(57)【要約】【課題】ゲル状部材を利用したダンパー部材の取扱いを容易としたダンパー機構、およびアクチュエータを提供すること。 【解決手段】アクチュエータ１は、固定体２と、可動体６と、固定体２に対して可動体６を直線的に駆動する磁気駆動機構１ａとを有しており、固定体２と可動体６との間には、ダンパー部材９を備えたダンパー機構１０が構成されている。ダンパー部材９では、ゲル状部材９５の一方側の面に第１シート部材９１が接合され、ゲル状部材９５の他方側の面には第２シート部材９２が接合されており、第１シート部材９１および第２シート部材９２は各々、可動体６および固定体２に接着されている。従って、ダンパー部材９は、アクチュエータ１を組み立てる際、自重等によって過度に撓みにくい。また、吸着ヘッド等がダンパー部材９を保持する際、ダンパー部材９を例えば、第１シート部材９１の側から保持することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定体と、
可動体と、
前記固定体と前記可動体との間で前記可動体および前記固定体の双方に接するように配置されたダンパー部材と、
を有し、
前記ダンパー部材は、ゲル状部材と、前記ゲル状部材の前記可動体および前記固定体のうちの一方側の面に接合された第１シート部材と、を有することを特徴とするダンパー機構。
【請求項２】
請求項１に記載のダンパー機構において、
前記第１シート部材は、前記可動体および前記固定体のうちの前記一方側と接着されていることを特徴とするダンパー機構。
【請求項３】
請求項１または２に記載のダンパー機構において、
前記ダンパー部材は、前記ゲル状部材の前記可動体および前記固定体のうちの他方側の面に接合された第２シート部材を有することを特徴とするダンパー機構。
【請求項４】
請求項３に記載のダンパー機構において、
前記第２シート部材は、前記可動体および前記固定体のうちの前記他方と接着されていることを特徴とするダンパー機構。
【請求項５】
請求項１から４までの何れか一項に記載のダンパー機構において、
前記ゲル状部材は、前記可動体と前記固定体との間で圧縮された状態にあることを特徴とするダンパー機構。
【請求項６】
請求項１から５までの何れか一項に記載のダンパー機構において、
前記ゲル状部材は、シリコーンゲルからなることを特徴とするダンパー機構。
【請求項７】
請求項１から６までの何れか一項に記載のダンパー機構において、
前記ダンパー部材は、板状であることを特徴とするダンパー機構。
【請求項８】
請求項１から６までの何れか一項に記載のダンパー機構において、
前記ダンパー部材は、筒状であることを特徴とするダンパー機構。
【請求項９】
請求項１から８までの何れか一項に記載のダンパー機構を備えたアクチュエータであって、
前記固定体に対して前記可動体を相対移動させる磁気駆動機構を有することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１０】
可動体に接するように配置されたダンパー部材を備えたダンパー機構であって、
前記ダンパー部材は、ゲル状部材と、前記ゲル状部材の前記可動体側の面に接合されたシート部材と、を有することを特徴とするダンパー機構。
【請求項１１】
請求項１０に記載のダンパー機構において、
前記シート部材は、前記可動体に接着されていることを特徴とするダンパー機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ゲル状部材を備えたダンパー機構、およびアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、筒状のコイルを保持する固定体と、固定体に対してダンパー部材を介して支持された可動体とを有するアクチュエータが提案されており、可動体には永久磁石が設けられる。また、アクチュエータには、可動体と固定体との間にシリコーンゲル等のゲル状部材が設けられ、ゲル状部材によってダンパー機構が構成されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−６０２０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、シリコーンゲル等のゲル状部材は、自重等によって容易に撓むとともに、それ自身が吸着性を有するため、ダンパー部材の取扱いに多大な手間がかかる。例えば、吸着ヘッドがゲル状部材を背面側から保持して、ゲル状部材を可動体または固定体に配置した後、吸着ヘッドがゲル状部材から離間しようとした際、ゲル状部材が吸着ヘッドに吸着してしまい、ゲル状部材が可動体または固定体から離れてしまう。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明は、ゲル状部材を利用したダンパー部材の取扱いを容易としたダンパー機構、およびアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係るダンパー機構の一態様は、固定体と、可動体と、前記固定体と前記可動体との間で前記可動体および前記固定体の双方に接するように配置されたダンパー部材と、を有し、前記ダンパー部材は、ゲル状部材と、前記ゲル状部材の前記可動体および前記固定体のうちの一方側の面に接合された第１シート部材と、を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明において、ダンパー部材は、ゲル状部材を備えているが、ゲル状部材の一方側の面には第１シート部材が接合されている。このため、ダンパー部材は、ダンパー機構を組み立てる際、自重等によって過度に撓みにくい。また、吸着ヘッド等がダンパー部材を保持する際、ダンパー部材を第１シート部材の側から保持することができ、吸着ヘッド等がゲル状部材に接しない。従って、ダンパー部材が吸着ヘッド等に吸着する等の事態が発生しにくい。それ故、ゲル状部材を利用したダンパー部材の取扱いが容易である。
【０００８】
本発明において、前記第１シート部材は、前記可動体および前記固定体のうちの前記一方側と接着されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、ダンパー部材を接着する場合でも、第１シート部材を接着することができる。このため、ゲル状部材は接着しにくいという性質を有する場合でも、ダンパー部材を容易に接着することができる。
【０００９】
本発明において、前記ダンパー部材は、前記ゲル状部材の前記可動体および前記固定体
