(57)【要約】【課題】レーザ焼入れを効率良くかつ精度良く実行可能とする。【解決手段】レーザビームＬＢを出射するレーザ発振器２１とワークＷの焼入れ対象面Ｓ（外径面Ｗａ）の間に配置された光学系２２とを備えるレーザ焼入れ装置１９である。光学系２２は、焼入れ対象面Ｓの第１方向Ａ（ワークＷの周方向）に沿って延びた円形のビームスポットＢＳを焼入れ対象面Ｓ上に形成する帯状レンズ部２３を有し、レーザビームＬＢの出射時、ワークＷが、帯状レンズ部２３に対して、第１方向Ａと交差（直交）する焼入れ対象面Ｓの第２方向Ｂ（ワークＷの軸方向）に相対移動する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザビームをワークの焼入れ対象面に照射することにより、前記焼入れ対象面を焼入れするレーザ焼入れ装置であって、前記レーザビームを出射するレーザ発振器と、該レーザ発振器と前記焼入れ対象面の間に配置された光学系と、を備えるものにおいて、
前記光学系は、前記焼入れ対象面の第１方向に沿って延び、前記第１方向の寸法Ｚ以上の長手方向寸法Ｌを有する線状のビームスポットを前記焼入れ対象面上に形成する帯状レンズ部を有し、
前記レーザビームの出射時に、前記ワークが、前記帯状レンズ部に対し、前記第１方向と交差する前記焼入れ対象面の第２方向に沿って相対移動することを特徴とするレーザ焼入れ装置。
【請求項２】
前記光学系は、前記帯状レンズ部の長手方向に沿って配置された複数の光ファイバーをさらに有し、各光ファイバーの出口側端部が前記帯状レンズ部のビーム入射面に対向している請求項１に記載のレーザ焼入れ装置。
【請求項３】
前記光学系は、前記レーザビームを平行光にするコリメート部をさらに有し、前記平行光が前記複数の光ファイバーに入射される請求項２に記載のレーザ焼入れ装置。
【請求項４】
前記帯状レンズ部は、長手方向寸法Ｌａが前記長手方向寸法Ｌよりも小さい線状のビームスポットを形成可能な帯状のシリンドリカルレンズを前記第１方向に沿って複数個連ねて設けることで形成されている請求項１〜３の何れか一項に記載のレーザ焼入れ装置。
【請求項５】
前記シリンドリカルレンズは長手方向の両端部と中央部とで焦点距離が互いに異なる請求項４に記載のレーザ焼入れ装置。
【請求項６】
ワークの焼入れ対象面をレーザ焼入れするに際し、
前記焼入れ対象面の第１方向に沿って延び、前記第１方向の寸法Ｚ以上の長手方向寸法Ｌを有する線状のビームスポットが前記焼入れ対象面上に形成されるように、帯状レンズ部を透過させたレーザビームを前記焼入れ対象面に照射しつつ、前記ワークを、前記帯状レンズ部に対して前記第１方向と交差する前記焼入れ対象面の第２方向に相対移動させることを特徴とするレーザ焼入れ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ焼入れ装置およびレーザ焼入れ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
鋼製部品の製造過程では、鋼製部品の基材（ワーク）に焼入れ硬化処理を施し、必要とされる機械的強度や硬度（耐摩耗性）を付与するのが一般的である。焼入れ硬化処理は、ワーク全体を焼入れする全体焼入れと、ワークを部分的に焼入れする部分焼入れ（表面焼入れ）とに大別され、要求特性等に応じて使い分けられている。表面焼入れの方法としては、高周波焼入れやレーザ焼入れなどがある。このうち、レーザ焼入れは、焼入れ対象部位（焼入れ対象面）にレーザビームを照射することによって焼入れ対象面を狙い温度（焼入れ温度）に加熱した後、レーザビームの照射を停止すると、ワークの自己冷却によって表面硬化層を形成することができる。そのため、高周波焼入れの場合に必要とされる加熱後のワークを強制的に冷却するための装置や工程を省略できる、という利点がある。
【０００３】
従来のレーザ焼入れは、例えば下記の特許文献１，２に記載されているように、レーザ照射装置と焼入れ対象のワークを相対移動させつつ、一点に集光したレーザビームをワークの焼入れ対象面に沿って走査させることにより行われるのが一般的である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第０２／００９９０４号
