(57)【要約】  柔軟導電材料は、エラストマーと、該エラストマー中に充填されている導電剤と、該エラストマー中に固定されておりイオン性物質を吸着可能な吸着剤と、を有する。当該柔軟導電材料によると、誘電膜等の被着体へ、イオン化した不純物が移動しにくい。このため、電圧印加時の漏れ電流が小さくなる。したがって、当該柔軟導電材料から電極や配線を形成することにより、漏れ電流が小さく、耐久性に優れたトランスデューサ、およびフレキシブル配線板を実現することができる。また、当該柔軟導電材料を用いて、漏れ電流が小さい電磁波シールドを実現することができる。
2012050128.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エラストマーと、該エラストマー中に充填されている導電剤と、該エラストマー中に固定されておりイオン性物質を吸着可能な吸着剤と、を有することを特徴とする柔軟導電材料。
【請求項２】
前記吸着剤は、メルカプト基を有する化合物、イオン交換ポリマー、シリカ、活性炭、およびメソポーラスカーボンから選ばれる一種以上である請求項１に記載の柔軟導電材料。
【請求項３】
前記メルカプト基を有する化合物は、前記エラストマーと化学結合されている請求項２に記載の柔軟導電材料。
【請求項４】
前記メルカプト基を有する化合物は、トリアジン骨格を有する請求項２または請求項３に記載の柔軟導電材料。
【請求項５】
前記メルカプト基を有する化合物は、トリメルカプトトリアジンを含む請求項２ないし請求項４のいずれかに記載の柔軟導電材料。
【請求項６】
前記イオン交換ポリマーは、Ｈ型陽イオン交換樹脂またはＯＨ型陰イオン交換樹脂である請求項２に記載の柔軟導電材料。
【請求項７】
前記導電剤は、カーボンブラックおよび銀粒子の少なくとも一方を含む請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の柔軟導電材料。
【請求項８】
前記導電剤および前記吸着剤は、活性炭およびメソポーラスカーボンの少なくとも一方である請求項１に記載の柔軟導電材料。
【請求項９】
エラストマー製の誘電膜と、該誘電膜を介して配置されている複数の電極と、複数の該電極と各々接続されている配線と、を備え、
該電極および該配線の少なくとも一方は、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の柔軟導電材料からなることを特徴とするトランスデューサ。
【請求項１０】
前記電極は、積層された複数の導電層を有し、
複数の該導電層のうち、少なくとも前記誘電膜と接する内側導電層は、前記柔軟導電材料からなる請求項９に記載のトランスデューサ。
【請求項１１】
弾性基材と、該弾性基材の表面に配置されている配線と、を備え、
該配線の少なくとも一部は、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の柔軟導電材料からなることを特徴とするフレキシブル配線板。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の柔軟導電材料からなることを特徴とする電磁波シールド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、伸縮可能な電極、配線等に好適な柔軟導電材料、およびそれを用いたトランスデューサ、フレキシブル配線板、電磁波シールドに関する。
【背景技術】
【０００２】
誘電体エラストマー等の高分子材料を利用して、柔軟性が高く、小型で軽量なトランスデューサの開発が進められている。トランスデューサの一例として、エラストマー製の誘電膜の表裏両面に、一対の電極を配置したアクチュエータが挙げられる（例えば、特許文献１、２参照）。この種のアクチュエータでは、電極間への印加電圧を大きくすると、電極間の静電引力が大きくなる。このため、電極間に挟まれた誘電膜は厚さ方向から圧縮され、誘電膜の厚さは薄くなる。膜厚が薄くなると、その分、誘電膜は電極面に対して平行方向に伸長する。一方、電極間への印加電圧を小さくすると、電極間の静電引力が小さくなる。このため、誘電膜に対する厚さ方向からの圧縮力が小さくなり、誘電膜の弾性復元力により膜厚は厚くなる。膜厚が厚くなると、その分、誘電膜は電極面に対して平行方向に収縮する。このように、アクチュエータは、印加電圧の大小に応じた誘電膜の伸長、収縮により、駆動対象部材を駆動する。【０００３】
アクチュエータにおいて、電極は、誘電膜の表裏両面に固定されている。したがって、電極には、誘電膜の伸長、収縮を妨げないように、誘電膜の変形に応じて伸縮可能であることが要求される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００３−５０６８５８号公報
【特許文献２】特開２００９−２９６７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
伸縮可能な電極は、例えば、特許文献２に記載されているように、エラストマーにカーボンブラック等の導電剤を配合した柔軟導電材料から、形成することができる。しかしながら、エラストマーを用いる場合、エラストマー中の不純物が問題になる。例えば、硫黄架橋の場合、架橋後のエラストマー中に、未反応の硫黄や加硫促進剤等、および硫黄や加硫促進剤等の分解物（反応残渣）が残存することが多い。また、原料のゴムポリマーにも、重合反応時に添加される開始剤、乳化剤、連鎖移動剤等の反応残渣が含まれている。これらの反応残渣は、エラストマー中の不純物である。よって、誘電膜の表面に、上記エラストマーを含む柔軟導電材料から電極を形成した場合、電極（柔軟導電材料）中の不純物がイオン化して、誘電膜に移動するおそれがある。また、導電剤として金属粉末（例えば銀粉末）を用いた場合には、イオン化した銀（Ａｇ＋）が誘電膜に移動して、銀として析出（マイグレーション）するおそれがある。【０００６】
また、柔軟導電材料と接触している部材（誘電膜等）に含まれる不純物が、柔軟導電材料に移動した後、再び当該部材に移動するおそれもある。このような不純物としては、例えば、架橋促進剤として用いられるジメチルジチオカルバミン酸の亜鉛塩や鉄塩、２−メルカプトベンゾチアゾールのナトリウム塩や亜鉛塩、可塑剤や難燃剤として用いられるトリクレジルホスフェート等の有機リン酸化合物の加水分解物、界面活性剤由来の四級アンモニウム塩、その他微量に含まれる種々の金属イオン（Ｎａ＋、Ｋ＋、Ｍｇ２＋）等が挙げられる。このように、柔軟導電材料と接触している部材に含まれる不純物の影響も、無視できない。【０００７】
本発明者の検討によると、架橋前の柔軟導電材料を、同じく架橋前の誘電膜に塗布して、柔軟導電材料と誘電膜とを一体的に架橋すると、柔軟導電材料から誘電膜へ不純物がより移動しやすいことが確認されている。【０００８】
イオン化した不純物が誘電膜中を移動すると、誘電膜の電気抵抗は小さくなる。このため、電圧を印加した時に、電流が誘電膜中を流れやすくなる（いわゆる漏れ電流が大きくなる）。よって、誘電膜と電極との界面に電荷が溜まりにくく、消費電力が増加してしまう。また、電流が誘電膜中を流れると、ジュール熱が発生する。発生した熱により、誘電膜の物性が変化するおそれがある。さらには、誘電膜が破壊されやすくなる。つまり、誘電膜の耐絶縁破壊性が低下する。誘電膜の耐絶縁破壊性が低下すると、例えばアクチュエータにおいて、大きな電圧を印加することができない。よって、充分な力および変位量を得ることができない。【０００９】
不純物の移動は、アクチュエータの他、誘電膜を介して電極を配置するセンサや発電素子等においても、問題になる。また、エラストマー等の弾性基材の表面に、エラストマーを含む柔軟導電材料から配線等を形成した場合にも、問題になる。すなわち、柔軟導電材料から弾性基材に不純物が移動することにより、弾性基材の電気抵抗が低下して、漏れ電流が生じるおそれがある。【００１０】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、誘電膜等の被着体への不純物の移動が少ない柔軟導電材料を提供することを課題とする。また、当該柔軟導電材料から電極や配線を形成することにより、漏れ電流が小さく、耐久性に優れたトランスデューサおよびフレキシブル配線板を提供することを課題とする。また、当該柔軟導電材料を用いて、漏れ電流が小さい電磁波シールドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
（１）上記課題を解決するため、本発明の柔軟導電材料は、エラストマーと、該エラストマー中に充填されている導電剤と、該エラストマー中に固定されておりイオン性物質を吸着可能な吸着剤と、を有することを特徴とする。【００１２】
本発明の柔軟導電材料には、吸着剤が配合されている。吸着剤は、イオン性物質を吸着可能である。つまり、吸着剤は、エラストマー中のイオン化した不純物を吸着することができる。また、吸着剤は、エラストマー中に固定されている。このため、吸着剤に吸着された不純物は、エラストマー中に留まり、エラストマーから外部（柔軟導電材料と接触している他の部材）へ移動しない。ここで、吸着剤は、エラストマーの架橋構造（ポリマーネットワーク）中から外部へ移動しなければよい。したがって、吸着剤とエラストマーとは、化学結合していても、していなくてもよい。【００１３】
