(57)【要約】  多数の通気孔１２ａを有する軟質ポリウレタン樹脂製の多孔質シート１２を備える。多数の貫通孔１４ａが設けられ貫通孔１４ａを覆うように多孔質シート１２が重ねて取り付けられる金属板１４を備える。底板２４に一対の側壁２６が立設され、側壁２６の先端部分に金属板１４は取り付けられるとともに開口部が塞がれ、内側にチャンバ空間１８ａ，１８ｂを形成するチャンバ部材２０を備える。チャンバ部材２０は、チャンバ空間１８ｂ側の面にはリブ３２が立設され、リブ３２の先端部分及び側壁２６の先端部分に金属板１４が当接して固定される。
2012066613.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに連通した多数の通気孔を有するポーラス体の軟質ポリウレタン樹脂から成る多孔質シートと、  多数の貫通孔が設けられた金属の板であって、前記貫通孔を覆うように前記多孔質シートが重ねて貼り付けられる金属板と、  底板に一対の側壁が立設され、前記側壁の先端部分に前記金属板が取り付けられるとともに開口部が塞がれ、内側にチャンバ空間を形成するチャンバ部材とを備え、  前記チャンバ部材には、前記チャンバ空間を囲む内壁からリブが延設され、当該リブの先端部分及び前記側壁の先端部分に前記金属板が当接して固定されていることを特徴とする通気性搬送用テーブル。
【請求項２】
前記多孔質シートは導電性を有して形成され、前記チャンバ部材は金属で形成され、前記金属板と前記多孔質シートは導電性接着剤を介して接着され、前記金属板と前記チャンバ部材の固定も導電性接着剤を介して気密に接着固定されている請求項１記載の通気性搬送用テーブル。
【請求項３】
前記多孔質シートのアスカーＣ硬度が、１０〜８０°である請求項１又は２記載の通気性搬送用テーブル。
【請求項４】
前記多孔質シートの空孔率が、６０〜９０％である請求項１〜３のいずれか記載の通気性搬送用テーブル。
【請求項５】
前記チャンバ部材には、前記チャンバ空間を前記底面側の第１チャンバ空間と前記金属板側の第２チャンバ空間とに区切る仕切板が設けられ、  前記第１チャンバ空間にエアー供給装置からエアー圧を付与し、そのエアー圧が前記仕切板に形成されたエアー通過孔を通って前記第２チャンバ空間に付与される請求項１〜４の何れか記載の通気性搬送用テーブル。
【請求項６】
前記チャンバ部材の前記一対の側壁は、先端部分の互いに対向する内側に、前記金属板の端部を支持固定する一対の段差部が設けられ、前記多孔質シートは、前記一対の段差部に前記金属板が取り付けられた状態で、前記一対の側壁の先端が前記多孔質シートの表面から突出しないように固定されている請求項１〜５のいずれか記載の通気性搬送用テーブル。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、半導体ウエハ、ガラス基板、フラットパネルディスプレイ等を、エアー浮上により又は吸引固定して搬送するコンベア装置等に使用される通気性搬送用テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、エアー浮上式の搬送装置として、例えば、特許文献１に開示されているように、半導体ウエハ等の板状物を浮上させるエアーを噴出するエアー噴出孔が移送路に沿って設けられ、板状物の移送を案内するためのガイド手段と、板状物等を覆う防塵用のカバー部材とを備えた板状物移送装置がある。この板状物移送装置は、装置本体の底板の上面に移送路が設けられ、底板の内部を通る給気路から底板上面の移送路に向けて、複数のエアー噴出孔を所定の間隔で貫通させて形成したものである。【０００３】  また、特許文献２に開示されているように、表面がワークの搬送路面として使用されるポーラス体である多孔質板を備え、エジェクタによって負圧にされ、上記多孔質板の所定位置に設けた吸気孔からエアーを吸引する吸引室と、上記エジェクタからのエアー供給を受け、加圧エアーを上記多孔質板の裏面に送る噴出室と、吸引室及び噴出室を区画する隔壁部とで構成されたチャンバを備え、さらに、チャンバ内のエアーを冷却する冷却手段を備えた浮上ユニットがある。この浮上ユニットは、噴出室から送られた加圧エアーが多孔質板から噴出してワークを浮上させ、吸引室へのエアー吸引によってガラス基板等のワークを平面状に矯正し、冷却手段によってワークの熱を効率よく除去するものである。この浮上ユニットは、チャンバ内が２つの障壁部により区画され、チャンバの天井壁が上記２つの障壁部を介して底壁と一体化した構造を有している。多孔質板は、チャンバの天井壁の表面に形成された格子溝部を除く平坦な表面に接着されている。従って、噴出室から送りだされたエアーは、格子溝部内に露出した多孔質板の裏面から多孔質板に入り、表面に抜けていくものである。【０００４】  また、特許文献３に開示されているように、ガラス基板等の薄板をエアーで浮上させて搬送するエアー浮上搬送装置の空気吹き出し構造体であって、薄板の下方の最上部に配置される織金網と、織金網の下部に接合されているパンチングメタル等の貫通孔を通した多孔の補強部材と、底面に一対の側壁が立設され織金網及び補強部材で天井を塞ぐことによってチャンバ空間を形成するチャンバとを備え、織金網から吹き出すエアーによって薄板を浮上させる搬送装置がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６１−８６３１１号公報
【特許文献２】特開２００８−２７３７２９号公報
