(57)【要約】  本発明は、透光性板状体を搬送路に沿って搬送しながら該透光性板状体に存在する微小欠点を検査する方法において、前記透光性板状体に光を照射して前記透光性板状体の主表面を予備撮像部で撮像することで、前記透光性板状体の主表面の面方向に存在する前記微小欠点の位置を特定する予備検査ステップと、前記予備検査ステップで得られた前記微小欠点の位置に合わせて、前記透光性板状体の面方向に沿って前記透光性板状体の搬送方向と交差する方向に主撮像部を移動し、前記微小欠点に位置合わせした状態で前記搬送方向に移動しつつ前記微小欠点を撮像する精査検査ステップと、を有する透光性板状体の微小欠点の検査方法に関する。
2012153662.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性板状体を搬送路に沿って搬送しながら該透光性板状体に存在する微小欠点を検査する方法において、
前記透光性板状体に光を照射して前記透光性板状体の主表面を予備撮像部で撮像することで、前記透光性板状体の主表面の面方向に存在する前記微小欠点の位置を特定する予備検査ステップと、
前記予備検査ステップで得られた前記微小欠点の位置に合わせて、前記透光性板状体の面方向に沿って前記透光性板状体の搬送方向と交差する方向に主撮像部を移動し、前記微小欠点に位置合わせした状態で前記搬送方向に移動しつつ前記微小欠点を撮像する精査検査ステップと、
を有する透光性板状体の微小欠点の検査方法。
【請求項２】
前記精査検査ステップにおいて、前記主撮像部を前記透光性板状体の搬送方向に交差する方向に移動させて位置決めし、前記主撮像部の視野に入った微小欠点の移動に同期させて前記主撮像部を前記搬送路に沿って前記透光性板状体と等速で移動させつつ、前記微小欠点を撮像する請求項１に記載の透光性板状体の微小欠点の検査方法。
【請求項３】
前記精査検査ステップにおいて、前記搬送路に沿って複数の主撮像部を配置し、前記予備検査ステップにおいて特定された微小欠点の位置に対応させて前記主撮像部を個別に移動させ、前記微小欠点を個々に撮像する請求項１または２に記載の透光性板状体の微小欠点の検査方法。
【請求項４】
前記精査検査ステップにおいて、前記搬送路に沿って複数設けられた主撮像部のうち、前記搬送路の上流側に設置されている前記主撮像部が特定の微小欠点の接近に対応して移動することで該微小欠点を撮像するが、前記搬送路の上流側の前記主撮像部が移動して該微小欠点を撮像するために要する時間よりも早く次の微小欠点が接近する場合、前記搬送路の下流側に設置されている他の主撮像部が接近中の該微小欠点に対し移動することで該微小欠点を撮像する請求項３に記載の透光性板状体の微小欠点の検査方法。
【請求項５】
前記予備検査ステップと前記精査検査ステップのそれぞれにおいて、暗視野検査及び明視野検査の両方を実施する請求項１〜４のいずれか一項に記載の透光性板状体の微小欠点の検査方法。
【請求項６】
前記予備検査ステップにおいて、前記予備撮像部としてラインセンサカメラを用いて前記透光性板状体の主表面の面方向に存在する微小欠点の位置を特定し、前記精査検査ステップにおいて、前記主撮像部としてエリアカメラを用いて前記微小欠点を撮像する請求項１〜５のいずれか一項に記載の透光性板状体の微小欠点の検査方法。
【請求項７】
前記精査検査ステップにおいて、前記エリアカメラを前記透光性板状体の搬送方向に対し直交する方向に向け、前記エリアカメラを前記透光性板状体の主表面が前記搬送路に沿って移動する領域に対し傾斜させて前記微小欠点を撮像する請求項６に記載の透光性板状体の微小欠点の検査方法。
【請求項８】
搬送路に沿って搬送される透光性板状体に存在する微小欠点を検査する透光性板状体の微小欠点の検査装置において、
前記透光性板状体に光を照射する照明器、及び前記透光性板状体の主表面を全面にわたり撮像する予備撮像部を備えた予備検査機と、
該予備撮像部が撮像した前記透光性板状体の画像情報から前記透光性板状体の主表面の面方向に存在する微小欠点の位置情報を特定する管理装置と、
前記透光性板状体に光を照射する照明器、前記透光性板状体の主表面を撮像する主撮像部、前記予備検査機で特定された前記微小欠点の位置情報に合わせて前記透光性板状体の面方向に沿って前記透光性板状体の搬送方向と交差する方向に前記主撮像部を移動させる第一の搬送部、及び前記透光性板状体の搬送方向に前記主撮像部を移動させる第二の搬送部を備えた精査検査機と、
を具備した透光性板状体の微小欠点の検査装置。
【請求項９】
前記第二の搬送部が、前記透光性板状体の搬送方向と同じ方向に前記透光性板状体と等速で前記主撮像部を移動させる能力を有する請求項８に記載の透光性板状体の微小欠点の検査装置。
【請求項１０】
前記主撮像部、前記第一の搬送部および前記第二の搬送部を備えた主撮像ユニットが、前記透光性板状体の搬送方向に沿って複数設置された請求項８または９に記載の透光性板状体の微小欠点の検査装置。
【請求項１１】
前記搬送路に沿って複数設けられた主撮像部のうち、前記搬送路の上流側に設置されている前記主撮像部が特定の微小欠点の接近に対応して移動することで該微小欠点を撮像するが、前記搬送路の上流側の前記主撮像部が移動して該微小欠点を撮像するために要する時間よりも早く次の微小欠点が接近する場合、前記搬送路の下流側に設置されている他の主撮像部を接近中の該微小欠点に対し移動させて該微小欠点を撮像する機能を管理装置に備えた請求項１０に記載の透光性板状体の微小欠点の検査装置。
【請求項１２】
前記予備検査機が明視野検査器としての予備撮像部と暗視野検査器としての予備撮像部と、を備えた請求項８〜１１のいずれか一項に記載の透光性板状体の微小欠点の検査装置。
【請求項１３】
前記予備撮像部がラインセンサカメラであり、前記主撮像部がエリアカメラである請求項８〜１２のいずれか一項に記載の透光性板状体の微小欠点の検査装置。
【請求項１４】
前記エリアカメラが前記透光性板状体の搬送方向と交差する方向に向けられ、かつ、前記透光性板状体の主表面を前記搬送路に沿って移動させる領域に対し傾斜配置された請求項８〜１３のいずれか一項に記載の透光性板状体の微小欠点の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透光性を有するガラス板等の板状体の微小欠点の検査方法および透光性板状体の微小欠点の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
今日、ガラス板はフラットパネルディスプレイ等の電子機器に用いられていることから、板厚が薄く、泡、傷、異物等の欠点が極めて少ないか、あるいは全く欠点が存在しないガラス板が求められている。
この種のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板は、溶解した原料をフロートバス上に流して板状に成形し、その成形品を徐冷後、所定の大きさに切断し、必要に応じ表面を研磨し、洗浄することで製作されている。
