(57)【要約】  本発明は、研磨定盤に複数枚の研磨パッド片が敷き詰められて構成された研磨具において、前記研磨パッド片の表面と端面との境界辺部に斜面が施されている研磨具に関する。
2012077427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨定盤に複数枚の研磨パッド片が敷き詰められて構成された研磨具において、
前記研磨パッド片の表面と端面との境界辺部に斜面が施されている研磨具。
【請求項２】
前記研磨パッド片は、弾性体のシール材を介して前記研磨定盤に真空吸着保持されている請求項１に記載の研磨具。
【請求項３】
前記シール材の圧縮率（ＪＩＳ Ｌ１０２１−６の付属書１に準ずる。但し、初期荷重は１００ｇｆ／ｃｍ２とし、最終荷重は１１２０ｇｆ／ｃｍ２とする。）は、１０〜４０％である請求項２に記載の研磨具。
【請求項４】
前記研磨パッド片は、研磨パッド支持部材を介して前記シール材に取り付けられている請求項２又は３に記載の研磨具。
【請求項５】
前記研磨具の表面には、該研磨具に対して相対移動される板状体の研磨面が押し付けられ、
前記研磨具の研磨パッド片の継ぎ目において、前記板状体の辺部が進入する側の境界辺部のみに前記斜面が施されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の研磨具。
【請求項６】
前記複数枚の研磨パッド片から構成される研磨パッドの厚み方向における前記斜面の高さは０．５〜１．５ｍｍである請求項１〜５のいずれか１項に記載の研磨具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨具に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ用に適用されるガラス板（板状体）は、その表面に存在する微小な凹凸やうねりが画像に歪みや色むらを与える原因となるため、その微小な凹凸やうねりを研磨装置によって除去している。特許文献１に開示された研磨装置は、研磨定盤に取り付けられた研磨パッド（研磨具）に、キャリアに保持されたガラス板を押し当てるとともに、研磨定盤及びキャリアを相対的に移動させて、ガラス板の微小な凹凸やうねりを除去している。【０００３】
また、特許文献１に開示された研磨パッドは、一辺が２０００ｍｍを超える大サイズのガラス板を研磨するものであり、その製作上の問題から一体品（１枚の研磨パッド）としては構成されておらず、小サイズの複数枚の研磨パッド片を研磨定盤上で敷き詰めることによって構成されている。【０００４】
なお、特許文献２には、複数枚の研磨パッド片によって構成された研磨パッドの表面を良好にツルーイングするツルーイング砥石が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公報第２００７／０２０８５９号公報
【特許文献２】国際公報第２００７／０４３２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、複数枚の研磨パッド片を研磨定盤上に敷き詰めて構成した特許文献１の研磨パッドでは、ガラス板の研磨中にガラス板の端部が破損する場合があった。【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、研磨定盤に複数枚の研磨パッド片が敷き詰められて構成された研磨具において、板状体の破損を防止することができる研磨具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、前記目的を達成するために、研磨定盤に複数枚の研磨パッド片が敷き詰められて構成された研磨具において、前記研磨パッド片の表面と端面との境界辺部に斜面が施されている研磨具を提供する。【０００９】
