(57)【要約】【課題】複数の処理装置に対して表示パネルを搬送するパネル搬送システムにおいて、処理装置に搬入される表示パネルの搬送と処理装置から搬出される表示パネルの搬送とを行うパネル搬送装置を処理装置ごとに備えていても、小型化することが可能なパネル搬送システムを提供する。【解決手段】このパネル搬送システムは、処理装置３、４のそれぞれに対して液晶パネルを搬送するパネル搬送装置７、８を備えている。パネル搬送装置７、８は、処理装置３、４に搬入される表示パネルの搬送と処理装置３、４から搬出される表示パネルの搬送とを行うためのパネル搬送機構３５、５５と、表示パネルを昇降させるパネル昇降機構３７とを備え、パネル搬送機構３５、５５は、表示パネルが載置される載置部材４１、６１と、載置部材４１、６１を水平方向へ移動させるスライド機構４２、６２とを備えている。パネル搬送機構３５とパネル搬送機構５５は、上下方向でずれている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルの処理を行う複数の処理装置のそれぞれに対して前記表示パネルを搬送する複数のパネル搬送装置を備え、
前記パネル搬送装置は、前記処理装置に搬入される前記表示パネルを搬送するとともに前記処理装置から搬出される前記表示パネルを搬送するためのパネル搬送機構と、前記処理装置への前記表示パネルの搬入と前記処理装置からの前記表示パネルの搬出とを行うパネル搬入搬出機構と、前記表示パネルを昇降させるパネル昇降機構とを備え、
前記パネル搬送機構は、前記表示パネルが載置される載置部材と、前記載置部材を水平方向へ直線的に移動させるスライド機構とを備え、
前記パネル搬入搬出機構は、前記表示パネルを把持する第１パネル把持部を備え、
前記第１パネル把持部は、前記載置部材よりも上側に配置され、
前記パネル昇降機構は、前記載置部材に載置された前記表示パネルを上昇させて前記第１パネル把持部に引き渡すとともに、前記第１パネル把持部から受け取った前記表示パネルを下降させて前記載置部材に載置し、
前記載置部材の移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
複数の前記パネル搬送装置は、第１方向に沿って配置され、
複数の前記パネル搬送装置が有する前記パネル搬送機構は、上下方向において互いにずれた状態で配置され、
複数の前記パネル搬送装置が有する前記パネル搬入搬出機構は、上下方向において同じ位置に配置されていることを特徴とするパネル搬送システム。
【請求項２】
前記パネル搬入搬出機構は、前記第１パネル把持部を昇降可能かつ回動可能に保持する本体部と、前記本体部に対して前記第１パネル把持部を昇降させる把持部昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として前記本体部に対して前記第１パネル把持部を回動させる把持部回動機構とを備えることを特徴とする請求項１記載のパネル搬送システム。
【請求項３】
上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の前記パネル搬送機構の少なくとも一部は、第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載のパネル搬送システム。
【請求項４】
上下方向において互いにずれた状態で配置される複数の前記パネル搬送機構は、第２方向において同じ位置に配置され、
上下方向において同じ位置に配置される複数の前記パネル搬入搬出機構は、第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項３記載のパネル搬送システム。
【請求項５】
前記パネル昇降機構は、前記表示パネルを把持する第２パネル把持部を備え、
前記第２パネル把持部は、前記第１パネル把持部に前記表示パネルを引き渡す前、および、前記第１パネル把持部から前記表示パネルを受け取る前に、上下方向において前記載置部材が配置される位置よりも高い待機位置まで上昇して待機することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のパネル搬送システム。
【請求項６】
前記処理装置で処理される前の前記表示パネルを供給するパネル供給部と、前記パネル供給部から供給される前記表示パネルを受け取って前記載置部材に載置するパネル受渡機構とを備え、
前記パネル受渡機構は、前記表示パネルを把持する第３パネル把持部と、前記第３パネル把持部を昇降させる第１把持部スライド機構と、前記第３パネル把持部を第２方向に移動させる第２把持部スライド機構とを備え、複数の前記パネル搬送装置が有する前記載置部材に前記表示パネルを載置することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のパネル搬送システム。
【請求項７】
前記パネル供給部は、前記表示パネルを搬送するコンベヤを備えることを特徴とする請求項６記載のパネル搬送システム。
【請求項８】
前記パネル供給部は、前記コンベヤに載置される前記表示パネルを受け取って前記パネル受渡機構に供給するパネル供給機構を備え、
前記コンベヤは、第１方向の一方側に向かって前記表示パネルを搬送し、
第１方向から見たときに、前記コンベヤと前記パネル搬送機構とは、第２方向で隣接配置され、
前記コンベヤと前記パネル受渡機構とは、第１方向で隣接配置され、
前記パネル供給機構は、前記コンベヤおよび前記パネル受渡機構の上側に配置されていることを特徴とする請求項７記載のパネル搬送システム。
【請求項９】
前記処理装置で処理された後の前記表示パネルが回収されるパネル回収部を備え、
第１方向の一方を第３方向とし、第３方向の反対方向を第４方向とすると、
前記パネル回収部は、前記パネル搬送システムの第３方向の端部に配置され、
複数の前記処理装置は、第１方向に配列され、
複数の前記パネル搬送装置が有する前記パネル搬送機構は、前記処理装置で処理された後の前記表示パネルを前記パネル回収部に搬送し、
少なくとも、複数の前記処理装置のうちの最も第４方向側に配置される前記処理装置に対して前記表示パネルを搬送する前記パネル搬送装置は、第１方向に配列される複数の前記パネル搬送機構と、第１方向で隣接する２個の前記パネル搬送機構の一方から他方に前記表示パネルを引き渡すパネル引渡機構とを備えることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のパネル搬送システム。
【請求項１０】
前記載置部材に載置される前記表示パネルへの塵埃の付着を防止するために前記スライド機構と前記載置部材との間に配置される防塵カバーを備えることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載のパネル搬送システム。
【請求項１１】
前記スライド機構が配置される空間の空気を吸引する吸引機構を備えることを特徴とする請求項１０記載のパネル搬送システム。
【請求項１２】
前記載置部材の停止位置で前記載置部材に前記表示パネルが載置されているのか否かを検知するための検知機構を備えることを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載のパネル搬送システム。
【請求項１３】
前記処理装置は、前記表示パネルを点灯検査するための検査装置であることを特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載のパネル搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の表示パネルを搬送するパネル搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルを点灯検査するための検査装置を備える検査システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の検査システムは、複数の検査装置と、複数の検査装置に搬入される液晶パネルを搬送する搬入側のコンベヤ（搬入側コンベヤ）と、複数の検査装置から搬出される液晶パネルを搬送する搬出側のコンベヤ（搬出側コンベヤ）とを備えている。複数の検査装置は、コンベヤによる液晶パネルの搬送方向に配列されている。また、搬入側コンベヤと搬出側コンベヤとは、コンベヤによる液晶パネルの搬送方向に直交する方向において隣接配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１９８４９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の検査システムでは、複数の検査装置に搬入される液晶パネルが共通の搬入側コンベヤによって搬送されているため、搬入側コンベヤが故障すると、複数の検査装置の全てに液晶パネルを搬入することができなくなる。また、特許文献１に記載の検査システムでは、複数の検査装置から搬出される液晶パネルが共通の搬出側コンベヤによって搬送されているため、搬出側コンベヤが故障すると、複数の検査装置の全てから液晶パネルを搬出することができなくなる。
