(57)【要約】【課題】イオン交換樹脂の再生時に、イオン交換装置を損傷させないようにする。【解決手段】本発明のイオン交換装置は、容器、第１及び第２の配管、ノズル並びに継手を備えている。容器内には、イオン交換樹脂が収容されている。第１の配管は、少なくとも１つ設けられており、容器内に収容されたイオン交換樹脂の再生水を、イオン交換樹脂中に導く。ノズルは、容器の側壁を貫通する。第２の配管は、容器内に収容されたイオン交換樹脂上又はイオン交換樹脂中に配置されており、当該イオン交換樹脂を通流した再生水をノズル側へ導く。継手は、可とう性を有しており、第２の配管とノズルとの間に介在されている。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン交換樹脂を収容する容器と、
前記容器内に収容されたイオン交換樹脂の再生水を、前記イオン交換樹脂中に導く少なくとも１つの第１の配管と、
前記容器の側壁を貫通するノズルと、
前記容器内に収容されたイオン交換樹脂上又は前記イオン交換樹脂中に配置され、当該イオン交換樹脂を通流した再生水を前記ノズル側へ導く第２の配管と、
前記第２の配管と前記ノズルとの間に介在された可とう性を有する継手と、
を備えるイオン交換装置。
【請求項２】
前記イオン交換樹脂を通流した再生水を集水する複数の第３の配管と、
前記複数の第３の配管を集合させると共に前記第２の配管と接続された第４の配管と、
をさらに備える請求項１に記載のイオン交換装置。
【請求項３】
前記容器の側壁と前記ノズルの外壁とを接合する溶接部と、
前記第２の配管と前記継手との間、及び、前記継手と前記ノズルとの間にそれぞれ介在された複数のパッキンと、
をさらに備える請求項１又は２に記載のイオン交換装置。
【請求項４】
前記第２の配管は、単床式又は複床式のイオン交換装置に対しては、前記容器内に収容されたイオン交換樹脂上に配置される一方で、混床式のイオン交換装置に対しては、前記容器内に収容されたイオン交換樹脂中に配置される、
請求項１から３までのいずれか１項に記載のイオン交換装置。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか１項に記載のイオン交換装置を備える超純水製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理水中のイオン成分を取り除くイオン交換装置及びこれを備えた超純水製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、水処理においては、円筒形などに形成された樹脂塔（容器）内にイオン交換樹脂を収容したイオン交換装置が利用されている。被処理水は、樹脂塔内のイオン交換樹脂を通流する際に、イオン成分がイオン交換樹脂に吸着されて純度が高められる。
【０００３】
この種のイオン交換装置による水処理を長期間継続させた場合、イオン交換樹脂におけるイオン成分の吸着性能が低下してくる。イオン成分の吸着性能が低下した際には、イオン交換樹脂の再生を行うことによって、イオン成分の吸着性能（交換能力）を回復させる。イオン交換樹脂の再生においては、樹脂塔内のイオン交換樹脂に、アルカリ性の再生剤又は酸性の再生剤を通流させる。これにより、イオン交換樹脂に吸着されたイオン成分が水酸基や水素原子と置換される。
【０００４】
ところで、このようなイオン交換装置は、イオン交換樹脂を再生する処理の際に、イオン交換樹脂の体積が増加することが知られている（例えば特許文献１〜３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−８０７４９号公報
【特許文献２】特開２０１５−８０７５０号公報
【特許文献３】実開平３−６６６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
