(57)【要約】      （修正有）【課題】光の透過性能に優れた有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法、並びに当該有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に用いられる蒸着マスクセットを提供する。【解決手段】有機エレクトロルミネッセンス表示装置１０は、第１面及び前記第１面１１Ａに対向する第２面１１Ｂを有する基板１１と、前記基板１１の前記第１面１１Ａ上に、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に沿ってマトリックス状に位置する複数の第１電極１３と、前記複数の第１電極１３上にそれぞれ位置する複数の有機化合物層１４と、前記複数の有機化合物層１４上に位置する第２電極１５とを備え、前記第２電極１５は、前記各有機化合物層１４上に位置する非透明電極１５１と、すべての前記非透明電極１５１と電気的に接続される透明電極１５２とを含む。【選択図】図１
2020181695.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する基板と、
前記基板の前記第１面上に、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に沿ってマトリックス状に位置する複数の第１電極と、
前記複数の第１電極上にそれぞれ位置する複数の有機化合物層と、
前記複数の有機化合物層上に位置する第２電極と
を備え、
前記第２電極は、前記各有機化合物層上に位置する非透明電極と、すべての前記非透明電極と電気的に接続される透明電極とを含む
有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項２】
前記透明電極は、すべての前記非透明電極を一体的に被覆する
請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項３】
前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層とを少なくとも含み、
前記第１有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極の厚さと、前記第２有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極の厚さとは、互いに異なる
請求項１又は２に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項４】
前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層とを少なくとも含み、
前記第１有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極を構成する導電材料と、前記第２有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極を構成する導電材料とは、互いに異なる材料である
請求項１又は２に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項５】
前記第１有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極の厚さと、前記第２有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極の厚さとは、互いに異なる
請求項４に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項６】
第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する基板を準備する工程と、
前記基板の前記第１面上に、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に沿ってマトリックス状に位置する複数の第１電極を形成する工程と、
前記複数の第１電極のそれぞれに重なる有機化合物層を形成する工程と、
前記複数の有機化合物層上に重なる複数の第２電極を形成する工程と
を含み、
前記第２電極を形成する工程は、前記複数の有機化合物層上に位置する非透明電極を形成する工程と、すべての前記非透明電極に電気的に接続される透明電極を形成する工程とを有する
有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記透明電極は、すべての前記非透明電極を一体的に被覆するように形成される
請求項６に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層とを少なくとも含み、
前記非透明電極を形成する工程は、前記第１有機化合物層上に第１膜厚で導電材料を蒸着することで前記非透明電極を形成する工程と、前記第２有機化合物層上に前記第１膜厚と異なる第２膜厚で導電材料を蒸着することで前記非透明電極を形成する工程とを含む
請求項６又は７に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層とを少なくとも含み、
前記非透明電極を形成する工程は、前記第１有機化合物層上に第１導電材料を蒸着する工程と、前記第２有機化合物層上に前記第１導電材料と異なる第２導電材料を蒸着する工程とを含む
請求項６又は７に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記非透明電極を形成する工程において、前記第１有機化合物層上に第１膜厚で前記第１導電材料を蒸着し、前記第２有機化合物層上に前記第１膜厚と異なる第２膜厚で前記第２導電材料を蒸着する
請求項９に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項１１】
第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する基板と、前記基板の前記第１面上に、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に沿ってマトリックス状に位置する複数の第１電極と、前記複数の第１電極上にそれぞれ位置する複数の有機化合物層と、前記複数の有機化合物層上に位置する第２電極とを備え、前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層と、前記第１発光色及び前記第２発光色と異なる第３発光色を発光する第３有機発光層とを有し、前記第２電極は、前記各有機化合物層上に位置する非透明電極と、すべての前記非透明電極と電気的に接続される透明電極とを含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記非透明電極を形成するために用いられる複数の蒸着マスクを含む蒸着マスクセットであって、
前記複数の蒸着マスクは、前記第１有機化合物層上に前記非透明電極を形成するために用いられる第１蒸着マスクと、前記第２有機化合物層上に前記非透明電極を形成するために用いられる第２蒸着マスクと、前記第３有機化合物層上に前記非透明電極を形成するために用いられる第３蒸着マスクとを含み、
前記第１蒸着マスクは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する第１金属基材と、前記第１有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第１貫通孔と、前記第１金属基材の前記第１面に位置する第１アライメントマークとを有し、
前記第２蒸着マスクは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する第２金属基材と、前記第２有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第２貫通孔と、前記金属基材の前記第１面に位置する第２アライメントマークとを有し、
前記第３蒸着マスクは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する第３金属基材と、前記第３有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第３貫通孔と、前記第３金属基材の前記第１面に位置する第３アライメントマークとを有する蒸着マスクセット。
