(GCMS) 真空漏れチェック方法
装置をセットアップした後や保守を行った後の装置の真空漏れをチェックする方法です。
真空漏れが明らかになったときは、「2. MSの真空漏れ」記載の要領で真空漏れの箇所を特定し、対処してください。
真空漏れ状態で装置を運転することは感度