(57)【要約】  蒸着材料の蒸着において、膜厚測定対象とする蒸着材料以外の蒸着材料が膜厚計に付着してしまうことを抑制し、蒸着膜の膜厚の測定精度を向上させることができる真空蒸着装置を提供する。  真空チャンバー１内に、複数の蒸発源２と、被蒸着体４とを配置すると共に前記複数の蒸発源２と前記被蒸着体４との間の空間を囲んだ筒状体３と、膜厚計１０とを備える。前記複数の蒸発源２から気化した蒸着材料９が筒状体３内を通過して前記被蒸着体４の表面に到達して蒸着するようにする。前記複数の蒸発源２のうちの少なくとも１つの蒸発源２と、前記膜厚計１０との間にはこの蒸発源２から気化した蒸着材料９を前記膜厚計１０に導くための導管７が設けられている。前記導管７の前記蒸発源２側の開口面は、前記蒸発源２の開口面の略同一面上または前記蒸発源２の内部に配置されている。
2012124650.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバー内に、複数の蒸発源と、被蒸着体とを配置すると共に前記複数の蒸発源と前記被蒸着体との間の空間を囲んだ筒状体と、膜厚計とを備え、前記複数の蒸発源から気化した蒸着材料が筒状体内を通過して前記被蒸着体の表面に到達して蒸着するようにした真空蒸着装置において、
前記複数の蒸発源のうちの少なくとも１つの蒸発源と、前記膜厚計との間にはこの蒸発源から気化した蒸着材料を前記膜厚計に導くための導管が設けられており、
前記導管の前記蒸発源側の開口面は、前記蒸発源の開口面の略同一面上または前記蒸発源の内部に配置されていることを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項２】
前記導管は前記蒸発源の内部まで延伸しており、前記導管のうちの前記蒸発源の内部に存在している部分の長さが前記蒸発源の開口面の面積の平方根の２倍以上であることを特徴とする請求項１記載の真空蒸着装置。
【請求項３】
前記複数の蒸発源のうちの少なくとも１つの蒸発源にはこの蒸発源の開口を塞ぐように前記蒸発源の開口面の略同一面上または前記蒸発源の内部に配置された蓋体が設けられ、
前記蓋体には、前記蓋体が設けられた蒸発源から気化する前記蒸着材料を前記筒状体内に流入させるための蒸着用オリフィスと、前記蓋体が設けられた蒸発源から気化する前記蒸着材料を前記膜厚計へ到達させるための膜厚測定用オリフィスとが形成され、
前記導管は前記膜厚計と前記膜厚測定用オリフィスとの間に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空蒸着装置。
【請求項４】
前記蓋体上には、前記蒸着用オリフィスの開口面積を自在に調節可能にするための開口面積制御手段を備えていることを特徴とする請求項３に記載の真空蒸着装置。
【請求項５】
前記蓋体上には、前記膜厚測定用オリフィスの開口面積を自在に調節可能にするための開口面積制御手段を備えていることを特徴とする請求項３又は４に記載の真空蒸着装置。
【請求項６】
前記蓋体又は前記導管の少なくとも一方に加熱機構を設け、この加熱機構を制御するための温度調節機構を備えて成ることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の真空蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空雰囲気中で蒸着材料を気化させると共に気化された蒸着材料を被蒸着体に蒸着させるようにした真空蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空蒸着装置は、真空チャンバー内に蒸発源と被蒸着体とを配置し、真空チャンバー内を減圧した状態で、蒸着材料を気化させて被蒸着体に蒸着させるものである。この場合、蒸発源を加熱して、蒸発源に収容されている蒸着材料を溶融させて蒸発させるか、もしくはその蒸着材料を昇華させる等によって蒸着材料を気化させ、この気化させた蒸着材料を被蒸着体の表面に堆積させて蒸着するようにしている。【０００３】
このような真空蒸着においては、蒸発源で気化された蒸着材料の平均自由行程が非常に長いものであって、気化された蒸着材料は真空チャンバー内を直進的に進行するが、被蒸着体へ向かって進行しないものも多く存在する。すなわち、被蒸着体の表面に付着しない蒸着材料も生じてしまうことになり、そのため、蒸着材料の使用効率が低下したり、蒸着速度が低下したりすることがある。【０００４】
そこで、真空チャンバー内に配置した蒸発源と被蒸着体が対向する空間を筒状体で囲んで、筒状体を加熱して蒸発源から気化した物質を、筒状体内を通して被蒸着体の表面に蒸着させるようにした真空蒸着装置が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。このように、蒸発源を被蒸着体との空間を筒状体で囲むことにより、蒸着材料の使用効率の低下や蒸着速度の低下を改善する方法が知られている。【０００５】
また、有機ＥＬ素子の発光層やキャリア輸送層等を製作する場合には、複数の蒸着材料を共蒸着させる必要があるので、この場合、複数の蒸発源を用い、複数の気化物質が混在した状態で被蒸着体に付着させる方法も提案されている（例えば、特許文献２を参照）。この場合においても、複数の蒸発源と被蒸着体との空間が筒状体で囲まれた構成であるので、蒸着材料の使用効率の低下や蒸着速度の低下が改善される。【０００６】
また、上記のような複数の気化物質を共蒸着させる場合においては、複数の蒸着材料が決められた混合比率で被蒸着体表面に蒸着されるように、各蒸着材料の蒸着速度を制御する必要がある。そのため、各蒸着材料の近傍に膜厚計を設け、各蒸着材料の蒸着速度をそれぞれ測定して、各蒸発源のヒーターの加熱温度をフィードバック制御し、各蒸着材料の蒸着速度を決められた混合比率に一致するように調整することが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−２７２７０３号公報
