(57)【要約】【課題】  円筒状ワークを非接触状態で保持する円筒状ワーク保持装置を提供する。【解決手段】  前記円筒状ワーク保持装置は吸引ブロックを有し、前記吸引ブロックは、前記円筒状ワークの表面に対向する吸引面を有し、前記吸引面は圧縮気体を前記円筒状ワークと前記吸引面が形成する隙間に噴出する圧縮気体噴出口を有し、前記吸引ブロックは圧縮気体を導入する圧縮気体導入口と、前記圧縮気体噴出口と前記気体導入口とを通じる流路を有し、前記吸引面は鉛直方向に対して略垂直な面を有し、前記円筒状ワークを水平に保持する。【選択図】  図１Ａ
2020181108.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状ワークを吸引して非接触状態で保持する円筒状ワークの保持装置であって、
前記円筒状ワークの保持装置は吸引ブロックを有し、
前記吸引ブロックは、前記円筒状ワークの表面に対向する吸引面を有し、
前記吸引面は、前記円筒状ワークと前記吸引面が近接することによって形成される隙間に圧縮気体を噴出する圧縮気体噴出口を有し、
前記吸引ブロックは、圧縮気体を導入する圧縮気体導入口と、前記圧縮気体噴出口と前記気体導入口とを連通する流路を有し、
前記吸引面は鉛直方向に対して略垂直な面を有し、前記円筒状ワークを水平に保持することを特徴とする円筒状ワークの保持装置。
【請求項２】
前記吸引面、前記圧縮気体導入口、前記圧縮気体噴出口、及び前記流路が、前記円筒状ワークの中心軸を含む鉛直面に対して対称の形状及び配置である請求項１に記載の円筒状ワークの保持装置。
【請求項３】
前記円筒状ワークの側面両端部を保持する２つの吸引ブロックを有する請求項１又は２に記載の円筒状ワークの保持装置。
【請求項４】
前記２つの吸引ブロックの間に測定手段、及び前記円筒状ワークと前記吸引面との距離を基準に前記測定手段と円筒状ワークとの距離を規定するための基準プレートを有する請求項３に記載の円筒状ワークの保持装置。
【請求項５】
前記円筒状ワークが電子写真感光体であり、前記２つの吸引ブロックの間にコロナ帯電器を有する請求項４に記載の円筒状ワークの保持装置。
【請求項６】
円筒状ワークを吸引して非接触状態で保持する円筒状ワークの保持装置であって、
前記円筒状ワークの保持装置は吸引ブロックを有し、
前記吸引ブロックは、前記円筒状ワークの表面に対向する吸引面を有し、
前記吸引面は前記円筒状ワークと前記吸引面が近接することによって形成される隙間に圧縮気体を噴出する圧縮気体噴出口を有し、
前記吸引ブロックは、圧縮気体を導入する圧縮気体導入口と、前記圧縮気体噴出口と前記圧縮気体導入口とを連通する流路を有し、
前記吸引面は鉛直方向に対して略垂直な面を有し、
前記圧縮気体噴出口から前記隙間に噴出される前記圧縮気体の流速のうち、前記円筒状ワークの周方向成分を制御する流速制御手段を有することを特徴とする円筒状ワークの保持装置。
【請求項７】
前記流速制御手段が、前記流路と円筒状ワークの中心軸を含む水平面とのなす角度を調整する手段である請求項６に記載の円筒状ワークの保持装置。
【請求項８】
前記流速制御手段が前記流路と円筒状ワークの中心軸を含む水平面とのなす角度の異なる複数の流路を有し、導入する圧縮気体の流量及び／又は流量比率を制御する手段である請求項６に記載の円筒状ワークの保持装置。
【請求項９】
前記円筒状ワークの側面両端部を保持する２つの吸引ブロックを有する請求項６〜８のいずれか１項に記載の円筒状ワークの保持装置。
【請求項１０】
前記２つの吸引ブロックの間に測定手段、及び前記円筒状ワークと前記吸引面との距離を基準に前記測定手段と円筒状ワークとの距離を規定するための基準プレートを有する請求項９に記載の円筒状ワークの保持装置。
【請求項１１】
前記円筒状ワークが電子写真感光体である請求項６〜１０のいずれか１項に記載の円筒状ワークの保持装置。
【請求項１２】
円筒状ワークを吸引して、非接触状態で保持し、円筒状ワークを回転させる円筒状ワーク回転方法であって、請求項７に記載の円筒状ワークの保持装置を用い、前記角度を±４５度以内に調整して円筒状ワークを回転させる回転方法。
【請求項１３】
円筒状ワークを吸引しつつ、非接触状態で保持し、円筒状ワークを回転させる円筒状ワーク回転方法であって、請求項８に記載の円筒状ワークの保持装置を用い、前記複数の圧縮気体導入口のうち、一方より他方の流量を多く供給する円筒状ワークの回転方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は円筒状ワークを非接触で保持する円筒状ワークの保持装置及び回転方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークを非接触で吸着する吸着手段として、ベルヌーイ効果を利用した吸着手段が知られている。例えば、立体的形状のワーク表面に沿うように形成された吸着面を有し、この吸着面と上記ワークの表面との間の細隙に高速流体による負圧を生じさせて上記ワークを吸着するものである。この立体ワークの非接触吸着手段は、上記吸着面の中央部に上記流体を上記細隙に供給する供給口を設けたことを特徴とするものである。
【０００３】
そして、細隙に供給される高速流体のクッション効果によって、ワーク表面と吸引面の間には反発力が発生する。上記吸引力と上記反発力が釣り合うことによって、ワーク表面が吸引面に対して非接触な状態でワークが保持される（特許文献１）。
【０００４】
従来の円筒状ワークを周方向に回転可能な円筒状ワーク保持装置は、円筒状ワークを機械的に保持する保持手段と、保持手段を介してモーター等の動力手段からの動力を円筒状ワークに伝達する構成が一般的である。このような構成の場合、保持手段の機械的精度や、円筒状ワーク設置時に生じる保持手段の回転中心と円筒状ワークの中心軸のズレが、回転時の円筒状ワークの外周面振れの原因になっていた。その時の振れ幅は、５０μｍ以上となる場合があり、円筒状ワークの寸法を高精度に測定することが困難となっていた。
