(57)【要約】      （修正有）【課題】光拡散角変換素子をインテグレーター光学系に加えることで、小型で簡単な構成でスペックルノイズを人の感じないレベルまで低減できる投射型表示装置を提供する。【解決手段】投射光学系は、レーザー光源１１、レーザー光源１１から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部１１Ａ、インテグレーター光学系（ロッドインテグレーター光学系２１またはフライアイインテグレーター光学系）、空間光変調素子１５、投射光学系１６をこの順に有する。インテグレーター光学系は、光拡散角変換素子１あるいはさらにフィールドレンズ２を備える。空間光変調素子１５の表示面（素子表示面１５Ａ）は、投射光学系１６からレーザー光束を投射されるスクリーン面１７Ａと共役であり、光拡散角変換素子１は素子表示面１５Ａ（あるいは共役の面）からビーム走査部１１Ａ側に距離Δａだけ離間している。【選択図】図２
2020030309.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー光源と、前記レーザー光源から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部と、インテグレーター光学系と、空間光変調素子と、投射光学系とをこの順に有する投射型表示装置であって、前記インテグレーター光学系は、光拡散角変換素子、あるいはさらに前記光拡散角変換素子の出射面に配置したフィールドレンズを備え、前記空間光変調素子の表示面は、投射光学系からレーザー光束を投射されるスクリーンの表示面と共役であり、前記光拡散角変換素子は、前記空間光変調素子の表示面を起点とし、該起点から前記ビーム走査部側に、有限の距離Δａだけ離間していることを特徴とする投射型表示装置。
【請求項２】
前記インテグレーター光学系は、集光レンズ、ロッドライクインテグレーターおよび照明光学系をこの順に有するロッドインテグレーター光学系であり、前記空間光変調素子の表示面は前記ロッドライクインテグレーターの出射面と共役であり、前記光拡散角変換素子を離間させる距離Δａの起点を、空間光変調素子の表示面に代えて、前記ロッドライクインテグレーターの出射面とし、前記ロッドライクインテグレーターは、その長さをＬ、その有効最小長さをＬ０として、Ｌ＝Δａ≧Ｌ０を満たすことを特徴とする請求項１に記載の投射型表示装置。
【請求項３】
前記Δａは、２．０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の投射型表示装置。
【請求項４】
前記インテグレーター光学系は、少なくとも２枚のフライアイレンズを有するフライアイインテグレーター光学系であり、前記光拡散角変換素子を離間させる距離Δａの起点を、前記空間光変調素子の表示面に代えて、前記フライアイインテグレーター光学系の入射側のフライアイレンズの入射面とし、前記Δａは、前記起点から前記ビーム走査部までの距離よりも小であることを特徴とする請求項１に記載の投射型表示装置。
【請求項５】
前記Δａは、０．１ｍｍ以上であることを特徴とする請求項４に記載の投射型表示装置。
【請求項６】
前記少なくとも２枚のフライアイレンズ、に代えて、直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ、とし、かつ、前記光拡散角変換素子を離間させる距離Δａの起点を、前記入射側のフライアイレンズの入射面に代えて、入射側の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイの入射面とし、前記直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイは、各レンズアレイの厚みが、焦点距離×レンズ媒体の屈折率、であることを特徴とする請求項４または５に記載の投射型表示装置。
【請求項７】
前記直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイに代えて、１枚の両面マイクロレンズアレイとし、かつ、前記光拡散角変換素子を離間させる距離Δａの起点を、前記入射側の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイの入射面に代えて、１枚の両面マイクロレンズアレイの入射面とし、前記１枚の両面マイクロレンズアレイは、その厚みが、焦点距離×レンズ媒体の屈折率、であることを特徴とする請求項６に記載の投射型表示装置。
【請求項８】
請求項４〜７のいずれか１つに記載された、前記レーザー光源と、前記レーザー光源から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部と、前記フライアイインテグレーター光学系とからなり、前記フライアイインテグレーター光学系の集光面が面光源であることを特徴とする面光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スペックルノイズを低減し画質を高めることができる投射型表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザー光による画像表示は、色再現範囲が広く、綺麗な画像表示が可能である。さらに、レーザー光源は、ＬＥＤと比較し内部量子効率は同じでも、外部取り出し効率（光取り出し効率）がほぼ１００％であるため、電気・光変換効率が高く、低消費電力な光源と言える。また、レーザー光源のエタンデュー（発光面積×立体角）は、ほぼゼロであるため、投射型表示装置の光源として使用する場合、レンズ径が小さくても、全てのレーザー光を取り込めるので、光の利用効率が高く小型の投射型表示装置を実現できる。さらに、ＵＨＰランプと比較すると、寿命が１０倍以上長く、耐久性にすぐれ、ランプ交換不要のメインテナンスフリーの投射型表示装置が実現できる。
【０００３】
このように、レーザー光源投射型表示装置には優れた特性があるが、一方、画像表示を行うと、スクリーンでの拡散作用によりコヒーレントなレーザー光の干渉が起こりランダムな細かい砂地模様の干渉パターンが発生するという問題がある。ここで、前記ランダムな細かい砂地模様をスペックルパターンといい、このスペックルパターンは画質を著しく低下させるので、スペックルノイズと呼ばれる。
【０００４】
