INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
- ou une couche métallique comportant un élément métallique en présence d’un gaz réactif (oxygène, et/ou azote et/ou hydrogène), comme par exemple l’aluminium granulaire (Al + O 2 ), ou les nitrures d’aluminium, ou le titane ou de niobium ou les hydrures de silicium ;
- ou un dépôt d’un alliage en Niobium-silicium, ou en Yttrium-silicium, ou en Nickel – Chrome ;
- ou une jonction tunnel constituée de deux dépôts métalliques séparés par une barrière d’isolant, par exemple une jonction Josephson en Al-AlO x -Al, ou en Nb-Al-AlO x -Al-Nb;
- ou une couche isolante ou semiconductrice comme par exemple Si, ou Si-O, ou Si-H, ou Ge ; dans ce cas on peut utiliser une mesure simultanée de la capacitance et de la résistance de la couche.
L'invention concerne également un procédé de gravure d’une couche réalisée dans la fenêtre de dépôt d’un substrat ou d’une puce de dépôt selon l’invention, comportant une étape de gravure de cette couche, et de mesure d’au moins une grandeur électrique aux bornes d’au moins 2 électrodes de mesure.
Un tel procédé permet par exemple de graver une couche d'oxyde sur une couche de matériau, par exemple pour pouvoir reprendre un contact électrique.
La gravure est par exemple réalisée par faisceau d'ion ou plasma réactif.
Selon une réalisation particulière d'un procédé selon l'invention, la mesure d'au moins une grandeur électrique peut être effectuée à l'aide d'un micro-connecteur, par exemple un connecteur micro-USB.
Le dépôt ou la gravure de la couche peut être arrêté(e) lorsque ladite grandeur électrique atteint une valeur cible.
On peut, au cours d’un dépôt, ajuster les conditions de celui-ci (par exemple de pression et/ou de température) en fonction des résultats de la mesure réalisée en temps réel par l'invention.
L’invention concerne également la réalisation d’un film ou d’une couche mince, tout en effectuant, simultanément au dépôt de ce film ou de cette couche, un dépôt sur une puce selon l’invention et/ou selon un procédé selon l’invention. L’invention permet donc de répliquer, pour la puce et/ou le procédé selon l’invention, les conditions mises en œuvre pour le dépôt d’intérêt, qui est réalisé en parallèle, et ainsi de contrôler l’évolution de ce dernier, notamment du point de vue de la conductivité du film déposé.
La couche déposée dans un procédé selon l’invention ou sur une puce selon l’invention a par exemple une épaisseur comprise entre 1 nm et 200 nm.
-Les figures 1A-1B représentent des étapes de réalisation d’un procédé selon l'invention ;
-La représente un dépôt obtenu par un procédé selon l’invention ;
-La représente une variante de réalisation d’un procédé selon l’invention ;
-La représente un dépôt réalisé sur une puce obtenue par la variante de procédé selon l'invention ;
- les figures 2A – 2C représentent un substrat de dépôt ( ), réalisé conformément à l'invention, un film déposé ( ), et un agrandissement de celui-ci ( ) ;
On suppose par exemple que le capteur NEMS et ses nano-poutres ont une épaisseur équivalente à celle du capot supérieur recouvrant le canal fluidique du résonateur SMR. On dimensionne la largeur et la longueur de la poutre 21 du capteur NEMS 2 de sorte que sa fréquence de résonance selon son mode propre fondamental hors-plan ait une valeur similaire, sinon proche de la fréquence du second mode de flexion du résonateur SMR.
Pour le dimensionnement du capteur NEMS 2, en relation avec la fréquence de travail du SMR, on s’appuie sur la formule analytique suivante issue de l’application du théorème d’Euler-Bernouilli :
Où E désigne le module de Young, S correspond à la section de la poutre NEMS en oscillation, I son moment d’inertie selon la direction des vibrations. λ n est une valeur propre déterminée en fonction de l’ordre du mode, son type (flexion, torsion…) et les conditions aux limites de la poutre obtenue en résolvant l’équation différentielle du mouvement de la poutre rappelée ci-dessous, en l’absence d’amortissement et de forces externes actionnant celle-ci :
Dans le cas où l’on considère une flexion selon une direction hors-plan :
et w et t qui désignent respectivement la largeur et l’épaisseur de la poutre du capteur NEMS.
