(57)【要約】  【課題】アクチュエータ２により補助質量１を駆動した際の反力を利用して制振対象Ｔの振動を抑制するアクティブ制振装置Ｘにおいて、アクチュエータ２の変位や動作速度に剛性ゲインｋ１ａ及び減衰ゲインｃ１ａを乗算してフィードバックすることにより、制振装置機械系Ｘ１の固有振動数が制振対象Ｔの加振周波数ωに一致し、制振装置機械系Ｘ１の減衰を打ち消す特性に制御する剛性減衰制御部５を備え、この剛性減衰制御部５では、変動する加振周波数ωに応じて剛性ゲインｋ１ａ及び減衰ゲインｃ１ａを調整するように構成することによって、加振周波数が変動した場合であっても、その加振周波数成分の振動を好適に抑制することが可能なアクティブ制振装置Ｘを提供する。
2012039299.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
補助質量と、当該補助質量を駆動し且つ駆動状態においてバネ力及び減衰力を発生させるアクチュエータとを備え、当該アクチュエータにより前記補助質量を駆動した際の反力を利用して、加振源の加振周波数成分に応じた制振対象の振動を抑制するアクティブ制振装置であり、
検出又は推定した前記アクチュエータの変位に剛性ゲインを乗じた値及び検出又は推定した前記アクチュエータの動作速度に減衰ゲインを乗じた値から構成される剛性減衰制御信号をフィードバックすることにより、前記加振周波数の変化に追従して当該アクティブ制振装置の剛性特性及び減衰特性を変更する剛性減衰制御部を備え、
当該剛性減衰制御部が、前記加振源の駆動状態に応じて変動する加振周波数に関する情報である加振周波数情報に基づき、前記加振周波数に同期させて、当該アクティブ制振装置の固有振動数を前記制振対象の加振周波数に一致させ、且つ当該アクティブ制振装置の減衰を打ち消し得るように前記剛性ゲイン及び前記減衰ゲインを調整するものであることを特徴とするアクティブ制振装置。
【請求項２】
請求項１に記載のアクティブ制振装置を備えたものであることを特徴とする車両。
【請求項３】
補助質量と、前記補助質量を駆動し且つ駆動状態においてバネ力及び減衰力を発生させるアクチュエータとを備え、当該アクチュエータにより前記補助質量を駆動した際の反力を利用して、加振源の加振周波数成分に応じた制振対象の振動を抑制するアクティブ制振装置の制御方法であって、
検出又は推定した前記アクチュエータの変位に剛性ゲインを乗じた値及び検出又は推定した前記アクチュエータの動作速度に減衰ゲインを乗じた値から構成される剛性減衰制御信号をフィードバックすることにより、前記加振周波数の変化に追従して前記アクティブ制振装置の剛性特性及び減衰特性を変更する剛性減衰制御ステップにおいて、前記加振源の駆動状態に応じて変動する加振周波数に関する情報である加振周波数情報に基づき、前記加振周波数に同期させて、前記アクティブ制振装置の固有振動数を前記制振対象の加振周波数に一致させ、且つ当該アクティブ制振装置の減衰を打ち消し得るように前記剛性ゲイン及び前記減衰ゲインを調整すること特徴とするアクティブ制振装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば自動車の車両等に生じる振動を抑制するアクティブ制振装置、そのアクティブ制振装置を備えた車両、及びアクティブ制振装置の制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、振動を抑制する制振装置として、錘等の補助質量とバネ要素とダンパ要素から構成された受動型動吸振器が知られている。受動型動吸振器は、簡単な構成でありながら、動吸振器単体の固有振動数を加振周波数に一致させて減衰を０にすることによって、制振対象に生じる加振周波数成分の振動を理論的に０とすることができるという利点がある。【０００３】
しかしながら、受動型動吸振器によって良好な制振性能を得るためには、バネ要素やダンパ要素のバネ定数や減衰係数を綿密に調整する作業が要求される。【０００４】
そこで、バネやダンパの作用をアクチュエータによって発生させることで、バネ要素自体あるいはダンパ要素自体に対する機械的な調整を要することなく、バネ定数や減衰係数の調整を容易にして所望の剛性特性及び減衰特性を発揮させることができるアクティブ制振装置が考えられ、実用化されている。本出願人も、往復運動を行うリニアアクチュエータによって補助質量を駆動した際の反力を利用して、加振源（エンジン等）の加振周波数成分に応じた制振対象の振動を抑制可能なアクティブ制振装置をこれまでに提案している（特許文献１等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００７−１２９６２７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、従来のアクティブ制振装置では、抑制すべき加振周波数成分の振動を予め想定（特定）し、制振装置自体のバネ定数と減衰係数を適切に調整することで、その加振周波数成分の振動及びその加振周波数成分に近い周波数成分の振動を全体的になだらかに抑制することができる。【０００７】
しかしながら、例えば加振源（例えばエンジン等）の駆動状態の変化に伴って、制振対象の振動が、想定（特定）されている加振周波数とは大きく異なる加振周波数成分の振動となった場合にはその振動を効果的に抑制することができない。【０００８】