このように、本発明の柔軟導電材料によると、イオン化した不純物が、柔軟導電材料と接触している他の部材へ移動しにくい。また、本発明の柔軟導電材料と接触している他の部材から、イオン化した不純物が移動してきても、当該不純物が再び他の部材へ移動することを抑制することができる。したがって、本発明の柔軟電極材料から電極を形成して、上記アクチュエータ等のトランスデューサを構成した場合には、電極から誘電膜へ移動する不純物が少ない。このため、誘電膜の電気抵抗は低下しにくい。つまり、電圧印加時に、電流が誘電膜中を流れにくい。よって、消費電力が低減されると共に、誘電膜と電極との界面に、多くの電荷を蓄えることができる。また、電流が誘電膜中を流れにくいため、ジュール熱の発生が抑制される。したがって、熱により、誘電膜の物性が変化したり、誘電膜が破壊されるおそれが小さい。このように、本発明の柔軟導電材料によると、誘電膜の変形を規制しにくく、かつ、誘電膜へ移動する不純物が少ない電極、配線を実現することができる。【００１４】
（２）本発明のトランスデューサは、エラストマー製の誘電膜と、該誘電膜を介して配置されている複数の電極と、複数の該電極と各々接続されている配線と、を備え、該電極および該配線の少なくとも一方は、上記本発明の柔軟導電材料からなることを特徴とする。【００１５】
トランスデューサは、ある種類のエネルギーを他の種類のエネルギーに変換する装置である。トランスデューサには、機械エネルギーと電気エネルギーとの変換を行うアクチュエータ、センサ、発電素子等、あるいは音響エネルギーと電気エネルギーとの変換を行うスピーカ、マイクロフォン等が含まれる。【００１６】
本発明のトランスデューサによると、電極および配線の少なくとも一方（以下適宜、「電極等」と称す）が、上記本発明の柔軟導電材料から形成されている。よって、誘電膜が変形すると、当該変形に追従して、電極等が伸縮する。このため、誘電膜の動きが妨げられにくい。また、電極等から誘電膜へ移動する不純物が少ない。このため、誘電膜の電気抵抗が低下するおそれは小さい。よって、電圧印加時に、電流が誘電膜中を流れにくい。つまり、熱により、誘電膜の物性が変化したり、誘電膜が破壊されるおそれは小さい。したがって、本発明のトランスデューサは、耐久性に優れる。また、本発明のトランスデューサをアクチュエータとして用いた場合には、誘電膜に大きな電圧を印加することができる。よって、印加電圧を大きくすることにより、より大きな力を発生させることができる。【００１７】
（３）本発明のフレキシブル配線板は、弾性基材と、該弾性基材の表面に配置されている配線と、を備え、該配線の少なくとも一部は、上記本発明の柔軟導電材料からなることを特徴とする。【００１８】
本発明のフレキシブル配線板によると、弾性基材の変形に追従して配線が伸縮する。よって、本発明のフレキシブル配線板は、可動部品や複雑形状の部品の配線として好適である。また、配線から弾性基材へ移動する不純物が少ない。このため、弾性基材の電気抵抗が低下して、弾性基材に電流が流れるおそれは小さい。したがって、誤動作が抑制される。また、ジュール熱により、弾性基材の物性が変化したり、弾性基材が破壊されるおそれも小さい。このように、本発明のフレキシブル配線板は、耐久性に優れる。【００１９】
（４）本発明の電磁波シールドは、上記本発明の柔軟導電材料からなることを特徴とする。【００２０】
本発明の柔軟導電材料は、ゴムポリマー等の原料を所定の溶剤に溶解した塗料から、製造することができる。あるいは、混練りした原料から、様々な形状に成形することができる。したがって、本発明の柔軟導電材料は、電磁波シールドとして、電磁波を遮蔽したい様々な部位に配置しやすい。また、本発明の電磁波シールドによると、電磁波シールド（柔軟導電材料）中の不純物が、当該電磁波シールドと接触している部材へ移動しにくい。このため、接触している部材の電気抵抗が低下して、漏れ電流が生じるおそれは小さい。したがって、ジュール熱により、接触している部材の物性が変化したり、当該部材が破壊されるおそれは小さい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のトランスデューサの第一実施形態であるアクチュエータの断面模式図であって、（ａ）は電圧オフ状態、（ｂ）は電圧オン状態を示す。
【図２】本発明のトランスデューサの第二実施形態である静電容量型センサの上面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【図４】本発明のトランスデューサの第三実施形態である発電素子の断面模式図であって、（ａ）は伸長時、（ｂ）は収縮時を示す。
【図５】本発明のトランスデューサの第四実施形態であるスピーカの斜視図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ断面図である。
【図７】本発明のフレキシブル配線板の上面透過図である。
【図８】測定装置に取り付けられた試験用第一素子の表側正面図である。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸ断面図である。
【図１０】試験装置に取り付けられた試験用第二素子の断面図である。
【図１１】本発明のトランスデューサの第五実施形態であるアクチュエータの断面模式図である。
【符号の説明】
【００２２】
１：アクチュエータ（トランスデューサ）、１０：誘電膜、１１ａ、１１ｂ：電極、１２ａ、１２ｂ：配線、１３：電源、１４ａ、１４ｂ：電極、１４０ａ、１４０ｂ：内側導電層、１４１ａ、１４１ｂ：外側導電層。
２：静電容量型センサ（トランスデューサ）、２０：誘電膜、２１ａ、２１ｂ：電極、２２ａ、２２ｂ：配線、２３ａ、２３ｂ：カバーフィルム、２４：コネクタ。
３：発電素子（トランスデューサ）、３０：誘電膜、３１ａ、３１ｂ：電極、３２ａ〜３２ｃ：配線。
４：スピーカ（トランスデューサ）、４０ａ：第一アウタフレーム、４０ｂ：第二アウタフレーム、４１ａ：第一インナフレーム、４１ｂ：第二インナフレーム、４２ａ：第一誘電膜、４２ｂ：第二誘電膜、４３ａ：第一アウタ電極、４３ｂ：第二アウタ電極、４４ａ：第一インナ電極、４４ｂ：第二インナ電極、４５ａ：第一振動板、４５ｂ：第二振動板、４３０ａ、４３０ｂ、４４０ａ、４４０ｂ：端子、４６０：ボルト、４６１：ナット、４６２：スペーサ。
５Ａ：試験用第一素子、５Ｂ：試験用第二素子、５０：誘電膜、５１ａ、５１ｂ：電極、５２：上側チャック、５３：下側チャック、５４ａ、５４ｂ：内側電極、５５ａ、５５ｂ：外側電極。
６：フレキシブル配線板、６０：弾性基材、６１：表側配線用コネクタ、６２：裏側配線用コネクタ、０１Ｘ〜１６Ｘ：表側電極、０１Ｙ〜１６Ｙ：裏側電極、０１ｘ〜１６ｘ：表側配線、０１ｙ〜１６ｙ：裏側配線。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の柔軟導電材料、トランスデューサ、フレキシブル配線板、電磁波シールドの各実施形態について説明する。なお、本発明の柔軟導電材料、トランスデューサ、フレキシブル配線板、電磁波シールドは、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、当業者が行い得る変更、改良等を施した種々の形態にて実施することができる。
【００２４】
＜柔軟導電材料＞
本発明の柔軟導電材料は、エラストマーと、導電剤と、吸着剤と、を有する。エラストマーの種類は、特に限定されない。エラストマー製の誘電膜を備えるトランスデューサの電極や配線として用いる場合、柔軟で伸縮しやすいという観点から、弾性率が１０ＭＰａ以下のエラストマーを用いることが望ましい。例えば、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合ゴム、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、水素添加アクリロニトリル−ブタジエンゴム（Ｈ−ＮＢＲ）、アクリルゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ウレタンゴム、ポリウレタン系の熱可塑性エラストマー等が挙げられる。また、エポキシ化天然ゴム、カルボキシル基変性水素化ニトリルゴム等のように、官能基を導入する等により変性したエラストマーを用いてもよい。エラストマーとしては、一種を単独で、あるいは二種以上を混合して用いることができる。
【００２５】
また、吸着剤がエラストマーと化学結合すると、エラストマー中に吸着剤を確実に固定することができる。よって、エラストマーとしては、吸着剤と反応可能な官能基や構造を有するものが望ましい。例えば、吸着剤として、メルカプト基を有する化合物を用いる場合には、メルカプト基、あるいは当該化合物中の他の官能基と反応可能な官能基や構造を有するエラストマーが好適である。例えば、エポキシ基、イソシアネート基、有機シラン化合物等を有するエラストマー、塩素原子または臭素原子を含むエラストマー（ヒドリンゴム、クロロプレンゴム、塩素化ポリオレフィン等）、炭素−炭素二重結合（Ｃ＝Ｃ）を有するエラストマー等が挙げられる。
【００２６】
