(57)【要約】  画素部は、３つのサブピクセル１００ａ〜１００ｃを含み構成されている。そして、隣り合う画素部間には、非画素部１００ｄ，１００ｅが配されている。バンク１０５ａは、サブピクセル１００ａの有機発光層と非画素部１００ｄとを区画し、同様にバンク１０５ｄは、サブピクセル１００ｃの有機発光層と隣接する非画素部１００ｅとを区画する。また、バンク１０５ｂは、サブピクセル１００ａの有機発光層とサブピクセル１００ｂの有機発光層とを区画し、バンク１０５ｃは、サブピクセル１００ｂの有機発光層とサブピクセル１００ｃの有機発光層とを区画する。ここで、バンク１０５ａにおけるサブピクセル１００ａ側の面部１０５ａａの傾斜角度θａａ、およびバンク１０５ｄにおけるサブピクセル１００ｃ側の面部１０５ｄｃの傾斜角度θｄｃは、他の傾斜角度θｂａ，θｂｂ，θｃｂ，θｃｃよりも大きい角度を以って設定されている。
2012049719.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素部と、前記複数の画素部の隣り合う画素部の各間に設けられた非画素部とが配列されてなる有機発光パネルであって、
前記複数の画素部の各画素部は、互いに発光色が異なり、順に配列された複数の発光部を有し、
各発光部は、第１電極を含む下地層と、前記下地層に対向して設けられ、発光色ごとに有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、前記有機発光層に対して前記下地層と反対側に形成された第２電極とを含み、
同一画素部内における前記複数の発光部は、一方側から他方側にわたって、各発光色に対応する前記インクが同時に塗布され、前記有機発光層が形成されてなり、一方側に位置し、対応するインクが塗布される第１発光部と、中央側に位置し、対応するインクが塗布される第２発光部と、他方側に位置し、対応するインクが塗布される第３発光部とを少なくとも有する複数の発光部とを少なくとも有し、
前記下地層の上方には、前記複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁が設けられ、
前記画素部と前記非画素部との間には、前記画素部と前記非画素部を区画する隔壁が形成され、
前記複数の画素部は、
前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、前記非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きく、
前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が等しく、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、前記非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きい、
画素部を含む、
ことを特徴とする有機発光パネル。
【請求項２】
前記非画素部は、前記有機発光層を含むことなく、前記第１電極と同じ材料を有し構成された第３電極と、前記第２電極とを含み、前記第２電極と前記第３電極とが電気的に接続される、
請求項１記載の有機発光パネル。
【請求項３】
前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度と、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度とは等しい、
請求項１記載の有機発光パネル。
【請求項４】
前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、
請求項１記載の有機発光パネル。
【請求項５】
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、
請求項１記載の有機発光パネル。
【請求項６】
前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、３５度以上４５度以下であり、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、３５度以上４５度以下であり、
前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、２５度以上３５度以下であり、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度は、２５度以上３５度以下であり、
前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度は、２５度以上３５度以下である、
請求項１記載の有機発光パネル。
【請求項７】
前記傾斜角度は、前記隔壁における前記対向する各面部と、前記隔壁が形成されている前記下地層の上面とがなす角度である、
請求項１記載の有機発光パネル。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れかに記載の有機発光パネルを備えた有機表示装置。
【請求項９】
複数の画素部と、前記複数の画素部の隣り合う画素部の各間に設けられた非画素部とが配列されてなる有機発光パネルの製造方法であって、
基板上に、第１電極を含む下地層を形成する第１工程と、
前記下地層の上に、感光性レジスト材料を積層する第２工程と、
前記積層された感光性レジスト材料をマスク露光してパターニングすることにより、各画素部ごとに複数の発光部に対応する複数の開口を形成するとともに、前記各画素部の間に非画素部に対応する開口を形成し、隣接する前記発光部および前記非画素部を区画して各発光部および前記非画素部を規定する複数の隔壁を形成する第３工程と、
前記複数の発光部に対応する複数の開口のそれぞれに対して、有機発光材料を含むインクを滴下して乾燥させ、有機発光層を形成する第４工程と、
前記有機発光層の上方に、第２電極を形成する第５工程と、
を有し、
前記第３工程では、
形成しようとする前記複数の画素部の内の少なくとも一部の画素部について、一方側に位置する第１発光部に対応する第１開口と、中央側に位置する第２発光部に対応する第２開口と、他方側に位置する第３発光部に対応する第３開口とを形成し、
さらに、
前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、前記非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成し、
前記第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を等しく形成し、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、前記非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成し、
前記第４工程は、
各画素部ごとに、各発光色に対応する前記インクを、前記第１開口と前記第２開口と前記第３開口とに対して同時に滴下し、有機発光層を形成する、
ことを特徴とする有機発光パネルの製造方法。
【請求項１０】
前記第３工程では、
前記感光性レジスト材料の露光に関し、前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量を、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量よりも大きくすることにより、前記非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくし、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量を、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量よりも大きくすることにより、前記非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、
請求項９記載の有機発光パネルの製造方法。
【請求項１１】
前記第３工程では、
前記感光性レジスト材料の露光に関し、前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率が、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率よりも小さくなるように、それぞれの面部に相当する部分に対して互いに異なるマスクを用いることにより、前記非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくし、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率が、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率よりも小さくなるように、それぞれの面部に相当する部分に対して互いに異なるマスクを用いることにより、前記非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、
請求項９記載の有機発光パネルの製造方法。
【請求項１２】
前記第３工程では、
前記感光性レジスト材料を露光して現像した後、
前記第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分に対し、露光処理を追加して行うことにより、前記非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくし、
前記第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、前記非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分に対し、露光処理を追加して行うことにより、前記非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、前記第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、
請求項９記載の有機発光パネルの製造方法。
【請求項１３】
