(57)【要約】  本位置合わせ装置は、測定対象物を照射して得られる反射光を受光する受光部を有する反射特性測定装置を着脱可能な位置合わせ装置であって、反射特性測定装置を着脱可能な上側部材（１１）と、上側部材（１１）を支持する下側部材（１２）と、上側部材（１１）と下側部材（１２）とが互いに重なった閉状態と、上側部材（１１）および下側部材（１２）の互いの一端が連結され、他端が開いた開状態とを取り得るように、上側部材（１１）と下側部材（１２）とを連結する連結部（１３）とを備えている。そして、上側部材（１１）は、装着された反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部を有し、当該位置決め部は、反射特性測定装置（１Ａ）が上側部材（１１）に装着されたときに、反射特性測定装置（１Ａ）の受光部と連結部（１３）との中間位置よりも受光部に近い位置で位置決めを行う。
2012101922.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を有する反射特性測定装置と組み合わせて用いられ、測定対象となる微小領域に対して前記反射特性測定装置の受光部の位置を合わせるための位置合わせ装置であって、
前記反射特性測定装置を着脱可能な第１部材と、
前記第１部材を支持する第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部と、
を備え、
前記第１部材は、装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部を有し、
前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置された位置合わせ装置。
【請求項２】
前記反射特性測定装置の装着状態において、前記第１部材は、前記一端とは反対の前記他端側において、前記反射特性測定装置の前記受光部を配置させる開口を有し、
前記第１部材は、前記反射特性測定装置を前記第１部材に固定するための固定用部材を前記位置決め部として、前記開口に沿って有している請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項３】
前記固定用部材は、前記開口の内側に向けて突出した突起部を有し、
前記反射特性測定装置は、当該反射特性測定装置の前記受光部の周囲に設けられた切り欠き部と前記突起部とを嵌合させて、前記第１部材に装着される請求項２に記載の位置合わせ装置。
【請求項４】
前記反射特性測定装置の装着状態において、前記第１部材は、前記一端とは反対の前記他端側において、前記反射特性測定装置の前記受光部を配置させ、
前記第１部材は、所定間隔を有して設けられた２つの位置決め用部材を前記位置決め部として有し、
前記２つの位置決め用部材のうち少なくとも一方は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置に設けられる請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項５】
前記位置決め用部材は、前記第１部材に設けられた突起および穴のいずれかである請求項４に記載の位置合わせ装置。
【請求項６】
前記第２部材は、前記第１部材と対向する面とは反対の面において、滑り止め部材を有し、
当該滑り止め部材は、前記第２部材の前記一端側に設けられる請求項１から請求項５のいずれかに記載の位置合わせ装置。
【請求項７】
測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を有する反射特性測定装置と、
当該反射特性特定装置を装着可能な位置合わせ装置と、
を備え、
前記位置合わせ装置は、
前記反射特性測定装置を着脱可能な第１部材と、
前記第１部材を支持する第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１部材は、装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部を有し、
前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置された反射特性測定システム。
【請求項８】
前記反射特性測定システムは、前記反射特性測定装置を移動可能にガイドするガイド装置をさらに備え、
前記位置合わせ装置を前記反射特性測定装置に装着して行う測定と、
前記ガイド装置を前記反射特性測定装置に装着して行う測定とが可能である請求項７に記載の反射特性測定システム。
【請求項９】
前記ガイド装置は、前記位置合わせ装置を未装着の前記反射特性測定装置が前記ガイド装置に装着された状態で、前記受光部と対向する測定開口を有する請求項８に記載の反射特性測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射特性測定装置を装着可能な測定対象の位置合わせ装置の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定対象物に光を照射して得られる反射光を測定し、測定対象物の反射特性を測定する反射特性測定装置が知られている。【０００３】
このような反射特性測定装置を用いては、例えば、反射特性測定装置を静止させて、微小領域における測定対象物の反射特性を測定するスポット測定と、反射特性測定装置を移動させつつ、測定対象物の反射特性を連続的に測定するスキャン測定とを行うことができる。【０００４】
一般的に、スポット測定を行う際には、測定対象となる微小領域に対して、反射特性測定装置の位置ずれをなくすために、測定対象に位置合わせをする装置（ターゲットマスク）が用いられる。例えば、特許文献１に記載の反射特性測定装置は、測定装置本体に対し、位置合わせ装置が、軸回転可能に一体的に構成された形状となっており、位置合わせ装置を用いて微小領域を測定対象とした、スポット測定を行うことができる。【０００５】
一方、スキャン測定では、反射特性測定装置を移動させる際に生じる測定対象物に対する反射特性測定装置の位置ずれを防ぐため、反射特性測定装置の移動を案内するガイド装置が用いられる。すなわち、スキャン測定の際には、反射特性測定装置をガイド装置上に載せて移動させることにより、反射特性測定装置の移動によって生じる測定の際の反射特性測定装置の位置ずれを防止することができる（例えば、特許文献２）。【０００６】
しかし、特許文献１に記載の反射特性測定装置は、位置合わせ装置と分離不可能に構成されているため、当該反射特性測定装置をスキャン測定するためのガイド装置に載せた場合、反射特性測定装置とガイド装置との間に位置合わせ装置が介在することになり、当該位置合わせ装置がスキャン測定の障害となり得る。そこで、スポット測定を行う際に使用する位置合わせ装置は、スキャン測定時には取り外せることが望ましい。【０００７】
従来においても、反射特性測定装置を位置合わせ装置から取り外し可能に構成された装置が知られており、例えば、特許文献３には、測定装置本体の後面下部を中心として回動可能に取り付けることができる測定位置指示板が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許第５６９１８１７号明細書
【特許文献２】米国特許第７４６６４１６号明細書
【特許文献３】特開昭６３−３０５２２５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来の着脱可能な位置合わせ装置では、反射特性測定装置において反射光を受光する受光部から離れた位置において反射特性測定装置が位置決めされているため、測定対象となる微小領域と受光部との間には、測定の際に位置ずれが生じていた。【００１０】
