(57)【要約】  ワイヤ電極と、前記ワイヤ電極を巻回することにより前記ワイヤ電極を並列させるガイドローラと、前記並列されたワイヤ電極に個別に摺接する複数の摺接導体６２と、前記複数の摺接導体６２を個別に保持し、各摺接導体６２を介して前記並列されたワイヤ電極に個別に給電する給電治具とを備えるワイヤ放電加工装置において、前記給電治具は、前記摺接導体６２の固定間隔を決める複数の基準面を備える。
2012042980.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤ電極と、
前記ワイヤ電極を巻回することにより前記ワイヤ電極を並列させるガイドローラと、
前記並列されたワイヤ電極に個別に摺接する複数の摺接導体と、
前記複数の摺接導体を個別に保持し、各摺接導体を介して前記並列されたワイヤ電極に個別に給電する給電治具とを備えるワイヤ放電加工装置において、
前記給電治具は、前記摺接導体の固定間隔を決める複数の基準面を備える
ことを特徴とするワイヤ放電加工装置。
【請求項２】
前記給電治具は、
前記摺接導体の固定間隔を決める複数の基準面が一体化された固定治具と、
前記摺接導体を前記基準面に押し付ける押付治具と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項３】
前記固定治具に形成され、各摺接導体が個別に挿入される複数の第１の開口部と、
前記押付治具に形成され、各摺接導体が個別に挿入される複数の第２の開口部と、
を備えることを特徴とする請求項２に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項４】
前記固定治具の一部が前記第２の開口部に挿入されるように前記固定治具に形成された第１の段差と、
前記押付治具の一部が前記第１の開口部に挿入されるように前記押付治具に形成された第２の段差と、
を備えることを特徴とする請求項３に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項５】
前記固定治具および前記押付治具は、前記基準面ごとに楔状に形成されている
ことを特徴とする請求項２に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項６】
前記固定治具は、各摺接導体が個別に挿入される開口部を備え、
前記押付治具は、前記開口部に挿入された状態で前記摺接導体を前記基準面に押し付ける弾性部材である
ことを特徴とする請求項２に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項７】
前記固定治具および前記押付治具は、絶縁体または表面が絶縁体で被膜された導体である
ことを特徴とする請求項２から６のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項８】
前記摺接導体の摺接面に形成され、前記ワイヤ電極の直径よりも広く、前記ワイヤ電極の半径よりも深い溝を備える
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項９】
前記摺接導体に形成された割り出し可能な形状の穴を備える
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工装置により、被加工物を放電加工する
ことを特徴とするワイヤ放電加工方法。
【請求項１１】
請求項１から９のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工装置により、被加工物から薄板を切り出す
ことを特徴とする薄板製造方法。
【請求項１２】
請求項１から９のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工装置により、半導体インゴットから半導体ウェハを切り出す
ことを特徴とする半導体ウェハ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウェハ製造方法に関し、特に、１本のワイヤを複数のガイドローラ間で巻回させることによりワイヤ電極が並列され、並列されたワイヤ電極と被加工物との間で放電を発生させることにより、被加工物から一括して複数の薄板材を切り出すことが可能なワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウェハ製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
