(57)【要約】  移動部（４３）が平行な姿勢を維持しつつ往復移動する平行移動装置（１０）は、弾性部（４１，４２）と、固定部（４４）と、移動部（４３）と、移動部（４３）に取り付けられ、電磁力を非接触で受けることによって移動部（４３）とともに往復移動する駆動受部（４５Ｍ）と、を備える。弾性部（４１，４２）および移動部（４３）によって、一端（４０ａ）が固定部（４４）に固定された平行板ばね構造（４０）が構成される。駆動受部（４５Ｍ）は、平行板ばね構造（４０）の移動部（４３）が共振周波数で振動するように上記電磁力を受ける。平行板ばね構造をその共振周波数で振動させる場合において、移動部における並進性を向上させることが可能となる。
2012140980.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動部（４３）が平行な姿勢を維持しつつ往復移動する平行移動装置（１０）であって、
平板状の部材からそれぞれ構成され、間隔を空けて互いに対向配置された第１弾性部（４１）および第２弾性部（４２）と、
前記第１弾性部および前記第２弾性部の各々の一端（４１ａ，４２ａ）が固定された固定部（４４）と、
前記第１弾性部および前記第２弾性部の各々の他端（４１ｂ，４２ｂ）同士を接続するように設けられた前記移動部（４３）と、
前記移動部に取り付けられ、電磁力を非接触で受けることによって前記移動部とともに往復移動する駆動受部（４５Ｍ）と、を備え、
前記第１弾性部（４１）、前記第２弾性部（４２）、および前記移動部（４３）によって、一端（４０ａ）が前記固定部（４４）に固定された平行板ばね構造（４０）が構成され、
前記駆動受部（４５Ｍ）は、前記平行板ばね構造（４０）の前記移動部（４３）が共振周波数で振動するように前記電磁力を受ける、
平行移動装置。
【請求項２】
前記駆動受部（４５Ｍ）は、磁石から構成される、
請求項１に記載の平行移動装置。
【請求項３】
前記駆動受部（４５Ｍ）は、前記移動部（４３）から見て前記平行板ばね構造（４０）の前記一端（４０ａ）側に取り付けられる、
請求項１に記載の平行移動装置。
【請求項４】
前記移動部（４３）は、前記第１弾性部（４１）および前記第２弾性部（４２）の間において前記平行板ばね構造（４０）の前記一端（４０ａ）側に向かって延在する延在部（４３Ｔ）を含み、
前記駆動受部（４５Ｍ）は、前記延在部（４３Ｔ）の延在方向の先端（４３Ｓ）に取り付けられる、
請求項１に記載の平行移動装置。
【請求項５】
前記駆動受部（４５Ｍ）は、前記第１弾性部（４１）および前記第２弾性部（４２）の長手方向において、前記第１弾性部（４１）および前記第２弾性部（４２）が弾性変形する領域（Ｒ４０）の中央部に位置する、
請求項４に記載の平行移動装置。
【請求項６】
前記延在部（４３Ｔ）は、前記移動部（４３）のうちの前記第１弾性部（４１）および前記第２弾性部（４２）の各々の前記他端（４１ｂ，４２ｂ）同士を接続する部位とは別体として作製され、前記部位に対して取付固定されている、
請求項４に記載の平行移動装置。
【請求項７】
前記延在部（４３Ｔ）の内部は中空状に形成され、
前記移動部（４３）は、前記移動部（４３）側から前記駆動受部（４５Ｍ）側に向かって延在する穴部（４３Ｈ）を有する、
請求項４に記載の平行移動装置。
【請求項８】
前記移動部（４３）の移動量が所定の範囲以内となるように前記移動部（４３）の移動を規制するストッパー（６８）をさらに備える、
請求項１に記載の平行移動装置。
【請求項９】
前記移動部（４３）には、前記駆動受部（４５Ｍ）が嵌め込まれる嵌合部（４３Ｍ，４３Ｎ）が設けられる、
請求項１に記載の平行移動装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の平行移動装置と、
前記平行板ばね構造（４０）の前記他端（４０ｂ）側の外表面（４０Ｓ）に露出するように設けられた移動鏡（１６）と、
固定鏡（１５）と、
光源（１２）と、
前記光源が出射した光を前記固定鏡に向かう光と前記移動鏡に向かう光とに分割するとともに、前記固定鏡および前記移動鏡の各々に反射した光を合成し干渉光として出射するビームスプリッタ（１４）と、
前記干渉光を検出する検出器（１８）と、を備える、
マイケルソン干渉計。
【請求項１１】
請求項１０に記載のマイケルソン干渉計と、
前記検出器が検出した前記干渉光のスペクトルを算出する演算部（２）と、
前記演算部によって得られた前記スペクトルを出力する出力部（３）と、を備える、
フーリエ変換分光分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動部が平行な姿勢を維持しつつ往復移動する平行移動装置、その平行移動装置を備えるマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えるフーリエ変換分光分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特開平０２−３０７０３７号公報（特許文献１）および特開昭６１−０８５６４０号公報（特許文献２）に開示されるように、平行板ばね構造が知られる。平行板ばね構造においては、一端側が固定され、他端側の移動部は平行な姿勢を維持しつつ往復移動する。特許文献１に開示される平行板ばね構造は、移動部の振動（励振）のために圧電素子が用いられる。特許文献２に開示される平行板ばね構造は、移動部の振動（励振）のために永久磁石が用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０２−３０７０３７号公報
【特許文献２】特開昭６１−０８５６４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、平行板ばね構造をその共振周波数で振動させる場合において、移動部における並進性を向上させることが可能な平行移動装置、その平行移動装置を備えるマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えるフーリエ変換分光分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に基づく平行移動装置は、移動部が平行な姿勢を維持しつつ往復移動する平行移動装置であって、平板状の部材からそれぞれ構成され、間隔を空けて互いに対向配置された第１弾性部および第２弾性部と、上記第１弾性部および上記第２弾性部の各々の一端が固定された固定部と、上記第１弾性部および上記第２弾性部の各々の他端同士を接続するように設けられた上記移動部と、上記移動部に取り付けられ、電磁力を非接触で受けることによって上記移動部とともに往復移動する駆動受部と、を備え、上記第１弾性部、上記第２弾性部、および上記移動部によって、一端が上記固定部に固定された平行板ばね構造が構成され、上記駆動受部は、上記平行板ばね構造の上記移動部が共振周波数で振動するように上記電磁力を受ける。【０００６】
好ましくは、上記駆動受部は、磁石から構成される。好ましくは、上記駆動受部は、上記移動部から見て上記平行板ばね構造の上記一端側に取り付けられる。好ましくは、上記移動部は、上記第１弾性部および上記第２弾性部の間において上記平行板ばね構造の上記一端側に向かって延在する延在部を含み、上記駆動受部は、上記延在部の延在方向の先端に取り付けられる。【０００７】
好ましくは、上記駆動受部は、上記第１弾性部および上記第２弾性部の長手方向において、上記第１弾性部および上記第２弾性部が弾性変形する領域の中央部に位置する。好ましくは、上記延在部は、上記移動部のうちの上記第１弾性部および上記第２弾性部の各々の上記他端同士を接続する部位とは別体として作製され、上記部位に対して取付固定されている。【０００８】
