(57)【要約】【課題】スラリー層から得られるシート中に混入する塵埃の量を抑制することができる、シートの製造方法を提供する。【解決手段】シート７０２の製造方法は、第１室１１と、第１室１１と外部環境１９との間に設けられた第２室１２と、を有する炉室１０を含む乾燥装置１００を用いて行われる。第２室１２の圧力を第１室１１の圧力よりも低くする圧力調整が行われる。第１室１１中でスラリー層７０１を搬送しながら第１室１１中でスラリー層７０１が乾燥される。【選択図】図１
2020121430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１室と、前記第１室と外部環境との間に設けられた第２室と、を有する炉室を含む乾燥装置を用いた、シートの製造方法であって、
前記第２室の圧力を前記第１室の圧力よりも低くする圧力調整を行う工程と、
前記第１室中でスラリー層を搬送しながら前記第１室中で前記スラリー層を乾燥する工程と、
を備える、シートの製造方法。
【請求項２】
粒径０．５μｍの塵埃を除去可能なフィルタを用いて雰囲気ガスを準備する工程をさらに備え、前記圧力調整を行う工程は、前記第１室中へ前記雰囲気ガスを供給する工程を含む、請求項１に記載のシートの製造方法。
【請求項３】
前記第１室の湿度を調整する工程をさらに備える、請求項１または２に記載のシートの製造方法。
【請求項４】
前記圧力調整を行う工程は、前記第２室中へ熱媒ガスを供給する工程を含む、請求項１から３のいずれか１項に記載のシートの製造方法。
【請求項５】
前記圧力調整を行う工程において、前記第２室の圧力は前記外部環境の圧力よりも低くされる、請求項１から４のいずれか１項に記載のシートの製造方法。
【請求項６】
前記炉室は、前記スラリー層を支持するためのフィルムが搬入される搬入口を有し、前記乾燥装置は、前記炉室の前記搬入口と前記外部環境との間を隔てる搬入室を含み、
前記圧力調整を行う工程は、前記搬入室の圧力を前記第１室の圧力よりも高くする工程を含む、
請求項１から５のいずれか１項に記載のシートの製造方法。
【請求項７】
前記炉室は、前記シートが搬出される搬出口を有し、前記乾燥装置は、前記炉室の前記搬出口と前記外部環境との間を隔てる搬出室を含み、
前記圧力調整を行う工程は、前記搬出室の圧力を前記第１室の圧力よりも高くする工程を含む、
請求項１から６のいずれか１項に記載のシートの製造方法。
【請求項８】
前記スラリー層を乾燥する工程は、前記スラリー層から有機溶媒を除去する工程を含む、請求項１から７のいずれか１項に記載のシートの製造方法。
【請求項９】
フィルム上での乾燥を行う乾燥装置であって、
第１室と、前記第１室と外部環境との間に設けられた第２室と、を有する炉室と、
前記第１室中で前記フィルムを搬送する搬送部と、
前記第２室の圧力を前記第１室の圧力よりも低くすることができる圧力調整部と、
を備える、乾燥装置。
【請求項１０】
前記第１室中へ供給されることになる雰囲気ガスを通過させる、粒径０．５μｍの塵埃を除去可能なフィルタをさらに備える、請求項９に記載の乾燥装置。
【請求項１１】
前記第１室の湿度を調整する湿度調整部をさらに備える、請求項９または１０に記載の乾燥装置。
【請求項１２】
前記圧力調整部は、前記第２室中へ熱媒ガスを供給する熱媒供給部を含む、請求項９から１１のいずれか１項に記載の乾燥装置。
【請求項１３】
前記圧力調整部は、前記第２室の圧力を前記外部環境の圧力よりも低くすることができるように構成されている、請求項９から１２のいずれか１項に記載の乾燥装置。
【請求項１４】
前記炉室は、前記フィルムが搬入される搬入口を有し、
前記乾燥装置は、前記炉室の前記搬入口と前記外部環境との間を隔てる搬入室をさらに備え、
前記圧力調整部は、前記搬入室の圧力を前記第１室の圧力よりも高くすることができるように構成されている、
請求項９から１３のいずれか１項に記載の乾燥装置。
【請求項１５】
前記炉室は、前記フィルムが搬出される搬出口を有し、
前記乾燥装置は、前記炉室の前記搬出口と前記外部環境との間を隔てる搬出室をさらに備え、
