(57)【要約】  側面にサブマウントが搭載されても、衝撃力によるロール角度の変化が小さく、ロール角度を小さい状態で安定浮上可能な磁気ヘッドスライダ装置を提供する。  ディンプル位置と浮上力の圧力中心位置をスライダ幅方向に移動させて、レーザダイオードを設けたサブマウントを側面に搭載したスライダの質量中心と荷重作用点であるディンプル位置と浮上力の圧力中心位置とを一致させる。これにより、高密度記録化、高信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダ及びその支持体及び磁気ディスク装置が得られる。
2012153421.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体の一方の表面において空気流入側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流入パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気流出側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流出パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気の流れ方向の両側に沿って形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する一対のサイドパッドとを備え、かつ、前記流入パッド、前記流出パッド、及び、前記サイドパッドのコンタクト面から遠ざかる方向に段差部を介して２段階の段差面が形成されると共に、内部に記録用主磁極ヘッドと再生用磁気抵抗効果型素子、当該記録用主磁極ヘッドに近接した位置に配置された近接場光発生素子、そして、当該近接場光発生素子に外部からの光を導くための導波路を備えた磁気ヘッドスライダと、
前記磁気ヘッドスライダの一方の側面に取り付けられ、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと、そして、
前記磁気ヘッドスライダと前記サブマウントを一体にして先端部に支持すると共に、前記磁気ヘッドスライダに荷重を負荷するディンプルをその一部に設けた支持体と、
を備えた磁気ヘッドスライダ装置において、
前記磁気ヘッドスライダの幅方向の長さを「w」、前記磁気ヘッドスライダの側面の端と前記ディンプル位置との距離を「yp」としたとき、これら「yp」と「w」が、yp/w＜０．５、又は、yp/w＞０．５で示される条件を満たす範囲にあることを特徴とする磁気ヘッドスライダ装置。
【請求項２】
前記請求項１に記載した磁気ヘッドスライダ装置において、前記磁一対のサイドパッドの前記コンタクト面の面積を「Ｓ３」、「Ｓ４」とした時、Ｓ３＜Ｓ４、又は、Ｓ３＞Ｓ４で示される条件を満たす範囲にあることを特徴とする磁気ヘッドスライダ装置。
【請求項３】
前記請求項１に記載した磁気ヘッドスライダ装置において、前記一対のサイドパッドの前記コンタクト面から１段目の段差面までの深さを「δs３」、「δs４」としたとき、δs３＜δs４、又は、δs３＞δs４で示される条件を満たす範囲にあることを特徴とする磁気ヘッドスライダ装置。
【請求項４】
本体の一方の表面において空気流入側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流入パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気流出側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流出パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気の流れ方向の両側に沿って形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する一対のサイドパッドとを備え、かつ、前記流入パッド、前記流出パッド、及び、前記サイドパッドのコンタクト面から遠ざかる方向に段差部を介して２段階の段差面が形成されると共に、内部に記録用主磁極ヘッドと再生用磁気抵抗効果型素子、当該記録用主磁極ヘッドに近接した位置に配置された近接場光発生素子、そして、当該近接場光発生素子に外部からの光を導くための導波路を備えた磁気ヘッドスライダと、
前記磁気ヘッドスライダに取り付けられ、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと、そして、
前記磁気ヘッドスライダと前記サブマウントを一体にして先端部に支持すると共に、前記磁気ヘッドスライダに荷重を負荷するディンプルをその一部に設けた支持体と、
を備えた磁気ヘッドスライダ装置において、
更に、前記サブマウントと同じ質量の部材を、当該サブマウントと一対で、前記磁気ヘッドスライダの対向する両側面に、前記磁気ヘッドスライダの質量中心との差であるオフセットがゼロ（０）になるように取り付けていることを特徴とする磁気ヘッドスライダ装置。
【請求項５】
前記請求項４に記載した磁気ヘッドスライダ装置において、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと同じ質量の部材とを、両側面に取り付けている前記磁気ヘッドスライダの質量がフェムトスライダ単体の質量よりも大きく0.783mg以下となる条件を満たす範囲にあることを特徴とする磁気ヘッドスライダ装置。
【請求項６】
磁気ヘッドスライダ装置と、
前記磁気ヘッドスライダ装置の磁気ヘッドスライダに対向して回転可能に配置された磁気記録媒体と、
前記磁気ヘッドスライダ装置を駆動するスライダ駆動部と、
前記磁気記録媒体を回転駆動するディスク駆動部と、そして、
前記磁気ヘッドスライダ装置の磁気ヘッドへの記録再生信号を処理する信号処理回路とを備えた磁気ディスク装置において、
前記磁気ヘッドスライダ装置は、前記請求項１又は４に記載された磁気ヘッドスライダ装置であることを特徴とする磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドスライダ及びそれを利用した磁気ディスク装置に係わり、特に、近接場発生器を用いることにより高記録密度化、高信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダ装置、更には、それを利用した磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスク装置の高記録密度化に対応した革新的技術として、熱アシスト記録（TAR: Thermal Assist Recording）方式が提案されている。TAR方式とは、記録時に記録媒体を局部的に加熱させて媒体の保磁力を低下させて、記録し易くした方式である。TAR方式によって、現行の記録用単磁極ヘッドで記録磁界よりも大きな保磁力を有する媒体に記録可能となる。媒体の保磁力が高くなると、長時間媒体を放置しても記録情報の消去が発生しないため、熱安定性が高くなり、高記録密度化が図れる。【０００３】
かかるTAR方式に関する従来の磁気ヘッドスライダ及びその支持体の方式として、近接場発生器として、レーザダイオード(Laser Diode)を設けたサブマウントをスライダの側面に搭載する方式が提案されている。この方式では、磁気ヘッドの記録用単磁極ヘッドと再生用磁気抵抗効果型ヘッドとの間に導波路WG(waveguide)を作り込み、当該導波路のスライダ浮上面側に近接場光素子を設け、更に、スライダのサイドにサブマウントを搭載し、そして、当該サブマウント内にはレーザダイオード（LD）等が設けられている。かかる構成により、LDから発生した光が導波路を経由して近接場光素子に照射すると、近接場光素子は発熱し、媒体を局所的に加熱できる。【０００４】