【特許文献２】特許第４４３１４２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１，２に開示された従来のレーザ焼入れ方法では、ビームスポットの面積が小さいため、焼入れ対象面の面積が大きい場合には焼入れに時間がかかり過ぎるという問題がある。また、焼入れ対象面の全域をムラ無く焼入れしようとすると、レーザビーム（ビームスポット）を焼入れ対象面に沿って精度良く走査する必要があることから、レーザ照射装置および／またはワークの動作を極めて高精度に制御する必要がある。そのため、焼入れ対象面の面積が大きい場合、焼入れ対象面の全域を精度良く焼入れするのは困難である。
【０００６】
上記の実情に鑑み、本発明は、ワークの焼入れ対象面の面積が大きい場合でも、レーザ焼入れを効率良くかつ精度良く実行可能とする技術手段を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために創案された本発明に係るレーザ焼入れ装置は、レーザビームをワークの焼入れ対象面に照射することにより、焼入れ対象面を焼入れするレーザ焼入れ装置であって、レーザビームを出射するレーザ発振器と、レーザ発振器と焼入れ対象面との間に配置された光学系と、を備えるものにおいて、光学系は、焼入れ対象面の第１方向に沿って延び、第１方向の寸法Ｚ以上の長手方向寸法Ｌを有する線状のビームスポットを焼入れ対象面上に形成する帯状レンズ部を有し、レーザビームの出射時に、ワークが、帯状レンズ部に対し、上記第１方向と交差する焼入れ対象面の第２方向に沿って相対移動することを特徴とする。
【０００８】
上記構成を有するレーザ焼入れ装置によれば、レーザ発振器から出射されるレーザビームのビーム強度の他、ワークと帯状レンズ部の相対移動速度等を適切に設定しておけば、レーザビームの出射時に、ワークと帯状レンズ部とを焼入れ対象面の第１方向と交差（直交）する焼入れ対象面の第２方向に沿って相対移動させるだけで焼入れ対象面の全域をムラ無くレーザ焼入れすることができる。そのため、ワークの焼入れ対象面の面積が大きい場合でも、焼入れ対象面に対するレーザ焼入れを効率良くかつ精度良く実行することができる。
【０００９】
光学系には、帯状レンズ部の長手方向に沿って配置され、それぞれの出口側端部を帯状レンズ部のビーム入射面に対向させた複数の光ファイバーを設けることができる。このようにすれば、レーザ発振器から出射されるレーザビームを分岐して帯状レンズ部の長手方向各部に入射させることができるので、レーザ発振器の設置台数を減じることができる。
【００１０】
このとき、光学系には、レーザ発振器から出射されたレーザビームを平行光にするコリメート部をさらに設け、平行光が各光ファイバーに入射されるようにするのが好ましい。これにより、レーザビームの指向性を高めることができるので、レーザビームが帯状レンズ部に入射されるまでの間（焼入れ対象面に照射されるまでの間）にビーム強度が減衰し、焼入れ不良が生じる可能性を減じる上で有利になる。
【００１１】
帯状レンズ部は、例えば、継ぎ目のない帯状のシリンドリカルレンズで構成することができる他、長手方向寸法Ｌａが上記長手方向寸法Ｌよりも小さい複数の帯状シリンドリカルレンズを上記第１方向に沿って連ねて設けることで形成することもできる。このようにすれば、帯状レンズ部の長手方向（焼入れ対象面の第１方向）に沿う形状を任意形状に形成し易くなる。
【００１２】
帯状シリンドリカルレンズとしては、長手方向の各部で焦点距離（断面形状）が一定のものを使用することができる他、長手方向の両端部と中央部とで焦点距離が互いに異なるもの（例えば、長手方向の両端部では焦点距離が相対的に長く、長手方向の中央部では焦点距離が相対的に短いもの）を使用することもできる。
【００１３】
上記構成において、焼入れ対象面は、例えば軸状（棒状）ワークの外径面とすることができる。すなわち、本発明に係るレーザ焼入れ装置は、軸状ワークの外径面にレーザビームを照射することにより、軸状ワークの外径側表層部に筒状の表面硬化層を形成する際に好ましく使用することができる。このとき、上記第１方向を軸状ワークの周方向とすると、上記第２方向は、軸状ワークの軸方向（長手方向）とすることができる。
