(57)【要約】【課題】可変容量の調節を行い易い外力検出センサを提供する。【解決手段】外力検出センサにおいて、カンチレバー２は、弾性材料により構成され、上部側が支持された状態で、容器１０内を下方側へ伸びるように配置された、その一面側には可動電極４１が設けられる。カンチレバー保持部３の固定電極４２は、可動電極４１に対向する位置に設けられ、カンチレバー２の撓みに応じて容量が変化し、発振部に接続される可変容量Ｃｖを形成する。カンチレバー２及びカンチレバー保持部３の少なくとも一方には、可変容量を形成する際の可動電極４１と固定電極４２との離接動作を促進するための動作促進構造４３が設けられている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外力を検出する外力検出センサであって、
弾性材料により構成され、上部側が支持された状態で、容器内を下方側へ伸びるように配置されたカンチレバーと、
前記カンチレバーの一面側に設けられた可動電極と、
前記容器内の前記可動電極に対向する位置に設けられ、前記カンチレバーの撓みに応じて前記可動電極との間の容量が変化すると共に、発振部に接続される可変容量を形成するための固定電極と、
前記固定電極が形成されると共に、前記カンチレバーを保持するカンチレバー保持部とを備え、
前記カンチレバー及び前記カンチレバー保持部の少なくとも一方には、前記可変容量を形成する際の前記可動電極と前記固定電極との離接動作を促進するための動作促進構造が設けられていることを特徴とする外力検出センサ。
【請求項２】
前記動作促進構造は、前記可動電極または前記固定電極の形成面に形成された、突起部であることを特徴とする請求項１に記載の外力検出センサ。
【請求項３】
前記動作促進構造は、前記可動電極または前記固定電極の形成面に形成された、溝部であることを特徴とする請求項１に記載の外力検出センサ。
【請求項４】
前記動作促進構造は、前記可動電極の形成面に形成された、貫通孔であることを特徴とする請求項１に記載の外力検出センサ。
【請求項５】
前記カンチレバー及び前記カンチレバー保持部は、水晶により構成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の外力検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カンチレバーを用いて外力の変化を検出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
加速度、圧力、重力などの外力を検出する外力検出装置として、容器内に固定配置された固定電極と、この容器内部に片持ち支持され、固定電極との対向面に可動電極が設けられた水晶片（カンチレバー）とを有するものが知られている（特許文献１参照）。水晶片を振動させた状態で外力検出装置に外力が作用すると、水晶片が撓んで可動電極の位置変化が生じ、固定電極と可動電極との間の静電容量が変化する。上記した外力検出装置では、このような外力に起因する静電容量の変化を周波数の変化として検出している。
【０００３】
一方、外力検出装置においては、検出する外力の種類や検出対象などに応じて、その分解能（単位周波数変化あたりに測定可能な外力の大きさ）や測定範囲について異なる仕様が要求される。この点、上述の外力検出装置は、予め設定された基準位置からの可動電極の位置の変化を周波数変化として検出する構成となっているため、このような仕様の違いに応じて基準位置における固定−可動電極間の距離（電極間隔）や水晶片の撓み特性の異なる外力検出装置を作り分ける必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１６９６１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、可変容量の調節を行い易い外力検出センサを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る外力検出センサは、外力を検出する外力検出センサであって、
弾性材料により構成され、上部側が支持された状態で、容器内を下方側へ伸びるように配置されたカンチレバーと、
前記カンチレバーの一面側に設けられた可動電極と、
前記容器内の前記可動電極に対向する位置に設けられ、前記カンチレバーの撓みに応じて前記可動電極との間の容量が変化すると共に、発振部に接続される可変容量を形成するための固定電極と、
前記固定電極が形成されると共に、前記カンチレバーを保持するカンチレバー保持部とを備え、
前記カンチレバー及び前記カンチレバー保持部の少なくとも一方には、前記可変容量を形成する際の前記可動電極と前記固定電極との離接動作を促進するための動作促進構造が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
