近代における理性主義（合理主義）の嚆矢は、数学者でもあったルネ・デカルトである。彼は方法的懐疑によって得られる「我思う、ゆえに我あり」という原理を出発点とし、理性によって形作られる、プラトンより更に自己完結性が高い、過激な理性主義（合理主義）的形而上学体系を作り上げた。「思惟実体」（精神）とそれ以外の「延長実体」（物質）という独立した二元論的実体によって成り立つ彼の世界観では、後者は前者の数理的表現に還元できるので（機械論的自然観）、経験対象・内容に囚われる必要が無くなる。彼の作り上げた体系は、最終的には神を要請するものではあるが、キリスト教色が抑えられ、理性優位という点で、中世のスコラ学とは一線を画するものであった。
マルブランシュは、司祭・神学者としての立場からデカルトの思想を継承し、その二元論の統合に務めたので、フランスにおけるデカルトの継承者とみなされた。
スピノザも、デカルトの影響を受けつつ、それを汎神論的な論証体系としてまとめ上げた。また、彼の主著が『エチカ』（）と命名されていることからも分かるように、彼はその形而上学体系を、倫理学へと引き込み、社会化しようとしていた。
数学者でもあったライプニッツは、「モナド論」に基づく、独自の体系を形成した。
その他の理性主義.
これに対置されるのが、ジョン・ロックをはじめとする「イギリス経験論」だが、既述の通り、この区別はあくまでも「認識の端緒・発端をどこに求めるか」による大まかな区別に過ぎず、「イギリス経験論」に括られる者であっても、「理性」を軽視したり否定したりしているわけではない点に注意が必要である。それどころか、ジョン・ロックは、トマス・ホッブズらと共に、「理性」の反映である「自然法」に基づく社会契約論を主張するなど、「理性」の働きを信頼・重視しており、西洋哲学全体の「理性主義」の文脈に属する「広義の理性主義者」であると言える。（真に経験のみに依拠すると、ヒュームのように懐疑論に陥ることになる。）
イマヌエル・カントは、『純粋理性批判』に始まる、「理性」自体を吟味・仕分けする批判哲学（先験哲学・超越論哲学）によって、「イギリス経験論」と「大陸合理論」を総合・統合したと評価されるが、「理性」の存在・機能・能力自体を自明のものとして前提とする点では、やはり「理性主義」の一種である。