前記圧力調整部は、前記搬出室の圧力を前記第１室の圧力よりも高くすることができるように構成されている、
請求項９から１４のいずれか１項に記載の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートの製造方法、および乾燥装置に関し、特に、スラリー層を乾燥することによるシートの製造方法と、フィルム上での乾燥を行う乾燥装置と、に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
セラミックスグリーンシートを含む中間製品を焼成することによって、基板、コンデンサまたはアクチュエータなどのセラミック部品を製造することが、広く行われている。セラミックスグリーンシートは、水または有機溶媒の溶媒中に分散されたセラミック粉体およびバインダからなるスラリー層を乾燥することによって得られる。スラリー層は、フィルム上にスラリーを塗布することによって形成される。
【０００３】
特開２００８−１１４５８４号公報はセラミックスグリーンシート成形装置を開示している。この装置は、乾燥路と、カバー体と、送風ユニットと、湿度制御部と、流量制御部とを有している。乾燥路は、スラリー塗工物を搬送しながら乾燥成型させてセラミックスグリーンシートを得る。カバー体は、中空状であり、スラリー塗工物の流れ方向の上流域を含むように乾燥路内部の一部に配置されており、内側に気体の流路となる湿度制御領域を形成しており、外側と乾燥路の内壁との間に、温風の流路となる温度制御領域を形成している。送風ユニットは、カバー体の内側に気体をスラリー塗工物の流れ方向の上流側から送り込む複数の送風口を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１１４５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記公報に記載の技術においては、カバー体内の塵埃がスラリー塗工物（スラリー層）中へ混入することについて十分な考慮がなされていない。よって、スラリー層を乾燥することによって得られたシート中に、許容量を超える塵埃が含まれることがあり得る。その場合、当該シートを用いて製造された製品の信頼性が低下し得る。具体的には、許容量を超える塵埃を含むシートを焼成することによって得られた電子部品は、所望の特性、例えば、求められる耐電圧を有しないことがあり得る。
【０００６】
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、スラリー層から得られるシート中に混入する塵埃の量を抑制することができる、シートの製造方法および乾燥装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のシートの製造方法は、第１室と、第１室と外部環境との間に設けられた第２室と、を有する炉室を含む乾燥装置を用いて行われる。シートの製造方法は、以下の工程を有している。第２室の圧力を第１室の圧力よりも低くする圧力調整が行われる。第１室中でスラリー層を搬送しながら第１室中でスラリー層が乾燥される。
【０００８】
本発明の乾燥装置は、フィルム上での乾燥を行うためのものである。乾燥装置は、炉室と、搬送部と、圧力調整部とを有している。炉室は、第１室と、第１室と外部環境との間に設けられた第２室と、を有している。搬送部は第１室中でフィルムを搬送する。圧力調整部は、第２室の圧力を第１室の圧力よりも低くすることができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、第１室と外部環境との間に配置された第２室の圧力が、第１室の圧力よりも低くされる。これにより、第２室から第１室への塵埃の侵入に起因しての第１室の清浄度の低下が防止される。よって、第１室中のスラリー層への塵埃の混入が抑制される。よって、スラリー層から得られるシート中に混入する塵埃の量を抑制することができる。
【００１０】
