(57)【要約】【課題】電気コネクターに接続するデバイスの端子が、電気コネクターの導電部材との接触によって傷つくことが低減されるとともに、導電部材の端部が電気コネクターの主面に埋没することが防止された電気コネクターと、その電気コネクターを安定に効率よく製造する方法を提供する。【解決手段】厚さ方向に貫通する複数の貫通孔（２１）を有する弾性体（２０）と、前記貫通孔の内壁に接合され、第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材（３０）と、を有し、前記導電部材は、少なくとも一方の端部の一部又は全部が中空の管であり、前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出しており、前記先端に、金属からなるフランジ（４０）が備えられている電気コネクター（１０）。【選択図】図３
2020194729.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、前記第一デバイスの接続端子と、前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクターであって、
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材と、を有し、
前記導電部材は、少なくとも一方の端部が中空の管であり、
前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出しており、前記先端に、金属からなるフランジが備えられている電気コネクター。
【請求項２】
エラストマーからなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線の複数を、向きを揃えて任意の間隔で配置すること、
前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成すること、
複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成すること、
前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得ること、
前記前駆シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に対して、粒子を吹き付けることにより、前記一方の主面に露出する前記複数の導電線の先端におけるバリを除去したブラスト処理済シートを得ること、
前記ブラスト処理済シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得ること、及び、
前記エッチング処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に露出する前記複数の導電性の管の先端にメッキすることにより、前記複数の導電性の管の先端にメッキ層を形成した電気コネクターを得ること、
を有する電気コネクターの製造方法。
【請求項３】
エラストマーからなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線の複数を、向きを揃えて任意の間隔で配置すること、
前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成すること、
複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成すること、
前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得ること、
前記前駆シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得ること、
前記エッチング処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に対して、粒子を吹き付けることにより、前記一方の主面に露出する前記複数の導電性の管の先端におけるバリを除去したブラスト処理済シートを得ること、及び、
前記ブラスト処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に露出する前記複数の導電性の管の先端にメッキすることにより、前記複数の導電性の管の先端にメッキ層を形成した電気コネクターを得ること、
を有する電気コネクターの製造方法。
【請求項４】
前記メッキ層は、前記複数の管の先端の各々においてフランジを成す、請求項２又は３に記載の電気コネクターの製造方法。
【請求項５】
前記粒子を吹き付ける前に、前記前駆シートが備える前記導電線の端部を、前記前駆シートの一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出させることを有する、請求項２又は４に記載の電気コネクターの製造方法。
【請求項６】
前記メッキ層を形成する前に、前記エッチング処理済シートが備える前記導電性の管の端部を、前記エッチング処理済シートの一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出させることを有する、請求項２又は４に記載の電気コネクターの製造方法。
【請求項７】
前記粒子を吹き付ける前に、前記エッチング処理済シートが備える前記導電性の管の端部を、前記エッチング処理済シートの一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出させることを有する、請求項３又は４に記載の電気コネクターの製造方法。
【請求項８】
前記メッキ層を形成する前に、前記ブラスト処理済シートが備える前記導電性の管の端部を、前記ブラスト処理済シートの一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出させることを有する、請求項３又は４に記載の電気コネクターの製造方法。
【請求項９】
前記導電性の管に形成する前記メッキ層の厚さを管理する目的で、前記メッキの際に参照用の金属板を同時にメッキし、前記金属板に形成されるメッキ層の厚さを計測することを有する、請求項２〜８の何れか一項に記載の電気コネクターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気コネクター及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面実装型の半導体パッケージと回路基板の検査を行う場合、または表面実装型の半導体パッケージと回路基板を接続する場合に、圧接型のコネクターが用いられている。
圧接型コネクターの製法の一例として、次の方法が知られている。まず、複数の導電線の向きを揃えて互いに絶縁を保って配線された複数のシートが、導電線の向きを一定にして積層される。次に、得られた積層物の複数枚が、導電線の向きを揃えて、一定の角度で階段状に配列積層一体化してブロック体とされる。その後、ブロック体をスライス用基板面に接着し、その基板面に平行にかつ導電線を横切る平行な面でスライス切断することにより、圧接型コネクターが得られる（特許文献１参照）。
【０００３】
圧接型コネクターの一例として、中空化された導電線を有する電気コネクターが挙げられる（特許文献２）。この電気コネクターの導電線は中空化されて柔軟になっているので、電気コネクターに圧接するデバイスの接続端子が、電気コネクターの導電線との接触によって傷つくことが低減されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第２７８７０３２号公報