導電剤の種類は、特に限定されない。例えば、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、グラファイト等の炭素材料、銀、金、銅、ニッケル、ロジウム、パラジウム、クロム、チタン、白金、鉄、およびこれらの合金等の金属材料、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）や、酸化チタン、酸化亜鉛にアルミニウム、アンチモン等の他金属をドーピングしたもの等の導電性酸化物の中から、適宜選択すればよい。導電剤は、一種を単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。例えば、カーボンブラックは、母材のエラストマーとの密着性が高く、凝集して導通経路を形成しやすい、という点で好適である。なかでも、ケッチェンブラック等の高導電性カーボンブラックや、活性炭、メソポーラスカーボン等のように細孔を有し不純物の吸着力の高いものが好適である。
【００２７】
また、粒子表面を金属で被覆して導電性を付与した被覆粒子を使用してもよい。金属単体の粒子と比較して、被覆粒子の比重は小さい。よって、塗料化した際に沈降しにくく、分散性が向上する。また、粒子を加工することにより、様々な形状の被覆粒子を容易に製造することができる。被覆する金属としては、先に列挙した金属材料を用いればよい。また、粒子には、グラファイトやカーボンブラック等の炭素材料、炭酸カルシウム、二酸化チタン、酸化アルミニウム、チタン酸バリウム等の金属酸化物、シリカ等の無機物、アクリルやウレタン等の樹脂等を用いればよい。
【００２８】
導電剤の配合量は、電極、配線として所望の導電性が得られるように決定すればよい。例えば、電極としての導電性を確保するという観点から、導電剤の配合量は、柔軟導電材料の体積を１００ｖｏｌ％とした場合の０．１ｖｏｌ％以上であることが望ましい。１ｖｏｌ％以上であるとより好適である。一方、導電剤の配合量が多くなると柔軟性が低下する。このため、導電剤の配合量は、柔軟導電材料の体積を１００ｖｏｌ％とした場合の３５ｖｏｌ％以下であることが望ましい。１５ｖｏｌ％以下であるとより好適である。
【００２９】
吸着剤は、イオン性物質を吸着可能であり、かつ、エラストマー中に固定されるものであればよい。吸着剤としては、例えば、メルカプト基を有する化合物、イオン交換ポリマー、シリカやアルミナ等の酸化物、ゼオライト、活性炭、メソポーラスカーボン等の細孔を有し不純物を吸着可能な物質等を用いることができる。また、陽イオン交換能を有する物質として、ハイドロタルサイト等の層状複水酸化物、モンモリロナイト等の粘土鉱物、層状酸化チタン、層状ケイ酸塩、およびマガディアイト、ケンヤアイト、マカタイト、カネマイト、アイラアイト等の層状ポリケイ酸塩等も用いることができる。なかでも、メルカプト基を有する化合物、イオン交換ポリマー、シリカ、活性炭、メソポーラスカーボンが好適である。これらから選ばれる一種を単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。
【００３０】
メルカプト基を有する化合物としては、トリアジン骨格を有するものが望ましい。トリアジン環は、π共役系を有している。よって、例えば２、４、６位にメルカプト基が結合している場合には、酸性が向上して、不純物の吸着力や、不純物との反応性が向上する。例えば、トリメルカプトトリアジン（ＴＭＴ）、４，６−ジアミノ−１，３，５−トリアジン−２−チオール、４−アミノ−１，３，５−トリアジン−２−チオール、２−アミノ−１，３，５−トリアジン−４，６−ジチオール等が挙げられる。また、シリカゲルにＴＭＴを担持させたもの（Ｓｉ−ＴＭＴ）等でもよい。ＴＭＴをシリカゲルに担持させると、ＴＭＴと化学結合しないエラストマーを用いた場合でも、シリカゲルがエラストマー中に固定されることを利用して、ＴＭＴをエラストマー中に固定することができる。
【００３１】
イオン交換ポリマーは、イオン交換可能な官能基を持つポリマーであればよい。例えば、陽イオン交換能を有するスルホン酸基、カルボキシル基を持つエラストマーが挙げられる。また、陰イオン交換能を有する１〜３級のアンモニウム基を持つエラストマーが挙げられる。これらのエラストマーは、官能基を主鎖または側鎖に持つ。エラストマーの種類は、特に限定されないが、柔軟導電材料の柔軟性を損ねないものであることが望ましい。
【００３２】
また、イオン交換ポリマーとして、イオン交換樹脂を用いることができる。この場合、公知の陽イオン交換樹脂や陰イオン交換樹脂から、適宜選択すればよい。陽イオン交換樹脂には、交換基がスルホ基の強酸性陽イオン交換樹脂、交換基がカルボキシル基の弱酸性陽イオン交換樹脂がある。エラストマー中のイオンを吸着した際に放出されるイオン種を考慮すると、Ｈ型陽イオン交換樹脂を用いることが望ましい。陰イオン交換樹脂には、交換基が４級アンモニウム基の強塩基性陰イオン交換樹脂、交換基が１〜３級アミノ基の弱塩基性陰イオン交換樹脂がある。強塩基性陰イオン交換樹脂の場合には、エラストマー中のイオンを吸着した際に放出されるイオン種を考慮して、ＯＨ型陰イオン交換樹脂を用いることが望ましい。
【００３３】
イオン交換ポリマーの粒子径は、柔軟導電材料から形成する電極等の膜厚を考慮して、適宜調整すればよい。例えば、入手できるイオン交換樹脂の粒子径が数百μｍであって、５〜５０μｍ程度の膜厚の電極を形成する場合には、乾式粉砕や凍結粉砕した後に篩にかける等の方法により、当該イオン交換樹脂の粒子径を、数〜数十μｍにするとよい。また、イオン交換樹脂が膨潤している場合には、乾燥して用いることが望ましい。
【００３４】
また、イオン交換樹脂よりも柔軟なポリマーを用いることで、柔軟導電材料の物性を調整することも可能である。柔軟なポリマーとしては、ガラス転移温度（Ｔｇ）が常温以下のアクリルポリマー、ウレタンポリマー、ポリエーテル、ポリジエン（イソプレン、ブタジエン等）、これらの共重合体等を主鎖とするポリマーが挙げられる。
【００３５】
シリカには、製造方法により、原料由来のナトリウムが残存することがある。ナトリウムの残存量が多いと、イオン化して不純物となるおそれがある。ここで、ナトリウムの残存量は、シリカのｐＨ値と相関がある。すなわち、ナトリウムの残存量が多いと、ｐＨ値が大きくなる傾向にある。このため、シリカを用いる場合には、できるだけｐＨ値が小さいものを選択することが望ましい。例えば、ｐＨ値が１０．５以下であるとよい。ｐＨ値が８．５以下、さらには、６．５以下であると好適である。本明細書では、シリカのｐＨ値として、次の測定方法により測定された値を採用する。まず、シリカを水に分散させて、シリカ濃度が４質量％の分散液を調製する。次に、分散液を充分に攪拌して、分散液のｐＨ値をｐＨメータにより測定する。
【００３６】
活性炭、メソポーラスカーボンは、導電性を有する。このため、活性炭、メソポーラスカーボンは、吸着剤としてだけでなく導電剤としても機能する。したがって、吸着剤として、活性炭およびメソポーラスカーボンの少なくとも一方を配合する場合には、導電剤として他の材料を配合しなくても構わない。しかし、活性炭、メソポーラスカーボンのみを配合して、所望の導電性を得ようとすると、これらの配合量を比較的多くする必要がある。好適な配合量としては、エラストマー１００質量部に対して、２０質量部以上５０質量部以下である。活性炭、メソポーラスカーボンの配合量が多いと、柔軟導電材料の柔軟性が低下してしまう。したがって、導電性と柔軟性とを両立させるという観点から、活性炭およびメソポーラスカーボンの少なくとも一方を配合する場合でも、導電剤として他の材料を配合することが望ましい。
【００３７】
吸着剤の配合量は、使用する化合物の種類に応じて適宜調整すればよい。吸着剤の配合量が少な過ぎると、イオン性物質の吸着効果が充分に得られない。反対に多すぎると、柔軟導電材料が硬くなり、電極や配線に要求される柔軟性が損なわれるおそれがある。例えば、ＴＭＴを単独で用いる場合には、エラストマー１００質量部に対して、０．５質量部以上２０質量部以下であることが望ましい。また、Ｈ型陽イオン交換樹脂またはＯＨ型陰イオン交換樹脂を単独で用いる場合には、エラストマー１００質量部に対して、１質量部以上３０質量部以下であることが望ましい。また、シリカを単独で用いる場合には、エラストマー１００質量部に対して、３質量部以上２０質量部以下であることが望ましい。また、活性炭およびメソポーラスカーボンの少なくとも一方を、吸着剤として単独で用いる場合には、エラストマー１００質量部に対して、１質量部以上２０質量部以下であることが望ましい。
【００３８】
本発明の柔軟導電材料は、エラストマー原料のゴムポリマー、導電剤、および吸着剤を含むゴム組成物を架橋して、製造することができる。ゴム組成物には、必要に応じて、架橋剤、加硫促進剤、加工助剤、可塑剤、老化防止剤、補強剤、着色剤等の添加剤を配合してもよい。架橋を行うことで、ゴム弾性が付与され、伸縮に対する回復性が向上する。架橋方法は、ゴムポリマーの種類等に応じて、適宜決定すればよい。例えば、硫黄架橋、過酸化物架橋、イソシアネート架橋、ヒドロシリル架橋、エポキシ架橋、電子線（ＥＶ）架橋、紫外線（ＵＶ）架橋等が挙げられる。また、有機金属化合物のゾルゲル反応を利用してもよい。
【００３９】
