(57)【要約】【課題】搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、様々な大きさの搬送対象物を適切に搭載することが可能な産業用ロボットのハンドを提供する。【解決手段】搬送対象物２を搬送する産業用ロボットのハンド３は、直線状に形成され互いに平行に配置される複数本のハンドフォーク１６と、ハンドフォーク１６の上面側に配置され搬送対象物２の下面を支持するとともにハンドフォーク１６の長手方向への搬送対象物２の移動を規制する支持部材１７と、ハンドフォーク１６の長手方向に支持部材１７を移動させる移動機構１９とを備えている。【選択図】図３
2020066097.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、
直線状に形成され互いに平行に配置される複数本のハンドフォークと、前記ハンドフォークの上面側に配置され前記搬送対象物の下面を支持するとともに前記ハンドフォークの長手方向への前記搬送対象物の移動を規制する支持部材と、前記ハンドフォークの長手方向に前記支持部材を移動させる移動機構とを備えることを特徴とするハンド。
【請求項２】
前記ハンドフォークに対して前記ハンドフォークの長手方向に移動可能な前記支持部材と、前記ハンドフォークの上面側に固定され前記搬送対象物の下面を支持する第２支持部材とを備え、
前記支持部材は、前記ハンドフォークの長手方向における一方側への前記搬送対象物の移動を規制し、
前記第２支持部材は、前記ハンドフォークの長手方向における他方側への前記搬送対象物の移動を規制することを特徴とする請求項１記載のハンド。
【請求項３】
前記支持部材が固定される固定部材と、前記固定部材の下面に固定されるゴム製のゴムパッドと、前記ゴムパッドが前記ハンドフォークの上面に所定の接触圧で接触する接触位置と前記ゴムパッドが前記ハンドフォークの上面から離れる離間位置との間で前記固定部材を移動させる第２移動機構とを備えることを特徴とする請求項１または２記載のハンド。
【請求項４】
前記第２移動機構は、エアシリンダであり、
前記ゴムパッドは、前記接触位置に前記固定部材が配置されているときに、前記エアシリンダによって前記ハンドフォークの上面に接触させられているか、または、押し付けられていることを特徴とする請求項３記載のハンド。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドが連結されるとともに前記ハンドを保持するハンド保持部とを備え、
前記ハンドフォークの長手方向の一方を第１方向とし、第１方向の反対方向を第２方向とすると、
前記搬送対象物は、前記ハンドフォークの第２方向側部分に搭載され、
前記移動機構の駆動源は、前記ハンド保持部への前記ハンドの連結部分よりも第１方向側に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項６】
請求項３または４記載のハンドと、前記ハンドが連結されるとともに前記ハンドを保持するハンド保持部とを備え、
前記ハンドフォークの長手方向の一方を第１方向とし、第１方向の反対方向を第２方向とすると、
前記搬送対象物は、前記ハンドフォークの第２方向側部分に搭載され、
前記ハンドは、前記第２移動機構が取り付けられるとともに前記支持部材と一緒に前記ハンドフォークの長手方向に移動する可動部材を備え、
前記移動機構の駆動源は、前記ハンド保持部への前記ハンドの連結部分よりも第１方向側に配置され、
前記第２移動機構は、前記可動部材の第１方向端側に取り付けられていることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項７】
請求項１から４のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドが連結されるとともに前記ハンドを保持するハンド保持部と、前記ハンドフォークに搭載された前記搬送対象物の水平方向に対する傾きを補正する傾き補正機構とを備えることを特徴とする産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドに関する。また、本発明は、かかるハンドを備える産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、露光装置で使用されるマスクを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、マスクが搭載されるハンドと、ハンドの基端側を支持するリニア駆動部と、リニア駆動部を支持する本体部とを備えている。ハンドは、直線状に形成される２本のハンドフォークを備えている。２本のハンドフォークは、互いに平行になるように配置されている。