(57)【要約】      （修正有）【課題】配線コストが低減され、かつ／またはアイソレータの数に関して柔軟に拡張可能である防振システムを提供する。【解決手段】固定防振システムは、複数のアイソレータを含み、前記アイソレータを用いて、防振され支承された負荷が支持されている。この防振システムは、複数のアクチュエータを含み、該アクチュエータを用いて、振動が能動的に打ち消される。これらのアイソレータは、アクチュエータの駆動制御のためのデジタル／アナログ変換器を備えたそれぞれ１つの固有の制御ユニットを含んでいる。【選択図】図１
2020176722.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定防振システムであって、
前記固定防振システムは、複数のアイソレータを含み、前記アイソレータを用いて、防振され支承された負荷が支持されており、
前記固定防振システムは、複数のアクチュエータを含み、前記アクチュエータを用いて振動が能動的に打ち消される、固定防振システムにおいて、
前記アイソレータは、前記アクチュエータの駆動制御のためのデジタル／アナログ変換器を備えたそれぞれ１つの固有の制御ユニットを含んでいることを特徴とする、
固定防振システム。
【請求項２】
前記アイソレータの前記制御ユニットは、中央制御ユニットに接続されており、制御信号は、前記中央制御ユニットを介して前記アイソレータの前記制御ユニットに伝送される、
請求項１記載の固定防振システム。
【請求項３】
前記アイソレータの前記制御ユニットは、中央制御ユニットに依存することなく前記アクチュエータを駆動制御する、
請求項１記載の固定防振システム。
【請求項４】
前記アイソレータの前記制御ユニットは、バスシステムを介して相互に接続され、かつ／または、中央制御ユニットに接続され、かつ／または、中央構成および／または診断ユニットに接続されている、
請求項１から３までのいずれか１項記載の固定防振システム。
【請求項５】
前記アイソレータの前記制御ユニットは、前記バスシステムに直列に接続されている、
請求項４記載の固定防振システム。
【請求項６】
前記バスシステムは、リアルタイムイーサネット対応のバスシステムとして、特にＩＥＣ  ６１１５８−１：２０１４に準拠している、
請求項４または５記載の固定防振システム。
【請求項７】
前記アイソレータの前記制御ユニットは、それぞれ１つのアナログ／デジタル変換器を含み、センサ信号は、前記アナログ／デジタル変換器を用いて処理される、
請求項５または６記載の固定防振システム。
【請求項８】
前記アクチュエータおよび／またはセンサは、前記アイソレータに統合されている、
請求項１から７までのいずれか１項記載の固定防振システム。
【請求項９】
前記アクチュエータを介して、少なくとも２つの自由度、好適には少なくとも３つの自由度の補償力が生成され、特に、前記アクチュエータを介して、３つの並進自由度および／または３つの回転自由度の補償力が生成される、
請求項１から８までのいずれか１項記載の固定防振システム。
【請求項１０】
前記固定防振システムは、半導体構成素子および／またはナノ構造化素子を処理するための、特に加工もしくは測定するための、防振され支承された機械を含み、かつ／または、実験機器、医療機器、特に磁気共鳴トモグラフを含む、
請求項１から９までのいずれか１項記載の固定防振システム。
【請求項１１】
前記固定防振システムは、前記アイソレータの数が中央制御ユニットによって制限されないように構成されている、
請求項１から１０までのいずれか１項記載の固定防振システム。
【請求項１２】
前記アイソレータは、それぞれ１つの空気ばねを含み、前記空気ばねは、前記アイソレータの前記制御ユニットを介して能動的に駆動制御される、
請求項１から１１までのいずれか１項記載の固定防振システム。
【請求項１３】
請求項１から１２までのいずれか１項記載の固定防振システム用に形成されている、アイソレータ。
【請求項１４】
能動型固定防振システム、特に請求項１から１２までのいずれか１項記載の固定防振システムを制御するための方法であって、
複数のアイソレータを介して、防振され支承された負荷が支持され、複数のアクチュエータを介して、振動が能動的に打ち消される、方法において、
