(57)【要約】【課題】  ガラス板の製造に際し、処理ガスが給気される処理空間をガラス板に通過させることでエッチング処理を施すにあたり、ガラス板の粗化量を向上させること。【解決手段】  ガラス板３の搬送経路上に配置された処理空間１２をガラス板３に通過させつつ、処理空間１２に給気した処理ガス５によりガラス板３の下面３ａに対してエッチング処理を施す工程を備えたガラス板の製造方法において、処理空間１２が、処理空間１２に進入するガラス板３の入口をなす第一開口部１２ｘと、処理空間１２から退出するガラス板３の出口をなす第二開口部１２ｙとを有し、第一開口部及び第二開口部１２ｘのうちの少なくともいずれか一方において、ガラス板３が通過する際に下面３ａに面する下領域１２ｘａを、下面３ａに接触可能なブラシ３４で塞ぐようにした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板の搬送経路上に配置された処理空間を前記ガラス板に通過させつつ、前記処理空間に給気した処理ガスにより前記ガラス板の処理面に対してエッチング処理を施す工程を備えたガラス板の製造方法であって、
前記処理空間が、該処理空間に進入する前記ガラス板の入口をなす第一開口部と、該処理空間から退出する前記ガラス板の出口をなす第二開口部とを有し、
前記第一開口部及び前記第二開口部のうちの少なくともいずれか一方において、前記ガラス板が通過する際に前記処理面に面する領域を、該処理面に接触可能な遮蔽部材で塞ぐことを特徴とするガラス板の製造方法。
【請求項２】
前記遮蔽部材として、ブラシを用いることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記遮蔽部材として、ローラーを用いることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記ガラス板の表裏面のうち、一方面を前記処理面とし且つ他方面を非処理面とし、
前記第一開口部及び前記第二開口部のうちの少なくともいずれか一方において、前記ガラス板が通過する際に前記非処理面に面する領域を、前記非処理面に接触可能な遮蔽部材で塞ぐことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項５】
前記処理空間に処理ガスを供給する給気口と、前記処理空間から処理ガスを排出する排気口とを、前記ガラス板の搬送方向に間隔を空けて配置し、
前記第一開口部及び前記第二開口部のうちで前記給気口から近い方において、前記処理面に接触可能な遮蔽部材を設けることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ化水素等の処理ガスを用いてガラス板にエッチング処理を施す工程を備えたガラス板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等に代表されるフラットパネルディスプレイや、スマートフォン、タブレット型ＰＣ等のモバイル端末には、種々の厚みやサイズを有するガラス板（ガラス基板）が組み込まれている。
【０００３】
ここで、ガラス板の製造工程においては、静電気の帯電に起因した問題が生じる場合がある。例えば、作業台の載置面上にガラス板を載置して所定の処理を施す際に、静電気の帯電に起因してガラス板が載置面に貼り付いてしまうことがある。これにより、処理を終えたガラス板を載置面から剥離させるにあたり、ガラス板が破損してしまう場合がある。
【０００４】
このような問題への対策として、フッ化水素等の処理ガスによりガラス板にエッチング処理を施し、ガラス板の主面（表裏面の少なくとも一方）を粗化させることで、上述の問題を解決する試みが推進されている。そして、このための手法の一例が特許文献１に開示されている。
【０００５】
