(57)【要約】      （修正有）【課題】固定子および回転子を備えるモータ用の密封システムの提供。【解決手段】装置は、ハウジング２６０と、固定子２７２および回転子２７０を備え、前記固定子２７２は前記ハウジング２６０に接続されるモータと、エンコーダ読取ヘッド２７６およびエンコーダディスク２７４を備え、前記エンコーダ読取ヘッド２７６は前記ハウジング２６０に接続される位置エンコーダと、前記ハウジング２６０に接続される環境隔壁であって、前記固定子２７２と前記回転子２７０との間に延在し、かつ、前記エンコーダ読取ヘッド２７６と前記エンコーダディスク２７４との間に延在する一体型部材を備える環境隔壁と、を備える。【選択図】図２
2020025458.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングと、
固定子および回転子を備え、前記固定子は前記ハウジングに接続されるモータと、
エンコーダ読取ヘッドおよびエンコーダディスクを備え、前記エンコーダ読取ヘッドは前記ハウジングに接続される位置エンコーダと、
前記ハウジングに接続される環境隔壁であって、前記固定子と前記回転子との間に延在し、かつ、前記エンコーダ読取ヘッドと前記エンコーダディスクとの間に延在する一体型部材を備える環境隔壁と、
を備える装置。
【請求項２】
前記一体型部材の第１端は第１シール境界面の一部を形成し、前記一体型部材の反対側の第２端は第２シール境界面の一部を形成する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記一体型スリーブ部材の前記第２端は、弾性的に曲げられて、前記第２シール境界面のシールに前記ハウジングに対するばね荷重を加える、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記第１シール境界面は、前記ハウジング内に１つの角を有する凹状の窪みを有し、前記一体型スリーブ部材の前記第１端は、前記第１シール境界面の第１シールを前記角に向かって圧縮する、請求項２に記載の装置。
【請求項５】
前記一体型スリーブ部材の前記第１端は、第１シールを前記ハウジングに向かって第１の外側方向に押し、前記一体型スリーブ部材の前記第２端は、第２シールを前記ハウジングに向かって第２の内側方向に押す、請求項２に記載の装置。
【請求項６】
前記一体型部材は、前記一体型部材の両端の間に少なくとも６０度の少なくとも１つの曲げ部を有し、前記少なくとも１つの曲げ部は前記両端から離間されている、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記少なくとも１つの曲げ部は、約９０度の第１曲げ部と、約４０度以上の第２曲げ部とを備える、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
環境チャンバと、前記回転子に接続されたシャフトをさらに備える装置であって、前記回転子および前記シャフトは、前記環境チャンバの環境と連通し、前記ハウジングおよび前記環境隔壁は、前記固定子を前記環境チャンバの前記環境から隔離する、請求項１から７のいずれかに記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の例示的かつ非限定的実施形態は概して環境密封システムに関し、より具体的には、固定子および回転子を備えるモータ用の密封システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のロボットは、任意の適切なタイプのジョイントであってもよい複数の動作軸を有する。これらのジョイントは通常、モータ、位置エンコーダ、伝達装置、およびリンク機構を備える。
【摘要】
【０００３】
以降の摘要は、単に例として示されたものである。この摘要は本願の特許請求の範囲を制限するものではない。
【０００４】
ある態様に従って、ある例示的実施形態が提供される。すなわち、ハウジングと、固定子および回転子を備え、前記固定子は前記ハウジングに接続されるモータと、前記固定子と前記回転子との間に延在する環境隔壁と、前記環境隔壁を前記ハウジングに接続する密封システムとを備える装置であって、前記密封システムは第１シール境界面と第２シール境界面とを備え、前記第１シール境界面は、少なくとも部分的に前記固定子の内径以下である第１直径において前記ハウジングと接続し、前記第２シール境界面は、少なくとも部分的に前記固定子の外径以上である第２直径において前記ハウジングと接続する装置が提供される。
【０００５】
別の態様に従って、ある例示的実施形態が提供される。すなわち、ハウジングと、固定子および回転子を備え、前記固定子は前記ハウジングに接続されるモータと、前記固定子と前記回転子との間に延在する環境隔壁と、前記環境隔壁を前記ハウジングに接続する密封システムとを備える装置であって、前記密封システムは第１シール境界面と第２シール境界面とを備え、前記第１シール境界面は、前記固定子の内径以下である第１直径において前記ハウジングと接続し、前記第２シール境界面は、前記固定子の前記内径以上である第２直径において前記ハウジングと接続し、前記第１直径と前記第２直径とは異なる装置が提供される。
【０００６】
別の態様に従って、ある例示的実施形態が提供される。すなわち、ハウジングと、固定子および回転子を備え、前記固定子は前記ハウジングに接続されるモータと、エンコーダ読取ヘッドおよびエンコーダディスクを備え、前記エンコーダ読取ヘッドは前記ハウジングに接続される位置エンコーダと、前記ハウジングに接続される環境隔壁であって、前記固定子と前記回転子との間に延在し、かつ、前記エンコーダ読取ヘッドと前記エンコーダディスクとの間に延在する一体型部材を備える環境隔壁とを備える装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
前述の態様や他の特徴は以降の記述で説明されるが、次の添付図面を参照している。
【０００８】
【図１】本願に記載する特徴を有する例示的実施形態の概略図である。
【０００９】
【図２】例示的実施形態の断面略図である。
【００１０】
【図３】例示的実施形態の断面略図である。
【００１１】
【図４】例示的実施形態の断面略図である。
【００１２】
【図５】例示的実施形態の断面略図である。
【００１３】
【図６】例示的実施形態の断面略図である。
【００１４】
【図７】例示的実施形態の断面略図である。
【００１５】
【図８】例示的実施形態の断面略図である。
【００１６】
【図９】例示的実施形態の断面略図である。
【００１７】
