(57)【要約】  ＬＥＤ素子搭載用リードフレーム１０は、枠体領域１３と、枠体領域１３内に多列および多段に配置された多数のパッケージ領域１４とを備えている。多数のパッケージ領域１４は、各々がＬＥＤ素子２１が搭載されるダイパッド２５と、ダイパッド２５に隣接するリード部２６とを含むとともに、互いにダイシング領域１５を介して接続されている。一のパッケージ領域１４内のダイパッド２５と、上下に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とは、ダイシング領域１５に位置する傾斜補強片５１により連結されている。
2012060336.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドと、隣接する他のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項２】
前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項３】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項４】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第１傾斜補強片により連結され、
前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第２傾斜補強片により連結されていることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項５】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記隣接する他のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第１傾斜補強片により連結され、
前記一のパッケージ領域内のリード部と、前記隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとは、ダイシング領域に位置する第２傾斜補強片により連結されていることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項６】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、ダイパッド側に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域内のリード部に、ダイシング領域に位置する一対の追加傾斜補強片により連結されていることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項７】
前記一のパッケージ領域内のリード部は、リード部側に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域内のリード部に、ダイシング領域に位置する一対の追加傾斜補強片により連結されていることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項８】
ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
少なくとも一のパッケージ領域内のリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結され、
一のパッケージ領域内のリード部と、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとは、ダイシング領域に位置する傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項９】
傾斜補強片は、本体と、本体上に形成されためっき層とからなることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項１０】
樹脂付リードフレームにおいて、
請求項１記載のリードフレームと、
リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレーム。
【請求項１１】
半導体装置の製造方法において、
請求項１０記載の樹脂付リードフレームを準備する工程と、
樹脂付リードフレームの各反射樹脂内であって各ダイパッド上にＬＥＤ素子を搭載する工程と、
ＬＥＤ素子と各リード部とを導電部により接続する工程と、
樹脂付リードフレームの各反射樹脂内に封止樹脂を充填する工程と、
反射樹脂およびリードフレームを切断することにより、反射樹脂およびリードフレームをＬＥＤ素子毎に分離する工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
半導体素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドと、隣接する他のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項１３】
前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とする請求項１２記載のリードフレーム。
【請求項１４】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とする請求項１２記載のリードフレーム。
【請求項１５】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第１傾斜補強片により連結され、
前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第２傾斜補強片により連結されていることを特徴とする請求項１２記載のリードフレーム。
【請求項１６】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記隣接する他のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第１傾斜補強片により連結され、
前記一のパッケージ領域内のリード部と、前記隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとは、ダイシング領域に位置する第２傾斜補強片により連結されていることを特徴とする請求項１２記載のリードフレーム。
【請求項１７】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、ダイパッド側に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域内のリード部に、ダイシング領域に位置する一対の追加傾斜補強片により連結されていることを特徴とする請求項１２記載のリードフレーム。
【請求項１８】
前記一のパッケージ領域内のリード部は、リード部側に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域内のリード部に、ダイシング領域に位置する一対の追加傾斜補強片により連結されていることを特徴とする請求項１２記載のリードフレーム。
【請求項１９】
半導体素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
少なくとも一のパッケージ領域内のリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結され、
一のパッケージ領域内のリード部と、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとは、ダイシング領域に位置する傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項２０】
ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、
ダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項２１】
補強片は、枠体領域内側の全長にわたって延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とする請求項２０記載のリードフレーム。
【請求項２２】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結され、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、補強片により連結されていないことを特徴とする請求項２０記載のリードフレーム。
【請求項２３】
補強片は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部にそれぞれ連結されたダイパッド連結部およびリード連結部間のみに延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とする請求項２０記載のリードフレーム。
【請求項２４】
各パッケージ領域は、１つのダイパッドと、このダイパッドの両側に位置する第１のリード部および第２のリード部とを含み、
一のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部と各々ダイパッド連結部、第１リード連結部、および第２リード連結部により連結され、
前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第１リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第１リード連結部を連結し、
前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第２リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第２リード連結部を連結することを特徴とする請求項２０記載のリードフレーム。
【請求項２５】
ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、縦方向に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、一部のダイシング領域に位置するダイパッド連結部およびリード連結部は、当該ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項２６】
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、所定数おきに周期的に設けられていることを特徴とする請求項２５記載のリードフレーム。
【請求項２７】
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、不規則に設けられていることを特徴とする請求項２５記載のリードフレーム。
【請求項２８】
補強片は、本体と、本体上に形成されためっき層とからなることを特徴とする請求項２０記載のリードフレーム。
【請求項２９】
樹脂付リードフレームにおいて、
請求項２０記載のリードフレームと、
リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレーム。
【請求項３０】
半導体装置の製造方法において、
請求項２９記載の樹脂付リードフレームを準備する工程と、
樹脂付リードフレームの各反射樹脂内であって各ダイパッド上にＬＥＤ素子を搭載する工程と、
ＬＥＤ素子と各リード部とを導電部により接続する工程と、
樹脂付リードフレームの各反射樹脂内に封止樹脂を充填する工程と、
反射樹脂およびリードフレームを切断することにより、反射樹脂およびリードフレームをＬＥＤ素子毎に分離する工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３１】
半導体素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、
ダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項３２】
補強片は、枠体領域内側の全長にわたって延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とする請求項３１記載のリードフレーム。
【請求項３３】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結され、
前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、補強片により連結されていないことを特徴とする請求項３１記載のリードフレーム。
【請求項３４】
補強片は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部にそれぞれ連結されたダイパッド連結部およびリード連結部間のみに延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とする請求項３１記載のリードフレーム。
【請求項３５】
各パッケージ領域は、１つのダイパッドと、このダイパッドの両側に位置する第１のリード部および第２のリード部とを含み、
一のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部と各々ダイパッド連結部、第１リード連結部、および第２リード連結部により連結され、
前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第１リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第１リード連結部を連結し、
前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第２リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第２リード連結部を連結することを特徴とする請求項３１記載のリードフレーム。
【請求項３６】
半導体素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、縦方向に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、一部のダイシング領域に位置するダイパッド連結部およびリード連結部は、当該ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項３７】
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、所定数おきに周期的に設けられていることを特徴とする請求項３６記載のリードフレーム。
【請求項３８】
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、不規則に設けられていることを特徴とする請求項３６記載のリードフレーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＥＤ素子搭載用リードフレーム、樹脂付リードフレーム、半導体装置の製造方法、および半導体素子搭載用リードフレームに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、樹脂封止型半導体装置用のリードフレームとして、例えば特開２００１−３２６３１６号公報に記載されたものが存在する。このようなリードフレームにおいては、各ダイパッド周囲に多数の端子部が配置されており、これら多数の端子部と吊りリードとを繋ぐタイバーが、縦横に格子状に配置されている。【０００３】
一方、近年、ＬＥＤ（発光ダイオード）素子を光源として用いる照明装置が、各種家電、ＯＡ機器、車両機器の表示灯、一般照明、車載照明、およびディスプレイ等に用いられている。このような照明装置の中には、リードフレームにＬＥＤ素子を搭載することにより作製された半導体装置を含むものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３２６３１６号公報
【０００５】
ＬＥＤ素子用の半導体装置またはディスクリート半導体素子用の半導体装置においては、ダイパッドの周囲に、ダイパッドとリードとが直線状に一列に配置されたものがある。このような半導体装置に用いられるリードフレームの場合、上述した従来のリードフレームと異なり、縦横の格子状のタイバーを設けることなく、互いに隣接するダイパッド同士およびリード部同士を連結する方が、１つのリードフレーム中の素子の面付け数を多くすることができ、リードフレームを効率良く製造することができる。【０００６】
