(57)【要約】対象空間５１に電磁波を放射することにより電磁波プラズマを生成するプラズマ生成装置３０において、簡易な構成で且つ比較的低い電磁波のエネルギーで、複数箇所に電磁波プラズマを生成する。プラズマ生成装置３０に、電磁波発振器３３から供給された電磁波を対象空間５１へ放射するためのアンテナ３６と、対象空間５１においてガス分子から自由電子を強制的に放出させる放電器３５と、アンテナ３６から放射された電磁波による電界を集中させる電界集中部材４０とを設ける。電界集中部材４０は、アンテナ３６とは非接触に配置されている。プラズマ生成装置３０は、放電器３５により自由電子を放出させると共に、アンテナ３６から電磁波を放射することにより、アンテナ３６の近傍と電界集中部材４０の近傍とに電磁波プラズマを生成する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁波を発振する電磁波発振器と、
対象空間に上記電磁波発振器から供給される電磁波を放射するためのアンテナと、
上記対象空間において自由電子を強制的に放出させる電子放出手段と、
上記対象空間において上記アンテナと非接触に配置され、上記アンテナから放射された電磁波による電界を集中させる電界集中部材とを備え、
上記電子放出手段により強制的に自由電子を放出させると共に、上記アンテナから電磁波を放射することにより、上記アンテナの近傍および上記電界集中部材の近傍に電磁波プラズマを生成する
ことを特徴とするプラズマ生成装置。
【請求項２】
請求項１において、
上記電界集中部材は、上記アンテナを囲うように複数設けられている
ことを特徴とするプラズマ生成装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
上記アンテナの近傍及び上記電界集中部材の近傍に電磁波プラズマを生成する第１状態と、該第１状態に比べて電磁波発振器が発振する電磁波の単位時間当たりのエネルギーを低くして、上記アンテナの近傍だけに電磁波プラズマを生成する第２状態とを切り換え可能に構成されている
ことを特徴とするプラズマ生成装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか１つに記載のプラズマ生成装置と、
燃焼室が形成された内燃機関本体とを備え、
上記プラズマ生成装置は、上記燃焼室を上記対象空間として電磁波プラズマを生成する
ことを特徴とする内燃機関。
【請求項５】
請求項４において、
互いに異なる方向へ燃料を噴射する複数の噴口を有し、各噴口から上記燃焼室へ燃料を噴射するインジェクターを備え、
上記電界集中部材は、上記インジェクターの複数の噴口に対応して複数設けられ、各電界集中部材が各噴口に対応する位置に配置されている
ことを特徴とする内燃機関。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象空間に電磁波を放射して電磁波プラズマを生成するプラズマ生成装置。及びそのプラズマ生成装置を備えた内燃機関に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、対象空間に電磁波を放射して電磁波プラズマを生成するプラズマ生成装置が知られている。例えば特許文献１及び特許文献２には、この種のプラズマ生成装置が記載されている。【０００３】
具体的に、特許文献１には、スパークプラグの放電ギャップでスパーク放電を生じさせると共に、その放電ギャップに向けてマイクロ波を放射するプラズマ拡大装置が記載されている。このプラズマ拡大装置では、スパーク放電により生成されたプラズマがマイクロ波パルスからエネルギーを受ける。これにより、プラズマ領域の電子が加速され、電離が促進されて、プラズマの体積が増大する。【０００４】
また、特許文献２には、電磁波放射器から燃焼室内に電磁波を放射することによりプラズマ放電を発生させる内燃機関の点火装置が開示されている。ピストンの上面には、ピストンから絶縁された点火用電極が設けられている。点火用電極は、その近傍にて燃焼室内の電磁波の電界強度を局所的に高める役割を果たす。プラズマ放電は、点火用電極の近傍にて生成される。また、特許文献１の図３では、点火用電極が複数配設されている。この場合、プラズマ放電を複数箇所で発生させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−３８０２５号公報
