(57)【要約】【課題】レーザ光源の不安定化を効果的に抑制する。【解決手段】レーザードップラーセンサは、対象物（５００）にレーザ光を照射する発光部（２２１）と、発光部を被覆し、レーザ光が透過する透過面（２４１）を有する透光性部材（２４０）とを備える。透光性部材の透過面は、レーザ光の照射光路に対して傾斜して配置されている。これにより、カバー部において反射された戻り光（ＲＢ）の光路を出射光（ＬＢ）の光路に対してずれた状態にすることができ、結果として光の干渉に起因する発光部の不安定化を抑制することが可能である。【選択図】図２
2020058826.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物にレーザ光を照射する発光部と、
前記発光部を被覆し、前記レーザ光が透過する透過面を有する透光性部材と
を備え、
前記透過面は、前記レーザ光の照射光路に対して傾斜して配置されている
ことを特徴とするレーザードップラーセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光を対象物に照射することで、対象物に関する各種情報を検出するレーザードップラーセンサの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の装置として、例えば生体に対して光を照射すると共に、生体で反射又は透過された光を検出することで、血流や脈波等の生体に関する情報を取得する装置が知られている。このような装置では、照射後の散乱等によってレーザ光源に戻ってきてしまう光（以下、適宜「戻り光」と称する）により光の干渉が発生し、レーザ光源の不安定化が発生するおそれがある。このため、例えば特許文献１では、レーザ光源のカバー部分に遮光構造（ピンホール）を設け、戻り光を低減するという技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１７５４１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した特許文献１に記載されているような装置では、カバー部分（即ち、レーザ光が透過すべき部材）での反射によって生ずる戻り光が存在するため、レーザ光源の不安定化を十分に抑制することができない。また、遮光構造によって照射可能な光量が低下してしまうため、遮光構造がない場合と同等の光量を得るためには、レーザ光源の出力を大きくすることが要求されてしまう。更には、遮光構造を形成することによるコストの増大も避けられない。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題には上記のようなものが一例として挙げられる。本発明は、比較的簡単な構成で、レーザ光源の不安定化を効果的に抑制可能なレーザードップラーセンサを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためのレーザードップラーセンサは、対象物にレーザ光を照射する発光部と、前記発光部を被覆し、前記レーザ光が透過する透過面を有する透光性部材とを備え、前記透過面は、前記レーザ光の照射光路に対して傾斜して配置されている。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１実施例に係るレーザードップラーセンサの全体構成を示す斜視図である。
【図２】第１実施例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【図３】センサ部における出射光及び戻り光の光路を示す断面図である。
【図４】第１実施例に係る比較例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【図５】第１変形例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【図６】第２変形例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【図７】第３変形例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【図８】第４変形例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【図９】第５変形例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【図１０】第６変形例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【図１１】第７変形例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【図１２】第８変形例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【図１３】第２実施例に係るレーザードップラーセンサの全体構成を示す斜視図である。
