(57)【要約】  電子部品の保持手段の昇降速度の高速化と電子部品にかける荷重の精密な制御の両立を可能とする電子部品保持装置、及びこれを備える電子部品検査装置、電子部品分類装置を提供する。電子部品保持装置３は、吸着ノズル３０１とサーボモータ３１８とボイスコイルモータ３０９を有する。吸着ノズル３０１は、載置位置に対して昇降可能に支持され、電子部品Ｄを保持及び離脱させる。サーボモータ３１８は、吸着ノズル３０１を載置位置に対して昇降させる。ボイスコイルモータ３０９は、サーボモータ３１８とは別体として配置され、載置位置に載置された電子部品Ｄに対する荷重を吸着ノズル３０１を介して制御する。
2012073282.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置位置に対して電子部品の受取及び受渡を行う電子部品保持装置であって、
前記載置位置に対して昇降可能に支持され、前記電子部品を保持及び離脱させる保持手段と、
前記保持手段を前記載置位置に対して昇降させる駆動制御手段と、
前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記載置位置に載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、
を備えること、
を特徴とする電子部品保持装置。
【請求項２】
前記駆動制御手段は、
前記保持手段を前記載置位置から離反させる方向に付勢する離反付勢体と、
前記保持手段の上方に配置され、前記載置位置に対して昇降可能に支持された駆動体と、
前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記載置位置の方向に降下させるモータと、
を含み、
前記荷重制御手段は、
前記駆動体に配置され、印加される電圧値に応じて押圧力を可変するボイスコイルモータと、
前記保持手段の同軸上に位置するように前記駆動体に配置され、前記ボイスコイルモータの前記押圧力を前記保持手段に伝達するロッドと、
を含むこと、
を特徴とする請求項１記載の電子部品保持装置。
【請求項３】
前記荷重制御手段は、
前記離反付勢体の付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体を更に含むこと、
を特徴とする請求項２記載の電子部品保持装置。
【請求項４】
電子部品を搬送しながら各種の工程処理を行う電子部品検査装置であって、
前記電子部品の処理経路に並んで配置され、前記電子部品が載置されるステージをそれぞれ有する各種の工程処理手段と、
前記各種の工程処理手段に前記電子部品を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段に配置されるとともに、前記ステージに対して昇降可能に支持され、前記ステージに対して前記電子部品を受渡する保持手段と、
前記保持手段を前記ステージに対して昇降させる駆動制御手段と、
前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記ステージに載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、
を備えること、
を特徴とする電子部品検査装置。
【請求項５】
前記駆動制御手段は、
前記保持手段を前記ステージから離反させる方向に付勢する離反付勢体と、
前記保持手段の上方に配置され、前記ステージに対して昇降可能に支持された駆動体と、
前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記ステージの方向に降下させるモータと、
を含み、
前記荷重制御手段は、
前記駆動体に配置され、印加される電圧値に応じて押圧力を可変するボイスコイルモータと、
前記保持手段の同軸上に位置するように前記駆動体に配置され、前記ボイスコイルモータの前記押圧力を前記保持手段に伝達するロッドと、
を含むこと、
を特徴とする請求項４記載の電子部品検査装置。
【請求項６】
前記荷重制御手段は、
前記離反付勢体の付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体を更に含むこと、
を特徴とする請求項５記載の電子部品検査装置。
【請求項７】
前記電子部品を受渡しする前記ステージを有する前記各種の工程処理手段に応じて、前記ボイスコイルモータに印加する電圧値を可変すること、
を特徴とする請求項５又は６記載の電子部品検査装置。
【請求項８】
未分類状態の電子部品が複数配列されたウェハシート上から、所定の分類情報に基づいて前記電子部品をピックアップし、ピックアップした前記電子部品を再配列プレート上に貼り付ける電子部品分類装置において、
前記ウェハシートと前記再配列プレートに対して昇降可能に支持され、前記電子部品を保持して前記ウェハシートから前記再配列プレートまで搬送する保持手段と、
前記保持手段を前記ウェハシート及び前記再配列プレートに対して昇降させる駆動制御手段と、
前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記ウェハシート及び前記再配列プレートに載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、
を備えること、
を特徴とする電子部品分類装置。
【請求項９】
前記駆動制御手段は、
前記保持手段を前記ウェハシート及び前記再配列プレートから離反させる方向に付勢する離反付勢体と、
前記保持手段の上方に配置され、前記ウェハシート及び前記再配列プレートに対して昇降可能に支持された駆動体と、
前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記ウェハシート又は前記再配列プレートの方向に降下させるモータと、
を含み、
前記荷重制御手段は、
前記駆動体に配置され、印加される電圧値に応じて押圧力を可変するボイスコイルモータと、
前記保持手段の上方に位置するように前記駆動体に配置され、前記ボイスコイルモータの前記押圧力を前記保持手段に伝達するロッドと、
を含むこと、
を特徴とする請求項８記載の電子部品分類装置。
【請求項１０】
前記荷重制御手段は、
前記離反付勢体の付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体を更に含むこと、
を特徴とする請求項９記載の電子部品分類装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を保持する電子部品保持装置、及びこの電子部品保持装置で電子部品を保持しながら各工程処理に電子部品を搬送する電子部品検査装置、電子部品を電子部品保持装置で保持しながら搬送する電子部品分類装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子等の電子部品の製造工程では、各種の処理工程に搬送する際に電子部品保持装置が用いられる場合が多い。例えば、電子部品の製造後工程においては、マーキング処理、外観検査、電気特性検査、リード成形処理、電子部品の分類、及び梱包等の処理がなされるが、この後工程を行う電子部品検査装置は、各種の処理工程に電子部品を搬送する搬送機構に電子部品保持装置が配設されている。また、ウェハシート上に配列されたＬＥＤチップ等の電子部品を品質毎に再配列する電子部品分類装置は、ウェハシートと再配列プレートとの間を往復するアームに電子部品保持装置が配列されている。   【０００３】
