(57)【要約】光記録媒体の製造装置において、基板のセンターホールに対して位置決めを行う上下方向に可動の基板位置出しピンと、基板位置出しピンを用いて基板の位置決めを行って基板を保持する基板保持部と、基板保持部に保持された基板の表面に向けて気体を噴出する気体噴出部と気体を吸引する気体吸引部とを有するクリーナーと、基板位置出しピンを下方に押下可能で且つ基板のセンターホールの内周側面に接触しないように構成された基板位置出しピン固定部とを備え、基板位置出しピン固定部は、基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成されるように、基板保持部に保持された基板のセンターホール内を下降して、基板位置出しピンを押下して固定し、その状態で前記クリーナーが、気体の噴出と吸引を行う。
2012046364.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に情報信号層が設けられた光記録媒体の製造装置において、
前記基板のセンターホールに対して位置決めを行う上下方向に可動の基板位置出しピンと、
前記基板位置出しピンを用いて前記基板の位置決めを行って、前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された前記基板の表面に向けて気体を噴出する気体噴出部と気体を吸引する気体吸引部とを有するクリーナーと、
前記基板位置出しピンを下方に押下可能で、且つ前記基板のセンターホールの内周側面に接触しないように構成された基板位置出しピン固定部と
を備え、
前記基板位置出しピン固定部は、前記基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成されるように、前記基板保持部に保持された前記基板のセンターホール内を下降して、前記基板位置出しピンを押下して固定し、その状態で前記クリーナーが、気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする
光記録媒体の製造装置。
【請求項２】
前記基板位置出しピン固定部が円柱形状であり、その円断面の径が前記基板位置出しピンの円断面の径よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項３】
前記基板位置出しピン固定部が、前記基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成され得るように、前記基板保持部に保持された前記基板のセンターホール内を下降して、前記基板位置出しピンを押下して固定した状態のときに、
前記クリーナーの気体噴出部の一部と気体吸引部の一部が、前記基板保持部に保持された前記基板の内周側面よりも内側の位置まで移動可能であることを特徴とする
請求項１に記載の製造装置。
【請求項４】
前記クリーナーと前記基板位置出しピン固定部とが一体構成されていることを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項５】
前記基板位置出しピンと前記基板位置出しピン固定部とのうち、一方が磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項６】
前記基板位置出しピンと前記基板位置出しピン固定部のいずれもが、磁場発生体で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項７】
前記基板位置出しピン固定部は、真空吸着により前記基板位置出しピンを押下した状態で固定することを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項８】
前記クリーナーが、前記情報信号層が設けられた面側に対して気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項９】
前記クリーナーが、光記録媒体の印刷面側に対して気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項１０】
基板のセンターホールに対して上下方向に可動の基板位置出しピンにより位置決めされた前記基板を保持するステップと、
前記基板のセンターホールの内周側面が露出するように、前記基板位置出しピンを下方に押下して固定するステップと、
保持されている前記基板の表面に向けて気体を噴出し同時に気体を吸引するクリーナーにより異物の除去を行うステップと
を含む光記録媒体の製造方法。
【請求項１１】
前記基板のセンターホールの内周側面が露出するように、前記基板位置出しピンを下方に押下して固定した状態のときに、
前記クリーナーの一部が、保持されている前記基板の内周側面よりも内側の位置まで移動し得ることを特徴とする
請求項１０に記載の製造方法。
【請求項１２】
基板の信号面にターゲット材をスパッタリングすることで記録膜又は反射膜を形成する工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項１０に記載の製造方法。
【請求項１３】
基板の信号面を保護するためのカバー層を形成する工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項１０に記載の製造方法。
【請求項１４】
基板の信号面を保護するためのカバー層を形成した面の反対側面に、裏面スパッタターゲット材をスパッタリングすることで吸水防止膜を形成する工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項１０に記載の製造方法。
【請求項１５】
基板の吸水防止膜を形成した面に印刷を行う工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項１０に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録媒体の製造装置及び製造方法に関し、特に、光記録媒体の基板上の異物を除去する製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光記録媒体の情報信号層における異物を除去する従来の方法として、情報信号層を形成する工程の後、光透過層を形成する工程の前に、基板の少なくとも情報信号層の露出面に気体を吹き付けると共に、露出面近傍の気体を吸引する工程を有するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３３８４４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のような異物を除去する方法を実施する装置においては、光記録媒体のセンターホールの内周側面付近は基板位置出しピンと接触しているため、気体を吹き付けて吸引するとしても、異物が十分に除去できない。【０００５】
本発明は、上記の課題を解決するものであり、光記録媒体のセンターホールの内周側面付近の異物を十分に除去し得る光記録媒体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の光記録媒体の製造装置は、
基板上に情報信号層が設けられた光記録媒体の製造装置において、
前記基板のセンターホールに対して位置決めを行う上下方向に可動の基板位置出しピンと、
前記基板位置出しピンを用いて前記基板の位置決めを行って、前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された前記基板の表面に向けて気体を噴出する気体噴出部と気体を吸引する気体吸引部とを有するクリーナーと、
前記基板位置出しピンを下方に押下可能で、且つ前記基板のセンターホールの内周側面に接触しないように構成された基板位置出しピン固定部と
を備え、
前記基板位置出しピン固定部は、前記基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成されるように、前記基板保持部に保持された前記基板のセンターホール内を下降して、前記基板位置出しピンを押下して固定し、その状態で前記クリーナーが、気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする。【０００７】
また、上記課題を解決するため、本発明の光記録媒体の製造方法は、
基板のセンターホールに対して上下方向に可動の基板位置出しピンにより、位置決めされた前記基板を保持するステップと、
前記基板のセンターホールの内周側面が露出するように、前記基板位置出しピンを下方に押下して固定するステップと、
保持されている前記基板の表面に向けて気体を噴出し同時に気体を吸引するクリーナーにより異物の除去を行うステップと
を含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、クリーナー動作中に光記録媒体のセンターホールの内周側面の表面を露出させることにより、光記録媒体のセンターホールの内周側面付近の異物を十分に除去し得る光記録媒体の製造装置及び製造方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】円盤状光記録媒体の製造の全体工程を概略示す図
【図２】本発明の実施の形態１に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置２の概略の構成を示す図
【図３】クリーナーノズルの先端部の横断面図
