(57)【要約】  本発明は、板状体を吸着するステージと、該ステージの吸着面に吸着された板状体の周縁部を研削する砥石とを有する面取り装置において、前記吸着面は３つ以上の吸着領域からなり、各吸着領域には開口部が少なくとも１つずつ設けられており、前記面取り装置は、前記吸着面の中央に近い吸着領域から遠い吸着領域に向けて、吸着領域毎に順次、各開口部内の減圧を開始して、吸着を行う減圧装置を有する面取り装置に関する。
2012060158.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体を吸着するステージと、該ステージの吸着面に吸着された板状体の周縁部を研削する砥石とを有する面取り装置において、
前記吸着面は３つ以上の吸着領域からなり、各吸着領域には開口部が少なくとも１つずつ設けられており、
前記面取り装置は、前記吸着面の中央に近い吸着領域から遠い吸着領域に向けて、吸着領域毎に順次、各開口部内の減圧を開始して、吸着を行う減圧装置を有する面取り装置。
【請求項２】
前記砥石の研削対象が矩形状の前記板状体の互いに対向する２辺であって、
前記面取り装置は、吸着前に、前記ステージと前記板状体とを位置合わせする位置合わせ装置をさらに有し、
前記位置合わせ装置は、前記板状体の４辺のいずれか１辺に接触可能な４組の接触体対を有し、２組の前記接触体対が研削非対象となる２辺に接触して前記板状体を挟んだ後、残り２組の前記接触体対が研削対象となる２辺に接触して前記板状体を挟むことで、位置合わせを行う請求項１に記載の面取り装置。
【請求項３】
前記位置合わせ装置は、残り２組の前記接触体対が研削対象となる２辺に接触して前記板状体を挟むように、前記ステージに対して固定した１組の接触体対に向けて、他の１組の接触体対を接近させ、
接近させる１組の前記接触体対と、研削対象となる１辺との２つの接触位置は、それぞれ、接近方向から見て、固定した１組の前記接触体対と、研削対象となる残り１辺との２つの接触位置の間にある請求項２に記載の面取り装置。
【請求項４】
板状体をステージに吸着させる吸着工程と、前記ステージの吸着面に吸着された板状体の周縁部を研削する研削工程とを有する面取り方法において、
前記吸着面は３つ以上の吸着領域からなり、各吸着領域には開口部が少なくとも１つずつ設けられており、
前記吸着工程において、前記吸着面の中央に近い吸着領域から遠い吸着領域に向けて、吸着領域毎に順次、各開口部内の減圧を開始して、吸着を行う面取り方法。
【請求項５】
前記研削工程において、矩形状の前記板状体の互いに対向する２辺を研削し、
前記面取り方法は、前記吸着工程の前に、前記板状体の４辺のいずれか１辺に接触可能な４組の接触体対を用いて、前記ステージと前記板状体とを位置合わせする位置合わせ工程をさらに有し、
前記位置合わせ工程において、２組の前記接触体対が研削非対象となる２辺に接触して前記板状体を挟んだ後、残り２組の前記接触体対が研削対象となる２辺に接触して前記板状体を挟むことで、位置合わせを行う請求項４に記載の面取り方法。
【請求項６】
前記位置合わせ工程において、前記残り２組の接触体対が研削対象となる２辺に接触して前記板状体を挟むように、前記ステージに対して固定した１組の接触体対に向けて、他の１組の接触体対を接近させ、
接近させる１組の前記接触体対と、研削対象となる１辺との２つの接触位置は、それぞれ、接近方向から見て、固定した１組の前記接触体対と、研削対象となる残り１辺との２つの接触位置の間にある請求項５に記載の面取り方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、面取り装置および面取り方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス板などの板状体の面取り装置として、板状体を吸着するステージと、該ステージの上面に吸着された板状体の周縁部を研削する砥石とを有する面取り装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この面取り装置は、ステージの上面に設けられる複数の開口部内を減圧する減圧装置と、複数の開口部内に圧縮ガスを供給する給気装置とを有する。【０００３】
