(57)【要約】【課題】パターニング特性に優れる感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、及び硬化物、を提供すること。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、架橋剤（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含む、感光性樹脂組成物であって、前記架橋剤（Ｂ）として、置換基を有していてもよいビフェニル骨格、又は置換基を有してもよいターフェニル骨格を有する単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）を含む、感光性樹脂組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
架橋剤（Ｂ）と、
光重合開始剤（Ｃ）と、
を含む、感光性樹脂組成物であって、
前記架橋剤（Ｂ）として、置換基を有していてもよいビフェニル骨格、又は置換基を有してもよいターフェニル骨格を有する単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）を含む、感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）が、ビフェニル骨格を有する単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１ａ）を含む、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１ａ）が、下記式（Ｂ１−１）で表される化合物を含む、請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
ＣＨ２＝ＣＲｂ１−ＣＯ−（Ｏ−Ｒｂ２−）ｎ１−Ｘｂ１−ＢＰ・・・（Ｂ１−１）
（式（Ｂ１−１）中、Ｒｂ１は、水素原子又はメチル基であり、Ｒｂ２は炭素原子数１以上４以下のアルキレン基であり、ＢＰは置換基を有してもよいビフェニル基であり、ｎ１は０以上１０以下の整数であり、ｎ１が０である場合、Ｘｂ１は、−Ｏ−、又は−ＮＨ−であり、ｎ１が１以上１０以下の整数である場合、Ｘｂ１は、−Ｏ−、−ＮＨ−、−Ｏ−ＣＯ−＊、−ＮＨ−ＣＯ−＊、−Ｏ−ＣＯ−Ｏ−、及び−ＮＨ−ＣＯ−Ｏ−＊からなる群より選択される連結基であり、前記連結基のうち非対称な連結基についての＊が付された結合手はＢＰと結合する結合手である。）
【請求項４】
前記架橋剤（Ｂ）として、更に多官能(メタ)アクリルモノマー（Ｂ２）を含む請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記多官能(メタ)アクリルモノマー（Ｂ２）が、２官能以上である請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）として、カルド構造を有する樹脂を含む請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）の含有量が、前記架橋剤（Ｂ）の全質量に対し、５質量％以上５０質量％以下である請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
更に増感剤（Ｄ）を含む請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
更に着色剤（Ｅ）を含む請求項１〜８のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記着色剤（Ｅ）が黒色顔料である請求項９に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
更に撥水剤（Ｆ）を含む請求項１〜１０のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
基板上に請求項１〜１１のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を塗布し、感光性樹脂層を形成することと、
前記感光性樹脂層を、位置選択的に露光することと、
露光された前記感光性樹脂層を、現像液により現像することと、
を含む、パターニングされた硬化膜の製造方法。
【請求項１３】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、パターニングされた硬化膜の製造方法及び硬化膜に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の形状にパターニングされた硬化膜をフォトリソグラフィ法により容易に形成できるために、アルカリ可溶性樹脂を含有する感光性樹脂組成物は、例えば、液晶表示ディスプレイ等の表示装置、半導体デバイス、その他の分野において広く用いられている。
【０００３】
感光性組成物では、その成分の一部として含まれる光重合開始剤が露光によってラジカルを発生させる。このラジカルが感光性組成物に含まれる重合性の化合物を重合させることによって、感光性組成物が硬化する。また、感光性樹脂組成物においては、このような光重合開始剤により発生したラジカルで重合性の化合物を重合させる一方で、感光性樹脂組成物の基板への密着性、及び感光性樹脂組成物の硬化後の強度を高める目的から架橋剤成分が配合されている。この架橋剤成分としては、従来、上記したような目的の上から、エチレン性不飽和基を有するモノマーの中でも多官能、特に、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレートといった５官能以上の(メタ)アクリレートモノマーが用いられていた。
【０００４】
近年、生産性向上の観点から、低露光量でパターンを形成することのできる高感度の感光性樹脂組成物が要望されている。一方で、複雑な形状にパターニングされた硬化膜を形成する場合、露光の対象である感光性樹脂組成物からなる膜において、感光性樹脂組成物の硬化のためのトリガーとなる露光光が透過しない領域が増える場合がある。この場合、上記したような組成の感光性樹脂組成物では、露光後に十分に硬化していない部分ができる不具合が生じやすい。また、数十μｍ以上という比較的厚膜の硬化膜を得ようとする態様への感光性樹脂組成物の応用も広く検討されている。しかし、このような厚膜の硬化膜を形成する場合においても、感光性樹脂組成物からなる膜における光源よりも遠位側、即ち、一般的には基材と感光性樹脂層との接触面付近に、露光光が十分に到達せず、硬化膜中に硬化が不十分である部分ができる不具合が生じやすい。更に、感光性樹脂組成物が着色剤を含有する態様においては、着色剤による露光光の吸収によって、硬化膜中に硬化が不十分な部分が形成される問題が顕著である。
【０００５】
特許文献１においては、感光性樹脂組成物における活性化エネルギーが直接届かない領域を、低露光量でも良好に硬化させることを目的として、特定の組成の感光性樹脂組成物が提案されている。特許文献１では、具体的には、芳香族基を有する単官能性（メタ）アクリル系モノマー（Ａ）と、（Ａ）成分以外の分子内に重合性炭素−炭素二重結合を平均して少なくも一個有する化合物（Ｂ）と、（Ｃ）光重合開始剤とを含有する硬化性組成物が提案されている。（Ａ）成分としては、具体的にはエトキシ化ｏ−フェニルフェニルアクリレート等が使用され、（Ｂ）成分としては、具体的にはアクリル酸エステル系ポリマー等が使用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−５１６１８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１に記載されるような硬化性組成物でも、硬化膜中に硬化が不十分な部分が形成される問題を解消するという要求に十分に応えられない場合がある。また、硬化が不十分な部分の形成を抑制できたとしても、この場合には、形成されるラインパターンの矩形性（テーパー性）はある程度改善される一方で、ラインパターンの直進性（再現性）や解像度については、更なる改良が望まれる。このため、更に感度に優れる感光性樹脂組成物が要求されている。
【０００８】
本発明は、上記従来技術の課題に鑑みなされたものであって、感度が高く、線幅安定性、解像性及び矩形性が良好であるといったパターニング特性に優れる感光性樹脂組成物、これを用いたパターニングされた硬化膜の製造方法及び硬化膜の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、感光性樹脂組成物が特定構造の単官能（メタ）アクリレート化合物を混合して含むことにより、感光性樹脂性組成物の感度が高く、例えば、硬化膜を厚膜に形成しようとするとか複雑な形状の硬化膜を形成する活性エネルギー線が直接届きにくい箇所においても良好な硬化が進行し、パターンの矩形性（テーパー性）が良好で、且つ高解像度でパターンの直進性（再現性）も良好であって、パターニング特性を向上することができることを見出し、本発明を完成するに至った。即ち、本発明は以下の通りである。
【００１０】
本発明の第１の態様は、
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、架橋剤（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含む、感光性樹脂組成物であって、
前記架橋剤（Ｂ）として、置換基を有していてもよいビフェニル骨格、又は置換基を有してもよいターフェニル骨格を有する単官能（メタ）アクリレートモノマー（Ｂ１）を含む、感光性樹脂組成物である。
【００１１】
本発明の第２の態様は、第１の態様に係る感光性樹脂組成物を基材上に塗布し、感光性樹脂層を形成することと、前記感光性樹脂層を位置選択的に露光することと、露光された前記感光性樹脂層を現像液により現像することと、を含む、パターニングされた硬化膜の製造方法である。
【００１２】
本発明の第３の態様は、第１の態様に係る感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、感度が高く、線幅安定性、解像性及び矩形性が良好であるといったパターニング特性に優れる感光性樹脂組成物、これを用いたパターニングされた硬化膜の製造方法及び硬化膜を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施態様について詳細に説明するが、本発明は、以下の実施態様に何ら限定されず、本発明の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。
【００１５】
≪感光性樹脂組成物≫
感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、架橋剤（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含む。感光性樹脂組成物は、前記架橋剤（Ｂ）として、置換基を有していてもよいビフェニル骨格、又は置換基を有してもよいターフェニル骨格を有する単官能（メタ）アクリレートモノマー（Ｂ１）を含む。
以下、感光性樹脂組成物が含有する成分について順に説明する。
【００１６】
＜アルカリ可溶性樹脂（Ａ）＞
感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）を含む。
ここで、本明細書において、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂とは、分子内にアルカリ可溶性をもたせる官能基（例えば、フェノール性水酸基、カルボキシ基、スルホン酸基等）を備える樹脂を指す。
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の種類は特に限定されず、従来から感光性樹脂組成物に配合されている種々のアルカリ可溶性樹脂を用いることができる。
以下、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の好適な具体例として、カルド構造を有する樹脂（Ａ１）と、アクリル系樹脂（Ａ２）と、ノボラック樹脂（Ａ３）とについて説明する。
【００１７】
〔カルド構造を有する樹脂（Ａ１）〕
感光性樹脂組成物には、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）としてカルド構造を有する樹脂（Ａ１）（以下、「カルド樹脂（Ａ１）」とも記す。）を含んでいてもよい。
【００１８】
カルド樹脂（Ａ１）としては、その構造中にカルド骨格を有し、所望するアルカリ可溶性を有する樹脂を用いることができる。カルド骨格とは、第１の環状構造を構成している１つの環炭素原子に、第２の環状構造と第３の環状構造とが結合した骨格をいう。なお、第２の環状構造と、第３の環状構造とは、同一の構造であっても異なった構造であってもよい。
カルド骨格の代表的な例としては、フルオレン環の９位の炭素原子に２つの芳香環（例えばベンゼン環）が結合した骨格が挙げられる。
【００１９】
カルド樹脂（Ａ１）としては、特に限定されず、従来公知の樹脂を用いることができる。その中でも、下記式（ａ−１）で表される樹脂が好ましい。
【化１】
2020052280.tif 000002
（式（ａ−１）中、Ｘａは、下記式（ａ−２）で表される基を示す。ｍ１は０以上２０以下の整数を示す。）
【００２０】
【化２】
2020052280.tif 000003
（式（ａ−２）中、Ｒａ１は、それぞれ独立に水素原子、炭素原子数１以上６以下の炭化水素基、又はハロゲン原子を示し、Ｒａ２は、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、Ｒａ３は、それぞれ独立に直鎖又は分岐鎖のアルキレン基を示し、ｍ２は、０又は１を示しＷａは、下記式（ａ−３）で表される基を示す。）
【００２１】
【化３】
2020052280.tif 000004
（式（ａ−３）中の環Ａは、芳香族環と縮合していてもよく置換基を有していてもよい脂肪族環を示す。脂肪族環は、脂肪族炭化水素環であっても、脂肪族複素環であってもよい。）
【００２２】
式（ａ−２）中、Ｒａ３としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキレン基が好ましく、炭素原子数１以上１０以下のアルキレン基がより好ましく、炭素原子数１以上６以下のアルキレン基が特に好ましく、エタン−１，２−ジイル基、プロパン−１，２−ジイル基、及びプロパン１，３−ジイル基が最も好ましい。
【００２３】
式（ａ−３）中の環Ａについて、脂肪族環としては、モノシクロアルカン、ビシクロアルカン、トリシクロアルカン、テトラシクロアルカン等が挙げられる。
具体的には、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等のモノシクロアルカンや、アダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカンが挙げられる。
脂肪族環に縮合してもよい芳香族環は、芳香族炭化水素環でも芳香族複素環でもよく、芳香族炭化水素環が好ましい。具体的にはベンゼン環、及びナフタレン環が好ましい。
【００２４】
式（ａ−３）で表される２価基の好適な例としては、下記の基が挙げられる。
【化４】
2020052280.tif 000005
【００２５】
式（ａ−１）中の２価基Ｘａは、残基Ｚａを与えるテトラカルボン酸二無水物と、下式（ａ−２ａ）で表されるジオール化合物とを反応させることにより、（Ａ１）カルド樹脂中に導入される。
【化５】
2020052280.tif 000006
【００２６】
式（ａ−２ａ）中、Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒａ３、及びｍ２は、式（ａ−２）について説明した通りである。式（ａ−２ａ）中の環Ａについては、式（ａ−３）について説明した通りである。
【００２７】
式（ａ−２ａ）で表されるジオール化合物は、例えば、以下の方法により製造し得る。
まず、下記式（ａ−２ｂ）で表されるジオール化合物が有するフェノール性水酸基中の水素原子を、必要に応じて、常法に従って、−Ｒａ３−ＯＨで表される基に置換した後、エピクロルヒドリン等を用いてグリシジル化して、下記式（ａ−２ｃ）で表されるエポキシ化合物を得る。
【００２８】
次いで、式（ａ−２ｃ）で表されるエポキシ化合物を、アクリル酸又はメタアクリル酸と反応させることにより、式（ａ−２ａ）で表されるジオール化合物が得られる。
式（ａ−２ｂ）及び式（ａ−２ｃ）中、Ｒａ１、Ｒａ３、及びｍ２は、式（ａ−２）について説明した通りである。式（ａ−２ｂ）及び式（ａ−２ｃ）中の環Ａについては、式（ａ−３）について説明した通りである。
【００２９】
なお、式（ａ−２ａ）で表されるジオール化合物の製造方法は、上記の方法に限定されない。
【００３０】
【化６】
2020052280.tif 000007
【００３１】
式（ａ−２ｂ）で表されるジオール化合物の好適な例としては、以下のジオール化合物が挙げられる。
【化７】
2020052280.tif 000008
【００３２】
上記式（ａ−１）中、Ｒａ０は水素原子又は−ＣＯ−Ｙａ−ＣＯＯＨで表される基である。ここで、Ｙａは、ジカルボン酸無水物から酸無水物基（−ＣＯ−Ｏ−ＣＯ−）を除いた残基を示す。ジカルボン酸無水物の例としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸等が挙げられる。
【００３３】
また、上記式（ａ−１）中、Ｚａは、テトラカルボン酸二無水物から２個の酸無水物基を除いた残基を示す。テトラカルボン酸二無水物の例としては、下記式（ａ−４）で表されるテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
また、上記式（ａ−１）中、ｍ１は、０以上２０以下の整数を示す。
【００３４】
【化８】
2020052280.tif 000009
（式（ａ−４）中、Ｒａ４、Ｒａ５、及びＲａ６は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１以上１０以下のアルキル基及びフッ素原子からなる群より選択される１種を示し、ｍ３は、０以上１２以下の整数を示す。）
【００３５】
式（ａ−４）中のＲａ４として選択され得るアルキル基は、炭素原子数が１以上１０以下のアルキル基である。アルキル基の備える炭素原子数をこの範囲に設定することで、得られるカルボン酸エステルの耐熱性を一段と向上させることができる。Ｒａ４がアルキル基である場合、その炭素原子数は、耐熱性に優れるカルド樹脂を得やすい点から、１以上６以下が好ましく、１以上５以下がより好ましく、１以上４以下が更に好ましく、１以上３以下が特に好ましい。
Ｒａ４がアルキル基である場合、当該アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。
【００３６】
式（ａ−４）中のＲａ４としては、耐熱性に優れるカルド樹脂を得やすい点から、それぞれ独立に、水素原子又は炭素原子数１以上１０以下のアルキル基がより好ましい。式（ａ−４）中のＲａ４は、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基又はイソプロピル基がより好ましく、水素原子又はメチル基が特に好ましい。
式（ａ−４）中の複数のＲａ４は、高純度のテトラカルボン酸二無水物の調製が容易であることから、同一の基であるのが好ましい。
【００３７】
式（ａ−４）中のｍ３は０以上１２以下の整数を示す。ｍ３の値を１２以下とすることによって、テトラカルボン酸二無水物の精製を容易にすることができる。
テトラカルボン酸二無水物の精製が容易である点から、ｍ３の上限は５が好ましく、３がより好ましい。
テトラカルボン酸二無水物の化学的安定性の点から、ｍ３の下限は１が好ましく、２がより好ましい。
式（ａ−４）中のｍ３は、２又は３が特に好ましい。
【００３８】
式（ａ−４）中のＲａ５、及びＲａ６として選択され得る炭素原子数１以上１０以下のアルキル基は、Ｒａ４として選択され得る炭素原子数１以上１０以下のアルキル基と同様である。
Ｒａ５、及びＲａ６は、テトラカルボン酸二無水物の精製が容易である点から、水素原子、又は炭素原子数１以上１０以下（好ましくは１以上６以下、より好ましくは１以上５以下、更に好ましくは１以上４以下、特に好ましくは１以上３以下）のアルキル基であるのが好ましく、水素原子又はメチル基であるのが特に好ましい。
【００３９】
式（ａ−４）で表されるテトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロペンタノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物（別名「ノルボルナン−２−スピロ−２’−シクロペンタノン−５’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物」）、メチルノルボルナン−２−スピロ−α−シクロペンタノン−α’−スピロ−２’’−（メチルノルボルナン）−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロヘキサノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物（別名「ノルボルナン−２−スピロ−２’−シクロヘキサノン−６’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物」）、メチルノルボルナン−２−スピロ−α−シクロヘキサノン−α’−スピロ−２’’−（メチルノルボルナン）−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロプロパノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロブタノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロヘプタノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロオクタノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロノナノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロデカノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロウンデカノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロドデカノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロトリデカノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロテトラデカノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−シクロペンタデカノン−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−（メチルシクロペンタノン）−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−２−スピロ−α−（メチルシクロヘキサノン）−α’−スピロ−２’’−ノルボルナン−５，５’’，６，６’’−テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
