(57)【要約】  一般的で安価なＴＥモードのＬＤを用いることが可能となる熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の構造を提供する。  直方体のサブマウントに発光素子が実装された光源ユニットと、磁気記録素子、再生素子、近接場光学素子、前記発光素子からの光を当該近接場光学素子に導く導波路から成る熱アシスト磁気記録ヘッドと、前記熱アシスト磁気記録ヘッドを含み、かつ、ディスク上を浮上するスライダと、前記スライダを支持するサスペンションとから成る熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、前記光源ユニットは、ＴＥモードの端面発光ＬＤであり、かつ、前記スライダの浮上面の反対側に、前記発光素子の発光面がスライダと対向するように配置されており、前記サスペンションには開口部が形成されており、そして、前記光源ユニットの一部が、前記サスペンションの孔を貫通するように、前記スライダが前記サスペンションに接合されている。
2012114460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直方体のサブマウントに発光素子が実装された光源ユニットと、
磁気記録素子、再生素子、近接場光学素子、前記発光素子からの光を当該近接場光学素子に導く導波路から成る熱アシスト磁気記録ヘッドと、
前記熱アシスト磁気記録ヘッドを含み、かつ、ディスク上を浮上するスライダと、
前記スライダを支持するサスペンションと
から成る熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構であって、
前記光源ユニットは、ＴＥモードの端面発光ＬＤであり、かつ、前記スライダの浮上面の反対側に、前記発光素子の発光面がスライダと対向するように配置されており、
前記サスペンションには開口部が形成されており、そして、
前記光源ユニットの一部が、前記サスペンションの孔を貫通するように、前記スライダが前記サスペンションに接合されていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項２】
前記請求項１に記載した熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構であって、
前記サブマウントの形状はＬ字型であり、かつ、前記サブマウントの前記スライダと接合されている部分は、前記サスペンションと前記スライダの間に挟まれていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項３】
前記請求項１又は２に記載した熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、
前記発光素子の基板面と、前記熱アシスト磁気記録ヘッドの積層面とが直交するように、前記光源ユニットが、前記スライダ浮上面の反対側の面に配置されていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項４】
前記請求項１又は２に記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、更に、
前記サスペンションのスライダ接合面側には、前記発光素に電力を供給するための配線が形成されており、
前記発光素子の前記サブマウントとの接合面と、前記接合面の反対側の面には各々電極形成されており、
前記サブマウントの前記発光素子との接合面には金属膜が形成されており、
前記発光素子の前記サブマウントとの接合面側の電極は、前記サブマウントの接合面に形成されている金属膜に接続しており、
前記光源ユニット近傍にある前記配線の一方の端は、前記スライダ接合面の反対側の面に対し、金属膜が露出しており、かつ、
前記発光素子の前記サブマウントとの接合面と反対側の電極と、前記サブマウントに形成されている金属膜が、前記配線の端の金属膜と電気的に接続されていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項５】
前記請求項１又は２に記載した熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、
前記サスペンションに形成された開口部は、孔又は切り欠きであり、当該孔又は切り欠きにより、前記光源ユニットとの干渉を防ぐことを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項６】
前記請求項１又は２に記載した熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、
前記発光素子が樹脂でコーティングされていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項７】
