(57)【要約】  ＥＳＤに起因する破壊が生じにくい弾性波フィルタを提供する。  隣り合う、第１のＩＤＴ電極２２の電極指２２ａ２，２２ｂ２またはダミー電極２２ａ３，２２ｂ３と、入力端子１２、出力端子１３ａ、１３ｂ及びグラウンド端子のいずれにも接続されていない浮き電極である第４のくし歯状電極２１ａの電極指２１ａ２またはダミー電極２１ａ３との間の距離が、隣り合う、第１のＩＤＴ電極２２の電極指２２ａ２，２２ｂ２またはダミー電極２２ａ３，２２ｂ３と、入力端子１２、出力端子１３ａ、１３ｂまたはグラウンド端子に接続されている第３のくし歯状電極２１ｂの電極指２１ｂ２またはダミー電極２１ｂ３との間の距離よりも長い。
2012046483.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力端子及び出力端子と、前記入力端子と前記出力端子との間に接続されている弾性波フィルタ部とを備える弾性波フィルタであって、
前記弾性波フィルタ部は、
圧電基板と、
前記圧電基板の上に形成されており、互いに間挿し合っている第１及び第２のくし歯状電極を有する第１のＩＤＴ電極と、
前記圧電基板の上において、前記第１のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向の一方側に配置されており、互いに間挿し合っている第３及び第４のくし歯状電極を有する第２のＩＤＴ電極と、
を有し、
前記第１〜第３のくし歯状電極は、前記入力端子、前記出力端子またはグラウンド端子に接続されている一方、前記第４のくし歯状電極は、前記入力端子、前記出力端子及びグラウンド端子のいずれにも接続されていない浮き電極であり、
前記第１〜第４のくし歯状電極のそれぞれは、バスバーと、前記バスバーに接続されている複数の電極指と、前記バスバーに接続されており、間挿し合っているくし歯状電極の前記複数の電極指と交差幅方向にそれぞれ対向している複数のダミー電極とを有し、
隣り合う、前記第１のＩＤＴ電極の電極指またはダミー電極と、前記第４のくし歯状電極の電極指またはダミー電極との間の距離が、隣り合う、前記第１のＩＤＴ電極の電極指またはダミー電極と、前記第３のくし歯状電極の電極指またはダミー電極との間の距離よりも長い、弾性波フィルタ。
【請求項２】
前記第３及び第４のくし歯状電極の複数の電極指のうち、最も前記第１のＩＤＴ電極側に位置する電極指は、前記第３のくし歯状電極の電極指であり、前記第４のくし歯状電極には、当該最も前記第１のＩＤＴ電極側に位置する電極指と交差幅方向において対向するダミー電極が設けられていない、請求項１に記載の弾性波フィルタ。
【請求項３】
前記第４のくし歯状電極のバスバーにおける前記第１のＩＤＴ電極側の端部は、前記最も前記第１のＩＤＴ電極側に位置する電極指よりも弾性波伝搬方向の他方側に位置している、請求項２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項４】
前記第４のくし歯状電極のバスバーと、前記第１及び第２のくし歯状電極のうち、交差幅方向において前記第４のくし歯状電極と同じ側に配置されているくし歯状電極のバスバーとの少なくとも一方は突出部を有し、前記突出部は他方のバスバーの一部または突出部と互いに対向している、請求項１〜３のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。
【請求項５】
前記互いに対向する部分間の距離は、隣り合う、前記第１のＩＤＴ電極の電極指またはダミー電極と、前記第４のくし歯状電極の電極指またはダミー電極との間の距離よりも短い、請求項４に記載の弾性波フィルタ。
【請求項６】
入力端子及び出力端子と、前記入力端子と前記出力端子との間に接続されている弾性波フィルタ部とを備える弾性波フィルタであって、
前記弾性波フィルタ部は、
圧電基板と、
前記圧電基板の上に形成されており、それぞれ、前記入力端子、前記出力端子またはグラウンド端子に接続されている互いに間挿し合っている第１及び第２のくし歯状電極を有する第１のＩＤＴ電極と、
前記圧電基板の上において、前記第１のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向の一方側に配置されており、互いに間挿し合っている第３及び第４のくし歯状電極を有する第２のＩＤＴ電極と、
を有し、
前記第１〜第３のくし歯状電極は、前記入力端子、前記出力端子またはグラウンド端子に接続されている一方、前記第４のくし歯状電極は、前記入力端子、前記出力端子及びグラウンド端子のいずれにも接続されていない浮き電極であり、
