(57)【要約】【課題】配線配管における多様な太さ、本数および並び順に対応可能な固定具を提供する。【解決手段】  固定具１が、配線配管の外径に対応した凹溝１１を有している。そして、２つの固定具１の凹溝１１を互いに対面させることにより、凹溝１１によって配線配管を挟んで固定することができる。これにより、配線配管の太さに応じた幅の凹溝１１を有する固定具１を用いることにより、任意の太さの配線配管を固定することができる。突起部２１および溝部２３により、任意の幅の凹溝１１を有する固定具１を、短辺１９ａおよび１９ｂを揃えた状態で、並列に並べて結合することができる。したがって、配線配管の本数、太さおよび並び順に応じて、複数の固定具１を組み替えて用いることにより、フラットな配線配管を容易に固定することができる。【選択図】図２
2020202650.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線または配管としての配線配管を挟んで固定する固定具であって、
直方体形状を有しているとともに、その１つの面に、該配線配管の外径に対応した凹溝を有しており、
少なくとも２つの該固定具の該凹溝を互いに対面させ、該凹溝によって該配線配管を挟んで固定する、固定具。
【請求項２】
並列に並べられた複数の該固定具の短辺を揃えるための位置決め部をさらに備える、
請求項１記載の固定具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配管または配線を固定する固定具に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示されている加工装置は、加工装置の基台から立設する回転軸と、この回転軸によって中心を回転可能に支持されるターンテーブルとを備えている。ターンテーブルを回転させることにより、ターンテーブルに配設されたチャックテーブルを、加工手段の加工位置に位置づける。
【０００３】
このような加工装置は、ターンテーブルに、少なくとも２つのチャックテーブルと、チャックテーブルを回転させるモータとを備えている。
また、ターンテーブルの回転時においても、モータに電力を供給可能にすると共に、チャックテーブルの保持面に吸引力を伝達可能なように、ターンテーブルの下で、配線および配管（配線配管）が屈曲されている。
【０００４】
このように配線配管を屈曲させるために、配線配管の一方の端側を回転するターンテーブルに固定するとともに、配線配管の他方の端側を、回転しない基台に固定している。
【０００５】
このように、移動する移動体に配線配管の一方の端側を固定し、移動しない固定体（基台）に他方の端側を固定する手法は、上記のようなターンテーブル以外にも、たとえば、被加工物を搬送する搬送機構に利用可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−０３５１１３号公報
【特許文献２】特開２０１６−１３２０７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
配線配管は、たとえば、配線配管の径にあった凹部を備えた２つの固定具によって挟まれることにより、固定される。
【０００８】
ここで、配線配管の本数および太さは、たとえば、配線配管が固定される移動体によって異なる。配線配管は、１本である場合もあるし、並列に並べられた複数の配線配管からなるフラット配線配管（特許文献１の図３を参照）である場合もある。
【０００９】
そのため、従来、配線配管の本数および太さに対応した、多くの種類の固定具が製造されている。そして、作業者は、配線配管を固定する際に、配線配管における本数、太さおよび並び順を確認し、これらに対応する固定具を選ぶ必要がある。このため、装置製造の作業性を高めることが難しい。
【００１０】
したがって、本発明の目的は、配線配管における多様な太さ、本数および並び順に対応可能な固定具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の固定具（本固定具）は、配線または配管としての配線配管を挟んで固定する固定具であって、直方体形状を有しているとともに、その１つの面に、該配線配管の外径に対応した凹溝を有しており、少なくとも２つの該固定具の該凹溝を互いに対面させ、該凹溝によって該配線配管を挟んで固定する。
また、本固定具は、並列に並べられた複数の本固定具の短辺を揃えるための位置決め部をさらに備えてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、配線配管の太さに応じた幅の凹溝を有する本固定具を用いることにより、任意の太さの配線配管を固定することができる。