好ましくは、上記延在部の内部は中空状に形成され、上記移動部は、上記移動部側から上記駆動受部側に向かって延在する穴部を有する。好ましくは、本発明に基づく上記の平行移動装置は、上記移動部の移動量が所定の範囲以内となるように上記移動部の移動を規制するストッパーをさらに備える。好ましくは、上記移動部には、上記駆動受部が嵌め込まれる嵌合部が設けられる。【０００９】
本発明に基づくマイケルソン干渉計は、本発明に基づく上記の平行移動装置と、上記平行板ばね構造の上記他端側の外表面に露出するように設けられた移動鏡と、固定鏡と、光源と、上記光源が出射した光を上記固定鏡に向かう光と上記移動鏡に向かう光とに分割するとともに、上記固定鏡および上記移動鏡の各々に反射した光を合成し干渉光として出射するビームスプリッタと、上記干渉光を検出する検出器と、を備える。【００１０】
本発明に基づくフーリエ変換分光分析装置は、本発明に基づく上記のマイケルソン干渉計と、上記検出器が検出した上記干渉光のスペクトルを算出する演算部と、上記演算部によって得られた上記スペクトルを出力する出力部と、を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、平行板ばね構造をその共振周波数で振動させる場合において、移動部における並進性を向上させることが可能な平行移動装置、その平行移動装置を備えるマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えるフーリエ変換分光分析装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態１における平行移動装置、その平行移動装置を備えるマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えるフーリエ変換分光分析装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】実施の形態１における平行移動装置を示す斜視図である。
【図３】図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った矢視断面図である。
【図４】実施の形態１における平行移動装置が振動している様子を示す断面図である。
【図５】図４中のＶ−Ｖ線に沿った矢視断面図である。
【図６】（Ａ）は、実施の形態１における平行移動装置に用いられる位置検出装置が、往復移動の上死点に位置する弾性部の位置を検出している様子を示す断面図である。（Ｂ）は、実施の形態１における平行移動装置に用いられる位置検出装置が、往復移動の下死点に位置する弾性部の位置を検出している様子を示す断面図である。
【図７】弾性部が上死点および下死点の間で往復移動する際の、弾性部の往復移動方向における変位（横軸）と受光器から出力される出力信号の大きさ（縦軸）との関係を示す図である。
【図８】時間（横軸）と往復移動する弾性部から得られる出力信号の大きさ（縦軸）との関係を示す図である。
【図９】制御部が平行移動装置の駆動部を駆動周波数（横軸）で駆動させたときの機械的出力（出力信号）の大きさ（縦軸）と、制御部が平行移動機構の駆動部を所定の駆動信号で駆動させたときの駆動信号に対する機械的出力の位相（縦軸）と、を示す図である。
【図１０】図９中の周波数ｆ０（共振周波数）付近の図を拡大して示す図である。
【図１１】実施の形態２における平行移動装置を示す断面図である。
【図１２】実施の形態２における平行移動装置を示す斜視図である。
【図１３】実施の形態３における平行移動装置を示す断面図である。
【図１４】実施の形態３における平行移動装置を示す斜視図である。
【図１５】実施の形態４における平行移動装置を示す平面図である。
【図１６】図１５中のＸＶＩ−ＸＶＩ線に沿った矢視断面図である。
【図１７】実施の形態５における平行移動装置を示す平面図である。
【図１８】図１７中のＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ線に沿った矢視断面図である。
【図１９】実施の形態５における平行移動装置の他の例を示す平面図である。
【図２０】実施の形態６における平行移動装置を示す断面図である。
【図２１】実施の形態６における平行移動装置が振動している様子を示す断面図である。
【図２２】実施の形態７における平行移動装置の分解した状態を示す斜視図である。
【図２３】実施の形態７における平行移動装置の組み立てられた状態を示す斜視図である。
【図２４】実施の形態７における平行移動装置を示す断面図である。
【図２５】実施の形態８における平行移動装置の一部（ストッパー）を分解した状態を示す斜視図である。
【図２６】実施の形態８における平行移動装置の組み立てられた状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明に基づいた各実施の形態について、以下、図面を参照しながら説明する。各実施の形態の説明において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。各実施の形態の説明において、同一の部品、相当部品に対しては、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。特に制限が無い限り、各実施の形態に示す構成を適宜組み合わせて用いることは、当初から予定されていることである。
【００１４】
［実施の形態１］
（フーリエ変換分光分析装置１００・マイケルソン干渉計１）
図１を参照して、本実施の形態におけるフーリエ変換分光分析装置１００およびマイケルソン干渉計１について説明する。フーリエ変換分光分析装置１００は、マイケルソン干渉計１、演算部２、および出力部３を備えている。マイケルソン干渉計１は、平行移動装置１０、分光光学系１１、参照光学系２１、光路補正装置３１、位置検出装置７０、および制御部９０を含んでいる。
【００１５】
（分光光学系１１）
分光光学系１１は、光源１２、コリメート光学系１３、ビームスプリッタ１４、固定鏡１５、移動鏡１６、集光光学系１７、検出器１８、および平行移動装置１０を有している。
【００１６】
光源１２は、分光用の光源である。光源１２は、ハロゲンランプ等から構成され、赤外光等を含む広い波長のランプ光を出射する。光源１２が出射した光は、参照光学系２１（詳細は後述する）における光路合成鏡２３に導入され、参照光源２２（詳細は後述する）から出射された光と合成される。合成された光は光路合成鏡２３から出射され、コリメート光学系１３によって平行光に変換された後、ビームスプリッタ１４に導入される。ビームスプリッタ１４はハーフミラー等から構成される。ビームスプリッタ１４に導入された光（入射光）は２光束に分割される。
【００１７】
分割された光の一方は固定鏡１５に照射される。固定鏡１５の表面で反射した光（反射光）は、反射前と略同一の光路を通過してビームスプリッタ１４に再び照射される。分割された光の他方は移動鏡１６に照射される。移動鏡１６の表面で反射した光（反射光）は、反射前と略同一の光路を通過してビームスプリッタ１４に再び照射される。固定鏡１５からの反射光および移動鏡１６からの反射光は、ビームスプリッタ１４によって合成される（重ね合わせられる）。
【００１８】
