(57)【要約】【課題】デバイスの電極パッドに対応する基板の裏面からレーザー光線を照射して適正に細孔を形成することができるレーザー加工方法を提供する。【解決手段】本発明によれば、電極パッド１２ａを備えたデバイス１２が表面１０ａに形成された基板１０の裏面１０ｂにレーザー光線ＬＢを照射して電極パッド１２ａに至る細孔１６を形成するレーザー加工方法であって、電極パッド１２ａに対応する裏面１０ｂからパルス状のレーザー光線ＬＢを照射するレーザー光線照射工程と、レーザー光線ＬＢの照射によって基板１０に細孔１６が形成されると共に基板１０から発せられる第一のプラズマ光と電極パッド１２ａから発せられる第二のプラズマ光とを検出する検出工程と、該検出工程において、該第二のプラズマ光を検出した際、レーザー光線ＬＢの照射を停止するレーザー照射終了工程と、を少なくとも含み、該レーザー光線照射工程において、同一の細孔１６に照射されるレーザー光線ＬＢの時間間隔は、０．１ｍｓ以上に設定されるレーザー加工方法が提供される。【選択図】図３
2020066016.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極パッドを備えたデバイスが表面に形成された基板の裏面にレーザー光線を照射して電極パッドに至る細孔を形成するレーザー加工方法であって、
電極パッドに対応する裏面からパルス状のレーザー光線を照射するレーザー光線照射工程と、
レーザー光線の照射によって基板に細孔が形成されると共に基板から発せられる第一のプラズマ光と電極パッドから発せられる第二のプラズマ光とを検出する検出工程と、
該検出工程において、該第二のプラズマ光を検出した際、レーザー光線の照射を停止するレーザー照射終了工程と、
を少なくとも含み、
該レーザー光線照射工程において、同一の細孔に照射されるレーザー光線の時間間隔を０．１ｍｓ以上に設定するレーザー加工方法。
【請求項２】
該レーザー光線照射工程において、該時間間隔を、０．１５ｍｓ以上に設定する請求項１に記載のレーザー加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の裏面にレーザー光線を照射して電極パッドに至る細孔を形成するレーザー加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
近年では、該デバイスが形成された基板の裏面側から、該デバイスに形成された電極パッドの裏面に達する細孔（ビアホール）を形成し、その後、該細孔にアルミニウム等の導電性部材を埋設して上下にデバイスを積層することでデバイスの高機能化が図られている。
【０００４】
本出願人は、上記した細孔を形成すべく、デバイスの電極パッドに対応する基板の裏面にレーザー光線を照射して細孔を形成する技術を提案している（特許文献１を参照。）。この特許文献１に記載された技術では、デバイスが表面に形成された基板の裏面にレーザー光線を照射することで発せられるプラズマ光と、レーザー光線が電極パッドに達することで発せられるプラズマ光とを検出し、電極パッドにレーザー光線が到達したことを該プラズマ光により判定することで、電極パッドに穴を開けることなくレーザー光線を停止させようとするものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第６０３４０３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した従来技術によれば、基板の裏面側から照射されたパルス状のレーザー光線が電極パッドに達することで、電極パッドを構成する物質固有のプラズマ光が発生するため、該電極パッドを構成する物質固有のプラズマ光を検出した際に、レーザー光線を停止することができる。しかし、短い時間間隔（高い周波数）でパルス状のレーザー光線を繰り返し照射した場合、電極パッドにレーザー光線が達した後も、該基板を構成する物質固有のプラズマ光が完全に消滅するまで時間が掛かり、電極パッドを構成する物質固有のプラズマ光を迅速に検出することができず、その結果、電極パッドにレーザー光線が過剰に照射されることで電極パッドに穴が開いてしまい、適正に細孔を形成することが困難であるという問題が判明した。