【特許文献２】国際公開第２０１８／２１２２７７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２の電気コネクターの中空化された導電線の端部は、電気コネクターの主面に露出している。この主面に対してデバイスの圧接を繰り返すと、導電線の端部が電気コネクターの主面に埋没し、接続が不安定になることがある。
【０００６】
本発明者は、中空化された導電線の端部に金属からなるフランジを形成することにより、端部の埋没を防止できることを見出した。しかし、そのようなフランジを安定に効率よく形成する方法は従来開示されていない。特許文献２には、中空化された導電線の端部をメッキすることが開示されている。しかし、単純にメッキすると、中空化された導電線の長手方向にメッキ層が形成されたり、中空化された導電線の開口を覆うようにメッキ層が形成されたりするので、フランジ状のメッキ層を形成することは難しい。
また、電気コネクターの主面に露出する中空化された導電線の端部には、導電線の切断に伴う微細なバリやエッジが不可避的に形成されている。この端部に対してメッキすると、バリやエッジを起点としてメッキが進行してしまい、不定形なメッキ層が形成される問題があった。さらに、不定形なメッキ層の形成が進行すると、電気コネクターに高密度で導電線が配置されているので、電気コネクターの主面において隣接する導電線の端部のメッキ層同士が連結してしまう問題があった。
そこで、本発明者は、鋭意検討により、メッキ処理時の上記問題を解決して、フランジ状のメッキ層を導電線の端部に安定に形成する方法を見出し、本発明を完成させた。
【０００７】
本発明は、電気コネクターに接続するデバイスの端子が、電気コネクターの導電部材との接触によって傷つくことが低減されるとともに、導電部材の端部が電気コネクターの主面に埋没することが防止された電気コネクターと、その電気コネクターを安定に効率よく製造する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
［１］  第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、前記第一デバイスの接続端子と、前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクターであって、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材と、を有し、前記導電部材は、少なくとも一方の端部が中空の管であり、前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出しており、前記先端に、金属からなるフランジが備えられている電気コネクター。
［２］  エラストマーからなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線の複数を、向きを揃えて任意の間隔で配置すること、前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成すること、複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成すること、前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得ること、前記前駆シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に対して、粒子を吹き付けることにより、前記一方の主面に露出する前記複数の導電線の先端におけるバリを除去したブラスト処理済シートを得ること、前記ブラスト処理済シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得ること、及び、前記エッチング処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に露出する前記複数の導電性の管の先端にメッキすることにより、前記複数の導電性の管の先端にメッキ層を形成した電気コネクターを得ること、を有する電気コネクターの製造方法。
［３］  エラストマーからなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線の複数を、向きを揃えて任意の間隔で配置すること、前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成すること、複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成すること、前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得ること、前記前駆シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得ること、前記エッチング処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に対して、粒子を吹き付けることにより、前記一方の主面に露出する前記複数の導電性の管の先端におけるバリを除去したブラスト処理済シートを得ること、及び、前記ブラスト処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に露出する前記複数の導電性の管の先端にメッキすることにより、前記複数の導電性の管の先端にメッキ層を形成した電気コネクターを得ること、を有する電気コネクターの製造方法。
［４］  前記メッキ層は、前記複数の管の先端の各々においてフランジを成す、［２］又は［３］に記載の電気コネクターの製造方法。
［５］  前記粒子を吹き付ける前に、前記前駆シートが備える前記導電線の端部を、前記前駆シートの一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出させることを有する、［２］又は［４］に記載の電気コネクターの製造方法。
［６］  前記メッキ層を形成する前に、前記エッチング処理済シートが備える前記導電性の管の端部を、前記エッチング処理済シートの一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出させることを有する、［２］又は［４］に記載の電気コネクターの製造方法。
［７］  前記粒子を吹き付ける前に、前記エッチング処理済シートが備える前記導電性の管の端部を、前記エッチング処理済シートの一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出させることを有する、［３］又は［４］に記載の電気コネクターの製造方法。
［８］  前記メッキ層を形成する前に、前記ブラスト処理済シートが備える前記導電性の管の端部を、前記ブラスト処理済シートの一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出させることを有する、［３］又は［４］に記載の電気コネクターの製造方法。
［９］  前記導電性の管に形成する前記メッキ層の厚さを管理する目的で、前記メッキの際に参照用の金属板を同時にメッキし、前記金属板に形成されるメッキ層の厚さを計測することを有する、［２］〜［８］の何れか一項に記載の電気コネクターの製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の電気コネクターは、デバイスの接続端子を繰り返して圧接した後においても、導電部材の端部に備わるフランジが弾性体の中に埋没し難いので、耐久性に優れる。