【特許文献３】特開２００９−７３６６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  しかし、特許文献１の板状物移送装置は、ワーク（板状物）の水平を保って浮上させ安定に搬送することが容易ではない問題がある。ワークを水平に保つためには、ワークの下面の広範囲にエアーを均等に吹き付ける必要があり、小径のエアー噴出孔を高密度で多数設けることが好ましい。しかし、この板状移送装置の場合、装置本体の底板のエアー噴出孔は、機械加工によって貫通孔を設けたものであり、微少なエアー噴出孔を高密度に設けることができないものである。従って、エアー噴出孔の位置によりエアー圧が異なったり、エアー流量が異なる等のムラが生じ易いものである。さらに、エアー噴出口のある底板はエアー噴出孔により滑らかな平面ではなく、表面全体で均一な浮上圧力を付与することができず、特に小形のワークを水平に搬送する用途に不向きである。【０００７】  特許文献２の浮上ユニットは、チャンバの噴出室から送出されたエアーが天井壁の表面の格子状の溝部から多孔質板に流れ、多孔質板の表面からエアーが噴出する際、格子状にエアーの噴出圧が低い部分が生じる恐れがある。さらに、多孔質カーボンや多孔質樹脂の空孔率が特定されておらず、空孔率が低すぎると、高いエアー圧を必要とし、ワークの搬送に多くのエネルギーを要する。また、空孔率が高すぎると、強度、面平滑性に劣ると言う問題がある。【０００８】  また、特許文献３の空気吹き出し構造体は、表面が織金網の多孔質材であり、表面の滑らかさが低く、被搬送物が金網の金属よりも軟らかい場合、織金網で傷つける恐れもある。さらに、パンチングメタル等の補強剤と織金網を接着する際、織金網裏面の平面度が低いので、補強材表面と接着しても、接着剤の付き方や織金網と補強剤との微少な隙間の差により、織金網に送られる空気圧及び噴出する空気圧にムラが生じ易い。従って、この構造の場合も特許文献１と同様に、織金網表面全面で均一な浮上圧力を付与することができないものである。さらに前述のとおり表面の滑らかさが低く、ワークを傷つける恐れがあるため、吸引固定するには適さないものである。【０００９】  この発明は、上記背景技術に鑑みて成されたもので、平坦で広い通気面を実現し、ワークに対して均一な圧力を付与することが可能な通気性搬送用テーブルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】  この発明は、互いに連通した多数の通気孔を有するポーラス体の軟質ポリウレタン樹脂から成る多孔質シートと、多数の貫通孔が設けられた金属の板であって、前記貫通孔を覆うように前記多孔質シートが重ねて貼り付けられる金属板と、底板に一対の側壁が立設され、前記側壁の先端部分に前記金属板が取り付けられるとともに開口部が塞がれ、内側にチャンバ空間を形成したチャンバ部材とを備え、前記チャンバ部材には、前記チャンバ空間を囲む内壁からリブが延設され、当該リブの先端部分及び前記側壁の先端部分に前記金属板が当接して固定されている通気性搬送用テーブルである。【００１１】  前記多孔質シートは導電性を有して形成され、前記チャンバ部材は金属で形成され、前記金属板と前記多孔質シートは導電性接着剤を介して接着され、前記金属板と前記チャンバ部材の固定も導電性接着剤を介して気密に接着固定されているものである。さらに、前記多孔質シートのアスカーＣ硬度が、１０〜８０°、好ましくは３０〜６０°である。さらに、前記多孔質シートの空孔率が６０〜９０％、好ましくは７０〜８０％である。【００１２】  前記チャンバ部材には、前記チャンバ空間を前記底面側の第１チャンバ空間と前記金属板側の第２チャンバ空間とに区切る仕切板が設けられ、  前記第１チャンバ空間にエアー供給装置からエアー圧を付与し、そのエアー圧が前記仕切板に形成されたエアー通過孔を通って前記第２チャンバ空間に付与されるものである。【００１３】  前記チャンバ部材の前記一対の側壁は、先端部分の互いに対向する内側に、前記金属板の端部を支持固定する一対の段差部が設けられ、前記多孔質シートは、前記一対の段差部に前記金属板が取り付けられた状態で、前記一対の側壁の先端が前記多孔質シートの表面から突出しないように固定されているものである。
【発明の効果】
【００１４】  この発明の通気性搬送用テーブルは、多孔質シートのほぼ全面から均一なエアー圧を付与することができ、しかも多孔質シートの表面が軟らかく、ワークに対する損傷も生じにくいものである。【００１５】  また、多孔質シートと補強材である金属板が、均一に接着され、多孔質シートのほぼ全面の通気孔にムラ無く均一なエアー圧を付与することが可能である。【００１６】  さらに、金属板は、チャンバ部材のリブの先端に固定されているので、エアー圧を受けても金属板及び多孔質シートが撓みにくく、平面度の高い面で広範囲にエアーの吹き出し面又は吸気面を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】この発明の通気性搬送用テーブルの一実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】この実施形態の通気性搬送用テーブルの内部構造を説明する断面図である。
【図３】この実施形態の通気性搬送用テーブルを使用したエアー浮上式コンベア装置の概略を示す斜視図である。
【図４】この発明の通気性搬送用テーブルの他の実施形態である、エアー吸引式コンベア装置の模式図である。
【図５】この発明の通気性搬送用テーブルのさらに他の実施形態のエアー吸引式コンベア装置の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】  以下、この発明の一実施形態の通気性搬送用テーブル１０について、図１、図２に基づいて説明する。この通気性搬送用テーブル１０は、液晶パネル用ガラス基板等の薄板状のワークＷを搬送する際に、ワークＷに向けてエアーを吹き出して、浮上させて搬送する装置や、逆に位置固定が必要なワークＷをテーブル１０側に吸引して搬送する装置に用いられる。
【００１９】  通気性搬送用テーブル１０は、模式的に図１に示す多数の通気孔１２ａを有する多孔質シート１２、複数の貫通孔１４ａが形成された金属板１４、外部から加圧エアーの供給を受けるチャンバ空間１８を形成するチャンバ部材２０、及びチャンバ空間１８にエアーを供給するエアー供給装置２２を備えている。
【００２０】  多孔質シート１２は、軟質ポリウレタン樹脂により成形された略矩形のシートであり、内部には互いに連通する多数の通気孔１２ａが形成されている。この多孔質シート１２は、硬度（高分子計器（株）製、アスカーＣ型硬度計による測定）が１０〜８０°、好ましくは３０〜６０°であり、柔らかすぎると面平滑性に劣り、硬すぎる場合ワークのグリップ性に劣る。この多孔質シート１２は、空孔率が６０〜９０％、好ましくは７０〜８０％である。これは、空孔率が低すぎると高いエアー圧を必要とし多くのエネルギーを要してしまい、空孔率が高すぎると強度、面平滑性に劣るからである。そこで、前記空孔率にすることにより、圧縮アエーを用いずに通気性搬送用テーブルを提供することが可能となる。通気孔１２ａの平均孔径が０．５〜５００μｍ、好ましくは１０〜５０μｍのポーラス体である。多孔質シート１２には、一定の導電性を付与するために、導電付与剤が混合されて成形されている。軟質ポリウレタン樹脂は、多孔質カーボンに比べると、安価で入手性がよく、高い空孔率を実現可能な素材なので装置の軽量化にも有利である。また、使用時にワークＷが多孔質シート１２に接触しても、その衝撃を柔かく吸収し、ワークＷが破損するのを防止する。その他、ポリエチレン樹脂やポリプロピレン樹脂等の他の多孔質樹脂に比べると、引っ張り強度が強く、耐摩耗性や耐オゾン性に優れており、各種素材との接着性に優れ、配合処方により硬度、強度、比重などを容易にコントロールすることができるという利点がある。また、他の硬質多孔質樹脂と比べるとワークのグリップ性に優れ、さらに切断、打ち抜き、研磨等の精密加工が容易であるという利点もある。
