(57)【要約】  本発明は、表示装置となって初めて顕在化する異物の混入などによって発生する不良を、表示パネルの段階で確実に発見することができる表示パネルの検査装置および表示パネルの検査方法を提供する。  本発明の検査装置（１）は、表示パネル（９０）の画像表示領域（９０１）の外側の領域（９０２）における所定部分を押圧するパネル押圧手段（１０）と、表示パネル（９０）の側縁に沿って設けられた表示パネル（９０）の信号配線と電気的に接続された端子部（９１１）に対して検査用のプローブ（２４）を接触させるプローブ駆動手段（２０）とを備える。
2012108262.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルの画像表示領域の外側の領域における所定部分を押圧するパネル押圧手段と、
表示パネルの側縁に沿って設けられた表示パネルの信号配線と電気的に接続された端子部に対して検査用のプローブを接触させるプローブ駆動手段と、
を備えることを特徴とする表示パネルの検査装置。
【請求項２】
前記パネル押圧手段は、前記表示パネルの画像表示領域の外側の領域における複数箇所の所定部分を選択的に押圧可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の表示パネルの検査装置。
【請求項３】
前記パネル押圧手段は、前記表示パネルの各側縁に沿う各外側の領域に二箇所ずつ、前記表示パネルを二分する中央線を対称軸として上下左右対称となるように計八箇所に設けられた所定部分を選択的に押圧可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の表示パネルの検査装置。
【請求項４】
前記プローブ駆動手段は、
前記プローブを前記端子部に対して進退動作させるアクチュエータと、
前記端子部に接触する前記プローブが前記端子部から受ける力を測定する圧力センサと、
前記圧力センサによって測定される前記プローブが前記端子部から受ける力が所定の範囲内になるように、前記アクチュエータの動力を調整する制御手段と、
を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の表示パネルの検査装置。
【請求項５】
前記アクチュエータはエアシリンダであり、前記制御手段は前記エアシリンダに供給する空気圧を制御することにより、前記端子部から受ける力が所定の範囲内になるように調整することを特徴とする請求項４に記載の表示パネルの検査装置。
【請求項６】
前記プローブ駆動手段は、前記プローブを前記表示パネルの平面方向に移動させる移動ユニットを有することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の表示パネルの検査装置。
【請求項７】
表示パネルを一または複数の所定の形状に弾性的に変形させるパネル変形手順と、
このパネル変形手順によって前記表示パネルが所定の形状に変形した状態で、前記表示パネルの側縁に沿って設けられた表示パネルの信号配線と電気的に接続された端子部に対して検査用のプローブを接触させ、表示パネルの画像表示領域における欠陥の有無を判定する欠陥判別手順と、
を含む表示パネルの検査方法。
【請求項８】
前記パネル変形手順は、
前記表示パネルの上側および下側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを左右方向に変形させる第一手順と、
前記表示パネルの左側および右側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを上下方向に変形させる第二手順と、
前記表示パネルの左上の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分および右下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを右上の角から左下の角に延びる対角線方向に変形させる第三手順と、
前記表示パネルの右上の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分および左下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを左上の角から右下の角に延びる対角線方向に変形させる第四手順と、
を含み、