この電子部品保持装置は、電子部品の載置位置に対して昇降可能な保持手段を有し、この保持手段を載置位置に下降させて、載置位置に電子部品を離脱させたり、載置位置から電子部品を取得したりする。保持手段は、例えば、パイプ内部が空気圧回路と連通した吸着ノズルであり、真空発生により載置位置にある電子部品を吸着し、真空破壊により載置位置へ電子部品を離脱させる。   【０００４】
このタイプの電子部品保持装置は、例えば、吸着ノズルをカム、レバー、及びロッド等の手段を用いて構成した駆動機構により載置位置へ昇降させている（例えば、特許文献１、２参照。）。   【０００５】
ところで、近年の電子機器の急速な進展に伴い、製造工程において要求される処理速度は高速化している。そのため、電子部品保持装置の吸着ノズルを昇降させる速度も高速化が求められる。一方で、電子機器の小型化に伴い、電子部品は薄厚化しているため、ダメージ防止の観点から、受取時及び受渡時に吸着ノズルが電子部品に掛ける荷重管理の要求も高くなってきている。   【０００６】
また、荷重管理において、処理工程によって要求される荷重が異なることがある。例えば、電子部品の電極切断や加工工程においては電子部品を固定するために大きな荷重が必要である。一方、電気特性測定工程にはそれほど大きな荷重は必要なく、またテープ梱包、マーキング、外観検査工程などでは荷重はほとんど必要ない。   【０００７】
さらには、例えば、電気特性検査では、電子部品とプローブソケットとを一定の荷重で接触させることが信頼性あるテスト結果や良好な繰り返し性を得るためには重要となる。特に、小型の電子部品では例えば２ニュートン以下等の低荷重を高精度且つ安定して維持することが要求されることが多い。   【０００８】
そうすると、電子部品保持装置には、電子部品に掛ける荷重を精密且つ安定的に制御できることが望まれている。荷重制御を行う機構としては、スプリングやエアシリンダを利用して荷重制御を行う機構が考えられる。また、トルク制御が可能なサーボモータとカム機構を利用して、荷重制御を行うとともに、吸着ノズルの加工速度や位置制御を兼ねて行う機構が考えられる。   【０００９】
サーボモータとカム機構を利用する電子部品保持装置を簡単に説明する。まず、吸着ノズルと同軸上には、ロッドが軸受けによって摺動可能に配設されている。サーボモータの回転軸には、円筒カムが回転可能に固定され、この円筒カムにカムフォロアが当接している。円筒カムとカムフォロアは、サーボモータの回転力をロッドを押し下げる方向に変換する。サーボモータを回転させると、ロッドが吸着ノズルへ向けて下降し、吸着ノズルを電子部品の載置位置へ向けて押し下げる。電子部品を介して吸着ノズルが載置位置に当接すると、サーボモータのトルクを調整して所望の荷重を電子部品にかける。電子部品検査装置では、電子部品を処理する処理工程毎にサーボモータのトルクを調整することで、処理工程毎に所望の荷重を電子部品にかけるというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許第２６２０６４６号公報
【特許文献２】特開２００２−１２７０６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述のように、電子部品保持装置には、電子部品に掛ける荷重を精密且つ安定的に制御できることが望まれているが、スプリングを利用する例では、容易に荷重を変更できないという問題がある。エアシリンダを利用する例では、特性上応答性が遅いため、高速化に答えることができない。   【００１２】
サーボモータとカム機構を利用して荷重制御、速度制御、位置制御を行う場合には、荷重の可変と高速化という要求をある程度満たすことは可能であるが、サーボモータの特性上、例えば２ニュートン以下といった範囲の低荷重を掛けようとすると、制御が不安定なものとなる。そうすると、特に電気特性検査では、信頼性あるテスト結果や良好な繰り返し性が得られないおそれがある。高周波特性等のＡＣテストではこの傾向が強くなる。   【００１３】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたもので、電子部品の保持手段の昇降速度の高速化と電子部品にかける荷重の精密な制御の両立を可能とする電子部品保持装置、及びこれを備える電子部品検査装置、電子部品分類装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る電子部品保持装置は、載置位置に対して電子部品を受取及び受渡する電子部品保持装置であって、前記載置位置に対して昇降可能に支持され、前記電子部品を保持及び離脱させる保持手段と、前記保持手段を前記載置位置に対して昇降させる駆動制御手段と、前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記載置位置に載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、を備えること、を特徴とする。   【００１５】
前記駆動制御手段は、前記保持手段を前記載置位置から離反させる方向に付勢する離反付勢体と、前記保持手段の上方に配置され、前記載置位置に対して昇降可能に支持された駆動体と、前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記載置位置の方向に降下させるモータと、を含み、前記荷重制御手段は、前記駆動体に配置され、印加される電圧値に応じて押圧力を可変するボイスコイルモータと、前記保持手段の同軸上に位置するように前記駆動体に配置され、前記ボイスコイルモータの前記押圧力を前記保持手段に伝達するロッドと、を含むようにしてもよい。   【００１６】
前記荷重制御手段は、前記離反付勢体の付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体を更に含むようにしてもよい。   【００１７】
また、本発明に係る電子部品検査装置は、電子部品を搬送しながら各種の工程処理を行う電子部品検査装置であって、前記電子部品の処理経路に並んで配置され、前記電子部品が載置されるステージをそれぞれ有する各種の工程処理手段と、前記各種の工程処理手段に前記電子部品を搬送する搬送手段と、前記搬送手段に配置されるとともに、前記ステージに対して昇降可能に支持され、前記ステージに対して前記電子部品を受渡する保持手段と、前記保持手段を前記ステージに対して昇降させる駆動制御手段と、前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記ステージに載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、を備えること、を特徴とする。   【００１８】
前記駆動制御手段は、前記保持手段を前記ステージから離反させる方向に付勢する離反付勢体と、前記保持手段の上方に配置され、前記ステージに対して昇降可能に支持された駆動体と、前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記ステージの方向に降下させるモータと、を含み、前記荷重制御手段は、前記駆動体に配置され、印加される電圧値に応じて押圧力を可変するボイスコイルモータと、前記保持手段の同軸上に位置するように前記駆動体に配置され、前記ボイスコイルモータの前記押圧力を前記保持手段に伝達するロッドと、を含むようにしてもよい。   【００１９】
