(57)【要約】【課題】シルクが位置ずれを起こしている場合であっても、そのシルクが元あった領域における下地についても検査できるようにした自動検査装置を提供することを目的とする。提供する。【解決手段】検査対象物であるプリント基板８の画像を取得し、あらかじめ記憶されていた基準画像とからシルク８１を除く画像について位置合わせを行う。また、シルク８１の領域を抽出し、そのシルクの移動後領域や元領域を抽出する。そして、位置ずれした移動後領域について第一の検査方法でシルク８１の形成状態を検査し、元領域であるシルクの下地については第二の検査方法で検査を行う。一方、パッドや配線パターンなどの領域については、第三の検査方法で検査を行うようにする。また、このとき第一の検査方法では、シルクの色に基づいて検査し、第二の検査方法では、レジストや基材の色に基づいて検査する。【選択図】図６
2012164654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物であるプリント基板の画像を取得する画像取得手段と、
基準画像を記憶する基準画像記憶手段と、
前記画像取得手段で取得された画像におけるシルク領域を検出するシルク領域検出手段と、
当該シルク領域検出手段で検出されたシルク領域を第一の検査方法で検査する第一の検査手段と、
前記シルク領域検出手段で検出されたシルク領域以外の領域であって基準画像におけるシルク領域を第二の検査方法で検査する第二の検査手段と、
前記第一の検査手段および第二の検査手段で検査する領域以外の領域を、前記第一の検査方法および第二の検査方法とは異なる第三の検査方法で検査する第三の検査手段と、
を備えたことを特徴とする自動検査装置。
【請求項２】
前記第二の検査手段が、レジストもしくは基材の輝度に対して所定の輝度幅内の輝度の画素で構成されているか否かによって検査するようにしたものである請求項１に記載の自動検査装置。
【請求項３】
前記第二の検査手段が、シルクが元あった領域の周囲の領域の輝度に基づいて検査を行うようにしたものである請求項１に記載の自動検査装置。
【請求項４】
検査対象物であるプリント基板の画像を取得するステップと、
前記取得された画像におけるシルク領域を検出するステップと、
当該検出されたシルク領域を第一の検査方法で検査するステップと、
前記検出されたシルク領域以外の領域であって基準画像におけるシルク領域を第二の検査方法で検査するステップと、
前記第一の検査方法および第二の検査方法で検査する領域以外の領域を、前記第一の検査方法および第二の検査方法とは異なる第三の検査方法で検査するステップと、
を備えるようにしたことを特徴とする自動検査方法。
【請求項５】
前記第二の検査方法が、レジストもしくは基材の輝度に対して所定の輝度幅内の輝度の画素で構成されているか否かによって検査するようにしたものである請求項４に記載の自動検査方法。
【請求項６】
前記第二の検査手段が、シルクが元あった領域の周囲の領域の輝度に基づいて検査を行うようにしたものである請求項４に記載の自動検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板の形成状態を検査する自動検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリント基板のパッドやパターン、レジスト、シルクなどは、自動検査装置によって検査される。これらのパッドやパターンなどを検査する場合、一般的に、検査対象物であるプリント基板から画像を取得し、その画像の輝度などからパッドやパターン、レジスト、シルクなどの領域を抽出する。そして、それぞれの領域ごとに独自の検査方法や閾値などを用いて検査する。このとき、例えば、シルクについては位置ずれが大きいために閾値を緩めて検査する方法などを用い、一方、パッドやパターンについては閾値を厳しくして検査する方法などを用いている（特許文献１など）。【０００３】
ところで、このようなシルクの下地についてはカメラでその画像を取得することができないため、そのシルクの下に形成されたレジストやパッドなどについては検査をすることができない。このため、従来では、その下地については検査を行わず、また、そのシルクが位置ずれしている場合においては、そのシルクが元あった領域についても、そのシルクの下地の基準画像がないために検査を行わないようにしていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−０８６９１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このようにシルクが元あった領域についても検査しないようにすると、その領域におけるレジストの塗布状態などを検査することができず、検査の精度が悪くなるという問題があった。【０００６】
