(57)【要約】【課題】加工結果に発生した問題の原因を、より容易に把握する。【解決手段】加工装置１の所定の箇所に、複数のカメラ４１〜４４が取り付けられている。制御部１４は、稼働状態の発生時に、稼働状態と、稼働状態の発生時刻と、稼働状態の発生時刻にカメラによって撮像された画像とが互いに関連づけられたログデータを作成する。これにより、オペレータは、ログデータを参照することにより、各稼働状態の発生時における加工装置１の画像を確認することができる。したがって、オペレータは、加工結果に問題が発生したときに、その問題の発生原因を、ログデータに記録されている稼働状態の内容に加えて、加工装置１の画像を用いて究明することができる。したがって、オペレータは、問題の発生原因をより容易に把握することが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を加工する加工装置の稼働状態に関するログデータを作成するログデータ作成装置であって、
該加工装置の所定の箇所を撮像するカメラと、
該加工装置の稼働状態と、該稼働状態の発生時刻と、該発生時刻に該カメラによって撮像された画像とが互いに関係付けられたログデータを作成するログデータ作成部と、
を備えたログデータ作成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ログデータ作成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
加工装置には、自身の稼働状態を、時刻とともにログデータとして記録しているものがある（特許文献１参照）。加工装置の稼働状態は、たとえば、オペレータによってスタートキーなどが押されたこと、駆動軸の移動後の位置、駆動軸の移動を検知したセンサからの出力信号、加工水の流量計の値、フルオートプログラムにおける進行中のステップ、および、エラーの発生を含む。
【０００３】
ログデータを、加工結果に発生した問題の原因を特定するために利用することができる場合がある。たとえば、加工結果に問題が発生した場合に、ログデータから、被加工物を加工していた時刻における加工装置の稼働状態を抽出して、抽出した稼働状態に基づいて、加工装置にエラーが発生していたか否かを確認することができる。また、エラーが発生していなかった場合でも、稼働状態を示す数値（たとえば、スピンドルの負荷電流値）が閾値に近い値を示していなかった否かを、ログデータに基づいて確認することもできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３２８９７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、ログデータには、加工装置によって認識された稼働状態が記録される。このため、加工装置が、実際には異常な状態であってもセンサが正常値であると認識するなど、自身の異常な稼働状態を正常であると誤認識している場合には、ログデータに異常が記録されないことになる。この場合、ログデータを参照しても、加工結果に発生した問題の原因を把握することが困難となる。
【０００６】
本発明の目的は、加工結果に発生した問題の原因を、より容易に把握することを可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のログデータ作成装置は、被加工物を加工する加工装置の稼働状態に関するログデータを作成するログデータ作成装置であって、該加工装置の所定の箇所を撮像するカメラと、該加工装置の稼働状態と、該稼働状態の発生時刻と、該発生時刻に該カメラによって撮像された画像とが互いに関係付けられたログデータを作成するログデータ作成部と、を備えている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のログデータ作成装置では、稼働状態の発生時における加工装置の所定の箇所（加工装置および／またはその周辺）の画像が、稼働状態およびその発生時刻に関連づけられて、ログデータに記録される。これにより、オペレータは、ログデータを参照することにより、各稼働状態の発生時に撮像された画像を確認することができる。したがって、オペレータは、加工結果に問題が発生したときに、その問題の発生原因を、ログデータに記録されている稼働状態の内容に加えて、画像を用いて究明することができる。
【０００９】
したがって、たとえば、加工装置におけるセンサエラーの発生等により、稼働状態の内容が誤認識されてログデータに記録された場合でも、オペレータは、ログデータの画像に基づいて、問題の発生原因の把握を試みることができる。したがって、オペレータは、問題の発生原因をより容易に把握することが可能となるので、より迅速に問題を解決することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施形態にかかる加工装置の斜視図である。