前記荷重制御手段は、前記離反付勢体の付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体を更に含むようにしてもよい。   【００２０】
前記電子部品を受渡しする前記ステージを有する前記各種の工程処理手段に応じて、前記ボイスコイルモータに印加する電圧値を可変するようにしてもよい。   【００２１】
また、本発明に係る電子部品分類装置は、未分類状態の電子部品が複数配列されたウェハシート上から、所定の分類情報に基づいて前記電子部品をピックアップし、ピックアップした前記電子部品を再配列プレート上に貼り付ける電子部品分類装置において、前記ウェハシートと前記再配列プレートに対して昇降可能に支持され、前記電子部品を保持して前記ウェハシートから前記再配列プレートまで搬送する保持手段と、前記保持手段を前記ウェハシート及び前記再配列プレートに対して昇降させる駆動制御手段と、前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記ウェハシート及び前記再配列プレートに載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、を備えること、を特徴とする。   【００２２】
前記駆動制御手段は、前記保持手段を前記ウェハシート及び前記再配列プレートから離反させる方向に付勢する離反付勢体と、前記保持手段の上方に配置され、前記ウェハシート及び前記再配列プレートに対して昇降可能に支持された駆動体と、前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記ウェハシート又は前記再配列プレートの方向に降下させるモータと、を含み、前記荷重制御手段は、前記駆動体に配置され、印加される電圧値に応じて押圧力を可変するボイスコイルモータと、前記保持手段の上方に位置するように前記駆動体に配置され、前記ボイスコイルモータの前記押圧力を前記保持手段に伝達するロッドと、を含むようにしてもよい。   【００２３】
前記荷重制御手段は、前記離反付勢体の付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体を更に含むようにしてもよい。 
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、駆動制御手段から荷重制御手段を切り離すことで、保持手段の高速な昇降を維持しつつ、低荷重の高精度な制御が可能な各種手段を用いた荷重制御も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】電子部品保持装置の構成を示す側面図である。
【図２】ボイスコイルモータを駆動させたときの荷重を示す図である。
【図３】ボイスコイルモータの構成を示す図である。
【図４】電子部品検査装置の構成を示す上面図である。
【図５】電子部品検査装置の構成を示す側面図である。
【図６】電子部品分類装置の構成を示す上面図である。
【図７】電子部品分類装置に備えられる電子部品保持装置を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明に係る電子部品保持装置、及びこれを備える電子部品検査装置、電子部品分類装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。   
【００２７】
（電子部品保持装置）
図１に電子部品保持装置３の構成を示す。電子部品保持装置３は、ステージ４ａ上の電子部品Ｄを受け渡しする。ステージ４ａは、電子部品Ｄの載置位置であり、電子部品Ｄを処理する各工程処理機構４に備えられる。電子部品Ｄは、電気製品に使用される部品であり、半導体素子が含まれる。半導体素子としては、トランジスタや集積回路や抵抗やコンデンサやＬＥＤチップ等が挙げられる。   
【００２８】
この電子部品保持装置３は、吸着ノズル３０１を有する。吸着ノズル３０１は、ステージ４ａに対して昇降し、電子部品Ｄを保持及び離脱させる。   
【００２９】
この吸着ノズル３０１は、先端３０２に開口を有し、内部が中空のパイプである。吸着ノズル３０１は、ステージ４ａに対する高さが固定されたアーム３０３に支持され、ステージ４ａの上方に位置している。アーム３０３は、ステージ４ａに対して略平行に延びており、先端にステージ４ａに対して垂直な軸受け３０４が貫設されている。吸着ノズル３０１は、先端３０２をステージ４ａに向けて軸受け３０４に挿入されることで、アーム３０３に対して摺動可能に支持されている。   
【００３０】
吸着ノズル３０１は、後端に接続されたエジェクタ３０５を介してパイプ内部が空気圧回路と連通しており、真空の発生により電子部品Ｄを先端で吸着し、真空破壊により電子部品Ｄを離脱させる。   
【００３１】
アーム３０３の軸受け３０４上縁には、第１圧縮バネ３０６が吸着ノズル３９１に挿入されて設置されている。吸着ノズル３０１の後端側には、フランジ３０７が設けられており、第１圧縮バネ３０６は、このフランジ３０７を介して吸着ノズル３０１をステージ４ａから離反させる方向に付勢している。   
【００３２】
吸着ノズル３０１の上方には、ボイスコイルモータ３０９とロッド３１０を有する駆動体３０８が吸着ノズル３０１を押し下げる方向に降下可能に設置されている。駆動体３０８は、略コの字形状のフレーム３１１を有する。   
【００３３】
駆動体３０８のフレーム下腕３１２は、ステージ４ａに対して水平に延び、先端にステージ４ａに対して垂直な軸受け３１３が貫設されている。ロッド３１０は、この軸受け３１３によって摺動可能に支持されている。ロッド３１０の配置位置は、吸着ノズル３０１の上方であって、吸着ノズル３０１の同軸上である。   
【００３４】
ロッド３１０の後端は、ボイスコイルモータ３０９に接続されている。ロッド３１０の後端とは、吸着ノズル３０１と向かい合う先端とは反対側の端である。ボイスコイルモータ３０９は、駆動体３０８のフレーム上腕３１４の下面に固定されている。   
【００３５】
また、フレーム下腕３１２の下面には、第２圧縮バネ３１５がロッド３１０に挿入されて設置されている。ロッド３１０の先端側には、フランジ３１６が設けられており、第２圧縮バネ３１５は、このフランジ３１６を介してロッド３１０を吸着ノズル３０１の押し下げ方向に付勢している。尚、この第２圧縮バネ３１５は、ストッパによって圧縮された状態を維持している。   
【００３６】
駆動体３０８は、吸着ノズル３０１を押し下げる方向に摺動可能にリニアガイド３１７に支持されている。リニアガイド３１７は、ステージ４ａと垂直な方向に延び、高さは固定されている。電子部品保持装置３は、サーボモータ３１８を有し、サーボモータ３１８の回転力をリニアガイド３１７と平行な直線方向に変換して、駆動体３０８を降下させる。   
【００３７】
サーボモータ３１８の回転軸には、円周面をカム面とする円筒カム３１９が取り付けられている。駆動体３０８のフレーム上腕３１４の上面には、円筒カム３１９に当接するカムフォロア３２０が設置されている。サーボモータ３１８の回転力が円筒カム３１９とカムフォロア３２０によってリニアガイド３１７に沿った直線方向の力に変換され、駆動体３０８は、吸着ノズル３０１に当接しながら降下する。   
【００３８】
尚、駆動体３０８は、フレーム３１１を引っ張り上げるバネ３２１に接続されており、このバネ３２１によってカムフォロア３２０と円筒カム３１９が押し付けられている。   
