(57)【要約】  光アシスト磁気ヘッドにおける光源を含む光学素子の位置決めを、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な位置決め方法、かかる位置決め方法を用いて位置決めされた光学素子付き光源ユニット、及び光アシスト磁気ヘッドを提供する。この光学素子の位置決め方法は、少なくとも一つの光学素子をベースへ位置決めする方法であって、凹状の円筒面を有する光学素子を位置決めするために、少なくとも一断面が前記円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状から成る突起部を前記ベース上に有し、前記突起部の前記円弧形状を含む表面に、前記凹状の円筒面を有する光学素子の凹状の円筒面を当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行う工程を有する。
2012105298.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの光学素子をベースへ位置決めする光学素子の位置決め方法であって、
凹状の円筒面を有する光学素子を位置決めするために、少なくとも一断面が前記円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状から成る突起部を前記ベース上に有し、
前記突起部の前記円弧形状を含む表面に、前記凹状の円筒面を有する光学素子の凹状の円筒面を当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行う工程を有することを特徴とする光学素子の位置決め方法。
【請求項２】
前記突起部は球体の少なくとも一部または円柱体の少なくとも一部であることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の位置決め方法。
【請求項３】
前記ベースには溝が形成されており、
前記突起部は前記溝に配置された球体または円柱体であることを特徴とする請求項２に記載の光学素子の位置決め方法。
【請求項４】
前記溝は面対称で対向する二つの斜面を有することを特徴とする請求項３に記載の光学素子の位置決め方法。
【請求項５】
前記突起部は前記ベースに一体的に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の光学素子の位置決め方法。
【請求項６】
前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、
各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行うことを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
【請求項７】
前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として、光源を位置決めすることを特徴とする請求項３または４に記載の光学素子の位置決め方法。
【請求項８】
前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行い、前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として光源を位置決めすることを特徴とする請求項３または４に記載の光学素子の位置決め方法。
【請求項９】
前記突起部は円柱体の少なくとも一部であり、
前記突起部の少なくとも一部の稜線を基準として光源を位置決めすることを特徴とする請求項１乃至８の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
【請求項１０】
前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子を吸着保持するための貫通穴が形成されていることを特徴とする請求項１乃至９の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
【請求項１１】
前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子または前記光源の何れかを吸着保持するための貫通穴が形成されていることを特徴とする請求項７乃至９の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。
【請求項１２】
請求項７乃至１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と、前記光源とが互いに接着されてなることを特徴とする光学素子付き光源ユニット。
【請求項１３】
ベースと、
請求項７乃至１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と、前記光源とを有することを特徴とする光学素子付き光源ユニット。
【請求項１４】
前記ベースは、前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面で反射した前記光源からの光が通過する貫通穴または切欠部を有することを特徴とする請求項１３に記載の光学素子付き光源ユニット。
【請求項１５】
前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする請求項１３または１４に記載の光学素子付き光源ユニット。
【請求項１６】
前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする請求項１２に記載の光学素子付き光源ユニット。
【請求項１７】
前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記ベースに固定されていることを特徴とする請求項１３乃至１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
【請求項１８】
前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記光源に固定されていることを特徴とする請求項１３乃至１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
【請求項１９】
前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に前記ベースに接着固定されていることを特徴とする請求項１３乃至１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
【請求項２０】
前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることを特徴とする請求項１２、１７、１８または１９の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。
【請求項２１】
インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することにより行うことを特徴とする請求項２０に記載の光学素子付き光源ユニット。
【請求項２２】
請求項１２乃至２１の何れか１項に記載の光学素子付き光源ユニットを搭載したことを特徴とする光アシスト磁気ヘッド。
【請求項２３】
磁気記録再生部を備える光アシスト磁気ヘッド用スライダと、
請求項７乃至１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに位置決めされた凹状の円筒面を有する光学素子と、光源とを有することを特徴とする光アシスト磁気ヘッド。
【請求項２４】
前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする請求項２３に記載の光アシスト磁気ヘッド。
【請求項２５】
前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに固定されていることを特徴とする請求項２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。
【請求項２６】
前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光源に固定されていることを特徴とする請求項２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。
【請求項２７】
前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに接着固定されていることを特徴とする請求項２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。
【請求項２８】
前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることを特徴とする請求項２３乃至２７の何れか一項に記載の光アシスト磁気ヘッド。
