(57)【要約】【課題】従来に比して製造時間が短時間で済み且つ製造コストを抑えることができる非接触シール構造体の製造方法、及び回転機械を提供すること。【解決手段】本発明によれば、非接触シール構造体の製造方法であって、ワーク固定工程と、回転工程と、切削工程とを備え、前記ワーク固定工程では、所定の回転軸である第１回転軸周りに回転可能にワークを固定し、前記回転工程では、前記ワークを前記第１回転軸周りに回転させるとともに、切れ刃を有する工具を前記第１回転軸とは異なる第２回転軸周りに回転させ、前記切削工程では、前記ワーク及び前記工具の少なくとも一方の位置を変位させ、前記ワークと前記工具とを接触させて前記ワークの外周側面又は端面を切削加工することで、らせん状構造を有する非接触シール構造体を形成し、前記らせん状構造は、らせん状凸部とらせん状凹部とを有し、前記回転工程は、前記切削工程中に継続的に実施される、製造方法が提供される。【選択図】図１
2020066090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非接触シール構造体の製造方法であって、
ワーク固定工程と、回転工程と、切削工程とを備え、
前記ワーク固定工程では、所定の回転軸である第１回転軸周りに回転可能にワークを固定し、
前記回転工程では、前記ワークを前記第１回転軸周りに回転させるとともに、切れ刃を有する工具を前記第１回転軸とは異なる第２回転軸周りに回転させ、
前記切削工程では、
前記ワーク及び前記工具の少なくとも一方の位置を変位させ、
前記ワークと前記工具とを接触させて前記ワークの外周側面又は端面を切削加工することで、らせん状構造を有する非接触シール構造体を形成し、前記らせん状構造は、らせん状凸部とらせん状凹部とを有し、
前記回転工程は、前記切削工程中に継続的に実施される、
製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の製造方法において、
前記非接触シール構造体の側面視において、前記らせん状凸部と前記第１回転軸とが成す角をθと定義すると、
１０度≦θ≦８０度を満たすように実施される、
製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の製造方法において、
前記らせん状凹部は、その延在方向において周期的に形成された高低差を有する、
製造方法。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか１つに記載の製造方法において、
前記ワークの単位時間あたりの回転数をｎ＿１、前記工具の単位時間あたりの回転数をｎ＿２と定義し、且つｎ＿２／ｎ＿１の値の小数部分をαと定義すると、
α≠０かつα≠０．５を満たすように実施される、
製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の製造方法において、
０．０３≦α≦０．４７又は０．５３≦α≦０．９７を満たすように実施される、
製造方法。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか１つに記載の製造方法において、
前記第１回転軸又は所定の直線は、前記第２回転軸と直交するように実施され、
前記所定の直線とは、前記第１回転軸に平行で且つ前記第２回転軸と交差する直線である、
製造方法。
【請求項７】
回転機械であって、
ハウジングと、非接触シール構造体とを備え、
前記ハウジングは、前記非接触シール構造体と隙間を有しつつ前記非接触シール構造体を覆うように設けられ、
前記非接触シール構造体は、
所定の回転軸を中心に回転可能に構成され、且つ
その外周側面又は端面においてらせん状構造を備え、前記らせん状構造は、らせん状凸部とらせん状凹部とを有し、前記らせん状凹部は、その延在方向において周期的に形成された高低差を有し、
前記非接触シール構造体の回転中に、前記隙間の内側から外側に向かって又は前記外側から前記内側に向かって空気流が発生するように構成される、
