(57)【要約】  真空処理を行った測定値の表示範囲を有効に変えることができる技術を提供する。  真空槽内で処理対象物を処理する際に、予め決めておいた処理装置の動作が変化する動作変化時刻を仮表示時刻にして、記憶された測定値を仮表示時刻から画面上に表示してグラフ化し、有効な情報が得られなかった場合は、他の処理装置の動作変化時刻のうち、仮表示時刻よりも前の動作変化時刻を本表示開始時刻に設定し、測定値を結ぶ曲線（Ｌ１２、Ｌ２２）を表示すると、仮表示開始位置よりも後の測定値では分からなかった不良原因などが分かるようになる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽と、前記真空槽内に配置された処理対象物を真空処理するために動作し、動作したときの動作状態を示す動作状態信号を出力する複数の処理機器と、
前記真空処理に伴う測定を行い、測定した測定値を出力する複数のセンサ装置と、
前記処理機器と前記センサ装置とを動作させ、前記動作状態信号を前記動作状態信号が変化した時刻である動作変化時刻と対応させ、前記測定値を、前記測定値が測定された測定時刻と対応させて記憶する制御装置と、
を有する真空処理装置の、前記制御装置内に記憶された表示方法であり、
前記データ分析プログラムは、前記処理機器のうち、予め設定された前記処理機器の前記動作変化時刻を仮表示開始時刻として、
前記仮表示開始時刻と、前記仮表示開始時刻よりも後の時刻である表示終了時刻の間の前記測定時刻に対応する前記測定値を表示装置上にグラフ化して表示できる表示方法であって、
前記表示方法は、表示変更の指示が示されると、前記仮表示開始時刻よりも前の前記動作変化時刻を本表示開始時刻とし、
前記本表示開始時刻と前記表示終了時刻の間の前記測定時刻に対応する前記測定値を表示装置上にグラフ化して表示する表示方法。
【請求項２】
表示変更の前記指示は、演算装置に接続された入力装置から入力される請求項１記載の表示方法。
【請求項３】
前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、
前記仮表示開始時刻よりも前の、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする請求項１又は２のいずれか１項記載の表示方法。
【請求項４】
前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、
前記仮表示開始時刻よりも前の、動作開始を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする請求項１又は２のいずれか１項記載の表示方法。
【請求項５】
前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、
前記仮表示開始時刻よりも前の、動作停止を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする請求項１又は２のいずれか１項記載の表示方法。
【請求項６】
前記仮表示開始時刻よりも後の前記動作変化時刻であって、所望の前記処理機器が出力した動作変化時刻を前記表示終了時刻にする請求項１記載の表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空処理装置の技術分野に係り、特に、真空処理装置を用いた量産工程の測定値を有効にグラフ化して分析できる技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空処理技術は、スパッタリング方法、ＣＶＤ方法、蒸着方法等の成膜技術や、エッチング技術、表面改質技術、不純物注入技術、真空乾燥技術等があり、半導体装置、液晶表示装置等の他、食品分野や自動車工業にも用いられている。【０００３】
真空処理技術によって同一品種の製品を量産する場合、同一規格の処理対象物に同じ真空処理を行うことが普通であるが、その工程が終了した仕掛品や製品には、品質のバラツキが発生することがある。【０００４】
品質のバラツキが発生した原因を調査する場合や、バラツキが不良品を発生させないように製造工程を管理する場合は、動作中の真空処理装置から得られる物理量をセンサ装置によって測定し、測定結果をロット間で比較、検証することが行われる。【０００５】
特に、真空処理装置内の処理機器の動作電流量、処理中の雰囲気の温度、雰囲気の圧力等の物理量の差違をロット間や真空処理装置間で定量的に確認しようとする場合は、製造工程中にセンサ装置によって種々の物理量を測定して測定値を記憶しておき、後で、コンピュータによって測定値をグラフ化し、その形の比較を行っていた。【０００６】