マスクは、２本のハンドフォークに搭載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−７６０６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の産業用ロボットが、たとえば、様々な大きさのマスクを製造するマスクの製造ラインで使用される場合、この産業用ロボットは、様々な大きさのマスクをハンドに搭載して搬送する必要がある。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、様々な大きさの搬送対象物を適切に搭載することが可能な産業用ロボットのハンドを提供することにある。また、本発明の課題は、かかるハンドを備える産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、直線状に形成され互いに平行に配置される複数本のハンドフォークと、ハンドフォークの上面側に配置され搬送対象物の下面を支持するとともにハンドフォークの長手方向への搬送対象物の移動を規制する支持部材と、ハンドフォークの長手方向に支持部材を移動させる移動機構とを備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物の下面を支持するとともにハンドフォークの長手方向への搬送対象物の移動を規制する支持部材を、ハンドフォークの長手方向に移動させる移動機構を備えている。そのため、本発明では、搬送対象物の大きさに応じて、搬送対象物の下面を適切に支持することが可能な位置に支持部材を移動させることが可能になる。したがって、本発明では、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。
【０００８】
本発明において、ハンドは、ハンドフォークに対してハンドフォークの長手方向に移動可能な支持部材と、ハンドフォークの上面側に固定され搬送対象物の下面を支持する第２支持部材とを備え、支持部材は、ハンドフォークの長手方向における一方側への搬送対象物の移動を規制し、第２支持部材は、ハンドフォークの長手方向における他方側への搬送対象物の移動を規制することが好ましい。このように構成すると、ハンドフォークの長手方向における他方側への搬送対象物の移動を規制する第２支持部材が、ハンドフォークに対してハンドフォークの長手方向に移動可能になっている場合と比較して、ハンドの構成を簡素化することが可能になる。
【０００９】
本発明において、ハンドは、支持部材が固定される固定部材と、固定部材の下面に固定されるゴム製のゴムパッドと、ゴムパッドがハンドフォークの上面に所定の接触圧で接触する接触位置とゴムパッドがハンドフォークの上面から離れる離間位置との間で固定部材を移動させる第２移動機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、接触位置に固定部材が配置されているときの、ゴムパッドとハンドフォークの上面との摩擦力を利用して、ハンドフォークの長手方向における所定の位置で支持部材を停止させておくことが可能になる。また、このように構成すると、固定部材を離間位置に移動させることで、移動機構によって、ハンドフォークの長手方向に支持部材を容易に移動させることが可能になる。
【００１０】
本発明において、第２移動機構は、エアシリンダであり、ゴムパッドは、接触位置に固定部材が配置されているときに、エアシリンダによってハンドフォークの上面に接触させられているか、または、押し付けられていることが好ましい。このように構成すると、接触位置に固定部材が配置されているときの、ゴムパッドとハンドフォークの上面との摩擦力を高めることが可能になるため、ハンドフォークの長手方向における所定の位置で支持部材を確実に停止させておくことが可能になる。
【００１１】
本発明のハンドは、ハンドが連結されるとともにハンドを保持するハンド保持部を備える産業用ロボットであって、ハンドフォークの長手方向の一方を第１方向とし、第１方向の反対方向を第２方向とすると、搬送対象物は、ハンドフォークの第２方向側部分に搭載され、移動機構の駆動源は、ハンド保持部へのハンドの連結部分よりも第１方向側に配置されている産業用ロボットに用いることができる。
【００１２】
この産業用ロボットでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、この産業用ロボットでは、ハンドフォークの長手方向において、ハンドに搭載される搬送対象物と移動機構の駆動源との距離を離すことが可能になるため、比較的高温の搬送対象物がハンドに搭載される場合であっても、搬送対象物の熱の影響による移動機構の駆動源の損傷を防止することが可能になる。
【００１３】
本発明のハンドは、ハンドが連結されるとともにハンドを保持するハンド保持部を備える産業用ロボットであって、ハンドフォークの長手方向の一方を第１方向とし、第１方向の反対方向を第２方向とすると、搬送対象物は、ハンドフォークの第２方向側部分に搭載され、ハンドは、第２移動機構が取り付けられるとともに支持部材と一緒にハンドフォークの長手方向に移動する可動部材を備え、移動機構の駆動源は、ハンド保持部へのハンドの連結部分よりも第１方向側に配置され、第２移動機構は、可動部材の第１方向端側に取り付けられている産業用ロボットに用いることができる。