【０００５】
ベルヌーイ効果を利用した吸引手段は、ワーク表面と吸引面が形成する細隙に対して垂直な方向に吸引力および反発力が働くが、細隙に対して平行な方向にはワークを固定するような力は働かない。そのため、ベルヌーイ効果を利用した吸引手段によって、円筒状ワークの側面部を保持する場合には、重力など外力が掛かる状況下では、ワークを思惑通りに保持できない場合があった。
【０００６】
また、円筒状ワークの側面部を保持する場合、高速気流の供給手段・方向によっては、ワーク表面と吸引面が形成する細隙に供給される高速流体の流れが円筒状ワーク側面の周方向に対して均衡する場合と不均衡になる場合がある。その結果、円筒状ワークが高速流体の影響を受けて静止・回転させることができることがわかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−１２２２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本願発明の目的は、円筒状ワークを円筒状ワークの側面部を非接触状態で保持する円筒状ワークの保持装置を提供することである。
【０００９】
円筒状ワークの側面部をベルヌーイ効果によって保持することによって、円筒状ワークの側面部を基準に距離を制御できることができる円筒状ワークの保持装置を提供することである。
【００１０】
本発明の円筒状ワーク保持装置によって、モーター等の動力源や動力伝達手段を用いずに、円筒状ワークの表面を基準として非接触な状態で保持及び回転することが可能な円筒状ワーク保持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第一の態様は、
円筒状ワークを吸引して非接触状態で保持する円筒状ワークの保持装置であって、
前記円筒状ワークの保持装置は吸引ブロックを有し、
前記吸引ブロックは、前記円筒状ワークの表面に対向する吸引面を有し、
前記吸引面は、前記円筒状ワークと前記吸引面が近接することによって形成される隙間に圧縮気体を噴出する圧縮気体噴出口を有し、
前記吸引ブロックは、圧縮気体を導入する圧縮気体導入口と、前記圧縮気体噴出口と前記気体導入口とを連通する流路を有し、
前記吸引面は鉛直方向に対して略垂直な面を有し、前記円筒状ワークを水平に保持することを特徴とする。
【００１２】
本発明の第二の態様は、
円筒状ワークを吸引して非接触状態で保持する円筒状ワークの保持装置であって、
前記円筒状ワークの保持装置は吸引ブロックを有し、
前記吸引ブロックは、前記円筒状ワークの表面に対向する吸引面を有し、
前記吸引面は前記円筒状ワークと前記吸引面が近接することによって形成される隙間に圧縮気体を噴出する圧縮気体噴出口を有し、
前記吸引ブロックは、圧縮気体を導入する圧縮気体導入口と、前記圧縮気体噴出口と前記圧縮気体導入口とを連通する流路を有し、
前記吸引面は鉛直方向に対して略垂直な面を有し、
前記圧縮気体噴出口から前記隙間に噴出される前記圧縮気体の流速のうち、前記円筒状ワークの周方向成分を制御する流速制御手段を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明の第一の態様によれば、円筒状ワークを円筒状ワークの側面部を非接触状態で保持する円筒状ワークの保持装置を提供することができる。
【００１４】
更に、円筒状ワークの側面部をベルヌーイ効果によって保持することによって、円筒状ワークの側面部を基準に距離を制御できることができる。
【００１５】
本発明の第二の態様によれば、モーター等の動力源や動力伝達手段を用いずに、円筒状ワークの表面を基準として非接触な状態で保持及び回転することが可能な円筒状ワーク保持装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１Ａ】本発明の第一の態様の円筒状ワークの保持装置の第一例の概略図
【図１Ｂ】本発明の第一の態様の円筒状ワークの保持装置の第二例の概略図
【図２Ａ】本発明の第一の態様の円筒状ワークの保持装置の第三例の概略図
【図２Ｂ】本発明の第一の態様の円筒状ワークの保持装置の第四例の概略図
【図３】円筒状ワークの両端部を保持する２つの吸引ブロックを有し、２つの吸引ブロック間にセンサーを設けた本発明の第一の態様の装置の概略図
【図４】円筒状ワークの両端部を保持する２つの吸引ブロックを有し、２つの吸引ブロック間にコロナ帯電器を設けた本発明の第一の態様の装置の概略図
【図５】比較例の円筒状ワークの保持装置の概略図
【図６】本発明の第二の態様の円筒状ワーク保持装置の概略図
【図７】図６に示す円筒状ワーク保持装置の断面図
【図８】本発明の第二の態様の円筒状ワーク保持装置の別例の概略図
【図９】図８に示す円筒状ワーク保持装置の吸引ブロックの平面図
【図１０】図８に示す円筒状ワーク保持装置の断面図
【図１１】円筒状ワークの両端部を保持する２つの吸引ブロックを有し、２つの吸引ブロック間にセンサーを設けた本発明の第二の態様の装置の概略図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
＜本発明の第一の態様＞
以下に図面を参照して、本発明の第一の態様について形態を例示的に詳しく説明する。本発明の第一の態様は、円筒状ワークが静止した状態で保持することが好適な装置に関する。ただし、以下の記載は、この発明の技術的な範囲を以下の実施の形態に限定するものではない。
【００１８】