本発明の製造方法によれば、中空化された導電部材の端部にフランジ状のメッキ層が備えられた電気コネクターを安定に効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第一実施形態の電気コネクター１０の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１の領域αの拡大図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】第二実施形態の電気コネクター５０の概略構成を示す断面図である。
【図５】電気コネクターの製造方法の概略を示す斜視図である。
【図６】実施例１のブラスト処理を経たエッチング処理済シートの主面のＳＥＭ像である。
【図７】実施例１で作製した電気コネクターの主面のＳＥＭ像である。
【図８】比較例１〜３のエッチング処理済シートの主面のＳＥＭ像である。
【図９】比較例１のメッキ処理を施した電気コネクターの主面のＳＥＭ像である。
【図１０】実施例１で作製した電気コネクターの耐久性試験の結果を示すグラフである。
【図１１】比較例１で作製した電気コネクターの耐久性試験の結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
［電気コネクター］
本発明の第一態様は、第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、前記第一デバイスの接続端子と、前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクターである。前記電気コネクターは、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材と、を有する。前記導電部材は、少なくとも一方の端部が中空の管である。前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出した上方に位置する。前記先端には、金属からなるフランジが備えられている。
【００１２】
図１〜図３に示す第一実施形態の電気コネクター１０は、弾性体２０と、導電部材３０と、フランジ４０と、を有する。
電気コネクター１０は、図示略の第一デバイスの接続端子と、図示略の第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続するために使用するためのものである。電気コネクター１０において、導電部材３０は、フランジ４０を介して、第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子の電気的接続を行う部材である。弾性体２０の両面に露出しているフランジ４０は、導電部材３０の両端部に設けられており、各デバイスの接続端子に接触する。各デバイスとしては、例えば、半導体パッケージ、回路基板、シリコーンウエハー、受動部品、液晶モジュール及びセンサー等が挙げられる。
【００１３】
弾性体２０は、その厚さ方向に沿って貫通する複数の貫通孔２１を有する。この貫通孔２１の内壁に導電部材３０が接合されている。「接合」とは、貫通孔２１の内壁に導電部材３０の少なくとも一部が接している状態を意味する。
【００１４】
弾性体２０における導電部材３０を設ける位置、すなわち、弾性体２０における貫通孔２１の配置や数は、特に限定されず、電気コネクター１０によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置や数、圧接に必要とされる押圧力等に応じて適宜調整される。電気コネクター１０が均一に変形する（撓む）ようにするためには、弾性体２０において、導電部材３０及び貫通孔２１が等間隔に設けられていることが好ましい。
【００１５】
貫通孔２１は、弾性体２０を、その厚さ方向に対して平行または斜めに貫通する。「弾性体２０の厚さ方向」とは、主面に対して垂直な方向を意味する。「主面」とは、面積が最も広い面を意味する。
貫通孔２１が、弾性体２０を、その厚さ方向に対して斜めに貫通する場合、一方の主面２０ａの垂線に対する貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する鋭角側の角度は、０°超６０°以下であることが好ましく、１°以上６０°以下であることがより好ましく、１０°以上３０°以下であることがさらに好ましい。上記角度の範囲であると、小さい荷重で安定した接続が得られやすく、接続するデバイスの端子を傷付けるおそれが少ない。貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する角度は、電気コネクター１０によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。ここで貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する角度は、導電部材３０に設けられた５つ以上の貫通孔２１について、弾性体２０の厚さ方向に対する角度をデジタルマイクロスコープ等の拡大観察手段で観察して得た画像に基づいて測定し、平均した値である。
【００１６】
貫通孔２１の形状、すなわち、貫通孔２１の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、貫通孔２１に接合する導電部材３０の長手方向と垂直な断面の形状に応じて適宜設定される。貫通孔２１の長手方向と垂直な断面の形状としては、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、五角形以上の多角形等が挙げられる。
【００１７】
貫通孔２１の孔径は、特に限定されず、貫通孔２１に接合される導電部材３０の直径（外径）に応じて適宜設定され、例えば、５μｍ〜３００μｍであることが好ましい。貫通孔２１の形状が円形以外である場合には、貫通孔２１の孔径は、貫通孔２１の外縁（開口部の縁部）の最も幅広い部分の長さとする。
ここで貫通孔２１の孔径は、弾性体２０の主面に開口する５つ以上の貫通孔２１について、デジタルマイクロスコープ等の拡大観察手段で観察して得た画像に基づいて測定し、平均した値である。
【００１８】
弾性体２０の厚さＨ１は、３０μｍ〜５０００μｍが好ましく、５０μｍ〜１０００μｍがより好ましく、１００μｍ〜５００μｍがさらに好ましい。上記厚さの範囲の下限値以上であると、電気コネクターの機械的強度や剛性が向上し、取り扱いが容易になる。上記厚さの範囲の上限値以下であると、導電部材の長さが高周波特性の向上に適したものとなる。
【００１９】
本明細書において、シート状部材の厚さは、無作為に選択される５箇所以上の厚さを、デジタルマイクロスコープ等の拡大観察手段で測定し、平均した値である。
【００２０】
導電部材３０は、貫通孔２１の内壁に接合され、弾性体２０の厚さ方向に対して垂直又は斜めに延在し、電気コネクター１０の各主面に露出する各フランジ４０に接続されたデバイスの接続端子同士を電気的に接続する導電性の部材である。
導電部材３０の一方の端部は弾性体２０の一方の主面２０ａに位置し、導電部材３０の他方の端部は弾性体２０の他方の主面２０ｂに位置する。本実施形態における導電部材３０は中空の導電性の管である。この管の長手方向は貫通孔２１の長手方向と平行である。導電部材３０は、長手方向に見て、全体が中空であってもよいし、端部のみが中空で、中央部が中実であってもよい。導電部材３０の少なくとも一方の端部が中空であることにより、デバイスの接続端子が圧接されたときの押圧力を、中空の端部が有する柔軟性により緩和することができる。