前記第１〜第４のくし歯状電極のそれぞれは、バスバーと、前記バスバーに接続されている複数の電極指と、前記バスバーに接続されており、間挿し合っているくし歯状電極の前記複数の電極指と交差幅方向にそれぞれ対向している複数のダミー電極とを有し、
前記第４のくし歯状電極のバスバーと、前記第１及び第２のくし歯状電極のうち、交差幅方向において前記第４のくし歯状電極と同じ側に配置されているくし歯状電極のバスバーとの少なくとも一方は突出部を有し、前記突出部は他方のバスバーの一部または突出部と前記交差幅方向に互いに対向している、弾性波フィルタ。
【請求項７】
前記圧電基板は、ＬｉＮｂＯ３、ＬｉＴａＯ３または水晶からなる、請求項１〜６のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。
【請求項８】
弾性表面波フィルタまたは弾性境界波フィルタである、請求項１〜７のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話などのフィルタとして、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波を利用した弾性波フィルタが広く用いられるようになってきている。例えば、下記の特許文献１には、弾性波フィルタの一例が記載されている。図１１に、特許文献１に記載された弾性波フィルタの略図的平面図を示す。図１２に特許文献１に記載された弾性波フィルタの一部分の略図的平面図を示す。なお、図１１においては、ＩＤＴ電極及び反射器は、模式的に記載されており、描画されている電極指の本数等は実際の本数より少ない。【０００３】
図１１に示すように、弾性波フィルタ１００は、弾性波伝搬方向に沿って配列されている第１〜第３のＩＤＴ電極１０１〜１０３を備えている。第１及び第３のＩＤＴ電極１０１，１０３の一方側のくし歯状電極が入力端子１０４に接続されており、他方側のくし歯状電極がグラウンド端子に接続されている。第２のＩＤＴ電極１０２は、弾性波伝搬方向に沿って配列されている２つの分割ＩＤＴ電極部により構成されている。その２つの分割ＩＤＴ電極部の一方側のくし歯状電極１０２ａ、１０２ｂが、第１または第２の出力端子１０５ａ、１０５ｂに接続されており、他方側のくし歯状電極１０２ｃは、信号端子やグラウンド電極などに接続されていない浮き電極（フローティング電極）とされている。【０００４】
図１２に、第２及び第３のＩＤＴ電極１０２，１０３の一部を拡大した略図的平面図を示す。図１２に示すように、第２のＩＤＴ電極１０２の最も第３のＩＤＴ電極１０３側に位置している電極指は、浮き電極であるくし歯状電極１０２ｃの電極指１０２ｃ１である。くし歯状電極１０２ｃの複数の電極指のうち、最も第３のＩＤＴ電極１０３側に位置している電極指１０２ｃ１を除いた電極指は、くし歯状電極１０２ａ、１０２ｂのダミー電極指と交差幅方向において対向している。【０００５】
それに対して、電極指１０２ｃ１は、くし歯状電極１０２ｂのダミー電極とは交差幅方向において対向していない。弾性波伝搬方向において電極指１０２ｃ１が設けられている領域には、くし歯状電極１０２ｂのバスバーも設けられていない。このため、くし歯状電極１０２ｂのバスバーとＩＤＴ電極１０３の一方側のくし歯状電極のバスバーとの間の距離を長くすることができる。従って、ＥＳＤ（ｅｌｅｃｔｒｏ−ｓｔａｔｉｃ  ｄｉｓｃｈａｒｇｅ：静電気放電）に起因するＩＤＴ電極１０２，１０３の破壊を抑制することができる旨が、特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−３８７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に記載の弾性波フィルタでは、ＥＳＤに起因するＩＤＴ電極の破壊を十分に抑制できないという問題がある。詳細には、特許文献１に記載の弾性波フィルタでは、製造時などにおいて、ＥＳＤに起因してＩＤＴ電極が破壊されやすいという問題がある。【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ＥＳＤに起因する破壊が生じにくい弾性波フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る第１の弾性波フィルタは、入力端子及び出力端子と、弾性波フィルタ部とを備えている。弾性波フィルタ部は、入力端子と出力端子との間に接続されている。弾性波フィルタ部は、圧電基板と、第１のＩＤＴ電極と、第２のＩＤＴ電極とを有する。第１のＩＤＴ電極は、圧電基板の上に形成されている。第１のＩＤＴ電極は、第１及び第２のくし歯状電極を有する。第１及び第２のくし歯状電極は、互いに間挿し合っている。