１本のワイヤ電極を複数のガイドローラ間で巻回させることによりワイヤ電極を並列させ、ワイヤ電極と柱状の被加工物との間に電圧を印可し放電を発生させることで、被加工物から複数の薄板を一括して切り出す方法がある。【０００３】
また、特許文献１には、切断ワイヤへの給電部において、絶縁体とワイヤと摺接する摺接導体を交互に積層した構造を設け、電源と電気的に接続された導体および摺接導体を介して被加工物と切断ワイヤの間に個別に給電して切断ワイヤ部と被加工物間に高い放電電圧を保つことで、各切断ワイヤにおいて単位時間当たりの加工量を同程度とする技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−９４２２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の技術によれば、絶縁体と摺接導体が交互に積層された一体構造が用いられるため、絶縁体と摺接導体に寸法誤差があると、給電部の固定基準面に対する各摺接導体の位置に累積誤差が生じ、切断ワイヤ部への給電が良好に保てなくなる。そのため、切断ワイヤ部への給電を良好に保つためには、給電部組み立ての際に摺接導体の間隔の微調整が必要になるという問題があった。【０００６】
また、給電部の保守に関しては、摺接導体が消耗品となるので、摺接導体の間隔の微調整が毎回必要となり、さらに切断ワイヤの数が多くなると、摺接導体の数も多くなり、分解および組み立てに多大な労力が必要になるという問題があった。【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、摺接導体に寸法誤差がある場合においても、各摺接導体の位置に累積誤差が生じるのを防止しつつ、各摺接導体の位置決めを行うことが可能なワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウェハ製造方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、ワイヤ電極と、前記ワイヤ電極を巻回することにより前記ワイヤ電極を並列させるガイドローラと、前記並列されたワイヤ電極に個別に摺接する複数の摺接導体と、前記複数の摺接導体を個別に保持し、各摺接導体を介して前記並列されたワイヤ電極に個別に給電する給電治具とを備えるワイヤ放電加工装置において、前記給電治具は、前記摺接導体の固定間隔を決める複数の基準面を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、摺接導体に寸法誤差がある場合においても、各摺接導体の位置に累積誤差が生じるのを防止しつつ、各摺接導体の位置決めを行うことが可能という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明に係るワイヤ放電加工装置の実施の形態１の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態２の概略構成を示す斜視図である。
【図３】図３は、図２の給電治具をｘ方向に沿って切断した構成を示す断面図である。
【図４】図４は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態３の概略構成を示す断面図である。
【図５】図５は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態４の概略構成を示す断面図である。
【図６】図６は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態５の概略構成を示す断面図である。
【図７】図７は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態６の概略構成を示す断面図である。
【図８】図８は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態７の概略構成を示す断面図である。
【図９−１】図９−１は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態８の給電部の構成を示す斜視図である。
【図９−２】図９−２は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態８の給電部の構成を示す斜視図である。
