(57)【要約】【課題】信頼性の低下を抑えることが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】  本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、液体が流入する、複数の通液室と、前記通液室に設けられた導電膜と、前記導電膜を覆う保護膜と、前記複数の通液室に連通され、かつ、流体の導入部と、前記流体の経路に沿って前記導入部から最も遠い位置に設けられた最遠端部を有する流路と、前記最遠端部近傍の前記流路を前記流路の外側に接続することにより、前記最遠端部近傍の前記流路と前記通液室との間の前記流体の流れを促進する流量調整部とを備えている。【選択図】図１０
2020104321.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流入する、複数の通液室と、
前記通液室に設けられた導電膜と、
前記導電膜を覆う保護膜と、
前記複数の通液室に連通され、かつ、流体の導入部と、前記流体の経路に沿って前記導入部から最も遠い位置に設けられた最遠端部を有する流路と、
前記最遠端部近傍の前記流路を前記流路の外側に接続することにより、前記最遠端部近傍の前記流路と前記通液室との間の前記流体の流れを促進する流量調整部と
を備えた液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記流量調整部にも前記保護膜が設けられている
請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記流量調整部は、複数の溝により構成されている
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記流量調整部は、前記液体が通過しないように構成されている
請求項１ないし請求項３のうちいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
更に、前記流量調整部を埋める接着剤を含む
請求項１ないし請求項４のうちいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記流量調整部は、
前記液体が通過しないように構成された第１流量調整部と、
前記第１流量調整部と離間して配置されるとともに、前記液体が通過可能に構成された第２流量調整部とを含む
請求項１ないし請求項５のうちいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記第１流量調整部を複数有し、
前記流路から前記流路の外側に向かう方向に対して垂直方向の前記複数の前記第１流量調整部の断面積の合計は、前記流路から前記流路の外側に向かう方向に対して垂直方向の前記第２流量調整部の断面積よりも大きい
請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記液体は、前記流路を介して前記通液室に流入する
請求項１ないし請求項７のうちいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記最遠端部は閉塞されている
請求項１ないし請求項８のうちいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
前記保護膜は、パラキシリレン系樹脂材料、酸化タンタル、窒化シリコン、炭化シリコン、酸化シリコンおよびダイヤモンドライクカーボンのうちの少なくともいずれか一つを含む
請求項１ないし請求項９のうちいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
更に、
それぞれに前記通液室が複数設けられ、互いに対向して設けられた一対のアクチュエータプレートと、
前記一対のアクチュエータプレートに交差する方向に配置されるとともに、前記通液室に連通する循環路を有する帰還プレートと、
前記一対のアクチュエータプレートの間に配置されるとともに、前記流路と、前記循環路に連通する出口流路とを有する流路プレートと、
前記流路プレートと前記一対のアクチュエータプレートとの間に設けられるとともに、前記流路および前記通液室に連通する液体供給路を有する一対のカバープレートとを含み、
前記流路プレートに前記流量調整部が設けられている
請求項１ないし請求項１０のうちいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項１１のうちいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。
【請求項１３】
流体の導入部を有するとともに、前記導入部から前記流体の経路に沿って最も遠い位置に設けられた最遠端部を有する流路を形成する工程と、
前記最遠端部近傍の前記流路を前記流路の外側に接続する流量調整部を形成する工程と、
導電膜を有する通液室に、前記流路を連通させる工程と、
前記通液室に前記流路を連通させた後、前記流路および前記流量調整部を用いて前記導電膜を覆う保護膜を形成する工程と
を含む液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記保護膜を形成する工程は、前記流体を前記流路から前記通液室に流入させる工程を含み、
前記流体を前記流路から前記通液室に流入させる工程では、前記流量調整部が前記最遠端部近傍の前記流路から前記通液室への前記流体の流れを促進する
請求項１３に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記流量調整部を形成する工程では、複数の前記流量調整部を形成し、
更に、前記保護膜を形成した後、前記複数の前記流量調整部のうちの少なくとも一部の前記流量調整部に、前記通液室に流入した液体が通過しないように処置を施す工程を含む
請求項１３または請求項１４に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、液体噴射ヘッドおよびその製造方法、ならびに液体噴射記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射記録装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出（噴射）して画像や文字等の記録を行う、インクジェット方式の記録装置が提供されている。この方式の液体噴射記録装置では、インクタンクからインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）へインクを供給し、このインクジェットヘッドのノズル孔から被記録媒体に対してインクを吐出することで、画像や文字等の記録が行われるようになっている。
【０００３】
このインクジェットヘッドは、液体を噴射させるために電気的に駆動されるアクチュエータプレートを含んでいる。アクチュエータプレートには、複数の吐出チャネルが設けられている（例えば、特許文献１参照）。複数の吐出チャネル各々には、電極と、電極を覆う保護膜とが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−１２２５５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなインクジェットヘッドでは、例えば、吐出チャネルに十分な厚みの保護膜を形成することができないと、信頼性が低下するおそれがある。
【０００６】
そこで、信頼性の低下を抑えることが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの製造方法を提供することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、液体が流入する、複数の通液室と、通液室に設けられた導電膜と、導電膜を覆う保護膜と、複数の通液室に連通され、かつ、流体の導入部と、流体の経路に沿って導入部から最も遠い位置に設けられた最遠端部を有する流路と、最遠端部近傍の流路を流路の外側に接続することにより、最遠端部近傍の流路と通液室との間の流体の流れを促進する流量調整部とを備えたものである。
【０００８】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドと、液体を収容する収容部とを備えたものである。
【０００９】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、流体の導入部を有するとともに、導入部から流体の経路に沿って最も遠い位置に設けられた最遠端部を有する流路を形成する工程と、最遠端部近傍の流路を流路の外側に接続する流量調整部を形成する工程と、導電膜を有する通液室に、流路を連通させる工程と、通液室に流路を連通させた後、流路および流量調整部を用いて導電膜を覆う保護膜を形成する工程とを含むものである。
【発明の効果】
【００１０】
本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの製造方法によれば、信頼性の低下を抑えることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。
【図２】図１に示した液体噴射ヘッドおよびインク循環機構の概略構成例を表す模式図である。
【図３】図１に示した液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図４】図１に示した液体噴射ヘッドの断面図である。
【図５】図１に示した液体噴射ヘッドの他の断面図である。
【図６】図１に示した液体噴射ヘッドにおける、吐出溝の延在方向と直交する断面を拡大して表す断面図である。
【図７】図６に示した吐出溝および非吐出溝の構成を拡大して表す断面図である。
【図８】図３に示した液体噴射ヘッドチップの一部を拡大して表す分解図である。
【図９】図３に示したカバープレートを拡大して表す斜視図である。
【図１０】図３に示した流路プレートを拡大して表す斜視図である。
【図１１】図１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一例を表す流れ図である。
【図１２】図１１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を表す断面図である。
