(57)【要約】【課題】ターゲットにおける電子線が衝突した面とは逆側の面からＸ線を出射させる構成を用いながら、ターゲットの電子衝突位置を移動でき、内部の熱が上昇することを抑制できるＸ線装置を提供する。【解決手段】Ｘ線装置１は、Ｘ線発生装置４を備えている。Ｘ線発生装置４は、ターゲット４２を保持するターゲット保持部５２と、電子源４１と、管容器４５と、連結部材５１と、冷却機構５４とを備えている。Ｘ線発生装置４では、管容器４５内に設けられる電子源４１からターゲット４２に向けて電子が照射され、ターゲット４２からＸ線が出射される。また、管容器４５とターゲット保持部５２とを連結する連結部材５１は、冷却機構５４によって冷却される。そのため、放熱を妨げる原因となっている連結部材５１を冷却機構５４により直接冷却することにより、Ｘ線発生装置４内部を冷却させて、温度が上昇することを抑制できる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子を衝突させることにより電子が衝突した面とは逆側の面からＸ線を発生させるターゲットと、
前記ターゲットを保持するターゲット保持部と、
前記ターゲットに電子を照射する電子源と、
前記電子源を内部に収容し、当該電子源から照射される電子が通過する開口部が前記ターゲット保持部に対向して形成された真空容器と、
前記真空容器における前記開口部の周縁部と前記ターゲット保持部とを連結する部材であって、前記電子源から照射される電子の照射方向に対して交差する方向に変形することにより、前記真空容器に対して前記ターゲット保持部を変位させ、前記ターゲットに対する電子の衝突位置を移動させるための連結部材と、
前記連結部材を冷却する冷却機構とを備えることを特徴とするＸ線装置。
【請求項２】
前記連結部材は、ベローズ構造を有していることを特徴とする請求項１に記載のＸ線装置。
【請求項３】
前記冷却機構は、前記連結部材の周囲に風の流れを形成するファンを有することを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線装置。
【請求項４】
前記冷却機構は、前記連結部材の周囲に充填された冷却液を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線装置。
【請求項５】
前記電子源に高圧を印加するための高圧電源をさらに備え、
前記高圧電源の周囲を絶縁するための絶縁油が、前記冷却液として用いられることを特徴とする請求項４に記載のＸ線装置。
【請求項６】
前記連結部材の周囲に設けられた筒状の部材であって、前記連結部材の変形によって前記ターゲット保持部が前記真空容器に接近するのを規制するためのストッパ部材をさらに備え、
前記ストッパ部材には、前記冷却機構を構成する通気口が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターゲットに向けて電子を照射して当該ターゲットからＸ線を発生させるＸ線装置であって、当該ターゲットの電子線が衝突した面とは逆側の面からＸ線を出射させるＸ線装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、真空容器内で電子源から放出された電子を加速・集束させてターゲットに衝突させてＸ線を発生させるＸ線装置が利用されている。Ｘ線装置としては、ターゲットにおける電子線が衝突した面とは逆側の面からＸ線を出射させる透過型のＸ線装置と、ターゲットから反射するようにＸ線を出射させる反射型のＸ線装置が利用されている。
【０００３】
このうち、透過型のＸ線装置は、薄膜のターゲットを備えている。透過型のＸ線装置では、この薄膜のターゲットに電子を照射してＸ線を発生させる。
【０００４】
透過型のＸ線装置では、薄膜のターゲットに電子を照射させるため、ターゲットの同一位置に電子を長時間照射させると、ターゲットが劣化してしまう。そのため、透過型のＸ線装置では、所定の時間が経過する度にターゲットにおける電子の衝突位置を移動させている（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００５】