また、位置決め部より、任意の幅の凹溝を有する本固定具を、短辺を揃えた状態で、並列に並べて結合することができる。
【００１３】
したがって、複数の配線および／または配管が並列に並んだフラットな配線配管を、配線配管の本数、太さおよび並び順に応じて、複数の本固定具を組み替えて用いることにより、容易に固定することができる。すなわち、少ない部品点数で、容易に組み立てることの可能な本固定具を用いて、フラットな配線配管を、素早く固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】固定具の構成を示す斜視図である。
【図２】連結された複数の固定具を示す斜視図である。
【図３】固定具の適用例としての加工装置を示す斜視図である。
【図４】配線配管の描写を省いた、図３に示した加工装置を示す斜視図である。
【図５】図３に示した加工装置における固定部材の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１に示す本実施形態にかかる固定具１は、配線または配管としての配線配管３１を、２つ１組で挟んで固定する。すなわち、１本の配線配管３１は、一対の固定具１によって挟まれて固定される。
配線配管３１は、たとえば、信号線および電力線を含む配線、ならびに、気体あるいは液体を供給あるいは吸引するための配管のいずれかである。
【００１６】
図１に示すように、固定具１は、直方体形状を有している。また、固定具１は、長手方向（図１におけるＺ軸方向）に延びる２つの面である、互いに対向する凹溝形成面１２および平底面１３を有している。
【００１７】
凹溝形成面１２には、凹溝１１が形成されている。凹溝１１は、配線配管３１の外径に対応した幅および形状を有しており、固定具１の長手方向に延びている。固定具１における凹溝１１に対向する面である平底面１３は、平坦形状を有している。
【００１８】
さらに、固定具１は、凹溝形成面１２（凹溝１１）と平底面１３とを結ぶ４つの平面、すなわち、第１長側面１５、第２長側面１６、第１短側面１７および第２短側面１８を有している。
【００１９】
第１長側面１５および第２長側面１６は固定具１の長手方向に平行な側面であり、第１短側面１７および第２短側面１８は、固定具１の短手方向（図１におけるＹ軸方向）に平行な側面である。
第１短側面１７および第２短側面１８におけるＹ軸方向に沿う長さは、第１長側面１５および第２長側面１６におけるＺ軸方向に沿う長さよりも短い。
【００２０】
このような構成を有する固定具１は、配線配管３１に凹溝１１を平行にした状態で、互いに対向する２方向（図１では、＋Ｘ方向および−Ｘ方向）から、矢印Ａおよび矢印Ｂに示すように、配線配管３１を挟むように設計されている。これにより、配線配管３１が、２つの凹溝１１に沿った状態で、２つの固定具１によって固定される。
【００２１】
たとえば、１つの固定具１を加工装置（図示せず）に予め取り付けおき、この固定具１ともう１つの固定具１とによって配線配管３１を挟み、これら２つの固定具１を結束バンドあるいはネジなどの結束部材によって一体化することにより、加工装置に対して配線配管３１を固定することができる。あるいは、配線配管３１を挟んだ２つの固定具１を一体化した後、加工装置に対して固定してもよい。
【００２２】
また、図１に示すように、固定具１における平底面１３と第２長側面１６との境界となる辺である第１長辺２０の中央部分には、略直方体形状の突起部２１が設けられている。また、平底面１３と第１長側面１５との境界となる辺である第２長辺２２の中央部分には、溝部２３が設けられている。
これら突起部２１および溝部２３は、突起部２１が溝部２３にほぼ隙間なく嵌合されるような形状を有している。
【００２３】
したがって、図２に示すように、複数の固定具１を、突起部２１および溝部２３を用いて、互いに密着した状態で並列に並べて、互いに固定することが可能となる。この場合、突起部２１および溝部２３が、それぞれ第１長辺２０および第２長辺２２の中央に設けられているため、各固定具１の第１短側面１７および第２短側面１８が、略面一となる。
【００２４】
また、これにより、各固定具１の第２短側面１８における平底面１３との境界となる辺である第１短辺１９ａが、互いに揃えられる。さらに、各固定具１の第１短側面１７における平底面１３との境界となる辺である第２短辺１９ｂも、互いに揃えられる。