スペックルノイズの低減法として、特許文献１および２に開示されているように、レーザー光源からの光の方向を変化させる光学素子を投射型表示装置の光学系の途中に配置し、投射光学系または投射レンズによりスクリーン面と共役な関係にある位置に、中間像を作る光拡散角変換素子または空間光変調素子を設置し、これらの素子から出射される画像光の拡散角度を大きく変化させることで、スペックルノイズを低減している。即ち、人の目の時間分解能は約５０ｍｓ〜１００ｍｓ程度であり、１秒間に１０〜２０回より多く点滅する光は連続点灯しているように知覚される。例えば白熱電球の光は1秒間に１００または１２０回点滅しているので、普通はチラツキを感じない連続点灯と知覚される。レーザー光源からの光の方向を変化させる周期を時間分解能より短くし、この周期内で、中間像を作る光拡散角変換素子または空間光変調素子から出射される画像光の拡散角を大きく変化させることで、スクリーンの一点に集光する画像光の角度変化と位相変化が起こり、集光した一点で発生する互いに異なるスペックルパターンの数が大幅に増加することで、これらの互いに異なるスペックルパターンが、人間の目の網膜上で重ね合わされ平滑化され、スペックルノイズが低減される。
【０００５】
レーザー光源を用いないランプやＬＥＤ光源を用いた従来の投射型表示装置の例を図１０および図１１に示す。ランプやＬＥＤはコヒーレントな光源ではないので、別段のスペックルノイズ低減は必要ではない。一方、レーザー光源を用いる場合でも、図１０および図１１にあるように、光源からの光を空間光変調素子の表示面で均一な照度にするためのインテグレーター光学系は必須であり、このインテグレーター光学系にスペックルノイズ低減効果を、できるだけ小型で簡単な構成で付加できるかが課題となっている。
【０００６】
図１２は、特許文献１，２の技術を図１０に適用した場合の一例を示す。図１２において、空間光変調素子１５（図１２では図示せず）の表示面（素子表示面）１５Ａの位置に、ロッドインテグレーター光学系２１により均一に集光した光束の拡がり角を大きくできる拡散フィルムからなる光拡散角変換素子１を配置する。これにより、角度変化に加え通過位置的変化（この通過位置的変化とは、光の進行方向や位相変化をもたらす物質やその形状、及び光が通過する面積や長さによる変化をいう。）も加わり、位相が変化した光束群（位相差光束群と呼ぶ。）が発生することになる。
【０００７】
なお、空間光変調素子表示面１５Ａと光学的に共役の関係にある面（ロッドライクインテグレーター１３出射面）にも、光拡散角変換素子を配置することで、さらに多くの位相差光束群が発生する。
【０００８】
ここで、位相とは、時間軸上の波形ｙ（ｔ）を振幅Ａ、角周波数ω、時刻ｔおよび時刻ｔ＝０での角度φを用いて、数式ｙ（ｔ）＝Ａｓｉｎ（ωｔ＋φ）で記述するとき、当該数式中の変数φのことである。図１２中の符号φ１，φ２，φ３は、互いに異なる位相φ１，φ２，φ３，‥‥を個別に有する位相差光束群のうちの１番目から３番目までを指すものである（４番目以降は図示せず）。
【０００９】
また、位相差光束群が発生する場所である位相差光束群発生エリア（ＰＶＧエリアともいう。ＰＶＧエリア：Ｐｈａｓｅ  Ｖａｒｉａｂｌｅ  Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ  Ａｒｅａ）は、光拡散角変換素子１内の集光点のエリアであり、面積的には小さいので、位相差光束群の発生数は多くはない。なお、光拡散角変換素子１の集光点とは、光拡散角変換素子１内で、照明光学系１４からの出射光が集光する位置を占める点のことである。目の時間分解能の間に光拡散角変換素子１内で発生した位相差光束群は、投射光学系１６（投射レンズ）により、スクリーン面１７Ａ上の一点に集光され、スクリーン面１７Ａの光拡散作用により更に多くの位相差光束群が集光点と云う極めて狭い範囲で発生し、この位相差光束群が更に多くのスペックルパターンをレーザー光源からの光の方向を変化させる周期の間で発生させる。発生したスペックルパターンは、この周期内で目の網膜上で重ね合わされ、砂地模様が平滑化されスペックルノイズ低減がある程度図られることになる。スペックルノイズは、画像の輝度分布の平均値に対する標準偏差の比で定義されるスペックルコントラストという指標で数値化されるが、スペックルノイズが、人間の目では判別できなくなるのは、スペックルコントラストが約０．０３以下であると言われるが、図１２の光拡散角変換素子１の拡散角を大きく、スクリーン１７を完全拡散に近いホワイトマットにしても、スペックルコントラストを０．０３以下にすることは極めて困難である。
【００１０】
一方、０．０３以下へのスペックルコントラストの低減を実現する方法として、図１２の光拡散角変換素子１を空間光変調素子１５（図１２では図示せず）の位置に配置して光拡散角変換素子１を揺動（または回転）させるという方法がある（特許文献１，２）。
【００１１】
しかし、光拡散角変換素子１を揺動（または回転）させる方法では、揺動（または回転）用の装置が必要となって投射型表示装置全体が大きくなり、さらに揺動（または回転）用の電力供給装置等も必要になるので、投射型表示装置の小型化には逆行してしまう。そればかりか、光拡散角変換素子１を動かすので、投射光学系１６の入射瞳を大きくしなければならず、投射光学系１６のレンズ口径の増大化を招く。さらに、スクリーン面１７Ａ上で、空間光変調素子１５（図１２では図示せず）の拡大投影画像に、光拡散角変換素子１の文様の拡大投影画像が重なり、投影画像の画質が悪化するという問題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特許第４２９００９５号公報
【特許文献２】特開２００９−２１６８４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上述のように、図１２の従来の技術では、投射型表示装置内に配置した光拡散角変換素子を揺動または回転させることなしでは、スクリーン面上で、スペックルコントラストを０．０３以下に低減させることは実現できない。