本発明は、このような問題に着目してなされたものであって、主たる目的は、加振周波数が変化した場合にも、その加振周波数成分に応じた制振対象の振動を好適に抑制することが可能なアクティブ制振装置、及びその制御方法、さらにはそのアクティブ制振装置を備えた車両を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち本発明は、補助質量と、補助質量を駆動し且つ駆動状態においてバネ力及び減衰力を発生させるアクチュエータとを備え、アクチュエータにより補助質量を駆動した際の反力を利用して、加振源の加振周波数成分に応じた制振対象の振動を抑制するアクティブ制振装置に関するものである。ここで、「制振対象」とは、機器であるか否かを問わず、加振源の加振周波数成分に応じて振動するものであればよい。また、「制振対象」が「機器全体」であったり、或いは「機器のうちある特定の領域や部分」であってもよい。また、「加振源」は、特に限定されるものではないが、本発明のアクティブ制振装置では、駆動状態（作動状態）が大きく変化し得るもの、例えばエンジンやモータ、発電機等の回転機器が加振源である場合に、特に優れた作用効果を発揮し得るものである。【００１０】
そして、本発明に係るアクティブ制振装置は、検出又は推定したアクチュエータの変位に剛性ゲインを乗じた値及び検出又は推定したアクチュエータの動作速度に減衰ゲインを乗じた値から構成される剛性減衰制御信号をフィードバックすることにより、加振周波数の変化に追従してアクティブ制振装置自体の剛性特性及び減衰特性を変更する剛性減衰制御部を備えたものであり、この剛性減衰制御部が、加振源の駆動状態に応じて変動する加振周波数に関する情報である加振周波数情報に基づき、加振周波数に同期させて、アクティブ制振装置の固有振動数を制振対象の加振周波数に一致させ、且つこのアクティブ制振装置の減衰を打ち消し得るように剛性ゲイン及び減衰ゲインを調整するものであることを特徴としている。【００１１】
本発明のアクティブ制振装置では、アクチュエータの変位や動作速度は、変位センサや速度センサ等の検出手段で直接検出した値であってもよく、あるいは他の値（検出値または推定値の何れであってもよい）から所定の演算処理によって推定（算出）した値であっても構わない。また、本発明における「加振周波数情報」は、加振周波数そのもの、あるいは加振源の動作状況（回転パルス信号や駆動パルス信号）や仕様（加振源がエンジンであれば気筒数、点火気筒数、エンジン型式等）等、その情報から加振周波数を算出することが可能な情報全般を包含する。【００１２】
そして、本発明では、アクティブ制振装置自体の剛性特性及び減衰特性を調整する剛性減衰制御部により、加振周波数に同期させて剛性ゲイン及び減衰ゲインを調整し、この剛性ゲインにアクチュエータの変位を乗じた値、及び減衰ゲインにアクチュエータの動作速度を乗じた値から構成される剛性減衰制御信号としてフィードバックさせるようにしている。したがって、この剛性減衰制御信号に基づいてアクチュエータを駆動させた場合、アクティブ制振装置の固有振動数が加振周波数と等しく、減衰を０に近付けているため、制振対象に生じる加振周波数成分の振動を０に近付けることができ、好適に抑制することができる。特に、加振源の作動状態の変化に伴って加振周波数が大きく変化した場合であっても、加振周波数情報に基づいてその変化した加振周波数に対応させて剛性ゲイン及び減衰ゲインを調整し、その調整した剛性ゲイン及び減衰ゲインに基づいて決定した剛性減衰制御信号をフィードバックさせることにより、アクティブ制振装置の固有振動数を変化した加振周波数と一致させ、減衰を打ち消し得るため、変化した加振周波数成分の振動に対しても優れた制振効果を発揮する。【００１３】
このように、本発明のアクティブ制振装置は、加振周波数が変化した場合に、その変化に追従して剛性特性及び減衰特性を変更するという斬新な制振制御を採用することにより、従来の制振装置のように固有振動数を固定した制振制御では適切な制振効果を発揮することができない場合、すなわち、予め想定（特定）した加振周波数から大きく変化する加振周波数成分の振動に対しても良好な制振効果を発揮するものとなる。【００１４】
また、本発明に係る車両は上述した構成のアクティブ制振装置を備えていることを特徴としている。本発明のアクティブ制振装置は、上述したように、駆動状態（作動状態）が大きく変化し得るエンジンが加振源である場合に、特に優れた作用効果を発揮し得るものであり、このようなアクティブ制振装置を搭載した車両であれば、変化する加振周波数成分の振動に対してもアクティブ制振装置が優れた制振効果を発揮することによって、運転手或いは同乗者は良好な乗り心地を得ることができる。【００１５】
また、本発明のアクティブ制振装置の制御方法は、補助質量と、補助質量を駆動し且つ駆動状態においてバネ力及び減衰力を発生させるアクチュエータとを備え、アクチュエータにより補助質量を駆動した際の反力を利用して、加振源の加振周波数成分に応じた制振対象の振動を抑制する方法であって、検出又は推定した前記アクチュエータの変位に剛性ゲインを乗じた値及び検出又は推定した前記アクチュエータの動作速度に減衰ゲインを乗じた値から構成される剛性減衰制御信号をフィードバックすることにより、加振周波数の変化に追従してアクティブ制振装置の剛性特性及び減衰特性を変更する剛性減衰制御ステップにおいて、加振源の駆動状態に応じて変動する加振周波数に関する情報である加振周波数情報に基づき、加振周波数に同期させて、アクティブ制振装置の固有振動数を制振対象の加振周波数に一致させ、且つこのアクティブ制振装置の減衰を打ち消し得るように剛性ゲイン及び減衰ゲインを調整すること特徴としている。【００１６】
このようなアクティブ制振装置の制御方法であれば、加振周波数と同期して剛性ゲイン及び減衰ゲインを調整して剛性特性及び減衰特性を変更するようにしているため、上述したアクティブ制振装置における作用効果と同様に、加振周波数が変化した場合であってもその加振周波数成分の振動を低減することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、加振源の作動状態等に加振周波数が変動した場合であっても、その加振周波数に同期して、剛性特性及び減衰特性を決定付ける剛性ゲイン及び減衰ゲインを調整することにより、その変動した加振周波数成分の振動を好適に抑制することが可能なアクティブ制振装置、及びその制御方法、さらには変動した加振周波数成分の振動を好適に抑制することが可能なアクティブ制振装置を備えた車両を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係るアクティブ制振装置の機能ブロック図。