請求項９から請求項１２の何れかに記載の製造方法により得られた有機発光パネルを備えた有機表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機発光パネルとその製造方法、および有機表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機材料の電界発光現象を利用した表示装置の研究・開発が進められている。この表示装置では、各画素部が、アノード電極およびカソード電極と、その間に介挿された有機発光層とを有し構成されている。そして、表示装置の駆動においては、アノード電極からホール注入し、カソード電極から電子注入し、有機発光層内でホールと電子とが再結合することにより発光する。【０００３】
隣接する画素部の有機発光層同士の間は、絶縁材料から構成された隔壁（バンク）により区画されている。有機発光層の形成は、例えば、隔壁で区画された領域ごとに、有機発光材料を含むインクを滴下し、これを乾燥させることによりなされる。【０００４】
ところで、上記のとおり形成された有機発光層の膜厚は、均一にすることが困難であるという問題がある。【０００５】
ここで、有機発光層の膜厚を均一にするため、例えば、特許文献１では、隔壁の面部に凸状部を設け、これにより隔壁の面部に対するインクのピンニング位置を制御するという技術が記載されている。即ち、特許文献１で提案されている技術を採用することにより、一の画素部におけるインクを滴下した際のピンニング位置を、面部に形成した凸状部にピンニングすることができ、これにより、ある程度の膜厚均一性を確保することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−３１１２３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、表示装置における有機発光パネルについて、上記特許文献１により提案された技術を採用し、予め有機発光層の膜厚の偏りを把握し、これに基づいて領域毎、あるいは隔壁の対応面部毎に高い精度で微細な凸状部を形成することは、困難と考えられる。このため、有機発光パネルの領域全体において、有機発光層の膜厚を均一にすることは容易ではない。【０００８】
本発明は、上記課題の解決を図ろうとなされたものであって、パネル全面での有機発光層の膜厚の均一化を図り、面内における輝度ムラの少ない表示装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そこで、本発明の一態様に係る有機発光パネルは、次の構成を採用することを特徴とする。【００１０】
本発明の一態様に係る有機発光パネルは、複数の画素部と、複数の画素部の隣り合う画素部の各間に設けられた非画素部とが配列されてなるパネルである。そして、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、複数の画素部の各画素部が、互いに発光色が異なり、順に配列された複数の発光部を有し、    各発光部が、第１電極を含む下地層と、下地層に対向して設けられ、発光色ごとに有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、有機発光層に対して前記下地層と反対側に形成された第２電極とを含み、同一画素部内における複数の発光部が、一方側から他方側にわたって、各発光色に対応する前記インクが同時に塗布されることを以って、有機発光層が形成されてなり、一方側に位置し、対応するインクが塗布される第１発光部と、中央側に位置し、対応するインクが塗布される第２発光部と、他方側に位置し、対応するインクが塗布される第３発光部とを少なくとも有する複数の発光部とを少なくとも有する。【００１１】
さらに、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、下地層の上方に、複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁が設けられ、画素部と非画素部との間に、前記画素部と前記非画素部を区画する隔壁が形成されており、複数の画素部には、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きく、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が等しく、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きい、という関係を満たす画素部を含む、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、各画素部ごとに、第１発光部、第２発光部および第３発光部は、対応するインクが同時に塗布され、有機発光層が形成されることになる。この場合、第２発光部に関しては、第２発光部に隣り合う第１発光部および第３発光部において、インクが同時に塗布されているため、第２発光部の一端側と他端側においてインクの蒸気濃度はほぼ等しく、発光層の膜厚が偏りづらくなっている。従って、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を等しくすることにより、有機発光層の膜厚の偏りを防止でき、良好な発光特性が得られる。【００１３】
一方、第１発光部に関しては、第１発光部に隣り合う一方の第２発光部にはインクが塗布されているが、第１発光部に隣り合う他方の非画素部にはインクは塗布されていないため、インクの蒸気濃度は、第２発光部側が非画素部側よりも高くなっている。このため、第１発光部は、非画素部側における発光層の膜厚が、第２発光部側における発光層の膜厚よりも大きくなってしまい、膜厚に偏りが生じようとする傾向がある。【００１４】
しかし、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きいので、非画素部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置が第２発光部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置よりも相対的に高くなる。この結果、第１発光部の非画素部側における有機発光層の膜厚を小さくでき、第１発光部の一端部と他端部（非画素部側と第２発光部側）における有機発光層の膜厚の偏りを防止できる。【００１５】
さらに、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部に関しても、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部での上記関係と同様に、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きいので、非画素部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置が第２発光部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置よりも相対的に高くなる。この結果、非画素部側における有機発光層の膜厚を小さくでき、第３発光部の一端部と他端部（非画素部側と第２発光部側）における有機は構想の膜厚の偏りを防止できる。【００１６】
以上の通り、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、いずれの発光部に関しても発光層の膜厚の偏りを防止でき、同一画素内における発光特性が良好となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施の形態に係る有機表示装置１の概略構成を示すブロック図である。
【図２】表示パネル１０における一部のサブピクセル１００を示す模式断面図である。
【図３】表示パネル１０におけるバンク１０５を示す模式平面図である。
【図４】表示パネル１０におけるサブピクセル１００ａ〜１００ｃと、各サブピクセル１００ａ〜１００ｃを規定するバンク１０５ａ〜１０５ｄの構成を示す模式断面図である。
【図５】（ａ）は、バンク側面部のテーパ角が小さい場合のピンニング位置を示す模式断面図であり、（ｂ）は、バンク側面部のテーパ角が大きい場合のピンニング位置を示す模式断面図であり、（ｃ）は、バンク側面部のテーパ角が小さい場合における乾燥後の有機発光層の状態を示す模式断面図であり、（ｄ）は、バンク側面部のテーパ角が大きい場合における乾燥後の有機発光層の状態を示す模式断面図である。
【図６】バンクの面部における傾斜角度（テーパ角）θと、ピンニング位置の高さＨおよび有機発光層の膜厚Ｔとの関係を纏めて示す図である。
【図７】サンプル１〜３における有機発光層の膜厚分布を示す図である。
【図８】サンプル４，５における有機発光層の膜厚分布を示す図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は、表示パネル１０の製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。
【図１０】（ａ），（ｂ）は、表示パネル１０の製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。
【図１１】表示パネル１０の製造方法におけるインクの塗布工程を示す模式断面図である。
【図１２】変形例１に係る製造方法における要部工程を示す模式断面図である。
【図１３】（ａ），（ｂ）は、変形例２に係る製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。
【図１４】（ａ），（ｂ）は、変形例２に係る製造方法における要部工程を順に示す模式断面図である。
【図１５】（ａ）は、露光・現像処理とバンクのテーパ角との関係を示す図であり、（ｂ）は、形成されたバンクの形状を示すＡＦＭである。
【図１６】（ａ），（ｂ）は、テーパ角の定義を説明するための模式断面図である。
【図１７】表示パネル１０における領域１０ａ１，１０ａ２，１０ｂを説明するための模式平面図である。
【図１８】有機表示装置１を含むセットの外観の一例を示す外観斜視図である。
【図１９】変形例３に係る表示パネル８０が備えるバンク８０５の構成を示す模式平面図である。
【図２０】表示パネルにおける隣接サブピクセル毎の有機発光層の膜厚分布の偏り状態を示す模式断面図である。
【図２１】（ａ）〜（ｃ）は、有機発光層の形成時における蒸気濃度分布と、インク乾燥工程での膜形状の偏りの状態を示す模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