この発明の目的、特徴、局面、および利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態における乾燥装置の構成の一部を概略的に示す断面図である。
【図２】図１の線II−IIに沿う概略断面図である。
【図３】本発明の一実施の形態における乾燥装置の構成の一部を概略的に示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。
【００１３】
（乾燥装置の構成の概要）
図１は、本実施の形態における乾燥装置１００の構成の一部を概略的に示す断面図である。図２は、図１の線II−IIに沿う概略断面図である。図３は、乾燥装置１００の構成の一部を概略的に示すブロック図である。なお、図１および図２においては、乾燥装置１００に加えて、乾燥装置１００によって搬送されるフィルム７５０、および、乾燥装置１００によって乾燥されるスラリー層７０１も示されている。また図１においてはさらに、スラリー層７０１が乾燥されることによって得られるシート７０２も示されている。
【００１４】
乾燥装置１００は、フィルム７５０上での乾燥工程を行うための装置である。フィルム７５０は、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムである。上記乾燥工程は、本実施の形態においては、フィルム７５０上でスラリー層７０１を乾燥することによってシート７０２を形成する工程である。シート７０２は、典型的には、セラミックスグリーンシートである。
【００１５】
乾燥装置１００は、作業環境１９（外部環境）内に設置されている。作業環境１９は、典型的には工場建物内の空間である。当該空間は、高清浄度のクリーンルーム（例えば、ＩＳＯ（国際標準化機構）規格におけるクラス５の空間、または、より清浄な空間）でなくてよく、またクリーンルームでなくてもよい。言い換えれば、作業環境１９は、クラス６の空間、または、より清浄でない空間であってよい。
【００１６】
乾燥装置１００（図１〜図３）は、炉室１０と、コンベアベルト（搬送部）１３０（図１）と、雰囲気調整部１４０（図３）と、圧力調整部１５０（図３）とを有している。また本実施の形態の乾燥装置１００は、フィルム７５０上でスラリーを塗布する塗布部２００を有しており、よって乾燥装置１００は、スラリーからシート７０２を製造する製造装置である。
【００１７】
炉室１０は、搬入口１９１と、搬出口１９２とを有している。搬入口１９１は、スラリー層７０１を支持するためのフィルム７５０を炉室１０中へ搬入するためのものである。搬出口１９２は、スラリー層７０１から形成されたシート７０２を炉室１０から搬出するためのものである。炉室１０は、湿度制御室１１（第１室）と、温度制御室１２（第２室）とを有している。温度制御室１２は、湿度制御室１１と作業環境１９との間に設けられている。温度制御室１２は、複数の区画に分割されていることが好ましく、本実施の形態においては、第１温度制御区画１２ａと、第２温度制御区画１２ｂと、第３温度制御区画１２ｃとに分割されている。本実施の形態においては、搬入口１９１は、湿度制御室１１と、炉室１０の外部（具体的には、後述する搬入室１６）との境界に配置されている。また本実施の形態においては、湿度制御室１１の出口と第３温度制御区画１２ｃとがつながっており、搬出口１９２は、温度制御室１２の第３温度制御区画１２ｃと、炉室１０の外部（具体的には、後述する搬出室１７）との境界に配置されている。
【００１８】
コンベアベルト１３０（図１）は、少なくとも湿度制御室１１中でフィルム７５０を搬送する。コンベアベルト１３０は、本実施の形態においては、湿度制御室１１と、温度制御室１２の第３温度制御区画１２ｃとを順に通るようにフィルム７５０を搬送する。
【００１９】
雰囲気調整部１４０（図３）は、ガス源１４１と、フィルタ１４２と、湿度調整部１４５とを有している。なお、雰囲気調整部１４０は、雰囲気ガスＡＧの温度を制御するヒータ（図示せず）を有していてもよい。
【００２０】