この場合、ダイパッドとリード部とは、短絡が生じないように離して配置する必要がある。このため、各ダイパッドと各リード部との間の隙間が繋がり、リードフレームの一辺に平行な、複数の細長い空間が生じてしまうという問題が生じる。このため、リードフレームがすだれ状になり、取り扱う際にリードフレームに変形が生じてしまうおそれがある。【０００７】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ダイパッドとリード部との間の隙間が繋がり、リードフレームに細長い空間が生じることによりリードフレームがすだれ状になることを防止し、取り扱い時に変形が生じることを防止することが可能な、ＬＥＤ素子搭載用リードフレーム、樹脂付リードフレーム、半導体装置の製造方法、および半導体素子搭載用リードフレームを提供することを目的とする。
【発明の開示】
【０００８】
本発明は、ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、一のパッケージ領域内のダイパッドと、隣接する他のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【０００９】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００１０】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００１１】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第１傾斜補強片により連結され、前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第２傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００１２】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記隣接する他のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第１傾斜補強片により連結され、前記一のパッケージ領域内のリード部と、前記隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとは、ダイシング領域に位置する第２傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００１３】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、ダイパッド側に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域内のリード部に、ダイシング領域に位置する一対の追加傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００１４】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のリード部は、リード部側に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域内のリード部に、ダイシング領域に位置する一対の追加傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００１５】
本発明は、ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、少なくとも一のパッケージ領域内のリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結され、一のパッケージ領域内のリード部と、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとは、ダイシング領域に位置する傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００１６】
本発明は、傾斜補強片は、本体と、本体上に形成されためっき層とからなることを特徴とするリードフレームである。
【００１７】
本発明は、樹脂付リードフレームにおいて、リードフレームと、リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレームである。
【００１８】
本発明は、半導体装置の製造方法において、樹脂付リードフレームを準備する工程と、樹脂付リードフレームの各反射樹脂内であって各ダイパッド上にＬＥＤ素子を搭載する工程と、ＬＥＤ素子と各リード部とを導電部により接続する工程と、樹脂付リードフレームの各反射樹脂内に封止樹脂を充填する工程と、反射樹脂およびリードフレームを切断することにより、反射樹脂およびリードフレームをＬＥＤ素子毎に分離する工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法である。
【００１９】
本発明は、半導体素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、一のパッケージ領域内のダイパッドと、隣接する他のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００２０】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００２１】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００２２】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第１傾斜補強片により連結され、前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第２傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００２３】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドと、前記隣接する他のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する第１傾斜補強片により連結され、前記一のパッケージ領域内のリード部と、前記隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとは、ダイシング領域に位置する第２傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００２４】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、ダイパッド側に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域内のリード部に、ダイシング領域に位置する一対の追加傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００２５】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のリード部は、リード部側に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域内のリード部に、ダイシング領域に位置する一対の追加傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００２６】
本発明は、半導体素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、少なくとも一のパッケージ領域内のリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結され、一のパッケージ領域内のリード部と、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとは、ダイシング領域に位置する傾斜補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００２７】
本発明によれば、一のパッケージ領域内のダイパッドと、隣接する他のパッケージ領域内のリード部とは、ダイシング領域に位置する傾斜補強片により連結されているので、各ダイパッドと各リード部との間の隙間が繋がり、リードフレームの一辺に対して平行な、複数の細長い空間が生じることがない。したがって、取り扱い時にリードフレームが変形することを防止することができる。
【００２８】
本発明は、ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、ダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００２９】
本発明は、補強片は、枠体領域内側の全長にわたって延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とするリードフレームである。
【００３０】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結され、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、補強片により連結されていないことを特徴とするリードフレームである。
【００３１】
本発明は、補強片は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部にそれぞれ連結されたダイパッド連結部およびリード連結部間のみに延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とするリードフレームである。
【００３２】
本発明は、各パッケージ領域は、１つのダイパッドと、このダイパッドの両側に位置する第１のリード部および第２のリード部とを含み、一のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部と各々ダイパッド連結部、第１リード連結部、および第２リード連結部により連結され、前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第１リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第１リード連結部を連結し、前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第２リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第２リード連結部を連結することを特徴とするリードフレームである。
【００３３】
本発明は、ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、縦方向に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、一部のダイシング領域に位置するダイパッド連結部およびリード連結部は、当該ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００３４】
本発明は、横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、所定数おきに周期的に設けられていることを特徴とするリードフレームである。
【００３５】
本発明は、横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、不規則に設けられていることを特徴とするリードフレームである。
【００３６】
本発明は、補強片は、本体と、本体上に形成されためっき層とからなることを特徴とするリードフレームである。
【００３７】
本発明は、樹脂付リードフレームにおいて、リードフレームと、リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレームである。
【００３８】
本発明は、半導体装置の製造方法において、樹脂付リードフレームを準備する工程と、樹脂付リードフレームの各反射樹脂内であって各ダイパッド上にＬＥＤ素子を搭載する工程と、ＬＥＤ素子と各リード部とを導電部により接続する工程と、樹脂付リードフレームの各反射樹脂内に封止樹脂を充填する工程と、反射樹脂およびリードフレームを切断することにより、反射樹脂およびリードフレームをＬＥＤ素子毎に分離する工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法である。
【００３９】
本発明は、半導体素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、ダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００４０】
本発明は、補強片は、枠体領域内側の全長にわたって延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とするリードフレームである。
【００４１】
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結され、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、補強片により連結されていないことを特徴とするリードフレームである。
【００４２】
本発明は、補強片は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部にそれぞれ連結されたダイパッド連結部およびリード連結部間のみに延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とするリードフレームである。
【００４３】
本発明は、各パッケージ領域は、１つのダイパッドと、このダイパッドの両側に位置する第１のリード部および第２のリード部とを含み、一のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部と各々ダイパッド連結部、第１リード連結部、および第２リード連結部により連結され、前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第１リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第１リード連結部を連結し、前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第２リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第２リード連結部を連結することを特徴とするリードフレームである。
【００４４】
本発明は、半導体素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、縦方向に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、一部のダイシング領域に位置するダイパッド連結部およびリード連結部は、当該ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
【００４５】
本発明は、横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、所定数おきに周期的に設けられていることを特徴とするリードフレームである。
【００４６】
本発明は、横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、不規則に設けられていることを特徴とするリードフレームである。
【００４７】
本発明によれば、ダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結されているので、各ダイパッドと各リード部との間の隙間が繋がり、リードフレームの一辺に対して平行な、複数の細長い空間が生じることがない。したがって、取り扱い時にリードフレームが変形することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームを示す全体平面図。