そこで、本発明は、シルクが位置ずれを起こしている場合であっても、そのシルクが元あった領域における下地についても検査できるようにした自動検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち、本発明は上記課題を解決するために、検査対象物であるプリント基板の画像を取得する画像取得手段と、基準画像を記憶する基準画像記憶手段と、前記画像取得手段で取得された画像におけるシルク領域を検出するシルク領域検出手段と、当該シルク領域検出手段で検出されたシルク領域を第一の検査方法で検査する第一の検査手段と、前記シルク領域検出手段で検出されたシルク領域以外の領域であって基準画像におけるシルク領域を第二の検査方法で検査する第二の検査手段と、前記第一の検査手段および第二の検査手段で検査する領域以外の領域を、前記第一の検査方法および第二の検査方法とは異なる第三の検査方法で検査する第三の検査手段とを備えるようにしたものである。【０００８】
このように構成すれば、シルクが元あった領域についても検査を行うことができるため、精度良い検査を行うことができる。【０００９】
また、このような発明において、第二の検査方法として、レジストもしくは基材の輝度の所定の輝度幅内で画素が構成されているか否かによって検査する。【００１０】
このようにすれば、一般にシルクはレジストや基材の上に印刷されているため、そのレジストや基材の色に基づいて検査すれば、レジストや基材の不良を検出することができるようになる。【００１１】
さらに、第二の検査方法で検査する場合、シルクが元あった領域の周囲の領域の輝度に基づいて検査を行うようにすることもできる。【００１２】
このようにすれば、例えば、パターンの上にレジストが塗布されて、そのレジストの上にシルクが印刷されているような場合、シルクの周囲もパターンとレジストの色が混ざったＲＧＢ輝度になるが、このように周囲の領域の輝度に基づいて検査すれば、シルクが元あった領域を精度を良く検査することができるようになる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、検査対象物であるプリント基板の画像を取得する画像取得手段と、基準画像を記憶する基準画像記憶手段と、前記画像取得手段で取得された画像におけるシルク領域を検出するシルク領域検出手段と、当該シルク領域検出手段で検出されたシルク領域を第一の検査方法で検査する第一の検査手段と、前記シルク領域検出手段で検出されたシルク領域以外の領域であって基準画像におけるシルク領域を第二の検査方法で検査する第二の検査手段と、前記第一の検査手段および第二の検査手段で検査する領域以外の領域を、前記第一の検査方法および第二の検査方法とは異なる第三の検査方法で検査する第三の検査手段とを備えるようにしたので、シルクが元あった領域についても検査良い検査をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施の形態における自動検査装置の機能ブロック図
【図２】同形態における第一の位置合わせ手段によって位置合わせする状態を示す図
【図３】同形態における輝度値の変化量が所定値以上である領域Ａ３と所定値以下の領域Ａ１、Ａ２を示す図
【図４】同形態における輝度値の変化量が所定値以上の領域Ａ３を位置合わせする状態を示す図
【図５】同形態における輝度値の変化量が所定値以下の領域Ａ１を位置合わせする状態を示す図
【図６】同形態におけるシルクの移動後領域と元領域の検査を示す図
【図７】自動検査装置の位置補正の処理を示すフローチャート
【図８】同形態における自動検査装置で基準データを生成する場合のフローチャート