【図１４】第２実施例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
＜１＞
本実施形態に係るレーザードップラーセンサは、対象物にレーザ光を照射する発光部と、前記発光部を被覆し、前記レーザ光が透過する透過面を有する透光性部材とを備え、前記透過面は、前記レーザ光の照射光路に対して傾斜して配置されている。
【０００９】
本実施形態のレーザードップラーセンサによれば、その動作時には、例えば半導体レーザとして構成される発光部から対象物に対してレーザ光が照射される。照射されたレーザ光は、対象物において散乱される。この散乱光を受光すれば、そこから対象物に関する情報を示す信号を生成し、例えば対象物である生体の血流速度や脈波等を検出することができる。
【００１０】
発光部から照射された光は、対象物に照射される前に、発光部を被覆するように設けられた透過性部材を透過する。なお、ここでの「被覆」とは、透過性部材が発光部の周囲を完全に覆うことを意味するものではなく、照射されたレーザ光が通過する範囲をカバーするように設けられているという趣旨である。よって、透過性部材は、例えば発光部の一例である光源を覆うモールドとして設けられてもよいし、モールドより外側に位置するカバー部材や窓のようなものとして設けられていてもよい。透過性部材は、例えばガラス等の透光性の高い部材を含んで構成された透過面を有しており、発光部から照射された光は透過面を透過して対象物に照射される。
【００１１】
ここで本実施形態では特に、透過性部材の透過面が、レーザ光の照射光路に対して傾斜して配置されている。即ち、レーザ光の照射光路と、透過面とが直交しないように配置されている。なお、透過面は平面に限定されるものではなく、曲面であってもよい。また、透過面は、表又は裏の少なくとも一方が照射光路に対して傾斜されて配置されていればよく、傾斜された面とは反対側の面は傾斜されずともよい。
【００１２】
ここで仮に、透過性部材の透過面がレーザ光の照射光路に対して傾斜していないとすると、発光部から照射されたレーザ光は、透過面において反射され発光部に向かう戻り光となる。より具体的には、照射されたレーザ光と同様の経路を逆に辿って、発光部に戻ってくる戻り光が発生してしまう。この結果、戻り光に起因する光の干渉が発生し、発光部の不安定化（具体的には、モードホップ）を生ずる。
【００１３】
しかるに本実施形態では、上述したように、透光性部材の透過面がレーザ光の照射光路に対して傾斜して配置されているため、透光面で反射した光は発光部に向かう戻り光とはならない。具体的には、透過面の傾斜に応じて反射角度が変化し、発光部とずれた位置に向かう戻り光となる。よって、光の干渉に起因する発光部の不安定化を抑制することができる。
【００１４】
なお、透過面の傾斜角度は、発光部から照射される際のレーザ光の拡散角度よりも大きくすることが好ましい。これにより、傾斜した透過面と拡散された（言い換えれば、角度を持って照射された）レーザ光の照射光路とが直交してしまうことを防止できる。また、透過面の傾斜角度は、透過性部材の効率的なレイアウトを実現できる程度に小さく設定されることが好ましい。即ち、透過面の傾斜角度を大きくし過ぎることで、透過性部材の配置スペースが大きくなってしまうことは、出来る限り避けることが好ましい。
【００１５】
以上説明したように、本実施形態に係るレーザードップラーセンサによれば、透過性部材の透過面が傾斜されていることにより、戻り光に起因する発光部の不安定化を効果的に抑制することができる。
【００１６】
＜２＞
本実施形態に係るレーザードップラーセンサの一態様では、前記透過面から見て前記発光部側に配置されており、前記対象物で散乱された前記レーザ光を受光する受光部を更に備える。
【００１７】
この態様によれば、発光部から出射され、透過面を透過して対象物に照射されたレーザ光は、対象物において反射された後、再び透過面を透過して受光部で受光される。即ち、本態様に係るレーザードップラーセンサは、所謂反射型のレーザードップラーセンサとして構成される。
【００１８】
反射型のレーザードップラーセンサにおいても、透過面を傾斜して配置することにより、発光部の不安定化を抑制することができる。なお、透過面は、発光部から照射されたレーザ光が透過する部分において傾斜されていればよく、受光部において受光されるべき光（即ち、対象物において散乱された光）のみが透過する部分においては傾斜されずともよい。
【００１９】
＜３＞