しかしながら、真空処理装置内に配置され、測定対象となる処理機器の数が増加し、また、測定したい物理量の種類も増え、大量の測定値をグラフ化して一緒に画面上に表示して比較することは困難になっている。【０００７】
ところで、品質管理に於いて、真空処理の開始から終了までの工程のうち特性に影響を与えた処理装置の動作を見たところ、日常の品質管理のために見ていた範囲には、その処理装置の動作内容を示す異常な測定値は含まれておらず、通常の品質管理の手法では、異常値は発見できず、大きな不良の原因を特定することができないことが分かった。【０００８】
むしろ、通常観察している時刻範囲ではなく、意外な時刻範囲に属する時刻の測定値に異常が認められることがあり、その測定値を見れば、特性のバラツキなどの原因ばかりでなく、不良発生の原因も分かるようになる。【０００９】
従って、日常管理が必要な範囲の測定値をグラフ化して比較することは重要ではあるが、多量の測定値から、異常がある測定値を見つけ易くすることも重要であり、そのような異常で有効な測定値を簡単に発見できる技術が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００９−８０８４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の課題は、上記従来技術の問題点を解決するために、多種多量の測定値から、不良発生の原因を示す測定値を含む範囲を簡単、正確にグラフ化する技術を提供することにある。
また、真空処理を行った後、その真空処理に関する測定値の表示範囲を有効に変え、不良の原因を示す測定値を発見できる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の発明者等は、不良品が発生する場合等には、真空処理開始前の測定値に異常が認められることが多いことを発見した。
この場合、通常の観察範囲の測定値のグラフ化では、品質のバラツキ原因は分かっても、不良品の発生等、大きな変化があったときの原因を見つけられないため、真空処理を開始する前であっても、不良の原因を示す測定値を簡単に発見できる技術を開発した。【００１３】
即ち、本発明は、真空槽と、前記真空槽内に配置された処理対象物を真空処理するために動作し、動作したときの動作状態を示す動作状態信号を出力する複数の処理機器と、前記真空処理に伴う測定を行い、測定した測定値を出力する複数のセンサ装置と、前記処理機器と前記センサ装置とを動作させ、前記動作状態信号を前記動作状態信号が変化した時刻である動作変化時刻と対応させ、前記測定値を、前記測定値が測定された測定時刻と対応させて記憶する制御装置と、を有する真空処理装置の、前記制御装置内に記憶された表示方法であり、前記データ分析プログラムは、前記処理機器のうち、予め設定された前記処理機器の前記動作変化時刻を仮表示開始時刻として、前記仮表示開始時刻と、前記仮表示開始時刻よりも後の時刻である表示終了時刻の間の前記測定時刻に対応する前記測定値を表示装置上にグラフ化して表示できる表示方法であって、前記表示方法は、表示変更の指示が示されると、前記仮表示開始時刻よりも前の前記動作変化時刻を本表示開始時刻とし、前記本表示開始時刻と前記表示終了時刻の間の前記測定時刻に対応する前記測定値を表示装置上にグラフ化して表示する表示方法である。
また、本発明は、表示変更の前記指示は、演算装置に接続された入力装置から入力される表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、前記仮表示開始時刻よりも前の、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、
前記仮表示開始時刻よりも前の、動作開始を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、
前記仮表示開始時刻よりも前の、動作停止を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻よりも後の前記動作変化時刻であって、所望の前記処理機器が出力した動作変化時刻を前記表示終了時刻にする表示方法である。
【発明の効果】
【００１４】
真空処理を行った測定値の所望の部分を抽出してグラフ化でき、一旦表示したグラフを表示する時刻の範囲を有効に異ならせて再表示できるので、真空処理間の分析や比較を容易に行うことができる。
制御信号に基づいて抽出することができるので、比較するグラフデータの作業の時刻を一致させやすい。【００１５】
画面上で見ながら抽出できるので制御信号中のノイズを見ることができ、ノイズによる誤った抽出を防止することができる。