[本発明の一態様の概要]
本発明の一態様に係る有機発光パネルは、複数の画素部と、複数の画素部の隣り合う画素部の各間に設けられた非画素部とが配列されてなるパネルである。そして、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、複数の画素部の各画素部が、互いに発光色が異なり、順に配列された複数の発光部を有し、    各発光部が、第１電極を含む下地層と、下地層に対向して設けられ、発光色ごとに有機発光材料を含むインクが塗布されて形成された有機発光層と、有機発光層に対して前記下地層と反対側に形成された第２電極とを含み、同一画素部内における複数の発光部が、一方側から他方側にわたって、各発光色に対応する前記インクが同時に塗布されることを以って、有機発光層が形成されてなり、一方側に位置し、対応するインクが塗布される第１発光部と、中央側に位置し、対応するインクが塗布される第２発光部と、他方側に位置し、対応するインクが塗布される第３発光部とを少なくとも有する複数の発光部とを少なくとも有する。
【００１９】
さらに、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、下地層の上方に、複数の発光部のうちの隣り合う発光部を区画し、各発光部を規定する複数の隔壁が設けられ、画素部と非画素部との間に、前記画素部と前記非画素部を区画する隔壁が形成されており、複数の画素部には、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きく、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度が等しく、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きい、という関係を満たす画素部を含む、ことを特徴とする。
【００２０】
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、各画素部ごとに、第１発光部、第２発光部および第３発光部は、対応するインクが同時に塗布され、有機発光層が形成されることになる。この場合、第２発光部に関しては、第２発光部に隣り合う第１発光部および第３発光部において、インクが同時に塗布されているため、第２発光部の一端側と他端側においてインクの蒸気濃度はほぼ等しく、発光層の膜厚が偏りづらくなっている。従って、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を等しくすることにより、有機発光層の膜厚の偏りを防止でき、良好な発光特性が得られる。
【００２１】
一方、第１発光部に関しては、第１発光部に隣り合う一方の第２発光部にはインクが塗布されているが、第１発光部に隣り合う他方の非画素部にはインクは塗布されていないため、インクの蒸気濃度は、第２発光部側が非画素部側よりも高くなっている。このため、第１発光部は、非画素部側における発光層の膜厚が、第２発光部側における発光層の膜厚よりも大きくなってしまい、膜厚に偏りが生じようとする傾向がある。
【００２２】
しかし、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きいので、非画素部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置が第２発光部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置よりも相対的に高くなる。この結果、第１発光部の非画素部側における有機発光層の膜厚を小さくでき、第１発光部の一端部と他端部（非画素部側と第２発光部側）における有機発光層の膜厚の偏りを防止できる。
【００２３】
さらに、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部に関しても、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部での上記関係と同様に、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度が、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きいので、非画素部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置が第２発光部側に位置する隔壁におけるインクのピンニング位置よりも相対的に高くなる。この結果、非画素部側における有機発光層の膜厚を小さくでき、第３発光部の一端部と他端部（非画素部側と第２発光部側）における有機は構想の膜厚の偏りを防止できる。
【００２４】
以上の通り、本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、いずれの発光部に関しても発光層の膜厚の偏りを防止でき、同一画素内における発光特性が良好となる。
【００２５】
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、非画素部が、有機発光層を含むことなく、第１電極と同じ材料を有し構成された第３電極と、第２電極とを含み、第２電極と前記第３電極とが電気的に接続される、という構成とを採用することができる。
【００２６】
有機発光パネルでは、有機発光層よりも上方（光取出し側）に配される第２電極として、光透過性を有する材料（例えば、ＩＴＯやＩＺＯなど）が用いられることが通常であるが、これらの材料は電気抵抗が大きい。このため、非画素部において、第２電極と第３電極とを接続して電気抵抗の低減を図り、パネルサイズの大きな場合にも電圧降下を生じ難い、高い発光特性を確保することができる。第３電極は、例えば、バスバーである。
【００２７】
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度と、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度とが等しい、という構成を採用することができる。
【００２８】
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、隣り合う画素部の各間に非画素部がそれぞれ配され、また、各画素部の第１発光部、第２発光部、および第３発光部に対して有機発光層を形成するためのインクが同時塗布されるが、第１発光部における非画素部側と、第３発光部における非画素部側とは、インクの蒸気濃度が略等しくなる。この場合に、上記構成のように、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度と、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度とが等しい、という構成を採用すれば、各面部に対するインクのピンニング位置を互いに合致させることができる。
【００２９】
従って、上記構成によれば、各画素部における第１発光部、第２発光部、および第３発光部での有機発光層の膜厚の偏りを防止することができ、良好な発光特性が得られる。
【００３０】
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度が、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、という構成を採用することができる。
【００３１】
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、隣り合う画素部の各間に非画素部がそれぞれ配され、また、各画素部の第１発光部、第２発光部、および第３発光部に対して有機発光層を形成するためのインクが同時塗布されるが、第１発光部における第２発光部側と、第２発光部における第１発光部側および第３発光部側とにおいては、蒸気濃度が略等しくなる。
【００３２】
よって、上記構成のように、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度と、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度とが等しい、という構成を採用すれば、各面部に対するインクのピンニング位置を互いに合致させることができ、各画素部における第１発光部、第２発光部、および第３発光部での有機発光層の膜厚の偏りを防止することができ、良好な発光特性が得られる。
【００３３】
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度が、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、という構成を採用することができる。
【００３４】
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、隣り合う画素部の各間に非画素部がそれぞれ配され、また、各画素部の第１発光部、第２発光部、および第３発光部に対して有機発光層を形成するためのインクが同時塗布されるが、第３発光部における第２発光部側と、第２発光部における第１発光部側および第３発光部側とにおいては、蒸気濃度が略等しくなる。
【００３５】
よって、上記構成のように、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度が、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度と等しい、という構成を採用すれば、各面部に対するインクのピンニング位置を互いに合致させることができ、各画素部における第１発光部、第２発光部、および第３発光部での有機発光層の膜厚の偏りを防止することができ、良好な発光特性が得られる。
【００３６】
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、具体的な面部の傾斜角度を次のような範囲内で設定することができる。
【００３７】
（ａ１）  第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、３５［°］以上４５［°］以下とすることができる。
【００３８】
（ａ２）  第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、３５［°］以上４５［°］以下とすることができる。