一方、従来の磁気ヘッドスライダの支持体は、例えば、以下の特許文献１に記載されたように、荷重用ビ−ム部、ジンバル部、荷重用突起部から構成されており、荷重用ビ−ム部から荷重用突起部を介して押し付けられた荷重と浮上力との釣り合いを保持し、同時に動的に安定浮上させるために、荷重用突起部を支点として、スライダを並進、ピッチ、ロ−ル方向の３自由度の動きを可能にしている。【０００５】
また、従来の磁気ヘッドスライダ及びその支持体は、例えば、以下の特許文献２にも記載されるように、ロードビームの一端にピボット板と第１と第２のピエゾ素子からなるピボット位置制御機構を備え、ピボット板に形成したピボットをフレキシャに当接し、トラック方向とシーク方向のそれぞれのピボット板の端布に第１と第２のピエゾ素子の端布を当接し、ピエゾ素子の伸縮によってフレキシャに当接するピボットの位置を変えてピッチ角またはロール角を変化させるように構成されている。ただし、ピエゾ素子非動作時のピボット位置はスライダ中心である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭５５−２２２９６号公報
【特許文献２】特開２００７−２２０２２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した従来技術になる磁気ヘッドスライダ及びその支持体では、特に、上記のTAR方式を実用化する上での技術課題として、磁気ディスク装置の動作時に、衝撃力がスライダに作用した時、スライダ浮上走行時のロール方向の姿勢角度を表わすロール角度が大きくなり、低衝撃力でディスクと接触するという問題があった。【０００８】
なお、その原因としては、レーザダイオードを設けたサブマウントを側面に搭載したスライダの質量中心がスライダ幅方向に移動し、衝撃力が作用するディンプル位置と質量中心との距離に比例した慣性力が発生したためと考えられ、そこで、その慣性力を小さくすることが重要となる。【０００９】
本発明は、上述した従来技術における問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、サブマウントを備えることにより近接場発生器を用いて高記録密度化、高信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダにおいて、磁気ディスク装置の動作時に、衝撃力がスライダに作用した時、ロール角度の変化を小さくさせ、かつロール角度を小さくさせた状態で安定浮上させることが可能な構造の磁気ヘッドスライダ装置、更には、それを利用した磁気ディスク装置を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した本発明の目的は、まず、本体の一方の表面において空気流入側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流入パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気流出側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流出パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気の流れ方向の両側に沿って形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する一対のサイドパッドとを備え、かつ、前記流入パッド、前記流出パッド、及び、前記サイドパッドのコンタクト面から遠ざかる方向に段差部を介して２段階の段差面が形成されると共に、内部に磁気ヘッドと記録再生素子、当該磁気ヘッドの主磁極に近接した位置に配置された近接場光発生素子、そして、当該近接場光発生素子に外部からの光を導くための導波路を備えた磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダの一方の側面に取り付けられ、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと、そして、前記磁気ヘッドスライダと前記サブマウントを一体にして先端部に支持すると共に、前記磁気ヘッドスライダに荷重を負荷するディンプルをその一部に設けた支持体とを備えた磁気ヘッドスライダ装置において、前記磁気ヘッドスライダの幅方向の長さを「w」、前記磁気ヘッドスライダの側面の端と前記ディンプル位置との距離を「yp」としたとき、これら「yp」と「w」が、yp/w＜０．５、又は、yp/w＞０．５で示される条件を満たす範囲にある磁気ヘッドスライダ装置により達成される。【００１１】
また、本発明では、前記に記載した磁気ヘッドスライダ装置において、前記磁一対のサイドパッドの前記コンタクト面の面積を「Ｓ３」、「Ｓ４」とした時、Ｓ３＜Ｓ４、又は、Ｓ３＞Ｓ４で示される条件を満たす範囲にあることが好ましく、又は、前記一対のサイドパッドの前記コンタクト面から１段目の段差面までの深さを「δs３」、「δs４」としたとき、δs３＜δs４、又は、δs３＞δs４で示される条件を満たす範囲にあることが好ましい。【００１２】
更に、本発明では、本体の一方の表面において空気流入側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流入パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気流出側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流出パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気の流れ方向の両側に沿って形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する一対のサイドパッドとを備え、かつ、前記流入パッド、前記流出パッド、及び、前記サイドパッドのコンタクト面から遠ざかる方向に段差部を介して２段階の段差面が形成されると共に、内部に磁気ヘッドと記録再生素子、当該磁気ヘッドの主磁極に近接した位置に配置された近接場光発生素子、そして、当該近接場光発生素子に外部からの光を導くための導波路を備えた磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダに取り付けられ、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと、そして、前記磁気ヘッドスライダと前記サブマウントを一体にして先端部に支持すると共に、前記磁気ヘッドスライダに荷重を負荷するディンプルをその一部に設けた支持体とを備えた磁気ヘッドスライダ装置において、更に、前記サブマウントと同じ質量の部材を、当該サブマウントと一対で、前記磁気ヘッドスライダの対向する両側面に、前記磁気ヘッドスライダの質量中心との差であるオフセットがゼロ（０）になるように取り付けている磁気ヘッドスライダ装置が提供される。【００１３】
加えて、本発明によれば、磁気ヘッドスライダ装置と、前記磁気ヘッドスライダ装置の磁気ヘッドスライダに対向して回転可能に配置された磁気記録媒体と、前記磁気ヘッドスライダ装置を駆動するスライダ駆動部と、前記磁気記録媒体を回転駆動するディスク駆動部と、そして、前記磁気ヘッドスライダ装置の磁気ヘッドへの記録再生信号を処理する信号処理回路とを備えた磁気ディスク装置において、前記磁気ヘッドスライダ装置は、前記に記載された磁気ヘッドスライダ装置である磁気ディスク装置が提供される。
【発明の効果】
【００１４】
