(57)【要約】誘電体バリア放電ランプ装置（１０）は、光照射開口（１２）を有するランプハウス（１１）と、このランプハウス（１１）の光照射開口（１２）に設けられた多孔状の導電体からなるメッシュ電極（３０）と、透光性の容器に放電ガスを封入してなる放電容器（３２）と、この放電容器（３２）を前記メッシュ電極（３０）との間で挟持する放電容器（３２）とは別体の電極兼容器保持部材（４０）と、メッシュ電極（３０）と電極兼容器保持部材（４０）との間に放電用の電圧を印加する電源装置と、を備える。放電容器（３２）はメッシュ電極（３０）により支えられている。
2012043705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光照射開口を有するランプハウスと、このランプハウスの前記光照射開口に設けられた多孔状の導電体からなるメッシュ電極と、透光性の容器に放電ガスを封入してなる放電容器と、この放電容器を前記メッシュ電極との間で挟持する前記放電容器とは別体の放電容器保持部材と、前記放電容器を挟んで前記メッシュ電極と対向する位置に配された電極部材と、前記メッシュ電極と前記電極部材との間に放電用の電圧を印加する電源装置と、を備え、
前記放電容器は前記メッシュ電極により支えられていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項２】
前記メッシュ電極は板材であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項３】
前記ランプハウスには、前記メッシュ電極の前記放電容器とは反対側の面に接して前記メッシュ電極を支える支持部材が、前記放電容器から外れた位置に設けられていることを特徴とする請求の範囲第１項または第２項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項４】
前記放電容器が複数本備えられ、前記メッシュ電極は複数本の前記放電容器に接するように設けられていることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第３項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項５】
前記放電容器が複数本備えられ、前記電極部材は複数本の前記放電容器に接するように設けられていることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第４項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項６】
前記支持部材は、前記放電容器の長手方向の全域に沿って設けられていることを特徴とする請求の範囲第３項ないし第５項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項７】
前記電極部材と前記放電容器保持部材とが、一体の電極兼容器保持部材であることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第６項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項８】
前記放電容器が複数本備えられ、前記電極兼容器保持部材が、複数本の前記放電容器に接するように設けられていることを特徴とする請求の範囲第７項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項９】
前記電極兼容器保持部材は、前記放電容器内の誘電体バリア放電により生じる光を反射可能な材料からなると共に、前記放電容器に接する接触部の両側に、前記放電容器内からの光を前記メッシュ電極側に反射する反射面を有することを特徴とする請求の範囲第７項または第８項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項１０】
前記電極兼容器保持部材には、前記ランプハウスの光照射開口部分の空間を低酸素状態ないし不活性ガス雰囲気とするためのガスを供給するガス供給孔を設けたことを特徴とする請求の範囲第７項ないし第９項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項１１】
前記放電容器は円筒状をなし、前記電極兼容器保持部材の前記接触部には、前記放電容器の外周面に沿う断面弧状の凹部が形成されていることを特徴とする請求の範囲範囲第７項ないし第１０項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。  
【請求項１２】
前記メッシュ電極の厚みが、０．０３ｍｍ以上０．３ｍｍ以下であることを特徴とす
る請求の範囲第１項ないし第１１項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項１３】
