(57)【要約】【課題】適宜の軌道に沿った払拭動作が必要となる被洗浄面を適切に洗浄することができる洗浄装置及び検出装置を提供する。【解決手段】洗浄装置１１は、第１駆動機構２３と、洗浄ヘッド２５と、リンク部材２６と、第１支持部材２７と、第２支持部材２８と、第４支持部材３０と、を備える。第１駆動機構２３は、第１支持アーム４６ａを駆動する。第１支持部材２７は、リンク部材２６と洗浄ヘッド２５とを相対回転可能に接続する。第２支持部材２８は、リンク部材２６と第１支持アーム４６ａとを相対回転可能に接続する。第４支持部材３０は、リンク部材２６を回転可能に支持する。第１支持部材２７、第２支持部材２８、及び第４支持部材３０のうち少なくとも何れか２つは、リンク部材２６の延びる方向においてリンク部材２６に対して相対移動可能である。【選択図】図１
2020066384.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄対象物の被洗浄面上を前記被洗浄面に沿って移動することによって前記被洗浄面を拭く拭部材と、
可動部を有するとともに、前記可動部を直線的に駆動する少なくとも１つの駆動装置と、
前記拭部材と前記可動部との間に配置されるリンク部材と、
前記リンク部材と前記拭部材とを相対回転可能に接続する第１支持部と、
前記リンク部材と前記可動部とを相対回転可能に接続する第２支持部と、
前記リンク部材を回転可能に支持する第３支持部と、
を備え、
前記第１支持部、前記第２支持部、及び前記第３支持部のうち少なくとも何れか２つは、前記リンク部材の延びる方向において前記リンク部材に対して相対移動可能である、
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記第１支持部は、前記リンク部材の延びる方向の端部に固定されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記リンク部材は、前記リンク部材の延びる方向に沿って設けられるガイド部を備え、
前記ガイド部は、前記リンク部材の延びる方向において、前記第１支持部、前記第２支持部、及び前記第３支持部のうち少なくとも何れか２つの前記リンク部材に対する相対的なスライド移動をガイドする、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記拭部材と一体的に設けられるとともに、前記被洗浄面に洗浄液を供給する洗浄液供給部を備え、
前記駆動装置は、
前記洗浄液を受け入れ可能なシリンダーと、
前記シリンダーの内部に前記洗浄液を流入させる送液ポンプと、
前記シリンダーの内部と前記洗浄液供給部とを接続して、前記シリンダーの内部から前記洗浄液供給部へと前記洗浄液を流通させる洗浄液流通部と、
を備え、
前記駆動装置の前記可動部は、
前記シリンダーの内部に配置されるとともに、前記シリンダーの内部に流入する前記洗浄液の液圧によって前記シリンダーの延びる方向に直線的に駆動されるピストンを備える、
ことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記駆動装置は、
前記シリンダーの外部から前記ピストンに前記洗浄液の液圧に抗う弾性力を作用させる弾性部材と、
前記シリンダーの外部において前記弾性部材を収容する収容部と、
を備える、
ことを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。
【請求項６】
第２の可動部を有するとともに、前記第２の可動部を直線的に駆動する少なくとも１つの第２の駆動装置を備え、
前記第２の駆動装置は、前記駆動装置と同期的に前記可動部の駆動方向の反対方向に前記第２の可動部を駆動し、
前記第３支持部は、前記リンク部材と前記第２の可動部とを相対回転可能に接続する、
ことを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記拭部材と一体的に設けられるとともに、前記被洗浄面に洗浄液を供給する第１洗浄液供給部及び第２洗浄液供給部と、
前記洗浄液を前記駆動装置から前記第１洗浄液供給部に流通させる第１流通部と、
前記洗浄液を前記第２の駆動装置から前記第２洗浄液供給部に流通させる第２流通部と、
を備え、
前記駆動装置及び前記第２の駆動装置は、前記洗浄液の液圧によって作動する圧力装置である、
ことを特徴とする請求項６に記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記拭部材と一体的に設けられるとともに、前記被洗浄面に洗浄液を供給する第１洗浄液供給部及び第２洗浄液供給部と、
前記洗浄液を貯留するタンクと、
前記洗浄液を前記タンクから排出する送液ポンプと、
前記送液ポンプによって前記タンクから排出される前記洗浄液を、前記駆動装置及び前記第２の駆動装置を迂回して前記第１洗浄液供給部に流通させる第１流通部と、
前記送液ポンプによって前記タンクから排出される前記洗浄液を、前記駆動装置を介して前記第２洗浄液供給部に流通させる第２流通部と、
前記送液ポンプによって前記タンクから排出される前記洗浄液を、前記第２の駆動装置を介して前記タンクに流通させる第３流通部と、
を備え、
前記駆動装置及び前記第２の駆動装置は、前記洗浄液の液圧によって作動する圧力装置である、
ことを特徴とする請求項６に記載の洗浄装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８の何れか１項に記載の洗浄装置と、
前記被洗浄面と、
を備える、
ことを特徴とする検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置及び検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カメラを収める筐体を拭くブレードを有するワイパーと、ワイパーを支持する１対のアームと、１対のアームの各基端を回動軸の軸周りに回動させる駆動機構とを備える雨滴除去装置が知られている（例えば、特許文献１（第９図及び第１０図）参照）。
このような雨滴除去装置では、ブレードは１対のアームの回動によって円弧状の軌道を往復移動しながら筐体表面の雨滴を払拭する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１５／１１５１２９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、例えば平面状の表面などの被洗浄面においてブレードの直線的な軌道による払拭動作が必要となる場合がある。しかしながら、上記したような雨滴除去装置は、１対のアームを筐体に固定された回動軸の軸周りに回動させるだけであり、ブレードの移動は円弧状の軌道に規制される。このため、所定の湾曲した筐体表面を拭くように設定されたブレードは、直線的な払拭動作が必要となる被洗浄面をむらなく拭くことができないおそれがある。
【０００５】
そこで、本発明は、適宜の軌道に沿った払拭動作が必要となる被洗浄面を適切に洗浄することができる洗浄装置を提供すること、また、上記洗浄装置を備え、検出性能に優れた検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