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、デバイスの電極パッドに対応する基板の裏面からレーザー光線を照射して適正に細孔を形成することができるレーザー加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、電極パッドを備えたデバイスが表面に形成された基板の裏面にレーザー光線を照射して電極パッドに至る細孔を形成するレーザー加工方法であって、電極パッドに対応する裏面からパルス状のレーザー光線を照射するレーザー光線照射工程と、レーザー光線の照射によって基板に細孔が形成されると共に基板から発せられる第一のプラズマ光と電極パッドから発せられる第二のプラズマ光とを検出する検出工程と、該検出工程において、該第二のプラズマ光を検出した際、レーザー光線の照射を停止するレーザー照射終了工程と、を少なくとも含み、該レーザー光線照射工程において、同一の細孔に照射されるレーザー光線の時間間隔を、０．１ｍｓ以上に設定するレーザー加工方法が提供される。
【０００９】
該レーザー光線照射工程において、該時間間隔を、０．１５ｍｓ以上に設定することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のレーザー加工方法は、電極パッドを備えたデバイスが表面に形成された基板の裏面にレーザー光線を照射して電極パッドに至る細孔を形成するレーザー加工方法であって、電極パッドに対応する裏面からパルス状のレーザー光線を照射するレーザー光線照射工程と、レーザー光線の照射によって基板に細孔が形成されると共に基板から発せられる第一のプラズマ光と電極パッドから発せられる第二のプラズマ光とを検出する検出工程と、該検出工程において、該第二のプラズマ光を検出した際、レーザー光線の照射を停止するレーザー照射終了工程と、を少なくとも含み、該レーザー光線照射工程において、同一の細孔に照射されるレーザー光線の時間間隔を、０．１ｍｓ以上に設定する。これにより、電極パッドに細孔が至った際に、第二のプラズマ光を充分に検出することができ、電極パッドに穴が開くという問題が解消する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態における被加工物としての基板、及び該基板がフレームに支持される態様を示す斜視図である。
【図２】図１に示す基板にレーザー加工を施すレーザー加工装置の全体斜視図である。
【図３】図２に示すレーザー加工装置に備えられるレーザー光線照射手段、及びプラズマ検出手段の概略を示すブロック図である。
【図４】レーザー光線照射工程において基板の裏面から細孔が形成される態様を示す一部拡大断面図である。
【図５】第一のホトデテクター及び第二のホトデテクターの出力（電圧値）の変化を示すグラフである。
【図６】本発明者らによる実験において照射されたレーザー光線のパルスを示す波形図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に基づき構成されるレーザー加工方法に係る実施形態について添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１３】
図１には、本実施形態においてレーザー加工される被加工物として用意される円盤状の基板１０の斜視図が示されている。図１に示す基板１０は、例えば、厚みが３００μｍのリチウムタンタレート（ＬＴ）で構成され、表面１０ａに格子状に配列された複数の分割予定ライン１４によって複数の領域が区画され、この区画された領域にデバイス１２がそれぞれ形成されている。デバイス１２の表面には、図１におけるＡ部を右方に拡大して示すように、略矩形状の複数（１０個）の電極パッド１２ａが形成されている。この電極パッド１２ａは、５００μｍ×６００μｍ程度の大きさであり、図示の実施形態においては銅（Ｃｕ）によって形成されている。用意された基板１０は、図１に示すように、環状のフレームＦに装着された保護テープＴに対して表面１０ａ側を下に、裏面１０ｂを上側にして貼着され支持される。
【００１４】
図２には、本実施形態において基板１０に対して細孔を形成すべくレーザー加工を実施するレーザー加工装置１の全体斜視図が示されている。レーザー加工装置１は、フレームＦに保護テープＴを介して支持された基板１０を保持する保持手段２０と、保持手段２０を移動させる移動手段３０と、保持手段２０に保持された基板１０にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段５０と、保持手段２０に保持される基板１０を撮像する撮像手段６０と、基板１０から発せられるプラズマ光を検出するプラズマ検出手段７０と、を備えている。
【００１５】