これら各手順によって前記表示パネルが所定の形状に変形した状態で、前記欠陥判別手順を行う、請求項３から６のいずれか一項に記載の表示パネルの検査装置を用いた請求項７に記載の表示パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの検査装置および表示パネルの検査方法に関し、さらに詳しくは、異物の混入等によって発生する欠陥（不良）の発見に資する表示パネルの検査装置および表示パネルの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置などの表示装置が備える表示パネルの検査工程では、表示パネルに検査用信号を入力して欠陥の有無を検出する点灯検査が行われる（例えば特許文献１参照）。かかる点灯検査では、基板間（液晶表示装置では液晶層内）に異物が混入し、一方の基板（薄膜トランジスタアレイ基板）側の電気的な要素（例えばソース信号線）と他方の基板（カラーフィルタ基板）側の電気的な要素（例えばコモン電極）とが短絡することによって生ずる不具合（点灯不良）等が発見される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２３０４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、以下で示すようなケースでは、異物による短絡は、表示パネルの検査工程では発見されずに、表示パネルを組み込んだ表示装置となって初めて顕在化することがある。【０００５】
図９（ａ）に示すように、一方の基板１０１と他方の基板１０２の間（液晶層１０３）に異物Ｆが混入した表示パネルが作製された場合であっても、一方の基板１０１の電気的要素１０１ａ、および、他方の基板１０２の電気的要素１０２ａのいずれか一方に異物Ｆが接触していない場合には、両電気的要素１０１ａ、１０２ａが短絡しないため、「表示パネル」の検査段階において不良は発生しない。しかし、かかる表示パネルをベゼルなどから構成される表示装置の枠体に組み込んだ場合、表示パネルに微少な歪みが生じ、図９（ｂ）に示すように、一方の基板１０１の電気的要素１０１ａと他方の基板１０２の電気的要素１０２ａの両方に異物Ｆが接触した状態となることがある。つまり、「表示装置」となって初めて異物Ｆによる短絡が発生することがある（「表示装置」の検査段階において異物Ｆによる不良（点灯不良等）が顕在化する）。このように、表示装置が完成した後に不良が発見されると、枠体に組み込んだ表示パネルを一旦取り外すなどの措置が必要となるから、製造コスト増加の要因となる。【０００６】
上記実情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、表示装置となって初めて顕在化する異物の混入などによって発生する不良を、表示パネルの段階で確実に発見することができる表示パネルの検査装置および表示パネルの検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明にかかる表示パネルの検査装置は、表示パネルの画像表示領域の外側の領域における所定部分を押圧するパネル押圧手段と、表示パネルの側縁に沿って設けられた表示パネルの信号配線と電気的に接続された端子部に対して検査用のプローブを接触させるプローブ駆動手段と、を備えることを要旨とする。【０００８】
この場合、前記パネル押圧手段は、前記表示パネルの画像表示領域の外側の領域における複数箇所の所定部分を選択的に押圧可能に構成されているとよい。【０００９】
またこの場合、前記パネル押圧手段は、前記表示パネルの各側縁に沿う各外側の領域に二箇所ずつ、前記表示パネルを二分する中央線を対称軸として上下左右対称となるように計八箇所に設けられた所定部分を選択的に押圧可能に構成されているとよい。【００１０】
また、前記プローブ駆動手段は、前記プローブを前記端子部に対して進退動作させるアクチュエータと、前記端子部に接触する前記プローブが前記端子部から受ける力を測定する圧力センサと、前記圧力センサによって測定される前記プローブが前記端子部から受ける力が所定の範囲内になるように、前記アクチュエータの動力を調整する制御手段と、を有していればよい。【００１１】
この場合、前記アクチュエータはエアシリンダであり、前記制御手段は前記エアシリンダに供給する空気圧を制御することにより、前記端子部から受ける力が所定の範囲内になるように調整するようにすればよい。【００１２】
また、前記プローブ駆動手段は、前記プローブを前記表示パネルの平面方向に移動させる移動ユニットを有していればよい。【００１３】
また、上記課題を解決するために本発明にかかる表示パネルの検査方法は、表示パネルを一または複数の所定の形状に弾性的に変形させるパネル変形手順と、このパネル変形手順によって前記表示パネルが所定の形状に変形した状態で、前記表示パネルの側縁に沿って設けられた表示パネルの信号配線と電気的に接続された端子部に対して検査用のプローブを接触させ、表示パネルの画像表示領域における欠陥の有無を判定する欠陥判別手順と、を含むことを要旨とする。【００１４】
