(57)【要約】  収納されたウェハの飛び出し、及びウェハからの発塵が抑制可能なウェハ収納具を提供する。  ウェハ収納具（１）は、ウェハ（Ｗ）が収納される収納部（１１０）を備えたウェハカセット（１００）と、ウェハカセット（１００）が収納される収納ケース（２００）とを含む。収納ケース（２００）は、ウェハカセット（１００）の収納部（１１０）が収納ケース（２００）の底に対して３７°乃至４５°の角度（θａ）で傾斜するようにウェハカセット（１００）を支持する支持部（２１４）を備える。
2012036206.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハが収納される収納部を備えたウェハカセットと、
前記ウェハカセットが収納される収納ケースと、
を含み、
前記収納ケースは、前記収納部が前記収納ケースの底に対して３７°乃至４５°の角度で傾斜するように前記ウェハカセットを支持する支持部を備えることを特徴とするウェハ収納具。
【請求項２】
前記収納部は、
前記ウェハを挿入する挿入口と、
挿入される前記ウェハが載置される載置部と、
挿入される前記ウェハの挿入方向先端部が当接する当接部と、
を有し、
前記ウェハカセットは、前記挿入口が前記収納ケースの底に対して前記角度で上方に向くように前記収納ケースに収納され、前記支持部で支持されることを特徴とする請求の範囲第１項に記載のウェハ収納具。
【請求項３】
前記収納ケースは、
前記支持部が設けられた箱部と、
前記箱部に開閉自在に設けられた蓋部と、
を有し、
前記支持部で支持された前記ウェハカセットは、前記蓋部が閉じられることで形成される前記箱部と前記蓋部の間の密閉空間に収納されることを特徴とする請求の範囲第１項又は第２項に記載のウェハ収納具。
【請求項４】
前記支持部は、前記収納ケースに収納される前記ウェハカセットと接触する接触面を有し、前記接触面で前記ウェハカセットを支持することを特徴とする請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかに記載のウェハ収納具。
【請求項５】
前記支持部は、前記収納ケースに収納される前記ウェハカセットと接触する線状の凸部を有し、前記線状の凸部で前記ウェハカセットを支持することを特徴とする請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかに記載のウェハ収納具。
【請求項６】
前記支持部は、前記収納ケースに収納される前記ウェハカセットと接触する点状の凸部を有し、前記点状の凸部で前記ウェハカセットを支持することを特徴とする請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかに記載のウェハ収納具。
【請求項７】
ウェハを収納し底面と当該底面に垂直な側面とを有するウェハカセットを収納する、ウェハカセットの収納ケースにおいて、
前記ウェハカセットを傾斜させて支持する第１の支持部と、前記第１の支持部に直交する第２の支持部とを有し、前記第１の支持部は、収納ケースの底面に対して３７°乃至４５°の角度で傾斜していることを特徴とするウェハカセットの収納ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハの収納に用いるウェハ収納具、及びウェハを収納するウェハカセットの収納ケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野では、ウェハを製造装置間で搬送したり、製造装置による処理後のウェハを保管したりする際に、ウェハを収納する収納具が用いられる場合がある。例えば、ウェハを収納するキャリアをキャリア台上に設け、そのキャリアをカバーで覆うようにしたものや、キャリアを傾斜させることによってウェハを傾斜させて収納するようにしたもの等が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１５４７００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ウェハの収納具では、その搬送時に、ウェハを収納している収納部からウェハが飛び出したり、収納部とウェハとが擦れてウェハから発塵したりする可能性があった。