第２のＩＤＴ電極は、圧電基板の上において、第１のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向の一方側に配置されている。第２のＩＤＴ電極は、第３及び第４のくし歯状電極を有する。第３及び第４のくし歯状電極は、互いに間挿し合っている。第１〜第３のくし歯状電極は、入力端子、出力端子またはグラウンド端子に接続されている。第４のくし歯状電極は、入力端子、出力端子及びグラウンド端子のいずれにも接続されていない浮き電極である。第１〜第４のくし歯状電極のそれぞれは、バスバーと、複数の電極指と、複数のダミー電極とを有する。複数の電極指は、バスバーに接続されている。複数のダミー電極は、バスバーに接続されている。複数のダミー電極は、間挿し合っているくし歯状電極の複数の電極指と交差幅方向にそれぞれ対向している。隣り合う、第１のＩＤＴ電極の電極指またはダミー電極と、第４のくし歯状電極の電極指またはダミー電極との間の距離が、隣り合う、第１のＩＤＴ電極の電極指またはダミー電極と、第３のくし歯状電極の電極指またはダミー電極との間の距離よりも長い。【００１０】
本発明に係る第１の弾性波フィルタのある特定の局面では、第３及び第４のくし歯状電極の複数の電極指のうち、最も第１のＩＤＴ電極側に位置する電極指は、第３のくし歯状電極の電極指である。第４のくし歯状電極には、当該最も第１のＩＤＴ電極側に位置する電極指と交差幅方向において対向するダミー電極が設けられていない。【００１１】
本発明に係る第１の弾性波フィルタの他の特定の局面では、第４のくし歯状電極のバスバーにおける第１のＩＤＴ電極側の端部は、最も第１のＩＤＴ電極側に位置する電極指よりも弾性波伝搬方向の他方側に位置している。【００１２】
本発明に係る第１の弾性波フィルタの別の特定の局面では、第４のくし歯状電極のバスバーと、第１及び第２のくし歯状電極のうち、交差幅方向において第４のくし歯状電極と同じ側に配置されているくし歯状電極のバスバーとの少なくとも一方は突出部を有する。突出部は、他方のバスバーの一部または突出部と互いに対向している。【００１３】
本発明に係る第１の弾性波フィルタのさらに他の特定の局面では、互いに対向する部分間の距離は、隣り合う、第１のＩＤＴ電極の電極指またはダミー電極と、第４のくし歯状電極の電極指またはダミー電極との間の距離よりも短い。【００１４】
本発明に係る第２の弾性波フィルタは、入力端子及び出力端子と、入力端子と出力端子との間に接続されている弾性波フィルタ部とを備える弾性波フィルタである。弾性波フィルタ部は、圧電基板と、第１のＩＤＴ電極と、第２のＩＤＴ電極とを有する。第１のＩＤＴ電極は、圧電基板の上に形成されている。第１のＩＤＴ電極は、第１及び第２のくし歯状電極を有する。第１及び第２のくし歯状電極のそれぞれは、入力端子、出力端子またはグラウンド端子に接続されている。第１及び第２のくし歯状電極は、互いに間挿し合っている。第２のＩＤＴ電極は、圧電基板の上において、第１のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向の一方側に配置されている。第２のＩＤＴ電極は、互いに間挿し合っている第３及び第４のくし歯状電極を有する。第１〜第３のくし歯状電極は、入力端子、出力端子またはグラウンド端子に接続されている。第４のくし歯状電極は、入力端子、出力端子及びグラウンド端子のいずれにも接続されていない浮き電極である。第１〜第４のくし歯状電極のそれぞれは、バスバーと、複数の電極指と、複数のダミー電極とを有する。複数の電極指は、バスバーに接続されている。複数のダミー電極は、バスバーに接続されている。複数のダミー電極は、間挿し合っているくし歯状電極の複数の電極指と交差幅方向にそれぞれ対向している。第４のくし歯状電極のバスバーと、第１及び第２のくし歯状電極のうち、交差幅方向において第４のくし歯状電極と同じ側に配置されているくし歯状電極のバスバーとの少なくとも一方は突出部を有する。突出部は、他方のバスバーの一部または突出部と交差幅方向に互いに対向している。【００１５】
本発明に係る第１及び第２の弾性波フィルタのそれぞれのまたさらに他の特定の局面では、圧電基板は、ＬｉＮｂＯ３、ＬｉＴａＯ３または水晶からなる。【００１６】
本発明に係る第１及び第２の弾性波フィルタのそれぞれのまたさらに別の特定の局面では、弾性波フィルタは、弾性表面波フィルタまたは弾性境界波フィルタである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る第１の弾性波フィルタでは、隣り合う、第１のＩＤＴ電極の電極指またはダミー電極と、第４のくし歯状電極の電極指またはダミー電極との間の距離が、隣り合う、第１のＩＤＴ電極の電極指またはダミー電極と、第３のくし歯状電極の電極指またはダミー電極との間の距離よりも長い。このため、ＥＳＤに起因する破壊を抑制することができる。【００１８】