この面取り装置では、減圧装置が複数の開口部内を減圧することで、ステージに板状体を吸着する。また、吸着前に、給気装置が複数の開口部内に圧縮ガスを供給するので、圧縮ガスの風圧によって板状体がステージから浮いた状態となるため、ステージと板状体との接触圧を軽減でき、ステージと板状体とを容易に位置合わせできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】日本国特開２００９−２０３１４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の面取り装置は、複数の開口部内を減圧して吸着を行うが、減圧を開始する順序を特に決めていない。そのため、減圧を開始する順序によっては、板状体が歪んだ状態でステージに吸着されることがあり、板状体の周縁部の位置に変動が生じ、研削精度が低かった。【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、研削精度に優れた面取り装置および面取り方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明は、
板状体を吸着するステージと、該ステージの吸着面に吸着された板状体の周縁部を研削する砥石とを有する面取り装置において、
前記吸着面は３つ以上の吸着領域からなり、各吸着領域には開口部が少なくとも１つずつ設けられており、
前記面取り装置は、前記吸着面の中央に近い吸着領域から遠い吸着領域に向けて、吸着領域毎に順次、各開口部内の減圧を開始して、吸着を行う減圧装置を有する面取り装置を提供する。【０００８】
本発明の面取り装置においては、前記砥石の研削対象が矩形状の前記板状体の互いに対向する２辺であって、
前記面取り装置は、吸着前に、前記ステージと前記板状体とを位置合わせする位置合わせ装置をさらに有し、
前記位置合わせ装置は、前記板状体の４辺のいずれか１辺に接触可能な４組の接触体対を有し、２組の前記接触体対が研削非対象となる２辺に接触して前記板状体を挟んだ後、残り２組の前記接触体対が研削対象となる２辺に接触して前記板状体を挟むことで、位置合わせを行うことが好ましい。【０００９】
本発明の面取り装置においては、前記位置合わせ装置は、残り２組の前記接触体対が研削対象となる２辺に接触して前記板状体を挟むように、前記ステージに対して固定した１組の接触体対に向けて、他の１組の接触体対を接近させ、
接近させる１組の前記接触体対と、研削対象となる１辺との２つの接触位置は、それぞれ、接近方向から見て、固定した１組の前記接触体対と、研削対象となる残り１辺との２つの接触位置の間にあることが好ましい。【００１０】
また、本発明は、
板状体をステージに吸着させる吸着工程と、前記ステージの吸着面に吸着された板状体の周縁部を研削する研削工程とを有する面取り方法において、
前記吸着面は３つ以上の吸着領域からなり、各吸着領域には開口部が少なくとも１つずつ設けられており、
前記吸着工程において、前記吸着面の中央に近い吸着領域から遠い吸着領域に向けて、吸着領域毎に順次、各開口部内の減圧を開始して、吸着を行う面取り方法を提供する。【００１１】
本発明の面取り方法は、前記研削工程において、矩形状の前記板状体の互いに対向する２辺を研削し、
前記面取り方法は、前記吸着工程の前に、前記板状体の４辺のいずれか１辺に接触可能な４組の接触体対を用いて、前記ステージと前記板状体とを位置合わせする位置合わせ工程をさらに有し、
前記位置合わせ工程において、２組の前記接触体対が研削非対象となる２辺に接触して前記板状体を挟んだ後、残り２組の前記接触体対が研削対象となる２辺に接触して前記板状体を挟むことで、位置合わせを行うことが好ましい。【００１２】
本発明の面取り方法は、前記位置合わせ工程において、前記残り２組の接触体対が研削対象となる２辺に接触して前記板状体を挟むように、前記ステージに対して固定した１組の接触体対に向けて、他の１組の接触体対を接近させ、