また、抽出した測定値によるグラフの所望のものを移動できるので、ピーク位置などを同じＸ座標に位置させて正確にグラフを重ね合わせて分析することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の真空処理装置を説明するためのブロック図
【図２】本発明のデータ分析プログラムによる表示を説明するための表示装置の画面(１)
【図３】本発明のデータ分析プログラムによる表示を説明するための表示装置の画面(２)
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１の符号１は、本発明の真空処理装置の一例であり、成膜対象物に対して真空処理を行う一乃至複数の真空処理部２０を有している。
ここでは一台の真空処理部２０を有しているものとして説明すると、真空処理部２０は、真空槽１１を有しており、真空槽１１の内部と外部には、処理対象物の真空処理を行う処理機器群２４が配置されている。
また、真空処理部２０には、処理機器群２４の全部又は一部を制御する制御装置２１と、真空槽１１内の圧力や温度等を測定するセンサ群２３とが配置されている。【００１８】
この例では、真空処理部２０は、蒸着装置であり、処理機器群２４は複数種類を含んでおり、ここでは、処理機器群２４には、真空槽１１の底面に配置された蒸着源である処理機器３４と、蒸着源である処理機器３４に電子線を照射するＥＢ(エレクトロンビーム)ガンである処理機器３３と、蒸着源である処理機器３４の上方に配置された保持装置である処理機器３１と、保持装置である処理機器３１の内部に配置されたヒータである処理機器３２とが含まれている。【００１９】
また、処理機器群２４には、真空槽１１の外部に配置された真空排気系である処理機器３６と、ガス導入系である処理機器３７と、ヒータ用電源である処理機器３８と、蒸着用電源である処理機器３５とも含まれている。
図１の符号１５は、半導体基板やガラス基板から成る処理対象物であり、成膜面を蒸着源である処理機器３４に向けて真空槽１１内の保持装置である処理機器３１に保持されている。【００２０】
真空排気系である処理機器３６とガス導入系である処理機器３７は真空槽１１に接続されており、真空排気系である処理機器３６を動作させて真空槽１１の内部を真空排気することができる。また、ガス導入系である処理機器３７を動作させて真空槽１１の内部にガス導入系である処理機器３７から反応性ガス等のガスを導入することができる。【００２１】
ヒータ用電源である処理機器３８と蒸着用電源である処理機器３５は、ヒータである処理機器３２とＥＢガンである処理機器３３にそれぞれ接続されており、ヒータ用電源である処理機器３８と蒸着用電源である処理機器３５は、制御装置２１に制御された状態で、ヒータである処理機器３２とＥＢガンである処理機器３３にそれぞれ電力を供給する。
ヒータである処理機器３２は供給された電力で発熱し、保持装置である処理機器３１を昇温させて真空雰囲気中で処理対象物１５を加熱する。【００２２】
ＥＢガンである処理機器３３は供給された電力で蒸着源である処理機器３４に電子ビームを照射し、蒸着源である処理機器３４内に配置された蒸着材料を加熱し、真空槽１１内の真空雰囲気中に蒸着材料の蒸気を放出させる。【００２３】
この蒸気は真空雰囲気や反応ガス雰囲気中で処理対象物１５に到達し、処理対象物１５の成膜面に薄膜を形成する。反応ガス雰囲気中で薄膜を形成すれば、反応性蒸着が行われることになる。
センサ群２３には、処理対象物１５の温度を測定する温度センサであるセンサ装置２８や、真空槽１１内部の圧力を測定する真空計であるセンサ装置２９や、蒸着材料の蒸気放出速度を測定する膜厚センサであるセンサ装置３０とが含まれる。【００２４】
また、センサ群２３には、処理機器群２４内の各処理機器３１〜３８に設けられた電流計であるセンサ装置、電圧計であるセンサ装置、温度計であるセンサ装置等も含まれており、それらセンサ群２３によって、処理対象物１５の真空処理に伴う温度、真空槽１１内の圧力、ＥＢガンである処理機器３３が出力するＥＢの電流、導入ガス量等の物理量の測定が行われる。それら測定の結果である測定値は、ここでは測定を行った時刻に関連づけて、制御装置２１に出力される。【００２５】
処理機器群２４に含まれる各処理機器３１〜３８の動作状態は、例えば動作中と動作停止中、通電中と通電停止中、導通中と遮断中など、二種類の状態に分けることができる。即ち、動作状態は、二値の動作状態信号によって表すことができる。【００２６】
処理機器群２４に含まれる各処理機器３１〜３８は、二種類の状態を区別する二値の動作状態信号を、動作状態信号の値が変化したときの時刻である動作変化時刻と対応付けて出力している。【００２７】