【請求項１２】
第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する基板と、前記基板の前記第１面上に、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に沿ってマトリックス状に位置する複数の第１電極と、前記複数の第１電極上にそれぞれ位置する複数の有機化合物層と、前記複数の有機化合物層上に位置する第２電極とを備え、前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層と、前記第１発光色及び前記第２発光色と異なる第３発光色を発光する第３有機発光層とを有し、前記第２電極は、前記各有機化合物層上に位置する非透明電極と、すべての前記非透明電極と電気的に接続される透明電極とを含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記第２電極を形成するために用いられる複数の蒸着マスクを含む蒸着マスクセットであって、
前記複数の蒸着マスクは、前記第１有機化合物層上及び第２有機化合物層上にそれぞれ前記非透明電極を形成するために用いられる第１蒸着マスクと、前記第３有機化合物層上に前記非透明電極を形成するために用いられる第２蒸着マスクとを含み、
前記第１蒸着マスクは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する第１金属基材と、前記第１有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第１貫通孔と、前記第２有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第２貫通孔と、前記第１金属基材の前記第１面に位置する第１アライメントマークとを有し、
前記第２蒸着マスクは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する第２金属基材と、前記第３有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第３貫通孔と、前記金属基材の前記第１面に位置する第２アライメントマークとを有する蒸着マスクセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法、並びに蒸着マスクセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子を用いた有機ＥＬ表示装置は、自発光により視認性が高い、液晶表示装置とは異なり全固体表示装置である、温度変化の影響を受け難い、視野角が大きい等の利点を有していることから、近年、フルカラー表示装置として実用化が進んでいる。有機ＥＬ表示装置における有機ＥＬ素子は、基板上に設けられた陽極（アノード電極）と陰極（カソード電極）とで有機化合物層を挟んだ構造を有する。有機ＥＬ素子に電圧を印加すると、陽極から有機化合物層に正孔（ホール）が注入され、陰極から有機化合物層に電子が注入される。有機化合物層に注入された正孔と電子との結合により生じるエネルギーにより、有機化合物層を構成する有機材料が励起させられ、励起状態から基底状態に戻るときに有機化合物層が発光する。このようにして有機化合物層から発生した光を取り出す方式として、ボトムエミッション方式とトップエミッション方式とが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−８２５８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ボトムエミッション方式及びトップエミッション方式のいずれにおいても、従来の有機ＥＬ表示装置においては、Ｍｇ／Ａｇ等の光透過率の低い材料により構成される陰極（カソード電極)が、全面に設けられている。そのため、有機ＥＬ表示装置の厚さ方向における光透過率が低いという問題がある。また、陰極（カソード電極）をストライプ状に形成することで、光透過率を高める技術も知られているものの（例えば、特許文献１参照）、光透過率を高めすぎると、陰極（カソード電極）の面積が相対的に小さくなり、陰極（カソード電極）の電気抵抗が増大してしまうという問題もある。さらに、陰極（カソード電極）をストライプ状に形成するために用いられる蒸着マスクにおいては、ストライプ状の陰極（カソード電極）に対応するスリット（開口）が撚れやすいため、蒸着マスクの位置合わせが困難であるという問題もある。
【０００５】
なお、トップエミッション方式の有機ＥＬ表示装置において、低い光透過率及び高い反射率を有する材料（例えば、Ａｇ、Ａｌ等）によりアノード電極を構成し、半透明導電膜（例えば、光透過率が４０％〜７０％程度の導電膜）により共通電極としてのカソード電極を構成し、カソード電極を全面に設けることで、光透過率を向上させることも考えられる。ボトムエミッション方式の有機ＥＬ表示装置に比べれば、その厚さ方向に高い光透過率を有することができる。しかしながら、このような有機ＥＬ表示装置においても、半透明導電膜により構成されるカソード電極が全面に設けられることになるため、有機ＥＬ表示装置の厚さ方向の光透過率をさらに向上させることが困難であるという問題が依然としてある。
【０００６】
上記課題に鑑みて、本開示は、光の透過性能に優れた有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法、並びに当該有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に用いられる蒸着マスクセットを提供することを一目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の第１の態様は、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する基板と、前記基板の前記第１面上に、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に沿ってマトリックス状に位置する複数の第１電極と、前記複数の第１電極上にそれぞれ位置する複数の有機化合物層と、前記複数の有機化合物層上に位置する第２電極とを備え、前記第２電極は、前記各有機化合物層上に位置する非透明電極と、すべての前記非透明電極と電気的に接続される透明電極とを含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置である。
【０００８】
本開示の第２の態様として、上記第１の態様において、前記透明電極は、すべての前記非透明電極を一体的に被覆していてもよい。
本開示の第３の態様として、上記第１の態様及び第２の態様のそれぞれにおいて、前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層とを少なくとも含み、前記第１有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極の厚さと、前記第２有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極の厚さとは、互いに異なっていてもよい。
【０００９】
本開示の第４の態様として、上記第１の態様及び第２の態様のそれぞれにおいて、前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層とを少なくとも含み、前記第１有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極を構成する導電材料と、前記第２有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極を構成する導電材料とは、互いに異なる材料であってもよい。
【００１０】
本開示の第５の態様として、上記第４の態様において、前記第１有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極の厚さと、前記第２有機化合物層上に位置する前記第２電極の前記非透明電極の厚さとは、互いに異なっていてもよい。
【００１１】