本願発明者は、研磨定盤に複数枚の研磨パッド片が敷き詰められて構成された研磨具において、その研磨具を使用した際に発生する板状体の破損原因を鋭意検討した結果、次の知見を得た。【００１０】
すなわち、板状体は、研磨具と板状体との間に付与される研磨圧力によって研磨されるが、この際に、板状体と接触している研磨パッド片が研磨圧力により弾性変形して研磨定盤側に沈み込む。これにより、沈み込んだ研磨パッド片と、この研磨パッド片に隣接し、かつ板状体と接触していない（沈み込んでいない）研磨パッド片との間に段差部が生じる。そして、研磨中に移動している板状体の端部が段差部に、つまり、沈み込んでいない研磨パッド片の側面部に衝突又は引っ掛かることにより、板状体の端部が破損することを突き止めた。【００１１】
そこで、このような不具合を防止するために、本願発明は、研磨パッド片の表面と端面との境界辺部に斜面を施した。すなわち、複数枚の研磨パッド片の継ぎ目部において、研磨パッド片のランド部に面取り加工によって前記斜面を施した。【００１２】
これにより、研磨中に移動している板状体の端部は、現在接触している研磨パッド片から、次に接触する研磨パッド片の前記斜面に沿って次の研磨パッド片に円滑に乗り上げる。これにより、本発明によれば、板状体の端部が段差部に衝突する、又は引っ掛かるという従来の問題を解消できるので、板状体の破損を防止できる。【００１３】
本発明の研磨パッド片は、弾性体のシール材を介して前記研磨定盤に真空吸着保持されていることが好ましい。【００１４】
研磨パッド片を研磨定盤に保持させる手段として、真空吸着保持手段を採用した場合、研磨定盤には多数の吸引孔が開口され、これらの吸引孔が吸引ポンプに接続されている。また、研磨パッド片を研磨定盤に直接真空吸着保持させるのではなく、軟質で弾性体のシール材を介して研磨パッドを研磨定盤に保持させる。これにより、研磨定盤に対する研磨パッド片の真空吸着性が向上する。【００１５】
ところで、シール材を使用すると、シール材が軟質であるが故に研磨パッド片の前記沈み込み量が大きくなるという懸念がある。しかしながら本発明は、板状体の端部が前記斜面に乗り上げるという作用により、シール材を使用しても、板状体の破損を防止できる。【００１６】
本発明によれば、前記シール材の圧縮率（ＪＩＳ Ｌ１０２１−６の付属書１に準ずる
。但し、初期荷重は１００ｇｆ／ｃｍ２とし、最終荷重は１１２０ｇｆ／ｃｍ２とする。）は１０〜４０％であることが好ましい。【００１７】
圧縮率が４０％を超えると、研磨定盤に対する研磨パッド片の吸着保持性（シール性）はよくなるが、シール材が過度に軟らかいためシール材の耐久性が低くなる。一方で、シール材の圧縮率が１０％未満であると、シール材が硬過ぎるためシール性が低くなるので好ましくない。【００１８】
本発明の前記研磨パッド片は、研磨パッド支持部材を介して前記シール材に取り付けられていることが好ましい。【００１９】
本発明によれば、研磨パッド支持部材によって研磨パッド片を補強できるので、研磨パッド片の使用寿命を延ばすことができる。【００２０】
本発明によれば、前記研磨具の表面には、該研磨具に対して相対移動される板状体の研磨面が押し付けられ、前記研磨具の研磨パッド片の継ぎ目において、前記板状体の辺部が進入する側の境界辺部のみに前記斜面が施されていることが好ましい。【００２１】
板状体の研磨面は、研磨具と板状体と間に付与される研磨圧力と、自転、公転、及び揺動による相対移動動作とによって研磨される。【００２２】
本願発明者は、鋭意検討した結果、前記相対移動中の板状体の辺部が、研磨パッド片の継ぎ目に対して略平行に乗り上げようとした際に、板状体の端部の破損頻度が高くなることを突き止めた。そこで、本発明は、研磨パッド片の継ぎ目において、板状体の辺部が進入する側の境界辺部のみに斜面を施した。これにより、研磨パッド片の全ての境界辺部に斜面を施すことなく、板状体の破損を防止することができる。【００２３】
