(57)【要約】【課題】アクチュエータ本体部の長さを正確かつリアルタイムで検出し得る流体圧アクチュエータ及び検出ユニットを提供する。【解決手段】流体圧アクチュエータ１０は、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブの膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部１００と、チューブの長手方向に沿ったアクチュエータ本体部１００の長さＬを検出する検出ユニット５００とを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブを含み、前記チューブの膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部と、
前記チューブの長手方向に沿った前記アクチュエータ本体部の長さを検出する検出ユニットと
を備える流体圧アクチュエータ。
【請求項２】
前記検出ユニットは、
前記チューブの電気的特性を測定する測定部と、
前記測定部によって測定された前記電気的特性に基づいて前記長さを推定する長さ推定部と
を含む請求項１に記載の流体圧アクチュエータ。
【請求項３】
前記測定部は、前記チューブの電気抵抗を測定し、
前記長さ推定部は、前記測定部によって測定された前記電気抵抗が低くなるに連れて、前記長さが短くなると推定する請求項２に記載の流体圧アクチュエータ。
【請求項４】
前記チューブは、導電性の材料を含むゴム部材によって形成される請求項２または３に記載の流体圧アクチュエータ。
【請求項５】
前記アクチュエータ本体部は、所定方向に配向された繊維コードを編み込んだ伸縮性を有する構造体であり、前記チューブの外周面を覆うスリーブを含む請求項１乃至４の何れか一項に記載の流体圧アクチュエータ。
【請求項６】
流体圧アクチュエータと接続される検出ユニットであって、
前記流体圧アクチュエータは、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブを含み、前記チューブの膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部を備え、
前記検出ユニットは、前記チューブの長手方向に沿った前記アクチュエータ本体部の長さを検出する検出ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体圧アクチュエータに関し、具体的には、いわゆるマッキベン型の流体圧アクチュエータ、及び検出ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、気体または液体を用いてチューブを膨張及び収縮させる流体圧アクチュエータとして、空気圧（または液圧）によって膨張、収縮するゴム製のチューブと、チューブの外周面を覆うスリーブとを有する構造（いわゆるマッキベン型）が広く用いられている。
【０００３】
スリーブは、ポリアミド繊維などの高張力繊維を編み込んだ筒状の構造体であり、チューブの膨張運動を所定範囲に規制する（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１７／０１０３０４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年、Ｉｎｔｅｒｎｅｔ  ｏｆ  Ｔｈｉｎｇｓ（ＩｏＴ）が推進されているが、ＩｏＴと接続するためには、接続されるデバイスが、様々なセンシング機能を有していること望ましい。
【０００６】
例えば、マッキベン型の流体圧アクチュエータの場合、チューブの膨張及び収縮によって、アクチュエータ本体部が伸縮するため、アクチュエータ本体部の長さを検出できるセンサを有していることが好ましい。
【０００７】
簡易な方法としては、流体圧アクチュエータに供給される流体の圧力に基づいて、アクチュエータ本体部の長さをリアルタイムで推定することが考えられる。しかしながら、マッキベン型の流体圧アクチュエータの場合、流体圧アクチュエータに掛かる負荷の大きさによって、アクチュエータ本体部の長さが異なり得るため、当該流体の圧力からアクチュエータ本体部の長さを正確に検出（推定）することは難しい。
【０００８】