【図４】本発明の実施の形態１に係る光記録媒体の製造装置の、異物を除去するための動作を示す図
【図５】本発明の実施の形態２に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置４２の概略の構成を示す図
【図６】基板保持部上に配置される基板の信号面に対向する、クリーナーユニットの底面を示す図
【図７】本発明の実施の形態２に係る光記録媒体の製造装置の、異物を除去するための動作を示す図
【図８】基板位置出しピン固定部として別の構成を採用する、本発明の実施の形態に係る製造装置の概略の構成を示す図
【図９】本発明の一つの実施の形態を実現する基板位置出しピンと基板位置出しピン固定部とを示す図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１１】
１．実施の形態１
１．１．光記録媒体の製造工程
最初に、円盤状光記録媒体の製造の全体工程について説明する。図１は、円盤状光記録媒体の製造の全体工程を概略示す図である。以下に説明する製造方法により製造される光記録媒体は、基板上に情報信号層が設けられ該基板に対して光を照射して情報信号の記録及び／又は再生が行われる円盤状の記録媒体である。図１に示すように、円盤状光記録媒体の製造の全体工程は、基板の成形工程、スパッタ工程、カバー層工程、裏面スパッタ工程、及び、印刷工程を含み、各工程はこの順序で行われる。
【００１２】
まず、基板の成形工程では、例えば、厚さ１．１ｍｍの円盤状のポリカーボネート基板１１が成形される。次に、スパッタ工程では、基板１１の信号面１３にターゲット材１２をスパッタリングすることで記録膜及び／又は反射膜が形成される。
【００１３】
次に、カバー層工程では、信号面１３の表面を保護するために、カバー層が形成される。具体的には、このカバー層工程では、基板１１中心部上方に配置されるセンターキャップ１４上に、樹脂滴下ノズル１５によって紫外線硬化樹脂１６を塗布し、更に、塗布した樹脂を、例えばスピンコート法により、基板表面に均一な厚さになるように引き伸ばし、その後、紫外線によって硬化する。このようにすることでカバー層が形成される。
【００１４】
次に、裏面スパッタ工程では、吸水による基板の反りを防止するために、カバー層を形成した基板面の反対側に、裏面スパッタターゲット材１７をスパッタリングすることで吸水防止膜１８が形成される。最後に、印刷工程では、裏面スパッタ工程で吸水防止膜１８を形成した面にレーベル印刷を行う。
【００１５】
本実施の形態では、円盤状光記録媒体の製造の全体工程において、塵等の異物を除去するための異物除去のサブ工程を、上述のスパッタ工程、カバー層工程、裏面スパッタ工程、及び、印刷工程のうちの少なくとも何れか一つの工程の前に行う。特に、カバー層工程では、異物混入による不良な記録媒体の発生が、カバー層工程における歩留を大きく悪化させるので、紫外線硬化樹脂１６を塗布する前の基板表面の異物除去が非常に重要である。
【００１６】
１．１．光記録媒体の製造装置の構成
次に、本発明の実施の形態１に係る製造装置２について説明する。図２は、本実施の形態に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置２の概略の構成を示す図である。なお以下では、カバー層工程直前における記録媒体の異物を除去する際の、製造装置２の構成を示しており、製造装置２には、記録層及び／又は反射膜をスパッタリングにより形成した後の基板２３が配置される。
【００１７】
本実施の形態の光記録媒体の製造装置２は、回転軸２１、基板保持部２２、基板位置出しピン２４、基板位置出しピン固定部２８、クリーナーノズル２５、気体供給部２６、及び吸引ポンプ２７を含む。なお、図２において、回転軸２１、基板保持部２２、基板位置出しピン２４、及び基板位置出しピン固定部２８は、縦断面図により示されている。
【００１８】
光記録媒体の元となる円盤状の基板２３は、高速回転する回転軸２１と連動する基板保持部２２によって保持される。基板保持部２２は、真空吸着などの作用により基板２３を保持する。
【００１９】
図２に示すように、回転軸２１及び基板保持部２２の中心部の鉛直方向には、基板２３のセンターホールの径と同じ径を有する円筒孔が、設けられている。この円筒孔内には、円柱形の基板位置出しピン２４が配置される。基板位置出しピン２４は、回転軸２１及び基板保持部２２の円筒孔内に隙間無く配置されるが、基板２３の信号面１３に対して垂直方向に動作可能であるように構成されている。この基板位置出しピン２４は、基板保持部２２上での基板２３の位置決めを行うために設けられている。つまり、基板位置出しピン２４は、基板２３の位置決めを行う際には基板２３の信号面１３から僅かに上面を突出するように、また、上面を下方へ押下すると鉛直方向の位置を円筒孔内で下げるように、下方からバネなどの弾性体（図示せず）により付勢されている。
【００２０】
基板位置出しピン２４の上方において、それに対向する位置には、基板位置出しピン固定部２８が設けられている。基板位置出しピン固定部２８は、鉛直方向に下降して、基板位置出しピン２４を押下した状態で固定される。つまり、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８とは、接触した状態で相互に固定される。このように相互に固定されることにより、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８との接触面は、回転軸２１及び基板保持部２２が回転しても磨耗することがなく、よって回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中の異物の発生が抑制される。そのために、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８のいずれもがマグネット等の磁場発生体で構成されているのが好ましい。或いは、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８とのうち一方がマグネット等の磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されていてもよい。
【００２１】
後で説明するように、基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下した際に、基板２３のセンターホールの内周側面３０の内側に隙間（空間）が形成されること、すなわち、内周側面３０の表面が露出することが好ましい。つまり、このときに、基板位置出しピン固定部２８が、基板２３のセンターホールの内周側面３０に接触しないものであることが好ましい。そのために、基板位置出しピン固定部２８の横幅が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。具体的には、例えば、基板位置出しピン固定部２８が円柱形状であり、その円断面の径が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。
【００２２】
更に、基板２３の信号面１３に対向させて、クリーナーノズル２５が設けられている。クリーナーノズル２５は、異物を除去するために、その先端部にて気体の噴出と気体の吸引とを行う。従って、図２に示すように、クリーナーノズル２５の先端部は、基板２３の信号面１３と対向して、且つ、基板２３の信号面１３と数ｍｍ離れて、配置される。更に、本実施の形態においては、クリーナーノズル２５の先端部は、基板２３の信号面１３と数ｍｍ離隔する平行面上を、基板２３の径方向において、基板２３のセンターホール近傍から外周近傍へ、若しくは、基板２３の外周近傍からセンターホール近傍へ、移動可能に構成されている。後で説明するように、クリーナーノズル２５の先端部が基板２３のセンターホール近傍に存在するときには、基板のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホールの中心に僅かに近づくところにまで、接近することが好ましい。
【００２３】
図３は、クリーナーノズル２５の先端部の横断面図である。クリーナーノズル２５には、気体噴出を行うための気体噴出ノズル２５ｂと、それを取り囲むように、気体の吸引を行うための気体吸引ノズル２５ａが設けられている。図２に示す気体供給部２６は、クリーナーノズル２５の気体噴出ノズル２５ｂを介して高圧の気体を基板２３表面に供給する。吸引ポンプ２７は、クリーナーノズル２５の気体吸引ノズル２５ａを介して気体を吸引する。
【００２４】
１．２．光記録媒体の製造装置の動作
次に、本実施の形態に係る製造装置２の、異物を除去するための動作について説明する。図４は、本実施の形態に係る光記録媒体の製造装置２の、異物を除去するための動作を説明するための図である。
【００２５】
最初、図２に示すように、基板２３が、基板位置出しピン２４を基準に基板保持部２２に設置され、真空吸着などの作用により基板保持部２２に保持されている。この状態で、基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下し、その状態で相互の位置がマグネットの作用により固定される。このとき、図４に示すように、基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下することにより、基板２３のセンターホールの内周側面３０と、基板位置出しピン固定部２８及び基板位置出しピン２４との間に、隙間（空間）が形成される。このように隙間（空間）が形成されるために、基板位置出しピン固定部２８の横幅が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいことが好ましい。