【図２】同実施形態に係るアクティブ制振装置を制振対象に装着した状態の動作原理図。
【図３】同状態のブロック線図。
【図４】同実施形態におけるアクチュエータの模式図。
【図５】同アクチュエータの動作原理図。
【図６】同アクチュエータの動作原理図。
【図７】同実施形態に係るアクティブ制振装置単体のブロック線図。
【図８】同実施形態に係るアクティブ制振装置のフローチャート。
【図９】同実施形態に係るアクティブ制振装置の一変形例の図３対応図。
【図１０】同実施形態に係るアクティブ制振装置の一変形例の図３対応図。
【図１１】同実施形態に係るアクティブ制振装置の一変形例の図３対応図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
本実施形態に係るアクティブ制振装置Ｘ（以下、「制振装置Ｘ」と称する場合もある）は、図１及び図２に示すように、補助質量１と、補助質量１を駆動するアクチュエータ２とを備え、アクチュエータ２により補助質量１を駆動した際の反力を利用して、制振対象Ｔの振動を抑制するものである。
【００２０】
このような制振装置Ｘを制振対象Ｔに固定（装着）し、制振対象Ｔに生じている振動を補助質量１及びアクチュエータ２を駆動させた状態では、その状態をモデル化した模式図である図２、及びその状態のブロック線図である図３に示すように、制振対象Ｔの振動系（以下「制振対象主系Ｔ１」と称する）、及び制振装置Ｘの振動系（「以下「制振装置機械系Ｘ１」と称する」が形成され、制振装置Ｘは、制振対象Ｔの振動を打ち消す方向に補助質量１をアクチュエータ２で動かすことによって制振効果を発揮する。このような制振装置Ｘは、アクティブ動吸振器（Active dynamic damper）とも称される。なお、図２及び図３の「ｍ０」「ｋ０」「ｃ０」は、それぞれ制振対象Ｔの質量（主系質量）、制振対象主系Ｔ１のバネ定数、制振対象主系Ｔ１の減衰係数を意味し、「ｍ１」「ｋ１」「ｃ１」は、それぞれ補助質量１、制振装置機械系Ｘ１のバネ定数、制振装置機械系Ｘ１の減衰係数を意味する。また、図３における符号２はアクチュエータのうち特に電気系を示す。
【００２１】
本実施形態では、制振装置Ｘを例えば車両の車体フレームＴに装着し、アクチュエータ２に制振力（加振力）を発生させて、車体フレームＴに発生する上下方向（重力方向）の振動を制振装置Ｘによって抑制できるように構成している。なお、車両にはエンジンＥが搭載され、このエンジンＥが車体フレームＴに発生する振動の発生源（加振源、振動発生源）である。なお、エンジンＥの駆動によって振動する部材や部分は、車体フレームＴ以外にも、例えばシート、エンジンマウント近傍、ラジエータ近傍、後部の荷台下部、或いはトランク下部等、多数存在し、これら各部に本実施形態に係る制振装置Ｘを取り付けた場合においても有効な制振効果を得ることが可能である。
【００２２】
補助質量１は、例えば錘等であり、図２に示すように、バネ要素ｋ及び減衰要素ｃによって支持（保持）されている。本実施形態では、アクチュエータ２（後述するレシプロモータＭ）を構成する部材がバネ要素ｋや減衰要素ｃとして機能する。
【００２３】
本実施形態に係る制振装置Ｘは、図１に示すように、補助質量１及びアクチュエータ２に加えて、アクチュエータ２を駆動する電流（駆動電流）を検出する電流検出部３と、電流検出部３から出力される電流値Ｉａとパワーアンプ７への電流指令等に基づいてアクチュエータ２の動作速度（移動速度）を推定する速度推定部４と、速度推定部４の出力値である推定速度値の積分値に剛性ゲインｋ１ａを乗じた値、及び推定速度値に減衰ゲインｃ１ａを乗じた値を剛性減衰制御信号としてフィードバックすることにより制振装置機械系Ｘ１の剛性特性及び減衰特性を所望の特性に制御する剛性減衰制御部５と、剛性減衰制御部５から出力される剛性減衰制御信号等に基づき、アクチュエータ２に発生させるべき力に応じてアクチュエータ２に印加するべき電流の指令値を求めて出力する印加電流指令生成部６と、印加電流指令生成部６の出力値（電流指令値）に応じたアクチュエータ２を駆動するための電流をアクチュエータ２に供給するパワーアンプ７とを備えたものである。
【００２４】
本実施形態のアクティブ制振装置Ｘでは、アクチュエータ２として、補助質量１を往復運動させるリニアアクチュエータを適用している。リニアアクチュエータとして、ボイスコイル２１ｃモータを適用することもできるが、本実施形態では、電磁力を利用したレシプロモータＭを適用している。
【００２５】
このレシプロモータＭは、図４乃至図６に示すように、制振対象Ｔ（車体フレームＴ）に固定される固定子２１と、固定子２１に対して往復動可能な可動子２２と、固定子２１及び可動子２２の同一軸心上に配置され可動子２２と一体に往復動可能な軸２３と、自らが弾性変形することにより可動子２２及び軸２３を固定子２１に対して往復動可能に支持する板バネ２４とを備えたものである。固定子２１は、内部に可動子２２の移動を許容する空間を有する筒状をなし、軸２３の長手方向（軸方向）にリング状の鋼板を積層した積層コア２１ａと、積層コア２１ａのうち可動子２２に対面し得る領域に配置した永久磁石２１ｂと、積層コア２１ａの所定部分に巻回したコイル２１ｃとを有する（図５参照）。ここで、軸方向に隣り合う永久磁石２１ｂ同士の極、及び可動子２２を挟んで対向する永久磁石２１ｂ同士の極が相互に異なるように配置設定している。また、可動子２２は、リング状の鋼板を積層したものであり、適宜の手段で軸２３に固定されている。本実施形態では、可動子２２と補助質量１とを軸２３で接合し、制振対象Ｔの抑制するべき振動の方向と可動子２２の往復動方向（推力方向）とが一致するように、固定子２１を制振対象Ｔに固定している（図４参照）。
【００２６】