本発明に係る第２の弾性波フィルタでは、第４のくし歯状電極のバスバーと、第１及び第２のくし歯状電極のうち、交差幅方向において第４のくし歯状電極と同じ側に配置されているくし歯状電極のバスバーとの少なくとも一方は突出部を有する。突出部は、他方のバスバーの一部または突出部と交差幅方向に互いに対向している。このため、ＥＳＤに起因する破壊を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、第１の実施形態に係る弾性波フィルタの略図的平面図である。
【図２】図２は、第１の実施形態に係る弾性波フィルタの一部分を拡大した略図的平面図である。
【図３】図３は、第１の実施形態に係る弾性波フィルタの略図的断面図である。
【図４】図４は、第１の比較例に係る弾性波フィルタの略図的平面図である。
【図５】図５は、第１の比較例に係る弾性波フィルタの一部分を拡大した略図的平面図である。
【図６】図６は、第２の比較例に係る弾性波フィルタの略図的平面図である。
【図７】図７は、第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタと、第１及び第２の比較例のそれぞれに係る弾性表面波フィルタの挿入損失を表すグラフである。
【図８】図８は、第２の実施形態に係る弾性波フィルタの一部分を拡大した略図的平面図である。
【図９】図９は、第１〜第３の実施例及び第１の比較例のそれぞれの弾性表面波フィルタＥＳＤに起因する破壊不良の発生率を示すデータである。
【図１０】図１０は、変形例に係る弾性波フィルタの略図的断面図である。
【図１１】図１１は、特許文献１に記載された弾性波フィルタの略図的平面図である。
【図１２】図１２は、特許文献１に記載された弾性波フィルタの一部分の略図的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について、図１に示す弾性表面波フィルタ１を例に挙げて説明する。但し、弾性表面波フィルタ１は、単なる例示である。本発明は、弾性表面波フィルタ１に何ら限定されない。
【００２１】
図１は、本実施形態に係る弾性波フィルタの略図的平面図である。図２は、本実施形態に係る弾性波フィルタの一部分を拡大した略図的平面図である。図３は、本実施形態に係る弾性波フィルタの略図的断面図である。まず、図１〜図３を参照しながら、本実施形態の弾性表面波フィルタ１の構成について説明する。
【００２２】
弾性表面波フィルタ１は、平衡−不平衡変換機能を有する所謂バランス型の弾性表面波フィルタである。図１に示すように、弾性表面波フィルタ１は、不平衡入力端子１２と、平衡出力端子１３ａ、１３ｂとを有する。不平衡入力端子１２と、平衡出力端子１３ａ、１３ｂとの間には、弾性表面波フィルタ部２０が接続されている。
【００２３】
弾性表面波フィルタ部２０は、圧電基板１０と、圧電基板１０の上に形成されている複数のＩＤＴ電極２１〜３２と、複数の反射器（図示せず）を有する。これら複数のＩＤＴ電極２１〜３２、複数の反射器、及び各種配線等は、圧電基板１０の上に形成されている電極１１（図３を参照）によって構成されている。なお、電極１１は、例えば、Ａｌ，Ｐｔ，Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒ及びＰｄからなる群から選ばれた金属、もしくは、Ａｌ，Ｐｔ，Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒ及びＰｄからなる群から選ばれた一種以上の金属を含む合金により形成することができる。また、電極１１は、金属や合金などからなる複数の導電層の積層体により構成されていてもよい。
【００２４】
本実施形態において、圧電基板１０は、圧電性に加えて、焦電性を有している。圧電基板１０は、例えば、ＬｉＮｂＯ３、ＬｉＴａＯ３、水晶などにより形成することができる。
【００２５】
ＩＤＴ電極２１〜２３、ＩＤＴ電極２４〜２６、ＩＤＴ電極２７〜２９及びＩＤＴ電極３０〜３２のそれぞれは、弾性表面波伝搬方向ｘに沿ってこの順番で配列されている。図示は省略しているが、弾性表面波伝搬方向ｘにおいて、ＩＤＴ電極２１〜２３、ＩＤＴ電極２４〜２６、ＩＤＴ電極２７〜２９及びＩＤＴ電極３０〜３２のそれぞれが設けられている領域の両側には一対の反射器が配置されている。ＩＤＴ電極２１〜３２のそれぞれは、互いに間挿し合っている一対のくし歯状電極により構成されている。
