法治国家論の自由主義的な理念は、ビスマルク帝国の時代にフリードリヒ・ユリウス・シュタール、ルドルフ・フォン・グナイストらによって国家目的の手段表示という形式的で法技術的な原理に転化する。そこでは、自由主義的な議会の役割への意識が稀薄となった。もっともここにも社会における階級が激しく対立していた当時のドイツにおいて、法律による国家統治を実現することによって、国家内部における客観的な法規の定律及び行政活動の非党派性を保障して階級対立を緩和し、臣民の権利ないし自由を保障する実質的意義があった。
衰退と復興.
戦後、ドイツ基本法は「社会的法治国家」を標榜し、違憲審査制を取り込み、法治国家論を再興させるに至った。再興した法治国家論は、もはや下記のいう形式的法治国家でないことはもちろん、自由主義的な行政運営の原理にもとどまることなく、立法過程の民主性、法内容や適用の正義・合理性を要求するものとなった。
法治国家の概念.
法の支配の述べる法とは、議会や法廷あるいは（哲）学者の理性により、現実の社会や慣習の中から「発見される」ものであり、高権力に位置すべき国王（ないし行政府）がその法（法理）を尊重し法の支配に服することをもって社会全体を法理により統治することをさすのに対して、法治国家については実定法的側面が強調されることが多い。これは、法治国家論が法技術的な概念として展開してきたことに由来する。もっとも、ドイツの法治国家論においても、法の正当化のためには正義ないし倫理的正当性が必要であるとする実質的な概念化は試みられてきた。
形式的法治国家.
芦部信喜によれば、ドイツの法治国家論のモデルとなったシュタールの学説は、国家活動の目標ないし内容と関係がない形式的な、それらの実現の方式・性格に関係するものでしかなかった。国家が国民の権利義務についてどのように定めるべきか、定めるべきでないかを決める原理（自由主義）は、法治主義と厳密に区別された。また、法治国家は法律の内容が合理的であることを要求するものでもなかった。その意味で、戦前のドイツ法治国家は、極論すれば、国家権力がその政治組織のいかんを問わず、自己の意思を表明する一つの法的形式にすぎなかった、と言うことができる。
実質的法治国家.