上述した本発明によれば、サブマウントを備えることにより近接場発生器を用いて高記録密度化、高信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダにおいて、磁気ディスク装置の動作時に、衝撃力がスライダに作用した時、ロール角度の変化を小さくさせ、かつロール角度を小さくさせた状態で安定浮上させることが可能な構造の磁気ヘッドスライダ装置、更には、それを利用した磁気ディスク装置を提供することが可能となるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施例１になる磁気ディスク装置の概略構成を示す図である。
【図２】上記磁気ディスク装置における磁気ヘッドスライダとその支持体の構造を示す立体斜視図である。
【図３】上記実施例１になる磁気ヘッドスライダの詳細構造を示す立体斜視図である。
【図４】上記実施例１になる磁気ヘッドスライダと、その側面に取り付けられるサブマウントの詳細構造を示す立体斜視図である。
【図５】上記実施例１になる磁気ヘッドスライダの詳細構造を示す側面図である。
【図６】上記実施例１になる磁気ヘッドスライダの更に詳細構造を示す一部立体斜視図である。
【図７】上記実施例１になる磁気ヘッドスライダを、その浮上走行時に、ピッチ方向（スライダの前後方向）から見た側面図である。
【図８】上記実施例１になる磁気ヘッドスライダを、その浮上走行時に、ロール方向（シーク方向）から見た側面図である。
【図９】上記実施例１になる磁気ヘッドスライダの側面にサブマウント搭載している状態を示す図である。
【図１０】上記実施例１になる磁気ヘッドスライダの支持体（サスペンション）の平面図である。
【図１１】上記実施例１の磁気ヘッドスライダのオフセットに対するピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度、素子位置浮上量、最小浮上量の計算結果を示す図である。
【図１２】上記実施例１の磁気ヘッドスライダの効果を説明する図である。
【図１３】上記実施例１の磁気ヘッドスライダの半径位置に対するピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度、素子位置浮上量、最小浮上量の計算結果を示す図である。
【図１４】上記実施例１の磁気ヘッドスライダの半径位置に対するスライダの固有振動数、対数減衰率の計算結果を示す図である。
【図１５】上記実施例１の磁気ヘッドスライダの媒体面うねり周波数に対する空気膜の剛性、減衰係数の計算結果を示す図である。
【図１６】上記実施例１の磁気ヘッドスライダの媒体面うねり周波数に対する素子位置浮上量変動と媒体面うねり振幅との比の計算結果を示す図である。
【図１７】上記実施例１の磁気ヘッドスライダが固有振動数で振動した時のスライダ回転軸の計算結果を示す図である。
【図１８】上記実施例１の磁気ヘッドスライダがアンロードした時のピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度、最小浮上量の計算結果を示す図である。
【図１９】本発明の実施例２になる磁気ヘッドスライダの立体斜視図及び側面図である。
【図２０】上記実施例２の磁気ヘッドスライダの両側のサイドパッドの浅溝深さの差に対するロール浮上姿勢角度の計算結果を示す図である。
【図２１】本発明の実施例３になる磁気ヘッドスライダの立体斜視図及び側面図である。
【図２２】本発明の実施例４の磁気ヘッドスライダの浮上走行時の側面図である。
【図２３】上記実施例１になる磁気ヘッドスライダの別な支持体（サスペンション）の平面図である。
【図２４】上記実施例１になる磁気ヘッドスライダを、ピッチ方向（スライダの前後方向）から見た側面図で、サブマウントと浮上面との距離も示す図である。
【図２５】上記実施例１になる磁気ヘッドスライダの浮上量測定結果を示す図である。
【図２６】上記実施例１になる別の磁気ヘッドスライダの浮上量測定結果を示す図である。
【図２７】上記実施例４になる磁気ヘッドスライダとその支持体（サスペンション）との平面図である。
【図２８】上記実施例４になる磁気ヘッドスライダの押付荷重測定結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施例１になる磁気ディスク装置の詳細について、添付の図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００１７】
まず、添付の図１には、本発明の実施例１になるスライダを備えた磁気ディスク装置５が示されており、特に、図１（ａ）は、磁気記録媒体５３の表面に浮上した状態でスライダ１が走行し、かつ、ディスク外周側から内周側にシーク動作をしている状態の平面摸式図を、そして、図１（ｂ）はその側面摸式図を示している。図からも明らかなように、磁気ディスク装置５は、本発明が適用されるスライダ１とその支持体２、磁気記録媒体５３とこれを回転させるスライダ駆動部５６、位置決めする支持ア−ム５８とそのディスク駆動部５９、スライダ１に搭載された磁気ヘッドの記録再生信号を処理する信号処理回路９９等から構成されている。なお、スライダ１及びその支持体２は、磁気記録媒体５３の上下の表面において、それぞれ、浮上した状態で走行している。【００１８】
図２は、上記磁気ディスク装置のうち、特に、本発明が適用されるスライダ１とその支持体２を示す立体斜視図であり、この図からも明らかなように、支持体２は、荷重用ビーム部２１とその下面に取り付けられたジンバル部２２とを備えており、更に、荷重用ビーム部２１の先端の開口部付近には、所謂、付加用突起部であるディンプル２３が取り付けられている。また、ジンバル部２２の先端には、以下に詳細に説明するが、近接場発生器を用いるスライダ１が取り付けられている。【００１９】
図３は、本発明の実施例１になる磁気ヘッドスライダ１の立体斜視図である。即ち、スライダ１は、上記磁気記録媒体５３との対向表面には、空気の流入側に形成された空気軸受面になりうる一対のパッド（以後、「流入パッド」とも言う）１１と、当該一対のサイドパッド１３により囲まれた負圧ポケット部１４と、空気の流出側に形成された空気軸受面になりうるパッド（「流出パッド」とも言う）１２と、そして、空気の流れ方向の両側に沿って形成された空気軸受面になりうる一対のパッド（「サイドパッド」とも言う）１３とから構成し、各パッド面に空気軸受面になりうる微小なステップ浮上面を設けている。なお、このスライダ１では、上記流出パッド１２の流出端に、近接場光発生素子と記録用主磁極ヘッドと再生用磁気抵抗効果型素子の露出部とから構成する記録再生素子１ｂ、が設けられており、更に、スライダ１の流出端面には、磁気ヘッド１ｃや接続端子１ｄ等が設けられている。そして、図に破線で示すように、スライダ１の一方の側面には、近接場発生器として、端面発光型のレーザダイオード３０を設けたサブマウント３が搭載される。レーザダイオード３０の長手方向の長さは、サブマウント３の短手方向の長さとほぼ同じ長さである。【００２０】
なお、図４には、このサブマウント３を含めた磁気ヘッドスライダ１の構造の一例を示す断面が示されており、図において、サスペンションのフレキシャ１０の表面には、上記磁気ヘッドスライダ１と共にサブマウント３が搭載されており、当該サブマウント３上にはレーザダイオード３０が形成され、そして、当該レーザダイオード３０から出射されるレーザ光は、スライダ１内に形成された導波路コア１５を通って、磁気ヘッドの主磁極の近傍に配置すると共に、スライダ１の表面近傍に設けられた近接場光発生素子１６である金属構造体に導かれる。これにより、記録の瞬間に、近接場光発生素子１６より発生する近接場光により磁気記録媒体５３を加熱すると同時に、主磁極から発生する記録磁界を磁気記録媒体５３に印加することで、磁気記録媒体５３の記録層に記録マークを書き込む。また、この図中の符号３１は、活性層を示しており、符号３３は電極を、符号３７は導電性接着剤を示している。また、図中の符号９０は、反射防止膜を示しており、そして、図中の符号１７、１９は、それぞれ、導波路入口とスポットサイズコンバータを示している。【００２１】