【００３９】
このような電子部品保持装置３の動作について図２及び図３に基づき説明する。図２は、ボイスコイルモータ３０９を駆動させたときの電子部品Ｄに掛かる荷重を示す図である。図３は、ボイスコイルモータ３０９の構成を示す図である。   
【００４０】
サーボモータ３１８、円筒カム３１９、カムフォロア３２０、駆動体３０８、及び第１圧縮バネ３０６は、吸着ノズル３０１をステージ４ａに対して昇降させる駆動制御手段となる。特に、サーボモータ３１８、円筒カム３１９、カムフォロア３２０、及び駆動体３０８は、吸着ノズル３０１を降下させる。第１圧縮バネ３０６は、離反付勢力Ａによって吸着ノズル３０１を上昇させる離反付勢体となる。   
【００４１】
また、ボイスコイルモータ３０９、ロッド３１０、及び第２圧縮バネ３１５は、荷重制御手段となる。第２圧縮バネ３１５は、第１圧縮バネ３０６の離反付勢力Ａを相殺する補助付勢力Ｂを有する補助付勢体となり、ボイスコイルモータ３０９の推力Ｃを補助する。   
【００４２】
このような電子部品保持装置３において、まず、サーボモータ３１８を駆動させ、円筒カム３１９を回転させる。円筒カム３１９のカム面に当接されているカムフォロア３２０は、ステージ４ａに向かった推力を受ける。ステージ４ａに向かった推力は、吸着ノズル３０１へ向かう駆動体３０８の移動力となり、駆動体３０８は、リニアガイド３１７に沿って下降する。   
【００４３】
駆動体３０８が下降すると、ロッド３１０が吸着ノズル３０１の後端に当接する。サーボモータ３１８が更に円筒カム３１９を回転させることにより、駆動体３０８は、吸着ノズル３０１を押し下げる。吸着ノズル３０１は、第１圧縮バネ３０６の押し上げ付勢力に抗して下降を開始し、電子部品Ｄを介してステージ４ａに当接する。   
【００４４】
尚、ステージ４ａに電子部品Ｄを載置する際は、予め吸着ノズル３０１の先端３０２には、真空の発生により電子部品Ｄが保持されている。ステージ４ａから電子部品Ｄを受け取る際には、予めステージ４ａに電子部品Ｄが載置されている。   
【００４５】
吸着ノズル３０１の下降量は、例えばサーボモータ３１８にエンコーダを取り付けておき、エンコーダがサーボモータ３１８の回転量を検出することにより制御される。すなわち、サーボモータ３１８が所定量回転すると、吸着ノズル３０１が電子部品Ｄを介してステージ４ａに当接したと判断すればよい。   
【００４６】
第１圧縮バネ３０６と第２圧縮バネ３１５は、付勢力が同一となるようにバネ定数が選択される。従って、図２に示すように、第１圧縮バネ３０６の吸着ノズル３０１を押し上げる離反付勢力Ａは、第２圧縮バネ３１５のロッド３１０を介して吸着ノズル３０１を押し下げる補助付勢力Ｂで相殺され、吸着ノズル３０１が電子部品Ｄを介してステージ４ａに当接した状態では、ボイスコイルモータ３０９の推力Ｃを無視すれば、吸着ノズル３０１が電子部品Ｄを押圧する荷重は０ニュートンとなっている。   
【００４７】
尚、第１圧縮バネ３０６と第２圧縮バネ３１５のバネ定数は同一であることが望ましいが、個体差の関係上困難である場合には、第２圧縮バネ３１５は、第１圧縮バネ３０６とバネ定数が同じであるか若干小さいものが選択される。   
【００４８】
ボイスコイルモータ３０９には、所望の荷重に合わせた電圧が印加されている。ボイスコイルモータ３０９は、図３に示すように、Ｔ字型に設けられた磁石５１と、環状コイル５２と、環状コイル５２の下方に設置された昇降部５３とを内部に有し、昇降部５３にロッド３１０の後端が固定されている。ロッド３１０は、環状コイル５２の中心軸上に位置している。   
【００４９】
ボイスコイルモータ３０９に電圧が印加されると、環状コイル５２に電流が流れ、昇降部５３にロッド３１０を押し下げる方向の推力Ｃが加わる。ボイスコイルモータ３０９は、電流（電圧）と推力Ｃが比例関係となる。図２に示すように、吸着ノズル３０１には、第２圧縮バネ３１５の補助付勢力Ｂによる第１圧縮バネ３０６の離反付勢力Ａの相殺により、ボイスコイルモータ３０９の推力Ｃと同等の荷重が伝達される。   
【００５０】
具体的には、電子部品Ｄにかかる荷重Ｆｄは、
Ｆｄ＝Ｆｃ−｜Ｆａ＋Ｆｂ｜
Ｆｃ：ボイスコイルモータ３０９の推力Ｃ
Ｆａ：第１圧縮バネ３０６の離反付勢力Ａ
Ｆｂ：第２圧縮バネ３１５の補助付勢力Ｂ
となる。   
【００５１】
すなわち、吸着ノズル３０１とステージ４ａとの間に配置されている電子部品Ｄには、ボイスコイルモータ３０９の推力Ｃと同等の荷重が掛かる。   
【００５２】
尚、吸着ノズル３０１が電子部品Ｄを押圧する荷重を０ニュートンとしたい場合は、ボイスコイルモータ３０９に印加する電圧を、第１圧縮バネ３０６と第２圧縮バネ３１５の付勢力の差に相当する推力に対応させる。   
【００５３】
このように、本実施形態に係る電子部品保持装置３では、ボイスコイルモータ３０９に印加する電圧を調整することで、電子部品Ｄに掛ける荷重が調整される。   
【００５４】
（電子部品検査装置）
この電子部品保持装置３を備える電子部品検査装置１について図４及び図５に基づき詳細に説明する。図４は、電子部品検査装置１の概略構成を示す図である。図５は、搬送機構の概略構成を示す図である。   
【００５５】
本実施形態に係る電子部品検査装置１は、電子部品Ｄを整列搬送しながら各種の工程処理を行う装置である。各種の工程処理は、主に、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経た後の検査工程であり、マーキング、外観検査、テストコンタクト、分類ソート、及び梱包の工程処理が含まれる。   
【００５６】
この電子部品検査装置１は、電子部品Ｄに対する各種の工程処理機構４、及び電子部品Ｄを各種の工程処理機構４を搬送する搬送機構を備えている。搬送機構は、ターンテーブル２１を含んで構成される。ターンテーブル２１は、下方に配置されたダイレクトドライブモータ２２の駆動軸で中心が支持されている。このターンテーブル２１は、ダイレクトドライブモータ２２の駆動に伴って間欠的に所定角度回転する。   
【００５７】
電子部品保持装置３の吸着ノズル３０１は、ターンテーブル２１の外周端に複数取り付けられ、ターンテーブル２１の外周に沿って等間隔離間している。この搬送機構は、ターンテーブル２１の外周が電子部品Ｄの処理経路となる。搬送機構は、吸着ノズル３０１で電子部品Ｄを保持し、ターンテーブル２１の外周に整列させ、ターンテーブル２１を回転させることで外周方向に電子部品Ｄを搬送する。電子部品保持装置３の配置間隔は、ターンテーブル２１の１ピッチの回転角度と等しい。   
【００５８】
各吸着ノズル３０１の停止位置Ｐの上方には、逆Ｌ字型のフレーム２３が固定されている。ステージ４ａと垂直に延びる腕に沿ってリニアガイド３１７が設置されることにより、駆動体３０８は、ターンテーブル２１の外周端側に摺動可能に支持される。サーボモータ３１８は、ステージ４ａと平行に延びる腕の上面に設置され、円筒カム３１９が当該腕の下面に回転可能に設置されている。   
【００５９】
各種の工程処理機構４は、ターンテーブル２１を取り囲んで外周方向に等間隔離間して配置されている。配置間隔は、ターンテーブル２１の１ピッチの回転角度と同一若しくは整数倍に等しい。各種の工程処理機構４の配置位置は、各保持手段の停止位置Ｐと一致する。この各停止位置Ｐに各種の搬送処理機構が１機ずつ配置される。尚、停止位置の数≧搬送処理機構４の数であれば、これらの数は同数でなくともよく、搬送処理機構４が配置されない停止位置Ｐが存在していてもよい。   