特に、スキャン測定との併用に適するマウス形状の測定装置および横型の測定装置では、位置合わせ装置に取り付けたときに受光部から連結部までの距離が長くなるため、さらに位置ずれの影響が大きくなるという問題がある。【００１１】
そこで、本発明は、反射特性測定装置に着脱可能な位置合わせ装置を用いて測定を行う場合において、取り付けが容易で、測定対象物に対する位置合わせ精度を向上させることが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を有する反射特性測定装置と組み合わせて用いられ、測定対象となる微小領域に対して前記反射特性測定装置の受光部の位置を合わせるための位置合わせ装置であって、前記反射特性測定装置を着脱可能な第１部材と、前記第１部材を支持する第２部材と、前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部とを備え、前記第１部材は、装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部を有し、前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置される。【００１３】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る位置合わせ装置において、前記反射特性測定装置の装着状態において、前記第１部材は、前記一端とは反対の前記他端側において、前記反射特性測定装置の前記受光部を配置させる開口を有し、前記第１部材は、前記反射特性測定装置を前記第１部材に固定するための固定用部材を前記位置決め部として、前記開口に沿って有している。【００１４】
また、請求項３の発明は、請求項２の発明に係る位置合わせ装置において、前記固定用部材は、前記開口の内側に向けて突出した突起部を有し、前記反射特性測定装置は、当該反射特性測定装置の前記受光部の周囲に設けられた切り欠き部と前記突起部とを嵌合させて、前記第１部材に装着される。【００１５】
また、請求項４の発明は、請求項１の発明に係る位置合わせ装置において、前記反射特性測定装置の装着状態において、前記第１部材は、前記一端とは反対の前記他端側において、前記反射特性測定装置の前記受光部を配置させ、前記第１部材は、所定間隔を有して設けられた２つの位置決め用部材を前記位置決め部として有し、前記２つの位置決め用部材のうち少なくとも一方は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置に設けられる。【００１６】
また、請求項５の発明は、請求項４の発明に係る位置合わせ装置において、前記位置決め用部材は、前記第１部材に設けられた突起および穴のいずれかである。【００１７】
また、請求項６の発明は、請求項１から請求項５のいずれかの発明に係る位置合わせ装置において、前記第２部材は、前記第１部材と対向する面とは反対の面において、滑り止め部材を有し、当該滑り止め部材は、前記第２部材の前記一端側に設けられる。【００１８】
また、請求項７の発明は、反射特性測定システムであって、測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を有する反射特性測定装置と、当該反射特性特定装置を装着可能な位置合わせ装置とを備え、前記位置合わせ装置は、前記反射特性測定装置を着脱可能な第１部材と、前記第１部材を支持する第２部材と、前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部とを有し、前記第１部材は、装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部を有し、前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置される。【００１９】
また、請求項８の発明は、請求項７の発明に係る反射特性測定システムにおいて、前記反射特性測定装置を移動可能にガイドするガイド装置をさらに備え、前記位置合わせ装置を前記反射特性測定装置に装着して行う測定と、前記ガイド装置を前記反射特性測定装置に装着して行う測定とが可能である。【００２０】
また、請求項９の発明は、請求項８の発明に係る反射特性測定システムにおいて、前記ガイド装置は、前記位置合わせ装置を未装着の前記反射特性測定装置が前記ガイド装置に装着された状態で、前記受光部と対向する測定開口を有する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、測定対象物に対して、反射特性測定装置の受光部を精度良く位置合わせすることが可能になり、ひいては、所望の測定対象物を精度良く測定することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る反射特性測定装置の上面外観図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る反射特性測定装置の下面外観図である。
【図３】反射特性測定装置を含むシステム図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る反射特性測定装置を着脱可能な位置合わせ装置の外観図である。
【図５】反射特性測定装置を位置合わせ装置に装着した状態を示す図である。
【図６】反射特性測定装置を位置合わせ装置に装着した状態を示す図である。
【図７】反射特性測定装置をガイド装置に装着した状態を示す図である。
【図８】位置合わせ装置の下面外観図である。
【図９】スポット測定を行う場合の手順を示すフローチャートである。
【図１０】白色校正台を示す図である。
【図１１】スキャン測定を行う場合の手順を示すフローチャートである。
【図１２】本発明の第２実施形態に係る反射特性測定装置の上面外観図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係る反射特性測定装置の下面外観図である。
【図１４】本発明の第２実施形態に係る反射特性測定装置を着脱可能な位置合わせ装置の外観図である。
【図１５】反射特性測定装置を位置合わせ装置に装着した状態を示す図である。
【図１６】反射特性測定装置を位置合わせ装置に装着した状態を示す図である。
【図１７】位置合わせ装置の下面外観図である。
【図１８】反射特性測定装置を位置合わせ装置に装着した際の、係合部材の状態を示す模式図である。
【図１９】本発明の第１実施形態に係る反射特性測定装置に照度アタッチメントを取り付けた状態を示す図である。
【図２０】照度測定を行う場合の手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の各実施形態について図面を参照して説明する。
【００２４】
＜１．第１実施形態＞
［概要］
図１および図２は、本発明の第１実施形態に係る反射特性測定装置１Ａの外観図である。ここで、図１は、反射特性測定装置１Ａの上面外観図であり、図２は、反射特性測定装置１Ａの下面外観図である。
【００２５】
図１および図２に示される反射特性測定装置１Ａは、当該反射特性測定装置１Ａ本体の内部から測定対象物（「被測定物」または単に「試料」とも称する）に光を照射して得られる反射光を受光し、当該反射光に基づいて、測定対象物の反射特性を測定する機能を有している。なお、反射特性測定装置１Ａとしては、例えば、分光測色計、色彩計、光沢計、および濃度計等が含まれる。
【００２６】
特定対象物への光の照射および反射光の受光は、反射特性測定装置１Ａの下面側（図２参照）に設けられた受光開口３を介して行われる。すなわち、測定対象物において反射した反射光は、受光開口３から反射特性測定装置１Ａの内部に導かれ、反射特性測定装置１Ａにおいて反射特性の測定に用いられる。なお、反射光は、受光開口３から反射特性測定装置１Ａの内部に導かれるため、受光開口３は、反射特性測定装置１Ａにおける「受光部」とも称される。
