(57)【要約】  本発明に係わる配線欠陥検査方法は、半導体基板の短絡経路の抵抗値を取得し、取得された該抵抗値に基づいて特定された電圧を、該欠陥部を有する該半導体基板に印加して該欠陥部を発熱させ温度上昇させ、該欠陥部が発熱し温度が上昇した該半導体基板を赤外線カメラで撮影する。
2012147807.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板に設けられた配線の抵抗値を測定することにより、配線短絡部の有無を判定する抵抗値測定工程と、
上記抵抗値測定工程において上記配線短絡部を有すると判定された半導体基板の該配線短絡部を含む短絡経路に、該抵抗値測定工程で測定された抵抗値に基づいて特定された電圧を印加して、該短絡経路を発熱させる発熱工程と、
上記発熱工程において発熱した短絡経路を、赤外線カメラで撮影して、該撮影の情報に基づいて上記配線短絡部の位置を特定する位置特定工程と、
を含むことを特徴とする配線欠陥検査方法。
【請求項２】
上記発熱工程において上記配線に印加される上記電圧は、上記抵抗値が大きいほど、高くするように調整する、
ことを特徴とする請求項１に記載の配線欠陥検査方法。
【請求項３】
上記発熱工程において上記配線に印加される上記電圧は、上記抵抗値の平方根に比例する値の電圧である、
ことを特徴とする請求項２に記載の配線欠陥検査方法。
【請求項４】
上記発熱工程において上記配線に印加される上記電圧は、上記抵抗値に比例する値の電圧である、
ことを特徴とする請求項２に記載の配線欠陥検査方法。
【請求項５】
半導体基板に設けられた配線の予め測定された抵抗値を取り込むデータ取り込み部と、
上記配線に電圧を印加する電圧印加部と、
上記電圧印加部を制御する制御部と、
上記制御部による制御を受けた電圧印加によって発熱した半導体基板から赤外線を検出する赤外線カメラと、
を備えており、
上記制御部は、上記データ取り込み部によって取り込まれた抵抗値に基づいて、上記発熱のための印加電圧の電圧値を制御する構成となっている、ことを特徴とする配線欠陥検査装置。
【請求項６】
半導体基板に設けられた配線に電圧を印加する電圧印加部と、
上記配線の抵抗値を測定する抵抗測定部と、
上記電圧印加部を制御する制御部と、
上記制御部による制御を受けた電圧印加によって発熱した半導体基板から赤外線を検出する赤外線カメラと、
を備えており、
上記制御部は、上記抵抗測定部によって測定された抵抗値に基づいて、上記発熱のための印加電圧の電圧値を制御する構成となっている、ことを特徴とする配線欠陥検査装置。
【請求項７】
基板上に、ゲート電極、ソース電極、および、ドレイン電極のうちの少なくとも１つと、それに繋がる配線と、半導体膜とを形成して、当該配線が形成された半導体基板を形成する半導体基板形成工程と、
上記半導体基板に設けられた上記配線の抵抗値を測定することにより、配線短絡部の有無を判定する抵抗値測定工程と、
上記抵抗値測定工程において上記配線短絡部を有すると判定された半導体基板の当該配線短絡部を含む短絡経路に、当該抵抗値測定工程で測定された抵抗値に基づいて特定された電圧を印加して、当該短絡経路を発熱させる発熱工程と、
上記発熱工程において発熱した短絡経路を、赤外線カメラで撮影して、当該撮影の情報に基づいて上記配線短絡部の位置を特定する位置特定工程と、
を含むことを特徴とする、半導体基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや太陽電池パネル等の半導体基板に形成された配線の欠陥検出に好適な配線の欠陥検査方法および欠陥検査装置、並びに半導体基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板の一例として、例えば、液晶パネルの製造プロセスは、アレイ（ＴＦＴ）工程、セル（液晶）工程、およびモジュール工程に大別される。このうち、アレイ工程においては、透明基板上に、ゲート電極、半導体膜、ソース・ドレイン電極、保護膜、および透明電極が形成された後にアレイ検査が行われ、電極または配線等の配線の短絡の有無が検査される。【０００３】
通常、アレイ検査においては、このような欠陥を、配線の端部にプローブを接触させ、配線両端における電気抵抗または隣接する配線間の電気抵抗および電気容量を測定することにより特定している。しかしながら、アレイ検査において、配線部の欠陥の有無を検出できたとしても、その欠陥の位置を特定するのは容易ではなかった。【０００４】
例えば、上記の問題を改善し、欠陥の位置を特定する方法として、リーク欠陥基板に電圧を印加させて発熱させ、赤外線カメラによりリーク欠陥基板表面温度を撮像したものを用いて欠陥位置を特定する赤外線検査がある。【０００５】
特許文献１は赤外線画像により基板の短絡欠陥を検出する赤外線検査に関するものであり、電圧を印加する前後の基板の赤外線画像の差画像を用いることにより、発熱している配線を検出し、欠陥位置を特定できるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】日本国公開特許公報「特開平６−２０７９１４号公報（公開日：平成６年７月２６日）」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１には以下のように記述されている。特許文献１の技術を用いると、リーク欠陥基板において印加電圧が小さいと引出部のみが検出できない。一方、電圧値を上げて配線も検出できるようにすると電圧が高すぎてしまい、短絡している画素を焼き切ったり、正常な薄膜トランジスタを損傷したりする虞がある。そのため、電圧を徐々に上げる必要があると記載されているが、電圧を徐々に上げるためには、処理時間は長くかかってしまう。これにより、リーク欠陥基板当たりの検査時間も当然長くなり、単位時間当たりの検査処理能力を高くすることはできない。【０００８】
