ドーパント注入の前にゲルマニウム等の重いイオンをシリコン基板に注入することにより、シリコン基板の表面をアモルファス状態に変質させる。これにより、ドーパント注入時のチャネリング現象を抑制できるため、浅い接合の形成が可能となる。
素子分離(アイソレーション).
ヒ化ガリウム等の化合物半導体では、素子間の分離(アイソレーション)にイオン注入を用いる場合がある。イオン注入がエピ構造を破壊すると同時に、ドーパントがバンドギャップ中に深い準位を形成し、高抵抗となる。
イオン注入装置の分類.
高電流イオン注入装置.
中電流イオン注入装置.
高エネルギーイオン注入装置.
義親
義親（ぎしん）は、生物学的な親である実親（じっしん）に対して、社会的な、家族制度上の、あるいは法律上の親のことを言う。具体的には、配偶者の親、養親、親の配偶者（継親）などを言う。
概要.
実親.
義親は、実親に対する概念である。一方で生物学的な親とされる実親であっても、なお、当該社会における家族制度などに左右され、生物学上の親とは一致しない場合がしばしばある。
なお、一般の用法上は、嫡出子であると非嫡出子であるとを問わず、実親・実子の関係となる。また生物学上の関係は問題にされない。
嫡出.
嫡出否認の認容にも次のような制限がある（確定判例等）。
認知など.
嫡出の効力が及ばない子（非嫡出子）については、その父が認知することにより、その父の嫡出子としての身分を得る。
一方、嫡出否認が認容され、認知もされない場合には、その父と子の間では、民法上の親子関係は否定される。
母子関係は懐胎と続く出生により当然に母と子の親子関係が推定されるが（確定判例）、稀に出生時のトラブル（嬰児の遺棄、自己分娩、赤ちゃんの取り違え、出生届不提出など）により生物学上の母子関係が異なり、あるいは無戸籍児の場合がある。
義親.
実親に対し、義親は社会的な、家族制度上の、あるいは法律上の親のことであり、配偶者の親、養親、親の配偶者（継親）などがある。そのため対象者より年上であるとは限らない。男性である義親のことを義父（ぎふ）といい、女性である義親を義母（ぎぼ）という。
義親の種類や呼び名には以下の例がある。
配偶者の親.