この場合、前記パネル変形手順は、前記表示パネルの上側および下側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを左右方向に変形させる第一手順と、前記表示パネルの左側および右側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを上下方向に変形させる第二手順と、前記表示パネルの左上の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分および右下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを右上の角から左下の角に延びる対角線方向に変形させる第三手順と、前記表示パネルの右上の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分および左下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを左上の角から右下の角に延びる対角線方向に変形させる第四手順と、を含み、これら各手順によって前記表示パネルが所定の形状に変形した状態で、前記欠陥判別手順を行うようにするとよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明にかかる表示パネルの検査装置は、画像表示領域の外側の領域における所定部分を押圧するパネル押圧手段を備えているため、パネルを弾性変形させた状態（所定の形状に撓ませた状態）で検査用のプローブを接触させること（点灯検査を行うこと）ができる。したがって、従来であれば微少な歪みが生ずる表示装置となって初めて顕在化していた異物の混入による不良などを、表示パネルの状態で発見することができる。これにより、検査の信頼性が向上するとともに、表示装置の製造コスト（検査コスト）低減につながる。【００１６】
また、上記パネル押圧手段が表示パネルの複数箇所の所定部分を選択的に押圧可能に構成されていれば、表示パネルを様々な形状に弾性変形させることができるため、異物の混入による不良がより確実に検出される。つまり、検査の信頼性がさらに向上する。【００１７】
また、上記パネル押圧手段が、表示パネルを二分する中央線を対称軸として上下左右対称となるように設けられた計八箇所の所定部分を選択的に押圧可能に構成されていれば、表示パネルをその上下方向、左右方向、二つの対角線方向に弾性変形させた状態で検査用のプローブを接触させることができる。【００１８】
また、上記構成は、表示パネルを弾性変形させた状態で検査用のプローブを接触させるものであるから、表示パネルの変形状態（変形量など）によって、表示パネル（端子部）と各プローブとの距離が変化する。したがって、検査時にプローブが表示パネルの方向に向けて常に同じ動作をするようにプローブ駆動手段を構成すると、プローブと端子部の距離が近い場合にはプローブに過大な力が掛かってプローブが破損してしまい、プローブと端子部の距離が遠い場合にはプローブと端子部との良好な電気的な接触状態が得られないなどの不具合が発生するおそれがある。これに対し上記構成では、圧力センサによってプローブが端子部から受ける力が所定の範囲内（プローブが破損してしまうおそれがなく、かつ、プローブと端子部との良好な電気的な接触状態が得られる圧力範囲内）になるように制御されるため、表示パネルを弾性変形させた状態で検査することによって生ずる不具合の発生が防止される。【００１９】
この場合において、アクチュエータをエアシリンダとし、このエアシリンダに供給する空気圧を制御することにより、端子部から受ける力が所定の範囲内になるようにすれば、構成が容易であり、かつ、プローブの圧力制御も容易である。【００２０】
また、上記構成は、表示パネルを弾性変形させた状態で検査用のプローブを接触させるものであるから、表示パネルの変形状態（変形量など）によって、表示パネルの平面方向における端子部の位置が微妙に変化する。これに対し、プローブを表示パネルの平面方向に移動させる移動ユニットが設けられていれば、表示パネルの弾性変形によって表示パネルの平面方向における端子部の位置が変化する場合であっても、プローブが端子部の略中央に接触するように表示パネルの平面方向におけるプローブの位置を調整することができる。つまり、プローブと端子部とを確実に電気的に接触させることができる。【００２１】
本発明にかかる表示パネルの検査方法は、パネルを弾性変形させた状態で検査用のプローブを接触させている（点灯検査を行う）ため、従来であれば微少な歪みが生ずる表示装置となって初めて顕在化していた異物の混入による不良などを、表示パネルの状態で発見することができる。これにより、検査の信頼性が向上するとともに、表示装置の製造コスト（検査コスト）低減につながる。【００２２】
また、この場合、第一手順〜第四手順によって所定の形状に弾性変形した表示パネルのそれぞれについて、上記欠陥判別手順を行うようにするとよい。具体的には、第一手順は、表示パネルの上側および下側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の所定部分を同時に押圧するため、表示パネルが左右方向に変形する。第二手順は、表示パネルの左側および右側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の所定部分を同時に押圧するため、表示パネルが上下方向に変形する。第三手順は、表示パネルの左上の角を挟むように位置する二箇所の所定部分および右下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧するため、表示パネルが右上の角から左下の角に延びる対角線に沿って変形する。第四手順は、表示パネルの右上の角を挟むように位置する二箇所の所定部分および左下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧するため、表示パネルが左上の角から右下の角に延びる対角線に沿って変形する。これら各変形状態で検査用のプローブを接触させて検査を行うため、検査の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施形態にかかる検査装置の概略図（上方から見た図）である。
