(57)【要約】【課題】  製造装置の製造動作が複数の動作から構成される場合であっても、動作単位で異常を高精度に検知する。【解決手段】  故障予兆検知システム１００は、複数の動作から成り立つ製造装置２の製造動作について、各動作の正常動作時のデータを学習データとして保持するデータ記憶部１６０と、製造装置２の製造動作を測定するセンサ（加速度センサ６）と、製造動作における各動作の動作開始を検知する動作検知部１１０と、加速度センサ６が測定した測定データを動作ごとの分割データに区切って収集する分割データ収集部１８０と、動作ごとの分割データと学習データとの比較に基づいて、各動作の異常を分析するデータ分析部１４０と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の動作から成り立つ製造装置の製造動作について、各動作の正常動作時のデータを学習データとして保持するデータ記憶部と、
前記製造装置の前記製造動作を測定するセンサと、
前記製造動作における前記各動作の動作開始を検知する動作検知部と、
前記センサが測定した測定データを前記動作ごとの分割データに区切って収集する分割データ収集部と、
前記動作ごとの前記分割データと前記学習データとの比較に基づいて、前記各動作の異常を分析するデータ分析部と、
を備えることを特徴とする故障予兆検知システム。
【請求項２】
前記データ分析部による分析結果を出力する分析結果出力部をさらに備える
ことを特徴とする請求項１に記載の故障予兆検知システム。
【請求項３】
前記データ分析部は、前記動作ごとの前記分割データと前記学習データとの比較において、前記動作ごとに異なる判断基準を用いて前記各動作の異常を分析可能とする
ことを特徴とする請求項１に記載の故障予兆検知システム。
【請求項４】
前記データ分析部は、前記動作の前記分割データと前記学習データとの相関値に基づいて、当該動作における異常の有無を判断する
ことを特徴とする請求項１に記載の故障予兆検知システム。
【請求項５】
前記データ分析部は、前記動作の前記分割データと前記学習データとの相関値の推移を管理し、前記推移に基づく予測値が所定の閾値を下回るタイミングを以て故障発生の時期を予測する
ことを特徴とする請求項１に記載の故障予兆検知システム。
【請求項６】
前記製造装置による前記各動作がカラーセンサで示されるとき、前記動作検知部は、前記カラーセンサの発光に基づいて前記各動作の動作開始を検知する
ことを特徴とする請求項１に記載の故障予兆検知システム。
【請求項７】
前記センサに取り付けた振動装置をさらに備え、
前記動作検知部は、前記各動作の動作開始を検知したタイミングで前記振動装置を振動させて、前記センサが取得する前記測定データに動作間の区切りを加え、
前記分割データ収集部は、前記測定データに含まれた前記区切りに基づいて、前記測定データを前記動作ごとの前記分割データに分割する
ことを特徴とする請求項１に記載の故障予兆検知システム。
【請求項８】
前記分割データ収集部は、
ハイパスフィルタを用いて、前記測定データの波形データから前記振動装置の周波数に該当するデータを抽出することによって、前記振動装置の振動タイミングを取得し、
ローパスフィルタを用いて、前記測定データの波形データから前記振動装置の周波数に該当するデータを除去し、当該除去した後の波形データを前記振動装置の振動タイミングで分割したものを前記分割データとする
ことを特徴とする請求項７に記載の故障予兆検知システム。
【請求項９】
前記製造装置の動作ログが記録されるとき、前記動作検知部は、前記動作ログをリアルタイムで監視することにより、前記各動作の動作開始を検知する
ことを特徴とする請求項１に記載の故障予兆検知システム。
【請求項１０】
前記動作検知部は、前記各動作の動作開始の検知に基づいて、前記センサに対して前記測定データの取得のＯＦＦ／ＯＮを指示し、
前記センサは、前記動作検知部から前記ＯＦＦ／ＯＮの指示を受けるたびに、出力先のファイルを分けて前記測定データを取得する
ことを特徴とする請求項１に記載の故障予兆検知システム。
【請求項１１】
データ記憶部には、前記各動作について前記製造動作における実行順番と動作種別とが事前に登録され、
前記分割データ収集部は、前記分割データを収集した順番に応じて、前記データ記憶部に登録された前記実行順番と前記動作種別とを当該分割データに関連付ける
ことを特徴とする請求項１に記載の故障予兆検知システム。
【請求項１２】
複数の動作から成り立つ製造装置の製造動作について、各動作の正常動作時のデータを学習データとして保持する事前ステップと、
前記製造動作における前記各動作の動作開始を検知する動作検知ステップと、
前記製造装置の前記製造動作を所定のセンサで測定する測定ステップと、
前記測定ステップで測定された測定データを、前記動作ごとの分割データに区切って収集する分割データ収集ステップと、
前記動作ごとの前記分割データと前記学習データとの比較に基づいて、前記各動作の異常を分析するデータ分析ステップと、
を備えることを特徴とする故障予兆検知方法。
【請求項１３】
前記データ分析ステップでは、前記動作ごとの前記分割データと前記学習データとの比較において、前記動作ごとに異なる判断基準を用いて前記各動作の異常を分析可能とする
ことを特徴とする請求項１２に記載の故障予兆検知方法。
【請求項１４】
前記データ分析ステップでは、前記動作の前記分割データと前記学習データとの相関値に基づいて、当該動作における異常の有無を判断する
ことを特徴とする請求項１２に記載の故障予兆検知方法。
【請求項１５】
前記データ分析ステップでは、前記動作の前記分割データと前記学習データとの相関値の推移を管理し、前記推移に基づく予測値が所定の閾値を下回るタイミングを以て故障発生の時期を予測する
ことを特徴とする請求項１２に記載の故障予兆検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、故障予兆検知システム及び故障予兆検知方法に関し、複数の動作から成り立つ製造動作を行う製造装置を対象として、故障の予兆を検知する故障予兆検知システム及び故障予兆検知方法に適用して好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、装置の異常を検知する方法が広く考えられており、代表的なものとしては、装置に設置したセンサの測定データを装置が正常動作しているときのデータと比較し、差異が認められた場合に異常検知と判定する方法が知られている。
【０００３】
例えば特許文献１には、製造装置に設置した加速度センサの測定データをフーリエ変換して得られた周波数スペクトルを分析し、分析後の評価値を正常動作時の評価値と比較し、所定の条件を満たすか否かによって、製造装置の寿命を決定する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−０７４４７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に開示された寿命予測方法では、同一の製造装置が複数の異なる動作を行う場合に、それぞれの動作に対して異なる比較条件を設定することができないため、異常検知の精度が低くなるという問題があった。
