(57)【要約】【課題】基板搬送時の基板破損を事前に予知できる技術を提供する。【解決手段】本開示の一態様による搬送方法は、基板を保持して搬送する搬送部と、基板の搬送先又は搬送元である基板載置部と、の間で基板を搬送する搬送方法であって、前記搬送部の位置情報及び前記基板載置部の位置情報を取得するステップと、前記取得した前記搬送部の位置情報及び前記基板載置部の位置情報に基づいて、前記基板が前記基板載置部に接触するおそれがあるか否かを判定するステップと、前記判定するステップにおいて前記基板が前記基板載置部に接触するおそれがあると判定された場合、その旨を報知するステップと、を有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持して搬送する搬送部と、基板の搬送先又は搬送元である基板載置部と、の間で基板を搬送する搬送方法であって、
前記搬送部の位置情報及び前記基板載置部の位置情報を取得するステップと、
前記取得した前記搬送部の位置情報及び前記基板載置部の位置情報に基づいて、前記基板が前記基板載置部に接触するおそれがあるか否かを判定するステップと、
前記判定するステップにおいて前記基板が前記基板載置部に接触するおそれがあると判定された場合、その旨を報知するステップと、
を有する、
搬送方法。
【請求項２】
前記判定するステップは、
前記搬送部の位置情報が予め定められた範囲内に含まれているかを判定するステップと、
前記基板載置部の位置情報が予め定められた範囲内に含まれているかを判定するステップと、
を含む、
請求項１に記載の搬送方法。
【請求項３】
前記判定するステップは、
前記搬送部の位置情報と前記基板載置部の位置情報とに基づいて、前記搬送部を前記基板載置部との間で前記基板を受け渡す位置に移動させたときの前記搬送部と前記基板載置部との相対位置を算出するステップと、
前記算出するステップにおいて算出された前記相対位置に基づいて、前記基板が前記基板載置部に接触するおそれがあるか否かを判定するステップと、
を含む、
請求項１に記載の搬送方法。
【請求項４】
前記搬送部の位置情報は、光学センサにより測定される値を含む、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の搬送方法。
【請求項５】
前記基板載置部の位置情報は、光学センサにより測定される値を含む、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の搬送方法。
【請求項６】
前記基板載置部は、複数の基板を上下方向に所定間隔を有して略水平に保持する複数の保持部を有し、
前記基板載置部の位置情報は、隣接する前記保持部間の距離を含む、
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の搬送方法。
【請求項７】
前記搬送部は、上下方向に間隔を有して設けられた前記基板を保持するための複数のフォークを有し、
前記搬送部の位置情報は、隣接する前記フォーク間の距離を含む、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の搬送方法。
【請求項８】
基板を保持して搬送する搬送部と、基板の搬送先又は搬送元である基板載置部と、の間で基板を搬送する搬送システムであって、
前記搬送部の位置情報及び前記基板載置部の位置情報を取得する取得部と、
前記取得した前記搬送部の位置情報及び前記基板載置部の位置情報に基づいて、前記基板が前記基板載置部に接触するおそれがあるか否かを判定する判定部と、
前記判定部が判定した結果を表示する表示部と、
を有する、
搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、搬送方法及び搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