【００１４】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、レーザー光源を用いる投射型表示装置において、光拡散角変換素子を揺動または回転させなくても、スペックルコントラストが０．０３以下である状態を実現し、投射光学系のレンズ口径を小さく抑え、小型で、明るく、拡散が少ないスクリーンでもスペックルノイズが感じられない、低消費電力の投射型表示装置を工業的に提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明者は、上述した課題を解決し、上記目的を達成するために検討を重ね、従来のスペックルノイズ低減法（図１２参照）の位相差光束群発生エリアの２次元的な大きさ（面積）に着目し、目の時間分解能より短くしたビーム走査周期（レーザー光源からの光の方向を変化させる周期）内で、位相差光束群発生エリアの面積に比例して、位相差光束群の発生数が増加するという知見を得た。この知見を基に種々検討した結果、インテグレーター光学系と空間光変調素子１５の素子表示面１５Ａの位置（元々のインテグレーター光学系の集光面位置）に設置された光拡散角変換素子１を、ビーム走査部側にΔａ（ここで、Δａ＞０）の距離だけずらし、位相差光束群発生エリア（＝ＰＶＧエリア）の面積を増大する方法（図１参照）を見出した。即ち、図１２Ａ（ａ）に示すように、Δａ＝０の時は、光拡散角変換素子１上にビーム走査光が集光する面積がＰＶＧエリアの面積となり、この小面積内をビーム走査光が横切るときに発生する位相差光束群の角度変化と位相変化はわずかであり、この位相差光束群がスクリーンの一点に集光して発生する互いに異なるスペックルパターンの数もわずかとなりスペックルノイズ低減は図られない。一方、図１２Ａ（ｂ）に示すように、Δａ≧２ｍｍの時は、光拡散角変換素子１をΔａ＝０の位置（スクリーンと共役の位置）からビーム走査部側にずらすので、光拡散角変換素子１に集光したビーム走査光は、光拡散角変換素子１の拡散により位相差光束群を発生し、この位相差光束群はΔａ離間したスクリーンと共役の空間光変調素子１５の素子表示面１５Ａの位置を通過することになる。このスクリーンと共役の素子表示面１５Ａの位置の一点を通過する位相差光束群が光拡散角変換素子１上で発生するエリアがＰＶＧエリアである。このＰＶＧエリアの面積はΔａ＝０と比較して格段に大きくなるので、このＰＶＧエリア内をビーム走査光が横切るときに発生する位相差光束群の角度変化と位相変化も格段に大きくなり、この位相差光束群がスクリーンの一点に集光して発生する互いに異なるスペックルパターンの数も格段に多くなりスペックルノイズ低減が図られる。
【００１６】
しかし、図１に示すように、Δａずらすことで、光拡散角変換素子１の光拡散作用により、投射光学系１６に入射されず使われない光（無駄な光）が発生することと、空間光変調素子１５が設置された位置での光強度の均一性が悪くなるという問題が発生する。そこで、本発明者は、図２に示すように、光拡散角変換素子１の出射面に平凸レンズやフレネルレンズ等からなるフィールドレンズ２を設置して、上記問題を解決することを見出した。
【００１７】
本発明者は、以上述べたような知見に基づいて、以下の要旨構成になる本発明をなした。
（１）  レーザー光源と、前記レーザー光源から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部と、インテグレーター光学系と、空間光変調素子と、投射光学系とをこの順に有する投射型表示装置であって、前記インテグレーター光学系は、光拡散角変換素子、あるいはさらに前記光拡散角変換素子の出射面に配置したフィールドレンズを備え、前記空間光変調素子の表示面は、投射光学系からレーザー光束を投射されるスクリーンの表示面と共役であり、前記光拡散角変換素子は、前記空間光変調素子の表示面を起点とし、該起点から前記ビーム走査部側に、有限の距離Δａだけ離間していることを特徴とする投射型表示装置。
（２）  前記インテグレーター光学系は、集光レンズ、ロッドライクインテグレーターおよび照明光学系をこの順に有するロッドインテグレーター光学系であり、前記空間光変調素子の表示面は前記ロッドライクインテグレーターの出射面と共役であり、前記光拡散角変換素子を離間させる距離Δａの起点を、空間光変調素子の表示面に代えて、前記ロッドライクインテグレーターの出射面とし、前記ロッドライクインテグレーターは、その長さをＬ、その有効最小長さをＬ０として、Ｌ＝Δａ≧Ｌ０を満たすことを特徴とする上記（１）に記載の投射型表示装置。
（３）  前記Δａは、２．０ｍｍ以上であることを特徴とする上記（１）または（２）に記載の投射型表示装置。
（４）  前記インテグレーター光学系は、少なくとも２枚のフライアイレンズを有するフライアイインテグレーター光学系であり、前記光拡散角変換素子を離間させる距離Δａの起点を、前記空間光変調素子の表示面に代えて、前記フライアイインテグレーター光学系の入射側のフライアイレンズの入射面とし、前記Δａは、前記起点から前記ビーム走査部までの距離よりも小であることを特徴とする上記（１）に記載の投射型表示装置。
（５）  前記Δａは、０．１ｍｍ以上であることを特徴とする上記（４）に記載の投射型表示装置。
（６）  前記少なくとも２枚のフライアイレンズ、に代えて、直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ、とし、かつ、前記光拡散角変換素子を離間させる距離Δａの起点を、前記入射側のフライアイレンズの入射面に代えて、入射側の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイの入射面とし、前記直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイは、各レンズアレイの厚みが、焦点距離×レンズ媒体の屈折率、であることを特徴とする上記（４）または（５）に記載の投射型表示装置。
（７）  前記直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイに代えて、１枚の両面マイクロレンズアレイとし、かつ、前記光拡散角変換素子を離間させる距離Δａの起点を、前記入射側の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイの入射面に代えて、１枚の両面マイクロレンズアレイの入射面とし、
前記１枚の両面マイクロレンズアレイは、その厚みが、焦点距離×レンズ媒体の屈折率、であることを特徴とする上記（６）に記載の投射型表示装置。