保持手段２０は、図中に矢印Ｘで示すＸ軸方向において移動自在に基台２に載置される矩形状のＸ軸方向可動板２１と、該Ｘ軸方向と直交し、該Ｘ軸方向と実質水平面を構成する矢印Ｙで示すＹ軸方向において移動自在にＸ軸方向可動板２１上に載置される矩形状のＹ軸方向可動板２２と、Ｙ軸方向可動板２２の上面に固定された円筒状の支柱２４と、支柱２４の上端に固定された矩形状のカバー板２６とを含む。カバー板２６には、カバー板２６上に形成された長穴を通って上方に延びる円形状のチャックテーブル２８が配設されている。チャックテーブル２８の上面には、多孔質材料から形成され実質上水平に延在する円形状の吸着チャック４０が配置されている。吸着チャック４０は、支柱２４の内部を通る流路によって図示しない吸引手段に接続されている。チャックテーブル２８には、基板１０を支持するフレームＦを固定するためのクランプ４２が配設されている。
【００１６】
移動手段３０は、基台２上に配設され、保持手段２０とレーザー光線照射手段５０とを相対的に移動させる手段として備えられるものであり、保持手段２０をＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動手段３１と、保持手段２０をＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動手段３２と、を備えている。Ｘ軸移動手段３１は、パルスモータ３１ａの回転運動を、ボールねじ３１ｂを介して直線運動に変換してＸ軸方向可動板２１に伝達し、基台２上の案内レール２ａ、２ａに沿ってＸ軸方向可動板２１をＸ軸方向において進退させる。Ｙ軸移動手段３２は、パルスモータ３２ａの回転運動を、ボールねじ３２ｂを介して直線運動に変換してＹ軸方向可動板２２に伝達し、Ｘ軸方向可動板２１上の案内レール２１ａ、２１ａに沿ってＹ軸方向可動板２２をＹ軸方向において進退させる。さらに、支柱２４の内部には図示しない回転駆動手段が収容されており、チャックテーブル２８の位置を任意の角度に回転させて制御することが可能に構成されている。なお、図示は省略するが、Ｘ軸移動手段３１、Ｙ軸移動手段３２、及び図示しない回転駆動手段には、位置検出手段が配設されており、基台２上におけるチャックテーブル２８のＸ軸方向の位置、Ｙ軸方向の位置、周方向の回転位置が正確に検出され、後述する制御手段１００（図３を参照。）に伝達されることで、制御手段１００から指示される指示信号に基づいてＸ軸移動手段３１、Ｙ軸移動手段３２、及び図示しない回転駆動手段が駆動され、所望のＸ座標位置、Ｙ座標位置、及び回転角度θになるようにチャックテーブル２８を制御することが可能である。
【００１７】
移動手段３０の側方には、枠体４が立設される。枠体４は、基台２上に配設される垂直壁部４ａ、及び垂直壁部４ａの上端部から水平方向に延びる水平壁部４ｂと、を備えている。枠体４の水平壁部４ｂの内部には、図示しないレーザー光線照射手段５０の光学系が内蔵されている。水平壁部４ｂの先端部下面には、レーザー光線照射手段５０の一部を構成する集光器５２が配設されている。
【００１８】
レーザー光線照射手段５０は、図３に示すように、レーザー光線ＬＢを発振するパルスレーザー光線発振器５１と、パルスレーザー光線発振器５１が発振したレーザー光線ＬＢの出力を調整するアッテネータ５３と、レーザー光線ＬＢの光路を任意の加工送り方向（Ｘ軸方向）に偏向制御する光偏向手段として少なくとも音響光学素子を含む第一の音響光学偏向手段５４と、レーザー光線ＬＢの光路を任意の割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に偏向制御する光偏向手段として少なくとも音響光学素子を含む第二の音響光学偏向手段５５と、第二の音響光学偏向手段５５からのレーザー光線ＬＢの光路の方向を変換する反射ミラー５６と、を備え、反射ミラー５６から反射されたレーザー光線ＬＢの光路を、ｆθレンズを備えた集光器５２に導くように構成されている。上記したパルスレーザー光線発振器５１、アッテネータ５３、第一の音響光学偏向手段５４、第二の音響光学偏向手段５５は、制御手段１００に接続され、制御手段１００から送信される指示信号に基づいてその作動が制御される。
【００１９】