ここで、分割された光の他方が移動鏡１６の表面で反射する際、移動鏡１６は平行移動装置１０によって平行を維持した状態で矢印ＡＲ方向に往復移動（並進移動）している（詳細は後述する）。移動鏡１６の往復移動によって、固定鏡１５からの反射光と移動鏡１６からの反射光との間には、光路長の差が生じる。固定鏡１５からの反射光と移動鏡１６からの反射光とは、ビームスプリッタ１４で合成されることによって干渉光を形成する。
【００１９】
移動鏡１６の位置に応じて光路長の差は連続的に変化する。光路長の差に応じて干渉光としての光の強度も連続的に変化する。光路長の差が、たとえば、コリメート光学系１３からビームスプリッタ１４に照射される光の波長の整数倍のとき、干渉光としての光の強度は最大となる。
【００２０】
干渉光を形成した光は試料Ｓに照射される。試料Ｓを透過した光は集光光学系１７によって集光される。集光された光は、参照光学系２１（詳細は後述する）における光路分離鏡２４に導入される。検出器１８は、光路分離鏡２４から出射された光を干渉パターン（インターフェログラム）として検出する。この干渉パターンは、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）等を含む演算部２に送られる。演算部２は、収集（サンプリング）した干渉パターンをアナログ形式からデジタル形式に変換し、変換後のデータをさらにフーリエ変換する。
【００２１】
フーリエ変換によって、試料Ｓを透過した光（干渉光）の波数（＝１／波長）毎の光の強度を示すスペクトル分布が算出される。フーリエ変換後のデータは、出力部３を通して他の機器に出力されたりディスプレイ等に表示されたりする。このスペクトル分布に基づいて、試料Ｓの特性（たとえば、材料、構造、または成分量）が分析される。
【００２２】
（参照光学系２１）
参照光学系２１は、コリメート光学系１３、ビームスプリッタ１４、固定鏡１５、移動鏡１６、集光光学系１７、参照光源２２、光路合成鏡２３、光路分離鏡２４、参照検出器２５、および信号処理部２６を有している。コリメート光学系１３、ビームスプリッタ１４、固定鏡１５、移動鏡１６、および集光光学系１７は、分光光学系１１および参照光学系２１の双方の構成として共通している。
【００２３】
参照光源２２は、半導体レーザ等の発光素子から構成され、赤色光等の光を出射する。上述のとおり、参照光源２２から出射された光は光路合成鏡２３に導入される。光路合成鏡２３はハーフミラー（波長選択性のあるミラー）等から構成される。光源１２から出射された光は光路合成鏡２３を透過する。参照光源２２から出射された光は光路合成鏡２３によって反射される。
【００２４】
光源１２からの光および参照光源２２からの光は、光路合成鏡２３によって合成された状態で、光路合成鏡２３から同一光路上に出射される。光路合成鏡２３から出射された光は、コリメート光学系１３によって平行光に変換された後、ビームスプリッタ１４に導入されて２光束に分割される。
【００２５】
上述のとおり、分割された光の一方は固定鏡１５に照射され、反射光としてビームスプリッタ１４に再び照射される。分割された光の他方は移動鏡１６に照射され、反射光としてビームスプリッタ１４に再び照射される。固定鏡１５からの反射光と移動鏡１６からの反射光とは、ビームスプリッタ１４で合成されることによって干渉光を形成する。
【００２６】
上述のとおり、干渉光を形成した光は試料Ｓに照射される。試料Ｓを透過した光は集光光学系１７によって集光される。集光された光は、参照光学系２１における光路分離鏡２４に導入される。光路分離鏡２４はハーフミラー（波長選択性のあるミラー）等から構成され、光路分離鏡２４に導入された光（入射光）は２光束に分割される。
【００２７】
光源１２から出射され、光路合成鏡２３、コリメート光学系１３、ビームスプリッタ１４、固定鏡１５、移動鏡１６、試料Ｓ、および集光光学系１７を通して光路分離鏡２４に導入された光は、光路分離鏡２４を透過する。上述のとおり、光路分離鏡２４を透過したこの光（干渉光）は、検出器１８によって検出される。
【００２８】
一方、参照光源２２から出射され、光路合成鏡２３、コリメート光学系１３、ビームスプリッタ１４、固定鏡１５、移動鏡１６、試料Ｓ、および集光光学系１７を通して光路分離鏡２４に導入された光は、光路分離鏡２４によって反射される。光路分離鏡２４からの反射光（干渉光）は、４分割センサ等から構成される参照検出器２５によって干渉パターンとして検出される。
【００２９】
干渉光の干渉パターンは、ＣＰＵ等を含む信号処理部２６に送られる。信号処理部２６は、収集した干渉パターンに基づいて光路分離鏡２４からの反射光の強度を算出する。信号処理部２６は、光路分離鏡２４からの反射光の強度に基づいて、演算部２におけるサンプリングのタイミングを示す信号を生成することができる。演算部２におけるサンプリングのタイミングを示す信号は、公知の手段によって生成されることができる。
【００３０】
信号処理部２６は、光路分離鏡２４からの反射光の強度に基づいて、２光路間における光の傾き（固定鏡１５からの反射光と移動鏡１６からの反射光との相対的な傾き）を算出することもできる。
【００３１】
（光路補正装置３１）
光路補正装置３１は、信号処理部２６における検出結果（固定鏡１５からの反射光と移動鏡１６からの反射光との相対的な傾き）に基づいて、固定鏡１５の姿勢（移動鏡１６の表面に対する固定鏡１５の表面の相対的な角度）を調整する。当該調整によって、固定鏡１５における反射光の光路が補正され、２光路間での光の傾きを無くす（若しくは減少させる）ことが可能となる。光路補正装置３１がマイケルソン干渉計１内に設けられていることによって、干渉光をより精度の高く生成することが可能となる。
【００３２】
（平行移動装置１０）
図２および図３を参照して、本実施の形態における平行移動装置１０について説明する。図２は、平行移動装置１０を示す斜視図である。図３は、図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った矢視断面図である。
【００３３】
平行移動装置１０は、弾性部４１（第１弾性部）、弾性部４２（第２弾性部）、移動部４３、固定部４４、および駆動部４５を備えている。詳細は後述されるが、弾性部４１、弾性部４２、および移動部４３によって平行板ばね構造４０が構成されている。平行板ばね構造４０は、弾性部４１，４２の幅方向において左右対称に構成されている。弾性部４１および弾性部４２は、略同一の長さを有し、平面視長方形の平板状に構成されている。各弾性部４１，４２の材質はシリコンまたは金属などである。各弾性部４１，４２は、同一方向に延在し、間隔を空けて相互に対向配置されている。
【００３４】
固定部４４は、略直方体状に構成され、その材質は、ガラス、金属、またはセラミックなどである。固定部４４は、弾性部４１の一端４１ａ側の裏面と弾性部４２の一端４２ａ側の表面とによって挟まれている。弾性部４１および固定部４４の間は、陽極接合によって接合されている。弾性部４２および固定部４４の間も、陽極接合によって接合されている。固定部４４は、マイケルソン干渉計１（図１参照）内における他の構造機器（図示せず）に強固に固定されている。
【００３５】
移動部４３は、略直方体状に構成され、その材質は、ガラス、金属、またはセラミックなどである。移動部４３は、弾性部４１の他端４１ｂ側の裏面と弾性部４２の他端４２ｂ側の表面とによって挟まれている。弾性部４１および移動部４３の間は、陽極接合によって接合されている。弾性部４２および移動部４３の間も、陽極接合によって接合されている。移動部４３によって、弾性部４１の他端４１ｂと弾性部４２の他端４２ｂとが接続される。
【００３６】