また、印加電圧を徐々に上げる場合は、電圧の印加を開始してから電圧の印加を終了するまでの時間が長くなってしまう。これは、発熱部が発熱している発熱時間が長くなるということである。この熱は、発熱部から周辺部へと熱伝導していく。その結果、本来は発熱していない周辺部も温度上昇する。このような状況の下、赤外線画像を撮像すると、本来は発熱していない部分を、発熱している部位として誤検知してしまう。そのため、発熱した経路を精度よく検知することが困難になったり、発熱部の輪郭が不鮮明になり、発熱部からの配線を認識することが困難になったりする。【０００９】
更に、この技術においては、リーク欠陥箇所を安定して検出することは容易ではない。なぜなら、リーク欠陥基板の種類、短絡箇所（リーク欠陥基板上の場所）、または、短絡箇所自身の抵抗値などにより、上昇温度（発熱量）にばらつきが生じるからである。リーク欠陥基板の種類が異なると、配線の電気抵抗率、線幅または膜厚が異なるため、上昇温度（発熱量）はばらついてしまう。また、基板上の配線はいずれも同一のものではなく、場所により配線の線幅および膜厚が異なるため、短絡箇所（基板上の場所）によっても、上昇温度（発熱量）はばらついてしまう。短絡は、基板製造途中に混入した導電性の異物、配線層の成膜工程での膜残り、または、静電気破壊等の様々な要因によって生じるため、短絡箇所自身の電気抵抗値は短絡の発生ごとに大きく異なり、したがって、上昇温度（発熱量）にばらつきが生じる。【００１０】
そのため、いずれのリーク欠陥基板に同じ電圧値の電圧を印加したとしても、上記理由により上昇温度（発熱量）にばらつきが生じるため、発熱しているリーク欠陥箇所を安定して検出することは困難である。【００１１】
本発明は、上記の課題に鑑みて為されたものであり、その目的は、抵抗検査により事前に測定した抵抗値に基づいて特定した電圧をリーク欠陥基板上の短絡経路に印加することにより、リーク欠陥基板の種類、短絡箇所（リーク欠陥基板上の場所）、または、短絡箇所自身の抵抗値などに関わらず、リーク欠陥基板上の短絡経路における発熱量が一定になり、赤外線検査において安定してリーク欠陥箇所を特定することができる方法および装置、並びに半導体基板の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
そこで、上記の課題を解決するために、本発明に係わる配線欠陥検査方法は、
半導体基板に設けられた配線の抵抗値を測定することにより、配線短絡部の有無を判定する抵抗値測定工程と、
上記抵抗値測定工程において上記配線短絡部を有すると判定された半導体基板の該配線短絡部を含む短絡経路に、該抵抗値測定工程で測定された抵抗値に基づいて特定された電圧を印加して、該短絡経路を発熱させる発熱工程と、
上記発熱工程において発熱した短絡経路を、赤外線カメラで撮影して、該撮影の情報に基づいて上記配線短絡部の位置を特定する位置特定工程と、
を含むことを特徴としている。【００１３】
上記の構成によれば、抵抗検査によって事前に取得された抵抗値に基づいて特定された電圧を、半導体基板（リーク欠陥基板）に印加することにより、該半導体基板（リーク欠陥基板）における発熱量が一定になり、赤外線カメラを用いる赤外線検査により温度上昇を確実に確認することができ、短絡部を特定することができる。また、印加電圧が高すぎて欠陥部を焼き切ってしまうことがないため、短絡部を安定して特定することができる。【００１４】
また本発明に係わる配線欠陥検査装置は、上記の課題を解決するために、
半導体基板に設けられた配線の予め測定された抵抗値を取り込むデータ取り込み部と、
上記配線に電圧を印加する電圧印加部と、
上記電圧印加部を制御する制御部と、
上記制御部による制御を受けた電圧印加によって発熱した半導体基板から赤外線を検出する赤外線カメラと、
を備えており、
上記制御部は、上記データ取り込み部によって取り込まれた抵抗値に基づいて、上記発熱のための印加電圧の電圧値を制御する構成となっている、ことを特徴とする。【００１５】
上記の構成によれば、予め測定された配線の抵抗値に基づいて特定された電圧を、半導体基板（リーク欠陥基板）に印加することにより、該半導体基板（リーク欠陥基板）における発熱量が一定になり、赤外線カメラを用いる赤外線検査により温度上昇を確実に確認することができ、短絡部を特定することができる。また、印加電圧が高すぎて欠陥部を焼き切ってしまうことがないため、短絡部を安定して特定することができる。【００１６】
また、抵抗測定を別装置において実施するため、抵抗測定と赤外線カメラ撮像を並行して動作することができ、処理能力を向上させることが可能となる。【００１７】
また本発明に係わる別の配線欠陥検査装置は、上記の課題を解決するために、
半導体基板に設けられた配線に電圧を印加する電圧印加部と、
上記配線の抵抗値を測定する抵抗測定部と、
上記電圧印加部を制御する制御部と、
上記制御部による制御を受けた電圧印加によって発熱した半導体基板から赤外線を検出する赤外線カメラと、
を備えており、
上記制御部は、上記抵抗測定部によって測定された抵抗値に基づいて、上記発熱のための印加電圧の電圧値を制御する構成となっている、ことを特徴としている。【００１８】
上記の構成によれば、抵抗検査によって事前に取得された抵抗値に基づいて特定された電圧を、半導体基板（リーク欠陥基板）に印加することにより、該半導体基板（リーク欠陥基板）における発熱量が一定になり、赤外線カメラを用いる赤外線検査により温度上昇を確実に確認することができ、短絡部を特定することができる。また、印加電圧が高すぎて欠陥部を焼き切ってしまうことがないため、短絡部を安定して特定することができる。【００１９】
さらに、配線欠陥検査装置自身が配線の抵抗値を測定するため、抵抗値を測定する装置を別途必要としなくなるため、装置台数を削減することができる。【００２０】
また本発明に係る半導体基板の製造方法は、基板上に、ゲート電極、ソース電極、および、ドレイン電極のうちの少なくとも１つと、それに繋がる配線と、半導体膜とを形成して、当該配線が形成された半導体基板を形成する半導体基板形成工程と、
上記半導体基板に設けられた上記配線の抵抗値を測定することにより、配線短絡部の有無を判定する抵抗値測定工程と、
上記抵抗値測定工程において上記配線短絡部を有すると判定された半導体基板の当該配線短絡部を含む短絡経路に、当該抵抗値測定工程で測定された抵抗値に基づいて特定された電圧を印加して、当該短絡経路を発熱させる発熱工程と、
