主演の橋爪淳は、幼少期より怪獣映画を愛好しており、東宝芸能に所属していたため以前からゴジラシリーズへの出演を要望していた。出演依頼を受けた際は、役が明らかになっていなかったため、橋爪はマッドサイエンティストの役と思っていたという。
結城役の柄本明や大久保役の斎藤洋介は、山下からの要望で起用された。
撮影.
人間ドラマを重視していた山下と柏原に対し、川北は怪獣バトルやメカの描写に重点を置いており、撮影が先行していた特撮班で脚本から変更された内容にあわせて本編班の内容も修正せざるを得ず、本来想定されていたドラマ部分がカットや変更を余儀なくされた。書籍『平成ゴジラ大全』では、日本独自の特撮監督制の難しさが出たと評している。
バイクシーンについては橋爪が免許を持っていなかったことから米山善吉の後席ですべて彼に任せていたという。また、沖永良部島の砂浜は細かいサンゴがあるためバイクが走れず、砂が荒く岩盤もある奄美大島で撮影された。
福岡のシーンでは、大規模な瓦礫の造形物をロケでも用いている。美術の酒井賢は、未希のシーンでピラミッド状の瓦礫をシンボリックに構成していたが、思ったよりもリアルになりつまらなくなったと述べている。
福岡のシーンの一部は、幕張でロケを行っている。
特撮.
音楽.
服部は、東宝音楽出版側から「アクの強い音楽」を要望され、一般ドラマのようなきれいに流れていく音楽ではなく、SEに負けない管楽器を中心とした編成としている。特にスペースゴジラのテーマではその点を意識したといい、自身で一番気に入った曲に挙げている。本作品では、ゴジラのテーマよりもスペースゴジラのテーマが主軸となっている。
評価.
一方で、ファンの間では従来の作品と異なる作風に評価は二分された。内容面においても、本来はシリーズ最終章として、安住の地で暮らすゴジラや未希の成長などを描き一つの落とし所としていたが、次作『ゴジラvsデストロイア』が制作されたことにより不安定な位置づけとなった。
作画を担当した坂井は、福岡のシーンでカメオ出演している。
オカムラ
コーポレートスローガンは「人を想い、場を創る」。