(57)【要約】【課題】液体吐出記録ヘッドの流路部を複数の部品を積層接着して構成する工程において、封止部の劣化によるヘッド寿命を延長させ、かつ安定させることが可能な液体吐出記録ヘッドおよびその製造方法ならびにそれを備えた液体吐出記録装置を提供すること。【解決手段】液体を吐出するための複数のノズル、該複数のノズルに供給する液体を貯留する共通液室、および該共通液室に連通する開口部が設けられている吐出チップと、前記開口部に対向する部分に、前記開口部が露出するように形成された供給口を有する中間部材と、前記共通液室に前記液体を供給する液体供給部材とを有し、前記吐出チップと前記中間部材と前記液体供給部材とが順に積層接着されている液体吐出記録ヘッドの提供。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための複数のノズル、該複数のノズルに供給する液体を貯留する共通液室、および該共通液室に連通する開口部が設けられている吐出チップと、
前記開口部に対向する部分に、前記開口部が露出するように形成された供給口を有する中間部材と、
前記共通液室に前記液体を供給する液体供給部材と、を有し、
前記吐出チップと前記中間部材と前記液体供給部材が順に積層接着されている、
液体吐出記録ヘッド。
【請求項２】
前記中間部材の線膨張率は、前記吐出チップの線膨張率と前記液体供給部材の線膨張率の間であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項３】
前記吐出チップと前記中間部材とは第１の接着剤により接着され、前記中間部材と前記液体供給部材とは第２の接着剤により接着され、前記第１の接着剤と前記第２の接着剤とが異なることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項４】
前記第１の接着剤がシリコーン系接着剤であることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項５】
前記吐出チップと前記中間部材の接着面に対して垂直方向の断面において、前記中間部材の接着面幅は前記吐出チップの接着面幅と同一もしくはそれよりも小さいことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項６】
前記吐出チップと前記中間部材の接着面全域において、
前記吐出チップと前記中間部材との間の接着部の断面形状が均一である
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体吐出記録ヘッドを含む記録装置。
【請求項８】
液体を吐出するための複数のノズル、該複数のノズルに供給する液体を貯留する共通液室、および該共通液室に連通する開口部が設けられている吐出チップと、
前記開口部に対向する部分に、前記開口部が露出するように形成された供給口を有する中間部材と、
前記共通液室に前記液体を供給する液体供給部材と、
を有する液体吐出記録ヘッドの製造方法であって、
第１の接着剤により、前記吐出チップと前記中間部材とを積層接着する第一の工程と、
前記第一の工程のあとに、第２の接着剤により、前記中間部材と前記液体供給部材とを接着する第二の工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記第一の工程において、
前記吐出チップと前記中間部材の接着面の断面方向において、
前記中間部材の接着面幅は前記吐出チップの接着面幅と同一もしくはそれよりも小さい
ことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記第一の工程において、
前記吐出チップと前記中間部材の接着面全域において、
前記吐出チップと前記中間部材との間の接着部の断面形状が均一である