例えば、ゴムポリマー等の原料を、ロールや混練機により混練りしてゴム組成物を調製する場合には、調製したゴム組成物を、金型に充填して、所定の条件下でプレス架橋すればよい。あるいは、ゴムポリマー等の原料を、所定の溶剤中に溶解して、ゴム組成物を調製する場合には、次のようにして架橋すればよい。まず、調製したゴム組成物を、基材等に塗布する。次に、塗膜を乾燥させて、溶剤を揮発させる。そして、塗膜の乾燥と共に、または別途所定の条件下で、架橋反応を進行させる。いずれにおいても、ゴムポリマーと導電剤とを予め混合しておくと、導電剤の分散性が向上する。
【００４０】
＜トランスデューサ＞
本発明のトランスデューサは、エラストマー製の誘電膜と、該誘電膜を介して配置されている複数の電極と、複数の該電極と各々接続されている配線と、を備える。誘電膜としては、比誘電率の高いエラストマーを用いることが望ましい。具体的には、常温における比誘電率（１００Ｈｚ）が２以上、さらには５以上のエラストマーが望ましい。例えば、エステル基、カルボキシル基、水酸基、ハロゲン基、アミド基、スルホン基、ウレタン基、ニトリル基等の極性官能基を有するエラストマー、あるいは、これらの極性官能基を有する極性低分子量化合物を添加したエラストマーを採用するとよい。好適なエラストマーとしては、シリコーンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、水素添加アクリロニトリル−ブタジエンゴム（Ｈ−ＮＢＲ）、エチレン−プロピレン−ジエンゴム（ＥＰＤＭ）、アクリルゴム、ウレタンゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン等が挙げられる。
【００４１】
誘電膜の厚さは、トランスデューサの用途等に応じて適宜決定すればよい。例えば、アクチュエータの場合、小型化、低電位駆動化、および変位量を大きくする等の観点から、誘電膜の厚さは薄い方が望ましい。この場合、絶縁破壊性等をも考慮して、誘電膜の厚さを、１μｍ以上１０００μｍ（１ｍｍ）以下とすることが望ましい。５μｍ以上２００μｍ以下とすると、より好適である。
【００４２】
電極および配線の少なくとも一方は、上記本発明の柔軟導電材料からなる。本発明の柔軟導電材料の構成、および製造方法については、上述した通りである。よって、ここでは説明を割愛する。また、本発明のトランスデューサにおいても、上述した本発明の柔軟導電材料の好適な態様を採用することが望ましい。
【００４３】
電極および配線は、材質の異なる二層以上の導電層から形成されていてもよい。この場合、誘電層と接する導電層を、本発明の柔軟導電材料から形成することが望ましい。例えば、本発明のトランスデューサにおいて、電極は積層された複数の導電層を有し、複数の該導電層のうち、少なくとも誘電膜と接する内側導電層は、本発明の柔軟導電材料からなる態様が好適である。
【００４４】
また、トランスデューサの小型化や、誘電膜の変形に対する影響をできるだけ小さくするという観点から、電極および配線の厚さは薄い方が望ましい。例えば、電極および配線の厚さを、０．４μｍ以上１０００μｍ以下とすることが望ましい。５μｍ以上５０μｍ以下とすると、より好適である。以下、本発明のトランスデューサの例として、アクチュエータ、静電容量型センサ、発電素子、およびスピーカの実施形態を説明する。
【００４５】
［第一実施形態］
本発明のトランスデューサの第一例として、アクチュエータの実施形態を説明する。図１に、本実施形態のアクチュエータの断面模式図を示す。（ａ）は電圧オフ状態、（ｂ）は電圧オン状態を各々示す。
【００４６】
図１に示すように、アクチュエータ１は、誘電膜１０と、電極１１ａ、１１ｂと、配線１２ａ、１２ｂと、を備えている。誘電膜１０は、Ｈ−ＮＢＲ製である。電極１１ａは、誘電膜１０の上面の略全体を覆うように、配置されている。同様に、電極１１ｂは、誘電膜１０の下面の略全体を覆うように、配置されている。電極１１ａ、１１ｂは、各々、配線１２ａ、１２ｂを介して電源１３に接続されている。電極１１ａ、１１ｂは、いずれも本発明の柔軟導電材料からなる。
【００４７】
オフ状態からオン状態に切り替える際は、一対の電極１１ａ、１１ｂ間に電圧を印加する。電圧の印加により、誘電膜１０の厚さは薄くなり、その分だけ、図１（ｂ）中白抜き矢印で示すように、電極１１ａ、１１ｂ面に対して平行方向に伸長する。これにより、アクチュエータ１は、図中上下方向および左右方向の駆動力を出力する。
【００４８】
本実施形態によると、電極１１ａ、１１ｂは、柔軟で伸縮可能である。このため、電極１１ａ、１１ｂは、誘電膜１０の変形に追従して伸縮することができる。すなわち、誘電膜１０の動きが、電極１１ａ、１１ｂにより妨げられにくい。また、本実施形態によると、電極１１ａ、１１ｂから誘電膜１０へ、イオン化した不純物が移動しにくい。このため、誘電膜１０の電気抵抗は低下しにくい。つまり、電圧印加時に、電流が誘電膜１０中を流れにくい。よって、電圧印加により、誘電膜１０と電極１１ａ、１１ｂとの界面に、多くの電荷を蓄えることができる。また、電流が誘電膜１０中を流れにくいため、ジュール熱の発生が抑制される。したがって、熱により、誘電膜１０の物性が変化したり、誘電膜１０が破壊されるおそれも小さい。このように、アクチュエータ１は、耐久性に優れる。また、アクチュエータ１によると、より大きな電圧を印加することができる。その結果、より大きな力を発生させることができる。
【００４９】
また、アクチュエータの他の実施形態として、電極を、積層された複数の導電層から形成する形態が挙げられる。以下、電極を、二層の導電層から形成した実施形態を示す。本実施形態を、本発明のトランスデューサの第五実施形態とする。図１１に、本実施形態のアクチュエータの断面模式図を示す（電圧オフ状態）。図１１において、図１（ａ）と対応する部位については、同じ符合で示す。
【００５０】
図１１に示すように、アクチュエータ１は、誘電膜１０と、電極１４ａ、１４ｂと、配線１２ａ、１２ｂと、を備えている。電極１４ａは、誘電膜１０の上面に配置されている。電極１４ｂは、誘電膜１０を挟んで電極１４ａと対向するように、誘電膜１０の下面に配置されている。電極１４ａは、内側導電層１４０ａと、外側導電層１４１ａと、を有する。内側導電層１４０ａは、誘電膜１０の上面の略全体を覆うように、配置されている。内側導電層１４０ａは、吸着剤を含む本発明の柔軟導電材料から形成されている。外側導電層１４１ａは、内側導電層１４０ａの上面に積層されている。外側導電層１４１ａは、エラストマーに銀粉末を配合した柔軟導電材料（必要に応じて、加硫促進剤等のイオン化しやすいものが配合されているが、吸着剤は配合されていない）から形成されている。外側導電層１４１ａには、配線１２ａが接続されている。配線１２ａは、電源１３に接続されている。
【００５１】
同様に、電極１４ｂは、内側導電層１４０ｂと、外側導電層１４１ｂと、を有する。内側導電層１４０ｂは、誘電膜１０の下面の略全体を覆うように、配置されている。内側導電層１４０ｂは、吸着剤を含む本発明の柔軟導電材料から形成されている。外側導電層１４１ｂは、内側導電層１４０ｂの下面に積層されている。外側導電層１４１ｂは、エラストマーに銀粉末を配合した柔軟導電材料（必要に応じて、加硫促進剤等のイオン化しやすいものが配合されているが、吸着剤は配合されていない）から形成されている。外側導電層１４１ｂには、配線１２ｂが接続されている。配線１２ｂは、電源１３に接続されている。
【００５２】
本実施形態においては、誘電膜１０と接する内側導電層１４０ａ、１４０ｂは、いずれも本発明の柔軟導電材料からなる。したがって、電極１４ａ、１４ｂから誘電膜１０へ、イオン化した不純物が移動しにくい。
【００５３】
［第二実施形態］
本発明のトランスデューサの第二例として、静電容量型センサの実施形態を説明する。まず、本実施形態の静電容量型センサの構成について説明する。図２に、静電容量型センサの上面図を示す。図３に、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図を示す。図２、図３に示すように、静電容量型センサ２は、誘電膜２０と、一対の電極２１ａ、２１ｂと、配線２２ａ、２２ｂと、カバーフィルム２３ａ、２３ｂと、を備えている。
【００５４】
誘電膜２０は、Ｈ−ＮＢＲ製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。誘電膜２０の厚さは、約３００μｍである。
【００５５】
電極２１ａは、長方形状を呈している。電極２１ａは、誘電膜２０の上面に、スクリーン印刷により三つ形成されている。同様に、電極２１ｂは、長方形状を呈している。電極２１ｂは、誘電膜２０を挟んで電極２１ａと対向するように、誘電膜２０の下面に三つ形成されている。電極２１ｂは、誘電膜２０の下面に、スクリーン印刷されている。このように、誘電膜２０を挟んで、電極２１ａ、２１ｂが三対配置されている。電極２１ａ、２１ｂは、本発明の柔軟導電材料からなる。
【００５６】
配線２２ａは、誘電膜２０の上面に形成された電極２１ａの一つ一つに、それぞれ接続されている。配線２２ａにより、電極２１ａとコネクタ２４とが結線されている。配線２２ａは、誘電膜２０の上面に、スクリーン印刷により形成されている。同様に、配線２２ｂは、誘電膜２０の下面に形成された電極２１ｂの一つ一つに、それぞれ接続されている（図２中、点線で示す）。配線２２ｂにより、電極２１ｂとコネクタ（図略）とが結線されている。配線２２ｂは、誘電膜２０の下面に、スクリーン印刷により形成されている。配線２２ａ、２２ｂは、本発明の柔軟導電材料からなる。
