(57)【要約】  サンプルを分析するユニットを有するシステムを提供する。分析するユニットは、少なくとも２つのパラメータにより制御される電界を通過する化学物質のイオン強度を測定するイオン移動度センサーにサンプルを供給して得られた測定データに含まれるデータの２次元表現であって、第１のパラメータを変化させ、他のパラメータを固定したときのイオン強度を示す２次元表現の中に存在するピークを検出する機能ユニットと、検出されたピークと他の２次元表現の中に存在するピークとの連続性および生滅に基づいて検出されたピークを分類する機能ユニットと、分類されたピークに基づいて前記サンプルに含まれる化学物質を推定する機能ユニットとを有する。
2012056709.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルを分析するユニットを有するシステムであって、
前記分析するユニットは、少なくとも２つのパラメータにより制御される電界を通過する化学物質のイオン強度を測定するイオン移動度センサーに前記サンプルを供給して得られた測定データに含まれるデータの２次元表現であって、第１のパラメータを変化させ、他のパラメータを固定したときのイオン強度を示す２次元表現の中に存在するピークを検出する機能と、
検出されたピークと他の２次元表現の中に存在するピークとの連続性および生滅に基づいて前記検出されたピークを分類する機能と、
分類されたピークに基づいて前記サンプルに含まれる化学物質を推定する機能とを有するシステム。
【請求項２】
請求項１において、前記分類する機能は、前記少なくとも２つのパラメータの１つを前記第１のパラメータとして変化させ、前記少なくとも２つのパラメータの他の１つを第２のパラメータとして変えた前記他の２次元表現の中に存在するピークとの関係を評価する第１の機能を含む、システム。
【請求項３】
請求項２において、前記分析するユニットは、前記少なくとも２つのパラメータに加えて前記イオン移動度センサーに供給される前記サンプルの条件が第３のパラメータとして制御された前記測定データの中の、前記第３のパラメータを変えた前記他の２次元表現の中に存在するピークとの関係を評価する第２の機能を含む、システム。
【請求項４】
請求項３において、前記サンプルの条件は、前記サンプルの濃度、湿度、温度、流量および圧力のいずれかである、システム。
【請求項５】
請求項３または４において、前記第２の機能は、前記２次元表現の中の複数のピークの存在が顕著になる前記第３のパラメータを選択する機能を含む、システム。
【請求項６】
請求項３ないし５のいずれかにおいて、前記分類する機能は、ピーク特性を含むピーク特性を評価ルールに基づいて、前記検出されたピークの種別を判断する機能を含む、システム。
【請求項７】
請求項６において、前記評価ルールは、リアクタンスのＲＩＰのピーク特性と、化学物質から派生したモノマー、ディマーおよびトリマーのピーク特性との理論上の関係を含む、システム。
【請求項８】
請求項７において、前記推定する機能は、モノマー、ディマーおよびトリマーの少なくともいずれかのピークを示す特定されたピークに基づき前記サンプルに含まれる化学物質の候補を選択する機能を含む、システム。
【請求項９】
請求項８において、前記推定する機能は、前記特定されたピークと前記第３のパラメータとの相関を求め、前記サンプルに含まれる化学物質の候補を選択する機能を含む、システム。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかにおいて、
前記イオン移動度センサーをさらに有する、システム。
【請求項１１】
請求項３ないし９のいずれかにおいて、
前記イオン移動度センサーに供給されるキャリアガス中の前記サンプルの濃度を制御する調整ユニットをさらに有する、システム。
【請求項１２】
請求項１１において、前記調整ユニットは、前記サンプルを、イオン化ユニットを通過させる第１のラインと、
前記イオン化ユニットを通過したサンプルをキャリアガスと混合して前記イオン移動度センサーに供給する第２のラインとを含む、システム。
【請求項１３】
請求項１２において、前記第１のラインは、前記イオン化ユニットの上流に設けられた加湿ユニットを含む、システム。
【請求項１４】
少なくとも２つのパラメータにより制御される電界を通過する化学物質のイオン強度を測定するイオン移動度センサーにサンプルを供給して得られた測定データに含まれるデータの２次元表現であって、第１のパラメータを変化させ、他のパラメータを固定したときのイオン強度を示す２次元表現の中に存在するピークを検出することと、
検出されたピークと他の２次元表現の中に存在するピークとの連続性および生滅に基づいて前記検出されたピークを分類することと、
分類されたピークに基づいて前記サンプルに含まれる化学物質を推定することとを有する方法。
【請求項１５】
請求項１４において、前記分類することは、前記少なくとも２つのパラメータの１つを前記第１のパラメータとして変化させ、前記少なくとも２つのパラメータの他の１つを第２のパラメータとして変えた前記他の２次元表現の中に存在するピークとの間の第１の関係を評価することを含む、方法。
【請求項１６】
請求項１５において、前記少なくとも２つのパラメータに加えて前記イオン移動度センサーに供給される前記サンプルの条件が第３のパラメータとして制御された前記測定データの中の、前記第３のパラメータを変えた前記他の２次元表現の中に存在するピークとの間の第２の関係を評価することをさらに有する、方法。
【請求項１７】
請求項１６において、前記第２の関係を評価することは、前記２次元表現の中の複数のピークの存在が顕著になる前記第３のパラメータを選択することを含む、方法。
【請求項１８】
請求項１６または１７において、前記分類することは、ピーク特性を含む評価ルールに基づいて前記検出されたピークの種別を判断することとを含む、方法。
【請求項１９】
請求項１８において、前記評価ルールは、リアクタンスのＲＩＰのピーク特性と、化学物質から派生したモノマー、ディマーおよびトリマーのピーク特性との理論上の関係を含み、
前記推定することは、モノマー、ディマーおよびトリマーの少なくともいずれかのピークを示す特定されたピークに基づき前記サンプルに含まれる化学物質の候補を選択することをさらに含む、方法。
【請求項２０】
請求項１９において、前記推定することは、前記特定されたピークと前記第３のパラメータとの相関を求め、前記サンプルに含まれる化学物質の候補を選択することをさらに含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サンプルを分析する装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高感度に化学物質を検出、分析する技術として、近年フィールド非対称性イオン移動度分光計（ＦＡＩＭＳ）と呼ばれる装置が注目を集めている。この装置では、センサーに印加する直流電圧と交流電圧を変化させることにより、イオン化された化学物質の移動度の変化を、微細なフィルタによって検出し、その検出結果の差異により化学物質を特定することが可能である。【０００３】
国際公開ＷＯ２００６／０１３３９６号（日本特表２００８−５０８６９３号）公報には、複数の電極を有する少なくとも１つのイオンチャネルの形状のイオンフィルタを有するイオン移動度分光計について記載されている。このイオン移動度分光計では、導電層に印加される時間変化する電位により、充填剤がイオン種を選択的に入れることができる。電位は、駆動電界成分および横電界成分を有し、好ましい実施形態において、電極のそれぞれは、駆動電界および横電界の両方の成分を生成するのに関与する。デバイスは、ドリフトガスフローがなくても用いることができる。さらに、この文献には、分光計の種々の用途であるようなマイクロスケール分光計を製作するための微細加工技術について記載されている。
【発明の開示】
【０００４】
ＦＡＩＭＳ装置では、Ｖｄ電圧（Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ Ｖｏｌｔａｇｅ、分散電圧、電界電圧（Ｖｄ）、交流）とＶｃ電圧（Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ Ｖｏｌｔａｇｅ、補償電圧、直流）の２つの変量に応じて変化するイオン強度をイオン電流として検出することが可能である。検出されたイオン電流の波形は化学物質により異なることが多いので、化学物質の特定を行うことが可能である。イオン移動度センサーから得られるデータ（測定データ）は、イオン電流の値を含めると少なくとも３次元のデータとなる。また、化学物質によっては、たとえばイオン移動度特性により、Ｖｄ電圧を固定した場合に、Ｖｃ電圧を変えるとイオン電流の値は複数のピークを形成することがある。したがって、測定データに含まれるピークに基づき、イオン移動度センサーで検出しているサンプルの化学組成（サンプルに含まれる化学物質）を特定できる可能性がある。
【０００５】
本発明の態様の１つは、サンプルを分析するユニット（機能）を有するシステムである。このシステムは、少なくとも２つのパラメータにより制御される電界を通過する化学物質のイオン強度を測定するイオン移動度センサーにサンプルを供給して得られた測定データに含まれるデータの２次元表現であって、第１のパラメータを変化させ、他のパラメータを固定したときのイオン強度を示す２次元表現の中に存在するピークを検出する機能（機能ユニット）と、検出されたピークと他の２次元表現の中に存在するピークとの連続性および生滅に基づいて検出されたピークを分類する機能（機能ユニット）と、分類されたピークに基づいてサンプルに含まれる化学物質を推定する機能（機能ユニット）とを有する。典型的には、分類する機能は、電界を制御する少なくとも２つのパラメータの１つを第１のパラメータとして変化させ、他の１つを第２のパラメータとして変えた他の２次元表現の中に存在するピークとの関係を評価する第１の機能を含む。電界を制御する典型的なパラメータは、ＦＡＩＭＳセンサーの電界を制御するＶｄ電圧とＶｃ電圧である。
【０００６】
分析するユニットは、少なくとも２つのパラメータに加えてイオン移動度センサーに供給されるサンプルの条件が第３のパラメータとして制御された測定データ、すなわち、４次元以上の多次元（ｎ次元、ｎは４以上の整数）の測定データの中の、第３のパラメータを変えた他の２次元表現の中に存在するピークとの関係を評価する第２の機能を含むことが望ましい。サンプルの条件は、サンプルの濃度、湿度、温度、流量および圧力のいずれかでよい。第２の機能により、２次元表現の中の複数のピークの存在が顕著になる第３のパラメータを選択できる可能性がある。
【０００７】
分類する機能は、ピーク特性を含む評価ルールに基づいて、検出されたピークの種別を判断する機能を含むことが望ましい。典型的な評価ルールは、リアクタンスのＲＩＰのピーク特性と、化学物質から派生したモノマー、ディマーおよびトリマーのピーク特性の理論上の関係を含む。推定する機能は、モノマー、ディマーおよびトリマーの少なくともいずれかのピークを示す特定されたピークに基づきサンプルに含まれる化学物質の候補を選択することが可能となる。
【０００８】