洗浄後のガラス基板は、コンベア等の搬送装置により梱包工程に搬送されるが、その途中で泡、傷、異物等の微小欠点について光学的な検査が行われている。例えば、ガラス基板に照明を当て、ガラス基板の微弱な明暗の変化を光学カメラで撮像し、画像処理により微小欠点を識別することが行われている。【０００３】
ガラス基板の検査装置の一例として、ガラス基板を搬送する搬送路の上に、ガラス基板の搬送方向に沿って移動可能なガイド（移動手段）を設け、この移動手段に照明装置と受光手段を設け、移動手段の移動方向をガラス基板の搬送方向と同一に設定し、移動手段に速度制御装置を設けた構成の検査装置が知られている（特許文献１参照）。
特許文献１に記載されている検査装置は、移動手段の移動速度をガラス基板の搬送速度よりも低速に設定して検査する場合と、移動手段の移動速度をガラス基板の搬送速度よりも高速に設定して検査する場合と、移動手段の移動速度をガラス基板の搬送速度と同一に設定して検査する場合のそれぞれに対応できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】日本国特開２００９−８００８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ガラス基板を搬送しながら撮像する従来の検査装置であると、ぶれのない高精細な画像を得るためには、高速シャッターを使用する必要があるが、高速シャッターを用いると露光時間が足りなくなって微小欠点の微細な変化を撮像することが困難となる問題がある。そのため、検査工程のガラス基板の搬送速度を落とすか、又はガラス基板を搬送途中で一端停止させてから撮像する必要があるが、これらの手段はいずれにおいてもガラス基板の生産性を低下させるという問題がある。また、板ガラス等の透光性板状体を照明する場合、入射光に対して反射光が４〜８％程度になるので、反射光の強度を高くするにしても、限界があり、露光不足となり易い問題もある。
従来の検査装置においてガラス基板に複数の微小欠点が点在していた場合、ガラス基板を搬送している途中において点在する複数の微小欠点を逐一撮像することは極めて難しく、従って複数の微小欠点が点在する状態で形成されているガラス基板の検査を正確に行うことが難しかった。【０００６】
これらの背景に基づき、本発明者は、大型のガラス基板などの透光性板状体を搬送途中で検査する方法において、透光性板状体に複数の微小欠点が点在していた場合であっても、透光性板状体の搬送速度を落とすことなく微小欠点の精密な検査が可能な微小欠点の検査方法と微小欠点の検査装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、透光性板状体を搬送路に沿って搬送しながら該透光性板状体に存在する微小欠点を検査する方法において、前記透光性板状体に光を照射して前記透光性板状体の主表面を予備撮像部で撮像することで、前記透光性板状体の主表面の面方向に存在する前記微小欠点の位置を特定する予備検査ステップと、前記予備検査ステップで得られた前記微小欠点の位置に合わせて、前記透光性板状体の面方向に沿って前記透光性板状体の前記搬送方向と交差する方向に主撮像部を移動し、前記微小欠点に位置合わせした状態で前記搬送方向に移動しつつ前記微小欠点を撮像する精査検査ステップと、を有する透光性板状体の微小欠点の検査方法に関する。【０００８】
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査方法は、前記精査検査ステップにおいて、前記主撮像部を前記透光性板状体の搬送方向に交差する方向に移動させて位置決めし、前記主撮像部の視野に入った微小欠点の移動に同期させて前記主撮像部を前記搬送路に沿って前記透光性板状体と等速で移動させつつ、前記微小欠点を撮像できる。
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査方法は、前記精査検査ステップにおいて、前記搬送路に沿って複数の主撮像部を配置し、前記予備検査ステップにおいて特定された微小欠点の位置に対応させて前記主撮像部を個別に移動させ、前記微小欠点を個々に撮像することができる。
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査方法は、前記精査検査ステップにおいて、前記搬送路に沿って複数設けられた主撮像部のうち、前記搬送路の上流側に設置されている前記主撮像部が特定の微小欠点の接近に対応して移動することで該微小欠点を撮像するが、前記搬送路の上流側の前記主撮像部が移動して該微小欠点を撮像するために要する時間よりも早く次の微小欠点が接近する場合、前記搬送路の下流側に設置されている他の主撮像部が接近中の該微小欠点に対し移動することで該微小欠点を撮像できる。【０００９】
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査方法は、前記予備検査ステップと前記精査検査ステップのそれぞれにおいて、暗視野検査及び明視野検査の両方を実施できる。
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査方法は、前記予備検査ステップにおいて、前記予備撮像部としてラインセンサカメラを用いて前記透光性板状体の主表面の面方向に存在する微小欠点の位置を特定し、前記精査検査ステップにおいて、前記主撮像部としてエリアカメラを用いて前記微小欠点を撮像することができる。
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査方法は、前記精査検査ステップにおいて、前記エリアカメラを前記透光性板状体の搬送方向に対し直交する方向に向け、前記エリアカメラを前記透光性板状体の主表面が前記搬送路に沿って移動する領域に対し傾斜させて前記微小欠点を撮像できる。【００１０】
また、本発明は、搬送路に沿って搬送される透光性板状体に存在する微小欠点を検査する透光性板状体の微小欠点の検査装置において、前記透光性板状体に光を照射する照明器、及び前記透光性板状体の主表面を全面にわたり撮像する予備撮像部を備えた予備検査機と、該予備撮像部が撮像した前記透光性板状体の画像情報から前記透光性板状体の主表面の面方向に存在する微小欠点の位置情報を特定する管理装置と、前記透光性板状体に光を照射する照明器、前記透光性板状体の主表面を撮像する主撮像部、前記予備検査機で特定された前記微小欠点の位置情報に合わせて前記透光性板状体の面方向に沿って前記透光性板状体の搬送方向と交差する方向に前記主撮像部を移動させる第一の搬送部、及び前記透光性板状体の搬送方向に前記主撮像部を移動させる第二の搬送部を備えた精査検査機とを具備した透光性板状体の微小欠点の検査装置に関する。【００１１】