上記発熱工程において発熱した短絡経路を、赤外線カメラで撮影して、当該撮影の情報に基づいて上記配線短絡部の位置を特定する位置特定工程と、
を含むことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明に係わる配線欠陥検査方法および配線欠陥検査装置により、抵抗検査によって事前に取得された抵抗値に基づいて特定された電圧を、半導体基板（リーク欠陥基板）に印加することにより、該半導体基板（リーク欠陥基板）における発熱量が一定になり、赤外線カメラを用いる赤外線検査により温度上昇を確実に確認することができ、短絡部を特定することができる。また、印加電圧が高すぎて欠陥部を焼き切ってしまうことがないため、短絡部を安定して特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係わる配線欠陥検査装置の構成を示すブロック図と、液晶パネルを有するマザー基板の構成を示す斜視図である。
【図２】上記配線欠陥検査装置の構成を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態において用いられる液晶パネルおよびプローブの平面図である。
【図４】本発明の実施形態に係わる配線欠陥検査方法を示すフローチャートである。
【図５】本発明の実施形態において用いられる画素部の欠陥を示す模式図である。
【図６】本発明の実施形態において用いられる短絡経路を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
〔実施形態１〕
本発明に係わる配線欠陥検査方法の一実施形態について、図１〜図５を参照して説明する。
【００２４】
図１の（ａ）は、本実施形態における配線欠陥検査方法を行う配線欠陥検査装置１００の構成を示すブロック図であり、図１の（ｂ）は、配線欠陥検査装置１００を用いて配線欠陥検査される対象であるマザー基板１（半導体基板）の斜視図である。
【００２５】
配線欠陥検査装置１００は、図１の（ｂ）に示すマザー基板１上に形成された複数の液晶パネル２（半導体基板）において配線等の欠陥を検査することができる。そのため、配線欠陥検査装置１００は、液晶パネル２と導通させるためのプローブ３、および、プローブ３を各液晶パネル２上に移動させるプローブ移動手段４を備えている。また配線欠陥検査装置１００は、赤外線画像を取得するための赤外線カメラ５、および、赤外線カメラ５を液晶パネル２上において移動させるカメラ移動手段６を備えている。更に配線欠陥検査装置１００は、プローブ移動手段４およびカメラ移動手段６を制御する主制御部７（制御部）を備えている。
【００２６】
上記プローブ３には、液晶パネル２の配線間の抵抗を測定するための抵抗測定部８、および、液晶パネル２の配線間に電圧を印加するための電圧印加部９が接続されている。これら抵抗測定部８および電圧印加部９は、主制御部７により制御されている。
【００２７】
上記主制御部７は、配線間の抵抗値および画像データを記憶するデータ記憶部１０に接続されている。
【００２８】
図２は、本実施形態における配線欠陥検査装置１００の構成を示す斜視図である。配線欠陥検査装置１００は、図２に示すように、基台上にアライメントステージ１１が設置されており、アライメントステージ１１にはマザー基板１が載置できるように構成されている。マザー基板１が載置されたアライメントステージ１１は、プローブ移動手段４およびカメラ移動手段６のＸＹ座標軸と平行に位置調整される。このとき、アライメントステージ１１の位置調整には、アライメントステージ１１の上方に設けられた、マザー基板１の位置を確認するための光学カメラ１２が用いられる。
【００２９】
上記プローブ移動手段４は、アライメントステージ１１の外側に配置されたガイドレール１３ａにスライド可能に設置されている。また、プローブ移動手段４の本体側にもガイドレール１３ｂおよび１３ｃが設置されており、マウント部１４ａがこれらのガイドレール１３に沿ってＸＹＺの各座標方向に移動できるように設置されている。このマウント部１４ａには、液晶パネル２に対応したプローブ３が搭載されている。
【００３０】
上記カメラ移動手段６は、プローブ移動手段４の外側に配置されたガイドレール１３ｄにスライド可能に設置されている。また、カメラ移動手段６の本体にもガイドレール１３ｅおよび１３ｆが設置されており、３箇所のマウント部１４ｂ、１４ｃ、および１４ｄがこれらのガイドレール１３に沿ってＸＹＺの各座標方向に別々に移動することができる。
【００３１】
マウント部１４ｃにはマクロ計測用の赤外線カメラ５ａが搭載され、マウント部１４ｂにはミクロ計測用の赤外線カメラ５ｂが搭載され、また、マウント部１４ｄには光学カメラ１６が搭載されている。
【００３２】
マクロ計測用の赤外線カメラ５ａは、視野が５２０×４０５ｍｍ程度まで広げられたマクロ計測が可能な赤外線カメラである。マクロ計測用の赤外線カメラ５ａは、視野を広げるため、例えば、４台の赤外線カメラを組み合わせて構成されている。すなわち、マクロ計測用の赤外線カメラ１台当たりの視野は、マザー基板１の概ね１／４になっている。
【００３３】
また、ミクロ計測用の赤外線カメラ５ｂは、視野が３２×２４ｍｍ程度と小さいが高分解能の撮影が行えるミクロ計測が可能な赤外線カメラである。
【００３４】
なお、カメラ移動手段６には、マウント部を追加して、欠陥箇所を修正するためのレーザ照射装置を搭載することもできる。レーザ照射装置を搭載することにより、欠陥部の位置を特定した後、欠陥部にレーザを照射することにより連続して欠陥修正を行うことができる。
【００３５】
プローブ移動手段４およびカメラ移動手段６は、それぞれが別々のガイドレール１３ａおよび１３ｄに設置されている。そのため、アライメントステージ１１の上方をＸ座標方向に、互いに干渉されずに移動することができる。これにより、液晶パネル２にプローブ３を接触させた状態のまま、赤外線カメラ５ａ、５ｂ、および光学カメラ１６を液晶パネル２上に移動させることができる。
【００３６】