【００１４】
また、本発明では、上記の目的を達成するため、ワークの焼入れ対象面をレーザ焼入れするに際し、焼入れ対象面の第１方向に沿って延び、第１方向の寸法Ｚ以上の長手方向寸法Ｌを有する線状のビームスポットが焼入れ対象面上に形成されるように、帯状レンズ部を透過させたレーザビームを焼入れ対象面に照射しつつ、ワークを、帯状レンズ部に対して第１方向と交差する焼入れ対象面の第２方向に相対移動させることを特徴とするレーザ焼入れ方法を提供する。
【００１５】
このようなレーザ焼入れ方法によれば、本発明に係るレーザ焼入れ装置を採用した場合と同様の作用効果を享受することができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上から、本発明によれば、ワークの焼入れ対象面の面積が大きい場合でも、焼入れ対象面のレーザ焼入れを効率良くかつ精度良く実行することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】レーザ焼入れの処理対象品を含むドライブシャフトの部分断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るレーザ焼入れ装置の全体構成を概念的に示す図である。
【図３】図２に示すレーザ焼入れ装置によるレーザ焼入れの実施態様の一例を模式的に示す斜視図である。
【図４】図３を同図中の矢印Ｘ方向から見たときの図である。
【図５】（ａ）図は、シリンドリカルレンズの部分斜視図、（ｂ）図は、（ａ）図を矢印Ｙ１方向から見たときの図、（ｃ）図は、（ａ）図を矢印Ｙ２方向から見たときの図である。
【図６】ワークの焼入れ対象面と帯状レンズ部（ビームスポット）の寸法関係を説明するための展開図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係るレーザ焼入れ装置の部分正面図である。
【図８】（ａ）図は、図７に示すレーザ焼入れ装置で使用されるシリンドリカルレンズの正面図、（ｂ）図は、（ａ）図のＹ3−Ｙ3線断面図、（ｃ）図は、（ａ）図のＹ4−Ｙ4線断面図である。
【図９】本発明の他の実施形態に係るレーザ焼入れ装置を用いてワークにレーザ焼入れを施している状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１に、動力伝達装置の一種であるドライブシャフト１の一部を抽出して示す。このドライブシャフト１は、例えば自動車に搭載され、エンジンや電動モータ等の回転駆動源から出力される回転動力（トルク）を駆動車輪に伝達するものであり、車幅方向内側（インボード側）に配置される摺動式等速自在継手２と、車幅方向外側（アウトボード側）に配置される図示外の固定式等速自在継手と、摺動式等速自在継手２と固定式等速自在継手をトルク伝達可能に連結する中間シャフト１０とを備える。
【００２０】
図１に示す摺動式等速自在継手２はいわゆるトリポード型であり、カップ部４および中実の軸部５を有する外側継手部材３と、カップ部４の内周に収容された内側継手部材としてのトリポード部材７と、トルク伝達部材としてのローラ６とを備える。トリポード部材７には径方向に延びる脚軸８が周方向等間隔で３本設けられており、各脚軸８の外周にローラ６が１個ずつ回転自在に嵌合されている。
【００２１】
図示は省略しているが、外側継手部材３のカップ部４の内径面には、ローラ６の転動を案内するための案内溝が周方向に離間した三箇所に形成されている。外側継手部材３の軸部５の自由端側の外径面には、図示しない他部材（例えば差動装置のサイドギヤ）と外側継手部材３とをトルク伝達可能に連結するためのスプライン９が形成されている。
【００２２】