ことを特徴とする請求項８または９記載の液体吐出記録ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記第１の接着剤はシリコーン系接着剤であることを特徴とする請求項８〜１０のいずれか一項に記載の液体吐出記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録のためにインクなどの液体を吐出する液体吐出記録ヘッドの製造方法および液体吐出記録装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出記録ヘッドから記録媒体に対して液体を吐出して記録を行う液体吐出記録装置（以下、単に記録装置ともいう）においては、一般に液体が吐出される複数のノズルが高密度に形成された液体吐出記録ヘッドを用いて高精細な記録が行われる。この液体出記録ヘッドを複数配置し、当該液体として、各々のヘッドに異なる色のインクを供給することにより、比較的安価かつ小型な構成で、記録媒体にカラー記録を行うことができる。そのため液体吐出記録装置は、業務用、家庭用を問わず、プリンタ、ファクシミリおよび複写機など、様々な記録装置に用いられている。
【０００３】
上記のような液体吐出記録ヘッドは、液体吐出のためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有し、一般的に、液体を吐出するための複数のノズルとなる液路を形成した部材と、その各ノズルに供給される液体を貯える共通液室となる部材と、共通液室に外部（インクタンクなど）から液体を供給するための液体供給部材と、から構成され、これらの部材を貫いて連続した液体流路が形成されている。このように、液体流路は複数の部材から形成されているため、各部材の接続部位は液体漏れやエアの侵入を防止するために外部と確実に遮断される必要があり、押圧や接着といった方法で接合され、封止されている。
【０００４】
特許文献１ではその封止信頼性を確保するための構成および製造方法が提案されている。
【０００５】
図５を用いてその概略を説明すると、液体吐出記録ヘッドを製造する際に、第１の部材１５０に開口部１５５を設け、第２の部材２１０の開口部周囲と対向する部分に、第１の部材１５０と接合される接合部を設け、第１の部材１５０の開口部１５５周囲及び第２の部材２１０の接合部の少なくとも一方に、複数の溝５５０を形成し、第１の部材１５０の開口部１５５周囲と第２の部材２１０の接合部とを封止剤６５０によって封止する。
【０００６】
このようにすると、２つの部材の接合部分を封止剤によって封止する際に、接合部分を構成する第１及び第２の部材の一方に複数の溝が設けられているので、封止剤が毛細管現象によって溝内に略均一に拡散するために封止が確実に行われ、かつ溝のエッジで封止剤自身の表面張力によって接合部分の外部へ封止剤が流出するのを防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−４３９５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような構成および製造方法に有効な封止剤として、硬化前は流動性を有し、硬化後には弾性を有する湿度硬化型のシリコーン系封止剤が適している。製造時には流動性を有するため、接合部材間の微細な隙間を埋めることができ、封止信頼性を確保することができる。また、線膨張率が異なる材料からなる複数の部材を接合して構成された液体吐出ヘッドにおいては、硬化後に封止材が弾性を持っているため、液体吐出時等に発生する熱応力を緩和できることで、接合された部材の破損を防止することができる。
【０００９】
一方で、シリコーン系封止剤は硬化させる時の環境（温度や湿度）や硬化時間、接着部の形状が硬化後の接着強度や接着耐久性に影響する。接着耐久性が不十分だと液体に接触している部分から接着界面に徐々に液体が浸入し、経時的に剥離が発生する。そして、剥離部分が外部まで到達するとヘッド内の密閉性が損なわれ、ヘッドの機能を満足させることができない。そのため、局所的にでも接着耐久性が低い部分があると、ヘッドの寿命を保証することが難しい。
【００１０】
したがって、本発明は複数の部品を積層接着および封止してインク流路を形成するヘッドにおいて、接着耐久性を向上し、かつ接着部全域において接着性を均一化させることでヘッド寿命を延長および安定化させることが可能な液体吐出記録ヘッドおよびその製造方法ならびに液体吐出記録装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
そのため、本発明の液体吐出記録ヘッドは、
液体を吐出するための複数のノズル、該複数のノズルに供給する液体を貯留する共通液室、および該共通液室に連通する開口部が設けられている吐出チップと、