【０００５】
特許文献１に記載の検査システムにおいて、搬入側コンベヤを処理装置ごとに設置するとともに、搬出側コンベヤを処理装置ごとに設置すれば（すなわち、複数の検査装置と同数の搬入側コンベヤおよび搬出側コンベヤを設置して、複数の搬入側コンベヤおよび搬出側コンベヤのそれぞれを用いて複数の検査装置のそれぞれに対して液晶パネルを搬送すれば）、上記の問題を解消することは可能である。しかしながら、この場合には、検査システムが大型化するおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、表示パネルの処理を行う複数の処理装置に対して表示パネルを搬送するパネル搬送システムにおいて、処理装置に搬入される表示パネルを搬送するとともに処理装置から搬出される表示パネルを搬送するパネル搬送装置を処理装置ごとに備えていても、小型化することが可能なパネル搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明のパネル搬送システムは、表示パネルの処理を行う複数の処理装置のそれぞれに対して表示パネルを搬送する複数のパネル搬送装置を備え、パネル搬送装置は、処理装置に搬入される表示パネルを搬送するとともに処理装置から搬出される表示パネルを搬送するためのパネル搬送機構と、処理装置への表示パネルの搬入と処理装置からの表示パネルの搬出とを行うパネル搬入搬出機構と、表示パネルを昇降させるパネル昇降機構とを備え、パネル搬送機構は、表示パネルが載置される載置部材と、載置部材を水平方向へ直線的に移動させるスライド機構とを備え、パネル搬入搬出機構は、表示パネルを把持する第１パネル把持部を備え、第１パネル把持部は、載置部材よりも上側に配置され、パネル昇降機構は、載置部材に載置された表示パネルを上昇させて第１パネル把持部に引き渡すとともに、第１パネル把持部から受け取った表示パネルを下降させて載置部材に載置し、載置部材の移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、複数のパネル搬送装置は、第１方向に沿って配置され、複数のパネル搬送装置が有するパネル搬送機構は、上下方向において互いにずれた状態で配置され、複数のパネル搬送装置が有するパネル搬入搬出機構は、上下方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明のパネル搬送システムでは、複数の処理装置のそれぞれに対して表示パネルを搬送する複数のパネル搬送装置のそれぞれは、処理装置に搬入される表示パネルを搬送するとともに処理装置から搬出される表示パネルを搬送するためのパネル搬送機構を備えており、パネル搬送機構は、表示パネルが載置される載置部材と、載置部材を水平方向へ直線的に移動させるスライド機構とを備えている。そのため、本発明では、複数のパネル搬送装置のそれぞれにおいて、処理装置に搬入される表示パネルの搬送と処理装置から搬出される表示パネルの搬送とを、共通の載置部材およびスライド機構を用いて行うことが可能になる。
【０００９】
したがって、本発明では、処理装置に搬入される表示パネルを搬送するための載置部材およびスライド機構と、処理装置から搬出される表示パネルを搬送するための載置部材およびスライド機構とをパネル搬送装置が備えている場合と比較して、パネル搬送装置を小型化することが可能になる。また、本発明では、複数のパネル搬送装置を小型化することが可能になるため、パネル搬送システムが、処理装置に搬入される表示パネルを搬送するとともに処理装置から搬出される表示パネルを搬送するパネル搬送装置を処理装置ごとに備えていても、パネル搬送システムを小型化することが可能になる。
【００１０】
また、本発明では、複数のパネル搬送装置が有するパネル搬送機構は、上下方向において互いにずれた状態で配置されているため、複数のパネル搬送機構を配置しやすくなる。さらに、本発明では、パネル搬送装置が、表示パネルを昇降させるパネル昇降機構を備えており、パネル昇降機構は、載置部材に載置された表示パネルを上昇させてパネル搬入搬出機構の第１パネル把持部に引き渡すとともに、第１パネル把持部から受け取った表示パネルを下降させて載置部材に載置しているため、複数のパネル搬送機構が上下方向において互いずれていても、上下方向において同じ位置に配置されている複数のパネル搬入搬出機構のそれぞれに対して同じ高さで表示パネルの受渡しを行うことが可能になる。したがって、本発明では、複数のパネル搬送装置のパネル搬入搬出機構の構成を共通の構成にすることが可能になるとともに、パネル搬入搬出機構の構成および制御を簡素化することが可能になる。
【００１１】
また、本発明では、上下方向において同じ位置に配置されている複数のパネル搬入搬出機構のそれぞれに対して同じ高さで表示パネルの受渡しを行うことが可能になるため、複数のパネル搬入搬出機構のそれぞれと複数の処理装置のそれぞれとの間で、同じ高さで表示パネルの受渡しを行うことが可能になる。したがって、本発明では、複数の処理装置の、表示パネルの受渡し部分の構成を共通の構成にすることが可能になる。
【００１２】
本発明において、たとえば、パネル搬入搬出機構は、第１パネル把持部を昇降可能かつ回動可能に保持する本体部と、本体部に対して第１パネル把持部を昇降させる把持部昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として本体部に対して第１パネル把持部を回動させる把持部回動機構とを備えている。
【００１３】
本発明において、上下方向において互いにずれた状態で配置される複数のパネル搬送機構の少なくとも一部は、第２方向において同じ位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、第１方向に沿って配置される複数のパネル搬送装置をパネル搬送システムが備えていても、第２方向でパネル搬送システムを小型化することが可能になる。
【００１４】
本発明において、上下方向において互いにずれた状態で配置される複数のパネル搬送機構は、第２方向において同じ位置に配置され、上下方向において同じ位置に配置される複数のパネル搬入搬出機構は、第２方向において同じ位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、第１方向に沿って配置される複数のパネル搬送装置をパネル搬送システムが備えていても、第２方向でパネル搬送システムをより小型化することが可能になる。
【００１５】
本発明において、パネル昇降機構は、表示パネルを把持する第２パネル把持部を備え、第２パネル把持部は、第１パネル把持部に表示パネルを引き渡す前、および、第１パネル把持部から表示パネルを受け取る前に、上下方向において載置部材が配置される位置よりも高い待機位置まで上昇して待機することが好ましい。このように構成すると、パネル搬送装置のサイクルタイムを短縮することが可能になる。
【００１６】
本発明において、パネル搬送システムは、処理装置で処理される前の表示パネルを供給するパネル供給部と、パネル供給部から供給される表示パネルを受け取って載置部材に載置するパネル受渡機構とを備え、パネル受渡機構は、表示パネルを把持する第３パネル把持部と、第３パネル把持部を昇降させる第１把持部スライド機構と、第３パネル把持部を第２方向に移動させる第２把持部スライド機構とを備え、複数のパネル搬送装置が有する載置部材に表示パネルを載置することが好ましい。このように構成すると、複数のパネル搬送機構が上下方向において互いにずれた状態で配置されていても、共通のパネル受渡機構を用いて複数のパネル搬送機構に表示パネルを引き渡すことが可能になる。したがって、パネル搬送システムの構成を簡素化することが可能になる。
【００１７】
本発明において、パネル供給部は、たとえば、表示パネルを搬送するコンベヤを備えている。
【００１８】
本発明において、たとえば、パネル供給部は、コンベヤに載置される表示パネルを受け取ってパネル受渡機構に供給するパネル供給機構を備え、コンベヤは、第１方向の一方側に向かって表示パネルを搬送し、第１方向から見たときに、コンベヤとパネル搬送機構とは、第２方向で隣接配置され、コンベヤとパネル受渡機構とは、第１方向で隣接配置され、パネル供給機構は、コンベヤおよびパネル受渡機構の上側に配置されている。
【００１９】
本発明において、パネル搬送システムは、処理装置で処理された後の表示パネルが回収されるパネル回収部を備え、第１方向の一方を第３方向とし、第３方向の反対方向を第４方向とすると、パネル回収部は、パネル搬送システムの第３方向の端部に配置され、複数の処理装置は、第１方向に配列され、複数のパネル搬送装置が有するパネル搬送機構は、処理装置で処理された後の表示パネルをパネル回収部に搬送し、少なくとも、複数の処理装置のうちの最も第４方向側に配置される処理装置に対して表示パネルを搬送するパネル搬送装置は、第１方向に配列される複数のパネル搬送機構と、第１方向で隣接する２個のパネル搬送機構の一方から他方に表示パネルを引き渡すパネル引渡機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、最も第４方向側に配置される処理装置に対して表示パネルを搬送するパネル搬送装置において、１個のパネル搬送機構によってパネル回収部まで表示パネルを搬送する場合と比較して、このパネル搬送装置のサイクルタイムを短縮することが可能になる。