第一の音響光学偏向手段５４に対し、制御手段１００から例えば５Ｖの電圧が印加され、図示しない音響光学素子に５Ｖに対応する周波数が印加された場合には、パルスレーザー光線発振器５１から発振されたレーザー光線ＬＢは、その光軸が図３においてＬＢａで示すように偏向され集光点Ｐａに集光される。また、第一の音響光学偏向手段５４に制御手段１００から例えば１０Ｖの電圧が印加され、該音響光学素子に１０Ｖに対応する周波数が印加された場合には、パルスレーザー光線発振器５１から発振されたレーザー光線ＬＢは、その光軸が図３においてＬＢｂで示すように偏向され、上記集光点Ｐａから図３において右方に所定量変位した集光点Ｐｂに集光される。さらに、第一の音響光学偏向手段５４に制御手段１００から例えば１５Ｖの電圧が印加され、該音響光学素子に１５Ｖに対応する周波数が印加された場合には、パルスレーザー光線発振器５１から発振されたレーザー光線ＬＢは、図３においてＬＢｃで示すように偏向され、上記集光点Ｐｂから図３においてさらに右方に所定量変位した集光点Ｐｃに集光される。第二の音響光学偏向手段５５は、上記した第一の音響光学偏向手段５４に対し、偏向方向が基板１０上の割り出し送り方向（Ｙ軸方向：図面に対して垂直な方向）である点でのみ相違し、それ以外は同様の動作をするように構成されている。このように、第一の音響光学偏向手段５４、及び第二の音響光学偏向手段５５によって偏向されるレーザー光線ＬＢは、印加される電圧に対応して加工送り方向（Ｘ軸方向）、割り出し送り方向（Ｙ軸方向）の所定の範囲において任意の位置に偏向させることができる。なお、図３に示すレーザー光線照射手段５０には、更に、上記した第二の音響光学偏向手段５５に所定の電圧が印加された場合に、第二の音響光学偏向手段５５によって偏向されたレーザー光線ＬＢ’（破線で示す）を吸収するためのレーザー光線吸収手段５７を備えている。
【００２０】
制御手段１００は、コンピュータにより構成され、制御プログラムに従って演算を実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）と、検出した検出値、演算結果等を格納するための読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）と、入力インターフェース、及び出力インターフェースとを備えている。制御手段１００には、上記したレーザー光線照射手段５０のみならず、移動手段３０、撮像手段６０、及びプラズマ光検出手段７０等が接続され、各作動手段は、制御手段１００からの指示信号により制御可能に構成されている。
【００２１】
図２に戻り説明を続けると、撮像手段６０は、水平壁部４ｂの先端部下面において、集光器５２のＸ軸方向で隣接した位置に配設される。撮像手段６０は、可視光線により撮像する通常の撮像素子、被加工物を照明する照明手段、赤外線撮像素子、及び赤外線照射手段等を備え、撮像手段６０により撮像された画像情報は、制御手段１００に送信される。撮像手段６０は、レーザー加工を実施する際に、基板１０と集光器５２との位置合わせ（アライメント）を実施する際に使用されると共に、デバイス１２に形成された各電極パッド１２ａの位置を検出するために使用される。
【００２２】
プラズマ光検出手段７０の本体部は、枠体４の水平壁部４ｂに収容されており、プラズマ光検出手段７０の一部を構成するプラズマ受光手段７１が枠体４の水平壁部４ｂの先端部下面において、集光器５２のＸ軸方向で隣接した位置であって、撮像手段６０とは反対側の位置に取り付けられる。このプラズマ光検出手段７０は、図３に示すようにレーザー光線照射手段５０の集光器５２から照射されるレーザー光線ＬＢがチャックテーブル４０に保持された基板１０に照射されることによって発生するプラズマ光を受光するプラズマ受光手段７１と、プラズマ受光手段７１によって受光されたプラズマ光を第一の光路７２ａと第二の光路７２ｂに分岐するビームスプリッター７２と、第一の光路７２ａに配設され波長が第一の設定波長(基板１０の基板を形成するリチウムタンタレートが発する波長)の光のみを通過させる第一のバンドパスフィルター７３と、第一のバンドパスフィルター７３を通過した光を受光して光強度信号を出力する第一のホトデテクター７４と、第二の光路７２ｂに配設された方向変換ミラー７５と、方向変換ミラー７５によって方向変換された波長が第二の設定波長(電極パッド１２を形成する銅が発する波長)の光のみを通過させる第二のバンドパスフィルター７６と、第二のバンドパスフィルター７６を通過した光を受光して光強度信号を出力する第二のホトデテクター７７とを備えている。上記したプラズマ受光手段７１は、図示しない集光レンズと、該集光レンズを収容するレンズケースとからなっている。
【００２３】
上記した第一のバンドパスフィルター７３は、図示の実施形態においてはリチウムタンタレートから発せられる第一のプラズマ光の波長（６７０ｎｍ）のみを通過させるために波長が６６０〜６８０ｎｍの範囲の光を通過させるようになっている。また、上記した第二のバンドパスフィルター７６は図示の実施形態においては銅から発せられる第二のプラズマ光の波長（５１５ｎｍ）のみを通過させるために波長が５１０〜５２０ｎｍの範囲の光を通過させるようになっている。第一のホトデテクター７４、及び第二のホトデテクター７７は、受光した光強度に対応する電圧値の信号を制御手段１００に出力する。
