(57)【要約】      （修正有）【課題】磁気駆動機構によって振動を発生させるアクチュエータであって、支持体の固定強度を確保することが可能なアクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータ１の支持体２は、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７から構成される。これらは、第２方向Ｘ１、Ｘ２の軸線を跨ぐ一方の対角位置において、第１方向Ｚ１、Ｚ２間が締結部材であるネジ１８によって締め付けられる。また、第１方向間がネジ等の締結部材によって締め付けられない、第２方向の軸線を跨ぐ支持体２の他方の対角位置において、第１カバー部材に設けられた一対の円柱状ボス１６ｇの先端部が、第２カバー部材に設けられた一対の取付穴１７ｇに嵌合されている。さらに、円柱状ボスの外周面と取付穴の内周面には当接する当接部１７ｊが形成されている。【選択図】図９
2020058107.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、
可動体と、
前記可動体と前記支持体とに接続された接続体と、
コイルおよび前記コイルに第１方向で対向する磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第１方向に対して交差する第２方向に相対移動させる磁気駆動機構と、
を有し、
前記支持体は、前記コイルまたは前記磁石を保持するホルダと、前記第１方向の一方側で前記ホルダを支持する第１カバー部材と、前記第１方向の他方側で前記ホルダを支持して前記ホルダを前記第１カバー部材との間に挟持する第２カバー部材とからなり、
前記第１カバー部材、前記ホルダおよび前記第２カバー部材は、前記第１方向および前記第２方向に対して交差する第３方向における前記支持体の中心を通る前記第２方向の軸線を跨ぐ一方の対角位置において、前記第１方向間が締結部材によって締め付けられ、
前記第１カバー部材または前記第２カバー部材のどちらか一方には、前記第２方向の軸線を跨ぐ他方の対角位置に、前記第１方向において前記第２カバー部材または前記第１カバー部材のどちらか他方に達する高さの一対の突出部が設けられ、
前記ホルダは、前記第２方向の軸線を跨ぐ他方の対角位置に、一対の前記突出部を貫通させる一対の貫通穴が設けられ、
前記第２カバー部材または前記第１カバー部材のどちらか一方には、前記第２方向の軸線を跨ぐ他方の対角位置に、一対の前記突出部の各先端部の周囲を囲む一対の取付穴が設けられ、
前記突出部の外周面と前記取付穴の内周面には当接する当接部が形成されている
アクチュエータ。
【請求項２】
前記当接部は、複数の突起で形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記第１カバー部材と前記第２カバー部材はスナップフィットによって互いに固定されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記接続体は粘弾性部材であり、前記可動体と前記支持体とが対向する位置で前記可動体および前記支持体の双方に接するように配置されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種振動を発生させるアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、第１方向で対向するコイルおよび磁石を備えた磁気駆動機構により、可動体を支持体に対して第１方向に対して交差する第２方向に振動させるアクチュエータが提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
同文献の図１４に示される支持体は、第１方向であるＺ軸方向の一方側Ｚ１に位置する第１ケースと、第１ケースにＺ軸方向の他方側Ｚ２で被さる第２ケースと、第１ケースと第２ケースの間に配置されるホルダとから構成され、これらは四隅が４本の固定ネジで相互が固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−１２７７８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
アクチュエータを機器に取り付けて使用するユーザの利便性を考慮すると、４本の固定ネジの内、一方の対角の一対の固定ネジは支持体の固定用に使用し、他方の対角の一対の固定ネジは、ユーザにおけるアクチュエータの機器固定用に用いることが考えられる。
【０００６】
しかしながら、一方の対角の一対の固定ネジだけを使用して支持体を固定すると、他方の対角が固定されていないため、この他方の対角において、第１ケースと第２ケースとの間に僅かな隙間が生じる。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、磁気駆動機構によって振動を発生させるアクチュエータであって、支持体の固定強度を確保することが可能なアクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような課題を解決するためになされたもので、本発明のアクチュエータは、支持体と、可動体と、可動体と支持体とに接続された接続体と、コイルおよびコイルに第１方向で対向する磁石を備え、可動体を支持体に対して第１方向に対して交差する第２方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、支持体は、コイルまたは磁石を保持するホルダと、第１方向の一方側でホルダを支持する第１カバー部材と、第１方向の他方側でホルダを支持してホルダを第１カバー部材との間に挟持する第２カバー部材とからなり、第１カバー部材、ホルダおよび第２カバー部材は、第１方向および第２方向に対して交差する第３方向における支持体の中心を通る第２方向の軸線を跨ぐ一方の対角位置において、第１方向間が締結部材によって締め付けられ、第１カバー部材または第２カバー部材のどちらか一方には、第２方向の軸線を跨ぐ他方の対角位置に、第１方向において第２カバー部材または第１カバー部材のどちらか他方に達する高さの一対の突出部が設けられ、ホルダは、第２方向の軸線を跨ぐ他方の対角位置に、一対の突出部を貫通させる一対の貫通穴が設けられ、第２カバー部材または第１カバー部材のどちらか一方には、第２方向の軸線を跨ぐ他方の対角位置に、一対の突出部の各先端部の周囲を囲む一対の取付穴が設けられ、前記突出部の外周面と前記取付穴の内周面には当接する当接部が形成されていることを特徴とする。
【０００９】
本構成によれば、第１方向間が締結部材によって締め付けられない、第２方向の軸線を跨ぐ支持体の他方の対角位置において、一方のカバー部材に設けられた一対の突出部が他方のカバー部材に設けられた一対の取付穴に嵌合されている。前記突出部の外周面と前記取付穴の内周面には当接する当接部が形成されているので、一対の突出部と一対の取付穴とに形成された当接部で当接することで、支持体の他方の対角位置における第１カバー部材および第２カバー部材間の動きが抑止されて、支持体としての第１カバー部材および第２カバー部材間の固定強度を確保することが可能になる。
【００１０】