Le tableau suivant liste les valeurs de λ n pour des poutres à encastrement simple et bi-encastrées : Λ 1 Λ 2 Λ 3 Λ 4 Encastrement simple 1,875 4,694 7,854 10,995 Bi-encastrement 4,73 7,853 10,995 14,14
Etant donné l’équation, on peut déduire l’expression du mode fondamental de résonance d’une poutre NEMS bi-encastrée donné par la formule suivante :
Et pour une poutre à encastrement simple, on obtient :
Pour une épaisseur de 200nm de la poutre 21 du capteur NEMS 2, si on considère par exemple une longueur de 19,5μm et une largeur de 0,5μm, on estime une valeur de fréquence propre fondamentale de 725,67kHz, soit une erreur de 0,2% par rapport à la valeur estimée du second mode de résonance en flexion hors-plan du résonateur SMR. Si à présent la longueur de la poutre du capteur NEMS est de 19,48μm, on estime alors une valeur de fréquence propre fondamentale de 727,161kHz soit une erreur réduite à 0,08% par rapport à la valeur estimée du second mode du résonateur SMR 1. En revanche, maîtriser la longueur de la poutre 21 du capteur NEMS 2 avec une résolution dimensionnelle de l’ordre 10nm paraît incompatible à ce jour avec la précision des procédés de nano-fabrication combinant lithographie et nano-gravure. On suppose une variance d’Allan de l’ordre du ppm (10 -6 ) pour le capteur NEMS.
On estime pour son mode fondamental en flexion hors-plan une limite de détection en masse du capteur NEMS de 2,14 ag, soit un gain de 6728 par rapport à la limite de détection du résonateur SMR.
Comme attendu, la réduction en taille du capteur NEMS 2, est donc favorable à l’amélioration (ici de trois ordres de grandeurs) de la limite de détection en masse par rapport au résonateur SMR 1 seul.
Applications On liste ci-après quelques exemples d’applications possibles du système de l'invention, tirant profit de la versatilité offerte par la section accrue du canal fluidique 12 du résonateur SMR 1 par rapport à sa version nanométrique (SNR), combinée à la sensibilité de mesure en masse du capteur NEMS 2. Peser des échantillons polydisperses, contenant des particules (qu’elles soient inorganiques, biologiques, synthétiques ou un mélange de ces différents objets) avec des échelles de taille allant de quelques nanomètres à quelques micromètres (étant donné la section du canal fluidique du résonateur SMR qui est d'environ 20x20μm²). Peser des échantillons biologiques complexes hétérogènes, par exemple du sang, ou autres biofluides, dans lesquels coexistent par exemple des cellules (globules rouges, lymphocytes, cellules tumorales circulantes), de l’ADN circulant, de l’ARN circulant, des protéines, des débris cellulaires, des vésicules extra-cellulaires (EVs), des exosomes, potentiellement des virus ou encore des bactéries. Cet ensemble présente des gammes de taille allant du nm à plusieurs μm, et des masses flottantes allant de 0,1 attograme à plusieurs picogrammes. Isoler une cellule biologique dans le canal fluidique du résonateur SMR, par piégeage de celle-ci dans un piège hydrodynamique (voir variante de la ). Etant donné la résolution en masse du capteur NEMS 2, il serait possible de mesurer avec une précision de l’ordre de l’attogramme, le taux d’accroissement ou perte de masse de la cellule consécutive soit à sa croissance ou mort cellulaire ou encore à sa réaction au sens large à l’exposition d’une molécule (médicaments). Une autre caractéristique de ce piégeage "in-situ", combinée à la résolution en masse du capteur NEMS concerne le suivi dynamique de transfection cellulaire par des cibles telles que des nanoparticules virales (des adénovirus par exemple) ou réciproquement la production et sécrétion de nanoparticules virales ou encore de vésicules extra-cellulaires (EVs), objets caractérisés par une masse flottante allant de quelques attogrammes à quelques centaines d’attogrammes. Cette capacité de suivi en temps réel des sécrétions peut également être mise en œuvre par piégeage de la cellule en amont du canal fluidique intégré dans le résonateur SMR, ce qui permet de suivre clairement la cinétique de production des sécrétions qui s’écoulent dans le canal fluidique du résonateur SMR, sans biais possible avec le taux d’accroissement de masse intrinsèque à la cellule. Un autre exemple concerne la mise en évidence par pesée de biomarqueurs cibles, soit par greffage à la surface préalablement fonctionnalisée du canal fluidique intégré dans le résonateur SMR, ou encore par greffage sur une ou plusieurs billes piégées dans le résonateur SMR par le biais de pièges hydrodynamiques. De nouveau, l’avantage de cette invention par rapport à la technologie SNR réside dans le fait que la bille piégée peut être beaucoup plus large, de plusieurs micromètres de diamètre, sa surface développée permettant d'accueillir un nombre de sondes beaucoup plus important que le permettrait une bille sub-micrométrique piégée dans un SNR.