さらに、推定する機能は、ｎ次元の測定データに含まれている特定されたピークと第３のパラメータとの相関を求めることが可能であり、サンプルに含まれる化学物質の候補を選択することが可能となる。
【０００９】
本発明の他の態様の１つは、分析するユニットと、イオン移動度センサーとを有するシステムである。このシステムは、イオン移動度センサーに供給されるキャリアガス中のサンプルの濃度を制御する調整ユニットをさらに有することが望ましい。サンプルの濃度を第３のパラメータとする、ｎ次元の測定データを得ることができる。
【００１０】
調整ユニットは、サンプルがイオン化ユニットを通過する第１のラインと、イオン化ユニットを通過したサンプルをキャリアガスと混合してイオン移動度センサーに供給する第２のラインとを含むことが望ましい。サンプルガスをキャリアガスと分離してイオン化できる。このため、サンプルガスのイオン化効率を向上でき、より微量な成分（化学物質）が含まれているサンプルガスであっても、微量な成分をイオン化してイオン移動度センサーにより検出させることができる。したがって、イオン移動度センサーに供給されるサンプルの濃度範囲を広く変化させることができる。
【００１１】
本発明の異なる他の態様の１つは、以下の工程を含む方法である。
・少なくとも２つのパラメータにより制御される電界を通過する化学物質のイオン強度を測定するイオン移動度センサーにサンプルを供給して得られた測定データに含まれるデータの２次元表現であって、第１のパラメータを変化させ、他のパラメータを固定したときのイオン強度を示す２次元表現の中に存在するピークを検出すること。
・検出されたピークと他の２次元表現の中に存在するピークとの連続性および生滅に基づいて検出されたピークを分類すること。
・分類されたピークに基づいてサンプルに含まれる化学物質を推定すること。
【００１２】
分類することは、少なくとも２つのパラメータの１つを第１のパラメータとして変化させ、少なくとも２つのパラメータの他の１つを第２のパラメータとして変えた他の２次元表現の中に存在するピークとの間の第１の関係を評価することを含む。
【００１３】
さらに、この方法は、少なくとも２つのパラメータに加えてイオン移動度センサーに供給されるサンプルの条件が第３のパラメータとして制御されたｎ次元の測定データの中の、第３のパラメータを変えた他の２次元表現の中に存在するピークとの間の第２の関係を評価することを含むことが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】センサーシステムの一例を示すブロック図。
【図２】ＰＣの概略構成を示すブロック図。
【図３】分析ユニットの機能的な構成を示すブロック図。
【図４】測定データの一例を示す図。
【図５】分析方法（分析処理）の概要を示すフローチャート。
【図６】２次元表現を用いてサンプルを分析する方法を示すフローチャート。
【図７】ピークを分離する処理を表すフローチャート。
【図８】ピークを分離する処理の一部をさらに詳細に示すフローチャート。
【図９】ピーク分離処理の一例を示す図。
【図１０】ピークの相関関係を分析する処理を示すフローチャート。
【図１１】ピークを分類する処理を示すフローチャート。
【図１２】ＲＩＰを特定する処理を示すフローチャート。
【図１３】モノマー、ディマーを特定する処理を示すフローチャート。
【図１４】トルエンのイオン移動度（図１４（ａ））および濃度との相関性（図１４（ｂ））を示す。
【図１５】エチルベンゼンのイオン移動度（図１５（ａ））および濃度との相関性（図１５（ｂ））を示す。
【図１６】スチレンのイオン移動度（図１６（ａ））および濃度との相関性（図１６（ｂ））を示す。
【図１７】ｐ−キシレンのイオン移動度（図１７（ａ））および濃度との相関性（図１７（ｂ））を示す。
【図１８】ｍ−キシレンのイオン移動度（図１８（ａ））および濃度との相関性（図１８（ｂ））を示す。
【図１９】各化学物質のディマーのイオン移動度（図１９（ａ））およびモノマーのイオン移動度（図１９（ｂ））を示す。
【図２０】各化学物質のディマーの強度の２５ｐｐｂ以下の濃度との相関性（図２０（ａ））および５ｐｐｂ以下の濃度との相関性（図２０（ｂ））を示す。
【図２１】異なるサンプリングシステムを備えたセンサーシステムの概要を示すブロック図。
【発明の実施の形態】
【００１５】
図１は、イオン移動度センサーを含むセンサーシステムの概略構成を示すブロック図である。このセンサーシステム１は、イオン移動度センサー（ＦＡＩＭＳセンサー）５と、サンプリングされたガス（サンプルガス）２をＦＡＩＭＳセンサー５に供給するサンプリングシステム１０と、サンプルガス２の分析とアプリケーションとを実行するコンピュータ３０とを含む。サンプリングシステム１０は、ＦＡＩＭＳセンサー５に供給されるキャリアガス３中のサンプルガス２の濃度を制御する調整ユニットとしての機能を含む。
【００１６】
サンプリングシステム１０は、１または複数の化学物質を含む、分析対象のサンプルガス２の取り込みを行う入力部１１と、取り込んだサンプルガス２に湿度を加える湿度発生器兼調整装置（加湿装置）１２と、Ｎｉ６３またはＵＶなどの直接または間接的なイオン化手段によりサンプルガス２中の化学物質（分子、組成物、細胞など）をイオン化するイオン化処理装置（イオン化ユニット）１３と、逆流防止弁付きの昇圧ポンプ１４と、スプリットフロー装置１５と、ミキシングチャンバー１６とを含み、これらが順番に適当な配管、たとえば、テフロン（登録商標）コーティングされたチューブにより連通されている。昇圧ポンプ１４は、ポンプ本体１４ａとフィルタ１４ｂとを含む。入力部１１、加湿ユニット１２、イオン化ユニット１３、昇圧ポンプ１４は、吸引したサンプルガス２がイオン化ユニット１３を通過する第１のライン１９ａに含まれる。
【００１７】
サンプリング対象のサンプルガス２は、測定対象の物体が気相であるものに限らず、液相あるいは固相であってもよい。測定対象の物体が気体以外であれば、測定対象物の周囲に存在するガスや、適当な方法により測定対象物を気化させたガスをサンプルガス２として、第１のライン１９ａを通ってＦＡＩＭＳセンサー５に到達させることができる。サンプルガス２は、一時的に吸着させて放出させるなどの方法により、測定対象物から時間的および／または空間的に分離されたガスであってもよく、適当な方法により事前に濃縮されていたり、希釈されているガスであってもよい。
【００１８】
サンプリングシステム１０は、第１のライン１９ａと並列に設けられた、キャリアガスをミキシングチャンバー１６に供給するキャリアガス供給ライン１９ｂを含む。キャリアガス供給ライン１９ｂは、キャリアガスの生成装置１７と、キャリアガス流量調整装置１８とを含む。キャリアガス３の典型的なものは、適当な方法により不純物が除去されたクリーンなドライエアーである。不純物の除去率はサンプルガス２で測定しようとする物質の濃度などに依存するが、キャリアガス３は基本的にはイオン化されないので、リアクタントおよび／またはイオン化対象の物質との間で電荷の移動が少ない程度の空気であってもよい。また、不活性気体であってもよく、あるいは、適当な種類の高純度な気体であってもよい。
【００１９】
典型的な流量調整装置１８は、デジタルマスフローコントローラ（ＭＦＣ）である。ＭＦＣは、流体の質量流量を計測して流量制御を行う機器であり、流体の流量計測には主に体積流量と質量流量が用いられる。体積流量は、計測対象となる流体に環境温度や使用圧力等の変化により体積変化が生じるため、正確な流量を計測する場合は変化量に合った補正を行う。質量流量は、流体の質量（重さ）を計測することにより、使用条件の変化による補正を行う必要がない。デジタルＭＦＣは、半導体プロセスをはじめ、高精度な流量計測・制御を要求されるプロセスにおける流量制御機器として公知なものである。
【００２０】
ミキシングチャンバー１６は、第１のライン１９ａのイオン化ユニット１３を通過したサンプルガス２と、キャリアガス供給ライン１９ｂから供給されたキャリアガス３とを混合し、ＦＡＩＭＳセンサー５に供給する測定用ガス４を生成する第２のライン１９ｃに含まれる。ＦＡＩＭＳセンサー５を通過したガスは排気ユニット２１を介して外気（外界）に放出される。
【００２１】
センサーシステム１のコンピュータ（ＰＣ）３０は、メモリ、ＣＰＵなどの汎用のハードウェア資源に加え、ＦＡＩＭＳセンサー５から得られた測定データの分析機能を含むデバイス（臭覚プロセッサ、ＯＬＰ、Ｏｌｆａｃｔｉｏｎ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）５０と、センサーコントローラデバイス４０とを含む。ＯＬＰ５０は、１つの集積化されたデバイス（半導体チップ、ＡＳＩＣ、ＬＳＩ）または複数の集積化されたチップ（チップセット）として提供される。以下で説明するＯＬＰ５０に実装されるユニットおよび機能（機能ユニット）は、ＯＬＰ５０に実装された回路および／または内蔵されたプロセッサで実行されるソフトウェア（プログラム、プログラム製品）で実現される。また、以下において、ＯＬＰ５０により実現される機能として説明する機能（機能ユニット）は、ＰＣ３０の汎用的なハードウェア資源により実現することも可能である。
【００２２】
ＯＬＰ５０は、センサーコントローラデバイス４０を介して受信した測定データを分析する分析ユニット５１と、サンプリングシステム１０により測定用ガス４中のサンプルガス２の濃度を制御する濃度制御ユニット５８と、流量制御ユニット５９とを含む。濃度制御ユニット５８は、分析ユニット５１の指示により流量制御ユニット５９を制御してサンプルガス２とキャリアガス３との流量を制御するとともに、加湿ユニット１２の能力を制御する。後述するように、イオン化においては水分を含むリアクタントの存在が重要であり、特に、湿度を高くすることによりサンプルガス２中の測定対象の化学物質のイオン化効率が向上する。その一方、イオン化した水分が高濃度のリアクタント（ＲＩＰ）としてＦＡＩＭＳセンサー５に入力されると、ＲＩＰのピークが現れる、電圧Ｖｄが低い測定条件において、ＲＩＰのピークが大きくなりすぎて測定対象の化学物質のピークが隠される可能性がある。したがって、濃度制御ユニット５８はＦＡＩＭＳセンサー５の測定結果により、イオン化ユニット１３を通過するサンプルガス２の湿度が適度になるように制御する。加湿ユニット１２の一例は超音波振動により水分をミスト化する装置、熱により水分を蒸発させて加湿する装置などである。
【００２３】
流量制御ユニット５９は、濃度調整ユニットとして機能するサンプリングシステム１０の第１のライン１９ａおよび第２のライン１９ｃの流量を制御する。流量制御ユニット５９には、ＦＡＩＭＳセンサー５の上流および下流に設けられた流量計２４および２３からのデータが入力され、ＦＡＩＭＳセンサー５を通過するガス流量が所定の値あるいは範囲に入るよう、第１のライン１９ａ、キャリアガス供給ライン１９ｂの流量を制御する。第１のライン１９ａの流量（サンプルガスの流量）は、ポンプ１４の能力と、フロースプリッッタ１５によりイオン化ユニット１３を通過したサンプルガス２を分割することとにより制御する。キャリアガス供給ライン１９ｂの流量（キャリアガスの流量）は、キャリアガス流量調整装置１８により制御する。キャリアガス生成装置１７の典型的なものは、コンプレッサあるいは圧縮ボンベである。ＦＡＩＭＳセンサー５を通過するガス量をさらに精度よく制御するために、排気側に流量調整装置２２を設けてもよい。
【００２４】