【００２６】
不平衡入力端子１２には、ＩＤＴ電極２８及びＩＤＴ電極３１の一方のくし歯状電極が接続されている。ＩＤＴ電極２８，３１の他方のくし歯状電極は、グラウンド端子に接続されている。ＩＤＴ電極２８，３１の弾性表面波伝搬方向ｘの両側に位置しているＩＤＴ電極２７，２９，３０，３２の一方のくし歯状電極はグラウンド端子に接続されており、他方のくし歯状電極は、ＩＤＴ電極２１，２３，２４，２６の一方のくし歯状電極２１ａ、２３ａ、２４ａ、２６ａに接続されている。
【００２７】
ＩＤＴ電極２１，２３，２４，２６の他方のくし歯状電極２１ｂ、２３ｂ、２４ｂ、２６ｂは、グラウンド端子に接続されている。弾性表面波伝搬方向ｘにおいて、ＩＤＴ電極２１，２４と、ＩＤＴ電極２３，２６との間に位置しているＩＤＴ電極２２，２５の一方のくし歯状電極２２ａ、２５ａは、平衡出力端子１３ｂに接続されており、他方のくし歯状電極２２ｂ、２５ｂは、平衡出力端子１３ａに接続されている。
【００２８】
ここで、ＩＤＴ電極２１〜２６のくし歯状電極２１ａ〜２６ａ、２１ｂ〜２６ｂのうち、くし歯状電極２１ａ、２３ａ、２４ａ、２６ａは、入力端子１２、出力端子１３ａ、１３ｂ及びグラウンド端子のいずれにも接続されていない浮き電極（フローティング電極）である。それ以外のくし歯状電極２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ｂ、２４ｂ、２５ａ、２５ｂ、２６ｂは、不平衡入力端子１２、平衡出力端子１３ａ、１３ｂまたはグラウンド端子に接続されている。
【００２９】
くし歯状電極２１ａ〜２６ａ、２１ｂ〜２６ｂのそれぞれは、バスバー２１ａ１〜２６ａ１、２１ｂ１〜２６ｂ１と、バスバー２１ａ１〜２６ａ１、２１ｂ１〜２６ｂ１から、弾性表面波伝搬方向ｘに垂直な交差幅方向ｙに沿って延びる電極指２１ａ２〜２６ａ２、２１ｂ２〜２６ｂ２及びダミー電極２１ａ３〜２６ａ３、２１ｂ３〜２６ｂ３とを有する。ダミー電極２１ａ３〜２６ａ３、２１ｂ３〜２６ｂ３は、そのダミー電極が属するくし歯状電極と間挿し合っているくし歯状電極の電極指２１ａ２〜２６ａ２、２１ｂ２〜２６ｂ２と交差幅方向ｙにおいて対向している。
【００３０】
図１〜図３に示すように、本実施形態においては、ＩＤＴ電極２１，２３，２４，２６のそれぞれにおいて、複数の電極指２１ａ２，２１ｂ２、２３ａ２，２３ｂ２、２４ａ２，２４ｂ２、２６ａ２，２６ｂ２のうち、最もＩＤＴ電極２２またはＩＤＴ電極２５側に位置している電極指は、浮き電極ではない側のくし歯状電極２１ｂ、２３ｂ、２４ｂ、２６ｂに属する電極指２１ｂ２１，２３ｂ２１，２４ｂ２１，２６ｂ２１である。そして、浮き電極であるくし歯状電極２１ａ、２３ａ、２４ａ、２６ａには、これら電極指２１ｂ２１，２３ｂ２１，２４ｂ２１，２６ｂ２１に交差幅方向ｙに対向するダミー電極は設けられていない。このため、弾性表面波伝搬方向ｘにおいて隣り合っている、浮き電極であるくし歯状電極２１ａの電極指２１ａ２またはダミー電極２１ａ３と、ＩＤＴ電極２２の電極指２２ａ２，２２ｂ２またはダミー電極２２ａ３，２２ｂ３との間の距離が、弾性表面波伝搬方向ｘにおいて隣り合っている、くし歯状電極２１ｂの電極指２１ｂ２またはダミー電極２１ｂ３と、ＩＤＴ電極２２の電極指２２ａ２，２２ｂ２またはダミー電極２２ａ３，２２ｂ３との間の距離よりも長い。具体的には、弾性波伝搬方向ｘにおいて、浮き電極であるくし歯状電極２１ａの電極指２１ａ２及びダミー電極２１ａ３のうち、最もＩＤＴ電極２２側に位置している電極指２１ａ２１と、ＩＤＴ電極２２の電極指２２ａ２，２２ｂ２及びダミー電極２２ａ３，２２ｂ３のうちの最もＩＤＴ電極２１側に位置している電極指２２ａ２１との間の距離が、くし歯状電極２１ｂの電極指２１ｂ２及びダミー電極２１ｂ３のうち、最もＩＤＴ電極２２側に位置している電極指２１ｂ２１と、電極指２２ａ２１との間の距離よりも長い。
【００３１】
同様に、弾性波伝搬方向ｘにおいて、浮き電極であるくし歯状電極２３ａの電極指２３ａ２及びダミー電極２３ａ３のうち、最もＩＤＴ電極２２側に位置している電極指２３ａ２１と、ＩＤＴ電極２２の電極指２２ａ２，２２ｂ２及びダミー電極２２ａ３，２２ｂ３のうちの最もＩＤＴ電極２３側に位置しているダミー電極２２ａ３１との間の距離が、くし歯状電極２３ｂの電極指２３ｂ２及びダミー電極２３ｂ３のうち、最もＩＤＴ電極２２側に位置している電極指２３ｂ２１と、電極指２２ｂ２１との間の距離よりも長い。
【００３２】