ここで、導電部材３０の「端部」とは、導電部材の先端から導電部材の全長の１／５の長さまでの範囲を意味する。「端部が中空である」とは端部の少なくとも先端側の一部が中空であることを意味し、先端から中央部側までの端部全体が中空である場合を含む。
【００２１】
導電部材３０を構成する前記導電性の管は、必ずしも完全な筒状の部材でなくてもよい。管の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、多角形、矩形が挙げられる。また、前記形状はＣ形状や三日月形状のように、管の断面の一部が欠けている形状であってもよい。製造時のメッキの形成を安定にする観点から、前記形状は円形又は楕円形であることが好ましいい。
【００２２】
導電部材３０を構成する前記導電性の管の壁の厚さは、０．０５μｍ〜２５μｍが好ましく、０．１〜２０μｍがより好ましく、０．５〜１５μｍがさらに好ましく、０．７μｍ〜３μｍが特に好ましい。
上記範囲の下限値以上であると、接続の安定性が向上する。
上記範囲の上限値以下であると、隣接する導電部材同士のピッチや離間距離を狭くすることができる。
前記導電性の管の壁の厚さは、複数の導電部材３０から無作為に選択される導電部材３０について、顕微鏡等の拡大観察手段で５箇所以上の厚さを測定し、平均した値である。
【００２３】
導電部材３０を構成する前記導電性の管の直径（外径）は、特に限定されないが、５μｍ〜３００μｍであることが好ましく、５μｍ〜１００μｍがより好ましく、５μｍ〜５０μｍがさらに好ましい。
上記範囲の下限値以上であると導電部材３０の電気抵抗が過度に高くなることを防止できる。上記範囲の上限値以下であると導電部材３０の剛性が適度となり、デバイスの接続端子の傷付きを防止できる。
導電部材３０の形状が円形以外である場合には、導電部材３０の直径は、導電部材３０の長手方向と垂直な断面における、外縁の最も幅広い部分の長さとする。
本明細書において、前記直径（外径）は、複数の導電部材３０から無作為に選択される５本以上の導電部材３０について、顕微鏡等の拡大観察手段で５箇所以上の直径を測定し、平均した値である。
【００２４】
金属からなるフランジ４０は、導電部材３０の先端に備えられている。
弾性体２０の一方の主面２０ａを平面視したとき、フランジ４０は導電部材３０の先端の外周に沿う形状を有する。本実施形態においては、導電部材３０の先端の形状は円環形であるので、フランジ４０の平面視の形状も円環形又は円環形に近似できる形状を有する。フランジ４０の外径は導電部材３０の外径よりも大きい。フランジ４０の内径は、導電部材３０の外径と概ね同等であるか、又は導電部材３０の外径よりも少し縮径している。後者の場合、導電部材３０における先端の管の内側面（内壁側）にメッキ層が形成されていてもよい。
【００２５】
フランジ４０の内径側の底部は導電部材３０の先端に結合し、導電部材３０に対して電気的に接続されている。導電部材３０の形状は管であり、管の先端の周縁に沿って、フランジ４０の内径側の底部が結合している。
フランジ４０の外径側の底部は、弾性体２０の主面に面しており、導電部材３０の中心軸から見て外方へ張り出している。このように張り出しているので、フランジ４０は、導電部材３０の先端部が拡径した部分とみなすこともできる。
【００２６】
弾性体２０のフランジ４０が備えられた主面を平面視して、フランジ４０の外径は、例えば、６μｍ〜３５０μｍとすることができる。ここで、フランジ４０の外径は、フランジ４０の外縁（外周）の最も幅広い部分の長さとする。
フランジ４０の外径は、弾性体２０の主面に設けられた複数のフランジ４０から無作為に選択される５つ以上のフランジ４０について、デジタルマイクロスコープ等の拡大観察手段で観察して得た画像に基づいて測定し、平均した値である。
【００２７】
弾性体２０のフランジ４０が備えられた主面を平面視して、環形状のフランジ４０の幅は、例えば、０．５μｍ〜２５μｍが好ましく、１μｍ〜１６μｍがより好ましく、１．５μｍ〜５μｍがさらに好ましい。
上記範囲の下限値以上であると、フランジ４０を設けたことによる電気コネクター１０の耐久性と、デバイスの接続端子に対する接続性がより向上する。
上記範囲の上限値以下であると、フランジ４０の構造的強度が高まり、電気コネクター１０の耐久性が向上する。また、隣接するフランジ４０同士の短絡を防止できる。
ここで、フランジ４０の幅は、フランジ４０を構成する環の幅のうち、最も幅広の部分の長さとする。前記主面の平面視において、フランジ４０の中心を通る直線は、前記環を２箇所で横切る。通常、前記直線において、前記２箇所を横切る線分の長さが、前記環の当該箇所の幅に相当する。
フランジ４０の幅は、弾性体２０の主面に設けられた複数のフランジ４０から無作為に選択される５つ以上のフランジ４０について、デジタルマイクロスコープ等の拡大観察手段で観察して得た画像に基づいて測定し、平均した値である。
【００２８】
電気コネクター１０において、フランジ４０の外径Ｒ１と、導電部材３０を構成する前記導電性の管の外径Ｒ２と比（Ｒ１／Ｒ２）は、１．０２〜３が好ましく、１．０３〜２がより好ましく、１．０３〜１．５がさらに好ましい。
上記範囲の下限値以上であると、フランジ４０が圧接により弾性体２０の主面に埋没することをより確実にすることができる。
上記範囲の上限値以下であると、隣接するフランジ４０同士の短絡を防止しつつ、フランジ４０同士の離間距離を狭めて、弾性体２０の主面におけるフランジ４０の密度を高めることができる。
【００２９】
電気コネクター１０において、弾性体２０の一方の主面２０ａ及び他方の主面２０ｂの両方に各導電部材３０の先端に結合したフランジ４０が備えられている。
デバイスの接続端子が各主面に露出するフランジ４０に圧接されたとき、フランジ４０の外径は弾性体２０の貫通孔２１の外径よりも大きいので、弾性体２０の主面に埋没することが防止されている。
【００３０】
弾性体２０の何れか一の主面側のみにフランジ４０が設けられていてもよい。この場合、フランジ４０が設けられていない側の導電部材３０の先端が弾性体２０の主面に露出する。デバイスの接続端子の圧接による導電部材３０の先端の埋没を確実に防止し、電気コネクター１０の耐久性を向上させる観点から、弾性体２０の両方の主面側にフランジ４０が設けられていることが好ましい。
【００３１】
弾性体２０の何れかの主面を平面視して、隣接する２つのフランジ４０同士の間隔、すなわち、隣接する２つのフランジ４０の中心間距離（ピッチ；図２におけるＰ１、Ｐ２）は、例えば、７μｍ〜１０００μｍとすることができる。また、隣接する２つのフランジ４０同士の離間距離、すなわち隣接する２つのフランジ４０が互いに最も近接する箇所の距離は、絶縁性を保てる距離であればよく、例えば、１μｍ〜９９４μｍとすることができる。
ここで、前記中心間距離及び前記離間距離は、電気コネクター１０における弾性体２０の主面を平面視して、複数のフランジ４０から無作為に選択される５組以上のフランジ４０について、測定顕微鏡等の観察手段により測定し、平均した値である。
【００３２】
弾性体２０の主面を基準として、フランジ４０の厚さ（高さ）は、例えば、１μｍ〜５０μｍ大きいことが好ましく、２μｍ〜２５μｍがより好ましく、３μｍ〜１０μｍがさらに好ましい。
上記厚さの範囲の下限値以上であると、デバイスの接続端子の圧接によるフランジ４０及び導電部材３０の先端の埋没をより確実に防止し、電気コネクター１０の耐久性をより向上させることができる。
上記厚さの範囲の上限値以下であると、フランジ４０に対してデバイスの接続端子をより安定に接続することができる。
フランジ４０の厚さは、電気コネクター１０における弾性体２０の厚さ方向の断面を見て、弾性体２０の主面を基準として、複数のフランジ４０から無作為に選択される５個以上のフランジ４０について、測定顕微鏡等の観察手段により観察し、そのフランジ４０の最も高い部位を厚さとみなして測定し、平均した値である。