即ち、上記のスライダ１は、空気力学的に正圧力Ｑ１が発生する２つの流入パッド１１と、上記一対のサイドパッド１３により囲まれた負圧ポケット部１４に負圧力Ｑ２が発生する、所謂、負圧力利用型ステップスライダである。負圧力Ｑ２が発生するメカニズムは、ディスクが回転し、空気がスライダ／ディスク間に流れ込むと、負圧ポケット部１４で急激に体積が増えるためである。また、正圧力Ｑ１は浮上量を増加させる方向に作用し、負圧力Ｑ２は浮上量を低下させる方向に作用する。【００２２】
上記について、添付の図５及び図６を参照しながら、より詳細に説明する。なお、図５は、実施例１の磁気ヘッドスライダの側面図であり、そして、図６（ａ）〜（ｃ）は、それら流入パッド１１、流出パッド１２、サイドパッド１３を、それぞれ、取り出して示す一部斜視図である。【００２３】
これらの図にも示すように、これらは、ディスク停止時に媒体面と接触するパッド面１１２（「コンタクト面」とも言う）と、そして、空気流入側に設けた１段目の段差面１１４（浅溝面）と、段差部１１３及び１１５を介して設けた２段目の段差面１１６（深溝面）とからなる、所謂、２段ステップ面から構成される。即ち、図５において、「δs３」、「δs４」は、それぞれ、両側に沿って形成された一対のサイドパッド１３のコンタクト面１１２に対する段差面１１４（浅溝面）の深さを示す。また、これらの図の「Ｓ３」、「Ｓ４」は、それぞれ、両側に沿って形成された一対のサイドパッド１３のコンタクト面１１２の面積を示す。【００２４】
磁気ディスク装置５に使用する磁気ヘッドスライダ１は従来の動圧気体軸受理論を適用したもので、特に負圧力利用型ステップスライダは、流入側に形成された一対の流入パッド１１、流出側に形成された流出パッド１２、両側に沿って形成された一対のサイドパッド１３の５パッドから構成し、各パッド面に空気軸受面になりうる微小なステップ浮上面を設けている。その空気軸受面になりうるメカニズムは、磁気記録媒体５３表面の回転によって引きずり込まれた空気が微小なステップ浮上面に堰き止められることで、その反作用によって流入パッド流出端近傍、流出パッド流出端近傍、サイドパッド流出端近傍の５パッドに空気力学的に浮上力となる正圧力ピークが発生する。この５つの正圧力ピークが磁気ヘッドスライダ１を保持し、磁気記録媒体５３との距離が微小でかつ一定に保ちながら安定浮上する。したがって、コンタクト面１１２と磁気記録媒体５３との隙間を小さくすること、コンタクト面１１２に対する段差面１１４の深さを大きくすること、コンタクト面１１２の面積を大きくすることによって、各ステップ浮上面に発生する正圧浮上力を大きくすることができる。【００２５】
そして、本発明の実施例１になる磁気ヘッドスライダでは、上記面積が、Ｓ３＜Ｓ４、又は、Ｓ３＞Ｓ４で示される条件を満足するように設定している。このような、両側に沿って形成された一対のサイドパッド１３のコンタクト面１１２の面積差大きくさせる構成により、両側に沿って形成された一対のサイドパッドの正圧浮上力差が大きくなり、スライダ１の浮上力の圧力中心位置とスライダ幅の方向に移動したディンプル位置とを一致させるように、一直線上に並べることが可能となる。【００２６】
次に、図７は、レーザダイオードを設けたサブマウント３を搭載した本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダが磁気記録媒体５３の表面に浮上走行する様子を、ピッチ方向（スライダの前後方向）から見た側面図を示す。【００２７】
また、図８は、レーザダイオードを設けたサブマウント３を搭載した本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダが磁気記録媒体５３を挟んで対向して浮上走行する様子を、接続端子１ｄが設けられた流出側の端面を手前にして、即ち、ロール方向（シーク方向）から示した図である。上部のスライダ１を「ダウンタイプ」、下部のスライダ１を「アップタイプ」という。また、スライダ１の２つの側面を、「内周側」にある側面と「外周側」にある側面とに区別する。したがって、この図８は、レーザダイオードを設けたサブマウント３を、スライダ１の「外周側」の側面に搭載している状態を示した側面図である。【００２８】
さらに、図９は、レーザダイオードを設けたサブマウント３を、スライダ１の内周側の側面に搭載している状態を示す図である。【００２９】
これらの図において、ディンプル２３は、荷重用ビーム部２１から押し付けられた荷重Ｆを、スライダに作用させる荷重作用点として設けている。また、そこを支点として、スライダを並進（上下）、ピッチ（前後）、ロール（シーク）方向の３自由度の運動に対して、復元力が作用するように設けられる。【００３０】
荷重作用点であるディンプル２３の位置(Xp,Yp)は、ピッチ方向に対してはXp＝ｘp/L、ロール方向に対してはYp＝yp/w、のように無次元化した値として表わす。ただし、「xp」はスライダの流入端との距離、「yp」はスライダ１の内周側の側面の端との距離、「L」はスライダの長手方向の長さ、「w」はスライダの短手（幅）方向の長さである。【００３１】
スライダ１は、ディンプル２３の位置で押付荷重Ｆと空気力学的に発生する正圧力Ｑ１と負圧力Ｑ２（＞０）との合力である浮上力Ｑ(＝Ｑ１−Ｑ２)とが、Ｆ＝Ｑの関係式で釣り合い、ピッチ方向の浮上姿勢を表わすピッチ角度「θp」、ロ−ル方向の浮上姿勢を表わすロ−ル角度「θr」、流出端浮上量「ｈ2」、記録再生素子１ｂにおける浮上量「ｈr」を一定に保ちながら、動的に安定浮上している。図中の「Ｍp」はディンプル位置の周りに作用する初期ピッチングモーメントである。なお、ここでは、ロ−ル方向の浮上姿勢を表わすロ−ル角度「θr」の頂点をスライダ１の内周側の側面の端とし、時計の針が動く方向と同じ方向を正とする。【００３２】
レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したスライダの質量中心１３１は、スライダ単体の質量中心１３０からスライダ幅方向あるいはサブマウント方向に移動し、そのオフセット量を「ｂ」とする。このオフセット「ｂ」の符号は、スライダ１の外周側の側面方向にオフセットした場合は正とする。したがって、図９のオフセット「ｂ」は、スライダ１の内周側の側面方向にオフセットしているため、負となる。サブマウントの材質は、レーザダイオードの発熱を考慮して、熱伝導率の大きい窒化アルミ、シリコン等を使用する。オフセット量「ｂ」を決定する方法は、レーザダイオードを設けたサブマウントを搭載したスライダの質量中心とスライダ単体の質量中心を求め、それらのスライダ幅方向の差を計算することによって決定できる。そのオフセット量「ｂ」はレーザダイオード及びサブマウントの質量、材質、形状に依存し、例えば、レーザダイオード、サブマウントの材質がそれぞれヒ化ガリウム、窒化アルミ、レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、幅がそれぞれ0.179mg、500μmの場合は、「ｂ」=0.138mmとなる。レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、形状が大きくなると、オフセット量「ｂ」も大きくなる。これらの関係式を求めることによって、容易にサブマウントの形状を決定できる。【００３３】
また、荷重作用点であるディンプル２３の位置１３２と、スライダ１の浮上力の圧力中心位置と、レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したスライダの質量中心１３１と同じ位置とを一致させるように、一直線上に並べている。【００３４】