図１は、本発明の円筒状ワークの保持装置の一例である。図１の装置は、直方体の一面が円筒状ワーク１０６の側面に沿う形状の吸引面１０５となっている吸引ブロック１０１を有している。吸引面１０５の形状・面積は、保持する円筒状ワーク１０６と吸引面１０５の間にベルヌーイ効果を発生する隙間を形成できれば特に制限はない。ただ、吸引面１０５と円筒状ワーク１０６が形成する隙間の幅は狭く、対向する面積は広い方が、保持力の観点ではより好ましい形態である。すなわち、吸引面１０５は円筒状ワーク１０６とほぼ同じ曲率にするのが良く、吸引ブロック１０１と円筒状ワーク１０６を離間するためには、円筒状ワーク１０６の外周面の周方向半分以下の領域が吸引面１０５と対向するように構成すると良い。
【００１９】
なお、吸引面１０５のほぼ中心に圧縮気体噴出口１０２を設けることによって、吸引面１０５と円筒状ワーク１０６が形成する隙間に対して均等に圧縮気体が噴出しやすい。なお、吸引面１０５に設けた圧縮気体噴出口１０２まで圧縮気体を導くため、吸引ブロック１０１には、圧縮気体を導入する圧縮気体導入口１０３、圧縮気体導入口１０３と圧縮気体噴出口１０２を連通する流路１０４が形成されている。ここで、圧縮気体導入口１０３と圧縮気体噴出口１０２と流路１０４の断面が円形であり、圧縮気体導入口１０３は吸引ブロック１０１の側面に配置されている。
【００２０】
図１の円筒状ワーク保持装置は、円筒状ワーク１０６の側面に対して吸着ブロック１０１を作用させて、円筒状ワーク１０６を鉛直方向に対して横向に保持する構成である。図１Ａは、円筒状ワーク１０６の鉛直方向下側に吸引ブロック１０１を配置した構成である。したがって、円筒状ワーク１０６は吸引面１０５上に浮上して保持されることになる。吸引面は鉛直方向に対して略垂直な面を有している。そうすることで、円筒状ワークが良好に水平に保持される。図１Ｂは、円筒状ワーク１０６の鉛直方向上側に吸引ブロック１０１を配置した構成である。したがって、円筒状ワーク１０６は吸引面１０５に吸引されて保持されることになる。
【００２１】
図１の円筒状ワーク保持装置は、吸引面１０５と円筒状ワーク１０６が鉛直方向に並んでいる。したがって、円筒状ワーク１０６に加わる重力、吸引面１０５と円筒状ワーク１０６側面が形成する隙間に供給される高速気流によって生じる吸着力および反発力の３つの力が均衡して、円筒状ワーク１０６を非接触で保持することができる。
【００２２】
図２は、本発明の円筒状ワーク保持装置の別例である。図２の装置は、図１の装置と同様に吸引面２０５の中心に圧縮気体噴出口２０２が配置されている。また、吸引ブロック２０１に圧縮気体を導入する圧縮気体導入口２０３、圧縮気体導入口２０３と圧縮気体噴出口２０２を連通する流路２０４の形状および配置に特徴がある。
【００２３】
図２Ａの装置は、圧縮気体導入口と圧縮気体噴出口と流路の断面が円形であり、圧縮気体導入口２０３は吸引ブロック２０１の底面の配置されている。また、圧縮気体導入口２０２の中心、圧縮気体噴出口２０３の中心、流路２０４の中心が円筒状ワーク２０６の中心軸２０７を含む鉛直面内に含まれる位置に配置されている。
【００２４】
図２Ｂの装置は、圧縮気体導入口２０３と圧縮気体噴出口２０２と流路２０４の断面が円形であり、圧縮気体導入口２０３は吸引ブロック２０１の側面に配置されている。また、圧縮気体導入口２０３の中心、圧縮気体噴出口２０２の中心、流路２０４の中心が円筒状ワーク２０６の中心軸２０７を含む鉛直面内に含まれるように配置されている。
【００２５】
ここで、円筒状ワークは、意図せずに回転する場合が生じる。円筒状ワークを静止状態で保持する為には、吸引面、圧縮気体導入口、圧縮気体噴出口、及び前記流路が、前記円筒状ワークの中心軸を含む鉛直面に対して対称の形状及び配置であることが好ましい。
【００２６】
図３の円筒状ワーク保持装置は、比較的長さのある円筒状ワーク３０６を保持するのに適した構成である。円筒状ワーク３０６両端の側面両端部に対向するように、基準プレート３０８上に吸引ブロック３０１ａ、３０１ｂを２つの配置している。ここで基準プレートとは、水平面を維持できる板をいう。２つの吸引面３０５ａ、３０５ｂは同形状の吸引ブロック３０１ａ、３０１ｂを基準プレート３０８上に固定することによって、２つの吸引面３０５ａ、３０５ｂの精度を保証することができる。各吸引ブロック３０１ａ、３０１ｂには底面中央に圧縮気体導入口３０３ａ、３０３ｂが設けられ、円筒状ワーク３０６と対向する吸引面３０５ａ、３０５ｂそれぞれの中央に圧縮気体噴出口３０２ａ、３０２ｂが設けられている。なお、圧縮気体導入口３０３ａ、３０３ｂの中心、圧縮気体噴出口３０２ａ、３０２ｂの中心、流路３０４ａ、３０４ｂの中心軸が円筒状ワーク３０６の中心軸３０７を含む鉛直面内に含まれる位置に配置されている。
【００２７】
また、図３の装置には、円筒状ワーク３０６の側面両端部を保持する２つの吸引ブロック３０１ａ、３０１ｂの間に測定手段であるセンサー３０９が配置されている。センサー３０９は円筒状ワーク３０６の状態等を非接触で測定するセンサーを適応できる。吸引ブロック３０１ａ、３０１ｂの吸引面３０５ａ、３０５ｂを基準にしてセンサー３０９の高さを設定することによって、高精度に円筒状ワーク３０６とセンサー３０９の距離を制御することができる。例えば、円筒状ワーク３０６として電子写真感光体を想定した場合、測定手段として誘導電流センサー、表面電位センサー、変位センサー等が適したものとして挙げられる。
【００２８】
なお、円筒状ワーク３０６の周方向に渡って測定をするためには、円筒状ワークを非接触状態で保持する円筒状ワーク３０６を回転させる構成（機構）を付帯させる必要がある。好ましい構成として、円筒状ワーク３０６とモーター３１１とを非接触磁気繋ぎ手３１０を介して非接触な状態で連結し、モーター３１１の駆動力を円筒状ワーク３０６に伝達する構成が挙げられる。
【００２９】
また、円筒状ワーク３０６の母線方向に渡って測定するためには、センサー３０９を円筒状ワーク３０６の中心軸３０７に平行に移動する機構を設ければよい。