回転機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非接触シール構造体の製造方法、及び回転機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転軸を中心に回転する回転体と、当該回転体を覆うように構成されるハウジングとを少なくとも備える回転機械がある。回転機械の一例としては、ＮＣ円テーブル装置、遠心式流体機械、ポンプ等が挙げられる。このような回転機械において、回転体を回転させるべく、回転体とハウジングとの間には隙間が形成されている。かかる隙間を介して外部からハウジングの内部に異物が混入することを防止するために、或いはハウジングの内部の流体（潤滑油等）の外部への漏れを防止するために、回転体に非接触のシール構造を設けることがある（例えば特許文献１参照）。本明細書においては、かかる回転体を非接触シール構造体と称する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】再表２０１５−１１５３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１等に記載の非接触のシール構造体を製造するには、その外周にらせん状のねじ溝（凹凸）を形成する必要がある。仮に従来の旋盤加工によってかかる凹凸を形成しようとすると、作業時間が長く製造コストが高くついてしまうという問題がある。
【０００５】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、従来に比して製造時間が短時間で済み且つ製造コストを抑えることができる非接触シール構造体の製造方法、及び回転機械を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、非接触シール構造体の製造方法であって、ワーク固定工程と、回転工程と、切削工程とを備え、前記ワーク固定工程では、所定の回転軸である第１回転軸周りに回転可能にワークを固定し、前記回転工程では、前記ワークを前記第１回転軸周りに回転させるとともに、切れ刃を有する工具を前記第１回転軸とは異なる第２回転軸周りに回転させ、前記切削工程では、前記ワーク及び前記工具の少なくとも一方の位置を変位させ、前記ワークと前記工具とを接触させて前記ワークの外周側面又は端面を切削加工することで、らせん状構造を有する非接触シール構造体を形成し、前記らせん状構造は、らせん状凸部とらせん状凹部とを有し、前記回転工程は、前記切削工程中に継続的に実施される、製造方法が提供される。
【０００７】
本発明に係る製造方法では、ワークと工具とを互いに異なる回転軸方向に回転させ、当該回転を維持しながらワーク及び工具の一方を変位させ、互いに接触させてワークの外周側面又は端面を切削することでらせん状構造を形成し、非接触シール構造体を製造することができる。その結果、製造にかかる時間も短縮することができ、ひいては製造コストを抑制することができる。
【０００８】
好ましくは、前記製造方法において、前記非接触シール構造体の側面視において、前記らせん状凸部と前記第１回転軸とが成す角をθと定義すると、１０度≦θ≦８０度を満たすように実施される、製造方法が提供される。
好ましくは、前記製造方法において、前記らせん状凹部は、その延在方向において周期的に形成された高低差を有する、製造方法が提供される。
好ましくは、前記製造方法において、前記ワークの単位時間あたりの回転数をｎ＿１、前記工具の単位時間あたりの回転数をｎ＿２と定義し、且つｎ＿２／ｎ＿１の値の小数部分をαと定義すると、α≠０かつα≠０．５を満たすように実施される、製造方法が提供される。
好ましくは、前記製造方法において、０．０３≦α≦０．４７又は０．５３≦α≦０．９７を満たすように実施される、製造方法が提供される。
好ましくは、前記製造方法において、前記第１回転軸又は所定の直線は、前記第２回転軸と直交するように実施され、前記所定の直線とは、前記第１回転軸に平行で且つ前記第２回転軸と交差する直線である、製造方法が提供される。
【０００９】
また、本発明によれば、回転機械であって、ハウジングと、非接触シール構造体とを備え、前記ハウジングは、前記非接触シール構造体と隙間を有しつつ前記非接触シール構造体を覆うように設けられ、前記非接触シール構造体は、所定の回転軸を中心に回転可能に構成され、且つその外周側面においてらせん状構造を備え、前記らせん状構造は、らせん状凸部とらせん状凹部とを備え、前記らせん状凹部は、その延在方向において周期的に形成された高低差を有し、前記非接触シール構造体の回転中に、前記隙間の内側から外側に向かって又は前記外側から前記内側に向かって空気流が発生するように構成される、回転機械が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態に係る非接触シール構造体を備えた回転機械の全体構成図。
【図２】非接触シール構造体の回転によって生じる空気流を示す図（図１の部分拡大図）。
【図３】非接触シール構造体の外周側面に形成されたらせん状構造の態様を示す概要図。
【図４】非接触シール構造体の製造方法を示すフローチャート。
【図５】切削工程中におけるワークと工具との態様を示す図。
【図６】［図６Ａ］切削工程開始時におけるワークと工具との態様を示す図、［図６Ｂ］切削工程中におけるワークと工具との態様を示す図。
