(57)【要約】【課題】出力切替時における調整出力変化に遅れがあっても、誤りなく異常検知を行う。【解決手段】判定値算出部１６Ｃが、一定の測定期間Ｍ（ｉ）ごとに調整出力値Ｑ（ｉ）を取得して順次保存し、調整出力値Ｑ（ｉ）までに得られた複数の調整出力値Ｑに基づいて、予め設定されている規定値ＱＳに対する調整出力値Ｑ（ｉ）の到達度を示す判定値Ｄ（ｉ）を算出し、待機期間検出部１６Ｄが、調整出力の出力切替時点から、判定値Ｄ（ｉ）が判定閾値ＤＳに到達した時点までを待機期間ＴＷとして検出し、異常検知部１６Ｅが、出力切替時点から待機期間ＴＷが経過するまで異常検知を停止し、待機期間ＴＷが経過した時点で異常検知を開始する。【選択図】  図１
2020024491.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセス制御の運用時に、プロセス量を調整する機器に対して操作器から出力される調整出力を監視することにより前記機器の異常検知を行う異常検知部と、
一定の測定期間ごとに前記調整出力の値を示す新たな調整出力値を取得して記憶回路に順次保存し、前記記憶回路に保存されている前記新たな調整出力値までに得られた複数の調整出力値に基づいて、予め設定されている規定値に対する前記新たな調整出力値の到達度を示す判定値を算出する判定値算出部と、
前記調整出力の出力開始または出力停止を行った出力切替時点から、前記判定値が予め設定されている判定閾値に到達した時点までを待機期間として検出する待機期間検出部とを備え、
前記異常検知部は、前記出力切替時点から前記待機期間が経過するまでの期間において前記異常検知を停止し、前記待機期間が経過した時点で前記異常検知を開始する
ことを特徴とする制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の制御装置において、
前記判定値算出部は、前記判定値を算出する際、前記新たな調整出力値を取得した時点から一定の判定時間長だけ遡った判定期間内に取得された前記複数の調整出力値に基づいて、前記判定値を算出することを特徴とする制御装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の制御装置において、
前記判定値算出部は、前記プロセス制御の運用時に、前記調整出力の出力開始または出力停止を行った出力切替時点以降に得られた前記新たな調整出力値ごとに、前記判定値をそれぞれ算出し、
前記待機期間検出部は、前記運用時に得られた前記判定値に基づいて前記待機期間ＴＷを検出する
ことを特徴とする制御装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の制御装置において、
前記判定値算出部は、前記プロセス制御の非運用時に、試験的に前記調整出力の出力開始または出力停止を行った出力切替時点以降に得られた前記新たな調整出力値ごとに、前記判定値をそれぞれ算出し、
前記待機期間検出部は、前記非運用時に得られた前記判定値に基づいて前記待機期間ＴＷを検出する
ことを特徴とする制御装置。
【請求項５】
請求項１に記載の制御装置において、
前記判定値算出部は、前記判定値を算出する際、予め設定されている参照判定値と前記新たな調整出力値との差分または比率を、前記判定値として算出することを特徴とする制御装置。
【請求項６】
プロセス制御の運用時に、プロセス量を調整する機器に対して操作器から出力される調整出力を監視することにより前記機器の異常検知を行う制御装置で用いられる異常検知方法であって、
