(57)【要約】  開口部に吐出される液滴の体積の総量を、簡易な制御で均一化することが可能な有機ＥＬ表示パネルの製造方法等を提供する。  開口部１７を形成したＥＬ基板と、ノズル３０３０を複数配置したヘッド部３０１とを準備する第１工程と、各ノズル３０３０から単位回数当たりに吐出される液滴体積をノズル毎に検出する第２工程と、ノズル３０３０を開口部１７と１対１対応するノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４に分け、ノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４毎に、開口部１７に吐出される液滴体積総量が基準範囲となるように、第２工程にてノズル毎に検出された液滴体積のバラツキに基づき、ノズル３０３０が行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定する第３工程と、ヘッド部３０１を行方向に走査させながら、開口部１７に対し対応するノズル群に属するノズル３０３０から、前記第３工程でノズル毎に決定された吐出回数だけ液滴を吐出させる第４工程と、を含む。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、
前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する第２工程と、
前記各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、前記複数のノズルを、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分け、ノズル群毎に、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、前記第２工程においてノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、ノズル群に属する各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定する第３工程と、
前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、対応するノズル群に属する各ノズルから、前記第３工程でノズル毎に決定された吐出回数だけ液滴を吐出させる第４工程と、を含む、
有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められているとともに、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量には、発光色毎に目標値が設定されており、
同一発光色の前記有機材料を含有したインクの液滴が吐出される開口部間において、前記基準範囲は前記目標値に対して±２％以内である、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められているとともに、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量には、発光色毎に目標値が設定されており、
前記第３工程において、
ノズル群に属する各ノズルのうち、前記第２工程における検出値が、前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積として予め設定された設定値に対し、第１の範囲内であるノズルの各々に液滴吐出を行わせた場合を想定して、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できるか否かを判定し、
前記目標値以上の体積の液滴を吐出できると判定した場合には、前記第１の範囲内であるノズルを液滴吐出に用いるノズルとして選択し、
前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、前記第１の範囲内であるノズルと、当該第１の範囲よりも前記設定値からのバラツキが大きい第２の範囲内であるノズルを液滴吐出に用いるノズルとして選択する、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記第３工程において、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、さらに、
前記第２の範囲内であるノズルのうち、前記第２工程における検出値が前記設定値よりも高いノズルと前記設定値よりも低いノズルの組が存在するか否かを判定し、
前記ノズルの組が存在すると判定した場合には、当該ノズルの組を液滴吐出に用いるノズルとして選択する、
請求項３に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記第３工程において、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、さらに、
前記第２の範囲内であるノズルのうち、前記第２工程における検出値が前記設定値よりも高いノズルと前記設定値よりも低いノズルの組が存在するか否かを判定し、
前記ノズルの組が存在すると判定した場合には、当該ノズルの組のうち、前記第２工程における検出値の平均値が前記設定値に対し前記第１の範囲内であるノズルの組が存在するか否かを判定し、
前記第１の範囲内であるノズルの組が存在すると判定した場合には、当該第１の範囲内であるノズルの組を液滴吐出に用いるノズルとして選択する、
請求項３に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項６】
前記第３工程において、
ノズル群に属する各ノズルから吐出される液滴の前記各開口部内での着弾位置が、前記各開口部内で分散されるように調整される、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項７】
前記第３工程において、
ノズル群に属する各ノズルから吐出される液滴の前記各開口部内での着弾位置が、列方向に配列された開口部の中心を結ぶ仮想線に対して対称となるように調整される、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項８】
前記各開口部の形状は、列方向に長辺を有する長尺状である、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項９】
有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に複数配置したインクジェットヘッドと、
前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する液滴体積検出部と、
複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層が設けられたＥＬ基板に対し、前記インクジェットヘッドを行方向に走査させるヘッド走査部と、
前記各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定するとともに、決定された吐出回数だけ前記各ノズルから液滴を吐出させる吐出回数制御部と、を備え、
前記各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、前記複数のノズルは、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分けられており、
前記吐出回数制御部は、
前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、前記液滴体積検出部でノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、各ノズルの吐出回数をノズル毎に決定する、
有機ＥＬ表示パネルの製造装置。
【請求項１０】
前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められているとともに、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量には、発光色毎に目標値が設定されており、
同一発光色の前記有機材料を含有したインクの液滴が吐出される開口部間において、前記基準範囲は前記目標値に対して±２％以内である、
請求項９に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬ表示パネルの製造方法、および有機ＥＬ表示パネルの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、表示装置として基板上に有機ＥＬ素子を配設した有機ＥＬ表示パネルが普及しつつある。有機ＥＬ表示パネルは、自己発光を行う有機ＥＬ素子を利用するため視認性が高く、さらに完全固体素子であるため耐衝撃性に優れるなどの特徴を有する。【０００３】
有機ＥＬ素子は電流駆動型の発光素子であり、陽極及び陰極の電極対の間に、キャリアの再結合による電界発光現象を行う有機発光層等を積層して構成される。また、有機ＥＬ表示パネルでは、赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の各色に対応する有機ＥＬ素子をそれぞれサブピクセルとし、Ｒ，Ｇ，Ｂの３つのサブピクセルの組み合わせが１ピクセル（１画素）に相当する。【０００４】
このような有機ＥＬ表示パネルとして、有機ＥＬ素子の有機発光層をインクジェット方式等のウエットプロセス（塗布工程）で形成したものが知られている（例えば、特許文献１）。インクジェット方式では、基板上の隔壁層に行列状に設けられた開口部（有機発光層形成領域に対応する。）に対してインクジェットヘッドを走査させる。そして、インクジェットヘッドが備える複数のノズルから、各開口部に対し有機発光層を構成する有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出させる。このとき、通常、一の開口部に対しては、液滴が複数回にわたって吐出される。また、ピエゾ方式のインクジェット装置にあっては、各ノズルが備えるピエゾ素子に与える駆動電圧の波形を変化させることにより、各ノズルから吐出される液滴の体積が調整される。【０００５】
有機ＥＬ表示パネルにおいては、各画素間の発光輝度が均一である必要がある。発光輝度は有機発光層の膜厚に依存するため、上記方法により有機発光層を形成する場合には、各開口部に吐出される液滴の体積の総量を均一にする必要がある。しかしながら、各ピエゾ素子に同一波形の駆動信号を与えた場合であっても、ノズル毎に吐出特性が異なるために、各ノズルから吐出される液滴の体積にバラツキが生じることがある。その結果、吐出される液滴の体積の総量が各開口部間で異なってしまい、各画素間で発光輝度にバラツキが生じる。【０００６】
これに対し、特許文献１では、予めノズル毎に吐出される液滴の体積を検出しておき、このノズル毎の検出結果に基づき、各ノズルのピエゾ素子毎に与える駆動電圧の波形を変化させる技術が開示されている。これにより、各ノズルから吐出される液滴の体積を均一化することが可能となり、その結果、吐出される液滴の体積の総量が各開口部間で均一化される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１１７１４０号公報
【特許文献２】特開２００１−２１９５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に開示されている技術においては、ノズル毎に所望の波形の駆動電圧を生成する必要がある。しかしながら、インクジェットヘッドが備えるノズル全てについてこれを行おうとすると、インクジェット装置は非常に複雑な制御を強いられるという問題がある。さらに、有機ＥＬ表示パネルの大判化に伴って、インクジェットヘッドが備えるノズルの数も増大することが予想されるため、特許文献１に記載の技術を適用することは現実的には難しい。【０００９】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので、各開口部に吐出される液滴の体積の総量を、簡易な制御で均一化することが可能な有機ＥＬ表示パネルの製造方法等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様である有機ＥＬ表示パネルの製造方法は、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する第２工程と、前記各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、前記複数のノズルを、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分け、ノズル群毎に、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、前記第２工程においてノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、ノズル群に属する各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定する第３工程と、前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、対応するノズル群に属する各ノズルから、前記第３工程でノズル毎に決定された吐出回数だけ液滴を吐出させる第４工程と、を含む構成とした。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法では、第３工程において、各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、複数のノズルを、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分け、ノズル群毎に、ノズル群に属する各ノズルが行う液滴の吐出回数がノズル毎に決定される。そして、各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、各ノズルが行う当該吐出回数を、第２工程においてノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づいてノズル毎に決定する。すなわち、本発明の一態様においてノズル毎に個々に変化させるのは液滴の吐出回数であるため、特許文献１のように、ノズル毎に異なる波形の駆動電圧を生成するといった複雑な制御を行う必要がない。【００１２】
したがって、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法によれば、各開口部に吐出される液滴の体積の総量を、簡易な制御で均一化することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの構成を示す部分断面図である。
【図２】実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの隔壁層の形状を示す模式図である。
【図３】実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程例を示す図である。
【図４】実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程例を示す図である。
【図５】インクジェット装置の主要構成を示す図である。
【図６】インクジェット装置の機能ブロック図である。
【図７】実施の形態１に係る塗布対象基板とヘッド部の位置関係（横打ち時）を示す図である。
【図８】実施の形態１に係る塗布工程における制御フローを示す図である。
【図９】液滴吐出を行うノズルを選択する工程における吐出回数制御部の制御フローを示す図である。
【図１０】図９のステップＳ２１０で吐出回数ＭＢが偶数であると判定した場合の、吐出回数制御部の制御フローを示す図である。
【図１１】図９のステップＳ２１０で吐出回数ＭＢが奇数であると判定した場合の、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【図１２】Ｃランクノズルを使用する場合の吐出回数制御部の制御フローを示す図である。
【図１３】図１２のステップＳ５０５で吐出回数ＭＣが奇数であると判定した場合の、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【図１４】液滴吐出位置を決定する工程における、吐出回数制御部の制御フロー（最大吐出回数Ｔ＝３）を示す図である。
【図１５】液滴吐出位置を決定する工程における、吐出回数制御部の制御フロー（最大吐出回数Ｔ＝４）を示す図である。
【図１６】図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。
【図１７】実施の形態１に係る塗布対象基板とヘッド部の位置関係（縦打ち時）を示す図である。
【図１８】実施の形態２に係る、液滴吐出を行うノズルを選択する工程における吐出回数制御部の制御フローを示す図である。
【図１９】実施の形態２の変形例に係る、液滴吐出を行うノズルを選択する工程における吐出回数制御部の制御フローを示す図である。
【図２０】図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。
【図２１】不吐出ノズルが発生した場合の図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
≪本発明の一態様の概要≫
本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法は、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する第２工程と、前記各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、前記複数のノズルを、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分け、ノズル群毎に、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、前記第２工程においてノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、ノズル群に属する各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定する第３工程と、前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、対応するノズル群に属する各ノズルから、前記第３工程でノズル毎に決定された吐出回数だけ液滴を吐出させる第４工程と、を含む。
【００１５】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められているとともに、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量には、発光色毎に目標値が設定されており、同一発光色の前記有機材料を含有したインクの液滴が吐出される開口部間において、前記基準範囲は前記目標値に対して±２％以内である。
【００１６】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められているとともに、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量には、発光色毎に目標値が設定されており、前記第３工程において、ノズル群に属する各ノズルのうち、前記第２工程における検出値が、前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積として予め設定された設定値に対し、第１の範囲内であるノズルの各々に液滴吐出を行わせた場合を想定して、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できるか否かを判定し、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できると判定した場合には、前記第１の範囲内であるノズルを液滴吐出に用いるノズルとして選択し、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、前記第１の範囲内であるノズルと、当該第１の範囲よりも前記設定値からのバラツキが大きい第２の範囲内であるノズルを液滴吐出に用いるノズルとして選択する。
【００１７】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第３工程において、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、さらに、前記第２の範囲内であるノズルのうち、前記第２工程における検出値が前記設定値よりも高いノズルと前記設定値よりも低いノズルの組が存在するか否かを判定し、前記ノズルの組が存在すると判定した場合には、当該ノズルの組を液滴吐出に用いるノズルとして選択する。
【００１８】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第３工程において、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、さらに、前記第２の範囲内であるノズルのうち、前記第２工程における検出値が前記設定値よりも高いノズルと前記設定値よりも低いノズルの組が存在するか否かを判定し、前記ノズルの組が存在すると判定した場合には、当該ノズルの組のうち、前記第２工程における検出値の平均値が前記設定値に対し前記第１の範囲内であるノズルの組が存在するか否かを判定し、前記第１の範囲内であるノズルの組が存在すると判定した場合には、当該第１の範囲内であるノズルの組を液滴吐出に用いるノズルとして選択する。
【００１９】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第３工程において、ノズル群に属する各ノズルから吐出される液滴の前記各開口部内での着弾位置が、前記各開口部内で分散されるように調整される。
【００２０】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第３工程において、ノズル群に属する各ノズルから吐出される液滴の前記各開口部内での着弾位置が、列方向に配列された開口部の中心を結ぶ仮想線に対して対称となるように調整される。
【００２１】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記各開口部の形状は、列方向に長辺を有する長尺状である。
【００２２】
本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造装置は、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に複数配置したインクジェットヘッドと、前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する液滴体積検出部と、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層が設けられたＥＬ基板に対し、前記インクジェットヘッドを行方向に走査させるヘッド走査部と、前記各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定するとともに、決定された吐出回数だけ前記各ノズルから液滴を吐出させる吐出回数制御部と、を備え、前記各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、前記複数のノズルは、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分けられており、前記吐出回数制御部は、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、前記液滴体積検出部でノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、各ノズルの吐出回数をノズル毎に決定する。
【００２３】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造装置の特定の局面では、前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められているとともに、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量には、発光色毎に目標値が設定されており、同一発光色の前記有機材料を含有したインクの液滴が吐出される開口部間において、前記基準範囲は前記目標値に対して±２％以内である。
【００２４】
≪実施の形態１≫
［全体構成］
図１は実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネル１００の構成を示す部分断面図である。有機ＥＬ表示パネル１００は、同図上側を表示面とする、いわゆるトップエミッション型である。
【００２５】
図１に示すように、基板（ＥＬ基板）１上には、ＴＦＴ層２、給電電極３、平坦化膜４、画素電極６、正孔注入層９が順次積層されている。正孔注入層９の上には、有機発光層１１の形成領域となる複数の開口部１７が形成された隔壁層７が設けられている。開口部１７の内部では、正孔輸送層１０、有機発光層１１、電子輸送層１２、電子注入層１３、対向電極１４が順次積層されている。
【００２６】
＜基板、ＴＦＴ層、給電電極＞
基板１は有機ＥＬ表示パネル１００における背面基板であり、その表面には、有機ＥＬ表示パネル１００をアクティブマトリクス方式で駆動するためのＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を含むＴＦＴ層２が形成されている。ＴＦＴ層２の上面には、各ＴＦＴに対して外部から電力を供給するための給電電極３が形成されている。
【００２７】
＜平坦化膜＞
平坦化膜４は、ＴＦＴ層２および給電電極３が配設されていることにより生じる表面段差を平坦に調整するために設けられており、絶縁性に優れる有機材料で構成されている。
【００２８】
＜コンタクトホール＞
コンタクトホール５は、給電電極３と画素電極６とを電気的に接続するために設けられ、平坦化膜４の表面から裏面にわたって形成されている。コンタクトホール５は、列方向に配列されている開口部１７の間に位置するように形成されており、隔壁層７により覆われた構成となっている。コンタクトホール５が隔壁層７により覆われていない場合には、コンタクトホール５の存在により、有機発光層１１が平坦な層とはならず、発光ムラ等の原因となる。これを避けるため、上記のような構成としている。
【００２９】
＜画素電極＞
画素電極６は陽極であり、開口部１７に形成される一の有機発光層１１毎に形成されている。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、画素電極６の材料としては高反射性材料が選択されている。
【００３０】
＜正孔注入層＞
正孔注入層９は、画素電極６から有機発光層１１への正孔の注入を促進させる目的で設けられている。
【００３１】
＜隔壁層＞