【請求項２９】
インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することにより行うことを特徴とする請求項２８に記載の光アシスト磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学素子の位置決め方法、特に光源に対する光学素子の位置決め方法、光学素子付き光源ユニット及び光アシスト磁気ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置の磁気記録密度を上げる方式として、光アシスト磁気記録方式が活発に研究されている。メディアを加熱するための光スポットを如何に微小に形成するかが記録密度を向上させる上で重要なポイントとなる。この点に関しては、近接場光を用いて数十ｎｍのスポットサイズを実現する方向に固まってきた。【０００３】
近接場光を発生させる手法としては、光アシスト磁気ヘッドのスライダに光導波路を、半導体集積回路製造プロセスを用いて磁気記録再生部（磁気ヘッド部）と共に積層させ、光導波路のメディア側の出射端近辺にプラズモンプローブを形成し、プラズモンプローブに光導波路からの光を照射することにより近接場光を発生させる方式が主流となりつつある。【０００４】
半導体レーザ（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ，ＬＤ）などの光源からの光を光導波路に結合させるための伝送光学系の方式としては、ＬＤから出射した光を光導波路入射面に向けて偏向すると共に集光して光導波路に光を結合させる機能を有する光学素子をスライダ上に配置する方式がある。【０００５】
この伝送光学系の方式の一例として特許文献１の図９に示された伝送光学系がある。この伝送光学系は光ファイバ及びコリメートレンズを光源部とし、シリンドリカルな放物面の一部形状からなる曲面反射面を有する１次元集光光学素子から構成されている。光源部から出射した平行光が１次元集光光学素子に入射し、前記曲面反射面にて９０°偏向されると共に一方向にのみ集光され、平面導波路に結合される。曲面反射面により集光されない方向は特許文献１の図１０に示すように平面導波路の内部にて集光される。この伝送光学系の１次元集光光学素子による集光方向が１方向のみであるため光学素子の厳密位置調整が１方向だけで良く、工数低減が可能と言う利点がある。【０００６】
しかし、特許文献１に示された光学素子は、入出射面と反射面の複数の面を有するため、入出射面におけるフレネル損失と、反射面における吸収損失という光量損失が発生してしまう。さらに透明な光学材料の内部を光が通過するため、光学材料による光の吸収損失もあり、これらの光量損失相当分、光源の出射光量を増加させる必要があり、消費電力の増大を招く。そこで、図３に示すような凹状の円筒面を反射面として有する円筒ミラーによって一方向のみ集光させる方式が本出願人によって提案されている。図３に示す伝送光学系は特許文献１と同様に１次元集光光学素子の利点を持ちつつ、表面反射タイプのため入出射面がなく光量損失が少ないと言う利点がある。【０００７】
一方、ハードディスク装置は小型化も進んでおり、必然的に磁気ヘッドも小型になっている。これに伴いヘッドのスライダサイズも小型化されている。現在最も小さいスライダはフェムトスライダと称され、長さ０．８５ｍｍ、幅０．７ｍｍ、厚さ０．２３ｍｍと非常に小さい。この光アシスト磁気ヘッドのスライダに搭載される光学素子も数十μｍ〜数百μｍオーダの微小サイズが要求される。【０００８】
本出願人によって提案された光学素子を微小サイズにして用いる場合、如何に精度よく位置決めするかが課題である。微小サイズの光学素子や円筒ミラーの位置決め方法については、幾つかの方法が提案されている。【０００９】
例えば、特許文献２では外周が円筒状の光学素子をＶ溝に嵌合させるという位置決め方法が開示されている。【００１０】
また、特許文献３では光源アレイが搭載されＶ溝が形成された光学素子搭載用基板と、同じくＶ溝が形成されたレンズアレイブロックを双方のＶ溝に円柱体のガイドシャフトもしくは球体を嵌合させて光源に対してレンズの位置決めをするという位置決め方法が開示されている。【００１１】
さらに、特許文献４では円筒反射鏡（円筒ミラー）が傾き調整機構付きの保持部材に固定され、この保持部材が位置決めブロックのＶ溝に固定されるという位置決め方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００９−１０４７３４号公報
【特許文献２】特開２００４−３５４６７４号公報
【特許文献３】特開２００１−１１６９６２号公報
【特許文献４】特開２０００−１８０７７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
特許文献２に開示された光学素子の位置決め方法は、光学素子の外側の円筒面をＶ溝で受ける必要があり、図３に示す円筒ミラーの場合は内側の凹状反射面をＶ溝で受けることはできない。一方、円筒ミラーの反射面と対向する素子外側の形状を図３のように円筒状とすれば、外側の面をＶ溝に嵌合させることはできるが、外径と内径の芯ズレや外径公差の分、反射面の位置精度が落ちてしまう。外側の円筒中心と内側の円筒反射面の中心を非常に高い精度で一致するように製造すれば位置精度の課題は改善できるが、歩留まりが低下するなど光学素子の製造コストがアップしてしまう。【００１４】
特許文献３に記載された光源とレンズの位置決め方法は、レンズアレイがレンズアレイブロック、ブロックに形成されたＶ溝、ガイドシャフト、光素子搭載用基板に形成されたＶ溝、光素子搭載用基板を介して光源アレイに対して位置決めされており、レンズと光源の間に複数の部材が介在している。このためそれぞれの部材の公差の積み上げで位置精度が悪化してしまう問題がある。また、光導波路に光を結合させる光学系で要求される精度は±１μｍ以下であるが、特許文献３によればレンズアレイとＶ溝との製造公差が±５μｍと大きく光アシスト磁気ヘッド向けには適用困難である。【００１５】
特許文献４に記載された技術は、微小なヘッドのスライダ上に円筒ミラーの保持部材も搭載することはスペース的に非常に困難である。【００１６】
本発明は、光アシスト磁気ヘッドにおける光源を含めた光学素子の位置決めを、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な位置決め方法、かかる位置決め方法を用いて位置決めされた光学素子付き光源ユニット、及び光アシスト磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前述の目的は、下記に記載する発明により達成される。【００１８】
１．少なくとも一つの光学素子をベースへ位置決めする光学素子の位置決め方法であって、
凹状の円筒面を有する光学素子を位置決めするために、少なくとも一断面が前記円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状から成る突起部を前記ベース上に有し、
前記突起部の前記円弧形状を含む表面に、前記凹状の円筒面を有する光学素子の凹状の円筒面を当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行う工程を有することを特徴とする光学素子の位置決め方法。【００１９】
２．前記突起部は球体の少なくとも一部または円柱体の少なくとも一部であることを特徴とする前記１に記載の光学素子の位置決め方法。【００２０】
３．前記ベースには溝が形成されており、
前記突起部は前記溝に配置された球体または円柱体であることを特徴とする前記２に記載の光学素子の位置決め方法。【００２１】
４．前記溝は面対称で対向する二つの斜面を有することを特徴とする前記３に記載の光学素子の位置決め方法。【００２２】
５．前記突起部は前記ベースに一体的に形成されていることを特徴とする前記１または前記２に記載の光学素子の位置決め方法。【００２３】
６．前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、
各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行うことを特徴とする前記１から５の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。【００２４】
７．前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として、光源を位置決めすることを特徴とする前記３または４に記載の光学素子の位置決め方法。【００２５】
８．前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行い、前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として光源を位置決めすることを特徴とする前記３または４に記載の光学素子の位置決め方法。【００２６】
