(57)【要約】【課題】液晶セルを精度よく検査することができ、液晶セルと配線基板とを目的のボンディング強度で接続することができる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１はステージ部１０と検査部３０と制御部４とを備える。ステージ部１０は第１の端子４１２を有する液晶セル４０を固定する。検査部３０は第２の端子３１１を有する。制御部４はステージ部１０及び検査部３０を制御する。制御部４は、第２の端子３１１を第１の端子４１２に押し当てた状態で、第２の端子３１１を第１の端子４１２に対して摺動するように、ステージ部１０または検査部３０を制御する。【選択図】図１
2020154162.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の端子を有する液晶セルを固定するステージ部と、
第２の端子を有する検査部と、
前記ステージ部及び前記検査部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記第２の端子を前記第１の端子に押し当てた状態で、前記第２の端子を前記第１の端子に対して摺動するように、前記ステージ部または前記検査部を制御する、
検査装置。
【請求項２】
前記検査部は、前記第２の端子を前記第１の端子に均一な圧力で押し当てる弾性部材をさらに有する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記液晶セルの前記第１の端子上に設けられる、検査のための測定領域と結線のための接続領域とのうち、前記測定領域の範囲においてのみ前記第２の端子を前記第１の端子に押し当てた状態で、前記第２の端子を前記第１の端子に対して摺動するように、前記ステージ部または前記検査部を制御する、
請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記液晶セルが表示する画像を撮影し、撮影画像を生成するカメラと、
前記撮影画像を画像解析し、前記液晶セルを検査する画像判定部と、
をさらに備える請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記液晶セルの高さを測定する高さ測定部をさらに備え、
前記制御部は、前記液晶セルの高さに基づいて前記カメラをフォーカス調整する、
請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記画像の光量を測定する光検出器をさらに備え、
前記制御部は、前記光量に基づいて調整値を算出し、
前記検査部は、前記調整値に基づいて前記画像の明るさを調整する、
請求項４または５に記載の検査装置。
【請求項７】
ステージ部が、第１の端子を有する液晶セルを固定し、
制御部が、検査部の第２の端子を前記第１の端子に押し当てた状態で、前記第２の端子を前記第１の端子に対して摺動するように、前記ステージ部または前記検査部を制御する、
検査方法。
【請求項８】
画像を表示する液晶表示部、及び、第１の端子を有する第１の基板と、
第２の基板と、
前記第１の基板と前記第２の基板とを間隙を有して固定するシール材と、
前記間隙に充填され、前記シール材によって封止されている液晶と、
を備え、
前記第１の端子は、検査のための測定領域と、結線のための接続領域とを有し、前記測定領域には摺動痕が形成されている、
液晶セル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶セルの検査装置、検査方法、及び、液晶セルに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液晶デバイスは、液晶セルと配線基板とを備える。液晶セルは、駆動基板、対向基板、液晶、及び、シール材を有する。駆動基板は、例えば半導体基板であり、複数の画素が配置されている液晶表示部と、各画素を駆動するための電力及び制御信号等が入力される端子とを有する。対向基板は、例えばガラス基板であり、光透過性を有する。駆動基板と対向基板とは、間隙を有してシール材により固定されている。液晶は上記の間隙に充填され、シール材により封止されている。