前記アクチュエータは、前記アイソレータのそれぞれ１つの固有の制御ユニットを介して駆動制御されることを特徴とする、
方法。
【請求項１５】
前記アイソレータを介して、センサ信号に基づき、外部の制御信号に依存することなく能動的な防振が提供される、
請求項１４記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定防振システムならびに該固定防振システムを制御するための方法および該固定防振システム用のアイソレータに関する。
【０００２】
特に本発明は、半導体構成素子および／またはナノ構造化素子、特にウェーハ、マスク、またはディスプレイ基板を処理するための機械、あるいは半導体構成素子および／またはナノ構造化された素子を測定するための機械、例えば電子ビーム顕微鏡が配置されている固定防振システムに関する。
【０００３】
さらに、実験機器および／または医療機器、例えば磁気共鳴トモグラフ（ＭＲＩ）などの画像化検査機器が、固定防振システム上に配置されていてもよい。
【背景技術】
【０００４】
固定防振システムは、特に半導体業界では、半導体構成素子を処理するための敏感な機器を防振して支承するために、例えばリソグラフィ機器や測定装置、例えば電子ビーム顕微鏡などの加工機械を支承するために使用される。
【０００５】
この種の防振システムは、通常、それぞれ１つのばねを含む少なくとも３つのアイソレータに防振され支承されたプレートからなる。
【０００６】
このプレート上には、半導体構成素子を処理するための機器が配置されており、そのため、これらの機器は振動から保護される。このプレートとその上に配置された機器とが一緒に防振され支承された負荷を形成する。
【０００７】
実際には、特に、アイソレータが、ばねの他にアクチュエータ、特に、振動を能動的に打ち消す磁気アクチュエータを含んだ能動型防振システムが公知である。
【０００８】
アイソレータのベース上に配置されてよいし防振され支承された負荷上に配置されてもよいセンサを介して振動が検出される。そのようにして、反力の生成により振動を補償するために、アクチュエータが、センサ信号に基づいて駆動制御される。
【０００９】
この種の能動的な制御を用いることにより、外部からシステムに伝わる振動も、防振され支承された負荷自体（例えば可動ステージまたは移動ロボット）によって生成される振動も打ち消すことができる。
【００１０】
欧州特許第２２９５８２９号（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｄｙｎａｍｉｃｓ  Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ）明細書は、複数の自由度の補償力を生成するためのアクチュエータが存在している防振システムを開示している。
【００１１】
この種の防振システムは、センサ信号の処理のために制御ユニット（多くの場合コントローラーとも称される）を含み、この制御ユニットはセンサ信号を検出し、これらのセンサ信号に基づいて制御信号を生成する。この制御信号を用いて、アクチュエータは、それによる補償力を生成すべく駆動制御される。
【００１２】
制御ユニットは、センサも防振システムのすべてのアイソレータのアクチュエータも、接続されている中央計算ユニットとして構成されている。
【００１３】
このことは、一方では、高い配線コストという結果をもたらす。特に、通常は、制御ユニットからセンサまでこの種の大電流が流れる線路を敷設する必要がある。なぜなら、反力を生成するアクチュエータはこれを介して駆動制御することができるからである。
【００１４】
さらに、最大限接続可能なアイソレータの数は、構造形式に起因して制御ユニットに依存している。
【００１５】
各制御ユニットは、最大数のアイソレータの接続のために設けられており、このことは、防振システムが、制御ユニットの交換なしで無制限に防振器を後付けすることができないことにつながる。
【００１６】
発明の課題
それに対して本発明は、従来技術の前述した欠点を低減するという課題を基礎としている。
【００１７】
ここでは、特に、配線コストが低減され、かつ／またはアイソレータの数に関して柔軟に拡張可能である防振システムが提供されるべきである。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明の課題は、独立請求項の１つによる固定防振システム、該固定防振システム用のアイソレータ、ならびに能動型固定防振システムを制御するための方法によって既に解決される。
