(57)【要約】【課題】シャッタの動作異常以外の異常をも検知可能な異常監視機能付き放射線式厚さ計を提供する。【解決手段】異常監視機能付き放射線式厚さ計１０は、放射線源および該放射線源から放射される放射線を解除自在に遮蔽するシャッタを有する線源部１２と、放射線を検出する検出器１４と、被測定物Ｏを挟むように線源部１２および検出器１４を保持するフレーム１６と、を備える。放射線式厚さ計１０はさらに零校正時毎に検出器１４で測定した複数の検出電圧に基づいて、放射線式厚さ計１０の異常を判定する異常判定手段を備える。【選択図】図１
2020095011.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線源および該放射線源から放射される放射線を解除自在に遮蔽するシャッタを有する線源部と、放射線を検出する検出器と、被測定物を挟むように前記線源部および前記検出器を保持するフレームと、を備え、前記線源部から被測定物に放射線を照射し、該被測定物を透過した透過放射線量から被測定物の厚さを測定する放射線式厚さ計において、
零校正時毎に前記検出器で測定された複数の検出電圧に基づいて、放射線式厚さ計の異常を判定する異常判定手段を備えることを特徴とする放射線式厚さ計。
【請求項２】
前記異常判定手段は、下記判定条件Ａ〜Ｄのうちから選ばれる少なくとも一つの判定条件から構成されていることを特徴とする請求項１に記載の放射線式厚さ計。
記
判定条件Ａ：前記零校正時に前記シャッタの開状態にて測定された前記検出電圧の今回値と前回値とを比較し、その差が一定値を超えた場合に異常と判定する
判定条件Ｂ：前記零校正時に前記シャッタの開状態にて測定された前記検出電圧の今回値とその直近少なくとも２回の過去値の中から最大値と最小値とを求め、その差が一定値を超えた場合に異常と判定する
判定条件Ｃ：前記零校正時に前記シャッタの閉状態にて測定された前記検出電圧の今回値と前回値とを比較し、その差が一定値を超えた場合に異常と判定する
判定条件Ｄ：前記零校正時に前記シャッタの閉状態にて測定された前記検出電圧の今回値とその直近少なくとも２回の過去値の中から最大値と最小値とを求め、その差が一定値を超えた場合に異常と判定する
【請求項３】
前記異常判定手段は、前記判定条件Ａ〜Ｄのうちから選ばれる二以上の判定条件を有し、順次判定するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の放射線式厚さ計。
【請求項４】
前記異常判定手段は、順次構成されている前記判定条件のうち、異常と判定された判定条件以降を省略するように構成されていることを特徴とする請求項３に記載の放射線式厚さ計。
【請求項５】
放射線源および該放射線源から放射される放射線を解除自在に遮蔽するシャッタを有する線源部と、放射線を検出する検出器と、被測定物を挟むように前記線源部および前記検出器を保持するフレームと、を備え、前記線源部から被測定物に放射線を照射し、該被測定物を透過した透過放射線量から被測定物の厚さを測定する放射線式厚さ計の異常監視方法において、
零校正時毎に前記検出器で測定された複数の検出電圧に基づいて、放射線式厚さ計の異常を判定することを特徴とする放射線式厚さ計の異常監視方法。
【請求項６】
判定条件Ａ：前記零校正時に前記シャッタの開状態にて測定された前記検出電圧の今回値と前回値とを比較し、その差が一定値を超えた場合に異常と判定すること、判定条件Ｂ：前記零校正時に前記シャッタの開状態にて測定された前記検出電圧の今回値とその直近少なくとも２回の過去値の中から最大値と最小値とを求め、その差が一定値を超えた場合に異常と判定すること、判定条件Ｃ：前記零校正時に前記シャッタの閉状態にて測定された前記検出電圧の今回値と前回値とを比較し、その差が一定値を超えた場合に異常と判定すること、および、判定条件Ｄ：前記零校正時に前記シャッタの閉状態にて測定された前記検出電圧の今回値とその直近少なくとも２回の過去値の中から最大値と最小値とを求め、その差が一定値を超えた場合に異常と判定すること、のうちから選ばれるいずれか一つの判定条件を用いることを含むことを特徴とする請求項５に記載の放射線式厚さ計の異常監視方法。
【請求項７】