【００４０】
カルド樹脂（Ａ１）の重量平均分子量は、１０００以上４００００以下であることが好ましく、２０００以上３００００以下であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、良好な現像性を得ながら、十分な耐熱性、膜強度を得ることができる。
【００４１】
〔アクリル系樹脂（Ａ２）〕
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）としては、アクリル系樹脂（Ａ２）も好ましく用いることができる。アクリル系樹脂（Ａ２）を用いる場合、単量体の種類や、構成単位の比率等を適宜調整することで、感光性樹脂組成物の諸特性を容易に調整できる。
【００４２】
アクリル系樹脂（Ａ２）としては、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位、及び／又は（メタ）アクリル酸エステル等の他のモノマーに由来する構成単位を含む樹脂を用いることができる。（メタ）アクリル酸は、アクリル酸、又はメタアクリル酸である。（メタ）アクリル酸エステルは、下記式（ａ−５）で表される化合物であって、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されない。
【化９】
2020052280.tif 000010
【００４３】
上記式（ａ−５）中、Ｒａ７は、水素原子又はメチル基であり、Ｒａ８は、１価の有機基である。この有機基は、該有機基中にヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合や置換基を含んでいてもよい。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。
【００４４】
Ｒａ８の有機基中の炭化水素基以外の置換基としては、本発明の効果が損なわれない限り特に限定されず、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シアノ基、イソシアノ基、シアナト基、イソシアナト基、チオシアナト基、イソチオシアナト基、シリル基、シラノール基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、チオカルバモイル基、ニトロ基、ニトロソ基、カルボキシ基、カルボキシラート基、アシル基、アシルオキシ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、ヒドロキシイミノ基、アルキルエーテル基、アルキルチオエーテル基、アリールエーテル基、アリールチオエーテル基、アミノ基（−ＮＨ２、−ＮＨＲ、−ＮＲＲ’：Ｒ及びＲ’はそれぞれ独立に炭化水素基を示す）等が挙げられる。上記置換基に含まれる水素原子は、炭化水素基によって置換されていてもよい。また、上記置換基に含まれる炭化水素基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。
【００４５】
Ｒａ８としては、アルキル基、アリール基、アラルキル基、又は複素環基が好ましく、これらの基は、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基、又は複素環基で置換されていてもよい。また、これらの基がアルキレン部分を含む場合、アルキレン部分は、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよい。
【００４６】
アルキル基が、直鎖状又は分岐鎖状である場合、その炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上１５以下がより好ましく、１以上１０以下が特に好ましい。好適なアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基等が挙げられる。
【００４７】
アルキル基が、脂環式基、又は脂環式基を含む基である場合、アルキル基に含まれる好適な脂環式基としては、シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等単環の脂環式基や、アダマンチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、及びテトラシクロドデシル基等の多環の脂環式基が挙げられる。
【００４８】
式（ａ−５）で表される化合物は、Ｒａ８中にエポキシ基を備えるエポキシ基含有不飽和化合物であるのも好ましい。
式（ａ−５）で表されるエポキシ基含有不飽和化合物の好適な例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシブチル（メタ）アクリレート、６，７−エポキシヘプチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エポキシアルキルエステル類；α−エチルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−プロピルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸６，７−エポキシヘプチル等のα−アルキルアクリル酸エポキシアルキルエステル類；等が挙げられる。これらの中でも、共重合反応性、硬化後の樹脂の強度等の点から、グリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、及び６，７−エポキシヘプチル（メタ）アクリレートが好ましい。これらのエポキシ基含有不飽和化合物は、単独又は２種以上組合せて用いることができる。
【００４９】
また、アクリル系樹脂（Ａ２）は、（メタ）アクリル酸エステル以外のモノマーを重合させた樹脂であってもよい。このようなモノマーとしては、（メタ）アクリルアミド類、不飽和カルボン酸類、アリル化合物、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、スチレン類等が挙げられる。これらのモノマーは、単独又は２種以上組合せて用いることができる。
【００５０】
（メタ）アクリルアミド類としては、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−アルキル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−アリール（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジアルキル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−アリール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチル−Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。
【００５１】
不飽和カルボン酸類としては、クロトン酸等のモノカルボン酸；マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等のジカルボン酸；これらジカルボン酸の無水物；等が挙げられる。
【００５２】
アリル化合物としては、酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸アリル、ステアリン酸アリル、安息香酸アリル、アセト酢酸アリル、乳酸アリル等のアリルエステル類；アリルオキシエタノール；等が挙げられる。
【００５３】
ビニルエーテル類としては、ヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、デシルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エトキシエチルビニルエーテル、クロロエチルビニルエーテル、１−メチル−２，２−ジメチルプロピルビニルエーテル、２−エチルブチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、ジエチレングリコールビニルエーテル、ジメチルアミノエチルビニルエーテル、ジエチルアミノエチルビニルエーテル、ブチルアミノエチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、テトラヒドロフルフリルビニルエーテル等のアルキルビニルエーテル；ビニルフェニルエーテル、ビニルトリルエーテル、ビニルクロロフェニルエーテル、ビニル−２，４−ジクロロフェニルエーテル、ビニルナフチルエーテル、ビニルアントラニルエーテル等のビニルアリールエーテル；等が挙げられる。
【００５４】
ビニルエステル類としては、ビニルブチレート、ビニルイソブチレート、ビニルトリメチルアセテート、ビニルジエチルアセテート、ビニルバレレート、ビニルカプロエート、ビニルクロロアセテート、ビニルジクロロアセテート、ビニルメトキシアセテート、ビニルブトキシアセテート、ビニルフェニルアセテート、ビニルアセトアセテート、ビニルラクテート、ビニル−β−フェニルブチレート、安息香酸ビニル、サリチル酸ビニル、クロロ安息香酸ビニル、テトラクロト安息香酸ビニル、ナフトエ酸ビニル等が挙げられる。
【００５５】
スチレン類としては、スチレン；メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチルスチレン、ジエチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヘキシルスチレン、シクロヘキシルスチレン、デシルスチレン、ベンジルスチレン、クロロメチルスチレン、トリフルオロメチルスチレン、エトキシメチルスチレン、アセトキシメチルスチレン等のアルキルスチレン；メトキシスチレン、４−メトキシ−３−メチルスチレン、ジメトキシスチレン等のアルコキシスチレン；クロロスチレン、ジクロロスチレン、トリクロロスチレン、テトラクロロスチレン、ペンタクロロスチレン、ブロモスチレン、ジブロモスチレン、ヨードスチレン、フルオロスチレン、トリフルオロスチレン、２−ブロモ−４−トリフルオロメチルスチレン、４−フルオロ−３−トリフルオロメチルスチレン等のハロスチレン；等が挙げられる。
【００５６】
（Ａ３）アクリル系樹脂における、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位の量と、他のモノマーに由来する構成単位の量とは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。（Ａ３）アクリル系樹脂における、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位の量は、アクリル系樹脂の質量に対して、５質量％以上５０質量％以下が好ましく、１０質量％以上３０質量％以下がより好ましい。
【００５７】
アクリル系樹脂（Ａ２）の重量平均分子量は、２０００以上５００００以下であることが好ましく、５０００以上３００００以下であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、感光性樹脂組成物の膜形成能、露光後の現像性のバランスがとりやすい傾向がある。
【００５８】
〔ノボラック樹脂（Ａ３）〕
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、ノボラック樹脂（Ａ３）を含んでいてもよい。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）がノボラック樹脂（Ａ３）を含む場合、加熱により変形しにくい耐熱性が良好な硬化膜を形成しやすい。
【００５９】
ノボラック樹脂（Ａ３）としては、従来から感光性樹脂組成物に配合されている種々のノボラック樹脂を用いることができる。ノボラック樹脂（Ａ３）としては、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物（以下、単に「フェノール類」という。）とアルデヒド類とを酸触媒下で付加縮合させることにより得られるノボラック樹脂が好ましい。
【００６０】
（フェノール類）
ノボラック樹脂（Ａ３）を作製する際に用いられるフェノール類としては、例えば、フェノール；ｏ−クレゾール、ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール等のクレゾール類；２，３−キシレノール、２，４−キシレノール、２，５−キシレノール、２，６−キシレノール、３，４−キシレノール、３，５−キシレノール等のキシレノール類；ｏ−エチルフェノール、ｍ−エチルフェノール、ｐ−エチルフェノール等のエチルフェノール類；２−イソプロピルフェノール、３−イソプロピルフェノール、４−イソプロピルフェノール、ｏ−ブチルフェノール、ｍ−ブチルフェノール、ｐ−ブチルフェノール、並びにｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール等のアルキルフェノール類；２，３，５−トリメチルフェノール、及び３，４，５−トリメチルフェノール等のトリアルキルフェノール類；レゾルシノール、カテコール、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、及びフロログリシノール等の多価フェノール類；アルキルレゾルシン、アルキルカテコール、及びアルキルハイドロキノン等のアルキル多価フェノール類（いずれのアルキル基も炭素原子数１以上４以下である。）；α−ナフトール；β−ナフトール；ヒドロキシジフェニル；並びにビスフェノールＡ等が挙げられる。これらのフェノール類は、単独で用いてもよく、２種以上を組合せて用いてもよい。
【００６１】
これらのフェノール類の中でも、ｍ−クレゾール及びｐ−クレゾールが好ましく、ｍ−クレゾールとｐ−クレゾールとを併用することがより好ましい。この場合、両者の配合割合を調整することにより、感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜の耐熱性等の諸特性を調節することができる。
ｍ−クレゾールとｐ−クレゾールの配合割合は特に限定されないが、ｍ−クレゾール／ｐ−クレゾールのモル比で、３／７以上８／２以下が好ましい。ｍ−クレゾール及びｐ−クレゾールをかかる範囲の比率で用いることにより、耐熱性に優れる硬化膜を形成可能な感光性樹脂組成物を得やすい。
【００６２】
また、ｍ−クレゾールと、２，３，５−トリメチルフェノールとを併用して製造されるノボラック樹脂も好ましい。かかるノボラック樹脂を用いる場合、ポストベーク時の加熱により過度にフローし難い硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物を、特に得やすい。
ｍ−クレゾールと２，３，５−トリメチルフェノールの配合割合は特に限定されないが、ｍ−クレゾール／２，３，５−トリメチルフェノールのモル比で、７０／３０以上９５／５以下が好ましい。
【００６３】
（アルデヒド類）
ノボラック樹脂（Ａ３）を作製する際に用いられるアルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、フルフラール、ベンズアルデヒド、ニトロベンズアルデヒド、及びアセトアルデヒド等が挙げられる。これらのアルデヒド類は、単独で用いてもよく、２種以上を組合せて用いてもよい。
【００６４】
（酸触媒）
ノボラック樹脂（Ａ３）を作製する際に用いられる酸触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、及び亜リン酸等の無機酸類；蟻酸、シュウ酸、酢酸、ジエチル硫酸、及びパラトルエンスルホン酸等の有機酸類；並びに酢酸亜鉛等の金属塩類等が挙げられる。これらの酸触媒は、単独で用いてもよく、２種以上を組合せて用いてもよい。
【００６５】
（分子量）
ノボラック樹脂（Ａ３）のポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ；以下、単に「重量平均分子量」ともいう。）は、感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜の加熱によるフローに対する耐性の観点から、下限値として２０００が好ましく、５０００がより好ましく、１００００が特に好ましく、１５０００が更に好ましく、２００００が最も好ましく、上限値として５００００が好ましく、４５０００がより好ましく、４００００が更に好ましく、３５０００が最も好ましい。
【００６６】
ノボラック樹脂（Ａ３）としては、ポリスチレン換算の重量平均分子量が異なる樹脂を少なくとも２種組合せて用いることができる。重量平均分子量が異なる樹脂を大小組合せて用いることにより、感光性樹脂組成物の現像性と、感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜の耐熱性とのバランスをとることができる。
【００６７】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分全体の質量に対して３０質量％以上９０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以上８０質量％以下であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、現像性に優れる感光性樹脂組成物を得やすい。
【００６８】
＜（Ｂ）架橋剤＞
（単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１））
感光性樹脂組成物は架橋剤（Ｂ）を含むが、その前記架橋剤（Ｂ）として、置換基を有していてもよいビフェニル骨格、又は置換基を有してもよいターフェニル骨格を有する単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）を含む。なお、「（メタ）アクリルモノマー」とは、（メタ）アクリル酸から誘導され得る、アクリロイル基及び／又はメタクリロイル基モノマーである。
【００６９】
単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）の具体例としては、下記式の化合物が挙げられる。
【００７０】
【化１０】
2020052280.tif 000011
【００７１】
【化１１】
2020052280.tif 000012
【００７２】
上記式において、Ｒｘは、水素原子又はメチル基である。ＢＰは、置換基を有していてもよいビフェニル基であり、具体的な骨格は１，１’−ビフェニル−４−イル基、１，１’−ビフェニル−３−イル基、又は１，１’−ビフェニル−２−イル基であり、好ましくは１，１’−ビフェニル−２−イル基又は１，１’−ビフェニル−４−イル基である。ＴＰは、置換基を有してもよいターフェニル基であり、具体的な骨格は下記式：
【化１２】
2020052280.tif 000013
で表される基のうちのいずれかの基である。
【００７３】
単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）としては、置換基を有していてもよいビフェニル骨格を有する単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１ａ）が、特に好ましい。
【００７４】
単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）において、ビフェニル骨格、及びターフェニル骨格が有していてもよい置換基としては、炭素原子数１以上１２以下のアルキル基、炭素原子数１以上１２以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上１２以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数１以上１２以下のアシル基、炭素原子数１以上１２以下のアシルオキシ基、水酸基、ハロゲン原子、シアノ基又はニトロ基が挙げられる。
【００７５】
単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１ａ）としては、下記式（Ｂ１−１）で表される化合物が好ましく挙げられる。
ＣＨ２＝ＣＲｂ１−ＣＯ−（Ｏ−Ｒｂ２−）ｔ１−Ｘｂ１−ＢＰ・・・（Ｂ１−１）
（式（Ｂ１−１）中、Ｒｂ１は、水素原子又はメチル基であり、Ｒｂ２は炭素原子数１以上４以下のアルキレン基であり、ＢＰは置換基を有してもよいビフェニル基であり、ｔ１は０以上１０以下の整数であり、ｔ１が０である場合、Ｘｂ１は、−Ｏ−、又は−ＮＨ−であり、ｔ１が１以上１０以下の整数である場合、Ｘｂ１は、単結合、−Ｏ−、−ＮＨ−、−Ｏ−ＣＯ−＊、−ＮＨ−ＣＯ−＊、−Ｏ−ＣＯ−Ｏ−、及び−ＮＨ−ＣＯ−Ｏ−＊からなる群より選択される連結基であり、連結基のうち非対称な連結基についての＊が付された結合手はＢＰと結合する結合手である。）
【００７６】
ビフェニル基が有していてもよい置換基は、ビフェニル骨格、及びターフェニル骨格が有してもよい置換基について上記の通り例示した置換基と同様である。
【００７７】
Ｒｂ２としてのアルキレン基の炭素原子数は１以上４以下であり、２又は３が好ましい。当該アルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、トリメチレン基、プロピレン基、及びブタン−１，２−ジイル基等の直鎖状又は分岐状アルキレン基が挙げられる。これらの中では、エチレン基、トリメチレン基、及びプロピレン基が好ましい。
【００７８】
ｔ１は、好ましくは０、１又は２である。
【００７９】
上記式（Ｂ１−１）で表わされる化合物としては、特に限定されるわけではない。式（Ｂ１−１）で表される化合物の好適な例として、以下の化合物が例示できる。
【化１３】
2020052280.tif 000014
【００８０】
上記式（Ｂ１−１）で表わされる化合物としては、Ｂ１−１−ａ、Ｂ１−１−ｃＢ１−１−ｅ、Ｂ１−１−ｆ、Ｂ１−１−ｉ、Ｂ１−１−ｍが好ましく、Ｂ１−１−ａ、Ｂ１−１−ｃが特に好ましい。
【００８１】
（多官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ２））
感光性樹脂組成物は、上記の単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）以外の架橋剤（Ｂ）を含むことができる。単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）以外の架橋剤（Ｂ）としては、例えば、多官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ２）が挙げられる。