【００２０】
本発明において、パネル搬送システムは、載置部材に載置される表示パネルへの塵埃の付着を防止するためにスライド機構と載置部材との間に配置される防塵カバーを備えることが好ましい。このように構成すると、スライド機構で発生する塵埃が、載置部材に載置される表示パネルに付着するのを防止することが可能になる。
【００２１】
本発明において、パネル搬送システムは、スライド機構が配置される空間の空気を吸引する吸引機構を備えることが好ましい。このように構成すると、スライド機構で発生する塵埃が、載置部材に載置される表示パネルに付着するのをより効果的に防止することが可能になる。
【００２２】
本発明において、パネル搬送システムは、載置部材の停止位置で載置部材に表示パネルが載置されているのか否かを検知するための検知機構を備えることが好ましい。このように構成すると、検知機構の検知結果に基づいてパネル搬送システムの誤動作を防止することが可能になる。また、このように構成すると、載置部材の停止位置で載置部材に表示パネルが載置されているのか否かを検知するため、検知機構によって、載置部材に表示パネルが載置されているのか否かを精度良く検知することが可能になる。
【００２３】
本発明において、処理装置は、たとえば、表示パネルを点灯検査するための検査装置である。
【発明の効果】
【００２４】
以上のように、本発明では、表示パネルの処理を行う複数の処理装置に対して表示パネルを搬送するパネル搬送システムにおいて、パネル搬送システムが、処理装置に搬入される表示パネルを搬送するとともに処理装置から搬出される表示パネルを搬送するパネル搬送装置を処理装置ごとに備えていても、パネル搬送システムを小型化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態にかかるパネル搬送システムおよび処理装置の斜視図である。
【図２】図１に示すパネル搬送システムおよび処理装置の平面図である。
【図３】図１に示すパネル搬送システムの構成を説明するための側面図である。
【図４】図２のＥ部の拡大図である。
【図５】図１に示すパネル供給機構の動作を説明するための斜視図である。
【図６】図３のＦ−Ｆ方向からパネル搬送システムの構成を説明するための正面図である。
【図７】図１に示すパネル受渡機構の動作を説明するための斜視図である。
【図８】図６のＧ部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００２７】
（パネル搬送システムの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるパネル搬送システム１および検査装置３、４の斜視図である。図２は、図１に示すパネル搬送システム１および検査装置３、４の平面図である。図３は、図１に示すパネル搬送システム１の構成を説明するための側面図である。図４は、図２のＥ部の拡大図である。図５は、図１に示すロボット１７の動作を説明するための斜視図である。
【００２８】
本形態のパネル搬送システム１は、携帯機器等で使用される比較的小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。パネル搬送システム１は、表示パネルである液晶パネル２を搬送する。具体的には、パネル搬送システム１は、液晶パネル２を検査する検査装置３、４への液晶パネル２の搬入および検査装置３、４からの液晶パネル２の搬出を行う。また、パネル搬送システム１は、２台の検査装置３、４への液晶パネル２の搬入と２台の検査装置３、４からの液晶パネル２の搬出とを行う。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。本形態の検査装置３、４は、液晶パネル２の処理を行う処理装置である。
【００２９】
パネル搬送システム１は、検査装置３、４に対して液晶パネル２を搬送する複数のパネル搬送装置７、８を備えている。本形態のパネル搬送システム１は、２台のパネル搬送装置７、８を備えている。すなわち、パネル搬送システム１が有するパネル搬送装置７、８の数は、検査装置３、４の数と等しくなっている。２台のパネル搬送装置７、８のそれぞれは、２台の検査装置３、４のそれぞれに対して液晶パネル２を搬送する。具体的には、パネル搬送装置７は、検査装置３に対して液晶パネル２を搬送し、パネル搬送装置８は、検査装置４に対して液晶パネル２を搬送する。このように、パネル搬送システム１は、検査装置３、４ごとにパネル搬送装置７、８を備えている。
【００３０】
また、パネル搬送システム１は、検査装置３、４で検査される前（すなわち、検査装置３、４で処理される前）の液晶パネル２を供給するパネル供給部１０と、パネル供給部１０から供給される液晶パネル２を受け取ってパネル搬送装置７、８に引き渡すパネル受渡機構１１と、検査装置３、４で検査された後（すなわち、検査装置３、４で処理された後）の液晶パネル２が回収されるパネル回収部１２とを備えている。
【００３１】
２台の検査装置３、４は、水平方向に配列されている。以下の説明では、２台の検査装置３、４の配列方向である図１等のＸ方向を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図１等のＹ方向を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向を「後ろ」側とし、左右方向の一方側である図１等のＹ１方向側を「右」側とし、その反対側である図１等のＹ２方向側を「左」側とする。
【００３２】
検査装置３、４は、前側から後ろ側に向かってこの順番に配置されている。すなわち、検査装置３は、前側に配置され、検査装置４は、後ろ側に配置されている。検査装置３、４は、液晶パネル２を点灯検査するための点灯検査装置である。検査装置３、４は、たとえば、液晶パネル２が載置される２個のパネル載置部１３と、２個のパネル載置部１３を保持する保持部と、上下方向を回転の軸方向として保持部を回転させる回転機構と、液晶パネル２の点灯検査時に内部が暗室となる筐体とを備えている。
【００３３】
筐体の内部には、液晶パネル２の点灯検査を行うためのバックライトやカメラが設置されている。パネル載置部１３には、たとえば、２枚の液晶パネル２が載置される。回転機構は、２個のパネル載置部１３のうちの一方のパネル載置部１３が筐体の外部に配置されるとともに他方のパネル載置部１３が筐体の内部に配置される位置と、一方のパネル載置部１３が筐体の内部に配置されるとともに他方のパネル載置部１３が筐体の外部に配置される位置との間でパネル保持部を回転させる。筐体の外部に配置されるパネル載置部１３は、筐体の右側に配置されている。
【００３４】
パネル供給部１０は、検査装置３の右側に配置されており、パネル搬送システム１の前端部に配置されている。パネル供給部１０は、液晶パネル２を搬送するコンベヤ１６と、コンベヤ１６に載置される液晶パネル２を受け取ってパネル受渡機構１１に供給するパネル供給機構としてのロボット１７とを備えている。コンベヤ１６は、後ろ側に向かって液晶パネル２を搬送する。パネル受渡機構１１は、コンベヤ１６の後ろ側に配置されている。すなわち、コンベヤ１６とパネル受渡機構１１とは、前後方向で隣接配置されている。また、パネル受渡機構１１は、前後方向において、検査装置３と検査装置４との間に配置されている。パネル受渡機構１１の具体的な構成については後述する。
【００３５】
コンベヤ１６は、ローラコンベヤである。コンベヤ１６は、前後方向に分割される複数の分割コンベヤ１８〜２２によって構成されている。たとえば、コンベヤ１６は、５個の分割コンベヤ１８〜２２によって構成されている。分割コンベヤ１８〜２２は、前側から後ろ側に向かってこの順番で配置されている。分割コンベヤ１８〜２２は、個別に駆動可能となっている。なお、コンベヤ１６は、ベルトコンベヤであっても良い。
【００３６】
ロボット１７は、コンベヤ１６およびパネル受渡機構１１の上側に配置されている。具体的には、ロボット１７は、分割コンベヤ２０、２１およびパネル受渡機構１１の上側に配置されている。ロボット１７は、いわゆる２軸直交ロボットであり、液晶パネル２を上側から吸着して把持するパネル把持部２３と、パネル把持部２３を昇降させるスライド機構と、パネル把持部２３を前後方向に移動させるスライド機構とを備えている。パネル把持部２３は、２枚の液晶パネル２を把持する。パネル把持部２３に把持される２枚の液晶パネル２は、前後方向で並んでいる。
【００３７】