【０００３】
配線基板は、例えばフレキシブル配線基板であり、一方の端子と他方の端子とが配線によって接続されている。一方の端子は液晶セルの端子に接続され、他方の端子には外部から液晶セルを駆動するための電力及び制御信号等が入力される。即ち、液晶セルは、外部から配線基板を介して電力及び制御信号等が入力されることにより、各画素を駆動することができる。
【０００４】
通常、液晶デバイスは、液晶セルと配線基板とが互いに接続された状態で検査される。上記の検査によって液晶セルが不良品であると判定された場合、不良品と判定された液晶セルと接続している配線基板、及び、その液晶セルに配線基板を接続する作業が無駄になる。特許文献１には、プローブを用いて液晶セルを検査する検査方法の一例が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２２１５４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
液晶セルの端子にプローブの先端を接触させて液晶セルを検査すると、液晶セルの端子には、プローブの先端が接触した痕（プローブ痕）が凹凸状に形成される。液晶セルの端子と配線基板の端子とをワイヤボンディングによって接続するときに、プローブ痕によって目的のボンディング強度が得られない場合がある。
【０００７】
本発明は、液晶セルを精度よく検査することができ、液晶セルと配線基板とを目的のボンディング強度で接続することができる検査装置、検査方法、及び、液晶セルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、第１の端子を有する液晶セルを固定するステージ部と、第２の端子を有する検査部と、前記ステージ部及び前記検査部を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記第２の端子を前記第１の端子に押し当てた状態で、前記第２の端子を前記第１の端子に対して摺動するように、前記ステージ部または前記検査部を制御する検査装置を提供する。
【０００９】
本発明は、ステージ部が、第１の端子を有する液晶セルを固定し、制御部が、検査部の第２の端子を前記第１の端子に押し当てた状態で、前記第２の端子を前記第１の端子に対して摺動するように、前記ステージ部または前記検査部を制御する検査方法を提供する。
【００１０】
また、本発明は、画像を表示する液晶表示部、及び、第１の端子を有する第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板とを間隙を有して固定するシール材と、前記間隙に充填され、前記シール材によって封止されている液晶とを備え、前記第１の端子は、検査のための測定領域と、結線のための接続領域とを有し、前記測定領域には摺動痕が形成されている液晶セルを提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の検査装置、検査方法、及び、液晶セルによれば、液晶セルを精度よく検査し、液晶セルと配線基板とを目的のボンディング強度で接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】一実施形態の検査装置の一例を示す構成図である。
【図２】カメラ側から駆動基板を見た状態を示す図である。
【図３】カメラ側から測定基板を見た状態を示す図である。
【図４】カメラ側から測定基板を介して駆動基板を見た状態を示す図である。
【図５Ａ】一実施形態の検査方法の一例を示すフローチャートである。
【図５Ｂ】一実施形態の検査方法の一例を示すフローチャートである。
【図６】測定端子が液晶セルの端子に対して摺動する状態を示す平面図である。
【図７】測定端子が液晶セルの端子に対して摺動する状態を示す側面図である。