【図１０】例示的実施形態の断面略図である。
【００１８】
【図１１】例示的実施形態の断面略図である。
【００１９】
【図１２】例示的実施形態の断面略図である。
【００２０】
【図１３】例示的実施形態の断面略図である。
【００２１】
【図１４】例示的実施形態の断面略図である。
【００２２】
【図１５】例示的実施形態の断面略図である。
【００２３】
【図１６】例示的な巻き込み状のシールを示す図である。
【００２４】
【図１７】例示的実施形態の断面略図である。
【００２５】
【図１８】例示的実施形態の断面略図である。
【００２６】
【図１９】例示的実施形態の断面略図である。
【００２７】
【図２０Ａ】例示的実施形態を概略的に示した図である。
【図２０Ｂ】例示的実施形態を概略的に示した図である。
【図２０Ｃ】例示的実施形態を概略的に示した図である。
【実施形態の詳細説明】
【００２８】
ロボットの例として、図１に示すような真空対応ロボットであってもよい。図１には、基板搬送装置２のロボット駆動部１０の概略図が示されている。駆動部１０は、本願において開示するような特徴を有してもよい。ロボット駆動部１０は真空ロボットに関連して記述されているが、（大気用またはそれ以外の）任意の適切なロボットが、本願で記載されるような特徴を有して提供されてもよい。本願において記述される特徴は、開示される好ましい１または複数の実施形態に加え、その他の実施形態において提供することも可能であり、様々な方法で実施または実行することができる。したがって本発明は、その適用において、以降の詳細な説明で記述されるような、または添付の図面で示されるような構成の詳細や要素の構成に限定されるものではないことを理解されたい。また、本願の特許請求の範囲は、特定の除外事項、限定事項、または免責事項を明示する明瞭かつ説得力のある証拠がない限り、限定的に解釈されるべきではない。
【００２９】
図１には、本発明の１または複数の実施形態における真空対応ダイレクトドライブシステムを備える装置２の例示的ロボットマニピュレータが示されている。ロボットマニピュレータはフレーム１０１を中心として構築されてもよい。フレームは例えば、アルミニウム製の押出構造体で、フランジまたは取付構造１０２から吊されている。あるいは、取付構造はフレーム１０１の側面やフレーム１０１の底面にあってもよく、他の任意の適切な方法でフレーム１０１が取り付けられてもよい。フレーム１０１は、例えば、リニア軸受１０４を有する１または複数の垂直レール１０３を備えて、ボールスクリュー機構１０７を介してモータ１０６により駆動されるハウジング１０５をガイドしてもよい。単純化のために、１つのレール１０３のみが図示されている。あるいは、モータハウジング１０５がリニアモータで駆動されたり、フレーム１０１に直付けされたり、他の任意の適切な可動式または非可動式の方法でフレーム１０１に連結されたりしてもよい。モータハウジング１０５は、ダイレクトドライブモジュールを１、２、３、４台、またはそれ以上備えてもよい。こうした構成は以下で詳述する。ハウジング１０５は、位置エンコーダ１１０、１１１を装備するモータ１０８、１０９を収納してもよい。例示的構成として示されるハウジング１０５は、モータ１０８、１０９と位置エンコーダ１１０、１１１に関連して構成される部分を有し、これについては以下で詳述する。垂直レール１０３に沿ったモータ１０５の動きに対応するために、ベローズ１２０が用いられてもよい。ベローズは、モータ１０８、１０９およびエンコーダ１１０、１１１の可動要素が動作する真空などの環境と、大気などの外部環境とを分ける。
【００３０】
図１の例では、モータとエンコーダを１つずつ備えるダイレクトドライブモジュールが２台示されている。ただし、ダイレクトドライブモジュールの台数やそれが備えるモータやエンコーダの台数は、それぞれ任意の適切な数でもよい。図１に示すように、ダイレクトドライブモジュールに電源供給し、ダイレクトドライブモジュールと、プロセッサとメモリとを備えるコントローラ２２４などのロボットシステムの他の要素との間で信号をやり取りするために、反転サービスループ２２２が用いられてもよい。あるいは、通常の順次サービスループ２２６が用いられてもよい。図１に示すように、上部モータ１０８は、ロボットアームの第１リンク１１４に連結する中空外側シャフト１１２を駆動してもよい。下部モータ１０９は、ベルト駆動部１１５を介して第２リンク１１６に連結されてもよい同軸内側シャフト１１３に接続されてもよい。前述の２リンク１１４および１１６の位置とは無関係に第３リンク１１８の径方向の配置を維持するために、別のベルト構成１１７が用いられてもよい。これは、第１リンクに組込まれるプーリと第３リンクに接続されるプーリとの比率が１：２であることで達成されてもよい。別の実施形態では、任意の適切な比率またはリンク機構を設けてもよい。第３リンク１１８は、エンドエフェクタを形成し、半導体基板などのペイロード１１９を運搬してもよい。図１のロボットアームは単なる例として示されていることに留意されたい。他の任意の適切なアーム機構やドライブ機構が単独または組合せで用いられてもよい。例えば、本発明の１または複数の実施形態に従う複数のダイレクトドライブモジュールが単独のロボットマニピュレータに用いられてもよく、複数のマニピュレータを有するロボットマニピュレータに用いられてもよい。また、これらの任意の適切な組合せでもよい。ここで、モジュールは回転軸と実質的に同じ軸に沿って異なる平面に積層されてもよく、実質的に同じ平面に同心円状に配置されてもよい。または、積層配置と同心円状配置を組み合わせた配置でもよく、他の任意の適切な方法でロボットマニピュレータに組込まれてもよい。
【００３１】
本発明の１または複数の実施形態における真空対応ダイレクトドライブシステムは、ハウジングと径方向磁場のモータ構成を備えてもよい。モータ構成は、固定子とその付近に配置される回転子を備え、回転子が固定子に対して回転し、回転子の回転軸に対して実質的に径方向の磁場を介して固定子と相互作用できるように構成される。あるいは、軸方向磁場のモータや径方向／軸方向磁場混在のモータが用いられてもよく、それらを組み合わせてもよい。固定子は、それに対する回転子の相対位置に基づく適切なコントローラによって通電される１組の巻線を備えてもよい。回転子は、極性を変える１組の永久磁石を備えてもよい。
【００３２】
