U61000

1메가비트 DRAM U61000D CMOS 공정으로 제작된 U61000C 에리히 호네커에게 수여된 초도 생산 U61000 **U61000**은 동독에서 개발한 1메가비트(1Mb) DRAM 메모리이다. 1986년에 드레스덴 마이크로일렉트로닉 연구소(VEB Forschungszentrum Mikroelektronik Dresden, ZED)과 VEB 카를 차이스 예나에서 공동으로 개발했으며, 1990년 카를 마르크스 에르푸르트 마이크로일렉트로닉(VEB Mikroelektronik „Karl-Marx“ Erfurt)의 ESO III 공장에서 양산될 예정이었다. 서방 세계의 511000 DRAM과 동등한 기술적 사양을 가지고 있으며, 1.2 µm CMOS 공정으로 생산되었으며, U61000D는 18핀 DIL 패키지, U61000C는 세라믹 패키지로 포장되었다. 내부적으로는 1024K×1비트로 배치되어 있으며 RAS 레이턴시는 100-120 ns이다. 로보트론에서 생산한 K 1820, K 1840, EC 1835 컴퓨터에 탑재되었다.
# 역사
1986년 2월 11일 독일 사회주의통일당 지도부의 결정에 따라서 드레스덴 마이크로일렉트로닉 연구소(ZED)에 3년 내에 1메가비트 DRAM을 개발하고 1990년에 양산하는 새로운 집적 회로 개발 프로젝트(미크론 계획; Projekt „Mikron“)가 배당되었다. 당시 동독에서 생산되었던 도시바 기술을 기반으로 드레스덴에서 생산되었던 64킬로비트(U6164) 및 256킬로비트(U61256) DRAM을 기반으로 하여 1메가비트 DRAM을 개발해야 했다. 개발 준비 작업을 위해서 슈타지의 대외정보국 14과에서는 지멘스에서 VLSI 생산 기술 문서를 입수했다.Horst Müller, Manfred Süß, Horst Vogel (Hrsg.): *Die Industriespionage der DDR.* edition ost, Berlin 2009, ISBN 978-3-360-01099-5. 지멘스는 자사 제품 생산을 위해서 도시바에서 해당 기술을 라이선스받았으며, 대량 생산을 위해서 지멘스 자체적인 기술이 대거 투입되었다.*Siemens hinkt mit Megachip hinterher*. In: *Computerwoche*, 13. Februar 1987. 반면 ZMD 측 기술자는 입수한 기술이 별로 도움이 되지 않았다고 밝혔으며, 예나에서 개발 중이었던 방향과 일치하지 않았다고 했다. 이에 대해서 슈타지는 자신들의 노력이 무시당했다고 여겼다.Silicon Saxony e. V. (Hrsg.): *Silicon Saxony – die Story*. edition Dresden 2006, ISBN 978-3-9808680-2-0, S. 73. 지멘스에서 의뢰한 미국 CIA의 사후 조사에 의하면 드레스덴에서 개발된 칩에 지멘스 기술이 사용된 증거를 찾을 수 없었다.Silicon Saxony e. V. (Hrsg.): *Silicon Saxony – die Story*. edition Dresden 2006, ISBN 978-3-9808680-2-0, S. 79. 코콤 금수조치에 의해서 동독에서는 반도체 생산에 필요한 장비 및 생산 기술을 세계 시장에서 합법적으로 획득할 수 없었다. 그 결과 스테퍼, 전자빔 리소그래피, LPCVD, 이온 밀링 머신, 패키징 공정에 필요한 장비를 칼자이스 예나 및 VEB Elektromat Dresden에서 직접 개발 및 생산했다. 플라즈마 에처 및 이온 임플랜터 장비는 소련과의 협력으로 획득할 예정이었다.Silicon Saxony e. V. (Hrsg.): *Silicon Saxony – die Story*. edition Dresden 2006, ISBN 978-3-9808680-2-0, S. 75. 그러나 소련에서 조달한 장비의 품질이 기준을 만족시키지 못했기 때문에 SED 지도부에서는 서독 및 다른 서방 국가에서 비공식적인 경로로 수입해 오기로 결정했다. Gerhardt Ronneberger: *Deckname „Saale“, High-Tech-Schmuggler unter Schalck-Golodkowski.* Dietz Verlag Berlin 1999, ISBN 3-320-01967-8. 이렇게 수입해 온 장비는 ZMD 측 기술자들이 원하는 의도대로 사용하기 위해서 수정 과정을 거쳐야 했다.Silicon Saxony e. V. (Hrsg.): *Silicon Saxony – die Story*. edition Dresden 2006, ISBN 978-3-9808680-2-0, S. 76.*Was aus Honeckers Megachip wurde.* Sächsische Zeitung, 23. März 2015 1988년 8월 10일에 최초로 1메가비트 양품 DRAM이 생산되어 검증 장비를 통한 검증이 완료되었다.*Wettlauf mit der Zeit (60) – Das Mega-Projekt oder die hemmungslosen Optimisten.* Fernsehen der DDR, Sendung vom 16. September 1988. 해당 1호 생산품은 1988년 9월 12일에 에리히 호네커에게 수여되었다. 그 해 DRAM 개발팀은 개발에 대한 공로로 동독 국가상을 수여받았다. 1989년 라이프치히 신년박람회에서는 U61000이 금메달을 수여받았다. 1988년에는 ZMD의 시제품 생산 공정에서 5,000개의 U61000이 생산되었다.확인일자=2011-09-11 1989년에는 30,000개가 생산되었으나 수율은 최대 20%에 불과했다.Hans W. Becker: *Looking back: Artwork and mask making in Dresden for the East German megabit chip project.* 20th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. Edited by Uwe Behringer. F. W. Proceedings of the SPIE, Volume 5504, 2004, ISBN 978-0-8194-5437-9, S. 75–85. 칩 개발은 1990년 초에 종료되었고, KME 에르푸르트의 ESO III 공정에서의 생산은 생산 설비 도입의 어려움으로 인해서 진행되지 못했다.Silicon Saxony e. V. (Hrsg.): *Silicon Saxony – die Story*. edition Dresden 2006, ISBN 978-3-9808680-2-0, S. 80. 4메가비트 DRAM 개발이 계획되어 있었으나 양산이 불가능하다는 이유로 최종적으로는 취소되었다. 동서독 통일로 인한 금수조치 해제로 1990년 7월부터는 동독에서 생산했던 반도체의 서방 세계 원본판을 더 저렴한 가격에 더 원활하게 입수할 수 있었기 때문에 경제적인 생산이 불가능해졌다.
# 갤러리
Wafer mit 90 Uc61000 칩 90개가 포함된 지름 125 mm 실리콘 웨이퍼 Bundesarchiv Bild 183-1988-0912-038, VEB Carl Zeiss Jena, 렌즈 뒤에 있는 U61000D(본 독일박물관에 소장 중) Bundesarchiv Bild 183-1988-0912-037, VEB Carl Zeiss Jena, 크기 비교 Bundesarchiv Bild 183-1989-0406-022, VEB Carl Zeiss Jena, 해제된 U61000C K1822 장착된 RAM 모듈 MSC20