本開示の第６の態様は、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する基板を準備する工程と、前記基板の前記第１面上に、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に沿ってマトリックス状に位置する複数の第１電極を形成する工程と、前記複数の第１電極のそれぞれに重なる有機化合物層を形成する工程と、前記複数の有機化合物層上に重なる複数の第２電極を形成する工程とを含み、前記第２電極を形成する工程は、前記複数の有機化合物層上に位置する非透明電極を形成する工程と、すべての前記非透明電極に電気的に接続される透明電極を形成する工程とを有する有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法である。
【００１２】
本開示の第７の態様として、上記第６の態様において、前記透明電極は、すべての前記非透明電極を一体的に被覆するように形成されてもよい。
本開示の第８の態様として、上記第６の態様及び第７の態様のそれぞれにおいて、前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層とを少なくとも含み、前記非透明電極を形成する工程は、前記第１有機化合物層上に第１膜厚で導電材料を蒸着することで前記非透明電極を形成する工程と、前記第２有機化合物層上に前記第１膜厚と異なる第２膜厚で導電材料を蒸着することで前記非透明電極を形成する工程とを含んでいてもよい。
【００１３】
本開示の第９の態様として、上記第６の態様及び第７の態様のそれぞれにおいて、前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層とを少なくとも含み、前記非透明電極を形成する工程は、前記第１有機化合物層上に第１導電材料を蒸着する工程と、前記第２有機化合物層上に前記第１導電材料と異なる第２導電材料を蒸着する工程とを含んでいてもよい。
【００１４】
本開示の第１０の態様として、上記第９の態様において、前記非透明電極を形成する工程において、前記第１有機化合物層上に第１膜厚で前記第１導電材料を蒸着し、前記第２有機化合物層上に前記第１膜厚と異なる第２膜厚で前記第２導電材料を蒸着してもよい。
【００１５】
本開示の第１１の態様は、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する基板と、前記基板の前記第１面上に、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に沿ってマトリックス状に位置する複数の第１電極と、前記複数の第１電極上にそれぞれ位置する複数の有機化合物層と、前記複数の有機化合物層上に位置する第２電極とを備え、前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層と、前記第１発光色及び前記第２発光色と異なる第３発光色を発光する第３有機発光層とを有し、前記第２電極は、前記各有機化合物層上に位置する非透明電極と、すべての前記非透明電極と電気的に接続される透明電極とを含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記非透明電極を形成するために用いられる複数の蒸着マスクを含む蒸着マスクセットであって、前記複数の蒸着マスクは、前記第１有機化合物層上に前記非透明電極を形成するために用いられる第１蒸着マスクと、前記第２有機化合物層上に前記非透明電極を形成するために用いられる第２蒸着マスクと、前記第３有機化合物層上に前記非透明電極を形成するために用いられる第３蒸着マスクとを含み、前記第１蒸着マスクは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する第１金属基材と、前記第１有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第１貫通孔と、前記第１金属基材の前記第１面に位置する第１アライメントマークとを有し、前記第２蒸着マスクは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する第２金属基材と、前記第２有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第２貫通孔と、前記金属基材の前記第１面に位置する第２アライメントマークとを有し、前記第３蒸着マスクは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する第３金属基材と、前記第３有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第３貫通孔と、前記第３金属基材の前記第１面に位置する第３アライメントマークとを有する蒸着マスクセットである。
【００１６】
本開示の第１２の態様は、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する基板と、前記基板の前記第１面上に、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に沿ってマトリックス状に位置する複数の第１電極と、前記複数の第１電極上にそれぞれ位置する複数の有機化合物層と、前記複数の有機化合物層上に位置する第２電極とを備え、前記複数の有機化合物層は、第１発光色を発光する第１有機発光層を含む第１有機化合物層と、前記第１発光色と異なる第２発光色を発光する第２有機発光層を含む第２有機化合物層と、前記第１発光色及び前記第２発光色と異なる第３発光色を発光する第３有機発光層とを有し、前記第２電極は、前記各有機化合物層上に位置する非透明電極と、すべての前記非透明電極と電気的に接続される透明電極とを含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記第２電極を形成するために用いられる複数の蒸着マスクを含む蒸着マスクセットであって、前記複数の蒸着マスクは、前記第１有機化合物層上及び第２有機化合物層上にそれぞれ前記非透明電極を形成するために用いられる第１蒸着マスクと、前記第３有機化合物層上に前記非透明電極を形成するために用いられる第２蒸着マスクとを含み、前記第１蒸着マスクは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する第１金属基材と、前記第１有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第１貫通孔と、前記第２有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第２貫通孔と、前記第１金属基材の前記第１面に位置する第１アライメントマークとを有し、前記第２蒸着マスクは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有する第２金属基材と、前記第３有機化合物層上の前記非透明電極に対応する第３貫通孔と、前記金属基材の前記第１面に位置する第２アライメントマークとを有する蒸着マスクセットである。
【００１７】
本開示の第１３の態様は、上記第６〜第１０の態様のそれぞれの有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法により製造されてなる有機エレクトロルミネッセンス表示装置である。
【発明の効果】
【００１８】
本開示によれば、光の透過性能に優れた有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法、並びに当該有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に用いられる蒸着マスクセットが提供され得る。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本開示の一実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置の概略構成を示す切断端面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、本開示の一実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置の製造方法の一工程を示す切断端面図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、本開示の一実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置の製造方法の一工程であって、図２Ａに示す工程に続く工程を示す切断端面図である。