前記判定条件Ａ〜Ｄのうちから選ばれる二以上の判定条件を順次判定することを含むことを特徴とする請求項６に記載の放射線式厚さ計の異常監視方法。
【請求項８】
前記判定条件を順次判定し、異常と判定された判定条件以降を省略することを含むことを特徴とする請求項７に記載の放射線式厚さ計の異常監視方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鋼板などの被測定物に放射線を照射し、その透過放射線量から被測定物の厚さを測定する放射線式厚さ計に関し、特にその異常を監視するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の放射線式厚さ計は、放射線が被測定物を通過する際に吸収、散乱して減衰する性質を利用し、被測定物の厚さを非接触で測定するものであり、鉄鋼業においては薄板や厚板の厚さなどの寸法精度向上のために用いられている。例えば圧延ラインには、圧延機出側直近にガンマ線厚さ計が設置され、板厚偏差を減少させる種々の自動板厚制御（ＡＧＣ）が導入されている。
【０００３】
鋼板の厚さ測定精度は、鋼板の品質保証および歩留まりを確保する上で非常に重要であり、放射線式厚さ計に何らかの異常が発生した場合にはそれを確実に検知し、適切に対処するのが肝要である。
【０００４】
例えば特許文献１には、放射線検出器から出力される検出信号レベルがシャッタ閉状態に対応する判定レベル以上かをレベル判断手段により判断し、この判定レベル以上の判断が所定期間以上であればシャッタ異常判断手段によりシャッタ動作異常と判断するシャッタ異常検出装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６２−４４６１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、放射線式厚さ計の異常は、シャッタの動作異常だけではなく、その他の構造内部の不具合や信号伝送ケーブルの劣化等に起因して発生することがある。しかし、上記従来のシャッタ異常検出装置は、放射線検出器から出力される検出信号レベルがシャッタ閉状態に対応する所定の判定レベル以上か否かを判断するものであるので、検出できる不具合はシャッタ動作異常だけであり、上述したようなシャッタの動作異常以外の異常は検出することができなかった。
【０００７】
それ故本発明の目的は、放射線式厚さ計において、シャッタの動作異常以外の異常をも検知可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の放射線式厚さ計は、放射線源および該放射線源から放射される放射線を解除自在に遮蔽するシャッタを有する線源部と、放射線を検出する検出器と、被測定物を挟むように前記線源部および前記検出器を保持するフレームと、を備え、前記線源部から被測定物に放射線を照射し、該被測定物を透過した透過放射線量から被測定物の厚さを測定する放射線式厚さ計において、零校正時毎に前記検出器で測定された複数の検出電圧に基づいて、放射線式厚さ計の異常を判定する異常判定手段を備える。
【０００９】
本発明の放射線式厚さ計の好適な態様では、前記異常判定手段は、下記判定条件Ａ〜Ｄのうちから選ばれる少なくとも一つの判定条件から構成されている。
記
判定条件Ａ：前記零校正時に前記シャッタの開状態にて測定された前記検出電圧の今回値と前回値とを比較し、その差が一定値を超えた場合に異常と判定する
判定条件Ｂ：前記零校正時に前記シャッタの開状態にて測定された前記検出電圧の今回値とその直近少なくとも２回の過去値の中から最大値と最小値とを求め、その差が一定値を超えた場合に異常と判定する
判定条件Ｃ：前記零校正時に前記シャッタの閉状態にて測定された前記検出電圧の今回値と前回値とを比較し、その差が一定値を超えた場合に異常と判定する
判定条件Ｄ：前記零校正時に前記シャッタの閉状態にて測定された前記検出電圧の今回値とその直近少なくとも２回の過去値の中から最大値と最小値とを求め、その差が一定値を超えた場合に異常と判定する
【００１０】
本発明の放射線式厚さ計の好適な態様では、前記異常判定手段は、前記判定条件Ａ〜Ｄのうちから選ばれる二以上の判定条件を有し、順次判定するように構成されている。