のうちの他方側の面に接合された第２シート部材を有する態様を採用することができる。かかる態様によれば、吸着ヘッド等がダンパー部材を保持する際、ダンパー部材を第１シート部材の側、および第２シート部材の側のいずれの側から保持した場合でも、吸着ヘッド等がゲル状部材に接しない。従って、ダンパー部材が吸着ヘッド等に吸着する等の事態が発生しにくい。それ故、ゲル状部材を利用したダンパー部材の取扱いが容易である。
【００１０】
本発明において、前記第２シート部材は、前記可動体および前記固定体のうちの前記他方と接着されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、ダンパー部材を接着する場合でも、第２シート部材を接着することができる。このため、ゲル状部材は接着しにくいという性質を有する場合でも、ダンパー部材を容易に接着することができる。
【００１１】
本発明において、前記ゲル状部材は、前記可動体と前記固定体との間で圧縮された状態にある態様を採用することができる。
【００１２】
本発明において、前記ゲル状部材は、シリコーンゲルからなる態様を採用することができる。
【００１３】
本発明において、前記ダンパー部材は、板状である態様を採用することができる。
【００１４】
本発明において、前記ダンパー部材は、筒状である態様を採用することができる。
【００１５】
本発明を適用したダンパー機構はアクチュエータに構成することができる。この場合、アクチュエータは、前記固定体に対して前記可動体を相対移動させる磁気駆動機構を有している。
【００１６】
本発明の別態様は、可動体に接するように配置されたダンパー部材を備えたダンパー機構であって、前記ダンパー部材は、ゲル状部材と、前記ゲル状部材の前記可動体側の面に接合されたシート部材と、を有することを特徴とする。
【００１７】
本発明の別態様において、ダンパー部材は、ゲル状部材を備えているが、ゲル状部材の可動体側の面にはシート部材が接合されている。このため、ダンパー部材は、ダンパー機構を組み立てる際、自重等によって過度に撓みにくい。また、吸着ヘッド等がダンパー部材を保持する際、ダンパー部材をシート部材の側から保持することができ、吸着ヘッド等がゲル状部材に接しない。従って、ダンパー部材が吸着ヘッド等に吸着する等の事態が発生しにくい。それ故、ゲル状部材を利用したダンパー部材の取扱いが容易である。
【００１８】
この場合、前記シート部材は、前記可動体に接着されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、ダンパー部材を接着する場合でも、シート部材を接着することができる。このため、ゲル状部材は接着しにくいという性質を有する場合でも、ダンパー部材を容易に接着することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るダンパー機構、およびアクチュエータにおいて、ダンパー部材は、ゲル状部材を備えているが、ゲル状部材にはシート部材が接合されている。このため、ダンパー部材は、ダンパー機構を組み立てる際、自重等によって過度に撓みにくい。また、吸着ヘッド等がダンパー部材を保持する際、ダンパー部材をシート部材の側から保持することができ、吸着ヘッド等がゲル状部材に接しない。従って、ダンパー部材が吸着ヘッド等に吸着する等の事態が発生しにくい。それ故、ゲル状部材を利用したダンパー部材の取扱いが容易である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態１に係るアクチュエータの一態様を示す斜視図である。
【図２】図１に示すアクチュエータのＹＺ断面図である。
【図３】図１に示すアクチュエータの分解斜視図である。
【図４】図１に示すアクチュエータを固定体と可動体とに分解した分解斜視図である。
【図５】図４に示す固定体を第１方向の他方側からみた分解斜視図である。
【図６】図２等に示すダンパー部材の斜視図である。
【図７】図６に示すダンパー部材の製造装置の説明図である。
【図８】図６に示すダンパー部材を製造する方法を示す説明図である。
【図９】本発明の実施形態２に係るアクチュエータの一態様に示す斜視図である。
【図１０】図９に示すアクチュエータの断面を模式的に示す分解斜視図である。
【図１１】図９に示すアクチュエータの分解斜視図である。
【図１２】本発明の実施形態３に係るアクチュエータの分解斜視図である。
【図１３】図１２に示すダンパー部材の製造方法を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の説明では、コイルを保持する一方側部材が支持体であって、永久磁石を保持する他方側部材が可動体である場合を中心に説明する。
【００２２】
［実施形態１］
本実施形態の説明において、可動体６の直動方向振動方向）にＸを付し、第２方向Ｘと交差する第１方向にＺを付し、第１方向Ｚおよび第２方向Ｘに対して交差する第３方向にＹを付して説明する。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付して説明する。
【００２３】
（全体構成）
図１は、本発明の実施形態１に係るアクチュエータ１の一態様を示す斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＹＺ断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図４は、図１に示すアクチュエータ１を固定体２と可動体６とに分解した分解斜視図である。図５は、図４に示す固定体２を第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみた分解斜視図である。
【００２４】
図１に示すアクチュエータ１は、アクチュエータ１を手にした利用者に対して第２方向Ｘの振動によって情報を報知する。従って、アクチュエータ１は、ゲーム機の操作部材等として利用することができ、振動等によって新たな感覚を実感することができる。
【００２５】
図２、図３、図４および図５に示すように、アクチュエータ１は、アクチュエータ１の外形を規定する角形のケース３等を含む固定体２と、ケース３の内部で固定体２に対して第２方向Ｘに移動可能に支持された可動体６とを有しており、可動体６が第２方向Ｘに振動することによって情報を出力する。
【００２６】
