(57)【要約】クリーンストッカ（１００）は、レチクルとポッドとを別々に保管するレチクル用回転棚（１１１）及び空ポッド用回転棚（１１２）と、レチクル入りポッドを作業者に供給するマニュアルロードポート（１６０）と、レチクル入りポッドを一時的に保管するレチクル入りポッド用回転棚（１１３）と、作業者からの指示を検知する検知部（１８０）と、第１の指示が検知された場合に、レチクル用回転棚（１１１）レチクルを、空ポッド用回転棚（１１２）から空ポッドを取得し、取得したレチクルを空ポッドに収納するポッドオープナー（１４０）と、レチクル入りポッドをレチクル入りポッド用回転棚（１１３）に載置すると共に、第２の指示が検知された場合に、レチクル入りポッドをレチクル入りポッド用回転棚（１１３）からマニュアルロードポート（１６０）に移載するポッド搬送装置（１３０）とを備える。
2012035693.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の物品と、前記複数の物品のうちの少なくとも１つを収納するためのケースとを別々に保管する保管棚と、
前記ケースに収納された前記物品を作業者に供給するロードポートと、
前記ケースに収納された前記物品を、前記ロードポートに移載するまで一時的に保管する仮置棚と、
作業者からの指示を検知する検知部と、
前記複数の物品のうちの所定の物品を搬出することを示す第１の指示が前記検知部で検知された場合に、前記保管棚から前記所定の物品と前記ケースとを取得し、取得した前記所定の物品を前記ケースに収納する収納装置と、
前記収納装置で前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚に載置すると共に、前記所定の物品を搬出する準備が現実に整ったことを示す第２の指示が前記検知部で検知された場合に、前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚から前記ロードポートに移載する移載装置とを備える
自動倉庫。
【請求項２】
該自動倉庫は、さらに、作業者が前記第２の指示を入力するための入力部を備え、
前記移載装置は、作業者によって前記入力部に入力される前記第２の指示が前記検知部で検知された場合に、前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚から前記ロードポートに移載する
請求項１に記載の自動倉庫。
【請求項３】
前記仮置棚は、前記ケースに収納された状態の複数の前記物品を保管し、
前記第２の指示は、前記仮置棚に一時的に保管されている前記複数の物品のうち、搬出すべき物品を特定する情報を含み、
前記移載装置は、前記検知部で検知された前記第２の指示によって特定される前記物品を、前記仮置棚から前記ロードポートに移載する
請求項１又は２に記載の自動倉庫。
【請求項４】
該自動倉庫には、遠隔地に設置された外部端末が通信ネットワークを介して接続されており、
前記外部端末は、作業者が前記第１の指示を入力するための端末であり、
前記収納装置は、前記外部端末に入力された前記第１の指示が前記検知部で検知された場合に、前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚に載置する
請求項１〜３のいずれか１項に記載の自動倉庫。
【請求項５】
複数の物品と、前記複数の物品のうちの少なくとも１つを収納するためのケースとを別々に保管する保管棚と、前記ケースに収納された前記物品を作業者に供給するロードポートと、前記ケースに収納された前記物品を、前記ロードポートに移載するまで一時的に保管する仮置棚と、作業者からの指示を検知する検知部とを備える自動倉庫が前記物品を前記ケースに収納して搬出する物品搬出方法であって、
前記複数の物品のうちの所定の物品を搬出することを示す第１の指示が前記検知部で検知された場合に、前記保管棚から前記所定の物品と前記ケースとを取得し、取得した前記所定の物品を前記ケースに収納し、前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚に載置するステップと、