外側継手部材３のカップ部４および軸部５は、例えば、炭素鋼や合金鋼などといった炭素含有量０．２０〜０．４５質量％の鋼材で形成されており、その中でも高い機械的強度や硬度が必要とされる部位には焼入れ（表面焼入れ）が施され、表面硬化層Ｑが形成されている。詳しくは、図１中にクロスハッチングで示すように、軸部５の自由端側の表層部に筒状（円筒状）の表面硬化層Ｑが形成されている。なお、実際にはカップ部４の内径面にも表面硬化層が形成されるが、図１では図示を省略している。そして、本発明に係るレーザ焼入れ装置（レーザ焼入れ方法）は、例えば軸部５に設けるべき表面硬化層Ｑを形成する際に好ましく使用することができる。
【００２３】
以下、本発明の実施形態に係るレーザ焼入れ装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２４】
図２に、本発明の一実施形態に係るレーザ焼入れ装置１９の全体構成を概念的に示す。レーザ焼入れ装置１９は、レーザ照射装置２０と、焼入れ対象のワークをレーザ照射装置２０（詳しくは、後述する帯状レンズ部２３）に対して相対移動させる図示外の駆動機構とを備える。本実施形態のレーザ照射装置２０は、図３等に示すように、中実軸状のワークＷの外径面ＷａにレーザビームＬＢを照射することにより、ワークＷの表層部に円筒状の表面硬化層（例えば、図１に示すような表面硬化層Ｑ）を形成するように構成されている。従って、本実施形態では、ワークＷの外径面Ｗａが焼入れ対象面Ｓである。また、本実施形態の駆動機構には、ワークＷをその長手方向（図３中に矢印Ｂで示す方向であり、ワークＷの軸方向とも言える。）に沿って移動させるものが採用される。具体的には、搬送コンベアや、ワークＷを把持した状態で直線運動するリニア駆動装置などを採用することができる。
【００２５】
レーザ照射装置２０は、レーザ発振器２１と、レーザ発振器２１から出射されるレーザビームＬＢの進行経路上（レーザ発振器２１とワークＷの外径面Ｗａの間）に配置された光学系２２とを備える。光学系２２は、帯状レンズ部２３と、複数の光ファイバー２５と、コリメート部２６とを備える。
【００２６】
レーザ発振器２１は、ワークＷの外径面Ｗａを狙い温度（焼入れ温度）に加熱し得るようなビーム強度を有するレーザビームＬＢを出射可能である限りにおいて、任意のものを使用することができる。すなわち、レーザ発振器２１としては、炭酸ガスレーザ、ＹＡＧレーザ、あるいは半導体レーザ等、公知の各種レーザの発振器を使用することができる。但し、コスト面や装置のコンパクト化を重視するのであれば、上記の各種レーザのうち半導体レーザが好ましい。
【００２７】
帯状レンズ部２３は、ワークＷの外径面Ｗａの第１方向Ａに沿って延び、第１方向Ａの寸法Ｚ以上の長手方向寸法Ｌを有する線状のビームスポットＢＳ（第１方向Ａに沿って切れ目のないビームスポットＢＳ）を外径面Ｗａ上に形成するものである。本実施形態では、図３および図４に示すように、ワークＷの周方向を第１方向Ａとしているので、第１方向Ａの寸法ＺとはワークＷの外径面Ｗａの周長である。そのため、本実施形態では、全体として環状（真円）形態をなした帯状レンズ部２３であって、長手方向寸法Ｌが外径面Ｗａの第１方向Ａの寸法Ｚと同寸の線状（真円形）のビームスポットＢＳをワークＷの外径面Ｗａ上に形成可能な帯状レンズ部２３が使用される（図４および図６を参照）。
【００２８】
上記のようなビームスポットＢＳを形成するための帯状レンズ部２３として、全体として環状（真円）形態をなしたシリンドリカルレンズが使用される。本実施形態では、図４および図６に示すように、長手方向寸法Ｌａが上記長手方向寸法Ｌよりも小さい線状のビームスポットＢＳを形成可能な帯状（円弧状）のシリンドリカルレンズ２４を第１方向Ａに沿って複数個（ここでは、シリンドリカルレンズ２４Ａ〜２４Ｄの計４個）連ねて設けることで帯状レンズ部２３を形成している。各シリンドリカルレンズ２４は、図５（ａ）（ｂ）に示すように半円形の断面形状を有しており、平坦面が帯状レンズ部２３に対するレーザビームＬＢの入射面（ビーム入射面）２３ａとして機能する。この場合、図５（ｃ）に示すように、ビーム入射面２３ａの長手方向各部にレーザビームＬＢが入射されると、ビーム入射面２３ａの反対側に線状のビームスポットＢＳが形成される。
【００２９】