【００３０】
図４の円筒状ワーク保持装置は、保持部および回転駆動部は図３の装置と同様である。図４の円筒状ワーク保持装置では、円筒状ワークとして電子写真感光体４０６を想定している。電子写真感光体４０６の両端を保持する吸引ブロック４０１ａ、４０１ｂの間にコロナ帯電器４１０が配置されている。また、電子写真感光体４０６の周方向に関して、表面電位センサー４０９がコロナ帯電器４１２の１８０度の位置に配置されている。なお、電子写真感光体の導電性支持体は非接触磁気繋ぎ手４１０に接触された接地電極４１３によって接地されている。
【００３１】
一方、図５に示す装置は、吸引ブロック５０１の吸引面及び円筒状ワーク５０６の側面の位置関係が鉛直方向に平行な配置になっている。したがって、円筒状ワーク５０６に加わる重力に対して、吸引面５０５と円筒状ワーク５０６側面が形成する隙間に供給される高速気流によって生じる吸着力および反発力の２つの力が重力に対して垂直な関係になってしまう。その結果、円筒状ワーク５０６を非接触で保持することはできない。
【００３２】
＜本発明の第二の態様＞
以下に図面を参照して、本発明の第二の態様を実施するための形態を例示的に詳しく説明する。本発明の第二の態様は、円筒状ワークが回転した状態で保持することが好適な装置に関する。ただし、以下の記載は、この発明の技術的な範囲を以下の実施の形態に限定するものではない。
【００３３】
図６は、本発明の円筒状ワーク保持装置の一例である。図６の装置では、吸引ブロック６０１の一面が円筒状ワーク６０６の側面に沿う形状の吸引面６０５を有している。吸引面６０５の形状・面積は、保持する円筒状ワーク６０６と吸引面６０５の間にベルヌーイ効果を発生する隙間を形成できれば特に制限はない。ただ、吸引面６０５と円筒状ワーク６０６が形成する隙間の幅は狭く、対向する面積は広い方が、保持力の観点ではより好ましい形態である。すなわち、吸引面６０５は円筒状ワーク６０６とほぼ同じ曲率にするのが好ましい。一方、円筒状ワーク６０６を吸引ブロック６０１と着脱する観点から、吸引面６０５は円筒状ワーク６０６の周方向半分以下の領域で対向する構成が好ましい。
【００３４】
図６の装置では、円筒状ワーク６０６と吸引面６０５が近接して形成される隙間に圧縮気体を噴出する圧縮気体噴出口６０２を有する流路６０３がある。流路６０３は圧縮気体噴出口６０２を起点とし、円筒状ワーク６０６の中心軸６０７に垂直な面内に角度を変更できる構成になっている。すなわち、図６の装置では、流路６０３の角度を調整する機構６０４が、圧縮気体噴出口６０２から隙間に噴出される圧縮気体の流速のうち、圧縮気体の円筒状ワークの周方向成分を制御する流速制御手段である。
【００３５】
図７は、図６の装置を円筒状ワーク６０６の中心軸６０７に垂直、かつ、流路６０３の中心を含む平面で切り取った断面図を示している。図７（Ｂ）は、流路６０３と円筒状ワーク６０６の中心軸を含む水平面との成す角が垂直に設定した状態を示している。ここで、流路６０３と円筒状ワーク６０６の中心軸６０７を含む水平面との成す角とは、前記断面図において、流路６０３の方向を延長した補助線分より規定したものである。図７（Ｂ）の場合、圧縮気体噴出口６０２から噴出された圧縮気体は、圧縮気体噴出口６０２を中心に円筒状ワーク６０６の表面に沿って周方向均等に流れる。その結果、円筒状ワーク６０６の周方向成分は均衡し、円筒状ワーク６０６に回転する力は加わらない為、円筒状ワーク６０６は静止する。
【００３６】
一方、図７（Ａ）、（Ｃ）は、圧縮気体噴出口６０２を起点として流路６０３と円筒状ワーク６０６の中心軸６０７を含む水平面との成す角度を以下のように設定する。流路６０３が圧縮気体噴出口６０２に対向する円筒状ワーク６０６の中心軸６０７を含む水平面との成す角度が垂直な場合を０度と定義し、円筒状ワーク６０６の中心軸６０７に垂直な面内に±４５度以内の範囲で稼働できる構成となっている場合か好ましい。より好ましくは、±３０度以内の範囲である。
【００３７】
図７（Ａ）の場合、圧縮気体噴出口６０２から噴出された圧縮気体は円筒状ワーク６０６と吸引面６０５が形成する隙間のうち、圧縮気体噴出口６０２よりも右側の隙間に流れ込む圧縮気体の流速が左側の隙間に流れ込む圧縮気体の流速よりも速くなる。その結果、円筒状ワーク６０６の周方向成分が不均衡になり、円筒状ワーク６０６は反時計回りに回転する。一方、図７（Ｃ）の場合、圧縮気体噴出口６０２よりも左側の隙間に流れ込む圧縮気体の流速が右側の隙間に流れ込む圧縮気体の流速よりも速くなる。したがって、円筒状ワーク６０６は時計回りに回転する。すなわち、流路６０３の角度を調整する機構６０４および供給する流路６０３に供給する圧縮気体の流量を調整することによって、円筒状ワーク６０６の回転速度を制御することができる。
【００３８】
従って、本願は、例えば図７に示した保持装置を用いて、円筒状ワークを吸引して、非接触状態で保持し、円筒状ワークを回転させる円筒状ワークの回転方法であって、前記角度を±４５度以内に調整して円筒状ワークを回転させる回転方法をも提供する。
【００３９】
図８は、本発明の円筒状ワーク保持装置の別例である。図８の装置は、円筒状ワーク８０６の表面に対して異なる入射角を有する流路８０３ａ、８０３ｂを有する。その経路を経由し、吸引ブロック８０１の吸引面８０５の中央部に設けられた２つの圧縮気体噴出口８０２ａ、８０２ｂから吸引面８０５と円筒状ワーク８０６とが近接して形成される隙間に供給する構成になっている。
【００４０】
流路８０３ａ、８０３ｂは、図７（Ｂ）で規定した０度の場合に対して円筒状ワーク８０６周方向に角度を有している。なお、流路８０３ａ、８０３ｂは、それぞれの角度の絶対値が等しくかつ、流路の方向は一方がプラス方向（＋）ならば、他方はマイナス方向（−）の場合が好ましい。
【００４１】
