(57)【要約】【課題】シグナルタワーを用いるよりも早くかつ明確に、加工装置の情報を作業者に伝達する。【解決手段】加工装置は、加工終了が間近であること、加工が一時停止されていること、切削ブレードの交換時期が間近であることを認識すると、その情報を、通信端末５に送信する。そして、通信端末５は、その情報を、タッチパネル５３に表示する。したがって、作業者は、加工装置から離れたところにいても、加工終了、エラー停止あるいは切削ブレードの交換に関する加工装置の状態を、自身の携帯する通信端末５を介して把握することができる。このため、加工装置の前に行って画面を見なくとも、作業者は、加工装置の状態を把握することができる。【選択図】図２
2020194902.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を加工具で加工する加工装置と、該加工装置と通信することによって該加工装置の状態を把握する通信端末とを備えた通信システムであって、
該加工装置に備えられ、複数の被加工物を収容したカセットから１枚ずつ取り出された被加工物の加工中に、該カセットに収容されているすべての被加工物の加工が終了する前に、加工終了が間近であることを認識する第１認識部と、被加工物の加工中に、何らかの異常によって加工が一時停止されていることを認識する第２認識部と、該加工具の交換時期が間近であることを認識する第３認識部と、のうちの少なくとも１つの認識部と、
該加工装置に備えられ、該認識部が認識する該加工装置の状態を示す情報を該通信端末に送信する装置制御部と、
該通信端末に備えられ、該加工装置から送信された該加工装置の状態を示す情報を表示部に表示する端末制御部と、を含む通信システム。
【請求項２】
該端末制御部は、該表示部に表示された該加工装置の状態を示す情報が選択されると、該情報を通知した加工装置に、該情報の詳細内容を求める詳細確認指令を発信するとともに、該加工装置から送信された詳細内容を該表示部に表示するように構成されており、
該装置制御部は、該端末制御部からの該詳細確認指令に対応する詳細内容を該通信端末に送信するように構成されている、
請求項１記載の通信システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通信システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハを切削ブレードで切削加工する切削装置は、クリーンルーム内に複数台設置されていて、作業者は、複数の切削装置を使用している。
【０００３】
切削装置では、複数のウェーハが収納されたカセットから、１枚ずつ、ウェーハが取り出されて、チャックテーブルに保持され、切削加工される。切削加工されたウェーハは、再びカセットに収納される。
【０００４】
カセットに収納されている未加工のウェーハがすべて切削されたら、シグナルタワーにおける切削加工が終了した旨を通知するランプが点灯する。これにより、切削加工が終了したことが、作業者に通知される。
【０００５】
また、切削装置は、切削ブレードが破損した事を検知するブレード破損検知手段を備えている。ブレード破損検知手段は、切削加工中に、切削ブレードが破損した事を検知した場合、切削加工を一時停止させ、シグナルタワーにおける異常停止ランプ（異常が発生したために一時停止している旨を通知するためのランプ）を点灯させる。これにより、切削装置が異常停止されたことが、作業者に通知される。
このような技術は、たとえば、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−０８９８５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように、切削装置では、加工が終了した後、また、異常が発生した後に、シグナルタワーのランプを用いて、その情報が作業者に通知される。このため、作業者は、切削装置の状態を把握するためには、シグナルタワーを確認する必要がある。そのため、作業者が、シグナルタワーに気づいて対処を施すまで、切削装置が待機状態となり、無駄が発生する。
【０００８】
