してきた電子部品回収部１８上のＩＣデバイス９０は、これらの回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、保持される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに回収されて、分別されることとなる。この検査結果に基づいたＩＣデバイス９０の分別は回収ロボット２０によって行われる。回収ロボット２０は後述する制御装置３０の指令により、ＩＣデバイス９０を分別する。
【００５７】
搬送部８０を構成する搬送ロボットとしての回収ロボット２０は、ＩＣデバイス９０の搬送を行う搬送機構であり、デバイス回収領域Ａ４内でＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向に移動可能に支持されている。この回収ロボット２０は、ＩＣデバイス９０を電子部品回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。なお、回収ロボット２０は、複数のシャトルを有し、それぞれのシャトルに対応してＩＣデバイス９０を保持する複数の保持ユニット３２１（図６Ａおよび図６Ｂ参照）を有している。各保持ユニット３２１は、複数の吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈ（図６Ａおよび図６Ｂ参照）を備えており、ＩＣデバイス９０を吸着することで保持することができる。
【００５８】
搬送部８０を構成する回収空トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００をＸ軸方向に搬送させる搬送機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる。即ち、搬送後の空のトレイ２００は、前述した三つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。
【００５９】
１．５．トレイ除去領域
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される領域である。トレイ除去領域Ａ５では多数のトレイ２００を積み重ねることができる。なお、デバイス回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつ搬送するトレイ搬送機構２２Ａ，２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、検査済みのＩＣデバイス９０が載置されたトレイ２００をデバイス回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送する。トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５からデバイス回収領域Ａ４に搬送する。
【００６０】
以上説明したような各領域Ａ１〜Ａ５のうちの第１室、第２室、および第３室には、それぞれ、図示はしないが、室内の温度を検出する温度センサーと、室内の相対湿度を検出する湿度センサーと、室内の酸素濃度を検出する酸素濃度センサーとが設けられている。なお、本実施形態では、第１室、第２室、および第３室のそれぞれの室に温度センサー、湿度センサー、および酸素濃度センサーが設けられているが、温度センサー、湿度センサー、および酸素濃度センサーを設ける箇所は各々任意である。
【００６１】
また、図示はしないが、検査装置１は、ドライエアー供給機構を有している。ドライエアー供給機構は、第１室、第２室、および第３室に湿度の低い空気、窒素等の気体（以下、ドライエアーとも言う）を供給できるよう構成されている。そのため、必要に応じて、ドライエアーを供給することにより、ＩＣデバイス９０の結露、結氷を防止することができる。
【００６２】
なお、前述した実施形態では、検査装置１は、常温環境下、低温環境下、および高温環境下で検査を行うことができるよう構成されているが、これに限らず、前述した三つの環境下のうち少なくとも一つの環境下で検査を行う構成であってもよい。例えば壁部、シャッター、湿度計、酸素濃度計、およびドライエアーなどの低温環境下のための構成を含まなくてもよい。
【００６３】
１．６．制御装置
図７に示すように、制御装置３０は、検査装置１の各部を制御する機能を有し、制御部３１と、記憶部３２とを備える。
【００６４】
制御部３１は、記憶部３２に記憶された情報に基づいて動作するプロセッサー（Processor）、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）などを含んで構成され、駆動制御部３１１、検査制御部３１２、撮像制御部３１３、抽出部３１４、画像処理部３１５、判定部３１６、および報知処理部３１７を有する。記憶部３２は、例えば、ＲＯＭ（read only memory）、およびＲＡＭ（Random Access Memory）を含んで構成されている。
【００６５】
制御部３１は、検査装置１を構成する各部の駆動、検査結果および画像データ等を表示部４１に表示する機能や、ユーザーの実行する操作部４２からの入力に従って処理を行う機能等を有している。
【００６６】
また、制御部３１は、搬送するＩＣデバイス９０に係り設定された検査条件に基づいて、当該ＩＣデバイス９０に対して適用するチェンジキットを抽出し、抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示する処理を行う。なお、チェンジキットには、トレイ２００や部品保持板１００、および保持ユニット３２１や吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈなどを含む。
【００６７】
ここで、ＩＣデバイス９０に係る検査条件とは、記憶部３２に記憶されているセットアップレシピなどにおいてＩＣデバイス９０に関して設定されている、例えばＩＣデバイス９０の外形形状、外形サイズ、端子間ピッチや端子数などを含む端子配置、およびＩＣデバイス９０の検査仕様、テストサイト、検査プログラムなどを含む。
【００６８】
また、上述の検査条件の設定には、検査部１６に備えられている複数のプローブピンを含む複数の検査ソケットのうちから、検査に適用する検査ソケットを選択して設定することができる。このように、複数の検査ソケットのうちから選択した検査ソケットの設定に基づいて、交換の必要なチェンジキットを抽出することができる。
【００６９】
また、上述の検査条件の設定には、供給ロボット１３や回収ロボット２０に備えられた複数のシャトルのうちから、搬送に適用するシャトルの選択を含むことができる。このように、複数のシャトルのうちから選択したシャトルの設定に基づいて、適用の必要となる他のチェンジキットを抽出することができる。
【００７０】