すなわち、本発明の洗浄装置は、洗浄対象物の被洗浄面上を前記被洗浄面に沿って移動することによって前記被洗浄面を拭く拭部材と、可動部を有するとともに、前記可動部を直線的に駆動する少なくとも１つの駆動装置と、前記拭部材と前記可動部との間に配置されるリンク部材と、前記リンク部材と前記拭部材とを相対回転可能に接続する第１支持部と、前記リンク部材と前記可動部とを相対回転可能に接続する第２支持部と、前記リンク部材を回転可能に支持する第３支持部と、を備え、前記第１支持部、前記第２支持部、及び前記第３支持部のうち少なくとも何れか２つは、前記リンク部材の延びる方向において前記リンク部材に対して相対移動可能である。
【０００７】
このような構成によれば、駆動装置による可動部の直線的な駆動は、リンク部材と、第１支持部、第２支持部、及び第３支持部とを介して、被洗浄面に沿った適宜の軌道における拭部材の移動に変換される。これにより、拭部材を、例えば平面的な被洗浄面に対する直線的な軌道などのように、被洗浄面の形状に応じた適切な軌道によって駆動することができ、拭部材の払拭動作によって被洗浄面を適切に洗浄することができる。
また、リンク部材は、可動部の直線的な駆動に応じて、所定の回転中心に対して回転する。所定の回転中心は、リンク部材の延びる方向における両端部の間の所定位置である。したがって、回転中心と拭部材との間の距離が、回転中心と可動部との間の距離よりも長く設定されることによって、拭部材の移動距離を可動部の移動距離よりも長くすることができる。これにより、拭部材の所望の移動距離を確保するために必要となる駆動装置を小型化することができ、洗浄装置をコンパクトに構成することができる。
【０００８】
また、本発明の洗浄装置では、前記第１支持部は、前記リンク部材の延びる方向の端部に固定されていることが好ましい。
【０００９】
このような構成によれば、リンク部材の延びる方向において、リンク部材の端部と第１支持部との間の距離は一定に維持され、リンク部材の回転に伴ってリンク部材の端部が第１支持部から離れるように変位することは防止される。これにより、リンク部材が被洗浄面側で第１支持部よりも突出することを防ぎ、被洗浄面側の意匠性が低下することを抑制することができる。
【００１０】
また、本発明の洗浄装置では、前記リンク部材は、前記リンク部材の延びる方向に沿って設けられるガイド部を備え、前記ガイド部は、前記リンク部材の延びる方向において、前記第１支持部、前記第２支持部、及び前記第３支持部のうち少なくとも何れか２つの前記リンク部材に対する相対的なスライド移動をガイドすることが好ましい。
【００１１】
このような構成によれば、ガイド部は、第１支持部、第２支持部、及び第３支持部のうち少なくとも何れか２つを、リンク部材に対してスムースに相対移動させることができる。
【００１２】
また、本発明の洗浄装置は、前記拭部材と一体的に設けられるとともに、前記被洗浄面に洗浄液を供給する洗浄液供給部を備え、前記駆動装置は、前記洗浄液を受け入れ可能なシリンダーと、前記シリンダーの内部に前記洗浄液を流入させる送液ポンプと、前記シリンダーの内部と前記洗浄液供給部とを接続して、前記シリンダーの内部から前記洗浄液供給部へと前記洗浄液を流通させる洗浄液流通部と、を備え、前記駆動装置の前記可動部は、前記シリンダーの内部に配置されるとともに、前記シリンダーの内部に流入する前記洗浄液の液圧によって前記シリンダーの延びる方向に直線的に駆動されるピストンを備えることが好ましい。
【００１３】
このような構成によれば、洗浄液は、駆動装置のピストンを介して拭部材を駆動するとともに被洗浄面を洗浄する。これにより、例えば拭部材の駆動又は被洗浄面に対する洗浄液の供給のみが行われる場合に比べて、被洗浄面の洗浄性を向上させることができる。
【００１４】
また、本発明の洗浄装置では、前記駆動装置は、前記シリンダーの外部から前記ピストンに前記洗浄液の液圧に抗う弾性力を作用させる弾性部材と、前記シリンダーの外部において前記弾性部材を収容する収容部と、を備えることが好ましい。
【００１５】
このような構成によれば、弾性部材は、ピストンに洗浄液の液圧に抗う弾性力を作用させることによって、シリンダーの内部の洗浄液を、洗浄液流通部を介して洗浄液供給部へと流通させる。弾性部材は収容部に収容されていることによって、弾性力の作用方向を適正に規制することができるとともに、弾性部材の飛散等が生じることを防止することができる。また、収容部はシリンダーの外部に配置されていることによって、弾性部材の交換等のメンテナンス性を向上させることができる。
【００１６】
また、本発明の洗浄装置は、第２の可動部を有するとともに、前記第２の可動部を直線的に駆動する少なくとも１つの第２の駆動装置を備え、前記第２の駆動装置は、前記駆動装置と同期的に前記可動部の駆動方向の反対方向に前記第２の可動部を駆動し、前記第３支持部は、前記リンク部材と前記第２の可動部とを相対回転可能に接続することが好ましい。
【００１７】
このような構成によれば、駆動装置及び第２の駆動装置によってリンク部材を駆動することによって、例えば駆動装置のみによってリンク部材を駆動する場合に比べて、駆動力及び駆動速度を増大させることができる。また、例えば駆動装置及び第２の駆動装置の何れか一方の異常時であっても、何れか他方によってリンク部材の駆動を維持することができる。
【００１８】
また、本発明の洗浄装置は、前記拭部材と一体的に設けられるとともに、前記被洗浄面に洗浄液を供給する第１洗浄液供給部及び第２洗浄液供給部と、前記洗浄液を前記駆動装置から前記第１洗浄液供給部に流通させる第１流通部と、前記洗浄液を前記第２の駆動装置から前記第２洗浄液供給部に流通させる第２流通部と、を備え、前記駆動装置及び前記第２の駆動装置は、前記洗浄液の液圧によって作動する圧力装置であることが好ましい。
【００１９】
このような構成によれば、洗浄液は、拭部材を駆動するとともに被洗浄面を洗浄する。これにより、例えば拭部材の駆動又は被洗浄面に対する洗浄液の供給のみが行われる場合に比べて、被洗浄面の洗浄性を向上させることができる。
また、洗浄液は、第１洗浄液供給部及び第２洗浄液供給部から被洗浄面に供給される。これにより、例えば第１洗浄液供給部又は第２洗浄液供給部から洗浄液が供給される場合に比べて、被洗浄面のより広範な領域に亘って洗浄性を向上させることができる。
【００２０】
また、本発明の洗浄装置は、前記拭部材と一体的に設けられるとともに、前記被洗浄面に洗浄液を供給する第１洗浄液供給部及び第２洗浄液供給部と、前記洗浄液を貯留するタンクと、前記洗浄液を前記タンクから排出する送液ポンプと、前記送液ポンプによって前記タンクから排出される前記洗浄液を、前記駆動装置及び前記第２の駆動装置を迂回して前記第１洗浄液供給部に流通させる第１流通部と、前記送液ポンプによって前記タンクから排出される前記洗浄液を、前記駆動装置を介して前記第２洗浄液供給部に流通させる第２流通部と、前記送液ポンプによって前記タンクから排出される前記洗浄液を、前記第２の駆動装置を介して前記タンクに流通させる第３流通部と、を備え、前記駆動装置及び前記第２の駆動装置は、前記洗浄液の液圧によって作動する圧力装置であることが好ましい。
【００２１】
このような構成によれば、第１流通部を流れる洗浄液は、拭部材を駆動せずに被洗浄面に供給される。これにより、拭部材の過剰な駆動を防ぎながら、被洗浄面を洗浄することができる。
また、第２流通部を流れる洗浄液は、拭部材を駆動するとともに被洗浄面を洗浄する。これにより、例えば拭部材の駆動又は被洗浄面に対する洗浄液の供給のみが行われる場合に比べて、被洗浄面の洗浄性を向上させることができる。