判定値算出部が、一定の測定期間ごとに前記調整出力の値を示す新たな調整出力値を取得して記憶回路に順次保存し、前記記憶回路に保存されている前記新たな調整出力値までに得られた複数の調整出力値に基づいて、予め設定されている規定値に対する前記新たな調整出力値の到達度を示す判定値を算出する判定値算出ステップと、
待機期間検出部が、前記調整出力の出力開始または出力停止を行った出力切替時点から、前記判定値が予め設定されている判定閾値に到達した時点までを待機期間として検出する待機期間検出ステップと、
異常検知部が、前記出力切替時点から前記待機期間が経過するまでの期間において前記異常検知を停止し、前記待機期間が経過した時点で前記異常検知を開始する異常検知ステップと
を備えることを特徴とする異常検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プロセス量を設定値に制御する際に機器の異常を検知するための異常検知技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
温度、圧力、流量などのプロセス量を、予め設定されている設定値ＳＰに制御する制御装置では、プロセス量に関する測定値ＰＶとＳＰに基づいてＰＩＤなどのフィードバック方式に基づき新たな操作量ＭＶを算出し、得られた操作量ＭＶに基づいて、操作器から機器に対して出力される調整出力の出力開始または出力停止を切替制御することにより、プロセス量を制御するものとなっている。
【０００３】
例えば、制御装置を代表する温度調節計は、プロセス量として測定した測定温度ＰＶと設定温度ＳＰに基づいてＰＩＤ演算し、得られた操作量ＭＶに基づいてヒータを制御している。これにより、操作器からヒータに供給される電流がオンオフ制御されて、プロセス量である測定温度ＰＶが設定温度ＳＰとなるようヒータにより温度調整されることになる。
【０００４】
このような制御装置では、プロセス量を調整する機器での異常発生を精度よく検知する必要がある。従来、このような温度調節計での異常検知技術として、操作器からヒータへ調整出力として供給される電流を監視し、検出した電流値と基準値とを比較することにより、ヒータの異常を検知する技術が提案されている（例えば、特許文献１など参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特公平７−９３１７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような従来技術では、機器の異常を検知する場合、機器のオンオフ制御切替時、すなわち調整出力の出力開始または出力停止を行った出力切替時における調整出力変化の遅れを考慮していないため、出力切替時に誤って機器の異常を検知してしまうという問題点があった。
一般に、プロセス量を調整する機器は、ある程度の時定数を有しているため、操作器から出力された調整出力の値は、遅れをもって変化する傾向がある。例えば、ヒータは電流供給開始後、直ぐに電流値が定格値まで到達するのではなく、定格値に到達するまである程度の時間を要する。したがって、操作量ＭＶにより電流供給開始を示した時点で直ぐに異常検知を開始すると、ヒータへの電流が十分流れておらず、誤って異常検知と判定されることになる。
【０００７】