同手法においては、ガラス板の搬送経路上に配置された処理空間をガラス板に通過させつつ、処理空間に給気した処理ガスによりガラス板にエッチング処理を施している。処理空間は、当該処理空間に進入するガラス板の入口をなす第一開口部と、当該処理空間から退出するガラス板の出口をなす第二開口部とを有する。このように処理ガスが給気される処理空間をガラス板に通過させることでエッチング処理を施す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２０１７／０４３３０５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記の手法には下記のような解決すべき問題があった。すなわち、処理空間外のガス（空気等）が出入口をなす開口部を通じて空間内に流入し、これに伴って処理空間内における処理ガスの濃度が薄まることで、ガラス板の粗化量が不十分となる不具合があった。とりわけガラス板が入口をなす開口部を通過する際には、処理空間外のガスが空間内に引き込まれやすく、上述の不具合が生じる要因となっていた。
【０００８】
上記の事情に鑑みなされた本発明は、ガラス板の製造に際し、処理ガスが給気される処理空間をガラス板に通過させることでエッチング処理を施すにあたり、ガラス板の粗化量を向上させることを技術的な課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するための本発明は、ガラス板の搬送経路上に配置された処理空間をガラス板に通過させつつ、処理空間に給気した処理ガスによりガラス板の処理面に対してエッチング処理を施す工程を備えたガラス板の製造方法であって、処理空間が、処理空間に進入するガラス板の入口をなす第一開口部と、処理空間から退出するガラス板の出口をなす第二開口部とを有し、第一開口部及び第二開口部のうちの少なくともいずれか一方において、ガラス板が通過する際に処理面に面する領域を、処理面に接触可能な遮蔽部材で塞ぐことを特徴とするものである。
【００１０】
本方法では、開口部の少なくともいずれか一方において、ガラス板が通過する際に処理面に面する領域（以下、「処理面対面領域」と表記）が、処理面に接触可能な遮蔽部材で塞がれている。この遮蔽部材の存在により、処理空間外のガスが処理面対面領域を通じて空間内に流入することを抑制できる。従って、ガスの流入に伴って濃度が薄まった処理ガスにより処理面が処理されてしまうような事態の発生についても、可及的に回避することが可能となる。その結果、所望の濃度の処理ガスにより処理面に対してエッチング処理を施すことができ、ガラス板の粗化量を向上させることが可能となる。
【００１１】
上記の方法では、遮蔽部材として、ブラシを用いてもよい。
【００１２】
このようにすれば、遮蔽部材であるブラシとガラス板の処理面との両者が接触した際に、両者の間にガラス粉等の異物が挟まった場合でも、ブラシの毛の撓みにより異物が処理面に対して強く押し付けられることを回避できる。これにより、遮蔽部材との接触に伴ってガラス板の処理面が傷付いてしまう虞を好適に排除することが可能となる。また、ブラシに多数の毛が密集して配置されることにより、処理面対面領域を通じた処理空間内へのガスの流入についても、さらに抑制することができる。
【００１３】
上記の方法では、遮蔽部材として、ローラーを用いてもよい。
【００１４】
このようにすれば、遮蔽部材としてローラーを用いたことにより、ガラス板を円滑に搬送しつつ、処理面対面領域を通じた処理空間内へのガスの流入も好適に抑制できる。また、遮蔽部材との接触に起因してガラス板が傷付くような虞も好適に排除できる。
【００１５】
上記の方法では、ガラス板の表裏面のうち、一方面を処理面とし且つ他方面を非処理面とし、第一開口部及び第二開口部のうちの少なくともいずれか一方において、ガラス板が通過する際に非処理面に面する領域を、非処理面に接触可能な遮蔽部材で塞ぐことが好ましい。
【００１６】
このようにすれば、開口部の少なくともいずれか一方において、非処理面に面する領域が遮蔽部材で塞がれることになる。そのため、処理空間外のガスの空間内への流入をさらに抑制でき、空間内における処理ガスの濃度の薄まりを更に回避しやすくなる。その結果、ガラス板の粗化量を向上させる上で更に有利となる。
【００１７】