前記メッシュ電極が、アルミ合金、ステンレス（ＳＵＳ）、銅、ベリリウム銅から選ばれた導電体であることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第１２項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項１４】
前記メッシュ電極の開口率が、５０％以上であることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第１３項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項１５】
前記放電容器は円筒状であることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第１４項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体バリア放電ランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
誘電体バリア放電ランプ装置は、多数本の誘電体バリア放電ランプを備え、例えば半導体ウエハーや、液晶表示装置に用いられるガラス基板等を光洗浄するために使用される。従来の誘電体バリア放電ランプとしては、たとえば、内周面に電極を設けたガラス管を内管とし、外周面に電極を設けたガラス管を外管とした二重管構造のもの（特許文献１参照）と、角筒状のガラス管のほぼ半周面にメッシュ電極を備え、反対側の半周面にベタ電極を備えた単管構造のもの（特許文献２参照）とが知られている。
【特許文献１】特開２００３−２５７３７５号公報
【特許文献２】特開２００５−３２２６３２号公報
【発明の開示】
【０００３】
（発明が解決しようとする課題）
上記特許文献１および２に記載されているいずれの誘電体バリア放電ランプも、内部に放電ガスを封入したガラス管に一対の電極を一体化した構造である。これらのランプは、ガラス管内に放電ガスを充填した状態でガラス管の端部を溶着して封止し、さらにそのガラス管の表面に例えば蒸着やスパッタリングによって一対の電極を付着させ、その上で、各電極にコネクタから導出されたリード線をロウ付けすることによって製造される。このように、単にガラス管のガス封止工程のみならず、電極形成工程及びリード取付工程を経る必要があるため、従来の誘電体バリア放電ランプは非常に高価なものとならざるをえなかった。
【０００４】
また、誘電体バリア放電ランプ装置にランプを組み込むにあたっては、ランプ毎に電源装置に接続する配線構造が必要であるだけでなく、当然の如くランプ毎に装置フレームに固定する取付構造も必要であるので、ランプ装置として複雑な構造になる傾向があった。
【０００５】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、誘電体バリア放電ランプ自体の構造を簡素化すると共に、ランプ装置としても構造を簡素化できる誘電体バリア放電ランプ装置を提供することを目的とする。
【０００６】
（課題を解決するための手段）
上記課題を解決するものとして、本発明は、光照射開口を有するランプハウスと、このランプハウスの前記光照射開口に設けられた多孔状の導電体からなるメッシュ電極と、透光性の容器に放電ガスを封入してなる放電容器と、この放電容器を前記メッシュ電極との間で挟持する前記放電容器とは別体の放電容器保持部材と、前記放電容器を挟んで前記メッシュ電極と対向する位置に配された電極部材と、前記メッシュ電極と前記電極部材との間に放電用の電圧を印加する電源装置と、を備え、前記放電容器は前記メッシュ電極により支えられていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置である。
【０００７】
本発明において、誘電体バリア放電ランプは、透光性の容器に放電ガスを封入してなる放電容器を、メッシュ電極と、電極部材と、放電容器保持部材とで挟持することにより得ることができるので、従来のランプを製造するときのように、放電容器に蒸着などの方法により電極を形成する工程は不要である。
【０００８】
本発明においては、放電容器がメッシュ電極に支えられる構成なので、光が照射される経路上に、メッシュ電極以外に放電容器を支えるための部品を設ける必要がなくなる。そのため、本発明によれば、メッシュ電極以外に放電容器を支えるための部品を設けた場合と比べて、光の透過率を向上させることができる。さらに、メッシュ電極以外に放電容器を支えるための部品が設けられている場合、放電する光に紫外線が含まれるときには、当該部品が紫外線により劣化する問題が生じる可能性があるが、本発明によれば、そのような部品を省略することが出来るので、ランプの耐久性を向上することができる。
【０００９】
そして、本発明の誘電体バリア放電ランプ装置にランプを組み込む際には、所定数の放電容器を、メッシュ電極と、電極部材と、放電容器保持部材とで挟持した後、メッシュ電極および電極部材をそれぞれ電源装置に接続するだけでよい。つまり、本発明では、誘電体バリア放電ランプ装置にランプを組み込む際に、ランプごとに、電源装置に接続する配線構造やランプハウスに固定する取付構造も不要であるので、ランプ装置としても構造を簡素化することができる。