【図２】図１に示した検査装置が備えるパネル押圧手段を説明するための図であり、図１におけるＡ−Ａ線断面図（ハッチングは省略）である。
【図３】図１に示した検査装置が備えるプローブ駆動手段を説明するための図であり、図１におけるＢ−Ｂ線断面図（ハッチングは省略）である。
【図４】図１に示した検査装置が備えるプローブ駆動手段の機能を説明するための概念図であり、図４（ａ）は液晶表示パネルの弾性変形によって検査用端子部が下方（低い方向）に移動した場合を示し、図４（ｂ）は液晶表示パネルの弾性変形によって検査用端子部が上方（高い方向）に移動した場合を示す。
【図５】図５（ａ）は第一の手順によって弾性変形した液晶表示パネルの概略を模式的に示した図であり、図５（ｂ）は第一の手順において押圧する液晶表示パネルの所定部分を示した図である。
【図６】図６（ａ）は第二の手順によって弾性変形した液晶表示パネルの概略を模式的に示した図であり、図６（ｂ）は第二の手順において押圧する液晶表示パネルの所定部分を示した図である。
【図７】図７（ａ）は第三の手順によって弾性変形した液晶表示パネルの概略を模式的に示した図であり、図７（ｂ）は第三の手順において押圧する液晶表示パネルの所定部分を示した図である。
【図８】図８（ａ）は第四の手順によって弾性変形した液晶表示パネルの概略を模式的に示した図であり、図８（ｂ）は第四の手順において押圧する液晶表示パネルの所定部分を示した図である。
【図９】従来構成の問題点を説明するための概略図であり、図９（ａ）は表示パネルが枠体に組み込まれる前の状態、図９（ｂ）は表示パネルが表示装置の枠体に組み込まれ異物によって電気的要素が短絡した状態を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、特に明示した場合を除き、以下の説明における上下方向とは、図１における上下方向をいい、左右方向とは図１における左右方向をいう。また、高さ方向とは、表示パネルの検査装置１の高さ方向をいい、図２、図３、図８における上下方向をいう。
【００２５】
（液晶表示パネル９０の構成）
まず、本発明の一実施形態にかかる表示パネルの検査装置１（以下、単に検査装置１という）によって検査される被検査体である液晶表示パネル９０について簡単に説明する。
【００２６】
液晶表示パネル９０は、一般に知られているＴＦＴ（薄膜トランジスタ）アレイ基板９１およびＣＦ（カラーフィルタ）基板９２を有する。これらの基板の間には液晶が充填される。ＴＦＴアレイ基板９１には、絵素電極に電圧を印加するためのＴＦＴや、このＴＦＴのゲート電極に走査信号を伝送する走査信号線（ゲート信号線）、ソース電極にデータ信号を伝送するデータ信号線（ソース信号線）などが導体膜によって形成されている。
【００２７】
また、ＴＦＴアレイ基板９１における画像表示領域９０１（アクティブエリア）の外側の領域９０２（表示装置において額縁となる領域）には、各走査信号線から引き出される配線のそれぞれに電気的に接続された走査信号線用端子部と、各データ信号線から引き出される配線のそれぞれに電気的に接続されたデータ信号線用端子部が設けられる。走査信号線用端子部からは、各走査信号線に走査信号を入力できる。データ信号線用端子部からは各データ信号線にデータ信号を入力できる。具体的には、後述する検査用プローブ２４を各端子部に接触させて、検査用の信号が入力できるように構成されている。以下の説明では、これらをまとめて単に検査用端子部９１１と称する。
【００２８】
（検査装置の全体構成）
本実施形態にかかる検査装置１は、液晶表示パネル９０の所定の部分を押圧するパネル押圧手段１０と、液晶表示パネル９０の点灯検査に用いられる検査用のプローブを動作させるプローブ駆動手段２０と、これらを制御する図示されない制御手段と、を備える。また、検査装置１は、被検査体である液晶表示パネル９０が載置されるベース３０を備える。かかるベース３０は、その外周縁に沿う一定幅の領域が弾性体で形成された受け部３１となっている。具体的には、液晶表示パネル９０がベース３０の所定位置に載置された状態で、液晶表示パネル９０の外側の領域９０２（後述する所定部分が設けられる領域）が受け部３１に接触するように設定されている。なお、液晶表示パネル９０がベース３０の所定の位置に載置されるように、検査装置１には図示されない位置決め部材が設けられている。
【００２９】