【００３９】
（ａ３）  第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、２５［°］以上３５［°］以下とすることができる。
【００４０】
（ａ４）  第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、第２発光部側に位置する隔壁の対向する面部の傾斜角度を、２５［°］以上３５［°］以下とすることができる。
【００４１】
（ａ５）  第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を、２５［°］以上３５［°］以下とすることができる。
【００４２】
本発明の一態様に係る有機発光パネルでは、上記構成において、「傾斜角度」が、隔壁における上記対向する各面部と、隔壁が形成されている下地層（第１電極あるいはホール注入層、さらにはホール注入輸送層がこれに該当する。）の上面と、がなす角度である、と規定することができる。
【００４３】
本発明の一態様に係る有機表示装置は、上記の何れかの本発明の一態様に係る有機発光パネルを備えたことを特徴とする。よって、本発明の一態様に係る有機表示装置は、上記本発明の一態様に係る有機発光パネルが有する効果、即ち、有機発光層の膜厚の偏りを防止することにより、良好な発光特性が得られる。
【００４４】
本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法は、複数の画素部と、複数の画素部の隣り合う画素部の各間に設けられた非画素部とが配列されてなる有機発光パネルを製造する方法であって、以下の工程を有する。
【００４５】
（第１工程）  基板上に、第１電極を含む下地層を形成する。
【００４６】
（第２工程）  下地層の上に、感光性レジスト材料を積層する。
【００４７】
（第３工程）  積層された感光性レジスト材料をマスク露光してパターニングすることにより、各画素部ごとに複数の発光部に対応する複数の開口を形成するとともに、各画素部の間に非画素部に対応する開口を形成し、隣接する発光部および非画素部を区画して各発光部および非画素部を規定する複数の隔壁を形成する。
【００４８】
（第４工程）  複数の発光部に対応する複数の開口のそれぞれに対して、有機発光材料を含むインクを滴下して乾燥させ、有機発光層を形成する。
【００４９】
（第５工程）  有機発光層の上方に、第２電極を形成する。
【００５０】
上記各工程を有する本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記第３工程において、形成しようとする複数の画素部の内の少なくとも一部の画素部について、一方側に位置する第１発光部に対応する第１開口と、中央側に位置する第２発光部に対応する第２開口と、他方側に位置する第３発光部に対応する第３開口とを形成し、さらに、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成し、第２発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の傾斜角度を等しく形成し、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくなるように形成する。また、上記第４工程においては、各画素部ごとに、各発光色に対応するインクを、第１開口と第２開口と第３開口とに対して同時に滴下し、有機発光層を形成する、ことを特徴とする。
【００５１】
このような製造方法を採用すれば、第４工程でのインクの塗布において、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、非画素部側に位置する隔壁の面部に対するインクのピンニング位置、および第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における対向する面部の内、非画素部側に位置する隔壁の面部に対するインクのピンニング位置を、他に比べて高くすることができる。
【００５２】
そして、本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、インク乾燥後における有機発光層の膜厚が、隔壁における面部の傾斜角度の相対的な大小関係とは逆の関係となるメカニズムに基づき、有機発光層の膜厚の偏りを防止することができ、良好な発光特性を有する有機発光パネルを製造することができる。
【００５３】
本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記構成において、第３工程で、感光性レジスト材料の露光に関し、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量を、第２発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量よりも大きくすることにより、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくし、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量を、第２発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への露光量よりも大きくすることにより、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、という具体的な構成を採用することができる。
【００５４】
このような構成を採用する場合には、ピンニング位置の相対的な関係の調整により、有機発光層の膜厚について、全ての発光部での偏りを少なくすることができ、良好な発光特性を有する有機発光パネルを製造することができる。
【００５５】
また、本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記構成において、第３工程で、感光性レジスト材料の露光に関し、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率が、第２発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率よりも小さくなるように、それぞれの面部に相当する部分に対して互いに異なるマスクを用いることにより、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくし、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率が、第２発光部側に位置する隔壁の面部に相当する部分への光の透過率よりも小さくなるように、それぞれの面部に相当する部分に対して互いに異なるマスクを用いることにより、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、という具体的な構成を採用することができる。
【００５６】
このような構成を採用する場合には、ピンニング位置の相対的な関係の調整により、有機発光層の膜厚について、全ての発光部での偏りを少なくすることができ、良好な発光特性を有する有機発光パネルを製造することができる。
【００５７】
また、本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法では、上記構成において、第３工程で、記感光性レジスト材料を露光して現像した後、第１発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分に対し、露光処理を追加して行うことにより、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくし、第３発光部を規定する隣り合う２つの隔壁における、非画素部側に位置する隔壁の面部に相当する部分に対し、露光処理を追加して行うことにより、非画素部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度を、第２発光部側に位置する隔壁の面部の傾斜角度よりも大きくする、という具体的な構成を採用することができる。
【００５８】
このような構成を採用する場合には、ピンニング位置の相対的な関係の調整により、有機発光層の膜厚について、全ての発光部での偏りを少なくすることができ、良好な発光特性を有する有機発光パネルを製造することができる。
【００５９】
本発明の一態様に係る有機表示装置は、上記の何れかの本発明の一態様に係る有機発光パネルの製造方法を採用して得られた有機発光パネルを備える、ことを特徴とする。このような製造方法を用い製造された有機発光パネルを備える有機表示装置では、上記有機発光パネルが有する効果と同様、有機発光パネルにおける有機発光層の膜厚の偏りを防止することができる、良好な発光特性を得られる。
【００６０】
（本発明に係る実施の形態を得るに至った経緯）
本発明者は、［背景技術］において記載した有機発光パネルおよびこれを備える有機表示装置に関し、鋭意研究の結果、次のような知見を得た。
【００６１】
通常、図２０に示すように、基板９０１の上に、アノード電極９０２およびこれを覆う電極被覆層９０３が、サブピクセル９００ａ，９００ｂ，９００ｃ毎に設けられている。そして、電極被覆層９０２および基板９０１の表面を覆うように、ホール注入層９０４が形成され、ホール注入層９０４の上に、サブピクセル９００ａ，９００ｂ，９００ｃ毎に発光色が異なる有機発光層９０６ａ，９０６ｂ，９０６ｃが積層形成されている。有機発光層９０６ａ，９０６ｂ，９０６ｃは、ホール注入層９０４の上に立設されたバンク９０５ａ〜９０５ｄにより区画されている。
【００６２】
また、有機発光パネルでは、例えば、３つのサブピクセル９００ａ，９００ｂ，９００ｃの組み合わせを以って画素部が構成され、隣り合う画素部間には、非画素部９００ｄ，９００ｅが入れている。非画素部９００ｄ，９００ｅでは、バスバー９３２およびこれを覆う電極被覆層９３３を有するが、有機発光層は有さない。
【００６３】