そして、コイル２１ｃに所定方向（正方向）の電流を流した場合、コイル２１ｃ及び永久磁石２１ｂ等の作用により、図５に矢印φ１で示す磁束経路が形成され、可動子２２は重力に逆らう方向（上方向、矢印Ｆ１方向）に移動し、コイル２１ｃに所定方向とは逆方向（負方向）の電流を流した場合、図６に矢印φ２で示す磁束経路が形成され、可動子２２は重力方向（下方向、矢印Ｆ２方向）に移動する。このように、可動子２２に作用する推力の方向Ｆ１，Ｆ２は、コイル２１ｃに流す電流の方向により決定される。そのため、コイル２１ｃに正方向及び負方向の電流を交互に流すことにより可動子２２を軸方向に沿った一直線上で往復駆動（振動）させることが可能となる。これにより、軸２３を介して板バネ２４で保持している補助質量１を往復駆動させることができる。
【００２７】
可動子２２が受ける推力の大きさは、コイル２１ｃに流す電流の大きさに比例し、本実施形態の制振装置Ｘでは、印加電流指令生成部６からパワーアンプ７に出力する電流指令値に基づいて可動子２２及び補助質量１の加速度を制御することにより、制振対象Ｔの振動を低減するように構成している。なお、図４に示すようなリニアアクチュエータ２は、軸２３を滑らせて往復動可能に支持するのではなく、板バネ２４が、可動子２２を軸２３の上端側及び下端側の２箇所で保持し、自ら弾性変形することによって可動子２２を軸方向に往復動可能に支持するため、可動子２２には摩耗も摺動抵抗も生じず、長期に亘る使用を経た後でも軸２３を支持する精度が低下することがなく、高い信頼性を得ることができるとともに、摺動抵抗に起因する消費電力の損失がなく性能の向上を図ることができる。
【００２８】
電流検出部３は、例えば電流センサを用いて構成したものであり、パワーアンプ７からアクチュエータ２に供給される電流Ｉａを検出する。具体的には、パワーアンプ７が図３に示すように印加電流指令生成部６からの出力値（電流指令値）に所定のパワーアンプゲインＧＰＡ*を乗じた指令電圧をアクチュエータ２に出力するものである点と、アクチュエータ２のコイル２１ｃ（Ｌはインダクタンス、Ｒは抵抗、ｓはラプラス演算子（微分演算子）を表す）に入力されるパワーアンプ７からの出力値（指令電圧）に応じた電流（指令電圧にアクチュエータ２の推力定数ＫＴを乗じた電流）が供給される点とを利用して、電流検出部３はアクチュエータ２に供給される電流Ｉａを検出し、その検出値Ｉａ*を速度推定部４に出力している。また、本実施形態の制振装置Ｘは、電流検出部３で検出した電流値Ｉａ*に所定のフィードバックゲインＧｃを乗じた値（電流フィードバック指令値）を、パワーアンプ７の入力側に戻す電流フィードバック制御部８を備えている。電流フィードバック制御を行うことにより、高い周波数でも十分な応答性を得ることができる。
【００２９】
速度推定部４は、制振装置Ｘ単体のブロック線図である図７に示すように、誘導起電力ｅＴ*に基づいてアクチュエータ２の動作速度ｖ１*を推定するものである。本実施形態では、アクチュエータ２のコイル及び指令電圧から誘導起電力ｅＴ*を推定し、この誘導起電力ｅＴ*をアクチュエータ２の推力定数ＫＴ*で割ることでアクチュエータ２の動作速度ｖ１*を推定するように構成している。指令電圧は、パワーアンプ７に入力される電流指令値にパワーアンプゲインＧＰＡ*を乗じることによって求めることができる。なお、アクチュエータ２の端子電圧を検出する電圧検出部を別途設け、この電圧検出部で検出した電圧値を利用して誘導起電力ｅＴ*を推定するようにしてもよい。一方、アクチュエータ２のコイル端子電圧は、アクチュエータ２に供給される電流（本実施形態では電流検出部３で検出した電流値Ｉａ*）にコイル２１ｃの逆特性「Ｌ*Ｓ＋Ｒ*」を乗じることによって求めることができる。そして、この速度推定部４は、推定した推定速度値ｖ１*を剛性減衰制御部５に出力する。
【００３０】
なお、速度推定部４として、誘導起電力を指令電圧とアクチュエータ２の端子電圧とから求め、この誘導起電力からアクチュエータ２（可動子２２）の動作速度を推定するように構成したものを用いることもできる。
【００３１】
剛性減衰制御部５は、図７に示すように、速度推定部４の出力値である推定速度値ｖ１*の積分値である変位ｘ（アクチュエータ２の変位ｘ１）に剛性ゲインｋ１ａを乗算した値、推定速度値ｖ１*に減衰ゲインｃ１ａを乗算した値とを剛性減衰制御信号としてフィードバックすることにより、制振装置Ｘの剛性特性及び減衰特性を調整するものである。具体的に、この剛性減衰制御部５は、エンジンＥ又は図示しないエンジンコントロールユニットから入力される加振周波数情報に基づき、加振周波数ωに同期させて、制振装置機械系Ｘ１の固有振動数を制振対象Ｔの加振周波数ωに一致させ、且つ制振装置機械系Ｘ１の減衰を打ち消し得るように剛性ゲインｋ１ａ及び減衰ゲインｃ１ａを調整し、これら調整した剛性ゲインｋ１ａ及び減衰ゲインｃ１ａに基づく剛性減衰制御信号を印加電流指令生成部６に出力する。剛性減衰制御部５に入力される加振周波数情報は、加振周波数ωそのものであってもよいが、その情報から加振周波数ωを求めることが可能な情報、例えばエンジンＥの基本加振周波数成分、すなわち時間あたりのエンジン点火回数（点火周期）、さらにはその高次成分（２倍、３倍等）を含む情報であってもよい。後者の場合、加振周波数情報から加振周波数ωを適宜の演算処理等で求める処理は、剛性減衰制御部５で行うように構成したり、剛性減衰制御部５よりも上位（エンジンＥ側）で行うように構成することができる。なお、加振周波数情報に、エンジンＥの点火周期に加えて、または代えて、回転パルス、点火パルス、気筒数、点火気筒数、エンジンＥの型式、これら全部又は複数、或いは１つに関する情報が含まれ、この情報から加振周波数ωを求めるようにしてもよい。
【００３２】
そして、本実施形態の剛性減衰制御部５は、制振装置機械系Ｘ１の固有振動数は√（ｋ１／ｍ１）で求めることができることを利用して、以下の式１により剛性ゲインｋ１ａを求めている。
【００３３】
【数１】
2012039299.tif 000003
・・・式1
【００３４】