特許文献１に記載のＸ線装置では、電子源が収容される容器と、ターゲットが保持されるターゲット保持部との間に、可撓性の連結部材が設けられている。このＸ線装置では、容器は、一定位置に固定されており、ターゲット部材は、移動可能である。このＸ線装置では、所定の時間が経過する度にターゲット部材が移動されることで、電子源に対してターゲットが変位する。このとき、連結部材が適度に撓むことで、ターゲット部材を円滑に移動させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−１９１７９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記したＸ線装置では、ターゲットに衝突した電子のエネルギーのほとんどが熱に変換されるため、動作時において内部の温度が上昇する。その一方で、連結部材は、通常、熱伝導率の低い材料からなり、厚みが薄く形成されている。そのため、内部の熱が連結部材から放熱されにくくなるとともに、連結部材を介して内部の熱を外部の装置に伝達させることも困難となる。その結果、Ｘ線装置の内部の温度が上昇しやすく、構成部品の熱膨張により出射するＸ線の焦点が不安定になるなどの不具合が生じていた。
【０００８】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、ターゲットにおける電子線が衝突した面とは逆側の面からＸ線を出射させる構成を用いながら、内部の熱が上昇することを抑制できるＸ線装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本発明に係るＸ線装置は、ターゲットと、ターゲット保持部と、電子源と、真空容器と、連結部材と、冷却機構とを備える。前記ターゲットは、電子を衝突させることにより電子が衝突した面とは逆側の面からＸ線を発生させる。前記ターゲット保持部は、前記ターゲットを保持する。前記電子源は、前記ターゲットに電子を照射する。前記真空容器は、前記電子源を内部に収容し、当該電子源から照射される電子が通過する開口部が前記ターゲット保持部に対向して形成される。前記連結部材は、前記真空容器における前記開口部の周縁部と前記ターゲット保持部とを連結する部材であって、前記電子源から照射される電子の照射方向に対して交差する方向に変形することにより、前記真空容器に対して前記ターゲット保持部を変位させ、前記ターゲットに対する電子の衝突位置を移動させる。前記冷却機構は、前記連結部材を冷却する。
【００１０】
このような構成によれば、Ｘ線装置では、真空容器内に設けられる電子源からターゲットに向けて電子が照射され、ターゲットにおける電子が衝突した面とは逆側の面からＸ線が出射される。また、真空容器とターゲット保持部とを連結する連結部材は、冷却機構によって冷却される。
そのため、放熱を妨げる原因となっている連結部材を冷却機構により直接冷却することにより、Ｘ線装置内部を冷却させて、温度が上昇することを抑制できる。
すなわち、本発明に係るＸ線装置によれば、ターゲットにおける電子線が衝突した面とは逆側の面からＸ線を出射させる構成を用いながら、内部の熱が上昇することを抑制できる。
【００１１】
（２）また、前記連結部材は、ベローズ構造を有していてもよい。
【００１２】
このような構成によれば、連結部材を、表面積の多い構成にすることができる。
その結果、連結部材の表面積を利用して、連結部材を効果的に冷却できる。
【００１３】
（３）また、前記冷却機構は、前記連結部材の周囲に風の流れを形成するファンを有してもよい。
【００１４】
このような構成によれば、ファンの動作により生じる風を利用して、連結部材を冷却できる。
【００１５】
（４）また、前記冷却機構は、前記連結部材の周囲に充填された冷却液を有してもよい。
【００１６】
このような構成によれば、冷却機構を簡易に構成できる。そして、その冷却機構により連結部材を冷却できる。
【００１７】
（５）また、前記Ｘ線装置は、高圧電源をさらに備えてもよい。前記Ｘ線装置では、前記高圧電源の周囲を絶縁するための絶縁油が、前記冷却液として用いられてもよい。
【００１８】
このような構成によれば、高圧電源の周囲を絶縁するための絶縁油と、連結部材を冷却するための冷却液とを共用できる。
そのため、専用の液体を冷却液として用いる必要がなく、低コストでＸ線装置を構成できる。
【００１９】
（６）また、前記Ｘ線装置は、ストッパ部材をさらに備えてもよい。前記ストッパ部材は、前記連結部材の周囲に設けられた筒状の部材であって、前記連結部材の変形によって前記ターゲット保持部が前記真空容器に接近するのを規制する。前記ストッパ部材には、前記冷却機構を構成する通気口が形成されている。