前記開口部に対向する部分に、前記開口部が露出するように形成された供給口を有する中間部材と、
前記共通液室に前記液体を供給する液体供給部材とを有し、
前記吐出チップと前記中間部材と前記液体供給部材とが順に積層接着されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、複数の部材を積層接着して液体吐出記録ヘッドの流路部を形成する液体吐出記録ヘッドにおいて、接着部における接着剤の硬化反応を促進できるため、接着耐久性を向上させることができる。
【００１３】
また、接着部全域において硬化進行度が均一となるため、ヘッド寿命を延長および安定化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】（ａ）は本実施形態の液体吐出記録ヘッドの内部構造を示す正面図であり、（ｂ）は正面図Ｉｂ−Ｉｂ線に沿う断面図である。
【図２】（ａ−１）は本実施形態の液体吐出記録ヘッドの封止部の封止剤塗布後の正面図であり、（ａ−２）は本実施形態の液体吐出記録ヘッドの封止部の液体供給中間部材および液体供給部材を組み付けた後の正面図であり、（ｂ）は封止剤塗布後の正面図ＩＩｂ−ＩＩｂ線に沿う断面図であり、(ｃ)は液体供給中間部材および液体供給部材を組み付けた後の正面図ＩＩｃ−ＩＩｃ線に沿う断面図である。
【図３】本実施形態の液体吐出記録ヘッドの封止工程を説明するための断面図である。
【図４】本発明液体吐出ヘッドを適用した液体吐出記録装置の構成例を模式的に示した正面図である。
【図５】（ａ）は従来の液体吐出記録ヘッドの封止部の構造を説明するための正面図であり、（ｂ）は封止剤塗布後の正面図Ｖｂ−Ｖｂ線に沿う断面図であり、(ｃ)は液体供給部材を組み付けた後の正面図Ｖｂ−Ｖｂ線に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
【００１６】
本明細書において「記録」とは、文字、図形等有意の情報を形成する場合のみを表すものではなく、有意無意を問わず、広く記録媒体上に画像、模様、パターン等を形成する場合、または媒体の加工を行う場合も含む。
【００１７】
また、「記録媒体」とは、一般的な記録装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能なものも表すものとする。
【００１８】
本発明の液体吐出記録ヘッドにおいて、吐出される液体には「インク」が含まれる。さらに、「インク」とは、上記「記録」の定義と同様広く解釈されるべきものである。すなわち、その「インク」は、記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成または記録媒体の加工に供される液体を表すものとする。またさらに、「ノズル」というときは、特にことわらない限り、吐出口と、これに連通する液路と、インクの吐出に利用されるエネルギーを発生する素子（電気熱変換素子やピエゾ素子など）と、を総括して言うものとする。
【００１９】
（液体記録吐出ヘッド）
図１（ａ）は本実施形態の製造方法による液体吐出記録ヘッドの構造を説明するための正面図であり、（ｂ）はＩｂ−Ｉｂ線に沿う断面図である。
【００２０】
これらの図において、セラミック製のベースプレート１０はシリコンウェハにより形成されるヒーター基板１１を支持している。ヒーター基板１１には、液体の吐出エネルギー発生素子としての複数の電気熱変換体（ヒーターまたは熱エネルギー発生部とも称される）と、これらの電気熱変換体に対応するノズル１６を構成するための複数の流路壁とが形成されている。また、ヒーター基板１１には各ノズルに連通する共通液室１２となる部分を区画する液室枠も形成されている。このように形成されたノズルの側壁および液室枠を有するヒーター基板１１の上に、シリコンウェハにより形成された、共通液室１２となる部分を有する天板１３を接合することで、ノズルおよび共通液室１２が形成された吐出チップ１３ａが構成される。このように、ヒーター基板１１と天板１３とを互いに一体化した吐出チップ１３ａがベースプレート１０に積層接着されている。ベースプレート１０におけるヒーター基板１１の後方には、実装済みのＰＣＢ（電気配線基板）４０が接着部材（図示せず）により支持されている。ヒーター基板１１上の各吐出エネルギー発生素子とＰＣＢ４０とは、各々の配線に対応するワイヤーボンディング４１により電気的に接続されている。