ガス源１４１は、雰囲気ガスＡＧを生成することができるものであれば任意のものであってよく、例えば、液体窒素の貯留槽、またはガスボンベである。ガス源１４１には、所望の流量を得るためにマスフローが取り付けられていてよい。乾燥されることになるスラリーが有機溶媒を含む場合、ガス源１４１から供給される雰囲気ガスＡＧは、通常の空気の酸素含有量（約２１体積％）に比して低い酸素含有量を有するガスであることが好ましく、その主成分が不活性ガス（例えば窒素ガス）であることがより好ましい。
【００２１】
フィルタ１４２は、ガス源１４１と湿度制御室１１との間に配置されている。よって、湿度制御室１１中へ供給されることになる雰囲気ガスＡＧは、フィルタ１４２を通過する。フィルタ１４２は、粒径０．５μｍの塵埃を除去可能なフィルタである。ここで「除去可能」とは、フィルタ１４２へ導入されたガスから当該塵埃をおおよそ除去することができるものであり、具体的には９０％以上除去するものであることが好ましく、９９％以上除去することができるものであることがより好ましい。なおガス源１４１からの雰囲気ガスＡＧの清浄度が十分に高い場合は、フィルタ１４２は省略され得る。
【００２２】
湿度調整部１４５は、ガス源１４１からの雰囲気ガスＡＧの湿度を調整することによって、湿度制御室１１の湿度を調整する。設定される湿度は、湿度制御室１１中でのフィルム７５０上での静電気の発生を十分に抑制することができる程度に高いことが好ましい。また設定される湿度は、炉室１０における搬入口１９１近傍、すなわち炉室１０における比較的低温の部分、での結露が避けられる程度に低いことが好ましい。湿度調整部１４５は、例えば、バブリング法によって加湿を行うものである。湿度制御室１１中へ導入される雰囲気ガスＡＧの湿度が制御されることによって、湿度制御室１１中でのスラリー層７０１の乾燥工程が、より安定化される。
【００２３】
圧力調整部１５０（図３）は、熱媒供給部１５１と、排気部１５２とを有している。また圧力調整部１５０は、清浄化空気源１５６と、清浄化空気源１５７とを有していることが好ましい。
【００２４】
熱媒供給部１５１は温度制御室１２中へ、加熱された熱媒ガスＨＭを供給する。温度制御室１２中の熱媒ガスＨＭによって、隣接する湿度制御室１１の温度が高められる。これにより乾燥が促進される。熱媒供給部１５１は、熱媒ガスＨＭの温度を調整することができるように構成されていることが好ましい。この目的で、熱媒供給部１５１は、例えば、作業環境１９から空気を取り入れるファンと、加熱部と、温度計とを有している。この場合、熱媒ガスＨＭは、加熱された空気である。熱媒ガスＨＭの清浄度は、雰囲気ガスＡＧの清浄度よりも低くてよい。加熱部は、例えば、熱源（図示せず）からの熱供給を受ける熱交換器、またはヒータである。
【００２５】
排気部１５２は、温度制御室１２から熱媒ガスＨＭを排気する。排気部１５２は、熱媒供給部１５１から導入されたガスを受動的に受け入れる排気部であってもよいが、好ましくは、回転ファンを有する積極的な排気部である。積極的な排気部が用いられる場合、温度制御室１２の圧力を積極的に低くすることができる。
【００２６】
排気部１５２による積極的な排気、または、熱媒供給部１５１からのガスの流量の抑制の少なくともいずれかによって、圧力調整部１５０は、温度制御室１２の圧力を湿度制御室１１の圧力よりも低くすることができるように構成されている。このような圧力の差異を確実に得る目的で、乾燥装置１００は、温度制御室１２と湿度制御室１１との間の差圧を検出する差圧計（図示せず）を有していることが好ましい。例えば、第１温度制御区画１２ａと、第２温度制御区画１２ｂと、第３温度制御区画１２ｃとの各々に、湿度制御室１１の圧力を基準としての差圧計が取り付けられている。差圧計に代わって、温度制御室１２および湿度制御室１１の各々の圧力を測定する圧力計が設けられ、その測定結果から差圧が算出されてもよい。
【００２７】