本発明によれば、前記複数枚の研磨パッド片から構成される研磨パッドの厚み方向における前記斜面の高さは０．５〜１．５ｍｍであることが好ましい。【００２４】
板状体と接触している研磨パッド片が研磨圧力により弾性変形して研磨定盤側に沈み込む量は、概ね０．３〜０．８ｍｍであるため、研磨パッドの厚み方向における斜面の高さを０．５〜１．５ｍｍとすることにより、板状体の端部が段差部に衝突する、又は引っ掛かるという従来の問題を解消できる。また、前記斜面の高さが１．５ｍｍを超えると、研磨パッドの面方向における前記斜面の幅が大きくなり、前記斜面に起因する板状体の欠陥が生じ易くなるので、前記斜面の高さは１．５ｍｍ以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の研磨具によれば、研磨パッド片の表面と端面との境界辺部に斜面を施したので、研磨対象である板状体の破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、実施の形態の研磨具が適用された研磨装置の全体構造を示す平面図である。
【図２】図２は、キャリアとキャンバスとの組み立て斜視図である。
【図３】図３は、研磨ステージの構成を示した側面図である。
【図４】図４は、ガラス板の研磨状態を示した要部拡大断面図である。
【図５】図５は、研磨定盤の構成を一部破断して示した斜視図である。
【図６】図６は、研磨パッド及び研磨定盤の構成を示した断面図である。
【図７】図７は、研磨パッドに対するガラス板の研磨動作を示した平面図である。
【図８】図８は、研磨パッドの斜視図である。
【図９】図９は、ガラス板の端部が研磨パッド片の段差部に衝突する説明図である。
【図１０】図１０は、ガラス板の端部が研磨パッド片の斜面に乗り上げる説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付図面に従って本発明に係る研磨具の好ましい実施の形態を詳説する。
【００２８】
図１は、実施の形態の研磨具が適用された研磨装置の全体構成を示す平面図である。この研磨装置１０は、例えば一辺が２０００ｍｍを超え、厚みが０．２ｍｍ〜０．７ｍｍの大型のガラス板（板状体）Ｇの研磨面を、実施の形態の研磨具を用いて液晶ディスプレイ用ガラス板に必要な平坦度に研磨する研磨装置である。
【００２９】
研磨装置１０は、研磨前のガラス板Ｇを搬送するコンベア１２、ガラス板Ｇをキャンバス１４に貼着するガラス板貼着ステージ１６、第１の研磨ステージ１８、第２の研磨ステージ２０、研磨完了したガラス板Ｇをキャンバス１４から取り外すガラス板取り外しステージ２２、ガラス板搬出用コンベア２４、キャンバス洗浄ステージ２６、キャンバス乾燥ステージ２８、及びキャンバス返送コンベア３０を主として備えている。以下、説明を簡略するために、ガラス板貼着ステージ１６、第１の研磨ステージ１８、第２の研磨ステージ２０、ガラス板取り外しステージ２２、キャンバス洗浄ステージ２６、及びキャンバス乾燥ステージ２８については、単にステージ１６、１８、２０、２２、２６、２８と記載する。
【００３０】
研磨装置１０には、ステージ１６からステージ１８にキャンバス１４を搬送する搬送装置１５０、ステージ１８からステージ２０にキャンバス１４を搬送する搬送装置１５２、及びステージ２０からステージ２２にキャンバス１４を搬送する搬送装置１５４が設けられている。これらの搬送装置１５０、１５２、１５４は、同一構成であって研磨装置１０を統括制御する制御部２００によってその動作が制御されており、図１上で左右方向に同期して往復移動される。
【００３１】
