(57)【要約】  中空空間がつぶれることが抑制された電子部品モジュールの製造方法を提供する。  素子基板１２と、素子基板１２の一方主面上に形成された駆動部１６ａと、駆動部１６ａの周囲に中空空間１４を形成するように駆動部１６ａを覆う保護部１８と、を有する電子部品１０ａを用意する工程と、共通基板４６上に、共通基板４６の一方主面と素子基板１２の他方主面とが対向するように、電子部品１０ａを固定する工程と、電子部品１０ａの保護部１８上に補強板２８を固定する工程と、共通基板４６の一方主面上に、電子部品１０ａを内蔵するように樹脂層４８を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子基板と、前記素子基板の一方主面上に形成された駆動部と、前記駆動部の周囲に、中空空間を形成するように設けられた前記駆動部を覆う保護部と、を有する電子部品を用意する工程と、
共通基板を用意し、前記共通基板上に、前記共通基板の一方主面と前記素子基板の他方主面とが対向するように、実装機で前記電子部品を設置して固定する工程と、
前記電子部品の保護部上に、実装機で補強板を設置して固定する工程と、
前記共通基板の一方主面上に、前記電子部品を内蔵するように樹脂層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする電子部品モジュールの製造方法。
【請求項２】
前記補強板を固定する工程において、前記補強板はあらかじめ表面に接着層が形成されており、前記接着層が前記保護部と前記補強板の間に配置されるように、前記補強板を固定することを特徴とする、請求項１に記載の電子部品モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記補強板はＳｉからなることを特徴とする、請求項１または２に記載の電子部品モジュールの製造方法。
【請求項４】
前記素子基板は圧電基板であり、前記駆動部はＩＤＴ電極を有することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子部品モジュールの製造方法。
【請求項５】
前記素子基板は絶縁基板であり、前記駆動部は両面に電極が形成された圧電薄膜を有することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子部品モジュールの製造方法。
【請求項６】
前記素子基板は絶縁基板であり、前記駆動部はＳｉからなる振動部を有することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子部品モジュールの製造方法。
【請求項７】
共通基板と、
前記共通基板上に固定されており、素子基板と、前記素子基板の一方主面上に形成された駆動部と、前記駆動部の周囲に、中空空間を形成するように設けられた前記駆動部を覆う保護部と、を有し、前記共通基板の一方主面と前記素子基板の他方主面とが対向するように実装機で設置されて固定されている電子部品と、
前記電子部品の保護部上に実装機で設置されて固定されている補強板と、
前記共通基板の一方主面上に、前記電子部品を内蔵するように形成されている樹脂層と、
を備えることを特徴とする電子部品モジュール。
【請求項８】
前記補強板はあらかじめ表面に接着層が形成されており、前記接着層が前記保護部と前記補強板の間に配置されるように、前記補強板が固定されることを特徴とする、請求項７に記載の電子部品モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＳＡＷ（表面弾性波）素子やＢＡＷ（バルク音響波）素子等の電子部品を樹脂層に内蔵する電子部品モジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のＳＡＷ（表面弾性波）素子やＢＡＷ（バルク音響波）素子等の電子部品として、例えば特許文献１に記載の電子部品が知られている。この電子部品は、図６のように、圧電基板１１０上に駆動部１１２が設けられている。さらに、駆動部１１２の周囲には振動保護膜１１６、１１８が形成されている。振動保護膜１１６、１１８は駆動部１１２を保護する役割を有する。【０００３】
また、中空空間１３８が保護部１３０により形成されている。中空空間１３８は、駆動部１１２に弾性波や音響波が伝搬する際に、空間を確保するように設けられている。そして、保護部１３０は第１保護膜１３２と第２保護膜１３４と第３保護膜１３６とから構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１５９１２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、この特許文献１の電子部品は、実装時に中空空間がつぶれるおそれがある。すなわち、電子部品を備える電子部品モジュールの作製の際には、電子部品が共通基板に実装された後に、電子部品を覆うように樹脂層が形成される。この樹脂層がモールド成形で形成される場合には、樹脂に対して比較的高い圧力が加えられる。そのため、樹脂によって保護部が変形し、中空空間がつぶれるおそれがある。【０００６】