上述した受光部を備える態様では、前記透光性部材は、前記発光部に対応する第１透過面、及び前記受光部に対応する第２透過面を有しており、前記第１透過面及び前記第２透過面は、互いに対称の傾斜角度を有するように配置されていてもよい。
【００２０】
このように構成すれば、発光部に対応する第１透過面（即ち、主として発光部から照射されたレーザ光が透過する面）と、受光部に対応する第２透過面（即ち、主として対象物で散乱されたレーザ光が透過する面）とが、互いに対称の傾斜角度を有するように配置されるため、組み立て時における部品の取付方向が限定されない。
【００２１】
ここで仮に、対称性を考慮せず透過性部材の透過面を傾斜させると、傾斜方向に応じて部品の取付方向が限定されてしまうことになる。具体的には、第１透過面となるべき部分と第２透過面となるべき部分とが異なった形状となり、取付方向を間違うと使用できない或いは正常に機能しないものになってしまうおそれがある。
【００２２】
しかるに本態様では、上述したように、第１透過面と第２透過面とが互いに対称の傾斜角度を有している。このため、第１透過面と第２透過面との違いを意識せずに組み立て作業が可能である。よって、生産効率を向上させることができる。
【００２３】
なお、上述した説明からも分かるように、本態様における「対称の傾斜角度を有する」とは、第１透過面と第２透過面とが、互いの形状を区別せずに組み立て可能な対称状態であることを言う。対称の傾斜角度を有する形状の例としては、第１透過面と第２透過面がＭ字型に配置されるような形状や、第１透過面と第２透過面とが山形に配置されるような形状等が挙げられる。
【００２４】
＜４＞
上述した第１透過面及び第２透過面が対称の傾斜角度を有する態様では、前記受光部は、前記第１透過面及び前記第２透過面の対称中心に対して、前記発光部よりも近い位置に配置されていてもよい。
【００２５】
このように構成すれば、受光部が第１透過面及び第２透過面の対称中心に近い位置に配置されるため、受光部の受光効率を高めることができる。具体的には、受光部が、第１透過面及び第２透過面の両方を介して、より広い範囲で光を受光することが可能となる。この結果、受光部における受光光量の不足を防止することができる。
【００２６】
一方で、発光部は、受光部よりも第１透過面及び第２透過面の対称中心から遠い位置に配置される。このため、受光部と発光部との間の距離を大きくすることができる。よって、例えば発光部から照射されたレーザ光が、対象物を介さずに直接受光部に受光されてしまうといった不都合を好適に回避できる。
【００２７】
＜５＞
本実施形態に係るレーザードップラーセンサの一態様では、前記発光部及び前記透光性部材と別体として設けられており、前記対象物で散乱された前記レーザ光を受光する受光部を更に備える。
【００２８】
この態様によれば、発光部から出射され、透過面を透過して対象物に照射されたレーザ光は、対象物を透過した後、別体として設けられた受光部で受光される。即ち、本態様に係るレーザードップラーセンサは、所謂透過型のレーザードップラーセンサとして構成される。
【００２９】
透過型のレーザードップラーセンサにおいても、透過性部材の透過面を傾斜して配置することにより、発光部の不安定化を抑制することができる。なお、受光部側にも透過性部材が設けられる場合には、受光部側の透過性部材の透過面も発光部側と同様に傾斜させることで、部品の共通化を図ってもよい。
【００３０】
本実施形態に係るレーザードップラーセンサの作用及び他の利得については、以下に示す実施例において、より詳細に説明する。
【実施例】
【００３１】
以下では、図面を参照してレーザードップラーセンサの実施例について詳細に説明する。
【００３２】
＜第１実施例＞
第１実施例に係るレーザードップラーセンサについて、図１から図１２を参照して説明する。なお、第１実施例に係るレーザードップラーセンサは、対象物において反射されたレーザ光を受光して各種情報を取得する反射型のセンサとして構成されている。
【００３３】
＜装置構成＞
先ず、第１実施例に係るレーザードップラーセンサの全体構成について、図１を参照して説明する。ここに図１は、第１実施例に係るレーザードップラーセンサの全体構成を示す斜視図である。
【００３４】
図１において、第１実施例に係るレーザードップラーセンサは、プローブ部１００と、プローブ部１００に設けられたセンサ部２００と、接続ケーブル３００と、接続端子４００とを備えて構成されている。なお、ここでの図示は省略しているが、センサ部２００は、後述する発光素子（即ち、対象物に対してレーザ光を照射する素子）及び受光素子（即ち、対象物で反射されたレーザ光を受光する素子）を有している。
【００３５】