【図２Ｃ】図２Ｃは、本開示の一実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置の製造方法の一工程であって、図２Ｂに示す工程に続く工程を示す切断端面図である。
【図２Ｄ】図２Ｄは、本開示の一実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置の製造方法の一工程であって、図２Ｃに示す工程に続く工程を示す切断端面図である。
【図２Ｅ】図２Ｅは、本開示の一実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置の製造方法の一工程であって、図２Ｄに示す工程に続く工程を示す切断端面図である。
【図２Ｆ】図２Ｆは、本開示の一実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置の製造方法の一工程であって、図２Ｅに示す工程に続く工程を示す切断端面図である。
【図２Ｇ】図２Ｇは、本開示の一実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置の製造方法の一工程であって、図２Ｆに示す工程に続く工程を示す切断端面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本開示の一実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置の製造方法の一工程であって、非透明電極を形成する工程の変形例を示す切断端面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本開示の一実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置の製造方法の一工程であって、図３Ａに示す工程に続く工程を示す切断端面図である。
【図４Ａ】本開示の一実施形態における第１蒸着マスクセットの第１蒸着マスクの概略構成を示す部分斜視図である。
【図４Ｂ】本開示の一実施形態における第１蒸着マスクセットの第２蒸着マスクの概略構成を示す部分斜視図である。
【図４Ｃ】本開示の一実施形態における第１蒸着マスクセットの第３蒸着マスクの概略構成を示す部分斜視図である。
【図５Ａ】本開示の一実施形態における第２蒸着マスクセットの第１蒸着マスクの概略構成を示す部分斜視図である。
【図５Ｂ】本開示の一実施形態における第２蒸着マスクセットの第２蒸着マスクの概略構成を示す部分斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本明細書及び本図面において、特別な説明がない限りは、「板」、「シート」、「フィルム」などの用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「板」はシートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念である。また、「面（シート面、フィルム面）」とは、対象となる板状（シート状、フィルム状）の部材を全体的かつ大局的に見た場合において対象となる板状部材（シート状部材、フィルム状部材）の平面方向と一致する面のことを指す。また、板状（シート状、フィルム状）の部材に対して用いる法線方向とは、当該部材の面（シート面、フィルム面）に対する法線方向のことを指す。さらに、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」や「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。
【００２１】
本明細書及び本図面において、特別な説明がない限りは、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」や「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。
【００２２】
本明細書及び本図面において、ある部材又はある領域等のある構成が、他の部材又は他の領域等の他の構成の「上に（又は下に）」、「上側に（又は下側に）」、又は「上方に（又は下方に）」とする場合、特別な説明がない限りは、ある構成が他の構成に直接的に接している場合のみでなく、ある構成と他の構成との間に別の構成が含まれている場合も含めて解釈することとする。また、特別な説明がない限りは、上（又は、上側や上方）又は下（又は、下側、下方）という語句を用いて説明する場合があるが、上下方向が逆転してもよい。
【００２３】
本明細書及び本図面において、特別な説明がない限りは、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号又は類似の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、図面の寸法比率は説明の都合上実際の比率とは異なる場合や、構成の一部が図面から省略される場合がある。
【００２４】
本明細書及び本図面において、特別な説明がない限りは、矛盾の生じない範囲で、その他の実施形態や変形例と組み合わせられ得る。また、その他の実施形態同士や、その他の実施形態と変形例も、矛盾の生じない範囲で組み合わせられ得る。また、変形例同士も、矛盾の生じない範囲で組み合わせられ得る。
【００２５】
本明細書及び本図面において、特別な説明がない限りは、製造方法などの方法に関して複数の工程を開示する場合に、開示されている工程の間に、開示されていないその他の工程が実施されてもよい。また、開示されている工程の順序は、矛盾の生じない範囲で任意である。
【００２６】
本明細書及び本図面において、特別な説明がない限りは、「〜」という記号によって表現される数値範囲は、「〜」という記号の前後に置かれた数値を含んでいる。例えば、「３４〜３８質量％」という表現によって画定される数値範囲は、「３４質量％以上且つ３８質量％以下」という表現によって画定される数値範囲と同一である。
【００２７】
本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下に示す実施形態は本開示の実施形態の一例であって、本開示はこれらの実施形態のみに限定して解釈されるものではない。
【００２８】
図１は、本実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置の概略構成を示す切断端面図である。
図１に示すように、有機ＥＬ表示装置１０は、薄膜トランジスタ素子（ＴＦＴ素子，図示省略）を有する基板１１、第１層間絶縁膜１２、第１電極１３、有機化合物層１４、第２電極１５及び第２層間絶縁膜１６をこの順で含む積層体として構成されていてもよい。本実施形態において、有機ＥＬ表示装置１０は、有機化合物層１４で発生した光が基板１１側から取り出されるボトムエミッションタイプのものであってもよいし、有機化合物層１４で発生した光が第２層間絶縁膜１６側から取り出されるトップエミッションタイプのものであってもよい。
【００２９】
基板１１は、第１面１１Ａ及び当該第１面１１Ａに対向する第２面１１Ｂを有する透明基板であって、例えば、第１面１１Ａ側にＴＦＴ素子が設けられていればよい。基板１１としては、例えば、アルカリガラス、石英ガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス等のガラス基板；サファイア基板；アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂、シクロオレフィンポリマー、ポリイミド等の樹脂基板等が用いられ得る。
【００３０】
基板１１の大きさ（平面視における大きさ）や厚さは、本実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１０の大きさや基板１１の取扱性等を考慮して適宜設定され得るものであって、特に限定されるものではない。
【００３１】