【００１０】
本発明は以下の構成であってもよい。
前記メッシュ電極は板材であってもよい。このような構成とすると、加工が容易である。
【００１１】
前記ランプハウスには、前記メッシュ電極の前記放電容器とは反対側の面に接して前記メッシュ電極を支える支持部材が、前記放電容器から外れた位置に設けられていてもよい。
放電容器と電極（メッシュ電極および電極部材）との非接触領域が多くなると、電極への電圧印加時において電極と放電容器との間に微小な放電（マイクロスパッタ）が生じ易くなり、その放電により放電容器や電極が劣化して光透過率低下を招くなど、寿命が短くなるおそれがある。しかしながら上記のような構成とすると、メッシュ電極が放電容器から外れた位置に設けられた支持部材により支えられるので、放電容器からの光の照射が遮られることなく、メッシュ電極および電極部材と放電容器との接触状態を良好なものと（密着化）することができる。その結果、放電容器や電極の劣化を防止するとともに、光透過率低下を抑制することができる。
【００１２】
前記放電容器が複数本備えられ、前記メッシュ電極は複数本の前記放電容器に接するように設けられていてもよい。このような構成とすると、複数本の放電容器を備える誘電体バリア放電ランプ装置の場合であっても、複数本の放電容器を、電極部材および放電容器保持部材と、複数本の放電容器について共通のメッシュ電極とで挟持するだけで組み込むことができるので、構造を簡素化することができる。ここで、たとえば、１のメッシュ電極を複数本の放電容器に対して接触するように設けることで、メッシュ電極を共通電極とすることができる。
【００１３】
前記放電容器が複数本備えられ、前記電極部材は複数本の前記放電容器に接するように設けられていてもよい。このような構成とすると、複数本の放電容器を備える誘電体バリア放電ランプ装置の場合であっても、複数本の放電容器を、メッシュ電極と、複数本の放電容器について共通の電極部材と、放電容器保持部材とで挟持するだけで組み込むことができるので、構造を簡素化することができる。ここで、たとえば、１の電極部材を複数本の放電容器に対して接触するように設けることで、電極部材を共通電極部材とすることができる。
【００１４】
上記構成において、前記支持部材が、前記放電容器の長手方向の全域に沿って設けられていると、放電容器を長手方向の全域に沿って支えることができ、メッシュ電極および電極兼容器保持部材と放電容器との接触状態をさらに良好なものとすることができる。
【００１５】
前記電極部材と前記放電容器保持部材とが、一体の電極兼容器保持部材であってもよい。このような構成とすると、部品点数を減らすことができ、誘電体バリア放電ランプ自体の構造を簡素化することができる。
【００１６】
上記構成において、前記放電容器が複数本備えられ、前記電極兼容器保持部材が、複数本の前記放電容器に接するように設けられていると、所定数の放電容器を、メッシュ電極と、電極兼容器保持部材とで挟持した後、メッシュ電極および電極兼保持部材をそれぞれ電源装置に接続するだけで誘電体バリア放電ランプ装置にランプを組み込むことができる。つまり、この構成では、誘電体バリア放電ランプ装置にランプを組み込む際に、ランプごとに、電源装置に接続する配線構造やランプハウスに固定する取付構造も不要であるので、ランプ装置としても構造を簡素化することができる。ここで、たとえば、１の電極兼容器保持部材を複数本の放電容器に対して接触するように設けることで、電極兼容器保持部材を共通の部材とすることができる。
【００１７】
上記構成において、前記電極兼容器保持部材は、前記放電容器内の誘電体バリア放電により生じる光を反射可能な材料からなると共に、前記放電容器に接する接触部の両側に、前記放電容器内からの光を前記メッシュ電極側に反射する反射面を有していてもよい。このような構成とすると、電極兼放容器保持部材が反射板として機能するので、メッシュ電極を通じて照射される光の透過率を向上させることができるとともに、反射板を別途設ける必要がなくなり構造をより簡素化することができる。
【００１８】
上記構成において、前記電極兼容器保持部材には、前記ランプハウスの光照射開口部分の空間を低酸素状態ないし不活性ガス雰囲気とするためのガスを供給するガス供給孔を設けてもよい。誘電体バリア放電により生じる光のうち、たとえば、波長が１７２ｎｍの紫外線は酸素と結びつきやすく、空気中を通過しにくいため、光透過率の低下が懸念される。そこで、このような構成とすると、低酸素状態ないし不活性ガス雰囲気とするガスがランプハウスの光照射開口部分の空間に導入されるので、誘電体バリア放電により生じる光が当該空間を通過しやすくなり、光透過率が向上する。
【００１９】
上記構成において、前記放電容器は円筒状をなし、前記電極兼容器保持部材の前記接触部には、前記放電容器の外周面に沿う断面弧状の凹部が形成されていてもよい。このような態様とすると、放電容器が円筒状の場合であっても、電極兼容器保持部材との接触部に設けた凹部内に放電容器の外周面が沿うように配されるので、放電容器がずれにくくなる。