ウェハを傾斜させて収納することは、このようなウェハの飛び出しや発塵を抑えるのに一定の効果を示し得る。しかし、収納時のウェハの傾斜角度等、その収納具の形態によっては、ウェハの飛び出しや発塵を十分に抑えられない場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一観点によれば、ウェハが収納される収納部を備えたウェハカセットと、前記ウェハカセットが収納される収納ケースと、を含み、前記収納ケースは、前記収納部が前記収納ケースの底に対して３７°乃至４５°の角度で傾斜するように前記ウェハカセットを支持する支持部を備えるウェハ収納具が提供される。【０００６】
また、本発明の一観点によれば、ウェハを収納し底面と当該底面に垂直な側面とを有するウェハカセットを収納する、ウェハカセットの収納ケースにおいて、前記ウェハカセットを傾斜させて支持する第１の支持部と、前記第１の支持部に直交する第２の支持部とを有し、前記第１の支持部が、収納ケースの底面に対して３７°乃至４５°の角度で傾斜しているウェハカセットの収納ケースが提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係るウェハ収納具によれば、収納部からのウェハの飛び出し、収納部に収納されたウェハからの発塵を、効果的に抑制することが可能になる。
また、本発明に係るウェハカセットの収納ケースによれば、ウェハカセットからのウェハの飛び出し、ウェハカセットに収納されたウェハからの発塵を、効果的に抑制することが可能になる。【０００８】
本発明の上記および他の目的、特徴および利点は本発明の例として好ましい実施の形態を表す添付の図面と関連した以下の説明により明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】ウェハ収納具の説明図である。
【図２】ウェハカセットの説明図である。
【図３】収納ケースの説明図である。
【図４】収納ケースにウェハカセットを収納した状態の一例を示す図である。
【図５】収納部傾斜角度と発塵数との関係の一例を示す図である。
【図６】傾斜角度４５°の収納部に収納されたウェハの収納状態の一例を模式的に示す図である。
【図７】収納部傾斜角度と発塵数との関係の別例を示す図である。
【図８】収納ケースの変形例の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１はウェハ収納具の説明図である。ここで、図１（Ａ）は開状態のウェハ収納具の一例を模式的に示す図、図１（Ｂ）は閉状態のウェハ収納具の一例を模式的に示す図である。
【００１１】
図１に例示するウェハ収納具１は、シリコン等のウェハが収納されるウェハカセット１００と、そのウェハカセット１００が収納される収納ケース２００とを有している。ウェハカセット１００は、傾けた姿勢で収納ケース２００に収納されるようになっている。ここでは、収納ケース２００に、２つのウェハカセット１００が収納されている状態を例示している。
【００１２】
収納ケース２００は、箱部２１０と、その箱部２１０に開閉（図１（Ａ）の矢印方向）自在に設けられた蓋部２２０とを有している。収納ケース２００には、閉状態とされた箱部２１０と蓋部２２０とを連結して閉状態を維持するための連結部２３０が設けられている。
【００１３】
以下、このようなウェハ収納具１のウェハカセット１００及び収納ケース２００について、より詳細に説明する。尚、ここでは、収納するウェハとして、裏面研削（バックグラインド）により薄型化され、エッジがいわゆるナイフエッジとされたウェハを例にして説明する。
【００１４】
まず、収納ケース２００に収納されるウェハカセット１００について説明する。
図２はウェハカセットの説明図である。ここで、図２（Ａ）はウェハカセットの一例の外観模式図、図２（Ｂ）は（Ａ）の一点鎖線Ｌ１に沿った断面をｘ方向に見たときの断面模式図、図２（Ｃ）は（Ａ）の二点鎖線Ｌ２に沿った断面をｙ方向に見たときの断面模式図である。