【００１１】
本発明の放射線式厚さ計の好適な態様では、前記異常判定手段は、順次構成されている前記判定条件のうち、異常と判定された判定条件以降を省略するように構成されている。
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明の放射線式厚さ計の異常監視方法は、放射線源および該放射線源から放射される放射線を解除自在に遮蔽するシャッタを有する線源部と、放射線を検出する検出器と、被測定物を挟むように前記線源部および前記検出器を保持するフレームと、を備え、前記線源部から被測定物に放射線を照射し、該被測定物を透過した透過放射線量から被測定物の厚さを測定する放射線式厚さ計の異常監視方法において、零校正時毎に前記検出器で測定された複数の検出電圧に基づいて、放射線式厚さ計の異常を判定することを含む。
【００１３】
本発明の放射線式厚さ計の異常監視方法の好適な態様では、判定条件Ａ：前記零校正時に前記シャッタの開状態にて測定された前記検出電圧の今回値と前回値とを比較し、その差が一定値を超えた場合に異常と判定すること、判定条件Ｂ：前記零校正時に前記シャッタの開状態にて測定された前記検出電圧の今回値とその直近少なくとも２回の過去値の中から最大値と最小値とを求め、その差が一定値を超えた場合に異常と判定すること、判定条件Ｃ：前記零校正時に前記シャッタの閉状態にて測定された前記検出電圧の今回値と前回値とを比較し、その差が一定値を超えた場合に異常と判定すること、および、判定条件Ｄ：前記零校正時に前記シャッタの閉状態にて測定された前記検出電圧の今回値とその直近少なくとも２回の過去値の中から最大値と最小値とを求め、その差が一定値を超えた場合に異常と判定すること、のうちから選ばれるいずれか一つの判定条件を用いることを含む。
【００１４】
本発明の放射線式厚さ計の異常監視方法の好適な態様では、前記判定条件Ａ〜Ｄのうちから選ばれる二以上の判定条件を順次判定することを含む。
【００１５】
本発明の放射線式厚さ計の異常監視方法の好適な態様では、前記判定条件を順次判定し、異常と判定された判定条件以降を省略することを含む。
【発明の効果】
【００１６】
放射線式厚さ計において測定結果に悪影響を及ぼすような何らかの異常が生じた場合には、零校正時の検出電圧に変化が生じるところ、本発明によれば、零校正時毎に測定した検出電圧の推移から異常を判定するようにしたので、このような異常を検知することができる。
【００１７】
さらに、異なる複数の異常判定条件を用いることで、異常監視能力を高めることができる。加えて、順次判定する複数の異常判定条件において、最初に異常と判定された以降の処理を省略することにより、異常判定処理を効率化できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態の放射線式厚さ計における異常監視方法の実施に適した本発明の一実施形態の異常監視機能付き放射線式厚さ計の概略構成図である。
【図２】図１の放射線式厚さ計における零校正のタイミングチャートの一例である。
【図３】板厚と電圧との関係を示す検量線の一例である。
【図４】放射線式厚さ計の修繕に際して行う品質保証試験の一例である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は異常判定部により実施される異常判定方法の一例を示すフローチャートである。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は異常判定部により実施される異常判定方法の他の例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照し、本発明の異常監視機能付き放射線式厚さ計および放射線式厚さ計における異常監視方法の実施の形態を詳細に説明する。ここで、図１は、本発明の一実施形態の放射線式厚さ計における異常監視方法の実施に適した本発明の一実施形態の異常監視機能付き放射線式厚さ計（以下、単に放射線式厚さ計という。）の概略構成図である。
【００２０】