第１実施例に係るレーザードップラーセンサの動作時には、センサ部２００が有する発光素子からレーザ光が照射されると共に、対象物で反射されたレーザ光が受光素子において受光される。この際、受光素子では、受光したレーザ光に応じた信号が生成される。生成された信号は、接続ケーブル３００及び接続端子４００を介して、外部の装置（例えば、信号に各種演算処理を施して、対象物に関する情報を出力可能な装置等）に出力される。
【００３６】
次に、センサ部２００の具体的な構成について、図２を参照して詳細に説明する。ここに図２は、第１実施例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【００３７】
図２において、第１実施例に係るセンサ部２００は、プローブ１００内部に埋め込まれ、表面を一部露出させるように構成されている。センサ部２００は、素子基板２１０と、発光素子２２１と、受光素子２２２と、モールド部２３０と、カバー部２４０とを備えて構成されている。
【００３８】
発光素子２２１は、「発光部」の一具体例であり、素子基板２１０上に配置されている。発光素子２２１は、例えば半導体レーザ等として構成される。受光素子２２２は、「受光部」の一具体例であり、発光素子２２１と同様に素子基板２１０上に配置されている。受光素子２２２は、例えばフォトダイオード等として構成される。発光素子２２１及び受光素子２２２は、透明材料からなるモールド部２３０によって周囲を覆われている。
【００３９】
カバー部２４０は、「透光性部材」の一具体例であり、モールド部２３０よりも更に外側に位置し、その一部がプローブ部１００の外部に露出されている。カバー部２４０は、発光素子２２１から出射されたレーザ光、及び対象物で反射された戻り光を透過するために、例えば透明性の高いガラスのように透光性を有する材料で構成されている。カバー部２４０は、装置の動作時において、対象物と接触する部分でもある。
【００４０】
本実施例では特に、カバー部２４０は、主に発光素子２２１から出射されたレーザ光が透過する第１透過面２４１、及び主に受光素子に受光されるべき戻り光が透過する第２透過面２４２を有している。第１透過面２４１は、発光素子２２１から出射されるレーザ光の光路に対して傾斜して配置されている。即ち、レーザ光の光路と第１透過面２４１とが互いに直交しないように（例えば、５°程度ずれた状態で）配置されている。第２透過面２４２は、対称中心ＳＣを中心として、第１透過面２４１と対称の傾斜角度を有するように配置されている。この結果、カバー部２４０は、Ｍ字型の部材として構成されている。
【００４１】
また本実施例では、カバー部２４０の対称中心ＳＣから発光素子２２１までの距離Ｌ１と比べて、対称中心ＳＣから受光素子２２２までの距離Ｌ２が小さくなるように配置されている。即ち、Ｌ１＞Ｌ２となるように、発光素子２２１及び受光素子２２２が、カバー部２４０の対称中心ＳＣに対してずれて配置されている。このように発光素子２２１及び受光素子２２２を配置すれば、受光素子２２２における受光範囲を拡大しつつ、発光素子２２１と受光素子との間の距離を確保できる。
【００４２】
＜作用効果＞
次に、カバー部２４０を傾斜させることで得られる効果について、図３及び図４を参照して詳細に説明する。ここに図３は、センサ部における出射光及び戻り光の光路を示す断面図である。また図４は、第１実施例に係る比較例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【００４３】
図３において、第１実施例に係るセンサ部２００の動作時には、発光素子２２１から図の真上方向に出射光ＬＢが出射される。出射光ＬＢは、カバー部２４０の第１透過面２４１を透過して対象物に照射されることになるが、その一部は、第１透過面２４１において反射され戻り光ＲＢとなる。この戻り光ＲＢとしては、第１透過面２４１の内側（即ち、発光素子２２１側）の境界で反射された光、及び第１透過面２４１の外側（即ち、対象物側）の境界で反射された光が挙げられる。これらの戻り光ＲＢは、第１透過面２４１が傾斜されているために、出射光ＬＢとずれた角度で反射される。
【００４４】
図４において、カバー部２４０が傾斜されていないセンサ部２００ｂについて考える。比較例に係るセンサ部２００ｂでも同様に、カバー部２４０における反射によって戻り光ＲＢが発生する。しかしながら、ここでの戻り光ＲＢは、出射光ＬＢの光路とカバー部２４０の面とが直交しているために、発光素子２２１に向かう光（より具体的には、出射光ＬＢと同じ経路を辿って発光素子２２１に戻ってくる光）となる。この場合、光の干渉が発生し、発光素子２２１における不安定化が生じてしまうおそれがある。
【００４５】