【００８２】
多官能(メタ)アクリルモノマー（Ｂ２）としては、例えば、下記式（Ｂ２−１）で表される多官能（メタ）アクリレートが好ましく挙げられる。
【化１４】
2020052280.tif 000015
（式（Ｂ２−１）中、Ｒｂ３は、水素原子、又は炭素原子数１以上４以下のアルキル基であり、Ｒｂ４は多価アルコールＲｂ５（ＯＨ）ｍのｍ個のヒドロキシ基のうちｔ２個のヒドロキシ基を式（Ｂ２−１）中のエステル結合に供したｔ２価の残基であり、ｍ及びｔ２はそれぞれ独立に２以上２０以下の整数であり、ｍはｔ２以上である。）
【００８３】
式（Ｂ２−１）で表わされる多官能(メタ)アクリルモノマーの具体例としては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性ヘキサヒドロフタル酸ジ（メタ）アクリレート、グリセリントリアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート（即ち、トリレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、又はヘキサメチレンジイソシアネート等と２−ビドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応物）、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキサイド変性ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンベンゾエート（メタ）アクリレート、トリス（（メタ）アクリロキシエチ���）イソシアヌレート、アルコキシ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、及びジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステルメチレンビス（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとＮ−メチロール（メタ）アクリルアミドとの縮合物等の多官能モノマーや、トリアクリルホルマール等が挙げられる。これらの多官能モノマーは、単独又は２種以上組合せて用いることができる。
【００８４】
上記の式（Ｂ２−１）で表される多官能（メタ）アクリレートモノマーの具体例の中でも、感光性樹脂組成物の基板への密着性、感光性樹脂組成物の硬化後の強度を高める傾向にある点から、３官能以上の多官能モノマーが好ましく、４官能以上の多官能モノマーがより好ましく、５官能以上の多官能モノマーが更に好ましい。特にジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、及びこれらの混合物等が好ましい。
【００８５】
（Ｂ）架橋剤の感光性樹脂組成物中の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分全体の質量に対して１０質量％以上６０質量％以下が好ましく、１５質量％以上５０質量％以下がより好ましい。上記の範囲とすることにより、感度、現像性、解像性のバランスがとりやすい傾向がある。
【００８６】
また、（Ｂ）架橋剤の全質量に対する単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）の含有量は、（Ｂ）架橋剤成分全体の１質量％以上１００質量％以下であり、３質量％以上７０質量％以下が好ましく、５質量％以上５０質量％以下がより好ましい。（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）の含有量が上記の範囲であることにより、感光性樹脂組成物の位置選択的な露光時に活性エネルギーが直接届かないような部分の硬化が促進され、厚膜、具体的には例えば、５μｍ以上５０μｍ以下の硬化膜を形成するような態様においても、露光側より遠位にある基材側付近においても十分に硬化を進行させることができる。
【００８７】
更に好ましい態様としては、（Ｂ）架橋剤が、（Ｂ）架橋剤の全質量に対して、単官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ１）を１質量％以上９９質量％以下、及び、多官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ２）を１質量％以上９９質量％以下含むことが好ましく、（Ｂ１）を３質量％以上５０質量％以下、及び、多官能（メタ）アクリルモノマー（Ｂ２）を５０質量％以上９７質量％以下含むことが好ましく、この場合、感光性樹脂組成物によって、上記したような厚膜の塗布膜を形成するような態様においても、前述したように、塗布膜が、全体にわたって十分に硬化する。このため、位置選択的露光と、現像とを経て形成されたパターン化された硬化膜のテーパー角度を、垂直に近い良好な角度としやすい。
【００８８】
＜光重合開始剤（Ｃ）＞
感光性樹脂組成物は光重合開始剤（Ｃ）を更に含んでいる。
光重合開始剤（Ｃ）としては、特に限定されず、従来公知の光重合開始剤を用いることができる。
【００８９】
光重合開始剤（Ｃ）として具体的には、例えば、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−ドデシルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ビス（４−ジメチルアミノフェニル）ケトン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、Ｏ−アセチル−１−［６−（２−メチルベンゾイル）−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノンオキシム、（９−エチル−６−ニトロ−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）［４−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−２−メチルフェニル］メタノンＯ−アセチルオキシム、２−（ベンゾイルオキシイミノ）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１−オクタノン、エタノン，１−［９−エチル−６−（ピロール−２−イルカルボニル）−９Ｈ−カルバゾル−３−イル］，２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、４−ベンゾイル−４’−メチルジメチルスルフィド、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、４−ジメチルアミノ−２−エチルヘキシル安息香酸、４−ジメチルアミノ−２−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（Ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、２−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンヒドロペルオキシド、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン、３，３−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−ｎ−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、α��α−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン、ジベンゾスベロン、ペンチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス−（９−アクリジニル）ヘプタン、１，５−ビス−（９−アクリジニル）ペンタン、１，３−ビス−（９−アクリジニル）プロパン、ｐ−メトキシトリアジン、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（フラン−２−イル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ｎ−ブトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（３−ブロモ−４−メトキシ）フェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（２−ブロモ−４−メトキシ）フェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（３−ブロモ−４−メトキシ）スチリルフェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（２−ブロモ−４−メトキシ）スチリルフェニル−ｓ−トリアジン等が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独又は２種以上組合せて用いることができる。
【００９０】
光重合開始剤（Ｃ）としては、また、下記式（ｃ１）で表されるオキシム系化合物を用いることも好ましい。
【化１５】
2020052280.tif 000016
（Ｒｃ１は、１価の有機基、アミノ基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基であり、
ｎ１は０以上４以下の整数であり、
ｎ２は０、又は１であり、
Ｒｃ２は、置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいカルバゾリル基であり、
Ｒｃ３は、水素原子、又は炭素原子数１以上６以下のアルキル基である。）
【００９１】
式（ｃ１）中、Ｒｃ１は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から適宜選択される。Ｒｃ１が有機基である場合の好適な例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、アミノ基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−１−イル基、及びピペラジン−１−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。ｎ１が２以上４以下の整数である場合、Ｒｃ１は同一であっても異なっていてもよい。また、置換基の炭素原子数には、置換基が更に有する置換基の炭素原子数を含まない。
【００９２】
Ｒｃ１がアルキル基である場合、炭素原子数１以上２０以下が好ましく、炭素原子数１以上６以下がより好ましい。また、Ｒｃ１がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒｃ１がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒｃ１がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。
【００９３】
Ｒｃ１がアルコキシ基である場合、炭素原子数１以上２０以下が好ましく、炭素原子数１以上６以下がより好ましい。また、Ｒｃ１がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒｃ１がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ−ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ−ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、ｎ−ヘプチルオキシ基、ｎ−オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ−オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシ基、ｎ−ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ−デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒｃ１がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。
【００９４】
Ｒｃ１がシクロアルキル基、又はシクロアルコキシ基である場合、炭素原子数３以上１０以下が好ましく、炭素原子数３以上６以下がより好ましい。Ｒｃ１がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Ｒｃ１がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。
【００９５】
Ｒｃ１が飽和脂肪族アシル基、又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、炭素原子数２以上２０以下が好ましく、炭素原子数２以上７以下がより好ましい。Ｒｃ１が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ−ブタノイル基、２−メチルプロパノイル基、ｎ−ペンタノイル基、２，２−ジメチルプロパノイル基、ｎ−ヘキサノイル基、ｎ−ヘプタノイル基、ｎ−オクタノイル基、ｎ−ノナノイル基、ｎ−デカノイル基、ｎ−ウンデカノイル基、ｎ−ドデカノイル基、ｎ−トリデカノイル基、ｎ−テトラデカノイル基、ｎ−ペンタデカノイル基、及びｎ−ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Ｒｃ１が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ−ブタノイルオキシ基、２−メチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ペンタノイルオキシ基、２，２−ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ヘキサノイルオキシ基、ｎ−ヘプタノイルオキシ基、ｎ−オクタノイルオキシ基、ｎ−ノナノイルオキシ基、ｎ−デカノイルオキシ基、ｎ−ウンデカノイルオキシ基、ｎ−ドデカノイルオキシ基、ｎ−トリデカノイルオキシ基、ｎ−テトラデカノイルオキシ基、ｎ−ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ−ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。
【００９６】
Ｒｃ１がアルコキシカルボニル基である場合、炭素原子数２以上２０以下が好ましく、炭素原子数２以上７以下がより好ましい。Ｒｃ１がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ−プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ−ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシカルボニル基、ｎ−ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシカルボニル基、ｎ−ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ−ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ−オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−オクチルオキシルカルボニル基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシカルボニル基、ｎ−ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ−デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。
【００９７】
Ｒｃ１がフェニルアルキル基である場合、炭素原子数７以上２０以下が好ましく、炭素原子数７以上１０以下がより好ましい。またＲｃ１がナフチルアルキル基である場合、炭素原子数１１以上２０以下が好ましく、炭素原子数１１以上１４以下がより好ましい。Ｒｃ１がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２−フェニルエチル基、３−フェニルプロピル基、及び４−フェニルブチル基が挙げられる。Ｒｃ１がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α−ナフチルメチル基、β−ナフチルメチル基、２−（α−ナフチル）エチル基、及び２−（β−ナフチル）エチル基が挙げられる。Ｒｃ１が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Ｒｃ１は、フェニル基、又はナフチル基上に更に置換基を有していてもよい。
【００９８】
Ｒｃ１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、及びキノキサリン等が挙げられる。Ｒｃ１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は更に置換基を有していてもよい。
【００９９】
Ｒｃ１が１、又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Ｒｃ１と同様である。１、又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ−プロピルアミノ基、ジ−ｎ−プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ−ブチルアミノ基、ジ−ｎ−ブチルアミノ基、ｎ−ペンチルアミノ基、ｎ−ヘキシルアミノ基、ｎ−ヘプチルアミノ基、ｎ−オクチルアミノ基、ｎ−ノニルアミノ基、ｎ−デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ−ブタノイルアミノ基、ｎ−ペンタノイルアミノ基、ｎ−ヘキサノイルアミノ基、ｎ−ヘプタノイルアミノ基、ｎ−オクタノイルアミノ基、ｎ−デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α−ナフトイルアミノ基、及びβ−ナフトイルアミノ基等が挙げられる。
【０１００】
Ｒｃ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が更に置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒｃ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が更に置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１以上４以下が好ましい。Ｒｃ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。
【０１０１】
Ｒｃ１の中では、化学的に安定であることや、立体的な障害が少なく、オキシムエステル化合物の合成が容易であること等から、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、及び炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基からなる群より選択される基が好ましく、炭素原子数１以上６以下のアルキルがより好ましく、メチル基が特に好ましい。
【０１０２】
Ｒｃ１がフェニル基に結合する位置は、Ｒｃ１が結合するフェニル基について、フェニル基とオキシムエステル化合物の主骨格との結合手の位置を１位とし、メチル基の位置を２位とする場合に、４位、又は５位が好ましく、５位がよりに好ましい。また、ｎ１は、０以上３以下の整数が好ましく、０以上２以下の整数がより好ましく、０、又は１が特に好ましい。
【０１０３】
Ｒｃ２は、置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいカルバゾリル基である。また、Ｒｃ２が置換基を有してもよいカルバゾリル基である場合、カルバゾリル基上の窒素原子は、炭素原子数１以上６以下のアルキル基で置換されていてもよい。
【０１０４】
Ｒｃ２において、フェニル基、又はカルバゾリル基が有する置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。フェニル基、又はカルバゾリル基が、炭素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数１以上２０以下のアルコキシ基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルコキシ基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、アミノ基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−１−イル基、及びピペラジン−１−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。
【０１０５】
Ｒｃ２がカルバゾリル基である場合、カルバゾリル基が窒素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下のアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。これらの置換基の中では、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基が好ましく、炭素原子数１以上６以下のアルキル基がより好ましく、エチル基が特に好ましい。
【０１０６】
フェニル基、又はカルバゾリル基が有してもよい置換基の具体例について、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び１、又は２の有機基で置換されたアミノ基に関しては、Ｒｃ１と同様である。
【０１０７】