イオン移動度を測定するＦＡＩＭＳセンサー５により、サンプルガス２を測定する場合、一定した速度でガスがセンサー５を通過することが望ましく、ＦＡＩＭＳセンサー５を通過するガス流量はある程度の量が必要となる。たとえば、センサー５を通過する測定用ガス４のガス量として１気圧で２〜３リットル／分の流量を維持することが要求される。
【００２５】
一方、ＦＡＩＭＳセンサー５においてイオン移動度あるいはイオン移動度の特性の相違によりサンプルガス２に含まれている物質の影響を測定しようとすると、サンプルガス２に含まれている物質がイオン化されていることが前提となる。キャリアガス３とサンプルガス２とを混合し、それに放射線・コロナ・紫外線などのイオン化処理をほどこして、イオン化されたサンプルを作りだすことも可能である。このイオン化プロセスにおいて、キャリアガス３、典型的にはエアーに含まれる、水（Ｈ２Ｏ）、窒素（Ｎ２）、酸素（Ｏ２）などはリアクタントとして介在し、サンプルのイオン化の一端を担っている。すなわち、化学物質がイオン化される過程の１つは、リアクタントがイオン化され、イオン化されたリアクタントと測定対象の微量な化学物質とが接触することにより化学物質がチャージされることである。
【００２６】
通常、イオン化ユニット１３を通過するサンプルガス２に含まれる測定対象の化学物質の濃度は、リアクタントとなる水、窒素、酸素の濃度と比較すると数百万分の１（ｐｐｍ）あるいは数１０億分の１（ｐｐｂ）である。したがって、イオン化ユニット１３のイオン化のエネルギーの大半は、サンプルガス２中の測定対象の化学物質のイオン化ではなく、サンプルガス２中のリアクタントそのもののイオン化に消費されており、効率の高いイオン化ユニットであっても、ごくわずか（５％程度）のエネルギーしか測定対象の物質のイオン化に使われていない。
【００２７】
また、リアクタントの中で、サンプルのイオン化に特に適しているのは水分であり、イオン化ユニット１３を通過するガスの湿度が高い方が測定対象の化学物質を効率よくイオン化できる。通常、イオン化を行う際に必要な水分を供給するのは、キャリアガスとして用いられるエアー（圧縮空気）であるが、エアーに予期せぬ化学物質が相対的に大量に混入していると、測定結果に影響を与える場合がある。
【００２８】
図１に示したセンサーシステム１のサンプリングシステム１０においては、イオン化ユニット１３をバイパスしてミキシングチャンバー１６に供給されるキャリアガスによりＦＡＩＭＳセンサー５を通過する気体（測定用ガス）４の流量を測定に適した状態に維持できる。したがって、第１のライン１９ａを通過するサンプルガス２の流量は、サンプルガス２に含まれる測定対象の化学物質が効率よくイオン化される速度（流速、流量）に制御することが可能となる。たとえば、イオン化ユニット１３中のサンプルガス２の滞留時間を延ばすことにより、サンプルガス２中の測定対象の化学物質のイオン化率が向上するとともに、サンプルガス２に含まれるリアクタントのイオン化率も向上できる。さらに、サンプルガス２が第１のライン１９ａを通過する速度を低くできるので、リアクタントと測定対象の化学物質との接触時間を確保でき、リアクタントを介した測定対象の化学物質のイオン化率を向上できる。したがって、濃度の高いサンプルガス２をイオン化ユニット１３に供給してサンプルガス２のイオン化効率を向上できる。
【００２９】
また、このサンプリングシステム１０においては、キャリアガス３とは独立して、イオン化ユニット１３を通過するサンプルガス２の流量を制御できる。すなわち、ＦＡＩＭＳセンサー５の通過流量と、イオン化ユニット１３の通過流量とを独立して制御することが可能である。このため、イオン化ユニット１３の通過流量を制御することにより、ＦＡＩＭＳセンサー５を通過する測定用ガス４の中のイオン化されたサンプルガス２の濃度を制御できる。したがって、測定用ガス４中のイオン化された測定対象の化学物質の濃度を広い範囲で精度よく制御することが可能であり、ＦＡＩＭＳセンサー５の測定感度を制御できる。
【００３０】
すなわち、このサンプリングシステム１０を採用することにより、サンプルガス２とキャリアガス３とを混合した後に行っていたイオン化処理を混合する前に行うので、サンプルガス２を十分にイオン化できる。キャリアガス３と、サンプルガス２とは１気圧程度で混合することができ、流量の大半を占めるキャリアガス３によりＦＡＩＭＳセンサー５を通過するガスの気圧制御が可能である。したがって、サンプルガス２の吸引圧力が制御可能となる。たとえば、第１のライン１９ａを通ってイオン化されるサンプルガス２は、エアーが混入されていなくてもよく、非常に低い気圧で吸い込むことも可能である。サンプルガス２をキャリアガス３に注入するために加圧する必要があるが、サンプルガス２の流量が小さいので、小型で小流量高圧のポンプ１４でキャリアガス３にサンプルガス２を混ぜることができる。また、ベンチュリーなどを用いてキャリアガス３にサンプルガス２を吸い込んで混入させることも可能である。
【００３１】
このサンプリングシステム１０は、イオン化処理効率を向上できるので、ＦＡＩＭＳセンサー５の化学物質の分析能力を向上できる。あるいは、ＦＡＩＭＳセンサー５を小型化できる。さらに、キャリアガス３に多少の不純物が含まれている場合であってもキャリアガス３はイオン化ユニット１３を通過しないので不純物がイオン化される可能性は小さい。したがって、一般の空気などをキャリアガスとして使うことが可能であり、より容易に低濃度のサンプルガス２を分析するセンサーシステム１を提供できる。
【００３２】
イオン移動度センサー５の典型的なものとして、非対称電界イオン移動度スペクトロメータ（ＦＡＩＭＳ）または微分型電気移動度スペクトロメータ（ＤＭＳ）が知られている。ＦＡＩＭＳセンサー５の一例は、国際公開ＷＯ２００６／０１３３９６または国際公開ＷＯ２００７／０１４３０３に記載されたイオン移動度分析装置である。これらはモノリシックな、またはマイクロマシン型のコンパクトな質量分析装置であり、十分に携帯できるものである。ＦＡＩＭＳセンサー５は、イオン化された測定対象に電場の影響を与えながら移動させるドリフトチャンバ５ｂと、ドリフトチャンバ５ｂを通過したイオン化された測定対象（測定対象の電荷）を検出する検出器５ａとを含む。ドリフトチャンバ５ｂにおいては、電圧Ｖｄおよび電圧Ｖｃにより生成されるソフトウェア制御された電界が特定の周期でプラス・マイナスに変動し、その電界のフィルタリング効果により、検出目標の化学物質がフィルタリングされ、短期間、たとえば、ｍｓｅｃレベルで検出器５ａに衝突し、イオン強度（イオン電流）Ｉｃとして測定される。
【００３３】
センサーシステム１は、さらに、ＦＡＩＭＳセンサー５を通過するガスの温度や湿度などの環境情報（環境条件）を測定するための複数のセンサー群（環境情報センサー群）６を含む。環境条件測定用のセンサー群６は、温度センサー６ａ、湿度センサー６ｂ、圧力センサ６ｃなどを含む。
【００３４】
図２に、センサーシステム１を制御するパーソナルコンピュータ（ＰＣ）３０の概略構成を示している。ＰＣ３０は、ＣＰＵ３１と、適当なメモリ３２と、ハードディスクなどのストレージ３３と、ユーザインタフェースを提供するローカルな入出力インタフェース３４と、例えば、無線ＬＡＮ３９ａ、有線ＬＡＮ３９ｂを介して外部の機器やインターネット９に接続されている機器とデータ交換するための通信インタフェース（トランシーバ）３７と、これらを接続するバスシステム３８とを備えている。ローカル入出力インタフェース３４には、キーボード３５ａなどの入力機器と、液晶ディスプレイ３５ｂなどの画像出力機器と、スピーカ３５ｃなどの音響出力機器と、マイクロホン３５ｄなどの音響情報を取得するための機器が接続されている。センサーシステム１は、これらの入出力デバイスを含んでいてもよく、入出力デバイスを接続するためのインタフェースが用意されているものであってもよい。
【００３５】
ＰＣ３０は、さらに内部バス３８に接続されたＯＬＰ５０と、ＯＬＰ５０に接続されたセンサーコントローラデバイス４０とを備えている。センサーコントローラデバイス４０は、ＯＬＰ５０により制御され、ＯＬＰ５０に対して各種のデータを供給する機能を果たす。センサーコントローラデバイス４０は、各種のセンサーと接続され、データを取得（サンプリング）するためのセンサーインタフェース４１と、いくつかのセンサーの測定条件を変えることができるセンサードライバ・コントローラユニット（ＳＤＣＵ）４２とを備えている。
【００３６】
ＯＬＰ５０を含むシステム１のもっとも小さい単位は、デバイス（集積回路チップ）５０そのものである。ＯＬＰ５０を含むシステムは、ＰＣ３０であっても良く、さらにはＯＬＰ５０を搭載した水質検査装置、微少な麻薬物質の検出が可能な麻薬検出装置や、患者の呼気から疾患の罹患状態を調べる健康モニタ装置などであっても良い。
【００３７】
ＯＬＰ５０は、分析ユニット（解析ユニット）５１と、濃度制御ユニット５８と、流量制御ユニット５９とを含む。ＯＬＰ５０は、外気あるいは周辺の空気のにおい（匂い、芳香、臭い）の要因となる化学物質をリアルタイムで検出（解析）することができるデバイスあるいは装置である。においの情報は、健康および安全にかかわる多くのアプリケーションで重要な役割を果たす。ＯＬＰ５０は、においの情報を出力する機能（臭覚機能）をポータブルな家電装置やＰＣ３０に搭載することを可能としている。
【００３８】
においの要因は、周囲の空気に含まれる化合物、ガスなどの化学物質である。以下において、化学物質とは、化合物、分子および元素を含み、成分あるいは組成物に限らず、生成物も含む。それらにおいの要因は、水晶センサー（QCM、Quartz  Crystal  Microbalance）、電気化学的なセンサー、ＳＡＷ（Surface  Acoustic  Wave）デバイス、光センサー、ガスクロマトグラフィーおよび質量分析装置などのセンサーにより検出できる。これらのセンサーは、化学物質の存在により変化（変動）する量（物理量）を検出できるものである。これらのセンサーの多くは、かさばっていて複雑であり、日常で使用されるアプリケーションに使用することは容易ではない。さらに、これらのセンサーの幾つかは、少量のガスまたはその他の特定の化学物質にのみ鋭敏であったり、感度が温度と湿度に応じて変わるなどの制限もある。
【００３９】
近年、上述したようにコンパクトで携帯が可能で、においの要因を検出できる分析装置が検討されている。イオン移動度（Ｉｏｎ  Ｍｏｂｉｌｉｔｙ）および光学（赤外線、ＮＭＲ）を使用した分析デバイスは、単一チップに纏められた小さなセンサーを提供可能であり、家庭における健康および安全管理のような種々様々のアプリケーションに使用できる可能性がある。
【００４０】
これらの分析装置（センサー）は、特定の成分（化学物質）に敏感なセンサーと比較すると汎用性が高く、分析可能な範囲内では、ほとんどすべての成分の有無および強度（濃度）を同じ程度の精度で検出できる。しかしながら、分析装置は化学物質の存在を示唆する大量のデータを出力する。そのため、センサーの出力データをＰＣ３０のホストＣＰＵ３１で処理しようとするとＣＰＵ３１の処理能力が過大でないと、臭覚機能を実現しようとするために他のアプリケーションを実現できなくなったり、処理能力が著しく制限されたりする可能性がある。ＯＬＰ５０は、そのような不便さに対しても解を提供できるものである。すなわち、図２に示したようなＰＣ３０をベースとするシステム１に限らず、ワンチップ化されたＯＬＰ５０を搭載することにより、家電や携帯電話などの極めてハンディーな電子端末、ホームセキュリティ用の機器などに、経済的に臭覚機能を搭載することが可能となる。