【図１０】図１０は、本発明に係るワイヤ放電加工装置の実施の形態９の概略構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明に係るワイヤ放電加工装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１２】
実施の形態１．
図１は、本発明に係るワイヤ放電加工装置の実施の形態１の概略構成を示す斜視図である。図１において、このワイヤ放電加工装置には、ワイヤ電極２を巻回することによりワイヤ電極２を並列させるガイドローラ３ａ〜３ｄ、ワイヤ電極２と被加工物１０の間に印加される電圧を供給する加工電源ユニット５および加工電源ユニット５から供給された電圧をワイヤ電極２に給電する給電治具７が設けられている。
【００１３】
ここで、ガイドローラ３ａ〜３ｄは、軸線方向に平行離間して配置され、ワイヤ電極２は、ガイドローラ３ａ〜３ｄに複数回だけ巻回されている。そして、ワイヤボビン１から繰り出されたワイヤ電極２は、ガイドローラ３ａ〜３ｄに順次複数回だけ巻回され、ワイヤ回収ローラ４によって回収される。
【００１４】
そして、ガイドローラ３ａ、３ｄ間に平行張架されたワイヤ電極２にて、被加工物１０を切断する複数の切断ワイヤ部２１が形成されている。また、ガイドローラ３ｃ、３ｄ間に平行張架されたワイヤ電極２にて、各切断ワイヤ部２１に個別に給電を行う複数の給電ワイヤ部２２が形成されている。
【００１５】
給電治具７には、加工電源ユニット５から供給された電圧を給電ワイヤ部２２ごとに受ける給電端子８および切断ワイヤ部２１に個別に摺接する摺接導体９が設けられている。そして、給電端子８と摺接導体９とは互いに接するようにして切断ワイヤ部２１ごとに個別に給電治具７に保持されている。
【００１６】
加工電源ユニット５には、複数の加工電源５１が設けられている。そして、加工電源５１は給電線６を介して給電端子８に接続され、１つの加工電源５１が単数ないし複数の給電ワイヤ部２２に給電線６、給電端子８および摺接導体９を順次介して接続される。
【００１７】
加工電源ユニット５は、被加工物１０と微小距離だけ離間した切断ワイヤ部２１の間に電圧を印可して放電を生じさせることができる。なお、加工電源５１が電圧を印可する極性は、必要に応じて適宜反転させることができる。
【００１８】
また、被加工物１０は、切断ワイヤ部２１に対して、位置制御装置により適切な離間距離を制御されながら切断方向に送ることができる。被加工物１０と切断ワイヤ部２１の間には、吹きかけあるいは浸漬により加工液を供給することができる。
【００１９】
被加工物１０は、複数の薄板にスライス加工されるインゴット状のものを用いることができる。また、その材質は、例えば、スパッタリングターゲットとなるタングステンやモリブデンなどの金属、各種構造部材として使われる多結晶シリコンカーバイトなどのセラミックス、半導体デバイスウェハとなる単結晶シリコンや単結晶シリコンカーバイトなどの半導体素材、太陽電池ウェハとなる単結晶および多結晶シリコンなどの太陽電池素材などがある。
【００２０】
上記のうち、金属は比抵抗が十分低く、放電加工の適用に支障はないが、半導体素材および太陽電池素材で放電加工が可能であるのは、比抵抗が概ね１００Ωｃｍ以下、望ましくは１０Ωｃｍ以下の素材である。
【００２１】
したがって、被加工物１０としては、金属、もしくは比抵抗が金属と同等から１００Ωｃｍ以下、望ましくは１０Ωｃｍ以下の範囲の素材、特に上記範囲の比抵抗を有する半導体素材および太陽電池素材が好適である。
【００２２】
ここで、摺接導体９を切断ワイヤ部２１ごとに個別に給電治具７に保持することにより、摺接導体９に寸法誤差がある場合においても、各摺接導体９の位置に累積誤差が生じるのを防止することができる。
【００２３】
なお、図１の例では、１本のワイヤ電極２を４本のガイドローラ３ａ〜３ｄに巻回した例について示しているが、この場合に限らず、１本のワイヤ電極２から複数の切断ワイヤ部２１を形成するものであれば、その具体的な方法については特に限定されない。
【００２４】
実施の形態２．
図２は、図１のワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態２の概略構成を示す斜視図、図３は、図２の給電治具をｘ方向に沿って切断した構成を示す断面図である。図２および図３において、給電治具には、摺接導体６２の固定間隔を決める複数の基準面が形成された固定治具３２と、摺接導体６２を基準面に押し付ける押付治具３１が設けられている。