【００６０】
各種の工程処理機構４としては、ターンテーブル２１の回転方向に順に、例えば、パーツフィーダ４１、テストコンタクト装置４２、マーキングユニット４３、外観検査装置４５、分類ソート機構４６、テーピングユニット４７、不良品排出装置４８が配置されている。   
【００６１】
パーツフィーダ４１は、電子部品検査装置１に電子部品Ｄを供給する装置であり、ターンテーブル２１の外周端直下まで多数の電子部品Ｄを整列させて連続的に供給する。テストコンタクト装置４２は、ベリリウム銅等の板状の金属であるコンタクトを有し、電子部品Ｄにプローブソケットを一定荷重で接触させ、電流を流したり、電圧を印加したりすることで、電子部品Ｄの電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定検査する。   
【００６２】
マーキングユニット４３は、電子部品Ｄに臨んでレーザ照射用のレンズを有し、レーザを電子部品Ｄに照射してマーキングを行う。外観検査装置４５は、カメラを有し、電子部品Ｄを撮影し、画像から電子部品Ｄの電極形状、表面の欠陥、キズ、汚れ、異物等の有無を検査する。   
【００６３】
分類ソート機構４６は、外観検査や電気特性の検査の結果に応じて電子部品Ｄを不良品と良品とに分類し、そのレベルに応じて分類してシュートする。テーピングユニット４７は、電子部品Ｄの収納ポケットがエンボス加工により形成されたキャリアテープを間欠的に移送し、良品と判定された電子部品Ｄを当該収納ポケットに収納する。不良品排出装置４８は、テーピング梱包されなかった電子部品Ｄを電子部品検査装置１から排出する。   
【００６４】
このような電子部品検査装置１は、以下のように動作する。まず、電子部品検査装置１の動作の１サイクルは、搬送と工程処理よりなる。搬送では、電子部品Ｄの受け取り、電子部品Ｄの移動、及び電子部品Ｄの受け渡しを順に経る。   
【００６５】
電子部品Ｄの受け取りでは、吸着ノズル３０１の下降と、工程処理機構４のステージ４ａにある電子部品Ｄへの荷重及び吸着と、吸着ノズル３０１の上昇を順に経る。電子部品Ｄの受け渡しでは、吸着ノズル３０１の下降と、工程処理機構４のステージ４ａへの電子部品Ｄの荷重及び離脱と、吸着ノズル３０１の上昇を順に経る。   
【００６６】
個別的には、ターンテーブル２１は、１サイクルごとに所定角度回転して所定時間停止する。各吸着ノズル３０１は、ターンテーブル２１の間欠回転によって、ターンテーブル２１の外周上の各停止位置Ｐに順に移動する。   
【００６７】
吸着ノズル３０１の停止位置Ｐには、いずれかの種類の工程処理機構４が配置されている。各吸着ノズル３０１は、停止位置Ｐに移動すると、サーボモータ３１８の駆動によって駆動体３０８を介して押し下げられ、工程処理機構４のステージ４ａへ向けて下降する。ボイスコイルモータ３０９には、電子部品Ｄの当接前にから電圧を印加して推力Ｃを発生させておき、電子部品Ｄを介して吸着ノズル３１をステージ４ａに当接させた状態では、ロッド３１０と吸着ノズル３０１を介して電子部品Ｄに所望の荷重をかかる。ボイスコイルモータ３０９への電圧印加のタイミングは、サーボモータ３１８の駆動開始と同時であってもよいし、エンコーダにより得られた位置情報を元に電子部品Ｄの当接直前でもよく、各種設定が可能である。   
【００６８】
ボイスコイルモータ３０９に印加する電圧は、電子部品保持装置３毎、及び工程処理毎に可変される。具体的には、電子部品検査装置１は、図示しない制御部を有している。制御部には、予め、オフセット情報と荷重情報とが記憶されている。オフセット情報は、各電子部品保持装置３に対応して記憶されている。荷重情報は、各工程処理機構４に対応して記憶されている。   
【００６９】
オフセット情報は、第１圧縮バネ３０６の離反付勢力Ａと第２圧縮バネ３１５の補助付勢力Ｂの固体差を埋める推力を示す。荷重情報は、工程処理機構による処理において電子部品Ｄに掛ける荷重を示す。   
【００７０】
制御部は、所定の工程処理機構４のステージ４ａに位置した電子部品保持装置３のボイスコイルモータ３０９に対して、その電子部品保持装置３に対応するオフセット情報と工程処理機構４に対応する荷重情報とが示す荷重の総計に対応する電圧を印加させる。これにより、電子部品Ｄには、各処理工程で所望する荷重が掛けられる。   
【００７１】
工程処理機構４は、電子部品Ｄを受け取ると、当該電子部品Ｄに処理を施す。電子部品Ｄへの処理が終了すると、吸着ノズル３０１は再びステージ４ａへ向けて下降し、電子部品Ｄに所望の荷重を掛けながら吸着し、上昇する。吸着ノズル３０１が電子部品Ｄを保持すると、ターンテーブル２１は、次のサイクルに移って所定角度回転する。   
【００７２】
（電子部品分類装置）
本実施形態に係る電子部品保持装置３は、電子部品検査装置１の他、電子部品分類装置１００にも適用が可能である。以下、本実施形態に係る電子部品保持装置３を備える電子部品分類装置１００の適用例について説明する。   
【００７３】
図６に示すように、電子部品分類装置１００には、ウェハシート１０１を保持するウェハ保持ステージ１０２が、Ｘ軸、Ｙ軸、θ軸の３方向に移動自在に設けられている。ウェハ保持ステージ１０２にはウェハ駆動機構が付設されている。ウェハ駆動機構は、ウェハ保持ステージ１０２上のウェハシート１０１をＸ軸、Ｙ軸、θ軸の３方向に移動させる機構である。電子部品分類装置１００では、このウェハ駆動機構によりウェハ保持ステージ１０２上のウェハシート１０１を移動させ、ウェハシート１０１上のピックアップ対象となる電子部品Ｄを、所望の姿勢で、予め決められたピックアップポイントＰ１に位置させる。   
【００７４】
また、ウェハ保持ステージ１０２に隣接して、Ｘ軸及びＹ軸方向に移動可能な再配列ステージ１０３が配置されている。再配列ステージ１０３にはＢＩＮプレートなどからなる再配列プレート１０４が載置されている。再配列プレート１０４は、表面の粘着性シートに同一ランクの電子部品Ｄを矩形状に整列させるものである。   
【００７５】
再配列ステージ１０３には再配列プレート駆動機構が付設されている。再配列プレート駆動機構は、再配列ステージ１０３をＸ軸及びＹ軸方向に移動させる機構である。電子部品分類装置１００では、この再配列プレート駆動機構により再配列プレート１０４をピッチ移動させ、再配列プレート１０４の貼り付け対象スペースを、予め決められた貼り付けポイントＰ２に位置させている。   
【００７６】
ウェハ保持ステージ１０２及び再配列ステージ１０３の間には、電子部品Ｄの搬送手段として、旋回アーム１０６が設けられている。旋回アーム１０の先端には、電子部品保持装置３が固定されている。旋回アーム１０６は、ピックアップポイントＰ１及び貼り付けポイントＰ２の上方に達するように往復旋回動作を行い、且つ各ポイントＰ１、Ｐ２にて旋回動作を停止するようになっている。   
【００７７】
また、この電子部品分類装置１００は、吸着ノズル３０１の軌跡上の一点を撮像する撮像手段１０５を有する。撮像手段１０５は、例えばＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサである。この撮像手段１０５は、吸着ノズル３０１が撮像ポイントに到達したタイミングで、吸着ノズル３０１に吸着された電子部品Ｄの画像を撮像する。電子部品分類装置１００は、この画像から電子部品Ｄの姿勢情報を取得し、姿勢情報に合わせて再配列プレート１０４を移動させる。   