コンベア１２によって搬送されてきた研磨前のガラス板Ｇは、ロボット３２のアーム３３に設けられた吸着パッド３４に吸着保持される。そして、アーム３３の回転動作によってコンベア１２からコンベア３６に移載され、コンベア３６によってステージ１６に搬送される。
【００３２】
ステージ１６において、研磨前のガラス板Ｇがキャンバス１４に貼着される。この貼着方法について説明すると、キャンバス１４はステージ１６において、不図示の昇降装置に保持されており、キャンバス１４の下方にガラス板Ｇが位置したところで、キャンバス１４が昇降装置により下降移動され、図２に示すキャンバス１４のバックプレート３８に取り付けられた発泡ポリウレタン製の吸着シート３９がガラス板Ｇの非研磨面に押し付けられる。この押圧力によってガラス板Ｇの非研磨面がバックプレート３８に吸着シート３９を介して着脱自在に貼着される。その後、キャンバス１４が図１の搬送装置１５０に保持されて、図３のステージ１８に搬送され、ここで研磨ヘッド５０のキャリア５２に保持される。
【００３３】
キャンバス１４は図２に示すように、矩形状のバックプレート３８を、同じく矩形状の上枠４０と下枠４２との間で張設した後、上枠４０と下枠４２とを不図示のボルトによって締結することによって構成される。バックプレート３８、上枠４０、及び下枠４２は、研磨時における研磨圧力とガラス板Ｇの研磨抵抗に十分に耐え得る材質、例えばアルミニウム等の金属で構成されている。また、バックプレート３８の厚さは、２〜４ｍｍ程度が好適である。
【００３４】
次に、図３に示した研磨ヘッド５０について説明する。なお、ステージ１８の研磨ヘッド５０及びステージ２０の研磨ヘッド５０は同一構造なので、同一の符号を付して説明する。
【００３５】
研磨ヘッド５０は、本体ケーシング５１を備えており、本体ケーシング５１には不図示の自転・公転駆動機構部が内蔵されている。この自転・公転駆動機構部は、プラネタリーギア機構部とモータとによって構成され、このモータで駆動されるプラネタリーギア機構部の出力軸が、鉛直方向に垂下されたスピンドル５６に連結されている。また、このスピンドル５６にキャリア５２が連結されている。したがって、前記プラネタリーギア機構部が駆動されると、キャリア５２及びキャンバス１４はスピンドル５６を中心に自転されるとともに、所定の公転中心を中心に公転される。
【００３６】
更に、本体ケーシング５１は、昇降機構１５６を介してスライダ１５８に連結されている。この昇降機構１５６によって本体ケーシング５１がスライダ１５８に対して昇降されることにより、キャリア５２がステージ１８の円形の研磨パッド（研磨具）５８、及びステージ２０の円形の研磨パッド（研磨具）６０に対し進退移動されるとともに、図４の如くバックプレート３８の吸着シート３９に貼着されたガラス板Ｇの研磨面が研磨パッド５８（６０）に所定の研磨圧力で押圧される。
【００３７】
研磨パッド５８の詳細については後述するが、軽量で剛性の高い金属製（例えばアルミニウム製）の研磨プレート（研磨パッド支持部材）１１０、及び軟質で吸着保持性を高める樹脂製（例えばポリウレタン製）のシール材１１２を介して図５の如く研磨定盤６２の上面に貼り付けられる。
【００３８】
研磨定盤６２は、研磨テーブル６４に軸受６５を介して回転自在に支持されており、その回転中心は研磨パッド５８の中心軸と同軸上に設定されている。また、研磨定盤６２の側面にはギヤ部６６が設けられ、このギヤ部６６に、モータ６８によって回転されるギヤ６７が噛合されている。更に、ギヤ部６６は、研磨パッド５８の中心軸を中心とする円弧状に構成されている。したがって、モータ６８を駆動することにより、研磨パッド５８がその中心軸を中心に回動される。
【００３９】