例えば、動作停止の状態から、動作を開始するときには、動作状態信号は、動作停止中又は動作終了中を示す値から、動作中を示す値に変更されるから、動作状態信号の値の、停止中又は終了中から動作中への変化は、動作開始を示す信号になる。【００２８】
ここでは、動作中はハイ信号、動作停止中はロー信号が出力され、ローからハイへの動作状態信号の変化が動作開始を示す信号になっている。逆に、ハイからローへの動作状態信号の変化は、動作終了を示す動作状態信号になる。
動作状態信号が変化した時刻を「動作変化時刻」とすると、動作変化時刻は計測され、動作状態信号は、動作変化時刻と共に制御装置２１に出力される。【００２９】
制御装置２１には、シーケンサ４１とコンピュータ４０とが配置されており、真空処理部２０から入力された測定値と、測定時刻と、動作状態信号と、動作変化時刻とは、シーケンサ４１を介してコンピュータ４０に入力される。【００３０】
コンピュータ４０は、演算装置４２と、記憶装置４３と、表示装置４４と、入力装置４６とを有している。記憶装置４３には、コンピュータ４０に入力された測定値は、その測定値が測定によって得られた測定時刻と対応付けて記憶され、動作状態信号は、動作状態信号が変化を示した時刻が動作変化時刻と対応付けて記憶される。【００３１】
他方、シーケンサ４１には、処理機器群２４やセンサ群２３を動作させて真空処理を行う手順が記憶されており、その手順に従って、シーケンサ４１からは、真空処理部２０の処理機器群２４やセンサ群２３を制御しながら真空処理を行わせる制御信号が出力され、真空槽１１内に搬入された処理対象物１５の真空処理が行われる。【００３２】
この制御信号には、処理機器群２４に含まれる装置を指定して動作を開始させる動作指示信号と、動作を開始させた装置の動作を停止させる停止指示信号とが少なくとも含まれており、真空処理の際に、処理機器３１〜３８が動作指示信号に従って動作を開始すると、動作開始を示す動作状態信号の変化が発生し、動作変化時刻と対応付けて処理機器３１〜３８から出力されることになる。【００３３】
他方、処理機器３１〜３８が停止指示信号に従って動作を停止すると、動作停止を示す動作状態信号が動作変化時刻と対応付けて処理機器３１〜３８から出力される。
また、制御信号はセンサ群２３に含まれるセンサ装置(符号２８〜３０で示されたセンサ装置の他、符号を付されていないセンサ装置を含む)にも出力されており、センサ装置を特定して測定を行うことを求めることを示す制御信号が、各センサ装置に入力されると、測定を求めて特定されたセンサ装置が動作し、そのセンサ装置に対応する物理量が測定されて測定値が求められ、測定値と測定時刻とが対応付けられてセンサ群２３内のセンサ装置から出力される。【００３４】
出力された動作状態信号及び動作変化時刻と、測定値及び測定時刻は、シーケンサ４１を介してコンピュータ４０に入力される。
記憶装置４３と、入力装置４６とは演算装置４２に接続されており、複数枚数の処理対象物１５を連続して真空処理を行う製造工程は、遠隔地からシーケンサ４１に入力される処理開始信号や、入力装置４６からシーケンサ４１に入力される処理開始信号によって開始される。【００３５】
真空槽１１での一枚の処理対象物１５の真空処理が行われると、その処理対象物１５は真空槽１１の外部に搬出され、未処理の処理対象物が真空槽１１の内部に搬入され、処理対象物の真空処理が行われ、また、次の処理対象物が搬入されて真空処理が行われる。このように、複数枚数の処理対象物１５の真空処理が連続して行われるようになっている。【００３６】
但し、真空槽１１内で処理対象物１５を真空処理していないときも、各処理機器３１〜３８の動作状態は動作変化時刻と共に各処理機器３１〜３８から出力され、センサ装置の測定値も測定時刻と共に出力され、記憶装置４３に記憶される。
連続して処理される多数の処理対象物１５は、所定枚数ごとに一群にされ、各群には、それぞれ一群毎にロット番号が付与されており、測定値は、測定値が得られたときの真空処理を行ったロット番号と対応付けて記憶される。【００３７】
このように、測定値は、ロット番号やロット名称等、ロットを区別できる表示を含むファイル名称が付されて記憶装置４３内に記憶されており、また、一つのロット内に含まれる処理対象物であっても、異なる真空槽で真空処理が行われた処理対象物がある場合は、真空処理を行った真空槽を記憶内容から区別できるようになっており、真空処理に付される番号等の真空処理が区別できる表示や測定値の種類を区別できる表示も記憶内容に含まれている。【００３８】
この真空処理部２０では、複数ロットの処理対象物の真空処理が行われ、記憶装置４３に複数ロットの真空処理の測定値と、測定値に対応した測定時刻と、その真空処理を制御した制御信号とが記憶され、制御信号に含まれる動作指示信号や停止指示信号の出力時刻も記憶されており、ロット番号、真空処理の種類、データの種類を指定して記憶装置４３から測定値と測定時刻、測定時刻に関連したタイミングチャートを抽出することができる。【００３９】