【００２６】
次に、基板保持部２２は、回転軸２１の回転動作により回転し、この回転動作により、基板保持部２２に保持される基板２３も同様に回転する。この基板２３の回転と、以下に述べるクリーナーノズル２５の径方向の移動とにより、基板２３の上面の表面のあらゆる位置に存在する異物が除去され得る。
【００２７】
クリーナーノズル２５の先端部は、基板２３の信号面１３と数ｍｍ離隔した位置を、基板２３の径方向において、基板２３のセンターホール近傍から外周近傍へ、若しくは、基板２３の外周近傍からセンターホール近傍へ、平行移動する。クリーナーノズル２５の先端部が基板２３のセンターホール近傍に存在するときには、基板２３のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホールの中心に僅かに近づくところに、接近することが好ましい。
【００２８】
クリーナーノズル２５の先端部は、基板２３の表面に向けて、気体の噴出と気体の吸引とを同時に行うことにより、基板２３の表面の異物を除去する。この際、基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下することで、基板２３のセンターホールの内周側面３０と、基板位置出しピン固定部２８及び基板位置出しピン２４との間に隙間（空間）が形成されることにより、クリーナーノズル２５の先端部は、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物を十分に且つ効率的に吸引して除去することができる。また更に、クリーナーノズル２５の先端部が、基板２３のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホール中心に僅かに近づくところに、接近できるのであるならば、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物を、より十分に且つ効率的に除去することができる。
【００２９】
また、本実施の形態に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置２では、基板位置出しピン２４は基板位置出しピン固定部２８によって固定されているため、相互の接触面は、回転軸２１及び基板保持部２２が回転しても、磨耗することがなく、よって回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中の異物の発生を無くすことができる。
【００３０】
１．３．まとめ
実施の形態１に係る光記録媒体の製造装置２では、基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下することで、基板２３のセンターホールの内周側面３０と、基板位置出しピン固定部２８及び基板位置出しピン２４との間に隙間（空間）が形成される。また、クリーナーノズル２５の先端部が、基板２３のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホール中心に僅かに近づくところに、接近できる。これらのことにより、基板２３のセンターホールの内周側面３０が露出し、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物が十分に且つ効率的に除去され得る。更に、基板位置出しピン２４が基板位置出しピン固定部２８によって固定されているので、回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中に、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８の摩擦により生じ得る異物の発生が、抑制される。
【００３１】
２．実施の形態２
２．１．光記録媒体の製造装置の構成
本発明の実施の形態２に係る製造装置について説明する。図５は、本実施の形態に係る光記録媒体の製造装置の概略の構成を示す図である。実施の形態２に係る製造装置４２のうち、回転軸２１、基板保持部２２、及び基板位置出しピン２４の構成は、実施の形態１のものと同様であるため詳しい説明を省略する。以下においても、カバー層工程直前における記録媒体の異物を除去する際の、製造装置４２の構成を示しており、製造装置には、記録層及び／又は反射膜をスパッタリングにより形成した後の状態の基板２３が配置される。
【００３２】
本発明の実施の形態２に係る製造装置４２は、基板位置出しピン固定部５２と、異物を除去するための気体の噴出及び気体の吸引を行うクリーナーユニット５１とが、一体構成されている点が本発明の実施の形態１のものと異なる。
【００３３】
図６は、クリーナーユニット５１を、基板保持部２２上に配置される基板２３の信号面１３に対向する側、すなわち、クリーナーユニット５１の開口部側から見た図である。実施の形態２に係るクリーナーユニット５１は、概略、直方体形状であり、図５に示すように、その長手方向の寸法は基板２３の半径を超えるものである。
【００３４】
図６に示すように、実施の形態２に係るクリーナーユニット５１の底面には、より効率的に異物を除去するために、スリット形状である１本の気体噴出部５１ｂと２本の気体吸引部５１ａとが、クリーナーユニット５１の長手方向に並列して配置されている。１本の気体噴出部５１ｂは、クリーナーユニット５１の底面の中央に配置され、２本の気体吸引部５１ａは、夫々、クリーナーユニット５１の底面の縁部近くに配置されている。また、基板位置出しピン固定部５２が、気体噴出部５１ｂと気体吸引部５１ａの間に設けられている。基板位置出しピン固定部５２は、クリーナーユニット５１の底面の別の位置に設けられてもよく、例えば、スリット形状の気体噴出部５１ｂの一部を遮るようにその途中の位置に設けられてもよい。また、図６に示すクリーナーユニット５１では、１本の気体噴出部５１ｂと２本の気体吸引部５１ａとが設けられているが、より多数本の気体噴出部５１ｂ及び気体吸引部５１ａが設けられてもよい。
【００３５】
クリーナーユニット５１底面の気体噴出部５１ｂを介して基板２３表面に噴出される高圧の気体は、クリーナーユニット５１と繋がる気体供給部２６により供給される。クリーナーユニット５１底面の気体吸引部５１ａを介して基板２３表面から吸引される気体は、クリーナーユニット５１と繋がる吸引ポンプ２７により吸収される。
【００３６】
クリーナーユニット５１と一体構成される基板位置出しピン固定部５２は、実施の形態１に係る製造装置２における基板位置出しピン固定部２８と同様のものである。基板位置出しピン固定部５２は、鉛直方向に降下し、基板位置出しピン２４を押下した状態で相互に固定される。このように相互に固定されることにより、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部５２との接触面は、回転軸２１及び基板保持部２２が回転しても磨耗することがなく、よって回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中の異物の発生が抑制される。そのために、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部５２のいずれもがマグネット等の磁場発生体で構成されているのが好ましい。或いは、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部５２とのうち一方がマグネット等の磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されていてもよい。
【００３７】
また、基板位置出しピン固定部５２が基板位置出しピン２４を押下した際に、基板２３のセンターホールの内周側面３０の内側に隙間（空間）が形成されること、すなわち、内周側面３０の表面が露出することが好ましい。つまり、このときに、基板位置出しピン固定部５２が、基板２３のセンターホールの内周側面３０に接触しないものであることが好ましい。そのために、基板位置出しピン固定部５２の横幅が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。具体的には、例えば、基板位置出しピン固定部５２が円柱形状であり、その円断面の径が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。
【００３８】
また、基板位置出しピン固定部５２が基板位置出しピン２４を押下して固定される状態の際には、クリーナーユニット５１底面が、基板２３の信号面１３の上方に数ｍｍ離隔して配置されるように、基板位置出しピン固定部５２及びクリーナーユニット５１底面が構成されている。
【００３９】
２．２．光記録媒体の製造装置の動作
次に、本実施の形態に係る製造装置４２の、異物を除去するための動作について説明する。図７は、本実施の形態に係る光記録媒体の製造装置４２の、異物を除去するための動作を説明するための図である。回転軸２１、基板保持部２２、及び基板位置出しピン２４の動作は、実施の形態１のものと同様であるため詳しい説明を省略する。
【００４０】