そこで、本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、アクチュエータ本体部の長さを正確かつリアルタイムで検出し得る流体圧アクチュエータ及び検出ユニットの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様は、流体圧アクチュエータ（例えば、流体圧アクチュエータ１０）であって、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブ（チューブ１１０）を含み、前記チューブの膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部（アクチュエータ本体部１００）と、前記チューブの長手方向に沿った前記アクチュエータ本体部の長さ（長さＬ）を検出する検出ユニット（検出ユニット５００）とを備える。
【００１０】
本発明の一態様は、流体圧アクチュエータ（例えば、流体圧アクチュエータ１０）と接続される検出ユニット（検出ユニット５００）であって、前記流体圧アクチュエータは、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブ（チューブ１１０）を含み、前記チューブの膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部（アクチュエータ本体部１００）を備え、前記検出ユニットは、前記チューブの長手方向に沿った前記アクチュエータ本体部の長さ（長さＬ）を検出する。
【発明の効果】
【００１１】
上述した流体圧アクチュエータ及び検出ユニットによれば、アクチュエータ本体部の長さを正確かつリアルタイムで検出し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、検出ユニット５００を含む流体圧アクチュエータ１０の側部外観図である。
【図２】図２は、流体圧アクチュエータ１０の側面図である。
【図３】図３は、アクチュエータ本体部１００の分解斜視図である。
【図４】図４は、流体圧アクチュエータ１０の長さを検出する検出ユニット５００の機能ブロック構成図である。
【図５】図５は、検出ユニット５００によるアクチュエータ本体部１００の長さＬの推定動作フローを示す図である。
【図６】図６は、アクチュエータ本体部１００の収縮率（％）と、チューブ１１０の電気抵抗値（ＭΩ）の関係を示すグラフである。
【図７Ａ】図７Ａは、チューブ１１０（アクチュエータ本体部１００が収縮していない状態）に含まれるカーボン粒子の分散状態を模式的に示す図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、チューブ１１０（アクチュエータ本体部１００が収縮している状態）に含まれるカーボン粒子の分散状態を模式的に示す図である。
【図８】図８は、変更例に係る流体圧アクチュエータ１０Ａの側面図である。
【図９】図９は、他の変更例に係る流体圧アクチュエータ１０Ｂの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、実施形態を図面に基づいて説明する。なお、同一の機能や構成には、同一または類似の符号を付して、その説明を適宜省略する。
【００１４】
（１）流体圧アクチュエータ及び検出ユニットの全体概略構成
図１は、本実施形態に係る検出ユニット５００を含む流体圧アクチュエータ１０の側部外観図である。図１に示すように、流体圧アクチュエータ１０は、流体圧を利用したアクチュエータであり、軸方向ＤＡＸ（図２参照）に沿って伸縮するアクチュエータ本体部１００を備える。
【００１５】
流体圧アクチュエータ１０は、２つの連結部２０を有する。連結部２０には、流体圧アクチュエータ１０による操作対象の部材２５が連結される。例えば、連結部２０には、人間型のロボットの体肢（上肢や下肢など）を構成する部材が連結される。
【００１６】
流体圧アクチュエータ１０には、ホース１８０が接続される。ホース１８０の他端部は、流体（気体または液体）を供給するコンプレッサなどの供給装置（不図示）に接続される。アクチュエータ本体部１００の内部には、ホース１８０を介して流体が流入及び流出する。
【００１７】
また、流体圧アクチュエータ１０には、リード線５１５を用いて検出ユニット５００が接続される。検出ユニット５００は、流体圧アクチュエータ１０の軸方向ＤＡＸ（長手方向）に沿った長さを検出する。
【００１８】
具体的には、検出ユニット５００は、軸方向ＤＡＸ（長手方向）に沿ったアクチュエータ本体部１００の長さを検出する。
【００１９】
（２）流体圧アクチュエータの構成