また、第３流通部を流れる洗浄液は、拭部材を駆動してタンクに戻される。これにより、タンクに貯留される洗浄液の減少を抑制し、拭部材を効率よく駆動することができる。
【００２２】
また、本発明の検出装置は、上記の洗浄装置と、前記被洗浄面と、を備える。
このような構成によれば、検出装置の検出面を被洗浄面とすることによって、検出効率の低下を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、拭部材を被洗浄面の形状に応じた軌道によって駆動し、被洗浄面を適切に洗浄することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施形態に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す検出装置正面側の斜め方向から見た斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る洗浄装置の第１駆動機構の構成を示すＹ−Ｚ平面による断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る洗浄装置の第１駆動機構の構成を示すＸ−Ｚ平面による断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す検出装置正面側から見た図である。
【図６】本発明の実施形態に係る洗浄装置を検出装置背面側の斜め方向から見た斜視図である。
【図７】本発明の実施形態に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッドの第１位置の状態を示す図である。
【図８】本発明の実施形態に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッドの第２位置の状態を示す図である。
【図９】本発明の実施形態に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッドの第３位置の状態を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッドの第１位置及び第３位置の状態を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態の第１変形例に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッドの第１位置の状態を示す図である。
【図１２】本発明の実施形態の第１変形例に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッドの第１位置及び第３位置の状態を示す図である。
【図１３】本発明の実施形態の第２変形例に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す検出装置正面側の斜め方向から見た斜視図である。
【図１４】本発明の実施形態の第３変形例に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す検出装置正面側の斜め方向から見た斜視図である。
【図１５】本発明の実施形態の第４変形例に係る洗浄装置及び検出装置の構成を示す検出装置正面側から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の洗浄装置及び検出装置の一実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
【００２６】
図１は、本発明の実施形態に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す検出装置正面側の斜め方向から見た斜視図である。
【００２７】
図１及び図２に示すように、本実施形態の検出装置１０は、被洗浄面を洗浄する洗浄装置１１を備える。検出装置１０の被洗浄面は、例えば、検出装置１０の支持体１２の正面側に設けられる検出面１３である。
なお、以下において、３次元空間で互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の各軸方向は、各軸に平行な方向である。例えば、検出装置１０の左右方向は、Ｘ軸方向と平行である。Ｘ軸方向の正方向は、検出装置１０の右側から左側に向かう方向（図５における左側から右側に向かう方向）である。検出装置１０の前後方向は、Ｙ軸方向と平行である。Ｙ軸方向の正方向は、検出装置１０の後部から前部に向かう方向である。例えば、Ｙ軸方向の正方向は、検出面１３の法線方向と平行である。検出装置１０の上下方向は、Ｚ軸方向と平行である。Ｚ軸方向の正方向は、検出装置１０の下部から上部に向かう方向である。
【００２８】
例えば、支持体１２の外形は、矩形箱型に形成されている。例えば、検出面１３の外形は、円柱面の一部から成る曲面状に形成され、Ｚ軸方向において湾曲せず、Ｘ−Ｙ面内において湾曲している。
【００２９】
検出装置１０は、例えば、検出面１３を介して、検出装置１０の周辺に光（照射光）を放射するとともに、物体によって散乱された散乱光を受光することによって、物体までの距離を検出する測域センサなどである。測域センサは、例えば、ＬＩＤＡＲ（Light Detection and Ranging又はLaser Imaging Detection and Ranging）である。
例えば、検出装置１０は、車両の車体前面のフロントグリルなどに搭載される。検出装置１０は、検出装置１０の左右方向、前後方向、及び上下方向を、車両の左右方向、前後方向、及び上下方向と平行にして配置される。検出装置１０は、車両の外部に露出する検出面１３を透過する照射光及び散乱光によって、車両周辺の物体及び歩行者などを検出する。
【００３０】
洗浄装置１１は、例えば、タンク２１及び送液ポンプ２２と、第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４と、洗浄ヘッド２５と、リンク部材２６と、第１支持部材２７、第２支持部材２８、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０と、を備える。ここで、第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４は、請求項における駆動装置及び第２の駆動装置に相当する。第１支持部材２７は、請求項における第１支持部に相当する。第２支持部材２８及び第３支持部材２９は、請求項における第２支持部に相当する。第４支持部材３０は、請求項における第３支持部に相当する。
タンク２１は、洗浄液Ｗを貯留する。送液ポンプ２２は、タンク２１に接続される。送液ポンプ２２は、タンク２１内の洗浄液Ｗをタンク２１の外部に排出する。
【００３１】
第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４は、例えば、検出装置１０の左右方向における支持体１２の一方の側面に配置されている。支持体１２の一方の側面は、例えば、検出装置１０の左側の側面１２Ｌである。
第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４の各々は、例えば、同一の構成を備える。第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４は、相互にＺ軸方向に反転した状態でＹ軸方向に並んで配置されている。