【特許文献２】特開２００４−５９９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら上記方法では、気化された各蒸着材料は、筒状体内面での反射又は再蒸発によって混合されるようなものであったので、ある一つの蒸着材料の蒸着膜厚の測定用に設けられた膜厚計に、他の対象外の蒸着材料が付着してしまうことがあった。そのため、膜厚計による蒸着速度の測定及びヒーターでのフィードバック制御が正しく行われず、蒸着速度にずれが生じるおそれがあった。特に、膜厚測定をする対象の蒸着材料の混合割合が、全蒸着材料に対して数％以下と少量である場合には、他の膜厚測定対象外の蒸着材料の付着の影響がより顕著になってしまい、正確な膜厚測定が困難となることがあった。【０００９】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、蒸着材料の蒸着において、膜厚測定対象とする蒸着材料以外の蒸着材料が膜厚計に付着してしまうことを抑制し、蒸着膜の膜厚の測定精度を向上させることができる真空蒸着装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の真空蒸着装置は、真空チャンバー内に、複数の蒸発源と、被蒸着体とを配置すると共に前記複数の蒸発源と前記被蒸着体との間の空間を囲んだ筒状体と、膜厚計とを備え、前記複数の蒸発源から気化した蒸着材料が筒状体内を通過して前記被蒸着体の表面に到達して蒸着するようにした真空蒸着装置において、前記複数の蒸発源のうちの少なくとも１つの蒸発源と、前記膜厚計との間にはこの蒸発源から気化した蒸着材料を前記膜厚計に導くための導管が設けられており、前記導管の前記蒸発源側の開口面は、前記蒸発源の開口面の略同一面上または前記蒸発源の内部に配置されていることを特徴とする。【００１１】
また、本発明において、前記導管は前記蒸発源の内部まで延伸しており、前記導管のうちの前記蒸発源の内部に存在している部分の長さが前記蒸発源の開口面の面積の平方根の２倍以上であることが好ましい。【００１２】
また、本発明において、前記複数の蒸発源のうちの少なくとも１つの蒸発源にはこの蒸発源の開口を塞ぐように前記蒸発源の開口面の略同一面上または前記蒸発源の内部に配置された蓋体が設けられ、前記蓋体には、前記蓋体が設けられた蒸発源から気化する前記蒸着材料を前記筒状体内に流入させるための蒸着用オリフィスと、前記蓋体が設けられた蒸発源から気化する前記蒸着材料を前記膜厚計へ到達させるための膜厚測定用オリフィスとが形成され、前記導管は前記膜厚計と前記膜厚測定用オリフィスとの間に配置されていることが好ましい。【００１３】
また、前記蓋体上には、前記蒸着用オリフィスの開口面積を自在に調節可能にするための開口面積制御手段を備えていることが好ましい。【００１４】
また、前記蓋体上には、前記膜厚測定用オリフィスの開口面積を自在に調節可能にするための開口面積制御手段を備えていることが好ましい。【００１５】
また、本発明において、前記蓋体又は前記導管の少なくとも一方に加熱機構を設け、この加熱機構を制御するための温度調節機構を備えて成ることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の真空蒸着装置によれば、蒸着材料の蒸着において、膜厚測定対象とする蒸着材料以外の蒸着材料が膜厚計に付着してしまうことを抑制することができるので、蒸着膜の膜厚の測定精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の真空蒸着装置の実施の形態の一例を示す概略断面図である。
【図２】同上の他の実施の形態の一例を示し、その一部を拡大した概略断面図である。
【図３】同上の他の実施の形態の一例を示す概略断面図である。
【図４】同上の他の実施の形態の一例を示し、その一部を拡大した概略断面図である。
【図５】同上の真空蒸着装置において蒸着用オリフィスに設ける開口面積制御手段の実施の形態の一例を示す平面図である。
【図６】同上の真空蒸着装置において蒸着用オリフィスに設ける開口面積制御手段の他の実施の形態の一例を示す平面図である。
【図７】同上の真空蒸着装置において蒸着用オリフィスに設ける開口面積制御手段の他の実施の形態の一例を示す平面図である。
【図８】同上の真空蒸着装置において膜厚測定用オリフィスに設ける開口面積制御手段の実施の形態の一例を示す平面図である。
【図９】同上の真空蒸着装置において膜厚測定用オリフィスに設ける開口面積制御手段の他の実施の形態の一例を示す平面図である。
【図１０】同上の真空蒸着装置において膜厚測定用オリフィスに設ける開口面積制御手段の他の実施の形態の一例を示す平面図である。
【図１１】本発明の真空蒸着装置の他の実施の形態の一例を示す概略断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態の真空蒸着装置を用いて蒸着を実施した場合の堆積速度のシミュレーション結果を示す。
【図１３】同上の堆積速度のシミュレーション結果を示す。
【図１４】同上のシミュレーション結果を示し、膜厚測定用オリフィスの直径と堆積速度との関係を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための形態を説明する。
【００１９】
図１は、本発明の真空蒸着装置Ａの実施の形態の一例を示している。本発明の真空蒸着装置において、真空チャンバー１は、真空ポンプ５０で排気することによって真空状態に減圧できるようにされている。
【００２０】
上記真空チャンバー１内には、筒状体３が配設されている。この筒状体３は、有底の角筒や円筒などで形成されるものであって、筒状体３の上面には開口部が筒状体開口部３ａとして形成されている。そして、筒状体開口部３ａの上方には基板状の被蒸着体４が設けられており、被蒸着体４の下面が筒状体開口部３ａに対向するように配置されている。被蒸着体４は、特に限定されないが、例えば、ガラス基板等を使用することができる。
【００２１】
