(57)【要約】【課題】処理室内の汚染物質の発生を防止し、ガラス板の品質向上を図る。【解決手段】処理室５内で処理装置を用いてガラス板Ｇに処理を施す処理工程を含むガラス板の製造方法であって、処理室５内に捕集体１１を配置し、処理室５内の汚染物質を捕集体１１の表面に付着させて捕集する捕集工程を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理室内で処理装置を用いてガラス板に処理を施す処理工程を含むガラス板の製造方法であって、
前記処理室内に捕集体を配置し、前記処理室内の汚染物質を前記捕集体の表面に付着させて捕集する捕集工程を備えていることを特徴とするガラス板の製造方法。
【請求項２】
前記捕集工程を経た前記捕集体に付着した前記汚染物質を分析する分析工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記捕集体が、無機化合物からなる板状部材であることを特徴とする請求項２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記分析工程で、前記汚染物質として潤滑剤を検出することを特徴とする請求項２又は３に記載のガラス板の製造方法。
【請求項５】
前記処理装置に潤滑剤を供給する供給工程と、
前記処理装置に供給された前記潤滑剤の一部を除去する除去工程と、を備え、
前記捕集工程および前記分析工程は、前記供給工程の後に実行され、
前記除去工程は、前記分析工程の結果に応じて実行されることを特徴とする請求項４に記載のガラス板の製造方法。
【請求項６】
前記処理装置は、搬送装置を備え、
前記処理工程は、前記搬送装置によって、縦姿勢の前記ガラス板の上部を保持しながら搬送する搬送工程を備え、
前記供給工程では、前記搬送装置に潤滑剤を供給することを特徴とする請求項５に記載のガラス板の製造方法。
【請求項７】
前記処理室が、クリーンルームであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス板が使用される。
【０００３】
ガラス板の製造工程としては、例えば、次のような方法が挙げられる。すなわち、ガラス板の製造工程では、まず、長尺なガラスリボンを連続的に成形する（例えば、特許文献１を参照）。成形方法としては、オーバーフローダウンドロー法、スロットダウンドロー法、リドロー法に代表されるダウンドロー法を利用した手法や、フロート法を利用した手法が広く採用されている。
【０００４】
次に、ガラスリボンを所定の長さ毎に幅方向に切断し、ガラスリボンからガラス板を切り出す（例えば、特許文献２を参照）。
【０００５】
その後、例えば、切り出されたガラス板の幅方向両端部を更に切断したり（例えば、特許文献３を参照）、欠陥検査を実施したりするなどの各種工程（例えば、特許文献４を参照）を経て、最終的に製品となるガラス板が製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−１２２１２４号公報
【特許文献２】特開２０１４−００５１７０号公報
【特許文献３】特開２０１４−０２４７２０号公報
【特許文献４】特開２０１８−１１２４１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
フラットパネルディスプレイに用いられるガラス板の製造工程の一部は、ガラス板の清浄性を維持して品質向上を図るために、クリーンルームなどの所定の処理室内で実施される。
【０００８】
しかしながら、ガラス板の製造工程において、ガラス板に処理を施すための装置（例えば、搬送装置）や作業者などの種々の場所から汚染物質が発生し得る。このような汚染物質の発生を放置すると、汚染物質がガラス板に付着するおそれがある。しかも、汚染物質の種類によっては洗浄で除去しにくいものもあり、ガラス板の品質低下を招くおそれがある。
【０００９】
そこで、処理室内の汚染物質の発生を防止することが望まれるが、汚染物質の発生原因として推定される場所が多岐に亘るため、十分な対策が実施されていないのが実情である。
【００１０】
