(57)【要約】  本発明のスライダ装置は、ボールネジと、前記ボールネジの両端部を支持する第１及び第２の支持部材と、前記ボールネジと螺合するボールナットを回転自在に保持すると共に前記ボールナットを回転させる駆動手段を備え、前記ボールネジの軸方向に移動可能に設けられたスライダと、前記ボールネジが挿通される支持孔を有し、前記ボールネジの軸方向に移動可能で、かつ、前記スライダを挟むように設けられた第１及び第２の中間支持部材と、前記第１及び第２の中間支持部材と係合され、前記第１及び第２の中間支持部材の自由移動をその全長の範囲で許容する連結部材と、を備える。
2012046387.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボールネジと、
前記ボールネジの両端部を支持する第１及び第２の支持部材と、
前記ボールネジと螺合するボールナットを回転自在に保持すると共に前記ボールナットを回転させる駆動手段を備え、前記ボールネジの軸方向に移動可能に設けられたスライダと、
前記ボールネジが挿通される支持孔を有し、前記ボールネジの軸方向に移動可能で、かつ、前記スライダを挟むように設けられた第１及び第２の中間支持部材と、
前記第１及び第２の中間支持部材と係合され、前記第１及び第２の中間支持部材の自由移動をその全長の範囲で許容する連結部材と、
を備えたことを特徴とするスライダ装置。
【請求項２】
前記連結部材が、その両端部にストッパ部を有して前記ボールネジと平行に延在するロッド部材であり、
前記第１及び第２の中間支持部材は、前記ロッド部材の軸方向の移動を案内すると共に前記ストッパ部が係合される案内部を有することを特徴とする請求項１に記載のスライダ装置。
【請求項３】
前記ボールネジと平行に延設され、前記スライダ、前記第１の中間支持部材、及び第２の中間支持部材の移動を案内する少なくとも１つのスライドガイドを更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のスライダ装置。
【請求項４】
前記ロッド部材が筒体であり、
前記筒体内を挿通される線材と、
前記線材を前記ボールネジと平行に張設する張設手段と、
を備えたことを特徴とする請求項２に記載のスライダ装置。
【請求項５】
前記スライダが、前記ロッド部材の軸方向の移動を案内するスライダ側案内部を有し、
前記スライダと、各々の前記中間支持部材と、の間のそれぞれの位置に、前記ロッド部材に遊挿してばね部材を設けたことを特徴とする請求項２に記載のスライダ装置。
【請求項６】
ボールネジと、
前記ボールネジの両端部を支持する第１及び第２の支持部材と、
前記ボールネジと螺合するボールナットを回転自在に保持すると共に前記ボールナットを回転させる駆動手段を備え、前記ボールネジの軸方向に移動可能に設けられた第１及び第２のスライダと、
前記ボールネジが挿通される支持孔を有し、前記ボールネジの軸方向に移動可能な第１乃至第３の中間支持部材と、
前記第１及び第２の中間支持部材と係合され、前記第１及び第２の中間支持部材の自由移動をその全長の範囲で許容する第１の連結部材と、
前記第２及び第３の中間支持部材と係合され、前記第２及び第３の中間支持部材の自由移動をその全長の範囲で許容する第２の連結部材と、
を備え、
前記第１及び第２の中間支持部材が、前記第１のスライダを挟むように設けられ、
前記第２及び第３の中間支持部材が、前記第２のスライダを挟むように設けられたことを特徴とするスライダ装置。
【請求項７】
前記第１及び第２の連結部材が、その両端部にストッパ部を有して前記ボールネジと平行に延在するロッド部材であり、
前記第１の連結部材と前記第２の連結部材とは、前記ボールネジと平行で互いに異なる線上に配置され、
前記第１の中間支持部材は、前記第１の連結部材の前記ロッド部材の軸方向の移動を案内すると共に前記ストッパ部が係合される第１の案内部を有し、
前記第３の中間支持部材は、前記第２の連結部材の前記ロッド部材の軸方向の移動を案内すると共に前記ストッパ部が係合される第２の案内部を有し、
前記第２の中間支持部材は、
前記第１の連結部材の前記ロッド部材の軸方向の移動を案内すると共に前記ストッパ部が係合される第３の案内部と、
前記第２の連結部材の前記ロッド部材の軸方向の移動を案内すると共に前記ストッパ部が係合される第４の案内部と、