本発明の目的は、シグナルタワーを用いるよりも明確に、切削装置等の加工装置の情報を作業者に伝達することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の通信システム（本システム）は、被加工物を加工具で加工する加工装置と、該加工装置と通信することによって該加工装置の状態を把握する通信端末とを備えた通信システムであって、該加工装置に備えられ、複数の被加工物を収容したカセットから１枚ずつ取り出された被加工物の加工中に、該カセットに収容されているすべての被加工物の加工が終了する前に、加工終了が間近であることを認識する第１認識部と、被加工物の加工中に、何らかの異常によって加工が一時停止されていることを認識する第２認識部と、該加工具の交換時期が間近であることを認識する第３認識部と、のうちの少なくとも１つの認識部と、該加工装置に備えられ、該認識部が認識する該加工装置の状態を示す情報を該通信端末に送信する装置制御部と、該通信端末に備えられ、該加工装置から送信された該加工装置の状態を示す情報を表示部に表示する端末制御部と、を含む。
【００１０】
本システムでは、該端末制御部は、該表示部に表示された該加工装置の状態を示す情報が選択されると、該情報を通知した加工装置に、該情報の詳細内容を求める詳細確認指令を発信するとともに、該加工装置から送信された詳細内容を該表示部に表示するように構成されていてもよく、該装置制御部は、該端末制御部からの該詳細確認指令に対応する詳細内容を該通信端末に送信するように構成されていてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本システムでは、作業者は、加工装置から離れ見えないところにいても、加工終了、異常停止あるいは加工具の交換に関する加工装置の状態を、通信端末を介して把握することができる。このため、作業者は、加工装置に備えられているシグナルタワーを用いるよりも早くかつ明確に、加工装置の状態を把握することができる。
【００１２】
また、作業者は、加工装置の状態を把握するために、作業を中断して加工装置に近づく必要がないとともに、加工装置のシグナルタワーを確認する必要もない。これにより、作業者は、作業を継続すること、および、加工装置の状態に応じて、次の加工のための準備を実施することができる。その結果、生産性を高めることができる。
【００１３】
また、本システムに複数の加工装置が含まれている場合、作業者は、各加工装置の状態を、各加工装置のそれぞれに足を運ぶことなく、把握することができる。これにより、加工装置の状態把握に関する効率を、大幅に高めることができる。
【００１４】
また、本システムでは、通信端末の端末制御部は、上記のように、加工装置に、情報の詳細内容を求める詳細確認指令を発信し、加工装置から送信された詳細内容を表示部に表示してもよい。これにより、作業者は、情報の詳細内容を、容易に把握することが可能となる。また、作業者は、情報の詳細内容を確認した上で、作業の優先順位を決定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態にかかる通信システムに関する加工装置および通信端末を示す説明図である。
【図２】加工装置から送信される加工装置情報の表示例を示す説明図である。
【図３】加工装置から送信される詳細内容の表示例を示す説明図である。
【図４】通信端末からの詳細確認指令と、この詳細確認指令に応じた加工装置からの詳細内容の表示例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１に示すように、本実施形態にかかる通信システム１は、被加工物であるウェーハＷを加工する加工装置３、および、加工装置３と通信することにより加工装置３の状態を把握する通信端末５を備えている。通信システム１では、加工装置３と通信端末５との間の通信が実現される。
なお、図１には１台の加工装置３が示されているけれども、通信システム１は、複数台の加工装置３を含むことが可能であり、この場合、通信端末５は、複数の加工装置３と通信する。
【００１７】
加工対象となるウェーハＷは、概略円形状を有し、表面に格子状の分割予定ラインＬが形成されている。分割予定ラインＬによって区画された各領域には、各種デバイス（図示せず）が形成されている。
