MEMS光スイッチはモノリシックに集積できますか?
複雑な可動3D機械構造、マイクロアクチュエータ、およびマイクロ光学素子を備えたMEMS光スイッチは、集積回路業界で確立された製造プロセスを使用することにより、同じ基板上にモノリシックに統合することができます。