【図２】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームを示す部分拡大平面図（図１のＡ部拡大図）。
【図３】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームを示す断面図（図２のＢ−Ｂ線断面図）。
【図４】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームにより作製された半導体装置を示す断面図（図５のＣ−Ｃ線断面図）。
【図５】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームにより作製された半導体装置を示す平面図。
【図６】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの製造方法を示す図。
【図７】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームを用いて、半導体装置を製造する方法を示す図。
【図８】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームを用いて、半導体装置を製造する方法を示す図。
【図９】半導体装置を製造する方法のうち、ダイシング工程を示す図。
【図１０】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例１−１）を示す部分拡大平面図。
【図１１】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例１−２）を示す部分拡大平面図。
【図１２】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例１−３）を示す部分拡大平面図。
【図１３】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例１−４）を示す部分拡大平面図。
【図１４】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例１−５）を示す部分拡大平面図。
【図１５】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例１−６）を示す部分拡大平面図。
【図１６】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例１−７）を示す部分拡大平面図。
【図１７】本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例１−８）を示す部分拡大平面図。
【図１８】半導体装置の変形例（変形例Ａ）を示す断面図。
【図１９】半導体装置の変形例（変形例Ｂ）を示す断面図。
【図２０】半導体装置の変形例（変形例Ｃ）を示す断面図。
【図２１】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームを示す全体平面図。
【図２２】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームを示す部分拡大平面図（図２１のＤ部拡大図）。
【図２３】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームを示す断面図（図２２のＥ−Ｅ線断面図）。
【図２４】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームにより作製された半導体装置を示す断面図（図２５のＦ−Ｆ線断面図）。
【図２５】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームにより作製された半導体装置を示す平面図。
【図２６】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームの製造方法を示す図。
【図２７】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームを用いて、半導体装置を製造する方法を示す図。
【図２８】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームを用いて、半導体装置を製造する方法を示す図。
【図２９】半導体装置を製造する方法のうち、ダイシング工程を示す図。
【図３０】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例２−１）を示す部分拡大平面図。
【図３１】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例２−２）を示す部分拡大平面図。
【図３２】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例２−３）を示す部分拡大平面図。
【図３３】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例２−４）を示す部分拡大平面図。
【図３４】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例２−５）を示す部分拡大平面図。
【図３５】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例２−６）を示す部分拡大平面図。
【図３６】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例２−７）を示す部分拡大平面図。
【図３７】変形例２−７（図３６）によるリードフレームを用いて作製された半導体装置を示す概略平面図。
【図３８】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例２−８）を示す部分拡大平面図。
【図３９】変形例２−８（図３８）によるリードフレームを用いて作製された半導体装置を示す概略平面図。
【図４０】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例２−９）を示す部分拡大平面図。
【図４１】本発明の第２の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例２−１０）を示す部分拡大平面図。
【図４２】本発明の第３の実施の形態によるリードフレームを示す断面図。
【図４３】本発明の第３の実施の形態によるリードフレームにより作製された半導体装置を示す断面図。
【図４４】本発明の第３の実施の形態によるリードフレームを用いて、半導体装置を製造する方法を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
（第１の実施の形態）
以下、図面を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。図１乃至図６は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【００５０】
以下、本発明の第１の実施の形態について、図１乃至図２０を参照して説明する。
【００５１】
リードフレームの構成
まず、図１乃至図３により、本実施の形態によるＬＥＤ素子搭載用リードフレームの概略について説明する。図１は、本実施の形態によるリードフレームの全体平面図であり、図２は、図１のＡ部拡大図であり、図３は、図２のＢ−Ｂ線断面図である。
【００５２】
図１に示すリードフレーム１０は、ＬＥＤ素子２１を搭載した半導体装置２０（図４および図５）を作製する際に用いられるものである。このようなリードフレーム１０は、矩形状の外形を有する枠体領域１３と、枠体領域１３内に多列および多段に（マトリックス状に）配置された、多数のパッケージ領域１４とを備えている。
【００５３】
図２に示すように、複数のパッケージ領域１４は、各々ＬＥＤ素子２１が搭載されるダイパッド２５と、ダイパッド２５に隣接するリード部２６とを含んでいる。また、複数のパッケージ領域１４は、互いにダイシング領域１５を介して接続されている。
【００５４】
一つのパッケージ領域１４内のダイパッド２５とリード部２６との間には、隙間が形成されており、ダイシングされた後、ダイパッド２５とリード部２６とは互いに電気的に絶縁されるようになっている。なお、各パッケージ領域１４は、それぞれ個々の半導体装置２０に対応する領域である。また、図２において、各パッケージ領域１４を二点鎖線で示している。
【００５５】
一方、ダイシング領域１５は、各パッケージ領域１４の間に縦横に延びている。このダイシング領域１５は、後述するように、半導体装置２０を製造する工程において、リードフレーム１０をパッケージ領域１４毎に分離する際にブレード３８が通過する領域となる。なお、図２において、ダイシング領域１５を網掛けで示している。
【００５６】
なお、本明細書において、図２に示すように、各パッケージ領域１４内のリード部２６とダイパッド２５とを左右に並べて配置した場合の横方向がＸ方向に対応し、縦方向がＹ方向に対応する。またこの場合、Ｙ方向プラス側、Ｙ方向マイナス側を、それぞれ上方、下方といい、Ｘ方向プラス側、Ｘ方向マイナス側を、それぞれ右方、左方という。
【００５７】
図２に示すように、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５と、その上方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とは、傾斜補強片５１によって互いに連結されている。また、各パッケージ領域１４内のリード部２６と、その下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５とは、傾斜補強片５１によって互いに連結されている。各傾斜補強片５１は、ダイシング領域１５に位置しており、かつ図２のＸ方向およびＹ方向のいずれに対しても斜めになるように配置されている。
【００５８】
また、各パッケージ領域１４内のリード部２６は、その上方および下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６と、それぞれリード連結部５２によって連結されている。さらに、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、その上方および下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５と、それぞれダイパッド連結部５３により連結されている。これら各リード連結部５２および各ダイパッド連結部５３は、いずれもダイシング領域１５に位置しており、かつＹ方向に平行に配置されている。
【００５９】
さらに、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、その右方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６と、パッケージ領域連結部５４により連結されている。さらにまた、各パッケージ領域１４内のリード部２６は、その左方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５と、パッケージ領域連結部５４により連結されている。各パッケージ領域連結部５４は、ダイシング領域１５に位置しており、かつＸ方向に平行に配置されている。
【００６０】
なお、最も外周に位置するパッケージ領域１４内のリード部２６およびダイパッド２５は、傾斜補強片５１、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３、およびパッケージ領域連結部５４のうちの１つまたは複数によって、枠体領域１３に連結されている。
【００６１】
一方、図３の断面図に示すように、リードフレーム１０は、リードフレーム本体１１と、リードフレーム本体１１上に形成されためっき層１２とからなっている。
【００６２】
このうちリードフレーム本体１１は金属板からなっている。リードフレーム本体１１を構成する金属板の材料としては、例えば銅、銅合金、４２合金（Ｎｉ４２％のＦｅ合金）等を挙げることができる。このリードフレーム本体１１の厚みは、半導体装置の構成にもよるが、０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍとすることが好ましい。
【００６３】
また、めっき層１２は、リードフレーム本体１１の表面および裏面の全体に設けられている。表面側のめっき層１２は、ＬＥＤ素子２１からの光を反射するための反射層として機能する。他方、裏面側のめっき層１２は、はんだとの密着性を高める役割を果たす。このめっき層１２は、例えば銀（Ａｇ）の電解めっき層からなっている。めっき層１２は、その厚みが極薄く形成されており、具体的には０．００５μｍ〜０．２μｍとされることが好ましい。なお、めっき層１２は、必ずしもリードフレーム本体１１の表面および裏面の全体に設ける必要はなく、リードフレーム本体１１の表面および裏面のうち、一部のみに設けても良い。
【００６４】
また、ダイパッド２５の裏面に、第１のアウターリード部２７が形成され、リード部２６の底面に、第２のアウターリード部２８が形成されている。第１のアウターリード部２７および第２のアウターリード部２８は、それぞれ半導体装置２０と外部の配線基板とを接続する際に用いられる。
【００６５】
さらにリードフレーム１０の表面には、リードフレーム１０と反射樹脂２３（後述）との密着性を高めるための溝１８が形成されている。なお、図２においては、溝１８の表示を省略している。
【００６６】
半導体装置の構成
次に、図４および図５により、図１乃至図３に示すリードフレームを用いて作製された半導体装置の一実施の形態について説明する。図４および図５は、それぞれ半導体装置（ＳＯＮタイプ）を示す断面図および平面図である。
【００６７】
図４および図５に示すように、半導体装置２０は、（個片化された）リードフレーム１０と、リードフレーム１０のダイパッド２５に載置されたＬＥＤ素子２１と、ＬＥＤ素子２１とリードフレーム１０のリード部２６とを電気的に接続するボンディングワイヤ（導電部）２２とを備えている。
【００６８】
また、ＬＥＤ素子２１を取り囲むように、凹部２３ａを有する反射樹脂２３が設けられている。この反射樹脂２３は、リードフレーム１０と一体化されている。さらに、ＬＥＤ素子２１とボンディングワイヤ２２とは、透光性の封止樹脂２４によって封止されている。この封止樹脂２４は、反射樹脂２３の凹部２３ａ内に充填されている。
【００６９】
以下、このような半導体装置２０を構成する各構成部材について、順次説明する。
【００７０】
ＬＥＤ素子２１は、発光層として例えばＧａＰ、ＧａＡｓ、ＧａＡｌＡｓ、ＧａＡｓＰ、ＡｌＩｎＧａＰ、またはＩｎＧａＮ等の化合物半導体単結晶からなる材料を適宜選ぶことにより、紫外光から赤外光に渡る発光波長を選択することができる。このようなＬＥＤ素子２１としては、従来一般に用いられているものを使用することができる。
【００７１】
またＬＥＤ素子２１は、はんだまたはダイボンディングペーストにより、反射樹脂２３の凹部２３ａ内においてダイパッド２５上に固定実装されている。なお、ダイボンディングペーストを用いる場合、耐光性のあるエポキシ樹脂やシリコーン樹脂からなるダイボンディングペーストを選択することが可能である。
【００７２】
ボンディングワイヤ２２は、例えば金等の導電性の良い材料からなり、その一端がＬＥＤ素子２１の端子部２１ａに接続されるとともに、その他端がリード部２６上に接続されている。
【００７３】
反射樹脂２３は、例えばリードフレーム１０上に熱可塑性樹脂を例えば射出成形またはトランスファ成形することにより形成されたものである。反射樹脂２３の形状は、射出成形またはトランスファ成形に使用する金型の設計により、様々に実現することが可能である。例えば、反射樹脂２３の全体形状を、図４および図５に示すように直方体としても良く、あるいは円筒形または錐形等の形状とすることも可能である。また凹部２３ａの底面は、矩形、円形、楕円形または多角形等とすることができる。凹部２３ａの側壁の断面形状は、図４のように直線から構成されていても良いし、あるいは曲線から構成されていてもよい。
【００７４】