【００５７】
カバーフィルム２３ａは、アクリルゴム製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。カバーフィルム２３ａは、誘電膜２０、電極２１ａ、配線２２ａの上面を覆っている。同様に、カバーフィルム２３ｂは、アクリルゴム製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。カバーフィルム２３ｂは、誘電膜２０、電極２１ｂ、配線２２ｂの下面を覆っている。
【００５８】
次に、静電容量型センサ２の動きについて説明する。例えば、静電容量型センサ２が上方から押圧されると、誘電膜２０、電極２１ａ、カバーフィルム２３ａは一体となって、下方に湾曲する。圧縮により、誘電膜２０の厚さは小さくなる。その結果、電極２１ａ、２１ｂ間のキャパシタンスは大きくなる。このキャパシタンス変化により、圧縮による変形が検出される。
【００５９】
次に、本実施形態の静電容量型センサ２の作用効果について説明する。本実施形態によると、誘電膜２０、電極２１ａ、２１ｂ、配線２２ａ、２２ｂ、カバーフィルム２３ａ、２３ｂは、いずれもエラストマー材料からなる。このため、静電容量型センサ２の全体が柔軟であり、伸縮可能である。また、電極２１ａ、２１ｂおよび配線２２ａ、２２ｂは、誘電膜２０の変形に追従して変形することができる。
【００６０】
また、本実施形態によると、電極２１ａ、２１ｂおよび配線２２ａ、２２ｂから誘電膜２０へ、イオン化した不純物が移動しにくい。このため、誘電膜２０の電気抵抗は低下しにくい。誘電膜２０中に電流が流れにくいため、検出精度が低下するおそれは小さい。また、電流が誘電膜２０中を流れにくいため、ジュール熱の発生が抑制される。したがって、熱により、誘電膜２０の物性が変化したり、誘電膜２０が破壊されるおそれが小さい。このように、静電容量型センサ２は、耐久性に優れる。なお、本実施形態の静電容量型センサ２には、誘電膜２０を狭んで対向する電極２１ａ、２１ｂが、三対形成されている。しかし、電極の数、大きさ、配置等は、用途に応じて、適宜決定すればよい。
【００６１】
［第三実施形態］
本発明のトランスデューサの第三例として、発電素子の実施形態を説明する。図４に、本実施形態における発電素子の断面模式図を示す。（ａ）は伸長時、（ｂ）は収縮時を各々示す。
【００６２】
図４に示すように、発電素子３は、誘電膜３０と、電極３１ａ、３１ｂと、配線３２ａ〜３２ｃと、を備えている。誘電膜３０は、Ｈ−ＮＢＲ製である。電極３１ａは、誘電膜３０の上面の略全体を覆うように、配置されている。同様に、電極３１ｂは、誘電膜３０の下面の略全体を覆うように、配置されている。電極３１ａには、配線３２ａ、３２ｂが接続されている。すなわち、電極３１ａは、配線３２ａを介して、外部負荷（図略）に接続されている。また、電極３１ａは、配線３２ｂを介して、電源（図略）に接続されている。電極３１ｂは、配線３２ｃにより接地されている。電極３１ａ、３１ｂは、いずれも本発明の柔軟導電材料からなる。
【００６３】
図４（ａ）中白抜き矢印で示すように、発電素子３を圧縮し、誘電膜３０を電極３１ａ、３１ｂ面に対して平行方向に伸長すると、誘電膜３０の膜厚は薄くなり、電極３１ａ、３１ｂ間に電荷が蓄えられる。その後、圧縮力を除去すると、図４（ｂ）に示すように、誘電膜３０の弾性復元力により誘電膜３０は収縮し、膜厚が厚くなる。その際、蓄えられた電荷が配線３２ａを通して放出される。
【００６４】
本実施形態によると、電極３１ａ、３１ｂは、柔軟で伸縮可能である。このため、電極３１ａ、３１ｂは、誘電膜３０の変形に追従して伸縮することができる。すなわち、誘電膜３０の動きが、電極３１ａ、３１ｂにより妨げられにくい。また、本実施形態によると、電極３１ａ、３１ｂから誘電膜３０へ、イオン化した不純物が移動しにくい。このため、誘電膜３０の電気抵抗は低下しにくい。つまり、圧縮持に、電流が誘電膜３０中を流れにくい。したがって、圧縮量が大きい場合でも、誘電膜３０と電極３１ａ、３１ｂとの界面に、多くの電荷を蓄えることができる。すなわち、発電素子３によると、大きな発電量を得ることができる。さらに、ジュール熱により、誘電膜３０の物性が変化したり、誘電膜３０が破壊されるおそれも小さい。このように、発電素子３は、耐久性に優れる。
【００６５】
［第四実施形態］
本発明のトランスデューサの第四例として、スピーカの実施形態を説明する。まず、本実施形態のスピーカの構成について説明する。図５に、本実施形態のスピーカの斜視図を示す。図６に、図５のＶＩ−ＶＩ断面図を示す。図５、図６に示すように、スピーカ４は、第一アウタフレーム４０ａと、第一インナフレーム４１ａと、第一誘電膜４２ａと、第一アウタ電極４３ａと、第一インナ電極４４ａと、第一振動板４５ａと、第二アウタフレーム４０ｂと、第二インナフレーム４１ｂと、第二誘電膜４２ｂと、第二アウタ電極４３ｂと、第二インナ電極４４ｂと、第二振動板４５ｂと、八つのボルト４６０と、八つのナット４６１と、八つのスペーサ４６２と、を備えている。
【００６６】
第一アウタフレーム４０ａ、第一インナフレーム４１ａは、各々、樹脂製であって、リング状を呈している。第一誘電膜４２ａは、Ｈ−ＮＢＲ製であり、円形の薄膜状を呈している。第一誘電膜４２ａは、第一アウタフレーム４０ａと第一インナフレーム４１ａとの間に張設されている。すなわち、第一誘電膜４２ａは、表側の第一アウタフレーム４０ａと裏側の第一インナフレーム４１ａとにより、所定の張力を確保した状態で、挟持、固定されている。第一振動板４５ａは、樹脂製であって、円板状を呈している。第一振動板４５ａは、第一誘電膜４２ａよりも小径である。第一振動板４５ａは、第一誘電膜４２ａの表面の略中央に配置されている。
【００６７】
第一アウタ電極４３ａは、リング状を呈している。第一アウタ電極４３ａは、第一誘電膜４２ａの表面に貼着されている。第一インナ電極４４ａも、リング状を呈している。第一インナ電極４４ａは、第一誘電膜４２ａの裏面に貼着されている。第一アウタ電極４３ａと第一インナ電極４４ａとは、第一誘電膜４２ａを挟んで、表裏方向に背向している。第一アウタ電極４３ａと第一インナ電極４４ａとは、いずれも、本発明の柔軟導電材料からなる。また、図６に示すように、第一アウタ電極４３ａは、端子４３０ａを備えている。第一インナ電極４４ａは、端子４４０ａを備えている。端子４３０ａ、４４０ａには、外部から電圧が印加される。
【００６８】
第二アウタフレーム４０ｂ、第二インナフレーム４１ｂ、第二誘電膜４２ｂ、第二アウタ電極４３ｂ、第二インナ電極４４ｂ、第二振動板４５ｂ（以下、「第二部材」と総称する。）の構成、材質、形状は、上記第一アウタフレーム４０ａ、第一インナフレーム４１ａ、第一誘電膜４２ａ、第一アウタ電極４３ａ、第一インナ電極４４ａ、第一振動板４５ａ（以下、「第一部材」と総称する。）の構成、材質、形状と、同様である。また、第二部材の配置は、上記第一部材の配置と、表裏方向に対称である。簡単に説明すると、第二誘電膜４２ｂは、Ｈ−ＮＢＲ製であり、第二アウタフレーム４０ｂと第二インナフレーム４１ｂとの間に張設されている。第二振動板４５ｂは、第二誘電膜４２ｂの表面の略中央に配置されている。第二アウタ電極４３ｂは、第二誘電膜４２ｂの表面に印刷されている。第二インナ電極４４ｂは、第二誘電膜４２ｂの裏面に印刷されている。第二アウタ電極４３ｂと第二インナ電極４４ｂとは、いずれも、本発明の柔軟導電材料からなる。第二アウタ電極４３ｂの端子４３０ｂ、第二インナ電極４４ｂの端子４４０ｂには、外部から電圧が印加される。
【００６９】
第一部材と第二部材とは、八つのボルト４６０、八つのナット４６１により、八つのスペーサ４６２を介して、固定されている。「ボルト４６０−ナット４６１−スペーサ４６２」のセットは、スピーカ４の周方向に所定間隔ずつ離間して配置されている。ボルト４６０は、第一アウタフレーム４０ａ表面から第二アウタフレーム４０ｂ表面までを貫通している。ナット４６１は、ボルト４６０の貫通端に螺着されている。スペーサ４６２は、樹脂製であって、ボルト４６０の軸部に環装されている。スペーサ４６２は、第一インナフレーム４１ａと第二インナフレーム４１ｂとの間に、所定の間隔を確保している。第一誘電膜４２ａの中央部裏面（第一振動板４５ａが配置されている部分の裏側）と、第二誘電膜４２ｂの中央部裏面（第二振動板４５ｂが配置されている部分の裏側）と、は接合されている。このため、第一誘電膜４２ａには、図６に白抜き矢印Ｙ１ａで示す方向に、付勢力が蓄積されている。また、第二誘電膜４２ｂには、図６に白抜き矢印Ｙ１ｂで示す方向に、付勢力が蓄積されている。
【００７０】