９．前記突起部は円柱体の少なくとも一部であり、
前記突起部の少なくとも一部の稜線を基準として光源を位置決めすることを特徴とする前記１から８の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。【００２７】
１０．前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子を吸着保持するための貫通穴が形成されていることを特徴とする前記１から９の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。【００２８】
１１．前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子または前記光源の何れかを吸着保持するための貫通穴が形成されていることを特徴とする前記７から９の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法。【００２９】
１２．前記７から１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と、前記光源とが互いに接着されてなることを特徴とする光学素子付き光源ユニット。【００３０】
１３．ベースと、
前記７から１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と、前記光源とを有することを特徴とする光学素子付き光源ユニット。【００３１】
１４．前記ベースは、前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面で反射した前記光源からの光が通過する貫通穴または切欠部を有することを特徴とする前記１３に記載の光学素子付き光源ユニット。【００３２】
１５．前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする前記１３または１４に記載の光学素子付き光源ユニット。【００３３】
１６．前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする前記１２に記載の光学素子付き光源ユニット。【００３４】
１７．前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記ベースに固定されていることを特徴とする前記１３から１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。【００３５】
１８．前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記光源に固定されていることを特徴とする前記１３から１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。【００３６】
１９．前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に前記ベースに接着固定されていることを特徴とする前記１３から１５の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。【００３７】
２０．前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることを特徴とする前記１２、１７、１８または１９の何れか一項に記載の光学素子付き光源ユニット。【００３８】
２１．インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することにより行うことを特徴とする前記２０に記載の光学素子付き光源ユニット。【００３９】
２２．前記１２から２１の何れか１項に記載の光学素子付き光源ユニットを搭載したことを特徴とする光アシスト磁気ヘッド。【００４０】
２３．磁気記録再生部を備える光アシスト磁気ヘッド用スライダと、
前記７から１１の何れか一項に記載の光学素子の位置決め方法によって前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに位置決めされた凹状の円筒面を有する光学素子と、光源とを有することを特徴とする光アシスト磁気ヘッド。【００４１】
２４．前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることを特徴とする前記２３に記載の光アシスト磁気ヘッド。【００４２】
２５．前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに固定されていることを特徴とする前記２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。【００４３】
２６．前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光源に固定されていることを特徴とする前記２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。【００４４】
２７．前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに接着固定されていることを特徴とする前記２３または２４に記載の光アシスト磁気ヘッド。【００４５】
２８．前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることを特徴とする前記２３から２７の何れか一項に記載の光アシスト磁気ヘッド。【００４６】
２９．インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することにより行うことを特徴とする前記２８に記載の光アシスト磁気ヘッド。
【発明の効果】
【００４７】
本発明によれば、光アシスト磁気ヘッドにおける光源を含めた光学素子の位置決めを、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な位置決め方法、かかる位置決め方法を用いて位置決めされた光学素子付き光源ユニット、及び光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本実施形態における光アシスト磁気ヘッド３を搭載した光アシスト磁気記録装置（例えばハードディスク装置）の概略構成図である。
【図２】光アシスト磁気ヘッド３及びヘッド支持部４の分解斜視図である。
【図３】本出願人によって提案されている光学素子３１の斜視図である。
【図４】図２の光アシスト磁気ヘッド３をＩ−Ｉ線を含む面で切断して矢印方向に見た断面図である。
【図５】略楕円面の一部形状から成る曲面反射面による集光機能を有するプレーナ導波路３２ａの断面図（図２のII−II断面）である。
【図６】テーパ形状から成る反射面による集光機能を有するプレーナ導波路３２ａの断面図（図２のII−II断面）である。
【図７】突起部が配置されたＶ溝付ベース５２の斜視図である。
【図８】断面が台形形状の台形溝５６を備えるＶ溝付ベース５２の側面図である。
【図９】溝の形状が台形でベースの両端のみに溝が形成されたＶ溝付ベース５２にボール５３が配置された状態の斜視図である。
【図１０】Ｖ溝５１に円柱体５７が配置されたＶ溝付ベース５２の斜視図である。
【図１１】突起部５８が射出成型等により一体的に製造された突起部付ベース４２Ａの斜視図である。
【図１２】突起部にボール５３を採用して光学素子３１の位置決めを行う概略図である。
【図１３】ＬＤ３３をＶ溝付ベース５２に位置決めする方法を示す概略図である。
【図１４】光学素子３１をＶ溝付ベース５２に位置決めする方法を示す模式図である。
【図１５】ＬＤ３３と光学素子３１とを接着する方法を示す模式図である。
【図１６】接着後のＬＤ３３と光学素子３１の状態を示す概略図である。
【図１７】光学素子付き光源ユニット７０の斜視図である。
【図１８】光学素子付き光源ユニット７０をスライダ３２に位置決めする方法を示す模式図である。
【図１９】第２の実施形態におけるベースユニット８０の概略図である。
【図２０】ＬＤ３３をベースユニット８０に固定する方法を示す概略図である。
【図２１】完成したベース付き光学素子付き光源ユニット８１の斜視図である。
【図２２】ベース付き光学素子付き光源ユニット８１をスライダ３２上に位置決め固定する方法を示す模式図である。
【図２３】アライメントマークＡＬの一例を示す模式図である。
【図２４】第３の実施形態においてＶ溝が形成されたスライダ３２に直接ＬＤ３３を位置決め固定する模式図である。
【図２５】光学素子３１が搭載される前の光アシスト磁気ヘッド３の斜視図である。
【図２６】Ｖ溝が形成されたスライダ３２に直接光学素子３１を位置決め固定した光アシスト磁気ヘッド３の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
（第１の実施形態）