固定体２は、ケース３、コイルホルダ４、コイル５、給電基板１１を有しており、可動体６は、永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）、およびヨーク（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を有している。コイル５および永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）は、可動体６を固定体２に対して相対移動させる磁気駆動機構１ａを構成している。可動体６は、可動体６と固定体２との間に設けられたダンパー部材９を介して固定体２に支持されており、ダンパー部材９は、可動体６と固定体２との間にダンパー機構１０を構成している。
【００２７】
（可動体６の構成）
図２、図３および図４に示すように、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置された第１ヨーク８１と、コイル５に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向するように第１ヨーク８１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に保持された平板状の第１永久磁石７１とを有している。また、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された第２ヨーク８２と、コイル５に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向するように第２ヨーク８２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面に保持された平板状の第２永久磁石７２とを有している。本実施形態において、可動体６は、第１ヨーク８１、第１永久磁石７１、第２ヨーク８２、および第２永久磁石７２によって構成されている。
【００２８】
第１ヨーク８１は、第１永久磁石７１が固定された平板部８１１と、平板部８１１の第２方向Ｘの両側の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がった一対の連結部８１２とを有している。第２ヨーク８２は、第２永久磁石７２が固定された平板部８２１を有しており、平板部８２１の第３方向Ｙの中間部分には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２に張り出した一対の張り出し部８２２を有している。一対の張り出し部８２２には、第１ヨーク８１の一対の連結部８１２が溶接等の方法で連結されている。第１永久磁石７１および第２永久磁石７２は各々、第１方向の一方側Ｘ１と第１方向の他方側Ｘ２とが異なる極に着磁されている。
【００２９】
（固定体２の構成）
図１および図２に示すように、固定体２において、ケース３は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１ケース部材３１と、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第１ケース部材３１と重なる第２ケース部材３２とを有しており、第１ケース部材３１の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３１１に、第２ケース部材３２の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３２１が各々、連結されてケース３を構成する。その際、第１ケース部材３１と第２ケース部材３２との間には、図２および図５に示すコイルホルダ４、コイル５および可動体６が収容される。
【００３０】
図５に示すように、コイル５は、長円状に巻回された環状の平面形状を有する空芯コイルであり、コイルホルダ４に保持されている。コイル５は、第２方向Ｘで並列して第３方向Ｙに延在する２つの長辺部５１と、２つの長辺部５１の第３方向Ｙの両端を繋ぐ円弧状の２つの短辺部５２とを備えている。このように構成したコイル５に対して、長辺部５１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１で第１永久磁石７１が対向し、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第２永久磁石７２が対向している。コイルホルダ４は、コイル５が内側に配置される長円状の貫通穴からなるコイル配置穴４１０が第１方向Ｚで開口する板部４１を有している。
【００３１】
板部４１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部４１１において、第３方向Ｙの一方側Ｙ１の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて側板部４１３が突出し、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１４、４１５が突出している。側板部４１４、４１５の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部４１４ｂ、４１５ｂが形成されている。側板部４１４、４１５の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１にも同様な溝状の凹部（図示せず）が形成されている。
【００３２】
板部４１の第３方向Ｙの他方側Ｙ２の端部４１２において、第３方向Ｙの他方側Ｙ２の縁、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１７、４１８、４１９が突出している。側板部４１８、４１９の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部４１８ｂ、４１９ｂが形成されている。また、側板部
４１８、４１９の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１にも同様な溝状の凹部（図示せず）が形成されている。
【００３３】
側板部４１４、４１５にはスリット４１４ｔ、４１５ｔが形成されている。スリット４１４ｔ、４１５ｔには、給電基板１１の両側の端部１１ａ、１１ｂが保持されている。給電基板１１には、コイル５を構成するコイル線の端部５６、５７がハンダ等により接続されている。
【００３４】