ロボット１７は、分割コンベヤ２１まで搬送された１枚の液晶パネル２と分割コンベヤ２２まで搬送された１枚の液晶パネル２とをパネル把持部２３によって把持してから（図５（Ａ）参照）、パネル把持部２３を上昇させた後、パネル把持部２３を後ろ側に移動させて２枚の液晶パネル２をパネル受渡機構１１に供給する（図５（Ｂ）参照）。すなわち、パネル把持部２３は、分割コンベヤ２１、２２から液晶パネル２を受取り可能な位置と、液晶パネル２をパネル受渡機構１１に引渡し可能な位置との間で前後方向に往復移動する。上述のように、分割コンベヤ１８〜２２は、個別に駆動可能となっており、分割コンベヤ２１と分割コンベヤ２２とを個別に駆動させて、パネル把持部２３に吸着される２枚の液晶パネル２の位置合わせを行う。
【００３８】
パネル回収部１２は、パネル搬送システム１の後端部に配置されている。また、パネル回収部１２の大半部分は、検査装置４よりも後ろ側に配置されている。パネル回収部１２は、トレイ２６（図２参照）が複数段に積み重なった状態で配置される複数のトレイ配置部２７と、液晶パネル２を搬送するコンベヤ２８と、パネル搬送装置７、８からコンベヤ２８に液晶パネル２を搬送するロボット２９と、コンベヤ２８からトレイ２６に液晶パネル２を搬送するロボット３０とを備えている。なお、図３では、トレイ配置部２７の図示を省略している。
【００３９】
トレイ２６には、検査装置３、４で検査が行われた後の液晶パネル２が収容される。トレイ２６は、略長方形の平板状に形成されており、トレイ２６の上面には、液晶パネル２が収容される凹部が形成されている。トレイ２６には、複数枚の液晶パネル２が上下方向で重ならない状態で収容される。トレイ配置部２７は、トレイ２６を昇降させるトレイ昇降機構を備えている。
【００４０】
コンベヤ２８は、ローラコンベヤである。コンベヤ２８は、後ろ側に向かって液晶パネル２を搬送する。コンベヤ２８は、左右方向においてコンベヤ１６と同じ位置に配置されている。コンベヤ２８のローラの上端と、コンベヤ１６のローラの上端とは、上下方向において同じ位置に配置されている。なお、コンベヤ２８は、ベルトコンベヤであっても良い。
【００４１】
ロボット２９は、パネル搬送装置７、８の後端部およびコンベヤ２８の前端部の上側に配置されている。ロボット２９は、いわゆる３軸直交ロボットであり、液晶パネル２を上側から吸着して把持するパネル把持部３１（図３参照）と、パネル把持部３１を昇降させるスライド機構と、パネル把持部３１を前後方向に移動させるスライド機構と、パネル把持部３１を左右方向に移動させるスライド機構とを備えている。パネル把持部３１は、２枚の液晶パネル２を把持する。ロボット２９は、パネル搬送装置７、８から検査後の液晶パネル２を受け取って、コンベヤ２８の前端部に液晶パネル２を載置する。
【００４２】
ロボット３０は、コンベヤ２８の後端部および複数のトレイ配置部２７の上側に配置されている。ロボット３０は、いわゆる３軸直交ロボットであり、液晶パネル２を上側から吸着して把持するパネル把持部３２（図３参照）と、パネル把持部３２を昇降させるスライド機構と、パネル把持部３２を前後方向に移動させるスライド機構と、パネル把持部３２を左右方向に移動させるスライド機構とを備えている。パネル把持部３２は、１枚の液晶パネル２を把持する。
【００４３】
ロボット３０は、コンベヤ２８の後端部から検査後の液晶パネル２を受け取って、トレイ配置部２７の最上段に配置されるトレイ２６に液晶パネル２を収容する。具体的には、ロボット３０は、検査装置３、４での検査結果に応じて選択されたトレイ配置部２７に検査後の液晶パネル２を搬送して、このトレイ配置部２７の最上段に配置されるトレイ２６に液晶パネル２を収容する。
【００４４】
（パネル搬送装置およびパネル受渡機構の構成）
図６は、図３のＦ−Ｆ方向からパネル搬送システム１の構成を説明するための正面図である。図７は、図１に示すパネル受渡機構１１の動作を説明するための斜視図である。図８は、図６のＧ部の拡大図である。
【００４５】
パネル搬送装置７、８は、検査装置３、４の右側に配置されている。また、パネル搬送装置７、８は、前後方向から見たときに、コンベヤ１６、２８の左側に配置されている。パネル搬送装置７、８は、前後方向に沿って配置されている。パネル搬送装置７は、検査装置３に搬入される液晶パネル２を搬送するとともに検査装置３から搬出される液晶パネル２を搬送するためのパネル搬送機構３５を備えている。また、パネル搬送装置７は、検査装置３への液晶パネル２の搬入と検査装置３からの液晶パネル２の搬出とを行うパネル搬入搬出機構としてのロボット３６と、液晶パネル２を昇降させるパネル昇降機構３７〜３９とを備えている。
【００４６】
本形態のパネル搬送装置７は、複数のパネル搬送機構３５を備えている。具体的には、パネル搬送装置７は、２個のパネル搬送機構３５（図３参照）を備えている。２個のパネル搬送機構３５は、前後方向に配列されている。２個のパネル搬送機構３５は、上下方向および左右方向において同じ位置に配置されている。以下の説明では、２個のパネル搬送機構３５を区別して表す場合には、前側に配置されるパネル搬送機構３５を「パネル搬送機構３５Ａ」とし、後ろ側に配置されるパネル搬送機構３５を「パネル搬送機構３５Ｂ」とする。
【００４７】
パネル搬送機構３５は、液晶パネル２が載置される載置部材４１と、載置部材４１を水平方向へ直線的に移動させるスライド機構４２とを備えている。前後方向から見たときに、パネル搬送機構３５とコンベヤ１６とは左右方向で隣接配置されている。載置部材４１は、平板状に形成されている。載置部材４１は、載置部材４１の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。載置部材４１は、コンベヤ１６よりも下側に配置されている。
【００４８】
載置部材４１には、２枚の液晶パネル２が載置可能となっている。載置部材４１には、載置部材４１に液晶パネル２を載置する際に、後述のパネル把持部４４、６４が通過する切欠き部４１ａが形成されている。切欠き部４１ａは、前後方向に間隔をあけた状態で２箇所に形成されている。また、切欠き部４１ａは、載置部材４１の右端面から左側に向かって形成されている。
【００４９】
スライド機構４２は、パネル搬送システム１のフレーム４３に取り付けられている。スライド機構４２は、載置部材４１を前後方向に往復移動させる。すなわち、前後方向は、載置部材４１の移動方向である。本形態の前後方向（Ｘ方向）は、載置部材４１の移動方向である第１方向となっている。また、左右方向（Ｙ方向）は、第１方向と上下方向とに直交する第２方向となっている。また、後ろ方向（Ｘ２方向）は、第１方向の一方である第３方向となっており、前方向（Ｘ１方向）は、第３方向の反対方向である第４方向となっている。
【００５０】
スライド機構４２は、たとえば、モータと、モータの動力で回転するプーリおよびベルトと、載置部材４１を前後方向に案内するガイド機構とを備えている。スライド機構４２には、載置部材４１の左端部が取り付けられている。なお、スライド機構４２は、プーリおよびベルトに代えて、ボールねじを備えていても良い。
【００５１】
後述のように、パネル昇降機構３８は、前後方向において、パネル搬送機構３５Ａの後端部およびパネル搬送機構３５Ｂの前端部が配置される位置に配置されている。パネル搬送機構３５Ａの載置部材４１は、前後方向において、パネル載置部１３が配置された位置とパネル昇降機構３８が配置された位置との間で移動可能となっている。パネル搬送機構３５Ａのスライド機構４２は、前後方向においてパネル載置部１３が配置されている位置よりも若干前側の位置と、前後方向においてパネル昇降機構３８が配置されている位置との間に設置されている。
【００５２】
また、パネル搬送機構３５Ｂの載置部材４１は、前後方向において、パネル昇降機構３８が配置された位置とロボット２９が配置された位置との間で移動可能となっている。パネル搬送機構３５Ｂのスライド機構４２は、前後方向においてパネル昇降機構３８が配置されている位置と、前後方向においてロボット２９が配置されている位置よりも若干後ろ側の位置との間に設置されている。
【００５３】
パネル搬送機構３５は、パネル受渡機構１１から受け取った液晶パネル２を、ロボット３６に引渡し可能な位置まで前側に搬送する。具体的には、パネル搬送機構３５Ａは、パネル受渡機構１１から受け取った検査前の液晶パネル２を、ロボット３６に引渡し可能な位置まで前側に搬送する。また、２個のパネル搬送機構３５は、検査装置３から搬出された検査後の液晶パネル２を、ロボット２９に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、パネル搬送機構３５は、検査装置３で検査された後の液晶パネル２をパネル回収部１２に搬送する。
【００５４】