（８）  上記（４）〜（７）のいずれか１つに記載された、前記レーザー光源と、前記レーザー光源から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部と、前記フライアイインテグレーター光学系とからなり、前記フライアイインテグレーター光学系の集光面が面光源であることを特徴とする面光源装置。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、レーザー光源を用いる投射型表示装置において、光拡散角変換素子を揺動または回転しなくても、スペックルパターンが人間の目ではスペックルノイズの判別ができない細かさになる、スペックルコントラストが０．０３以下の状態を実現し、さらには、投射光学系のレンズ口径を小さく抑え、小型で、明るく、拡散が少ないスクリーンでもスペックルノイズが感じられない、低消費電力の投射型表示装置が実現できるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施形態の例を示す断面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態の例を示す断面図である。
【図３】本発明の第３の実施形態の例を示す断面図である。
【図４】本発明の第４の実施形態の例を示す断面図である。
【図５】本発明によるスペックルノイズの低減作用を、第２の実施形態の場合を例にとって示す説明図である。
【図６】距離Δａと位相差光束群発生エリアの関係を説明するために、Δａを、１/２Δａ、Δａ、および３Δａの各々とした場合、位相差光束群発生エリアがどのように変化するかを示した断面図のうち、１/２Δaとした場合の断面図である。
【図７】図６において、１/２Δaに代えて、Δaとした場合の断面図である。
【図８】図６において、１/２Δaに代えて３Δaとした場合の断面図である。
【図９】第２の実施形態において、Δａとスペックルコントラストの関係を測定した結果を示す図である。
【図１０】ランプおよびＬＥＤ光源を用いた投射型表示装置の従来例（ロッドインテグレーター光学系を用いるもの）を示す断面図である。
【図１１】ランプおよびＬＥＤ光源を用いた投射型表示装置の従来例（フライアイインテグレーター光学系を用いるもの）を示す断面図である。
【図１２】レーザー光源とビーム走査部を用いた投射型表示装置のスペックルノイズ低減例（図１０の素子表示面１５Ａに光拡散角変換素子１を置いたもの）を示す断面図である。
【図１２Ａ】位相差光束群発生エリアとΔaの関係を示す説明図である。
【図１３】本発明の第５の実施形態の基礎としたフライアイインテグレーター光学系に関する知見を示す説明図である。
【図１４】本発明の第５の実施形態の例を示す断面図である。
【図１４Ａ】第５の実施形態によるスペックルノイズの低減効果を示す説明図である。
【図１５】本発明の第６、第７の実施形態に用いるフライアイレンズの構成例を示す模式図である。
【図１６】第６の実施形態において、投射光学系のＦナンバーとスペックルコントラストの関係を測定した結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
まず、本発明の投射型表示装置の第１の実施形態について説明する。この第１の実施形態は、例えば図１に示すように、レーザー光源１１と、レーザー光源１１から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部１１Ａと、インテグレーター光学系の１種であるロッドインテグレーター光学系２１と、空間光変調素子１５と、投射光学系１６とをこの順に有する。
【００２１】
空間光変調素子１５の表示面１５Ａである素子表示面１５Ａは、投射光学系１６からレーザー光束を投射されるスクリーン１７の表示面であるスクリーン面１７Ａと共役の関係にある。
【００２２】
ロッドインテグレーター光学系２１は、レーザー光源１１とビーム走査部１１Ａ側から集光レンズ１２、ロッドライクインテグレーター１３、照明光学系１４をこの順に有し、さらに、照明光学系１４の集光面１４Ａに位置する、光の拡散角を拡大側に変換する光拡散角変換素子１を有する。ここで、光拡散角変換素子１は、光の波長程度以上の大きさの粒子による光の散乱（ミー散乱）や、表面の凹凸形状による散乱現象を用いたフィルム状の光学素子で、拡散特性は拡散角度に対し均一光強度になるトップハット拡散が好ましいが、拡散角度が±３０°程度以下であればガウス分布型拡散でも問題はない。また、光拡散角変換素子１の厚みは０．２〜０．４ｍｍ程度であり、光拡散角変換素子１の厚み方向範囲内の任意の点を照明光学系１４の集光面内の点としても特に問題はない。光拡散角変換素子１としては、その厚み方向の一方の端面が凹凸形状面、他方の端面が平坦面であり、凹凸形状面の凹凸の様相により拡散特性が変化する表面形状拡散フィルムが、後方散乱を小さく抑えられるので好適である。表面形状拡散フィルムを用いる場合、その凹凸形状面を照明光学系１４の集光面１４Ａに重ねることが好ましい。
【００２３】
光拡散角変換素子１は、その代表点の位置（照明光学系１４の集光面１４Ａの位置）が、素子表示面１５Ａを起点とし、この起点からビーム走査部１１Ａ側に有限の距離Δａだけ離間している。
【００２４】
この距離Δａを、図１のようにΔa＞０とすることで、Δａ＝０の場合よりも、位相差光束群発生エリアを拡大でき、発生する位相差光束群の数が大幅に増えて、より多くのスペックルパターンをスクリーン面１７Ａで発生し、スペックルノイズの低減がもたらされる。
【００２５】
ただし、Δａが２．０ｍｍ未満であると、スペックルノイズを十分に低減させるのが困難であるため、Δａは２．０ｍｍ以上とするのが好ましい。なお、Δａは大きくするとスペックルノイズの低減効果は飽和してくるので、大きくし過ぎても光学系が無駄に大きくなるだけなので、２０ｍｍ以下程度が好ましい。
【００２６】
もっとも、第１の実施形態（図１）では、Δａ＝０の場合と比べて、光の均一性と利用効率の観点からは、スクリーン面１７Ａと共役な集光点エリア（素子表示面１５Ａの位置にある）の光強度が不均一になり、かつ、光拡散角変換素子１からの周辺部の光が無駄になるという問題がある。
【００２７】
しかし、この問題は、次に説明する本発明の第２の実施形態により解決できる。この第２の実施形態は例えば図２に示すように、第１の実施形態（図１参照）において、光拡散角変換素子１の出射面に配置したフィールドレンズ２（図２）を有する。
【００２８】
フィールドレンズ２とは、カメラなどの光学系の視野の周辺部の光の進行方向を光軸方向に揃えるレンズのことであり、これを光拡散角変換素子１の出射面に配置したことで、スクリーン面１７Ａと共役な集光点エリア（空間光変調素子１５を配置する位置にある）の光を空間的に均一化し、かつ、光拡散角変換素子１からの周辺部の光の進行方向を投射光学系１６へ入射するように揃えて無駄な光を減少させることができる。また、そればかりか、投射光学系１６へ入射する位相差光束群の位相差光束群発生エリアが拡がり、投射光学系１６に入射する位相差光束群の数が増大して、より大きなスペックルノイズの低減効果を得ることができる。前記フィールドレンズ２としては、レンズ厚みを薄くできて軽量化の点で有利であるフレネルレンズが好ましい。