反射樹脂２３に使用される熱可塑性樹脂については、特に耐熱性、耐候性および機械的強度の優れたものを選ぶことが望ましい。熱可塑性樹脂の種類としては、ポリアミド、ポリフタルアミド、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー、ポリエーテルサルホン、シリコーン、エポキシ、ポリエーテルイミド、ポリウレタンおよびポリブチレンテレフタレート等を使用することができる。さらにまた、これらの樹脂中に光反射剤として、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、窒化アルミニウムおよび窒化ホウ素のうちいずれかを添加することによって、凹部２３ａの底面及び側面において、発光素子からの光の反射率を増大させ、半導体装置２０全体の光取り出し効率を増大させることが可能となる。
【００７５】
封止樹脂２４としては、光の取り出し効率を向上させるために、半導体装置２０の発光波長において光透過率が高く、また屈折率が高い材料を選択するのが望ましい。したがって耐熱性、耐候性、及び機械的強度が高い特性を満たす樹脂として、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂を選択することが可能である。特に、ＬＥＤ素子２１として高輝度ＬＥＤを用いる場合、封止樹脂２４が強い光にさらされるため、封止樹脂２４は高い耐候性を有するシリコーン樹脂からなることが好ましい。
【００７６】
なお、リードフレーム１０の構成については、図１乃至図３を用いて既に説明したので、ここでは詳細な説明を省略する。
【００７７】
ＬＥＤ素子搭載用リードフレームの製造方法
次に、図１乃至図３に示すリードフレーム１０の製造方法について、図６（ａ）−（ｆ）を用いて説明する。
【００７８】
まず図６（ａ）に示すように、平板状の金属基板３１を準備する。この金属基板３１としては、上述のように銅、銅合金、４２合金（Ｎｉ４２％のＦｅ合金）等からなる金属基板を使用することができる。なお金属基板３１は、その両面に対して脱脂等を行い、洗浄処理を施したものを使用することが好ましい。
【００７９】
次に、金属基板３１の表裏全体にそれぞれ感光性レジスト３２ａ、３３ａを塗布し、これを乾燥する（図６（ｂ））。なお感光性レジスト３２ａ、３３ａとしては、従来公知のものを使用することができる。
【００８０】
続いて、この金属基板３１に対してフォトマスクを介して露光し、現像することにより、所望の開口部３２ｂ、３３ｂを有するエッチング用レジスト層３２、３３を形成する（図６（ｃ））。
【００８１】
次に、エッチング用レジスト層３２、３３を耐腐蝕膜として金属基板３１に腐蝕液でエッチングを施す（図６（ｄ））。腐蝕液は、使用する金属基板３１の材質に応じて適宜選択することができ、例えば、金属基板３１として銅を用いる場合、通常、塩化第二鉄水溶液を使用し、金属基板３１の両面からスプレーエッチングにて行うことができる。
【００８２】
次いで、エッチング用レジスト層３２、３３を剥離して除去することにより、リードフレーム本体１１が得られる（図６（ｅ））。またこのとき、図２に示す傾斜補強片５１、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３、およびパッケージ領域連結部５４がエッチングにより形成される。
【００８３】
次に、リードフレーム本体１１の表面および裏面に電解めっきを施すことにより、リードフレーム本体１１上に金属（銀）を析出させて、リードフレーム本体１１の表面および裏面にめっき層１２を形成する（図６（ｆ））。この場合、傾斜補強片５１、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３およびパッケージ領域連結部５４が、いずれも本体（リードフレーム本体１１）と、本体上に形成されためっき層１２とからなっているので、これら傾斜補強片５１、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３およびパッケージ領域連結部５４の強度を高めることができる。
【００８４】
この間、具体的には、例えば電解脱脂工程、酸洗工程、化学研磨工程、銅ストライク工程、水洗工程、中性脱脂工程、シアン洗工程、および銀めっき工程を順次経ることにより、リードフレーム本体１１にめっき層１２を形成する。この場合、銀めっき工程で用いられる電解めっき用のめっき液としては、例えばシアン化銀を主成分とした銀めっき液を挙げることができる。実際の工程では、各工程間で必要に応じ適宜水洗工程を加える。また、上記工程の途中でパターニング工程を介在させることにより、リードフレーム本体１１の一部にめっき層１２を形成しても良い。
【００８５】
このようにして、図１乃至図３に示すリードフレーム１０が得られる（図６（ｆ））。
【００８６】
なお、図６（ａ）−（ｆ）において、エッチングによりリードフレーム１０を製造する方法を示したが、プレスによる製造方法を用いても良い。
【００８７】
半導体装置の製造方法
次に、図４および図５に示す半導体装置２０の製造方法について、図７（ａ）−（ｄ）、図８（ａ）−（ｅ）、および図９（ａ）−（ｂ）を用いて説明する。
【００８８】
まず上述した工程により（図６（ａ）−（ｆ））、リードフレーム１０を作製する（図７（ａ））。
【００８９】
続いて、このリードフレーム１０を、射出成形機またはトランスファ成形機（図示せず）の金型３５内に装着する（図７（ｂ））。金型３５内には、反射樹脂２３の形状に対応する空間３５ａが形成されている。
【００９０】
次に、射出成形機またはトランスファ成形機の樹脂供給部（図示せず）から金型３５内に熱可塑性樹脂を流し込み、その後硬化させることにより、リードフレーム１０のめっき層１２上に反射樹脂２３を形成する（図７（ｃ））。
【００９１】
次いで、反射樹脂２３が形成されたリードフレーム１０を金型３５内から取り出す。このようにして、反射樹脂２３とリードフレーム１０とが一体に形成された樹脂付リードフレーム３０が得られる（図７（ｄ））。本実施の形態において、このように、リードフレーム１０と、リードフレーム１０の各パッケージ領域１４の周縁上に配置された反射樹脂２３とを備えた樹脂付リードフレーム３０も提供する。
【００９２】
次に、樹脂付リードフレーム３０の各反射樹脂２３内であって、リードフレーム１０のダイパッド２５上にＬＥＤ素子２１を搭載する。この場合、はんだまたはダイボンディングペーストを用いて、ＬＥＤ素子２１をダイパッド２５上に載置して固定する（ダイアタッチ工程）（図８（ａ））。
【００９３】
次に、ＬＥＤ素子２１の端子部２１ａと、リード部２６表面とを、ボンディングワイヤ２２によって互いに電気的に接続する（ワイヤボンディング工程）（図８（ｂ））。
【００９４】
その後、反射樹脂２３の凹部２３ａ内に封止樹脂２４を充填し、封止樹脂２４によりＬＥＤ素子２１とボンディングワイヤ２２とを封止する（図８（ｃ））。
【００９５】
次に、反射樹脂２３およびリードフレーム１０のうちダイシング領域１５に対応する部分を切断することにより、反射樹脂２３およびリードフレーム１０をＬＥＤ素子２１毎に分離する（ダイシング工程）（図８（ｄ））。この際、まずリードフレーム１０をダイシングテープ３７上に載置して固定し、その後、例えばダイヤモンド砥石等からなるブレード３８によって、各ＬＥＤ素子２１間の反射樹脂２３、ならびにリードフレーム１０の傾斜補強片５１、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３およびパッケージ領域連結部５４を切断する。
【００９６】
この際、図９（ａ）に示すように、ダイシング領域１５の幅に対応する相対的に厚いブレード３８によってリードフレーム１０を切断しても良い。この場合、１回の切断作業で、隣接するパッケージ領域１４同士を効率良く分離することができる。あるいは、図９（ｂ）に示すように、ダイシング領域１５の幅より狭い相対的に薄いブレード３８を用い、２回の切断作業によりリードフレーム１０を切断しても良い。この場合、１回の切断作業あたりのブレード３８の送り速度を速くすることができ、またブレード３８の寿命を長くすることができる。
【００９７】
このようにして、図４および図５に示す半導体装置２０を得ることができる（図８（ｅ））。
【００９８】
以上説明したように本実施の形態によれば、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５と、隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とは、ダイシング領域１５に位置する傾斜補強片５１により連結されている。また、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とパッケージ領域連結部５４により連結されている。したがって、リードフレーム１０の上下方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム１０が上下方向にすだれ状になることがない。これにより、取り扱い時にリードフレーム１０に変形が生じることを防止することができる。
【００９９】
また、各パッケージ領域１４内のリード部２６は、隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とリード連結部５２により連結され、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５とダイパッド連結部５３により連結されている。したがって、リードフレーム１０の左右方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム１０が左右方向にすだれ状になることがない。これにより、取り扱い時にリードフレーム１０に変形が生じることを防止することができる。
【０１００】
このように、リードフレーム１０の変形を防止したことにより、リードフレーム１０に反射樹脂２３を形成する際（図７（ｂ）（ｃ））、リードフレーム１０に対する反射樹脂２３の形成位置がずれることがない。したがって、小さなパッケージ領域１４に対して大面積のＬＥＤ素子２１を搭載したり、複数のＬＥＤ素子２１を搭載したり、あるいはＬＥＤ素子２１のほかに静電破壊素子を搭載することも容易になる。
【０１０１】
また、本実施の形態によれば、各パッケージ領域１４の周囲に縦横のタイバーを設ける必要がないので、各パッケージ領域１４同士を接近して配置することができ、リードフレーム１０あたりのパッケージ領域１４の取り個数を増やすことができる（高密度面付けが可能となる）。
【０１０２】
さらに、本実施の形態によれば、各パッケージ領域１４の角部に吊りリード等のコネクティングバーが存在しないので、半導体装置２０の角部において、反射樹脂２３がリードフレーム１０から剥離するおそれがなく、半導体装置２０の信頼性を更に向上させることができる。
【０１０３】
リードフレームの変形例
以下、本実施の形態によるリードフレームの各種変形例（変形例１−１〜変形例１−８）について、図１０乃至図１７を参照して説明する。図１０乃至図１７は、それぞれリードフレームの変形例を示す部分拡大平面図（図２に対応する図）である。図１０乃至図１７において、図１乃至図９に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
【０１０４】
変形例１−１
図１０は、本実施の形態の一変形例（変形例１−１）によるリードフレーム１０Ａを示している。図１０に示すリードフレーム１０Ａにおいて、図１乃至図９に示す実施の形態と異なり、ダイパッド２５同士を連結するダイパッド連結部５３は設けられていない。
【０１０５】
すなわち各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、上方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６と傾斜補強片５１によって連結され、右方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とパッケージ領域連結部５４により連結されているが、上方および下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５とは直接連結されていない。
【０１０６】
このように、ダイパッド連結部５３を設けないことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図１乃至図９に示す実施の形態と略同一である。
【０１０７】
変形例１−２
図１１は、本実施の形態の一変形例（変形例１−２）によるリードフレーム１０Ｂを示している。図１１に示すリードフレーム１０Ｂにおいて、図１乃至図９に示す実施の形態と異なり、リード部２６同士を連結するリード連結部５２は設けられていない。
【０１０８】
すなわち各パッケージ領域１４内のリード部２６は、下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５と傾斜補強片５１によって連結され、左方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５とパッケージ領域連結部５４により連結されているが、上方および下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とは直接連結されていない。
【０１０９】
このように、リード連結部５２を設けないことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図１乃至図９に示す実施の形態と略同一である。
【０１１０】
変形例１−３
図１２は、本実施の形態の一変形例（変形例１−３）によるリードフレーム１０Ｃを示している。図１２に示すリードフレーム１０Ｃにおいて、図１乃至図９に示す実施の形態と異なり、各パッケージ領域１４は、１つのダイパッド２５と、ダイパッド２５の両側に位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（以下、第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂともいう）とを有している（３ｐｉｎタイプ）。
【０１１１】
この場合、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５と、各パッケージ領域１４の上方に隣接するパッケージ領域１４（第１のパッケージ領域）内の第１のリード部２６ａとは、第１傾斜補強片５１ａにより連結されている。また、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５と、各パッケージ領域１４の下方に隣接するパッケージ領域１４（各パッケージ領域１４に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域）内の第２のリード部２６ｂとは、第２傾斜補強片５１ｂにより連結されている。なお、第１傾斜補強片５１ａおよび第２傾斜補強片５１ｂは、ともにダイシング領域１５に位置している。
【０１１２】
また、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、その上方および下方に隣接するパッケージ領域１４（第１のパッケージ領域および第２のパッケージ領域）内のダイパッド２５と、それぞれダイパッド連結部５３により連結されている。さらに、各パッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａは、その上方および下方に隣接するパッケージ領域１４（第１のパッケージ領域および第２のパッケージ領域）内の第１のリード部２６ａと、それぞれ第１リード連結部５２ａによって連結されている。さらにまた、各パッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂは、その上方および下方に隣接するパッケージ領域１４（第１のパッケージ領域および第２のパッケージ領域）内の第２のリード部２６ｂと、それぞれ第２リード連結部５２ｂによって連結されている。
【０１１３】
また、各パッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂは、その右方に隣接する他のパッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａと、パッケージ領域連結部５４により連結されている。さらに、各パッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａは、その左方に隣接する他のパッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂと、パッケージ領域連結部５４により連結されている。