【００２１】
吐出チップ１３ａを構成する天板１３には、中間部材２０を介挿した状態で液体供給部材３０が積層接着されており、各々の部材には液体の流路が形成され、液体供給口２１を通じて流体連通している。
【００２２】
次に、図２を用いて、さらに詳細に、本発明の液体吐出記録ヘッドにおける封止部の構造について説明する。
【００２３】
図２（ａ−１）はベースプレート１０にヒーター基板１１と天板１３が一体化した吐出チップ１３ａが接着された状態の図であり、便宜上その後方に配置されているＰＣＢ（電気配線基板）４０は図示していない。図２（ａ−２）は吐出チップ１３ａに中間部材２０が組み付けられた状態の図である。
【００２４】
図２（ｂ）は封止剤塗布後の正面図ＩＩｂ−ＩＩｂ線に沿う断面図であり、図２(ｃ)は中間部材２０を組み付けた後の正面図およびＩＩｃ−ＩＩｃ線に沿う断面図である。図２（ｃ）の中間部材２０には、破線で示されているように、液体供給部材３０がさらに積層接着され、略密閉空間となる液室や液体供給路が形成される。
【００２５】
液体供給部材３０の材料は耐インク性を有する必要がある。また、液体吐出記録ヘッドが長尺であるほど、すなわち複数ノズルの配列範囲が大きいほど、積層接着されるシリコンウェハで形成される吐出チップ１３ａとの線膨張率の差が小さい材料が望ましい。例えば、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）が挙げられる。さらに、中間部材２０が積層される吐出チップ１３ａの接着面には、複数の封止溝１５が平行に掘り込まれている。封止溝１５は複数の開口部１４の外周に形成されている。第１の接着剤を保持する形状であればよく、好ましくは断面がＶ字型またはＵ字型をしている。これは異方性エッチング等により形成される。
【００２６】
中間部材２０は吐出チップ１３ａと液体供給部材３０の間で積層接着される際の線膨張率差によって生じる部材間の熱応力を緩和できるよう、吐出チップ１３ａと液体供給部材３０を形成する材料のそれぞれの線膨張率の間の線膨張率を有する。液体供給部材３０と中間部材２０との線膨張率の差は、５０×１０-6／Ｋ以下であることが好ましい。より好ましくは、中間部材２０は液体供給部材３０と同一の線膨張率を持つ。本発明の一実施態様において、中間部材２０はＰＰＳが用いられる。
【００２７】
図２（ａ−２）に示すように、中間部材２０と吐出チップ１３ａとの接合面には、ノズルの配列方向と略平行かつノズル列の幅に渡って矩形状の供給口（以下、液体供給口２１という）が形成されている。図２（ｃ）に二点鎖線で表されているように、中間部材２０の液体供給口２１の延長上には、液体供給部材３０の貯留室状の液体供給室３１が位置している。すなわち、液体供給部材３０と中間部材２０と吐出チップ１３ａとは各々の供給口および開口部が直線的に連通するよう積層されている。
【００２８】
本実施形態において、中間部材２０は薄板形状であり、外形寸法は吐出チップ１３ａと同一もしくはそれよりも小さくなるように設定される。本発明の液体供給口２１は、吐出チップ１３ａの開口部１４が露出するように形成されればよい。また、液体供給口２１は、任意の隣り合った開口部１４の間でさらに架橋構造（図示せず）を有してもよい。
【００２９】
中間部材２０は吐出チップ１３ａと第１の接着剤５０により接着されており、好ましくは、中間部材２０と吐出チップ１３ａとの接着領域は全域にわたって一定の幅に設定されている。すなわち、図２（ａ−２）のａ、ｂ、ｃ、およびｄの寸法は同一であることが好ましい。また、中間部材２０と吐出チップ１３ａとの接着面全域において、当該接着面の断面方向の形状は同一であることが好ましい。
【００３０】
中間部材２０および吐出チップ１３ａは上述したように線膨張率の異なる材料であるため、第１の接着剤５０には、硬化後に弾性を有する接着剤が用いられる。好ましくは、第１の接着剤５０は、シリコーン系接着剤である。
【００３１】