前記請求項１又は２に記載した熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、
前記光源ユニットが樹脂でコーティングされていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項８】
前記請求項１から請求項８の何れか一の請求項に記載された熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を用いた磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置の記録密度を飛躍的に向上させる技術の一つである熱アシスト磁気記録を行う熱アシスト磁気記録ヘッドとそのサスペンションを含む熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構に関し、更には、それを用いた磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、熱アシスト磁気記録は、磁気ディスク装置の記録密度を飛躍的に向上させる技術の一つとして期待されている。【０００３】
記録密度を上げるには、ビットサイズを小さくする必要があるが、しかしながら、小さくし過ぎると熱揺らぎにより、データが消失する現象が発生する。この熱揺らぎを防ぐには、保磁力の高い記録媒体（ディスク）を用いればよいが、通常の磁気ヘッドでは書き込みができない。そこで、高保磁力媒体を用いて、書き込みを行うときだけ数十ｎｍ×数十ｎｍ程度の微小領域を２００℃以上に加熱して媒体の保磁力を下げて書き込みを行う熱アシスト磁気記録が考えられている。この微小領域を加熱する手段として、近接場光を利用することが考えられている。即ち、熱アシスト磁気記録ヘッドは、記録磁極や再生素子の他に、近接場光学素子と導波路を備えており、導波路にレーザー光を通して記録磁極近傍に形成されている近接場光学素子まで導き、近接場光学素子でレーザー光を近接場光に変換する。【０００４】
本技術分野の背景技術として、例えば、以下の特許文献１が既に知られている。即ち、この特許文献１では、「スライダは、スライダ基板と、電磁変換素子と、近接場光学素子と、媒体対向面とは反対面から光を受け入れて媒体対向面側に導く導波路と、電磁変換素子に対して電気的に接続された素子用電極を有し、光源ユニット（ＬＤユニット）は、光源支持基板（サブマウント）と、光源（ＬＤ）と、スライダ側からスライダとは反対側まで伸びかつ両端部が光源ユニットの表面に露出したリードを有し、スライダの素子用電極はスライダの媒体対向面とは反対側の面に光源ユニットに覆われることなく露出し、光源ユニットのリードのスライダ側の端部と、スライダの素子用電極が、半田付けされている。」と記載されている（要約参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−５４２０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、レーザー光の伝送損失を抑えるためには、光源であるＬＤ（レーザーダイオード）を近接場光学素子近傍、すなわち、スライダ内に形成することが望ましいが、しかし現状では必要なレーザーパワーの制約からＬＤの共振器長はスライダの厚さ（０．２３ｍｍ）より長く、ＬＤをスライダ内に形成することは不可能である。次に考えられるのは、スライダにＬＤを搭載することであるが、この場合にも、スライダ基板の母材であるＡｌＴｉＣの材料特性から、スライダをＬＤのサブマウントとして利用することは不可能である。そこで、ＬＤのサブマウントとして広く用いられている部材（例えば、窒化アルミニウム）でサブマウントを作り、そのサブマウントにＬＤを実装したＬＤユニットをスライダに搭載することが考えられている。ＬＤユニットを搭載するスライダの面は、浮上面を除くと、浮上面の反対側の面、側面、流出端側の面、流入端側の面の４通りの方式が考えられる。浮上面には，スライダの浮上を安定させるための溝が全面に形成されているため、ＬＤを搭載することは難しい。また、流出端側の面には、電極接続のパッドが形成されているため、パッドの微小化、もしくは、再配置が必要となる。また、流入端側の面にＬＤを搭載した場合には、ＬＤから近接場光学素子の距離が長くなる他、流入端側を含む基板（ＡｌＴｉＣ）から近接場光学素子まで単一の導波路を形成することは不可能であり、その結果、結合箇所が増え、光の伝送効率が低下してしまう。また、側面にＬＤを搭載する方式では、ロールモーメントが大きくなり、耐衝撃性能が劣化することが考えられる。そこで、残るのは、浮上面と反対側の面にＬＤを搭載する方式である。【０００７】