図２〜図４に示すように、光ファイバー２５は、帯状レンズ部２３の長手方向に沿って複数（多数）配置されており、各光ファイバー２５の出口側端部２５ａは、帯状レンズ部２３のビーム入射面２３ａに対向している。係る態様で光ファイバー２５を設けていることにより、レーザ発振器２１から出射された一条のレーザビームＬＢは、複数条に分岐された上で帯状レンズ部２３の長手方向各部に入射する。これにより、レーザ発振器２１の設置台数をむやみに増加させずとも、ワークＷの外径面Ｗａ上に、線状（円形）のビームスポットＢＳを形成することができる。
【００３０】
図２に示すコリメート部２６は、レーザ発振器２１から出射されたレーザビームＬＢを平行光ＬＢ’にした上で各光ファイバー２５の入口側端部に入射させるために設けている。このようにすれば、レーザビームＬＢの指向性を高めることができるので、レーザビームＬＢが帯状レンズ部２３に入射されるまでの間（外径面Ｗａに照射されるまでの間）にビーム強度が減衰し、その結果、焼入れ不良が生じるのを可及的に防止することができる。図２では、レーザビームＬＢの進行経路上に配置した２つのレンズ（凹レンズおよび凸レンズ）でコリメート部２６を構成しているが、コリメート部２６の構成はこれに限られない。すなわち、コリメート部２６は、例えばレンズとミラーの組み合わせで構成することも可能である。
【００３１】
以上の構成を有する本実施形態のレーザ焼入れ装置１９を用いてワークＷの焼入れ対象面Ｓ（外径面Ｗａ）にレーザ焼入れを施す際には、図３に示すように、ワークＷの外径面Ｗａの周方向（焼入れ対象面Ｓの第１方向Ａ）に延びた円形のビームスポットＢＳがワークＷの外径面Ｗａ上に形成されるように、帯状レンズ部２３に向けてレーザビームＬＢを照射しつつ、ワークＷをその軸方向（第１方向Ａと交差する焼入れ対象面Ｓの第２方向Ｂ）に沿って移動させる。このとき、ワークＷの移動速度は、ワークＷの外径面Ｗａのうち、円形のビームスポットＢＳの形成部（レーザビームＬＢの被照射部）が焼入れ温度に加熱されるように設定する。これにより、ワークＷが移動するのに伴ってワークＷの外径面Ｗａの軸方向各部が連続的に加熱および冷却されて焼入れされるので、ワークＷの軸方向移動が完了すると、ワークＷの表層部に筒状の表面硬化層が形成される。
【００３２】
以上で説明したレーザ焼入れ装置１９によれば、レーザ発振器２１からレーザビームＬＢが出射されているときに、ワークＷを帯状レンズ部１３に対して相対移動（ここでは、ワークＷを環状形態をなした帯状レンズ部１３の内側を通過）させるだけでワークＷの焼入れ対象面Ｓの全域をムラ無くレーザ焼入れすることができる。このような作用効果は、上記のようなビームスポットＢＳを形成可能な帯状レンズ部２３を用いれば、あとはレーザ発振器２１から出射するレーザビームＬＢのビーム強度やワークＷの移動速度等を適当に設定するだけでワークＷの焼入れ対象面Ｓの面積の大小に関わらず同様に享受することができる。
【００３３】
従って、本発明に係るレーザ焼入れ装置１９によれば、ワークＷの焼入れ対象面Ｓの面積が大きい場合でも、焼入れ対象面Ｓのレーザ焼入れを効率良くかつ精度良く実行することができる。
【００３４】
以上、本発明の一実施形態に係るレーザ焼入れ装置１９およびレーザ焼入れ方法について説明したが、本発明の実施の形態はこれに限られない。
【００３５】
例えば、以上で説明した実施形態では、真円形態の帯状レンズ部２３（シリンドリカルレンズ）を使用するようにしたが、帯状レンズ部２３は、図７に示すように、非真円形態とすることも可能である。すなわち、図７に示す帯状レンズ部２３は、以上で説明した実施形態と同様に、それぞれが円弧状をなす４つのシリンドリカルレンズ２４（２４Ａ〜２４Ｄ）をワークＷの周方向（焼入れ対象面Ｓの第１方向Ａ）に沿って連ねて設けることで形成したものであるが、各シリンドリカルレンズ２４Ａ〜２４Ｄの曲率（曲率半径）をワークＷの外径面Ｗａのそれとは異ならせることで非真円形態としている。
【００３６】