接近させる１組の前記接触体対と、研削対象となる１辺との２つの接触位置は、それぞれ、接近方向から見て、固定した１組の前記接触体対と、研削対象となる残り１辺との２つの接触位置の間にあることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、研削精度に優れた面取り装置および面取り方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の一実施形態による面取り装置の概略構成図（１）である。
【図２】図２は、本発明の一実施形態による面取り装置の概略構成図（２）である。
【図３】図３は、減圧装置４０による減圧開始時のステージ２０の断面図である。
【図４】図４は、給気装置５０による圧縮ガス供給時のステージ２０の断面図である。
【図５】図５は、本発明の一実施形態による面取り方法の説明図（１）である。
【図６】図６は、本発明の一実施形態による面取り方法の説明図（２）である。
【図７】図７は、本発明の一実施形態による面取り方法の説明図（３）である。
【図８】図８は、移載機の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
（面取り装置）
図１および図２は、本発明の一実施形態による面取り装置の概略構成図である。図３は、減圧装置４０による減圧開始時のステージ２０の断面図である。図４は、給気装置５０による圧縮ガス供給時のステージ２０の断面図である。
【００１７】
図１および図２に示すように、面取り装置１０は、例えば、ステージ２０、砥石３０、減圧装置４０、給気装置５０、および位置合わせ装置６０を有する。
【００１８】
面取り装置１０は、板状体１００の周縁部を研削する装置である。例えば、面取り装置１０は、矩形状の板状体１００の互いに対向する２辺１０２、１０４を研削する。ここで、「矩形状」とは、長方形（正方形を含む）の他、長方形のコーナがカットまたはラウンドされた形状を含む。
【００１９】
ちなみに、面取り装置１０の隣には、面取り装置１０と同様の構成であって、板状体１００の残りの２辺１０６、１０８を研削する装置が設置されている。隣り合う、面取り装置１０間での板状体１００の受け渡しは、移載機７０（図８参照）によって行われる。移載機７０は、一般的な構成であって良く、例えば図８に示すように、板状体１００を支持するフレーム（支持体）７１などで構成される。
【００２０】
フレーム７１は、フレーム本体７２、および、フレーム本体７２の下面に配列される複数の吸着パッド７３を有している。吸着パッド７３は、板状体１００を吸着する吸着面７４を有している。吸着面７４には、吸着孔が設けられており、真空ポンプなどの吸気源に接続されている。吸着面７４に板状体１００が接触している状態で、吸気源が作動し、吸着孔内が減圧されると、吸着面７４に板状体１００が吸着される。この状態から、吸気源が作動停止し、吸着孔内が大気に開放されると、吸着が解除される。
【００２１】
フレーム７１は、水平方向および上下方向に移動可能に構成されている。フレーム７１を水平方向に移動させる駆動源としては、例えばサーボモータが用いられる。サーボモータとフレーム７１との間には、サーボモータの回転運動を直線運動に変換してフレーム７１に伝達するため、ボールネジ、ベルト、またはラックピニオンなどが設けられる。一方、フレーム７１を上下方向に移動させる駆動源としては、サーボモータや液体圧シリンダ（例えば、空気圧シリンダや油圧シリンダ）などが用いられる。
【００２２】
（板状体）
板状体１００は、２つの面取り装置１０を有する製造ライン上を流れることで、４辺１０２〜１０８が面取りされる。面取りを行う順序に制限はなく、長辺を面取りした後に短辺を面取りしても良いし、その逆であっても良い。
【００２３】
板状体１００は、一般的なものであれば良く、ガラス板（合わせガラス板を含む）、金属板、セラミックス板、樹脂板、半導体板、複合材料板などであって良い。
【００２４】
（ステージ）
