এএসএমএল

এএসএমএল একটি নেদারল্যান্ডস-ভিত্তিক বহুজাতিক কোম্পানি যেটি আলোকপ্রস্তরলিখন ব্যবস্থা (ফটোলিথোগ্রাফি সিস্টেম) নির্মাণ ও উৎপাদনের বিশেষায়িত ক্ষেত্রে নিয়োজিত। ২০২১ সালে এটি অর্ধপরিবাহী শিল্পখাতের জন্য আলোকপ্রস্তরলিখন ব্যবস্থা সরবরাহকারী বৃহত্তম প্রতিষ্ঠান ছিল। এই ব্যবস্থাগুলি কম্পিউটার ও অন্যান্য ইলেকট্রনীয় যন্ত্রে বা যন্ত্রাংশে ব্যবহৃত সমন্বিত বর্তনী উৎপাদন প্রক্রিয়ার জন্য অত্যাবশ্যক। আলোকপ্রস্তরলিখন যন্ত্রগুলিতে আলোকীয় পদ্ধতিতে একটি পাতলা সিলিকন চাকতি বা ওয়েফারের উপরে কোনও নকশা বা ছাঁদের প্রতিচ্ছবি তৈরি করা হয়। ওয়েফারটি একটি আলোক-সংবেদী উপাদান (ফটোরেজিস্ট) দ্বারা আবৃত থাকে। এই প্রতিচ্ছবি চিত্রণ পদ্ধতিটি একটি ওয়েফারের উপর বহু ডজন বার বারংবার প্রয়োগ করা হয়। ফটোরেজিস্ট অতঃপর অধিকতর প্রক্রিয়াজাত করে সিলিকনের উপরে প্রকৃত ইলেকট্রনীয় বর্তনী সৃষ্টি করাহয়। এএসএমএল-এর যন্ত্রগুলি যে আলোকীয় প্রতিচিত্রণ প্রক্রিয়াটি সম্পন্ন করে, সেটি প্রায় সব ধরনের সমন্বিত বর্তনী উৎপাদন প্রক্রিয়ায় ব্যবহার করা যায়। এএসএমএল-এর যন্ত্রগুলি মূলত দুই ধরনের আলোকপ্রস্তরলিখন কৌশল ব্যবহার করে। এগুলি হল গভীর অতিবেগুনী নিমজ্জন (Deep Ultraviolet Immersion ডিইউভি ইমার্শন) এবং চরম অতিবেগুনী (Extreme Ultraviolet) কৌশল। ২০২০ সালে এসে কোম্পানিটি প্রথমোক্ত কৌশলটির জন্য ৮৮% বাজারের ভাগ এবং দ্বিতীয়টির জন্য ১০০% বাজারের ভাগ দখল করে, ফলে এটি সারা বিশ্বের আলোকপ্রস্তরলিখন যন্ত্রের বাজারে একচেটিয়া কারবারে পরিণত হয়েছে। কেবল জাপানি ক্যানন ও নিকন কোম্পানিগুলি এটির দুই বড় প্রতিদ্বন্দ্বী হিসেবে এখনও সক্রিয় রয়েছে। কোম্পানিটি ১৯৮৪ সালে ফিলিপস ও এএসম কোম্পানির সংযুক্তির মাধ্যমে "অ্যাডভান্সড সেমিকন্ডাকটর ম্যাটেরিয়াল্‌স লিথোগ্রাফি" সংক্ষেপে "এএসএমএল" নামে যাত্রা শুরু করে। বর্তমানে এটির কোনও পূর্ণ নাম নেই, এটি কেবল এএসএমএল নামেই পরিচিত। তথ্যসূত্র