図示した実施形態では、ハウジングが、ハウジング外の大気型の環境とハウジング内の真空環境または他の非大気環境を分けてもよい。エンコーダ読取ヘッドや固定子などの能動部品は、以下で説明するように、ハウジングに固定され、および／またはハウジングと連動してもよい。例えば、読取ヘッドまたは固定子は、従来の締付部品をなくすために、ハウジングに圧入されるか別の方法で固定されてもよい。または、以下で説明するように、真空や他の非大気環境に対する部品のガス放出を制限するために、真空対応のエポキシベースのポッティング材などの適切な材料で封入されてもよい。ここで封入部品は、真空中や大気下、または、封入によって環境から固定子を保護するような、例えば腐食を防止したり効率的に熱除去したりできるような、任意の適切な環境に置かれてもよい。封入により、読取ヘッドまたは固定子がハウジングやその他の部品またはサブ部品に接着され、ハウジングに対して装置がさらに固定されるようにしてもよい。読取ヘッドの巻線や他の能動部品、または固定子の巻線につながるワイヤは、ハウジングの開口部を貫通していてもよい。この開口部は封入によって密封され、個別の真空フィードスルーが不要となる。あるいは、読取ヘッドまたは固定子はクランプやボルト、または他の任意の適切な方法でハウジングに取り付けられ、大気環境下から読取ヘッドの巻線や他の能動部品または固定子の巻線につながるワイヤが、真空フィードスルーを介して通されていても、他の任意の適切な方法でハウジングの壁を貫通していてもよい。
【００３３】
さらに図２を参照すると、例示的ロボット駆動部２５０が示されている。図において、駆動部２５０は３本の同軸駆動シャフトを備えているが、シャフト数はそれより多くても少なくてもよく、図面などに関連して説明されるが図２には示されていない特徴を有してもよい。駆動部２５０は２つの垂直移動可能なハウジング２６０、２６２を備える。ハウジング２６０は第１回転軸２６４および第２回転軸２６６を支持し、ハウジング２６２は第３回転軸２６８を支持する。ハウジングは、アルミニウム、ステンレススチールなどの任意の適切な材料で形成されてもよい。例示的な第１軸２６４は、回転子２７０、固定子２７２、エンコーダディスク２７４、および読取ヘッド２７６を備える。読取ヘッド２７６および固定子２７２は、ハウジング２６０に対して連結され固定される。回転子２７０およびディスク２７４は、出力フランジ２８０を駆動する出力シャフト２７８に連結される。離間配置されたアンギュラ玉軸受は、シャフト２７８およびネック２８４に両端で確実に締着され、ネック２８４はハウジング２６０に連結される。軸受２８２は、図に示すような背面合わせの構成で予圧されたアンギュラ玉軸受であってもよい。あるいは、任意の適切な軸受構成としてもよい。軸２６６および２６８も同様に、回転子、固定子、ディスク、読取ヘッド、および出力シャフトを同様の取付構造で備える。例えば、軸２６６は、一対の組合せ軸受２８８の内輪に締着される出力シャフト２８６を備える。軸受２８８の外輪は、ハウジング２６０に連結される中間支持部２９０に締着される。一対の組合せ軸受２８８は、正面合わせの取付構造で与圧されるように構成されてもよい。あるいは、任意の適切な軸受構成としてもよい。軸２６４、２６６、２６８はそれぞれ、対応する固定子をロボット駆動部の内容積から隔離する隔壁すなわちスリーブ２９２、２９４、２９６を備える。例えば、スリーブ２９６はシール２９８、３００によってハウジング２６２に封着されてもよく、スリーブ２９６は実質的に軸対称の形状であってもよい。シールはＯリングシール、ポッティングシール、メタルシール、ろう付けまたは任意の適切なシールであってもよい。例として、スリーブ２９６はハウジング２６２に締着され封着される下部壁３０２、垂直に延在する壁３０４、およびハウジング２６２に締着され封着される上部壁３０６を備えてもよい。隔壁２９２および２９４はスリーブ２９６と同じまたは類似の特徴を有してもよいが、隔壁２９２は隔壁２９４に締着され封着３０８される。隔壁の材料は、ステンレススチールやアルミニウムなどの任意の適切な材料であってもよい。隔壁は、例えば打抜き加工、スピニング、機械加工、またはその他の方法で形成されてもよい。隔壁の厚さは、均一であっても不均一であってもよい。例えば、垂直延在部分３０４は薄くてもよく、例えば、０．００５〜０．０５インチの厚さ、または任意の適切な厚さであってもよい。固定子は隔壁の所定の位置に適切にポッティングされてもよく、このポッティングは前述のシールであってもよく、隔壁を対応するハウジングに固定してもよい。あるいは、固定子は、Ｏリングやその他の二次シールによってポッティングされてもよい。あるいは、固定子はポッティングされなくてもよく、固定部品やクランプによって機械的に、圧入や締まり嵌めによって、または任意の適切な固定方法によって、対応するハウジングに固定されてもよい。各ハウジングは、例えば対応する固定子または温度センサ３１２の熱電対などからワイヤを引き出すための１または複数の通路３１０を備えてもよい。各駆動部のモータは、例えば、固定子に磁石を備えた歯状ブラシレスモータなどのブラシレスモータであってもよい。あるいは、このブラシレスモータは、スロットレス径方向磁束モータであってもよい。あるいは、任意の適切なモータを設けてもよい。
【００３４】
図３を参照すると、ロボット駆動部４００が示されている。図において、駆動部４００は３本の同軸駆動シャフトを備えているが、シャフト数はそれより多くても少なくてもよく、図面などに関連して説明されるが図３には示されていない特徴を有してもよい。駆動部４００は３本の同心軸４１０、４１２、および４１４を備える。例示的な軸４１０は、円錐形のスロットレスブラシレスモータ４１６を備えている。ブラシレスモータ４１６は回転子４１８および固定子４２０を備え、回転子４１８はソリッドコアおよび磁石を備え、固定子４２０は円錐状の巻線４２２およびリング４２４を備える。円錐状の隔壁すなわちスリーブ４２６は、固定子４２０を回転子４１８から隔離する。円錐状の回転子は対応する固定子に引き付けられる。すなわち、軸４１０は下向き方向４２８に引き付けられ、軸４１２、４１４は上向き方向４３０に引き付けられる。この軸力は、軸受の与圧や負荷のオフセットなどに用いてもよい。例として、図４に、軸５１０がハウジング５１６内に取り付けられ、軸５１２、５１４がハウジング５１８内に取り付けられたロボット５００が示されている。ここで、軸５１０、５１４は上向き方向４３０の引付軸力を有し、軸５１２は下向き方向４２８の引付軸力を有する。あるいは、軸が任意の適切な方向の軸力を有するように構成されてもよい。あるいは、任意の適切な組合せのモータおよびハウジングを設けてもよい。図示した実施形態では、軸４１０および４１２の固定子のスリーブすなわち隔壁間に２つのシールが示されている。別の態様では、隔壁間に設けるシールは１つであってもよい。図示した施形態では、軸４１４が、引付力が上向き方向４３０となるように円錐状の隔壁を備える。別の態様では、引付力が下向き方向４２０となるように円錐状の隔壁および固定子が設けられ、例えば、隔壁すなわちスリーブ４３２がシール４３４と係合するように延在し、シール４３６が不要になる。