また、抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示する処理の実行タイミングは、複数の実行タイミングパターンが設定されていてもよい。この場合、制御部３１は、抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示する処理を、複数設定されている処理の実行タイミングパターンの内から選択して実行タイミングを特定することができる。このようにすれば、複数設定された表示の実行タイミングパターンの内から選択した表示タイミングで、抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示することから、効率的、且つ確実に表示を行うことができる。
【００７１】
また、制御部３１は、抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示する処理を、例えばユーザーによって操作部４２から入力される確認指示に基づいて実行することができる。このようにすれば、ユーザーの入力する確認指示に基づいて、抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示するため、表示の必要なときだけ表示を行うことができ、不要な表示を防ぐことができる。また、ユーザーの入力する確認指示があったタイミングで交換の必要なチェンジキットの交換が適正に行われたか否かなどの状況を確認することができる。
【００７２】
また、制御部３１は、抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示する処理を、例えばユーザーによって搬送の条件設定が行われたタイミングで実行することができる。このようにすれば、搬送の条件設定が行われたタイミングで、ユーザーの表示忘れを起こすことなく確実に抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示することができる。また、搬送の条件設定が行われたタイミングで交換の必要なチェンジキットの交換が適正に行われたか否かなどの状況を確認することができる。
【００７３】
また、制御部３１は、搬送するＩＣデバイス９０に係り設定された検査条件に基づいて抽出したチェンジキットに対応して設置された設置チェンジキットを撮像する。この撮像は、撮像制御部３１３からの指示に基づき、画像取得部５０によって実行される。そして、制御部３１は、撮像した画像に基づいて、上記検査条件に対して設置された設置チェンジキットが正しいか否かを判定し、その判定が否の場合、アラーム報知を行う処理を行う。このアラーム処理は、表示部４１に表示する画像情報や音出力部４５から出力される音情報によって行うことができる。
【００７４】
このように、検査条件に対して設置された設置チェンジキットが正しいか否か、換言すれば、検査条件に対して設置チェンジキットの交換が正確に行われたか否を、撮像された画像に基づいて判定し、否の場合にアラーム報知する。ユーザーは、このアラーム報知により、チェンジキットの交換の不適を覚知することができるため、再確認を行うことができる。
【００７５】
また、制御部３１は、抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示する処理を、例えば搬送装置１０、または検査装置１の一時停止後の再稼働を含む稼働開始時とすることができる。このように、搬送装置１０、または検査装置１の一時停止後の再稼働を含む稼働開始のタイミングで、上述の表示処理を行うことにより、ユーザーの表示忘れを起こすことなく確実に抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示することができる。
【００７６】
また、制御部３１は、抽出したチェンジキットに係る画像情報を表示部４１に表示する処理を、例えば搬送装置１０、または検査装置１の扉部７の開閉動作における閉時のタイミング、換言すれば開いていた扉部７が閉じられたタイミングで行うこととしてもよい。このように、扉部７の閉動作に基づいて、上述の表示処理を行うことにより、扉部７を開いて収容部材としてのトレイ２００や部品保持板１００を交換した場合において、ユーザーは、可動前に交換の必要なチェンジキットの交換状況を確認することができる。
【００７７】
駆動制御部３１１は、トレイ搬送機構１１Ａ，１１Ｂ、温度調整部１２、供給ロボット１３、供給空トレイ搬送機構１５、電子部品供給部１４、検査部１６、測定ロボット１７、電子部品回収部１８、回収ロボット２０、回収空トレイ搬送機構２１、およびトレイ搬送機構２２Ａ，２２Ｂの駆動等を制御する。
【００７８】
検査制御部３１２は、例えば、記憶部３２内に記憶された検査プログラムに基づいて、検査部１６に配置されたＩＣデバイス９０の検査等を行うことができる。
【００７９】
撮像制御部３１３は、収容部材としてのトレイ２００や部品保持板１００、保持ユニット３２１や吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈなどの撮像を行う画像取得部５０の駆動等を制御する。また、撮像制御部３１３は、撮像装置５１からの信号を処理し、画像取得部５０が取得したトレイ２００や部品保持板１００などの画像をデータ化し、画像データとして生成する。
【００８０】
抽出部３１４は、前述した記憶部３２に記憶されているセットアップレシピに設定されているＩＣデバイス９０に係る検査条件に基づいて、適用するチェンジキット、即ちＩＣデバイス９０を流動するに当たって交換の必要なチェンジキットを抽出する。なお、ここでのチェンジキットとは、収容部材としてのトレイ２００や部品保持板１００、保持ユニット３２１や吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈなどをいい、それぞれの仕様が記憶部３２に記憶されている。
【００８１】
画像処理部３１５は、例えば、ＩＣデバイス９０を流動するに当たって、抽出部３１４の抽出した交換の必要なチェンジキットに係る情報やアラーム情報などの表示データを生成し、表示部４１に画像情報として表示する。ここで、生成される表示データには、例えば、交換の必要なチェンジキットとして抽出したトレイ２００や部品保持板１００や保持ユニット３２１を備える構成部位である、電子部品供給部１４、測定ロボット１７、および電子部品回収部１８などの配置画像（図１１参照）、複数の吸着ヘッド５２１ａ〜５２１ｄ、５２２ａ〜５２２ｄのうちから選択して用いる吸着ヘッドの指示画像（図１２参照）、もしくは、複数の回転ステージ６２１ａ〜６２１ｄ、６２２ａ〜６２２ｄのうちから選択して用いる回転ステージの指示画像（図１３参照）などが含まれる。
【００８２】
判定部３１６は、交換が必要として抽出されたチェンジキットに対応して設置された設置チェンジキットが、抽出されたチェンジキットに設定されている検査条件に対して正しいか否かを、当該検査条件と、画像取得部５０を構成する撮像部としての撮像装置５１によって撮像されたチェンジキットの画像データとを照合することによって判定する。そして、判定部３１６は、判定結果を報知処理部３１７に送信する。
【００８３】