図２０に示すように、従来技術に係る有機発光パネルでは、非画素部９００ｄ，９００ｅにそれぞれ隣接するサブピクセル９００ａ，９００ｃの有機発光層９０６ａ，９０６ｃにおいて、膜厚に偏りを生じてしまうことがある。具体的には、有機発光層９０６ａにおけるバンク９０５ａ側での箇所Ｃ3の高さが、バンク９０５ｂ側での箇所Ｃ4の高さ、およびサブピクセル９００ｂにおける有機発光層９０６ｂのバンク９０５ｂ，９０５ｃでの箇所Ｃ1，Ｃ2の高さよりも、高くなるという現象が生じる。同様に、有機発光層９０６ｃにおけるバンク９０５ｄ側での箇所Ｃ5の高さが、バンク９０５ｃ側での箇所Ｃ6の高さ、およびサブピクセル９００ｂにおける有機発光層９０６ｂのバンク９０５ｂ，９０５ｃでの箇所Ｃ1，Ｃ2の高さよりも、高くなる。
【００６４】
上記現象に関し、本発明者は検討を重ねた末、有機発光層における膜厚の均一性の低下は、以下に説明するように、インク乾燥時における蒸気濃度分布の不均一に起因するものと推定した。具体的には、図２１（ａ）に示すように、バンク９０５ｃとバンク９０５ｄとの間に規定される領域に、有機発光層形成のためのインク９０６０ｃを塗布した状態を想定し、その際の蒸気濃度分布が、二点鎖線で示すように、図２１（ａ）の左側に比べて右側で低いとしたときに、次のような関係で有機発光層の膜厚に偏りを生じると考えられる。
【００６５】
図２１（ａ）に示すように、インク９０６０ｃの滴下直後において、インク９０６０ｃの表面プロファイルＬ90は、サブピクセルの中央部分が盛り上がった形状となっている。これを乾燥させる場合には、上記のような蒸気濃度の分布に起因して、蒸気濃度の低い側で蒸発速度が速く、蒸気濃度の高い側で遅くなるので、表面プロファイルＬ91へと変化すると形式的には考えられる。
【００６６】
しかし、図２１（ｂ）に示すように、乾燥途中のインク９０６１ｃの内部では、破線矢印Ｌ92で示すような溶剤の移動を生じる。これは、蒸発した分を補うように溶剤が移動する（表面自由エネルギを最小にするように移動する）ものであり、溶剤の移動に伴い溶質（有機発光材料）も移動する。このため、図２１（ｃ）に示すように、蒸気濃度分布に偏りを有する場合には、表面プロファイルＬ93が右側ほど盛り上がった（箇所Ｃ6の高さよりも、箇所Ｃ5の高さが高い）有機発光層９０６ｃが形成されることになる。
【００６７】
以上のようにして、本発明者は、有機発光パネルに関し、インク乾燥時の蒸気濃度分布の不均一に起因し、形成された有機発光層の膜厚の均一性が低下するという推論を得た。
【００６８】
そして、本発明者は、パネル面内において、バンクにおける面部の傾斜角度を異ならせることにより、インクのバンク側面部におけるピンニング位置を異ならせ、この結果、有機発光層の膜厚の均一化を図るという技術的特徴を見出した。
【００６９】
［実施の形態］
以下では、本発明を実施するための形態の一例について、図面を参酌しながら説明する。
【００７０】
なお、以下の説明で用いる形態は、本発明の構成および作用・効果を分かりやすく説明するために用いる例であって、本発明は、その本質的な特徴部分以外に何ら以下の形態に限定を受けるものではない。
【００７１】
１．表示装置１の概略構成
本実施の形態に係る表示装置１の全体構成について、図１を用い説明する。
【００７２】
図１に示すように、表示装置（有機表示装置）１は、表示パネル部１０と、これに接続された駆動制御部２０とを有し構成されている。表示パネル部１０は、有機材料の電界発光現象を利用した有機発光パネルであり、複数の画素部がＸ−Ｙ面方向に２次元配列されている。
【００７３】
また、駆動制御部２０は、４つの駆動回路２１〜２４と制御回路２５とから構成されている。
【００７４】
なお、実際の表示装置１では、表示パネル部１０に対する駆動制御部２０の配置については、これに限られない。
【００７５】
２．表示パネル１０の構成
表示パネル１０の構成について、図２を用い説明する。なお、本実施の形態に係る表示パネル１０は、一例として、トップエミッション型の有機発光パネルを採用し、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れか発光色を有する有機発光層を備える複数の画素部がマトリクス状に配置され構成されているが、図２では、一の画素部における一つのサブピクセル１００を抜き出して描いている。
【００７６】
図２に示すように、表示パネル１０は、ＴＦＴ基板（以下では、単に「基板」と記載する。）１０１上には、アノード電極１０２が形成されており、アノード電極１０２上に、電極被覆層１０３およびホール注入輸送層１０４が順に積層形成されている。なお、アノード電極１０２および電極被覆層１０３は、サブピクセル１００毎に分離された状態で形成されている。
【００７７】
ホール注入輸送層１０４の上には、絶縁材料からなり、サブピクセル１００同士の間を区画するバンク（隔壁）１０５が立設されている。各サブピクセル１００におけるバンク１０５で区画された領域には、有機発光層１０６が形成され、その上には、電子注入層１０７、カソード電極１０８、および封止層１０９が、順に積層形成されている。
【００７８】
ａ）基板１０１
基板１０１は、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、又はアルミナ等の絶縁性材料をベースとして形成されている。そして、基板１０１には、図示を省略しているが、ＴＦＴ層およびパッシベーション膜、さらには、層間絶縁膜などが積層形成されている。
【００７９】
ｂ）アノード電極１０２
アノード電極１０２は、導電性材料からなる単層、あるいは複数の層が積層されてなる積層体から構成されており、例えば、Ａｌ（アルミニウム）やこれを含む合金、Ａｇ（銀）、ＡＰＣ（銀、パラジウム、銅の合金）、ＡＲＡ（銀、ルビジウム、金の合金）、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）などを用い形成されている。なお、本実施の形態のように、トップエミッション型の場合には、高反射性の材料で形成されていることが好ましい。
【００８０】
ｃ）電極被覆層１０３
電極被覆層１０３は、例えば、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）を用い形成されており、アノード電極１０２のＺ軸方向上部の表面の少なくとも一部を被覆する。
【００８１】
ｄ）ホール注入輸送層１０４
ホール注入輸送層１０４は、例えば、銀（Ａｇ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、イリジウム（Ｉｒ）などの酸化物、あるいは、ＰＥＤＯＴ（ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物）などの導電性ポリマー材料からなる層である。上記の内、酸化金属からなるホール注入輸送層１０４は、ホールを安定的に、またはホールの生成を補助して、有機発光層１０６に対しホールを注入および輸送する機能を有し、大きな仕事関数を有する。
【００８２】
ここで、ホール注入輸送層１０４を遷移金属の酸化物から構成する場合には、複数の酸化数をとるためこれにより複数の準位をとることができ、その結果、ホール注入が容易になり駆動電圧を低減することができる。
【００８３】
ｅ）バンク１０５
バンク（隔壁）１０５は、樹脂等の有機材料で形成されており絶縁性を有する。バンク１０５の形成に用いる有機材料の例としては、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等があげられる。そして、バンク１０５は、有機溶剤耐性を有することが好ましい。
【００８４】
さらに、バンク１０５の形成においては、エッチング処理およびベーク処理などが施されるので、それらの処理に対して過度に変形、変質などをしないような耐性の高い材料で形成されることが好ましい。また、撥水性をもたせるために、側面部をフッ素処理することもできる。
【００８５】
なお、バンク１０５の形成に用いる絶縁材料については、上記の各材料をはじめ、特に抵抗率が１０5［Ω・ｃｍ］以上であって、撥水性を有する材料を用いることができる。これは、抵抗率が１０5［Ω・ｃｍ］以下の材料を用いた場合には、アノード電極１０２とカソード電極１０８との間でのリーク電流、あるいは隣接サブピクセル１００間でのリーク電流の発生の原因となり、消費電力の増加などの種々の問題を生じることになるためである。
【００８６】
また、バンク１０５を親水性の材料を用い形成した場合には、バンク１０５の側面部とホール注入輸送層１０４の表面との親液性／撥液性の差異が小さくなり、有機発光層１０６を形成するために有機物質を含んだインクを、バンク１０５の開口部に選択的に保持させることが困難となってしまうためである。
【００８７】
さらに、バンク１０５の構造については、図２に示すような一層構造だけでなく、二層以上の多層構造を採用することもできる。この場合には、層毎に上記材料を組み合わせることもできるし、層毎に無機材料と有機材料とを用いることもできる。
【００８８】
ｆ）有機発光層１０６
有機発光層１０６は、アノード電極１０２から注入されたホールと、カソード電極１０８から注入された電子とが再結合されることにより励起状態が生成され発光する機能を有する。有機発光層１０６の形成に用いる材料は、湿式印刷法を用い製膜できる発光性の有機材料を用いることが必要である。
【００８９】
具体的には、例えば、特許公開公報（特開平５−１６３４８８号公報）に記載のオキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、アンスラセン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体などの蛍光物質で形成されることが好ましい。
【００９０】
ｇ）電子注入層１０７
電子注入層１０７は、カソード電極１０８から注入された電子を有機発光層１０６へ輸送する機能を有し、例えば、バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム、あるいはこれらの組み合わせで形成されることが好ましい。
【００９１】
ｈ）カソード電極１０８
カソード電極１０８は、例えば、ＩＴＯ、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）などで形成される。トップエミッション型の表示パネル１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが好ましい。光透過性については、透過率が８０［％］以上とすることが好ましい。
【００９２】