また、流路８０３ａ、８０３ｂには不図示の圧縮気体流量コントローラによって、各々の流量、および／または、流量比率を制御可能な手段を有している。すなわち、流路８０３ａ、８０３ｂと各々の流量制御手段が、圧縮気体噴出口８０２ａ、８０２ｂから隙間に噴出される圧縮気体の流速のうち、圧縮気体の円筒状ワークの周方向成分を制御する流速制御手段となる。
【００４２】
図９は、吸引ブロックの平面図であり、流路８０３ａ、流路８０３ｂ、の位置関係を示している。図１０は、図８の装置を円筒状ワーク８０６の中心軸８０７に垂直、かつ、流路８０３ａ、８０３ｂの中心を含む平面で切り取った断面図を示している。図１０（Ｂ）は、流路８０３ａ、８０３ｂに供給する圧縮気体の流量を等しくした状態を示している。図１０（Ｂ）の場合、圧縮気体噴出口８０２ａ、８０２ｂから噴出された圧縮気体は、圧縮気体噴出口８０２ａおよび８０２ｂを中心に円筒状ワーク８０６の表面に沿って周方向に均等に流れる。その結果、円筒状ワーク８０６の周方向成分は均衡し、円筒状ワーク８０６を回転する力は加わらない。
【００４３】
一方、図１０（Ａ）、（Ｃ）は、流路８０３ａ、８０３ｂに供給する圧縮気体の流量を異なる流量に設定した状態を示している。図１０（Ａ）の場合、流路８０３ａに供給する圧縮気体を流路８０３ｂに供給する圧縮気体よりも多く設定している。流路８０４ａに供給される圧縮気体は、円筒状ワーク８０６と吸引面８０５が形成する隙間のうち、噴出口８０２ａから噴出された圧縮気体は圧縮気体噴出口８０２ａおよび８０２ｂよりも右側の隙間に流れ込む。そうすることで、圧縮気体の流速が左側の隙間に流れ込む圧縮気体の流速よりも速くなる。
【００４４】
その結果、円筒状ワーク８０６の周方向成分が不均衡になり、円筒状ワーク８０６は反時計回りに回転する。一方、図１０（Ｃ）の場合、同様の理由によって、筒状ワーク８０６は時計回りに回転する。すなわち、流路８０３ａおよび／または８０３ｂに供給する流量および／または流量比率を調整することによって、円筒状ワーク８０６の回転速度を制御することができる。
【００４５】
従って、本願は、例えば図８に示した保持装置を用いて、円筒状ワークを吸引しつつ、非接触状態で保持し、円筒状ワークを回転させる円筒状ワーク回転方法である。複数の圧縮気体導入口のうち、一方より他方の流量を多く供給する円筒状ワークの回転方法をも提供する。
【００４６】
図８〜図１０において流路が複数の場合を説明した。複数の流路は、図８〜図１０説明したように、ツインの形態を有しており、二本の流路が近接している場合が好ましい。又、円筒状ワークを回転させる場合は、ツインの形態において一方より他方の流量を多く供給する場合が好ましい。又、吸引ブロックは、ツインの形態を複数有していてもよい。
【００４７】
図１１は本発明の円筒状ワーク保持装置を検査に適用した場合の一例である。図１１の円筒状ワーク保持装置は、比較的長さのある円筒状ワーク１１０６を保持するのに適した構成を示している。円筒状ワーク１１０６両端の側面部に対向するように、基準プレート１１０８で連結された２つの吸引ブロック１１０１ａ、１１０１ｂを配置している。ここで、基準プレートとは、水平面を維持できる板をいう。吸引ブロック１１０１ａ、１１０１ｂを基準プレート１１０８上に固定することによって、２つの吸引面１１０５ａ、１１０５ｂの水平精度を保証している。なお、吸引ブロック１１０１ａ、１１０１ｂは図６の装置と同様の構成を採用している。すなわち、円筒状ワーク１１０６と吸引面１１０５が近接して形成される隙間に圧縮気体を噴出する圧縮気体噴出口１１０２ａ、１１０２ｂを有する流路１１０３ａ、１１０３ｂがある。流路１１０３ａ、１１０３ｂは各々圧縮気体噴出口１１０２ａ、１１０２ｂを起点とし、円筒状ワーク１１０６の中心軸１１０７に垂直な面内に角度を変更できる構成になっている。すなわち、図１１の装置では、流路１１０３ａ、１１０３ｂの角度を調整する機構１１０４が圧縮気体噴出口１１０２ａ、１１０２ｂから隙間に噴出される圧縮気体の流速のうち、圧縮気体の円筒状ワーク１１０６の周方向成分を制御する流速制御手段となっている。
【００４８】
角度調整が可能な流路１１０３ａ、１１０３ｂによって、円筒状ワーク１１０６と吸引面１１０５ａ、１１０５ｂが形成する隙間に供給される圧縮気体の流速を制御して、円筒状ワーク１１０６の回転速度を制御することができる。
【００４９】
一方、図１１の保持装置は、円筒状ワーク１１０６の表面を高速度カメラ顕微鏡１１０９で検査する構成を示している。本発明の円筒状ワーク保持装置を用いれば、円筒状ワークの外周面振れを極力抑えた状態で、円筒状ワークを回転させることができるため、外周面振れの影響を受ける測定器等に適応すると良い。つまり、高速度カメラ顕微鏡１１０９は本発明の円筒状ワーク保持装置との組み合わせに適した一例である。
【００５０】
例えば、円筒状ワーク１１０６として電子写真感光体を想定した場合、高速度カメラ顕微鏡１１０９の代わりに、誘導電流センサー、表面電位センサー、変位センサーが適したセンサーとして挙げられる。高速度カメラ又は誘導電流センサーで、電子写真感光体表面の傷や欠陥を検査することが可能となる。表面電位センサーで電子写真感光体表面の帯電電位を、変位センサーで電子写真感光体の形状の寸法を検査することが可能となる。
【００５１】
また、これらのセンサーに代えて、電子写真装置に用いられる帯電器、像露光装置を適応することによって、外周面振れの影響を抑制することによって、均一な帯電又は露光が可能になる。
【実施例】
【００５２】
以下、本発明の第一の態様について、実施例を挙げて説明する。
【００５３】
〔実施例Ａ１−１〕
本実施例では、図１Ａに示す円筒状ワーク保持装置を用いて、外径３０ｍｍ、長さ１００ｍｍ、厚さ０．８ｍｍのアルミニウム合金製の円筒状ワーク１０６を保持した。
【００５４】