【００２５】
ここで、押付治具３１には、摺接導体６２および給電端子６１が挿入される開口部Ｚ１が所定の間隔で形成されている。固定治具３２には、摺接導体６２および給電端子６１が挿入される開口部Ｚ２が所定の間隔で形成されている。
【００２６】
摺接導体６２および給電端子６１は、摺接導体６２および給電端子６１が互いに接した状態で、開口部Ｚ１、Ｚ２に挿入することができる。ここで、給電端子６１は、摺接導体６２および給電端子６１が開口部Ｚ１、Ｚ２に挿入された時に、図１の加工電源ユニット５側に突出させることができる。摺接導体６２は、摺接導体６２および給電端子６１が開口部Ｚ１、Ｚ２に挿入された時に、図１のワイヤ電極２側に突出させることができる。
【００２７】
また、押付治具３１は、固定治具３２上に配置された状態で、開口部Ｚ１の配列方向（ｘ方向）にスライドさせることができる。また、開口部Ｚ１、Ｚ２のサイズは、摺接導体６２および給電端子６１が挿入された時に、開口部Ｚ１の配列方向（ｘ方向）に隙間ができるように設定することができる。
【００２８】
そして、摺接導体６２および給電端子６１が開口部Ｚ１、Ｚ２に挿入された状態で、押付治具３１をスライドさせることにより、摺接導体６２および給電端子６１を固定治具３２の各基準面に一斉に押し付けることができる。
【００２９】
これにより、摺接導体６２に寸法誤差がある場合においても、各摺接導体６２の位置に累積誤差が生じるのを防止しつつ、各摺接導体６２の位置決めを行うことが可能となる。このため、摺接導体６２の間隔を微調整することなく、切断ワイヤ部２１への給電を良好に保つことができる。
【００３０】
なお、押付治具３１および固定治具３２は、切断ワイヤ部２１に高い電圧を印加できるようにするため、セラミックまたは樹脂等の絶縁材料で構成するようにしてもよいし、表面にアルマイトを形成したアルミニウムまたは表面にエナメルを塗布したステンレスなど導体材料表面に絶縁材料を被膜した複合材料で構成するようにしてもよい。
【００３１】
また、摺接導体６２および給電端子６１は導体を用いることができ、特に、摺接導体６２は、ワイヤ走行による消耗を抑えるため、超硬合金などの硬い導体を用いてもよい。
【００３２】
実施の形態３．
図４は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態３の概略構成を示す断面図である。図４において、給電治具には、摺接導体６２の位置決めを行う固定治具７２と、摺接導体６２を固定治具７２に押し付ける押付治具７１が設けられている。
【００３３】
ここで、固定治具７２には、摺接導体６２の位置決めの基準面７３が形成され、押付治具７１には、摺接導体６２を押し付ける押付面７５が形成されている。また、押付治具７１には、摺接導体６２および給電端子６１が挿入される開口部Ｚ１１が所定の間隔で形成されている。固定治具７２には、摺接導体６２および給電端子６１が挿入される開口部Ｚ１２が所定の間隔で形成されている。そして、基準面７３は、開口部Ｚ１２の側面に配置されている。押付面７５は、開口部Ｚ１１の側面に配置されている。
【００３４】
また、押付治具７１には、押付治具７１の一部を開口部Ｚ１２に挿入させる段差が形成されている。固定治具７２には、固定治具７２の一部を開口部Ｚ１１に挿入させる段差が形成されている。
【００３５】
摺接導体６２および給電端子６１は、摺接導体６２および給電端子６１が互いに接した状態で、開口部Ｚ１１、Ｚ１２に挿入することができる。ここで、給電端子６１は、摺接導体６２および給電端子６１が開口部Ｚ１１、Ｚ１２に挿入された時に、図１の加工電源ユニット５側に突出させることができる。摺接導体６２は、摺接導体６２および給電端子６１が開口部Ｚ１１、Ｚ１２に挿入された時に、図１のワイヤ電極２側に突出させることができる。
【００３６】
また、押付治具７１は、固定治具７２上に配置された状態で、開口部Ｚ１１の配列方向（ｘ方向）にスライドさせることができる。また、開口部Ｚ１１、Ｚ１２のサイズは、摺接導体６２および給電端子６１が挿入された時に、開口部Ｚ１１の配列方向（ｘ方向）に隙間ができるように設定することができる。
【００３７】
そして、摺接導体６２および給電端子６１が開口部Ｚ１１、Ｚ１２に挿入された状態で、押付治具７１を押付方向７４（ｘ方向）にスライドさせることにより、摺接導体６２および給電端子６１を固定治具７２の各基準面７３に一斉に押し付けることができる。
【００３８】