上述のとおり、弾性部４１と、弾性部４２と、移動部４３とによって、平行板ばね構造４０が構成されている。弾性部４１の一端４１ａと弾性部４２の一端４２ａとによって、平行板ばね構造４０の一端４０ａが構成されている。弾性部４１の他端４１ｂと弾性部４２の他端４２ｂとによって、平行板ばね構造４０の他端４０ｂが構成されている。
【００３７】
駆動部４５（図３参照）は、いわゆるボイスコイルモータ（ＶＣＭ：Voice  Coil  Motor）であり、コイル部４５Ｃおよび磁石部４５Ｍ（駆動受部）から構成されている。本実施の形態における駆動部４５（コイル部４５Ｃおよび磁石部４５Ｍ）は、弾性部４１および弾性部４２の間に配置されている。
【００３８】
コイル部４５Ｃは、マイケルソン干渉計１（図１参照）内における他の構造機器（図示せず）に固定されている。磁石部４５Ｍは、移動部４３に取り付けられている。本実施の形態における磁石部４５Ｍは、移動部４３の固定部４４側の端面に設けられる。磁石部４５Ｍは、移動部４３から見て固定部４４の一端４０ａ側に位置している。磁石部４５Ｍは、移動部４３の上記端面において、（厚さ方向および幅方向の）中央部に配置される。磁石部４５Ｍは、たとえばネオジムなどの永久磁石から構成される。
【００３９】
以上のように構成される平行移動装置１０において、移動鏡１６は、弾性部４１の他端４１ｂ側の表面４０Ｓ（外表面）に固定される。詳細は後述されるが、位置検出装置７０は、投光器７１、受光器７２、および接続部７３から構成される。投光器７１および受光器７２は、平行移動装置１０の弾性部４１を挟んで対向配置される。
【００４０】
（平行移動装置１０の動作）
図３および図４を参照して、平行移動装置１０の動作について説明する。図３に示すように、コイル部４５Ｃに所定の電圧が印加される。磁石部４５Ｍは、コイル部４５Ｃ周りに生じた磁界によって、弾性部４１，４２の厚さ方向（図３紙面上下方向）に変位する電磁力を非接触で受ける。
【００４１】
コイル部４５Ｃに交流電圧が印加された場合、ある時点においては、磁石部４５Ｍは図３紙面上方向に変位しようとする電磁力を受け、他の時点においては、磁石部４５Ｍは図３紙面下方向に変位しようとする電磁力を受ける。コイル部４５Ｃに交流電圧が印加されることによって、これらの電磁力は磁石部４５Ｍに対して交互に作用する。
【００４２】
図４に示すように、コイル部４５Ｃからの電磁力を受けて、磁石部４５Ｍは、弾性部４１，４２の厚さ方向（矢印ＡＲ方向）に振幅Ｌで往復移動（振動）する。磁石部４５Ｍとともに、移動部４３も弾性部４１，４２の厚さ方向（矢印ＡＲ方向）に振幅Ｌで往復移動（振動）する。
【００４３】
平行板ばね構造４０の一端４０ａは固定端を構成し、平行板ばね構造４０の他端４０ｂ側および移動部４３は、自由端として振動する。弾性部４１の表面４１Ｓの他端４１ｂ側に設けられた移動鏡１６は、平行な姿勢を維持しつつ矢印ＡＲ方向に振動（往復移動）する。移動鏡１６の往復移動によって、マイケルソン干渉計１（図１参照）は干渉光を生成することが可能となる。詳細は次述されるが、弾性部４１は、投光器７１および受光器７２の間においては振幅Ｄ１を持って往復移動する。
【００４４】
（位置検出装置７０）
図５を参照して、位置検出装置７０について説明する。図５は、図４中のＶ−Ｖ線に沿った矢視断面図である。上述のとおり、弾性部４１および弾性部４２は、駆動部４５（図３参照）からの駆動力を受けて、移動鏡１６（図３参照）と同様に矢印ＡＲ方向に往復移動する。弾性部４１の位相は、移動鏡１６の位相と等価である。位置検出装置７０は、投光器７１、受光器７２、および接続部７３から構成される。位置検出装置７０としては、たとえばフォトインタラプタ（登録商標）が用いられ得る。
【００４５】
投光器７１および受光器７２は、弾性部４１を挟んで対向するように固定配置される。弾性部４１は、投光器７１および受光器７２の間で往復移動する。接続部７３は、支持部７４を挟んで、マイケルソン干渉計１（図１参照）内における所定の構造体７５に固定される。
【００４６】
投光器７１は投光部７１Ａを有する。受光器７２は受光部７２Ａを有する。投光部７１Ａから、幅Ｗを有する測定光８０が出射される。測定光８０は、受光部７２Ａに向かって投光される。受光部７２Ａに到達した測定光８０は、受光部７２Ａによって受光される。
【００４７】
投光器７１および受光器７２は、弾性部４１の往復移動方向（矢印ＡＲ方向）に対して傾いた状態で固定されている。投光部７１Ａおよび受光部７２Ａは、測定光８０が弾性部４１の往復移動方向（矢印ＡＲ方向）に対して斜めに交差するように配置される。換言すると、測定光８０は、弾性部４１の往復移動方向（矢印ＡＲ方向）に対して角度θだけ傾いている。
【００４８】
（位置検出装置７０の動作）
図６（Ａ）および図６（Ｂ）を参照して、位置検出装置７０の動作について説明する。図６（Ａ）は、弾性部４１が矢印ＡＲ１方向に移動し、往復移動の上死点に位置している状態を示す図である。図６（Ｂ）は、弾性部４１が矢印ＡＲ２方向に移動し、往復移動の下死点に位置している状態を示す図である。図６（Ａ）および図６（Ｂ）においては、図示上の便宜のため、支持部７４および構造体７５（図５参照）は図示されていない。
【００４９】
図６（Ａ）に示すように、弾性部４１が上死点に位置している際には、測定光８０の一部は弾性部４１によって遮られるとともに、測定光８０の残部（幅Ｗ１）が受光部７２Ａに到達する。受光部７２Ａが受光する測定光８０の受光量は、弾性部４１が上死点に位置している際に最大となる。
【００５０】
図６（Ｂ）に示すように、弾性部４１が下死点に位置している際にも、測定光８０の一部は弾性部４１によって遮られるとともに、測定光８０の残部（幅Ｗ２）が受光部７２Ａに到達する。幅Ｗ２は、幅Ｗ１より小さい。受光部７２Ａが受光する測定光８０の受光量は、弾性部４１が下死点に位置している際に最小となる。
【００５１】
ここで、弾性部４１が振幅Ｄ１で往復移動しているとする。振幅Ｄ１、測定光８０の幅Ｗ、および、測定光８０（測定光８０の光束）と弾性部４１の往復移動方向（矢印ＡＲ方向）との間の角度θの間には、次の式が成立する。
０＜角度θ＜ｓｉｎ−１（幅Ｗ／振幅Ｄ１）
振幅Ｄ１、幅Ｗ、および角度θが上記の式を満足するように設定されることによって、弾性部４１が上死点に位置している際に弾性部４１によって所定の量の測定光８０が遮られ、かつ、弾性部４１が下死点に位置している際にも弾性部４１によって他の所定の量の測定光８０が遮られることができる。
【００５２】
図７は、弾性部４１が上死点Ａおよび下死点Ｂの間で往復移動する際の、弾性部４１の往復移動方向における変位Ｘ（横軸）と、受光部７２Ａが測定光８０の上記残部を受光することによって受光器７２から出力される出力信号Ｖの大きさ（縦軸）との関係を示す図である。
【００５３】
弾性部４１の変位Ｘが上死点Ａにあるとき、投光部７１Ａから受光部７２Ａに向かって投光される測定光８０は、最も遮られない状態となる。受光部７２Ａにおいて検出される測定光８０（上記残部）の受光量は最大となり、受光器７２からの出力信号Ｖの大きさは最大値ＶＡとなる。
【００５４】
弾性部４１の変位Ｘが下死点Ｂにあるとき、投光部７１Ａから受光部７２Ａに向かって投光される測定光８０は、最も遮られる状態となる。受光部７２Ａにおいて検出される測定光８０（上記残部）の受光量は最小となり、受光器７２からの出力信号Ｖの大きさも最小値ＶＢとなる。
【００５５】
本実施の形態においては、弾性部４１は平行移動装置１０を構成している。弾性部４１は、投光器７１および受光器７２の間で一直線方向に沿って精度高く往復移動する。上死点Ａと下死点Ｂとの間で得られる出力信号Ｖの値は、線形性が高い。
【００５６】