本発明は、処理室内の汚染物質の発生を防止し、ガラス板の品質向上を図ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために創案された本発明は、処理室内で処理装置を用いてガラス板に処理を施す処理工程を含むガラス板の製造方法であって、処理室内に捕集体を配置し、処理室内の汚染物質を捕集体の表面に付着させて捕集する捕集工程を備えていることを特徴とする。このような構成によれば、捕集体に付着した汚染物質を観察することで、汚染物質の発生原因（発生場所）を推定できる。したがって、汚染物質の発生原因を除去するための処理（例えば、汚染物質の拭き取り作業など）を適切に実施しやすくなり、処理室内の汚染物質の発生を防止できる。
【００１２】
上記の構成において、捕集工程を経た捕集体に付着した汚染物質を分析する分析工程をさらに備えることが好ましい。このようにすれば、捕集体に付着した汚染物質を分析することで、汚染物質の種類が特定できるため、汚染物質の発生原因（発生場所）をより正確に推定できる。
【００１３】
上記の構成において、捕集体は、無機化合物からなる板状部材であることが好ましい。このようにすれば、捕集体に付着した汚染物質に有機物が含まれる場合に、その有機物を分析しやすくなる。
【００１４】
上記の構成において、分析工程で、汚染物質として潤滑剤を検出することが好ましい。潤滑剤は洗浄で除去しにくい。そのため、潤滑剤が汚染物質に含まれている場合には、潤滑剤の発生原因を除去するための処理を適切に実施する必要がある。したがって、分析工程で潤滑剤を検出対象とすることが好ましい。
【００１５】
上記の構成において、処理装置に潤滑剤を供給する供給工程と、処理装置に供給された潤滑剤の一部を除去する除去工程と、を備え、捕集工程および分析工程は、供給工程の後に実行され、除去工程は、分析工程の結果に応じて実行されることが好ましい。潤滑剤を過剰に供給すると、潤滑剤が飛散してガラス板に付着しやすくなるが、分析工程の結果に応じて処理装置に供給された潤滑剤の一部が除去されるため、潤滑剤がガラス板に付着するのを防止できる。ここで、例えば、除去工程は、分析工程で所定の大きさ以上（例えば、直径が３００μｍ以上）の潤滑剤が検出された場合に実行する。
【００１６】
上記の構成において、処理装置は、搬送装置を備え、処理工程は、搬送装置によって、縦姿勢のガラス板の上部を保持しながら搬送する搬送工程を備え、供給工程では、搬送装置に潤滑剤を供給してもよい。すなわち、搬送装置（例えば、搬送装置に含まれるＬＭガイドなど）は、汚染物質としての潤滑剤の発生原因となり得る。しかも、搬送装置は、縦姿勢のガラス板の上方に位置するため、搬送装置の潤滑剤が過剰であると、ガラス板に付着しやすくなる。したがって、このような構成に対して、潤滑剤が過剰な場合にそれを検出して適切に除去できる本願発明は特に有用となる。
【００１７】
上記の構成において、処理室は、クリーンルームであってもよい。クリーンルームで処理されるような高い清浄度が要求されるガラス板の製造に本発明を適用すれば、ガラス板の品質向上を図るという効果がより顕著となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、処理室内の汚染物質の発生を防止し、ガラス板の品質向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】ガラス板の製造方法を体現するためのガラス板の製造装置を示す概略平面図である。
【図２】Ｘ領域の拡大図を備えた捕集体（金属膜付きガラス片）の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２１】
図１に示すように、本実施形態に係るガラス板の製造方法は、成形ゾーン（図示省略）で実施される成形工程と、第一切断ゾーン１で実施される第一切断工程と、第二切断ゾーン２で実施される第二切断工程と、検査ゾーン３で実施される検査工程と、梱包ゾーン４で実施される梱包工程と、を備えている。第一切断ゾーン１、第二切断ゾーン２、検査ゾーン３および梱包ゾーン４は、処理室５内に設けられている。すなわち、第一切断工程、第二切断工程、検査工程および梱包工程が、処理室５内でガラス板Ｇに処理を施す処理工程に含まれる。なお、本実施形態では、処理室５はクリーンルームであるが、これに限定されない。処理室５は、外部からの汚染物質をある程度遮断できる空間を区画形成するものであればよい。