これにより、摺接導体６２を各基準面７３に固定することができ、摺接導体６２に寸法誤差がある場合においても、摺接導体６２の間隔を一意に定めることができる。また、固定治具７２に前記摺接導体６２の固定間隔を決める複数の基準面７３を集約することで、基準面７３の間隔を容易に管理することができる。
【００３９】
また、押付治具７１の一部を開口部Ｚ１２に挿入させる段差を押付治具７１に形成することにより、押付面７５を拡大することが可能となるとともに、固定治具７２の一部を開口部Ｚ１１に挿入させる段差を固定治具７２に形成することにより、基準面７３を拡大することが可能となる。このため、摺接導体６２および給電端子６１を基準面７３に対して安定して固定することができる。
【００４０】
なお、摺接導体６２は、ワイヤ走行による消耗を抑えるため、超硬合金などの硬い導体を用いてもよい。また、押付治具７１および固定治具７２は、セラミックやプラスチックなどの絶縁体、あるいは導電体表面にアルマイトなどの絶縁体を塗布した部品を用いるようにしてもよい。これにより、摺接導体６２が押付治具７１および固定治具７２を介して導通するのを防止することができ、切断ワイヤ部２１に高い電圧を印加することが可能となる。
【００４１】
実施の形態４．
図５は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態４の概略構成を示す断面図である。図５において、給電治具には、摺接導体６２の位置決めを行う固定治具７２ａと、摺接導体６２を固定治具７２ａに押し付ける押付治具７１ａ〜７１ｃが設けられている。
【００４２】
ここで、固定治具７２ａには、摺接導体６２の位置決めの基準面７３が形成され、押付治具７１ａ〜７１ｃには、摺接導体６２を押し付ける押付面７５がそれぞれ形成されている。なお、押付治具７１ａ〜７１ｃは別体的に構成するようにしてもよいし、一体的に構成するようにしてもよい。
【００４３】
また、固定治具７２ａには、摺接導体６２および給電端子６１が挿入される開口部Ｚ２２が所定の間隔で形成されている。ここで、押付治具７１ａ〜７１ｃはそれぞれ楔状に形成されている。また、固定治具７２ａは、基準面７３ごとに楔状に形成されている。
【００４４】
摺接導体６２および給電端子６１は、摺接導体６２および給電端子６１が互いに接した状態で、開口部Ｚ２２に挿入することができる。ここで、給電端子６１は、摺接導体６２および給電端子６１が開口部Ｚ２２に挿入された時に、図１の加工電源ユニット５側に突出させることができる。摺接導体６２は、摺接導体６２および給電端子６１が開口部Ｚ２２に挿入された時に、図１のワイヤ電極２側に突出させることができる。
【００４５】
また、押付治具７１ａ〜７１ｃは、固定治具７２ａ上に配置された状態で、開口部Ｚ２２の配列方向（ｘ方向）にスライドさせることができる。また、開口部Ｚ２２のサイズは、摺接導体６２および給電端子６１が挿入された時に、開口部Ｚ２２の配列方向（ｘ方向）に隙間ができるように設定することができる。
【００４６】
そして、摺接導体６２および給電端子６１が開口部Ｚ２２に挿入された状態で、押付治具７１ａ〜７１ｃの楔と固定治具７２ａの楔がかみ合うように押付治具７１ａ〜７１ｃを固定治具７２ａに挿入する。そして、押付治具７１ａ〜７１ｃをスライドさせることにより、摺接導体６２および給電端子６１を固定治具７２ａの各基準面７３に一斉に押し付けることができる。
【００４７】
ここで、押付治具７１ａ〜７１ｃをそれぞれ楔状に形成し、固定治具７２ａは、基準面７３ごとに楔状に形成することにより、基準面７３に対して鉛直方向の強度を強化することができ、摺接導体６２を狭間隔で固定することが可能となる。
【００４８】
実施の形態５．
図６は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態５の概略構成を示す断面図である。図６において、この給電治具には、図５の摺接導体６２の代わりに、摺接導体６２ａが用いられている。ここで、摺接導体６２ａでは、図１のワイヤ電極２の摺接面にワイヤ電極２の直径よりも広く、ワイヤ電極２の半径よりも深い溝Ｍ１が形成されている。
【００４９】
ここで、摺接導体６２ａの摺接面に溝Ｍ１を形成することにより、各部品の寸法誤差を吸収し、ワイヤ電極２に良好に給電を行うことが可能になる。
【００５０】
なお、上述した実施の形態では、摺接面に溝Ｍ１が形成された摺接導体６２ａを図５の給電治具に用いる方法について説明したが、図３または図４の給電治具に用いるようにしてもよい。