【００２０】
本発明において、前記メッシュ電極は以下の構成であってもよい。
前記メッシュ電極の厚みが、０．０３ｍｍ以上０．３ｍｍ以下である。
前記メッシュ電極が、アルミ合金、ステンレス（ＳＵＳ）、銅、ベリリウム銅から選ばれた導電体である。
前記メッシュ電極の開口率が、５０％以上である。
上記のような構成とすると、メッシュ電極は放電容器を支えるために十分な強度を備えるものとなる。
【００２１】
本発明において、前記放電容器は円筒状であってもよい。このような構成とすると、汎用の丸管を複雑な加工をせずにそのまま放電容器とすることができ、加工負担およびコストを低減することができる。
【００２２】
（発明の効果）
本発明によれば、誘電体バリア放電ランプ自体の構造を簡素化すると共に、ランプ装置としても構造を簡素化できる誘電体バリア放電ランプ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は実施形態１の誘電体バリア放電ランプ装置の下面図である。
【図２】図２は光照射開口を有する下枠部を取り除いた誘電体バリア放電ランプ装置の下面図である。
【図３】図３は誘電体バリア放電ランプ装置の上面図である。
【図４】図４は図３の状態の誘電体バリア放電ランプ装置の側面図である。
【図５】図５は図１のＸ−Ｘ線における断面図である。
【図６】図６は図１のＹ−Ｙ線における断面図である。
【図７】図７は実施形態２の誘電体バリア放電ランプ装置の下面図である。
【図８】図８は誘電体バリア放電ランプ装置の上面図である。
【図９】図９は図７のＡ−Ａ線における断面図である。
【図１０】図１０は図７のＢ−Ｂ線における断面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１０，５０...誘電体バリア放電ランプ装置（ランプ装置）
１１...ランプハウス
１２...光照射開口
１５Ｓ...光照射開口部分の空間
３０...メッシュ電極
３０Ａ...（メッシュ電極の）放電容器とは反対側の面
３１...支持部材
３２...放電容器
４０，５２...電極兼容器保持部材（放電容器保持部材と電極部材とを一体化した部材）
４１...上側電極
４２...第１のガス供給孔
４３...下側電極
４５，５５...第２のガス供給孔
４８，５６...接触部（凹部）
４９，５７...反射面
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１〜図６によって説明する。
図１は実施形態１の誘電体バリア放電ランプ装置１０（以下「ランプ装置１０」ともいう）を照射面側（下面側）から示した図であり、図３はランプ装置１０を照射面側とは反対の上側から示した図である。図２は、ランプ装置１０から下面側の蓋１３（下蓋１３）を取り除いた状態を示す下面図であり、図４は、下蓋１３を取り除いた状態におけるランプ装置１０の側面図である。図５は図１のランプ装置１０のＸ−Ｘ線における断面図であり、図６は図１のランプ装置１０のＹ−Ｙ線における断面図であるとともに図５のＺ−Ｚ線の位置における断面図である。【００２６】
実施形態１のランプ装置１０は、図１〜図３に示すように、光照射開口１２を有するランプハウス１１、メッシュ電極３０、放電容器３２、電極兼容器保持部材４０、およびメッシュ電極３０と電極兼容器保持部材４０との間に放電用の電圧を印加する電源装置（図示せず）を備える。【００２７】
本実施形態において、ランプハウス１１は略直方体状をなし、図１に示すように、光が照射される面側（下側面）が開口するランプハウス本体１５と、ランプハウス本体１５の光照射開口１２に配される下蓋１３とを備える。【００２８】
下蓋１３は、アルミニウム合金などの金属材料からなり、方形状の下蓋開口部１４を有し、枠状をなす。下蓋１３の周縁は、第１ネジ２１を螺合させることにより上側に重ねられているランプハウス本体１５に固定されており、方形状の下蓋開口部１４には、詳細は後述するが、多孔状の導電体からなるメッシュ電極３０とメッシュ電極３０を支持する支持部材３１が配置されている。この下蓋開口部１４からは、放電容器３２から照射される光がメッシュ電極３０を介して、照射されるようになっている。【００２９】
ランプハウス本体１５は、放電容器３２の周縁を取り囲む枠状の部分１６（枠体部１６）と、枠体部１６の上側面にネジ止めされる上蓋部２０とからなる（図２、図３を参照）。【００３０】
上蓋部２０は、セラミックやポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などの絶縁性材料からなり、その周縁部分は第２ネジ２２の螺合により枠体部１６の上側面に固定されている。上蓋部２０の略中央部の円形にくりぬかれた部分２０Ａには、電極兼容器保持部材４０の上側電極４１（詳細は後述する）の一部が配されており、上側電極４１に形成したガス供給孔４２に、ランプハウス１１の外部に設けたガス供給源（図示せず）からガスが供給されるようになっている。ガス供給源からは、窒素ガスなどのランプハウス本体１５内の光照射開口部分の空間１５Ｓを非酸素状態（不活性ガス雰囲気）とするガスが供給されるようになっている。【００３１】