本発明はかかる課題に鑑みてなされたものであって、中空空間がつぶれることが抑制された電子部品モジュールの製造方法及び電子部品モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る電子部品モジュールの製造方法は、素子基板と、素子基板の一方主面上に形成された駆動部と、駆動部の周囲に中空空間を形成するように設けられた駆動部を覆う保護部と、を有する電子部品を用意する工程と、共通基板を用意し、共通基板上に、共通基板の一方主面と素子基板の他方主面とが対向するように、実装機で電子部品を設置して固定する工程と、電子部品の保護部上に実装機で補強板を設置して固定する工程と、共通基板の一方主面上に、電子部品を内蔵するように樹脂層を形成する工程と、を備えることを特徴とする。【０００８】
また、本発明に係る電子部品モジュールの製造方法では、補強板を固定する工程において、補強板はあらかじめ表面に接着層が形成されており、接着層が保護部と補強板の間に配置されるように、補強板を固定することが好ましい。【０００９】
また、本発明に係る電子部品モジュールの製造方法では、補強板はＳｉからなることが好ましい。【００１０】
また、本発明に係る電子部品モジュールの製造方法では、素子基板は圧電基板であり、駆動部はＩＤＴ電極を有することが好ましい。【００１１】
また、本発明に係る電子部品モジュールの製造方法では、素子基板は絶縁基板であり、駆動部は両面に電極が形成された圧電薄膜を有することが好ましい。【００１２】
また、本発明に係る電子部品モジュールの製造方法では、素子基板は絶縁基板であり、駆動部はＳｉからなる振動部を有することが好ましい。【００１３】
また、本発明は、共通基板と、共通基板上に固定されており、素子基板と、素子基板の一方主面上に形成された駆動部と、駆動部の周囲に中空空間を形成するように設けられた駆動部を覆う保護部と、を有し、共通基板の一方主面と素子基板の他方主面とが対向するように実装機で設置されて固定されている電子部品と、電子部品の保護部上に実装機で設置されて固定されている補強板と、共通基板の一方主面上に、電子部品を内蔵するように形成されている樹脂層と、を備えることを特徴とする電子部品モジュールにも向けられる。【００１４】
また、本発明に係る電子部品モジュールでは、補強板はあらかじめ表面に接着層が形成されており、接着層が保護部と補強板の間に配置されるように、補強板が固定されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、補強板の存在により、中空空間がつぶれることを抑制することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る電子部品モジュールを示す上面図と断面図である。
【図２】本発明に係る電子部品モジュールの製造方法を示す断面図である。
【図３】本発明に係る電子部品モジュールの製造方法を示し、図２の続きを示す断面図である。
【図４】本発明に用いられる電子部品を示す断面図である。
【図５】本発明に用いられる電子部品を示す断面図である。
【図６】従来の電子部品を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下において、本発明を実施するための形態について説明する。
【００１８】
［第１の実施形態］
図１は、本発明に係る電子部品モジュールを示す上面図と断面図である。図１（Ａ）は上面図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００１９】
電子部品モジュール１は、共通基板４６と、電子部品１０ａと、樹脂層４８と、を備えている。本実施形態のように、電子部品モジュール１はＩＣ素子３０を備えていても良い。電子部品１０ａとＩＣ素子３０は、共通基板４６上に固定されている。また、樹脂層４８は、共通基板４６の一方主面上に、電子部品１０ａとＩＣ素子３０とを内蔵するように形成されている。
【００２０】
電子部品１０ａとＩＣ素子３０は、ワイヤ４４を介してランド４２と電気的に接続されている。ランド４２は電子部品モジュール１と外部の回路とを電気的に接続するために設けられ、ランド４２の少なくとも一部は電子部品モジュール１の下面に露出している。
【００２１】
次に、本発明に係る電子部品モジュールの製造方法を、図２と図３の断面図を用いて説明する。本実施形態は、電子部品１０ａがＳＡＷ素子の例である。
【００２２】
最初に、図２（Ａ）のように、電子部品１０ａを用意する。電子部品１０ａは、素子基板１２と、駆動部１６ａと、保護部１８と、配線２２ａと、端子電極２４と、を有している。
【００２３】
本実施形態では、素子基板１２は圧電基板である。そして、弾性表面波は圧電基板の表面を伝搬する。圧電基板の材質としては、ＬｉＴａＯ3等が挙げられる。
【００２４】
駆動部１６ａは素子基板１２の一方主面上に形成されている。また、本実施形態では、駆動部１６ａはＩＤＴ電極を有する。ＩＤＴ電極の材質としては、Ａｌ等が挙げられる。
【００２５】
保護部１８は、駆動部１６ａの周囲に中空空間１４を形成するように設けられており、駆動部１６ａを覆っている。保護部１８は例えば３層構造である。この場合、最初に感光性ポリイミド系樹脂を圧電基板の一方主面全体に塗布して樹脂膜を形成する。次に、樹脂膜のうち、駆動部１６ａとその周囲を覆う部分をフォトリソグラフィ技術により除去する。次に、感光性ポリイミド系樹脂とシート材との複合層を樹脂膜の上に設ける。
【００２６】