【図１３】図１１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を表す斜視図である。
【図１４】図１３に示したＸＩＶ−ＸＩＶ線に沿った断面を表す模式図である。
【図１５】図１１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を表す平面図である。
【図１６】図１１に示した液体噴射ヘッドの製造方法の一工程を表す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。このプリンタ１は、インクを利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。
【００１４】
プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、供給チューブ５０と、走査機構６と、インク循環機構８とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１５】
ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。
【００１６】
搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ−Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。
【００１７】
（インクタンク３）
インクタンク３は、インクを内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｋ）の４色のインクを個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインクを収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインクを収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインクを収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインクを収容するインクタンク３Ｋとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００１８】
なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋはそれぞれ、収容するインクの色以外については同一の構成であるので、以下ではインクタンク３と総称して説明する。ここで、インクタンク３が本開示の「収容部」の一具体例に対応する。
【００１９】
（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル７８から記録紙Ｐに対して液滴状のインクを噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋにそれぞれ収容されている４色のインクを個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインクを噴射するインクジェットヘッド４Ｋとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００２０】
なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋはそれぞれ、利用するインクの色以外については同一の構成であるので、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する（図３など参照）。
【００２１】
供給チューブ５０は、インクタンク３内からインクジェットヘッド４内へとインクを供給するためのチューブである。
【００２２】
（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール３１，３２と、これらのガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、このキャリッジ３３をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構３４と、を有している。また、駆動機構３４は、ガイドレール３１，３２の間に配置された一対のプーリ３５，３６と、これらのプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、プーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を有している。
【００２３】
プーリ３５，３６はそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール３１，３２における両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト３７には、キャリッジ３３が連結されている。このキャリッジ３３は、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋを載置する平板状の基台３３ａと、この基台３３ａから垂直（Ｚ軸方向）に立ち上げられた壁部３３ｂとを有している。基台３３ａ上には、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋが、Ｙ軸方向に沿って並んで載置されている。
【００２４】
なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。
【００２５】
（インク循環機構８）
図２は、インク循環機構８の概略構成例を表した模式図である。インク循環機構８は、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間でインクを循環させる機構であり、インク供給管８１およびインク排出管８２により構成される循環流路８３と、インク供給管８１に設けられた加圧ポンプ８４と、インク排出管８２に設けられた吸引ポンプ８５とを備える。インク供給管８１およびインク排出管８２は、例えば、インクジェットヘッド４を支持する走査機構６の動作に追従可能な程度に可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。
【００２６】
加圧ポンプ８４は、インク供給管８１内を加圧し、インク供給管８１を通してインクジェットヘッド４にインクを送り出すものである。加圧ポンプ８４の機能により、インクジェットヘッド４に対し、加圧ポンプ８４とインクジェットヘッド４との間のインク供給管８１内は正圧となっている。
【００２７】
吸引ポンプ８５は、インク排出管８２内を減圧し、インク排出管８２を通してインクジェットヘッド４からインクを吸引するものである。吸引ポンプ８５の機能により、インクジェットヘッド４に対して、吸引ポンプ８５とインクジェットヘッド４との間のインク排出管８２内は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ８４および吸引ポンプ８５の駆動により、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間を、循環流路８３を通して循環可能となっている。
【００２８】
［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１に加えて図３〜図１０を参照して、インクジェットヘッド４の詳細構成例について説明する。図３は、インクジェットヘッド４の詳細構成例を、斜視図で表したものである。
【００２９】
図３に示したように、インクジェットヘッド４は、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂと、流路プレート４１と、入口マニホールド４２と、出口マニホールド（不図示）と、帰還プレート４３と、ノズルプレート（噴射プレート）４４とを備える。インクジェットヘッド４は、後出の吐出チャネル５４の延在方向（Ｚ軸方向）の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのうち、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間でインクを循環させる循環式（エッジシュート循環式）のものである。
【００３０】
（ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂ）
一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは互いに実質的に同一の構成を有しており、Ｙ軸方向において流路プレート４１を挟んで実質的に対称の姿勢をなすように実質的に対称の位置に設けられている。以下では、特に区別が必要のない場合は、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂをヘッドチップ４０と総称して説明する。
【００３１】
（アクチュエータプレート５１）
アクチュエータプレート５１は、Ｘ軸方向を長手方向とすると共にＺ軸方向を短手方向とする、ＸＺ面に沿って広がる板状部材である。アクチュエータプレート５１は、厚さ方向（Ｙ軸方向）において互いに異なる分極方向を有する２枚の圧電基板を積層した、いわゆるシェブロンタイプの積層基板である（後出の図６参照）。それらの圧電基板は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料からなるセラミックス基板が好適に用いられる。
【００３２】
アクチュエータプレート５１のうちのカバープレート５２に接合された表面５１ｆ１には、それぞれＺ軸方向へ直線状に延在する複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５が設けられている。吐出チャネル５４とダミーチャネル５５とは、Ｘ軸方向において互いに離間して交互に配置されている。吐出チャネル５４とダミーチャネル５５とは、駆動壁５６によって仕切られている。このため、アクチュエータプレート５１は、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の延在方向（Ｚ軸方向）と直交する断面（ＸＹ断面）において、凹状の溝部が複数並ぶ構造となっている（図６参照）。ここでは、吐出チャネル５４が、本開示の「通液室」の一具体例に対応する。