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査装置は、前記第二の搬送部が、前記透光性板状体の搬送方向と同じ方向に前記透光性板状体と等速で前記主撮像部を移動させる構成にできる。
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査装置は、前記主撮像部、前記第一の搬送部および前記第二の搬送部を備えた主撮像ユニットが、前記透光性板状体の搬送方向に沿って複数設置された構成にできる。
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査装置は、前記搬送路に沿って複数設けられた主撮像部のうち、搬送路の上流側に設置されている前記主撮像部が特定の微小欠点の接近に対応して移動することで該微小欠点を撮像するが、前記搬送路の上流側の前記主撮像部が移動して該微小欠点を撮像するために要する時間よりも早く次の微小欠点が接近する場合、前記搬送路の下流側に設置されている他の主撮像部を接近中の該微小欠点に対し移動させて該微小欠点を撮像する機能を管理装置に備えることができる。【００１２】
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査装置は、前記予備検査機が明視野検査器としての予備撮像部と暗視野検査器としての予備撮像部と、を設けることができる。
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査装置は、前記予備撮像部をラインセンサカメラとし、前記主撮像部をエリアカメラとすることができる。
本発明の透光性板状体の微小欠点の検査装置は、前記エリアカメラが前記透光性板状体の搬送方向と交差する方向に向けられ、かつ、前記透光性板状体の主表面を前記搬送路に沿って移動させる領域に対し傾斜配置されていてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、予備検査機の撮像により特定した透光性板状体の面方向の微小欠点の位置に合わせて透光性板状体の搬送方向と交差する方向に主撮像部を移動して位置合わせを行い、位置合わせした主撮像部が微小欠点を捕らえつつ透光性板状体の搬送方向に移動しながら撮像するので、高速なシャッター速度を用いなくとも十分な露光時間を確保できる結果、微小欠点の高精細な撮像が可能となり、微小欠陥を精度よく検査できる。微小欠点を捕らえた主撮像部が透光性板状体の搬送方向に透光性板状体と等速で移動しながら撮像するならば、主撮像部においてぶれの生じていない高精細な撮像が可能となり、微小欠点の検査精度向上に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明に係る第一実施形態の検査装置の全体構成を示す概略図である。
【図２】図２（ａ）および２（ｂ）は、同検査装置に設けられる予備検査機の暗視野検査器としての光学系の一例を示すもので、図２（ａ）は裏面反射像の検出状態の一例を示す説明図、図２（ｂ）は実像の検出状態の一例を示す説明図である。
【図３】図３（ａ）および３（ｂ）は、同検査装置に設けられる精査検査機の光学系を示すもので、図３（ａ）は暗視野光学系の検出状態の一例を示す図、図３（ｂ）は明視野光学系の検出状態の一例を示す図である。
【図４】図４（ａ）および４（ｂ）は、同検査装置に設けられる精査検査機の照明器と主撮像部の配置関係を示すもので、図４（ａ）は正面図、図４（ｂ）は平面図である。
【図５】図５は、同検査装置に設けられる精査検査機の全体構成を示す平面図である。
【図６】図６（ａ）および６（ｂ）は、同検査装置に設けられる搬送部を構成する直動ユニットの一例を示すもので、図６（ａ）は第一の搬送部を構成する直動ユニットの構成図、図６（ｂ）は第二の搬送部を構成する直動ユニットの構成図である。
【図７】図７（ａ）〜７（ｇ）は、同検査装置に設けられる精査検査装置を用いて透光性板状体の複数の欠点に追従しつつ検査を行っている状態の一例を示すもので、図７（ａ）〜７（ｇ）は点在するそれぞれの欠点に検査器が追従している状態をそれぞれ示す図である。
【図８】図８は、本発明に係る第二実施形態の検査装置に設けられている精査検査機の部分構成を示す平面図である。
【図９】図９は、本発明に係る検査装置に設けられる光学系の他の例を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
「第一実施形態」
以下、添付図面を参照して本発明に係る検査装置の第一実施形態について説明するが、本発明は以下に説明する実施形態に制限されるものではない。
【００１６】
図１は、本発明に係る検査装置が設けられた検査ラインの一例を示し、本実施形態の検査装置１は、板ガラスなどの矩形状の透光性板状体２を水平に搬送可能な複数のローラコンベアなどで構成される搬送路３に沿って設けられている。この搬送路３は、例えば、溶融したガラス原料をフロートバス状に流して板状ガラスに成形し、その板状ガラスを所定の大きさの板ガラスに切断し、表面を研磨した後に搬送される一連の板ガラス製造ラインの一部として設けられている。
図１に示す搬送路３の入口側（図１の左端部側）には洗浄装置５が設置され、水平状態で前段の切断工程から搬送されてきた板ガラスなどの透光性板状体２は洗浄装置５によってその表裏面が洗浄された後、検査装置１が設けられている搬送路３に水平搬送される。
【００１７】
搬送路３に沿って洗浄装置５の後に予備検査機６と精査検査機７が設置され、これらの検査機を制御するための管理装置８が予備検査機６と精査検査機７に電気的に接続されて設けられている。
予備検査機６は、暗視野外観検査器１０と明視野外観検査器１１を備えている。暗視野外観検査器１０とは、透光性板状体２に形成されているヘアライン等の傷の外観を主体に暗視野にて検査するための暗視野検査器の一種である。明視野外観検査器１１とは、透光性板状体２の内部に形成されている泡に起因する気泡部、透光性板状体２の表面や裏面に出た泡に起因するクレーター部分などを主体に明視野にて検査するための明視野検査器の一種である。
精査検査機７は、暗視野検査器の一種である第一の検査器１２と明視野検査器の一種である第二の検査器１３を備えている。
【００１８】
暗視野検査器とは、照明器から透光性板状体２に光を入射する際の照明の角度と透光性板状体２からの反射光をカメラ等の撮像部が捕らえる場合に、正反射光が得られる角度からずれた角度に撮像部の光軸を設置しておき、基本的に反射光が入らない暗視野として撮像できるように照明器と撮像部の位置関係を規定した検査器を示す。また、明視野検査器とは、照明器から透光性板状体２に光を入射する際の照明の角度と透光性板状体２からの反射光をカメラ等の撮像部が捕らえる場合に、正反射光が得られる角度に撮像部の光軸を設置しておき、基本的に反射光を捕らえることができ、明視野として撮像できるように照明器と撮像部の位置関係を規定した構成の検査器を示す。