【００２０】
このような構成によれば、ストッパ部材によってターゲット保持部が真空容器側に変位することを規制できる。すなわち、ストッパ部材によってターゲットが電子源側に変位することを規制できる。
そして、そのストッパ部材の通気口を利用して、連結部材を冷却できる。具体的には、ストッパ部材の通気口を介して連結部材に風を当てることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、Ｘ線装置では、真空容器内に設けられる電子源からターゲットに向けて電子が照射され、ターゲットにおける電子が衝突した面とは逆側の面からＸ線が出射される。また、真空容器とターゲット保持部とを連結する連結部材は、冷却機構によって冷却される。そのため、放熱を妨げる原因となっている連結部材を冷却機構により直接冷却することにより、Ｘ線装置内部を冷却させて、温度が上昇することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るＸ線装置の構成を示した概略図である。
【図２】図１のＸ線発生装置の構成を示した断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係るＸ線装置のＸ線発生装置の構成を示した断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係るＸ線装置のＸ線発生装置の構成を示した断面図である。
【図５】本発明の第４実施形態に係るＸ線装置のＸ線発生装置の構成を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
１．Ｘ線装置の全体構成
図１は、本発明の第１実施形態に係るＸ線装置１の構成を示した概略図である。
Ｘ線装置１は、サンプルＳに向けてＸ線を照射し、サンプルＳを透過したＸ線を検出する装置である。
Ｘ線装置１は、筐体２と、ステージ３と、Ｘ線発生装置４と、検出装置５と、表示部６とを備えている。
【００２４】
筐体２は、中空状に形成されている。筐体２内には、ステージ３、Ｘ線発生装置４及び検出装置５が収容されている。
ステージ３には、サンプルＳが載置されている。Ｘ線発生装置４及び検出装置５は、ステージ３を挟んで対向している。
Ｘ線発生装置４は、電子源４１と、ターゲット４２とを備えている。なお、Ｘ線発生装置４の詳細な構成については、後述する。
【００２５】
Ｘ線装置１を使用する際には、Ｘ線発生装置４において、電子源４１からターゲット４２に向けて電子が照射される。これにより、ターゲット４２における電子線が衝突した面とは逆側の面からＸ線が出射される。
【００２６】
Ｘ線発生装置４から出射されたＸ線は、ステージ３上のサンプルＳに照射される。そして、サンプルＳを透過したＸ線が検出装置５で検出される。検出装置５は、検出したＸ線に応じた信号を出力する。表示部６は、検出装置５からの検出信号に応じて、透視画像や断層画像を表示する。
【００２７】
２．Ｘ線発生装置の構成
図２は、Ｘ線発生装置４の構成を示した断面図である。
Ｘ線発生装置４は、上記した電子源４１及びターゲット４２に加えて、外容器４３と、電源部４４と、管容器４５と、電極４６，４７，４８と、連結部材５１と、ターゲット保持部５２と、窓部材５３と、冷却機構５４とを備えている。
外容器４３は、箱状に形成されている。外容器４３の一端部（図２における上端部）には、開口部４３１が形成されている。
【００２８】
電源部４４は、外容器４３内に収容されている。電源部４４が高圧電源の一例を構成している。
管容器４５は、外容器４３に固定されている。管容器４５は、管状に形成されている。管容器４５の一端部（図２における上端部）の内側空間が開口部４５１として形成されている。管容器４５の他端部（図２における下端部）は、閉塞されている。管容器４５の一端部の外表面は、外容器４３における開口部４３１の縁部に固定されている。管容器４５の中央部及び他端部（下端部）は、外容器４３内に収容されている。管容器４５内には、電子源４１及び電極４６，４７，４８が収容されている。管容器４５が、真空容器の一例を構成している。
【００２９】
外容器４３内（外容器４３と管容器４５との間の領域）には、電源部４４の周囲を絶縁するための絶縁油６１が充填されている。