【００３２】
図３は、本発明の実施形態に係る洗浄装置１１の第１駆動機構２３の構成を示すＹ−Ｚ平面による断面図である。図４は、本発明の実施形態に係る洗浄装置１１の第１駆動機構２３の構成を示すＸ−Ｚ平面による断面図である。
図３及び図４に示すように、第１駆動機構２３は、例えば、シリンダー３１と、ピストン３２と、弾性部材３３と、収容部３４と、を備える。
【００３３】
シリンダー３１は、軸方向（つまりシリンダー３１の延びる方向）がＺ軸方向と平行になるように配置されている。シリンダー３１は、送液ポンプ２２の供給口２２ａから送られる洗浄液Ｗを内部に流入させる洗浄液受入部４１を、軸方向の第１端部３１ａに備える。洗浄液受入部４１は、洗浄液Ｗが流通する供給管４２（図１、図２参照）によって、送液ポンプ２２の供給口２２ａと接続されている。
【００３４】
ピストン３２は、シリンダー３１の内部に挿入されている。ピストン３２は、中心軸がシリンダー３１の中心軸と同軸になるように配置されている。ピストン３２は、シリンダー３１の内部に流入する洗浄液Ｗの液圧及び弾性部材３３の弾性力によって軸方向（つまりＺ軸方向に）移動する。ピストン３２は、例えば、シリンダー３１の内部に配置される第１端部４３と、シリンダー３１の外部において収容部３４の内部に配置される第２端部４４と、シリンダー３１の軸方向の第２端部３１ｂを貫通して第１端部４３と第２端部４４とを接続する軸部材４５と、を備える。
【００３５】
第１端部４３には、シリンダー３１の内部における第１端部３１ａ側の内面３１Ａとの間の空間３１ｃに流入する洗浄液Ｗの液圧によって、シリンダー３１の軸方向における第２端部３１ｂ側に向かう駆動力が作用する。
第２端部４４は、弾性部材３３に接続されている。第２端部４４には、第１端部４３に作用する洗浄液Ｗの液圧に抗う弾性部材３３の弾性力によって、シリンダー３１の軸方向における第１端部３１ａ側に向かう駆動力が作用する。
【００３６】
第２端部４４は、例えば、Ｘ軸方向に収容部３４の外部に突出する支持アーム４６（第１支持アーム４６ａ）と、支持アーム４６に設けられる洗浄液排出部４７と、を備える。
支持アーム４６は、例えば、後述する第２支持部材２８が装着される軸部材４８（第１軸部材４８ａ）を備える。軸部材４８（第１軸部材４８ａ）は、例えば、Ｘ軸方向の正方向に延びるように設けられている。ここで、支持アーム４６及び軸部材４８は、請求項における可動部及び第２の可動部に相当する。また、洗浄液排出部４７は、後述の洗浄液流路４９、第１流通管５６、第２流通管５７と共に、請求項における洗浄液流通部、第１流通部、第２流通部を構成する。
洗浄液排出部４７は、第１端部４３、第２端部４４、軸部材４５、及び支持アーム４６の内部に形成された洗浄液流路４９によって、シリンダー３１の内部の空間３１ｃと通じている。洗浄液排出部４７は、シリンダー３１の内部の空間３１ｃに流入した洗浄液Ｗを、洗浄液流路４９を介して外部に排出する。
【００３７】
弾性部材３３は、例えば、外形が円筒状に形成されたコイルばねなどである。なお、弾性部材３３は、例えば、トーションばねなどの他のばね部材であってもよい。
弾性部材３３は、収容部３４の内部において、中心軸がピストン３２の中心軸と同軸になるように配置されている。つまり、弾性部材３３は、ピストン３２の軸方向に弾性力を作用させるように配置されている。
弾性部材３３の軸方向の第１端部は収容部３４に固定され、弾性部材３３の軸方向の第２端部はピストン３２の第２端部４４に固定されている。
【００３８】
弾性部材３３は、例えば、シリンダー３１の内部に洗浄液Ｗが流入していない状態、つまりピストン３２の第１端部４３がシリンダー３１の内部における第１端部３１ａ側の内面３１Ａと接している状態において、自然状態となる。
弾性部材３３は、例えば、シリンダー３１の内部に洗浄液Ｗが流入して、洗浄液Ｗの液圧によってピストン３２の第１端部４３がシリンダー３１の軸方向における第２端部３１ｂ側に移動した状態において、圧縮状態となる。弾性部材３３は、圧縮状態において、洗浄液Ｗの液圧に抗う軸方向の弾性力をシリンダー３１の第２端部４４に作用させる。
【００３９】
収容部３４の外形は、例えば、Ｘ軸方向及びＺ軸方向の各々の一部が開口した矩形箱型に形成されている。収容部３４は、中心軸がシリンダー３１の中心軸と同軸になるように、シリンダー３１に対してＺ軸方向の正方向側に並んで配置されている。収容部３４の軸方向におけるＺ軸方向の正方向側の端部は、弾性部材３３の第１端部を固定している。
【００４０】
第２駆動機構２４は、例えば、第１駆動機構２３と同様に、シリンダー３１と、ピストン３２と、弾性部材３３と、収容部３４と、を備える。
図１及び図２に示すように、第２駆動機構２４は、例えば、Ｙ−Ｚ平面内において第１駆動機構２３をＺ軸方向に反転させたように構成されている。
なお、第２駆動機構２４のピストン３２における第２端部４４の支持アーム４６（第２支持アーム４６ｂ）は、例えば、後述する第３支持部材２９が装着される軸部材４８（第２軸部材４８ｂ）を備える。軸部材４８（第２軸部材４８ｂ）は、例えば、Ｘ軸方向の正方向に延びるように設けられている。
【００４１】
図５は、本発明の実施形態に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す検出装置正面側から見た図である。図６は、本発明の実施形態に係る洗浄装置１１を検出装置背面側の斜め方向から見た斜視図である。
図５及び図６に示すように、洗浄ヘッド２５は、例えば、ガイド部材５１と、アーム部５２と、ヘッド本体５３と、を備える。ここで、洗浄ヘッド２５は、請求項における拭部材に相当する。
【００４２】
ガイド部材５１の外形は、例えば、Ｚ軸方向に延びる柱状に形成されている。ガイド部材５１は、支持体１２に固定されている。ガイド部材５１は、例えば、支持体１２の側面１２Ｌにおいて第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４に対してＹ軸方向に並んで配置されている。ガイド部材５１は、アーム部５２を介して、ヘッド本体５３のＺ軸方向における直線的な往復移動をガイドする。
【００４３】
アーム部５２は、Ｚ軸方向に移動可能にガイド部材５１に装着されている。具体的には、アーム部５２のＸ軸方向端部に、ガイド部材５１が貫通する孔が空いている。アーム部５２の外形は、例えば、ヘッド本体５３からＸ軸方向の正方向側に延びるとともに、Ｙ軸方向の負方向側に湾曲する板状に形成されている。
アーム部５２は、例えば、後述する第１支持部材２７が装着される軸部材５２ａを備える。軸部材５２ａは、例えば、Ｘ軸方向の正方向に延びるように設けられている。
アーム部５２は、例えば、第１洗浄液流入部５４及び第２洗浄液流入部５５を備える。
【００４４】
第１洗浄液流入部５４は、例えば、洗浄液Ｗが流通する第１流通管５６によって、第１駆動機構２３の洗浄液排出部４７（第１洗浄液排出部４７ａ）と接続されている。
第２洗浄液流入部５５は、例えば、洗浄液Ｗが流通する第２流通管５７によって、第２駆動機構２４の洗浄液排出部４７（第２洗浄液排出部４７ｂ）と接続されている（図１、図２参照）。
【００４５】
ヘッド本体５３は、例えば、ブレード６１と、ブレード固定部６２と、湾曲壁部６３と、複数の第１洗浄液供給部６４及び複数の第２洗浄液供給部６５と、を備える。