【００２４】
本実施形態で使用されるレーザー加工装置１は概ね上記したように構成されており、上記したレーザー加工装置１を用い、基板１０に形成された各デバイス１２の電極パッド１２ａに対応する位置に、基板１０の裏面１０ｂ側から電極パッド１２ａに達する細孔（ビアホール）を形成するレーザー加工の実施形態について説明する。
【００２５】
基板１０は、上記したように、裏面１０ｂ側を上側にして環状のフレームＦに保護テープＴを介して支持されており、図２に示すレーザー加工装置１のチャックテーブル２８の吸着チャック４０上に保護テープＴ側を下にして載置する。そして、基板１０は、図示しない吸引手段を作動することにより、保護テープＴを介してチャックテーブル２８に吸引保持され、環状のフレームＦは、クランプ４２によって固定される。
【００２６】
上述したように基板１０を吸引保持したチャックテーブル２８は、Ｘ軸移動手段３１によって撮像手段６０の直下に位置付けられる。チャックテーブル２８が撮像手段６０の直下に位置付けられると、チャックテーブル２８に保持された基板１０に形成されている格子状の分割予定ライン１４がＸ軸方向とＹ軸方向に平行に位置付けられているか否かを確認して基板１０の方向を調整する。次いで、各デバイス１２に形成されている電極パッド１２ａの座標位置を検出し、レーザー光線ＬＢの照射位置を設定するアライメントを実施する。
【００２７】
上記アライメントが完了したならば、電極パッド１２ａに対応する裏面１０ｂからレーザー光線ＬＢを照射するレーザー光線照射工程を実施する。
【００２８】
（レーザー光線照射工程）
上記したように、アライメントを終えた状態で、レーザー光線照射工程を実施する。チャックテーブル２８に保持された基板１０の各デバイス１２、電極パッド１２ａの座標位置は、制御手段１００に記憶され管理されており、上記したアライメントが実施されることで、基板１０上の電極パッド１２ａを任意の位置に正確に位置付けることが可能になっている。
【００２９】
ここで、本実施形態におけるレーザー加工条件は、例えば、以下のように設定される。
レーザー光線の波長    ：３４３ｎｍ
繰り返し周波数        ：５０ｋＨｚ
平均出力              ：２Ｗ
パルスエネルギー      ：４０μＪ
パルス幅              ：１０ｐｓ
スポット径            ：５０μｍ
【００３０】
上記したレーザー加工条件によってレーザー加工を施す際に、基板１０上に照射するレーザー光線ＬＢの時間間隔を０．１ｍｓ以上とすべく、具体的に以下のような方法でレーザー光線ＬＢを照射する。上記したように、パルスレーザー光線発振器手段５１から発振されるレーザー光線ＬＢは、繰り返し周波数が５０ｋＨｚに設定されている。この設定によれば、レーザー光線ＬＢは、０．０２ｍｓの時間間隔で発振される。この設定において、第一の音響光学偏向手段５４、第二の音響光学偏向手段５５を適宜制御することにより、図４に示すが如く、基板１０の裏面１０ｂ側から、隣接して配置される５つの電極パッド１２ａ１〜１２ａ５に対応して、レーザー光線ＬＢ１〜ＬＢ５の照射位置を１パルス毎に変化させて、分散照射を実施する。これを繰り返すことにより、０．０２ｍｓ毎に発振されるレーザー光線ＬＢが、同一の細孔１６に対しては、０．１ｍｓの時間間隔で照射される。本実施形態によれば、レーザー光線ＬＢが照射される時間間隔を開けるためにレーザー光線吸収手段５７に捨てる無駄なレーザー光線ＬＢ’を発振する必要がなく、また、その分、同時進行で複数の細孔１６を形成できることから、加工効率に優れたものとなる。
【００３１】
（検出工程）
上記したレーザー光線照射工程が実施されると共に、基板１０を構成するリチウムタンタレートから発せられる第一のプラズマ光と、電極パッド１２ａから発せられる第二のプラズマ光とを検出する検出工程を実施する。該検出工程について、以下に説明する。
【００３２】
検出工程では、上述したレーザー光線照射工程を実施している状態において、制御手段１００に対し、プラズマ検出手段７０の第一のホトデテクター７４、及び第二のホトデテクター７５から光強度信号が電圧値で出力される。図５には、第一プラズマ光の光強度を検出する第一のホトデテクター７４から出力される電圧値Ｖ（ＬＴ）と、第二のプラズマ光の光強度を検出する第二のホトデテクター７７から出力される電圧値Ｖ（Ｃｕ）とが、時間経過とともに示されている。図５において横軸は時間（Ｔ）を示し、縦軸は光強度に相当する電圧値（Ｖ）を示している。