上記筒状体３の外周には、筒状体ヒーター３６が巻きつけられており、筒状体ヒーター３６と接続されている筒状体ヒーター用電源２１からの給電により筒状体ヒーター３６を発熱させることで、筒状体３を加熱できるように構成されている。筒状体ヒーター用電源２１は真空チャンバー１の外部に設けられている。
【００２２】
さらに、上記筒状体３には、筒状体用温度計測手段１２が備え付けられており、例えば、熱電対のように、温度を計測することが可能であるようなものが使用され得る。筒状体用温度計測手段１２は、真空チャンバー１外部に設けられている筒状体温度制御器２６と電気的に接続され、さらに、この筒状体温度制御器２６は、筒状体ヒーター用電源２１に接続されている。このように構成されていることによって、筒状体用温度計測手段１２で計測された温度に基づいて、筒状体ヒーター３６に給電される電力を制御してその発熱量を変え、筒状体３の温度を調節することが可能になる。
【００２３】
一方、筒状体３の底部３ｃには、複数の底孔３ｂが形成されており、それぞれの底孔３ｂには、蒸発源２が嵌めこんで取り付けられている。蒸発源２の上面には、蒸発源開口部２ａが形成されており、この蒸発源開口部２ａが底部３ｃと同一面上に位置するように配設されている。
【００２４】
上記蒸発源２は、図１に示した例では、第一の蒸発源２ｘ、第二の蒸発源２ｙの２個の蒸発源２、２が設けられているが、２個以上設けることもできる。尚、蒸発源２の個数と底孔３ｂの個数は同数である。
【００２５】
各蒸発源２には、蒸発源ヒーター３５が内蔵されており、蒸発源ヒーター３５と接続されている蒸発源ヒーター用電源２０からの給電により蒸発源ヒーター３５を発熱させることで、蒸発源２を加熱できるように構成されている。ここで、蒸発源ヒーター用電源２０は、各蒸発源２に対してそれぞれ一つずつ設けられており、すべて真空チャンバー１の外部に設置されている。
【００２６】
さらに、各蒸発源２には、蒸発源用温度計測手段１１が備え付けられており、例えば、熱電対のように、温度を計測することが可能であるようなものが使用され得る。蒸発源用温度計測手段１１は、真空チャンバー１外部に設けられている蒸発源温度制御器２５と電気的に接続され、さらに、この蒸発源温度制御器２５は、上記蒸発源ヒーター用電源２０に接続されている。ここで、蒸発源温度制御器２５及び蒸発源ヒーター用電源２０は、各蒸発源２に対してそれぞれ一つずつ設けられている。このように構成されていることによって、蒸発源用温度計測手段１１で計測された温度に基づいて、蒸発源ヒーター３５に給電される電力を制御してその発熱量を変え、蒸発源２の温度を調節することが可能になる。
【００２７】
また、各蒸発源２の内部には、蒸着材料９が収容されている。蒸着材料９は坩堝等の加熱容器を別途設けて、その加熱容器に蒸着材料９が収容されていても良い。
【００２８】
上記蒸着材料９としては、任意の材料を用いることができるが、例えば、有機エレクトロルミネッセンスを形成するための有機材料を用いることができる。図１の実施の形態では、蒸発源２は、第一の蒸発源２ｘ、第二の蒸発源２ｙのように２個設けられているが、この場合、第一の蒸発源２ｘ、第二の蒸発源２ｙにはそれぞれ、同一又は異なる種類の蒸着材料９ｘ、９ｙを収容することができる。複数の蒸発源２のそれぞれに異なる種類の蒸着材料９を収容させた場合は、それぞれの蒸着材料９を共蒸着することが可能となり、被蒸着体４には共蒸着膜が作製されることになる。
【００２９】
本発明の真空蒸着装置Ａで使用する膜厚計１０（１０ｘ、１０ｙ）としては、蒸着膜厚を計測できるものであれば特に限定されないが、例えば、水晶振動子式膜厚計等を使用することができる。水晶振動子式膜厚計は、水晶振動子表面に蒸着して付着された蒸着膜の膜厚を自動計測することができるものである。本発明では、膜厚計１０は複数個（図示では膜厚計１０ｘ、１０ｙ）設けられているが、各膜厚計１０は、それぞれ真空チャンバー１の外部に備えられた蒸着速度制御器２４と電気的に接続している。また、蒸着速度制御器２４は、すべての蒸発源ヒーター用電源２０に接続されている。このように構成されることにより、膜厚計１０で計測された膜厚値に基づいて、蒸着の途中で蒸着速度を変えたい場合は、蒸発源ヒーター用電源２０から供給する電力を変えれば、蒸着速度の調整が可能となる。
【００３０】
本発明の真空蒸着装置Ａでは、導管７が設けられている。この導管７は、その内部に通気路７ａによる空間を有し、導管７の両端で開口する開口部を有して形成されているものである。導管７は、図１に示すように、その一方（下側）の開口端部が、蒸発源２（２ｙ）の開口面（すなわち、蒸発源開口部２ａ）と略同一面上（同一面上でもよい）に配置されるように設けることができる。あるいは、導管７は、図２に示すように、蒸発源２（２ｙ）の内部に配置されるように設けることもできる。ここでいう蒸発源２の内部とは、蒸発源開口部２ａと、蒸発源２の底部分との間の空間のことを示し、特に、蒸発源２内に蒸着材料９が収容されている場合は、この蒸着材料９と、蒸発源開口部２ａとの間の空間のこという。
【００３１】
一方、図２に示すように、導管７の一方の開口端部が蒸発源２の内部に配置されている場合、蒸発源２の内部に存在している部分の導管７の長さは、蒸発源開口部２ａ（蒸発源２の開口面）の面積の平方根の２倍以上であることが好ましい。すなわち、導管７の一方の開口端部が蒸発源２の内部まで延伸している場合において、蒸発源開口部２ａの面積をＡ（単位は例えばｍｍ２）とし、蒸発源２の内部に存在している部分の導管７の長さＬ（単位は例えばｍｍ）とすると、Ｌ≧２×√Ａ（√ＡはＡの平方根を表す）の関係であることが好ましい。この場合、後述するシミュレーション結果にも示すように、蒸着材料９の蒸着において、膜厚測定対象とする蒸着材料９以外の蒸着材料９が膜厚計１０に付着してしまうことを抑制しやすくなり、蒸着膜の膜厚の測定精度を向上させることができる。なお、上記の面積Ａにおいては、蒸発源２の縁の部分の面積は含んでいない。
【００３２】