式１において、ｋ１、ｋ１ａ、ｍ１、ωは、それぞれ制振装置機械系Ｘ１のバネ定数、剛性ゲイン、補助質量、加振周波数を意味する。
【００３５】
また、本実施形態の剛性減衰制御部５は、以下の式２により減衰ゲインｃ１ａを求めている。
【００３６】
【数２】
2012039299.tif 000004
・・・式２
【００３７】
式２においてｃ１、ｃ１ａ、ζ、ｍ１、ｋ１、ｋ１ａ、ωは、それぞれ、制振装置機械系Ｘ１の減衰係数、減衰ゲイン、減衰比、補助質量、制振装置機械系Ｘ１のバネ定数、剛性ゲイン、加振周波数を意味する。
【００３８】
そして、本実施形態の制振装置Ｘは、このような剛性減衰制御部５により、加振周波数ωに基づいて調整した剛性ゲインｋ１ａに制振装置機械系Ｘ１の変位ｘを乗じた値、及び減衰ゲインｃ１ａに制振装置機械系Ｘ１（アクチュエータ２）の動作速度を乗じた値の加算値を、アクチュエータ２に発生させる推力を指令する推力指令値（「剛性減衰制御信号」に相当し、以下では「力指令値」と称する場合もある）として出力する。
【００３９】
印加電流指令生成部６は、アクチュエータ２に印加するべき電流の指令値を、剛性減衰制御部５からの出力値である力指令値をアクチュエータ２の推力定数ＫＴ*で割った値である剛性減衰制御電流指令値と、電源Ｐから供給される電流とに基づいて生成するものである。そして、この印加電流指令生成部６は、生成した電流指令値をパワーアンプ７に出力する。ここで、図２及び図７に示すように、上述した電流フィードバック制御部８は、印加電流指令生成部６の一部として捉えることができる。すなわち、印加電流指令生成部６は、アクチュエータ２に印加するべき電流の指令値を求めるに際して、電流フィードバック制御部８からの出力値である電流フィードバック指令値を反映させ、この反映させた電流指令値をパワーアンプ７に向かって出力するように構成している。
【００４０】
パワーアンプ７は、アクチュエータ２に発生させるべき力に応じた電流をリニアアクチュエータ２に供給するものである。本実施形態では、パワーアンプ７によって、印加電流指令生成部６の出力値である電流指令値に所定のパワーアンプゲインＧＰＡを乗じ、その乗算値である指令電圧をアクチュエータ２に出力するように構成している。
【００４１】
次に、本実施形態に係る制振装置Ｘの動作及び制振方法、並びに作用を図３、図７及び図８を参照して説明する。
【００４２】
図７に示すように、制振装置機械系Ｘ１を制振対象Ｔに装着していない状態でアクチュエータ２に作用する推力ｆａによって可動子２２及び補助質量１を駆動させた場合、制振装置機械系Ｘ１の動作速度ｖ１（推力ｆａを質量ｍ１（補助質量１）で割った値）に比例する力、具体的には制振装置機械系Ｘ１の動作速度ｖ１に減衰係数ｃ１を乗じた値に相当する力が減衰力として発生するとともに、制振装置機械系Ｘ１の変位ｘ１（速度の積分値）に比例した力、具体的には制振装置機械系Ｘ１の変位ｘ１にバネ定数ｋ１を乗じた値に相当する力がバネ力として発生し、これらバネ力及び減衰力がアクチュエータ２の推力ｆａを小さくする（下げる）方向に作用する。
【００４３】
また、制振対象主系Ｔ１は、制振装置Ｘが装着されていない状態で加振周波数成分の振動（加振力ｆｄ）が生じた場合、制振対象主系Ｔ１の変位ｘ０に比例したバネ力（制振対象主系Ｔ１の変位ｘ０にバネ定数ｋ０を乗じた値に相当する力）が発生するとともに、制振対象主系Ｔ１の動作速度ｖ０に比例する減衰力（制振対象主系Ｔ１の動作速度ｖ０に減衰係数ｃ０を乗じた値に相当する力）が発生し、これらバネ力及び減衰力が振動ｆｄを小さくする（下げる）方向に作用する。
【００４４】
このような制振対象Ｔに本実施形態の制振装置Ｘを装着した場合、図３に示すように、アクチュエータ２の推力ｆａ及びアクチュエータ２の推力ｆａによって生じるバネ力及び減衰力が制振対象Ｔにも作用する。
【００４５】
ここで、制振装置Ｘ（制振装置機械系Ｘ１）の補助質量１とバネ定数ｋ１とによって決まる制振装置Ｘ（制振装置機械系Ｘ１）の固定振動数が加振周波数ωと等しく、制振装置Ｘ（制振装置機械系Ｘ１）の減衰係数ｃ１が０である場合、制振対象Ｔの振動を理論的に０とすることができる。
【００４６】
しかしながら、ある特定の加振周波数成分の振動を抑制できるように、特定の加振周波数ωに一致させた固有振動数で制振装置Ｘを適用した場合、当該特定の加振周波数成分の振動は低減できるものの、たとえばエンジンＥの駆動状態によって加振周波数ωが大きく変化すれば、変化した加振周波数成分の振動に対する制振効果は低下する。
【００４７】
そこで、本実施形態の制振装置Ｘは、加振周波数ωが変動した場合であっても、その変動する加振周波数ω応じて、制振装置Ｘ（制振装置機械系Ｘ１）の固有振動数がその加振周波数ωと等しくなり、しかも制振装置Ｘ（制振装置機械系Ｘ１）の減衰ｃ１を０に近付けるように、剛性減衰制御部５で上述した式１により剛性ゲインｋ１ａを調整し、式２により減衰ゲインｃ１ａを調整している。
【００４８】
具体的には、本実施形態の制振装置Ｘは、通電状態においてアクチュエータ２によって補助質量１を往復駆動させている場合（図８のＳ１；Ｙ）、電流検出部３でパワーアンプ７からアクチュエータ２に供給される電流を検出し、その検出値Ｉａ*を速度推定部４に出力する（電流検出ステップＳ２）。次いで、本実施形態の制振装置Ｘは、速度推定部４において、指令電圧と電流検出部３からの出力値（電流値Ｉａ）とから誘導起電力ｅＴ*を推定し、この誘導起電力ｅＴ*をアクチュエータ２の推力定数ＫＴ*で割ることでアクチュエータ２の動作速度を推定する（動作速度推定ステップＳ３）。
【００４９】