図３（ａ）は、マザー基板１に形成されている複数の液晶パネル２のうちの１つの液晶パネル２の平面図である。各液晶パネル２には、図３（ａ）に示すように、走査線および信号線が交差する各交点にＴＦＴが形成された画素部１７、および、走査線および信号線をそれぞれ駆動する駆動回路部１８が形成されている。液晶パネル２の縁部には、端子部１９ａ〜１９ｄが設置されており、端子部１９ａ〜１９ｄは画素部１７または駆動回路部１８の配線と繋がっている。
【００３７】
なおこの液晶パネル２は、透明基板上に、ゲート電極、半導体膜、ソース電極、ドレイン電極、保護膜、および透明電極が形成されることで作製されている。以下にこの液晶パネル２の具体的な製造方法について一例を挙げて説明する。
【００３８】
まず、透明基板全体に、スパッタリング法により、例えばチタン膜、アルミニウム膜およびチタン膜等の金属膜を順に成膜し、その後、フォトリソグラフィによりパターニングして、ゲート配線、ゲート電極および容量配線を例えば４０００Å程度の厚さで形成する。
【００３９】
続いて、ゲート配線、ゲート電極および容量配線が形成された基板全体に、例えばプラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法により、窒化シリコン膜等を成膜し、ゲート絶縁膜を厚さ４０００Å程度に形成する。
【００４０】
さらに、ゲート絶縁膜が形成された基板全体に、プラズマＣＶＤ法により、真性アモルファスシリコン膜、および、リンがドープされたｎ＋アモルファスシリコン膜を連続して成膜する。その後、これらのシリコン膜をフォトリソグラフィによりゲート電極上に島状にパターニングして、厚さ２０００Å程度の真性アモルファスシリコン層、および厚さ５００Å程度のｎ＋アモルファスシリコン層が積層された半導体膜を形成する。
【００４１】
そして、上記半導体膜が形成された基板全体に、スパッタリング法により、アルミニウム膜およびチタン膜等を成膜した後に、フォトリソグラフィによりパターニングして、ソース配線、ソース電極、導電膜、ドレイン電極をそれぞれ厚さ２０００Å程度に形成する。
【００４２】
続いて、ソース電極およびドレイン電極をマスクとして上記半導体膜のｎ＋アモルファスシリコン層をエッチングすることにより、チャネル部をパターニングして、ＴＦＴを形成する。
【００４３】
さらに、ＴＦＴが形成された基板全体に、スピンコート法により、例えば、アクリル系の感光性樹脂を塗布し、その塗布された感光性樹脂をフォトマスクを介して露光する。その後、上記露光した感光性樹脂を現像することにより、ドレイン電極上に層間絶縁膜を厚さ２μｍ〜３μｍ程度に形成する。続いて、層間絶縁膜にコンタクトホールを各画素毎に形成する。
【００４４】
次に、層間絶縁膜上の基板全体に、スパッタリング法により、ＩＴＯ膜を成膜し、その後、フォトリソグラフィによりパターニングして、透明電極を厚さ１０００Å程度に形成する。
【００４５】
以上のようにして、液晶パネル２（半導体基板）を形成することができる。
【００４６】
なお、以上の製造方法の一例は、マザー基板１（半導体基板）に対して適用することができ、大型の透明基板を用いて、複数（例えば図１（ｂ）では８つ）の液晶パネルが形成される領域に上述の各過程を適用してゲート電極などを形成し、透明電極を形成した後に、以下に説明する配線欠陥検査方法を実施して、欠陥が検出されたものについては欠陥の修復を行ない、必要に応じて再度配線欠陥検査方法を実施して欠陥の無い良品を製造し、欠陥が検出されなかったものについてはその時点で良品とする。そして、例えば、その後工程として、各液晶パネルをマザー基板から分離して、１つの液晶パネルとして製造を完了することができる。欠陥修復は、例えばレーザを照射して短絡部分を切断する方法があるがこれに限定されるものではない。
【００４７】
図３（ｂ）は、液晶パネル２に設置された端子部１９ａ〜１９ｄと導通させるためのプローブ３の平面図である。プローブ３は、図３（ａ）に示す液晶パネル２の大きさとほぼ同じ大きさの枠状の形状を成しており、液晶パネル２に設置された端子部１９ａ〜１９ｄに対応した複数のプローブ針２１ａ〜２１ｄを備えている。
【００４８】
複数のプローブ針２１ａ〜２１ｄは、スイッチングリレー（図示なし）を介して、プローブ針２１の一本ずつを個別に図１の（ａ）に示す抵抗測定部８および電圧印加部９に接続することができる。このため、プローブ３は、端子部１９ａ〜１９ｄに繋がる複数の配線を選択的に接続させたり、複数の配線をまとめて接続させたりすることができる。
【００４９】
また、プローブ３は、液晶パネル２とほぼ同じ大きさの枠の形状を成している。そのため、端子部１９ａ〜１９ｄおよびプローブ針２１ａ〜２１ｄの位置を合わせる際に、プローブ３の枠の内側から光学カメラ１６を用いて該位置を確認することができる。
【００５０】
上記のように、本実施形態に係わる配線欠陥検査装置１００は、プローブ３、および、プローブ３と接続された抵抗測定部８を備えており、プローブ３を液晶パネル２に導通させて、それぞれの配線の抵抗値および隣接する配線間の抵抗値などを測定することができる。
【００５１】
また、本実施形態に係わる配線欠陥検査装置１００は、プローブ３、プローブ３と接続された電圧印加部９、および、赤外線カメラ５ａおよび５ｂを備えている。そして、プローブ３を介して液晶パネル２の配線または配線間に電圧を印加し、欠陥部に電流が流れることによる発熱を赤外線カメラ５ａおよび５ｂを用いて計測し、欠陥部の位置を特定することができる。
【００５２】
したがって、本実施形態に係わる配線欠陥検査装置１００によれば、１台の検査装置により、抵抗検査および赤外線検査を兼用して行うことができる。
【００５３】
図４は、本実施形態に係わる配線欠陥検査装置１００を用いた配線欠陥検査方法のフローチャートである。本実施形態に係わる配線欠陥検査方法は、図４に示すように、マザー基板１に形成された複数の液晶パネル２について、ステップＳ１〜ステップＳ９のステップにより、順次、配線欠陥検査が実施される。
【００５４】
ステップＳ１において、配線欠陥検査装置１００のアライメントステージ１１にマザー基板１が載置され、ＸＹ座標軸と平行になるように基板の位置が調整される。