【０００６】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、製造装置の製造動作が態様の異なる複数の動作から構成される場合であっても、動作単位で分析を実施して高精度で異常を検知することが可能な故障予兆検知システム及び故障予兆検知方法を提案しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる課題を解決するため本発明においては、複数の動作から成り立つ製造装置の製造動作について、各動作の正常動作時のデータを学習データとして保持するデータ記憶部と、前記製造装置の前記製造動作を測定するセンサと、前記製造動作における前記各動作の動作開始を検知する動作検知部と、前記センサが測定した測定データを前記動作ごとの分割データに区切って収集する分割データ収集部と、前記動作ごとの前記分割データと前記学習データとの比較に基づいて、前記各動作の異常を分析するデータ分析部と、を備える故障予兆検知システムが提供される。
【０００８】
また、かかる課題を解決するため本発明においては、複数の動作から成り立つ製造装置の製造動作について、各動作の正常動作時のデータを学習データとして保持する事前ステップと、前記製造動作における前記各動作の動作開始を検知する動作検知ステップと、前記製造装置の前記製造動作を所定のセンサで測定する測定ステップと、前記測定ステップで測定された測定データを、前記動作ごとの分割データに区切って収集する分割データ収集ステップと、前記動作ごとの前記分割データと前記学習データとの比較に基づいて、前記各動作の異常を分析するデータ分析ステップと、を備える故障予兆検知方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、製造装置の製造動作が複数の動作から構成される場合であっても、動作単位で異常を高精度に検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る故障予兆検知システムのハードウェア構成例を示すブロック図である。
【図２】図１に示した故障予兆検知システムの機能構成例を示すブロック図である。
【図３】収集データ管理表の構成例を示す図である。
【図４】分割データ管理表の構成例を示す図である。
【図５】動作種別管理表の構成例を示す図である。
【図６】学習データ管理表の構成例を示す図である。
【図７】分析結果管理表の構成例を示す図である。
【図８】データ分割処理の処理手順例を示すフローチャートである。
【図９】測定データ分割のイメージを説明するための図である。
【図１０】データ分析処理の処理手順例を示すフローチャートである。
【図１１】分析結果表示画面の一例を示す図である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る故障予兆検知システムの機能構成例を示すブロック図である。
【図１３】製造装置動作ログファイルの一例を示す図である。
【図１４】第２の実施の形態における収集データ管理表の構成例を示す図である。
【図１５】第２の実施の形態におけるデータ分割処理の処理手順例を示すフローチャートである。
【図１６】故障発生日予測のイメージを説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳述する。
【００１２】
（１）第１の実施の形態
（１−１）故障予兆検知システムの構成
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る故障予兆検知システムのハードウェア構成例を示すブロック図である。
【００１３】
図１に示した故障予兆検知システム１００は、主にサーバ１が製造装置２による製造動作における異常の発生を検知することによって故障の予兆検知を可能とするシステムであって、サーバ１と、動作検知センサ４、振動装置５、及び加速度センサ６とが、ＬＡＮ（Local Area Network）８を介して通信可能に接続されて構成される。また、サーバ１はＬＡＮ８を介して、ユーザの操作端末７とも通信可能に接続されている。
【００１４】
サーバ１は、一般的なサーバを利用可能であり、プロセッサであるＣＰＵ（Central Processing Unit）１１、主記憶装置であるメモリ１２、補助記憶装置１３、及びＮＩＣ（Network Interface Card）１４を備える。サーバ１では、メモリ１２が有する所定のプログラムをＣＰＵ１１が実行することにより、故障予兆検知システム１００による所定の処理（より具体的には、図２に示す動作検知部１１０、測定データ収集部１２０、測定データ分割部１３０、データ分析部１４０、及び分析結果出力部１５０の機能を実現する処理）が実行される。補助記憶装置１３は、例えばＨＤＤ（Hard Disk Drive）やＳＳＤ（Solid State Disk）であるが、その他の記憶装置であってもよい。ＮＩＣ１４は、ＬＡＮ８に接続することによってサーバ１と外部との通信を可能にするネットワークアダプタである。
【００１５】
なお、図１に示したハードウェア構成は一例であり、本実施の形態ではその他の構成であってもよい。例えば、補助記憶装置１３はサーバ１の外部の記憶装置であってもよいし、ネットワークの種類はＬＡＮ以外であってもよい。また、図１では、ユーザの操作端末７が示されているが、サーバ１側に専用の表示装置を有する構成等であってもよい。
【００１６】
製造装置２は、態様の異なる複数の動作で成り立つ製造動作を行って製品を製造する装置であって、運転ランプ３が付属されている。運転ランプ３は、製造装置２の動作状況を発光等によって報知するランプであって、例えば、製造動作に含まれる各動作の開始タイミングで点灯し、当該動作の終了タイミングで消灯するものとする。
【００１７】
動作検知センサ４は、製造装置２の動作開始を検知するセンサであって、例えば運転ランプ３に接続されたカラーセンサである。運転ランプ３が動作の開始を意味する発光（例えば点灯）を行ったとき、動作検知センサ４はそれを感知し、製造装置２で動作が開始されたことをサーバ１（図２で後述する動作検知部１１０）に通知する。
【００１８】
なお、本例では、製造装置２の動作開始を運転ランプ３が報知し、運転ランプ３の挙動を動作検知センサ４が検知するという構成にしているが、本実施の形態はこれらの構成に限定されるものではなく、製造装置２による動作開始がサーバ１に通知される構成であればよい。
【００１９】