パネル押圧手段１０は、押圧手段用エアシリンダ１１と、その先端に取り付けられた押圧部材１２と、を備え、押圧手段用エアシリンダ１１によって駆動される押圧部材１２が、装置のベース３０上に載置される液晶表示パネル９０の所定部分を押圧する構成である。詳しくは、画像表示領域９０１（アクティブエリア）の外側の領域９０２における所定部分を、載置されたパネルの前面（高さ方向における液晶表示パネル９０の上面）側から押圧する。
【００３０】
本実施形態では、パネル押圧手段１０は、表示パネルの各側縁に沿う各外側の領域９０２に二箇所ずつ、計八箇所の所定部分を押圧することができる位置（各所定部分よりも高い位置）に設けられている。すなわち、検査装置１は計八個のパネル押圧手段１０を有する。このパネル押圧手段１０によって押圧される複数の所定部分は、液晶表示パネル９０の各角（四つの角）を挟むように位置し、液晶表示パネル９０を長手方向に二分する中央線Ｃｘ、および、短手方向に二分する中央線Ｃｙを対称軸として上下左右対称である。また、かかる複数の所定部分は、液晶表示パネル９０における検査装置１のベース３０の受け部３１に支持された状態（各所定部分と受け部３１とが検査装置１の高さ方向で重なった状態）にある。
【００３１】
制御手段は、各押圧手段用エアシリンダ１１に繋がる圧縮空気の流路を開閉する図示されない押圧手段用バルブを独立して制御することができる。つまり、制御手段は、複数のパネル押圧手段１０を選択的に動作させることが可能である。一の押圧手段用エアシリンダ１１のみを動作させることも可能であるし、複数のうちの二以上の押圧手段用エアシリンダ１１を同時に動作させることも可能である。
【００３２】
各エアシリンダの先端に取り付けられた押圧部材１２は、液晶表示パネル９０の所定部分に接触する部分である。制御手段が押圧手段用バルブを開放すると、押圧手段用エアシリンダ１１の駆動軸が前進し、押圧部材１２が液晶表示パネル９０に接触する。したがって、押圧部材１２はゴム等の弾性体によって形成されていることが望ましい。
【００３３】
プローブ駆動手段２０は、プローブ駆動用エアシリンダ２１と、圧力センサ２２と、移動ユニット２３と、を備える。プローブ駆動用エアシリンダ２１の駆動軸には、圧力センサ２２を介して検査用プローブ２４が取り付けられている。本実施形態では、一の検査用プローブ２４を駆動させるアクチュエータとして、一のプローブ駆動用エアシリンダ２１が設けられた構成である。また、圧力センサ２２も、複数の検査用プローブ２４のそれぞれに設けられている。すなわち、一の検査用プローブ２４に対して一のプローブ駆動手段２０が設けられている。
【００３４】
制御手段は、各プローブ駆動用エアシリンダ２１に繋がる圧縮空気の流路を開閉する図示されないプローブ駆動用バルブを独立して制御することができる。つまり、制御手段は、複数のプローブ駆動手段２０を選択的に動作させることが可能である。一のプローブ駆動用エアシリンダ２１のみを動作させることも可能であるし、複数のうちの二以上のプローブ駆動用エアシリンダ２１を同時に動作させることも可能である。
【００３５】
制御手段がプローブ駆動用バルブを開放すると、プローブ駆動用エアシリンダ２１の駆動軸が前進し、検査用プローブ２４が液晶表示パネル９０の検査用端子部９１１に接触する。圧力センサ２２は、検査用端子部９１１に接触する検査用プローブ２４が受ける力（応力）を測定するものであり、公知のセンサが適用できる。制御手段は、その力が所定の範囲内になるように、プローブ駆動用エアシリンダ２１の動力（圧力）を調整する。すなわち、検査用端子部９１１に接触する検査用プローブ２４が受ける力が所定の範囲内になるようにフィードバック制御される。本実施形態では、プローブ駆動用バルブによって、プローブ駆動用エアシリンダ２１に供給される空気圧（空気の流量）を調整することにより、検査用プローブ２４が検査用端子部９１１から受ける力が所定の範囲内になるように制御する。
【００３６】
また、移動ユニット２３は、各プローブ駆動用エアシリンダ２１を液晶表示パネル９０の平面方向に移動させる構成である。すなわち、移動ユニット２３は、各プローブ駆動用エアシリンダ２１に取り付けられた検査用プローブ２４および圧力センサ２２も液晶表示パネル９０の平面方向に移動させる。かかる移動ユニット２３は、例えばプローブ駆動用エアシリンダ２１を移動させるサーボモータを備える。
【００３７】
（検査装置１を用いた検査方法）
上記検査装置１を用いた検査方法（検査装置１の動作）について説明する。まず、被検査体である液晶表示パネル９０を検査装置１のベース３０上に載置する。この際、検査装置１に設けられた図示されない位置決め部材を利用して、液晶表示パネル９０をベース３０の所定位置に載置する。これにより、液晶表示パネル９０の各所定部分（外側の領域９０２）が、弾性体で形成されたベース３０の受け部３１に支持された状態（検査装置１の高さ方向に重なった状態）となる。
【００３８】
