# Sistema microelectromecànic

Un Sistema microelectromecànic (MEMS acrònim anglès) és un sistema de tecnologia de dispositius microscòpics amb components entre 1 i 100 micròmetres, integrats juntament amb components electrònics per a processar la informació. Aquests dispositius micromecànics poden ser palanques, molles, membranes deformables, estructures vibrants, etc.
Es poden trobar aplicacions en biomedicina, automòbil, electrònica de consum i industrial i sensòrica (sensors de força, pressió, moviment, so...) en general.

## Material per a fabricar MEMS

* Silici: el més emprat en circuits electrònics.
* Polímers: materials plàstics especials.
* Metalls: s'empren or, níquel, alumini, crom, titani, plata i platí.

## Procesos per a fabricar MEMS

* Procesos de deposició de pel·lícules de gruix micromètric.
* Procesos de fotolitografia de transferència d'un patró a un material fotosensible.
* Procesos de gravat de patrons mitjançants líquids i vapors químics.

## Aplicacions

* Injectors MEMS piezoelèctrics per a impressores d'injecció de tinta.
* Acceleròmetres MEMS per a sistemes airbag en automòbils.
* Acceleròmetres MEMS per telèfons mòbils, cònsoles de joc, càmares de fotografia.
* Giroscopi MEMS per a detectar orientacions.
* Sensors de pressió MEMS en múltiples aplicacions : pressió atmosfèrica, pressió pneumàtics, pressió arterial...
* Micromiralls MEMS per a projectors d'imatges o vídeo.
* Punts MEMS per a pantalles de visualització.
* Sensor de pressió sonora per a micròfons de telèfons mòbils i similars.
* Oscil·ladors MEMS per a patrons de rellotge.
* Actuador lineal MEMS per a sistemes de posicionament.
* Sensors de gas : CO2, gasos de compostos orgànics (VOC)

## Fabricants de MEMS

Més destacats a 06/04/2017:
* Micròfons de ST, kmowles, AKUSTICA, Cirrus logic, JRC, vesper
* Acceleròmetres, giroscopis i sensors inercials d'Analog devices, ST, Colibrys, maxim, Memsic
* Sensors de corrent de Memsic
* Sensors de temperatura de TI,Omron
* Càmara infrarroja d'Omron,Panasonic
* Micromiralls d'intersil,Microvision
* Oscil·ladors de sitime
* Commutadors d'Analog devices
* Detectors de gas d'ams

## Referències

* ↑ «What is MEMS Technology?». [Consulta: 25 gener 2017].
* ↑ «What is MEMS? - MEMS & Sensors Industry Group». Arxivat de l'original el 2017-02-02. [Consulta: 25 gener 2017].
* ↑ «MEMS Journal -- The Largest MEMS Publication in the World». [Consulta: 25 gener 2017].
* ↑ «Materials MEMS» (en anglès). [Consulta: 25 gener 2017].
* ↑ «Fabricating MEMS and Nanotechnology». [Consulta: 25 gener 2017].
* ↑ «Introduction and application areas for MEMS». [Consulta: 25 gener 2017].

## Enllaços externs

* Enllaços als fabricants : ST, knowles Arxivat 2017-01-26 a Wayback Machine., AKUSTICA Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine., Cirrus logic, JRC Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine., vesper Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine.,Analog devices Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine., Colibrys Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine., maxim, Memsic Arxivat 2017-03-01 a Wayback Machine., Omron Arxivat 2016-11-09 a Wayback Machine., Panasonic, intersil Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine., Microvision Arxivat 2016-12-06 a Wayback Machine.,sitime,TI Arxivat 2017-02-02 a Wayback Machine.