また、ＬＤには、端面発光ＬＤと面発光ＬＤがある。共振器を半導体基板と平行に積層し、へき開した側面から光が出射するものが端面発光ＬＤである。このうち、偏光が半導体基板と平行なものをＴＥモードの端面発光ＬＤ、偏光が半導体基板と垂直なものをＴＭモードの端面発光ＬＤと呼ぶ。光が半導体基板と垂直に出射するものが面発光ＬＤである。一般的に広く利用されているＬＤは、ＴＥモードの端面発光ＬＤであり、信頼性も高く、安価で大量生産が可能である。磁気ディスク装置の熱アシスト磁気記録に用いる場合、大量のＬＤが必要となるので、コストと量産性は重要な要因となる。【０００８】
一般に、近接場光学素子は、ＬＤの偏光が熱アシスト磁気記録ヘッドの積層面と直交するときに、変換効率が最大になるような形になっている。【０００９】
上記特許文献１に記載された熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の構造では、スライダの浮上面と反対側の面にＬＤを搭載する方式の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の仕組みが記載されている。しかし、特許文献１のＬＤユニットでは、ＴＥモードの端面発光ＬＤを用いた場合、偏光が熱アシスト磁気記録ヘッドの積層面と平行になってしまうため、そのままＴＥモードの端面発光ＬＤを用いることができず、偏光回転素子を付加するか、高価なＴＭモードの端面発光ＬＤ、もしくは、面発光ＬＤを用いる必要がある。近接場光学素子を９０度回転させた形に変えて、ＴＥモードの端面発光ＬＤを用いることも考えられるが、この場合は、熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の製造プロセスが複雑になり、結局、全体としては高価になる。【００１０】
加えて、上記特許文献１では、ＬＤユニットはスライダに対して大きいため、磁気ディスク装置に実装する場合、隣接するヘッドと干渉し実装できない恐れがある。【００１１】
そこで、本発明は、上述した従来技術における問題点に鑑みて達成されたものであり、一般的で安価なＴＥモードの端面発光ＬＤを用いた場合でも、偏光回転素子を付加する必要がなく、かつ、近接場光学素子を９０度回転させた形にもする必要がない熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を提供することをその目的とする。【００１２】
加えて、本発明では、ＬＤユニットがサスペンションのロードビーム側に突き出る量を抑えることで、磁気ディスク装置への実装を可能とした熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構及びそれを用いた磁気ディスク装置を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の目的を達成するために、本発明によれば、まず、直方体のサブマウントに発光素子が実装された光源ユニットと、磁気記録素子、再生素子、近接場光学素子、前記発光素子からの光を当該近接場光学素子に導く導波路から成る熱アシスト磁気記録ヘッドと、前記熱アシスト磁気記録ヘッドを含み、かつ、ディスク上を浮上するスライダと、前記スライダを支持するサスペンションとから成る熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構であって、前記光源ユニットは、ＴＥモードの端面発光ＬＤであり、かつ、前記スライダの浮上面の反対側に、前記発光素子の発光面がスライダと対向するように配置されており、前記サスペンションには開口部が形成されており、そして、前記光源ユニットの一部が、前記サスペンションの孔を貫通するように、前記スライダが前記サスペンションに接合されていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構が提供される。【００１４】
また、本発明では、前記に記載した熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、前記サブマウントの形状はＬ字型であり、かつ、前記サブマウントの前記スライダと接合されている部分は、前記サスペンションと前記スライダの間に挟まれていることが好ましい。そして、更には、前記発光素子の基板面と、前記熱アシスト磁気記録ヘッドの積層面とが直交するように、前記光源ユニットが、前記スライダ浮上面の反対側の面に配置されていることが好ましく、又は、更に、前記サスペンションのスライダ接合面側には、前記発光素に電力を供給するための配線が形成されており、前記発光素子の前記サブマウントとの接合面と、前記接合面の反対側の面には各々電極形成されており、前記サブマウントの前記発光素子との接合面には金属膜が形成されており、前記発光素子の前記サブマウントとの接合面側の電極は、前記サブマウントの接合面に形成されている金属膜に接続しており、前記光源ユニット近傍にある前記配線の一方の端は、前記スライダ接合面の反対側の面に対し、金属膜が露出しており、かつ、前記発光素子の前記サブマウントとの接合面と反対側の電極と、前記サブマウントに形成されている金属膜が、前記配線の端の金属膜と電気的に接続されていることが好ましい。【００１５】