【００２２】
成形工程では、成形ゾーンにおいて、オーバーフローダウンドロー法によって縦姿勢のガラスリボン（図示省略）を連続成形する。成形ゾーンは、第一切断ゾーン１の上方に設けられており、溶融ガラスからガラスリボンを成形する第一ゾーンと、ガラスリボンを徐冷（アニール）する第二ゾーンと、ガラスリボンを冷却する第三ゾーンと、を上方から順に備えている。なお、成形方法は、オーバーフローダウンドロー法に限定されるものではなく、例えば、スロットダウンドロー法やリドロー法などの他のダウンドロー法や、フロート法などであってもよい。
【００２３】
第一切断工程では、第一切断ゾーン１において、ガラスリボンを縦姿勢のまま所定長さで切断することでガラス板Ｇを得る。第一切断工程では、ガラスリボンの所定位置で幅方向にスクライブ線を形成した後、そのスクライブ線に沿って曲げ応力を作用させて割断する。なお、ガラスリボンの切断方法は、曲げ応力による割断に限定されるものではなく、例えば、レーザー割断やレーザー溶断などであってもよい。
【００２４】
第二切断工程では、第二切断ゾーン２において、縦姿勢のガラス板Ｇの幅方向両端部を上下方向に切断して除去する。第二切断ゾーン２では、ガラス板Ｇの所定位置で上下方向にスクライブ線Ｓを形成した後、スクライブ線Ｓに沿って曲げ応力を作用させてガラス板Ｇを割断する。なお、除去されるガラス板Ｇの幅方向両端部には、幅方向中央部よりも相対的に厚さが大きくなる耳部が含まれる場合がある。また、ガラスリボンの切断方法は、曲げ応力による割断に限定されるものではなく、例えば、レーザー割断やレーザー溶断などであってもよい。
【００２５】
検査工程では、検査ゾーン３において、縦姿勢のガラス板Ｇの欠陥などを検査する。本実施形態では、検査ゾーン３では、一又は複数のセンサ６で、ガラス板Ｇの偏肉を測定したり、ガラス板Ｇの筋（脈理）を測定したり、ガラス板Ｇに含まれる欠陥の種類（例えば、泡、異物など）、位置（座標）、大きさを測定したりする。なお、検査ゾーン３における検査内容は、特に限定されるものではなく、適宜変更することができる。また、検査ゾーン３の下流側に、マーキング工程を実施するためのマーキングゾーンを設けてもよい。マーキングゾーンでは、例えば、ガラス板Ｇに対して検査工程の検査結果などと紐付けられた識別情報が付される。
【００２６】
梱包工程では、梱包ゾーン４に配置されたパレット（図示省略）に、複数枚のガラス板Ｇを各相互間に保護シートを介在させて積層して梱包する。パレットは、ガラス板Ｇを横姿勢（平置き姿勢）で梱包するものであってもよいが、本実施形態では、ガラス板Ｇを縦姿勢で梱包するものである。なお、パレットが配置された梱包ゾーン４を複数設け、各梱包ゾーン４の各パレットにガラス板Ｇを積み分けるようにしてもよい。なお、本実施形態で製造されたガラス板Ｇは、フラットパネルディスプレイに使用される。
【００２７】
本実施形態では、第一切断ゾーン１から梱包ゾーン４へ至るまでの間、ガラス板Ｇは縦姿勢（好ましくは鉛直姿勢）で搬送される。この間、ガラス板Ｇは、搬送装置のチャック機構７によって上部が保持された状態で吊り下げられる。吊り下げられたガラス板Ｇは、複数のチャック機構７の間で受け渡されながら下流側に搬送される。具体的には、例えば、第一切断ゾーン１と第二切断ゾーン２との間の第一受渡ゾーン８、および検査ゾーン３と梱包ゾーン４との間の第二受渡ゾーン９において、ガラス板Ｇを搬送するチャック機構７が切り替わる。なお、受渡ゾーン８，９も処理室５内に設けられている。
【００２８】
ここで、搬送装置は、ガラス板Ｇに処理を施すための処理装置に含まれるものであり、チャック機構７と、チャック機構７を移動させるためのＬＭガイド（図示省略）と、を備えている。なお、搬送装置は、特に限定されるものではなく、コンベアなどでガラス板Ｇを横姿勢（好ましくは水平姿勢）や傾斜姿勢で搬送するものであってもよい。