【００１９】
本発明の好適な実施形態および発展形態は、従属請求項の対象、説明ならびに図面から見出すことができる。
【００２０】
本発明は、固定防振システムに関する。
【００２１】
この固定防振システムは、特に、半導体構成素子および／またはナノ構造化素子を処理するための、防振され支承された機械を含む。これらは、例えばリソグラフィ機器、光学ウェーハ検査機器、例えば電子ビーム顕微鏡などの測定装置であり得る。さらに、実験機器、医療機器、特に例えば磁気共鳴トモグラフなどの画像化医療機器が、防振されて防振システム上に支承されていてもよい。
【００２２】
防振システムは、複数のアイソレータを含み、これらのアイソレータを用いて、防振され支承された負荷が支持されている。
【００２３】
特に、この防振システムは、少なくとも３つのアイソレータを含み、これらのアイソレータ上に防振され支承されたプレートが支承されている。このプレートは、その上に配置された機具と一緒に防振され支承された負荷を形成する。
【００２４】
これらのアイソレータは、好適には、垂直方向にも水平方向にも作用可能である。これらのアイソレータは、ばね、特に空気ばねを含むことができる。センサ、ばね、およびアクチュエータは、この種のアイソレータの統合された構成部品であってもよいし、別個のユニットとして構成されてもよい。後者の場合、別個の、特に空間的に隣接するセンサ、ばね、およびアクチュエータのユニットが、一緒に１つの論理ユニットを形成する。この論理ユニットは、受動的なばねとして作用可能なだけでなく、能動的に振動を打ち消す能動型防振器の機能を有している。
【００２５】
本発明による防振システムは、複数のアクチュエータを含み、該アクチュエータを用いて、防振され支承された負荷に作用する力の生成によって振動が能動的に打ち消される。
【００２６】
これらのアクチュエータは、特に、磁気アクチュエータおよび／または空気アクチュエータとして形成されてもよい。
【００２７】
本発明によれば、アイソレータは、各アイソレータのアクチュエータの駆動制御のためのデジタル／アナログ変換器を備えたそれぞれ１つの固有の制御ユニットを含む。
【００２８】
つまり、本発明によれば、各アイソレータ自体は、センサ信号に基づいてアクチュエータを介した能動的な反力の生成のための制御信号を計算するために、プログラムが実行されるプロセッサユニットを備えた制御ユニットを含む。
【００２９】
計算された制御信号は、磁気アクチュエータを駆動制御するために、デジタル／アナログ変換器を介して例えば電流に変換される。
【００３０】
これにより、配線コストを大幅に低減することができる。
【００３１】
本発明の第１の実施形態では、アイソレータの制御ユニットは、中央制御ユニットに接続されており、該中央制御ユニットを介して制御信号が、アイソレータの制御ユニットに伝送される。
【００３２】
制御信号は、センサ信号に基づくアクチュエータの駆動制御に用いられ、反力の生成に用いられる信号である。
【００３３】
つまり、本発明のこの第１の実施形態では、アイソレータ内に配置された分散制御ユニットに対して付加的に、それに接続された制御ユニットが設けられており、この制御ユニット自体が制御信号を計算し、この制御信号をアイソレータ内の制御ユニットに転送する。
【００３４】
本発明のこの実施形態は、すべてのアイソレータからのセンサ信号を、そこから制御信号を生成するために中央制御ユニットにおいて処理することができるという利点を有する。
【００３５】
ただし、中央制御ユニットが、アイソレータに制御信号のみを、好適にはデジタル形式で転送するという事実に基づけば、配線コストが低減される。特に、中央制御ユニットがアイソレータの制御ユニットにバスを介して接続されていることで十分である。
【００３６】
本発明の第２の実施形態では、固定防振システムは、アイソレータの制御ユニットが中央制御ユニットに依存することなくアクチュエータを駆動制御するように構成されている。
【００３７】
本発明のこの実施形態では、中央制御ユニットを完全に省くことができる。
【００３８】