また、本発明では、前記に記載した熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、前記サスペンションに形成された開口部は、孔又は切り欠きであり、当該孔又は切り欠きにより、前記光源ユニットとの干渉を防ぐことが好ましく、又は、前記発光素子が樹脂でコーティングされ、或いは、前記光源ユニットが樹脂でコーティングされていることが好ましい。【００１６】
そして、本発明によれば、前記に記載された熱アシスト磁気記録ヘッドを用いた磁気ディスク装置が提供されている。
【発明の効果】
【００１７】
上述した本発明によれば、一般的に広く利用されている安価なＴＥモードの端面発光ＬＤを用いて熱アシスト磁気記録を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を備えた磁気ディスク装置の構成図である。
【図２】上記熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を拡大して示す斜視図である。
【図３】本発明の実施例１になる、上記熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構のＬＤユニット周辺を拡大した斜視図である。
【図４】本発明の実施例１になる、上記熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構のＬＤユニット周辺を拡大した側面図である。
【図５】本発明の実施例１になる、上記熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の一部を模式的に拡大した断面図である。
【図６】本発明の実施例１になる、上記熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を、その組み立て方法と共に示した、分解斜視図である。
【図７】本発明の実施例２になる、熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構に用いるサブマウントの斜視図である。
【図８】当該熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構のＬＤユニット周辺を拡大した斜視図である。
【図９】アシスト磁気記録ヘッド支持機構のＬＤユニット周辺を拡大した側面図である。
【図１０】サブマウントを中心にして示したアシスト磁気記録ヘッド支持機構の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施例について、添付の図面を用いながら詳細に説明する。
【実施例１】
【００２０】
まず、本発明の実施例１になる熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を備えた磁気ディスク装置について説明する。【００２１】
この実施例１では、一般的で安価なＴＥモードの端面発光ＬＤと、簡易なサブマウントにより構成されたＬＤユニットを用いた熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の一例について説明する。【００２２】
図１は、本発明の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を備えた磁気ディスク装置の構成図であり、図２は、上記熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を拡大して示す斜視図であり、図３は、上記熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構のＬＤユニット周辺を拡大した斜視図であり、図４は、上記熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構のＬＤユニット周辺を拡大した側面図の例であり、図５は、上記熱アシスト磁気記録ヘッドの一部を模式的に拡大した断面図であり、そして、図６は、上記熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を、その組み立て方法と共に示した、分解斜視図である。【００２３】
これらの図において、ディスク１は回転可能に支持されており（図１を参照）、磁気ヘッド２１を含むスライダ２は、ディスク１上で、流入端２２から流出端２３の方向に流れる空気の旋回流により、所定の間隔で浮上している（図４を参照）。熱アシスト磁気記録ヘッド２１は、スライダ基板２４であるマウント上に、薄膜プロセスにより、薄膜を積層して形成されている。この磁気ヘッド２１には、記録磁極２１１、記録コイル２１２、導波路２１３、近接場光発生素子２１４、そして、再生素子と２１５が形成されている（図５を参照）。また、図５中の符号２４はスライダ基板を示している。【００２４】