パネル昇降機構３７は、前後方向においてパネル載置部１３と同じ位置に配置されている。また、パネル昇降機構３７は、スライド機構４２の右側に配置されている。パネル昇降機構３７は、液晶パネル２を把持する第２パネル把持部としてのパネル把持部４４と、パネル把持部４４を上下方向に移動させるスライド機構４５とを備えている。本形態のパネル昇降機構３７は、平板状に形成される２枚のパネル把持部４４を備えている。パネル把持部４４は、パネル把持部４４の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。パネル把持部４４は、液晶パネル２を下側から吸着して把持する。２枚のパネル把持部４４は、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。
【００５５】
スライド機構４５は、たとえば、モータと、モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸に係合するナット部材を有するボールねじと、パネル把持部４４を上下方向に案内するガイド機構とを備えている。スライド機構４５には、パネル把持部４４の右端部が取り付けられている。パネル把持部４４は、上下方向において載置部材４１が配置される位置よりも上側へ移動可能になっている。また、パネル把持部４４は、上下方向において後述の載置部材６１が配置される位置よりも上側へ移動可能になっている。また、パネル把持部４４は、上下方向において載置部材４１が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。
【００５６】
ロボット３６は、液晶パネル２を把持する第１パネル把持部としてのパネル把持部４６と、パネル把持部４６を昇降可能かつ回動可能に保持する本体部４７と、本体部４７に対してパネル把持部４６を昇降させる把持部昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として本体部４７に対してパネル把持部を回動させる把持部回動機構とを備えている。本体部４７は、前後方向においてパネル載置部１３と同じ位置に配置されている。すなわち、本体部４７は、前後方向においてパネル昇降機構３７と同じ位置に配置されている。また、本体部４７は、パネル載置部１３の左側に配置されるとともに、スライド機構４２の左端部の上側に配置されている。
【００５７】
パネル把持部４６は、載置部材４１よりも上側に配置されている。パネル把持部４６は、液晶パネル２を上側から吸着して把持する。本形態のロボット３６は、２個のパネル把持部４６を備えている。２個のパネル把持部４６は、上側から見たときに、本体部４７の中心に対して１８０°ピッチで配置されている。２個のパネル把持部４６は、連結部材４８によって連結されている。パネル把持部４６は、２枚の液晶パネル２を把持する。把持部昇降機構および把持部回動機構は、本体部４７の内部に収容されている。把持部回動機構は、上側から見たときに、本体部４７の中心を回動中心にして２個のパネル把持部４６を回動させる。
【００５８】
パネル昇降機構３７は、前後方向においてパネル載置部１３が配置された位置で停止している載置部材４１に載置された検査前の２枚の液晶パネル２を下側からパネル把持部４４で把持した後、検査前の２枚の液晶パネル２を所定量上昇させる。具体的には、パネル昇降機構３７は、後述の載置部材６１よりも上側に２枚の液晶パネル２を上昇させる。ロボット３６は、パネル把持部４４に把持された検査前の２枚の液晶パネル２をパネル把持部４６で把持するとともに、パネル載置部１３に載置された検査後の２枚の液晶パネル２をパネル把持部４６で把持した後、パネル把持部４６を所定量上昇させてからパネル把持部４６を１８０°回動させる。
【００５９】
その後、ロボット３６は、パネル把持部４６に把持された検査前の２枚の液晶パネル２をパネル載置部１３に載置する。また、ロボット３６は、パネル把持部４６に把持された検査後の２枚の液晶パネル２をパネル把持部４４に載置する。すなわち、パネル昇降機構３７は、パネル把持部４６に把持された検査後の２枚の液晶パネル２をパネル把持部４６から受け取ってパネル把持部４４で把持する。その後、パネル昇降機構３７は、パネル把持部４４を下降させて、検査後の２枚の液晶パネル２を載置部材４１に載置する。
【００６０】
このように、パネル昇降機構３７は、載置部材４１に載置された検査前の液晶パネル２を上昇させてパネル把持部４６に引き渡すとともに、パネル把持部４６から受け取った検査後の液晶パネル２を下降させて載置部材４１に載置する。本形態では、パネル把持部４４は、パネル把持部４６に液晶パネル２を引き渡す前、および、パネル把持部４６から液晶パネル２を受け取る前に、上下方向において載置部材４１が配置される位置よりも高い待機位置まで上昇して待機している。待機位置は、上下方向において後述の載置部材６１が配置される位置よりも高い位置となっている。また、待機位置は、たとえば、パネル把持部４４とパネル把持部４６との間で液晶パネル２の受渡しが行われるときの上下方向の位置（すなわち、パネル昇降機構３７とロボット３６との間で液晶パネル２が受け渡されるときの上下方向の位置）よりも２０（ｍｍ）低い位置となっている。
【００６１】
パネル昇降機構３８は、前後方向において、パネル搬送機構３５Ａの後端部およびパネル搬送機構３５Ｂの前端部が配置される位置に配置されている。また、パネル昇降機構３８は、スライド機構４２の右側に配置されている。パネル昇降機構３８は、パネル昇降機構３７と同様に構成されている。すなわち、パネル昇降機構３８は、液晶パネル２を下側から吸着して把持する２枚のパネル把持部と、パネル把持部を上下方向に移動させるスライド機構４５とを備えている。
【００６２】
パネル昇降機構３８のパネル把持部は、上下方向において載置部材４１が配置される位置よりも上側へ移動可能になっているとともに、上下方向において載置部材４１が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。パネル昇降機構３８は、前後方向においてパネル昇降機構３８が配置された位置で停止しているパネル搬送機構３５Ａの載置部材４１から液晶パネル２を受け取る。その後、パネル昇降機構３８は、パネル把持部を昇降させて、前後方向においてパネル昇降機構３８が配置された位置で停止しているパネル搬送機構３５Ｂの載置部材４１に液晶パネル２を引き渡す。本形態のパネル昇降機構３８は、前後方向で隣接するパネル搬送機構３５Ａからパネル搬送機構３５Ｂに液晶パネル２を引き渡すパネル引渡機構である。
【００６３】
パネル昇降機構３９は、前後方向において、ロボット２９が配置される位置に配置されている。また、パネル昇降機構３９は、スライド機構４２の右側に配置されている。パネル昇降機構３９は、パネル昇降機構３７とほぼ同様に構成されている。すなわち、パネル昇降機構３９は、液晶パネル２を下側から吸着して把持する２枚のパネル把持部と、パネル把持部を上下方向に移動させるスライド機構４５とを備えている。
【００６４】
パネル昇降機構３９のパネル把持部は、上下方向において載置部材４１が配置される位置よりも上側へ移動可能になっているとともに、上下方向において載置部材４１が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。また、パネル昇降機構３９のパネル把持部は、上下方向において後述の載置部材６１が配置される位置よりも上側へ移動可能になっている。
【００６５】
パネル昇降機構３９は、前後方向においてロボット２９が配置された位置で停止しているパネル搬送機構３５Ｂの載置部材４１から液晶パネル２を受け取る。その後、パネル昇降機構３９は、後述の載置部材６１よりも上側にパネル把持部を上昇させて、ロボット２９に液晶パネル２を引き渡す。なお、本形態では、パネル昇降機構３９からロボット２９に液晶パネル２が引き渡されるときの液晶パネル２の高さと、パネル昇降機構３７とロボット３６との間で液晶パネル２の受渡しが行われるときの液晶パネル２の高さとが同じ高さになっている。
【００６６】
このように、パネル搬送機構３５Ａは、パネル昇降機構３７から受け取った液晶パネル２を、パネル昇降機構３８に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、パネル搬送機構３５Ａのスライド機構４２は、パネル昇降機構３７から液晶パネル２を受取り可能な位置と、液晶パネル２をパネル昇降機構３８に引渡し可能な位置との間で前後方向に載置部材４１を往復移動させる。また、パネル搬送機構３５Ｂは、パネル昇降機構３８から受け取った液晶パネル２を、パネル昇降機構３９に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、パネル搬送機構３５Ｂのスライド機構４２は、パネル昇降機構３８から液晶パネル２を受取り可能な位置と、液晶パネル２をパネル昇降機構３９に引渡し可能な位置との間で前後方向に載置部材４１を往復移動させる。
【００６７】