このあと、パネル変形手順を行う。パネル変形手順は、制御手段により、一または複数のパネル押圧手段１０を選択的に駆動させる。すなわち、液晶表示パネル９０の変形させたい部位（所定部分）に対応した押圧手段用エアシリンダ１１の駆動軸を前進させる。これにより、前進した駆動軸の先端に設けられた一または複数の押圧部材１２が液晶表示パネル９０の所定の部分に接触し、液晶表示パネル９０が所定の形状に弾性変形する（所定の形状に撓む）。
【００３９】
続いて、欠陥判別手順を行う。まず、液晶表示パネル９０が弾性変形した状態を保ちつつ、制御手段により、プローブ駆動用エアシリンダ２１の駆動軸を前進させる。これにより、前進した駆動軸に取り付けられた検査用プローブ２４の先端が液晶表示パネル９０の検査用端子部９１１に接触する。このとき、制御手段は、圧力センサ２２によって検査用端子部９１１に接触する検査用プローブ２４が受ける力を測定し、その力が所定の範囲内になるようにプローブ駆動用エアシリンダ２１の動力（圧力）を調整する。すなわち、プローブ駆動用バルブによりプローブ駆動用エアシリンダ２１に供給される空気圧（空気の流量）を調整する。
【００４０】
このように検査用端子部９１１に接触する検査用プローブ２４が受ける力が調整される理由は次の通りである。上述したように、本検査装置１では、液晶表示パネル９０が所定の形状に弾性変形した状態で液晶表示パネル９０の検査用端子部９１１に検査用プローブ２４を接触させる。かかる液晶表示パネル９０の弾性変形は、原位置にある検査用プローブ２４と検査用端子部９１１との距離を変化させる。したがって、プローブ駆動用エアシリンダ２１に供給される空気圧が一定であれば、検査用プローブ２４とプローブと検査用端子部９１１との良好な電気的な接触状態が得られない、検査用プローブ２４に過大な力が掛かって検査用プローブ２４が破損してしまう、といったおそれがある。
【００４１】
例えば、図４（ａ）に示すように、液晶表示パネル９０におけるある検査用端子部９１１が設けられた部分が、液晶表示パネル９０の弾性変形によって下方（低い方向）に移動した場合、原位置にある検査用プローブ２４と検査用端子部９１１との距離が通常状態（液晶表示パネル９０が弾性変形していない状態）よりも大きくなる。
【００４２】
このような場合、プローブ駆動用エアシリンダ２１に供給される空気圧が一定であれば、検査用プローブ２４と検査用端子部９１１との距離が通常状態よりも大きくなるため、両者が十分な圧力で接触しないおそれがある。
【００４３】
一方、図４（ｂ）に示すように、液晶表示パネル９０におけるある検査用端子部９１１が設けられた部分が、液晶表示パネル９０の弾性変形によって上方（高い方向）に移動した場合には、原位置にある検査用プローブ２４と検査用端子部９１１との距離が通常状態よりも小さくなる。
【００４４】
このような場合、プローブ駆動用エアシリンダ２１に供給される空気圧が一定であれば、検査用プローブ２４と検査用端子部９１１との距離が通常状態よりも小さくなるため、検査用プローブ２４に過大な力が掛かって検査用プローブ２４が破損してしまうおそれがある。
【００４５】
これに対し本実施形態では、圧力センサ２２によって、検査用端子部９１１に接触する検査用プローブ２４が受ける力が一定の範囲内に調整されるため、このようなおそれはない。つまり、液晶表示パネル９０がどのような形状に弾性変形したとしても、検査用プローブ２４と検査用端子部９１１とを電気的に良好な状態で接触させることができ、かつ、検査用プローブ２４が破損してしまうおそれがない。すなわち、本実施形態にかかる検査装置１が有するプローブ駆動手段２０は、パネル押圧手段１０によって液晶表示パネル９０を所定の形状に弾性変形させつつ点灯検査を行うことで生ずるおそれのある不具合の発生が防止された構成である。
【００４６】
また、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、液晶表示パネル９０におけるある検査用端子部９１１が設けられた部分が、液晶表示パネル９０の弾性変形によって下方や上方に移動した場合、液晶表示パネル９０に設けられた検査用端子部９１１の中心位置が液晶表示パネル９０の平面方向にずれる。これに対し、本実施形態では、移動ユニット２３により、検査用プローブ２４が液晶表示パネル９０の平面方向に移動可能に構成されている。これに合わせて検査用プローブ２４を液晶表示パネル９０の平面方向に移動させれば、検査用端子部９１１の略中央位置に検査用プローブ２４を接触させることができる（検査用端子部９１１の略中央位置を狙って検査用プローブ２４を高さ方向に動作させることができる）。したがって、検査用プローブ２４を確実に検査用端子部９１１に接触させることができる。
【００４７】
このように、本実施形態では、圧力センサ２２を用いたフィードバック制御や、検査用プローブ２４を液晶表示パネル９０の平面方向に移動させる移動ユニット２３により、欠陥判別手順における検査用プローブ２４と検査用端子部９１１の良好な電気的な接触状態を確実に実現できる。
【００４８】