次に、測定値を分析するための、コンピュータ４０のデータ分析プログラムについて説明する。
記憶装置４３には、真空処理の分析を行うデータ分析プログラムが記憶されており、このデータ分析プログラムを起動し、所望のロット、真空処理、種類の測定値を分析する。【００４０】
分析する測定値は、ここでは、同じ種類の処理機器３１〜３８によって処理された処理対象物であるが、異なるロットの処理対象物の真空処理の測定結果であり、分析は、種類が同じ物理量の比較になる。ここでは、一台のセンサによる測定は一定時間間隔で行われているものとする。データ分析プログラムでは、処理装置３１〜３８が動作を開始した時刻と動作を停止した時刻を、記憶された動作変化時刻から求めても良いし、制御信号に関する記憶のうち、制御装置２１が処理機器３１〜３８を特定して動作を指示した動作指示信号の出力時刻と停止指示信号の出力時刻から求めても良い。【００４１】
図２の符号５０は、コンピュータ４０に接続された表示装置４４の画面を示している。コンピュータ４０は、シーケンサ４１との接続が遮断された状態でも、表示装置４４の画面５０上に所定内容の画像を表示することができ、また、記憶装置４３とは遠隔した位置に配置されたコンピュータであっても、記憶装置４３の記憶内容を読みとれればよい。【００４２】
データ分析プログラムは、演算装置４２を動作させて、測定値を画面５０上にグラフ化して表示させる機能を有しており、データ分析プログラムは、処理機器群２４内の処理機器３１〜３８のうち、予め決められた処理機器の動作変化時刻を記憶装置４３で検索し、動作開始を示す動作変化時刻を仮表示開始時刻として設定する。
そして、仮表示開始時刻よりも後の時刻、例えば動作終了を示す動作変化時刻を仮表示終了時刻として設定する。次いで、演算装置４２の演算により、測定時刻が、仮表示開始時刻以後、仮表示終了時刻までの範囲に含まれる測定値を、画面５０上にグラフにして表示する。【００４３】
本データ分析プログラム中では、例えば、ＥＢガンである処理機器３３のＥＢ放出開始を示す動作状態信号の動作変化時刻を仮表示開始時刻に設定することができるし、また、その処理機器３３の動作の開始を指示する開始指示信号の出力時刻を、仮表示開始時刻に設定することもできる。
また、ここでは、電子放出終了を示す動作変化時刻を仮表示終了時刻に設定している。【００４４】
記憶装置４３には、上述したように、温度、圧力、電流値などの複数種類の測定値が記憶されており、データ分析プログラムは、入力装置４６によって特定の種類の測定値を指定して、データ分析プログラムが指定された種類の測定値を画面５０上にグラフ化して表示することができる。
グラフ表示を説明すると、画面５０に表示される画像には、グラフ表示領域５８とタイミングチャート表示領域５９が設けられている。【００４５】
データ分析プログラムは、グラフ表示領域５８に、画面５０上で、水平方向に伸びるＸ軸と、Ｘ軸とは垂直な鉛直方向に伸びるＹ軸とを表示すると共に、仮表示開始時刻をＸ軸上の“０”(ゼロ)となる位置とし、Ｘ軸とＹ軸とが交差する位置とは異なる位置を、Ｘ軸上のゼロである仮表示開始時刻の位置とする。
ここでは、仮表示開始時刻は、画面５０上のＸ軸とＹ軸とが交差する位置よりも右方の位置に設定した。
仮表示終了時刻のＸ軸上の位置は、仮表示開始時刻の位置よりも右方であり、画面５０上に表示される位置によって、画面５０上のＸ軸上の距離と時間との関係が決まる。
そして、仮表示開始時刻と仮表示終了時刻との間に測定時刻が位置する測定値のうち、指定された種類の測定値(ここでは圧力)を記憶内容から抽出する。【００４６】
抽出した測定値は、各測定値に対応した測定時刻によってＸ軸上の位置が決まる。
測定値の値から測定値のＹ軸上の位置が決定される計算が成され、測定時刻と測定値の値(圧力)によって、Ｘ軸上の位置とＹ軸上の位置とが決められることで各測定値の画面５０上の位置が決められる。
位置を決めされた測定値の位置間を曲線(直線も含む)で結んで曲線が表示されることで、グラフ表示が行われる。【００４７】
タイミングチャート表示領域５９のＸ軸は、グラフ表示領域５８のＸ軸と、画面５０の高さ方向の位置は異なるが、横方向上では同じ位置にあり、測定値と共に記憶装置４３に記憶され、指定された処理機器３１〜３８の動作状態信号のうち、仮表示開始時刻と仮表示終了時刻の間の動作指示信号の値は、動作変化時刻に基づいて、タイミングチャート表示領域５９のＸ軸上に位置を決めて表示する。【００４８】