【００２９】
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。この第３の実施形態は、例えば図３に示すように、第２の実施形態（図２参照）において、インテグレーター光学系としてロッドインテグレーター光学系２１（図２）に代えて、フライアイインテグレーター光学系２２（図３）とした。フライアイインテグレーター光学系２２は、少なくとも２枚のフライアイレンズ１８，１９、照明光学系１４、光拡散角変換素子１、およびフィールドレンズ２をこの順に有する。この第３の実施形態でも、照明光学系１４の集光面１４Ａで照度分布が均一な光が得られるので、第２の実施形態と同様の効果が得られる。
【００３０】
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。この第４の実施形態は、例えば図４に示すように、レーザー光源１１と、レーザー光源から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部１１Ａと、ロッドインテグレーター光学系２１と、空間光変調素子１５と、投射光学系１６とをこの順に有し、前記ロッドインテグレーター光学系２１は、集光レンズ１２、ロッドライクインテグレーター１３および照明光学系１４をこの順に有する。また、ロッドライクインテグレーター１３は光拡散角変換素子１を備えている。さらに、光拡散角変換素子１の出射側にフィールドレンズ２（例えば図２参照）を備えてもよい。
【００３１】
素子表示面１５Ａは、スクリーン面１７Ａと共役であり、また、ロッドライクインテグレーター１３の出射面とも共役である。そして、光拡散角変換素子１は、ロッドライクインテグレーター１３の出射面を起点とし、該起点から前記ビーム走査部１１Ａ側に、有限の距離Δａだけ離間している。スクリーン面１７Ａと共役である素子表示面１５Ａ、および素子表示面１５Ａと共役であるロッドライクインテグレーター１３の出射面は、ともにスクリーン面１７Ａと共役である。したがって、図４においても、ロッドライクインテグレーター１３の出射面から距離Δａ離間した位置に配置した光拡散角変換素子１により、スクリーン面１７Ａでのスペックルノイズは低減されることになる。ただし、スペックルノイズ低減の大きさを示すスペックルコントラストの値は、ビーム走査光が光拡散角変換素子１上を走査する時間の間で位相差光束群を発生させる位相差光束群発生エリアの面積で決まるので、第１〜第４の実施形態で異なるものとなる。
【００３２】
ただし、第４の実施形態では、ロッドライクインテグレーター１３の長さＬは、Ｌ＝Δａ≧Ｌ０とするのがよい。ここで、Ｌ０は、ロッドライクインテグレーター１３の出射面で照度分布が均一な光を得るために必要な有効最小長さである。
【００３３】
本発明によるスペックルノイズの低減作用を、第２の実施形態の場合を例にとり図５を参照して説明する。
【００３４】
図５のように、ロッドインテグレーター光学系２１の構成部材である光拡散角変換素子１（その出射面にフィールドレンズ２を有する）を、ロッドライクインテグレーター１３の出射面との共役関係を保ちながら、スクリーン面１７Ａと共役である素子表示面１５Ａからビーム走査部１１Ａ側に距離Δａだけ離間した状態とする。これにより、位相の異なる光束群（位相差光束群）φ１，φ２，φ３，φ４,φ５，‥‥が発生するエリア（位相差光束群発生エリア）の面積が、Δａ＝０の元々のインテグレーター光学系の集光点の面積より桁違いに大きくなっているので、素子表示面１５Ａ内の一点を通過する位相の異なる光束群（位相差光束群）φ１，φ２，φ３，φ４,φ５，‥‥の数も、桁違いに多くなる。
【００３５】
光拡散角変換素子１の位相差光束群発生エリアから発生し、素子表示面１５Ａの一点を通過した桁違いに多くの位相差光束群φ１，φ２，φ３，φ４,φ５，‥‥は、投射光学系１６によりスクリーン面１７Ａの一点に集光し、スクリーン面１７Ａの一点に集光した位相差光束群は、スクリーン面１７Ａの光拡散作用によりさらに桁違いに多くの位相差光束群を発生する。これらの位相差光束群は、ビーム走査光が光拡散角変換素子１上を走査する時間が互いに異なり、これらの干渉により発生するスペックルパターンの輝点は互いに無相関であるので、目の網膜上で重なり合い平滑化される。また、図５で示すように、光拡散角変換素子１の出射面にフィールドレンズ２を設置することで、光拡散角変換素子１の周辺部で位相差光束群発生エリアは増加する。
【００３６】
ここで、Δａを、１/２Δａ（＝Δa/２の意。以下同じ）、Δａ、および３Δａとした場合、位相差光束群発生エリアがどのように変化するかを示した断面図が図６，７，８である。すなわち、図７のΔａを基準とし、図７においてΔａに代えて１/２Δａ、３Δａとして作図した図を、それぞれ図６、図８とした。これらの図から、位相差光束群発生エリアの大きさを示す断面の長さを相対値で表し、表１に示す。
【００３７】
【表１】
2020030309.tif 000003
【００３８】
これらから解るように、光拡散角変換素子１の中心部では、素子表示面１５Ａの一点を通過する位相差光束群の拡散角は一定であるので、この拡散角の角度を２θ（＝２×θ）、位相差光束群発生エリアの半径をｒ、面積をＳpとすると、
Ｓp＝π・ｒ２＝π・（Δａ・tanθ）２
ｒ＝Δa・tanθ    ‥‥（tanθ一定）
ｒ∝Δa
となり、ｒはΔａに比例するので、表１の位相差光束群発生エリアの長さも、ほぼΔaに比例している。
【００３９】
次に、本発明の第５の実施形態（後述する）の基礎とした、フライアイインテグレーター光学系に関する知見について、図１３を参照し、説明する。入射側のフライアイレンズ１８に着目すると、図１３のように、フライアイレンズ１８の各マイクロレンズ２３の上端を通過した光束ａ１〜ａ４は素子表示面１５Ａの下端にすべて集光し、各マイクロレンズ２３の下端を通過した光束ｂ１〜ｂ４は素子表示面１５Ａの上端にすべて集光し、各マイクロレンズ２３の中心を通過した光束ｃ１〜ｃ４は素子表示面１５Ａの中心にすべて集光する。したがって、各マイクロレンズ２３の入射面２３Ａは、素子表示面１５Ａと共役になっている。そこで、各マイクロレンズ２３の入射面２３Ａからレーザー光源１１から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部１１Ａ側へ距離Δａ（Δａ＞０）だけ離間した位置に光拡散角変換素子を配置することで、第３の実施形態（図３参照）のようにスペックルノイズ低減効果が得られると予想される。ここで、光拡散角変換素子１は各マイクロレンズ２３の入射面２３Ａごとに分けた複数枚を配置する必要はなく、各入射面２３Ａと１対１で対面する部分を有する１枚の光拡散角変換素子１を配置すればよい。