【図８】検査後の液晶セルの端子の状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は、一実施形態の検査装置１の構成例を示している。検査装置１は、カメラ２と、光検出器３と、制御部４と、画像判定部５と、ステージ部１０と、高さ測定部２０と、検査部３０とを備える。ステージ部１０、高さ測定部２０、及び、検査部３０は、基台６上に固定されている。制御部４は、カメラ２、光検出器３、ステージ部１０、高さ測定部２０、及び、検査部３０を制御する。制御部４、及び、画像判定部５として、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはコンピュータ機器を用いてもよい。
【００１４】
ステージ部１０は、ステージユニット１１とステージ駆動部１２とを有する。ステージユニット１１は、検査対象の液晶セル４０を固定する。
【００１５】
液晶セル４０は、駆動基板４１（第１の基板）と、対向基板４２（第２の基板）と、液晶４３と、シール材４４とを有して構成されている。駆動基板４１は、例えばシリコン基板等の半導体基板であり、複数の画素が配置されている液晶表示部４１１と、各画素を駆動するための電力及び制御信号等が入力される端子４１２（第１の端子）とを有する。対向基板４２は、例えばガラス基板等の透明基板であり、光透過性を有する。駆動基板４１と対向基板４２とは、間隙を有してシール材４４により固定されている。液晶４３は駆動基板４１と対向基板４２との間隙に充填され、シール材４４によって封止されている。
【００１６】
ステージユニット１１は複数のステージ１１１〜１１５により構成されている。ステージ１１１は、例えば吸着ステージであり、液晶セル４０を吸着することによって、液晶セル４０をステージ１１１上に固定する。ステージ１１２は、例えばθステージであり、ステージ１１１を回転させる。ステージ１１３は、例えばＹステージであり、ステージ１１１をＹ軸方向（例えば図１における手前奥方向）へ移動させる。ステージ１１４は、例えばＸステージであり、ステージ１１１をＸ軸方向（例えば図１における左右方向）へ移動させる。ステージ１１５は、例えばＺステージであり、ステージ１１１をＺ軸方向（例えば図１における上下方向）へ移動させる。以下、ステージユニット１１を単にステージ１１とする。
【００１７】
制御部４がステージ駆動部１２を制御することにより、ステージ駆動部１２は、液晶セル４０をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、またはこれらが組み合わされたベクトル方向へ移動させたり、回転させたりすることができる。
【００１８】
高さ測定部２０は、高さ検出センサ２１を有する。制御部４は、ステージ駆動部１２を制御することにより、液晶セル４０を高さ検出センサ２１に対応する位置へ移動させ、高さ検出センサ２１の先端と液晶セル４０の対向基板４２の上面とを接触させる。これにより、高さ測定部２０は、ステージ１１の基準面ＲＰ１に対する液晶セル４０の高さＨ４０を測定することができる。ステージ１１１の基準面ＲＰ１とは液晶セル４０が固定されるステージ１１１の上面であり、液晶セル４０の高さとは基準面ＲＰ１から対向基板４２の上面までの高さである。
【００１９】
高さ測定部２０は、高さ検出センサ２１をステージ１１（１１１）へ接近させたり離隔させたりするセンサ駆動部２２を有していてもよい。制御部４がセンサ駆動部２２を制御することにより、高さ測定部２０は、液晶セル４０の高さＨ４０を測定する。
【００２０】
駆動基板４１、対向基板４２、シール材４４、及び端子４１２は、目的の厚さとなるように精度よく形成されている。そのため、制御部４は、基準面ＲＰ１または高さＨ４０に基づいて、ステージ１１の基準面ＲＰ１から駆動基板４１の上面までの高さを精度よく取得することができる。なお、制御部４がステージ駆動部１２及びセンサ駆動部２２の少なくともいずれかを制御することにより、高さ測定部２０は、駆動基板４１の上面の高さを測定してもよい。
【００２１】
検査部３０は、測定基板３１と、台座３２と、弾性部材３３と、測定駆動部３４と、測定制御基板３５と、制御記憶部３６とを有して構成されている。測定基板３１は、例えばフレキシブル配線基板であり、一方の端部側には複数の略半球状のバンプが測定端子３１１（第２の端子）として形成されている。バンプは略半球状以外の形状を有していてもよい。
【００２２】