【００１４】
この産業用ロボットでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、この産業用ロボットでは、ハンドフォークの長手方向において、ハンドに搭載される搬送対象物と移動機構の駆動源との距離を離すことが可能になるとともに、ハンドに搭載される搬送対象物と第２移動機構との距離を離すことが可能になる。したがって、比較的高温の搬送対象物がハンドに搭載される場合であっても、搬送対象物の熱の影響による移動機構の駆動源および第２移動機構の損傷を防止することが可能になる。
【００１５】
本発明のハンドは、ハンドが連結されるとともにハンドを保持するハンド保持部と、ハンドフォークに搭載された搬送対象物の水平方向に対する傾きを補正する傾き補正機構とを備える産業用ロボットに用いることができる。この産業用ロボットでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、この産業用ロボットでは、ハンドフォークに搭載された搬送対象物の重量によってハンドフォークが撓んでも、ハンドフォークに搭載された搬送対象物の水平方向に対する傾きを補正することが可能になる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明の産業用ロボットのハンドでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、本発明の産業用ロボットでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図である。
【図２】図１に示す産業用ロボットの平面図である。
【図３】図１に示すハンドの構造を説明するための平面図である。
【図４】図１に示すハンドの構造を説明するための図である。
【図５】（Ａ）は、図１のＥ部の構成を説明するための拡大図であり、（Ｂ）は、図１のＦ部の構成を説明するための拡大図である。
【図６】（Ａ）は、図２のＧ部の構成を説明するための拡大図であり、（Ｂ）は、図２のＨ部の構成を説明するための拡大図である。
【図７】（Ａ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＫ部の拡大図である。
【図８】図１のＭ部の構成を説明するための拡大図である。
【図９】図８のＮ−Ｎ断面の構成を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１９】
（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。
【００２０】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、所定の搬送対象物２を搬送するための水平多関節型のロボットである。本形態の搬送対象物２は、露光装置等で使用されるマスクである。したがって、以下では、搬送対象物２を「マスク２」とする。マスク２は、たとえば、長方形の平板状に形成されている。本形態のロボット１は、様々な大きさのマスク２を製造するマスク２の製造ラインに設置されており、様々な大きさのマスク２を搬送することが可能になっている。たとえば、ロボット１は、最大で縦幅および横幅が２０００（ｍｍ）程度のマスク２を搬送することが可能になっているとともに、最小で縦幅および横幅が８００（ｍｍ）程度のマスク２を搬送することが可能になっている。
【００２１】
ロボット１は、マスク２が搭載されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるアーム４と、アーム４を支持する本体部５と、本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース６とを備えている。本体部５は、アーム４の基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポート７と、アームサポート７を昇降可能に保持する保持フレーム８と、本体部５の下端部分を構成するとともにベース６に対して水平移動可能な基台９と、保持フレーム８の下端が固定されるとともに基台９に対して回動可能な旋回フレーム１０とを備えている。
【００２２】
アーム４は、第１アーム部１２と第２アーム部１３との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１２の基端側は、アームサポート７に回動可能に連結されている。第１アーム部１２の先端側には、第２アーム部１３の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１３の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。第１アーム部１２と第２アーム部１３とハンド３とは、下側から上側に向かってこの順番で配置されている。ロボット１は、アーム４を伸縮させるアーム駆動機構を備えている。本形態のアーム４は、ハンド３が連結されるとともにハンド３を保持するハンド保持部である。