【図９】同形態における自動検査装置で検査を行う場合の処理を示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。この実施の形態における自動検査装置１は、プリント基板８に形成されたパッドや配線パターン、シルク８１、レジスト、スルーホールなどの形成状態の良否を検査できるようにしたものであって、そのプリント基板８の画像を取得する画像取得手段２と、あらかじめ検査に必要な基準画像を記憶させた基準画像記憶手段５と、画像取得手段２によって取得された画像をのうち、シルクを除く画像について基準画像と位置合わせする位置合わせ手段３とを備えている。そして、特徴的には、その位置合わせ手段３について、シルク以外の画像について位置合わせをした後、取得された画像におけるシルク８１の領域を抽出してシルク８１のずれ量や領域などを検出するシルク領域検出手段６と、そのずれたシルク８１（図６の移動後領域）の形成状態を検査する第一の検査手段７１と、そのシルク８１の元の領域（図６上図における元領域）の下地についても検査する第二の検査手段７２とを備えるようにしたものである。以下、本実施の形態における自動検査装置１について詳細に説明する。
【００１６】
まず、画像取得手段２は、検査対象物であるプリント基板８からその表面画像を取得する。プリント基板８から表面画像を取得する場合、グレースケールによって表面画像を取得してもよいが、グレースケールであると、金属が露出したパッド領域や、そのパッド上にレジストが塗布されている領域、基板上に直接レジストが塗布されている領域などの輝度変化が明確にならない。このため、好ましくは、ＲＧＢによってプリント基板８の表面画像を取得する。この画像取得手段２でプリント基板８の表面画像を取得する場合は、プリント基板８の斜め上方に配列された照明装置から光を照射し、その反射光をプリント基板８の真上のラインセンサやエリアセンサで取得し、その画像を一旦画像メモリに蓄積する。そして、その画像メモリに蓄積された画像と、プリント基板８が載置されていないときの画像（例えば、ステージの画像）との差分をとり、プリント基板８のみの画像を抽出する。
【００１７】
一方、基準画像記憶手段５には、あらかじめ基準となるプリント基板８のＲＧＢ画像を記憶させておく。ここで「基準画像」とは、あらかじめ目視検査や他の検査装置によって良品と判断された検査対象物の画像や、ＣＡＤデータなどから作成された画像のデータを意味するものである。基準画像を基準画像記憶手段５に記憶させておく場合は、少なくとも後述する第一の位置合わせ手段３１や第二の位置合わせ手段３２で使用される解像度以上の解像度の画像を記憶させておき、また、シルク８１を除いた画像も記憶させておくようにするとよい。
【００１８】
位置合わせ手段３は、第一の位置合わせ手段３１、第二の位置合わせ手段３２、第三の位置合わせ手段３３から構成されており、プリント基板８の全体画像を位置合わせする他、プリント基板８から抽出されたシルク８１の位置合わせを行う。
【００１９】
このうち第一の位置合わせ手段３１は、図２に示すように、画像取得手段２によって取得されたプリント基板８の画像を粗い状態で位置合わせを行う。具体的には、低解像度である第一の解像度でプリント基板８の全体画像について縦方向、横方向、回転方向にそれぞれずらしながら対応させ、基準画像との一致度が最も大きくなる位置を相互相関によって算出する（図２（ａ））。なお、ここでは、プリント基板８の全体画像を位置合わせする場合について図示しているが、シルク８１の位置合わせをする場合は、シルク８１の輝度に対応した画像を取得して同様の処理を行う。そして、その一致度が最も大きくなる位置に基づいてプリント基板８の画像を縦方向、横方向、回転方向に補正していく。次に、今度は第一の解像度よりも高解像度である第二の解像度でプリント基板８の画像を抽出し、その画像に基づいても同様に、縦方向、横方向、回転方向のそれぞれについて位置をずらしながら対応させていき、相互相関をとって一致度が最も大きくなる位置を計算する。そして、その位置に基づいて第二の解像度の画像を縦方向、横方向、回転方向に補正していく（図２（ｂ））。なお、本実施の形態では、第一の解像度および第二の解像度で粗く位置合わせするようにしているが、より高解像度の画像で全体の位置合わせを行うようにしてもよく、あるいは、第一の解像度だけで全体の位置合わせを行うようにしてもよい。そして、このように比較的低い解像度で全体の画像を粗い状態で位置合わせする。
【００２０】
次に、第二の位置合わせ手段３２は、粗い状態で位置合わせされたプリント基板８の画像を小さな領域に分割し（図３）、それぞれの領域のうち、指定された輝度の領域で輝度変化量が大きい領域のみを抽出して、その領域を独立して位置合わせを行う。一般に、プリント基板８のうち、レジストのみの部分（Ａ１）、配線パターンやパッド部分のみからなる領域（Ａ２）のように輝度変化の少ない領域が大部分を占めており、輝度変化の大きな配線パターンのエッジやパッドのエッジ（Ａ３）からなる領域については非常に少ない。このため、この割合の小さな領域についてのみ位置合わせを行うことによって全体の計算量を小さくできるようにする。なお、ここでも、プリント基板８の配線パターンやパッド部分について図示しているが、同様にシルク８１の位置合わせをする場合にも適用される。