【図７】第２実施形態に係る回転機械の全体構成図。
【図８】第３実施形態に係る回転機械の全体構成図。
【図９】第４実施形態に係る回転機械の全体構成図。
【図１０】第５実施形態に係る回転機械の非接触シール構造体におけるらせん状構造を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明する。以下に示す実施形態中で示した各種特徴事項は、互いに組み合わせ可能である。
【００１２】
１．全体構成
図１は、第１実施形態に係る非接触シール構造体２を備えた回転機械１の全体構成図である。図１に示されるように、第１実施形態に係る非接触シール構造体２は、回転機械１に含まれて実施される。回転機械１は、例えば、非圧縮性の流体（水や油等）を移送するポンプやＮＣ工作機械に設置して使用されるＮＣ円テーブル装置であるが、特に限定されるものではない。
【００１３】
回転機械１は、非接触シール構造体２と、ハウジング３と、本体４とを備える。非接触シール構造体２は、略直円柱状をなし、回転軸Ｘ（特許請求の範囲における「所定の回転軸」の一例）を中心に回転（自転）可能に構成される。非接触シール構造体２については、第２節において更に詳述する。ハウジング３は、非接触シール構造体２と隙間Ｓを有しつつ非接触シール構造体２を覆うように構成される。本体４は、回転機械１の種々の構造系・電気駆動系等を収容する。特に本体４には、ベアリング４１が介装され、非接触シール構造体２を回転可能に軸支する。また、本体４における他の構成要素については不図示であるものの、回転機械１の用途によって適宜構成が変化する。
【００１４】
一例として回転機械１がＮＣ工作機械に取り付けられたＮＣ円テーブル装置である場合、本体４は、例えば不図示のダイレクトドライブモータ（以下ＤＤモータ）と、スピンドルとを備え、非接触シール構造体２として回転テーブルが実施される。ＤＤモータはステータとロータとからなり、ステータは本体４に、一方、ロータはスピンドルに、それぞれ固着している。本体４の内部において、ロータがＤＤモータによって回転駆動すると、ロータの回転に連動してスピンドルが回転する。そして、スピンドルの前面に同心に固着される回転テーブルが回転する。このような構成により、ＮＣ円テーブル装置を用いることで、回転テーブルに取り付けられたワーク（加工対象）を所望の姿勢になるように回転させ、工具による加工を行うことができる。
【００１５】
２．非接触シール構造体２
第２節では、非接触シール構造体２について詳述する。図２は、非接触シール構造体２の回転によって生じる空気流ＡＦを示している。非接触シール構造体２が回転軸Ｘを中心に図２の左から見て反時計回りに回転すると、図２の左から見て左ねじれのらせん状構造２１が回転する。これにより、非接触シール構造体２とハウジング３との間における隙間Ｓにおいて、図２の右から左に向かって空気が流れる。すると、隙間Ｓの右側の圧力が低下するため、ハウジング３における呼吸孔３１（隙間Ｓに連通）から空気が吸引され、図２に示される空気流ＡＦが形成される。このような空気流ＡＦによって、回転機械１において切粉等の外部からの異物の侵入を防ぐことができる。
【００１６】
なお、呼吸孔３１の位置については図２では便宜上上側としているが、取り込む空気は清浄であるほうが望ましいため、異物の侵入しづらい位置（一般には下側）に設けるのが望ましい。さらに、非接触シール構造体２が回転軸Ｘを中心に図２の左から見て時計回りに回転する場合は、図２の左から見て右ねじれのらせん状構造２１を実施することで、同様の効果を得ることができる。
【００１７】
一方、非接触シール構造体２が回転軸Ｘを中心に図２の左から見て反時計回りに回転し且つ右ねじれのらせん状構造２１を実施するか、又は非接触シール構造体２が回転軸Ｘを中心に図２の左から見て時計回りに回転し且つ左ねじれのらせん状構造２１を実施すると、空気流ＡＦの向きを図２とは逆向きにすることができる。このような構成によれば、例えば回転機械１の内部を流れる流体（潤滑油等）の外部への漏れを防止することができる。すなわち空気流ＡＦの向きについては、回転機械１の用途によって適宜使い分ければよい。換言すると、非接触シール構造体２の回転中に、隙間Ｓの内側から外側に向かって又は外側から内側に向かって空気流ＡＦが発生するように構成されるといえる。また、非接触シール構造体２が前述の効果を奏するには、非接触シール構造体２が周速１０ｍ／ｓ以上の高速回転をすることが好ましい。
【００１８】
図３は、非接触シール構造体２の外周側面２０に形成されたらせん状構造２１の態様を示している。ここでは、らせん状構造２１の延在方向をＰ方向、らせん状構造２１の周期方向をＱ方向と定義している。らせん状構造２１は、周期的に形成されたらせん状凹部２２と、隣接する２つのらせん状凹部２２の境界となるらせん状凸部２３とから構成される。