を有することを特徴とする請求項６に記載のスライダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボールネジ機構を利用した装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ボールネジ機構によってボールネジに沿ってスライダが移動する構成とした装置においては、スライダの移動範囲はボールネジの長さに依存する。スライダの移動範囲を長くすべく、ボールネジを長尺化するとボールネジの固有振動数が低くなり、スライダの走行によりボールネジが振動して共振を生じるといった問題がある。そこで、ボールネジをその両端部に加えて途中の部位で支持することが提案されている。例えば、特許文献１には、スライダの両側にボールネジを支持する中間サポート機構を設け、ワイヤとプーリによる伝動機構によりスライダの移動に中間サポート機構の移動を連動させた装置が開示されている。また、特許文献２には、スライダ（被駆動体）の両側に支持部材を配置する一方、ボールネジに２種のネジ溝を形成して、その一方にスライダを他方に支持部材をそれぞれ螺着させたものが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２２８６８８号公報
【特許文献２】特開２０００−１７９６３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の装置では、スライダの移動範囲が中間サポート機構間の距離との関係で制約を生じ、特にスライダの移動範囲に比例して中間サポート機構間の距離を長くする必要がある。このため、スライダの移動範囲が長くなればなるほどスライダ近傍におけるボールネジの支持効果が低下する畏れがある。また、特許文献１の装置では共通のボールネジで複数のスライダが移動する構成とすることが困難である。特許文献２の装置では、ボールネジに２種のネジ溝が必要になる。【０００５】
本発明の目的は、スライダの近傍においてボールネジを支持しながら、スライダの移動範囲をより長くとることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、ボールネジと、前記ボールネジの両端部を支持する第１及び第２の支持部材と、前記ボールネジと螺合するボールナットを回転自在に保持すると共に前記ボールナットを回転させる駆動手段を備え、前記ボールネジの軸方向に移動可能に設けられたスライダと、前記ボールネジが挿通される支持孔を有し、前記ボールネジの軸方向に移動可能で、かつ、前記スライダを挟むように設けられた第１及び第２の中間支持部材と、前記第１及び第２の中間支持部材と係合され、前記第１及び第２の中間支持部材の自由移動をその全長の範囲で許容する連結部材と、を備えたことを特徴とするスライダ装置が提供される。【０００７】
また、本発明によれば、ボールネジと、前記ボールネジの両端部を支持する第１及び第２の支持部材と、前記ボールネジと螺合するボールナットを回転自在に保持すると共に前記ボールナットを回転させる駆動手段を備え、前記ボールネジの軸方向に移動可能に設けられた第１及び第２のスライダと、前記ボールネジが挿通される支持孔を有し、前記ボールネジの軸方向に移動可能な第１乃至第３の中間支持部材と、前記第１及び第２の中間支持部材と係合され、前記第１及び第２の中間支持部材の自由移動をその全長の範囲で許容する第１の連結部材と、前記第２及び第３の中間支持部材と係合され、前記第２及び第３の中間支持部材の自由移動をその全長の範囲で許容する第２の連結部材と、を備え、前記第１及び第２の中間支持部材が、前記第１のスライダを挟むように設けられ、前記第２及び第３の中間支持部材が、前記第２のスライダを挟むように設けられたことを特徴とするスライダ装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、スライダの近傍においてボールネジを支持しながら、スライダの移動範囲をより長くとることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係るスライダ装置１の平面図。
【図１Ｂ】はスライダ装置１の制御部１００のブロック図。
【図２Ａ】図１ＡのＩ−Ｉ線断面図。
【図２Ｂ】図１ＡのＩＩ−ＩＩ線断面図。