【００３５】
図５を参照すると、ロボット駆動部６００が示されている。図において、駆動部６００は５本の同軸駆動シャフトを備えているが、シャフト数はそれより多くても少なくてもよく、図面などに関連して説明されるが図５には示されていない特徴を有してもよい。駆動部６００は同心軸６１０、６１２、６１４、６１６、および６１８を備え、各軸は共通の構成要素を備える。例えば、１または複数の軸は、共通の軸受、固定子、ハウジング、回転子、エンコーダ、および／またはその他の構成要素を備える。例として、すべての軸６１０〜６１８が前述のような共通の構成要素を備えてもよい。さらなる例として、軸６１０は前述のようなネックを備えた軸受構成を用い、軸６１６、６１８は、より小さい径の構成要素を用いてもよい。あるいは、任意の適切な組合せとしてもよい。
【００３６】
図６を参照すると、出力シャフト６５０を被駆動部材６５２に連結する例が示されている。図示の例では、出力シャフト６５０が駆動軸６１８に連結され、出力シャフト６５４が駆動軸６１６に連結されてもよい。テーパ状のクランプカラー（例えば、リングフェダー）６５６は、テーパ状のキーレスブッシング６５８が出力部材６５２に連結またはボルト止めされたときに圧縮され、出力部材６５２をシャフト６５０に確実に連結させる。このように、テーパ状のクランプカラー（例えば、リングフェダー）６５６は、部材６５２をシャフト６５０に連結させるトルクを伝達する。ショルダー６６０はカラー６５６を着座させ、フランジ６５８が部材６５２に締着される際に駆動部内の軸受に余分な軸加重がかからないようにする。軸受６６２は、部材６５２およびシャフト６５４に確実に締着されて設けられ、モーメント負荷を伝達する。軸受６６２は背面合わせの一対の組合せ軸受であってもよい。別の態様では、任意の適切な軸受を設けてもよい。別の態様では、１または複数の他の軸に類似の軸受および連結構成を設けてもよい。別の態様では、フランジを締着させることによってシャフトがそのショルダーと係合され、テーパ状のカラーが出力部材に締着されるように、カラーおよびクランプを設けてもよい。
【００３７】
図７を参照すると、駆動軸６１０の部分断面図が示されている。ハウジング６７０は、回転子６７４を固定子６７２から隔離する、一体的に形成されたスリーブすなわち隔壁部分６７６を備える。ネック６７８は、隔壁６７６の上部およびベローズ６８０のフランジに封着される。回転子６７４はシャフト６８２に連結され、シャフト６８２は軸受６８４によってハウジング６７０に連結される。軸受６８４は、その内輪においてエンコーダディスク６８６により、およびその外輪においてクランプ６９０により、シャフト６８２に確実に締着される。軸受６８４は正面合わせの一対の組合せとして示されているが、他の任意の適切な軸受であってもよく、例えば、単一の転がり軸受、アンギュラ玉軸受などであってもよい。読取ヘッド６８８はさらにハウジング６７０に連結され、ハウジング６７０に対して封着される。
【００３８】
図８を参照すると、ロボット駆動部７５０が示されている。図において、駆動部７５０は３本の同軸駆動シャフトを備えているが、シャフト数はそれより多くても少なくてもよく、図面などに関連して説明されるが図８には示されていない特徴を有してもよい。例として、図８に示す駆動部７５０は、図２に示す駆動部２５０の特徴を有してもよく、記述または図示された違いを有していてもよい。駆動部７５０は、隔壁７６０を備える例示的な駆動軸７５８を備える。隔壁７６０は、追加の軸方向延材部７６２を備え、シール７６４、７６６の箇所でハウジング７６８に封着される。隔壁７６０は、固定子を回転子から隔離することに加えて、さらにエンコーダ読取ヘッドをエンコーダディスクから隔離する。ここで、読取ヘッドはスリーブの大気側で可動であってもよく、スリーブから独立してまたはスリーブと連動して可動であってもよい。
【００３９】
図９を参照すると、ロボット駆動部８００が示されている。図において、駆動部８００は３本の同軸駆動シャフトを備えているが、シャフト数はそれより多くても少なくてもよく、図面などに関連して説明されるが図９には示されていない特徴を有してもよい。例として、図８に示す駆動部８００は、図２に示す駆動部２５０の特徴を有してもよく、記述または図示された違いを有していてもよい。図示する隔壁８１０は、フランジ８１２、垂直スリーブ部分８１４、およびフランジ８１６によって下部ハウジングに封着され、フランジ８１２、８１６はハウジングに連結され、ハウジングに対して封着されている。機械加工で製作される場合、フランジ８１６、８１２の厚さは垂直部分８１４の厚さと異なってもよい。
【００４０】
図１０を参照すると、ロボット駆動部８５０が示されている。図において、駆動部８５０は３本の同軸駆動シャフトを備えているが、シャフト数はそれより多くても少なくてもよく、図面などに関連して説明されるが図１０には示されていない特徴を有してもよい。駆動部８５０は第１ハウジング８６０および第２ハウジング８６２を備える。ハウジング８６０は第１回転軸８６４および第２回転軸８６６を収容し、ハウジング８６２は第３回転軸８６８を収容する。ハウジング８６０、８６２は、アルミニウム、ステンレススチール、または任意の適切な材料で形成されてもよい。内部ハウジング８７０、８７２、および８７４がさらに設けられている。これらはそれぞれ対応する固定子を回転子から隔離し、さらに、対応する読取ヘッドを取付および封着するための特徴を備えている。内部ハウジング８７０、８７２、８７４は、アルミニウム、ステンレススチール、または任意の適切な材料で形成されてもよい。また、ハウジング８７０とフランジ８７６がシール部分８７８において、ハウジング８７０と８７２がシール部分８８０において、ハウジング８７２と８６２がシール部分８８２において、ハウジング８７４と８６２がシール部分８８４において、ハウジング８７４とカバー８８６がシール部分８８８において、封着されてもよい。
【００４１】