【００４１】
上述したフィールド非対称質量分析計（ＦＡＩＭＳ、Ｆｉｅｌｄ  Ａｓｙｍｍｅｔｒｉｃ  ｗａｖｅｆｏｒｍ  Ｉｏｎ  Ｍｏｂｉｌｉｔｙ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ、またはＤＩＭＳ、Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ  Ｉｏｎ  Ｍｏｂｉｌｉｔｙ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）のようなＭＥＭＳセンサーを、ＯＬＰ５０とともに用いることにより、高価なＣＰＵまたはＤＳＰが不要で、大きな機械的な部品も不要で、さらに、複雑なコントロール回路類も解析回路類も不要な、低コストの、においを記録、認識できるシステム１を提供できる。
【００４２】
図３に、ＯＬＰ５０の分析ユニット５１の機能的な構成をブロック図により示している。分析ユニット５１は、２つのパラメータである電圧Ｖｄおよび電圧Ｖｃにより制御される電界内を通過するイオン化された化学物質のイオン強度（イオン電流）Ｉｃを測定するＦＡＩＭＳ５に、サンプルガス２を供給して得られた測定データ６１を解析し、サンプルガス２に含まれている化学物質を推定する。ＦＡＩＭＳ５には、サンプリングシステム１０により濃度を変えたサンプルガス２が供給される。したがって、測定データ６１には、電圧Ｖｃを第１のパラメータ、電圧Ｖｄを第２のパラメータ、サンプルガス２の濃度（測定用ガス４中の濃度）Ｃｎを第３のパラメータとして測定条件を変えたときのイオン電流Ｉｃが含まれており、少なくとも４次元の測定データである。
【００４３】
分析ユニット５１は、測定データ６１に含まれるデータの２次元表現（２次元スペクトラム、２次元マトリクス）６９であって、第１のパラメータである電圧Ｖｃを変化させ、第２のパラメータである電圧Ｖｄを固定したときのイオン強度を示す２次元表現６９の中に存在するピークを検出する機能（ピーク検出機能、ピーク検出機能ユニット、ピーク検出ブロック）５２と、検出されたピークと他の２次元表現６９の中に存在するピークとの連続性および生滅に基づいて検出されたピークを分類する機能（ピーク分類機能、ピーク分類機能ユニット、ピーク分類ブロック）５３と、分類されたピークに基づいてサンプルガス２に含まれる化学物質を推定する機能（推定機能、推定機能ユニット、推定ブロック）５４とを含む。分類機能５３は、複数の２次元表現６９の中に存在するピーク同士の関係（相関）を評価するピーク相関分析機能（第１の機能）５３ａと、評価ルールに基づいて、検出されたピークの種別（タイプ）を判断する機能５３ｂとを含む。評価ルールは、ピークの測定、半値幅、移動などのピーク特性を含む。
【００４４】
分析ユニット５１は、２つのパラメータ（電圧Ｖｃおよび電圧Ｖｄ）に加えてサンプルガス２の濃度Ｃｎを第３のパラメータとして制御された測定データ６１の中の、濃度Ｃｎを変えた２次元表現６９を選択し、それらの２次元表現６９の中に存在するピーク同士の関係を評価させる濃度選択機能（濃度選択機能ユニット、第２の機能）５５を含む。電圧Ｖｃおよび電圧Ｖｄは、２次元表現６９を得るためにいずれか一方を変化させ、他方を固定することができる。また、第３のパラメータは、測定用ガス４中のサンプルガス２の濃度Ｃｎに限らず、サンプルガスの湿度、温度、流量および圧力のいずれかであってもよい。
【００４５】
濃度選択機能５５は、ストレージ３３の化学物質ライブラリ６７を参照し、２次元表現６９の中の複数のピークの存在が顕著になる最適な濃度Ｃｎｂを選択する機能５５ａを含む。分析ユニット５１の機能は、ストレージ３３に格納された各種のデータテーブル（ライブラリ）を参照しながら所定の機能を果たす。たとえば、ピーク検出機能５２は、ピーク分離テーブル６２を参照し、分離されたピーク（検出されたピーク）によりピークデータベース６３を更新する。ピーク分類機能５３は、ピーク分類ルールテーブル６４およびピーク種別（タイプ）ルールテーブル６５により提供された評価ルールを用い、ピークの種別を判断する。評価ルールには、リアクタンスのＲＩＰのピーク特性と、化学物質から派生したモノマー、ディマーおよびトリマーのピーク特性の理論上の関係が含まれる。
【００４６】
サンプルガス２に含まれる化学物質を推定する機能５４は、モノマー、ディマーおよびトリマーの少なくともいずれかのピークを示す特定されたピークに基づきサンプルガス２に含まれる化学物質の候補を選択する第１の選択機能５４ａと、特定されたピークと第３のパラメータである濃度Ｃｎとの相関を求め、サンプルガス２に含まれる化学物質の候補を選択する第２の選択機能５４ｂとを含む。
【００４７】
以下では、ＯＬＰ５０の分析ユニット５１で行う解析処理（分析処理）をフローチャートに基づき説明する。この処理は、ＯＬＰ５０とＣＰＵ３１の分担処理で行うことも可能である。
【００４８】
図４に、ＦＡＩＭＳセンサー５の測定データ６９の一例を示す。図４は、測定データ６９に含まれるデータの３次元表現であり、Ｖｄ電圧をステップ上に変化させながら、Ｖｃ電圧を変えた場合のイオン電流Ｉｃの値を示している。この図では、最初の固定化されたＶｄ電圧に対する、Ｖｃ電圧とイオン電流の値が、３次元表示のもっとも奥のラインに表されている。その後、Ｖｄ電圧を少しずつ増加させることにより測定データを得ている。この例では、特定のＶｄ電圧に対して、少なくとも３個のピークが表れていることが分かる。
【００４９】
ＦＡＩＭＳセンサー５では、Ｖｄ電圧（電圧Ｖｄ、Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ Ｖｏｌｔａｇｅ、ＭＨｚ程度の周波数、たとえば、１から２０ＭＨｚ程度の周波数で、適当なデューティーサイクル（たとえば３０％程度）のサイクリックに変化する交流またはパルスなどの交流電圧値）と、Ｖｃ電圧（電圧Ｖｃ、Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ Ｖｏｌｔａｇｅ、直流電圧値）の２つの変量に応じて変化するイオン電流を検出することにより、化学物質の特定を行うことが可能である。たとえば、一定の電界電圧Ｖｄに対して補償電圧Ｖｃを変化させることによりイオン電流Ｉｃの２次元のスペクトル（２次元表現、マトリクス）６９が得られる。補償電圧Ｖｃを変化させる範囲は、たとえば、±１０Ｖ、±６Ｖ程度である。さらに、電界電圧Ｖｄを変化させることにより３次元のスペクトルが得られ、濃度Ｃｎを変化させることにより４次元のスペクトルが得られる。電界電圧Ｖｄは、たとえば、約１，０００Ｖ／ｃｍから約３０，０００Ｖ／ｃｍまでの範囲、あるいはそれ以上の範囲を変化させる。以降では、電圧Ｖｄは変化させる範囲内における比率（％）で示す。一定の補償電圧Ｖｃに対して電界電圧Ｖｄを変化させて２次元のデータを取得し、さらに補償電圧Ｖｃを変化させて３次元のデータを取得してもよい。いずれの場合もイオン電流を得るためのパラメータ（電界電圧Ｖｄおよび補償電圧Ｖｃ）は２次元のデータとなる。
【００５０】
化学物質は、その特性に応じて、たとえば電界電圧Ｖｄを固定化した場合に、複数のピークを形成することがある。たとえば、ジメチルスフルフォイド（Ｄｉｍｅｔｈｙｌ−Ｓｕｌｆｏｘｉｄｅ、（ＣＨ３）２ＳＯ）の場合、図４に示すように、特定のＶｄ電圧に対し、Ｖｃ電圧を変化させた測定データ６１の２次元表現６９には、化学物質のイオン移動度の特性により、イオン電流に３個のピークが得られる。
【００５１】
図５に、分析ユニット５１によりサンプルガス２を分析する全体の処理を示している。ステップ４００において、推定する機能５４の第１の選択機能５４ａが、２次元表現６９で検出され、特定されたピークに基づきサンプルガス２に含まれる化学物質を推定する。ステップ５１０において、特定されたピークと、選択された化学物質の特有のピークとのマッチングが十分であれば、推定する機能５４は推定精度が十分であると判断し、ステップ５５０において、第１の選択機能５４ａで選択された化学物質をサンプルガス２に含まれていると推定される化学物質としてホストＣＰＵ３１に出力する。
【００５２】
ステップ５１０において、推定精度が不十分であると判断されると、濃度選択機能５５が、ステップ５２０において、測定データ６１に含まれている濃度Ｃｎの異なるデータの２次元表現６９を選択する。化学物質ライブラリ６７のデータに基づき最適濃度選択機能５５ａが、分析に最も適した濃度Ｃｎｂを選択できる場合は、その濃度Ｃｎｂの２次元表現６９を選択する。分析に最も適した濃度Ｃｎｂの一例は、２次元表現６９の中の複数のピークの存在が顕著になるデータが得られる濃度である。分析に最も適した濃度Ｃｎｂが事前に分からない場合は、ステップ５３０で濃度Ｃｎの変更範囲が終了するまで濃度Ｃｎが異なる２次元表現６９をステップ４００で繰り返し評価する。濃度Ｃｎの変更が可能な範囲は、たとえば、サンプリングシステム１０において、測定用ガス４中のサンプルガス２の濃度が変更可能な範囲である。
【００５３】
全ての濃度範囲の分析が終了すると、ステップ５４０において、推定する機能５４の第２の選択機能５４ｂが、２次元表現６９で検出され、特定されたピークと濃度Ｃｎとの相関を加味して、サンプルガス２に含まれる化学物質を推定する。ステップ５５０において、第２の選択機能５４ｂで選択された化学物質をサンプルガス２に含まれていると推定される化学物質としてホストＣＰＵ３１に出力する。これらの処理はコンピュータ上で稼働するプログラム（プログラム製品）として提供することが可能であり、適当な記録媒体に記録して提供することができ、インターネットなどのコンピュータネットワークを介して提供することも可能である。
【００５４】
図６に、サンプルガス２に含まれる化学物質を推定する処理４００の概要を示している。化学物質を推定する処理４００は、ピークを検出する処理（ピーク特性検出処理、Peak  Characterization）１００と、ピーク分類処理（Peak  Classification）２００と、化学物質の推定処理（化学物質統合化処理、Group  Chemical Objects）３７０とを含む。ピーク分離処理２００は、ピークの相関関係を分析する処理２５０と、ピークの種別を判断する処理３００とを含む。スタート４０１およびエンド４０２は、この処理フローのエントリーポイントである。
【００５５】
図７に、ピーク検出処理１００のさらに詳細なフローを示している。ピーク検出機能５２が実行するピーク検出処理１００は、測定データ６１に含まれるデータの２次元表現（２次元スペクトラム、２次元マトリクス）６９の中に現れるイオン電流Ｉｃのピーク特性を測定する処理である。この処理では、一つの固定化された電界電圧Ｖｄに対して、補償電圧Ｖｃが変化した場合に、イオン電流Ｉｃの特性にピークが存在するのか否か、存在する場合に幾つ存在するのか、また存在する場合のピークの特性などを検出する。
【００５６】