前記所定の物品を搬出する準備が現実に整ったことを示す第２の指示が前記検知部で検知された場合に、前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚から前記ロードポートに移載するステップとを含む
物品搬出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動倉庫に関し、特に、物品とケースとを別々に保管し、出庫指示を受け付けてから物品をケースに収納して出庫する自動倉庫に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から電子部品の製造等に用いられるレチクルは、クリーンルーム内に設置されたクリーンストッカに保管されている（例えば、特許文献１参照）。このクリーンストッカは、レチクルとレチクルを収納するポッドとを別々に保管しており、出庫指示を受け付けてからレチクルをポッドに収納し、ロードポートに出庫する。【０００３】
ここで、レチクルをポッドに収納するのにはある程度の時間が必要となる。そこで、作業者は、クリーンルームとは別室のオペレータルームに設置されている外部端末を用いて、クリーンストッカに対して特定のレチクルの出庫を指示する。そして、作業者は、クリーンストッカが指示されたレチクルをポッドに収納してロードポートに出庫している間に、クリーンストッカの設置されている場所まで移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−３０９１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記構成のクリーンストッカでは、作業者が出庫を指示してから現実にレチクルを取得するまでに長い時間を要した場合に、以下のような課題を生じる可能性がある。【０００６】
作業者Ａ、Ｂがこの順に外部端末を操作してレチクルの出庫を指示し、作業者Ｂ、Ａの順にクリーンストッカの設置場所に到着したとする。この場合、ロードポートには作業者Ａが取得すべきレチクル入りポッドが載置されているので、作業者Ｂは作業者Ａの到着を待たなければならない。【０００７】
また、クリーンストッカにおけるロードポートが、出庫ポートであると共に、入庫ポートとしても機能する場合には、出庫されるべきレチクル入りポッドがロードポートに長時間載置されたままになっていると、他のレチクル入りポッドの入庫を阻害する可能性がある。【０００８】
何れの場合も、事前に出庫されたレチクル入りポッドがロードポートを占有しているために、本来必要なレチクル入りポッドの入出庫が待たされることになる。【０００９】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、荷物の入出庫をスムーズに行うことのできる自動倉庫を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一形態に係る自動倉庫は、複数の物品と、前記複数の物品のうちの少なくとも１つを収納するためのケースとを別々に保管する保管棚と、前記ケースに収納された前記物品を作業者に供給するロードポートと、前記ケースに収納された前記物品を、前記ロードポートに移載するまで一時的に保管する仮置棚と、作業者からの指示を検知する検知部と、前記複数の物品のうちの所定の物品を搬出することを示す第１の指示が前記検知部で検知された場合に、前記保管棚から前記所定の物品と前記ケースとを取得し、取得した前記所定の物品を前記ケースに収納する収納装置と、前記収納装置で前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚に載置すると共に、前記所定の物品を搬出する準備が現実に整ったことを示す第２の指示が前記検知部で検知された場合に、前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚から前記ロードポートに移載する移載装置とを備える。【００１１】