【００２１】
この分割された領域のそれぞれについて輝度変化が大きいか否かを検出する場合、分割された領域の各画素の輝度情報を輝度変化検出手段４に出力し、そこで、輝度の変化量が所定の閾値よりも大きいか否かを検出する。輝度の変化量を検出する場合は、第一の方法として、その領域の各画素のＲＧＢ毎の輝度を抽出し、その分散値を計算する。このとき、その分散値が所定の閾値よりも大きい場合は、「変化量の大きい領域」と判断し、逆に、その領域の輝度の分散値が所定の閾値よりも小さい場合は「変化量の小さい領域」と判断する。この「変化量の大きい領域」としては、例えば、パッドや配線パターン、シルク８１のエッジを含む領域（Ａ３）などが考えられ、また、「変化量の小さい領域」としては、例えば、レジストのみの領域、基板のみの領域、パッドや配線パターンの中央領域などが考えられる（Ａ１、Ａ２）。なお、ここでは分散値を用いて輝度の変化量を検出するようにしているが、最大輝度値と最小輝度値の幅、もしくは、所定の輝度値以上の輝度値を有する画素の個数および所定の輝度値以下の輝度値を有する画素の個数などを用いるようにしてもよい。
【００２２】
第二の位置合わせ手段３２では、このように「変化量の大きい領域」と判断された領域のみを抽出し、その領域に対応する基準画像の領域と位置合わせを行う。この位置合わせにおいては、抽出された領域のうち、指定された輝度であって輝度変化の大きい部分（例えば、パッドのエッジ部分など）を抽出し、その部分を基準として基準画像の小さな領域と位置合わせする。具体的には、一般的にシルク８１は位置ずれが大きいため（図６参照）、シルクを除外した色（ＲＧＢ）や輝度の領域を抽出し、その抽出された領域の画素について上下左右に数画素ずつ膨らまし処理を行い、図４に示すような膨らまされたエッジ領域（Ａ４）を抽出する。一方、基準画像の該当領域についても、同様の方法で膨らまし処理された輪郭領域を抽出し、これらの輪郭領域について縦方向、横方向、回転方向にずらしながら一致率が最も高い位置を相互相関で算出する。そして、一致率が最も高い位置から縦方向、横方向、回転方向の位置合わせを行う。これらの処理は、「変化量の大きい領域」と判断された領域についてのみ独立して行い、「変化量の小さい領域」と判断された領域についてこれらの処理を行わないようにする。
【００２３】
次に、第三の位置合わせ手段３３では、「変化量の小さい領域」と判断された領域の位置合わせ処理を行う。この「変化量の小さい領域」と判断された領域については、特徴となる部分が存在しないため、第二の位置合わせ手段３２のような方法で位置合わせすることができない。そこで、ここでは第二の位置合わせ手段３２で補正された位置情報を用いて補正を行うようにする。具体的には、注目すべき領域が「変化量の小さい領域」であった場合、そこから最も近い「変化量の大きい領域」を探索し、その領域の補正情報（縦方向の補正、横方向の補正、回転方向の補正）を抽出する。そして、その補正情報を用いてその領域を縦方向、横方向、回転方向に補正する。このとき、最も近い変化量の大きい一つの領域の補正情報を用いる場合は、その領域の補正情報をそのまま用い、あるいは、最も近い領域とその次に近い領域の補正情報を用いる場合は、それぞれの補正情報の平均値を用いて補正するようにしてもよい。なお、図５では、補正すべき領域に対して方向の異なる２つの「変化量の大きい領域」を探索し（太い実線で囲まれた領域）、その領域の補正情報に基づいて縦方向の補正、横方向の補正、回転方向の補正を行うようにしている。
【００２４】
シルク領域検出手段６は、まず、シルク８１を除く全体画像について位置合わせを行った後、検査対象物におけるシルク８１の領域（すなわち、位置ずれしたシルク８１の領域、図６上図）と、それに対応するシルク８１の基準画像における領域（すなわち、位置ずれする前のシルクの領域、図６下図）を検出し、それぞれのずれ量を検出する。具体的には、まず、シルク８１を除く全体画像について前述のように位置合わせを行った後、シルク８１の輝度による画像を第一の位置合わせ手段３１によって粗く位置合わせする。なお、このように粗く位置合わせする場合については、シルク８１以外の輝度ですでに計算されているずれ量を用いて位置合わせしてもよい。