【図２Ｃ】図１ＡのＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図。
【図２Ｄ】連結部材４０の端部を示す斜視図。
【図３】スライダ装置１の動作例の説明図。
【図４】スライダ２０の位置に応じたボールネジ１０の一次固有振動数の変化を模式的に示す説明図。
【図５Ａ】本発明の他の実施形態に係るスライダ装置２の平面図。
【図５Ｂ】は本発明の他の実施形態に係るスライダ装置３の平面図。
【図６】規制機構７０の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜第１実施形態＞
＜スライダ装置の構成＞
図１Ａは本発明の一実施形態に係るスライダ装置１の平面図、図２Ａは図１ＡのＩ−Ｉ線断面図、図２Ｂは図１ＡのＩＩ−ＩＩ線断面図、図２Ｃは図１ＡのＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。これらの図を参照してスライダ装置１の構成を説明する。
【００１１】
スライダ装置１はボールネジ１０と、ボールネジ１０の両端部を支持する一対の支持部材１１、１１とを備える。ボールネジ１０の各端部は支持部材１１に固定されている。一対の支持部材１１、１１は、更に、ボールネジ１０の軸方向と平行に配置された、レール状の一対のスライドガイド１２、１２を備える。各支持部材１１には張設部５１が設けられており、張設部５１、５１間には線材５０がボールネジ１０の軸方向と平行に張設されている。線材５０は例えば金属ワイヤである。
【００１２】
スライダ２０は、スライダ装置１が適用される各種の装置において、移動対象の部材が取り付けられて該部材を移動させるための構成である。スライダ２０は、図２Ａに示すように、ボールネジ１０が貫通する開口部２１ｂを有する本体部２１を備える（図２Ａにおいて開口部２１ｂはボールナット２３の背後に隠れている。）。本体部２１の底部には、スライドガイド１２に係合してスライドガイド１２上をスライドするスライド部材２２が設けられている。スライド部材２２により、本体部２１はボールネジ１０の軸回りに回転不能とされ、また、スライダ２０全体がスライドガイド１２に案内されてボールネジ１０の軸方向に移動可能になっている。
【００１３】
本体部２１の一方端部（図１Ａでは右端部）には、凹部（切欠き部）２１ａが形成されており、本体部２１は平面視Ｕ字状を呈している。この凹部２１ａ内にボールネジ１０と螺合するボールナット２３が回転自在に配置されている。モータ支持部材２４はモータ２５を支持すると共に凹部２１ａの上部を覆うように配置されている。
【００１４】
モータ２５の出力軸は、モータ支持部材２４の囲包空間内に突出し、該出力軸にはプーリ２６が設けられている。プーリ２６とボールナット２３とにはタイミングベルト２７が巻きまわされており、モータ２５の回転によりボールナット２３が回転する。このボールナット２３の回転によりスライダ２０がボールネジ１０の軸方向に移動する。スライダ２０は、モータ２５の正逆回転に応じて軸方向に沿って前進、後進される。センサ２５ａはモータ２５の出力軸の回転角度を検出するエンコーダであり、その検出結果に基づきスライダ２０の位置や速度を検出できる。なお、本実施形態ではモータ２５の出力軸の回転角度を検出する構成としたが、スライダ２０の位置や速度を検出可能な各種のセンサが採用可能である。
【００１５】
タイミングベルト２７は例えば歯付ベルトであり、プーリ２６やボールナット２３の外周面には歯付ベルトの歯と噛合する歯（溝）が形成される。本実施形態では、モータ２５の回転をベルト伝達機構によりボールナット２３に伝達させ、回転させる駆動機構を例に挙げたが、例えば、中空モータの回転を直接ボールナット２３に伝達させ、回転させる等、他の種類の駆動機構を採用してもよい。
【００１６】
中間支持部材３０、３０は、ボールネジ１０をその途中部位で支持するための部材であって、スライダ２０を挟むように２つ設けられている。中間支持部材３０は、図２Ｂに示すように、本体部３１と、本体部３１の開口部３１ａに取り付けられ、ボールネジ１０を支持する支持部３３と、を備える。支持部３３は例えばゴム或いは樹脂製のブッシュであり、ボールネジ１０を挿通させる支持孔３３ａを有している。支持孔３３ａの径はボールネジ１０に対する中間支持部材３０の円滑な移動を妨げない範囲でボールネジ１０を支持すべく、ボールネジ１０の外径より僅かに大きくされることが好ましい。