図２は、流体圧アクチュエータ１０の側面図である。図２に示すように、流体圧アクチュエータ１０は、アクチュエータ本体部１００、封止機構２００及び封止機構３００を備える。また、流体圧アクチュエータ１０の両端には、連結部２０がそれぞれ設けられる。
【００２０】
アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０とスリーブ１２０とによって構成される。アクチュエータ本体部１００には、フィッティング４００及び通過孔４１０を介して流体が流入する。
【００２１】
アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０内への流体の流入によって、アクチュエータ本体部１００の軸方向ＤＡＸにおいて収縮し、径方向ＤＲにおいて膨張する。また、アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０から流体の流出によって、アクチュエータ本体部１００の軸方向ＤＡＸにおいて膨張し、径方向ＤＲにおいて収縮する。このようなアクチュエータ本体部１００の形状変化によって、流体圧アクチュエータ１０は、アクチュエータとしての機能を発揮する。
【００２２】
流体圧アクチュエータ１０の駆動に用いられる流体は、空気などの気体、または水、鉱物油などの液体のどちらでもよいが、特に、流体圧アクチュエータ１０は、アクチュエータ本体部１００に高い圧力が掛かる油圧駆動にも耐え得る高い耐久性を有する。
【００２３】
また、このような流体圧アクチュエータ１０は、いわゆるマッキベン型であり、人工筋肉用として適用できることは勿論のこと、より高い能力（収縮力）が要求されるロボットの体肢（上肢や下肢など）用としても好適に用い得る。連結部２０には、当該体肢を構成する部材などが連結される。
【００２４】
封止機構２００及び封止機構３００は、軸方向ＤＡＸにおけるアクチュエータ本体部１００の両端部を封止する。具体的には、封止機構２００は、封止部材２１０及びかしめ部材２３０を含む。封止部材２１０は、アクチュエータ本体部１００の軸方向ＤＡＸの端部を封止する。また、かしめ部材２３０は、アクチュエータ本体部１００を封止部材２１０とともにかしめる。かしめ部材２３０の外周面には、治具によってかしめ部材２３０がかしめられた痕である圧痕２３１が形成される。
【００２５】
封止部材２１０としては、ステンレス鋼などの金属を好適に用い得るが、このような金属に限定されず、硬質プラスチック材料などを用いてもよい。
【００２６】
また、かしめ部材２３０としては、アルミニウム合金、真鍮、及び鉄などの金属を用いることができる。
【００２７】
封止機構２００と封止機構３００との相違点は、フィッティング４００（及び通過孔４１０）が設けられているか否かである。
【００２８】
フィッティング４００は、流体圧アクチュエータ１０の駆動圧力源、具体的には、気体や液体の供給装置と接続されたホース１８０を取り付けられるように突出している。フィッティング４００を介して流入した流体は、通過孔４１０を通過してアクチュエータ本体部１００の内部、具体的には、チューブ１１０の内部に流入する。
【００２９】
図３は、アクチュエータ本体部１００の分解斜視図である。上述したように、アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０とスリーブ１２０とによって構成される。
【００３０】
つまり、アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０を含み、チューブ１１０の膨張または収縮によって形状が変化する。
【００３１】
チューブ１１０は、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状の筒状体である。チューブ１１０は、流体による収縮及び膨張を繰り返すため、ブチルゴムなど弾性材料によって構成される。また、流体圧アクチュエータ１０を油圧駆動とする場合には、耐油性が高いＮＢＲ（ニトリルゴム）、または水素化ＮＢＲ、クロロプレンゴム、及びエピクロロヒドリンゴムからなる群より選択される少なくとも一種とすることが好ましい。
【００３２】
また、本実施形態では、チューブ１１０は、導電性の材料（フィラーと呼ばれてもよい）を含むゴム部材によって形成される。例えば、チューブ１１０は、カーボン粒子を含むゴム部材によって形成し得る。
【００３３】