ステップ１０１はこの処理フローのエントリーポイントである。処理１０２では、ピーク分離処理を行うための基準（ピーク分離テーブル、Peak Separation rule table）６２を設定する。ピーク分離テーブル６２には、ピーク分離処理を行うための基準（基準特性）、たとえば、ノイズ等と区別するための域値（Threshold）、ノイズ除去するためのフィルタ処理（平滑化処理）の形式指定（Filter Type）、ピーク特性の背後に現れるベースラインの特性（Baseline type）、ピーク分離に用いられるカーブフィットの特性（Fit Type）などが含まれる。ピーク分離テーブル６２の基準特性は、アプリケーションに応じて、あるいはユーザの指定により特有の値が選択されるが、特に指定がない場合にはデフォルトの値が選択される。
【００５７】
域値（Threshold）は、一般に測定結果に含まれる微細なノイズ成分と、特定の化学物質に起因するピークの識別を行うための域値を指定する。この域値が小さいと、微細なノイズもピークと判断するため、不要な処理が行われることになる。一方、域値を大きくすると、不要なノイズは除去できるが、微細ながら必要なピークを見逃すことになる。これらの値はアプリケーションに応じて、経験上設定される。
【００５８】
フィルタ処理の形式指定（Filter Type）は、ノイズを除去するための平滑化フィルタ処理の形式を指定する。具体的には、フィルタの次数や係数の指定を行う。ベースラインの特性（Baseline type）は、ピークが存在しない場合に本来表れるべきであり、ピークによって隠されているベースラインの特性を指定する。一般には、ピークがない場合には平坦（直線）になることが多いが、その場合でも一定の傾斜を持つことがある。ベースライン特性は、直線だけでなく多項式でも近似できる。
【００５９】
カーブフィットの特性（Fit Type）は、複数のピークが存在するときに必要な、ピークカーブのフィッティングを行うための特性の指定を行う。一般的には、ガウシアン特性がよく用いられるが、他の特性、例えばローレンツ特性なども指定可能である。
【００６０】
処理１０３では、正極性のイオン電流測定結果（PosIon）および負極性のイオン電流測定結果（NegIon）と、その他の環境条件のデータを取得する。ＦＡＩＭＳセンサー５には、同時に正極性のイオン電流と負極性のイオン電流が測定可能なものもあり、その場合の処理を表している。これらの値は、その後の処理において用いられる。
【００６１】
処理１０４は、測定された電界電圧Ｖｄの値の数だけの処理を行うためのループ処理である。処理１０４では、対応する一つの電界電圧Ｖｄの値に対して、正極性と負極性のイオン電流の測定が行われ、そのデータの２次元表現６９があれば、ステップ１０５からステップ１０８までの処理が行われる。
【００６２】
処理１０５では、そのイオン電流の測定値に対して、まず前値との差分をとり、前の局所的な最小値との差分が域値を超えるものに対してピークが存在すると仮定し、ピークの中心位置（position、補償電圧Ｖｃの値）と、ピークが存在するベースの開始位置（Base Start、同じく補償電圧Ｖｃの値）、ベースの終了位置（Base end、同じく補償電圧Ｖｃの値）が決定される。この処理は、「０」を含むピークの数だけ行われる。つまり、ピークが存在しない場合もあるし、複数存在する場合もある。
【００６３】
処理１０６はピーク分離処理である。まずイオン電流Ｉｃの測定値に対して平滑化フィルタ処理を行い、処理１０５で検出／特定された各々のピークに対して、最もピーク値の高いピークから順次、ベースラインの補正処理を行い、さらにガウシアン特性などによるピークフィッティング処理を行う。これらの処理により、複数のピークが重なり合った場合にも、ピークを分離処理することが可能となる。
【００６４】
処理１０７では、処理１０６で得られた複数のピークに対して、ユニークな（一義的な、唯一の）番号（ＩＤ）を付し、またそのピークの特性（ピーク位置、ピーク値、半値幅などの特性）を求める。処理１０８では、処理１０７で得られたピーク特性のデータベース（ピークデータベース）６３を最新の値に更新する。処理１０９は、処理１００の終了ポイントである。
【００６５】
図８にピーク分離処理（Peak Separation）１０６の詳細を示す。ステップ１５１はエントリーポイントである。処理１５２は、ピーク分離処理をするための各種条件を設定するルーチンであり、ピーク分離テーブル６２から、ピーク分離の基準（Peak separation Rule）をロードする。この基準には、ピーク分離に用いるアルゴリズムのタイプ、エラー最小の判定法、ピーク位置のトレースの有無、ピーク値の域値などが含まれる。
【００６６】
処理１５３では、最初にすべてのピーク候補の位置のデータを取得する。処理１５４は、それ以降の処理をピークの候補の数だけ繰り返すための分岐である。処理は、もっともピーク値が大きいものから順次行われる。
【００６７】
処理１５５では、ピークフィッティングの前処理を行う。具体的には、ピーク位置、ピーク幅、ピーク高などを求める。処理１５６では、ピークの背後に存在するはずの、ベースラインの位置を確定させる。ピークの傾斜特性と、ピーク外のベースラインの傾斜から、ピーク開始位置とピーク終了位置を求める。
【００６８】
処理１５７では、例えばガウシアンカーブを用いたフィッティング処理を行う。フィッティング処理は、ピークが一つのガウシアン特性で近似できると仮定して、ピークを近似するガウシアン特性と、同じく近似したベースラインの値を加算した値と、実際のデータとの差分が最も小さくなるようする。たとえば、ピーク位置、ピーク幅等のパラメータを変動させながら、二乗平均誤差あるいは誤差の絶対値の累積値が最小になるように行う。次にこのピークが２つのガウシアン特性（２つのピーク）で近似できると仮定して、同様にピークフィッティング処理を行う。この処理は、元の波形とフィッティングされた波形の誤差が、フィッティングの域値を下回るまで、ガウシアン特性の数を増やしながら行われる。このような処理により、２つ以上のピークが重なり合ったデータに対しても、ピークを分離してそれぞれのピークを正しく特定することができる。
【００６９】
図９に、上記の処理によりピーク分離した一例を示す。この例では、２つのピーク（ピーク＃１およびピーク＃２）が、傾斜を持ったベースライン上で、重なり合っている。このような条件でも、ガウシアンカーブの数を増やしながら、ピークフィッティングを繰り返すことにより、２つのガウシアンカーブで近似することができ、重なり合った２つのピークが正しく分離できる。
【００７０】
図８の処理１５８では、処理１５７のフィッティングで得られた結果が、他のそれまでの結果と矛盾しないかを検証し、問題がない場合にはその結果が正しいと判断し、その結果によりピークデータベース６３を更新する。このような手順で、ピーク値の高いものから順次、最後のピーク候補まで、フィッティング処理を行う。ステップ１５９は出口である。
【００７１】
図１０にピーク相関関係分析処理（Peak  Relation  Analysis）２５０の詳細フローを示す。この処理は、ピーク分類機能５３の相関分析機能５３ａが行う。処理２０１はエントリーポイントである。処理２０２では、ピーク分類ルールテーブル６４からピークを分類するための基準（ルール）を取り込む。分類する基準は、具体的には、域値、平滑フィルタのタイプ、ベースラインタイプ、フィッティングの関数などであり、実際には前の処理１００で用いられた各種パラメータあるいは条件である。これらのパラメータの一部は、処理２５０の中でも直接的に用いられるし、一部は前の処理１００の結果を判定するときの条件として用いられる。
【００７２】
処理２０３では、以下の処理２０４、２０５および２０６で形成されるループ処理の前処理を行っている。具体的には、最初のＶｄ電圧（通常は測定したＶｄ電圧の中でもっとも低い電圧）に対するイオン電流の測定結果（２次元表現、２次元スペクトラム）６９から、その中に存在するすべてのピークに対して、トラッキングするための窓（ウィンドウ）を割り当てる。具体的には、各ピークの頂点位置を窓の中心位置とし、適当な高さと前後の幅を持たせる。たとえば、ピーク中心のＶｃ電圧に対しプラスマイナスΔの電圧値を持たせる。
【００７３】
処理２０４は、イオン電流の測定データ（結果を収納するマトリクス）６１の中で、所定の濃度Ｃｎで得られた最初の電界電圧Ｖｄの値の２次元表現６９から、最後の電界電圧Ｖｄの値の２次元表現６９まで、処理２０５および２０６を繰り返し行うための分岐である。
【００７４】
処理２０５では、処理２０３で設定した初期値、あるいはひとつ前のループで設定したピークの窓に対して、今回処理するデータの中のピークがどれだけ移動しているかを調べる。新しいピーク位置が、窓の枠内に収まっていれば、それを新たな窓位置にする。ピークは、新たに発生することも、消滅することもあり得る。新たに発生したピークに対しては、新たに窓を設定し、ピークが消滅した場合には、窓も消滅させる。処理２０６では、あらかじめ設けておいた、各々のピークと、窓の対応関係を表すピーク分類テーブルを更新する。
【００７５】
処理２０７では、所定の濃度Ｃｎのすべての２次元表現６９に対する処理を終了した後に、電界電圧Ｖｄの変化量（この値は、測定を開始する前にあらかじめ選択しておく）に対して、ピークの中心の移動量、すなわち、イオン移動度の変化が適正でない（イオン移動度の差分の変化が前の値よりも大きすぎる）場合に、窓を介してグルーピングされたピーク群を無効と判定する。
【００７６】
処理２０８では、上述した処理により、最終的に決定したピークのデータベース６３を更新する。処理２０９は、終了ポイントである。
【００７７】
図１１に、ピークタイプを判断する処理（Group  Chemical Objects）３００の詳細をフローチャートにより示している。この処理は、ピーク種別を判断する機能５３ｂが行う。処理３０１は、エントリーポイントである。処理３０２は、ピークタイプルールテーブル６５からタイプ分けするための基準（ルール）を取り込む。タイプ分けの基準は、具体的には、イオン化する段階で現れる水などのリアクタントイオン（Reactant Ion）と、イオン化された対象の試料（Product Ion）のピーク特性に関する理論上のルールを含む。これらの理論上のルールに関しては、例えば「G.A.Eiceman, Z.Karpas著、Ion Mobility Spectrometry, CRC出版や、Alexandre A, Shvartsburg著、Differential Ion Mobility Spectrometry, CRC出版」などに詳述されている。概要は以下の通りである。
【００７８】
通常の空気中には、窒素（Ｎ２）、酸素（Ｏ２）と水（Ｈ２Ｏ）が含まれているが、そこへ微量な化学物質（仮にＭとする）が混入し、さらにイオン化された場合、その組成は一般に以下のように変化する。
Ｈ＋（Ｈ２Ｏ）３＋Ｍ＋Ｎ２  ⇔ＭＨ＋（Ｈ２Ｏ）２+Ｎ２＋Ｈ２Ｏ
⇔Ｍ２Ｈ＋（Ｈ２Ｏ）１＋Ｎ２＋Ｈ２Ｏ  ・・・（１）
上の式（１）は、イオン化された分子の変遷を表しているが、その成分量まではあらわしていない。最初の項は、リアクタントイオン、次の項はモノマー（Monomer）、最後の項はディマー（Dimer）を表している。最初に、イオンは水分と結び付きやすく、３個の水の分子と結合して水イオンとなる。この状態で電界強度が高くなると、水の分子1個が、化学物質Ｍに置き換わり、モノマーと呼ばれる、Ｍの分子1個と水の分子２個からなるイオンを形成する。さらに電界が高くなると、ディマーと呼ばれる、Ｍの分子２個と水の分子１個からなるイオンを形成する。この場合のリアクタントは水である。