本発明はこのような課題を解決するためのものであり、出力切替時における調整出力変化に遅れがあっても、誤りなく異常検知を行うことができる異常検知技術を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的を達成するために、本発明にかかる制御装置は、プロセス制御の運用時に、プロセス量を調整する機器に対して操作器から出力される調整出力を監視することにより前記機器の異常検知を行う異常検知部と、一定の測定期間ごとに前記調整出力の値を示す新たな調整出力値を取得して記憶回路に順次保存し、前記記憶回路に保存されている前記新たな調整出力値までに得られた複数の調整出力値に基づいて、予め設定されている規定値に対する前記新たな調整出力値の到達度を示す判定値を算出する判定値算出部と、前記調整出力の出力開始または出力停止を行った出力切替時点から、前記判定値が予め設定されている判定閾値に到達した時点までを待機期間として検出する待機期間検出部とを備え、前記異常検知部は、前記出力切替時点から前記待機期間が経過するまでの期間において前記異常検知を停止し、前記待機期間が経過した時点で前記異常検知を開始するようにしたものである。
【０００９】
また、本実施の形態にかかる上記る制御装置の一構成例は、前記判定値算出部が、前記判定値を算出する際、前記新たな調整出力値を取得した時点から一定の判定時間長だけ遡った判定期間内に取得された前記複数の調整出力値に基づいて、前記判定値を算出するようにしたものである。
【００１０】
また、本実施の形態にかかる上記る制御装置の一構成例は、前記判定値算出部が、前記プロセス制御の運用時に、前記調整出力の出力開始または出力停止を行った出力切替時点以降に得られた前記新たな調整出力値ごとに、前記判定値をそれぞれ算出し、前記待機期間検出部は、前記運用時に得られた前記判定値に基づいて前記待機期間ＴＷを検出するようにしたものである。
【００１１】
また、本実施の形態にかかる上記る制御装置の一構成例は、前記判定値算出部が、前記プロセス制御の非運用時に、試験的に前記調整出力の出力開始または出力停止を行った出力切替時点以降に得られた前記新たな調整出力値ごとに、前記判定値をそれぞれ算出し、前記待機期間検出部は、前記非運用時に得られた前記判定値に基づいて前記待機期間ＴＷを検出するようにしたものである。
【００１２】
また、本実施の形態にかかる上記る制御装置の一構成例は、前記判定値算出部が、前記判定値を算出する際、予め設定されている参照判定値と前記新たな調整出力値との差分または比率を、前記判定値として算出するようにしたものである。
【００１３】
また、本実施の形態にかかる異常検知方法は、プロセス制御の運用時に、プロセス量を調整する機器に対して操作器から出力される調整出力を監視することにより前記機器の異常検知を行う制御装置で用いられる異常検知方法であって、判定値算出部が、一定の測定期間ごとに前記調整出力の値を示す新たな調整出力値を取得して記憶回路に順次保存し、前記記憶回路に保存されている前記新たな調整出力値までに得られた複数の調整出力値に基づいて、予め設定されている規定値に対する前記新たな調整出力値の到達度を示す判定値を算出する判定値算出ステップと、待機期間検出部が、前記調整出力の出力開始または出力停止を行った出力切替時点から、前記判定値が予め設定されている判定閾値に到達した時点までを待機期間として検出する待機期間検出ステップと、異常検知部が、前記出力切替時点から前記待機期間が経過するまでの期間において前記異常検知を停止し、前記待機期間が経過した時点で前記異常検知を開始する異常検知ステップとを備えている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、異常検知部での異常検知が、出力切替時点から調整出力値が規定値に対して一定の到達度を示すまでの待機期間だけ停止されることになる。したがって、出力切替時における調整出力変化に遅れがあっても、遅れが解消された後、異常検知が開始されることになるため、誤りなく異常検知を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】制御装置の構成を示すブロック図である。