最初、図５に示すように、基板２３が、基板位置出しピン２４を基準に基板保持部２２に設置され、真空吸着などの作用により基板保持部２２に保持されている。この状態で、クリーナーユニット５１と一体構成された基板位置出しピン固定部２８が、基板位置出しピン２４を押下し、その状態で相互の位置がマグネットの作用により固定される。このとき、図７に示すように、基板位置出しピン固定部５２が基板位置出しピン２４を押下することにより、基板２３のセンターホールの内周側面３０と、基板位置出しピン固定部５２及び基板位置出しピン２４との間に、隙間（空間）が形成される。このように隙間（空間）が形成されるために、基板位置出しピン固定部５２の横幅が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいことが好ましい。
【００４１】
基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下し、相互の位置をマグネットの作用により固定するとき、クリーナーユニット５１底面は、基板２３の信号面１３の上方に数ｍｍ離隔して配置される。
【００４２】
次に、基板保持部２２は、回転軸２１の回転動作により回転し、この回転動作により、基板保持部２２に保持される基板２３も同様に回転する。この基板２３の回転と、基板２３の半径よりも長いスリット形状の気体噴出部５１ｂ及び気体吸引部５１ａを底面に備えるクリーナーユニット５１の配置とにより、基板２３の上面のあらゆる位置に存在する異物が除去され得る。
【００４３】
クリーナーユニット５１底面の気体噴出部５１ｂ及び気体吸引部５１ａは、基板２３の信号面１３の上方に数ｍｍ離隔して配置される。図６に示すように、気体噴出部５１ｂと片方の気体吸引部５１ａとは、基板位置出しピン固定部５２を挟むようにして配置されているので、基板位置出しピン固定部５２近傍の、気体噴出部５１ｂの一部と気体吸引部５１ａの一部は、基板２３のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホールの中心に近い位置の上方に在ることになる。
【００４４】
クリーナーユニット５１は、気体の噴出と吸引とを同時に行うことにより、基板２３表面の異物を除去する。この際、基板位置出しピン固定部５２が基板位置出しピン２４を押下し続けることで、基板２３のセンターホールの内周側面３０と、基板位置出しピン固定部５２及び基板位置出しピン２４との間に隙間（空間）が形成されることにより、クリーナーユニット５１の気体噴出部５１ｂ及び気体吸引部５１ａは、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物を十分に且つ効率的に吸引して除去することができる。また、基板位置出しピン固定部５２近傍の、気体噴出部５１ｂの一部と気体吸引部５１ａの一部は、基板２３のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホールの中心に近い部分の直ぐ上方に在ることからも、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物は、より十分に且つ効率的に除去されることが可能になる。
【００４５】
なお、クリーナーユニット５１の長手方向の寸法が、基板２３の直径と同程度のものであってもよく、基板２３の直径を超えるものであってもよい。これらの場合、より早く確実に異物が除去されることになる。
【００４６】
２．３．まとめ
実施の形態２に係る光記録媒体の製造装置２によっても、実施の形態１と同様に、クリーニング動作中に基板２３のセンターホールの内周側面３０付近に空間を形成できるため、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物が十分に且つ効率的に除去され得る。更に、基板位置出しピン２４が基板位置出しピン固定部５２によって固定されているので、回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中に、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部５２の摩擦により生じ得る異物の発生が、抑制される。
【００４７】
更に、実施の形態２に係る製造装置では、クリーナーノズルの移動機構を必要としないため、実施の形態１に比べて、製造装置の全体構成が簡略化される。
【００４８】
３．その他の実施の形態
以上、本発明の実施の形態１と実施の形態２を説明したが、本発明は、以上の実施の形態に限定されるものではない。
【００４９】
実施の形態１に係る製造装置、及び、実施の形態２に係る製造装置のいずれでも、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８、５２のいずれもがマグネット等の磁場発生体で構成されている、又は、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８、５２とのうち一方がマグネット等の磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されている。つまり、両者が接触したとき両者は相互に固定されるものである。このように、両者が接触したときの相互の固定が実現されるのであれば、基板位置出しピン固定部は、別の構成を採用するものであってもよい。
【００５０】
図８は、基板位置出しピン固定部８１として別の構成を採用する、本発明の別の実施の形態に係る製造装置６２の概略の構成を示す図である。図８に示す基板位置出しピン固定部８１は、真空ポンプ８２と繋がっている。基板位置出しピン固定部８１は、基板位置出しピン２４を押下可能であり、更に、押下した状態で、真空ポンプ８２の動作により基板位置出しピン２４を真空吸着しつつ固定することができる。この構成により、基板位置出しピン固定部８１と基板位置出しピン２４との互いの接触面は、回転軸２１及び基板保持部２２が回転しても磨耗することがなく、よって、回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中における異物の発生が抑制される。
【００５１】
なお、図示していないが、クリーナーノズル２５、気体供給部２６、及び吸引ポンプ２７は、図２及び図４に示す実施の形態１に係るものが用いられるのが好ましい。
【００５２】
また、基板位置出しピン固定部と基板位置出しピンが接触したとき、両者が相互に完全に吸着するものでなくても、本発明の実施の形態は実現され得る。図９は、本発明の更に別の実施の形態を実現する、基板位置出しピン２４ｂと、基板位置出しピン固定部２８ａとを示す図である。基板位置出しピン固定部２８ａは略、円柱形状であり（図９（１ａ）参照）、その先端部には三つ又形状を為す突起部５５を備える。図９（２ａ）に、図９（１ａ）に示す基板位置出しピン固定部２８ａを矢印Ａから見たときの底面図を示す。
【００５３】
これに対して、基板位置出しピン２４ｂも略、円柱形状であり（図９（１ｂ）参照）、その上面には、円周縁と、基板位置出しピン固定部２８ａの突起部５５を受けて係合する三つの歯状突起部５７とを、備える。図９（２ｂ）に、図９（１ｂ）に示す基板位置出しピン２４ｂを矢印Ｂから見たときの上面図を示す。
【００５４】
基板位置出しピン２４ｂと基板位置出しピン固定部２８ａ以外の構成要素については、実施の形態１に係る製造装置のもの、若しくは実施の形態２に係る製造装置のものと、同様であればよい。
【００５５】
基板位置出しピン固定部２８ａの先端部と、基板位置出しピン２４ｂの上面とを合わせ、基板位置出しピン２４ｂを回転矢印βの方向に回転させると（或いは、基板位置出しピン固定部２８ａを回転矢印αの方向に回転させると）、基板位置出しピン固定部２８ａと基板位置出しピン２４ｂの相互の位置は、図９（３）に示すように係合して固定される。すなわち、基板位置出しピン固定部２８ａの先端部の突起部５５と、基板位置出しピン２４ｂ上面の歯状突起部５７とが係合し、両者はそれ以上相互に回転しないことになる。
【００５６】
このように、回転軸２１及び基板保持部２２が回転しても、基板位置出しピン固定部２８ａと基板位置出しピン２４ｂとの回転方向の位置は固定されるため、相互の接触面は磨耗することがなく、よって、回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中における異物の発生が抑制される。
【００５７】
以上、本発明の実施の形態に係る製造装置は、図１に示すカバー層工程の直前における記録媒体の異物を除去する装置として説明してきたが、本発明の実施の形態に係る製造装置は、その他の工程における記録媒体の異物を除去することもできる。例えば、図１には、光記録媒体の製造の全体工程に含まれる、スパッタ工程、裏面スパッタ工程、及び、印刷工程などが示されているが、これら各工程の直前における記録媒体の異物を除去する装置としても、本発明の実施の形態に係る製造装置を用いることができる。
【符号の説明】
【００５８】
２、４２、６２・・・製造装置、１１・・・ポリカーボネート基板、１２・・・ターゲット材、１３・・・信号面、１４・・・センターキャップ、１５・・・樹脂滴下ノズル、１６・・・紫外線硬化樹脂、１７・・・裏面スパッタターゲット、１８・・・吸水防止膜、２１・・・回転軸、２２・・・基板保持部、２３・・・基板、２４、２４ｂ・・・基板位置出しピン、２５・・・クリーナーノズル、２５ａ・・・気体吸引ノズル、２５ｂ・・・気体噴出ノズル、２６・・・気体供給部、２７・・・吸引ポンプ、２８、２８ａ、５２、８１・・・基板位置出しピン固定部、３０・・・センターホール内周側面、５１・・・クリーナーユニット、５１ａ・・・気体吸引部、５１ｂ・・・気体噴出部、５５・・・突起部、５７・・・歯状突起部、８２・・・真空ポンプ。
【図１】