測定基板３１は、台座３２及び弾性部材３３に固定されている。弾性部材３３は、測定端子３１１を含む領域に対応して配置され、台座３２に固定されている。測定基板３１は測定制御基板３５に接続され、測定制御基板３５は制御記憶部３６に接続され、制御記憶部３６は制御部４に接続されている。なお、測定制御基板３５が制御記憶部３６、及び、制御部４に接続されていてもよい。
【００２３】
制御部４が測定駆動部３４を制御することにより、測定駆動部３４は測定端子３１１を駆動基板４１の端子４１２に接触させたり、離隔させたりすることができる。制御部４がステージ駆動部１２を制御することにより、ステージ駆動部１２が駆動基板４１の端子４１２を測定端子３１１に接触させたり、離隔させたりしてもよい。
【００２４】
測定端子３１１と端子４１２とが接触している状態で、制御部４が制御記憶部３６を制御することにより、制御記憶部３６は、測定制御基板３５を制御し、各画素を駆動するための電力及び制御信号等を、測定基板３１と測定端子３１１と端子４１２とを順次介して駆動基板４１へ供給する。駆動基板４１は、制御信号に基づいて各画素の駆動電圧を生成する。
【００２５】
液晶４３は、駆動基板４１と対向基板４２との間に印加される各画素の駆動電圧に応じて駆動する。これにより、液晶セル４０は、目的の画像を液晶表示部４１１に表示する。なお、制御部４が制御記憶部３６の機能を有していてもよく、制御記憶部３６が制御部４の機能を有していてもよい。
【００２６】
図２〜図４を用いて、駆動基板４１及び測定基板３１について説明する。図２はカメラ２側から駆動基板４１を見た状態を示している。図３はカメラ２側から測定基板３１を見た状態を示している。図４はカメラ２側から測定基板３１及び駆動基板４１を見た状態を示している。
【００２７】
図２または図４に示すように、駆動基板４１上にはアライメントマーク４１３が形成されている。アライメントマーク４１３は端子４１２の近傍に形成されていることが好ましい。図３または図４に示すように、測定基板３１には、端子４１２に対応する位置に測定端子３１１が形成され、アライメントマーク４１３に対応する位置に開口部３１２が形成されている。カメラ２は、開口部３１２を介してアライメントマーク４１３を撮影することができる。
【００２８】
光検出器３は、液晶セル４０の液晶表示部４１１へ照明光を照射し、その反射光の光量を測定する。液晶表示部４１１に目的の画像が表示されている場合、光検出器３は、その画像の光量を測定する。図１では、説明をわかりやすくするために、カメラ２が端子４１２の上方に位置し、かつ、光検出器３が液晶表示部４１１の上方に位置している状態を示している。
【００２９】
しかし、液晶セル４０における端子４１２と液晶表示部４１１との距離、並びに、カメラ２及び光検出器３の大きさによっては、カメラ２が端子４１２の上方に位置し、かつ、光検出器３が液晶表示部４１１の上方に位置するように、カメラ２及び光検出器３を配置することが困難になる場合がある。そのため、検査装置１またはオペレータは、カメラ２が端子４１２の上方に位置する場合には光検出器３を液晶表示部４１１の上方から退避させ、光検出器３が液晶表示部４１１の上方に位置する場合にはカメラ２を端子４１２の上方から退避させてもよい。
【００３０】
図５Ａ及び図５Ｂに示すフローチャート、図６、及び図７を用いて、一実施形態の検査方法の一例を説明する。図５Ａにおいて、ステージ駆動部１２は、ステップＳ１にて、検査対象の液晶セル４０をステージ１１上に保持する。高さ測定部２０は、ステップＳ２にて、ステージ１１の基準面ＲＰ１に対する液晶セル４０の高さＨ４０を測定する。制御部４は、高さ測定部２０から液晶セル４０の高さＨ４０を取得する。
【００３１】
ステージ駆動部１２は、ステップＳ３にて、ステージ１１を駆動させ、液晶セル４０のアライメントマーク４１３をカメラ２の撮影領域へ移動させる。カメラ２は、アライメントマーク４１３の位置を認識する。図２に示すように、液晶セル４０に２つのアライメントマーク４１３が形成されている場合、ステージ駆動部１２は一方のアライメントマーク４１３をカメラ２の撮影領域へ移動させ、カメラ２は一方のアライメントマーク４１３の位置を認識する。さらに、ステージ駆動部１２は他方のアライメントマーク４１３をカメラ２の撮影領域へ移動させ、カメラ２は他方のアライメントマーク４１３の位置を認識する。