【００１８】
ウェーハＷの裏面には、ダイシングテープＴが貼着されている。ダイシングテープＴの外周には、リングフレームＦが貼着されている。このように、ウェーハＷは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持されたワークセットＷ１の状態で、加工装置３において加工される。また、ワークセットＷ１は、図示しないカセットに収容されて、加工装置３に搬入される。
【００１９】
以下に、加工装置３および通信端末５の構成について説明する。
【００２０】
加工装置３は、ワークセットＷ１（ウェーハＷ）をフルオート加工することが可能なものである。加工装置３は、支持台１０、支持台１０に立設された直方体状の筐体１２、筐体１２に内蔵され、加工装置３の各部材を制御する装置制御部１４、および、筐体１２の前面に備えられたアンテナ１５を有している。アンテナ１５は、加工装置３と通信端末５などの外部装置との通信に使用される。
また、アンテナ１５は、加工装置３に備えられなくても良く、加工装置３と有線接続された通信機器（ルータ）１９に配設されていても良い。また、通信機器１９を複数配置してもよい。
【００２１】
支持台１０の一端側には、複数のワークセットＷ１を保持するカセット（図示せず）が載置されるカセットステージ１６が設けられている。
【００２２】
カセットステージ１６と保持テーブル２０との間には、ワークセットＷ１を搬送するプッシュプル手段１７が設けられている。また、保持テーブル２０の筐体１２側には、ワークセットＷ１を仮置きする仮置き手段１８が設けられている。プッシュプル手段１７は、カセットステージ１６上のカセットから仮置き手段１８に、加工前のワークセットＷ１を搬送および載置する。仮置き手段１８は、ワークセットＷ１のＸ軸方向の位置決めを実施する。
【００２３】
なお、プッシュプル手段１７は、カセットから１枚ずつ取り出されたウェーハＷ（ワークセットＷ１）の加工中に、カセット内のすべてのウェーハＷに対する加工の終了が間近であるか否かを監視している。そして、加工終了が間近となったときに、プッシュプル手段１７は、カセットに収容されているすべてのウェーハＷの加工が終了する前に、加工装置３の状態として、加工終了が間近となったことを認識する。プッシュプル手段１７は、第１認識部の一例に相当する。
たとえば、プッシュプル手段１７は、カセットに残った最後の１枚のワークセットＷ１を取り出して仮置き手段１８に載置したときに、加工終了が間近であることを認識する。
【００２４】
仮置き手段１８上のワークセットＷ１は、図示しない搬送手段によって、保持テーブル２０に搬送および載置される。
【００２５】
保持テーブル２０は、移動板２１上に固定されている。移動板２１は、蛇腹状の防水カバーＣとともに、支持台１０の上面中央の開口を覆っている。移動板２１および防水カバーＣの下方には、移動板２１および保持テーブル２０をＸ軸方向に移動させる、たとえばボールねじ式の切削送り機構（図示せず）が設けられている。
【００２６】
保持テーブル２０は、ポーラスセラミック材からなる保持面を有している。この保持面に生じる負圧によって、ワークセットＷ１のウェーハＷが吸引保持される。保持テーブル２０の周囲には、４つのクランプ２２が設けられている。各クランプ２２によって、ワークセットＷ１のリングフレームＦが、四方から挟持固定される。
【００２７】
保持テーブル２０の上方における筐体１２の前面には、保持テーブル２０に保持されているワークセットＷ１のウェーハＷを切削加工する切削機構３０が備えられている。切削機構３０は、互いに同様の構造を有する第１切削装置３１および第２切削装置３３、ならびに、第１切削装置３１および第２切削装置３３をＹ軸方向に沿ってインデックス送りするためのＹ軸方向移動手段３５を備えている。
【００２８】
第１切削装置３１および第２切削装置３３は、それぞれの下端に、切削ブレードを有する切削部３７を備えており、切削部３７をＺ軸方向に沿って移動させることが可能である。
【００２９】
