(57)【要約】  光素子と光結合させた際の光結合損失が小さく、高品質の光通信が可能な光導波路、かかる光導波路を効率よく製造可能な光導波路の製造方法、前記光導波路を備え、高品質の光通信が可能な光導波路モジュール、かかる光導波路モジュールを効率よく製造可能な光導波路モジュールの製造方法および電子機器を提供することを目的とし、コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有することを特徴とする光導波路を提供する。
2012043573.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、
前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有することを特徴とする光導波路。
【請求項２】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズである請求項１に記載の光導波路。
【請求項３】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その収束光が前記光路変換部の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている請求項１または２に記載の光導波路。
【請求項４】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された球面または非球面の凸レンズと、前記凸レンズを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項１ないし３のいずれかに記載の光導波路。
【請求項５】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された平滑面と、前記平滑面を囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項１ないし３のいずれかに記載の光導波路。
【請求項６】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置され、前記クラッド部の表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンと、前記凹凸パターンを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項１ないし３のいずれかに記載の光導波路。
【請求項７】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンを、前記レンズの全体にわたって有している請求項１ないし５のいずれかに記載の光導波路。
【請求項８】
前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である請求項６または７に記載の光導波路。
【請求項９】
前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである請求項６ないし８のいずれかに記載の光導波路。
【請求項１０】
前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である請求項６ないし８のいずれかに記載の光導波路。
【請求項１１】
前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される請求項１ないし１０のいずれかに記載の光導波路。
【請求項１２】
コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、
前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
前記コア部と前記クラッド部と前記光路変換部とを有する母材を用意する工程と、
前記母材の表面に成形型を押圧することにより、前記表面の一部を局所的に突出または凹没させ、前記レンズを形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項１３】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、加熱した前記成形型を前記母材の表面に押圧した後、前記成形型を冷却することにより形成される請求項１２に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１４】
コア部と、前記コア部の側面に隣接して設けられた側面クラッド部と、を備えるコア層と、
前記コア層の両面に隣接して設けられた第１クラッド層および第２クラッド層と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記第２クラッド層の外部へと変換する光路変換部と、
前記第２クラッド層の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
前記第１クラッド層を形成する工程と、
形成した前記第１クラッド層上に前記コア層を形成する工程と、
前記コア層上にクラッド層形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記第２クラッド層を形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項１５】
コア部と、前記コア部の側面に隣接して設けられた側面クラッド部と、を備えるコア層と、
前記コア層の両面に隣接して設けられた第１クラッド層および第２クラッド層と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記第２クラッド層の外部へと変換する光路変換部と、
前記第２クラッド層の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
成形型上にクラッド層形成用組成物を塗布し、液状被膜または液状被膜の半硬化物を形成した後、硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記第２クラッド層を形成する工程と、
形成した前記第２クラッド層上に前記コア層を形成する工程と、
前記コア層上に前記第１クラッド層を形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項１６】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の光導波路と、
前記光路変換部および前記レンズを介して前記コア部と光学的に接続された光素子と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項１７】
前記レンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている請求項１６に記載の光導波路モジュール。
【請求項１８】
コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項１９】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズである請求項１８に記載の光導波路モジュール。
【請求項２０】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その収束光が前記光路変換部の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている請求項１８または１９に記載の光導波路モジュール。
【請求項２１】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている請求項１８ないし２０のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２２】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された球面または非球面の凸レンズと、前記凸レンズを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項１８ないし２１のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２３】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された平滑面と、前記平滑面を囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項１８ないし２１のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２４】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置され、前記構造体の表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンと、前記凹凸パターンを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項１８ないし２１のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２５】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンを、前記レンズの全体にわたって有している請求項１８ないし２３のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２６】
前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である請求項２４または２５に記載の光導波路モジュール。
【請求項２７】
前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである請求項２４ないし２６のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２８】
前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である請求項２４ないし２６のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２９】
前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される請求項１８ないし２８のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項３０】
コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有する光導波路モジュールの製造方法であって、
前記光導波路の表面上に構造体形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記構造体を形成する工程と、
前記光素子を配置する工程と、を有することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。
【請求項３１】
コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路と前記光素子との間に設けられた基板と、
前記基板と前記光素子との間に設けられた、レンズを備えた構造体と、を有する光導波路モジュールの製造方法であって、
前記基板の表面上に構造体形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記構造体を形成する工程と、
前記光導波路および前記光素子を配置する工程と、を有することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。
【請求項３２】
請求項１ないし１２および１８ないし２９のいずれかに記載の光導波路モジュールを備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路、光導波路の製造方法、光導波路モジュール、光導波路モジュールの製造方法および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報化の波とともに、大容量の情報を高速で通信可能な広帯域回線（ブロードバンド）の普及が進んでいる。また、これらの広帯域回線に情報を伝送する装置として、ルーター装置、ＷＤＭ(Wavelength Division Multiplexing)装置等の伝送装置が用いられている。これらの伝送装置内には、ＬＳＩのような演算素子、メモリーのような記憶素子等が組み合わされた信号処理基板が多数設置されており、各回線の相互接続を担っている。【０００３】
各信号処理基板には、演算素子や記憶素子等が電気配線で接続された回路が構築されているが、近年、処理する情報量の増大に伴って、各基板では、極めて高いスループットで情報を伝送することが要求されている。しかしながら、情報伝送の高速化に伴い、クロストークや高周波ノイズの発生、電気信号の劣化等の問題が顕在化しつつある。このため、電気配線がボトルネックとなって、信号処理基板のスループットの向上が困難になっている。また、同様の課題は、スーパーコンピューターや大規模サーバー等でも顕在化しつつある。【０００４】
一方、光搬送波を使用してデータを移送する光通信技術が開発され、近年、この光搬送波を、一地点から他地点に導くための手段として、光導波路が普及しつつある。この光導波路は、線状のコア部と、その周囲を覆うように設けられたクラッド部とを有している。コア部は、光搬送波の光に対して実質的に透明な材料によって構成されている。クラッド部は、コア部より屈折率が低い材料によって構成されている。【０００５】
光導波路では、コア部の一端から導入された光が、クラッド部との境界で反射しながら他端に搬送される。光導波路の入射側には、半導体レーザー等の発光素子が配置されている。出射側には、フォトダイオード等の受光素子が配置される。発光素子から入射された光は光導波路を伝搬し、受光素子により受光される。受光した光の明滅パターンもしくはその強弱パターンに基づいて通信を行う。【０００６】
このような光導波路により信号処理基板内の電気配線を置き換えられると、前述したような電気配線の問題が解消され、信号処理基板のさらなる高スループット化が可能になると期待されている。【０００７】
ところで、電気配線を光導波路に置き換える際には、電気信号と光信号との相互変換を行うべく、発光素子と受光素子とを備え、これらの間を光導波路で光学的に接続してなる光導波路モジュールが用いられる。【０００８】
例えば、特許文献１には、プリント基板と、プリント基板上に搭載された発光素子と、プリント基板の下面側に設けられた光導波路と、を有する光インターフェースが開示されている。そして、光導波路と発光素子との間は、プリント基板に形成された、光信号を伝送するための貫通孔であるスルーホールを介して光学的に接続されている。【０００９】
しかしながら、上述したような光インターフェースでは、発光素子と光導波路との光結合において、光結合損失が大きいことが課題となっている。具体的には、発光素子の発光部から出射した信号光がスルーホールを通過して光導波路に入射する際、信号光が放射状に発散してしまうため、全ての信号光が光導波路に入射しない。このため、信号光の一部は光通信に寄与せず、光結合損失の増加を招いている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００５−２９４４０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、光素子と光導波路とを光結合させた際の光結合損失が小さく、高品質の光通信が可能な光導波路、かかる光導波路を効率よく製造可能な光導波路の製造方法、前記光導波路を備え、高品質の光通信が可能な光導波路モジュール、光導波路モジュールを効率よく製造可能な光導波路モジュールの製造方法および上記光導波路モジュールを具備する電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的は、下記（１）〜（３２）の本発明により達成される。
（１）  コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、
前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有することを特徴とする光導波路。【００１３】
（２）  前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズである上記（１）に記載の光導波路。【００１４】
（３）  前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その収束光が前記光路変換部の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている上記（１）または（２）に記載の光導波路。【００１５】
（４）  前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された球面または非球面の凸レンズと、前記凸レンズを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の光導波路。【００１６】
（５）  前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された平滑面と、前記平滑面を囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の光導波路。【００１７】
（６）  前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置され、前記クラッド部の表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンと、前記凹凸パターンを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の光導波路。【００１８】
（７）  前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンを、前記レンズの全体にわたって有している上記（１）ないし（５）のいずれかに記載の光導波路。【００１９】
（８）  前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である上記（６）または（７）に記載の光導波路。【００２０】
（９）  前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである上記（６）ないし（８）のいずれかに記載の光導波路。【００２１】
（１０）  前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である上記（６）ないし（８）のいずれかに記載の光導波路。【００２２】
（１１）  前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される上記（１）ないし（１０）のいずれかに記載の光導波路。【００２３】
（１２）  コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、
前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
前記コア部と前記クラッド部と前記光路変換部とを有する母材を用意する工程と、
前記母材の表面に成形型を押圧することにより、前記表面の一部を局所的に突出または凹没させ、前記レンズを形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。【００２４】
（１３）  前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、加熱した前記成形型を前記母材の表面に押圧した後、前記成形型を冷却することにより形成される上記（１２）に記載の光導波路の製造方法。【００２５】
（１４）  コア部と、前記コア部の側面に隣接して設けられた側面クラッド部と、を備えるコア層と、
前記コア層の両面に隣接して設けられた第１クラッド層および第２クラッド層と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記第２クラッド層の外部へと変換する光路変換部と、
前記第２クラッド層の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
前記第１クラッド層を形成する工程と、
形成した前記第１クラッド層上に前記コア層を形成する工程と、
前記コア層上にクラッド層形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記第２クラッド層を形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。【００２６】
（１５）  コア部と、前記コア部の側面に隣接して設けられた側面クラッド部と、を備えるコア層と、
前記コア層の両面に隣接して設けられた第１クラッド層および第２クラッド層と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記第２クラッド層の外部へと変換する光路変換部と、
前記第２クラッド層の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
成形型上にクラッド層形成用組成物を塗布し、液状被膜または液状被膜の半硬化物を形成した後、硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記第２クラッド層を形成する工程と、
形成した前記第２クラッド層上に前記コア層を形成する工程と、
前記コア層上に前記第１クラッド層を形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。【００２７】
（１６）  上記（１）ないし（１１）のいずれかに記載の光導波路と、