以下、図面を参照して第１の実施形態について説明する。図１に、本実施形態における光アシスト磁気ヘッド３を搭載した光アシスト磁気記録装置（例えばハードディスク装置）の概略構成を示す。
【００５０】
光アシスト磁気記録装置１は、記録用の複数枚の回転可能なディスク（磁気記録媒体）２と、ヘッド支持部４と、トラッキング用アクチュエータ６と、光アシスト磁気ヘッド３と、図示しない駆動装置と、を筐体１Ａ内に備えている。ヘッド支持部４は、支軸５を支点として矢印Ａの方向（トラッキング方向）に回動可能に設けられている。トラッキング用アクチュエータ６は、ヘッド支持部４に取り付けられている。光アシスト磁気ヘッド３は、ヘッド支持部４の先端に取り付けられている。図示しない駆動装置は、ディスク２を矢印Ｂの方向に回転させる。この光アシスト磁気記録装置１は、光アシスト磁気ヘッド３がディスク２の上面（または下面）に対して浮上しながら相対的に移動しうるように構成されている。
【００５１】
図２は、光アシスト磁気ヘッド３及びヘッド支持部４の分解斜視図である。図３は、本出願人によって提案されている光学素子３１の斜視図である。
【００５２】
図４は、図２の光アシスト磁気ヘッド３をＩ−Ｉ線を含む面で切断して矢印方向に見た断面図である。光アシスト磁気ヘッド３は、ディスク２に対する情報記録に光を利用する光ヘッドであって、光学素子３１とスライダ３２とＬＤ３３とを備えている。図２において、ヘッド支持部４は、支軸５に一端を取り付けたサスペンションアーム４１と、フレクシャ（板ばね）４４とを備えている。サスペンションアーム４１とフレクシャ４４とは、溶接などによって固定されている。
【００５３】
サスペンションアーム４１の先端部には、矩形状の開口部４２が形成されている。この開口部４２の一辺には、開口部４２の内側に向かって突出するピボット（突出部）４３が設けられている。一方、フレクシャ４４の先端部には矩形状の開口部４５が形成されている。この開口部４５の一辺から、その内部に張り出すようにして、平坦な面を有する舌片部４６が突出している。この舌片部４６は、開口部４２に対して傾いて突出した後、略水平になるよう折り曲げられた接合面４６ａを有する。
【００５４】
図２において、光アシスト磁気ヘッド３のスライダ３２に、光学素子３１と矩形板状のＬＤ３３とが接合されたＶ溝付ベース５２が配置されている。本実施形態においては、フレクシャ４４の接合面４６ａの下面がＬＤ３３の上面に接着されて、サスペンションアーム４１の先端部に光アシスト磁気ヘッド３が固定されるようになっているが、これに限られない。
【００５５】
図３において、光学素子３１は、光を反射する凹状の円筒面形状の反射面３１ａを供える。図３で示した光学素子３１は、内周面と外周面ともに円筒面であるが、外周面は円筒面に限らない。反射面３１ａには反射コートが施され反射集光面となっている。
【００５６】
光学素子３１の素材は、プラスチックまたはガラスなどの透明な素材である。光学素子３１は、例えば、射出成形やインプリント製法やガラスモールド法などによって作製される。射出成形用の樹脂としては、熱可塑性樹脂であるポリカーボネイト（例えばＡＤ５５０３、帝人化成株式会社）やＺＥＯＮＥＸ  ４８０Ｒ（日本ゼオン株式会社）などが挙げられる。また、インプリント製法用の樹脂としては、光硬化性樹脂であるＰＡＫ−０２（東洋合成工業株式会社）などが挙げられる。また、光学素子３１は、例えば中空ファイバやキャピラリの断面を略１／４状に切断して作製してもよい。
【００５７】
図４に示すように、ＬＤ３３はレーザ光の出射口３３ａを光学素子３１の反射面３１ａに対向させて配置されている。ＬＤ３３から出射される光の波長は可視光から近赤外の波長が好ましい。具体的な波長帯としては、０．６μｍから２μｍ程度であり、より具体的な波長としては、６５０ｎｍ、８３０ｎｍ、１３１０ｎｍ、１５５０ｎｍなどが挙げられる。
【００５８】
スライダ３２のディスク２と対向する面（図４で下面）は、浮上特性向上のための空気ベアリング面（ＡＢＳ：Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）であり、浮上エア捕獲用の溝３２ｇを形成している。
【００５９】
またスライダ３２は、光学素子３１の反射面３１ａの下方に、上下に貫通したプレーナ導波路（光導波路）３２ａを有する。後述するように、Ｖ溝付ベース５２には、光学素子３１の反射面３１ａで反射した光が通過するための貫通穴５４が形成されている。また、プレーナ導波路３２ａの近傍には、図示しない磁気記録部と磁気再生部とが設けられている。
【００６０】
図５，６は、異なる形態のプレーナ導波路３２ａの断面図（図２のII−II断面）である
。
【００６１】
図５は、略楕円面の一部形状から成る曲面反射面による集光機能を有するプレーナ導波路３２ａの断面図（図２のII−II断面）であり、図６は、テーパ形状から成る反射面による集光機能を有するプレーナ導波路３２ａの断面図（図２のII−II断面）である。これらのプレーナ導波路３２ａに採用されている導波路構造は、何れも基板上に高屈折率層ＨＬを積層し、その周りに低屈折率層ＬＬを積層することにより構成され、高屈折率層ＨＬと低屈折率層ＬＬとの境界面での反射作用によりレーザ光が集光される。図５に示すプレーナ導波路３２ａでは、高屈折率層ＨＬと低屈折率層ＬＬとの境界面が、略楕円面の一部形状を成している。
【００６２】
図５に示す高屈折率層ＨＬと低屈折率層ＬＬとの境界面では、その屈折率差によって全反射を生じさせる構成としている。境界面は略楕円面の一部形状を成しているので、プレーナ導波路３２ａに発散光が入射すると、略楕円面の焦点位置で光源像が形成されることになる。つまり、プレーナ導波路３２ａでは全反射を利用したミラー効果によりレーザ光を１方向に集光して、微小な光スポットを形成することができる。一方、図６に示すプレーナ導波路３２ａでは、高屈折率層ＨＬと低屈折率層ＬＬとの境界面が、直線状に形成されている。プレーナ導波路３２ａには二つの境界面が形成されており、高屈折率層ＨＬに入射したレーザ光はこれら二つの境界面の間で繰り返し全反射され、出射端に進むにつれて次第にモードフィールド径が小さくなって行き、高屈折率層ＨＬの出射端で集光され、微小な光スポットを形成することができる。
【００６３】
以上説明した光アシスト磁気ヘッド３を搭載した光アシスト磁気記録装置１においては、ＬＤ３３から出射した光は光学素子３１の反射面３１ａにてｙ方向の光軸がｙｚ面内で９０°折り返されてｚ方向に偏向されると共にｙｚ面内で集光され、プレーナ導波路３２ａに入射される。一方、光学素子３１の母線方向であるｘ方向の光は集光されず広がった状態でプレーナ導波路３２ａに入射し、例えば図５に示す略楕円反射面を持つプレーナ導波路３２ａによってｘ方向が導波路内にて集光される。プレーナ導波路３２ａの出射端ではｘ方向、ｙ方向ともに十分光が絞られた状態となり、導波路出射端面に形成された図示しないプラズモンプローブを照射し、プラズモンプローブから近接場光が発生する。この近接場光によりディスク２が加熱され、保磁力が低下し、不図示の磁気記録部にて磁気情報が記録される。ディスク２が光アシスト磁気ヘッド３から移動し、冷却されると保磁力が回復し、磁気情報が保持される。
【００６４】
次に、光学素子３１の位置決め方法について説明する。本実施形態にかかる光学素子３１の位置決め方法は、凹状の円筒面を有する光学素子３１をベースへ位置決めする光学素子３１の位置決め方法であって、少なくとも一断面が前記円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状の突起部を前記ベース上に有し、前記突起部の前記円弧形状を含む表面に、光学素子３１の凹状の円筒面を当接させて光学素子３１の位置決めを行う工程を有することを特徴とする。
【００６５】
図７は、突起部が配置されたＶ溝付ベース５２の斜視図である。Ｖ溝付ベース５２は、Ｖ溝５１が形成されたベースであり、突起部は球体状のボール５３である。図７で示した突起部は、ボールの形状であるが、少なくとも一断面が光学素子３１の反射面３１ａの円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状の突起部であればよいので、後述するように円柱体の突起部でもよい。
【００６６】
Ｖ溝５１は、ボール５３などの突起部を支持する溝形状の一つであり、突起部を支えるために少なくとも面対称に対向する二つの斜面を有する溝であればよい。従って、Ｖ溝に限らず採用できる。なお、本説明においては、溝形状がＶ形状でない場合でも、少なくとも面対称に対向する二つの斜面を有する溝が形成されたベースを総称してＶ溝付きベースと呼ぶ事とする。なお、斜面の少なくとも一つが鉛直な面でも良い。
【００６７】
Ｖ溝付ベース５２においては、Ｖ溝５１を挟んで、面Ｓ１，面Ｓ２に二分されている。
【００６８】