上記構成によれば、作業者が出庫を指示（第１の指示を入力）してから現実に荷物を取りに来る（第２の指示を入力）までの間、ロードポートが出庫される荷物で占有されることがなくなるので、スムーズな入出庫を実現することができる。【００１２】
さらに、該自動倉庫は、作業者が前記第２の指示を入力するための入力部を備えてもよい。そして、前記移載装置は、作業者によって前記入力部に入力される前記第２の指示が前記検知部で検知された場合に、前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚から前記ロードポートに移載してもよい。【００１３】
このように、自動倉庫に設けられた入力部から第２の指示を受け付けることにより、第２の指示の入力後速やかに荷物を取り去ることが期待できる。なお、入力部は、例えば、自動倉庫の該壁面に取り付けられた操作パネル等であってもよいし、自動倉庫に隣接して設置された端末等であってもよい。さらには、入力部は、作業者が能動的に第２の指示を入力するものに限られず、作業者が自動倉庫の近傍に到着したことを検出するセンサ等であってもよい。【００１４】
また、前記仮置棚は、前記ケースに収納された状態の複数の前記物品を保管してもよい。前記第２の指示は、前記仮置棚に一時的に保管されている前記複数の物品のうち、搬出すべき物品を特定する情報を含んでもよい。そして、前記移載装置は、前記検知部で検知された前記第２の指示によって特定される前記物品を、前記仮置棚から前記ロードポートに移載してもよい。これにより、複数の第１の指示が入力され、第１の指示の入力順と異なる順序で第２の指示が入力された場合でも、スムーズに出庫処理を行うことができる。【００１５】
また、該自動倉庫には、遠隔地に設置された外部端末が通信ネットワークを介して接続されていてもよい。また、前記外部端末は、作業者が前記第１の指示を入力するための端末であってもよい。そして、前記収納装置は、前記外部端末に入力された前記第１の指示が前記検知部で検知された場合に、前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚に載置してもよい。【００１６】
このように、遠隔地に設置された外部端末から第１の指示が入力された場合にのみ仮置棚を利用すればよい。一方、予め定められたスケジュールに基づいて出庫される場合、又は作業者が自動倉庫の設置場所まで来て出庫指示をする場合には、収納装置から直接ロードポートに出庫すればよい。【００１７】
なお、本明細書中の「遠隔地」とは、外部端末が設置されている場所から自動倉庫が設置されている場所まで作業者が移動するのに相当の時間（例えば、１０分以上）を必要とし、上述の課題が生じ得る程に遠いことを指すものとする。典型的には、自動倉庫が設置されている部屋と異なる部屋又は異なる建物等を指す。しかしながら、自動倉庫と外部端末とが同室に設定されている場合であっても、例えば、極めて広い工場内であって、入り口付近に外部端末が設置され、入り口から遠い最奥部に自動倉庫が設置されているような場合をも含むものとする。【００１８】
本発明の一形態に係る物品搬出方法は、複数の物品と、前記複数の物品のうちの少なくとも１つを収納するためのケースとを別々に保管する保管棚と、前記ケースに収納された前記物品を作業者に供給するロードポートと、前記ケースに収納された前記物品を、前記ロードポートに移載するまで一時的に保管する仮置棚と、作業者からの指示を検知する検知部とを備える自動倉庫が前記物品を前記ケースに収納して搬出する方法である。具体的には、前記複数の物品のうちの所定の物品を搬出することを示す第１の指示が前記検知部で検知された場合に、前記保管棚から前記所定の物品と前記ケースとを取得し、取得した前記所定の物品を前記ケースに収納し、前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚に載置するステップと、前記所定の物品を搬出する準備が現実に整ったことを示す第２の指示が前記検知部で検知された場合に、前記ケースに収納された前記所定の物品を前記仮置棚から前記ロードポートに移載するステップとを含む。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、作業者が出庫を指示（第１の指示を入力）してから現実に荷物を取りに来る（第２の指示を入力）までの間、ロードポートが出庫される荷物で占有されることがなくなるので、スムーズな入出庫を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、実施の形態に係るクリーンストッカの正面図である。