【００１９】
例えば、図２（ａ）に示すように、透光性板状体２が搬送路３に沿って矢印ａ１方向に水平搬送される構成において、搬送路３の入口側上方に搬送路３の下流側に向いて斜め下向きに照明光を照射する照明器１５が設けられている。この図の例ではロッド状の本体部１５ａの先端部にロッドレンズ１５ｂが設けられた構成とされ、透光性板状体２の表面の計測位置に斜め上方から照明光を集光照射する装置として設けられている。
搬送路３に沿って下流側であって先の照明器１５に対向する位置に予備撮像部（ラインセンサカメラ）１６が搬送路３の上流側に向き、かつ、斜め下向きに設けられている。
【００２０】
このラインセンサカメラ１６は、照明器１５からの照明光が透光性板状体２の表面で反射する場合、その正反射方向Ｒ１から光軸を外した位置（図２では斜め下方にずれた位置）に設置された構成では、暗視野検査器対応として構成されている。図２に示す構成では照明器１５とラインセンサカメラ１６を備えて暗視野外観検査器１０が構成されている。本実施形態において用いられるラインセンサカメラ１６は、例えば、透光性板状体２に形成されている１０μｍ×１００μｍ程度以上の大きさの傷等の欠点を判別できる解像度を有する。なお、解像度は一例であり、更に解像度の高いラインセンサカメラを用いてもよいのは勿論である。
暗視野外観検査器１０の一例として、照明器１５の照明光の入射角度を４５゜（水平を基準とする仰角：４５゜）とした場合に、ラインセンサカメラ１６の光軸の角度を３０゜（水平を基準とする仰角：３０゜）として設置される。
また、正反射方向Ｒ１に光軸を一致させてラインセンサカメラ１６が設置された構成では、明視野検査器として設けられ、図２（ａ）の２点鎖線に示す正反射方向に光軸を揃えたラインセンサカメラ１６と照明器１５を備えて明視野外観検査器１１が構成される。
【００２１】
これらの照明器１５とラインセンサカメラ１６は、個々の仰角を維持した状態で図示略のフレームに搭載され、このフレームが搬送路３の幅方向（搬送路３に沿って移動する透光性板状体２の幅方向）に複数設置されている。これら複数のラインセンサカメラ１６が、搬送路３に沿って水平搬送される透光性板状体２の幅方向の所定幅の領域を分担してカバーする。これらのラインセンサカメラ１６は、１台のみで透光性板状体２の全幅をカバーできる訳ではないので、上述のように複数台設置することで、高精細な解像度でもって透光性板状体２の全幅を撮像できる。これら複数のラインセンサカメラ１６を透光性板状体２が通過する間、連続動作させて撮像することで、透光性板状体２の主表面（表面）の面方向全域にわたり、暗視野検査あるいは明視野検査が可能となる。
【００２２】
図２（ａ）に示すように、照明器１５から透光性板状体２の表面に照射された照明光は、透光性板状体２の表面が無欠点で平坦な場合は正反射のみとなり、暗視野検査器としてのラインセンサカメラ１６には光が入射せず、暗視野の状態が保たれる。透光性板状体２に傷や異物等の欠点がある場合は、そこで生じた散乱光が暗視野検査器としてのラインセンサカメラ１６に入射するので、明点として検出される。この方式で検出される欠点は、散乱光を発生させるもの全てであり、傷以外にも、内部泡、カレット付着等を検出できる。また、図２（ａ）に示す如く、傷が透光性板状体２の表面側に存在する場合は、像が二重に重なって撮像され、透光性板状体２の裏面側に存在する傷の場合は二重にはなっていない一重の像が得られる。なお、二重の像が得られる場合、二重像の間の距離から欠点の深さを推定できる。
【００２３】
前記暗視野外観検査器１０は、データ配線１７を介し管理装置８に接続され、明視野外観検査器１１は、データ配線１８を介し管理装置８に接続されていて、暗視野外観検査器１０と明視野外観検査器１１とが個別に撮像し検査した透光性板状体２の表面全面の検査結果の情報を管理装置８に送ることができるようになっている。
暗視野外観検査器１０は、透光性板状体２の画像を、例えば、二値化処理して明暗を強調して、暗視野画像の場合に輝点の存在を検知する。
明視野外観検査器１１は、明視野画像の場合は暗い点の存在を検知し、それらの座標位置を記録して記憶部に記録する機能を有する。
管理装置８は、記憶部と制御部と演算装置を備えたパーソナルコンピュータからなり、暗視野外観検査器１０と明視野外観検査器１１から送られてくる検査結果を受け取る。そして、管理装置８は、制御線１９を介し精査検査機７に接続されていて、後述するように第一の検査器１２と第二の検査器１３を制御するようになっている。
【００２４】
搬送路３の下流側に設けられている精査検査機７において、暗視野検査器の一種である第一の検査器１２は、図３（ａ）に示すように、搬送路３の幅方向一側に設けられた照明器２０と、搬送路３の幅方向他側に設けられた第一の主撮像部（第一のエリアカメラ）２１を備えている。また、明視野検査器の一種である第二の検査器１３は、搬送路３の幅方向一側に設けられた照明器２２と、搬送路３の幅方向他側に設けられた第二の主撮像部（第二のエリアカメラ）２３を備えている。
照明器２０と第一のエリアカメラ２１は、搬送路３の幅方向に沿って対向するように配置され、照明器２０が斜め下向きに向いており、搬送路３に沿って移動中の透光性板状体２の表面に照明光を照射した場合、その反射光が向かう側に第一のエリアカメラ２１が斜め下向きに配置されている。
照明器２２と第二のエリアカメラ２３は、搬送路３の幅方向に沿って対向するように配置され、照明器２２が斜め下向きに向いており、搬送路３に沿って移動中の透光性板状体２の表面に照明光を照射した場合、その反射光が向かう側に第二のエリアカメラ２３が斜め下向きに配置されている。
【００２５】
暗視野検査器の一種である第一の検査器１２は、図３（ａ）に示すように、リング状の発光部２０ａを備え、透光性板状体２の表面に対し、リング状に光を照射する。よって透光性板状体２の表面には、リング状に照明された明領域Ｓ１とその内側の照明光が当たらない暗領域Ｓ２が形成される。
第一のエリアカメラ２１は、その光軸２１ｂの仰角をリング状の発光部２０ａの中心軸２０ｂの仰角と同じ角度として配置され、第一のエリアカメラ２１は、先のリング状の発光部２０ａが透光性板状体２の表面に形成する暗領域Ｓ２を撮像エリアとして撮像できるように配置されている。第一のエリアカメラ２１は、暗領域Ｓ２を視野とするため、暗視野検査器として機能する。
【００２６】
明視野検査器の一種である第二の検査器１３は、図３（ｂ）に示すように、面状の発光部２２ａを備え、透光性板状体２の表面に対し、面状に光を照射する。よって透光性板状体２の表面には、面状に照明された明領域Ｓ３が形成される。