検査用プローブ２４と検査用端子部９１１とが接触した後、制御手段は、検査用プローブ２４を介して液晶表示パネル９０に検査用信号を入力する。そして、この状態を維持したまま、点灯検査を行う。すなわち、目視や画像処理によって表示パネルの画像表示領域９０１における欠陥の有無を判別する。
【００４９】
欠陥が存在しなければ、プローブ駆動手段２０（プローブ駆動用エアシリンダ２１）を原位置に戻す。そして、一または複数のパネル押圧手段１０（押圧手段用エアシリンダ１１）を駆動させ、液晶表示パネル９０を別の形状に弾性変形させるパネル変形手順を行う。そして、この弾性変形した状態を維持したまま、上記と同様の欠陥判別手順を行う。これを繰り返して検査が終了する。すなわち、予め点灯検査を行う液晶表示パネル９０の変形形状を設定し、この設定された液晶表示パネル９０の変形形状の全てについて点灯検査を行う。全ての変形形状についての点灯検査を行ったことをもって検査が終了する。
【００５０】
次に、パネル押圧手段１０の動作手順（パネル変形手順）の好適な一例について説明する。この好適な一例にかかるパネル変形手順は、第一手順〜第四手順を含むものである。すなわち、液晶表示パネル９０を四種類の形状に弾性変形させ、各変形状態にある液晶表示パネル９０について点灯検査（欠陥判別手順）を行う）ものである。
【００５１】
第一手順は、図５に示すように、表示パネルの上側および下側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の所定部分（図５（ｂ）においてＰで示す部分）を同時に押圧する工程である。これにより、表示パネルがその左右方向に弾性変形する。具体的には、表示パネルの上側縁および下側縁が低くなる方向に移動し、表示パネルの上下方向における略中央部が最も高くなった状態となる。この後、点灯検査（欠陥判別手順）を行い、かかる変形状態における欠陥の有無を判別する。
【００５２】
第二手順は、図６に示すように、表示パネルの左側および右側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の所定部分（図６（ｂ）においてＰで示す部分）を同時に押圧する工程である。これにより、表示パネルがその上下方向に弾性変形する。具体的には、表示パネルの左側縁および右側縁が低くなる方向に移動し、表示パネルの左右方向における略中央部が最も高くなった状態となる。この後、点灯検査（欠陥判別手順）を行い、かかる変形状態における欠陥の有無を判別する。
【００５３】
第三手順は、図７に示すように、表示パネルの左上の角を挟むように位置する二箇所の所定部分および右下の角を挟むように位置する二箇所の所定部分（図７（ｂ）においてＰで示す計四箇所）を同時に押圧する工程である。これにより、表示パネルがその右上の角から左下の角に延びる対角線方向に弾性変形する。具体的には、表示パネルの左上の角および右上の角が低くなる方向に移動し、表示パネルの右上の角から左下の角に延びる対角線に沿った部分が最も高くなった状態となる。この後、点灯検査（欠陥判別手順）を行い、かかる変形状態における欠陥の有無を判別する。
【００５４】
第四手順は、図８に示すように、表示パネルの右上の角を挟むように位置する二箇所の所定部分および左下の角を挟むように位置する二箇所の所定部分（図８（ｂ）においてＰで示す計四箇所）を同時に押圧する工程である。これにより、表示パネルがその左上の角から右下の角に延びる対角線方向に弾性変形する。具体的には、表示パネルの右上の角および左の角が低くなる方向に移動し、表示パネルの左上の角から右下の角に延びる対角線に沿った部分が最も高くなった状態となる。この後、点灯検査（欠陥判別手順）を行い、かかる変形状態における欠陥の有無を判別する。
【００５５】
なお、かかるパネル押圧手段１０の動作手順は、第一手順、第二手順、第三手順、第四手順の順に行わなければならないものではなく、その順序は変更可能である。
【００５６】
以上説明したパネル押圧手段１０の動作手順では、表示パネルを上下方向、左右方向、および、二つの対角線方向に変形させ、各変形状態において欠陥が存在しないか点灯検査を行う。したがって、一の変形状態のみの点灯検査では発見できないおそれのある不良を発見することができる。
【００５７】
なお、かかるパネル押圧手段１０の動作手順はあくまで好適な一例である。液晶表示パネル９０の弾性変形した状態が、液晶表示パネル９０がベゼルなどから構成される表示装置の枠体に組み込んだ場合の状態と類似した状態となるようにする構成であれば、押圧部材１２によって押圧される位置や圧力、その順序等は適宜変更可能である。
【００５８】
（本実施形態の効果）
以上説明した本実施形態にかかる検査装置１（液晶表示パネルの検査方法）によれば、次のような作用効果が奏される。
【００５９】
本発明にかかる液晶表示パネルの検査装置１は、画像表示領域９０１の外側の領域９０２における所定部分を押圧するパネル押圧手段１０を備えているため、パネルを弾性変形させた状態（所定の形状に撓ませた状態）で検査用プローブ２４を接触させること（点灯検査を行うこと）ができる。したがって、従来であれば微少な歪みが生ずる表示装置となって初めて顕在化していた異物の混入による不良などを、液晶表示パネル９０の状態で発見することができる。これにより、検査の信頼性が向上するとともに、表示装置の製造コスト（検査コスト）低減につながる。