【００３２】
制御部４は、ステップＳ４にて、カメラ２からアライメントマーク４１３の位置を取得し、位置補正データを算出する。ステージ駆動部１２は、位置補正データに基づいてステージ１１を駆動し、液晶セル４０の位置を補正する。これにより、図４に示すように、測定端子３１１と端子４１２とは位置合わせされる。
【００３３】
検査部３０の測定駆動部３４は、ステップＳ５にて、測定基板３１を移動させ、測定基板３１の測定端子３１１と液晶セル４０の端子４１２とを接触させる。具体的には、測定駆動部３４は、測定端子３１１を端子４１２に押し当てる。測定端子３１１を端子４１２に押し当てたときに弾性部材３３が弾性変形することにより、端子４１２に加わる測定端子３１１の圧力のばらつきを弾性部材３３が吸収する。そのため、検査部３０は、複数の測定端子３１１を複数の端子４１２にほぼ均一な圧力で押し当てることができる。
【００３４】
ステージ駆動部１２は、ステップＳ６にて、測定端子３１１が端子４１２に押し当てられている状態で、ステージ１１を駆動させ、測定端子３１１と端子４１２との相対位置が変更されるように、端子４１２を測定端子３１１に対して摺動させる。なお、制御部４は、検査部３０を制御することにより、測定端子３１１を端子４１２に対して摺動させてもよい。
【００３５】
図６は測定端子３１１が端子４１２に対して摺動する状態を模式的に示す平面図であり、図７はその側面図である。図６及び図７に示すように、端子４１２は、検査のための測定領域ＭＡと、結線のための接続領域ＣＡとを有する。例えば、測定領域ＭＡは、端子４１２において液晶表示部４１１に近い側の領域（例えば端子４１２における３分の１の領域）であり、接続領域ＣＡは、端子４１２において液晶表示部４１１から遠い側の領域（例えば端子４１２における３分の２の領域）である。
【００３６】
制御部４は、ステージ駆動部１２を制御することにより、液晶セル４０の端子４１２上に設けられる測定領域ＭＡと接続領域ＣＡとのうち、測定領域ＭＡの範囲においてのみ測定端子３１１を端子４１２に押し当てた状態で、測定端子３１１を端子４１２に対して摺動するように、ステージ部１０または検査部３０を制御する。
【００３７】
測定領域ＭＡにおいて、測定端子３１１と端子４１２とを相対的に摺動させることにより、測定端子３１１と端子４１２との導通を安定化させることができる。即ち、弾性部材３３によって複数の測定端子３１１を複数の端子４１２にほぼ均一な圧力で押し当てることができ、測定端子３１１と端子４１２とを相対的に摺動させることにより、測定端子３１１と端子４１２との導通を安定化させることができる。測定端子３１１を端子４１２に対して液晶表示部４１１側へ摺動させることが好ましい。
【００３８】
制御部４またはオペレータは、ステップＳ７にて、光検出器３を液晶表示部４１１の上方に配置する。このとき、カメラ２を退避させてもよい。
【００３９】
液晶表示部４１１に全ての画素が第１の階調である画像ＩＭ１（第１の画像）、第１の階調よりも大きい第２の階調である画像ＩＭ２（第２の画像）、及び、第１の階調と第２の階調との中間の階調である画像ＩＭ３（第３の画像）を表示させて、液晶セル４０を検査する場合について説明する。例えば、第１の画像は黒画像であり、第２の画像は白画像であり、第３の画像は中間画像である。
【００４０】
測定制御基板３５は、ステップＳ８にて、液晶セル４０の液晶表示部４１１に画像ＩＭ１を表示させる。なお、液晶表示部４１１に画像ＩＭ１が表示されている状態で、光検出器３を液晶表示部４１１の上方に配置するようにしてもよい。光検出器３は、液晶表示部４１１へ照明光を照射し、その反射光の光量を、画像ＩＭ１の光量（第１の光量）として測定する。測定制御基板３５は、液晶表示部４１１に画像ＩＭ２を表示させる。光検出器３は、液晶表示部４１１の反射光の光量を、画像ＩＭ２の光量（第２の光量）として測定する。測定制御基板３５は、液晶表示部４１１に画像ＩＭ３を表示させる。光検出器３は、液晶表示部４１１の反射光の光量を、画像ＩＭ３の光量（第３の光量）として測定する。測定制御基板３５は、液晶表示部４１１に画像ＩＭ１〜ＩＭ３を任意の順番で表示してもよい。