2012046364.tif 000003
【図２】
2012046364.tif 000004
【図３】
2012046364.tif 000005
【図４】
2012046364.tif 000006
【図５】
2012046364.tif 000007
【図６】
2012046364.tif 000008
【図７】
2012046364.tif 000009
【図８】
2012046364.tif 000010
【図９】
2012046364.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月15日(2013.3.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録媒体の製造装置及び製造方法に関し、特に、光記録媒体の基板上の異物を除去する製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光記録媒体の情報信号層における異物を除去する従来の方法として、情報信号層を形成する工程の後、光透過層を形成する工程の前に、基板の少なくとも情報信号層の露出面に気体を吹き付けると共に、露出面近傍の気体を吸引する工程を有するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３３８４４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のような異物を除去する方法を実施する装置においては、光記録媒体のセンターホールの内周側面付近は基板位置出しピンと接触しているため、気体を吹き付けて吸引するとしても、異物が十分に除去できない。
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決するものであり、光記録媒体のセンターホールの内周側面付近の異物を十分に除去し得る光記録媒体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の光記録媒体の製造装置は、
基板上に情報信号層が設けられた光記録媒体の製造装置において、
前記基板のセンターホールに対して位置決めを行う上下方向に可動の基板位置出しピンと、
前記基板位置出しピンを用いて前記基板の位置決めを行って、前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された前記基板の表面に向けて気体を噴出する気体噴出部と気体を吸引する気体吸引部とを有するクリーナーと、
前記基板位置出しピンを下方に押下可能で、且つ前記基板のセンターホールの内周側面に接触しないように構成された基板位置出しピン固定部と
を備え、
前記基板位置出しピン固定部は、前記基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成されるように、前記基板保持部に保持された前記基板のセンターホール内を下降して、前記基板位置出しピンを押下して固定し、その状態で前記クリーナーが、気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする。
【０００７】
また、上記課題を解決するため、本発明の光記録媒体の製造方法は、
基板のセンターホールに対して上下方向に可動の基板位置出しピンにより、位置決めされた前記基板を保持するステップと、
前記基板のセンターホールの内周側面が露出するように、前記基板位置出しピンを下方に押下して固定するステップと、
保持されている前記基板の表面に向けて気体を噴出し同時に気体を吸引するクリーナーにより異物の除去を行うステップと
を含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、クリーナー動作中に光記録媒体のセンターホールの内周側面の表面を露出させることにより、光記録媒体のセンターホールの内周側面付近の異物を十分に除去し得る光記録媒体の製造装置及び製造方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】円盤状光記録媒体の製造の全体工程を概略示す図
【図２】本発明の実施の形態１に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置２の概略の構成を示す図
【図３】クリーナーノズルの先端部の横断面図
【図４】本発明の実施の形態１に係る光記録媒体の製造装置の、異物を除去するための動作を示す図
【図５】本発明の実施の形態２に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置４２の概略の構成を示す図
【図６】基板保持部上に配置される基板の信号面に対向する、クリーナーユニットの底面を示す図
【図７】本発明の実施の形態２に係る光記録媒体の製造装置の、異物を除去するための動作を示す図
【図８】基板位置出しピン固定部として別の構成を採用する、本発明の実施の形態に係る製造装置の概略の構成を示す図
【図９】本発明の一つの実施の形態を実現する基板位置出しピンと基板位置出しピン固定部とを示す図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１１】
１．実施の形態１
１．１．光記録媒体の製造工程
最初に、円盤状光記録媒体の製造の全体工程について説明する。図１は、円盤状光記録媒体の製造の全体工程を概略示す図である。以下に説明する製造方法により製造される光記録媒体は、基板上に情報信号層が設けられ該基板に対して光を照射して情報信号の記録及び／又は再生が行われる円盤状の記録媒体である。図１に示すように、円盤状光記録媒体の製造の全体工程は、基板の成形工程、スパッタ工程、カバー層工程、裏面スパッタ工程、及び、印刷工程を含み、各工程はこの順序で行われる。
【００１２】
まず、基板の成形工程では、例えば、厚さ１．１ｍｍの円盤状のポリカーボネート基板１１が成形される。次に、スパッタ工程では、基板１１の信号面１３にターゲット材１２をスパッタリングすることで記録膜及び／又は反射膜が形成される。
【００１３】
次に、カバー層工程では、信号面１３の表面を保護するために、カバー層が形成される。具体的には、このカバー層工程では、基板１１中心部上方に配置されるセンターキャップ１４上に、樹脂滴下ノズル１５によって紫外線硬化樹脂１６を塗布し、更に、塗布した樹脂を、例えばスピンコート法により、基板表面に均一な厚さになるように引き伸ばし、その後、紫外線によって硬化する。このようにすることでカバー層が形成される。
【００１４】
次に、裏面スパッタ工程では、吸水による基板の反りを防止するために、カバー層を形成した基板面の反対側に、裏面スパッタターゲット材１７をスパッタリングすることで吸水防止膜１８が形成される。最後に、印刷工程では、裏面スパッタ工程で吸水防止膜１８を形成した面にレーベル印刷を行う。
【００１５】
本実施の形態では、円盤状光記録媒体の製造の全体工程において、塵等の異物を除去するための異物除去のサブ工程を、上述のスパッタ工程、カバー層工程、裏面スパッタ工程、及び、印刷工程のうちの少なくとも何れか一つの工程の前に行う。特に、カバー層工程では、異物混入による不良な記録媒体の発生が、カバー層工程における歩留を大きく悪化させるので、紫外線硬化樹脂１６を塗布する前の基板表面の異物除去が非常に重要である。
【００１６】
１．１．光記録媒体の製造装置の構成
次に、本発明の実施の形態１に係る製造装置２について説明する。図２は、本実施の形態に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置２の概略の構成を示す図である。なお以下では、カバー層工程直前における記録媒体の異物を除去する際の、製造装置２の構成を示しており、製造装置２には、記録層及び／又は反射膜をスパッタリングにより形成した後の基板２３が配置される。
【００１７】
本実施の形態の光記録媒体の製造装置２は、回転軸２１、基板保持部２２、基板位置出しピン２４、基板位置出しピン固定部２８、クリーナーノズル２５、気体供給部２６、及び吸引ポンプ２７を含む。なお、図２において、回転軸２１、基板保持部２２、基板位置出しピン２４、及び基板位置出しピン固定部２８は、縦断面図により示されている。
【００１８】
光記録媒体の元となる円盤状の基板２３は、高速回転する回転軸２１と連動する基板保持部２２によって保持される。基板保持部２２は、真空吸着などの作用により基板２３を保持する。
【００１９】
図２に示すように、回転軸２１及び基板保持部２２の中心部の鉛直方向には、基板２３のセンターホールの径と同じ径を有する円筒孔が、設けられている。この円筒孔内には、円柱形の基板位置出しピン２４が配置される。基板位置出しピン２４は、回転軸２１及び基板保持部２２の円筒孔内に隙間無く配置されるが、基板２３の信号面１３に対して垂直方向に動作可能であるように構成されている。この基板位置出しピン２４は、基板保持部２２上での基板２３の位置決めを行うために設けられている。つまり、基板位置出しピン２４は、基板２３の位置決めを行う際には基板２３の信号面１３から僅かに上面を突出するように、また、上面を下方へ押下すると鉛直方向の位置を円筒孔内で下げるように、下方からバネなどの弾性体（図示せず）により付勢されている。
【００２０】