本発明によれば、前記当接部は、複数の突起で形成されていることが好ましい。これにより、突出部と取付穴との間で圧入することで、支持体としての第１カバー部材および第２カバー部材の動きが抑止されて、第１カバー部材および第２カバー部材間の固定強度が増加し、固定強度を高めることが可能になる。
【００１１】
本発明によれば、前記第１カバー部材と前記第２カバー部材にはスナップフィットによって互いに固定されていることが好ましい。これにより、支持体としての第１カバー部材および第２カバー部材の動きが抑止されて、第１カバー部材および第２カバー部材間の固定強度が増加し、固定強度を高めることが可能になる。さらに、第１カバー部材と第２カバー部材との取付時間を短縮することが可能になる。
【００１２】
本発明において、前記接続体は粘弾性部材であり、前記可動体と前記支持体とが対向する位置で前記可動体および前記支持体の双方に接するように配置されていることが好ましい。これにより、前記弾性部材は、厚さ方向（第１方向）と交差する方向（せん断方向）に変形するため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を発揮する。このため、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができるので、微妙なニュアンスをもつ振動を実現することが可能になる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のアクチュエータによれば、第１方向間が締結部材によって締め付けられない、第２方向の軸線を跨ぐ支持体の他方の対角位置において、一方のカバー部材に設けられた一対の突出部が他方のカバー部材に設けられた一対の取付穴に嵌合されている。前記突出部の外周面と前記取付穴の内周面には当接する当接部が形成されているので、一対の突出部と一対の取付穴とに形成された当接部で当接することで、支持体の他方の対角位置における第１カバー部材および第２カバー部材間の動きが抑止されて、支持体としての第１カバー部材および第２カバー部材間の固定強度を確保することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。
【図２】図１に示すアクチュエータのＸＺ断面図である。
【図３】図１に示す配線基板およびネジを外した状態の斜視図である。
【図４】図１に示すアクチュエータを分解して第１方向の他方側からみたときの分解斜視図である。
【図５】図１に示すアクチュエータを分解して第１方向の一方側からみたときの分解斜視図である。
【図６】図２に示す磁気駆動機構を分解して第１方向の他方側からみたときの分解斜視図である。
【図７】図２に示す磁気駆動機構を分解して第１方向の一方側からみたときの分解斜視図である。
【図８】図６および図７に示すホルダに保持される部品を分解して第１方向の一方側からみた分解斜視図である。
【図９】図３に示すアクチュエータの第２カバー部材を外して配線基板の図示を省略した状態の斜視図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。
【図１１】図１０に示すアクチュエータのＸＺ断面図である。
【図１２】図１０に示すアクチュエータの第２カバー部材およびネジを外して配線基板の図示を省略した状態の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。また、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。また、各図において同一または相当する部分には同一符号を付して説明する。
【００１６】
また、本発明を適用したアクチュエータ１は、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構６を有しており、磁気駆動機構６は、コイル７と磁石８とを有している。かかる磁気駆動機構６では、コイル７が支持体２（一方側部材）の側に設けられ、磁石８が可動体３（他方側部材）の側に設けられた態様、および磁石８が支持体２（他方側部材）の側に設けられ、コイル７が可動体３（一方側部材）の側に設けられた態様を採用することができる。以下の説明では、コイル７が支持体２の側に設けられ、磁石８が可動体３の側に設けられた態様を中心に説明する。
【００１７】
（全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＸＺ断面図である。図３は、図１に示す配線基板１５およびネジ１８を外した状態の斜視図である。
【００１８】
図１および図２に示すように、本形態のアクチュエータ１は、全体として、第２方向Ｘの寸法が第３方向Ｙの寸法より大きい直方体形状を有している。また、図２に示すように、支持体２と、支持体２に移動可能に支持された可動体３と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構６とを有しており、磁気駆動機構６は、可動体３を第２方向Ｘに振動させる。
【００１９】
図１、図２および図３に示すように、支持体２は、カバー１１とホルダ６０とを有しており、カバー１１の内側に、図２に示す可動体３および磁気駆動機構６が配置されている。カバー１１は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１カバー部材１６と、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２カバー部材１７とを有しており、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７は、四角形の平面形状を有している。第１カバー部材１６と第２カバー部材１７との間には、四角形の平面形状を有するホルダ６０が配置されており、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７は、端部１６０、６００、１７０が第１方向Ｚで重なっている。従って、カバー１１の外面側１１０は、第１カバー部材１６の端部１６０、ホルダ６０の端部６００、および第２カバー部材１７の端部１７０によって構成されている。
【００２０】
（第１カバー部材１６の構成）
図４は、図１に示すアクチュエータ１を分解して第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみたときの分解斜視図である。図２および図４に示すように、第１カバー部材１６には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向かって開口する四角形の凹部１６５が形成されている。また、凹部１６５の底部には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１６６、１６７が形成されている。凹部１６５の対角位置には貫通穴１６ａが形成されている。すなわち、凹部１６５において、第２方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１および他方側Ｙ２に位置する角部分、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１および他方側Ｙ２に位置する角部分に貫通穴１６ａが形成されている。また、凹部１６６、１６７の第３方向Ｙの両端部には貫通穴１６ｂが形成されている。
【００２１】