（第１プレート４７および第２プレート４８の構成）
図２、図４、および図５に示すように、固定体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なる第１プレート４７を有しており、少なくともコイル５の空芯部５０に充填された接着剤２０によって、コイル５は、第１プレート４７および板部４１に固定されている。従って、コイル５は、第１プレート４７を介して第１永久磁石７１と第１方向Ｚで対向している。また、接着剤２０によって、第１プレート４７は板部４１に固定されている。
【００３５】
また、固定体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２プレート４８を有しており、少なくともコイル５の空芯部５０に充填された接着剤２０によって、コイル５は、第２プレート４８に固定されている。従って、コイル５は、第２プレート４８を介して第２永久磁石７２と第１方向Ｚで対向している。また、接着剤２０によって、第２プレート４８は板部４１に固定されている。
【００３６】
第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性材料からなる。本実施形態において、第１プレート４７および第２プレート４８は、金属板からなる。より具体的には、第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性のステンレンス板からなる。
【００３７】
第１プレート４７は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に斜めに突出した爪状の凸部４７２を有しており、凸部４７２は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部（図示せず）の内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持されている。第２プレート４８は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に斜めに突出した爪状の凸部４８２を有しており、凸部４８２は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持されている。
【００３８】
このように、本実施形態のアクチュエータ１は、コイルホルダ４の板部４１を第１方向Ｚで貫通するコイル配置穴４１０の内側にコイル５が配置されているとともに、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なるように第１プレート４７が配置されている。このため、コイル５の空芯部５０に接着剤２０を充填すると、接着剤２０は、コイル５とコイルホルダ４との間、コイル５と第１プレート４７との間、および第１プレート４７とコイルホルダ４との間に流れ込む。従って、接着剤２０を硬化させると、コイル５、第１プレート４７、およびコイルホルダ４が接着剤２０によって固定される。このため、コイル５の外周面とコイル配置穴４１０の内周面との隙間に接着剤を流し込む場合と違って、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０に配置したコイル５をコイルホルダ４と適正に接着することができる。また、第１永久磁石７１とコイル５との間には第１プレート４７が介在する。このため、可動体６が第１方向Ｚの一方側Ｚ１に移動した場合でも、第１永久磁石７１とコイル５とが直接、接触することがないので、コイル５が損傷しにくい。また、第２永久磁石７２とコイル５との間に第２プレート４８が介在する。このため、可動体６が第１方向Ｚの他方側Ｚ２に移動した場合でも、第２永久磁石７２とコイル５とが直接、接触することがないので、コイル５が損傷しにくい。また、第１プレート４７および第２プレート４８は、金属板からなるため、コイル５で発生した熱を第１
プレート４７および第２プレート４８を介して効率よく逃がすことができる。
【００３９】
（ダンパー部材９の構成）
図２、図３、図４および図５に示すように、可動体６は、可動体６と固定体２との間に設けられたダンパー部材９によって第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動可能に支持されている。従って、可動体６と固定体２との間は、可動体６を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動可能に支持する板バネ等が配置されていない。それ故、固定体２に対する可動体６の共振周波数は、ダンパー部材９によって制御されている。
【００４０】
ダンパー部材９は、第１ヨーク８１と第１プレート４７とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。また、ダンパー部材９は、第２ヨーク８２と第２プレート４８とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。従って、板状バネ等を用いずに、可動体６を第２方向Ｘに移動可能に支持することができる。本実施形態において、ダンパー部材９は板状である。より詳しくは、ダンパー部材９は平板状である。
【００４１】
（ダンパー部材９の詳細構成）
図６は、図２等に示すダンパー部材９の斜視図である。図６に示すように、ダンパー部材９は、ゲル状部材９５と、ゲル状部材９５の可動体６および固定体２のうちの一方側の面に接合された第１シート部材９１とを有している。また、ダンパー部材９は、ゲル状部材９５の可動体６および固定体２の他方側の面に接合された第２シート部材９２を有している。従って、ダンパー部材９は、第１シート部材９１が可動体６に接し、第２シート部材９２が固定体２に接している。本実施形態において、ダンパー部材９は、第１シート部材９１が可動体６に接着され、第２シート部材９２が固定体２に接着されている。本実施形態において、ダンパー部材９は、ゲル状部材９５が厚さ方向に圧縮された状態で可動体６と固定体２との間に配置されている。
【００４２】
ゲル状部材９５は、シリコーンゲル等からなる。例えば、ゲル状部材９５は、ベースポリマーがオルガノポリシロキサンであるシリコーンゲルである。ゲル状部材９５は、例えば、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、ＪＩＳ−Ｋ−２２０７やＪＩＳ−Ｋ−２２２０で規定されているように、２５℃で９．３８ｇの総荷重をかけた１／４コーンの針が５秒間に入り込む深さを１／１０ｍｍ単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。