カソード電極１０８の形成に用いる材料としては、上記の他に、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらのハロゲン化物を含む層と銀を含む層とをこの順で積層した構造を用いることもできる。上記において、銀を含む層は、銀単独で形成されていてもよいし、銀合金で形成されていてもよい。また、光取出し効率の向上を図るためには、当該銀を含む層の上から透明度の高い屈折率調整層を設けることもできる。
【００９３】
ｉ）封止層１０９
封止層１０９は、有機発光層１０６などが水分に晒されたり、空気に晒されたりすることを抑制する機能を有し、例えば、ＳｉＮ（窒化シリコン）、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）などの材料を用い形成される。トップエミッション型の表示パネル１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが好ましい。
【００９４】
３．バンク１０５の構成
図３に示すように、本実施の形態に係る表示パネル１０では、一例としてライン状のバンク１０５を採用している。具体的には、バンク１０５は、各々がＹ軸方向に延伸形成され、Ｘ軸方向において隣接する画素部１００間を区画している。そして、サブピクセル１００は、バンク１０５により区画された領域ごとに、発光色が異なるように形成されており、例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各発光色の３つのサブピクセルの組み合わせを以って、一つの画素部が構成されている。
【００９５】
４．領域ごとのバンク１０５の構成
領域ごとのバンク１０５の構成について、図４を用い説明する。なお、図４は、図１における表示パネル１０をＡ−Ａ'断面で切断し、その一部を模式化した断面端面図である。
【００９６】
図４に示すように、表示パネル１０は、ＴＦＴ基板（以下では、単に「基板」と記載する。）１０１上に、サブピクセル１００ａ，１００ｂ，１００ｃの各々に対応して、アノード電極１０２が形成されており、アノード電極１０２上に、電極被覆層１０３およびホール注入輸送層１０４が順に積層形成されている。
【００９７】
ホール注入輸送層１０４の上には、絶縁材料からなり、サブピクセル１００ａ，１００ｂ，１００ｃをそれぞれ規定するバンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄが立設されている。なお、各サブピクセル１００ａ，１００ｂ，１００ｃにおけるバンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄで区画された領域には、有機発光層、電子注入層、カソード電極、および封止層が、順に積層形成されている（図４では、図示を省略）。
【００９８】
本実施の形態に係る表示パネル１０では、サブピクセル１００ａ，１００ｂ，１００ｃの組み合わせを以って一の画素部が構成されており、隣り合う画素部と画素部との間に非画素部１００ｄ，１００ｅが設けられている。サブピクセル１００ａと非画素部１００ｄの間は、バンク１０５ａで区画され、非画素部１００ｄとさらにそのＸ軸方向左側に隣り合う画素部のサブピクセルとは、バンク１０５ｅで区画されている。サブピクセル１００ｃと非画素部１００ｅとの間は、バンク１０５ｄで区画され、非画素部１００ｅとさらにそのＸ軸方向右側に隣り合う画素部のサブピクセルとは、バンク１０５ｆで区画されている。
【００９９】
図４に示すように、非画素部１００ｄ，１００ｅでは、アノード電極１０２と同じ材料から構成された電極（バスバー）３０２と、これを被覆する電極被覆層３０３が設けられ、電極被覆層３０３の上には、ホール注入輸送層１０４が延設されている。そして、図示を省略しているが、この上にカソード電極が形成されて、電極３０２とカソード電極１０８が電気的に接続される。
【０１００】
なお、非画素部１００ｄ，１００ｅでは、有機発光層は形成されない。このような構成をとることにより、ＩＴＯなどからなるカソード電極１０８の電気抵抗の低減を図ることができ、電圧降下を抑えることが可能となる。
【０１０１】
図４に示すように、本実施の形態に係る表示パネル１０では、バンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄの各々の面部１０５ａａ，１０５ｂａ，１０５ｂｂ，１０５ｃｂ，１０５ｃｃ，１０５ｄｃと下地層であるホール注入輸送層１０４の表面とが、それぞれ角度θａａ，θｂａ，θｂｂ，θｃｂ，θｃｃ，θｄｃをなす。
【０１０２】
ここで、本実施の形態において、角度θａａ，θｂａ，θｂｂ，θｃｂ，θｃｃ，θｄｃは、次の各式で示す関係を満足する。
【０１０３】
［数１］  θａａ＞θｂａ＝θｂｂ＝θｃｂ＝θｃｃ
［数２］  θｄｃ＞θｂａ＝θｂｂ＝θｃｂ＝θｃｃ
なお、本実施の形態では、それぞれの角度θａａ，θｂａ，θｂｂ，θｃｂ，θｃｃ，θｄｃを次のような範囲で設定することが望ましい。
【０１０４】
［数３］  ２５［°］＜θｂａ＝θｂｂ＝θｃｂ＝θｃｃ＜３５［°］
［数４］  ３５［°］＜θａａ＜４５［°］
［数５］  ３５［°］＜θｄｃ＜４５［°］
上記［数１］、［数２］、［数３］、［数４］、［数５］の関係でバンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄの各々の面部１０５ａａ，１０５ｂａ，１０５ｂｂ，１０５ｃｂ，１０５ｃｃ，１０５ｄｃの傾斜角度θａａ，θｂａ，θｂｂ，θｃｂ，θｃｃ，θｄｃを規定するのは、隣り合う画素部と画素部との間に非画素部１００ｄ，１００ｅを配することと、後述するインク１０６０ａ，１０６０ｂ，１０６０ｃの塗布形態によるものである。
【０１０５】
５．バンク１０５における側面部の傾斜角度θと有機発光層１０６の膜厚との関係
バンク１０５における面部の傾斜角度θと有機発光層１０６の膜厚との関係について、図５および図６を用い説明する。なお、図５では、一つのサブピクセルの構造を模式的に描いている。
【０１０６】
図５（ａ）に示すように、バンク１０５ｘの面部の傾斜角度（バンク１０５ｘの面部とホール注入輸送層１０４の表面とがなす角度）が角度θｘであり、図５（ｂ）に示すように、バンク１０５ｙの面部の傾斜角度（バンク１０５ｙの面部とホール注入輸送層１０４の表面とがなす角度）が角度θｙである。角度θｘと角度θｙとは、次の関係を満たす。
【０１０７】
［数６］  θｙ＞θｘ
各バンク１０５ｘ，１０５ｙで区画された開口部に有機発光材料を含むインク１０６０ｘ，１０６０ｙを滴下（塗布）すると、各ピンニング位置Ｐｘ，Ｐｙの高さＨｘ，Ｈｙが次のような関係となる。
【０１０８】
［数７］  Ｈｙ＞Ｈｘ
図５（ｃ）に示すように、インク１０６０ｘを乾燥させると、ピンニング位置Ｐｘの高さＨｘが相対的に低いことに起因して、形成される有機発光層１０６ｘでは、サブピクセルの中央部分が盛り上がり、その膜厚が厚みＴｘとなる。
【０１０９】
一方、図５（ｄ）に示すように、インク１０６０ｙを乾燥させると、ピンニング位置Ｐｙの高さＨｙが相対的に高いことに起因して、形成される有機発光層１０６ｙでは、サブピクセルの中央部分が凹み、その膜厚が厚みＴｙとなる。
【０１１０】
厚みＴｘと厚みＴｙとは、次の関係を満たす。
【０１１１】
［数８］  Ｔｘ＞Ｔｙ
上記の関係を図６に纏めて示す。図６に示すように、バンク１０５の面部における傾斜角度（テーパ角）θを小さくすれば、ピンニング位置の高さＨが低くなり、結果的に得られる有機発光層１０６の膜厚Ｔが厚くなる。逆に、バンク１０５の面部における傾斜角度（テーパ角）θを大きくすれば、ピンニング位置の高さＨが高くなり、結果的に得られる有機発光層１０６の膜厚Ｔが薄くなる。
【０１１２】
以上の事項について、５つのサンプルを作成して評価した。結果を図７および図８に示す。
【０１１３】
図７および図８に示すように、サンプル２の膜厚分布に対し、テーパ角を大きくしたサンプル３およびサンプル４では、ピンニング位置が高くなっている。なお、図７および図８では、横軸が横方向を示し、縦軸が高さ方向を示す。
【０１１４】
ただし、バンクのテーパ角（傾斜角度）を５０［°］まで大きくしたサンプル５では、サンプル２よりも膜厚の均一性が低下した。
【０１１５】
６．表示パネル４０の製造方法
本実施の形態に係る表示パネル１０の製造方法について、図９、図１０および図１１を用い、特徴となる部分を説明する。なお、以下で説明を省略する製造工程については、従来技術として提案されている種々の工程を採用することが可能である。
【０１１６】
先ず、図９（ａ）に示すように、基板１０１におけるＺ軸方向上面に、各サブピクセル予定領域１０００ａ，１０００ｂ，１０００ｃに対応して、アノード電極１０２と電極被覆層１０３とを順に積層形成する。また、非画素予定領域１０００ｄ，１０００ｅに対応して、バスバー３０２と電極被覆層３０３を順に積層形成する。そして、電極被覆層１０３，３０３の上から、表面全体を覆うように、ホール注入輸送層１０４を積層形成する。アノード電極１０２およびバスバー３０２の形成は、例えば、スパッタリング法や真空蒸着法を用いＡｌ若しくはその合金からなる薄膜、あるいは、Ａｇ薄膜を製膜した後、当該薄膜をフォトリソグラフィ法を用いパターニングすることによりなされる。
【０１１７】
また、電極被覆層１０３，３０３の形成は、例えば、アノード電極１０２およびバスバー３０２の各表面に対し、スパッタリング法などを用いＩＴＯ薄膜を製膜し、当該ＩＴＯ薄膜をフォトリソグラフィ法などを用いパターニングすることでなされる。そして、ホール注入輸送層１０４の形成では、先ず、電極被覆層１０３，３０３の各表面を含む基板１０１の表面に対し、スパッタリング法などを用い金属膜を製膜する。その後、形成された金属膜を酸化し、ホール注入輸送層１０４が形成される。
【０１１８】
次に、図９（ｂ）に示すように、例えば、スピンコート法などを用い、ホール注入輸送層１０４の上を覆うように、バンク材料層１０５０を形成する。バンク材料層１０５０の形成には、感光性レジスト材料を用い、具体的には、上述のように、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂などの絶縁性を有する有機材料を用いることができる。
【０１１９】
次に、図９（ｃ）に示すように、バンク材料層１０５０の上方に、バンクを形成しようとする箇所に開口５０１ａ，５０１ｂ，５０１ｃ，５０１ｄが設けられたマスク５０１を配する。この状態でマスク５０１の開口５０１ａ，５０１ｂ，５０１ｃ，５０１ｄを通して、露光を実行する。
【０１２０】