パネル搬送装置８は、パネル搬送装置７とほぼ同様に構成されている。以下のパネル搬送装置８の構成の説明では、パネル搬送装置７が有する構成と同様の構成には同一の符号を付すとともに、パネル搬送装置７との相違点を中心に、パネル搬送装置８の構成を説明する。パネル搬送装置８は、検査装置４に搬入される液晶パネル２を搬送するとともに検査装置４から搬出される液晶パネル２を搬送するための１個のパネル搬送機構５５を備えている。また、パネル搬送装置８は、ロボット３６と、パネル昇降機構３７、３９とを備えている。
【００６８】
パネル搬送機構５５は、液晶パネル２が載置される載置部材６１と、載置部材６１を水平方向へ直線的に移動させるスライド機構６２とを備えている。前後方向から見たときに、パネル搬送機構５５とコンベヤ１６とは左右方向で隣接配置されている。載置部材６１は、載置部材４１とほぼ同様に構成されている。スライド機構６２には、載置部材６１の左端部が取り付けられている。
【００６９】
スライド機構６２は、パネル搬送システム１のフレーム４３に取り付けられている。スライド機構６２は、載置部材６１を前後方向に往復移動させる。スライド機構６２は、スライド機構４２とほぼ同様に構成されている。ただし、スライド機構６２による載置部材６１の前後方向の移動量は、２個のスライド機構４２による載置部材４１の前後方向の移動量よりも短くなっており、スライド機構６２の前後方向の長さは、２個のスライド機構４２の前後方向の合計長さよりも短くなっている。
【００７０】
載置部材６１は、前後方向において、パネル受渡機構１１が配置された位置とロボット２９が配置された位置との間で移動可能となっている。スライド機構６２は、前後方向においてパネル受渡機構１１が配置されている位置と、前後方向においてロボット２９が配置されている位置との間に設置されている。スライド機構６２の後端部は、スライド機構４２の後端部よりも前側に配置されている。
【００７１】
パネル搬送機構５５は、パネル受渡機構１１から受け取った検査前の液晶パネル２を、パネル搬送装置８のロボット３６に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。また、パネル搬送機構５５は、検査装置４から搬出された検査後の液晶パネル２を、ロボット２９に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、パネル搬送機構５５は、検査装置４で検査された後の液晶パネル２をパネル回収部１２に搬送する。
【００７２】
パネル搬送機構５５は、上下方向においてパネル搬送機構３５と互いにずれた状態で配置されている。本形態では、パネル搬送機構５５は、パネル搬送機構３５の上側に配置されている。また、パネル搬送機構５５の少なくとも一部とパネル搬送機構３５の少なくとも一部が左右方向において同じ位置に配置されている。本形態では、パネル搬送機構５５とパネル搬送機構３５とが左右方向において同じ位置に配置されている。
【００７３】
具体的には、載置部材６１と載置部材４１とが左右方向において同じ位置に配置され、スライド機構６２とスライド機構４２とが左右方向において同じ位置に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、載置部材６１は、載置部材４１の真上に配置され、スライド機構６２は、スライド機構４２の真上に配置されている。また、載置部材６１は、コンベヤ１６のローラよりも下側に配置されている。
【００７４】
パネル搬送装置８のロボット３６は、上下方向および左右方向においてパネル搬送装置７のロボット３６と同じ位置に配置されている。パネル搬送装置８のロボット３６の本体部４７は、前後方向において検査装置４のパネル載置部１３と同じ位置に配置されている。パネル搬送装置８のパネル昇降機構３７は、前後方向において検査装置４のパネル載置部１３と同じ位置に配置されている。また、このパネル昇降機構３７は、上下方向および左右方向においてパネル搬送装置７のパネル昇降機構３７と同じ位置に配置されている。パネル搬送装置８のパネル把持部４４は、上下方向において載置部材６１が配置される位置よりも上側へ移動可能になっている。また、このパネル把持部４４は、上下方向において載置部材６１が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。
【００７５】
パネル搬送装置８では、パネル昇降機構３７は、前後方向において検査装置４のパネル載置部１３が配置された位置で停止している載置部材６１に載置された検査前の２枚の液晶パネル２を下側からパネル把持部４４で把持した後、検査前の２枚の液晶パネル２を所定量上昇させる。ロボット３６は、パネル把持部４４に把持された検査前の２枚の液晶パネル２をパネル把持部４６で把持するとともに、パネル載置部１３に載置された検査後の２枚の液晶パネル２をパネル把持部４６で把持した後、パネル把持部４６を所定量上昇させてからパネル把持部４６を１８０°回動させる。
【００７６】
その後、ロボット３６は、パネル把持部４６に把持された検査前の２枚の液晶パネル２をパネル載置部１３に載置する。また、ロボット３６は、パネル把持部４６に把持された検査後の２枚の液晶パネル２をパネル把持部４４に載置する。すなわち、パネル昇降機構３７は、パネル把持部４６に把持された検査後の２枚の液晶パネル２をパネル把持部４６から受け取ってパネル把持部４４で把持する。その後、パネル昇降機構３７は、パネル把持部４４を下降させて、検査後の２枚の液晶パネル２を載置部材６１に載置する。
【００７７】
このように、パネル搬送装置８のパネル昇降機構３７は、載置部材６１に載置された検査前の液晶パネル２を上昇させてパネル把持部４６に引き渡すとともに、パネル把持部４６から受け取った検査後の液晶パネル２を下降させて載置部材６１に載置する。本形態では、パネル搬送装置８においてパネル昇降機構３７とロボット３６との間で液晶パネル２が受け渡されるときの液晶パネル２の高さと、パネル搬送装置７においてパネル昇降機構３７とロボット３６との間で液晶パネル２が受け渡されるときの液晶パネル２の高さとが同じ高さになっている。
【００７８】
パネル搬送装置７と同様に、パネル搬送装置８では、パネル把持部４４は、パネル把持部４６に液晶パネル２を引き渡す前、および、パネル把持部４６から液晶パネル２を受け取る前に、上下方向において載置部材６１が配置される位置よりも高い待機位置まで上昇して待機している。待機位置は、たとえば、パネル把持部４４とパネル把持部４６との間で液晶パネル２の受渡しが行われるときの上下方向の位置（すなわち、パネル昇降機構３７とロボット３６との間で液晶パネル２が受け渡されるときの上下方向の位置）よりも２０（ｍｍ）低い位置となっている。
【００７９】
パネル搬送装置８のパネル昇降機構３９は、前後方向において、ロボット２９が配置される位置に配置されている。また、このパネル昇降機構３９は、パネル搬送装置７のパネル昇降機構３９の前側に配置されている。パネル搬送装置８では、パネル昇降機構３９のパネル把持部は、上下方向において載置部材６１が配置される位置よりも上側へ移動可能になっているとともに、上下方向において載置部材６１が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。
【００８０】
パネル搬送装置８のパネル昇降機構３９は、前後方向においてロボット２９が配置された位置で停止している載置部材６１から液晶パネル２を受け取る。その後、パネル昇降機構３９は、載置部材６１よりも上側にパネル把持部を上昇させて、ロボット２９に液晶パネル２を引き渡す。なお、パネル搬送装置８においても、パネル昇降機構３９からロボット２９に液晶パネル２が引き渡されるときの液晶パネル２の高さと、パネル昇降機構３７とロボット３６との間で液晶パネル２の受渡しが行われるときの液晶パネル２の高さとが同じ高さになっている。
【００８１】
このように、パネル搬送機構５５は、パネル昇降機構３７から受け取った液晶パネル２を、パネル昇降機構３９に引渡し可能な位置まで後ろ側に搬送する。すなわち、スライド機構６２は、パネル昇降機構３７から液晶パネル２を受取り可能な位置と、液晶パネル２をパネル昇降機構３９に引渡し可能な位置との間で前後方向に載置部材６１を往復移動させる。
【００８２】
パネル受渡機構１１は、上述のように、前後方向において、検査装置３と検査装置４との間に配置されている。また、パネル受渡機構１１は、スライド機構４２、６２の右側に配置されている。パネル受渡機構１１は、いわゆる２軸直交ロボットであり、液晶パネル２を把持する第３パネル把持部としてのパネル把持部６４と、パネル把持部６４を昇降させる第１把持部スライド機構としてのスライド機構６５と、パネル把持部６４を左右方向に移動させる第２把持部スライド機構としてのスライド機構６６とを備えている。
【００８３】
本形態のパネル受渡機構１１は、平板状に形成される２枚のパネル把持部６４を備えている。パネル把持部６４は、パネル把持部６４の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。パネル把持部６４は、液晶パネル２を下側から吸着して把持する。２枚のパネル把持部６４は、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。スライド機構６５は、たとえば、モータと、モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸に係合するナット部材を有するボールねじと、パネル把持部６４を上下方向に案内するガイド機構とを備えている。スライド機構６５には、パネル把持部６４の右端部が取り付けられている。