ここで、制振装置機械系Ｘ１の動作速度に応じてアクチュエータ２には誘導起電力ｅＴ（制振装置機械系Ｘ１の動作速度をアクチュエータ２の推力定数ＫＴで割った値）が生じ、その分だけアクチュエータ２の端子電圧は下がるが、制振装置Ｘを制振対象Ｔに取り付けた場合、図３に示すように、制振装置機械系Ｘ１の動作速度ｖ１には制振対象主系Ｔ１の動作速度ｖ０も含まれることになる。したがって、アクチュエータ２に実際に生じる誘導起電力ｅＴは、制振装置機械系Ｘ１の動作速度ｖ１から制振対象主系Ｔ１の動作速度ｖ０を引いた値（ｖ１−ｖ０）に応じた値となる。そして、本実施形態の速度推定部４（動作速度推定ステップＳ３）では、この誘導起電力ｅＴと同等の誘導起電力ｅＴ*に基づいてアクチュエータ２単体の動作速度を推定するように構成しているため、速度推定部４で推定して剛性減衰制御部５に出力する値は、制振装置機械系Ｘ１の動作速度ｖ１から制振対象主系Ｔ１の動作速度ｖ０を引いた値「ｖ１−ｖ０」となる。
【００５０】
引き続いて、本実施形態の制振装置Ｘは、エンジンＥ或いは図示しないＥＣＵ（Engine control unit）から剛性減衰制御部５に入力される加振周波数情報に基づいて、剛性減衰制御部５により、制振装置Ｘの剛性特性及び減衰特性が、加振周波数ωと制振装置機械系Ｘ１の固有振動数とが一致し、且つ制振装置機械系Ｘ１の減衰ｃ１を打ち消す特性となるように、上記式１に基づいて剛性ゲインｋ１ａを調整するとともに、上記式２に基づいて減衰ゲインｃ１ａを調整し、調整した剛性ゲインｋ１ａに速度推定部４からの出力値（アクチュエータ２の動作速度ｖ１−ｖ０）の積分値を乗じた値と、調整した減衰ゲインｃ１ａに速度推定部４からの出力値（アクチュエータ２の動作速度ｖ１−ｖ０）を乗じた値とを力指令値として印加電流指令生成部６に出力する（剛性減衰制御ステップＳ４）。
【００５１】
次いで、本実施形態の制振装置Ｘは、印加電流指令生成部６により、剛性減衰制御部５からの出力値である力指令値をアクチュエータ２の推力定数ＫＴ*で割った値を示す剛性減衰制御電流指令値に基づいて、対パワーアンプ供給電流指令値を生成する（印加電流指令生成ステップＳ５）。本実施形態では、印加電流指令生成部６（印加電流指令生成ステップＳ５）において、さらに、対パワーアンプ供給電流指令値と電流フィードバック指令値とを対応付け、この対応付けた電流指令値をパワーアンプ７に向かって出力する。すると、本実施形態の制振装置Ｘは、パワーアンプ７によって、この電流指令値に所定のパワーアンプゲインＧＰＡを乗じた指令電圧をアクチュエータ２に出力する（電圧指令出力ステップＳ６）。これにより、アクチュエータ２の可動子２２に、指令電圧に応じた電流を推力定数ＫＴで乗じた値である推力ｆａが作用する。この推力ｆａを受けて往復動する可動子２２により補助質量１を往復駆動させ、その反力を用いて制振対象Ｔの振動を低減することができる。この際、制振装置機械系Ｘ１のバネ定数ｋ１及び減衰係数ｃ１はそれぞれ剛性減衰制御部５で調整した剛性ゲインｋ１ａ及び減衰ゲインｃ１ａによって調整されたものであるため、アクチュエータ２の可動子２２及び補助質量１（制振装置機械系Ｘ１）は加振周波数ωと一致する固有振動数で振動し、また、減衰を０に近付けていることから、制振対象Ｔの振動を０に近付けることができ、良好な制振効果を得ることができる。
【００５２】
そして、本実施形態の制振装置Ｘは、アクチュエータ２による補助質量１の往復駆動が停止すれば上述の処理を停止し（図８のＳ７；Ｙ）、アクチュエータ２による補助質量１の往復駆動が継続している間は、上述した電流検出ステップＳ２から電圧指令出力ステップＳ６を継続して繰り返す（図８のＳ７；Ｎ）ことにより、エンジンＥの駆動状態に応じて変動する加振周波数成分の振動を効果的に抑制することができる。ここで、補助質量１の往復駆動が停止する場合としては、電源Ｐからアクチュエータ２への通電状態が切断された場合や、通電状態において抑制すべき振動が生じていない場合、或いは制振モードが選択されていない場合等を挙げることができる。
【００５３】
このように、本実施形態に係る制振装置Ｘは、剛性減衰制御部５によって剛性ゲインｋ１ａ及び減衰ゲインｃ１ａの調整を加振周波数ωに追従させながら行うように構成し、さらにそれら剛性ゲインｋ１ａ及び減衰ゲインｃ１ａの調整を、加振周波数ωと制振装置機械系Ｘ１の固有振動数が一致し、且つ制振装置機械系Ｘ１の減衰ｃ１を０に近付くように実施しているため、加振周波数ωが変動した場合であっても、常にその加振周波数成分の振動を０に近付けることができ、良好な制振効果を発揮する。
【００５４】
特に、本実施形態の制振装置Ｘは、エンジンＥまたはエンジンコントロールユニットから剛性減衰制御部５に入力される加振周波数情報に基づいて、剛性ゲインｋ１ａ及び減衰ゲインｃ１ａの調整を制御によって行っているため、制振装置Ｘを制振対象Ｔに装着する前の時点で制振対象Ｔの制振特性を予め把握して、この制振特性に応じて制振装置Ｘの剛性特性及び減衰特性を設定するという作業が不要となり、装置導入時の作業簡易化を図ることができ、しかもこの制振装置Ｘを制振対象Ｔに一旦装着すれば、多様な加振周波数成分の振動を好適に抑制することができることから汎用性に優れたものになる。
【００５５】
また、本実施形態の制振装置Ｘは、電流検出部３によって検出した電流値Ｉａやパワーアンプ７に入力される指令電圧に基づいて動作速度推定部４によりアクチュエータ２（制振装置機械系Ｘ１）の動作速度を推定するように構成しているため、アクチュエータ２の固定子２１に対する補助質量１の相対値（変位ｘ、速度、加速度）を検出する各種センサ（変位ｘセンサ、速度センサ、加速度センサ）が不要となり、コストの削減を図ることができる。しかも、本実施形態では、高い周波数帯域でも適切な応答性を得ることができるように電流フィードバック制御を採用しており、この電流フィードバック制御を行うに際して必須となる電流検出部３を利用してアクチュエータ２（制振装置機械系Ｘ１）の動作速度を推定するように構成しているため、部品の共用化を好適に図ることができる。