振動装置５は、加速度センサ６に接続して設置され、サーバ１（図２で後述する動作検知部１１０）からの指示に基づいて加速度センサ６を振動させる装置である。振動装置５は、自身の振動によって加速度センサ６の測定データに区切りを与えることができる。なお、本例では、上記測定データに区切りを与えることができる装置の一例として振動装置５を用いているが、本実施の形態では、上記測定データに区切りを与える要因は振動以外であってもよく、装置の種類も限定されない。例えば上記測定データに電子信号を入力することができる装置等であってもよい。
【００２０】
加速度センサ６は、製造装置２に取付けられ、製造装置２の動作の加速度を測定するセンサである。加速度センサ６による測定データは、サーバ１（図２で後述する測定データ収集部１２０）に送信される。
【００２１】
なお、本例では、加速度センサ６が製造装置２に取付けられて加速度を測定し、振動装置５が振動によって加速度センサ６の測定データに区切りを与える構成を示すが、本実施の形態はこれらの構成に限定されるものではない。すなわち、製造装置２に取付けるセンサは、製造装置２の故障の予兆（異常の発生）を検知可能なデータを取得することができ、かつ、取得したデータが周期性を示すものであればよく、加速度センサ６に替えて電流センサ等を用いてもよい。そして、製造装置２に取付けるセンサの種類に応じて、当該センサの測定データに区切りを与えることができる装置も任意に変更することができる。例えば、加速度センサ６に替えて電流センサを用いる場合は、振動装置５に替えて、電流のＯＮ／ＯＦＦを切り替えることができる装置を用いればよい。
【００２２】
詳細は後述するが、本実施の形態では、製造動作の各動作の開始タイミングで測定データに区切りを与えることにより、データ分割処理において測定データを動作単位に分割する際の目印とすることができる。
【００２３】
図２は、図１に示した故障予兆検知システムの機能構成例を示すブロック図である。図２に示したように、故障予兆検知システム１００は、サーバ１内に、動作検知部１１０、測定データ収集部１２０、測定データ分割部１３０、データ分析部１４０、分析結果出力部１５０、及びデータ記憶部１６０を備える。
【００２４】
このうち、データ記憶部１６０は、図１に示した補助記憶装置１３によって実現され、より具体的には、補助記憶装置１３は、動作種別管理表１６１、学習データ管理表１６２、及び分析結果管理表１６３を保持する領域を有する。一方、その他の機能構成は、主にＣＰＵ１１及びメモリ１２によって実現される。そして、メモリ１２は、測定データ収集部１２０が登録する収集データ管理表１２１と測定データ分割部１３０が登録する分割データ管理表１３１とを保持する領域を有する。
【００２５】
動作検知部１１０は、動作検知センサ４による測定データを取得し、取得した測定データから製造装置２の動作開始を検知する機能を有する。さらに、動作検知部１１０は、製造装置２の動作開始を検知したタイミングで、振動装置５に所定の振動動作の実行を指示する機能を有する。なお、製造動作の開始時（言い換えれば１番目の動作の開始時）は、区切りを挿入しなくても明白であるため、動作検知部１１０は振動装置５に振動を指示しなくてもよい。本実施の形態の説明で示す各図面は、製造動作の開始時に振動動作を指示しない場合のものである。
【００２６】
測定データ収集部１２０は、製造装置２に取付けた加速度センサ６による測定データを取得し、製造された製品のシリアル番号等の情報を付与する機能を有する。また、測定データ収集部１２０は、取得した測定データと付与したシリアル番号等を収集データ管理表１２１に登録する機能を有する。
【００２７】
図３は、収集データ管理表の構成例を示す図である。収集データ管理表１２１は、測定データ収集部１２０が収集した測定データを管理するデータテーブルであって、図３に例示したように、製品種別１２１１、シリアル番号１２１２、時刻１２１３、及び波形データ１２１４を備えて構成される。
【００２８】
収集データ管理表１２１において、製品種別１２１１には、対象とする製造動作によって製造された製品の種別（製品名等）が記録され、シリアル番号１２１２には、製品種別１２１１に記録された製品を一意に識別するためのシリアル番号が記録される。すなわち、シリアル番号は、製品ごとに異なる識別番号である。なお、製品種別１２１１は、測定データ収集部１２０に予め設定された固定の情報を用いるようにしてもよいし、製造ライン全体を管理する製造システム（不図示）等から取得するようにしてもよいし、ユーザに入力されるとしてもよいし、その他の方法で取得されてもよい。シリアル番号１２１２も同様である。
【００２９】
時刻１２１３には、測定データが加速度センサ６で測定された時刻が記録される。図３の場合は、測定開始時刻を記録しているが、測定開始から測定終了までの時刻を記録する等してもよい。そして波形データ１２１４には、測定データが波形データで記録される。
【００３０】
測定データ分割部１３０は、測定データ収集部１２０が取得した測定データを製造装置２の動作単位に分割し、分割した測定データ（波形データ）ごとに動作種別を特定する機能を有する。以後、分割した測定データを「分割データ」と称する。また、測定データ分割部１３０は、分割データの波形データや特定した動作種別等を分割データ管理表１３１に登録する機能を有する。測定データ分割部１３０によるこれらの処理を「データ分割処理」と称し、その詳細な処理手順は図８，図９を参照しながら後述する。
【００３１】
図４は、分割データ管理表の構成例を示す図である。分割データ管理表１３１は、分割データを管理するデータテーブルであって、図４に例示したように、製品種別１３１１、シリアル番号１３１２、時刻１３１３、波形番号１３１４、動作別波形データ１３１５、及び動作種別１３１６を備えて構成される。
【００３２】
分割データ管理表１３１において、製品種別１３１１、シリアル番号１３１２、及び時刻１３１３には、データ分割処理で分割の対象とされた測定データに関する情報が記録される。これらは図３の収集データ管理表１２１における製品種別１２１１、シリアル番号１２１２、及び時刻１２１３に対応している。
【００３３】
波形番号１３１４には、測定データ分割部１３０が分割した測定データ（波形データ）に対して時系列順に割り当てた通し番号が記録される。動作別波形データ１３１５には、収集データ管理表１２１に記録された波形データ（波形データ１２１４）を動作ごとに分割した波形データが記録される。
【００３４】
動作種別１３１６には、動作別波形データ１３１５に記録された各波形データが、製造動作の何れの動作時のデータに相当するかを示す動作種別が記録される。
【００３５】
ここで、動作種別１３１６に記録される動作種別は、測定データ分割部１３０がデータ記憶部１６０に記憶されている動作種別管理表１６１を参照することによって特定できる。
【００３６】
図５は、動作種別管理表の構成例を示す図である。動作種別管理表１６１は、製造動作を構成する複数の動作の動作種別が予め登録されたデータテーブルであって、図５に例示したように、製品種別１６１１、波形番号１６１２、及び動作種別１６１３を備えて構成される。