基板位置出しピン２４の上方において、それに対向する位置には、基板位置出しピン固定部２８が設けられている。基板位置出しピン固定部２８は、鉛直方向に下降して、基板位置出しピン２４を押下した状態で固定される。つまり、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８とは、接触した状態で相互に固定される。このように相互に固定されることにより、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８との接触面は、回転軸２１及び基板保持部２２が回転しても磨耗することがなく、よって回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中の異物の発生が抑制される。そのために、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８のいずれもがマグネット等の磁場発生体で構成されているのが好ましい。或いは、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８とのうち一方がマグネット等の磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されていてもよい。
【００２１】
後で説明するように、基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下した際に、基板２３のセンターホールの内周側面３０の内側に隙間（空間）が形成されること、すなわち、内周側面３０の表面が露出することが好ましい。つまり、このときに、基板位置出しピン固定部２８が、基板２３のセンターホールの内周側面３０に接触しないものであることが好ましい。そのために、基板位置出しピン固定部２８の横幅が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。具体的には、例えば、基板位置出しピン固定部２８が円柱形状であり、その円断面の径が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。
【００２２】
更に、基板２３の信号面１３に対向させて、クリーナーノズル２５が設けられている。クリーナーノズル２５は、異物を除去するために、その先端部にて気体の噴出と気体の吸引とを行う。従って、図２に示すように、クリーナーノズル２５の先端部は、基板２３の信号面１３と対向して、且つ、基板２３の信号面１３と数ｍｍ離れて、配置される。更に、本実施の形態においては、クリーナーノズル２５の先端部は、基板２３の信号面１３と数ｍｍ離隔する平行面上を、基板２３の径方向において、基板２３のセンターホール近傍から外周近傍へ、若しくは、基板２３の外周近傍からセンターホール近傍へ、移動可能に構成されている。後で説明するように、クリーナーノズル２５の先端部が基板２３のセンターホール近傍に存在するときには、基板のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホールの中心に僅かに近づくところにまで、接近することが好ましい。
【００２３】
図３は、クリーナーノズル２５の先端部の横断面図である。クリーナーノズル２５には、気体噴出を行うための気体噴出ノズル２５ｂと、それを取り囲むように、気体の吸引を行うための気体吸引ノズル２５ａが設けられている。図２に示す気体供給部２６は、クリーナーノズル２５の気体噴出ノズル２５ｂを介して高圧の気体を基板２３表面に供給する。吸引ポンプ２７は、クリーナーノズル２５の気体吸引ノズル２５ａを介して気体を吸引する。
【００２４】
１．２．光記録媒体の製造装置の動作
次に、本実施の形態に係る製造装置２の、異物を除去するための動作について説明する。図４は、本実施の形態に係る光記録媒体の製造装置２の、異物を除去するための動作を説明するための図である。
【００２５】
最初、図２に示すように、基板２３が、基板位置出しピン２４を基準に基板保持部２２に設置され、真空吸着などの作用により基板保持部２２に保持されている。この状態で、基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下し、その状態で相互の位置がマグネットの作用により固定される。このとき、図４に示すように、基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下することにより、基板２３のセンターホールの内周側面３０と、基板位置出しピン固定部２８及び基板位置出しピン２４との間に、隙間（空間）が形成される。このように隙間（空間）が形成されるために、基板位置出しピン固定部２８の横幅が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいことが好ましい。
【００２６】
次に、基板保持部２２は、回転軸２１の回転動作により回転し、この回転動作により、基板保持部２２に保持される基板２３も同様に回転する。この基板２３の回転と、以下に述べるクリーナーノズル２５の径方向の移動とにより、基板２３の上面の表面のあらゆる位置に存在する異物が除去され得る。
【００２７】
クリーナーノズル２５の先端部は、基板２３の信号面１３と数ｍｍ離隔した位置を、基板２３の径方向において、基板２３のセンターホール近傍から外周近傍へ、若しくは、基板２３の外周近傍からセンターホール近傍へ、平行移動する。クリーナーノズル２５の先端部が基板２３のセンターホール近傍に存在するときには、基板２３のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホールの中心に僅かに近づくところに、接近することが好ましい。
【００２８】
クリーナーノズル２５の先端部は、基板２３の表面に向けて、気体の噴出と気体の吸引とを同時に行うことにより、基板２３の表面の異物を除去する。この際、基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下することで、基板２３のセンターホールの内周側面３０と、基板位置出しピン固定部２８及び基板位置出しピン２４との間に隙間（空間）が形成されることにより、クリーナーノズル２５の先端部は、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物を十分に且つ効率的に吸引して除去することができる。また更に、クリーナーノズル２５の先端部が、基板２３のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホール中心に僅かに近づくところに、接近できるのであるならば、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物を、より十分に且つ効率的に除去することができる。
【００２９】
また、本実施の形態に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置２では、基板位置出しピン２４は基板位置出しピン固定部２８によって固定されているため、相互の接触面は、回転軸２１及び基板保持部２２が回転しても、磨耗することがなく、よって回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中の異物の発生を無くすことができる。
【００３０】
１．３．まとめ
実施の形態１に係る光記録媒体の製造装置２では、基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下することで、基板２３のセンターホールの内周側面３０と、基板位置出しピン固定部２８及び基板位置出しピン２４との間に隙間（空間）が形成される。また、クリーナーノズル２５の先端部が、基板２３のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホール中心に僅かに近づくところに、接近できる。これらのことにより、基板２３のセンターホールの内周側面３０が露出し、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物が十分に且つ効率的に除去され得る。更に、基板位置出しピン２４が基板位置出しピン固定部２８によって固定されているので、回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中に、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８の摩擦により生じ得る異物の発生が、抑制される。
【００３１】
２．実施の形態２
２．１．光記録媒体の製造装置の構成
本発明の実施の形態２に係る製造装置について説明する。図５は、本実施の形態に係る光記録媒体の製造装置の概略の構成を示す図である。実施の形態２に係る製造装置４２のうち、回転軸２１、基板保持部２２、及び基板位置出しピン２４の構成は、実施の形態１のものと同様であるため詳しい説明を省略する。以下においても、カバー層工程直前における記録媒体の異物を除去する際の、製造装置４２の構成を示しており、製造装置には、記録層及び／又は反射膜をスパッタリングにより形成した後の状態の基板２３が配置される。
【００３２】
本発明の実施の形態２に係る製造装置４２は、基板位置出しピン固定部５２と、異物を除去するための気体の噴出及び気体の吸引を行うクリーナーユニット５１とが、一体構成されている点が本発明の実施の形態１のものと異なる。
【００３３】
図６は、クリーナーユニット５１を、基板保持部２２上に配置される基板２３の信号面１３に対向する側、すなわち、クリーナーユニット５１の開口部側から見た図である。実施の形態２に係るクリーナーユニット５１は、概略、直方体形状であり、図５に示すように、その長手方向の寸法は基板２３の半径を超えるものである。