ブレード６１の外形は、例えば、Ｘ−Ｙ面内において検出面１３に沿って湾曲する板状に形成されている。ブレード６１は、例えば、ゴムなどの材料から形成されている。
ブレード６１は、例えば、Ｘ−Ｙ面内における検出面１３の全域に接触するように配置されている。ブレード６１は、ヘッド本体５３のＺ軸方向における直線的な移動によって検出面１３を拭き、検出面１３に存在する塵埃などの異物を払拭する。
【００４６】
ブレード固定部６２の外形は、例えば、Ｘ−Ｙ面内において検出面１３に沿って湾曲しながらＸ軸方向に延びる板状に形成されている。ブレード固定部６２は、検出面１３からＹ軸方向の正方向側に所定距離だけ離れて配置されている。
ブレード固定部６２は、例えば、ブレード６１を着脱可能に固定している。ブレード固定部６２は、ブレード６１を検出面１３に向かって突出させるとともに、ブレード６１の先端部を検出面１３に接触させている。
【００４７】
湾曲壁部６３の外形は、例えば、ブレード固定部６２からＺ軸方向の負方向側に延びるとともに、検出面１３に向かって近づくようにＹ軸方向の負方向側に湾曲する板状に形成されている。
【００４８】
複数の第１洗浄液供給部６４は、例えば、ブレード固定部６２におけるＹ軸方向の負方向側の表面においてブレード６１からＺ軸方向の負方向側にずれた位置に配置されている。複数の第１洗浄液供給部６４は、アーム部５２及びブレード固定部６２の内部に形成された第１流路６６によって第１洗浄液流入部５４と通じている。複数の第１洗浄液供給部６４は、第１洗浄液流入部５４から第１流路６６に流入する洗浄液Ｗを検出面１３に供給する。
【００４９】
ブレード６１、ブレード固定部６２、及び湾曲壁部６３は、複数の第１洗浄液供給部６４を囲むようにして、複数の第１洗浄液供給部６４から排出される洗浄液Ｗを一時的に貯留する凹部６７を形成する。複数の第１洗浄液供給部６４から排出される洗浄液Ｗは、凹部６７に一時的に貯留されながら検出面１３に供給される。
【００５０】
複数の第２洗浄液供給部６５は、例えば、湾曲壁部６３におけるＹ軸方向の正方向側の表面に設けられている。複数の第２洗浄液供給部６５は、アーム部５２、ブレード固定部６２、及び湾曲壁部６３の内部に形成された第２流路６８によって第２洗浄液流入部５５と通じている。複数の第２洗浄液供給部６５は、第２洗浄液流入部５５から第２流路６８に流入する洗浄液Ｗを検出面１３に供給する。
【００５１】
図１及び図２に示すように、リンク部材２６の外形は、例えば、中心軸に沿って延びる長孔が設けられた板状に形成されている。リンク部材２６は、第１駆動機構２３と洗浄ヘッド２５との間に配置されている。
リンク部材２６の軸方向の第１端部２６ａには、例えば、第１支持部材２７が装着される支持孔７１が形成されている。
リンク部材２６の軸方向の第２端部２６ｂには、例えば、第１端部２６ａに向かって軸方向に延びるガイド孔７２が形成されている。ガイド孔７２には、第２支持部材２８、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０が軸方向に移動可能に装着されている。例えば、ガイド孔７２を形成するガイド壁７２ａには、第２支持部材２８、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０の各々の一部が挿入される凹溝７２ｂが形成されている。つまり、第２支持部材２８、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０の各々は、ガイド壁７２ａによって支持されている。ここで、ガイド孔７２は、請求項におけるガイド部に相当する。
【００５２】
第１支持部材２７、第２支持部材２８、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０の各々は、例えば、ラジアルベアリングなどの転がり軸である。
第１支持部材２７は、リンク部材２６を、洗浄ヘッド２５のアーム部５２に設けられる軸部材５２ａに対して、相対回転可能に接続する。
第２支持部材２８は、リンク部材２６を、第１駆動機構２３のピストン３２における第２端部４４の支持アーム４６（第１支持アーム４６ａ）に設けられる軸部材４８（第１軸部材４８ａ）に対して、相対回転可能に接続する。
第３支持部材２９は、リンク部材２６を、第２駆動機構２４のピストン３２における第２端部４４の支持アーム４６（第２支持アーム４６ｂ）に設けられる軸部材４８（第２軸部材４８ｂ）に対して、相対回転可能に接続する。
【００５３】
第４支持部材３０は、リンク部材２６を、支持体１２に設けられる軸部材１２ａに対して、相対回転可能に接続する。軸部材１２ａは、例えば、支持体１２の左側の側面１２Ｌにおいて、Ｙ軸方向における第１駆動機構２３と第２駆動機構２４との間の中央部、並びに、Ｚ軸方向における第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４の中央部に配置されている。軸部材１２ａは、例えば、支持体１２からＸ軸方向の正方向に延びるように設けられている。
軸部材１２ａは、支持体１２に固定されているので、リンク部材２６は、軸部材１２ａを回転中心として回転する。
また、リンク部材２６の軸方向において、回転中心である軸部材１２ａと、第２支持部材２８との間の距離は、例えば、軸部材１２ａと第３支持部材２９との間の距離と同一である。軸部材１２ａと第１支持部材２７との間の距離は、軸部材１２ａと第２支持部材２８との間の距離よりも長くなっている。
【００５４】
本実施形態による洗浄装置１１は上記構成を備えており、次に、洗浄装置１１の動作について説明する。
図７は、本発明の実施形態に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッド２５の第１位置の状態を示す図である。図８は、本発明の実施形態に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッド２５の第２位置の状態を示す図である。図９は、本発明の実施形態に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッド２５の第３位置の状態を示す図である。図１０は、本発明の実施形態に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッド２５の第１位置及び第３位置の状態を示す図である。
【００５５】
第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４は、例えば、送液ポンプ２２によって同期的に駆動される。
図７に示すように、洗浄ヘッド２５の第１位置の状態は、例えば、洗浄ヘッド２５が検出面１３におけるＺ軸方向の正方向側の端部に向かい合う初期状態である。
この初期状態では、第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４の各々において、シリンダー３１の内部に洗浄液Ｗは流入しておらず、ピストン３２の第１端部４３はシリンダー３１の内部における第１端部３１ａ側の内面３１Ａと接し、弾性部材３３は自然状態である。
【００５６】
図７に示す初期状態において送液ポンプ２２が作動すると、タンク２１に貯留されている洗浄液Ｗは、送液ポンプ２２の供給口２２ａ、供給管４２、及び各駆動機構２３，２４の洗浄液受入部４１を介して、タンク２１からシリンダー３１の内部に流入する。