【００３７】
具体的には図５の動作種別管理表１６１には、「製造Ａ」の製造動作が、４つの動作から成り立ち、各動作の動作種別が時系列順に「移動１」、「製造１」、「製造２」、「移動２」であることが登録されている。本例では、「移動１」、「製造１」、「製造２」、及び「移動２」は、それぞれ態様の異なる動作を意味する。
【００３８】
したがって測定データ分割部１３０は、このような動作種別管理表１６１を参照することにより、分割データ管理表１３１の製品種別１３１１及び波形番号１３１４（動作種別管理表１６１では製品種別１６１１及び波形番号１６１２）の組み合わせに対応する動作種別１６１３を、動作種別１３１６に記録する動作種別として特定することができる。
【００３９】
なお、図２には、測定データ収集部１２０及び測定データ分割部１３０から構成される機能部として、分割データ収集部１８０が示されている。分割データ収集部１８０は、測定データ収集部１２０の機能と測定データ分割部１３０の機能を有するものであり、簡潔にまとめると、製造装置２の製造動作を測定した加速度センサ６の測定データを動作ごとの分割データに区切って収集する機能を有する。
【００４０】
データ分析部１４０は、測定データ分割部１３０によって分割された分割データ（動作別波形データ１３１５）ごとに、学習データ管理表１６２を用いて学習データとの比較を行い、所定の分析方法で動作の問題の有無を判断し、分析した結果を分析結果管理表１６３に記録する機能を有する。データ分析部１４０によるこれらの処理を「データ分析処理」と称し、その詳細な処理手順は図１０を参照しながら後述する。
【００４１】
なお、データ分析処理で用いる「所定の分析方法」とは、製造装置２の故障を予兆するために、製造装置２の動作に異常があるか否かを機械的に判断するための方法であればよく、特定の分析方法に限定されるものではない。例えば、事前に正常動作として学習させたデータ（図６の学習データ１６２２）を用いて相関関数などで比較し、求めた相関値が閾値（図６の相関閾値１６２３）を下回ることをもって問題有りと判断する方法でもよい。また例えば、今回の相関値と過去の相関値を時系列に並べ、回帰式または近似式を用い、相関値が閾値を下回る日を故障発生日として予測する方法等であってもよい。故障発生日の予測方法については、第２の実施の形態で補足する。
【００４２】
図６は、学習データ管理表の構成例を示す図である。学習データ管理表１６２は、正常動作時のデータとして事前に学習された学習データを動作種別ごとに管理するデータテーブルであって、図６に例示したように、動作種別１６２１、学習データ１６２２、及び相関閾値１６２３を備えて構成される。
【００４３】
動作種別１６２１は、製造動作を構成する各動作の動作種別が記録されており、図４，図５に示した動作種別と対応する。学習データ１６２２は、動作種別１６２１が示す動作における学習データであり、正常動作時の波形データが記録される。相関閾値１６２３は、データ分析部１４０が動作別波形データ１３１５と学習データ１６２２とを比較して所定の分析方法で動作の問題の有無を判断する際に用いられる判断基準の閾値であり、動作種別ごとに異なる値を設定することができる。動作種別１６２１及び学習データ１６２２は、事前に登録される。相関閾値１６２３は、事前に固定値が登録されてもよいし、分析方法によってはデータ分析部１４０によって変更可能としてもよい。
【００４４】
図７は、分析結果管理表の構成例を示す図である。分析結果管理表１６３は、データ分析処理による分析結果を管理するデータテーブルであって、図７に例示したように、製品種別１６３１、シリアル番号１６３２、波形番号１６３３、動作種別１６３４、相関値１６３５、及び分析結果１６３６を備えて構成される。
【００４５】
製品種別１６３１、シリアル番号１６３２、波形番号１６３３、及び動作種別１６３４には、データ分析処理で参照された分割データ管理表１３１における対応項目のデータが記録される。相関値１６３５には、分割データの波形（動作別波形データ１３１５）と学習データの波形（学習データ１６２２）との相関値が記録される。分析結果１６３６には、製造動作を構成する各動作について異常の有無の判断結果が記録される。
【００４６】
分析結果出力部１５０は、分析結果管理表１６３に記録されたデータ分析処理の分析結果をユーザ側に出力する機能を有する。本例では、出力の一例として、分析結果出力部１５０が、分析結果管理表１６３に記録された情報のうちのユーザが所望する情報を、操作端末７の分析結果表示画面１７１で表示できるようにする。分析結果出力部１５０による分析結果の出力の詳細は、図１１を参照しながら後述する。
【００４７】
なお、本実施の形態では、分析結果の出力形態は表示に限定されるものではなく、他の出力形態として例えば、印刷やデータファイルへの出力等を採用することもできる。また、分析結果の出力は、ユーザによる操作を必要とせずに実行されてもよく、例えば、製造装置２による製造動作の実行中にリアルタイムで、あるいは製造動作の終了時に、データ分析部１４０による分析結果管理表１６３の更新・登録を契機として、分析結果出力部１５０が分析結果を出力する等してもよい。
【００４８】
（１−２）故障予兆検知方法
本実施の形態に係る故障予兆検知システム１００が、製造装置２の製造動作に対して異常の発生を検知する方法（故障予兆検知方法）について説明する。
【００４９】
前述したように、製造装置２は、態様の異なる複数の動作から成り立つ製造動作を実行して製品を製造する。そして、製造装置２で各動作が開始するときは、運転ランプ３が点灯し、動作検知センサ４がその点灯を感知する。動作検知部１１０は、動作検知センサ４の測定データを監視しており、動作検知センサ４の測定データを解析することで、製造装置２における製造動作の１動作の開始を検知することができる。
【００５０】
動作検知部１１０は、動作検知センサ４の測定データから製造装置２における動作の開始を検知したとき、振動装置５に対して、一定時間、特定の周波数（製造装置２の動作に伴って測定される周波数の主成分とは異なる周波数が好ましい）で振動することを指示する。上記指示に従って振動装置５が振動すると、製造装置２の動作の加速度を測定している加速度センサ６も振動するため、加速度センサ６の測定データには、各動作の間のタイミングで上記振動による区切りが挿入される。なお、製造動作の開始時（言い換えれば１番目の動作の開始時）は、区切りを挿入しなくても明白であるため、動作検知部１１０は振動装置５に振動を指示しなくてもよい。
【００５１】
次に、測定データ収集部１２０が、製造装置２による１の製造動作全体を測定した加速度センサ６の測定データを取得し、取得した測定データの関連情報と併せて、収集データ管理表１２１に登録する。収集データ管理表１２１に登録される関連情報とは、具体的には、測定データの対象となる製造動作によって製造された製品の製品種別１２１１、当該製品のシリアル番号１２１２、測定データを測定した時刻１２１３、及び測定データの波形データ１２１４である（図３参照）。