【００２１】  金属板１４は、例えばアルミニウム製のパンチングメタルが好適である。外形は多孔質シート１２とほぼ等しく、多孔質シート１２が重ねて取り付けられ、多数の貫通孔１４ａが全て多孔質シート１２に覆われる。貫通孔１４ａの孔径は、例えば０．５〜１．０ｍｍ、ピッチは均一に１〜５ｍｍに設定されている。
【００２２】  チャンバ部材２０は、底板２４に一対の側壁２６が立設されており、図２に示すように、側壁２６の先端部分の互いに対面する内側に、切り欠きによる一対の段差部２８が設けられている。この段差部２８には、金属板１４及び多孔質シート１２が支持固定され、天井が塞がれた内側が加圧エアーを溜めるチャンバ空間１８となる。ここでは、チャンバ部材２０はアルミニウム製の押出材であり、押出方向がワークＷの搬送方向になる。従って、底面２４と側壁２６が、ワークＷの搬送方向に長く連続している。
【００２３】  対面する一対の側壁２６の間には、チャンバ空間１８を横切る仕切板３０が一体に設けられている。仕切板３０は一対の側壁２６から延設されており、チャンバ空間１８を、底板２４側の第１チャンバ空間１８ａと金属板１４側の第２チャンバ空間１８ｂとに区切っている。仕切板３０の第２チャンバ空間１８ｂ側の面には、先端３２ａで金属板１４を支持する２本のリブ３２が立設されている。この２本のリブ３２は、第２チャンバ空間１８ｂを幅方向に３等分している。そして、第１チャンバ空間１８ａと３つの第２チャンバ空間１８ｂは、仕切板３０に設けたエアー通過孔３０ａを通して通気可能になっている。
【００２４】  さらに、チャンバ部材２０の底板２４の外側面には、Ｔ溝スロット３４が設けられている。このＴ溝スロット３４は、チャンバ部材２０を相手方のフレーム材等に固定するときに使用するもので、Ｔ溝スロット３４に連結ナット又は連結ボルトを係合させ、相手方のフレーム材に締付固定する。
【００２５】  エアー供給装置２２は、例えばエアコンプレッサであり、チャンバ部材２０の底板２４に設けたエアー供給口２４ａを通して第１チャンバ空間１８ａにエアー圧を付与する。
【００２６】  多孔質シート１２と金属板１４は、図示しない導電性の接着剤を介して接着固定されている。接着は、例えばロールコータを用いて金属板１４の表面に接着剤を広く塗布し、そこに多孔質シート１２を貼り合わせ、硬化させる方法が好適である。他にも、スプレー、シルクスクリーン印刷、その他の方法でもよく、余分な接着剤が貫通孔１４ａを塞がず、多孔質シート１２と金属板１４との間に適正な薄膜接着層が形成されるように接着するものであればよい。
【００２７】  金属板１４とチャンバ部材２０も、図２に示すように、導電性の接着剤３６を介して接着固定されている。接着は、チャンバ部材２０の段差部２８及びリブ３２の先端３２ａに接着剤３６を塗布し、その後、多孔質シート１２が接着固定された金属板１４の端部を段差部２８間に嵌合して、金属板１４の表面をリブ３２の先端３２ａに当接させ、接着剤３６を硬化させることにより、金属板１４とチャンバ部材２０を気密状態で接合する。段差部２８の深さは、図２に示すように、側壁２８の先端が多孔質シート１２の表面から突出しないように設定されているので、使用時、ワークＷが段差部２８の先端に接触して破損することを防止することができる。
【００２８】  通気性搬送用テーブル１０は、使用時にワークＷが近接しやすい多孔質シート１２、金属板１４及びチャンバ部材２０について、全て導電性を有する部材を使用し、それらを導電性の接着剤で接合し短絡している。従って、静電気に弱い半導体ウエハのようなワークＷを搬送する場合、当該短絡された何れかの部材をアースに接続するだけで、容易に静電気対策を行うことができる。
【００２９】  次に、上述した通気性搬送用テーブル１０を使用したエアー浮上式コンベア装置４０について、図３に基づいて説明する。エアー浮上式コンベア装置４０は、液晶パネル用ガラス基板等の大型のワークＷを搬送する装置であり、ワークＷの下面に向けてエアーを吹き出し、浮上したワークＷを搬送方向（図面の太矢印方向である水平方向）に移動させる動作を行う。
【００３０】  エアー浮上式コンベア装置４０は、図３に示すように、基盤４２上に多孔質シート１２を上向きにして通気性搬送用テーブル１０が複数並べられ、搬送方向に連続配置された複数の多孔質シート１２が一列のエアーの吹き出し面４４を形成し、その吹き出し面４４が並列に３列設けられている。
【００３１】  一列の吹き出し面４４を形成する各通気性搬送用テーブル１０は、各チャンバ部材２０が押出材である長尺のチャンバ部材２０として一体に形成されており、一体になったチャンバ部材２０に複数の多孔質シート１２及び金属板１４が取り付けられている。従って、組み立てが容易で、吹き出し面４４の平坦度も出やすいという利点がある。吹き出し面４４の端にあるチャンバ部材２０の開口には終端蓋部材４６が取り付けられ、第１及び第２チャンバ空間１８ａ，１８ｂをそれぞれ気密に塞いでいる。また、エアー供給装置２２は、一体になった各チャンバ部材２０に対して共通に設けられている。
【００３２】  この実施形態のエアー浮上式コンベア装置４０は、以下のように動作する。まず、エアー供給装置２２により正圧のエアー圧を発生させ、チャンバ部材１０のエアー供給口２４ａを通じて、第１チャンバ空間１８ａにエアーを供給する。この正圧エアーは、仕切板３０に衝突することによってエアーの局所的な勢いを分散し、仕切板３０に適宜の間隔で設けられたエアー通過孔３０ａを通過し、複数の第２チャンバ空間１８ｂに分流する。