【００３３】
図５に示すように、基板１０の裏面１０ｂから上記した電極パッド１２ａに対するレーザー光線ＬＢの照射を開始すると、基板１０にレーザー光線ＬＢが照射されることで第一のプラズマ光が発生し、第一のホトデテクター５４から出力される電圧値Ｖ（ＬＴ）が上昇し始め、所定の電圧値（例えば２．５Ｖ）に到達し、レーザー光線ＬＢが電極パッド１２ａに到達するまでは、略一定の値で推移する。その後、レーザー光線ＬＢが電極パッド１２ａに達することで、第一のホトデテクター７４によって出力される電圧値Ｖ（ＬＴ）が下降し始める。
【００３４】
（レーザー照射終了工程）
上記した検出工程によれば、第一のプラズマ光と、第二のプラズマ光の発生状態を検出することができる。この検出工程において第二のプラズマ光を検出することにより、レーザー光線ＬＢの照射を停止するレーザー照射終了工程を実施する。該レーザー照射終了工程について、より具体的に説明する。
【００３５】
レーザー光線ＬＢが電極パッド１２ａ１〜１２ａ５に達した場合、図５に示すように、第二のホトデテクター７５によって出力される電圧値Ｖ（Ｃｕ）が上昇し始める。しかし、上昇直後は、細孔１６が電極パッド１２ａ１〜１２ａ５に対して充分に貫通したとはいえず、細孔１６に導電性部材を埋設しても導通不良を起こすおそれがある。これに対処すべく、本実施形態では、細孔１６が電極パッド１２ａ１〜１２ａ５に対して充分な領域で達したことを検出するため、第二のホトデテクター７５から出力される電圧値Ｖ（Ｃｕ）に対する閾値Ｓ(例えば、１．０Ｖ）が設定されている。第二のホトデテクター７５から出力される電圧値Ｖ（Ｃｕ）と、この閾値Ｓとを比較して、電圧値Ｖ（Ｃｕ）が閾値Ｓを上回ったことが判定されたならば、細孔１６が電極パッド１２ａ１〜１２ａ５に充分な領域で達して、適正な細孔１６が形成されたと判断し、制御手段１００によって、レーザー光線照射手段５０に停止信号を出し、レーザー光線ＬＢの照射を終了させる。なお、閾値Ｓによる上記判定を行わず、レーザー光線照射工程をそのまま継続して実施すると、破線で示すように、電圧値Ｖ（Ｃｕ）はさらに上昇し、略一定の電圧値(例えば、２．５Ｖ）で推移する状態となる。しかし、ここまで上昇させてしまうと、電極パッド１２ａ１〜１２ａ５に貫通孔が開いてしまう恐れがあるため、閾値Ｓはこれよりも低い値に設定される。
【００３６】
上記したように、レーザー光線照射工程、検出工程、及びレーザー照射終了工程を、Ｘ軸送り手段３１によってチャックテーブル２８をＸ軸方向に加工送りしながら実施し、一の電極パッド１２ａ１〜１２ａ５に対応して電極パッド１２ａ１〜１２ａ５に達する適正な細孔１６を形成する。次いで、Ｘ軸方向で隣接するデバイス１２の５つの電極パッド１２ａが集光器５２の直下のレーザー光線ＬＢの照射領域に位置付けられたか否かを判定し、上記と同様のレーザー光線照射工程、検出工程、及びレーザー照射終了工程を実施する。これを繰り返すことにより、Ｘ軸方向に配列された全ての電極パッド１２ａに対して細孔１６を形成する。Ｘ軸方向に配列された全ての電極パッド１２ａに対応する細孔１６を形成したならば、Ｙ軸移動手段３２を作動して、基板１０をＹ軸方向に割り出し送りして、Ｙ軸方向で隣接する電極パッド１２ａの列に対して、上記したのと同様の一連のレーザー加工を実施する。これらを繰り返すことにより、基板１０上に形成された全ての電極パッド１２ａに対応する適正な細孔１６を形成することができる。
【００３７】
上記したように、本実施形態では、パルスレーザー光線発振器５１によって発生させられるレーザー光線ＬＢの繰り返し周波数を５０ｋＨｚ、すなわち、パルス状に照射されるレーザー光線ＬＢの時間間隔を０．０２ｍｓになるように設定し、それを上記したように分散照射することにより、同一の細孔１６に照射されるレーザー光線ＬＢの時間間隔を０．１ｍｓとしている。これは、本発明の技術思想により、同一の細孔１６に照射されるレーザー光線の時間間隔を、０．１ｍｓ以上に設定する必要があるとの知見に基づくものであり、この時間間隔を設定条件とした根拠について、以下のように説明する。
【００３８】