【００３３】
図４は、インクジェットヘッド４における、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４およびヘッドチップ４０Ｂのダミーチャネル５５を含む断面の構成例を表す断面図である。図５は、インクジェットヘッド４における、ヘッドチップ４０Ａのダミーチャネル５５およびヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４を含む断面の構成例を表す断面図である。図６は、インクジェットヘッド４における、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の延在方向（Ｚ軸方向）と直交する断面（ＸＹ断面）を拡大して表す断面図である。図７は、図６に示した吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の構成を拡大して表す断面図である。図８は、ヘッドチップ４０の一部を拡大して表す分解図である。
【００３４】
吐出チャネル５４は、インクに対して圧力を印加するための圧力室として機能する部分である。吐出チャネル５４の上端部はアクチュエータプレート５１の上端面（帰還プレート４３と反対側の面）５１２に至らずにアクチュエータプレート５１内で終端している。これに対し吐出チャネル５４の下端部は、図８に示したようにアクチュエータプレート５１の下端面（帰還プレート４３と対向する面）５１１に至るまで延在している。下端面５１１には、吐出チャネル５４の開口５４Ｋが設けられている（図８）。開口５４Ｋは、帰還プレート４３に対向する位置に設けられている。
【００３５】
吐出チャネル５４は、下端部に位置する延在部５４ａと、延在部５４ａよりも上端面５１２側に設けられた切り上がり部５４ｂと、を有している。延在部５４ａは、Ｚ方向の全体に亘って溝の深さ（Ｙ方向の大きさ）が一定になっている。切り上がり部５４ｂは、延在部５４ａに連続して設けられている。切り上がり部５４ｂでは、上端面５１２に向かうに従い溝の深さが徐々に浅くなっている。
【００３６】
吐出チャネル５４の内面は、共通電極６１によって例えば全面的に覆われている。但し、共通電極６１は、吐出チャネル５４の内面の一部のみを覆うものであってもよい。共通電極６１は、アクチュエータ側共通パッド６２（以下、ＡＰ側共通パッド６２という。）に接続されている。ＡＰ側共通パッド６２は、表面５１ｆ１の上端部５１ｂに設けられている。ここでは、共通電極６１が、本開示の「導電膜」の一具体例に対応する。
【００３７】
ダミーチャネル５５には、インクが充填されないようになっている。例えば、ダミーチャネル５５の上端部はアクチュエータプレート５１の上端面５１２に至るまで延在し、ダミーチャネル５５の下端部は、図８に示したようにアクチュエータプレート５１の下端面５１１に至るまで延在している。即ち、下端面５１１および上端面５１２には、複数のダミーチャネル５５それぞれに連通する開口が設けられている。
【００３８】
ダミーチャネル５５は、下端部に位置する延在部５５ａと、延在部５５ａよりも上端面５１２側に設けられた切り上がり部５５ｂと、を有している。延在部５５ａは、Ｚ方向の全体に亘って溝の深さが一定になっている。この延在部５５ａのＺ方向の長さは、吐出チャネル５４の延在部５４ａのＺ方向の長さよりも長い。切り上がり部５５ｂは、延在部５５ａに連続して設けられている。切り上がり部５５ｂでは、上端面５１２に向かうに従い溝の深さが徐々に浅くなっている。この切り上がり部５５ｂの勾配は、吐出チャネル５４の切り上がり部５４ｂの勾配と実質的に同じである。すなわち、吐出チャネル５４及びダミーチャネル５５において、延在部５４ａ，５５ａのＺ方向の長さの違いによる勾配開始位置は異なるが、勾配自体（斜度、曲率）は実質的に同じである。
【００３９】
ダミーチャネル５５のうちの対向する１対の側面は、個別電極６３（以下、個別電極６３という。）によって全面的に覆われている。但し、個別電極６３は、ダミーチャネル５５の側面の一部のみを覆うものであってもよい。また、ダミーチャネル５５における１対の側面を覆う１対の個別電極６３同士は互いに絶縁されている。個別電極６３は、表面５１ｆ１のうち吐出チャネル５４の上端部５１ｂの他の一部を覆うアクチュエータ側個別配線６４（以下、ＡＰ側個別配線６４という。）と接続されている。なお、本実施の形態では、ＡＰ側個別配線６４は、上端部５１ｂのうちＡＰ側共通パッド６２よりも上方に位置する部分をＸ軸方向に延在するように設けられている。ＡＰ側個別配線６４は、吐出チャネル５４を間に挟んで隣り合う一対の個別電極６３同士を接続している。
【００４０】
複数の共通電極６１および複数の個別電極６３はそれぞれ、図７に示したように、保護膜ＰＦにより覆われている。これにより、共通電極６１および個別電極６３とインクとの接触が抑えられ、複数の共通電極６１および複数の個別電極６３の腐食等の発生を抑えることが可能となる。
【００４１】
保護膜ＰＦは、例えば、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５各々に設けられ、吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５各々の内側面および底面を覆っている。保護膜ＰＦは、共通電極６１を間にして吐出チャネル５４の内側面および底面を覆い、個別電極６３を間にしてダミーチャネル５５の内側面を覆っている。複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５のうち、複数の吐出チャネル５４のみに保護膜ＰＦを設けるようにしてもよい。保護膜ＰＦは、例えば、パラキシリレン系樹脂材料（例えば、パリレン（登録商標））等の有機絶縁材料を含んでいる。保護膜ＰＦは、酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、炭化シリコン（ＳｉＣ）、酸化シリコン（ＳｉＯ2）またはダイヤモンドライクカーボン（Diamond-like carbon）等により構成されていてもよく、これらの少なくともいずれか一つを含んでいてもよい。このような材料を用いて保護膜ＰＦを形成することにより、保護膜ＰＦの下側へのインクの浸入を抑え、共通電極６１および個別電極６３を確実に保護することが可能となる。
【００４２】
（カバープレート５２）
図９は、カバープレート５２の構成の一例を表す斜視図である。カバープレート５２は、Ｘ軸方向を長手方向とすると共にＺ軸方向を短手方向とする、ＸＺ面に沿って広がる板状部材である。図４，図５に示したように、カバープレート５２は、アクチュエータプレート５１の表面５１ｆ１に貼り合わされた表面５２ｆ１と、流路プレート４１に貼り合わされた裏面５２ｆ２とを有している。カバープレート５２は、例えば、アクチュエータプレート５１よりも大きく、アクチュエータプレート５１からＺ軸方向に拡幅する部分（上端部５２ｂ）を有している。
【００４３】
カバープレート５２は、絶縁性を有し、かつアクチュエータプレート５１を形成する材料の熱伝導率と同等以上の熱伝導率を有する材料により形成されているとよい。例えば、アクチュエータプレート５１をＰＺＴにより形成した場合、カバープレート５２は、ＰＺＴまたはシリコンにより形成することが好ましい。これにより、ヘッドチップ４０Ａのカバープレート５２の温度とヘッドチップ４０Ｂのカバープレート５２の温度との差が低減され、インクジェットヘッド４内におけるインク温度の均一化を図ることができるからである。その結果、インクの吐出速度のばらつきが低減され、印字安定性が向上する。
【００４４】
このようなカバープレート５２には、カバープレート５２をＹ軸方向（厚さ方向）に貫通するとともに、吐出チャネル５４に連通する液体供給路７０が形成されている。液体供給路７０は、Ｙ軸方向の流路プレート４１側に開口する共通インク室７１と、共通インク室７１とそれぞれ連通すると共にＹ軸方向のアクチュエータプレート５１側に開口する複数のスリット７２とを含んでいる。複数のスリット７２は、複数の吐出チャネル５４と対応する位置に設けられている。共通インク室７１は、複数のスリット７２に対し共通に設けられており、複数のスリット７２を通じて各吐出チャネル５４と連通している。共通インク室７１は、ダミーチャネル５５には連通していない。
【００４５】
共通インク室７１は裏面５２ｆ２に形成されている。共通インク室７１は、Ｚ軸方向において、吐出チャネル５４の切り上がり部５４ｂと実質的に同じ位置に配置されている。共通インク室７１は、表面５２ｆ１側に向けて窪むと共にＸ軸方向に延在する溝状に形成されている。共通インク室７１には、流路プレート４１を通じてインクが流入するようになっている。
【００４６】
複数のスリット７２は表面５２ｆ１に形成されている。複数のスリット７２は、Ｙ軸方向において共通インク室７１の一部とそれぞれ重なり合う位置に配置されている。複数のスリット７２は、共通インク室７１と複数の吐出チャネル５４とに連通している。各スリット７２のＸ軸方向の幅は、各吐出チャネル５４のＸ軸方向の幅と実質的に同じであることが望ましい。
【００４７】
表面５２ｆ１には、カバープレート側共通パッド６６（以下「ＣＰ側共通パッド６６」という。）が設けられている（図８）。このＣＰ側共通パッド６６は、例えば複数のスリット７２それぞれの周囲に設けられている。ＣＰ側共通パッド６６は、ＡＰ側共通パッド６２に対向する位置に配置され、ＡＰ側共通パッド６２に接している。即ち、ＣＰ側共通パッド６６は、ＡＰ側共通パッド６２を介して共通電極６１に電気的に接続されている。
【００４８】
裏面５２ｆ２には、共通引出配線６７が設けられている。この共通引出配線６７は、共通インク室７１の周囲に設けられている（図４，図５）。共通引出配線６７は、例えば、スリット７２内および共通インク室７１内に設けられた配線を介してＣＰ側共通パッド６６に電気的に接続されている。共通引出配線６７は、例えば、カバープレート５２の上端面５２２を介して表面５２ｆ１に引き出されている。表面５２ｆ１では、上端部５２ｂに設けられた共通引出配線６７が、フレキシブル基板４５（外部配線）に接続されている。
