(57)【要約】【課題】複数のチューブが互いに結合してなる多連チューブにおいて、個々のチューブの被覆に破損が発生する前の兆候を検知することによって破損を防ぐことができる検出部を備えた駆動装置を提供する。【解決手段】本発明に係る駆動装置１０は、チューブが複数互いに結合してなる多連チューブ１０１を介して可動部を駆動する駆動装置１０であって、可動部の駆動の際に多連チューブ１０１が連動することによって、多連チューブ１０１の結合部において少なくとも一部が分離したことを検知する検知部３０１を備えていることを特徴とする。【選択図】  図３
2020095222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チューブが複数互いに結合してなる多連チューブを介して可動部を駆動する駆動装置であって、
前記可動部の駆動の際に前記多連チューブが連動することによって、前記多連チューブの結合部において少なくとも一部が分離したことを検知する検知部を備えていることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記検知部は、前記多連チューブに非接触の態様で前記多連チューブの少なくとも一部が分離したことを検知することを特徴とする、請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記検知部は光センサ手段を含み、該光センサ手段の光軸は前記多連チューブが連動する方向に交差し、かつ前記多連チューブには交差しないように配向されていることを特徴とする、請求項２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記検知部は光センサ手段を含み、該光センサ手段の光軸は前記多連チューブが連動する方向に交差し、かつ前記多連チューブに交差するように配向されていることを特徴とする、請求項２に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記多連チューブを支承して前記多連チューブの連動を案内する案内部材を備え、前記検知部は該案内部材に配置された加速度センサを含むことを特徴とする、請求項２に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記加速度センサは、前記案内部材の振動の周波数の変化に基づいて前記多連チューブの少なくとも一部が分離したか否かを検知することを特徴とする、請求項５に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記検知部は、前記多連チューブに接触する態様で前記多連チューブの少なくとも一部が分離したことを検知することを特徴とする、請求項１に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記検知部は、マイクロスイッチを含み、前記多連チューブの少なくとも一部が分離した際に、前記多連チューブの分離した一部と接触するように該マイクロスイッチが配置されていることを特徴とする、請求項７に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記検知部は、前記多連チューブの外表面に巻き付けられている信号線と該信号線の両端部が接続されている検出器とを含み、該検出器は、前記多連チューブの少なくとも一部が分離して前記信号線の一部が切断されることに伴った通電異常を検出することを特徴とする、請求項７に記載の駆動装置。
【請求項１０】
前記多連チューブは、接着、融着、パッキング又は一体成型によってチューブが複数互いに結合してなる多連チューブであることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の駆動装置。
【請求項１１】
基板上の露光領域に対して露光を行う露光装置であって、
前記基板が載置される基板ステージと、
前記基板ステージの可動部を駆動する請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の駆動装置と、
を備える露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置に関しており、特に、互いに結合された複数のチューブを介して露光装置内の可動部を駆動する駆動装置に好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、露光装置等の製造装置の生産性を向上させるために、製造装置に組み込まれる駆動装置による製造装置の可動部の駆動の高速化がなされている。
駆動装置は、可動部を駆動するために必要な電力や流体を複数のチューブを介して供給している。
また、高度な製造装置ではチューブの系統数は多大であり、また製造装置の省スペース化及び長寿命化を実現するために、複数のチューブは、互いに結合された多連チューブとなっている。