【００２３】
保持フレーム８は、上下方向に細長い直方体の柱状に形成されている。保持フレーム８は、アームサポート７を介してハンド３およびアーム４を昇降可能に保持している。ロボット１は、保持フレーム８に対してアームサポート７を昇降させる昇降機構と、アームサポート７を上下方向へ案内するガイド機構とを備えている。保持フレーム８の下端は、旋回フレーム１０に固定されている。上述のように、旋回フレーム１０は、基台９に対して回動可能となっており、基台９は、ベース６に対して水平移動可能となっている。ロボット１は、基台９に対して旋回フレーム１０を回動させる回動機構と、ベース６に対して基台９を水平移動させる水平移動機構とを備えている。
【００２４】
（ハンドの構成）
図３は、図１に示すハンド３の構造を説明するための平面図である。図４は、図１に示すハンド３の構造を説明するための図である。図５（Ａ）は、図１のＥ部の構成を説明するための拡大図であり、図５（Ｂ）は、図１のＦ部の構成を説明するための拡大図である。図６（Ａ）は、図２のＧ部の構成を説明するための拡大図であり、図６（Ｂ）は、図２のＨ部の構成を説明するための拡大図である。図７（Ａ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図であり、図７（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＫ部の拡大図である。
【００２５】
ハンド３は、第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結される基部１５と、基部１５から水平方向の一方へ伸びる直線状の複数本のハンドフォーク１６とを備えている。本形態のハンド３は、２本のハンドフォーク１６を備えている。また、ハンド３は、ハンドフォーク１６の上面側に配置されるとともにマスク２の下面を支持する支持部材１７、１８と、ハンドフォーク１６の長手方向へ支持部材１７を移動させる移動機構１９とを備えている。
【００２６】
さらに、ハンド３は、支持部材１７が固定される固定部材２０と、固定部材２０の下面に固定されるゴム製のゴムパッド２１と、ゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面に所定の接触圧で接触する接触位置（図７（Ｂ）の実線で示す位置）２０Ａとゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面から離れる離間位置（図７（Ｂ）の二点鎖線で示す位置）２０Ｂとの間で固定部材２０を移動させる第２移動機構２２とを備えている。
【００２７】
基部１５は、中空状に形成されるとともに上下方向の厚さが薄い扁平な略直方体状に形成されている。基部１５には、ハンドフォーク１６の基端部が固定されている。直線状に形成される２本のハンドフォーク１６は、所定の間隔をあけた状態で互いに平行に配置されており、基部１５から水平方向の同方向へ突出している。以下の説明では、ハンドフォーク１６の長手方向（図３等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図３等のＹ方向を「左右方向」とする。
【００２８】
また、以下の説明では、前後方向のうちの、基部１５からハンドフォーク１６が突出する方向（図３のＸ１方向）を「前」方向とし、その反対方向（図３等のＸ２方向）を「後ろ」方向とする。すなわち、以下の説明では、ハンドフォーク１６の先端側を前側とし、ハンドフォーク１６の基端側を後ろ側とする。本形態の後ろ方向（Ｘ２方向）は、ハンドフォーク１６の長手方向の一方である第１方向となっており、前方向（Ｘ１方向）は、第１方向の反対方向である第２方向となっている。
【００２９】
基部１５は、上述のように、第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結されている。すなわち、基部１５は、アーム４の先端側に回動可能に連結されている。本形態では、基部１５は、前後方向における基部１５の中心よりも前側でアーム４の先端側に連結されている。すなわち、アーム４へのハンド３の連結部分である関節部２３は、前後方向における基部１５の中心よりも前側に配置されている。
【００３０】