上述の外力検出センサは、以下の構成を備えていてもよい。  
（ａ）前記動作促進構造は、前記可動電極または前記固定電極の形成面に形成された、突起部であること。前記動作促進構造は、前記可動電極または前記固定電極の形成面に形成された、溝部であること。前記動作促進構造は、前記可動電極の形成面に形成された、貫通孔であること。  
（ｂ）前記カンチレバー及び前記カンチレバー保持部は、水晶により構成されていること。  
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、カンチレバーに設けられた可動電極と、カンチレバー保持部に形成された固定電極との離接動作を促進するための動作促進構造が設けられているので、直接触れることができない容器内における前記離接動作の実行を促進することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施の形態に係る外力検出装置の構成図である。
【図２】前記外力検出装置に設けられるカンチレバーの平面図である。
【図３】前記カンチレバーを保持するカンチレバー保持部の平面図である。
【図４】前記外力検出装置の電気的構成を示す等価回路図である。
【図５】前記外力検出装置の作用図である。
【図６】動作促進構造の第１の例である。
【図７】動作促進構造の第２の例である。
【図８】動作促進構造の第３の例である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の実施の形態にかかる外力検出装置１の構成について説明する。図１に示すように、外力検出装置１は直方体形状の密閉型の容器１０を備え、内部には乾燥窒素ガスが封入されている。容器１０は例えばはんだにより後述の容器保持部５に固定されている。なお容器１０としては必ずしも密閉容器に限定されるものではない。
【００１１】
容器１０内には、例えば当該容器１０の内側壁面に沿って、カンチレバー保持部３とカンチレバー２とが重ねて設けられている。なお図１においては、カンチレバー保持部３及びカンチレバー２について、高さ方向に対する厚さ方向の寸法比を厚さ方向に誇張して、実際よりも厚く記載してある。  
図３に示すように、例えばカンチレバー保持部３は、水晶からなる上下方向に細長い板状の部材であり、容器１０の内側壁面に固定されている。
【００１２】
カンチレバー保持部３において、カンチレバー２に対向する面の下部領域側には、細長い帯状の固定電極４２が設けられている。固定電極４２は、例えばカンチレバー保持部３の下端側まで引き伸ばされ、カンチレバー２との対向面から外れた領域に形成された引き出し電極４２１を介して、後述する発振部６０の一端側に接続されている。  
また、固定電極４２の形成領域の上方側には、カンチレバー２との接触面積を小さくしてカンチレバー保持部３とカンチレバー２の固着を防止するための凹部３１が形成されている。凹部３１はエッチングにより形成することができる。
【００１３】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、本例のカンチレバー２は、細長い短冊状の水晶により構成されている。水晶は弾性材料であり、曲げ方向に応力を加えると、カンチレバー２を撓んだ状態とすることができる。  
本例のカンチレバー２は、水晶板をエッチングして、カンチレバー２となる領域の周囲をコの字状に除去して形成され、当該除去領域の外方には、細長い矩形状の枠体部２３が残されている。また、カンチレバー２の基端側は枠体部２３に接続された状態となっており、カンチレバー２は、当該基端側を上部側として、下方側へ向けて伸びるように配置される。
【００１４】
図１、図２（ｂ）に示すように、上記カンチレバー２において、カンチレバー保持部３に対向する面の下部領域側には、細長い帯状の可動電極４１が設けられている。可動電極４１は、引き出し電極４１１に接続されている。本例の引き出し電極４１１は、例えばカンチレバー２の側面を介してカンチレバー２の他面側へ引き出され、さらにカンチレバー２の上部側領域（後述の薄板部２１）を通って枠体部２３の上端側の辺に至るように設けられている（図２（ａ））。引き出し電極４１１は後述する発振部６０の他端側に接続されている。  
さらに図２（ｂ）に示すように、カンチレバー２における、カンチレバー保持部３に対向する面の上部領域側には、水晶同士が接触して固着することを防止するための金属膜である保護膜２２が形成されている。
【００１５】
また、図１、図２（ａ）に示すように、本例のカンチレバー２には、可動電極４１が形成されている下部領域側の厚さ寸法よりも、上部領域側の厚さ寸法の方が薄い薄板部２１が形成されている。薄板部２１は、カンチレバー２の感度（カンチレバー２を単位量だけ撓ませるために必要な外力）を調節するために設けられ、引き出し電極４１１の形成面側からカンチレバー２をエッチングすることにより形成される。
【００１６】