第１カバー部材１６において、凹部１６５は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１６１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する第２壁部１６２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１６３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１６４とによって囲まれている。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部１６１および第２壁部１６２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部１６３および第４壁部１６４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。第３壁部１６３の外面には、第２方向Ｘに沿って延在する凹部１６８が形成されている。
【００２２】
第３壁部１６３には、第２方向Ｘに沿って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した複数の凸板部１６３ａが所定の間隔に形成されている。また、第１壁部１６１および第２壁部１６２には、外縁から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した凸板部１６１ａ、１６２ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。
【００２３】
第３壁部１６３および第４壁部１６４の第２方向Ｘの両端には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて開口した位置決め用の穴１６ｃが形成されている。また、可動体３は振動を生じさせるとき支持体２に対して第２方向Ｘに相対移動させられるが、この相対移動は、第３方向Ｙにおける支持体２の中心を通る第２方向Ｘの軸線Ｃ（図１参照）を中心軸にして行われる。第１カバー部材１６の、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ一方の対角位置には一対の貫通穴１６ｅが形成され、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ他方の対角位置には一対の貫通穴１６ｆが形成されている。すなわち、第１カバー部材１６において、第２方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する角部分、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する角部分に貫通穴１６ｅが形成され、第２方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する角部分、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する角部分に貫通穴１６ｆが形成されている。
【００２４】
また、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ他方の対角位置における、貫通穴１６ｆの軸線Ｃ寄りには、第１方向Ｚにおいて第２カバー部材１７に達する高さの一対の円柱状ボス１６ｇが突出部として設けられている。本形態では、円柱状ボス１６ｇは、図１に示すように、第２カバー部材１７の側面に僅かに達しない高さに形成されている。
【００２５】
（第２カバー部材１７の構成）
図５は、図１に示すアクチュエータ１を分解して第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみたときの分解斜視図である。図２および図５に示すように、第２カバー部材１７は、以下に説明するように、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚで略対称に形成されている。まず、第２カバー部材１７には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向かって開口する四角形の凹部１７５が形成されている。また、凹部１７５の底部には、第２方向Ｘで並ぶ２つの凹部１７６、１７７が形成されている。第２カバー部材１７において、凹部１７５は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１壁部１７１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置するに第２壁部１７２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３壁部１７３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４壁部１７４とによって囲まれている。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部１７１および第２壁部１７２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部１７３および第４壁部１７４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。第３壁部１７３の外面には、第２方向Ｘに沿って延在する凹部１７８が形成されている。
【００２６】
第３壁部１７３に形成された凹部１７８の外面には、第２方向Ｘに沿ってさらに深い凹部１７９が延在している。また、第１壁部１７１には、外縁から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した凸板部１７１ａが第３方向Ｙの中央に形成され、第２壁部１７２には、外縁から第１方向Ｚの他方側Ｚ２にへこんだ凹部１７２ａが第３方向Ｙの中央に形成されている。
【００２７】
第３壁部１７３および第４壁部１７４の第２方向Ｘの両端には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて開口した位置決め用の穴１７ｃが形成されている。また、第２カバー部材１７の、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ一方の対角位置には一対の貫通穴１７ｅが形成され、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ他方の対角位置には一対の貫通穴１７ｆが形成されている。すなわち、第２カバー部材１７において、第２方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する角部分、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する角部分に貫通穴１７ｅが形成され、第２方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する角部分、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する角部分に貫通穴１７ｆが形成されている。
【００２８】