【図２】第１の実施の形態にかかる判定値算出処理を示すフローチャートである。
【図３】第１の実施の形態にかかる判定値算出過程を示す説明図である。
【図４】異常検知動作（ＯＦＦからＯＮ）を示すタイミングチャートである。
【図５】異常検知動作（ＯＮからＯＦＦ）を示すタイミングチャートである。
【図６】第２の実施の形態にかかる判定値算出処理を示すフローチャートである。
【図７】第２の実施の形態にかかる判定値算出過程を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
［第１の実施の形態］
まず、図１を参照して、本発明の第１の実施の形態にかかる制御装置１０について説明する。図１は、制御装置の構成を示すブロック図である。
【００１７】
この制御装置１０は、全体として演算処理装置からなり、温度、圧力、流量などのプロセス量を、予め設定されている設定値ＳＰに制御する制御装置では、プロセス量に関する測定値ＰＶ、設定値ＳＰ、および操作量ＭＶに基づいてＰＩＤ演算し、得られた操作量ＭＶに基づいて、操作器から機器に対して出力される調整出力の出力開始または出力停止を切替制御することにより、プロセス量を制御する機能を有している。
【００１８】
制御装置１０の具体例としては、温度調整計などとして用いられるデジタル指示調節計がある。以下では、制御装置１０が温度調整計として動作する場合を例として説明する。すなわち、図１に示すように、制御装置１０は、プロセス量として温度センサ３で測定した測定温度ＰＶと設定温度ＳＰに基づいてＰＩＤ演算し、得られた操作量ＭＶに基づいて操作器１を制御する。これにより、操作器１からヒータ２に供給される電流Ｉがオンオフ制御されて、プロセス量である測定温度ＰＶが設定温度ＳＰとなるようヒータ２により温度調整されることになる。なお、制御装置１０の構成例として、プロセス量の制御機能を含まずに後述する異常検知機能のみを備える装置も含まれるものとする。
【００１９】
本発明は、制御装置１０において、電流検出器４により検出した電流Ｉに基づいて、ヒータ２の異常を検知する場合、一定の測定期間ごと取得した電流Ｉが、電流Ｉの出力切替時点から規定値に到達するまでの期間を待機期間として検出し、出力切替時点から待機期間が経過するまでの期間において異常検知を停止し、待機期間が経過した時点で異常検知を開始するようにしたものである。
【００２０】
［制御装置］
次に、図１を参照して、本実施の形態にかかる制御装置１０の構成について詳細に説明する。図１に示すように、制御装置１０は、主な構成として、機器Ｉ／Ｆ回路１１、通信Ｉ／Ｆ回路１２、操作入力回路１３、表示回路１４、記憶回路１５、および演算処理回路１６を備えている。
【００２１】
機器Ｉ／Ｆ回路１１は、操作器１、温度センサ３、および電流検出器４との間でデータ通信を行う機能を有している。具体的には、機器Ｉ／Ｆ回路１１は、操作器１に対して操作量ＭＶを送信する機能、温度センサ３で検出されたヒータ２の測定温度ＰＶを取得する機能、電流検出器４で検出された操作器１からヒータ２への電流Ｉを調整出力値Ｑとして取得する機能などを有している。
【００２２】
通信Ｉ／Ｆ回路１２は、通信回線Ｌを介して上位装置（図示せず）との間でデータ通信を行う機能を有している。具体的には、通信Ｉ／Ｆ回路１２は、上位装置から指示された各種制御パラメータを取得する機能、異常検知の結果を上位装置へ報知する機能などを有している。
【００２３】
操作入力回路１３は、操作キー、操作スイッチ、タッチパネルなどの操作入力装置を有し、作業者の操作を検出して演算処理回路１６へ出力する機能を有している。