【００２９】
本実施形態に係るガラス板の製造方法は、処理室５内で実施される捕集工程と、処理室５内または外で実施される分析工程と、を更に備えている。
【００３０】
捕集工程では、処理室５内に捕集体１１を配置し、処理室５内の汚染物質を捕集体１１の表面に付着させて捕集する。捕集方法としては、例えば、捕集体１１を処理室５内に２４時間〜１週間程度の間放置することで、捕集体１１の表面に自然沈降した汚染物質を付着させる方法（沈降テスト）が挙げられる。あるいは、ファン等で発生させた気流上に捕集体１１を配置することにより、気流と共に汚染物質を捕集体１１に吹き付けて付着させてもよい。
【００３１】
捕集体１１は、金属膜付きの矩形状のガラス片からなる。金属膜は、例えば、ガラス片に蒸着やスパッタなどにより成膜すればよく、白金や金、クロム、アルミニウムなどで構成すればよい。このようにすれば、付着した汚染物質をマイクロマニュピレーター等で採取して載せ替えることなく、顕微鏡や、フーリエ変換赤外分光法赤外分光法（ＦＴＩＲ）といった赤外分光法（ＩＲ）による汚染物質の分析が可能になる。また、光を透過しないので、付着した汚染物質を顕微鏡で確認しやすくなる。なお、捕集体１１は、ガラス片に限定されるものではなく、汚染物質を捕集できるものであればよい。例えば、ガラス以外の無機物質からなる部材であってもよく、板状以外の可撓性を有するシート状部材であってもよい。付着した汚染物質の分析が容易に行う観点では、板状部材が好ましい。また、汚染物質の検出を容易にする観点から、捕集体１１は、加熱などの脱脂処理を施した清浄なものであることが好ましい。さらに、赤外分光分析装置などの汚染物質から反射された信号を読み取る分析で分析精度の向上を図る観点から、捕集体１１は、反射率が８５％以上であることが好ましい。
【００３２】
捕集体１１のうち、汚染物質を付着可能な表面の面積は、例えば、１００〜１０，０００ｍｍ２であることが好ましく、１，０００〜５，０００ｍｍ２であることが好ましい。
【００３３】
捕集体１１は、シャーレなどの容器１２内に配置されている。容器１２は、捕集体１１を内部に収容した状態で、蓋（図示省略）を閉じることが可能になっている。すなわち、汚染物質を付着させる必要があるときに蓋を外し、汚染物質を付着させる必要がないときに蓋を閉じることにより、容器１２内に収容された捕集体１１に埃などの不要な汚れが付着するのを防止できる。蓋には、例えば、捕集体１１を配置した位置などの情報が記載される。本実施形態では、捕集体１１は、第一受渡ゾーン８および第二受渡ゾーン９にそれぞれ配置されている。これらの受渡ゾーン８，９では、ガラス板Ｇの搬送方向が略直角に変更されるため、搬送装置のＬＭガイドが多数配置されている。具体的には、例えば、第一方向に延びるＬＭガイドと、第一方向と略直交する第二方向に延びるＬＭガイドとが配置される。したがって、これらの受渡ゾーン８，９では、ＬＭガイドから汚染物質としての潤滑剤が発生しやすい。なお、捕集体１１の配置位置は特に限定されない。
【００３４】
分析工程では、捕集工程を経た捕集体１１を回収し、捕集体１１の表面に付着された汚染物質を分析する。分析方法としては、上述の顕微鏡や赤外分光法などを採用し得る。また、レーザーラマン分光法や飛行時間型二次イオン質量分析法、ＴＯＦ−ＳＩＭＳなどを採用してもよい。分析工程では、汚染物質の種類（潤滑剤（グリス）、たんぱく質、ペンキ、エポキシ樹脂、ポリウレタンなど）を特定すると共に、その大きさを測定する。このようによれば、汚染物質の種類が特定できるため、汚染物質の発生原因を正確に推定できる。したがって、特定された汚染物質の発生原因の除去処理を適切に実施しやすくなり、処理室５内の汚染物質の発生を防止できる。なお、分析工程は、省略してもよい。また、捕集体１１を回収する際、ガラス板Ｇの搬送を一時的に停止することが好ましい。
【００３５】