【００３３】  第２チャンバ空間１８ｂ内の正圧エアーは、金属板１４に設けられた貫通孔１４ａを通過し、多孔質シート１２の下面に到達する。このとき、正圧エアーが貫通孔１４ａを通過することによって、各多孔質シート１２の裏面のほぼ全面に均一に作用する。
【００３４】  多孔質シート１２の下面に到達した正圧エアーは、互いに連通する多数の通気孔１２ａを通過し、多孔質シート１２の上面である吹き出し面４４から吹き出る。このとき、吹き出し面４４からは、吹き出し位置にかかわらず圧力が十分に均一化されたエアーが吹き出す。ここで、チャンバ空間１８に加圧されたエアーが供給されると、多孔質シート１２及び金属板１４には、外方に向けて強いエアー圧が作用することになるが、金属板１４がリブ３２を介してしっかりと固定され、金属板１４が多孔質シート１２を補強して変形を抑え、吹き出し面４４の平坦度が高い状態に保持される。
【００３５】  エアーの供給により、ワークＷは、平坦な吹き出し面４４から吹き出す均一化されたエアーを下面に受け、水平に浮上する。浮上したワークＷは、図示しない水平移送装置よって搬送方向に移送される。この水平移動装置は、例えば、ロボットアーム等でワークＷの端部分を掴んで移送したり、ワークＷを吸盤で吸着して移送したりするもの等である。
【００３６】  以上説明したように、エアー浮上式コンベア装置４０に使用される通気性搬送用テーブル１０は、多孔質シート１２の表面からムラのない均一な圧力のエアーを吹き出し、ワークＷの安定な搬送を可能にする。さらに、多孔質シート１２を、高い空孔率と小さい通気孔径を実現した軟質ポリウレタン樹脂で形成することによって、より均一なエアー圧を少ないエネルギーで供給することができる。
【００３７】  次に、上述した通気性搬送用テーブル１０を使用した他の実施形態である、エアー吸引式コンベア装置５０について、図４に基づいて説明する。エアー吸引式コンベア装置５０は、例えばワークＷの下面の状態を観察する検査装置に用いられている装置であり、ワークＷの上面を吸引して搬送方向（水平方向）に移動させる動作を行う。ここで、上記のエアー浮上式コンベア装置４０と同様の構成は、同一の符号を付して説明を省略する。
【００３８】  エアー吸引式コンベア装置５０は、天井側基盤５２の下面に多孔質シート１２を下向きにした通気性搬送用テーブル１０が複数並べられ、搬送方向に連続配置された多孔質シート１２が吸気面５４を形成している。
【００３９】  吸気面５４を形成する各通気性搬送用テーブル１０は、各チャンバ部材２０が押出材である長尺のチャンバ部材２０として一体に形成されており、一体になったチャンバ部材２０に複数の多孔質シート１２及び金属板１４が取り付けられている。そして、各吸気面５４及び一体の各チャンバ部材２０に対し、１台のエアー供給装置２２が接続されている。
【００４０】  搬送方向に連続する吸気面５４の下方には、吸気面５４と対面する位置に、通気性のあるコンベアベルト５６が配置されている。コンベアベルト５６は、図示しない駆動装置によって駆動され、搬送方向（水平方向）に移動することができる。さらに、コンベアベルト５６の下方には、ワークＷの下面を観察するためのカメラ５８が設置されている。
【００４１】  この実施形態のエアー吸引式コンベア装置５０は、以下のように動作する。エアー供給装置２２によりチャンバ空間１８内を負圧にすることによって、吸気面５４からエアーを吸引する。そして、コンベアベルト５６を介してエアー吸引されることによって、ワークＷの上面がコンベアベルト５６の下面に吸着し、その状態でコンベアベルト５６を移動させることによってワークＷを搬送する。
【００４２】  エアー吸引式コンベア装置５０の場合、上記のエアー浮上式コンベア装置４０とは逆に、エアー供給装置２２が負圧を供給するので、チャンバ部材２０、金属板１４及び多孔質シート１２の内側を逆向きにエアーが流れるが、エアー吸引式コンベア装置５０においても、多孔質シート１２の表面のほぼ全面に均一な負圧が作用し、ワークＷの上面を均等に吸引し、コンベアベルト５６の下面に安定に吸着させる。
【００４３】  なお、エアー吸引式コンベア装置５０は、ワークＷを吊り下げる上記実施形態の他、コンベアベルトの上面に載置したワークＷを吸引して位置決めしつつ、搬送するものでも良い。この構成は、コンベアベルト上で、ワークＷが正確に固定される必要のある場合等に有効である。
【００４４】  また、通気性搬送用テーブル１０を使用したさらに他の実施形態である、エアー吸引式コンベア装置６０について、図５に基づいて説明する。エアー吸引式コンベア装置６０は、多孔質シート１２とワークＷが直接接触して搬送されるコンベア装置である。この場合、多孔質シート１２、金属板、及びチャンバ部材が、コンベア装置の搬送部材６２に設けられ、高さのある不安定なワークＷ等を多孔質シート１２の表面に吸着して、コンベア装置上を移動して、所定の位置へ搬送することができる。特に、軟質ポリウレタン樹脂製の多孔質シート１２は、ワークＷと接触してもワークＷに傷を付けず、良好な吸着性を有し、弱い吸引力でも高い保持力を示し、ワークの確実な固定が可能となる。この場合も、ワークＷを載置して搬送するほか、ワークＷを多孔質シート１２の表面に吸着して、吊り下げて搬送するコンベア装置でも良い。
【００４５】  なお、この発明の通気性搬送用テーブルは、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、チャンバ空間を区切る仕切板及びリブの構造は、多孔質シート及び金属板の取付状態を平坦に保ち、多孔質シートからワークに向けて作用するエアー圧を均一化できるものであれば、自由に構造を変更することができる。例えば、仕切板やリブの数を増減したり、各チャンバ空間を連通するエアー通過孔の形状や形成位置も適宜変更することができる。
【００４６】  また、多孔質シート及び金属板の形状（外形、板厚、通気孔径及び空孔率、貫通孔の直径）についても、ワークの形状や重さ、チャンバ部材の大きさや形状、エアー供給装置の能力などに鑑みて、適宜変更することができる。
【符号の説明】
【００４７】１０  通気性搬送用テーブル１２  多孔質シート１２ａ  通気孔１４  金属板１４ａ  貫通孔１８  チャンバ空間１８ａ  第１チャンバ空間１８ｂ  第２チャンバ空間２０  チャンバ部材２２  エアー供給装置２４  底板２６  側壁２８  段差部３０  仕切板３０ａ  エアー通過孔３２  リブ３２ａ  先端３６  接着剤４０  エアー浮上式コンベア装置４４  吹き出し面５０  エアー吸引式コンベア装置５４  吸気面 