また、導管７の他方（上側）の開口端部は、筒状体３の側壁面に形成された貫通孔３ｄを貫通して筒状体３の外部に導出されて、筒状体３の外部に設けられている膜厚計１０（１０ｙ）の近傍まで伸びている。この導管７の上側の開口端部と、膜厚計１０ｙとは接触していても良いし、接触していない場合は、導管７の上側の開口端部と、膜厚計１０ｙとの距離が３００ｍｍ以内で近接して対向していることが好ましい。
【００３３】
上記のように導管７を設けることによって、蒸発源２（２ｙ）で気化された蒸着材料９（９ｙ）は、導管７の一方の開口端部から導管７内の通気路７ａへ侵入し、通気路７ａを通過して、導管７の他方の開口端部を出て膜厚計１０ｙに到達することになる。
【００３４】
また、図１や図２の実施形態では、導管７は膜厚計１０側から蒸発源開口部２ａに向かって延伸し、さらに、蒸発源開口部２ａの上方で蒸発源開口部２ａに対して略垂下するように屈曲されて形成されているが、本発明においては、これに限定されるものではない。すなわち、図２の実施形態では、導管７は、蒸発源開口部２ａに対して略垂下して蒸発源２の内部に延伸しているが、例えば、蒸発源２の開口面に対して鋭角に入射するように導管７が蒸発源２の内部に延伸してもよい。この場合、蒸発源２の内部にある導管７の開口端部の開口面は、蒸発源開口部２ａに平行となるように、形成されていることが好ましい。なお、図２では、膜厚計１０や筒状体３等の図示は省略して示している。
【００３５】
本発明の真空蒸着装置Ａでは、図３に示す実施の形態のように、導管７に蓋体６を設けることもできる。この実施の形態では、第二の蒸発源２ｙに導管７および蓋体６が設けられているが、逆に第一の蒸発源２ｘに導管７および蓋体６が設けられていても良い。あるいは、双方の蒸発源２に導管７および蓋体６を設けることもできる。以下は、第二の蒸発源２ｙに導管７および蓋体６が設けられた場合を例に説明する。
【００３６】
蓋体６は、蒸発源開口部２ａの上面に位置させることができ、蒸発源開口を塞ぐように設けられるものであって、板状に形成されるものである。さらに、この蓋体６には、蒸着用オリフィス１７及び膜厚測定用オリフィス１６の２種類の孔が形成されている。上記のように蒸発源２に蓋体６が設けられると、蒸着用オリフィス１７及び膜厚測定用オリフィス１６は、蒸発源２の開口面と略同一面上に位置するようになっている。
【００３７】
蒸着用オリフィス１７は、蓋体６が設けられた蒸発源２ｙで気化された蒸着材料９ｙを、筒状体３内へと流入させるための孔である。蒸着用オリフィス１７の形状は、特に限定されるものではないが、例えば円形状に形成することができ、その直径は、０．５〜５０ｍｍであることが好ましい。蒸着用オリフィス１７は、蓋体６に一つだけ形成されていても良いし、複数個形成されていても良い。
【００３８】
一方、膜厚測定用オリフィス１６は、蓋体６が設けられた蒸発源２ｙで気化された蒸着材料９ｙを、筒状体３の外部に設けられている膜厚計１０ｙに到達させるために設けられた孔である。膜厚測定用オリフィス１６の形状は、特に限定されるものではないが、例えば円形状に形成することができ、その直径は、０．５〜５０ｍｍであることが好ましい。
【００３９】
上記のように蓋体６が設けられた場合、導管７は、図３に示すように、膜厚測定用オリフィス１６と膜厚計１０との間に設けられ、導管７の一方の開口端部（開口面）を膜厚測定用オリフィス１６と略同一面上に、あるいは膜厚測定用オリフィス１６を塞ぐように配置されるようにすることができる。その他の構成については、図１及び図２の実施の形態で説明した構成と同じである。
【００４０】
また、図４に示すように、蓋体６は、蒸発源２の内部に位置させることもでき、この実施の形態でも導管７の開口端部（開口面）は膜厚測定用オリフィス１６と略同一面上に、あるいは膜厚測定用オリフィス１６を塞ぐように配置される。蓋体６の外縁は蒸発源２の内壁面に固着されていることが好ましい。また、この実施の形態においても、既述のように、蒸発源２の内部に存在している部分の導管７の長さは、蒸発源開口部２ａ（蒸発源２の開口面）の面積の平方根の２倍以上（Ｌ≧２×√Ａ）であることが好ましい。
【００４１】
また、導管７の断面の直径は、膜厚測定用オリフィス１６の直径よりも大きいものであることが好ましい。この場合、膜厚測定用オリフィス１６を通過した蒸着材料９ｙが導管７の外部に漏出することを抑制でき、膜厚測定の誤差を小さくすることができて測定精度がより高いものとなる。
【００４２】
上記の図３及び図４の実施の形態にすることにより、膜厚測定対象とする蒸着材料９以外の蒸着材料９が膜厚計１０に付着してしまうことを特に抑制しやすくなり、蒸着膜の膜厚の測定精度をさらに向上させることができる。
【００４３】
次に、本発明の真空蒸着装置Ａで、被蒸着体４に蒸着材料９を蒸着する方法について説明する。ここでは、図３に示す真空蒸着装置Ａのように、蒸発源２が２個、すなわち第一の蒸発源２ｘ、第二の蒸発源２ｙが設けられた場合の構成のもので、第二の蒸発源２ｙに蓋体６を設け、２種類の蒸着材料９ｘ、９ｙを共蒸着させる場合について説明する。
【００４４】
まず、それぞれの蒸発源２に設けられている加熱容器に蒸着材料９を収容する。例えば、第一の蒸発源２ｘには第一の蒸着材料９ｘ、第二の蒸発源２ｙには第二の蒸着材料９ｙを収容することができ、この逆でも良い。次に、真空ポンプ５０を作動させて真空チャンバー１内を真空状態のまで減圧させる。
【００４５】
次いで、蒸発源ヒーター用電源２０及び筒状体ヒーター用電源２１から給電させることで、それぞれ蒸発源ヒーター３５及び筒状体ヒーター３６を発熱させ、各蒸発源２と筒状体３とを加熱する。このとき、筒状体３は、全ての種類の蒸着材料９、すなわち第一の蒸着材料９ｘ、第二の蒸着材料９ｙのいずれもが気化する温度であり、かつ、分解しない程度の温度で加熱されるようにする。上記のように加熱すると、各蒸着材料９が徐々に昇華又は溶融状態を経てから蒸発することで、各蒸着材料９の気化が始まる。
【００４６】
蓋体６が設けられていない第一の蒸発源２ｘで気化した第一の蒸着材料９ｘは、筒状体開口部３ａの方向へ直接進行するか、若しくは筒状体３の内壁面で反射しながら進行する。そして、いずれ被蒸着体４の下面に到達して付着し、被蒸着体４に堆積されて蒸着膜が形成されることになる。尚、筒状体３は、蒸着材料９ｘ、９ｙが気化する温度で加熱されているので、筒状体３の内壁面に蒸着材料９ｘ、９ｙが付着するのを抑制することができる。