【００５１】
実施の形態６．
図７は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態６の概略構成を示す断面図である。図７において、この給電治具では、図５の固定治具７２ａの代わりに固定治具７２ａ´が設けられている。また、この給電治具では、図５の摺接導体６２および給電端子６１の代わりに摺接導体６２´および給電端子６１´が設けられている。
【００５２】
ここで、固定治具７２ａ´、摺接導体６２´および給電端子６１´には、棒状体７７を通す穴が形成されている。なお、棒状体７７の軸方向の断面および摺接導体６２´の穴は、摺接導体６２´の摺接面が割り出し可能な形状として構成することができる。
【００５３】
そして、摺接導体６２´および給電端子６１´が開口部Ｚ２２に挿入された状態で、押付治具７１ａ〜７１ｃの楔と固定治具７２ａ´の楔がかみ合うように押付治具７１ａ〜７１ｃを固定治具７２ａ´に挿入する。そして、押付治具７１ａ〜７１ｃをスライドさせることにより、摺接導体６２´および給電端子６１´を固定治具７２ａ´の各基準面７３に一斉に押し付けることができる。
【００５４】
そして、固定治具７２ａ´、摺接導体６２´および給電端子６１´の穴に棒状体７７を通し、摺接導体６２´の摺接面が棒状体７７に対して等しい距離となるように、棒状体７７の両端をナットなどで固定することができる。
【００５５】
これにより、ワイヤ走行によって摺接導体６２´の摺接面が磨耗した場合においても、棒状体７７を回転させることで、摺接導体６２´の摺接面を同時に変更することが可能となる。
【００５６】
なお、上述した実施の形態では、図５の給電治具に棒状体７７を用いる方法について説明したが、図３、図４または図６の給電治具に用いるようにしてもよい。
【００５７】
また、棒状態７７は、押付治具７１および固定治具７２と同様、セラミックやプラスチックなどの絶縁体、あるいは導電体表面にアルマイトなどの絶縁体を塗布した部品を用いるようにしてもよい。
【００５８】
実施の形態７．
図８は、本発明に係るワイヤ放電加工装置に適用される給電治具の実施の形態７の概略構成を示す断面図である。図８において、給電治具には、摺接導体６２ａの位置決めを行う固定治具７２ｂと、摺接導体６２ａを固定治具７２ｂに押し付ける押付治具７１ｄが設けられている。
【００５９】
ここで、固定治具７２ｂには、摺接導体６２ａの位置決めの基準面７３が形成されている。また、固定治具７２ｂには、摺接導体６２ａおよび給電端子６１が挿入される開口部Ｚ３２が所定の間隔で形成されている。
【００６０】
また、押付治具７１ｄは、開口部Ｚ３２の配列方向（ｘ方向）に弾性のある材料にて構成され、例えば、圧縮バネなどを用いることができる。また、押付治具７１ｄは、開口部Ｚ３２に個別に挿入可能なように構成されている。
【００６１】
摺接導体６２ａおよび給電端子６１は、摺接導体６２ａおよび給電端子６１が互いに接した状態で、開口部Ｚ３２に挿入することができる。ここで、給電端子６１は、摺接導体６２ａおよび給電端子６１が開口部Ｚ３２に挿入された時に、図１の加工電源ユニット５側に突出させることができる。摺接導体６２ａは、摺接導体６２ａおよび給電端子６１が開口部Ｚ３２に挿入された時に、図１のワイヤ電極２側に突出させることができる。
【００６２】
また、開口部Ｚ３２のサイズは、摺接導体６２ａおよび給電端子６１が挿入された時に、押付治具７１ｄが挿入できるように開口部Ｚ３２の配列方向（ｘ方向）に隙間ができるように設定することができる。
【００６３】
そして、摺接導体６２ａおよび給電端子６１が開口部Ｚ３２に挿入された状態で、押付治具７１ｄを固定治具７２ｂの開口部Ｚ３２に挿入する。そして、固定治具７２ｂの弾性力にて摺接導体６２ａおよび給電端子６１を固定治具７２ｂの各基準面７３に押し付けることができる。
【００６４】
ここで、押付治具７１ｄを弾性体にて構成することにより、摺接導体６２ａおよび給電端子６１を基準面７３に対して個別に固定することが可能となる。
【００６５】
実施の形態８．
図９−１は本発明に係るワイヤ放電加工装置の実施の形態８の給電部の構成を示す斜視図である。この形態では、摺接導体９および図示しない加工電源と電気的に接続された給電端子８が２組の給電治具７ｃ、７ｄによって保持されている。ここで給電治具７ｃ、７ｄは、２つ以上の摺接導体９および給電端子８を保持するような構造を有している。その他の構成は実施の形態１から７のいずれかと同じである。
【００６６】