【００８４】
スライド機構６６は、たとえば、モータと、モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸に係合するナット部材を有するボールねじと、パネル把持部６４を左右方向に案内するガイド機構とを備えている。スライド機構６６には、スライド機構６５の固定側の部品の下端部が取り付けられている。パネル把持部６４は、上下方向において載置部材６１が配置される位置よりも上側へ移動可能になっている。また、パネル把持部６４は、上下方向において載置部材４１が配置される位置よりも下側へ移動可能になっている。パネル把持部６４は、左右方向において載置部材４１、６１が配置される位置と、載置部材４１、６１が配置される位置よりも右側に配置される位置（具体的には、左右方向においてコンベヤ１６およびロボット１７が配置される位置）との間で移動可能となっている。
【００８５】
パネル受渡機構１１は、左右方向においてコンベヤ１６およびロボット１７が配置される位置にパネル把持部６４が配置されている状態で（図４の二点鎖線参照）、ロボット１７から検査前の２枚の液晶パネル２を受け取ってパネル把持部６４で把持してから、左右方向において載置部材４１、６１が配置される位置までパネル把持部６４を移動させる（図７（Ａ）参照）。その後、パネル受渡機構１１は、パネル把持部６４を下降させて、前後方向においてパネル受渡機構１１が配置された位置で停止している載置部材４１に検査前の２枚の液晶パネル２を載置する（図７（Ｂ）参照）。
【００８６】
あるいは、パネル受渡機構１１は、左右方向において載置部材４１、６１が配置される位置までパネル把持部６４を移動させた後、パネル把持部６４を下降させて、前後方向においてパネル受渡機構１１が配置された位置で停止している載置部材６１に検査前の２枚の液晶パネル２を載置する。すなわち、パネル受渡機構１１は、パネル供給部１０から供給される液晶パネル２を受け取って載置部材４１、６１に載置する。
【００８７】
図８に示すように、パネル搬送システム１のフレーム４３には、スライド機構４２、６２で発生する塵埃が、載置部材４１、６１に載置される液晶パネル２に付着するのを防止するための防塵カバー６８が固定されている。防塵カバー６８は、たとえば、薄鋼板を所定形状に折り曲げることで形成されている。防塵カバー６８は、スライド機構４２、６２と載置部材４１、６１との間に配置されている。また、防塵カバー６８は、スライド機構４２、６２の可動側の部品および載置部材４１、６１と干渉しない位置に配置されている。また、防塵カバー６８は、たとえば、前後方向におけるスライド機構４２、６２の設置範囲の全域に配置されている。
【００８８】
図８に示すように、スライド機構４２、６２は、フレーム４３と防塵カバー６８とに囲まれた空間の中に配置されている。パネル搬送システム１は、スライド機構４２、６２が配置される空間の空気を吸引する吸引機構６９を備えている。吸引機構６９は、たとえば、排気用のポンプである。また、パネル搬送システム１は、載置部材４１、６１の停止位置で載置部材４１、６１に液晶パネル２が載置されているのか否かを検知するための検知機構７０を備えている（図３参照）。検知機構７０は、たとえば、光学式のセンサである。検知機構７０は、たとえば、前後方向において、パネル受渡機構１１が設置された位置およびパネル昇降機構３７〜３９が設置された位置に配置されている。
【００８９】
（パネル搬送装置およびパネル受渡機構の動作）
パネル受渡機構１１は、ロボット１７から検査前の２枚の液晶パネル２を受け取ると、左右方向において載置部材４１、６１が配置される位置まで液晶パネル２を移動させて、たとえば、前後方向においてパネル受渡機構１１が配置された位置で停止している載置部材４１に検査前の２枚の液晶パネル２を載置する。２枚の液晶パネル２が載置部材４１に載置されると、パネル搬送機構３５は、液晶パネル２を、ロボット３６に引渡し可能な位置まで前側に搬送する。すなわち、パネル搬送機構３５は、２枚の液晶パネル２が載置された載置部材４１を、前後方向においてパネル載置部１３が配置されている位置まで移動させて停止させる。
【００９０】
その後、パネル昇降機構３７は、前後方向においてパネル載置部１３が配置された位置で停止している載置部材４１に載置された検査前の２枚の液晶パネル２を把持して載置部材６１よりも上側に上昇させる。ロボット３６は、パネル把持部４４に把持された検査前の２枚の液晶パネル２をパネル把持部４６で把持するとともに、パネル載置部１３に載置された検査後の２枚の液晶パネル２をパネル把持部４６で把持した後、パネル把持部４６を所定量上昇させてからパネル把持部４６を１８０°回動させる。
【００９１】
その後、ロボット３６は、パネル把持部４６に把持された検査前の２枚の液晶パネル２をパネル載置部１３に載置するとともに、パネル把持部４６に把持された検査後の２枚の液晶パネル２をパネル把持部４４に載置する。その後、パネル昇降機構３７は、パネル把持部４４を下降させて、検査後の２枚の液晶パネル２をパネル搬送機構３５Ａの載置部材４１に載置する。
【００９２】
その後、パネル搬送機構３５Ａは、２枚の液晶パネル２が載置された載置部材４１を、前後方向においてパネル昇降機構３８が配置されている位置まで移動させる。前後方向においてパネル昇降機構３８が配置されている位置までパネル搬送機構３５Ａの載置部材４１が移動して停止すると、パネル昇降機構３８は、パネル把持部を昇降させて、前後方向においてパネル昇降機構３８が配置された位置で停止しているパネル搬送機構３５Ｂの載置部材４１に液晶パネル２を引き渡す。
【００９３】
その後、パネル搬送機構３５Ｂは、２枚の液晶パネル２が載置された載置部材４１を、前後方向においてロボット２９が配置された位置まで移動させて停止させる。その後、パネル昇降機構３９は、載置部材４１に載置された２枚の液晶パネル２をパネル把持部で受け取ってから、パネル把持部を上昇させて、ロボット２９に液晶パネル２を引き渡す。以上の動作を繰り返して、パネル搬送装置７は、検査装置３に液晶パネル２を搬入するとともに、検査装置３から液晶パネル２を搬出する。
【００９４】
また、パネル受渡機構１１が、ロボット１７から受け取った検査前の２枚の液晶パネル２を、前後方向においてパネル受渡機構１１が配置された位置で停止している載置部材６１に載置すると、パネル搬送装置８は、パネル搬送装置７と同様の動作を行って、検査装置４に液晶パネル２を搬入するとともに、検査装置４から液晶パネル２を搬出する。ただし、パネル搬送装置８が有するパネル搬送機構５５の数は１個であるため、パネル搬送装置８では、パネル搬送機構５５による液晶パネル２の搬送過程の途中で液晶パネル２の受渡しは行われない。
【００９５】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、パネル搬送装置７において、検査装置３に搬入される液晶パネル２の搬送と検査装置３から搬出される液晶パネル２の搬送とを、共通の載置部材４１およびスライド機構４２を用いて行っている。そのため、本形態では、検査装置３に搬入される液晶パネル２を搬送するための載置部材およびスライド機構と、検査装置３から搬出される液晶パネル２を搬送するための載置部材およびスライド機構とをパネル搬送装置７が備えている場合と比較して、パネル搬送装置７を小型化することが可能になる。
【００９６】
同様に本形態では、パネル搬送装置８において、検査装置４に搬入される液晶パネル２の搬送と検査装置４から搬出される液晶パネル２の搬送とを、共通の載置部材６１およびスライド機構６２を用いて行っているため、パネル搬送装置８を小型化することが可能になる。また、本形態では、２台のパネル搬送装置７、８を小型化することが可能になるため、パネル搬送システム１がパネル搬送装置７、８を検査装置３、４ごとに備えていても、パネル搬送システム１を小型化することが可能になる。また、本形態では、パネル搬送機構３５とパネル搬送機構５５とが上下方向において互いにずれた状態で配置されているため、パネル搬送機構３５、５５を配置しやすくなる。
【００９７】
本形態では、パネル搬送装置７、８は、パネル昇降機構３７を備えており、パネル昇降機構３７は、載置部材４１、６１に載置された液晶パネル２を上昇させてロボット３６のパネル把持部４６に引き渡すとともに、パネル把持部４６から受け取った液晶パネル２を下降させて載置部材４１、６１に載置している。そのため、本形態では、パネル搬送機構３５とパネル搬送機構５５とが上下方向において互いにずれていても、上下方向において同じ位置に配置されているパネル搬送装置７のロボット３６とパネル搬送装置８のロボット３６とに同じ高さで液晶パネル２の受渡しを行うことが可能になる。したがって、本形態では、パネル搬送装置７のロボット３６の構成とパネル搬送装置８のロボット３６の構成とを共通の構成にすることが可能になるとともに、ロボット３６の構成および制御を簡素化することが可能になる。