前記光路変換部および前記レンズを介して前記コア部と光学的に接続された光素子と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。【００２８】
（１７）  前記レンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている上記（１６）に記載の光導波路モジュール。【００２９】
（１８）  コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。【００３０】
（１９）  前記構造体の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズである上記（１８）に記載の光導波路モジュール。【００３１】
（２０）  前記構造体の表面に設けられたレンズは、その収束光が前記光路変換部の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている上記（１８）または（１９）に記載の光導波路モジュール。【００３２】
（２１）  前記構造体の表面に設けられたレンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている上記（１８）ないし（２０）のいずれかに記載の光導波路モジュール。【００３３】
（２２）  前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された球面または非球面の凸レンズと、前記凸レンズを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している上記（１８）ないし（２１）のいずれかに記載の光導波路モジュール。【００３４】
（２３）  前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された平滑面と、前記平滑面を囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している上記（１８）ないし（２１）のいずれかに記載の光導波路モジュール。【００３５】
（２４）  前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置され、前記構造体の表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンと、前記凹凸パターンを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している上記（１８）ないし（２１）のいずれかに記載の光導波路モジュール。【００３６】
（２５）  前記構造体の表面に設けられたレンズは、その表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンを、前記レンズの全体にわたって有している上記（１８）ないし（２３）のいずれかに記載の光導波路モジュール。【００３７】
（２６）  前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である上記（２４）または（２５）に記載の光導波路モジュール。【００３８】
（２７）  前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである上記（２４）ないし（２６）のいずれかに記載の光導波路モジュール。【００３９】
（２８）  前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である上記（２４）ないし（２６）のいずれかに記載の光導波路モジュール。【００４０】
（２９）  前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される上記（１８）ないし（２８）のいずれかに記載の光導波路モジュール。【００４１】
（３０）  コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有する光導波路モジュールの製造方法であって、
前記光導波路の表面上に構造体形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記構造体を形成する工程と、
前記光素子を配置する工程と、を有することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。【００４２】
（３１）  コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路と前記光素子との間に設けられた基板と、
前記基板と前記光素子との間に設けられた、レンズを備えた構造体と、を有する光導波路モジュールの製造方法であって、
前記基板の表面上に構造体形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記構造体を形成する工程と、
前記光導波路および前記光素子を配置する工程と、を有することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。【００４３】
（３２）上記（１）ないし（１２）および（１８）ないし（２９）のいずれかに記載の光導波路モジュールを備えることを特徴とする電子機器。
【発明の効果】
【００４４】
本発明によれば、クラッド部の表面にレンズを備えることにより、光素子と光導波路とを光結合させた際の光結合損失を小さくすることができるため、光搬送波のＳ／Ｎ比が高く、高品質の光通信が可能な光導波路が得られる。【００４５】
本発明によれば、レンズが形成された構造体を備えることにより、光素子と光導波路との光結合損失を小さくすることができるため、光搬送波のＳ／Ｎ比が高く、高品質の光通信が可能な光導波路モジュールが得られる。【００４６】
また、本発明によれば、このような光導波路を効率よく製造することができる。
また、本発明によれば、このような光導波路を備えることにより、高品質の光通信が可能な光導波路モジュールおよび電子機器が得られる。
また、本発明によれば、このような光導波路モジュールを効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の光導波路モジュールの第１実施形態または第５実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１が第１実施形態の光導波路モジュールを示す場合のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図２の部分拡大図である。
【図４】図２に示す光導波路モジュールの他の構成例を示す縦断面図である。
【図５】図１が第１実施形態の光導波路モジュールを示す場合の光導波路を取り出して示す部分拡大図である。
【図６】図５に示すレンズのＢ−Ｂ線断面図である。
【図７】図６に示すレンズの他の構成例である。
【図８】図７（ｂ）に示す凹凸パターンの部分拡大図（斜視図）である。
【図９】凹部または凸部の形状の一例を示す斜視図である。
【図１０】本発明の光導波路モジュールの第２実施形態を示す縦断面図である。
【図１１】本発明の光導波路モジュールの第３実施形態を示す縦断面図である。
【図１２】本発明の光導波路モジュールの第４実施形態または第８実施形態を示す図であって、光導波路のみを取り出し、天地反転させた斜視図（一部透過して示す）である。
【図１３】図２に示す光導波路を製造する第１の方法を説明するための模式図（縦断面図）である。
【図１４】図２に示す光導波路を製造する第２の方法を説明するための模式図（縦断面図）である。
【図１５】図２に示す光導波路を製造する第３の方法を説明するための模式図（縦断面図）である。
【図１６】図１が第５実施形態の光導波路モジュールを示す場合のＡ−Ａ線断面図である。
【図１７】図１６の部分拡大図である。
【図１８】図１６に示す光導波路モジュールの他の構成例を示す縦断面図である。
【図１９】図１が第５実施形態の光導波路モジュールを示す場合の光導波路を取り出して示す部分拡大図である。
【図２０】図１９に示すレンズのＢ−Ｂ線断面図である。
【図２１】図２０に示すレンズの他の構成例である。
【図２２】図２１（ｂ）に示す凹凸パターンの部分拡大図（斜視図）である。
【図２３】凹部または凸部の形状の一例を示す斜視図である。
【図２４】本発明の光導波路モジュールの第６実施形態を示す縦断面図である。
【図２５】本発明の光導波路モジュールの第７実施形態を示す縦断面図である。
【図２６】本発明の光導波路モジュールの第９実施形態を示す縦断面図である。
【図２７】図１６に示す光導波路モジュールを製造する方法を説明するための図（縦断面図）である。
【図２８】図２６に示す光導波路モジュールを製造する方法を説明するための図（縦断面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００４８】
以下、本発明の光導波路、光導波路の製造方法、光導波路モジュール、光導波路モジュールの製造方法および電子機器について添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００４９】
＜光導波路モジュール＞
≪第１実施形態≫
まず、本発明の光導波路、およびこの光導波路を備えた本発明の光導波路モジュールの第１実施形態について説明する。
【００５０】
図１は、本発明の光導波路モジュールの第１実施形態を示す斜視図、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図、図３は、図２の部分拡大図である。なお、以下の説明では、図２、３の上側を「上」、下側を「下」という。また、各図では、厚さ方向を強調して描いている。
【００５１】
図１に示す光導波路モジュール１０は、光導波路１と、その上方に設けられた回路基板２と、回路基板２上に搭載された発光素子３（光素子）と、を有している。
【００５２】
光導波路１は、長尺の帯状をなしており、回路基板２および発光素子３は、光導波路１の一方の端部（図２の左側の端部）に設けられている。
【００５３】
発光素子３は、電気信号を光信号に変換し、発光部３１から光信号を出射して光導波路１に入射させる素子である。図２に示す発光素子３は、その下面に設けられた発光部３１と、発光部３１に通電する電極３２とを有している。発光部３１は、図２の下方に向けて光信号を出射する。なお、図２に示す矢印は、発光素子３から出射した信号光の光路の例である。
【００５４】
一方、光導波路１のうち、発光素子３の位置に対応してミラー（光路変換部）１６が設けられている。このミラー１６は、図２の左右方向に延伸する光導波路１の光路を、光導波路１の外部へと変換するものである。図２では、発光素子３の発光部３１と光学的に接続されるよう、光路を９０°変換する。このようなミラー１６を介することにより、発光素子３から出射した信号光を光導波路１に入射させることができる。また、図示しないものの、光導波路１の他方の端部には、受光素子が設けられる。この受光素子も光導波路１と光学的に接続されており、光導波路１に入射された信号光は受光素子に到達する。その結果、光導波路モジュール１０において光通信が可能になる。
【００５５】
ここで、光導波路１の表面のうち、ミラー１６と発光部３１とを繋ぐ光路が通過する部位には、表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズ１００が形成されている（図３参照）。このレンズ１００は、発光部３１から光導波路１に入射する信号光を収束させることにより、信号光の発散を抑制し、ミラー１６の有効領域に対してより多くの信号光を到達させるよう構成されている。したがって、このようなレンズ１００を設けることにより、発光素子３と光導波路１との光結合効率が向上する。
【００５６】
以下、光導波路モジュール１０の各部について詳述する。
（光導波路）
図１に示す光導波路１は、下方からクラッド層（第１クラッド層）１１、コア層１３、およびクラッド層（第２クラッド層）１２をこの順で積層してなる帯状の積層体を具備する。このうちコア層１３には、図１に示すように、平面視で直線状をなす１本のコア部１４と、このコア部１４の側面に隣接する側面クラッド部１５とが形成されている。コア部１４は、帯状の積層体の長手方向に沿って延伸しており、かつ、積層体の幅のほぼ中央に位置している。なお、図１において、コア部１４にはドットを付している。
【００５７】
図２に示す光導波路１では、ミラー１６を介して入射された光を、コア部１４とクラッド部（各クラッド層１１、１２および各側面クラッド部１５）との界面で全反射させ、他方の端部に伝搬させることができる。これにより、出射端で受光した光の明滅パターンおよび光の強弱パターンの少なくとも一方に基づいて光通信を行うことができる。
【００５８】
コア部１４とクラッド部との界面で全反射を生じさせるためには、界面に屈折率差が存在する必要がある。コア部１４の屈折率は、クラッド部の屈折率より大きければよく、その差は特に限定されないものの、クラッド部の屈折率の０．５％以上であるのが好ましく、０．８％以上であるのがより好ましい。一方、上限値は、特に設定されなくてもよいが、好ましくは５．５％程度とされる。屈折率の差が前記下限値未満であると光を伝達する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えても、光の伝送効率のそれ以上の増大は期待できない。
【００５９】
なお、前記屈折率差とは、コア部１４の屈折率をＡ、クラッド部の屈折率をＢとしたとき、次式で表わされる。
屈折率差（％）＝｜（Ａ／Ｂ）−１｜×１００    
【００６０】
また、図１に示す構成では、コア部１４は平面視で直線状に形成されているが、途中で湾曲、分岐等していてもよく、その形状は任意である。
【００６１】
また、コア部１４の横断面形状は、正方形または矩形（長方形）のような四角形であるのが一般的であるが、特に限定されず、真円、楕円のような円形、菱形、三角形、五角形のような多角形であってもよい。
【００６２】
コア部１４の幅および高さは、特に限定されないが、それぞれ、１〜２００μｍ程度であるのが好ましく、５〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、２０〜７０μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【００６３】
コア層１３の構成材料は、上記の屈折率差が生じる材料であれば特に限定されないが、具体的には、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂のような各種樹脂材料の他、石英ガラス、ホウケイ酸ガラスのようなガラス材料等である。
【００６４】
また、これらの中でも特にノルボルネン系樹脂が好ましい。これらのノルボルネン系ポリマーは、例えば、開環メタセシス重合（ＲＯＭＰ）、ＲＯＭＰと水素化反応との組み合わせ、ラジカルまたはカチオンによる重合、カチオン性パラジウム重合開始剤を用いた重合、これ以外の重合開始剤（例えば、ニッケルや他の遷移金属の重合開始剤）を用いた重合等、公知のすべての重合方法で得ることができる。
【００６５】
一方、各クラッド層１１、１２は、それぞれ、コア層１３の下部および上部に位置している。このような各クラッド層１１、１２は、各側面クラッド部１５とともに、コア部１４の外周を囲むクラッド部を構成し、これにより光導波路１は信号光を漏出させることなく伝搬させることができる導光路として機能する。
【００６６】
クラッド層１１、１２の平均厚さは、コア層１３の平均厚さ（各コア部１４の平均高さ）の０．１〜１．５倍程度であるのが好ましく、０．２〜１．２５倍程度であるのがより好ましく、具体的には、クラッド層１１、１２の平均厚さは、特に限定されないが、それぞれ、通常、１〜２００μｍ程度であるのが好ましく、３〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、５〜６０μｍ程度であるのがさらに好ましい。これにより、光導波路１が必要以上に大型化（厚膜化）するのを防止しつつ、クラッド層としての機能が好適に発揮される。
【００６７】
なお、クラッド層１２の厚さを適宜設定することにより、レンズ１００の焦点がミラー１６近傍に合うよう調整することができる。
【００６８】
また、各クラッド層１１、１２の構成材料としては、例えば、前述したコア層１３の構成材料と同様の材料を用いることができるが、特にノルボルネン系ポリマーが好ましい。
【００６９】
また、コア層１３の構成材料およびクラッド層１１、１２の構成材料を選択する場合、両者の間の屈折率差を考慮して材料を選択すればよい。具体的には、コア層１３とクラッド層１１、１２との境界において光を確実に全反射させるため、コア層１３の構成材料の屈折率がクラッド層１１、１２の屈折率に比べ十分に大きくなるように材料を選択すればよい。これにより、光導波路１の厚さ方向において十分な屈折率差が得られ、コア部１４からクラッド層１１、１２に光が漏れ出るのを抑制することができる。
【００７０】
なお、光の減衰を抑制する観点からは、コア層１３の構成材料とクラッド層１１、１２の構成材料との密着性（親和性）が高いことも重要である。
【００７１】
また、前述したように、光導波路１の途中には、ミラー１６が設けられている（図２参照）。このミラー１６は、光導波路１の途中に掘り込み加工を施し、これにより得られた空間（空洞）の内壁面で構成される。この内壁面の一部は、コア部１４を斜め４５°に横切る平面であり、この平面がミラー１６となる。ミラー１６を介して、光導波路１と発光部３１とが光学的に接続されている。
【００７２】
なお、ミラー１６には、必要に応じて反射膜を成膜するようにしてもよい。この反射膜としては、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ等の金属膜が好ましく用いられる。
【００７３】
また、クラッド層１２の上面には、上面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズ１００が形成されている。なお、このレンズ１００については後に詳述する。
【００７４】
なお、光導波路１は、さらに、クラッド層１１の下面に設けられた支持フィルムおよびクラッド層１２の上面に設けられたカバーフィルムを有していてもよい。このうち、カバーフィルムを設ける場合には、レンズ１００の形成領域以外に設けるようにする。
【００７５】
このような支持フィルムおよびカバーフィルムの構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド等の各種樹脂材料等が挙げられる。
【００７６】
また、支持フィルムおよびカバーフィルムの各平均厚さは、特に限定されないが、５〜２００μｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００μｍ程度であるのがより好ましい。
【００７７】
なお、支持フィルムとクラッド層１１との間、および、カバーフィルムとクラッド層１２との間は、接着または接合されているが、その方法としては、熱圧着、接着剤または粘着剤による接着等が挙げられる。
【００７８】
このうち、接着層としては、例えば、アクリル系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤の他、各種ホットメルト接着剤（ポリエステル系、変性オレフィン系）等が挙げられる。また、特に耐熱性の高いものとして、ポリイミド、ポリイミドアミド、ポリイミドアミドエーテル、ポリエステルイミド、ポリイミドエーテル等の熱可塑性ポリイミド接着剤が好ましく用いられる。
【００７９】
また、接着層の平均厚さは、特に限定されないが、１〜１００μｍ程度であるのが好ましく、５〜６０μｍ程度であるのがより好ましい。
【００８０】
（発光素子）
発光素子３は、前述したように、下面に発光部３１と電極３２とを有するものであるが、具体的には、面発光レーザー（ＶＣＳＥＬ）のような半導体レーザーや、発光ダイオード（ＬＥＤ）等の発光素子である。
【００８１】
一方、図１、２に示す光導波路モジュール１０の回路基板２上には、発光素子３に隣り合うように半導体素子４が搭載されている。半導体素子４は、発光素子３の動作を制御する素子であり、下面には電極４２を有している。かかる半導体素子４としては、例えば、ドライバーＩＣや、トランスインピーダンスアンプ（ＴＩＡ）、リミッティングアンプ（ＬＡ）等を含むコンビネーションＩＣの他、各種ＬＳＩ、ＲＡＭ等が挙げられる。
【００８２】
なお、発光素子３と半導体素子４とは、後述する回路基板２により電気的に接続されており、半導体素子４により発光素子３の発光パターンおよび発光の強弱パターンを制御し得るよう構成されている。
【００８３】
（回路基板）
光導波路１の上方には、回路基板２が設けられており、回路基板２の下面と光導波路１の上面とは接着層５を介して接着されている。
【００８４】
回路基板２は、図２に示すように、絶縁性基板２１と、その下面に設けられた導体層２２と、上面に設けられた導体層２３と、を有している。回路基板２上に搭載された発光素子３と半導体素子４とは、導体層２３を介して電気的に接続されている。
【００８５】
ここで、発光素子３の発光部３１と光導波路１のミラー１６との間は光学的に接続されているため、信号光の光路は、絶縁性基板２１を厚さ方向に貫通することとなる。したがって、絶縁性基板２１は、透光性を有する材料で構成されているのが好ましい。これにより、光路の伝送効率を高めることができる。なお、絶縁性基板２１には、光路に対応する領域に開口するスルーホールを形成するようにしてもよい。
【００８６】
また、絶縁性基板２１は可撓性を有しているのが好ましい。可撓性を有する絶縁性基板２１は、回路基板２と光導波路１との密着性向上に寄与するとともに、形状変化に対する優れた追従性を有するものとなる。その結果、光導波路１が可撓性を有している場合には、光導波路モジュール１０全体も可撓性を有するものとなり、実装性に優れたものとなる。また、光導波路モジュール１０を湾曲させた際には、絶縁性基板２１と導体層２２、２３との剥離や、回路基板２と光導波路１との剥離を確実に防止することができ、剥離に伴う絶縁性の低下や伝送効率の低下を防止する。
【００８７】
絶縁性基板２１のヤング率（引張弾性率）は、一般的な室温環境下（２０〜２５℃前後）で１〜２０ＧＰａ程度であるのが好ましく、２〜１２ＧＰａ程度であるのがより好ましい。ヤング率の範囲がこの程度であれば、絶縁性基板２１は、上述したような効果を得る上で十分な可撓性を有するものとなる。