ステージ２０は、図１に示すように、板状体１００を吸着する吸着面２２を有する。吸着面２２は、ステージ２０の上面であって良い。吸着面２２は、３つ以上（本実施形態では３つ）の吸着領域２２１〜２２３からなり、各吸着領域２２１〜２２３には開口部２４が少なくとも１つずつ（本実施形態では２つ）設けられている。
【００２５】
なお、本実施形態では、吸着面２２は、３つの吸着領域２２１〜２２３に物理的に分かれており、隣り合う吸着領域が離れているが、本発明はこれに限定されない。即ち、吸着面２２は、３つ以上の吸着領域に概念的に分かれていれば良く、隣り合う吸着領域が接触していても良い。
【００２６】
開口部２４は、凹状の形状を有し、開口部２４の内底面には、吸気孔２６および給気孔２８が設けられている。吸気孔２６および給気孔２８は、開口部２４毎に、少なくとも１つずつ設けられている。
【００２７】
複数の開口部２４は、同一形状であっても良いし、異なる形状であっても良い。
【００２８】
（砥石）
砥石３０は、図２に示すように、ステージ２０の吸着面２２に吸着された板状体１００の周縁部を研削するものである。例えば、砥石３０は、２つ設けられており、それぞれの研削対象は、矩形状の板状体１００の互いに対向する２辺１０２、１０４のいずれか１辺である。
【００２９】
砥石３０は、研削対象となる１辺１０２、１０４に接触、離間するように、また、研削対象となる１辺１０２、１０４に沿って移動するように、ステージ２０に対して相対移動可能に構成されている。
【００３０】
砥石３０は、例えば略円板状に形成されており、砥石３０の外周面が研削面となる。砥石３０は、板状体１００の周縁部に接触すると、電動モータなどの駆動源により、自らの中心軸の周りに回転駆動され、板状体１００の周縁部を研削する。
【００３１】
（減圧装置）
減圧装置４０は、図１に示すように、複数の開口部２４内を減圧する装置である。例えば、減圧装置４０は、真空ポンプなどの吸気源４２、複数の開閉弁４４、およびコンピュータなどの制御装置４６で構成される。
【００３２】
開閉弁４４は、例えば電磁弁などで構成される。開閉弁４４は、吸気源４２と複数の吸気孔２６とを接続する接続路の途中（例えば、接続路の分岐点よりも吸気孔２６側）に複数設けられ、接続路を開閉する。制御装置４６は、吸気源４２の出力を制御し、開閉弁４４毎の開閉を制御する。
【００３３】
制御装置４６による制御下で、吸気源４２が作動すると共に、各開閉弁４４が開くと、吸気源４２に連通した開口部２４内が減圧される。開口部２４内の気圧が大気圧よりも低くなると、板状体１００がステージ２０に押しつけられ吸着される。
【００３４】
吸着を解除する場合、制御装置４６による制御下で、各開閉弁４４が閉じ、各開口部２４内の減圧を停止する。これに呼応して、吸気源４２が作動を停止する。その後、各開口部２４内の気圧を大気圧に戻すため、制御装置４６による制御下で、各開口部２４に接続されるリーク弁が大気に開放されると、吸着が解除される。
【００３５】
減圧装置４０は、吸着面２２の中央に近い吸着領域２２２から遠い吸着領域２２１、２２３に向けて、吸着領域２２１〜２２３毎に順次、各開口部２４内の減圧を開始して、吸着を行う。１つの吸着領域に設けられる複数（本実施形態では２つ）の開口部２４内の減圧は、略同時に行われる。
【００３６】
図３に示すように、例えば、減圧装置４０は、左右方向に並ぶ３つの吸着領域２２１〜２２３のうち、中央の吸着領域２２２、左右両端の吸着領域２２１、２２３の順序で、各開口部２４内の減圧を開始する。中央の吸着領域２２２は、吸着面２２の中央を含んでいる。或いは、減圧装置４０は、中央の吸着領域２２２、左端の吸着領域２２１（または、右端の吸着領域２２３）、右端の吸着領域２２３（または、左端の吸着領域２２１）の順序で、各開口部２４内の減圧を開始しても良い。これらの操作は、複数の開閉弁４４を開くタイミングをずらすことで実施される。
【００３７】
このようにして、吸着面２２の中央に近い吸着領域２２２から遠い吸着領域２２１、２２３に向けて、吸着領域２２１〜２２３毎に順次、開口部２４内の減圧を開始して、吸着を行う。そうすると、板状体１００の自由端部が最後に吸着されるので、それまでに板状体１００に蓄積される歪みの大部分を解放できる。また、板状体１００の中央部が最初に吸着されるので、歪みが解放されるまでに移動する距離を短縮でき、歪みの蓄積を抑制できる。よって、その後に行われる研削の精度を向上できる。この効果は、板状体１００が大面積化、薄板化するほど、板状体１００が歪みやすくなるので、顕著である。