【００１５】
図２に例示するウェハカセット１００には、ウェハＷを収納する収納部１１０が設けられている。ウェハカセット１００には、このような収納部１１０が複数設けられており、各収納部１１０にそれぞれ、ウェハＷを収納することができるようになっている。複数の収納部１１０は、ウェハカセット１００の底面１３１と平行に設けられ、各収納部１１０にそれぞれウェハＷが収納されたときには、それらのウェハＷがウェハカセット１００内に平行に収納されるようになっている。尚、図２には、便宜上、一の収納部１１０に収納された１枚のウェハＷのみを図示している。
【００１６】
収納部１１０は、図２（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、ウェハＷがｚ方向に向かって挿入される挿入口１１１と、挿入されたウェハＷが載置される載置部１１２とを有している。載置部１１２は、ウェハカセット１００の筐体部１２０の内側に突出するように、各収納部１１０につき一対設けられており、ウェハＷは、その縁部を載置部１１２に支持された状態で載置される。
【００１７】
また、収納部１１０には、図２（Ｂ），（Ｃ）に示すように、ウェハＷの挿入方向奥側に、筐体部１２０の内側に向かって湾曲した当接部１１３が設けられている。挿入口１１１からｚ方向に向かって挿入され、載置部１１２に載置されたウェハＷは、その後のウェハカセット１００の振動や傾斜により、その挿入方向の先端部が当接部１１３に当接したときは、それ以上奥側（背面１３２側）に移動しないようになっている。
【００１８】
即ち、このウェハカセット１００は、収納部１１０へのウェハＷの収納、及び収納されたウェハＷの収納部１１０からの取り出しが、いずれも挿入口１１１から行われるようになっている。尚、挿入口１１１から挿入して載置部１１２に載置するウェハＷの収納、及び収納されたウェハＷの挿入口１１１からの取り出しは、例えば、半導体製造装置が備える搬送アームによって行われる。
【００１９】
ウェハカセット１００の収納部１１０の数は、任意に設定することができる。各収納部１１０の幅ｗ及び高さｈは、収納するウェハＷのサイズ（径及び厚さ）に基づいて設定される。例えば、上記のような搬送アームによる収納（挿入、載置）、或いは収納部１１０からの取り出しの際に、ウェハＷと収納部１１０との衝突が生じないような幅ｗ及び高さｈに設定される。
【００２０】
また、ウェハＷを薄型化した場合には、そのような薄型化したウェハＷを用いた半導体装置の製造過程において、そのウェハＷにしばしば反りが発生することがある。ウェハカセット１００については、そのようなウェハＷの反りの発生を考慮した収納部１１０の幅ｗ及び高さｈ、更には載置部１１２の突出量ｐを設定してもよい。
【００２１】
上記のような構成を有するウェハカセット１００は、アルミニウムやアルミニウム合金等の金属で形成することができる。例えば、そのような金属の研削加工、鋳造等により、上記のような構造を有するウェハカセット１００を形成することが可能である。
【００２２】
尚、ウェハカセット１００の収納部１１０の内面は、例えば、収納するウェハＷよりも硬質な材料を用いて形成する。
収納部１１０の内面をウェハＷより軟質な材料を用いて形成した場合には、ウェハカセット１００の使用に伴い、ウェハＷとの接触で収納部１１０の内面が削れ、収納部１１０ごとにウェハＷの当接位置にずれが生じることが起こり得る。また、削れた材料がウェハＷに付着してしまうことも起こり得る。
【００２３】
更にまた、収納されたウェハＷのエッジが、そのような軟質の収納部１１０の内面に食い込んでしまうことも起こり得る。その場合、例えば、搬送アームを使ってウェハＷを収納部１１０から取り出す際に、その搬送アームが載置部１１２のウェハＷを一旦持ち上げ、それからそのウェハＷを挿入口１１１から引き出すような動作をする場合には、ウェハＷの持ち上げ動作のときに、ウェハＷが食い込みに引っ掛かって破損してしまう可能性がある。
【００２４】