【００５２】
次に、測定データ分割部１３０が、測定データ収集部１２０が登録した収集データ管理表１２１を読み込み、測定データに対するデータ分割処理を行うことにより、測定データを動作単位に分割した分割データとその関連情報を、分割データ管理表１３１に登録する。
【００５３】
（１−２−１）データ分割処理
図８は、データ分割処理の処理手順例を示すフローチャートである。また、図９は、測定データ分割のイメージを説明するための図である。図８，図９を参照しながら、データ分割処理について詳述する。
【００５４】
図８によればまず、測定データ分割部１３０は、測定データ収集部１２０から収集データ管理表１２１を取得する（ステップＳ１０１）。図９（Ａ）には、ステップＳ１０１で取得された測定データの波形データが示されている。この波形データは、一連の製造動作を通じて測定されているため、製造動作を構成する４つの動作のうち、２番目以降の動作である「製造１」、「製造２」、「移動２」の開始時に、区切りとなる振動装置５による振動が検出されている。
【００５５】
次に、測定データ分割部１３０は、ハイパスフィルタを用いて、ステップＳ１０１で取得した波形データから、振動装置５の振動周波数に該当するデータを抽出する（ステップＳ１０２）。図９（Ｂ）には、ステップＳ１０２で抽出された波形データが示されている。図９（Ｂ）の波形データによれば、振動装置５による区切り用の振動だけが抽出されたことが分かる。
【００５６】
次に、測定データ分割部１３０は、ステップＳ１０２で抽出したデータから、振動装置５が振動したタイミングを取得する（ステップＳ１０３）。
【００５７】
次に、測定データ分割部１３０は、ローパスフィルタを用いて、ステップＳ１０１で取得した波形データから、振動装置５の振動周波数を除去する（ステップＳ１０４）。図９（Ｃ）には、ステップＳ１０４で振動装置の振動周波数が除去された後の波形データが示されている。図９（Ｃ）の波形データによれば、各動作間に挿入された区切り用の信号（振動装置５による振動成分）が除去され、製造装置２の動作に対する測定データのみが抽出されたことが分かる。
【００５８】
次に、測定データ分割部１３０は、ステップＳ１０４で除去した後のデータを、ステップＳ１０３で取得した振動装置５の振動タイミングで分割し、分割後のデータに時系列順に波形番号を振る（ステップＳ１０５）。図９（Ｃ）には、ステップＳ１０５で分割された波形データ（分割データ）が「ｗ１」〜「ｗ４」で示されているが、それぞれの分割データは、動作ごとに分割された波形データ（動作別波形データ）に相当する。そしてステップＳ１０５の処理によって、「ｗ１」〜「ｗ４」の分割データには、順に「１」〜「４」の波形番号が割り当てられる。
【００５９】
次に、測定データ分割部１３０は、動作種別管理表１６１を参照し、ステップＳ１０５で分割した分割データの製品種別と波形番号に対応する動作種別を取得する（ステップＳ１０６）。具体的には、分割データの製品種別は収集データ管理表１２１の製品種別１２１１に示され、波形番号はステップＳ１０５で割り当てられている。そして、図５に示したように、動作種別管理表１６１には、製品種別１６１１と波形番号１６１２との組み合わせに対応する動作種別１６１３が登録されている。
【００６０】
最後に、測定データ分割部１３０は、ステップＳ１０１〜Ｓ１０６で得られた情報を分割データ管理表１３１に登録し（ステップＳ１０７）、データ分割処理を終了する。図４を参照しながら分割データ管理表１３１に登録される個々の項目について確認すると、製品種別１３１１、シリアル番号１３１２、及び時刻１３１３は、ステップＳ１０１で取得した収集データ管理表１２１に示されている。また、波形番号１３１４及び動作別波形データ１３１５はステップＳ１０５で決定され、動作種別１３１６はステップＳ１０６で取得される。
【００６１】
なお、上述したデータ分割処理の説明では、振動装置５の振動周波数を抽出するためにハイパスフィルタを用い、除去するためにローパスフィルタを用いたが、本実施の形態は、どのようなフィルタを用いるかを限定するものではなく、例えばバンドパスフィルタ等を用いてもよい。
【００６２】
本実施の形態に係る故障予兆検知システム１００による故障予兆検知方法の説明を続ける。測定データ分割部１３０によるデータ分割処理が終了した後は、データ分析部１４０が、測定データ分割部１３０が登録した分割データ管理表を読み込み、分割データに対するデータ分析処理を行うことにより、分割データに対応する動作単位で動作の問題の有無を判断し、その分析結果を分析結果管理表１６３に登録する。
【００６３】
（１−２−２）データ分析処理
図１０は、データ分析処理の処理手順例を示すフローチャートである。図１０を参照しながら、データ分析処理について詳述する。
【００６４】
図１０によればまず、データ分析部１４０は、測定データ分割部１３０から分割データ管理表１３１を取得する（ステップＳ２０１）。
【００６５】
次に、データ分析部１４０は、ステップＳ２０１で取得した分割データ管理表１３１に記録された全ての分割データについて、１つずつ選択しながら以降のステップＳ２０３〜Ｓ２０８の処理を繰り返す（ステップＳ２０２〜Ｓ２０９）。
【００６６】
このループ処理においてまず、データ分析部１４０は、学習データ管理表１６２を参照し、ステップＳ２０２で選択した分割データの動作種別（動作種別１３１６）に該当する学習データのレコード（学習データ１６２２、相関閾値１６２３）を取得する（ステップＳ２０３）。
【００６７】
次に、データ分析部１４０は、予め定められた所定の分析方法で用いられる相関関数を用いて、選択中の分割データの波形データ（分割データ管理表１３１の動作別波形データ１３１５に保持されている）と、ステップＳ２０３で取得した学習データ１６２２との相関値を計算する（ステップＳ２０４）。
【００６８】
次に、データ分析部１４０は、ステップＳ２０４で算出した相関値がステップＳ２０３で取得した相関閾値１６２３よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ２０５）。相関値が相関閾値未満であった場合は（ステップＳ２０５のＹＥＳ）、データ分析部１４０は、選択中の分割データの分析結果を「問題有り（異常）」と判断する（ステップＳ２０６）。一方、ステップＳ２０５において相関値が相関閾値以上であった場合は（ステップＳ２０５のＮＯ）、データ分析部１４０は、選択中の分割データの分析結果を「問題無し（正常）」と判断する（ステップＳ２０７）。
【００６９】