電子源４１及び電極４６，４７，４８のそれぞれは、電源部４４と電気的に接続されている。
【００３０】
ターゲット保持部５２は、平板状に形成されており、管容器４５と間隔を隔てて配置されている。ターゲット保持部５２は、管容器４５の内部空間（開口部４５１）に対向している。ターゲット保持部５２の中央部には開口が形成されており、この開口に窓部材５３が設けられている。窓部材５３の表面（管容器４５側の表面）には、ターゲット４２が設けられている。なお、ターゲット保持部５２がターゲット４２を直接保持する構成であってもよい。
【００３１】
連結部材５１は、管容器４５とターゲット保持部５２とを連結する筒状の部材である。連結部材５１は、フランジ５１１，５１２と、変形部５１３とを備えている。
フランジ５１１は、環状に形成されており、管容器４５の一端部（上端部）に固定されている。具体的には、フランジ５１１は、管容器４５の一端面（上端面）、及び、外容器４３の一端面に跨るようにして、管容器４５及び外容器４３上に設けられている。
【００３２】
フランジ５１２は、環状に形成されており、ターゲット保持部５２に固定されている。具体的には、フランジ５１２は、ターゲット保持部５２における他方側（管容器４５と対向する側）の表面に設けられている。
【００３３】
変形部５１３は、筒状の部材であって、フランジ５１１とフランジ５１２との間に設けられている。変形部５１３は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）からなり、厚みの薄い蛇腹状に形成されている。すなわち、変形部５１３は、ベローズ構造を有している。変形部５１３の一端部（上端部）は、フランジ５１２に固定されており、変形部５１３の他端部（下端部）は、フランジ５１１に固定されている。変形部５１３の厚みは、例えば、０．２ｍｍ程度である。変形部５１３は、電子の照射方向（図２における上下方向）に対して交差する方向に変形可能（弾性変形可能）である。
【００３４】
Ｘ線発生装置４では、管容器４５、連結部材５１、ターゲット保持部５２及びターゲット４２（窓部材５３及びターゲット４２）により、電子照射領域６０が区画されている。電子照射領域６０は、真空状態に保たれている。
冷却機構５４は、連結部材５１の周囲に設けられている。冷却機構５４は、筒状部５４１と、ファン５４２とを備えている。
【００３５】
筒状部５４１は、一端部（上端部）にフランジが形成された筒状に形成されており、外容器４３の一端部（上端部）に設けられている。筒状部５４１は、連結部材５１を囲んでいる。筒状部５４１の側壁には、開口部５４３が形成されている。
ファン５４２は、筒状部５４１の側壁に設けられている。ファン５４２は、連結部材５１（変形部５１３）と対向している。
【００３６】
Ｘ線発生装置４では、電源部４４により電子源４１に対して電力が供給される。これにより、電子源４１から電子（熱電子）が発生する。また、電源部４４により電極４６，４７，４８に対して高圧（高電圧）が印加される。電子源４１からの電子は、電極４６，４７，４８により加速・集束され、開口部４５１を通過した後、ターゲット４２に照射される。これにより、ターゲット４２における電子線が衝突した面とは逆側の面からＸ線が出射される。
【００３７】
また、Ｘ線発生装置４では、所定時間が経過する度に、図示しない押圧部材によりターゲット保持部５２に対して外力が付与される。具体的には、押圧部材は、所定時間が経過する度に、ターゲット保持部５２を電子の照射方向と交差する方向（図２における左右方向）に押圧する。これにより、連結部材５１の変形部５１３が電子の照射方向と交差する方向に変形し、ターゲット保持部５２が電子の照射方向と交差する方向に変位する。そして、ターゲット４２に対する電子の衝突位置が移動する。Ｘ線発生装置４では、このようにして、所定時間が経過する度に、ターゲット４２に対する電子の衝突位置が調整される。
【００３８】
３．冷却機構の動作
Ｘ線発生装置４では、ファン５４２が動作することで、連結部材５１に向かう空気の流れが発生する。これにより、連結部材５１の周囲に風の流れが形成される。連結部材５１の周囲に形成される風は、連結部材５１（変形部５１３）の外表面に沿って移動した後、開口部５４３から外部に流れる。
【００３９】