枠体部１６はアルミニウム合金などの導電性の材料からなり、その下側面には、下蓋１３の周縁を固定する第１ネジ２１が螺合される第１ネジ孔１６Ａが形成され、その上側面には上蓋部２０を固定する第２ネジ２２が螺合されるネジ孔（図示せず）が形成されている。枠体部１６のうち、放電容器３２の長手方向における端部側（図３における左右の端部側）に配される部分では、第１ネジ孔１６Ａが形成されている外側の部材１７（外枠部材１７）が、枠体部本体１８から取り外し可能とされる。【００３２】
外枠部材１７の側面には、外枠部材１７を枠体部本体１８に固定するネジ部材２３（第３ネジ２３）が螺合可能とされる。枠体部本体１８の外枠部材１７が取り付けられる部分１９（内枠部１９）の側面には外枠部材１７を内枠部１９に取り付ける第３ネジ２３が挿通される第３ネジ孔１７Ａが形成されている。また内枠部１９の側面には、図４に示すように、支持部材３１を側面方向から挿通可能な支持部材挿通孔１９Ａが、複数個、放電容器３２を配置可能な間隔をあけて形成されている。支持部材挿通孔１９Ａは、その一部が内枠部１９の下側面に至って形成されているが、内枠部１９の下側面の開口径は支持部材３１の口径よりも小さく設定されており、支持部材３１が内枠部１９の下側面から抜け落ちないようになっている。【００３３】
本実施形態においては、上蓋部２０と枠体部１６とに囲まれた空間には、上蓋部２０側から順に、電極兼容器保持部材４０、放電容器３２、メッシュ電極３０および支持部材３１が配置されている。詳しくは、上蓋部２０と枠体部１６とに囲まれた空間において、放電容器３２は電極兼容器保持部材４０とメッシュ電極３０とに挟持された状態で収容されている。【００３４】
本実施形態において、メッシュ電極３０は、例えばアルミ合金、ステンレス（ＳＵＳ）、銅、ベリリウム銅などの導電体からなる多孔状の導電体からなる板材であり、その開口径が２ｍｍで、開口率が５０％以上のものであるとともに、メッシュ電極３０の厚みは０．０３ｍｍ以上であるのが好ましい。このような構成とすると放電容器を支えるための強度を備えるからである。取り扱い性を考慮すると、メッシュ電極３０の厚みは０．１ｍｍ以上であることがさらに好ましい。メッシュ電極３０の厚みの下限値は、プレス加工などの加工をしたあとに形状を維持できるような厚みに設定され、メッシュ電極３０の厚みの上限値は、プレス加工などにより変形可能な値に設定するのが好ましい。例えば、メッシュ電極３０の厚みは、０．３ｍｍ以下とすることができる。本実施形態では、１枚のメッシュ電極３０が、６本（複数本）の放電容器３２の外周面３２Ａに接触するように、これらの放電容器３２に対して共通に設けられており、放電容器３２を支えている。本実施形態では。１枚のメッシュ電極３０を複数本の放電容器３２対して接触するように設けることで、メッシュ電極３０を共通電極としている。【００３５】
メッシュ電極３０は、電源装置のアース端子（図示せず）側に電気的に接続される。メッシュ電極３０をアース端子に接続すると、光の照射を受ける被処理物とランプ装置１０との距離を近接させることができ、照射光の照度を向上させることができる。【００３６】
メッシュ電極３０を支持する支持部材３１は、放電容器３２の長さ方向に延びる扁平な棒状形状の部材は断面が円形の丸管である。放電容器３２内部に形成された放電空間３２Ｓ内には誘電体バリア放電用ガスが充填されている。本実施形態のランプ装置１０では、汎用の丸管を、複雑な加工をせずにほとんどそのままを放電容器３２として使用する。すなわち、円筒形の原管（丸管）の両端を、排気管（チップ管）を有するように先端先細り状に加工し、チップ管から放電用ガスを封入する。そして、チップオフする封止加工により放電容器３２とする。従って、扁平な角筒状の放電容器３２を使用する構成に比べて、加工負担・コストを低減することができる。【００３７】
放電容器３２に充填される誘電体バリア放電用ガスとしては、キセノン（Ｘｅ）、アルゴン（Ａｒ）、及びクリプトン（Ｋｒ）、等の希ガス、並びにフッ素（Ｆ２）、塩素（Ｃｌ２）等のハロゲンガス等が使用される。ランプ装置１０は、ガスの種類によって、異なる波長（１７２ｎｍ、２２２ｎｍ、３０８ｎｍ等の波長）のエキシマ光を発光する。例えば、電子部品の洗浄、すなわち、電子部品に付着した有機化合物を分解するためには、１７２ｎｍを中心波長とするエキシマ光が用いられる。したがって、この場合には、キセノン（Ｘｅ）を含有するガスが使用される。なお、ガスの封入圧力は特に限定されないが、通常、１０〜１００ｋＰａ程度の圧力で封入される。【００３８】
電極兼容器保持部材４０は、放電容器３２とは別体の部材であり、上蓋部２０に対して第４ネジ２４によりネジ止めされている。電極兼容器保持部材４０は、６本（複数本）の放電容器３２に接触するように、これらの放電容器３２に対して共通に設けられ、メッシュ電極３０とともに誘電体バリア放電ランプの電極として機能する電極部材である。また、電極兼容器保持部材４０はメッシュ電極３０とともに放電容器３２を挟持する機能、すなわち、放電容器３２を保持する機能も有している（放電容器保持部材の一例）。つまり、電極兼容器保持部材４０は電極部材と放電容器保持部材とを一体化した部材である。なお、本実施形態では電極兼容器保持部材４０には、交流電圧を印加する電源装置の高電圧端子（図示せず）が電気的に接続されている。【００３９】