一方、サブマウント３１上にＬＤ（発光ダイオード）３２が実装されている光源（ＬＤ）ユニット３は、スライダ２に搭載されている（図４を参照）。スライダ２はサスペンション４に支持されている。サスペンション４は、フレクシャ４１とロードビーム４２から成り、キャリッジアーム５により支持されており、キャリッジアーム５は、ピボット６を回転軸として揺動可能に支持されている。また、図１中の符号７は、ボイスコイルモータを示している。【００２５】
即ち、上述した構成の磁気ディスク装置では、ボイスコイルモータ７を駆動することにより、キャリッジアーム５を揺動させ、回転するディスク１に対して磁気ヘッド２１を所望のトラック上に移動させ、もって、情報の記録又は再生を行う。【００２６】
上記のＬＤユニット３は、図３及び図４にも示すように、ＬＤ３２の出射面３２１がスライダ２と対向し、かつ、ＬＤ３２の基板面と、熱アシスト磁気記録ヘッド２１の積層面（図４を参照）が直交するように、スライダ浮上面２５の反対側の面に搭載されている。【００２７】
また、スライダ２に接合されるのは、ＬＤユニット３のサブマウント３１である。なお、上記のＬＤ３２も、熱アシスト磁気記録ヘッド２１と同様に、どちらも薄膜プロセスにより、薄膜を積層して作られている。なお、これら図中の符号４２２は、所謂、ディンプルを、そして、４２３は、フランジを示している。【００２８】
これにより、一般的で安価なＴＥモードのＬＤ３２を用いて、熱アシスト磁気記録を行うことが可能となる。【００２９】
次に、上述したサブマウント３１は単純な直方体であり（図３及び図４を参照）、ＬＤ３２との接合面全体に金属膜３１１が蒸着されている。一方、ＬＤユニット３では、金属膜３１１は、ＬＤ３２の接合面側の電極３２２と導通している。なお、サブマウント３１の基板材としては，例えば、窒化アルミニウムが挙げられる。【００３０】
そして、図６にも示すように、サスペンション４のフレクシャ４１とロードビーム４２には、各々、開口部としての孔４１１、４２１が形成されており、当該孔４１１、４２１を貫通するようにＬＤユニット３を配置することで、サスペンション４と干渉することなくＬＤユニット３（３１、３２）を実装することが可能となる。なお、本実施例では、フレクシャ４１とロードビーム４２に設けられた開口部としては、各々に形成された孔４１１、４２１について説明したが、しかしながら、本発明はこれに限定されることなく、例えば、切り欠きであっても構わない。【００３１】
一方、フレクシャ４１の基板４１２は、例えば、ステンレスにより形成されており、そのスライダ接合面側には、磁気ヘッド２１を電気的に接続するための配線４１３と、ＬＤ３２を電気的に接続するための配線４１４が形成されている（図４を参照）。配線４１４の一方の端は、上記フレクシャ４１に形成した孔４１１の近傍にあり、この端部では、基板４１２がエッチングされており、そのため、金属部４１５が露出した形になっている（図３を参照）。一方、ＬＤ３２の接合面と反対側の電極３２３と、サブマウント３１上の金属膜３１１は、配線４１４の金属部４１５と電気的に接続されることにより、ＬＤ３２への給電が可能となる。これにより、ＬＤ３２の電極３２２、３２３やサブマウント上の金属膜３１１をパターニングすることなく、ＬＤ３２への給電が可能となる。なお、本実施例では、この接続に導電性接着剤８を用いたが、これに代えて、半田を用いることも可能である。【００３２】
このように、配線４１４を介してＬＤ３２に給電することで、ＬＤ３２を発光させることが可能となる。このＬＤ３２のスライダ２と対向する面から出射されたレーザー光は、上述した熱アシスト磁気記録ヘッド２１に形成されている導波路２１３に入り（図５を参照）、当該導波路２１３を通って、近接場光学素子２１４に導かれる。このレーザー光は近接場光学素子２１４で近接場光に変換され、記録媒体のデータを記録する箇所を加熱する。同時に、記録コイル２１２に電流を流し記録磁極２１１から磁場を加えることで、熱アシスト磁気記録が行われる。なお、記録媒体はディスク１に形成されている。【００３３】
本実施例では、ＬＤ３２をそのまま用いているものと説明したが、このＬＤ３２もしくはＬＤユニット３を樹脂等でコーティングすることによれば、ＬＤ３２から発生する塵埃が磁気ディスク装置内に飛散することを防ぐことも可能となる。【００３４】
また、本実施例に、レーザー光の強度を測定するための図示しないセンサを設け、当該センサからの信号をＬＤ３２の図示しない駆動回路にフィードバックすることによれば、ＬＤ３２の発振を制御することも可能となる。
【実施例２】
【００３５】