縦長の熱処理炉を有し、ウエハボートに複数枚のウエハを載置した状態で熱処理炉に収容し、ウエハを加熱する熱処理を行う縦型熱処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この縦型熱処理装置では、複数枚のフォークを有するウエハ搬送装置により、キャリアに収納されたウエハＷをウエハボートに複数枚同時に搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１９−０４６８４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、基板搬送時の基板破損を事前に予知できる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様による搬送方法は、基板を保持して搬送する搬送部と、基板の搬送先又は搬送元である基板載置部と、の間で基板を搬送する搬送方法であって、前記搬送部の位置情報及び前記基板載置部の位置情報を取得するステップと、前記取得した前記搬送部の位置情報及び前記基板載置部の位置情報に基づいて、前記基板が前記基板載置部に接触するおそれがあるか否かを判定するステップと、前記判定するステップにおいて前記基板が前記基板載置部に接触するおそれがあると判定された場合、その旨を報知するステップと、を有する。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、基板搬送時の基板破損を事前に予知できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】一実施形態の基板処理システムの構成例を示す断面図
【図２】一実施形態の基板処理システムの構成例を示す平面図
【図３】制御装置のハードウェア構成の一例を示す図
【図４】制御装置の機能構成の一例を示す図
【図５】予防保全処理の流れを説明する図
【図６】ティーチング支援処理の流れを説明する図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付の図面を参照しながら、本開示の限定的でない例示の実施形態について説明する。添付の全図面中、同一又は対応する部材又は部品については、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【０００９】
〔基板処理システム〕
一実施形態の基板処理システムの構成例について、図１及び図２を参照して説明する。図１及び図２は、それぞれ一実施形態の基板処理システムの構成例を示す断面図及び平面図である。
【００１０】
図１に示されるように、基板処理システムは、基板処理装置１と、制御装置９０と、を有する。基板処理装置１は、基板である半導体ウエハ（以下「ウエハＷ」という。）に対して所定の処理（例えば、熱処理）を行う装置である。制御装置９０は、基板処理装置１の全体の制御を行う装置である。
【００１１】
〔基板処理装置〕
基板処理装置１の構成例について、図１及び図２を参照して説明する。基板処理装置１は、装置の外装体を構成する筐体２に収容されて構成される。筐体２内には、キャリア搬送領域Ｓ１と、ウエハ搬送領域Ｓ２とが形成されている。キャリア搬送領域Ｓ１とウエハ搬送領域Ｓ２とは、隔壁４により仕切られている。隔壁４には、キャリア搬送領域Ｓ１とウエハ搬送領域Ｓ２とを連通させ、ウエハＷを搬送するための搬送口６が設けられている。搬送口６は、ＦＩＭＳ（Front-Opening Interface Mechanical Standard）規格に従ったドア機構８により開閉される。ドア機構８には、蓋体開閉装置７の駆動機構が接続されており、駆動機構によりドア機構８は前後方向及び上下方向に移動自在に構成され、搬送口６が開閉される。
【００１２】
以下、キャリア搬送領域Ｓ１及びウエハ搬送領域Ｓ２の配列方向を前後方向（図２の第２の水平方向に対応）とし、前後方向に垂直な水平方向を左右方向（図２の第１の水平方向に対応）とする。
【００１３】