弾性波伝搬方向ｘにおいて、浮き電極であるくし歯状電極２４ａの電極指２４ａ２及びダミー電極２４ａ３のうち、最もＩＤＴ電極２５側に位置している電極指２４ａ２１と、ＩＤＴ電極２５の電極指２５ａ２，２５ｂ２及びダミー電極２５ａ３，２５ｂ３のうちの最もＩＤＴ電極２４側に位置している電極指２５ａ２１との間の距離が、くし歯状電極２４ｂの電極指２４ｂ２及びダミー電極２４ｂ３のうち、最もＩＤＴ電極２５側に位置している電極指２４ｂ２１と、電極指２５ａ２１との間の距離よりも長い。
【００３３】
弾性波伝搬方向ｘにおいて、浮き電極であるくし歯状電極２６ａの電極指２６ａ２及びダミー電極２６ａ３のうち、最もＩＤＴ電極２５側に位置している電極指２６ａ２１と、ＩＤＴ電極２５の電極指２５ａ２，２５ｂ２及びダミー電極２５ａ３，２５ｂ３のうちの最もＩＤＴ電極２６側に位置しているダミー電極２５ａ３１との間の距離が、くし歯状電極２６ｂの電極指２６ｂ２及びダミー電極２６ｂ３のうち、最もＩＤＴ電極２５側に位置している電極指２６ｂ２１と、電極指２５ｂ２１との間の距離よりも長い。
【００３４】
浮き電極であるくし歯状電極２１ａ、２３ａ、２４ａ、２６ａのバスバー２１ａ１，２３ａ１，２４ａ１，２６ａ１のＩＤＴ電極２２または２５側の端部は、電極指２１ｂ２１，２３ｂ２１，２４ｂ２１，２６ｂ２１よりも、ＩＤＴ電極２２またはＩＤＴ電極２５に対して遠い側に位置している。具体的には、弾性表面波伝搬方向ｘにおいて、バスバー２１ａ１，２３ａ１，２４ａ１，２６ａ１と、ＩＤＴ電極２２またはＩＤＴ電極２５との間の距離は、弾性表面波の波長の１．５倍となっている。
【００３５】
なお、本実施形態では、浮き電極であるくし歯状電極２１ａ、２３ａ、２４ａ、２６ａに、電極指２１ｂ２１，２３ｂ２１，２４ｂ２１，２６ｂ２１に交差幅方向ｙに対向するダミー電極が設けられていないことにより、ＩＤＴ電極２２またはＩＤＴ電極２５との距離を長くした。しかし、本発明はこの構成に限定されない。浮き電極であるくし歯状電極とこれに隣り合うＩＤＴ電極との距離を長くするために、ダミー電極が設けられていないくし歯状電極は、隣り合うＩＤＴ電極側であってもよい。すなわち、浮き電極であるくし歯状電極に隣り合うＩＤＴ電極において、最も浮き電極側に位置する電極指に交差幅方向ｙに対向するダミー電極が設けられていない構成でも、浮き電極とこれに隣り合う電極との距離は長くできる。
【００３６】
本実施形態では、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ１を用いたが、本発明は平衡−不平衡変換機能を有さない弾性表面波フィルタにも実施できる。すなわち、本実施形態では、くし歯状電極２２ａ、２５ａが平衡出力端子１３ｂに接続されているが、くし歯状電極２２ａ、２５ａがグラウンド端子に接続されていてもよい。
【００３７】
本実施形態では、本発明をＩＤＴ電極２１〜２６に実施したが、ＩＤＴ電極２７〜３２に実施してもよい。これにより、ＥＳＤに起因する破壊がより生じ難くなる。
【００３８】
図４は、第１の比較例に係る弾性表面波フィルタ２００の略図的平面図である。図５は、第１の比較例に係る弾性表面波フィルタ２００の一部分を拡大した略図的平面図である。なお、図４及び図５に示す第１の比較例において、第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し説明を省略する。
【００３９】
ところで、図４及び図５に示すように、浮き電極であるくし歯状電極２１ａ、２３ａ、２４ａ、２６ａに、電極指２１ｂ２１，２３ｂ２１，２４ｂ２１，２６ｂ２１に交差幅方向ｙに対向するダミー電極２１ａ３１，２３ａ３１，２４ａ３１，２６ａ３１を設けるのが一般的である。しかしながら、本発明者らが鋭意研究した結果、ダミー電極２１ａ３１，２３ａ３１，２４ａ３１，２６ａ３１を設けた場合、例えば、弾性表面波フィルタ２００の製造工程において、ＥＳＤ（ｅｌｅｃｔｒｏ−ｓｔａｔｉｃ  ｄｉｓｃｈａｒｇｅ：静電気放電）に起因する破壊が生じやすいことが分かった。以下、その理由を詳細に説明する。
【００４０】
圧電基板１０は、焦電性を有している。このため、例えば、製造の過程において圧電基板１０の温度が変化すると、電荷が発生する。このことに鑑みれば、製造の過程において圧電基板１０の温度が変化しないようにすることが理想的である。しかしながら、例えば、ダイシングにより個片化した弾性表面波フィルタのチップを加熱してダイシングフィルムから剥離する際などにおいて圧電基板１０に熱が加わる。このため、実際上は、製造の過程において、圧電基板１０の温度変化を確実に規制することは困難である。
【００４１】