ただし、好適には、本発明のこの実施形態では、個々のアイソレータは、特にバスシステムを介して相互に接続されている。このことは、アイソレータの各制御ユニットが、他のアイソレータのセンサ信号を考慮することを可能にさせる。
【００３９】
それにより、アイソレータの個々に分散される分散制御ユニットは、アクチュエータを駆動制御する相互に調整された制御信号を生成することができる。
【００４０】
中央制御ユニットの代わりに、またはそれに対して付加的に、本発明の一実施形態では、アイソレータの制御ユニットは、バスシステムを介して中央の構成および／または診断ユニットに接続されてもよい。
【００４１】
接続された構成および／または診断ユニットは、制御信号の計算の際に協働するのではなく、むしろ、個々の制御ユニットの機能を、例えばエラー発生時にエラーメッセージを生成するために監視するように構成されている。さらに、構成および診断ユニットを介して、例えば分散制御ユニットの計算ルーチンを防振システムの各構成に適合化させるために、データを個々の分散制御ユニットに送信することも可能である。
【００４２】
アイソレータの制御ユニットは、好適にはバスシステムに直列に接続されている。そのため、１つのアイソレータから他のアイソレータまで１つのバス線路を敷設することだけを要する。
【００４３】
本発明の好適な実施形態では、バスシステムは、リアルタイムイーサネット対応のバスシステムとして構成されている。
【００４４】
リアルタイムイーサネット対応のバスシステムの使用は、簡単な方法で、分散された分散制御ユニットが他のアイソレータのセンサ信号も考慮できることを可能にする。
【００４５】
リアルタイムイーサネット対応のバスシステムとして、例えばＩＥＣ  ６１１５８−１：２０１４規格に準拠したバスシステム（ＥｔｈｅｒＣＡＴ）が使用できる。
【００４６】
好適には、アイソレータ自体の制御ユニットも、それぞれ１つのアナログ／デジタル変換器を含み、該アナログ／デジタル変換器を用いてセンサ信号が処理される。
【００４７】
つまり、センサ、アクチュエータ、および制御ユニットは、アイソレータ自体の一部である。
【００４８】
特に、各アイソレータは、少なくとも１つのばね、ならびに複数のセンサおよびアクチュエータ、ならびにそれらの制御のための制御ユニットを含むことが想定されている。
【００４９】
そのため、アイソレータは、電流供給源に接続するだけで十分であり、好適にはバスシステムにも接続される必要がある。
【００５０】
アイソレータが、防振され支承された負荷に機械的に接続された後、当該アイソレータは、それによって直接、さらなる配線なしで使用することができる。
【００５１】
好適には、アイソレータ内のアクチュエータを介して、少なくとも２つの自由度、特に好適には少なくとも３つの自由度の補償力がそれぞれ生成される。
【００５２】
本発明は、特に、アイソレータ内にそれぞれアクチュエータが配置されており、これらのアクチュエータを介して３つの並進自由度および／または３つの回転自由度の補償力が生成される防振システムに関する。
【００５３】
本発明による防振システムは、好適には、アイソレータの数が中央制御ユニットによって制限されないように構成されている。
【００５４】
特に、本発明は、４つ以上、特に好ましくは６つ以上のアイソレータの接続を可能にする。
【００５５】
本発明の発展形態では、アイソレータは、空気ばねを含み、ここで、空気ばねは、アイソレータの制御ユニットを介して能動的に駆動制御される。
【００５６】
つまり、この空気ばねは、本発明のこの実施形態では、防振のための制御ループに能動的に統合されている。これについては、この空気ばねは、空気ばね内の圧力を制御するために、アイソレータの制御ユニットを介して駆動制御される弁を含む。空気ばねの能動的な制御は、高さ設定にも、システムに伝わる振動もしくは防振され支承された負荷に基づく振動の能動的な低減にも用いることができる
【００５７】
本発明は、さらに、上記で説明した防振システム用に形成されているアイソレータに関する。このアイソレータは、特に、上記でアイソレータに関連して説明したすべての特徴を有している。
【００５８】
アイソレータは、特に、ばね、複数のアクチュエータならびに複数のセンサを含む。
【００５９】