【図２】図２は、図１のＩＩ−ＩＩにおける断面図である。
【図３】図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩにおける断面図である。
【図４】図４は、第１の指示を検知した場合の収納処理を示すフローチャートである。
【図５】図５は、第２の指示を検知した場合の搬出処理を示すフローチャートである。
【図６】図６は、空のポッドがポッドオープナーに搬入された直後の状態を示す図である。
【図７】図７は、レチクルを受け入れる準備が整った状態を示す図である。
【図８】図８は、レチクルがポッドオープナーに搬入された直後の状態を示す図である。
【図９】図９は、レチクルがポッドに収納された状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【００２２】
まず、図１〜図３を参照して、本発明の実施の形態に係る自動倉庫であるクリーンストッカ１００の構成を説明する。なお、図１は、実施の形態に係るクリーンストッカ１００の正面図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩにおける断面図である。図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩにおける断面図である。
【００２３】
クリーンストッカ１００は、半導体工場又は液晶工場などのクリーンルーム内に設置されるものであり、半導体又は液晶基板の露光用のレチクル（荷物）と、レチクルを収納するポッド（ケース）とが別々に保管される。
【００２４】
具体的には、クリーンストッカ１００は、回転棚１１０と、レチクル搬送装置１２０と、ポッド搬送装置１３０と、ポッドオープナー１４０と、オートロードポート１５０と、マニュアルロードポート１６０と、クリーンガス供給部１７０と、検知部１８０と、操作パネル１９０とを主に備える。また、回転棚１１０は、上下多段の多数の段を備え、レチクル用回転棚１１１と、空ポッド用回転棚１１２と、レチクル入りポッド用回転棚１１３とに区分されている。なお、レチクル用回転棚１１１、空ポッド用回転棚１１２、及びレチクル入りポッド用回転棚１１３の位置関係は特に限定されない。例えば、図１に示されるように、クリーンな雰囲気を最も必要とするレチクル用回転棚１１１をクリーンガス供給部１７０に近い上段に設置し、中段にレチクル入りポッド用回転棚１１３を設置し、下段に空ポッド用回転棚１１２を設置するのが好ましい。
【００２５】
レチクル用回転棚１１１は、半導体又は液晶基板の露光用のレチクルを保管する棚である。空ポッド用回転棚１１２は、レチクルが収納されていない空のポッド（以下、「空ポッド」と表記する。）を保管する棚である。レチクル入りポッド用回転棚１１３は、レチクルを収納した状態のポッド（以下「レチクル入りポッド」と表記する）、言い換えれば、ポッドに収納されたレチクルを一時的に保管する棚である。
【００２６】
なお、レチクル用回転棚１１１及び空ポッド用回転棚１１２は、レチクルと空ポッドとを別々に保管する保管棚として機能するものである。一方、レチクル入りポッド用回転棚１１３は、レチクル入りポッドを一時的に保管する仮置棚として機能するものである。
【００２７】
なお、空ポッド用回転棚１１２における空ポッドの保管数は、レチクル用回転棚１１１におけるレチクルの保管数よりも少なくてもよく、例えば、１／１０〜１／１００程度としてもよい。さらに、レチクル入りポッド用回転棚１１３におけるレチクル入りポッドの保管数は、空ポッド用回転棚１１２における空ポッドの保管数よりさらに少なくてもよく、少なくとも１以上のレチクル入りポッドを収納できればよい。
【００２８】