【特許文献２】特開２００６−１３２５１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１に記載のプラズマ生成装置は、自由電子を強制的に放出させる電子放出手段を用いて自由電子を供給し、その自由電子を電磁波のエネルギーにより加速させることで電磁波プラズマを生成する。このように、電磁波プラズマの契機となる自由電子を強制的に放出させることで、電磁波だけにより電磁波プラズマを生成する場合に比べて、電磁波のエネルギーを低減させることができる。しかし、電磁波プラズマは１箇所でしか生成されない。特許文献２に記載のプラズマ生成装置のように複数箇所に電磁波プラズマを生成するには、電子放出手段およびアンテナが複数組必要であった。【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、対象空間に電磁波を放射することにより電磁波プラズマを生成するプラズマ生成装置において、簡易な構成で且つ比較的低い電磁波のエネルギーで、複数箇所に電磁波プラズマを生成することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、電磁波を発振する電磁波発振器と、対象空間に上記電磁波発振器から供給される電磁波を放射するためのアンテナと、上記対象空間において自由電子を強制的に放出させる電子放出手段と、上記対象空間において上記アンテナと非接触に配置され、上記アンテナから放射された電磁波による電界を集中させる電界集中部材とを備え、上記電子放出手段により強制的に自由電子を放出させると共に、上記アンテナから電磁波を放射することにより、上記アンテナの近傍および上記電界集中部材の近傍に電磁波プラズマを生成するプラズマ生成装置。【０００９】
第１の発明では、電子放出手段により自由電子が放出させる。他方、アンテナから電磁波が放射されると、対象空間において相対的に電界強度が強くなる強電場が、アンテナの近傍に形成される。アンテナの近傍では、電子放出手段により放出された自由電子が、電磁波のエネルギーを受けて効果的に加速される。加速された自由電子は、周囲のガス分子に衝突する。衝突されたガス分子は、電離してプラズマになる。プラズマ中の自由電子も電磁波のエネルギーを受けて加速され、その自由電子との衝突により周囲のガス分子がプラズマになる。このように、アンテナの近傍では、プラズマが雪崩式に生成され、比較的大きな電磁波プラズマが生成される。【００１０】
ここで、本願の発明者は、図１に示すプラズマ生成装置を用いた実験を行った結果、アンテナ３６から放射された電磁波による電界を集中させる電界集中部材４０を対象空間５１に設けることで、複数箇所に電磁波プラズマを生成できることを見つけ出した。上記強電場は、アンテナの近傍だけでなく、電界集中部材の近傍にも形成される。電界集中部材は、電磁波の電界強度を局所的に強める。電子放出手段により放出された自由電子は、その一部が電界集中部材の近傍の強電場で効果的に加速される。その結果、電界集中部材の近傍でも、電磁波プラズマが生成される。第１の発明では、強電場が複数箇所に形成されるように電界集中部材を設けているので、複数箇所に電磁波プラズマが生成される。【００１１】
第２の発明は、第１の発明において、上記電界集中部材が、上記アンテナを囲うように複数設けられている。【００１２】
第２の発明では、アンテナを囲うように複数の電界集中部材を設けている。【００１３】
第３の発明は、第１又は第２の発明において、上記アンテナの近傍及び上記電界集中部材の近傍に電磁波プラズマを生成する第１状態と、該第１状態に比べて電磁波発振器が発振する電磁波の単位時間当たりのエネルギーを低くして、上記アンテナの近傍だけに電磁波プラズマを生成する第２状態とを切り換え可能に構成されている。【００１４】
第３の発明では、複数箇所に電磁波プラズマを生成する第１状態と、１箇所に電磁波プラズマを生成する第２状態とが切り換え可能になっている。【００１５】
第４の発明は、第１乃至第３の何れか１つの発明のプラズマ生成装置と、燃焼室が形成された内燃機関本体とを備え、上記プラズマ生成装置は、上記燃焼室を上記対象空間として電磁波プラズマを生成する内燃機関。【００１６】
第４の発明では、燃焼室にアンテナ及び電界集中部材が設けられ、アンテナの近傍および電界集中部材の近傍に電磁波プラズマが生成される。【００１７】