基板１１の第１面１１Ａ上には、複数のＴＦＴ素子が第１方向及び第１方向に直交する第２方向に沿ってマトリックス状に位置し、第１方向に延びる複数のデータ線（図示省略）と、第２方向に延びる複数のゲート線（図示省略）とが位置していてもよい。なお、「マトリックス状」とは、部材が一方向及び当該一方向に直交する方向のそれぞれにおいて所定のピッチで並列している状態を意味する。例えば、「複数のＴＦＴ素子が第１方向及び第１方向に直交する第２方向に沿ってマトリックス状に位置する」とは、各ＴＦＴ素子が第１方向及び第２方向のそれぞれにおいて所定のピッチで並列していることを意味し、第１方向に並列するＴＦＴ素子のピッチと、第２方向に並列するＴＦＴ素子のピッチとは、同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、「第１方向」は、基板１１の第１面１１Ａと平行な任意の平面上における任意の一方向であればよく、「第２方向」は、当該平面上における第１方向に直交する方向であればよい。
【００３２】
各ＴＦＴ素子は、第２層間絶縁膜１６から基板１１に向かう平面視において、データ線とゲート線とが交差する点（交点）に位置していてもよい。ＴＦＴ素子は、例えば、ゲート線上に絶縁膜を介在させて位置する半導体層、半導体層上に位置するデータ線、ソース電極及びドレイン電極を含んでいてもよく、既知の例えば多結晶シリコンＴＦＴ等であってもよい。ソース電極は、スルーホールビア（図示省略）を介して第１電極１３に電気的に接続されていればよい。ＴＦＴ素子は、第１電極１３及び第２電極１５から赤色有機化合物層１４Ｒ、緑色有機化合物層１４Ｇ及び青色有機化合物層１４Ｂに選択的に印加される電圧を制御することができる。
【００３３】
第１電極１３及び第２電極１５のいずれか一方は、陽極（アノード電極）を構成し、第１電極１３及び第２電極１５の他方は、陰極（カソード電極）を構成していればよい。例えば、第１電極１３がアノード電極であって、第２電極１５がカソード電極であってもよい。もちろん、第１電極１３がカソード電極であって、第２電極１５がアノード電極であってもよい。第１電極１３と第２電極１５との間に挟まれた有機化合物層１４は、第１電極１３側から第２電極１５側に向かって正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層及び電子注入層をこの順で含む積層体であってもよい。第１電極１３側から駆動電圧が印加されると、第１電極１３から正孔が有機発光層に注入され、第２電極１５から電子が有機発光層に注入される。有機発光層に注入された正孔と電子との結合により生じるエネルギーにより、有機発光層を構成する有機材料が励起させられ、励起状態から基底状態に戻るときに有機発光層が発光する。
【００３４】
第１電極１３は、相対的に光を透過しやすい透明導電材料により構成されていてもよいし、相対的に光を透過しにくい非透明導電材料により構成されていてもよい。透明導電材料としては、例えば、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide；インジウム錫酸化物）、ＩｎＺｎＯ（Indium Zinc Oxide；インジウム亜鉛酸化物）、ＡｌＺｎＯ（Aluminum Zinc Oxide；アルミニウム亜鉛酸化物）、ＡｌＴＯ（Aluminum Tin Oxide；アルミニウム錫酸化物）等が挙げられる。相対的に光を透過し難い非透明導電材料としては、例えば、Ｍｇ、Ａｇ、Ｍｇ／Ａｇ（マグネシウム銀合金）、Ａｌ、Ｃａ等の金属材料等が挙げられる。なお、本実施形態における「透明」は、光の透過率（％）によって定義されることができ、透明であることが要求される又は透明であることが望ましい用途等に応じた波長の光の透過率（％）によって定義されてもよい。例えば、近赤外光を発する発光素子と当該近赤外光を受ける受光素子とを含む近接センサを有機ＥＬ表示装置１０に設けるために透明であることが要求される又は透明であることが望ましい場合には、「透明」は、波長７００ｎｍ〜１４００ｎｍの光の透過率（％）によって定義され得る。また、有機ＥＬ表示装置１０に撮像素子を設けるために透明であることが要求される又は透明であることが望ましいには、「透明」は、波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの光の透過率（％）によって定義され得る。具体的には、「透明」とは、各用途等に応じた波長域の光の透過率が３０％以上であることを意味し、好ましくは各用途等に応じた波長域の光の透過率が８０％以上であればよい。一方で、「非透明」とは、各用途等に応じた波長域の光の透過率が３０％未満であることを意味し、好ましくは各用途等に応じた波長域の光の透過率が５％以下であればよい。なお、各波長域の光の透過率は、例えば、分光ヘーズメーター（製品名：ＨＳＰ−１５０ＶＩＲ，村上色彩技術研究所製）を用いて計測され得る。
【００３５】
第１電極１３は、有機化合物層１４に対応する位置に設けられていればよい。すなわち、複数の第１電極１３が、第１層間絶縁膜１２上に第１方向及び第２方向のそれぞれに沿ってマトリックス状に設けられている。各第１電極１３は、データ線とゲート線との各交点に重なるように位置していればよい。第１電極１３の平面視形状は、例えば、円形状、略円形状、長円形状、多角形状、略方形状、ストライプ状等であってもよい。なお、「略」とは、第１電極１３の形成時における製造誤差等をも含む概念であり、例えば、略円形状という場合、長径を１としたときの短径の範囲は、０．８０、０．８３及び０．８６を含む第１グループの値と、０．８９、０．９２及び０．９５を含む第２グループの値とによって定められてもよい。例えば、短径の範囲の下限は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つによって定められてもよい。例えば、短径の範囲の下限は、０．８０以上であってもよく、０．８３以上であってもよく、０．８６以上であってもよい。また、短径の範囲の上限は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つによって定められてもよい。例えば、短径の範囲の上限は、０．８９以下であってもよく、０．９２以下であってもよく、０．９５以下であってもよい。短径の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよく、例えば、０．８０以上０．９５以下であってもよく、０．８３以上０．９２以下であってもよく、０．８６以上０．８９以下であってもよい。また、短径の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、０．８０以上０．８６以下であってもよく、０．８３以上０．８６以下であってもよい。また、短径の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、０．８９以上０．９５以下であってもよく、０．９２以上０．９５以下であってもよい。
【００３６】
第２層間絶縁膜１６から基板１１に向かう平面視において、第１電極１３は、例えば、ポリイミド等により構成される絶縁膜１７により囲まれていてもよい。すなわち、絶縁膜１７は、当該平面視において、第１電極１３の外周縁に重なるように位置していてもよい。
【００３７】
第２電極１５は、基板１１の第１面１１Ａ側の平面視において、各有機化合物層１４上に位置する複数の非透明電極１５１と、すべての非透明電極１５１を被覆するように位置する透明電極１５２とを含んでいてもよい。透明電極１５２は、基板１１の第１面１１Ａの全面を被覆するように位置していてもよい。非透明電極１５１は、相対的に光を透過し難い非透明導電材料により構成されていればよい。透明電極１５２は、相対的に光を透過しやすい透明導電材料により構成されていればよい。非透明電極１５１は、有機化合物層１４の上面に少なくとも位置していればよいが、有機化合物層１４の側面にも位置していてもよい。
【００３８】
透明電極１５２を構成する透明導電材料としては、例えば、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide；インジウム錫酸化物）、ＩｎＺｎＯ（Indium Zinc Oxide；インジウム亜鉛酸化物）、ＡｌＺｎＯ（Aluminum Zinc Oxide；アルミニウム亜鉛酸化物）、ＡｌＴＯ（Aluminum Tin Oxide；アルミニウム錫酸化物）等が挙げられる。非透明電極１５１を構成する相対的に光を透過し難い非透明導電材料としては、例えば、Ｍｇ、Ａｇ、Ｍｇ／Ａｇ（マグネシウム銀合金）、Ａｌ、Ｃａ等の金属材料等が挙げられる。これらの金属材料は、相対的に低い仕事関数を有し、有機化合物層１４の電子注入層に電子を効率よく注入することができると考えられる。
【００３９】