【００３４】
図６に示すように、実施の形態２に係るクリーナーユニット５１の底面には、より効率的に異物を除去するために、スリット形状である１本の気体噴出部５１ｂと２本の気体吸引部５１ａとが、クリーナーユニット５１の長手方向に並列して配置されている。１本の気体噴出部５１ｂは、クリーナーユニット５１の底面の中央に配置され、２本の気体吸引部５１ａは、夫々、クリーナーユニット５１の底面の縁部近くに配置されている。また、基板位置出しピン固定部５２が、気体噴出部５１ｂと気体吸引部５１ａの間に設けられている。基板位置出しピン固定部５２は、クリーナーユニット５１の底面の別の位置に設けられてもよく、例えば、スリット形状の気体噴出部５１ｂの一部を遮るようにその途中の位置に設けられてもよい。また、図６に示すクリーナーユニット５１では、１本の気体噴出部５１ｂと２本の気体吸引部５１ａとが設けられているが、より多数本の気体噴出部５１ｂ及び気体吸引部５１ａが設けられてもよい。
【００３５】
クリーナーユニット５１底面の気体噴出部５１ｂを介して基板２３表面に噴出される高圧の気体は、クリーナーユニット５１と繋がる気体供給部２６により供給される。クリーナーユニット５１底面の気体吸引部５１ａを介して基板２３表面から吸引される気体は、クリーナーユニット５１と繋がる吸引ポンプ２７により吸収される。
【００３６】
クリーナーユニット５１と一体構成される基板位置出しピン固定部５２は、実施の形態１に係る製造装置２における基板位置出しピン固定部２８と同様のものである。基板位置出しピン固定部５２は、鉛直方向に降下し、基板位置出しピン２４を押下した状態で相互に固定される。このように相互に固定されることにより、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部５２との接触面は、回転軸２１及び基板保持部２２が回転しても磨耗することがなく、よって回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中の異物の発生が抑制される。そのために、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部５２のいずれもがマグネット等の磁場発生体で構成されているのが好ましい。或いは、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部５２とのうち一方がマグネット等の磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されていてもよい。
【００３７】
また、基板位置出しピン固定部５２が基板位置出しピン２４を押下した際に、基板２３のセンターホールの内周側面３０の内側に隙間（空間）が形成されること、すなわち、内周側面３０の表面が露出することが好ましい。つまり、このときに、基板位置出しピン固定部５２が、基板２３のセンターホールの内周側面３０に接触しないものであることが好ましい。そのために、基板位置出しピン固定部５２の横幅が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。具体的には、例えば、基板位置出しピン固定部５２が円柱形状であり、その円断面の径が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。
【００３８】
また、基板位置出しピン固定部５２が基板位置出しピン２４を押下して固定される状態の際には、クリーナーユニット５１底面が、基板２３の信号面１３の上方に数ｍｍ離隔して配置されるように、基板位置出しピン固定部５２及びクリーナーユニット５１底面が構成されている。
【００３９】
２．２．光記録媒体の製造装置の動作
次に、本実施の形態に係る製造装置４２の、異物を除去するための動作について説明する。図７は、本実施の形態に係る光記録媒体の製造装置４２の、異物を除去するための動作を説明するための図である。回転軸２１、基板保持部２２、及び基板位置出しピン２４の動作は、実施の形態１のものと同様であるため詳しい説明を省略する。
【００４０】
最初、図５に示すように、基板２３が、基板位置出しピン２４を基準に基板保持部２２に設置され、真空吸着などの作用により基板保持部２２に保持されている。この状態で、クリーナーユニット５１と一体構成された基板位置出しピン固定部２８が、基板位置出しピン２４を押下し、その状態で相互の位置がマグネットの作用により固定される。このとき、図７に示すように、基板位置出しピン固定部５２が基板位置出しピン２４を押下することにより、基板２３のセンターホールの内周側面３０と、基板位置出しピン固定部５２及び基板位置出しピン２４との間に、隙間（空間）が形成される。このように隙間（空間）が形成されるために、基板位置出しピン固定部５２の横幅が、基板位置出しピン２４の円断面の径よりも小さいことが好ましい。
【００４１】
基板位置出しピン固定部２８が基板位置出しピン２４を押下し、相互の位置をマグネットの作用により固定するとき、クリーナーユニット５１底面は、基板２３の信号面１３の上方に数ｍｍ離隔して配置される。
【００４２】
次に、基板保持部２２は、回転軸２１の回転動作により回転し、この回転動作により、基板保持部２２に保持される基板２３も同様に回転する。この基板２３の回転と、基板２３の半径よりも長いスリット形状の気体噴出部５１ｂ及び気体吸引部５１ａを底面に備えるクリーナーユニット５１の配置とにより、基板２３の上面のあらゆる位置に存在する異物が除去され得る。
【００４３】
クリーナーユニット５１底面の気体噴出部５１ｂ及び気体吸引部５１ａは、基板２３の信号面１３の上方に数ｍｍ離隔して配置される。図６に示すように、気体噴出部５１ｂと片方の気体吸引部５１ａとは、基板位置出しピン固定部５２を挟むようにして配置されているので、基板位置出しピン固定部５２近傍の、気体噴出部５１ｂの一部と気体吸引部５１ａの一部は、基板２３のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホールの中心に近い位置の上方に在ることになる。
【００４４】
クリーナーユニット５１は、気体の噴出と吸引とを同時に行うことにより、基板２３表面の異物を除去する。この際、基板位置出しピン固定部５２が基板位置出しピン２４を押下し続けることで、基板２３のセンターホールの内周側面３０と、基板位置出しピン固定部５２及び基板位置出しピン２４との間に隙間（空間）が形成されることにより、クリーナーユニット５１の気体噴出部５１ｂ及び気体吸引部５１ａは、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物を十分に且つ効率的に吸引して除去することができる。また、基板位置出しピン固定部５２近傍の、気体噴出部５１ｂの一部と気体吸引部５１ａの一部は、基板２３のセンターホールの内周側面３０よりもセンターホールの中心に近い部分の直ぐ上方に在ることからも、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物は、より十分に且つ効率的に除去されることが可能になる。
【００４５】
なお、クリーナーユニット５１の長手方向の寸法が、基板２３の直径と同程度のものであってもよく、基板２３の直径を超えるものであってもよい。これらの場合、より早く確実に異物が除去されることになる。
【００４６】
２．３．まとめ
実施の形態２に係る光記録媒体の製造装置２によっても、実施の形態１と同様に、クリーニング動作中に基板２３のセンターホールの内周側面３０付近に空間を形成できるため、基板２３のセンターホールの内周側面３０付近の異物が十分に且つ効率的に除去され得る。更に、基板位置出しピン２４が基板位置出しピン固定部５２によって固定されているので、回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中に、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部５２の摩擦により生じ得る異物の発生が、抑制される。
【００４７】
更に、実施の形態２に係る製造装置では、クリーナーノズルの移動機構を必要としないため、実施の形態１に比べて、製造装置の全体構成が簡略化される。
【００４８】
３．その他の実施の形態
以上、本発明の実施の形態１と実施の形態２を説明したが、本発明は、以上の実施の形態に限定されるものではない。
【００４９】
実施の形態１に係る製造装置、及び、実施の形態２に係る製造装置のいずれでも、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８、５２のいずれもがマグネット等の磁場発生体で構成されている、又は、基板位置出しピン２４と基板位置出しピン固定部２８、５２とのうち一方がマグネット等の磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されている。つまり、両者が接触したとき両者は相互に固定されるものである。このように、両者が接触したときの相互の固定が実現されるのであれば、基板位置出しピン固定部は、別の構成を採用するものであってもよい。
【００５０】