【００６０】
また、パネル押圧手段１０は、液晶表示パネル９０の複数箇所の所定部分を選択的に押圧可能に構成されているため、液晶表示パネル９０を様々な形状に弾性変形させることができる。そのため、異物の混入による不良がより確実に検出される。つまり、検査の信頼性がさらに向上する。
【００６１】
また、上記実施形態のように、パネル押圧手段１０が、液晶表示パネル９０を二分する中央線Ｃｘ、Ｃｙを対称軸として上下左右対称となるように設けられた計八箇所の所定部分を選択的に押圧可能に構成されていれば、液晶表示パネル９０をその上下方向、左右方向、二つの対角線方向に弾性変形させた状態で検査用プローブ２４を接触させることができる。
【００６２】
また、検査装置１は、液晶表示パネル９０を弾性変形させた状態で検査用プローブ２４を接触させるものであるから、液晶表示パネル９０の変形状態（変形量など）によって、液晶表示パネル９０（検査用端子部９１１）と各検査用プローブ２４との距離が変化する。したがって、検査時に検査用プローブ２４が液晶表示パネル９０の方向に向けて常に同じ動作をするようにプローブ駆動手段２０を構成すると、検査用プローブ２４と検査用端子部９１１の距離が近い場合には検査用プローブ２４に過大な力が掛かって検査用プローブ２４が破損してしまい、検査用プローブ２４と検査用端子部９１１の距離が遠い場合には検査用プローブ２４と検査用端子部９１１との良好な電気的な接触状態が得られないなどの不具合が発生するおそれがある。これに対し本実施形態では、圧力センサ２２によって検査用プローブ２４が検査用端子部９１１から受ける力が所定の範囲内（検査用プローブ２４が破損してしまうおそれがなく、かつ、検査用プローブ２４と検査用端子部９１１との良好な電気的な接触状態が得られる圧力範囲内）になるように制御されるため、液晶表示パネル９０を弾性変形させた状態で検査することによって生ずる不具合の発生が防止される。
【００６３】
また、本実施形態では、検査用プローブ２４を動作させるアクチュエータとしてエアシリンダを採用しているため、エアシリンダに供給する空気圧を調整することにより、検査用端子部９１１から受ける力が所定の範囲内になるよう制御される。このように、プローブ駆動手段２０の構成が容易であり、かつ、検査用プローブ２４の圧力制御も容易である。
【００６４】
また、上記構成は、液晶表示パネル９０を弾性変形させた状態で検査用の検査用プローブ２４を接触させるものであるから、液晶表示パネル９０の変形状態（変形量など）によって、液晶表示パネル９０の平面方向における検査用端子部９１１の位置が微妙に変化する。これに対し本実施形態では、検査用プローブ２４を液晶表示パネル９０の平面方向に移動させる移動ユニット２３が設けられているため、液晶表示パネル９０の弾性変形によって液晶表示パネル９０の平面方向における検査用端子部９１１の位置が変化する場合であっても、検査用プローブ２４が検査用端子部９１１の略中央に接触するように液晶表示パネル９０の平面方向における検査用プローブ２４の位置を調整することができる。つまり、検査用プローブ２４と検査用端子部９１１とを確実に電気的に接触させることができる。
【００６５】
一方、本実施形態にかかる液晶表示パネルの検査方法は、パネルを弾性変形させた状態で検査用プローブ２４を接触させている（点灯検査を行う）ため、従来であれば微少な歪みが生ずる表示装置となって初めて顕在化していた異物の混入による不良などを、液晶表示パネル９０の状態で発見することができる。これにより、検査の信頼性が向上するとともに、液晶表示装置の製造コスト（検査コスト）低減につながる。
【００６６】
また、本実施形態にかかる検査方法では、上記第一手順〜第四手順によって所定の形状に弾性変形した液晶表示パネル９０のそれぞれについて、上記欠陥判別手順を行う。つまり、様々な状態に液晶表示パネル９０を変形させて点灯検査を行うため、検査の信頼性が向上する。
【００６７】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
【００６８】
例えば、上記検査装置１（検査方法）は、被検査体の例として液晶表示パネル９０を挙げて説明したが、その他の表示パネルの検査装置（検査方法）に適用することも可能である。
【００６９】
また、パネル押圧手段１０やプローブ駆動手段２０に用いるアクチュエータは、エアシリンダ以外のアクチュエータを採用することも可能である。なお、プローブ駆動手段２０に用いるアクチュエータは、検査用プローブ２４が進退動作する距離（検査用プローブ２４が検査用端子部９１１に接触する圧力）を制御可能なものとする必要がある。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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