そして、データ分析部１４０は、ステップＳ２０１〜Ｓ２０７で得られた、選択中の分割データに関する情報を分析結果管理表１６３に登録する（ステップＳ２０８）。図７を参照しながら分析結果管理表１６３に登録される個々の項目について確認すると、製品種別１６３１、シリアル番号１６３２、波形番号１６３３、及び動作種別１６３４は、ステップＳ２０１で取得した分割データ管理表１３１に示されている。また、相関値１６３５は、ステップＳ２０４で算出され、分析結果１６３６はステップＳ２０６またはＳ２０７で判断される。
【００７０】
データ分析部１４０は、全ての分割データを対象として以上のステップＳ２０３〜Ｓ２０８の処理を繰り返し行うことにより、全ての分割データについて分析結果管理表１６３を完成させることができ、その後、データ分割処理を終了する。
【００７１】
上述したように、データ分析部１４０によるデータ分析処理が行われることにより、分割データに対する分析結果が分析結果管理表１６３に登録されるため、以後はユーザの要望に応じて、分析結果出力部１５０が、製造動作に対するデータ分析処理の分析結果を出力することができる。
【００７２】
ここで、分析結果出力部１５０による分析結果の出力について説明する。ユーザがＬＡＮ８に接続された操作端末７から分析結果管理表１６３の内容を参照する場合、まず、操作端末７のブラウザ等の画面で、製品種別及びシリアル番号を入力し、分析結果出力部１５０に入力した情報を渡す。そして、分析結果出力部１５０は、操作端末７から受け取った情報を基に、データ記憶部１６０に保持されている分析結果管理表１６３から該当する情報を検索し、画面に表示する情報を操作端末７に返す。この結果、操作端末７では、分析結果表示画面１７１において分析結果管理表１６３の情報が表示され、ユーザが確認することができる。
【００７３】
図１１は、分析結果表示画面の一例を示す図である。図１１の分析結果表示画面１７１は、ユーザによって製品種別「製品Ａ」とシリアル番号「ＸＸＸ１１１」が入力された場合の表示例であり、これらの入力情報に対応する分析結果として、図７に例示した分析結果管理表１６３の波形番号１６３３、動作種別１６３４、相関値１６３５、及び分析結果１６３６の情報が表示されている。
【００７４】
なお、図７の分析結果表示画面１７１には、上記情報以外に「製造日時」も表示されているが、この「製造日時」は、例えば分析結果管理表１６３に製造日時の項目を設け、データ分析処理のステップＳ２０８で、分割データ管理表１３１の時刻１３１３から時刻を取得して上記項目に登録することにより、分析結果出力部１５０が出力できるようになる。
【００７５】
具体的には、図１１に例示した分析結果表示画面１７１によれば、シリアル番号が「ＸＸＸ１１１」の「製品Ａ」の製造動作において、２番目の動作である「製造１」に対する分析結果だけが「問題有り」となっており、当該動作での異常の発生が示される。このときユーザは、異常が検出された動作で製造された製品部分を確認することにより、製品に欠陥がないかを的確に調べることができる。
【００７６】
ここで、図１０に示したデータ分析処理では、ステップＳ２０５において各動作における問題の有無（正常／異常）の判断基準に学習データ管理表１６２の相関閾値１６２３を用いており、この相関閾値１６２３は動作ごとに任意に設定することができる。すなわち、相関閾値１６２３の値を高く設定すれば、正常／異常の判断基準は厳しくなり、製造装置２が動作不良等によって故障するよりも前の段階で、製造装置２の各動作における異常を高精度に検出することができる。また、他の分析方法を採用する場合でも同様に、正常／異常の判断基準は任意に設定することができる。したがって、分析結果表示画面１７１において、厳しい判断基準を用いたデータ分析処理の分析結果として動作の異常が出力された場合には、ユーザは、異常が検出された動作に関する製造装置２の部位や制御等に故障の予兆が有ることを認識できる。
【００７７】
以上に説明したように、本実施の形態に係る故障予兆検知システム１００によれば、製造装置２の製造動作が態様の異なる複数の動作から成り立つ場合に、測定データに基づく分割データと正常動作時の学習データとを動作単位で比較することにより、異常の発生を動作単位で高精度に検知することができ、異常が発生している動作を特定することができる。特に、動作単位の分割データと学習データとの比較では、相関閾値を動作ごとに変更する等、動作ごとに異なる比較条件を設定することができるため、各動作の態様が異なる種類のものであっても、異常検知の精度を高めることができる。
【００７８】
さらに、本実施の形態に係る故障予兆検知システム１００によれば、製造装置２の製造動作が態様の異なる複数の動作から成り立つ場合であっても、異常が発生している動作を高精度で検知できることにより、製造装置２における故障の予兆を検出することができ、故障の発生箇所を絞り込むこともできる。
【００７９】
また、本実施の形態では、故障予兆検知システム１００を構成するサーバ１、動作検知センサ４、及び加速度センサ６の何れも、製造装置２に取付けられるか製造装置２の外部に設置され、振動装置５は加速度センサ６に取付けられる構成となっている。すなわち、本実施の形態に係る故障予兆検知システム１００は、既存の製造装置２に変更を加えることなく製造装置２の故障の予兆を検知できるものであり、汎用性及び利便性が高い。
【００８０】
（２）第２の実施の形態
本発明の第２の実施の形態に係る故障予兆検知システム２００について、第１の実施の形態に係る故障予兆検知システム１００との相違点を中心に説明する。したがって、第１の実施の形態と共通する構成、データ、処理等については、説明を省略する。
【００８１】
図１２は、本発明の第２の実施の形態に係る故障予兆検知システムの機能構成例を示すブロック図である。図１と比較しながら図１２に示した故障予兆検知システム２００の構成を説明する。
【００８２】
まず、図１２に示した製造装置２２には、図１に示した運転ランプ３及び動作検知センサ４が設置されておらず、代わりにログ記憶装置２４が接続されている。また、図１に示した振動装置５も、第２の実施の形態では不要となっている。なお、図１の製造装置２と同様、製造装置２２の製造動作は、異なる態様の複数の動作から成り立つものとし、具体的な動作としては、第１の実施の形態と同様に、「移動１」、「製造１」、「製造２」、「移動２」の動作が順に実行されるとする。
【００８３】
ログ記憶装置２４は、製造装置２２の動作ログを取得して製造装置動作ログファイル２４１に記録する記憶装置であり、製造装置動作ログファイル２４１には、製造装置２２の動作開始や動作終了等のイベントが発生したタイミングで、イベントの内容を示すメッセージが出力される。
【００８４】
図１３は、製造装置動作ログファイルの一例を示す図である。図１３の場合、製造装置動作ログファイル２４１には、日付、時刻、エラーレベル、メッセージＩＤ、及びメッセージ内容が記録される。「日付」と「時刻」は、メッセージが出力されたイベントの発生日時を意味し、「エラーレベル」はメッセージの分類を意味する。また、「メッセージＩＤ」はメッセージの識別子であり、「メッセージ内容」はイベントの内容を表している。