レチクル用回転棚１１１、空ポッド用回転棚１１２、及びレチクル入りポッド用回転棚１１３は、それぞれが一体として回転し、各段は独立して回転しないようにしてもよい。又は、収納物の出し入れをより高速で行うため、各棚を上下複数のブロックにさらに分割し、ブロック毎に独立して回転するようにしてもよい。
【００２９】
レチクル搬送装置１２０は、クリーンストッカ１００内部の前面一方側（図１では、向かって左側）に設置されている。このレチクル搬送装置１２０は、レチクル用回転棚１１１とポッドオープナー１４０との間でレチクルを搬送する。
【００３０】
より具体的には、レチクル搬送装置１２０は、２段のアーム１２１、１２２の先端にハンド１２３を設けたもので、水平面内で動作する３個の関節１２４、１２５、１２６を有する。また、レチクル搬送装置１２０は、昇降ガイド１２７に沿って昇降する。つまり、このレチクル搬送装置１２０は、昇降ガイド１２７の範囲内で上下に昇降し、且つ各関節１２４、１２５、１２６を独立して動作させる。これにより、２段のアーム１２１、１２２で到達可能な範囲内で、任意の向きにレチクルを搬送できる。
【００３１】
ポッド搬送装置１３０は、クリーンストッカ１００内部の前面他方側（図１では、向かって右側）に設置されている。このポッド搬送装置１３０は、空ポッド用回転棚１１２とポッドオープナー１４０との間で空ポッドを搬送したり、ポッドオープナー１４０とオートロードポート１５０との間、ポッドオープナー１４０とマニュアルロードポート１６０との間、ポッドオープナー１４０とレチクル入りポッド用回転棚１１３との間、及びレチクル入りポッド用回転棚１１３とマニュアルロードポート１６０との間でレチクル入りポッドを搬送したりする。
【００３２】
より具体的には、ポッド搬送装置１３０は、２段のアーム１３１、１３２の先端にハンド１３３を設けたもので、水平面内で動作する３個の関節１３４、１３５、１３６を有する。また、ポッド搬送装置１３０は、昇降ガイド１３７に沿って昇降する。つまり、このポッド搬送装置１３０は、昇降ガイド１３７の範囲内で上下に昇降し、且つ各関節１３４、１３５、１３６を独立して動作させる。これにより、２段のアーム１３１、１３２で到達可能な範囲内で、任意の向きにポッドを搬送できる。
【００３３】
ポッドオープナー１４０は、クリーンストッカ１００内部の前面中央部、つまり、レチクル搬送装置１２０及びポッド搬送装置１３０の間に配置され、レチクルを空ポッドに収納する収納装置として機能したり、レチクル入りポッドからレチクルを取り出す取り出し装置として機能したりする。処理の詳細は後述する。
【００３４】
オートロードポート１５０は、クリーンストッカ１００の前面上部に設けられた天井走行車用ロードポートであり、図示しない天井走行車との間でレチクル入りポッドの入出庫を行うインタフェースである。マニュアルロードポート１６０は、クリーンストッカ１００の前面下部に設けられた作業者用ロードポートであり、作業者との間でレチクル入りポッドの入出庫を行うインタフェースである。
【００３５】
クリーンガス供給部１７０は、クリーンストッカ１００の上面に設けられ、例えば、クリーンエア又は窒素などのクリーンガスをダウンフローとして供給する。クリーンガス供給部１７０は、クリーンガスの生成手段及びファンフィルターユニットを備えたものであってもよいし、あるいはクリーンルームの天井からのクリーンエアをクリーンストッカ１００内に取り入れるものであってもよい。
【００３６】
なお、クリーンストッカ１００の内部では、クリーンガス供給部１７０からのクリーンガスが最初にレチクル用回転棚１１１に供給され、次いで、レチクル入りポッド用回転棚１１３、空ポッド用回転棚１１２の順に供給される。このため裸のレチクルを収納したレチクル用回転棚１１１を特にクリーンな雰囲気に保ち、レチクルの汚染を防止できる。
【００３７】
検知部１８０は、操作パネル１９０及び後述する操作端末１０等を介して入力される作業者からの指示を検知する。具体的には、検知部１８０は、作業者から入力される第１及び第２の指示を検知する。そして、検知部１８０は、検知した第１及び第２の指示を、回転棚１１０、レチクル搬送装置１２０、ポッド搬送装置１３０、及びポッドオープナー１４０等に通知する。通知を受けた各構成要素の動作は、後述する。