第二のエリアカメラ２３は、その光軸２３ｂの仰角を面状の発光部２２ａの中心軸２２ｂの仰角と同じ角度として配置され、第二のエリアカメラ２３は、先の面状の発光部２２ａが透光性板状体２の表面に形成する明領域Ｓ３を撮像エリアとして撮像できるように配置されている。第二のエリアカメラ２３は、明領域Ｓ３を視野とするため、明視野検査器として機能する。
【００２７】
図４は、第一の検査器１２に設けられているリング状の発光部２０ａを備えた照明器２０と第一のエリアカメラ２１の位置関係を更に説明するための図である。図４（ｂ）において、リング状の発光部２０ａから透光性板状体２の表面に斜め上方から照明光を入射している状態と、第一のエリアカメラ２１が透光性板状体２の表面を撮像する場合、焦点の合う領域の状態を示している。
第一のエリアカメラ２１は、その光軸を搬送路３の幅方向に沿って配置されている。即ち、第一のエリアカメラ２１は、搬送路３の幅方向（透光性板状体２の搬送方向と交差する方向）に、斜め下方に向いて設置されており、第一のエリアカメラ２１が焦点を合わせることができる領域は、透光性板状体２の搬送方向に細長い矩形状領域２１Ａとされ、その両側（搬送路３の幅方向両側）に焦点が合わない細長い矩形状領域２１Ｂが形成される。換言すると、ピントが合う矩形状領域２１Ａよりも第一のエリアカメラ２１に近い領域と遠い領域の両方にピントが合わない矩形状領域２１Ｂが形成される。このように、第一のエリアカメラ２１の矩形状領域２１Ａを透光性板状体２の搬送方向に長く延在させることによって、後述する如く、搬送路３に沿って搬送される透光性板状体２の欠点を捕らえ易くできる特徴がある。この特徴については後に詳述する。
【００２８】
前記照明器２０と第一のエリアカメラ２１は、それらの傾斜角度を維持したまま図３（ａ）に示す第一のフレーム部材２４の内部に収容され、照明器２２と第二のエリアカメラ２３は、それらの傾斜角度を維持したまま図３（ｂ）に示す第二のフレーム部材２５の内部に収容されている。これらのフレーム部材２４、２５の底部に窓部が形成されており、それぞれ透光性板状体２に対する照明光の照射と透光性板状体２からの反射光の撮像ができるようになっている。
【００２９】
本実施形態の第一の検査器１２は、詳細には図５に示すように、先の照明器２０と第一のエリアカメラ２１を備えた第一のフレーム部材２４を移動自在に支持した第一の搬送部２７および第二の搬送部２８により構成された４基の第一の主撮像ユニット３０（以下、本明細書において主撮像ユニット３０という）から構成されている。
第二の検査器１３は、詳細には図５に示すように、先の照明器２２と第二のエリアカメラ２３を備えた第二のフレーム部材２５を移動自在に支持した第一の搬送部２７と第二の搬送部２８により構成された４基の第二の主撮像ユニット３１（以下、本明細書において主撮像ユニット３１という）から構成されている。これらのエリアカメラ２１、２３は１画素で８〜１０μｍ程度の高解像を有し、高精細な画像を撮像できるものが望ましい。
【００３０】
第一の検査器１２に設けられている第一の搬送部２７は、搬送路３の幅方向全長に跨る大きさの門型フレームに対し、搬送路３の幅方向に沿って直動ユニット３３が取り付けられた構成にされている。直動ユニット３３は、一例として図６（ａ）に示すように、細長い箱形のフレーム部材３４の内側中央にスクリューねじ部３５が設けられ、このスクリューねじ部３５に係合するねじ孔部を備えたスライダー部材３６がスクリューねじ部３５の回転に応じてフレーム部材３４の長さ方向に移動自在に設けられている。フレーム部材３４の一端側にはサーボモータなどの駆動源が内蔵されていて、スクリューねじ部３５を正逆方向に回転駆動することができ、サーボモータによるスクリューねじ部３５の回転速度と回転方向を調整することで、スライダー部材３６の移動方向（搬送路３の幅方向に沿う移動方向）と移動速度を調整できる。
【００３１】
スライダー部材３６には第二の搬送部２８が取り付けられている。第二の搬送部２８は第一の搬送部２７と同等構造であるが、直動ユニット３３より短い直動ユニット３３Ａからなる。直動ユニット３３Ａの構造は、直動ユニット３３と同等構造であり、フレーム部材３４Ａとスクリューねじ部３５Ａとスライダー部材３６Ａが備えられている。
第二の搬送部２８を構成する直動ユニット３３Ａは、透光性板状体２の搬送方向下流側に向いて、該搬送方向と平行に向くようにスライダー部材３６に取り付けられている。第二の搬送部２８は、第一の搬送部２７よりも短く形成され、第二の搬送部２８のスライダー部材３６Ａには先に説明した第一のフレーム部材２４が、図３に示すように照明器２０と第一のエリアカメラ２１を斜め下向きに取り付けられている。
前記直動ユニット３３、３３Ａは現状の技術において、送りねじ式でサーボモータを利用した構成において、１０００ｍｍ／秒の移動速度を示す装置が市販されているので、第一のエリアカメラ２１を移動させるために必要十分な速度を得ることができる。
【００３２】
以上の構成により、第一の搬送部２７に沿って照明器２０と第一のエリアカメラ２１を搬送路３の幅方向に端から端まで（換言すると、搬送路３に沿って搬送される水平状態の透光性板状体２の一側端から他側端まで）直線移動できる。更に、照明器２０と第一のエリアカメラ２１を第二の搬送部２８に沿ってその基端部側から先端部側まで透光性板状体２の搬送方向に直線移動することができる。
本実施形態の検査装置１において検査対象とする透光性板状体２は、例えば、表示装置用ガラスとして知られているＧ８サイズのもので２５００ｍｍ×２２００ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ程度の板ガラスであるので、第一の搬送部２７の長さについては、検査対象とする板ガラスの幅をカバーできる大きさに形成される。勿論、透光性板状体２の大きさは表示装置用途として種々のサイズがあり、また、他の適用分野においても種々のサイズがあるので、目的とする透光性板状体の幅に合わせて第一の搬送部の長さを決定する。
搬送路３に沿って透光性板状体２を搬送する速度は任意でよいが、例えば、表示装置用途の板ガラスで１５〜２０ｍ／分程度であり、第二の搬送部２８の長さは第一のフレーム部材２４あるいは第二のフレーム部材２５を１００ｍｍ〜１５０ｍｍ程度移動できる長さに設定できる。
なお、図５に示す構成では、第一の搬送部２７の長さ方向中央部に第二の搬送部２８が位置されていて、この中立位置の状態が初期状態とされている。第二の搬送部２８はこの中立位置の状態から透光性板状体２の幅方向に移動し、後述する如く、第一のエリアカメラ２１が撮像すると、中立位置に復帰し、次の移動に備えて待機するように構成されている。なお、初期状態として、第一の搬送部２７の中央部に第２の搬送部２８の第一のエリアカメラ２１が配置されている方が、第一の搬送部２７の端部側に配置されている場合よりも欠点までの移動距離が少なくて済むので、より早く移動できる点で望ましい。