ハンドフォーク１６は、上述のように、直線状に形成されている。本形態では、ハンドフォーク１６は、前後方向に細長い四角筒状に形成されており、中空状に形成されている。ハンドフォーク１６の上面は、上下方向に略直交する平面となっている。また、ハンドフォーク１６は、炭素繊維を含有する樹脂で形成されている。ハンドフォーク１６の基端部は、中空状に形成される基部１５の内部に配置されている。また、右側に配置されるハンドフォーク１６の基端部は、基部１５の右端部に固定され、左側に配置されるハンドフォーク１６の基端部は、基部１５の左端部に固定されている。マスク２は、２本のハンドフォーク１６の前側部分に搭載されている。
【００３１】
２本のハンドフォーク１６のそれぞれの上面側には、支持部材１７と支持部材１８とが１個ずつ配置されている。支持部材１７、１８は、ブロック状に形成されている。支持部材１７は、ハンドフォーク１６に対して前後方向に移動可能となっている。一方、支持部材１８は、ハンドフォーク１６に固定されている。本形態の支持部材１８は、第２支持部材である。
【００３２】
支持部材１８は、ハンドフォーク１６の前端部（先端部）において、ハンドフォーク１６の上面側に固定されている。また、支持部材１８は、Ｌ字状に形成される固定板２５（図５、図６参照）を介してハンドフォーク１６の前端部に固定されている。支持部材１８には、マスク２の前端部の下面に接触する接触面１８ａが形成されている。接触面１８ａは、上下方向に略直交する平面となっている。また、支持部材１８には、マスク２の前側への移動を規制する規制面１８ｂが形成されている。すなわち、支持部材１８は、マスク２の前側への移動を規制している。規制面１８ｂは、前後方向に略直交する平面となっており、マスク２の前端面が接触可能となっている。
【００３３】
固定板２５には、マスク２の有無を検知するためのセンサ２６が固定されている。センサ２６は、支持部材１８の後ろ側に配置されている。また、センサ２６は、接触面１８ａよりも下側に配置されている。なお、センサ２６から引き出される配線は、中空状に形成されるハンドフォーク１６の内部を利用して、ハンド３の後端部まで引き回されている。
【００３４】
支持部材１７は、支持部材１８よりも後ろ側に配置されている。支持部材１７には、マスク２の後端部の下面に接触する接触面１７ａが形成されている。接触面１７ａは、平面であり、固定部材２０が接触位置２０Ａに配置されているときに、上下方向に略直交している。また、支持部材１７には、マスク２の後ろ側への移動を規制する規制面１７ｂが形成されている。すなわち、支持部材１７は、マスク２の後ろ側への移動を規制している。規制面１７ｂは、前後方向に略直交する平面となっており、マスク２の後端面が接触可能となっている。
【００３５】
移動機構１９は、駆動源であるモータ２９と、モータ２９に連結されるボールねじ３０とを備えている。モータ２９は、基部１５の下面を構成する平板状の底板３１の上面に固定されている。また、モータ２９は、基部１５の後端部に固定されている。すなわち、モータ２９は、関節部２３よりも後ろ側に配置されている。モータ２９は、モータ２９の出力軸が前側に突出するように配置されている。
【００３６】
ボールねじ３０のネジ軸３２は、ネジ軸３２の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。ネジ軸３２は、軸受を介して底板３１に回転可能に支持されている。ネジ軸３２は、モータ２９の前側に配置されており、減速機およびカップリングを介してモータ２９の出力軸に固定されている。また、ネジ軸３２は、ハンド３の左右方向における中心位置に配置されている。ボールねじ３０のナット部材３３は、支持部材１７と一緒に前後方向に移動する可動部材３４に取り付けられている。具体的には、ナット部材３３は、可動部材３４の前端部に固定されている。
【００３７】
底板３１の上面には、前後方向へ可動部材３４を案内するガイドレール３５が固定されている。ガイドレール３５は、左右方向でネジ軸３２を挟むように、底板３１の上面の２箇所に固定されている。可動部材３４には、ガイドレール３５に上側から係合するガイドブロック３６が固定されている。ガイドレール３５は、２本のハンドフォーク１６よりも左右方向の内側に配置されている。
【００３８】
第２移動機構２２は、エアシリンダである。したがって、以下では、第２移動機構２２を「エアシリンダ２２」とする。エアシリンダ２２は、可動部材３４に取り付けられている。具体的には、エアシリンダ２２は、可動部材３４の後端側の２箇所に取り付けられている。エアシリンダ２２は、２本のガイドレール３５よりも左右方向の外側に配置されている。エアシリンダ２２は、エアシリンダ２２のロッドが下側へ突出するように配置されている。エアシリンダ２２の上端部は、前後方向を軸方向とするエアシリンダ２２の回動が可能となるように、可動部材３４に保持されている。
【００３９】
エアシリンダ２２の動力は、レバー部材３９、管状部材４０および保持部材４１を介して固定部材２０に伝達されている。管状部材４０は、円管状に形成されている。すなわち、管状部材４０は、細長い円柱状に形成されている。管状部材４０は、管状部材４０の長手方向と前後方向とが一致するように配置されている。管状部材４０は、軸受を介して可動部材３４に回動可能に保持されている。管状部材４０は、可動部材３４に対して前後方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。