表示回路１４は、ＬＥＤやＬＣＤなどの表示装置を有し、演算処理回路１６から指示された、動作状態、制御状況、異常検知結果などの各種データを表示する機能を有している。
【００２４】
記憶回路１５は、半導体メモリからなり、演算処理回路１６でのプロセス制御や異常検知に用いられる各種処理データやプログラムを記憶する機能を有している。記憶回路１５で記憶する主な処理データとしては、ＰＩＤ制御に用いる設定温度（設定値）ＳＰ、測定温度（測定値）ＰＶ、操作量ＭＶ、調整出力値（検出電流）Ｑなどの制御データがある。記憶回路１５で記憶するプログラムは、制御装置１０に接続された外部装置や記録媒体（ともに図示せず）から記憶回路１５に予め格納される。
【００２５】
演算処理回路１６は、ＣＰＵとその周辺回路を備え、記憶回路１５のプログラムを読み込んで実行することにより、各種処理部を実現する機能を有している。演算処理回路１６で実現される主な処理部として、設定値取得部１６Ａ、機器制御部１６Ｂ、判定値算出部１６Ｃ、待機期間検出部１６Ｄ、および異常検知部１６Ｅがある。
【００２６】
設定値取得部１６Ａは、操作入力回路１３で検出された作業者操作、あるいは、通信Ｉ／Ｆ回路１２で受信した制御パラメータに基づいて、プロセス値の目標となる設定温度ＳＰを取得して、記憶回路１５に保存する機能を有している。
【００２７】
機器制御部１６Ｂは、機器Ｉ／Ｆ回路１１を介して温度センサ３から取得した測定温度ＰＶ、設定温度ＳＰ、および操作量ＭＶに基づいて、ＰＩＤなどのフィードバック演算を行う機能と、得られた新たな操作量ＭＶを機器Ｉ／Ｆ回路１１から操作器１へ出力する機能とを有している。
【００２８】
判定値算出部１６Ｃは、一定の測定期間Ｍ（ｉ）（ｉ＝１，２，…，ｎ；ｎは２以上の整数）ごとに、機器Ｉ／Ｆ回路１１を介して電流検出器４から電流（調整出力）Ｉの値を示す新たな調整出力値Ｑ（ｉ）を取得して記憶回路１５に順次保存する機能と、記憶回路１５に保存されている、新たな調整出力値Ｑ（ｉ）までに得られた複数の調整出力値Ｑからなる判定対象Ｑ’に基づいて、予め設定されている規定値ＱＳに対する新たな調整出力値Ｑ（ｉ）の到達度を示す判定値Ｄ（ｉ）を算出する機能とを有している。
【００２９】
待機期間検出部１６Ｄは、機器制御部１６Ｂにより操作器１に対する電流Ｉの出力開始または出力停止を行った出力切替時点から、判定値Ｄ（ｉ）が予め設定されている判定閾値ＤＳに到達する時点までを、待機期間ＴＷとして検出する機能を有している。
【００３０】
異常検知部１６Ｅは、プロセス制御の運用時に、プロセス量を調整するヒータ（機器）２に対して操作器１から出力される電流（調整出力）Ｉを監視することにより、ヒータ２の異常検知を行う機能と、機器制御部１６Ｂによる出力切替時点から、待機期間ＴＷが経過するまでの期間において異常検知を停止し、待機期間ＴＷが経過した時点で異常検知を開始する機能とを有している。
【００３１】
［第１の実施の形態の動作］
次に、図２〜図５を参照して、本実施の形態にかかる制御装置１０の異常検知動作について説明する。図２は、第１の実施の形態にかかる判定値算出処理を示すフローチャートである。図３は、第１の実施の形態にかかる判定値算出過程を示す説明図である。図４は、異常検知動作（ＯＦＦからＯＮ）を示すタイミングチャートである。図５は、異常検知動作（ＯＮからＯＦＦ）を示すタイミングチャートである。
【００３２】