本発明の発明者らは、電極パッド１２ａに対応して基板１０の裏面１０ｂからレーザー光線ＬＢを照射して適正な細孔１６を形成するための同一の細孔１６に照射されるレーザー光線ＬＢの時間間隔について検討すべく、以下のような実験を行った。該実験の結果について、図３、及び図６を参照しながら説明する。図６（１）〜（８）には、レーザー光線照射手段５０によって基板１０の裏面１０ｂから一の電極パッド１２ａに対応させて照射されるレーザー光線ＬＢの信号パルスが示されている。より具体的には、実際に基板１０に照射されるレーザー光線ＬＢのパルスを実線で、第二の音響光学偏向手段５５によって光路から外れるように偏向されレーザー光線吸収手段５７に吸収されて間引かれるレーザー光線ＬＢ’
（図３を参照。）のパルスを破線で示している。なお、下記の各実験において変更を明示したパラメータ以外の加工条件は、上記した実施形態の加工条件に沿って実施しており、以下の説明ではその余の加工条件に関する説明は省略している。
【００３９】
この実験において基準となるレーザー加工条件は以下のとおりである。
パルスレーザー光線の波長        ：３４３ｎｍ
繰り返し周波数                  ：５０ｋＨｚ（基準繰り返し周波数）
平均出力                        ：２Ｗ
パルスエネルギー                ：４０μＪ
パルス幅                        ：１０ｐｓ
スポット径                      ：５０μｍ
【００４０】
＜実験１＞
図６（１）に示すように、上記したレーザー加工条件の基準繰り返し周波数（５０ｋＨｚ：レーザー光線ＬＢの時間間隔０．０２ｍｓ）をそのまま使用して、一の電極パッド１２ａに対応する位置に細孔１６を形成するレーザー加工を実施し、第二のプラズマ光を検出することによりレーザー光線ＬＢの照射を停止した。その結果、電極パッド１２ａには穴が開いた。
【００４１】
＜実験２＞
図６（２）に示すように、上記したレーザー加工条件の基準繰り返し周波数（５０ｋＨｚ）によるレーザー光線ＬＢのうち、偶数番目を間引いて、すなわち１個ずつ間引いて実質的に繰り返し周波数を２５ｋＨｚ（レーザー光線ＬＢの時間間隔０．０４ｍｓ）として、一の電極パッド１２ａに対応する位置に細孔１６を形成するレーザー加工を実施し、第二のプラズマ光を検出することによりレーザー光線ＬＢの照射を停止した。その結果、電極パッド１２ａには穴が開いた。
【００４２】
＜実験３＞
図６（３）に示すように、上記したレーザー加工条件の基準繰り返し周波数（５０ｋＨｚ）によるレーザー光線ＬＢのうち、２個ずつ間引いて実質的に繰り返し周波数を略１６．７ｋＨｚ（レーザー光線ＬＢの時間間隔０．０６ｍｓ）として、一の電極パッド１２ａに対応する位置に細孔１６を形成するレーザー加工を実施し、第二のプラズマ光を検出することによりレーザー光線ＬＢの照射を停止した。その結果、電極パッド１２ａには穴が開いた。
【００４３】
＜実験４＞
図６（４）に示すように、上記したレーザー加工条件の基準繰り返し周波数（５０ｋＨｚ）によるレーザー光線ＬＢのうち、３個ずつ間引いて実質的に繰り返し周波数を１２．５ｋＨｚ（レーザー光線ＬＢの時間間隔０．０８ｍｓ）として、一の電極パッド１２ａに対応する位置に細孔１６を形成するレーザー加工を実施し、第二のプラズマ光を検出することによりレーザー光線ＬＢの照射を停止した。その結果、電極パッド１２ａに僅かに穴が開いた。
【００４４】
＜実験５＞
図６（５）に示すように、上記したレーザー加工条件の基準繰り返し周波数（５０ｋＨｚ）によるレーザー光線ＬＢのうち、４個ずつ間引いて実質的に繰り返し周波数を１０ｋＨｚ（レーザー光線ＬＢの時間間隔０．１ｍｓ）として、一の電極パッド１２ａに対応する位置に細孔１６を形成するレーザー加工を実施し、第二のプラズマ光を検出することによりレーザー光線ＬＢの照射を停止した。その結果、電極パッド１２ａの裏面に凹みは見られたが、穴は開かなかった。
【００４５】
＜実験６＞
図６（６）に示すように、上記したレーザー加工条件の基準繰り返し周波数（５０ｋＨｚ）によるレーザー光線ＬＢのうち、５個ずつ間引いて実質的に繰り返し周波数を８．３ｋＨｚ（レーザー光線ＬＢの時間間隔０．１２ｍｓ）として、一の電極パッド１２ａに対応する位置に細孔１６を形成するレーザー加工を実施し、第二のプラズマ光を検出することによりレーザー光線ＬＢの照射を停止した。その結果、電極パッド１２ａの裏面に凹みは見られたが、穴は開かなかった。
【００４６】
＜実験７＞
図６（７）に示すように、上記したレーザー加工条件の基準繰り返し周波数（５０ｋＨｚ）によるパルスレーザー光線ＬＢのうち、６個ずつ間引いて実質的に繰り返し周波数を７．１ｋＨｚ（レーザー光線ＬＢの時間間隔０．１４ｍｓ）として、一の電極パッド１２ａに対応する位置に細孔１６を形成するレーザー加工を実施し、第二のプラズマ光を検出することによりレーザー光線ＬＢの照射を停止した。その結果、電極パッド１２ａの裏面に僅かな凹みは見られたが、穴は開かなかった。