次に、第二の位置合わせ手段３２によってシルク８１の輝度における画像を小さな矩形領域に分割し、指定した輝度（ここではシルク８１の輝度）で輝度変化量が大きい領域を用いて位置合わせを行う。そして、第三の位置合わせ手段３３で、シルク８１の存在しない矩形領域の位置合わせをシルク８１の輝度を基準として行う。なお、ここでは第三の位置合わせ手段３３を用いてシルク８１が含まれていない矩形領域の位置合わせを行うようにしているが、第二の位置合わせ手段３２における小さな矩形領域のぎりぎり外側にシルク８１が存在している場合、シルク８１の輝度のとり方によっては、その矩形領域の内側にシルク８１が入ってしまう可能性がある。このため、シルク８１が含まれていない矩形領域についても位置合わせを行うようにする。そして、このようにシルク８１の輝度の画像に基づいて第一の位置合わせ手段３１から第三の位置合わせ手段３３で位置合わせし、基準画像との比較によって、シルク８１の縦方向、横方向、回転方向のずれ量を計算してシルク８１の移動後領域と元領域を検出する。なお、ここでは説明の関係上、検査対象物における位置ずれしたシルク８１の領域を移動後領域と称し、また、それに対応したシルク８１の基準画像におけるシルク８１の領域を元領域と称することとする。
【００２５】
検査手段７は、検査対象物を検査する際、このように位置合わせされた各領域ごとに基準画像の領域と照らし合わして良否を判定し、その領域における不良画素、あるいは、不良画素が複数連続している領域などを出力する。
【００２６】
ここで、シルク８１の移動後領域について検査する場合、第一の検査手段７１で検査する。この第一の検査手段７１では、例えば、あらかじめシルクのＲＧＢ輝度に対応した輝度幅を記憶させておき、移動後領域の画素がその輝度幅内に含まれているかどうかを判断する。そして、移動後領域の画素がその輝度幅内に含まれていない場合は「不良画素」であると判断し、かつ、その不良画素が所定個以上連続している場合は、その領域を不良箇所として出力する。
【００２７】
また、他の第一の検査手段７１では、基準画像における元領域と比較することによってシルク８１の良否を判断することもできる。具体的には、移動後領域と元領域の相互相関をとることによってシルク８１の移動量を検出することができた場合、検査画像におけるシルク８１の画素をその移動量だけ移動させ、その移動後の座標を基準として、基準画像内における所定の探索距離内にその画素の輝度値から一定範囲内の輝度を有する画素が存在するか否かを判断する。そして、そのような画素が存在する場合は「良画素」と判断し、そのような画素が存在しない場合は「不良画素」であると判断する。そして、すべての画素について同様の処理を行い、不良画素が所定個以上連続している場合は、その領域を「不良箇所」として出力する。
【００２８】
一方、移動後領域とオーバーラップしないシルク８１の元領域については下地が現れているため、基準画像におけるシルク８１の領域である元領域と比較することができない。そこで、元領域を検査する場合は、第二の検査手段７２で検査する。この第二の検査手段７２では、例えば、あらかじめレジストや基材の輝度を記憶させておき、その輝度における所定の輝度幅内に元領域の画素が含まれているかどうかを判断する。そして、その輝度幅内に検査対象物における元領域の画素が含まれている場合は「良画素」と判断し、含まれていない場合は「不良画素」と判断する。そして、その不良画素が所定個以上連続している場合は、その領域を「不良箇所」として出力する。
【００２９】
また、この第二の検査手段７２では、元領域の周囲の輝度情報に基づいて検査することもできる。例えば、この元領域を膨らまし処理するとともに元領域の差分をとることによって刳り貫き、元領域の周囲の画像を取得する。そして、その周囲の画像の平均輝度（ＲＧＢ輝度）を算出し、その平均輝度に対して一定の輝度幅内に元領域の画素が含まれている場合は「良画素」と、含まれていない場合は「不良画素」と判断する。そして、その不良画素が所定個以上連続している場合は、その領域を「不良箇所」として出力するようにすることもできる。
【００３０】