このような構成を有する切削機構３０では、第１切削装置３１、第２切削装置３３およびＹ軸方向移動手段３５によって、切削部３７のＹＺ面内での位置が調整される。そして、切削部３７の切削ブレードによって、Ｘ軸方向に切削送り（加工送り）される保持テーブル２０に保持されたワークセットＷ１におけるウェーハＷが、分割予定ラインＬに沿って切削加工される。
【００３０】
なお、切削部３７には、切削ブレードの状態を検出するブレード状態検出部３８が備えられている。切削ブレードは、加工具の一例である。切削ブレードの状態とは、たとえば、切削ブレードの磨耗状況である。そして、ブレード状態検出部３８は、加工装置３の状態として、切削ブレードの交換時期が間近であることを認識する。ブレード状態検出部３８は、第３認識部の一例に相当する。たとえば、ブレード状態検出部３８は、切削ブレードの磨耗量を検出し、磨耗量が所定値を超えたときに、切削ブレードの交換時期が間近であることを認識する。
【００３１】
切削加工後、ワークセットＷ１は、図示しない搬送手段によって、保持テーブル２０から、保持テーブル２０の奥側のスピンナ洗浄手段２４に送られる。スピンナ洗浄手段２４は、高速回転されたワークセットＷ１に向けて洗浄水を噴射してワークセットＷ１を洗浄した後、乾燥エアを噴射してワークセットＷ１を乾燥させる。
【００３２】
また、筐体１２の側面には、タッチパネル４０が設置されている。タッチパネル４０には、加工装置３に関する加工条件等の各種情報が表示される。また、タッチパネル４０は、加工条件等の各種情報を設定するためにも用いられる。このように、タッチパネル４０は、情報を入力するための入力手段として機能するとともに、入力された情報を表示するための表示手段としても機能する。
【００３３】
装置制御部１４は、各種の処理を実行し、加工装置３の各構成要素を統括制御する。たとえば、装置制御部１４には、各種検出器（図示せず）からの検出結果が入力される。また、装置制御部１４は、切削送り機構、第１切削装置３１、第２切削装置３３およびＹ軸方向移動手段３５を制御して、ワークセットＷ１のウェーハＷに対する切削部３７による切削加工を実施する。
【００３４】
さらに、装置制御部１４は、ウェーハＷの加工中に、何らかの異常が生じた場合、必要に応じて、加工装置３による加工を一時停止する。すなわち、装置制御部１４は、ウェーハＷの加工中に、加工装置３の状態として、何らかの異常（エラー）によって加工が一時停止されていることを認識する第２認識部としても機能する。
また、装置制御部１４は、通信端末５と通信するための通信制御部としても機能する。
【００３５】
通信端末５は、たとえばスマートフォンあるいはタブレットなどの携帯可能な端末装置であり、加工装置３の作業者に携帯される。図１に示すように、通信端末５は、筐体５１、タッチパネル５３、および、筐体５１に内蔵され、通信端末５の各部材を制御する端末制御部５５を備えている。
【００３６】
通信端末５のタッチパネル５３は、加工装置３のタッチパネル４０と同様に、作業者に情報を表示する表示部として、および、作業者による情報の入力のための入力部として機能する。
端末制御部５５は、各種の処理を実行し、通信端末５の各構成要素を統括制御する。
【００３７】
次に、加工装置３と通信端末５との間の通信について説明する。
装置制御部１４は、装置制御部１４自身、プッシュプル手段１７およびブレード状態検出部３８のいずれかが認識した加工装置３の状態、すなわち、加工が一時停止されていること、加工終了が間近であること、あるいは切削ブレードの交換時期が間近であることを、加工装置３の状態を示す情報（加工装置情報）として、アンテナ１５を介して通信端末５に送信する。
【００３８】
端末制御部５５は、加工装置３から送信された加工装置情報を、表示部であるタッチパネル５３に表示する。
なお、通信システム１が複数の加工装置３を含んでいる場合、端末制御部５５は、全てのあるいは一部の加工装置３からの加工装置情報をタッチパネル５３に表示する。
【００３９】
図２に、加工装置情報の表示例を示す。この図に示す例では、通信端末５は、８台の加工装置３（ＤＩＣＥＲ−１〜ＤＩＣＥＲ−８）と通信しており、これらから加工装置情報を受信している。
【００４０】