図８に示すように、弾性部４１が一直線方向に沿って精度高く往復移動することによって、往復移動する弾性部４１から得られる出力信号Ｖと時間Ｔとの関係は、ばらつきの少ない均一な正弦波ＳＷとして表される。
【００５７】
この正弦波ＳＷから、弾性部４１の周波数および振幅（相対値）が得られる。弾性部４１の周波数は、弾性部４１の先端に取り付けられた移動鏡１６の周波数と等価である。弾性部４１の振幅は、相対値としては、移動鏡１６の振幅と等価である。この正弦波ＳＷから得られる弾性部４１の振幅の値が大きくなることは、移動鏡１６の振幅が大きくなることを意味する。この正弦波ＳＷから得られる弾性部４１の振幅の値が小さくなることは、移動鏡１６の振幅も小さくなることを意味する。
【００５８】
図１を再び参照して、上述のとおり、移動鏡１６は平行移動装置１０によって平行を維持した状態で矢印ＡＲ方向に往復移動している。位置検出装置７０が弾性部４１の周波数および振幅を検出することによって、移動鏡１６の周波数および振幅が等価的に算出される。
【００５９】
移動鏡１６の往復移動によって、固定鏡１５からの反射光と移動鏡１６からの反射光との間に光路長の差が生じる。当該光路長の差を利用して干渉光が形成される。干渉光を形成した光は試料Ｓに照射され、フーリエ変換などの所定の演算によって得られたデータに基づいて、試料Ｓの特性（たとえば、材料、構造、または成分量）が分析される。
【００６０】
移動鏡１６の変位に応じて干渉光の波長も変化する。波長のそれぞれ異なる干渉光が試料Ｓに照射され、フーリエ変換などの所定の演算によって、複数のデータが得られる。これらの複数のデータを積算することによって、試料Ｓの分析能が向上する。
【００６１】
複数のデータをより短い時間で得るためには、移動鏡１６を高速で往復移動させる必要がある。このため、フーリエ変換分光分析装置１００に使用されるマイケルソン干渉計１は、移動鏡１６を共振周波数で振動させる。移動鏡１６が共振周波数で振動することによって、共振のＱ（クオリティーファクタ）が一種の外乱フィルタリングとして作用し、歪の少ない単振動と、大きな機械振動振幅とを得ることが可能となる。
【００６２】
移動鏡１６の共振周波数は、移動鏡１６を含む振動系の環境（温度、湿度、または経年によって移動鏡１６等の取付角度に生じる位置ズレ等）に応じて変化する。マイケルソン干渉計１は、位置検出装置７０および平行移動装置１０にそれぞれ接続された制御部９０を使用して、ＰＬＬ（Phase  Locked  Loop）制御によって、移動鏡１６が共振周波数で常に振動するように平行移動装置１０を駆動する。
【００６３】
（ＰＬＬ制御）
図９を参照して、制御部９０（図１参照）によるＰＬＬ制御について説明する。図９中の太点線で示される曲線は、制御部９０が、平行移動装置１０の駆動部４５（図３参照）を駆動周波数ｆｄ（横軸）で駆動させたときの、機械的出力（出力信号Ｖｍ）の大きさ（縦軸）を示している。図９中の太実線で示される曲線は、制御部９０が、平行移動装置１０の駆動部４５（図３参照）を所定の駆動信号で駆動させたときの、この駆動信号に対する上記の機械的出力（出力信号Ｖｍ）の位相θｍ（縦軸）を示している。
【００６４】
図９に示すように、駆動部４５に対する駆動周波数ｆｄが周波数ｆ０であるときに、機械的出力（出力信号Ｖｍ）は最大となり、且つ位相θｍに急激な変化が見られる。これは、駆動部４５の固定部４４からみた平行移動装置１０を構成する部材の等価的な質量と、弾性係数と、内部損失、摩擦、若しくは空気摩擦等によって生じる損失係数とに基づく機械的な共振現象が原因である。
【００６５】
制御部９０（図１参照）は、上記の共振現象を得るためにＰＬＬ制御を行ない、上記の周波数ｆ０（共振周波数）に相当する交流信号（駆動信号Ｖｄ）で駆動部４５を駆動させる。上述のとおり、移動鏡１６を含む振動系の環境に応じて、平行板ばね構造４０（移動鏡１６）の共振周波数は常に変化する。制御部９０は、駆動部４５を駆動している際にも、位置検出装置７０が検出する上記の正弦波ＳＷ（図８参照）の値に基づいて、駆動信号Ｖｄの周波数（駆動周波数ｆｄ）を周波数ｆ０に追従させる（駆動周波数ｆｄをフィードバックさせる）。
【００６６】
図１０は、図９中の周波数ｆ０付近の出力信号Ｖｍおよび位相θｍを拡大して示す図である。図１０に示すように、出力信号Ｖｍとして振動の変位Ｘ（図７参照）を取れば、周波数ｆ０（共振周波数）にて位相θｍが９０ｄｅｇだけ駆動信号Ｖｄから遅れる。さらに高い周波数では、位相θｍは駆動信号Ｖｄに対して最大で１８０ｄｅｇだけ遅れる。
【００６７】
制御部９０は、位置検出装置７０から得られた上記の正弦波ＳＷ（図８参照）に基づいて、駆動信号Ｖｄと機械出力（図７における変位Ｘ）との位相差を検出し、この位相差が常に９０ｄｅｇとなるように駆動部４５に対する駆動周波数ｆｄを制御する。当該制御によって、駆動信号Ｖｄの周波数（駆動周波数ｆｄ）は周波数ｆ０に追従する。
【００６８】
以上のように、２信号間の位相差が常に所定の値となるように、内蔵する電圧制御発振器ＶＣＯ（Voltage  Controlled  Oscillator）の発振周波数を負帰還制御するＰＬＬ制御によって、移動鏡１６は共振周波数で常に振動される。
【００６９】
（作用・効果）
冒頭に説明した特開平０２−３０７０３７号公報（特許文献１）は、１つの圧電素子を用いて平行板ばね構造を駆動している。１つの圧電素子を用いた駆動においては、圧電素子が、一方の弾性部に物理的に接触しつつ、この弾性部に駆動力を付与する。一方の弾性部から駆動力を受けるため、移動部は平行な姿勢を維持しつつ往復移動することが困難となる（移動部における並進性が低下し易くなる）。仮に、２つの圧電素子を用いたとしても、この２つの圧電素子が双方の弾性部のそれぞれに機械的に接触するように設けられる。この２つ圧電素子がそれぞれの弾性部に対してバランスよく駆動力を付与することは困難となる。また、２つの圧電素子の質量バランスの誤差も要因となって、移動部における並進性が低下し易くなる。
【００７０】
本実施の形態における平行移動装置１０においては、磁石部４５Ｍおよびコイル部４５Ｃから構成される駆動部４５（いわゆるボイスコイルモータ）が、非接触で移動部４３に対して駆動力を付与する。平行移動装置１０は、弾性部４１およびまたは弾性部４２に対して、圧電素子が直接接触して駆動力を付与するという構成を採用していない。平行移動装置１０においては、駆動部４５が、弾性部４１および弾性部４２の間に配置された移動部４３に対して駆動力を非接触で付与する。平行移動装置１０は、圧電素子を用いた構成に比べて、移動部４３における高い並進性を得ることができる。
【００７１】
平行移動装置１０がマイケルソン干渉計１およびフーリエ変換分光分析装置１００に用いられる場合、移動鏡１６は、たとえば数ｍｍ〜数ｃｍの振幅で、１秒間に数十回程度で往復移動する。このように、移動鏡１６が高速で往復移動される場合であっても、平行移動装置１０によれば、移動部４３および移動鏡１６における高い並進性を得ることができる。平行移動装置１０を備えるマイケルソン干渉計１およびフーリエ変換分光分析装置１００によれば、高い分析能を得ることが可能となる。
【００７２】
また、圧電素子を用いて平行板ばね構造を駆動する場合、圧電素子は弾性部に接着される。圧電素子が製作誤差などの要因によってずれた状態で接着されたとしても、圧電素子の貼り直しは容易ではない。一方、駆動部４５（ボイスコイルモータ）の場合、移動部４３に接着された磁石部４５Ｍに対して、コイル部４５Ｃの位置を相対的にずらすことによって、磁石部４５Ｍの位置ずれが補正されることも可能である。
【００７３】