本実施形態の放射線式厚さ計１０は、移動する鋼板等の被測定物Ｏに放射線を照射して、被測定物Ｏを透過した透過放射線量から被測定物Ｏの厚さを測定するものであって、主として、ガンマ線やＸ線等の放射線を放射する線源部１２と、放射線を検出する検出器１４と、被測定物Ｏを搬送するパスライン平面と垂直な方向で該被測定物Ｏを挟むように線源部１２および検出器１４を保持する例えばＣ字形のフレーム１６と、フレーム１６を支持するとともにオンライン位置およびオフライン位置間でレール１８上を走行（移動）する台車２０と、各種の演算処理および制御を行う制御盤２２と、測定結果を記録する例えばアナログ式の記録計２４と、を備えて構成される。
【００２１】
線源部１２は、γ線源やＸ線源等の図示しない放射線源と、該放射線源を格納する図示しない格納容器と、該格納容器の開口部を開閉可能であり放射線源から放射される放射線を解除自在に遮蔽する図示しないシャッタとを有する。
【００２２】
検出器１４は、図示しない電離箱およびプリアンプを有し、放射線源から放射された放射線は、電離箱で電気信号に変換され、プリアンプで適度な電圧信号に変換、調整される。
【００２３】
制御盤２２内には、検出器１４から出力された検出電圧のアナログ／デジタル変換を行う平均処理部２６と、デジタル化された検出電圧に基づいて被測定物Ｏの厚さを算出する厚さ演算部２８と、零校正部３０と、サンプル校正部３２とが設けられている。
【００２４】
零校正部３０は、所定の校正時間間隔、例えば８時間毎に、オフライン位置までフレーム１６を移動させた後、放射線中に被測定物Ｏが無い状態にて、シャッタ開のときの検出器１４の検出電圧Ｖｏと、シャッタ閉のときの検出器１４の検出電圧Ｖｓとをそれぞれ測定して零校正を実施する。検出電圧Ｖｏ、Ｖｓは零校正の都度、記憶部３４に記憶される。図２に、零校正のタイミングチャートを示す。測定中の状態から制御盤２２に設けられた零校正ボタン（図示せず）が押されるかあるいは所定の校正時間になると、台車２０がオフライン位置に移動し、該オフライン位置にてシャッタ閉の状態で電圧Ｖｏの測定が開始される。その後、被測定物Ｏ無しかつシャッタ開の状態で電圧Ｖｓの測定が開始される。
【００２５】
サンプル校正部３２は、例えば零校正後に、板厚が既知である複数のサンプル（厚さ基準片）を実測し、図３に示すような検量線（校正テーブル）を作成（補正）する。作成した検量線は、制御盤２２内の記憶部３４に記憶され、厚さ演算部２８は、被測定物Ｏの厚み測定時に検出電圧を読込み、記憶された検量線から厚みを演算処理し、材質補正部３６（図１参照）は、厚さ演算部２８により算出された被測定物Ｏの厚さの計算値に対して被測定物Ｏの材質（密度）を考慮して補正を行う。
【００２６】
放射線式厚さ計１０は、放射線が被測定物Ｏを通過する際に吸収、散乱して減衰する性質を利用しており、被測定物Ｏの厚さを下記式（１）〜（３）から求める。
Ｖｚ＝Ｖｏ−Ｖｓ              ・・・（１）
Ｖ＝Ｖｚ・ｅｘｐ（−μ・ｔ）  ・・・（２）
Ｖｈ＝Ｖ＋ｆ（ｔ）            ・・・（３）
ここで、Ｖｏは、放射線中に被測定物Ｏが無くかつシャッタ開のときの検出器１４の検出電圧を示し、Ｖｓは、被測定物Ｏが無くかつシャッタ閉のときの検出器１４の検出電圧を示し、Ｖは、板厚がｔの時の電圧理論値を示し、μは、被測定物Ｏの吸収係数（例えば鉄の場合には０．９）を示し、ｆ（ｔ）は、板厚毎のサンプル補正量を示し、Ｖｈは、サンプル補正後の電圧を示す。
【００２７】
また制御盤２２内には、測定結果を、ネットワークを介して上位計算機３８に伝送する上位伝送部４０と、測定結果が所定の目標厚みの範囲内にあるか否かを監視し、外れた場合にオフゲージ（厚さ不良）と判定するオフゲージ判定部４２とが設けられている。
【００２８】
ところで、鉄鋼業等の製造業において製品の厚さ測定精度は、製品の品質保証および歩留まりを確保する上で非常に重要であるから、部品交換を含め放射線式厚さ計１０を修繕した場合には、交換前後で品質保証試験を行うことが多い。図４は、その手順の一例を示しており、品質保証試験には、修繕前に放射線式厚さ計１０に異常が無いことを確認するための修繕前検査と、結線チェックと、シャッタの開閉試験と、台車２０の走行試験と、板厚測定試験と、ドリフト試験と、零校正試験と、サンプル校正試験と、サンプルの再測定と、上位計算機３８への伝送試験と、ノイズ確認等のその他の試験と、オンライン監視とが含まれる。