さらに、このようなシルク８１の移動後領域や元領域以外の領域（すなわち、パッドや配線パターン、レジストなどの領域）については、第一の検査手段７１や第二の検査手段７２とは異なる第三の検査手段７３で検査を行う。この第三の検査手段では、例えば、図６に示すように、位置合わせされた画像の画素の位置を基準(x,y)として、基準画像内における所定の探索距離内にその画素の輝度値から一定範囲内の輝度を有する画素が存在するか否かを判断し、そのような画素が存在する場合は「良画素」と判断し、そのような画素が存在しない場合は「不良画素」であると判断する。そして、すべての画素について同様の処理を行い、不良画素が所定個以上連続している場合は、その領域を「不良箇所」として出力する。なお、ここでは画素ごとの良否の判断を行うようにしているが、もちろんパッドや配線パターン、レジストなどの領域を抽出し、それぞれの領域ごとに独自の検査方法や閾値を用いて検査を行うようにしてもよい。
【００３１】
次に、このように構成された自動検査装置１における検査対象物の位置合わせ方法について図７のフローチャートを用いて説明する。
【００３２】
まず、検査対象物であるプリント基板８を検査するに際して、先に基準画像の生成を行う場合について説明すると、基準画像を生成する場合、良品である検査対象物であるプリント基板８をステージの上に載置し、画像取得手段２によってその画像を取得する。このとき、あらかじめそのプリント基板８を載置するためのステージの画像を取得しておき、そのステージの画像との差分をとることによってプリント基板８のみからなる画像を取得する（ステップＳ１）。
【００３３】
次に、この取得された画像を低解像度である第一の解像度の画像に変換し、その変換された低解像度の画像に対応する基準画像を読み出して、全体的な位置合わせを行う。この位置合わせにおいては、縦方向の相互相関をとって縦方向のずれ量を検出するとともに、横方向の相互相関もとって横方向のずれ量を検出し、また、その画像を回転させて回転方向の相互相関によっても回転方向のずれ量を検出する（ステップＳ２におけるｎ＝１の場合）。そして、これらのずれ量に基づいて検査対象物であるプリント基板８の画像のずれを補正する（ステップＳ３）。
【００３４】
次に、この第一の解像度で補正された画像について、第一の解像度よりも比較的高解像度である第二の解像度で位置合わせを行う（ステップＳ４：Ｎｏ）。この第二の解像度での位置合わせにおいても同様に、その第二の解像度に対応する基準画像を読み出し、相互相関によって縦方向のずれ量や横方向のずれ量、回転方向のずれ量を検出する（ステップＳ２）。そして、その検出されたずれ量に基づいて検査対象物であるプリント基板８の画像のずれ量を補正する（ステップＳ３）。
【００３５】
次に、このような第二の解像度で位置合わせされた検査対象物の画像について、分割処理を行う（ステップＳ５）。そして、その領域内にどれくらい各画素の輝度変化があるかを示す輝度変化量を求める（ステップＳ６）。この輝度変化量を求める場合は、その領域における各画素の輝度の分散値を求め、その分散値が所定の閾値以上である場合は、「変化量の大きい領域」と判断し、逆に、分散値が所定の閾値未満である場合は「変化量の小さい領域」と判断する（ステップＳ７）。
【００３６】
次に、この「変化量の大きい領域」と判断された領域を抽出し（ステップＳ７：Ｙｅｓ）、その領域について、例えば、パッドのエッジ部分のように変化量の大きな部分を抽出して膨らまし処理を行う（ステップＳ８、Ｓ９）。一方、これと同様に、その領域に対応する基準画像についても、変化量の大きな部分について抽出して膨らまし処理を行い、それぞれの画像について相互相関をとり、その相互相関によって算出された最も一致度の高い位置の情報からずれ量を検出し（ステップＳ１０）、検査対象物の領域を独立して補正する（ステップＳ１１）。
【００３７】
一方、「変化量の小さい領域」と判断された場合は（ステップＳ７：Ｎｏ）、その領域から最も近い「変化量の大きい領域」および次に近い「変化量の大きい領域」を抽出して（ステップＳ１３）、それぞれの領域における縦方向、横方向、回転方向のずれ量を抽出する。そして、それぞれのずれ量の平均値からその領域の位置を補正する（ステップＳ１４）。
【００３８】
そして、同様の処理を複数枚のプリント基板８について行い、それぞれを位置合わせされた画像の各画素ごとにＲＧＢごとの輝度を抽出して（図８におけるステップＴ１）、各画素の位置ごとに許容される輝度幅を決定する。この輝度幅を決定する場合は、複数枚読み込んだプリント基板８の画素のＲＧＢ輝度のばらつきである分散値や標準偏差を求め（ステップＴ２）、その分散値や標準偏差の値が大きい場合、平均輝度からの許容幅を大きく設定してその画素に対する基準データとして記憶させる。この許容輝度幅を設定する場合、ＲＧＢ輝度を極座標系に変換し、それぞれの輝度を、原点からの距離ｒ、原点を通る直線とのなす角度θで表現できるようにしておく（ステップＴ３）。そして、距離ｒや角度θの大きさを変えることによって許容輝度幅を設定する（ステップＴ４）。このように距離ｒや角度θを用いて許容輝度幅を設定すれば、直交座標系で許容輝度幅を設定する場合に比べてパラメータが少なくなるとともに、色相（ＲＧＢの輝度の割合）を変更することなく明度や彩度のみを変更することができるというメリットがある。