第５の発明は、第４の発明において、互いに異なる方向へ燃料を噴射する複数の噴口を有し、各噴口から上記燃焼室へ燃料を噴射するインジェクターを備え、上記電界集中部材は、上記インジェクターの複数の噴口に対応して複数設けられ、各電界集中部材が各噴口に対応する位置に配置されている。【００１８】
第５の発明では、電界集中部材が、インジェクターの複数の噴口に対応して複数設けられている。各電界集中部材は、各噴口に対応する位置に配置されている。従って、インジェクターの各噴口に対応する位置に電磁波プラズマが生成される。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では、対象空間において相対的に電界強度が強く強電場が複数箇所に形成されるように電界集中部材を設けているので、複数箇所に電磁波プラズマが生成される。複数箇所に電磁波プラズマを生成するために、電子放出手段およびアンテナを複数組設ける必要がなく、１つのアンテナにより複数箇所に電磁波プラズマを生成することができる。従って、複数のアンテナを設ける場合に比べて、電磁波の伝送系等を簡素化することができる。【００２０】
また、本発明では、電子放出手段により自由電子が供給され、その自由電子を電磁波のエネルギーにより加速させることで、電磁波プラズマが生成される。電子放出手段により電磁波プラズマの契機となる自由電子が供給される。従って、電磁波だけにより電磁波プラズマを生成する場合に比べて、低い電磁波のエネルギーで複数箇所に電磁波プラズマを生成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、実施形態１に係るプラズマ生成装置の概略構成図である。
【図２】図２は、実施形態１の変形例に係るプラズマ生成装置の概略構成図である。
【図３】図３は、実施形態２に係る内燃機関の縦断面図である。
【図４】図４は、実施形態２に係る内燃機関のピストンの上面図である。
【図５】図５は、実施形態２の変形例に係る内燃機関のピストンの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
《実施形態１》
【００２３】
本実施形態１は、本発明に係るプラズマ生成装置３０である。プラズマ生成装置３０は、図１に示すように、パルス発生器３１と放電器３５と電磁波用電源３２と電磁波発振器３３とアンテナ３６と制御装置１０とを備えている。
【００２４】
プラズマ生成装置３０は、反応室形成部材５０により形成された反応室５１（対象空間に相当）に対して設けられている。反応室５１では、例えば有毒ガスを分解する等の化学反応が行われる。反応室形成部材５０は、両端が閉塞された円筒状のメッシュ部材であり、アンテナ３６から反応室５１へ放射された電磁波を外部へ透過しないように構成されている。
【００２５】
パルス発生器３１は、直流電源（図示省略）に接続されている。パルス発生器３１は、例えばイグニッションコイルであり、制御装置１０から放電信号を受けると、直流電源から印加された電圧を昇圧し、昇圧後の高電圧パルスを放電器３５へ出力する。
【００２６】
放電器３５は、反応室５１において自由電子を強制的に放出させる電子放出手段を構成している。放電器３５は、反応室５１のガスを電離させることにより自由電子を強制的に放出させる。放電器３５は、例えばスパークプラグである。放電器３５は、パルス発生器３１に電気的に接続された放電電極と、その放電電極との間に放電ギャップを形成する接地電極とを備えている。放電器３５では、放電ギャップが反応室５１に位置している。図１に示すように、放電器３５は、反応室形成部材５０の一端面５０ａ（下面）の中心に設けられている。
【００２７】
電磁波用電源３２は、直流電源に接続されている。電磁波用電源３２は、制御装置１０から電磁波発振信号（例えばＴＴＬ信号）を受けると、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘って電磁波発振器３３へパルス電流を出力する。
【００２８】
電磁波発振器３３は、例えばマグネトロンや半導体発振器である。電磁波発振器３３は、電磁波用電源３２に電気的に接続されている。電磁波発振器３３は、パルス電流を受けると、アンテナ３６にマイクロ波パルスを出力する。
【００２９】
アンテナ３６は、電磁波発振器３３に電気的に接続されている。アンテナ３６は、棒状のモノポールアンテナである。アンテナ３６は、図１に示すように、反応室形成部材５０の他端面５０ｂ（上面）の中心に設けられている。アンテナ３６の先端は、放電器３５の先端に対向している。アンテナ３６からは、電磁波発振器３３から供給されたマイクロ波パルスが放射される。