【００７８】
このような電子部品分類装置１００における電子部品保持装置３を図７に示す。図７に示すように、旋回アーム１０６は、上側旋回アーム１０６ａと下側旋回アーム１０６ｂを有する。上側旋回アーム１０６ａには、サーボモータ３１８と円筒カム３１９とカムフォロア３２０と駆動体３０８とが配設される逆Ｌ字型のフレーム１０７が固定される。下側旋回アーム１０６ｂには、吸着ノズル３０１と第１圧縮バネ３０６とが配設されるアーム３０３が固定される。   
【００７９】
アーム３０３の先端は、ロッド３１０の軸点よりも水平方向へ延びた位置にある。吸着ノズル３０１は、アーム３０３の先端に貫設された軸受け３０４に支持されており、吸着ノズル３０１の後端には、ロッド３１０の直下まで延びる延長部材３０１ａが延設されている。吸着ノズル３０１の直上は、サーボモータ３１８や駆動体３０８等は存在せず、空間部となっている。撮像手段１０５は、この空間部を介して吸着ノズル３０１に吸着された電子部品Ｄを撮像する。   
【００８０】
第１圧縮バネ３０６は、ロッド３１０と同軸上に位置し、延長部材３０１ａを下方から押し上げるように、アーム３０３の上面に配設されている。吸着ノズル３０１は、延長部材３０１ａを介して第１圧縮バネ３０６により上方に持ち上げられるように付勢される。また、吸着ノズル３０１は、延長部材３０１ａと駆動体３０８を介してウェハシート１０１及び再配列プレート１０４に向けて押し下げられる。   
【００８１】
第１圧縮バネ３０６の離反付勢力Ａと第２圧縮バネ３１５の補助付勢力Ｂは、延長部材３０１ａに作用するが、略同一且つ反対方向の力であるため相殺され、吸着ノズル３０１への荷重は、ボイスコイルモータ３０９を駆動させていない状態では、約０ニュートンとなる。   
【００８２】
このような電子部品分類装置１００において、電子部品保持装置３は、吸着ノズル３０１をピックアップポイントＰ１に下降させて、電子部品Ｄに所望の荷重を掛けながら一つずつ吸着させ、ピックアップポイントＰ１から上昇させる。   
【００８３】
具体的には、吸着ノズル３０１は、サーボモータ３１８の回転力によって駆動体３０８を介して押し下げられ、ボイスコイルモータ３０９の駆動により所望の荷重が掛けられながら、真空発生により電子部品Ｄを吸着する。電子部品Ｄの吸着後、駆動体３０８を上昇させ、第１圧縮バネ３０６の離反付勢力Ａによって吸着ノズル３０１を上昇位置に復帰させる。   
【００８４】
そして、旋回アーム１０６は、吸着ノズル３０１の上昇位置を維持したまま旋回し、吸着ノズル３０１が貼り付けポイントＰ２の上方に達すると停止する。旋回アーム１０６の停止後、電子部品保持装置３は、吸着ノズル３０１を貼り付けポイントＰ２上に下降させ、電子部品Ｄに所望の荷重を掛けながら、電子部品Ｄを再配列プレート１０４上に貼り付ける。   
【００８５】
具体的には、吸着ノズル３０１は、サーボモータ３１８の回転力によって駆動体３０８を介して押し下げられ、ボイスコイルモータ３０９の駆動により所望の荷重が掛けられながら、真空破壊により電子部品Ｄを離脱させる。電子部品Ｄの離脱後、駆動体３０８を上昇させ、第１圧縮バネ３０６の離反付勢力Ａによって吸着ノズル３０１を上昇位置に復帰させる。   
【００８６】
（効果）
以上説明したように、本実施形態の電子部品保持装置３は、ステージ４ａやウェハシート１０１や再配列プレート１０４等の電子部品Ｄの載置位置に対して昇降可能に支持され、電子部品Ｄを保持及び離脱させる吸着ノズル３０１等の保持手段を有し、さらに保持手段を載置位置に対して昇降させる駆動制御手段とは別に、載置位置に載置された電子部Ｄ品に対する荷重を保持手段を介して制御する荷重制御手段を備えるようにした。   
【００８７】
駆動制御手段としては、例えば、吸着ノズル３０１を載置位置から離反させる方向に付勢する第１圧縮バネ３０６と、吸着ノズル３０１の上方に配置され、載置位置に対して昇降可能に支持された駆動体３０８と、第１圧縮バネ３０６の付勢に抗して、駆動体３０８を介して吸着ノズル３０１を載置位置の方向に降下させるサーボモータ３１８である。また、荷重制御手段としては、例えば、駆動体３０８に配置され、印加される電圧値に応じて推力Ｃを可変するボイスコイルモータ３０９と、吸着ノズル３０１の上方又は同軸上に位置するように駆動体３０８に配置され、ボイスコイルモータ３０９の推力Ｃを吸着ノズル３０１に伝達するロッド３１０である。   
【００８８】
このように、吸着ノズル３０１の高速な昇降が可能な駆動制御手段から荷重制御手段を切り離すことで、低荷重の制御が可能な各種のモータを用いた荷重制御も可能となり、電子部品保持装置の高速化と精密な荷重制御の両立を図ることができる。特に、ボイスコイルモータ３０９は、１ｇ単位での荷重コントロールが可能であり、低荷重下での精密な荷重コントロールが可能である。   
【００８９】
また、吸着ノズル３０１を上昇させるために第１圧縮バネ３０６を用いた場合であっても、第２圧縮バネ３１５によりその付勢力を相殺することで、ボイスコイルモータ３０９による低荷重制御の実効を確実にする。   
【００９０】
さらに、この電子部品保持装置３を電子部品検査装置１に備えるようにした場合には、電子部品Ｄを受渡しするステージ４ａを有する各種の工程処理機構４に応じて、ボイスコイルモータ３０９に印加する電圧値を可変することで、各種の工程処理に所望される荷重制御をより精密且つ安定的に実行することができる。特に、電気特性検査では、この電子部品保持装置３を用いることにより、プローブソケットと電子部品Ｄの接触時の高精度且つ安定的な低荷重制御が可能となり、信頼性あるテスト結果や良好な繰り返し性を得ることができる。   
【００９１】
以上のように本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。この新規な実施形態は、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   
【００９２】
例えば、本実施形態では、駆動制御手段としてサーボモータ３１８を用いる場合を例に説明したが、モータとしては、ステッピングモータ等公知の何れも適用が可能である。また、電子部品Ｄに掛ける荷重を０ニュートンで統一する場合であって、第１圧縮バネ３０６と第２圧縮バネ３１５のバネ定数を同一とできるのであれば、ボイスコイルモータ３０８を排除することも可能である。さらに、充分な推力を発生させることのできるボイスコイルモータ３０８であれば、補助付勢体たる第２圧縮バネ３１５を排除することも可能である。   
【００９３】
また、保持手段として、真空の発生及び破壊により電子部品Ｄを吸着及び離脱させる吸着ノズル３０１に代えて、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｄを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。   
【００９４】
電子部品検査装置１としては、一つのターンテーブル２１に各種の工程処理機構４を配置する場合を例に挙げたが、搬送機構としては、直線搬送方式であってもよく、また複数のターンテーブル２１で一の搬送経路を構成するようにしてもよい。各種の工程処理機構４は、上記した種類に限られず、各種の工程処理機構４と置き換えることが可能であり、配置順序も適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００９５】