このような観点から、ウェハカセット１００は、例えば、樹脂等の軟質な材料よりは硬質な材料であって、ナイフエッジ化したウェハＷが突き刺さらない程度の硬度の材料を用いて形成される。また、ウェハカセット１００として加工しやすい材料を選択すればよい。例えばアルミニウム材等が好適である。更に表面をアルマイト処理することで、硬度を高めることもできる。
【００２５】
続いて、ウェハカセット１００が収納される収納ケース２００について説明する。
図３は収納ケースの説明図である。ここで、図３（Ａ）は開状態の収納ケースの一例の外観模式図、図３（Ｂ）は閉状態の収納ケースの一例の外観模式図、図３（Ｃ）は（Ｂ）の一点鎖線Ｌ３に沿った断面の模式図である。
【００２６】
上記のように、収納ケース２００は、箱部２１０、蓋部２２０及び連結部２３０を有している。
箱部２１０は、例えば、底部２１１、側壁部２１２、及び上方に開いた開口２１３を有する箱状の容器である。
【００２７】
蓋部２２０は、その箱部２１０の開口２１３を開閉する部材であって、ここでは箱状の部材を例示している。例えば、蓋部２２０の一端を箱部２１０の側壁部２１２に軸支し、その蓋部２２０を一方向（図３（Ａ）の矢印方向）に回動させることで、箱部２１０の開閉を行う。或いは、蓋部２２０全体を箱部２１０の開口２１３側に脱着できるようにし、蓋部２２０の脱着によって箱部２１０の開閉を行うようにしてもよい。収納ケース２００では、蓋部２２０が閉じられることで、例えば、箱部２１０と蓋部２２０の間に密閉空間が形成される。
【００２８】
また、連結部２３０は、蓋部２２０と、蓋部２２０で閉じられた箱部２１０とを連結し、図３（Ｂ）のような閉状態を維持するための機構を備える。
更に、収納ケース２００には、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示したように、箱部２１０の底部２１１に対して所定の角度θａ，θｂでそれぞれ傾斜した第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂを備える支持部２１４が設けられている。これら第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂは、境界線２１４ｃからそれぞれ角度θａ，θｂで斜め上方に向かってＶ字状に傾斜している。支持部２１４は、このように第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂを開口２１３側に向けて、箱部２１０に設けられている。
【００２９】
箱部２１０には、このような支持部２１４が、少なくとも１つ設けられる。図３（Ａ），（Ｂ）には、このような支持部２１４が２つ、並設されている場合を例示している。
収納ケース２００は、例えば、樹脂材料を用い、射出成型等の方法で形成することができる。
【００３０】
このような構成を有する収納ケース２００に、上記のウェハカセット１００が収納される。尚、この例では、並設された２つの支持部２１４のそれぞれに１つずつウェハカセット１００が載置される。
【００３１】
図４は収納ケースにウェハカセットを収納した状態の一例を示す図である。ここで、図４（Ａ）には収納ケースの蓋部が開いている状態を示し、図４（Ｂ）には収納ケースの蓋部が閉じている状態を示している。
【００３２】
ウェハカセット１００を収納ケース２００に収納する際、ウェハカセット１００は、図４（Ａ）に示すように、収納ケース２００の、Ｖ字状に第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂを設けた支持部２１４上に載置される。
【００３３】
このときウェハカセット１００は、ウェハＷの出し入れが行われる挿入口１１１が斜め上方（開口２１３側）を向くように、支持部２１４上に載置される。即ち、ウェハカセット１００の底面１３１と背面１３２が、支持部２１４のＶ字状の第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂと対向するように、ウェハカセット１００が支持部２１４上に載置される。ウェハカセット１００は、その底面１３１と背面１３２を、第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂで支持されて、支持部２１４上に載置される。