【図１】
2012066613.tif 000003
【図２】
2012066613.tif 000004
【図３】
2012066613.tif 000005
【図４】
2012066613.tif 000006
【図５】
2012066613.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成25年11月15日(2013.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハ、ガラス基板、フラットパネルディスプレイ等を、エアー浮上により搬送するコンベア装置等に使用される通気性搬送用テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、エアー浮上式の搬送装置として、例えば、特許文献１に開示されているように、半導体ウエハ等の板状物を浮上させるエアーを噴出するエアー噴出孔が移送路に沿って設けられ、板状物の移送を案内するためのガイド手段と、板状物等を覆う防塵用のカバー部材とを備えた板状物移送装置がある。この板状物移送装置は、装置本体の底板の上面に移送路が設けられ、底板の内部を通る給気路から底板上面の移送路に向けて、複数のエアー噴出孔を所定の間隔で貫通させて形成したものである。
【０００３】
また、特許文献２に開示されているように、表面がワークの搬送路面として使用されるポーラス体である多孔質板を備え、エジェクタによって負圧にされ、上記多孔質板の所定位置に設けた吸気孔からエアーを吸引する吸引室と、上記エジェクタからのエアー供給を受け、加圧エアーを上記多孔質板の裏面に送る噴出室と、吸引室及び噴出室を区画する隔壁部とで構成されたチャンバを備え、さらに、チャンバ内のエアーを冷却する冷却手段を備えた浮上ユニットがある。この浮上ユニットは、噴出室から送られた加圧エアーが多孔質板から噴出してワークを浮上させ、吸引室へのエアー吸引によってガラス基板等のワークを平面状に矯正し、冷却手段によってワークの熱を効率よく除去するものである。この浮上ユニットは、チャンバ内が２つの障壁部により区画され、チャンバの天井壁が上記２つの障壁部を介して底壁と一体化した構造を有している。多孔質板は、チャンバの天井壁の表面に形成された格子溝部を除く平坦な表面に接着されている。従って、噴出室から送りだされたエアーは、格子溝部内に露出した多孔質板の裏面から多孔質板に入り、表面に抜けていくものである。
【０００４】
また、特許文献３に開示されているように、ガラス基板等の薄板をエアーで浮上させて搬送するエアー浮上搬送装置の空気吹き出し構造体であって、薄板の下方の最上部に配置される織金網と、織金網の下部に接合されているパンチングメタル等の貫通孔を通した多孔の補強部材と、底面に一対の側壁が立設され織金網及び補強部材で天井を塞ぐことによってチャンバ空間を形成するチャンバとを備え、織金網から吹き出すエアーによって薄板を浮上させる搬送装置がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６１−８６３１１号公報
【特許文献２】特開２００８−２７３７２９号公報
【特許文献３】特開２００９−７３６６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１の板状物移送装置は、ワーク（板状物）の水平を保って浮上させ安定に搬送することが容易ではない問題がある。ワークを水平に保つためには、ワークの下面の広範囲にエアーを均等に吹き付ける必要があり、小径のエアー噴出孔を高密度で多数設けることが好ましい。しかし、この板状移送装置の場合、装置本体の底板のエアー噴出孔は、機械加工によって貫通孔を設けたものであり、微少なエアー噴出孔を高密度に設けることができないものである。従って、エアー噴出孔の位置によりエアー圧が異なったり、エアー流量が異なる等のムラが生じ易いものである。さらに、エアー噴出口のある底板はエアー噴出孔により滑らかな平面ではなく、表面全体で均一な浮上圧力を付与することができず、特に小形のワークを水平に搬送する用途に不向きである。
【０００７】
特許文献２の浮上ユニットは、チャンバの噴出室から送出されたエアーが天井壁の表面の格子状の溝部から多孔質板に流れ、多孔質板の表面からエアーが噴出する際、格子状にエアーの噴出圧が低い部分が生じる恐れがある。さらに、多孔質カーボンや多孔質樹脂の空孔率が特定されておらず、空孔率が低すぎると、高いエアー圧を必要とし、ワークの搬送に多くのエネルギーを要する。また、空孔率が高すぎると、強度、面平滑性に劣ると言う問題がある。
【０００８】
また、特許文献３の空気吹き出し構造体は、表面が織金網の多孔質材であり、表面の滑らかさが低く、被搬送物が金網の金属よりも軟らかい場合、織金網で傷つける恐れもある。さらに、パンチングメタル等の補強剤と織金網を接着する際、織金網裏面の平面度が低いので、補強材表面と接着しても、接着剤の付き方や織金網と補強剤との微少な隙間の差により、織金網に送られる空気圧及び噴出する空気圧にムラが生じ易い。従って、この構造の場合も特許文献１と同様に、織金網表面全面で均一な浮上圧力を付与することができないものである。さらに前述のとおり表面の滑らかさが低く、ワークを傷つける恐れがあるため、吸引固定するには適さないものである。
【０００９】
この発明は、上記背景技術に鑑みて成されたもので、平坦で広い通気面を実現し、ワークに対して均一な圧力を付与することが可能な通気性搬送用テーブルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明は、互いに連通した多数の通気孔を有するポーラス体の軟質ポリウレタン樹脂から成る多孔質シートと、多数の貫通孔が設けられた金属の板であって、前記貫通孔を覆うように前記多孔質シートが重ねて貼り付けられる金属板と、底板に一対の側壁が立設され、前記側壁の先端部分に前記金属板が取り付けられるとともに開口部が塞がれ、内側にチャンバ空間を形成したチャンバ部材とを備え、前記チャンバ部材には、前記チャンバ空間を囲む内壁からリブが延設され、当該リブの先端部分及び前記側壁の先端部分に前記金属板が当接して固定されている通気性搬送用テーブルである。