【００３３】
フランジ４０の厚さと弾性体２０の厚さＨ１を合わせた電気コネクター１０の厚さＨ２は、例えば、３１μｍ〜５００１μｍであることが好ましく、５１μｍ〜１００１μｍがより好ましく、１０１μｍｍ〜５０１μｍがさらに好ましい。上記厚さの範囲の下限値以上であると、電気コネクターの機械的強度や剛性が向上し、取り扱いが容易になる。上記厚さの範囲の上限値以下であると、導電部材の長さが高周波特性の向上に適したものとなる。
【００３４】
以上で説明した第一実施形態の電気コネクター１０において、導電部材３０の一方の先端は、弾性体２０の一方の主面２０ａに位置している。本発明において、図４の第二実施形態の電気コネクター５０に示すように、導電部材３０の一方の先端は、弾性体２０の一方の主面２０ａよりも高い位置、すなわち一方の主面２０ａから突出した上方に位置してもよい。導電部材３０の突出した先端の側面は、弾性体２０からなる被膜に覆われていてもよいし、覆われていなくてもよい。前記側面が前記被膜に覆われていない場合、導電部材３０の一方の端部３０ａの側面及び先端を起点としてフランジ４０が設けられ、フランジ４０の底部が弾性体２０の一方の主面２０ａに接していることが好ましい。
導電部材３０の一方の端部３０ａの弾性体２０の一方の主面２０ａからの突出量は、特に限定されず、例えば、５μｍ〜１００μｍとすることができる。具体的には、電気コネクター１０によって電気的に接続する２つのデバイスの接続端子の形状、配置等に応じて適宜調整される。
【００３５】
［各部材の材料］
弾性体２０の材料としては、例えば、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、シリコーンゴム、クロロプレンゴム、エチレン−クロロプレンゴム、エチレン−プロピレン−ジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ウレタンゴム等の合成ゴム等が挙げられる。これらの中でも、高弾性で耐熱性に優れる点から、シリコーンゴムが好ましい。
【００３６】
導電部材３０は、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線から、少なくとも一方の端部の芯線が除去されて、少なくとも一方の端部が中空の前記導電性の管とされたものである。
前記芯線の材料としては、例えば、硝酸を用いたウエットエッチングにより容易に除去され得る、鉄、銅、アルミニウム、鉛、亜鉛、すず、タングステン等の卑金属が挙げられる。また、水や有機溶媒を用いたウエットエッチングにより容易に除去され得る、ポリビニルアルコール等の樹脂を適用することもできる。
【００３７】
前記芯線の形状、すなわち、芯線の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、五角形以上の多角形等が挙げられる。
前記芯線の直径（外径）は特に限定されず、例えば、５μｍ〜２６０μｍとすることができる。なお、芯材の形状が円形以外である場合には、芯材の直径は、芯材の長手方向と垂直な断面における、外縁の最も幅広い部分の長さとする。
【００３８】
導電部材３０を構成する前記導電性の管は、前記芯線を被覆する金属層によって形成されている。前記金属層の材料としては、電解メッキまたは無電解メッキによって前記芯線の外周に金属層を形成することができるものが好ましい。また、硝酸によるウエットエッチングや、水、酸、アルカリおよび有機溶媒によって腐食しないものであることが好ましい。前記金属層の材料は、貴金属が好ましい。貴金属としては、例えば、金、白金、銀、銅、ニッケル、ロジウム、パラジウム、黒ルテニウム等の金属や、これらの金属の合金が挙げられる。なかでも、標準電極電位が高い金、白金、銀、銅がより好ましく、低硬度の金、銀がさらに好ましい。前記導電性の管を形成する前記金属層は、１層の金属層でもよいし、２層以上の金属層であってもよい。２層以上の金属層における各層の金属は、互いに同一でもよいし、異なっていてもよい。
【００３９】
＜作用効果＞
本発明にかかる電気コネクター１０，５０においては、デバイスの接続端子に接触するフランジ４０及び導電部材３０の端部の少なくとも一部が中空になっており、柔軟性に富むので、圧接されたデバイスの接続端子に対する傷付けを防止することができる。また、導電部材３０の少なくとも一方の端部にはフランジ４０が設けられており、フランジ４０は、貫通孔２１の軸線方向から見て、弾性体２０の一方の主面２０ａの面方向に張り出している。このため、デバイスの接続端子による圧接を受けたときに、フランジ４０が弾性体２０の貫通孔２１の中へ埋没することがなく、圧接が解除されるとフランジ４０が受ける弾性体２０の反発力を利用して、導電部材３０の先端を元の位置に戻すことができる。結果、導電部材３０の先端が弾性体２０の主面の中に埋没したまま戻らなくなることを防止できるので、電気コネクター１０，５０の耐久性が向上している。
【００４０】
［電気コネクターの製造方法］
本発明の第二態様は、第一態様の電気コネクターを製造する方法である。
＜第一実施形態＞
第一実施形態は、エラストマーからなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線の複数を、向きを揃えて任意の間隔で配置する工程（配置工程）と、前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成する工程（シート形成工程）と、複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成する工程（積層体形成工程）と、前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得る工程（切断工程）と、前記前駆シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に対して、粒子を吹き付けることにより、前記一方の主面に露出する前記複数の導電線の先端におけるバリを除去したブラスト処理済シートを得る工程（ブラスト工程）と、前記ブラスト処理済シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得る工程（エッチング工程）と、前記エッチング処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に露出する前記複数の導電性の管の先端にメッキすることにより、前記複数の導電性の管の先端にメッキ層を形成した電気コネクターを得る工程（メッキ工程）と、を有する電気コネクターの製造方法である。
以下、図５（ａ）〜図５（ｄ）を参照して、各工程の一例を説明する。
【００４１】
［配置工程］
図５（ａ）に示すように、基材１０００上に形成した第一の樹脂層１１００の第一の面１１００ａ上に、芯線及び導電性の管を有する導電線３０’を、向きを揃えて任意の間隔で並列に配置する。
ここでは、複数の導電線３０’は、基材１０００の長手方向と垂直な方向に延在するように配置されている。隣接する２つの導電線３０’の中心間距離は、例えば、７μｍ〜１０００μｍであることが好ましい。
各導電線３０’は第一態様で説明した導電線と同様である。
【００４２】
基材１０００としては、導電線含有シートを形成した後、導電線含有シートから容易に剥離できるものが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂フィルムが挙げられる。
【００４３】