これに対し、本実施例のように傾斜されたカバー部２４０によれば、戻り光ＲＢの光路が出射光ＬＢの光路に対してずれた状態になる（図３参照）。よって、光の干渉に起因する発光素子２２１の不安定化を抑制することができる。なお、第１透過面２４１の傾斜角度は、出射光ＬＢの拡散角度よりも大きくすることが好ましい。これにより、傾斜した第１透過面２４１と拡散された出射光ＬＢの光路とが直交してしまうことを防止できる。また、第１透過面２４１の傾斜角度は、カバー部２４０の効率的なレイアウトを実現できる程度に小さく設定されることが好ましい。
【００４６】
ちなみに、受光素子２２２側の第２透過面２４２については、出射光ＬＢが入射されないため、上述したような戻り光の光路を変化させる機能は有していない。しかしながら、第１透過面２４１と第２透過面２４２とが対称の傾斜角度を有することで、カバー部２４０は、発光素子２２１側と受光素子２２２側とが対称的な形状となる。この結果、製造工程における部品の組み立て時において、第１透過面２４１と第２透過面２４２との違いを意識せずに組み立て作業が可能である。即ち、対称性を有するカバー部２４０は、組み立て時における部品の取付方向が限定されない。よって、生産効率を向上させることができる。
【００４７】
また、カバー部２４０の形状がＭ字型になることで、使用時において対象物がＭ字のくぼみ部分に固定される。このため、使用中の対象物のずれを低減でき、より好適な計測を実現することが可能となる。
【００４８】
＜変形例＞
次に、カバー部２４０の変形例について、図５から図１２を参照して説明する。ここに図５から図１２は夫々、第１から第８変形例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【００４９】
図５において、第１変形例に係るセンサ部２００ｃでは、カバー部２４０の第１透過面２４１及び第２透過面２４２が山型になるように配置されている。このように、第１透過面２４１及び第２透過面２４２の傾斜方向は、第１実施例のＭ字型に限定される訳ではない。
【００５０】
第１変形例に係るセンサ部２００ｃにおいても、出射光ＬＢの光路に対して第１透過面２４１が傾斜されているため、戻り光ＲＢは出射光ＬＢとずれた角度で反射される。よって、光の干渉に起因する発光素子２２１の不安定化を抑制することができる。
【００５１】
なお、第１透過面２４１及び第２透過面２４２が対称の傾斜角度を有しているため、部品の対称性も保持され、生産効率を向上させることができる。また、使用時においては、山型の凸部分が対象物に食い込むことで対象物のずれを低減することができる。
【００５２】
図６及び図７において、第２変形例に係るセンサ部２００ｄ及び第３変形例に係るセンサ部２００ｅでは、カバー部２４０の第１透過面２４１及び第２透過面２４２が夫々曲面として構成されている。このような構成においても、戻り光ＲＢは出射光ＬＢとずれた角度で反射されるため、光の干渉に起因する発光素子２２１の不安定化を抑制することができる。なお、第１透過面２４１及び第２透過面２４２は、平面及び曲面が併存するような形状とされても構わない。
【００５３】
図８及び図９において、第４変形例に係るセンサ部２００ｆ及び第５変形例に係るセンサ部２００ｇでは、カバー部２４０の第１透過面２４１のみが傾斜するように配置され、第２透過面２４２は傾斜して配置されていない。このように構成した場合、カバー部２４０の対称性は失われるが、戻り光ＲＢは出射光ＬＢとずれた角度で反射されるため、光の干渉に起因する発光素子２２１の不安定化を抑制することができる。
【００５４】
図１０及び図１１において、第６変形例に係るセンサ部２００ｈ及び第７変形例に係るセンサ部２００ｉでは、カバー部２４０の第１透過面２４１及び第２透過面２４２の一方の面のみが傾斜されている。具体的には、第６変形例に係るセンサ部２００ｈでは、カバー部２４０の内側の面（即ち、発光素子２２１側の面）のみが傾斜されており、外側の面（即ち、対象物側の面）は傾斜されていない。逆に、第７変形例に係るセンサ部２００ｉでは、カバー部２４０の外側の面のみが傾斜されており、内側の面は傾斜されていない。このような構成においても、傾斜した一方の面では、戻り光ＲＢは出射光ＬＢとずれた角度で反射される。従って、光の干渉に起因する発光素子２２１の不安定化を抑制することができる。
【００５５】
図１２において、第８変形例に係るセンサ部２００ｊでは、カバー部２４０に代えてモールド部２３０の透過面が傾斜して配置されている。具体的には、モールド部２３０に第１透過面２３１及び第２透過面２３２が夫々形成されており、モールド部２３０が「透光性部材」の一具体例として機能する。このように構成した場合、モールド部２３０の第１透過面２３１において、戻り光ＲＢは出射光ＬＢとずれた角度で反射される。従って、光の干渉に起因する発光素子２２１の不安定化を抑制することができる。なお、モールド部２３０の透過面に加えて、カバー部２４０の透過面も傾斜されてよい。