この場合、ワークＷの外径面Ｗａに形成される線状（円形）のビームスポットＢＳの強度がワークＷの周方向で不均一になるのを回避するため、各シリンドリカルレンズ２４（２４Ａ〜２４Ｄ）には、長手方向の両端部と中央部とで焦点距離が互いに異なるもの、より具体的には、図８（ａ）〜（ｃ）に示すように、長手方向の中央部から長手方向の端部に向けて焦点距離が徐々に遠くなるものを使用している。これにより、以上で説明した実施形態と同様に、ワークＷの外径面Ｗａを効率良くかつ精度良くレーザ焼入れすることが、すなわちワークＷに焼入れ深さ（厚み）が均一の表面硬化層を形成することができる。
【００３７】
また、以上で説明した実施形態では、ワークＷを駆動側（駆動機構の駆動力を受けて移動する側）とし、帯状レンズ部２３（レーザ照射装置２０）を静止側としたが、これとは反対に、帯状レンズ部２３を駆動側とし、ワークＷを静止側としても構わない。
【００３８】
また、以上で説明した実施形態では、軸状のワークＷの外径面Ｗａを囲繞するように環状形態の帯状レンズ部２３を配置し、円形のビームスポットＢＳをワークＷの外径面Ｗａ上に形成するようにしたが、帯状レンズ部２３は、ワークＷの軸方向に延びた直線状のビームスポットＢＳを形成するように、直線状形態をなすものとしても良い（図示省略）。この場合、「焼入れ対象面Ｓの第１方向Ａ」はワークＷの軸方向であり、「第１方向Ａと交差（直交）する焼入れ対象面Ｓの第２方向Ｂ」はワークＷの周方向である。要するに、この場合、ワークＷの軸方向に延びた直線状の帯状レンズ部２３に対し、ワークＷをその軸線回りに相対回転させれば、以上で説明した実施形態と同様にしてワークＷの表層部に筒状の表面硬化層を効率良くかつ精度良く形成することができる。係る構成を採用する場合、駆動機構としては、ワークＷおよび帯状レンズ部２３の何れか一方を他方に対して相対回転させるものが使用される。
【００３９】
また、以上では、ワークＷの外径面Ｗａをレーザ焼入れする（ワークＷに筒状の表面硬化層を形成する）に際して本発明に係る技術手段を適用したが、本発明は、例えば図９に模式的に示すように、平坦面状をなした焼入れ対象面Ｓにレーザ焼入れを施す際にも適用することができる。
【００４０】
図９は、平板状をなすワークＷの上面にレーザ焼入れを施す場合の一例を模式的に示すものであり、焼入れ対象面Ｓの第１方向ＡをワークＷの幅方向、第１方向Ａと交差（直交）する焼入れ対象面Ｓの第２方向ＢをワークＷの長手方向としている。この場合、帯状レンズ部２３としては、第１方向Ａの寸法Ｚ以上の長手方向寸法Ｌ（図示例ではＬ＞Ｚとしている）を有する線状（直線状）のビームスポットＢＳを焼入れ対象面Ｓ上に形成可能なものが使用され、駆動機構としては、ワークＷと帯状レンズ部２３とをワークＷの長手方向に沿って相対移動させるものが使用される。
【００４１】
本発明は前述した実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得る。すなわち、本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。
【符号の説明】
【００４２】
３      外側継手部材
５      軸部
１９    レーザ焼入れ装置
２０    レーザ照射装置
２１    レーザ発振器
２２    光学系
２３    帯状レンズ部
２３ａ  ビーム入射面
２４    シリンドリカルレンズ
２５    光ファイバー
２５ａ  出口側端部
２６    コリメート部
Ａ      第１方向
Ｂ      第２方向
ＢＳ    ビームスポット
Ｌ      長手方向寸法
Ｌａ    長手方向寸法
ＬＢ    レーザビーム
ＬＢ’  平行光
Ｑ      表面硬化層
Ｓ      焼入れ対象面
Ｗ      ワーク
Ｗａ    外径面
【図１】
2020176307.tif 000003
【図２】
2020176307.tif 000004
【図３】
2020176307.tif 000005
【図４】
2020176307.tif 000006
【図５】
2020176307.tif 000007
【図６】
2020176307.tif 000008
【図７】
2020176307.tif 000009
【図８】
2020176307.tif 000010
【図９】
2020176307.tif 000011