本実施形態において、複数の有機化合物層１４は、例えば、赤色有機化合物層１４Ｒ、青色有機化合物層１４Ｂ及び緑色有機化合物層１４Ｇを含んでいてもよい。赤色有機化合物層１４Ｒ上に位置する非透明電極１５１の構成材料と、青色有機化合物層１４Ｂ上に位置する非透明電極１５１の構成材料と、緑色有機化合物層１４Ｇ上に位置する非透明電極１５１の構成材料とは、いずれも互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、赤色有機化合物層１４Ｒ上に位置する非透明電極１５１の厚さと、青色有機化合物層１４Ｂ上に位置する非透明電極１５１の厚さと、緑色有機化合物層１４Ｇ上に位置する非透明電極１５１の厚さともまた、いずれも互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【００４０】
赤色有機化合物層、青色有機化合物層及び緑色有機化合物層を有する有機ＥＬ表示装置において、有機化合物層の発光色ごとに、カソード電極を構成する最適な材料や、カソード電極の最適な膜厚が存在することが知られている。そのため、有機化合物層の発光色ごとに、最適な構成材料及び膜厚のカソード電極を位置させることで、各有機化合物層における発光効率を良好とすることができ、輝度を高めることができる。しかしながら、一般に、カソード電極は、有機ＥＬ表示装置において共通電極として機能するため、すべての発光色の有機化合物層において同一材料及び同一膜厚で形成されることが多い。本実施形態においては、有機化合物層１４の発光色ごとに、異なる材料により構成され、異なる厚さの非透明電極１５１を位置させ、すべての非透明電極１５１を被覆する透明電極１５２が設けられていることで、各有機化合物層１４Ｒ，１４Ｂ，１４Ｇにおける発光効率を良好にすることができ、輝度を高めることができる。
【００４１】
本実施形態において、第２電極１５のうちの光を透過し難い非透明電極１５１は、各有機化合物層１４上に位置し、複数の非透明電極１５１が透明電極１５２により被覆されている。そのため、第２層間絶縁膜１６から基板１１に向かう平面視において、データ線とゲート線とにより画定される矩形状の領域の略全体を、有機ＥＬ表示装置１０の厚さ方向に進行する光が透過しやすい透光領域とすることができる。本実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１０は、この透光領域の存在により、非透明電極により構成される第２電極が基板全面に設けられる従来の有機ＥＬ表示装置に比べ、高い透過性能を有することができる。非透明電極１５１の平面視形状は、例えば、円形状、略円形状、長円形状、多角形状、略方形状等であってもよい。
【００４２】
透光領域の面積（総面積）を可能な限り大きくすることで、有機ＥＬ表示装置１０の透過性能をさらに向上させることができる。なお、透光領域の面積（総面積）を大きくするためには、非透明電極１５１の面積（総面積）を小さくすればよいが、本実施形態において非透明電極１５１は有機化合物層１４の上面に位置していればよく、それらが透明電極１５２により電気的に接続されるため、非透明電極１５１の面積（総面積）を小さくすればするほど、第２電極１５全体としての電気抵抗を大きくすることなく、非透明電極１５１の面積（総面積）を可能な限り小さくすることができる。そのため、本実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１０においては、透過性能を向上させつつ、消費電力が大きくなるのを抑えることができるという効果が奏され得る。
【００４３】
第１電極１３及び第２電極１５（非透明電極１５１）の間に配置されている有機化合物層１４は、各々が有機ＥＬ表示装置１０の単位画素を構成する赤色有機化合物層１４Ｒ、緑色有機化合物層１４Ｇ及び青色有機化合物層１４Ｂを含んでいてもよいし、白色有機化合物層を含んでいてもよい。赤色有機化合物層１４Ｒ、緑色有機化合物層１４Ｇ及び青色有機化合物層１４Ｂは、それぞれ、赤色光、緑色光及び青色光を放出する。白色有機化合物層は、白色光を放出する。有機化合物層１４が白色有機化合物層を含む場合、有機ＥＬ表示装置１０において画像等をカラーで表示するのであれば、カラーフィルターが備えられていてもよい。なお、有機化合物層１４が赤色有機化合物層１４Ｒ、緑色有機化合物層１４Ｇ及び青色有機化合物層１４Ｂを含む場合においても、各有機化合物層１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂに対応する着色層を有するカラーフィルターが備えられていてもよい。赤色有機化合物層１４Ｒ、緑色有機化合物層１４Ｇ及び青色有機化合物層１４Ｂを構成する材料は、所定の電圧が印加されることにより所望の色で発光する蛍光性有機化合物を含有するものであれば特に限定されるものではない。当該蛍光性有機化合物としては、例えば、キノリノール錯体、オキサゾール錯体、各種レーザー色素、ポリパラフェニレンビニレン等が挙げられる。有機化合物層１４は、第１層間絶縁膜１２上にマトリックス状に配置されている第１電極１３上に設けられているため、有機化合物層１４もまた、マットリックス状に設けられている。
【００４４】
第１層間絶縁膜１２及び第２層間絶縁膜１６を構成する材料としては、例えば、絶縁性を有する材料が用いられ得る。第１層間絶縁膜１２及び第２層間絶縁膜１６を構成する材料として、例えば、酸化ケイ素等の無機系材料や、アクリル樹脂等の樹脂系材料（有機系材料）等が挙げられる。
【００４５】
第２電極１５と有機化合物層１４（電子注入層）との間に、厚さ０．２ｎｍ〜３．０ｎｍ程度の絶縁膜が設けられていてもよい。この絶縁膜が設けられていることで、トンネル効果により、第２電極１５（非透明電極１５１）から有機化合物層１４（電子注入層）に電子が注入されやすくなるものと推察される。当該絶縁膜を構成する材料としては、例えば、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）等が挙げられる。なお、第２電極１５（非透明電極１５１）と有機化合物層１４との間に上記絶縁膜が設けられている場合において、有機化合物層１４は、第１電極１３側から第２電極１５（非透明電極１５１）側に向かって正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層及び電子輸送層をこの順に含む積層体であってもよい。この場合において、上記絶縁膜が、電子注入層としての機能を果たし得るものと考えられる。
【００４６】
上述した構成を有する有機ＥＬ表示装置１０においては、有機ＥＬ表示装置１０の厚さ方向（例えば、図１に示す有機ＥＬ表示装置１０で言えば、基板１１から第２層間絶縁膜１６に向かう方向又はその逆方向）に進行する光（例えば、外光等）が、相対的に光を透過し難い非透明導電材料により構成される非透明電極１５１により遮られるのを抑制することができ、透光領域を通じて透過するため、有機ＥＬ表示装置１０の厚さ方向における光の透過率を向上させることができる。よって、本開示によれば、透過性能に優れた有機ＥＬ表示装置１０を提供することができる。
【００４７】
上述した構成を有する有機ＥＬ表示装置１０の製造方法の一例を説明する。なお、以下においては、図１に示す構成を有する有機ＥＬ表示装置１０を製造する方法を例に挙げて説明する。
【００４８】
第１面１１Ａ及び第１面１１Ａに対向する第２面１１Ｂを有し、第１面１１Ａ上にＴＦＴ素子、データ線及びゲート線、並びに第１層間絶縁膜１２を有する基板１１を準備し、第１層間絶縁膜１２上の所定の位置に第１電極１３を形成する（図２Ａ参照）。例えば、第１電極１３に対応する貫通孔を有する蒸着マスクを準備し、第１電極１３を構成する材料（例えば、ＩＴＯ、ＩｎＺｎＯ等の透明導電性材料等）を、蒸着マスクを介して第１層間絶縁膜１２上に真空蒸着することで、第１電極１３をデータ線及びゲート線の交点に重なるように形成してもよい。また、第１層間絶縁膜１２上に第１電極１３を構成する材料（例えば、ＩＴＯ、ＩｎＺｎＯ等の透明導電性材料等）を成膜し、フォトリソグラフィー法により、第１層間絶縁膜１２上に第１電極１３を形成してもよい。なお、第１層間絶縁膜１２上の所定の位置（第１電極１３を形成する位置）には、第１層間絶縁膜１２にスルーホールビアが形成されていてもよく、当該所定の位置に第１電極１３が形成されることで、当該スルーホールビアを介して第１電極１３とＴＦＴ素子のソース電極とが電気的に接続され得る。
【００４９】
次に、第１電極１３及び第１層間絶縁膜１２を覆う絶縁膜（例えばポリイミド等）を、従来公知の塗工法（例えば、ダイコート法、スピンコート法等）により形成し、当該絶縁膜のパターニングにより、第１電極１３の外周縁を取り囲む絶縁膜１７を形成する（図２Ｂ参照）。