図１１を参照すると、ロボット駆動部９００が示されている。図において、駆動部９００は３本の同軸駆動シャフトを備えているが、シャフト数はそれより多くても少なくてもよく、図面などに関連して説明されるが図１１には示されていない特徴を有してもよい。駆動部９００は第１ハウジング９１０および第２ハウジング９１２を備える。ハウジング９１０は第１回転軸９１４および第２回転軸９１６を収容し、ハウジング９１２は第３回転軸９１８を収容する。ハウジング９１０、９１２は、アルミニウム、ステンレススチール、または任意の適切な材料で形成されてもよい。隔壁９２０はハウジング９１０およびリング９２２に封着され、リング９２２はさらにハウジング９１０に封着され、駆動部９１４、９１６の固定子を対応する回転子から隔離する。同様に、隔壁９２４はハウジング９１２およびリング９２６に封着され、リング９２６はさらにハウジング９１０に封着され、駆動部９１８の固定子を対応する回転子から隔離する。隔壁９２０を補強するために、補強リブ９２８を設けてもよい。シールは径方向、軸方向、または任意の適切な組合せであってもよい。
【００４２】
図１２を参照すると、ロボット駆動部９５０が示されている。図において、駆動部９５０は３本の同軸駆動シャフトを備えているが、シャフト数はそれより多くても少なくてもよく、図面などに関連して説明されるが図１２には示されていない特徴を有してもよい。駆動部９５０は第１ハウジング９６０および第２ハウジング９６２を備える。ハウジング９６０は第１回転軸９６４および第２回転軸９６６を収容し、ハウジング９６２は第３回転軸９６８を収容する。ハウジング９６０、９６２は、アルミニウム、ステンレススチール、または任意の適切な材料で形成されてもよい。隔壁９７０はハウジング９６０およびリング９７２にフランジおよび端面シールによって封着され、リング９７２はさらにハウジング９６０に封着され、駆動部９６４、９６６の固定子を対応する回転子から隔離する。同様に、隔壁９７４はハウジング９６２およびリング９７６にフランジおよび端面シールによって封着され、リング９７６はさらにハウジング９６０に封着され、駆動部９６８の固定子を対応する回転子から隔離する。シールは径方向、軸方向、または任意の適切な組合せであってもよい。
【００４３】
図１３を参照すると、ロボット駆動部１０００が示されている。図において、駆動部１０００は３本の同軸駆動シャフトを備えているが、シャフト数はそれより多くても少なくてもよく、図面などに関連して説明されるが図１３には示されていない特徴を有してもよい。駆動部１０００は第１ハウジング１０１０および第２ハウジング１０１２を備える。ハウジング１０１０は第１回転軸１０１４および第２回転軸１０１６を収容し、ハウジング１０１２は第３回転軸１０１８を収容する。ハウジング１０１０、１０１２は、アルミニウム、ステンレススチール、または任意の適切な材料で形成されてもよい。隔壁１０２０はハウジング１０１０内に一体的に形成され、リング１０２２に封着され、リング１０２２はさらにハウジング１０１０に封着され、駆動部１０１４、１０１６の固定子を対応する回転子から隔離する。同様に、隔壁１０２４はハウジング１０１２内に一体的に形成され、リング１０２６に封着され、リング１０２６はさらにハウジング１０１２に封着され、駆動部１０１８の固定子を対応する回転子から隔離する。シールは径方向、軸方向、または任意の適切な組合せであってもよい。
【００４４】
図１４を参照すると、ロボット駆動部１１００が示されている。図において、駆動部１１００は３本の同軸駆動シャフトを備えているが、シャフト数はそれより多くても少なくてもよく、図面などに関連して説明されるが図１４には示されていない特徴を有してもよい。駆動部１１００は第１ハウジング１１１０および第２ハウジング１１１２を備える。ハウジング１１１０は第１回転軸１１１４および第２回転軸１１１６を収容し、ハウジング１１１２は第３回転軸１１１８を収容する。ハウジング１１１０、１１１２は、アルミニウム、ステンレススチール、または任意の適切な材料で形成されてもよい。隔壁１１２０はハウジング１１１０に封着され、一体的に形成されたリング部分１１２２を備え、リング部分１１２２はさらにハウジング１１１０に封着され、駆動部１１１４、１１１６の固定子を対応する回転子から隔離する。同様に、隔壁１１２４はハウジング１１１２に封着され、一体的に形成されたリング部分１１２６を備え、リング部分１１２６はさらにハウジング１１１２に封着され、駆動部１１１８の固定子を対応する回転子から隔離する。隔壁１１２０を補強するために、補強リブ１１２８を設けてもよい。シールは径方向、軸方向、または任意の適切な組合せであってもよい。
【００４５】
図１５を参照すると、別のシール構成１２００が示されている。図示する隔壁１２１０は、ハウジング１２１６内の固定子１２１２、１２１４を対応する回転子１２１８、１２２０から隔離する。図示した実施形態では、ナイフエッジシール１２２２、１２２４が隔壁１２１０に形成され、径方向の圧力が加えられるとハウジング１２１６と隔壁１２１０の間で気密シールを形成する。ここで、隔壁１２１０はステンレススチールまたは他の適切な材料であってもよく、ハウジング１２１６はアルミニウムまたは他の適切な材料であってもよい。隔壁１２１０のナイフエッジの外径は、ハウジング１２１６の嵌め合う呼び内径と締まり嵌めされるように設計される。締まり嵌めは、ハウジング１２１６を加熱、および／または隔壁１２１０を冷却し、冷却された組立体との隙間を封着するようにして行う。別の態様では、１または複数のシールエッジ状の特徴をハウジング１２１６に設けてもよい。さらに別の態様では、嵌め合う封着部分の間に銅または二次的な径方向のガスケットを設けてもよい。別の態様では、軸方向シール、メタルシールなどを設けてもよい。さらに図１６を参照すると、前述のシールの代替として、例示的な巻き込み状のシール１２５０を設けてもよい。
【００４６】
図１７を参照すると、例示的ロボット駆動部１３００の断面略図が示されている。図において、駆動部１３００は２本の同軸駆動シャフトを備えているが、シャフト数はそれより多くても少なくてもよく、図面などに関連して説明されるが図１７には示されていない特徴を有してもよい。駆動部１３００は、同心の回転駆動部１３１２、１３１４を支持するハウジング１３１０を備える。密封環境すなわちエンクロージャは、取付フランジ１３１６、第１隔壁１３１８、第２隔壁１３２０、およびベースプレートすなわちカバー１３２２を備える。第１シール１３２４は、フランジ１３１６を隔壁１３１８に封着する。第２シール１３２６は、隔壁１３１８を隔壁１３２０に封着する。第３シール１３２８は、隔壁１３２０をベースプレート１３２２に封着する。シールは、ＶＩＴＯＮ(r)、ＫＡＬＲＥＺ(r)、ＣＨＥＭＲＡＺ(r)などのＯリングシールであってもよい。あるいは、例えば、ＨＥＬＩＣＯＦＬＥＸ(r)、ＣＯＮＦＬＡＴ、または他の適切なメタルガスケットなどのメタルシールであってもよい。