【０００３】
このような多連チューブが駆動装置による可動部の駆動に伴って連動すると、多連チューブに応力が印加される。そして印加される応力に伴って、多連チューブ内の結合部が破断し、チューブが多連チューブから剥離し分離してしまう。
そして、この分離したチューブが製造装置内の装置部分に接触することによって、摩耗及び破損してしまい、チューブ内の流体が外部に漏出したり、チューブ内の電線が断線したりすることによって、製造装置の動作に不具合が生じてしまう。
このような不具合を復旧する時間は長く、生産性にも大きな影響を与えるため、多連チューブを効率的にメンテナンスできることが求められている。
【０００４】
特許文献１は、単一のホースにおいて内部の移送物による被覆破損に伴う外部漏出を防止するために、ホースの多重被覆層の中に補強ワイヤを巻き付けておき、補強ワイヤの破断を電気的に検知して被覆破損を検出する補強ワイヤ破断検出装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２６４５９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示されている検出装置では、単一のチューブの被覆に直接的な破損が発生して初めて検出できるため、検知から外部連通までの時間が短く、流体漏れや電線の断線の発生頻度が高まってしまう。
また、検知から外部連通までの時間を長くするためにチューブの肉厚を増加させると、上記のような複数のチューブが互いに結合してなる多連チューブにおいては大型化及び高コスト化が発生する。
【０００７】
そこで本発明は、複数のチューブが互いに結合してなる多連チューブにおいて、個々のチューブの被覆に破損が発生する前の兆候を検知することによって破損を防ぐことができる検出部を備えた駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る駆動装置は、チューブが複数互いに結合してなる多連チューブを介して可動部を駆動する駆動装置であって、可動部の駆動の際に多連チューブが連動することによって、多連チューブの結合部において少なくとも一部が分離したことを検知する検知部を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、複数のチューブが互いに結合してなる多連チューブにおいて、個々のチューブの被覆に破損が発生する前の兆候を検知することによって破損を防ぐことができる検出部を備えた駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第一実施形態に係る駆動装置が設けられる露光装置の構成を示す概略図。
【図２】第一実施形態に係る駆動装置が設けられる露光装置の基板ステージの上面図及び基板ステージが備える可動部の側面図。
【図３】第一実施形態に係る駆動装置の模式的正面図及び側面図。
【図４】第二実施形態に係る駆動装置におけるセンサの別の配置構成を示した図。
【図５】第二実施形態に係る駆動装置の模式的上面図。
【図６】第三実施形態に係る駆動装置の模式的上面図。
【図７】第四実施形態に係る駆動装置の模式的上面図。
【図８】第五実施形態に係る駆動装置の模式的上面図。
【図９】ダミーチューブを設けた場合の駆動装置の模式的上面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本実施形態に係る駆動装置を添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に示す図面は、本実施形態を容易に理解できるようにするために、実際とは異なる縮尺で描かれている場合がある。
【００１２】
［第一実施形態］
図１は、第一実施形態に係る駆動装置１０が設けられる露光装置１００の構成を示す概略図である。
【００１３】
露光装置１００は、光源１、マスクステージ２１、投影光学系６及び基板ステージ２２を備えている。
【００１４】
光源１は、例えば紫外線ランプなどが用いられ、基板３を露光するための光（露光光）を射出する。
マスクステージ２１は、マスク２の位置決めを行うため、マスク２を保持して移動可能に構成されている。マスク２には、半導体回路パターン等のパターンが形成されており、光源１が射出する露光光によって照明される。
投影光学系６は、所定の倍率を有しており、マスク２に形成されたパターンを基板３に投影する。
基板ステージ２２は、フォトレジスト（感光剤）が塗布された基板３の位置決めを行うため、基板３を保持して移動可能に構成されている。
【００１５】
このように構成された露光装置１００では、投影光学系６によってマスク２のパターンが基板３上の露光領域に投影され、基板３上の露光領域に塗布されているレジスト（感光材）に潜像パターンが形成される。潜像パターンは、不図示の現像装置によって現像され、これによりレジストパターンが基板３上に形成される。