【００４９】
表面５２ｆ１には、ＣＰ側共通パッド６６とともに、複数のカバープレート側個別配線６９（以下「ＣＰ側個別配線６９」という。）が設けられている。複数のＣＰ側個別配線６９は、表面５２ｆ１の上端部５２ｂに、互いに分離して設けられている。ＣＰ側個別配線６９の一部は、ＡＰ側個別配線６４に対向する位置に配置され、ＡＰ側個別配線６４に接している。即ち、ＣＰ側個別配線６９は、ＡＰ側個別配線６４を介して個別電極６３に電気的に接続されている。ＣＰ側個別配線６９は、ＡＰ側個別配線６４に対向する位置から、カバープレート５２の上端に延在している。このＣＰ側個別配線６９にフレキシブル基板４５が接続されている。
【００５０】
（一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの配置関係）
図３に示したように、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂは、各々の裏面５２ｆ２同士をＹ方向で対向させた状態で、Ｙ軸方向に流路プレート４１を挟んで配置されている。
【００５１】
ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５は、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５の配列ピッチに対してＸ軸方向に半ピッチずれて配列されている。すなわち、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５と、ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５とが千鳥状に配列されている。
【００５２】
このため、図４に示したように、ヘッドチップ４０Ａの吐出チャネル５４と、ヘッドチップ４０Ｂのダミーチャネル５５とがＹ軸方向で対向している。同様に、図５に示したように、ヘッドチップ４０Ａのダミーチャネル５５と、ヘッドチップ４０Ｂの吐出チャネル５４とがＹ軸方向で対向している。なお、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂにおける各々の吐出チャネル５４およびダミーチャネル５５のピッチは適宜変更可能である。
【００５３】
（流路プレート４１）
流路プレート４１は、Ｙ軸方向においてヘッドチップ４０Ａとヘッドチップ４０Ｂとの間に挟持されている。流路プレート４１は、同一の部材により一体に形成されているとよい。図３に示したように、流路プレート４１は、Ｘ軸方向を長手方向としＺ軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。Ｙ軸方向から見て、流路プレート４１の外形は、カバープレート５２の外形と実質的に同じである。
【００５４】
流路プレート４１のＹ軸方向における主面４１ａ（ヘッドチップ４０Ａと対向する面）には、ヘッドチップ４０Ａにおける裏面５２ｆ２が接合されている。流路プレート４１のＹ軸方向における主面４１ｂ（ヘッドチップ４０Ｂと対向する面）には、ヘッドチップ４０Ｂにおける裏面５２ｆ２が接合されている。
【００５５】
図４および図５に示したように、流路プレート４１の各主面４１ｆ１，４１ｆ２には、共通インク室７１に各別に連通する入口流路７４と、帰還プレート４３の循環路７６に各別に連通する出口流路７５とが形成されている。各主面４１ｆ１，４１ｆ２では、入口流路７４と出口流路７５とがＺ方向に並ぶように形成されている。流路プレート４１は、カバープレート５２を構成する材料の熱伝導率以上の熱伝導率を有する材料により構成されていることが好ましい。
【００５６】
各入口流路７４は、流路プレート４１の各主面４１ｆ１，４１ｆ２からＹ方向の内側に向けて窪むように設けられたインクの流路であり、インクは入口マニホールド４２から入口流路７４およびカバープレート５２の液体供給路７０を介してアクチュエータプレート５１の吐出チャネル５４に供給されるようになっている。各入口流路７４は、屈曲部または湾曲部を有していてもよいが、ほぼ流路プレート４１の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って延在している。各入口流路７４の一端にはインクの導入部７４ｉが設けられ、各入口流路７４の他端には閉塞端部７４ｍが設けられている。導入部７４ｉは、流路プレート４１の一端面（ＹＺ平面）に設けられた開口である。各入口流路７４は、この開口から下方にクランク状に屈曲した後、Ｘ軸方向に直線状に延在し、閉塞端部７４ｍに達している。閉塞端部７４ｍは、インクの経路に沿って導入部７４ｉから最も遠い位置に配置されている。この閉塞端部７４ｍでは、入口流路７４の他端が流路プレート４１の他端面（ＹＺ平面）により閉塞されている。ここでは、入口流路７４が本開示の「流路」の一具体例、導入部７４ｉが本開示の「導入部」の一具体例、閉塞端部７４ｍが本開示の「最遠端部」の一具体例にそれぞれ対応する。
【００５７】
図４，図５に示すように、入口流路７４のＺ方向の大きさは、例えば、共通インク室７１のＺ方向の大きさよりも大きくなっている。入口流路７４のＺ方向の大きさは、共通インク室７１のＺ方向の大きさ以下であってもよい。
【００５８】
図４，図５に示すように、ヘッドチップ４０Ａにインクを供給する入口流路７４とヘッドチップ４０Ｂにインクを供給する入口流路７４とは、互いに離間して配置されている。Ｙ方向に間隔をあけて配置されている。換言すれば、流路プレート４１には、２つの入口流路７４を隔てる壁４１Ｗが設けられている。壁４１Ｗは、Ｘ軸方向に延在している。このような壁４１Ｗを設けることにより、インク吐出時等に発生する吐出チャネル５４内の圧力変動の衝撃が壁４１Ｗで遮られる。したがって、ヘッドチップ４０Ａとヘッドチップ４０Ｂとの間で、この圧力変動がインクの流路を介して他の吐出チャネル５４等に及ぼす影響を小さくすることができる。即ち、いわゆるクロストークを抑制し、優れた吐出性能（印字安定性）を得ることができる。
【００５９】
出口流路７５は、流路プレート４１の各主面４１ｆ１，４１ｆ２からＹ軸方向の内側に向けて窪むように設けられたインクの流路であり、インクは帰還プレート４３から出口流路７５を介して出口マニホールドに排出されるようになっている。各出口流路７５は、屈曲部または湾曲部を有していてもよいが、ほぼ流路プレート４１の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って延在している。各出口流路７５の一端は、流路プレート４１の他端面に開口している。各出口流路７５は、この開口から下方にクランク状に屈曲した後、Ｘ軸方向に延在している。出口流路７５のうち、このＸ軸方向に延在する部分は、流路プレート４１の下端面４１１に設けられた開口に連通している。各出口流路７５の他端は、例えば、流路プレート４１の一端面により閉塞されている。即ち、Ｘ軸方向において、入口流路７４の閉塞端部７４ｍ側に、出口流路７５の開口が配置されている。
【００６０】
図４，図５に示したように、出口流路７５のＺ軸方向の大きさは、入口流路７４のＺ軸方向の大きさよりも小さいとよい。また、出口流路７５のＹ軸方向の大きさは、入口流路７４のＹ軸方向の大きさと実質的に同じである。出口流路７５は、流路プレート４１の他端面に設けられた開口を介して出口マニホールド（図示せず）に接続されている。出口マニホールドは、インク排出管８２（図２参照）に接続されている。
【００６１】
図１０は、流路プレート４１の、より詳細な構成を表す斜視図である。本実施の形態では、流路プレート４１が、入口流路７４に接続された第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂを有している。第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂは、入口流路７４を入口流路７４の外側に接続するように設けられている。詳細は後述するが、これにより、保護膜ＰＦを形成する際に、保護膜ＰＦを形成するための流体が入口流路７４から各吐出チャネル５４に流れやすくなり、各吐出チャネル５４に十分な厚みの保護膜ＰＦを形成することができる。
【００６２】
第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂは、例えば、各主面４１ｆ１，４１ｆ２のうち、入口流路７４の周囲に設けられた溝により構成されている。第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂは、例えば、入口流路７４と出口流路７５とを繋ぐように設けられている。第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂは、入口流路７４に接続されたトンネル状の穴により構成されていてもよい。溝により構成された第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂは、例えばトンネル状の穴により第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂを構成する場合に比べて、簡便に形成することができる。
【００６３】
第１流量調整部４１ｇａは、例えば接着剤Ｂ等に埋められており、入口流路７４と出口流路７５との間で第１流量調整部４１ｇａを介してインクが流れないようになっている。このような第１流量調整部４１ｇａは、入口流路７４を入口流路７４の外側に接続するように設けられていればよく、例えば、入口流路７４を流路プレート４１の外側に接続するように設けられていてもよい。一方、第２流量調整部４１ｇｂの溝は塞がれていない。このような第２流量調整部４１ｇｂは、入口流路７４を出口流路７５に接続するように設けられていることが好ましい。このように入口流路７４および出口流路７５に連通する第２流量調整部４１ｇｂを設けることにより、入口流路７４と出口流路７５との間でインクを流すことができる。
【００６４】