【００２９】
このような品質保証試験において、シャッタ開閉試験では異常が無いにも拘わらず、測定結果が安定せず、また立ち上げ数週間後に誤ってオフゲージと判定される事例も確認されており、このような放射線式厚さ計１０の不具合は、シャッタの動作異常以外に要因がある場合がある。しかし、従来の、検出器１４から出力される電圧レベルがシャッタ閉状態に対応する所定の判定レベル以上か否かだけを判断する手法では、このような他の要因に起因した異常を検出できない場合がある。
【００３０】
そこで本実施形態では、シャッタの動作異常以外の異常をも検知可能とするため、零校正時毎に検出器１４で測定された複数の検出電圧に基づいて、放射線式厚さ計１０の異常を判定する異常判定手段として、制御盤２２に異常判定部４４を設けている。
【００３１】
より具体的には異常判定部４４は、零校正時にシャッタ開の状態にて測定された検出電圧Ｖｏの今回値と前回値とを比較し、その差の絶対値（｜今回値−前回値｜）が一定値α１（ｍＶ）を超えた場合に異常と判定する（以下、判定条件Ａという。）よう構成されている。α１は、例えば０（ｍＶ）超え１０（ｍＶ）以下の範囲内とするのが好ましく、その理由は、正常時の８時間ドリフト実績がこの範囲を超えたことがないからである。検出電圧Ｖｏの今回値と前回値との差の絶対値がα１を超えるような異常の要因としては、放射線を放射する機器において線源の固定が不十分である（完全に固定されておらず、機械的ガタが生じている）等が考えられる。さらに好ましくはα１を０（ｍＶ）超え８（ｍＶ）以下の範囲とすれば、異常の見逃しや誤検出を抑止できる。
【００３２】
判定条件Ａに代えてまたは加えて、異常判定部４４は、零校正時にシャッタ開の状態にて測定された検出電圧Ｖｏの今回値とその直近少なくとも２回の過去値の中から最大値と最小値とを求め、その差が一定値α２（ｍＶ）を超えた場合に異常と判定する（以下、判定条件Ｂという。）よう構成されている。α２は、例えば０（ｍＶ）超え２０（ｍＶ）以下の範囲内とするのが好ましく、その理由は、正常時の複数回の零校正時（たとえば、１週間）のドリフト実績がこの範囲を超えたことがないからである。検出電圧Ｖｏの今回値およびその直近少なくとも２回の過去値の中の最大値と最小値との差がα２を超えるような異常の要因としては、放射線を放射する機器において線源の固定が不十分である（完全に固定されておらず、機械的ガタが生じている）、線源を固定するネジが徐々に緩む、配線が劣化して回路抵抗が徐々に高まる、等が考えられる。さらに好ましくはα２を０（ｍＶ）超え１５（ｍＶ）以下の範囲とすれば、異常の見逃しや誤検出を抑止できる。
【００３３】
判定条件ＡやＢに代えてまたは加えて、異常判定部４４は、零校正時にシャッタ閉の状態にて測定された検出電圧Ｖｓの今回値と前回値とを比較し、その差の絶対値（｜今回値−前回値｜）が一定値β１（ｍＶ）を超えた場合に異常と判定する（以下、判定条件Ｃという。）よう構成されている。β１は、例えば０（ｍＶ）超え１（ｍＶ）以下の範囲内とするのが好ましく、その理由は、正常時の８時間ドリフト実績がこの範囲を超えたことがないからである。検出電圧Ｖｓの今回値と前回値との差の絶対値がβ１を超えるような異常の要因としては、検出器１４で検出した電気信号を制御盤２２に伝達するケーブルへのノイズ混入等が考えられる。さらに好ましくはβ１を０（ｍＶ）超え０．５（ｍＶ）以下の範囲とすれば、異常の見逃しや誤検出を抑止できる。
【００３４】
判定条件Ａ〜Ｃに代えてまたは加えて、異常判定部４４は、零校正時にシャッタ閉の状態にて測定された検出電圧Ｖｓの今回値とその直近少なくとも２回の過去値の中から最大値と最小値とを求め、その差が一定値β２（ｍＶ）を超えた場合に異常と判定する（以下、判定条件Ｄという。）よう構成されている。β２は、例えば０（ｍＶ）超え２（ｍＶ）の範囲内とするのが好ましく、その理由は、正常時の複数回の零校正時（たとえば、１週間）のドリフト実績がこの範囲を超えたことがないからである。検出電圧Ｖｓの今回値およびその直近少なくとも２回の過去値の中の最大値と最小値との差がβ２を超えるような異常の要因としては、検出器１４で検出した電気信号を制御盤２２に伝達するケーブルへのノイズ混入等が考えられる。さらに好ましくはβ２を０（ｍＶ）超え１．５（ｍＶ）以下の範囲とすれば、異常の見逃しや誤検出を抑止できる。
