体積流量計や差圧流量計など質量流量計以外の原理の流量計に、流量調整機能を付けて、体積流量換算などによって質量流量計として用いた場合は、マスフローコントローラとは呼ばないのが一般である。
用途.
化学工場、半導体工場、宇宙関係などにおいて、化学反応、温度変化や気圧変化の影響を受けにくいことから、用いられることがある。
原理.
質量を検出する方法としては、主に流れによって生じた流路の上流と下流の温度差を読み取る熱式（サーマル式）の方式が用いられる。他の方式としては、コリオリ力を用いたコリオリ式や、音速ノズル（臨界ノズルともいう）を用いたノズル式がある。
ノズル式やコリオリ式など、熱式以外のマスフロー機器の場合では、比熱は測定に用いていないが、使用するマスフロー機器は各ガスに適合した専用のマスフロー機器を使用するのが通常である。
歴史.
この現象を用いた構造は、ラバールノズルという現象として古くから知られている。
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日本の産業技術総合研究所(AIST)、および韓国の工業測定標準の国家機関であるでは、気体流量測定の国家標準器には、臨界ノズルを組み込んだ流量計が用いられている。このため、国家標準器との技術的な親和性から、日本および韓国での計測業界でノズル式流量計が好んで用いられる場合がある。ただし、このことは、必ずしも、ノズル式の精度が熱式よりも原理的に高いという事ではない。実際にアメリカ合衆国の国家計量標準機関であるNISTやドイツの計量標準機関であるなどのように、他の国の国家計量標準機関では、気体流量の国家標準器にはノズル式以外の異なる原理の流量計や体積流量計が用いられている場合もある。
原理上、臨界ノズル式の流量計には、圧力計がノズル上流側の位置に必要である。ゆえにノズル式のマスフロー機器にもノズル上流側には圧力計が入っている構造になっている。
また、臨界を起こすための圧力差が必要な為、差圧が無い場所ではノズル式マスフロー機器は機能しない。マスフロー機器に限らず、一般に臨界ノズル式の流量計は差圧が無いと、そもそも臨界が起きないので機能しない。
なお、ノズル式マスフロー機器は、一般的にノズルを収容するための大きさが必要であり、ノズル式マスフロー機器の小型化は熱線式に比べれば困難である。
内容.