【００８５】
なお、第２の実施の形態において製造装置２側に必要とされる構成は、上記のログ記憶装置２４に限定されるものではなく、リアルタイムで製造装置２の動作開始のタイミングを把握でき、そのタイミングをサーバ２１に通知できるものであればよい。
【００８６】
図１２に示したように、故障予兆検知システム２００は、サーバ２１内に、動作検知部２１０、測定データ収集部２２０、測定データ分割部２３０、データ分析部２４０、分析結果出力部２５０、及びデータ記憶部２６０を備える。
【００８７】
動作検知部２１０は、ログ記憶装置２４に記憶されている製造装置動作ログファイル２４１のメッセージＩＤまたはメッセージ内容を監視し、製造装置２２の動作開始を示すメッセージが製造装置動作ログファイル２４１に出力されたことに基づいて、製造装置２２の動作開始を検知する機能を有する。これにより、第２の実施の形態では、第１の実施の形態における運転ランプ３や動作検知センサ４等の装置が不要となる。
【００８８】
さらに、動作検知部２１０は、製造装置２２の動作開始を検知したタイミングで、加速度センサ２６の測定状態のＯＮ／ＯＦＦを切り替えることで、加速度センサ２６の測定データを動作単位で分割するための区切りを与える機能を有する。当該機能について詳しく説明すると、動作検知部２１０は、製造動作の各動作の開始を検知したタイミングで、加速度センサ２６による測定状態を一旦ＯＦＦ状態にしたうえでＯＮ状態に切り替える指示を出す。ここで、加速度センサ２６は、製造装置２２に取付けられて製造装置２２の動作の加速度を測定するセンサであり、動作検知部２１０の指示に応じて測定状態の切替が行われるごとに、測定データの出力先のファイルを別ファイルに変更する。この結果、加速度センサ２６は、製造動作の動作単位で測定データを異なるファイルに取得し、この動作単位の測定データはサーバ２１（測定データ収集部２２０）に送信される。以上のように構成することにより、第２の実施の形態では、第１の実施の形態における振動装置５が不要となる。
【００８９】
測定データ収集部２２０は、図１の測定データ収集部１２０と同様に、加速度センサ２６による測定データを収集し、製造された製品のシリアル番号等の情報とともに、収集データ管理表２２１に登録する機能を有する。但し、測定データ収集部２２０が収集した測定データは、既に動作単位に分割された分割データの状態となっているため、収集データ管理表２２１の構成は、第１の実施の形態における収集データ管理表１２１と異なる部分がある。
【００９０】
図１４は、第２の実施の形態における収集データ管理表の構成例を示す図である。図１４に示したように、収集データ管理表２２１は、製品種別２２１１、シリアル番号２２１２、時刻２２１３、データ番号２２１４、及び動作別波形データ２２１５から構成される。第１の実施の形態で図３に例示した収集データ管理表１２１と比較すると、データ番号２２１４が追加されていることが分かる。データ番号２２１４は、加速度センサ２６から収集した測定データに対して測定データ収集部２２０が時系列順に割り当てる通し番号である。動作別波形データ２２１５は、測定データの波形データであるが、前述したように測定データは動作単位で別ファイルに出力されていることから、当該波形データは、動作別波形データともいえる。なお、収集データ管理表２２１の他の項目は、収集データ管理表１２１の同名の項目と同様であるため、説明を省略する。
【００９１】
測定データ分割部２３０は、測定データ収集部２２０が取得した測定データに対して動作種別を特定し、分割データ管理表２３１を登録する機能を有する。なお、前述したように測定データ収集部２２０が取得した測定データ（言い換えれば、収集データ管理表２２１に登録した測定データ）は、既に動作単位に区切られているため、測定データ分割部２３０によって行われる処理（データ分割処理）は、第１の実施の形態におけるデータ分割処理（図３参照）とは異なる点がある。
【００９２】
図１５は、第２の実施の形態におけるデータ分割処理の処理手順例を示すフローチャートである。
【００９３】
図１５によればまず、測定データ分割部２３０は、測定データ収集部２２０から収集データ管理表２２１を取得する（ステップＳ３０１）。この処理は、図３のステップＳ１０１の処理と同様である。
【００９４】
次に、測定データ分割部２３０は、ステップＳ３０１で取得した収集データ管理表２２１におけるデータ番号２２１４の順に、測定データに波形番号を振る（ステップＳ３０２）。このとき、測定データは既に動作単位に区切られているため、フィルタを用いた測定データの処理が必要ない。したがって、測定データ分割部２３０は、製造装置２２の動作の周波数等を考慮することなく、動作単位に分割した測定データ（すなわち分割データ）を確実に取得することができる。
【００９５】
次に、測定データ分割部２３０は、動作種別管理表２６１を参照し、分割データの製品種別と波形番号に対応する動作種別を取得する（ステップＳ３０３）。この処理は、図３のステップＳ１０６の処理と同様である。動作種別管理表２６１の構成は、図５に示した動作種別管理表１６１と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【００９６】
そして最後に、測定データ分割部２３０は、ステップＳ３０１〜Ｓ３０３で得られた情報を分割データ管理表２３１に登録し（ステップＳ３０４）、データ分割処理を終了する。この処理は、図３のステップＳ１０７の処理と同様である。また、分割データ管理表２３１の構成は、図４に示した分割データ管理表１３１と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【００９７】
なお、図１２には、第１の実施の形態で図２に示した分割データ収集部１８０と同様に、測定データ収集部２２０及び測定データ分割部２３０から構成される機能部として、分割データ収集部２８０が示されている。分割データ収集部２８０は、測定データ収集部２２０の機能と測定データ分割部２３０の機能を有するものであり、簡潔にまとめると、製造装置２２の製造動作を測定した加速度センサ２６の測定データを動作ごとの分割データに区切って収集する機能を有する。
【００９８】
測定データ分割部２３０によるデータ分割処理が終了した後は、データ分析部２４０が、測定データ分割部２３０が登録した分割データ管理表２３１を読み込み、学習データ管理表２６２を参照しながら分割データに対するデータ分析処理を行うことにより、分割データに対応する動作単位で動作の問題の有無を判断し、その分析結果を分析結果管理表２６３に登録する機能を有する。データ分析部２４０によるデータ分析処理は、第１の実施形態におけるデータ分析部１４０によるデータ分析処理と同様の処理と捉えてよいため、詳細な説明は省略する。また、学習データ管理表２６２及び分析結果管理表２６３の構成はそれぞれ、図６に示した学習データ管理表１６２及び図７に示した分析結果管理表１６３と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【００９９】