【００３０】
本実施形態１では、プラズマ生成装置３０が、アンテナ３６から放射されたマイクロ波による電界を集中させる金属製の電界集中部材４０を備えている。電界集中部材４０は、複数（本実施形態では８つ）設けられている。電界集中部材４０は、反応室形成部材５０の下面５０ａと上面５０ｂにそれぞれ複数設けられている。
【００３１】
各電界集中部材４０は、アンテナ３６とは非接触に配置されている。各電界集中部材４０は、下面５０ａ又は上面５０ｂから、反応室５１内へ突出している。各電界集中部材４０は、反応室形成部材５０の軸方向に延びている。
【００３２】
下面５０ａでは、複数の電界集中部材４０が、放電器３５から等距離に等角度間隔で配置されている。これらの電界集中部材４０は、放電器３５を囲うように設けられている。これらの電界集中部材４０は、下面５０ａにおいて中心と外周の真ん中付近に接合されている。
【００３３】
上面５０ｂでは、複数の電界集中部材４０が、アンテナ３６から等距離に等角度間隔で配置されている。これらの電界集中部材４０は、アンテナ３６を囲うように設けられている。これらの電界集中部材４０は、上面５０ｂにおいて中心と外周の真ん中付近に接合されている。
−プラズマ生成装置の動作−
【００３４】
プラズマ生成装置３０のプラズマ生成動作について説明する。プラズマ生成動作では、放電器３５により反応室５１のガスを電離させると共に、アンテナ３６からマイクロ波を放射することにより、アンテナ３６の近傍および電界集中部材４０の近傍にマイクロ波プラズマを生成する。
【００３５】
具体的に、プラズマ生成動作では、まず制御装置１０が、放電信号および電磁波発振信号をほぼ同時に出力する。厳密には、制御装置１０は、放電信号よりも僅かに先に電磁波発振信号を出力する。
【００３６】
電磁波用電源３２は、電磁波発振信号を受けると、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘ってパルス電流を出力する。電磁波発振器３３は、設定時間に亘ってマイクロ波パルスを所定のデューティー比で出力する。電磁波発振器３３から出力されたマイクロ波パルスは、アンテナ３６から反応室５１へ放射される。他方、パルス発生器３１は、放電信号を受けると、高電圧パルスを出力する。放電器３５では、パルス発生器３１から高電圧パルスを受けると、放電ギャップでスパーク放電が生じる。
【００３７】
プラズマ生成動作では、マイクロ波パルスの反応室５１への放射開始タイミングがスパーク放電前であり、マイクロ波パルスの反応室５１への放射終了タイミングがスパーク放電後である。スパーク放電が生じる時点は、マイクロ波パルスの放射期間中である。マイクロ波パルスの放射期間は、アンテナ３６の先端の近傍、及び電界集中部材４０の先端の近傍に、反応室５１において相対的に電界強度が強くなる強電場が形成される。これらの強電場では、スパーク放電によりガス分子から放出された電子が、マイクロ波のエネルギーを受けて加速される。加速された電子は、周囲のガス分子に衝突する。衝突されたガス分子は、電離してプラズマになる。プラズマ中の電子もマイクロ波のエネルギーを受けて加速され、その電子との衝突により周囲のガス分子がプラズマになる。このように、アンテナ３６の近傍および電界集中部材４０の近傍では、プラズマが雪崩式に生成され、比較的大きなマイクロ波プラズマが生成される。
【００３８】
電磁波発振信号の立ち上がり時点から所定の設定時間が経過すると、マイクロ波パルスの発振が停止され、マイクロ波プラズマが消滅する。
【００３９】
なお、マイクロ波パルスの反応室５１への放射開始タイミングは、スパーク放電により生じた放電プラズマが消滅する前であれば、スパーク放電後であってもよい。
−実施形態１の効果−
【００４０】
本実施形態１では、反応室５１において相対的に電界強度が強く強電場が複数箇所に形成されるように電界集中部材４０を設けているので、複数箇所にマイクロ波プラズマが生成される。複数箇所にマイクロ波プラズマを生成するために、放電器３５およびアンテナ３６を複数組設ける必要がなく、１対の放電器３５およびアンテナ３６により複数箇所にマイクロ波プラズマを生成することができる。従って、放電器３５およびアンテナ３６を複数組設ける場合に比べて、伝送系等を簡素化することができる。
【００４１】