報知処理部３１７は、撮像装置５１の撮像した画像と、上記検査条件に対して設置された設置チェンジキットとの照合において、設置された設置チェンジキットが正しくないと判定された場合の、アラーム報知データを生成する。報知処理部３１７は、生成したアラーム報知データを報知部４０に送信し、表示部４１に表示される画像や音出力部４５から出力される音情報によって、設置チェンジキットが正しくないことを報知する。
【００８４】
記憶部３２は、制御部３１が各種処理を行うためのプログラム、例えば搬送装置の教示プログラムおよび検査プログラムやデータ等を記憶する。記憶部３２は、セットアップレシピとして、各種電子部品に係る検査条件、各種電子部品に係る部品データ、本形態ではＩＣデバイス９０に係る検査条件、部品データ、および検査条件や部品データに基づいて設定されている当該電子部品に適用可能なチェンジキットのリストなどを記憶する。また、記憶部３２は、ＩＣデバイス９０に係る検査条件として、例えばＩＣデバイス９０の外形形状、外形サイズ、端子間ピッチや端子数などを含む端子配置、およびＩＣデバイス９０の検査仕様、テストサイト、検査プログラムなどを記憶する。
【００８５】
本実施形態に係る搬送装置１０を備えた検査装置１は、各部の処理を記憶部３２に記憶されているプログラムにより実現することができる。また、搬送装置１０の教示方法は、記憶部３２に記憶されている教示プログラムによって実現することができる。すなわち、本実施形態の教示方法は、検査部１６に電子部品としてのＩＣデバイス９０を搬送する電子部品搬送装置としての搬送装置１０の表示手法であり、ＩＣデバイス９０に係る検査条件を設定するステップと、設定した検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出するステップと、抽出したチェンジキットに係る情報を表示部４１に表示するステップと、を含む処理を、コンピューターに実行させるプログラムに適用できる。
【００８６】
このような教示プログラムを適用することにより、検査部１６にＩＣデバイス９０を搬送する搬送装置１０は、設定されたＩＣデバイス９０に係る検査条件に基づいて抽出された適用の必要なチェンジキットに係る情報を表示部４１に表示することができる。これにより、ユーザーは、適用するチェンジキットの交換に際し、表示部４１に表示された交換の必要なチェンジキットに係る情報を確認しながらチェンジキットの交換を行うことができるため、検査条件に応じたチェンジキットの不装着を減少させることができる。
【００８７】
また、搬送装置１０の教示方法は、記憶部３２に記憶されている教示プログラムによって実現することができる。すなわち、本実施形態の教示方法は、上述した教示プログラムの各ステップに加え、抽出したチェンジキットに対応して設置された設置チェンジキットを撮像するステップと、撮像した画像に基づいて、設置チェンジキットの検査条件に対する適否を判定するステップと、判定するステップにおける判定が否の場合、アラーム報知を行うステップと、を更に含む処理を、コンピューターに実行させるプログラムに適用できる。
【００８８】
このような教示プログラムを適用することにより、搬送装置１０は、検査条件に対して設置チェンジキットの交換が正確に行われたか否を、撮像された画像に基づいて判定し、否の場合にアラーム報知する。ユーザーは、このアラーム報知により、チェンジキットの交換の不適を覚知することができる。
【００８９】
１．７．報知部
図１および図７に示すように、報知部４０は、画像を表示可能な表示部４１、および音声やブザー音などを出力可能な音出力部４５を有する。報知部４０は、報知処理部３１７の生成した収容部材に係る判定結果の報知情報を、例えば表示部４１における文字やイラストなどの画像による警告表示、もしくは音出力部４５における音声や警告音の出力などとして行うことができる。
【００９０】
表示部４１は、各部の駆動状況や検査結果、もしくは交換の必要なチェンジキットとして抽出したトレイ２００や部品保持板１００や保持ユニット３２１の配置画像（図１１参照）、複数の吸着ヘッド５２１ａ〜５２１ｄ、５２２ａ〜５２２ｄのうちから選択して用いる吸着ヘッドの指示画像（図１２参照）、もしくは、複数の回転ステージ６２１ａ〜６２１ｄ、６２２ａ〜６２２ｄのうちから選択して用いる回転ステージの指示画像（図１３参照）などを表示する。表示部４１は、例えば、液晶表示パネルや有機ＥＬ等の表示パネル等で構成することができる。ユーザーは、この表示部４１を介して、検査装置１の各種処理や条件等を設定したり、結果を確認したりすることができる。加えて、ユーザーは、配置画像や指示画像や報知情報などを文字やイラストなどの画像表示によって確認することができる。
【００９１】
音出力部４５は、スピーカー（不図示）などによって構成され、アラーム情報などを、音声やブザー音などの音情報として出力し、報知することができる。
【００９２】
１．８．操作部
操作部４２は、キーボードやマウス等の入力デバイスであり、ユーザーによる操作に応じた操作信号を制御部３１に出力する。したがって、ユーザーは、キーボードやマウスを用いて、制御部３１に対して各種処理等の指示を行うことができる。なお、本実施形態では、操作部４２としてキーボードやマウスを用いているが、操作部４２はこれに限定されず、例えばトラックボール、タッチパネル等の入力デバイス等であってもよい。
【００９３】
１．９．画像取得部
画像取得部５０は、電子部品載置部に配置されたトレイ２００や部品保持板１００の画像を取得する機能を有する。図２に示すように、画像取得部５０は、デバイス供給領域Ａ２とデバイス回収領域Ａ４とで、搬送ロボットとしての供給ロボット１３と回収ロボット２０とに設けられている。すなわち、画像取得部５０は、電子部品載置部に配置されたトレイ２００や部品保持板１００、もしくは保持ユニット３２１の画像を取得可能な位置に設けられている。
【００９４】
例えば、画像取得部５０は、図３に示すように、供給ロボット１３および回収ロボット２０の搬送アーム１３１に取り付けられている。画像取得部５０は、電子部品載置部の上方に設けられている。なお、本実施形態では、供給ロボット１３および回収ロボット２０のそれぞれを一つの画像取得部５０として捉えたとき、画像取得部５０の数は、二つであるが、画像取得部５０の数は、これに限定されず任意である。この場合の画像取得部５０は、電子部品載置部に配置されたトレイ２００や部品保持板１００の上方に配置されるように供給ロボット１３および回収ロボット２０に支持されている。これにより、画像取得部５０は、電子部品載置部の鉛直上方からトレイ２００や部品保持板１００の上面２００ａ，１００ａの状態の画像を取得可能になっている。
【００９５】
なお、画像取得部５０の取り付けは、前述した供給ロボット１３および回収ロボット２０に限らず、例えば保持ユニット３２１の画像が取得可能であり、且つ搬送機構の移動を損ねない位置において取り付けることができる。
【００９６】
画像取得部５０は、撮像部としての撮像装置５１、および照明装置５２を有する。なお、照明装置５２は、連続的な照明だけでなく、間欠的に強い光（フラッシュ）でも、露光時間が制御できればどちらでもよい。
【００９７】