なお、図９（ｃ）に示すように、サブピクセル予定領域１０００ｂに対して左側に位置するマスク５０１の開口５０１ｂは、その幅Ｗｂが、形成しようとするバンク１０５ｂの面部１０５ｂａ，１０５ｂｂ（図４を参照）の下端のポイントＰｂ１，Ｐｂ２により規定されている。サブピクセル予定領域１０００ｂに対して右側に位置するマスク５０１の開口５０１ｃについても、同様の関係を以って規定されている。
【０１２１】
一方、サブピクセル予定領域１０００ａと非画素予定領域１０００ｄとの間、およびサブピクセル予定領域１０００ｃと非画素予定領域１０００ｅとの間に位置するマスク５０１の開口５０１ａ，５０１ｄは、その幅Ｗａ１，Ｗｄ１が、形成しようとするバンク１０５ａ，１０５ｄの面部１０５ａａ，１０５ｄｃ（図４を参照）の各上端のポイントＰａ１，Ｐｄ１と、非画素予定領域１０００ｄ，１０００ｅ側（図４を参照）の各裾部分のポイントＰａ２，Ｐｄ２とにより規定されている。
【０１２２】
次に、図１０（ａ）に示すように、バンク材料層１０５０の上方に、バンク１０５ａ，１０５ｄの面部１０５ａａ，１０５ｄｃ（図４を参照）に対応する箇所に開口５０２ａ，５０２ｄが設けられたマスク５０２を配する。そして、この状態でマスク５０２の開口５０２ａ，５０２ｄを通して、２回目の露光を実行する。
【０１２３】
なお、図１０（ａ）に示すように、マスク５０２における開口５０２ａ，５０２ｄの各幅Ｗａ２，Ｗｄ２は、形成しようとするバンク１０５ａ，１０５ｄの各面部１０５ａａ，１０５ｄｃの各下端のポイントＰａ３，Ｐｄ３と各上端のポイントＰａ１，Ｐｄ１とにより規定されている。
【０１２４】
次に、図１０（ｂ）に示すように、現像およびベークを施すことによって、バンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄが形成される。バンク１０５ａにおけるサブピクセル予定領域１０００ａ側の面部１０５ａａ、およびバンク１０５ｄにおけるサブピクセル予定領域１０００ｃ側の面部１０５ｄｃは、上述のように、他のバンク１０５ｂ，１０５ｃの面部１０５ｂａ，１０５ｂｂ，１０５ｃｂ，１０５ｃｃよりも傾斜角度が大きくなる。
【０１２５】
その後、図１１に示すように、インクジェット法などを用い、バンク１０５ａとバンク１０５ｂで区画された開口部（サブピクセル予定領域１０００ａ）に対するインク（有機発光材料を含むインク）１０６０ａと、バンク１０５ｂとバンク１０５ｃで区画された開口部（サブピクセル予定領域１０００ｂ）に対するインク（有機発光材料を含むインク）１０６０ｂと、バンク１０５ｃとバンク１０５ｄで区画された開口部（サブピクセル予定領域１０００ｃ）に対するインク（有機発光材料を含むインク）１０６０ｃと、を同時に塗布する。
【０１２６】
ここで、上述のように、バンク１０５ａにおける面部１０５ａａの傾斜角度θａａ、およびバンク１０５ｄにおける面部１０５ｄｃの傾斜角度θｄｃを、他の面部の傾斜角度θｂａ，θｂｂ，θｃｂ，θｃｃよりも大きくしているので、バンク１０５ａ，１０５ｄの各面部１０５ａａ，１０５ｄｃに対するインク１０６０ａ，１０６０ｃのピンニング位置Ｑａａ，Ｑｄｃは、他のピンニング位置Ｑｂａ，Ｑｂｂ，Ｑｃｂ，Ｑｃｃよりも高い位置となる。
【０１２７】
このようにピンニング位置Ｑａａ，Ｑｄｃの高さを、他のピンニング位置Ｑｂａ，Ｑｂｂ，Ｑｃｂ，Ｑｃｃの高さよりも高い位置とすることにより、形成された有機発光層１０６の膜厚の偏りを防止することができる。即ち、インク１０６０ａ，１０６０ｂ，１０６０ｃを同時に塗布する形態を採用する場合、サブピクセル予定領域１０００ａでは、左側にインク塗布がなされない非画素予定領域１０００ｄが存在し、また、サブピクセル予定領域１０００ｅでは、右側にインク塗布されない非画素予定領域１０００ｅが存在することによって、これら２つのサブピクセル予定領域１０００ａ，１０００ｃについては、蒸気濃度に左右で偏りを生じる。これに対して、バンク１０５ａの面部１０５ａａ、およびバンク１０５ｄの面部１０５ｄｃの各傾斜角度θａａ，θｄｃを他よりも大きくすることによって、形成された有機発光層１０６の膜厚の偏りを防止することができる。
【０１２８】
なお、図示を省略しているが、この後に、インクの乾燥を実行し、その後、電子注入層１０７，カソード電極１０８および封止層１０９などを順に積層形成することで表示パネル１０が形成される。
【０１２９】
７．効果
図４に示すように、本実施の形態に係る表示装置１の表示パネル１０では、バンク１０５ａにおけるサブピクセル１００ａ側の面部１０５ａａの傾斜角度θａａ、およびバンク１０５ｄにおけるサブピクセル１００ｃ側の面部１０５ｄｃの傾斜角度θｄｃが、他の面部１０５ｂａ，１０５ｂｂ，１０５ｃｂ，１０５ｃｃの各傾斜角度θｂａ，θｂｂ，θｃｂ，θｃｃよりも大きく設定されている。このため、図１１に示すように、インク１０６０ａ，１０６０ｂ，１０６０ｃの塗布時において、ピンニング位置Ｑａａ，Ｑｄｃが、他のピンニング位置Ｑｂａ，Ｑｂｂ，Ｑｃｂ，Ｑｃｃよりも高くなる。
【０１３０】
逆に、面部１０５ｂａ，１０５ｂｂ，１０５ｃｂ，１０５ｃｃの各傾斜角度θｂａ，θｂｂ，θｃｂ，θｃｃは、互いに等しくなっている。
【０１３１】
従って、表示パネル１０では、乾燥後における有機発光層１０６の膜厚が、サブピクセル１００ａ，１００ｂ，１００ｃで均一となり、輝度ムラが小さいという効果を有する。
【０１３２】
なお、図９、図１０および図１１を用い説明した本実施の形態に係る表示装置１の製造方法を用いれば、上記効果を有する表示装置１の製造が可能である。
【０１３３】
また、上記のように、「等しく」とは、数値面で完全に等しくするということを意味するのではなく、表示装置１の製造における寸法誤差などを考慮したものである。具体的には、表示パネル１０において、それぞれに属するサブピクセル１００ａ，１００ｂ，１００ｃの発光効率の差異（輝度ムラ）が実用上許容できる範囲で、傾斜角度を等しくするということを意味する。
【０１３４】
［変形例１］
次に、図１２を用い、表示装置１の製造方法の変形例１について説明する。図１２は、図９（ｃ）から図１０（ａ）に示す工程に対応する工程を示す。
【０１３５】
図１２に示すように、ホール注入輸送層１０４の上にバンク材料層１０５０を積層形成した後、その上方にマスク５０３を配する。マスク５０３には、光透過部５０３ａ１，５０３ａ２，５０３ｂ，５０３ｃ，５０３ｄ１，５０３ｄ２が設けられている。各光透過部５０３ａ１，５０３ａ２は、バンク１０５ａを形成しようとする箇所に対応して設けられ、光透過部５０３ｂ，５０３ｃは、それぞれバンク１０５ｂ，１０５ｃを形成しようとする各箇所に対応して設けられ、光透過部５０３ｄ１，５０３ｄ２は、バンク１０５ｄを形成しようとする箇所に対応して設けられている。
【０１３６】
本変形例１に係る表示装置１の製造方法では、サブピクセル予定領域１０００ｂの左側に対応した領域の光透過部５０３ｂの幅Ｗｂが、形成しようとするバンク１０５ｂの面部１０５ｂａ，１０５ｂｂ（図４を参照。）の各下端のポイントＰｂ１，Ｐｂ２により規定されている。
【０１３７】
一方、サブピクセル１０００ａと非画素予定領域１０００ｄとの間に対応した領域の光透過部５０３ａ１の幅Ｗａ１は、形成しようとするバンク１０５ａ（図４を参照。）の下端のポイントＰａ２により規定され、光透過部５０３ａ２の幅Ｗａ２は、バンク１０５ａの面部１０５ａａ（図４を参照。）の上端のポイントＰａ１および下端のポイントＰａ３により規定されている。同様に、サブピクセル１０００ｃと非画素予定領域１０００ｅとの間に対応した領域の光透過部５０３ｄ１の幅Ｗｄ１は、形成しようとするバンク１０５ｄ（図４を参照。）の非画素予定領域１０００ｅ側の面部の下端のポイントＰｄ２により規定され、光透過部５０３ｄ２の幅Ｗｄ２は、バンク１０５ｄの面部１０５ｄｃ（図４を参照。）の上端のポイントＰｄ１および下端のポイントＰｄ３により規定されている。
【０１３８】
ここで、マスク５０３は、ハーフトーンなどのマスクを用い構成されており、光透過部５０３ａ１，５０３ｂ，５０３ｃ，５０３ｄ１と光透過部５０３ａ２，５０３ｄ２との光の透過率が異なっている。具体的には、光透過部５０３ａ２，５０３ｄ２の光の透過率は、光透過部５０３ａ１，５０３ｂ，５０３ｃ，５０３ｄ１の光の透過率よりも大きい。
【０１３９】
以上のような構成を有するマスク５０３を配した状態で、露光・現像を実行した後、ベークすることにより、図１０（ｂ）に示すような、バンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄを形成することができる。即ち、光の透過率が大きく設定された光透過部５０３ａ２，５０３ｄ２を通して露光された箇所では、他の光透過部５０３ａ１，５０３ｂ，５０３ｃ，５０３ｄ１を通して露光された箇所よりも、上記［数１］および上記［数２］で示す関係のように、側壁面の傾斜角度が大きくなる。
【０１４０】
なお、この後の工程は、上記実施の形態などと同様である。
【０１４１】
以上のような製造方法によっても、表示装置１を製造することができる。
【０１４２】
［変形例２］
次に、図１３および図１４を用い、表示装置１の製造方法の変形例２について説明する。図１３および図１４は、図９（ｃ）から図１０（ｂ）に示す工程に対応する工程を示す。
【０１４３】
図１３（ａ）に示すように、ホール注入輸送層１０４の上にバンク材料層１０５０を積層形成した後、その上方にマスク５０４を配する。マスク５０４には、バンク１０５を形成しようとする各箇所に対応して、開口５０４ａ，５０４ｂ，５０４ｃ，５０４ｄが設けられている。
【０１４４】
開口５０４ｂ，５０４ｃは、上記実施の形態の製造方法で用いたマスク５０１の開口５０１ｂ，５０１ｃと同じ幅を以って形成されている。
【０１４５】
一方、サブピクセル予定領域１０００ａと非画素予定領域１０００ｄとの間、およびサブピクセル予定領域１０００ｃと非画素予定領域１０００ｅとの間の、それぞれに形成しようとするバンク１０５ａ，１０５ｄ（図４を参照。）を形成しようとする箇所に設けられた開口５０４ａ，５０４ｄの幅Ｗａ３，Ｗｄ３は、図１３（ａ）の二点鎖線で囲んだ部分に示すように、バンク１０５ａ，１０５ｄ（図４を参照）の各上端および各下端のポイントＰａ２，Ｐａ３，Ｐｄ２，Ｐｄ３で規定される幅よりも大きくなるように設定されている。具体的には、傾斜角度を大きくしようとする箇所で、幅を大きくしている。
【０１４６】