【００８８】
このような絶縁性基板２１を構成する材料としては、例えば、ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、エポキシ系樹脂、各種ビニル系樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル系樹脂等の各種樹脂材料が挙げられるが、中でもポリイミド系樹脂を主材料とするものが好ましく用いられる。ポリイミド系樹脂は、耐熱性が高く、優れた透光性および可撓性を有していることから、絶縁性基板２１の構成材料として特に好適である。
【００８９】
なお、絶縁性基板２１の具体例としては、ポリエステル銅張フィルム基板、ポリイミド銅張フィルム基板、アラミド銅張フィルム基板等に使用されるフィルム基板が挙げられる。
【００９０】
また、絶縁性基板２１の平均厚さは、５〜５０μｍ程度であるのが好ましく、１０〜４０μｍ程度であるのがより好ましい。このような厚さの絶縁性基板２１であれば、その構成材料によらず、十分な可撓性を有するものとなる。また、絶縁性基板２１の厚さが前記範囲内であれば、光導波路モジュール１０の薄型化が図られるとともに、絶縁性基板２１の透過損失が抑制される。
【００９１】
さらには、絶縁性基板２１の厚さが前記範囲内であれば、信号光の発散によって伝送効率が低下するのを防止することができる。例えば、発光素子３の発光部３１から出射した信号光は、一定の出射角で発散しつつ回路基板２を通過してミラー１６に入射するが、発光部３１とミラー１６との離間距離が大き過ぎる場合、信号光が発散し過ぎてしまい、ミラー１６に到達する光量が減少するおそれがある。これに対し、絶縁性基板２１の平均厚さを前記範囲内とすることにより、発光部３１とミラー１６との離間距離を確実に小さくすることができるため、信号光は広く発散してしまう前にミラー１６に到達する。その結果、ミラー１６に到達する光量の減少を防止し、発光素子３と光導波路１との光結合に伴う損失（光結合損失）を十分に低下させることができる。
【００９２】
なお、絶縁性基板２１は、１枚の基板であってもよいが、複数層の基板を積層してなる多層基板（ビルドアップ基板）であってもよい。この場合、多層基板の層間には、パターニングされた導体層を含み、この導体層には任意の電気回路が形成されていてもよい。これにより、絶縁性基板２１中に高密度の電気回路を構築することができる。
【００９３】
また、絶縁性基板２１には、厚さ方向に貫通する１つまたは複数の貫通孔が設けられていてもよく、これらの貫通孔には導電性材料が充填されているか、または、貫通孔の内壁面に沿って導電性材料の被膜が成膜されていてもよい。この導電性材料は、絶縁性基板２１の両面の間を電気的に接続する貫通ビアとなる。
【００９４】
また、絶縁性基板２１に設けられた導体層２２および導体層２３は、それぞれ導電性材料で構成されている。各導体層２２、２３には、所定のパターンが形成されており、このパターンは配線として機能する。絶縁性基板２１に貫通ビアが形成されている場合、貫通ビアと各導体層２２、２３とが接続され、これにより、導体層２２と導体層２３とが一部で導通する。
【００９５】
各導体層２２、２３に用いられる導電性材料としては、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、ニッケル（Ｎｉ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）等の各種金属材料が挙げられる。
【００９６】
また、各導体層２２、２３の平均厚さは、配線に要求される導電率等に応じて適宜設定されるものの、例えば１〜３０μｍ程度とされる。
【００９７】
また、各導体層２２、２３に形成される配線パターンの幅も、配線に要求される導電率や各導体層２２、２３の厚さ等に応じて適宜設定されるものの、例えば２〜１０００μｍ程度であるのが好ましく、５〜５００μｍ程度であるのがより好ましい。
【００９８】
なお、このような配線パターンは、例えば、一旦全面に形成された導体層をパターニングする（例えば、銅張基板の銅箔を部分的にエッチングする）方法、別途用意した基板上にあらかじめパターニングされた導体層を転写する方法等により形成される。
【００９９】
また、図３に示す各導体層２２、２３は、発光素子３の発光部３１とミラー１６との間の光路に干渉しないよう設けられた開口部２２１、２３１を有している。その結果、開口部２２１には導体層２２の厚さに相当する高さの空隙２２２が、開口部２３１には導体層２３の厚さに相当する高さの空隙２３２がそれぞれ生じている。
【０１００】
また、発光素子３や半導体素子４と導体層２３との間は、各種ハンダ、各種ろう材等により電気的かつ機械的に接続される。
【０１０１】
ハンダおよびろう材としては、例えば、Ｓｎ−Ｐｂ系の鉛ハンダの他、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系、Ｓｎ−Ｚｎ−Ｂｉ系、Ｓｎ−Ｃｕ系、Ｓｎ−Ａｇ−Ｉｎ−Ｂｉ系、Ｓｎ−Ｚｎ−Ａｌ系の各種鉛フリーハンダ、ＪＩＳに規定された各種低温ろう材等が挙げられる。
【０１０２】
なお、発光素子３や半導体素子４としては、例えばＢＧＡ(Ball Grid Array)タイプやＬＧＡ(Land Grid Array)タイプ等のパッケージ仕様の素子が用いられる。
【０１０３】
また、導体層２３とハンダ（またはろう材）とが接触することにより、導体層２３を構成する金属成分の一部がハンダ側に溶解する現象が生じるおそれがある。この現象は、特に銅製の導体層２３に対して生じる場合が多いことから「銅食われ」と呼ばれている。銅食われが発生すると、導体層２３が薄くなったり、欠損したりする等の不具合を招き、導体層２３の機能を損なうおそれがある。
【０１０４】
そこで、ハンダと接する導体層２３の表面には、あらかじめ、ハンダの下地として銅食われ防止膜（下地層）を形成しておくのが好ましい。この銅食われ防止膜の形成により、銅食われが防止され、導体層２３の機能を長期にわたって維持することができる。
【０１０５】
銅食われ防止膜の構成材料としては、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、スズ（Ｓｎ）、パラジウム（Ｐｄ）等が挙げられ、銅食われ防止膜は、これらの金属組成１種からなる単層であってもよく、２種以上を含む複合層（例えば、Ｎｉ−Ａｕ複合層、Ｎｉ−Ｓｎ複合層等）であってもよい。
【０１０６】
銅食われ防止膜の平均厚さは、特に限定されないが、０．０５〜５μｍ程度であるのが好ましく、０．１〜３μｍ程度であるのがより好ましい。これにより、銅食われ防止膜そのものの電気抵抗を抑制しつつ、十分な銅食われ防止作用を発現させることができる。
【０１０７】
なお、発光素子３や半導体素子４と導体層２３との電気的接続は、上述したような接続方法の他、ワイヤーボンディング、異方性導電フィルム（ＡＤＦ）、異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等を用いた製造方法で行われてもよい。
【０１０８】
このうち、ワイヤーボンディングによれば、発光素子３や半導体素子４と回路基板２との間で熱膨張差が生じたとしても、柔軟性の高いボンディングワイヤーによって熱膨張差を吸収することができるので、接続部に対する応力集中が防止される。
【０１０９】
また、発光素子３と導体層２３との隙間および発光素子３の側方には、発光素子３を囲うように封止材６１が配置されている。これにより、導体層２３に開口部２３１を形成したことによる空隙２３２にも封止材６１が充填される。
【０１１０】
一方、半導体素子４と導体層２３との隙間および半導体素子４の側方には、封止材６２が充填されている。
【０１１１】
このような封止材６１、６２は、発光素子３および半導体素子４の耐候性（耐熱性、耐湿性、気圧変化等）を高めるとともに、振動、外力、異物付着等から発光素子３および半導体素子４を確実に保護することができる。
【０１１２】
封止材６１、６２としては、例えば、エポキシ系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、シリコーン系樹脂等が挙げられる。
【０１１３】
また、回路基板２と光導波路１との間は接着層５により接着されているが、接着層５を構成する接着剤としては、例えば、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤の他、各種ホットメルト接着剤（ポリエステル系、変性オレフィン系）等が挙げられる。また、特に耐熱性の高いものとして、ポリイミド、ポリイミドアミド、ポリイミドアミドエーテル、ポリエステルイミド、ポリイミドエーテル等の熱可塑性ポリイミド接着剤が挙げられる。
【０１１４】
なお、図３に示す接着層５は、発光素子３の発光部３１とミラー１６とを繋ぐ光路を避けるように設けられている。すなわち、接着層５には、上記光路に対応した位置に設けられた開口部５１が形成されている。この開口部５１により、上記光路と接着層５との干渉が防止されている。
【０１１５】
以上のような光導波路モジュール１０では、発光素子３の発光部３１から出射した信号光が、空隙２３２に充填された封止材６１、絶縁性基板２１、空隙２２２、および開口部５１を通過して、光導波路１に入射される。
【０１１６】
なお、光導波路モジュール１０は、光導波路１の他方の端部にも、回路基板２を有していてもよく、他の光学部品との接続を担うコネクター等を有していてもよい。
【０１１７】
図４は、図２に示す光導波路モジュールの他の構成例を示す縦断面図である。
図４（ａ）に示す光導波路モジュール１０では、光導波路１の他方の端部（図２、４の右側の端部）の上面にも回路基板２が設けられている。また、この回路基板２上には、受光素子７と半導体素子４とが搭載されている。また、光導波路１には、受光素子７の受光部７１の位置に対応してミラー１６が形成されている。
【０１１８】
このような光導波路モジュール１０では、光導波路１からミラー１６を介して出射した信号光が、受光素子７の受光部７１に到達すると、光信号から電気信号への変換がなされる。このようにして光導波路１の両端部間における光通信が行われる。
【０１１９】
一方、図４（ｂ）に示す光導波路モジュール１０では、光導波路１の他方の端部に、他の光学部品との接続を担うコネクター２０が設けられている。コネクター２０としては、光ファイバーとの接続に用いられるＰＭＴコネクター等が挙げられる。コネクター２０を介して光導波路モジュール１０を光ファイバーに接続することで、より長距離の光通信が可能になる。
【０１２０】
なお、図４では、光導波路１の一方の端部と他方の端部とで１対１の光通信を行う場合について説明したが、光導波路１の他方の端部には、光路を複数に分岐することができる光スプリッターを接続するようにしてもよい。
【０１２１】
（レンズ）
ここで、光導波路１の表面（クラッド層１２の上面）のうち、ミラー１６と発光部３１とを繋ぐ光路が通過する部位には、前述したように、表面を局所的に突出または凹没させてなるレンズ１００が形成されている。すなわち、本発明の光導波路は、その表面に形成されたレンズを有するものである。
【０１２２】
このようなレンズ１００がない場合、発光部３１から出射した信号光が光導波路１に入射するまでの間で、信号光が発散し、ミラー１６の有効領域からはみ出てしまう信号光が発生する。このとき、はみ出た信号光は損失となり、ミラー１６で反射される信号光の光量が少なくなるため、光通信のＳ／Ｎ比が低下してしまう。
【０１２３】
これに対し、レンズ１００を設けることにより、光導波路１の表面に信号光の収束（収斂）機能が付与される。その結果、より多くの信号光をミラー１６に入射させることにより信号光の損失の発生が抑制され、光通信のＳ／Ｎ比を高めることができる。そして、信頼性が高く高品質な光通信を提供し得る光導波路１および光導波路モジュール１０が得られる。
【０１２４】
図５は、図１に示す光導波路モジュールのうち、光導波路の部分拡大図である。なお、以下の説明では、図５中の上側を「上」、下側を「下」という。
【０１２５】
図５に示すレンズ１００では、光導波路１の平滑な表面を局所的に凹没させてなる凹部１０１が形成されている。そして、凹部１０１で取り囲まれることにより、局所的に突出してなる凸部１０２が形成されている。
【０１２６】
レンズ１００は、発光部３１からの出射光を収束させる収束レンズであれば、いかなる形状のレンズであってもよいが、好ましくは図５、６に示すようなフレネルレンズが用いられる。
【０１２７】
フレネルレンズは、一般的な凸型の湾曲面を有する凸レンズについて、湾曲面を複数に分割し、分割後の断片の厚さを薄くして組み合わせてなるレンズである。したがって、一般的な凸レンズと同等の焦点距離であっても、レンズの厚さを薄くすることができるため、光導波路１の表面に形成するレンズとして好適である。
【０１２８】
また、フレネルレンズには、図５（ａ）のような、凸型の湾曲面を有する凸レンズを同心円状に分割したものであってもよいが、図５（ｂ）のような、直線状の頂上部を有し、この頂上部から離れるにつれて面の高さが徐々に低下する湾曲面を有する凸レンズを、頂上部に平行な複数の直線で分割したものであってもよい。このようなフレネルレンズも、薄いにもかかわらず、分割前の凸レンズと同等の収束作用をもたらす。
【０１２９】
図６は、図５に示すレンズのＢ−Ｂ線断面図である。
図５（ａ）に示すレンズのＢ−Ｂ線断面図は、図６に示すレンズ１００のように、中央部に設けられた略球面または非球面をなす凸型湾曲面１００ａと、凸型湾曲面１００ａを囲うように幾重にも設けられた輪帯状の三角プリズム１００ｂと、を有している。なお、これらの凸型湾曲面１００ａおよび三角プリズム１００ｂは、いずれもクラッド層１２の上面１２ａの高さより低い位置にある。すなわち、レンズ１００では、クラッド層１２の上面１２ａを局所的に凹没させ、様々な断面形状を有する凹部１０１を作り込むとともに、凹没させていない部分に凸部１０２を生じさせている。そして、凹部１０１と凸部１０２との組み合わせにより、凸型湾曲面１００ａと三角プリズム１００ｂとが構築されている。このように凸型湾曲面１００ａの外側に三角プリズム１００ｂを設けることにより、レンズ１００に入射する信号光の光軸がずれた場合でも、確実な収束が可能になる。したがって、光軸のずれ量に応じて、より外側の領域にも三角プリズム１００ｂを拡張するようにすれば、レンズ１００や発光素子３の位置ズレの許容範囲を広げることができ、実装容易性が高くなる。
【０１３０】
なお、非球面をなす凸型湾曲面１００ａとしては、例えば六次関数回転体、放物線回転体等が挙げられる。
【０１３１】
一方、図５（ｂ）に示すレンズのＢ−Ｂ線断面図も、図６のレンズ１００のように示されるが、凸型湾曲面１００ａは図６の紙面の厚さ方向に延伸する凸状をなしており、三角プリズム１００ｂも図６の紙面の厚さ方向に延伸する帯状をなしている点で、図５（ａ）に示すレンズと異なっている。
【０１３２】
ここで、図６に示すレンズ１００の幅（長さ）のうち、三角プリズム１００ｂが占める長さの割合は、１０〜９０％程度であるのが好ましく、３０〜８０％程度であるのがより好ましい。これにより、レンズ１００は、より薄型化が図られるとともに、優れた収束性を有するものとなる。
【０１３３】
また、三角プリズム１００ｂの幅は、特に限定されないが、発光素子３から出射される信号光の波長より長いのが好ましく、具体的には１μｍ以上であるのが好ましく、３〜３００μｍ程度であるのがより好ましい。これにより、レンズ１００の収束性（焦点の一致性）をより高めることができる。
【０１３４】
なお、三角プリズム１００ｂにおける凸部１０２同士の間隔（凹部１０１同士の間隔）は、レンズ１００全体で一定であってもよいが、好ましくはレンズ１００の外側に向かうほど徐々に狭くなるのが好ましい。これにより、レンズ１００の収束性をより高めることができる。
【０１３５】
また、凹部１０１の深さ（凸部１０２の高さ）については、特に限定されないが、発光素子３から出射される信号光の波長より長いのが好ましく、具体的には１μｍ以上であるのが好ましく、３〜３００μｍ程度であるのがより好ましい。これにより、レンズ１００の収束性（焦点の一致性）をより高めることができる。
【０１３６】
なお、レンズ１００の平面視形状は、同心円状または直線状に限らず、例えば、楕円形、長円形のような円形状、三角形、四角形、五角形、六角形のような多角形等であってもよい。
【０１３７】
一方、三角プリズム１００ｂの形状は、上面が凸側湾曲面であるのが好ましいが、平滑面であってもよい。
【０１３８】
また、レンズ１００は、その収束光がミラー１６の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている。これにより、レンズ１００は、ミラー１６に入射する信号光の光結合損失を確実に抑えることができる。
【０１３９】
なお、レンズ１００の焦点距離は、例えば、凸型湾曲面１００ａの曲率半径や、三角プリズム１００ｂの形状等を適宜設定することにより調整することができる。
【０１４０】
また、それとともに、レンズ１００を形成するクラッド層１２の厚さを適宜設定することによっても、レンズ１００の収束光をミラー１６の有効領域内に導くことができる。
【０１４１】
一方、レンズ１００は、その焦点が発光素子３の発光部３１近傍に位置するよう構成されている。このような構成のレンズ１００は、発光素子３の発光部３１から放射状に出射した信号光を、平行光または収束光に変換し、それ以上発散しないように光路変換することができる。その結果、信号光の発散に伴う損失を確実に抑制することができる。
【０１４２】
また、レンズ１００は、図４（ａ）に示す受光素子７側にも設けられている。すなわち、図４（ａ）に示すクラッド層１２の上面にもレンズ１００が形成されている（レンズ１００は図示せず）。図４（ａ）において光導波路１中を伝搬してきた信号光は、ミラー１６により上方に反射され、クラッド層１２の上面に形成されたレンズ１００に入射する。そして、レンズ１００により収束され、レンズ１００の焦点近傍に位置する受光部７１において集光する。その結果、受光部７１に入射する信号光の光量を増加させることができ、光通信のＳ／Ｎ比が高められる。
【０１４３】
なお、上述した発光素子３側のレンズ１００における特徴等は、受光素子７側のレンズ１００にも全て適用可能である。
【０１４４】
図７は、図６に示すレンズの他の構成例である。
図７（ａ）に示すレンズ１００は、凸型湾曲面１００ａを平滑面１００ｃとした以外は、図６に示すレンズ１００と同様である。このようなレンズ１００は、形状を簡略化することができるので、製造が容易である。しかも、平滑面１００ｃについては、突出または凹没させる等の加工を施す必要がないので、クラッド層１２において加工時に応力が発生するおそれがなくなる。これにより、平滑面１００ｃを通過する信号光の光路に悪影響を及ぼすのを防止することができる。また、平滑面１００ｃが設けられる中央部は、入射する信号光が平滑面１００ｃに対してほぼ直角の入射角で入射する領域である。したがって、平滑面１００ｃにおける信号光の反射確率は必然的に低くなるため、中央部に平滑面１００ｃを設けたとしても、反射に伴う損失が増大するのを防止することができる。さらに、発光素子３からの信号光の強度は、通常、ビームの中心部が弱く、周辺部が強くなっている。このため、図７（ａ）に示すレンズ１００であれば、平滑面１００ｃの外側に三角プリズム１００ｂを配置した簡単な構造であるにもかかわらず、高強度の信号光を集光させることができるので、全体的に十分な集光効果が得られる。
【０１４５】
図７（ｂ）に示すレンズ１００は、凸型湾曲面１００ａを微小な凹凸パターン１００ｄとした以外は、図６に示すレンズ１００と同様である。このような凹凸パターン１００ｄを設けることにより、光導波路１の表面に光の反射防止機能が付与される。その結果、光導波路１に入射する信号光の減衰が抑制され、光通信のＳ／Ｎ比を高めることができる。
【０１４６】
凹凸パターン１００ｄは、クラッド層１２の上面を局所的に突出させた凸部１０２または局所的に凹没させた凹部１０１を一定の間隔で複数個配置してなるパターンである。
【０１４７】
このような凹凸パターン１００ｄがない場合、空隙２２２とクラッド層１２の上面との界面において、信号光の反射が生じ、反射した分が光結合における損失となる。その結果、信号光が減衰し、光通信のＳ／Ｎ比が低下してしまう。
【０１４８】
これに対し、凹凸パターン１００ｄを設けることにより、光導波路１の表面に光の反射防止機能が付与され、入射する信号光の減衰が抑制されるのである。
【０１４９】
図８は、図７（ｂ）に示す凹凸パターンの部分拡大図（斜視図）である。
図８に示す凹凸パターン１００ｄでは、光導波路１の平滑な表面を局所的に凹没させ、一定の間隔で分布した複数個の凹部１０１が形成されている。
【０１５０】
凹部１０１の分布パターンは、不規則的であってもよいが、一定の間隔で規則的に分布したパターンであるのが好ましい。これにより、凹凸パターン１００ｄによる反射防止機能がより確実なものとなり、かつ、凹凸パターン１００ｄ全体で反射防止機能が均一になる。
【０１５１】
具体的な分布パターンとしては、例えば、四方格子状パターン、六方格子状パターン、八方格子状パターン、放射状パターン、同心円状パターン、螺旋状パターン等が挙げられる。
【０１５２】
また、隣り合う凹部１０１同士の配置周期（凹部１０１の中心間の距離）Ｐは、発光素子３から出射される信号光の波長以下であるのが好ましい。これにより、凹凸パターン１００ｄでは、信号光の回折現象がほとんど生じなくなり、回折に伴う損失の発生を防止することができる。そして、光学的には、凹凸パターン１００ｄ付近の空間の屈折率を、空隙２２２の屈折率とクラッド層１２の屈折率との中間の値としてみなすことができるようになり、凹凸パターン１００ｄに入射する信号光は、このみなし屈折率に応じて振る舞うこととなる。すなわち、凹凸パターン１００ｄ付近の空間によって空隙２２２とクラッド層１２の界面の屈折率差が緩和されることとなり、入射効率が格段に向上する。その結果、反射に伴う光結合損失の増大を抑制することができる。
【０１５３】
また、隣り合う凹部１０１同士の間隔（凹部１０１の中心間の距離）が一定でない場合も、同様の理由から、その間隔は信号光の波長以下であるのが好ましい。
【０１５４】