樹脂塔内でイオン交換樹脂の体積が増加した場合、樹脂塔内の例えば配管類に加わる応力の影響などが懸念される。具体的には、配管のたわみなどが要因となって、配管の接続部分に配置されているパッキンの変形や、樹脂塔の側壁を貫通する配管端部のノズルと当該側壁との溶接部分の破損、などを招くおそれがある。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、イオン交換樹脂の再生時において、イオン交換装置本体が損傷することを回避できるイオン交換装置及び超純水製造装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のイオン交換装置は、容器、第１及び第２の配管、ノズル並びに継手を備えている。容器内には、イオン交換樹脂が収容されている。第１の配管は、少なくとも１つ設けられており、容器内に収容されたイオン交換樹脂の再生水を、イオン交換樹脂中に導く。ノズルは、容器の側壁を貫通する。第２の配管は、容器内に収容されたイオン交換樹脂上又はイオン交換樹脂中に配置されており、イオン交換樹脂を通流した再生水をノズル側へ導く。継手は、可とう性を有しており、第２の配管とノズルとの間に介在されている。
【０００９】
また、本発明のイオン交換装置は、前記イオン交換樹脂を通流した再生水を集水する複数の第３の配管と、前記複数の第３の配管を集合させると共に前記第２の配管と接続された第４の配管と、をさらに備えている。
【００１０】
さらに、本発明のイオン交換装置は、前記容器の側壁と前記ノズルの外壁とを接合する溶接部と、前記第２の配管と前記継手との間、及び、前記継手と前記ノズルとの間にそれぞれ介在された複数のパッキンと、をさらに備えている。
【００１１】
また、本発明のイオン交換装置では、前記第２の配管は、単床式又は複床式のイオン交換装置に対しては、容器内に収容されたイオン交換樹脂上に配置される一方で、混床式のイオン交換装置に対しては、容器内に収容されたイオン交換樹脂中に配置される。
【００１２】
さらに、本発明の超純水製造装置は、上に例示したイオン交換装置を備えている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、イオン交換樹脂の再生時において、イオン交換装置本体が損傷することを回避できるイオン交換装置及び超純水製造装置を提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係る超純水製造装置の構成を概略的に示すブロック図。
【図２】図１の超純水製造装置が備える一次純水製造部の構成を示すブロック図。
【図３】図１の超純水製造装置が備える例えば単床式（又は複床式）のイオン交換装置の構成を例示した図。
【図４】図１の超純水製造装置が備える例えば混床式のイオン交換装置の構成を例示した図。
【図５】図３のイオン交換装置における全再生工程を説明するための図。
【図６】図３又は図４のイオン交換装置における抜水管ユニットの構成を概略的に示す斜視図。
【図７】図６の抜水管ユニットに樹脂膨張力が作用する状態を模式的に示す斜視図。
【図８】図６の抜水管ユニットが備える抜水管の周辺の構成を示す断面図。
【図９】図８の抜水管の周辺に樹脂膨張力が加わった状態を示す断面図。
【図１０】比較例のイオン交換装置が備える抜水管の周辺の構成を示す断面図。
【図１１】図１０の抜水管の周辺に樹脂膨張力が加わった状態を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図１に示すように、本実施形態に係る超純水製造装置１０は、前処理部１２、一次純水製造部１４、タンク１６及び二次純水製造部１８を備えている。前処理部１２は、原水として、市水、井水、工業用水などを導入する。この前処理部１２は、原水の水質などに応じて適宜構成されており、原水の懸濁物質を除去して前処理水を生成する。前処理部１２は、例えば砂ろ過装置や精密ろ過装置などを備え、さらに必要に応じて被処理水の温度を調節するための熱交換器などを有している。
【００１６】
一次純水製造部１４は、前処理水中の有機成分、イオン成分、溶存ガスなどを除去して一次純水を製造し、この一次純水をタンク１６に供給する。タンク１６は、一次純水を貯留し、その必要量を二次純水製造部１８に供給する。一方、二次純水製造部１８は、一次純水製造部１４により製造された一次純水中の不純物を除去して超純水となる二次純水を製造し、超純水の使用場所であるユースポイントＰＯＵ（Point Of Use）に供給する。ユースポイントＰＯＵを通過した余剰分の超純水は、タンク１６にて回収される。
