可変速ドライブ（VSD）と可変周波数ドライブ（VFD）真空ポンプの違いは何ですか？
違いはありません。ただ呼び方が違うだけです。VSDは結果、すなわち真空ポンプの回転速度(speed)の変化に着目した表現です。一方、VFDは速度変化の原因、すなわち周波数(frequency)に着目した名前です。