【００３８】
近年では、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）パネルなどの表示パネルの大面積化、薄型化が進行しており、表示パネルを構成するガラス基板の大面積化、薄板化が進行している。そのため、１８００ｍｍ以上の長さ、１５００ｍｍ以上の幅を有するガラス基板を面取りすることがあり、３３００ｍｍ以上の長さ、２８００ｍｍ以上の幅を有するガラス基板を面取りすることもある。また、２．８ｍｍ以下の板厚を有するガラス基板を面取りすることがある。
【００３９】
本実施形態の面取り装置１０は、板状体１００が大面積化するほど、顕著な効果を奏するので、１８００ｍｍ以上の長さ、１５００ｍｍ以上の幅を有するガラス基板の面取りに好適であり、３３００ｍｍ以上の長さ、２８００ｍｍ以上の幅を有するガラス基板の面取りに特に好適である。また、面取り装置１０は、板状体１００が薄板化するほど、顕著な効果を奏するので、２．８ｍｍ以下の板厚を有するガラス基板の面取りに好適であり、０．７ｍｍ以下がより好適であり、０．５ｍｍ以下が特に好適である。なお、ガラス基板の板厚は、ハンドリング性や生産性の観点から、０．１ｍｍ以上であることが好ましい。
【００４０】
（給気装置）
給気装置５０は、図１に示すように、複数の開口部２４内に圧縮ガスを供給する装置である。例えば、給気装置５０は、コンプレッサやガスボンベなどの圧縮ガス源５２、複数の開閉弁５４、および制御装置４６で構成される。なお、本実施形態では、減圧装置４０と給気装置５０とが、制御装置４６を共有している。
【００４１】
開閉弁５４は、圧縮ガス源５２と複数の給気孔２８とを接続する接続路の途中（例えば、接続路の分岐点よりも給気孔２８側）に複数設けられ、接続路を開閉する。開閉弁５４は、例えば電磁弁などで構成される。制御装置４６は、圧縮ガス源５２の出力を制御し、開閉弁５４毎の開閉を制御する。
【００４２】
制御装置４６による制御下で、各開閉弁５４が開くと、圧縮ガス源５２に連通した開口部２４内に圧縮ガスが供給され、圧縮ガスの風圧によってステージ２０と板状体１００との接触圧を軽減できる（図４参照）。よって、吸着前にステージ２０と板状体１００との位置合わせを容易に行うことができる。なお、圧縮ガス源５２としてコンプレッサなどを用いる場合、各開閉弁５４を開く際に、圧縮ガス源５２を作動させる。
【００４３】
この状態から、各開閉弁５４が閉じると、圧縮ガスが開口部２４内に供給されなくなるので、開口部２４内の圧力が大気圧に戻り、板状体１００がステージ２０に接触する。なお、圧縮ガス源５２としてコンプレッサなどを用いる場合、各開閉弁５４を閉ざす際に、圧縮ガス源５２を作動停止させる。
【００４４】
（位置合わせ装置）
位置合わせ装置６０は、図２に示すように、吸着前に、ステージ２０と板状体１００とを位置合わせする装置である。位置合わせ装置６０が位置合わせを行う間、給気装置５０は各開口部２４内に圧縮ガスを供給し続ける。これによって、板状体１００がステージ２０から浮いた状態となるため、位置合わせを容易に行うことができる。
【００４５】
位置合わせ装置６０は、板状体１００の４辺１０２〜１０８のいずれか１辺に接触可能な４組の接触体対６２〜６８を有する。各接触体対６２〜６８は、２つの接触体で構成される。各接触体は、それぞれ、例えば円板状に形成されており、板状体１００の４辺１０２〜１０８のいずれか１辺に接触可能な外周面を有している。
【００４６】
各接触体対６２〜６８は、いずれか１辺に２箇所（例えば２点）で接触する。２箇所で接触することで、板状体１００の自由度を低減できる。なお、各接触体対６２〜６８を構成する２つの接触体の間に、同様の構成の接触体を１つ以上配しても良い。
【００４７】
各接触体対６２〜６８は、いずれかの１辺に接触、離間するように、ステージ２０に対して相対移動可能に構成される。各接触体対６２〜６８を移動させる移動装置は、一般的な構成であって良い。
