# Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche diagnostiche/Microscopia Ottica

Micro e nanotecnologia
Copertina Tutti i moduli · Sviluppo

## Microtecnologia

* Introduzione alla microtecnologia
** Il transistor e i dispositivi integrati
** La legge di Moore
** Microtecnologia: concetti di base
** L'ambiente: la camera pulita
* Crescita dei cristalli
* Il vuoto
** Le leggi del vuoto
** Pompe da vuoto
** Strumenti di misura per il vuoto
* Il plasma
** Proprietà generali
** Fisica del plasma
** Scarica nei gas
** Scarica a rf
* Tecniche litografiche
** Litografia ottica
** Litografia elettronica
** Litografia a raggi X
** Litografia a fascio ionico
* Film sottili
** Chemical Vapor Deposition (CVD)
** Sputtering
** Evaporazione
** Deposizione con cannone elettronico
** Molecular Beam Epitaxy (MBE)
** Deposizione di film dielettrici
** Film metallici
* Processi successivi
** Ossidazione
** Impiantazione ionica
** Diffusione
** Planarizzazione
* Etching
** Wet etch
** Attacco a secco
** Reactive Ion Etching (RIE)
** Ion milling
* Esempi
** Dispositivi MOS e CMOS
** Giunzioni Josephson
** MEMS
** Sensori di immagine
** Memorie magnetiche
* Tecniche diagnostiche
** Microscopia Ottica
** Diffrazione a raggi X
** Interazione con fasci di elettroni
*** SEM
*** TEM
** Scanning probe
*** STM
* Statistica per tecnologia

## Nanotecnologia

* Introduzione alla nanotecnologia
** Cenni storici
** I due approcci: top-down, bottom-up
* Approccio top-down
** Scansione a sonda (scanning probe)
** Stampa (nanoprint)
* Approccio bottom-up
** Self-organizzazione
*** Film di Langmuir-Blodgett
*** Self-assembled monolayers (SAM)
** Strutture molecolari con carbonio
*** Fullerene C60
*** Nanotubi
*** Nanofili (nanowire)
** AFM
** SNOM
Modifica il sommario
La microscopia ottica è anche un'importante tecnica nella microelettronica, dove viene utilizzata per osservare e analizzare componenti e dispositivi a scala microscopica. Ad esempio, la microscopia ottica può essere utilizzata per visualizzare la topografia della superficie dei materiali, la morfologia dei film sottili, la distribuzione dei difetti e la qualità delle giunzioni. La microscopia ottica è quindi una componente fondamentale nella ricerca e nella sviluppo di nuovi dispositivi elettronici. La microscopia ottica ha alcuni limiti nell'ambito della microelettronica. Ecco alcuni dei principali:
Risoluzione spaziale: La risoluzione spaziale della microscopia ottica è limitata dalla lunghezza d'onda della luce visibile, che di solito non è sufficiente per risolvere strutture a livello atomico. La risoluzione spaziale della microscopia ottica basata sulla luce visibile è tipicamente compresa tra i 200 e i 500 nanometri. Ciò significa che le strutture con dimensioni inferiori a questo valore non possono essere risolte individualmente.
Profondità di campo: La microscopia ottica presenta una limitata profondità di campo, il che significa che solo una piccola parte della struttura è a fuoco in un'immagine. La profondità di campo dipende da diversi fattori, come l'apertura della lente, la distanza della lente dal campione e la lunghezza focale della lente. La profondità di campo può essere aumentata utilizzando lenti con apertura più grande o diminuendo la distanza della lente dal campione, ma questo può aumentare anche il tempo di esposizione e la difficoltà di acquisire un'immagine. Per superare questa limitazione, la microscopia ottica spesso viene combinata con tecniche come la microscopia a confocale o la microscopia di modulazione di contrasto, che possono aumentare la profondità di campo e migliorare il contrasto dell'immagine.
Contrasto: Il contrasto in microscopia ottica si riferisce alla differenza tra le aree chiare e scure in un'immagine. Un alto contrasto rende più facile identificare le strutture all'interno di un campione, mentre un basso contrasto rende più difficile distinguere le strutture all'interno di un'immagine. Il contrasto nella microscopia ottica dipende da diversi fattori, come la trasmissione della luce attraverso il campione, la riflessione della luce dal campione e la luce ambientale. Materiali trasparenti o di basso contrasto, come alcuni materiali semiconduttori, possono causare un basso contrasto nell'immagine.
Informazioni quantitative: La microscopia ottica fornisce informazioni qualitative sulla struttura dei materiali, ma non è in grado di fornire informazioni quantitative precise sulla composizione chimica e sulla struttura a livello atomico.
Per migliorare la risoluzione spaziale si utilizza la microscopia confocale che è un tipo di microscopia ottica che utilizza un sistema di lenti per creare un'immagine con una profondità di campo estremamente limitata. In questo modo, la microscopia confocale è in grado di ottenere un'immagine tridimensionale di un campione con un'alta risoluzione spaziale. La microscopia confocale viene utilizzata in microelettronica per analizzare strutture a livello di singoli componenti, come transistor, diodi e circuiti integrati. La sua capacità di fornire immagini a risoluzione elevata con una profondità di campo limitata la rende utile per studiare la geometria dei dispositivi, le proprietà dei materiali e la topologia dei circuiti. Inoltre, la microscopia confocale è in grado di analizzare materiali opachi o di basso contrasto, come alcuni materiali semiconduttori, grazie all'utilizzo di tecniche di colorazione o alla modifica della luce incidente. Questo rende possibile ottenere immagini dettagliate di strutture all'interno di un campione che altrimenti sarebbero difficili da vedere con la microscopia ottica convenzionale.
Per migliorare il contrasto si utilizzano microscopi ottici a contrasto di fase. Questo microscopio utilizza la differenza di fase della luce che passa attraverso un oggetto trasparente rispetto a quella che passa attraverso un mezzo di riferimento, come una lente di vetro, per generare un'immagine a contrasto. Il sistema funziona introducendo una piccola fase di ritardo nella luce che attraversa l'oggetto rispetto a quella che attraversa il mezzo di riferimento. Questa differenza di fase crea un contrasto che viene visualizzato come un'immagine. Il microscopio ottico a contrasto di fase è particolarmente utile per la visualizzazione di oggetti trasparenti, poiché aumenta il contrasto di questi oggetti rispetto a un microscopio ottico convenzionale.