【００３４】
支持部２１４の第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂは、このようにウェハカセット１００が載置されたときに、ウェハカセット１００の底面１３１と背面１３２が、第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂと接触するように、予め角度θａ，θｂが設定される。尚、ウェハカセット１００の底面１３１と背面１３２のなす角度θｗと、第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂの角度θａ，θｂとの間には、次式（１）の関係が成立する。
【００３５】
θｗ＝１８０°−（θａ＋θｂ）・・・（１）
上記のようにウェハカセット１００の挿入口１１１を斜め上方に向けて載置する場合において、ここでは、図４（Ａ）に示したように、ウェハカセット１００の底面１３１が支持部２１４の第１の面２１４ａと接触する場合を例にする。この場合、ウェハカセット１００の、底面１３１に平行に設けられた収納部１１０は、第１の面２１４ａと同じ角度θａで、挿入口１１１を斜め上方に向けて、傾斜した状態になる。
【００３６】
図４（Ａ）に示したようにウェハカセット１００を支持部２１４上に載置した後は、図４（Ｂ）に示したように、蓋部２２０によって箱部２１０に蓋をする。これにより、ウェハカセット１００が、収納ケース２００の箱部２１０と蓋部２２０の間の空間内に収納される。このとき、箱部２１０と蓋部２２０の間に密閉空間が形成されるようにしておき、そのような密閉空間にウェハカセット１００を収納すれば、ウェハカセット１００内のウェハＷを、収納ケース２００外部の環境から保護することができる。
【００３７】
このように収納ケース２００にウェハカセット１００が収納されたウェハ収納具１を、ウェハＷの搬送のために使用したり、ウェハＷの保管に使用したりすることができる。
ウェハ収納具１では、ウェハＷの収納部１１０をその挿入口１１１が斜め上方に向くように傾斜させて、ウェハカセット１００を支持部２１４上に載置するため、ウェハ収納具１の搬送時に振動や傾斜が生じたとしても、ウェハＷの挿入口１１１からの飛び出しが抑制される。更に、収納部１１０の傾斜角度（第１の面２１４ａの角度θａ）を調整することにより、ウェハＷからの発塵も効果的に抑制することが可能になる。
【００３８】
ここで、ウェハカセット１００の収納部１１０の傾斜角度について説明する。
ウェハカセット１００の収納部１１０の傾斜角度と、ウェハＷからの発塵数の関係を調査するため、ウェハＷを収納した収納部１１０を所定の角度で傾斜させたウェハカセット１００を台車で搬送し、そのときのウェハＷからの発塵数を測定した。このような搬送と発塵数の測定を、収納部１１０の傾斜角度を変えて、行った。尚、収納部１１０の傾斜角度を除く条件（用いる台車、台車による搬送方法（搬送速度、搬送経路等）、ウェハＷのウェハカセット１００内での収納位置等）は同じにしている。
【００３９】
図５は収納部傾斜角度と発塵数との関係の一例を示す図である。
図５には、ウェハカセット１００の収納部１１０の傾斜角度が０°，４５°，９０°のそれぞれの場合での、ウェハＷからの発塵数を示している。ここで、傾斜角度０°とは、収納部１１０を水平方向にした場合（挿入口１１１が横向きになるようにした場合）であり、傾斜角度９０°とは、収納部１１０を鉛直方向にした場合（挿入口１１１が鉛直上向きになるようにした場合）である。また、傾斜角度４５°とは、収納部１１０を水平方向に対して４５°傾けた場合（挿入口１１１が水平方向に対して４５°斜め上方に向くようにした場合）である。
【００４０】