電極兼容器保持部材４０は、導電性を有し、かつ、放電容器３２内の誘電体バリア放電により生じる光を反射可能な材料であるアルミニウム合金などから構成される。電極兼容器保持部材４０は、下側面４３Ａに山部４６と谷部４６とが交互に形成された電極４３と、その上に重ねられる平板状の電極４１とからなる。電極兼容器保持部材４０を構成する２つの電極４１，４３のうち、上側に配される平板状の電極４１を上側電極４１とし、下側に配され、下側面４３Ａに山部４６と谷部４６が形成された電極４３を下側電極４３とする。【００４０】
上側電極４１の略中央部分にはガス供給源から供給されたガスをランプハウス本体１５内へ導入するガス供給孔４２（第１のガス供給孔４２）が形成されている。上側電極４１の第１のガス供給孔４２が形成されている部分は、上蓋部２０の略中央部の円形にくりぬかれた部分２０Ａに配され、第１のガス供給孔４２にはガス供給源から供給されるガスが導入されるようになっている。【００４１】
下側電極４３の上側面（上側電極４１との接合面）には凹み部４４が形成されており、この凹み部４４には、下側電極４３の下側面４３Ａの谷部４６に連通し第１のガス供給孔４２から導入されたガスをランプハウス本体１５内の光照射開口部分の空間１５Ｓに導入する第２のガス供給孔４５が形成されている。【００４２】
下側電極４３の下側面４３Ａにおいて、放電容器３２との接触部４８である山部４６の頂点には、図５に示すように放電容器３２の外周面３２Ａの形状に沿った弧状の凹部４８が形成されており、接触部４８の両側の傾斜面４９は、放電容器３２内からの光をメッシュ電極３０側に反射する反射面４９とされる。【００４３】
次に本実施形態のランプ装置１０の組み立て方法について説明する。
まず、上蓋部２０の下側面４３Ａに上側電極４１と下側電極４３とをこの順で重ねて第４ネジ２４を螺合させることにより、これらの電極４１，４３（電極兼容器保持部材４０）を取り付けるとともに、枠体部１６から外枠部材１７を取り外しておく。そして、外枠部材１７を取り外した状態の枠体部１６に、電極兼容器保持部材４０を取り付けた上蓋部２０を、第２ネジ２２の螺合により取り付ける。【００４４】
次に、電極兼容器保持部材４０の下側電極４３の山部４６の頂点に形成した凹部４８に放電容器３２を配置すると、放電容器３２の外周面３２Ａが弧状の凹部４８に沿って配置される。【００４５】
次に、メッシュ電極３０を電極兼容器保持部材４０の凹部４８に配置した放電容器３２を覆うように配置して、このメッシュ電極３０の放電容器３２とは反対側の面３０Ａに支持部材３１を配置する。詳しくは支持部材３１を、放電容器３２の長さ方向に添って、隣り合う放電容器３２の間ごとに配置する。支持部材３１を配置する際には、支持部材３１を枠体部本体１８の内枠部１９の側壁に形成された支持部材挿通孔１９Ａに挿通させるようにする。ここで、支持部材挿通孔１９Ａは、その一部が内枠部１９の下側面に至って形成されているが、内枠部１９の下側面の開口径は支持部材３１の口径よりも小さく設定されているので、支持部材３１が内枠部１９の下側面から抜け落ちないようになっている。【００４６】
次に、外枠部材１７の第３ネジ孔１７Ａに第３ネジ２３を螺合させて外枠部材１７を枠体部本体１８にネジ止めし、下蓋１３を枠体部１６に重ねて、その周縁に第１ネジ２１を螺合させることによりランプハウス本体１５の枠体部１６に下蓋１３を取り付けると、放電容器３２はメッシュ電極３０と電極兼容器保持部材４０とにより挟持される（図６を参照）。【００４７】
次に、メッシュ電極３０を電源装置のアース電極端子に接続し、電極兼容器保持部材４０を電源装置の高電圧端子に接続すると、本実施形態のランプ装置１０が得られる
このようにして得られた本実施形態のランプ装置１０の電源装置に電圧を印加すると、放電容器３２において誘電体バリア放電により生じた光が光照射開口１２に配されたメッシュ電極３０を介して被照射物に照射される。【００４８】
次に本実施形態の作用および効果について説明する。
本実施形態において、誘電体バリア放電ランプは、透光性の容器に放電ガスを封入してなる放電容器３２を、メッシュ電極３０と、電極兼容器保持部材４０とで挟持することにより得ることができるので、従来のランプを製造するときのように、放電容器３２に蒸着などの方法により電極を形成する工程は不要である。また、電極兼容器保持部材４０は、放電容器３２を保持する機能を有する放電容器保持部材と電極部材としての機能とを併せ持つ部材であるので、部品点数を減らすことができる。したがって、本実施形態によれば誘電体バリア放電ランプ自体の構造を簡素化することができる。【００４９】