【図２】加工装置の操作に関するメイン画面の一例を示す説明図である。
【図３】ログデータの表示例を示す説明図である。
【図４】加工装置の稼働状態に関連づけられてログデータにされた画像を示す写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１に示すように、本実施形態にかかる加工装置１は、被加工物であるウェーハＷを加工する。
ウェーハＷは、概略円形状を有し、表面に格子状の分割予定ラインＬが形成されている。分割予定ラインＬによって区画された各領域には、各種デバイス（図示せず）が形成されている。
【００１２】
ウェーハＷの裏面には、ダイシングテープＴが貼着されている。ダイシングテープＴの外周には、リングフレームＦが貼着されている。このように、ウェーハＷは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持されたワークセットＷ１の状態で、加工装置１において加工される。また、ワークセットＷ１は、図示しないカセットに収容されて、加工装置１に搬入される。
【００１３】
加工装置１は、支持台１０、支持台１０に立設された直方体状の筐体１２、ウェーハＷを切削加工する切削機構（図示せず）、および、筐体１２に内蔵され、加工装置１の各部材を制御する制御部１４を有している。
切削機構は、筐体１２内の加工スペース（図示せず）に設けられている。切削機構は、たとえば一対の切削ブレードによって、チャックテーブル２０上のウェーハＷを、分割予定ラインＬに沿って切削加工する。
【００１４】
支持台１０の一端側には、複数のワークセットＷ１を保持するカセット（図示せず）が載置されるカセットステージ１６が設けられている。
【００１５】
カセットステージ１６とチャックテーブル２０との間には、ワークセットＷ１を搬送するプッシュプル手段１７が設けられている。プッシュプル手段１７は、カセットからウェーハＷを出し入れするプッシュプルアーム１７１と、プッシュプルアーム１７１をＹ軸方向に往復移動させるプッシュプルアーム移動機構１７２とを備えている。
【００１６】
また、チャックテーブル２０の筐体１２側には、ワークセットＷ１を仮置きする仮置き手段１８が設けられている。プッシュプル手段１７は、カセットステージ１６上のカセットから仮置き手段１８に、加工前のワークセットＷ１を搬送および載置する。仮置き手段１８は、ワークセットＷ１のＸ軸方向の位置決めを実施する。
【００１７】
チャックテーブル２０の上部における筐体１２の前面には、搬送手段３０が設けられている。
搬送手段３０は、ワークセットＷ１を保持する搬送パッド３１、搬送パッド３１をＹ軸方向に移動させる搬送パッド移動機構３３、および、搬送パッド３１をＺ軸方向に昇降させる搬送パッド昇降機構３５を備えている。
搬送手段３０は、仮置き手段１８上のワークセットＷ１を保持し、チャックテーブル２０に搬送および載置する。
【００１８】
チャックテーブル２０は、移動板２１上に固定されている。移動板２１は、蛇腹状の防水カバーＣとともに、支持台１０の上面中央の開口を覆っている。移動板２１および防水カバーＣの下方には、移動板２１およびチャックテーブル２０をＸ軸方向に移動させる、たとえばボールねじ式の切削送り機構（図示せず）が設けられている。
【００１９】
チャックテーブル２０は、ポーラスセラミック材からなる保持面２３を有している。この保持面２３に生じる負圧によって、ワークセットＷ１のウェーハＷが吸引保持される。チャックテーブル２０の周囲には、４つのクランプ２２が設けられている。各クランプ２２によって、ワークセットＷ１のリングフレームＦが、四方から挟持固定される。
【００２０】
チャックテーブル２０は、ウェーハＷを保持した状態で、移動板２１とともに、切削送り機構によって、支持台１０上から筐体１２の内部の加工スペースに運ばれる。加工スペースにおいて、ウェーハＷは、切削機構により、分割予定ラインＬに沿って切削加工される。
【００２１】
ウェーハＷが切削加工された後、チャックテーブル２０および移動板２１は、切削送り機構によって支持台１０上に戻される。そして、ワークセットＷ１は、搬送手段３０によって、チャックテーブル２０から、チャックテーブル２０の奥側のスピンナ洗浄ユニット２４に送られる。スピンナ洗浄ユニット２４は、高速回転されたワークセットＷ１に向けて洗浄水を噴射してワークセットＷ１を洗浄した後、乾燥エアを噴射してワークセットＷ１を乾燥させる。
【００２２】