【００４７】
一方、蓋体６が設けられた第二の蒸発源２ｙにおいては、第二の蒸発源２ｙから気化した第二の蒸着材料９ｙは、蓋体６に形成されている蒸着用オリフィス１７若しくは膜厚測定用オリフィス１６を通過する。蒸着用オリフィス１７を通過した蒸着材料９ｙは、筒状体３の内部に侵入し、上記同様に、被蒸着体４で蒸着膜が形成される。膜厚測定用オリフィス１６を通過した蒸着材料９ｙは、導管７の通気路７ａに侵入し、通気路７ａを通過して膜厚計１０ｙに到達し、膜厚計１０ｙに堆積することになる。
【００４８】
もちろん、蓋体６を設けていない図１や図２の実施の形態の真空蒸着装置Ａの場合においても、蒸発源２から気化した蒸着材料９は、筒状体３の内部及び導管７の通気路７ａに侵入する。そして、被蒸着体４で蒸着膜が形成されると共に、導管７を通じて膜厚計１０にも堆積することになる。
【００４９】
上記のように膜厚計１０ｙに形成された蒸着膜の膜厚と、被蒸着体４に形成された蒸着膜の膜厚との間には相関があるので、膜厚計１０ｙで計測された膜厚の値に基づいて、被蒸着体４に形成された蒸着膜の膜厚を間接的に検知できる。従って、膜厚計１０ｙによって単位時間当たりの蒸着膜の膜厚を測定すれば、蒸着速度が算出されるので、この膜厚測定結果に基づいて蒸着速度を変更したりすることもできる。蒸着速度を変更するには、蒸発源用温度計測手段１１への供給電力を調節すればよい。
【００５０】
本発明の真空蒸着装置Ａでは、一つの蒸発源２（２ｙ）と一つの膜厚計１０（１０ｙ）との間に導管７を設けているため、その膜厚計１０ｙへの、他の蒸発源２（２ｘ）から気化した蒸着材料９（９ｘ）の付着が抑制される。このように、膜厚計１０（１０ｙ）には測定対象としていない他の蒸発源２（２ｘ）に収容されている蒸着材料９（９ｘ）の付着が抑制されるので、蒸発源２（２ｙ）から気化された蒸着材料９（９ｙ）による膜厚をより正確に計測することが可能となる。従って、膜厚計１０ｙの計測結果に基づく蒸発源ヒーター３５へのフィードバック制御がより正確に行われ、蒸着速度にずれの発生を抑えることができる。このように、膜厚計１０ｙによる測定精度が向上することから、被蒸着体４に形成される蒸着膜の膜厚もより精度良くコントロールすることができるようになる。
【００５１】
さらに、膜厚計１０ｙには、必要以上の量の蒸着膜が付着することも抑制されるので、例えば、膜厚計１０ｙとして水晶振動子式膜厚計を使用した場合、水晶振動子の発振周波数や発振強度の低下やくるいを最小限に調節することも可能になる。そのため、水晶振動子の寿命を延ばすことができるという利点もある。また、膜厚計１０ｙへの蒸着材料９ｙの付着量の微調整も可能となるので、蒸着速度に応じて蒸発源と膜厚計の位置関係を適切に調整して付着量を微調整するような手間も省くことができる。
【００５２】
特に、蒸発源２に蓋体６を設けて、膜厚測定用オリフィス１６と膜厚計１０との間を導管７で接続した構成にした場合は、その膜厚計１０への、他の蒸発源２から気化した蒸着材料９の付着がさらに抑制され得る。従って、蓋体６を設けていない真空蒸着装置Ａに比べて、気化した蒸着材料９をより確実に膜厚１０や被蒸着体４に到達させることができ、不要な箇所への付着が少なくなるので、上記の効果がより顕著に現れるものとなる。
【００５３】
次に、本発明の真空蒸着装置Ａの他の実施の形態について説明する。例えば、蒸着用オリフィス１７には、開口面積制御手段１５を設けることができる。開口面積制御手段１５を設けることにより、蒸着用オリフィス１７の開口面積が任意に調節されることになり、蒸発源２から気化する蒸着材料９の流量を制御することを可能にするものである。
【００５４】
開口面積制御手段１５としては、例えば、図５に示しているように、絞り機構１１１を使用することができる。この絞り機構１１１は、略平行四辺形状の複数の絞り羽根部材６２と円板状部材６１で形成されている。円板状部材６１は中心部に円形状の空洞部６１ａが形成されたいわゆるドーナツ状に形成されている。円板状部材６１の空洞部６１ａの直径と蒸着用オリフィス１７の直径とは略一致しており、その空洞部６１ａと蒸着用オリフィス１７が重なるように配置されている。絞り羽根部材６２は円板状部材６１の外周を取り囲むように設けられていると共に一部が円板状部材６１の下方に位置するように設けられている。また、隣り合う絞り羽根部材６２は、端部付近が重なり合うように設けられている。
【００５５】
そして、各絞り羽根部材６２の一角には支持ピン６０が挿入されることで蓋体６に取り付けられており、絞り羽根部材６２は支持ピン６０を回転中心として回転自在となっている。
【００５６】
絞り羽根部材６２は、外部からの電気信号によって回転するように作動させることが可能となっている。具体的には、各絞り羽根部材６２は、支持ピン６０を回転中心として、蓋体６の上面に沿って蒸着用オリフィス１７の方向へ回転する。この回転は時計回り、反時計回りどちらでも良いが、最短距離になる方向で回動することが好ましい（図示では矢印の方向である）。尚、各絞り羽根部材６２の回転はすべて同時に起こると共に回転する角度もすべて同じ角度で回転する。このように、各絞り羽根部材６２が回転することによって、蒸着用オリフィス１７の開口を外周から徐々に絞って塞ぐことができ、各絞り羽根部材６２の回転角度を調整することで、蒸着用オリフィス１７の開口面積を調節することが可能となる。また、絞り機構１１１は、一度絞った絞り羽根部材６２を再度元の位置に戻すこともでき、蒸着用オリフィス１７の開口を開閉自在にすることが可能となる。
【００５７】
開口面積制御手段１５としては、例えば、図６に示しているように、回転機構１０１を使用しても良い。回転機構１０１は平板の板状部材６４で形成されており、蒸着用オリフィス１７近傍の蓋体６上に設けられるものである。板状部材６４は、円板形状のものが使用されるが、これに限られず、楕円、矩形、三角形状等の他の形状であっても良い。また、板状部材６４の大きさは、蒸着用オリフィス１７の開口より大きければ良い。