隔壁層７は、有機発光層１１を形成する際、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に対応する有機発光層材料と溶媒を含むインクが互いに混入することを防止する機能を果たす。
【００３２】
コンタクトホール５の上方を覆うように設けられている隔壁層７は、全体的にはＸＹ平面またはＹＺ平面に沿った断面が台形の断面形状を有しているが、コンタクトホール５に対応する位置では、隔壁層材料が落ち込んだ形状となっている。以下、この落ち込んだ部分を窪み部８と称する。
【００３３】
図２は有機ＥＬ表示パネル１００を表示面側から見た隔壁層７の形状を模式的に示す図であり、説明の都合上、正孔輸送層１０、有機発光層１１、電子輸送層１２、電子注入層１３、対向電極１４を取り除いた状態を示している。また、図１の部分断面図は、図２におけるＡ−Ａ’断面図に相当し、以下、Ｘ方向を行方向、Ｙ方向を列方向とする。
【００３４】
図２に示すように、隔壁層７に設けられた開口部１７は、ピクセル単位に行列状に（ＸＹ方向に）配列されている。開口部１７は有機発光層１１が形成される領域であり、有機発光層１１の配置および形状は、開口部１７の配置および形状により規定される。開口部１７は列（Ｙ）方向に長辺を有する長尺状であり、例えば、行（Ｘ）方向に沿った辺が約３０〜１３０［μｍ］、列（Ｙ）方向に沿った辺が約１５０〜６００［μｍ］の寸法で形成されている。
【００３５】
開口部１７には、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色に対応する開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂがある。開口部１７ＲにはＲ、開口部１７ＧにはＧ、開口部１７ＢにはＢにそれぞれ対応する有機発光層１１が形成される。開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂがそれぞれサブピクセルであり、当該開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂの３つのサブピクセルの組み合わせが１ピクセル（１画素）に相当する。また、開口部１７はＲ，Ｇ，Ｂの色単位に列毎に配列されており、同一列に属する開口部１７は同色に対応する開口部である。
【００３６】
コンタクトホール５は、列方向に配列された開口部１７の間、すなわち隔壁層７の下部に位置している。なお、上記で画素電極６は開口部１７に形成される一の有機発光層１１毎に形成されていることを述べたが、これはすなわち、画素電極６がサブピクセル毎に設けられていることを意味する。
【００３７】
＜正孔輸送層＞
図１の部分断面図に戻り、正孔輸送層１０は、画素電極６から注入された正孔を有機発光層１１へ輸送する機能を有する。
【００３８】
＜有機発光層＞
有機発光層１１は、キャリア（正孔と電子）の再結合による発光を行う部位であり、Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれかの色に対応する有機材料を含むように構成されている。開口部１７ＲにはＲに対応する有機材料、開口部１７ＧにはＧに対応する有機材料、開口部１７ＢにはＢに対応する有機材料をそれぞれ含む有機発光層１１が形成される。
【００３９】
窪み部８には有機発光層１１を構成する材料を含む有機層１６が形成されている。この有機層１６は、塗布工程において、開口部１７とともに窪み部８にもインクを塗布することで、有機発光層１１と同時に形成されたものである。
【００４０】
＜電子輸送層＞
電子輸送層１２は、対向電極１４から注入された電子を有機発光層１１へ輸送する機能を有する。
【００４１】
＜電子注入層＞
電子注入層１３は、対向電極１４から有機発光層１１への電子の注入を促進させる機能を有する。
【００４２】
＜対向電極＞
対向電極１４は陰極である。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、対向電極１４の材料としては光透過性材料が選択されている。
【００４３】
＜その他＞
なお、図１には図示しないが、対向電極１４の上には、有機発光層１１が水分や空気等に触れて劣化することを抑制する目的で封止層が設けられる。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、封止層の材料としては、例えばＳｉＮ（窒化シリコン）、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）等の光透過性材料を選択する。
【００４４】
なお、各開口部１７に形成される有機発光層１１を、すべて同色の有機発光層とすることもできる。
【００４５】
＜各層の材料＞
次に、上記で説明した各層の材料を例示する。言うまでもなく、以下に記載した材料以外の材料を用いて各層を形成することも可能である。
【００４６】
基板１：無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、アルミナ等の絶縁性材料
平坦化膜４：ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂
画素電極６：Ａｇ（銀）、Ａｌ（アルミニウム）、銀とパラジウムと銅との合金、銀とルビジウムと金との合金、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）
隔壁層７：アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂
有機発光層１１：オキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
正孔注入層９：ＭｏＯｘ（酸化モリブデン）、ＷＯｘ（酸化タングステン）又はＭｏｘＷｙＯｚ（モリブデン−タングステン酸化物）等の金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物
正孔輸送層１０：トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
電子輸送層１２：バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム
電子注入層１３：ニトロ置換フルオレノン誘導体、チオピランジオキサイド誘導体、ジフェキノン誘導体、ペリレンテトラカルボキシル誘導体、アントラキノジメタン誘導体、フレオレニリデンメタン誘導体、アントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリノン誘導体、キノリン錯体誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
対向電極１４：ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）
以上、有機ＥＬ表示パネル１００の構成等について説明した。次に、有機ＥＬ表示パネル１００の製造方法を例示する。
【００４７】
［製造方法］
ここでは、先に有機ＥＬ表示パネル１００の全体的な製造方法を例示する。その後、製造方法中の塗布工程について詳細を説明する。
【００４８】
＜概略＞
まず、ＴＦＴ層２及び給電電極３が形成された基板１を準備する（図３（ａ））。
【００４９】
その後、フォトレジスト法に基づき、ＴＦＴ層２及び給電電極３の上に絶縁性に優れる有機材料を用いて、厚み約４［μｍ］の平坦化膜４を形成する。このとき、コンタクトホール５を列方向に隣接する各開口部１７の間の位置に合わせて形成する（図３（ｂ））。所望のパターンマスクを用いたフォトレジスト法を行うことで、平坦化膜４とコンタクトホール５を同時に形成することができる。なお、当然ながらコンタクトホール５の形成方法はこれに限定されない。例えば、一様に平坦化膜４を形成した後、所定の位置の平坦化膜４を除去して、コンタクトホール５を形成することもできる。
【００５０】
続いて、真空蒸着法またはスパッタ法に基づき、厚み１５０［ｎｍ］程度の金属材料からなる画素電極６を、給電電極３と電気接続させながら、サブピクセル毎に形成する。つづいて、反応性スパッタ法に基づき、正孔注入層９を形成する（図３（ｃ））。
【００５１】
次に、隔壁層７をフォトリソグラフィー法に基づいて形成する。まず隔壁層材料として、感光性レジストを含むペースト状の隔壁層材料を用意する。この隔壁層材料を正孔注入層９上に一様に塗布する。この上に、図２に示した開口部１７のパターンに形成されたマスクを重ねる。続いてマスクの上から感光させ、隔壁層パターンを形成する。その後は、余分な隔壁層材料を水系もしくは非水系エッチング液（現像液）で洗い出す。これにより、隔壁層材料のパターニングが完了する。以上で有機発光層形成領域となる開口部１７が規定されるとともに、列方向で隣接する開口部１７の間の上面に窪み部８が形成された、表面が少なくとも撥水性の隔壁層７が完成する（図３（ｄ））。本実施の形態のようにコンタクトホール５が形成されている場合、通常は隔壁層材料がコンタクトホール５の内部に入り込むため、窪み部８が自然に形成される。このため、別途窪み部８を形成するための工程が不要であり、生産コスト及び製造効率上において有利である。
【００５２】
なお、隔壁層７の形成工程においては、さらに、開口部１７に塗布するインクに対する隔壁層７の接触角を調節する、もしくは、表面に撥水性を付与するために隔壁層７の表面を所定のアルカリ性溶液や水、有機溶媒等によって表面処理するか、プラズマ処理を施すこととしてもよい。
【００５３】
次に、正孔輸送層１０を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、正孔輸送層用インクを調製する。このインクをヘッド部３０１に供給し、塗布工程に基づき、各開口部１７に対応するノズル３０３０から、正孔輸送層用インクよりなる液滴１９を吐出する（図３（ｅ））。その後、インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると正孔輸送層１０が形成される（図４（ａ））。
【００５４】
次に、有機発光層１１を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、有機発光層用インクを調製する。このインクをヘッド部３０１に供給し、塗布工程に基づき、開口部１７及び窪み部８に対応するノズル３０３０から、有機発光層用インクよりなる液滴１８を吐出する（図４（ｂ））。その後、インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると有機発光層１１及び有機発光層１１と同一材料から成る有機層１６が形成される（図４（ｃ））。
【００５５】
また、図４（ｂ）において、開口部１７だけでなく窪み部８に対しても有機発光層用インクの液滴を吐出させているのは、ノズルの目詰まりを防止するためである。一般的に、有機発光層および正孔輸送層形成のために使用されるインクは、インクジェットプリンタで用いられる印字用インクに比べて高粘度である。このため、仮にインクを吐出しないように設定したとすると、当該ノズルの内部でインクが凝固してしまい目詰まりの原因となる。いったん目詰まりが生じたノズルからは設定時間内に設定量のインクを吐出できなくなり、開口部１７に所定量のインクを吐出できないために基板のロスが生じたり、ヘッド部３０１の交換が必要となることがある。このような場合には、ヘッド部３０１の取り外し、洗浄、再度高精度にアライメントして装着する作業が必要であり、生産効率を低下させる原因となる。しかしながら、上記の構成によれば、このような問題を防止することができる。
【００５６】
さらに、開口部１７におけるコンタクトホール５に近接する領域においては、溶媒の蒸気濃度が低いために他の部分よりも溶媒の蒸発が促進される。不均一な蒸気濃度下で乾燥が進むと、溶媒の蒸気濃度が低い領域における膜厚が厚くなり、全体として膜厚が均一な層を得ることができない恐れがある。しかしながら、図４（ｂ）に示すように、開口部１７及び窪み部８の両方に対しインクを塗布することで、開口部１７におけるコンタクトホール５に近接する領域における蒸気濃度が高められる。その結果、開口部１７における溶媒の蒸気濃度の均一化が図られ、開口部１７全域にわたって均一な膜厚で有機発光層１１を形成することができる。よって、筋ムラや面ムラ等、各種発光ムラの発生が抑制され、従来に比べて良好な画像表示性能を発揮させることが可能である。
【００５７】
ここで、図３（ｅ），図４（ｂ）に示す塗布工程においては、各開口部１７に対して所定数のノズルが割り当てられるように、複数のノズル３０３０を、各開口部１７と１対１対応するノズル群に分ける。そして、各ノズル群からそれに対応する開口部１７に対し、それぞれ液滴が吐出される。このとき、本実施の形態においては、ノズル群に属する各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に調整することにより、各開口部１７に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるようにしている。この結果、吐出される液滴の体積の総量を各開口部間で均一にすることができるので、各画素間での発光輝度のバラツキを抑制することが可能である。この詳細については、後の＜塗布工程＞の項で説明する。
【００５８】
次に、有機発光層１１の表面に、電子輸送層１２を構成する材料を真空蒸着法に基づいて成膜する。これにより、電子輸送層１２が形成される。つづいて、電子注入層１３を構成する材料を蒸着法、スピンコート法、キャスト法などの方法により成膜し、電子注入層１３が形成される。そして、ＩＴＯ、ＩＺＯ等の材料を用い、真空蒸着法、スパッタ法等で成膜する。これにより対向電極１４が形成される（図４（ｄ））。
【００５９】
なお、図示しないが、対向電極１４の表面には、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ等の光透過性材料をスパッタ法、ＣＶＤ法等で成膜することで、封止層を形成する。
【００６０】
以上の工程を経ることにより有機ＥＬ表示パネル１００が完成する。
【００６１】
＜塗布工程＞
以下、特に、正孔輸送層１０および有機発光層１１を形成する際の塗布工程について詳細に説明する。まず、塗布工程に使用されるインクジェット装置（製造装置）について説明する。
【００６２】
（インクジェット装置）
図５は、本実施の形態で使用するインクジェット装置１０００の主要構成を示す図である。図６は、インクジェット装置１０００の機能ブロック図である。
【００６３】
図５，６に示すように、インクジェット装置１０００は、インクジェットテーブル２０、インクジェットヘッド３０、液滴体積検出部５０、制御装置（ＰＣ）１５で構成される。
【００６４】
図６に示すように、制御装置１５は、ＣＰＵ１５０、記憶手段１５１（ＨＤＤ等の大容量記憶手段を含む）、表示手段（ディスプレイ）１５３、入力手段１５２で構成される。当該制御装置１５は具体的にはパーソナルコンピューター（ＰＣ）を用いることができる。記憶手段１５１には、制御装置１５に接続されたインクジェットテーブル２０、インクジェットヘッド３０、液滴体積検出部５０を駆動するための制御プログラム等が格納されている。インクジェット装置１０００の駆動時には、ＣＰＵ１５０が入力手段１５２を通じてオペレータにより入力された指示と、前記記憶手段１５１に格納された各制御プログラムに基づいて所定の制御を行う。
【００６５】
（インクジェットテーブル）
図５に示すように、インクジェットテーブル２０はいわゆるガントリー式の作業テーブルであり、基台のテーブルの上を２基のガントリー部（移動架台）が一対のガイドシャフトに沿って移動可能に配されている。
【００６６】
具体的構成として、板状の基台２００には、その上面の四隅に柱状のスタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂが配設されている。これらのスタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂに囲まれた内側領域には、塗布対象基板を載置するための固定ステージＳＴと、塗布直前のインクの吐出を安定化させるために用いるインクパン（皿状容器）ＩＰがそれぞれ配設されている。
【００６７】
また、基台２００には、その長手方向（Ｙ方向）に沿った一対の両側部に沿って、ガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂが前記スタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂにより平行に軸支されている。各々のガイドシャフト２０３Ａ（２０３Ｂ）には２つのリニアモーター部２０４Ａ、２０４Ｂ（２０５Ａ、２０５Ｂ）が挿通されており、このうち対をなすリニアモーター部２０４Ａ、２０５Ａ（２０４Ｂ、２０５Ｂ）に基台２００を横断するようにガントリー部２１０Ａ（２１０Ｂ）が搭載されている。この構成により、インクジェット装置１０００の駆動時には、一対のリニアモーター部２０４Ａ、２０５Ａ（２０４Ｂ、２０５Ｂ）が駆動されることで、２基のガントリー部２１０Ａ、２１０Ｂがそれぞれ独立に、ガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂの長手方向に沿って、スライド自在に往復運動する。
【００６８】
各々のガントリー部２１０Ａ、２１０Ｂには、Ｌ字型の台座からなる移動体（キャリッジ）２２０Ａ、２２０Ｂが配設されている。移動体２２０Ａ、２２０Ｂにはサーボモーター部（移動体モーター）２２１Ａ、２２１Ｂが配設され、各モーターの軸の先端に不図示のギヤが配されている。ギヤはガントリー部２１０Ａ、２１０Ｂの長手方向（Ｘ方向）に沿って形成されたガイド溝２１１Ａ、２１１Ｂに嵌合されている。ガイド溝２１１Ａ、２１１Ｂの内部にはそれぞれ長手方向に沿って微細なラックが形成され、前記ギヤは当該ラックと噛合しているので、サーボモーター部２２１Ａ、２２１Ｂが駆動すると、移動体２２０Ａ、２２０Ｂはいわゆるピニオンラック機構によって、Ｘ方向に沿って往復自在に精密に移動する。移動体２２０Ａ、２２０Ｂには、それぞれインクジェットヘッド３０、液滴体積検出部５０が装備されており、互いに独立して駆動される。
【００６９】
ここで、上記の制御部２１３、ガントリー部２１０Ａとでヘッド走査部を構成している。移動体２２０Ａにはインクジェットヘッド３０が装備されるので、ヘッド走査部により、塗布対象基板に対してインクジェットヘッド３０を走査させることができる。また、上述したように、移動体２２０ＡはＸ方向に沿って移動するので、インクジェットヘッド３０の走査方向は行（Ｘ）方向である。
【００７０】
なお、リニアモーター部２０４Ａ、２０５Ａ、２０４Ｂ、２０５Ｂ、サーボモーター部２２１Ａ、２２１Ｂはそれぞれ直接駆動を制御するための制御部２１３に接続され、当該制御部２１３は制御装置１５内のＣＰＵ１５０に接続されている。インクジェット装置１０００の駆動時には、制御プログラムを読み込んだＣＰＵ１５０により、制御部２１３を介してリニアモーター部２０４Ａ、２０５Ａ、２０４Ｂ、２０５Ｂ、サーボモーター部２２１Ａ、２２１Ｂの各駆動が制御される（図６）。
【００７１】
（インクジェットヘッド）
インクジェットヘッド３０は公知のピエゾ方式を採用し、ヘッド部３０１及び本体部３０２で構成されている。ヘッド部３０１は本体部３０２を介して移動体２２０に固定されている。本体部３０２はサーボモーター部３０４（図６）を内蔵しており、サーボモーター部３０４を回転させることにより、ヘッド部３０１の長手方向と固定ステージＳＴのＸ軸とのなす角度が調節される。なお、本実施の形態においては、ヘッド部３０１の長手方向とＹ軸とが一致するように調整している。
【００７２】
ヘッド部３０１は固定ステージＳＴに対抗する面に複数のノズルを備えており、これらのノズルはヘッド部３０１の長手方向に沿って列状に配置されている。ヘッド部３０１に供給されたインクは、各ノズルから液滴として塗布対象基板に対して吐出される。
【００７３】
各ノズルにおける液滴の吐出動作は、各ノズルが備えるピエゾ素子（圧電素子）３０１０（図６）に与えられる駆動電圧によって制御される。吐出回数制御部３００は、各ピエゾ素子３０１０に与える駆動信号を制御することにより、ノズル３０３０が行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定する。さらに、決定された吐出回数だけノズル３０３０から液滴を吐出させる。具体的には、図６に示すように、ＣＰＵ１５０が所定の制御プログラムを記憶手段１５１から読み出し、吐出回数制御部３００に対して、所定の電圧を対象のピエゾ素子３０１０に印加するように指示する。
【００７４】
（液滴体積検出部）
液滴体積検出部５０は、各ノズルから吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する手段である。図５，６に示すように、液滴体積検出部５０は液滴体積検出カメラ５０１と制御部５００で構成される。液滴体積検出カメラ５０１には公知の共晶点レーザー顕微鏡を用いている。液滴体積検出カメラ５０１の対物レンズは、インクジェット装置１０００における固定ステージＳＴの表面を垂直方向から撮影できるように向けられている。
【００７５】
インクの液滴体積の演算は、液滴体積検出カメラ５０１が異なる焦点距離で連続的に撮影した画像に基づき、液滴体積検出カメラ５０１に接続された制御部５００によって行われる。なお、制御部５００はＣＰＵ１５０にも接続されており、撮影した画像はＣＰＵ１５０でも確認できるので、ＣＰＵ１５０が前記演算を行うこともできる。
【００７６】
以上の構成を有するインクジェット装置１０００を用い、インクジェット方式による塗布工程を行う。ここでは、長尺状の各開口部１７の長辺が、インクジェットヘッド３０の走査方向（行（Ｘ）方向）に対して直交している場合（いわゆる横打ちを行う場合）について説明する。
【００７７】
（ヘッド部と塗布対象基板の開口部との位置関係〈横打ち〉）
図７は有機ＥＬ表示パネルに係る製造工程における、塗布対象基板とヘッド部の位置関係（横打ち時）を示す図である。
【００７８】
図７に示す６００は塗布対象基板であり、塗布工程を経る前段階の状態の基板、すなわち、複数の開口部１７がピクセル単位に行列状に形成された隔壁層７が設けられた状態の基板を示すものである。ヘッド部３０１には、インクが吐出されるノズル３０３０が複数個、列方向に並ぶように配置されている。複数のノズル３０３０は、各開口部１７に対して所定数のノズル（図７では６個）が割り当てられるように、各開口部１７と１対１対応するノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４に分けられている。
【００７９】
ここで、ヘッド部３０１の長手方向を列方向に対して若干傾斜させることでノズル３０３０の塗布ピッチを調節することができる。図７の例では、ヘッド部３０１を傾斜させなくとも、ノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４が開口部１７に対応するように、ノズルｂ１，ｂ２，ｂ３が列方向に配列された開口部１７間（コンタクトホール５上）に対応するようなヘッド部３０１を使用している。
【００８０】
塗布工程においては、ヘッド部３０１を行（Ｘ）方向に走査させながら各開口部１７に対し、対応するノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４に属する各ノズルからそれぞれ所望のインクの液滴を吐出させる。そして、上記の工程を経ることにより、正孔輸送層１０および有機発光層１１が形成される。このとき、吐出される液滴の体積の総量は、各開口部１７間で均一にされる必要がある。
【００８１】
そこで、本実施の形態においては、各開口部１７に対応するノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４の各ノズル３０３０から、対応する開口部１７に対して液滴吐出を行う。その上で、各開口部１７に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、液滴体積検出部５０によってノズル３０３０毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、ノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４に属する各ノズル３０３０が行う液滴の吐出回数をノズル毎に調整する。換言すると、ノズル３０３０毎の液滴の吐出回数が固定的である場合と比較して、開口部１７に吐出される液滴の総量が所定の目標値に近づくようにノズル３０３０の吐出回数をノズル毎に調整する。この液滴を吐出させる回数の調整は、吐出回数制御部３００によって行われる。次に、この吐出回数制御部３００の動作を含めた、塗布工程における制御フローについて説明する。
【００８２】
（インクジェット装置における制御フロー）
図８は、塗布工程における制御フローを示す図である。以下、簡略化のため、所定の一列分の開口部１７に対する制御フローについてのみ説明するが、他の列の開口部１７についても同様である。
【００８３】
塗布工程の前段階として、複数の開口部１７をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層７を設けた塗布対象基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズル３０３０を列方向に複数配置したインクジェットヘッド３０（ヘッド部３０１）とを準備する工程が含まれる。
【００８４】
塗布工程開始後、液滴体積検出部５０により各ノズル３０３０毎の液滴の体積を検出する（ステップＳ１０１）。次いで、吐出回数制御部３００は、液滴体積検出部５０での検出結果に基づき、ヘッド部３０１の全てのノズル３０３０をランク分けする（ステップＳ１０２）。本実施の形態では、一例として、１つのノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積として予め設定された設定値Ｖｓｅｔに対し、誤差が±ａ［％］以内のノズルをＡランク、誤差が±ｂ［％］以内のノズルをＢランク（但し、ａ＜ｂであり、Ａランクのノズルは含まない）、誤差が±ｃ［％］以内のノズルをＣランク（但し、ｂ＜ｃであり、Ａ，Ｂランクのノズルは含まない）、目詰まり等により使用できないノズル（不吐出ノズル）をＦランクとランク分けすることとする。
【００８５】
なお、ステップＳ１０１，Ｓ１０２は塗布工程毎に毎回行う必要はなく、例えば、１０回毎のように複数回の塗布工程につき１回行うこととしてもよい。また、ロット毎、インクジェット装置１０００の起動毎であってもよい。
【００８６】
ここで、本実施の形態では、各開口部１７に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように各ノズルの吐出回数を調整するのであるが、上記ａ，ｂ，ｃの数値は、この基準範囲をどの程度とするかによって、適宜決定することができる。具体的には、各開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値を設定し、この目標値に対して何［％］以内を基準範囲とするのかを決定する。さらに、この目標値に対して許容される誤差は、各画素間の発光輝度をどの程度均一化するかに依存する。
【００８７】