また、研磨テーブル６４は、平行に配置された一対のガイドレール６９、６９にスライド移動自在に支持されている。研磨テーブル６４をガイドレール６９、６９に沿って往復動作させる駆動部（不図示）を備えることにより、研磨パッド５８が必要時において水平方向に揺動される。研磨パッド５８の揺動方向は、図１の搬送装置１５０による搬送方向に対して直交する方向でもよく、この搬送方向に沿った方向でもよい。すなわち、研磨パッド５８を水平方向に揺動させる方向であればよい。
【００４０】
なお、図５の研磨定盤６２には、研磨パッド５８の裏側にスラリを供給するための多数のホース（不図示）が連結されている。これらのホースを絡めさせないために、研磨パッド５８は所定の基準位置から所定の角度範囲で旋回するようにその回転が規制されている。前記ホースから研磨パッド５８の裏側に供給されたスラリは、研磨パッド５８を透過して研磨パッド５８の表面から滲み出る。
【００４１】
また、研磨定盤６２には図６の断面図に示すように、研磨パッド５８、６０を真空吸着保持するための吸引孔１１４、１１４…が備えられており、これらの吸引孔１１４、１１４…は三方弁１１６を介して吸引ポンプ１１８に連結されている。したがって、三方弁１１６によって吸引ポンプ１１８と吸引孔１１４、１１４…とを連通させることにより、研磨定盤６２に研磨パッド５８が真空吸着保持される。また、三方弁１１６を大気開放させることにより、研磨定盤６２によるガラス板Ｇの吸着保持が解除される。
【００４２】
研磨パッド５８の揺動速度、旋回範囲、旋回速度等の旋回動作と、研磨ヘッド５０の自転速度、公転径、公転回転数等の公転動作は、図１の制御部２００によって独立して制御されている。
【００４３】
研磨パッド６０の各部構成については、上述した研磨パッド５８の構成と同一なので、ここではその説明を省略する。
【００４４】
一方、図３の如くステージ１８のスライダ１５８には、直動ガイド７０、７０が取り付けられている。直動ガイド７０、７０はガイドレール７２、７２に嵌合されている。このガイドレール７２、７２は、図１の如くステージ１８のスピンドル５６やキャリア５２をメンテナンスするメンテナンスステージ７４に向けて配設されている。
【００４５】
また、図３の如くステージ２０のスライダ１５８にも同様に、直動ガイド７０、７０が取り付けられ、直動ガイド７０、７０はガイドレール１６０、１６０に嵌合されている。このガイドレール１６０、１６０は、図１の如くステージ２０のスピンドル５６やキャリア５２をメンテナンスするメンテナンスステージ７６に向けて配設されている。
【００４６】
次に、図２に示したキャリア５２について説明する。
【００４７】
キャリア５２の４辺部には、キャリア５２にキャンバス１４を保持させるための複数の保持部８０、８０…が設けられている。保持部８０は、図４の如くキャリア５２の４辺部の端部５２Ａを押圧する円盤８２と、キャンバス１４の上枠４０の４辺部の端部４０Ａを押圧する円盤８４と、円盤８２と円盤８４とを連結するピン８６とから構成される。円盤８２と円盤８４を前記の如く押圧させる押圧手段は、キャリア５２に内設されており、例えばシリンダのピストンをピン８６に連結し、ピストンを収縮させることにより、円盤８２と円盤８４を引き寄せて円盤８２を端部５２Ａに押圧させるとともに、円盤８４を端部４０Ａに押圧させる。なお、前記押圧手段は、前記シリンダに限定されるものではなく、また、保持部８０の形態も本例に限定されるものではない。すなわち、キャリア５２にキャンバス１４を着脱自在に保持できる構成であれば、如何なるものでもよい。
【００４８】
一方、キャリア５２の下面の周縁の内側には、周縁に沿ったマウント８８が形成されており、そのマウント８８の下面にシール部材９０が取り付けられている。キャリア５２にキャンバス１４が保持部８０に保持されて、ガラス板Ｇが研磨パッド５８、６０に押圧された際に、バックプレート３８の上面がシール部材９０に圧接される。これにより、キャリア５２とキャンバス１４との間に気密性のよい空気室５４が形成される。
