PCD、PEDとはなんですか？
それぞれPCD(Pos t Coating Delay)、PED(Post Exposure De l ay)の略で、塗布後又は露光後の次の工程までの時間にバラツキがあったり、放置によって寸法の変化、現像不良が起きるため、工程間の時間は一定にする必要があります。