例えば、上述したような寸法（３０〜１３０［μｍ］×１５０〜６００［μｍ］）の開口部１７において、各開口部１７間の発光輝度差を１［％］以内とする場合、各開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値に対して±２［％］以内が基準範囲である。この基準範囲と、一の開口部１７についての液滴吐出の回数とを考慮することで、ａ，ｂ，ｃの数値を決定することができる。上記の場合、例えば、ａを１〜２［％］、ｂを６［％］、ｃを＜６［％］とすることができる。なお、市販のインクジェットヘッドにおいては、上記設定値Ｖｓｅｔに対して、誤差は±６［％］程度である。
【００８８】
有機ＥＬ表示パネルの場合、有機発光層１１の膜厚は５０〜１００［ｎｍ］程度と非常に薄いため、微小な液滴の体積バラツキが発光輝度差となって表れ、表示品質に与える影響は大きくなる。表示パネルの高精細化に伴ってより高い表示品質が求められるので、各開口部間の液滴の体積バラツキはより一層抑制される必要がある。
【００８９】
続いて、吐出回数制御部３００は任意の開口部１７を１行選択し（ステップＳ１０３）、選択行の開口部１７に対応するノズルについて、Ａランクのノズル数ＮＡ，Ｂランクのノズル数ＮＢ，Ｃランクのノズル数ＮＣをそれぞれ記憶する（ステップＳ１０４）。その後、吐出回数制御部３００は、選択行の開口部１７に対して液滴吐出を行うノズルを選択するとともに（ステップＳ１０５）、液滴吐出位置を決定する（ステップＳ１０６）。
【００９０】
次に、吐出回数制御部３００は、全行の開口部１７を選択したか否かを判定し（ステップＳ１０７）、全行の開口部１７を選択していないと判定した場合は（ステップＳ１０７においてＮＯ）、ステップＳ１０３〜Ｓ１０６を全行の開口部１７について実行するまで繰り返す。ステップＳ１０３〜Ｓ１０６を全行の開口部１７について行った後（ステップＳ１０７においてＹＥＳ）、全行の開口部１７に対し液滴を吐出し（ステップＳ１０８）、塗布工程が終了する。
【００９１】
次に、選択行の開口部１７に対して液滴吐出を行うノズルを選択する工程（ステップＳ１０５）、ならびに、選択行の開口部１７における液滴吐出位置を決定する工程（ステップＳ１０６）の詳細について説明する。
【００９２】
（液滴吐出を行うノズルを選択する工程）
図９は、液滴吐出を行うノズルを選択する工程（図８のステップＳ１０５）における吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【００９３】
吐出回数制御部３００の制御フローは概ね、Ａランクノズルを液滴吐出に優先的に使用させ、Ａランクノズルのみでは目標値以上の液滴を吐出できない場合には、ＡおよびＢランクノズルを用いて各開口部に対し液滴吐出を行う。ＡおよびＢランクノズルを用いても目標値以上の液滴を吐出できない場合には、Ａ，ＢおよびＣランクノズルを用いて各開口部に対し液滴吐出を行う。
【００９４】
図９において、先ず、予め各開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値を設定しておき、その目標値より、一の開口部１７に対して必要な液滴の吐出回数Ｎ（必要吐出回数Ｎ）を決定する（ステップＳ２０１）。この目標値は、塗布するインクの種類によって異なり、例えば、有機発光層用インクの場合は発光色毎に異なることもありうる。必要吐出回数Ｎは、各開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値を設定値Ｖｓｅｔで除算することにより求まる。また、必要吐出回数Ｎが、後述の最大吐出回数Ｔに、一の開口部１７に対応するノズル数（一のノズル群に属するノズル数、図７では６）を乗じた数値以下となるように、設定値Ｖｓｅｔが設定されていなければならない。
【００９５】
次に、Ａランクノズルのみで上記目標値以上の体積の液滴を吐出できるか否かを判定する（ステップＳ２０２）。具体的には、予め、各ノズルが１開口部あたりに吐出することが可能な回数の最大Ｔ（最大吐出回数Ｔ）を設定しておき、この最大吐出回数ＴにＡランクのノズル数ＮＡを乗じた数値（ＮＡ×Ｔ）が必要吐出回数Ｎ以上であるか否かを判定する。なお、図７におけるノズル群ａ４に属する６番ノズルにおいては、最大吐出回数Ｔは３である。また、最下行の開口部１７中に示した実線の丸はその位置に液滴が吐出されることを意味し、点線の丸はその位置に液滴が吐出されないことを意味する。
【００９６】
ＮＡ×Ｔが必要吐出回数Ｎ以上であると判定した場合は（ステップＳ２０２においてＹＥＳ）、Ａランクノズルのみで目標値以上の体積の液滴を吐出できる場合であるので、Ａランクノズルで吐出する回数をＮ回と設定する（ステップＳ２０３）。その後、液滴吐出を行うノズルを選択する工程（図８のステップＳ１０５）を終了する。
【００９７】
ＮＡ×Ｔが必要吐出回数Ｎ未満であると判定した場合は（ステップＳ２０２においてＮＯ）、Ａランクノズルのみでは目標値以上の体積の液滴を吐出することができない。よって、次に、ＡランクおよびＢランクノズルを使用することにより上記目標値以上の体積の液滴を吐出できるか否かを判定する（ステップＳ２０４）。具体的には、（ＮＡ×Ｔ）と、最大吐出回数ＴにＢランクのノズル数ＮＢを乗じた数値（ＮＢ×Ｔ）とを足し合わせたもの（（ＮＡ×Ｔ）＋（ＮＢ×Ｔ））が必要吐出回数Ｎ以上であるか否かを判定する。
【００９８】
（（ＮＡ×Ｔ）＋（ＮＢ×Ｔ））が必要吐出回数Ｎ以上であると判定した場合は（ステップＳ２０４においてＹＥＳ）、ＡランクおよびＢランクノズルで上記目標値以上の体積の液滴を吐出できる場合である。次いで、Ｂランクノズルで行う吐出回数ＭＢ（＝Ｎ−（ＮＡ×Ｔ））を記憶する（ステップＳ２０５）。
【００９９】
次に、ステップＳ２０５で記憶した吐出回数ＭＢが２以上であるかを判定する（ステップＳ２０６）。吐出回数ＭＢが２以上でない場合、すなわち吐出回数ＭＢが１である場合（ステップＳ２０６においてＮＯ）、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数をＭＢ回（ステップＳ２０６からステップＳ２０７へ移行した場合は１回）と設定する（ステップＳ２０７）。そして、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１００】
吐出回数ＭＢが２以上である場合（ステップＳ２０６においてＹＥＳ）、Ｂランクのノズルのうち、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも多いノズル（Ｂ＋）と、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも少ないノズル（Ｂ−）の組があるかどうかを判定する（ステップＳ２０８）。以下、このようなノズルの組をＢ＋，Ｂ−のノズル組と称する。Ｂ＋，Ｂ−のノズル組が存在する場合には、これらを使用することで液滴体積の総量を上記の基準範囲に、より近づけることが可能となるため、本実施の形態ではステップＳ２０８を設けている。
【０１０１】
Ｂ＋とＢ−のノズル組が存在しない場合（ステップＳ２０８においてＮＯ）、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数をＭＢ回と設定する（ステップＳ２０７）。その後、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１０２】
Ｂ＋とＢ−のノズル組が存在する場合（ステップＳ２０８においてＹＥＳ）、Ｂ＋とＢ−のノズル組の数ＰＢを記憶する（ステップＳ２０９）。次に、吐出回数ＭＢが偶数か奇数であるかを判定する（ステップＳ２１０）。
【０１０３】
図１０は、図９のステップＳ２１０で吐出回数ＭＢが偶数であると判定した場合（ステップＳ２１０において偶数）の、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【０１０４】
先ず、吐出回数ＭＢのうち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使って吐出できる回数を決定する。具体的には、２Ｘｅｖ１＝ＭＢを満たすＸｅｖ１を記憶したのち（ステップＳ３０１）、Ｘｅｖ１≦（ＰＢ×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ３０２）。そして、（ＰＢ×Ｔ）がＸｅｖ１以上である、すなわち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使って吐出回数ＭＢ回全てを吐出できると判定した場合は（ステップＳ３０２においてＹＥＳ）、ステップＳ３０３へ移行する。ステップＳ３０３で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｅｖ１回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１０５】
一方、（ＰＢ×Ｔ）がＸｅｖ１未満である、すなわち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使っても吐出回数ＭＢ回全てを吐出できないと判定した場合は（ステップＳ３０２においてＮＯ）、ステップＳ３０４へ移行する。ステップＳ３０４で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＢ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズル以外のＢランクノズルで吐出する回数を｛ＭＢ−２（ＰＢ×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１０６】
図１１は、図９のステップＳ２１０で吐出回数ＭＢが奇数であると判定した場合（ステップＳ２１０において奇数）の、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【０１０７】
先ず、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のうち、吐出体積を足し合わせて２で割った数値（吐出体積の平均値）が、設定値Ｖｓｅｔ±ａ［％］以内となるノズル組が存在するか否かを判定する（ステップＳ４０１）。このようなノズル組は、組で使用することにより実質Ａランクのノズルとみなすことができる。以下、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のうち、実質Ａランクのノズルとみなすことができるノズル組をＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組と称し、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも多いノズルをＢＡ＋、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも少ないノズルをＢＡ−と称する。ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組が存在する場合には、これらを使用することで液滴体積の総量を上記の基準範囲に、より近づけることが可能となるため、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組の場合と同様にステップＳ４０１を設けている。
【０１０８】
ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組が存在すると判定した場合は（ステップＳ４０１においてＹＥＳ）、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組の数ＰＡ１を記憶する（ステップＳ４０２）。
【０１０９】
次に、吐出回数ＭＢのうち、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組を使って吐出できる回数を決定する。具体的には、２Ｘ≧ＭＢを満たすＸ（但し、Ｘは整数）の最小値Ｘｏｄ１を記憶したのち（ステップＳ４０３）、Ｘｏｄ１≦（ＰＡ１×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ４０４）。そして、（ＰＡ１×Ｔ）がＸｏｄ１以上である、すなわち、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組を使って吐出回数ＭＢ回全てを吐出できると判定した場合は（ステップＳ４０４においてＹＥＳ）、ステップＳ４０５へ移行する。ステップＳ４０５で、Ａランクノズルで吐出する回数を｛（ＮＡ×Ｔ）−１｝回、ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｏｄ１回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１１０】
ステップＳ４０５においては、ステップＳ４０３を経る結果として、Ａランクノズルを使用する回数が一回減らされる。しかしながら、使用されるＢランクノズルは全て、実質Ａランクノズルに相当するノズルである。したがって、この場合、必要吐出回数Ｎ回全てを、実質的にＡランクノズルを用いて行っているものと同視でき、その結果、液滴体積の総量を目標値に精度良く近づけることが可能となる。
【０１１１】
一方、（ＰＡ１×Ｔ）がＸｏｄ１未満である、すなわち、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組を使っても吐出回数ＭＢ回全てを吐出できないと判定した場合は（ステップＳ４０４においてＮＯ）、ステップＳ４０６へ移行する。ステップＳ４０６で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＡ１×Ｔ）回、ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズル以外のＢランクノズルで吐出する回数を｛ＭＢ−２（ＰＡ１×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１１２】
続いて、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組が存在しないと判定した場合は（ステップＳ４０１においてＮＯ）、吐出回数ＭＢのうち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使って吐出できる回数を決定する。具体的には、２Ｘ≦ＭＢを満たすＸ（但し、Ｘは整数）の最大値Ｘｏｄ２を記憶したのち（ステップＳ４０７）、Ｘｏｄ２≦（ＰＢ×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ４０８）。そして、（ＰＢ×Ｔ）がＸｏｄ２以上である、すなわち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使って吐出回数ＭＢ回全てを吐出できると判定した場合は（ステップＳ４０８においてＹＥＳ）、ステップＳ４０９へ移行する。ステップＳ４０９で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｏｄ２回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズル以外のＢランクノズルを１回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１１３】
これに対し、（ＰＢ×Ｔ）がＸｏｄ２未満である、すなわち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使っても吐出回数ＭＢ回全てを吐出できないと判定した場合は（ステップＳ４０８においてＮＯ）、ステップＳ４１０へ移行する。ステップＳ４１０で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＢ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズル以外のＢランクノズルで吐出する回数を｛ＭＢ−２（ＰＢ×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１１４】
なお、ステップＳ４０６における「ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズル以外のＢランクノズル」には、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組が含まれている。よって、「ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズル以外のＢランクノズル」で行う「｛ＭＢ−２（ＰＡ１×Ｔ）｝回」吐出について、ステップＳ４０７〜Ｓ４１０の制御フローを適用することができる。このようにすることで、液滴体積の総量を目標値に、より精度良く近づけることが可能である。
【０１１５】
また、ステップＳ４０９，Ｓ４１０において、「Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズル以外のＢランクノズル」には、ＢＡ＋またはＢＡ−ノズルが含まれている可能性がある。この場合は、ＢＡ＋またはＢＡ−ノズルから優先して液滴を吐出させることが望ましい。
【０１１６】
図９に戻って、（（ＮＡ×Ｔ）＋（ＮＢ×Ｔ））が必要吐出回数Ｎ未満であると判定した場合は（ステップＳ２０４においてＮＯ）、ＡランクおよびＢランクノズルのみでは目標値以上の体積の液滴を吐出することができない。よって、次に、Ｃランクノズルで行う吐出回数ＭＣ（＝Ｎ−｛（ＮＡ×Ｔ）＋（ＮＢ×Ｔ）｝）を記憶する（ステップＳ２１１）。
【０１１７】
図１２は、Ｃランクノズルを使用する場合の吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【０１１８】
Ｃランクノズルを使用する場合の制御フローは、図９のステップＳ２０６〜Ｓ２１０，図１１，図１２に示したような、Ｂランクノズルを使用する場合の制御フローと略同様に説明できる。以下、Ｃランクノズルを使用する場合の吐出回数制御部３００の制御フロー簡単に説明する。
【０１１９】
先ず、ステップＳ２１１で記憶した吐出回数ＭＣが２以上であるかを判定する（ステップＳ５０１）。吐出回数ＭＢが２以上である場合（ステップＳ５０１においてＹＥＳ）、Ｃランクのノズルのうち、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも多いノズル（ＶＣ＋）と、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも少ないノズル（ＶＣ−）の組があるかどうかを判定する（ステップＳ５０３）。吐出回数ＭＢが２以上でない場合（ステップＳ５０１においてＮＯ）、および、ＶＣ＋，ＶＣ−のノズル組が存在しないと判定した場合（ステップＳ５０３においてＮＯ）、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、Ｃランクノズルで吐出する回数をＭＣ回（ステップＳ５０１からステップＳ２０７へ移行した場合は１回）と設定する（ステップＳ５０２）。その後、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１２０】
ＶＣ＋とＶＣ−のノズル組が存在する場合（ステップＳ５０３においてＹＥＳ）、ＶＣ＋とＶＣ−のノズル組の数ＰＣを記憶し（ステップＳ５０４）、吐出回数ＭＣが偶数か奇数であるかを判定する（ステップＳ５０５）。
【０１２１】
吐出回数ＭＣが偶数であると判定した場合（ステップＳ５０５において偶数）、２Ｘｅｖ２＝ＭＣを満たすＸｅｖ２を記憶したのち（ステップＳ５０６）、Ｘｅｖ２≦（ＰＣ×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ５０７）。そして、（ＰＣ×Ｔ）がＸｅｖ２以上である場合は（ステップＳ５０７においてＹＥＳ）、ステップＳ５０８へ移行する。ステップＳ５０８で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、ＶＣ＋ノズル，ＶＣ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｅｖ２回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１２２】
一方、（ＰＣ×Ｔ）がＸｅｖ２未満である場合は（ステップＳ５０７においてＮＯ）、ステップＳ５０９へ移行する。ステップＳ５０９で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、ＶＣ＋ノズル，ＶＣ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＣ×Ｔ）回、ＶＣ＋ノズル，ＶＣ−ノズル以外のＣランクノズルで吐出する回数を｛ＭＣ−２（ＰＣ×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１２３】
図１３は、図１２のステップＳ５０５で吐出回数ＭＣが奇数であると判定した場合（ステップＳ５０５において奇数）の、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【０１２４】
先ず、ＶＣ＋，ＶＣ−のノズル組のうち、吐出体積を足し合わせて２で割った数値（吐出体積の平均値）が、設定値Ｖｓｅｔ±ａ［％］以内となるノズル組（ＶＣＡ＋，ＶＣＡ−のノズル組と称する。）が存在するか否かを判定する（ステップＳ６０１）。ＶＣＡ＋，ＶＣＡ−のノズル組が存在すると判定した場合は（ステップＳ６０１においてＹＥＳ）、ＶＣＡ＋，ＶＣＡ−のノズル組の数ＰＡ２を記憶する（ステップＳ６０２）。
【０１２５】
次に、２Ｘ≧ＭＣを満たすＸ（但し、Ｘは整数）の最小値Ｘｏｄ３を記憶したのち（ステップＳ６０３）、Ｘｏｄ３≦（ＰＡ２×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ６０４）。そして、（ＰＡ２×Ｔ）がＸｏｄ３以上である場合は（ステップＳ６０４においてＹＥＳ）、ステップＳ６０５へ移行する。ステップＳ６０５で、Ａランクノズルで吐出する回数を｛（ＮＡ×Ｔ）−１｝回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、ＶＣＡ＋ノズル，ＶＣＡ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｏｄ３回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１２６】
（ＰＡ２×Ｔ）がＸｏｄ３未満である場合は（ステップＳ６０４においてＮＯ）、ステップＳ６０６へ移行する。ステップＳ６０６で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、ＶＣＡ＋ノズル，ＶＣＡ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＡ２×Ｔ）回、ＶＣＡ＋ノズル，ＶＣＡ−ノズル以外のＣランクノズルで吐出する回数を｛ＭＣ−２（ＰＡ２×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１２７】
続いて、ＶＣＡ＋，ＶＣＡ−のノズル組が存在しないと判定した場合は（ステップＳ６０１においてＮＯ）、２Ｘ≦ＭＣを満たすＸ（但し、Ｘは整数）の最大値Ｘｏｄ４を記憶したのち（ステップＳ６０７）、Ｘｏｄ４≦（ＰＣ×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ６０８）。そして、（ＰＣ×Ｔ）がＸｏｄ４以上である場合は（ステップＳ６０８においてＹＥＳ）、ステップＳ６０９へ移行する。ステップＳ６０９で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、ＶＣ＋ノズル，ＶＣ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｏｄ４回、ＶＣ＋ノズル，ＶＣ−ノズル以外のＣランクノズルを１回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１２８】
（ＰＣ×Ｔ）がＸｏｄ４未満である場合は（ステップＳ６０８においてＮＯ）、ステップＳ６１０へ移行する。ステップＳ６１０で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、ＶＣ＋ノズル，ＶＣ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＣ×Ｔ）回、ＶＣ＋ノズル，ＶＣ−ノズル以外のＣランクノズルで吐出する回数を｛ＭＣ−２（ＰＣ×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【０１２９】
なお、ステップＳ６０６における「ＶＣＡ＋ノズル，ＶＣＡ−ノズル以外のＣランクノズル」には、ＶＣ＋，ＶＣ−のノズル組が含まれている。よって、Ｂランクノズルの制御フローの場合と同様に、「ＶＣＡ＋ノズル，ＶＣＡ−ノズル以外のＣランクノズル」について、ステップＳ６０７〜Ｓ６１０の制御フローを適用することができる。
【０１３０】
また、ステップＳ６０９，Ｓ６１０において、「Ｃ＋ノズル，Ｃ−ノズル以外のＣランクノズル」には、ＣＡ＋またはＣＡ−ノズルが含まれている可能性がある。この場合は、ＣＡ＋またはＣＡ−ノズルから優先して液滴を吐出させることが望ましい。
【０１３１】
ステップＳ２０３（図９）においてＡランクノズルで吐出する回数を設定する際、一のノズル群に属する１〜６番の各ノズルからそれぞれ吐出させる回数を併せて決定する。このとき、ノズル３０３０から吐出される液滴の各開口部１７内での着弾位置が、各開口部１７内で分散されるように調整されることが望ましい。具体的には、一の開口部１７における着弾位置が走査方向に沿った軸に対して対象となるように調整する。例えば、一の開口部１７に対して１４回液滴を吐出させる場合には、開口部１７の列方向に沿った上半分の領域に対して７回吐出し、下半分の領域に対して７回吐出するようにする。
【０１３２】
また、ステップＳ２０７（図９）、ステップＳ３０３，Ｓ３０４（図１０）、ステップＳ４０５，Ｓ４０６，Ｓ４０９，Ｓ４１０（図１１）のように、ＡランクとＢランクのノズルを混在させて使用する場合は、Ａランクノズルに吐出させる回数およびＢランクノズルに吐出させる回数が、開口部１７の列方向に沿った上半分、下半分の領域において同程度となるようにする。Ａ，Ｂ，Ｃランクのノズルを混在させて使用するステップＳ５０２，Ｓ５０８，Ｓ５０９（図１２）、ステップＳ６０５，Ｓ６０６，Ｓ６０９，Ｓ６１０（図１３）においても同様である。
【０１３３】
（液滴吐出位置を決定する工程）
図１４，１５は、液滴吐出位置を決定する工程における、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【０１３４】
吐出回数制御部３００には、各ノズルから吐出される液滴の各開口部内での着弾位置を、走査方向に対し直交する軸に対して対称となるように調整する制御プログラムが格納されている。吐出回数制御部３００はこの制御プログラムに従い、吐出回数毎の液滴吐出位置を制御する。例えば、吐出回数制御部３００には以下のような制御フローを行う制御プログラムが格納されている。
【０１３５】
図１４は、最大吐出回数Ｔが３である場合の吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【０１３６】