【００３３】
第二の検査器１３に設けられている主撮像ユニット３１において、第一の搬送部２７、第二の搬送部２８を備えている点については先に説明した主撮像ユニット３０の場合と同様であるが、主撮像ユニット３１においては、第二の搬送部２８に照明器２２と第二のエリアカメラ２３を備えたフレーム部材２５が取り付けられている点が異なる。
本実施形態の構造において、第一の検査器１２に設けられている照明器２０と第一のエリアカメラ２１は暗視野検査器として設けられ、第二の検査器１３に設けられている照明器２２と第二のエリアカメラ２３は明視野検査器として設けられている。
【００３４】
前記第一の検査器１２を構成する４基の主撮像ユニット３０の設置位置に対し、搬送路３に沿って上流側には透光性板状体２の先端位置検出のための位置検出センサ３８が設けられ、前記第二の検査器１３を構成する４基の主撮像ユニット３１の設置位置に対し、搬送路３に沿って上流側には透光性板状体２の先端位置を検出するための位置検出センサ３９が設けられている。
位置検出センサ３８は、第一の検査器１２に対し接近した透光性板状体２の先端位置を把握するために設けられ、位置検出センサ３９は第二の検査器１３に対し接近した透光性板状体２の先端位置を把握するために設けられている。
前記位置検出センサ３８が、透光性板状体２の接近を検出すると、第一番目の主撮像ユニット３０の第一のエリアカメラ２１の焦点位置と透光性板状体２の先端位置との距離関係が判明するので、後述する如く、第一番目の主撮像ユニット３０を動作させて第一のエリアカメラ２１の移動を開始できる。
なお、図１に示すように、第一の検査器１２は、接続線１２ａを介し表示装置付きの制御装置１４に接続され、第二の検査器１３は、接続線１３ａを介し表示装置付きの制御装置１４に接続されていて、第一の検査器１２の第一のエリアカメラ２１が撮像した画像と、第二の検査器１３の第二のエリアカメラ２３が撮像した画像をそれぞれ表示装置に表示できるように構成されている。
【００３５】
本実施形態の検査装置１により透光性板状体２に存在する欠点を検査するには、搬送路３に沿って水平搬送されてきた透光性板状体２に対し、予備検査機６において最初に暗視野外観検査器１０により透光性板状体２の全幅方向に暗視野検査を行い、傷等の位置検出を行い、次に、明視野外観検査器１１により透光性板状体２の全幅方向に明視野検査を行い、泡等の欠点の位置検出を行う。暗視野外観検査器１０と明視野外観検査器１１が撮像した画像は管理装置８に送られ、管理装置８において透光性板状体２の表面に沿う欠点の座標位置が特定され、管理装置８に設けられている記憶部に欠点の座標位置が記憶される。
この透光性板状体２の欠点の座標位置に合わせて、管理装置８が精査検査機７の第一の検査器１２と第二の検査器１３の作動を制御する。
【００３６】
一例として、図５に示す如く、透光性板状体２の任意の位置に欠点Ｋが存在していた場合、暗視野外観検査器１０と明視野外観検査器１１のどちらかが撮像した画像を管理装置８が画像処理により判別してその座標位置（透光性板状体２の先端から後端に向かう方向のＸ方向の座標位置と、透光性板状体２の幅方向両端のうちどちらか一方の端部から幅方向に沿うＹ方向の座標位置）を特定する。
この特定したＸＹ方向の座標位置情報に基づき、第一の搬送部２７の中央部の初期位置で待機している第一番目の主撮像ユニット３０の第二の搬送部２８を搬送路３の中央部の中立位置から幅方向に移動させて、第一のエリアカメラ２１の焦点位置をＹ方向の座標位置に移動させ、欠点Ｋが通過する予定の位置に位置合わせを行う。
【００３７】
第一の検査器１２の上流側に設けられた位置検出センサ３８が透光性板状体２の先端位置の通過を検知するので、透光性板状体２の欠点Ｋが第一のエリアカメラ２１の焦点位置を通過するタイミングに合わせて透光性板状体２の搬送速度と等速で第二の搬送部２８に沿って第一のフレーム部材２４を走行させる。この走行中に、リング状の発光部２０ａから照明光を欠点Ｋの周囲に照射するとともに第一のエリアカメラ２１で暗視野により撮像する。第一のエリアカメラ２１は高解像度であるが、第二の搬送部２８の長さに相当する距離だけ搬送路３に沿って欠点Ｋとともに同期して等速移動するので、高速なシャッタースピードではなくても、通常のシャッタースピードでもって、露光不足を生じることなく欠点Ｋの部分をぶれなく高解像度で撮像できる。また、照明器２０の照明光についても必要以上に輝度を高める必要が無く、通常シャッタースピードの範囲で撮像可能な明るさを有していればよい。
【００３８】
なお、透光性板状体２の搬送速度が、例えば、１８ｍ／分（３００ｍｍ／秒）である場合、精査機の解像度を１０μｍ／画素と仮定し、像のブレを１画素分許容する条件とすることが好ましいとすると、カメラが停止している状態では、１０μｍ進む時間は０．０３３ｍｓｅｃ以内のシャッター時間が必要条件となり、１／３００００秒以下の極めて高速なシャッタースピードが要求される。
これに対して第一のエリアカメラ２１が追従することを考慮すると、シャッタースピードを１／２５０としても、１画素分のブレを許容できる速度差は０．１５ｍ／分（＝２．５ｍｍ／秒）で０．８３％となる。シャッタースピードを１／１０００とする場合は、０．６ｍ／分（＝１０ｍｍ／秒）で３．３３％の差を許容できる。
従って、上述のように、１／３００００秒以下の極めて高速なシャッタースピードを採用しなくとも、本実施形態を採用することで汎用のシャッタースピード、例えば、１／２５０〜１／１０００秒で撮像できることが分かる。
また、第一のエリアカメラの絞りは４〜８程度を選択することができ、絞りを大きくすると被写界深度が深くなり、焦点の合う領域が広がるが、絞りを大きくすると照度不足を補うために、シャッタースピードを遅くするか、照明の照度を上げることが必要となる。シャッタースピードを遅くすると、前述した速度ずれの許容幅が狭くなる。また、照明照度を上げるために照明を追加すると、装置重量が増加するので、駆動時の慣性力が大きくなり、駆動装置の剛性を高める必要があり、装置が重厚になるので、バランスの取れたシャッタースピードで実現できるように構成することが好ましい。
【００３９】
また、第一の検査器１２の領域を欠点Ｋが通過して第二の検査器１３の領域に透光性板状体２が接近したならば、位置検出センサ３９が透光性板状体２の接近を検出する。透光性板状体２が位置検出センサ３９の観測位置を通過すると、第一番目の主撮像ユニット３１と透光性板状体２の位置関係が判明するので、第一番目の第二の搬送部２８を先の第一の検査器１２において行った位置決め動作と同様に移動させて欠点Ｋの部分を第二のエリアカメラ２３により明視野により撮像する。第二のエリアカメラ２３は高解像度であるが、第二の搬送部２８の長さに相当する距離だけ搬送路３に沿って欠点Ｋとともに同期して等速移動するので、高速なシャッタースピードでなくても、通常のシャッタースピードでもって、照明光を必要以上に強力にしなくとも、欠点Ｋの部分をぶれなく高解像度で撮像できる。