上記の方法では、処理空間に処理ガスを供給する給気口と、処理空間から処理ガスを排出する排気口とを、ガラス板の搬送方向に間隔を空けて配置し、第一開口部及び第二開口部のうちで給気口から近い方において、処理面に接触可能な遮蔽部材を設けることが好ましい。
【００１８】
処理空間内において給気口の付近では、排気口の付近と比較して処理ガスの濃度が高くなっている。このため、給気口から近い方の開口部に遮蔽部材を設けておけば、処理空間内の処理ガスの濃度の薄まりを効率的に回避できる。これにより、ガラス板の粗化量を向上させる上で一層有利となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、ガラス板の製造に際し、処理ガスが給気される処理空間をガラス板に通過させることでエッチング処理を施すにあたり、ガラス板の粗化量を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第一実施形態に係るガラス板の製造方法を示す縦断側面図である。
【図２】第一実施形態に係るガラス板の製造方法を示す縦断側面図である。
【図３】第二実施形態に係るガラス板の製造方法を示す縦断側面図である。
【図４】第三実施形態に係るガラス板の製造方法を示す縦断側面図である。
【図５】第四実施形態に係るガラス板の製造方法を示す縦断側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法について、添付の図面を参照しながら説明する。
【００２２】
＜第一実施形態＞
最初に、本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法に用いる製造装置について説明する。ここで、以下の説明では、図１における紙面に対して鉛直な方向を「幅方向」と表記する。また、図中に矢印で示したＡ方向はガラス板の搬送方向であり、以下の説明では、単に「搬送方向」と表記する。
【００２３】
図１に示すように、製造装置１は、搬入口２ａからチャンバー２内に搬入したガラス板３を平置き姿勢で搬送しつつ、搬送経路上に設けた処理エリア４にて処理ガス５としてのフッ化水素によりエッチング処理を施すと共に、処理後のガラス板３を搬出口２ｂからチャンバー２外に搬出する構成となっている。この製造装置１では、チャンバー２の内外に配置された複数のローラー６により、一直線に延びた水平な搬送経路に沿ってガラス板３を搬送する。なお、ローラー６は、搬送方向に沿って複数が配置されるだけでなく、幅方向に沿っても複数が配置されている。
【００２４】
チャンバー２は、その外形が直方体状に形成されており、その内部空間から処理ガス５が外部に流出するのを防止している。上記の搬入口２ａおよび搬出口２ｂは、チャンバー２の側壁部２ｃに形成されている。なお、チャンバー２の材質は、処理ガス５（フッ化水素）に対する耐食性に優れたポリ塩化ビニルである。
【００２５】
処理エリア４には、ガラス板３の処理面（エッチング処理による粗化の対象となる面）である下面３ａに対し、処理ガス５を吹き付けて処理を施すエッチング装置７が配置されている。エッチング装置７は、チャンバー２の天井壁２ｄとの間に隙間８が形成されるように、チャンバー２の底部２ｅに設置されている。
【００２６】
図２に示すように、エッチング装置７は、ガラス板３の搬送経路を上下に挟んで上側に配置された上部構成体９と、下側に配置された下部構成体１０とを有する。上部構成体９と下部構成体１０との両者は、幅方向の一方側端部同士および他方側端部同士がそれぞれ連結壁１１により連結されることで一体化されている。なお、両構成体９，１０の材質は、ポリ塩化ビニルである。そして、上部構成体９の下面と下部構成体１０の上面との相互間に、ガラス板３に処理を施すための処理空間１２が形成される。つまり、処理空間１２は、ガラス板３の搬送経路上に配置されている。
【００２７】