また、第２カバー部材１７の、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ他方の対角位置における、貫通穴１７ｆの軸線Ｃ寄りには、一対の取付穴１７ｇが形成されている。一対の取付穴１７ｇは、第２カバー部材１７がホルダ６０を介して第１カバー部材１６に取り付けられると、第１カバー部材１６の他方の対角位置における、貫通穴１６ｆの軸線Ｃ寄りに形成された一対の円柱状ボス１６ｇの各先端部の周囲を囲む。本形態では、取付穴１７ｇの内周面には当接部１７ｊとしての突起が複数形成されている。すなわち、軸方向に延びるように形成されたリブ状の突起が内周面に複数形成されている。このリブ状の突起が円柱状ボス１６ｇの外周面に圧入されて当接している。また、当接部１７ｊが形成されていない箇所は、円柱状ボス１６ｇの先端部の周囲と取付穴１７ｇの内周との間に所定の隙間を有する。
【００２９】
（磁気駆動機構６の構成）
図６は、図２に示す磁気駆動機構６の第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみた分解斜視図、図７は磁気駆動機構６の第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみた分解斜視図である。図８は、図６、図７に示すホルダ６０に保持される部品を分解して第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみた分解斜視図である。図２、および図６〜図８に示すように、磁気駆動機構６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。本形態において、コイル７は、第２方向Ｘで並列するように配置された２つのコイル７１、７２からなり、コイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延在する長円形状の空芯コイルである。コイル７はホルダ６０と取付板６８との間に保持されており、支持体２の側に設けられている。
【００３０】
（ホルダ６０の構成）
図２、および図６〜図８に示すように、ホルダ６０は、２つのコイル保持穴６６、６７が第２方向Ｘで並列するように形成されており、コイル保持穴６６、６７の各々にコイル７が配置されている。コイル保持穴６６、６７は貫通穴であり、第３方向Ｙの両端部には、コイル保持穴６６、６７の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部に受け部６６１、６７１が形成されている。従って、コイル保持穴６６、６７に第１方向Ｚの一方側Ｚ１からコイル７を装着すると、コイル７の短辺７０２（無効部分）が受け部６６１、６７１によって第１方向Ｚの他方側Ｚ２で支持された状態となる。
【００３１】
ホルダ６０は、コイル保持穴６６、６７が形成されている部分に対して、第２方向Ｘの一方側Ｘ１、第２方向Ｘの他方側Ｘ２、第３方向Ｙの一方側Ｙ１、および第３方向Ｙの他方側Ｙ２に、第１壁部６１、第２壁部６２、第３壁部６３、および第４壁部６４を備えている。第１方向Ｚからみたとき、第１壁部６１および第２壁部６２の幅（第２方向Ｘの寸法）は、第３壁部６３および第４壁部６４の幅（第３方向Ｙの寸法）より広い。
【００３２】
ホルダ６０には、コイル保持穴６６と第１壁部６１との間に第１開口部６０１が形成され、コイル保持穴６７と第２壁部６２との間に第２開口部６０２が形成されている。第１開口部６０１、および第２開口部６０２はホルダ６０を第１方向Ｚで貫通している。
【００３３】
第１壁部６１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部６１１が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６１２が形成されている。凹部６１１、６１２は、第１壁部６１の第３方向Ｙの中央に形成されている。第２壁部６２には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹部６２１が形成され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に凹部６２２が形成されている。凹部６２１、６２２は、第２壁部６２の第３方向Ｙの中央に形成されている。第３壁部６３の外面側には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に複数の凹部６３１が第３方向Ｙの他方側Ｙ２に窪んで第２方向Ｘに沿って形成されている。また、第３壁部６３には、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出する凸部６３２が第２方向Ｘに沿って延在している。
【００３４】
第３壁部６３および第４壁部６４の第２方向Ｘの両端には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した位置決め用の凸部６０ｃと、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した位置決め用の凸部６０ｄとが形成されている。また、図８に示すように、コイル保持穴６６、６７の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の周囲には、取付板６８よりも一回り大きな面積で、取付板６８の厚さ分だけ窪んだ凹部６９が形成されている。この凹部６９の底面四隅には、位置決め突起６９１が第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出して形成されている。位置決め突起６９１どうし間の形成ピッチは、取付板６８の四隅に設けられた穴６８１どうしの形成ピッチと同じになっており、取付板６８は、各穴６８１に各突起６９１が挿入されて凹部６９に嵌められて固定される。この状態で、コイル７は、接着剤等によって取付板６８に接着されることで、ホルダ６０に固定される。
【００３５】
ホルダ６０の第２方向Ｘの軸線Ｃを挟む一方の対角位置には一対の貫通穴６０ｅが形成され、第２方向Ｘの軸線Ｃを挟む他方の対角位置には一対の貫通穴６０ｆが形成されている。すなわち、ホルダ６０において、第２方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する角部分、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する角部分に貫通穴６０ｅが形成され、第２方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する角部分、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する角部分に貫通穴６０ｆが形成されている。
【００３６】
また、第３壁部６３および第４壁部６４の、第２方向Ｘの軸線Ｃを挟む他方の対角位置における、貫通穴６０ｆの軸線Ｃ寄りには、一対の貫通穴６０ｇが形成されている。貫通穴６０ｇは、第１カバー部材１６に形成された一対の突出部１６ｇを遊びを持って貫通させる直径を有する。
【００３７】