【００１９】
らせん状凹部２２は、Ｐ方向においてウロコ状に（例えば、矩形、ひし形、楕円形等の略合同なウロコ２２０の集合体として）形成されている。ここで、ウロコ２２０の略中央の凹んだ箇所を腹２２１、ウロコ２２０においてＰ方向に対向している両端線を節２２２と呼ぶものとする。また、図３に示されるように、Ｐ方向に隣接する２つのウロコ２２０の節２２２は、互いに完全に共有するようには構成されず、Ｑ方向のずれ２２２ａを有するように構成される。ただし、あくまでも一例であり、ずれ２２２ａが生じないようにする等、異なる態様で実施してもよい。また、Ｑ方向において隣接する２つのウロコ２２０の腹２２１どうしの長さを、長さｆｃと定義する。らせん状凹部２２がＰ方向においてウロコ状に形成されるため、節２２２の略中央の凹んだ箇所（低部２２２ｂ）と腹２２１とに高低差ａが生じる。また、Ｑ方向に隣接する２つのらせん状凹部２２の境界となるらせん状凸部２３も、Ｐ方向において周期的に形成された高低差を有することとなる。図３では、らせん状凸部２３における低部２３１と高部２３２とが示されている。さらに、再び図２を参照すると、回転軸Ｘに平行な方向のウロコ２２０のピッチ幅を長さｆｔと定義し、腹２２１とらせん状凸部２３との高低差を高さｈと定義する。これらのらせん状構造２１に関する各パラメータについては、第３．３節において更に詳述する。
【００２０】
このように、らせん状凹部２２がウロコ状に形成されることにより、非接触シール構造体２の回転中において、らせん状凹部２２における腹２２１と節２２２との間に圧力差が生じる。そして、かかる圧力差による動圧効果を利用することで、非接触シール構造体２のシール性能を従来のらせん状構造を有する非接触シール構造体（不図示）のシール性能に比して向上させることができる、という有利な効果を奏する。
【００２１】
３．非接触シール構造体２の製造方法
第３節では、前述の非接触シール構造体２の製造方法について説明する。図４は、非接触シール構造体２の製造方法を示すフローチャートである。図５は、切削工程中におけるワークＷと工具５との態様を示している。図６Ａは、切削工程開始時におけるワークＷと工具５との態様を示し、図６Ｂは、切削工程中におけるワークＷと工具５との態様を示している。
【００２２】
３．１  各工程
以下、図４の各ステップＳ１〜Ｓ５に沿って非接触シール構造体２の製造方法の各工程を説明する。
【００２３】
［開始］
（ステップＳ１）
非接触シール構造体２の元となる略直円柱状のワークＷを、ＮＣ円テーブル装置（不図示）に固定する。ＮＣ円テーブル装置によって、ワークＷは、所定の回転軸Ｘ（特許請求の範囲における「第１回転軸」の一例）中心に回転可能に構成される。なお、ステップＳ１が特許請求の範囲における「ワーク固定工程」に相当する。また、ワークＷに近接しているマシニングセンタ（不図示）の主軸には、工具５が取り付けられており、所定の回転軸Ｚ（特許請求の範囲における「第２回転軸」の一例）中心に回転可能に構成される。また、図６Ａ等に示されるように、工具５には切れ刃５１，５１，５１，５１が設けられている。なお、切れ刃５１の数は、特に限定されるものではない。
【００２４】
（ステップＳ２）
続いて、ステップＳ１において固定したワークＷを回転軸Ｘ中心に＋Ｘ方向（図６Ａ及び図６Ｂにおける左方向）に関して時計回りに回転させるとともに、マシニングセンタの主軸に取り付けられた工具５を回転軸Ｚ中心に＋Ｚ方向（紙面奥から手前に向かう方向）に関して反時計回りに回転させる。なお、回転軸Ｘに平行で且つ回転軸Ｚと交差する直線が、回転軸Ｚと直交するように実施されている。ただし、あくまでも例示であり、直角とは異なる角度で交差するように実施してもよい。また、回転軸Ｘと回転軸Ｚとが直角に又は直角以外の角度で交差するように実施してもよい。なお、ステップＳ２が特許請求の範囲における「回転工程」に相当する。
【００２５】
（ステップＳ３）
続いて、ステップＳ２におけるワークＷ及び工具５の回転を維持しながら、ワークＷ及び工具５の少なくとも一方の位置を変位させて、ワークＷを工具５に接触させる。ここでは図６Ａ及び図６Ｂに示されるように、工具５だけを−Ｘ方向（図６Ａ及び図６Ｂにおける右方向）に変位させているが、あくまでも例示でありこの限りではない。
【００２６】
（ステップＳ４）
ステップＳ３による接触後も、継続して工具５を−Ｘ方向に変位させることで、所定時間工具５によるワークＷの切削加工がなされる。すなわち、図６Ｂに示されるように、略直円柱状のワークＷの外周側面Ｗ０にらせん状構造２１が形成され、接触時間が完了すると、ワークＷから非接触シール構造体２が製造されることとなる。ただし、らせん状構造２１を形成する箇所について、外周側面Ｗ０はあくまでも一例であり、端面に形成してもよい。なお、ステップＳ３，Ｓ４が特許請求の範囲における「切削工程」に相当する。