このように、固定具１の突起部２１および溝部２３は、並列に並べられた複数の固定具１の短辺を揃えるための位置決め部として機能する。
【００２５】
図２に示した例では、３種類の固定具１（１ａ〜１ｃ）が、並列に並べられて固定されている。固定具１ａ〜１ｃにおける凹溝１１の幅（短手方向の長さ）は、固定具１ｂ、固定具１ａおよび固定具１ｃの順に、広くなっている。すなわち、固定具１ｂが、最も広い幅Ｗｂの凹溝１１を有しており、固定具１ｃが、最も狭い幅Ｗｃの凹溝１１を有している。固定具１ａにおける凹溝１１の幅Ｗａは、幅Ｗｂよりも狭く、幅Ｗｃよりも広い。
【００２６】
すなわち、固定具１ｂは、比較的に太い配線配管３１に対応しており、固定具１ｃは、比較的に細い配線配管３１に対応している。そして、固定具１ａは、中程度の太さの配線配管３１に対応している。
【００２７】
本実施形態では、このように連結された固定具１ａ〜１ｃのブロックを２つ形成し、太さの異なる３種類の配線配管３１を挟み、フラットに並べて固定することができる。
したがって、複数の固定具１を用いることにより、複数の配線および／または配管が並列に並んだフラットな配線配管３１を、その配列形状を維持したまま、堅固に固定することができる。
【００２８】
図３および図４に、固定具１の適用例としての加工装置４１を示す。図３に示すように、加工装置４１は、４本の配線および／または配管を含むフラットな配線配管３１を含んでいる。なお、図４では、加工装置４１の構成を明瞭に示すために、図３に示した加工装置４１から配線配管３１を省いて示している。
これらの図に示す加工装置４１は、固定されたベース部４２と、ベース部４２に対して移動する移動体５１とを含んでいる。ベース部４２は、略直方体形状を有している。ベース部４２における＋Ｘ側の側壁４３には、Ｚ軸方向に延びる開口部４４が設けられている。
【００２９】
ベース部４２内には、移動体５１をＺ軸方向に沿って移動させるための、ガイドレール、ボールネジおよびモータ等を含む駆動部材（図示せず）が備えられている。移動体５１は、開口部４４を介して、この駆動部材に連結されている。
【００３０】
移動体５１は、略直方体形状を有している。移動体５１における＋Ｘ側の側壁５２の下端には、＋Ｘ方向に延びるアーム部材５３が取り付けられている。アーム部材５３は、たとえば、半導体ウェーハを搬送する搬送パッド（ともに図示せず）を支持するためのアームである。移動体５１は、アーム部材５３とともに、ベース部４２に対して、両矢印Ｃに示すようにＺ軸方向に沿って移動可能に構成されている。
【００３１】
さらに、ベース部４２の側壁４３、および、移動体５１の側壁５２には、それぞれ、互いに同一の構成を有する固定部材６１および６２が取り付けられている。
【００３２】
図５に示すように、固定部材６１および６２は、固定具ブロック１Ａおよび固定具ブロック１Ｂを含んでいる。固定具ブロック１Ａは、４つの固定具１（１ｄ〜１ｇ）を含んでいる。固定具ブロック１Ｂは、固定具ブロック１Ａと同様に、４つの固定具１（１ｄ〜１ｇ）を含んでいる。すなわち、固定部材６１および６２は、４対の固定具１ｄ〜１ｇによって、４本の配線配管３１を固定することができるように構成されている。
【００３３】
また、固定部材６１および６２は、ネジプレート７１および２本のネジ７２を備えている。ネジプレート７１は、固定具ブロック１Ａおよび固定具ブロック１Ｂに比して、Ｙ軸方向の長さが長くなるように形成されている。
【００３４】
固定部材６１では、ネジプレート７１は、図４に示したベース部４２の側壁４３とともに、固定具ブロック１Ａおよび固定具ブロック１Ｂを、Ｘ軸方向に沿って挟みこんでいる。同様に、固定部材６２では、ネジプレート７１は、移動体５１の側壁５２とともに、固定具ブロック１Ａおよび固定具ブロック１Ｂを、Ｘ軸方向沿って挟みこんでいる。
そして、２本のネジ７２が、ネジプレート７１におけるＹ軸方向の両端部を、ベース部４２の側壁４３あるいは移動体５１の側壁５２に対してネジ留めしている。
【００３５】
このようにして、図３に示すように、固定部材６１では、ベース部４２の側壁４３とネジプレート７１とに挟まれた固定具ブロック１Ａおよび固定具ブロック１Ｂが、フラットな配線配管３１を挟んで固定した状態で、側壁４３に対して堅固に固定される。
＊同様に、固定部材６２では、移動体５１の側壁５２とネジプレート７１とに挟まれた固定具ブロック１Ａおよび固定具ブロック１Ｂが、フラットな配線配管３１を挟んで固定した状態で、側壁４３に対して堅固に固定される。
【００３６】
このような構成を有する加工装置４１では、移動体５１が、自身に固定されている配線配管３１とともに、Ｚ軸方向に沿って移動する。