シリンダー３１の内部の空間３１ｃに流入した洗浄液Ｗの液圧は、ピストン３２の第１端部４３をシリンダー３１の軸方向における第２端部３１ｂ側に向かって移動させ、ピストン３２の第２端部４４を介して弾性部材３３を圧縮させる。
【００５７】
この時、シリンダー３１の内部に流入した洗浄液Ｗの一部は、ピストン３２の内部に設けられた洗浄液流路４９、洗浄液排出部４７、並びに第１流通管５６及び第２流通管５７を介して、洗浄ヘッド２５の第１洗浄液流入部５４及び第２洗浄液流入部５５へと流れる。そして、洗浄ヘッド２５の洗浄液Ｗは、洗浄ヘッド２５の内部に設けられた第１流路６６及び第２流路６８を介して、複数の第１洗浄液供給部６４及び複数の第２洗浄液供給部６５から検出面１３に供給される。
【００５８】
第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４の各々におけるピストン３２の移動に伴い、各支持アーム４６の軸部材４８に装着された第２支持部材２８及び第３支持部材２９は、Ｚ軸方向において互いに逆方向に移動する。
例えば、第１駆動機構２３の第１支持アーム４６ａの第１軸部材４８ａに装着された第２支持部材２８はＺ軸方向の正方向側に移動し、第２駆動機構２４の第２支持アーム４６ｂの第２軸部材４８ｂに装着された第３支持部材２９はＺ軸方向の負方向側に移動する。
【００５９】
Ｚ軸方向に移動する第２支持部材２８及び第３支持部材２９は、リンク部材２６を、第４支持部材３０が装着される支持体１２の軸部材１２ａの軸周りに回転させる。これに伴い、リンク部材２６の第１端部２６ａは、第１支持部材２７が装着される洗浄ヘッド２５の軸部材５２ａの軸周りに回転するとともに、洗浄ヘッド２５とともにガイド部材５１の軸方向に沿ってＺ軸方向の負方向側に直線的に移動する。さらに、リンク部材２６は、リンク部材２６の軸方向において、第２支持部材２８、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０に対して相対的にスライド移動する。これによりリンク部材２６の軸方向における第２端部２６ｂの第２支持部材２８からの突出量は変動する。
【００６０】
リンク部材２６の回転及びスライド移動に伴い、図７に示す洗浄ヘッド２５の第１位置の状態は、例えば、図８に示す洗浄ヘッド２５の第２位置の状態、さらに、図９に示す洗浄ヘッド２５の第３位置の状態に移行する。
図８に示すように、洗浄ヘッド２５の第２位置の状態は、例えば、洗浄ヘッド２５が検出面１３におけるＺ軸方向の中央部に向かい合う状態である。
図９に示すように、洗浄ヘッド２５の第３位置の状態は、例えば、洗浄ヘッド２５が検出面１３におけるＺ軸方向の負方向側の端部に向かい合う状態である。
【００６１】
図９に示す状態などのように、シリンダー３１の内部の空間３１ｃに洗浄液Ｗが存在する状態において、送液ポンプ２２による洗浄液Ｗの送液を停止すると、洗浄液Ｗの液圧に抗う弾性部材３３の弾性力によって、ピストン３２の第１端部４３はシリンダー３１の軸方向における第１端部３１ａ側に向かって移動する。
これに伴い、リンク部材２６の第１端部２６ａは、第１支持部材２７が装着される洗浄ヘッド２５の軸部材５２ａの軸周りに回転するとともに、洗浄ヘッド２５とともにガイド部材５１の軸方向に沿ってＺ軸方向の正方向側に直線的に移動する。
【００６２】
なお、図１０に示すように、洗浄ヘッド２５のＺ軸方向におけるストロークＬＳは、リンク部材２６の軸方向の長さに応じて、少なくとも第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４の各ピストン３２のＺ軸方向におけるストロークＬよりも大きくなる。
リンク部材２６は、ピストン３２の直線的な駆動に応じて、軸部材１２ａを回転中心として回転するので、リンク部材２６の軸方向において、例えば、軸部材１２ａと第１支持部材２７との間の距離が、軸部材１２ａと第２支持部材２８との間の距離の２倍であれば、洗浄ヘッド２５のストロークＬＳは、各ピストン３２のストロークＬの２倍となる。
【００６３】
なお、送液ポンプ２２は、例えば、適宜の制御装置によって駆動制御される。制御装置は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのプロセッサによって所定のプログラムが実行されることにより機能するソフトウェア機能部である。ソフトウェア機能部は、ＣＰＵなどのプロセッサ、プログラムを格納するＲＯＭ（Read Only Memory）、データを一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）、及びタイマーなどの電子回路を備えるＥＣＵ（Electronic Control Unit）である。また、制御装置の少なくとも一部は、ＬＳＩ（Large Scale Integration）などの集積回路であってもよい。
【００６４】
上述したように、本実施形態の洗浄装置１１によれば、第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４の各々によるピストン３２の直線的な駆動は、リンク部材２６と各支持部材２７，２８，２９，３０とを介して、ガイド部材５１の軸方向に沿った洗浄ヘッド２５の直線的な移動に変換される。これにより、洗浄ヘッド２５を、Ｚ軸方向において湾曲しない検出面１３の外形に応じた適切な軌道によって駆動することができ、洗浄ヘッド２５の払拭動作によって検出面１３を適切に洗浄することができる。
また、リンク部材２６は、ピストン３２の直線的な駆動に応じて、軸部材１２ａを回転中心として回転し、リンク部材２６の軸方向において、軸部材１２ａと第１支持部材２７との間の距離は、軸部材１２ａと第２支持部材２８との間の距離よりも長くなっている。これにより、洗浄ヘッド２５の所望の移動距離（例えば、Ｚ軸方向のストロークＬＳ）を確保するために必要となる各駆動機構２３，２４を小型化することができ、洗浄装置１１をコンパクトに構成することができる。
【００６５】
また、第１支持部材２７はリンク部材２６の第１端部２６ａに形成された支持孔７１に装着されていることによって、リンク部材２６の軸方向において、第１端部２６ａと第１支持部材２７との間の距離は一定に維持される。これにより、リンク部材２６の回転に伴って第１端部２６ａが第１支持部材２７から離れるように変位することは防止され、リンク部材２６が検出面１３側で第１支持部材２７よりも突出することを防ぎ、検出面１３側の意匠性が低下することを抑制することができる。
【００６６】
また、第２支持部材２８、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０は、リンク部材２６の軸方向に延びるガイド孔７２にスライド移動可能に装着されている。これにより、リンク部材２６は、軸方向における第２支持部材２８、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０のスムースなスライド移動を適切にガイドすることができる。
【００６７】
また、送液ポンプ２２によってタンク２１から各駆動機構２３，２４に供給された洗浄液Ｗは、各ピストン３２を介して洗浄ヘッド２５を駆動するとともに、検出面１３に供給される。これにより、例えば洗浄ヘッド２５の駆動又は検出面１３に対する洗浄液Ｗの供給のみが行われる場合に比べて、検出面１３の洗浄性を向上させることができる。