【００２７】
また、このような反射特性測定装置１Ａには、種々の付属部品（付属装置）を取り付けることができる。図３は、反射特性測定装置１Ａを含むシステム図である。
【００２８】
具体的には、図３に示されるように、反射特性測定装置１Ａには、位置合わせ装置１０Ａ、白色校正台３０、スキャン用ガイド装置（単に「ガイド装置」とも称する）５０、および照度測定用アタッチメント（単に「照度アタッチメント」とも称する）７０を取り付けて様々な態様で測定を行うことができる。そして、反射特性測定装置１Ａによって取得された測定情報は、通信線路を介して、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）２００へと送信される。なお、付属部品を装着した反射特性測定装置１Ａは、反射特性測定システムとも称される。
【００２９】
以下では、位置合わせ装置１０Ａを用いた場合の測定手法と、ガイド装置５０を用いた場合の測定手法とについて説明する。
【００３０】
位置合わせ装置１０Ａを用いた場合、すなわち位置合わせ装置１０Ａに反射特性測定装置１Ａを装着した場合は、反射特性測定装置１Ａを静止させて、微小領域における測定対象物の反射特性を測定するスポット測定を行うことができる。図４は、反射特性測定装置１Ａを着脱可能な位置合わせ装置１０Ａの外観図である。また、図５および図６は、反射特性測定装置１Ａを位置合わせ装置１０Ａに装着した状態を示す図であり、特に図６は、位置合わせ装置１０Ａに装着された反射特性測定装置１Ａを用いて、スポット測定を行っているときの状態図を示している。
【００３１】
本実施形態の位置合わせ装置１０Ａとしては、図４に示されるような形状の位置合わせ装置１０Ａが採用される。当該位置合わせ装置１０Ａに、反射特性測定装置１Ａが開いた状態（「開状態」とも称する）で装着されると、図５に示される状態となる。
【００３２】
実際に反射特性を測定する際には、使用者によって反射特性測定装置１Ａが上部から押さえつけられて、図６に示される閉じた状態（「閉状態」とも称する）へと遷移させられる。そして、当該閉状態において反射特性測定装置１Ａの側面に設けられた測定ボタン２が押下され、スポット測定が実行される。
【００３３】
このように位置合わせ装置１０Ａを用いてスポット測定を行うことによれば、測定対象となる微小領域に対する、反射特性測定装置の受光部の位置ずれを防止することができる。
【００３４】
一方、ガイド装置５０を用いた場合、すなわち位置合わせ装置１０Ａを未装着の反射特性測定装置１Ａをガイド装置５０に装着した場合は、反射特性測定装置１Ａを移動させつつ、移動経路に沿って配置された測定対象物としてのカラーパッチの反射特性を連続的に測定するスキャン測定を行うことができる。図７は、反射特性測定装置１Ａをガイド装置５０に装着した状態を示す図である。
【００３５】
ガイド装置５０としては、例えば、図７に示されるような直線状の測定開口５１を有するガイド装置５０が採用される。反射特性測定装置１Ａをガイド装置５０に装着すると、反射特性測定装置１Ａの受光部は、ガイド装置５０の測定開口５１に対向することになる。また、反射特性測定装置１Ａをガイド装置５０に装着すると、反射特性測定装置１Ａに設けられた突部（不図示）がガイド装置５０のガイド溝５２に嵌合されることになるので、反射特性測定装置１Ａをガイド溝５２に沿って直線的に移動させることが可能になる。実際にスキャン測定を行う際には、反射特性測定装置１Ａを移動させつつ、測定ボタン２が押下される。なお、ここでは、反射特性測定装置１Ａを直線的に移動可能なガイド装置５０を例示したが、反射特性測定装置１Ａの移動経路（移動軌跡）は曲線的であってもよい。この場合、ガイド装置に設けられる測定開口は、移動経路に沿った曲線状のものとなる。
【００３６】
このように、ガイド装置５０を用いてスキャン測定を行うことによれば、反射特性測定装置１Ａを移動させる際に生じる測定対象物に対する反射特性測定装置１Ａの位置ずれを防ぐことができる。
【００３７】
また、本実施形態では、スキャン測定の際の反射特性測定装置１Ａの移動方向と、反射特性測定装置１Ａの長手方向とが一致するように、反射特性測定装置１Ａがガイド装置５０に装着されることになる。
【００３８】
これによれば、スキャン測定の際の反射特性測定装置１Ａの移動方向と、反射特性測定装置１Ａの長手方向とが垂直となるように、反射特性測定装置１Ａを装着可能なガイド装置５０に比べて、反射特性測定装置１Ａの移動の際に反射特性測定装置１Ａにおいて発生する傾きを低減することができるので、スキャン測定の際の反射特性測定装置１Ａの移動動作を安定させることができる。
【００３９】
［位置合わせ装置の構成について］
次に、本実施形態における位置合わせ装置１０Ａの構成について詳述する。図８は、位置合わせ装置１０Ａの下面外観図である。
【００４０】
上述のように、微小領域における測定対象物の反射特性を測定するスポット測定では、測定対象の微小領域に対する、反射特性測定装置１Ａの受光部の位置ずれを防止するために、位置合わせ装置１０Ａが用いられる。
【００４１】
図４に示されるように、位置合わせ装置１０Ａは、反射特性測定装置１Ａを着脱可能な上側部材（第１部材）１１と、当該上側部材１１を支持する下側部材（第２部材）１２とで構成されている。
【００４２】
上側部材１１と下側部材１２とは、互いの一端側において、連結部（「ヒンジ部」とも称する）１３によって回動可能に連結されている。これにより、上側部材１１と下側部材１２とは、互いに重なった閉状態（第１状態）と、上側部材１１および下側部材１２の互いの一端が連結され、他端が開いた開状態（第２状態）との間で遷移可能となる。なお、連結部１３の内部には、バネ等の付勢部材が組み込まれており、外部から力が加わらない通常の状態では、常に開状態となる。
【００４３】
位置合わせ装置１０Ａの上側部材１１は、上記一端側において、反射特性特定装１Ａの底面凸部７がほぼ嵌まり込む形状をしており、また上記他端側においては、反射特性測定装置１Ａの受光部を配置する円形の開口１５を有している。また、上側部材１１は、当該開口１５に沿って、反射特性測定装置１Ａを位置合わせ装置１０Ａに固定するための固定用部材１６を有している。開口１５に沿って設けられた略環状の固定用部材１６は、開口１５の内側（内方）に向けて突出した複数の突起部１７を有している。反射特性測定装置１Ａを位置合わせ装置１０Ａに装着する際には、上記一端側に反射特性測定装置１Ａの底面凸部７を嵌め込むと、開口１５に反射特性測定装置１Ａの受光部が嵌め込まれた状態となり、この状態で、固定用部材１６によって反射特性測定装置１Ａと位置合わせ装置１０Ａとが固定されることになる。
【００４４】
具体的には、反射特性測定装置１Ａ（図２参照）は、受光開口３の周囲に、当該反射特性測定装置１Ａを位置合わせ装置１０Ａに取り付けるための取付用部材５を有している。当該取付用部材５には、切り欠き部６が複数設けられており、反射特性測定装置１Ａを位置合わせ装置１０Ａに装着する際には、複数の当該切り欠き部６が、位置合わせ装置１０Ａの固定用部材１６に設けられた複数の突起部１７にそれぞれ嵌合される。そして、切り欠き部６と突起部１７とが嵌合した状態で、固定用部材１６のレバー１８を回転方向にスライドさせると、突起部１７と切り欠き部６との位置がずれることになり、切り欠き部同士の間の箇所に突起部１７が係合して、反射特性測定装置１Ａと位置合わせ装置１０Ａとは互いに固定される。
【００４５】
このように、位置合わせ装置１０Ａの固定用部材１６は、位置合わせ装置１０Ａに装着された反射特性測定装置１Ａの位置決めを行う位置決め部として機能し、反射特性測定装置１Ａは、位置合わせ装置１０Ａに対して、受光部を嵌め込む開口１５付近において固定されることになる。
【００４６】