【００１７】
二次純水製造部１８は、タンク１６の下流側に、例えば、熱交換器、紫外線酸化装置（ＴＯＣ−ＵＶ）、過酸化水素除去装置、脱気膜装置、ポリッシャ（非再生型混床式イオン交換樹脂装置）、限外ろ過膜装置などを備えて構成されている。熱交換器は、タンク１６から供給された一次純水の温度を調節する。紫外線酸化装置は、熱交換器で温度調節された一次純水に紫外線を照射して、水中の微量有機物を分解除去する。過酸化水素除去装置は、水中の過酸化水素を分解除去するための装置であって、例えばパラジウム（Ｐｄ）担持樹脂によって過酸化水素を分解除去するパラジウム担持樹脂装置や、塩基性陰イオン交換樹脂に亜硫酸基及び／又は亜硫酸水素基を有する還元性樹脂を充填した還元性樹脂装置などである。
【００１８】
脱気膜装置は、気体透過性の膜の二次側を減圧して、一次側を通流する水中の溶存ガスのみを二次側に透過させて除去する装置である。陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂とが混合された混床式のイオン交換樹脂を有し、被処理水の中の微量の陽イオン成分及び陰イオン成分を吸着除去する非再生型の混床式イオン交換装置である。限外ろ過膜装置は、ポリッシャによる被処理水を処理することにより、例えば粒子径５０ｎｍ以上（より好ましくは１０ｎｍ以上）の微粒子を除去して超純水（二次純水）を得る。超純水の水質は、例えば粒子径５０ｎｍ以上の微粒子数が５０ｐｃｓ．／Ｌ以下、全有機炭素（ＴＯＣ）濃度が１μｇＣ／Ｌ以下、抵抗率が１８ＭΩ・ｃｍ以上である。
【００１９】
一方、前述した一次純水製造部１４は、図２に示すように、例えば、活性炭装置（ＡＣ）２１、二床三塔型装置（２Ｂ３Ｔ）２２、逆浸透膜装置（ＲＯ）２３、紫外線酸化装置（ＴＯＣ−ＵＶ）２４、混床式のイオン交換装置（ＭＢ）２５、脱気装置（ＤＧ）２６などを備えている。一次純水は、例えば全有機炭素（ＴＯＣ）濃度が５μｇＣ／Ｌ以下、抵抗率が１７ＭΩ・ｃｍ以上である。
【００２０】
図２に示すように、活性炭装置２１は、ヤシガラ活性炭などの活性炭を内部に備える活性炭塔である。活性炭装置２１は、被処理水中に含まれる有機物を活性炭に吸着させて除去する。二床三塔（２ベット３タワー）型装置２２は、イオン交換装置２２ａ、脱炭酸装置２２ｂ、イオン交換装置２２ｃを直列に配置した統合装置である。イオン交換装置２２ａは、樹脂塔（容器）内にカチオン交換樹脂が収容（充填）された例えば単床式の陽イオン交換樹脂塔である。脱炭酸装置２２ｂは、イオン交換装置２２ａにより処理された被処理水から炭酸成分を除去する。一方、イオン交換装置２２ｃは、樹脂塔（容器）内にアニオン交換樹脂が収容された例えば単床式の陰イオン交換樹脂塔である。
【００２１】
逆浸透膜装置２３は、二床三塔型装置２２で処理された被処理水中の不純物や塩類を逆浸透膜（ＲＯ膜）により除去する。紫外線酸化装置２４は、逆浸透膜装置２３を通過した被処理水に紫外線を照射して水中の微量有機物を分解除去する。イオン交換装置２５は、樹脂塔（容器）内にカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とが収容された混床式のイオン交換樹脂塔である。脱気装置２６は、イオン交換装置２５を通過した被処理水中に含まれる酸素などの気体成分を除去するための例えば膜脱気装置や真空脱気装置である。
【００２２】
次に、本実施形態の超純水製造装置１０が備えた単床式のイオン交換装置２２ａ、単床式のイオン交換装置２２ｃ、及び混床式のイオン交換装置２５の構成、並びに、これらのイオン交換装置における通常のイオン交換時（通水時）の処理及びイオン交換樹脂の再生時の処理について説明する。ここで、図３（ａ）は、単床式（複床式）のイオン交換装置２２ａ、２２ｃの構成及び通水時の処理を例示した図であり、図３（ｂ）は、その再生時の処理を例示した図である。一方、図４（ａ）は、混床式のイオン交換装置２５の構成及び通水時の処理を例示した図であり、図４（ｂ）は、その再生時の処理を例示した図である。さらに、図５（ａ）〜図５（ｃ）は、例えば、単床式（複床式）のイオン交換装置２２ａ、２２ｃにおける全再生工程の一連の流れを説明するための図であって、図５（ａ）は再生工程、図５（ｂ）は押出工程、図５（ｃ）は洗浄工程を示している。