なお、発光素子３から出射される信号光の波長は、一般的に１５０〜１６００ｎｍ程度であるので、それに応じて凹部１０１同士の間隔の上限が設定される。具体的には、１６００ｎｍであり、１５００ｎｍが好ましく、さらに１３００ｎｍがより好ましい。
【０１５５】
一方、凹部１０１同士の間隔の下限は、特に限定されないが、凹部１０１の形成容易性や長期信頼性等の観点から２０ｎｍ程度とされる。
【０１５６】
また、凹部１０１同士の間隔のうち、凹部１０１が占める距離の割合（占有率）は、１０〜９０％程度であるのが好ましく、２０〜８０％程度であるのがより好ましく、３０〜７０％程度であるのがさらに好ましい。これにより、凹凸パターン１００ｄによる反射防止機能がより確実なものとなる。
【０１５７】
一方、凹部１０１の深さＤは、発光素子３から出射される信号光の波長以下であるのが好ましい。これにより、凹凸パターン１００ｄでは、信号光の回折現象がほとんど生じなくなり、回折に伴う損失の発生を防止することができる。そして、光学的には、凹凸パターン１００ｄ付近の空間の屈折率を、空隙２２２の屈折率とクラッド層１２の屈折率との中間の値としてみなすことができるようになり、凹凸パターン１００ｄに入射する信号光は、このみなし屈折率に応じて振る舞うこととなる。すなわち、凹凸パターン１００ｄ付近の空間によって空隙２２２とクラッド層１２の界面の屈折率差が緩和されることとなり、入射効率が格段に向上する。その結果、反射に伴う光結合損失の増大を抑制することができる。
【０１５８】
なお、発光素子３から出射される信号光の波長は、一般的に１５０〜１６００ｎｍ程度であるので、それに応じて凹部１０１の深さの上限が設定される。具体的には、６４００ｎｍであり、３２００ｎｍが好ましく、さらに１６００ｎｍがより好ましい。
【０１５９】
一方、凹部１０１の深さＤの下限は、特に限定されないが、凹部１０１の形成容易性や長期信頼性等の観点から２０ｎｍ程度とされる。
【０１６０】
また、凹部１０１同士の配置周期Ｐや凹部１０１の深さＤが、発光素子３から出射される信号光の波長以下でない場合でも、前述した反射防止機能がもたらされる。この場合、入射効率の向上はそれほど期待できないが、信号光は凹凸パターン１００ｄにより散乱されるため、発光素子３側への反射が抑制される。その結果、反射光が照射されることに伴い発光素子３の発光安定性が損なわれるのを防止することができる。
【０１６１】
図８に示す各凹部１０１の形状は、それぞれ開口の平面視形状が四角形であり、深さ方向にその四角形が維持された形状になっている。すなわち、各凹部１０１は、それぞれ四角柱状をなしている。
ここで、図９は、凹部または凸部の形状の一例を示す斜視図である。
【０１６２】
凹凸パターン１００ｄを構成する各凹部１０１の形状は、図８に示す形状に限定されず、例えば、角柱状、角錐状（図９（ａ）参照）、角錐台形状（図９（ｂ）参照）、円柱状（図９（ｃ）参照）、円錐状（図９（ｄ）参照）、円錐台形状（図９（ｅ）参照）、半球状、楕円半球状、長円半球状、凹状（凸状）、二次曲線回転体、四次曲線回転体、六次曲線回転体、正規分布曲線回転体、三角関数曲線回転体、その他、任意の曲線の回転体等の形状であってもよい。さらに、これらの２種以上が混在したものであってもよい。
【０１６３】
なお、上述したような形状には、その形状に準じた形状も含まれる。準じた形状とは、例えば、各形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、各形状同士を合成した形状等が挙げられる。
【０１６４】
また、上述した各形状のうち、各凹部１０１の形状は、柱状、錐状および半球状のいずれか、またはこれらに準じた形状であるのが好ましい。このような形状の凹部１０１を有する凹凸パターン１００ｄは、光導波路１に対して優れた反射防止機能を付与することができる。また、光導波路１の上面に対して斜めに入射する信号光に対しても、等方的な反射防止機能が発揮されることから、入射角依存が少ない。
【０１６５】
なお、凹部１０１の形状として上記に例示した種々の形状は、いずれも、凹部にも凸部にもなり得る。また、図９に示す形状は、天地反転した形状であってもよい。
【０１６６】
一方、各凹部１０１の形状は、凹状（線状の溝）であるのが好ましい（図９（ｆ）参照）。このような形状の凹部１０１を有する凹凸パターン１００ｄは、光導波路１に対してとりわけ優れた反射防止機能を付与することができる。また、凸部の場合は、凸状（線状の凸部）であってもよい。
【０１６７】
図７（ｃ）に示すレンズ１００は、全体が凸型湾曲面１００ａで構成されている以外、図６に示すレンズ１００と同様である。このようなレンズ１００は、若干厚さが厚くなるものの、優れた収束性を有するものとなる。
【０１６８】
なお、図７（ａ）、図７（ｂ）に示す各三角プリズム１００ｂ、および図７（ｃ）に示す凸型湾曲面１００ａについて、その表面に前述した凹凸パターン１００ｄを設けるようにしてもよい。換言すれば、図７に示す各レンズ１００について、その全表面に凹凸パターン１００ｄを設けるようにしてもよい。これにより、反射による信号光の損失が抑制され、光導波路１に対する信号光の入射効率がさらに向上する。
【０１６９】
また、凸型湾曲面１００ａは、その一部（例えば中央部）が平滑面になっていてもよい。
【０１７０】
≪第２実施形態≫
次に、本発明の光導波路モジュールの第２実施形態について説明する。
【０１７１】
図１０は、本発明の光導波路モジュールの第２実施形態を示す縦断面図である。
【０１７２】
以下、第２実施形態について説明するが、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図１０において、第１実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１７３】
図１０に示す光導波路モジュール１０は、回路基板２および封止材６１の構成が異なる以外は、第１実施形態と同様である。
【０１７４】
図１０に示す回路基板２では、導体層２２、２３に設けられた開口部２２１、２３１に対応して、絶縁性基板２１にも、絶縁性基板２１を貫通する開口部２１１が形成されている。これにより、発光素子３の発光部３１とミラー１６とを繋ぐ光路が絶縁性基板２１と干渉するのを防止して、光結合効率をより高めることができる。
【０１７５】
なお、開口部２１１の内径は、発光素子３から出射される信号光の出射角やミラー１６の有効面積に応じて適宜設定される。また、導体層２２、２３に設けられた開口部２２１、２３１および接着層５に設けられた開口部５１についても同様である。
【０１７６】
また、図１０に示す光導波路モジュール１０では、封止材６１についても、発光部３１とミラー１６とを繋ぐ光路を避けるよう、発光部３１の直下を囲うように設けられている。これにより、光路と封止材６１とが干渉するのを防止して、光結合効率をさらに高めることができる。
【０１７７】
したがって、図１０に示す光導波路モジュール１０では、発光素子３の下面から光導波路１の上面に至るまで、導体層２３、絶縁性基板２１、導体層２２、および接着層５を貫通する開口部１０Ｌが形成されている。このような開口部１０Ｌを設けることにより、発光部３１と光導波路１とを繋ぐ光路と干渉するものがなくなるので、光結合効率が特に高くなるのである。
【０１７８】
なお、本実施形態に係る絶縁性基板２１は、第１実施形態で説明した可撓性基板以外に、比較的剛性の高い剛性基板であってもよい。
【０１７９】
このような絶縁性基板２１は、耐屈曲性が高くなり、屈曲に伴う発光素子３の損傷を防止する。
【０１８０】
絶縁性基板２１のヤング率（引張弾性率）は、一般的な室温環境下（２０〜２５℃前後）で５〜５０ＧＰａ程度であるのが好ましく、１２〜３０ＧＰａ程度であるのがより好ましい。ヤング率の範囲がこの程度であれば、絶縁性基板２１は、上述したような効果をより確実に発揮することができる。
【０１８１】
このような絶縁性基板２１を構成する材料としては、例えば、紙、ガラス布、樹脂フィルム等を基材とし、この基材に、フェノール系樹脂、ポリエステル系樹脂、エポキシ系樹脂、シアネート樹脂、ポリイミド系樹脂、フッ素系樹脂等の樹脂材料を含浸させたものが挙げられる。
【０１８２】
具体的には、ガラス布・エポキシ銅張積層板、ガラス不織布・エポキシ銅張積層板等のコンポジット銅張積層板に使用される絶縁性基板の他、ポリエーテルイミド樹脂基板、ポリエーテルケトン樹脂基板、ポリサルフォン系樹脂基板等の耐熱・熱可塑性の有機系リジッド基板や、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケイ素基板等のセラミックス系リジッド基板等が挙げられる。
【０１８３】
また、絶縁性基板２１が上述したような材料で構成される場合、その平均厚さは、好ましくは３００μｍ〜３ｍｍ程度、より好ましくは５００μｍ〜２．５ｍｍ程度とされる。
【０１８４】
≪第３実施形態≫
次に、本発明の光導波路モジュールの第３実施形態について説明する。
【０１８５】
図１１は、本発明の光導波路モジュールの第３実施形態を示す縦断面図である。
以下、第３実施形態について説明するが、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図１１において、第１実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１８６】
図１１（ａ）に示す光導波路モジュール１０は、空隙２２２に突出するように、絶縁性基板２１の下面に設けられた、レンズ１００とは別の集光レンズ８を有している以外、第１実施形態と同様である。この集光レンズ８により、発光素子３から出射した信号光がより確実に集光され、光結合効率をさらに高めることができる。
【０１８７】
なお、集光レンズ８の焦点距離については、収束光がミラー１６の有効領域内に照射されるよう、レンズ１００の焦点距離を考慮して設定されている。これにより、有効領域外に照射される信号光がほとんどなくなり、光結合効率を確実に高めることができる。
【０１８８】
また、集光レンズ８の焦点距離を設定する他、集光レンズ８とミラー１６との離間距離を調整することで、ミラー１６に対する収束光の照射光量を高めることもできる。集光レンズ８とミラー１６との離間距離を調整するには、接着層５の厚さやクラッド層１２の厚さを調整すればよい。
【０１８９】
集光レンズ８の形状は、特に限定されないが、例えば、平凸レンズ、両凸レンズ、凸メニスカスレンズ、フレネルレンズのような凸レンズが挙げられる。また、凸レンズと凹レンズとを組み合わせた複合レンズであってもよい。
【０１９０】
また、集光レンズ８の構成材料は、透光性材料であればよく、例えば、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、サファイア、蛍石のような無機材料、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、カーボネート系樹脂、オレフィン系樹脂、アクリル系樹脂のような有機材料等が挙げられる。
【０１９１】
一方、図１１（ｂ）に示す光導波路モジュール１０は、開口部１０Ｌに突出するように、発光素子３の下面に設けられた集光レンズ８を有している以外、第２実施形態と同様である。この集光レンズ８により、発光素子３から出射した信号光が集光され、光結合効率を高めることができる。
【０１９２】
≪第４実施形態≫
次に、本発明の光導波路モジュールの第４実施形態について説明する。
【０１９３】
図１２は、本発明の光導波路モジュールの第４実施形態を示す図であって、光導波路のみを取り出し、天地反転させた斜視図（一部透過して示す）である。なお、図１２では、コア層１３中のコア部１４に密なドットを、側面クラッド部１５に疎なドットを、それぞれ付している。
【０１９４】
以下、第４実施形態について説明するが、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図１２において、第１実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１９５】
第４実施形態は、コア層１３中のコア部１４と側面クラッド部１５との形状が異なるとともに、ミラー１６の形成位置が側面クラッド部１５を横切るように形成されている以外、第１実施形態と同様である。
【０１９６】
図１２（ａ）に示す光導波路１は、第１実施形態に係る光導波路１である。
この光導波路１では、ミラー１６が光導波路１を厚さ方向に一部貫通するように形成されたＶ字状をなす空間１６０の側面の一部で構成されている。この側面は、平面状であり、かつ、コア部１４の軸線に対して４５°傾斜している。
【０１９７】
図１２（ａ）に示すミラー１６には、クラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２の各加工面が露出しており、ミラー１６のほぼ中心部には、コア部１４の加工面が位置し、その左右には側面クラッド部１５の加工面が位置している。
【０１９８】
一方、図１２（ｂ）に示す光導波路１は、第４実施形態（本実施形態）に係る光導波路１である。
【０１９９】
図１２（ｂ）に示す光導波路１では、その一方の端部において、コア部１４が光導波路１の端面まで到達せず、途中で途切れている。そして、コア部１４が途切れた箇所から端面までは、側面クラッド部１５が設けられている。なお、このコア部１４が途切れた部分を、コア部欠損部１７とする。
【０２００】
図１２（ｂ）では、ミラー１６がこのコア部欠損部１７中に形成されている。コア部欠損部１７に形成されたミラー１６は、コア部１４の光軸の延長線上に位置しているため、ミラー１６で反射した信号光は、コア部１４の光軸の延長線に沿って伝搬し、コア部１４中に入射する。
【０２０１】
ところで、図１２（ｂ）に示すミラー１６には、クラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２の各加工面が露出しているが、このうち、コア層１３の加工面には、側面クラッド部１５の加工面のみが露出することとなる。このようなミラー１６は、コア層１３の加工面が単一材料（側面クラッド部１５の構成材料）のみで構成されているため、均一な平滑性を有するものとなる。これは、空間１６０を加工する際、コア層１３については単一材料を加工することになるので、加工レートが均一になるからである。しかも、コア層１３の上下に位置するクラッド層１１、１２は、クラッド材料で構成されているため、側面クラッド部１５の構成材料と加工レートが近くなる。その結果、ミラー１６の面全体で加工レートが均一になり、ミラー１６は優れた反射特性を有し、ミラー損失の少ないものとなる。
【０２０２】
以上のことから、本実施形態に係る光導波路モジュール１０は、光結合効率が特に高いものとなる。
【０２０３】
＜光導波路モジュールの製造方法＞
次に、上述したような光導波路モジュールを製造する方法の一例について説明する。
【０２０４】
図１に示す光導波路モジュール１０は、光導波路１、回路基板２、発光素子３および半導体素子４を用意し、これらを実装することで製造される。
【０２０５】
このうち、回路基板２は、絶縁性基板２１の両面を覆うように導体層を形成した後、不要部分を除去（パターニング）し、配線パターンを含む導体層２２、２３を残存させることで形成される。
【０２０６】
導体層の製造方法としては、例えば、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤ、レーザーＣＶＤのような化学蒸着法、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の物理蒸着法、電解めっき、無電解めっき等のめっき法、溶射法、ゾル・ゲル法、ＭＯＤ法等が挙げられる。
【０２０７】
また、導体層のパターニング方法としては、例えばフォトリソグラフィー法とエッチング法とを組み合わせた方法が挙げられる。
【０２０８】
このようにして形成された回路基板２と用意した光導波路１とを接着層５により接着・固定する。
【０２０９】
次いで、回路基板２上に発光素子３および半導体素子４を搭載する。これにより、導体層２３と、発光素子３の電極３２および半導体素子４の電極４２とが電気的に接続される。
【０２１０】
この電気的接続は、例えば、ハンダやろう材を、バンプやボールの形態で、あるいはハンダペースト（ろう材ペースト）の形態で供給し、加熱によって溶融・固化させることで行われる。
【０２１１】
その後、封止材６１、６２を供給し、封止する。
以上のようにして光導波路モジュール１０が得られる。
【０２１２】
＜光導波路の製造方法＞
ここで、光導波路の製造方法（本発明の光導波路の第１製造方法）について説明する。
【０２１３】
光導波路１は、下方からクラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２をこの順で積層してなる積層体（母材）と、この積層体の一部を除去することで形成されたミラー１６と、クラッド層１２の上面に形成されたレンズ１００と、を有している。
【０２１４】
≪第１の製造方法≫
まず、光導波路１の第１の製造方法について説明する。
【０２１５】
図１３は、図２に示す光導波路を製造する第１の方法を説明するための模式図（縦断面図）である。
【０２１６】
以下、第１の製造方法を、［１］積層体１’を形成する工程、［２］レンズ１００を形成する工程、［３］ミラー１６を形成する工程、に分けて説明する。
【０２１７】
［１］図１３（ａ）に示す積層体（母材）１’は、クラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２を順次成膜して形成する方法、あるいは、クラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２をあらかじめ基材上に成膜した後、それぞれを基板から剥離して貼り合わせる方法等により製造される。
【０２１８】
クラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２の各層は、それぞれ形成用の組成物を基材上に塗布して液状被膜を形成した後、液状被膜を均一化するとともに揮発成分を除去することにより形成される。
【０２１９】
塗布方法としては、例えば、ドクターブレード法、スピンコート法、ディッピング法、テーブルコート法、スプレー法、アプリケーター法、カーテンコート法、ダイコート法等の方法が挙げられる。
【０２２０】
また、液状被膜中の揮発成分を除去するには、液状被膜を加熱したり、減圧下に置いたり、あるいは乾燥ガスを吹き付けたりする方法が用いられる。
【０２２１】
なお、各層の形成用組成物としては、例えば、クラッド層１１、コア層１３またはクラッド層１２の構成材料を各種溶媒に溶解または分散してなる溶液（分散液）が挙げられる。
【０２２２】
ここで、コア層１３中にコア部１４と側面クラッド部１５とを形成する方法としては、例えば、フォトブリーチング法、フォトリソグラフィー法、直接露光法、ナノインプリンティング法、モノマーディフュージョン法等が挙げられる。これらの方法はいずれも、コア層１３の一部領域の屈折率を変化させる、あるいは、一部領域の組成を異ならせることにより、相対的に屈折率の高いコア部１４と相対的に屈折率の低い側面クラッド部１５とを作り込むことができる。
【０２２３】
［２］次に、積層体１’の表面（クラッド層１２の上面）にレンズ１００を形成する。
具体的には、形成すべきレンズ１００に対応した成形型１１０を用意する。そして、図１３（ｂ）に示すように、成形型１１０を積層体１’の表面に押圧する。これにより、成形型１１０の型が積層体１’に転写され、成形型１１０を離型することによりレンズ１００が形成される（図１３（ｃ））。
【０２２４】
この際、成形型１１０は、加熱された状態で押圧され、その状態を維持しつつ、今度は成形型１１０を冷却する。これにより、積層体１’の形状の転写性を高めるとともに、転写後の保形性も高めることができ、寸法精度の高いレンズ１００を形成することができる。
【０２２５】
この場合、成形型１１０の加熱温度は、クラッド層１２の構成材料の軟化点より高いのが好ましく、成形型１１０の冷却温度は、クラッド層１２の構成材料の軟化点より低いのが好ましい。これにより、形状の転写性をより高めることができる。
【０２２６】
なお、成形型１１０を押圧すると、クラッド層１２の構成材料が軟化し、軟化した材料は成形型１１０の型に沿って変形する。この際、型の形状によっては、表面が凹没したり、表面から突出したりする変形が生じ、凹部や凸部が形成される。
【０２２７】
成形型１１０としては、例えば、金属製、シリコン製、樹脂製、ガラス製、セラミックス製の型が用いられ、成形面には離型剤を塗布しておくのが好ましい。
【０２２８】
また、成形型１１０の型は、例えば、レーザー加工法、電子ビーム加工法、フォトリソグラフィー法等の方法により形成することができる。
なお、成形型１１０は、マスター型（原型）を複製したものであってもよい。
【０２２９】
［３］次いで、積層体１’に対してクラッド層１１の下面側から一部を除去する掘り込み加工を施す。これにより得られた空間（空洞）の内壁面がミラー１６となる。
【０２３０】
積層体１’に対する掘り込み加工は、例えば、レーザー加工法、ダイシングソーによるダイシング加工法等により行うことができる。
【０２３１】
以上のようにして、積層体（母材）１’およびそれに形成されたミラー１６が得られる。これにより、光導波路１が得られる。
【０２３２】
≪光導波路の第２の製造方法≫
次に、光導波路１の第２の製造方法について説明する。
【０２３３】
図１４は、図２に示す光導波路を製造する第２の方法を説明するための模式図（縦断面図）である。
【０２３４】
以下、第２の製造方法を、［１］クラッド層１１（第１クラッド層）を形成する工程、［２］コア層１３を形成する工程、［３］レンズ１００を形成しつつクラッド層１２（第２クラッド層）を形成する工程、［４］ミラー１６を形成する工程、に分けて説明する。
【０２３５】
［１］まず、第１の製造方法と同様にしてクラッド層１１を形成する。
［２］次に、第１の製造方法と同様にしてクラッド層１１上にコア層１３を形成する（図１４（ａ））。
【０２３６】
［３］次に、コア層１３上に、クラッド層１２の形成用組成物を塗布して液状被膜１２１を形成する。
【０２３７】
次いで、成形型１１０を液状被膜１２１に押圧する（図１４（ｂ））。そして、この状態で、液状被膜１２１を硬化（本硬化）させる。これにより、液状被膜１２１が硬化し、クラッド層１２が形成され、積層体１’が得られる。また、クラッド層１２の上面には、成形型１１０の型が転写され、成形型１１０を離型することによりレンズ１００が形成される（図１４（ｃ））。