【００１７】
本体部３１の底部には、スライドガイド１２に係合してスライドガイド１２上をスライドするスライド部材３２が設けられている。これにより、中間支持部材３０全体がスライドガイド１２に案内されてボールネジ１０の軸方向に移動可能になっている。
【００１８】
本実施形態では、スライダ２０と中間支持部材３０、３０とで、これらの移動を共通のスライドガイド１２で案内する構成としたが、スライダ２０用のスライドガイドと、中間支持部材３０、３０用のスライドガイドとを別々に設けてもよい。しかし、本実施形態のようにスライドガイドを共通とする方が部品点数の削減の点で有益であり、本実施形態のようにスライドガイドが複数ある場合は、少なくとも１つを共通とすることが好ましい。
【００１９】
スライダ装置１は、更に、中間支持部材３０、３０とそれぞれ係合され、中間支持部材３０、３０の自由移動をその全長の範囲で許容する連結部材４０を備える。本実施形態の場合、連結部材４０は、ボールネジ１０の軸方向と平行な方向に延在するロッド部４１と、ロッド部４１の両端部に設けたストッパ部４２、４２と、を有するロッド部材である。
【００２０】
中間支持部材３０は連結部材４０のロッド部４１の軸方向の移動を案内する案内部３４を有する。本実施形態の場合、案内部３４はボールネジ１０の軸方向と平行な方向に穿設された案内孔３４ａを有し、ここにロッド部４１を挿通させることでロッド部４１の軸方向の移動が案内される。なお、本実施形態では断面が円形の案内孔３４ａにロッド部４１を挿通する構成としたが、この案内孔３４ａに代えて、例えば、断面がＣ字型の案内溝を案内部３４に形成してロッド部４１の案内を行うことも可能である。ストッパ部４２、４２は、案内孔３４ａよりも大きく、また、案内部３４、３４の外側に位置される。
【００２１】
このため、後述するように、ロッド部４１が軸方向に移動され、ストッパ部４２が案内部３４に到達すると、ストッパ部４２が案内部３４に係合され（引っかかり）、ロッド部４１の軸方向の移動がストップされる。より具体的には、スライダ２０を一方の中間支持部材３０の方に移動させ、スライダ２０を一方の中間支持部材３０に当接させる。この当接により、その後、一方の中間支持部材３０は、スライダ２０と一体に他方の中間支持部材３０から離間する方向に軸方向に移動される。そして、一方の中間支持部材３０の案内部３４が一方のストッパ部４２に到達すると、案内部３４がストッパ部４２に係合される（引っかかる）。この係合により、その後、中間支持部材３０とストッパ部４２（すなわち連結部材４０）とが一体になって軸方向に移動し始める。中間支持部材３０、３０の離間距離が連結部材４０の全長と同等（又はほぼ同等）になると、ストッパ部４２、４２がそれぞれ案内部３４、３４と係合状態となって、中間支持部材３０、３０がそれ以上離間することが妨げられる。その後、スライダ２０及び一方の中間支持部材３０の移動に追従する連結部材４０に引っぱられる（押し出される）形で、他方の中間支持部材３０が連動して移動される。
【００２２】
一方、中間支持部材３０、３０の離間距離が連結部材４０の全長未満の場合は、ストッパ部４２、４２がそれぞれ案内部３４、３４と非係合状態となるので、中間支持部材３０、３０が互いに自由移動できることになる。本実施形態の場合、このような簡易な構成の連結部材４０によって中間支持部材３０、３０の自由移動を連結部材４０の全長の範囲内で許容することができる。
【００２３】
なお、本実施形態の場合、スライダ２０も連結部材４０のロッド部４１の軸方向の移動を案内する案内部２８を有している。スライダ２０にも案内部２８を設けることで、連結部材４０の途中部位を支持してその撓みを防止できる。本実施形態の場合、案内部２８は案内部３４と同様の構成であり、ボールネジ１０の軸方向と平行な方向に穿設された案内孔２８ａを有し、ここにロッド部４１を挿通させることでロッド部４１の軸方向の移動が案内される。案内孔２８ａ、３４ａ、３４ａはボールネジ１０の軸方向と平行な同一直線上に位置していることは言うまでも無い。
【００２４】