【００５８】
板状部材６４は、その表面から板状部材６４を貫通するように支持ピン６０が挿入されて、蓋体６に取り付けられている。そして、板状部材６４は、外部からの電気信号によって、この支持ピン６０を支点として蓋体６の上面に沿って、例えば図示の矢印の方向に回転することができる。尚、この回転方向は時計回りでも反時計回りでもどちらでも良い。
【００５９】
上記のように板状部材６４が回転することで、蒸着用オリフィス１７の開口が部分的に塞がれ、その塞がれる度合いによって開口面積が調節されることになる。また、板状部材６４は再度元の位置に戻すことも可能であるので、蒸着用オリフィス１７の開口を開閉自在にすることが可能となる。
【００６０】
他の開口面積制御手段１５としては、例えば、図７に示しているように、スライド機構１２１を使用することができる。この場合、上記と同じように、蒸着用オリフィス１７の開口面積を調節するための板状部材６４が、一対のレール部材６３で挟持されており、この一対のレール部材６３の一方の端部から他方の端部へとスライドするように設けられている。また、一対のレール部材６３は、蒸着用オリフィス１７を挟むように平行に配設されている。
【００６１】
そして、板状部材６４が、外部からの電気信号によってレール部材６３をスライド移動することによって、蒸着用オリフィス１７の開口が部分的に塞がれ、その塞がれる度合いによって開口面積が調節されることになる。板状部材６４は、一対のレール部材６３の端部間を往復することが可能であるので、スライド機構１２１も、蒸着用オリフィス１７の開口を開閉自在にすることが可能となる。
【００６２】
本発明の真空蒸着装置Ａでは、上記のように種々の開口面積制御手段１５を有することができるので、蒸着用オリフィス１７の開口面積の異なる複数種の蓋体６を別々に製作するような手間を省くことができる。
【００６３】
さらに、いずれの開口面積制御手段１５においても蒸着用オリフィス１７の開口面積を所望の大きさにすることができる。従って、蒸発源２から気化する蒸着材料９の蒸着速度を変えたい場合は、開口面積を変えることで容易にその蒸着速度を変えられるものである。また、開口面積の調整は、共蒸着を行っている間もすることができるため、蒸着の途中でも開口面積の調整により、蒸着速度を変更することもできる。
【００６４】
本発明の真空蒸着装置Ａにおいては、膜厚測定用オリフィス１６にも、開口面積制御手段１５を設けることができる。この場合も、開口面積制御手段１５を設けることにより、膜厚測定用オリフィス１６の開口面積が任意に調節されることになり、蒸発源２から気化する蒸着材料９の流量を制御することを可能にするものである。
【００６５】
膜厚測定用オリフィス１６に設ける開口面積制御手段１５としては、図８〜１０に示しているように、上記と同様の構成の絞り機構１１１、回転機構１０１、スライド機構１２１のいずれかを使用することができ、それぞれ図８、図９、図１０に示されたようなものである。絞り機構１１１の羽根部材６２や、回転機構１０１及びスライド機構１２１の板状部材６４は、導管７の膜厚測定用オリフィス１６の開口と膜厚測定用オリフィス１６との間で膜厚測定用オリフィス１６の開口面積を調節する。尚、膜厚測定用オリフィス１６に設けられた絞り機構１１１の羽根部材６２や、回転機構１０１も、蒸着用オリフィス１７に設けたものと同様の動作をする。
【００６６】
上記のように、膜厚測定用オリフィス１６にも開口面積制御手段１５を設けることによって、膜厚測定用オリフィス１６の開口面積を容易に調節することができ、膜厚計１０に到達する蒸着材料９の流量や蒸着速度を制御することが可能となる。
【００６７】
開口面積制御手段１５は、蒸着用オリフィス１７又は膜厚測定用オリフィス１６のいずれか一方にのみ設けても良いし、両方に同時に設けることもできる。開口面積制御手段１５が蒸着用オリフィス１７の膜厚測定用オリフィス１６の両方に設けられている場合には、それぞれ独立して開閉動作が行われるようになる。
【００６８】
図８は、本発明の真空蒸着装置Ａの他の実施の形態の一例を示している。この実施の形態のように、本発明の真空蒸着装置Ａでは、蓋体６や導管７にも加熱ヒーター等の加熱機構４０と、この加熱機構４０の温度を調節するための温度調節機構４１がそれぞれ設けられていても良い。
【００６９】
蓋体６に設ける加熱機構４０としては、蓋体ヒーター３７であり、蓋体６の表面に取り付けられる。この蓋体ヒーター３７は、真空チャンバー外部に設置されている蓋体ヒーター用電源２２と接続されている。そして、蓋体ヒーター３７は、蓋体ヒーター用電源２２からの給電により蓋体ヒーター３７を発熱させることで、蓋体６を加熱できるように構成されている。
【００７０】
また、蓋体ヒーター３７のような加熱機構４０の温度を調節するための温度調節機構４１として、蓋体温度制御器２７及びこれに接続した蓋体用温度計測手段１３を設けることができる。蓋体用温度計測手段１３は、蓋体６の表面に設けることができ、例えば、熱電対のように温度を計測することが可能なものを使用できる。蓋体用温度計測手段１３は、真空チャンバー１外部に設けられている蓋体温度制御器２７と電気的に接続されている。そして、この蓋体温度制御器２７は、蓋体ヒーター用電源２２に接続されている。このように構成されることによって、蓋体用温度計測手段１３で計測された温度に基づいて、蓋体ヒーター３７に給電される電力を制御してその発熱量を変え、蓋体６の温度を調節することが可能になる。
【００７１】
一方、導管７に設ける加熱機構４０としては、導管ヒーター３８であり、導管７の外周に取り付けられている。この導管ヒーター３８は、真空チャンバー外部に設置されている導管ヒーター用電源２３と接続されている。そして、導管ヒーター３８は、導管ヒーター用電源２３からの給電により導管ヒーター３８を発熱させることで、導管７を加熱できるように構成されている。
【００７２】