まず、収納部１１０の傾斜角度を０°とした場合、ウェハＷは、その主面が水平方向と平行になるように、収納部１１０に収納される。この場合、この例での搬送条件では、ウェハＷは、収納部１１０の内面、例えば当接部１１３等に衝突する機会が少なく、また、衝突してもその力が弱いために、図５に示すように、ウェハＷからの発塵数が少なく抑えられる。但し、ウェハＷをこのような向きで収納している場合には、挿入口１１１からのウェハＷの飛び出しが起こり易くなるため、ウェハＷが収納部１１０外に飛び出して破損する可能性が高まる。
【００４１】
これに対し、収納部１１０の傾斜角度を９０°とした場合、ウェハＷは、その主面が鉛直方向と平行になり、その自重により、エッジ（下端）が当接部１１３に当接した状態で、収納部１１０に収納される。そのため、傾斜角度を０°としたときのようにウェハＷが収納部１１０から飛び出してしまうのを、防止することができる。
【００４２】
しかし、このように収納部１１０の傾斜角度を９０°とした場合、ウェハＷは、ウェハカセット１００が振動すると、その振動に伴って上下動し、エッジが収納部１１０の当接部１１３に衝突することが起こり易くなる。ウェハカセット１００の振動が大きければ、その分、ウェハＷのエッジが当接部１１３に強く衝突するようになる。また、収納部１１０のサイズがウェハＷのサイズよりも大きいため、ウェハカセット１００の振動時にウェハＷが横方向（主面と平行方向或いは主面と垂直方向）にも動き易く、ウェハＷが当接部１１３に偏って衝突し、ウェハＷに局所的に強い衝撃が加わることも起こり得る。このようにウェハＷが当接部１１３に衝突することで、ウェハＷのエッジが摩耗したり破損したりして、発塵が起こる。収納部１１０の内面をウェハＷよりも硬質の材料で形成している場合には、このような発塵が一層起こり易くなる。
【００４３】
このようなことから、収納部１１０の傾斜角度を９０°とした場合には、図５に示したように、ウェハＷからの発塵数が多くなってしまう。
一方、収納部１１０の傾斜角度を４５°とした場合、ウェハＷは、その主面が水平方向対して４５°或いは４５°に近い角度で傾斜した状態で、収納部１１０に収納される。
【００４４】
図６は傾斜角度４５°の収納部に収納されたウェハの収納状態の一例を模式的に示す図である。尚、図６は収納部の当接部位置での断面を模式的に例示するものであって、図２（Ｃ）のＬ４−Ｌ４断面の位置に相当する。
【００４５】
収納部１１０の傾斜角度を４５°とした場合、ウェハＷは、その自重により、エッジ（下端）が当接部１１３に当接し、そのエッジを当接部１１３で支持される。更に、このウェハＷは、その自重により載置部１１２側にも当接するため、裏面の少なくとも一部を載置部１１２で支持される。
【００４６】
ウェハＷは、収納部１１０内でこのように支持されることで、ウェハカセット１００が振動しても、収納部１１０の傾斜角度を９０°としたときに比べ、収納部１１０内で動き難くなる。そのため、収納部１１０の内面とウェハＷとの衝突の機会が減少し、発塵が抑えられるようになる。更に、ウェハＷのエッジ（ナイフエッジ先端）が、収納部１１０における筐体部１２０の内面と載置部１１２の表面とが連続する湾曲面１１４に対して垂直に接し易くなることによっても、発塵が抑えられるようになる。
【００４７】
また、収納部１１０の傾斜角度を４５°にすることで、収納部１１０の傾斜角度を０°としたときのように収納部１１０からウェハＷが飛び出してしまうのを、効果的に抑制することができる。
【００４８】
図７は収納部傾斜角度と発塵数との関係の別例を示す図である。
図７には、代表例として、ウェハカセット１００の収納部１１０の傾斜角度を１０°，２０°，３０°，３７°，４５°にして、上記図５について述べたのと同様の調査を各傾斜角度について行った結果を示している。
【００４９】
図７より、収納部１１０の傾斜角度を４５°にすることで、発塵を再現性良く抑えることができる。収納部１１０の傾斜角度を３７°とした場合も同様に、発塵は再現性良く抑えられている。一方、収納部１１０の傾斜角度を１０°，２０°，３０°とした場合には、発塵数が大幅に増加し、発塵を抑えることができない。
【００５０】