【００２７】
（ステップＳ５）
最後に、完成した非接触シール構造体２をＮＣ円テーブル装置から取り外すことで、一連の製造工程が終了する。
［終了］
【００２８】
３．２  単位時間あたりの回転数
第３．１節において説明したステップＳ２に際して、ワークＷの単位時間あたりの回転数をｎ＿１、工具５の単位時間あたりの回転数をｎ＿２と定義し、且つｎ＿２／ｎ＿１の値の小数部分をαと定義すると、α≠０かつα≠０．５を満たすように実施されることに留意されたい。このような値を満たすことによって、製造される非接触シール構造体２の側面視において、らせん状構造２１（具体的にはらせん状凸部２３）と回転軸Ｘとが成す角をθ（図６Ｂ参照）に関して、１０度≦θ≦８０度を満たすように実施することができる。
【００２９】
なお、αについては、好ましくは、０．０３≦α≦０．４７又は０．５３≦α≦０．９７である。具体的には例えば、α＝０．０３、０．０４、０．０５、０．０６、０．０７、０．０８、０．０９、０．１、０．１１、０．１２、０．１３、０．１４、０．１５、０．１６、０．１７、０．１８、０．１９、０．２、０．２１、０．２２、０．２３、０．２４、０．２５、０．２６、０．２７、０．２８、０．２９、０．３、０．３１、０．３２、０．３３、０．３４、０．３５、０．３６、０．３７、０．３８、０．３９、０．４、０．４１、０．４２、０．４３、０．４４、０．４５、０．４６、０．４７、又は０．５３、０．５４、０．５５、０．５６、０．５７、０．５８、０．５９、０．６、０．６１、０．６２、０．６３、０．６４、０．６５、０．６６、０．６７、０．６８、０．６９、０．７、０．７１、０．７２、０．７３、０．７４、０．７５、０．７６、０．７７、０．７８、０．７９、０．８、０．８１、０．８２、０．８３、０．８４、０．８５、０．８６、０．８７、０．８８、０．８９、０．９、０．９１、０．９２、０．９３、０．９４、０．９５、０．９６、０．９７であり、ここで例示した数値の何れか２つの間の範囲内であってもよい。
【００３０】
また、その結果得られるθについては、具体的には例えば、θ＝１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２０、２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９、３０、３１、３２、３３、３４、３５、３６、３７、３８、３９、４０、４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７、４８、４９、５０、５１、５２、５３、５４、５５、５６、５７、５８、５９、６０、６１、６２、６３、６４、６５、６６、６７、６８、６９、７０、７１、７２、７３、７４、７５、７６、７７、７８、７９、８０度であり、ここで例示した数値の何れか２つの間の範囲内であってもよい。
【００３１】
３．３  らせん状構造２１に関するパラメータ
図３に示される高さｈは、カスプ高さであり、長さｆｃは、図６Ａ等に示される工具５の切れ刃５１の一刃あたりの送り量である。ここで、工具５の刃先半径Ｒとすると、高さｈと長さｆｃとは、以下の［数１］に示される関係を有する。
［数１］ｈ＝ｆｃ＾２／８Ｒ
つまり長さｆｃを大きくし、且つ刃先半径Ｒを小さくすることによって、高さｈを高く形成することができる。換言すると、らせん状凸部２３を大きく形成することができる。
【００３２】
図３に示される長さｆｔは、図６Ａ等に示されるワークＷの１回転当たりの回転軸Ｘ方向における工具５の送り量である。長さｆｔが大きい場合、高さａが高くなる。高さａが高いと非接触シール構造体２の回転時にらせん状構造２１による空気流ＡＦ（図２参照）が生じにくくなる。すなわち、長さｆｔを小さくすることで、シール性能が高い非接触シール構造体２を製造することができる。ただし、長さｆｔを小さくすると、ワークＷの切削加工に要する時間が長くなるため、適宜設定する必要があることにも留意されたい。
【００３３】
４．他の実施形態
次のような態様によって、第１実施形態に係る回転機械１をさらに創意工夫してもよい。
【００３４】
４．１  第２実施形態
図７は、第２実施形態に係る回転機械１の全体構成図を示している。本実施形態では、回転機械１は、非接触シール構造体２が有するらせん状構造２１の他に、非接触シールであるラジアルラビリンスシール６１を有している。このような構成によっても、第１実施形態同等もしくはそれ以上に、回転機械１において切粉等の外部からの異物の侵入、又は内部を流れる流体（潤滑油等）の外部への漏れを防止することができる。