【０１１４】
このように、各パッケージ領域１４がダイパッド２５と一対のリード部２６ａ、２６ｂとを有する場合においても、リードフレーム１０Ｃがすだれ状になることを防止し、取り扱い時に変形が生じることを防止することができる。
【０１１５】
変形例１−４
図１３は、本実施の形態の一変形例（変形例１−４）によるリードフレーム１０Ｄを示している。図１３に示すリードフレーム１０Ｄにおいて、図１２に示す変形例１−３と異なり、ダイパッド２５同士を連結するダイパッド連結部５３は設けられていない。
【０１１６】
すなわち各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、上方に隣接する他のパッケージ領域１４（第１のパッケージ領域）内の第１のリード部２６ａと第１傾斜補強片５１ａによって連結され、下方に隣接する他のパッケージ領域１４（第２のパッケージ領域）内の第２のリード部２６ｂと第２傾斜補強片５１ｂにより連結されている。他方、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、上方および下方に隣接する他のパッケージ領域１４（第１のパッケージ領域および第２のパッケージ領域）内のダイパッド２５とは直接連結されていない。
【０１１７】
このように、ダイパッド連結部５３を設けないことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図１２に示す変形例１−３と略同一である。
【０１１８】
変形例１−５
図１４は、本実施の形態の一変形例（変形例１−５）によるリードフレーム１０Ｅを示している。図１４に示すリードフレーム１０Ｅにおいて、図１２に示す変形例１−３と異なり、第１傾斜補強片５１ａおよび第２傾斜補強片５１ｂが連結されたダイパッド２５と、第１傾斜補強片５１ａおよび第２傾斜補強片５１ｂが連結されていないダイパッド２５とが、上下方向１つおきに設けられている。
【０１１９】
例えば、図１４において、パッケージ領域１４（１４ｂ）のダイパッド２５には、第１傾斜補強片５１ａおよび第２傾斜補強片５１ｂがいずれも連結されていない。これに対して、パッケージ領域１４（１４ｂ）の上方に隣接するパッケージ領域１４（１４ａ）と、パッケージ領域１４（１４ｂ）の下方に隣接するパッケージ領域１４（１４ｃ）には、それぞれ第１傾斜補強片５１ａおよび第２傾斜補強片５１ｂが連結されている。
【０１２０】
このように、第１傾斜補強片５１ａおよび第２傾斜補強片５１ｂの数を減らすことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図１２に示す変形例１−３と略同一である。
【０１２１】
変形例１−６
図１５は、本実施の形態の一変形例（変形例１−６）によるリードフレーム１０Ｆを示している。図１５に示すリードフレーム１０Ｆにおいて、図１乃至図９に示す実施の形態と異なり、ダイパッド連結部５３およびリード連結部５２は設けられていない。
【０１２２】
この場合、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５と、各パッケージ領域１４の上方に隣接するパッケージ領域１４内のリード部２６とは、第１傾斜補強片５１ａにより連結されている。また、各パッケージ領域１４内のリード部２６と、各パッケージ領域１４の上方に隣接するパッケージ領域１４内のダイパッド２５とは、第２傾斜補強片５１ｂにより連結されている。なお、第１傾斜補強片５１ａおよび第２傾斜補強片５１ｂは、ともにダイシング領域１５に位置している。また、第１傾斜補強片５１ａおよび第２傾斜補強片５１ｂは、互いに交わることによりＸ字形状をなしている。
【０１２３】
また、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５と、各パッケージ領域１４の下方に隣接するパッケージ領域１４内のリード部２６とは、第２傾斜補強片５１ｂにより連結されている。さらに、各パッケージ領域１４内のリード部２６と、各パッケージ領域１４の下方に隣接するパッケージ領域１４内のダイパッド２５とは、第１傾斜補強片５１ａにより連結されている。
【０１２４】
このように、ダイパッド連結部５３およびリード連結部５２を設けないことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図１乃至図９に示す実施の形態と略同一である。
【０１２５】
変形例１−７
図１６は、本実施の形態の一変形例（変形例１−７）によるリードフレーム１０Ｇを示している。図１６に示すリードフレーム１０Ｇにおいて、図１５に示す変形例１−６と異なり、パッケージ領域連結部５４は設けられていない。
【０１２６】
この場合、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、ダイパッド２５側（右側）に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域１４内のリード部２６に、ダイシング領域１５に位置する一対の追加傾斜補強片５５ａ、５５ｂにより連結されている。すなわち、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、追加傾斜補強片５５ａにより右斜め上方に隣接するパッケージ領域１４内のリード部２６に連結され、追加傾斜補強片５５ｂにより右斜め下方に隣接するパッケージ領域１４内のリード部２６に連結されている。
【０１２７】
また、各パッケージ領域１４内のリード部２６は、リード部２６側（左側）に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域１４内のダイパッド２５に、ダイシング領域１５に位置する一対の追加傾斜補強片５５ｂ、５５ａにより連結されている。すなわち、各パッケージ領域１４内のリード部２６は、左斜め上方に隣接するパッケージ領域１４内のダイパッド２５に追加傾斜補強片５５ｂにより連結され、左斜め下方に隣接するパッケージ領域１４内のリード部２６に追加傾斜補強片５５ａにより連結されている。このほかの構成は、図１５に示す変形例１−６と略同一である。
【０１２８】
変形例１−８
図１７は、本実施の形態の一変形例（変形例１−８）によるリードフレーム１０Ｈを示している。図１７に示すリードフレーム１０Ｈにおいて、図１６に示す変形例１−７と異なり、各パッケージ領域１４は、１つのダイパッド２５と、ダイパッド２５の両側に位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂ）とを有している。
【０１２９】
この場合、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５と、各パッケージ領域１４の上方に隣接するパッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａとは、ダイシング領域１５に位置する第１傾斜補強片５１ａにより連結されている。また、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５と、各パッケージ領域１４の下方に隣接するパッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａとは、ダイシング領域１５に位置する第２傾斜補強片５１ｂにより連結されている。
【０１３０】
また、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５と、各パッケージ領域１４の上方に隣接するパッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂとは、ダイシング領域１５に位置する第３傾斜補強片５１ｃにより連結されている。さらに、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５と、各パッケージ領域１４の下方に隣接するパッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂとは、ダイシング領域１５に位置する第４傾斜補強片５１ｄにより連結されている。
【０１３１】
各パッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａは、第１のリード部２６ａ側（左側）に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂに、それぞれダイシング領域１５に位置する一対の追加傾斜補強片５５ｂ、５５ａにより連結されている。また、各パッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａは、上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内のダイパッド２５に、それぞれ第２傾斜補強片５１ｂおよび第１傾斜補強片５１ａにより連結されている。
【０１３２】
各パッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂは、第２のリード部２６ｂ側（右側）に隣接する斜め上方および斜め下方のパッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａに、それぞれダイシング領域１５に位置する一対の追加傾斜補強片５５ａ、５５ｂにより連結されている。また、各パッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂは、上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内のダイパッド２５に、それぞれ第４傾斜補強片５１ｄおよび第３傾斜補強片５１ｃにより連結されている。
【０１３３】
以上、図１０乃至図１７に示すリードフレーム（変形例１−１〜変形例１−８）についても、上述した図１乃至図９に示す実施の形態の効果と略同様の効果を得ることができる。
【０１３４】
半導体装置の変形例
次に、本実施の形態による半導体装置の変形例（変形例Ａ〜変形例Ｃ）について、図１８乃至図２０を参照して説明する。図１８乃至図２０は、それぞれ半導体装置の変形例を示す断面図（図４に対応する図）である。図１８乃至図２０において、図４および図５に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
【０１３５】
変形例Ａ
図１８は、本実施の形態の一変形例（３ｐｉｎタイプ）による半導体装置２０Ａを示している。図１８に示す半導体装置２０Ａにおいて、リードフレーム１０は、１つのダイパッド２５と、ダイパッド２５の両側に位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂ）とを有している。
【０１３６】
また、ＬＥＤ素子２１は一対の端子部２１ａを有しており、この一対の端子部２１ａは、それぞれボンディングワイヤ２２を介して、第１のリード部２６ａおよび第２のリード部２６ｂに接続されている。この場合、リードフレーム１０としては、例えば図１２、図１３、図１４、または図１７に示すもの（リードフレーム１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｈ）を用いることができる。このほかの構成は上述した図４および図５に示す半導体装置２０と略同一である。
【０１３７】
変形例Ｂ
図１９は、本実施の形態の一変形例（レンズ付一括モールドタイプ）による半導体装置２０Ｂを示している。図１９に示す半導体装置２０Ｂにおいて、反射樹脂２３は、ダイパッド２５とリード部２６との間に充填されている。他方、図４および図５に示す半導体装置２０と異なり、リードフレーム１０上には反射樹脂２３が設けられていない。
【０１３８】
また図１９において、ＬＥＤ素子２１は、ボンディングワイヤ２２に代えて、はんだボール（導電部）４１ａ、４１ｂによってリードフレーム１０に接続されている。すなわち、はんだボール４１ａ、４１ｂのうち、一方のはんだボール４１ａはダイパッド２５に接続され、他方のはんだボール４１ｂはリード部２６に接続されている。さらに、図１９において、封止樹脂２４の表面に、ＬＥＤ素子２１からの光の照射方向を制御するドーム状のレンズ６１が形成されている。
【０１３９】
変形例Ｃ
図２０は、本実施の形態の一変形例（一括モールドタイプ）による半導体装置２０Ｃを示している。図２０に示す半導体装置２０Ｃにおいて、反射樹脂２３を用いることなく、封止樹脂２４のみによってＬＥＤ素子２１とボンディングワイヤ２２とが一括封止されている。また、ダイパッド２５とリード部２６との間には、封止樹脂２４が充填されている。
【０１４０】
（第２の実施の形態）
次に、図２１乃至図４１を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。図２１乃至図４１は本発明の第２の実施の形態を示す図である。図２１乃至図４１において、第１の実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１４１】
リードフレームの構成
まず、図２１乃至図２３により、本実施の形態によるＬＥＤ素子搭載用リードフレームの概略について説明する。図２１は、本実施の形態によるリードフレームの全体平面図であり、図２２は、図２１のＤ部拡大図であり、図２３は、図２２のＥ−Ｅ線断面図である。
【０１４２】
図２１乃至図２３に示すリードフレーム７０は、ＬＥＤ素子２１を搭載した半導体装置８０（図２４および図２５）を作製する際に用いられるものである。このようなリードフレーム７０は、矩形状の外形を有する枠体領域１３と、枠体領域１３内に多列および多段に（マトリックス状に）配置された、多数のパッケージ領域１４とを備えている。
【０１４３】
図２２に示すように、複数のパッケージ領域１４は、各々ＬＥＤ素子２１が搭載されるダイパッド２５と、ダイパッド２５に隣接するリード部２６とを含んでいる。また、複数のパッケージ領域１４は、互いにダイシング領域１５を介して接続されている。
【０１４４】
一つのパッケージ領域１４内のダイパッド２５とリード部２６との間には、隙間が形成されており、ダイシングされた後、ダイパッド２５とリード部２６とは互いに電気的に絶縁されるようになっている。なお、各パッケージ領域１４は、それぞれ個々の半導体装置８０に対応する領域である。また、図２２において、各パッケージ領域１４を二点鎖線で示している。
【０１４５】
一方、ダイシング領域１５は、各パッケージ領域１４の間に縦横に延びている。このダイシング領域１５は、後述するように、半導体装置８０を製造する工程において、リードフレーム７０をパッケージ領域１４毎に分離する際にブレード３８が通過する領域となる。なお、図２２において、ダイシング領域１５を網掛けで示している。
【０１４６】
図２２に示すように、各パッケージ領域１４内のリード部２６は、その上方および下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６と、それぞれリード連結部５２によってダイシング領域１５を越えて連結されている。さらに、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、その上方および下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５と、それぞれダイパッド連結部５３によりダイシング領域１５を越えて連結されている。これら各リード連結部５２および各ダイパッド連結部５３は、Ｙ方向に対して平行に配置されている。
【０１４７】
また、各ダイパッド連結部５３および各リード連結部５２は、ダイシング領域１５に位置する補強片５７により連結されている。この場合、補強片５７は、Ｘ方向に対して平行に配置されており、枠体領域１３内側の全長にわたって一直線状に延びて、複数のダイパッド連結部５３および複数のリード連結部５２を連結している。
【０１４８】
さらに、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、その右方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６と、パッケージ領域連結部５４により連結されている。さらにまた、各パッケージ領域１４内のリード部２６は、その左方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５と、パッケージ領域連結部５４により連結されている。各パッケージ領域連結部５４は、Ｘ方向に対して平行に配置されている。