また、本実施の形態におけるフーリエ変換分光分析装置１００によれば、マイケルソン干渉計１の移動鏡１６が、制御部９０のＰＬＬ制御によって共振周波数で振動する。複数のデータをより短い時間で得ることが可能となり、試料Ｓに対する分析能を向上させることができる。
【００７４】
なお、本実施の形態における平行移動装置１０では、磁石部４５Ｍが移動部４３に取り付けられ、コイル部４５Ｃがマイケルソン干渉計１またはフーリエ変換分光分析装置１００を構成する他の機器に固定される。磁石部４５Ｍが、コイル部４５Ｃから電磁力を受ける「駆動受部」を構成している。
【００７５】
これとは反対に、コイル部４５Ｃが移動部４３に取り付けられ、磁石部４５Ｍがマイケルソン干渉計１またはフーリエ変換分光分析装置１００を構成する他の機器に固定されてもよい。この場合、コイル部４５Ｃが、磁石部４５Ｍから（相対的に）電磁力を受ける「駆動受部」を構成する。当該構成によっても、上述の実施の形態１と同様の作用および効果を得ることができる。
【００７６】
［実施の形態２］
図１１および図１２を参照して、実施の形態２における平行移動装置１０Ａについて説明する。図１１は、平行移動装置１０Ａを示す断面図である。図１２は、平行移動装置１０Ａを示す斜視図である。
【００７７】
図１１および図１２に示すように、磁石部４５Ｍは、移動部４３に設けられた嵌合部４３Ｍに嵌め込まれていてもよい。嵌合部４３Ｍは、移動部４３の表面から凹むように設けられる。本実施の形態においては、嵌合部４３Ｍは円柱状に凹設される。当該構成によっても、上述の実施の形態１と同様の作用および効果を得ることができる。また、嵌合部４３Ｍによって、磁石部４５Ｍの移動部４３に対する取付上の利便性も向上する。また、磁石部４５Ｍの形状は円柱形状に限らず、四角柱形状でもよい。対向するコイルの形状が四角形状に構成されることによって、磁界を有効に使うことが可能となる。
【００７８】
［実施の形態３］
図１３および図１４を参照して、実施の形態３における平行移動装置１０Ｂについて説明する。図１３は、平行移動装置１０Ｂを示す断面図である。図１４は、平行移動装置１０Ｂを示す斜視図である。
【００７９】
図１３および図１４に示すように、磁石部４５Ｍは、移動部４３に設けられた嵌合部４３Ｎに嵌め込まれていてもよい。嵌合部４３Ｎは、移動部４３の表面から突出するように設けられる。嵌合部４３Ｎは、同一円周上に沿って間隔を空けて立壁状に配置される。当該構成によっても、上述の実施の形態１と同様の作用および効果を得ることができる。また、嵌合部４３Ｎによって、磁石部４５Ｍの移動部４３に対する取付上の利便性も向上する。
【００８０】
［実施の形態４］
図１５および図１６を参照して、実施の形態４における平行移動装置１０Ｃについて説明する。図１５は、平行移動装置１０Ｃを示す平面図である。図１６は、図１５中のＸＶＩ−ＸＶＩ線に沿った矢視断面図である。
【００８１】
図１５および図１６に示すように、磁石部４５Ｍは、移動部４３の固定部４４とは反対側の表面に設けられていてもよい。この場合、コイル部４５Ｃも、移動部４３を挟んで固定部４４とは反対側に配置される。固定部４４は、弾性部４１，４２間には配置されず、磁石部４５Ｍと対向するように配置される。当該構成によっても、上述の実施の形態１と同様の作用および効果を得ることができる。また、弾性部４１，４２間におけるレイアウト上の利便性も向上する。
【００８２】
［実施の形態５］
図１７および図１８を参照して、実施の形態５における平行移動装置１０Ｄについて説明する。図１７は、平行移動装置１０Ｄを示す平面図である。図１８は、図１７中のＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ線に沿った矢視断面図である。
【００８３】
図１７および図１８に示すように、磁石部４５Ｍは、移動部４３の両側面に設けられていてもよい。両側面に設けられた磁石部４５Ｍに対応するように、コイル部４５Ｃも移動部４３の両外側にそれぞれ設けられる。当該構成によっても、上述の実施の形態１と同様の作用および効果を得ることができる。また、移動部４３に対してより強い駆動力を付与することも可能となる。
【００８４】
また、図１９の平行移動装置１０Ｅに示すように、磁石部４５Ｍは、移動部４３の両側面に埋め込まれるように設けられてもよい。
【００８５】
［実施の形態６］
図２０および図２１を参照して、実施の形態６における平行移動装置１０Ｆについて説明する。図２０は、平行移動装置１０Ｆを示す断面図である。図２１は、平行移動装置１０Ｆが振動している様子を示す断面図である。
【００８６】
図２０に示すように、平行移動装置１０Ｆにおける移動部４３は、延在部４３Ｔを含む。延在部４３Ｔは、弾性部４１および弾性部４２の間において、平行板ばね構造４０の一端４０ａ側に向かって延在する。延在部４３Ｔは、直方体状に形成され、移動部４３に対して垂直な方向に延在している。延在部４３Ｔは、平板状に構成されても、棒状に構成されてもよい。磁石部４５Ｍは、延在部４３Ｔの延在方向（図２０紙面右方向）の先端４３Ｓに取り付けられる。
【００８７】
図２１を参照して、当該構成によっても、上述の実施の形態１と同様の作用および効果を得ることができる。また、当該構成によれば、駆動部４５が平行板ばね構造４０に対して駆動力を付与する位置（荷重点）が、固定部４４（固定端側）に近づく。平行板ばね構造４０の振動系としての重心も、固定部４４（固定端側）に近づく。平行板ばね構造４０の振動系として、安定した振動を得ることが可能となる。
【００８８】
図２０に示すように、磁石部４５Ｍは、弾性部４１および弾性部４２の長手方向において、弾性部４１および弾性部４２が弾性変形する領域Ｒ４０の中央部に位置しているとよい。この場合、移動部４３の固定部４４側の端面部分および磁石部４５Ｍの間の距離Ｌ１０と、固定部４４の移動部４３側の端面部分および磁石部４５Ｍの間の距離Ｌ２０とが、同一の距離となる。当該構成によれば、平行板ばね構造４０の振動系として、より安定した振動を得ることが可能となる。
【００８９】
［実施の形態７］
図２２〜図２４を参照して、実施の形態７における平行移動装置１０Ｇについて説明する。図２２は、平行移動装置１０Ｇの分解した状態を示す斜視図である。図２３は、平行移動装置１０Ｇの組み立てられた状態を示す斜視図である。図２４は、平行移動装置１０Ｇを示す断面図である。
【００９０】
図２２および図２３に示すように、平行移動装置１０Ｇにおいては、平行板ばね構造４０（固定部４４）を固定するために、台座６０が用いられる。図示上の便宜のため、図２４においては台座６０およびその他の詳細な部材については記載していない。
【００９１】
台座６０は、上方および前方がそれぞれ開放された容器状に形成され、中央に収容部６０Ｓを有している。収容部６０Ｓ内に、弾性部４１、弾性部４２、および移動部４３から構成される平行板ばね構造４０が固定部４４とともに嵌め込まれる。平行板ばね構造４０および固定部４４が収容部６０Ｓ内に嵌め込まれた状態で、弾性部４１の表面上に固定板６５および固定板６６が設けられる。固定部４４の側面には、固定板６７が設けられる。
【００９２】
固定板６５は、開口部６２Ａおよび開口部６２Ｂをそれぞれ有する。固定板６５は、固定面６４上に配置され、台座６０の底板６０Ｂとの間で弾性部４１、固定部４４、および弾性部４２を挟み込む（図２３参照）。固定板６５を台座６０に固定するためには、ボルト６３Ａ，６３Ｂが用いられる。ボルト６３Ａは、固定板６５の開口部６２Ａに差し込まれ、台座６０の固定面６４に設けられたネジ孔６１Ａに螺合する（矢印ＤＲＡ参照）。ボルト６３Ｂは、固定板６５の開口部６２Ｂに差し込まれ、台座６０の固定面６４に設けられたネジ孔６１Ｂに螺合する（矢印ＤＲＢ参照）。