このようにして、連結部材５１の周囲に風の流れが発生することで、連結部材５１が冷却される。そして、連結部材５１により電子照射領域６０内が冷却されて、電子照射領域６０内の温度上昇が抑制される。また、筒状部５４１が連結部材５１の周囲を囲んでいるため、筒状部５４１内において連結部材５１に向かう風を効果的に発生させることができる。そして、連結部材５１を効果的に冷却することができる。
なお、ファン５４２は、筒状部５４１内の空気を外部に排出することで、連結部材５１の周囲に風の流れを形成してもよい。
【００４０】
４．作用効果
（１）本実施形態によれば、Ｘ線装置１は、Ｘ線発生装置４を備えている。図２に示すように、Ｘ線発生装置４は、ターゲット４２を保持するターゲット保持部５２と、電子源４１と、管容器４５と、連結部材５１と、冷却機構５４とを備えている。Ｘ線発生装置４では、管容器４５内に設けられる電子源４１からターゲット４２に向けて電子が照射され、ターゲット４２における電子線が衝突した面とは逆側の面からＸ線が出射される。また、管容器４５とターゲット保持部５２とを連結する筒状の連結部材５１は、冷却機構５４によって冷却される。
【００４１】
そのため、放熱を妨げる原因となっている連結部材５１を冷却機構５４により直接冷却することにより、Ｘ線発生装置４内部を冷却させて、Ｘ線発生装置４内の温度が上昇することを抑制できる。
すなわち、Ｘ線発生装置４（Ｘ線装置１）によれば、ターゲット４２における電子線が衝突した面とは逆側の面からＸ線を出射させる構成を用いながら、内部の熱が上昇することを抑制できる。
【００４２】
（２）また、本実施形態によれば、図２に示すように、連結部材５１は、ベローズ構造を有する変形部５１３を備えている。
そのため、連結部材５１を、表面積の多い構成にすることができる。
その結果、連結部材５１（変形部５１３）の表面積を利用して、連結部材５１を効果的に冷却できる。
【００４３】
（３）また、本実施形態によれば、図２に示すように、冷却機構５４は、ファン５４２を備えている。
そのため、ファン５４２の動作により生じる風を利用して、連結部材５１を冷却できる。
【００４４】
５．第２実施形態
以下では、図３〜図５を用いて、本発明の他の実施形態について説明する。なお、上記した第１実施形態と同様の構成については、上記と同様の符号を用いることにより説明を省略する。
【００４５】
図３は、本発明の第２実施形態に係るＸ線装置１のＸ線発生装置４の構成を示した断面図である。
上記した第１実施形態では、連結部材５１は、ファン５４２により形成される風で冷却される。対して、第２実施形態では、連結部材５１は、冷却液によって冷却される。
【００４６】
具体的には、第２実施形態では、上記した冷却機構５４が設けられていない。また、ターゲット保持部５２が、上記した構成に比べて表面積の大きい平板状に形成されている。そして、外容器４３の一端部（上端部）とターゲット保持部５２との間に筒状部７１が設けられている。
【００４７】
筒状部７１は、筒状であって、弾性変形可能に構成されている。筒状部７１の一端部（上端部）は、ターゲット保持部５２に固定されており、筒状部７１の他端部（下端部）は、管容器４５の一端部（上端部）に固定されている。筒状部７１、ターゲット保持部５２、管容器４５の一端部（上端部）及び連結部材５１により区画される領域には、冷却液７２が充填されている。第２実施形態では、筒状部７１及び冷却液７２が冷却機構の一例を構成している。
【００４８】
このような構成により、連結部材５１が冷却液７２により冷却される。なお、第２実施系形態では、ターゲット保持部５２が移動する際には、筒状部７１が弾性変形する。なお、筒状部７１をベローズ構造としてもよい。
【００４９】
以上のように、第２実施形態によれば、冷却機構は、連結部材５１の周囲に充填された冷却液７２を備えている。
そのため、冷却機構を簡易に構成できる。そして、その冷却機構により連結部材５１を冷却できる。
【００５０】
６．第３実施形態
図４は、本発明の第３実施形態に係るＸ線装置１のＸ線発生装置４の構成を示した断面図である。
第３実施形態では、絶縁油６１が冷却液として用いられる点が、第２実施形態と異なっている。第３実施形態では、Ｘ線発生装置４は、上記した第２実施形態と同様に、ターゲット保持部５２が表面積の大きい平板状に形成されるとともに、ターゲット保持部５２と外容器４３との間に筒状部７１が設けられる。
【００５１】