以上の操作により、暗視野と明視野の両方の検査方式により高解像度でぶれなく欠点Ｋの部分を撮像できるので、傷、泡、異物の付着等、種々の欠点Ｋを高精細に検知することができる。
なお、第一のエリアカメラ２１と第二のエリアカメラ２３により撮像した画像はそれぞれ制御装置１４に設けられている画像表示装置に表示されるので、肉眼観察等によりオペレーターが精査することで、欠点Ｋの有無を判別することもできる。
【００４０】
図５は、透光性板状体２に一箇所のみ欠点Ｋが存在していた場合の検査方法の一例について説明したが、透光性板状体２に複数の欠点Ｋが形成されていた場合の検査方法の一例について図７を基に以下に説明する。
図７（ａ）は、第一のエリアカメラ２１を備えた第一のフレーム部材２４が設けられた主撮像ユニット３０を４基備える第一の検査器１２を示している。図７（ａ）に示すように、仮に、欠点Ｋ１〜Ｋ５が形成されていた透光性板状体２が接近してきた場合について説明する。
欠点Ｋ１〜Ｋ５の存在は前段の予備検査機６を透光性板状体２が通過した際に既に検査されていて、搬送路３に沿って一定の速度で水平搬送されている透光性板状体２の表面の面方向に沿うＸＹ座標において、欠点Ｋ１〜Ｋ５の個々の座標位置情報は、管理装置８が既に特定して把握している。欠点Ｋ１〜Ｋ５は、透光性板状体２の先端位置からの距離に応じて順番に座標位置が特定されている。
【００４１】
図７（ａ）に示すように、透光性板状体２が第一の検査器１２の第一番目の主撮像ユニット３０に接近すると、図７（ａ）では略されているが図５に示す位置検出センサ３８が透光性板状体２の先端位置を検出するので、欠点Ｋ１の位置を把握している管理装置８が第一番目の主撮像ユニット３０を作動させ、第一の搬送部２７に沿って第二の搬送部２８をＹ方向に移動させて欠点Ｋ１のＹ座標位置と同一座標位置に第一のエリアカメラ２１の焦点領域を位置合わせする。
管理装置８は、欠点Ｋ１のＸ座標位置を把握しているので、第一のエリアカメラ２１の焦点領域に欠点Ｋ１が到達した時点で、第二の搬送部２８に沿って第一のフレーム部材２４を透光性板状体２と等速で同期移動させ、図７（ｂ）に示すように第一のエリアカメラ２１で欠点Ｋ１を高精細に撮像できる。
【００４２】
欠点Ｋ１の撮像後、欠点Ｋ２が第一番目の主撮像ユニット３０に接近するので、第一の搬送部２７に沿って第二の搬送部２８をＹ方向に移動させて欠点Ｋ２のＹ座標と同一座標に第一のエリアカメラ２１の焦点領域を図７（ｃ）に示すように位置合わせする。管理装置８は、欠点Ｋ２のＸ座標位置を把握しているので、第一のエリアカメラ２１の焦点領域に欠点Ｋ２が到達した時点で、第二の搬送部２８に沿って第一のフレーム部材２４を透光性板状体２と等速で同期移動させ、第一のエリアカメラ２１で欠点Ｋ２を高精細に撮像できる。
【００４３】
欠点Ｋ２の撮影後、欠点Ｋ３が第一番目の主撮像ユニット３０に接近するが、欠点Ｋ２と欠点Ｋ３は近接していて、第一番目の主撮像ユニット３０の追従動作では間に合わないと管理装置８が判断すると、管理装置８は第二番目の主撮像ユニット３０を作動させる。
第二番目の主撮像ユニット３０は、第一の搬送部２７に沿って第二の搬送部２８をＹ方向に移動させて欠点Ｋ３のＹ座標と同一座標に第一のエリアカメラ２１の位置合わせを行う。
管理装置８は欠点Ｋ３のＸ座標位置を把握しているので、第一のエリアカメラ２１の焦点領域に欠点Ｋ３が到達した時点で第二の搬送部２８に沿って第一のフレーム部材２４を透光性板状体２と等速で同期移動させ、図７（ｄ）に示すように第一のエリアカメラ２１で欠点Ｋ３を高精細に撮像できる。
【００４４】
欠点Ｋ３の撮影後、欠点Ｋ４が第二番目の主撮像ユニット３０に接近するが、欠点Ｋ３と欠点Ｋ４は近接していて、第二番目の主撮像ユニット３０の追従動作では間に合わないと管理装置８が判断すると、管理装置８は第三番目の主撮像ユニット３０を作動させる。
第三番目の主撮像ユニット３０は、第一の搬送部２７に沿って第二の搬送部２８をＹ方向に移動させて欠点Ｋ４のＹ座標と同一座標に第一のエリアカメラ２１の位置合わせを行う。
管理装置８は欠点Ｋ４のＸ座標位置を把握しているので、第一のエリアカメラ２１の焦点領域に欠点Ｋ４が到達した時点で第二の搬送部２８に沿って第一のフレーム部材２４を透光性板状体２と等速で同期移動させ、図７（ｅ）に示すように第一のエリアカメラ２１で欠点Ｋ４を高精細に撮像できる。
【００４５】
欠点Ｋ４の撮影後、欠点Ｋ５が第一番目の主撮像ユニット３０に接近するが、欠点Ｋ４と欠点Ｋ５は充分離れていて、第一番目の主撮像ユニット３０の追従動作では間に合うと管理装置８が判断すると、管理装置８は第一番目の主撮像ユニット３０を作動させる。
第一番目の主撮像ユニット３０は、第一の搬送部２７に沿って第二の搬送部２８をＹ方向に移動させて欠点Ｋ５のＹ座標と同一座標に第一のエリアカメラ２１の位置合わせを行う。
管理装置８は欠点Ｋ５のＸ座標位置を把握しているので、第一のエリアカメラ２１の焦点領域に欠点Ｋ５が到達した時点で第二の搬送部２８に沿って第一のフレーム部材２４を透光性板状体２と等速で同期移動させ、図７（ｆ）に示すように第一のエリアカメラ２１で欠点Ｋ５を高精細に撮像できる。
欠点Ｋ５の撮像後、第一のエリアカメラ２１は第一の搬送部２７の中央の初期位置に復帰し、次の欠点の検査に備える。
【００４６】
以上説明したように、管理装置８は、第一番目の主撮像ユニット３０を主体として駆動し、欠点Ｋ１〜Ｋ５のＸＹ座標位置から、第一番目の主撮像ユニット３０が追従不可能と判断した場合にのみ第二番目の主撮像ユニット３０、第三番目の主撮像ユニット３０、第四番目の主撮像ユニット３０を順次作動させて欠点の検査を行う。
搬送路３に沿って搬送される透光性板状体２の移動速度に応じて、第一番目〜第四番目までの主撮像ユニット３０を順次用いて欠点の検査を行うので、透光性板状体２に複数の欠点Ｋ１〜Ｋ５が形成されていた場合であっても、本実施形態の検査装置１であれば、支障なく全ての欠点に追従しながら高精細な撮像ができる。従って、複数の欠点Ｋ１〜Ｋ５を有する透光性板状体２を高精度で検査できる効果がある。また、欠点Ｋ１〜Ｋ５において、複数の欠点が透光性板状体２の搬送方向に極めて接近して存在していた場合であっても、複数の主撮像ユニット３０を作動させて支障なく高精度で検査できる効果がある。
【００４７】
なお、本実施形態の検査装置において、第一番目の主撮像ユニット３０の動作回数が多いので、繰り返し使用する間に第一番目の主撮像ユニット３０が優先的に故障する可能性がある。この場合、第一番目の主撮像ユニット３０が故障して動作を停止すると、画像が送られてこないので、第一番目の主撮像ユニット３０の故障を直ちに把握することができ、この場合は第二番目の主撮像ユニット３０を第一番目の主撮像ユニット３０に見立てて第二番目の主撮像ユニット３０を主体として動作させることができる。