【００４０】
前後方向から見たときに、右側に配置される管状部材４０は、右側に配置されるエアシリンダ２２の右側に配置され、左側に配置される管状部材４０は、左側に配置されるエアシリンダ２２の左側に配置されている。また、管状部材４０は、２本のハンドフォーク１６よりも左右方向の内側に配置されている。
【００４１】
レバー部材３９の一端部は、エアシリンダ２２のロッドに回動可能に連結されている。レバー部材３９は、エアシリンダ２２のロッドに対して前後方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。レバー部材３９の他端部は、管状部材４０の後端部に固定されている。また、レバー部材３９の他端部は、管状部材４０の下端部に固定されている。一端部がエアシリンダ２２のロッドに連結されるレバー部材３９の他端部が管状部材４０の後端部に固定されているため、可動部材３４に対する管状部材４０の前後方向の移動が規制されている。
【００４２】
保持部材４１は、管状部材４０の前端部に固定されている。また、保持部材４１は、管状部材４０の上端部に固定されており、保持部材４１は、管状部材４０の前端部から上側に向かって立ち上がっている。
【００４３】
固定部材２０は、長方形の平板状に形成されており、固定部材２０の長手方向と左右方向とが一致するように配置されている。右側に配置される支持部材１７は、右側に配置される固定部材２０の上面の右端部に固定されている。右側に配置される固定部材２０の左端部は、右側に配置される保持部材４１の上端面に固定されている。左側に配置される支持部材１７は、左側に配置される固定部材２０の上面の左端部に固定されている。左側に配置される固定部材２０の右端部は、左側に配置される保持部材４１の上端面に固定されている。
【００４４】
ゴムパッド２１は、たとえば、長方形の板状に形成されたゴム板である。ゴムパッド２１は、右側に配置される固定部材２０の下面の右端側と、左側に配置される固定部材２０の下面の左端側とに固定されている。また、ゴムパッド２１は、右側に配置される固定部材２０の下面、および、左側に配置される固定部材２０の下面のそれぞれにおいて、左右方向に間隔をあけた状態で複数箇所に固定されている。たとえば、ゴムパッド２１は、右側に配置される固定部材２０の下面の３箇所と、左側に配置される固定部材２０の下面の３箇所とに固定されている。なお、本形態のゴムパッド２１は、薄鋼板に焼き付けられて固定されており、ゴムパッド２１が固定された薄鋼板が固定部材２０の下面に固定されている。すなわち、ゴムパッド２１は、薄鋼板を介して固定部材２０の下面に固定されている。
【００４５】
保持部材４１には、マスク２の有無を検知するためのセンサ４２が固定されている。右側に配置されるセンサ４２は、右側に配置される固定部材２０の左側に配置され、左側に配置されるセンサ４２は、左側に配置される固定部材２０の右側に配置されている。また、センサ４２は、支持部材１７の接触面１７ａよりも下側に配置されている。なお、センサ４２から引き出される配線は、円管状に形成される管状部材４０の内部を利用して、ハンド３の後端部まで引き回されている。
【００４６】
本形態では、エアシリンダ２２のロッド側に圧縮空気が供給されてエアシリンダ２２のロッドが引っ込んでいるときに、固定部材２０は、接触位置２０Ａに配置されている（図７の実線参照）。固定部材２０が接触位置２０Ａに配置されているときには、ゴムパッド２１は、エアシリンダ２２によってハンドフォーク１６の上面に接触させられている。本形態では、固定部材２０が接触位置２０Ａに配置されているときに、ゴムパッド２１は、エアシリンダ２２によってハンドフォーク１６の上面に押し付けられている。この状態で、エアシリンダ２２のヘッド側に圧縮空気が供給されてエアシリンダ２２のロッドが突出すると、レバー部材３９、管状部材４０および保持部材４１と一緒に固定部材２０が管状部材４０の軸心を中心にして回動して、離間位置２０Ｂに移動する（図７の二点鎖線参照）。
【００４７】
また、本形態では、ロボット１で搬送されるマスク２の大きさに応じて、支持部材１７を前後方向に移動させるときに、固定部材２０を離間位置２０Ｂに移動させる。固定部材２０が離間位置２０Ｂに配置された状態で、モータ２９が起動してネジ軸３２が回転すると、ナット部材３３が固定された可動部材３４と一緒に、エアシリンダ２２、レバー部材３９、管状部材４０、保持部材４１、固定部材２０および支持部材１７が前後方向に移動する。なお、ハンド３は、エアシリンダ２２に接続されるエア配管の一部等が収容されるケーブルベヤ（登録商標）を備えている。
【００４８】
（傾き補正機構の構成）