第一の樹脂層１１００の厚さは、例えば、２μｍ〜５００μｍが好ましい。
第一の樹脂層１１００の材料として、弾性体２０の材料と同様のものが例示できる。
基材１０００上に第一の樹脂層１１００を形成する方法としては、例えば、上記の材料からなるシート又はフィルムを基材１０００上に貼着するか、或いは、液状またはペースト状の上記材料を基材１０００上に塗布し、加熱、加湿または光照射等により硬化して樹脂層を形成する方法が挙げられる。基材１０００上にシート又はフィルムを貼着する方法としては、接着剤を用いてもよいし、表面処理によりシート又はフィルムの表面を活性化させて基材１０００上に直接結合させてもよい。
【００４４】
［シート形成工程］
次いで、図５（ｂ）に示すように、複数の導電線３０’が配置された第一の樹脂層１１００の第一の面１１００ａ上に、第二の樹脂層１２００を形成し、第二の樹脂層１２００を第一の樹脂層１１００と一体化するとともに、第一の樹脂層１１００と第二の樹脂層１２００の間に複数の導電線３０’を固定し、導電線含有シート１３００を形成する。
【００４５】
第二の樹脂層１２００の厚さは、例えば、２μｍ〜５００μｍが好ましい。
第二の樹脂層１２００の材料としては、第一の樹脂層１１００の材料と同様のものが挙げられる。
第一の樹脂層１１００の第一の面上に第二の樹脂層１２００を形成する方法としては、基材１０００上に第一の樹脂層１１００を形成する方法と同様の方法が用いられる。
【００４６】
［積層体形成工程］
次いで、図５（ｃ）に示すように、導電線含有シート１３００の複数枚を、互いに導電線３０’の向きを揃えて積層し、導電線含有シート１３００の積層体１４００を形成する。
本工程において、導電線３０’の向きを揃えるだけでなく、積層体１４００の厚さ方向に見て各導電線３０’が重なるように配置を揃えることが好ましい。図５（ｃ）では、全ての導電線３０’が、積層体１４００の厚さ方向に重なり合っている場合を例示したが、導電線３０’はその厚さ方向に重ならないでもよい。
【００４７】
本工程において、導電線含有シート１３００を積層する場合、最も下の層をなす導電線含有シート１３００を除いて、導電線含有シート１３００から基材１０００を剥離する。
【００４８】
複数の導電線含有シート１３００を互いに積層するには、接着剤を用いてもよく、導電線含有シート１３００の表面をコロナ処理等により活性化させて化学結合してもよい。
接着剤を用いる場合、接着剤としては、第一の樹脂層１１００と同じエラストマーを用いてもよく、第一の樹脂層１１００と異なるエラストマーを用いてもよい。
【００４９】
［切断工程］
図５（ｄ）に示すように、積層体１４００を、所定の厚さとなるように、導電線３０’の延在する方向に対して垂直方向に切断し、輪切りした導電線３０’が接合された貫通孔２１を備えたエラストマーからなる前駆シート１５００を得る。前駆シート１５００の一端にある基材１０００は適宜剥離される。
【００５０】
本工程において、積層体１４００を切断する方法としては、例えば、レーザー加工、切削等の機械的加工等が用いられる。
【００５１】
［ブラスト工程］
前駆シート１５００の一方の主面１５００ａ及び他方の主面１５００ｂのうち、少なくとも一方、好ましくは両方の主面に対して、粒子を吹き付けることにより、前記主面に露出する複数の導電線３０’の先端におけるバリを除去したブラスト処理済シートを得る（不図示）。
【００５２】
粒子の吹き付け方法としては、次の乾式法と湿式法が挙げられる。
乾式のブラスト法は、液状の分散媒を実質的に含まず、固体の粒子のみを含む投射材を吹き付ける方法である。
湿式のブラスト法は、液状の分散媒と固体の粒子を含む投射材を吹き付ける方法である。
【００５３】
吹き付ける粒子の材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア等の無機化合物、鉄、鋼、アルミ、ニッケル、コバルト、銅等の金属やこれらの合金、合成樹脂やゴム等の有機物が挙げられる。無機化合物、金属、有機物を組み合わせた複合材料であってもよい。
乾式のブラスト法においては、有機物又は有機物を含む複合材料が好ましい。湿式のブラスト法においては、無機化合物又は無機化合物を含む複合材料が好ましい。
【００５４】
吹き付ける粒子の粒径は、ブラスト条件にもよるが、例えば、体積平均で１μｍ〜１００μｍの範囲が好ましい。
【００５５】
吹き付ける粒子の速度は、導電線３０’の先端の微細なバリを除去して、切断工程で形成された導電線３０’の先端における切断面の周縁を面取りする程度の強度となる速度に調整することが好ましい。その目安としては、前駆シート１５００の主面がブラストにより過度に荒れたり、導電線３０’の先端が吹き飛んだりする強度の一歩手前の強度が好ましい。好適な強度でブラストすると、前駆シート１５００の主面が平滑面ではなく、微細な凹凸が形成された面として観察されることがある。
【００５６】
上記ブラスト法は公知の加工装置によって実施することができる。ブラスト条件は、使用する加工装置の製造元が推奨する適切な条件に基づいて適宜設定される。
【００５７】
［エッチング工程］
次いで、ブラスト処理済シートが有する複数の導電線３０’の両端部のうち、少なくとも一方の端部における芯線をエッチングにより除去し、前記導電性の管によって形成された導電部材３０の複数を備えたエッチング処理済シートを得る。導電部材３０のエッチングされた端部は少なくとも先端近傍が中空の管になっている。
【００５８】
本工程では、溶解液を用いて、導電線３０’の芯線を溶解することにより、芯線を除去する。具体的には、芯線が鉄、銅、アルミニウム、鉛、亜鉛、すず、タングステン等の卑金属からなる場合、硝酸によるウエットエッチングにより芯線を除去することができる。例えば、硝酸を含むエッチング液に前駆シート１５００を浸漬して、エッチング液により芯線を溶解することにより、導電線３０’から芯線を除去することができる。芯線がポリビニルアルコール等の樹脂からなる場合、水や有機溶媒に前駆シート１５００を浸漬して、水や有機溶媒により芯線を溶解することにより、導電線３０’から芯材を除去することができる。
【００５９】
［メッキ工程］
エッチング処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に露出する前記複数の導電性の管の先端にメッキすることにより、前記複数の導電性の管の先端にメッキ層を形成した電気コネクターを得る。
前記先端には予めブラスト処理が施されているので、先端の周縁をなぞるようにメッキ層が形成される。メッキ層の一部は厚み方向に形成され、メッキ層の他部は前記導電性の管の軸線方向から見て外方、つまりエッチング処理済シートの主面の面方向に形成される。結果、第一態様の電気コネクター１０のフランジ４０と同様の、メッキ層からなるフランジが形成される。
なお、前記導電性の管の先端がブラスト処理されていない場合、メッキ層は、前記管の長手方向に形成されたり、前記管の先端の開口を覆うように形成されたりして、フランジを形成することが難しい。
【００６０】
メッキの方法は、電解メッキ、無電解メッキの何れでもよく、公知方法が適用される。
前記導電性の管の先端又は端部に形成するメッキ層の厚さを直接的に測定することは容易ではない。そこで、メッキの際に形成されるメッキ層の厚さを管理する（モニタリングする）目的で、前記メッキの際に参照用の金属板を同時にメッキし、前記金属板に形成されるメッキ層の厚さを計測することにより、間接的に前記導電性の管に形成するメッキ層の厚さを管理することができる。参照用の金属板に形成されるメッキ層の形成速度と、前記導電線の管に形成されるメッキ層の形成速度を近づけて管理を容易にする観点から、参照用の金属板の金属材料は、前記導電性の管を構成する金属材料と同じであることが好ましい。