【０１４９】
なお、最も外周に位置するパッケージ領域１４内のリード部２６およびダイパッド２５は、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３、およびパッケージ領域連結部５４のうちの１つまたは複数によって、枠体領域１３に連結されている。
【０１５０】
なお、図２１乃至図２３において、リードフレーム本体１１およびめっき層１２の構成は、第１の実施の形態におけるものと同様であるので、ここでは説明を省略する。
【０１５１】
半導体装置の構成
次に、図２４および図２５により、図２１乃至図２３に示すリードフレームを用いて作製された半導体装置の第２の実施の形態について説明する。図２４および図２５は、それぞれ半導体装置（ＳＯＮタイプ）を示す断面図および平面図である。
【０１５２】
図２４および図２５に示すように、半導体装置８０は、（個片化された）リードフレーム７０と、リードフレーム７０のダイパッド２５に載置されたＬＥＤ素子２１と、ＬＥＤ素子２１とリードフレーム７０のリード部２６とを電気的に接続するボンディングワイヤ（導電部）２２とを備えている。
【０１５３】
また、ＬＥＤ素子２１を取り囲むように、凹部２３ａを有する反射樹脂２３が設けられている。この反射樹脂２３は、リードフレーム７０と一体化されている。さらに、ＬＥＤ素子２１とボンディングワイヤ２２とは、透光性の封止樹脂２４によって封止されている。この封止樹脂２４は、反射樹脂２３の凹部２３ａ内に充填されている。
【０１５４】
このような半導体装置８０を構成する、ＬＥＤ素子２１、ボンディングワイヤ２２、反射樹脂２３および封止樹脂２４の構成は、第１の実施の形態におけるものと同様であるので、ここでは説明を省略する。
【０１５５】
ＬＥＤ素子搭載用リードフレームおよび半導体装置の製造方法
次に、図２１乃至図２３に示すリードフレーム７０および図２４および図２５に示す半導体装置８０の製造方法について、図２６乃至図２９を用いて説明する。なお、図２６乃至図２８に示す製造方法は、図６乃至図８に示す製造方法と略同様であるので、以下においては一部説明を省略する。
【０１５６】
まず、平板状の金属基板３１を準備する（図２６（ａ））。次に、この金属基板３１の表裏全体にそれぞれ感光性レジスト３２ａ、３３ａを塗布し、これを乾燥する（図２６（ｂ））。
【０１５７】
続いて、この金属基板３１に対してフォトマスクを介して露光し、現像することにより、所望の開口部３２ｂ、３３ｂを有するエッチング用レジスト層３２、３３を形成する（図２６（ｃ））。次に、エッチング用レジスト層３２、３３を耐腐蝕膜として金属基板３１に腐蝕液でエッチングを施す（図２６（ｄ））。
【０１５８】
次いで、エッチング用レジスト層３２、３３を剥離して除去することにより、リードフレーム本体１１が得られる（図２６（ｅ））。またこのとき、図２２に示す補強片５７、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３、およびパッケージ領域連結部５４がエッチングにより形成される。
【０１５９】
次に、リードフレーム本体１１の表面および裏面に電解めっきを施すことにより、リードフレーム本体１１上に金属（銀）を析出させて、リードフレーム本体１１の表面および裏面にめっき層１２を形成する（図２６（ｆ））。この場合、補強片５７、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３、およびパッケージ領域連結部５４が、いずれも本体（リードフレーム本体１１）と、本体上に形成されためっき層１２とからなっているので、これら補強片５７、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３、およびパッケージ領域連結部５４の強度を高めることができる。
【０１６０】
このようにして、図２１乃至図２３に示すリードフレーム７０が得られる（図２６（ｆ））。
【０１６１】
続いて、このようにして得られたリードフレーム７０を（図２７（ａ））、射出成形機またはトランスファ成形機（図示せず）の金型３５内に装着する（図２７（ｂ））。その後、金型３５内に熱可塑性樹脂を流し込み、硬化させることにより、リードフレーム７０のめっき層１２上に反射樹脂２３が形成される（図２７（ｃ））。
【０１６２】
次いで、反射樹脂２３が形成されたリードフレーム７０を金型３５内から取り出すことにより樹脂付リードフレームが得られる（図２７（ｄ））。本実施の形態において、このように、リードフレーム１０と、リードフレーム１０の各パッケージ領域１４の周縁上に配置された反射樹脂２３とを備えた樹脂付リードフレーム９０も提供する。
【０１６３】
次に、樹脂付リードフレーム９０の各反射樹脂２３内であって、リードフレーム７０のダイパッド２５上にＬＥＤ素子２１を搭載する（図２８（ａ））。
【０１６４】
次に、ＬＥＤ素子２１の端子部２１ａと、リード部２６表面とを、ボンディングワイヤ２２によって互いに電気的に接続する（図２８（ｂ））。
【０１６５】
その後、反射樹脂２３の凹部２３ａ内に封止樹脂２４を充填し、封止樹脂２４によりＬＥＤ素子２１とボンディングワイヤ２２とを封止する（図２８（ｃ））。
【０１６６】
次に、反射樹脂２３およびリードフレーム７０のうちダイシング領域１５を切断することにより、反射樹脂２３およびリードフレーム７０をＬＥＤ素子２１毎に分離する（図２８（ｄ））。この際、まずリードフレーム７０をダイシングテープ３７上に載置して固定する。その後、例えばダイヤモンド砥石等からなるブレード３８によって、各ＬＥＤ素子２１間に位置する反射樹脂２３、ならびにリードフレーム７０の補強片５７、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３およびパッケージ領域連結部５４をそれぞれ切断する。
【０１６７】
この際、図２９（ａ）に示すように、ダイシング領域１５の幅に対応する相対的に厚いブレード３８によってリードフレーム７０を切断しても良い。すなわち、ブレード３８をリードフレーム７０の補強片５７に沿って移動し、補強片５７と、補強片５７周囲に位置する各リード連結部５２および各ダイパッド連結部５３とをまとめて切断する。この場合、１回の切断作業で、隣接するパッケージ領域１４同士を効率良く分離することができる。
【０１６８】
あるいは、図２９（ｂ）に示すように、ダイシング領域１５の幅より狭い相対的に薄いブレード３８を用い、２回の切断作業によりリードフレーム７０を切断しても良い。すなわち、ブレード３８をリードフレーム７０の補強片５７に対して平行に移動し、補強片５７を直接切断せず、補強片５７周囲に位置する各リード連結部５２および各ダイパッド連結部５３を切断する。この場合、１回の切断作業あたりのブレード３８の送り速度を速くすることができるとともに、ブレード３８の寿命を長くすることができる。
【０１６９】
このようにして、図２４および図２５に示す半導体装置８０を得ることができる（図２８（ｅ））。
【０１７０】
以上説明したように本実施の形態によれば、ダイパッド連結部５３およびリード連結部５２は、ダイシング領域１５に位置する補強片５７により連結されている。また、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とパッケージ領域連結部５４により連結されている。したがって、リードフレーム７０の上下方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム７０が上下方向にすだれ状になることがない。これにより、取り扱い時にリードフレーム７０に変形が生じることを防止することができる。
【０１７１】
また、各パッケージ領域１４内のリード部２６は、隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とリード連結部５２により連結され、かつ各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５とダイパッド連結部５３により連結されている。したがって、リードフレーム７０の左右方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム７０が左右方向にすだれ状になることがない。これにより、取り扱い時にリードフレーム７０に変形が生じることを防止することができる。
【０１７２】
このように、リードフレーム７０の変形を防止したことにより、リードフレーム７０に反射樹脂２３を形成する際（図２７（ｂ）（ｃ））、リードフレーム７０に対する反射樹脂２３の形成位置がずれることがない。したがって、小さなパッケージ領域１４に対して大面積のＬＥＤ素子２１を搭載したり、複数のＬＥＤ素子２１を搭載したり、あるいはＬＥＤ素子２１のほかに静電破壊素子を搭載することも容易になる。
【０１７３】
また、本実施の形態によれば、各パッケージ領域１４の周囲に縦横のタイバーを設ける必要がないので、各パッケージ領域１４同士を接近して配置することができ、リードフレーム７０あたりのパッケージ領域１４の取り個数を増やすことができる（高密度面付けが可能となる）。
【０１７４】
さらに、本実施の形態によれば、各パッケージ領域１４の角部に吊りリード等のコネクティングバーが存在しないので、半導体装置８０の角部において、反射樹脂２３がリードフレーム７０から剥離するおそれがなく、半導体装置８０の信頼性を更に向上させることができる。
【０１７５】
リードフレームの変形例
以下、本実施の形態によるリードフレームの各種変形例（変形例２−１〜変形例２−６）について、図３０乃至図３５を参照して説明する。図３０乃至図３５は、それぞれリードフレームの変形例を示す部分拡大平面図（図２に対応する図）である。図３０乃至図３５において、図２１乃至図２９に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
【０１７６】
変形例２−１
図３０は、本実施の形態の一変形例（変形例２−１）によるリードフレーム７０Ａを示している。図３０に示すリードフレーム７０Ａにおいて、図２１乃至図２９に示す実施の形態と異なり、各パッケージ領域１４は、１つのダイパッド２５と、ダイパッド２５の両側に位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（以下、第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂともいう）とを有している（３ｐｉｎタイプ）。
【０１７７】
この場合、各パッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａと、各パッケージ領域１４の上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａとは、それぞれ第１リード連結部５２ａによりダイシング領域１５を越えて連結されている。また、各パッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂと、各パッケージ領域１４の上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂとは、それぞれ第２リード連結部５２ｂによりダイシング領域１５を越えて連結されている。
【０１７８】
さらに、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、その上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内のダイパッド２５と、それぞれダイパッド連結部５３によりダイシング領域１５を越えて連結されている。さらに、ダイパッド連結部５３、第１リード連結部５２ａ、および第２リード連結部５２ｂは、ダイシング領域１５に位置する補強片５７によって連結されている。この場合、補強片５７は、枠体領域１３内側の全長にわたって一直線状に延びて、複数のダイパッド連結部５３、複数の第１リード連結部５２ａ、および複数の第２リード連結部５２ｂを連結している。
【０１７９】
また、各パッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂは、その右方に隣接する他のパッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａと、パッケージ領域連結部５４により連結されている。さらに、各パッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａは、その左方に隣接する他のパッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂと、パッケージ領域連結部５４により連結されている。
【０１８０】
このように、各パッケージ領域１４がダイパッド２５と一対のリード部２６ａ、２６ｂとを有する場合においても、補強片５７が設けられていることにより、リードフレーム７０Ａの上下方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム７０Ａがすだれ状になることを防止することができ、取り扱い時にリードフレーム７０Ａに変形が生じることを防止することができる。
【０１８１】
変形例２−２
図３１は、本実施の形態の一変形例（変形例２−２）によるリードフレーム７０Ｂを示している。図３１に示すリードフレーム７０Ｂにおいて、図２１乃至図２９に示す実施の形態と異なり、横方向に延びる複数のダイシング領域１５のうち、補強片５７が設けられたダイシング領域１５と、補強片５７が設けられていないダイシング領域１５とが、上下方向交互に配置されている。
【０１８２】
すなわち、図３１において、パッケージ領域１４（１４ｂ）から見て上方に隣接するパッケージ領域１４（１４ａ）を第１のパッケージ領域１４ａとし、パッケージ領域１４（１４ｂ）から見て下方に隣接するパッケージ領域１４（１４ｃ）を第２のパッケージ領域１４ｃとする。
【０１８３】
この場合、パッケージ領域１４ｂ内のダイパッド２５およびリード部２６と、第１のパッケージ領域１４ａ内のダイパッド２５およびリード部２６とをそれぞれ連結するダイパッド連結部５３およびリード連結部５２は、ダイシング領域１５に位置する補強片５７により連結されている。他方、パッケージ領域１４ｂ内のダイパッド２５およびリード部２６と、第２のパッケージ領域１４ｃ内のダイパッド２５およびリード部２６とをそれぞれ連結するダイパッド連結部５３およびリード連結部５２は、補強片５７によって連結されていない。
【０１８４】
このように、補強片５７の数を減らすことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図２１乃至図２９に示す実施の形態と略同一である。
【０１８５】
なお、横方向に延びる複数のダイシング領域１５のうち、補強片５７が設けられていないダイシング領域１５の幅（Ｗａ）を、補強片５７が設けられているダイシング領域１５の幅（Ｗｂ）よりも狭くすることが好ましい（Ｗａ＜Ｗｂ）。この場合、１つのリードフレーム７０あたりのパッケージ領域１４の取り個数を増やすことができる。また、相対的に薄いブレード３８を用いてダイシング領域１５を切断する場合には（図２９（ｂ））、補強片５７が設けられていないダイシング領域１５は１回の切断作業で切断することができるので、切断作業の回数を減らすことができる。
【０１８６】
変形例２−３
図３２は、本実施の形態の一変形例（変形例２−３）によるリードフレーム７０Ｃを示している。図３２に示すリードフレーム７０Ｃは、図３０に示す変形例２−１と、図３１に示す変形例２−２とを組合せたものである。
【０１８７】
図３２において、各パッケージ領域１４は、１つのダイパッド２５と、ダイパッド２５の両側に位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（以下、第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂともいう）とを有している（３ｐｉｎタイプ）。
【０１８８】
また、図３２において、横方向に延びる複数のダイシング領域１５のうち、補強片５７が設けられたダイシング領域１５と、補強片５７が設けられていないダイシング領域１５とが、上下方向交互に存在している。