【００４１】
制御部４は、ステップＳ９にて、光検出器３から第１〜第３の光量を取得する。さらに、制御部４は、第１の光量に基づいて、画像ＩＭ１が目的の明るさとなるように画素の駆動電圧の調整値（第１の調整値）を算出し、制御記憶部３６に記憶する。第１の調整値は、黒画像の基準値（基準電圧）と検出値（第１の光量に基づいて算出される検出電圧）との差分値（差分電圧）である。
【００４２】
制御部４は、第２の光量に基づいて、画像ＩＭ２が目的の明るさとなるように画素の駆動電圧の調整値（第２の調整値）を算出し、制御記憶部３６に記憶する。第２の調整値は、白画像の基準値（基準電圧）と検出値（第２の光量に基づいて算出される検出電圧）との差分値（差分電圧）である。
【００４３】
制御部４は、第３の光量に基づいて、画像ＩＭ３が目的の明るさとなるように画素の駆動電圧の調整値（第３の調整値）を算出し、制御記憶部３６に記憶する。第３の調整値は、中間画像の基準値（基準電圧）と検出値（第３の光量に基づいて算出される検出電圧）との差分値（差分電圧）である。
【００４４】
図５Ｂにおいて、制御部４またはオペレータは、ステップＳ１０にて、光検出器３を退避させ、カメラ２を液晶表示部４１１の上方に配置する。制御部４は、ステップＳ１１にて、高さＨ４０に基づいて、カメラ２の焦点が対向基板４２の上面に位置するように、カメラ２をフォーカス調整する。
【００４５】
測定制御基板３５は、ステップＳ１２にて、制御記憶部３６から第１の調整値を読み出し、第１の調整値に基づいて明るさが調整された画像ＩＭ１を液晶セル４０の液晶表示部４１１に表示する。カメラ２は、画像ＩＭ１を撮影し、撮影画像ＳＭ１（第１の撮影画像）を生成する。測定制御基板３５は、制御記憶部３６から第２の調整値を読み出し、第２の調整値に基づいて明るさが調整された画像ＩＭ２を液晶セル４０の液晶表示部４１１に表示する。カメラ２は、画像ＩＭ２を撮影し、撮影画像ＳＭ２（第２の撮影画像）を生成する。測定制御基板３５は、制御記憶部３６から第３の調整値を読み出し、第３の調整値に基づいて明るさが調整された画像ＩＭ３を液晶セル４０の液晶表示部４１１に表示する。カメラ２は、画像ＩＭ３を撮影し、撮影画像ＳＭ３（第３の撮影画像）を生成する。
【００４６】
即ち、撮影画像ＳＭ１〜ＳＭ３は、対向基板４２の上面を撮影した、互いに明るさの異なる画像であり、対向基板４２を検査するための画像である。測定制御基板３５は、液晶表示部４１１に画像ＩＭ１〜ＩＭ３を任意の順番で表示してもよい。画像判定部５は、カメラ２から撮影画像ＳＭ１〜ＳＭ３を、制御部４を介して取得する。
【００４７】
制御部４は、ステップＳ１３にて、基準面ＲＰ１または高さＨ４０に基づいて、駆動基板４１の高さ（具体的には、ステージ１１の基準面ＲＰ１から駆動基板４１の上面までの高さ）を取得する。さらに、制御部４は、駆動基板４１の高さに基づいて、カメラ２の焦点が駆動基板４１の上面に位置するように、カメラ２をフォーカス調整する。
【００４８】
測定制御基板３５は、ステップＳ１４にて、第１の調整値に基づいて明るさが調整された画像ＩＭ１を液晶セル４０の液晶表示部４１１に表示する。カメラ２は、画像ＩＭ１を撮影し、撮影画像ＳＭ４（第４の撮影画像）を生成する。測定制御基板３５は、第２の調整値に基づいて明るさが調整された画像ＩＭ２を液晶セル４０の液晶表示部４１１に表示する。カメラ２は、画像ＩＭ２を撮影し、撮影画像ＳＭ５（第５の撮影画像）を生成する。測定制御基板３５は、第３の調整値に基づいて明るさが調整された画像ＩＭ３を液晶セル４０の液晶表示部４１１に表示する。カメラ２は、画像ＩＭ３を撮影し、撮影画像ＳＭ６（第６の撮影画像）を生成する。
【００４９】
即ち、撮影画像ＳＭ４〜ＳＭ６は、駆動基板４１の上面を撮影した、互いに明るさの異なる画像であり、駆動基板４１を検査するための画像である。測定制御基板３５は、液晶表示部４１１に画像ＩＭ１〜ＩＭ３を任意の順番で表示してもよい。画像判定部５は、カメラ２から撮影画像ＳＭ４〜ＳＭ６を、制御部４を介して取得する。なお、制御部４、及び、測定制御基板３５は、ステップＳ１４及びＳ１５の後に、ステップＳ１２及びＳ１３の処理を実行してもよい。