撮像部としての撮像装置５１は、電子部品載置部に配置されたトレイ２００や部品保持板１００からの光を受光して電気信号に変換する撮像素子を有している。この撮像装置５１としては、特に限定されないが、例えば、撮像素子としてＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサーを用いたカメラ（ＣＣＤカメラ）、撮像素子としてＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサーを用いたカメラ等の電子カメラ（デジタルカメラ）等が挙げられる。また、画像データを、例えば、微分干渉法、フーリエ変換法等を用いて解析することにより、微細な形状や見え難い形状を強調し、形状の検出感度を向上させることが可能である。また、微細な傷や見え難い傷を強調し、傷の検出感度を向上させることが可能である。
【００９８】
また、撮像装置５１は、図示はしないが、光学レンズやオートフォーカス機構等の光学系を備えていることが好ましい。これにより、例えば、撮像装置５１に対するトレイ２００や部品保持板１００の高さ（Ｚ軸方向の高さ）が異なる場合でも、鮮明な画像を得ることができる。
【００９９】
照明装置５２は、撮像装置５１によるトレイ２００や部品保持板１００の撮像時に駆動され、トレイ２００や部品保持板１００や保持ユニット３２１などの被撮像体に光を照射する光源装置である。この照明装置５２により、光量不足で画像が暗くなることを抑制し、より鮮明な画像を得ることができる。
【０１００】
照明装置５２は、本実施形態では、円環状をなし、撮像装置５１の周囲に配置されている。これにより、トレイ２００や部品保持板１００に均一に光を照射することができる。なお、照明装置５２の形状や配置は前述の構成に限定されない。
【０１０１】
このような構成の画像取得部５０は、照明装置５２により電子部品載置部に配置されたトレイ２００や部品保持板１００や保持ユニット３２１などの被撮像体に光を照射し、撮像装置５１によりトレイ２００や部品保持板１００を撮像する。撮像装置５１からの信号は前述した制御部３１の撮像制御部３１３に取り込まれる。撮像制御部３１３は、撮像装置５１からの信号を処理し、トレイ２００や部品保持板１００の画像を２次元の画像データとして生成する。
【０１０２】
また、画像取得部５０が取得したトレイ２００や部品保持板１００や保持ユニット３２１の画像を用いて３次元の画像データを生成してもよい。その場合には、例えば、図示はしないが、一つの配置列に対して二つ以上（例えば、三つ）の画像取得部５０を設ければよい。
【０１０３】
以上説明したような構成の搬送装置１０、および搬送装置１０を用いた検査装置１によれば、次のような効果を奏することができる。搬送装置１０は、入力部から入力されているＩＣデバイス９０に係る検査条件、即ち搬送するＩＣデバイス９０に係る検査条件に基づいて、抽出部３１４が抽出した交換の必要なチェンジキット、例えばトレイ２００や部品保持板１００や保持ユニット３２１などを、画像処理部３１５の生成した配置画像や指示画像として表示部４１に表示する。ユーザーは、適用するチェンジキットの交換に際し、表示部４１に表示された交換の必要なチェンジキットを確認しながら交換を行うことができるため、検査条件に応じたチェンジキットの不装着を減少させることができる。なお、チェンジキットの不装着には、例えばチェンジキットを交換し忘れたり、チェンジキットを間違えて装着したりするなどの事象が含まれる。
【０１０４】
また、搬送装置１０は、当該検査条件と画像取得部５０を構成する撮像部としての撮像装置５１によって撮像されたチェンジキット、例えばトレイ２００や部品保持板１００や保持ユニット３２１などの画像と、ＩＣデバイス９０に係る検査条件とを照合することによって、交換したチェンジキットの適否を判定部３１６が判定し、判定結果を表示部４１に表示する。ユーザーは、表示部４１に表示された判定結果により、チェンジキットの交換の適否を容易に覚知することができる。
【０１０５】
２．電子部品搬送装置、および電子部品検査装置の教示方法
以下、上述した構成の電子部品搬送装置としての搬送装置１０、および搬送装置１０を用いた電子部品検査装置としての検査装置１の教示方法について、図８、図９、図１０、図１１、図１２、および図１３を参照して説明する。図８は、本実施形態に係る電子部品搬送装置の教示方法を示すフローチャートである。図９は、電子部品搬送装置の教示方法に係る表示例１を示す説明図である。図１０は、電子部品搬送装置の教示方法に係る表示例２を示す説明図である。図１１は、電子部品搬送装置の教示方法に係る表示例３を示す説明図である。図１２は、電子部品搬送装置の教示方法に係る表示例４を示す説明図である。図１３は、電子部品搬送装置の教示方法に係る表示例５を示す説明図である。なお、上述した電子部品搬送装置としての搬送装置１０、および電子部品検査装置としての検査装置１を構成する各要素については、同符号を用いて説明する。また、以下の説明では、ユーザーによって、チェンジキットの確認指示がなされた場合の教示方法を例示して説明する。
【０１０６】
ユーザーは、検査装置１において検査対象となる電子部品に係る検査条件を操作部４２などを用いて入力し、予め設定する。なお、ここでの設定は、検査対象となる全ての電子部品に係る検査条件を予め入力し、記憶部３２に記憶させておくことができる。
【０１０７】
検査対象となる電子部品としてＩＣデバイス９０が選択された場合、図８のフローチャートに示すように、先ず、ユーザーは、検査装置１において検査対象となるＩＣデバイス９０に係る検査条件を操作部４２などから入力する。検査装置１の制御部３１は、入力された検査条件を受信し、設定する（ステップＳ１０１）。ここでのユーザーの入力には、例えば図９に示すように、表示部４１に表示されている画面から、検査ソケットの備えられたテストサイトの選択部４１１において、使用するテストサイトを選択したり、ユーザー入力部４１２、テスター入力部４１３、検査温度入力部４１４において、それぞれの設定条件を入力したりすることができる。なお、入力データは、ＯＫボタン４１５を押下げることで設定することができる。また、図１０に示すように、表示部４１に表示されている画面から、テストサイト設定部４２１による各テストサイトの配置ピッチＰ１，Ｐ２を設定したり、部品コード設定部４２２から検査対象デバイスを入力したり、部品サイズ設定部４２３から検査対象デバイスのサイズを入力したりすることができる。なお、入力データは、ＯＫボタン４２５を押下げることで設定することができる。
【０１０８】
次に、検査装置１の制御部３１は、例えばユーザーが表示部４１に表示されている確認ボタン（不図示）を押下げる（ステップＳ１０２）、などの確認指示の入力を受信し、この入力が行われたタイミングにおいて、設定されているＩＣデバイス９０に係る検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出する（ステップＳ１０３）。即ち、制御部３１は、ＩＣデバイス９０に係る検査条件に基づいて、交換の必要なチェンジキットとして、例えば部品保持板１００、もしくは保持ユニット３２１や吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈなどを抽出する。