そして、本発明の実施例１になる磁気ヘッドスライダは、両側に沿って形成された一対のサイドパッド１３のコンタクト面１１２の面積差大きくさせる構成により、両側に沿って形成された一対のサイドパッドの正圧浮上力差が大きくなり、スライダ１の浮上力の圧力中心位置とスライダ幅の方向に移動したディンプル位置とを一致させるように、一直線上に並べることが可能となっている。【００３５】
即ち、以上の構成によれば、レーザダイオードを設けたサブマウント３を搭載したスライダ１のディンプル２３の位置１３２に、磁気ディスク装置の動作時に、衝撃力が作用した時、レーザダイオードを設けたサブマウント３を搭載したスライダの質量中心１３１とディンプル２３の位置１３２との距離に比例した慣性力が小さくできるため、ロール角度が大きくならず、高衝撃力でもディスクと接触しない。更には、小さいロール姿勢角度で浮上することが可能となる。【００３６】
図１０（ａ）及び（ｂ）に、本発明の実施例１になる磁気ヘッドスライダの支持体（サスペンションともいう）の平面図を示す。上記の支持体２は、荷重用ビーム部２１、ジンバル部２２、荷重用突起部（「ディンプル」とも言う）２３などから構成されており、特に、図１０（ａ）は、スライダ１の内周側の側面方向にオフセットした場合の支持体であり、レーザダイオードを設けたサブマウント３を内周側側面に搭載したスライダ用の支持体２を示している。また、図１０（ｂ）は、スライダ１の外周側の側面方向にオフセットした場合の支持体で、レーザダイオードを設けたサブマウント３を外周側側面に搭載したスライダ用の支持体２を示している。【００３７】
続いて、図１１（ａ）及び（ｂ）に、上述した本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ４」が0.0313mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ３」が0.00721mm2、「δs３」が0.18μm、「δs４」が0.18μmとなる浮上面形状を用いて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が2.5型装置の中周条件を一定とした条件で、オフセットが0 (ディンプル位置Yp=0.50)、-35μm(ディンプル位置Yp=0.40)、-70μm(ディンプル位置Yp=0.39)と変化した時の素子位置浮上量、最小浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度を計算した結果を示す。図より、オフセットが大きくなると、素子位置浮上量、ピッチ浮上姿勢角度はほぼ変化しないが、ロール浮上姿勢角度がほぼゼロ（０）になり、最小浮上量が増加することが分かる。なお、押付荷重「F」は20.9mN、ディンプル位置「Xp」は0.5である。また、レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したダウンタイプのスライダの内周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ４」は、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ３」に比べて大きく設定している。【００３８】
図１２（ａ）及び（ｂ）には、上記図１１（ａ）及び（ｂ）の計算結果を用いて、本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダの効果のメカニズムを説明する。スライダの内周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ４」を、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ３」に比べて大きく設定すると、オフセットがゼロの時、ロール角度が-56.0μradと大きい値で浮上するが、オフセットが-70μmの時、ロール角は-6.3μradとほぼゼロ（０）で浮上する。【００３９】
このように、本発明の実施例１のスライダ１の、両側に沿って形成された一対のサイドパッド１３のコンタクト面１１２の面積差を大きくする構成によれば、内周側のサイドパッドの正圧力浮上力「Ｑin」と外周側のサイドパッドの正圧力浮上力「Ｑout」との正圧力浮上力差が大きくなり、スライダ１の浮上力の圧力中心位置とスライダ幅の方向に移動したディンプル位置とを一致させるように、一直線上に並べることが可能となる。【００４０】
更に、図１３（ａ）、（ｂ）、（ｄ）及び（ｄ）に、上述した本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ４」が0.0313mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ３」が0.00721mm2、「δs３」が0.18μm、「δs４」が0.18μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpmを一定とした条件で、半径位置が2.5型装置の最内周から最外周まで変化した時の素子位置浮上量、最小浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度を計算した結果を示す。図より、本発明の実施例１のスライダ１の最内周から最外周まで変化した時の素子位置浮上量、最小浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度は、従来技術のスライダ１とほぼ同等に一定であることが分かった。【００４１】
また、図１４（ａ）及び（ｂ）に、上述した本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ４」が0.0175mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ３」が0.00721mm2、「δs３」が0.18μm、「δs４」が0.18μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpmを一定とした条件で、半径位置が2.5型装置の最内周から最外周まで変化した時のスライダの固有振動数、対数減衰率を計算した結果を示す。図より、本発明の実施例１のスライダ１の最内周から最外周まで変化した時の固有振動数、対数減衰率は、従来技術のスライダ１に比べてそれぞれ増加、減少することが分かった。本発明の実施例１の浮上面の対数減衰率は減少するが特に悪い値でなく、別な方法で改善可能な値である。【００４２】
図１５（ａ）及び（ｂ）に、上述した本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ４」が0.0175mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ３」が0.00721mm2、「δs３」が0.18μm、「δs４」が0.18μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が2.5型装置の中周条件を一定とした条件で、媒体面うねり上をスライダが走行した時の、媒体面うねり周波数に対するピッチモード、ロールモードの空気膜の剛性、減衰係数を計算した結果を示す。図より、本発明の実施例１のスライダ１の媒体面うねり周波数に対するピッチモード、ロールモードの空気膜の剛性は、従来技術のスライダ１に比べてそれぞれ減少、増加することが分かった。ロールモードの空気膜の剛性が増加する理由は、浮上面を大きくして、正圧力が増加したためと考えられる。減衰係数は減少するが特に悪い値でない。【００４３】