すなわち、位置決め部として機能する固定用部材１６は、上側部材１１において、連結部１３が存在する一端側とは異なる他端側に設けられており、位置合わせ装置１０Ａでは、当該他端側において位置決めが行われることになる。これによれば、連結部１３が存在する一端側において位置決めを行う場合よりも、測定対象物に対する位置合わせ精度を向上させることが可能になる。また、受光開口３の周囲を同心円状の固定用部材１６で位置決めをするため、さらに位置合わせ精度を高くすることができる。
【００４７】
なお、本実施形態の位置決め態様は、上側部材１１において、反射特性測定装置１Ａを上側部材１１に装着したときの受光部の位置を基準位置とした場合、連結部１３の位置よりも当該基準位置に近い位置で固定用部材１６によって位置決めされるとも表現できる。また、本実施形態の位置決め態様は、反射特性測定装置１Ａが上側部材１１に装着されたときの受光部の位置と、連結部１３の位置との間の中間地点よりも受光部側の位置で固定用部材１６によって位置決めされるとも表現できる。
【００４８】
位置合わせ装置１０Ａの下側部材１２は、上記他端側において、測定開口１４とつまみ部１９とを有し、机等の土台上に配置される。なお、測定の際には、土台の上に測定対象物が配置され、測定対象物の上に下側部材１２がさらに配置されることになる。換言すれば、測定の際には、土台と下側部材１２との間に測定対象物が挟まれて配置されることになる。
【００４９】
測定開口１４は、スポット測定において測定対象となる微小領域を規定し、上側部材１１に装着される反射特性測定装置１Ａの受光部の位置と、閉状態において対向する位置に設けられる。
【００５０】
スポット測定は、測定開口１４内に収まった物体について行われるため、スポット測定を行う際には、測定開口１４内に測定対象物が収まるように、測定対象物と位置合わせ装置１０Ａとの位置を調整することになる。
【００５１】
つまみ部１９は、測定対象物と位置合わせ装置１０Ａとの位置調整に用いられる。下側部材１２につまみ部１９を設けることによれば、反射特性測定装置１Ａを操作しつつ、反射特性測定装置１Ａを操作する手とは反対の手でつまみ部１９を操作することができるので、位置調整を容易に行うことができる。また、つまみ部１９を用いた位置調整では、測定対象物と位置合わせ装置１０Ａとの位置の微調整を行うことができる。
【００５２】
また、図８に示されるように、下側部材１２において、土台との接地面には、滑り止め部材２０が設けられている。スポット測定の際には、連結部１３の真下に押さえつける力が働くことになるので、当該滑り止め部材２０は、下側部材１２において連結部１３が存在する一端側、すなわち連結部１３の真下に設けられることが好ましい。このように、下側部材１２における土台との接地面に、滑り止め部材２０を設けることによれば、測定の際の位置合わせ装置１０Ａのブレを抑制することができる。
【００５３】
また、下側部材１２の全ては、透過性の部材を用いて構成されることが好ましい。透過性の部材を用いて構成することによれば、下側部材１２に重なった測定対象物を視認することができるので、測定対象物と位置合わせ装置１０Ａとの位置調整が容易になる。
【００５４】
［測定手順について］
次に、スポット測定を行う場合の動作工程、およびスキャン測定を行う場合の動作工程についてそれぞれ説明する。図９は、スポット測定を行う場合の手順を示すフローチャートである。図１０は、白色校正台３０を示す図である。
【００５５】
図９に示されるように、スポット測定を行う場合は、ステップＳＰ１１において、付属部品未装着の状態で、反射特性測定装置１Ａが白色校正台３０の上に載せられる。図１０に示されるように、白色校正台３０は、白色校正板（白色板）３１を有している。反射特性測定装置１Ａは、反射特性測定装置１Ａの受光部を白色板３１に合わせるように、白色校正台３０の上に配置される。
【００５６】
ステップＳＰ１２では、白色校正板３１の反射特性が測定され、反射特性測定装置１Ａの白色校正が行われる。
【００５７】
次のステップＳＰ１３では、反射特性測定装置１Ａが位置合わせ装置１０Ａに装着される。
【００５８】
ステップＳＰ１４では、位置合わせ装置１０Ａを試料上に載せ、試料において測定対象とする部分に、位置合わせ装置１０Ａの測定開口１４を合わせる位置合わせを行う。
【００５９】
ステップＳＰ１５では、反射特性測定装置１Ａを上部から押さえて、反射特性測定装置１Ａの受光開口３を測定開口１４に密着させる。
【００６０】
ステップＳＰ１６では、受光開口３を測定開口１４に密着させた状態で、測定ボタン２が押下され、反射特性の測定が行われる。
【００６１】
ステップＳＰ１７では、反射特性測定装置１ＡからＰＣへと測定データが送信される。ステップＳＰ１８では、ＰＣに測定結果が表示される。
【００６２】
このように、スポット測定を行う場合は、白色校正（ステップＳＰ１１，ＳＰ１２）を行った後で、反射特性測定装置１Ａを位置合わせ装置１０Ａに装着し（ステップＳＰ１３）、測定対象物の反射特性が測定される（ステップＳＰ１４〜ＳＰ１８）。
【００６３】
次に、スキャン測定を行う場合の手順について説明する。図１１は、スキャン測定を行う場合の手順を示すフローチャートである。
【００６４】
図１１に示されるように、スキャン測定を行う場合は、ステップＳＰ２１において、上記ステップＳＰ１１と同様、付属部品未装着の状態で、反射特性測定装置１Ａが白色校正台３０の上に載せられる。
【００６５】
ステップＳＰ２２では、上記ステップＳＰ１２と同様、白色校正板３１の反射特性が測定され、反射特性測定装置１Ａの白色校正が行われる。
【００６６】
次のステップＳＰ２３では、測定対象物となるカラーパッチ上にガイド装置５０を位置合わせして配置する。
【００６７】
ステップＳＰ２４では、反射特性測定装置１Ａがガイド装置５０に装着される。
【００６８】
ステップＳＰ２５では、反射特性測定装置１Ａを移動させつつ、反射特性の測定が行われる。
【００６９】
ステップＳＰ２６では、上記ステップＳＰ１７と同様、反射特性測定装置１ＡからＰＣへと測定データが送信される。
【００７０】
ステップＳＰ２７では、上記ステップＳＰ１８と同様、ＰＣに測定結果が表示される。
【００７１】
このように、スキャン測定を行う場合は、白色校正（ステップＳＰ２１，ＳＰ２２）を行った後で、反射特性測定装置１Ａをガイド装置５０に装着し（ステップＳＰ２４）、測定対象物の反射特性が測定される（ステップＳＰ２５〜ＳＰ２７）。
【００７２】
以上のように、本実施形態に係る位置合わせ装置１０Ａは、測定対象物に光を照射し、得られる反射光を受光する受光部を有する反射特性測定装置１Ａを着脱可能な上側部材１１と、上側部材１１を支持する下側部材１２と、上側部材１１と下側部材１２とが互いに重なった閉状態と、上側部材１１および下側部材１２の互いの一端が連結され、他端が開いた開状態とを取り得るように、上側部材１１と下側部材１２とを連結する連結部１３とを備えている。そして、上側部材１１は、装着された反射特性測定装置１Ａの位置決めを行う位置決め部を有し、当該位置決め部は、上側部材１１において、反射特性測定装置が上側部材１１に装着されたときの受光部と連結部１３との中間位置よりも、受光部に近い位置で位置決めを行う。
【００７３】
このような位置合わせ装置１０Ａによれば、上側部材１１の連結部１３が存在する一端側において位置決めを行う場合よりも、測定対象物に対する位置合わせ精度を向上させることが可能になり、ひいては、所望の測定対象物を精度良く測定することが可能になる。
【００７４】