【００３８】
なお、第１の指示は、レチクル用回転棚１１１に保管されている複数のレチクルのうちの所定のレチクルを搬出することを示す。つまり、第１の指示には、レチクル用回転棚１１１に保管されているレチクルを特定する情報が含まれている。また、作業者は、操作パネル１９０及び後述する操作端末１０のどちらからでも第１の指示を入力することができるものとする。
【００３９】
一方、第２の指示は、レチクル入りポッド用回転棚１１３に一時的に保管されているレチクル入りポッドを搬出する準備が現実に整ったことを示す。つまり、第２の指示には、レチクル入りポッド用回転棚１１３に保管されているレチクル入りポッドを特定する情報が含まれている。また、作業者は、操作パネル１９０からのみ第２の指示を入力することができるものとする。
【００４０】
操作パネル１９０は、例えば、クリーンストッカ１００の前面の外壁に取り付けられており、作業者からの指示を受け付ける入力部として機能する。なお、操作パネル１９０は、作業者からの指示を受付可能なあらゆる構成を採用することができる。例えば、タッチパネル、キーボード、押しボタン、スイッチ等であってもよい。
【００４１】
また、クリーンストッカ１００には、作業者が操作する操作端末（外部端末）１０が通信ネットワーク２０を介して接続されている。通常、この操作端末１０は、クリーンストッカ１００が設置されているクリーンルームの外（オペレータルーム等）に設置されている。そして、作業者は、操作端末１０を通じてクリーンストッカ１００を遠隔操作することができる。
【００４２】
次に、図４〜図９を参照して、第１及び第２の指示を検知した場合の処理を説明する。なお、図４は、第１の指示を検知した場合の収納処理を示すフローチャートである。図５は、第２の指示を検知した場合の搬出処理を示すフローチャートである。図６〜図９は、収納処理中におけるポッドオープナー１４０の状態を示す図である。
【００４３】
まず、図４に示されるように、収納処理における検知部１８０は、作業者から第１の指示が入力されるのを監視している（Ｓ１１）。そして、検知部１８０は、第１の指示を検知すると（Ｓ１１でＹｅｓ）、当該第１の指示を回転棚１１０、レチクル搬送装置１２０、ポッド搬送装置１３０、及びポッドオープナー１４０に通知する。
【００４４】
次に、第１の指示の通知を受けたポッド搬送装置１３０は、空ポッド用回転棚１１２から空ポッドを取得し、ポッドオープナー１４０に搬入する（Ｓ１２）。このとき、第１の指示の通知を受けた空ポッド用回転棚１１２は、ポッド搬送装置１３０が空ポッドを取得することができるように棚を回転させる。図６は、空のポッド２００がポッドオープナー１４０に搬入された直後の状態を示す図である。図７は、レチクルを受け入れる準備が整った状態を示す図である。
【００４５】
まず、ポッド２００は、図６に示されるように、上下に分離可能なカバー２１０及びドア２２０で構成される。なお、図６には、１枚のレチクルを収納可能な構造のポッド２００を例示したが、これに限ることなく、複数のレチクルを収納可能な構造であってもよいことは言うまでもない。
【００４６】
また、ドア２２０の上面には、レチクルを支持するための複数の突起２２１が設けられている。ポッドオープナー１４０は、カバー２１０を係止する係止部１４１と、ドア２２０を載置する載置部１４２とで構成される。そして、ポッド搬送装置１３０は、カバー２１０が係止部１４１に係止され、ドア２２０が載置部１４２に載置されるように、ポッド２００をポッドオープナー１４０に搬入する。
【００４７】
なお、載置部１４２は、ドア２２０が載置されている状態で上下に昇降する昇降装置として機能する。そして、載置部１４２がドア２２０を載置した状態で降下することにより、図７に示されるように、カバー２１０とドア２２０とが上下に分離し、レチクルを収納する準備が整う。
【００４８】