【０２３８】
このような方法であれば、液状被膜１２１に対して成形型１１０の型が転写されるので、良好な転写性が得られる。その結果、とりわけ寸法精度の高いレンズ１００を形成することができる。
【０２３９】
液状被膜１２１の硬化は、クラッド層１２の形成用組成物の組成に応じて異なるものの、熱硬化方法、光硬化方法等により行われる。
【０２４０】
また、成形型１１０を押圧する前に、液状被膜１２１を半硬化の状態（ドライフィルム）とし、このドライフィルムに対して成形型１１０を押圧するようにしてもよい。これにより、成形性と離型性とをより高めることができる。なお、ドライフィルムは、液状被膜１２１中の溶媒の一部を除去してなるものであり、硬化物に比べて柔軟性および可塑性に富んでいる。
【０２４１】
［４］次いで、第１の製造方法と同様にして積層体１’にミラー１６を形成する。これにより、光導波路１が得られる。
【０２４２】
≪光導波路の第３の製造方法≫
次に、光導波路１の第３の製造方法について説明する。
【０２４３】
図１５は、図２に示す光導波路を製造する第３の方法を説明するための模式図（縦断面図）である。
【０２４４】
以下、第３の製造方法を、［１］成形型上にクラッド層１２（第２クラッド層）を形成する工程、［２］クラッド層１２上にコア層１３を形成する工程、［３］コア層１３上にクラッド層１１を形成する工程、［４］ミラー１６を形成する工程、に分けて説明する。
【０２４５】
［１］まず、成形型１１０の成形面を上に向けて配置する。そして、成形型１１０上にクラッド層１２の形成用組成物を塗布して液状被膜１２１を形成する（図１５（ａ））。
【０２４６】
次いで、この状態で、液状被膜１２１を硬化（本硬化）させる。これにより、液状被膜１２１が硬化し、クラッド層１２が形成される。また、クラッド層１２の下面には、成形型１１０の型が転写される（図１５（ｂ））。
【０２４７】
このような方法であれば、液状被膜１２１に対して成形型１１０の型が転写されるので、良好な転写性が得られる。その結果、とりわけ寸法精度の高いレンズ１００を形成することができる。
【０２４８】
液状被膜１２１の硬化は、クラッド層１２の形成用組成物の組成に応じて異なるものの、熱硬化方法、光硬化方法等により行われる。
【０２４９】
［２］次に、第１の製造方法と同様にしてクラッド層１２上にコア層１３を形成する。
［３］次に、第１の製造方法と同様にしてコア層１３上にクラッド層１１を形成する（図１５（ｃ））。そして、クラッド層１２から成形型１１０を剥離する。
【０２５０】
［４］次いで、第１の製造方法と同様にして積層体１’にミラー１６を形成する。これにより、光導波路１が得られる。
【０２５１】
以下、さらなる光導波路モジュール、その製造方法などについて説明する。
＜光導波路モジュール＞
≪第５実施形態≫
まず、本発明の光導波路モジュールの第５実施形態について説明する。
【０２５２】
図１は、本発明の光導波路モジュールの第５実施形態を示す斜視図、図１６は、図１のＡ−Ａ線断面図、図１７は、図１６の部分拡大図である。なお、以下の説明では、図１６および１７の上側を「上」、下側を「下」という。また、各図では、厚さ方向を強調して描いている。
【０２５３】
図１に示す光導波路モジュール１０は、光導波路１と、その上方に設けられた回路基板２と、回路基板２上に搭載された発光素子３（光素子）と、を有している。
【０２５４】
光導波路１は、長尺の帯状をなしており、回路基板２および発光素子３は、光導波路１の一方の端部（図１６の左側の端部）に設けられている。
【０２５５】
発光素子３は、電気信号を光信号に変換し、発光部３１から光信号を出射して光導波路１に入射させる素子である。図１６に示す発光素子３は、その下面に設けられた発光部３１と、発光部３１に通電する電極３２とを有している。発光部３１は、図１６の下方に向けて光信号を出射する。なお、図１６に示す矢印は、発光素子３から出射した信号光の光路の例である。
【０２５６】
一方、光導波路１のうち、発光素子３の位置に対応してミラー（光路変換部）１６が設けられている。このミラー１６は、図１６の左右方向に延伸する光導波路１の光路を、光導波路１の外部へと変換するものであり、図１６では、発光素子３の発光部３１と光学的に接続されるよう、光路を９０°変換する。このようなミラー１６を介することにより、発光素子３から出射した信号光を光導波路１に入射させることができる。また、図示しないものの、光導波路１の他方の端部には、受光素子が設けられる。この受光素子も光導波路１と光学的に接続されており、光導波路１に入射された信号光は受光素子に到達する。その結果、光導波路モジュール１０において光通信が可能になる。
【０２５７】
ここで、光導波路１の表面上の、ミラー１６と発光部３１とを繋ぐ光路が通過する部位には、表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズ１００を備える構造体９が配置されている（図１７参照）。この構造体９に設けられたレンズ１００は、発光部３１から光導波路１に入射する信号光を収束されることにより、信号光の発散を抑制し、ミラー１６の有効領域に対してより多くの信号光を到達させるよう構成されている。したがって、このようなレンズ１００を設けることにより、発光素子３と光導波路１との光結合効率が向上する。
【０２５８】
以下、光導波路モジュール１０の各部について詳述する。
（光導波路）
上記第１実施形態と同様に構成された光導波路を使用できる。
なお、ミラー１６は、例えばコア部１４の光軸を９０°曲げる屈曲導波路等の光路変換手段で代替することもできる。
【０２５９】
ただし、本実施形態における光導波路モジュールは、第１〜第４実施形態では具備するレンズ１００の代わりに、構造体９がクラッド層１２の上面に載置されている。なお、この構造体９については後に詳述する。
【０２６０】
なお、光導波路１は、クラッド層１１の下面に設けられた支持フィルムおよびクラッド層１２の上面に設けられたカバーフィルムを有していてもよい。
【０２６１】
このような支持フィルムおよびカバーフィルムとしては、上記第１実施形態で使用したものと同様のフィルムを使用できる。
また、支持フィルムとクラッド層１１との間、および、カバーフィルムとクラッド層１２との間は、接着または接合されている。その接着方法および使用される接着剤も、上記第１実施形態と同じ方法および同じものを使用できる。
【０２６２】
なお、カバーフィルムを設けた場合には、構造体９は、カバーフィルム上に載置されることとなる。
【０２６３】
（発光素子および回路基板）
上記第１実施形態で使用したものと同様の発光素子および回路基板を使用することができる。
なお、図１７に示す接着層５は、発光素子３の発光部３１とミラー１６とを繋ぐ光路を避けるように設けられている。すなわち、接着層５には、上記光路に対応した位置に設けられた開口部５１が形成されている。この開口部５１により、上記光路と接着層５との干渉が防止されている。
【０２６４】
以上のような光導波路モジュール１０では、発光素子３の発光部３１から出射した信号光が、空隙２３２に充填された封止材６１、絶縁性基板２１、空隙２２２および開口部５１を通過して、光導波路１に入射される。
【０２６５】
なお、光導波路モジュール１０は、光導波路１の他方の端部にも、回路基板２を有していてもよく、他の光学部品との接続を担うコネクター等を有していてもよい。
【０２６６】
図１８は、図１６に示す光導波路モジュールの他の構成例を示す縦断面図である。
図１８（ａ）に示す光導波路モジュール１０では、光導波路１の他方の端部（図１６および１８の右側の端部）の上面にも回路基板２が設けられている。また、この回路基板２上には、受光素子７と半導体素子４とが搭載されている。また、光導波路１には、受光素子７の受光部７１の位置に対応してミラー１６が形成されている。
【０２６７】
このような光導波路モジュール１０では、光導波路１からミラー１６を介して出射した信号光が、受光素子７の受光部７１に到達すると、光信号から電気信号への変換がなされる。このようにして光導波路１の両端部間における光通信が行われる。
【０２６８】
一方、図１８（ｂ）に示す光導波路モジュール１０では、光導波路１の他方の端部に、他の光学部品との接続を担うコネクター２０が設けられている。コネクター２０としては、光ファイバーとの接続に用いられるＰＭＴコネクター等が挙げられる。コネクター２０を介して光導波路モジュール１０を光ファイバーに接続することで、より長距離の光通信が可能になる。
【０２６９】
なお、図１８では、光導波路１の一方の端部と他方の端部とで１対１の光通信を行う場合について説明したが、光導波路１の他方の端部には、光路を複数に分岐することができる光スプリッターを接続するようにしてもよい。
【０２７０】
（構造体）
ここで、光導波路１の表面（クラッド層１２の上面）上のうち、ミラー１６と発光部３１とを繋ぐ光路が通過する部位（開口部５１内および空隙２２２内）には、前述したように、表面を局所的に突出または凹没させてなるレンズ１００が形成された構造体９が載置されている。
【０２７１】
このような構造体９がない場合、発光部３１から出射した信号光が光導波路１に入射するまでの間で、信号光が発散し、ミラー１６の有効領域からはみ出てしまう信号光が発生する。このとき、はみ出た信号光は損失となり、ミラー１６で反射される信号光の光量が少なくなるため、光信号のＳ／Ｎ比が低下してしまう。
【０２７２】
これに対し、構造体９を設けることにより、光導波路１の表面に信号光の収束（収斂）機能が付与される。その結果、より多くの信号光をミラー１６に入射させることにより信号光の損失の発生が抑制され、光通信のＳ／Ｎ比を高めることができる。そして、信頼性が高く高品質な光通信を提供し得る光導波路１および光導波路モジュール１０が得られる。
【０２７３】
図１９は、図１に示す光導波路モジュール１０のうち、構造体９を取り出して示す部分拡大図である。なお、以下の説明では、図１９中の上側を「上」、下側を「下」という。
【０２７４】
図１９に示す構造体９では、上面にレンズ１００が形成されているが、このレンズ１００は、構造体９の平滑な表面を局所的に凹没させてなる凹部１０１を有している。そして、凹部１０１で取り囲まれることにより、局所的に突出してなる凸部１０２が形成されている。
【０２７５】
レンズ１００は、発光部３１からの出射光を収束させる収束レンズであれば、いかなる形状のレンズであってもよいが、好ましくは図１９および２０に示すようなフレネルレンズが用いられる。
【０２７６】
フレネルレンズは、一般的な凸型の湾曲面を有する凸レンズについて、湾曲面を複数に分割し、分割後の断片の厚さを薄くして組み合わせてなるレンズである。したがって、一般的な凸レンズと同等の焦点距離であっても、レンズの厚さを薄くすることができるため、構造体９の表面に形成するレンズとして好適である。
【０２７７】
また、フレネルレンズには、図１９（ａ）のような、凸型の湾曲面を有する凸レンズを同心円状に分割したものであってもよいが、図１９（ｂ）のような、直線状の頂上部を有し、この頂上部から離れるにつれて面の高さが徐々に低下する湾曲面を有する凸レンズを、頂上部に平行な複数の直線で分割したものであってもよい。このようなフレネルレンズも、薄いにもかかわらず、分割前の凸レンズと同等の収束作用をもたらす。
【０２７８】
図２０は、図１９に示すレンズのＢ−Ｂ線断面図である。
図２０に示すように、図１９（ａ）のレンズ１００は、中央部に設けられた略球面または非球面をなす凸型湾曲面１００ａと、凸型湾曲面１００ａを囲うように幾重にも設けられた輪帯状の三角プリズム１００ｂと、を有している。
なお、これらの凸型湾曲面１００ａおよび三角プリズム１００ｂは、いずれも構造体９の上面９ａの高さより低い位置にある。すなわち、レンズ１００では、構造体９の上面９ａを局所的に凹没させ、様々な断面形状を有する凹部１０１を作り込むとともに、凹没させていない部分に凸部１０２を生じさせている。そして、凹部１０１と凸部１０２との組み合わせにより、凸型湾曲面１００ａと三角プリズム１００ｂとが構築されている。このように凸型湾曲面１００ａの外側に三角プリズム１００ｂを設けることにより、レンズ１００に入射する信号光の光軸がずれた場合でも、確実な収束が可能になる。したがって、光軸のずれ量に応じて、より外側の領域にも三角プリズム１００ｂを拡張するようにすれば、構造体９や発光素子３の位置ズレの許容範囲を広げることができ、実装容易性が高くなる。
【０２７９】
なお、非球面をなす凸型湾曲面１００ａとしては、例えば六次関数回転体、放物線回転体等が挙げられる。
【０２８０】
一方、図１９（ｂ）に示すレンズのＢ−Ｂ線断面図も、図２０のレンズ１００のように示される。しかしながら、凸型湾曲面１００ａは図２０の紙面の厚さ方向に延伸する凸状をなしており、三角プリズム１００ｂも図２０の紙面の厚さ方向に延伸する帯状をなしている点で、図１９（ａ）に示すレンズと異なっている。
【０２８１】
ここで、図２０に示すレンズ１００の幅（長さ）のうち、三角プリズム１００ｂが占める長さの割合は、１０〜９０％程度であるのが好ましく、３０〜８０％程度であるのがより好ましい。これにより、レンズ１００は、より薄型化が図られるとともに、優れた収束性を有するものとなる。
【０２８２】
また、三角プリズム１００ｂの幅は、特に限定されないが、上記図６を参照して説明したレンズ１００と同様の範囲が好ましい。
【０２８３】
なお、三角プリズム１００ｂにおける凸部１０２同士の間隔（凹部１０１同士の間隔）は、レンズ１００全体で一定であってもよいが、好ましくはレンズ１００の外側に向かうほど徐々に狭くなるのが好ましい。これにより、レンズ１００の収束性をより高めることができる。
【０２８４】
また、凹部１０１の深さ（凸部１０２の高さ）についても、特に限定されないが、上記図６を参照して説明したレンズ１００と同様の範囲が好ましい。
【０２８５】
なお、レンズ１００の平面視形状は、同心円状または直線状に限らず、例えば、楕円形、長円形のような円形状、三角形、四角形、五角形、六角形のような多角形等であってもよい。
【０２８６】
一方、三角プリズム１００ｂの形状は、上面が凸側湾曲面であるのが好ましいが、平滑面であってもよい。
【０２８７】
また、レンズ１００は、その収束光がミラー１６の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている。これにより、レンズ１００は、ミラー１６に入射する信号光の光結合損失を確実に抑えることができる。
【０２８８】
なお、レンズ１００の焦点距離は、例えば、凸型湾曲面１００ａの曲率半径や、三角プリズム１００ｂの形状等を適宜設定することにより調整することができる。
【０２８９】
また、それとともに、クラッド層１２の厚さを適宜設定することによっても、レンズ１００の収束光をミラー１６の有効領域内に導くことができる。
【０２９０】
一方、レンズ１００は、その焦点が発光素子３の発光部３１近傍に位置するよう構成されている。このような構成のレンズ１００は、発光素子３の発光部３１から放射状に出射した信号光を、平行光または収束光に変換し、それ以上発散しないように光路変換することができる。その結果、信号光の発散に伴う損失を確実に抑制することができる。
【０２９１】
図２１は、図２０に示すレンズの他の構成例である。
図２１（ａ）に示すレンズ１００は、凸型湾曲面１００ａを平滑面１００ｃとした以外は、図２０に示すレンズ１００と同様である。このようなレンズ１００は、形状を簡略化することができるので、製造が容易である。しかも、平滑面１００ｃについては、突出または凹没させる等の加工を施す必要がないので、構造体９において加工時に応力が発生するおそれがなくなる。これにより、平滑面１００ｃを通過する信号光の光路に悪影響を及ぼすのを防止することができる。また、平滑面１００ｃが設けられる中央部は、入射する信号光が平滑面１００ｃに対してほぼ直角の入射角で入射する領域である。したがって、平滑面１００ｃにおける信号光の反射確率は必然的に低くなるため、中央部に平滑面１００ｃを設けたとしても、反射に伴う損失が増大するのを防止することができる。さらに、発光素子３からの信号光の強度は、通常、ビームの中心部が弱く、周辺部が強くなっている。このため、図２１（ａ）に示すレンズ１００であれば、平滑面１００ｃの外側に三角プリズム１００ｂを配置した簡単な構造であるにもかかわらず、高強度の信号光を集光させることができるので、全体的に十分な集光効果が得られる。
【０２９２】
図２１（ｂ）に示すレンズ１００は、凸型湾曲面１００ａを微小な凹凸パターン１００ｄとした以外は、図２０に示すレンズ１００と同様である。このような凹凸パターン１００ｄを設けることにより、光導波路１の表面に光の反射防止機能が付与される。その結果、光導波路１に入射する信号光の減衰が抑制され、光通信のＳ／Ｎ比を高めることができる。
【０２９３】
凹凸パターン１００ｄは、クラッド層１２の上面を局所的に突出させた凸部１０２または局所的に凹没させた凹部１０１を一定の間隔で複数個配置してなるパターンである。
【０２９４】
このような凹凸パターン１００ｄがない場合、空隙２２２とクラッド層１２の上面との界面において、信号光の反射が生じ、反射した分が光結合における損失となる。その結果、信号光が減衰し、光通信のＳ／Ｎ比が低下してしまう。
【０２９５】
これに対し、凹凸パターン１００ｄを設けることにより、光導波路１の表面に光の反射防止機能が付与され、入射する信号光の減衰が抑制されるのである。
【０２９６】
図２２は、図２１（ｂ）に示す凹凸パターンの部分拡大図（斜視図）である。
図２２に示す凹凸パターン１００ｄでは、光導波路１の平滑な表面を局所的に凹没させ、一定の間隔で分布した複数個の凹部１０１が形成されている。
【０２９７】
凹部１０１の分布パターンは、上記第１実施形態で採用した分布パターンと同様のパターンを採用することができる。これにより、凹凸パターン１００ｄによる反射防止機能がより確実なものとなり、かつ、凹凸パターン１００ｄ全体で反射防止機能が均一になる。
【０２９８】
図２２に示す各凹部１０１の形状は、それぞれ開口の平面視形状が四角形であり、深さ方向にその四角形が維持された形状になっている。すなわち、各凹部１０１は、それぞれ四角柱状をなしている。
【０２９９】
ここで、図２３は、凹部または凸部の形状の一例を示す斜視図である。図２３に示すように、凹部または凸部の形状としては、図９を参照して説明した、上記第１実施形態における形状と同様の形状を採用することができる。
【０３００】
なお、上記第１実施形態と同様に、凹部１０１の形状として上記に例示した種々の形状は、いずれも、凹部にも凸部にもなり得るし、図２３に示す形状は天地反転した形状であってもよい。
【０３０１】
このような構造体９の形状は、特に限定されないが、例えば、板状体（層状体を含む）、ブロック体等が挙げられる。
【０３０２】
このうち、構造体９の形状は、板状体であるのが好ましい。これにより、構造体９は、光導波路１の表面や回路基板２に対する密着性の高いものとなり、界面における光結合損失を抑制し得るものとなる。
【０３０３】
なお、板状体である構造体９の平面視形状としては、特に限定されず、真円、楕円、長円等の円形、三角形、四角形、五角形、六角形等の多角形等が挙げられる。
【０３０４】
また、板状体である構造体９の平均厚さは、構成材料に応じて適宜設定されるものの、好ましくは１０〜３００μｍ程度、より好ましくは２０〜２００μｍ程度とされる。構造体９の平均厚さを前記範囲内とすることにより、構造体９の光透過性を著しく損なうことなく、そしてレンズ１００を形成したとしても十分な機械的強度を有する構造体９が得られる。
【０３０５】
構造体９の構成材料としては、光透過性を有する材料であればよく、例えば、コア層１３と同様の材料を使用できる。
【０３０６】
また、図１６では、構造体９に発光素子３の発光部３１から出射した信号光が入射する。この場合、構造体９の屈折率は、光導波路１のクラッド層１２の屈折率と同程度であるか、または大きいのが好ましい。これにより、発光素子３の発光部３１から出射した信号光が構造体９に入射した後、その信号光を効率よく光導波路１に入射させることができる。その結果、光導波路１と発光素子３との光結合効率をより高めることができる。
【０３０７】
なお、構造体９の屈折率は、構造体９全体で均一でなくてもよく、例えば構造体９が板状体である場合、その厚さ方向に沿って屈折率が段階的または連続的に変化するような屈折率分布が形成されていてもよい。具体的には、空隙２２２中の空気の屈折率と光導波路１の屈折率とを段階的または連続的に繋ぐような屈折率変化を伴う屈折率分布が好ましい。このような屈折率分布を有する構造体９は、光結合効率を特に高め得るものとなる。
【０３０８】
このような屈折率分布を有する構造体９は、例えば、屈折率が徐々に異なる材料を用い、これらを屈折率分布に応じて順次積層するようにして形成することができる。
【０３０９】
また、構造体９は、光導波路１に対して密着していればよいが、この密着手段は特に限定されない。例えば、構造体９と光導波路１とは固着または融着していてもよく、接着剤、接着シート等を介して接着されていてもよい。この場合、接着剤としては、前述のようなものを用いることができる。
【０３１０】
また、構造体９の上面は、回路基板２の下面および光導波路１の上面に対して平行であるのが好ましい。これにより、光結合効率をより高めることができる。
【０３１１】
なお、このような構造体９は、受光素子側に設けるようにしてもよい。図１８（ａ）には、受光素子７側に構造体９を設けた場合を示している。図１８（ａ）の受光素子７側に設けられた構造体９は、回路基板２の下面に載置されており、構造体９の下面にレンズ１００（図示せず）が形成されている。このため、光導波路１を伝搬し、ミラー１６で反射された信号光が回路基板２に入射する際、構造体９によって回路基板２の下面における反射を防止する機能が付与される。したがって、構造体９を備えることで、光導波路１への入射側のみならず、出射側における光結合損失をも抑制することができ、信号光の伝搬効率をより高めることができる。
【０３１２】
また、構造体９は、回路基板２の下面でなく、受光部７１に密着するよう、受光素子７の下面に載置されてもよい。
【０３１３】
なお、上述した発光素子３側の構造体９における特徴等は、受光素子７側の構造体９にも全て適用可能である。例えば、構造体９は、受光素子７側の回路基板２の下面のみでなく、受光素子７側の光導波路１の上面や受光素子７の下面等に設けられてもよい。