【００２３】
図３（ａ）、図３（ｂ）に示すように、イオン交換装置２２ａ、２２ｃは、円筒状の容器である樹脂塔（樹脂塔本体）３１、第１の配管として樹脂塔３１の上方に設けられた少なくとも１つの入口管３２、樹脂塔３１の中段（中間）に設けられた第２の配管である抜水管５１（後述する図６参照）を含む抜水管ユニット３３、樹脂塔３１の下方に設けられた兼用管３４を備えている。樹脂塔３１内には、カチオン交換樹脂又はアニオン交換樹脂であるイオン交換樹脂３５が収容（充填）されている。入口管３２は、樹脂塔３１内に収容されたイオン交換樹脂３５を再生するアルカリ性又は酸性の再生水を、イオン交換樹脂３５中に導き通流させる。
【００２４】
抜水管５１及びこれを含む抜水管ユニット３３は、上記した単床式（又は複床式）の当該イオン交換装置２２ａ、２２ｃに対しては、樹脂塔３１内に収容されたイオン交換樹脂３５上に配置されており、当該イオン交換樹脂３５を通流した再生水をノズル６１（後述する図６参照）側へ導く。さらに、再生中のイオン交換樹脂３５の変位を防止するために、樹脂塔３１内には、抜水管５１を含む抜水管ユニット３３を埋設するように、イオン交換樹脂３５及び抜水管ユニット３３の上には、例えば２００ｍｍ〜３００ｍｍの高さの樹脂層を構成する押え樹脂３６が収容されている。抜水管５１（及びこれを含む抜水管ユニット３３）は、イオン交換樹脂３５と押え樹脂３６との中間に埋設された埋設管（埋設管ユニット）である。
【００２５】
また、樹脂塔３１内における押え樹脂３６の上部には、フリーボード３７が構成される。兼用管３４は、イオン交換時（通水時）における被処理水の出口を構成する一方で、イオン交換樹脂３５の再生時における再生水の入口を構成する。つまり、図３（ａ）に示すように、イオン交換樹脂３５への通水時には、入口管３２から樹脂塔３１内に導入された被処理水は、フリーボード３７、押え樹脂３６、イオン交換樹脂３５を通流して兼用管３４から排出される。一方、図３（ｂ）に示すように、イオン交換樹脂３５の再生時には、入口管３２から押え水が樹脂塔３１内に導入されると共に、兼用管３４から再生水が樹脂塔３１内に導入され、これらの押え水及び再生水が抜水管ユニット３３から樹脂塔３１外に排出される。これにより、再生効率の高い上向流再生が実現される。
【００２６】
図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように、イオン交換装置２５は、図３（ａ）、図３（ｂ）に示したイオン交換装置２２ａ、２２ｃが樹脂塔３１内に備えていたイオン交換樹脂３５及び押え樹脂３６に代えて、混床樹脂４５が樹脂塔３１内に収容（充填）されている。図４（ｂ）に示すように、イオン交換装置２５は、再生時逆洗分離によって得られるアニオン樹脂４５ｂとカチオン樹脂４５ａとの境界部分に、抜水管５１及びこれを含む抜水管ユニット３３が、設置されている。すなわち、混床式のイオン交換装置２５に対しては、抜水管５１及びこれを含む抜水管ユニット３３は、樹脂塔３１内に収容されたイオン交換樹脂（混床樹脂４５）中に配置されている。
【００２７】
また、混床樹脂４５（アニオン樹脂４５ｂ及びカチオン樹脂４５ａ）の再生時において、入口管３２は、第１の配管としても機能する。このような混床樹脂４５（アニオン樹脂４５ｂ及びカチオン樹脂４５ａ）の再生時には、図４（ｂ）に示すように、入口管３２からアルカリ性の再生剤（ＮａＯＨ）が樹脂塔３１内に導入される一方で、兼用管３４から酸性の再生剤（ＨＣｌ）が樹脂塔３１内に導入され（それぞれ交互に又は同時に導入され）、これらの再生剤（再生水）が抜水管ユニット３３から樹脂塔３１外に排出される。
【００２８】