【００５５】
ステップＳ２において、プローブ移動手段４によりプローブ３が検査対象となる液晶パネル２の上部に移動され、プローブ針２１ａ〜２１ｄが液晶パネル２の端子部１９ａ〜１９ｄと接触する。
【００５６】
ステップＳ３において、各種欠陥のモードに対応して、抵抗検査するための配線または配線間が選択され、導通させるプローブ針２１の切り替えが行われる。
【００５７】
ステップＳ４（抵抗値測定工程）において、抵抗検査が行われる。ステップＳ４では、選択された配線または配線間の抵抗値が測定され、該抵抗値と、欠陥が無い場合の抵抗値との比較により欠陥の有無が検査される。
【００５８】
そして、当該検査の結果により欠陥が有ると判明した場合は、測定された該抵抗値がデータ記憶部１０に記憶される。
【００５９】
ここで図５（ａ）〜（ｃ）では、一例として、画素部１７に生じる欠陥部２３（配線短絡部）の位置を模式的に示している。
【００６０】
図５（ａ）は、例えば、走査線および信号線のように、配線Ｘおよび配線Ｙが上下に交差する液晶パネルにおいて、当該交差部分において配線Ｘと配線Ｙとが短絡している欠陥部２３を示している。導通させるプローブ針２１を、図３に示した２１ａと２１ｄとの組または２１ｂと２１ｃとの組に切り替え、配線Ｘ１〜Ｘ１０および配線Ｙ１〜Ｙ１０に関して１対１で配線間の抵抗値を測定することにより、欠陥部２３の有無と位置を特定することができる。
【００６１】
図５（ｂ）は、例えば、走査線および補助容量線のような、隣接する配線Ｘの配線間において短絡した欠陥部２３を示している。このような欠陥部２３は、導通させるプローブ針２１を、２１ｂの奇数番と２１ｄの偶数番との組に切り替えて、配線Ｘ１〜Ｘ１０の隣り合う配線間の抵抗値を測定することにより、欠陥部２３の有る配線を特定することができる。そして、検査の結果により欠陥が有ると判明した場合、測定された該抵抗値がデータ記憶部１０に記憶される。
【００６２】
図５（ｃ）は、例えば、信号線および補助容量線のような、隣接する配線Ｙの配線間において短絡した欠陥部２３を示している。このような欠陥部２３は、導通させるプローブ針２１を、２１ａの奇数番と２１ｃの偶数番との組に切り替えて、配線Ｙ１〜Ｙ１０の隣り合う配線間の抵抗値を測定することにより、欠陥部２３の有る配線を特定できる。そして、検査の結果により欠陥が有ると判明した場合、測定された該抵抗値がデータ記憶部１０に記憶される。
【００６３】
ステップＳ５において、ステップＳ４において検査された欠陥部２３の有無により、赤外線検査を行うか否かが判断される。欠陥部２３が有る場合は赤外線検査を行うためにステップＳ６に移行し、欠陥部２３がない場合は赤外線検査を行わずにステップＳ８に移行する。このステップＳ５は、抵抗値測定工程の一部であるといえる。
【００６４】
例えば、図５（ａ）に示すように、配線Ｘおよび配線Ｙが交差する箇所において欠陥部２３が生じる場合は、配線間の抵抗検査により、配線Ｘ４および配線Ｙ４に異常が検出されるので、欠陥部２３の位置まで特定することができる。そのため、図５（ａ）に示す欠陥部２３の場合は、その位置を赤外線検査により特定（ステップＳ６）することを必ずしも要しない。つまり、配線Ｘと配線Ｙのすべての組み合わせ毎に抵抗検査するのであれば、位置特定もできるので、赤外線検査は不要となる。しかし、組み合わせ数は膨大であるため長時間を要する。例えば、フルハイビジョン用液晶パネルの場合、配線Ｘが１０８０本、配線Ｙが１９２０なので、全組み合わせは約２０７万となる。このような組み合わせ毎に抵抗検査をすると、タクトが長時間となり、検査処理能力が大幅に低くなってしまい、現実的ではない。そのため、配線Ｘと配線Ｙのすべての組み合わせをいくつかにまとめて抵抗検査をすることで、抵抗検査回数を削減できる。例えば、一つにまとめた配線Ｘと、一つにまとめた配線Ｙとの間で抵抗検査を行えば、この抵抗検査回数はわずか１回となる。しかしながら、抵抗検査により、配線間の短絡を検出することはできるが、位置を特定することはできない。そのため、欠陥部２３の位置を赤外線検査により特定することが必要となる。
【００６５】
一方、図５（ｂ）または図５（ｃ）のように、隣接する配線間において欠陥部２３が生じる場合は、一対の配線、例えば、配線Ｘ３と配線Ｘ４との間に欠陥部が有ることは特定できる。しかし、その配線の長さ方向においては欠陥部２３の位置は特定できないため、欠陥部２３の位置を赤外線検査により特定することが必要となる。
【００６６】
隣り合う配線間の抵抗検査は膨大な数であるため長時間を要する。例えば、フルハイビジョン用液晶パネルの場合、隣り合う配線Ｘ間の抵抗検査回数は１０７９、隣り合う配線Ｙ間の抵抗検査回数は１９１９となる。図５（ｂ）の場合のような隣り合う配線Ｘ間の抵抗検査の場合、すべてのＸ奇数番と、すべてのＸ偶数番との間で抵抗検査を行えば、この抵抗検査回数はわずか１回となる。図５（ｃ）の場合のような隣り合う配線Ｙ間の抵抗検査の場合、すべてのＹ奇数番と、すべてのＹ偶数番との間で抵抗検査を行えば、この抵抗検査回数はわずか１回となる。しかしながら、抵抗検査により、配線間の短絡を検出することはできるが、位置を特定することはできない。そのため、欠陥部２３の位置を赤外線検査により特定することが必要となる。
【００６７】
ステップＳ６（発熱工程）において、赤外線検査が必要と判断された液晶パネル２に関して赤外線検査が行われる。
【００６８】
本発明は、ステップＳ４においてデータ記憶部１０に記憶された抵抗値に基づいて電圧値を設定し、該電圧値の電圧が電圧印加部９により上記液晶パネル２に印加される点が、特徴である。
【００６９】
具体的には、本実施形態では、ステップＳ４において取得した抵抗値の平方根に比例する印加電圧Ｖ（ボルト）を、上記液晶パネル２に印加する。すなわち、ステップＳ６では、印加電圧Ｖ（ボルト）を以下の式（１）；
【００７０】
【数１】
2012147807.tif 000003
【００７１】
と設定する。
【００７２】
ここで、単位時間当たりの発熱量Ｊ（ジュール）は、以下の式（２）；
【００７３】
【数２】
2012147807.tif 000004
【００７４】