また圧力調整部１５０は、温度制御室１２の圧力を作業環境１９の圧力よりも低くすることができるように構成されていることが好ましい。これは、例えば、排気部１５２による積極的な排気、または、熱媒供給部１５１からのガスの流量の抑制の少なくともいずれかによって実現される。このような圧力の差異を確実に得る目的で、乾燥装置１００は、温度制御室１２と作業環境１９との間の差圧を検出する差圧計（図示せず）を有していることが好ましい。この差圧計に代わって、温度制御室１２および作業環境１９の各々の圧力を測定する圧力計が設けられてもよい。
【００２８】
乾燥装置１００（図１）は、搬入室１６と、搬出室１７とを有していることが好ましい。搬入室１６は、炉室１０の搬入口１９１と作業環境１９との間を隔てている。搬出室１７は、炉室１０の搬出口１９２と作業環境１９との間を隔てている。具体的には、搬入口１９１および搬出口１９２の各々と作業環境１９との間が隔壁によって隔てられており、当該隔壁は、例えば、樹脂製のカーテンである。清浄化空気源１５６および清浄化空気源１５７のそれぞれは、搬入室１６および搬出室１７に設けられている。清浄化空気源１５６および清浄化空気源１５７は、ファンによって作業環境１９から空気を取り入れ、そして取り入れた空気中の塵埃量をフィルタによって低減する。清浄化空気源１５６および清浄化空気源１５７のそれぞれは、上記フィルタによって清浄化された空気ＣＡ１および空気ＣＡ２を、搬入室１６および搬出室１７へ供給する。上記ファンによる加圧に起因して、搬入室１６および搬出室１７の圧力は、作業環境１９の圧力よりも高くなる。搬入室１６および搬出室１７中の余剰の雰囲気は作業環境１９中へ漏れ出てよい。
【００２９】
圧力調整部１５０は、搬入室１６の圧力を湿度制御室１１の圧力よりも高くすることができるように構成されていることが好ましい。また圧力調整部１５０は、搬出室１７の圧力を湿度制御室１１の圧力よりも高くすることができるように構成されていることが好ましい。このような圧力の差異を確実に得る目的で、乾燥装置１００は、搬入室１６および搬出室１７の各々と湿度制御室１１との間の差圧を検出する差圧計（図示せず）を有していることが好ましい。この差圧計に代わって、搬入室１６、搬出室１７、および湿度制御室１１の各々の圧力を測定する圧力計が設けられ、その測定結果から差圧が算出されてもよい。
【００３０】
塗布部２００は、例えば、フィルム７５０上に配置されたドクターブレードと、ドクターブレードへスラリーを供給するスラリー供給部とを有している。塗布部２００は、搬入口１９１の近傍に配置されており、本実施の形態においては、搬入室１６内に配置されている。
【００３１】
（乾燥装置１００の構成の詳細）
炉室１０（図１および図２）は、上述した湿度制御室１１および温度制御室１２を構成するために、カバー体１１０と、筐体１２０とを有している。カバー体１１０は湿度制御室１１を覆っている。筐体１２０は温度制御室１２を覆っている。また本実施の形態においては、炉室１０は、図１に示されているように、第１隔壁１２１ａおよび第２隔壁１２１ｂを有している。第１隔壁１２１ａは、第１温度制御区画１２ａと第２温度制御区画１２ｂとの間を隔てている。第２隔壁１２１ｂは、第２温度制御区画１２ｂと第３温度制御区画１２ｃとの間を隔てている。
【００３２】
湿度制御室１１には、雰囲気調整部１４０へとつながるガス導入管２３が取り付けられている。第１温度制御区画１２ａ、第２温度制御区画１２ｂ、および第３温度制御区画１２ｃのそれぞれには、圧力調整部１５０の熱媒供給部１５１につながれた熱媒導入管２１ａ、熱媒導入管２１ｂ、および熱媒導入管２１ｃが取り付けられている。また第１温度制御区画１２ａ、第２温度制御区画１２ｂ、および第３温度制御区画１２ｃのそれぞれには、圧力調整部１５０の排気部１５２につながれた排気管２２ａ、排気管２２ｂ、および排気管２２ｃが取り付けられている。排気管２２ａおよび排気管２２ｂのそれぞれは、熱媒導入管２１ａおよび熱媒導入管２１ｂからの熱媒ガスＨＭを排気する。排気管２２ｃは、熱媒導入管２１ｃからの熱媒ガスＨＭと、湿度制御室１１からの雰囲気ガスＡＧとを排気する。熱媒導入管２１ａ、熱媒導入管２１ｂ、および熱媒導入管２１ｃのそれぞれは、排気管２２ａ、排気管２２ｂ、および排気管２２ｃの下流側（図１における左側）に配置されていることが好ましい。