ここで、図５（ａ）に示すように、イオン交換装置２２ａ、２２ｃ（又はイオン交換装置２５）では、本再生工程として、例えば１５分〜４０分の期間、再生薬品を駆動水で希釈した再生剤（再生水）をイオン交換樹脂３５（又はアニオン樹脂４５ｂ、カチオン樹脂４５ａ）に通流させる。続いて、図５（ｂ）に示すように、押出工程として、例えば３０分〜８０分の期間、駆動水をさらに供給し続けることで、流入途中の再生剤（再生水）をイオン交換樹脂３５（又はアニオン樹脂４５ｂ、カチオン樹脂４５ａ）に対して十分に通流させる。さらに、図５（ｃ）に示すように、洗浄工程として、例えば６０分〜１００分の期間、入口管３２から樹脂塔３１内に洗浄水を導入し、この洗浄水を、イオン交換樹脂３５を通流させ兼用管３４から排出させる。これにより、樹脂塔３１内に残留している再生剤（再生水）を洗い出す。
【００２９】
なお、本実施形態の超純水製造装置１０は、被処理水の流れの方向に対して、同一の機能を有する複数台のイオン交換装置が並列的に設けられており、並列的に設けられた少なくとも１台のイオン交換装置を停止した状態でスタンバイさせている。つまり、上記した一連の再生工程を実施しているイオン交換装置がある場合、スタンバイさせているイオン交換装置を代わりに稼働させることで、超純水の製造を継続的に行うことが可能となる。
【００３０】
次に、抜水管ユニット３３の構造について図６〜図９に基づき詳述する。図６、図８に示すように、抜水管ユニット３３は、前述した抜水管５１、ノズル６１、第３の配管である複数の枝管５３、第４の配管としてのメイン管５２、可とう性を有する継手（可とう管）５５、一対のサポート部材５４、複数のパッキン６４、６７を備えている。ノズル６１は、樹脂塔（容器）３１の側壁を貫通している。複数の枝管５３は、円筒状の樹脂塔３１内において、樹脂塔３１の径方向に各々延びており、イオン交換樹脂を通流した再生水をそれぞれの先端部側から集水する。
【００３１】
メイン管５２は、複数の枝管５３を集合させると共に抜水管５１と接続されている。メイン管５２は、円筒状の樹脂塔３１内において、樹脂塔３１の径方向に延び、かつ複数の枝管５３と直交する向きで配置されている。複数の枝管５３の基端部は、メイン管５２の周面にそれぞれ連結されている。メイン管５２の一端部５２ａ及び他端部５２ｂは、所定の支持部材を介して樹脂塔３１に支持されている。一対のサポート部材５４は、それぞれ断面コの字型の柱状構造を有しており、メイン管５２と同様の向きに延びている。サポート部材５４は、複数の枝管５３を保持している状態で、当該サポート部材５４の一端部５４ａ及び他端部５４ｂが、所定の支持部材を介して樹脂塔３１に支持されている。
【００３２】
抜水管５１は、メイン管５２と同様の向きに延びており、メイン管５２の直上に配置されている。抜水管５１は、Ｌ字状に形成されており、屈曲している一端部がメイン管５２の周面に接合されている。継手５５は、抜水管５１とノズル６１との間に介在された可とう性継手である。継手５５の材質は、樹脂塔３１内での水動圧に耐え、再生剤に対する耐性を有している必要がある。継手５５の材質は、例えばラバー製、ＳＵＳ３１６などのステンレス製、テフロン（登録商標）などのふっ素樹脂コーティングを母材に施したものなどを適用することが可能である。
【００３３】
継手５５の一端部は、フランジ６５、パッキン６７及びフランジ６６を介して、抜水管５１の他端部と連結されている。継手５５の他端部は、フランジ６３、パッキン６４及びフランジ６２を介して、ノズル６１の一端部と連結されている。つまり、パッキン６７は、抜水管５１と継手５５との間に介在されている。一方、パッキン６４は、継手５５とノズル６１との間に介在されている。また、図８、図９に示すように、樹脂塔３１の側壁とノズル６１の外壁とは、溶接部６８、６９を介して互いに接合されている。
【００３４】