【００６８】
また、洗浄液Ｗは、洗浄ヘッド２５に設けられる複数の第１洗浄液供給部６４及び複数の第２洗浄液供給部６５から検出面１３に供給される。これにより、例えば複数の第１洗浄液供給部６４又は複数の第２洗浄液供給部６５から洗浄液Ｗが供給される場合に比べて、検出面１３のより広範な領域に亘って洗浄性を向上させることができる。
【００６９】
また、第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４によってリンク部材２６を駆動することによって、例えば１つの駆動機構のみによってリンク部材２６を駆動する場合に比べて、駆動力及び駆動速度を増大させることができる。また、例えば第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４の何れか一方の異常時であっても、何れか他方によってリンク部材２６の駆動を維持することができる。
【００７０】
また、各駆動機構２３，２４の弾性部材３３は、各シリンダー３１の外部の収容部３４から各ピストン３２に洗浄液Ｗの液圧に抗う弾性力を作用させることによって、各シリンダー３１の内部の洗浄液Ｗを洗浄ヘッド２５へと流通させる。これにより、弾性部材３３の弾性力の作用方向を収容部３４によって適正に規制することができるとともに、弾性部材３３の飛散等が生じることを防止することができる。また、弾性部材３３の交換等のメンテナンス性を向上させることができる。
【００７１】
また、本実施形態の検出装置１０によれば、上記の洗浄装置１１を備える。これにより、検出装置１０の検出面１３を適切に洗浄することができ、検出効率の低下を抑制することができる。
【００７２】
（変形例）
以下、実施形態の変形例について説明する。
上述した実施形態において、リンク部材２６の第１端部２６ａは、第１支持部材２７によって洗浄ヘッド２５に接続されるとしたが、これに限定されない。
例えば、リンク部材２６の第１端部２６ａは、第２支持部材２８によって第１駆動機構２３のピストン３２に接続されてもよい。
図１１は、本発明の実施形態の第１変形例に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッド２５の第１位置の状態を示す図である。図１２は、本発明の実施形態の第１変形例に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す検出装置側面側から見た図であって、洗浄ヘッド２５の第１位置及び第３位置の状態を示す図である。
【００７３】
図１１及び図１２に示すように、第１変形例に係るリンク部材２６において、第２支持部材２８は、第１端部２６ａの支持孔７１に装着され、第１支持部材２７、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０は、軸方向に移動可能にガイド孔７２に装着されている。
この第１変形例において、リンク部材２６の第１端部２６ａは、第２支持部材２８が装着される第１駆動機構２３の第１支持アーム４６ａにおける第１軸部材４８ａの軸周りに回転するとともに、第１支持アーム４６ａとともにシリンダー３１の軸方向に沿ってＺ軸方向に直線的に移動する。これに伴い、リンク部材２６は、第４支持部材３０が装着される支持体１２の軸部材１２ａの軸周りに回転する。リンク部材２６は、リンク部材２６の軸方向において、第１支持部材２７、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０に対して相対的にスライド移動しながら、第１支持部材２７を洗浄ヘッド２５とともにガイド部材５１の軸方向に沿ってＺ軸方向に直線的に移動させる。これによりリンク部材２６の軸方向における第２端部２６ｂの第１支持部材２７からの突出量は変動する。
【００７４】
なお、上述した実施形態において、第２駆動機構２４の洗浄液排出部４７（第２洗浄液排出部４７ｂ）と、洗浄ヘッド２５の第２洗浄液流入部５５とは、第２流通管５７によって接続されるとしたが、これに限定されない。
例えば、第２駆動機構２４の洗浄液排出部４７（第２洗浄液排出部４７ｂ）と、洗浄ヘッド２５の第２洗浄液流入部５５とは、他の部位に接続されてもよい。
図１３は、本発明の実施形態の第２変形例に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す検出装置正面側の斜め方向から見た斜視図である。
【００７５】
図１３に示すように、第２変形例に係る洗浄装置１１は、例えば、送液ポンプ２２の供給口２２ａに接続される切換弁８１を備える。
切換弁８１は、受入口８１ａと、第１供給口８１ｂ及び第２供給口８１ｃと、を備える。切換弁８１は、受入口８１ａから流入する洗浄液Ｗを、第１供給口８１ｂ又は第２供給口８１ｃに切り換えて流通させる。
【００７６】
切換弁８１の受入口８１ａは、洗浄液Ｗが流通する流通管８２によって送液ポンプ２２の供給口２２ａに接続されている。切換弁８１の第１供給口８１ｂは、２つの供給管４２によって第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４の各洗浄液受入部４１に接続されている。切換弁８１の第２供給口８１ｃは、洗浄液Ｗが流通する流通管８３によって洗浄ヘッド２５の第２洗浄液流入部５５に接続されている。
第２駆動機構２４の洗浄液排出部４７（第２洗浄液排出部４７ｂ）は、第２流通管５７によってタンク２１の受入口２１ａに接続されている。ここで、第２変形例に係る第２流通管５７は、請求項における第３流通部に相当する。
【００７７】
第２変形例において、洗浄装置１１は、切換弁８１の第１供給口８１ｂから洗浄液Ｗを排出する場合、第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４によって洗浄ヘッド２５をＺ軸方向に直線的に駆動するとともに、洗浄ヘッド２５の複数の第１洗浄液供給部６４から検出面１３に洗浄液Ｗを供給する。この場合、第２駆動機構２４の洗浄液排出部４７（第２洗浄液排出部４７ｂ）から排出される洗浄液Ｗは、タンク２１に戻される。
また、洗浄装置１１は、切換弁８１の第２供給口８１ｃから洗浄液Ｗを排出する場合、第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４による洗浄ヘッド２５の駆動を停止するとともに、洗浄ヘッド２５の複数の第２洗浄液供給部６５から検出面１３に洗浄液Ｗを供給する。
【００７８】
この第２変形例によれば、送液ポンプ２２によってタンク２１から第２駆動機構２４に供給された洗浄液Ｗは、ピストン３２を介して洗浄ヘッド２５を駆動した後にタンク２１に戻される。これにより、タンク２１に貯留される洗浄液Ｗの減少を抑制し、洗浄ヘッド２５を効率よく駆動することができる。
また、切換弁８１から第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４を迂回する流通管８３に流れる洗浄液Ｗは、洗浄ヘッド２５を駆動せずに検出面１３に供給される。これにより、ブレード６１の過剰な払拭動作を防ぎながら、検出面１３を洗浄することができる。
【００７９】
なお、上述した実施形態において、洗浄装置１１は、第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４を備えるとしたが、これに限定されない。