【００５０】
続いて、露出する第１電極１３上に有機化合物層１４を形成する（図２Ｃ参照）。例えば、有機化合物層１４に対応する貫通孔を有する蒸着マスクを準備し、有機化合物層１４を構成する材料（例えば、キノリノール錯体、オキサゾール錯体、各種レーザー色素、ポリパラフェニレンビニレン等の蛍光性有機化合物等）を、蒸着マスクを介して第１電極１３上に真空蒸着することで、有機化合物層１４を形成してもよい。なお、有機化合物層１４上に、所望により厚さ０．２ｎｍ〜３．０ｎｍ程度の絶縁膜（例えば、フッ化リチウム（ＬｉＦ）等）を形成してもよい。
【００５１】
次に、各有機化合物層１４上に非透明電極１５１を形成する（図２Ｄ〜２Ｆ，図３Ａ〜３Ｂ参照）。非透明電極１５１は、第１蒸着マスク２１、第２蒸着マスク２２及び第３蒸着マスク２３を含む第１蒸着マスクセットを用いて形成されてもよいし、第１蒸着マスク３１及び第２蒸着マスク３２を含む第２蒸着マスクセットを用いて形成されてもよい。
【００５２】
第１蒸着マスクセットは、赤色有機化合物層１４Ｒ上に非透明電極１５１を形成するために用いられる第１蒸着マスク２１（図４Ａ参照）と、青色有機化合物層１４Ｂ上に非透明電極１５１を形成するために用いられる第２蒸着マスク２２（図４Ｂ参照）と、緑色有機化合物層１４Ｇ上に非透明電極１５１を形成するために用いられる第３蒸着マスク２３（図４Ｃ参照）とを含んでいてもよい。
【００５３】
第１蒸着マスク２１は、第１面２０１Ａ及び当該第１面２０１Ａに対向する第２面２０１Ｂを有する金属基材２０１と、金属基材２０１に形成されている複数の第１貫通孔２１１と、第１面２０１Ａに形成されているアライメントマーク２０２とを有する（図４Ａ参照）。第２蒸着マスク２２は、第１面２０１Ａ及び当該第１面２０１Ａに対向する第２面２０１Ｂを有する金属基材２０１と、金属基材２０１に形成されている複数の第２貫通孔２２１と、第１面２０１Ａに形成されているアライメントマーク２０２とを有する（図４Ｂ参照）。第３蒸着マスク２３は、第１面２０１Ａ及び当該第１面２０１Ａに対向する第２面２０１Ｂを有する金属基材２０１と、金属基材２０１に形成されている複数の第３貫通孔２３１と、第１面２０１Ａに形成されているアライメントマーク２０２とを有する（図４Ｃ参照）。
【００５４】
第１蒸着マスク２１、第２蒸着マスク２２及び第３蒸着マスク２３における金属基材２０１の厚さの範囲は、５μｍ、８μｍ、１２μｍ及び１５μｍを含む第１グループの値と、２６μｍ、３５μｍ、５０μｍ及び１００μｍを含む第２グループの値とによって定められてもよい。例えば、金属基材２０１の厚さの範囲の下限は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つによって定められてもよい。例えば、金属基材２０１の厚さの範囲の下限は、５μｍ以上であってもよく、８μｍ以上であってもよく、１２μｍ以上であってもよく、１５μｍ以上であってもよい。また、金属基材２０１の厚さの範囲の上限は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つによって定められてもよい。例えば、金属基材２０１の厚さの範囲の上限は、２６μｍ以下であってもよく、３５μｍ以下であってもよく、５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。金属基材２０１の厚さの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよく、例えば、５μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、８μｍ以上５０μｍ以下であってもよく、１２μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上２６μｍ以下であってもよい。また、金属基材２０１の厚さの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、５μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１２μｍ以下であってもよく、８μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、８μｍ以上１２μｍ以下であってもよい。また、金属基材２０１の厚さの範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、２６μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、２６μｍ以上５０μｍ以下であってもよく、３５μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、３５μｍ以上５０μｍ以下であってもよい。
【００５５】
すべての有機化合物層１４上の非透明電極１５１を真空蒸着により同時に形成しようとする場合、すべての非透明電極１５１に対応する貫通孔を有する蒸着マスク（以下「従来の蒸着マスク」という場合がある。）を使用することになる。一方で、本実施形態においては、発光色ごとに、非透明電極１５１を形成するための蒸着マスクを変えることができる。従来の蒸着マスクに比べて、本実施形態における第１蒸着マスク２１、第２蒸着マスク２２及び第３蒸着マスク２３のいずれも、蒸着マスクにおける開口面積（すべての貫通孔の開口面積の合計）が小さい。そのため、従来の蒸着マスクの金属基材の厚さと、本実施形態における第１〜第３蒸着マスク２１〜２３のそれぞれの金属基材２０１の厚さとが同一であれば、従来の蒸着マスクの強度に比べ、本実施形態における第１〜第３蒸着マスク２１〜２３の強度の方が高いということができる。言い換えると、本実施形態における第１〜第３蒸着マスク２１〜２３の強度を、従来の蒸着マスクの強度と同等にしたときには、本実施形態における第１〜第３蒸着マスク２１〜２３の金属基材２０１の厚さを、従来の蒸着マスクの金属基材の厚さよりも薄くすることができる。その結果、本実施形態においては、第１蒸着マスク２１、第２蒸着マスク２２及び第３蒸着マスク２３が変形してしまうのを抑制することができ、各有機化合物層１４上に高い精度で非透明電極１５１を形成することができる。
【００５６】
第１蒸着マスク２１における第１貫通孔２１１は、基板１１の第１面１１Ａ上の赤色有機化合物層１４Ｒに対応して形成されていてもよい。本実施形態における第１蒸着マスク２１の金属基材２０１にアライメントマーク２０２が設けられているため、基板１１に設けられているアライメントマーク（図示省略）との間で位置合わせをすることで、第１貫通孔２１１を介して赤色有機化合物層１４Ｒ上に非透明電極１５１を構成する導電材料を高精度に蒸着することができる。すなわち、第１蒸着マスク２１のアライメントマーク２０２は、基板１１のアライメントマークと位置合わせしたときに第１貫通孔２１１を通じて赤色有機化合物層１４Ｒ上に非透明電極１５１を形成可能となるような位置に、金属基材２０１に設けられている。同様に、第２蒸着マスク２２における第２貫通孔２２１は、基板１１の第１面１１Ａ上の青色有機化合物層１４Ｂに対応して形成されていてもよく、第３蒸着マスク２３における第３貫通孔２３１は、基板１１の第１面１１Ａ上の緑色有機化合物層１４Ｇに対応して形成されていてもよい。そして、第２蒸着マスク２２及び第３蒸着マスク２３の金属基材２０１にもアライメントマーク２０２が設けられているため、基板１１に設けられているアライメントマーク（図示省略）との間で位置合わせをすることで、第２貫通孔２２１及び第３貫通孔２３１のそれぞれを介して青色有機化合物層１４Ｂ上及び緑色有機化合物層１４Ｇ上のそれぞれに、非透明電極１５１を構成する導電材料を高精度に蒸着することができる。
【００５７】
第２蒸着マスクセットは、赤色有機化合物層１４Ｒ及び青色有機化合物層１４Ｂ上に非透明電極１５１を形成するために用いられる第１蒸着マスク３１（図５Ａ参照）と、緑色有機化合物層１４Ｇ上に非透明電極１５１を形成するために用いられる第２蒸着マスク３２（図５Ｂ参照）とを含んでいてもよい。なお、本実施形態において、第１蒸着マスク３１は、３色の発光色の有機化合物層１４（赤色有機化合物層１４Ｒ、青色有機化合物層１４Ｂ及び緑色有機化合物層１４Ｇ）のうちの２色の発光色の有機化合物層１４上に非透明電極１５１を形成するために用いられるものであればよく、赤色有機化合物層１４Ｒ及び青色有機化合物層１４Ｂ上の非透明電極１５１を形成するものに限定されるものではない。例えば、第１蒸着マスク３１は、赤色有機化合物層１４Ｒ及び緑色有機化合物層１４Ｇ上に非透明電極１５１を形成するために用いられるものであってもよいし、青色有機化合物層１４Ｂ及び緑色有機化合物層１４Ｇ上に非透明電極１５１を形成するために用いられるものであってもよい。