【００４３】
第１シート部材９１および第２シート部材９２は各々、プラスチックシート、金属シート、金属シートとプラスチックシートとの積層シート等からなり、ゲル状部材９５より薄い。プラスチックシートとしては、ポリエチレンテレフタレート、アクリル樹脂、ポリエーテルエーテルケトン等からなるシートを用いることができる。
【００４４】
第１シート部材９１および第２シート部材９２は各々、可撓性を有しており、ゲル状部材９５との結合によって、ゲル状部材９５に接合されている。第１シート部材９１および第２シート部材９２は、ゲル状部材９５と一緒に裁断されたシートである。従って、第１シート部材９１および第２シート部材９２は、ゲル状部材９５とサイズが同一または略同一である。
【００４５】
（動作）
本実施形態のアクチュエータ１において、給電基板１１を介して外部（上位の機器）からコイル５に給電すると、コイル５、第１永久磁石７１および第２永久磁石７２を備えた磁気駆動機構１ａによって、可動体６が第２方向Ｘに往復移動する。従って、アクチュエータ１を手に持っていた利用者は、アクチュエータ１からの振動によって情報を得ることができる。その際、コイル５に印加される信号波形については、例えば、伝達すべき情報
によって、周波数を変化させる。また、コイル５に印加される信号波形については極性を反転させるが、その際、駆動信号の極性が負の期間と正の期間とにおいて電圧の変化に対して緩急の差を設ける。その結果、可動体６が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する際の加速度と可動体６が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動する際の加速度との間に差が発生する。従って、利用者に対して、アクチュエータ１が第２方向Ｘの一方側Ｘ１あるいは他方側Ｘ２に移動するような感覚を得ることができる。
【００４６】
また、可動体６と固定体２との間にはゲル状部材９５を備えたダンパー部材９が設けられているため、可動体６が共振することを抑制することができる。ここで、ダンパー部材９は、第１プレート４７と第１ヨーク８１との間、および第２プレート４８と第２ヨーク８２との間に設けられている。従って、ダンパー部材９を設けるのにケース３が用いられていない。このため、ケース３を用いなくても、固定体２と可動体６との間にダンパー部材９を設けることができる。それ故、ケース３を設けていない組み立て途中の段階でダンパー部材９を設けることができるので、製造途中にダンパー特性を含む振動特性を測定することができる。また、ダンパー部材９を設けるのにケース３が用いられていないので、ケース３を有しないアクチュエータにダンパー部材を設けることができる。
【００４７】
また、ダンパー部材９は、固定体２と可動体６とにおいて第２方向Ｘ（振動方向）に対して交差する第１方向Ｚで対向する位置に設けられているため、ゲル状部材９５は、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、ゲル状部材９５のせん断方向に変形して共振を防止する。このため、可動体６が第２方向Ｘに振動しても、ゲル状部材９５の弾性率の変化が小さいので、可動体６の共振を効果的に抑制することができる。すなわち、ゲル状部材９５は、粘弾性部材であって、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、ゲル状部材９５は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。また、ゲル状部材９５は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。本実施形態において、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、ゲル状部材９５は、せん断方向に変形するように構成されている。従って、ゲル状部材９５では、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、ゲル状部材９５のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。
【００４８】
（ダンパー部材９の製造方法）
図７は、図６に示すダンパー部材９の製造装置の説明図である。図８は、図６に示すダンパー部材９を製造する方法を示す説明図である。なお、ダンパー部材９を製造する際には、ダンパー機構１０に用いるサイズで製造することがある他、ダンパー機構１０に用いるサイズより大きなサイズで製造し、その後、裁断することもある。以下の説明では、後者の態様を説明するが、サイズに係わらず、「ダンパー部材９」「第１シート部材９１」「第２シート部材９２」「ゲル状部材９５」として説明する。
【００４９】
図７および図８に示すように、製造装置は、第１型部材９６、スペーサ９８、および第２型部材９７を備えている。第１型部材９６および第２型部材９７は、ガラス板等からなり、平板状である。スペーサ９８は、図８を参照して後述する充填工程ＳＴ２で下方に位置する底板部９８０と、底板部９８０の延在方向Ａの一方端９８０ａから延在方向Ａと交差する一方方向Ｂに延在する第１側板部９８１と、底板部９８０の延在方向Ａの他方端９８０ｂから一方方向Ｂに延在する第２側板部９８２とを有している。第１側板部９８１の
底板部９８０とは反対側の端部９８１ａと第２側板部９８２の底板部８０とは反対側の端部９８２ａとの間が充填口９８５となる。なお、本実施形態では、スペーサ９８の補強用に上板９８４も用いる。
【００５０】
ダンパー部材９を製造するには、図８に示す組立工程ＳＴ１において、第１型部材９６に空隙９８８を介して対向するように第２型部材９７を配置する。その際、第１型部材９６の空隙９８８側の面９６０に沿うように第１シート部材９１を設け、第２型部材９７の空隙９８８側の面９７０に沿うように第２シート部材９２を設ける。第１型部材９６と第１シート部材９１との間、および第２型部材９７と第２シート部材９２との間に、イソプロピルアルコール、２−ブタノール、１−プロパノール等の揮発性の有機溶剤（図示せず）を介在させれば、有機溶剤の表面張力によって、第１型部材９６と第１シート部材９１とを密着させ、第２型部材９７と第２シート部材９２とを密着させることができる。