３７°〜４５°の間の傾斜角度についても、傾斜角度を３７°，４５°としたときと同様に、発塵数を一定レベル以下に再現性良く抑えることができる。発塵数及び再現性の観点から、収納部１１０の傾斜角度は３７°〜４５°に設定することが可能であり、好ましくは、発塵を再現性良く効果的に抑えることのできる４５°に設定する。
【００５１】
このように、ウェハカセット１００の収納部１１０を、３７°〜４５°の角度で傾斜させることで、収納部１１０からのウェハＷの飛び出し、及びウェハＷからの発塵を効果的に抑えることが可能になる。
【００５２】
図４に例示したように、ここではウェハカセット１００の底面１３１を支持部２１４の第１の面２１４ａと接触させるようにするため、第１の面２１４ａの角度θａは、収納部１１０を傾斜させる角度３７°〜４５°に設定される。ウェハカセット１００の背面１３２が接触することとなる第２の面２１４ｂの角度θｂは、ウェハカセット１００の底面１３１と背面１３２の角度θｗ（通常は９０°）に応じ、上記の式（１）に従って、設定される。そして、このような角度θａ，θｂの第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂを有する支持部２１４を設けた収納ケース２００が形成される。
【００５３】
このように、収納ケース２００には、３７°〜４５°の角度θａの第１の面２１４ａと、角度θａに基づいて決定される角度θｂの第２の面２１４ｂとを有する支持部２１４を設けておく。それにより、ウェハカセット１００を収納ケース２００の支持部２１４の上に、底面１３１が第１の面２１４ａに接触し、背面１３２が第２の面２１４ｂに接触するようにして載置したときには、収納部１１０が３７°〜４５°の角度θａで傾斜した状態が得られる。その結果、上記のように、収納部１１０からのウェハＷの飛び出し、及びウェハＷからの発塵が効果的に抑えられるようになる。
【００５４】
また、このように３７°〜４５°の角度θａで収納部１１０を傾斜させたときには、いずれの収納部１１０においても、ウェハＷがその自重により収納部１１０の奥側へと滑り、ウェハＷのエッジが当接部１１３に当接するようになる。即ち、いずれのウェハＷも、当接部１１３に当接した状態でウェハ収納具１に収納されるようになる。
【００５５】
例えば、製造装置による処理を行う際、ウェハカセットの複数の収納部にそれぞれ収納されているウェハを、搬送アームで取り出す場合を想定する。この場合、仮に各ウェハの位置が収納部によって異なっていると、搬送アームがウェハを把持することができなかったり、ウェハとウェハカセットや製造装置との衝突を招いたりする可能性がある。例えば、上記のウェハカセット１００を、その収納部１１０を水平方向に向けて、或いは水平方向に近い角度に傾けて搬送を行ったような場合には、各収納部１１０でウェハＷの位置に違いが生じ易く、上記のような搬送アームによる搬送時の不具合が発生してしまう可能性がある。
【００５６】
これに対し、上記のようなウェハ収納具１を用いると、ウェハカセット１００が収納ケース２００に収納されているときに、複数枚のウェハＷを当接部１１３に当接した状態でウェハカセット１００の収納部１１０に収納することができる。そのため、いずれのウェハＷも収納部１１０内の同等の位置に置かれているため、収納ケース２００から取り出したウェハカセット１００から、搬送アームでウェハＷを取り出す際、上記のような搬送時の不具合を効果的に抑えることが可能になる。
【００５７】
尚、以上の説明では、ウェハカセット１００を、その底面１３１を第１の面２１４ａに接触させ、背面１３２を第２の面２１４ｂに接触させて、収納ケース２００に収納する場合を例にして説明した。このほか、ウェハカセット１００を、その底面１３１を第２の面２１４ｂに接触させ、背面１３２を第１の面２１４ａに接触させて、収納ケース２００に収納することも可能である。その場合には、第２の面２１４ｂの角度θｂを、収納部１１０を傾斜させる角度３７°〜４５°に設定し、式（１）を用いて第１の面２１４ａの角度θａを設定するようにすればよい。
【００５８】
また、以上の説明では、ウェハカセット１００を支持する支持部２１４に、角度θａ，θｂの第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂを設ける場合を例にしたが、支持部２１４の構成はこの例に限定されるものではない。