図１Ａの装置は、吸引ブロック１０１は底面が２５ｍｍの正方形で、吸引面１０５は円筒状ワーク１０６の外径３０ｍｍの曲面に沿う形状であり、吸引面１０５の中央に直径６ｍｍの圧縮気体噴出口１０２がある。吸引ブロック１０１の側面には、直径６ｍｍの圧縮気体導入口１０３があり、圧縮気体導入口１０３と圧縮気体噴出口１０２とを連通する流路１０４の断面も直径６ｍｍで、流路１０４は吸引ブロック１０１の内部で９０度向きが変わる配管になっている。
【００５５】
円筒状ワーク１０６を保持させるために、まず、不図示の供給配管に０．５ＭＰａの圧縮空気を供給し、供給された圧縮空気は不図示の流量制御装置で８０Ｌ／ｍｉｎに制御して圧縮気体導入口１０３へと供給した。
【００５６】
続いて、円筒状ワーク１０６を吸引ブロック１０１の鉛直方向上から手動で近づけて、円筒状ワークが吸引させた。
【００５７】
上記装置・手順によって、円筒状ワーク１０６は吸引ブロック１０１上に浮上して保持することができた。ただし、円筒状ワークは圧縮空気の流れの影響によって多少回転しながら保持される結果となった。
【００５８】
〔実施例Ａ１−２〕
本実施例では、図１Ｂに示す円筒状ワーク保持装置を用いて、外径３０ｍｍ、長さ１００ｍｍ、厚さ０．８ｍｍのアルミニウム合金製の円筒状ワーク１０６を保持した。図１Ｂの装置は、図１Ａの装置と比較して、円筒状ワーク１０６と吸引ブロック１０１の鉛直方向の配置を逆にした以外は図１Ａと同じ構成である。
【００５９】
円筒状ワーク１０６を保持させるために、まず、不図示の供給配管に０．５ＭＰａの圧縮空気を供給し、供給された圧縮空気は不図示の流量制御装置で８０Ｌ／ｍｉｎに制御して圧縮気体導入口１０３へと供給した。
【００６０】
続いて、円筒状ワーク１０６を吸引ブロック１０１の鉛直方向下から手動で近づけて、円筒状ワークを吸引させた。
【００６１】
上記装置・手順によって、円筒状ワーク１０６は吸引ブロック１０１下に吸引されて保持することができた。ただし、円筒状ワークは圧縮空気の流れの影響によって多少回転しながら保持される結果となった。
【００６２】
〔実施例Ａ２−１〕
本実施例では、図２Ａに示す円筒状ワーク保持装置を用いて、外径３０ｍｍ、長さ１００ｍｍ、厚さ０．８ｍｍのアルミニウム合金製の円筒状ワークを保持させた。
【００６３】
図２Ａの装置は、吸引ブロック２０１は底面が２５ｍｍの正方形で、吸引面２０５は円筒状ワーク２０６の外径３０ｍｍの曲面に沿う形状であり、吸引面２０５の中央に直径６ｍｍの圧縮気体噴出口２０２がある。吸引ブロック２０１の底面には、直径６ｍｍの圧縮気体導入口２０３があり、圧縮気体導入口２０３と圧縮気体噴出口２０２とを連通する流路２０４の断面も直径６ｍｍとし、流路は吸引ブロックの内部で直線配管になっている。流路２０４の中心軸が、円筒状ワーク２０６の中心軸２０７を含む鉛直平面に含まれている点が図１Ａの装置と異なっている。
【００６４】
円筒状ワーク２０６を保持させるために、まず、不図示の供給配管に０．５ＭＰａの圧縮空気を供給し、供給された圧縮空気は不図示の流量制御装置で８０Ｌ／ｍｉｎに制御して圧縮気体導入口２０３へと供給した。
【００６５】
続いて、円筒状ワーク２０６を吸引ブロック２０１の鉛直方向上から手動で近づけて、円筒状ワークが吸引させた。
【００６６】
上記装置・手順によって、円筒状ワーク２０６は吸引ブロック１０１上に浮上して保持することができた。しかも、円筒状ワークは圧縮空気の流れの影響による回転はほとんど発生しなかった。
【００６７】
〔実施例Ａ２−２〕
本実施例では、図２Ｂに示す円筒状ワーク保持装置を用いて、外径３０ｍｍ、長さ１００ｍｍ、厚さ０．８ｍｍのアルミニウム合金製の円筒状ワーク１０６を保持した。図２Ｂの装置は、図２Ａの装置と比較して、流路２０４の形状が異なっている。図２Ｂの装置の流路２０４の中心軸が、円筒状ワーク２０６の中心軸２０７を含む鉛直平面に含まれるように配管されている。
【００６８】
円筒状ワーク２０６を保持させるために、まず、不図示の供給配管に０．５ＭＰａの圧縮空気を供給し、供給された圧縮空気は不図示の流量制御装置で８０Ｌ／ｍｉｎに制御して圧縮気体導入口２０３へと供給した。
【００６９】
続いて、円筒状ワーク２０６を吸引ブロック２０１の鉛直方向上から手動で近づけて、円筒状ワークを吸引させた。
【００７０】
上記装置・手順によって、円筒状ワーク２０６は吸引ブロック１０１上に浮上して保持することができた。しかも、円筒状ワークは圧縮空気の流れの影響による回転はほとんど発生しなかった。
【００７１】
〔実施例Ａ３〕
本実施例では、図３に示す円筒状ワーク保持装置を用いて、外径３０ｍｍ、長さ３７０ｍｍ、厚さ０．８ｍｍのアルミニウム合金製の円筒状ワーク３０６を保持させた。
【００７２】
図３の装置は、円筒状ワーク３０６両端の側面部に対向するように、基準プレート３０８上に２つの吸引ブロックが配置されている。吸引ブロック３０１ａ、３０１ｂは底面が２５ｍｍの正方形で、吸引面３０５ａ、３０５ｂは円筒状ワーク３０６の外径３０ｍｍの曲面に沿う形状であり、吸引面３０５ａ、３０５ｂの中央に直径６ｍｍの圧縮気体噴出口３０２ａ、３０２ｂがある。吸引ブロック３０１ａ、３０１ｂの底面には、直径６ｍｍの圧縮気体導入口３０３ａ、３０３ｂがあり、圧縮気体導入口３０３ａ、３０３ｂと圧縮気体噴出口３０２ａ、３０２ｂとを連通する流路３０４ａ、３０４ｂの断面も直径６ｍｍとした。流路３０４ａ、３０４ｂは吸引ブロック３０１ａ、３０１ｂの内部で直線状の配管になっており、流路３０４ａ、３０４ｂの中心軸が、円筒状ワーク３０６の中心軸３０７を含む鉛直平面に含まれている。
【００７３】
また、吸引ブロック３０１ａ、３０１ｂの間の基準プレート３０８上に変位センサー３０９が設置されており、円筒状ワーク３０６との距離を測定できるようになっている。
【００７４】