【００５１】
本実施形態では、第１シート部材９１と第２シート部材９２との間にスペーサ９８を設ける。その結果、スペーサ９８は、充填口９８５を残して空隙９８８の周りを囲んだ状態となる。かかる状態は、拘束部材（図示せず）等によって、第１型部材９６と第２型部材９７とを両側から締め付けることによって維持される。スペーサ９８は、少なくとも、空隙９８８側の面が４フッ化エチレン樹脂等のフッ素樹脂からなる。本実施形態において、スペーサ９８は、全体がフッ素樹脂からなる。但し、スペーサ９８は、空隙９８８側の面あるいは全体が、ポリアセタール樹脂等の樹脂から態様や、鉄やアルミニウム等の金属材料からなる態様であってもよい。
【００５２】
本実施形態において、第１シート部材９１、および第２シート部材９２は、スペーサ９８の充填口９８５が位置する側の端部９１５、９２５が突出している。従って、充填工程ＳＴ２では、端部９１５、９２５から充填口９８５を介して空隙９８８に硬化前の液状ゲル材料９５ａを充填した後、充填口９８５を上板９８４で塞ぐ。液状ゲル材料９５ａは、例えば、２液混合型であり、常温硬化性を有している。液状ゲル材料９５ａは、例えば、付加反応型のシリコーンゲルを用いたが、縮合反応型のシリコーンゲルを用いることもできる。
【００５３】
次に、硬化工程ＳＴ３では、液状ゲル材料９５ａを硬化させ、ゲル状部材９５とする。その結果、第１シート部材９１、および第２シート部材９２は、ゲル状部材９５との結合によってゲル状部材９５に接合される。より具体的には、液状ゲル材料９５ａは、シラノール基等の活性基を有するシリコーンポリマーと、活性基を利用してシリコーンポリマーを架橋させる架橋剤とを含んでおり、架橋剤は、シリコーンポリマーを架橋させて液状ゲル材料９５ａを硬化させるとともに、ゲル状部材９５を第１シート部材９１および第２シート部材９２と結合させる。液状ゲル材料９５ａを硬化させる際、液状ゲル材料９５ａを加熱することもある。いずれの場合も、第１型部材９６と第１シート部材９１との間、および第２型部材９７と第２シート部材９２との間から有機溶剤が蒸発して逃げる。
【００５４】
次に、離型工程ＳＴ４では第１型部材９６、第２型部材９７、およびスペーサ９８を取り外す。そして、ダンパー機構１０に用いる際、ダンパー部材９を所定のサイズに裁断する。
【００５５】
第１シート部材９１および第２シート部材９２がプラスチックシートである場合、ゲル状部材９５が接する側の面にプラズマ処理、ＵＶ処理、シリコーン処理等を施しておけば、第１シート部材９１および第２シート部材９２のゲル状部材９５に対する接合強度を高めることができる。
【００５６】
（本実施形態の主な効果）
以上説明したように、本実施形態では、ダンパー部材９は、ゲル状部材９５を備えているが、ゲル状部材９５の一方側の面には第１シート部材９１が接合され、ゲル状部材９５の他方側の面には第２シート部材９２が接合されている。このため、ダンパー部材９は、アクチュエータ１を組み立てる際、自重等によって過度に撓みにくい。また、アクチュエータ１の組み立て工程において、吸着ヘッド等がダンパー部材９を保持する際、ダンパー部材９を第１シート部材９１の側、あるいは第２シート部材９２の側から保持することができ、吸着ヘッド等がゲル状部材９５に接しない。従って、ダンパー部材９が吸着ヘッド等に吸着する等の事態が発生しにくい。それ故、ゲル状部材９５を利用したダンパー部材９の取扱いが容易である。
【００５７】
また、ダンパー部材９では、第１シート部材９１および第２シート部材９２が各々、可動体６および固定体２と接着されている。このため、ゲル状部材９５は接着しにくいという性質を有する場合でも、ダンパー部材９を容易に接着することができる。
【００５８】
［実施形態２］
以下の説明において、可動体６の中心軸線を軸線Ｌとし、かかる軸線Ｌに沿う方向に可動体６を駆動する場合を説明する。従って、可動体６の駆動方向は、軸線Ｌに沿う方向である。また、以下の説明では、軸線Ｌが延在する方向（駆動方向）の一方側にＬ１を付し、他方側にＬ２を付してある。また、本実施形態のアクチュエータ１の基本的な構成は、実施形態１と同様であるため、対応する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００５９】
（全体構成）
図９は、本発明の実施形態２に係るアクチュエータ１の一態様に示す斜視図である。図１０は、図９に示すアクチュエータ１の断面を模式的に示す分解斜視図である。図１１は、図９に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。
【００６０】
図９、図１０および図１１に示すように、本実施形態のアクチュエータ１は、固定体２と、可動体６と、固定体２に対して可動体６を軸線Ｌに沿って直線的に駆動する磁気駆動機構１ｂとを有している。磁気駆動機構１ｂは、可動体６に設けられた永久磁石７３と、固定体２に設けられたコイル５５とを備えている。アクチュエータ１は、固定体２と可動体６との間に設けられたダンパー部材９を有しており、ダンパー部材９は、固定体２と可動体６との間にダンパー機構１０を構成している。なお、固定体２と可動体６との間にバネ部材等を設けてもよいが、本実施形態においては、固定体２と可動体６との間にバネ部材等が設けられておらず、可動体６は、ダンパー部材９のみを介して軸線Ｌ方向に移動可能に固定体２に支持されている。
【００６１】
（固定体２の構成）
固定体２は、筒状のケース３０と、ケース３０の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐホルダ４５とを有している。ケース３０は、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に位置する端板部３６と、端板部３６の外縁から軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に向かって延在する胴部３７とを有しており、端板部３６において、軸線Ｌが通る部分は開口部３６０になっている。ホルダ４５は、胴部３７に固定された底板部４５１と、底板部４５１の中央から軸線Ｌ方向の一方側Ｌ１に突出した円筒部４５２とを有している。円筒部４２の外径は、ケース３０の胴部３７より小さい。本実施形態において、端板部３６および底板部４５１は、円形であり、胴部３７は円筒状である。
【００６２】
（可動体６の構成）