【００５６】
以上説明したように、第１実施例に係るレーザードップラーセンサによれば、出射光ＬＢが透過する透過面が傾斜されていることにより、戻り光ＲＢに起因する発光素子２２１の不安定化を効果的に抑制することができる。
【００５７】
＜第２実施例＞
次に、第２実施例に係るレーザードップラーセンサについて、図１３及び図１４を参照して説明する。なお、第２実施例は、上述した第１実施例と比較して一部の構成が異なるのみであり、その他の部分については概ね同様である。このため、以下では、第１実施例と異なる部分について詳細に説明し、他の重複する部分については適宜説明を省略するものとする。
【００５８】
先ず、第２実施例に係るレーザードップラーセンサの全体構成について、図１３を参照して説明する。ここに図１３は、第２実施例に係るレーザードップラーセンサの全体構成を示す斜視図である。
【００５９】
図１３において、第２実施例に係るレーザードップラーセンサは、発光側センサ部２５０を有する発光側プローブ部１１０と、受光側センサ部２６０を有する受光側プローブ部１２０と、接続ケーブル３００と、接続端子４００とを備えて構成されている。即ち、第２実施例に係るレーザードップラーセンサでは、プローブ部が発光側と受光側とで別体として構成されている。
【００６０】
第２実施例に係るレーザードップラーセンサの動作時には、対象物５００が、発光側プローブ部１１０と受光側プローブ部１２０との間に配置される。第２実施例に係るレーザードップラーセンサでは、発光側センサ部２５０が有する発光素子からレーザ光が照射されると、対象物５００を透過したレーザ光が、受光側センサ部２６０が有する受光素子において受光される。即ち、第２実施例に係るレーザードップラーセンサは、透過型のセンサとして構成されている。
【００６１】
続いて、第２実施例に係るセンサ部の具体的な構成について、図１４を参照して説明する。ここに図１４は、第２実施例に係るセンサ部の構成を示す断面図である。
【００６２】
図１４において、発光側センサ部２５０は、素子基板２１０と、発光素子２２１と、モールド部２３０と、カバー部２４０とを備えて構成されている。他方、受光側センサ部２６０は、素子基板２１０ｂと、発光素子２２２と、モールド部２３０ｂと、カバー部２４０ｂとを備えて構成されている。
【００６３】
発光側センサ部２５０におけるカバー部２４０は、発光素子２２１から出射されるレーザ光の光路に対して傾斜して配置されている。即ち、出射光ＬＢの光路とカバー部２４０の透過面とが互いに直交しないように配置されている。これにより、カバー部２４０において反射された戻り光ＲＢは、出射光ＬＢとずれた角度で反射される。従って、光の干渉に起因する発光素子２２１の不安定化を抑制することができる。
【００６４】
なお、受光側センサ部２６０におけるカバー部２４０ｂも、発光側と同様に傾斜されているが、受光側においては光の干渉を考慮せずともよいため、必ずしも傾斜して配置することは要求されない。ただし、発光側と同様に傾斜されたカバー部２４０ｂを用いれば、部品を共通化してコストの増大を防止することができる。
【００６５】
ちなみに、カバー部２４０及び２４０ｂの形状を、例えば図３で示したＭ字型や図５で示した山型にすることで、部品の対称性を実現し生産性を向上させることもできる。また、第２実施例においても、第１実施例において挙げた各変形例を採用することが可能である。
【００６６】
以上説明したように、第２実施例に係るレーザードップラーセンサによれば、出射光ＬＢが透過する透過面が傾斜されていることにより、戻り光ＲＢに起因する発光素子２２１の不安定化を効果的に抑制することができる。
【００６７】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うレーザードップラーセンサもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６８】
１００  プローブ部
１１０  発光側プローブ部
１２０  受光側プローブ部
２００  センサ部
２１０  素子基板
２２１  発光素子
２２２  受光素子
２３０  モールド部
２４０  カバー部
２３１，２４１  第１透過面
２３２，２４２  第２透過面
２５０  発光側センサ部
２６０  受光側センサ部
３００  接続ケーブル
４００  接続端子
５００  対象物
ＬＢ  出射光
ＲＢ  戻り光
ＳＣ  対称中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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