と表されるから、上記式（１）および（２）より、単位時間当たりの発熱量Ｊは以下の式（３）；
【００７５】
【数３】
2012147807.tif 000005
【００７６】
と表される。
【００７７】
すなわち、式（１）に基づいて、抵抗値の平方根に比例する印加電圧Ｖ（ボルト）を液晶パネル２に印加することにより、単位時間当たりの発熱量を一定にすることができる。
【００７８】
したがって、基板の種類または基板上における欠陥部２３の発生場所等の短絡原因により、欠陥部２３を含む短絡経路の抵抗値は大きく変動するが、本実施形態のステップＳ６を行うことにより、単位時間当たりの発熱量を一定にすることができる。
【００７９】
ステップＳ６の電圧調整は、図１に示す主制御部７が電圧印加部９を制御して行う。
【００８０】
ステップＳ７（位置特定工程）において、上記電圧が印加されることにより電流が生じて発熱した欠陥部２３からの赤外光を検出するために、赤外線カメラを用いて欠陥部２３を撮影する。本実施形態では、マクロ計測用の赤外線カメラ５ａと、ミクロ計測用の赤外線カメラ５ｂとを備え、まずは液晶パネル２の広範囲を視野内に収めることができるマクロ計測用の赤外線カメラ５ａを用いて、必要に応じてマクロ計測用の赤外線カメラ５ａを走査して欠陥部２３の位置を特定する。続いて、必要に応じて、発熱部の周辺をミクロ計測用の赤外線カメラ５ｂを用いて計測してもよい。マクロ計測用の赤外線カメラ５ａにより、発熱部の位置が特定されているため、ミクロ計測用の赤外線カメラ５ｂの視野内に、発熱部が位置するように、カメラを移動させることができ、欠陥部２３の座標位置を高精度に特定したり、あるいは修正に必要な形状等の情報についての計測を行うことができる。なお、本実施形態では、マクロ計測用の赤外線カメラ５ａと、ミクロ計測用の赤外線カメラ５ｂとを備えて２段階での撮影を行っているが、本発明はこれに限定されるものではなく、１つの赤外線カメラを用いて１段階での撮影を行う構成であってもよい。あるいは、後述する変形例のような撮影ステップを実施してもよい。
【００８１】
ここで、上記短絡経路は、配線部分と欠陥部２３とから構成されているので、短絡経路の発熱量Ｊは、配線部分の発熱量Ｊ１と、欠陥部２３の発熱量Ｊ２とから構成される。
【００８２】
そして、以下のように；
（ａ）欠陥部２３の抵抗値が比較的小さい場合、この欠陥部２３の発熱量Ｊ２は小さくなる。しかし、上述のように短絡経路の発熱量Ｊは一定であるので、欠陥部２３の発熱量Ｊ２が小さくなることにより、配線部分の発熱量Ｊ１が大きくなる。したがって、赤外線画像には、よく発熱している配線部分を容易に認識することができる。そして、この認識された部分を更に解析して、配線と配線とが短絡している部分を特定することにより、欠陥部２３を検出することができる。
【００８３】
（ｂ）欠陥部２３の抵抗値が比較的大きい場合、この欠陥部２３の発熱量Ｊ２は大きくなる。この場合、上述のように短絡経路の発熱量Ｊは一定であるので、欠陥部２３の発熱量Ｊ２が大きくなることにより、配線部分の発熱量Ｊ１が小さくなる。したがって、赤外線画像には、よく発熱している欠陥部２３を容易に認識することができる。
【００８４】
（ｃ）欠陥部２３の抵抗値が小さくもなく大きくもない場合、上述のように、短絡経路の発熱量Ｊは一定であるので、欠陥部２３も配線部分も同程度に発熱することになる。したがって、赤外線画像から、欠陥部２３も配線部分も容易に認識することができる。
【００８５】
以上の（ａ）から（ｃ）により、欠陥部２３または配線部の何れかは十分に発熱するため、撮影された赤外線画像において、電流が流れる欠陥部２３または配線部の温度が周辺よりも高く表示される。これにより、容易に欠陥部２３の位置が特定される。特定された該位置は、データ記憶部１０に記憶される。
【００８６】
ステップＳ８において、検査中の液晶パネル２について、各種欠陥モードの全検査が終了しているか否かが判断され、未検査の欠陥モードがある場合、ステップＳ３に戻る。そして、次の欠陥モードに合わせてプローブ３の接続が切り替えられ、欠陥検査が繰り返される。ここで、欠陥モードとは、図５に示したような欠陥部２３の種類である。図５では、３つの欠陥モードを示している。すなわち、図５（ａ）の配線Ｘと配線Ｙとの短絡欠陥モード、図５（ｂ）の配線Ｘ間の短絡欠陥モード、図５（ｃ）の配線Ｙ間の短絡欠陥モードである。
【００８７】
ステップＳ９において、検査中のマザー基板１について、全ての液晶パネル２の欠陥検査が終了しているか否かが判断され、未検査の液晶パネル２が残っている場合、ステップＳ２に戻る。そして、次の検査対象となる液晶パネル２にプローブが移動されて、欠陥検査が繰り返される。
【００８８】
（本実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、抵抗検査により欠陥の有無を判断し、欠陥が有ると判断された場合は液晶パネル２の短絡経路における抵抗値が取得される。さらに、該抵抗値に基づいて特定された電圧を液晶パネル２に印加することにより、欠陥部２３または配線部の何れかが十分に発熱するため、赤外線検査の際に欠陥の位置を容易に認識することができる。
【００８９】
また、本実施形態に係わる配線欠陥検査方法を用いれば、欠陥部２３および配線部の発熱量が足りずに欠陥部２３の位置が分からないということはない。更に、高電圧がかかりすぎて欠陥部２３が焼き切れてしまったりすることもないため、赤外線検査の際に欠陥部２３の位置を安定して特定することができる。
【００９０】
（変形例）
本実施形態では、図１に示すように、配線の抵抗値を測定する抵抗測定部８が設けられた構成について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、配線の予め測定された抵抗値を取り込むデータ取り込み部（不図示）を備えた構成として、主制御部７は、上記データ取り込み部によって取り込まれた抵抗値に基づいて、上記発熱のための印加電圧の電圧値を制御する構成となっていてもよい。
【００９１】
このように構成することによって、抵抗測定を別装置において実施するため、抵抗測定と赤外線カメラ撮像を並行して動作することができ、処理能力を向上させることが可能となる。