【００１１】
前記多孔質シートは導電性を有して形成され、前記チャンバ部材は金属で形成され、前記金属板と前記多孔質シートは導電性接着剤を介して接着され、前記金属板と前記チャンバ部材の固定も導電性接着剤を介して気密に接着固定されているものである。さらに、前記多孔質シートのアスカーＣ硬度が、１０〜８０°、好ましくは３０〜６０°である。さらに、前記多孔質シートの空孔率が６０〜９０％、好ましくは７０〜８０％である。
【００１２】
前記チャンバ部材には、前記チャンバ空間を前記底面側の第１チャンバ空間と前記金属板側の第２チャンバ空間とに区切る仕切板が設けられ、
前記第１チャンバ空間にエアー供給装置からエアー圧を付与し、そのエアー圧が前記仕切板に形成されたエアー通過孔を通って前記第２チャンバ空間に付与されるものである。
【００１３】
前記チャンバ部材の前記一対の側壁は、先端部分の互いに対向する内側に、前記金属板の端部を支持固定する一対の段差部が設けられ、前記多孔質シートは、前記一対の段差部に前記金属板が取り付けられた状態で、前記一対の側壁の先端が前記多孔質シートの表面から突出しないように固定されているものである。
【発明の効果】
【００１４】
この発明の通気性搬送用テーブルは、多孔質シートのほぼ全面から均一なエアー圧を付与することができ、しかも多孔質シートの表面が軟らかく、ワークに対する損傷も生じにくいものである。
【００１５】
また、多孔質シートと補強材である金属板が、均一に接着され、多孔質シートのほぼ全面の通気孔にムラ無く均一なエアー圧を付与することが可能である。
【００１６】
さらに、金属板は、チャンバ部材のリブの先端に固定されているので、エアー圧を受けても金属板及び多孔質シートが撓みにくく、平面度の高い面で広範囲にエアーの吹き出し面又は吸気面を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】この発明の通気性搬送用テーブルの一実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】この実施形態の通気性搬送用テーブルの内部構造を説明する断面図である。
【図３】この実施形態の通気性搬送用テーブルを使用したエアー浮上式コンベア装置の概略を示す斜視図である。
【図４】他の通気性搬送用テーブルの実施形態であるエアー吸引式コンベア装置の模式図である。
【図５】さらに他の実施形態のエアー吸引式コンベア装置の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、この発明の一実施形態の通気性搬送用テーブル１０について、図１、図２に基づいて説明する。この通気性搬送用テーブル１０は、液晶パネル用ガラス基板等の薄板状のワークＷを搬送する際に、ワークＷに向けてエアーを吹き出して、浮上させて搬送する装置や、逆に位置固定が必要なワークＷをテーブル１０側に吸引して搬送する装置に用いられる。
【００１９】
通気性搬送用テーブル１０は、模式的に図１に示す多数の通気孔１２ａを有する多孔質シート１２、複数の貫通孔１４ａが形成された金属板１４、外部から加圧エアーの供給を受けるチャンバ空間１８を形成するチャンバ部材２０、及びチャンバ空間１８にエアーを供給するエアー供給装置２２を備えている。
【００２０】
多孔質シート１２は、軟質ポリウレタン樹脂により成形された略矩形のシートであり、内部には互いに連通する多数の通気孔１２ａが形成されている。この多孔質シート１２は、硬度（高分子計器（株）製、アスカーＣ型硬度計による測定）が１０〜８０°、好ましくは３０〜６０°であり、柔らかすぎると面平滑性に劣り、硬すぎる場合ワークのグリップ性に劣る。この多孔質シート１２は、空孔率が６０〜９０％、好ましくは７０〜８０％である。これは、空孔率が低すぎると高いエアー圧を必要とし多くのエネルギーを要してしまい、空孔率が高すぎると強度、面平滑性に劣るからである。そこで、前記空孔率にすることにより、圧縮エアーを用いずに通気性搬送用テーブルを提供することが可能となる。通気孔１２ａの平均孔径が０．５〜５００μｍ、好ましくは１０〜５０μｍのポーラス体である。多孔質シート１２には、一定の導電性を付与するために、導電付与剤が混合されて成形されている。軟質ポリウレタン樹脂は、多孔質カーボンに比べると、安価で入手性がよく、高い空孔率を実現可能な素材なので装置の軽量化にも有利である。また、使用時にワークＷが多孔質シート１２に接触しても、その衝撃を柔かく吸収し、ワークＷが破損するのを防止する。その他、ポリエチレン樹脂やポリプロピレン樹脂等の他の多孔質樹脂に比べると、引っ張り強度が強く、耐摩耗性や耐オゾン性に優れており、各種素材との接着性に優れ、配合処方により硬度、強度、比重などを容易にコントロールすることができるという利点がある。また、他の硬質多孔質樹脂と比べるとワークのグリップ性に優れ、さらに切断、打ち抜き、研磨等の精密加工が容易であるという利点もある。
【００２１】
金属板１４は、例えばアルミニウム製のパンチングメタルが好適である。外形は多孔質シート１２とほぼ等しく、多孔質シート１２が重ねて取り付けられ、多数の貫通孔１４ａが全て多孔質シート１２に覆われる。貫通孔１４ａの孔径は、例えば０．５〜１．０ｍｍ、ピッチは均一に１〜５ｍｍに設定されている。
【００２２】
チャンバ部材２０は、底板２４に一対の側壁２６が立設されており、図２に示すように、側壁２６の先端部分の互いに対面する内側に、切り欠きによる一対の段差部２８が設けられている。この段差部２８には、金属板１４及び多孔質シート１２が支持固定され、天井が塞がれた内側が加圧エアーを溜めるチャンバ空間１８となる。ここでは、チャンバ部材２０はアルミニウム製の押出材であり、押出方向がワークＷの搬送方向になる。従って、底面２４と側壁２６が、ワークＷの搬送方向に長く連続している。
【００２３】
対面する一対の側壁２６の間には、チャンバ空間１８を横切る仕切板３０が一体に設けられている。仕切板３０は一対の側壁２６から延設されており、チャンバ空間１８を、底板２４側の第１チャンバ空間１８ａと金属板１４側の第２チャンバ空間１８ｂとに区切っている。仕切板３０の第２チャンバ空間１８ｂ側の面には、先端３２ａで金属板１４を支持する２本のリブ３２が立設されている。この２本のリブ３２は、第２チャンバ空間１８ｂを幅方向に３等分している。そして、第１チャンバ空間１８ａと３つの第２チャンバ空間１８ｂは、仕切板３０に設けたエアー通過孔３０ａを通して通気可能になっている。