図１６（ａ）及び（ｂ）に、上述した本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ４」が0.0175mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ３」が0.00721mm2、「δs３」が0.18μm、「δs４」が0.18μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が2.5型装置の中周条件を一定とした条件で、媒体面うねり上をスライダが走行した時の、媒体面うねり周波数に対する素子位置浮上量変動「Δｈr」を、媒体面うねり振幅「ａ」との比として計算した結果を示す。図より、本発明の実施例１のスライダ１の媒体面うねり周波数に対する素子位置浮上量変動は、従来技術のスライダ１に比べて増加するが、特に悪い値でなく、別な方法で改善可能な値である。したがって、本発明の実施例１のスライダ１の媒体面うねり周波数が3kHzまでの低周波数のランアウト、媒体面うねり周波数が10kHzから200kHzまでの高周波数の微小うねりに対する素子位置浮上量変動は従来技術のスライダ１とほぼ同等であることが分かる。【００４４】
図１７（ａ）及び（ｂ）に、上述した本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ４」が0.0175mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ３」が0.00721mm2、「δs３」が0.18μm、「δs４」が0.18μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が2.5型装置の最内周、最外周条件を一定とした条件で、スライダが固有振動数で振動した時の１次のピッチモード(P1 mode)、２次のピッチモード(P2 mode)、ロールモード(Roll mode)のスライダ回転軸を計算した結果を示す。図より、最内周、最外周条件共に、本発明の実施例１のスライダ１のロールモードの回転軸は、従来技術のスライダ１に比べて変化しているが、記録再生素子位置の流出端の変化は小さいため、図１６の結果と同様に、素子位置浮上量変動は大きくないことが分かった。【００４５】
図１８（ａ）〜（ｃ）に、上述した本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ４」が0.0175mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ３」が0.00721mm2、「δs３」が0.18μm、「δs４」が0.18μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が2.5型装置の最外周条件を一定とした条件で、スライダがアンロードした時のピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度、最小浮上量を計算した結果を示す。アンロードした時は、押付荷重が小さくなるため、押付荷重の変化としてモデル化した。図より、本発明の実施例１のスライダ１の押付荷重が減少した時のピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度、最小浮上量は、従来技術のスライダ１に比べてほぼ同等であることが分かった。したがって、アンロードした時のスライダ挙動は特に悪くない。
【実施例２】
【００４６】
続いて、本発明の実施例２になるスライダと、それを備えた磁気ディスク装置について詳細に説明する。【００４７】
添付の図１９（ａ）及び（ｂ）には、本発明の実施例２になる磁気ヘッドスライダ１の立体斜視図とその側面図が、それぞれ、示されている。即ち、図１９（ａ）に示すように、スライダ１は、流入側に形成された空気軸受面になりうる一対の流入パッド１１と、流出側に形成された空気軸受面になりうる流出パッド１２と、両側に沿って形成された空気軸受面になりうる一対のサイドパッド１３とから構成される。また、図１９（ｂ）における「δs３」、「δs４」は、それぞれ、空気の流れ方向の両側に沿って形成された一対のサイドパッド１３のコンタクト面１１２に対する段差面１１４（浅溝面）の深さを示す。【００４８】
さらに、本実施例では、サイドパッド１３の浅溝深さ「δs３」と「δs４」の差異をより大きくしている。即ち、上記の本発明の実施例１になる磁気ヘッドスライダでは、δs３＜δs４、又は、δs３＞δs４で示される条件を満足するように設けてはいるが、むしろ、コンタクト面１１２の面積差大きくさせる構成であるが、本実施例２のような、空気の流れ方向の両側に沿って形成された一対のサイドパッド１３の浅溝深さの差を更に大きくさせる構成によっても、両側に沿って形成された一対のサイドパッドの正圧浮上力差が大きくなり、スライダ１の浮上力の圧力中心位置とスライダ幅の方向に移動したディンプル位置とを一致させるように、一直線上に並べることが可能となる。また、荷重作用点であるディンプル２３の位置１３２と、スライダ１の浮上力の圧力中心位置と、レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したスライダの質量中心１３１と同じ位置とを一致させるように、一直線上に並べている。【００４９】
このように、本発明の実施例２になるスライダにおける以上の構成により、レーザダイオードを設けたサブマウントを搭載したスライダのディンプル２３の位置１３２に、衝撃力が磁気ディスク装置の動作時に作用した時、レーザダイオードを設けたサブマウントを搭載したスライダの質量中心１３１とディンプル２３の位置１３２との距離に比例した慣性力が小さくできるため、ロール角度が大きくならず、高衝撃力でもディスクと接触しない。さらに、小さいロール姿勢角度で浮上することとなる。【００５０】
図２０には、本発明の実施例２になる磁気ヘッドスライダにおいて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が2.5型装置の中周条件を一定とした条件で、両側のサイドパッドの浅溝深さの差δs4-δs3に対するロール浮上姿勢角度を計算した結果を示す。なお、押付荷重Fは20.9mN、ディンプル位置Xpは0.5である。レーザダイオードを設けたサブマウント３を内周側側面に搭載したダウンタイプのスライダの内周側にあるサイドパッドの浅溝深さ「δs４」を、外周側にあるサイドパッドの浅溝深さ「δs３」に比べて大きく設定されている。【００５１】
この図より、両側のサイドパッドの浅溝深さの差δs４-δs３を大きくすると、ロール角度が大きくなり、最大値をもつ。これは、内外周のサイドパッドの正圧浮上力差が最大となる浅溝深さの差が存在することを意味し、存在する理由は、それらの浅溝深さで浮上力が飽和していると考えられる。
【実施例３】
【００５２】
更に、本発明の実施例３になるスライダと、それを備えた磁気ディスク装置について詳細に説明する。【００５３】
添付の図２１（ａ）及び（ｂ）には、本発明の実施例３になる磁気ヘッドスライダの立体斜視図と側面図を、それぞれ、示している。図２１（ａ）からも明らかなように、スライダ１は、流入側に形成された空気軸受面になりうる一対の流入パッド１１と、流出側に形成された空気軸受面になりうる流出パッド１２と、両側に沿って形成された空気軸受面になりうる一対のサイドパッド１３とから構成される。さらに、本実施例３では、流入パッド１１とサイドパッド１３が連結している構成である。また、図２１（ｂ）にも示すように、「δs３」、「δs４」は、それぞれ、両側に沿って形成された一対のサイドパッド１３のコンタクト面１１２に対する段差面１１４（浅溝面）の深さを示す。また、「Ｓ３」、「Ｓ４」は、それぞれ、空気の流れ方向の両側に沿って形成された一対のサイドパッド１３のコンタクト面１１２の面積を示す。さらに、本発明の実施例３になる磁気ヘッドスライダでは、Ｓ３＜Ｓ４あるいはＳ３＞Ｓ４で示される条件または、δs３＜δs４あるいはδs３＞δs４で示される条件を満足するように設けている。