＜２．第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態に係る位置合わせ装置１０Ｂは、その上側部材の上に、第１実施形態の反射特性測定装置１Ａよりも大きな反射特性測定装置１Ｂを装着できるように構成される。図１２および図１３は、本発明の第２実施形態に係る反射特性測定装置１Ｂの外観図である。ここで、図１２は、反射特性測定装置１Ｂの上面外観図であり、図１３は、反射特性測定装置１Ｂの下面外観図である。図１４は、反射特性測定装置１Ｂを着脱可能な位置合わせ装置１０Ｂの外観図である。また、図１５および図１６は、反射特性測定装置１Ｂを位置合わせ装置１０Ｂに装着した状態を示す図であり、特に図１６は、位置合わせ装置１０Ｂに装着された反射特性測定装置１Ｂを用いて、スポット測定を行っているときの状態図である。
【００７５】
図１２に示されるように、反射特性測定装置１Ｂは、筐体上面において測定モード等の情報を表示する表示部１０１と、操作ボタン１０２とを有し、筐体側面において電源スイッチ１０３と測定ボタン１０４とを有している。
【００７６】
また、図１３に示されるように、反射特性測定装置１Ｂは、筐体下面において、受光部として機能する受光開口１０５と、受光開口１０５の近傍に形成された位置決め用溝１０６と、受光開口１０６から離れた一端に形成された位置決め用突起１０７と、位置決め用溝１０６と位置決め用突起１０７との間に形成された略Ｄ字形状の係合用凹部１０８とを有している。また、係合用凹部１０８の側面には、一部に横方向に空いた係合用穴１０９（図１８参照）が設けられている。
【００７７】
本実施形態の反射特性測定装置１Ｂは、表示部１０１を有しているため、第１実施形態の反射特性測定装置１Ａに比べて大きな筐体となっている。このため、反射特性測定装置１Ｂを用いてスポット測定を行う際には、上記第１実施形態の位置合わせ装置１０Ａに設けられた開口１５を有さない、すなわち、上側部材１１１において反射特性測定装置１Ｂの受光部を囲む部分を有さない、図１４に示されるような形状の位置合わせ装置１０Ｂが用いられる。
【００７８】
図１５には、位置合わせ装置１０Ｂに反射特性測定装置１Ｂを装着したときの開状態の態様が示されている。位置合わせ装置１０Ｂは、開口１５を有さず、受光部周囲において位置合わせ装置１０Ｂを構成する部材を有していないことから、このような位置合わせ装置１０Ｂを用いることによれば、受光部周囲の視認性を向上させることができる。
【００７９】
実際に反射特性を測定する際には、使用者によって反射特性測定装置１Ｂが上部から押さえつけられて、図１６に示される閉状態へと遷移させられる。そして、当該閉状態において反射特性測定装置１Ｂの側面に設けられた測定ボタン１０４が押下され、スポット測定が実行される。
【００８０】
ここで、本実施形態における位置合わせ装置１０Ｂの構成について詳述する。図１７は、位置合わせ装置１０Ｂの下面外観図である。図１８は、係合部材１１５の一部が係合用穴１０９に入って、反射特性測定装置１Ｂと位置合わせ装置１０Ｂとが係合された状態を示す模式図である。
【００８１】
図１４に示されるように、位置合わせ装置１０Ｂは、反射特性測定装置１Ｂを着脱可能な上側部材（第１部材）１１１と、当該上側部材１１１を支持する下側部材（第２部材）１１２とで構成されている。
【００８２】
上側部材１１１と下側部材１１２とは、互いの一端側において、連結部（「ヒンジ部」とも称する）１１３によって回動可能に連結されている。これにより、上側部材１１１と下側部材１１２とは、互いに重なった閉状態（第１状態）と、上側部材１１１および下側部材１１２の互いの一端が連結され、他端が開いた開状態（第２状態）との間で遷移可能となる。なお、連結部１１３の内部には、バネ等の付勢部材が組み込まれており、外部から力が加わらない通常の状態では、常に開状態となる。
【００８３】
位置合わせ装置１０Ｂの上側部材１１１は、中央付近において反射特性測定装置１Ｂを係合させる略Ｄ字形状の係合部材１１５を有している。反射特性測定装置１Ｂを位置合わせ装置１０Ｂに装着する際には、当該係合部材１１５は、反射特性測定装置１Ｂの係合用凹部１０８（図１３参照）に略Ｄ字形状の直線部分が一致した状態で嵌め込まれる。そして、係合部材１１５を反射特性測定装置１Ｂの係合用凹部１０８に嵌め込んだ状態で、係合部材１１５と繋がったレバー１１８を図１７において時計方向に回転させると、係合部材１１５は回転軸１１０を中心として回転し、係合部材１１５の一部が係合用凹部１０８の側面にある係合用穴１０９に入り込むことにより（図１８参照）、反射特性測定装置１Ｂと位置合わせ装置１０Ｂとが係合される。
【００８４】
またさらに、上側部材１１１は、位置決め用突起１１６と位置決め用穴１１７とを有している。位置決め用突起１１６および位置決め用穴１１７は、反射特性測定装置１Ｂの位置決めを行う位置決め部として機能する。
【００８５】
具体的には、反射特性測定装置１Ｂが位置合わせ装置１０Ｂに装着された際には、当該位置決め用突起１１６は、反射特性測定装置１Ｂの位置決め用溝１０６と嵌合され、当該位置決め用穴１１７は、反射特性測定装置１Ｂの位置決め用突起１０７と嵌合される。位置決め用突起１１６と位置決め用穴１１７とは、上側部材１１１において互いに所定の距離（間隔）を有して設けられている。つまり、位置決め用穴１１７は、反射特性測定装置１Ｂと上側部材１１１が係合される位置の近傍に設けられ、位置決め用突起１１６が嵌合する位置決め用溝１０６は、反射特性測定装置１Ｂの受光部１０５の近傍に設けられている。位置決め用突起１１６が反射特性測定装置１Ｂの位置決め用溝１０６と嵌合され、位置決め用穴１１７が反射特性測定装置１Ｂの位置決め用突起１０７と嵌合されると、反射特性測定装置１Ｂは、位置合わせ装置１０Ｂに対して位置決めされることになる。
【００８６】
このように、位置合わせ装置１０Ｂにおいて位置決め部として機能する位置決め用突起１１６が、上側部材１１１において、連結部１１３が存在する一端側とは異なる他端側に設けられており、位置合わせ装置１０Ｂでは、当該他端側においても位置決めが行われることになる。これによれば、連結部１１３が存在する一端側においてのみ位置決めを行う場合よりも、測定対象物に対する位置合わせ精度を向上させることが可能になる。すなわち、上側部材１１１と反射特性測定装置１Ｂとを固定する位置の近傍と、受光部１０５の近傍との両方において位置決めを行うことにより、位置合わせ精度を高くすることができる。
【００８７】
なお、本実施形態の位置決め態様は、上側部材１１１において、反射特性測定装置１Ｂを上側部材１１１に装着したときの受光部の位置を基準位置とした場合、連結部１１３の位置よりも当該基準位置に近い位置で位置決め部によって位置決めされるとも表現できる。また、本実施形態の位置決め態様は、反射特性測定装置１Ｂが上側部材１１１に装着されたときの受光部の位置と、連結部１１３の位置との間の中間地点よりも受光部側の位置で位置決め部によって位置決めされるとも表現できる。
【００８８】
また、位置決め用突起１１６および位置決め用穴１１７は、それぞれ位置決め用部材とも称され、当該位置決め用部材においては、突起（凸部）および穴（凹部）のいずれを選択してもよい。位置決め用部材として突起を選択した場合は、反射特性測定装置１Ｂでは、当該突起に対応した溝（穴）が設けられ、位置決め用部材として穴を選択した場合は、反射特性測定装置１Ｂでは、当該穴に対応した突起が設けられることになる。
【００８９】
位置合わせ装置１０Ｂの下側部材１１２は、上記他端側において、測定開口１１４を有し、机等の土台上に配置される。
【００９０】
測定開口１１４は、スポット測定の測定対象となる微小領域を規定し、上側部材１１１に装着される反射特性測定装置１Ｂの受光部の位置と、閉状態において対向する位置に設けられる。
【００９１】
スポット測定は、測定開口１１４内に収まった物体について行われるため、スポット測定を行う際には、測定開口１１４内に測定対象物が収まるように、測定対象物と位置合わせ装置１０Ａとの位置を調整することになる。
【００９２】