【００５６】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、図９に示すように固有振動数成分以外の信号成分を抑制するバンドパスフィルタＢＰＦを所定箇所に挿入（配置）した制振装置であってもよい。特に、制振装置機械系Ｘ１の減衰を０に調整した場合、制振装置機械系Ｘ１の固有振動数の低域及び高域の周波数帯で、振動特性が悪くなり、これらの帯域に加振周波数成分があると、制振対象Ｔの振動が大きくなってしまい、固有振動数以外の帯域での性能劣化を招来し得る。このような不具合を防止するために、バンドパスフィルタＢＰＦを適宜箇所に挿入（配置）すればよい。バンドパスフィルタＢＰＦを使用することによって、剛性減衰制御信号（剛性減衰制御電流指令値）から加振周波数成分以外の信号を除去することができ、加振周波数成分以外の帯域に制御の影響が出ることを防止できる。このバンドパスフィルタＢＰＳは加振周波数ωに応じて調整すればよい。
【００５７】
また、制振対象周波数（加振周波数）以外の帯域に減衰制御を行うことに起因する制振性能の劣化を防止するために、図１０に示すように、バンドパスフィルタＢＰＦとともに、ノッチフィルタＮＦを設けてもよい。そして、速度推定部４の出力値（アクチュエータ２の動作速度ｖ１−ｖ０）に所定の減衰係数ｃ１ｂを乗じて、固有振動数成分の信号を取り除くノッチフィルタＮＦを通した速度値をフィードバックするループを追加することにより、制振装置機械系Ｘ１の設定した固有振動数成分以外の帯域に減衰制御が作用するようにし、加振周波数成分を抑制しつつ、加振周波数成分以外の帯域での性能劣化を防止することができる。
【００５８】
また、制振対象周波数（加振周波数ω）以外の帯域に減衰制御を行うことに起因する制振性能の劣化を防止するために、図１１に示すように、速度推定部４の出力値（アクチュエータ２の動作速度ｖ１−ｖ０）をＤＸＨＳフィルタ（遅延調和シンセサイザ最小平均自乗フィルタ）に通して加振周波数成分のみ抽出し、これに基づいて剛性ゲインｋ１ａ及び減衰ゲインｃ１ａを調節するようにすれば、加振周波数成分のみの信号を抽出して剛性と減衰の制御を行うことができ、振周波数成分以外の帯域に制御による悪影響が発生することを防止できる。なお、図１１におけるμ，×，ｚ−１，ｔはそれぞれステップサイズパラメータ、乗算、単位遅延演算子、時間を表す。
【００５９】
また、上述した実施形態では、加振源としてエンジンを例示したが、エンジン以外のもの、例えばモータやポンプ、発電機等を加振源とする制振対象の振動を制振装置で抑制するように構成してもよい。この場合、加振周波数情報として、加振源に該当する機器の回転パルス信号或いは駆動パルス信号を用いることができ、これら各パルス信号から算出した加振周波数を剛性減衰制御部に入力するように構成すればよい。
【００６０】
また、上述した実施形態では、アクチュエータに生じる誘導起電力を基にアクチュエータ（制振装置機械系）の動作速度を推定する態様を示したが、アクチュエータの固定子に対する補助質量の相対値（変位、速度、加速度）を検出する各センサ（変位センサ、速度センサ、加速度センサ）のうち少なくとも１つを備え、センサの検出値を基にアクチュエータ（制振装置機械系）の動作速度を検出又は推定する構成であっても構わない。また、剛性減衰制御部（剛性減衰制御ステップ）において剛性ゲインを乗じる対象値であるアクチュエータ（制振装置機械系）の変位は、変位センサで直接検出した値、或いは速度センサや加速度センサによるセンシング値（検出値）を基に所定の演算処理によって推定（算出）した値であってもよい。同様に、剛性減衰制御部（剛性減衰制御ステップ）において減衰ゲインを乗じる対象値であるアクチュエータ（制振装置機械系）の動作速度は、速度センサで直接検出した値、或いは変位センサや加速度センサによるセンシング値（検出値）を基に所定の演算処理によって推定（算出）した値であってもよい。
【００６１】
また、電流フィードバック制御を採用していない制振装置であってもよい。
【００６２】
また、本発明のアクティブ制振装置を、自動車以外の移動体（例えば、航空機や船舶等）に搭載することができ、各移動体の所定箇所に生じ得る振動をこのアクティブ制振装置によって好適に防止・抑制することができる。
【００６３】
その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１…補助質量
２…アクチュエータ（リニアアクチュエータ、レシプロモータ）
ｃ１ａ…減衰ゲイン
ｋ１ａ…剛性ゲイン
Ｔ…制振対象（車両フレーム）
Ｘ…アクティブ制振装置
ω…加振周波数
【図１】
2012039299.tif 000005
【図２】
2012039299.tif 000006
【図３】
2012039299.tif 000007
【図４】
2012039299.tif 000008
【図５】
2012039299.tif 000009
【図６】
2012039299.tif 000010
【図７】
2012039299.tif 000011
【図８】
2012039299.tif 000012
【図９】
2012039299.tif 000013
【図１０】
2012039299.tif 000014
【図１１】
2012039299.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成25年7月1日(2013.7.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明によれば、加振源の作動状態等に応じて加振周波数が変動した場合であっても、その加振周波数に同期して、剛性特性及び減衰特性を決定付ける剛性ゲイン及び減衰ゲインを調整することにより、その変動した加振周波数成分の振動を好適に抑制することが可能なアクティブ制振装置、及びその制御方法、さらには変動した加振周波数成分の振動を好適に抑制することが可能なアクティブ制振装置を備えた車両を提供することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本実施形態のアクティブ制振装置Ｘでは、アクチュエータ２として、補助質量１を往復運動させるリニアアクチュエータを適用している。リニアアクチュエータとして、ボイスコイルモータを適用することもできるが、本実施形態では、電磁力を利用したレシプロモータＭを適用している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