【００１６】
図２（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ、本実施形態に係る駆動装置１０が設けられる露光装置１００の基板ステージ２２の上面図及び基板ステージ２２が備える可動部１０３の側面図を示している。
【００１７】
図２（ａ）及び（ｂ）に示されているように、可動部１０３は、基板ステージ２２上においてＸ方向及びＹ方向に駆動され、可動部１０３上に載置されている基板３の位置決めをＸＹ面内において行うことができる。
【００１８】
可動部１０３には、チューブが複数互いに結合してなる多連チューブ１０１の一方の端部が接続されている。そして、多連チューブ１０１を介して、基板３を浮上させるための圧力が調整された流体の供給や基板３を吸着するための減圧、基板３の温度を調整するための冷却水等の熱流体の供給が行われる。また、チューブ内に電線ケーブルを通して、可動部１０３への電力の供給、可動部１０３への信号の送信等も行われる。また、電線ケーブルを通すチューブには、導体を絶縁するためのケーブル被覆が含まれる。すなわち、多連チューブ１０１には、流体を供給するためのチューブや電線ケーブルを通すためのチューブが含まれる。
また、多連チューブ１０１の他方の端部は、マニホールドやステーション等の固定部１０２に接続されており、固定部１０２と多連チューブ１０１と以下に示す検知部とで駆動装置１０が構成される。
【００１９】
図２（ａ）及び（ｂ）に示されているように、多連チューブ１０１では、Ｘ方向に延在している個々のチューブがＹ方向に並べて結合（接合又は連結）されている。
多連チューブ１０１における複数のチューブの結合は、例えば接着、融着、パッキング（束線バンドを含む）、一体成型等で行われる。
【００２０】
多連チューブ１０１は、図２（ａ）及び（ｂ）に示されているような可動部１０３の駆動に連動して、不図示のチューブガイド（案内部材）に沿ってＸ方向に往復動作する。
そのような往復動作の際に多連チューブ１０１に印加される応力に伴って、多連チューブ１０１内の結合部（接合部又は連結部）が破断し、多連チューブ１０１の少なくとも一部が剥離し分離してしまう。
そして、少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が多連チューブ１０１から分離してしまうと、その分離した部分が露光装置１００内の装置部分に接触することによって、摩耗及び破損してしまう。
それにより、チューブ内の流体が外部に漏出したり、チューブ内の電線ケーブルが断線したりしてしまい、露光装置１００の動作に不具合が生じてしまう。
【００２１】
そこで、本実施形態に係る駆動装置１０が設けられる露光装置１００では、以下のような構成を設けることによって、多連チューブ１０１における少なくとも一本のチューブの少なくとも一部の分離を検知する。それにより、分離したチューブの摩耗及び破損を未然に防止して、露光装置１００の動作を向上させている。
【００２２】
図３（ａ）及び（ｂ）は、本実施形態に係る駆動装置１０の模式的正面図及び側面図を示している。
【００２３】
図３（ａ）及び（ｂ）に示されているように、本実施形態に係る駆動装置１０では、多連チューブ１０１の両側に一つずつセンサ３０１（検知部、光センサ手段）が設けられている。
センサ３０１は、例えば光源部と受光部とからなる光学式センサであり、光源部から出射した光が受光部で受光される。そして、光源部から受光部への光路をセンサ３０１の光軸とする。
【００２４】
具体的には、両側のセンサ３０１の光源部は、多連チューブ１０１の延在方向（Ｘ方向、第１の方向）に垂直な高さ方向（Ｚ方向、第２の方向）の上端部よりも上側に設けられている。そして、両側のセンサ３０１の受光部は、多連チューブ１０１の高さ方向の下端部よりも下側に設けられている。
そして、Ｚ方向に光が進行するようにセンサ３０１が多連チューブ１０１の幅方向（Ｙ方向、第３の方向）の両端部の外側に一つずつ設けられており、両側のセンサ３０１は、互いにＸ方向において同じ位置に配置されている。
換言すると、センサ３０１の光軸は多連チューブ１０１が連動する方向に交差し、かつ多連チューブ１０１には交差しないように配向されている。
【００２５】
このようなセンサ３０１に対して、多連チューブ１０１内の結合部が破断し、少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が多連チューブ１０１から分離すると、分離した部分が光源部から出射した光の進行を妨害し、受光部で受光される光量が減少する。
その光量の減少を検知することによって、本実施形態に係る駆動装置１０は、多連チューブ１０１からのチューブの分離を検知することができる。
【００２６】