【００６１】
以上の各工程を経て、図１に示すような第一態様の電気コネクター１０が得られる。
【００６２】
＜作用効果＞
本実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、ブラスト工程において各導電線３０’の先端のバリが除去されているので、その後のエッチング工程を経た各導電部材３０の先端にメッキ層からなるフランジ４０を容易に安定に形成することができる。
なお、後述する第二実施形態の製造方法で例示するように、エッチング工程の後でブラスト工程を行ってもよい。しかし、エッチング工程で中空化された導電線３０’の先端（導電部材３０を構成する導電性の管の先端）が脆弱である場合には、その先端がブラスト処理によって破損してしまい、フランジ４０の形成が難しくなることがある。したがって、前記先端が脆弱である場合には、上述の第一実施形態の製造方法が好ましい。
【００６３】
（変形例）
本実施形態では、切断工程において、積層体１４００を、導電線３０’の延在する方向に対して垂直方向に切断する場合を例示したが、積層体１４００を、導電線３０’の延在する方向に対して斜め方向に切断してもよい。斜め方向に切断すると、前駆シート１５００の主面に対して斜めに交わる導電線３０’を備えた前駆シート１５００が得られる。
メッキ工程において導電部材３０の先端にフランジ４０をより安定に形成し、より均整のとれた形状のフランジを形成する観点から、前駆シート１５００における導電線３０’の延在する方向（長さ方向）は、前駆シート１５００の主面に対して垂直又は略垂直であることが好ましい。
【００６４】
また、本実施形態の電気コネクターの製造方法は、前駆シートをブラスト処理するブラスト工程の後であって、且つ導電線３０’の先端にメッキするメッキ工程の前に、ブラスト処理済シートが有する導電線３０’又はエッチング処理済シートが有する導電部材３０を、シートの一方又は両方の主面から突出させる突出工程を有していてもよい。
【００６５】
この突出工程において、導電線３０’又は導電部材３０を、シートの主面から突出させる方法としては、例えば、レーザーエッチング、ケミカルエッチング、切削等の機械的加工により、シートの主面からエラストマーの一部を削る方法が挙げられる。
【００６６】
突出工程で得た突出加工済シートが導電線３０’を有する場合には、エッチング工程により、導電線３０’の端部から芯線を除去し、エッチング処理済シートを得て、これをメッキ工程へ供する。突出工程で得た突出加工済シートが導電部材３０を有する場合には、この突出加工済シートをメッキ工程へ供する。メッキ工程により、突出した導電部材３０の端部の側面及び先端にメッキ層を形成すると、第一態様の電気コネクター５０が得られる。
【００６７】
＜第二実施形態＞
第二実施形態は、エラストマーからなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線の複数を、向きを揃えて任意の間隔で配置する工程（配置工程）、前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成する工程（シート形成工程）と、複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成する工程（積層体形成工程）と、前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得る工程（切断工程）と、前記前駆シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得る工程（エッチング工程）と、前記エッチング処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に対して、粒子を吹き付けることにより、前記一方の主面に露出する前記複数の導電性の管の先端におけるバリを除去したブラスト処理済シートを得る工程（ブラスト工程）、及び、前記ブラスト処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に露出する前記複数の導電性の管の先端にメッキすることにより、前記複数の導電性の管の先端にメッキ層を形成した電気コネクターを得る工程（メッキ工程）と、を有する電気コネクターの製造方法である。
【００６８】
第二実施形態における配置工程、シート形成工程、積層体形成工程、及び切断工程の説明は、第一実施形態における同工程と同じであるので、その説明を省略する。
【００６９】
［エッチング工程］
前駆シートが有する複数の導電線３０’の両端部のうち、少なくとも一方の端部における芯線をエッチングにより除去し、前記導電性の管によって形成された導電部材３０の複数を備えたエッチング処理済シートを得る。導電部材３０のエッチングされた端部は少なくとも先端近傍が中空の管になっている。
本工程における具体的なエッチング方法は、第一実施形態のエッチング方法と同様に行うことができる。
【００７０】
［ブラスト工程］
次いで、エッチング処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方、好ましくは両方の主面に対して、粒子を吹き付けることにより、前記主面に露出する複数の導電部材３０の先端（導電性の管の先端）におけるバリを除去したブラスト処理済シートを得る。
粒子の吹き付け方法は、第一実施形態の粒子の吹き付け方法と同様に行うことができる。
【００７１】
［メッキ工程］
ブラスト処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に露出する前記複数の導電性の管の先端にメッキすることにより、前記複数の導電性の管の先端にメッキ層を形成した電気コネクターを得る。
前記先端には予めブラスト処理が施されているので、先端の周縁をなぞるようにメッキ層が形成される。メッキ層の一部は厚み方向に形成され、メッキ層の他部は前記導電性の管の軸線方向から見て外方、つまりブラスト処理済シートの主面の面方向に形成される。結果、第一態様の電気コネクター１０のフランジ４０と同様の、メッキ層からなるフランジが形成される。
なお、前記導電性の管の先端がブラスト処理されていない場合、メッキ層は、前記管の長手方向に形成されたり、前記管の先端の開口を覆うように形成されたりして、フランジを形成することが難しい。
メッキの方法は、第一実施形態のメッキ方法と同様に行うことができる。
以上の各工程を経て、図１に示すような第一態様の電気コネクター１０が得られる。
【００７２】
＜作用効果＞
本実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、エッチング工程後のブラスト工程において各導電部材３０の先端のバリが除去されているので、各導電部材３０の先端にメッキ層からなるフランジ４０を容易に安定に形成することができる。
【００７３】
（変形例）
本実施形態においも、第一実施形態と同様の変形例を例示できる。
一例として、前記粒子を吹き付ける前に、前記エッチング処理済シートが備える前記導電性の管の端部を、前記エッチング処理済シートの一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出させてもよい。
また、別の例として、前記メッキ層を形成する前に、前記ブラスト処理済シートが備える前記導電性の管の端部を、前記ブラスト処理済シートの一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出させてもよい。
【実施例】
【００７４】
［実施例１］