また、図１７に示されるように、下側部材１１２において、土台との接地面には、滑り止め部材１１９が設けられている。スポット測定の際には、連結部１１３の真下に押さえつける力が働くことになるので、当該滑り止め部材１１９は、下側部材１１２において連結部１１３が存在する一端側、すなわち連結部１１３の真下に設けられることが好ましい。
【００９３】
また、下側部材１１２の接地面側には、係合部材１１５と繋がったレバー１１８が設けられている。当該レバー１１８を回転させることによって、反射特性測定装置１Ｂと位置合わせ装置１０Ｂとを係合した係合状態と、係合状態の解除状態とを選択することができる。
【００９４】
また、下側部材１１２において、少なくとも測定開口１１４の周辺部分は、透過性の部材を用いて構成されることが好ましい。透過性の部材を用いて構成することによれば、下側部材１１２に重なった測定対象物を視認することができるので、測定対象物と位置合わせ装置１０Ｂとの位置調整が容易になる。
【００９５】
以上のように、本実施形態に係る位置合わせ装置１０Ｂは、測定対象物を照射して得られる反射光を受光する受光部を有する反射特性測定装置１Ｂを着脱可能な上側部材１１１と、上側部材１１１を支持する下側部材１１２と、上側部材１１１と下側部材１１２とが互いに重なった閉状態と、上側部材１１１および下側部材１１２の互いの一端が連結され、他端が開いた開状態とを取り得るように、上側部材１１１と下側部材１１２とを連結する連結部１１３とを備えている。そして、上側部材１１１は、装着された反射特性測定装置１Ｂの位置決めを行う位置決め部を有し、当該位置決め部は、上側部材１１１において、反射特性測定装置が上側部材１１１に装着されたときの受光部と連結部１１３の中間位置よりも受光部に近い位置で位置決めを行う。
【００９６】
このような位置合わせ装置１０Ｂによれば、上側部材１１１の、連結部１１３が存在する一端側において位置決めを行う場合よりも、測定対象物に対する位置合わせ精度を向上させることが可能になり、ひいては、所望の測定対象物を精度良く測定することが可能になる。
【００９７】
＜３．変形例＞
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は、上記に説明した内容に限定されるものではない。
【００９８】
例えば、上記第１実施形態では、反射特性測定装置１Ａの受光開口３の周囲に設けられた取付用部材５に、位置合わせ装置１０Ａを装着する場合を例示したが、他の付属部品を装着する態様としてもよい。図１９は、反射特性測定装置１Ａに照度アタッチメント７０を取り付けた状態を示す図である。
【００９９】
具体的には、図１９に示されるように、付属部品として照度アタッチメント７０を反射特性測定装置１Ａに取り付けることができる。照度アタッチメント７０は、周辺光（環境光）の特性を測定する際に用いられる付属部品であり、拡散板７１とホルダ７２とで構成されている。
【０１００】
ホルダ７２の内側には、位置合わせ装置１０Ａの固定用部材１６に設けられた突起部１７と同様の突起部（不図示）が設けられており、照度アタッチメント７０を反射特性測定装置１Ａに装着する際には、当該突起部が取付用部材５に設けられた切り欠き部６に嵌合される。そして、突起部と切り欠き部６とを嵌合させた状態でホルダを回転させることにより、照度アタッチメント７０を反射特性測定装置１Ａに装着することができる。
【０１０１】
このように、反射特性測定装置１Ａにおける位置合わせ装置１０Ａに対する取付機構は、バヨネット式の取付機構としても機能するので、他の付属部品の取付機構と共通化することができる。このように、各付属部品の取付機構を共通化することによれば、取付機構を複数設ける場合に比べて、部品点数を削減することができるとともに、反射特性測定装置１Ａの外観形状をシンプルにすることができる。
【０１０２】
ここで、照度アタッチメント７０を用いて照度測定を行う場合の動作工程について説明する。図２０は、照度測定を行う場合の動作フローチャートである。
【０１０３】
図２０に示されるように、照度測定を行う場合は、ステップＳＰ３１において、付属部品未装着の状態で、反射特性測定装置１Ａが白色校正台３０の上に載せられる。
【０１０４】
ステップＳＰ３２では、白色校正板３１の反射特性が測定され、反射特性測定装置１Ａの白色校正が行われる。
【０１０５】
次のステップＳＰ３３では、反射特性測定装置１Ａに照度アタッチメント７０が装着される。
【０１０６】
ステップＳＰ３４では、反射特性測定装置１Ａが例えば測定者によって、上向きに保持される。
【０１０７】
ステップＳＰ３５では、測定ボタン２が押下され、照度測定が行われる。
【０１０８】
ステップＳＰ３６では、反射特性測定装置１ＡからＰＣへと測定データが送信される。ステップＳＰ３７では、ＰＣに測定結果が表示される。
【０１０９】
このように、照度測定を行う場合は、白色校正（ステップＳＰ３１，ＳＰ３２）を行った後で、照度アタッチメント７０を反射特性測定装置１Ａに装着し（ステップＳＰ３３）、照度測定が行われる（ステップＳＰ３４〜ＳＰ３７）。
【符号の説明】
【０１１０】
１Ａ，１Ｂ  反射特性測定装置
２，１０４  測定ボタン
３，１０５  受光開口（受光部）
５  取付用部材
１０Ａ，１０Ｂ  位置合わせ装置
１１，１１１  上側部材
１２，１１２  下側部材
１３，１１３  連結部
１４，１１４  測定開口
１６  固定用部材
１７  突起部
１１６  位置決め用突起（位置決め用部材）
１１７  位置決め用穴（位置決め用部材）
【図１】
2012101922.tif 000003
【図２】
2012101922.tif 000004
【図３】
2012101922.tif 000005
【図４】
2012101922.tif 000006
【図５】
2012101922.tif 000007
【図６】
2012101922.tif 000008
【図７】
2012101922.tif 000009
【図８】
2012101922.tif 000010
【図９】
2012101922.tif 000011
【図１０】
2012101922.tif 000012
【図１１】
2012101922.tif 000013
【図１２】
2012101922.tif 000014
【図１３】
2012101922.tif 000015
【図１４】
2012101922.tif 000016
【図１５】
2012101922.tif 000017
【図１６】
2012101922.tif 000018
【図１７】
2012101922.tif 000019
【図１８】
2012101922.tif 000020
【図１９】
2012101922.tif 000021
【図２０】
2012101922.tif 000022
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月21日(2013.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を有する反射特性測定装置と組み合わせて用いられ、測定対象となる微小領域に対して前記反射特性測定装置の受光部の位置を合わせるための位置合わせ装置であって、
前記反射特性測定装置を着脱可能な第１部材と、
前記第１部材を支持する第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部と、
を備え、
前記第１部材は、装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部を有し、
前記第２部材は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着された状態で、前記受光部に対向する第１の測定開口を有し、
前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置された位置合わせ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を有する反射特性測定装置と、