【００４７】
＜実験８＞
図６（８）に示すように、上記したレーザー加工条件の基準繰り返し周波数（５０ｋＨｚ）によるパルスレーザー光線ＬＢのうち、７個ずつ間引いて実質的に繰り返し周波数を６．２５ｋＨｚ（レーザー光線ＬＢの時間間隔０．１６ｍｓ）として、一の電極パッド１２ａに対応する位置に細孔１６を形成するレーザー加工を実施し、第二のプラズマ光を検出することによりレーザー光線ＬＢの照射を停止した。その結果、電極パッド１２ａに穴が開かず、凹みも観察されなかった。
【００４８】
＜結論＞
上記した実験結果から、本発明者らは、パルスレーザー光線発振器５１によって発生させられるレーザー光線ＬＢの実質的な繰り返し周波数を１０ｋＨｚ以下、すなわち、同一の細孔１６に照射されるレーザー光線ＬＢの時間間隔を０．１ｍｓ以上に設定することで、電極パッド１２ａに細孔１６が至った際に、第二のプラズマ光を充分に検出することができ、電極パッドに穴が開くという問題が解消することを見出した。さらに、レーザー光線ＬＢの時間間隔を０．１５ｍｓ以上に設定することにより、電極パッド１２ａに大きな凹みを生じさせることなく、電極パッド１２ａに細孔１６が至ったことをプラズマ光の検出により適切に判定することができ、レーザー光線照射工程において、パルス状に照射するレーザー光線ＬＢの時間間隔を、０．１５ｍｓ以上に設定することがより好ましいことも見出した。
【００４９】
なお、上記した実施形態では、パルスレーザー光線発振器５１によって発振されるレーザー光線ＬＢの繰り返し周波数を５０ｋＨｚと設定し、５つの電極パッド１２ａ１〜１２ａ５に分散照射することで、同一の細孔１６に照射されるレーザー光線ＬＢの時間間隔を０．１ｍｓに設定したが、本発明はこれに限定されず、繰り返し周波数に応じて分散照射する電極パッドの数を調整してもよい。また、分散照射をせずにパルスレーザー光線発振器５１によって発振させられるレーザー光線の繰り返し周波数自体を１０ｋＨｚ以下に設定することでも、電極パッド１２ａに照射されるレーザー光線ＬＢの時間間隔を０．１ｍｓ以上に設定することができる。
【００５０】
さらに、上記した実験のように、パルスレーザー光線発振器５１によって発振されるレーザー光線の繰り返し周波数を５０ｋＨｚに設定した上で、第二の音響光学偏向手段５５を適宜制御して、不要なレーザー光線ＬＢ’をレーザー光線吸収手段５７に吸収させて間引くことにより、上記したような分散照射を実施することなく、同一の細孔１６に照射されるレーザー光線ＬＢの時間間隔を０．１ｍｓ以上とすることもできる。
【００５１】
上記した実施形態では、基板１０をリチウムタンタレートにより構成した例を示したが、本発明はこれらに限定されない。基板１０をシリコン、リチウムナイオベート（ＬＮ）、ガラス等、他の部材により構成することもできる。その場合は、基板１０として採用する物質に応じて第一のプラズマ光の波長も変化するため、これに対応すべくビームスプリッター７２、及び第一のバンドパスフィルター７３によって通過させる波長域を調整する。なお、電極パッド１２ａとしては銅が採用されることが一般的であるが、本発明は他の部材(例えば金等）により構成することを除外しない。その場合は、上記した第一のバンドパスフィルター７３と同様に、採用する金属に応じて第二のバンドパスフィルター７６によって通過させる波長を調整するとよい。
【符号の説明】
【００５２】
１：レーザー加工装置
１０：基板
１２：デバイス
１２ａ：電極パッド
１２１：内接円
１２２ａ：照射領域
１４：分割予定ライン
１６：細孔
２０：保持手段
２１：Ｘ軸方向可動板
２２：Ｙ軸方向可動板
２４：支柱
２６：カバー板
２８：チャックテーブル
３０：移動手段
４０：吸着チャック
４２：クランプ
５０：レーザー光線照射手段
５２：集光器
５４：第一の音響光学偏向手段
５５：第二の音響光学偏向手段
５７：レーザー光線吸収手段
６０：撮像手段
７０：プラズマ検出手段
７１：プラズマ光受光手段
７２：ビームスプリッター
７２ａ：第一の光路
７２ｂ：第二の光路
７３：第一のバンドパスフィルター
７４：第一のホトデテクター
７６：第二のバンドパスフィルター
７７：第二のホトデテクター
１００：制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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