ここでは動作状態信号の内容はハイとローであり、ハイとローは横線分で示されており、ハイがローよりも画面５０の上方に位置する横線分とされ、また、動作変化時刻のハイとローの横線分端部は、縦線分で結ばれてタイミングチャートが構成されて表示されている。【００４９】
図２では、グラフ表示領域５８には、二個のロットの測定値がロット毎にそれぞれ結ばれた二本の曲線Ｌ11、Ｌ21と、Ｘ軸と、Ｙ軸とから成るグラフ４８が表示されている。タイミングチャート表示領域５９には、仮表示開始時刻を決定する装置の動作状態を示すタイミングチャート５１1と、他の装置の動作状態を示すタイミングチャート５２1と、Ｘ軸とが表示されている。【００５０】
これらのグラフ上では、仮表示開始時刻を決定する処理機器の動作状態信号は、その立上り部分６１の時刻である動作変化時刻が仮表示開始時刻に設定されており、立下り部分６２の時刻である動作変化時刻が仮表示終了時刻に設定されている。Ｘ軸上では、仮表示開始時刻の位置の下に“０”が表示され、仮表示終了時刻の位置の下に６０(６０分)が表示されている。【００５１】
データ分析プログラムは、更に他の装置のタイミングチャートをタイミングチャート領域５９に表示することも可能であり、ここでは、仮表示開始時刻と仮表示終了時刻の間に、ハイ信号６３が出力されたことを示すタイミングチャート５２1が表示されている。【００５２】
図２の曲線Ｌ11、Ｌ21は、ほぼ同様の曲線形状を示しているが、それでも、この真空処理部２０の真空処理工程を終了した結果、処理対象物１５同士の特性値の差が大きい場合がある。その場合、本発明を用いると、特性値の大きな差の原因を判明させるために、キーボード等の入力装置４６によって例えば所定の文字列を入力する等の指示を入力することで、データ分析プログラムにグラフの再表示を指示することができる。
データ分析プログラムは、その指示がされると、先ず、処理機器群２４に含まれる各処理機器３１〜３８の動作状態信号を検索し、仮表示開始時刻よりも前の時刻の動作変化時刻を検出する。【００５３】
ここでは、仮表示開始時刻よりも前の時刻に、動作開始を示す動作状態信号が複数出力されたことを検出しており、それらの動作状態信号のうち、所望の動作変化時刻を抽出し、その動作変化時刻を本表示開始時刻として設定する。
ここでは、最も仮表示開始時刻に一番近い動作変化時刻を有する動作状態信号を抽出し、その動作変化時刻を本表示開始時刻として設定した。二番目に近い動作変化時刻や、三番目に近い動作変化時刻など所望番目に近い動作変化時刻でも採用することができる。
そして、本表示開始時刻と仮表示終了時刻とが、画面５０上のＸ軸で示す時刻に含まれるように、Ｘ軸の画面５０上の距離と時間との関係を設定し直し、グラフ表示領域５８のＸ軸とタイミングチャート表示領域５９のＸ軸と、Ｘ軸の位置と時間とを対応させる数値を表示し直す。両方のＸ軸の本表示開始時刻の位置と仮表示終了時刻の位置は画面５０の横方向上で同じ位置にする。
画面５０上には、選択した種類の測定値のうち、本表示開始時刻と仮終了時刻の間に測定時刻を有する測定値を抽出し、仮表示開始時刻を表示開始時刻として表示した曲線Ｌ11、Ｌ21は消去し、測定値から作成された曲線Ｌ11、Ｌ21を再表示した。
本表示開始時刻を決定する装置の動作状態を示すタイミングチャート５１1と、他の装置の動作状態を示すタイミングチャート５２1として再表示する。【００５４】
図３の符号４９は、再表示を行った曲線Ｌ11、Ｌ21のグラフを示している。
ここでは、Ｘ軸の画面５０上での長さは同じであるが、Ｘ軸上に対応付けられた時間は長時間になっており、本表示開始時刻から仮表示終了時刻までの時間が図２と同じ長さのＸ軸に割り振られている。Ｘ軸上の“０”の位置の時刻は、仮表示開始時刻である。【００５５】
そして、タイミングチャート表示領域５９には、本表示開始時刻から仮表示終了時刻の間の動作状態信号の値が表示されており、再表示前にも表示されていた処理装置の動作状態信号のタイミングチャート５１1、５２1に加え、動作変化時刻が本表示開始時刻とされた処理装置の動作状態信号もタイミングチャート５３として表示しており、本表示開始時刻として、このタイミングチャート５３に含まれるパルス状の信号６４のローからハイに転じた動作変化時刻が検出されたことが分かる。【００５６】
Ｘ軸のゼロの位置は仮表示時刻であり、本表示開始時刻にされた動作変化時刻は、それよりも前の時刻の位置(ここでは、ゼロの１５分前の時刻の位置)であり、本表示開始時刻から仮表示開始時刻までの間に、表示された測定値の曲線Ｌ12、Ｌ22間に離間が認められる。仮表示開始時刻よりも前の状態が、工程が終了した処理対象物１５の特性の差の原因になっていることが分かる。【００５７】