【００３９】
一方、その画素に対応して、検査対象物におけるプリント基板８の対応画素の探索距離をテーブルとして記憶させ（ステップＴ５）、その画素の位置からその探索距離内に許容輝度幅の輝度を有する画素が存在するかどうかを検査できるようにしておく。
【００４０】
次に、このように基準画像や基準データを記憶させておいた状態において、検査対象となるプリント基板８を検査する場合の処理を図７および図９を用いて説明する。
【００４１】
検査対象物となるプリント基板８を検査する場合は、同様に、プリント基板８をステージの上に載置し、画像取得手段２によってそのプリント基板８のみからなる画像を取得する。（ステップＳ１）。
【００４２】
次に、この取得された画像を低解像度である第一の解像度の画像に変換し、その変換された低解像度の画像に対応する基準画像を読み出して縦方向、横方向、回転方向の相互相関をとって各方向のずれ量を補正する（ステップＳ２〜ステップＳ３）。同様にして、この第一の解像度で補正された画像について、第一の解像度よりも比較的高解像度である第二の解像度で位置合わせを行う（ステップＳ４、ステップＳ２〜ステップＳ３）。
【００４３】
次に、このような粗い画像で位置合わせされた検査対象物の画像について、分割処理を行い（ステップＳ５）、その領域内の輝度変化量を求めて「変化量の大きい領域」と「変化量の小さい領域」に分ける（ステップＳ６、ステップＳ７）。
【００４４】
そして、「変化量の大きい領域」と判断された領域を抽出し（ステップＳ８）、その領域について、シルクの色や輝度を除く領域を抽出し、その抽出された領域の画素について、変化量の大きな部分を抽出して膨らまし処理を行うとともに（ステップＳ９）、その領域に対応する基準画像についても、変化量の大きな部分について抽出し、膨らまし処理し、それぞれの画像について相互相関をとってずれ量を検出する（ステップＳ１０）。そして、その相互相関によって算出された最も一致度の高い位置の情報から、検査対象物の領域を独立して補正する（ステップＳ１１）。また、シルクについては、検査画像からシルクの輝度に対応する画像を抽出して、ステップＳ１〜ステップＳ１１と同様に第一の位置合わせ手段３１から第三の位置合わせ手段３３を用いて位置合わせし、基準画像と比較することによってずれ量を計算するとともに、そのずれ量によって移動後領域と元領域を抽出する（ステップＳ１２）。
【００４５】
一方、「変化量の小さい領域」については、近傍の「変化量の大きい領域」の補正情報を抽出し、その補正情報に基づいて「変化量の小さい領域」の位置を補正していく（ステップＳ１３、Ｓ１４）。
【００４６】
次に、このように位置合わせやシルクの移動後領域や元領域を抽出した後、まず、その移動後領域や元領域について検査を行う（ステップＵ１）。移動後領域を検査する場合は、第一の検査方法として、その移動後領域の画素がシルクの所定幅内の輝度で構成されているかどうかを判断し（ステップＵ２）、所定幅内の輝度で構成されている場合は「良画素」（ステップＵ３）、構成されていない場合は「不良画素」と判断する（ステップＵ４）。そして、所定画素以上連続して不良画素が存在する場合は、その領域を不良箇所として出力する（ステップＵ５）。
【００４７】
一方、移動後領域とオーバーラップしない元領域については、第二の検査方法として（ステップＵ６）、その領域の画素が、あらかじめ記憶されたレジストの所定幅内の輝度に含まれているかどうかを判断し（ステップＵ７）、所定幅内の輝度で構成されている場合は「良画素」（ステップＵ８）、構成されていない場合は「不良画素」と判断する（ステップＵ９）。そして、所定画素以上連続して不良画素が存在する場合は、その領域を不良箇所として出力する（ステップＵ１０）。
【００４８】
次に、移動後領域や元領域以外の領域については、第三の検査方法として（ステップＵ１１）、検査対象物の各画素の位置に対応する基準画像の位置から、あらかじめ記憶されていた許容輝度幅および探索距離を抽出し（ステップＵ１２）、基準画像の探索距離内にその許容輝度幅内の輝度（ＲＧＢ毎の輝度）の画素が存在するかどうかを検査する（ステップＵ１３）。そして、そのような画素が存在する場合は「良画素」と判断し（ステップＵ１４）、そのような画素が存在しない場合は「不良画素」と判断する（ステップＵ１５）。そして、不良画素が所定個数以上連続して存在する場合は、不良領域として出力する（ステップＵ１６）。