【０１８９】
すなわち、図３２において、一のパッケージ領域１４（１４ｂ）内のダイパッド２５およびリード部２６ａ、２６ｂと、このパッケージ領域１４（１４ｂ）の上方に隣接する第１のパッケージ領域１４（１４ａ）内のダイパッド２５およびリード部２６ａ、２６ｂとをそれぞれ連結するダイパッド連結部５３、第１リード連結部５２ａ、および第２リード連結部５２ｂは、ダイシング領域１５に位置する補強片５７により連結されている。
【０１９０】
他方、一のパッケージ領域１４（１４ｂ）内のダイパッド２５およびリード部２６ａ、２６ｂと、このパッケージ領域１４（１４ｂ）の下方に隣接する第２のパッケージ領域１４（１４ｃ）内のダイパッド２５およびリード部２６ａ、２６ｂとをそれぞれ連結するダイパッド連結部５３、第１リード連結部５２ａ、および第２リード連結部５２ｂは、補強片５７により連結されていない。
【０１９１】
このほかの構成は、図３０に示す変形例２−１および図３１に示す変形例２−２と略同一である。
【０１９２】
変形例２−４
図３３は、本実施の形態の一変形例（変形例２−４）によるリードフレーム７０Ｄを示している。図３３に示すリードフレーム７０Ｄにおいて、図２１乃至図２９に示す実施の形態と異なり、補強片５７は、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５およびリード部２６にそれぞれ連結されたダイパッド連結部５３およびリード連結部５２間のみに延びて、これらダイパッド連結部５３およびリード連結部５２を連結している。
【０１９３】
すなわち、一のパッケージ領域１４内のダイパッド２５およびリード部２６と、このパッケージ領域１４の上方（または下方）に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５およびリード部２６とは、それぞれリード連結部５２およびダイパッド連結部５３によって連結されている。この場合、補強片５７は、これらリード連結部５２とダイパッド連結部５３との間のみに延びて、リード連結部５２とダイパッド連結部５３とを連結している。他方、補強片５７は、リード連結部５２の左方と、ダイパッド連結部５３の右方にはそれぞれ延び出していない。
【０１９４】
このように、ダイシング領域１５における補強片５７の全体的な長さを減らすことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図２１乃至図２９に示す実施の形態と略同一である。
【０１９５】
変形例２−５
図３４は、本実施の形態の一変形例（変形例２−５）によるリードフレーム７０Ｅを示している。図３４に示すリードフレーム７０Ｅは、図３０に示す変形例２−１と、図３３に示す変形例２−４とを組合せたものである。
【０１９６】
図３４において、各パッケージ領域１４は、１つのダイパッド２５と、ダイパッド２５の両側に位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（以下、第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂともいう）とを有している（３ｐｉｎタイプ）。
【０１９７】
また、図３４において、補強片５７は、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５およびリード部２６ａ、２６ｂにそれぞれ連結された第１リード連結部５２ａ、ダイパッド連結部５３、および第２リード連結部５２ｂ間のみに延びて、これら第１リード連結部５２ａ、ダイパッド連結部５３、および第２リード連結部５２ｂを連結している。
【０１９８】
このように、ダイシング領域１５における補強片５７の全体的な長さを減らすことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図３０に示す変形例２−１および図３３に示す変形例２−４と略同一である。
【０１９９】
変形例２−６
図３５は、本実施の形態の一変形例（変形例２−６）によるリードフレーム７０Ｆを示している。図３５に示すリードフレーム７０Ｆにおいて、各パッケージ領域１４は、１つのダイパッド２５と、ダイパッド２５の両側に位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂ）とを有している（３ｐｉｎタイプ）。
【０２００】
また、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５、第１のリード部２６ａ、および第２のリード部２６ｂは、上下に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５、第１のリード部２６ａ、および第２のリード部２６ｂと各々ダイパッド連結部５３、第１リード連結部５２ａ、および第２リード連結部５２ｂにより連結されている。
【０２０１】
図３５に示すように、ダイパッド連結部５３および第１リード連結部５２ａのみを連結する補強片５７と、ダイパッド連結部５３および第２リード連結部５２ｂのみを連結する補強片５７とが、上下方向１つおきに設けられている。
【０２０２】
すなわち、図３５において、パッケージ領域１４（１４ｂ）から見て上方に隣接するパッケージ領域１４（１４ａ）を第１のパッケージ領域１４ａとし、パッケージ領域１４（１４ｂ）から見て下方に隣接するパッケージ領域１４（１４ｃ）を第２のパッケージ領域１４ｃとする。
【０２０３】
この場合、パッケージ領域１４ｂと、第１のパッケージ領域１４ａとの間のダイシング領域１５において、補強片５７は、ダイパッド連結部５３および第１リード連結部５２ａ間のみに延びて、ダイパッド連結部５３および第１リード連結部５２ａのみを連結している。
【０２０４】
他方、パッケージ領域１４ｂと、第２のパッケージ領域１４ｃの間のダイシング領域１５において、補強片５７は、ダイパッド連結部５３および第２リード連結部５２ｂ間のみに延びて、ダイパッド連結部５３および第２リード連結部５２ｂのみを連結している。
【０２０５】
このように、補強片５７の数を減らすことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図３４に示す変形例２−５と略同一である。
【０２０６】
本実施の形態の補強片を適用できるリードフレームの他の例としては、図３６に示すリードフレーム７０Ｇ（変形例２−７）のように、各パッケージ領域１４内に２つのダイパッド２５ａ、２５ｂ（以下、第１のダイパッド部２５ａ、第２のダイパッド部２５ｂともいう）と、ダイパッド２５ａ、２５ｂの両側に隣接して位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（以下、第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂともいう）とを有している４ｐｉｎタイプの形態や、図３８に示すリードフレーム７０Ｈ（変形例２−８）のように各パッケージ領域１４内に１つのダイパッド２５と、ダイパッド２５の一方の側に隣接して位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（以下、第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂともいう）と、ダイパッド２５の他方の側に隣接して位置する１つのリード部２６ｃとを持つ４ｐｉｎタイプの形態を例示することができる。
【０２０７】
これらの例に共通する課題は、各パッケージ領域１４のダイパッド２５（２５ａ、２５ｂ）とリード部２６（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ）とが直線状に一列に配置されているため、ダイパッド２５とリード部２６とが短絡しないように各パッケージ領域１４間を連結するリード連結部５２およびダイパッド連結部５３を配置すると、各ダイパッド２５と各リード部２６との間の隙間が繋がり、リードフレーム７０の一辺に平行な、複数の細長い空間が生じてしまい、構造的に変形が生じやずくなるという問題を有することである。これらの課題はすでに述べた通り、本実施の形態の補強片５７により効果的に解決できる。なお、以下に示す変形例２−７〜２−１０（図３６乃至図４１）においても、図２１乃至図２９に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
【０２０８】
変形例２−７
図３６は、本実施の形態の一変形例２−７によるリードフレーム７０Ｇを示している。図３６に示すリードフレーム７０Ｇにおいて、図２１乃至図２９に示す実施の形態と異なり、各パッケージ領域１４は、２つのダイパッド２５ａ、２５ｂ（以下、第１のダイパッド部２５ａ、第２のダイパッド部２５ｂともいう）と、ダイパッド２５ａ、２５ｂの両側に隣接して位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（以下、第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂともいう）とを有している（４ｐｉｎタイプ）。このようなリードフレーム７０Ｇを用いると、１パッケージに２つのＬＥＤ素子２１を格納した半導体装置８０を実現することができる（図３７）。
【０２０９】
この変形例２−７では、各パッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａと、各パッケージ領域１４の上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａとは、それぞれ第１リード連結部５２ａによりダイシング領域１５を越えて連結されている。また、各パッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂと、各パッケージ領域１４の上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂとは、それぞれ第２リード連結部５２ｂによりダイシング領域１５を越えて連結されている。
【０２１０】
さらに、各パッケージ領域１４内の第１のダイパッド２５ａと第２のダイパッド２５ｂは、その上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内の対応するダイパッド２５ａ、２５ｂと、それぞれ第１のダイパッド連結部５３ａ、第２のダイパッド連結部５３ｂによりダイシング領域１５を越えて連結されている。さらに、第１のダイパッド連結部５３ａ、第２のダイパッド連結部５３ｂ、第１リード連結部５２ａ、および第２リード連結部５２ｂは、ダイシング領域１５に位置する補強片５７によって連結されている。この場合、補強片５７は、枠体領域１３内側の全長にわたって一直線状に延びて、複数の第１ダイパッド連結部５３ａ、複数の第２ダイパッド連結部５３ｂ、複数の第１リード連結部５２ａ、および複数の第２リード連結部５２ｂを連結している。
【０２１１】
なお、図３６に示すリードフレーム７０Ｇにおいては、横方向に延びる複数のダイシング領域１５のうち、補強片５７が設けられたダイシング領域１５と、補強片５７が設けられていないダイシング領域とが上下方向交互に配置されている。
【０２１２】
このように、各パッケージ領域１４が２つのダイパッド２５ａ、２５ｂと一対のリード部２６ａ、２６ｂとを有する場合においても、補強片５７によってリードフレーム７０Ｇの上下方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム７０Ｇがすだれ状になることを防止することができ、取り扱い時にリードフレーム７０Ｇに変形が生じることを防止することができる。又、複数のダイシング領域１５のうち一部のダイシング領域１５にのみ補強片５７を有するため、ダイサーの歯の磨耗を軽減できる。
【０２１３】
変形例２−８
図３８は、本実施の形態の一変形例（変形例２−８）によるリードフレーム７０Ｈを示している。図３８に示すリードフレーム７０Ｈにおいて、各パッケージ領域１４は、ダイパッド２５と、ダイパッド２５の両側に位置する一対のリード配置領域１６Ｌ、リード配置領域１６Ｒを有している。リード配置領域１６Ｌにはリード部２６ａを配置し、リード配置領域１６Ｒには２つのリード部２６ｃと２６ｄをダイパッド２５に沿って１列に配置している（以下、リード部２６ａ、２６ｃ、２６ｄを、それぞれ第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｃ、第３のリード部２６ｄとも言う）。このようなリードフレーム７０Ｈを用いると、１パッケージに３つのＬＥＤ素子２１を格納した半導体装置８０を実現することができる（図３９）。
【０２１４】
変形例２−１（図３０）もしくは変形例２−３（図３２）とは、第２のリード部２６ｃ、第３のリード部２６ｄを有する点で異なるが、図３８に示すリードフレーム７０Ｈにおいては、第２のリード部２６ｃと第３のリード部２６ｄとを連結する部分リード連結部５５を設け、ダイシング領域１５に位置する第２リード連結部５２ｃを介して第２のリード部２６ｃと第３のリード部２６ｄとを連結している。なお第２リード連結部５２ｃは、ダイシング領域１５内で、枠体領域１３の内側の全長にわたって縦方向に延びている。
【０２１５】
リードフレーム１０Ｈの各パッケージ領域１４間において、各パッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａと、各パッケージ領域１４の上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａとは、それぞれ第１リード連結部５２ａによりダイシング領域１５を越えて連結されている。また、各パッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｃおよび第３のリード部２６ｄは、各パッケージ領域１４の上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｃおよび第３のリード部２６ｄと、それぞれ部分リード連結部５５を介して第２リード連結部５２ｃにより、ダイシング領域１５を越えて連結されている。この変形例で示したように、第２リード部２６ｃおよび第３リード部２６ｄを部分リード連結部５５により一体のリードとして取り扱うことが可能な場合、一体として扱う第２リード部２６ｃおよび第３リード部２６ｄ（つまりリード配置領域１６Ｒ）と、ダイパッド２５、第１のリード部２６ａ、が一直線上に一列に配置されていれば、本願発明の補強片５７を用いてリードフレームに変形が生じるのを防ぐことができる。
【０２１６】
なお、図３８に示すリードフレーム７０Ｈにおいては、横方向に延びる複数のダイシング領域１５のうち、補強片５７が設けられたダイシング領域１５と、補強片５７が設けられていないダイシング領域とが上下方向交互に配置されている。
【０２１７】
変形例２−９
図４０は、本実施の形態の一変形例（変形例２−９）によるリードフレーム７０Ｉを示している。図４０に示すリードフレーム７０Ｉにおいて、図３１に示す変形例２−２と異なり、横方向に延びる複数のダイシング領域１５のうち、補強片５７が設けられたダイシング領域１５が、上下方向に所定数おきに周期的に設けられている。図４０において、補強片５７が設けられたダイシング領域１５は２つおきに設けられているが、これに限らず、例えば３つまたは４つおき等の間隔で設けても良い。
【０２１８】
このように、補強片５７の数を減らすことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図３１に示す変形例２と略同一である。
【０２１９】
変形例２−１０
図４１は、本実施の形態の一変形例（変形例２−１０）によるリードフレーム７０Ｊを示している。図４１に示すリードフレーム７０Ｊにおいて、図４０に示す変形例２−９と異なり、横方向に延びる複数のダイシング領域１５のうち、補強片５７が設けられたダイシング領域１５は、周期的に配置されておらず、上下方向に不規則的に配置されている。
【０２２０】
この場合においても、補強片５７の数を減らすことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図３１に示す変形例２−２と略同一である。
【０２２１】
以上、図３０乃至図４１に示すリードフレーム（変形例２−１〜変形例２−１０）についても、上述した図２１乃至図２９に示す実施の形態の効果と略同様の効果を得ることができる。
【０２２２】