ポリエチレンテレフタレート基材上に形成したシリコーンゴムからなる厚さ２５μｍの第一の樹脂層の一方の面上に、複数の導電線を、向きを揃えて５０μｍの間隔で並列に配置した。
導電線として、真鍮からなる直径２５μｍの円柱状の芯線と、その芯線の外周面を覆う導電性の管である金からなる厚さ０．５μｍの金属層とを有するものを用いた。
次に、複数の導電線が配置された第一の樹脂層の一方の面上に、シリコーンゴムからなる厚さ２５μｍの第二の樹脂層を形成し、第二の樹脂層を第一の樹脂層と一体化するとともに、第一の樹脂層と第二の樹脂層の間に導電線を固定し、導電線含有シートを形成した。
次に、導電線含有シートの２００枚を、互いに導電線の長手方向の向きを揃えて、かつ積層方向に見て各導電線が重なるように積層し、導電線含有シートの積層体を形成した。
次に、切削加工により、導電線の延在する方向に対して角度９０°でスライスカットし、厚さ４００μｍの前駆シートを得た。前駆シートは、シリコーンゴムからなるシート状の弾性体と、前記弾性体を厚さ方向に貫通する導電線とを有する。前記導電線は、弾性体を厚さ方向に貫通する貫通孔に接合されている。前駆シートの主面の厚さ方向に対して交わる導電線の延在方向の角度は約９０°であった。
【００７５】
続いて、前駆シートの両主面に対して、ウェットブラスト加工用の市販の加工装置を用いて、水に分散されたアルミナ粒子（平均径約２０μｍ）を投射して、両主面に露出する導電線の先端のバリを除去するとともに、先端の周縁を面取りし、ブラスト処理済シートを得た。
続いて、ブラスト処理済シートを、硝酸を含むエッチング液に浸漬し、導電線を構成する芯線を溶解することにより、ブラスト処理済シートの両主面に露出する導電線の端部を中空化し、エッチング処理済シートを得た。エッチング処理済シートの一方の主面のＳＥＭ像を図６に示す。
ＳＥＭ像から、エッチング処理済シートの主面に露出する導電部材の端部は中空化されており、先端のバリが除去されており、先端の周縁の外側のエッジが面取りされていることが分かる。また、エッチング処理済シートの主面に、ブラスト処理による微細な凹凸が形成されていることが分かる。
【００７６】
最後に、金を含むメッキ浴槽にエッチング処理済シートを浸漬し、無電解メッキすることにより、主面に露出する導電部材の先端にメッキ層からなるフランジが形成された、図１〜３に示す電気コネクター１０と同様の電気コネクターを得た。同時に参照用の金属板にもメッキを施し、金属板の表面に厚さ１μｍのメッキ層が形成されるまでメッキした。ここで得た電気コネクターの一方の主面のＳＥＭ像を図７に示す。
ＳＥＭ像から、電気コネクターのフランジは、主面に露出しており、導電部材の先端よりも拡径されており、導電部材の先端の開口をなぞった中空のドーナッツ形状を有することが分かる。
【００７７】
［比較例１］
実施例１と同様にして得た前駆シートを用い、ブラスト処理を行わず、前駆シートを、硝酸を含むエッチング液に浸漬し、導電線を構成する芯線を溶解することにより、前駆シートの両主面に露出する導電線の端部を中空化し、エッチング処理済シートを得た。エッチング処理済シートの一方の主面のＳＥＭ像を図８に示す。
ＳＥＭ像から、エッチング処理済シートの主面に露出する導電部材の端部は中空化されているが、先端のバリは除去されておらず、先端の周縁に鋭利なエッジが残されていることが分かる。また、エッチング処理済シートの主面は、実施例１と比べて平滑であることが分かる。
【００７８】
最後に、金を含むメッキ浴槽にエッチング処理済シートを浸漬し、無電解メッキすることにより、主面に露出する導電部材の先端にメッキ層を形成し、比較例１の電気コネクターを得た。同時に参照用の金属板にもメッキを施し、金属板の表面に厚さ０．５μｍのメッキ層が形成されるまでメッキした。ここで得た比較例１の電気コネクターの一方の主面のＳＥＭ像を図９に示す。
ＳＥＭ像から、比較例１の電気コネクターにおいて、メッキ層は導電部材の長手方向が伸長するように形成されているが、主面の面方向には成長せず、フランジは形成されなかった。
【００７９】
［比較例２］
比較例１と同様に得たエッチング処理済シートに、無電解メッキを施し、金属板の表面に厚さ１μｍのメッキ層が形成されるまでメッキしたところ、フランジは形成されず、導電部材の先端の周縁に不定形な塊様のメッキ層が形成され、先端の開口を覆う方向に成長するメッキ層もあった（不図示）。
【００８０】
［比較例３］
比較例１と同様に得たエッチング処理済シートを、そのまま比較例３の電気コネクターとして用い、以下の測定を行った。
【００８１】
［評価］
実施例１、比較例１〜３の電気コネクターを、疑似被検査用パッケージ（ダミーパッケージ）の複数の半田ボールに対してデイジーチェーンとなるように、複数の電極及び回路が形成された基板の上に配置した。基板上の電気コネクターの上に、半田ボールと電気コネクターが接触するように、複数の半田ボールが形成されたダミーパッケージを配置した。
ダミーパッケージは、φ０．２の半田ボールが０．３ｍｍピッチで８×８にマトリックス上に配置しており、基板とデイジーチェーン接続できる内部回路を有するものを使用した。
φ１ｍｍの円柱状プローブにより、ダミーパッケージを圧縮し、デイジーチェーン接続における抵抗値を測定した。
デイジーチェーン接続の最初と最後の箇所の電極から、配線を引き出し、抵抗測定器（商品名 : RM3545-01、日置電機社製）と接続した。
基板における全ての電極と ダミーパッケージにおける全ての半田ボールを電気コネクターにより電気的に直列的に接続できた場合、抵抗値が測定できるようにした。
【００８２】
ダミーパッケージの押し当てを繰り返し、以下の基準で評価した。
Ａ：１００００回の圧接を繰り返しても、抵抗値が１０Ω／半田ボール以下
Ｂ：抵抗値が１０Ω／半田ボール以上になる圧接の繰り返し回数が、２０００回超５０００回以下
Ｃ：抵抗値が１０Ω／半田ボール以上になる圧接の繰り返し回数が、２０００回未満
【００８３】
実施例１の電気コネクターの測定結果は、図１０に示す通り、１万回の圧接を繰り返しても抵抗値はほとんど変化せず、非常に優れた耐久性を示した。また、圧接に必要な荷重は小さく、デバイスの接続端子を傷付ける恐れは無かった。評価基準の判定はＡであった。
比較例１の電気コネクターの測定結果は、図１１に示す通り、２０００回を超える頃までは抵抗値は１０Ω／半田ボール未満を維持していたが、２４００回を超えた頃に急激な抵抗値の上昇を示した。電気コネクターの圧接箇所を観察したところ、導電部材の先端におけるメッキ層が破損し、導電部材の先端が弾性体の貫通孔の内部へ埋没していた。評価基準の判定はＢであった。
比較例２の電気コネクターの測定結果は、比較例１と同様であった。評価基準の判定はＢであった。
比較例３の電気コネクターの測定結果は、２０００回未満で急激な抵抗値の上昇を示した（不図示）。電気コネクターの圧接箇所を観察したところ、導電部材の先端が弾性体の貫通孔の内部へ埋没していた。評価基準の判定はＣであった。
【符号の説明】
【００８４】
１０  電気コネクター
２０  弾性体
２０ａ  弾性体の一方の主面
２０ｂ  弾性体の他方の主面
２１  貫通孔
３０  導電部材
３０ａ  導電部材の一方の端部
３０ｂ  導電部材の他方の端部
３０’  導電線
４０  フランジ
５０  電気コネクター
１０００  基材
１１００  第一の樹脂層
１２００  第二の樹脂層
１３００  導電線含有シート
１４００  積層体
１５００  前駆シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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