【０１０９】
次に、制御部３１は、画像処理部３１５において、抽出されたチェンジキットの表示データを生成する（ステップＳ１０４）。画像処理部３１５は、例えば図１１に示すように、検査装置１の各構成部位それぞれの概略配置を示すレイアウト図において、交換の必要なチェンジキットを色区分して表示する表示データを生成する。また、画像処理部３１５は、例えば図１２に示すように、電子部品供給部１４、および電子部品回収部１８において、交換の必要なチェンジキットを色区分して表示する表示データを生成する。
【０１１０】
次に、制御部３１は、画像処理部３１５によって生成した表示データに基づく画像を、表示部４１に表示する（ステップＳ１０５）。この表示では、交換の必要なチェンジキット、例えばトレイ２００や部品保持板１００や保持ユニット３２１、もしくは吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈなどを区分して表示する。また、この表示では、抽出した収容部材、例えばトレイ２００や部品保持板１００に係る情報を表示部４１に表示することもできる。また、この表示では、抽出した保持部に係る情報として、例えば保持ユニット３２１、もしくは吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈの情報を表示部４１に表示することもできる。また、ステップＳ１０５における表示では、上述した画像表示に限らず、例えば、一覧表などによる表示、もしくは文字表示などを用いることができる。以上、説明したステップＳ１０１〜ステップＳ１０５の手順により、本実施形態に係る搬送装置１０の教示方法に係る一連の処理を終了し、以降、この教示方法によって表示された画像を用いたチェンジキットの確認処理（ステップＳ１０６）、および検査の開始（ステップＳ１０７）に移行する。
【０１１１】
次に、ユーザーは、交換の必要なチェンジキット、例えばトレイ２００や部品保持板１００や保持ユニット３２１、もしくは吸着ヘッド３２１ａ〜３２１ｈなどの表示を確認しながら、チェンジキットを交換し、その取り付けを行った後、取り付けたチェンジキットが正しいか否かの確認を行う（ステップＳ１０６）。
【０１１２】
そして、ユーザーは、チェンジキットが正しく取り付けられていることを確認した後、検査装置のスタート指示を行い、ＩＣデバイス９０の検査を開始する（ステップＳ１０７）。
【０１１３】
なお、ステップＳ１０５では、画像処理部３１５によって生成した表示データに基づく画像を、例えば図１１に示すように、表示部４１に表示することができる。図１１では、表示部４１において、検査装置１の各構成部位それぞれの概略配置を示すレイアウト図を示し、交換の必要なチェンジキットを白表示に区分して表示している。図１１では、具体的に、交換の必要なチェンジキットとして、一方の温度調整部１２、一方の電子部品供給部１４、検査部１６、一方の測定ロボット１７、および一方の電子部品回収部１８に係るチェンジキットを示している。なお、交換の必要なチェンジキットの区分は、色分けしたり、濃淡表示したりすることによって行ってもよい。
【０１１４】
また、ステップＳ１０５では、画像処理部３１５によって生成した表示データに基づく画像を、例えば図１２に示すように、表示部４１に表示することができる。なお、図１２に示す例では、四つの吸着ヘッドが配置されている構成例を示している。図１２では、表示部４１において、電子部品供給部１４側の吸着ヘッドを表示する指示部５１１および電子部品回収部１８側の吸着ヘッドを表示する指示部５１２において、交換の必要なチェンジキットを白表示に区分して表示している。具体的に、指示部５１１では、交換の必要なチェンジキットとして、吸着ヘッド５２１ａ，５２１ｄの交換が必要であり、指示部５１２では、吸着ヘッド５２２ａ，５２２ｄの交換が必要であることを示している。なお、交換の必要な吸着ヘッドの区分は、色分けしたり、濃淡表示したりすることによって行ってもよい。
【０１１５】
また、ステップＳ１０５では、画像処理部３１５によって生成した表示データに基づく画像を、例えば図１３に示すように、表示部４１に表示することができる。図１３では、表示部４１において、電子部品供給部１４側の回転ステージを表示する指示部６１１および電子部品回収部１８側の回転ステージを表示する指示部６１２において、交換の必要なチェンジキットを白表示に区分して表示している。具体的に、指示部６１１では、交換の必要なチェンジキットとして、回転ステージ６２１ａ，６２１ｄの交換が必要であり、指示部６１２では、回転ステージ６２２ａ，６２２ｄの交換が必要であることを示している。
【０１１６】
上述したような搬送装置１０の教示方法によれば、搬送装置１０は、設定された電子部品としてのＩＣデバイス９０に係る検査条件に基づいて抽出された適用の必要なチェンジキットに係る情報を表示部４１に表示することによって教示する。ユーザーは、適用するチェンジキットの交換に際し、表示部４１に表示されている交換の必要なチェンジキットの情報を確認しながらチェンジキットの交換を行うことができるため、例えばチェンジキットを交換し忘れたり、チェンジキットを間違えて装着したりするなどによって生じる検査条件に応じたチェンジキットの不装着を減少させることができる。
【０１１７】
また、上述したような搬送装置１０の教示方法によれば、抽出したチェンジキットの配置画像が表示部４１に表示されるため、ユーザーは、交換の必要なチェンジキットを、配置を示す画像情報として得ることができ、交換の間違い、交換忘れなどを減少させることができる。
２．１．電子部品搬送装置、および電子部品検査装置の教示方法に係る変形例
以下、搬送装置１０、および検査装置１の教示方法に係る変形例１および変形例２について、図１４、および図１５を参照して説明する。図１４は、教示方法に係る変形例１を示すフローチャートである。図１５は、教示方法に係る変形例２を示すフローチャートである。
【０１１８】
２．１．１．変形例１
変形例１に係る教示方法は、ステップＳ２０１における検査条件の設定において、チェンジキットに影響する設定が変更された場合に、変更の必要のあるチェンジキットを抽出し、表示部４１に表示する。以下、図１４に沿って、その手順を説明する。なお、以下では、上述した実施形態における教示方法の手順と異なる部分を中心に説明し、同様な部分の説明は省略することがある。
【０１１９】
検査対象となる電子部品としてＩＣデバイス９０が選択された場合、先ず、ユーザーは、上述した実施形態における教示方法の手順と同様に、検査装置１において検査対象となるＩＣデバイス９０に係る検査条件を設定入力する（ステップＳ２０１）。
【０１２０】
制御部３１は、設定された検査条件のうち、チェンジキットに影響する設定が変更されたか否かを判定する（ステップＳ２０２）。この判定において、制御部３１は、チェンジキットに影響する設定が変更されたと判定した場合（ステップＳ２０２：ＹＥＳ）、設定されたＩＣデバイス９０に係る検査条件に基づいて、適用するチェンジキット、即ち交換の必要なチェンジキットを抽出する（ステップＳ２０３）。