円筒状ワーク３０６を保持させるために、まず、不図示の供給配管に０．５ＭＰａの圧縮空気を供給し、供給された圧縮空気は不図示の流量制御装置で８０Ｌ／ｍｉｎに制御して圧縮気体導入口３０３ａ、３０３ｂそれぞれへと供給した。
【００７５】
続いて、非接触磁気繋ぎ手３１０をセットした円筒状ワーク３０６を吸引ブロック３０１ａ、３０１ｂの鉛直方向上から手動で近づけて、円筒状ワーク３０６を吸引させた。
【００７６】
上記装置・手順によって、円筒状ワーク３０６は吸引ブロック３０１ａ、３０１ｂ上に浮上して保持することができた。
【００７７】
続けて、モーター３１１を駆動し、非接触磁気繋ぎ手３１０を介して円筒状ワーク３０６を１０ｒｐｍの速度で回転させ、変位センサー３０９と円筒状ワーク３０６の距離を変位センサー３０９で測定した。
【００７８】
計測の結果、変位センサー３０９と円筒状ワーク３０６の距離の変動（円筒状ワークが１回転する間の最大値と最小値の差）は２０μｍ以下であり、高精度に距離を一定に保つことができることが確認された。
【００７９】
〔実施例Ａ４〕
本実施例では、図４に示す円筒状ワーク保持装置を用いて、外径３０ｍｍ、長さ３７０ｍｍ、厚さ０．８ｍｍのアルミニウム合金製の導電性基板上に感光層を形成した電子写真感光体４０６を保持させた。
【００８０】
図４の装置は、吸引ブロック４０１ａ、４０１ｂは底面が２５ｍｍの正方形で、吸引面４０５ａ、４０５ｂは電子写真感光体４０６の外径３０ｍｍの曲面に沿う形状である。吸引面４０５ａ、４０５ｂの中央に直径６ｍｍの圧縮気体噴出口４０２ａ、４０２ｂがある。吸引ブロック４０１ａ、４０１ｂの底面には、直径６ｍｍの圧縮気体導入口４０３ａ、４０３ｂがある。圧縮気体導入口４０３ａ、４０３ｂと圧縮気体噴出口４０２ａ、４０２ｂとを連通する流路４０４ａ、４０４ｂの断面も直径６ｍｍとし、流路４０４ａ、４０４ｂは吸引ブロック４０１ａ、４０１ｂの内部で直線状の配管になっている。
【００８１】
又、流路４０４ａ、４０４ｂの中心軸が、円筒状ワーク４０６の中心軸４０７を含む鉛直平面に含まれている。
【００８２】
又、引ブロック４０１ａ、４０１ｂの間の基準プレート４０８上にコロナ帯電器４１２が設置されており、電子写真感光体４０６表面を帯電できるようになっている。
【００８３】
円筒状ワーク４０６を保持させるために、まず、不図示の供給配管に０．５ＭＰａの圧縮空気を供給し、供給された圧縮空気は不図示の流量制御装置で８０Ｌ／ｍｉｎに制御して圧縮気体導入口４０３ａ、４０３ｂそれぞれへと供給した。
【００８４】
続いて、非接触磁気繋ぎ手４１０をセットした電子写真感光体４０６を吸引ブロック４０１ａ、４０１ｂの鉛直方向上から手動で近づけて、電子写真感光体４０６を吸引させた。
【００８５】
上記装置・手順によって、電子写真感光体４０６は吸引ブロック４０１ａ、４０１ｂ上に浮上して保持することができた。この状態で、バネ状の接地電極４１３を非接触磁気繋ぎ手４１０に接触させて、電子写真感光体４０６の導電性基板を接地した。
【００８６】
続けて、モーター４１１を駆動し、非接触磁気繋ぎ手４１０を介して円筒状ワーク４０６を１０ｒｐｍの速度で回転させ、帯電器４１２により電子写真感光体４０６を帯電させ、表面電位センサー４０９で帯電電位を測定した。
【００８７】
計測の結果、帯電電位の変動（電子写真感光体が１回転する間の最大値と最小値の差）は２Ｖ以下であり、高精度に帯電させることができることが分かった。
【００８８】
以下、本発明の第二の態様について、実施例を挙げて説明する。
【００８９】
〔実施例Ｂ１〕
本実施例では、図６に示す円筒状ワーク保持装置を用いて、外径３０ｍｍ、長さ１００ｍｍ、厚さ０．８ｍｍのアルミニウム合金製の円筒状ワーク６０６を保持・回転させた。
【００９０】
図６の装置は、吸引ブロック６０１は底面が２５ｍｍの正方形で、吸引面６０５は円筒状ワーク６０６の外径３０ｍｍの曲面に沿う形状である。中央に内径３ｍｍ、長さ１５ｍｍの流路があり、一方の端部が圧縮気体噴出口６０２として、吸引面６０５の中央部に配置され、圧縮気体噴出口６０２を基点として、円筒状ワーク６０６の中心軸に垂直な平面内で角度を変更できる構成になっている。なお、本実施例の装置では、流路６０３の角度は圧縮気体噴出口６０２に対向する円筒状ワーク６０６の表面に垂直な方向を０°定義し、円筒状ワーク６０６の中心軸６０７に垂直な面内に±１０°の範囲で稼働できる構成となっている。
【００９１】
上記の装置を用いて、以下に記す手順にて、円筒状ワーク６０６を保持・回転を実施した。
【００９２】
初めに、流路６０３の角度を０°に設定し、不図示の供給配管および流量制御装置を通じて、流路６０３へ４０Ｌ／ｍｉｎの圧縮空気を供給した。
【００９３】
その後、円筒状ワーク６０６を吸引ブロック６０１の鉛直方向上から手動で近づけて、円筒状ワークが吸引させて保持した。
【００９４】
続いて、流路６０３の角度調整によって円筒状ワーク６０６を回転した。流路６０３を±１０°の範囲で種々変更することによって、円筒状ワーク６０６の回転方向および回転速度を約±１００ｒｐｍの範囲で制御することができた。なお、本実施例では、円筒状ワーク６０６の回転数の測定は、キヤノン製のレーザードップラー速度計（本体：ＰＶ−０１、光学センサー：Ｓ−１００Ｚ）を用い、円筒状ワーク６０６の外周面の速度を測定して算出した。
【００９５】
〔実施例Ｂ２〕
本実施例では、図８に示す円筒状ワーク保持装置を用いて、外径３０ｍｍ、長さ１００ｍｍ、厚さ０．８ｍｍのアルミニウム合金製の円筒状ワーク８０６を保持した。
【００９６】