スリーブ１２０は、円筒状であり、チューブ１１０の外周面を覆う。スリーブ１２０は、所定方向に配向された繊維コードを編み込んだ伸縮性を有する構造体であり、配向されたコードが交差することによって菱形の形状が繰り返されている。スリーブ１２０は、このような形状を有することによって、パンタグラフ変形し、チューブ１１０の収縮及び膨張を規制しつつ追従する。
【００３４】
スリーブ１２０を構成するコードとしては、芳香族ポリアミド（アラミド繊維）やポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）の繊維コードを用いることが好ましい。但し、このような種類の繊維コードに限定されるものではなく、例えば、ＰＢＯ繊維（ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール）などの高強度繊維のコードでもよい。
【００３５】
（３）検出ユニットの機能ブロック構成
図４は、流体圧アクチュエータ１０の長さを検出する検出ユニット５００の機能ブロック構成図である。
【００３６】
上述したように、検出ユニット５００は、アクチュエータ本体部１００への流体の流入、及びアクチュエータ本体部１００からの当該流体の流出によって変化する流体圧アクチュエータ１０の長さを検出する。
【００３７】
具体的には、検出ユニット５００は、アクチュエータ本体部１００を構成するチューブ１１０（図２及び図３参照）の長手方向（軸方向ＤＡＸ）に沿ったアクチュエータ本体部１００の長さＬを検出する。
【００３８】
検出ユニット５００は、測定部５１０及び長さ推定部５２０を備える。
【００３９】
測定部５１０は、チューブ１１０の電気的特性を測定する。このため、検出ユニット５００は、アクチュエータ本体部１００の長手方向（軸方向ＤＡＸ）におけるチューブ１１０の両端部分と電気的に接続される。具体的には、チューブ１１０の両端部分と検出ユニット５００とは、リード線５１５によって接続される。
【００４０】
測定部５１０は、チューブ１１０の電気抵抗を測定する。具体的には、測定部５１０は、リード線５１５によって接続されたチューブ１１０の長手方向（軸方向ＤＡＸ）における端部間の電気抵抗の値（単位：ＭΩなど）を測定する。
【００４１】
長さ推定部５２０は、測定部５１０によって測定された電気的特性に基づいてアクチュエータ本体部１００の長さＬを推定する。
【００４２】
具体的には、長さ推定部５２０は、チューブ１１０の長手方向（軸方向ＤＡＸ）における端部間の電気抵抗の値に基づいて、長さＬを推定する。
【００４３】
より具体的には、長さ推定部５２０は、測定部５１０によって測定された電気抵抗が低くなるに連れて、長さＬが短くなると推定する。
【００４４】
長さ推定部５２０は、アクチュエータ本体部１００（チューブ１１０）の長さＬと、チューブ１１０の長手方向（軸方向ＤＡＸ）における端部間の電気抵抗の値との関係を示す数式（またはテーブル）を用いて長さＬを推定する。長さＬの推定例については、さらに後述する。
【００４５】
なお、図４では、流体圧アクチュエータ１０と検出ユニット５００とは、別体として示されているが、検出ユニット５００は、流体圧アクチュエータ１０に組み付けられるような形態または内蔵されるような形態としてもよい。また、検出ユニット５００は、ＩｏＴなどの通信ネットワークと接続されることが好ましい。
【００４６】
（４）流体圧アクチュエータ及び検出ユニットの動作
次に、流体圧アクチュエータ１０及び検出ユニット５００の動作について説明する。具体的には、アクチュエータ本体部１００の伸縮に伴うアクチュエータ本体部１００の長さＬの推定動作について説明する。
【００４７】
図５は、検出ユニット５００によるアクチュエータ本体部１００の長さＬの推定動作フローを示す。
【００４８】
図５に示すように、流体圧アクチュエータ１０を作動させるため、流体圧アクチュエータ１０に流体が流入、または流体圧アクチュエータ１０から流体が流出する（Ｓ１０）。
【００４９】
検出ユニット５００は、チューブ１１０の電気抵抗を測定する（Ｓ２０）。具体的には、上述したように、検出ユニット５００は、チューブ１１０の長手方向（軸方向ＤＡＸ）における端部間の電気抵抗の値を測定する。
【００５０】
検出ユニット５００は、測定した電気抵抗の値に基づいて、流体圧アクチュエータ１０の長さ、具体的には、アクチュエータ本体部１００の長さＬを推定する（Ｓ３０）。
【００５１】
検出ユニット５００は、Ｓ２０及びＳ３０の処理を所定の周期（例えば、０．１秒〜１秒程度）で繰り返す。
【００５２】