第１流量調整部４１ｇａは、各入口流路７４の閉塞端部７４ｍ近傍に複数設けられている。ここで、閉塞端部７４ｍ近傍とは、第１流量調整部４１ｇａを設けた際に、閉塞端部７４ｍに起因する流体のよどみを緩和可能な範囲の領域であり、例えば、導入部７４ｉよりも閉塞端部７４ｍに近い領域である。複数の第１流量調整部４１ｇａは、例えば互いに離間し、入口流路７４の周囲の長辺（入口流路７４の延在方向、即ちＸ軸方向の辺）に並んで配置されている。この複数の第１流量調整部４１ｇａはそれぞれ、Ｚ軸方向に延在している。この複数の第１流量調整部４１ｇａは、後述するように、保護膜ＰＦを形成した後、接着剤Ｂにより埋められる。換言すれば、保護膜ＰＦを形成する際には、第１流量調整部４１ｇａは、入口流路７４および出口流路７５に連通しており、保護膜ＰＦを形成するための流体が第１流量調整部４１ｇａを通過するようになっている。第１流量調整部４１ｇａ内には、保護膜ＰＦおよび接着剤Ｂがこの順に設けられている。ここで、保護膜ＰＦを形成するための流体が、本開示の「流体」の一具体例に対応する。
【００６５】
第１流量調整部４１ｇａを埋める接着剤Ｂは、例えば、プレート間（例えば、カバープレート５２およびアクチュエータプレート５１）を接合する接着剤により構成されている。プレート間を接合するための接着剤を用いて第１流量調整部４１ｇａを埋めることにより、材料に要するコストを抑えることが可能となる。接着剤Ｂは、仮に、入口流路７４から第１流量調整部４１ｇａにインクが流入しても、このインクが第１流量調整部４１ｇａを通過して出口流路７５に流れないように設けられていればよい。接着剤Ｂは、第１流量調整部４１ｇａを完全に埋めていなくてもよく、第１流量調整部４１ｇａの一部に接着剤Ｂが設けられていてもよい。このような接着剤Ｂは、例えば、例えばエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂またはシリコーン系樹脂等を含む樹脂材料により構成されている。第１流量調整部４１ｇａは、接着剤Ｂ以外の材料により埋められていてもよい。あるいは、第１流量調整部４１ｇａを介した入口流路７４から出口流路７５へのインクの流れを止めるように、堰止部材を設けるようにしてもよい。
【００６６】
例えば、保護膜ＰＦを形成する際には、第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂのうち、主に第１流量調整部４１ｇａにより、閉塞端部７４ｍ近傍での入口流路７４から吐出チャネル５４への流体の流れが促進される。このため、複数の第１流量調整部４１ｇａが接着剤Ｂにより埋められる前の状態では、保護膜ＰＦの形成するための流体が、第２流量調整部４１ｇｂよりも第１流量調整部４１ｇａを通過しやすくなっていることが好ましい。
【００６７】
例えば、複数の第１流量調整部４１ｇａの断面積の合計は、第２流量調整部４１ｇｂの断面積よりも大きくなっている。第２流量調整部４１ｇｂが複数設けられている場合には、複数の第１流量調整部４１ｇａの断面積の合計は、複数の第２流量調整部４１ｇｂの断面積の合計よりも大きくなっている。この第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂの断面積は、入口流路７４から出口流路７５に向かう方向に対して垂直方向の断面の面積であり、第１流量調整部４１ｇａではＸＹ断面の面積に対応する。また、このように、比較的断面積の大きな第１流量調整部４１ｇａを接着剤Ｂにより埋めることで、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂを駆動させた際に、入口流路７４から第１流量調整部４１ｇａを介した出口流路７５へのインクの漏れが生じにくくなる。したがって、十分な量のインクを入口流路７４から各吐出チャネル５４へ供給することが可能となる。
【００６８】
第２流量調整部４１ｇｂは、複数の第１流量調整部４１ｇａそれぞれから離間して配置されていることが好ましい。複数の第１流量調整部４１ｇａそれぞれと第２流量調整部４１ｇｂとを離間して設けることにより、複数の第１流量調整部４１ｇａそれぞれを接着剤Ｂにより埋める際に、複数の第１流量調整部４１ｇａとともに第２流量調整部４１ｇｂも接着剤Ｂで埋められることを防ぎやすくなる。保護膜ＰＦを形成する際には、保護膜ＰＦの形成するための流体が第１流量調整部４１ｇａとともに、第２流量調整部４１ｇｂも通過する。例えば、第２流量調整部４１ｇｂを構成する溝の壁面には保護膜ＰＦが設けられている。
【００６９】
例えば、流路プレート４１には、複数の第２流量調整部４１ｇｂが設けられている。例えば、複数の第２流量調整部４１ｇｂの一部（ここでは、各主面４１ｆ１，４１ｆ２に一つずつ）は、各入口流路７４の導入部７４ｉ近傍に設けられている。この第２流量調整部４１ｇｂは、例えば、入口流路７４の周囲の長辺に配置され、Ｚ軸方向に延在している。例えば、残りの第２流量調整部４１ｇｂ（ここでは、各主面４１ｆ１，４１ｆ２に一つずつ）は、各入口流路７４の閉塞端部７４ｍ近傍に設けられている。この第２流量調整部４１ｇｂは、例えば、入口流路７４の周囲の短辺（Ｚ軸方向の辺）に配置され、Ｘ軸方向に延在している。このように、第１流量調整部４１ｇａに比較的近い位置（閉塞端部７４ｍ近傍）に、第２流量調整部４１ｇｂを配置する場合には、第１流量調整部４１ｇａが設けられた入口流路７４の周囲の辺（長辺）とは異なる辺に第２流量調整部４１ｇｂを設けることが好ましい。
【００７０】
第２流量調整部４１ｇｂを設けることにより、入口流路７４と出口流路７５との間で、微量なインクを流すことができる。例えば、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂを駆動させた際に、入口流路７４のインクの気泡を入口流路７４の外側に排出し、気泡に起因した吐出動作の不具合の発生を抑えることができる。また、第２流量調整部４１ｇｂを介して、入口流路７４が出口流路７５に連通されるので、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂを駆動させた際に生じる熱が放熱されやすくなる。
【００７１】
なお、入口流路７４の閉塞端部７４ｍ近傍に第２流量調整部４１ｇｂが設けられている場合には、閉塞端部７４ｍ近傍からインクが流れるが、このインクは、入口流路７４全体のインクの流量に比べて極微量に調整される。したがって、入口流路７４の閉塞端部７４ｍ近傍に第２流量調整部４１ｇｂが設けられていても、入口流路７４の他端は実質的に閉塞されているといえる。
【００７２】
（入口マニホールド４２）
図３に示したように、入口マニホールド４２は、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂおよび流路プレート４１のＸ軸方向の一端面に接合されている。入口マニホールド４２には、一対の入口流路７４に連通する供給路７７が形成されている。供給路７７における流路プレート４１と反対側の端部はインク供給管８１（図２参照）に接続されている。
【００７３】
（帰還プレート４３）
帰還プレート４３は、Ｘ軸方向を長手方向としＹ軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。帰還プレート４３は、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの下端面５１１，５２１および流路プレート４１の下端面４１１にまとめて接合されている。すなわち、帰還プレート４３は、ヘッドチップ４０Ａおよびヘッドチップ４０Ｂにおける吐出チャネル５４の開口５４Ｋ側に配設されている。帰還プレート４３は、ヘッドチップ４０Ａとヘッドチップ４０Ｂとにおける吐出チャネル５４の開口５４Ｋと、ノズルプレート４４の上面との間に介在するスペーサプレートである。帰還プレート４３には、ヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの吐出チャネル５４と出口流路７５との間を接続する複数の循環路７６が形成されている。複数の循環路７６は、第１循環路７６ａおよび第２循環路７６ｂを含んでいる。複数の循環路７６は、帰還プレート４３をＺ軸方向に貫通している。
【００７４】
（ノズルプレート４４）
図３に示したように、ノズルプレート４４の外形は、Ｘ軸方向を長手方向としＹ軸方向を短手方向とする矩形板状をなしている。ノズルプレート４４は、帰還プレート４３の下端面に接合されている。ノズルプレート４４には、ノズルプレート４４をＺ軸方向に貫通する複数のノズル７８（噴射孔）が配列されている。複数のノズル７８は、第１ノズル７８ａおよび第２ノズル７８ｂを含む。複数のノズル７８は、ノズルプレート４４をＺ軸方向に貫通している。
【００７５】
図４に示したように、第１ノズル７８ａは、ノズルプレート４４のうち、帰還プレート４３の各第１循環路７６ａとＺ軸方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、第１ノズル７８ａは、第１循環路７６ａと同ピッチで、Ｘ軸方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。第１ノズル７８ａは、第１循環路７６ａにおけるＹ軸方向の外端部で第１循環路７６ａ内に連通している。これにより、各第１ノズル７８ａは、第１循環路７６ａを介してヘッドチップ４０Ａの対応する吐出チャネル５４にそれぞれ連通している。
【００７６】
図５に示したように、第２ノズル７８ｂは、ノズルプレート４４のうち、帰還プレート４３の各第２循環路７６ｂとＺ軸方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、第２ノズル７８ｂは、第２循環路７６ｂと同ピッチで、Ｘ軸方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。第２ノズル７８ｂは、第２循環路７６ｂにおけるＹ軸方向の外側端部で第２循環路７６ｂ内に連通している。これにより、各第２ノズル７８ｂは、第２循環路７６ｂを介してヘッドチップ４０Ｂの対応する吐出チャネル５４にそれぞれ連通している。ダミーチャネル５５は、ノズル７８ａ，７８ｂには連通しておらず、帰還プレート４３により下方から覆われている。
【００７７】
［インクジェットヘッド４の製造方法］
次に、図１〜図１０に加えて図１１〜図１６を参照して、インクジェットヘッド４の製造方法について説明する。図１１は、インクジェットヘッド４の製造方法の一例を表す流れ図である。
【００７８】