例えば、第１駆動機構２３又は第２駆動機構２４は省略されてもよい。
図１４は、本発明の実施形態の第３変形例に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す検出装置正面側の斜め方向から見た斜視図である。
【００８０】
図１４に示すように、第３変形例に係る洗浄装置１１においては、上述した実施形態の第２駆動機構２４が省略されている。第３変形例に係る洗浄装置１１は、例えば、送液ポンプ２２の供給口２２ａに接続される切換弁８１を備える。
切換弁８１は、受入口８１ａと、第１供給口８１ｂ及び第２供給口８１ｃと、を備える。切換弁８１は、受入口８１ａから流入する洗浄液Ｗを、第１供給口８１ｂ又は第２供給口８１ｃに切り換えて流通させる。
【００８１】
切換弁８１の受入口８１ａは、洗浄液Ｗが流通する流通管８２によって送液ポンプ２２の供給口２２ａに接続されている。切換弁８１の第１供給口８１ｂは、供給管４２によって第１駆動機構２３の洗浄液受入部４１に接続されている。切換弁８１の第２供給口８１ｃは、洗浄液Ｗが流通する流通管８３によって洗浄ヘッド２５の第２洗浄液流入部５５に接続されている。
【００８２】
第３変形例において、洗浄装置１１は、切換弁８１の第１供給口８１ｂから洗浄液Ｗを排出する場合、第１駆動機構２３によって洗浄ヘッド２５をＺ軸方向に直線的に駆動するとともに、洗浄ヘッド２５の複数の第１洗浄液供給部６４から検出面１３に洗浄液Ｗを供給する。
また、洗浄装置１１は、切換弁８１の第２供給口８１ｃから洗浄液Ｗを排出する場合、第１駆動機構２３による洗浄ヘッド２５の駆動を停止するとともに、洗浄ヘッド２５の複数の第２洗浄液供給部６５から検出面１３に洗浄液Ｗを供給する。
【００８３】
この第３変形例によれば、例えばＺ軸方向の正方向が鉛直方向の上方に設定されることによって、シリンダー３１内の洗浄液Ｗの液圧に抗う力として、ピストン３２及び弾性部材３３に作用する重力を、弾性部材３３の弾性力に加えることができる。
【００８４】
なお、上述した実施形態において、洗浄装置１１は、支持体１２の一方の側面に第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４を備えるとしたが、これに限定されない。
例えば、支持体１２の両方の側面に２つの第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４を備えてもよい。
図１５は、本発明の実施形態の第４変形例に係る洗浄装置１１及び検出装置１０の構成を示す検出装置正面側の斜め方向から見た斜視図である。
【００８５】
図１５に示すように、第４変形例に係る洗浄装置１１は、例えば、支持体１２の左側の側面１２Ｌに第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４を備えるとともに、支持体１２の右側の側面１２Ｒに第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４を備える。例えば、左側の側面１２Ｌの第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４と、右側の側面１２Ｒの第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４とは、検出装置１０の中心を含むＹ−Ｚ平面に対して面対称に配置されている。
【００８６】
第４変形例に係る洗浄装置１１は、右側の側面１２Ｒの第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４に対しては、左側の側面１２Ｌの第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４と同様に、リンク部材２６、第１支持部材２７、第２支持部材２８、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０と、洗浄ヘッド２５のヘッド本体５３に対してＸ軸方向の負方向側に設けられるガイド部材５１及びアーム部５２と、などを備える。
この第４変形例によれば、２つのリンク部材２６により洗浄ヘッド２５のＸ方向両端を支持することができる。よって、検出面１３の払拭抵抗が高い場合でも、洗浄ヘッド２５を安定して支持し、二組の第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４により強い力で駆動することができる。
【００８７】
なお、上述した実施形態において、洗浄装置１１は、第４支持部材３０を備えるとしたが、これに限定されず、第１駆動機構２３及び第２駆動機構２４が同期的に駆動される場合には、第４支持部材３０及び支持体１２の軸部材１２ａは省略されてもよい。
【００８８】
なお、上述した実施形態において、検出面１３の外形は、Ｚ軸方向において湾曲しない形状に形成されるとしたが、これに限定されず、検出面１３とブレード６１との接触が維持される場合には、検出面１３の外形は、Ｚ軸方向において湾曲する形状に形成されてもよい。例えば、ブレード６１が有する弾性、ブレード固定部６２においてブレード６１を検出面１３に沿って変位可能に保持する保持構造、又は検出面１３に沿って湾曲する形状に形成されるガイド部材５１などによって、検出面１３とブレード６１との接触が維持されてもよい。
【００８９】
なお、上述した実施形態において、リンク部材２６を支持する第１支持部材２７、第２支持部材２８、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０は、ラジアルベアリングなどの転がり軸であるとしたが、これに限定されない。
例えば、リンク部材２６に対する相対的な回転及びスライド移動の抵抗が無視できる場合などには、第１支持部材２７、第２支持部材２８、第３支持部材２９、及び第４支持部材３０の各々は、リンク部材２６に接続されるピン部材などの軸部材であってもよい。
【００９０】
本発明の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００９１】
１０…検出装置、１１…洗浄装置、１２…支持体、１２ａ…軸部材、１２Ｌ…側面、１２Ｒ…側面、１３…検出面、２１…タンク、２２…送液ポンプ、２３…第１駆動機構、２４…第２駆動機構、２５…洗浄ヘッド、２６…リンク部材、２６ａ…第１端部、２６ｂ…第２端部、２７…第１支持部材、２８…第２支持部材、２９…第３支持部材、３０…第４支持部材、３１…シリンダー、３２…ピストン、３３…弾性部材、３４…収容部、４１…洗浄液受入部、４２…供給管、４６ａ…第１支持アーム、４６ｂ…第２支持アーム、４８ａ…第１軸部材、４８ｂ…第２軸部材、５１…ガイド部材、５２…アーム部、５２ａ…軸部材、５３…ヘッド本体、５４…第１洗浄液流入部、５５…第２洗浄液流入部、５６…第１流通管、５７…第２流通管、６１…ブレード、６２…ブレード固定部、６３…湾曲壁部、６４…第１洗浄液供給部、６５…第２洗浄液供給部、７１…支持孔、７２…ガイド孔、７２ａ…ガイド壁、８１…切換弁、８２…流通管、８３…流通管、Ｗ…洗浄液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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