この画面の右上に表示されている「ＬＡＮＧ」ボタンは、表示される文字の言語を切り換えるためのものである。また、画面の下方には、「時刻順」、「名前順」、および「優先度順」という３つのボタンが並んでいる。これらは、各加工装置３から送信された加工装置情報における表示順序を定めるためのものである。
【００４１】
「時刻順」ボタンが選択されると、各加工装置情報の表示順序が、通信端末５に送信された時刻に応じた順序となる。「装置名称」ボタンが選択されると、各加工装置情報の表示順序が、それらを送信した加工装置３の名称（ＤＩＣＥＲ−１〜ＤＩＣＥＲ−８のいずれか）に応じた順序となる。また、「優先度順」ボタンが選択されると、加工装置情報の表示順序が、それらの優先度に応じた順序となる。
【００４２】
さらに、「優先度順」の右隣の領域に、「↓」というボタンが表示されている。この領域は、決定された表示順序における並び方向（昇順／降順）を定めるためのものである。
図２に示す例では、「優先度順」および「降順（↓）」選択されている。したがって、優先度の高い加工装置情報であるほど上方に示されている。なお、「昇順」が選択された場合、「↓」に代えて「↑」が表示される。
【００４３】
そして、この図に示す例では、ＤＩＣＥＲ−１およびＤＩＣＥＲ５〜８がエラー停止していること、すなわち、ＤＩＣＥＲ−１およびＤＩＣＥＲ５〜８では、何らかのエラーによって加工が一時停止されていることを示す加工装置情報が、優先度の高い情報として、画面の上方に表示されている。
【００４４】
さらに、その下方には、ＤＩＣＥＲ−４のブレード交換時期が間近であることを示す加工装置情報、および、ＤＩＣＥＲ−３のフルオート加工の終了が間近であることを示す加工装置情報が、この順で表示されている。
【００４５】
作業者は、タッチパネル５３に表示されている複数の加工装置情報のなかから、１つの加工装置情報を、それに触れることにより選択することができる。通信端末５の端末制御部５５（図１参照）は、タッチパネル５３に表示された加工装置情報が選択されると、選択された加工装置情報を通知した加工装置３に、この加工装置情報の詳細内容を求める詳細確認指令を発信する。
【００４６】
この詳細確認指令を受けた加工装置３の装置制御部１４は、端末制御部５５からの詳細確認指令に対応する詳細内容を、通信端末５に送信する。
さらに、詳細確認指令を発信した通信端末５の端末制御部５５は、加工装置３から送信された詳細内容を、タッチパネル５３に表示する。
【００４７】
たとえば、作業者が、通信端末５のタッチパネル５３を用いて、図２に示す例における最上段にある、ＤＩＣＥＲ−１のエラー停止に関する加工装置情報に触れるとする。この場合、通信端末５の端末制御部５５は、ＤＩＣＥＲ−１としての加工装置３に、エラー停止に関する詳細内容を求める詳細確認指令を発信する。
【００４８】
これに応じて、ＤＩＣＥＲ−１としての加工装置３の装置制御部１４は、エラー停止に関する詳細内容を、加工装置３に送信する。そして、通信端末５の端末制御部５５は、加工装置３から送信された詳細内容を、図３に示すように、タッチパネル５３に表示する。
【００４９】
図３に示す詳細内容は、ＤＩＣＥＲ−１としての加工装置３に、「Ｖ０１９３  ワークバキュームエラー」、「Ｅ０５６７  ウェーハ洗浄水が異常です」、および、「Ｋ００３９  カーフチェック：オフセンターエラー」という３つのエラーが生じていることを示す文字列を含んでいる。また、この詳細内容は、オフセンターエラーが生じていることを示す画像Ｇ１も含んでいる。
【００５０】
あるいは、作業者が、通信端末５のタッチパネル５３を用いて、図２に示す例における下から２段目にある、ＤＩＣＥＲ−４のブレード交換時期に関する加工装置情報に触れるとする。この場合、端末制御部５５は、ＤＩＣＥＲ−４としての加工装置３に、ブレード交換時期に関する詳細内容を求める詳細確認指令を発信する。
【００５１】
本実施形態では、この場合、図４に示すように、通信端末５の端末制御部５５は、詳細確認指令として、「ブレード磨耗量（％）」を問う詳細確認指令を発信する。また、この場合には、端末制御部５５は、この詳細確認指令を含む加工装置３との間での送受信内容を、送受信の時刻とともにタッチパネル５３にタイムライン表示する。