シリコーン系接着剤は空気中の水分と反応し、硬化が進行するとゴム状弾性体になる。その際、副生成物としてアルコールを排出する。この硬化反応を円滑にすすめるためには、封止部において水分が常に供給され、同時にアルコールを近傍から排出することが望ましい。接着部近傍が閉塞空間であったり、外気の出入りを妨げるような構造物があったりすると硬化反応が滞り、十分な接着強度が得られず、接着耐久性も低下する。
【００３２】
本実施形態の液体吐出記録ヘッドでは、吐出チップ１３ａと液体供給部材３０との間に、液体供給口２１が形成された中間部材２０が介挿されている。そのため、吐出チップ１３ａに中間部材２０を積層し、封止接着する工程において、第１の接着剤５０が十分に外気に接触することができ、接着剤の硬化を促進させることができる。
【００３３】
また、本願発明では、ノズル配列方向と交差する方向の断面において、中間部材２０の接着面の幅は吐出チップ１３ａの接着面の幅と同一もしくはそれよりも小さいため、接着部近傍に外気の出入りを妨げるような構造物がない。すなわち中間部材２０が開口部１４上に張り出すことがなく、硬化進行を阻害することがない。さらに、吐出チップ１３ａと中間部材２０の接着面全域において、接着部断面形状が一定であるため、硬化進行度が均一となる。
【００３４】
吐出チップ１３ａに積層接着された中間部材２０には、さらに液体供給部材３０が第２の接着剤６０により接着される。上述したように、中間部材２０は、吐出チップ１３ａと液体供給部材３０を形成する材料のそれぞれの線膨張率の間の線膨張率を有するため、第２の接着剤６０には硬化後に第１の接着剤５０よりも剛直に硬化する接着剤を用いることができる。例えば、第２の接着剤６０として、エポキシ系接着剤を用いることができる。一般的に、エポキシ系接着剤はシリコーン系接着剤と比較して凝集力が高いため接着力が強い。一方で、エポキシ系接着剤は硬化後の弾性が小さい。本発明の一実施態様において、中間部材２０と液体供給部材３０は同一材料のため、接着剤の硬化後の弾性は不要であり、接着力が高いエポキシ系接着剤を用いてもゆがみが生じずに接着できる。
【００３５】
次に図３を用いて、本実施形態による液体吐出記録ヘッドの封止工程について説明する。
【００３６】
図３（ａ）において、ヒーター基板１１と接合された吐出チップ１３ａの上面にシリコーン系接着剤５０を連続して塗布する。シリコーン系接着剤５０は、封止溝１５が形成された吐出チップ１３ａ上面に対して凸状に形成される。その後、図３（ｂ）のように中間部材２０を所定の位置に押し当て、その状態で接着剤が硬化するまで保持する。この硬化工程において、周囲の環境は接着剤の硬化に適した温度および湿度で管理されていることが望ましい。
【００３７】
次に図３（ｃ）のように中間部材２０の上面、すなわち液体供給部材３０との接合面にエポキシ系接着剤６０を連続して塗布する。エポキシ系接着剤６０は中間部材２０の上面に対して凸状に形成される。その後、図３（ｄ）のように液体供給部材３０を所定の位置に押し当て、保持したまま接着が硬化するまで加熱する。
【００３８】
その後、図３（ｅ）のように、ヒーター基板１１とＰＣＢ４０（図示せず）とを電気的に接続するためのワイヤーボンディング４１をシリコーン系封止剤７０にて封止することで封止工程が完了する。
【００３９】
このようにして形成された液体吐出記録ヘッドは、第１の接着剤としてシリコーン系接着剤を用いた場合であっても、硬化進行が阻害されることなく、また接着部全域において硬化進行度が均一となるため、ヘッド寿命を延長および安定化させることができる。
【００４０】
（液体吐出記録装置）
次に、液体吐出記録ヘッドを用いる液体吐出記録装置に本発明を適用した実施態様を例示する。
【００４１】
図４は、本実施態様を適用可能な液体吐出記録装置（以下、単に記録装置ともいう）を模式的に示した正面図である。記録装置２００はホストＰＣ３１０と接続されている。そして記録装置２００は、ホストＰＣ３１０から送信される記録情報に基づいて４つの液体吐出記録ヘッド（以下、単にヘッドともいう）１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙから記録媒体（以下、ロール紙ともいう）Ｐに液体を吐出して記録を行う。４つの液体吐出記録ヘッド１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙは、記録媒体Ｐの搬送方向（矢印Ａ方向）に沿って配置されている。