高電圧電極の極性に応じて、カソードの周囲に形成される負のコロナと、アノード(陽極)の周囲に形成される正のコロナが区別される。負のコロナは、カソードから放出された電子が電場で加速し、原子や分子と衝突してガスをイオン化し、より多くの電子を放出し、したがってアバランシェを形成するに似ている。二次プロセスには、カソードからの電子放出と、ガス雰囲気内の光イオン化が含まれる。負のコロナは、電極の鋭いエッジの周りに均一なプラズマを発生させる。一方、正のコロナでアバランシェを開始する電子は、高電圧アノードを取り囲むガスの光イオン化によって生成される。光子は、アノード近傍のよりアクティブな領域で放出される。次に、電子なだれ(アバランシェ)がアノードに向かって伝播する。正のコロナのプラズマは、常に動いている多くのフィラメントから構成されている。
誘電バリア放電.
圧電直接放電.
圧電直接放電は、交流高電圧発生器、高電圧電極、および誘電体バリアを単一の要素に組み合わせた、誘電体バリア放電の特別な技術的実現と見なすことができる。すなわち、高電圧はピエゾ・トランスで生成され、その二次回路は高電圧電極としても機能する。などの変圧器の圧電材料は誘電体であることが多いため、生成される放電は誘電体バリア放電の特性に似ている。さらに、電気接地から離れた場所で使用すると、ピエゾ・トランスの鋭いエッジでコロナ放電が発生する。
その他の種類のプラズマ.
表面活性化に適したプラズマも、RFおよびマイクロ波周波数による誘導加熱、火花放電、抵抗バリア放電、およびさまざまな種類のマイクロ放電を使用して作成された。
物理的および化学的活性化メカニズム.
プラズマ雰囲気内の処理過程.
電子イオンと電子分子の衝突エネルギーが高いため、プラズマ雰囲気は効率的な化学反応器として機能し、水素、窒素、酸素の化合物の高速生成を可能にする。その中でも、短寿命の高活性化学種は、表面のプラズマ活性化の主な作用剤である。それらには、水素、窒素、および酸素原子、OHおよびONラジカル、オゾン、亜硝酸、硝酸、および準安定励起状態にある他のさまざまな分子が含まれる。さらに、放電が基板に直接接触すると、これらの種のイオンと電子の両方が高エネルギーを持ち、表面に衝突する。
表面処理.