また、本実施形態の場合、連結部材４０を筒体としてその内部に線材５０を挿通する構成としている。図２Ｄは連結部材４０の端部を示す斜視図であり、線材５０の連結部材４０への挿通態様を示している。連結部材４０のロッド部４１は円筒体であり、ストッパ部４２は孔４２ａを有すると共にロッド部４１よりも大径のフランジ状を呈している。線材５０は、一方端部のストッパ部４２の孔４２ａから連結部材４０の内部に挿入され、他方端部のストッパ部４２の孔４２ａから外部に出される。本実施形態では、このように連結部材４０を筒体とすることで軽量化を図る一方、線材５０によりその撓みを防止するようにしている。
【００２５】
なお、本実施形態の場合、連結部材４０をロッド部材としたが、連結部材４０の構成はこれに限られない。例えば、両端部にストッパ部４２に相当するストッパ部を有する紐も連結部材として採用可能である。
【００２６】
図１Ａに戻り、本実施形態では連結部材４０のロッド部４１が遊挿されるばね部材６０、６１を備える。ばね部材６０、６１はいずれもコイルスプリングであり、ばね部材６０は、スライダ２０と中間支持部材３０、３０との各間、ばね部材６１は中間支持部材３０、３０とストッパ部４２、４２との各間、に配置される。ばね部材６１の存在により、本実施形態の場合、ストッパ部４２と案内部３４との上記の係合は、ばね部材６１を介在した係合となる。
【００２７】
これらのばね部材６０、６１は、後述するようにスライダ２０が移動する際、スライダ２０と中間支持部材３０との間や、中間支持部材３０とストッパ部４２との間の衝撃緩衝効果を発揮する。本実施形態の場合、ばね部材６０にロッド部４１が遊挿される構成としたが、スライダ２０と中間支持部材３０との間に介在されていればどのように設けられていてもよく、例えば、本体部２１又は本体部３１のいずれかに装着してもよい。尤も、本実施形態の構成ではロッド部４１をばね部材６１の支持部材として利用できる。また、本実施形態では、ばね部材６０を例に挙げて説明を行ったが、これに限定するものではなく、伸縮可能な弾性部材であればよい。
【００２８】
次に、スライダ装置１の制御部について説明する。図１Ｂはスライダ装置１の制御部１００のブロック図である。制御部１００は、ＣＰＵ等の処理部１０１と、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク等の記憶部１０２と、外部デバイスと処理部１０１とをインターフェースするインターフェース部１０３と、を備える。
【００２９】
入力部１０４は作業者の指示を受け付けるキーボード、マウス等の入力デバイス、又は、ホストコンピュータからの指示を受信する通信インターフェースである。
【００３０】
処理部１０１は、例えば、入力部１０４から入力された指示にしたがって、記憶部１０２に記憶されたプログラムを実行し、センサ２５ａの検出結果に基づいてモータ２５の駆動制御を行う。
【００３１】
＜動作例＞
次に、スライダ装置１の動作例について説明する。スライダ装置１では、スライダ２０を挟むようにして中間支持部材３０、３０が配置されている。スライダ２０が一方向に移動するといずれかの中間支持部材３０と干渉するが、中間支持部材３０、３０は基本的に自由移動が可能であるため、スライダ２０は干渉している中間支持部材３０を押しながら移動する。
【００３２】
一方、中間支持部材３０、３０間の離間距離は連結部材４０によって連結部材４０の全長の範囲内に規制される。よって、スライダ２０は干渉している中間支持部材３０を押しながら、かつ、その中間支持部材３０及び連結部材４０を介してもう一方の中間支持部材３０を引っぱり（押し出し）ながら移動することになる。このため、スライダ２０の両側には、連結部材４０の全長の範囲内で離間した中間支持部材３０、３０が常時存することになり、スライダ２０の近傍において中間支持部材３０、３０によりボールネジ２０が支持される。また、中間支持部材３０、３０は移動可能であるため、スライダ２０の移動範囲は、中間支持部材３０、３０間の初期離間距離に制約されることはなく、スライダ２０の移動範囲をより長くとることができる。
【００３３】
図３はスライダ装置１の動作例の説明図であり、スライダ２０がボールネジ１０の一方端部から他方端部へ移動する場合の例を示している。状態ＳＴ１では、一方（図３中では左方）の中間支持部材３０が最左端に位置しており、スライダ２０は一方の中間支持部材３０に当接してその移動範囲の左端に位置している。他方の中間支持部材３０は、本例の場合、連結部材４０の全長より若干短い距離だけ、一方の中間支持部材３０から離間した位置にある。
