# Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche diagnostiche

Micro e nanotecnologia
Copertina Tutti i moduli · Sviluppo

## Microtecnologia

* Introduzione alla microtecnologia
** Il transistor e i dispositivi integrati
** La legge di Moore
** Microtecnologia: concetti di base
** L'ambiente: la camera pulita
* Crescita dei cristalli
* Il vuoto
** Le leggi del vuoto
** Pompe da vuoto
** Strumenti di misura per il vuoto
* Il plasma
** Proprietà generali
** Fisica del plasma
** Scarica nei gas
** Scarica a rf
* Tecniche litografiche
** Litografia ottica
** Litografia elettronica
** Litografia a raggi X
** Litografia a fascio ionico
* Film sottili
** Chemical Vapor Deposition (CVD)
** Sputtering
** Evaporazione
** Deposizione con cannone elettronico
** Molecular Beam Epitaxy (MBE)
** Deposizione di film dielettrici
** Film metallici
* Processi successivi
** Ossidazione
** Impiantazione ionica
** Diffusione
** Planarizzazione
* Etching
** Wet etch
** Attacco a secco
** Reactive Ion Etching (RIE)
** Ion milling
* Esempi
** Dispositivi MOS e CMOS
** Giunzioni Josephson
** MEMS
** Sensori di immagine
** Memorie magnetiche
* Tecniche diagnostiche
** Microscopia Ottica
** Diffrazione a raggi X
** Interazione con fasci di elettroni
*** SEM
*** TEM
** Scanning probe
*** STM
* Statistica per tecnologia

## Nanotecnologia

* Introduzione alla nanotecnologia
** Cenni storici
** I due approcci: top-down, bottom-up
* Approccio top-down
** Scansione a sonda (scanning probe)
** Stampa (nanoprint)
* Approccio bottom-up
** Self-organizzazione
*** Film di Langmuir-Blodgett
*** Self-assembled monolayers (SAM)
** Strutture molecolari con carbonio
*** Fullerene C60
*** Nanotubi
*** Nanofili (nanowire)
** AFM
** SNOM
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La diagnostica in microelettronica è un processo importante che consente di verificare la qualità e il funzionamento dei dispositivi microelettronici.
La microscopia ottica è una tecnica di diagnostica che utilizza la luce visibile per visualizzare le caratteristiche di un oggetto a livello microscopico. La microscopia ottica può essere a contrasto di fase o di interferenza, che utilizzano la differenza di fase della luce per generare un'immagine a contrasto.
La microscopia elettronica utilizza un fascio di elettroni accelerati per generare un'immagine di un oggetto a livello microscopico. Ci sono due tipi di microscopia elettronica: il microscopio a scansione (SEM) e il microscopio a trasmissione (TEM). Il SEM produce immagini che mostrano la superficie esterna di un oggetto, mentre il TEM produce immagini che mostrano la struttura interna di un oggetto.
La diffrazione ai raggi X è una tecnica che utilizza i raggi X per analizzare la struttura cristallina di un materiale. La diffrazione ai raggi X può essere utilizzata per determinare le dimensioni delle particelle, la loro disposizione e la loro struttura tridimensionale. Questa tecnica è molto utile per la diagnostica in microelettronica poiché può essere utilizzata per verificare la qualità dei materiali utilizzati nella produzione di dispositivi microelettronici.
La microscopia a effetto tunnel (STM) è un tipo di microscopia elettronica che utilizza una sonda elettronica per interagire con la superficie di un oggetto a livello atomico. La STM funziona grazie all'effetto tunnel quantistico, che consente a un elettrone di attraversare una barriera potenziale. La STM è in grado di produrre immagini dettagliate a livello atomico, rendendola una tecnica importante per la diagnostica in microelettronica e la scienza dei materiali. Con la STM è possibile visualizzare la disposizione degli atomi sulla superficie di un materiale e verificare la qualità dei materiali utilizzati nella produzione di dispositivi microelettronici.