キャリア搬送領域Ｓ１は、大気雰囲気下にある領域である。キャリア搬送領域Ｓ１は、ウエハＷが収納されたキャリアＣを、基板処理装置１内の後述する要素間で搬送する、外部から基板処理装置１内に搬入する、又は基板処理装置１から外部へと搬出する領域である。キャリアＣは、例えばＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）であってよい。ＦＯＵＰ内の清浄度が所定のレベルに保持されることで、ウエハＷの表面への異物の付着や自然酸化膜の形成を防止できる。キャリア搬送領域Ｓ１は、第１の搬送領域１０と、第１の搬送領域１０の後方（ウエハ搬送領域Ｓ２側）に位置する第２の搬送領域１２とから構成される。
【００１４】
第１の搬送領域１０には、一例として上下に２段（図１参照）、且つ各段左右に２つ（図２参照）のロードポート１４が設けられている。ロードポート１４は、キャリアＣが基板処理装置１に搬入されたときに、キャリアＣを受け入れる搬入用の載置台である。ロードポート１４は、筐体２の壁が開放された箇所に設けられ、外部から基板処理装置１へのアクセスが可能となっている。具体的には、基板処理装置１の外部に設けられた搬送装置（図示せず）によって、ロードポート１４上へのキャリアＣの搬入及び載置と、ロードポート１４から外部へのキャリアＣの搬出が可能となっている。また、ロードポート１４は、例えば上下に２段存在するため、両方でのキャリアＣの搬入及び搬出が可能となっている。ロードポート１４の下段には、キャリアＣを保管できるようにするために、ストッカ１６が備えられていてもよい。ロードポート１４のキャリアＣを載置する面には、キャリアＣを位置決めする位置決めピン１８が、例えば３箇所に設けられている。また、ロードポート１４上にキャリアＣを載置した状態において、ロードポート１４が前後方向に移動可能に構成されてもよい。
【００１５】
第２の搬送領域１２の下部には、上下方向に並んで２つ（図１参照）のＦＩＭＳポート２４が配置されている。ＦＩＭＳポート２４は、キャリアＣ内のウエハＷを、ウエハ搬送領域Ｓ２内の後述する熱処理炉８０に対して搬入及び搬出する際に、キャリアＣを保持する保持台である。ＦＩＭＳポート２４は、前後方向に移動自在に構成されている。ＦＩＭＳポート２４のキャリアＣを載置する面にも、ロードポート１４と同様に、キャリアＣを位置決めする位置決めピン１８が、３箇所に設けられている。
【００１６】
第２の搬送領域１２の上部には、キャリアＣを保管するストッカ１６が設けられている。ストッカ１６は、例えば３段の棚により構成されており、各々の棚には、左右方向に２つ以上のキャリアＣを載置できる。また、第２の搬送領域１２の下部であって、キャリア載置台が配置されていない領域にも、ストッカ１６を配置する構成であってもよい。
【００１７】
第１の搬送領域１０と第２の搬送領域１２との間には、ロードポート１４、ストッカ１６、及びＦＩＭＳポート２４の間でキャリアＣを搬送するキャリア搬送機構３０が設けられている。
【００１８】
キャリア搬送機構３０は、第１のガイド３１と、第２のガイド３２と、移動部３３と、アーム部３４と、ハンド部３５と、を備えている。第１のガイド３１は、上下方向に伸びるように構成されている。第２のガイド３２は、第１のガイド３１に接続され、左右方向（第１の水平方向）に伸びるように構成されている。移動部３３は、第２のガイド３２に導かれながら左右方向に移動するように構成されている。アーム部３４は、１つの関節と２つのアーム部とを有し、移動部３３に設けられる。ハンド部３５は、アーム部３４の先端に設けられている。ハンド部３５には、キャリアＣを位置決めするピン１８が、３箇所に設けられている。
【００１９】
ウエハ搬送領域Ｓ２は、キャリアＣからウエハＷを取り出し、各種の処理を施す領域である。ウエハ搬送領域Ｓ２は、ウエハＷに酸化膜が形成されることを防ぐために、不活性ガス雰囲気、例えば窒素（Ｎ２）ガス雰囲気とされている。ウエハ搬送領域Ｓ２には、下端が炉口として開口された縦型の熱処理炉８０が設けられている。
【００２０】