本例では、仮表示終了時刻を表示終了時刻にしていたが、仮表示終了時刻についても、仮表示終了時刻よりも後であって、仮表示終了時刻を含む動作状態信号を出力した処理機器以外の処理機器の動作状態信号の動作変化時刻を本表示終了時刻にして、本表示開始時刻と、本表示終了時刻の間の測定時刻に測定された測定値をグラフ化して画面５０上に表示することができる。
本例では、動作開始を示す動作状態信号の動作変化時刻を本表示時刻にしたが、動作停止を示す動作状態信号の動作変化時刻から選択して本表示時刻にしてもよい。動作開始と動作停止を示す両方の動作状態信号の動作時刻から選択しても良い。
【符号の説明】
【００５８】
１……真空処理装置
１１……真空槽
１５……処理対象物
２０……真空処理部
２１……制御装置
２３……センサ群
２４……処理機器群
３１〜３８……処理機器
４０……コンピュータ
４２……演算装置
４３……記憶装置
４４……表示装置
【図１】
2012032831.tif 000003
【図２】
2012032831.tif 000004
【図３】
2012032831.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月12日(2012.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
分析する測定値は、ここでは、同じ種類の処理機器３１〜３８によって処理された処理対象物であるが、異なるロットの処理対象物の真空処理の測定結果であり、分析は、種類が同じ物理量の比較になる。ここでは、一台のセンサによる測定は一定時間間隔で行われているものとする。データ分析プログラムでは、処理機器３１〜３８が動作を開始した時刻と動作を停止した時刻を、記憶された動作変化時刻から求めても良いし、制御信号に関する記憶のうち、制御装置２１が処理機器３１〜３８を特定して動作を指示した動作指示信号の出力時刻と停止指示信号の出力時刻から求めても良い。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
抽出した測定値は、各測定値に対応した測定時刻によってＸ軸上の位置が決まる。
測定値の値から測定値のＹ軸上の位置が決定される計算が成され、測定時刻と測定値の値(圧力)によって、Ｘ軸上の位置とＹ軸上の位置とが決められることで各測定値の画面５０上の位置が決められる。
位置決めされた測定値の位置間を曲線(直線も含む)で結んで曲線が表示されることで、グラフ表示が行われる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
ここでは、仮表示開始時刻よりも前の時刻に、動作開始を示す動作状態信号が複数出力されたことを検出しており、それらの動作状態信号のうち、所望の動作変化時刻を抽出し、その動作変化時刻を本表示開始時刻として設定する。
ここでは、仮表示開始時刻に一番近い動作変化時刻を有する動作状態信号を抽出し、その動作変化時刻を本表示開始時刻として設定した。二番目に近い動作変化時刻や、三番目に近い動作変化時刻など所望番目に近い動作変化時刻でも採用することができる。
そして、本表示開始時刻と仮表示終了時刻とが、画面５０上のＸ軸で示す時刻に含まれるように、Ｘ軸の画面５０上の距離と時間との関係を設定し直し、グラフ表示領域５８のＸ軸とタイミングチャート表示領域５９のＸ軸と、Ｘ軸の位置と時間とを対応させる数値を表示し直す。両方のＸ軸の本表示開始時刻の位置と仮表示終了時刻の位置は画面５０の横方向上で同じ位置にする。
図３の画面５０上には、選択した種類の測定値のうち、本表示開始時刻と仮終了時刻の間に測定時刻を有する測定値を抽出し、仮表示開始時刻を表示開始時刻として表示した曲線Ｌ11、Ｌ21は消去し、測定値から作成された曲線Ｌ12、Ｌ22を再表示した。
本表示開始時刻を決定する装置の動作状態を示すタイミングチャート５１1と、他の装置の動作状態を示すタイミングチャート５２1として再表示した。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
図３の符号４９は、再表示を行った曲線Ｌ12、Ｌ22のグラフを示している。
ここでは、Ｘ軸の画面５０上での長さは同じであるが、Ｘ軸上に対応付けられた時間は長時間になっており、本表示開始時刻から仮表示終了時刻までの時間が図２と同じ長さのＸ軸に割り振られている。Ｘ軸上の“０”の位置の時刻は、仮表示開始時刻である。
【手続補正書】
【提出日】平成25年7月17日(2013.7.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