端子電極２４は素子基板１２の一方主面側に形成されている。また、配線２２ａは、駆動部１６ａと端子電極２４とを電気的に接続するように設けられている。駆動部１６ａのＩＤＴ電極と配線２２ａは、同一プロセスで形成すると、安価に製造できるため好ましい。ＩＤＴ電極と配線２２ａの形成方法としては、例えばスパッタリング法等、薄膜プロセスを用いたものが挙げられる。
【００２７】
次に、図２（Ｂ）のように、共通基板４６を用意し、共通基板４６上の一方主面上に、電子部品１０ａを固定する。このとき、共通基板４６の一方主面と素子基板１２の他方主面とが対向するように固定される。まず、電子部品１０ａを共通基板４６上に実装機で設置する。このとき、実装機は、あらかじめ所定の位置に配置されている電子部品１０ａを吸引機構等で保持する。そして、電子部品１０ａを保持した状態で共通基板４６上に搬送する。そして、電子部品１０ａの保持を解除して共通基板４６上に設置する。
【００２８】
共通基板４６と電子部品１０ａの間に接着層が介在する場合、あらかじめ共通基板４６上に接着層を設けても良いし、電子部品１０ａの共通基板４６との対向面に接着層を設けても良い。そして、加熱等の固化プロセスで電子部品１０ａを固定する。共通基板４６の例としては、プリント基板やリードフレームが挙げられる。
【００２９】
次に、図示していないが、ワイヤボンディングで、端子電極とランドをワイヤで接続する。
【００３０】
次に、図２（Ｃ）のように、電子部品１０ａの保護部１８上に、補強板２８を固定する。
【００３１】
本実施形態では、接着層２６は補強板２８の表面にあらかじめ形成されている。この場合には、保護部１８の上に接着層２６を別途形成する必要がないため、より簡易なプロセスで製造することができる。補強板２８と接着層２６の組み合わせの例としては、Ｓｉ板の表面にダイアタッチフィルムを形成したものや、Ｓｉ板に接着剤をスクリーン印刷したものが挙げられる。補強板２８がＳｉからなる場合には、加工がしやすく、補強板２８を薄くしやすいという利点を有する。
【００３２】
そして、適切な大きさに切断されている補強板２８を、接着層２６が保護部１８と補強板２８との間に配置されるように保護部１８上に実装機で設置する。そして、加熱等の固化プロセスで、接着層２６を固化させて補強板２８を固定する。
【００３３】
この工程では、電子部品１０ａを設置する際に使用した実装機を用いて、補強板２８を設置することが可能である。また、あらかじめ保護部１８の厚さを厚くした電子部品１０ａを用意する場合には、感光性ポリイミド系樹脂の厚さを厚くすることが難しく、より高コストになるという問題があるが、本発明の場合には、より安価に補強板２８を固定することができる。
【００３４】
次に、図３（Ｄ）のように、共通基板４６の電子部品１０ａが固定されている側の一方主面上に樹脂層４８を形成する。このとき、樹脂層４８は電子部品１０ａを内蔵するように形成される。樹脂層４８の形成方法としては、ラミネートや樹脂モールド工法が挙げられる。このとき、補強板２８の存在により、中空空間１４のつぶれが抑制されることになる。
【００３５】
最後に、図示していないが、共通基板４６を分割して、個々の電子部品モジュールを取り出しても良い。以上のようにして電子部品モジュールを作製する。
【００３６】
なお、本実施形態では、電子部品１０ａとランドとはワイヤで接続されているが、フリップチップボンディング等、別の接続方法で接続されていても良い。
【００３７】
［第２の実施形態］
図４は、本発明に用いられる電子部品を示す断面図であり、電子部品がＢＡＷ素子の例である。駆動部や配線の一部は省略して記載している。
【００３８】
電子部品１０ｂがＢＡＷ素子の場合には、素子基板１２はＳｉ等の絶縁基板であり、駆動部１６ｂは、両面に電極が形成された圧電薄膜を有する。駆動部１６ｂは、音響分離層を介して素子基板１２から音響的に分離されている。また、音響分離層の代わりに、素子基板１２内に空洞が形成されていても良い。
【００３９】
［第３の実施形態］
図５は、本発明に用いられる電子部品を示す断面図であり、電子部品がＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）素子の例である。駆動部や配線の一部は省略して記載している。
【００４０】
電子部品１０ｃがＭＥＭＳ素子の場合には、素子基板１２はＳｉ等の絶縁基板であり、駆動部１６ｃは、Ｓｉからなる振動部を有する。そして、振動部はＭＥＭＳ加工により形成されている。
【００４１】
なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１  電子部品モジュール
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ  電子部品
１２  素子基板
１４  中空空間
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ  駆動部
１８  保護部
２２ａ、２２ｂ  配線
２４  端子電極
２６  接着層
２８  補強板
３０  ＩＣ素子
４２  ランド
４４  ワイヤ
４６  共通基板
４８  樹脂層
１１０  圧電基板
１１２  駆動部
１１６、１１８  振動保護膜
１３０  保護部
１３２  第１保護膜
１３４  第２保護膜
１３６  第３保護膜
１３８  中空空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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