ここで、潤滑剤はガラス板Ｇに付着すると、洗浄により除去しにくいため、分析工程では、潤滑剤の有無を検出することが好ましい。なお、顕微鏡で分析する場合、図２に示すように、例えば、捕集体１１の表面に付着した汚染物質（沈降物）のうち、青白く光る丸状の物質１３を潤滑剤と判定できる。この場合、物質１３の場所をマーキングなどで特定すると共に、赤外分光法などの詳細な分析を更に実施することが好ましい。
【００３６】
分析工程の分析結果は、データベースに保存することが好ましい。このようにすれば、データベースに保存された複数の分析結果に基づいて、汚染物質の発生原因の傾向分析や、汚染物質の発生を低減できるガラス板Ｇの製造条件の最適化などを行うことができる。また、異なる二箇所以上の場所の間（例えば、国内事業場と海外事業場の間など）で、分析工程の分析結果を共有することもできる。
【００３７】
本実施形態に係るガラス板の製造方法は、処理室５内で実施される供給工程と、処理室５内で実施される除去工程と、を更に備えている。
【００３８】
供給工程では、処理装置の必要箇所（例えば、搬送装置のＬＭガイドなどの摺動部）に潤滑剤を供給する。潤滑剤の供給は、例えば塗布や噴霧、圧入等によって行えばよい。潤滑剤を供給する際、ガラス板Ｇの搬送は一時的に停止することが好ましい。供給工程は、例えば、製造装置の定期検査時などに実施される。捕集工程および分析工程は、供給工程の後に実行される。
【００３９】
除去工程では、処理装置に供給された潤滑剤の一部を除去する。潤滑剤を除去する際、ガラス板Ｇの搬送は一時的に停止することが好ましい。除去工程は、分析工程の結果に応じて実行される。すなわち、除去工程は、分析工程で、捕集体１１から判定しきい値以上の大きさの潤滑剤が検出された場合に実行される。
【００４０】
詳細には、供給工程の後に、処理室５内に捕集体１１を配置した状態で、搬送装置でガラス板Ｇを搬送しながらガラス板Ｇの製造を開始する。これにより、捕集工程を実施する。そして、捕集工程の必要時間（例えば、７２時間）が経過した後に捕集体１１を回収し、分析工程を実施する。その結果、捕集体１１から判定しきい値（例えば、直径３００μｍ）以上の大きさの潤滑剤が検出された場合には、除去工程として処理装置（主に搬送装置のＬＭガイド）の潤滑剤の一部を拭き取る。一方、捕集体１１から汚染して所定の大きさ以上の潤滑剤が検出されなかった場合には、そのままガラス板Ｇの製造を継続する。このようにすれば、過剰な潤滑剤を早期に検出して除去できるため、ガラス板Ｇに潤滑剤が付着するのを防止できる。
【００４１】
ここで、搬送装置は、汚染物質としての潤滑剤の発生原因となり得る。しかも、ガラス板Ｇの上部を保持しながら縦姿勢で搬送する場合、搬送装置はガラス板Ｇの上方に位置するため、搬送装置の潤滑剤が過剰であると、搬送装置から潤滑剤が落下してガラス板Ｇに付着しやすくなる。したがって、このような構成において、過剰な潤滑剤を早期に検出して除去できることは、高品質のガラス板Ｇを製造する上で非常に有用となる。
【００４２】
なお、本発明は上記の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、更に種々なる形態で実施し得る。
【００４３】
上記の実施形態では、分析工程で判定しきい値以上の潤滑剤が汚染物質として検出された場合に、潤滑剤の除去工程を実施する場合を説明したが、分析工程で潤滑剤以外の汚染物質（例えば、たんぱく質、ペンキ、エポキシ樹脂、ポリウレタンなど）が検出された場合も、検出された汚染物質の種類に応じた除去工程を実行してもよい。この場合、汚染物質の種類ごとに、判定しきい値を設定することが好ましい。
【符号の説明】
【００４４】
１      第一切断ゾーン
２      第二切断ゾーン
３      検査ゾーン
４      梱包ゾーン
５      処理室
７      チャック機構
８      第一受渡ゾーン
９      第二受渡ゾーン
１１    捕集体
１２    容器
１３    汚染物質（潤滑剤）
Ｇ      ガラス板
Ｓ      スクライブ線
【図１】
2020045267.tif 000003
【図２】
2020045267.tif 000004