このように、本実施形態に係る駆動装置１０では、センサ３０１がチューブの進入を検知することによって、多連チューブ１０１から少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が分離したことを非接触の態様で検出することができる。そして、分離した部分における流体漏れや断線が発生する前に、多連チューブ１０１のメンテナンスを行うことができる。
なお、両側のセンサ３０１は、互いにＸ方向において異なる位置に配置しても構わない。
【００２７】
また、センサ３０１は、上記のような配置に限らず、図４に示されているように、多連チューブ１０１の延在方向に平行なＸ方向に光が進行するように、両側に一つずつ配置しても構わない。
また、光源部から出射した光がＸＺ面内においてＸ方向及びＺ方向に非平行な方向に進行して受光部で受光される、対角配置にしても構わない。
また、センサ３０１は、上記のように両側に一つずつ設ける構成に限らず、合わせて三つ以上設けても構わない。
【００２８】
［第二実施形態］
図５は、第二実施形態に係る駆動装置２０の模式的上面図を示している。
なお、第二実施形態に係る駆動装置２０は、検知部を除いて、第一実施形態に係る駆動装置１０と同一の構成であるため、同一の部材には同一の符番を付して説明を行い、重複する部分は説明を省略する。
【００２９】
図５に示されているように、本実施形態に係る駆動装置２０では、高さ方向（Ｚ方向）において多連チューブ１０１を挟むようにセンサ４０１（検知部、光センサ手段）が設けられている。
センサ４０１は、例えば、多連チューブ１０１の幅方向（Ｙ方向）に沿った幅より大きい長さを有してそれぞれ幅方向に延在する光源部と受光部とからなる光学式センサであり、光源部から出射した光が受光部で受光されている。そして、光源部から受光部への光路をセンサ４０１の光軸とし、センサ４０１の光軸は多連チューブ１０１が連動するＸ方向に交差し、かつ多連チューブ１０１に交差するように配向されている。
【００３０】
図５に示されているように、多連チューブ１０１の結合部が破断していない通常の状態において、多連チューブ１０１の幅に対応するセンサ４０１の受光領域４５１では、多連チューブ１０１によって光源部から出射した光は遮断されるため受光部で受光されない。
一方で、多連チューブ１０１の幅方向両端部の外側に対応するセンサ４０１の受光領域４５２では、多連チューブ１０１によって光源部から出射した光は遮断されないため、受光部で受光される。
【００３１】
しかしながら、多連チューブ１０１内の結合部が破断し、少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が多連チューブ１０１から分離すると、センサ４０１の受光領域４５１において、光源部から出射した光が遮断されずに受光部で受光される領域ができる。
すなわち、多連チューブ１０１が通常の状態であるときは受光されなかった受光領域４５１の一部において新たな受光が検出される。それにより、本実施形態に係る駆動装置２０は、多連チューブ１０１からのチューブの分離を検知することができる。
【００３２】
このように、本実施形態に係る駆動装置２０では、多連チューブ１０１から少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が分離することによって、その分離した一部によって妨害されていたセンサ４０１の光源部から出射した光の進行が解消される。
そして、センサ４０１の受光部において新たな受光領域が検知されることによって、多連チューブ１０１から少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が分離したことを非接触の態様で検出することができる。
そして、分離した部分における流体漏れや断線が発生する前に、多連チューブ１０１のメンテナンスを行うことができる。
【００３３】
また、本実施形態に係る駆動装置２０では、一つのセンサ４０１を設けているが、これに限らず、センサ４０１を多連チューブ１０１の延在方向（Ｘ方向）において複数配置しても構わない。
【００３４】
［第三実施形態］
図６は、第三実施形態に係る駆動装置３０の模式的上面図を示している。
なお、第三実施形態に係る駆動装置３０は、検知部を除いて、第一実施形態に係る駆動装置１０と同一の構成であるため、同一の部材には同一の符番を付して説明を行い、重複する部分は説明を省略する。
【００３５】
図６に示されているように、本実施形態に係る駆動装置３０では、多連チューブ１０１の幅方向（Ｙ方向）の一方の端部近傍に、複数のマイクロスイッチ５０１（検知部）が設けられている。
多連チューブ１０１内の結合部が破断し、少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が多連チューブ１０１から分離すると、図６に示されているように、分離した部分がマイクロスイッチ５０１に接触する。