【００２４】
さらに、チャンバ部材２０の底板２４の外側面には、Ｔ溝スロット３４が設けられている。このＴ溝スロット３４は、チャンバ部材２０を相手方のフレーム材等に固定するときに使用するもので、Ｔ溝スロット３４に連結ナット又は連結ボルトを係合させ、相手方のフレーム材に締付固定する。
【００２５】
エアー供給装置２２は、例えばエアコンプレッサであり、チャンバ部材２０の底板２４に設けたエアー供給口２４ａを通して第１チャンバ空間１８ａにエアー圧を付与する。
【００２６】
多孔質シート１２と金属板１４は、図示しない導電性の接着剤を介して接着固定されている。接着は、例えばロールコータを用いて金属板１４の表面に接着剤を広く塗布し、そこに多孔質シート１２を貼り合わせ、硬化させる方法が好適である。他にも、スプレー、シルクスクリーン印刷、その他の方法でもよく、余分な接着剤が貫通孔１４ａを塞がず、多孔質シート１２と金属板１４との間に適正な薄膜接着層が形成されるように接着するものであればよい。
【００２７】
金属板１４とチャンバ部材２０も、図２に示すように、導電性の接着剤３６を介して接着固定されている。接着は、チャンバ部材２０の段差部２８及びリブ３２の先端３２ａに接着剤３６を塗布し、その後、多孔質シート１２が接着固定された金属板１４の端部を段差部２８間に嵌合して、金属板１４の表面をリブ３２の先端３２ａに当接させ、接着剤３６を硬化させることにより、金属板１４とチャンバ部材２０を気密状態で接合する。段差部２８の深さは、図２に示すように、側壁２８の先端が多孔質シート１２の表面から突出しないように設定されているので、使用時、ワークＷが段差部２８の先端に接触して破損することを防止することができる。
【００２８】
通気性搬送用テーブル１０は、使用時にワークＷが近接しやすい多孔質シート１２、金属板１４及びチャンバ部材２０について、全て導電性を有する部材を使用し、それらを導電性の接着剤で接合し短絡している。従って、静電気に弱い半導体ウエハのようなワークＷを搬送する場合、当該短絡された何れかの部材をアースに接続するだけで、容易に静電気対策を行うことができる。
【００２９】
次に、上述した通気性搬送用テーブル１０を使用したエアー浮上式コンベア装置４０について、図３に基づいて説明する。エアー浮上式コンベア装置４０は、液晶パネル用ガラス基板等の大型のワークＷを搬送する装置であり、ワークＷの下面に向けてエアーを吹き出し、浮上したワークＷを搬送方向（図面の太矢印方向である水平方向）に移動させる動作を行う。
【００３０】
エアー浮上式コンベア装置４０は、図３に示すように、基盤４２上に多孔質シート１２を上向きにして通気性搬送用テーブル１０が複数並べられ、搬送方向に連続配置された複数の多孔質シート１２が一列のエアーの吹き出し面４４を形成し、その吹き出し面４４が並列に３列設けられている。
【００３１】
一列の吹き出し面４４を形成する各通気性搬送用テーブル１０は、各チャンバ部材２０が押出材である長尺のチャンバ部材２０として一体に形成されており、一体になったチャンバ部材２０に複数の多孔質シート１２及び金属板１４が取り付けられている。従って、組み立てが容易で、吹き出し面４４の平坦度も出やすいという利点がある。吹き出し面４４の端にあるチャンバ部材２０の開口には終端蓋部材４６が取り付けられ、第１及び第２チャンバ空間１８ａ，１８ｂをそれぞれ気密に塞いでいる。また、エアー供給装置２２は、一体になった各チャンバ部材２０に対して共通に設けられている。
【００３２】
この実施形態のエアー浮上式コンベア装置４０は、以下のように動作する。まず、エアー供給装置２２により正圧のエアー圧を発生させ、チャンバ部材１０のエアー供給口２４ａを通じて、第１チャンバ空間１８ａにエアーを供給する。この正圧エアーは、仕切板３０に衝突することによってエアーの局所的な勢いを分散し、仕切板３０に適宜の間隔で設けられたエアー通過孔３０ａを通過し、複数の第２チャンバ空間１８ｂに分流する。
【００３３】
第２チャンバ空間１８ｂ内の正圧エアーは、金属板１４に設けられた貫通孔１４ａを通過し、多孔質シート１２の下面に到達する。このとき、正圧エアーが貫通孔１４ａを通過することによって、各多孔質シート１２の裏面のほぼ全面に均一に作用する。
【００３４】
多孔質シート１２の下面に到達した正圧エアーは、互いに連通する多数の通気孔１２ａを通過し、多孔質シート１２の上面である吹き出し面４４から吹き出る。このとき、吹き出し面４４からは、吹き出し位置にかかわらず圧力が十分に均一化されたエアーが吹き出す。ここで、チャンバ空間１８に加圧されたエアーが供給されると、多孔質シート１２及び金属板１４には、外方に向けて強いエアー圧が作用することになるが、金属板１４がリブ３２を介してしっかりと固定され、金属板１４が多孔質シート１２を補強して変形を抑え、吹き出し面４４の平坦度が高い状態に保持される。
【００３５】
エアーの供給により、ワークＷは、平坦な吹き出し面４４から吹き出す均一化されたエアーを下面に受け、水平に浮上する。浮上したワークＷは、図示しない水平移送装置よって搬送方向に移送される。この水平移動装置は、例えば、ロボットアーム等でワークＷの端部分を掴んで移送したり、ワークＷを吸盤で吸着して移送したりするもの等である。
【００３６】
以上説明したように、エアー浮上式コンベア装置４０に使用される通気性搬送用テーブル１０は、多孔質シート１２の表面からムラのない均一な圧力のエアーを吹き出し、ワークＷの安定な搬送を可能にする。さらに、多孔質シート１２を、高い空孔率と小さい通気孔径を実現した軟質ポリウレタン樹脂で形成することによって、より均一なエアー圧を少ないエネルギーで供給することができる。
【００３７】
次に、上述した通気性搬送用テーブル１０を使用した他の実施形態である、エアー吸引式コンベア装置５０について、図４に基づいて説明する。エアー吸引式コンベア装置５０は、例えばワークＷの下面の状態を観察する検査装置に用いられている装置であり、ワークＷの上面を吸引して搬送方向（水平方向）に移動させる動作を行う。ここで、上記のエアー浮上式コンベア装置４０と同様の構成は、同一の符号を付して説明を省略する。
【００３８】
エアー吸引式コンベア装置５０は、天井側基盤５２の下面に多孔質シート１２を下向きにした通気性搬送用テーブル１０が複数並べられ、搬送方向に連続配置された多孔質シート１２が吸気面５４を形成している。