また、本実施形態１では、放電器３５により自由電子が供給され、その自由電子をマイクロ波のエネルギーにより加速させることで、マイクロ波プラズマが生成される。放電器３５によりマイクロ波プラズマの契機となる自由電子が供給される。そのため、マイクロ波だけによりマイクロ波プラズマを生成する場合に比べて、低いマイクロ波のエネルギーで複数箇所にマイクロ波プラズマを生成することができる。
−実施形態１の変形例−
【００４２】
実施形態１の変形例１では、放電器３５の放電電極が、マイクロ波用のアンテナとして機能する。プラズマ生成装置３０は、図２に示すように、パルス発生器３１と電磁波用電源３２と電磁波発振器３３と混合器３４と放電器３５と制御装置１０とを備えている。
【００４３】
混合器３４は、パルス発生器３１から出力された高電圧パルスと、電磁波発振器３３から出力されたマイクロ波パルスを混合して放電器３５に出力する。放電器３５では、混合器３４から高電圧パルスとマイクロ波パルスを受けると、放電ギャップでスパーク放電が生じ、放電電極からマイクロ波が照射される。
【００４４】
マイクロ波パルスの放射期間は、放電電極の先端近傍、及び電界集中部材４０の先端近傍において、反応室５１において相対的に電界強度が強くなる強電場が形成される。従って、実施形態１と同様に、アンテナ３６の近傍および電界集中部材４０の近傍でマイクロ波プラズマが生成される。
《実施形態２》
【００４５】
本実施形態２は、本発明に係るプラズマ生成装置３０を備えた内燃機関２０である。プラズマ生成装置３０は、燃焼室２１を対象空間としてマイクロ波プラズマを生成する。内燃機関２０は、図３に示すように、直噴式のガソリンエンジンである。内燃機関２０は、内燃機関本体２２とプラズマ生成装置３０とを備えている。
【００４６】
内燃機関本体２２は、シリンダブロック４２とシリンダヘッド４４とピストン４６とを備えている。シリンダブロック４２には、横断面が円形のシリンダ４８が複数形成されている。各シリンダ４８内には、ピストン４６が往復自在に設けられている。ピストン４６は、コネクティングロッドを介して、クランクシャフトに連結されている（図示省略）。クランクシャフトは、シリンダブロック４２に回転自在に支持されている。各シリンダ４８内においてシリンダ４８の軸方向にピストン４６が往復運動すると、コネクティングロッドがピストン４６の往復運動をクランクシャフトの回転運動に変換する。
【００４７】
シリンダヘッド４４は、ガスケット４３を挟んで、シリンダブロック４２上に載置されている。シリンダヘッド４４は、シリンダ４８及びピストン４６と共に、燃焼室２１を区画している。
【００４８】
シリンダヘッド４４には、各シリンダ４８に対して、スパークプラグ３５が１つずつ設けられている。スパークプラグ３５は、中心電極と接地電極との間の放電ギャップが燃焼室２１に位置するようにシリンダヘッド４４に取り付けられている。実施形態２では、スパークプラグ３５及びイグニッションコイル３１（実施形態１のパルス発生器に相当）が、プラズマ生成装置３０の一部を構成している。
【００４９】
シリンダヘッド４４には、各シリンダ４８に対して、吸気ポート２５及び排気ポート２６が形成されている。吸気ポート２５には、吸気ポート２５を開閉する吸気バルブ２７が設けられている。一方、排気ポート２６には、排気ポート２６を開閉する排気バルブ２８が設けられている。
【００５０】
シリンダヘッド４４には、各シリンダ４８に対して、インジェクター６０が１つずつ設けられている。インジェクター６０は、２つの吸気ポート２５の開口の間から燃焼室２１に突出している。インジェクター６０は、複数の噴口５５（実施形態２では３つの噴口）から互いに異なる方向へ燃焼を噴射する。インジェクター６０は、ピストン４６の頂面に向かって燃料を噴射する。
【００５１】
電界集中部材４０は、図４に示すように、ピストン４６において燃焼室２１に露出する面に、インジェクター６０の噴口５５と同数組設けられている。各電界集中部材４０は、絶縁部材４１によりピストン４６から電気的に絶縁されている。各電界集中部材４０は、ピストン４６の頂面から突出している。各電界集中部材４０は、インジェクター６０の各噴口５５に対応して配置されている。具体的に、各電界集中部材４０は、ピストン４６の頂面を上方から見た場合に、各噴口５５から噴射された噴流５６が通過する位置に配置されている。
【００５２】