導管７に設ける加熱機構４０も、その温度を調節するための温度調節機構４１が設けられており、具体的には、導管温度制御器２８及びこれと接続した導管用温度計測手段１４を設けることができる。導管用温度計測手段１４は、導管７の表面に設けることができ、例えば、熱電対のように温度を計測することが可能なものを使用できる。導管用温度計測手段１４は、真空チャンバー１外部に設けられている導管温度制御器２８と電気的に接続されている。このように構成されることによって導管用温度計測手段１４で計測された温度に基づいて、導管ヒーター３８に給電される電力を制御してその発熱量を変え、導管７の温度を調節することが可能になる。
【００７３】
尚、本実施の形態では、蓋体６又は導管７のいずれか一方に加熱機構４０と温度調節機構４１を設けても良いし、あるいは蓋体６及び導管７の両方に加熱機構４０と温度調節機構４１を設けるものであっても良い。
【００７４】
上記のように、蓋体６や導管７に加熱機構４０や温度調節機構４１を備えることによって、蓋体６や導管７に蒸着材料９が付着してしまうのを抑制することができる。そのため、蒸着用オリフィス１７や膜厚測定用オリフィス１６のコンダクタンスが変化してしまうおそれも小さくなり、蒸着速度が安定し、蒸着膜の膜厚をより厳密に制御することが可能になる。特に、従来は、蓋体６や導管７の材質や形状によっては、蒸着材料９が付着しやすく、蒸着速度を制御することが困難となることが多かったが、本発明では上記構成を備えれば、蓋体６や導管７の材質や形状による影響を受けにくいものにすることができる。
【００７５】
もちろん、本発明においては、蓋体６を設けていない真空蒸着装置Ａであっても、導管７に上記と同様の加熱機構４０と温度調節機構４１を設けるようにしてもよい。
【００７６】
本発明の真空蒸着装置Ａにおいて、図３や図１１の実施の形態では、第二の蒸発源２ｙに蓋体６が設けられるように図示されるものであるが、蓋体６は、第一の蒸発源２ｘに設けることもできる。この場合、第一の蒸発源２ｘから気化した蒸着材料９の蒸着膜の膜厚を測定するための膜厚計１０ｘが別途設けられており、その膜厚計１０ｘと第一の蒸発源２ｘに設けた蓋体６の膜厚測定用オリフィス１６とを、上記のように導管７で接続することができる。そのため、筒状体３の側壁面には、その導管７を通すための貫通孔３ｄが別途設けられている。尚、本発明の真空蒸着装置Ａでは、第一の蒸発源２ｘ、第二の蒸発源２ｙの両方同時に蓋体６及び導管７が取り付けられていても良い。
【００７７】
このように、蒸発源２ｘには膜厚計１０ｘ、蒸発源２ｙには膜厚計１０ｙのように、それぞれの蒸発源２に対応するように膜厚計１０が備えられているので、それぞれの蒸発源２から気化した蒸着材料９の蒸着膜の膜厚を測定することが可能となる。
【００７８】
（真空蒸着装置Ａによるシミュレーション検証）
以下に、本発明の真空蒸着装置Ａを用いて形成された蒸着膜の蒸着速度や膜厚のシミュレーションについて説明する。具体的には、蒸着材料９として、トリス（８−ヒドロキシキノリナート）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３）を蒸着させた場合の蒸発源２からの蒸着速度を、直接シミュレーションモンテカルロ法を用いて計算した。また、シミュレーション計算は、Ａｌｑ３の分子量、分子サイズ、蒸発温度等を基に計算条件を設定した。
【００７９】
このシミュレーションに使用した真空蒸着装置Ａとして、筒状体３は直方体状の角筒形状であり、内壁の幅２００ｍｍ、奥行き１００ｍｍ、高さ２００ｍｍとし、筒状体３の加熱温度は３００℃とした。また、蒸発源２は２個設置し、それぞれ、第一の蒸発源２ｘ、第二の蒸発源２ｙとし、それぞれに、上記Ａｌｑ３を収容させた。第一の蒸発源２ｘ、第二の蒸発源２ｙ共に、直径３０ｍｍの蒸発源開口部２ａが形成された円筒状のものを使用した。尚、この蒸発源開口部２ａの面積Ａは、７０６．５ｍｍ２となり、２√Ａの値は約５３．２ｍｍである。
【００８０】
また、第一の蒸発源２ｘ及び第二の蒸発源２ｙは、第一の蒸発源２ｘ及び第二の蒸発源２ｙの蒸発源開口部２ａの中心が、筒状体３の底部３ｂの中心からそれぞれ１８０°反対方向（左右）で６５ｍｍの距離に位置する点に配設されている。
【００８１】
最初に基準として、第一の蒸発源２ｘ、第二の蒸発源２ｙのいずれにも蓋体６及び導管７が取り付けられていない場合のシミュレーションを実施した。シミュレーションにあたって、第一の蒸発源２ｘから被蒸着体４への蒸着速度と、第二の蒸発源２ｙから被蒸着体４への蒸着速度の比は、１：０．０１及び１：０．１の２種類の条件で行った。蒸着速度の比が１：０．０１の場合のシミュレーションの結果を図１２に、蒸着速度の比が１：０．１の場合のシミュレーションの結果を図１３及び表１にそれぞれ示す。
【００８２】
シミュレーション（蓋体６及び導管７なし）の結果、図１２に示すように、第二の膜厚計１０ｙには、第一の蒸発源２ｘから気化した蒸着材料９ｘが第二の蒸発源２ｙから気化した蒸着材料９ｙに比べて３０倍以上の堆積速度で到達していることがわかった。また、図１３や表１に示すように、上記蒸着速度の比が１：０．１の場合においては、蒸着材料９ｘは蒸着材料９ｙに比べて約３．５倍の堆積速度で到達していることがわかった。尚、図１２、１３は、第二の蒸発源２ｙのから第二の膜厚計１０ｙへの蒸着材料９ｙの堆積速度を１とした場合の相対的な速度の関係を示すものである。
【００８３】
一方、第二の蒸発源２ｙに、導管７のみを設け、導管７の蒸発源２側の開口面が蒸発源２の開口面と同一面になるように配置させた場合、導管７の蒸発源２側の開口面が蒸発源２の内部へ５５ｍｍ延伸するように配置させた場合、並びに蓋体６及び導管７の両方を設け蓋体６を蒸発源開口面２ａと同一面に配置させた場合についても同様にシミュレーションを実施した。尚、導管７の蒸発源２側の開口面が蒸発源２の内部へ５５ｍｍ延伸するように配置させた場合については、導管７の蒸発源２の内部への延伸方向と、蒸発源２の開口面とが略直交している。また、上記５５ｍｍは、２√Ａの値（５３．２ｍｍ）よりも大きいものである。
【００８４】