図６は、アクチュエータ本体部１００の収縮率（％）と、チューブ１１０の電気抵抗値（ＭΩ）の関係を示すグラフである。図６に示すように、収縮率と電気抵抗値とは、２次相関係数（Ｒ２＝０．９４２３）である。
【００５３】
アクチュエータ本体部１００の収縮率（％）とは、アクチュエータ本体部１００に流体が流入していない、つまり、アクチュエータ本体部１００が収縮していない状態における長さＬを基準（０．０％）としたアクチュエータ本体部１００（具体的には、チューブ１１０）の収縮の程度を意味する。
【００５４】
なお、負の収縮率が含まれる理由は、流体圧アクチュエータ１０の連結部２０に連結される部材２５の負荷によって、アクチュエータ本体部１００が収縮していない状態における長さＬよりもアクチュエータ本体部１００が引き伸ばされる場合があるためである。
【００５５】
検出ユニット５００は、図６のグラフに示したようなアクチュエータ本体部１００の長さＬを判定可能なパラメータと、アクチュエータ本体部１００（チューブ１１０）電気抵抗値との関係を導出できる数式、またはテーブルなどを用いて、長さＬを推定する。
【００５６】
図７Ａ及び図７Ｂは、チューブ１１０に含まれるカーボン粒子の分散状態を模式的に示す図である。
【００５７】
具体的には、図７Ａは、アクチュエータ本体部１００が収縮していない状態（図６に示す収縮率が０．０％の状態）におけるカーボン粒子１１１の分散状態を示す。
【００５８】
図７Ｂは、アクチュエータ本体部１００が収縮している状態におけるカーボン粒子１１１の分散状態を示す。
【００５９】
図６に示したように、アクチュエータ本体部１００の収縮率が高くなると、アクチュエータ本体部１００（チューブ１１０）電気抵抗値は低くなっている。これは、アクチュエータ本体部１００に流体が流入してアクチュエータ本体部１００が収縮すると、チューブ１１０は、スリーブ１２０によって規制された所定範囲内において軸方向ＤＡＸに膨張する際、チューブ１１０の厚みが薄くなることにより、チューブ１１０に含まれるカーボン粒子１１１間の距離Ｒが狭められる（図７Ｂ参照）。
【００６０】
具体的には、アクチュエータ本体部１００が収縮する際、チューブ１１０は拡張するため、チューブ１１０の膜厚が薄くなる。この結果、カーボン粒子１１１の膜厚方向における寸法（つまり、距離Ｒ）が狭まり、カーボン粒子１１１（フィラー）が接近する。
【００６１】
すなわち、アクチュエータ本体部１００の収縮率が高くなり、長さＬが短くなると、カーボン粒子１１１間の距離Ｒが狭くなるため、チューブ１１０の導電率が増大、換言すれば、チューブ１１０の電気抵抗値が低下する。
【００６２】
（５）作用・効果
上述した実施形態によれば、以下の作用効果が得られる。具体的には、流体圧アクチュエータ１０の検出ユニット５００は、チューブ１１０の膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部１００の長さＬを検出する。
【００６３】
このため、流体圧アクチュエータ１０に掛かる負荷（部材２５）の大きさによって、アクチュエータ本体部１００の長さＬが異なり得るマッキベン型の流体圧アクチュエータ１０の場合でも、長さＬを正確かつリアルタイムで検出し得る。
【００６４】
また、流体圧アクチュエータ１０によれば、以下のような作用及び効果も見込まれる。具体的には、制御時の応答性向上である。流体圧アクチュエータ１０によれば、外部のセンサ（検出ユニット）で検出し、当該検出結果を演算装置（ＣＰＵ）で演算した後、フィードバック制御する形態ではなく、アクチュエータ本体部１００が長さＬを検出できるため、制御時の反応速度が向上する。
【００６５】
また、別体のセンサを搭載すると部品点数が多くなり、故障確率が高くなるが、流体圧アクチュエータ１０によれば、故障確率を抑制でき、安定した動作が期待できる。
【００６６】
本実施形態では、検出ユニット５００は、チューブ１１０の電気的特性を測定する測定部５１０と、測定された電気的特性に基づいて長さＬを推定する長さ推定部５２０を含む。
【００６７】
具体的には、測定部５１０は、チューブ１１０の電気抵抗を測定し、長さ推定部５２０は、測定された電気抵抗が低くなるに連れて、長さＬが短くなると推定する。
【００６８】
つまり、図７Ａ及び図７Ｂに示したように、アクチュエータ本体部１００が収縮すると、チューブ１１０に含まれるカーボン粒子１１１間の距離Ｒが狭められるため、チューブ１１０の電気抵抗が低くなる。長さ推定部５２０は、このような現象を利用して長さＬを推定する。
【００６９】