球体状のボール５３は、Ｖ溝５１が延在する方向の両端付近にそれぞれ配置されており、合わせて２個配置されている。このように同一のＶ溝５１に２つのボール５３を所定間隔だけ離して配置する事により、各々のボール５３が有する円弧形状を含む面が互いに平行で、かつ、各々の円弧形状の円の中心が円弧形状を含む面に垂直な一直線上に配置されるため、各々のボール５３が有する円弧形状により一つの凸状円筒面を形作る事が可能となり、光学素子３１の凹状円筒面からなる反射面３１ａを確実に、かつ、安定して嵌合させる事ができる。
【００６９】
Ｖ溝付ベース５２には貫通穴５４が形成されており、Ｓ１面にＬＤ３３を固定する際に使用される。
【００７０】
Ｖ溝付ベース５２は、例えば所定厚さのシリコン基板を母材とするベースに異方性エッチングによりＶ溝を形成することで作製されている。なお、先端断面がＶ字形状となっているＶ字ブレードを用い、ガラス板にＶ溝を切削加工してもよいし、射出成形やガラスモールドによりプラスチックやガラス部材にＶ溝を一体的に形成してもよい。
【００７１】
光学系の設計によっては、ＬＤ３３の下面より光学素子３１の下面３１ｄが下側に出っ張り、面Ｓ２の高さが、面Ｓ１の高さよりも低いことがある。この場合にはＶ溝付ベース５２にＶ溝５１を形成後、面Ｓ２と面Ｓ１の高さの差に応じて切削加工により面Ｓ２を面Ｓ１よりも低くしてやれば良い。
【００７２】
図８は、断面が台形形状の台形溝５６を備えるＶ溝付ベース５２の側面図である。Ｖ溝５１はＶ字形状に限られないので、図８に示すように台形形状であっても良い。
【００７３】
図９は、溝の形状が台形でベースの両端のみに溝が形成されたＶ溝付ベース５２にボール５３が配置された状態の斜視図である。図９に示すように、Ｖ溝５６をベースの両端側にのみに形成し、中央部は溝がない構造とすることで、ボール５３の位置決めが行い易くなる。なお、図示しない凹状のピラミッド型溝でも同様の効果が得られる。また、貫通穴５４とは別に貫通穴５４’を２つのボール５３の中央部近傍に形成し、光学素子３１を吸着固定する際に利用しても良い。なお、図７で示したＶ溝付ベース５２における光学素子３１の下面３１ｄの接触面にも同様に貫通穴５４’を形成することで、光学素子３１を吸着固定できることは言うまでもない。
【００７４】
図１０は、Ｖ溝５１に円柱体５７が配置されたＶ溝付ベース５２の斜視図である。
【００７５】
突起部は、反射面３１ａに当接できれば良いので、ボールや円柱体の一部の形状でも良く、図１０に示すような反射面３１ａと同じ半径の円柱体でも良いこととなる。
【００７６】
図１１は、円柱体の一部から成る突起部５８が射出成型等により一体的に製造された突起部付ベース４２Ａの斜視図である。図１１において、突起部５８の曲率半径は光学素子３１の反射面３１ａの曲率半径と同じにされて射出成型等によりベースと一体的に製造されている。このように突起部５８として円柱体を採用すると、突起部５８と光学素子３１の反射面３１ａの曲率半径とが同じであるので、光学素子３１を突起部５８に嵌めあわせることができ、光学素子３１の精密な位置決めが可能となる。なお、円柱体の突起部を採用する場合には、突起部は一つ配置すればよいが、図１１に示すように二つ配置する場合には、各々の円柱体の同一箇所の母線が一直線上に連なるように配置する。即ち、各々の円柱体が有する円弧形状を含む面が互いに平行で、かつ、各々の円柱体の円の中心が円弧形状を含む面に垂直な一直線上に配置されるため、各々の円柱体の突起部により一つの凸状円筒面を形成できる。従って、各々の円柱体の突起部の母線の方向の長さが短い場合においても光学素子３１の凹状円筒面からなる反射面３１ａを確実に、かつ、安定して嵌めあわせる事ができる。
【００７７】
図１２は、突起部にボール５３を採用して光学素子３１の位置決めを行う概略図である。
【００７８】
図１２（ａ）はＶ溝付ベース５２の上面図、図１２（ｂ）はＶ溝付ベース５２の側面図である。図１２に示すように、ボール５３の表面に、光学素子３１の反射面３１ａである円筒面を当接させて光学素子３１の位置決めを行う。
【００７９】
ボール５３の曲率半径は反射面３１ａの曲率半径と同じものを採用しているので、光学素子３１はボール５３の表面にピッタリと沿うようになるので、反射面３１ａの円筒面の曲率半径の中心位置を確実に決める事ができる。なお、光学素子３１の下面３１ｄを面Ｓ２に当接させて反射面３１ａの曲率半径中心回りの回転方向の位置決めを行っても良い。この場合、図１２（ｂ）の座標系においてはＹ方向とＺ方向とにおいて、面Ｓ２とボール５３とで位置決めされることとなり、一意的に位置決めが可能となる。また、光学素子３１を不図示の保持治具により保持した状態で反射面３１ａをボール５３に当接し、下面３１ｄが面Ｓ２と接触しないように回転方向の位置決めをしても良い。
【００８０】
以上のように、本実施形態による光学素子３１の位置決め方法によれば、光学素子３１の反射面３１ａを直接位置決め用の突起部に当接させ、反射面３１ａと突起部の間に余計な部材を介さずに位置決めを行うので、高い精度で光学素子３１の反射面３１ａの位置決めが可能となる。
【００８１】
次に、光源であるＬＤ３３と光学素子３１の位置決め固定方法について説明する。
【００８２】
図１３はＬＤ３３をＶ溝付ベース５２に位置決めする方法を示す概略図である。図１３（ａ）は斜視図、図１３（ｂ）は上面図、図１３（ｃ）は図１３（ｂ）のIII−III断面図
である。図１３各図のＶ溝付ベース５２のＬＤ３３の配置部には貫通穴５４を設けてあり、ＬＤ３３をエアー吸引により吸着保持して固定できるようになっている。２つのボール５３はｘ方向の間隔がＬＤ３３のｘ方向の幅よりも広くなるように配置された状態でＶ溝付ベース５２のＶ溝５１に固定されている。このように２つのボール５３を配置する事により、突起部がない領域に光源であるＬＤ３３を配置できる。なお、２つのボール５３をＶ溝付ベース５２のＶ溝５１に固定するには、例えば接着剤を用いる。
【００８３】
ＬＤ３３の出射端面３５がＶ溝の谷の直線部である稜線５５と平行になるようにＬＤ３３の向きを揃え、Ｖ溝付ベース５２に配置する。
【００８４】
ＬＤ３３をＶ溝付ベース５２上に配置後、貫通穴５４から図示しない吸引機を用いてエアーを吸引し、ＬＤ３３をＶ溝付ベース５２に固定する。なお、ＬＤ３３の出射端面３５が稜線５５上に重ならない設計となっている場合には、稜線５５を基準にしてｙ方向に所定間隔だけ離れた位置にＬＤ３３を位置決めし、Ｖ溝付ベース５２に配置すれば良い。
【００８５】
次に光学素子３１を位置決め固定する。図１４は光学素子３１をＶ溝付ベース５２に位置決めする方法を示す模式図である。本発明によるＬＤ３３と光学素子３１の位置決め固定方法は、光学素子３１をＬＤ３３に隣接配置する場合に特に有効である。
【００８６】
隣接配置は、光学素子３１を不図示のエアピンセットなどで保持し、図１４に示すようにその反射面３１ａをボール５３に当接してその状態を保持することで行う。
【００８７】
ここで、隣接とは、光学素子３１とＬＤ３３とを接触させて配置させることや、接触はさせないが近接させることを含む意味である。接触させることで光学素子３１とＬＤ３３とが互いに位置決め容易となり、また接触させる面と異なる面に接着剤を肉盛り接着することで、接着後の位置ずれも小さく抑えることが可能となる。また、接触させずに近接させることで、位置決め時の束縛がなくなると共に、接触時にＬＤ３３に不要なストレスを与え損傷させる事を回避できる。
【００８８】
光学素子３１の母線の方向（ｘ方向）の長さＬはＬＤ３３の幅よりも長くなっている。ここで母線とは、光学素子３１の長手方向に平行な線である、例えば光学素子３１の稜線である。ボール５３を用いる場合、光学素子３１の長さＬは、ＬＤ３３の幅＋２×ボール５３の半径以上の長さとなっている。このようにすることで、ｘ方向において光学素子の少なくとも一端がＬＤ３３より突出することとなり、突出する部分に接着剤を肉盛り接着することで、光学素子３１とＬＤ３３との接着が容易となる。
【００８９】
次いで、図１５に示すように、ＬＤ３３と光学素子３１とを接着する。図１５は、ＬＤ３３と光学素子３１とを接着する方法を示す模式図である。図１６は接着後のＬＤ３３と光学素子３１の状態を示す概略図であり、図１６（ａ）は上面図、図１６（ｂ）は側面図である。
【００９０】
図１５に示すように、インクジェット法により微小なインク滴を吐出するインクジェットヘッド６０を用いて、インクの代わりに接着剤６１を吐出することにより、ＬＤ３３の側面３６と光学素子３１の側面３４の間に接着剤６１を塗布する。接着剤６１を例えばライン状に吐出することで、大面積に塗布できるので望ましい。
【００９１】
接着剤６１としては紫外線硬化型のものを用いる。一般によく用いられるエアパルス式のディスペンサーで接着剤を塗布する場合、ニードルを塗布対象に近接させる必要があり、ニードルが微小なＬＤ３３や光学素子３１と接触した場合には、ＬＤ３３や光学素子３１の位置が大きくずれてしまう危険性や、ＬＤ３３や光学素子３１を損傷してしまう危険性がある。一方、インクジェット法の場合、粒径数十μｍの接着剤６１を数ｍｍ程度正確に飛ばすことが可能であり、微小物体への塗布には好適である。さらに、インクジェットヘッド６０のノズルを複数設け、同時に複数の接着剤６１の粒子を一定間隔を保って塗布することが可能であり、図１５に示すように縦方向に複数塗布することにより、より強固な固着が可能となる。