【００３７】
加工装置４１では、固定部材６１および６２によって、フラットな配線配管３１が、ベース部４２および移動体５１に対して堅固に固定されている。このため、移動体５１の移動によって、配線配管３１の一部がベース部４２あるいは移動体５１から外れたり捩れたりして、加工装置４１の動作に不具合が生じることを、抑制することができる。
【００３８】
以上のように、本実施形態では、固定具１が、直方体形状を有しているとともに、その１つの面である凹溝形成面１２に、配線配管３１の外径に対応した凹溝１１を有している。そして、２つの固定具１の凹溝１１を互いに対面させることにより、凹溝１１によって配線配管３１を挟んで固定することができる。これにより、配線配管３１の太さに応じた幅の凹溝１１を有する固定具１を用いることにより、任意の太さの配線配管３１を固定することができる。
【００３９】
また、固定具１は、並列に並べられた複数の固定具１の短辺を揃えるための位置決め部としての、突起部２１および溝部２３を備えている。これにより、任意の幅の凹溝１１を有する固定具１を、第１短辺１９ａおよび第２短辺１９ｂを揃えた状態で、並列に並べて結合することができる。
【００４０】
したがって、複数の配線および／または配管が並列に並んだフラットな配線配管３１を、配線配管３１の本数、太さおよび並び順に応じて、複数の固定具１を組み替えて用いることにより、容易に固定することができる。すなわち、少ない部品点数で、容易に組み立てることの可能な固定具１を用いて、フラットな配線配管３１を、素早く固定することが可能である。
【００４１】
なお、従来、フラットな配線配管を固定する場合、配線配管の本数、太さおよび並び順に応じた、複数種類の一体型の固定部が必要である。したがって、加工装置内に複数種類のフラット配線配管がある場合には、固定部を選択して用いる必要がある。このことは、加工装置の製造に関する作業効率を低下させる要因になっている。また、部品在庫を多く持つ必要も生じる。
なお、フラットな配線配管３１は、隣り合う配線または配管が接着されていてもよいし、接着されていなくてもよい。接着されていない場合には、フラットな配線配管３１の並ぶ順番を変更する事ができ、仕様変更による設計変更に対応する事ができる。
【００４２】
一方、本実施形態では、配線配管３１の配管および配管の太さに対応した固定具１を準備しておき、配線配管３１の本数、太さおよび並び順に対応して固定具１を組み替え（並べ替え）ることで、フラットな配線配管３１を固定する固定部材６１および６２（図３参照）を形成することが可能である。これにより、複数種類の一体型の固定部を用意する必要がない。また、組立作業時に、対応する固定部を捜す必要もない。
【００４３】
なお、本実施形態では、図２に示すように、固定具１における第１長辺２０の中央部分に突起部２１が設けられ、第２長辺２２の中央部分に溝部２３が設けられている。しかしながら、これに限らず、突起部２１および溝部２３の形成部位は、中央部分に限らず、第１長辺２０および第２長辺２２における、互いに対応する任意の位置でよい。すなわち、突起部２１および溝部２３は、並列に並べられた複数の固定具１の第１短辺１９ａおよび第２短辺１９ｂを揃えられるような位置であれば、第１長辺２０および第２長辺２２のどこに形成されていてもよい。
【００４４】
また、固定具１が直方体形状を有するということは、固定具１が、厳密な意味での直方体形状を有することを意味しない。すなわち、固定具１は、略直方体形状を有していればよい。固定具１の直方体形状は、たとえば、凹溝１１の形成される面を有するとともに、突起部２１および溝部２３を用いて複数の固定具１が並列に並べられたときに、各固定具１の第１短辺１９ａおよび第２短辺１９ｂを揃えることができるような形状であればよい。
【符号の説明】
【００４５】
１：固定具、１Ａ，１Ｂ：固定具ブロック、
１１：凹溝、１２：凹溝形成面、１３：平底面、
１５：第１長側面、１６：第２長側面、１７：第１短側面、１８：第２短側面、
１９ａ：第１短辺、１９ｂ：第２短辺、２０：第１長辺、２２：第２長辺、
２１：突起部、２３：溝部、
３１：配線配管、
４１：加工装置、
４２：ベース部、４４：開口部、
５１：移動体、５３：アーム部材、
６１，６２：固定部材、
７１：ネジプレート、７２：ネジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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