即ち、本発明は、真空槽と、前記真空槽内に配置された処理対象物を真空処理するために動作し、動作したときの動作状態を示す動作状態信号を出力する複数の処理機器と、前記真空処理に伴う測定を行い、測定した測定値を出力する複数のセンサ装置と、前記処理機器と前記センサ装置とを動作させ、前記動作状態信号を前記動作状態信号が変化した時刻である動作変化時刻と対応させ、前記測定値を、前記測定値が測定された測定時刻と対応させて記憶する制御装置と、を有する真空処理装置の、前記制御装置内の記憶を表示する表示方法であり、前記表示方法は、前記処理機器のうち、予め設定された前記処理機器の前記動作変化時刻を仮表示開始時刻として、前記仮表示開始時刻と、前記仮表示開始時刻よりも後の時刻である表示終了時刻の間の前記測定時刻に対応する前記測定値を表示装置上にグラフ化して表示できる表示方法であって、前記表示方法は、表示変更の指示が示されると、前記仮表示開始時刻よりも前の前記動作変化時刻を本表示開始時刻とし、前記本表示開始時刻と前記表示終了時刻の間の前記測定時刻に対応する前記測定値を前記表示装置上にグラフ化して表示する表示方法である。
また、本発明は、表示変更の前記指示は、演算装置に接続された入力装置から入力される表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、前記仮表示開始時刻よりも前の、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、前記仮表示開始時刻よりも前の、動作開始を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、前記仮表示開始時刻よりも前の、動作停止を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする表示方法である。
また、本発明は、前記仮表示開始時刻よりも後の前記動作変化時刻であって、所望の前記処理機器が出力した動作変化時刻を前記表示終了時刻にする表示方法である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽と、前記真空槽内に配置された処理対象物を真空処理するために動作し、動作したときの動作状態を示す動作状態信号を出力する複数の処理機器と、
前記真空処理に伴う測定を行い、測定した測定値を出力する複数のセンサ装置と、
前記処理機器と前記センサ装置とを動作させ、前記動作状態信号を前記動作状態信号が変化した時刻である動作変化時刻と対応させ、前記測定値を、前記測定値が測定された測定時刻と対応させて記憶する制御装置と、
を有する真空処理装置の、前記制御装置内の記憶を表示する表示方法であり、
前記表示方法は、前記処理機器のうち、予め設定された前記処理機器の前記動作変化時刻を仮表示開始時刻として、
前記仮表示開始時刻と、前記仮表示開始時刻よりも後の時刻である表示終了時刻の間の前記測定時刻に対応する前記測定値を表示装置上にグラフ化して表示できる表示方法であって、
前記表示方法は、表示変更の指示が示されると、前記仮表示開始時刻よりも前の前記動作変化時刻を本表示開始時刻とし、
前記本表示開始時刻と前記表示終了時刻の間の前記測定時刻に対応する前記測定値を前記表示装置上にグラフ化して表示する表示方法。
【請求項２】
表示変更の前記指示は、演算装置に接続された入力装置から入力される請求項１記載の表示方法。
【請求項３】
前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、
前記仮表示開始時刻よりも前の、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする請求項１又は２のいずれか１項記載の表示方法。
【請求項４】
前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、
前記仮表示開始時刻よりも前の、動作開始を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする請求項１又は２のいずれか１項記載の表示方法。
【請求項５】
前記仮表示開始時刻に設定された前記動作変化時刻を出力した前記処理機器以外の前記処理機器が出力した動作変化時刻であって、
前記仮表示開始時刻よりも前の、動作停止を示す前記動作状態信号の前記動作変化時刻のうち、前記仮表示開始時刻に最も近い時刻の前記動作変化時刻を前記本表示開始時刻にする請求項１又は２のいずれか１項記載の表示方法。
【請求項６】
前記仮表示開始時刻よりも後の前記動作変化時刻であって、所望の前記処理機器が出力した動作変化時刻を前記表示終了時刻にする請求項１記載の表示方法。
【国際調査報告】
2012032831.tif 000006
2012032831.tif 000007
2012032831.tif 000008
2012032831.tif 000009