また、流体圧アクチュエータ１０によれば、後述する変更例に係る流体圧アクチュエータと比較すると、チューブ１１０自体を長さＬの検出に活用できるため、構成が簡素である。また、アクチュエータ本体部１００には、長さＬの検出ユニットを内蔵する必要がないため、軽量かつ安価である。
【００７０】
特に、流体圧アクチュエータ１０は、人体に装着される場合もあることを考慮すると、極力軽量であることが望ましいが、流体圧アクチュエータ１０によれば、このような軽量化の要求にも応えやすい。
【００７１】
本実施形態では、チューブ１１０は、導電性の材料（カーボン粒子１１１）を含むゴム部材によって形成される。このため、より正確にアクチュエータ本体部１００の長さＬを推定し得る。
【００７２】
本実施形態では、スリーブ１２０は、所定方向に配向された繊維コードを編み込んだ伸縮性を有する構造体であり、チューブ１１０の外周面を覆う。このため、スリーブ１２０は、チューブ１１０の収縮及び膨張を規制しつつ追従するため、チューブ１１０は、スリーブ１２０によって規制された所定範囲内において変形する。このため、チューブ１１０、つまり、アクチュエータ本体部１００の変形範囲が規制されるため、長さＬをより正確に測定し得る。
【００７３】
（６）その他の実施形態
以上、実施例に沿って本発明の内容を説明したが、本発明はこれらの記載に限定されるものではなく、種々の変形及び改良が可能であることは、当業者には自明である。
【００７４】
例えば、上述した流体圧アクチュエータ１０は、次のように変更してもよい。図８は、変更例に係る流体圧アクチュエータ１０Ａの側面図である。
【００７５】
図８に示すように、流体圧アクチュエータ１０Ａは、検出ユニット５００Ａを内蔵する。検出ユニット５００Ａは、レーザー光送受信部５３０及び反射部５４０を含む。
【００７６】
レーザー光送受信部５３０は、反射部５４０に向けてレーザー光を照射し、反射部５４０によって反射したレーザー光が戻ってくるまでの時間に基づいて、アクチュエータ本体部１００の長さＬを推定する。
【００７７】
図９は、他の変更例に係る流体圧アクチュエータ１０Ｂの側面図である。図９に示すように、流体圧アクチュエータ１０Ｂは、検出ユニット５００Ｂを内蔵する。検出ユニット５００Ｂは、超音波送受信部５５０及び反射部５６０を含む。
【００７８】
超音波送受信部５５０は、反射部５６０に向けて超音波信号を送出し、反射部５６０によって反射した超音波信号が戻ってくるまでの時間に基づいて、アクチュエータ本体部１００の長さＬを推定する。
【００７９】
また、上述した実施形態では、検出ユニット５００は、チューブ１１０の電気抵抗を測定していたが、電気抵抗以外の電気的特性を測定し、長さＬを推定してもよい。例えば、検出ユニット５００は、チューブ１１０の静電容量を測定し、測定した静電容量に基づいて長さＬを推定してもよい。
【００８０】
また、導電性の材料、つまり、チューブ１１０を導電ゴムによって形成する場合、上述したようなカーボン粒子１１１に限定されず、金属粉末を配合した天然ゴム或いは合成ゴムを用いてもよい。
【００８１】
上記のように、本発明の実施形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【符号の説明】
【００８２】
１０，１０Ａ，１０Ｂ  流体圧アクチュエータ
２０  連結部
２５  部材
１００  アクチュエータ本体部
１１０  チューブ
１１１  カーボン粒子
１２０  スリーブ
１８０  ホース
２００  封止機構
２１０  封止部材
２３０  かしめ部材
２３１  圧痕
３００  封止機構
４００  フィッティング
４１０  通過孔
５００，５００Ａ，５００Ｂ  検出ユニット
５１０  測定部
５１５  リード線
５２０  長さ推定部
５３０  レーザー光送受信部
５４０  反射部
５５０  超音波送受信部
５６０  反射部
【図１】
2020176664.tif 000003
【図２】
2020176664.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2020176664.tif 000008
【図７Ａ】
2020176664.tif 000009
【図７Ｂ】
2020176664.tif 000010
【図８】
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【図９】
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