【０１２１】
なお、制御部３１は、ステップＳ２０２において、チェンジキットに影響する設定が変更されなかったと判定した場合（ステップＳ２０２：ＮＯ）、手順をステップＳ２０７に移行し、設定されたＩＣデバイス９０に係る検査を開始する（ステップＳ２０７）。
【０１２２】
次に、制御部３１は、画像処理部３１５において、ステップＳ２０３で抽出されたチェンジキットの表示データを生成する（ステップＳ２０４）。
【０１２３】
次に、制御部３１は、画像処理部３１５によって生成した表示データに基づく画像を、表示部４１に表示する（ステップＳ２０５）。この表示では、交換の必要なチェンジキットを、例えば画像の濃淡で区分して表示する。ステップＳ２０５における表示では、上述した画像表示に限らず、例えば、一覧表などによる表示、もしくは文字表示などを用いることができる。
【０１２４】
次に、ユーザーは、交換の必要なチェンジキットの表示を確認しながら、チェンジキットを交換して取り付けを行った後、取り付けたチェンジキットが正しいか否かの確認を行う（ステップＳ２０６）。
【０１２５】
そして、ユーザーは、チェンジキットが正しく取り付けられていることを確認した後、検査装置のスタート指示を行い、ＩＣデバイス９０の検査を開始する（ステップＳ２０７）。以上の手順により、搬送装置１０に係る教示方法の変形例１における一連の処理を終了する。
【０１２６】
２．１．２．変形例２
変形例２に係る教示方法は、扉部７（図２参照）の開閉に基づいて、変更の必要のあるチェンジキットを抽出し、表示部４１に表示する。以下、図１５に沿って、その手順を説明する。なお、以下では、上述した実施形態における教示方法の手順と異なる部分を中心に説明し、同様な部分の説明は省略することがある。
【０１２７】
検査対象となる電子部品としてＩＣデバイス９０が選択された場合、ユーザーは、上述した実施形態における教示方法の手順と同様に、検査装置１において検査対象となるＩＣデバイス９０に係る検査条件を設定入力しておく。
【０１２８】
先ず、ユーザーが、検査装置１の扉部７を開き（ステップＳ２４１）、何らかの処理を行った後、当該扉部７を閉める（ステップＳ２４２）。そして、制御部３１は、扉部７の開信号および閉信号を受信し、所定時間以上扉部７が開いていたか否かを判定する（ステップＳ２４３）。この判定において、制御部３１は、所定時間以上扉部７が開いていたと判定した場合（ステップＳ２４３：ＹＥＳ）、設定されたＩＣデバイス９０に係る検査条件に基づいて、適用するチェンジキット、即ち交換の必要なチェンジキットを抽出する（ステップＳ２４４）。なお、制御部３１は、ステップＳ２４３において、所定時間以上扉部７が開いていないと判定した場合（ステップＳ２４３：ＮＯ）、手順をステップＳ２４８に移行し、設定されたＩＣデバイス９０に係る検査を開始する（ステップＳ２４８）。
【０１２９】
なお、ステップＳ２４３では、扉部７の開いていた時間の確認に替えて、扉部７が閉まったか否かを判定し、扉部７が閉まったタイミングに基づいて、ステップＳ２４４以降の手順を実行することとしてもよい。
【０１３０】
次に、制御部３１は、画像処理部３１５において、ステップＳ２４４で抽出されたチェンジキットの表示データを生成する（ステップＳ２４５）。
【０１３１】
次に、制御部３１は、画像処理部３１５によって生成した表示データに基づく画像を、表示部４１に表示する（ステップＳ２４６）。この表示では、交換の必要なチェンジキットを、例えば画像の濃淡で区分して表示する。ステップＳ２４６における表示では、上述した画像表示に限らず、例えば、一覧表などによる表示、もしくは文字表示などを用いることができる。
【０１３２】
次に、ユーザーは、交換の必要なチェンジキットの表示を確認しながら、取り付けられているチェンジキットが正しいか否かの確認を行う（ステップＳ２４７）。
【０１３３】
そして、ユーザーは、チェンジキットが正しく取り付けられていることを確認した後、検査装置のスタート指示を行い、ＩＣデバイス９０の検査を開始する（ステップＳ２４８）。以上の手順により、搬送装置１０に係る教示方法の変形例２における一連の処理を終了する。
【０１３４】
以上説明したような、搬送装置１０に係る教示方法の変形例１および変形例２においても、上述の実施形態で説明した搬送装置１０に係る教示方法と同様な効果を奏することができる。
【０１３５】
３．吸着ユニットの選択例
以下、チェンジキットの一例である吸着ユニットの選択の手順に係る一例を、図１６、図１７、および図１８を参照して説明する。図１６は、チェンジキットの一例である吸着ユニットの選択例を示すフローチャートである。図１７は、吸着ユニットの選択に係る説明のための斜視図である。図１８は、吸着ユニットの選択に係るテストサイトの説明図である。なお、図１６では、テストサイトＳｔ１〜テストサイトＳｔ４を省略して、「サイトＳｔ１〜サイトＳｔ４」として記載している。
【０１３６】
本選択例では、例えば図１８に示す四つのテストサイトＳｔ１〜Ｓｔ４のうち、どのテストサイトを使用するかに基づいて、使用する吸着ユニットを選択する手順を示している。なお、吸着ユニットは、吸着ヘッドもしくは吸着ハンドと呼ばれることがある。以下、図１６のフローチャートに沿って手順を説明する。
【０１３７】
先ず、制御部３１は、設定されている検査条件に基づいて、テストサイトＳｔ１を使用するか否かを判断する（ステップＳ３０１）。ステップＳ３０１において、テストサイトＳｔ１を使用すると判断した場合（ステップＳ３０１：ＹＥＳ）は、二つの吸着ユニットＨａ，Ｈｃを選択し、使用する吸着ユニットとして記憶部３２に記憶する（ステップＳ３０２）。ステップＳ３０１において、テストサイトＳｔ１を使用しないと判断した場合（ステップＳ３０１：ＮＯ）は、吸着ユニットＨａ，Ｈｃを使用しないことを記憶部３２に記憶する（ステップＳ３０３）。
【０１３８】
次に、制御部３１は、設定されている検査条件に基づいて、テストサイトＳｔ２を使用するか否かを判断する（ステップＳ３０４）。ステップＳ３０４において、テストサイトＳｔ２を使用すると判断した場合（ステップＳ３０４：ＹＥＳ）は、二つの吸着ユニットＨｂ，Ｈｄを選択し、使用する吸着ユニットとして記憶部３２に記憶する（ステップＳ３０５）。ステップＳ３０４において、テストサイトＳｔ２を使用しないと判断した場合（ステップＳ３０４：ＮＯ）は、吸着ユニットＨｂ，Ｈｄを使用しないことを記憶部３２に記憶する（ステップＳ３０７）。
【０１３９】
次に、制御部３１は、設定されている検査条件に基づいて、テストサイトＳｔ３を使用するか否かを判断する（ステップＳ３０６）。ステップＳ３０６において、テストサイトＳｔ３を使用すると判断した場合（ステップＳ３０６：ＹＥＳ）は、二つの吸着ユニットＨｅ，Ｈｇを選択し、使用する吸着ユニットとして記憶部３２に記憶する（ステップＳ３０８）。ステップＳ３０６において、テストサイトＳｔ３を使用しないと判断した場合（ステップＳ３０６：ＮＯ）は、吸着ユニットＨｅ，Ｈｇを使用しないことを記憶部３２に記憶する（ステップＳ３１０）。
【０１４０】