第３壁部６３の外面には、第２方向Ｘに沿って延在する凹部６３０が形成されており、凹部６３０の底面には、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に突出した位置決め用の凸部６３６が第２方向Ｘに沿って３個並んで台形状に形成されている。また、第３壁部６３には、コイル保持穴６６、６７から第３壁部６３の外面（凹部６３０の底面）まで延在するガイド溝６３７が４本形成されている。
【００３８】
（支持体２の構成）
本形態では、図９に示すように、第１カバー部材１６の上にホルダ６０を第１方向Ｚに重ね、さらに、ホルダ６０の上に第２カバー部材１７を第１方向Ｚに重ねた状態で、第２カバー部材１７の貫通穴１７ｅ、ホルダ６０の貫通穴６０ｅ、および第２カバー部材１７の貫通穴１７ｅにネジ１８を止め、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７を第１方向Ｚで締結する。その結果、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７は、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ一方の対角位置において、第１方向Ｚ間が締結部材であるネジ１８によって締め付けられ、支持体２が形成される。
【００３９】
その際、第１カバー部材１６に形成された円柱状ボス１６ｇは、ホルダ６０の貫通穴６０ｇを貫通して、図９に示すように先端部がホルダ６０から突出し、第２カバー部材１７がホルダ６０に重ねられることで、先端部の周囲が第２カバー部材１７に形成された取付穴１７ｇの内周に囲まれる。つまり、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ他方の対角位置において、円柱状ボス１６ｇの先端部周囲が取付穴１７ｇの内周に囲まれる。円柱状ボス１６ｇの頭は、第２カバー部材１７から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出しない。また、第１カバー部材１６の凸板部１６３ａがホルダ６０の凹部６３１に嵌り、第１カバー部材１６の凸板部１６１ａ、１６２ａがホルダ６０の凹部６１１、６２１に嵌る。また、第１カバー部材１６の穴１６ｃにホルダ６０の凸部６０ｃが嵌る。また、第２カバー部材１７の凹部１７９にホルダ６０の凸部６３２が嵌り、第２カバー部材１７の凸板部１７１ａがホルダ６０の凹部６１２に嵌る。また、第２カバー部材１７の穴１７ｃにホルダ６０の凸部６０ｄが嵌る。このようにして、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７は互いに位置決めされた状態で連結される。また、ガイド溝６３７は、ホルダ６０と第１カバー部材１６との間で穴６３８として開口する。
【００４０】
なお、第１カバー部材１７の貫通穴１６ｆ、ホルダ６０の貫通穴６０ｆ、および第２カバー部材１７の貫通穴１７ｆは、アクチュエータ１を各種機器に搭載する際、機器のフレームに対して止める図示しないネジが止められる。本形態では、ネジ１８および図示しないネジを止めた際、ネジ１８および図示しないネジの頭は、第２カバー部材１７から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出しない。
【００４１】
（コイル７の端部の処理）
このように構成したアクチュエータ１においては、図１および図２に示すように、支持体２に用いたカバー１１は、外面側１１０に、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する第１側面１１１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置するに第２側面１１２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第３側面１１３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する第４側面１１４とを有している。ここで、第３側面１１３および第４側面１１４の第２方向Ｘの長さは、第１側面１１１および第２側面１１２の第３方向Ｙの長さより長い。本形態では、第３側面１１３には、コイル７を構成するコイル線の巻き始めの第１端部７０６、および巻き終わりの第２端部７０７が各々電気的に接続された配線基板１５が固定されている。
【００４２】
本形態では、ホルダ６０にガイド溝６３７が形成されているため、ホルダ６０のコイル保持穴６６、６７にコイル７を固定する際、巻き始めの第１端部７０６、および巻き終わりの第２端部７０７をガイド溝６３７を通して外側に引き出しておき、その後、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７を第１方向Ｚに重ねて連結する。その結果、第１端部７０６、および第２端部７０７は穴６３８から引き出された状態となる。
【００４３】
また、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７を第１方向Ｚに重ねて連結した後、凹部１６８、６３０、１７８に配線基板１５を固定することができる。その際、ホルダ６０の両端の凸部６３６を配線基板１５の位置決め用の穴１５５に嵌めると共に、中央の凸部６３６を配線基板１５の切り欠き１５２に当接させることで、配線基板１５の位置決めを行い、その後、接着剤等によって配線基板１５を固定する。それゆえ、配線基板１５を介して外部からコイル７を駆動することができる。ここで、配線基板１５には、穴６３８を開放状態とする切り欠き１５０が形成されているので、穴６３８から引き出された第１端部７０６および第２端部７０７を切り欠き１５０を通して配線基板１５のランド１５１の各々まで延在させ、ランド１５１にハンダ付する。その結果、２つのコイル７は、直列に電気的に接続される。なお、２つのコイル７は、並列に電気的に接続してもよい。
【００４４】
（可動体３の構成）
図２、および図４〜図８に示すように、可動体３は、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する第１板部８６０を備えた第１ヨーク８６と、コイル７に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する第２板部８７０を備えた第２ヨーク８７とを有しており、磁石８は、第１ヨーク８６の第１板部８６０のコイル７と対向する面、および第２ヨーク８７の第２板部８７０のコイル７と対向する面の少なくとも一方に保持されてコイル７に第１方向Ｚで対向している。
【００４５】
本形態では、磁石８として、第１ヨーク８６の第１板部８６０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第１磁石８１と、第２ヨーク８７の第２板部８７０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第２磁石８２とが設けられている。この状態で、第１磁石８１は、コイル７の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向し、第２磁石８２は、コイル７の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向している。第１磁石８１および第２磁石８２は各々、厚さ方向（第１方向Ｚ）で分極着磁されており、第１磁石８１においてコイル７に対向する面と、第２磁石８２においてコイル７と対向する面は異なる極に着磁されている。本形態では、第１磁石８１および第２磁石８２は各々、２つのコイル７（コイル７１、７２）の計４つの長辺７０１に対向する２つの磁石からなる。