【００５８】
第１蒸着マスク３１は、第１面２０１Ａ及び当該第１面２０１Ａに対向する第２面２０１Ｂを有する金属基材２０１と、金属基材２０１に形成されている複数の第１貫通孔３１１及び複数の第２貫通孔３２１と、第１面２０１Ａに形成されているアライメントマーク２０２とを有する（図５Ａ参照）。第２蒸着マスク３２は、第１面２０１Ａ及び当該第１面２０１Ａに対向する第２面２０１Ｂを有する金属基材２０１と、金属基材２０１に形成されている複数の第３貫通孔３３１と、第１面２０１Ａに形成されているアライメントマーク２０２とを有する（図５Ｂ参照）。
【００５９】
第１蒸着マスク３１及び第２蒸着マスク３２における金属基材２０１の厚さの範囲は、５μｍ、８μｍ、１２μｍ及び１５μｍを含む第１グループの値と、２６μｍ、３５μｍ、５０μｍ及び１００μｍを含む第２グループの値とによって定められてもよい。例えば、金属基材２０１の厚さの範囲の下限は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つによって定められてもよい。例えば、金属基材２０１の厚さの範囲の下限は、５μｍ以上であってもよく、８μｍ以上であってもよく、１２μｍ以上であってもよく、１５μｍ以上であってもよい。また、金属基材２０１の厚さの範囲の上限は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つによって定められてもよい。例えば、金属基材２０１の厚さの範囲の上限は、２６μｍ以下であってもよく、３５μｍ以下であってもよく、５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。金属基材２０１の厚さの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよく、例えば、５μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、８μｍ以上５０μｍ以下であってもよく、１２μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上２６μｍ以下であってもよい。また、金属基材２０１の厚さの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、５μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１２μｍ以下であってもよく、８μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、８μｍ以上１２μｍ以下であってもよい。また、金属基材２０１の厚さの範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、２６μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、２６μｍ以上５０μｍ以下であってもよく、３５μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、３５μｍ以上５０μｍ以下であってもよい。第２蒸着マスクセットにおいても、第１蒸着マスクセットと同様の理由により、第１蒸着マスク３１及び第２蒸着マスク３２が変形してしまうのを抑制することができ、各有機化合物層１４上に高い精度で非透明電極１５１を形成することができる。なお、第２蒸着マスク３２は、第１蒸着マスク３１よりも小さい開口面積を有するため、第１蒸着マスク３１よりも金属基材２０１の厚さを薄くすることができる。
【００６０】
第１蒸着マスク３１における第１貫通孔３１１は、基板１１の第１面１１Ａ上の赤色有機化合物層１４Ｒに対応して形成されていてもよい。また、第１蒸着マスク３１における第２貫通孔３２１は、基板１１の第１面１１Ａ上の青色有機化合物層１４Ｂに対応して形成されていてもよい。本実施形態における第１蒸着マスク３１の金属基材２０１にアライメントマーク２０２が設けられているため、基板１１に設けられているアライメントマーク（図示省略）との間で位置合わせをすることで、第１貫通孔３１１を介して赤色有機化合物層１４Ｒ上に非透明電極１５１を構成する導電材料を高精度に蒸着することができ、第２貫通孔３２１を介して青色有機化合物層１４Ｂ上に非透明電極１５１を構成する導電材料を高精度に蒸着することができる。同様に、第２蒸着マスク３２における第３貫通孔３３１は、基板１１の第１面１１Ａ上の緑色有機化合物層１４Ｇに対応して形成されていてもよい。そして、第２蒸着マスク３２の金属基材２０１にもアライメントマーク２０２が設けられているため、基板１１に設けられているアライメントマーク（図示省略）との間で位置合わせをすることで、第３貫通孔３３１を介して緑色有機化合物層１４Ｇ上のそれぞれに、非透明電極１５１を構成する導電材料を高精度に蒸着することができる。
【００６１】
上記のようにして形成された非透明電極１５１のすべてを被覆するように基板１１の第１面１１Ａ全面に透明電極１５２を形成して第２電極１５を形成し、第２電極１５上に第２層間絶縁膜１６を形成する（図２Ｇ参照）。これにより、複数の非透明電極１５１のすべてが透明電極１５２を介して電気的に接続され得る。これにより、本実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１０を製造することができる。このようにして製造される有機ＥＬ表示装置１０によれば、有機ＥＬ表示装置１０の厚さ方向における光の透過率を向上させることができる。
【００６２】
以上説明した実施形態は、本開示の理解を容易にするために記載されたものであって、本開示を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本開示の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００６３】
上記実施形態において、第１蒸着マスクセット（第１蒸着マスク２１、第２蒸着マスク２２及び第３蒸着マスク２３）又は第２蒸着マスクセット（第１蒸着マスク３１及び第２蒸着マスク３２）を用いて、各有機化合物層１４上に非透明電極１５１を形成する方法を例に挙げて説明したが、この態様に限定されるものではない。例えば、一方向に並列する有機化合物層１４のピッチが、赤色有機化合物層１４Ｒ、青色有機化合物層１４Ｂ及び緑色有機化合物層１４Ｇのすべてで同一であるならば、第１蒸着マスクセットに含まれる第１蒸着マスク２１、第２蒸着マスク２２及び第３蒸着マスク２３のいずれか一つを用いて、すべての有機化合物層１４上に非透明電極１５１を形成してもよい。また、第２蒸着マスクセットに含まれる第２蒸着マスク３２を用いて、すべての有機化合物層１４上に非透明電極１５１を形成してもよい。この場合において、例えば、第１蒸着マスク２１を用いて赤色有機化合物層１４Ｒ上に非透明電極１５１を形成した後、当該第１蒸着マスク２１を移動させて青色有機化合物層１４Ｂ上に非透明電極１５１を形成し、さらに第１蒸着マスク２１を移動させて緑色有機化合物層１４Ｇ上に非透明電極１５１を形成してもよい。
【図１】
2020181695.tif 000003
【図２Ａ】
2020181695.tif 000004
【図２Ｂ】
2020181695.tif 000005
【図２Ｃ】
2020181695.tif 000006
【図２Ｄ】
2020181695.tif 000007
【図２Ｅ】
2020181695.tif 000008
【図２Ｆ】
2020181695.tif 000009
【図２Ｇ】
2020181695.tif 000010
【図３Ａ】
2020181695.tif 000011
【図３Ｂ】
2020181695.tif 000012
【図４Ａ】
2020181695.tif 000013
【図４Ｂ】
2020181695.tif 000014
【図４Ｃ】
2020181695.tif 000015
【図５Ａ】
2020181695.tif 000016
【図５Ｂ】
2020181695.tif 000017