次に、制御部３１は、設定されている検査条件に基づいて、テストサイトＳｔ４を使用するか否かを判断する（ステップＳ３０９）。ステップＳ３０９において、テストサイトＳｔ４を使用すると判断した場合（ステップＳ３０９：ＹＥＳ）は、二つの吸着ユニットＨｆ，Ｈｈを選択し、使用する吸着ユニットとして記憶部３２に記憶する（ステップＳ３１１）。ステップＳ３０９において、テストサイトＳｔ４を使用しないと判断した場合（ステップＳ３０９：ＮＯ）は、吸着ユニットＨｆ，Ｈｈを使用しないことを記憶部３２に記憶する（ステップＳ３１３）。
【０１４１】
次に、制御部３１は、以上の手順によって選択され、記憶部３２に記憶されている吸着ユニットを読み出し、表示部４１（図２参照）に画像として表示し（ステップＳ３１２）、一連の手順を終了する。つまり、四つ全てのテストサイトＳｔ１〜Ｓｔ４を使用する場合は、八つ全ての吸着ヘッドＨａ〜Ｈｈを選択することになり、表示部４１に八つの吸着ヘッドＨａ〜Ｈｈを表示する。
【０１４２】
このような選択手順によっても、使用する吸着ヘッドＨａ〜Ｈｈを簡便に選択することができる。
【０１４３】
以上、本発明の電子部品搬送装置としての搬送装置１０および電子部品検査装置としての検査装置１を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１４４】
例えば、前述した実施形態では、画像取得部５０として、撮像装置５１および照明装置５２を備えた構成を挙げたが画像取得部５０の構成はこれに限定されない。例えば、画像取得部５０は、レーザー光を電子部品の表面に照射し、そのレーザー光を走査し、表面で反射したレーザー光を受光する装置等であってもよい。
【０１４５】
また、前述した実施形態では、画像取得部５０が、電子部品載置部に配置されたトレイ２００や部品保持板１００の上方に配置されるように、供給ロボット１３および回収ロボット２０に支持された構成を例示して説明したが、これに限らない。画像取得部５０は、トレイ２００や部品保持板１００の上方に配置され、トレイ２００や部品保持板１００を撮像することができる非可動部、例えば筐体部５や支持台部（不図示）などに固定されていてもよい。このように、画像取得部５０が非可動部に固定されていることにより、画像取得部５０とトレイ２００や部品保持板１００との間の距離を大きくすることができるため、一つの画像取得部５０によって、トレイ２００や部品保持板１００の収容部材全体を一括して撮像することができ、撮像効率を向上させることができる。
【０１４６】
また、前述した実施形態では、画像取得部５０が、トレイ２００や部品保持板１００の鉛直方向の上面を撮像するように構成されていたが、これに限らず、例えば、画像取得部５０が電子部品としてのＩＣデバイス９０の裏面、側面等を撮像可能なように構成してもよい。
【０１４７】
また、制御部３１は、画像取得部５０の撮像した画像に基づいて、トレイ２００や部品保持板１００の凹部１１１に供給するＩＣデバイス９０の位置を調整したり、もしくはトレイ２００や部品保持板１００の凹部１１１〜１１８に供給されるＩＣデバイス９０の姿勢が適正か否かの姿勢判定を実行したりすることとしてもよい。このようにすれば、一つの画像取得部５０によって撮像した画像に基づいて、凹部１１１〜１１８に収容するＩＣデバイス９０の、凹部１１１〜１１８に対する位置を調整したり、もしくはＩＣデバイス９０の姿勢の良否を判定し、報知したりすることができる。
【０１４８】
以下に、上述した実施形態から導き出される内容を、各態様として記載する。
【０１４９】
［態様１］本態様に係る電子部品搬送装置の教示方法は、検査部に電子部品を搬送する電子部品搬送装置に取り付けられるチェンジキットの教示方法であって、前記電子部品に係る検査条件を設定し、前記検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出し、抽出した前記チェンジキットに係る画像情報を表示部に表示する。
【０１５０】
本態様によれば、電子部品搬送装置は、設定された電子部品に係る検査条件に基づいて抽出された適用の必要なチェンジキットに係る画像情報を表示部に表示することによって、適用の必要なチェンジキットを教示する。ユーザーは、適用するチェンジキットの交換に際し、表示部に表示されている交換の必要なチェンジキットの画像情報を確認しながらチェンジキットの交換を行うことができるため、検査条件に応じたチェンジキットの不装着を減少させることができる。なお、チェンジキットの不装着には、例えばチェンジキットを交換し忘れたり、チェンジキットを間違えて装着したりするなどの事象が含まれる。
【０１５１】
［態様２］上記態様に記載の電子部品搬送装置の教示方法において、抽出した前記チェンジキットの配置画像を前記表示部に表示することとしてもよい。
【０１５２】
本態様によれば、抽出したチェンジキットの配置画像が表示部に表示されるため、ユーザーは、交換の必要なチェンジキットを、配置を示す画像情報として得ることができ、交換の間違いを減少させることができる。
【０１５３】
［態様３］上記態様に記載の電子部品搬送装置の教示方法において、前記チェンジキットは、前記電子部品を収容する凹部を有する収容部材を含み、抽出した前記収容部材に係る情報を前記表示部に表示することとしてもよい。
【０１５４】
本態様によれば、抽出した収容部材に係る情報が表示部に表示されるため、ユーザーは、交換の必要な収容部材を、画像情報として得ることができ、交換の間違いを減少させることができる。
【０１５５】
［態様４］上記態様に記載の電子部品搬送装置の教示方法において、前記チェンジキットは、前記電子部品を保持する保持部を含み、抽出した前記保持部に係る情報を前記表示部に表示することとしてもよい。
【０１５６】
本態様によれば、抽出した保持部に係る情報が表示部に表示されるため、ユーザーは、交換の必要な保持部を、画像情報として得ることができ、交換の間違いを減少させることができる。
【０１５７】
［態様５］上記態様に記載の電子部品搬送装置の教示方法において、前記保持部は、前記電子部品を吸着して保持する複数の吸着ヘッドを有し、複数の前記吸着ヘッドの内から抽出した前記吸着ヘッドに係る情報を前記表示部に表示することとしてもよい。
【０１５８】
本態様によれば、保持部の有する複数の吸着ヘッドの内から抽出した吸着ヘッドに係る情報が表示部に表示されるため、ユーザーは、交換の必要な吸着ヘッドを、画像情報として得ることができ、交換の間違いを減少させることができる。
【０１５９】
［態様６］上記態様に記載の電子部品搬送装置の教示方法において、カバーと、前記カバーの一部を開閉する扉部とを、更に有し、前記表示は、前記扉部の開閉動作における前記扉部が閉められた場合に実行することとしてもよい。
【０１６０】
本態様によれば、扉部の開閉動作における扉部が閉められたタイミングで、即ち可動前に交換の必要なチェンジキットの交換状況を確認することができる。
【０１６１】
［態様７］上記態様に記載の電子部品搬送装置の教示方法において、抽出した前記チェンジキットに対応して設置された設置チェンジキットを撮像し、撮像した画像に基づいて、前記検査条件に対する前記設置チェンジキットの適否を判定し、前記判定が否の場合に報知することとしてもよい。