【００４０】
次に、本発明の第５の実施形態について説明する。ここでは、第５の実施形態の例を示す図１４、および引用する第１の実施形態の例を示す図１を参照する。
【００４１】
第５の実施形態（図１４）では、第１の実施形態（図１）において、ロッドインテグレーター光学系２１（図１）に代えて、フライアイインテグレーター光学系２２（図１４）としている。フライアイインテグレーター光学系２２（図１４）は、入射側から順に、光拡散角変換素子１、２枚のフライアイレンズ１８，１９、および照明光学系１４を有する。
【００４２】
また、第１の実施形態（図１）では、照明光学系１４の集光面１４Ａの位置に光拡散角変換素子１を置いたのに対し、第５の実施形態（図１４）では、照明光学系１４の集光面１４Ａの位置に素子表示面１５Ａを置いた。
【００４３】
また、第１の実施形態（図１）では、光拡散角変換素子１までの距離Δａの起点を、素子表示面１５Ａとしたのに対し、第５の実施形態（図１４）では、図１３で示した知見に基づき、光拡散角変換素子１までの距離Δａの起点を、入射側のフライアイレンズ１８の入射面（各マイクロレンズ２３の入射面２３Ａである。）とした。ただし、光拡散角変換素子１は、レーザー光源１１から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部１１Ａの出射側に位置する必要があるので、前記距離Δａは、入射面２３Ａからビーム走査部１１Ａ（の出射面）までの距離よりも小でなければならない。
【００４４】
これによれば、ビーム走査部１１Ａから出射したレーザー光束が光拡散角変換素子１を走査する時間の間に、光拡散角変換素１の光拡散作用により、光拡散角変換素子１内の各位相差光束群発生エリア（＝ＰＶＧエリア）から位相差光束群が発生する。この発生した位相差光束群は、フライアイレンズ１８，１９および照明光学系１４の屈折作用により照明光学系１４の集光面１４Ａ内のいずれかの一点（例えば中心、上端、下端など）に集光する。したがって、第５の実施形態では、集光面１４Ａ内のいずれかの一点（例えば中心、上端、下端など）に集光する位相差光束群が発生するＰＶＧエリアは、各マイクロレンズ２３の入射面２３Ａに対応する光拡散角変換素子１内の各位相差光束群発生エリアの和となる。この第５の実施形態を、素子表示面１５Ａから入射側に距離Δａ離間した位置に光拡散角変換素子１を置いた第３の実施形態（図３参照）と比べると、第５の実施形態のトータルのＰＶＧエリアは、Δａの値が同じ場合、第３の実施形態のそれの、ほぼマイクロレンズ２３の個数倍と、格段に大きくなり、そのため格段に大きいスペックルノイズ低減効果が得られる。この点は第１，２，４の実施形態と比べても同様である。また、このことから、第５の実施形態では、第１〜４の実施形態の場合よりもΔａの好適範囲が拡大する。すなわち、第１〜４の実施形態ではΔａ≧２．０ｍｍでないとスペックルノイズ低減効果が不十分であったが、第５の実施形態では、Δａ≧０．１ｍｍで十分なスペックルノイズ低減効果が得られる。
【００４５】
第５の実施形態について、各マイクロレンズ２３の入射面２３Ａから距離Δａ離間した位置に光拡散角変換素子１を設置しないものと比較して、スペックルノイズ低減効果の違いについて説明したものを図１４Ａに示す。(ａ)Δａに拡散角変換素子１がない場合は、位相差光束群発生エリアは走査ビームが各マイクロレンズ２３の入射面２３Ａを横切る面積の和となるが小さな面積であり、集光面１４Ａの一点に集まる位相差光束群の数も少なくなるので、輝度密度の低いスペックルパターンが互いに干渉することなく走査時間の間発生することになる。そして、これらのスペックルパターンが、走査時間で目の網膜上で重ね合わされるので、完全には平滑化されない。一方、(ｂ)Δａに拡散角変換素子１がある場合は、位相差光束群発生エリアは各マイクロレンズ２３の入射面２３Ａに対応する光拡散角変換素子１内の各位相差光束群発生エリアの和となり、(ａ)の場合より格段に大きな面積であり、集光面１４Ａの一点に集まる位相差光束群の数も格段に大きくなるので、輝度密度の高いスペックルパターンがお互い干渉することなく走査時間の間発生することになる。そして、これらのスペックルパターンが、走査時間で目の網膜上で重ね合わされるので、スペックルノイズが低減される。
【００４６】
次に、第６、第７の実施形態について、図１４および図１５を参照し、説明する。図１４は第６、第７の実施形態の基礎とした第５の実施形態の１例であり、図１５の（ａ）〜（ｃ）は第６の、（ｄ）は第７の、各実施形態に用いるフライアイレンズの例である。
【００４７】
第６の実施形態は、第５の実施形態（図１４）において、２枚のフライアイレンズ１８，１９（図１４）に代えて、横長と縦長の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２５，２６（図１５（ａ），（ｂ））を前者の横長方向と後者の縦長方向とが直交となるように配置し密着し積層してなる、直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２７（図１５（ｃ））とした形態である。それに伴い、距離Δａの起点は、前記入射側のフライアイレンズ１８（図１４）の入射面に代えて、入射側の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２５（図１５（ｃ））の入射面とした。さらに、２枚の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２５，２６の各レンズの厚みは、レンズの焦点距離×レンズ媒体の屈折率、とした。すなわち、図１５（ａ），（ｂ）のように、レンズの焦点距離＝ｆ１、レンズ媒体の屈折率＝ｎ２/ｎ１として、レンズの厚み＝（ｎ２/ｎ１）ｆ１、とした。ここで、ｎ１は真空の屈折率＝１．０、ｎ２はレンズ媒体の屈折率である（以下同じ）。これにより、直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２７と、２枚のフライアイレンズ１８，１９（図１４）の組とで、光学特性が同等となる。この第６の実施形態は、装置のサイズ低減および組立て易さの点で、第５の実施形態に比べて有利である。
【００４８】