Ｒｃ２において、フェニル基、又はカルバゾリル基が有する置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が更に置換基を有する場合の置換基の例としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基；炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基；炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン−１−イル基；ピペラジン−１−イル基；ハロゲン；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。フェニル基、又はカルバゾリル基が有する置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が更に置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１以上４以下が好ましい。フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。
【０１０８】
Ｒｃ２の中では、感度に優れる光重合開始剤を得やすい点から、下記式（ｃ２）、又は（ｃ３）で表される基が好ましく、下記式（ｃ２）で表される基がより好ましく、下記式（ｃ２）で表される基であって、ＡがＳである基が特に好ましい。
【０１０９】
【化１６】
2020052280.tif 000017
（Ｒｃ４は、１価の有機基、アミノ基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基であり、ＡはＳ又はＯであり、ｎ３は、０以上４以下の整数である。）
【０１１０】
【化１７】
2020052280.tif 000018
（Ｒｃ５及びＲｃ６は、それぞれ、１価の有機基である。）
【０１１１】
式（ｃ２）におけるＲｃ４が有機基である場合、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。式（ｃ２）においてＲｃ４が有機基である場合の好適な例としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基；炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基；炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン−１−イル基；ピペラジン−１−イル基；ハロゲン；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。
【０１１２】
Ｒｃ４の中では、ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；ニトロ基が好ましく、ベンゾイル基；ナフトイル基；２−メチルフェニルカルボニル基；４−（ピペラジン−１−イル）フェニルカルボニル基；４−（フェニル）フェニルカルボニル基がより好ましい。
【０１１３】
また、式（ｃ２）において、ｎ３は、０以上３以下の整数が好ましく、０以上２以下の整数がより好ましく、０、又は１であるのが特に好ましい。ｎ３が１である場合、Ｒｃ４の結合する位置は、Ｒｃ４が結合するフェニル基が酸素原子又は硫黄原子と結合する結合手に対して、パラ位であるのが好ましい。
【０１１４】
式（ｃ３）におけるＲｃ５は、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。Ｒｃ５の好適な例としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下のアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。
【０１１５】
Ｒｃ５の中では、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基が好ましく、炭素原子数１以上６以下のアルキル基がより好ましく、エチル基が特に好ましい。
【０１１６】
式（ｃ３）におけるＲｃ６は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Ｒｃ６として好適な基の具体例としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒｃ６として、これらの基の中では置換基を有してもよいフェニル基がより好ましく、２−メチルフェニル基が特に好ましい。
【０１１７】
Ｒｃ４、Ｒｃ５、又はＲｃ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が更に置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒｃ４、Ｒｃ５、又はＲｃ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が更に置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１以上４以下が好ましい。Ｒｃ４、Ｒｃ５、又はＲｃ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。
【０１１８】
式（ｃ１）におけるＲｃ３は、水素原子、又は炭素原子数１以上６以下のアルキル基である。Ｒｃ３としては、メチル基、又はエチル基が好ましく、メチル基がより好ましい。
【０１１９】
式（ｃ１）で表されるオキシムエステル化合物の中でも特に好適な化合物としては、下記のＰＩ−１〜ＰＩ−４２が挙げられる。
【化１８】
2020052280.tif 000019
【０１２０】
【化１９】
2020052280.tif 000020
【０１２１】
【化２０】
2020052280.tif 000021
【０１２２】
【化２１】
2020052280.tif 000022
【０１２３】
【化２２】
2020052280.tif 000023
【０１２４】
【化２３】
2020052280.tif 000024
【０１２５】
また、下記式（ｃ４）で表されるオキシムエステル化合物も、光重合開始剤（Ｃ）として好ましい。
【０１２６】
【化２４】
2020052280.tif 000025
（Ｒｃ７は水素原子、ニトロ基又は１価の有機基であり、Ｒｃ８及びＲｃ９は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子であり、Ｒｃ８とＲｃ９とは相互に結合して環を形成してもよく、Ｒｃ１０は１価の有機基であり、Ｒｃ１１は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１以上１１以下のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基であり、ｎ４は０以上４以下の整数であり、ｎ５は０又は１である。）
【０１２７】
ここで、式（ｃ４）のオキシムエステル化合物を製造するためのオキシム化合物としては、下式（ｃ５）で表される化合物が好適である。
【０１２８】
【化２５】
2020052280.tif 000026
（Ｒｃ７、Ｒｃ８、Ｒｃ９、Ｒｃ１０、ｎ４、及びｎ５は、式（ｃ４）と同様である。）
【０１２９】
式（ｃ４）及び（ｃ５）中、Ｒｃ７は、水素原子、ニトロ基又は１価の有機基である。Ｒｃ７は、式（ｃ４）中のフルオレン環上で、−（ＣＯ）ｎ５−で表される基に結合する６員芳香環とは、異なる６員芳香環に結合する。式（ｃ４）中、Ｒｃ７のフルオレン環に対する結合位置は特に限定されない。式（ｃ４）で表される化合物が１以上のＲｃ７を有する場合、式（ｃ４）で表される化合物の合成が容易であること等から、１以上のＲｃ７のうちの１つがフルオレン環中の２位に結合するのが好ましい。Ｒｃ７が複数である場合、複数のＲｃ７は同一であっても異なっていてもよい。
【０１３０】
Ｒｃ７が有機基である場合、Ｒｃ７は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から適宜選択される。Ｒｃ７が有機基である場合の好適な例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−１−イル基、及びピペラジン−１−イル基等が挙げられる。
【０１３１】
Ｒｃ７がアルキル基である場合、アルキル基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。また、Ｒｃ７がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒｃ７がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒｃ７がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。
【０１３２】
Ｒｃ７がアルコキシ基である場合、アルコキシ基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。また、Ｒｃ７がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒｃ７がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ−ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ−ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、ｎ−ヘプチルオキシ基、ｎ−オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ−オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシ基、ｎ−ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ−デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒｃ７がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。
【０１３３】
Ｒｃ７がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、シクロアルキル基又はシクロアルコキシ基の炭素原子数は、３以上１０以下が好ましく、３以上６以下がより好ましい。Ｒｃ７がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Ｒｃ７がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。
【０１３４】
Ｒｃ７が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基の炭素原子数は、２以上２１以下が好ましく、２以上７以下がより好ましい。Ｒｃ７が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ−ブタノイル基、２−メチルプロパノイル基、ｎ−ペンタノイル基、２，２−ジメチルプロパノイル基、ｎ−ヘキサノイル基、ｎ−ヘプタノイル基、ｎ−オクタノイル基、ｎ−ノナノイル基、ｎ−デカノイル基、ｎ−ウンデカノイル基、ｎ−ドデカノイル基、ｎ−トリデカノイル基、ｎ−テトラデカノイル基、ｎ−ペンタデカノイル基、及びｎ−ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Ｒｃ７が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ−ブタノイルオキシ基、２−メチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ペンタノイルオキシ基、２，２−ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ヘキサノイルオキシ基、ｎ−ヘプタノイルオキシ基、ｎ−オクタノイルオキシ基、ｎ−ノナノイルオキシ基、ｎ−デカノイルオキシ基、ｎ−ウンデカノイルオキシ基、ｎ−ドデカノイルオキシ基、ｎ−トリデカノイルオキシ基、ｎ−テトラデカノイルオキシ基、ｎ−ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ−ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。
【０１３５】
Ｒｃ７がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の炭素原子数は、２以上２０以下が好ましく、２以上７以下がより好ましい。Ｒｃ７がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ−プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ−ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシカルボニル基、ｎ−ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシカルボニル基、ｎ−ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ−ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ−オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−オクチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシカルボニル基、ｎ−ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ−デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。
【０１３６】
Ｒｃ７がフェニルアルキル基である場合、フェニルアルキル基の炭素原子数は、７以上２０以下が好ましく、７以上１０以下がより好ましい。また、Ｒｃ７がナフチルアルキル基である場合、ナフチルアルキル基の炭素原子数は、１１以上２０以下が好ましく、１１以上１４以下がより好ましい。Ｒｃ７がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２−フェニルエチル基、３−フェニルプロピル基、及び４−フェニルブチル基が挙げられる。Ｒｃ７がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α−ナフチルメチル基、β−ナフチルメチル基、２−（α−ナフチル）エチル基、及び２−（β−ナフチル）エチル基が挙げられる。Ｒｃ７が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Ｒｃ７は、フェニル基、又はナフチル基上に更に置換基を有していてもよい。
【０１３７】
Ｒｃ７がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。ヘテロシクリル基は、芳香族基（ヘテロアリール基）であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。Ｒｃ７がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は更に置換基を有していてもよい。
【０１３８】
Ｒｃ７がヘテロシクリルカルボニル基である場合、ヘテロシクリルカルボニル基に含まれるヘテロシクリル基は、Ｒｃ７がヘテロシクリル基である場合と同様である。
【０１３９】
Ｒｃ７が１又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数２以上２１以下の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Ｒｃ７と同様である。１、又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ−プロピルアミノ基、ジ−ｎ−プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ−ブチルアミノ基、ジ−ｎ−ブチルアミノ基、ｎ−ペンチルアミノ基、ｎ−ヘキシルアミノ基、ｎ−ヘプチルアミノ基、ｎ−オクチルアミノ基、ｎ−ノニルアミノ基、ｎ−デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ−ブタノイルアミノ基、ｎ−ペンタノイルアミノ基、ｎ−ヘキサノイルアミノ基、ｎ−ヘプタノイルアミノ基、ｎ−オクタノイルアミノ基、ｎ−デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α−ナフトイルアミノ基、及びβ−ナフトイルアミノ基等が挙げられる。
【０１４０】
Ｒｃ７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が更に置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒｃ７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が更に置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１以上４以下が好ましい。Ｒｃ７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。
【０１４１】
以上説明した基の中でも、Ｒｃ７としては、ニトロ基、又はＲｃ１２−ＣＯ−で表される基であると、感度が向上する傾向があり好ましい。Ｒｃ１２は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Ｒｃ１２として好適な基の例としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒｃ１２として、これらの基の中では、２−メチルフェニル基、チオフェン−２−イル基、及びα−ナフチル基が特に好ましい。
また、Ｒｃ７が水素原子であると、透明性が良好となる傾向があり好ましい。なお、Ｒｃ７が水素原子であり且つＲｃ１０が後述の式（ｃ４ａ）又は（ｃ４ｂ）で表される基であると透明性はより良好となる傾向がある。
【０１４２】
式（ｃ４）中、Ｒｃ８及びＲｃ９は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子である。Ｒｃ８とＲｃ９とは相互に結合して環を形成してもよい。これらの基の中では、Ｒｃ８及びＲｃ９として、置換基を有してもよい鎖状アルキル基が好ましい。Ｒｃ８及びＲｃ９が置換基を有してもよい鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基は直鎖アルキル基でも分岐鎖アルキル基でもよい。
【０１４３】
Ｒｃ８及びＲｃ９が置換基を持たない鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上１０以下がより好ましく、１以上６以下が特に好ましい。Ｒｃ８及びＲｃ９が鎖状アルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒｃ８及びＲｃ９がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。
【０１４４】
Ｒｃ８及びＲｃ９が置換基を有する鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上１０以下がより好ましく、１以上６以下が特に好ましい。この場合、置換基の炭素原子数は、鎖状アルキル基の炭素原子数に含まれない。置換基を有する鎖状アルキル基は、直鎖状であるのが好ましい。
アルキル基が有してもよい置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。置換基の好適な例としては、シアノ基、ハロゲン原子、環状有機基、及びアルコキシカルボニル基が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。これらの中では、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が好ましい。環状有機基としては、シクロアルキル基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。シクロアルキル基の具体例としては、Ｒｃ７がシクロアルキル基である場合の好適な例と同様である。芳香族炭化水素基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。ヘテロシクリル基の具体例としては、Ｒｃ７がヘテロシクリル基である場合の好適な例と同様である。Ｒｃ７がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基の炭素原子数は、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。
【０１４５】
鎖状アルキル基が置換基を有する場合、置換基の数は特に限定されない。好ましい置換基の数は鎖状アルキル基の炭素原子数に応じて変わる。置換基の数は、典型的には、１以上２０以下であり、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。
【０１４６】
Ｒｃ８及びＲｃ９が環状有機基である場合、環状有機基は、脂環式基であっても、芳香族基であってもよい。環状有機基としては、脂肪族環状炭化水素基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒｃ８及びＲｃ９が環状有機基である場合に、環状有機基が有してもよい置換基は、Ｒｃ８及びＲｃ９が鎖状アルキル基である場合と同様である。
【０１４７】
Ｒｃ８及びＲｃ９が芳香族炭化水素基である場合、芳香族炭化水素基は、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が炭素−炭素結合を介して結合して形成される基であるか、複数のベンゼン環が縮合して形成される基であるのが好ましい。芳香族炭化水素基が、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が結合又は縮合して形成される基である場合、芳香族炭化水素基に含まれるベンゼン環の環数は特に限定されず、３以下が好ましく、２以下がより好ましく、１が特に好ましい。芳香族炭化水素基の好ましい具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。
【０１４８】
Ｒｃ８及びＲｃ９が脂肪族環状炭化水素基である場合、脂肪族環状炭化水素基は、単環式であっても多環式であってもよい。脂肪族環状炭化水素基の炭素原子数は特に限定されないが、３以上２０以下が好ましく、３以上１０以下がより好ましい。単環式の環状炭化水素基の例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基、及びアダマンチル基等が挙げられる。
【０１４９】
Ｒｃ８及びＲｃ９がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。ヘテロシクリル基は、芳香族基（ヘテロアリール基）であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。