また、本実施形態の誘電体バリア放電ランプ装置１０にランプを組み込む際には、複数の放電容器３２を、メッシュ電極３０と、電極兼容器保持部材４０とで挟持した後、メッシュ電極３０および電極兼容器保持部材４０をそれぞれ電源装置に接続するだけでよい。つまり、本実施形態では、誘電体バリア放電ランプ装置１０にランプを組み込む際に、ランプごとに、電源装置に接続する配線構造やランプハウス１１に固定する取付構造も不要であるので、ランプ装置１０としても構造を簡素化することができる。【００５０】
また、本実施形態においては、一のメッシュ電極３０が複数本の放電容器３２に接するように設けられているだけでなく、複数本の放電容器３２に共通の電極兼容器保持部材４０が複数本の放電容器３２に接するように設けられている。したがって、本実施形態によれば、複数本の放電容器３２を備える誘電体バリア放電ランプ装置１０であるにもかかわらず、複数本の放電容器３２を、複数本の放電容器３２に共通の電極兼容器保持部材４０と、複数本の放電容器３２について共通のメッシュ電極３０とで挟持するだけで組み込むことができるので、構造を簡素化することができる。【００５１】
また、本実施形態において、電極兼容器保持部材４０は、放電容器３２内の誘電体バリア放電により生じる光を反射可能な材料からなると共に、放電容器３２に接する接触部４８の両側に、放電容器３２内からの光をメッシュ電極３０側に反射する反射面４９を有する。したがって本実施形態によれば、電極兼放容器保持部材４０が反射板としても機能し、メッシュ電極３０を通じて照射される光の透過率を向上させることができるうえに、反射板を別途設ける必要がないので、構造を簡素化することができる。【００５２】
誘電体バリア放電により生じる光のうち、たとえば、波長が１７２ｎｍの紫外線は酸素と結びつきやすいため、空気中を通過しにくく光透過率の低下が懸念される。しかしながら、本実施形態によれば、電極兼容器保持部材４０には、ランプハウス１１の光照射開口部分の空間１５Ｓを非酸素状態（不活性ガス雰囲気）とするためのガスを供給する第１のガス供給孔４２および第２のガス供給孔４５が設けられているから、前記空間１５Ｓを非酸素状態とするガスが当該空間１５Ｓに導入されるので、誘電体バリア放電により生じる光が前記空間１５Ｓを通過しやすくなり、光透過率が高まる。【００５３】
放電容器３２と電極（メッシュ電極３０および電極兼容器保持部材４０）との非接触領域が多くなると、電極への電圧印加時において電極間に放電が生じ易くなり、その放電により放電容器３２や電極が劣化して寿命が短くなるおそれがある。しかしながら本実施形態においては、ランプハウス１１には、メッシュ電極３０の放電容器３２とは反対側の面３０Ａに接してメッシュ電極３０を支える支持部材３１が、放電容器３２から外れた位置に設けられており、この支持部材３１により、メッシュ電極３０が支えられる。したがって、本実施形態によれば、放電容器３２からの光の照射が遮られることなく、メッシュ電極３０および電極兼容器保持部材４０と放電容器３２との接触状態を良好なものとすることができるので、放電容器３２や電極３０，４０の劣化を防止するとともに、光透過率の低下を確実に抑制することができる。【００５４】
特に、本実施形態では、支持部材３１が、放電容器３２の長手方向の全域に沿って設けられているから、放電容器３２を長手方向の全域に沿って支えることができ、メッシュ電極３０および電極兼容器保持部材４０と放電容器３２との接触状態をさらに良好なものとすることができる。【００５５】
加えて、本実施形態によれば、放電容器３２は円筒状をなし、電極兼容器保持部材４０の接触部４８には、放電容器３２の外周面３２Ａに沿う断面弧状の凹部４８が形成されているから、放電容器３２が円筒状の場合であっても、電極兼容器保持部材４０との接触部４８に設けた凹部４８内に放電容器３２の外周面３２Ａが沿うように配されるので、放電容器３２がずれにくくなり、これにより放電容器３２と電極兼容器保持部材４０との接触状態を良好なものとして光透過率の低下を抑制することが出来る。【００５６】
＜実施形態２＞
次に、本発明の実施形態２を図７〜図１０によって説明する。本実施形態は支持部材３１を備えない点および電極兼容器保持部材５２の下側面５３Ａ（下側電極の下側面５３Ａ）の形状が実施形態１とは相違する。実施形態１と同様の構成については、同一符号を付して重複する説明を省略する。【００５７】
図７は本実施形態の誘電体バリアランプ装置５０を下側から示した図であり、図８はランプ装置５０を上側から示した図であり、図９は、図７のＡ−Ａ線における断面図であり、図１０は、図７のＢ−Ｂ線における断面図である。【００５８】
本実施形態において、枠体部５１は一体的に設けられており、上蓋部２０と枠体部５１とに囲まれた空間には、上蓋部２０側から順に、電極兼容器保持部材５２、９本の放電容器３２、メッシュ電極３０が配置されている。【００５９】
また、本実施形態において電極兼容器保持部材５２の下側電極５３は、平板状の電極５３の一方の面５３Ａ（下側の面５３Ａ）に、放電容器３２の外周面３２Ａに沿って弧状をなす凹部５６が９個形成された構成とされる。下側電極５３の凹部５６（接触部５６）の両側の面５７はメッシュ電極３０に対して略平行の面であるが、この面５７は放電容器３２内からの光をメッシュ電極３０側に反射する反射面５７である。なお、下側電極５３の隣り合う凹部５６，５６の間には第２のガス供給孔５５が形成されている。【００６０】