図８の装置は、吸引ブロック８０１は底面が２５ｍｍの正方形で、吸引面８０５は円筒状ワーク８０６の外径３０ｍｍの曲面に沿う形状である。中央に内径３ｍｍ、長さ１５ｍｍの流路８０３ａ、８０３ｂが１組設置されている。各々の圧縮気体噴出口８０２ａ、８０２ｂは吸引面８０５の中央部に配置されている。流路８０３ａ、８０３ｂは圧縮気体噴出口８０２ａ、８０２ｂに対向する円筒状ワーク８０６の中心軸８０７を含む水平面との成す角度を規定する。流路の方向と円筒状ワーク８０６との成す角が、垂直な場合を０°定義し、円筒状ワーク８０６の中心軸８０７を含む水平面との成す角度を各々±２０°の角度に設定されている。また、各々の流路８０３ａ、８０３ｂには不図示の供給配管および流量制御装置が連結され、各々の流路８０３ａ、８０３ｂに供給する圧縮空気の流量および流量比率を制御可能になっている。
【００９７】
上記の装置を用いて、以下に記す手順にて、円筒状ワーク８０６を保持・回転を実施した。
【００９８】
初めに、流路８０３ａ、８０３ｂに不図示の供給配管および流量制御装置を通じて、各々２０Ｌ／ｍｉｎの圧縮空気を供給した。
【００９９】
その後、円筒状ワーク８０６を吸引ブロック８０１の鉛直方向上から手動で近づけて、円筒状ワークが吸引させて保持した。
【０１００】
続いて、円筒状ワークの回転は、流路８０３ａ、８０３ｂへ供給する圧縮空気の流量調整によって実施した。合計流量を４０Ｌ／ｍｉｎに固定し、流路８０３ａ、８０３ｂへ供給する圧縮空気の流量比率を３：１〜１：３の範囲で種々変更した。その結果、円筒状ワーク８０６の回転方向および回転速度を実施例１と同様の装置および方法によって測定した。測定の結果、円筒状ワーク８０６の回転方向および回転速度を約±６０ｒｐｍの範囲で制御することができた。
【０１０１】
〔実施例Ｂ３〕
本実施例では、図１１に示す円筒状ワーク１１０６の検査装置を用いて、円筒状ワーク１１０６の表面をＫＥＹＥＮＣＥ製の高速度カメラ顕微鏡１１０９（本体：ハイスピードマイクロスコープＶＷ−９０００、レンズ：ＶＨ−Ｚ１００Ｗ）による撮影を実施した。
【０１０２】
図１１に示す装置は、外径３０ｍｍ、長さ３７０ｍｍの円筒状ワーク１１０６を保持可能な構成となっている。円筒状ワーク１１０６を保持する機構は、図６の装置に用いた吸引ブロック６０１と同様の吸引ブロック１１０１ａ、１１０１ｂを基準プレート１１０８で連結することで、２つの吸引面１１０５ａ、１１０５ｂの精度を保証した。さらに、基準プレート１１０８を基準に、高速度カメラを搭載した顕微鏡１１０９を設置することで、吸引面１１０５ａ、１１０５ｂと顕微鏡１１０９の位置精度を保証した。なお、本実施例では、円筒状ワーク５０６として、外径３０ｍｍ、長さ３７０ｍｍ、厚さ０．８ｍｍのアルミニウム合金製の導電性基体上に感光層を形成した電子写真感光体を用いた。
【０１０３】
吸引ブロックに供給する圧縮気体の流量や流路１１０３ａ、１１０３ｂの角度を設定することによって、吸引面１１０５ａ、１１０５ｂと円筒状ワーク１１０６が形成する隙間はほぼ一定距離を保持できる。つまり、円筒状ワーク１１０６のある周方向位置において、円筒状ワーク１１０６の表面に高速度カメラ顕微鏡１１０９のピントを一旦合わせることによって、円筒状ワーク１１０６を回転させながら観察しても、ピントのズレが殆ど発生しない。
【０１０４】
上記の装置を用いて、以下に記す手順にて、円筒状ワーク１１０６を保持・回転を実施し、高速度顕微鏡１１０９にて円筒状ワークの表面観察を実施した。
【０１０５】
初めに、流路１１０３ａ、１１０３ｂを円筒状ワーク１１０６の表面に垂直になるように設定し、不図示の供給配管および流量制御装置を通じて、流路１１０３ａ、１１０３ｂへ各々６０Ｌ／ｍｉｎの圧縮空気を供給した。
【０１０６】
その後、円筒状ワーク１１０６を吸引ブロック１１０１ａ、１１０１ｂの鉛直方向上から手動で近づけて、円筒状ワーク１１０６を吸引させて保持した。
【０１０７】
続いて、円筒状ワーク１１０６の回転は、流路１１０３ａ、１１０３ｂの角度調整によって実施した。流路の角度を調整して円筒状ワーク１１０６の回転速度を１０ｒｐｍになるように制御した。
【０１０８】
円筒状ワーク１１０６の回転速度が安定したところで、高速度カメラ顕微鏡１１０９にて円筒状ワーク１周分の動画を撮影し、各コマのピントを確認した。
【０１０９】
その結果、円筒状ワーク１周分に関して、ピントの合った写真を撮影することができた。つまり、円筒状ワーク１１０６の外周面を基準として、非接触で保持し、外周面振れを抑えて回転させることができる本発明の優れた効果が確認できた。
【０１１０】
以上実施例及び実施形態を挙げて説明したように、本発明の保持装置は、外表部が湾曲した例えば円筒状ワークを保持する保持面を有している。保持面は円筒状ワークを吸引する吸引面であり、吸引面は保持装置の吸引ブロックが有している。吸引面は、例えば圧縮気体を噴出する噴出口を有し、吸引面と円筒状ワークの間に圧縮気体を噴出することで円筒状ワークは保持機構に吸引かつ保持される。そして保持装置は、円筒状ワークを横にして、すなわち円筒状ワークの長手方向が横になるように円筒状ワークを保持する。吸引面は円筒状ワークの外表面に対応した湾曲形状である。
【０１１１】
又、噴出する圧縮気体の流れ（流速）方向のうち、吸引面の湾曲方向、具体的には周方向を制御する制御手段を有している。制御手段は具体的には圧縮気体の流れの周方向成分を制御する制御手段である。
【図１Ａ】
2020181108.tif 000003
【図１Ｂ】
2020181108.tif 000004
【図２Ａ】
2020181108.tif 000005
【図２Ｂ】
2020181108.tif 000006
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2020181108.tif 000010
【図７】
2020181108.tif 000011
【図８】
2020181108.tif 000012
【図９】
2020181108.tif 000013
【図１０】
2020181108.tif 000014
【図１１】
2020181108.tif 000015