【００９３】
固定板６６は、開口部６２Ｃおよび開口部６２Ｄをそれぞれ有する。固定板６６は、固定面６４Ｃおよび固定面６４Ｄの上に橋渡し状に配置され、台座６０の底板６０Ｂとの間で弾性部４１、固定部４４、および弾性部４２を挟み込む（図２３参照）。固定板６６を台座６０に固定するためには、ボルト６３Ｃ，６３Ｄが用いられる。ボルト６３Ｃは、固定板６６の開口部６２Ｃに差し込まれ、台座６０の固定面６４Ｃに設けられたネジ孔６１Ｃに螺合する（矢印ＤＲＣ参照）。ボルト６３Ｄは、固定板６６の開口部６２Ｄに差し込まれ、台座６０の固定面６４Ｄに設けられたネジ孔６１Ｄに螺合する（矢印ＤＲＤ参照）。
【００９４】
固定板６７は、開口部６２Ｅおよび開口部６２Ｆをそれぞれ有する。固定板６７は、固定面６４Ｅおよび固定面６４Ｆの上に橋渡し状に配置され、台座６０の背面部６９との間で固定部４４を挟み込む（図２３参照）。固定板６７を台座６０に固定するためには、ボルト６３Ｅ，６３Ｆが用いられる。ボルト６３Ｅは、固定板６７の開口部６２Ｅに差し込まれ、台座６０の固定面６４Ｅに設けられたネジ孔６１Ｅに螺合する（矢印ＤＲＥおよび図２３参照）。ボルト６３Ｆは、固定板６７の開口部６２Ｆに差し込まれ、台座６０の固定面６４Ｆに設けられたネジ孔６１Ｆに螺合する（矢印ＤＲＦおよび図２３参照）。
【００９５】
ボルト６３Ａ〜６３Ｆが台座６０に締結されることによって、弾性部４１、固定部４４、および弾性部４２（平行板ばね構造４０の一端側）が、台座６０に対して固定される。上述の実施の形態６（図２０参照）と同様に、位置検出装置７０は、投光器７１、受光器７２、および接続部７３から構成される。投光器７１および受光器７２は、平行移動装置１０の弾性部４１を挟んで対向配置される（図２３参照）。上述の実施の形態６（図２０参照）と同様に、コイル部４５Ｃは、弾性部４１および弾性部４２の間に配置される（図２３参照）。
【００９６】
本実施の形態におけるコイル部４５Ｃは、開口部６２Ｇおよび開口部６２Ｈをそれぞれ有する。コイル部４５Ｃは、弾性部４１および弾性部４２の間において、台座６０の固定面６４Ｇおよび固定面６４Ｈの上に橋渡し状に配置される（図２３参照）。コイル部４５Ｃを台座６０に固定するためには、ボルト６３Ｇ，６３Ｈが用いられる。ボルト６３Ｇは、コイル部４５Ｃの開口部６２Ｇに差し込まれ、台座６０の固定面６４Ｇに設けられたネジ孔６１Ｇに螺合する（矢印ＤＲＧおよび図２３参照）。ボルト６３Ｈは、コイル部４５Ｃの開口部６２Ｈに差し込まれ、台座６０の固定面６４Ｈに設けられたネジ孔６１Ｈに螺合する（矢印ＤＲＨ参照）。
【００９７】
移動部４３は、上述の実施の形態６（図２０参照）と同様に、延在部４３Ｑを含む。延在部４３Ｑも、弾性部４１および弾性部４２の間において、平行板ばね構造４０の一端（固定部４４）側に向かって延在する。磁石部４５Ｍは、延在部４３Ｑの延在方向の先端４３Ｓ（図２４参照）に取り付けられる。
【００９８】
図２２〜図２４に示すように、本実施の形態の延在部４３Ｑは、円筒状に形成される。延在部４３Ｑの内部は中空状に形成される。移動部４３の全体としては、移動部４３側から磁石部４５Ｍ（駆動受部）側に向かって延在する穴部４３Ｈが形成される。穴部４３Ｈの内部には、延在部４３Ｑの後端４３Ｒ側からおもり４３Ｗを差し込むことができる。
【００９９】
平行移動装置１０Ｇが作製された際、平行板ばね構造４０の現実の共振周波数と平行板ばね構造４０の設計上の共振周波数との間には、製作誤差が生じる場合がある。平行移動装置１０Ｇが作製された後、穴部４３Ｈの内部におもり４３Ｗを差し込むことによって、平行板ばね構造４０の共振周波数を所望の値に調整することが可能となる。おもり４３Ｗとしては、数、材質、または大きさなどに応じて、複数種類のものが準備されているとよい。
【０１００】
本実施の形態においては、穴部４３Ｈの後端４３Ｒ側が開放されているため、おもり４３Ｗを穴部４３Ｈの内部に容易に挿脱することができる。当該構成は、磁石部４５Ｍとコイル部４５Ｃとの間の間隔が狭い場合（たとえば間隔が１ｍｍ以下の場合など）に有効である。
【０１０１】
また、本実施の形態の延在部４３Ｑは、移動部４３のうちの弾性部４１および弾性部４２を接続する直方体状の部位とは別体として作製され、その部位に対して取付固定されるが、中空状の延在部４３Ｑとしては、その部位と一体的に形成されていてもよい。本実施の形態における延在部４３Ｑの後端４３Ｒは、移動部４３の端面から外部に向かって突出しているが、移動部４３の端面と面一となるように構成されていてもよい。
【０１０２】
必要に応じて、おもり４３Ｗは延在部４３Ｑの外周面上に取り付けられてもよい。平行移動の並進性をより向上させるためには、おもり４３Ｗは、できるだけ磁石部４５Ｍに近い位置に配置されるとよい。
【０１０３】
［実施の形態８］
図２５および図２６を参照して、実施の形態８における平行移動装置１０Ｈについて説明する。図２５は、平行移動装置１０Ｈの一部（ストッパー６８）を分解した状態を示す斜視図である。図２６は、平行移動装置１０Ｈの組み立てられた状態を示す斜視図である。
【０１０４】
平行移動装置１０Ｈにおいては、移動部４３の移動量が所定の範囲以内となるように、移動部４３の移動を規制するストッパー６８（リミッター）が用いられる。ストッパー６８は、平板状に形成され、中央に開口６８Ｈを有し、両端に固定用の切り欠きを有する。本実施の形態のストッパー６８は、台座６０の前端面６４Ｊおよび前端面６４Ｋの表面上に橋渡し状に配置される。
【０１０５】
ストッパー６８を台座６０に固定するためには、ボルト６３Ｊ，６３Ｋが用いられる。ボルト６３Ｊは、ストッパー６８の一方の切り欠き内に差し込まれ、台座６０の前端面６４Ｊに設けられたネジ孔６１Ｊに螺合する（矢印ＤＲＪ参照）。ボルト６３Ｋは、ストッパー６８の他方の切り欠き内に差し込まれ、台座６０の前端面６４Ｋに設けられたネジ孔６１Ｋに螺合する（矢印ＤＲＫ参照）。
【０１０６】
図２６に示すように、ストッパー６８が台座６０に取付固定された状態においては、延在部４３Ｑの後端４３Ｒは、ストッパー６８の開口６８Ｈ内に位置する。平行移動装置１０Ｈが搬送される際、振動などによって移動部４３が揺れ動いたとしても、移動部４３の移動量は開口６８Ｈに当接することによってその最大値が規制される。平行板ばね構造４０の劣化または破損は効果的に抑制され、平行移動装置１０Ｈとしての長寿命化を図ることができる。
【０１０７】
また、本実施の形態においては、ストッパー６８と協働する部位として、延在部４３Ｑの後端４３Ｒが有効に活用される。移動部４３の移動を規制するために延在部４３Ｑとは別の部材を設ける必要が無いため、部品点数を削減できるという効果も得られる。
【０１０８】
以上、本発明に基づいた各実施の形態について説明したが、今回開示された各実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の技術的範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１０９】