そして、第３実施形態では、管容器４５の一端部（上端部）に複数の開口部４５２が形成されている。開口部４５２は、筒状部７１、ターゲット保持部５２、管容器４５の一端部（上端部）及び連結部材５１により区画される領域と、管容器４５内の領域とを連通している。
【００５２】
このような構成により、絶縁油６１は、管容器４５内に充填されるとともに、筒状部７１、ターゲット保持部５２、管容器４５の一端部（上端部）及び連結部材５１により区画される領域にも充填される。そして、絶縁油６１により連結部材５１が冷却される。
【００５３】
以上のように、第３実施形態では、Ｘ線発生装置４において、絶縁油６１が、冷却液として用いられる。
そのため、電源部４４の周囲を絶縁するための絶縁油６１と、連結部材５１を冷却するための冷却液とを共用できる。
その結果、専用の液体を冷却液として用いる必要がなく、低コストでＸ線発生装置４（Ｘ線装置１）を構成できる。
【００５４】
７．第４実施形態
図５は、本発明の第４実施形態に係るＸ線装置１のＸ線発生装置４の構成を示した断面図である。
第４実施形態では、上記した第１実施形態の構成において、ストッパ部材８０が設けられている。
【００５５】
ストッパ部材８０は、筒状に形成されており、連結部材５１の周囲に設けられている。ストッパ部材８０の一端部（上端部）は、ターゲット保持部５２に接触しており、ストッパ部材８０の他端部（下端部）は、管容器４５の一端部（上端部）に固定されている。ストッパ部材８０には、複数の通気口８０１が形成されている。
【００５６】
ターゲット４２における電子の衝突位置を調整する際には、ターゲット保持部５２は、ストッパ部材８０の一端部（上端部）に対して摺接しながら移動する。なお、ストッパ部材８０の一端部（上端部）に、回転可能な球状の部材を設けてもよい。
【００５７】
ストッパ部材８０は、連結部材５１の変形によってターゲット保持部５２が管容器４５側に接近するのを規制している。
また、ファン５４２からの風は、ストッパ部材８０の通気口８０１を通過して、連結部材５１に吹き付けられる。
【００５８】
以上のように、第４実施形態によれば、ストッパ部材８０によってターゲット保持部５２が管容器４５側（電子源４１側）に変位することを規制できる。
そして、ストッパ部材８０の通気口８０１を介して連結部材５１に風を当てることができる。
【００５９】
８．変形例
上記した実施形態では、Ｘ線発生装置４は、電子照射領域６０が常に真空状態に保たれる、いわゆる密閉型の装置であるとして説明した。しかし、Ｘ線発生装置４は、電子照射領域６０が大気開放される、いわゆる開放側の装置であってもよい。この場合、Ｘ線発生装置４の動作中は、別途設けられる真空ポンプにより電子照射領域６０が真空状態に保たれる。
【００６０】
また、上記した実施形態において、連結部材５１の変形部５１３の外表面に、熱伝導率
熱伝導率の高い材料で形成される薄膜がコーティングされていてもよい。
【００６１】
また、上記の第１実施形態及び第４実施形態では、Ｘ線発生装置４に設けられるファン５４２を用いて連結部材５１を冷却するとして説明した。しかし、Ｘ線装置１の筐体２において通常設けられるファンを用いて、Ｘ線発生装置４の連結部材５１に風を導いてもよい。具体的には、筐体２において、風が通過するための送風領域を区画する区画壁が別途設けられてもよい。この場合、この区画壁は、筐体２に設けられるファンから連結部材５１近傍まで延びていることが好ましい。このような構成にすれば、筐体２に設けられたファンからの風を、送風領域を介して、連結部材５１に導くことができる。
【符号の説明】
【００６２】
１        Ｘ線装置
４        Ｘ線発生装置
４１      電子源
４２      ターゲット
４４      電源部
４５      管容器
５１      連結部材
５２      ターゲット保持部
５４      冷却機構
６１      絶縁油
７１      筒状部
７２      冷却液
８０      ストッパ部材
４５１    開口部
４５２    開口部
５１１    フランジ
５１２    フランジ
５１３    変形部
５４１    筒状部
５４２    ファン
８０１    通気口
【図１】
2020095906.tif 000003
【図２】
2020095906.tif 000004
【図３】
2020095906.tif 000005
【図４】
2020095906.tif 000006
【図５】
2020095906.tif 000007