【０３１４】
≪第６実施形態≫
次に、本発明の光導波路モジュールの第６実施形態について説明する。
【０３１５】
図２４は、本発明の光導波路モジュールの第６実施形態を示す縦断面図である。
以下、第６実施形態について説明するが、第５実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図２４において、第５実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０３１６】
図２４に示す光導波路モジュール１０は、回路基板２および封止材６１の構成が異なる以外は、第５実施形態と同様である。
【０３１７】
図２４に示す回路基板２では、導体層２２、２３に設けられた開口部２２１、２３１に対応して、絶縁性基板２１にも、絶縁性基板２１を貫通する開口部２１１が形成されている。これにより、発光素子３の発光部３１とミラー１６とを繋ぐ光路が絶縁性基板２１と干渉するのを防止して、光結合効率をより高めることができる。
【０３１８】
なお、開口部２１１の内径は、発光素子３から出射される信号光の出射角やミラー１６の有効面積に応じて適宜設定される。また、導体層２２、２３に設けられた開口部２２１、２３１および接着層５に設けられた開口部５１についても同様である。
【０３１９】
また、図２４に示す光導波路モジュール１０では、封止材６１についても、発光部３１とミラー１６とを繋ぐ光路を避けるよう、発光部３１の直下を囲うように設けられている。これにより、光路と封止材６１とが干渉するのを防止して、光結合効率をさらに高めることができる。
【０３２０】
したがって、図２４に示す光導波路モジュール１０では、発光素子３の下面から構造体９の上面に至るまで、導体層２３、絶縁性基板２１、導体層２２、および接着層５を貫通する開口部１０Ｌが形成されている。このような開口部１０Ｌを設けることにより、発光部３１と構造体９とを繋ぐ光路と干渉するものがなくなるので、光結合効率が特に高くなるのである。
【０３２１】
なお、本実施形態に係る絶縁性基板２１は、第５実施形態で説明した可撓性基板以外に、比較的剛性の高い剛性基板であってもよい。
【０３２２】
このような絶縁性基板２１は、耐屈曲性が高くなり、屈曲に伴う発光素子３の損傷を防止する。
【０３２３】
絶縁性基板２１のヤング率（引張弾性率）は、一般的な室温環境下（２０〜２５℃前後）で５〜５０ＧＰａ程度であるのが好ましく、１２〜３０ＧＰａ程度であるのがより好ましい。ヤング率の範囲がこの程度であれば、絶縁性基板２１は、上述したような効果をより確実に発揮することができる。
【０３２４】
このような絶縁性基板２１を構成する材料としては、例えば、紙、ガラス布、樹脂フィルム等を基材とし、この基材に、フェノール系樹脂、ポリエステル系樹脂、エポキシ系樹脂、シアネート樹脂、ポリイミド系樹脂、フッ素系樹脂等の樹脂材料を含浸させたものが挙げられる。
【０３２５】
具体的には、ガラス布・エポキシ銅張積層板、ガラス不織布・エポキシ銅張積層板等のコンポジット銅張積層板に使用される絶縁性基板の他、ポリエーテルイミド樹脂基板、ポリエーテルケトン樹脂基板、ポリサルフォン系樹脂基板等の耐熱・熱可塑性の有機系リジッド基板や、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケイ素基板等のセラミックス系リジッド基板等が挙げられる。
【０３２６】
≪第７実施形態≫
次に、本発明の光導波路モジュールの第７実施形態について説明する。
【０３２７】
図２５は、本発明の光導波路モジュールの第７実施形態を示す縦断面図である。
以下、第７実施形態について説明するが、第５実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図２５において、第５実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０３２８】
図２５（ａ）に示す光導波路モジュール１０は、空隙２２２に突出するように、絶縁性基板２１の下面にも構造体９を設けるようにした以外、第５実施形態と同様である。すなわち、図２５に示す光導波路モジュール１０は、２つの構造体９を有している。これらの構造体９により、焦点距離を特に短くすることができるので、発光素子３と光導波路１との距離が短い場合でも、発光素子３から出射した信号光を確実に収束させることができる。その結果、光結合効率を高めつつ、光導波路モジュール１０の薄型化を図ることができる。
【０３２９】
また、絶縁性基板２１の平均厚さは、好ましくは３００μｍ〜３ｍｍ程度、より好ましくは５００μｍ〜２．５ｍｍ程度とされる。
【０３３０】
一方、図２５（ｂ）に示す光導波路モジュール１０は、開口部１０Ｌに突出するように、発光素子３の下面にも構造体９を設けるようにした以外、第６実施形態と同様である。
【０３３１】
なお、図２５において用いられる構造体の数は、特に限定されず、３個以上であってもよい。
【０３３２】
≪第８実施形態≫
次に、本発明の光導波路モジュールの第８実施形態について説明する。
【０３３３】
図１２は、本発明の光導波路モジュールの第８実施形態を示す図であって、光導波路のみを取り出し、天地反転させた斜視図（一部透過して示す）である。なお、図１２では、コア層１３中のコア部１４に密なドットを、側面クラッド部１５に疎なドットを、それぞれ付している。
【０３３４】
第８実施形態は、コア層１３中のコア部１４と側面クラッド部１５の形状が異なるとともに、ミラー１６の形成位置が側面クラッド部１５を横切るように形成されている以外、第５実施形態と同様である。
【０３３５】
つまり、図１２（ａ）に示す光導波路１は、第５実施形態に係る光導波路１である。一方、図１２（ｂ）に示す光導波路１は、第８実施形態（本実施形態）に係る光導波路１である。、
【０３３６】
つまり、上記第４実施形態と同様に、本第８実施形態における光導波路１では、その一方の端部において、コア部１４が光導波路１の端面まで到達せず、途中で途切れている。そして、コア部１４が途切れた箇所から端面までは、側面クラッド部１５が設けられている。なお、このコア部１４が途切れた部分を、コア部欠損部１７とする。
【０３３７】
図１２（ｂ）では、ミラー１６がこのコア部欠損部１７中に形成されている。コア部欠損部１７に形成されたミラー１６は、コア部１４の光軸の延長線上に位置しているため、ミラー１６で反射した信号光は、コア部１４の光軸の延長線に沿って伝搬し、コア部１４中に入射する。
【０３３８】
ところで、図１２（ｂ）に示すミラー１６には、クラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２の各加工面が露出しているが、このうち、コア層１３の加工面には、側面クラッド部１５の加工面のみが露出することとなる。このようなミラー１６は、コア層１３の加工面が単一材料（側面クラッド部１５の構成材料）のみで構成されているため、均一な平滑性を有するものとなる。これは、空間１６０を加工する際、コア層１３については単一材料を加工することになるので、加工レートが均一になるからである。しかも、コア層１３の上下に位置するクラッド層１１、１２は、クラッド材料で構成されているため、側面クラッド部１５の構成材料と加工レートが近くなる。その結果、ミラー１６の面全体で加工レートが均一になり、ミラー１６は優れた反射特性を有し、ミラー損失の少ないものとなる。
【０３３９】
以上のことから、本実施形態に係る光導波路モジュール１０は、光結合効率が特に高いものとなる。
【０３４０】
≪第９実施形態≫
次に、本発明の光導波路モジュールの第９実施形態について説明する。
【０３４１】
図２６は、本発明の光導波路モジュールの第９実施形態を示す縦断面図である。
以下、第９実施形態について説明するが、第５実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図２６において、第５実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０３４２】
図２６（ａ）に示す光導波路モジュール１０は、構造体９、接着層５および封止材６１の構成が異なる以外は、第５実施形態と同様である。
【０３４３】
すなわち、図２６（ａ）に示す接着層５は、開口部５１の形成が省略されている。そして、空隙２２２に突出するよう設けられていた構造体９が省略されるとともに、接着層５は、空隙２２２を充填するよう構成されている。これにより、回路基板２を透過した信号光が光導波路１に入射する際、界面での反射が抑制され、光結合効率の低下が防止される。
【０３４４】
また、図２６（ａ）に示す封止材６１は、発光部３１とミラー１６とを繋ぐ光路を避けるよう、発光部３１の直下を囲うように設けられている。これにより、光路と封止材６１とが干渉するのを防止することができる。封止材６１を上記のようにした結果、導体層２３における空隙２３２および空隙２３２と発光素子３との間隙は、それぞれ空気層となる。
【０３４５】
そして、本実施形態では、この空隙２３２に突出するように、回路基板２の絶縁性基板２１の上面に構造体９が載置されている。これにより、回路基板２に対する信号光の入射効率が高くなり、光結合効率をより高めることができる。
【０３４６】
なお、構造体９は、絶縁性基板２１の上面のみでなく、第５実施形態と同様、光導波路１の上面にも載置されていてもよい。
【０３４７】
図２６（ｂ）に示す光導波路モジュール１０は、構造体９および封止材６１の構成が異なる以外は、第５実施形態と同様である。
【０３４８】
すなわち、図２６（ｂ）に示す封止材６１は、図２６（ａ）と同様、発光部３１とミラー１６とを繋ぐ光路を避けるように設けられている。そして、空隙２３２に突出するように、回路基板２の絶縁性基板２１の上面に構造体９が載置されている。
【０３４９】
さらに、図２６（ｂ）に示す光導波路モジュール１０では、第５実施形態と同様、光導波路１の上面にも構造体９が載置されている。
【０３５０】
よって、図２６（ｂ）に示す光導波路モジュール１０は、第７実施形態と同様、２つの構造体９を有していることとなる。これらの構造体９により、焦点距離を特に短くすることができるので、発光素子３と光導波路１との距離が短い場合でも、発光素子３から出射した信号光を確実に収束させることができる。その結果、光結合効率を高めつつ、光導波路モジュール１０の薄型化を図ることができる。
【０３５１】
なお、図２６では、構造体９に発光素子３の発光部３１から出射した信号光が入射する。この場合、構造体９の屈折率は、絶縁性基板２１の屈折率と同程度であるか、または大きいのが好ましい。これにより、発光素子３の発光部３１から出射した信号光が構造体９に入射した後、その信号光を効率よく光導波路１に入射させることができる。その結果、光導波路１と発光素子３との光結合効率をより高めることができる。
【０３５２】
また、構造体９の屈折率は、構造体９全体で均一でなくてもよく、例えば構造体９が板状体である場合、その厚さ方向に沿って屈折率が段階的または連続的に変化するような屈折率分布が形成されていてもよい。具体的には、空隙２３２中の空気の屈折率と絶縁性基板２１の屈折率とを段階的または連続的に繋ぐような屈折率変化を伴う屈折率分布が好ましい。このような屈折率分布を有する構造体９は、光結合効率を特に高め得るものとなる。
【０３５３】
なお、絶縁性基板２１の平均厚さは、好ましくは３００μｍ〜３ｍｍ程度、より好ましくは５００μｍ〜２．５ｍｍ程度とされる。これにより比較的広い範囲で、構造体９と光導波路１との距離を調整することができる。
【０３５４】
上述の通り、第５〜第９実施形態における光導波路１は、下方からクラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２をこの順で積層してなる積層体（母材）と、この積層体の一部を除去することで形成されたミラー１６と、を有している。
【０３５５】
＜光導波路の製造方法＞
≪光導波路の第４の製造方法≫
以下、第５〜第９実施形態の光導波路モジュールにおける光導波路の製造方法を、［１］積層体を形成する工程、［２］ミラー１６を形成する工程、に分けて説明する。
【０３５６】
［１］積層体（母材）は、クラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２を順次成膜して形成する方法、あるいは、クラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２をあらかじめ基材上に成膜した後、それぞれを基板から剥離して貼り合わせる方法等により製造される。
【０３５７】
クラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２の各層は、それぞれ形成用の組成物を基材上に塗布して液状被膜を形成した後、液状被膜を均一化するとともに揮発成分を除去することにより形成される。
【０３５８】
塗布方法としては、例えば、ドクターブレード法、スピンコート法、ディッピング法、テーブルコート法、スプレー法、アプリケーター法、カーテンコート法、ダイコート法等の方法が挙げられる。
【０３５９】
また、液状被膜中の揮発成分を除去するには、液状被膜を加熱したり、減圧下に置いたり、あるいは乾燥ガスを吹き付けたりする方法が用いられる。
【０３６０】
なお、各層の形成用組成物としては、例えば、クラッド層１１、コア層１３またはクラッド層１２の構成材料を各種溶媒に溶解または分散してなる溶液（分散液）が挙げられる。
【０３６１】
ここで、コア層１３中にコア部１４と側面クラッド部１５とを形成する方法としては、例えば、フォトブリーチング法、フォトリソグラフィー法、直接露光法、ナノインプリンティング法、モノマーディフュージョン法等が挙げられる。これらの方法はいずれも、コア層１３の一部領域の屈折率を変化させる、あるいは、一部領域の組成を異ならせることにより、相対的に屈折率の高いコア部１４と相対的に屈折率の低い側面クラッド部１５とを作り込むことができる。
【０３６２】
［２］次いで、積層体に対してクラッド層１１の下面側から一部を除去する掘り込み加工を施す。これにより得られた空間（空洞）１６０の内壁面がミラー１６となる。
【０３６３】
積層体に対する掘り込み加工は、例えば、レーザー加工法、ダイシングソーによるダイシング加工法等により行うことができる。
以上のようにして、光導波路１が得られる。
【０３６４】
次に、第５〜第９実施形態における光導波路モジュールの製造方法について説明する。
≪光導波路モジュールの第２の製造方法≫
【０３６５】
図２７は、図１６に示す光導波路モジュールを製造する方法を説明するための図（縦断面図）である。
【０３６６】
以下、第２の製造方法を、［１］光導波路１上に構造体９を形成する工程、［２］回路基板２、発光素子３および半導体素子４を実装する工程、に分けて説明する。
【０３６７】
［１］まず、光導波路１を用意し、クラッド層１２の上面に、構造体９の形成用組成物を塗布して液状被膜９１を形成する（図２７（ｂ））。構造体９の形成用組成物としては、例えば、前述した構造体９の構成材料を各種溶媒に溶解または分散してなる溶液（分散液）が挙げられる。
【０３６８】
次いで、成形型１１０を液状被膜９１に押圧する（図２７（ｂ））。そして、この状態で、液状被膜９１を硬化（本硬化）させる。これにより、液状被膜９１が硬化し、構造体９が形成される。それとともに、構造体９の上面には、成形型１１０の型が転写され、その後、成形型１１０を離型することにより構造体９にレンズ１００が形成される（図２７（ｃ））。
【０３６９】
このような方法であれば、液状被膜９１に対して成形型１１０の型が転写されるので、良好な転写性が得られる。その結果、とりわけ寸法精度の高いレンズ１００を形成することができる。
【０３７０】
また、光導波路１の上面に直接構造体９を形成することができるので、光導波路１と構造体９との光学的接続が極めて良好になる。すなわち、光導波路１の上面に液状被膜９１を形成するため、界面に空隙がほとんど形成されず、界面における光損失が確実に抑制される。
【０３７１】
以上のことから、本製造方法によれば、光結合効率の特に高い光導波路モジュール１０を製造することができる。
【０３７２】
液状被膜９１の硬化は、構造体９の形成用組成物の組成に応じて異なるものの、熱硬化方法、光硬化方法等により行われる。
【０３７３】
また、成形型１１０を押圧する前に、液状被膜９１を半硬化の状態（ドライフィルム）とし、このドライフィルムに対して成形型１１０を押圧するようにしてもよい。これにより、成形性と離型性をより高めることができる。なお、ドライフィルムは、液状被膜９１中の溶媒の一部を除去してなるものであり、硬化物に比べて柔軟性および可塑性に富んでいる。
【０３７４】
また、成形型１１０は、加熱された状態で押圧され、押圧後は冷却されるのが好ましい。これにより、成形型１１０の形状の転写性が高められ、転写後のレンズ１００の保形性も高めることができる。その結果、寸法精度の高いレンズ１００が得られる。
【０３７５】
成形型１１０としては、例えば、金属製、シリコン製、樹脂製、ガラス製、セラミックス製の型が用いられ、成形面には離型剤を塗布しておくのが好ましい。
【０３７６】
また、成形型１１０の型は、例えば、レーザー加工法、電子ビーム加工法、フォトリソグラフィー法等の方法により形成することができる。
なお、成形型１１０は、マスター型（原型）を複製したものであってもよい。
【０３７７】
［２］次いで、接着剤を用いて光導波路１上に回路基板２、発光素子３および半導体素子４を用意し、これらを実装することで製造される。
【０３７８】
このうち、回路基板２は、絶縁性基板２１の両面を覆うように導体層を形成した後、不要部分を除去（パターニング）し、配線パターンを含む導体層２２、２３を残存させることで形成される。
【０３７９】
導体層の製造方法としては、例えば、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤ、レーザーＣＶＤのような化学蒸着法、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の物理蒸着法、電解めっき、無電解めっき等のめっき法、溶射法、ゾル・ゲル法、ＭＯＤ法等が挙げられる。
【０３８０】
また、導体層のパターニング方法としては、例えばフォトリソグラフィー法とエッチング法とを組み合わせた方法が挙げられる。
【０３８１】
≪第３の製造方法≫
次に、光導波路モジュールの第３の製造方法について説明する。
【０３８２】
図２８は、他の光導波路モジュールを製造する方法を説明するための図（縦断面図）である。
【０３８３】
以下、第３の製造方法を、［１］回路基板２上の構造体９を形成する工程、［２］光導波路１、発光素子３および半導体素子４を実装する工程、に分けて説明する。
【０３８４】
［１］まず、回路基板２を用意し、絶縁性基板２１の上面の空隙２３２（図２８（ａ））に、構造体９の形成用組成物を塗布して液状被膜９１を形成する（図２８（ｂ））。
【０３８５】
このとき、空隙２３２は側面を導体層２３で囲まれ、底面は絶縁性基板２１で覆われている。このため、液状である構造体９の形成用組成物を貯留し、液状被膜９１を形成することができる。しかも、空隙２３２に前記組成物を貯留することで、液状被膜９１の膜厚を容易に均一化することができるので、最終的に膜厚が均一な構造体９が得られる。その結果、構造体９の光学特性においても均一化を図ることができる。
【０３８６】
次いで、成形型１１０を液状被膜９１に押圧する（図２８（ｃ））。そして、この状態で、液状被膜９１を硬化させる。これにより、液状被膜９１が硬化し、構造体９が形成される。それとともに、構造体９の上面には、成形型１１０の型が転写され、その後、成形型１１０を離型することにより構造体９にレンズ１００が形成される（図２８（ｃ））。
【０３８７】
このような方法であれば、絶縁性基板２１の上面に直接構造体９を形成することができるので、絶縁性基板２１と構造体９との光学的接続が極めて良好になる。すなわち、絶縁性基板２１の上面に液状被膜９１を形成するため、界面に空隙がほとんど形成されず、界面における光損失が確実に抑制される。
【０３８８】
以上のことから、本製造方法によれば、光結合効率の特に高い光導波路モジュール１０を製造することができる。
【０３８９】
［２］次いで、接着剤を用いて光導波路１上に回路基板２を積層する。さらに、回路基板２上に発光素子３および半導体素子４を実装する。これにより、光導波路モジュール１０が得られる。
【０３９０】
＜電子機器＞
本発明の光導波路モジュールを備える電子機器（本発明の電子機器）は、光信号と電気信号の双方の信号処理を行ういかなる電子機器にも適用可能であるが、例えば、ルーター装置、ＷＤＭ装置、携帯電話、ゲーム機、パソコン、テレビ、ホーム・サーバー等の電子機器類への適用が好適である。これらの電子機器では、いずれも、例えばＬＳＩ等の演算装置とＲＡＭ等の記憶装置との間で、大容量のデータを高速に伝送する必要がある。したがって、このような電子機器が本発明の光導波路モジュールを備えることにより、電気配線に特有なノイズ、信号劣化等の不具合が解消されるため、その性能の飛躍的な向上が期待できる。
【０３９１】
さらに、光導波路部分では、電気配線に比べて発熱量が大幅に削減される。このため、基板内の集積度を高めて小型化が図られるとともに、冷却に要する電力を削減することができ、電子機器全体の消費電力を削減することができる。
【０３９２】
以上、本発明の光導波路モジュール、光導波路モジュールの製造方法および電子機器の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば光導波路モジュールを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよく、複数の実施形態同士を組み合わせるようにしてもよい。
【０３９３】
また、光導波路１の上面および下面には、それぞれカバーフィルムが積層されていてもよい。カバーフィルムにより、光導波路１を確実に保護することができる。なお、カバーフィルムとしては、可撓性を有する絶縁性基板と同様のものが用いられる。
【０３９４】
また、前記各実施形態では、光導波路１が有するチャンネル（コア部）数は、１つであるが、本発明の光導波路モジュールでは、チャンネル数が２つ以上であってもよい。この場合、チャンネル数に応じてミラー、構造体、発光素子等の数を設定すればよい。また、発光素子および受光素子については、１つの素子に複数の発光部または複数の受光部を備えたものを用いるようにしてもよい。