先ず、１番ノズルの吐出回数が何回であるかを判定する（ステップＳ７０１）。ここで、「１番ノズル」とは、選択行における開口部１７に対応するノズル群に属する１番ノズルのことを指す。具体的に説明すると、図８のステップＳ１０３において、図７に示す開口部１７のうち最上行の開口部１７を選択している場合、ノズル群ａ１に属する１番ノズルがここでの「１番ノズル」に相当する。
【０１３７】
１番ノズルの吐出回数が１回である場合（ステップＳ７０１において１）、ラインＬ２上に液滴を吐出する。１番ノズルの吐出回数が２回である場合は（ステップＳ７０１において２）ラインＬ１，Ｌ３上に、１番ノズルの吐出回数が３回である場合（ステップＳ７０１において２）はラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３上にそれぞれ液滴を吐出する。同様の制御フローをノズル群に属する２番ノズル（ステップＳ７０２）〜６番ノズル（ステップＳ７０６）に対して行うと、液滴吐出位置を決定する工程は終了する。
【０１３８】
図１４に示したように、最大吐出回数Ｔが３である場合は、吐出回数が１〜３回のいずれであっても、各ノズル毎に、着弾位置を走査方向に対し直交する軸に対して対称となるように制御することができる。しかしながら、最大吐出回数Ｔの数値によっては、各ノズル毎にこのような制御ができない場合がある。かかる場合に、可能な限り各開口部内における着弾位置を、走査方向に対し直交する軸に対して対称となるように調整する制御フローについて、図１５を用いて説明する。
【０１３９】
図１５は、最大吐出回数Ｔが４である場合の吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【０１４０】
先ず、１番ノズルの吐出回数が何回であるかを判定する（ステップＳ８０１）。吐出回数が１回である場合（ステップＳ８０１において１）、ラインＬ１上に吐出する（ａ）、ラインＬ２上に吐出する（ｂ）、ラインＬ３上に吐出する（ｃ）、ラインＬ４上に吐出する（ｄ）の４つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が２回である場合は（ステップＳ８０１において２）、ラインＬ１，Ｌ４上に吐出する（ａ）、ラインＬ２，Ｌ３上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が３回である場合（ステップＳ８０１において３）は、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ４上に吐出する（ａ）、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３上に吐出する（ｂ）、ラインＬ１，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ｃ）、ラインＬ２，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ｄ）の４つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が４回である場合（ステップＳ８０１において４）は、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ａ）。
【０１４１】
次に、２番ノズルの吐出回数が何回であるかを判定する（ステップＳ８０２）。吐出回数が１回である場合（ステップＳ８０２において１）、１番ノズルにおいて液滴を吐出した位置がどうであったかを判定する（ステップＳ８０２Ａ）。右寄りである、または対称であると判定した場合（ステップＳ８０２Ａにおいて「右」または「対称」）、ラインＬ１上に吐出する（ａ）、ラインＬ２上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。左寄りであると判定した場合（ステップＳ８０２Ａにおいて「左」）、ラインＬ３上に吐出する（ａ）、ラインＬ４上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が２回である場合は（ステップＳ８０２において２）、ラインＬ１，Ｌ４上に吐出する（ａ）、ラインＬ２，Ｌ３上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が３回である場合（ステップＳ８０２において３）、２番ノズルにおいて液滴を吐出した位置がどうであったかを判定する（ステップＳ８０２Ｂ）。右寄りであると判定した場合（ステップＳ８０２Ｂにおいて「右」）、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ４上に吐出する（ａ）、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。左寄りである、または対称であると判定した場合（ステップＳ８０２Ｂにおいて「左」または「対称」）、ラインＬ１，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ａ）、ラインＬ２，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が４回である場合（ステップＳ８０２において４）は、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ａ）。
【０１４２】
２番ノズルにおける制御フローと同様の制御フローを、３番ノズル〜６番ノズル（ステップＳ８０６，Ｓ８０６Ａ，Ｓ８０６Ｂ）に対して行うと、液滴吐出位置を決定する工程は終了する。
【０１４３】
液滴吐出位置を決定する工程が終了すると、選択行における一連の制御フロー（図８のステップＳ１０３〜Ｓ１０６）が終了する。一連の制御フローを全ての行に対して行った後（図８のステップＳ１０７においてＹＥＳ）、全行の開口部１７に対し液滴を吐出し（ステップＳ１０８）、塗布工程が終了する。
【０１４４】
（具体例）
図１６は、図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板６００とヘッド部３０１の位置関係を示す図である。図１６（ａ）〜（ｈ）はそれぞれ、ステップＳ２０３（図９），ステップＳ２０７（図９、ステップＳ２０８から移行した場合），ステップＳ３０３（図１０），ステップＳ３０４（図１０），ステップＳ４０５（図１１），ステップＳ４０６（図１１），ステップＳ４０９（図１１），ステップＳ４１０（図１１）を経てステップＳ１０８に移行した場合を示している。図１６中、ヘッド部３０１のノズル３０３０を示す丸は、図８に示すステップＳ１０２でのランク分けの結果に基づいた大きさで示している。
【０１４５】
図１６に示す１〜６番の各ノズルの右上には、各ノズルがどのランクに属しているのかを表記している。また、ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズル，Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズルのいずれにも属さないＢランクノズル、すなわち、図１１のステップＳ４０６，Ｓ４０９，Ｓ４１０における「ＢＡ＋，ＢＡ−以外のＢランク」，「Ｂ＋，Ｂ−以外のＢランク」に相当するノズルには、単に「Ｂ」と表記している。
【０１４６】
また、図１６に示す例では、開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値を１４０［ｐＬ］、設定値Ｖｓｅｔを１０［ｐＬ］、必要吐出回数Ｎを１４、最大吐出回数Ｔを３としている。
【０１４７】
図１６（ａ）では、ステップＳ１０１（図８）でノズル毎に検出した液滴体積が一の開口部内でばらついていないのに対し、図１６（ｂ）〜（ｈ）では、一の開口部内でばらついている。言い換えると、図１６（ｂ）〜（ｈ）では、一の開口部に対応する所定数のノズルの中に、吐出体積のある程度異なるノズルが含まれるのに対し、図１６（ａ）では含まれない。
【０１４８】
図１６（ａ）は、開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値以上の体積を、Ａランクのみで吐出できる場合である。図１６（ｂ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出できるものの、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組が存在しない場合である。
【０１４９】
図１６（ｃ），（ｄ）は、Ｂランクノズルで吐出すべき吐出回数が偶数の場合である。図１６（ｃ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出でき、かつ、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のみでＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できる場合である。図１６（ｄ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出できるものの、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のみではＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できない場合である。
【０１５０】
図１６（ｅ）〜（ｈ）は、Ｂランクノズルで吐出すべき吐出回数が奇数の場合である。図１６（ｅ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出でき、かつ、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組のみでＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できる場合である。なお、図１１のステップＳ４０５にてＡランクノズルの吐出回数が１回減らされているが、この減らされた１回分の液滴吐出は図１６（ｅ）において点線の丸で示している。
【０１５１】
図１６（ｆ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出できるものの、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組のみではＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できない場合である。図１６（ｇ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出でき、かつ、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のみでＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できる場合である。図１６（ｈ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出できるものの、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のみではＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できない場合である。
【０１５２】
（ヘッド部と塗布対象基板の開口部との位置関係〈縦打ち〉）
上記塗布工程の制御フローは、図１７に示すように、長尺状の各開口部１７の長辺が、ヘッド部３０１の走査方向（行（Ｘ）方向）と一致している場合（いわゆる縦打ちを行う場合）についても適用することができる。図１７の場合、各開口部１７に対応するノズル３０３０の数は２個である。
【０１５３】
横打ち，縦打ちを問わず、各開口部１７に対応するノズルの個数は特に限定されず、１個であってもよい。しかしながら、１個であると、万が一、その１個のノズルがＦランクノズルである場合には、そのＦランクノズルが液滴吐出を担当する開口部１７には液滴が吐出されないという問題が生じる。よって、各開口部１７に対応するノズル３０３０の数は２個以上である方が望ましく、可能な限り数が多い方がより望ましい。さらに、各開口部１７に対応するノズル数が多い方が、塗布工程において液滴体積総量を目標値に近づける効果は高い。この点、各開口部１７に対応するノズルの数を多くすることができる横打ちの場合が、より好ましい実施の形態であると言える。
【０１５４】
［まとめ］
以上説明したように、本実施の形態によれば、ノズル毎に液滴の吐出回数を変化させるという簡易な制御で、各開口部に吐出される液滴体積の総量を均一にすることができる。したがって、特許文献１のようなノズル毎に異なる波形の駆動電圧を生成するといった複雑な制御を行う必要がなく、有機ＥＬ表示パネルの大判化に伴うインクジェットヘッドのノズル数増大にも対応し得る。また、本実施の形態によれば簡易な制御で済むので、特許文献１のような制御を行うための回路基板は小規模のもので足り、その分、製造装置の簡素化および低コスト化を図ることが可能である。
【０１５５】
≪実施の形態２≫
図１８は、実施の形態２に係る、液滴吐出を行うノズルを選択する工程における吐出回数制御部の制御フローを示す図である。
【０１５６】
図１８におけるステップＳ９０１，Ｓ９０２，Ｓ９０４〜Ｓ９０６，Ｓ９０８〜９１１は、それぞれ、図９におけるＳ２０１，Ｓ２０２，Ｓ２０４〜Ｓ２０６，Ｓ２０８〜Ｓ２１１に対応する。図９と異なる点は、Ｓ９１２ＡおよびＳ９１３Ａを設けた点である。
【０１５７】
本実施の形態では、ＮＡ×Ｔが必要吐出回数Ｎ未満である（Ａランクノズルのみで目標値以上の液滴を吐出できない）と判定した場合は（ステップＳ９０２においてＮＯ）、最大吐出回数Ｔをさらに増やすことができるか否かを判定する（ステップＳ９１２Ａ）。最大吐出回数Ｔは、ピエゾ素子に与える駆動電圧の波形を変えて吐出周波数を上げる、または、インクジェットヘッドの走査速度を下げることにより増加させることができる。
【０１５８】
最大吐出回数Ｔをさらに増やすことができると判定した場合（ステップＳ９１２ＡにおいてＹＥＳ）、最大吐出回数Ｔを増やした後のＡランクのノズル数ＮＡ，Ｂランクのノズル数ＮＢ，Ｃランクのノズル数ＮＣをそれぞれ記憶する（ステップＳ９１３Ａ）。そして、ステップＳ９０２に移行する。最大吐出回数Ｔを増やすことができないと判定した場合は（ステップＳ９１２ＡにおいてＮＯ）、ステップＳ９０４に移行する。
【０１５９】
ほぼ設定値Ｖｓｅｔ通りの体積の液滴を吐出することができるノズルは、吐出体積が経時変化しにくい。よって、このようなノズルのみから液滴吐出を行わせることで、ノズル毎の液滴の体積を検出するステップ（図８のステップＳ１０１）、およびノズルをランク分けするステップ（図８のステップＳ１０２）を行う頻度を少なくすることができる。その結果、塗布工程に要する時間を短縮することができる。これを実現するため、本実施の形態では、最大吐出回数Ｔを増やして、出来る限りＡランクノズルのみで目標値以上の液滴を吐出できるようにしている。
【０１６０】
図１９は、実施の形態２の変形例に係る、液滴吐出を行うノズルを選択する工程における吐出回数制御部の制御フローを示す図である。図１８と異なる点は、ステップＳ９１２Ａ，Ｓ９１３Ａ（図１８）にそれぞれ相当するステップＳ９１２Ｂ，Ｓ９１３Ｂの位置である。
【０１６１】
図１８では、Ａランクノズルのみで目標値以上の液滴を吐出できないと判定した段階で、最大吐出回数Ｔを増やすことができるか否かを判定していた。本変形例では、Ｂランクノズルを使用してもなお目標値以上の液滴を吐出できないと判定した段階で（ステップＳ９０４においてＮＯ）、最大吐出回数Ｔを増やすことができるか否かを判定する（ステップＳ９１２Ｂ）。
【０１６２】
最大吐出回数Ｔをさらに増やすことができると判定した場合（ステップＳ９１２ＢにおいてＹＥＳ）、最大吐出回数Ｔを増やした後のＮＡ，ＮＢ，ＮＣをそれぞれ記憶し（ステップＳ９１３Ｂ）、ステップＳ９０２に移行する。最大吐出回数Ｔを増やすことができないと判定した場合は（ステップＳ９１２ＢにおいてＮＯ）、ステップＳ９１１に移行する。
【０１６３】
以上、実施の形態１および２について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限られない。例えば、以下のような変形例が考えられる。
【０１６４】
≪変形例≫
（１）「開口部の形状が長尺状である」とは、開口部が長辺と短辺を有する形状であることを指し、必ずしも矩形状である必要はない。例えば、正方形、円形、楕円形等の形状とすることとしてもよい。
【０１６５】
（２）図１において、基板１上にＴＦＴ層２〜対向電極１４の各層が積層形成されてなる構成を示した。本発明においては、各層のうちの何れかの層を欠いている、もしくは、例えば透明導電層などの他の層をさらに含む構成とすることもできる。
【０１６６】
（３）図３（ｅ）において、正孔輸送層用インクからなる液滴１９を窪み部８に対しては吐出しない構成を示した。本発明では、正孔輸送層用インクからなる液滴１９をさらに窪み部８にも吐出し、正孔輸送層と同一材料から成る有機層を形成することとしてもよい。このようにすることで、正孔輸送層用インクから蒸発する溶媒の蒸気濃度の均一化が図られ、均一な膜厚で正孔輸送層１０形成することができる。一方、図４（ｂ）において、有機発光層用インクからなる液滴１８を窪み部８に吐出しないこととしてもよい。
【０１６７】
（４）本発明において、コンタクトホールに追従して形成される窪み部は必須の構成要件ではなく、例えば、隔壁層上の窪み部に相当する部分を、隔壁層を構成する材料と同一の材料で埋めた構成であってもよい。
【０１６８】
（５）上記実施の形態では、液滴体積検出カメラ５０１として共晶点レーザー顕微鏡を用いたが、ＣＣＤカメラを用いることもできる。この場合、インク液滴の形状をたとえば半球状とみなし、当該カメラで撮影した画像中の液滴径から、ＣＰＵ１５０がインクの液滴体積を算出することができる。
【０１６９】
（６）上記実施の形態において、リニアモーター部２０４Ａ，２０５Ａ，２０４Ｂ，２０５Ｂ、サーボモーター部２２１Ａ，２２１Ｂは、それぞれガントリー部２１０Ａ，２１０Ｂ、移動体２２０Ａ，２２０Ｂの移動手段の例示にすぎず、これらの利用は必須ではない。例えば、タイミングベルト機構やボールネジ機構を利用することにより、ガントリー部または移動体の少なくともいずれかを移動させることしてもよい。
【０１７０】
（７）図１４，１５に示す液滴吐出位置を決定する工程では、各開口部内での着弾位置が、走査方向に対し直交する軸に対して対称となるように調整する制御フローについて説明した。各開口部内での着弾位置をより均一にするには、走査方向に沿った軸においても着弾位置が対称となるようにするのが望ましい。
【０１７１】
（８）図１５においては、ステップＳ８０２Ａ，Ｓ８０６Ａでの分岐を「右または対称」，「左」の２つとしていたが、分岐を「右」，「対称」，「左」の３つとすることとしてもよい。このとき、「対称」であると判定した場合には、ラインＬ１上に吐出する（ａ）、ラインＬ２上に吐出する（ｂ）、ラインＬ３上に吐出する（ｃ）、ラインＬ４上に吐出する（ｄ）の４つのうち、いずれか一つを選択することとすることができる。ステップＳ８０２Ｂ，Ｓ８０６Ｂについても同様の制御とすることができる。
【０１７２】
（９）上記のインクジェット装置は単なる一例であり、少なくとも上述の制御を行うことが可能なインジェット装置であればよい。塗布対象基板に対するノズルの位置は、基板の規格やサイズに合わせて、固定ステージに対するヘッド部の角度調節を行うことにより適宜変更することができる。
【０１７３】
（１０）本発明においては、各ノズル群に属する１〜６番ノズルが吐出する回数は、各ノズル群で固定ではなく、液滴体積検出部における検出結果によって各ノズル群間で変動する。このことについて、図２０を用いて説明する。
【０１７４】
図２０は、図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。（ａ１）〜（ｄ１）において、１〜６番の各ノズルの右上に、液滴体積検出部における液滴体積の検出結果を示した。各図中、「Ｂ２＋」，「Ｂ１＋」，「Ａ」，「Ｂ１−」，「Ｂ２−」で示すノズルの検出結果は、それぞれ、１０．５［ｐＬ］，１０．３［ｐＬ］，１０［ｐＬ］，９．７［ｐＬ］，９．５［ｐＬ］であったとする。また、（ａ１）〜（ｄ１）は本発明に対応するものであり、（ａ１）’〜（ｄ１）’は、（ａ１）〜（ｄ１）の各々に対応する比較例である。
【０１７５】
本発明においては、（ａ１）〜（ｄ１）に示すように、体積検出部における液滴体積の検出結果に応じて、各ノズル群に属する１〜６番ノズルが吐出する回数は、各ノズル群間で変動する。一方、（ａ１）’〜（ｄ１）’に示す比較例においては、列方向に配列されたどの開口部においても、１，２，５，６番ノズルにそれぞれ２回ずつ吐出させ、３，４番ノズルにそれぞれ３回ずつ吐出させるように設定されているとする。すなわち、（ａ１）’〜（ｄ１）’に示す比較例においては、各ノズル群に属する１〜６番ノズルが吐出する回数が、各ノズル群間で固定である。
【０１７６】
上記のような場面を想定した場合の、（ａ１）〜（ｄ１），（ａ１）’〜（ｄ１）’における各開口部に吐出される液滴体積の総量［ｐＬ］を、対応する図番の下部に示した。
【０１７７】
本発明に係る（ａ１）〜（ｄ１）の場合、液滴体積の総量［ｐＬ］は１４０〜１４１．９［ｐＬ］（目標値１４０［ｐＬ］に対して０〜＋１．３６［％］）であるのに対し、比較例に係る（ａ１）’〜（ｄ１）’の場合は１４０〜１４３．６［ｐＬ］（目標値１４０［ｐＬ］に対して０〜＋２．５７［％］）である。したがって、本発明の構成のように、各ノズル群に属する１〜６番ノズルが吐出する回数が各ノズル群間で固定でない場合の方が、目標値に対する誤差は小さくなることが分かる。この差は、不吐出ノズルが発生した場合により顕著となる。
【０１７８】
図２１は、不吐出ノズルが発生した場合の図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。図２１（ａ１）〜（ｄ１），（ａ１）’〜（ｄ１）’の各図は、図２０（ａ１）〜（ｄ１），（ａ１）’〜（ｄ１）’の各図に対応するものである。なお、図２１に示す各ノズル３０３０において、不吐出となっているノズルを塗りつぶして示している。
【０１７９】
本発明に係る（ａ１）〜（ｄ１）においては、不吐出ノズルが発生した場合であっても、液滴体積の総量［ｐＬ］は１４０〜１４１．９［ｐＬ］（目標値１４０［ｐＬ］に対して０〜＋１．３６［％］）と変化しない。これは、各ノズル群間で１〜６番ノズルが吐出する回数を変えることが可能であるからである。したがって、本発明によれば不吐出ノズルが発生することによる影響を最低限に抑えることが可能である。
【０１８０】
一方、比較例に係る（ａ１）’〜（ｄ１）’の場合は、各ノズル群間で１〜６番ノズルが吐出する回数を変えることができないため、液滴体積の総量［ｐＬ］は１１２．１〜１２０［ｐＬ］（目標値１４０［ｐＬ］に対して−１９．９３〜−１４．２９［％］）と、目標値である１４０［ｐＬ］から大きくずれてしまうことになる。
【０１８１】
以上説明したように、本発明は、不吐出ノズルが発生した場合により効果を奏すると言える。
【０１８２】
（１１）上記の実施形態においては、塗布対象基板に対してヘッド部側を走査させる方法を示したが、本発明はこれに限定されない。ノズルが複数配列されたヘッド部に対して塗布対象基板側を動かすこととしてもよい。
【０１８３】
（１２）上述したように、有機発光層用インクを塗布する工程においては、各開口部１７に吐出する液滴の体積の総量が発光色毎に異なることもありうるが、必ずしも異ならせる必要はない。また、正孔輸送層用インクを塗布する工程のように、本来的には体積の総量を発光色毎に異ならせる必要のないインクについても、色毎に体積の総量をそろえることとしてもよいし、異ならせることとしてもよい。
【０１８４】
（１３）図１６（ｈ）において、図１１のステップＳ４１０を経てステップＳ１０８に移行した場合の例を示した。ステップＳ４１０を経てステップＳ１０８に移行した場合の例としては、図１６（ｈ）に示したもの以外にも、例えば、１番ノズルがＡランク、２〜４番ノズルがＢＡ＋ランク、５番ノズルがＢ−ランク、６番ノズルがＢ＋ランクである場合が挙げられる。この場合、図９〜１１に示すフローチャートに従えば、Ａランクである１番ノズルから３回、ＢＡ＋ランクノズルから５回（２〜４番ノズルの吐出回数の合算）、Ｂ−ランクである５番ノズル，Ｂ＋ランクである６番ノズルからそれぞれ３回ずつ液滴が吐出されることになる。その結果、開口部に吐出される液滴体積の総量は１４１．５［ｐＬ］である。
【０１８５】
この場合、上記のフローチャートに対し以下の制御を加えることにより、開口部に吐出される液滴体積の総量をより目標値に近づけることが可能である。具体的には、本例にように、液滴体積の総量が目標値より多い場合には、Ｂ＋ランクノズル（６番ノズル）で吐出する回数のうちの一部を、吐出量がより設定値Ｖｓｅｔに近いＢＡ＋ランクノズル（２〜４番ノズル）から代わりに吐出するように制御する。この制御に従えば、本例の場合、１番ノズル（Ａランク）から３回、ＢＡ＋ランクノズルから７回（２〜４番ノズルの吐出回数の合算）、５番ノズル（Ｂ−ランク）から３回、６番ノズル（Ｂ＋ランク）から１回、液滴を吐出させるように設定することができる。この結果、開口部に吐出される液滴体積の総量は１４１．１［ｐＬ］となり、より目標値に近づけることができる。なお、液滴体積の総量が目標値より少ない場合にも同様の制御を行うことが可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１８６】
本発明の有機ＥＬ表示パネルの製造方等は、例えば、家庭用もしくは公共施設、あるいは業務用の各種表示装置、テレビジョン装置、携帯型電子機器用ディスプレイ等として用いられる有機ＥＬ表示パネルの製造方等に好適に利用可能である。
【符号の説明】
【０１８７】
１  基板
２  ＴＦＴ層
３  給電電極
４  平坦化膜
５  コンタクトホール
６  画素電極
７  隔壁層
８  窪み部
９  正孔注入層
１０  正孔輸送層
１１  有機発光層
１２  電子輸送層
１３  電子注入層
１４  対向電極
１６  有機発光層材料を含む有機層
１７  開口部
１８  有機発光層用インクからなる液滴
１９  正孔輸送層用インクからなる液滴
２０  インクジェットテーブル
３０  インクジェットヘッド
５０  液滴体積検出部
１００  有機ＥＬ表示パネル
１５０  ＣＰＵ
１５１  記憶手段
１５２  入力手段
２００  基台
２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂ  スタンド
２０３Ａ，２０３Ｂ  ガイドシャフト
２０４Ａ、２０５Ａ、２０４Ｂ、２０５Ｂ  リニアモーター部
２１０Ａ、２１０Ｂ  ガントリー部
２１１Ａ、２１１Ｂ、２１２Ａ、２１２Ｂ  ガイド溝
２１３、５００  制御部
２２０Ａ、２２０Ｂ  移動体
２２１Ａ、２２１Ｂ  サーボモーター部
３００  吐出回数制御部
３０１  ヘッド部
３０２  本体部
３０４  サーボモーター部
５０１  液滴体積検出カメラ
６００  塗布対象基板
１０００  インクジェット装置
３０１０  ピエゾ素子
３０３０  ノズル
ＩＰ  インクパン
ＳＴ  固定ステージ
【図１】
2012164628.tif 000003
【図２】
2012164628.tif 000004
【図３】
2012164628.tif 000005
【図４】
2012164628.tif 000006
【図５】
2012164628.tif 000007
【図６】