【０１５０】
Ｒｃ８とＲｃ９とは相互に結合して環を形成してもよい。Ｒｃ８とＲｃ９とが形成する環からなる基は、シクロアルキリデン基であるのが好ましい。Ｒｃ８とＲｃ９とが結合してシクロアルキリデン基を形成する場合、シクロアルキリデン基を構成する環は、５員環〜６員環であるのが好ましく、５員環であるのがより好ましい。
【０１５１】
Ｒｃ８とＲｃ９とが結合して形成する基がシクロアルキリデン基である場合、シクロアルキリデン基は、１以上の他の環と縮合していてもよい。シクロアルキリデン基と縮合していてもよい環の例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロオクタン環、フラン環、チオフェン環、ピロール環、ピリジン環、ピラジン環、及びピリミジン環等が挙げられる。
【０１５２】
以上説明したＲｃ８及びＲｃ９の中でも好適な基の例としては、式−Ａ１−Ａ２で表される基が挙げられる。式中、Ａ１は直鎖アルキレン基であり、Ａ２は、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、環状有機基、又はアルコキシカルボニル基である。
【０１５３】
Ａ１の直鎖アルキレン基の炭素原子数は、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。Ａ２がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシ基の炭素原子数は、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。Ａ２がハロゲン原子である場合、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。Ａ２がハロゲン化アルキル基である場合、ハロゲン化アルキル基に含まれるハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。ハロゲン化アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａ２が環状有機基である場合、環状有機基の例は、Ｒｃ８及びＲｃ９が置換基として有する環状有機基と同様である。Ａ２がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の例は、Ｒｃ８及びＲｃ９が置換基として有するアルコキシカルボニル基と同様である。
【０１５４】
Ｒｃ８及びＲｃ９の好適な具体例としては、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、及びｎ−オクチル基等のアルキル基；２−メトキシエチル基、３−メトキシ−ｎ−プロピル基、４−メトキシ−ｎ−ブチル基、５−メトキシ−ｎ−ペンチル基、６−メトキシ−ｎ−ヘキシル基、７−メトキシ−ｎ−ヘプチル基、８−メトキシ−ｎ−オクチル基、２−エトキシエチル基、３−エトキシ−ｎ−プロピル基、４−エトキシ−ｎ−ブチル基、５−エトキシ−ｎ−ペンチル基、６−エトキシ−ｎ−ヘキシル基、７−エトキシ−ｎ−ヘプチル基、及び８−エトキシ−ｎ−オクチル基等のアルコキシアルキル基；２−シアノエチル基、３−シアノ−ｎ−プロピル基、４−シアノ−ｎ−ブチル基、５−シアノ−ｎ−ペンチル基、６−シアノ−ｎ−ヘキシル基、７−シアノ−ｎ−ヘプチル基、及び８−シアノ−ｎ−オクチル基等のシアノアルキル基；２−フェニルエチル基、３−フェニル−ｎ−プロピル基、４−フェニル−ｎ−ブチル基、５−フェニル−ｎ−ペンチル基、６−フェニル−ｎ−ヘキシル基、７−フェニル−ｎ−ヘプチル基、及び８−フェニル−ｎ−オクチル基等のフェニルアルキル基；２−シクロヘキシルエチル基、３−シクロヘキシル−ｎ−プロピル基、４−シクロヘキシル−ｎ−ブチル基、５−シクロヘキシル−ｎ−ペンチル基、６−シクロヘキシル−ｎ−ヘキシル基、７−シクロヘキシル−ｎ−ヘプチル基、８−シクロヘキシル−ｎ−オクチル基、２−シクロペンチルエチル基、３−シクロペンチル−ｎ−プロピル基、４−シクロペンチル−ｎ−ブチル基、５−シクロペンチル−ｎ−ペンチル基、６−シクロペンチル−ｎ−ヘキシル基、７−シクロペンチル−ｎ−ヘプチル基、及び８−シクロペンチル−ｎ−オクチル基等のシクロアルキルアルキル基；２−メトキシカルボニルエチル基、３−メトキシカルボニル−ｎ−プロピル基、４−メトキシカルボニル−ｎ−ブチル基、５−メトキシカルボニル−ｎ−ペンチル基、６−メトキシカルボニル−ｎ−ヘキシル基、７−メトキシカルボニル−ｎ−ヘプチル基、８−メトキシカルボニル−ｎ−オクチル基、２−エトキシカルボニルエチル基、３−エトキシカルボニル−ｎ−プロピル基、４−エトキシカルボニル−ｎ−ブチル基、５−エトキシカルボニル−ｎ−ペンチル基、６−エトキシカルボニル−ｎ−ヘキシル基、７−エトキシカルボニル−ｎ−ヘプチル基、及び８−エトキシカルボニル−ｎ−オクチル基等のアルコキシカルボニルアルキル基；２−クロロエチル基、３−クロロ−ｎ−プロピル基、４−クロロ−ｎ−ブチル基、５−クロロ−ｎ−ペンチル基、６−クロロ−ｎ−ヘキシル基、７−クロロ−ｎ−ヘプチル基、８−クロロ−ｎ−オクチル基、２−ブロモエチル基、３−ブロモ−ｎ−プロピル基、４−ブロモ−ｎ−ブチル基、５−ブロモ−ｎ−ペンチル基、６−ブロモ−ｎ−ヘキシル基、７−ブロモ−ｎ−ヘプチル基、８−ブロモ−ｎ−オクチル基、３，３，３−トリフルオロプロピル基、及び３，３，４，４，５，５，５−ヘプタフルオロ−ｎ−ペンチル基等のハロゲン化アルキル基が挙げられる。
【０１５５】
Ｒｃ８及びＲｃ９として、上記の中でも好適な基は、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、２−メトキシエチル基、２−シアノエチル基、２−フェニルエチル基、２−シクロヘキシルエチル基、２−メトキシカルボニルエチル基、２−クロロエチル基、２−ブロモエチル基、３，３，３−トリフルオロプロピル基、及び３，３，４，４，５，５，５−ヘプタフルオロ−ｎ−ペンチル基である。
【０１５６】
Ｒｃ１０の好適な有機基の例としては、Ｒｃ７と同様に、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−１−イル基、及びピペラジン−１−イル基等が挙げられる。これらの基の具体例は、Ｒｃ７について説明した基と同様である。また、Ｒｃ１０としてはシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェノキシアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基、も好ましい。フェノキシアルキル基、及びフェニルチオアルキル基が有していてもよい置換基は、Ｒｃ７に含まれるフェニル基が有していてもよい置換基と同様である。
【０１５７】
有機基の中でも、Ｒｃ１０としては、アルキル基、シクロアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、又はシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基が好ましく、炭素原子数１以上８以下のアルキル基がより好ましく、炭素原子数１以上４以下のアルキル基が特に好ましく、メチル基が最も好ましい。置換基を有していてもよいフェニル基の中では、メチルフェニル基が好ましく、２−メチルフェニル基がより好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるシクロアルキル基の炭素原子数は、５以上１０以下が好ましく、５以上８以下がより好ましく、５又は６が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１以上８以下が好ましく、１以上４以下がより好ましく、２が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基の中では、シクロペンチルエチル基が好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１以上８以下が好ましく、１以上４以下がより好ましく、２が特に好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基の中では、２−（４−クロロフェニルチオ）エチル基が好ましい。
【０１５８】
また、Ｒｃ１０としては、−Ａ３−ＣＯ−Ｏ−Ａ４で表される基も好ましい。Ａ３は、２価の有機基であり、２価の炭化水素基であるのが好ましく、アルキレン基であるのが好ましい。Ａ４は、１価の有機基であり、１価の炭化水素基であるのが好ましい。
【０１５９】
Ａ３がアルキレン基である場合、アルキレン基は直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａ３がアルキレン基である場合、アルキレン基の炭素原子数は１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましく、１以上４以下が特に好ましい。
【０１６０】
Ａ４の好適な例としては、炭素原子数１以上１０以下のアルキル基、炭素原子数７以上２０以下のアラルキル基、及び炭素原子数６以上２０以下の芳香族炭化水素基が挙げられる。Ａ４の好適な具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ベンジル基、フェネチル基、α−ナフチルメチル基、及びβ−ナフチルメチル基等が挙げられる。
【０１６１】
−Ａ３−ＣＯ−Ｏ−Ａ４で表される基の好適な具体例としては、２−メトキシカルボニルエチル基、２−エトキシカルボニルエチル基、２−ｎ−プロピルオキシカルボニルエチル基、２−ｎ−ブチルオキシカルボニルエチル基、２−ｎ−ペンチルオキシカルボニルエチル基、２−ｎ−ヘキシルオキシカルボニルエチル基、２−ベンジルオキシカルボニルエチル基、２−フェノキシカルボニルエチル基、３−メトキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−エトキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−プロピルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−ブチルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−ペンチルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−ヘキシルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ベンジルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、及び３−フェノキシカルボニル−ｎ−プロピル基等が挙げられる。
【０１６２】
以上、Ｒｃ１０について説明したが、Ｒｃ１０としては、下記式（ｃ４ａ）又は（ｃ４ｂ）で表される基が好ましい。
【化２６】
2020052280.tif 000027
（式（ｃ４ａ）及び（ｃ４ｂ）中、Ｒｃ１３及びＲｃ１４はそれぞれ有機基であり、ｎ６は０以上４以下の整数であり、Ｒｃ１３及びＲｃ１４がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Ｒｃ１３とＲｃ１４とが互いに結合して環を形成してもよく、ｎ７は１以下８以下の整数であり、ｎ８は１以上５以下の整数であり、ｎ９は０以上（ｎ８＋３）以下の整数であり、Ｒｃ１５は有機基である。）
【０１６３】
式（ｃ４ａ）中のＲｃ１３及びＲｃ１４についての有機基の例は、Ｒｃ７と同様である。Ｒｃ１３としては、アルキル基又はフェニル基が好ましい。Ｒｃ１３がアルキル基である場合、その炭素原子数は、１以下１０以上が好ましく、１以上５以下がより好ましく、１以上３以下が特に好ましく、１が最も好ましい。つまり、Ｒｃ１３はメチル基であるのが最も好ましい。Ｒｃ１３とＲｃ１４とが結合して環を形成する場合、当該環は、芳香族環でもよく、脂肪族環でもよい。式（ｃ４ａ）で表される基であって、Ｒｃ１３とＲｃ１４とが環を形成している基の好適な例としては、ナフタレン−１−イル基や、１，２，３，４−テトラヒドロナフタレン−５−イル基等が挙げられる。上記式（ｃ４ａ）中、ｎ６は０以上４以下の整数であり、０又は１であるのが好ましく、０であるのがより好ましい。
【０１６４】
上記式（ｃ４ｂ）中、Ｒｃ１５は有機基である。有機基としては、Ｒｃ７について説明した有機基と同様の基が挙げられる。有機基の中では、アルキル基が好ましい。アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。アルキル基の炭素原子数は１以上１０以下が好ましく、１以上５以下がより好ましく、１以上３以下が特に好ましい。Ｒｃ１５としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基であることがより好ましい。
【０１６５】
上記式（ｃ４ｂ）中、ｎ８は１以上５以下の整数であり、１以上３以下の整数が好ましく、１又は２がより好ましい。上記式（ｃ４ｂ）中、ｎ９は０以上（ｎ８＋３）以下であり、０以上３以下の整数が好ましく、０以上２以下の整数がより好ましく、０が特に好ましい。上記式（ｃ４ｂ）中、ｎ７は１以上８以下の整数であり、１以上５以下の整数が好ましく、１以上３以下の整数がより好ましく、１又は２が特に好ましい。
【０１６６】
式（ｃ４）中、Ｒｃ１１は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１以上１１以下のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基である。Ｒｃ１１がアルキル基である場合に有してもよい置換基としては、フェニル基、ナフチル基等が好ましく例示される。また、Ｒｃ７がアリール基である場合に有してもよい置換基としては、炭素原子数１以上５以下のアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子等が好ましく例示される。
【０１６７】
式（ｃ４）中、Ｒｃ１１としては、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、フェニル基、ベンジル基、メチルフェニル基、ナフチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基又はフェニル基がより好ましい。
【０１６８】
式（ｃ４）で表される化合物は、前述の式（ｃ５）で表される化合物に含まれるオキシム基（＞Ｃ＝Ｎ−ＯＨ）を、＞Ｃ＝Ｎ−Ｏ−ＣＯＲｃ１１で表されるオキシムエステル基に変換する工程を含む方法により製造される。Ｒｃ１１は、式（ｃ４）中のＲｃ１１と同様である。
【０１６９】
オキシム基（＞Ｃ＝Ｎ−ＯＨ）の、＞Ｃ＝Ｎ−Ｏ−ＣＯＲｃ１１で表されるオキシムエステル基への変換は、前述の式（ｃ５）で表される化合物と、アシル化剤とを反応させることにより行われる。
−ＣＯＲｃ１１で表されるアシル基を与えるアシル化剤としては、（Ｒｃ１１ＣＯ）２Ｏで表される酸無水物や、Ｒｃ１１ＣＯＨａｌ（Ｈａｌはハロゲン原子）で表される酸ハライドが挙げられる。
【０１７０】
式（ｃ４）で表される化合物の好適な具体例としては、以下のＰＩ−４３〜ＰＩ−８３が挙げられる。
【化２７】
2020052280.tif 000028
【０１７１】
【化２８】
2020052280.tif 000029
【０１７２】
これらの中でも、オキシム系の光重合開始剤を用いることが、感度の面で好ましく、式（ｃ１）で表されるオキシム系化合物、式（ｃ４）で表されるオキシムエステル化合物、又はフルオレン骨格若しくはカルバゾリル骨格であり、且つニトロ基を有するオキシムエステル化合物からなる群より選択される少なくとも１種であることが更に好ましい。
【０１７３】
感光性樹脂組成物において、光重合開始剤（Ｃ）の含有量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、光重合開始剤（Ｃ）の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分の質量に対して０．１質量％以上２０質量％以下が好ましく、０．３質量％以上１０質量％以下がより好ましい。
【０１７４】
＜（Ｄ）増感剤＞
感光性樹脂組成物は、上記の（Ｃ）光重合開始剤と共に（Ｄ）増感剤を含有することができる。感光性樹脂組成物が（Ｃ）光重合開始剤と共に、（Ｄ）増感剤とを含有することで、ＬＥＤ露光等の照射エネルギーの低い光源を用いても良好に硬化される。
【０１７５】
（Ｄ）増感剤としては、従来より感光性樹脂組成物において光重合開始剤の増感目的で使用されている化合物を特に制限なく使用することができる。
【０１７６】
（Ｄ）増感剤としては、置換基としてアルコキシ基、置換カルボニルオキシ基、及びオキソ基（＝Ｏ）からなる群より選択される１種以上を有する化合物が好ましい。当該置換基を有する化合物としては、縮合多環式芳香族炭化水素化合物、又は縮合多環式芳香族複素環化合物が好ましい。
縮合多環式芳香族炭化水素化合物、又は縮合多環式芳香族複素環化合物は、アルコキシ基、置換カルボニルオキシ基、及びオキソ基（＝Ｏ）以外の置換基を有していてもよい、かかる置換基の例としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数１以上２０以下のハロゲン化アルキル基、炭素原子数２以上２０以下のアルコキシアルキル基、炭素原子数２以上２０以下の脂肪族アシル基、炭素原子数７以上１１以下の芳香族アシル基（アロイル基）、シアノ基、ニトロ基、ニトロソ基、ハロゲン原子、水酸基、及びメルカプト基等が挙げられる。
【０１７７】
アルコキシ基は、直鎖状であっても分岐鎖状であってもよい。アルコキシ基の炭素原子数は、特に限定されないが、１以上２０以下が好ましく、１以上１２以下がより好ましく、１以上６以下が特に好ましい。
アルコキシ基の好適な例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ、ｎ−ブチルオキシ、イソブチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、ｎ−ヘプチルオキシ基、ｎ−オクチルオキシ基、２−エチルヘキシル基、ｎ−ノニルオキシ基、及びｎ−デシルオキシ基等が挙げられる。
【０１７８】
置換カルボニルオキシ基は、−Ｏ−ＣＯ−Ａｄで表される基である。Ａｄは、（Ｄ）増感剤が所望する増感作用を有する限り特に限定されず、種々の有機基であってよい。Ａとしては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数６以上１０以下のアリール基、炭素原子数１以上２０以下のアルコキシ基、炭素原子数６以上１０以下のアリールオキシ基が好ましい。
【０１７９】
アリール基又はアリールオキシ基は、１又は複数の置換基を有していてもよい。置換基の種類は、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されない。アリール基又はアリールオキシ基が複数の置換基を有する場合、複数の置換基は同一であっても異なっていてもよい。
置換基の好適な例としては、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、炭素原子数６以上１０以下のアリールオキシ基、炭素原子数６以上１０以下のアリールオキシ基、炭素原子数２以上７以下の脂肪族アシル基、炭素原子数７以上１１以下の芳香族アシル基（アロイル基）、シアノ基、ニトロ基、ニトロソ基、ハロゲン原子、水酸基、及びメルカプト基等が挙げられる。
【０１８０】
Ａｄがアルキル基又はアルコキシ基である場合、これらの基は、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよい。
アルキル基の好適な例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、及び２−エチルヘキシル基等が挙げられる。
アリール基の好適な例としては、フェニル基、ｏ−トリル基、ｍ−トリル基、ｐ−トリル基、α−ナフチル基、β−ナフチル基等が挙げられる。
アルコキシ基の好適な例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、ｎ−ヘプチルオキシ基、ｎ−オクチルオキシ基、及び２−エチルヘキシルオキシ基等が挙げられる。
【０１８１】
アルコキシ基、置換カルボニルオキシ基、及びオキソ基（＝Ｏ）からなる群より選択される１種以上により置換される縮合多環式芳香族炭化水素化合物、又は縮合多環式芳香族複素環化合物において、縮合環を構成する環数は、所望する増感作用が得られる限り特に限定されない。環数は２以上が好ましく、３以上がより好ましく、３以上６以下が特に好ましく、３又は４が最も好ましい。
なお、縮合多環式芳香族炭化水素化合物、又は縮合多環式芳香族複素環化合物が芳香族性を有する限り、縮合多環を形成する単環は、必ずしも芳香環でなくてもよい。
【０１８２】
縮合多環式芳香族炭化水素化合物、又は縮合多環式芳香族複素環化合物に含まれる縮合多環の好適な例としては、アセナフチレン環、フェナントレン環、アントラセン環、ナフタセン環、キサンテン環、及びチオキサンテン環が挙げられる。これらの環の中では、アントラセン環、ナフタセン環、及びチオキサンテン環が好ましい。
【０１８３】