図８は、図１のＭ部の構成を説明するための拡大図である。図９は、図８のＮ−Ｎ断面の構成を説明するための図である。
【００４９】
ロボット１は、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の水平方向に対する傾きを補正する傾き補正機構４６を備えている。傾き補正機構４６は、関節部２３を構成している。すなわち、ハンド３の基部１５は、傾き補正機構４６を介して第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結されている。傾き補正機構４６は、左右方向を回動の軸方向として、かつ、支点部４７を回動中心にしてハンド３を回動させることで、ハンドフォーク１６に搭載されているマスク２の傾きを補正する。
【００５０】
傾き補正機構４６は、駆動源であるモータ４８と、モータ４８の出力軸に減速機を介して連結される偏心軸（クランク軸）４９と、偏心軸４９に一端側が取り付けられるリンク部材５０と、リンク部材５０の他端側が取り付けられる取付部材５１と、第２アーム部１３の先端側に回動可能に保持される回動部材５２とを備えている。なお、図８では、リンク部材５０の図示を省略している。
【００５１】
モータ４８は、回動部材５２に保持されている。偏心軸４９は、偏心軸４９の軸方向と左右方向とが一致するように配置されている。偏心軸４９は、回動部材５２に回動可能に保持されている。偏心軸４９は、回動部材５２に対して左右方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。偏心軸４９は、偏心軸４９の回動中心から軸心が所定量ずれている円柱状の偏心部４９ａを備えている。
【００５２】
リンク部材５０の一端側は、偏心部４９ａの外周側に回動可能に取り付けられている。リンク部材５０の他端側は、取付部材５１の後端部に回動可能に取り付けられている。取付部材５１の前端部は、支点部４７に回動可能に保持されており、取付部材５１は、回動部材５２に対して支点部４７を回動中心にして回動可能となっている。また、取付部材５１は、左右方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。取付部材５１の上端には、ハンド３の基部１５の下面が固定されている。
【００５３】
傾き補正機構４６では、モータ４８が起動すると、偏心軸４９が回動する。偏心軸４９が回動すると、リンク部材５０が移動して、取付部材５１が支点部４７を中心に回動する。取付部材５１が支点部４７を中心に回動すると、ハンド３も支点部４７を中心に回動して、ハンドフォーク１６に搭載されているマスク２の傾きが補正される。
【００５４】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ハンド３は、マスク２の下面を支持するとともにマスク２の後ろ側への移動を規制する支持部材１７を前後方向に移動させる移動機構１９を備えており、ロボット１で搬送されるマスク２の大きさに応じて、支持部材１７を前後方向に移動させている。そのため、本形態では、マスク２の大きさに応じて、マスク２の下面を適切に支持することが可能な位置に支持部材１７を移動させることが可能になる。したがって、本形態では、様々な大きさのマスク２をハンド３に適切に搭載することが可能になる。
【００５５】
本形態では、マスク２の前側への移動を規制する支持部材１８は、ハンドフォーク１６に固定されている。そのため、本形態では、ハンドフォーク１６に対して支持部材１８が前後方向に移動可能になっている場合と比較して、ハンド３の構成を簡素化することが可能になる。
【００５６】
本形態では、ハンド３は、支持部材１７が固定される固定部材２０の下面に固定されるゴムパッド２１と、ゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面に所定の接触圧で接触する接触位置２０Ａとゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面から離れる離間位置２０Ｂとの間で固定部材２０を移動させるエアシリンダ２２とを備えている。そのため、本形態では、接触位置２０Ａに固定部材２０が配置されているときの、ゴムパッド２１とハンドフォーク１６の上面との摩擦力を利用して前後方向における所定の位置で支持部材１７を停止させておくことが可能になる。また、本形態では、固定部材２０を離間位置２０Ｂに移動させることで、移動機構１９によって前後方向に支持部材１７を容易に移動させることが可能になる。
【００５７】
また、本形態では、ゴムパッド２１は、接触位置２０Ａに固定部材２０が配置されているときに、エアシリンダ２２によってハンドフォーク１６の上面に押し付けられているため、接触位置２０Ａに固定部材２０が配置されているときの、ゴムパッド２１とハンドフォーク１６の上面との摩擦力を高めることが可能になる。したがって、本形態では、前後方向における所定の位置で支持部材１７を確実に停止させておくことが可能になる。