【００４８】
「第二実施形態」
図８は、本発明に係る検査装置の第二実施形態を示すもので、本実施形態の構造では搬送路３に設けられている第一の検査器４２において、幅方向に２基の第一番目の主撮像ユニット５０、５１を併設し、併設した２基のユニットを４列、合計８基の主撮像ユニットを設けた実施形態を示す。
図８に示す第一の検査器４２において、搬送方向に向いて前方右側の列の主撮像ユニット５０は先の主撮像ユニット３０と同等構成であるが、第一の搬送部２７Ａの長さが搬送路３の幅方向半分程度の長さに形成されている点が異なる。
図８に示す第一の検査器４２において、搬送方向前方に向いて左側の列の主撮像ユニット５１は先の主撮像ユニット３０と類似構成であるが、第一の搬送部２７Ｂの長さが搬送路３の幅方向半分程度の長さに形成され、第二の搬送部２８Ａが第一の搬送部２７Ｂに対し、透光性板状体２の搬送方向と反対側に延出するように第一の搬送部２７Ｂに直角に取り付けられている点が異なる。第一の搬送部２７Ａ、２７Ｂと第二の搬送部２８が図６に示すような直動ユニット３３、３３Ａから構成されている点については先の実施形態の構造と同様である。
【００４９】
図８に示す実施形態の構造においては、第一の搬送部２７Ａ、２７Ｂの長さを搬送路３の半分程度に設定し、第一の搬送部２７Ａ、２７Ｂに沿って移動する第二の搬送部２８、２８Ａの移動距離を短くしているので、第二の搬送部２８、２８Ａの移動速度を第一実施形態の構造と同等とするならば、これらを透光性板状体２の幅方向に沿って図５を基に先に説明した第一実施形態の構造よりも短時間（半分程度の時間）で移動させることができる。このため、透光性板状体２に形成されている欠点に対する第二の搬送部２８、２８Ａの追従性が向上する。また、追従性が向上するため、仮に、透光性板状体２の幅が２倍程度の大きい透光性板状体に適用した場合であっても、第一実施形態の搬送部と同じ移動速度であっても同等の追従性を確保できるので、より大型の透光性板状体の欠点の検査に対応できる。
【００５０】
なお、先の実施形態では第一の検査器１２と第二の検査器１３について、４基の主撮像ユニット３０あるいは主撮像ユニット３１を設けた例について説明したが、主撮像ユニット３０、３１の設置個数は任意でよい。製造時の欠点が少ない透光性板状体を検査する場合は少ない設置個数でよく、場合によっては４基以上の数の主撮像ユニットを設けて検査する構成でもよい。
予備検査機６に設ける検査器は暗視野外観検査器１０と明視野外観検査器１１の両方であることが好ましいが、どちらか一方のみを設けてもよい。精査検査機７に設ける検査器は第一の検査器１２と第二の検査器１３の両方であることが好ましいが、どちらか一方のみを設けてもよい。
【００５１】
図９は、本発明に係る検査装置に設けられるエリアカメラ２１、２３に対する他の構造例を示すもので、先に説明したエリアカメラ２１、２３が透光性板状体２の移動領域に対し斜め下向きに配置された構成であるのに対し、透光性板状体２の移動領域の表面に対しその領域よりも上方に垂直下向きに第一の主撮像部（エリアカメラ）６０が配置された構造例を示す。
このエリアカメラ６０は、垂直下向きに配置されていても明視野検査器あるいは暗視野検査器として欠点の撮像ができる構成の一例として示す。前記の実施形態のように４基ずつ設けられている第一のエリアカメラ２１と照明器２０のセット、あるいは、第二のエリアカメラ２３と照明器２２のセットのうち、１つ以上のセットをこの実施形態の構造で置き換えることができる。
透光性板状体２の上方にハーフミラー部材６１が設けられ、そのハーフミラー部材６１の上方に光軸を垂直下向きにしてエリアカメラ６０が設けられ、ハーフミラー部材６１の側方側に照明器６２が設けられている。
【００５２】
この例の構成では、照明器６２からハーフミラー部材６１に入射させた照明光を透光性板状体２の表面に垂直に入射し、透光性板状体２からの上向きの反射光をハーフミラー部材６１を介してエリアカメラ６０で捕らえ、エリアカメラ６０で透光性板状体２の表面を撮像することで透光性板状体２の明視野検査あるいは暗視野検査ができる。エリアカメラ６０を用いて明視野検査を行う場合は、照明器６２からエリアカメラ６０の視野範囲に対し。均一な明るさの照明光を照射する。暗視野検査を行う場合は、照明器６２からリング状の照明光を照射し、リング状照明光の中心の暗い領域をエリアカメラ６０の視野として捕らえて撮像すればよい。
【００５３】
図９に示すように、ハーフミラー部材６１を用いることで、透光性板状体２に対し垂直下向きに光軸を向けたエリアカメラ６０で透光性板状体２の撮像ができる。図９に示すエリアカメラ６０であるならば、エリアカメラ６０の焦点位置で撮影領域全面のピントが合うので分解能の高い高精細な撮像ができる。
先の実施形態の構造のように、エリアカメラ２１、２３の向きを斜め下向きとしても、図９の例のように垂直下向きとしてもいずれの向きであってもよく、本発明において照明光の向きやカメラの向きに制限はない。
【００５４】
本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の範囲と精神を逸脱することなく、様々な修正や変更を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
本出願は、２０１１年５月１０日出願の日本特許出願２０１１−１０５３６２に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明の技術は、表示装置用ガラス、光学用ガラス、医療用ガラス、建築用ガラス、車両用ガラス、その他一般のガラス製品を検査する方法と装置に広く適用できる。
【符号の説明】
【００５６】
１…検査装置、３…搬送路、６…予備検査機、７…精査検査機、８…管理装置、１０…暗視野外観検査器、１１…明視野外観検査器、１２…第一の検査器、１３…第二の検査器、１４…制御装置、１５…照明器、１６…予備撮像部（ラインセンサカメラ）、１７、１８…データ配線、２０…照明器、２１…第一の主撮像部（第一のエリアカメラ）、２１Ａ、２１Ｂ…矩形状領域、２２…照明器、２３…第二の主撮像部（第二のエリアカメラ）、２４…第一のフレーム部材、２５…第二のフレーム部材、２７、２７Ａ、２７Ｂ…第一の搬送部、２８、２８Ａ…第二の搬送部、３０…第一の主撮像ユニット、３１…第二の主撮像ユニット、３３、３３Ａ…直動ユニット、４２…第一の検査器、５０、５１…主撮像ユニット、６０…第一の主撮像部（エリアカメラ）、Ｋ、Ｋ１〜Ｋ５…微小欠点。
【図１】
2012153662.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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