次に、第１の指示の通知を受けたレチクル搬送装置１２０は、第１の指示に示されるレチクルをレチクル用回転棚１１１から取得し、ポッドオープナー１４０に搬入する（Ｓ１３）。このとき、第１の指示の通知を受けたレチクル用回転棚１１１は、レチクル搬送装置１２０が第１の指示に示されるレチクルを取得することができるように棚を回転させる。図８は、レチクル２３０がポッドオープナー１４０に搬入された直後の状態を示す図である。図９は、レチクル２３０がポッド２００の収納された状態を示す図である。
【００４９】
レチクル搬送装置１２０は、図８に示されるように、ドア２２０の上面から突出する複数の突起２２１上に、レチクル２３０を載置する。次に、載置部１４２がドア２２０を載置した状態で上昇することにより、図９に示されるように、レチクル２３０がポッド２００の内部に収納される。
【００５０】
次に、ポッド搬送装置１３０は、検知部１８０で検知された第１の指示が操作端末１０から入力されたものか否かを判断する（Ｓ１４）。そして、当該第１の指示が操作端末１０から入力されたものである場合（Ｓ１４でＹｅｓ）、ポッド搬送装置１３０は、ポッドオープナー１４０内のレチクル入りポッドを、レチクル入りポッド用回転棚１１３に載置する（Ｓ１５）。このとき、第１の指示の通知を受けたレチクル入りポッド用回転棚１１３は、ポッド搬送装置１３０がレチクル入りポッドを載置することができるように棚を回転させる。
【００５１】
一方、当該第１の指示が操作端末１０から入力されたものでない場合（Ｓ１４でＮｏ）、ポッド搬送装置１３０は、ポッドオープナー１４０内のレチクル入りポッドを、直接（つまり、レチクル入りポッド用回転棚１１３に一時保管することなく）、オートロードポート１５０又はマニュアルロードポート１６０に載置する（Ｓ１６）。
【００５２】
具体的には、予め定められたスケジュールに基づいて天井走行車等がオートロードポート１５０からレチクル入りポッドを取得する場合、又は、作業者がクリーンストッカ１００に設けられた操作パネル１９０から第１の指示を入力する場合等が考えられる。これらの場合においては、オートロードポート１５０又はマニュアルロードポート１６０のレチクル入りポッドが速やかに取り去られるので、レチクル入りポッド用回転棚１１３に一時保管する必要はない。
【００５３】
次に、図５に示されるように、搬出処理における検知部１８０は、作業者から第２の指示が入力されるのを監視している（Ｓ２１）。そして、検知部１８０は、第２の指示を検知すると（Ｓ２１でＹｅｓ）、当該第２の指示を回転棚１１０及びポッド搬送装置１３０に通知する。
【００５４】
そして、第２の指示の通知を受けたポッド搬送装置１３０は、第２の指示に示されるレチクル入りポッドをレチクル入りポッド用回転棚１１３から取得し、マニュアルロードポート１６０に載置する（Ｓ２２）。このとき、第２の指示の通知を受けたレチクル入りポッド用回転棚１１３は、ポッド搬送装置１３０が第２の指示に示されるレチクル入りポッドを取得できるように棚を回転させる。
【００５５】
上記構成のクリーンストッカ１００によれば、レチクル入りポッドの入出庫をスムーズに行うことができる。例えば、上記構成のクリーンストッカ１００は、以下のような状況において、特に有利な効果を奏する。
【００５６】
第１の例として、作業者Ａが第１の指示を入力してから第２の指示を入力するまでの間に、作業者Ｂがレチクル入りポッドを入庫しようとする場合が考えられる。この場合、クリーンストッカ１００は、作業者Ａからの第１の指示に基づいて、所定のレチクルをポッドに収納し、レチクル入りポッド用回転棚１１３に一時的に保管しておく。次に、作業者Ｂによってマニュアルロードポート１６０に入庫されたレチクル入りポッドを、ポッドオープナー１４０でレチクルと空ポッドとに分解し、レチクルをレチクル用回転棚１１１に、空ポッドを空ポッド用回転棚１１２に保管する。そして、作業者Ａからの第２の指示に基づいて、レチクル入りポッドをレチクル入りポッド用回転棚１１３からマニュアルロードポート１６０に移載する。
【００５７】
このように、作業者Ａが出庫を指示（第１の指示を入力）してから現実にレチクル入りポッドを取りに来る（第２の指示を入力）までに長時間を要したとしても、他の作業者Ｂによるレチクル入りポッドの入庫を妨げることがない。なお、この場合、レチクル入りポッド用回転棚１１３は、少なくとも１以上のレチクル入りポッドを保管することができればよい。