次に、本実施形態のスピーカの動きについて説明する。端子４３０ａ、４４０ａと端子４３０ｂ、４４０ｂとを介して、第一アウタ電極４３ａおよび第一インナ電極４４ａと、第二アウタ電極４３ｂおよび第二インナ電極４４ｂと、には、初期状態（オフセット状態）において、所定の電圧（オフセット電圧）が印加されている。スピーカ４の動作時には、端子４３０ａ、４４０ａと端子４３０ｂ、４４０ｂとに、逆位相の電圧が印加される。  例えば、端子４３０ａ、４４０ａに、オフセット電圧＋１Ｖが印加されると、第一誘電膜４２ａのうち、第一アウタ電極４３ａと第一インナ電極４４ａとの間に配置されている部分の膜厚が薄くなる。並びに、当該部分が径方向に伸長する。これと同時に、端子４３０ｂ、４４０ｂに逆位相の電圧（オフセット電圧−１Ｖ）が印加される。すると、第二誘電膜４２ｂのうち、第二アウタ電極４３ｂと第二インナ電極４４ｂとの間に配置されている部分の膜厚が厚くなる。並びに当該部分が径方向に収縮する。これにより、第二誘電膜４２ｂは、第一誘電膜４２ａを引っ張りながら、図６に白抜き矢印Ｙ１ｂで示す方向に、自身の付勢力により弾性変形する。反対に、端子４３０ｂ、４４０ｂにオフセット電圧＋１Ｖが印加され、端子４３０ａ、４４０ａに逆位相の電圧（オフセット電圧−１Ｖ）が印加されると、第一誘電膜４２ａは、第二誘電膜４２ｂを引っ張りながら、図６に白抜き矢印Ｙ１ａで示す方向に、自身の付勢力により弾性変形する。このようにして、第一振動板４５ａ、第二振動板４５ｂを振動させることにより空気を振動させ、音声を発生させる。
【００７１】
次に、本実施形態のスピーカ４の作用効果について説明する。本実施形態によると、第一アウタ電極４３ａ、第一インナ電極４４ａ、第二アウタ電極４３ｂ、および第二インナ電極４４ｂ（以下適宜、「電極４３ａ、４４ａ、４３ｂ、４４ｂ」と称す）は、柔軟で伸縮可能である。このため、第一アウタ電極４３ａ、第一インナ電極４４ａは、第一誘電膜４２ａの変形に追従して伸縮することができる。同様に、第二アウタ電極４３ｂ、および第二インナ電極４４ｂは、第二誘電膜４２ｂの変形に追従して伸縮することができる。すなわち、第一誘電膜４２ａ、第二誘電膜４２ｂの動きが、電極４３ａ、４４ａ、４３ｂ、４４ｂにより妨げられにくい。
【００７２】
また、本実施形態によると、第一アウタ電極４３ａ、第一インナ電極４４ａから第一誘電膜４２ａへ、イオン化した不純物が移動しにくい。同様に、第二アウタ電極４３ｂ、第二インナ電極４４ｂから第二誘電膜４２ｂへ、イオン化した不純物が移動しにくい。このため、電圧印加時に、電流が第一誘電膜４２ａおよび第二誘電膜４２ｂ中を流れにくい。よって、ジュール熱により、第一誘電膜４２ａおよび第二誘電膜４２ｂの物性が変化したり、第一誘電膜４２ａおよび第二誘電膜４２ｂが破壊されるおそれは小さい。このように、スピーカ４は、耐久性に優れる。
【００７３】
＜フレキシブル配線板＞
本発明のフレキシブル配線板は、弾性基材と、該弾性基材の表面に配置されている配線と、を備える。弾性基材の材質は、特に限定されない。例えば、伸縮性を有する材料として、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合ゴム、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、アクリルゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ウレタンゴム、フッ素ゴム、クロロプレンゴム、イソブチレンイソプレンゴム、各種の熱可塑性エラストマー等が挙げられる。
【００７４】
配線の少なくとも一部は、本発明の柔軟導電材料からなる。本発明の柔軟導電材料の構成、および製造方法については、上述した通りである。よって、ここでは説明を割愛する。また、本発明のフレキシブル配線板においても、上述した本発明の柔軟導電材料の好適な態様を採用することが望ましい。配線は、材質の異なる二層以上の導電層から形成されていてもよい。この場合、弾性基材と接する導電層を、本発明の柔軟導電材料から形成することが望ましい。以下、本発明のフレキシブル配線板の実施形態を説明する。
【００７５】
まず、本実施形態のフレキシブル配線板の構成について説明する。図７に、本実施形態のフレキシブル配線板の上面透過図を示す。なお、図７中、裏側の電極、配線については細線で示す。図７に示すように、フレキシブル配線板６は、弾性基材６０と、表側電極０１Ｘ〜１６Ｘと、裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙと、表側配線０１ｘ〜１６ｘと、裏側配線０１ｙ〜１６ｙと、表側配線用コネクタ６１と、裏側配線用コネクタ６２と、を備えている。
【００７６】
弾性基材６０は、ウレタンゴム製であって、シート状を呈している。表側電極０１Ｘ〜１６Ｘは、弾性基材６０の上面に、合計１６本配置されている。表側電極０１Ｘ〜１６Ｘは、各々、帯状を呈している。表側電極０１Ｘ〜１６Ｘは、各々、Ｘ方向（左右方向）に延在している。表側電極０１Ｘ〜１６Ｘは、Ｙ方向（前後方向）に、所定間隔ごとに離間して、互いに略平行になるように、配置されている。同様に、裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙは、弾性基材６０の下面に、合計１６本配置されている。裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙは、各々、帯状を呈している。裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙは、各々、Ｙ方向に延在している。裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙは、Ｘ方向に、所定間隔ごとに離間して、互いに略平行になるように、配置されている。図７にハッチングで示すように、弾性基材６０を挟んで、表側電極０１Ｘ〜１６Ｘと裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙとが交差する部分（重複する部分）により、荷重等を検出する検出部が形成されている。
【００７７】
表側配線０１ｘ〜１６ｘは、弾性基材６０の上面に、合計１６本配置されている。表側配線０１ｘ〜１６ｘは、各々、線状を呈している。表側配線０１ｘ〜１６ｘは、本発明の柔軟導電材料からなる。表側配線用コネクタ６１は、弾性基材６０の左後隅に配置されている。表側配線０１ｘ〜１６ｘは、各々、表側電極０１Ｘ〜１６Ｘの左端と、表側配線用コネクタ６１と、を接続している。また、弾性基材６０の上面、表側電極０１Ｘ〜１６Ｘ、表側配線０１ｘ〜１６ｘは、上方から、表側カバーフィルム（図略）により覆われている。
【００７８】
裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、弾性基材６０の下面に、合計１６本配置されている。裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、各々、線状を呈している。裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、本発明の柔軟導電材料からなる。裏側配線用コネクタ６２は、弾性基材６０の左前隅に配置されている。裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、各々、裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙの前端と、裏側配線用コネクタ６２と、を接続している。また、弾性基材６０の下面、裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙ、裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、下方から、裏側カバーフィルム（図略）により覆われている。
【００７９】
表側配線用コネクタ６１、裏側配線用コネクタ６２には、各々、演算部（図略）が電気的に接続されている。演算部には、表側配線０１ｘ〜１６ｘおよび裏側配線０１ｙ〜１６ｙから、検出部におけるインピーダンスが入力される。これに基づいて、面圧分布が測定される。
【００８０】
次に、本実施形態のフレキシブル配線板６の作用効果について説明する。本実施形態によると、表側配線０１ｘ〜１６ｘおよび裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、各々、柔軟で伸縮可能である。このため、表側配線０１ｘ〜１６ｘおよび裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、弾性基材６０の変形に追従して変形することができる。また、本実施形態によると、表側配線０１ｘ〜１６ｘおよび裏側配線０１ｙ〜１６ｙから、弾性基材６０へ、イオン化した不純物が移動しにくい。このため、弾性基材６０の電気抵抗が低下して、弾性基材６０に電流が流れるおそれは小さい。よって、誤動作が抑制される。また、弾性基材６０中に電流が流れにくいため、ジュール熱により弾性基材６０が破壊されるおそれは小さい。したがって、フレキシブル配線板６は、耐久性に優れる。
【００８１】
＜電磁波シールド＞