なお、図２１乃至図２３、図３１、図３３、図４０、図４１に示すリードフレーム７０、７０Ｂ、７０Ｄ、７０Ｉ、７０Ｊを用いて作製される半導体装置としては、図２４および図２５に示すものに限らず、図１９（変形例Ｂ）または図２０（変形例Ｃ）に示す半導体装置であっても良い。また、図３０、図３２、図３４、図３５に示すリードフレーム７０Ａ、７０Ｃ、７０Ｅ、７０Ｆを用いて作製される半導体装置としては、図１８（変形例Ａ）に示す半導体装置であっても良い。
【０２２３】
（第３の実施の形態）
次に、図４２乃至図４４を参照して本発明の第３の実施の形態について説明する。図４２乃至図４４は本発明の第３の実施の形態を示す図である。図４２乃至図４４に示す第３の実施の形態は、ＬＥＤ素子２１に代えてダイオード等の半導体素子４５を用いる点が主として異なるものであり、他の構成は上述した第１の実施の形態および第２の実施の形態と略同一である。図４２乃至図４４において、第１の実施の形態および第２の実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【０２２４】
リードフレームの構成
図４２は、本実施の形態によるリードフレーム６０を示す断面図である。本実施の形態によるリードフレーム６０は、ＬＥＤ素子２１に代えてダイオード等の半導体素子４５（図４２参照）を搭載するためのものであり、めっき層１２がリード部２６の一部（ボンディングワイヤ２２が接続される部分）のみに形成されている。このほかの構成は、図１乃至３に示すリードフレーム１０または図２１乃至図２３に示すリードフレーム７０と同一である。
【０２２５】
なお、本実施の形態において、リードフレーム６０の平面形状は、図１乃至図３に示すリードフレーム１０の形状または図２１乃至図２３に示すリードフレーム７０の形状に限らず、図１０乃至図１７に示す各リードフレームの形状または図３０乃至図４１に示す各リードフレームの形状からなっていても良い。
【０２２６】
半導体装置の構成
図４３は、本実施の形態による半導体装置６５を示している。半導体装置６５は、図４２に示すリードフレーム６０を用いて作製されたものであり、（個片化された）リードフレーム６０と、リードフレーム６０のダイパッド２５に載置された半導体素子４５とを備えている。半導体素子４５は、例えばダイオード等のディスクリート半導体素子からなっていても良い。また、半導体素子４５の端子部４５ａと、リード部２６上に設けられためっき層１２とは、ボンディングワイヤ２２によって電気的に接続されている。さらに、半導体素子４５とボンディングワイヤ２２とが封止樹脂２４によって封止されている。
【０２２７】
なお、封止樹脂２４としては、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂からなるものを選択することが可能であるが、第１の実施の形態および第２の実施の形態と異なり、必ずしも透明なものでなくても良く、黒色等の不透明な樹脂からなっていても良い。
【０２２８】
半導体装置の製造方法
次に、図４３に示す半導体装置６５の製造方法について、図４４（ａ）−（ｆ）を用いて説明する。図４４（ａ）−（ｆ）は、本実施の形態による半導体装置の製造方法を示す図である。
【０２２９】
まず、上述した工程（図６（ａ）−（ｆ）および図２６（ａ）−（ｆ））と略同様にして、リードフレーム６０を作製する（図４４（ａ））。なお、この場合、めっき層１２を形成する工程（図６（ｆ）および図２６（ｆ））において、めっき層１２は、リードフレーム本体１１の全面ではなく、リード部２６の一部にのみ形成される。
【０２３０】
次に、リードフレーム６０のダイパッド２５上に半導体素子４５を搭載する。この場合、はんだまたはダイボンディングペーストを用いて、半導体素子４５をダイパッド２５上に載置して固定する（図４４（ｂ））。
【０２３１】
次に、半導体素子４５の端子部４５ａと、リード部２６上のめっき層１２とを、ボンディングワイヤ２２によって互いに電気的に接続する（図４４（ｃ））。
【０２３２】
その後、封止樹脂２４により、半導体素子４５とボンディングワイヤ２２とを一括封止する（図４４（ｄ））。なお、このとき、リードフレーム６０の裏面に、図示しないバックテープを貼付することにより、封止樹脂２４が第１のアウターリード部２７および／または第２のアウターリード部２８の裏面に回り込むことを防止しても良い。
【０２３３】
次に、封止樹脂２４およびリードフレーム６０のうちダイシング領域１５に対応する部分を切断することにより、封止樹脂２４およびリードフレーム６０を半導体素子４５毎に分離する（図４４（ｅ））。この際、まずリードフレーム６０をダイシングテープ３７上に載置して固定し、その後、例えばダイヤモンド砥石等からなるブレード３８によって、各半導体素子４５間の封止樹脂２４、ならびにリードフレーム６０の傾斜補強片５１（または補強片５７）、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３およびパッケージ領域連結部５４を切断する。なお、ブレード３８によってリードフレーム６０を切断する際、上述した図９（ａ）、（ｂ）または図２９（ａ）、（ｂ）に示す方法を用いても良い。
【０２３４】
このようにして、図４３に示す半導体装置６５を得ることができる（図４４（ｅ））。
【０２３５】
このように、本実施の形態においては、ＬＥＤ素子２１に代えてダイオード等の半導体素子４５を載置しており、リードフレーム６０上には反射樹脂２３が設けられていない。この場合、半導体装置６５を製造する工程において（図４４（ａ）−（ｆ））、その途中で反射樹脂２３によってリードフレーム６０が補強されることがないため、封止樹脂２４によって封止されるまでの間、リードフレーム６０（図４４（ｅ））の変形を防止する必要が生じる。具体的には、半導体素子４５を搭載する際、リードフレーム６０は、その端面を介してレールにより搬送される場合があり、このときリードフレーム６０が変形しないようにする必要がある。また、共晶ボンディングにより半導体素子４５を接合する場合には、リードフレーム６０に熱が加わるため（例えば４００℃で１０分間熱が加わる等）、この熱によってリードフレーム６０の強度が低下することを防止する必要がある。さらに、ワイヤーボンディングの際にも熱および衝撃が加わるため、この熱によってリードフレーム６０の強度が低下することを防止することも必要である。したがって、反射樹脂２３を設ける場合と比べて、より一層リードフレーム６０の強度を高めることが求められる。
【０２３６】
これに対して本実施の形態によれば、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５と、隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とは、ダイシング領域１５に位置する傾斜補強片５１により連結されている。あるいは、ダイパッド連結部５３およびリード連結部５２は、ダイシング領域１５に位置する補強片５７により連結されている。このことにより、リードフレーム６０の上下方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム６０が上下方向にすだれ状になることがない。これにより、取り扱い時にリードフレーム６０に変形が生じることを防止することができる。
【０２３７】
このほか、本実施の形態においても、上述した第１の実施の形態および第２の実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３７】
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【図３９】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図２】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図２２】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３８】
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【図４０】
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【図４１】
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【手続補正書】
【提出日】平成24年6月6日(2012.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、
ダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項２】
補強片は、枠体領域内側の全長にわたって延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項３】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結され、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、補強片により連結されていないことを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項４】
補強片は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部にそれぞれ連結されたダイパッド連結部およびリード連結部間のみに延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項５】
各パッケージ領域は、１つのダイパッドと、このダイパッドの両側に位置する第１のリード部および第２のリード部とを含み、
一のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部と各々ダイパッド連結部、第１リード連結部、および第２リード連結部により連結され、
前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第１リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第１リード連結部を連結し、
前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第２リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第２リード連結部を連結することを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項６】
ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、縦方向に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、一部のダイシング領域に位置するダイパッド連結部およびリード連結部は、当該ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項７】
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、所定数おきに周期的に設けられていることを特徴とする請求項６記載のリードフレーム。
【請求項８】
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、不規則に設けられていることを特徴とする請求項６記載のリードフレーム。
【請求項９】
補強片は、本体と、本体上に形成されためっき層とからなることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項１０】
樹脂付リードフレームにおいて、
請求項１記載のリードフレームと、
リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレーム。
【請求項１１】
半導体装置の製造方法において、
請求項１０記載の樹脂付リードフレームを準備する工程と、
樹脂付リードフレームの各反射樹脂内であって各ダイパッド上にＬＥＤ素子を搭載する工程と、
ＬＥＤ素子と各リード部とを導電部により接続する工程と、
樹脂付リードフレームの各反射樹脂内に封止樹脂を充填する工程と、
反射樹脂およびリードフレームを切断することにより、反射樹脂およびリードフレームをＬＥＤ素子毎に分離する工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
半導体素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、
ダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項１３】
補強片は、枠体領域内側の全長にわたって延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とする請求項１２記載のリードフレーム。
【請求項１４】
前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、ダイシング領域に位置する補強片により連結され、
前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部とをそれぞれ連結するダイパッド連結部およびリード連結部は、補強片により連結されていないことを特徴とする請求項１２記載のリードフレーム。
【請求項１５】
補強片は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部にそれぞれ連結されたダイパッド連結部およびリード連結部間のみに延びてダイパッド連結部およびリード連結部を連結していることを特徴とする請求項１２記載のリードフレーム。
【請求項１６】
各パッケージ領域は、１つのダイパッドと、このダイパッドの両側に位置する第１のリード部および第２のリード部とを含み、
一のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部は、隣接する他のパッケージ領域内のダイパッド、第１のリード部、および第２のリード部と各々ダイパッド連結部、第１リード連結部、および第２リード連結部により連結され、
前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接する第１のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第１リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第１リード連結部を連結し、
前記一のパッケージ領域と、前記一のパッケージ領域に隣接するとともに前記一のパッケージ領域に関して第１のパッケージ領域と反対側に位置する第２のパッケージ領域との間において、補強片は、ダイパッド連結部および第２リード連結部間のみに延びてダイパッド連結部および第２リード連結部を連結することを特徴とする請求項１２記載のリードフレーム。
【請求項１７】
半導体素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部は、縦方向に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドおよびリード部と各々ダイパッド連結部およびリード連結部により連結され、
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、一部のダイシング領域に位置するダイパッド連結部およびリード連結部は、当該ダイシング領域に位置する補強片により連結されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項１８】
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、所定数おきに周期的に設けられていることを特徴とする請求項１７記載のリードフレーム。
【請求項１９】
横方向に延びる複数のダイシング領域のうち、補強片が設けられたダイシング領域は、不規則に設けられていることを特徴とする請求項１７記載のリードフレーム。
【国際調査報告】
2012060336.tif 000047
2012060336.tif 000048
2012060336.tif 000049
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