上記の処理空間１２をガラス板３に通過させつつ、処理空間１２に給気した処理ガス５によりガラス板３の下面３ａに対して処理が施される。なお、本実施形態では、ガラス板３の下面３ａと上面３ｂとのうち、下面３ａのみが処理面であり、上面３ｂは非処理面（エッチング処理による粗化の対象とならない面）である。処理空間１２は、ガラス板３を処理空間１２に進入させるための入口となる開口部１２ｘ（本発明の第一開口部に相当）と、ガラス板３を処理空間１２から退出させるための出口となる開口部１２ｙ（本発明の第二開口部に相当）とを有する。
【００２８】
下部構成体１０は、平板状の板体１３と、相対的に搬送方向の上流側（開口部１２ｘ寄り）で板体１３の下方に固定された給気構体１４と、相対的に搬送方向の下流側（開口部１２ｙ寄り）で板体１３の下方に固定された排気構体１５とを備えている。
【００２９】
板体１３における搬送方向の上流側には、処理空間１２に通じる給気孔１６が形成されると共に、給気構体１４には、給気孔１６に通じる給気路１７が形成されている。処理空間１２に処理ガス５を給気するための給気用通路１８は、給気孔１６と給気路１７とから構成される。そして、この給気用通路１８の上端に位置する開口部が、板体１３の上面１９に形成された給気口２０となる。なお、給気孔１６は、孔の開口面積が絞られた給気小孔部１６ａを有し、この給気小孔部１６ａの上端が給気口２０である。本実施形態においては、処理空間１２が有する両開口部１２ｘ，１２ｙのうち、開口部１２ｘが給気口２０からの距離が近く、開口部１２ｙが給気口２０からの距離が遠くなっている。
【００３０】
板体１３における搬送方向の下流側には、処理空間１２に通じる排気孔２１が形成されると共に、排気構体１５には、排気孔２１に通じる排気路２２が形成されている。処理空間１２から処理ガス５を排気して回収するための回収用通路２３は、排気孔２１と排気路２２とから構成される。そして、この回収用通路２３の上端に位置する開口部が、板体１３の上面１９に形成された排気口２４となる。なお、排気孔２１は、孔の開口面積が絞られた排気小孔部２１ａを有し、この排気小孔部２１ａの上端が排気口２４である。
【００３１】
上記の下部構成体１０の構成から、給気口２０と排気口２４との両者は、搬送方向に間隔を空けて配置されており、給気口２０が相対的に搬送方向の上流側に配置され、排気口２４が相対的に搬送方向の下流側に配置されている。これにより、給気口２０から処理空間１２内に給気された処理ガス５は、搬送方向の下流側に向かって流れつつ、その一部はガラス板３の下面３ａと反応する。また、残りの一部は下面３ａと未反応のまま排気口２４から処理空間１２外に排気される。ここで、給気口２０から給気される処理ガス５の流量と比較して、排気口２４から排気されるガス（下面３ａと未反応の処理ガス５を含むガス）の流量の方が多くなっている。
【００３２】
給気孔１６および給気口２０と、排気孔２１および排気口２４とは、いずれも幅方向に長尺なスリット状に形成されている。給気孔１６、給気口２０、排気孔２１、及び排気口２４の幅方向寸法は、ガラス板３の幅方向寸法（全幅）よりも長くなっている。
【００３３】
給気路１７の下端および排気路２２の下端は、それぞれチャンバー２の底壁２ｆに形成された貫通孔２５および貫通孔２６を介してチャンバー２外の管路（図示省略）に通じている。
【００３４】
上部構成体９は、天板２７で構成されている。天板２７は、搬送方向の上流側に配置された第一天板２８と、下流側に配置された第二天板２９とでなる。両天板２８，２９の間には、段差３０が形成されている。これにより、上部構成体９の下面は、相対的に高位に位置する第一天板２８の下面３１と、相対的に低位に位置する第二天板２９の下面３２と、両下面３１，３２に垂直な段差３０の段差面とからなる。そして、第一天板２８の下面３１が、給気口２０の上方に位置し、第二天板２９の下面３２が、排気口２４の上方に位置している。
【００３５】
上部構成体９の搬送方向の上流側端には、第一天板２８の下面３１よりも下方に突き出た凸部９ａが形成されている。本実施形態の凸部９ａは、第一天板２８の搬送方向の上流側端に固定された端板２９ａの下端部である。凸部９ａの下端の高さ位置は、第二天板２９の下面３２の高さ位置と同一又は略同一である。なお、下部構成体１０に備わった給気構体１４および排気構体１５と、上部構成体９に備わった第一天板２８および第二天板２９とには、処理ガス５による結露の発生を防止するための加熱部材３３（例えば、ヒーター等）が内蔵されている。