【００３３】
乾燥装置１００は、コンベアベルト１３０を動かすベルト駆動部１３５を有している。コンベアベルト１３０はメッシュ状であってよい。また乾燥装置１００は、フィルム７５０を巻き出すフィルム巻出部１６１と、フィルム７５０を巻き取るフィルム巻取部１７１とを有している。フィルム巻出部１６１およびフィルム巻取部１７１のそれぞれは、搬入室１６および搬出室１７内に配置されていることが好ましい。また乾燥装置１００は、シート７０２を巻き取るシート巻取部１７２を有している。シート巻取部１７２は搬出室１７内に配置されていることが好ましい。なお、フィルム巻取部１７１およびシート巻取部１７２に代わって、フィルム７５０およびその上に形成されたシート７０２を巻き取る巻取部が設けられてもよい。
【００３４】
図２を参照して、コンベアベルト１３０は、カバー体１１０と筐体１２０との間を摺動してよい。変形例として、カバー体１１０は、フィルム７５０の上面（スラリー層７０１を支持する面）に接するように配置されてもよい。その場合、カバー体１１０のうち少なくとも、フィルム７５０に接触する部分は、フィルム７５０の上面からの除電のため、導電性を有していることが好ましく、導電性樹脂からなることがより好ましい。
【００３５】
（シートの製造方法）
次に、上記乾燥装置１００を用いてのシート７０２（図１）の製造方法について、以下に説明する。
【００３６】
まず、フィルム７５０が、フィルム巻出部１６１から巻き出され、フィルム巻取部１７１によって巻き取られる。フィルム巻出部１６１とフィルム巻取部１７１との間で、フィルム７５０は炉室１０中をコンベアベルト１３０によって搬送される。
【００３７】
塗布部２００がフィルム７５０上にスラリーを塗布することによって、スラリー層７０１が形成される。スラリー中には、セラミック粉体が分散されている。セラミック粉体の材料は、シート７０２の用途によって選択される。シート７０２を焼成することによって基板が製造される場合、セラミック粉体は、典型的には誘電体粉体を含むが、これに限定されるものではない。セラミック粉体は、例えば、窒化ケイ素、ジルコニア、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、チタン酸バリウム、マグネシウムニオブ酸鉛、アルミナ、チタニア、シリカ、ムライト、酸化ケイ素、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、またはイットリアからなる。スラリーの溶媒は有機溶媒であってよい。
【００３８】
上記のようにスラリー層７０１が形成されつつ、温度制御室１２の圧力を湿度制御室１１の圧力よりも低くする圧力調整が行われる。このように圧力調整が行われつつ、湿度制御室１１中でスラリー層７０１が搬送される。この搬送が行われながら、温度制御室１２中へ熱媒ガスＨＭが供給される。これにより温度制御室１２の温度が制御され、その結果、隣接する湿度制御室１１の温度が調整される。これによって加熱された湿度制御室１１中で、スラリー層７０１が乾燥される。これによりスラリー層７０１中の溶媒が除去されることで、シート７０２が得られる。
【００３９】
上記圧力調整時に、雰囲気調整部１４０（図３）は湿度制御室１１中へ雰囲気ガスＡＧを供給する。雰囲気ガスＡＧの湿度は湿度調整部１４５によって調整される。雰囲気ガスＡＧの主成分は、不活性ガスであることが好ましく、例えば窒素ガスである。雰囲気ガスＡＧは、粒径０．５μｍの塵埃を除去可能なフィルタ１４２を用いて準備されることが好ましい。
【００４０】
また上記圧力調整時に、温度制御室１２の圧力は作業環境１９の圧力よりも低くされることが好ましい。また、搬入室１６の圧力は湿度制御室１１の圧力よりも高くされることが好ましい。また、搬出室１７の圧力は湿度制御室１１の圧力よりも高くされることが好ましい。
【００４１】