本発明の電磁波シールドは、本発明の柔軟導電材料からなる。電磁波シールドは、電子機器の内部で発生した電磁波が外部に漏れるのを抑制したり、外部からの電磁波を内部へ侵入させにくくする役割を果たす。例えば、電子機器の筐体の内周面に、電磁波シールドを配置する場合には、ゴムポリマー等の原料を所定の溶剤に溶解してなる本発明の柔軟導電材料の塗料を、電子機器の筐体の内周面に塗布し、架橋させればよい。また、上記トランスデューサの第二実施形態として示した静電容量型センサに、電磁波シールドを配置することもできる。例えば、カバーフィルム２３ａの上面と、カバーフィルム２３ｂの下面と、を各々覆うように、電磁波シールドを配置すればよい（前出図２、図３参照）。この場合、本発明の柔軟導電材料の塗料を、カバーフィルム２３ａの上面およびカバーフィルム２３ｂの下面に塗布し、架橋させればよい。さらに、電子機器の隙間にガスケットとして配置する場合には、本発明の柔軟導電材料を、所望の形状に成形して用いればよい。
【実施例】
【００８２】
次に、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。【００８３】
＜柔軟導電材料の製造＞
［実施例１〜８］
下記の表１、表２に示す原料から、実施例１〜８の柔軟導電材料を製造した。まず、エポキシ基含有アクリルゴムポリマー（日本ゼオン（株）製「Ｎｉｐｏｌ（登録商標）ＡＲ４２Ｗ」）と、加硫促進剤のジメチルジチオカルバミン酸亜鉛（大内新興化学（株）製「ノクセラー（登録商標）ＰＺ」）、およびジメチルジチオカルバミン酸第二鉄（大内新興化学（株）製「ノクセラーＴＴＦＥ」）と、をロール練り機にて混合した。次に、得られた混合物を、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）に溶解した。そして、このＭＥＫ溶液に、導電剤（ライオン（株）製「ケッチェンブラック（登録商標）ＥＣ−６００ＪＤ」）を添加して、ダイノミルにて攪拌した。続いて、攪拌後のＭＥＫ溶液に所定の吸着剤を添加して、超音波ホモジナイザーで５分間処理することにより、ゴム組成物を調製した。次に、調製したゴム組成物を、基材上にバーコート法により塗布し、厚さ約２０μｍの塗膜を形成した。そして、塗膜を乾燥させた後、１７０℃で３０分間加熱して、架橋反応を進行させた。このようにして、実施例１〜８の柔軟導電材料を製造した。【００８４】
［実施例９］
導電剤を、銀粉末（ＤＯＷＡエレクトロニクス（株）製、「ＦＡ−Ｄ−４」）に変更した点以外は、上記同様にして、実施例９の柔軟導電材料を製造した。【００８５】
［実施例１０］
エラストマーを、熱可塑性ウレタンエラストマーに変更して、実施例１０の柔軟導電材料を製造した。まず、熱可塑性ウレタンエラストマー（日本ポリウレタン工業（株）製「ニッポラン（登録商標）５１９３」）を、ＭＥＫに溶解した。そして、このＭＥＫ溶液に、導電剤（ケッチェンブラック（同上））を添加して、ダイノミルにて攪拌した。続いて、攪拌後のＭＥＫ溶液に吸着剤（活性炭）を添加して、超音波ホモジナイザーで５分間処理することにより、ゴム組成物を調製した。次に、調製したゴム組成物を、基材上にバーコート法により塗布し、厚さ約２０μｍの塗膜を形成した。そして、塗膜を乾燥させた後、１５０℃で３０分間加熱して硬化させた。このようにして、実施例１０の柔軟導電材料を製造した。【００８６】
［実施例１２、１３］
吸着剤として、導電性を有する活性炭またはメソポーラスカーボンを配合し、導電剤のケッチェンブラックを配合しない点以外は、実施例１〜８の柔軟導電材料と同様にして、実施例１２、１３の柔軟導電材料を製造した。実施例１２、１３の柔軟導電材料においては、吸着剤として配合した活性炭またはメソポーラスカーボンが、導電剤の役割をも果たす。【００８７】
［実施例１４］
導電剤の銀粉末の配合量を変更し、加硫促進剤を配合しない点以外は、上記実施例９と同様にして、実施例１４の柔軟導電材料を製造した。【００８８】
［比較例１］
吸着剤を配合しない点以外は、実施例１〜８の柔軟導電材料と同様にして、比較例１の柔軟導電材料を製造した。【００８９】
［比較例２］
吸着剤を配合しない点以外は、実施例９の柔軟導電材料と同様にして、比較例２の柔軟導電材料を製造した。【００９０】
［比較例３］
吸着剤を配合しない点以外は、実施例１４の柔軟導電材料と同様にして、比較例３の柔軟導電材料を製造した。【００９１】
＜導電積層体の製造＞
［実施例１１］
まず、実施例７の柔軟導電材料の製造過程における架橋前のゴム組成物を、基材上にバーコート法により塗布し、厚さ約２０μｍの塗膜を形成した。次に、比較例２の柔軟導電材料の製造過程における架橋前のゴム組成物を、形成した塗膜の上面にバーコート法により塗布し、厚さ約２０μｍの塗膜を形成した。そして、積層された二層の塗膜を、１７０℃で３０分間加熱することにより、加硫接着させた。このようにして、実施例１１の導電積層体を製造した。【００９２】
表１、表２に、使用した原料の種類および配合量を示す。表１中、シリカとしては、日本アエロジル（株）製の乾式シリカ「Ａｅｒｏｓｉｌ（登録商標）３８０」（ｐＨ３．７〜４．７、比表面積３８０ｍ２／ｇ）を使用した。また、Ｈ型陽イオン交換樹脂としては、ダウケミカル社製の「ダウエックス（登録商標）５０Ｗｘ８  ２００−４００」を使用した。表２中、活性炭としては、クラレケミカル（株）製の「ＹＰ−５０Ｆ」を使用した。また、メソポーラスカーボンとしては、ＡＬＤＲＩＣＨ社製の「Ｃａｒｂｏｎ、ｍｅｓｏｐｏｒｏｕｓ、ｇｒａｐｈｉｔｉｚｅｄ、ｎａｎｏｐｏｗｄｅｒ」を使用した。
【表１】
2012050128.tif 000003
【表２】
2012050128.tif 000004
【００９３】
実施例および比較例の柔軟導電材料、並びに実施例１１の導電積層体について、引張特性、導電性、および被着体への影響を評価した。また、実施例３および比較例１の柔軟導電材については、架橋性も評価した。以下、各々の評価方法および評価結果について説明する。【００９４】
＜評価方法＞
［架橋性］
実施例３および比較例１の柔軟導電材料について、架橋の進行度を測定した。まず、各柔軟導電材料から作製した試験片１ｇを、ＭＥＫ３０ｇに浸漬した。そのまま室温で４時間静置した後、試験片を取り出して乾燥させた。そして、乾燥後の試験片の質量を測定し、初期の質量に対する乾燥後の質量割合（ＭＥＫ不溶分）を算出した。【００９５】
［引張特性］
実施例および比較例の柔軟導電材料、並びに実施例１１の導電積層体の弾性率を、ＪＩＳ  Ｋ７１２７（１９９９）に準じた引張試験における応力−伸び曲線から算出した。試験片の形状は、試験片タイプ２とした。また、同柔軟導電材料および導電積層体を２５％伸ばした時の引張応力（Ｍ２５）を、ＪＩＳ  Ｋ  ６２５１（２００４）に準じて測定した。試験片の形状は、ダンベル状５号形とした。【００９６】
［導電性］
実施例および比較例の柔軟導電材料、並びに実施例１１の導電積層体の体積抵抗率を、ＪＩＳ  Ｋ６２７１（２００８）の平行端子電極法に準じて測定した。測定の際、柔軟導電材料等（試験片）を支持する絶縁樹脂製支持具として、市販のブチルゴムシート（タイガースポリマー（株）製）を用いた。【００９７】
［被着体への影響］
（１）試験用素子の作製
被着体の誘電膜を、次のようにして準備した。まず、カルボキシル基含有水素化ニトリルゴム（ランクセス社製「テルバン（登録商標）ＸＴ８８８９」）を、アセチルアセトンに溶解した。次に、この溶液に、テトラキス（２−エチルヘキシルオキシ）チタンを添加して、混合した。そして、得られた混合溶液を、基材上にバーコート法により塗布し、乾燥させて、厚さ１８μｍの塗膜を形成した。この塗膜を、縦５０ｍｍ、横２５ｍｍの長方形に切り、架橋前誘電膜とした。【００９８】
一方、柔軟導電材料の上記製造過程において、架橋前のゴム組成物の塗膜を、縦３８ｍｍ、横２０ｍｍの長方形に切り、架橋前電極とした。そして、架橋前電極を、架橋前誘電膜の表裏両面に一枚ずつ配置して、１７０℃で３０分間加熱することにより、誘電膜と電極とを加硫接着させた。このようにして、試験用第一素子を作製した。【００９９】
また、実施例１１の導電積層体の製造過程における二層の塗膜（実施例７の塗膜／比較例２の塗膜）を、縦３８ｍｍ、横２０ｍｍの長方形に切り、架橋前電極とした。そして、架橋前電極を、架橋前誘電膜の表裏両面に一枚ずつ配置して、１７０℃で３０分間加熱することにより、誘電膜と電極とを加硫接着させた。架橋前電極は、各々、実施例７の塗膜が架橋前誘電膜と接するように、配置した。このようにして、試験用第二素子を作製した。【０１００】
（２）漏れ電流の測定
作製した二種類の試験用素子を、各々試験装置に設置して、電圧印加時に誘電膜（被着体）を介して流れる電流を測定した。まず、試験用第一素子における漏れ電流の測定方法を説明する。図８に、試験装置に取り付けられた試験用第一素子の表側正面図を示す。図９に、図８のＩＸ−ＩＸ方向断面図を示す。【０１０１】
図８、図９に示すように、試験用第一素子５Ａの上端は、試験装置における上側チャック５２により把持されている。試験用第一素子５Ａの下端は、下側チャック５３により把持されている。試験用第一素子５Ａと、上側チャック５２、下側チャック５３とは、各々絶縁されている。試験用第一素子５Ａは、予め上下方向に延伸された状態で、上側チャック５２と下側チャック５３との間に、取り付けられている（延伸率２５％）。【０１０２】