【００３６】
上部構成体９に備わった端板２９ａと、下部構成体１０に備わった板体１３との各々には、ブラシ３４が取り付けられている。
【００３７】
板体１３に取り付けられた第一ブラシ３４ａは、開口部１２ｘのうち、ガラス板３が開口部１２ｘを通過する際に下面３ａに面する領域１２ｘａ（ガラス板３の通過中に下面３ａよりも下方に位置する領域であり、以下の説明では、単に「下領域１２ｘａ」と表記）を塞ぐ遮蔽部材として機能する。第一ブラシ３４ａは、下領域１２ｘａにおける幅方向の全幅を塞いでいる。
【００３８】
第一ブラシ３４ａは、その毛先によって形成される仮想面が開口部１２ｘを通過中のガラス板３の下面３ａと対向するように配置され、第一ブラシ３４ａの毛３５は下面３ａと接触可能となっている。ここで言う「接触可能」とは、毛３５と下面３ａとの両者が接触しても下面３ａが傷付くといった支障が発生しないことを意味する。両者を接触させた場合には、第一ブラシ３４ａによる下領域１２ｘａの遮蔽性を最大限に高めることが可能となる。一方で、両者を非接触とした場合には、第一ブラシ３４ａによる下領域１２ｘａの遮蔽性を可及的に確保しつつ、ガラス板３の搬送の安定性を高めることが可能となる。本実施形態においては、毛３５と下面３ａとの両者を接触させる構成となっているが、両者の間に僅かな隙間が形成されるようにしてもよい。ただし、下領域１２ｘａの遮蔽性を確保するため、隙間の上下方向に沿った幅は４ｍｍ以下とすることが好ましい。第一ブラシ３４ａの毛３５は下面３ａとの接触に伴って撓み変形が可能となっている。
【００３９】
ここで、第一ブラシ３４ａの毛３５の密度は０．３ｇ／ｃｍ３〜２ｇ／ｃｍ３の範囲内とすることが好ましい。また、毛３５の太さ（径）は４０μｍ〜２００μｍの範囲内とすることが好ましい。さらに、毛３５の材質としては、処理ガス５によって腐食しない材質を採用することが好ましく、例えばナイロン（ＮＹ）系、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）系、ポリプロピレン（ＰＰ）系、ポリエチレン（ＰＥ）系、ポリアセタール（ＰＯＭ）系等のものを採用することが好ましい。毛３５の長さは、２ｍｍ〜２０ｍｍの範囲内とすることが好ましい。
【００４０】
端板２９ａに取り付けられた第二ブラシ３４ｂは、開口部１２ｘのうち、ガラス板３が開口部１２ｘを通過する際に上面３ｂに面する領域（ガラス板３の通過中に上面３ｂよりも上方に位置する領域であり、以下の説明では、単に「上領域１２ｘｂ」と表記）を塞ぐ遮蔽部材として機能する。第二ブラシ３４ｂは、上領域１２ｘｂにおける幅方向の全幅を塞いでいる。また、第二ブラシ３４ｂは、搬送方向において上記の第一ブラシ３４ａと同一の地点に配置されている。すなわち、第二ブラシ３４ｂは、ガラス板３の搬送経路を挟んで第一ブラシ３４ａと対向するように配置されている。この第二ブラシ３４ｂは、その姿勢を上下反転させている点を除き、第一ブラシ３４ａと同一の構成を有するため、詳細な説明は省略する。なお、両ブラシ３４ａ，３４ｂのうち、非処理面である上面３ｂに面する上領域１２ｘｂを塞ぐ第二ブラシ３４ｂは、必ずしも設ける必要はなく、任意に取り除いてもよい。
【００４１】
次に、上記の製造装置１を用いたガラス板の製造方法、及び、その主たる作用・効果について説明する。本製造方法は、製造装置１によりガラス板３にエッチング処理を施す工程を備えている。
【００４２】
本製造方法では、図２に示すように、まず、複数の搬送ローラー６により搬送されるガラス板３を、処理空間１２に進入させるにあたって開口部１２ｘを通過させる。このとき、ガラス板３の上下面３ａ，３ｂの各々が、開口部１２ｘの下領域１２ｘａおよび上領域１２ｘｂをそれぞれ塞ぐ第一ブラシ３４ａおよび第二ブラシ３４ｂの毛３５と接触した状態となる。
【００４３】