ここでは、判定値算出部１６Ｃが一定の判定時間長ＴＮを有する判定期間Ｎ（ｉ）ごとに判定値Ｄ（ｉ）を算出するものとし、判定期間Ｎ（ｉ）には、一定の測定時間長ＴＭを有する測定期間Ｍ（ｉ）ごとに取得されたｍ（ｍは２以上の整数）個の調整出力値Ｑ（ｉ）が含まれているものとする。また、判定閾値ＤＳは１００％であるものとする。なお、操作量ＭＶが電流出力を示すＯＮ期間、または、操作量ＭＶが電流停止を示すＯＦＦ期間、に含まれる測定期間Ｍ（ｉ）の数をｎ（ｎは２以上の整数）とし、ｍはｎ以下の整数であるものとする。
【００３３】
判定値算出部１６Ｃは、測定期間Ｍ（ｉ）ごとに図２の判定値算出処理を実行する。
まず、判定値算出部１６Ｃは、測定期間Ｍ（ｉ）における取得タイミング到来まで待機し（ステップＳ１００）、取得タイミング到来に応じて機器Ｉ／Ｆ回路１１を介して電流検出器４から新たな調整出力値Ｑ（ｉ）を取得して記憶回路１５に保存する（ステップＳ１０１）。
次に、判定値算出部１６Ｃは、Ｑ（ｉ）を取得した時点から一定の判定時間長ＴＮだけ遡った判定期間Ｎ（ｉ）内に取得されたｍ個の調整出力値Ｑ（ｉ−ｍ＋１）〜Ｑ（ｉ）を、記憶回路１５から判定対象Ｑ’として選択する（ステップＳ１０２）。
【００３４】
続いて、判定値算出部１６Ｃは、Ｑ’に属する調整出力値Ｑ（ｉ−ｍ＋１）〜Ｑ（ｉ）のそれぞれを、予め設定されている規定値ＱＳ１と比較し（ステップＳ１０３）、Ｑ’のうちＱＳ１に到達している割合を判定値Ｄ（ｉ）として算出して記憶回路１５に保存し（ステップＳ１０４）、一連の判定値算出処理を終了する。
なお、記憶回路１５からｍ個の調整出力値Ｑ（ｉ−ｍ＋１）〜Ｑ（ｉ）を選択できない場合、不足分のＱについてはＱＳ１に到達していないものとして判定値Ｄ（ｉ）を算出すればよい。
【００３５】
これにより、図３に示すように、測定期間Ｍ（ｍ）においてＱ（ｍ）が取得された場合、対応する判定期間Ｎ（ｍ）に属するｍ個のＱ（１）〜Ｑ（ｍ）がＱ’として選択され、これらがＱＳ１に到達している割合がＤ（ｍ）として算出される。
また、続く測定期間Ｍ（ｍ＋１）においてＱ（ｍ＋１）が取得された場合、対応する判定期間Ｎ（ｍ＋１）に属するｍ個のＱ（２）〜Ｑ（ｍ＋１）がＱ’として選択され、これらのうちＱＳ１に到達している割合がＤ（ｍ＋１）として算出される。
【００３６】
図４に示すように、実際のプロセス制御において、時刻ＴＣ１の出力切替時点に、操作量ＭＶにより電流出力開始が指示された場合、電流Ｉが、時刻ＴＣ１から徐々に上昇し、その後の時刻ＴＱ１に、電流出力を示すＯＮ期間の規定値ＱＳ１（最大定格電流値）に到達したものとする。
したがって、Ｑ（ｉ）はＴＣ１から徐々に上昇し、Ｄ（ｉ）はＴＱ１から上昇を開始する。この際、ＤＳ１＝１００％であることから、ＴＱ１から判定時間長ＴＮだけ遅れた時刻ＴＤ１に、判定期間Ｎｉに含まれるｍ個のＱがすべてＱＳ１に到達した時点で、Ｄ（ｉ）が判定閾値ＤＳ１に到達することになる。
【００３７】
これにより、待機期間検出部１６Ｄは、出力切替時点であるＴＣ１からＴＤ１まで待機期間ＴＷ１として検出する。
したがって、時刻ＴＣ１の出力切替時点からＴＤ１までのＴＷ１については、異常検知部１６ＥはＱ（ｉ）に基づく異常検知を停止することになる。その後、時刻ＴＤ１に待機期間ＴＷ１が経過するため、異常検知部１６ＥはＱ（ｉ）に基づく異常検知を開始することになる。
【００３８】
また、図５に示すように、実際のプロセス制御において、時刻ＴＣ２の出力切替時点に、操作量ＭＶにより電流出力停止が指示された場合、電流Ｉが、時刻ＴＣ２から徐々に低下し、その後の時刻ＴＱ２に、電流停止を示すＯＦＦ期間の規定値ＱＳ２（ゼロ）に到達したものとする。
したがって、Ｑ（ｉ）はＴＣ２から徐々に低下し、Ｄ（ｉ）はＴＱ２から低下を開始する。この際、ＤＳ２＝１００％であることから、ＴＱ２から判定時間長ＴＮだけ遅れた時刻ＴＤ２に、判定期間Ｎｉに含まれるｍ個のＱがすべてＱＳ２に到達した時点で、Ｄ（ｉ）が判定閾値ＤＳ２に到達することになる。