まず、アクチュエータプレート５１となるアクチュエータウエハ、カバープレート５２となるカバーウエハおよび流路プレート４１となる流路ウエハをそれぞれ形成する（ステップＳ１）。以下、このステップＳ１について説明する。
【００７９】
アクチュエータウエハを形成する工程では、まず、厚さ方向（Ｙ軸方向）に分極処理された２枚の圧電基板を用意し、各々の分極方向が逆向きとなるようにそれらを積層する。次いで、この圧電基板（後述の図１２の圧電基板１１０）の表面にレジストパターンを形成する。続いて、ダイシングブレード等により、上述の圧電基板の表面に対して切削加工を行う。これにより、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５が形成される。
【００８０】
次に、例えばめっき法を用いて、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５を覆う金属被膜を形成する。金属被膜を形成した後、レジストパターンを除去する（リフトオフ法）。これにより、レジストパターン上に堆積した金属被膜が除去される。めっき法により金属被膜を形成した後、複数のダミーチャネル５５それぞれの内面に形成された金属被膜をパターニングする。
【００８１】
図１２は、ダミーチャネル５５の内面に形成された金属被膜のパターニング工程を表す断面図である。このパターニング工程では、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５を覆う金属被膜のうち、ダミーチャネル５５の底面に位置する部分を例えばレーザ光の照射により除去する。これにより、吐出チャネル５４の内面に共通電極６１が形成され、ダミーチャネル５５の内面に個別電極６３が形成される。また、圧電基板１１０の表面には、対応する共通電極６１および個別電極６３にそれぞれ接続されるＡＰ側共通パッド６２およびＡＰ側個別配線６４（図８参照）が形成される。なお、レーザ光Ｌに代えてダイサーを用いてもよい。
【００８２】
このようにしてアクチュエータウエハを形成することができる。
【００８３】
カバーウエハを形成する工程は、例えば、共通インク室形成工程、スリット形成工程および電極・配線形成工程を含んでいる。図１３および図１４を用いて、このカバーウエハを形成する工程について説明する。
【００８４】
図１３は、共通インク室形成工程を表す平面図である。また、図１４は、共通インク室形成工程に続くスリット形成工程を表す断面図であり、図１３に示したＸＩＶ-ＸＩＶ切断線に沿った矢視方向の断面を表している。図１３に示したように、共通インク室形成工程では、板状部材１２０に対して表面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、共通インク室７１を形成する。続いて、図１４に示すように、スリット形成工程において、板状部材１２０に対して裏面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、共通インク室７１内に各別に連通するスリット７２を形成する。
【００８５】
なお、共通インク室形成工程およびスリット形成工程は、それぞれサンドブラストに限らず、ダイシング、切削等により行っても構わない。
【００８６】
続く電極・配線形成工程では、板状部材１２０にＣＰ側共通パッド６５およびＣＰ側個別配線６９などの各種電極・配線をそれぞれ所定の位置に所定の形状をなすように形成する。具体的には、電極・配線形成工程では、各種電極および各種配線（ＣＰ側共通パッド６５およびＣＰ側個別配線６９）を形成すべき領域に開口を有するマスク（図示せず）を配置する。そののち、そのマスクの上から蒸着等により電極材料を成膜する。あるいは、無電解めっきにより電極材料を成膜してもよい。これにより、マスクの開口を通してカバープレート５２の表面５２ｆ１に各種電極および各種配線となる電極材料が成膜される。なお、マスクとしては、例えば感光性ドライフィルム等を用いることができる。電極材料を成膜したのち、カバープレート５２の全面からマスクを除去する。
【００８７】
このようにしてカバーウエハを形成することができる。
【００８８】
次に、図１５を用いて流路ウエハを形成する工程について説明する。流路ウエハを形成する工程では、まず板状部材１３０に対して表面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、表面側の入口流路７４および表面側の出口流路７５をそれぞれ形成する。また、板状部材１３０の表面を溝状に削り、第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂを形成する。
【００８９】
続いて、板状部材１３０に対して裏面側から図示しないマスクを通してサンドブラスト等を行い、裏面側の入口流路７４および裏面側の出口流路７５を形成する。また、板状部材１３０の裏面を溝状に削り、第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂを形成する。なお、入口流路７４および出口流路７５は、サンドブラストに限らず、ダイシング、切削等により行っても構わない。
【００９０】
このようにして流路ウエハを形成することができる。
【００９１】
アクチュエータウエハ、カバーウエハおよび流路ウエハを形成した後、これらを接合する（図１１のステップＳ２）。具体的には、アクチュエータウエハの表面（アクチュエータプレート５１の表面５１ｆ１が形成される面）に、例えば、接着剤を用いてカバーウエハの表面（カバープレート５２の表面５２ｆ１が形成される面）を貼り合わせる。流路ウエハの表面（流路プレート４１の主面４１ｆ１が形成される面）に、例えば、接着剤を用いて、アクチュエータウエハが接合されたカバーウエハの裏面を貼り合わせる。同様に、流路ウエハの裏面にも、カバーウエハおよびアクチュエータウエハを接合する。
【００９２】
図１６は、この接合工程を表す断面図であり、図１５に示したＸＶＩ−ＸＶＩ線に沿った断面に対応する。図１６に示したように、この接合工程により、流路プレート４１の入口流路７４は、共通インク室７１およびスリット７２を介して複数の吐出チャネル５４それぞれに連通される。
【００９３】
流路ウエハの表面および裏面それぞれに、アクチュエータウエハおよびカバーウエハを貼り合わせた後、これらを個片化する（図１１のステップＳ３）。この個片化工程では、ダイサー等を用いて出口流路７５におけるＸ軸方向直線部の軸線（図１５に示した仮想線Ｄ）に沿って、流路ウエハ、カバーウエハおよびアクチュエータウエハを切断する。これにより、流路プレート４１と、流路プレート４１に接合された一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂが完成する。
【００９４】
次に、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５それぞれの内面を覆うように、保護膜ＰＦを形成する（図１１のステップＳ４）。保護膜ＰＦは、例えば、化学蒸着法等を用いてパラキシリレン系樹脂材料を成膜することにより形成する。具体的には、保護膜ＰＦを形成するための流体（例えば、気体）が、入口流路７４の導入部７４ｉに入り、入口流路７４および液体供給路７０を介して複数の吐出チャネル５４それぞれに供給される。
【００９５】
ここでは、入口流路７４の閉塞端部７４ｍ近傍に第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂが形成されているので、第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂが形成されていない場合に比べて、閉塞端部７４ｍ近傍での流体の圧力損失が小さくなる。また、第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂは、出口流路７５に連通されているので、出口流路７５を流れる流体も第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂを介して閉塞端部７４ｍ近傍に供給される。このように、第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂにより、閉塞端部７４ｍ近傍での入口流路７４から吐出チャネル５４へ流体の流れが促進される。したがって、閉塞端部７４ｍ近傍の入口流路７４に連通する吐出チャネル５４にも、保護膜ＰＦの形成材料を十分に供給することができる。複数の吐出チャネル５４それぞれには、下端面５１１の開口５４Ｋからも保護膜ＰＦを形成するための流体が供給される。
【００９６】
複数のダミーチャネル５５それぞれには、下端面５１１および上端面５１２の開口を介して保護膜ＰＦを形成するための流体が供給される。このようにして、複数の吐出チャネル５４および複数のダミーチャネル５５それぞれで、共通電極６１および個別電極６３を覆う保護膜ＰＦを形成することができる。
【００９７】
保護膜ＰＦを形成した後、複数の第１流量調整部４１ｇａおよび複数の第２流量調整部４１ｇｂのうち、複数の第１流量調整部４１ｇａを選択的に接着剤Ｂにより埋め込む（図１１のステップＳ５）。
【００９８】
次いで、下端面４１１，５１１，５２１に、帰還プレート４３およびノズルプレート４４を接合する（図１１のステップＳ６）。その後、上端部５２ｂにフレキシブル基板４５（図４，図５参照）を実装する。
【００９９】
以上により、本実施形態のインクジェットヘッド４が完成する。
【０１００】
［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインクがインク循環機構８を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。より具体的には、所定量のインクが、インク供給管８１および流路プレート４１を介してヘッドチップ４０に供給され、液体供給路７０を経て吐出チャネル５４内に充填された状態となっている。
【０１０１】
このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に記録紙Ｐが挟持されつつ搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構３４における駆動モータ３８が、プーリ３５，３６をそれぞれ回転させることにより無端ベルト３７を動作させる。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）によって、４色のインクを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。