可動体６は、第１ヨーク６３を有しており、第１ヨーク６３は、軸線Ｌ方向の一方側Ｌ
１に位置する端板部６３１と、端板部６３１の外縁から軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２に向かって延在する胴部６３２とを有している。胴部６３２は、ケース３０の胴部３７より小さい。このため、胴部６３２は、ケース３０の胴部３７の内側に位置する。第１ヨーク６３は、ケース３０の開口部３６０より小さい。このため、可動体６が軸線Ｌ方向に移動してもケース３０と干渉しない。胴部６３２は、ホルダ４５の円筒部４５２の外径より大きい。このため、胴部６３２は、ホルダ４５の円筒部４５２より外側に位置する。
【００６３】
（磁気駆動機構１ｂａの構成）
磁気駆動機構１ｂにおいて、永久磁石７３は、第１ヨーク６３の胴部６３２の内側で端板部６３１の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の面に接着等の方法で固定されている。永久磁石７３は、円柱状であり、軸線Ｌ方向（駆動方向）においてＮ極とＳ極とが隣り合うように着磁されている。永久磁石７３の軸線Ｌ方向の他方側Ｌ２の面には、円板状の第２ヨーク６４が接着等の方法で接合されている。
【００６４】
コイル５５は、ホルダ４５の円筒部４５２の外周面のうち、底板部４５１の側（根元側）の周りに保持されており、第１ヨーク６３の胴部６３２の内側で、コイル５５を介して第２ヨーク６４に径方向外側で対向している。
【００６５】
（ダンパー部材９の構成）
ダンパー機構１０において、ダンパー部材９は、固定体２と可動体６との間で、磁気駆動機構１ｂによる駆動方向（軸線Ｌ方向）に対して直交する方向で対向する部分に配置されている。本実施形態において、ケース３０の胴部３７は円筒状であり、第１ヨーク６３の胴部６３２は円筒状であり、胴部３７と胴部６３２とは、軸線Ｌ周りの全周にわたって対向している。本実施形態において、ダンパー部材９は、円弧状に湾曲した板状であり、周方向の２カ所に配置されている。
【００６６】
ダンパー部材９は、厚さ方向の一方面が第１ヨーク６３の胴部６２３に接し、厚さ方向の他方面がケース３０の胴部３７に接している。本実施形態において、ダンパー部材９は、厚さ方向の一方面が第１ヨーク６３の胴部６３２に接着され、厚さ方向の他方面がケース３０の胴部３７に接着されている。
【００６７】
本実施形態において、ダンパー部材９は、実施形態１と形状は相違するが、実施形態１と同様、ゲル状部材９５と、ゲル状部材９５の可動体６および固定体２のうちの一方側の面に接合された第１シート部材９１とを有している。また、ダンパー部材９は、ゲル状部材９５の可動体６および固定体２の他方側の面によって接合された第２シート部材９２を有している。より具体的には、ダンパー部材９は、ゲル状部材９５と、ゲル状部材９５の第１ヨーク６３の胴部６３２側の面に接合された第１シート部材９１と、ゲル状部材９５のケース３０の胴部３７側の面に接合された第２シート部材９２とを有している。従って、ダンパー部材９は、第１シート部材９１が第１ヨーク６３の胴部６３２に接し、第２シート部材９２がケース３０の胴部３７に接している。本実施形態において、ダンパー部材９は、第１シート部材９１が第１ヨーク６３の胴部６３２に接着され、第２シート部材９２がケース３０の胴部３７に接着されている。本実施形態において、第１シート部材９１および第２シート部材９２は、ゲル状部材９５と一緒に裁断されたシートである。
【００６８】
このように構成したダンパー部材９は、図７および図８等を参照して説明した方法でダンパー部材９を構成した後、第１シート部材９１、ゲル状部材９５、および第２シート部材９２を裁断し、その後、湾曲させたものである。このため、第１シート部材９１および第２シート部材９２は、ゲル状部材９５とサイズが同一または略同一である。
【００６９】
また、本実施形態のダンパー部材９は、図７および図８等を参照して説明した方法でダ
ンパー部材９を製造する際、円弧状に湾曲した第１型部材９６および第２型部材９７を用い、第１型部材９６と第２型部材９７との間に配置した第１シート部材９１と第２シート部材９２との間でゲル状部材９５を成形したものであってもよい。この場合、第１シート部材９１は、第２シート部材９２より周長が短い。
【００７０】
（本実施形態の作用、効果）
本実施形態のアクチュエータ１において、コイル５５への通電を制御すると、可動体６は、矢印Ｆ１、Ｆ２で示すように、軸線Ｌ方向に沿って振動する。その際、ダンパー部材９では、ゲル状部材９５がせん断変形する。また、本実施形態でも、実施形態１と同様、ダンパー部材９は、アクチュエータ１を組み立てる際、自重等によって過度に撓みにくい。また、吸着ヘッド等がダンパー部材９を保持する際、ダンパー部材９を第１シート部材９１の側、あるいは第２シート部材９２の側から保持することができ、吸着ヘッド等がゲル状部材９５に接しない。従って、ダンパー部材９が吸着ヘッド等に吸着する等の事態が発生しにくい。また、ダンパー部材９では、第１シート部材９１および第２シート部材９２が各々、可動体６および固定体２と接着されている。このため、ゲル状部材９５は接着しにくいという性質を有する場合でも、ダンパー部材９を容易に接着することができる等、実施形態１と同様な効果を奏する。
【００７１】
［実施形態３］
図１２は、本発明の実施形態３に係るアクチュエータ１の分解斜視図である。図１３は、図１２に示すダンパー部材９の製造方法を示す説明図である。なお、本実施形態のアクチュエータ１の基本的な構成は、実施形態２と同様であるため、対応する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。また、本実施形態のアクチュエータ１の外観は、実施形態２の説明で参照した図９と同様であり、断面は、実施形態２の説明で参照した図１０に示す断面と同様である。このため、図９、図１０および図１２を参照してアクチュエータ１を説明する。
【００７２】
図９、図１０および図１２に示すように、本実施形態のアクチュエータ１は、実施形態２と同様、固定体２と、可動体６と、固定体２に対して可動体６を軸線Ｌに沿って直線的に駆動する磁気駆動機構１ｂとを有している。磁気駆動機構１ｂは、可動体６に設けられた永久磁石７３と、固定体２に設けられたコイル５５とを備えている。アクチュエータ１は、固定体２と可動体６との間に設けられたダンパー部材９を有しており、ダンパー部材９は、固定体２と可動体６との間にダンパー機構１０を構成している。