【００３５】
なお、判定条件ＢやＤでは、対象とする測定回数を多くした場合、気候変動によるドリフトで誤検出するおそれがあり、測定回数を制限するか、α２やβ２に温度変動を考慮するなどの対応が望ましい。
【００３６】
図５（ａ）〜（ｄ）に異常判定部４４が零校正部３０による零校正（ＶｏおよびＶｓの測定）毎に実施する異常判定方法の一例を示す。まず図５（ａ）に示す例は上記判定条件Ａに相当し、ステップＳ１０にて、異常判定部４４が、放射線中に被測定物Ｏが無くかつシャッタが開の時の検出電圧Ｖｏの今回値および前回値を記憶部３４から読み出し、ステップＳ１１において、読み出した今回値と前回値の差の絶対値を一定値α１と比較し、α１を超える場合にはステップＳ１２において異常を知らせる異常信号（警報）を出力する。
【００３７】
図５（ｂ）に示す例は上記判定条件Ｂに相当し、ステップＳ２０にて、異常判定部４４が、放射線中に被測定物Ｏが無くかつシャッタが開の時の検出電圧Ｖｏの今回値に加えて、その直近少なくとも２回の過去値を記憶部３４から読み出し、ステップＳ２１において、読み出した３つ以上の検出電圧の中から最大値と最小値を抽出し、ステップＳ２２において、抽出した最大値と最小値の差を一定値α２と比較し、α２を超える場合にはステップＳ２３において異常を知らせる異常信号（警報）を出力する。また、最大値と最小値を求める際の過去値の回数は、３回〜５回とするのが好ましく、その理由は、回数を多くすると判定精度は向上するものの、異常の発見が遅くなるおそれがあるからである。
【００３８】
図５（ｃ）に示す例は上記判定条件Ｃに相当し、ステップＳ３０にて、異常判定部４４が、放射線中に被測定物Ｏが無くかつシャッタが閉の時の検出電圧Ｖｓの今回値および前回値を記憶部３４から読み出し、ステップＳ３１において、読み出した今回値と前回値の差の絶対値を一定値β１と比較し、β１を超える場合にはステップＳ３２において異常を知らせる異常信号（警報）を出力する。
【００３９】
図５（ｄ）に示す例は上記判定条件Ｄに相当し、ステップＳ４０にて、異常判定部４４が、放射線中に被測定物Ｏが無くかつシャッタが閉の時の検出電圧Ｖｓの今回値に加えて、その直近少なくとも２回の過去値を記憶部３４から読み出し、ステップＳ４１において、読み出した３つ以上の検出電圧の中から最大値と最小値を抽出し、ステップＳ４２において、抽出した最大値と最小値の差を一定値β２と比較し、β２を超える場合にはステップＳ４３において異常を知らせる異常信号（警報）を出力する。また、最大値と最小値を求める際の過去値の回数は、３回〜５回とするのが好ましく、その理由は、回数を多くすると判定精度は向上するものの、異常の発見が遅くなるおそれがあるからである。
【００４０】
図６（ａ）〜（ｄ）に異常判定部４４が零校正部３０による零校正（ＶｏおよびＶｓの測定）毎に実施する異常判定方法の他の例を示す。図６（ａ）および（ｃ）は図５（ａ）および（ｃ）とそれぞれ同じであるので説明を省略する。
【００４１】
図６（ｂ）に示す例は上記判定条件Ｂに相当し、ステップＳ２０にて、異常判定部４４が、放射線中に被測定物Ｏが無くかつシャッタが開の時の検出電圧Ｖｏの今回値に加えて、過去の検出電圧Ｖｏの最大値、最小値を記憶部３４から読み出す。ステップＳ２１にて、測定回数Ｎが１か、または、今回値が最大値より大きいかを比較し、測定回数Ｎが１である場合、または、今回値が大きい場合にはステップ２２により最大値を今回値とした後、次ステップＳ２３に移り、そうでない場合には、次ステップＳ２３に移る。ステップＳ２３では、測定回数Ｎが１か、または、今回値が最小値より小さいか比較し、測定回数Ｎが１である場合、または、今回値が小さい場合にはステップＳ２４により最小値を今回値とした後、次ステップＳ２５に移り、そうでない場合には、次ステップＳ２５に移る。ステップＳ２５において、最大値と最小値の差を一定値α２と比較し、α２を超える場合にはステップＳ２６において異常を知らせる異常信号（警報）を出力する。そうでない場合には、最大値および最小値を記憶部３４に保存する。なお、Ｎ＝１では、最大値と最小値が同じであり、Ｎ＝２では、最大値−最小値は、今回値と前回値の差の絶対値に等しくなるため、Ｎ＝３以上、つまり、検出電圧の今回値とその直近少なくとも２回の過去値を用いることが望ましい。