Fonctionnement On considère un système selon la réalisation particulière décrite ci-dessus et qui comporte : Un résonateur mécanique 1 de type SMR ; Un capteur gravimétrique 2 de type NEMS ; Un élément de liaison 3 couplant mécaniquement la partie suspendue du résonateur SMR au capteur gravimétrique NEMS ;
Pour calibrer la sensibilité massique du capteur NEMS 2 par rapport aux variations de masse consécutives au passage de particule dans le résonateur SMR, on fait circuler dans le canal fluidique du résonateur SMR une population monodisperse de nanoparticules de référence (c’est-à-dire de densité et taille connue à priori), telles que des nanoparticules d’Or. Le passage de chaque nanoparticule dans le canal fluidique 12 du résonateur SMR 1, se traduit par une modification transitoire de sa masse effective m eff , et donc un décalage en fréquence qui est propagé dans la partie suspendue 21 du capteur NEMS 2 qui lui est couplé mécaniquement. Le décalage en fréquence ΔF_nems mesuré par le capteur NEMS 2 doit à priori être maximal lorsque la particule est positionnée à un endroit du canal fluidique du résonateur SMR où le couplage mécanique entre le résonateur SMR et le capteur NEMS est optimal.
On retrouve sur la trois diodes électroluminescentes mais comme pour la , l’homme du métier comprend que le schéma fonctionnel s’applique pour n diodes électroluminescents, avec n >=2.
On a tout d’abord (à l’extérieur des cadres F1, F2 et F3) une alimentation AL_i avec i variant de 1 à n. Cette alimentation fournit de préférence, pour chaque diode électroluminescente, un signal de commande de type PWM, c’est-à-dire à modulation de largeur d’impulsion. Ainsi, chaque signal de commande est composé d'une alternance d'un signal haut de courte durée et d'un signal bas de longue durée grâce à cette modulation de largeur d'impulsion.
Dans le cadre F1, une fonction « OU » est appliquée aux signaux de commande issus des alimentations AL_i. Cette fonction est réalisée électroniquement par les diodes D_i. Avec cette fonction, si un seul signal est actif alors la « réponse », ou signal résultant, est actif. La réponse est inactive seulement si tous les signaux en entrée sont inactifs.
Le signal en sortie de la fonction « OU », d'une part, est appliqué en entrée du dispositif de régulation de tension REG et, d'autre part, vient commander le commutateur SW (cadre F2) qui permet une activation rapide et une désactivation rapide des diodes électroluminescentes LED_i.
Lorsque le commutateur SW est fermé, la tension de régulation VRef du dispositif de tension de régulation REG vient coopérer avec les dispositifs de contrôle de courant ACC_i pour assurer que les diodes électroluminescentes délivrent l’intensité lumineuse voulue.
Comme évoqué, un tel dispositif de commande est plus particulièrement destiné à un dispositif d’éclairage dans le domaine automobile, pour un éclairage extérieur du véhicule, comme par exemple une poignée de portière. La illustre très schématiquement un véhicule 10 qui comporte au moins un capteur 11 (par exemple capteur de luminosité, récepteur de signaux de télécommande, etc.) associé à un contrôleur électronique 13, ou unité de commande électronique (ECU). Au sein de ce contrôleur électronique 13, des signaux de commande SC_i sont générés. Il s’agit par exemple de signaux de type PWM. Ces signaux sont transmis au système de commande décrit ci-dessus disposé dans un boitier 12 intégrant notamment les alimentations AL_i, le dispositif de régulation de tension REG et le commutateur SW. En sortie du boitier 12, on trouve les diodes électroluminescentes LED_i et leurs dispositifs de contrôle de courant ACC_i qui sont intégrés par exemple dans une poignée de portière du véhicule 10.
Le (ou les) capteur(s) 11 permet(tent) de commander l’éclairage dans certaines conditions prédéfinies. L’utilisation d’un capteur de luminosité peut être par exemple utilisé pour éviter d’allumer le dispositif d’éclairage en plein jour. Un récepteur de télécommande peut être utilisé pour commander le type d’éclairage souhaité : en fonction du bouton utilisé sur la télécommande, la lumière peut être d’une couleur ou d’une autre, en allumage progressif, en mode clignotant, etc. . Le capteur 11 peut aussi être un capteur de présence capacitif qui détecte par exemple l’approche d’un utilisateur, ou plus précisément de sa main. Bien entendu, comme suggéré, plusieurs capteurs peuvent être utilisés et l’éclairage commandé se fera en fonction des informations reçues par les multiples capteurs.
Le système de commande décrit ci-dessus permet de commander plusieurs diodes électroluminescentes (au moins deux, voire plus de trois) indépendamment les unes des autres. La structure proposée permet un encombrement réduit ce qui permet d’utiliser un éclairage multiple dans un volume restreint et notamment dans une poignée de portière d’une longueur d’environ 10 cm, de quelques centimètres de hauteur et de faible épaisseur.