アントラセン環を含む化合物であって（Ｄ）増感剤として好適に使用される化合物の具体例としては、９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−へプチルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（２−エチルヘキサノイルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−オクチルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ノニルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−デシルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（４−メチルベンゾイルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（４−メチルベンゾイルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、１−メチル−９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、１−メチル−９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、１−メチル−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−メチル−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−メチル−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−メチル−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−メチル−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−メチル−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、１−メチル−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、１−メチル−９，１０−ビス（４−メチルベンゾイルオキシ）アントラセン、１−メチル−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（４−エチル−ベンゾイルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、１−エチル−９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、１−エチル−９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、１−エチル−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−エチル−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−エチル−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−エチル−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−エチル−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−エチル−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、１−エチル−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、１−エチル−９，１０−ビス（４−エチル−ベンゾイルオキシ）アントラセン、１−エチル−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、１−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、１−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、１−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（４−（ｔ−ブチル）−ベンゾイルオキシ）アントラセン、１−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、２−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、２−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、２−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（４−（ｔ−ブチル）−ベンゾイルオキシ）アントラセン、２−（ｔ−ブチル）−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、２−ペンチル−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ペンチル−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ペンチル−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ペンチル−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ペンチル−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ペンチル−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ペンチル−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、２−ペンチル−９，１０−ビス（４−（ｔ−ブチル）−ベンゾイルオキシ）アントラセン、及び２−ペンチル−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン等が挙げられる。
【０１８４】
又はロゲン原子で置換されたアントラセン化合物も、（Ｄ）増感剤として好ましい。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、又はヨウ素原子が挙げられる。
【０１８５】
ハロゲン原子で置換されたアントラセン化合物であって、（Ｄ）増感剤として好ましい化合物の具体例としては、２−クロロ−９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（４−メチルベンゾイルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（４−メチルベンゾイルオキシ）アントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、２−フルオロ−９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、２−フルオロ−９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、２−フルオロ−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−フルオロ−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−フルオロ−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−フルオロ−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−フルオロ−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−フルオロ−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、２−フルオロ−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、２−フルオロ−９，１０−ビス（４−メチルベンゾイルオキシ）アントラセン、２−フルオロ−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、１−フルオロ−９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、１−フルオロ−９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、１−フルオロ−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−フルオロ−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−フルオロ−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−フルオロ−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−フルオロ−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−フルオロ−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、１−フルオロ−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、１−フルオロ−９，１０−ビス（４−メチルベンゾイルオキシ）アントラセン、１−フルオロ−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（４−メチルベンゾイルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン、１−ブロモ−９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、１−ブロモ−９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、１−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−ブロモ−９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、１−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−ブロモ−９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）アントラセン、１−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）アントラセン、１−ブロモ−９，１０−ビス（ベンゾイルオキシ）アントラセン、１−ブロモ−９，１０−ビス（４−メチルベンゾイルオキシ）アントラセン、及び１−ブロモ−９，１０−ビス（２−ナフトイルオキシ）アントラセン等が挙げられる。
【０１８６】
更に、アルコキシ基で置換されたアントラセン化合物も、（Ｄ）増感剤として好ましい。
アルコキシ基で置換されたアントラセン化合物であって、（Ｄ）増感剤として好ましい化合物の具体例としては、９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ビス（ｎ−プロピルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ブチルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ペンチルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（イソペンチルオキシオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ヘプチルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−オクチルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（２−エチルヘキシルオキシ）アントラセン、９−メトキシアントラセン、９−エトキシアントラセン、９−（ｎ−プロピルオキシ）アントラセン、９−（ｎ−ブチルオキシ）アントラセン、９−（ｎ−ペンチルオキシ）アントラセン、９−（イソペンチルオキシオキシ）アントラセン、９−（ｎ−ヘキシルオキシ）アントラセン、９−（ｎ−ヘプチルオキシ）アントラセン、９−（ｎ−オクチルオキシ）アントラセン、９−（２−エチルヘキシルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、２−メチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（ｎ−プロピルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（ｎ−ブチルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（イソペンチルオキシオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（ｎ−ヘプチルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（ｎ−オクチルオキシ）アントラセン、２−メチル−９，１０−ビス（２−エチルヘキシルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（ｎ−プロピルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（ｎ−ブチルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（イソペンチルオキシオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（ｎ−ヘプチルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（ｎ−オクチルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ビス（２−エチルヘキシルオキシ）アントラセン、２−メチル−９−メトキシアントラセン、２−メチル−９−エトキシアントラセン、２−メチル−９−（ｎ−プロピルオキシ）アントラセン、２−メチル−９−（ｎ−ブチルオキシ）アントラセン、２−メチル−９−（ｎ−ペンチルオキシ）アントラセン、２−メチル−９−（イソペンチルオキシオキシ）アントラセン、２−メチル−９−（ｎ−ヘキシルオキシ）アントラセン、２−メチル−９−（ｎ−ヘプチルオキシ）アントラセン、２−メチル−９−（ｎ−オクチルオキシ）アントラセン、２−メチル−９−（２−エチルヘキシルオキシ）アントラセン、２−エチル−９−メトキシアントラセン、２−エチル−９−エトキシアントラセン、２−エチル−９−（ｎ−プロピルオキシ）アントラセン、２−エチル−９−（ｎ−ブチルオキシ）アントラセン、２−エチル−９−（ｎ−ペンチルオキシ）アントラセン、２−エチル−９−（イソペンチルオキシオキシ）アントラセン、２−エチル−９−（ｎ−ヘキシルオキシ）アントラセン、２−エチル−９−（ｎ−ヘプチルオキシ）アントラセン、２−エチル−９−（ｎ−オクチルオキシ）アントラセン、２−エチル−９−（２−エチルヘキシルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ジメトキシアントラセン、２−クロロ−９，１０−ジエトキシアントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−プロピルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−ブチルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（イソペンチルオキシオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−ヘプチルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（ｎ−オクチルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９，１０−ビス（２−エチルヘキシルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ジメトキシアントラセン、２−ブロモ−９，１０−ジエトキシアントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−プロピルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−ブチルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−ペンチルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（イソペンチルオキシオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−ヘキシルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−ヘプチルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（ｎ−オクチルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ビス（２−エチルヘキシルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９−メトキシアントラセン、２−クロロ−９−エトキシアントラセン、２−クロロ−９−（ｎ−プロピルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９−（ｎ−ブチルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９−（ｎ−ペンチルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９−（イソペンチルオキシオキシ）アントラセン、２−クロロ−９−（ｎ−ヘキシルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９−（ｎ−ヘプチルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９−（ｎ−オクチルオキシ）アントラセン、２−クロロ−９−（２−エチルヘキシルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９−メトキシアントラセン、２−ブロモ−９−エトキシアントラセン、２−ブロモ−９−（ｎ−プロピルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９−（ｎ−ブチルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９−（ｎ−ペンチルオキシ）アントラセン、２−エチル−９−（イソペンチルオキシオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９−（ｎ−ヘキシルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９−（ｎ−ヘプチルオキシ）アントラセン、２−ブロモ−９−（ｎ−オクチルオキシ）アントラセン、及び２−ブロモ−９−（２−エチルヘキシルオキシ）アントラセン等が挙げられる。
【０１８７】
以上説明したアントラセン化合物の中では、製造の容易さと、（Ｄ）増感剤としての性能の点から、９，１０−ビス（アセチルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（プロピオニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ヘキサノイルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ヘプタノイルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−オクタノイルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（２−エチルヘキサノイルオキシ）アントラセン、９，１０−ビス（ｎ−ノナノイルオキシ）アントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジプロポキシアントラセン、及び９，１０−ジブトキシアントラセンが好ましい。
【０１８８】
ナフタセン環を含む化合物であって（Ｄ）増感剤として好適に使用される化合物の具体例としては、
２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（アセチルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（プロピオニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ヘプチルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（アセチルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（プロピオニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−プロピルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソプロピルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソブチルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ヘキシルカルボニルオキシ）ナフタセン、及び２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ヘプチルボニルオキシ）ナフタセン等のアルキルカルボニルオキシ基置換ナフタセン化合物；
２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ベンゾイルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｏ−トルオイルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｍ−トルオイルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｐ−トルオイルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（α−ナフトイルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（β−ナフトイルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ベンゾイルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｏ−トルオイルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｍ−トルオイルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｐ−トルオイルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（α−ナフトイルオキシ）ナフタセン、及び２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（β−ナフトイルオキシ）ナフタセン等のアロイルオキシ基置換ナフタセン化合物；