以上に説明した構成を備えるカンチレバー保持部３及びカンチレバー２は、アルゴンイオンなどを用いて活性化させた水晶面同士を真空雰囲気下で張り合わせる、公知の常温接合法により接合される。より詳細には、固定電極４２が形成されたカンチレバー保持部３の一面と、カンチレバー２における可動電極４１の形成面に対応する、枠体部２３側の一面とが接合される。
【００１７】
発振部６０は、水晶振動子６１と、例えばコルピッツ回路により構成される発振回路６１とを備える。なお、水晶などの圧電体によりカンチレバー２を構成する場合には、カンチレバー２の両面に励振電極を設け、当該励振電極に挟まれた領域を水晶振動子６１として利用してもよい。一方で、カンチレバー２を水晶（圧電体）により構成することは必須ではなく、圧電特性を備えない樹脂製のカンチレバー２を用いてもよい。
【００１８】
図４は外力検出装置１の等価回路を示す。既述の可動電極４１と固定電極４２とにより構成される可変容量Ｃｖは発振回路６１に設けられた水晶振動子６１に対して例えば直列に接続されている。Ｌ１は水晶振動子６１の質量に対応する直列インダクタンス、Ｃ１は直列容量、Ｒ１は直列抵抗、Ｃ０は電極間容量を含む実効並列容量、ＣＬは発振回路の負荷容量である。この発振部６０から出力される周波数信号（周波数）は、例えば周波数検出部６３に接続され、周波数検出部６３で検出された周波数情報がデータ処理部６４に入力される。
【００１９】
上述のカンチレバー２に外力が働いて撓み、可変容量Ｃｖが変化すると、当該可変容量の変化は発振回路６２から出力される周波数の変化として取得される。そして、当該周波数の変化量と可動電極４１の位置の変化量との対応関係に基づき、カンチレバー２を撓ませる力の変化を検出することができる。  
可動電極４１が設けられたカンチレバー２と、固定電極４２が設けられたカンチレバー保持部３とは、本例の外力検出センサを構成する。
【００２０】
一方で図１に示すように、カンチレバー２を支持する枠体部２３はカンチレバー保持部３に接合され、当該カンチレバー保持部３は容器１０の内側壁面に沿って固定されている。また、カンチレバー２は上記枠体部２３に上部側を支持され、下方側へ伸びるように配置されるので、容器１０の内壁面が垂直方向を向いている状態では、固定電極４２と可動電極４１とが接触してしまい、可変容量Ｃｖを構成することができない。
【００２１】
そこで容器１０を保持する容器保持部５は、容器１０の傾きを変化させることが可能なように構成され、これにより固定電極４２と可動電極４１との間に隙間を形成して可変容量Ｃｖを形成する。  
図１に示す例において、容器保持部５は容器１０を下面側から支持する保持台５２と、保持台５２を下方側から支持する基体５１と、これら保持台５２と基体５１と間に隙間を形成する角度調節ネジ５３ａ、５３ｂとを備え、前記隙間の高さを調節することにより、容器１０を保持する傾きを変化させる。
【００２２】
容器１０の傾きを調節する手法の一例を挙げると、初めに平板からなる基体５１を重力方向に対して水平配置する。しかる後、図１に向かって左側の角度調節ネジ５３ａにより形成される隙間の高さの寸法に対して、右側の角度調節ネジ５３ｂにより形成される隙間の高さの寸法が相対的に短くなるように、各角度調節ネジ５３ａ、５３ｂを回す。この調節により、図５に示すように容器１０の側壁面の配置方向（同図中に破線で示すＺ軸方向）が、カンチレバー２側へ向けて角度θ’だけ傾けられる。なお、図５中に実線で示すＺ軸方向は、重力の作用方向に沿った垂直方向（矢印側が上）を示している。
【００２３】
一方、枠体部２３によって上部側が片持ち支持されたカンチレバー２には、下端部が垂直方向を向くように重力が作用する。この結果、カンチレバー２が重力方向を向くように撓み、固定電極４２から可動電極４１が離間して可変容量Ｃｖが形成される。このとき、カンチレバー２と枠体部２３との接続位置（カンチレバー２の支持位置）から見て、可動電極４１と固定電極４２との間には角度θが形成される。容器１０を傾ける角度θ’と、可動電極４１と固定電極４２とが成す角度θとの関係は、事前の予備実験などにより求めておけばよい。
【００２４】
上述のように容器保持部５は、容器１０の傾きを調節することにより、カンチレバー２の撓み量を変化させ、カンチレバー２の支持位置から見た可動電極４１と固定電極４２とのなす角度θを変化させることができる。一方で、弾性材料である水晶からなるカンチレバー２は、その撓み量が大きくなるほど、さらに撓みを大きくするために必要な力が増大する。  
この性質を利用すると、前記角度θを調節することにより、例えば使用目的に応じて外力検出装置１の感度を変化させることができる。角度θは、外力測定を開始する際の基準となる「基準角度」に相当する。
【００２５】