2012164628.tif 000008
【図７】
2012164628.tif 000009
【図８】
2012164628.tif 000010
【図９】
2012164628.tif 000011
【図１０】
2012164628.tif 000012
【図１１】
2012164628.tif 000013
【図１２】
2012164628.tif 000014
【図１３】
2012164628.tif 000015
【図１４】
2012164628.tif 000016
【図１５】
2012164628.tif 000017
【図１６】
2012164628.tif 000018
【図１７】
2012164628.tif 000019
【図１８】
2012164628.tif 000020
【図１９】
2012164628.tif 000021
【図２０】
2012164628.tif 000022
【図２１】
2012164628.tif 000023
【手続補正書】
【提出日】平成23年10月31日(2011.10.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、
前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する第２工程と、
前記各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、前記複数のノズルを、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分け、ノズル群毎に、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、前記第２工程においてノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、ノズル群に属する各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定する第３工程と、
前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、対応するノズル群に属する各ノズルから、前記第３工程でノズル毎に決定された吐出回数だけ液滴を吐出させる第４工程と、を含み、
前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められているとともに、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量には、発光色毎に目標値が設定されており、
前記第３工程において、
ノズル群に属する各ノズルのうち、前記第２工程における検出値が、前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積として予め設定された設定値に対し、第１の範囲内であるノズルの各々に液滴吐出を行わせた場合を想定して、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できるか否かを判定し、
前記目標値以上の体積の液滴を吐出できると判定した場合には、前記第１の範囲内であるノズルを液滴吐出に用いるノズルとして選択し、
前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、前記第１の範囲内であるノズルと、当該第１の範囲よりも前記設定値からのバラツキが大きい第２の範囲内であるノズルを液滴吐出に用いるノズルとして選択する、
有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記第３工程において、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、さらに、
前記第２の範囲内であるノズルのうち、前記第２工程における検出値が前記設定値よりも高いノズルと前記設定値よりも低いノズルの組が存在するか否かを判定し、
前記ノズルの組が存在すると判定した場合には、当該ノズルの組を液滴吐出に用いるノズルとして選択する、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記第３工程において、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、さらに、
前記第２の範囲内であるノズルのうち、前記第２工程における検出値が前記設定値よりも高いノズルと前記設定値よりも低いノズルの組が存在するか否かを判定し、
前記ノズルの組が存在すると判定した場合には、当該ノズルの組のうち、前記第２工程における検出値の平均値が前記設定値に対し前記第１の範囲内であるノズルの組が存在するか否かを判定し、
前記第１の範囲内であるノズルの組が存在すると判定した場合には、当該第１の範囲内であるノズルの組を液滴吐出に用いるノズルとして選択する、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記第３工程において、
ノズル群に属する各ノズルから吐出される液滴の前記各開口部内での着弾位置が、前記各開口部内で分散されるように調整される、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記第３工程において、
ノズル群に属する各ノズルから吐出される液滴の前記各開口部内での着弾位置が、列方向に配列された開口部の中心を結ぶ仮想線に対して対称となるように調整される、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項６】
前記各開口部の形状は、列方向に長辺を有する長尺状である、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項７】
（削除）
【請求項８】
（削除）
【請求項９】
（削除）
【請求項１０】
（削除）
【手続補正書】
【提出日】平成24年2月22日(2012.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬ表示パネルの製造方法、および有機ＥＬ表示パネルの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、表示装置として基板上に有機ＥＬ素子を配設した有機ＥＬ表示パネルが普及しつつある。有機ＥＬ表示パネルは、自己発光を行う有機ＥＬ素子を利用するため視認性が高く、さらに完全固体素子であるため耐衝撃性に優れるなどの特徴を有する。
有機ＥＬ素子は電流駆動型の発光素子であり、陽極及び陰極の電極対の間に、キャリアの再結合による電界発光現象を行う有機発光層等を積層して構成される。また、有機ＥＬ表示パネルでは、赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の各色に対応する有機ＥＬ素子をそれぞれサブピクセルとし、Ｒ，Ｇ，Ｂの３つのサブピクセルの組み合わせが１ピクセル（１画素）に相当する。
【０００３】
このような有機ＥＬ表示パネルとして、有機ＥＬ素子の有機発光層をインクジェット方式等のウエットプロセス（塗布工程）で形成したものが知られている（例えば、特許文献１）。インクジェット方式では、基板上の隔壁層に行列状に設けられた開口部（有機発光層形成領域に対応する。）に対してインクジェットヘッドを走査させる。そして、インクジェットヘッドが備える複数のノズルから、各開口部に対し有機発光層を構成する有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出させる。このとき、通常、一の開口部に対しては、液滴が複数回にわたって吐出される。また、ピエゾ方式のインクジェット装置にあっては、各ノズルが備えるピエゾ素子に与える駆動電圧の波形を変化させることにより、各ノズルから吐出される液滴の体積が調整される。
【０００４】
有機ＥＬ表示パネルにおいては、各画素間の発光輝度が均一である必要がある。発光輝度は有機発光層の膜厚に依存するため、上記方法により有機発光層を形成する場合には、各開口部に吐出される液滴の体積の総量を均一にする必要がある。しかしながら、各ピエゾ素子に同一波形の駆動信号を与えた場合であっても、ノズル毎に吐出特性が異なるために、各ノズルから吐出される液滴の体積にバラツキが生じることがある。その結果、吐出される液滴の体積の総量が各開口部間で異なってしまい、各画素間で発光輝度にバラツキが生じる。
【０００５】
これに対し、特許文献１では、予めノズル毎に吐出される液滴の体積を検出しておき、このノズル毎の検出結果に基づき、各ノズルのピエゾ素子毎に与える駆動電圧の波形を変化させる技術が開示されている。これにより、各ノズルから吐出される液滴の体積を均一化することが可能となり、その結果、吐出される液滴の体積の総量が各開口部間で均一化される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１１７１４０号公報
【特許文献２】特開２００１−２１９５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示されている技術においては、ノズル毎に所望の波形の駆動電圧を生成する必要がある。しかしながら、インクジェットヘッドが備えるノズル全てについてこれを行おうとすると、インクジェット装置は非常に複雑な制御を強いられるという問題がある。さらに、有機ＥＬ表示パネルの大判化に伴って、インクジェットヘッドが備えるノズルの数も増大することが予想されるため、特許文献１に記載の技術を適用することは現実的には難しい。
【０００８】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので、各開口部に吐出される液滴の体積の総量を、簡易な制御で均一化することが可能な有機ＥＬ表示パネルの製造方法等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様である有機ＥＬ表示パネルの製造方法は、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する第２工程と、前記各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、前記複数のノズルを、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分け、ノズル群毎に、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、前記第２工程においてノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、ノズル群に属する各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定する第３工程と、前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、対応するノズル群に属する各ノズルから、前記第３工程でノズル毎に決定された吐出回数だけ液滴を吐出させる第４工程と、を含む構成とした。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法では、第３工程において、各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、複数のノズルを、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分け、ノズル群毎に、ノズル群に属する各ノズルが行う液滴の吐出回数がノズル毎に決定される。そして、各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、各ノズルが行う当該吐出回数を、第２工程においてノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づいてノズル毎に決定する。すなわち、本発明の一態様においてノズル毎に個々に変化させるのは液滴の吐出回数であるため、特許文献１のように、ノズル毎に異なる波形の駆動電圧を生成するといった複雑な制御を行う必要がない。
【００１１】
したがって、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法によれば、各開口部に吐出される液滴の体積の総量を、簡易な制御で均一化することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの構成を示す部分断面図である。
【図２】実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの隔壁層の形状を示す模式図である。
【図３】実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程例を示す図である。
【図４】実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程例を示す図である。
【図５】インクジェット装置の主要構成を示す図である。
【図６】インクジェット装置の機能ブロック図である。
【図７】実施の形態１に係る塗布対象基板とヘッド部の位置関係（横打ち時）を示す図である。
【図８】実施の形態１に係る塗布工程における制御フローを示す図である。
【図９】液滴吐出を行うノズルを選択する工程における吐出回数制御部の制御フローを示す図である。
【図１０】図９のステップＳ２１０で吐出回数ＭＢが偶数であると判定した場合の、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【図１１】図９のステップＳ２１０で吐出回数ＭＢが奇数であると判定した場合の、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【図１２】Ｃランクノズルを使用する場合の吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【図１３】図１２のステップＳ５０５で吐出回数ＭＣが奇数であると判定した場合の、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【図１４】液滴吐出位置を決定する工程における、吐出回数制御部３００の制御フロー（最大吐出回数Ｔ＝３）を示す図である。
【図１５】液滴吐出位置を決定する工程における、吐出回数制御部３００の制御フロー（最大吐出回数Ｔ＝４）を示す図である。
【図１６】図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。
【図１７】実施の形態１に係る塗布対象基板とヘッド部の位置関係（縦打ち時）を示す図である。
【図１８】実施の形態２に係る、液滴吐出を行うノズルを選択する工程における吐出回数制御部の制御フローを示す図である。
【図１９】実施の形態２の変形例に係る、液滴吐出を行うノズルを選択する工程における吐出回数制御部の制御フローを示す図である。
【図２０】図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。
【図２１】不吐出ノズルが発生した場合の図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
≪本発明の一態様の概要≫
本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法は、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する第２工程と、前記各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、前記複数のノズルを、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分け、ノズル群毎に、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、前記第２工程においてノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、ノズル群に属する各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定する第３工程と、前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、対応するノズル群に属する各ノズルから、前記第３工程でノズル毎に決定された吐出回数だけ液滴を吐出させる第４工程と、を含む。
【００１４】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められているとともに、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量には、発光色毎に目標値が設定されており、同一発光色の前記有機材料を含有したインクの液滴が吐出される開口部間において、前記基準範囲は前記目標値に対して±２％以内である。
【００１５】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められているとともに、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量には、発光色毎に目標値が設定されており、前記第３工程において、ノズル群に属する各ノズルのうち、前記第２工程における検出値が、前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積として予め設定された設定値に対し、第１の範囲内であるノズルの各々に液滴吐出を行わせた場合を想定して、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できるか否かを判定し、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できると判定した場合には、前記第１の範囲内であるノズルを液滴吐出に用いるノズルとして選択し、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、前記第１の範囲内であるノズルと、当該第１の範囲よりも前記設定値からのバラツキが大きい第２の範囲内であるノズルを液滴吐出に用いるノズルとして選択する。
【００１６】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第３工程において、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、さらに、前記第２の範囲内であるノズルのうち、前記第２工程における検出値が前記設定値よりも高いノズルと前記設定値よりも低いノズルの組が存在するか否かを判定し、前記ノズルの組が存在すると判定した場合には、当該ノズルの組を液滴吐出に用いるノズルとして選択する。
【００１７】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第３工程において、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、さらに、前記第２の範囲内であるノズルのうち、前記第２工程における検出値が前記設定値よりも高いノズルと前記設定値よりも低いノズルの組が存在するか否かを判定し、前記ノズルの組が存在すると判定した場合には、当該ノズルの組のうち、前記第２工程における検出値の平均値が前記設定値に対し前記第１の範囲内であるノズルの組が存在するか否かを判定し、前記第１の範囲内であるノズルの組が存在すると判定した場合には、当該第１の範囲内であるノズルの組を液滴吐出に用いるノズルとして選択する。
【００１８】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第３工程において、ノズル群に属する各ノズルから吐出される液滴の前記各開口部内での着弾位置が、前記各開口部内で分散されるように調整される。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第３工程において、ノズル群に属する各ノズルから吐出される液滴の前記各開口部内での着弾位置が、列方向に配列された開口部の中心を結ぶ仮想線に対して対称となるように調整される。
【００１９】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記各開口部の形状は、列方向に長辺を有する長尺状である。
本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造装置は、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に複数配置したインクジェットヘッドと、前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する液滴体積検出部と、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層が設けられたＥＬ基板に対し、前記インクジェットヘッドを行方向に走査させるヘッド走査部と、前記各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定するとともに、決定された吐出回数だけ前記各ノズルから液滴を吐出させる吐出回数制御部と、を備え、前記各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、前記複数のノズルは、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分けられており、前記吐出回数制御部は、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、前記液滴体積検出部でノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、各ノズルの吐出回数をノズル毎に決定する。
【００２０】
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造装置の特定の局面では、前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められているとともに、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量には、発光色毎に目標値が設定されており、同一発光色の前記有機材料を含有したインクの液滴が吐出される開口部間において、前記基準範囲は前記目標値に対して±２％以内である。
【００２１】
≪実施の形態１≫
［全体構成］
図１は実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネル１００の構成を示す部分断面図である。有機ＥＬ表示パネル１００は、同図上側を表示面とする、いわゆるトップエミッション型である。
【００２２】
図１に示すように、基板（ＥＬ基板）１上には、ＴＦＴ層２、給電電極３、平坦化膜４、画素電極６、正孔注入層９が順次積層されている。正孔注入層９の上には、有機発光層１１の形成領域となる複数の開口部１７が形成された隔壁層７が設けられている。開口部１７の内部では、正孔輸送層１０、有機発光層１１、電子輸送層１２、電子注入層１３、対向電極１４が順次積層されている。
【００２３】
＜基板、ＴＦＴ層、給電電極＞
基板１は有機ＥＬ表示パネル１００における背面基板であり、その表面には、有機ＥＬ表示パネル１００をアクティブマトリクス方式で駆動するためのＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を含むＴＦＴ層２が形成されている。ＴＦＴ層２の上面には、各ＴＦＴに対して外部から電力を供給するための給電電極３が形成されている。
【００２４】
＜平坦化膜＞
平坦化膜４は、ＴＦＴ層２および給電電極３が配設されていることにより生じる表面段差を平坦に調整するために設けられており、絶縁性に優れる有機材料で構成されている。
＜コンタクトホール＞
コンタクトホール５は、給電電極３と画素電極６とを電気的に接続するために設けられ、平坦化膜４の表面から裏面にわたって形成されている。コンタクトホール５は、列方向に配列されている開口部１７の間に位置するように形成されており、隔壁層７により覆われた構成となっている。コンタクトホール５が隔壁層７により覆われていない場合には、コンタクトホール５の存在により、有機発光層１１が平坦な層とはならず、発光ムラ等の原因となる。これを避けるため、上記のような構成としている。
【００２５】
＜画素電極＞
画素電極６は陽極であり、開口部１７に形成される一の有機発光層１１毎に形成されている。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、画素電極６の材料としては高反射性材料が選択されている。
＜正孔注入層＞
正孔注入層９は、画素電極６から有機発光層１１への正孔の注入を促進させる目的で設けられている。
【００２６】
＜隔壁層＞
隔壁層７は、有機発光層１１を形成する際、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に対応する有機発光層材料と溶媒を含むインクが互いに混入することを防止する機能を果たす。
コンタクトホール５の上方を覆うように設けられている隔壁層７は、全体的にはＸＹ平面またはＹＺ平面に沿った断面が台形の断面形状を有しているが、コンタクトホール５に対応する位置では、隔壁層材料が落ち込んだ形状となっている。以下、この落ち込んだ部分を窪み部８と称する。
【００２７】
図２は有機ＥＬ表示パネル１００を表示面側から見た隔壁層７の形状を模式的に示す図であり、説明の都合上、正孔輸送層１０、有機発光層１１、電子輸送層１２、電子注入層１３、対向電極１４を取り除いた状態を示している。また、図１の部分断面図は、図２におけるＡ−Ａ’断面図に相当し、以下、Ｘ方向を行方向、Ｙ方向を列方向とする。
図２に示すように、隔壁層７に設けられた開口部１７は、ピクセル単位に行列状に（ＸＹ方向に）配列されている。開口部１７は有機発光層１１が形成される領域であり、有機発光層１１の配置および形状は、開口部１７の配置および形状により規定される。開口部１７は列（Ｙ）方向に長辺を有する長尺状であり、例えば、行（Ｘ）方向に沿った辺が約３０〜１３０［μｍ］、列（Ｙ）方向に沿った辺が約１５０〜６００［μｍ］の寸法で形成されている。
【００２８】
開口部１７には、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色に対応する開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂがある。開口部１７ＲにはＲ、開口部１７ＧにはＧ、開口部１７ＢにはＢにそれぞれ対応する有機発光層１１が形成される。開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂがそれぞれサブピクセルであり、当該開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂの３つのサブピクセルの組み合わせが１ピクセル（１画素）に相当する。また、開口部１７はＲ，Ｇ，Ｂの色単位に列毎に配列されており、同一列に属する開口部１７は同色に対応する開口部である。
【００２９】