【００９２】
次いで、接着剤６１を塗布後、図示しない紫外線照射装置を用いて紫外線を照射して接着剤６１を硬化させ、ＬＤ３３と光学素子３１の固定が完了する。
【００９３】
なお、接着剤をＬＤ３３の上面３７と光学素子３１の上面３９に塗布して接着固定しても良い。また、接着剤６１としては熱硬化型を用いてもよい。
【００９４】
次いで、接着剤６１の硬化後、光学素子３１を保持していた不図示のエアピンセットをリリースし、ＬＤ３３のエアーによる吸着を止め、光学素子３１が固定されたＬＤ３３をＶ溝付ベース５２から取り外す。
【００９５】
光学素子３１が固定されたＬＤ３３は、光学素子付き光源ユニット７０として光アシスト磁気ヘッドの後述する組立工程に移送される。図１７に光学素子付き光源ユニット７０の斜視図を示す。
【００９６】
以上の説明ではＬＤ３３の向きは、ＬＤ３３の出射端面３５がＶ溝の谷の直線部である稜線５５と平行になるように揃えたが、ＬＤ３３の向きの揃え方はこれに限らない。
【００９７】
例えば、図１１に示したように、突起部として円柱体の突起部５８を採用する場合、円柱体の母線を上記の稜線と看做してこの稜線を基準としてＬＤ３３の向きの揃えてもよい。また、突起部付ベース４２Ａの面Ｓ１と面Ｓ２に段差を設けた場合、その段差を基準としてＬＤ３３の向きを揃えてもよい。
【００９８】
次に、かかる位置決め方法によって位置決め固定された光源であるＬＤ３３と光学素子３１とからなる光学素子付き光源ユニット７０をスライダに固定する。図１８は、光学素子付き光源ユニット７０をスライダ３２に位置決めする方法を示す模式図である。
【００９９】
光学素子付き光源ユニット７０を不図示のマイクロマニピュレータにより保持し、不図示の高倍率の撮像系でモニタしながら、露出しているプレーナ導波路３２ａの光入射面ｗ１の中心を基準とし、ＬＤ３３の出射端面の両端エッジの中心点が所定の位置に来るように位置決めし、スライダ上面に形成された電極ｄ１に載せ、はんだ付けを行い固定する。そしてＬＤ３３の上面と電極ｄ２をワイヤボンディングにより接続する。以上で光アシスト磁気ヘッド３が完成する。この後、端子ｔ１、端子ｔ２の他、磁気記録再生部の駆動に必要な図示しない端子がサスペンションに配置されているＦＰＣ基板に電気的に接続される。
【０１００】
以上のように、本実施形態による光源であるＬＤ３３と光学素子３１の位置決め固定方法によれば、同一のＶ溝５１に対してＬＤ３３と光学素子３１の位置決めを行なうため、高い精度でＬＤ３３と光学素子３１の相対位置を決める事が可能となる。従って、光アシスト磁気ヘッド３における光学素子３１と光源であるＬＤ３３を含む光学素子の位置決めを、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な位置決め方法、かかる位置決め方法を用いて位置決めされた光学素子付き光源ユニット及び光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
【０１０１】
（第２の実施形態）
第２の実施形態は、Ｖ溝付ベース５２を光源であるＬＤ３３と光学素子３１との位置決めのための治具として用いるだけでなく、光学素子付き光源ユニット７０と一体化し、スライダに取り付けることを特徴とする。Ｖ溝付ベース５２にＬＤ３３を固定するのでＶ溝付ベース５２に電極ｄ３、ｄ４、端子ｔ３、ｔ４を形成し、ベースユニット８０とする。
【０１０２】
図１９はベースユニット８０の概略図である。図１９（ａ）は斜視図であり、図１９（ｂ）、（ｃ）は上面図である。
【０１０３】
ベースユニット８０はＶ溝付ベース５２に電極が形成されたものである。ベースユニット８０へのＬＤ３３や光学素子３１の位置決め、および固定は第１の実施形態と同様に行う。第２の実施形態においては、ベースユニット８０を一体化しても光アシスト磁気ヘッド３を薄く保ちたいので、ベースユニット８０はなるべく薄くしたい。そこで、ボール５３を受ける溝には台形溝５６を採用する。台形溝とすることによりベースユニット８０の厚みを薄くしつつ、ベースユニット８０の強度を確保できる。ボール５３は台形溝５６に接着固定される。
【０１０４】
ベースユニット８０にはＬＤ３３から出射し光学素子３１で反射した光が通過できる貫通穴４４Ａが形成されている。なお、図１９（ｂ）に示すように貫通穴４４Ａではなく、図１９（ｃ）に示すような切欠の形状を有する切欠部４４Ｂとしてもよい。ベースユニット８０の上面には電極ｄ３、ｄ４が形成されており、各々端子ｔ３、端子ｔ４とパターンで電気的に接続されている。
【０１０５】
図２０は、ＬＤ３３をベースユニット８０に固定する方法を示す概略図である。図２０（ａ）は斜視図、図２０（ｂ）は上面図である。
【０１０６】
図２０（ｂ）に示すようにベースユニット８０の台形溝５６の稜線５９に対してＬＤ３３の出射端面が平行になるようにＬＤ３３の向きを調整し、稜線５９とＬＤ３３の出射端面３５の間隔が所定の間隔ｄとなるように位置決めし、はんだペーストが塗布された電極ｄ３にマウントする。その後、ＬＤ３３の姿勢を保持したまま赤外線や熱風リフロー等によりＬＤ３３と電極ｄ３をはんだ付けし、続いてＬＤ３３の上面と電極ｄ４をワイヤボンディングにより金ワイヤｇにて接続し、ＬＤ３３の固定が完了する。
【０１０７】
なお、ボール５３とベースユニット８０の接着をＬＤ３３の固定後に行っても良い。この場合、リフロー時の熱による接着剤の変形を回避できる。
【０１０８】
光学素子３１の位置決めは、第１の実施形態の場合と同様に、光学素子３１の凹状の反射面３１ａをボール５３に当接させて行う。光学素子３１のベースユニット８０への接着は、光学素子３１をベースユニット８０に直接接着することで行う。なお、光学素子を保持するエアピンセットなどの保持治具が接着剤塗布時に邪魔になるような場合には、光学素子３１を保持治具で保持し、その反射面３１ａをボール５３に当接させた後、貫通穴５４からエアー吸引により光学素子３１を吸着保持し、保持治具をリリースしてから光学素子３１をベースユニット８０に接着固定しても良い。
【０１０９】
図２１は、完成したベース付きの光学素子付き光源ユニット８１の斜視図である。なお、第１の実施形態と同様にＬＤ３３と光学素子３１との間に肉盛り接着してもよいし、光学素子３１をベースユニット８０とＬＤ３３の両方に接着してもよい。
【０１１０】
次いで、以下の手順でベース付きの光学素子付き光源ユニット８１をスライダ上に位置決め固定する。図２２は、ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１をスライダ３２上に位置決め固定する方法を示す模式図である。図２２（ａ）は斜視図、図２２（ｂ）は、図２２（ａ）のIV−IV断面図である。
【０１１１】
最初に、ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１をスライダ３２の上面に搭載する。
【０１１２】
次いで、ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１とスライダ３２とがｘｙ面内において平行になるように少なくとも一方の姿勢を相対的に調整する。
【０１１３】
次いで、ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１がスライダ３２のｘ方向のほぼ中央に来るように、ｘ方向に粗調整を行う。
【０１１４】
次いで、ＬＤ３３に電力を供給するためのコンタクトピンを端子ｔ３、ｔ４に接触させ、ＬＤ３３に電力を供給してＬＤ３３を点灯させる。
【０１１５】
次いで、プレーナ導波路３２ａの出射光の光量を検出装置８２でモニタしながら、ｙ方向に粗いステップでベース付きの光学素子付き光源ユニット８１を移動させ、光が検知された時点で微調整を行い、光量が極大となる位置でｙ方向の位置を保持する。
【０１１６】
次いで、ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１をｘ方向に微調整し、光量が略最大となる位置でベース付きの光学素子付き光源ユニット８１とスライダ３２とを固定する。ベース付きの光学素子付き光源ユニット８１とスライダ３２との固定には、例えば紫外線硬化接着剤を用いる。
【０１１７】
一次元集光素子である光学素子３１を使っているため、光はｘ方向には集光されておらず、プレーナ導波路３２ａの光入射面ｗ１ではｘ方向のスポットサイズが大きくなっている。このため、初めにベース付きの光学素子付き光源ユニット８１のｘ方向の位置をスライダのほぼ中央に配置しておけば、ｙ方向にベース付きの光学素子付き光源ユニット８１を移動させるとスポットがプレーナ導波路３２ａの光入射面を必ず横切るので、スポットとプレーナ導波路３２ａの相対位置合わせが容易となる。
【０１１８】