【００３４】
状態ＳＴ２ではスライダ２０が右方向に移動を開始しているが、同図で右側の支持部材１１に干渉しておらず、したがって中間支持部材３０、３０はいずれも停止している。状態ＳＴ３ではスライダ２０の移動が進み、スライダ２０が同図で右側の中間支持部材３０にばね部材６０を介して干渉し、これを押しながら移動される。また、右側の中間支持部材３０の移動により、連結部材４０を介して同図の左側の中間支持部材３０が押し出されて移動される。
【００３５】
状態ＳＴ４では、スライダ２０の移動が完了して他方の中間支持部材３０は最右端に位置し、スライダ２０は他方の中間支持部材３０に当接してその移動範囲の右端に位置している。他方の中間支持部材３０は連結部材４０の全長の範囲内で一方の中間支持部材３０から離間した位置にある。
【００３６】
＜共振の抑制＞
ボールネジ機構では、ボールネジの固有振動数とボールナットの振動数（回転数）とが一致すると共振が生じ、スライダ装置１に大きな振動が加わるおそれがあることが知られている。本実施形態では、中間支持部材３０を設けてボールネジ１０の途中部位を支持するようにしたことで、ボールネジ１０の一次固有振動数を高くし、ボールネジ１０とボールナット２３との共振を防ぐことができる。以下、この点を図４を参照して説明する。図４は、スライダ２０の位置に応じたボールネジ１０の一次固有振動数の変化を模式的に示す説明図である。
【００３７】
ボールネジ１０の固有振動数は、その自由部分の長さに依存する。本実施形態の場合、ボールネジ１０はその両端が支持部材１１で支持されると共に、途中部位がスライダ２０（ボールナット２３）、中間支持部材３０、３０で支持されている。したがって、自由部分は、図４に示すように、支持部材１１と中間支持部材３０との間の区間ＳＣ−Ａ及びＳＣ−Ｄ、スライダ２０と中間支持部材３０との間の区間ＳＣ−Ｂ及びＳＣ−Ｃの４つに区分けされ、かつ、これらの各区間の長さは、スライダ２０、中間支持部材３０の位置に応じて変化する。また、参考として、図４に示す区間ＳＣ−Ｅ及びＳＣ−Ｆは中間支持部材３０、３０を設けなかった場合の自由部分を示しており、支持部材１１とスライダ２０との間の区間を示している。これらの区間は参考として図３にも併記している。
【００３８】
なお、各区間の長さは、より正確には、支持部材１１と中間支持部材３０との間の区間であれば、支持部材１１のボールネジ１０の支持端から中間支持部材３０のボールネジ１０の支持端（支持孔３３ａの支持部材１１側の端）、スライダ２０と中間支持部材３０との間の区間であれば、ボールナット２３の中間支持部材３０側の端から中間支持部材３０のボールネジ１０の支持端（支持孔３３ａのスライダ２０側の端）となる。しかし、説明を簡便にするために図３及び図４においては、スライダ２０、中間支持部材３０の各中央部分を基準として各区間を表記している。
【００３９】
図４は、スライダ２０がその移動範囲の左端（位置ＰＬ：図３のＳＴ１）と右端（位置ＰＲ：図３のＳＴ４）の間を移動する場合に、各区間におけるスライダ２０の位置によるボールネジ１０の各区間の一次固有振動数の変化を示している。例えば、区間ＳＣ−Ａは、スライダ２０が左端（位置ＰＬ）に位置する状態から、スライダ２０が右側の中間支持部材３０に干渉する位置までの間が、その区間長が最大であり、一次固有振動数も最も低い。スライダ２０が更に右側へ移動すると、区間ＳＣ−Ａの区間長は徐々に短くなってゆく一方、一次固有振動数は徐々に高くなる。その後、右側の中間支持部材３０が右側の支持部材１１へ到達すると、一次固有振動数は最大値（その後は一定）となる。
【００４０】
また、例えば、区間ＳＣ−Ｄは、区間ＳＣ−Ａと逆の関係となる。つまり、区間ＳＣ−Ｄの区間長は、スライダ２０が左端（位置ＰＬ）に位置する状態からスライダ２０が右側の中間支持部材３０に干渉する位置までの間が最小であり一次固有振動数も最も高い。スライダ２０が更に右側へ移動し、左側の中間支持部材３０が右側へ移動し始めると、区間ＳＣ−Ｄの区間長は徐々に長くなってゆく一方、一次固有振動数は徐々に低くなる。その後、右側の中間支持部材３０が右側の支持部材１１へ到達すると、一次固有振動数は最小値（その後は一定）となる。区間ＳＣ−Ｂ及び区間ＳＣ−Ｃも同様に考えることができる。
【００４１】