２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（メトキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（エトキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−プロピルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソプロピルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ブチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソブチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ペンチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ヘキシルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ヘプチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−オクチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（メトキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（エトキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−プロピルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソプロピルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ブチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソブチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ペンチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ヘキシルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ヘプチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、及び２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−オクチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン等のアルコキシカルボニルオキシ基置換ナフタセン化合物；並びに、
２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（フェノキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｏ−トリルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｍ−トリルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｐ−トリルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（α−ナフチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−メチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（β−ナフチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（フェノキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｏ−トリルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｍ−トリルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｐ−トリルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（α−ナフチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、及び２−エチル−５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（β−ナフチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン等のアロイルオキシカルボニルオキシ基置換ナフタセン化合物が挙げられる。
【０１８９】
上記のナフタセン環を含む化合物の中でも、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（メトキシカルボニルオキシ）ナフタセン、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（エトキシカルボニルオキシ）ナフタセン、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソプロピルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソブチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ブチルカルボニルオキシ）ナフタセン、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ペンチルカルボニルオキシ）ナフタセン、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ヘプタノイルオキシ）ナフタセンが好ましい。
（Ａ）光重合性化合物との相溶性の点では、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソプロピルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（イソブチルオキシカルボニルオキシ）ナフタセン、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−ブチリルオキシ）ナフタセン、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ｎ−バレリルオキシ）ナフタセン、５，１１−ジオキソ−６，１２−ビス（ヘプタノイルオキシ）ナフタセンが好ましい。
【０１９０】
（Ｄ）増感剤として好適に使用されるチオキサンテン環を含む化合物の具体例としては、チオキサンテン−９−オン、２−メチル−９Ｈ−チオキサンテン−９−オン、２−イソプロピル−９Ｈ−チオキサンテン−９−オン、１，４−ジメチルチオキサンテン−９−オン、及び３−メチル−９−オキソ−９Ｈ−チオキサンテン−２−イルアセテート等が挙げられる。
【０１９１】
（Ｄ）成分である増感剤の含有量は、感光性樹脂組成物中の（Ｃ）光重合開始剤成分の合計１００質量部に対して５質量部以上６０質量部以下が好ましく、１５質量部以上５０質量部以下がより好ましい。感光性樹脂組成物が上記範囲内で増感剤を含有すると、特に、露光による硬化反応が均一に進行し、エッジの角度が特に良好なパターニングされた硬化膜を形成しやすい。
【０１９２】
＜（Ｅ）着色剤＞
感光性樹脂組成物は、その用途によっては、着色剤を含まず実質的に無色透明な組成物であってよい。一方で、別の用途においては、感光性樹脂組成物が、更に（Ｄ）着色剤を含んでもよい。感光性樹脂組成物は（Ｄ）成分である着色剤として、例えば、黒色顔料を含むことにより、例えば、表示装置のカラーフィルタにおけるブラックマトリクス（又はブラックバンク）形成用途として好ましく使用される。また、有彩色の着色剤は、例えば、表示装置のカラーフィルタ形成用途において、好ましく使用され得る。
【０１９３】
感光性樹脂組成物に含有される（Ｄ）着色剤としては、特に限定されないが、着色剤を遮光剤とする場合、遮光剤としては黒色顔料を用いることが好ましい。黒色顔料としては、カーボンブラック、チタンブラック、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀等の金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸塩又は金属炭酸塩等、有機物、無機物を問わず各種の顔料を挙げることができる。これらの中でも、高い遮光性を有するカーボンブラックを用いることが好ましい。
【０１９４】
カーボンブラックとしては、チャンネルブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック、ランプブラック等の公知のカーボンブラックを用いることができるが、遮光性に優れるチャンネルブラックを用いることが好ましい。また、樹脂被覆カーボンブラックを使用してもよい。
【０１９５】
樹脂被覆カーボンブラックは、樹脂被覆のないカーボンブラックに比べて導電性が低いことから、液晶表示ディスプレイのような液晶表示素子のブラックマトリクスとして使用した場合に電流のリークが少なく、信頼性の高い低消費電力のディスプレイを製造できる。
カーボンブラック以外の黒色顔料としては、例えば（Ｄ２ａ）ペリレン系顔料、及び（Ｄ２ｂ）ラクタム系顔料が挙げられる。これらの顔料は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１９６】
（Ｄ２ａ）ペリレン系顔料としては、ペリレン骨格を有する化合物からなり、黒色を呈する顔料であれば特に限定されない。
（Ｄ２ａ）ペリレン系顔料の具体例としては、下記式（ｄ−１）で表されるペリレン系顔料、下記式（ｄ−２）で表されるペリレン系顔料、及び下記式（ｄ−３）で表されるペリレン系顔料が挙げられる。市販品では、ＢＡＳＦ社製の製品名Ｋ００８４、及びＫ００８６や、ピグメントブラック２１、３０、３１、３２、３３、及び３４等を、（Ｄ２ａ）ペリレン系顔料として好ましく用いることができる。
【０１９７】
【化２９】
2020052280.tif 000030
式（ｄ−１）中、Ｒｄ１及びＲｄ２は、それぞれ独立に炭素原子数１以上３以下のアルキレン基を表し、Ｒｄ３及びＲｄ４は、それぞれ独立に、水素原子、水酸基、メトキシ基、又はアセチル基を表す。
【０１９８】
【化３０】
2020052280.tif 000031
式（ｄ−２）中、Ｒｄ５及びＲｄ６は、それぞれ独立に、炭素原子数１以上７以下のアルキレン基を表す。
【０１９９】
【化３１】
2020052280.tif 000032
式（ｄ−３）中、Ｒｄ７及びＲｄ８は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１以上２２以下のアルキル基であり、Ｎ，Ｏ、Ｓ、又はＰのヘテロ原子を含んでいてもよい。Ｒｄ７及びＲｄ８がアルキル基である場合、当該アルキル基は、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよい。
【０２００】
上記の式（ｄ−１）で表される化合物、式（ｄ−２）で表される化合物、及び式（ｄ−３）で表される化合物は、例えば、特開昭６２−１７５３号公報、特公昭６３−２６７８４号公報に記載の方法を用いて合成することができる。即ち、ペリレン−３，５，９，１０−テトラカルボン酸又はその二無水物とアミン類とを原料とし、水又は有機溶媒中で加熱反応を行う。そして、得られた粗製物を硫酸中で再沈殿させるか、又は、水、有機溶媒あるいはこれらの混合溶媒中で再結晶させることによって目的物を得ることができる。
【０２０１】
感光性樹脂組成物中において（Ｄ２ａ）ペリレン系顔料を良好に分散させ、幅広い波長域の光について透過率が低い硬化膜を形成するためには、ペリレン系顔料の体積平均粒子径は１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であるのが好ましく、１０ｎｍ以上５００ｎｍ以下がより好ましく、１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下が特に好ましい。
また、ペリレン系顔料の体積粒子径が上記の範囲内である場合、算術平均粗さＲａが低い、平滑な表面を有する硬化膜を安定的に形成しやすい。
【０２０２】
（Ｄ２ｂ）ラクタム系顔料としては、例えば、下記式（ｄ−４）で表される化合物が挙げられる。
【化３２】
2020052280.tif 000033
【０２０３】
式（ｄ−４）中、Ｘｄは二重結合を示し、幾何異性体としてそれぞれ独立にＥ体又はＺ体であり、Ｒｄ９は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、ニトロ基、メトキシ基、臭素原子、塩素原子、フッ素原子、カルボキシ基、又はスルホ基を示し、Ｒｄ１０は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、又はフェニル基を示し、Ｒｄ１１は、各々独立に、水素原子、メチル基、又は塩素原子を示す。
式（ｄ−４）で表される化合物は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
Ｒｄ９は、式（ｄ−４）で表される化合物の製造が容易である点から、ジヒドロインドロン環の６位に結合するのが好ましく、Ｒｄ１１はジヒドロインドロン環の４位に結合するのが好ましい。同様の観点から、Ｒｄ９、Ｒｄ１０、及びＲｄ１１は、好ましくは水素原子である。
式（ｄ−４）で表される化合物は、幾何異性体としてＥＥ体、ＺＺ体、ＥＺ体を有するが、これらのいずれかの単一の化合物であってもよいし、これらの幾何異性体の混合物であってもよい。
式（ｄ−４）で表される化合物は、例えば、国際公開第２０００／２４７３６号、及び国際公開第２０１０／０８１６２４号に記載された方法により製造することができる。
【０２０４】
感光性樹脂組成物中においてラクタム系顔料を良好に分散させるためには、ラクタム系顔料の体積平均粒子径は１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であるのが好ましい。
【０２０５】
また、カーボンブラック等の黒色顔料の色調を調整するために、補助顔料として下記に示すような有機顔料を適宜添加してもよい。また、カーボンブラック等の黒色顔料を使用せず、下記に示すような有機顔料を複数組合せる、例えば、三原色の色材を混合することによって黒色とするようなことも可能である。
【０２０６】
有機顔料としては、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ社発行）において、ピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されている顔料を用いるのが好ましい。
【０２０７】
好適に使用できる黄色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー」は同様であり、番号のみを記載する。）、３、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、５５、６０、６１、６５、７１、７３，７４、８１、８３、８６、９３、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６６、１６７、１６８、１７５、１８０、及び１８５が挙げられる。
【０２０８】
好適に使用できる橙色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ」は同様であり、番号のみを記載する。）、５、１３、１４、１６、１７、２４、３４、３６、３８、４０、４３、４６、４９、５１、５５、５９、６１、６３、６４、７１、及び７３が挙げられる。
【０２０９】
好適に使用できる紫色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット」は同様であり、番号のみを記載する。）、１９、２３、２９、３０、３２、３６、３７、３８、３９、４０、及び５０が挙げられる。
【０２１０】
好適に使用できる赤色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド」は同様であり、番号のみを記載する。）２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、４０、４１、４２、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５３：１、５７、５７：１、５７：２、５８：２、５８：４、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１：１、８３、８８、９０：１、９７、１０１、１０２、１０４、１０５、１０６、１０８、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５１、１５５、１６６、１６８、１７０、１７１、１７２、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８５、１８７、１８８、１９０、１９２、１９３、１９４、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２４２、２４３、２４５、２５４、２５５、２６４、及び２６５が挙げられる。
【０２１１】
好適に使用できる青色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー」は同様であり、番号のみを記載する。）、２、１５、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、及び６６が挙げられる。
【０２１２】
好適に使用できる、上記の他の色相の顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３７等の緑色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２８等の茶色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７等の黒色顔料が挙げられる。
【０２１３】
上記の着色剤を感光性樹脂組成物において均一に分散させるために、更に分散剤を使用してもよい。このような分散剤としては、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系の高分子分散剤を用いることが好ましい。特に、着色剤として、カーボンブラックを用いる場合には、分散剤としてアクリル樹脂系の分散剤を用いることが好ましい。
【０２１４】
また、無機顔料と有機顔料はそれぞれ単独又は２種以上併用してもよいが、併用する場合には、無機顔料と有機顔料との総量１００質量部に対して、有機顔料を１０質量部以上８０質量部以下の範囲で用いることが好ましく、２０質量部以上４０質量部以下の範囲で用いることがより好ましい。
【０２１５】
感光性樹脂組成物における着色剤の使用量は、感光性樹脂組成物の用途に応じて適宜決定すればよいが、一例として、感光性樹脂組成物中の溶剤以外の成分の質量の合計１００質量部に対して、１質量部以上５０質量部以下が好ましく、５質量部以上３０質量部以下がより好ましい。上記の範囲とすることにより、目的とするパターンでブラックマトリクスや各着色層を形成することができ、好ましい。
【０２１６】
特に、感光性樹脂組成物を使用してブラックマトリクス（又はブラックバンク）を形成する場合には、ブラックマトリクスの被膜１μｍ当たりのＯＤ値が０．１以上となるように感光性樹脂組成物における遮光剤の量を調整することが好ましい。ブラックマトリクスにおける被膜１μｍ当たりのＯＤ値が０．１以上あれば、表示体のブラックマトリクスに用いた場合に、十分な表示コントラストを得ることができる。
【０２１７】
着色剤は、分散剤を用いて適当な濃度で分散させた分散液とした後、感光性樹脂組成物に添加することが好ましい。
【０２１８】
＜溶剤（Ｓ）＞
感光性樹脂組成物は、溶剤（Ｓ）を含んでいても含んでいなくてもよい。溶剤（Ｓ）を含む場合、溶剤（Ｓ）としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール−ｎ−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等のケトン類；２−ヒドロキシプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、蟻酸ｎ−ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。これらの溶剤は、単独で用いてもよく、２種以上を組合せて用いてもよい。
【０２１９】
感光性樹脂組成物は、溶剤中に各成分を分散・溶解させて調製されてもよい。前述の（Ａ）成分が液状であれば、溶剤を用いなくてもよい。溶剤を含む場合、感光性樹脂組成物に使用される溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール−ｎ−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等のケトン類；２−ヒドロキシプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、蟻酸ｎ−ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。これらの溶剤は、単独で用いてもよく、２種以上を組合せて用いてもよい。
【０２２０】
溶剤（Ｓ）は、感光性樹脂組成物の用途に応じて適宜決定すればよいが、一例として、感光性樹脂組成物中の固形分濃度を、１質量％以上５０質量％以下の範囲で適宜調整すればよい。
【０２２１】
＜（Ｅ）撥水剤＞
感光性樹脂組成物は、更に撥水剤を含んでいてもよい。感光性樹脂組成物によりパターン形状を持つ撥水膜を形成することは、例えば、平板印刷版、インクジェトヘッドのノズル面等の分野で、撥水性乃至撥液性によって印字品位が大きく改善するために所望されるところである。
【０２２２】
（Ｅ）撥水剤としては、特に限定されるわけではないが、フッ素を有する化合物を含むことが好ましい。例えば、撥水剤としては、カチオン重合性を有するパーフルオロアルキル組成物、カチオン重合性を有するパーフルオロポリエーテル組成物が挙げられる。具体的には、下式（Ｅ−１）で表される基又は下式（Ｅ−２）で表される基を含む側鎖を有する撥インク剤を含む組成物であることが好ましい。
−ＣＦＸＲｆ    （Ｅ−１）