また、カンチレバー２とカンチレバー保持部３との間に隙間が形成されている場合には、搬送時の揺れなどの影響を受けてカンチレバー２が繰り返し撓み、カンチレバー保持部３と何度も衝突してしまうことにより、「劈開（へきかい）」と呼ばれる水晶の割れが発生する場合もある。  
この点、図１に示す構成の外力検出装置１は、非使用時にはカンチレバー保持部３が下方側となるように横倒しにすれば、カンチレバー２とカンチレバー保持部３とが上下に重ねられ、カンチレバー２を安定した状態で保持することができる。この結果、カンチレバー保持部３との衝突などに起因する外力検出装置１の破損を防止することができる。
【００２６】
一方で、外力検出装置１の使用を開始する前に、図１のようにカンチレバー保持部３（固定電極４２）とカンチレバー２（可動電極４１）とが重なった状態から、図５に示す状態となるためにはこれらの部材３、２が離間する動作が必要となる。
【００２７】
しかしながら、カンチレバー保持部３とカンチレバー２との間に働く静電気の影響で、容器１０を傾けてもこれらの部材３、２が離れず、固定電極４２と可動電極４１とが接触したままの状態となると、可変容量Ｃｖを構成することができない。特にこれらの部材３、２が密閉型の容器１０に収容されている場合には、容器１０を分解しなければ上述の接触状態を解除できなくなってしまうおそれもある。  
また、基準角度θを形成した後であっても、カンチレバー２が容器１０内の気体の抵抗を受け易いと、外力を検出する応答速度が低下してしまうおそれもある。
【００２８】
そこで本例においては、カンチレバー保持部３、カンチレバー２の少なくとも一方には、使用開始時の基準角度θの調節や、外力の検出動作を実行する際に、これらの可動電極４１と固定電極４２との離接動作を促進するための離接促進機構が設けられている。  
離接促進機構の具体的な構成例について、図６〜図８を参照しながら説明する。
【００２９】
図６は、例えば固定電極４２の表面に多数の突起部４３を設けた例を示している。突起部４３は、カンチレバー保持部３とカンチレバー２とを重ねあわせたとき、例えば数十μm〜１ｍｍ程度の範囲内の高さ寸法の隙間４０１を形成する。
当該隙間４０１に向けて容器１０内の気体を進入させることにより、可動電極４１と固定電極４２との離接動作を促進する。突起部４３は、固定電極４２側に設ける場合に限定されず、可動電極４１側に設けてもよいし、固定電極４２と可動電極４１との双方に設けてもよい。
【００３０】
図７は、例えば固定電極４２の表面に対し、縦横に複数本の溝部４４を設けた例を示している。溝部４４は、カンチレバー保持部３とカンチレバー２とを重ねあわせたとき、側方側から見て、例えば数十μm〜１ｍｍ程度の範囲内の高さ寸法の開口４０２を形成する。
当該開口４０２に向けて容器１０内の気体を進入させることにより、可動電極４１と固定電極４２との離接動作を促進する。溝部４４は、固定電極４２側に設ける場合に限定されず、可動電極４１側に設けてもよいし、固定電極４２と可動電極４１との双方に設けてもよい。
【００３１】
図８は、例えばカンチレバー２及び可動電極４１に対し、これらの部材２、４１を厚さ方向に貫通する複数個の貫通孔４５を設けた例を示している。貫通孔４５は、引き出し電極４１１の形成面側から見て、例えば数十μm〜１ｍｍ程度の範囲内の寸法の開口４０３を形成する。
当該開口４０３に向けて容器１０内の気体を進入させることにより、可動電極４１と固定電極４２との離接動作を促進する。また、貫通孔４５は、外力の変化に伴ってカンチレバー２が移動（撓み量が変化）する際に、容器１０内にて当該カンチレバー２に作用する気体抵抗を低減する役割を果たす。
【００３２】
本実施形態によれば、カンチレバー２に設けられた可動電極４１と、カンチレバー保持部３に形成された固定電極４２との離接動作を促進するための動作促進構造（突起部４３、溝部４４、貫通孔４５）が設けられているので、直接触れることができない容器内における前記離接動作の実行を促進することができる。
【００３３】
図６〜図８には、動作促進構造である突起部４３、溝部４４、貫通孔４５を別々に設けた例を示したが、共通の固定電極４２や可動電極４１に対し、複数種類の動作促進構造を設けてもよい。
また、突起部４３、溝部４４、貫通孔４５を複数個ずつ設けることは必須の要件ではない。可動電極４１と固定電極４２との間の離接動作を促進する機能を発揮できれば、突起部４３、溝部４４、貫通孔４５を１つだけ設けてもよい。
【符号の説明】
【００３４】
１          外力検出装置
１０        容器
２          カンチレバー
３          カンチレバー保持部
４１        可動電極
４２        固定電極
４３        突起部
４４        溝部
４５        貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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