【実施例４】
【００５４】
最後に、本発明の実施例４になる磁気ディスク装置について詳細に説明する。【００５５】
添付の図２２には、レーザダイオードを設けたサブマウント３を、スライダ１の内周側の側面に搭載した実施例４の磁気ヘッドスライダが、磁気記録媒体５３の表面に浮上走行する様子を、ロール方向（シーク方向）から示した側面図である。更に、本実施例４の磁気ヘッドスライダでは、スライダ１の外周側の側面に、レーザダイオードを設けたサブマウント３と同じ質量の部材３９を搭載している。この構成により、レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したスライダの質量中心１３１とスライダ単体の質量中心１３０と同じになり、それらの質量中心位置の差であるオフセット「ｂ」はゼロ（０）になる。あるいは、オフセット「ｂ」がゼロ（０）になるように、スライダ１の外周側の側面に前記部材３９を搭載する。【００５６】
このような構成によれば、スライダ１の浮上力の圧力中心位置とスライダ幅の方向に移動したディンプル位置とを一致させるように、一直線上に並べることが可能となる。また、荷重作用点であるディンプル２３の位置１３２と、スライダ１の浮上力の圧力中心位置と、レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したスライダの質量中心１３１と同じ位置とを一致させるように、一直線上に並べていることが容易にでき、レーザダイオードを設けたサブマウントを搭載したスライダのディンプル２３の位置１３２に、衝撃力が磁気ディスク装置の動作時に作用した時、ロール角度が大きくならず、高衝撃力でもディスクと接触しない。さらに、小さいロール姿勢角度で浮上することとなる。【００５７】
図２３、図２４を用いて、本発明の、レーザダイオードを設けたサブマウント３を、ダウンタイプのスライダ１の内周側の側面に搭載した実施例１の磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。スライダの大きさは、スライダ長、幅、厚さが、それぞれ850μm、700μm、230μmのフェムトサイズである。スライダの材質、質量は、それぞれアルミナチタンカーバイト、0.582mgである。【００５８】
（１）レーザダイオード、サブマウントの材質がそれぞれヒ化ガリウム、窒化アルミを使用し、レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、幅、レーザダイオード長がそれぞれ0.101mg、280μm、280μmの場合は、オフセット量「ｂ」=-70μmとなる。レーザダイオードを設けたサブマウント３を搭載した実施例１の磁気ヘッドスライダの質量は0.683mgである。【００５９】
（２）現行のリソグラフィ技術を用いて、スライダの浮上面をイオンビームエッチング装置でエッチング加工する。加工する浮上形状は、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ４」が0.0156mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ３」が0.00721mm2、「δs３」が0.18μm、「δs４」が0.18μmである。以後、この浮上面形状を「ＡＢＳ１」と言う。浮上面形状「ＡＢＳ１」の圧力中心位置は、スライダ中心位置からスライダ幅の方向に-70μmオフセットさせている。【００６０】
（３）図１０(ａ)に示すような、ディンプル位置２３を支持体の中心線からスライダ幅の方向に-70μmオフセットさせた支持体を製造する。ロードアンロードを容易にするために、図２３に示すような、ディンプル位置２３とフック２４を支持体２の中心線からスライダ幅の方向に-70μmオフセットさせた支持体も製造する。【００６１】
（４）前記(２)の方法で加工したスライダと図１０(ａ)に示すような支持体を接着及び配線させる。【００６２】
（５）レーザダイオードを設けたサブマウントを製造する。スライダ厚さ230μmの場合、サブマウントの厚さを150μmにする。サブマウントの加工バラツキ、ロール姿勢角度が大きくなっても、浮上面とサブマウント表面との距離を10μm以上にして、サブマウントに接触しないようにするためである。【００６３】
（６）図２４に示すように、製造したレーザダイオード３０を設けたサブマウント３を上記(２)の方法で加工したスライダの内周側の側面に、レーザダイオード３０の活性層３１からレーザ光が出射される入口と、導波路入口１７とを一致させて、接着させる。また、浮上面とサブマウント表面との距離を10μm以上に接着させる。【００６４】
図２５(ａ)(ｂ)(ｃ)に、前記（１）〜（６）に示す方法で、本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダを５スライダ試作し、ヨー角度0degを一定とした条件で、周速を11.88m/sから21.99m/sまで変化した時の記録再生素子位置浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度を測定した結果を示す。図より、素子位置浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度の測定値は、計算値に比べてそれぞれ2nm、6μrad、6μrad低いことが分かった。この結果は、従来技術のスライダの測定浮上量と計算浮上量との関係と一致しており、本発明の実施例１のスライダは十分良好な浮上量の周速依存性が得られていることを確認した。さらに、浮上量測定時の浮上面に形成される干渉縞の明暗から安定浮上していることが分かった。また、各１〜５スライダ内での加工組立バラツキ起因による素子位置浮上量変化も±2nmとなり、従来技術のスライダと同傾向の妥当な値になった。【００６５】
図２６(ａ)(ｂ)(ｃ)に、前記（１）〜（６）に示す方法で、本発明の実施例１の別な磁気ヘッドスライダを３スライダ試作し、ヨー角度0degを一定とした条件で、周速を11.88m/sから21.99m/sまで変化した時の記録再生素子位置浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度を測定した結果を示す。試作したレーザダイオード、サブマウントの材質はそれぞれヒ化ガリウム、窒化アルミを使用し、レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、幅、レーザダイオード長がそれぞれ0.072mg、200μm、200μmの場合は、オフセット量「ｂ」=-48μmとなる。試作した浮上形状は、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ４」が0.0156mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面１１２の面積「Ｓ３」が0.00118mm2、「δs３」が0.18μm、「δs４」が0.18μmである。以後、この浮上面形状を「ＡＢＳ２」と言う。浮上面形状「ＡＢＳ２」の圧力中心位置は、スライダ中心位置からスライダ幅の方向に48μmオフセットさせている。また、ディンプル位置を、スライダ中心位置からスライダ幅の方向に48μmオフセットさせた支持体を製造する。図より、素子位置浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度の測定値は、計算値に比べてそれぞれ2nm、6μrad、6μrad低いことが分かった。この結果は、従来技術のスライダの測定浮上量と計算浮上量との関係と一致しており、本発明の実施例１のスライダは十分良好な浮上量の周速依存性が得られていることを確認した。さらに、浮上量測定時の浮上面に形成される干渉縞の明暗から安定浮上していることが分かった。また、各１〜３スライダ内での加工組立バラツキ起因による素子位置浮上量変化も±2nmとなり、従来技術のスライダと同傾向の妥当な値になった。【００６６】