ここで、メタルガスケットの材料は、アルミニウム、銅、銀めっき、ニッケルなどであってよく、中実であっても被覆されていてもよい。図示した実施形態では、グランド、ナイフエッジ、または他の適切な嵌め合いおよび密封境界面が、嵌め合い表面に設けられてもよい。例えば、シール境界面の真空性能、硬度などを向上するために、嵌め合い境界面または部分のすべてあるいは一部に被覆が施されてもよい。フランジ１３１６は、アルミニウム、ステンレススチール、または任意の適切な材料であってもよい。図示した実施形態では、ハウジング１３１０は真空に暴露されておらず、その外側部分が大気圧に暴露されている。エンコーダ読取ヘッド１３３４、１３３６は、誘導型または他の適切なエンコーダ読取ヘッドであってもよく、それぞれ、隔壁１３１８、１３２０によってディスク１３３８、１３４０から隔離される。隔壁１３１８、１３２０は、読取ヘッドとの境界面に薄肉部１３４２、１３４４を有してもよく、読取ヘッドは薄肉部１３４２、１３４４に接着されてもよい。別の態様では、溶接または別の方法で隔壁にフランジが取り付けられてもよく、読取ヘッドは、ねじなどの固定部品によってフランジに固定されてもよい。隔壁１３１８、１３２０を曲げたり伸ばしたりすることで読取ヘッド１３３４、１３３６を制限された範囲で調整するためのセクションを設けてもよい。別の態様では、薄肉部１３４２、１３４４を設けなくてもよい。同様に、図示する固定子１３４６、１３４８は、それぞれ隔壁１３１８、１３２０によって回転子１３５０、１３５２から隔離されている。隔壁１３１８、１３２０の隔離部分１３５４、１３５６は薄肉であってもよい。別の態様では、薄肉部１３５４、１３５６を設けなくてもよい。固定子１３４６、１３４８は、ハウジング１３１０に圧入または締まり嵌めしても、ハウジング１３１０内に締着しても、ポッティングしてもしなくてもよい。固定子が円錐状、軸状、または任意の適切な形状である場合、ハウジング１３１０に軟金属の裏当てを吹き付けるか、または連結してもよい。二次クランプ１３５８、１３６０を設けて、隔壁１３１８、１３２０の対向する面の間のシール１３２６を圧縮してもよい。図示した実施形態では、軸受１３６２に、取付フランジ１３１６に締着された外輪を設けてもよく、それによって、取付フランジ１３１６がハウジング１３１０内の窪みに案内される。同様に、軸受１３６４に、下部フランジ１３２２に締着された外輪を設けてもよく、それによって、カバーすなわち下部フランジ１３２２がハウジング１３１０内の窪みに案内される。あるいは、位置決めのための任意の適切な特徴を設けてもよい。スリーブすなわち隔壁１３１８、１３２０は、機械加工、打ち抜き加工、スピニング、または他の適切な方法あるいはそれらの組合せによって製作されてもよい。
【００４７】
図１８を参照すると、ロボット駆動部１４００の部分断面図が示されている。駆動部１４００は、前述のような特徴を有してもよい。駆動部１４００は、第１駆動部１４０８、第２駆動部１４１０、および第３駆動部（図示しない）にそれぞれ対応する出力シャフト１４０２、１４０４、１４０６を備える。第１駆動部１４０８は、シャフト１４０２に連結された回転子１４１２およびエンコーダディスク１４１４を備える。第２駆動部１４１０は、シャフト１４０４に連結された回転子１４１６およびエンコーダディスク１４１８を備える。第１駆動部１４０８はさらに、ハウジング１４２２に連結された固定子１４２０を備える。第２駆動部１４１０はさらに、ハウジング１４２２に連結された固定子１４２４を備える。固定子１４２０および１４２４はハウジング１４２２に圧入されてもよく、あるいは、固定子１４２０および１４２４から生じた熱がハウジング１４２２に効率的に伝達されるようにハウジング１４２２に連結されてもよい。回転子１４１２、１４１６は真空状態であってもよく、ハウジング１４２２は少なくとも部分的に大気に暴露されていてもよい。例えば、固定子１４２０および１４２４は、ハウジング１４２２にポッティングまたは別の方法で固定されてもよい。スリーブすなわち環境隔壁１４２６は、回転子１４１２、１４１６を固定子１４２０、１４２４から隔離してもよい。スリーブすなわち環境隔壁１４２６は、ハウジング１４２２とスリーブ１４２６との間に第１シール１４２８および第２シール１４３０を備えた密封システムを備えてもよい。軸受支持部１４３２は、スリーブ１４２６の外縁１４３４を曲げてシール１４３０に締着させ、さらに、スリーブ１４２６の内縁１４３６をハウジング１４２２の表面１４３８に対して押し付けて、ロボットのポンピングおよびベント時に密封境界面においてスリーブが実質的に移動しないようにする。
【００４８】
図１９を参照すると、ロボット駆動部１５００の部分断面図が示されている。駆動部１５００は、前述のような特徴を有してもよい。駆動部１５００は、第１駆動部１５０８、第２駆動部１５１０、および第３駆動部（図示しない）にそれぞれ対応する出力シャフト１５０２、１５０４、１５０６を備える。第１駆動部１５０８は、シャフト１５０２に連結された回転子１５１２およびエンコーダディスク１５１４を備える。第２駆動部１５０１は、シャフト１５０４に連結された回転子１５１６およびエンコーダディスク１５１８を備える。第１駆動部１５０８はさらに、ハウジング１５２２に連結された固定子１５２０を備える。第２駆動部１５１０はさらに、ハウジング１５２２に連結された固定子１５２４を備える。固定子１５２０および１５２４はハウジング１５２２に圧入されてもよく、あるいは、固定子１５２０および１５２４から生じた熱がハウジング１５２２に効率的に伝達されるようにハウジング１５２２に連結されてもよい。回転子１５１２、１５１６は真空状態であってもよく、ハウジング１５２２は少なくとも部分的に大気に暴露されていてもよい。例えば、固定子１５２０および１５２４は、ハウジング１５２２にポッティングまたは別の方法で固定されてもよい。スリーブすなわち環境隔壁１５２６は、回転子１５１２、１５１６を固定子１５２０、１５２４から隔離してもよい。スリーブすなわち環境隔壁１５２６は、ハウジング１５２２とスリーブ１５２６との間に第１シール１５２８、第２シール１５３０、および第３シール１５３２を備えた密封システムを備えてもよい。軸受支持部１５３４は中間部材１５３６を締着させ、シール１５３２によりハウジング１５２２に封着し、さらに、スリーブ１５２６の縁１５３８を中間部材１５３６の表面１５４０に対して押し付けて、ロボットのポンピングおよびベント時に（部材１５３６との）密封境界面１５３０および（ハウジング１５２２との）密封境界面１５２８においてスリーブが実質的に移動しないようにする。