【００９２】
〔実施形態２〕
本発明に係わる他の実施形態について説明する。
【００９３】
この実施形態においては、実施形態１における装置と同様の装置を用い、印加電圧Ｖ（ボルト）が実施形態１と異なるよう、以下のように設定する。
【００９４】
上述の実施形態１では、ステップＳ６において、ステップＳ４において取得した抵抗値の平方根に比例する印加電圧Ｖ（ボルト）を液晶パネル２に印加する。これに対して、本実施形態では、ステップＳ４において取得した抵抗値に比例する印加電圧Ｖ（ボルト）を、液晶パネル２（図１の（ｂ）および図２）に印加する。
【００９５】
具体的には、本実施形態のステップＳ６では、印加電圧Ｖ（ボルト）を以下の式（４）；
【００９６】
【数４】
2012147807.tif 000006
【００９７】
と設定する。ここで、電流Ｉ（アンペア）は次の式（５）；
【００９８】
【数５】
2012147807.tif 000007
【００９９】
となる。つまり、印加電圧を適切に定めることにより、電流を一定にすることができる。
【０１００】
ここで、基板に形成された配線の抵抗値Ｒは、次の式（６）；
【０１０１】
【数６】
2012147807.tif 000008
【０１０２】
であり、電気抵抗率ρおよび断面積Ａは、配線の種類および場所によって決まっている定数である。したがって、単位長さ当たりの配線の抵抗値Ｒ／Ｌ＝ρ／Ａも定数となる。すなわち、配線の種類および場所ごとに付与した番号をｉとすると、配線ｉの単位長さ当たりの抵抗値ｒ（ｉ）は、次の式（７）；
【０１０３】
【数７】
2012147807.tif 000009
【０１０４】
と表される。
【０１０５】
したがって、配線ｉの単位長さ当たりの配線ｉの発熱量は、上記式（２）、（５）および（７）より、次の式（８）；
【０１０６】
【数８】
2012147807.tif 000010
【０１０７】
となる。
【０１０８】
ここで、図６は、短絡経路を説明するための図であり、薄膜トランジスタ基板の電気的配線図の一例である。図６の薄膜トランジスタ基板は、ガラス基板上に走査線（配線）３１〜３５と信号線（配線）４１〜４５が格子状に配置され、各交点には図示しない薄膜トランジスタおよび透明画素電極が接続された、全体で５×５画素が形成された基板である。この薄膜トランジスタ基板と、図示しない共通電極基板とを平行に配置して、その間に液晶が封入したものが、液晶パネルである。また、薄膜トランジスタ基板には、図６に示すように、走査線の各引き出し線３１ｐ〜３５ｐの先端部を共通線３０により共通に接続して静電破壊を防止するようにしている。信号線についても同様である。図６に示す薄膜トランジスタ基板では、走査線３３と信号線４３との間に、短絡箇所５０が形成されている。このような薄膜トランジスタ基板において、短絡経路が引き出し線３３ｐ→走査線３３→短絡箇所５０→信号線４３→引き出し線４３ｐのように分けられた場合を考えると、単位長さ当たりの走査線３３および信号線４３の発熱量を、それぞれ一定にすることができる。
【０１０９】
したがって、短絡箇所の電気抵抗の大小に関わらず、あらかじめ定数ｍを適切に定めておくことにより、赤外線画像により、走査線３３および信号線４３を安定して認識することができる。
【０１１０】
そして、この認識された配線部分を更に解析して、走査線３３と信号線４３とが短絡している部分を特定することにより、短絡箇所を特定することができる。もし、短絡箇所の抵抗値が高い場合、短絡箇所の発熱量が大きくなるため、赤外線画像から短絡箇所を容易に特定することができる。
【０１１１】
また、配線の抵抗値に基づいて電圧を定めるには、主制御部７が上記式（１）ないしは式（４）を計算する処理をその都度実行すればよい。あるいは、抵抗値と電圧との関係を予めテーブルにして記憶しておき、主制御部７がこのテーブルをその都度参照して、抵抗値から電圧を定めればよい。
【０１１２】
以上のように、本実施形態の配線欠陥検査方法および配線欠陥検査装置によっても、実施形態１と同様に、欠陥を赤外線画像により認識することができる。
【０１１３】
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。当業者は、請求項に示した範囲内において、本発明をいろいろと変更できる。すなわち、請求項に示した範囲内において、適宜変更された技術的手段を組み合わせれば、新たな実施形態が得られる。すなわち、発明の詳細な説明の項においてなされた具体的な実施形態は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、そのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではなく、本発明の精神と次に記載する請求の範囲内で、いろいろと変更して実施することができるものである。
【０１１４】
（本発明の総括）
本発明に係わる配線欠陥検査方法は、
半導体基板に設けられた配線の抵抗値を測定することにより、配線短絡部の有無を判定する抵抗値測定工程と、
上記抵抗値測定工程において上記配線短絡部を有すると判定された半導体基板の該配線短絡部を含む短絡経路に、該抵抗値測定工程で測定された抵抗値に基づいて特定された電圧を印加して、該短絡経路を発熱させる発熱工程と、
上記発熱工程において発熱した短絡経路を、赤外線カメラで撮影して、該撮影の情報に基づいて上記配線短絡部の位置を特定する位置特定工程と、
を含むことを特徴としている。
【０１１５】
上記の構成によれば、抵抗検査によって事前に取得された抵抗値に基づいて特定された電圧を、半導体基板（リーク欠陥基板）に印加することにより、該半導体基板（リーク欠陥基板）における発熱量が一定になり、赤外線カメラを用いる赤外線検査により温度上昇を確実に確認することができ、短絡部を特定することができる。また、印加電圧が高すぎて欠陥部を焼き切ってしまうことがないため、短絡部を安定して特定することができる。
【０１１６】
また、本発明に係わる配線欠陥検査方法の一形態は、上記の構成に加えて、