当該反射特性特定装置を装着可能な位置合わせ装置と、
を備え、
前記位置合わせ装置は、
前記反射特性測定装置を着脱可能な第１部材と、
前記第１部材を支持する第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１部材は、装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部を有し、
前記第２部材は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着された状態で、前記受光部に対向する第１の測定開口を有し、
前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置された反射特性測定システム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
前記ガイド装置は、前記位置合わせ装置を未装着の前記反射特性測定装置が前記ガイド装置に装着された状態で、前記受光部と対向する第２の測定開口を有する請求項８に記載の反射特性測定システム。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を有する反射特性測定装置と組み合わせて用いられ、測定対象となる微小領域に対して前記反射特性測定装置の受光部の位置を合わせるための位置合わせ装置であって、前記反射特性測定装置を着脱可能な第１部材と、前記第１部材を支持する第２部材と、前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部とを備え、前記第１部材は、装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部を有し、前記第２部材は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着された状態で、前記受光部に対向する第１の測定開口を有し、前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、請求項７の発明は、反射特性測定システムであって、測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を有する反射特性測定装置と、当該反射特性特定装置を装着可能な位置合わせ装置とを備え、前記位置合わせ装置は、前記反射特性測定装置を着脱可能な第１部材と、前記第１部材を支持する第２部材と、前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部とを有し、前記第１部材は、装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部を有し、前記第２部材は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着された状態で、前記受光部に対向する第１の測定開口を有し、前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、請求項９の発明は、請求項８の発明に係る反射特性測定システムにおいて、前記ガイド装置は、前記位置合わせ装置を未装着の前記反射特性測定装置が前記ガイド装置に装着された状態で、前記受光部と対向する第２の測定開口を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成26年1月17日(2014.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を長手方向に略平行な底面部に有するマウス形状または横型の反射特性測定装置と組み合わせて用いられ、測定対象となる微小領域に対して前記反射特性測定装置の受光部の位置を合わせるための位置合わせ装置であって、
前記反射特性測定装置の前記底面部に対して着脱可能な第１部材と、
前記第１部材を支持する第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部と、
を備え、
前記第１部材は、
装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部と、
装着された前記反射特性測定装置と係合する係合用の部分と、
を有し、
前記第２部材は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着された状態で、前記受光部に対向する第１の測定開口を有し、
前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置された位置合わせ装置。
【請求項２】
前記反射特性測定装置の装着状態において、前記第１部材は、前記一端とは反対の前記他端側において、前記反射特性測定装置の前記受光部を配置させる、請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項３】
前記反射特性測定装置の装着状態において、前記第１部材は、前記一端とは反対の前記他端側において、前記反射特性測定装置の前記受光部を配置させる開口を有し、
前記第１部材は、前記位置決め部を、前記開口に沿って有しているとともに、前記係合用の部分を、前記位置決め部上に有している請求項１または請求項２に記載の位置合わせ装置。
【請求項４】
前記係合用の部分は、前記位置決め部から前記開口の内側に向けて突出した突起部を有し、
前記反射特性測定装置は、当該反射特性測定装置の前記受光部の周囲に設けられた切り欠き部と前記突起部とを係合させて、前記第１部材に装着される請求項３に記載の位置合わせ装置。
【請求項５】
前記第１部材は、所定間隔を有して設けられた２つの位置決め用部材を前記位置決め部として有し、
前記２つの位置決め用部材のうち少なくとも一方は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置に設けられる請求項１または請求項２に記載の位置合わせ装置。
【請求項６】
前記位置決め用部材は、前記第１部材に設けられた突起および穴のいずれかである請求項５に記載の位置合わせ装置。
【請求項７】
前記第２部材は、前記第１部材と対向する面とは反対の面において、滑り止め部材を有し、
当該滑り止め部材は、前記第２部材の前記一端側に設けられる請求項１から請求項６のいずれかに記載の位置合わせ装置。
【請求項８】
測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を長手方向に略平行な底面部に有するマウス形状または横型の反射特性測定装置と、
当該反射特性測定装置を装着可能な位置合わせ装置と、
を備え、
前記位置合わせ装置は、
前記反射特性測定装置の前記底面部に対して着脱可能な第１部材と、
前記第１部材を支持する第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部と、
を有し、
前記第１部材は、
装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部と、
装着された前記反射特性測定装置と係合する係合用の部分と、
を有し、
前記第２部材は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着された状態で、前記受光部に対向する第１の測定開口を有し、
前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置された反射特性測定システム。
【請求項９】
前記反射特性測定装置の装着状態において、前記第１部材は、前記一端とは反対の前記他端側において、前記反射特性測定装置の前記受光部を配置させる、請求項８に記載の反射特性測定システム。