実施形態２では、インジェクター６０の各噴口５５から燃料が噴射される際に、制御装置１０が、イグニッションコイル３１に放電信号を出力すると共に、電磁波用電源３２に電磁波発振信号を出力する。その結果、実施形態１の変形例と同様に、アンテナ３６として機能する中心電極の先端近傍と、各電界集中部材４０の先端近傍とに、燃焼室２１において相対的に電場の強度が強くなる強電場が形成される。マイクロ波プラズマは、各強電場に生成される。マイクロ波パルスは、インジェクター６０の各噴口５５から噴射された噴流５６が電界集中部材４０の先端を通過し終わるまで出力され、マイクロ波パルスの出力が終了するまでマイクロ波プラズマが維持される。
−実施形態２の効果−
【００５３】
本実施形態２では、各電界集中部材４０がインジェクター６０の各噴口５５に対応する位置に配置されているので、各噴口５５に対応する位置にマイクロ波プラズマがそれぞれ生成される。従って、各噴口５５から噴射された燃料に対して効果的にマイクロ波プラズマを接触させることができる。このため、各噴口５５から噴射された燃料の酸化反応を促進させて燃焼を促進させることができる。
−実施形態２の変形例−
【００５４】
実施形態２の変形例では、内燃機関２０が、ディーゼルエンジンである。インジェクター６０は、燃焼室２１の天井面の中心に設けられている。また、この天井面には、インジェクター６０に隣接して放電器３５が設けられている（図示省略）。
【００５５】
各電界集中部材４０は、図５に示すように、ピストン４６の頂面を上方から見た場合に、各噴口５５から噴射された噴流５６が通過する位置に配置されている。この変形例では、燃焼室２１においてスワールが発生するように内燃機関２０が構成されている。従って、各電界集中部材４０は、インジェクター６０の各噴口５５から噴射方向に真っ直ぐ延びる線に対してスワールの流れ方向にずれた位置に配置されている。
【００５６】
この変形例では、インジェクター６０の各噴口５５から燃料が噴射される際に、制御装置１０が、イグニッションコイル３１に放電信号を出力すると共に、電磁波用電源３２に電磁波発振信号を出力する。その結果、実施形態１の変形例と同様に、アンテナ３６として機能する中心電極の先端近傍と、各電界集中部材４０の先端近傍とに、燃焼室２１において相対的に電場の強度が強くなる強電場が形成される。マイクロ波プラズマは、各強電場に生成される。マイクロ波パルスは、インジェクター６０の各噴口５５から噴射された噴流５６がアンテナ３６の先端を通過し終わるまで出力され、マイクロ波パルスの出力が終了するまでマイクロ波プラズマが維持される。
《その他の実施形態》
【００５７】
上記実施形態は、以下のように構成してもよい。
【００５８】
上記実施形態において、電子放出手段が、金属を加熱することにより熱電子（自由電子）を放出するように構成されていてもよい。電子放出手段としては、例えばグロープラグを用いることができる。実施形態２においては、副燃焼室のグロープラグを電子放出手段としてもよい。その場合は、シリンダ４８内の主燃焼室とその主燃焼室に連通する副燃焼室とが対象空間を構成する。
【００５９】
また、上記実施形態において、プラズマ生成装置３０が、アンテナ３６の近傍及び電界集中部材４０の近傍にマイクロ波プラズマを生成する第１状態と、その第１状態に比べて電磁波発振器が発振するマイクロ波の単位時間当たりのエネルギーを低くして、アンテナ３６の近傍だけにマイクロ波プラズマを生成する第２状態とを切り換え可能に構成されていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
以上説明したように、本発明は、対象空間に電磁波を放射して電磁波プラズマを生成するプラズマ生成装置について有用である。
【符号の説明】
【００６１】
３０       プラズマ生成装置
３３       電磁波発振器
３５       放電器（電子放出手段）
３６       アンテナ
４０       電界集中部材
５１       対象空間
【図１】
2012099027.tif 000003
【図２】
2012099027.tif 000004
【図３】
2012099027.tif 000005
【図４】
2012099027.tif 000006
【図５】
2012099027.tif 000007
【国際調査報告】
2012099027.tif 000008
2012099027.tif 000009
2012099027.tif 000010
2012099027.tif 000011