筐体１２の側面には、タッチパネル４０が設置されている。タッチパネル４０には、加工装置１に関する加工条件等の各種情報が表示される。また、タッチパネル４０は、加工条件等の各種情報を設定するためにも用いられる。このように、タッチパネル４０は、情報を入力するための入力手段として機能するとともに、入力された情報を表示するための表示手段としても機能する。
【００２３】
なお、加工装置１は、加工装置１の内部および外部の所定の箇所を撮像するための、複数のカメラを備えている。複数のカメラは、筐体１２の前面および側面に設けられた、図１に示すオペレータ用カメラ４１、カセット用カメラ４２、チャックテーブル用カメラ４３、および洗浄ユニット用カメラ４４を含む。
【００２４】
オペレータ用カメラ４１は、タッチパネル４０の上方に取り付けられており、タッチパネル４０を操作するオペレータを撮像する。
【００２５】
カセット用カメラ４２は、筐体１２の前面におけるカセットステージ１６の上方に、アーム４２ａを介して取り付けられている。カセット用カメラ４２は、カセットステージ１６に配置されたカセットにおけるワークセットＷ１の収容口の近傍を、上方から撮像する。カセット用カメラ４２は、カセットに対してワークセットＷ１が出し入れされる様子を撮像することができる。
【００２６】
チャックテーブル用カメラ４３は、筐体１２の前面におけるチャックテーブル２０の上方に、アーム４３ａを介して取り付けられている。チャックテーブル用カメラ４３は、チャックテーブル２０を、その保持面２３の上方から撮像する。チャックテーブル用カメラ４３は、チャックテーブル２０によるワークセットＷ１の保持状態を撮像することができる。
【００２７】
洗浄ユニット用カメラ４４は、筐体１２の前面におけるスピンナ洗浄ユニット２４の上方に、アーム４４ａを介して取り付けられている。洗浄ユニット用カメラ４４は、スピンナ洗浄ユニット２４を上方から撮像する。洗浄ユニット用カメラ４４は、ワークセットＷ１が洗浄および乾燥される様子を撮像することができる。
【００２８】
制御部１４は、各種の処理を実行し、加工装置１の各構成要素を統括制御する。たとえば、制御部１４には、各種のセンサ（図示せず）からの検出結果が入力される。また、制御部１４は、切削送り機構および切削機構を制御して、ウェーハＷに対する切削加工を実施する。また、制御部１４は、種々のプログラムおよびデータを記憶するためのメモリー１４１を有している。
【００２９】
また、カメラ４１〜４４を含む複数のカメラおよび制御部１４は、ウェーハＷを加工する加工装置１の稼働状態に関するログデータを作成するログデータ作成装置を構成する。これに関し、制御部１４は、ログデータを作成するログデータ作成部として機能する。
【００３０】
すなわち、制御部１４は、加工装置１の稼働状態と、稼働状態の発生時刻と、稼働状態の発生時刻にカメラによって撮像された画像とが互いに関係付けられたログデータを作成する。制御部１４は、作成したログデータを、メモリー１４１に記憶する。
【００３１】
なお、加工装置１の稼働状態（イベント）は、たとえば、オペレータによってタッチパネル４０が操作されたこと、カセットに対してワークセットＷ１が出し入れされたこと、ワークセットＷ１がチャックテーブル２０に保持されたこと、チャックテーブル２０がスピンナ洗浄ユニット２４によって洗浄あるいは乾燥されたこと、切削機構における駆動軸の位置、駆動軸の移動を検知したセンサからの出力信号、加工水の流量計の値、フルオートプログラムにおける進行中のステップ、および、エラーの発生を含む。
【００３２】
加工装置１では、カメラ４１〜４４を含む複数のカメラは、加工装置１の稼働中に、連続的に動画を撮像している。
制御部１４は、図示しないセンサ等によって加工装置１の稼働状態の発生が検知されたときに、稼働状態の内容（名称）、および、その発生時刻を取得する。
さらに、制御部１４は、各カメラから、稼働状態の発生時刻に撮像された画像を取得する。この画像は、たとえば、各カメラによって撮像された動画における、稼働状態の発生時刻に応じた部分（静止画）である。
【００３３】
そして、制御部１４は、取得した稼働状態、その発生時刻、および、その発生時刻に撮像された画像を、互いに関連づけてログデータに記録することによって、ログデータを作成（更新）してゆく。
【００３４】
以下に、ログデータの表示に関する実施例を示す。
図２に、加工装置１のタッチパネル４０に表示される、加工装置１の操作に関するトップメニューを含むメイン画面の例を示す。このメイン画面では、「トップメニュー（０.０）」の上部に、直近の３つの稼働状態（フルオートを開始しました。など）が示されている。オペレータによって、メイン画面における直近の稼働状態が示されている部分がタッチされると、制御部１４は、それまでに作成されたログデータをメモリー１４１から読み出して、タッチパネル４０に表示する。
