概要.超純水と呼ばれる場合、水質は極めて高いレベルにあることを意味する。ただし、その明確な定義や国家・国際規格などの統一的な基準はなく、使用目的に基づく需要者の要求水準を達成することが必要となる。このため、同じ『超純水』でもグレードはまちまちとなっている。製造費用は他の用水と比較し高額になる傾向がある。研究開発のような最先端の分野はもちろん、製造現場を含め要求水準は年々高度化し続けている。歴史.以下、利用量が最大で要求レベルも厳しい、電子工業界を中心に記述する。大規模火力発電所や原子力産業向けの需要に応じ、超純水製造技術は向上を続けていたものの、微細な集積回路のパターンを相手とする洗浄装置の開発は多くの課題が有った。なかには水質ではなく水そのものの物理的性質、例えば有機溶剤に比し桁外れに大きな表面張力の克服なども含まれていた(洗浄時にウエハを高速回転させるのはこのため)洗浄する水に少しでも不純物が残っていると、回路パターンを短絡させたり、不純物半導体の組成を乱すなどの影響を及ぼすため、今日に至るまで、半導体素子の性能向上や回路パターンの微細化に伴って、超純水の不純物を減らし洗浄効果を高めるための様々な研究開発が続けられてきている。現在は膜ろ過技術の発達・普及により、さらに利用分野が広まっている。指標.超純水のグレードを表すため使用される指標は複数あるが、いずれも水中の不純物を何らかの手法で評価しているに過ぎず、例えば「超純水度」といったようなものは存在しない。これは超純水の製造・管理・利用目的がほぼ産業用途に限られ、ある産業分野で最も重視される指標が他分野では仕様外となる場合すらあるなど共通の基準が必要なかった背景による。実際、同じ工場でもラインによって管理指標の項目や基準値が異なることも珍しくない。水質管理指標として一般に次のようなものが利用されているが、その他にも用途次第で多様な指標が利用されている。(試験方法にJIS規格がある場合、規格番号を併記した)医療などバイオテクノロジー分野向けでは、無菌を保つため生菌数と微粒子数が重要視されるほか、次のような指標も用いられる。製法.プラント.今日の一般的な製法では、まず純水を製造し、これを原料とする(一次純水と呼ばれる)。