【０３９５】
さらに、構造体９は、上述したような方法で形成されたものに限らず、すでに硬化したものを載置したものであってもよい。
【符号の説明】
【０３９６】
１              光導波路
１’            積層体（母材）
１０            光導波路モジュール
１０Ｌ          開口部
１１            クラッド層（第１クラッド層）
１２            クラッド層（第２クラッド層）
１２ａ          上面
１２１          液状被膜
１３            コア層
１４            コア部
１５            側面クラッド部
１６            ミラー
１６０          空間
１７            コア部欠損部
２              回路基板
２０            コネクター
２１            絶縁性基板
２１１          空隙または開口部
２２、２３      導体層
２２１、２３１  開口部
２２２、２３２  空隙
３              発光素子
３１            発光部
３２            電極
４              半導体素子
４２            電極
５              接着層
５１            開口部
６１、６２      封止材
７              受光素子
７１            受光部
８              集光レンズ
９              構造体
９ａ            上面
９１            液状被膜
１００          レンズ
１００ａ        凸型湾曲面
１００ｂ        三角プリズム
１００ｃ        平滑面
１００ｄ        凹凸パターン
１０１          凹部
１０２          凸部
１１０          成形型
【図１】
2012043573.tif 000003
【図２】
2012043573.tif 000004
【図３】
2012043573.tif 000005
【図４】
2012043573.tif 000006
【図５】
2012043573.tif 000007
【図６】
2012043573.tif 000008
【図７】
2012043573.tif 000009
【図８】
2012043573.tif 000010
【図９】
2012043573.tif 000011
【図１０】
2012043573.tif 000012
【図１１】
2012043573.tif 000013
【図１２】
2012043573.tif 000014
【図１３】
2012043573.tif 000015
【図１４】
2012043573.tif 000016
【図１５】
2012043573.tif 000017
【図１６】
2012043573.tif 000018
【図１７】
2012043573.tif 000019
【図１８】
2012043573.tif 000020
【図１９】
2012043573.tif 000021
【図２０】
2012043573.tif 000022
【図２１】
2012043573.tif 000023
【図２２】
2012043573.tif 000024
【図２３】
2012043573.tif 000025
【図２４】
2012043573.tif 000026
【図２５】
2012043573.tif 000027
【図２６】
2012043573.tif 000028
【図２７】
2012043573.tif 000029
【図２８】
2012043573.tif 000030
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月28日(2013.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、
前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有することを特徴とする光導波路。
【請求項２】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズである請求項１に記載の光導波路。
【請求項３】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その収束光が前記光路変換部の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている請求項１または２に記載の光導波路。
【請求項４】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された球面または非球面の凸レンズと、前記凸レンズを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項１ないし３のいずれかに記載の光導波路。
【請求項５】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された平滑面と、前記平滑面を囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項１ないし３のいずれかに記載の光導波路。
【請求項６】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置され、前記クラッド部の表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンと、前記凹凸パターンを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項１ないし３のいずれかに記載の光導波路。
【請求項７】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンを、前記レンズの全体にわたって有している請求項１ないし５のいずれかに記載の光導波路。
【請求項８】
前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である請求項６または７に記載の光導波路。
【請求項９】
前記凹凸パターンにおける前記凹部同士の間隔のうち、前記凹部が占める距離の割合は１０〜９０％である請求項６ないし８のいずれかに記載の光導波路。
【請求項１０】
前記凹凸パターンにおける前記凹部の深さは、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である請求項６ないし９のいずれかに記載の光導波路。
【請求項１１】
前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである請求項６ないし１０のいずれかに記載の光導波路。
【請求項１２】
前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である請求項６ないし１０のいずれかに記載の光導波路。
【請求項１３】
前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される請求項１ないし１２のいずれかに記載の光導波路。
【請求項１４】
コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、
前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
前記コア部と前記クラッド部と前記光路変換部とを有する母材を用意する工程と、
前記母材の表面に成形型を押圧することにより、前記表面の一部を局所的に突出または凹没させ、前記レンズを形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項１５】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、加熱した前記成形型を前記母材の表面に押圧した後、前記成形型を冷却することにより形成される請求項１４に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１６】
コア部と、前記コア部の側面に隣接して設けられた側面クラッド部と、を備えるコア層と、
前記コア層の両面に隣接して設けられた第１クラッド層および第２クラッド層と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記第２クラッド層の外部へと変換する光路変換部と、
前記第２クラッド層の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
前記第１クラッド層を形成する工程と、
形成した前記第１クラッド層上に前記コア層を形成する工程と、
前記コア層上にクラッド層形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記第２クラッド層を形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項１７】
コア部と、前記コア部の側面に隣接して設けられた側面クラッド部と、を備えるコア層と、
前記コア層の両面に隣接して設けられた第１クラッド層および第２クラッド層と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記第２クラッド層の外部へと変換する光路変換部と、
前記第２クラッド層の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
成形型上にクラッド層形成用組成物を塗布し、液状被膜または液状被膜の半硬化物を形成した後、硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記第２クラッド層を形成する工程と、
形成した前記第２クラッド層上に前記コア層を形成する工程と、
前記コア層上に前記第１クラッド層を形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項１８】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の光導波路と、
前記光導波路の上方に設けられた回路基板と、前記光路変換部および前記レンズを介して前記コア部と光学的に接続された光素子と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項１９】
前記回路基板は、絶縁性基板と、その下面および上面に設けられた導電体と、を有し、
前記絶縁性基板は可撓性を有する請求項１８に記載の光導波路モジュール。
【請求項２０】
前記絶縁性基板のヤング率は、２０〜２５℃で１〜２０ＧＰａである請求項１８または１９に記載の光導波路モジュール。
【請求項２１】
前記レンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている請求項１８ないし２０のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２２】
コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項２３】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズである請求項２２に記載の光導波路モジュール。
【請求項２４】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その収束光が前記光路変換部の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている請求項２２または２３に記載の光導波路モジュール。
【請求項２５】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている請求項２２ないし２４のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２６】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された球面または非球面の凸レンズと、前記凸レンズを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項２２ないし２５のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２７】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された平滑面と、前記平滑面を囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項２２ないし２５のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２８】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置され、前記構造体の表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンと、前記凹凸パターンを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している請求項２２ないし２５のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２９】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンを、前記レンズの全体にわたって有している請求項２２ないし２７のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項３０】
前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である請求項２８または２９に記載の光導波路モジュール。
【請求項３１】
前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである請求項２８ないし３０のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項３２】
前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である請求項２８ないし３０のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項３３】
前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される請求項２２ないし３２のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項３４】
コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有する光導波路モジュールの製造方法であって、
前記光導波路の表面上に構造体形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記構造体を形成する工程と、
前記光素子を配置する工程と、を有することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。
【請求項３５】
コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路と前記光素子との間に設けられた基板と、
前記基板と前記光素子との間に設けられた、レンズを備えた構造体と、を有する光導波路モジュールの製造方法であって、
前記基板の表面上に構造体形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記構造体を形成する工程と、
前記光導波路および前記光素子を配置する工程と、を有することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。
【請求項３６】
請求項１ないし１４および２２ないし３３のいずれかに記載の光導波路モジュールを備えることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
（８）  前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である上記（６）または（７）に記載の光導波路。
（９）  前記凹凸パターンにおける前記凹部同士の間隔のうち、前記凹部が占める距離の割合は１０〜９０％である上記（６）ないし（８）のいずれかに記載の光導波路。
（１０）  前記凹凸パターンにおける前記凹部の深さは、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である上記（６）ないし（９）のいずれかに記載の光導波路。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
（１１）  前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである上記（６）ないし（１０）のいずれかに記載の光導波路。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
（１２）  前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である上記（６）ないし（１０）のいずれかに記載の光導波路。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
（１３）  前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される上記（１）ないし（１２）のいずれかに記載の光導波路。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
（１４）コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、
前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
前記コア部と前記クラッド部と前記光路変換部とを有する母材を用意する工程と、
前記母材の表面に成形型を押圧することにより、前記表面の一部を局所的に突出または凹没させ、前記レンズを形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
（１５）前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、加熱した前記成形型を前記母材の表面に押圧した後、前記成形型を冷却することにより形成される上記（１４）に記載の光導波路の製造方法。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
（１６）コア部と、前記コア部の側面に隣接して設けられた側面クラッド部と、を備えるコア層と、
前記コア層の両面に隣接して設けられた第１クラッド層および第２クラッド層と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記第２クラッド層の外部へと変換する光路変換部と、
前記第２クラッド層の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
前記第１クラッド層を形成する工程と、
形成した前記第１クラッド層上に前記コア層を形成する工程と、
前記コア層上にクラッド層形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記第２クラッド層を形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
（１７）コア部と、前記コア部の側面に隣接して設けられた側面クラッド部と、を備えるコア層と、
前記コア層の両面に隣接して設けられた第１クラッド層および第２クラッド層と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記第２クラッド層の外部へと変換する光路変換部と、
前記第２クラッド層の表面のうち、少なくとも前記光路変換部により前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有する光導波路の製造方法であって、
成形型上にクラッド層形成用組成物を塗布し、液状被膜または液状被膜の半硬化物を形成した後、硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記第２クラッド層を形成する工程と、
形成した前記第２クラッド層上に前記コア層を形成する工程と、
前記コア層上に前記第１クラッド層を形成する工程と、を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
（１８）上記（１）ないし（１３）のいずれかに記載の光導波路と、
前記光導波路の上方に設けられた回路基板と、前記光路変換部および前記レンズを介して前記コア部と光学的に接続された光素子と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。
（１９）前記回路基板は、絶縁性基板と、その下面および上面に設けられた導電体と、を有し、
前記絶縁性基板は可撓性を有する上記（１８）に記載の光導波路モジュール。
（２０）前記絶縁性基板のヤング率は、２０〜２５℃で１〜２０ＧＰａである上記（１８）または（１９）に記載の光導波路モジュール。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
（２１）前記レンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている上記（１８）ないし（２０）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