続いて、以下には、本発明の実施例２になる熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を備えた磁気ディスク装置について説明する。この実施例は、ＬＤユニットのサスペンションからの飛び出し量をより小さく抑えることで、磁気ディスク装置への実装を可能としたものである。なお、以下の説明においても、上記本発明の実施例１になる熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を備えた磁気ディスク装置の構成のうち、既に説明した構成や同一の機能を有する部分については、同一の符号を付し、しかしながら、重複を避けるため、その説明は省略する。【００３６】
まず、添付の図７は、本実施例２になる熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構に用いるサブマウントの斜視図であり、図８は、当該熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構のＬＤユニット周辺を拡大した斜視図であり、図９は、その側面図であり、そして、図１０は、サブマウントを中心にして示した拡大断面図である。【００３７】
本実施例２では、その側面から見た場合、サブマウント３１’はＬ字型をしており（図７を参照）、そして、ＬＤ３２との接合面全体には金属膜３３１が蒸着されている。この金属膜３３１は、ＬＤ３２の接合面側の電極３２１と導通している。また、サスペンション４のフレクシャ４１とロードビーム４２には、上記と同様、各々、孔４１１、４２１が形成されている（図８を参照）。【００３８】
そして、Ｌ字型のサブマウント３１’におけるスライダ２との接合部分を、ロードビーム４２に形成されているディンプル４２２とスライダ２の間に挟む形にして（図１０を参照）、ＬＤ３２、及び、Ｌ字型のサブマウント３１’のＬＤ３２が接合されている部分を、孔４１１、４２１に通す形にする（図８及び図９を参照）ことで、ＬＤ３２、及び、Ｌ字型のサブマウント３３が、ロードビームのフランジ４２３側に飛び出す量を小さくすることができる。また、場合によっては、ＬＤ３２、及び、サブマウント３１’の高さを、ロードビーム４２のフランジ４２３より低く抑えることが可能となる。【００３９】
なお、本実施例でも、フレクシャ４１とロードビーム４２には、各々、孔４１１、４２１を設けたが、しかしながら、これらは穴ではなく、切り欠きであっても構わない。【００４０】
また、フレクシャ４１の基板４１２はステンレスで形成されており、スライダ接合面側には、磁気ヘッド２１を電気的に接続するための配線４１３と、ＬＤ３２を電気的に接続するための配線４１４が形成されている。配線４１４の一方の端は孔４１１の近傍にあり、この端の部分は基板４１２がエッチングされ、金属部４１５が露出した形になっている。ＬＤ３２の接合面と反対側の電極３２１とサブマウント上の金属膜３３１が、配線４１４の金属部４１５と電気的に接続されることにより、ＬＤ３２への給電が可能となる。本実施例では、この接続には導電性接着剤を用いたが、しかしながら、これに代えて、例えば、半田を用いることも可能である。【００４１】
また、配線４１４を介してＬＤ３２に給電することで、ＬＤ３２を発光させることが可能となる。ＬＤ３２のスライダ２と対向する面から出射されたレーザー光は、磁気ヘッド２１に形成されている導波路２１３に入り、導波路２１３を通って近接場光学素子２１４に導かれる。レーザー光は近接場光学素子２１４で近接場光に変換され、記録媒体のデータを記録する箇所を過熱する。同時に、記録コイル２１２に電流を流し記録磁極２１１から磁場を加えることで、熱アシスト磁気記録が行われる。記録媒体はディスク１上に形成されている。【００４２】
このように、本実施例では、ＬＤ３２をそのまま用いているが、ＬＤ３２又は／及びＬＤユニット３を樹脂等でコーティングすることで、ＬＤ３２から発生する塵埃が磁気ディスク装置内に飛散することを防ぐことも可能となる。
【符号の説明】
【００４３】
１…ディスク、２…スライダ、２１…熱アシスト磁気記録ヘッド、２１１…記録磁極、２１２…記録コイル、２１３…導波路、２１４…近接場光学素子、２１５…再生素子、２４…スライダ基板、３…光源（ＬＤ）ユニット、３１…サブマウント、３１’…Ｌ字型のサブマウント、３１１…サブマウント表面の金属膜、３２…ＬＤ（発光ダイオード）、３２１…ＬＤの出射面、３２２…ＬＤの電極、３２３…ＬＤの電極、４…サスペンション、４１…フレクシャ、４１１…フレクシャに形成された穴、４１２…フレクシャの基板、４１３…磁気ヘッドに繋ぐフレクシャの配線、４１４…ＬＤに繋ぐフレクシャの配線、４１５…フレクシャ配線の金属部、４２…ロードビーム、４２１…ロードビームに形成された穴、４２２…ディンプル、４２３…フランジ、５…キャリッジアーム、６…ピボット、７…ボイスコイルモータ、８…導電性接着剤
【図１】
2012114460.tif 000003
【図２】