【００９８】
また、本形態では、上下方向において同じ位置に配置されているパネル搬送装置７のロボット３６とパネル搬送装置８のロボット３６とに同じ高さで液晶パネル２の受渡しを行うことが可能になるため、パネル搬送装置７、８のそれぞれのロボット３６と検査装置３、４のそれぞれとの間で、同じ高さで液晶パネル２の受渡しを行うことが可能になる。したがって、本形態では、検査装置３のパネル載置部１３の構成と検査装置４のパネル載置部１３の構成とを共通の構成にすることが可能になる。
【００９９】
本形態では、上下方向において互いにずれた状態で配置されるパネル搬送機構３５の少なくとも一部とパネル搬送機構５５の少なくとも一部とが左右方向において同じ位置に配置されている。そのため、本形態では、前後方向に沿って配置される２台のパネル搬送装置７、８をパネル搬送システム１が備えていても、左右方向でパネル搬送システム１を小型化することが可能になる。特に本形態では、パネル搬送機構３５とパネル搬送機構５５とが左右方向において同じ位置に配置され、かつ、パネル搬送装置７のロボット３６とパネル搬送装置８のロボット３６とが左右方向において同じ位置に配置されているため、左右方向でパネル搬送システム１をより小型化することが可能になる。
【０１００】
本形態では、パネル受渡機構１１は、液晶パネル２を載置部材４１に載置するとともに載置部材６１に載置している。すなわち、本形態では、共通のパネル受渡機構１１を用いて２個のパネル搬送機構３５、５５に液晶パネル２を引き渡している。そのため、本形態では、パネル搬送機構３５とパネル搬送機構５５とが上下方向において互いにずれた状態で配置されていても、パネル搬送システム１の構成を簡素化することが可能になる。
【０１０１】
本形態では、パネル搬送装置７のパネル把持部４４は、パネル把持部４６に液晶パネル２を引き渡す前、および、パネル把持部４６から液晶パネル２を受け取る前に、上下方向において載置部材４１が配置される位置よりも高い待機位置まで上昇して待機している。そのため、本形態では、パネル搬送装置７のサイクルタイムを短縮することが可能になる。同様に、本形態では、パネル搬送装置８のパネル把持部４４は、パネル把持部４６に液晶パネル２を引き渡す前、および、パネル把持部４６から液晶パネル２を受け取る前に、上下方向において載置部材６１が配置される位置よりも高い待機位置まで上昇して待機しているため、パネル搬送装置８のサイクルタイムを短縮することが可能になる。
【０１０２】
本形態では、パネル搬送装置７は、左右方向で隣接する２個のパネル搬送機構３５Ａ、３５Ｂと、パネル搬送機構３５Ａからパネル搬送機構３５Ｂに液晶パネル２を引き渡すパネル昇降機構３８とを備えている。そのため、本形態では、パネル搬送機構３５Ａは、載置部材４１に載置された液晶パネル２をパネル昇降機構３８に引き渡せば、前後方向においてパネル載置部１３が配置されている位置まで載置部材４１を戻すことができる。したがって、本形態では、１個のパネル搬送機構３５によってパネル回収部１２まで液晶パネル２を搬送する場合と比較して、パネル搬送装置７のサイクルタイムを短縮することが可能になる。
【０１０３】
本形態では、スライド機構４２、６２と載置部材４１、６１との間に防塵カバー６８が配置されている。そのため、本形態では、スライド機構４２、６２で発生した塵埃が、載置部材４１、６１に載置される液晶パネル２に付着するのを防止することが可能になる。また、本形態では、スライド機構４２、６２が配置される空間の空気を吸引する吸引機構６９が設置されているため、スライド機構４２、６２で発生した塵埃が、載置部材４１、６１に載置される液晶パネル２に付着するのをより効果的に防止することが可能になる。
【０１０４】
本形態では、パネル搬送システム１は、載置部材４１、６１の停止位置で載置部材４１、６１に液晶パネル２が載置されているのか否かを検知するための検知機構７０を備えている。そのため、本形態では、検知機構７０の検知結果に基づいてパネル搬送システム１の誤動作を防止することが可能になる。また、本形態では、載置部材４１、６１の停止位置で載置部材４１、６１に液晶パネル２が載置されているのか否かを検知するため、検知機構７０によって、載置部材４１、６１に液晶パネル２が載置されているのか否かを精度良く検知することが可能になる。
【０１０５】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【０１０６】
上述した形態において、パネル搬送機構５５は、パネル搬送機構３５の下側に配置されていても良い。また、上述した形態において、パネル搬送機構３５とパネル搬送機構５５とが左右方向においてずれていても良い。さらに、上述した形態において、パネル搬送装置７のロボット３６とパネル搬送装置８のロボット３６とが左右方向においてずれていても良い。また、上述した形態において、パネル搬送システム１が備えるパネル搬送装置７、８の数は、３個以上であっても良い。
【０１０７】
上述した形態において、パネル搬送装置７は、前後方向に配列される３個以上のパネル搬送機構３５を備えていても良い。この場合には、パネル搬送装置７は、パネル搬送機構３５の数に応じた複数のパネル昇降機構３８を備えている。また、上述した形態において、パネル搬送装置８は、前後方向に配列される２個のパネル搬送機構５５を備えていても良い。この場合には、パネル搬送装置８は、パネル昇降機構３８を備えている。また、上述した形態において、パネル搬送装置７が有するパネル搬送機構３５の数は１個であっても良い。さらに、上述した形態において、パネル搬送システム１は、パネル供給部１０から供給される液晶パネル２をパネル搬送装置７に引き渡すパネル受渡機構と、パネル供給部１０から供給される液晶パネル２をパネル搬送装置８に引き渡すパネル受渡機構とを個別に備えていても良い。
【０１０８】
上述した形態において、ロボット３６は、垂直多関節ロボットであっても良いし、水平多関節ロボットであっても良いし、パラレルリンクロボットであっても良い。また、上述した形態において、パネル受渡機構１１は、垂直多関節ロボットであっても良いし、水平多関節ロボットであっても良いし、パラレルリンクロボットであっても良い。さらに、上述した形態において、スライド機構４２、６２は、リニアモータであっても良い。この場合には、防塵カバー６８および吸引機構６９が不要になる。
【０１０９】
上述した形態において、パネル供給部１０は、コンベヤ１６に代えて、液晶パネル２が載置される載置部材と、この載置部材を前後方向にスライドさせるスライド機構とを備えていても良い。また、パネル供給部１０は、コンベヤ１６に代えて、複数枚の液晶パネル２が収容されるカセットまたはトレイを備えていても良い。この場合には、ロボット１７は、カセットまたはトレイから液晶パネル２を取り出して、パネル受渡機構１１に供給する。
【０１１０】
上述した形態において、検査装置３、４は、点灯検査装置以外の検査装置であっても良い。また、上述した形態では、パネル搬送装置７、８は、検査装置３、４に対して液晶パネル２を搬送しているが、パネル搬送装置７、８は、検査装置３、４以外の、液晶パネル２に対して所定の処理を行う処理装置に対して液晶パネル２を搬送しても良い。さらに、上述した形態において、パネル搬送装置７、８で搬送される表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、パネル搬送装置７、８で搬送される表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。
【符号の説明】
【０１１１】
１  パネル搬送システム
２  液晶パネル（表示パネル）
３、４  検査装置（処理装置）
７、８  パネル搬送装置
１０  パネル供給部
１１  パネル受渡機構
１２  パネル回収部
１６  コンベヤ
１７  ロボット（パネル供給機構）
３５、５５  パネル搬送機構
３６  ロボット（パネル搬入搬出機構）
３７  パネル昇降機構
３８  パネル昇降機構（パネル引渡機構）
４１、６１  載置部材
４２、６２  スライド機構
４４  パネル把持部（第２パネル把持部）
４６  パネル把持部（第１パネル把持部）
４７  本体部
６４  パネル把持部（第３パネル把持部）
６５  スライド機構（第１把持部スライド機構）
６６  スライド機構（第２把持部スライド機構）
６８  防塵カバー
６９  吸引機構
７０  検知機構
Ｘ  第１方向
Ｘ１  第４方向
Ｘ２  第３方向
Ｙ  第２方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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