上記発熱工程において上記配線に印加される上記電圧は、上記抵抗値が大きいほど、高くする、ことが好ましい。
【０１１７】
これにより、半導体基板（リーク欠陥基板）における発熱量が一定になる。
【０１１８】
また、本発明に係わる配線欠陥検査方法の一形態は、上記の構成に加えて、
上記発熱工程において上記配線に印加される上記電圧は、上記抵抗値の平方根に比例する値の電圧である、ことが好ましい。
【０１１９】
これにより、半導体基板（リーク欠陥基板）における発熱量が一定になる。
【０１２０】
また、本発明に係わる配線欠陥検査方法の一形態は、上記の構成に替えて、
上記発熱工程において上記配線に印加される上記電圧は、上記抵抗値に比例する値の電圧であってもよい。
【０１２１】
この構成によっても、半導体基板（リーク欠陥基板）における発熱量が一定になる。
【０１２２】
また本発明に係わる配線欠陥検査装置は、上記の課題を解決するために、
半導体基板に設けられた配線の予め測定された抵抗値を取り込むデータ取り込み部と、
上記配線に電圧を印加する電圧印加部と、
上記電圧印加部を制御する制御部と、
上記制御部による制御を受けた電圧印加によって発熱した半導体基板から赤外線を検出する赤外線カメラと、
を備えており、
上記制御部は、上記データ取り込み部によって取り込まれた抵抗値に基づいて、上記発熱のための印加電圧の電圧値を制御する構成となっている、ことを特徴とする。
【０１２３】
上記の構成によれば、予め測定された配線の抵抗値に基づいて特定された電圧を、半導体基板（リーク欠陥基板）に印加することにより、該半導体基板（リーク欠陥基板）における発熱量が一定になり、赤外線カメラを用いる赤外線検査により温度上昇を確実に確認することができ、短絡部を特定することができる。また、印加電圧が高すぎて欠陥部を焼き切ってしまうことがないため、短絡部を安定して特定することができる。
【０１２４】
また、抵抗測定を別装置において実施するため、抵抗測定と赤外線カメラ撮像を並行して動作することができ、処理能力を向上させることが可能となる。
【０１２５】
また本発明に係わる配線欠陥検査装置は、上記の課題を解決するために、
半導体基板に設けられた配線に電圧を印加する電圧印加部と、
上記配線の抵抗値を測定する抵抗測定部と、
上記電圧印加部を制御する制御部と、
上記制御部による制御を受けた電圧印加によって発熱した半導体基板から赤外線を検出する赤外線カメラと、
を備えており、
上記制御部は、上記抵抗測定部によって測定された抵抗値に基づいて、上記発熱のための印加電圧の電圧値を制御する構成となっている、ことを特徴としている。
【０１２６】
上記の構成によれば、抵抗検査によって事前に取得された抵抗値に基づいて特定された電圧を、半導体基板（リーク欠陥基板）に印加することにより、該半導体基板（リーク欠陥基板）における発熱量が一定になり、赤外線カメラを用いる赤外線検査により温度上昇を確実に確認することができ、短絡部を特定することができる。また、印加電圧が高すぎて欠陥部を焼き切ってしまうことがないため、短絡部を安定して特定することができる。
【０１２７】
さらに、配線欠陥検査装置自身が配線の抵抗値を測定するため、抵抗値を測定する装置を別途必要としなくなるため、装置台数を削減することができる。
【０１２８】
また本発明に係る半導体基板の製造方法は、基板上に、ゲート電極、ソース電極、および、ドレイン電極のうちの少なくとも１つと、それに繋がる配線と、半導体膜とを形成して、当該配線が形成された半導体基板を形成する半導体基板形成工程と、
上記半導体基板に設けられた上記配線の抵抗値を測定することにより、配線短絡部の有無を判定する抵抗値測定工程と、
上記抵抗値測定工程において上記配線短絡部を有すると判定された半導体基板の当該配線短絡部を含む短絡経路に、当該抵抗値測定工程で測定された抵抗値に基づいて特定された電圧を印加して、当該短絡経路を発熱させる発熱工程と、
上記発熱工程において発熱した短絡経路を、赤外線カメラで撮影して、当該撮影の情報に基づいて上記配線短絡部の位置を特定する位置特定工程と、
を含むことを特徴としている。
【産業上の利用可能性】
【０１２９】
本発明は、液晶パネルなどの配線を有する半導体基板の配線状態の検査に用いることができる。
【符号の説明】
【０１３０】
１    マザー基板（半導体基板）
２    液晶パネル（半導体基板）
３    プローブ
４    プローブ移動手段
５ａ、５ｂ    赤外線カメラ
６    カメラ移動手段
７    主制御部（制御部）
８    抵抗測定部
９    電圧印加部
１０    データ記憶部
１１    アライメントステージ
１２、１６    光学カメラ
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅ、１３ｆ    ガイドレール
１４ａ、１４ｂ、１４ｄ、１４ｄ    マウント部
１７    画素部
１８    駆動回路部
１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ    端子部
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ    プローブ部
２３    欠陥部（配線短絡部）
３０、４０ａ、４０ｂ    共通線
３１、３２、３３、３４、３５    走査線
３１ｐ、３２ｐ、３３ｐ、３４ｐ、３５ｐ    走査線引出線
４１、４２、４３、４４、４５    信号線
４１ｐ、４２ｐ、４３ｐ、４４ｐ、４５ｐ    信号線引出線
５０    短絡箇所
１００    配線欠陥検査装置
【図１】
2012147807.tif 000011
【図２】
2012147807.tif 000012
【図３】
2012147807.tif 000013
【図４】
2012147807.tif 000014
【図５】
2012147807.tif 000015
【図６】
2012147807.tif 000016
【国際調査報告】
2012147807.tif 000017
2012147807.tif 000018
2012147807.tif 000019
2012147807.tif 000020