すなわち、開口部１２ｘの下領域１２ｘａおよび上領域１２ｘｂを通じて、処理空間１２外のガスが処理空間１２内に流入することを抑制した上で、ガラス板３に開口部１２ｘを通過させる。第一ブラシ３４ａおよび第二ブラシ３４ｂが、下領域１２ｘａおよび上領域１２ｘｂをそれぞれ塞いだ状態は、ガラス板３が開口部１２ｘを通過し終えた後も維持される。
【００４４】
ガラス板３を処理空間１２に進入させると、次に、ガラス板３を搬送方向に搬送しつつ、給気口２０から給気した処理ガス５により下面３ａに対してエッチング処理を施す。下面３ａと反応しなかった処理ガス５（下面３ａの粗化に貢献しなかった処理ガス５）については、排気口２４から排気する。最後に、処理を終えたガラス板３に開口部１２ｙを通過させて処理空間１２から退出させる。このようにして下面３ａにエッチング処理が施されたガラス板３が得られる。
【００４５】
本製造方法では、上述のとおり、両ブラシ３４ａ，３４ｂの存在により、処理空間１２外のガス（空気等）が開口部１２ｘの下領域１２ｘａおよび上領域１２ｘｂを通じて処理空間１２内に流入することを抑制できる。従って、ガスの流入に伴って濃度が薄まってしまった処理ガス５により、ガラス板３の下面３ａが処理されてしまうような事態の発生を可及的に回避することが可能となる。その結果、所望の濃度の処理ガス５により下面３ａに対してエッチング処理を施すことができ、ガラス板３の粗化量を向上させることが可能となる。
【００４６】
以下、本発明の他の実施形態に係るガラス板の製造方法について説明する。なお、他の実施形態の説明において、上記の第一実施形態で説明済みの要素と実質的に同一の要素については、他の実施形態の説明で参照する図面に同一符号を付すことで重複する説明を省略し、第一実施形態との相違点についてのみ説明する。
【００４７】
＜第二実施形態＞
図３に示すように、第二実施形態に係るガラス板の製造方法が、上記の第一実施形態と相違している点は、下領域１２ｘａおよび上領域１２ｘｂを塞ぐ遮蔽部材として、それぞれローラー３６（第一ローラー３６ａおよび第二ローラー３６ｂ）を用いている点である。
【００４８】
両ローラー３６ａ，３６ｂの各々は、幅方向に回転軸が延びた長尺な単体ローラーであり、その周方向が搬送方向と一致している。第一ローラー３６ａの外周面は、開口部１２ｘを通過中のガラス板３の下面３ａと接触可能であり、両者は接触していてもよく、僅かな隙間が形成されていてもよい。また、第二ローラー３６ｂの外周面は、開口部１２ｘを通過中のガラス板３の上面３ｂと接触可能であり、両者は接触していてもよく、僅かな隙間が形成されていてもよい。両ローラー３６ａ，３６ｂは、フリーローラーであってもよいし、駆動ローラーであってもよい。両ローラー３６ａ，３６ｂの径は、それぞれ下領域１２ｘａおよび上領域１２ｘｂの上下方向に沿った厚み寸法よりも大きくなっている。両ローラー３６ａ，３６ｂは、それぞれ板体１３および端板２９ａとの間に僅かな隙間が形成されるように配置されると共に、それぞれ下領域１２ｘａおよび上領域１２ｘｂにおける幅方向の全幅を塞いでいる。なお、両ローラー３６ａ，３６ｂのうち、非処理面である上面３ｂに面する上領域１２ｘｂを塞ぐ第二ローラー３６ｂは、必ずしも設ける必要はなく、任意に取り除いてもよい。
【００４９】
第二実施形態に係るガラス板の製造方法によっても、上記の第一実施形態と同様の主たる作用・効果を得ることが可能である。
【００５０】
＜第三実施形態＞
図４に示すように、第三実施形態に係るガラス板の製造方法が、上記の第一実施形態と相違している点は、開口部１２ｘの下領域１２ｘａおよび上領域１２ｘｂのみでなく、開口部１２ｙの下領域１２ｙａおよび上領域１２ｙｂについても、それぞれ第一ブラシ３４ａおよび第二ブラシ３４ｂによって塞がれている点である。なお、第三実施形態の変形例として、両ブラシ３４ａ，３４ｂを、上記の第二実施形態における両ローラー３６ａ，３６ｂに置き換えてもよい。また、第二ブラシ３４ｂ（置き換えた場合は、第二ローラー３６ｂ）は、必ずしも設ける必要はなく、任意に取り除いてもよい。
【００５１】