なお、この調整はＬＤ３３を点灯させて行う、所謂アクティブアライメント方式であるが、ＬＤ３３を点灯させずに行うパッシブアライメント方式も可能である。例えば、図２３に示すようにベースユニット８０とスライダ３２にそれぞれアライメントマークＡＬを形成しておき、これらをモニタしながら所定の位置関係に来るようにベース付きの光学素子付き光源ユニット８１の位置調整を行い、固定する。
【０１１９】
以上のように、第２の実施形態によれば、Ｖ溝付ベース５２を光源であるＬＤ３３と光学素子３１との位置決めのための治具として用いるだけでなく、光学素子付き光源ユニット７０と一体化し、スライダに取り付けることから、光源と光学素子を直接ベース部に位置決め固定することができるので、容易に高精度かつ低コストで光導波路に対して位置決め固定できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
【０１２０】
（第３の実施形態）
第３の実施形態においてはＶ溝付ベース５２やベースユニット８０を用いず、Ｖ溝を直接ヘッドに形成した構成を特徴とする。
【０１２１】
図２４は、Ｖ溝が形成されたスライダ３２に直接ＬＤ３３を位置決め固定する模式図である。すなわち、スライダ３２の上面がベース部分に相当する。
【０１２２】
プレーナ導波路３２ａと図示しないプラズモンプローブ及び磁気記録再生部とが形成されたスライダ３２に、プレーナ導波路３２ａの光入射面ｗ１を基準として切削加工等により、図２４に示すようにプレーナ導波路３２ａを残す形でＶ溝５１を両端に形成する。
【０１２３】
次いで、不図示の高倍率の撮像系でモニタしながら、Ｖ溝５１の谷部直線の稜線５５とＬＤ３３の稜線３８とが平行になるように、ＬＤ３３の姿勢を調整する。そして、プレーナ導波路３２ａの光入射面ｗ１の中心を基準としてＬＤ３３を所定の位置に配置されるように位置調整し、電極ｄ３にはんだ付けする。
【０１２４】
図２５は、光学素子３１が搭載される前の光アシスト磁気ヘッド３の斜視図である。図２５に示すようにＬＤ３３の上面３７と電極ｄ４を図示しないワイヤーボンダーを用いて金ワイヤｇにて接続する。そしてボール５３をＶ溝５１に配置する。次いで光学素子３１の反射面３１ａをボールに押し付け、その状態で図２６に示すように光学素子３１の両サイドの矢印方向から接着剤を塗布し、ボール５３も含めて光学素子３１をスライダ３２に接着固定する。なお、接着剤塗布位置はこれに限らない。以上で、光アシスト磁気ヘッド３が完成する。
【０１２５】
以上のように、第３の実施形態によれば、ベースを用いることなく光学素子３１とＬＤ３３とをスライダ３２に取り付けることから、容易に高精度かつ低コストで光導波路に対して位置決め固定できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
【０１２６】
以上のように本発明によれば、少なくとも一つの光学素子をベースへ位置決めする光学素子の位置決め方法であって、凹状の円筒面を有する光学素子を位置決めするために、少なくとも一断面が前記円筒面の曲率半径と同じ曲率半径を備える凸状の円弧形状から成る突起部を前記ベース上に有し、前記突起部の前記円弧形状を含む表面に、前記凹状の円筒面を有する光学素子の凹状の円筒面を当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行う工程を有することから、突起部に球体または円柱体を用いることにより、光学素子の円筒面の曲率半径と同じ半径の円弧形状の突起部を容易に製造することができ、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
【０１２７】
また、本発明によれば、前記突起部は球体の少なくとも一部または円柱体の少なくとも一部であることから、入手性、作製性のよい球体や円柱体を利用できるので、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
【０１２８】
また、本発明によれば、前記ベースには溝が形成されており、前記突起部は前記溝に配置された球体または円柱体であり、溝、球体、円柱体とは精度良く作製できるので、高精度で行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
【０１２９】
また、本発明によれば、前記溝は面対称で対向する二つの斜面を有することから、球体や円柱体を溝の斜面に配置することにより、球体や円柱体の位置を正確に決めるができ、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
【０１３０】
また、本発明によれば、前記突起部は前記ベースに一体的に形成されていることから、球体や円柱体を個別に用意する必要がなく、球体や円柱体を溝に配置する工数が不要となり、コストを抑制できる光学素子の位置決め方法を提供できる。
【０１３１】
また、本発明によれば、前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、
各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行うことから、
棒状の光学素子の凹状円筒面からなる反射面を確実に、かつ、安定して嵌合させる事ができる。
【０１３２】
また、本発明によれば、前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として、光源を位置決めすることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源を同じ部位を基準として位置決めするので、高い相対位置精度を確保すると共に、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
【０１３３】
また、本発明によれば、前記突起部は、少なくとも二つあり、各々の突起部の円弧形状は、一つの凸状円筒面の一部を形作っており、各々の前記突起部を前記凹状の円筒面を有する光学素子の円筒面に当接させて前記凹状の円筒面を有する光学素子の位置決めを行い、前記溝の少なくとも一部の稜線を基準として前記光源を位置決めすることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源を同じ部位を基準として位置決めするので、高い相対位置精度を確保すると共に、棒状の光学素子の凹状円筒面からなる反射面を確実に、かつ、安定して嵌合させる事が可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
【０１３４】
また、本発明によれば、前記突起部は円柱体の少なくとも一部であり、前記突起部の少なくとも一部の稜線を基準として前記光源を位置決めすることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源を同じ部位を基準として位置決めするので、高い相対位置精度を確保すると共に、容易に高精度かつ低コストで行うことが可能な光学素子の位置決め方法を提供できる。
【０１３５】
また、本発明によれば、前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子を吸着保持するための貫通穴が形成されていることから、容易に前記凹状の円筒面を有する光学素子の着脱が可能であり、組立工数を低減できる光学素子の位置決め方法を提供できる。
【０１３６】
また、本発明によれば、前記ベースには、少なくとも前記凹状の円筒面を有する光学素子または前記光源の何れかを吸着保持するための貫通穴が形成されていることから、容易に前記凹状の円筒面を有する光学素子または前記光源の少なくとも何れかの着脱が可能であり、組立工数を低減できる光学素子の位置決め方法を提供できる。
【０１３７】
また、本発明によれば、上記の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と光源とが互いに接着されてなることから、高い精度で組み付けられた光源と前記凹状の円筒面を有する光学素子を一体的に取り扱うことができ、ハンドリングが容易になる光学素子付き光源ユニットを提供できる。
【０１３８】
また、本発明によれば、ベースと、上記の光学素子の位置決め方法によって前記ベース上に位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と、光源とを有することから、高い精度で組み付けられた光源と前記凹状の円筒面を有する光学素子を一体的に取り扱うことができ、ハンドリングが容易になる光学素子付き光源ユニットを提供できる。
【０１３９】
また、本発明によれば、前記ベースは、前記凹状の円筒面を有する光学素子の円柱面で反射した前記光源からの光が通過する貫通穴または切欠部を有することから、前記光源と前記凹状の円筒面を有する光学素子を一体的に取り扱うことができる上に、ベースを保持してハンドリングが可能となるため、前記光源（ＬＤチップ）や前記凹状の円筒面を有する光学素子を損傷させる危険がない光学素子付き光源ユニットを提供できる。
【０１４０】