さらにアイソレータは、制御ユニットを含む。この制御ユニットは、自身の側でプログラムが実行される計算ユニットを含んでおり、この計算ユニットを用いて、センサ信号の考慮のもとで補償力を生成するために制御信号が生成される。上記で説明したように、アイソレータの構成部品は、防振システムにわたって相互に空間的に分離して分散されてもよい。
【００６０】
好適には、アイソレータは、さらに電流端子ならびにバスシステム用の端子を含む。
【００６１】
既に上記で説明したように、バスシステムへの端子を介して制御ユニットは、他のアイソレータの制御ユニットと通信されてもよいし、かつ／または中央制御ユニットおよび／または構成もしく診断ユニットに接続されてもよい。
【００６２】
本発明は、さらに、能動型固定防振システム、特に上記で説明したような防振システムを制御するための方法に関する。
【００６３】
ここでは、複数のアイソレータを介して、防振され支承された負荷が支持され、複数のアクチュエータを介して、振動が能動的に打ち消される。
【００６４】
本発明によれば、アクチュエータは、アイソレータのそれぞれ１つの固有の制御ユニットを介して駆動制御される。
【００６５】
それにより、アイソレータを介して、好適にはセンサ信号に基づいて、外部の制御信号に依存することなく能動的な防振が提供される。
【００６６】
ただし、ここでは、本発明の一実施形態で想定されているように、各制御ユニットは、特にそれらがバスシステムを用いて接続されている場合、完全に他のアイソレータのセンサ信号を考慮することができる。
【００６７】
以下では、本発明の対象を、概略的に示された実施例を参照して図１〜図７の図面に基づきより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】従来技術から公知の固定防振システムの基本的な構造を示した概略図
【図２】アイソレータの制御ユニットが中央制御ユニットに接続されている本発明の第１の実施例を示した図
【図３】アイソレータが構成および／または診断ユニットにのみ接続されている一実施例を示した図
【図４】本発明による防振システムの容易な拡張性を詳細に説明するための関連図
【図５】本発明による防振システムの容易な拡張性を詳細に説明するための関連図
【図６】本発明によるアイソレータの概略図
【図７】本発明の一実施例による方法ステップのフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００６９】
図１は、従来技術から公知の防振システム１の基本的な構造を概略図で示す。
【００７０】
この防振システム１は、複数のアイソレータ２ａ〜２ｄを含み、これらのアイソレータ２ａ〜２ｄはばねを含み、防振され支承された負荷４を支持する。
【００７１】
この防振され支承された負荷４は、例えば半導体構成素子を処理するための機械（図示せず）が防振されて支承されているプレートを含むことができる。
【００７２】
アイソレータ２ａ〜２ｄの各々は、アクチュエータ５ａ〜５ｄならびにセンサ６ａ〜６ｄを含む。これらのセンサ６ａ〜６ｄを介して、防振され支承された負荷４の振動および／または底部に結合されたアイソレータのベースの振動が検出される。
【００７３】
これらのセンサは、中央制御ユニット３に接続されている。
【００７４】
これらのセンサ６ａ〜６ｄの信号に基づいて、制御ユニット３は、アクチュエータ５ａ〜５ｄを駆動制御するための補償信号を計算する。
【００７５】
このことから、制御ユニット３へのセンサ６ａ〜６ｄおよびアクチュエータ５ａ〜５ｄのスター形接続が生じる。
【００７６】
このことは、特にセンサ６ａ〜６ｄが通常はアナログ信号を供給し、このアナログ信号によってアクチュエータ５ａ〜５ｄが駆動制御されるため、配線コストを高める。
【００７７】
それゆえ、制御ユニットは、データ伝送線路を介してアイソレータ２ａ〜２ｄに接続されているだけでなく、むしろアクチュエータ５ａ〜５ｄを駆動制御するための一部大電流が伝送される線路を敷設する必要がある。
【００７８】
図２は、第１の実施例における本発明による防振システム１を示す。本発明によれば、各アイソレータ２ａ〜２ｄは、固有の制御ユニット８ａ〜８ｄを含む。
【００７９】
これらの制御ユニット８ａ〜８ｄを介して、センサ６ａ〜６ｄのデータが収集され、デジタル化され、さらに少なくとも前処理される。
【００８０】
この実施例では、アイソレータ２ａ〜２ｄは、バスシステム７を介して中央制御ユニット３に接続されている。