１  電子部品検査装置
２１  ターンテーブル
２２  ダイレクトドライブモータ
２３  フレーム
３  電子部品保持装置
３０１  吸着ノズル
３０１ａ  延長部材
３０２  先端
３０３  アーム
３０４  軸受け
３０５  エジェクタ
３０６  第１圧縮バネ
３０７  フランジ
３０８  駆動体
３０９  ボイスコイルモータ
３１０  ロッド
３１１  フレーム
３１２  フレーム下腕
３１３  軸受け
３１４  フレーム上腕
３１５  第２圧縮バネ
３１６  フランジ
３１７  リニアガイド
３１８  サーボモータ
３１９  円筒カム
３２０  カムフォロア
３２１  バネ
４  工程処理機構
４ａ  ステージ
４１  パーツフィーダ
４２  テストコンタクト
４３  マーキングユニット
４５  外観検査装置
４６  分類ソート機構
４７  テーピングユニット
４８  不良品排出装置
５１  磁石
５２  環状コイル
５３  昇降部
１００  電子部品分類装置
１０１  ウェハシート
１０２  ウェハ保持ステージ
１０３  再配列ステージ
１０４  再配列プレート
１０５  撮像手段
１０６  旋回アーム
１０６ａ  上側旋回アーム
１０６ｂ  下側旋回アーム
１０７  フレーム
Ａ  離反付勢力
Ｂ  補助付勢力
Ｃ  推力
Ｄ  電子部品
Ｐ  停止位置
Ｐ１  ポイント
Ｐ２  ポイント
【図１】
2012073282.tif 000003
【図２】
2012073282.tif 000004
【図３】
2012073282.tif 000005
【図４】
2012073282.tif 000006
【図５】
2012073282.tif 000007
【図６】
2012073282.tif 000008
【図７】
2012073282.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月1日(2013.3.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置位置に対して電子部品の受取及び受渡を行う電子部品保持装置であって、
前記載置位置に対して昇降可能に支持され、前記電子部品を保持及び離脱させる保持手段と、
前記保持手段を前記載置位置に対して昇降させる駆動制御手段と、
前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記載置位置に載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、
を備え、
前記駆動制御手段は、
前記保持手段を前記載置位置から離反させる方向に付勢する離反付勢体と、
前記保持手段の上方に配置され、前記載置位置に対して昇降可能に支持された駆動体と、
前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記載置位置の方向に降下させるモータと、
を含み、
前記荷重制御手段は、
前記保持手段の同軸上に位置するように前記駆動体に配置され、前記保持手段に前記電子部品に対する所望の押圧力を伝達するロッドと、
前記離反付勢体の前記ロッドに対する付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体と、
前記駆動体に配置され、前記ロッドに押圧力を与えるボイスコイルモータと、
を含み、
前記ロッドは、前記補助付勢体を介さずに前記保持手段に押圧力を与えること、
を特徴とする電子部品保持装置。
【請求項２】
前記ロッドは、前記保持手段に直接当接して、前記保持手段に押圧力を直接与えること、
を特徴とする請求項１記載の電子部品保持装置。
【請求項３】
前記補助付勢体は、前記ロッドに挿入されていること、
を特徴とする請求項１又は２記載の電子部品保持装置。
【請求項４】
電子部品を搬送しながら各種の工程処理を行う電子部品検査装置であって、
前記電子部品の処理経路に並んで配置され、前記電子部品が載置されるステージをそれぞれ有する各種の工程処理手段と、
前記各種の工程処理手段に前記電子部品を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段に配置されるとともに、前記ステージに対して昇降可能に支持され、前記ステージに対して前記電子部品を受渡する保持手段と、
前記保持手段を前記ステージに対して昇降させる駆動制御手段と、
前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記ステージに載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、
を備え、
前記駆動制御手段は、
前記保持手段を前記ステージから離反させる方向に付勢する離反付勢体と、
前記保持手段の上方に配置され、前記ステージに対して昇降可能に支持された駆動体と、
前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記ステージの方向に降下させるモータと、
を含み、
前記荷重制御手段は、
前記保持手段の同軸上に位置するように前記駆動体に配置され、前記保持手段に前記電子部品に対する所望の押圧力を伝達するロッドと、
前記離反付勢体の前記ロッドに対する付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体と、
前記駆動体に配置され、前記ロッドに押圧力を与えるボイスコイルモータと、
を含み、
前記ロッドは、前記補助付勢体を介さずに前記保持手段に押圧力を与えること、
を特徴とする電子部品検査装置。
【請求項５】
前記ロッドは、前記保持手段に直接当接して、前記保持手段に押圧力を直接与えること、
を特徴とする請求項４記載の電子部品検査装置。
【請求項６】
前記補助付勢体は、前記ロッドに挿入されていること、
を特徴とする請求項４又は５記載の電子部品検査装置。
【請求項７】
前記電子部品を受渡しする前記ステージを有する前記各種の工程処理手段に応じて、前記ボイスコイルモータの推力を可変すること、
を特徴とする請求項４乃至６の何れかに記載の電子部品検査装置。
【請求項８】
未分類状態の電子部品が複数配列されたウェハシート上から、所定の分類情報に基づいて前記電子部品をピックアップし、ピックアップした前記電子部品を再配列プレート上に貼り付ける電子部品分類装置において、
前記ウェハシートと前記再配列プレートに対して昇降可能に支持され、前記電子部品を保持して前記ウェハシートから前記再配列プレートまで搬送する保持手段と、
前記保持手段を前記ウェハシート及び前記再配列プレートに対して昇降させる駆動制御手段と、
前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記ウェハシート及び前記再配列プレートに載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、
を備え、
前記駆動制御手段は、
前記保持手段を前記ウェハシート及び前記再配列プレートから離反させる方向に付勢する離反付勢体と、
前記保持手段の上方に配置され、前記ウェハシート及び前記再配列プレートに対して昇降可能に支持された駆動体と、
前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記ウェハシート又は前記再配列プレートの方向に降下させるモータと、
を含み、
前記荷重制御手段は、