【００５２】
この詳細確認指令に応じて、ＤＩＣＥＲ−４としての加工装置３の装置制御部１４は、ブレード交換時期に関する詳細内容を、通信端末５に送信する。そして、通信端末５の端末制御部５５は、加工装置３から送信された詳細内容を、図４に示すようにタッチパネル５３に表示する。
【００５３】
図４に示す詳細内容では、図１に示した２つの切削部３７の切削ブレードのそれぞれが、Ｚ１およびＺ２として区別されている。そして、この詳細内容は、Ｚ１の切削ブレードの型番「２７ＨＥＥＤ」および磨耗量「３３％」と、Ｚ２の切削ブレードの型番「２７ＨＥＥＤ」および磨耗量「６７％」とを含んでいる。
【００５４】
以上のように、本実施形態の通信システム１では、加工装置３は、加工終了が間近であることを認識する第１認識部としてのプッシュプル手段１７と、何らかの異常によってウェーハＷの加工が一時停止されていることを認識する第２認識部としての装置制御部１４と、切削ブレードの交換時期が間近であることを認識する第３認識部としてのブレード状態検出部３８とを備えている。
【００５５】
さらに、加工装置３では、装置制御部１４が、いずれかの認識部が認識する加工装置３の状態を示す加工装置情報を、通信端末５に送信する。そして、通信端末５の端末制御部５５が、加工装置３から送信された加工装置情報を、タッチパネル５３に表示する。
【００５６】
このように、通信システム１では、加工装置３の作業者は、加工装置３から離れたところにいても、加工終了、エラー停止あるいは切削ブレードの交換に関する加工装置３の状態を、自身の携帯する通信端末５を介して把握することができる。このため、シグナルタワーを用いるよりも早くかつ明確に、作業者は、加工装置３の状態を把握することができる。また、作業者は、加工装置３の前に行ってタッチパネル４０を見なくとも、加工装置３の状態を把握することができる。
【００５７】
また、作業者は、加工装置３の状態を把握するために、作業を中断して加工装置３に近づく必要がないとともに、加工装置３のシグナルタワーを確認する必要もない。これにより、作業者は、作業を継続すること、および、加工装置３の状態に応じて、次の加工のための準備を実施することができる。その結果、生産性を高めることができる。
【００５８】
また、通信システム１に複数の加工装置３が含まれている場合、作業者は、各加工装置３の状態を、各加工装置３のそれぞれに足を運ぶことなく、把握することができる。これにより、加工装置３の状態把握に関する効率を、大幅に高めることができる。
【００５９】
また、本実施形態の通信システム１では、通信端末５の端末制御部５５は、タッチパネル５３に表示された加工装置情報が選択されると、この情報を通知した加工装置３に、この情報の詳細内容を求める詳細確認指令を発信する。さらに、端末制御部５５は、加工装置３から送信された詳細内容を、タッチパネル５３に表示する。
【００６０】
これにより、作業者は、加工装置情報の詳細内容を、容易に把握することが可能となる。また、作業者は、加工装置情報の詳細内容を確認した上で、各加工装置情報に関する作業の優先順位を決定することができる。
【００６１】
なお、作業者が、タッチパネル５３を用いて、図２に示す例における最下段にある、ＤＩＣＥＲ−３のフルオート加工の終了に関する加工装置情報に触れるとする。この場合、端末制御部５５は、ＤＩＣＥＲ−３としての加工装置３に、フルオート加工の終了に関する詳細内容を求める詳細確認指令を発信する。
【００６２】
この場合、端末制御部５５は、たとえば、「終了するまでにかかる時間」を問う詳細確認指令を発信する。この詳細確認指令に応じて、ＤＩＣＥＲ−３としての加工装置３の装置制御部１４は、終了するまでにかかる時間を算出して、この時間を含む詳細内容を通信端末５に送信する。そして、通信端末５の端末制御部５５は、加工装置３から送信された詳細内容を、タッチパネル５３に表示する。
【００６３】