【００８１】
中央制御ユニット３は、アイソレータ２ａ〜２ｄのデータを収集し、センサ６ａ〜６ｄおよびアクチュエータ５ａ〜５ｄを介して分散制御ユニット８ａ〜８ｄによって計算された制御パラメータに基づき、アクチュエータ５ａ〜５ｄのための設定値を計算する。
【００８２】
これらの設定値は、バスシステム７を介して、個々のアイソレータ２ａ〜２ｄの制御ユニット８ａ〜８ｄに伝送される。
【００８３】
このバスシステム７の使用により、配線コストが低減される。ここでは唯１つのバスケーブルおよび電圧供給源が各アイソレータ２ａ〜２ｄのために必要なだけである。
【００８４】
つまり、この実施形態では、制御パラメータは、中央制御ユニット３において設定される。これらのセンサデータは、アイソレータ２ａ〜２ｄから中央制御ユニット３に伝送される。中央制御ユニット３ではこれらのデータが評価され、アクチュエータ５ａ〜５ｄのための設定値が計算される。
【００８５】
各アイソレータ２ａ〜２ｄは、固有の制御ユニット８ａ〜８ｄを含んでいるので、計算操作を中央制御ユニット３からスワップアウトし、かつ／または、センサデータを事前フィルタリングして中央制御ユニット３に送信することが可能である。
【００８６】
図３は、本発明の代替的な実施例を示す。
【００８７】
図３に示す実施例によれば、センサのデータは、アイソレータ２ａ〜２ｄの制御ユニット８ａ〜８ｄにおいて直接処理される。
【００８８】
各アイソレータ２ａ〜２ｄは、固有の制御パラメータを有しており、この制御パラメータに基づいてアクチュエータ５ａ〜５ｄは制御される。
【００８９】
それゆえ、図２による実施例におけるような中央制御ユニットは不要である。
【００９０】
この実施例では、アイソレータ２ａ〜２ｄもしくはアイソレータ２ａ〜２ｄの制御ユニット８ａ〜８ｄは、バスシステム７を介して構成および／または診断ユニット９に接続されている。
【００９１】
この構成および／または診断ユニット９を介して、データは、制御ユニット８ａ〜８ｄと交換することができる。ただし、構成および／または診断ユニット９は、センサ信号に基づいてアクチュエータ５ａ〜５ｄの駆動制御のための制御値を計算するのではなく、むしろ構成および／またはエラー制御のためのデータをロードすることにのみ用いられる。
【００９２】
図４に示されているように、本発明は、防振システム１のアイソレータ２ａ〜２ｎの数に関する容易な拡張性を可能にする。
【００９３】
これらのアイソレータ２ａ〜２ｎは、バスシステム７に直列に接続されている。
【００９４】
中央制御ユニット４に基づき、センサおよびアクチュエータ毎の個別線路は不要になる。
【００９５】
その他の点では、図４による実施例は、図２による実施例に対応する。
【００９６】
つまり、アイソレータ２ａ〜２ｎに割り当てられた分散制御ユニット８ａ〜８ｎにもかかわらず、付加的な中央制御ユニット４が設けられている本発明の実施形態に関している。
【００９７】
しかしながら、中央制御ユニット４はバスシステム７のみに接続されているため、この中央制御ユニット４は、アイソレータ２ａ〜２ｎの数に依存することなく能動的な防振に組み込まれてもよい。
【００９８】
それゆえ、アイソレータ２ａ〜２ｎの数は、最大でもバスシステム７の最大データ伝送レートによって制限されている。ただし、その数は、通常、実際に有意なアイソレータ２ａ〜２ｎの数に影響する程のレベルではない。
【００９９】
図５に示されているように、このことは、アイソレータ２ａ〜２ｎが中央制御ユニットにではなく、ここでのこの実施例のように構成／診断ユニット９にのみ接続されている防振システム１にも当てはまる。
【０１００】
図６は、特に、図２〜図５に示された防振システムに使用できるようなアイソレータ２の構造を概略的に示している。
【０１０１】
アイソレータ２は、この実施例では空気ばねとして形成されているばね１０を含む。
【０１０２】
ばねは、水平方向にも垂直方向にも作用可能であり、アイソレータ２上で防振され支承された負荷４を支持している。
【０１０３】
アイソレータ２は、さらに、アクチュエータ５’，５’’および５’’’を含む。
【０１０４】
この概略図では、アクチュエータ５’および５’’を介して並進補償力が生成され、アクチュエータ５’’’を介して回転補償力が生成される。