１  マイケルソン干渉計、２  演算部、３  出力部、１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ，１０Ｇ，１０Ｈ  平行移動装置、１１  分光光学系、１２  光源、１３  コリメート光学系、１４  ビームスプリッタ、１５  固定鏡、１６  移動鏡、１７  集光光学系、１８  検出器、２１  参照光学系、２２  参照光源、２３  光路合成鏡、２４  光路分離鏡、２５  参照検出器、２６  信号処理部、３１  光路補正装置、４０  平行板ばね構造、４０Ｓ，４１Ｓ  表面、４０ａ，４１ａ，４２ａ  一端、４０ｂ，４１ｂ，４２ｂ  他端、４１，４２  弾性部、４３  移動部、４３Ｈ  穴部、４３Ｍ，４３Ｎ  嵌合部、４３Ｑ，４３Ｔ  延在部、４３Ｒ  後端、４３Ｓ  先端、４３Ｗ  おもり、４４  固定部、４５  駆動部、４５Ｃ  コイル部、４５Ｍ  磁石部、６０  台座、６０Ｂ  底板、６０Ｓ  収容部、６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄ，６１Ｅ，６１Ｆ，６１Ｇ，６１Ｈ，６１Ｊ，６１Ｋ  ネジ孔、６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄ，６２Ｅ，６２Ｆ，６２Ｇ，６２Ｈ  開口部、６３Ａ，６３Ｂ，６３Ｃ，６３Ｄ，６３Ｅ，６３Ｆ，６３Ｇ，６３Ｈ，６３Ｊ，６３Ｋ  ボルト、６４，６４Ｃ，６４Ｄ，６４Ｅ，６４Ｆ，６４Ｇ，６４Ｈ  固定面、６４Ｊ，６４Ｋ  前端面、６５，６６，６７  固定板、６８  ストッパー、６８Ｈ  開口、６９  背面部、７０  位置検出装置、７１  投光器、７１Ａ  投光部、７２  受光器、７２Ａ  受光部、７３  接続部、７４  支持部、７５  構造体、８０  測定光、９０  制御部、１００  フーリエ変換分光分析装置、Ｄ１，Ｌ  振幅、ＤＲＡ，ＤＲＢ，ＤＲＣ，ＤＲＤ，ＤＲＥ，ＤＲＦ，ＤＲＧ，ＤＲＨ，ＤＲＪ，ＤＲＫ  矢印、Ｌ１０，Ｌ２０  距離、Ｒ４０  領域、Ｓ  試料、Ｗ，Ｗ１，Ｗ２  幅。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【手続補正書】
【提出日】平成25年9月19日(2013.9.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動部（４３）が平行な姿勢を維持しつつ往復移動する平行移動装置（１０）であって、
平板状の部材からそれぞれ構成され、間隔を空けて互いに対向配置された第１弾性部（４１）および第２弾性部（４２）と、
前記第１弾性部および前記第２弾性部の各々の一端（４１ａ，４２ａ）が固定された固定部（４４）と、
前記第１弾性部および前記第２弾性部の各々の他端（４１ｂ，４２ｂ）同士を接続するように設けられた前記移動部（４３）と、
前記移動部に取り付けられ、電磁力を非接触で受けることによって前記移動部とともに往復移動する駆動受部（４５Ｍ）と、を備え、
前記第１弾性部（４１）、前記第２弾性部（４２）、および前記移動部（４３）によって、一端（４０ａ）が前記固定部（４４）に固定された平行板ばね構造（４０）が構成され、
前記駆動受部（４５Ｍ）は、前記移動部（４３）から見て前記平行板ばね構造（４０）の前記一端（４０ａ）側に取り付けられ、前記平行板ばね構造（４０）の前記移動部（４３）が共振周波数で振動するように前記電磁力を受ける、
平行移動装置。
【請求項２】
前記駆動受部（４５Ｍ）は、前記移動部（４３）の前記一端（４０ａ）側の端面に設けられる、
請求項１に記載の平行移動装置。
【請求項３】
前記駆動受部（４５Ｍ）は、前記移動部（４３）の前記端面において、厚さ方向および幅方向の中央部に配置される、
請求項２に記載の平行移動装置。
【請求項４】
前記移動部（４３）は、前記第１弾性部（４１）および前記第２弾性部（４２）の間において前記平行板ばね構造（４０）の前記一端（４０ａ）側に向かって延在する延在部（４３Ｔ）を含み、
前記駆動受部（４５Ｍ）は、前記延在部（４３Ｔ）の延在方向の先端（４３Ｓ）に取り付けられる、
請求項１に記載の平行移動装置。
【請求項５】
前記駆動受部（４５Ｍ）は、前記第１弾性部（４１）および前記第２弾性部（４２）の長手方向において、前記第１弾性部（４１）および前記第２弾性部（４２）が弾性変形する領域（Ｒ４０）の中央部に位置する、
請求項４に記載の平行移動装置。
【請求項６】
前記延在部（４３Ｔ）は、前記移動部（４３）のうちの前記第１弾性部（４１）および前記第２弾性部（４２）の各々の前記他端（４１ｂ，４２ｂ）同士を接続する部位とは別体として作製され、前記部位に対して取付固定されている、
請求項４または請求項５に記載の平行移動装置。
【請求項７】
前記延在部（４３Ｔ）の内部は中空状に形成され、
前記移動部（４３）は、前記移動部（４３）側から前記駆動受部（４５Ｍ）側に向かって延在する穴部（４３Ｈ）を有する、
請求項４〜請求項６のいずれか１項に記載の平行移動装置。
【請求項８】
前記駆動受部（４５Ｍ）は、磁石から構成される、
請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の平行移動装置。
【請求項９】
前記移動部（４３）の移動量が所定の範囲以内となるように前記移動部（４３）の移動を規制するストッパー（６８）をさらに備える、
請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の平行移動装置。
【請求項１０】
前記移動部（４３）には、前記駆動受部（４５Ｍ）が嵌め込まれる嵌合部（４３Ｍ，４３Ｎ）が設けられる、
請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載の平行移動装置。
【請求項１１】
請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載の平行移動装置と、
前記平行板ばね構造（４０）の前記他端（４０ｂ）側の外表面（４０Ｓ）に露出するように設けられた移動鏡（１６）と、
固定鏡（１５）と、
光源（１２）と、
前記光源が出射した光を前記固定鏡に向かう光と前記移動鏡に向かう光とに分割するとともに、前記固定鏡および前記移動鏡の各々に反射した光を合成し干渉光として出射するビームスプリッタ（１４）と、
前記干渉光を検出する検出器（１８）と、を備える、
マイケルソン干渉計。
【請求項１２】
請求項１１に記載のマイケルソン干渉計と、
前記検出器が検出した前記干渉光のスペクトルを算出する演算部（２）と、
前記演算部によって得られた前記スペクトルを出力する出力部（３）と、を備える、
フーリエ変換分光分析装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明に基づく平行移動装置は、移動部が平行な姿勢を維持しつつ往復移動する平行移動装置であって、平板状の部材からそれぞれ構成され、間隔を空けて互いに対向配置された第１弾性部および第２弾性部と、上記第１弾性部および上記第２弾性部の各々の一端が固定された固定部と、上記第１弾性部および上記第２弾性部の各々の他端同士を接続するように設けられた上記移動部と、上記移動部に取り付けられ、電磁力を非接触で受けることによって上記移動部とともに往復移動する駆動受部と、を備え、上記第１弾性部、上記第２弾性部、および上記移動部によって、一端が上記固定部に固定された平行板ばね構造が構成され、上記駆動受部は、上記移動部から見て上記平行板ばね構造の上記一端側に取り付けられ、上記平行板ばね構造の上記移動部が共振周波数で振動するように上記電磁力を受ける。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
好ましくは、上記駆動受部は、磁石から構成される。好ましくは、上記移動部は、上記第１弾性部および上記第２弾性部の間において上記平行板ばね構造の上記一端側に向かって延在する延在部を含み、上記駆動受部は、上記延在部の延在方向の先端に取り付けられる。
【国際調査報告】
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