MEMS in der Mikrosystemtechnik [electronic resource] : Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme /
Glück, Markus.author.
Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für MEMS. Ziel ist es, Studierenden der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen.
Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph
1 Einführung -- 2 Grundlagen -- 3 Herstellungsverfahren der MEMS Fertigung -- 4 Temperatursensoren -- 5 Magnetfeldsensoren -- 6 Strahlungssensoren und Fotodetektoren -- 7 Mikro-Elektro-Mechanische Sensorsysteme -- 8 Chemische Sensoren -- 9 Systemintegration und Datenübertragung -- 10 Energieversorgung -- Symbolverzeichnis -- Literatur- und Quellenverzeichnis -- Stichwortverzeichnis.
Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für MEMS. Ziel ist es, Studierenden der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen.
Engineering.
Electronics.
Microelectronics.
Engineering, general.
Electronics and Microelectronics, Instrumentation.