【０１０２】
（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
続いて、図１〜図８を参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インクの噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（エッジシュートタイプ）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインクの噴射動作が行われる。なお、以下の噴射動作はインクジェットヘッド４に搭載された駆動回路（図示せず）により実行される。
【０１０３】
本実施形態のような、エッジシュートタイプであって縦循環式のインクジェットヘッド４では、まず、図２に示した加圧ポンプ８４および吸引ポンプ８５を作動させることにより、循環流路８３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管８１を流通するインクは、図３に示したす入口マニホールド４２の供給路７７を通り、流路プレート４１の入口流路７４内へ流入する。入口流路７４内へ流入したインクは、共通インク室７１を通過した後、スリット７２を通って吐出チャネル５４内に供給される。吐出チャネル５４内に流入したインクは、帰還プレート４３の循環路７６を経由して出口流路７５内で再集合したのち、出口マニホールドを通過して図２に示したインク排出管８２に排出される。インク排出管８２に排出されたインクは、インクタンク３に戻されたのち、再びインク供給管８１に供給される。これにより、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間でインクが循環する。
【０１０４】
そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、フレキシブル基板４５を介して共通電極６１と個別電極６３との間に駆動電圧を印加する。この際、例えば個別電極６３を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極６１を基準電位ＧＮＤとする。共通電極６１と個別電極６３との間に駆動電圧を印加すると、吐出チャネル５４を画成する２つ駆動壁５６に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁５６がダミーチャネル５５側へ突出するように変形する。すなわち、アクチュエータプレート５１は、厚さ方向（Ｙ軸方向）に分極処理された２枚の圧電基板が積層された構造を有するので、上記の駆動電圧を印加することで、駆動壁５６におけるＹ軸方向の中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル５４があたかも膨らむように変形する。
【０１０５】
吐出チャネル５４を画成する２つの駆動壁５６の変形によって吐出チャネル５４の容積が増大すると、共通インク室７１内のインクがスリット７２を通って吐出チャネル５４内に誘導される。そして、吐出チャネル５４の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル５４の内部に伝搬する。この圧力波がノズル７８に到達したタイミングで、共通電極６１と個別電極６３との間の駆動電圧をゼロにする。そうすることにより、２つの駆動壁５６の形状が復元し、一旦増大した吐出チャネル５４の容積が元の容積に戻る。この動作によって吐出チャネル５４の内部の圧力が増加し、吐出チャネル５４内のインクが加圧される。その結果、インクをノズル７８から吐出させることができる。この際、インクはノズル７８を通過する際に液滴状のインク滴となって吐出される。これにより、上述したように記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
【０１０６】
なお、インクジェットヘッド４の動作方法は上述した内容に限られない。例えば、通常状態の駆動壁５６が吐出チャネル５４の内側に変形し、吐出チャネル５４があたかも内側に凹むように構成しても構わない。この場合は、共通電極６１と個別電極６３との間に印加する駆動電圧を上述した電圧とは正負逆の電圧にするか、電圧の正負は変えずにアクチュエータプレート５１の分極方向を逆にすることで実現可能である。また、吐出チャネル５４が外側に膨らむように変形させた後で、吐出チャネル５４が内側に凹むように変形させ、吐出時のインクの加圧力を高めるようにしても構わない。
【０１０７】
（Ｃ．作用・効果）
本実施の形態では、流路プレート４１が、入口流路７４に接続された第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂを有している。これにより、閉塞端部７４ｍ近傍の入口流路７４に連通する吐出チャネル５４にも、十分に厚い保護膜ＰＦを形成することができる。以下、この作用および効果について詳細に説明する。
【０１０８】
閉塞端部７４ｍは導入部７４ｉから最も遠い位置であり、また、開放されていないため、流体のよどみが生じやすい。このため、流路プレート４１が第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂを有していない場合、他の部分に比べて閉塞端部７４ｍ近傍では流体の圧力損失が大きくなる。したがって、保護膜ＰＦを形成するための流体が導入部７４ｉから入口流路７４に入っても、閉塞端部７４ｍ近傍には到達しにくい。即ち、閉塞端部７４ｍ近傍の入口流路７４に連通する吐出チャネル５４には、十分な量の保護膜ＰＦの形成材料が供給されず、他の吐出チャネル５４に比べて薄い保護膜ＰＦが形成されるおそれがある。このように、流路プレート４１が第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂを有していない場合には、一部の吐出チャネル５４に十分な厚みの保護膜ＰＦを形成することができず、インクに起因した共通電極６１の腐食等が生じるおそれがある。
【０１０９】
これに対し、インクジェットヘッド４では、流路プレート４１が第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂを有しているので、閉塞端部７４ｍ近傍での流体の圧力損失が小さくなり、保護膜ＰＦを形成するための流体が導入部７４ｉから閉塞端部７４ｍ近傍にも到達しやすくなる。また、第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂは出口流路７５に連通している。このため、出口流路７５からも、保護膜ＰＦを形成するための流体を第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂを介して閉塞端部７４ｍ近傍に供給することができる。即ち、閉塞端部７４ｍ近傍への流体の経路が増える。更に、出口流路７５では、Ｘ軸方向において、その開口が閉塞端部７４ｍ側に設けられている。このため、入口流路７４の導入部７４ｉから閉塞端部７４ｍ近傍への流体の経路に比べて、出口流路７５の開口から第１流量調整部４１ｇａ，第２流量調整部４１ｇｂを介した閉塞端部７４ｍ近傍への流体の経路の方が短くなる。このように、第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂが、閉塞端部７４ｍ近傍での入口流路７４から吐出チャネル５４への流体の流れを促進するので、閉塞端部７４ｍ近傍の入口流路７４に連通する吐出チャネル５４にも十分に厚い保護膜ＰＦを形成することができる。
【０１１０】
また、第１流量調整部４１ｇａは、閉塞端部７４ｍ近傍に複数設けられている。更に、複数の第１流量調整部４１ｇａの断面積の合計は、複数の第２流量調整部４１ｇｂの合計よりも大きくなっている。したがって、複数の第２流量調整部４１ｇｂに比べて、複数の第１流量調整部４１ｇａにより、より効果的に閉塞端部７４ｍ近傍での入口流路７４から吐出チャネル５４への流体の流れが促進される。
【０１１１】
また、複数の第１流量調整部４１ｇａは、保護膜ＰＦを形成した後、接着剤Ｂにより埋められる。これにより、インクジェットヘッド４を駆動させる際には、複数の第１流量調整部４１ｇａを介して入口流路７４から出口流路７５へとインクが流れない。したがって、入口流路７４から複数の吐出チャネル５４それぞれへと供給されるインクの流量を十分に確保することができる。
【０１１２】
以上のように本実施の形態のインクジェットヘッド４およびプリンタ１では、入口流路７４の閉塞端部７４ｍ近傍に第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂが接続されているので、閉塞端部７４ｍ近傍で入口流路７４に連通された吐出チャネル５４にも十分に厚い保護膜ＰＦを形成することができる。よって、十分に厚い保護膜ＰＦにより共通電極６１の腐食等の発生を抑え、インクジェットヘッド４の信頼性の低下を抑えることが可能となる。
【０１１３】
また、インクジェットヘッド４では、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂの間に設けられた流路プレート４１により、一対のヘッドチップ４０Ａ，４０Ｂへのインクの流路が集約される。例えば、外側からインクを導入し、かつ、外側にインクを戻すように構成されたインクジェットヘッドは、インクの流路が二組必要である。インクジェットヘッド４では、このようなインクジェットヘッドに比べて厚みを小さくし、軽量化することが可能となる。
【０１１４】
＜２．その他の変形例＞
以上、実施の形態をいくつか挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。
【０１１５】
例えば、上記実施の形態では、プリンタ、インクジェットヘッドおよびヘッドチップにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。
【０１１６】