また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子の反射面以外の領域とＬＤの側面に接着剤を塗布して固定することが可能となり、接着剤がＬＤの出射点に付着し不良となることを防止できる光学素子付き光源ユニットを提供できる。
【０１４１】
また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記ベースに固定されていることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子を前記光源に固着しないので、前記光源に不要なストレスを与え損傷させる危険がない光学素子付き光源ユニットを提供できる。
【０１４２】
また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子は前記光源に固定されていることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子を保持治具で保持したまま接着剤を容易に塗布することができ、工数削減が可能であり、また前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源との位置精度を高めることが可能な光学素子付き光源ユニットを提供できる。  
【０１４３】
また、本発明によれば、前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に前記ベースに接着固定されていることから、前記光源（ＬＤチップ）や前記凹状の円筒面を有する光学素子を損傷させる危険がなく、さらに接着剤塗布の回数を減らすことができ、工数削減が可能であり、また光学素子と光源との位置精度を高めることが可能な光学素子付き光源ユニットを提供できる。
【０１４４】
また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることから、インクジェットヘッドが前記光源や前記凹状の円筒面を有する光学素子に接触し、損傷させてしまう危険がなく、また、所望の場所に所望の量を塗布でき、安定した接着固定が可能となる光学素子付き光源ユニットを提供できる。
【０１４５】
また、本発明によれば、インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することにより行うことから、より強固な接着固定が可能となり、安定した性能を確保できる光学素子付き光源ユニットを提供できる。
【０１４６】
また、本発明によれば、上記の光学素子付き光源ユニットを搭載したことから、前記光源と前記凹状の円筒面を有する光学素子を直接ベース部に位置決め固定することができるので、容易に高精度かつ低コストで光導波路に対して位置決め固定できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
【０１４７】
また、本発明によれば、磁気記録再生部を備える光アシスト磁気ヘッド用スライダと、上記の光学素子の位置決め方法によって前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに位置決めされた前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とを有することから、容易に高精度かつ低コストで光導波路に対して位置決め固定できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
【０１４８】
また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源とは隣接しており、前記凹状の円筒面を有する光学素子の少なくとも一端は前記光源より突出していることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子の反射面以外の領域とＬＤの側面に接着剤を塗布して固定することが可能となり、接着剤がＬＤの出射点に付着し不良となることを防止できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
【０１４９】
また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに固定されていることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子を光源に固着しないので、光源に不要なストレスを与え損傷させる危険がない光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
【０１５０】
また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子が前記光源に固定されていることから、前記凹状の円筒面を有する光学素子を保持治具で保持したまま接着剤を容易に塗布することができ、工数削減が可能であり、また前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源との位置精度を高めることが可能な光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
【０１５１】
また、本発明によれば、前記突起部と前記凹状の円筒面を有する光学素子とが一体的に光アシスト磁気ヘッド用スライダのベースに接着固定されていることから、光源（ＬＤチップ）や前記凹状の円筒面を有する光学素子を損傷させる危険がなく、さらに接着剤塗布の回数を減らすことができ、工数削減が可能であり、また前記凹状の円筒面を有する光学素子と前記光源との位置精度を高めることが可能な光アシスト磁気ヘッドを提供できる。  
【０１５２】
また、本発明によれば、前記凹状の円筒面を有する光学素子の固定はインクジェット法により接着剤を塗布することにより行なわれることから、インクジェットヘッドが前記光源や前記凹状の円筒面を有する光学素子に接触し、損傷させてしまう危険がなく、また、所望の場所に所望の量を塗布でき、安定した接着固定が可能となる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
【０１５３】
また、本発明によれば、インクジェット法による接着剤の塗布は、前記接着剤をライン状に吐出することから、強固な接着固定が可能となり、安定した性能を確保できる光アシスト磁気ヘッドを提供できる。
【０１５４】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。
【符号の説明】
【０１５５】
１  光アシスト磁気記録装置
２  ディスク
３  光アシスト磁気ヘッド
４  ヘッド支持部
５  支軸
６  トラッキング用アクチュエータ
３１  光学素子
３２  スライダ
３３  ＬＤ
３８、５５、５９  稜線
５１  Ｖ溝
５２  Ｖ溝付ベース
５３  ボール
５４  貫通穴
５６  台形溝
５７  円柱体
５８  突起部
６０  インクジェットヘッド
６１  接着剤
７０  光学素子付き光源ユニット
８０  ベースユニット
８１  ベース付き光学素子付き光源ユニット
８２  検出装置
１Ａ  筐体
３１ａ  反射面
３２ａ  プレーナ導波路
【図１】
2012105298.tif 000003
【図２】
2012105298.tif 000004
【図３】
2012105298.tif 000005
【図４】
2012105298.tif 000006
【図５】
2012105298.tif 000007
【図６】
2012105298.tif 000008
【図７】
2012105298.tif 000009
【図８】
2012105298.tif 000010
【図９】
2012105298.tif 000011
【図１０】
2012105298.tif 000012
【図１１】
2012105298.tif 000013
【図１２】
2012105298.tif 000014
【図１３】
2012105298.tif 000015
【図１４】
2012105298.tif 000016
【図１５】
2012105298.tif 000017
【図１６】
2012105298.tif 000018
【図１７】
2012105298.tif 000019
【図１８】
2012105298.tif 000020
【図１９】
2012105298.tif 000021
【図２０】
2012105298.tif 000022
【図２１】
2012105298.tif 000023
【図２２】
2012105298.tif 000024
【図２３】
2012105298.tif 000025
【図２４】
2012105298.tif 000026
【図２５】
2012105298.tif 000027
【図２６】
2012105298.tif 000028
【国際調査報告】
2012105298.tif 000029
2012105298.tif 000030
2012105298.tif 000031