第三実施形態に係るガラス板の製造方法によれば、処理空間１２外のガスが開口部１２ｙの下領域１２ｙａおよび上領域１２ｙｂを通じて処理空間１２内に流入することも抑制できる。その結果、処理ガス５の濃度がより薄まり難くなり、ガラス板３の粗化量を向上させる上でより有利となる。
【００５２】
＜第四実施形態＞
図５に示すように、第四実施形態に係るガラス板の製造方法が、上記の第一実施形態と相違している点は、ガラス板３の下面３ａのみでなく、上面３ｂについても処理面となっている点と、上部構成体９が新たに給気構体３７を備えている点である。
【００５３】
給気構体３７は、第一天板２８と第二天板２９との間から処理ガス５を処理空間１２に給気する構成となっている。この給気構体３７に備わった給気用通路３８の下端に位置する開口部が給気口３９となる。給気口３９は、第一天板２８の下面３１と同一の高さに位置するように形成されている。また、給気口３９は、搬送方向において給気口２０と排気口２４との中間部に位置している。さらに、給気口３９は、幅方向に長尺なスリット状に形成されており、その幅方向寸法はガラス板３の幅方向寸法（全幅）よりも長くなっている。
【００５４】
なお、第四実施形態の変形例として、開口部１２ｘの下領域１２ｘａおよび上領域１２ｘｂのみでなく、開口部１２ｙの下領域１２ｙａおよび上領域１２ｙｂについても、それぞれ第一ブラシ３４ａおよび第二ブラシ３４ｂにより塞ぐようにしてもよい。また、両ブラシ３４ａ，３４ｂに代えて、それぞれローラー３６（第一ローラー３６ａおよび第二ローラー３６ｂ）を配置してもよい。
【００５５】
第四実施形態に係るガラス板の製造方法によれば、ガラス板３の下面３ａのみでなく、上面３ｂについても、上記の第一実施形態と同様に、所望の濃度の処理ガス５によりエッチング処理を施すことができ、ガラス板３の粗化量を向上させることが可能である。
【００５６】
ここで、本発明に係るガラス板の製造方法は、上記の各実施形態で説明した態様に限定されるものではない。例えば、上記の各実施形態では、開口部１２ｘ（１２ｙ）の下領域１２ｘａ（１２ｙａ）および上領域１２ｘｂ（１２ｙｂ）を塞ぐ遮蔽部材として、ブラシ３４又はローラー３６を用いているが、遮蔽部材として樹脂フィルムといった可撓性を有する部材を用いてもよい。
【００５７】
また、上記の各実施形態では、開口部１２ｘについてのみ、或いは、開口部１２ｘおよび開口部１２ｙの双方について、下領域１２ｘａ（１２ｙａ）および上領域１２ｘｂ（１２ｙｂ）を塞いでいるが、これに限定されるものではない。開口部１２ｙについてのみ、下領域１２ｙａおよび上領域１２ｙｂを塞ぎ、開口部１２ｘの下領域１２ｘａおよび上領域１２ｘｂは塞がなくてもよい。
【００５８】
さらに、上記の各実施形態においては、第一ブラシ３４ａと第二ブラシ３４ｂとの両者、及び、第一ローラー３６ａと第二ローラー３６ｂとの両者が、搬送方向において同一の地点に配置されているが、搬送方向に位置がずれた状態で配置されていてもよい。
【符号の説明】
【００５９】
３            ガラス板
３ａ          ガラス板の下面
３ｂ          ガラス板の上面
５            処理ガス
１２          処理空間
１２ｘ        第一開口部
１２ｘａ      下領域
１２ｘｂ      上領域
１２ｙ        第二開口部
１２ｙａ      下領域
１２ｙｂ      上領域
２０          給気口
２４          排気口
３４          ブラシ
３４ａ        第一ブラシ
３４ｂ        第二ブラシ
３５          ブラシの毛
３６          ローラー
３６ａ        第一ローラー
３６ｂ        第二ローラー
Ａ            搬送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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