そして、図４に示すように、ボールナット２３の最高振動数（最高回転数）を、各区間ＳＣ−Ａ乃至Ｄの一次固有振動数未満となるようにモータ２５の駆動制御を行うことで、共振を防ぐことができる。逆にいえば、各区間ＳＣ−Ａ乃至Ｄの長さを、それらの各一次固有振動数が、ボールナット２３の最高振動数（最高回転数）を上回るように設計することで、共振を防ぐことができる。
【００４２】
中間支持部材３０、３０を設けない場合は、図４において区間ＳＣ−Ｅ及びＳＣ−Ｆの一次固有振動数として示すように、一次固有振動数の最低値が下がり、同図に示すボールナット２３の振動数の遷移を採用した場合は、両者の交差点において共振が生じてしまう。したがって、中間支持部材３０が共振回避に効果があることが分かる。
【００４３】
なお、スライダ装置１の共振の要因となる振動は、上記のようにボールナット２３の回転による振動の他に、中間支持部材３０の移動により支持部３３がボールネジ１０のネジ溝を乗り越えることにより生じる振動もある。そして、スライダ２０と中間支持部材３０とが等速で移動すると、同じ周波数帯の振動を発生させ共振を生じる場合がある。スライダ２０と中間支持部材３０とが互いに接した状態で移動すると、上記の共振により振幅が大きくなることが懸念されるが、本実施形態では、ばね部材６０をスライダ２０と中間支持部材３０との間に設けているため、両者間の振動伝達がばね部材６０で緩衝される。特に、ばね部材６０の長さ或いはばね定数の設定により、スライダ２０が中間支持部材３０を押しながら移動する移動途中では、両者が接触しないようにすることで、振動の距離減衰が見込める。このため、ばね部材６０は振動の振幅を抑制する効果もある。
【００４４】
共振の発生を回避する方策としては以下の方策もある。スライダ２０の開口部２１ｂの内周壁と、中間支持部材３０の支持孔３３ａの内周壁との一方に、その長手方向に渡って凹凸を設けるか、又は、これらの双方に異なる凹凸を設ける。具体的には、例えば、支持孔３３ａの内周壁には溝を設ける一方、開口部２１ｂの内周壁にはこのような溝は設けない。溝は、支持孔３３ａの長手方向に渡って螺旋状に設けてもよいし、環状の溝を支持孔３３ａの長手方向に渡って所定ピッチで設けてもよい。このような構成であれば、スライダ２０と中間支持部材３０とが等速で移動しても、開口部２１ｂの内周壁がボールネジ１０のネジ溝を乗り越えることにより発生する振動の振動数と、支持孔３３ａの内周壁がボールネジ１０のネジ溝を乗り越えることにより発生する振動の振動数とが、異なるため、共振を防止できる。
【００４５】
＜第２実施形態＞
上記第１実施形態では、スライダ２０を１つとしたが、１つのボールネジ１０に対してスライダ２０を複数設けてもよい。図５Ａのスライダ装置２はスライダ２０を２つ設けた例を示す。同図の例は、ボールネジ１０及びスライドガイド１２を共通として、上記実施形態と同じスライダ２０及び中間支持部材３０、３０を２組設けたものである。
【００４６】
但し、各組の連結部材３０については、互いの干渉を防止するため、ボールネジ１０と平行で互いに異なる線上に配置されている。本実施形態の場合、各組の連結部材３０を互いに、ボールネジ１０の軸線に対して反対側に配置している。また、このため、張設部５１と線材５０の組も、各連結部材３０に応じた配置となっている。
【００４７】
本例では、各スライダ２０の移動を独立して制御することができるため、スライダ装置１が適用される各種の装置において、ボールネジ１０等を共通にして、複数の移動対象の部材をそれぞれ独立して移動することができる。なお、図５Ａの例はスライダ２０及び中間支持部材３０、３０を２組としたが、３組以上であってもよい。
【００４８】
＜第３実施形態＞
図５Ａの例のように、１つのボールネジ１０に対してスライダ２０を複数設けた場合、複数のスライダ２０で隣接する中間支持部材３０を共用することもできる。
【００４９】
図５Ｂのスライダ装置３は、図５Ａのスライダ装置２において、互いに隣接する中間支持部材３０、３０を１つの中間支持部材３０'に置き換え、２つのスライダ２０で中間支持部材３０'を共用した例を示す。中間支持部材３０'は、案内部３４を２つ設けた構成であり、各スライダ２０に対応した連結部材３０にそれぞれ対応する。
【００５０】