熱処理炉８０は、ウエハＷを収容可能であり、ウエハＷの熱処理を行うための石英製の円筒状の処理容器８２を有する。処理容器８２の周囲には円筒状のヒータ８１が配置され、ヒータ８１の加熱により収容したウエハＷの熱処理が行われる。処理容器８２の下方には、シャッタ（図示せず）が設けられている。シャッタは、ウエハボート５０が熱処理炉８０から搬出され、次のウエハボート５０が搬入されるまでの間、熱処理炉８０の下端に蓋をするための扉である。熱処理炉８０の下方には、基板保持具であるウエハボート５０が保温筒５２を介して蓋体５４の上に載置されている。言い換えると、蓋体５４は、ウエハボート５０の下方に、ウエハボート５０と一体として設けられている。
【００２１】
ウエハボート５０は、例えば石英製であり、大口径（例えば直径が３００ｍｍ又は４５０ｍｍ）のウエハＷを、上下方向に所定間隔を有して略水平に保持するように構成されている。ウエハボート５０に収容されるウエハＷの枚数は、特に限定されないが、例えば５０〜２００枚であってよい。蓋体５４は、昇降機構（図示せず）に支持されており、昇降機構によりウエハボート５０が熱処理炉８０に対して搬入又は搬出される。ウエハボート５０と搬送口６との間には、ウエハ搬送装置６０が設けられている。
【００２２】
ウエハ搬送装置６０は、ＦＩＭＳポート２４上に保持されたキャリアＣとウエハボート５０との間でウエハＷの移載を行う。ウエハ搬送装置６０は、ガイド機構６１と、移動体６２と、フォーク６３と、昇降機構６４と、回転機構６５とを有する。ガイド機構６１は、直方体状である。ガイド機構６１は、鉛直方向に延びる昇降機構６４に取り付けられ、昇降機構６４により鉛直方向への移動が可能であると共に、回転機構６５により回動が可能に構成されている。移動体６２は、ガイド機構６１上に長手方向に沿って進退移動可能に設けられている。フォーク６３は、移動体６２を介して取り付けられる移載機であり、複数枚（例えば５枚）設けられている。複数枚のフォーク６３を有することで、複数枚のウエハＷを同時に移載できるので、ウエハＷの搬送に要する時間を短縮できる。但し、フォーク６３は１枚であってもよい。
【００２３】
ウエハ搬送領域Ｓ２の天井部又は側壁部には、フィルタユニット（図示せず）が設けられていてもよい。フィルタユニットとしては、ＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）、ＵＬＰＡフィルタ（Ultra-Low Penetration Air Filter）等が挙げられる。フィルタユニットを設けることで、ウエハ搬送領域Ｓ２に清浄空気を供給できる。
【００２４】
〔制御装置〕
制御装置９０について説明する。制御装置９０は、基板処理装置１の全体の制御を行う。制御装置９０は、レシピに従い、レシピに示された種々の処理条件下で熱処理が行われるように、基板処理装置１内の種々の機器の動作を制御する。また、制御装置９０は、後述する、ウエハ搬送装置６０のティーチング時期を知らせる処理（以下「予防保全処理」という。）、機械学習を用いてウエハ搬送装置６０のティーチングをサポート（支援）する処理（以下「ティーチング支援処理」）を実行する。
【００２５】
制御装置９０のハードウェアの構成例について、図３を参照して説明する。図３は、制御装置９０のハードウェア構成の一例を示す図である。
【００２６】
制御装置９０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）９０１、ＲＯＭ（Read Only Memory）９０２、ＲＡＭ（Random Access Memory）９０３を有する。ＣＰＵ９０１、ＲＯＭ９０２、ＲＡＭ９０３は、いわゆるコンピュータを形成する。また、制御装置９０は、補助記憶装置９０４、操作装置９０５、表示装置９０６、Ｉ／Ｆ（Interface）装置９０７、ドライブ装置９０８を有する。なお、制御装置９０の各ハードウェアは、バス９０９を介して相互に接続される。
【００２７】
ＣＰＵ９０１は、補助記憶装置９０４にインストールされた各種プログラムを実行する。
【００２８】
ＲＯＭ９０２は、不揮発性メモリであり、主記憶装置として機能する。ＲＯＭ９０２は、補助記憶装置９０４にインストールされた各種プログラムをＣＰＵ９０１が実行するために必要な各種プログラム、データ等を格納する。