【００７９】
処理３０３では、すべてのＶｄ電圧に対するイオン電流測定データ（２次元表現、２次元スペクトラム）６９に対して、リアクタントイオンによるピークを特定する。この処理は、後でさらに説明する。
【００８０】
処理３０４では、Ｅ／Ｎ特性（エネルギー対密度の特性）を計算し、各ピークのエネルギー分布を求める。処理３０５では、すべてのイオン電流測定データ（２次元表現、２次元スペクトラム）６９から、各ピーク間の相関を求める。処理３０６では、イオン化された対象の試料（Product Ion）のモノマー（Monomer）、ディマー（Dimer）、トリマー（Trimer）、および、ＲＩＰ（Reactant Ion Peak）の相互の関係を調べ、それらのピークの相関関係を決定する。ＲＩＰは、リアクタントとして作用する、環境中に含まれる水、窒素、酸素等のピークである。この処理に関しては、後にさらに詳述する。
【００８１】
このピーク種別（ピークタイプ）を判断する処理３００に続いて、サンプルガス２に含まれる化学物質を推定する処理３７０を行う。この処理は、推定機能５４が行う。まず、処理３７１では、処理３０６で決定された複数のピーク相関から、サンプルガス２中のイオン化された対象の試料（Product Ion、化学物質）を推定し、推定された化学物質から派生して生じたピークを特定する（グルーピング、grouping）。また、孤立した、他のピークと関連のないピークも決定する。
【００８２】
処理３７２では、上述した処理で特定された各種ピークの相関関係が、互いに矛盾しないか検証し、もし問題があればその相関は否定され、推定された化学物質も否定される。推定された化学物質から派生するとして特定されたピークが互いに矛盾しなければ、推定された化学物質がサンプルガス２に含まれていると判断する。処理３７３は出口である。
【００８３】
図１２に、リアクタントイオンによるピーク（ＲＩＰ）を特定する処理３０３の詳細を示す。エントリーポイント３３１に続く処理３３２では、ピークタイプルールテーブル６５からイオンの特性に関する各種基準をロードする。この基準には、具体的には、イオン化処理の方法、イオン化のエネルギー、エアーの流量、湿度、およびセンサーそのもののパラメータが含まれる。
【００８４】
処理３３３では、イオン化の方法にしたがい、分岐する。放射線、コロナによる間接イオン化の場合には、処理３３４以下の処理を行う。紫外線などの直接イオン化の場合は、直接イオン化による処理３３９、たとえばＵＶによるイオン化の処理３４０へ分岐する。
【００８５】
間接イオン化の場合、まず、処理３３４において、ＲＩＰの極性を決める。すなわち、正極性のイオン電流特性に関してＲＩＰを求めるのか、それとも負極性のイオン電流特性に関してＲＩＰを求めるのかを決める。なお、ＲＩＰは両方の極性に対して存在する。
【００８６】
処理３３５では、平均のイオン化エネルギーを計算する。処理３３６では、ピークの相関関係を分析する処理２５０において、ウィンドウにより連結され、複数の２次元表現６９の間で同一タイプのピークであると判断されたピーク（ピーク群）の中から、ＲＩＰの候補となるピークのリストを作る。
【００８７】
ＲＩＰは、ＦＡＩＭＳセンサー５の特性として通常の環境で使われる限り、電界電圧Ｖｄを０Ｖから増加させた場合、ピークの位置がマイナス（補償電圧Ｖｃがマイナス）になることが判明している。また、同様に、ＦＡＩＭＳセンサー５の特性として、電界電圧Ｖｄがその最大値の５０％を超える場合には、電荷が他の分子へ転嫁し、ＲＩＰのピークは消滅することが判明している。そのため、多くのＲＩＰの候補の中から、ピーク位置の補償電圧Ｖｃがマイナスでないものを除外し、同様に電界電圧Ｖｄが５０％を超えるものも除外する。
【００８８】
処理３３７では、さらにＲＩＰの候補の中から、電界電圧Ｖｄを増加させた場合に減少しないものを除外する。電界電圧Ｖｄを増加させた場合、ＲＩＰはリアクタントとしての性質から、徐々に電荷が他の（目的とする）化学物質のモノマー、ディマー、さらにはトリマーへ奪われていく。このため、ＲＩＰであれば、ピークのイオン電流Ｉｃが減少することが知られている。したがって、さらにＲＩＰの候補の中から、電界電圧Ｖｄを増加させた場合に減少しないものを除外する。
【００８９】
処理３３８では、下記の２つの条件に適応するか否かでさらにＲＩＰのピーク候補を検証および／または絞り込む。
条件（１）：ＲＩＰのピーク値が減少するとともに、新たに他の（目的とする）化学物質のモノマー、ディマー等が発生する。ＲＩＰのピーク値の減少にともなって、ピークの個数が増加するか否かを検査する。
条件（２）：ＲＩＰのピーク値が減少するとともに、ＲＩＰが獲得していた電荷が他の（目的とする）化学物質のモノマー、ディマー等に移動し、それらのピークの電荷が増加する。ＲＩＰの候補、およびそれに対応するモノマー、ディマー、さらにはトリマーのエネルギー量を算出し、それらが一定の値に保たれるかを計算する。
【００９０】
処理３４１では、最終的に残ったＲＩＰの候補をＲＩＰとしてグルーピングする。たとえば、ピークの属性を“ＲＩＰ”とし、さらにグループＩＤを、ＲＩＰを意味する“０”とする。ステップ３４２はリターンポイントである。
【００９１】
図１３に、対象とする化学物質のモノマー、ディマー等の複数のピークの相関を特定する処理３０６の詳細を示す。エントリーポイント３５１に続く処理３５２では、ピークタイプルールテーブル６５から、モノマー、ディマー等の複数のピークのイオンの特性に関する各種基準をロードする。これらの基準には、具体的には、イオン化処理の方法、イオン化のエネルギー、エアーの流量、湿度、およびセンサーそのもののパラメータが含まれる。
【００９２】
処理３５３では、イオン化の方法にしたがい、分岐する。放射線、コロナによる間接イオン化の場合には、処理３５４以下の処理を行う。紫外線などの直接イオン化の場合は、直接イオン化処理３５８、たとえばＵＶ処理３５９へ分岐する。
【００９３】
処理３５４では、対象とする化学物質のピークの極性を決める。すなわち、正極性のイオン電流特性に関してピークを求めるのか、それとも負極性のイオン電流特性に関してピークを求めるのかを決める。なお、ピークは両方の極性に対して存在しうる。
【００９４】
処理３５５では、ピークの相関関係を分析する処理２５０において、ウィンドウにより連結され、複数の２次元表現６９の間で同一タイプのピークであると判断されたピーク（ピーク群）の中から、モノマーの候補となるピークのリストを作る。
【００９５】
モノマーは、ＦＡＩＭＳセンサー５の特性として通常の環境で使われる限り、電界電圧Ｖｄを０％から増加させた場合、ピーク位置の補償電圧Ｖｃはマイナスになることが判明している。また、同様に、ＦＡＩＭＳセンサー５の特性として、電界電圧Ｖｄがその最大値の５０％を超える場合には、ディマー等へ転嫁し、ピークは消滅することが判明している。そのため、多くのモノマーの候補の中から、ピーク位置の補償電圧Ｖｃがマイナスでないものを除外し、同様に電界電圧Ｖｄが５０％を超えるものも除外する。また、すでにＲＩＰと判明しているものも除外する。同様に、ディマーの候補となるピークのリストも作成する。ディマーに対する判別条件は、電界電圧Ｖｄが正、かつ補償電圧Ｖｄが正である。
【００９６】
処理３５６では、モノマーの候補、ディマーの候補の中から、モノマーとディマーとしての相関があるピークを特定する。具体的には、モノマー候補のピーク値が減少するにつれディマー候補のピーク値が増加する、あるいは逆に、モノマー候補のピーク値が増加するにつれディマー候補のピーク値が減少する場合に、これらのピークに相関があるとして、共通のグループＩＤを割り当てる。
【００９７】
処理３５７では、共通のグループＩＤが割り当てられなかったピークに対して、ユニークなグループＩＤを割り当て、ピークの属性を“独立（Independent）”とする。処理３６０では、モノマー、あるいはディマーと判断されたピークに対し、ピークの属性をそれぞれ“モノマー（Monomer）”と“ディマー（Dimer）”と設定する。ステップ３６１はリターンポイントである。
【００９８】
以上に述べたように、分析ユニット５１は、測定データ６１の２次元表現６９において検出されたピークを、自動的にＲＩＰ、モノマー、ディマーおよびその他の独立したピークとして特定する。したがって、分析ユニット５１の推定機能５４は、特定された各タイプのピークに関して、それらの相関を調べ、化学物質ライブラリ６７に登録されている化学物質毎に纏めることができる。このため、特定されたピークのグループが、共通の化学物質から派生しているか判断できる。同様に、孤立した、他のピークとの関連のないピークも明確になる。そのため、サンプルガス２に含まれる化学物質であって、ＦＡＩＭＳセンサー５により検出された化学物質を、化学物質ライブラリ６７に登録されている化学物質の中から容易に選択できる。同様に、サンプルガス２に含まれる化学物質であって、化学物質ライブラリ６７に登録されていない未知の化学物質の存在の有無の示唆を得ることができる。
【００９９】
ＦＡＩＭＳセンサー５から得られる測定データ６１中の補償電圧Ｖｃ（第１のパラメータ）に現れる個々のピーク位置は気温、湿度、気圧、濃度などの様々な要因で変わる。したがって、分析ユニット５１においては、第１および第２のパラメータ（電圧Ｖｃおよび電圧Ｖｄ）により表現される、測定データの２次元表現６９に含まれるピーク位置に加えて、たとえば、濃度Ｃｎを第３のパラメータとして、上記において特定されたピークを評価することにより、さらに各ピークを精度よく分離し、ピークポジションだけではなく、濃度Ｃｎなどの第３のパラメータのピークとの相関、たとえば、ピークの変位（量的変化、高さの変化）、第３のパラメータに対する一般的性質などから、ピークの連続性を精度よく判断できる。
【０１００】
図１４（ａ）にトルエンを含む測定用ガス４をＦＡＩＭＳセンサー５で測定したときのＲＩＰの位置（Ｖｃ電圧、実線）と、トルエンのディマーピークの位置（Ｖｃ電圧、破線）とをＶｄ電圧（％）により示している。図１４（ｂ）に、Ｖｄ電圧が７０％のときに、測定用ガス４中のトルエン（化学物質）の濃度を１．５ｐｐｂから７９．７ｐｐｂまで変化させたときの２次元表現（２次元スペクトル）を示している。イオン電流値Ｉｃは所定の単位時間当たりに流れた値Ａ．Ｕ．である。以下の各化学物質においても同様である。
【０１０１】
図１５（ａ）にエチルベンゼンを含む測定用ガス４をＦＡＩＭＳセンサー５で測定したときのＲＩＰの位置（Ｖｃ電圧、実線）と、ディマーピークの位置（Ｖｃ電圧、破線）とをＶｄ電圧（％）により示している。図１５（ｂ）に、Ｖｄ電圧が７０％のときに、測定用ガス４中のエチルベンゼン（化学物質）の濃度を４４８ｐｐｔから２５ｐｐｂまで変化させたときの２次元表現（２次元スペクトル）を示している。
【０１０２】
図１６（ａ）にスチレンを含む測定用ガス４をＦＡＩＭＳセンサー５で測定したときのＲＩＰの位置（Ｖｃ電圧、実線）と、モノマーピークの位置（細破線）およびディマーピークの位置（Ｖｃ電圧、破線）とをＶｄ電圧（％）により示している。図１６（ｂ）に、Ｖｄ電圧が７０％のときに、測定用ガス４中のスチレン（化学物質）の濃度を４４８ｐｐｔから２５ｐｐｂまで変化させたときの２次元表現（２次元スペクトル）を示している。