【００４６】
本形態において、第１ヨーク８６は、第１板部８６０から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク８７と重なる位置まで延在して第２ヨーク８７と連結された第１連結板部８６１と、第１磁石８１に対して第１連結板部８６１とは反対側で第１板部８６０から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて第２ヨーク８７と重なる位置まで延在して第２ヨーク８７と連結された第２連結板部８６２とを備えている。第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は各々、第１板部８６０において第２方向Ｘの互いに反対側に位置する端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて折れ曲がっている。このため、第１連結板部８６１は、コイル７に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在し、第２連結板部８６２は、コイル７に対して第２方向Ｘの他方側Ｘ２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在している。その際、第１連結板部８６１は、コイル７に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１でホルダ６０の第１開口部６０１を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在し、第２連結板部８６２は、コイル７に対して第２方向Ｘの他方側Ｘ２でホルダ６０の第２開口部６０２を通って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在している。
【００４７】
本形態では、第１連結板部８６１および第２連結板部８６２は、溶接により第２ヨーク８７の端部と連結されている。より具体的には、第１連結板部８６１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部８６１ａは、第２ヨーク８７の第２板部８７０の第１側面８７１に重なって第１連結板部８６１と第２ヨーク８７の第１側面８７１とが溶接されている。同様に、第２連結板部８６２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部は、第２ヨーク８７の第２板部８７０の第２側面８７２に重なって第２連結板部８６２と第２ヨーク８７の第２側面８７２とが溶接されている。
【００４８】
第１連結板部８６１の端部８６１ａ、および第１側面８７１のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成され、第２連結板部８６２の端部８６２ａ、および第２側面８７２のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成されている。本形態では、第２板部８７０に形成された凸部８７３が第１連結板部８６１の端部８６１ａに形成された凹部８６３に嵌って溶接され、第２板部８７０に形成された凸部８７４が第２連結板部８６２の端部８６２ａに形成された凹部８６４に嵌って溶接されている。
【００４９】
（ストッパの構成）
図２に示すように、本形態では、可動体３に用いた第１ヨーク８６の第１連結板部８６１に対して第２方向Ｘの一方側Ｘ１には、第１カバー部材１６の第１壁部１６１、ホルダ６０の第１壁部６１、および第２カバー部材１７の第１壁部１７１の内面が、連続した平面（第１被当接部１１８）を構成した状態で対向している。したがって、第１連結板部８６１は、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動した際に第１被当接部１１８と当接して可動体３の第２方向Ｘの一方側Ｘ１への可動範囲を規制する第１ストッパを構成している。
【００５０】
同様に、第２連結板部８６２に対して第２方向Ｘの他方側Ｘ２には、第１カバー部材１６の第２壁部１６２、ホルダ６０の第２壁部６２、および第２カバー部材１７の第２壁部１７２の内面が、平面（第２被当接部１１９）を構成した状態で対向している。したがって、第２連結板部８６２は、可動体３が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動した際に第２被当接部１１９と当接して可動体３の第２方向Ｘの他方側Ｘ２への可動範囲を規制する第２ストッパを構成している。
【００５１】
（接続体９０および粘弾性部材９の構成）
図２、図４および図５に示すように、支持体２および可動体３に対して、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体９０が設けられている。本形態において、接続体９０は、支持体２と可動体３とが第１方向Ｚで対向する個所に設けられた粘弾性部材９であり、第１方向Ｚ、第２方向Ｘ、および第３方向Ｙ方向に弾性的に変形可能である。粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材９として、各種ゲル状部材を用いることができる。また、粘弾性部材９として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。
【００５２】
本形態において、接続体９０として粘弾性部材９のみが支持体２および可動体３の双方に接続されている。本形態において、粘弾性部材９として、可動体３の第１ヨーク８６と支持体２の第１カバー部材１６とが第１方向Ｚで対向する個所に第１粘弾性部材９１が配置され、可動体３の第２ヨーク８７と支持体２の第２カバー部材１７とが第１方向Ｚで対向する個所に第２粘弾性部材９２が配置されている。より具体的には、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１カバー部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間に２つ配置され、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の第２板部８７０と第２カバー部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間に２つ配置されている。
【００５３】
ここで、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１カバー部材１６の凹部１６６、１６７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置され、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の第２板部８７０と第２カバー部材１７の凹部１７６、１７７の底部との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で配置されている。第１粘弾性部材９１は、支持体２と接する面（第１カバー部材１６の凹部１６６、１６７の底部）に接着され、可動体３と接する面（第１ヨーク８６）と接着されている。第２粘弾性部材９２は、支持体２と接する面（第２カバー部材１７の凹部１７６、１７７の底部）に接着され、可動体３と接する面（第２ヨーク８７）と接着されている。