【００２９】
ＲＡＭ９０３は、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）やＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）等の揮発性メモリであり、主記憶装置として機能する。ＲＡＭ９０３は、補助記憶装置９０４にインストールされた各種プログラムがＣＰＵ９０１によって実行される際に展開される、作業領域を提供する。
【００３０】
補助記憶装置９０４は、各種プログラムや、各種プログラムがＣＰＵ９０１によって実行されることで取得されるティーチングデータ等を格納する。
【００３１】
操作装置９０５は、管理者が制御装置９０に対して各種指示を入力する際に用いる入力デバイスである。表示装置９０６は、制御装置９０の内部情報を表示する表示デバイスである。
【００３２】
Ｉ／Ｆ装置９０７は、通信回線（図示せず）に接続し、基板処理装置１、ホストコンピュータ（図示せず）等と通信するための接続デバイスである。
【００３３】
ドライブ装置９０８は記録媒体をセットするためのデバイスである。記録媒体には、ＣＤ−ＲＯＭ、フレキシブルディスク、光磁気ディスク等のように情報を光学的、電気的あるいは磁気的に記録する媒体が含まれる。また、記録媒体には、ＲＯＭ、フラッシュメモリ等のように情報を電気的に記録する半導体メモリ等が含まれていてもよい。
【００３４】
なお、補助記憶装置９０４にインストールされる各種プログラムは、例えば、配布された記録媒体がドライブ装置９０８にセットされ、該記録媒体に記録された各種プログラムがドライブ装置９０８により読み出されることでインストールされる。
【００３５】
制御装置９０の機能構成例について、図４を参照して説明する。図４は、制御装置９０の機能構成の一例を示す図である。
【００３６】
制御装置９０は、動作制御部９１、取得部９２、判定部９３、演算部９４、表示部９５、学習部９６、格納部９７を有する。
【００３７】
動作制御部９１は、基板処理装置１の各部の動作、例えばウエハ搬送装置６０の動作を制御する。一実施形態では、動作制御部９１は、ウエハ搬送装置６０を動作させてキャリアＣとウエハボート５０との間でウエハＷを搬送する。また、動作制御部９１は、ウエハ搬送装置６０を動作させてフォークスキャンを実行する。フォークスキャンは、例えば光学センサ（図示せず）により、ウエハ搬送装置６０の位置情報を測定する動作である。ウエハ搬送装置６０の位置情報は、例えばウエハ搬送装置６０の複数のフォーク６３における隣接するフォーク間の距離であるフォーク間隔、移動体６２に対する各フォーク６３の角度であるフォーク角度を含む。光学センサは、例えばウエハ搬送領域Ｓ２に設けられた透過型光学センサや反射型光学センサであってよい。また、動作制御部９１は、ウエハ搬送装置６０を動作させてボートスキャンを実行する。ボートスキャンは、例えばウエハ搬送装置６０のフォーク６３に取り付けられた光学センサ（図示せず）により、ウエハボート５０の位置情報を測定する動作である。ウエハボート５０の位置情報は、例えばウエハボート５０に保持された複数のウエハＷにおける隣接するウエハ間の距離であるウエハ間隔を含む。
【００３８】
取得部９２は、基板処理装置１から各種のデータを取得する。一実施形態では、取得部９２は、フォークスキャンにより測定されたフォーク間隔のデータ、ボートスキャンにより測定されたウエハ間隔のデータ等を取得する。また、取得部９２は、格納部９７に格納された各種のデータを取得する。各種のデータは、例えばフォーク間隔に関するｘ−Ｒ管理図、ウエハ間隔の差分に関するｘ−Ｒ管理図、ウエハ搬送装置６０に関する３次元データ、ウエハ搬送の過去のティーチングデータ、熱変異データを含む。
【００３９】