試験用第一素子５Ａは、誘電膜５０と一対の電極５１ａ、５１ｂとからなる。電極５１ａ、５１ｂは、誘電膜５０を挟んで表裏方向に対向するよう配置されている。電極５１ａ、５１ｂは、上下方向に８ｍｍずれた状態で配置されている。つまり、電極５１ａ、５１ｂは、誘電膜５０を介して、縦３０ｍｍ、横２０ｍｍの範囲で重なっている。電極５１ａの下端には、配線（図略）が接続されている。同様に、電極５１ｂの上端には、配線（図略）が接続されている。電極５１ａ、５１ｂは、各々の配線を介して、電源（図略）に接続されている。【０１０３】
電極５１ａ、５１ｂ間に電圧を印加すると、電極５１ａ、５１ｂ間に静電引力が生じて、誘電膜５０を圧縮する。これにより、誘電膜５０の厚さは薄くなり、延伸方向（上下方向）に伸長する。電界強度１０、２０、３０Ｖ／μｍの直流電圧を順に印加して、電極５１ａ、５１ｂ間に流れる電流値を測定した。【０１０４】
次に、試験用第二素子における漏れ電流の測定方法を説明する。図１０に、試験装置に取り付けられた試験用第二素子の断面図を示す。図１０は、図９と対応している。よって、図１０中、図９と対応する部材については、同じ符号で示す。【０１０５】
図１０に示すように、試験用第二素子５Ｂの上端は、試験装置における上側チャック５２により把持されている。試験用第二素子５Ｂの下端は、下側チャック５３により把持されている。試験用第二素子５Ｂと、上側チャック５２、下側チャック５３とは、各々絶縁されている。試験用第二素子５Ｂは、予め上下方向に延伸された状態で、上側チャック５２と下側チャック５３との間に、取り付けられている（延伸率２５％）。【０１０６】
試験用第二素子５Ｂは、誘電膜５０と、一対の内側電極５４ａ、５４ｂと、一対の外側電極５５ａ、５５ｂと、からなる。内側電極５４ａ、５４ｂは、実施例７の柔軟導電材料からなる。内側電極５４ａ、５４ｂは、誘電膜５０を挟んで表裏方向に対向するよう配置されている。内側電極５４ａ、５４ｂは、上下方向に８ｍｍずれた状態で配置されている。つまり、内側電極５４ａ、５４ｂは、誘電膜５０を介して、縦３０ｍｍ、横２０ｍｍの範囲で重なっている。外側電極５５ａ、５５ｂは、比較例２の柔軟導電材料からなる。外側電極５５ａは、内側電極５４ａの表面に積層されている。外側電極５５ｂは、内側電極５５ｂの裏面に積層されている。外側電極５５ａの下端には、配線（図略）が接続されている。同様に、外側電極５５ｂの上端には、配線（図略）が接続されている。外側電極５５ａ、５５ｂは、各々の配線を介して、電源（図略）に接続されている。外側電極５５ａ、５５ｂに、電界強度１０、２０、３０Ｖ／μｍの直流電圧を順に印加して、外側電極５５ａ、５５ｂ間に流れる電流値を測定した。【０１０７】
さらに、試験用第一素子５Ａおよび試験用第二素子５Ｂを、温度４０℃、湿度９５％の環境下に１か月間静置した。その後、上記各々の測定方法により電界強度２０Ｖ／μｍの直流電圧を印加して、電極間に流れる電流値を測定した。【０１０８】
＜評価結果＞
評価結果を、上記表１、表２にまとめて示す。表１に示すように、トリメルカプトトリアジン（ＴＭＴ）を配合した実施例３の柔軟導電材料におけるＭＥＫ不溶分は、１００％に近い値となった。この値は、ＴＭＴを配合しなかった比較例１の柔軟導電材料におけるＭＥＫ不溶分と比較して、大幅に大きい。このように、ＴＭＴを配合した実施例３の柔軟導電材料において、架橋密度の向上が確認された。【０１０９】
表１、表２に示すように、弾性率については、吸着剤や導電剤の配合量が増加するに従って、大きくなった。また、実施例１、２、４、５、７、８、１０、１２、１３の柔軟導電材料は、比較例１の柔軟導電材料と同程度に、実施例９、１４の柔軟導電材料および実施例１１の導電積層体は、比較例２の柔軟導電材料と同程度に、各々高い導電性を示した。【０１１０】
また、試験用素子による通電試験の結果、比較例１の柔軟導電材料を電極にした場合には、漏れ電流が大きく、電界強度３０Ｖ／μｍにおいて誘電膜が絶縁破壊してしまった。同様に、比較例２の柔軟導電材料を電極にした場合にも、特に電界強度３０Ｖ／μｍにおける漏れ電流が大きくなった。なお、比較例３の柔軟導電材料には、加硫促進剤が配合されていない。このため、比較例３の柔軟導電材料を電極にした場合には、加硫促進剤を配合した他の比較例よりも、漏れ電流が小さかった。しかし、試験用素子を高湿環境下で１か月間静置した後は、他の比較例と同様に、漏れ電流が大きくなった。これは、時間の経過と共に、柔軟導電材料から誘電膜へイオン化した不純物が移動したためと考えられる。加硫促進剤を配合しなかった比較例３の柔軟導電材料においては、導電剤の銀がイオン化して、誘電膜へ移動したと考えられる。【０１１１】
これに対して、実施例の柔軟導電材料を電極にした場合には、漏れ電流が小さくなった。なかでも、吸着剤として活性炭、あるいはメソポーラスカーボンを使用した実施例７〜１０、１２、１３の柔軟導電材料を電極にした場合において、漏れ電流が小さくなった。また、実施例７の柔軟導電材料と比較例２の柔軟導電材料とを積層した実施例１１の導電積層体を電極にした場合においても、漏れ電流が小さくなった。また、試験用素子を高湿環境下で１か月間静置した場合においても、全ての実施例において、漏れ電流はほとんど変わらなかった。【０１１２】
実施例の柔軟導電材料には、吸着剤が含まれている。このため、エラストマー中に残存する反応残渣等の不純物イオンや、導電剤の銀がイオン化した銀イオンは、吸着剤に吸着、固定される。したがって、柔軟導電材料（電極）から誘電膜へ移動する不純物が少なくなり、誘電膜の電気抵抗の低下が抑制されたと考えられる。例えば、シリカを配合した柔軟導電材料の実施例４、５を比較すると、シリカの配合量の増加に伴い、漏れ電流は小さくなった。これは、シリカの含有量が多くなると、不純物イオンの吸着量が増加することに加え、不純物イオン自体が移動しにくくなるためと考えられる。
【産業上の利用可能性】
【０１１３】
本発明の柔軟導電材料は、エラストマーを利用した柔軟なトランスデューサの電極、配線材料として好適である。また、ロボットや産業用機械の可動部の制御、ウェアラブルデバイス、屈曲可能なディスプレイ等に使用されるフレキシブル配線板の配線材料として好適である。さらに、電磁波シールドとしても好適である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2012050128.tif 000007
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【手続補正書】
【提出日】平成24年3月27日(2012.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エラストマーと、該エラストマー中に充填されている導電剤と、該エラストマー中に固定されておりイオン性物質を吸着可能な吸着剤と、を有することを特徴とする柔軟導電材料。
【請求項２】
前記吸着剤は、メルカプト基を有する化合物、イオン交換ポリマー、シリカ、活性炭、およびメソポーラスカーボンから選ばれる一種以上である請求項１に記載の柔軟導電材料。
【請求項３】
前記メルカプト基を有する化合物は、前記エラストマーと化学結合されている請求項２に記載の柔軟導電材料。
【請求項４】
前記メルカプト基を有する化合物は、トリアジン骨格を有する請求項２または請求項３に記載の柔軟導電材料。
【請求項５】
前記メルカプト基を有する化合物は、トリメルカプトトリアジンを含む請求項２ないし請求項４のいずれかに記載の柔軟導電材料。
【請求項６】
前記イオン交換ポリマーは、Ｈ型陽イオン交換樹脂またはＯＨ型陰イオン交換樹脂である請求項２に記載の柔軟導電材料。
【請求項７】
前記導電剤は、カーボンブラックおよび銀粒子の少なくとも一方を含む請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の柔軟導電材料。
【請求項８】
前記導電剤および前記吸着剤は、活性炭およびメソポーラスカーボンの少なくとも一方である請求項１に記載の柔軟導電材料。
【請求項９】
温度４０℃、湿度９５％の高湿環境下に１か月間静置した後、電界強度２０Ｖ／μｍの電圧を印加した場合に流れる電流は、３２μＡ以下である請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の柔軟導電材料。
【請求項１０】
エラストマー製の誘電膜と、該誘電膜を介して配置されている複数の電極と、複数の該電極と各々接続されている配線と、を備え、
該電極および該配線の少なくとも一方は、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の柔軟導電材料からなることを特徴とするトランスデューサ。
【請求項１１】
前記電極は、積層された複数の導電層を有し、
複数の該導電層のうち、少なくとも前記誘電膜と接する内側導電層は、前記柔軟導電材料からなる請求項１０に記載のトランスデューサ。
【請求項１２】
弾性基材と、該弾性基材の表面に配置されている配線と、を備え、
該配線の少なくとも一部は、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の柔軟導電材料からなることを特徴とするフレキシブル配線板。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の柔軟導電材料からなることを特徴とする電磁波シールド。
【国際調査報告】
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