【００３９】
吸気面５４を形成する各通気性搬送用テーブル１０は、各チャンバ部材２０が押出材である長尺のチャンバ部材２０として一体に形成されており、一体になったチャンバ部材２０に複数の多孔質シート１２及び金属板１４が取り付けられている。そして、各吸気面５４及び一体の各チャンバ部材２０に対し、１台のエアー供給装置２２が接続されている。
【００４０】
搬送方向に連続する吸気面５４の下方には、吸気面５４と対面する位置に、通気性のあるコンベアベルト５６が配置されている。コンベアベルト５６は、図示しない駆動装置によって駆動され、搬送方向（水平方向）に移動することができる。さらに、コンベアベルト５６の下方には、ワークＷの下面を観察するためのカメラ５８が設置されている。
【００４１】
この実施形態のエアー吸引式コンベア装置５０は、以下のように動作する。エアー供給装置２２によりチャンバ空間１８内を負圧にすることによって、吸気面５４からエアーを吸引する。そして、コンベアベルト５６を介してエアー吸引されることによって、ワークＷの上面がコンベアベルト５６の下面に吸着し、その状態でコンベアベルト５６を移動させることによってワークＷを搬送する。
【００４２】
エアー吸引式コンベア装置５０の場合、上記のエアー浮上式コンベア装置４０とは逆に、エアー供給装置２２が負圧を供給するので、チャンバ部材２０、金属板１４及び多孔質シート１２の内側を逆向きにエアーが流れるが、エアー吸引式コンベア装置５０においても、多孔質シート１２の表面のほぼ全面に均一な負圧が作用し、ワークＷの上面を均等に吸引し、コンベアベルト５６の下面に安定に吸着させる。
【００４３】
なお、エアー吸引式コンベア装置５０は、ワークＷを吊り下げる上記実施形態の他、コンベアベルトの上面に載置したワークＷを吸引して位置決めしつつ、搬送するものでも良い。この構成は、コンベアベルト上で、ワークＷが正確に固定される必要のある場合等に有効である。
【００４４】
また、通気性搬送用テーブル１０を使用したさらに他の実施形態である、エアー吸引式コンベア装置６０について、図５に基づいて説明する。エアー吸引式コンベア装置６０は、多孔質シート１２とワークＷが直接接触して搬送されるコンベア装置である。この場合、多孔質シート１２、金属板、及びチャンバ部材が、コンベア装置の搬送部材６２に設けられ、高さのある不安定なワークＷ等を多孔質シート１２の表面に吸着して、コンベア装置上を移動して、所定の位置へ搬送することができる。特に、軟質ポリウレタン樹脂製の多孔質シート１２は、ワークＷと接触してもワークＷに傷を付けず、良好な吸着性を有し、弱い吸引力でも高い保持力を示し、ワークの確実な固定が可能となる。この場合も、ワークＷを載置して搬送するほか、ワークＷを多孔質シート１２の表面に吸着して、吊り下げて搬送するコンベア装置でも良い。
【００４５】
なお、この発明の通気性搬送用テーブルは、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、チャンバ空間を区切る仕切板及びリブの構造は、多孔質シート及び金属板の取付状態を平坦に保ち、多孔質シートからワークに向けて作用するエアー圧を均一化できるものであれば、自由に構造を変更することができる。例えば、仕切板やリブの数を増減したり、各チャンバ空間を連通するエアー通過孔の形状や形成位置も適宜変更することができる。
【００４６】
また、多孔質シート及び金属板の形状（外形、板厚、通気孔径及び空孔率、貫通孔の直径）についても、ワークの形状や重さ、チャンバ部材の大きさや形状、エアー供給装置の能力などに鑑みて、適宜変更することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１０  通気性搬送用テーブル
１２  多孔質シート
１２ａ  通気孔
１４  金属板
１４ａ  貫通孔
１８  チャンバ空間
１８ａ  第１チャンバ空間
１８ｂ  第２チャンバ空間
２０  チャンバ部材
２２  エアー供給装置
２４  底板
２６  側壁
２８  段差部
３０  仕切板
３０ａ  エアー通過孔
３２  リブ
３２ａ  先端
３６  接着剤
４０  エアー浮上式コンベア装置
４４  吹き出し面
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに連通した多数の通気孔を有し、アスカーＣ硬度が１０〜８０°であり、空孔率が６０〜９０％であるポーラス体の軟質ポリウレタン樹脂から成る多孔質シートと、
多数の貫通孔が設けられた金属の板であって、前記貫通孔を覆うように前記多孔質シートが重ねて貼り付けられる金属板と、
底板に一対の側壁が立設され、前記側壁の先端部分に前記金属板が取り付けられるとともに開口部が塞がれ、内側にチャンバ空間を形成するチャンバ部材とを備え、
前記チャンバ部材には、前記チャンバ空間を囲む内壁からリブが延設され、当該リブの先端部分及び前記側壁の先端部分に前記金属板が当接して固定されていることを特徴とする通気性搬送用テーブル。
【請求項２】
前記多孔質シートは導電性を有して形成され、前記チャンバ部材は金属で形成され、前記金属板と前記多孔質シートは導電性接着剤を介して接着され、前記金属板と前記チャンバ部材の固定も導電性接着剤を介して気密に接着固定されている請求項１記載の通気性搬送用テーブル。
【請求項３】
前記チャンバ部材には、前記チャンバ空間を前記底面側の第１チャンバ空間と前記金属板側の第２チャンバ空間とに区切る仕切板が設けられ、
前記第１チャンバ空間にエアー供給装置からエアー圧を付与し、そのエアー圧が前記仕切板に形成されたエアー通過孔を通って前記第２チャンバ空間に付与される請求項１又は２記載の通気性搬送用テーブル。
【請求項４】
前記チャンバ部材の前記一対の側壁は、先端部分の互いに対向する内側に、前記金属板の端部を支持固定する一対の段差部が設けられ、前記多孔質シートは、前記一対の段差部に前記金属板が取り付けられた状態で、前記一対の側壁の先端が前記多孔質シートの表面から突出しないように固定されている請求項１乃至３のいずれか記載の通気性搬送用テーブル。
【国際調査報告】
2012066613.tif 000008
2012066613.tif 000009
2012066613.tif 000010
2012066613.tif 000011