【００４９】
このように上記実施の形態によれば、検査対象物であるプリント基板８の画像を取得する画像取得手段２と、基準画像を記憶する基準画像記憶手段５と、画像取得手段２で取得された画像と基準画像とから、取得された画像におけるシルク領域を検出するシルク領域検出手段６と、当該検出されたシルク領域については、第一の検査方法で検査を行う第一の検査手段７１と、当該シルクが元あった領域については、第二の検査方法で検査を行う第二の検査手段７１とを備えるようにしたので、シルクが元あった領域についても検査を行うことができ、検査の精度を良くすることができる。
【００５０】
また、第二の検査手段７２として、レジストもしくは基材の輝度に対して所定の輝度幅内の輝度の画素で構成されているか否かによって検査するように構成するようにしたので、そのレジストや基材の色に基づいて検査すれば、レジストや基材の不良を検出することができるようになる。
【００５１】
さらに、第二の検査手段で検査する場合、シルクが元あった領域の周囲の領域の輝度に基づいて検査を行うようにした場合は、シルクが元あった領域における周囲から画像を推定して検査の精度を良くすることができるようになる。
【００５２】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく種々の態様で実施することができる。
【００５３】
例えば、上記実施の形態では、第一の位置合わせ手段３１から第三の位置合わせ手段３３を用いて位置合わせした後にシルク８１のずれ量を検出するようにしたが、基準画像の外枠とのずれによってシルク８１のずれ量を大まかに計算するようにしてもよい。
【００５４】
さらに、上記実施の形態で、元領域を検査する場合、レジストや基材の色に基づいて検査するようにしたが、シルク８１の左右に配線パターンが存在している場合は、その配線パターンを結ぶ仮想領域を形成し、その仮想領域では配線パターン上にレジストが塗布された領域とみなして検査を行うようにしてもよい。このような仮想領域を形成する場合としては、例えば、シルク８１の外縁で輝度が変化する変化点を検出し、その変化点と変化点を結ぶ直線あるいは曲線を形成する。そして、その直線あるいは曲線のうち、いずれか一方の領域について周囲の輝度が変化している側を、その輝度で構成された領域とみなして検査を行うようにする。
【００５５】
また、上記実施の形態でシルク８１の移動後領域を検査する場合、移動後領域の画素がシルクのＲＧＢ輝度に対応した輝度幅内に含まれているかどうかを検査し、また、元領域を検査する場合、レジストや基材の所定の輝度幅内に元領域の画素が含まれているかどうかを判断するようにしたが、これ以外の方法によって移動後領域や元領域の検査をすることもできる。この具体例としては、シルク８１を細線化してシルク８１の中心線を抽出し、基準画像で同様に細線化されたシルク８１の中心線のピクセルと比較して距離を計算し、そのずれ量に基づいて移動後領域や元領域を検査する方法などが考えられる。また、他の方法としては、上記第一の位置合わせ手段３１から第三の位置合わせ手段３３を用いて位置合わせをして基準画像と比較することによりシルク８１のずれ量を計算し、それぞれの画像同士の差分を行う。そして、その差が大きい部分の面積を計算することでずれ量や移動後領域、元領域を検査する方法などを用いることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、プリント基板や液晶基板、物体の表面に形成された模様や文字などの形成状態を検査する自動検査装置の分野で利用される。
【符号の説明】
【００５７】
１・・・自動検査装置
２・・・画像取得手段
３・・・位置合わせ手段（３１第一の位置合わせ手段、３２第二の位置合わせ手段、３３第三の位置合わせ手段）
４・・・輝度変化算出手段
５・・・基準画像記憶手段
６・・・シルク領域検出手段
７・・・検査手段
８・・・プリント基板
８１・・・シルク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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