【００５８】
本形態では、マスク２は、２本のハンドフォーク１６の前側部分に搭載されている。また、本形態では、モータ２９は、関節部２３よりも後ろ側に配置されている。そのため、本形態では、前後方向において、ハンド３に搭載されるマスク２とモータ２９との距離を離すことが可能になる。したがって、本形態では、比較的高温のマスク２がハンド３に搭載される場合であっても、マスク２の熱の影響によるモータ２９の損傷を防止することが可能になる。
【００５９】
また、本形態では、エアシリンダ２２が可動部材３４の後端側に取り付けられているため、前後方向において、ハンド３に搭載されるマスク２とエアシリンダ２２との距離を離すことが可能になる。したがって、本形態では、比較的高温のマスク２がハンド３に搭載される場合であっても、マスク２の熱の影響によるエアシリンダ２２の損傷を防止することが可能になる。
【００６０】
本形態では、ハンド３は、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の水平方向に対する傾きを補正する傾き補正機構４６を備えている。そのため、本形態では、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の重量によってハンドフォーク１６が撓んでも、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の水平方向に対する傾きを補正することが可能になる。
【００６１】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００６２】
上述した形態において、支持部材１７に加えて、支持部材１８がハンドフォーク１６に対して前後方向に移動可能となっていても良い。この場合には、ハンド３は、支持部材１８を前後方向に移動させる移動機構を備えている。また、上述した形態において、支持部材１７に代えて、支持部材１８がハンドフォーク１６に対して前後方向に移動可能となっていても良い。
【００６３】
上述した形態において、エアシリンダ２２は、可動部材３４の前端側に取り付けられていても良いし、前後方向における可動部材３４の中間位置に取り付けられていても良い。また、上述した形態では、固定部材２０は、管状部材４０の軸心を中心にして回動することで、接触位置２０Ａと離間位置２０Ｂとの間を移動するが、固定部材２０は、たとえば、上下方向に直線的に移動することで、接触位置２０Ａと離間位置２０Ｂとの間を移動しても良い。また、上述した形態において、ハンド３は、エアシリンダ２２に代えて、モータと、このモータの動力を固定部材２０に伝達する動力伝達機構とを備えていても良い。
【００６４】
上述した形態において、基部１５の後端部がアーム４の先端側に回動可能に連結されていても良い。また、上述した形態において、モータ２９は、基部１５の前端部に固定されていても良い。さらに、上述した形態において、ハンド３が備えるハンドフォーク１６の本数は、３本以上であっても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、傾き補正機構４６を備えていなくても良い。また、上述した形態において、ロボット１が搬送する搬送対象物２は、マスク以外の物であっても良い。たとえば、ロボット１が搬送する搬送対象物２は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であっても良い。
【００６５】
上述した形態では、ロボット１は、水平多関節型のロボットであるが、本発明が適用されるロボットは、水平多関節型のロボット以外の産業用ロボットであっても良い。たとえば、本発明が適用されるロボットは、上述の特許文献１に開示された産業用ロボットのように、ハンド３の基端側を支持するリニア駆動部と、リニア駆動部を支持する本体部とを備えるロボットであっても良い。この場合のリニア駆動部は、ハンド３が連結されるとともにハンド３を保持するハンド保持部である。
【符号の説明】
【００６６】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  マスク（搬送対象物）
３  ハンド
４  アーム（ハンド保持部）
１６  ハンドフォーク
１７  支持部材
１８  支持部材（第２支持部材）
１９  移動機構
２０  固定部材
２０Ａ  接触位置
２０Ｂ  離間位置
２１  ゴムパッド
２２  エアシリンダ（第２移動機構）
２３  関節部（ハンド保持部へのハンドの連結部分）
２９  モータ（移動機構の駆動源）
３４  可動部材
４６  傾き補正機構
Ｘ  ハンドフォークの長手方向
Ｘ１  第２方向
Ｘ２  第１方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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