従って、圧電基板１０において電荷が発生することは避けがたい。ここで、製造の過程において、各端子電極が非接触の状態にある場合は、圧電基板１０の全体において電荷が均一に生じる。このため、隣り合う電極間において電位差は生じない。一方、各端子電極が接触状態にある場合は、圧電基板１０において発生した電荷は、すぐに拡散される。このため、この場合においても、隣り合う電極間において電位差は生じない。従って、製造の過程において、各端子電極の非接触状態または接触状態が維持され続ける限りにおいては、ＥＳＤに起因した破壊は生じない。
【００４２】
しかしながら、実際の製造の過程においては、各端子電極の接触状態と非接触状態とが繰替えされることとなる。例えば、非接触状態で発生した電荷が電極に蓄積された後に、接触状態になると、端子に接続されている電極の電位は急激に低下する一方、端子に接続されていない浮き電極の電位は、維持される。このため、浮き電極と、浮き電極と隣り合う、端子に接続された電極との間で電位差が生じる。その結果、これら両電極間でＥＳＤに起因する破壊が生じることとなる。よって、ＥＳＤに起因する破壊は、浮き電極を起点として生じる。
【００４３】
従って、例えば、図４及び図５に示す第１の比較例に係る弾性表面波フィルタ２００では、例えば、ダミー電極２１ａ３１と、電極指２２ａ２１との間でＥＳＤに起因する破壊が生じることとなる。
【００４４】
また、特許文献１に記載の弾性波フィルタ１００においても、浮き電極であるくし歯状電極１０２ｃの電極指１０２ｃ１がＩＤＴ電極１０３の電極指に隣接しているため、電極指１０２ｃ１と、電極指１０２ｃ１に隣り合うＩＤＴ電極１０３の電極指との間でＥＳＤに起因する破壊が生じることとなる。
【００４５】
それに対して本実施形態では、浮き電極であるくし歯状電極２１ａ、２３ａ、２４ａ、２６ａに、ダミー電極２１ａ３１，２３ａ３１，２４ａ３１，２６ａ３１が設けられていない。このため、電極指２１ａ２１と、電極指２２ａ２１との間の距離が、電極指２１ｂ２１と、電極指２２ａ２１との間の距離よりも長い。電極指２３ａ２１と、ダミー電極２２ａ３１との間の距離が、電極指２３ｂ２１と、電極指２２ｂ２１との間の距離よりも長い。電極指２４ａ２１と、電極指２５ａ２１との間の距離が、電極指２４ｂ２１と、電極指２５ａ２１との間の距離よりも長い。電極指２６ａ２１と、ダミー電極２５ａ３１との間の距離が、電極指２６ｂ２１と、電極指２５ｂ２１との間の距離よりも長い。
【００４６】
よって、浮き電極であるくし歯状電極２１ａ、２３ａ、２４ａ、２６ａの電極指やダミー電極と、ＩＤＴ電極２２，２５の電極指やダミー電極との間の距離が長い。従って、ＥＳＤに起因する破壊が生じ難い。
【００４７】
また、本実施形態では、ダミー電極２１ａ３１，２３ａ３１，２４ａ３１，２６ａ３１を設けないことのみにより、ＥＳＤに起因する破壊耐性の向上を図ったため、弾性表面波フィルタ１の特性劣化は最小限に抑えられている。ＥＳＤに起因する破壊耐性だけを考慮すれば、ダミー電極を設けずに、互いに隣り合うＩＤＴ電極間の距離を長くすればよい。しかし、ダミー電極が設けられていないと、通過特性の平坦性が悪化することになる。実際に、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ１と第１の比較例の弾性表面波フィルタ２００とを、実質的に同様の設計パラメータで作製し、挿入損失を測定した。また、図６に示すように、ダミー電極２１ａ３〜２６ａ３，２１ｂ３〜２６ｂ３を設けなかった第２の比較例の弾性表面波フィルタ３００を、上記第１の実施形態の弾性表面波フィルタ１と実質的に同様の設計パラメータで作製し、挿入損失を測定した。結果を、図７に示す。図７に示す結果から、本実施形態の弾性表面波フィルタ１は、弾性表面波フィルタ２００と同等の通過特性の平坦性を有していることが分かる。一方、ダミー電極を全く設けなかった第２の比較例の弾性表面波フィルタ３００では、通過帯域における挿入損失が大きく劣化していることが分かる。
【００４８】
また、本実施形態では、浮き電極であるくし歯状電極２１ａ、２３ａ、２４ａ、２６ａのバスバー２１ａ１，２３ａ１，２４ａ１，２６ａ１のＩＤＴ電極２２または２５側の端部は、電極指２１ｂ２１，２３ｂ２１，２４ｂ２１，２６ｂ２１よりも、ＩＤＴ電極２２またはＩＤＴ電極２５に対して遠い側に位置している。このため、バスバー２１ａ１，２３ａ１，２４ａ１，２６ａ１と、バスバー２２ａ１，２５ａ１との間においても、ＥＳＤに起因する破壊が生じ難い。
【００４９】
以下、本発明を実施した好ましい形態の他の例や変形例について説明する。以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。
【００５０】
（第２の実施形態）