各液体吐出記録ヘッドは搬送方向に黒インク用液体吐出記録ヘッド１００Ｋ、シアンインク用液体吐出記録ヘッド１００Ｃ、マゼンタインク用液体吐出記録ヘッド１００Ｍ、イエローインク用液体吐出記録ヘッド１００Ｙの順で互いに平行に配置されている。液体吐出記録ヘッド１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙは、いわゆるラインヘッドであり、記録媒体搬送方向と交差する方向（図では、直交する方向）に沿ってノズルを所定の密度で配置したものとなっている。ノズルの配置幅（記録媒体の搬送方向における配列範囲）は、使用する記録媒体の最大記録幅以上の幅となっている。記録装置が記録を行う際は、各ヘッドを移動させることなく、液体吐出記録ヘッドに設けられたヒーターを駆動することによってノズルから液体を吐出して記録を行う。
【００４２】
液体吐出記録ヘッドは記録に伴って、ノズルの開口部である吐出口が形成された面（以下、吐出口面ともいう）１００Ｋｓ、１００Ｃｓ、１００Ｍｓ、１００Ｙｓに塵埃やインクミスト等の異物が付着することで吐出状態が変わり、記録に影響を与えることがある。そのため、各ヘッド１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙから安定して液体を吐出できるように、記録装置２００には回復ユニット２４０が組み込まれている。この回復ユニット２４０による吐出口形成面のクリーニングを定期的に行うことによって、液体吐出記録ヘッド１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙのノズルからの液体吐出記録状態を初期の良好な吐出状態に回復させることができる。回復ユニット２４０には、クリ−ニング動作のときに４つの液体吐出記録ヘッド１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙの吐出口面１００Ｋｓ、１００Ｃｓ、１００Ｍｓ、１００Ｙｓから液体および微細な気泡を除去する際に使用されるキャップ２５０が備えられている。このキャップ２５０は各液体吐出記録ヘッド１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙに独立して設けられている。
【００４３】
記録媒体Ｐは、ロール紙供給ユニット２２４から供給され、記録装置２００に組み込まれた搬送機構２２６によって矢印Ａ方向に搬送される。搬送機構２２６は、ロ−ル紙Ｐを載置して搬送する搬送ベルト２２６ａ、この搬送ベルト２２６ａを回転させる搬送モータ２６ｂ、搬送ベルト２２６ａに張力を与えるローラ２２６ｃなどから構成されている。記録を行う際には、搬送中のロール紙Ｐがブラックの液体吐出記録ヘッド１００Ｋの下に到達すると、ホストＰＣ３１０から送られた記録情報に基づいて、液体吐出記録ヘッド１００Ｋからブラックインクが吐出される。同様に液体吐出記録ヘッド１００Ｃ、液体吐出記録ヘッド１００Ｍ、液体吐出記録ヘッド１００Ｙの順に、各色のインクが吐出されてロール紙Ｐへのカラー記録が完成する。
【００４４】
本実施形態による液体吐出記録装置は、記録用紙Ｐの記録領域の幅方向の全域に渡って延在する長尺な液体吐出記録ヘッド１００を用いた記録装置としての適用例である。しかし本発明は、液体吐出記録ヘッドの主走査方向の記録走査と、その主走査方向と交差する副走査方向における記録用紙の所定量の搬送と、を繰り返すシリアルスキャン方式の記録装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１０    ベースプレート
１１    ヒーター基板
１２    共通液室
１３    天板
１３ａ  吐出チップ
１４    開口部
１５    封止溝
１６    ノズル
２０    中間部材
２１    液体供給口
３０    液体供給部材
３１    液体供給室
１００  液体吐出記録ヘッド
２００  記録装置
【図１】
2020015174.tif 000003
【図２】
2020015174.tif 000004
【図３】
2020015174.tif 000005
【図４】
2020015174.tif 000006
【図５】
2020015174.tif 000007