【００３９】
これにより、待機期間検出部１６Ｄは、出力切替時点であるＴＣ２を待機期間ＴＷ２の開始時点として検出し、ＴＤ２を待機期間ＴＷ２の完了時点として検出する。
したがって、時刻ＴＣ２の出力切替時点に待機期間ＴＷ２が開始されるため、異常検知部１６ＥはＱ（ｉ）に基づく異常検知を停止することになる。その後、時刻ＴＤ２に待機期間ＴＷ２が完了するため、異常検知部１６ＥはＱ（ｉ）に基づく異常検知を開始することになる。
【００４０】
［第１の実施の形態の効果］
このように、本実施の形態は、判定値算出部１６Ｃが、一定の測定期間Ｍ（ｉ）ごとに新たな調整出力値Ｑ（ｉ）を取得して順次保存し、新たな調整出力値Ｑ（ｉ）までに得られた複数の調整出力値Ｑに基づいて、予め設定されている規定値ＱＳに対する新たな調整出力値Ｑ（ｉ）の到達度を示す判定値Ｄ（ｉ）を算出し、待機期間検出部１６Ｄが、調整出力の出力切替時点から、判定値Ｄ（ｉ）が判定閾値ＤＳに到達した時点までを待機期間ＴＷとして検出し、異常検知部１６Ｅが、出力切替時点から待機期間ＴＷが経過するまで異常検知を停止し、待機期間ＴＷが経過した時点で異常検知を開始するようにしたものである。
【００４１】
これにより、異常検知部１６Ｅでの異常検知が、出力切替時点から新たな調整出力値Ｑ（ｉ）が規定値ＱＳに対して一定の到達度を示すまでの待機期間ＴＷだけ停止されることになる。したがって、出力切替時における調整出力変化に遅れがあっても、遅れが解消された後、異常検知が開始されることになるため、誤りなく異常検知を行うことができる。
【００４２】
また、本実施の形態において、判定値算出部１６Ｃが、判定値Ｄ（ｉ）を算出する際、新たな調整出力値Ｑ（ｉ）を取得した時点から一定の判定時間長ＴＮだけ遡った判定期間Ｎ（ｉ）内に取得された複数の調整出力値Ｑに基づいて、判定値Ｄ（ｉ）を算出するようにしてもよい。これにより、Ｑ（ｉ）の直近のＱがＱ（ｉ）の算出に用いられるため、判定値Ｄ（ｉ）を精度よく判定することができる。
【００４３】
また、本実施の形態において、判定値算出部１６Ｃが、プロセス制御の運用時に、調整出力の出力開始または出力停止を行った出力切替時点以降に得られた新たな調整出力値Ｑ（ｉ）ごとに、判定値Ｄ（ｉ）をそれぞれ算出し、待機期間検出部１６Ｄが、運用時に得られた判定値Ｄ（ｉ）に基づいて待機期間ＴＷを検出するようにしてもよい。
これにより、出力切替時点ごとに検出された新たな待機期間ＴＷに基づいて、より正確に異常検知の停止・開始を行うことができる。
【００４４】
また、本実施の形態において、判定値算出部１６Ｃが、プロセス制御の非運用時に、試験的に調整出力の出力開始または出力停止を行った出力切替時点以降に得られた新たな調整出力値Ｑ（ｉ）ごとに、判定値Ｄ（ｉ）をそれぞれ算出し、待機期間検出部１６Ｄが、非運用時に得られた判定値Ｄ（ｉ）に基づいて待機期間ＴＷを検出するようにしてもよい。
これにより、予め検出された新たな待機期間ＴＷに基づいて、異常検知の停止・開始が行われるため、待機期間ＴＷの算出に要する処理負担を軽減できる。
【００４５】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態にかかる制御装置１０について説明する。
第１の実施の形態では、判定値Ｄ（ｉ）を算出する際、判定期間Ｎ（ｉ）に含まれるｍ個のＱ（ｉ）が規定値ＱＳに到達している割合を判定値Ｄ（ｉ）として算出する場合を例として説明したが、Ｄ（ｉ）の算出方法については、これに限定されるものではない。