【００４８】
例えば、各接触体対６２、６６を移動させる移動装置は、サーボモータなどの駆動源、駆動源の回転運動を直線運動に変換して各接触体対６２、６６に伝達するボールネジ、各接触体対６２、６６を所定方向に案内するガイド部材などで構成される。ガイド部材は、ステージ２０を支持する台座に固定されている。各接触体対６２、６６は、ステージ２０に対し、所望の位置で停止可能となっている。
【００４９】
また、各接触体対６４、６８を移動させる移動装置は、空気圧シリンダや油圧シリンダなどの流体圧シリンダで構成される。液体圧シリンダの一端は、各接触体対６４、６８に連結されており、液体圧シリンダの他端は、ステージ２０を支持する台座に連結されている。各接触体対６４、６８は、それぞれ、ステージ２０に対し、往復動可能となっている。
【００５０】
本実施形態の位置合わせ装置６０は、２組の接触体対６６、６８が研削非対象となる２辺１０６、１０８に接触して板状体１００を挟んだ後、残り２組の接触体対６２、６４が研削対象となる２辺１０２、１０４に接触して板状体１００を挟むことで、位置合わせを行う。
【００５１】
このように、先ず、研削非対象となる２辺１０６、１０８を位置合わせすると、板状体１００の残りの自由度が少なくなるので、研削対象となる２辺１０２、１０４の位置合わせの精度を向上でき、その後に行われる研削の精度を向上できる。
【００５２】
また、本実施形態の位置合わせ装置６０は、残り２組の接触体対６２、６４が研削対象となる２辺１０２、１０４に接触して板状体１００を挟むように、ステージ２０に対して固定した１組の接触体対６２に向けて、他の１組の接触体対６４を矢印Ａ方向に接近させる（図６参照）。固定した１組の接触体対６２を移動させる移動装置は、上述の如く、サーボモータなどで構成され、接近させる１組の接触体対６４を移動させる移動装置は、上述の如く、流体圧シリンダなどで構成される。
【００５３】
接近させる１組の接触体対６４と、研削対象となる１辺１０４との２つの接触位置２０１、２０２は、それぞれ、図６に示すように、接近方向（矢印Ａ方向）から見て、固定した１組の接触体対６２と、研削対象となる残り１辺１０２との２つの接触位置２０３、２０４の間にある。
【００５４】
そのため、接近させる１組の接触体対６４が１辺１０４に加える２つの押圧力が、板状体１００に回転モーメントを与えるのを制限でき、その後に行われる、研削の精度を向上できる。
【００５５】
上記２つの接触位置２０１、２０２は、１辺１０４の中央に対し対称に配されている。同様に、上記２つの接触位置２０３、２０４は、残り１辺１０２の中央に対し対称に配されている。これによって、板状体１００に回転モーメントが発生するのをさらに抑制できる。
【００５６】
この場合、上記２つの接触位置２０１、２０２の間隔をＬ１（図６参照）［単位ｍｍ］とし、上記２つの接触位置２０３、２０４の間隔をＬ２（図６参照）［単位ｍｍ］とすると、２／３≦Ｌ１／Ｌ２＜１の関係式が満たされることが望ましい。
【００５７】
Ｌ１／Ｌ２を１未満とすることで、位置合わせの際に、板状体１００に回転モーメントが発生するのを制限できる。一方、Ｌ１／Ｌ２を２／３未満とすると、接触体対６４の２つの押圧力Ｆ１、Ｆ２が板状体１００に集中的に作用するので、板状体１００が略Ｖ字状に変形してしまう。
【００５８】
位置合わせ装置６０は、２組の接触体対６６、６８が研削非対象となる２辺１０６、１０８に接触して板状体１００を挟むように、ステージ２０に対して固定した１組の接触体対６６に向けて、他の１組の接触体対６８を接近させる。固定した１組の接触体対６６を移動させる移動装置は、上述の如く、サーボモータなどで構成され、接近させる１組の接触体対６８を移動させる移動装置は、上述の如く、流体圧シリンダなどで構成される。
【００５９】
２組の接触体対６６、６８と、研削非対象となる各辺１０６、１０８との接触位置は、上記関係式を満たしていなくても良い。例えば、各辺１０６、１０８における２つの接触位置が、各辺１０６、１０８の中央に対し対称に配される場合、１辺１０６における２つの接触位置の間隔をＬ３（図６参照）［単位ｍｍ］とし、残り１辺１０８における２つの接触位置の間隔をＬ４（図６参照）［単位ｍｍ］とすると、Ｌ３／Ｌ４＝１の関係式が満たされて良い。