【００５８】
次に、第２の例として、作業者Ａ、Ｂがこの順に操作端末１０を操作してレチクルの出庫を指示し、作業者Ｂ、Ａの順にクリーンストッカ１００の設置場所に到着した場合が考えられる。この場合、クリーンストッカ１００は、作業者Ａ、Ｂの第１の指示に基づいて、レチクル入りポッドをレチクル入りポッド用回転棚１１３に一時的に保管しておく。そして、作業者Ｂの第２の指示に基づいて、作業者Ｂが取得すべきレチクル入りポッドをレチクル入りポッド用回転棚１１３からマニュアルロードポート１６０に移載する。続いて、作業者Ａの第２の指示に基づいて、作業者Ａが取得すべきレチクル入りポッドをレチクル入りポッド用回転棚１１３からマニュアルロードポート１６０に移載する。
【００５９】
このように、複数の作業者Ａ、Ｂがレチクルを出庫しようとする場合において、第１の指示の入力順と、第２の指示の入力順とが入れ替わった場合でもスムーズに出庫をすることが可能となる。なお、この場合、レチクル入りポッド用回転棚１１３は、複数のレチクル入りポッド（作業者の数と同数以上）を保管することができなければならない。
【００６０】
なお、上記の実施の形態において、各構成要素の具体的な構成は特に限定されない。例えば、仮置き棚としてのレチクル入りポッド用回転棚１１３は、保管すべきポッド数が少ないので、回転棚ではなく固定棚としてもよい。この場合の仮置き棚は、例えば、オートロードポート１５０及びマニュアルロードポート１６０の間の空間に設置してもよいし、ポッドオープナー１４０の下部等に設置してもよい。
【００６１】
又は、操作パネル１９０は、クリーンストッカ１００の前面外壁でなくとも、クリーンストッカ１００に近接して設置される端末等、作業者が指示を入力した後速やかにレチクル入りポッドを取得できる位置であればよい。
【００６２】
さらには、入力部は、作業者の能動的な指示を受け付ける操作パネル１９０に限られず、作業者の到着を検出するセンサ等であってもよい。より具体的には、第１の指示には、さらに当該第１の指示を入力した作業者を特定する情報（作業者ＩＤ等）が含まれており、入力部は、作業者が携帯するＲＦＩＤタグ等から作業者ＩＤを取得することによって、第１の指示を入力した作業者がクリーンストッカ１００の設置場所に到着した（つまり、レチクル入りポッドを搬出する準備が現実に整った）ことを検出してもよい。
【００６３】
また、本発明は、レチクルを収納するクリーンストッカ１００のみならず、荷物と荷物を収納する容器とを別々に保管し、出庫時に荷物を容器に収納する構成を備えるあらゆる自動倉庫に適用することができる。
【００６４】
以上、図面を参照してこの発明の実施形態を説明したが、この発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示した実施形態に対して、この発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、荷物と荷物を収納する容器とを別々に保管し、出庫時に荷物を容器に収納する自動倉庫に有利に利用される。
【符号の説明】
【００６６】
１０    操作端末
２０    通信ネットワーク
１００  クリーンストッカ
１１０  回転棚
１１１  レチクル用回転棚
１１２  空ポッド用回転棚
１１３  レチクル入りポッド用回転棚
１２０  レチクル搬送装置
１２１，１２２，１３１，１３２  アーム
１２３，１３３  ハンド
１２４，１２５，１２６，１３４，１３５，１３６  関節
１２７，１３７  昇降ガイド
１３０  ポッド搬送装置
１４０  ポッドオープナー
１４１  係止部
１４２  載置部
１５０  オートロードポート
１６０  マニュアルロードポート
１７０  クリーンガス供給部
１８０  検知部
１９０  操作パネル
２００  ポッド
２１０  カバー
２２０  ドア
２２１  突起
２３０  レチクル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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