【００４９】
キャリア５２には、空気室５４に圧縮エアを噴出する噴射口９８、９８…が開口されている。これらの噴射口９８、９８…は、キャリア５２の上面に備えられた空気室１００を介して、図３上の破線で示すエア供給路１０２に連通される。エア供給路１０２は、研磨ヘッド５０に取り付けられた不図示のロータリジョイントを介して研磨ヘッド５０の外部に延設され、バルブ１０４を介してエアポンプ１０６に接続されている。したがって、バルブ１０４を開放すると、エアポンプ１０６からの圧縮エアがエア供給路１０２、図４の空気室１００、及び噴射口９８を介して空気室５４に供給される。これにより、圧縮エアの圧力がバックプレート３８を介してガラス板Ｇに伝達され、この圧力によってガラス板Ｇの研磨面が図３の研磨パッド５８、６０に押し付けられて研磨される。また、空気室５４に供給された圧縮エアは、シール部材９０によって空気室５４が密閉されているので、空気室５４からの洩れが抑えられている。これによって、圧縮エアの圧力が効率よくガラス板Ｇに伝達される。
【００５０】
図１に示したステージ２０でガラス板Ｇの研磨が終了すると、ここでキャンバス１４がキャリア５２から取り外されて搬送装置１５４によりステージ２２に搬送される。そして、ステージ２２では、キャンバス１４から、研磨終了したガラス板Ｇを剥ぎ取る。剥ぎ取られたガラス板Ｇは、コンベア１３８によって搬送され、そして、ロボット１４０のアーム１４２に取り付けられた吸着ヘッド１４４に吸着され、ロボット１４０の動作によってガラス板搬出用コンベア２４に移載され、研磨装置１０の外部に搬出される。
【００５１】
また、ガラス板Ｇが剥ぎ取られたキャンバス１４はコンベア１４６によってステージ２６に搬送され、ここで水洗浄される。洗浄終了したキャンバス１４は、コンベア１４８によってステージ２８に搬送され、ここで加熱されて乾燥される。そして、乾燥終了したキャンバス１４は、キャンバス返送コンベア３０によってステージ１６に搬送され、ガラス板Ｇの貼着に再使用される。以上が研磨装置１０の全体構成である。
【００５２】
次に、図５および図６に示した研磨パッド５８（６０）について説明する。
【００５３】
研磨パッド５８（６０）は、図７の平面図、及び図８の斜視図に示すように、８枚の研磨パッド片１２０、１２０…から構成され、図６の如く、研磨定盤６２に敷き詰められて構成される。また、各々の研磨パッド片１２０、１２０は、研磨プレート１１０を介してシール材に接着剤もしくは両面テープにより取り付けられている。各々の、研磨パッド片１２０、１２０、研磨プレート１１０及びシール材１１２は、研磨定盤６２に真空吸着保持される。更に、各々の研磨パッド片１２０、１２０…の表面１２０Ａと端面１２０Ｂとの境界辺部に斜面１２２が施されている。
【００５４】
本願の発明者は、研磨定盤６２に複数枚の研磨パッド片１２０、１２０…が敷き詰められて構成された研磨パッド５８（６０）において、この研磨パッド５８（６０）を使用した際に発生するガラス板Ｇの破損原因を鋭意検討した結果、次の知見を得た。
【００５５】
図９の如く、ガラス板Ｇは研磨パッド５８（６０）とガラス板Ｇとの間に付与される、矢印Ａで示す研磨圧力によって研磨される。この際に、ガラス板Ｇと接触している研磨パッド片１２０−１が研磨圧力により、弾性変形して研磨定盤６２側に沈み込む。なお、図９では、シール材１１２が弾性変形して研磨パッド片１２０−１が沈み込む図が示されているが、研磨パッド片１２０−１自体が弾性変形して沈み込む場合もある。この現象によって、沈み込んだ研磨パッド片１２０−１と、この研磨パッド片１２０−１に隣接し、かつガラス板Ｇと接触していない（沈み込んでいない）研磨パッド片１２０−２との間に段差部が生じる。そして、研磨中に矢印Ｂ方向に移動しているガラス板Ｇの端部Ｇ１が段差部に、つまり、沈み込んでいない研磨パッド片１２０−２の側面部１２０−２Ａに衝突又は引っ掛かることにより、ガラス板Ｇの端部Ｇ１が破損することを突き止めた。