【００４２】
図６（ｄ）に示す例は上記判定条件Ｄに相当し、ステップＳ４０にて、異常判定部４４が、放射線中に被測定物Ｏが無くかつシャッタが閉の時の検出電圧Ｖｓの今回値に加えて、過去の検出電圧Ｖｓの最大値、最小値を記憶部３４から読み出す。ステップＳ４１にて、測定回数Ｎが１か、または、今回値が最大値より大きいかを比較し、測定回数Ｎが１である場合、または、今回値が大きい場合にはステップＳ４２により最大値を今回値とした後、次ステップＳ４３に移り、そうでない場合には、次ステップＳ４３に移る。ステップＳ４３では、測定回数Ｎが１か、または、今回値が最小値より小さいか比較し、測定回数Ｎが１である場合、または、今回値が小さい場合にはステップＳ４４により最小値を今回値とした後、次ステップＳ４５に移り、そうでない場合には、次ステップＳ４５に移る。ステップＳ４５において、最大値と最小値の差を一定値β２と比較し、β２を超える場合にはステップＳ４６において異常を知らせる異常信号（警報）を出力する。そうでない場合には、最大値および最小値を記憶部３４に保存する。なお、Ｎ＝１では、最大値と最小値が同じであり、Ｎ＝２では、最大値−最小値は、今回値と前回値の差の絶対値に等しくなるため、Ｎ＝３以上、つまり、検出電圧の今回値とその直近少なくとも２回の過去値を用いることが望ましい。
【００４３】
なお、図示は省略するが、異常判定部４４は、異常監視能力を高めるため、図５（ａ）〜（ｄ）または図６（ａ）〜（ｄ）に示した異常判定方法に用いる判定条件Ａ〜Ｄのうちのいずれか２つもしくは３つ、あるいは４つ全てを実施してもよい。この場合、複数の異常判定処理は所定の順序で順次行われ、いずれかの判定演算で異常と判断された場合には、異常信号を出力し、残余の判定処理を行うことなく演算を終了させる。もって、効率よく異常判定処理することができる。
【００４４】
放射線式厚さ計１０において測定結果に悪影響を及ぼすような何らかの異常が生じた場合には、零校正時の検出電圧に変化が生じるところ、本実施形態によれば、零校正時毎に測定した検出電圧Ｖｏ、Ｖｓの推移から異常を判定するようにしたので、このような異常を検知することができる。
【００４５】
特に、零校正時にシャッタ開の状態で測定した検出電圧Ｖｏの今回値と前回値との差が一定値α１を超えた場合、あるいはＶｏの今回値および過去値の複数回分（例えば５回分）で最大値と最小値の差が一定値α２を超えている場合に異常と判定することで、放射線源が完全に固定されていない等の放射線式厚さ計１０内部で発生する異常やシャッタの動作不良等を検知することができる。
【００４６】
また、零校正時にシャッタ閉の状態で測定した検出電圧Ｖｓの今回値と前回値との差が一定値β１を超えた場合、あるいはＶｓの今回値および過去値の複数回分（例えば５回分）の最大値と最小値の差が一定値β２を超えている場合に異常と判定することで、検出器１４で検出した電気信号を制御盤２２に伝達するケーブルへのノイズ混入やシャッタの動作不良等、放射線源以外の箇所での異常を検知することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明によれば、放射線式厚さ計において、シャッタの動作異常以外の異常をも検知することが可能となる。
【符号の説明】
【００４８】
１０  放射線式厚さ計
１２  線源部
１４  検出器
１６  フレーム
１８  レール
２０  台車
２２  制御盤
２４  記録計
２６  平均処理部
２８  厚さ演算部
３０  零校正部
３２  サンプル校正部
３４  記憶部
３６  材質補正部
３８  上位計算機
４０  上位伝送部
４２  オフゲージ判定部
４４  異常判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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