ところで、前述したイオン交換装置２２ａ、２２ｃ、２５は、イオン交換樹脂を再生する処理の際に、イオン交換樹脂の体積が増加することが知られている。具体的には、カチオン交換樹脂は、再生時、８％〜１０％程度体積が増加し、アニオン交換樹脂は、再生時、１８％〜３０％程度体積が増加する場合がある。樹脂塔３１の直径が例えば３０００ｍｍ以上でイオン交換樹脂の充填高さが１５００ｍｍ以上の比較的大型のイオン交換装置では、それに比例してイオン交換樹脂の膨張高さも大きくなる。もしくは、膨張時に抜水管等に加わるモーメントが大きくなる。図７に示すように、樹脂塔３１内でイオン交換樹脂の樹脂膨張力Ｚ２が生じた場合、複数の枝管５３、メイン管５２、サポート部材５４を通じて、抜水管５１、パッキン６４、６７、溶接部６８、６９、ノズル６１、に加わる応力Ｚ１が要因となる各部の損傷が懸念される。
【００３５】
そこで、本実施形態のイオン交換装置２２ａ、２２ｃ、２５は、図８、図９に示すように、抜水管５１とノズル６１との間に、可とう性を有する継手５５を介在させている。継手５５は、イオン交換樹脂の樹脂膨張力Ｚ２が生じた場合に、図９に示すように、継手５５が弾性変形して、抜水管５１とノズル６１との間に偏心（少なくとも５ｍｍ〜１０ｍｍ以上の偏心）を生じさせ、主に抜水管５１に加わる可能性のある応力（モーメント）Ｚ１を吸収する。つまり、継手５５は、体積の増加したイオン交換樹脂の上面の高さ以上に、弾性変形することが可能な構造を有している。
【００３６】
一方、図１０、図１１に示すように、抜水管９１の周辺に可とう性継手を介在させていない比較例のイオン交換装置では、樹脂膨張力Ｚ２が要因となって抜水管９１に加わる応力（モーメント）Ｚ１の影響で、抜水管９１とノズル６１との間に介在されているパッキン６４の変形や、ノズル６１と樹脂塔３１の側壁とを接合している溶接部６８、６９の破断を招くおそれがある。パッキン６４の変形や溶接部６８、６９の破断が生じた場合、樹脂塔３１内の再生水が漏洩する結果となる。
【００３７】
これに対して、本実施形態のイオン交換装置２２ａ、２２ｃ、２５は、前述したように、可とう性を有する継手５５を抜水管５１とノズル６１との間に介在させていることで、イオン交換樹脂の再生時に樹脂膨張力Ｚ２が生じた場合でも、継手５５が弾性変形して、抜水管５１に加わる可能性のある応力Ｚ１を吸収することが可能である。
【００３８】
したがって、本実施形態のイオン交換装置２２ａ、２２ｃ、２５を備えた超純水製造装置１０によれば、イオン交換樹脂３５（混床樹脂４５）の再生時に、イオン交換装置２２ａ、２２ｃ、２５が損傷してしまうことを回避することができる。
また、従来のイオン交換装置に採用する場合も、抜水管を改良するだけで、大きな工事を伴わずに、対応できる。
さらに、従来は、抜水管の破損を避けるため、たとえば１５００ｍｍ以上の塔高や塔径が３０００ｍｍ以上の大型樹脂塔は設計しにくかったが、本発明を用いることで、これらの大型樹脂塔を自由に設計可能となる。
その結果、樹脂塔内のイオン交換樹脂量を多くすることができるので、樹脂塔の再生頻度を下げることが可能となり、樹脂塔を余裕を持って運転できるようになる。
【００３９】
以上、本発明を実施の形態により具体的に説明したが、本発明は、この実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、実施形態に示される全構成要素からいくつかの構成要素を削除してもよいし、上記実施形態に開示した複数の構成要素を適宜組み合わせることも可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１０…超純水製造装置、１４…一次純水製造部、２２…二床三塔型装置、２２ａ，２２ｃ…単床式（又は複床式）のイオン交換装置、２５…混床式のイオン交換装置、３１…樹脂塔（樹脂塔本体）、３２…入口管、３３…抜水管ユニット、３４…兼用管、３５…イオン交換樹脂、４５…混床樹脂、４５ａ…カチオン樹脂、４５ｂ…アニオン樹脂、５１…抜水管、５２…メイン管、５３…枝管、５５…可とう性を有する継手、６１…ノズル、６４，６７…パッキン、６８，６９…溶接部、Ｚ１…応力、Ｚ２…樹脂膨張力。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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