Que sont les systèmes microélectromécaniques (MEMS) ?
Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) sont des dispositifs miniatures qui combinent des composants électriques et mécaniques à l'échelle microscopique. Ces systèmes comprennent généralement des capteurs, des actionneurs et d'autres composants fonctionnels intégrés sur une seule puce.