図８は、第２の実施形態に係る弾性波フィルタの一部分を拡大した略図的平面図である。なお、本実施形態では、上記第１の実施形態の図１を共通に参照する。
【００５１】
図８に示すように、本実施形態では、バスバー２１ａ１，２２ａ１は、交差幅方向ｙにおいて互いに対向する長方形状の突出部２１ａ１１，２２ａ１１を有する。また、バスバー２２ａ１，２３ａ１は、交差幅方向ｙにおいて互いに対向する突出部２２ａ１２，２３ａ１１を有する。突出部２１ａ１１，２２ａ１１間の距離、及び突出部２２ａ１２，２３ａ１１間の距離のそれぞれは、電極指２１ａ２１と、電極指２２ａ２１との間の距離よりも短い。このため、仮にＥＳＤに起因する破壊が生じるとすれば、突出部２１ａ１１，２２ａ１１間や突出部２２ａ１２，２３ａ１１間で破壊が生じる。このため、ＩＤＴ電極２１〜３２の電極指が破壊されない。従って、ＥＳＤに起因する破壊により、弾性表面波フィルタの機能が奪われにくい。
【００５２】
本実施形態では、バスバー２４ａ１，２５ａ１，２６ａ１にも、同様に突出部が設けられている。もちろん、このような突出部が全ての隣り合うバスバー間に設けられていれば、ＥＳＤに起因する破壊耐性は向上する。しかし、突出部が増えると、それだけ圧電基板１０の面積が大きくなる。したがって、本実施形態では、浮き電極であるくし歯状電極のバスバーと、これと隣り合うくし歯状電極のバスバーとの間のみに突出部が形成されている。そのため、本実施形態では、全ての隣り合うバスバー間に突出部が設けられている場合に比べて、圧電基板１０の面積を小さくすることができる。
【００５３】
なお、本実施形態では、隣り合うバスバーのいずれにも突出部が設けられているが、いずれか一方のバスバーのみに突出部を設け、他方のバスバーの一部に対向させてもよい。
【００５４】
突出部の形状は、長方形に限らず、三角形等の他の形状でもよい。また、図８では電極指２１ｂ２１，２３ｂ２１に交差幅方向ｙに対向するダミー電極が設けられていないが、対向する突出部間の距離を隣り合うバスバー間の距離よりも短くすれば、ダミー電極は設けられていてもよい。
【００５５】
実際に、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ１を第１の実施例として作製した。図８のようにダミー電極が設けられていない第２の実施形態の弾性表面波フィルタを第２の実施例として作製した。ダミー電極が設けられていること以外は第２の実施形態の弾性表面波フィルタと実質的に同じ構成を有する弾性表面波フィルタを第３の実施例として作製した。そして、第１〜第３の実施例に係る弾性表面波フィルタと、第１の比較例に係る弾性表面波フィルタとのそれぞれのＥＳＤに起因する破壊耐性を確認した。具体的には、高温（８５℃、３０分）、低温（−４０℃、３０分）の熱衝撃を６０サイクル与えるヒートショック試験を実施し、ＥＳＤによる不良率を確認した。図９は試験結果を示すグラフである。図９に示すように、第１の比較例の不良率が２０％であるのに対して、実施例１の不良率は１８％、実施例３の不良率が８％、実施例２の不良率が３％となった。
【００５６】
（変形例）
図１０は、変形例に係る弾性波フィルタの略図的断面図である。
【００５７】
上記第１の実施形態では、本発明を実施した弾性波フィルタの一例として、弾性表面波フィルタ１を挙げた。但し、本発明に係る弾性波フィルタは、弾性表面波フィルタに限定されない。本発明に係る弾性波フィルタは、図１０に示すように、圧電基板１０の上に、第１及び第２の誘電体層４１，４２が形成されている所謂３媒質型の弾性境界波フィルタであってもよい。また、圧電基板の上にひとつの誘電体層が形成されている所謂２媒質型の弾性境界波フィルタであってもよい。なお、第１及び第２の誘電体層４１，４２は、例えば、窒化ケイ素や酸窒化ケイ素により形成することができる。第２の誘電体層４２は、第１の誘電体層４１よりも速い音速を有することが好ましい。
【符号の説明】
【００５８】
１…弾性表面波フィルタ
１０…圧電基板
１１…電極
１２…不平衡入力端子
１３ａ、１３ｂ…平衡出力端子
２０…弾性表面波フィルタ部
２１〜３２…ＩＤＴ電極
２１ａ〜２６ａ，２１ｂ〜２６ｂ…くし歯状電極
２１ａ１〜２６ａ１，２１ｂ１〜２６ｂ１…バスバー
２１ａ２〜２６ａ２，２１ｂ２〜２６ｂ２…電極指
２１ａ３〜２６ａ３，２１ｂ３〜２６ｂ３…ダミー電極
２１ａ１１，２２ａ１１，２２ａ１２，２３ａ１１…突出部
４１…第１の誘電体層
４２…第２の誘電体層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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