本例では、図５Ａの例と比較して中間支持部材３０を１つ減らすことができるため、部品点数を削減できると共に中間支持部材３０を１つ減らしたことでスライダ２０の移動範囲を広くすることができる。但し、中間支持部材３０'を共用したことで、２つのスライダ２０間の離間距離には制約が生じることになる。
【００５１】
＜第４実施形態＞
上記第１乃至第３実施形態では、スライダ２０が各中間支持部材３０から離間した位置にある場合（例えば、図３の状態ＳＴ２）、ばね部材６０は自由長の状態となる。一方、スライダ２０がいずれかの中間支持部材３０に近接した位置にある場合（例えば、図３の状態ＳＴ１、ＳＴ４）、ばね部材６０は最大に圧縮されてその全長は最小となる。こうしてばね部材６０は、その自然長（自由長）の状態と、最小長さの状態とで繰り返し伸縮する。
【００５２】
ばね部材６０の寿命を考慮すると、ばね部材６０の伸縮幅は小さい方が好ましい。そこで、ばね部材６０が自然長の状態に復帰することを規制し、常時一定の圧縮状態を維持する（つまり、常時、所定の圧縮応力を付与する）規制機構を設けることが望ましい。図６は規制機構７０の説明図である。
【００５３】
規制機構７０は、ばね部材６０毎に設けられており、支持部７２を介してスライダ２０の本体部２１に固定された棒状のロッド部７１を備える。ロッド部７１は、連結部材４０のロッド部４１と平行に支持されている。ロッド部材７１の端部にはストッパ部７３が設けられている。
【００５４】
規制機構７０は、また、連結部材４０のロッド部４１の外周を、長手方向に沿って滑動するストッパ部７４を備える。ストッパ部７４は不図示の貫通孔を有し、この貫通孔をロッド部４１が挿通している。ストッパ部７４には係止部７５が接続されている。係止部７５は不図示の貫通孔を有し、この貫通孔をロッド部７１が挿通している。係止部７５は、支持部７２とストッパ部７３との間において、ロッド部７１の外周を、長手方向に沿って滑動可能であり、規制機構７０はストッパ部７４が状態ＳＴ１１の位置から案内部２８側へ変位することを許容している。
【００５５】
状態ＳＴ１１は、スライダ２０が中間支持部材３０、３０の双方から離間した位置にある場合を示している。この場合、上記第１乃至第３実施形態では、ばね部材６０は自然長の状態にあったが、本実施形態では、圧縮された状態にある。すなわち、ばね部材６０、６０は案内部２８と、ストッパ部７４、７４との間で圧縮されており、自然長よりも全長が短い状態にある。ばね部材６０、６０はその弾性復帰力により、ストッパ部７４、７４を押圧するが、ストッパ部７４、７４はそれぞれ、係止部７５を介してストッパ部７３によって移動が規制されている。こうして、ばね部材６０、６０は案内部２８と、ストッパ部７４、７４との間で圧縮された状態に維持される。
【００５６】
状態ＳＴ１２は、スライダ２０が一方の中間支持部材３０に近接した位置にある場合を示している。スライダ２０が一方の中間支持部材３０に近接することにより、先ず、ストッパ部７４が案内部３４に当接する。ストッパ部７４が案内部３４に当接した時点で、ストッパ部７４の移動は停止し、その位置は固定となる。
【００５７】
その後、引き続き、スライダ２０が一方の中間支持部材３０に近接していくと、（図６中左側の）ばね部材６０がストッパ部７４と案内部２８との間で圧縮され始める。ストッパ部７４の位置は固定であるが、スライダ２０の移動に伴って、スライダ２０に固定されたロッド部７１が係止部７５に対して滑動する。これによって、案内部２８がストッパ部７４側に接近し、ばね部材６０は更に圧縮されて最小長さの状態となる。
【００５８】
このように本実施形態では、ばね部材６０が自然長に復帰することを規制することで、その伸縮幅をより小さくすることができ、ばね部材６０の寿命を長くすることができる。
【００５９】
本実施形態では、規制機構７０の支持部７２を、スライダ２０の本体部２１に固定した場合を例に挙げて説明を行ったが、これに限定するものではない。例えば、支持部７２を中間支持部材３０にそれぞれ固定するようにしても良い。この場合、係止部７５と支持部７２との間におけるロッド部７１周りに、それぞれ押しバネ部材を巻装するとよい。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【国際調査報告】
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