【請求項１０】
前記反射特性測定システムは、前記反射特性測定装置を該反射特性測定装置の前記長手方向と一致する方向に移動可能にガイドするガイド装置をさらに備え、
前記位置合わせ装置を前記反射特性測定装置に装着して行う測定と、
前記ガイド装置を前記反射特性測定装置に装着して行う測定とが可能である請求項８または請求項９に記載の反射特性測定システム。
【請求項１１】
前記ガイド装置は、前記位置合わせ装置を未装着の前記反射特性測定装置が前記ガイド装置に装着された状態で、前記受光部と対向する第２の測定開口を有する請求項１０に記載の反射特性測定システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を長手方向に略平行な底面部に有するマウス形状または横型の反射特性測定装置と組み合わせて用いられ、測定対象となる微小領域に対して前記反射特性測定装置の受光部の位置を合わせるための位置合わせ装置であって、前記反射特性測定装置の前記底面部に対して着脱可能な第１部材と、前記第１部材を支持する第２部材と、前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部とを備え、前記第１部材は、装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部と、装着された前記反射特性測定装置と係合する係合用の部分とを有し、前記第２部材は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着された状態で、前記受光部に対向する第１の測定開口を有し、前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る位置合わせ装置において、前記反射特性測定装置の装着状態において、前記第１部材は、前記一端とは反対の前記他端側において、前記反射特性測定装置の前記受光部を配置させる。
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明に係る位置合わせ装置において、前記反射特性測定装置の装着状態において、前記第１部材は、前記一端とは反対の前記他端側において、前記反射特性測定装置の前記受光部を配置させる開口を有し、前記第１部材は、前記位置決め部を、前記開口に沿って有しているとともに、前記係合用の部分を、前記位置決め部上に有している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項４の発明は、請求項３の発明に係る位置合わせ装置において、前記係合用の部分は、前記位置決め部から前記開口の内側に向けて突出した突起部を有し、前記反射特性測定装置は、当該反射特性測定装置の前記受光部の周囲に設けられた切り欠き部と前記突起部とを係合させて、前記第１部材に装着される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、請求項５の発明は、請求項１または請求項２の発明に係る位置合わせ装置において、前記第１部材は、所定間隔を有して設けられた２つの位置決め用部材を前記位置決め部として有し、前記２つの位置決め用部材のうち少なくとも一方は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置に設けられる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、請求項６の発明は、請求項５の発明に係る位置合わせ装置において、前記位置決め用部材は、前記第１部材に設けられた突起および穴のいずれかである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、請求項７の発明は、請求項１から請求項６のいずれかの発明に係る位置合わせ装置において、前記第２部材は、前記第１部材と対向する面とは反対の面において、滑り止め部材を有し、当該滑り止め部材は、前記第２部材の前記一端側に設けられる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、請求項８の発明は、反射特性測定システムであって、測定対象物に光を照射して得られる反射光を受光する受光部を長手方向に略平行な底面部に有するマウス形状または横型の反射特性測定装置と、当該反射特性測定装置を装着可能な位置合わせ装置とを備え、前記位置合わせ装置は、前記反射特性測定装置の前記底面部に対して着脱可能な第１部材と、前記第１部材を支持する第２部材と、前記第１部材と前記第２部材とが互いに重なった第１状態と、前記第１部材および前記第２部材の互いの一端が連結され、他端が開いた第２状態とを取り得るように、前記第１部材と前記第２部材とを連結する連結部とを有し、前記第１部材は、装着された前記反射特性測定装置の位置決めを行う位置決め部と、装着された前記反射特性測定装置と係合する係合用の部分とを有し、前記第２部材は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着された状態で、前記受光部に対向する第１の測定開口を有し、前記位置決め部は、前記反射特性測定装置が前記第１部材に装着されたときに、前記受光部と前記連結部との中間位置よりも前記受光部に近い位置となるように前記第１部材に配置される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、請求項９の発明は、請求項８の発明に係る反射特性測定システムにおいて、前記反射特性測定装置の装着状態において、前記第１部材は、前記一端とは反対の前記他端側において、前記反射特性測定装置の前記受光部を配置させる。
また、請求項１０の発明は、請求項８または請求項９の発明に係る反射特性測定システムにおいて、前記反射特性測定装置を該反射特性測定装置の前記長手方向と一致する方向に移動可能にガイドするガイド装置をさらに備え、前記位置合わせ装置を前記反射特性測定装置に装着して行う測定と、前記ガイド装置を前記反射特性測定装置に装着して行う測定とが可能である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、請求項１１の発明は、請求項１０の発明に係る反射特性測定システムにおいて、前記ガイド装置は、前記位置合わせ装置を未装着の前記反射特性測定装置が前記ガイド装置に装着された状態で、前記受光部と対向する第２の測定開口を有する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
位置合わせ装置１０Ａの上側部材１１は、上記一端側において、反射特性測定装置１Ａの底面凸部７がほぼ嵌まり込む形状をしており、また上記他端側においては、反射特性測定装置１Ａの受光部を配置する円形の開口１５を有している。また、上側部材１１は、当該開口１５に沿って、反射特性測定装置１Ａを位置合わせ装置１０Ａに固定するための固定用部材１６を有している。開口１５に沿って設けられた略環状の固定用部材１６は、開口１５の内側（内方）に向けて突出した複数の突起部１７を有している。反射特性測定装置１Ａを位置合わせ装置１０Ａに装着する際には、上記一端側に反射特性測定装置１Ａの底面凸部７を嵌め込むと、開口１５に反射特性測定装置１Ａの受光部が嵌め込まれた状態となり、この状態で、固定用部材１６によって反射特性測定装置１Ａと位置合わせ装置１０Ａとが固定されることになる。
【国際調査報告】
2012101922.tif 000023
2012101922.tif 000024
2012101922.tif 000025
2012101922.tif 000026
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