速度推定部４は、制振装置Ｘ単体のブロック線図である図７に示すように、誘導起電力ｅＴ*に基づいてアクチュエータ２の動作速度ｖ１*を推定するものである。本実施形態では、アクチュエータ２のコイル及び指令電圧から誘導起電力ｅＴ*を推定し、この誘導起電力ｅＴ*をアクチュエータ２の推力定数ＫＴ*で割ることでアクチュエータ２の動作速度ｖ１*を推定するように構成している。指令電圧は、パワーアンプ７に入力される電流指令値にパワーアンプゲインＧＰＡ*を乗じることによって求めることができる。なお、アクチュエータ２の端子電圧を検出する電圧検出部を別途設け、この電圧検出部で検出した電圧値を利用して誘導起電力ｅＴ*を推定するようにしてもよい。一方、アクチュエータ２のコイル端子電圧は、アクチュエータ２に供給される電流（本実施形態では電流検出部３で検出した電流値Ｉａ*）にコイル２１ｃの逆特性「Ｌ*ｓ＋Ｒ*」を乗じることによって求めることができる。そして、この速度推定部４は、推定した推定速度値ｖ１*を剛性減衰制御部５に出力する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
式２においてｃ１、ｃ１ａ、ζ、ｍ１、ｋ１、ｋ１ａは、それぞれ、制振装置機械系Ｘ１の減衰係数、減衰ゲイン、減衰比、補助質量、制振装置機械系Ｘ１のバネ定数、剛性ゲイン、加振周波数を意味する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
ここで、制振装置Ｘ（制振装置機械系Ｘ１）の補助質量１とバネ定数ｋ１とによって決まる制振装置Ｘ（制振装置機械系Ｘ１）の固有振動数が加振周波数ωと等しく、制振装置Ｘ（制振装置機械系Ｘ１）の減衰係数ｃ１が０である場合、制振対象Ｔの振動を理論的に０とすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
そこで、本実施形態の制振装置Ｘは、加振周波数ωが変動した場合であっても、その変動する加振周波数ω応じて、制振装置Ｘ（制振装置機械系Ｘ１）の固有振動数がその加振周波数ωと等しくなり、しかも制振装置Ｘ（制振装置機械系Ｘ１）の減衰係数ｃ１を０に近付けるように、剛性減衰制御部５で上述した式１により剛性ゲインｋ１ａを調整し、式２により減衰ゲインｃ１ａを調整している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
引き続いて、本実施形態の制振装置Ｘは、エンジンＥ或いは図示しないＥＣＵ（Engine control unit）から剛性減衰制御部５に入力される加振周波数情報に基づいて、剛性減衰制御部５により、制振装置Ｘの剛性特性及び減衰特性が、加振周波数ωと制振装置機械系Ｘ１の固有振動数とが一致し、且つ制振装置機械系Ｘ１の減衰係数ｃ１を打ち消す特性となるように、上記式１に基づいて剛性ゲインｋ１ａを調整するとともに、上記式２に基づいて減衰ゲインｃ１ａを調整し、調整した剛性ゲインｋ１ａに速度推定部４からの出力値（アクチュエータ２の動作速度ｖ１−ｖ０）の積分値を乗じた値と、調整した減衰ゲインｃ１ａに速度推定部４からの出力値（アクチュエータ２の動作速度ｖ１−ｖ０）を乗じた値とを力指令値として印加電流指令生成部６に出力する（剛性減衰制御ステップＳ４）。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
また、制振対象周波数（加振周波数ω）以外の帯域に減衰制御を行うことに起因する制振性能の劣化を防止するために、図１０に示すように、バンドパスフィルタＢＰＦとともに、ノッチフィルタＮＦを設けてもよい。そして、速度推定部４の出力値（アクチュエータ２の動作速度ｖ１−ｖ０）に所定の減衰ゲインｃ１ｂを乗じて、固有振動数成分の信号を取り除くノッチフィルタＮＦを通した速度値をフィードバックするループを追加することにより、制振装置機械系Ｘ１の設定した固有振動数成分以外の帯域に減衰制御が作用するようにし、加振周波数成分を抑制しつつ、加振周波数成分以外の帯域での性能劣化を防止することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
また、制振対象周波数（加振周波数ω）以外の帯域に減衰制御を行うことに起因する制振性能の劣化を防止するために、図１１に示すように、速度推定部４の出力値（アクチュエータ２の動作速度ｖ１−ｖ０）をＤＸＨＳフィルタ（遅延調和シンセサイザ最小平均自乗フィルタ）に通して加振周波数成分のみ抽出し、これに基づいて剛性ゲインｋ１ａ及び減衰ゲインｃ１ａを調節するようにすれば、加振周波数成分のみの信号を抽出して剛性と減衰の制御を行うことができ、加振周波数成分以外の帯域に制御による悪影響が発生することを防止できる。なお、図１１におけるμ，×，ｚ−１，ｔはそれぞれステップサイズパラメータ、乗算、単位遅延演算子、時間を表す。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2012039299.tif 000016
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2012039299.tif 000017
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2012039299.tif 000018
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2012039299.tif 000019
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2012039299.tif 000020
【国際調査報告】
2012039299.tif 000021
2012039299.tif 000022