【００５４】
本形態において、粘弾性部材９（第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２）は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ−Ｋ−２２０７やＪＩＳ−Ｋ−２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材９は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材９は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。一方、本形態のように、粘弾性部材９が厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材９では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、本形態のように、粘弾性部材９のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。
【００５５】
（基本動作）
本形態のアクチュエータ１において、コイル７に交流を印加すると、可動体３は、第２方向Ｘに振動するため、アクチュエータ１における重心が第２方向Ｘに変動する。このため、利用者は、第２方向Ｘの振動を体感することができる。その際、コイル７に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。
【００５６】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１においては、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７は、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ一方の対角位置において、第１方向Ｚ間が締結部材であるネジ１８によって締め付けられる。また、第１方向Ｚ間がネジ等の締結部材によって締め付けられない、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ支持体２の他方の対角位置において、第１カバー部材１６に設けられた一対の円柱状ボス１６ｇの先端部の周囲が、第２カバー部材１７に設けられた一対の取付穴１７ｇに囲まれる。第１方向Ｙ間が締結部材によって締め付けられない、第２方向Ｘの軸線を跨ぐ支持体２の他方の対角位置において、第２カバー部材１７に設けられた一対の円柱ボス１６ｇが第１カバー部材１６に設けられた一対の取付穴１７ｇに嵌合されている。円柱ボス１６ｇの外周面と取付穴１７ｇの内周面には当接する当接部１７ｊが形成されているので、円柱ボス１６ｇと取付穴１７ｇとに形成された当接部１７ｊで当接することで、支持体２の他方の対角位置における第１カバー部材１６および第２カバー部材１７間の動きが抑止されて、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７間の固定強度を確保することが可能になる。
【００５７】
また、本形態では、一対の円柱状ボス１６ｇは、各先端部の周囲と一対の取付穴１７ｇの内周との間に所定の隙間を有する。このため、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ支持体２の他方の対角位置において、第１カバー部材１６と第２カバー部材１７との間に隙間が生じると、一対の円柱状ボス１６ｇの各先端部の周囲と一対の取付穴１７ｇの内周との間に傾きが生じ、一対の円柱状ボス１６ｇの各先端部の周囲が一対の取付穴１７ｇの内周に当接する。このように、支持体２の他方の対角位置において、一対の円柱状ボス１６ｇの先端部の周囲が一対の取付穴１７ｇに当接することで、支持体２の他方の対角位置における第１カバー部材１６および第２カバー部材１７間の動きが抑止されて、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７間の固定強度が確保される。このため、支持体２の他方の対角位置に生じる、第１カバー部材１６と第２カバー部材１７との間の隙間に起因して、可動体３の支持体２に対する相対移動によって支持体２から異音が生じることを抑制または防止することが可能になる。
【００５８】
（実施形態の変形例）
上記実施形態では、一対の円柱状ボス１６ｇは、各先端部の周囲と一対の取付穴１７ｇの内周との間に所定の隙間を有する場合について説明したが、一対の取付穴１７ｇの内周に圧入される複数の突起を各先端部の外周囲に有するように構成してもよい。本構成によれば、第１カバー部材１６と第２カバー部材１７の部品成型時の寸法精度により、製品の組立時に一対の円柱状ボス１６ｇと一対の取付穴１７ｇとの相対位置に寸法誤差が生じても、一対の円柱状ボス１６ｇの各先端部の外周囲における複数の突起が一対の取付穴１７ｇの内周に圧入されることで、一対の円柱状ボス１６ｇと一対の取付穴１７ｇとの相対位置が矯正される。したがって、部品成型時に生じる部品の寸法誤差が吸収され、一対の円柱状ボス１６ｇと一対の取付穴１７ｇとの間には安定した嵌め合いが形成される。このため、支持体２の他方の対角位置に生じる、第１カバー部材１６と第２カバー部材１７との間の隙間に起因して、可動体３の支持体２に対する相対移動によって支持体２から異音が生じるのが安定して防止される。
【００５９】
（他の実施形態）
上記実施形態では、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７は、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ一方の対角位置において、第１方向Ｚ間が締結部材であるネジ１８によって締め付けられ、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ他方の対角位置において、円柱状ボス１６ｇの先端部周囲が取付穴１７ｇの内周に囲まれることで、相互が固定された。しかし、図１０に示すアクチュエータ１Ａのように、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７間にスナップフィット方式の固定部材を設け、第１カバー部材１６、ホルダ６０および第２カバー部材１７間の固定をより強固にするように構成してもよい。
【００６０】