なお、好ましくは、スラリー層７０１の乾燥は、第３温度制御区画１２ｃ中での熱媒ガスＨＭによる直接的な乾燥が開始される前に、減率乾燥段階に入っている。
【００４２】
（効果）
本実施の形態によれば、湿度制御室１１と作業環境１９との間に配置された温度制御室１２の圧力が、湿度制御室１１の圧力よりも低くされる。これにより、温度制御室１２から湿度制御室１１への塵埃の侵入に起因しての湿度制御室１１の清浄度の低下が防止される。よって、湿度制御室１１中のスラリー層７０１への塵埃の混入が抑制される。よって、スラリー層７０１から得られるシート７０２中に混入する塵埃の量を抑制することができる。
【００４３】
シート７０２中の塵埃量の抑制は、シート７０２を焼成することによってパワーモジュール用基板が製造される場合、特に重要である。なぜならば、パワーモジュールにおいては比較的高い電圧が用いられるため、塵埃に起因しての絶縁信頼性の劣化を避ける必要性が特に高いからである。パワーモジュール用基板が製造される場合、スラリー層７０１は窒化ケイ素粉体を含むことが好ましい。これにより、パワーモジュール用基板の重要な特性のひとつである放熱性が高められる。
【００４４】
湿度制御室１１と作業環境１９との間に配置された温度制御室１２中へ熱媒ガスＨＭが供給されることにより、温度制御室１２に隣接する湿度制御室１１（図１）の温度が調整される。ここで、前述したように、温度制御室１２から湿度制御室１１への塵埃の侵入に起因しての湿度制御室１１の清浄度の低下が防止される。よって、湿度制御室１１の十分な清浄度を確保しつつも、比較的多くの塵埃を含む熱媒ガスＨＭを使用することができる。よって、熱媒ガスＨＭの準備を簡素化することができる。
【００４５】
湿度制御室１１中へ供給される雰囲気ガスＡＧ（図３）は、粒径０．５μｍの塵埃を除去可能なフィルタ１４２を用いて準備されることが好ましい。これにより、湿度制御室１１中の清浄度を、通常のクリーンルームの清浄度とおおよそ同程度にまで向上させることができる。
【００４６】
湿度制御室１１中へ供給される雰囲気ガスＡＧ（図３）の湿度は湿度調整部１４５によって調整される。ここで、圧力調整部１５０（図３）は、湿度制御室１１と作業環境１９との間に設けられた温度制御室１２（図１）の圧力を、湿度制御室１１の圧力よりも低くする。これにより、温度制御室１２から湿度制御室１１へのガスの侵入に起因しての湿度制御室１１の湿度の乱れが防止される。よって、湿度制御室１１中でのスラリー層７０１の乾燥条件が、より安定化される。よって、スラリー層７０１から得られるシート７０２の品質を安定化することができる。
【００４７】
湿度制御室１１と作業環境１９との間に配置された温度制御室１２（図１）の圧力は、作業環境１９の圧力よりも低くされることが好ましい。これにより、湿度制御室１１中での乾燥工程において蒸発したガスが温度制御室１２を介して作業環境１９へと漏出することが防止される。特に、スラリー層７０１が有機溶媒を含む場合は、作業環境１９への有機ガスの漏出が抑制される。これにより、作業環境１９における有機ガス含有量の増加を抑制することができる。
【００４８】
搬入室１６（図１）が設置されている場合、搬入室１６の清浄度を確保することによって、搬入口１９１から湿度制御室１１中への塵埃の侵入を防止することができる。ここで、搬入室１６の圧力は湿度制御室１１の圧力よりも高くされることが好ましい。これにより、湿度制御室１１中での乾燥工程において蒸発したガスが搬入室１６へと漏出することが抑制される。特に、スラリー層７０１が有機溶媒を含む場合は、搬入室１６への有機ガスの漏出が抑制される。
【００４９】
搬出室１７（図１）が設置されている場合、搬出室１７の清浄度を確保することによって、搬出口１９２から湿度制御室１１中への塵埃の侵入を防止することができる。ここで、搬出室１７の圧力は湿度制御室１１の圧力よりも高くされることが好ましい。これにより、湿度制御室１１中での乾燥工程において蒸発したガスが搬出室１７へと漏出することが防止される。特に、スラリー層７０１が有機溶媒を含む場合は、搬出室１７への有機ガスの漏出が抑制される。