【００４９】
図２０Ａを参照すると、密封システムによってハウジング１６０２に連結されたスリーブ１６００が示されている。この密封システムは、ハウジング１６０２とスリーブ１６００との間に第１シール１６０４および第２シール１６０６を備える。シール１６０４は、スリーブ１６００に対して角度のある密封表面を有してもよく、ハウジング１６０２に対して角度のある密封境界面、または径方向および／または軸方向の密封境界面の組合せを有してもよい。シール１６０６は、スリーブ１６００に対して軸方向の密封表面を有してもよく、ハウジング１６０２に対して軸方向の密封境界面、角度のある密封境界面、または径方向および／または軸方向の密封境界面の組合せを有してもよい。また、図２０Ｂを参照すると、密封システムによってハウジング１７０２に連結されたスリーブ１７００が示されている。この密封システムは、ハウジング１７０２とスリーブ１７００との間に第１シール１７０４および第２シール１７０６を備える。シール１７０４は、スリーブ１７００に対して角度のある密封表面を有してもよく、ハウジング１７０２に対して角度のある密封境界面、または径方向および／または軸方向の密封境界面の組合せを有してもよい。シール１７０６は、スリーブ１７００に対して角度のある密封表面を有してもよく、ハウジング１７０２に対して角度のある密封境界面、または径方向および／または軸方向の密封境界面の組合せを有してもよい。また、図２０Ｃを参照すると、密封システムによってハウジング１８０２および１８０４に連結されたスリーブ１８００が示されている。この密封システムは、ハウジング１８０２、１８０４とスリーブ１８００との間に第１シール１８０６および第２シール１８０８を備える。シール１８０６は、スリーブ１８００に対して角度のある密封表面を有してもよく、ハウジング１８０２に対して角度のある密封境界面、または径方向および／または軸方向の密封境界面の組合せを有してもよい。シール１８０８は、スリーブ１８００に対して角度のある密封表面を有してもよく、ハウジング１８０４に対して角度のある密封境界面、または径方向および／または軸方向の密封境界面の組合せを有してもよい。
【００５０】
例えば図２、９、１４、１８、および２０Ａに示したような例示的実施形態が提供されてもよい。すなわち、ハウジングと、固定子および回転子を備え、前記固定子は前記ハウジングに接続されるモータと、前記固定子と前記回転子との間に延在する環境隔壁と、前記環境隔壁を前記ハウジングに接続する密封システムとを備える装置であって、前記密封システムは第１シール境界面と第２シール境界面とを備え、前記第１シール境界面は、少なくとも部分的に前記固定子の内径または内周以下である第１直径または周囲において前記ハウジングと接続し、前記第２シール境界面は、少なくとも部分的に前記固定子の主な部分の外径または外周以上である第２直径において前記ハウジングと接続する装置が提供される。
【００５１】
前記環境隔壁は、前記固定子と前記回転子との間に延在する一体型スリーブ部材を備えてもよく、前記一体型スリーブ部材の第１端は前記第１シール境界面の一部を形成し、前記一体型スリーブ部材の反対側の第２端は前記第２シール境界面の一部を形成する。前記一体型スリーブ部材の前記第２端は、弾性的に曲げられて、前記第２シール境界面のシールに前記ハウジングに対するばね荷重を加えてもよい。前記第１シール境界面は、前記ハウジング内に１つの角を有する凹状の窪みを有してもよく、前記一体型スリーブ部材の前記第１端は、前記第１シール境界面の第１シールを前記角に向かって圧縮する。前記一体型スリーブ部材の前記第１端は、第１シールを前記ハウジングに向かって第１の外側方向に押してもよく、前記一体型スリーブ部材の前記第２端は、第２シールを前記ハウジングに向かって第２の内側方向に押す。前記環境隔壁は、前記第１シール境界面と前記第２シール境界面との間に少なくとも６０度の少なくとも１つの曲げ部を有する一体型スリーブ部材を備えてもよく、前記少なくとも１つの曲げ部は、前記第１シール境界面および前記第２シール境界面から離間されている。前記少なくとも１つの曲げ部は、約９０度の第１曲げ部と、約４０度以上の第２曲げ部とを備えてもよい。前記第１直径は、前記固定子の前記内径より小さくてもよい。前記第２直径は、前記固定子の前記外径より大きくてもよい。前記装置は、エンコーダ読取ヘッドおよびエンコーダディスクを備える位置エンコーダをさらに備えてもよく、前記エンコーダ読取ヘッドは前記ハウジングに接続され、前記環境隔壁は、前記固定子と前記回転子との間に延在し、かつ、前記エンコーダ読取ヘッドと前記エンコーダディスクとの間に延在する一体型部材を備える。前記装置は、環境チャンバと、前記回転子に接続されたシャフトをさらに備えてもよく、前記回転子および前記シャフトは、前記環境チャンバの環境と連通し、前記ハウジングおよび前記環境隔壁は、前記固定子を前記環境チャンバの前記環境から隔離する。
【００５２】
例えば図１２、１９、および２０Ｂに示したような例示的実施形態が提供されてもよい。すなわち、ハウジングと、固定子および回転子を備え、前記固定子は前記ハウジングに接続されるモータと、前記固定子と前記回転子との間に延在する環境隔壁と、前記環境隔壁を前記ハウジングに接続する密封システムとを備える装置であって、前記密封システムは第１シール境界面と第２シール境界面とを備え、前記第１シール境界面は、前記固定子の内径以下である第１直径において前記ハウジングと接続し、前記第２シール境界面は、前記固定子の前記内径以上である第２直径において前記ハウジングと接続し、前記第１直径と前記第２直径とは異なる装置が提供されてもよい。前記環境隔壁は、前記固定子と前記回転子との間に延在する一体型スリーブ部材を備えてもよく、前記一体型スリーブ部材の第１端は前記第１シール境界面の一部を形成し、前記一体型スリーブ部材の反対側の第２端は前記第２シール境界面の一部を形成する。前記一体型スリーブ部材の前記第２端は、弾性的に曲げられて、前記第２シール境界面のシールに前記ハウジングに対するばね荷重を加えてもよい。前記第１シール境界面は、前記ハウジング内に１つの角を有する凹状の窪みを有してもよく、前記一体型スリーブ部材の前記第１端は、前記第１シール境界面の第１シールを前記角に向かって圧縮する。前記装置は、エンコーダ読取ヘッドおよびエンコーダディスクを備える位置エンコーダをさらに備えてもよく、前記エンコーダ読取ヘッドは前記ハウジングに接続され、前記環境隔壁は、前記固定子と前記回転子との間に延在し、かつ、前記エンコーダ読取ヘッドと前記エンコーダディスクとの間に延在する一体型部材を備える。前記装置は、環境チャンバと、前記回転子に接続されたシャフトをさらに備えてもよく、前記回転子および前記シャフトは、前記環境チャンバの環境と連通し、前記ハウジングおよび前記環境隔壁は、前記固定子を前記環境チャンバの前記環境から隔離する。