スナップフィット方式の固定部材は、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７の一方の、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ他方の対角位置に近い位置の側面に設けられる突起部１６ｈと、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７の他方の、第２方向Ｘの軸線Ｃを跨ぐ他方の対角位置に近い位置の側面に設けられるフック部１７ｈとから構成される。本形態では、突起部１６ｈは、第１カバー部材１６の第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２の両端の側面に、第３方向Ｙに延在して互いに離反する方向に突出して一対設けられている。フック部１７ｈは、第２カバー部材１７の第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２の両端の側面に、第１方向Ｚの一方側Ｚ１にＵの字状に突出して一対設けられている。フック部１７ｈは突起部１６ｈに係合する係合部を構成し、突起部１６ｈに係合することで、フック部１７ｈが有する弾性により第１カバー部材１６および第２カバー部材１７間に第１方向Ｚにおいて互いに近付かせる力を作用させる。
【００６１】
上記実施形態ではカバー１１の外面側１１０は平面であったが、図１０、図１１および図１２に示すように、本形態では、突起部１６ｈが設けられる第１カバー部材１６の外面側には、フック部１７ｈの外周囲が嵌まる凹部１６ｉが形成されている。また、フック部１７ｈのＵの字状部内周には突起部１６ｈが嵌まる切り欠き１７ｉが矩形状に形成されている。これら以外の本形態のアクチュエータ１Ａの構成は、上記実施形態のアクチュエータ１と同様な構成をしている。
【００６２】
本構成によれば、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７の一方の、他方の対角位置に近い位置の側面に設けられた突起部１６ｈに、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７の他方の、他方の対角位置に近い位置の側面に設けられたフック部１７ｈが係合することで、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７間には、他方の対角位置に近い位置の第１方向Ｚにおいて、互いを近付かせる力が作用する。したがって、この力により、支持体２の他方の対角位置において、部品の寸法精度の影響を受けずに、第１カバー部材１６と第２カバー部材１７との間に隙間が生じるのが抑制され、支持体２を構成する各部品をガタつきなく組み付けることができる。このため、一対の円柱状ボス１６ｇの先端部の周囲が一対の取付穴１７ｇに囲まれることで、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７間の動きが抑止されて第１カバー部材１６および第２カバー部材１７間の固定強度が確保されると共に、突起部１６ｈにフック部１７ｈが係合することで、第１カバー部材１６と第２カバー部材１７との間に隙間が生じるのが抑制されて、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７間がガタつかなくなる。このため、支持体２の他方の対角位置に生じる、第１カバー部材１６と第２カバー部材１７との間の隙間に起因して、可動体３の支持体２に対する相対移動によって支持体２から異音が生じることを抑制または防止することが可能になる。
【００６３】
また、本形態では、支持体２が、第３方向Ｙの寸法が第２方向Ｘの寸法より小さく、突起部１６ｈおよびフック部１７ｈが、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７の第２方向Ｘの両側面における、小さな寸法の第３方向Ｙにおける中心の軸線Ｃ上に設けられている。このように突起部１６ｈおよびフック部１７ｈが、可動体３が振動する方向である第２方向Ｘの軸線Ｃ上に設けられることで、可動体３が振動しても第１カバー部材１６と第２カバー部材１７との間の密着性が維持される。このため、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７間がガタつくのが強固に抑制され、可動体３の支持体２に対する相対移動によって支持体２から生じる異音を防止する効果が向上する。
【００６４】
（実施形態および他の実施形態の変形例）
上記実施形態および他の実施形態では、２つの磁石８（第１磁石８１および第２磁石８２）を有していたが、例えば、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１のみに磁石８が配置され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に第２ヨーク８７のみが存在する態様の場合に本発明を適用してもよい。
【００６５】
上記実施形態および他の実施形態では、粘弾性部材９としてシリコーン系ゲル等のゲル状部材を用いたが、ゴム等を粘弾性部材として用いてもよい。また、上記実施形態および他の実施形態では、接続体９０として粘弾性部材９を用いたが、バネ等の弾性部材を用いてもよい。
【００６６】
上記実施形態および他の実施形態では、コイル７およびホルダ６０が支持体２に設けられ、磁石８およびヨークが可動体３に設けられていたが、コイル７およびホルダ６０が可動体３に設けられ、磁石８およびヨークが支持体２に設けられている場合に本発明を適用してもよい。また、上記実施形態および他の実施形態では、可動体３を第２方向Ｘのみに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用したが、可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用してもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１、１Ａ…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、６…磁気駆動機構、７、７１、７２…コイル、８…磁石、９…粘弾性部材（接続体）、１０…位置決めピン、１１…カバー、１５…配線基板、１６…第１カバー部材、１６ａ、１６ｂ、１６ｅ、１６ｆ、１７ｅ、１７ｆ、６０ｅ、６０ｆ、６０ｇ…貫通穴、１６ｃ、１７ｃ、１５５、６３８、６８１…穴、１６ｇ…円柱状ボス（突出部）、１６ｈ…突起部、１６ｉ、６９…凹部、１７…第２カバー部材、１７ｇ…取付穴、１７ｈ…フック部（係合部）、１７ｊ…当接部、１８、１９…ネジ、６０…ホルダ、６０ｃ、６０ｄ、６３６、８７３、８７４…凸部、６１、１６１、１７１…第１壁部、６２、１６２、１７２…第２壁部、６３、１６３、１７３…第３壁部、６４、１６４、１７４…第４壁部、６６、６７…コイル保持穴、６８…取付板、８１…第１磁石、８２…第２磁石、８６…第１ヨーク、８７…第２ヨーク、９０…接続体、９１…第１粘弾性部材、９２…第２粘弾性部材、１１０…外面側、１１１…第１側面、１１２…第２側面、１１３…第３側面、１１４…第４側面、１１８…第１被当接部、１１９…第２被当接部、６０１…第１開口部、６０２…第２開口部、６３７…ガイド溝、６６１、６７１…受け部、７０１…長辺、７０２…短辺、７０６…第１端部、７０７…第２端部、８６０…第１板部、８６１…第１連結板部、８６２…第２連結板部、８７０…第２板部、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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