（２２）コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
（２３）前記構造体の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズである上記（２２）に記載の光導波路モジュール。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
（２４）前記構造体の表面に設けられたレンズは、その収束光が前記光路変換部の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている上記（２２）または（２３）に記載の光導波路モジュール。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
（２５）前記構造体の表面に設けられたレンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている上記（２２）ないし（２４）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
（２６）前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された球面または非球面の凸レンズと、前記凸レンズを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している上記（２２）ないし（２５）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
（２７）前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された平滑面と、前記平滑面を囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している上記（２２）ないし（２５）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
（２８）前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置され、前記構造体の表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンと、前記凹凸パターンを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有している上記（２２）ないし（２５）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
（２９）前記構造体の表面に設けられたレンズは、その表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンを、前記レンズの全体にわたって有している上記（２２）ないし（２７）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
（３０）前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である上記（２８）または（２９）に記載の光導波路モジュール。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
（３１）前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである上記（２８）ないし（３０）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
（３２）前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である上記（２８）ないし（３０）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
（３３）前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される上記（２２）ないし（３２）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
（３４）コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有する光導波路モジュールの製造方法であって、
前記光導波路の表面上に構造体形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記構造体を形成する工程と、
前記光素子を配置する工程と、を有することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
（３５）コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路と前記光素子との間に設けられた基板と、
前記基板と前記光素子との間に設けられた、レンズを備えた構造体と、を有する光導波路モジュールの製造方法であって、
前記基板の表面上に構造体形成用組成物を塗布し、液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜またはその半硬化物に成形型を押圧しつつ前記液状被膜またはその半硬化物を硬化させることにより、前記レンズを形成するとともに前記構造体を形成する工程と、
前記光導波路および前記光素子を配置する工程と、を有することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
（３６）上記（１）ないし（１４）および（２２）ないし（３３）のいずれかに記載の光導波路モジュールを備えることを特徴とする電子機器。
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月15日(2013.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、
前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有し、
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズであり、
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された平滑面と、前記平滑面を囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有し、
前記プリズムは、三角プリズムであり、
前記平滑面および前記三角プリズムは、前記クラッド部の上面の高さよりも低い位置にあることを特徴とする光導波路。
【請求項２】
コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、
前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有し、
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズであり、
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置され、前記クラッド部の表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンと、前記凹凸パターンを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有し、
前記プリズムは、三角プリズムであり、
前記凹凸パターンおよび前記三角プリズムは、前記クラッド部の上面の高さよりも低い位置にあることを特徴とする光導波路。
【請求項３】
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その収束光が前記光路変換部の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている請求項１または２に記載の光導波路。
【請求項４】
前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である請求項２に記載の光導波路。
【請求項５】
前記凹凸パターンにおける前記凹部同士の間隔のうち、前記凹部が占める距離の割合は１０〜９０％である請求項２または４に記載の光導波路。
【請求項６】
前記凹凸パターンにおける前記凹部の深さは、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である請求項２、４または５のいずれかに記載の光導波路。
【請求項７】
前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである請求項２、４、５または６のいずれかに記載の光導波路。
【請求項８】
前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である請求項２、４、５または６のいずれかに記載の光導波路。
【請求項９】
前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される請求項１ないし８のいずれかに記載の光導波路。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の光導波路と、
前記光導波路の上方に設けられた回路基板と、前記光路変換部および前記レンズを介して前記コア部と光学的に接続された光素子と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項１１】
前記回路基板は、絶縁性基板と、その下面および上面に設けられた導電体と、を有し、
前記絶縁性基板は可撓性を有する請求項１０に記載の光導波路モジュール。
【請求項１２】
前記絶縁性基板のヤング率は、２０〜２５℃で１〜２０ＧＰａである請求項１０または１１に記載の光導波路モジュール。
【請求項１３】
前記レンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている請求項１０ないし１２のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項１４】
コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有し、
前記構造体の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズであり、
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された平滑面と、前記平滑面を囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有し、
前記プリズムは、三角プリズムであり、
前記平滑面および前記三角プリズムは、前記クラッド部の上面の高さよりも低い位置にあることを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項１５】
コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有し、
前記構造体の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズであり、
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置され、前記構造体の表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンと、前記凹凸パターンを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有し、
前記プリズムは、三角プリズムであり、
前記凹凸パターンおよび前記三角プリズムは、前記クラッド部の上面の高さよりも低い位置にあることを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項１６】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その収束光が前記光路変換部の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている請求項１４または１５に記載の光導波路モジュール。
【請求項１７】
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている請求項１４ないし１６のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項１８】
前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である請求項１５に記載の光導波路モジュール。
【請求項１９】
前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである請求項１５または１８に記載の光導波路モジュール。
【請求項２０】
前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である請求項１５、１８または１９のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２１】
前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される請求項１４ないし２０のいずれかに記載の光導波路モジュール。
【請求項２２】
請求項１ないし９のいずれかに記載の光導波路および請求項１０ないし２１のいずれかに記載の光導波路モジュールを備えることを特徴とする電子機器。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、光導波路、光導波路モジュールおよび電子機器に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
このような目的は、下記（１）〜（２２）の本発明により達成される。
（１） コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、
前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有し、
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズであり、
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された平滑面と、前記平滑面を囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有し、
前記プリズムは、三角プリズムであり、
前記平滑面および前記三角プリズムは、前記クラッド部の上面の高さよりも低い位置にあることを特徴とする光導波路。
（２）コア部と、
前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、
前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、
前記クラッド部の表面のうち、少なくとも前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続される部位に設けられ、前記表面を局所的に突出または凹没させることにより形成されたレンズと、を有し、
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズであり、
前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置され、前記クラッド部の表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンと、前記凹凸パターンを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有し、
前記プリズムは、三角プリズムであり、
前記凹凸パターンおよび前記三角プリズムは、前記クラッド部の上面の高さよりも低い位置にあることを特徴とする光導波路。
（３）前記クラッド部の表面に設けられたレンズは、その収束光が前記光路変換部の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている上記（１）または（２）に記載の光導波路。
（４）前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である上記（２）に記載の光導波路。
（５）前記凹凸パターンにおける前記凹部同士の間隔のうち、前記凹部が占める距離の割合は１０〜９０％である上記（２）または（４）に記載の光導波路。
（６）前記凹凸パターンにおける前記凹部の深さは、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である上記（２）、（４）または（５）のいずれかに記載の光導波路。
（７）前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである上記（２）、（４）、（５）または（６）のいずれかに記載の光導波路。
（８）前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である上記（２）、（４）、（５）または（６）のいずれかに記載の光導波路。
（９）前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される上記（１）ないし（８）のいずれかに記載の光導波路。
（１０）上記（１）ないし（９）のいずれかに記載の光導波路と、
前記光導波路の上方に設けられた回路基板と、前記光路変換部および前記レンズを介して前記コア部と光学的に接続された光素子と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。
（１１）前記回路基板は、絶縁性基板と、その下面および上面に設けられた導電体と、を有し、
前記絶縁性基板は可撓性を有する上記（１０）に記載の光導波路モジュール。
（１２）前記絶縁性基板のヤング率は、２０〜２５℃で１〜２０ＧＰａである上記（１０）または（１１）に記載の光導波路モジュール。
（１３）前記レンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている上記（１０）ないし（１２）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
（１４）コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有し、
前記構造体の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズであり、
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置された平滑面と、前記平滑面を囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有し、
前記プリズムは、三角プリズムであり、
前記平滑面および前記三角プリズムは、前記クラッド部の上面の高さよりも低い位置にあることを特徴とする光導波路モジュール。
（１５）コア部と、前記コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、前記コア部の途中または延長線上に設けられ、前記コア部の光路を前記クラッド部の外部へと変換する光路変換部と、を備える光導波路と、
前記光路変換部を介して前記コア部と光学的に接続されるよう前記クラッド部の外部に設けられた光素子と、
前記光導波路の前記光路変換部と前記光素子との間に設けられた、レンズを備える構造体と、を有し、
前記構造体の表面に設けられたレンズは、フレネルレンズであり、
前記構造体の表面に設けられたレンズは、その中央部に配置され、前記構造体の表面を局所的に突出させた凸部または局所的に凹没させた凹部を複数個配置してなる凹凸パターンと、前記凹凸パターンを囲むように設けられた帯状のプリズムと、を有し、
前記プリズムは、三角プリズムであり、
前記凹凸パターンおよび前記三角プリズムは、前記クラッド部の上面の高さよりも低い位置にあることを特徴とする光導波路モジュール。
（１６）前記構造体の表面に設けられたレンズは、その収束光が前記光路変換部の有効領域内に照射されるよう、焦点距離が設定されている上記（１４）または（１５）に記載の光導波路モジュール。
（１７）前記構造体の表面に設けられたレンズは、その焦点が前記光素子の受発光部近傍に位置するよう構成されている上記（１４）ないし（１６）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
（１８）前記凹凸パターンにおける前記凸部同士の配置周期および前記凹部同士の配置周期は、当該光導波路に入射される信号光の波長以下である上記（１５）に記載の光導波路モジュール。
（１９）前記凸部および前記凹部の形状は、柱状、錐状、半球状、これら形状の角部を面取りした形状、各形状同士を連結した形状、または各形状同士を合成した形状のいずれかである上記（１５）または（１８）に記載の光導波路モジュール。
（２０）前記凸部および前記凹部の形状は、凸状または凹状である上記（１５）、（１８）または（１９）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
（２１）前記光路変換部は、少なくとも前記コア部を斜めに横断するよう設けられた反射面で構成される上記（１４）ないし（２０）のいずれかに記載の光導波路モジュール。
（２２）上記（１）ないし（９）のいずれかに記載の光導波路および上記（１０）ないし（２１）のいずれかに記載の光導波路モジュールを備えることを特徴とする電子機器。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【国際調査報告】
2012043573.tif 000031
2012043573.tif 000032
2012043573.tif 000033
2012043573.tif 000034