そして、分析結果出力部２５０は、分析結果管理表２６３に記録されたデータ分析処理の分析結果をユーザ側に出力する機能を有する。図１２に示された分析結果表示画面２７１は、分析結果出力部２５０による出力の一態様であり、分析結果出力部２５０がユーザの要求に応えて、分析結果管理表１６３に記録された情報のうちから、要求に該当する情報を操作端末７側に表示させたものである。分析結果表示画面２７１の具体的な表示画面は、図１１に例示した分析結果表示画面１７１と同様と考えてよい。
【０１００】
ここで、データ分析処理に用いることができる分析方法の一例として、故障発生日を予測する方法について補足する。なお以下に説明する分析方法は、第１の実施の形態でも採用可能である。
【０１０１】
データ分析処理においてデータ分析部２４０は、相関関数を用いて、事前に正常動作として学習させた学習データ（例えば図６の学習データ１６２２）と今回の測定データ（分割データ）との相関値を算出する（図１０参照）。ここで、製造装置２２の故障発生日を予測する場合には、データ記憶部２６０に、製造装置２２の過去の製造動作時に同様に算出した相関値が記録されているとする。このとき、データ分析部２４０は、今回の相関値と過去の相関値を時系列に並べて近似線を引く。そして、データ分析部２４０は、この近似線が所定の閾値（相関閾値）を下回る日を故障発生日として予測することができる。このようにして決定された故障発生日は、製造装置２２の故障予兆をより具体的に検知したものと言える。
【０１０２】
図１６は、故障発生日予測のイメージを説明するための図である。図１６には、縦軸を相関値、横軸を製造日時として、今回及び過去の相関値が黒い丸でプロットされ、これらの近似線Ｌ１が表されている。また、図１６には、学習データとともに事前に設定されている相関閾値がＬ２で表され、一例としてＬ２を「０．９」としている。
【０１０３】
一般に、製造装置２２が製造動作を繰り返し、時間が経過するとともに、学習データと測定データは乖離して相関値が低下するため、相関値に基づく近似線Ｌ１の傾きは負となる。したがって、今回の測定データでは動作の異常が検出されなかったとしても、将来のどこかで近似線Ｌ１は相関閾値Ｌ２を下回ることになり、その日が故障発生日と予測される。言い換えれば、データ分析部２４０は、相関値の近似線Ｌ１という推移による予測値が所定の閾値（相関閾値Ｌ２）を下回るタイミングを、故障発生時期として予測することができる。具体的には図１６の場合、「２／２２」が故障発生日となる。なお、図１６では省略したが、日付だけでなく時間まで予測することも可能である。
【０１０４】
そして、データ分析処理で故障発生日を予測した場合には、データ分析部２４０は、故障発生日も分析結果管理表２６３に記録する。このようにすることで、分析結果出力部２５０は、製造装置２２の故障発生日の予測結果をユーザに提示することができる。この場合、ユーザは、故障発生日の予測結果がどの動作の分析結果に基づくものかを鑑みることで、製造装置２２による製造動作のどの動作に関する部位や制御等が故障しそうかを認識することができる。
【０１０５】
以上のことから、第２の実施の形態に係る故障予兆検知システム２００によれば、第１の実施の形態で得られる効果に加えて、更に以下のような効果を得ることが出来る。
【０１０６】
まず、第２の実施の形態では、振動装置を用いることなく、製造装置２２の製造動作を測定した測定データを動作単位で分割することができ、ハイパスフィルタやローパスフィルタ等による波形の切り出しも不要である。したがって、第２の実施の形態に係る故障予兆検知システム２００は、製造装置２２の動作周波数等を考慮することなく、幅広い対象の製造装置２２から確実に、分割データとしての波形データを取得することが出来る。
【０１０７】
また、第２の実施の形態では、センサ類（運転ランプ３や動作検知センサ４）を用いることなく、動作検知部２１０は動作ログ（製造装置動作ログファイル２４１）に基づいて製造装置２２の動作開始を検知するため、故障予兆検知システム２００は、工場内の明るさ等の製造装置２２の周辺環境に制約されずに、製造装置２２の動作における異常の有無を判断し、故障の予兆を検知することができる。
【０１０８】
なお、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施の形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施の形態の構成の一部を他の実施の形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施の形態の構成に他の実施の形態の構成を加えることも可能である。また、各実施の形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【０１０９】
また、上記の各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、ＳＳＤ等の記録装置、または、ＩＣカード、ＳＤカード、ＤＶＤ等の記録媒体に置くことができる。
【０１１０】
また、図面において、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実施には殆ど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。
【符号の説明】
【０１１１】
１，２１  サーバ
２，２２  製造装置
３        運転ランプ
４        動作検知センサ
５        振動装置
６，２６  加速度センサ
７，２７  操作端末
８        ＬＡＮ
１１      ＣＰＵ
１２      メモリ
１３      補助記憶装置
１４      ＮＩＣ
２４      ログ記憶装置
１００，２００  故障予兆検知システム
１１０，２１０  動作検知部
１２０，２２０  測定データ収集部
１２１，２２１  収集データ管理表
１３０，２３０  測定データ分割部
１３１，２３１  分割データ管理表
１４０，２４０  データ分析部
１５０，２５０  分析結果出力部
１６０，２６０  データ記憶部
１６１，２６１  動作種別管理表
１６２，２６２  学習データ管理表
１６３，２６３  分析結果管理表
１７１，２７１  分析結果表示画面
１８０，２８０  分割データ収集部
２４１    製造装置動作ログファイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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