前記保持手段の上方に位置するように前記駆動体に配置され、前記保持手段に前記電子部品に対する所望の押圧力を伝達するロッドと、
前記離反付勢体の前記ロッドに対する付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体と、
前記駆動体に配置され、前記ロッドに押圧力を与えるボイスコイルモータと、
を含み、
前記ロッドは、前記補助付勢体を介さずに前記保持手段に押圧力を与えること、
を特徴とする電子部品分類装置。
【請求項９】
前記ロッドは、前記保持手段に直接当接して、前記保持手段に押圧力を直接与えること、を特徴とする請求項８記載の電子部品分類装置。
【請求項１０】
前記補助付勢体は、前記ロッドに挿入されていること、
を特徴とする請求項８又は９記載の電子部品分類装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明に係る電子部品保持装置は、載置位置に対して電子部品の受取及び受渡を行う電子部品保持装置であって、前記載置位置に対して昇降可能に支持され、前記電子部品を保持及び離脱させる保持手段と、前記保持手段を前記載置位置に対して昇降させる駆動制御手段と、前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記載置位置に載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、を備え、前記駆動制御手段は、前記保持手段を前記載置位置から離反させる方向に付勢する離反付勢体と、前記保持手段の上方に配置され、前記載置位置に対して昇降可能に支持された駆動体と、前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記載置位置の方向に降下させるモータと、を含み、前記荷重制御手段は、前記保持手段の同軸上に位置するように前記駆動体に配置され、前記保持手段に前記電子部品に対する所望の押圧力を伝達するロッドと、前記離反付勢体の前記ロッドに対する付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体と、前記駆動体に配置され、前記ロッドに押圧力を与えるボイスコイルモータと、を含み、前記ロッドは、前記補助付勢体を介さずに前記保持手段に押圧力を与えること、を特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
前記ロッドは、前記保持手段に直接当接して、前記保持手段に押圧力を直接与えるようにしてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記補助付勢体は、前記ロッドに挿入されているようにしてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明に係る電子部品検査装置は、電子部品を搬送しながら各種の工程処理を行う電子部品検査装置であって、前記電子部品の処理経路に並んで配置され、前記電子部品が載置されるステージをそれぞれ有する各種の工程処理手段と、前記各種の工程処理手段に前記電子部品を搬送する搬送手段と、前記搬送手段に配置されるとともに、前記ステージに対して昇降可能に支持され、前記ステージに対して前記電子部品を受渡する保持手段と、前記保持手段を前記ステージに対して昇降させる駆動制御手段と、前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記ステージに載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、を備え、前記駆動制御手段は、前記保持手段を前記ステージから離反させる方向に付勢する離反付勢体と、前記保持手段の上方に配置され、前記ステージに対して昇降可能に支持された駆動体と、前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記ステージの方向に降下させるモータと、を含み、前記荷重制御手段は、前記保持手段の同軸上に位置するように前記駆動体に配置され、前記保持手段に前記電子部品に対する所望の押圧力を伝達するロッドと、前記離反付勢体の前記ロッドに対する付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体と、前記駆動体に配置され、前記ロッドに押圧力を与えるボイスコイルモータと、を含み、前記ロッドは、前記補助付勢体を介さずに前記保持手段に押圧力を与えること、を特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
前記ロッドは、前記保持手段に直接当接して、前記保持手段に押圧力を直接与えるようにしてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
前記補助付勢体は、前記ロッドに挿入されているようにしてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
前記電子部品を受渡しする前記ステージを有する前記各種の工程処理手段に応じて、前記ボイスコイルモータの推力を可変するようにしてもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明に係る電子部品分類装置は、未分類状態の電子部品が複数配列されたウェハシート上から、所定の分類情報に基づいて前記電子部品をピックアップし、ピックアップした前記電子部品を再配列プレート上に貼り付ける電子部品分類装置において、前記ウェハシートと前記再配列プレートに対して昇降可能に支持され、前記電子部品を保持して前記ウェハシートから前記再配列プレートまで搬送する保持手段と、前記保持手段を前記ウェハシート及び前記再配列プレートに対して昇降させる駆動制御手段と、前記駆動制御手段とは別体として配置され、前記ウェハシート及び前記再配列プレートに載置された前記電子部品に対する荷重を前記保持手段を介して制御する荷重制御手段と、を備え、前記駆動制御手段は、前記保持手段を前記ウェハシート及び前記再配列プレートから離反させる方向に付勢する離反付勢体と、前記保持手段の上方に配置され、前記ウェハシート及び前記再配列プレートに対して昇降可能に支持された駆動体と、前記離反付勢体の付勢に抗して、前記駆動体を介して前記保持手段を前記ウェハシート又は前記再配列プレートの方向に降下させるモータと、を含み、前記荷重制御手段は、前記保持手段の上方に位置するように前記駆動体に配置され、前記保持手段に前記電子部品に対する所望の押圧力を伝達するロッドと、前記離反付勢体の前記ロッドに対する付勢力を相殺するように、前記ロッドを前記保持手段の方向に付勢する補助付勢体と、前記駆動体に配置され、前記ロッドに押圧力を与えるボイスコイルモータと、を含み、前記ロッドは、前記補助付勢体を介さずに前記保持手段に押圧力を与えること、を特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
前記ロッドは、前記保持手段に直接当接して、前記保持手段に押圧力を直接与えるようにしてもよい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
前記補助付勢体は、前記ロッドに挿入されているようにしてもよい。
【国際調査報告】
2012073282.tif 000010
2012073282.tif 000011
2012073282.tif 000012