【００６０】
（面取り方法）
図５〜図７は、本発明の一実施形態による面取り方法の説明図である。以下、上記構成とした面取り装置１０を用いた面取り方法について、図５〜図７の他、図３〜図４に基づいて説明する。
【００６１】
本実施形態の面取り方法は、ステージ２０と板状体１００とを位置合わせする位置合わせ工程、板状体１００をステージ２０に吸着させる吸着工程、および、板状体１００の周縁部を研削する研削工程を、この順序で有する。
【００６２】
位置合わせ工程では、先ず、図４に示すように、給気装置５０が、複数の開口部２４内に圧縮ガスを供給して、圧縮ガスの風圧によってステージ２０と板状体１００との接触圧を軽減する。次いで、位置合わせ装置６０が、板状体１００の４辺１０２〜１０８のいずれか１辺に接触可能な４組の接触体対６２〜６８を用いて、ステージ２０と板状体１００とを位置合わせする。位置合わせ装置６０が位置合わせを行う間、給気装置５０は各開口部２４内に圧縮ガスを供給し続ける。これによって、位置合わせを容易に行うことができる。
【００６３】
本実施形態の位置合わせ工程では、図５に示すように、２組の接触体対６６、６８が研削非対象となる２辺１０６、１０８に接触して板状体１００を挟んだ後、図６に示すように、残り２組の接触体対６２、６４が研削対象となる２辺１０２、１０４に接触して板状体１００を挟むことで、位置合わせを行う。
【００６４】
より詳細には、先ず、図５に示すように、１組の移動体対６６をステージ２０に対し位置合わせした上で固定する。次いで、固定した１組の移動体対６６に向けて、他の１組の移動体対６８を接近させることで、２組の接触体対６６、６８が研削非対象となる２辺１０６、１０８に接触して板状体１００を挟む。板状体１００を挟む力は、接触体対６６を移動させる移動装置の液体圧シリンダの出力にて調整可能である。
【００６５】
その後、同様にして、図６に示すように、１組の移動体対６２をステージ２０に対し位置合わせした上で固定する。次いで、固定した１組の移動体対６２に向けて、他の１組の移動体対６４を接近させることで、残り２組の接触体対６２、６４が研削対象となる２辺１０２、１０４に接触して板状体１００を挟む。板状体１００を挟む力は、接触体対６４を移動させる移動装置の液体圧シリンダの出力にて調整可能である。
【００６６】
このように、先ず、研削非対象となる２辺１０６、１０８を位置合わせすると、板状体１００の残りの自由度が少なくなるので、研削対象となる２辺１０２、１０４の位置合わせの精度を向上でき、その後に行われる研削の精度を向上できる。
【００６７】
また、本実施形態の位置合わせ工程では、上述の如く、図６に示すように、残り２組の接触体対６２、６４が研削対象となる２辺１０２、１０４に接触して板状体１００を挟むように、ステージ２０に対して固定した１組の接触体対６２に向けて、他の１組の接触体対６４を接近させる。
【００６８】
接近させる１組の接触体対６４と、研削対象となる１辺１０４との２つの接触位置２０１、２０２は、それぞれ、接近方向（矢印Ａ方向）から見て、固定した１組の接触体対６２と、研削対象となる残り１辺１０２との２つの接触位置２０３、２０４の間にある。
【００６９】
そのため、接近させる１組の接触体対６４が１辺１０４に加える２つの押圧力が、板状体１００に回転モーメントを与えるのを制限でき、その後に行われる、研削の精度を向上できる。
【００７０】
このようして、ステージ２０と板状体１００とを位置合わせする。位置合わせ工程後、給気装置５０が、圧縮ガスの供給を停止して、ステージ２０と板状体１００とを接触させる。この操作は、吸着工程の開始前に実施される。
【００７１】