【００５０】
画像判定部５は、ステップＳ１５にて、撮影画像ＳＭ１〜ＳＭ３を画像解析し、対向基板４２を検査する。具体的には、画像判定部５は、対向基板４２の上面に付着した異物、傷等を検出する。画像判定部５は、撮影画像ＳＭ４〜ＳＭ６を画像解析し、駆動基板４１を検査する。具体的には、画像判定部５は、駆動基板４１の液晶表示部４１１における画素欠陥、及び、駆動基板４１の上面に付着した異物、傷等を検出する。画像判定部５は、検査結果に基づいて、検査対象の液晶セル４０が良品であるか否かを判定する。
【００５１】
検査装置１は、撮影画像ＳＭ１〜ＳＭ６、または、撮影画像ＳＭ１〜ＳＭ６が画像解析された結果を表示する表示部を備えていてもよい。制御部４は、検査装置１の表示部、または外部の表示装置に撮影画像ＳＭ１〜ＳＭ６、または、撮影画像ＳＭ１〜ＳＭ６が画像解析された結果を表示してもよい。オペレータは、撮影画像ＳＭ１〜ＳＭ６、または、撮影画像ＳＭ１〜ＳＭ６が画像解析された結果から、検査対象の液晶セル４０が良品であるか否かを判定してもよい。
【００５２】
良品であると判定された液晶セル４０の端子４１２に配線基板（例えば、フレキシブル配線基板）を接続することにより、液晶セル４０と配線基板とを備えた液晶デバイスを作製することができる。図８に示すように、端子４１２の測定領域ＭＡには、測定端子３１１の摺動による摺動痕４１４が形成される。
【００５３】
液晶セル４０の端子４１２と配線基板の端子とをワイヤボンデイングで接続する場合、端子４１２の摺動痕４１４を含む領域にワイヤボンデイングすると、目的のボンディング強度が得られない場合がある。そこで、端子４１２において摺動痕４１４が形成されていない接続領域ＣＡと配線基板の端子とをワイヤボンデイングで接続することにより、目的のボンディング強度を得ることができる。
【００５４】
本実施形態の検査装置及び検査方法によれば、弾性部材３３によって測定基板３１の複数の測定端子３１１を液晶セル４０の複数の端子４１２にほぼ均一な圧力で押し当てることができる。本実施形態の検査装置及び検査方法によれば、測定基板３１の測定端子３１１と液晶セル４０の端子４１２とを相対的に摺動させることにより、測定端子３１１と端子４１２との導通を安定化させることができる。
【００５５】
本実施形態の検査装置及び検査方法では、端子４１２の測定領域ＭＡにおいて測定端子３１１と端子４１２とを相対的に摺動させ、液晶セル４０を検査し、端子４１２の接続領域ＣＡと配線基板の端子とを接続する。本実施形態の検査装置及び検査方法によれば、端子４１２において摺動痕４１４が形成されていない接続領域ＣＡと配線基板の端子とを接続することにより、目的のボンディング強度を得ることができる。
【００５６】
従って、本実施形態の検査装置、検査方法、及び、液晶セルによれば、液晶セル４０を精度よく検査し、液晶セル４０と配線基板とを目的のボンディング強度で接続することができる。
【００５７】
なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。
【符号の説明】
【００５８】
１  検査装置
４  制御部
１０  ステージ部
３０  検査部
４０  液晶セル
４１  駆動基板（第１の基板）
４２  対向基板（第２の基板）
４３  液晶
４４  シール材
３１１  測定端子（第２の端子）
４１１  液晶表示部
４１２  端子（第１の端子）
４１４  摺動痕
ＣＡ  接続領域
ＩＭ（ＩＭ１，ＩＭ２，ＩＭ３）  画像
ＭＡ  測定領域
【図１】
2020154162.tif 000003
【図２】
2020154162.tif 000004
【図３】
2020154162.tif 000005
【図４】
2020154162.tif 000006
【図５Ａ】
2020154162.tif 000007
【図５Ｂ】
2020154162.tif 000008
【図６】
2020154162.tif 000009
【図７】
2020154162.tif 000010
【図８】
2020154162.tif 000011