判定部９３は、取得部９２が取得した各種のデータに基づいて各種の判定を行う。一実施形態では、判定部９３は、フォーク間隔が、該フォーク間隔に関するｘ−Ｒ管理図における管理限界内にあるか否かを判定する。また、判定部９３は、熱処理前のボートスキャンによるウエハ間隔と熱処理後のボートスキャンによるウエハ間隔との差分が、該ウエハ間隔の差分に関するｘ−Ｒ管理図における管理限界内にあるか否かを判定する。
【００４０】
演算部９４は、各種の演算を行う。一実施形態では、演算部９４は、取得部９２が取得したフォーク間隔のデータ及びウエハ間隔のデータに基づいて、ウエハ搬送装置６０のティーチングデータを補正する。
【００４１】
表示部９５は、表示装置９０６に表示する各種の情報を生成する。具体的には、表示部９５は、異常レベルを可視化する。例えば、表示部９５は、フォーク間隔に関するｘ−Ｒ管理図上に取得部９２が取得したフォーク間隔をプロットした画像を表示装置９０６に表示する。また例えば、表示部９５は、ウエハ間隔に関するｘ−Ｒ管理図上に取得部９２が取得したウエハ間隔をプロットした画像を表示装置９０６に表示する。また例えば、表示部９５は、警報を表示装置９０６に表示する。
【００４２】
学習部９６は、ウエハ搬送装置６０に関する３次元データ、ウエハ搬送の過去のティーチングデータ及び熱変異データを取得する。そして、学習部９６は、取得したデータに基づいて、機械学習により、熱処理温度ごとのウエハ搬送の最適なティーチングデータを算出するニューラルネットワークを生成する。ウエハ搬送装置６０に関する３次元データは、例えばウエハ搬送装置６０、ウエハボート５０及び関連周辺機器の３次元データを含む。ウエハ搬送の過去のティーチングデータは、例えば所定期間（例えば１年）内に再ティーチングの実績がなく、且つウエハＷを搬送する際に不具合等が発生していないティーチングデータであってよい。熱変異データは、例えばウエハボート５０を熱処理炉８０から搬出した時のボートエレベータ及びウエハ搬送装置６０の熱変異データを含む。
【００４３】
格納部９７は、各種のデータを格納する。各種のデータとしては、測定データ、学習データ、モデルデータ、判定用データ等が挙げられる。測定データは、取得部９２が取得したフォーク間隔のデータ、ウエハ間隔のデータを含む。学習データは、学習部９６による学習に必要なデータ、例えばウエハ搬送装置６０に関する３次元データ、ウエハ搬送の過去のティーチングデータ、熱変異データを含む。モデルデータは、学習部９６による学習により生成されるデータ、例えばニューラルネットワークを含む。判定用データは、判定部９３による判定に必要なデータ、例えばフォーク間隔に関するｘ−Ｒ管理図、ウエハ間隔の差分に関するｘ−Ｒ管理図を含む。
【００４４】
〔予防保全処理〕
制御装置９０が実行する予防保全処理について、図５を参照して説明する。図５は、予防保全処理の流れを説明する図である。
【００４５】
ステップＳ１０１では、制御装置９０は、ウエハ搬送装置６０を動作させてフォークスキャンを実行する。これにより、ウエハ搬送装置６０の複数のフォーク６３における隣接するフォーク間の距離であるフォーク間隔が測定される。なお、ステップＳ１０１では、フォーク間隔に加えて、移動体６２に対する各フォーク６３の角度であるフォーク角度が測定されてもよい。
【００４６】
ステップＳ１０２では、制御装置９０は、ステップＳ１０１のフォークスキャンにより測定されたフォーク間隔のデータを取得する。なお、ステップＳ１０２では、フォーク間隔のデータに加えて、フォーク角度のデータを取得してもよい。
【００４７】
ステップＳ１０３では、制御装置９０は、ステップＳ１０２で取得したフォーク間隔が、格納部９７に格納された、フォーク間隔に関するｘ−Ｒ管理図における管理限界内にあるか否かを判定する。該ｘ−Ｒ管理図は、例えば予め予備実験及び実運用によって取得したデータにより作成され、格納部９７に格納されている。該ｘ−Ｒ管理図は、実運用のデータによって定期的に更新される。ステップＳ１０３において、ステップＳ１０２で取得したフォーク間隔が、格納部９７に格納された、フォーク間隔に関するｘ−Ｒ管理図における管理限界内にある場合、ウエハＷがフォーク６３に接触するおそれがないと判断し、ステップＳ１０４に進む。一方、ステップＳ１０３において、ステップＳ１０２で取得したフォーク間隔が、格納部９７に格納された、フォーク間隔に関するｘ−Ｒ管理図における管理限界内にない場合、ウエハＷがフォーク６３に接触するおそれがあると判断し、ステップＳ１１１に進む。なお、ステップＳ１０３では、フォーク間隔の判定に加えて、フォーク角度の判定を行ってもよい。