【００３６】
このように、本実施形態に係る駆動装置３０では、多連チューブ１０１から少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が分離したことをマイクロスイッチ５０１による接触から検出することができる。そして、分離した部分における流体漏れや断線が発生する前に、多連チューブ１０１のメンテナンスを行うことができる。
【００３７】
なお、上記に限らず、複数のマイクロスイッチ５０１を多連チューブ１０１の幅方向（Ｙ方向）の両端部近傍にそれぞれ設けても構わない。また、それに限らず、複数のマイクロスイッチ５０１を、分離した部分が接触する可能性のある露光装置の装置部分それぞれに設けても構わない。
【００３８】
［第四実施形態］
図７は、第四実施形態に係る駆動装置４０の模式的上面図を示している。
なお、第四実施形態に係る駆動装置４０は、検知部を除いて、第一実施形態に係る駆動装置１０と同一の構成であるため、同一の部材には同一の符番を付して説明を行い、重複する部分は説明を省略する。
【００３９】
図７に示されているように、多連チューブ１０１の高さ方向（Ｚ方向）の両端部それぞれの外側に、多連チューブ１０１を支承し、可動部１０３の駆動に伴って連動する多連チューブ１０１のＸ方向における往復動作を案内するチューブガイド６０２が設けられている。
具体的には、チューブガイド６０２（案内部材）は、多連チューブ１０１の延在方向（Ｘ方向）の長さより大きい長さ、及び多連チューブ１０１の幅方向（Ｙ方向）の幅より大きい幅を有するようなＸＹ面内において所定の面積を有する板状部材である。チューブガイド６０２は、カーボン樹脂等で作製されており、固定部１０２にネジ等で固定されている。
【００４０】
そして、チューブガイド６０２が多連チューブ１０１の高さ方向（Ｚ方向）の上端部及び下端部それぞれの外側に一枚ずつ設けられている。
また、図７に示されているように、チューブガイド６０２の表面上には加速度センサ６０１が設けられている。
なお、チューブガイド６０２は、金属板で作製されていてもよく、多連チューブ１０１の高さ方向（Ｚ方向）の上端部及び下端部のいずれか一方の外側に設けられている構成にしても構わない。
【００４１】
多連チューブ１０１の結合部が破断していない通常の状態では、加速度センサ６０１が多連チューブ１０１の往復動作に伴ったチューブガイド６０２の所定の振動周波数を検知する。
そして、多連チューブ１０１内の結合部が破断し、少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が多連チューブ１０１から分離すると、多連チューブ１０１において結合されているチューブの部分が減少する。それに伴い、加速度センサ６０１が検知するチューブガイド６０２の振動周波数が変化する。
本実施形態に係る駆動装置４０では、加速度センサ６０１が検知するチューブガイド６０２の振動周波数の値に閾値を設けることによって、多連チューブ１０１からのチューブの分離を検出している。
【００４２】
このように、本実施形態に係る駆動装置４０では、検知部を構成する加速度センサ６０１及びチューブガイド６０２を用いて、多連チューブ１０１から少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が分離したことを振動周波数の変化から検出することができる。そして、分離した部分における流体漏れや断線が発生する前に、多連チューブ１０１のメンテナンスを行うことができる。
【００４３】
なお、加速度センサ６０１は、チューブガイド６０２に限らず、多連チューブ１０１が往復動作した際に発生する振動が伝播する箇所ならチューブガイド６０２以外に配置しても構わない。
また、複数の加速度センサ６０１をチューブガイド６０２等の多連チューブ１０１が往復動作した際に発生する振動が伝播する箇所に設けても構わない。
また、検知部は、振動の周波数に限らず、振動の振幅のピーク値の変化に閾値を設けて、多連チューブ１０１から少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が分離したことを検出しても構わない。
【００４４】
［第五実施形態］
図８は、第五実施形態に係る駆動装置５０の模式的上面図を示している。
なお、第五実施形態に係る駆動装置５０は、検知部を除いて、第一実施形態に係る駆動装置１０と同一の構成であるため、同一の部材には同一の符番を付して説明を行い、重複する部分は説明を省略する。
【００４５】
図８に示されているように、本実施形態に係る駆動装置５０では、多連チューブ１０１の外表面に信号線７０１が巻き付けられている。そして、信号線７０１の両端部が分離検出器７０２（検出器）に接続されることによって回路が形成されている。
【００４６】
多連チューブ１０１の結合部が破断していない通常の状態では、分離検出器７０２は、信号線７０１の通電を検知する。