【００５３】
例えば図１１および２０Ｃに示したような例示的実施形態が提供されてもよい。すなわち、ハウジングと、固定子および回転子を備え、前記固定子は前記ハウジングに接続されるモータと、エンコーダ読取ヘッドおよびエンコーダディスクを備え、前記エンコーダ読取ヘッドは前記ハウジングに接続される位置エンコーダと、前記ハウジングに接続される環境隔壁であって、前記固定子と前記回転子との間に延在し、かつ、前記エンコーダ読取ヘッドと前記エンコーダディスクとの間に延在する一体型部材を備える環境隔壁とを備える装置が提供される。
【００５４】
前記一体型部材の第１端は第１シール境界面の一部を形成してもよく、前記一体型部材の反対側の第２端は第２シール境界面の一部を形成する。前記一体型スリーブ部材の前記第２端は、弾性的に曲げられて、前記第２シール境界面のシールに前記ハウジングに対するばね荷重を加えてもよい。前記第１シール境界面は、前記ハウジング内に１つの角を有する凹状の窪みを有してもよく、前記一体型スリーブ部材の前記第１端は、前記第１シール境界面の第１シールを前記角に向かって圧縮する。前記一体型スリーブ部材の前記第１端は、第１シールを前記ハウジングに向かって第１の外側方向に押してもよく、前記一体型スリーブ部材の前記第２端は、第２シールを前記ハウジングに向かって第２の内側方向に押してもよい。前記一体型部材は、前記一体型部材の両端の間に少なくとも６０度の少なくとも１つの曲げ部を有してもよく、前記少なくとも１つの曲げ部は前記両端から離間されている。前記少なくとも１つの曲げ部は、約９０度の第１曲げ部と、約４０度以上の第２曲げ部とを備えてもよい。前記装置は、環境チャンバと、前記回転子に接続されたシャフトをさらに備えてもよく、前記回転子および前記シャフトは、前記環境チャンバの環境と連通し、前記ハウジングおよび前記環境隔壁は、前記固定子を前記環境チャンバの前記環境から隔離する。
【００５５】
ある例示的方法は、前述の特徴を有する装置の製造および組立を含んでもよい。
【００５６】
なお、前述した説明は単なる例に過ぎないことにも注意されたい。種々の変形および修正を当業者が考えることができる。例えば、特許請求の範囲にある種々の従属請求項に記載の特徴は、任意の適切な組合せで互いに組合せ可能である。加えて、前述した様々な実施形態からの特徴を選択的に組み合わせて新たな実施形態とすることも可能である。したがって本願は、添付の特許請求の範囲に含まれる変更や修正、変形等の全ての事項を包含するものである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０Ａ】
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【図２０Ｂ】
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【図２０Ｃ】
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【手続補正書】
【提出日】令和1年10月23日(2019.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングと、
固定子および回転子を備え、前記固定子は前記ハウジングに接続されるモータと、
エンコーダ読取ヘッドおよびエンコーダディスクを備え、前記エンコーダ読取ヘッドは前記ハウジングに接続される位置エンコーダと、
前記ハウジングに接続される環境隔壁であって、前記固定子と前記回転子との間に延在し、かつ、前記エンコーダ読取ヘッドと前記エンコーダディスクとの間に延在する一体型部材を備える環境隔壁と、
を備える装置。
【請求項２】
前記一体型部材の第１端は第１シール境界面の一部を形成し、前記一体型部材の反対側の第２端は第２シール境界面の一部を形成する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記一体型スリーブ部材の前記第２端は、弾性的に曲げられて、前記第２シール境界面のシールに前記ハウジングに対するばね荷重を加える、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記第１シール境界面は、前記ハウジング内に１つの角を有する凹状の窪みを有し、前記一体型スリーブ部材の前記第１端は、前記第１シール境界面の第１シールを前記角に向かって圧縮する、請求項２に記載の装置。
【請求項５】
前記一体型スリーブ部材の前記第１端は、第１シールを前記ハウジングに向かって第１の外側方向に押し、前記一体型スリーブ部材の前記第２端は、第２シールを前記ハウジングに向かって第２の内側方向に押す、請求項２に記載の装置。
【請求項６】
前記一体型部材は、前記一体型部材の両端の間に少なくとも６０度の少なくとも１つの曲げ部を有し、前記少なくとも１つの曲げ部は前記両端から離間されている、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記少なくとも１つの曲げ部は、約９０度の第１曲げ部と、約４０度以上の第２曲げ部とを備える、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
環境チャンバと、前記回転子に接続されたシャフトをさらに備える装置であって、前記回転子および前記シャフトは、前記環境チャンバの環境と連通し、前記ハウジングおよび前記環境隔壁は、前記固定子を前記環境チャンバの前記環境から隔離する、請求項１から７のいずれかに記載の装置。
【請求項９】
前記環境隔壁は、前記ハウジングとの第１シールに第１端を、前記ハウジングとの第２シールに第２端を有する、請求項１から８のいずれかに記載の装置。
【請求項１０】
モータをハウジングに接続すること、但し前記モータは固定子および回転子を備え、前記固定子が前記ハウジングに接続される、前記接続することと；
エンコーダディスクを前記回転子に、エンコーダ読取ヘッドを前記ハウジングに接続することと；
前記ハウジングに環境隔壁を接続することと；
を含む方法であって、前記環境隔壁は、前記固定子と前記回転子との間に延在し、かつ、前記エンコーダ読取ヘッドと前記エンコーダディスクとの間に延在する一体型部材を備えると共に、前記ハウジングとの第１シールに第１端を、前記ハウジングとの第２シールに第２端を有する、方法。