図１３（ａ）に示す形態のマスク５０４を配した状態で、１回目の露光・現像を実行する。これにより、図１３（ｂ）に示すように、開口５０４ａ，５０４ｂ，５０４ｃ，５０４ｄのそれぞれに対応する箇所にバンク材料層１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｃ，１０５１ｄが残る。
【０１４７】
なお、図１３（ｂ）に示すように、１回目の露光・現像を実行した状態では、バンク材料層１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｃ，１０５１ｄの各面部の傾斜角度は、均一である。ただし、バンク材料層１０５１ａ，１０５１ｄのＸ軸方向での幅は、バンク材料層１０５１ｂ，１０５１ｃのＸ軸方向での幅よりも広くなる。
【０１４８】
本変形例２においては、この時点でのベークを行わない。
【０１４９】
図１４（ａ）に示すように、バンク材料層１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｃ，１０５１ｄが形成された状態で、その上方に、マスク５０５を配する。マスク５０５には、形成しようとするバンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄの面部に対応する箇所の内、傾斜角度を大きくしようとする箇所（バンク１０５ａの面部１０５ａａ、およびバンク１０５ｄの面部１０５ｄｃ）に限定して開口５０５ａ，５０５ｄが設けられている。
【０１５０】
マスク５０５を配した状態で、２回目の露光・現像を行った後、ベークをすることにより、図１４（ｂ）に示すようなバンク１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄが形成できる。
【０１５１】
この後、上記実施の形態などと同様の工程を実行することにより、表示装置１を製造することができる。
【０１５２】
［製造方法の検証］
上記実施の形態および変形例１，２に係る各製造方法について、具体例を以って形成後のバンク形状について検証を行った。その結果について、図１６を用い説明する。
【０１５３】
図１５（ａ）に示すように、露光量を増やすほど、形成されるバンク側面部の傾斜角度が大きくなる。具体的には、露光量を２００［ｍＪ］として露光・現像した場合に形成されるバンク側面部の傾斜角度は、２３［°］であるのに対して、露光量を３００［ｍＪ］として露光・現像した場合に形成されるバンク側面部の傾斜角度は、３８［°］である。この結果については、図１５（ｂ）に示すＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）にも示されている。
【０１５４】
さらに、図１５（ａ）および図１５（ｂ）に示すように、露光量を２００［ｍＪ］として１回目の露光・現像を行った後、露光量を１００［ｍＪ］として２回目の露光・現像を行った場合には、形成されるバンク側面部の傾斜角度が５０［°］となる。これは、上記変形例２に係る製造方法に対応するものであり、バンク側面部の傾斜角度を大きくするのに有効であると考えられる。
【０１５５】
なお、図１５（ｂ）において、横軸は横方向を示し、縦軸は高さ方向を示す。
【０１５６】
［その他の事項］
先ず、上記実施の形態および変形例１，２では、バンク１０５，１０５ａ〜１０５ｄ，１０５ｘ，１０５ｙの各面部が平面であると模式的に示したが、バンクの面部については、必ずしも平面でなくてもよい。例えば、図１６（ａ）に示すように、バンク６０５の場合には、ポイントＰ61からポイントＰ62までの間の面と、ポイントＰ62からポイントＰ63までの間の面とが、交差することになる。この場合、インク塗布時におけるピンニング位置Ｑｙ１は、ポイントＰ62からポイントＰ63までの間の面に存する。そして、ポイントＰ62を通る仮想直線Ｌ1を引いたときに形成される面部の傾斜角度θｙ２が、ピンニング位置との関係で重要となる。
【０１５７】
しかし、バンク６０５の形成においては、下地層であるホール注入輸送層１０４とバンク６０５のポイントＰ61からポイントＰ62までの間の面とがなす角度θｙ１を制御することにより、角度θｙ２も制御されることになるので、実質的に、傾斜角度θｙ１を制御することで、上記のような効果を得ることが可能である。即ち、図１６（ａ）に示す角度θｙ１に対して、ポイントＰ71からポイントＰ72までの間の面の角度θｙ１１が大きいバンク７０５を形成した場合には（図１６（ｂ））、図１６（ｂ）に示すように、ポイントＰ72からポイントＰ73までの間の面が仮想直線Ｌ2に対してなす角度θｙ１２も、図１６（ａ）の角度θｙ２に対して大きくなる。
【０１５８】
次に、上記実施の形態および変形例１，２では、表示パネル１０における上記構成の適用領域を限定しなかったが、表示パネルにおける全領域に対して上記構成を適用することもできるし、一部の領域に限定して上記構成を適用することもできる。図１７に示すように、表示パネル１０を、その面に沿った方向において、形式的に、中央部に配された領域１０ａと、その周辺に配された領域１０ｂとに区分けすることができる。ここで、領域１０ａは、アノード電極がその下部に形成されたＴＦＴ層のソース電極またはドレイン電極に接続されており、発光に寄与する領域であり、対して、領域１０ｂは、アノード電極がその下部に形成されたＴＦＴ層のソース電極およびレイン電極の何れにも接続されておらず、発光に寄与しない領域である。そして、領域１０ａを、さらに中央領域１０ａ１と周辺領域１０ａ２とに形成期的に分けた場合、インク塗布時における蒸気濃度の分布状態から、周辺領域１０ａ２でサブピクセル内における有機発光層の膜厚の偏りが、より顕著に生ずるものと考えられる。
【０１５９】
なお、周辺領域１０ａ２と領域１０ｂとを合わせた領域は、パネルにおける外周部の０．５［％］〜数［％］程度（例えば、１［％］）の画素部とすることが考えられる。これは、バンクの面部における傾斜角度の調整を行わない場合における有機発光層の膜厚バラツキを考慮することによるものである。
【０１６０】
上記実施の形態および変形例１，２では、本発明の構成および作用・効果を分かりやすく説明するために一例としての各構成を採用するものであり、本発明は、本質的な部分を除き、上記形態に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態では、図２に示すように、有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にアノード電極１０２が配されている構成を一例として採用したが、本発明は、これに限らず有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にカソード電極１０８が配されているような構成を採用することもできる。
【０１６１】
有機発光層１０６に対し、そのＺ軸方向下側にカソード電極１０８を配する構成とする場合には、トップエミッション構造となるので、カソード電極１０８を反射電極層とし、その上に電極被覆層１０３を形成する構成を採用することになる。
【０１６２】
また、上記実施の形態などでは、表示装置１の具体的な外観形状を示さなかったが、例えば、図１８に示すようなシステム一部とすることができる。なお、有機ＥＬ表示装置は、液晶表示装置のようなバックライトを必要としないので、薄型化に適しており、システムデザインという観点から優れた特性を発揮する。
【０１６３】
また、上記実施の形態および変形例１，２では、バンク１０５，１０５ａ〜１０５ｄ，１０５ｘ，１０５ｙ，６０５，７０５の形態として、図３に示すような、所謂、ラインバンク構造を採用したが、図１９に示すような、Ｙ軸方向に延伸するバンク要素８０５ａとＸ軸方向に延伸するバンク要素８０５ｂとからなるピクセルバンク８０５を採用して表示パネル８０を構成することもできる。
【０１６４】
図１９に示すように、ピクセルバンク８０５を採用する場合には、各サブピクセル８００ａ，８００ｂ，８００ｃを規定するバンク８０５に対し、そのＸ軸方向およびＹ軸方向の各外側となる側壁部の傾斜角度を大きくすることで、上記同様の効果を得ることができる。具体的には、矢印Ｂ1，Ｂ2，Ｂ3，Ｂ4で指し示す面部の傾斜角度を、適宜調整することで上記効果を得ることが可能である。
【０１６５】
また、上記実施の形態および変形例１，２で採用したバンクの面部の傾斜角度の調整は、製造時の有機発光層の形成に係るインク塗布工程および乾燥工程での蒸気濃度分布に個別的に応じて適宜変更することができる。例えば、乾燥装置の構造などで、インクの乾燥時における蒸気の流れが、パネル外周部からパネル中央部に向けた方向であるような場合には、有機発光層の膜厚が厚くなる箇所に対応して、バンク側面部の傾斜角度を大きくすればよい。これにより、有機発光層の膜厚を均一化することができ、パネル全体における輝度ムラを低減することができる。
【０１６６】
また、上記実施の形態および変形例１，２では、発光色（赤色、緑色、青色）毎で、バンクの面部における傾斜角度（テーパー角）の設定に区別はないが、発光色に応じて有機発光材料を含むインクの特性が変化することが考えられるので、この場合、各発光色のインク特性に応じて、対応するバンクの面部の傾斜角度を規定することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１６７】
本発明は、輝度ムラが少なく、高い画質性能を有する有機発光パネルおよび有機表示装置を実現するに有用である。
【符号の説明】
【０１６８】
１．表示装置
１０，８０．表示パネル
１０ａ１．発光中央領域
１０ａ２．発光周辺領域
１０ｂ．ダミー領域
２０．駆動制御部
２１〜２４．駆動回路
２５．制御回路
１００，１００ａ〜１００ｃ．サブピクセル
１００ｄ，１００ｅ．非画素部
１０１．基板
１０２．アノード電極
１０３，３０３．電極被覆層
１０４．ホール注入層
１０５，１０５ａ〜１０５ｆ，１０５ｘ，１０５ｙ，６０５，７０５，８０５．バンク
１０６，１０６ｘ，１０６ｙ．有機発光層
１０７．電子注入層
１０８．カソード電極
１０９．封止層
３０２．バスバー
５０１〜５０５．マスク
１０００ａ〜１０００ｃ．サブピクセル予定領域
１０００ｄ，１０００ｅ．非画素予定領域
１０５０，１０５１ａ，１０５１ｂ，１０５１ｃ，１０５１ｄ．バンク材料層
１０６０ａ〜１０６０ｃ，１０６０ｘ，１０６０ｙ．インク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【国際調査報告】
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