吸着工程では、減圧装置４０が、図３に示すように、ステージ２０の吸着面２２に設けた開口部２４内を減圧して、吸着を行う。本実施形態では、吸着面２２の中央に近い吸着領域２２２から遠い吸着領域２２１、２２３に向けて、吸着領域２２１〜２２３毎に順次、各開口部２４内の減圧を開始する。例えば、減圧装置４０は、図３において左右方向に並ぶ３つの吸着領域２２１〜２２３のうち、中央の吸着領域２２２、左右両端の吸着領域２２１、２２３の順序で、各開口部２４内の減圧を開始する。
【００７２】
このようにして、吸着面２２の中央に近い吸着領域２２２から遠い吸着領域２２１、２２３に向けて、吸着領域２２１〜２２３毎に順次、開口部２４内を減圧すると、板状体１００の自由端部が最後に吸着されるので、それまでに板状体１００に蓄積される歪みの大部分を解放できる。また、板状体１００の中央部が最初に吸着されるので、歪みが解放されるまでに移動する距離を短縮でき、歪みの蓄積を抑制できる。よって、板状体位置の再現性が得られ、その後に行われる研削の精度を向上できる。この効果は、板状体１００が大面積化、薄板化するほど、板状体１００が歪みやすくなるので、顕著である。
【００７３】
吸着工程の後、位置合わせ装置６０が、板状体１００から各接触体対６２〜６８を離間させる。なお、この操作は、吸着工程の前に行われても良い。要は、研削工程の前に行われれば良い。
【００７４】
研削工程では、図７に示すように、砥石３０が、ステージ２０の吸着面２２に吸着された板状体１００の周縁部を研削する。例えば、砥石３０は、２つ設けられており、それぞれ、矩形状の板状体１００の互いに対向する２辺１０２、１０４のいずれか１辺を研削する。
【００７５】
より詳細には、１つの砥石３０を、その外周面を研削対象となる１辺１０２に接触させた状態で、１辺１０２に沿って移動させながら回転させる。同様に、他の１つの砥石３０を、その外周面を研削対象となる残りの１辺１０４に接触させた状態で、残りの１辺１０４に沿って移動させながら回転させる。
【００７６】
このようにして、板状体１００の互いに対向する２辺１０２、１０４を研削し、面取りする。面取りは、Ｒ面取りであっても良いし、Ｃ面取りであっても良く、面取りの種類に制限はない。
【００７７】
面取り後、砥石３０を板状体１００から離間させ、砥石３０の回転を止める。その後、減圧装置４０が、開口部２４内の気圧を大気圧に戻すと、板状体１００のステージ２０への吸着が解除される。
【００７８】
板状体１００は、互いに対向する２辺１０２、１０４が面取りされた後、面取り装置１０に隣接された別の面取り装置に移送され、残りの２辺１０６、１０８が面取りされ、製品となる。
【００７９】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上記実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。
【００８０】
例えば、上記実施形態の面取り装置１０は、矩形状の板状体１００の互いに対向する２辺１０２、１０４のみを面取りする装置であるが、２辺１０２、１０４を面取りした後、ステージ２０を９０°回転させて、残り２辺１０６、１０８をさらに面取りする装置であっても良い。
【００８１】
本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の範囲と精神を逸脱することなく、様々な修正や変更を加えることができることは、当業者にとって明らかである。  本出願は、２０１０年１１月１日出願の日本特許出願２０１０−２４５５８４に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【符号の説明】
【００８２】
１０    面取り装置
２０    ステージ
２２    吸着面
２２１〜２２３  吸着領域
２４    開口部
３０    砥石
４０    減圧装置
５０    給気装置
６０    位置合わせ装置
６２〜６８  接触体対
７０    移載機
１００  板状体
１０２、１０４  研削対象となる辺
１０６、１０８  研削非対象となる辺
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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