プロセス・ルールは、フォトマスクからウェハーに回路を転写する半導体露光装置の光学分解能や、エッチング工程の寸法変換差の改善などで更新されてきた。プロセス・ルールの将来予測は、ムーアの法則を引用されることが多い。
半導体露光装置は非常に高い工作精度が要求され、製造の大部分が人間の手作業で行われる。ウェハーを載せるスライドテーブルは、高い水平度を実現するために非常にキメの細かい砥石で職人が磨いたレールの上に乗せられる。微細パターンをウェハー上に転写する光学系には、原子単位で表面の曲率が修正されている超高精度なレンズが用いられている。
微細化.
歩留まり.
半導体故障解析.
半導体故障解析とは、極めて多くの素子の集合体である集積回路に於いて、何処が、どの様に、壊れているのかを解析する技術である。LSIテスタ（半導体試験装置）では、不良品であることは分かっても、その回路の何処に異常があるのかまでは分からない。数千万ものトランジスタが集積された回路に於いて、その一つ一つを試験していくのは現実的ではなく、また、それ以上に配線の不良などもあり得る。従って、集積回路の登場当初から、集積度の向上に伴って、故障解析技術も進歩している。
分類.
構成.
モノリシック集積回路.
ハイブリッド集積回路.
比較的小さいプリント基板に、多数の個別部品や複数のチップ（マルチチップモジュール）などを直接、高密度さらには立体的に実装・配線し、さらにモールドするなどして一体の部品としたものである。
セキュリティチップ.
耐タンパー性技術は日々進歩しており、長い鍵を処理できる高性能プロセッサの搭載、光消去EPROMによるチップ取り出しの困難化（チップに光を当てるとフローティングゲートから電荷が流出してデータが消滅する）など改良が重ねられている。
フィルター
フィルター（フィルタ、）とは、与えられた物の特定成分を取り除く（あるいは弱める）作用をする機能をもつものである。またその作用をフィルタリングと呼ぶ。
製本
製本（せいほん、）とは、筆記または印刷した本文の料紙に表紙などを付け本の形に整えること。
西洋における製本.
洋式の場合、上製本（本製本）と仮製本（並製本）があり、仮製本は耐久性が低い。