【００５９】
図８は収納ケースの変形例の説明図である。ここで、図８（Ａ）は収納ケースの第１変形例を示す図、図８（Ｂ）は収納ケースの第２変形例を示す図である。
図８（Ａ）に示す収納ケース２００Ａは、各支持部２１４のウェハカセット１００載置面側に、並設された複数の線状の凸部２１５が設けられている。各凸部２１５は、支持部２１４の第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂに沿って設けられ、第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂから上端までの高さは一定としている。即ち、第１の面２１４ａ上の凸部２１５の上端２１５ａは、底部２１１に対して角度θａで傾斜しており、第２の面２１４ｂ上の凸部２１５の上端２１５ｂは、底部２１１に対して角度θｂで傾斜している。このような凸部２１５を設けた支持部２１４の上に、ウェハカセット１００がその収納部１１０の挿入口１１１が斜め上方を向くようにして載置される。
【００６０】
この図８（Ａ）に示したような収納ケース２００Ａでは、載置されるウェハカセット１００が、複数（ここでは２本）の凸部２１５の上端２１５ａ，２１５ｂで支持されることになる。即ち、ウェハカセット１００は、複数の線状の凸部２１５と接触し、所定の角度で傾斜した状態で、それら線状の凸部２１５によって支持される。
【００６１】
また、図８（Ｂ）に示す収納ケース２００Ｂは、各支持部２１４のウェハカセット１００載置面側に、複数の点状の凸部２１６が設けられている。各凸部２１６の、第１，第２の面２１４ａ，２１４ｂから上端までの高さは一定としている。即ち、第１の面２１４ａ上における複数の凸部２１６の上端を結んでできる平面は、底部２１１に対して角度θａで傾斜する平面となり、第２の面２１４ｂ上における複数の凸部２１６の上端を結んでできる平面は、底部２１１に対して角度θｂで傾斜する平面となる。このような凸部２１６を設けた支持部２１４の上に、ウェハカセット１００がその収納部１１０の挿入口１１１が斜め上方を向くようにして載置される。
【００６２】
この図８（Ｂ）に示したような収納ケース２００Ｂでは、載置されるウェハカセット１００が、複数（ここでは１面につき４つ）の凸部２１６の上端で支持されることになる。即ち、ウェハカセット１００は、複数の点状の凸部２１６と接触し、所定の角度で傾斜した状態で、それら点状の凸部２１６によって支持される。
【００６３】
以上説明したように、開示のウェハ収納具では、収納ケースにウェハカセットを収納したときに、そのウェハカセットのウェハ収納部が所定の角度で傾斜するようになる。その結果、ウェハカセットの収納部からのウェハの飛び出し、及び収納されているウェハからの発塵が、効果的に抑制されるようになる。
【００６４】
上記については単に本発明の原理を示すものである。さらに、多数の変形、変更が当業者にとって可能であり、本発明は上記に示し、説明した正確な構成および応用例に限定されるものではなく、対応するすべての変形例および均等物は、添付の請求項およびその均等物による本発明の範囲とみなされる。
【符号の説明】
【００６５】
１  ウェハ収納具
１００  ウェハカセット
１１０  収納部
１１１  挿入口
１１２  載置部
１１３  当接部
１１４  湾曲面
１２０  筐体部
１３１  底面
１３２  背面
２００，２００Ａ，２００Ｂ  収納ケース
２１０  箱部
２１１  底部
２１２  側壁部
２１３  開口
２１４  支持部
２１４ａ  第１の面
２１４ｂ  第２の面
２１４ｃ  境界線
２１５，２１６  凸部
２１５ａ，２１５ｂ  上端
２２０  蓋部
２３０  連結部
θａ，θｂ，θｗ  角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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