コンタクトホール５は、列方向に配列された開口部１７の間、すなわち隔壁層７の下部に位置している。なお、上記で画素電極６は開口部１７に形成される一の有機発光層１１毎に形成されていることを述べたが、これはすなわち、画素電極６がサブピクセル毎に設けられていることを意味する。
＜正孔輸送層＞
図１の部分断面図に戻り、正孔輸送層１０は、画素電極６から注入された正孔を有機発光層１１へ輸送する機能を有する。
【００３０】
＜有機発光層＞
有機発光層１１は、キャリア（正孔と電子）の再結合による発光を行う部位であり、Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれかの色に対応する有機材料を含むように構成されている。開口部１７ＲにはＲに対応する有機材料、開口部１７ＧにはＧに対応する有機材料、開口部１７ＢにはＢに対応する有機材料をそれぞれ含む有機発光層１１が形成される。
【００３１】
窪み部８には有機発光層１１を構成する材料を含む有機層１６が形成されている。この有機層１６は、塗布工程において、開口部１７とともに窪み部８にもインクを塗布することで、有機発光層１１と同時に形成されたものである。
＜電子輸送層＞
電子輸送層１２は、対向電極１４から注入された電子を有機発光層１１へ輸送する機能を有する。
【００３２】
＜電子注入層＞
電子注入層１３は、対向電極１４から有機発光層１１への電子の注入を促進させる機能を有する。
＜対向電極＞
対向電極１４は陰極である。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、対向電極１４の材料としては光透過性材料が選択されている。
【００３３】
＜その他＞
なお、図１には図示しないが、対向電極１４の上には、有機発光層１１が水分や空気等に触れて劣化することを抑制する目的で封止層が設けられる。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、封止層の材料としては、例えばＳｉＮ（窒化シリコン）、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）等の光透過性材料を選択する。
【００３４】
なお、各開口部１７に形成される有機発光層１１を、すべて同色の有機発光層とすることもできる。
＜各層の材料＞
次に、上記で説明した各層の材料を例示する。言うまでもなく、以下に記載した材料以外の材料を用いて各層を形成することも可能である。
【００３５】
基板１：無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、アルミナ等の絶縁性材料
平坦化膜４：ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂
画素電極６：Ａｇ（銀）、Ａｌ（アルミニウム）、銀とパラジウムと銅との合金、銀とルビジウムと金との合金、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）
隔壁層７：アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂
有機発光層１１：オキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
正孔注入層９：ＭｏＯｘ（酸化モリブデン）、ＷＯｘ（酸化タングステン）又はＭｏｘＷｙＯｚ（モリブデン−タングステン酸化物）等の金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物
正孔輸送層１０：トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
電子輸送層１２：バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム
電子注入層１３：ニトロ置換フルオレノン誘導体、チオピランジオキサイド誘導体、ジフェキノン誘導体、ペリレンテトラカルボキシル誘導体、アントラキノジメタン誘導体、フレオレニリデンメタン誘導体、アントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリノン誘導体、キノリン錯体誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
対向電極１４：ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）
以上、有機ＥＬ表示パネル１００の構成等について説明した。次に、有機ＥＬ表示パネル１００の製造方法を例示する。
【００３６】
［製造方法］
ここでは、先に有機ＥＬ表示パネル１００の全体的な製造方法を例示する。その後、製造方法中の塗布工程について詳細を説明する。
＜概略＞
まず、ＴＦＴ層２及び給電電極３が形成された基板１を準備する（図３（ａ））。
【００３７】
その後、フォトレジスト法に基づき、ＴＦＴ層２及び給電電極３の上に絶縁性に優れる有機材料を用いて、厚み約４［μｍ］の平坦化膜４を形成する。このとき、コンタクトホール５を列方向に隣接する各開口部１７の間の位置に合わせて形成する（図３（ｂ））。所望のパターンマスクを用いたフォトレジスト法を行うことで、平坦化膜４とコンタクトホール５を同時に形成することができる。なお、当然ながらコンタクトホール５の形成方法はこれに限定されない。例えば、一様に平坦化膜４を形成した後、所定の位置の平坦化膜４を除去して、コンタクトホール５を形成することもできる。
【００３８】
続いて、真空蒸着法またはスパッタ法に基づき、厚み１５０［ｎｍ］程度の金属材料からなる画素電極６を、給電電極３と電気接続させながら、サブピクセル毎に形成する。つづいて、反応性スパッタ法に基づき、正孔注入層９を形成する（図３（ｃ））。
次に、隔壁層７をフォトリソグラフィー法に基づいて形成する。まず隔壁層材料として、感光性レジストを含むペースト状の隔壁層材料を用意する。この隔壁層材料を正孔注入層９上に一様に塗布する。この上に、図２に示した開口部１７のパターンに形成されたマスクを重ねる。続いてマスクの上から感光させ、隔壁層パターンを形成する。その後は、余分な隔壁層材料を水系もしくは非水系エッチング液（現像液）で洗い出す。これにより、隔壁層材料のパターニングが完了する。以上で有機発光層形成領域となる開口部１７が規定されるとともに、列方向で隣接する開口部１７の間の上面に窪み部８が形成された、表面が少なくとも撥水性の隔壁層７が完成する（図３（ｄ））。本実施の形態のようにコンタクトホール５が形成されている場合、通常は隔壁層材料がコンタクトホール５の内部に入り込むため、窪み部８が自然に形成される。このため、別途窪み部８を形成するための工程が不要であり、生産コスト及び製造効率上において有利である。
【００３９】
なお、隔壁層７の形成工程においては、さらに、開口部１７に塗布するインクに対する隔壁層７の接触角を調節する、もしくは、表面に撥水性を付与するために隔壁層７の表面を所定のアルカリ性溶液や水、有機溶媒等によって表面処理するか、プラズマ処理を施すこととしてもよい。
次に、正孔輸送層１０を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、正孔輸送層用インクを調製する。このインクをヘッド部３０１に供給し、塗布工程に基づき、各開口部１７に対応するノズル３０３０から、正孔輸送層用インクよりなる液滴１９を吐出する（図３（ｅ））。その後、インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると正孔輸送層１０が形成される（図４（ａ））。
【００４０】
次に、有機発光層１１を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、有機発光層用インクを調製する。このインクをヘッド部３０１に供給し、塗布工程に基づき、開口部１７及び窪み部８に対応するノズル３０３０から、有機発光層用インクよりなる液滴１８を吐出する（図４（ｂ））。その後、インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると有機発光層１１及び有機発光層１１と同一材料から成る有機層１６が形成される（図４（ｃ））。
【００４１】
また、図４（ｂ）において、開口部１７だけでなく窪み部８に対しても有機発光層用インクの液滴を吐出させているのは、ノズルの目詰まりを防止するためである。一般的に、有機発光層および正孔輸送層形成のために使用されるインクは、インクジェットプリンタで用いられる印字用インクに比べて高粘度である。このため、仮にインクを吐出しないように設定したとすると、当該ノズルの内部でインクが凝固してしまい目詰まりの原因となる。いったん目詰まりが生じたノズルからは設定時間内に設定量のインクを吐出できなくなり、開口部１７に所定量のインクを吐出できないために基板のロスが生じたり、ヘッド部３０１の交換が必要となることがある。このような場合には、ヘッド部３０１の取り外し、洗浄、再度高精度にアライメントして装着する作業が必要であり、生産効率を低下させる原因となる。しかしながら、上記の構成によれば、このような問題を防止することができる。
【００４２】
さらに、開口部１７におけるコンタクトホール５に近接する領域においては、溶媒の蒸気濃度が低いために他の部分よりも溶媒の蒸発が促進される。不均一な蒸気濃度下で乾燥が進むと、溶媒の蒸気濃度が低い領域における膜厚が厚くなり、全体として膜厚が均一な層を得ることができない恐れがある。しかしながら、図４（ｂ）に示すように、開口部１７及び窪み部８の両方に対しインクを塗布することで、開口部１７におけるコンタクトホール５に近接する領域における蒸気濃度が高められる。その結果、開口部１７における溶媒の蒸気濃度の均一化が図られ、開口部１７全域にわたって均一な膜厚で有機発光層１１を形成することができる。よって、筋ムラや面ムラ等、各種発光ムラの発生が抑制され、従来に比べて良好な画像表示性能を発揮させることが可能である。
【００４３】
ここで、図３（ｅ），図４（ｂ）に示す塗布工程においては、各開口部１７に対して所定数のノズルが割り当てられるように、複数のノズル３０３０を、各開口部１７と１対１対応するノズル群に分ける。そして、各ノズル群からそれに対応する開口部１７に対し、それぞれ液滴が吐出される。このとき、本実施の形態においては、ノズル群に属する各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に調整することにより、各開口部１７に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるようにしている。この結果、吐出される液滴の体積の総量を各開口部間で均一にすることができるので、各画素間での発光輝度のバラツキを抑制することが可能である。この詳細については、後の＜塗布工程＞の項で説明する。
【００４４】
次に、有機発光層１１の表面に、電子輸送層１２を構成する材料を真空蒸着法に基づいて成膜する。これにより、電子輸送層１２が形成される。つづいて、電子注入層１３を構成する材料を蒸着法、スピンコート法、キャスト法などの方法により成膜し、電子注入層１３が形成される。そして、ＩＴＯ、ＩＺＯ等の材料を用い、真空蒸着法、スパッタ法等で成膜する。これにより対向電極１４が形成される（図４（ｄ））。
【００４５】
なお、図示しないが、対向電極１４の表面には、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ等の光透過性材料をスパッタ法、ＣＶＤ法等で成膜することで、封止層を形成する。
以上の工程を経ることにより有機ＥＬ表示パネル１００が完成する。
＜塗布工程＞
以下、特に、正孔輸送層１０および有機発光層１１を形成する際の塗布工程について詳細に説明する。まず、塗布工程に使用されるインクジェット装置（製造装置）について説明する。
【００４６】
（インクジェット装置）
図５は、本実施の形態で使用するインクジェット装置１０００の主要構成を示す図である。図６は、インクジェット装置１０００の機能ブロック図である。
図５，６に示すように、インクジェット装置１０００は、インクジェットテーブル２０、インクジェットヘッド３０、液滴体積検出部５０、制御装置（ＰＣ）１５で構成される。
【００４７】
図６に示すように、制御装置１５は、ＣＰＵ１５０、記憶手段１５１（ＨＤＤ等の大容量記憶手段を含む）、表示手段（ディスプレイ）１５３、入力手段１５２で構成される。当該制御装置１５は具体的にはパーソナルコンピューター（ＰＣ）を用いることができる。記憶手段１５１には、制御装置１５に接続されたインクジェットテーブル２０、インクジェットヘッド３０、液滴体積検出部５０を駆動するための制御プログラム等が格納されている。インクジェット装置１０００の駆動時には、ＣＰＵ１５０が入力手段１５２を通じてオペレータにより入力された指示と、前記記憶手段１５１に格納された各制御プログラムに基づいて所定の制御を行う。
【００４８】
（インクジェットテーブル）
図５に示すように、インクジェットテーブル２０はいわゆるガントリー式の作業テーブルであり、基台のテーブルの上を２基のガントリー部（移動架台）が一対のガイドシャフトに沿って移動可能に配されている。
具体的構成として、板状の基台２００には、その上面の四隅に柱状のスタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂが配設されている。これらのスタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂに囲まれた内側領域には、塗布対象基板を載置するための固定ステージＳＴと、塗布直前のインクの吐出を安定化させるために用いるインクパン（皿状容器）ＩＰがそれぞれ配設されている。
【００４９】
また、基台２００には、その長手方向（Ｙ方向）に沿った一対の両側部に沿って、ガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂが前記スタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂにより平行に軸支されている。各々のガイドシャフト２０３Ａ（２０３Ｂ）には２つのリニアモーター部２０４Ａ、２０４Ｂ（２０５Ａ、２０５Ｂ）が挿通されており、このうち対をなすリニアモーター部２０４Ａ、２０５Ａ（２０４Ｂ、２０５Ｂ）に基台２００を横断するようにガントリー部２１０Ａ（２１０Ｂ）が搭載されている。この構成により、インクジェット装置１０００の駆動時には、一対のリニアモーター部２０４Ａ、２０５Ａ（２０４Ｂ、２０５Ｂ）が駆動されることで、２基のガントリー部２１０Ａ、２１０Ｂがそれぞれ独立に、ガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂの長手方向に沿って、スライド自在に往復運動する。
【００５０】
各々のガントリー部２１０Ａ、２１０Ｂには、Ｌ字型の台座からなる移動体（キャリッジ）２２０Ａ、２２０Ｂが配設されている。移動体２２０Ａ、２２０Ｂにはサーボモーター部（移動体モーター）２２１Ａ、２２１Ｂが配設され、各モーターの軸の先端に不図示のギヤが配されている。ギヤはガントリー部２１０Ａ、２１０Ｂの長手方向（Ｘ方向）に沿って形成されたガイド溝２１１Ａ、２１１Ｂに嵌合されている。ガイド溝２１１Ａ、２１１Ｂの内部にはそれぞれ長手方向に沿って微細なラックが形成され、前記ギヤは当該ラックと噛合しているので、サーボモーター部２２１Ａ、２２１Ｂが駆動すると、移動体２２０Ａ、２２０Ｂはいわゆるピニオンラック機構によって、Ｘ方向に沿って往復自在に精密に移動する。移動体２２０Ａ、２２０Ｂには、それぞれインクジェットヘッド３０、液滴体積検出部５０が装備されており、互いに独立して駆動される。
【００５１】
ここで、上記の制御部２１３、ガントリー部２１０Ａとでヘッド走査部を構成している。移動体２２０Ａにはインクジェットヘッド３０が装備されるので、ヘッド走査部により、塗布対象基板に対してインクジェットヘッド３０を走査させることができる。また、上述したように、移動体２２０ＡはＸ方向に沿って移動するので、インクジェットヘッド３０の走査方向は行（Ｘ）方向である。
【００５２】
なお、リニアモーター部２０４Ａ、２０５Ａ、２０４Ｂ、２０５Ｂ、サーボモーター部２２１Ａ、２２１Ｂはそれぞれ直接駆動を制御するための制御部２１３に接続され、当該制御部２１３は制御装置１５内のＣＰＵ１５０に接続されている。インクジェット装置１０００の駆動時には、制御プログラムを読み込んだＣＰＵ１５０により、制御部２１３を介してリニアモーター部２０４Ａ、２０５Ａ、２０４Ｂ、２０５Ｂ、サーボモーター部２２１Ａ、２２１Ｂの各駆動が制御される（図６）。
【００５３】
（インクジェットヘッド）
インクジェットヘッド３０は公知のピエゾ方式を採用し、ヘッド部３０１及び本体部３０２で構成されている。ヘッド部３０１は本体部３０２を介して移動体２２０に固定されている。本体部３０２はサーボモーター部３０４（図６）を内蔵しており、サーボモーター部３０４を回転させることにより、ヘッド部３０１の長手方向と固定ステージＳＴのＸ軸とのなす角度が調節される。なお、本実施の形態においては、ヘッド部３０１の長手方向とＹ軸とが一致するように調整している。
【００５４】
ヘッド部３０１は固定ステージＳＴに対向する面に複数のノズルを備えており、これらのノズルはヘッド部３０１の長手方向に沿って列状に配置されている。ヘッド部３０１に供給されたインクは、各ノズルから液滴として塗布対象基板に対して吐出される。
各ノズルにおける液滴の吐出動作は、各ノズルが備えるピエゾ素子（圧電素子）３０１０（図６）に与えられる駆動電圧によって制御される。吐出回数制御部３００は、各ピエゾ素子３０１０に与える駆動信号を制御することにより、ノズル３０３０が行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定する。さらに、決定された吐出回数だけノズル３０３０から液滴を吐出させる。具体的には、図６に示すように、ＣＰＵ１５０が所定の制御プログラムを記憶手段１５１から読み出し、吐出回数制御部３００に対して、所定の電圧を対象のピエゾ素子３０１０に印加するように指示する。
【００５５】
（液滴体積検出部）
液滴体積検出部５０は、各ノズルから吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する手段である。図５，６に示すように、液滴体積検出部５０は液滴体積検出カメラ５０１と制御部５００で構成される。液滴体積検出カメラ５０１には公知の共晶点レーザー顕微鏡を用いている。液滴体積検出カメラ５０１の対物レンズは、インクジェット装置１０００における固定ステージＳＴの表面を垂直方向から撮影できるように向けられている。
【００５６】
インクの液滴体積の演算は、液滴体積検出カメラ５０１が異なる焦点距離で連続的に撮影した画像に基づき、液滴体積検出カメラ５０１に接続された制御部５００によって行われる。なお、制御部５００はＣＰＵ１５０にも接続されており、撮影した画像はＣＰＵ１５０でも確認できるので、ＣＰＵ１５０が前記演算を行うこともできる。
以上の構成を有するインクジェット装置１０００を用い、インクジェット方式による塗布工程を行う。ここでは、長尺状の各開口部１７の長辺が、インクジェットヘッド３０の走査方向（行（Ｘ）方向）に対して直交している場合（いわゆる横打ちを行う場合）について説明する。
【００５７】
（ヘッド部と塗布対象基板の開口部との位置関係〈横打ち〉）
図７は有機ＥＬ表示パネルに係る製造工程における、塗布対象基板とヘッド部の位置関係（横打ち時）を示す図である。
図７に示す６００は塗布対象基板であり、塗布工程を経る前段階の状態の基板、すなわち、複数の開口部１７がピクセル単位に行列状に形成された隔壁層７が設けられた状態の基板を示すものである。ヘッド部３０１には、インクが吐出されるノズル３０３０が複数個、列方向に並ぶように配置されている。複数のノズル３０３０は、各開口部１７に対して所定数のノズル（図７では６個）が割り当てられるように、各開口部１７と１対１対応するノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４に分けられている。
【００５８】
ここで、ヘッド部３０１の長手方向を列方向に対して若干傾斜させることでノズル３０３０の塗布ピッチを調節することができる。図７の例では、ヘッド部３０１を傾斜させなくとも、ノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４が開口部１７に対応するように、ノズルｂ１，ｂ２，ｂ３が列方向に配列された開口部１７間（コンタクトホール５上）に対応するようなヘッド部３０１を使用している。
【００５９】
塗布工程においては、ヘッド部３０１を行（Ｘ）方向に走査させながら各開口部１７に対し、対応するノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４に属する各ノズルからそれぞれ所望のインクの液滴を吐出させる。そして、上記の工程を経ることにより、正孔輸送層１０および有機発光層１１が形成される。このとき、吐出される液滴の体積の総量は、各開口部１７間で均一にされる必要がある。
【００６０】
そこで、本実施の形態においては、各開口部１７に対応するノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４の各ノズル３０３０から、対応する開口部１７に対して液滴吐出を行う。その上で、各開口部１７に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、液滴体積検出部５０によってノズル３０３０毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、ノズル群ａ１，ａ２，ａ３，ａ４に属する各ノズル３０３０が行う液滴の吐出回数をノズル毎に調整する。換言すると、ノズル３０３０毎の液滴の吐出回数が固定的である場合と比較して、開口部１７に吐出される液滴の総量が所定の目標値に近づくようにノズル３０３０の吐出回数をノズル毎に調整する。この液滴を吐出させる回数の調整は、吐出回数制御部３００によって行われる。次に、この吐出回数制御部３００の動作を含めた、塗布工程における制御フローについて説明する。
【００６１】
（インクジェット装置における制御フロー）
図８は、塗布工程における制御フローを示す図である。以下、簡略化のため、所定の一列分の開口部１７に対する制御フローについてのみ説明するが、他の列の開口部１７についても同様である。
塗布工程の前段階として、複数の開口部１７をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層７を設けた塗布対象基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズル３０３０を列方向に複数配置したインクジェットヘッド３０（ヘッド部３０１）とを準備する工程が含まれる。
【００６２】
塗布工程開始後、液滴体積検出部５０により各ノズル３０３０毎の液滴の体積を検出する（ステップＳ１０１）。次いで、吐出回数制御部３００は、液滴体積検出部５０での検出結果に基づき、ヘッド部３０１の全てのノズル３０３０をランク分けする（ステップＳ１０２）。本実施の形態では、一例として、１つのノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積として予め設定された設定値Ｖｓｅｔに対し、誤差が±ａ［％］以内のノズルをＡランク、誤差が±ｂ［％］以内のノズルをＢランク（但し、ａ＜ｂであり、Ａランクのノズルは含まない）、誤差が±ｃ［％］以内のノズルをＣランク（但し、ｂ＜ｃであり、Ａ，Ｂランクのノズルは含まない）、目詰まり等により使用できないノズル（不吐出ノズル）をＦランクとランク分けすることとする。
【００６３】
なお、ステップＳ１０１，Ｓ１０２は塗布工程毎に毎回行う必要はなく、例えば、１０回毎のように複数回の塗布工程につき１回行うこととしてもよい。また、ロット毎、インクジェット装置１０００の起動毎であってもよい。
ここで、本実施の形態では、各開口部１７に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように各ノズルの吐出回数を調整するのであるが、上記ａ，ｂ，ｃの数値は、この基準範囲をどの程度とするかによって、適宜決定することができる。具体的には、各開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値を設定し、この目標値に対して何［％］以内を基準範囲とするのかを決定する。さらに、この目標値に対して許容される誤差は、各画素間の発光輝度をどの程度均一化するかに依存する。
【００６４】
例えば、上述したような寸法（３０〜１３０［μｍ］×１５０〜６００［μｍ］）の開口部１７において、各開口部１７間の発光輝度差を１［％］以内とする場合、各開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値に対して±２［％］以内が基準範囲である。この基準範囲と、一の開口部１７についての液滴吐出の回数とを考慮することで、ａ，ｂ，ｃの数値を決定することができる。上記の場合、例えば、ａを１〜２［％］、ｂを６［％］、ｃを６［％］を超える数値とすることができる。なお、市販のインクジェットヘッドにおいては、上記設定値Ｖｓｅｔに対して、誤差は±６［％］程度である。
【００６５】
有機ＥＬ表示パネルの場合、有機発光層１１の膜厚は５０〜１００［ｎｍ］程度と非常に薄いため、微小な液滴の体積バラツキが発光輝度差となって表れ、表示品質に与える影響は大きくなる。表示パネルの高精細化に伴ってより高い表示品質が求められるので、各開口部間の液滴の体積バラツキはより一層抑制される必要がある。
続いて、吐出回数制御部３００は任意の開口部１７を１行選択し（ステップＳ１０３）、選択行の開口部１７に対応するノズルについて、Ａランクのノズル数ＮＡ，Ｂランクのノズル数ＮＢ，Ｃランクのノズル数ＮＣをそれぞれ記憶する（ステップＳ１０４）。その後、吐出回数制御部３００は、選択行の開口部１７に対して液滴吐出を行うノズルを選択するとともに（ステップＳ１０５）、液滴吐出位置を決定する（ステップＳ１０６）。
【００６６】
次に、吐出回数制御部３００は、全行の開口部１７を選択したか否かを判定し（ステップＳ１０７）、全行の開口部１７を選択していないと判定した場合は（ステップＳ１０７においてＮＯ）、ステップＳ１０３〜Ｓ１０６を全行の開口部１７について実行するまで繰り返す。ステップＳ１０３〜Ｓ１０６を全行の開口部１７について行った後（ステップＳ１０７においてＹＥＳ）、全行の開口部１７に対し液滴を吐出し（ステップＳ１０８）、塗布工程が終了する。
【００６７】
次に、選択行の開口部１７に対して液滴吐出を行うノズルを選択する工程（ステップＳ１０５）、ならびに、選択行の開口部１７における液滴吐出位置を決定する工程（ステップＳ１０６）の詳細について説明する。
（液滴吐出を行うノズルを選択する工程）
図９は、液滴吐出を行うノズルを選択する工程（図８のステップＳ１０５）における吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
【００６８】
吐出回数制御部３００の制御フローは概ね、Ａランクノズルを液滴吐出に優先的に使用させ、Ａランクノズルのみでは目標値以上の液滴を吐出できない場合には、ＡおよびＢランクノズルを用いて各開口部に対し液滴吐出を行う。ＡおよびＢランクノズルを用いても目標値以上の液滴を吐出できない場合には、Ａ，ＢおよびＣランクノズルを用いて各開口部に対し液滴吐出を行う。
【００６９】