そして、多連チューブ１０１内の結合部が破断し、少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が多連チューブ１０１から分離すると、信号線７０１の一部が切断され、分離検出器７０２が通電異常を検知する。
【００４７】
このように、本実施形態に係る駆動装置５０では、検知部を構成する信号線７０１及び分離検出器７０２を用いて、多連チューブ１０１から少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が分離したことを分離検出器７０２が通電異常から検出することができる。そして、分離した部分における流体漏れや断線が発生する前に、多連チューブ１０１のメンテナンスを行うことができる。
【００４８】
以上、好ましい実施形態について説明したが、これらに限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【００４９】
なお、上記の実施形態に係る駆動装置において、多連チューブ１０１にダミーチューブを設けることによって、装置の信頼性を向上させることも可能である。
【００５０】
図９は、ダミーチューブを設けた場合の駆動装置６０の模式的上面図を示している。
図９に示されているように、多連チューブ１０１に結合部を介してダミーチューブ８０１が設けられており、ダミーチューブ８０１内には流体が供給されている。また、ダミーチューブ８０１と不図示の流体供給源との間には圧力センサ８０２が設けられている。
【００５１】
多連チューブ１０１の結合部が破断していない通常の状態では、圧力センサ８０２は、ダミーチューブ８０１内に供給されている流体による所定の圧力を検出する。
そして、多連チューブ１０１内の結合部が破断し、ダミーチューブ８０１の少なくとも一部が多連チューブ１０１から分離した場合、分離したダミーチューブ８０１が露光装置内の干渉部分８０３に接触することによって、摩耗及び破損してしまう。そして、ダミーチューブ８０１内の流体が外部に漏出することによって、圧力センサ８０２が検出する圧力が変化する。
この圧力センサ８０２が検出する圧力値に閾値を設けることによって、多連チューブ１０１からのダミーチューブ８０１の分離を検出することができる。
【００５２】
このように、圧力センサ８０２が検出する圧力変化から多連チューブ１０１からダミーチューブ８０１が分離したことを検出することができる。それにより、駆動装置６０で使用しているチューブの多連チューブ１０１からの分離、及びその分離した部分における流体漏れや断線が発生する前に、多連チューブ１０１のメンテナンスを行うことができる。
【００５３】
なお、ダミーチューブ８０１は、数や外径については特に制限は無く、また多連チューブ１０１におけるチューブの配列方向（Ｙ方向）の端部に設けることが好ましい。
また、ダミーチューブ８０１内に供給する流体の種類についても特に制限は無い。
また、圧力センサ８０２の代わりに、ダミーチューブ８０１に供給されている流体の流量を検出する流量センサや温度を検出する温度センサを用いても構わない。
また、圧力センサ８０２を複数の多連チューブ１０１それぞれに設けられた複数のダミーチューブ８０１が合流する経路上に配置し、圧力変化を検知することによって、少なくとも一本のダミーチューブ８０１における破損の発生を検出することもできる。
【００５４】
また、上記の実施形態では基板ステージの可動部に接続された多連チューブを用いて説明したが、それに限らず、マスクステージ、基板搬送ステージ、マスク搬送ステージやマスキングブレードに接続されている多連チューブにも同様に適用することができる。
また、上記の実施形態の他に、監視カメラ等の画像センサから得られた画像を用いることによって、多連チューブから少なくとも一本のチューブの少なくとも一部が分離したことを検出する方法を考えることもできる。
【符号の説明】
【００５５】
１０、２０、３０、４０、５０  駆動装置
１０１  多連チューブ
１０３  可動部
３０１  センサ（検知部）
４０１  センサ（検知部）
５０１  マイクロスイッチ（検知部）
６０１  加速度センサ（検知部）
６０２  チューブガイド（検知部）
７０１  信号線（検知部）
７０２  分離検出器（検知部）
【図１】
2020095222.tif 000003
【図２】
2020095222.tif 000004
【図３】
2020095222.tif 000005
【図４】
2020095222.tif 000006
【図５】
2020095222.tif 000007
【図６】
2020095222.tif 000008
【図７】
2020095222.tif 000009
【図８】
2020095222.tif 000010
【図９】
2020095222.tif 000011