次に、第７の実施形態は、上述の第６の実施形態において、前記直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２７（図１５（ｃ））に代えて、１枚の両面マイクロレンズアレイ２８（図１５（ｄ））とした形態である。それに伴い、距離Δａの起点は、前記入射側の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２５（図１５（ｃ））の入射面に代えて、前記両面マイクロレンズアレイ２８（両面フライアイレンズともいう。図１５（ｄ））の入射面とした。さらに、前記両面マイクロレンズアレイ２８のレンズの厚みは、レンズの焦点距離×レンズ媒体の屈折率、とした。すなわち、図１５（ｄ）のように、レンズの焦点距離＝ｆ１、レンズ媒体の屈折率＝ｎ２/ｎ１として、レンズの厚み＝（ｎ２/ｎ１）ｆ１、とした。これにより、１枚の両面マイクロレンズアレイ２８と、直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２７とで、光学特性が同等となる。この第７の実施形態は、両面マイクロレンズアレイ２８の製造が現状では容易でないという難点が克服されれば、装置のサイズ低減および組立て易さが更に改善され、第６の実施形態よりも有利である。
【００４９】
次に、第８の実施形態について説明する。この第８の実施形態は、第５の実施形態（図１４参照）の投射型表示装置の構成部材のうち、レーザー光源１１、レーザー光源１１から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部１１Ａおよび、フライアイインテグレーター光学系２２をこの順に備えた面光源装置である。フライアイインテグレーター光学系２２は、光拡散角変換素子１と、２枚のフライアイレンズ１８，１９と、照明光学系１４とをこの順に有する。光拡散角変換素子１は入射側のフライアイレンズ１８の入射面からビーム走査部１１Ａ側に距離Δａだけ離間している。Δａは、第５の実施形態の場合と同様、Δａ≧０．１ｍｍであることが好ましい。第８の実施形態では、フライアイインテグレーター光学系２２の集光面、すなわち照明光学系１４の集光面１４Ａが、前記面光源装置の面光源である。これによれば、前記面光源の出射面（フライアイインテグレーター光学系２２の集光面）からは、レーザー光束が光拡散角変換素子１を走査する時間の間に、高密度の位相差光束群が出射されるので、この面光源で照射した被照射面の光拡散作用により、多くのスペックルパターンが発生し、輝点が重ね合わされて平滑化されることが確認された。さらに、この第８の実施形態にフライアイインテグレーター光学系２２を多段にすることで、更なる高密度の位相差光束群を出射できるようになる。
【００５０】
よって、第８の実施形態によれば、空間光変調素子１５のみならず、それ以外の、例えば、液晶用バックライトの光源として照明対象へ、照度分布が均一でかつ観察者にスペックルノイズを感じさせない照明光を供給することができる。
【００５１】
なお、第８の実施形態においては、光拡散角変換素子１の出射面にフィールドレンズ２（図３参照）を具備してもよく、また、２枚のフライアイレンズ１８，１９に代えて、直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２７（図１５（ｃ）参照）、または、両面マイクロレンズアレイ２８（図１５（ｄ）参照）としてもよい。
【実施例１】
【００５２】
第２の実施形態において、図６，７，８で示したΔａ（シフト距離ともいう。）と位相差光束発生エリアの関係から、Δａの増加により、位相差光束群発生エリア（＝ＰＶＧエリア）が拡大し、それによりスクリーン面１７Ａ上でスペックルノイズが低減すると推測されるが、この推測を検証するために、図６，７，８と同様な構成の実験装置を用意し、Δaを種々変えてスクリーン面１７Ａ上で発生するスペックルノイズの程度を示すスペックルコントラストを実際に測定し、Δａとの関係を調査した。その結果を図９に示す。
【００５３】
ここで、レーザー光源１１と、レーザー光源１１から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部１１Ａとしては、市販の３０ルーメンレーザープロジェクター（明るさの仕様が３０ルーメンであるレーザースキャンプロジェクター）とコリメートレンズを付加したものを用い、赤、緑、青の波長毎にスペックルノイズの程度を示すスペックルコントラストを測定した。スペックルコントラストの測定機器としては、国際標準規格（ＩＥＣ ６２９０６−５−２: ２０１６）に準拠した株式会社オキサイド製Ｍｏｄｅｌ：ＳＭ０１ＶＳ０９（登録商標）を用いた（以下同じ）。投射光学系１６のＦ値（Ｆナンバー）は、光拡散角変換素子１からの光を取り込めるように、レンズ口径を大きくしたＦナンバー＝１．１３とし、拡大倍率は１６倍とした。スクリーン１７は、拡散の大きい方がスペックルコントラストは小さくなるが、どのようなスクリーンでも対応できるように、ヘイズ率２８％と拡散の小さいアンチグレアフィルム（ＡＧフィルム）が表面となる５０型反射型・高ゲインスクリーンを用いた。光拡散角変換素子１としては、表面形状タイプで光拡散角が±２０°である拡散フィルム（厚み＝０．２５ｍｍ）を用いた。フィールドレンズ２としては、焦点距離ｆ＝７７ｍｍのフレネルレンズを用いた。また、比較として、光拡散角変換素子１を光軸と直交する方向に揺動させた場合のスペックルコントラストも測定した。測定位置は、スクリーン面１７Ａの中央付近で、空間光変調素子１５の中央部を通過した位相差光束群が集光する付近である。なお、空間光変調素子１５には、解像度チャートを充当し、測定の間はスクリーン面１７Ａに投射光学系１６のピントが合っていることを確認しながら行った（以下同じ）。
【００５４】
図９において、赤、緑、青で、Δａ＝０の場合スペックルコントラストの値が最も大きくなるのは、ＰＶＧエリアの面積が最小だからである。
【００５５】
また、赤、緑、青のスペックルコントラストの値は、Δａ＝０から数ｍｍ変化しただけで急激に減少していることがわかる。これが、ＰＶＧエリアにおいて位相差光束群が大量に発生した証拠であり、本発明の効果である。
【００５６】
さらに、赤、緑、青のスペックルコントラストは、Δａに反比例するように変化し、最終的には光拡散角変換素子１を光軸と直交する方向に揺動した場合のスペックルコントラストの値のレベルに収斂する。
【００５７】
スペックルコントラスト（記号をＳＣとする。）は、統計的に相関のないスペックルパターンをＮ枚重ねると、