【０１０５】
アイソレータ２は、固有の制御ユニット８を含み、この制御ユニット８を介してこれらのアクチュエータ５’〜５’’’が駆動制御される。
【０１０６】
制御ユニット８は、この目的のためにセンサ信号を処理する。
【０１０７】
この実施例では、防振され支承された負荷４の振動を検出する少なくとも１つのセンサ６’が設けられており、ならびにベースの振動、つまり底部から伝わる振動を検出する少なくとも１つのさらなるセンサ６’’が設けられている。これらのセンサ６’，６’’の作用方向は、この概略図では示されていない。好適には、様々な自由度のためのアクチュエータ５’〜５’’’に応じて、様々なセンサが様々な自由度のために使用されることを理解されたい。
【０１０８】
センサ６’および６’’の信号に基づいて、制御ユニットは、反力の生成によって振動を低減するためにアクチュエータ５’〜５’’’を駆動制御する。
【０１０９】
この目的のために、制御ユニット８は、具体的には、アナログ／デジタル変換器１１を含み、このアナログ／デジタル変換器１１を介して、アナログセンサ信号がデジタル信号に変換され、このデジタル信号は、プログラムが実行される制御ユニットのプロセッサユニット１２に転送される。アナログ／デジタル変換器１１は、アイソレータ２の任意の箇所に、つまり、例えば制御ユニット８に、またはセンサ６’，６’’自体に配置されてもよいことを理解されたい。
【０１１０】
プロセッサユニット１２を介してデジタル制御信号が生成され、このデジタル制御信号は、デジタル／アナログ変換器１３に転送される。
【０１１１】
デジタル／アナログ変換器１３を介して、好適には磁気アクチュエータとして構成されたアクチュエータ５’〜５’’’が、デジタル制御信号から、磁気アクチュエータに反力を生成させる電流を生成することにより能動的な防振を行うために駆動制御される。デジタル／アナログ変換器１３も、アイソレータ２の任意の箇所に配置されてもよいことを理解されたい。
【０１１２】
この実施例では、ばね１０も能動的な防振に組み込まれている。
【０１１３】
デジタル／アナログ変換器１３を介して、弁のためのアナログ制御信号も生成され、このアナログ制御信号を介して、ばね１０の圧力が制御される。
【０１１４】
アイソレータ２は、バス端子１４を含み、該バス端子１４を用いて当該アイソレータ２がバスシステム７に接続される。このバスシステム７を介して、アイソレータ２もしくはアイソレータ２の制御ユニット８は、他のアイソレータと、ならびに／または中央制御ユニットと、ならびに／または構成および／または診断ユニットと通信することができる。
【０１１５】
それ以外では、アイソレータ２は、電流供給源（図示せず）のみを必要とする。
【０１１６】
図７は、本発明による方法の基本原理の概略的なフローチャートである。
【０１１７】
センサを用いて振動は検出される。
【０１１８】
アイソレータに統合された制御ユニットで処理されるセンサの信号に基づいて、アイソレータのアクチュエータは、統合された制御ユニットによって駆動制御される。
【０１１９】
任意選択的に、上位の中央制御ユニットを介して制御信号が生成可能である。
【０１２０】
本発明によれば、能動型防振システムの設置コストを簡単な方法で低減することができ、同時にアイソレータの数に関する拡張性を高めることができる。
【符号の説明】
【０１２１】
１              防振システム
２，２ａ〜２ｎ  アイソレータ
３              中央制御ユニット
４              防振され支承された負荷
５，５ａ〜５ｎ  アクチュエータ
６，６ａ〜６ｎ  センサ
７              バスシステム
８，８ａ〜８ｎ  アイソレータの制御ユニット
９              構成／診断ユニット
１０            ばね
１１            アナログ／デジタル変換器
１２            プロセッサユニット
１３            デジタル／アナログ変換器
１４            バス端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【外国語明細書】
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