−（ＳｉＲe１Ｒe２−Ｏ）ｎ−ＳｉＲe３Ｒe４Ｒe５      （Ｅ−２）
式（１）中、Ｘは水素原子、フッ素原子、又はトリフルオロメチル基を示し、Ｒｆはエーテル性酸素原子を有していてもよい水素原子の少なくとも１つがフッ素原子に置換された炭素原子数２０以下のフルオロアルキル基、又はフッ素原子を示す。
式（２）中、Ｒe１、Ｒe２、Ｒe３及びＲe４は、独立に水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、又はアリール基を示し、Ｒe５は水素原子又は炭素原子数１〜１０の有機基を示し、ｎは１〜２００の整数を示す。
また、フッ素含有基を有する加水分解性シラン化合物と、カチオン重合性基を有する加水分解性シラン化合物とを含む縮合物が例示できる。一例としては、例えば、下記式
ＣＦ３（ＣＦ２）ｎＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（式中、ｎは０以上７以下の整数である。）
で表わされる化合物等が挙げられる。ｎが上記範囲を超えると感光性樹脂組成物における相溶性が低下し、被覆膜全体に均質は撥水性を付与することが困難となる。
【０２２３】
感光性樹脂組成物において、撥水剤の配合割合は、特に限定されないが、感光性樹脂組成物中の溶剤以外の成分の質量の合計１００質量部に対して、２０質量部以下であることが好ましく、０．０５質量部以上１０質量部以下がより好ましい。上記の範囲内の量の撥水剤を用いると、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と撥水剤とを良好に相溶させつつ、硬化膜の良好な硬度と、硬化膜の良好な撥水性と、硬化膜の良好なエッジの角度特性とをバランスよく達成しやすい。
【０２２４】
＜その他の成分＞
感光性樹脂組成物には、必要に応じて、これ以外のその他の各種の添加剤を含んでいてもよい。具体的には、分散助剤、充填剤、フィラー、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が例示される。
【０２２５】
感光性樹脂組成物に使用される熱重合禁止剤としては、例えば、ヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等を挙げることができる。また、消泡剤としては、シリコーン系、フッ素系等の化合物を、界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン等の化合物を、それぞれ例示できる。
【０２２６】
［感光性樹脂組成物の調製方法］
感光性樹脂組成物は、上記の各成分を全て撹拌機で混合することにより調製される。なお、調製された感光性樹脂組成物が顔料等の不溶性の成分を含まない場合、感光性樹脂組成物が均一となるようフィルタを用いて濾過してもよい。
【０２２７】
≪硬化膜形成方法≫
硬化膜の製造方法は、感光性樹脂組成物を基材上に適用して感光性樹脂層を形成する工程（以下単に「樹脂層形成工程」ともいう。）、及び上記樹脂層を位置選択的に露光する工程（以下単に「露光工程」ともいう。）、及び露光された感光性樹脂層を、現像液により現像を行いパターン形成する工程（以下単に[現像工程]ともいう。）を含む。
【０２２８】
基材（基板又は支持体）は、種々の用途によって選択可能であり、例えば、石英、ガラス、光学フィルム、セラミック材料、蒸着膜、磁性膜、反射膜、Ｎｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｆｅ等の金属基板、紙、ＳＯＧ（Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）、ポリエステルフイルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム等のポリマー基板、ＴＦＴアレイ基板、ＰＤＰの電極板、ガラスや透明プラスチック基板、ＩＴＯや金属等の導電性基材、絶縁性基材、シリコン、窒化シリコン、ポリシリコン、酸化シリコン、アモルファスシリコン等の半導体作製基板等特に制約されない。更に、例えば基板上に積層構造を形成する場合にあって、基板上に既に形成された下部構造となる何らかの層も、感光性樹脂層が適用される基材としての概念に包含される。また、基材の形状も特に限定されず、板状でもよいし、ロール状でもよい。基材は、更に例えば、各種パターンによって表面に凹凸を有してもよい。また、上記基材としては、光透過性、又は、非光透過性の基材を選択することができる。
【０２２９】
まず、樹脂層形成工程では、例えば、硬化物が形成されるべき基板上に、ロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー（回転式塗布装置）、ディスペンサー、インクジェット、スプレー、スクリーン印刷、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて感光性樹脂組成物を適用し、必要に応じて、乾燥（プリベーク）により溶媒を除去して感光性樹脂層を形成することができる。
【０２３０】
感光性樹脂層の厚さとしては、特に制限はないが、０．０５μｍ以上が好ましく、１μｍ以上がより好ましく、７μｍ以上が更に好ましく、１０μｍ以上が特に好ましい。上限は特にないが、例えば５０μｍ以下であり、２０μｍ以下が好ましい。上述したように、感光性樹脂組成物は、露光時に活性エネルギーが直接届かないような部分においても硬化が促進されるため、例えば、１μｍ以上１５μｍ以下といった厚膜の感光性樹脂層を形成するような態様においても、露光側より遠位にある基材側付近においても十分に硬化が進行させることができる。
【０２３１】
なお、基板上に盛られた液滴や、凹凸を有する基板の凹部に埋め込めまれた感光性樹脂組成物や、モールドの凹部に充填された感光性樹脂組成物等についても、便宜上「感光性樹脂層」と称する。
【０２３２】
次いで、形成された感光性樹脂層を露光により硬化することができる。露光方法は、感光性樹脂組成物を硬化させることができる方法であれば特に限定されず、また必要に応じて加熱処理を併せて行うこともできる。
【０２３３】
露光では光源は特に限定されず、例えば、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、カーボンアーク灯、ＬＥＤ等が挙げられる。このような光源を用い、塗膜にＡｒＦエキシマレーザー、ＫｒＦエキシマレーザー、Ｆ２エキシマレーザー、極紫外線（ＥＵＶ）、真空紫外線（ＶＵＶ）、電子線、Ｘ線、軟Ｘ線、ｇ線、ｉ線、ｈ線、ｊ線、ｋ線等の放射線乃至電磁波を照射して塗布膜を露光し得る。塗布膜に対する露光は、ネガ型のマスクを介して位置選択的に行われてもよい。露光量は硬化性組成物の組成によっても異なるが、例えば１０ｍＪ／ｃｍ２以上２０００ｍＪ／ｃｍ２以下が好ましく、１００ｍＪ／ｃｍ２以上１５００ｍＪ／ｃｍ２以下がより好ましく、２００ｍＪ／ｃｍ２以上１２００ｍＪ／ｃｍ２以下が更に好ましい。露光照度は感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、１ｍＷ／ｃｍ２以上５０ｍＷ／ｃｍ２以下の範囲にすることが好ましい。
加熱を行う際の温度は特に限定されず、１８０℃以上２８０℃以下が好ましく、２００℃以上２６０℃以下がより好ましく、２２０℃以上２５０℃以下が特に好ましい。加熱時間は、典型的には、１分以上６０分以下が好ましく、１０分以上５０分以下がより好ましく、２０分以上４０分以下が特に好ましい。
【０２３４】
上記感光性樹脂層を硬化させる工程が位置選択的な露光により行われ、位置選択的に露光された上記感光性樹脂層を現像して、パターン化された硬化膜を得ることができる。
前述の硬化性組成物は、露光後に現像液に対して過度に溶解しにくい。このため、前述の硬化性組成物を用いることにより、露光部を凸部とし、未露光部を凹部とする、良好な形状のパターン化された硬化物を形成することができる。
【０２３５】
現像工程では、露光された塗膜を現像液で現像することにより、所望する形状にパターン化された硬化物が形成される。現像方法は特に限定されず、浸漬法、スプレー法、パドル法、ダイナミックディスペンス法等を用いることができる。
有機溶剤を含む現像液の具体例としては、ＰＥ（プロピレングリコールモノメチルエーテル）等のアルコール系溶剤乃至グリコールエーテル系溶剤、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶剤、酢酸ブチル等のエステル系溶剤、アセトン、メチルアミルケトン等のケトン系溶剤等が挙げられる。
アルカリ現像液の具体例としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系の現像液や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、４級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
【０２３６】
そして、必要に応じ、露光後の硬化物、又は現像後のパターン化された硬化物にポストベークを施して更に加熱硬化を進めてもよい。ポストベークの温度は１５０℃以上２７０℃以下が好ましい。
【０２３７】
≪硬化物≫
硬化物は、前述の硬化性組成物を硬化してなる。このため、硬化物は、良好な微細パターンも有し得、また、耐熱性及び透明性も良好である。
硬化物が硬化膜である場合、硬化膜の厚さとしては、特に制限はないが、０．０５μｍ以上５０μｍ以下が好ましい。
また、パターン化されている硬化膜は、上記硬化物からなるので、上記良好な微細パターンを有し得る。
【０２３８】
前記硬化物は、基板表面をドット形成用の複数の区画に仕切る形に形成されたバンク用途として用いてもよい。
なお、ドットは、光学素子における光変調可能な最小領域を示す。有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ及び薄膜太陽電池においては、白黒表示の場合に１ドット＝１画素であり、カラー表示の場合に例えば３ドット（Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）等）＝１画素である。
【０２３９】
前記硬化物は、パターニング特性に優れる感光性樹脂組成物により形成されるので、
光学素子（特には、インクジェット法により作製される有機ＥＬ素子や量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ又は薄膜太陽電池）に用いられる場合に、開口部にインクが均一塗布され精度よくドットを形成できる。
【０２４０】
前記硬化物をバンク用途として用いる場合、バンクの幅は、例えば、１００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以下であることが特に好ましい。また、隣接するバンク間の距離（パターンの幅）は３００μｍ以下であることが好ましく、１００μｍ以下であることが特に好ましい。バンクの高さは０．０５〜５０μｍであることが好ましく、０．２〜２０μｍであることが特に好ましい。
【０２４１】
前記硬化物をバンク用途として用いて、光学素子を得るためバンクの開口部にインクジェット法によりドットを形成する例を以下に説明するが、これに限定されない。
【０２４２】
基板上に形成されたバンク（例えば、平面視格子状に形成されているバンク）を用いて光学素子の一例である量子ドットディスプレイを製造する方法を説明する。
【０２４３】
ここで、基板上のバンクは、開口部が、製造しようとする量子ドットディスプレイのドットのパターンに一致するように形成されたものである。 
【０２４４】
また、基板は、ガラス等の透光性基板にＩＴＯ等の透光性電極をスパッタ法等によって成膜されたものである。この透光性電極は必要に応じてパターニングされていてもよい。
【０２４５】
バンクに囲まれた開口部に、インクジェットヘッドからインクを滴下して、開口部に所定量のインクを注入する。インクとしては、ドットの機能に合わせて、量子ドットディスプレイ用として公知のインク(例えば正孔注入層用、正孔輸送層用、量子ドット層用、正孔阻止層用及び電子注入層用の材料を用いたインク等)、が適宜選択して用いられる。 
【０２４６】
次いで、用いたインクの種類により、例えば、溶媒の除去や硬化のために、乾燥及び／又は加熱等の処理を施して、バンクに隣接する形で所望のドット層を形成する。その後、アルミニウム等の反射電極、又はＩＴＯ等の透光性電極を蒸着法等によって形成し、量子ドットディスプレイを得る。 
【０２４７】
なお、量子ドットディスプレイは、青色光変換型の量子ドットディスプレイであってもよい。この場合、ガラス等の透光性基板に、各ドットの輪郭に沿って、平面視格子状にバンクを形成する。次に、ドット形成用開口部内に、インクジェット法により青色光を緑色光に変換するナノ粒子溶液、青色光を赤色光に変換するナノ粒子溶液、必要に応じて青色のカラーインクを塗布、乾燥して、モジュールを作製する。青色を発色する光源をバックライトとして使用し前記モジュールをカラーフィルター代替として使用することにより、色再現性の優れたディスプレイが得られる。
【０２４８】
本発明に係る硬化物によるバンクを用いることで、製造過程においてパターン精度の高い硬化物（バンク）で仕切られた開口部にインクが均一に塗布されることが可能であり、これにより精度よく形成されたドットを有する光学素子（有機ＥＬ素子、量子ドットディスプレイ、ＴＦＴアレイ又は薄膜太陽電池）を得ることができる。
【実施例】
【０２４９】
以下、実施例を示して本発明を更に具体的に説明するが、本発明の範囲は、これらの実施例に限定されない。
【０２５０】
以下に示す実施例１〜２３及び比較例１〜５において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）としては、それぞれ、表１に示すような配合量で樹脂（ａ−１−１）、（ａ−１−２）及び（ａ−２−１）のいずれかを用いた。
【０２５１】
まず、５００ｍｌの四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂２３５ｇ（エポキシ当量２３５）とテトラメチルアンモニウムクロライド１１０ｍｇ、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール１００ｍｇ、及びアクリル酸７２．０ｇを仕込み、これに２５ｍｌ／分の速度で空気を吹き込みながら９０℃〜１００℃で加熱溶解した。次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、１２０℃に加熱して完全に溶解させた。ここで溶液は次第に透明粘稠になったが、そのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、１．０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満になるまで加熱撹拌を続けた。酸価が目標に達するまで１２時間を要した。そして室温まで冷却し、ビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
【０２５２】
次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート３０７．０ｇに３−メトキシブチルアセテート６００ｇを加えて溶解した後、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物８０．５ｇ、及び臭化テトラエチルアンモニウム１ｇを混合し、徐々に昇温して１１０℃〜１１５℃で４時間反応させた。酸無水物の消失を確認した後、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸３８．０ｇを混合し、９０℃で６時間反応させ、樹脂（ａ−１−１）（質量平均分子量：３４００）を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。
【０２５３】
上記樹脂（ａ−１−１）の製造における、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物８０．５ｇを、ピロメリット酸二無水物５９．７ｇに変えた他は樹脂（ａ−１−１）の製造と同様にして樹脂（ａ−１−２）を得た。質量平均分子量は、２５００であった。
【０２５４】
【化３３】
2020052280.tif 000034
（アクリル系樹脂ａ−２−１の上記式中、各単位の右下の数字は、アルカリ可溶性樹脂中の各単位の含有量（質量％）を意味する。）
上記アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、７０００であった。
【０２５５】
また、各実施例及び比較例において、架橋剤（Ｂ）としては、多官能(メタ)アクリルモノマー（Ｂ２）としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ｂ−２−１）を用いた。
【０２５６】
更に架橋剤（Ｂ）としての単官能(メタ)アクリルモノマーとして、下記式（ｂ−１−１）〜（ｂ−１−４）に示す化合物を、それぞれ、表１に示す配合量で用いた。
【０２５７】
【化３４】
2020052280.tif 000035
【０２５８】
各実施例及び比較例において、光重合開始剤（Ｃ）として、下記式で表される化合物ｃ１〜ｃ２を用いた。
【０２５９】
【化３５】
2020052280.tif 000036
【化３６】
2020052280.tif 000037
【０２６０】
また、各実施例及び比較例において、増感剤（Ｄ）として、２−イソプロピルチオキサントン（化合物ｄ１：２−イソプロピル−９Ｈ−チオキサンテン−９−オン）を用いた。
【０２６１】
更に各実施例１〜１８、２２〜２６及び比較例１〜４においては、表１に示すような配合量（各分散液中の着色剤成分のみの数字に換算した配合量）で、着色剤（Ｅ）として、カーボンブラック分散液（ＰＧＭＥＡ溶媒中、ファーネスブラック  ２７質量％）（ｅ１）、又は有機顔料混合ブラック（ＰＧＭＥＡ溶媒中、有機顔料が２０質量％（Ｒｅｄ−２５６／Ｖｉｏｌｅｔ−２３／Ｂｌｕｅ−１５６＝４０／２０／４０  （質量比）））（ｅ２）を用いた。
【０２６２】
各実施例及び比較例において、添加剤（Ｆ）として活性剤（ｆ１：ＢＹＫ３１０）及び（ｆ３）フッ素系界面活性剤（パーフルオロブチルエチルメタクリレートとポリエチレングリコールメタクリレートとｎ−ブチルメタクリレートから誘導される構成単位を含む共重体、質量平均分子量：２００００）を、また、添加剤として、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン（ｆ２）を添加した。
【０２６３】
実施例においてはこれらの活性剤（ｆ１）、（ｆ３）及び添加剤（ｆ２）をいずれも添加した。しかし、感光性樹脂組成物において、これらの活性剤及び添加剤は必須の成分ではなく、これらを配合しない以外は同様の組成においても、ここに開示した実施例と同様の評価結果が得られている。
【０２６４】
各実施例及び比較例において、溶剤としては、３−メトキシブチルアセテート（ｇ１）とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｇ２）とを１５／８５（質量比）の割合で使用した。
【０２６５】
〔実施例１〜２６及び比較例１〜５〕
下記表１に記載の種類及び量のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、架橋剤（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、増感剤（Ｄ）、着色剤（Ｅ）、添加剤（Ｅ）及び溶剤（Ｇ）を、室温（２５℃±２℃）にて攪拌機にてそれぞれ均一に混合して、各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を得た。なお、実施例１９〜２１及び比較例５においては着色剤（Ｅ）を配合せず、透明な樹脂組成物とした。
【０２６６】
［ラインパターン評価］
実施例１〜２６、及び比較例１〜５の感光性樹脂組成物を、ガラス基板（１００ｍｍ×１００ｍｍ）上にスピンコーターを用いて塗布し、１００℃で１２０秒間プリベークを行い、塗布膜を形成した。次いで、プロキシミティ露光機（製品名：ＴＭＥ−１５０ＲＴＯ、株式会社トプコン製）を使用し、露光ギャップを５０μｍとして、幅２０μｍのラインパターンの形成されたネガ型マスクを介して、塗布膜に紫外線を照射した。露光量は、２００ｍＪ／ｃｍ２とした。露光後の塗布膜を、２６℃の０．０４質量％ＫＯＨ水溶液で５０秒間現像後、２３０℃にて３０分間ポストベークを行うことにより、膜厚１０μｍのラインパターンを硬化膜として形成した。
【０２６７】
（パターン直進性評価）
形成されたラインパターンを光学顕微鏡により観察し、パターン直進性を評価した。パターン直進性は、ラインのエッジにがたつきがない場合を「良好」、がたつきがある場合を「不良」として評価した。
【０２６８】
（テーパー角）
露光量２００ｍＪ／ｃｍ２で形成されたラインパターンについて、テーパー角を評価した。テーパー角については、走査電子顕微鏡にてパターンと基板との間の接合角度として測定した。測定されたテーパー角を表１に示す。テーパー角が９０°に近いほど、パターン断面の形状が所望する矩形形状に近いことを意味する。テーパー角が９０°よりも相当量小さな角である場合、パターン断面の形状が所望する矩形形状でない。なお、テーパー角の測定結果により、ラインパターンの断面形状を次の判定基準に基づいて判定した。その結果を合わせて、表１に示す。
◎：テーパー角が８０°以上９０°以下である。
○：テーパー角が７０°以上８０°未満である。
△：テーパー角が５０°以上７０°未満である。
×：テーパー角が５０°未満である。
【０２６９】
［ＯＤ値の評価］
実施例１〜２６、及び比較例１〜５の感光性樹脂組成物を、ガラス基板（１００ｍｍ×１００ｍｍ）上にスピンコーターを用いて塗布し、１００℃で１２０秒間プリベークを行い、塗布膜を形成した。次いで、プロキシミティ露光機（製品名：ＴＭＥ−１５０ＲＴＯ、株式会社トプコン製）を使用し、露光量２００ｍＪ／ｃｍ２、露光ギャップを５０μｍとして感光性樹脂層を露光した。露光された感光性樹脂層を２３０℃にて３０分間ポストベークを行うことにより、硬化膜を形成した。形成された遮光膜の厚さは１０μｍであった。形成された遮光膜の１０μｍあたりのＯＤ値を、透過率測定器（Ｄ−２００ＩＩ、グレタグマクベス社製）を用いて測定し、近似曲線にて１μｍあたりのＯＤ値を算出した。ＯＤ値の測定結果を表１に示す。
黒色の着色剤を含む実施例１〜１８、２２〜２６及び比較例１〜４の感光性樹脂組成物を用いて形成された硬化膜のＯＤ値は、いずれも０．４５／μｍであり、遮光性に優れる硬化膜が形成されたことが判った。一方、着色剤を含まない実施例１９〜２１及び比較例５の感光性樹脂組成物を用いて形成された硬化膜のＯＤ値は、いずれも０．０１／μｍであり、高い透過率を有する硬化膜が形成されたことが判った。
【０２７０】
【表１】
2020052280.tif 000038