【００５６】
そこで、このような不具合を防止するために、実施の形態の研磨パッド５８（６０）では、図６の如く研磨パッド片１２０の表面１２０Ａと端面１２０Ｂとの境界辺部に斜面１２２を施した。すなわち、８枚の研磨パッド片１２０、１２０…の継ぎ目部において、研磨パッド片１２０のランド部に面取り加工によって斜面１２２を施した。なお、実施の形態では、８枚の研磨パッド片１２０、１２０…からなる研磨パッド５８（６０）を例示したが、研磨パッド片１２０の枚数は８枚に限定されず、複数枚であればよい。
【００５７】
これにより、図１０の如く、研磨中に矢印Ｂ方向に移動しているガラス板Ｇは、現在接触している研磨パッド片１２０−１から、次に接触する研磨パッド片１２０−２の斜面１２２に沿って次の研磨パッド片１２０−２に円滑に乗り上げる。これにより、この研磨パッド５８（６０）によれば、ガラス板Ｇの端部Ｇ１が図９のように段差部に衝突する、又は引っ掛かるという従来の問題を解消できるので、ガラス板Ｇの破損を防止できる。
【００５８】
また、研磨パッド５８（６０）の厚み方向における斜面１２２の高さｈは０．５〜１．５ｍｍであることが好ましい。ガラス板Ｇと接触している研磨パッド片１２０−１が研磨圧力により弾性変形して研磨定盤６２側に沈み込む量は、概ね０．３〜０．８ｍｍであるため、斜面１２２の高さｈが０．５ｍｍ未満であると、ガラス板Ｇの端部Ｇ１が段差部に衝突する、又は引っ掛かるので、斜面１２２の高さｈは０．５ｍｍ以上であることが好ましい。また、斜面１２２の高さｈが１．５ｍｍを超えると、研磨パッド５８（６０）の面方向における斜面１２２の幅が大きくなり、斜面１２２に起因するガラス板Ｇの欠陥が生じ易くなるので、斜面１２２の高さｈは１．５ｍｍ以下であることが好ましい。
研磨パッド５８（６０）の厚み方向における斜面１２２のパッド主面に対する角度θは、３０〜６０°であることが好ましい。角度θが３０°未満であると面取り加工が困難であり、角度θが６０°を超えるとガラス板Ｇの端部Ｇ１が斜面１２２に引っ掛かり易くなるので、角度θは３０〜６０°であることが好ましい。
【００５９】
一方、実施の形態の研磨パッド５８（６０）は、軟質で弾性体のシール材１１２を介して研磨定盤に真空吸着保持されている。すなわち、研磨パッド片１２０を研磨定盤６２に直接真空吸着保持させるのではなく、軟質のシール材１１２を介して研磨定盤６２に吸着保持させる。これにより、研磨定盤６２に対する研磨パッド片１２０の真空吸着性が向上する。
【００６０】
このように軟質のシール材１１２を使用すると、シール材１１２が研磨圧力によって容易に弾性変形し、沈み込み量が大きくなるという懸念がある。しかしながら実施の形態の研磨パッド５８（６０）によれば、図１０に示したようにガラス板Ｇの端部Ｇ１が斜面１２２に乗り上げるという作用により、軟質のシール材１１２を使用しても、ガラス板Ｇの破損を防止できる。
【００６１】
シール材１１２の圧縮率（ＪＩＳ Ｌ１０２１−６−２００７の付属書１に準ずる。但し、初期荷重は１００ｇｆ／ｃｍ２とし、最終荷重は１１２０ｇｆ／ｃｍ２とする。）は１０〜４０％であることが好ましい。
【００６２】
圧縮率が４０％超であると、研磨定盤６２に対する研磨パッド片１２０の吸着保持性（シール性）はよくなるが、シール材１１２が過度に軟らかいためシール材１１２の耐久性が低くなる。一方で、シール材１１２の圧縮率が１０％未満であると、シール材１１２が硬過ぎるためシール性が低くなるので好ましくない。
【００６３】
