如何確保晶圓清洗製程品質?
晶圓清洗中，常藉由Scrubber機以溶液清洗晶圓表面來去除微粒（particle），能有效去除表面各式污染源，並且還要能夠避免對晶圓造成表面的缺陷或刮傷，此時清洗的spray nozzle噴射角度與流量都會影響到衝擊力道、壓力位置等，更是直接影響到晶圓的品質。