【０１０３】
図１７（ａ）にｐ−キシレンを含む測定用ガス４をＦＡＩＭＳセンサー５で測定したときのＲＩＰの位置（Ｖｃ電圧、実線）と、モノマーピークの位置（細破線）およびディマーピークの位置（Ｖｃ電圧、破線）とをＶｄ電圧（％）により示している。図１７（ｂ）に、Ｖｄ電圧が７０％のときに、測定用ガス４中のｐ−キシレン（化学物質）の濃度を３８２ｐｐｔから１０ｐｐｂまで変化させたときの２次元表現（２次元スペクトル）を示している。
【０１０４】
図１８（ａ）にｍ−キシレンを含む測定用ガス４をＦＡＩＭＳセンサー５で測定したときのＲＩＰの位置（Ｖｃ電圧、実線）と、ディマーピークの位置（Ｖｃ電圧、破線）とをＶｄ電圧（％）により示している。図１８（ｂ）に、Ｖｄ電圧が７０％のときに、測定用ガス４中のｍ−キシレン（化学物質）の濃度を９５ｐｐｔから１．９ｐｐｂまで変化させたときの２次元表現（２次元スペクトル）を示している。
【０１０５】
図１９（ａ）に、上記各化学物質のディマーピークの位置（Ｖｃ電圧）の変化（イオン移動度）を纏めて示している。また、図１９（ｂ）に、上記各化学物質のモノマーピークの位置（Ｖｃ電圧）の変化（イオン移動度）を纏めて示している。なお、ｍ−キシレンについては、測定した濃度範囲ではモノマーピークを識別できなかった。
【０１０６】
図２０（ａ）に、上記各化学物質のディマーピークの強度（イオン電流）Ｉｃを濃度Ｃｎが０−２５ｐｐｂの範囲で示している。図２０（ｂ）に、上記化学物質のディマーピークの強度Ｉｃを０−５ｐｐｂの範囲で示している。
【０１０７】
トルエン（Ｔｏｕｌｕｅｎｅ）はメチルベンゼンとも呼ばれ、芳香族炭化水素に属する有機化合物であり、化学式Ｃ６Ｈ５ＣＨ３で表され、ベンゼンの水素原子の一つをメチル基で置換した構造を持つ。分子量は、９２．１４である。
【０１０８】
エチルベンゼン（Ｅｔｈｙｌｂｅｎｚｅｎｅ）はフェニルエタン（ｐｈｅｎｙｌｅｔｈａｎｅ）、エチルベンゾール（ｅｔｈｙｌｂｅｎｚｏｌ）とも呼ばれ、化学式Ｃ６Ｈ５Ｃ２Ｈ５で表される炭化水素であり、ベンゼン環上の１つの水素をエチル基で置換した構造を持つ。分子量は、１０６．１６である。
【０１０９】
スチレン（ｓｔｙｒｅｎｅ）はビニルベンゼンとも呼ばれ、化学式Ｃ６Ｈ５Ｃ２Ｈ３で表される芳香族炭化水素である。分子量は１０４である。
【０１１０】
キシレン（ｘｙｌｅｎｅ）はジメチルベンゼンとも呼ばれ、分子式Ｃ８Ｈ１０で表される芳香族化合物である。分子量は１０６．１７である。キシレンは、ベンゼンの水素のうち２つをメチル基で置換した構造をもち、ｐ−キシレン（１，４−ジメチルベンゼン）はメチル基がパラの位置にあり、ｍ−キシレン（１，３−ジメチルベンゼン）はメチル基がメタの位置にある位置異性体である。
【０１１１】
これら５つの化学物質は、ベンゼン環を備えた芳香族化合物で、分子量も比較的近い。特に、ｐ−キシレンとｍ−キシレンとは、位置異性体であり、基本的な分子構造および分子量は共通する。
【０１１２】
しかしながら、図１９（ａ）および（ｂ）に示すように、２次元表現６９を解析することによって得られたディマーピークおよびモノマーピークの動き（シフト）は異なり、イオン移動度が異なることがわかる。したがって、特定のＶｄ電圧の２次元表現６９におけるピーク位置を比較することにより、これらの化学物質を特定できることがわかる。たとえば、図１９（ａ）において、Ｖｄ電圧がＰ１の２次元表現６９では、ｐ−キシレンおよびスチレンのディマーピークは近いが、他の化学物質のディマーピークの位置（Ｖｃ電圧）は離れている。Ｖｄ電圧がＰ２の２次元表現６９では、ｐ−キシレンおよびスチレンのディマーピークの位置も離れており、５つの化学物質を識別できる可能性がある。Ｖｄ電圧がＰ３の２次元表現６９では、ｍ−キシレンおよびエチルベンゼンのディマーピークの位置は近いが、他の化学物質のディマーピークの位置は離れている。また、図１９（ｂ）においては、Ｖｄ電圧がＰ４の２次元表現６９では、スチレンおよびエチルベンゼンのディマーピークの位置は近いが、他の化学物質のディマーピークの位置は離れている。
【０１１３】
１または複数のＶｄ電圧のディマーピークの位置および／またはモノマーピークの位置（Ｖｃ電圧）を比較し、Ｖｄ電圧との相関関係を評価することにより、比較的特性の近い化学物質であっても十分に精度よく特定できることがわかる。したがって、この分析ユニット５１により、サンプルガス２に含まれている化学物質の候補を十分に精度よく特定できる。
【０１１４】
さらに、図２０（ａ）および（ｂ）に示すように、濃度Ｃｎに対する各化学物質のディマーピークの感度（イオン電流）Ｉｃの値は異なっている。また、各化学物質のディマーピークの感度Ｉｃと濃度Ｃｎとの相関関係も異なっている。すなわち、濃度Ｃｎの異なる複数の２次元表現６９に現れるピークの強度、ピークの変化率は、化学物質により異なっており、この分析ユニット５１においては、サンプルの濃度Ｃｎを変えることによって、さらに化学物質の特定が容易となる。たとえば、数ｐｐｔ−２ｐｐｂの範囲であれば、ｐ−キシレンおよびｍ−キシレンは、他の化学物質と区別することは容易であり、ｐ−キシレンおよびｍ−キシレンも、ピーク強度Ｉｃを濃度Ｃｎの関数として評価すれば十分に精度よく特定できる。スチレン、トルエン、エチルベンゼンにおいては、５ｐｐｂ−２０ｐｐｂ程度の濃度範囲でいくつかの２次元表現６０に現れるピーク強度Ｉｃと濃度Ｃｎとの関数を比較することにより十分に精度よく特定できる。
【０１１５】
このように、分析ユニット５１においては、Ｖｃ電圧およびＶｄ電圧により特定されたピークと、濃度Ｃｎとの相関を求めることにより、サンプルガス２に含まれる化学物質の候補を、より精度よく推定できる。
【０１１６】
さらに、分析ユニット５１においては、測定データ６１に含まれる各ピークをそれらの相関、すなわち、大小、増減、生滅を、電界電圧Ｖｄ（第２のパラメータ）、変位（変化量）などに基づいて解析することにより、測定データ６１に含まれる複数のピークの少なくとも一部のピークを相互に関連付けてグループ化する。したがって、分析ユニット５１では、測定データ６１に含まれている各ピークの一方および／または他方のパラメータ上の位置に加え、第１および第２のパラメータ上のピーク同士の挙動の相関、センサー５に対する検出対象の要因（化学物質）の一般的ルールなどにより、グループ化されたピーク、グループの数、グループの挙動、さらには、グループ化されなかったピークの有無および挙動、といった情報が得られる。
【０１１７】
これらのグループ化された、あるいはグループ化されなかったピークおよびその挙動は、ＦＡＩＭＳセンサー５に対する要因の影響が共通する、あるいは共通しない要素を持つことを意味する。したがって、グループ化されたピーク、グループの数、グループの挙動、さらにグループ化されなかった独立のピークといった要素により検出対象の要因をグループ化することにより、検出対象の要因の特定を容易に、また精度よく行うことが可能となる。検出対象の要因が化学物質であれば、有機および無機の化学物質の多くは基（グループ、ラジカル）によりグループ化され、その影響がピークの挙動に強く表れると想定される。したがって、この分析ユニット５１および方法４００は、化学物質の特定にも役立つものである。
【０１１８】
すなわち、ＦＡＩＭＳセンサー５から得られる測定データ（検出データ）のピークの相関に注目することにより、得られたデータに含まれるピークが、どの物質から派生しているのかを特定することが可能である。この点に注目して、自動的にピークを検出するだけでなく、ピークをグループに分割して、どのピークが同じ化学物質から派生しているかを特定することができる。
【０１１９】
図２１に、異なるサンプリングシステムを備えたセンサーシステム１の概略構成を示している。このセンサーシステム１は、サンプリングセクション（サンプリングシステム）６００と、センサーセクション７００とを含む。図２１に示したサンプリングシステム６００の第１のライン６１０は、ヒーター付きの吸引口６５１と、ダイアフラムポンプ６５２とを含む。吸引口６５１のヒーターは温度コントローラ６７１により吸引口６５１の温度が６５℃以下になるように制御される。第１のライン６１０と並列するキャリアガス供給ライン６１１は、キャリアガスソース６８１と、圧力制御ユニット６８２とを含む。キャリアガスの典型的なものはクリーンドライエアーであり、メタン濃度が０．１ｐｐｍ以下、露点が−４５℃以下であることが望ましい。
【０１２０】
サンプリングシステム６００は、さらに、第２のライン６２０を含む。第２のライン６２０は、第１のライン６１０により供給されたサンプルガス６０２と、キャリアガス供給ライン６１１により供給されたキャリアガス６０３とを混合するミキサー６５３と、フロースプリッタ６５４と、流量制御回路６７３による制御を受ける流量調整ユニット６５７とを含む。流量調整ユニット６５７により流量制御された混合ガス（測定用ガス）６０４は、フィルタ６５８を介してＦＡＩＭＳセンサー５に供給される。ＦＡＩＭＳセンサー５の下流にはさらに流量調整装置６６０が設置されている。
【０１２１】
フロースプリッタ６５４には、スプリットされた混合ガスの流量調整を行う調整バルブ６５５を介して、濃縮または希釈する濃度調整ユニット６５６が接続されており、濃縮または希釈された混合ガス６０４は、元のラインに戻したり、異なるイオン移動度センサーまたはガスクロマトグラフィーなどの第２のセンサー６６１に供給することも可能となっている。
【０１２２】
図２１に示したサンプリングシステム６００は、高濃度少量のサンプルガスを採取し、キャリアガスにより適当な濃度に薄めてＦＡＩＭＳセンサー５に供給できる。したがって、ＦＡＩＭＳセンサー５を通過するサンプルの濃度をＦＡＩＭＳセンサー５でもっとも測定しやすい濃度に動的に、自律的に、あるいは自動的に制御することができる。また、ＦＡＩＭＳセンサー５を通過するサンプルの濃度を動的に制御できるので、サンプルの濃度によりＦＡＩＭＳセンサー５の出力特性を容易に得ることができ、サンプルの濃度と出力との関係からサンプルを同定することも可能となる。
【０１２３】
さらに、サンプルガスが通過する第１のライン６１０の容量を小さくできるというメリットがある。測定対象のサンプルガス６０２の一部は、第１のライン６１０の配管内に付着（コンタミネーション）するものがあり、同一の配管を用いて異なるサンプルを測定する場合のバックグラウンドノイズとなることがある。第１のライン６１０の容量を小さくすることにより配管径を小さくでき、配管を加熱して付着したサンプルを除去することが容易となる。また、配管径が限られるのでパージ回数も容易に確保することができ、測定の準備に要する時間を大幅に短縮できる。
【０１２４】
なお、キャリアガス供給ライン６１１および第２のライン６２０の配管も、排気系を除き、加熱されていることが望ましい。
【０１２５】
上記において説明したシステムおよび方法は、４次元以上の多次元データを測定データとして取得するシステムにおいて好適である。上記において説明したシステムおよび方法においては、イオン電流の値の特性を、ある次元のパラメータの近隣のデータ間の相関から特定し、現れるピークを、それを派生させる要因、たとえば、化学物質毎にグループ化させることを含む。また、連続する２つ以上の測定データの２次元表現の中に含まれる複数のピークの連続性を検出する手段を備え、検出したピークの連続性、新たなピークの発生、およびピークの消滅情報を合わせて出力する。