上述した実施の形態の研磨パッド５８（６０）では、研磨パッド片１２０の全周辺部に斜面１２２を施す例を説明したが、斜面１２２を施す部分は、全周辺部に限定されるものではない。つまり、研磨パッド片１２０、１２０…の図７、図８の実線で示した４本の継ぎ目１２４、１２６、１２８、１３０において、移動しているガラス板Ｇの辺部（この場合には長辺部）Ｇ−１、Ｇ−２が進入する側の境界辺部のみに斜面１２２を施してもよい。すなわち、図１０においては、研磨パッド１２０−２の境界辺部のみに斜面１２２を施せばよい。
【００６４】
ガラス板Ｇの研磨面は、研磨パッド５８（６０）とガラス板Ｇと間に付与される研磨圧力と、図７のスピンドル５６を中心とした矢印Ａで示すガラス板Ｇの自転、矢印Ｂで示すガラス板Ｇの公転、及び矢印Ｃで示す研磨パッド５８（６０）の水平方向の揺動による相対移動動作とによって研磨される。
【００６５】
本願発明者は、鋭意検討した結果、相対移動中のガラス板Ｇの辺部Ｇ−１、Ｇ−２が、研磨パッド片１２０、１２０…の継ぎ目１２６、１３０に対して略平行に乗り上げようとした際に、ガラス板Ｇの端部の破損頻度が高くなることを突き止めた。
【００６６】
そこで、実施の形態の研磨パッド５８（６０）は、継ぎ目１２６、１３０において、ガラス板Ｇの辺部Ｇ−１、Ｇ−２が進入する側の境界辺部のみに斜面１２２を施した。これにより、研磨パッド片１２０、１２０の全ての境界辺部に斜面１２２を施すことなく、ガラス板Ｇの破損を防止することができる。
【００６７】
なお、実施の形態では、板状体としてガラス板Ｇを例示したが、ガラス板Ｇに限定されるものではなく、研磨具によってその研磨面が研磨される板状体であれば、本発明の研磨具を適用することができる。
【００６８】
本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の範囲と精神を逸脱することなく、様々な修正や変更を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
本出願は、２０１０年１２月７日出願の日本特許出願２０１０−２７２８２０に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【符号の説明】
【００６９】
Ｇ…ガラス板、１０…研磨装置、１２…コンベア、１４…キャンバス、１６…ガラス板貼着ステージ、１８…第１の研磨ステージ、２０…第２の研磨ステージ、２２…ガラス板取り外しステージ、２４…ガラス板搬出コンベア、２６…キャンバス洗浄ステージ、２８…キャンバス乾燥ステージ、３０…キャンバス返送コンベア、３２…ロボット、３３…アーム、３４…吸着パッド、３６…コンベア、３８…バックプレート、３９…吸着シート、４０…上枠、４２…下枠、５０…研磨ヘッド、５１…本体ケーシング、５２…キャリア、５４…空気室、５６…スピンドル、５８、６０…研磨パッド、６２…研磨定盤、６４…研磨テーブル、６５…軸受、６６…ギヤ部、６７…ギヤ、６８…モータ、６９…ガイドレール、７０…直動ガイド、７２…ガイドレール、７４、７６…メンテナンスステージ、８０…保持部、８２、８４…円盤、８６…ピン、８８…マウント、９０…シール部材、９８…噴射口、１００…空気室、１０２…エア供給路、１０４…バルブ、１０６…エアポンプ、１１０…研磨プレート、１１２…シール材、１１４…吸引孔、１１６…三方弁、１１８…吸引ポンプ、１２０…研磨パッド片、１２２…斜面、１２４、１２６、１２８、１３０…継ぎ目、１３８…コンベア、１４０…ロボット、１４２…アーム、１４４…吸着ヘッド、１４６…コンベア、１４８…コンベア、１５０、１５２、１５４…搬送装置、１５６…昇降機構、１５８…スライダ、１６０…ガイドレール、２００…制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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