2012114460.tif 000004
【図３】
2012114460.tif 000005
【図４】
2012114460.tif 000006
【図５】
2012114460.tif 000007
【図６】
2012114460.tif 000008
【図７】
2012114460.tif 000009
【図８】
2012114460.tif 000010
【図９】
2012114460.tif 000011
【図１０】
2012114460.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成26年3月28日(2014.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直方体のサブマウントに発光素子が実装された光源ユニットと、磁気記録素子、再生素子、近接場光学素子、前記発光素子からの光を当該近接場光学素子に導く導波路から成る熱アシスト磁気記録ヘッドと、
前記熱アシスト磁気記録ヘッドを含み、かつ、ディスク上を浮上するスライダと、
前記スライダを支持するサスペンションとから成る熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構であって、
前記光源ユニットは、ＴＥモードの端面発光ＬＤであり、かつ、前記スライダの浮上面の反対側に、前記発光素子の発光面がスライダと対向するように配置されており、
前記サスペンションには開口部が形成されており、そして、
前記光源ユニットの一部が、前記サスペンションの孔を貫通するように、前記スライダが前記サスペンションに接合され、
更に、
前記サスペンションのスライダ接合面側には、前記発光素に電力を供給するための配線が形成されており、
前記発光素子の前記サブマウントとの接合面と、前記接合面の反対側の面には各々電極形成されており、
前記サブマウントの前記発光素子との接合面には金属膜が形成されており、
前記発光素子の前記サブマウントとの接合面側の電極は、前記サブマウントの接合面に形成されている金属膜に接続しており、
前記光源ユニット近傍にある前記配線の一方の端は、前記スライダ接合面の反対側の面に対し、金属膜が露出しており、かつ、
前記発光素子の前記サブマウントとの接合面と反対側の電極と、前記サブマウントに形成されている金属膜が、前記配線の端の金属膜と電気的に接続されていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項２】
前記請求項１に記載した熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構であって、
前記サブマウントの前記スライダと接合されている部分は、前記サスペンションと前記スライダの間に挟まれていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項３】
前記請求項１に記載した熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、
前記発光素子の基板面と、前記熱アシスト磁気記録ヘッドの積層面とが直交するように、前記光源ユニットが、前記スライダ浮上面の反対側の面に配置されていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項４】
前記請求項１に記載した熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、
前記サスペンションに形成された開口部は、孔又は切り欠きであり、当該孔又は切り欠きにより、前記光源ユニットとの干渉を防ぐことを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項５】
前記請求項１に記載した熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、
前記発光素子が樹脂でコーティングされていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項６】
前記請求項１に記載した熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、
前記光源ユニットが樹脂でコーティングされていることを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項７】
前記請求項１から請求項６の何れか一の請求項に記載された熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を用いた磁気ディスク装置。
【国際調査報告】
2012114460.tif 000013
2012114460.tif 000014
2012114460.tif 000015
2012114460.tif 000016