【００７３】
本実施形態において、ケース３０の胴部３７と可動体６の第１ヨーク６３の胴部６３２との間に配置されたダンパー部材９は、円筒状である。より具体的には、ダンパー部材９は、円筒状のゲル状部材９５と、ゲル状部材９５の径方向内側（第１ヨーク６３の胴部６３２側）の面に接合された円筒状の第１シート部材９１と、ゲル状部材９５の径方向外側（ケース３０の胴部３７側）の面に接合された円筒状の第２シート部材９２とを有している。従って、第１シート部材９１の内側に可動体６の胴部６３２が位置し、第２シート部材９２の外側にケース３０の胴部３７が位置する。この状態で、ダンパー部材９は、第１シート部材９１が可動体６の胴部６３２に接し、第２シート部材９２がケース３０の胴部３７に接している。本実施形態において、ダンパー部材９は、第１シート部材９１が可動体６の胴部６３２に接着され、第２シート部材９２がケース３０の胴部３７に接着されている。
【００７４】
円筒状のゲル状部材９５を製造するにあたっては、図１３に示すように、円筒状の第１シート部材９１の外側に円筒状の第２シート部材９２を配置する。また、第１シート部材９１と第２シート部材９２との間には、例えばスペーサ（図示せず）を配置し、第１シート部材９１と第２シート部材９２との位置を規定する。次に、第１シート部材９１と第２
シート部材９２との空隙９８８に硬化前の液状ゲル材料を充填した後、液状ゲル材料を硬化させ、図１２に示すゲル状部材９５とする。その結果、第１シート部材９１、および第２シート部材９２は、ゲル状部材９５との結合によってゲル状部材９５に接合される。
【００７５】
しかる後には、スペーサ（図示せず）を外した後、ゲル状部材９５を第１シート部材９１および第２シート部材９２と一緒に軸線Ｌに対して直交する方向に裁断し、図１２に示すダンパー部材９を製作する。
【００７６】
このような形態でも、実施形態１、２と同様、ダンパー部材９は、ゲル状部材９５を備えているが、ゲル状部材９５の一方側の面には第１シート部材９１が接合され、ゲル状部材９５の他方側の面には第２シート部材９２が接合されている。このため、ダンパー部材９は、アクチュエータ１を組み立てる際、自重等によって過度に撓みにくい。また、吸着ヘッド等がダンパー部材９を保持する際、ダンパー部材９を第１シート部材９１の側、あるいは第２シート部材９２の側から保持することができ、吸着ヘッド等がゲル状部材９５に接しない。従って、ダンパー部材９が吸着ヘッド等に吸着する等の事態が発生しにくい。それ故、ゲル状部材９５を利用したダンパー部材９の取扱いが容易である。
【００７７】
なお、図１２および図１３を参照して説明した円筒状のダンパー部材９を裁断して、図１１に示すダンパー部材９を製造してもよい。
【００７８】
［他の実施形態］
上記実施形態１、２、３に係るダンパー機構１０およびアクチュエータ１において、ダンパー部材９では、第１シート部材９１が可動体６に接着され、第２シート部材９２が固定体２に接着されていたが、第１シート部材９１および第２シート部材９２の一方のみが可動体６または固定体２に接着され、他方が接着されずに可動体６または固定体２に接している態様であってもよい。
【００７９】
上記実施形態１、２、３に係るダンパー機構１０およびアクチュエータ１において、ダンパー部材９では、ゲル状部材９５の両面にシート部材が設けられていたが、ゲル状部材９５の両面のうち、一方のみにシート部材が接合されている態様であってもよい。この場合、例えば、シート部材が可動体６または固定体２に接着され、他方はゲル状部材９５自身の吸着性によって可動体６または固定体２に接している態様を採用することができる。
【００８０】
上記実施形態１、２、３に係るダンパー機構１０およびアクチュエータ１においては、ダンパー部材９が可動体６および固定体２に接着されている態様であったが、例えば、可動体６と固定体２との間にゲル状部材９５が板厚方向で圧縮された状態に配置され、その反力によって、ダンパー部材９が可動体６および固定体２に接している態様であってもよい。また、ゲル状部材９５が板厚方向で圧縮された状態で、ダンパー部材９が可動体６および固定体２に接着されている態様であってもよい。
【００８１】
上記実施形態２、３では、ダンパー部材９が円筒状であったが、胴部６３２、６７が角筒状である場合、ダンパー部材９が角筒状であってもよい。
【００８２】
上記実施形態に係るアクチュエータ１では、固定体２にコイルが保持され、可動体６に永久磁石が保持されていたが、固定体２に永久磁石が保持され、可動体６にコイルが保持されている場合に本発明を適用してもよい。
【００８３】
上記実施形態では、可動体６を１方向に振動させるアクチュエータ１に本発明を適用したが、互いに交差する２方向に可動体６を振動させるアクチュエータに本発明を適用してもよい。
【００８４】
上記実施形態では、ダンパー部材９をアクチュエータ１に設けたが、アクチュエータ１以外の機器において、可動体と固定体との間に配置されるダンパー部材９に本発明を適用してもよい。また、上記実施形態では、可動体６および固定体２の双方に接するようにダンパー部材９を設けたが、可動体６のみに接するように設けられるダンパー部材９に本発明を適用してもよい。この場合、ダンパー部材９では、ゲル状部材９５の可動体側の面にシート部材を接合し、シート部材が可動体に接するようにダンパー部材９を配置する。また、シート部材を可動体に接着してもよい。
【００８５】
上記実施形態では、ゲル状部材９５にシリコーンゲルを用いたが、他のゲルを用いた場合に本発明を適用してもよい。
【符号の説明】
【００８６】
１…アクチュエータ、１ａ、１ｂ…磁気駆動機構、２…固定体、３、３０…ケース、４…コイルホルダ、５、５５…コイル、６…可動体、９…ダンパー部材、１０…ダンパー機構、４５…ホルダ、４７…第１プレート、４８…第２プレート、７１…第１永久磁石、７２…第２永久磁石、７３…永久磁石、６３、８１…第１ヨーク、６４、８２…第２ヨーク、９１…第１シート部材、９２…第２シート部材、９５…ゲル状部材、９５ａ…液状ゲル材料、９６…第１型部材、９７…第２型部材、９８…スペーサ、９８５…充填口、９８８…空隙、ＳＴ１…組立工程、ＳＴ２…充填工程、ＳＴ３…硬化工程、ＳＴ４…離型工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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