そして、蓋体６には、直径２ｍｍの円形の蒸着用オリフィス１７及び直径２ｍｍの円形の膜厚測定用オリフィス１６が形成されている。導管７は、一方の端部の開口面が膜厚測定用オリフィス１６と対向しており、蓋体６（又は蒸発源開口部２ａ）の面に対して６０°の角をなして設けられている。そして、導管７の他方の端部は、筒状体３の側壁面に形成された貫通孔３ｄを貫通して第二の膜厚計１０ｙの近傍まで伸びている。
【００８５】
上記同様に、第一の蒸発源２から被蒸着体４への蒸着速度と、第二の蒸発源２から被蒸着体４への蒸着速度の比が１：０．０１及び１：０．１の２種類で評価を行った。蒸着速度の比が１：０．０１の場合のシミュレーションの結果を図１２に、蒸着速度の比が１：０．１の場合のシミュレーションの結果を図１３及び表１にそれぞれ示す。
【００８６】
まず、上記蒸着速度の比が１：０．０１の場合について詳述する。図１２に示す堆積速度比の結果から判断すると（第二の蒸発源２ｙから第二の膜厚計１０ｙへの蒸着材料９ｙの堆積速度を１としている）、第二の膜厚計１０ｙには、第一の蒸発源２ｘから気化した蒸着材料９ｘの付着が抑制されていることが認められる。具体的には、蓋体６や導管７を設けなかった場合と比べると、第二の膜厚計１０ｙには、第一の蒸発源２ｘから気化した蒸着材料９ｘの付着量は蒸着材料９ｙの付着量の約２％であり、１／１０００以下に抑制されていた。このように、図３の構成の真空蒸着装置Ａでは、第二の蒸発源２と第二の膜厚計１０ｙとの間に導管７および蓋体６を設けたものであるので、第一の蒸発源２ｘから気化した蒸着材料９ｘの第二の膜厚計１０ｙへの付着が大幅に抑制されている。従って、第二の蒸発源２ｙから気化した蒸着材料９ｙの蒸着膜の膜厚の計測値に与える影響が小さくなり、第二の蒸発源２ｙから気化する蒸着材料９ｙの蒸着速度をより正確に調節できることを示している。
【００８７】
また、図１３及び表１に示すように、上記蒸着速度の比が１：０．１の場合においても、蓋体６や導管７を設けなかった場合のものと比べて、導管７のみ、並びに蓋体６及び導管７の両方を設けた場合の方が、第一の蒸発源２ｘから第二の膜厚計１０ｙへの蒸着材料９ｘの堆積速度が小さくなっている。具体的には、導管７の開口面を蒸発源開口面２ａ同一面上に配置させた場合（図１３及び表１では「蒸発源開口面」と表記）には、第二の膜厚計１０ｙへの蒸着材料９ｘの堆積速度は蒸着材料９ｙの堆積速度の８割程度であり、蓋体６や導管７を設けなかった場合のものと比べると、蒸着材料９ｙの堆積速度のフィードバック制御はしやすいことがわかる。一方、導管７の開口面を蒸発源開口面２ａから５５ｍｍ延伸した配置させた場合（図１３及び表１では「５５ｍｍ延伸」と表記）には、第二の膜厚計１０ｙへの蒸着材料９ｘの堆積速度は蒸着材料９ｙの堆積速度の２割程度まで減少しており、蒸着材料９ｙの堆積速度のフィードバック制御を、より行いやすいものであることが示唆された。さらに蓋体６及び導管７の両方を設けることによって、第二の膜厚計１０ｙへの、第一の蒸発源２ｘから気化した蒸着材料９ｘの付着量は、蒸着材料９ｙの付着量の約０．２％と、大幅に抑制されることが示され、蒸着材料９ｙの堆積速度のフィードバック制御を、特に行いやすいことが示唆された。
【００８８】
ここで、第二の蒸発源２ｙから蒸着される材料の被蒸着体４への堆積速度が０．０１Å／ｓであったとすると、図１４に示しているように、蓋体６及び導管７を設けなかった場合の第二の膜厚計１０ｙに対する第二の蒸発源２ｙからの蒸着材料９ｙの堆積速度は、０．００４Å／ｓであったことを示している。つまり、この場合、第二の膜厚計１０ｙに到達した第二の蒸発源２ｙからの蒸着材料９ｙはわずかであったことがわかる。
【００８９】
一方、蓋体６及び導管７を設け、膜厚測定用オリフィス１６の直径を種々のものにした場合、その直径に応じて、堆積速度が変化することがわかる。例えば、膜厚測定用オリフィス１６の直径を２ｍｍの場合、第二の膜厚計１０ｙに対する第二の蒸発源２ｙからの蒸着材料９ｙの堆積速度は、蓋体６と導管７を設けなかった場合に比べて約２５倍に増加している。従って、蓋体６及び導管７を設けた場合は、蒸着材料９ｘの付着の影響はわずかであることを示している。
【００９０】
仮に長時間安定した制御を行うための適切な堆積速度が０．１Å／ｓ前後であると設定した場合、図１４から膜厚測定用オリフィス１６の直径を２ｍｍにすれば良いことがわかる。このように、本発明の蒸着装置Ａでは、膜厚測定用オリフィス１６の直径を適宜調節するだけで、蒸着膜の堆積速度を所望のものに調節可能にするものでもある。
【００９１】
【表１】
2012124650.tif 000003
【符号の説明】
【００９２】
Ａ：真空蒸着装置
１：真空チャンバー
２：蒸発源
２ａ：蒸発源開口部
３：筒状体
４：被蒸着体
６：蓋体
７：導管
７ａ：通気路
９：蒸着材料
１０：膜厚計
１３：蓋体用温度計測手段
１４：導管用温度計測手段
１５：開口面積制御手段
１６：膜厚測定用オリフィス
１７：蒸着用オリフィス
４０：加熱機構
４１：温度調節機構
【図１】
2012124650.tif 000004
【図２】
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【図３】
2012124650.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
2012124650.tif 000009
【図７】
2012124650.tif 000010
【図８】
2012124650.tif 000011
【図９】
2012124650.tif 000012
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2012124650.tif 000017
【国際調査報告】
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2012124650.tif 000019
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