図２７を用いて、本発明の、レーザダイオードを設けたサブマウント３を、ダウンタイプのスライダ１の内周側の側面に搭載した実施例４の磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。スライダの大きさはフェムトサイズである。スライダの材質、質量は、それぞれアルミナチタンカーバイト、0.582mgである。【００６７】
（１）レーザダイオード、サブマウントの材質がそれぞれヒ化ガリウム、窒化アルミ、レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、幅、レーザダイオード長がそれぞれ0.101mg、280μm、280μmの場合を使用する。【００６８】
（２）現行のリソグラフィ技術を用いて、スライダの浮上面をイオンビームエッチング装置でエッチング加工する。浮上面の圧力中心位置は、スライダ中心位置である。【００６９】
（３）ディンプル位置、フックがスライダ中心位置の支持体を製造する。【００７０】
（４）前記(２)の方法で加工したスライダと上記(３)の方法で加工した支持体を接着及び配線させる。【００７１】
（５）レーザダイオードを設けたサブマウントを製造する。スライダ厚さ230μmの場合、サブマウントの厚さを150μmにする。サブマウントの加工バラツキ、ロール姿勢角度が大きくなっても、浮上面とサブマウント表面との距離を10μm以上にして、サブマウントに接触しないようにするためである。【００７２】
（６）前記(５)の方法で製造したレーザダイオードを設けたサブマウントを前記(２)の方法で加工したスライダの内周側の側面に、レーザダイオードの活性層３１からレーザ光が出射される入口と、導波路入口１７とを一致させて、接着させる。また、浮上面とサブマウント表面との距離を10μm以上に接着させる。【００７３】
（７）レーザダイオードを設けたサブマウントと同じ質量0.101mgのダミーサブマウント３９を製造する。ダミーサブマウントの材質を窒化アルミとする。レーザダイオードとサブマウントとの材質が違うため、同じ質量、同じ質量中心にするために、形状を変える必要がある。ダミーサブマウントの幅、厚さを280μm、150μmにして、質量0.101mgになるように長さを734μmとする。【００７４】
レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、幅、レーザダイオード長がそれぞれ0.072mg、200μm、200μmの場合は、ダミーサブマウントの幅、厚さを200μm、150μmにして、質量0.072mgになるように長さを734μmとする。【００７５】
（８）図２５に示すように前記（７）の方法で製造したダミーサブマウントをスライダの内周側のもう片側の側面に接着させる。レーザダイオードを設けたサブマウント３とダミーサブマウントを搭載した実施例４の磁気ヘッドスライダの質量は0.783mgとなり、フェムトスライダ単体の質量0.582mgに比べて1.2倍に増加する。【００７６】
図２６(ａ)(ｂ)に、それぞれ、前記（１）〜（８）に示す方法で、本発明の実施例４のレーザダイオード長が280μmの磁気ヘッドスライダを５スライダ試作し、押付荷重を測定した結果と、従来技術のスライダの押付荷重を測定した結果を示す。図より、本発明の実施例４のスライダと従来技術のスライダとの押付荷重の違いはなく、レーザダイオードを設けたサブマウントとダミーサブマウントを搭載したことによる押付荷重に対する影響はないことが分かった。【００７７】
以下の表１に、前記（１）〜（８）に示す方法で、本発明の実施例４のレーザダイオード長が280μmの磁気ヘッドスライダを試作した後、磁気ディスク装置に実装し、動作時のスライダが飛び跳ねる状態を高速度カメラで観察した結果を示す。また、この表１には、従来技術のスライダを磁気ディスク装置に実装し、動作時のスライダが飛び跳ねる状態を高速度カメラで観察した結果も示す。スライダが飛び跳ねる時がNG, 飛び跳ねていない時がOKである。表より、動作時のスライダが飛び跳ねる限界の加速度は、本発明の実施例４のスライダと従来技術のスライダ共に、2940m/s2(300G)であることが分かった。したがって、レーザダイオードを設けたサブマウントとダミーサブマウントを搭載したことによる耐衝撃性に対する影響はないことが分かった。または、レーザダイオードを設けたサブマウントとダミーサブマウントを搭載した実施例４のスライダの質量が0.783mgと、フェムトスライダ単体の質量0.582mgに比べて1.2倍に増加しても、耐衝撃性に影響がないことが分かった。
【表１】
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【００７８】
その理由として、耐衝撃性には、スライダと支持体全体の等価質量が影響するが、スライダの質量が1.2倍に増加しても、スライダと支持体全体の等価質量の増加は小さいため、耐衝撃性に対しても影響は小さいと考えられる。
【符号の説明】
【００７９】
１…磁気ヘッドスライダ、１１…流入パッド、１２…流出パッド、１３…サイドパッド、１４…負圧ポケット部、１１２…ディスク停止時に媒体面と接触するパッド面(コンタクト面)、１１３、１１５…段差部、１１４…段差部１１３を介しての段差面(浅溝面)、１１６…段差部１１５を介しての段差面(深溝面)、１３１…レーザダイオードをサイドに設けたサブマウント搭載スライダの質量中心位置、１０１…スライダ１単体の質量中心位置、１ｂ…記録再生素子、１ｃ…磁気ヘッド、１ｄ…配線パッド、δs3、δs4…サイドパッド１３の浅溝深さ、Ｓ３、Ｓ４…サイドパッド１３のコンタクト面１１２の面積、２…支持体、２１…荷重用ビ−ム部、２２…ジンバル部、２３…ディンプル、荷重用突起部、２４…フック、１３２、(Ｘp，Ｙp）…ディンプル位置、荷重用突起部の位置、荷重作用点、ｘp…スライダ１の流入端との距離、ｙp…スライダ１の側面の端との距離、Ｌ…スライダ１の長手方向長さ、 ｗ…スライダ１の短手方向長さ、Ｆ…押付荷重、Ｑ…浮上力、１３３…スライダ１の圧力中心位置、Ｑin…内周側のサイドパッドの正圧力浮上力、Ｑout…外周側のサイドパッドの正圧力浮上力、θp…ピッチ姿勢角度、θr…ロール姿勢角度、ｈ2…流出端浮上量、ｈmin…最小浮上量、ｈr…記録再生素子位置での浮上量、Ｍp…ディンプル位置の周りに作用する初期ピッチングモーメント、ｂ…オフセット、３…レーザダイオードを設けたサブマウント、３９…部材（ダミーサブマウント）、５３…磁気記録媒体、５…磁気ディスク装置、５６…磁気記録媒体５３を回転させる駆動部、５８…位置決めする支持ア−ム、５９…位置決めする支持ア−ム５８の駆動部、９９…記録再生信号を処理する回路、１０…サスペンションのフレキシャ、３０…レーザダイオード、１５…導波路コア、１６…近接場光発生素子、３１…活性層、３３…電極、３７…導電性接着剤、９０…反射防止膜、１７…導波路入口、１９…スポットサイズコンバータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【国際調査報告】
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