【００３５】
４．２  第３実施形態
図８は、第３実施形態に係る回転機械１の全体構成図を示している。本実施形態では、回転機械１は、非接触シール構造体２が有するらせん状構造２１の他に、非接触シールであるアキシアルラビリンスシール６２を有している。このような構成によっても、第１実施形態同等もしくはそれ以上に、回転機械１において切粉等の外部からの異物の侵入、又は内部を流れる流体（潤滑油等）の外部への漏れを防止することができる。
【００３６】
４．３  第４実施形態
図９は、第４実施形態に係る回転機械１の全体構成図を示している。本実施形態では、回転機械１は、非接触シール構造体２が有するらせん状構造２１の他に、接触シールであるオイルシール６３を有している。このような構成によっても、第１実施形態同等もしくはそれ以上に、回転機械１において切粉等の外部からの異物の侵入、又は内部を流れる流体（潤滑油等）の外部への漏れを防止することができる。
【００３７】
４．４  第５実施形態
図１０は、第５実施形態に係る回転機械１の非接触シール構造体２が有するらせん状構造２１を示している。本実施形態では、図３に示される低部２３１及び高部２３２を研磨することによって、図１０に示されるようにらせん状凸部２３が略平坦に構成されている。このような構成によっても、第１実施形態同等もしくはそれ以上に、回転機械１において切粉等の外部からの異物の侵入、又は内部を流れる流体（潤滑油等）の外部への漏れを防止することができる。
【００３８】
５．結言
以上のように、本実施形態によれば、従来に比して製造時間が短時間で済み且つ製造コストを抑えることができる非接触シール構造体２の製造方法を実施することができる。
【００３９】
かかる製造方法は、ワーク固定工程（ステップＳ１）と、回転工程（ステップＳ２）と、切削工程（ステップＳ３，Ｓ４）とを備え、ワーク固定工程（ステップＳ１）では、所定の回転軸である第１回転軸Ｘ周りに回転可能にワークＷを固定し、回転工程（ステップＳ２）では、ワークＷを第１回転軸Ｘ周りに回転させるとともに、切れ刃５１，５１，５１，５１を有する工具５を第１回転軸Ｘとは異なる第２回転軸Ｚ周りに回転させ、切削工程（ステップＳ３，Ｓ４）では、ワークＷ及び工具５の少なくとも一方の位置を変位させ、ワークＷと工具５とを接触させてワークＷの外周側面Ｗ０又は端面を切削加工することで、らせん状構造２１を有する非接触シール構造体２を形成し、らせん状構造２１は、らせん状凸部２３とらせん状凹部２２とを有し、回転工程（ステップＳ２）は、切削工程（ステップＳ３，Ｓ４）中に継続的に実施される。
【００４０】
また、従来に比して製造時間が短時間で済み且つ製造コストを抑えることができる非接触シール構造体２を備えた回転機械１を実施することができる。
【００４１】
かかる回転機械１は、ハウジング３と、非接触シール構造体２とを備え、ハウジング３は、非接触シール構造体２と隙間Ｓを有しつつ非接触シール構造体２を覆うように設けられ、非接触シール構造体２は、所定の回転軸Ｘを中心に回転可能に構成され、且つその外周側面２０においてらせん状構造２１を備え、らせん状構造２１は、らせん状凸部２３とらせん状凹部２２とを有し、らせん状凹部２２は、その延在方向（Ｐ方向）において周期的に形成された高低差（高さａ）を有し、非接触シール構造体２の回転中に、隙間Ｓの内側から外側に向かって又は外側から内側に向かって空気流ＡＦが発生するように構成される。
【００４２】
最後に、本発明に係る種々の実施形態を説明したが、これらは、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。当該新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。当該実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００４３】
１      ：回転機械
２      ：非接触シール構造体
２０    ：外周側面
２１    ：らせん状構造
２２    ：らせん状凹部
２３    ：らせん状凸部
３      ：ハウジング
５      ：工具
５１    ：切れ刃
ａ      ：高さ
Ｐ      ：方向
Ｓ      ：隙間
Ｗ      ：ワーク
Ｘ      ：回転軸
Ｚ      ：回転軸
α      ：小数部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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