また、上記実施の形態では、第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂを流路プレート４１に設ける場合について説明したが、第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂは、インクジェットヘッド４の他の部分に設けられていてもよい。例えば、第１流量調整部４１ｇａおよび第２流量調整部４１ｇｂをカバープレート５２に設けるようにしてもよい。また、インクジェットヘッド４は、第１流量調整部４１ｇａのみを有していてもよい。
【０１１７】
また、上記実施の形態で説明した各電極、チャネルおよび流量調整部などにおける長さ等の寸法比はあくまで例示であって各図に示したものに限定されない。
【０１１８】
また、上記実施の形態では、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間でインクを循環させるインク循環機構８を備えたプリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、本開示はこれに限定されない。例えば、プリンタ１が有する循環機構の構成は、図２に例示した構成に限定されない。あるいは、本開示のインクジェットプリンタはインクが循環しない非循環型のインクジェットヘッドを備えたものであってもよい。
【０１１９】
また、上記実施の形態では、互いに異なる分極方向を有する２枚の圧電基板を積層したシェブロンタイプのアクチュエータプレートを例示したが、本開示のインクジェットヘッドは、いわゆるカンチレバータイプのアクチュエータプレートを有するものであってもよい。カンチレバータイプのアクチュエータプレートは、分極方向が厚み方向に沿って一方向に設定されている１つの圧電基板により形成されている。なお、このカンチレバータイプのアクチュエータプレートでは、例えば、駆動電極が深さ方向の上半分まで斜め蒸着によって取り付けられる。このため、この駆動電極が形成されている部分のみに駆動力が及ぶことによって、駆動壁が屈曲変形する。その結果、この場合においても、駆動壁がＶ字状に屈曲変形するので、吐出チャネルがあたかも膨らむように変形することになる。
【０１２０】
上記実施の形態では、めっき法を用いて共通電極６１および個別電極６３を形成する例を説明したが、共通電極６１および個別電極６３は、他の方法を用いて形成するようにしてもよい。例えば、蒸着法を用いて共通電極６１および個別電極６３を形成するようにしてもよい。
【０１２１】
また、上記実施の形態等では、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドを例示して説明したが、本開示はいわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドにおいても適用可能である。
【０１２２】
さらに、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド４）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。
【０１２３】
なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
【０１２４】
また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体が流入する、複数の通液室と、
前記通液室に設けられた導電膜と、
前記導電膜を覆う保護膜と、
前記複数の通液室に連通され、かつ、流体の導入部と、前記流体の経路に沿って前記導入部から最も遠い位置に設けられた最遠端部を有する流路と、
前記最遠端部近傍の前記流路を前記流路の外側に接続することにより、前記最遠端部近傍の前記流路と前記通液室との間の前記流体の流れを促進する流量調整部と
を備えた液体噴射ヘッド。
（２）
前記流量調整部にも前記保護膜が設けられている
前記（１）に記載の液体噴射ヘッド。
（３）
前記流量調整部は、複数の溝により構成されている
前記（１）または前記（２）に記載の液体噴射ヘッド。
（４）
前記流量調整部は、前記液体が通過しないように構成されている
前記（１）ないし前記（３）のうちいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（５）
更に、前記流量調整部を埋める接着剤を含む
前記（１）ないし前記（４）のうちいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（６）
前記流量調整部は、
前記液体が通過しないように構成された第１流量調整部と、
前記第１流量調整部と離間して配置されるとともに、前記液体が通過可能に構成された第２流量調整部とを含む
前記（１）ないし前記（５）のうちいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（７）
前記第１流量調整部を複数有し、
前記流路から前記流路の外側に向かう方向に対して垂直方向の前記複数の前記第１流量調整部の断面積の合計は、前記流路から前記流路の外側に向かう方向に対して垂直方向の前記第２流量調整部の断面積よりも大きい
前記（６）に記載の液体噴射ヘッド。
（８）
前記液体は、前記流路を介して前記通液室に流入する
前記（１）ないし前記（７）のうちいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（９）
前記最遠端部は閉塞されている
前記（１）ないし前記（８）のうちいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（１０）
前記保護膜は、パラキシリレン系樹脂材料、酸化タンタル、窒化シリコン、炭化シリコン、酸化シリコンおよびダイヤモンドライクカーボンのうちの少なくともいずれか一つを含む
前記（１）ないし前記（９）のうちいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（１１）
更に、
それぞれに前記通液室が複数設けられ、互いに対向して設けられた一対のアクチュエータプレートと、
前記一対のアクチュエータプレートに交差する方向に配置されるとともに、前記通液室に連通する循環路を有する帰還プレートと、
前記一対のアクチュエータプレートの間に配置されるとともに、前記流路と、前記循環路に連通する出口流路とを有する流路プレートと、
前記流路プレートと前記一対のアクチュエータプレートとの間に設けられるとともに、前記流路および前記通液室に連通する液体供給路を有する一対のカバープレートとを含み、
前記流路プレートに前記流量調整部が設けられている
前記（１）ないし前記（１０）のうちいずれか１つに記載の液体噴射ヘッド。
（１２）
前記（１）ないし前記（１１）のうちいずれか１つに記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。
（１３）
流体の導入部を有するとともに、前記導入部から前記流体の経路に沿って最も遠い位置に設けられた最遠端部を有する流路を形成する工程と、
前記最遠端部近傍の前記流路を前記流路の外側に接続する流量調整部を形成する工程と、
導電膜を有する通液室に、前記流路を連通させる工程と、
前記通液室に前記流路を連通させた後、前記流路および前記流量調整部を用いて前記導電膜を覆う保護膜を形成する工程と
を含む液体噴射ヘッドの製造方法。
（１４）
前記保護膜を形成する工程は、前記流体を前記流路から前記通液室に流入させる工程を含み、
前記流体を前記流路から前記通液室に流入させる工程では、前記流量調整部が前記最遠端部近傍の前記流路から前記通液室への前記流体の流れを促進する
前記（１３）に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
（１５）
前記流量調整部を形成する工程では、複数の前記流量調整部を形成し、
更に、前記保護膜を形成した後、前記複数の前記流量調整部のうちの少なくとも一部の前記流量調整部に、前記通液室に流入した液体が通過しないように処置を施す工程を含む
前記（１３）または前記（１４）に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【符号の説明】
【０１２５】
１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）…インクジェットヘッド、４０（４０Ａ，４０Ｂ）…ヘッドチップ、４１…流路プレート、４１ｇａ…第１流量調整部、４１ｇｂ…第２流量調整部、４２…入口マニホールド、４３…帰還プレート、４４…ノズルプレート、５０…供給チューブ、５１…アクチュエータプレート、５１ａ…下端部、５１ｂ…上端部、５１ｆ１…表面、５１ｆ２…裏面、５１１…下端面、５１２…上端面、５２…カバープレート、５２ｂ…上端部、５４…吐出チャネル、５４Ｋ…開口、５５…ダミーチャネル、５７，５８…溝、６…走査機構、３１，３２…ガイドレール、３３…キャリッジ、３３ａ…基台、３３ｂ…壁部、３４…駆動機構、３５，３６…プーリ、３７…無端ベルト、３８…駆動モータ、６１…共通電極、６２…ＡＰ側共通パッド、６３…個別電極、６４…ＡＰ側個別配線、６５…ＣＰ側共通パッド、６９…ＣＰ側個別配線、７０…液体供給路、７１…共通インク室、７２…スリット、７４…入口流路、７４ｉ…導入部、７４ｍ…閉塞端部、７５…出口流路、７６…循環路、７７…供給路、７８…ノズル、８…インク循環機構、８１…インク供給管、８２…インク排出管、８３…循環流路、８４…加圧ポンプ、８５…吸引ポンプ、Ｂ…接着剤、Ｐ…記録紙、ＰＦ…保護膜、ｄ…搬送方向。
【図１】
2020104321.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2020104321.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2020104321.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
2020104321.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
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