本実施の形態では、予め設定されている参照判定値Ｑ（ｒｅｆ）とＱ（ｉ）との差分または比率を判定値Ｄ（ｉ）として算出する場合について説明する。
【００４６】
すなわち、本実施の形態において、判定値算出部１６Ｃは、判定値Ｄ（ｉ）を算出する際、予め設定されている参照判定値Ｑ（ｒｅｆ）と調整出力値Ｑ（ｉ）との差分または比率を、判定値Ｄ（ｉ）として算出する機能を備えている。
本実施の形態にかかる制御装置１０におけるその他の構成については、第１の実施の形態と同様であり、ここでの詳細な説明は省略する。
【００４７】
［第２の実施の形態の動作］
次に、図６および図７を参照して、本実施の形態にかかる制御装置１０の異常検知動作について説明する。図６は、第２の実施の形態にかかる判定値算出処理を示すフローチャートである。図７は、第２の実施の形態にかかる判定値算出過程を示す説明図である。
【００４８】
ここでは、判定値算出部１６Ｃが、予め設定されている参照期間Ｍ（ｒｅｆ）に得られた調整出力値Ｑを、記憶回路１５から取得して、参照判定値Ｑ（ｒｅｆ）として用いるものとする。また、Ｍ（ｒｅｆ）は、図７に示すように、待機期間ＴＷの算出を開始する出力切替時点ＴＣ１の１つ前の出力切替時点ＴＣ０の直前の測定期間であるものとする。
【００４９】
これにより、図４に示すように、ＴＷの算出がＯＮ期間に行われる場合には、直前のＯＮ期間（の最後）に取得されたＱがＱ（ｒｅｆ）として用いられることになる。また、図５に示すように、ＴＷの算出がＯＦＦ期間に行われる場合には、直前のＯＦＦ期間（の最後）に取得されたＱがＱ（ｒｅｆ）として用いられることになる。
【００５０】
判定値算出部１６Ｃは、測定期間Ｍ（ｉ）ごとに図６の判定値算出処理を実行する。
まず、判定値算出部１６Ｃは、測定期間Ｍ（ｉ）における取得タイミング到来まで待機し（ステップＳ２００）、取得タイミング到来に応じて機器Ｉ／Ｆ回路１１を介して電流検出器４から調整出力値Ｑ（ｉ）を取得して記憶回路１５に保存する（ステップＳ２０１）。
次に、判定値算出部１６Ｃは、Ｑ（ｉ）とＱ（ｒｅｆ）との差分Ｑ（ｉ）−Ｑ（ｒｅｆ）または比率Ｑ（ｉ）／Ｑ（ｒｅｆ）を判定値Ｄ（ｉ）として算出して記憶回路１５に保存し（ステップＳ２０２）、一連の判定値算出処理を終了する。
【００５１】
［第２の実施の形態の効果］
このように、本実施の形態は、判定値算出部１６Ｃが、判定値Ｄ（ｉ）を算出する際、予め設定されている参照判定値Ｑ（ｒｅｆ）と調整出力値Ｑ（ｉ）との差分または比率を、判定値Ｄ（ｉ）として算出するようにしたものである。
これにより、第１の実施の形態と比較して、Ｄ（ｉ）算出の要する処理負担を大幅に削減することができる。
【００５２】
［実施の形態の拡張］
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明のスコープ内で当業者が理解しうる様々な変更をすることができる。また、各実施形態については、矛盾しない範囲で任意に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１０…制御装置、１１…機器Ｉ／Ｆ回路、１２…通信Ｉ／Ｆ回路、１３…操作入力回路、１４…表示回路、１５…記憶回路、１６…演算処理回路、１６Ａ…設定値取得部、１６Ｂ…機器制御部、１６Ｃ…判定値算出部、１６Ｄ…待機期間検出部、１６Ｅ…異常検知部、１…操作器、２…ヒータ、３…温度センサ、４…電流検出器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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