Wie akkurat sind induktive Sensoren zur Abstandsmessung?
Die Elektronik in einem Sensor ist kalibriert, um spezifische Spannungsänderungen für entsprechende Änderungen der Induktivität zu erzeugen. Diese Spannungen werden so skaliert, dass sie spezifische Abstandsänderungen darstellen. Der Spannungswert, der sich bei einer bestimmten Abstandsänderung ändert, wird als Empfindlichkeit bezeichnet. Eine übliche Empfindlichkeitseinstellung ist 1,0 V/100 μm. Das bedeutet, dass sich die Ausgangsspannung bei jeder Abstandsänderung von 100 μm um genau 1,0 V ändert. Bei dieser Kalibrierung bedeutet eine Änderung der Ausgangsspannung um +2 V, dass sich das Ziel um 200 μm näher an die Sonde bewegt hat. Die Sensoren werden im Werk für den gewählten Bereich kalibriert und mit einem rückführbaren Kalibrierungszertifikat belegt. Das Kalibriersystem liefert eine Positionsgenauigkeit von weniger als 0,012 μm und wird regelmäßig mit einem NIST-rückführbaren Laserinterferometer zertifiziert. Die Kalibrierungszertifikate entsprechen Abschnitt 4.8 der ISO 10012-1.