図９において、先ず、予め各開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値を設定しておき、その目標値より、一の開口部１７に対して必要な液滴の吐出回数Ｎ（必要吐出回数Ｎ）を決定する（ステップＳ２０１）。この目標値は、塗布するインクの種類によって異なり、例えば、有機発光層用インクの場合は発光色毎に異なることもありうる。必要吐出回数Ｎは、各開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値を設定値Ｖｓｅｔで除算することにより求まる。また、必要吐出回数Ｎが、後述の最大吐出回数Ｔに、一の開口部１７に対応するノズル数（一のノズル群に属するノズル数、図７では６）を乗じた数値以下となるように、設定値Ｖｓｅｔが設定されていなければならない。
【００７０】
次に、Ａランクノズルのみで上記目標値以上の体積の液滴を吐出できるか否かを判定する（ステップＳ２０２）。具体的には、予め、各ノズルが１開口部あたりに吐出することが可能な回数の最大Ｔ（最大吐出回数Ｔ）を設定しておき、この最大吐出回数ＴにＡランクのノズル数ＮＡを乗じた数値（ＮＡ×Ｔ）が必要吐出回数Ｎ以上であるか否かを判定する。なお、図７におけるノズル群ａ４に属する６番ノズルにおいては、最大吐出回数Ｔは３である。また、最下行の開口部１７中に示した実線の丸はその位置に液滴が吐出されることを意味し、点線の丸はその位置に液滴が吐出されないことを意味する。
【００７１】
ＮＡ×Ｔが必要吐出回数Ｎ以上であると判定した場合は（ステップＳ２０２においてＹＥＳ）、Ａランクノズルのみで目標値以上の体積の液滴を吐出できる場合であるので、Ａランクノズルで吐出する回数をＮ回と設定する（ステップＳ２０３）。その後、液滴吐出を行うノズルを選択する工程（図８のステップＳ１０５）を終了する。
ＮＡ×Ｔが必要吐出回数Ｎ未満であると判定した場合は（ステップＳ２０２においてＮＯ）、Ａランクノズルのみでは目標値以上の体積の液滴を吐出することができない。よって、次に、ＡランクおよびＢランクノズルを使用することにより上記目標値以上の体積の液滴を吐出できるか否かを判定する（ステップＳ２０４）。具体的には、（ＮＡ×Ｔ）と、最大吐出回数ＴにＢランクのノズル数ＮＢを乗じた数値（ＮＢ×Ｔ）とを足し合わせたもの（（ＮＡ×Ｔ）＋（ＮＢ×Ｔ））が必要吐出回数Ｎ以上であるか否かを判定する。
【００７２】
（（ＮＡ×Ｔ）＋（ＮＢ×Ｔ））が必要吐出回数Ｎ以上であると判定した場合は（ステップＳ２０４においてＹＥＳ）、ＡランクおよびＢランクノズルで上記目標値以上の体積の液滴を吐出できる場合である。次いで、Ｂランクノズルで行う吐出回数ＭＢ（＝Ｎ−（ＮＡ×Ｔ））を記憶する（ステップＳ２０５）。
次に、ステップＳ２０５で記憶した吐出回数ＭＢが２以上であるかを判定する（ステップＳ２０６）。吐出回数ＭＢが２以上でない場合、すなわち吐出回数ＭＢが１である場合（ステップＳ２０６においてＮＯ）、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数をＭＢ回（ステップＳ２０６からステップＳ２０７へ移行した場合は１回）と設定する（ステップＳ２０７）。そして、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００７３】
吐出回数ＭＢが２以上である場合（ステップＳ２０６においてＹＥＳ）、Ｂランクのノズルのうち、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも多いノズル（Ｂ＋）と、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも少ないノズル（Ｂ−）の組があるかどうかを判定する（ステップＳ２０８）。以下、このようなノズルの組をＢ＋，Ｂ−のノズル組と称する。Ｂ＋，Ｂ−のノズル組が存在する場合には、これらを使用することで液滴体積の総量を上記の基準範囲に、より近づけることが可能となるため、本実施の形態ではステップＳ２０８を設けている。
【００７４】
Ｂ＋とＢ−のノズル組が存在しない場合（ステップＳ２０８においてＮＯ）、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数をＭＢ回と設定する（ステップＳ２０７）。その後、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
Ｂ＋とＢ−のノズル組が存在する場合（ステップＳ２０８においてＹＥＳ）、Ｂ＋とＢ−のノズル組の数ＰＢを記憶する（ステップＳ２０９）。次に、吐出回数ＭＢが偶数か奇数であるかを判定する（ステップＳ２１０）。
【００７５】
図１０は、図９のステップＳ２１０で吐出回数ＭＢが偶数であると判定した場合（ステップＳ２１０において偶数）の、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
先ず、吐出回数ＭＢのうち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使って吐出できる回数を決定する。具体的には、２Ｘｅｖ１＝ＭＢを満たすＸｅｖ１を記憶したのち（ステップＳ３０１）、Ｘｅｖ１≦（ＰＢ×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ３０２）。そして、（ＰＢ×Ｔ）がＸｅｖ１以上である、すなわち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使って吐出回数ＭＢ回全てを吐出できると判定した場合は（ステップＳ３０２においてＹＥＳ）、ステップＳ３０３へ移行する。ステップＳ３０３で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｅｖ１回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００７６】
一方、（ＰＢ×Ｔ）がＸｅｖ１未満である、すなわち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使っても吐出回数ＭＢ回全てを吐出できないと判定した場合は（ステップＳ３０２においてＮＯ）、ステップＳ３０４へ移行する。ステップＳ３０４で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＢ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズル以外のＢランクノズルで吐出する回数を｛ＭＢ−２（ＰＢ×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００７７】
図１１は、図９のステップＳ２１０で吐出回数ＭＢが奇数であると判定した場合（ステップＳ２１０において奇数）の、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
先ず、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のうち、吐出体積を足し合わせて２で割った数値（吐出体積の平均値）が、設定値Ｖｓｅｔ±ａ［％］以内となるノズル組が存在するか否かを判定する（ステップＳ４０１）。このようなノズル組は、組で使用することにより実質Ａランクのノズルとみなすことができる。以下、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のうち、実質Ａランクのノズルとみなすことができるノズル組をＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組と称し、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも多いノズルをＢＡ＋、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも少ないノズルをＢＡ−と称する。ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組が存在する場合には、これらを使用することで液滴体積の総量を上記の基準範囲に、より近づけることが可能となるため、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組の場合と同様にステップＳ４０１を設けている。
【００７８】
ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組が存在すると判定した場合は（ステップＳ４０１においてＹＥＳ）、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組の数ＰＡ１を記憶する（ステップＳ４０２）。
次に、吐出回数ＭＢのうち、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組を使って吐出できる回数を決定する。具体的には、２Ｘ≧ＭＢを満たすＸ（但し、Ｘは整数）の最小値Ｘｏｄ１を記憶したのち（ステップＳ４０３）、Ｘｏｄ１≦（ＰＡ１×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ４０４）。そして、（ＰＡ１×Ｔ）がＸｏｄ１以上である、すなわち、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組を使って吐出回数ＭＢ回全てを吐出できると判定した場合は（ステップＳ４０４においてＹＥＳ）、ステップＳ４０５へ移行する。ステップＳ４０５で、Ａランクノズルで吐出する回数を｛（ＮＡ×Ｔ）−１｝回、ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｏｄ１回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００７９】
ステップＳ４０５においては、ステップＳ４０３を経る結果として、Ａランクノズルを使用する回数が一回減らされる。しかしながら、使用されるＢランクノズルは全て、実質Ａランクノズルに相当するノズルである。したがって、この場合、必要吐出回数Ｎ回全てを、実質的にＡランクノズルを用いて行っているものと同視でき、その結果、液滴体積の総量を目標値に精度良く近づけることが可能となる。
【００８０】
一方、（ＰＡ１×Ｔ）がＸｏｄ１未満である、すなわち、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組を使っても吐出回数ＭＢ回全てを吐出できないと判定した場合は（ステップＳ４０４においてＮＯ）、ステップＳ４０６へ移行する。ステップＳ４０６で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＡ１×Ｔ）回、ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズル以外のＢランクノズルで吐出する回数を｛ＭＢ−２（ＰＡ１×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００８１】
続いて、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組が存在しないと判定した場合は（ステップＳ４０１においてＮＯ）、吐出回数ＭＢのうち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使って吐出できる回数を決定する。具体的には、２Ｘ≦ＭＢを満たすＸ（但し、Ｘは整数）の最大値Ｘｏｄ２を記憶したのち（ステップＳ４０７）、Ｘｏｄ２≦（ＰＢ×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ４０８）。そして、（ＰＢ×Ｔ）がＸｏｄ２以上である、すなわち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使って吐出回数ＭＢ回全てを吐出できると判定した場合は（ステップＳ４０８においてＹＥＳ）、ステップＳ４０９へ移行する。ステップＳ４０９で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｏｄ２回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズル以外のＢランクノズルを１回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００８２】
これに対し、（ＰＢ×Ｔ）がＸｏｄ２未満である、すなわち、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組を使っても吐出回数ＭＢ回全てを吐出できないと判定した場合は（ステップＳ４０８においてＮＯ）、ステップＳ４１０へ移行する。ステップＳ４１０で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＢ×Ｔ）回、Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズル以外のＢランクノズルで吐出する回数を｛ＭＢ−２（ＰＢ×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００８３】
なお、ステップＳ４０６における「ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズル以外のＢランクノズル」には、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組が含まれている。よって、「ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズル以外のＢランクノズル」で行う「｛ＭＢ−２（ＰＡ１×Ｔ）｝回」吐出について、ステップＳ４０７〜Ｓ４１０の制御フローを適用することができる。このようにすることで、液滴体積の総量を目標値に、より精度良く近づけることが可能である。
【００８４】
また、ステップＳ４０９，Ｓ４１０において、「Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズル以外のＢランクノズル」には、ＢＡ＋またはＢＡ−ノズルが含まれている可能性がある。この場合は、ＢＡ＋またはＢＡ−ノズルから優先して液滴を吐出させることが望ましい。
図９に戻って、（（ＮＡ×Ｔ）＋（ＮＢ×Ｔ））が必要吐出回数Ｎ未満であると判定した場合は（ステップＳ２０４においてＮＯ）、ＡランクおよびＢランクノズルのみでは目標値以上の体積の液滴を吐出することができない。よって、次に、Ｃランクノズルで行う吐出回数ＭＣ（＝Ｎ−｛（ＮＡ×Ｔ）＋（ＮＢ×Ｔ）｝）を記憶する（ステップＳ２１１）。
【００８５】
図１２は、Ｃランクノズルを使用する場合の吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
Ｃランクノズルを使用する場合の制御フローは、図９のステップＳ２０６〜Ｓ２１０，図１１，図１２に示したような、Ｂランクノズルを使用する場合の制御フローと略同様に説明できる。以下、Ｃランクノズルを使用する場合の吐出回数制御部３００の制御フロー簡単に説明する。
【００８６】
先ず、ステップＳ２１１で記憶した吐出回数ＭＣが２以上であるかを判定する（ステップＳ５０１）。吐出回数ＭＣが２以上である場合（ステップＳ５０１においてＹＥＳ）、Ｃランクのノズルのうち、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも多いノズル（Ｃ＋）と、吐出体積が設定値Ｖｓｅｔよりも少ないノズル（Ｃ−）の組があるかどうかを判定する（ステップＳ５０３）。吐出回数ＭＢが２以上でない場合（ステップＳ５０１においてＮＯ）、および、Ｃ＋，Ｃ−のノズル組が存在しないと判定した場合（ステップＳ５０３においてＮＯ）、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、Ｃランクノズルで吐出する回数をＭＣ回（ステップＳ５０１からステップＳ５０２へ移行した場合は１回）と設定する（ステップＳ５０２）。その後、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００８７】
Ｃ＋とＣ−のノズル組が存在する場合（ステップＳ５０３においてＹＥＳ）、Ｃ＋とＣ−のノズル組の数ＰＣを記憶し（ステップＳ５０４）、吐出回数ＭＣが偶数か奇数であるかを判定する（ステップＳ５０５）。
吐出回数ＭＣが偶数であると判定した場合（ステップＳ５０５において偶数）、２Ｘｅｖ２＝ＭＣを満たすＸｅｖ２を記憶したのち（ステップＳ５０６）、Ｘｅｖ２≦（ＰＣ×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ５０７）。そして、（ＰＣ×Ｔ）がＸｅｖ２以上である場合は（ステップＳ５０７においてＹＥＳ）、ステップＳ５０８へ移行する。ステップＳ５０８で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、Ｃ＋ノズル，Ｃ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｅｖ２回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００８８】
一方、（ＰＣ×Ｔ）がＸｅｖ２未満である場合は（ステップＳ５０７においてＮＯ）、ステップＳ５０９へ移行する。ステップＳ５０９で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、Ｃ＋ノズル，Ｃ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＣ×Ｔ）回、Ｃ＋ノズル，Ｃ−ノズル以外のＣランクノズルで吐出する回数を｛ＭＣ−２（ＰＣ×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００８９】
図１３は、図１２のステップＳ５０５で吐出回数ＭＣが奇数であると判定した場合（ステップＳ５０５において奇数）の、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
先ず、Ｃ＋，Ｃ−のノズル組のうち、吐出体積を足し合わせて２で割った数値（吐出体積の平均値）が、設定値Ｖｓｅｔ±ａ［％］以内となるノズル組（ＣＡ＋，ＣＡ−のノズル組と称する。）が存在するか否かを判定する（ステップＳ６０１）。ＣＡ＋，ＣＡ−のノズル組が存在すると判定した場合は（ステップＳ６０１においてＹＥＳ）、ＣＡ＋，ＣＡ−のノズル組の数ＰＡ２を記憶する（ステップＳ６０２）。
【００９０】
次に、２Ｘ≧ＭＣを満たすＸ（但し、Ｘは整数）の最小値Ｘｏｄ３を記憶したのち（ステップＳ６０３）、Ｘｏｄ３≦（ＰＡ２×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ６０４）。そして、（ＰＡ２×Ｔ）がＸｏｄ３以上である場合は（ステップＳ６０４においてＹＥＳ）、ステップＳ６０５へ移行する。ステップＳ６０５で、Ａランクノズルで吐出する回数を｛（ＮＡ×Ｔ）−１｝回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、ＣＡ＋ノズル，ＣＡ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｏｄ３回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００９１】
（ＰＡ２×Ｔ）がＸｏｄ３未満である場合は（ステップＳ６０４においてＮＯ）、ステップＳ６０６へ移行する。ステップＳ６０６で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、ＣＡ＋ノズル，ＣＡ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＡ２×Ｔ）回、ＣＡ＋ノズル，ＣＡ−ノズル以外のＣランクノズルで吐出する回数を｛ＭＣ−２（ＰＡ２×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００９２】
続いて、ＣＡ＋，ＣＡ−のノズル組が存在しないと判定した場合は（ステップＳ６０１においてＮＯ）、２Ｘ≦ＭＣを満たすＸ（但し、Ｘは整数）の最大値Ｘｏｄ４を記憶したのち（ステップＳ６０７）、Ｘｏｄ４≦（ＰＣ×Ｔ）であるか否かを判定する（ステップＳ６０８）。そして、（ＰＣ×Ｔ）がＸｏｄ４以上である場合は（ステップＳ６０８においてＹＥＳ）、ステップＳ６０９へ移行する。ステップＳ６０９で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、Ｃ＋ノズル，Ｃ−ノズルで吐出する回数をそれぞれＸｏｄ４回、Ｃ＋ノズル，Ｃ−ノズル以外のＣランクノズルを１回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００９３】
（ＰＣ×Ｔ）がＸｏｄ４未満である場合は（ステップＳ６０８においてＮＯ）、ステップＳ６１０へ移行する。ステップＳ６１０で、Ａランクノズルで吐出する回数を（ＮＡ×Ｔ）回、Ｂランクノズルで吐出する回数を（ＮＢ×Ｔ）回、Ｃ＋ノズル，Ｃ−ノズルで吐出する回数をそれぞれ（ＰＣ×Ｔ）回、Ｃ＋ノズル，Ｃ−ノズル以外のＣランクノズルで吐出する回数を｛ＭＣ−２（ＰＣ×Ｔ）｝回と設定し、液滴吐出を行うノズルを選択する工程を終了する。
【００９４】
なお、ステップＳ６０６における「ＣＡ＋ノズル，ＣＡ−ノズル以外のＣランクノズル」には、Ｃ＋，Ｃ−のノズル組が含まれている。よって、Ｂランクノズルの制御フローの場合と同様に、「ＣＡ＋ノズル，ＣＡ−ノズル以外のＣランクノズル」について、ステップＳ６０７〜Ｓ６１０の制御フローを適用することができる。
また、ステップＳ６０９，Ｓ６１０において、「Ｃ＋ノズル，Ｃ−ノズル以外のＣランクノズル」には、ＣＡ＋またはＣＡ−ノズルが含まれている可能性がある。この場合は、ＣＡ＋またはＣＡ−ノズルから優先して液滴を吐出させることが望ましい。
【００９５】
ステップＳ２０３（図９）においてＡランクノズルで吐出する回数を設定する際、一のノズル群に属する１〜６番の各ノズルからそれぞれ吐出させる回数を併せて決定する。このとき、ノズル３０３０から吐出される液滴の各開口部１７内での着弾位置が、各開口部１７内で分散されるように調整されることが望ましい。具体的には、一の開口部１７における着弾位置が走査方向に沿った軸に対して対称となるように調整する。例えば、一の開口部１７に対して１４回液滴を吐出させる場合には、開口部１７の列方向に沿った上半分の領域に対して７回吐出し、下半分の領域に対して７回吐出するようにする。
【００９６】
また、ステップＳ２０７（図９）、ステップＳ３０３，Ｓ３０４（図１０）、ステップＳ４０５，Ｓ４０６，Ｓ４０９，Ｓ４１０（図１１）のように、ＡランクとＢランクのノズルを混在させて使用する場合は、Ａランクノズルに吐出させる回数およびＢランクノズルに吐出させる回数が、開口部１７の列方向に沿った上半分、下半分の領域において同程度となるようにする。Ａ，Ｂ，Ｃランクのノズルを混在させて使用するステップＳ５０２，Ｓ５０８，Ｓ５０９（図１２）、ステップＳ６０５，Ｓ６０６，Ｓ６０９，Ｓ６１０（図１３）においても同様である。
【００９７】
（液滴吐出位置を決定する工程）
図１４，１５は、液滴吐出位置を決定する工程における、吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
吐出回数制御部３００には、各ノズルから吐出される液滴の各開口部内での着弾位置を、走査方向に対し直交する軸に対して対称となるように調整する制御プログラムが格納されている。吐出回数制御部３００はこの制御プログラムに従い、吐出回数毎の液滴吐出位置を制御する。例えば、吐出回数制御部３００には以下のような制御フローを行う制御プログラムが格納されている。
【００９８】
図１４は、最大吐出回数Ｔが３である場合の吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
先ず、１番ノズルの吐出回数が何回であるかを判定する（ステップＳ７０１）。ここで、「１番ノズル」とは、選択行における開口部１７に対応するノズル群に属する１番ノズルのことを指す。具体的に説明すると、図８のステップＳ１０３において、図７に示す開口部１７のうち最上行の開口部１７を選択している場合、ノズル群ａ１に属する１番ノズルがここでの「１番ノズル」に相当する。
【００９９】
１番ノズルの吐出回数が１回である場合（ステップＳ７０１において１）、ラインＬ２上に液滴を吐出する。１番ノズルの吐出回数が２回である場合は（ステップＳ７０１において２）ラインＬ１，Ｌ３上に、１番ノズルの吐出回数が３回である場合（ステップＳ７０１において３）はラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３上にそれぞれ液滴を吐出する。同様の制御フローをノズル群に属する２番ノズル（ステップＳ７０２）〜６番ノズル（ステップＳ７０６）に対して行うと、液滴吐出位置を決定する工程は終了する。
【０１００】
図１４に示したように、最大吐出回数Ｔが３である場合は、吐出回数が１〜３回のいずれであっても、各ノズル毎に、着弾位置を走査方向に対し直交する軸に対して対称となるように制御することができる。しかしながら、最大吐出回数Ｔの数値によっては、各ノズル毎にこのような制御ができない場合がある。かかる場合に、可能な限り各開口部内における着弾位置を、走査方向に対し直交する軸に対して対称となるように調整する制御フローについて、図１５を用いて説明する。
【０１０１】
図１５は、最大吐出回数Ｔが４である場合の吐出回数制御部３００の制御フローを示す図である。
先ず、１番ノズルの吐出回数が何回であるかを判定する（ステップＳ８０１）。吐出回数が１回である場合（ステップＳ８０１において１）、ラインＬ１上に吐出する（ａ）、ラインＬ２上に吐出する（ｂ）、ラインＬ３上に吐出する（ｃ）、ラインＬ４上に吐出する（ｄ）の４つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が２回である場合は（ステップＳ８０１において２）、ラインＬ１，Ｌ４上に吐出する（ａ）、ラインＬ２，Ｌ３上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が３回である場合（ステップＳ８０１において３）は、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ４上に吐出する（ａ）、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３上に吐出する（ｂ）、ラインＬ１，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ｃ）、ラインＬ２，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ｄ）の４つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が４回である場合（ステップＳ８０１において４）は、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ａ）。
【０１０２】