【００３５】
図３に、タッチパネル４０におけるログデータの表示例を示す。この図に示す例では、１行ごとに、加工装置１の稼働状態が示されている。各行の左側に稼働状態の発生時刻（日時）が示され、その右側に稼働状態の内容が示されている。
【００３６】
オペレータが、１つの行の一部（たとえば、その発生時刻の部分）にタッチすることにより、この行に記載されている１つの稼働状態が選択される。制御部１４は、選択された稼働状態に関連づけられてログデータに記録されている画像、すなわち、選択された稼働状態の発生時刻に撮像された画像を、図４に示すように、タッチパネル４０に表示する。
【００３７】
図４に示した例では、４つの画像Ｇ１〜Ｇ４がタッチパネル４０に示される。画像Ｇ１，Ｇ３およびＧ４は、加工装置１の一部を示す静止画であり、画像Ｇ２は、加工装置１が設置されている加工室の内部を示す静止画である。
【００３８】
以上のように、本実施形態では、加工装置１の内部および外部の所定の箇所に、複数のカメラが取り付けられている。そして、制御部１４が、稼働状態の発生時に、稼働状態と、稼働状態の発生時刻と、稼働状態の発生時刻にカメラによって撮像された画像とが互いに関連づけられたログデータを作成している。
【００３９】
これにより、オペレータは、ログデータを参照することにより、各稼働状態の発生時における加工装置１およびその周辺の画像を確認することができる。したがって、オペレータは、加工結果に問題が発生したときに、その問題の発生原因を、ログデータに記録されている稼働状態の内容に加えて、加工装置１の内外の画像を用いて究明することができる。
【００４０】
したがって、たとえば、加工装置１におけるセンサエラーの発生等により、稼働状態の内容が誤認識されてログデータに記録された場合でも、オペレータは、ログデータの画像に基づいて、問題の発生原因の把握を試みることができる。したがって、オペレータは、問題の発生原因をより容易に把握することが可能となるので、より迅速に問題を解決することができる。
また、エラー発生の原因が、加工装置の他の動作によるものであったら画像から原因を特定することができる。
たとえば、切削水流量エラー、スピンドル負荷電流値エラーが、被加工物を搬送する搬送手段が動作する時であれば、画像から原因を特定することができる。
【００４１】
なお、加工装置１に用いられるカメラは、加工装置１を撮像するものだけでなく、加工装置１の周辺を撮像するものを含んでいることが好ましい。これにより、加工結果に発生した問題の発生原因が加工装置の周辺環境にある場合に、問題の発生原因を迅速に把握することが可能となる。
【００４２】
また、図３に示したログデータの表示例では、制御部１４は、タッチパネル４０に、ログデータにおける稼働状態の内容および発生時刻を表示している。これに代えて、制御部１４は、タッチパネル４０に、稼働状態の内容、発生時刻、および、これらに関連づけられてログデータに記録されている画像を撮像したカメラの位置を、アイコン等を用いて示してもよい。
【００４３】
また、本実施形態では、加工装置１が、カメラ４１〜４４を含む複数のカメラを有している。これに代えて、加工装置１は、特に重要な１つの箇所を撮像するための１台のカメラを含むように構成されていてもよい。
【００４４】
また、本実施形態では、制御部１４は、ログデータの内容、すなわち、ログデータに記録されている稼働状態、その発生時刻、および、稼働状態の発生時刻にカメラによって撮像された画像を、加工装置１の側面に設けられたタッチパネル４０に示している。これに代えて、制御部１４は、ログデータの内容を、加工装置１に接続されている他の端末装置の表示部に表示するように構成されていてもよい。
【００４５】
また、制御部１４は、作成したログデータを、加工装置１のメモリー１４１に記憶している。これに代えて、制御部は、ログデータを、加工装置１に接続されている他の記憶装置に記憶してもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１：加工装置、１０：支持台、１２：筐体、１４：制御部、１４１：メモリー、
１６：カセットステージ、１７：プッシュプル手段、１８：仮置き手段、
２０：チャックテーブル、２４：スピンナ洗浄ユニット、３０：搬送手段
４０：タッチパネル、
４１：オペレータ用カメラ、４２：カセット用カメラ、
４４：洗浄ユニット用カメラ、
Ｗ１：ワークセット、Ｗ：ウェーハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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