【００５０】
この発明は詳細に説明されたが、上記した説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。
【００５１】
例えば、上記実施の形態においては搬送部がコンベアベルト１３０である形態について詳述したが、搬送部は、コンベアベルトに限定されるものではなく、フィルムを搬送することができる任意の機構であってよい。
【００５２】
また、第２室が湿度制御室である形態について詳述したが、第２室の湿度制御は、必ずしも行われなくてもよい。また第２室が第１〜第３温度制御区画１２ａ〜１２ｃに分割されている形態について詳述したが、区画の数は３つに限定されるものではなく任意であり、例えば４つ以上であってよい。あるいは、第２室は分割されていなくてよい。
【００５３】
また第１室が温度制御室である形態について詳述したが、第１室の温度制御は、必ずしも行われなくてもよい。また、第１室に加えて、または第１室に代わって、他の部分の温度が制御されてもよい。また、第１室は複数の区画に分割されていてもよい。
【００５４】
また湿度制御室１１（第１室）に１つのガス導入管２３（図１）が設けられる場合について詳述したが、第１室に複数のガス導入管が設けられてもよい。また、第１室が複数の区画に分割され、かつ、各区画にガス導入管が設けられてもよい。
【００５５】
また、ガス源１４１、フィルタ１４２、および湿度調整部１４５をこの順に有する雰囲気調整部１４０（図３）について詳述したが、雰囲気調整部の構成はこれに限定されるものではなく、例えば、ガス源１４１、湿度調整部１４５、およびフィルタ１４２をこの順に有する雰囲気調整部が用いられてもよい。
【００５６】
また、温度制御室１２（第２室）が有する第１〜第３温度制御区画１２ａ〜１２ｃ（図１）のそれぞれに１つの熱媒導入管２１ａ〜２１ｃが設けられる形態について詳述したが、各区画に複数の熱媒導入管が設けられてもよい。また、複数の区画に分割されていない温度制御室１２に複数の熱媒導入管が設けられてもよい。
【００５７】
また、温度制御室１２（第２室）が有する第１〜第３温度制御区画１２ａ〜１２ｃ（図１）のそれぞれに１つの排気管２２ａ〜２２ｃが設けられる形態について詳述したが、各区画に複数の排気管が設けられてもよい。また、複数の区画に分割されていない温度制御室１２に複数の排気管が設けられてもよい。
【００５８】
ガス導入管２３、熱媒導入管２１ａ〜２１ｃ、排気管２２ａ〜２２ｃの各々の端面形状は任意である。具体的には、図２においては円形状が示されているが、特定の方向（例えば幅方向）において相対的に大きな寸法を有する形状が用いられてもよく、例えば、楕円、または、長方形などの多角形が用いられてよい。
【符号の説明】
【００５９】
ＣＡ１，ＣＡ２  空気
ＡＧ  雰囲気ガス
ＨＭ  熱媒ガス
２１ａ〜２１ｃ  熱媒導入管
１０  炉室
１１  湿度制御室（第１室）
１２  温度制御室（第２室）
１２ａ  第１温度制御区画
１２ｂ  第２温度制御区画
１２ｃ  第３温度制御区画
１６  搬入室
１７  搬出室
１９  作業環境（外部環境）
２２ａ〜２２ｃ  排気管
２３  ガス導入管
１００  乾燥装置
１１０  カバー体
１２０  筐体
１２１ａ  第１隔壁
１２１ｂ  第２隔壁
１３０  コンベアベルト（搬送部）
１３５  ベルト駆動部
１４０  雰囲気調整部
１４１  ガス源
１４２  フィルタ
１４５  湿度調整部
１５０  圧力調整部
１５１  熱媒供給部
１５２  排気部
１５６，１５７  清浄化空気源
１６１  フィルム巻出部
１７１  フィルム巻取部
１７２  シート巻取部
１９１  搬入口
１９２  搬出口
２００  塗布部
７０１  スラリー層
７０２  シート
７５０  フィルム
【図１】
2020121430.tif 000003
【図２】
2020121430.tif 000004
【図３】
2020121430.tif 000005