すなわち、加工装置３の装置制御部１４は、ウェーハＷのサイズ、インデックス送りの量、および、加工送りの速度から、１枚のウェーハＷの切削加工にかかる時間を、予め計算して取得している。つまり、装置制御部１４は、カセットから保持テーブル２０にウェーハＷを搬送する時間、ウェーハＷを切削加工する時間、保持テーブル２０からスピンナ洗浄手段２４にウェーハＷを搬送する時間、スピンナ洗浄の時間、および、スピンナ洗浄手段２４からウェーハＷを搬送してカセットに収納する時間、を予め取得している。装置制御部１４は、これらの時間と、詳細確認指令の受信のタイミングとに基づいて、終了するまでにかかる時間を算出して、詳細内容として通信端末５に送信する。
【００６４】
たとえば、装置制御部１４は、最後のウェーハＷがスピンナ洗浄中であるときに通信端末５から詳細確認指令を受信した場合、スピンナ洗浄の残り時間と、スピンナ洗浄手段２４からウェーハＷを搬送してカセットに収納する時間との合計の時間を、終了するまでにかかる時間として、通信端末５に送信する。通信端末５の端末制御部５５は、この時間を、タッチパネル５３に表示する。
【００６５】
これに関し、ある加工装置３の加工が終了間近であるという加工装置情報を加工装置３が受信した場合、作業者は、これにすぐに対応することができないこともある。本実施形態では、このような場合でも、作業者に、終了するまでにかかる時間を知らせることが可能である。これにより、作業者の作業効率を高めることができる。
【００６６】
また、本実施形態では、加工装置３が、第１認識部としてのプッシュプル手段１７と、第２認識部としての装置制御部１４と、ブレード状態検出部３８とを備えている。これに代えて、加工装置３は、第１認識部、第２認識部および第３認識部として機能するセンサーを、別途に備えていてもよい。また、加工装置３は、第１認識部、第２認識部および第３認識部の全てを備えなくてもよく、少なくともいずれか１つの認識部を備えていればよい。
【００６７】
また、本実施形態では、通信端末５の端末制御部５５が、加工終了が間近であること、エラー停止が生じたこと、およびブレードの交換時期が間近であることを示す加工装置情報が加工装置３から送信されたとき、その加工装置情報をタッチパネル５３に表示する。これに加えて、端末制御部５５は、たとえばエラー停止に関する加工装置情報を受信したときに、通信端末５を音や振動をさせるように設定されていてもよい。これにより、作業者に対して、より強く注意を喚起することができる。
【００６８】
また、本実施形態では、通信端末５は、作業者によって携帯可能な端末装置である。これに代えて、通信端末５は、デスクトップ型のコンピュータなどの、作業者の作業場所に据え置かれた端末装置であってもよい。
【００６９】
また、本実施形態では、加工装置３の装置制御部１４と通信端末５の端末制御部５５とが、アンテナ１５およびアンテナ５７を介した無線通信を実施している。これに代えて、加工装置３の装置制御部１４と通信端末５の端末制御部５５とが、有線通信を実施してもよい。
【００７０】
また、加工装置３と通信端末５とは、無線あるいは有線によって直接的に通信してもよいし、インターネットあるいはイントラネットなどのネットワークを介して通信してもよい。この場合、作業者は、加工装置３の設置場所とは別の施設などの遠隔地にいる場合でも、加工装置３および通信端末５をネットワークに接続することにより、加工装置３の状態を把握することができる。
【００７１】
また、本実施形態では、被加工物を加工する加工装置として、ウェーハＷを切削加工する加工装置３を例示している。これに代えて、本実施形態の通信システム１が適用される加工装置は、たとえば、被加工物を研削加工する研削装置、被加工物をレーザー光によって加工するレーザー加工装置、被加工物をバイト切削するバイト切削装置、被加工物を洗浄および乾燥する洗浄装置、被加工物をチップに分割するためのエキスパンド装置、あるいは、被加工物にテープを取り付けるテープマウンタであってもよい。
【符号の説明】
【００７２】
１：通信システム、
３：加工装置、１５：アンテナ、３７：切削部、
４０：タッチパネル、１４：装置制御部、
５：通信端末、５３：タッチパネル、５７：アンテナ、５５：端末制御部
【図１】
2020194902.tif 000003
【図２】
2020194902.tif 000004
【図３】
2020194902.tif 000005
【図４】
2020194902.tif 000006