ＳＣ＝１/√Ｎ
で表される。Ｎは、位相差光束群の数に比例するので、位相差光束群の発生するＰＶＧエリアの面積Ｓp（＝π・ｒ２∝π・Δａ２）に比例する。よって、
Ｎ∝π・Δａ２
ＳＣ＝１/√Ｎ∝１/Δａ
となり、図９に示されたように、スペックルコントラストは、Δａに反比例することが解った。
【００５８】
また、赤、緑、青のスペックルコントラストは、スペックルノイズを人間の目で判別できなくなる、０．０３以下の範囲まで低下したことを示している。
【実施例２】
【００５９】
実施例２として、上述の第６の実施形態（フライアイレンズには、直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２７を充当した。図１４、図１５参照）の投射型表示装置を実際に構築し、スペックルコントラストを測定した。この実施例２の装置の各部材の光学的条件は以下のとおりとした。
［1］  レーザー光源１１から出射されるレーザー光を走査するビーム走査部１１Ａには、ＳＯＮＹ:ＭＰ−ＣＬ１レーザースキャンプロジェクター（登録商標）にコリメートレンズを付加したものを充当した。なお、前記レーザースキャンプロジェクターは、赤、緑、青色のレーザーの合計の明るさの仕様が３０ルーメンである。
［2］  光拡散角変換素子１には、半値拡散角が±１５°であるガウス型拡散特性の表面形状拡散フィルム（厚み＝２５０μｍ）を充当した。
［3］  光拡散角変換素子１（の出射面）から直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２７の入射面までの距離Δａは、Δａ＝ｍ×ｆ１＝２ｍｍ（ｍ＝３．３,ｆ１＝０．６ｍｍ）とした。ここで、ｆ１は直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２７の各レンズの焦点距離、ｍは、光拡散角変換素子１の半値拡散角が±１５°の光をほぼ全てマイクロシリンドリカルレンズに取り込めるための係数である。
［4］  直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ２７においては、サイズ＝１０ｍｍ×１０ｍｍ、レンズピッチ＝０．３ｍｍ、レンズ数（Ｎ×Ｎ）＝３３×３３、各レンズの厚み＝(ｎ２/ｎ１)ｆ１＝０．９ｍｍ（ｎ２＝１．５、ｎ１＝１．０）、とした。
［5］  照明光学系１４は、入射側に１枚、出射側に１枚の計２枚のレンズで構成した。これらの各レンズは、焦点距離ｆ２＝２０ｍｍ、直径＝１６ｍｍとし、相互の主平面間距離＝ｆ２＝２０ｍｍとした。
［6］  投射光学系１６は、直径＝７５ｍｍ,焦点距離＝２００ｍｍのアクロマティックレンズを３枚組み合わせた複合レンズで構成し、合成焦点距離＝７９ｍｍ、拡大倍率＝１６倍とした。また、開口可変絞りを設置し、Ｆナンバーを１．１３から６まで変化させた。
［7］  スクリーン１７には、反射型フレネルレンズからなる基材の表面に、ガウス型拡散フィルムで半値拡散角が±３°のアンチグレアフィルム（ＡＧフィルム）を貼付して高ゲインスクリーン（ゲインＧ＝３６５）としたものを充当した。
【００６０】
上記の条件下での測定結果を、横軸に投射光学系１６のＦナンバー、縦軸にスッペクルコントラストをとってプロットし、図１６に示す。なお、図中の「緑」、「赤」、「青」は、それぞれ緑、赤、青色のレーザー光である。
【００６１】
横軸にＦナンバーをとった理由は、投射光学系１６のＦナンバーが大きくなると、レーザー光（の位相差光束群）が開口可変絞りの周辺部で蹴られることにより、スペックルノイズ低減効果が減少してゆくと予測したからである。また、スペックルコントラストの測定では、スクリーンとして、一般的には、完全拡散のホワイトマットスクリーンが選択されるが、ここでは拡散の小さい高ゲインスクリーンを選択し、スペックルノイズの低減効果を確認した。
【００６２】
図１６の測定結果より、一般的な投射光学系のＦナンバー＝３において、スペックルコントラストは０．０２５以下である。よってスペックルノイズが気にならないレベルまで十分に低減できることが確認できた。
【００６３】
また、光拡散角変換素子１を光軸と直交する方向に揺動させることで、スペックルノイズを更に低減可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１  光拡散角変換素子
２  フィールドレンズ
１１  レーザー光源
１１Ａ  ビーム走査部
１２  集光レンズ
１３  ロッドライクインテグレーター
１４  照明光学系
１４Ａ  照明光学系の集光面
１５  空間光変調素子
１５Ａ  素子表示面（空間光変調素子内の表示面）
１６  投射光学系
１７  スクリーン
１７Ａ  スクリーン面
１８，１９  フライアイレンズ
２０  光均一化手段
２１  ロッドインテグレーター光学系
２２  フライアイインテグレーター光学系
２３  マイクロレンズ
２３Ａ  マイクロレンズの入射面
２５  両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ（横長）
２６  両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ（縦長）
２７  直交配置の両面マイクロシリンドリカルレンズアレイ
２８  両面マイクロレンズアレイ（両面フライアイレンズ）
【図１】
2020030309.tif 000004
【図２】
2020030309.tif 000005
【図３】
2020030309.tif 000006
【図４】
2020030309.tif 000007
【図５】
2020030309.tif 000008
【図６】
2020030309.tif 000009
【図７】
2020030309.tif 000010
【図８】
2020030309.tif 000011
【図９】
2020030309.tif 000012
【図１０】
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【図１１】
2020030309.tif 000014
【図１２】
2020030309.tif 000015
【図１２Ａ】
2020030309.tif 000016
【図１３】
2020030309.tif 000017
【図１４】
2020030309.tif 000018
【図１４Ａ】
2020030309.tif 000019
【図１５】
2020030309.tif 000020
【図１６】
2020030309.tif 000021