【００４８】
ステップＳ１０４では、制御装置９０は、ウエハ搬送装置６０を動作させてウエハＷを搬送元のキャリアＣから搬送先のウエハボート５０に搬送する。
【００４９】
ステップＳ１０５では、制御装置９０は、ウエハボート５０を熱処理炉８０に搬入（ロード）する前にボートスキャンを実行する。これにより、熱処理（ロード）前のウエハ間隔が測定される。
【００５０】
ステップＳ１０６では、制御装置９０は、ステップＳ１０５のボートスキャンにより測定されたロード前のウエハ間隔のデータを取得する。
【００５１】
ステップＳ１０７では、制御装置９０は、ウエハ搬送装置６０を動作させてウエハボート５０を熱処理炉８０から搬出（アンロード）し、その後、ボートスキャンを実行する。これにより、熱処理（アンロード）後のウエハ間隔が測定される。
【００５２】
ステップＳ１０８では、制御装置９０は、ステップＳ１０７のボートスキャンにより測定されたアンロード後のウエハ間隔のデータを取得する。
【００５３】
ステップＳ１０９では、制御装置９０は、ロード前のボートスキャンによるウエハ間隔とアンロード後のボートスキャンによるウエハ間隔との差分が、格納部９７に格納された、ウエハ間隔の差分に関するｘ−Ｒ管理図における管理限界内にあるか否かを判定する。ステップＳ１０９において、ステップＳ１０６で取得したウエハ間隔とステップＳ１０８で取得したウエハ間隔との差分がウエハ間隔の差分に関するｘ−Ｒ管理図における管理限界内にある場合、ウエハＷがフォーク６３に接触するおそれがないと判断する。そして、ステップＳ１１０に進む。一方、ステップＳ１０９において、ステップＳ１０６で取得したウエハ間隔とステップＳ１０８で取得したウエハ間隔との差分がウエハ間隔の差分に関するｘ−Ｒ管理図における管理限界内にない場合、ウエハＷがフォーク６３に接触するおそれがあると判断する。そして、ステップＳ１１１へ進む。
【００５４】
ステップＳ１１０では、制御装置９０は、ステップＳ１０２で取得したフォーク間隔のデータ及びステップＳ１０６及びステップＳ１０８で取得したウエハ間隔のデータに基づいて、ウエハ搬送装置６０のティーチングデータを補正する。その後、処理を終了する。
【００５５】
ステップＳ１１１では、制御装置９０は、異常レベルを可視化する。例えば、制御装置９０は、フォーク間隔に関するｘ−Ｒ管理図上にステップＳ１０２で取得したフォーク間隔をプロットした画像を表示装置９０６に表示する。また例えば、制御装置９０は、ウエハ間隔に関するｘ−Ｒ管理図上にステップＳ１０６又はステップＳ１０８で取得したウエハ間隔をプロットした画像を表示装置９０６に表示する。また例えば、制御装置９０は、警報を表示装置９０６に表示して報知する自動アラート機能を有していてもよい。これらの異常レベルの可視化及び自動アラート機能により、適正な装置の予防保全及び保守員による定期調整により装置稼働率向上が可能となる。
【００５６】
ステップＳ１１２では、保守員は、表示装置９０６に表示された画像や警報に基づいて、点検、修理、部品交換等の保全計画を立て、メンテナンスを実行する。
【００５７】
以上に説明した予防保全処理によれば、適正な装置の予防保全及び保守員による定期調整により装置稼働率向上が可能となる。
【００５８】
なお、上記の予防保全処理では、ステップＳ１０３及びステップＳ１０９において、ｘ−Ｒ管理図における管理限界内にない場合、ステップＳ１１１に遷移する形態を説明したが、これに限定されない。例えば、ステップＳ１０３、Ｓ１０９において、ｘ−Ｒ管理図における管理限界内にない場合、ステップＳ１１１に遷移するか、管理限界外であっても適正な位置に自動補正を行って運用を続けるようにステップＳ１１０に遷移するのを選択できるようにしてもよい。