図８は、基板位置出しピン固定部８１として別の構成を採用する、本発明の別の実施の形態に係る製造装置６２の概略の構成を示す図である。図８に示す基板位置出しピン固定部８１は、真空ポンプ８２と繋がっている。基板位置出しピン固定部８１は、基板位置出しピン２４を押下可能であり、更に、押下した状態で、真空ポンプ８２の動作により基板位置出しピン２４を真空吸着しつつ固定することができる。この構成により、基板位置出しピン固定部８１と基板位置出しピン２４との互いの接触面は、回転軸２１及び基板保持部２２が回転しても磨耗することがなく、よって、回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中における異物の発生が抑制される。
【００５１】
なお、図示していないが、クリーナーノズル２５、気体供給部２６、及び吸引ポンプ２７は、図２及び図４に示す実施の形態１に係るものが用いられるのが好ましい。
【００５２】
また、基板位置出しピン固定部と基板位置出しピンが接触したとき、両者が相互に完全に吸着するものでなくても、本発明の実施の形態は実現され得る。図９は、本発明の更に別の実施の形態を実現する、基板位置出しピン２４ｂと、基板位置出しピン固定部２８ａとを示す図である。基板位置出しピン固定部２８ａは略、円柱形状であり（図９（１ａ）参照）、その先端部には三つ又形状を為す突起部５５を備える。図９（２ａ）に、図９（１ａ）に示す基板位置出しピン固定部２８ａを矢印Ａから見たときの底面図を示す。
【００５３】
これに対して、基板位置出しピン２４ｂも略、円柱形状であり（図９（１ｂ）参照）、その上面には、円周縁と、基板位置出しピン固定部２８ａの突起部５５を受けて係合する三つの歯状突起部５７とを、備える。図９（２ｂ）に、図９（１ｂ）に示す基板位置出しピン２４ｂを矢印Ｂから見たときの上面図を示す。
【００５４】
基板位置出しピン２４ｂと基板位置出しピン固定部２８ａ以外の構成要素については、実施の形態１に係る製造装置のもの、若しくは実施の形態２に係る製造装置のものと、同様であればよい。
【００５５】
基板位置出しピン固定部２８ａの先端部と、基板位置出しピン２４ｂの上面とを合わせ、基板位置出しピン２４ｂを回転矢印βの方向に回転させると（或いは、基板位置出しピン固定部２８ａを回転矢印αの方向に回転させると）、基板位置出しピン固定部２８ａと基板位置出しピン２４ｂの相互の位置は、図９（３）に示すように係合して固定される。すなわち、基板位置出しピン固定部２８ａの先端部の突起部５５と、基板位置出しピン２４ｂ上面の歯状突起部５７とが係合し、両者はそれ以上相互に回転しないことになる。
【００５６】
このように、回転軸２１及び基板保持部２２が回転しても、基板位置出しピン固定部２８ａと基板位置出しピン２４ｂとの回転方向の位置は固定されるため、相互の接触面は磨耗することがなく、よって、回転軸２１及び基板保持部２２の回転動作中における異物の発生が抑制される。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
以上、本発明の実施の形態に係る製造装置は、図１に示すカバー層工程の直前における記録媒体の異物を除去する装置として説明してきたが、本発明の実施の形態に係る製造装置は、その他の工程における記録媒体の異物を除去することもできる。例えば、図１には、光記録媒体の製造の全体工程に含まれる、スパッタ工程、裏面スパッタ工程、及び、印刷工程などが示されているが、これら各工程の直前における記録媒体の異物を除去する装置としても、本発明の実施の形態に係る製造装置を用いることができる。
【符号の説明】
【００５８】
２、４２、６２・・・製造装置、１１・・・ポリカーボネート基板、１２・・・ターゲット材、１３・・・信号面、１４・・・センターキャップ、１５・・・樹脂滴下ノズル、１６・・・紫外線硬化樹脂、１７・・・裏面スパッタターゲット、１８・・・吸水防止膜、２１・・・回転軸、２２・・・基板保持部、２３・・・基板、２４、２４ｂ・・・基板位置出しピン、２５・・・クリーナーノズル、２５ａ・・・気体吸引ノズル、２５ｂ・・・気体噴出ノズル、２６・・・気体供給部、２７・・・吸引ポンプ、２８、２８ａ、５２、８１・・・基板位置出しピン固定部、３０・・・センターホール内周側面、５１・・・クリーナーユニット、５１ａ・・・気体吸引部、５１ｂ・・・気体噴出部、５５・・・突起部、５７・・・歯状突起部、８２・・・真空ポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に情報信号層が設けられた光記録媒体の製造装置において、
前記基板のセンターホールに対して位置決めを行う上下方向に可動の基板位置出しピンと、
前記基板位置出しピンを用いて前記基板の位置決めを行って、前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された前記基板の表面に向けて気体を噴出する気体噴出部と気体を吸引する気体吸引部とを有するクリーナーと、
前記基板位置出しピンを下方に押下可能で、且つ前記基板のセンターホールの内周側面に接触しないように構成された基板位置出しピン固定部と
を備え、
前記基板位置出しピン固定部は、前記基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成されるように、前記基板保持部に保持された前記基板のセンターホール内を下降して、前記基板位置出しピンを押下して固定し、その状態で前記クリーナーが、気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする
光記録媒体の製造装置。
【請求項２】
前記基板位置出しピン固定部が円柱形状であり、その円断面の径が前記基板位置出しピンの円断面の径よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項３】
前記基板位置出しピン固定部が、前記基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成され得るように、前記基板保持部に保持された前記基板のセンターホール内を下降して、前記基板位置出しピンを押下して固定した状態のときに、
前記クリーナーの気体噴出部の一部と気体吸引部の一部が、前記基板保持部に保持された前記基板の内周側面よりも内側の位置まで移動可能であることを特徴とする
請求項１に記載の製造装置。
【請求項４】
前記クリーナーと前記基板位置出しピン固定部とが一体構成されていることを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項５】
前記基板位置出しピンと前記基板位置出しピン固定部とのうち、一方が磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項６】
前記基板位置出しピンと前記基板位置出しピン固定部のいずれもが、磁場発生体で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項７】
前記基板位置出しピン固定部は、真空吸着により前記基板位置出しピンを押下した状態で固定することを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項８】
前記クリーナーが、前記情報信号層が設けられた面側に対して気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項９】
前記クリーナーが、光記録媒体の印刷面側に対して気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項１０】
基板のセンターホールに対して上下方向に可動の基板位置出しピンにより位置決めされた前記基板を保持するステップと、
前記基板のセンターホールの内周側面が露出するように、前記基板位置出しピンを下方に押下して固定するステップと、
保持されている前記基板の表面に向けて気体を噴出し同時に気体を吸引するクリーナーにより異物の除去を行うステップと
を含む光記録媒体の製造方法。
【請求項１１】
前記基板のセンターホールの内周側面が露出するように、前記基板位置出しピンを下方に押下して固定した状態のときに、
前記クリーナーの一部が、保持されている前記基板の内周側面よりも内側の位置まで移動し得ることを特徴とする
請求項１０に記載の製造方法。
【請求項１２】
基板の信号面にターゲット材をスパッタリングすることで記録膜又は反射膜を形成する工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項１０に記載の製造方法。
【請求項１３】
基板の信号面を保護するためのカバー層を形成する工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項１０に記載の製造方法。
【請求項１４】
基板の信号面を保護するためのカバー層を形成した面の反対側面に、裏面スパッタターゲット材をスパッタリングすることで吸水防止膜を形成する工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項１０に記載の製造方法。
【請求項１５】
基板の吸水防止膜を形成した面に印刷を行う工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項１０に記載の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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2012046364.tif 000022
2012046364.tif 000023
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