【０１２６】
典型的には、ＦＡＩＭＳセンサー５の出力を解析する装置（分析ユニット）５１において、ある特定のＶｄ電圧に対し、Ｖｃ電圧を変化させた場合に現れるイオン電流のピークに対し、近隣のＶｄ電圧の場合のピークとの相関を調べ、それらが同じ化学物質から派生しているのか否かを判定し、測定結果に表れるピークを、派生させる化学物質毎にグループ化することを含む。近隣のイオン電流のピークの相関は、ピークの現れる場所、ピークの幅、ピーク値だけでなく、イオン化された物質の理論上の特性等を考慮して判断される。ある特定のＶｃ電圧に対し、Ｖｄ電圧を変化させた場合に現れるイオン電流のピークに対し、近隣のＶｃ電圧の場合のピークとの相関を調べ、それらが同じ化学物質から派生しているのか否かを判定してもよい。
【０１２７】
上記において説明したシステムおよび方法においては、さらに、ＦＡＩＭＳなどのセンサーから得られた測定結果（出力）から、自動的にピークを検出するだけでなく、どのピークが相関がある（同じ化学物質から派生している）かが判定される。このため、どのピーク群が、共通の要因、典型的には化学物質から派生しているのかが明らかとなる。また同様に、孤立した、他のピークとの関連のないピークも明確になる。そのため、センサーの出力中に、目的とする要因（典型的には化学物質）の存在の有無を容易に判断できるだけでなく、未知の要因の存在の有無に関しても示唆を得ることができる。
【０１２８】
このため、ＦＡＩＭＳなどのセンサーから得られた出力（測定データ）を解析する際に、多種多様の要因（化学物質）の出力に習熟しなくても、容易に、また、いっそう確実にセンサー出力に含まれる要因を判断または推定できる。また、センサーから得られた出力（測定データ）を解析する装置においては、サンプルに含まれる化学物質を自動的に判断できるので、この装置を使う上での利便性が大幅に向上する。
【０１２９】
また、上記において説明したシステムおよび方法においては、ＦＡＩＭＳなどのセンサーから得られた測定結果が、自動的に、センサーに対する影響が共通する要素を備えた要因毎にグループ化される。たとえば、測定結果が化学物質毎にグループ化される。このため、センサーや測定対象の要因について、予め精度の高い情報を得ていない場合であっても、グループ化された結果より、要因を容易に、また精度良く推定したり、決定したりすることができる。たとえば、ＦＡＩＭＳ装置や化学物質に習熟していなくても、測定された（検出された）化学物質を容易に、より確実に判断ができ、この装置を使う上での利便性が大幅に向上する。
【０１３０】
また、上記において説明したシステムおよび方法においては、測定結果は自動的に、共通の要素を備えた要因毎に分類されて表現される。たとえば、要因が化学物質であれば、基（グループ、ラジカル）などのイオン移動度に影響を与える要素を含むグループに分類して表現される。このため、解析装置（分析ユニットまたはＯＬＰを含む装置）を操作する人の能力への依存度を低減でき、安定した成果を上げることができる。また、測定結果の誤解釈を防ぐことができる。さらに、装置に対する習熟度の影響も抑制できる。そのため、結果として、測定にかかる時間を短縮することも可能である。上記において説明した装置および方法は、複数の要因、たとえば、化学物質が混在する場合にも有効であり、複数の要因（化学物質）から派生するピークが分類して示されるので、測定結果の判断が容易になり、誤判断を防ぐことができる。
【０１３１】
以上のように、分析ユニット５１を備えたＯＬＰ５０によれば、測定結果を自動的に化学物質毎に分類して表現するので、装置を操作する人の能力に依存せずに安定した成果を上げることができ、また誤解釈を防ぐことができる。また装置に習熟する必要が少なくなる。そのため、結果として、測定にかかる時間を短縮することも可能である。また、分析ユニット５１および分析方法４００は、複数の化学物質が混在する場合にも有効であり、複数の化学物質から派生するピークが分類して示される。このため、測定結果の判断が容易になり、誤判断を防ぐことができる。
【０１３２】
なお、上記においては、ＦＡＩＭＳセンサーを備えたシステムを例に本発明を説明しているが、他のタイプのイオン移動度センサーを備えたシステムにおいても適用可能である。センサーシステムの応用範囲は特に限定されないが、例えば水の中に微量な化学物質が含まれていないかを検出する水質検査装置、微量な麻薬物質の検出が可能な麻薬検出装置や、患者の呼気から疾患の罹患状態を調べる健康モニタ装置などが考えられる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【手続補正書】
【提出日】平成24年8月27日(2012.8.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルを分析するユニットを有するシステムであって、
前記分析するユニットは、少なくとも２つのパラメータにより制御される電界を通過する化学物質のイオン強度を測定するイオン移動度センサーに前記サンプルを供給して得られた測定データに含まれるデータの２次元表現であって、第１のパラメータを変化させ、他のパラメータを固定したときのイオン強度を示す２次元表現の中に存在するピークを検出する機能と、
検出されたピークと他の２次元表現の中に存在するピークとの連続性および生滅に基づいて前記検出されたピークを分類する機能と、
分類されたピークに基づいて前記サンプルに含まれる化学物質を推定する機能とを有し、
前記検出する機能は、重なり合った複数のピークを、前記検出する機能に設定されたアルゴリズムにより分離する機能と、
分離されたピークのうち、他の２次元表現の中で検出されたピークとの連続性が矛盾する分離されたピークを無効とする機能とを含む、システム。
【請求項２】
請求項１において、前記分類する機能は、前記少なくとも２つのパラメータの１つを前記第１のパラメータとして変化させ、前記少なくとも２つのパラメータの他の１つを第２のパラメータとして変えた前記他の２次元表現の中に存在するピークとの関係を評価する第１の機能を含む、システム。
【請求項３】
請求項２において、前記分析するユニットは、前記少なくとも２つのパラメータに加えて前記イオン移動度センサーに供給される前記サンプルの条件が第３のパラメータとして制御された前記測定データの中の、前記第３のパラメータを変えた前記他の２次元表現の中に存在するピークとの関係を評価する第２の機能を含む、システム。
【請求項４】
請求項３において、前記サンプルの条件は、前記サンプルの濃度、湿度、温度、流量および圧力のいずれかである、システム。
【請求項５】
請求項３または４において、前記第２の機能は、前記２次元表現の中の複数のピークの存在が顕著になる前記第３のパラメータを選択する機能を含む、システム。
【請求項６】
請求項３ないし５のいずれかにおいて、前記分類する機能は、ピーク特性を評価ルールに基づいて、前記検出されたピークの種別を判断する機能を含む、システム。
【請求項７】
請求項６において、前記評価ルールは、リアクタントのＲＩＰのピーク特性と、化学物質から派生したモノマー、ダイマーおよびトリマーのピーク特性との理論上の関係を含む、システム。
【請求項８】
請求項７において、前記推定する機能は、モノマー、ダイマーおよびトリマーの少なくともいずれかのピークを示す特定されたピークに基づき前記サンプルに含まれる化学物質の候補を選択する機能を含む、システム。
【請求項９】
請求項８において、前記推定する機能は、前記特定されたピークと前記第３のパラメータとの相関を求め、前記サンプルに含まれる化学物質の候補を選択する機能を含む、システム。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかにおいて、
前記イオン移動度センサーをさらに有する、システム。
【請求項１１】
請求項３ないし９のいずれかにおいて、
前記イオン移動度センサーに供給されるキャリアガス中の前記サンプルの濃度を制御する調整ユニットをさらに有する、システム。
【請求項１２】
請求項１１において、前記調整ユニットは、前記サンプルを、イオン化ユニットを通過させる第１のラインと、
前記イオン化ユニットを通過したサンプルをキャリアガスと混合して前記イオン移動度センサーに供給する第２のラインとを含む、システム。
【請求項１３】
請求項１２において、前記第１のラインは、前記イオン化ユニットの上流に設けられた加湿ユニットを含む、システム。
【請求項１４】
分析ユニットを有するシステムを制御する方法であって、
前記分析ユニットが、少なくとも２つのパラメータにより制御される電界を通過する化学物質のイオン強度を測定するイオン移動度センサーにサンプルを供給して得られた測定データに含まれるデータの２次元表現であって、第１のパラメータを変化させ、他のパラメータを固定したときのイオン強度を示す２次元表現の中に存在するピークを検出することと、
検出されたピークと他の２次元表現の中に存在するピークとの連続性および生滅に基づいて前記検出されたピークを分類することと、
分類されたピークに基づいて前記サンプルに含まれる化学物質を推定することとを有し、
前記検出することは、重なった複数のピークを、前記分析ユニットに設定されたアルゴリズムにより分離することと、
分離されたピークのうち、他の２次元表現の中で検出されたピークとの連続性に矛盾する分離されたピークを無効とすることとを含む、方法。
【請求項１５】
請求項１４において、前記分類することは、前記少なくとも２つのパラメータの１つを前記第１のパラメータとして変化させ、前記少なくとも２つのパラメータの他の１つを第２のパラメータとして変えた前記他の２次元表現の中に存在するピークとの間の第１の関係を評価することを含む、方法。
【請求項１６】
請求項１５において、前記少なくとも２つのパラメータに加えて前記イオン移動度センサーに供給される前記サンプルの条件が第３のパラメータとして制御された前記測定データの中の、前記第３のパラメータを変えた前記他の２次元表現の中に存在するピークとの間の第２の関係を評価することをさらに有する、方法。
【請求項１７】
請求項１６において、前記第２の関係を評価することは、前記２次元表現の中の複数のピークの存在が顕著になる前記第３のパラメータを選択することを含む、方法。
【請求項１８】
請求項１６または１７において、前記分類することは、ピーク特性を含む評価ルールに基づいて前記検出されたピークの種別を判断することとを含む、方法。
【請求項１９】
請求項１８において、前記評価ルールは、リアクタントのＲＩＰのピーク特性と、化学物質から派生したモノマー、ダイマーおよびトリマーのピーク特性との理論上の関係を含み、
前記推定することは、モノマー、ダイマーおよびトリマーの少なくともいずれかのピークを示す特定されたピークに基づき前記サンプルに含まれる化学物質の候補を選択することをさらに含む、方法。
【請求項２０】
請求項１９において、前記推定することは、前記特定されたピークと前記第３のパラメータとの相関を求め、前記サンプルに含まれる化学物質の候補を選択することをさらに含む、方法。
【国際調査報告】
2012056709.tif 000024
2012056709.tif 000025
2012056709.tif 000026