【００５９】
また、上記の予防保全処理では、フォーク間隔のデータが予め定められた管理限界内に含まれているかを判定するステップと、ウエハ間隔のデータが予め定められた管理限界内に含まれているかを判定するステップと、を含む場合を説明したが、これに限定されない。例えば、制御装置９０は、フォーク間隔のデータとウエハ間隔のデータとに基づいて、フォーク６３をウエハボート５０との間でウエハＷを受け渡す位置に移動させたときのフォーク６３とウエハボート５０との相対位置を算出してもよい。この場合、制御装置９０は、算出した相対位置に基づいて、ウエハＷがウエハボート５０に接触するおそれがあるか否かを判定する。
【００６０】
〔ティーチング支援処理〕
制御装置９０が実行するティーチング支援処理について、図６を参照して説明する。図６は、ティーチング支援処理の流れを説明する図である。図６に示されるようにティーチング支援処理は、ステップＳ２０１〜Ｓ２０２を含む学習処理と、ステップＳ３０１〜Ｓ３０３を含むウエハ搬送処理と、を含む。
【００６１】
ステップＳ２０１では、制御装置９０は、ウエハ搬送装置６０に関する３次元データ、ウエハ搬送の過去のティーチングデータ及び熱変異データを取得する。そして、制御装置９０は、取得したデータに基づいて、機械学習により、熱処理温度やウエハボート５０の形状ごとのウエハ搬送の最適なティーチングデータを算出するニューラルネットワークを生成する。ウエハ搬送装置６０に関する３次元データは、例えばウエハ搬送装置６０、ウエハボート５０及び関連周辺機器の３次元データを含む。ウエハ搬送の過去のティーチングデータは、例えば所定期間（例えば１年）内に再ティーチングの実績がなく、且つウエハＷを搬送する際に不具合等が発生していないティーチングデータであってよい。熱変異データは、例えばウエハボート５０を熱処理炉８０から搬出した時のボートエレベータ及びウエハ搬送装置６０の熱変異データを含む。
【００６２】
ステップＳ２０２では、制御装置９０は、ステップＳ２０１において生成したニューラルネットワークを格納部９７に格納し、処理を終了する。
【００６３】
ステップＳ３０１では、保守員（作業者）は、ウエハ搬送装置６０を動作させてウエハボート５０上の少なくとも１つのスロットに対するティーチングを行い、ティーチングデータを格納部９７に格納する。該スロットは、ウエハボート５０上の任意のスロットであってよく、例えばウエハボート５０上の最下部、最上部、真ん中周辺等であってよい。
【００６４】
ステップＳ３０２では、制御装置９０は、格納部９７に格納されたウエハボート５０上の少なくとも１つのスロットのティーチングデータ、ニューラルネットワーク及びウエハボート５０の熱変異データに基づいて、全スロットのティーチングデータを生成する。
【００６５】
ステップＳ３０３では、制御装置９０は、ウエハ搬送装置６０を動作させてステップＳ３０２で生成したティーチングデータに基づいて、ウエハボート５０にウエハＷを搬送する。
【００６６】
なお、上記の実施形態において、キャリアＣ及びウエハボート５０は基板載置部の一例であり、ウエハ搬送装置６０は搬送部の一例であり、フォーク６３は保持部の一例である。
【００６７】
以上に説明したティーチング支援処理によれば、保守員はウエハボート５０上の１箇所のみティーチングを行うだけなので、作業負担低減及び作業者の違いによるティーチング精度のバラツキを低減できる。その結果、品質、作業工数賃金、納品期間の短縮が可能となる。
【００６８】
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
【符号の説明】
【００６９】
５０  ウエハボート
６０  ウエハ搬送装置
６３  フォーク
Ｃ    キャリア
Ｗ    ウエハ
【図１】
2020194925.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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