これにより、給電治具７ｃ、７ｄの固定位置をそれぞれ調整することで、各切断ワイヤへの給電が可能となる。
【００６７】
また各給電治具の固定位置は、図９−１のようにワイヤ張架方向に対して直角方向に整列して固定してもよいし、図９−２のように給電治具をワイヤ張架方向にずらして固定してもよい。
【００６８】
また、本実施の形態では、２つの給電治具により切断ワイヤ部２１に電圧を印加する例を示しているが、この場合に限らず、給電治具が押付治具３１および固定治具３２により構成されているものであれば、給電治具の具体的な数量および設置位置については特に限定しないものとする。
【００６９】
実施の形態９．
図１０は、本発明に係るワイヤ放電加工装置の実施の形態９の概略構成を示す斜視図である。図１０において、このワイヤ放電加工装置には、ワイヤ電極２を巻回することによりワイヤ電極２を並列させるガイドローラ３ａ〜３ｄ、ワイヤ電極２と被加工物１０の間に印加される電圧を供給する加工電源ユニット５および加工電源ユニット５から供給された電圧をワイヤ電極２に給電する給電治具７ａ、７ｂが設けられている。
【００７０】
給電治具７ａ、７ｂには、加工電源ユニット５から供給された電圧を給電ワイヤ部２２ごとに受ける給電端子８ａ、８ｂおよび切断ワイヤ部２１の両端に個別に摺接する摺接導体９ａ、９ｂが設けられている。そして、給電端子８ａ、８ｂと摺接導体９ａ、９ｂとは互いに接するようにして切断ワイヤ部２１ごとに個別に給電治具７ａ、７ｂに保持されている。その他の構成は実施の形態１と同じである。
【００７１】
これにより、被加工物の両端で給電する場合において、給電治具７ａ、７ｂによって摺接導体８ａ、８ｂの各々の位置に累積誤差が生じるのを防止し、各摺接導体８ａ，８ｂの位置決めを行うことが可能となる。このため、給電治具７ａ、７ｂの固定位置を各々調整することで被加工物の両端に設けた切断ワイヤ部２２への給電を良好に保つことができる。また、ガイドローラ３ａ、３ｄの間隔が広い場合でも切断ワイヤ部２１の両端の電位を等しくすることができ、給電状態を良好に保つことができる。
【００７２】
更に、本願発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。また、上記実施の形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出されうる。
【００７３】
例えば、上記実施の形態１乃至９それぞれに示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出されうる。更に、上記実施の形態１乃至９にわたる構成要件を適宜組み合わせてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
以上のように本発明に係るワイヤ放電加工装置は、摺接導体に寸法誤差がある場合においても、各摺接導体の位置に累積誤差が生じるのを防止しつつ、各摺接導体の位置決めを行うことが可能となり、１本のワイヤを複数のガイドローラ間で巻回させることによりワイヤを並列させ、並列させたワイヤ電極と被加工物との間で放電を発生させることにより、被加工物から一括して複数の薄板材を切り出す方法に適している。
【符号の説明】
【００７５】
１  ワイヤボビン
２  ワイヤ電極
２１  切断ワイヤ部
２２  給電ワイヤ部
３ａ〜３ｄ  ガイドローラ
４  ワイヤ回収ローラ
５  加工電源ユニット
５１  加工電源
６  給電線
８、８ａ、８ｂ、６１、６１´  給電端子
７、７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ  給電治具
３１、７１、７１ａ〜７１ｄ  押付治具
３２、７２、７２ａ、７２ａ´、７２ｂ  固定治具
７３  基準面
７４  押付方向
７５  押付面
７７  棒状体
９、９ａ、９ｂ、６２、６２´  摺接導体
１０  被加工物
Ｚ１、Ｚ２、Ｚ１１、Ｚ１２、Ｚ２２、Ｚ３２  開口部
Ｍ１  溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９−１】
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【図９−２】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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