また、縦型炉は、横型炉の問題点であった、成長した酸化物のウェーハ上での不均一性を解消することができる。水平炉は通常、酸化室内に対流があり、管の下部が管の上部よりわずかに低温になっている。ウェーハが酸化室内で垂直になると、対流とそれに伴う温度勾配により、ウェーハの上部は下部よりも酸化膜が厚くなる。縦型炉では、ウェーハを水平に置き、炉内のガス流を上から下へ流すことで、熱対流を大幅に抑制し、この問題を解決している。また、縦型炉では、真空予備室により、酸化前にウェーハを窒素でパージし、Si表面での自然酸化物の成長を抑制することができる。酸化膜の品質.湿式酸化は、成長速度が速いため、厚い酸化物を成長させるには乾式酸化よりも有利である。しかし、酸化が速いとシリコン界面にダングリングボンドが多く残り、これが電子の量子状態を作り出し、界面に沿って電流が漏れてしまう(「デバイス界面の汚染」と呼ばれる)。また、湿式酸化では、酸化物の密度が低くなり、絶縁耐力が低下する。乾式酸化では、厚い酸化物を成長させるのに長い時間が必要なため、実用的ではない。厚い酸化膜を成長させるには、通常、長い湿式酸化と短い乾式酸化を繰り返す(乾湿乾のサイクル)。乾式酸化の最初と最後には、それぞれ酸化膜の外側と内側に高品質の酸化膜が形成される。その他の注意事項.酸化させない部分は窒化シリコンの膜で覆われ、酸化速度が遅いため、酸素や水蒸気の拡散が遮断される。この工程では、酸化剤分子が窒化物マスクの下で横方向(表面に平行)に拡散し、酸化物がマスク部分に浸入するため、シャープな形状を得ることができない。能見松平氏火攻(かこう)とは、火を使って敵を攻めること。何らかの方法で敵陣や敵国の市街地などに火を放ちながら敵を攻めること全般を指す。火攻め、火計(かけい)、焼討ちとも言う。方法.パラダイス(戯曲)『パラダイス』は、演出家・赤堀雅秋が作・演出を手掛けた舞台作品。主演は丸山隆平。本作は、作・演出の赤堀雅秋と主演の丸山隆平の初タッグとなる予定だった舞台作品。主演の丸山は、赤堀の作品の大ファンを公言しており、自身がシアターコクーンでの舞台作品に初出演となることから、「嬉しいことが同時にきました!」とコメントしている。※全公演中止。