【０１６２】
本態様によれば、検査条件に対して設置チェンジキットの交換が正確に行われたか否を、撮像された画像に基づいて判定し、否の場合に報知する。ユーザーは、この報知により、チェンジキットの交換の不適を覚知することができるため、再確認を行うことができる。
【０１６３】
［態様８］本態様に係る電子部品搬送装置の教示プログラムは、検査部に電子部品を搬送する電子部品搬送装置に取り付けられるチェンジキットの教示プログラムであって、前記電子部品に係る検査条件を設定するステップと、前記検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出するステップと、抽出した前記チェンジキットに係る画像情報を表示部に表示するステップと、を含む。
【０１６４】
本態様によれば、検査部に電子部品を搬送する電子部品搬送装置において、設定された電子部品に係る検査条件に基づいて抽出された適用の必要なチェンジキットに係る画像情報を表示部に表示し、適用の必要なチェンジキットを教示することができる。これにより、ユーザーは、適用するチェンジキットの交換に際し、表示部に表示された交換の必要なチェンジキットに係る画像情報を確認しながらチェンジキットの交換を行うことができるため、検査条件に応じたチェンジキットの不装着を減少させることができる。
【０１６５】
［態様９］上記態様に記載の電子部品搬送装置の教示プログラムにおいて、抽出した前記チェンジキットに対応して設置された設置チェンジキットを撮像するステップと、撮像した画像に基づいて、前記設置チェンジキットの前記検査条件に対する適否を判定するステップと、前記判定が否の場合に報知するステップと、を更に含むこととしてもよい。
【０１６６】
本態様によれば、検査条件に対して設置チェンジキットの交換が正確に行われたか否を、撮像された画像に基づいて判定し、否の場合に報知することから、ユーザーは、この報知により、チェンジキットの交換の不適を覚知することができる。
【０１６７】
［態様１０］本態様に係る電子部品搬送装置は、検査部に電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、前記電子部品を搬送する搬送部と、前記電子部品に係る検査条件を入力する入力部と、前記検査条件に基づいて、取り付けるチェンジキットを抽出する抽出部と、抽出した前記チェンジキットに係る表示データを生成する画像処理部と、を含む制御部と、前記表示データを表示する表示部と、を備えていることとしてもよい。
【０１６８】
本態様によれば、電子部品搬送装置は、入力部から入力されている検査条件、即ち搬送する電子部品に係る検査条件に基づいて、抽出部が抽出した取り付けの必要なチェンジキットを、画像処理部の生成した表示データとして表示部に表示し、取り付けの必要なチェンジキットを教示する。ユーザーは、適用するチェンジキットの交換に際し、表示部に表示された交換の必要なチェンジキットを確認しながら交換を行うことができるため、検査条件に応じたチェンジキットの不装着を減少させることができる。なお、チェンジキットの不装着には、例えばチェンジキットを交換し忘れたり、チェンジキットを間違えて装着したりするなどの事象が含まれる。
【０１６９】
［態様１１］上記態様に記載の電子部品搬送装置において、前記チェンジキットを撮像する撮像部を更に備え、前記制御部は、前記撮像部で撮像された画像に基づいて、前記チェンジキットの前記検査条件に対する適否を判定する判定部を含み、前記制御部は、前記判定部の判定結果を前記表示部に表示することとしてもよい。
【０１７０】
本態様によれば、判定部が、検査条件に対して設置チェンジキットの交換が正確に行われたか否を、撮像された画像に基づいて判定し、判定結果を表示部に表示する。ユーザーは、この判定結果の表示により、チェンジキットの交換の適否を覚知することができる。
【０１７１】
［態様１２］上記態様に記載の電子部品搬送装置において、前記搬送部は、搬送アームを有する搬送ロボットを備え、前記撮像部は、前記搬送アームに取り付けられていることとしてもよい。
【０１７２】
本態様によれば、チェンジキットの直近から撮像することができることから、緻密・精巧な画像を得ることができる。
【０１７３】
［態様１３］上記態様に記載の電子部品搬送装置において、前記撮像部は、前記チェンジキットを撮像することができる非可動部に固定されていることとしてもよい。
【０１７４】
本態様によれば、非可動部に固定されている撮像部により、チェンジキット全体を一括して撮像することができる。
【０１７５】
［態様１４］本態様に係る電子部品検査装置は、電子部品を搬送する搬送部と、前記電子部品に係る検査条件を入力する入力部と、前記検査条件に基づいて、適用するチェンジキットを抽出する抽出部と、抽出した前記チェンジキットの表示データを生成する画像処理部とを含む制御部、および前記表示データを表示する表示部を備えている電子部品搬送装置と、前記電子部品を検査する検査部と、を備えている。
【０１７６】
本態様によれば、電子部品検査装置は、設定された電子部品に係る検査条件に基づいて抽出された適用の必要なチェンジキットを表示部に表示する。ユーザーは、適用するチェンジキットの交換に際し、表示部に明確に表示された交換の必要なチェンジキットを確認しながら交換を行うことができるため、検査条件に応じたチェンジキットの不装着を減少させることができる。なお、チェンジキットの不装着には、例えばチェンジキットを交換し忘れたり、チェンジキットを間違えて装着したりするなどの事象が含まれる。
【符号の説明】
【０１７７】
１…電子部品検査装置としての検査装置、５…筐体部、７…扉部、１０…電子部品搬送装置としての搬送装置、１１Ａ，１１Ｂ…トレイ搬送機構、１２…温度調整部、１３…搬送ロボットとしての供給ロボット、１４…電子部品供給部、１５…供給空トレイ搬送機構、１６…検査部、１７…測定ロボット、１８…電子部品回収部、１９…回収用トレイ、２０…搬送ロボットとしての回収ロボット、２１…回収空トレイ搬送機構、２２Ａ，２２Ｂ…トレイ搬送機構、３０…制御装置、３１…制御部、３２…記憶部、４０…報知部、４１…表示部、４２…操作部、４５…音出力部、５０…画像取得部、５１…撮像部としての撮像装置、５２…照明装置、８０…搬送部、９０…電子部品としてのＩＣデバイス、１００…収容部材としての部品保持板、１１１〜１１８…凹部、１２１〜１２６…溝部、１３１…搬送アーム、２００…収容部材としてのトレイ、３１１…駆動制御部、３１２…検査制御部、３１３…撮像制御部、３１４…抽出部、３１５…画像処理部、３１６…判定部、３１７…報知処理部、Ａ１…トレイ供給領域、Ａ２…デバイス供給領域、Ａ３…検査領域、Ａ４…デバイス回収領域、Ａ５…トレイ除去領域。
【図１】
2020118632.tif 000003
【図２】
2020118632.tif 000004
【図３】
2020118632.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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