次に、本実施形態のランプ装置の組み立て方法について説明する。
まず、上蓋部２０の下側面に、上側電極４１および下側電極５３をこの順に重ねて第４ネジ２４を螺合させることにより、上蓋部２０の下側面に電極兼容器保持部材５２を取り付ける。【００６１】
次に、電極兼容器保持部材５２の凹部に９本の放電容器３２を配置すると、放電容器３２の外周面３２Ａが弧状の凹部に沿って配置される。【００６２】
次に、メッシュ電極３０を電極兼容器保持部材５２の凹部に配置した放電容器３２を覆うように配置し、このメッシュ電極３０に下蓋１３を重ねて、下蓋１３の周縁に第１ネジ２１を螺合させることによりランプハウス本体１５の枠体部５１に下蓋１３を取り付けると、放電容器３２はメッシュ電極３０と電極兼容器保持部材５２とにより挟持される（図９および図１０を参照）。【００６３】
次に、メッシュ電極３０を電源装置のアース電極端子に接続し、電極兼容器保持部材５２を電源装置の高電圧端子に接続すると、本実施形態のランプ装置５０が得られる
このようにして得られた本実施形態のランプ装置５０の電源装置に電圧を印加すると、放電容器３２において誘電体バリア放電により生じた光が光照射開口１２に配されたメッシュ電極３０を介して被照射物に照射される。【００６４】
次に本実施形態の作用および効果について説明する。
本実施形態によれば、支持部材３１を取り付ける作業が不要であるので、より簡素な構造のランプ装置５０を提供することが出来る。【００６５】
また、本実施形態においては、放電容器３２がメッシュ電極３０のみに支えられる構成なので、光が照射される経路上に、メッシュ電極３０以外の部品がない。したがって、本実施形態によれば、光が照射される経路上にメッシュ電極３０以外の支持部品を設けた場合と比べて、光の透過率を向上させることができる。さらに、メッシュ電極３０以外に放電容器３２を支えるための部品が設けられている場合、放電する光に紫外線が含まれるときには、当該部品が紫外線により劣化する問題が生じる可能性があるが、本実施形態によれば、そのような部品が省略されているので、ランプ装置５０の耐久性を向上することができる。【００６６】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施形態では放電容器を複数本備えるものを示したが、放電容器を１本備えるものであってもよい。【００６７】
（２）上記実施形態では断面円形の円筒状の放電容器を備えるものを示したが放電容器は扁平面を有する形状のものや断面多角形の角筒状のものなどであってもよい。【００６８】
（３）上記実施形態では、メッシュ電極として複数本の放電容器に対して共通して設けられているものを示したが、放電容器ごとにメッシュ電極を備えるものであってもよい。このような構成とすると部分的にメッシュ電極を交換可能である。【００６９】
（４）上記実施形態では、電極兼容器保持部材として複数本の放電容器に対して共通して設けられているものを示したが、放電容器ごとに電極兼容器保持部材を備えるものであってもよい。このような構成とすると部分的に電極兼容器保持部材を交換可能である。【００７０】
（５）上記実施形態では、電極兼容器保持部材として誘電体バリア放電により生じる光を反射可能な材料からなるとともに、放電容器との接触部の両側に反射面を有するものを示したが、これに限定されない。電極兼容器保持部材は誘電体バリア放電により生じる光を反射可能でない材料であってもよいし、電極兼容器保持部材とは別に反射板を設けてもよいし、放電容器に反射膜を接合してもよい。【００７１】
（６）上記実施形態では電極兼容器保持部材としてガス供給孔を形成したものを示したが、ガス供給孔が形成されていないものであってもよい。【００７２】
（７）上記実施形態では電極兼容器保持部材として上側電極と下側電極とを重ねた構成のものを示したが、電極兼容器保持部材は１つの部材から構成されるものであってもよい。【００７３】
（８）上記実施形態１では複数本の支持部材を、隣り合う放電容器の間ごとに、放電容器の長さ方向の全域に沿って設けたものを示したが、これに限定されない。たとえば、支持部材を端部に配される放電容器に沿って設けるだけでもよい。【００７４】
（９）上記実施形態では電極兼容器保持部材として、放電容器との接触部に放電容器の外周形状に沿った弧状の凹部が形成されたものを示したが、放電容器が扁平面を有する形状のものであり、扁平面で電極兼容器保持部材と接触するようになっている場合などには、凹部が形成されていなくてもよい。【００７５】
（１０）上記実施形態では、電極部材と放電容器保持部材を一体化した電極兼保持部材を備えるものを示したが、電極部材と放電容器保持部材は別体であってもよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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