次に、２番ノズルの吐出回数が何回であるかを判定する（ステップＳ８０２）。吐出回数が１回である場合（ステップＳ８０２において１）、１番ノズルにおいて液滴を吐出した位置がどうであったかを判定する（ステップＳ８０２Ａ）。右寄りである、または対称であると判定した場合（ステップＳ８０２Ａにおいて「右」または「対称」）、ラインＬ１上に吐出する（ａ）、ラインＬ２上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。左寄りであると判定した場合（ステップＳ８０２Ａにおいて「左」）、ラインＬ３上に吐出する（ａ）、ラインＬ４上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が２回である場合は（ステップＳ８０２において２）、ラインＬ１，Ｌ４上に吐出する（ａ）、ラインＬ２，Ｌ３上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が３回である場合（ステップＳ８０２において３）、１番ノズルにおいて液滴を吐出した位置がどうであったかを判定する（ステップＳ８０２Ｂ）。右寄りであると判定した場合（ステップＳ８０２Ｂにおいて「右」）、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ４上に吐出する（ａ）、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。左寄りである、または対称であると判定した場合（ステップＳ８０２Ｂにおいて「左」または「対称」）、ラインＬ１，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ａ）、ラインＬ２，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ｂ）の２つのうち、いずれか一つを選択する。吐出回数が４回である場合（ステップＳ８０２において４）は、ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４上に吐出する（ａ）。
【０１０３】
２番ノズルにおける制御フローと同様の制御フローを、３番ノズル〜６番ノズル（ステップＳ８０６，Ｓ８０６Ａ，Ｓ８０６Ｂ）に対して行うと、液滴吐出位置を決定する工程は終了する。
液滴吐出位置を決定する工程が終了すると、選択行における一連の制御フロー（図８のステップＳ１０３〜Ｓ１０６）が終了する。一連の制御フローを全ての行に対して行った後（図８のステップＳ１０７においてＹＥＳ）、全行の開口部１７に対し液滴を吐出し（ステップＳ１０８）、塗布工程が終了する。
【０１０４】
（具体例）
図１６は、図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板６００とヘッド部３０１の位置関係を示す図である。図１６（ａ）〜（ｈ）はそれぞれ、ステップＳ２０３（図９），ステップＳ２０７（図９、ステップＳ２０８から移行した場合），ステップＳ３０３（図１０），ステップＳ３０４（図１０），ステップＳ４０５（図１１），ステップＳ４０６（図１１），ステップＳ４０９（図１１），ステップＳ４１０（図１１）を経てステップＳ１０８に移行した場合を示している。図１６中、ヘッド部３０１のノズル３０３０を示す丸は、図８に示すステップＳ１０２でのランク分けの結果に基づいた大きさで示している。
【０１０５】
図１６に示す１〜６番の各ノズルの右上には、各ノズルがどのランクに属しているのかを表記している。また、ＢＡ＋ノズル，ＢＡ−ノズル，Ｂ＋ノズル，Ｂ−ノズルのいずれにも属さないＢランクノズル、すなわち、図１１のステップＳ４０６，Ｓ４０９，Ｓ４１０における「ＢＡ＋，ＢＡ−以外のＢランク」，「Ｂ＋，Ｂ−以外のＢランク」に相当するノズルには、単に「Ｂ」と表記している。
【０１０６】
また、図１６に示す例では、開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値を１４０［ｐＬ］、設定値Ｖｓｅｔを１０［ｐＬ］、必要吐出回数Ｎを１４、最大吐出回数Ｔを３としている。
図１６（ａ）では、ステップＳ１０１（図８）でノズル毎に検出した液滴体積が一の開口部内でばらついていないのに対し、図１６（ｂ）〜（ｈ）では、一の開口部内でばらついている。言い換えると、図１６（ｂ）〜（ｈ）では、一の開口部に対応する所定数のノズルの中に、吐出体積のある程度異なるノズルが含まれるのに対し、図１６（ａ）では含まれない。
【０１０７】
図１６（ａ）は、開口部１７に吐出される液滴体積の総量の目標値以上の体積を、Ａランクのみで吐出できる場合である。図１６（ｂ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出できるものの、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組が存在しない場合である。
図１６（ｃ），（ｄ）は、Ｂランクノズルで吐出すべき吐出回数が偶数の場合である。図１６（ｃ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出でき、かつ、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のみでＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できる場合である。図１６（ｄ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出できるものの、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のみではＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できない場合である。
【０１０８】
図１６（ｅ）〜（ｈ）は、Ｂランクノズルで吐出すべき吐出回数が奇数の場合である。図１６（ｅ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出でき、かつ、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組のみでＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できる場合である。なお、図１１のステップＳ４０５にてＡランクノズルの吐出回数が１回減らされているが、この減らされた１回分の液滴吐出は図１６（ｅ）において点線の丸で示している。
【０１０９】
図１６（ｆ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出できるものの、ＢＡ＋，ＢＡ−のノズル組のみではＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できない場合である。図１６（ｇ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出でき、かつ、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のみでＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できる場合である。図１６（ｈ）は、Ｂランクノズルを使用すれば目標値以上の体積を吐出できるものの、Ｂ＋，Ｂ−のノズル組のみではＢランクノズルで吐出すべき体積以上の液滴を吐出できない場合である。
【０１１０】
（ヘッド部と塗布対象基板の開口部との位置関係〈縦打ち〉）
上記塗布工程の制御フローは、図１７に示すように、長尺状の各開口部１７の長辺が、ヘッド部３０１の走査方向（行（Ｘ）方向）と一致している場合（いわゆる縦打ちを行う場合）についても適用することができる。図１７の場合、各開口部１７に対応するノズル３０３０の数は２個である。
【０１１１】
横打ち，縦打ちを問わず、各開口部１７に対応するノズルの個数は特に限定されず、１個であってもよい。しかしながら、１個であると、万が一、その１個のノズルがＦランクノズルである場合には、そのＦランクノズルが液滴吐出を担当する開口部１７には液滴が吐出されないという問題が生じる。よって、各開口部１７に対応するノズル３０３０の数は２個以上である方が望ましく、可能な限り数が多い方がより望ましい。さらに、各開口部１７に対応するノズル数が多い方が、塗布工程において液滴体積総量を目標値に近づける効果は高い。この点、各開口部１７に対応するノズルの数を多くすることができる横打ちの場合が、より好ましい実施の形態であると言える。
【０１１２】
［まとめ］
以上説明したように、本実施の形態によれば、ノズル毎に液滴の吐出回数を変化させるという簡易な制御で、各開口部に吐出される液滴体積の総量を均一にすることができる。したがって、特許文献１のようなノズル毎に異なる波形の駆動電圧を生成するといった複雑な制御を行う必要がなく、有機ＥＬ表示パネルの大判化に伴うインクジェットヘッドのノズル数増大にも対応し得る。また、本実施の形態によれば簡易な制御で済むので、特許文献１のような制御を行うための回路基板は小規模のもので足り、その分、製造装置の簡素化および低コスト化を図ることが可能である。
【０１１３】
≪実施の形態２≫
図１８は、実施の形態２に係る、液滴吐出を行うノズルを選択する工程における吐出回数制御部の制御フローを示す図である。
図１８におけるステップＳ９０１，Ｓ９０２，Ｓ９０４〜Ｓ９０６，Ｓ９０８〜９１１は、それぞれ、図９におけるＳ２０１，Ｓ２０２，Ｓ２０４〜Ｓ２０６，Ｓ２０８〜Ｓ２１１に対応する。図９と異なる点は、Ｓ９１２ＡおよびＳ９１３Ａを設けた点である。
【０１１４】
本実施の形態では、ＮＡ×Ｔが必要吐出回数Ｎ未満である（Ａランクノズルのみで目標値以上の液滴を吐出できない）と判定した場合は（ステップＳ９０２においてＮＯ）、最大吐出回数Ｔをさらに増やすことができるか否かを判定する（ステップＳ９１２Ａ）。最大吐出回数Ｔは、ピエゾ素子に与える駆動電圧の波形を変えて吐出周波数を上げる、または、インクジェットヘッドの走査速度を下げることにより増加させることができる。
【０１１５】
最大吐出回数Ｔをさらに増やすことができると判定した場合（ステップＳ９１２ＡにおいてＹＥＳ）、最大吐出回数Ｔを増やした後のＡランクのノズル数ＮＡ，Ｂランクのノズル数ＮＢ，Ｃランクのノズル数ＮＣをそれぞれ記憶する（ステップＳ９１３Ａ）。そして、ステップＳ９０２に移行する。最大吐出回数Ｔを増やすことができないと判定した場合は（ステップＳ９１２ＡにおいてＮＯ）、ステップＳ９０４に移行する。
【０１１６】
ほぼ設定値Ｖｓｅｔ通りの体積の液滴を吐出することができるノズルは、吐出体積が経時変化しにくい。よって、このようなノズルのみから液滴吐出を行わせることで、ノズル毎の液滴の体積を検出するステップ（図８のステップＳ１０１）、およびノズルをランク分けするステップ（図８のステップＳ１０２）を行う頻度を少なくすることができる。その結果、塗布工程に要する時間を短縮することができる。これを実現するため、本実施の形態では、最大吐出回数Ｔを増やして、出来る限りＡランクノズルのみで目標値以上の液滴を吐出できるようにしている。
【０１１７】
図１９は、実施の形態２の変形例に係る、液滴吐出を行うノズルを選択する工程における吐出回数制御部の制御フローを示す図である。図１８と異なる点は、ステップＳ９１２Ａ，Ｓ９１３Ａ（図１８）にそれぞれ相当するステップＳ９１２Ｂ，Ｓ９１３Ｂの位置である。
図１８では、Ａランクノズルのみで目標値以上の液滴を吐出できないと判定した段階で、最大吐出回数Ｔを増やすことができるか否かを判定していた。本変形例では、Ｂランクノズルを使用してもなお目標値以上の液滴を吐出できないと判定した段階で（ステップＳ９０４においてＮＯ）、最大吐出回数Ｔを増やすことができるか否かを判定する（ステップＳ９１２Ｂ）。
【０１１８】
最大吐出回数Ｔをさらに増やすことができると判定した場合（ステップＳ９１２ＢにおいてＹＥＳ）、最大吐出回数Ｔを増やした後のＮＡ，ＮＢ，ＮＣをそれぞれ記憶し（ステップＳ９１３Ｂ）、ステップＳ９０２に移行する。最大吐出回数Ｔを増やすことができないと判定した場合は（ステップＳ９１２ＢにおいてＮＯ）、ステップＳ９１１に移行する。
【０１１９】
以上、実施の形態１および２について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限られない。例えば、以下のような変形例が考えられる。
≪変形例≫
（１）「開口部の形状が長尺状である」とは、開口部が長辺と短辺を有する形状であることを指し、必ずしも矩形状である必要はない。例えば、正方形、円形、楕円形等の形状とすることとしてもよい。
【０１２０】
（２）図１において、基板１上にＴＦＴ層２〜対向電極１４の各層が積層形成されてなる構成を示した。本発明においては、各層のうちの何れかの層を欠いている、もしくは、例えば透明導電層などの他の層をさらに含む構成とすることもできる。
（３）図３（ｅ）において、正孔輸送層用インクからなる液滴１９を窪み部８に対しては吐出しない構成を示した。本発明では、正孔輸送層用インクからなる液滴１９をさらに窪み部８にも吐出し、正孔輸送層と同一材料から成る有機層を形成することとしてもよい。このようにすることで、正孔輸送層用インクから蒸発する溶媒の蒸気濃度の均一化が図られ、均一な膜厚で正孔輸送層１０形成することができる。一方、図４（ｂ）において、有機発光層用インクからなる液滴１８を窪み部８に吐出しないこととしてもよい。
【０１２１】
（４）本発明において、コンタクトホールに追従して形成される窪み部は必須の構成要件ではなく、例えば、隔壁層上の窪み部に相当する部分を、隔壁層を構成する材料と同一の材料で埋めた構成であってもよい。
（５）上記実施の形態では、液滴体積検出カメラ５０１として共晶点レーザー顕微鏡を用いたが、ＣＣＤカメラを用いることもできる。この場合、インク液滴の形状をたとえば半球状とみなし、当該カメラで撮影した画像中の液滴径から、ＣＰＵ１５０がインクの液滴体積を算出することができる。
【０１２２】
（６）上記実施の形態において、リニアモーター部２０４Ａ，２０５Ａ，２０４Ｂ，２０５Ｂ、サーボモーター部２２１Ａ，２２１Ｂは、それぞれガントリー部２１０Ａ，２１０Ｂ、移動体２２０Ａ，２２０Ｂの移動手段の例示にすぎず、これらの利用は必須ではない。例えば、タイミングベルト機構やボールネジ機構を利用することにより、ガントリー部または移動体の少なくともいずれかを移動させることしてもよい。
【０１２３】
（７）図１４，１５に示す液滴吐出位置を決定する工程では、各開口部内での着弾位置が、走査方向に対し直交する軸に対して対称となるように調整する制御フローについて説明した。各開口部内での着弾位置をより均一にするには、走査方向に沿った軸においても着弾位置が対称となるようにするのが望ましい。
（８）図１５においては、ステップＳ８０２Ａ，Ｓ８０６Ａでの分岐を「右または対称」，「左」の２つとしていたが、分岐を「右」，「対称」，「左」の３つとすることとしてもよい。このとき、「対称」であると判定した場合には、ラインＬ１上に吐出する（ａ）、ラインＬ２上に吐出する（ｂ）、ラインＬ３上に吐出する（ｃ）、ラインＬ４上に吐出する（ｄ）の４つのうち、いずれか一つを選択することとすることができる。ステップＳ８０２Ｂ，Ｓ８０６Ｂについても同様の制御とすることができる。
【０１２４】
（９）上記のインクジェット装置は単なる一例であり、少なくとも上述の制御を行うことが可能なインジェット装置であればよい。塗布対象基板に対するノズルの位置は、基板の規格やサイズに合わせて、固定ステージに対するヘッド部の角度調節を行うことにより適宜変更することができる。
（１０）本発明においては、各ノズル群に属する１〜６番ノズルが吐出する回数は、各ノズル群で固定ではなく、液滴体積検出部における検出結果によって各ノズル群間で変動する。このことについて、図２０を用いて説明する。
【０１２５】
図２０は、図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。（ａ１）〜（ｄ１）において、１〜６番の各ノズルの右上に、液滴体積検出部における液滴体積の検出結果を示した。各図中、「Ｂ２＋」，「Ｂ１＋」，「Ａ」，「Ｂ１−」，「Ｂ２−」で示すノズルの検出結果は、それぞれ、１０．５［ｐＬ］，１０．３［ｐＬ］，１０［ｐＬ］，９．７［ｐＬ］，９．５［ｐＬ］であったとする。また、（ａ１）〜（ｄ１）は本発明に対応するものであり、（ａ１）’〜（ｄ１）’は、（ａ１）〜（ｄ１）の各々に対応する比較例である。
【０１２６】
本発明においては、（ａ１）〜（ｄ１）に示すように、液滴体積検出部における液滴体積の検出結果に応じて、各ノズル群に属する１〜６番ノズルが吐出する回数は、各ノズル群間で変動する。一方、（ａ１）’〜（ｄ１）’に示す比較例においては、列方向に配列されたどの開口部においても、１，２，５，６番ノズルにそれぞれ２回ずつ吐出させ、３，４番ノズルにそれぞれ３回ずつ吐出させるように設定されているとする。すなわち、（ａ１）’〜（ｄ１）’に示す比較例においては、各ノズル群に属する１〜６番ノズルが吐出する回数が、各ノズル群間で固定である。
【０１２７】
上記のような場面を想定した場合の、（ａ１）〜（ｄ１），（ａ１）’〜（ｄ１）’における各開口部に吐出される液滴体積の総量［ｐＬ］を、対応する図番の下部に示した。
本発明に係る（ａ１）〜（ｄ１）の場合、液滴体積の総量［ｐＬ］は１４０〜１４１．９［ｐＬ］（目標値１４０［ｐＬ］に対して０〜＋１．３６［％］）であるのに対し、比較例に係る（ａ１）’〜（ｄ１）’の場合は１４０〜１４３．６［ｐＬ］（目標値１４０［ｐＬ］に対して０〜＋２．５７［％］）である。したがって、本発明の構成のように、各ノズル群に属する１〜６番ノズルが吐出する回数が各ノズル群間で固定でない場合の方が、目標値に対する誤差は小さくなることが分かる。この差は、不吐出ノズルが発生した場合により顕著となる。
【０１２８】
図２１は、不吐出ノズルが発生した場合の図８に示すステップＳ１０８における塗布対象基板とヘッド部の位置関係を示す図である。図２１（ａ２）〜（ｄ２），（ａ２）’〜（ｄ２）’の各図は、図２０（ａ１）〜（ｄ１），（ａ１）’〜（ｄ１）’の各図に対応するものである。なお、図２１に示す各ノズル３０３０において、不吐出となっているノズルを塗りつぶして示している。
【０１２９】
本発明に係る（ａ２）〜（ｄ２）においては、不吐出ノズルが発生した場合であっても、液滴体積の総量［ｐＬ］は１４０〜１４１．９［ｐＬ］（目標値１４０［ｐＬ］に対して０〜＋１．３６［％］）と変化しない。これは、各ノズル群間で１〜６番ノズルが吐出する回数を変えることが可能であるからである。したがって、本発明によれば不吐出ノズルが発生することによる影響を最低限に抑えることが可能である。
【０１３０】
一方、比較例に係る（ａ２）’〜（ｄ２）’の場合は、各ノズル群間で１〜６番ノズルが吐出する回数を変えることができないため、液滴体積の総量［ｐＬ］は１１２．１〜１２０［ｐＬ］（目標値１４０［ｐＬ］に対して−１９．９３〜−１４．２９［％］）と、目標値である１４０［ｐＬ］から大きくずれてしまうことになる。
以上説明したように、本発明は、不吐出ノズルが発生した場合により効果を奏すると言える。
【０１３１】
（１１）上記の実施形態においては、塗布対象基板に対してヘッド部側を走査させる方法を示したが、本発明はこれに限定されない。ノズルが複数配列されたヘッド部に対して塗布対象基板側を動かすこととしてもよい。
（１２）上述したように、有機発光層用インクを塗布する工程においては、各開口部１７に吐出する液滴の体積の総量が発光色毎に異なることもありうるが、必ずしも異ならせる必要はない。また、正孔輸送層用インクを塗布する工程のように、本来的には体積の総量を発光色毎に異ならせる必要のないインクについても、色毎に体積の総量をそろえることとしてもよいし、異ならせることとしてもよい。
【０１３２】
（１３）図１６（ｈ）において、図１１のステップＳ４１０を経てステップＳ１０８に移行した場合の例を示した。ステップＳ４１０を経てステップＳ１０８に移行した場合の例としては、図１６（ｈ）に示したもの以外にも、例えば、１番ノズルがＡランク、２〜４番ノズルがＢＡ＋ランク、５番ノズルがＢ−ランク、６番ノズルがＢ＋ランクである場合が挙げられる。この場合、図９〜１１に示すフローチャートに従えば、Ａランクである１番ノズルから３回、ＢＡ＋ランクノズルから５回（２〜４番ノズルの吐出回数の合算）、Ｂ−ランクである５番ノズル，Ｂ＋ランクである６番ノズルからそれぞれ３回ずつ液滴が吐出されることになる。その結果、開口部に吐出される液滴体積の総量は１４１．５［ｐＬ］である。
【０１３３】
この場合、上記のフローチャートに対し以下の制御を加えることにより、開口部に吐出される液滴体積の総量をより目標値に近づけることが可能である。具体的には、本例にように、液滴体積の総量が目標値より多い場合には、Ｂ＋ランクノズル（６番ノズル）で吐出する回数のうちの一部を、吐出量がより設定値Ｖｓｅｔに近いＢＡ＋ランクノズル（２〜４番ノズル）から代わりに吐出するように制御する。この制御に従えば、本例の場合、１番ノズル（Ａランク）から３回、ＢＡ＋ランクノズルから７回（２〜４番ノズルの吐出回数の合算）、５番ノズル（Ｂ−ランク）から３回、６番ノズル（Ｂ＋ランク）から１回、液滴を吐出させるように設定することができる。この結果、開口部に吐出される液滴体積の総量は１４１．１［ｐＬ］となり、より目標値に近づけることができる。なお、液滴体積の総量が目標値より少ない場合にも同様の制御を行うことが可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１３４】
本発明の有機ＥＬ表示パネルの製造方法は、例えば、家庭用もしくは公共施設、あるいは業務用の各種表示装置、テレビジョン装置、携帯型電子機器用ディスプレイ等として用いられる有機ＥＬ表示パネルの製造方法に好適に利用可能である。
【符号の説明】
【０１３５】
１  基板
２  ＴＦＴ層
３  給電電極
４  平坦化膜
５  コンタクトホール
６  画素電極
７  隔壁層
８  窪み部
９  正孔注入層
１０  正孔輸送層
１１  有機発光層
１２  電子輸送層
１３  電子注入層
１４  対向電極
１６  有機発光層材料を含む有機層
１７  開口部
１８  有機発光層用インクからなる液滴
１９  正孔輸送層用インクからなる液滴
２０  インクジェットテーブル
３０  インクジェットヘッド
５０  液滴体積検出部
１００  有機ＥＬ表示パネル
１５０  ＣＰＵ
１５１  記憶手段
１５２  入力手段
２００  基台
２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂ  スタンド
２０３Ａ，２０３Ｂ  ガイドシャフト
２０４Ａ、２０５Ａ、２０４Ｂ、２０５Ｂ  リニアモーター部
２１０Ａ、２１０Ｂ  ガントリー部
２１１Ａ、２１１Ｂ、２１２Ａ、２１２Ｂ  ガイド溝
２１３、５００  制御部
２２０Ａ、２２０Ｂ  移動体
２２１Ａ、２２１Ｂ  サーボモーター部
３００  吐出回数制御部
３０１  ヘッド部
３０２  本体部
３０４  サーボモーター部
５０１  液滴体積検出カメラ
６００  塗布対象基板
１０００  インクジェット装置
３０１０  ピエゾ素子
３０３０  ノズル
ＩＰ  インクパン
ＳＴ  固定ステージ
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、
前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積をノズル毎に検出する第２工程と、
前記各開口部に対して所定数のノズルが割り当てられるように、前記複数のノズルを、前記各開口部と１対１対応するノズル群に分け、ノズル群毎に、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量が基準範囲となるように、前記第２工程においてノズル毎に検出された液滴の体積のバラツキに基づき、ノズル群に属する各ノズルが行う液滴の吐出回数をノズル毎に決定する第３工程と、
前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、対応するノズル群に属する各ノズルから、前記第３工程でノズル毎に決定された吐出回数だけ液滴を吐出させる第４工程と、を含み、
前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められているとともに、前記各開口部に吐出される液滴の体積の総量には、発光色毎に目標値が設定されており、
前記第３工程において、
ノズル群に属する各ノズルのうち、前記第２工程における検出値が、前記各ノズルから単位回数当たりに吐出される液滴の体積として予め設定された設定値に対し、第１の範囲内であるノズルの各々に液滴吐出を行わせた場合を想定して、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できるか否かを判定し、
前記目標値以上の体積の液滴を吐出できると判定した場合には、前記第１の範囲内であるノズルを液滴吐出に用いるノズルとして選択し、
前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、前記第１の範囲内であるノズルと、当該第１の範囲よりも前記設定値からのバラツキが大きい第２の範囲内であるノズルを液滴吐出に用いるノズルとして選択する、
有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記第３工程において、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、さらに、
前記第２の範囲内であるノズルのうち、前記第２工程における検出値が前記設定値よりも高いノズルと前記設定値よりも低いノズルの組が存在するか否かを判定し、
前記ノズルの組が存在すると判定した場合には、当該ノズルの組を液滴吐出に用いるノズルとして選択する、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記第３工程において、前記目標値以上の体積の液滴を吐出できないと判定した場合には、さらに、
前記第２の範囲内であるノズルのうち、前記第２工程における検出値が前記設定値よりも高いノズルと前記設定値よりも低いノズルの組が存在するか否かを判定し、
前記ノズルの組が存在すると判定した場合には、当該ノズルの組のうち、前記第２工程における検出値の平均値が前記設定値に対し前記第１の範囲内であるノズルの組が存在するか否かを判定し、
前記第１の範囲内であるノズルの組が存在すると判定した場合には、当該第１の範囲内であるノズルの組を液滴吐出に用いるノズルとして選択する、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記第３工程において、
ノズル群に属する各ノズルから吐出される液滴の前記各開口部内での着弾位置が、前記各開口部内で分散されるように調整される、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記第３工程において、
ノズル群に属する各ノズルから吐出される液滴の前記各開口部内での着弾位置が、列方向に配列された開口部の中心を結ぶ仮想線に対して対称となるように調整される、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【請求項６】
前記各開口部の形状は、列方向に長辺を有する長尺状である、
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【国際調査報告】
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