Le système de commande d’au moins deux sources lumineuses (LED ou diode électroluminescente) comporte un unique dispositif de régulation de tension, commun pour toutes les diodes électroluminescentes. Un signal de commande propre à chaque source lumineuse passe par une diode et les signaux obtenus sont regroupés en entrée du dispositif de régulation de tension. Les diodes permettent d’alimenter en courant le dispositif de régulation de tension lorsqu’au moins l’un des signaux de commande n’est pas à zéro. Le commutateur en sortie du dispositif de régulation de tension est contrôlé par le signal d’entrée du dispositif de régulation de tension.
Dans le cas d’un signal de commande de type PWM (c’est-à-dire à modulation de largeur d’impulsion), ledit signal est composé d’un signal haut alterné de courte durée et d’un signal bas de longue durée. Dans la forme de réalisation préférée avec une capacité (condensateur) en entrée du dispositif de régulation de tension, ledit dispositif est alimenté sans interruption même lorsqu’il reçoit un signal alternatif.
La forme de réalisation avec un commutateur de type transistor MOSFET est avantageuse car la présence de ce transistor MOSFET permet de déconnecter les moyens de contrôle en courant des diodes électroluminescentes du régulateur de tension lorsque le signal de commande passe à l’état bas (durant la modulation de largeur d’impulsion). La structure proposée permet avantageusement de ne plus tirer de courant du régulateur de tension. Ce dernier peut alors continuer à fonctionner grâce à la réserve des condensateurs C1 et C2. Quand la tension d’entrée du modulateur de largeur d’impulsion remonte au cycle suivant, le régulateur de tension ne présente pas de délai d’allumage car il est déjà en fonctionnement. Un tel délai d’allumage fausserait la luminosité attendue, particulièrement pour des modulations de largeur d’impulsion de faible rapport cyclique.
On remarque que le temps de réponse des diodes est en général très rapide (inférieur par exemple à 50 ns (soit 5 10EXP-8 s)) par rapport à une période de modulation de largeur d’impulsion (de l’ordre de la milliseconde soit 1*10EXP-3 s). L’impact de ce temps de réponse sur la modulation est donc vraiment marginal.
La présente divulgation ne se limite pas aux exemples de réalisation et aux applications décrits ci-avant, seulement à titre d’exemples non limitatifs, mais elle englobe toutes les variantes que pourra envisager l’homme de l’art dans le cadre de la protection recherchée.
Dispositif lumineux pour véhicule automobile La présente invention concerne des dispositifs lumineux de véhicules automobiles. Plus précisément, l'invention concerne des dispositifs lumineux comprenant un boîtier, une glace de fermeture et un masque intégré dans le boîtier.
Un dispositif lumineux de véhicule automobile comprend classiquement, à l'intérieur d'un boîtier fermé par une glace, une source lumineuse montée dans un module lumineux, et divers éléments de câblage et de structure pour la mise en œuvre de la source dans le module lumineux. Afin d'éviter de présenter à la vue plongeante d'un observateur extérieur ces composants internes, les fabricants de projecteurs intègrent habituellement à l'intérieur du boîtier un ou plusieurs masques dont la fonction principale est esthétique.
Un problème fréquemment rencontré est la formation de buée sur la face intérieure de la glace de fermeture du dispositif lumineux tel qu’un phare avant ou feu arrière de véhicule. Ce phénomène naturel est souvent perçu par le consommateur comme un signe de mauvaise qualité. La condensation se produit lorsque la vapeur d'eau se condense en minuscules gouttelettes d'eau qui sont en suspension dans l'air. Dans un dispositif lumineux pour véhicule, les gouttelettes se condensent sur la surface intérieure de la glace de fermeture, ce qui génère un effet de diffusion de la lumière. Cela peut affecter la bonne transmission de la lumière à travers la glace de fermeture, et ne permet donc pas de répondre aux exigences réglementaires. Et cela pourrait éblouir les autres usagers. De plus, avec l’utilisation récente des lampes LED à la place des lampes halogènes ou autres lampes dégageant une forte quantité de chaleur, la buée ne va plus disparaître en allumant le dispositif lumineux. Les LED produisent peu de chaleur en direction de la glace de fermeture, ce qui ne permet pas l’évaporation des gouttelettes d’eau.
De manière particulièrement avantageuse, le bloqueur 15 est disposé dans la poignée 4b et le bloqueur 15 prend appui sur le corps 4 dans une position de blocage bloquant la rotation du tambour 8 correspondant à un déroulement de l’élément filaire 3. Préférentiellement, le bloqueur 15 prend appui sur le corps 4 pour bloquer la rotation du tambour 8. Plus préférentiellement, le bloqueur 13 prend appui à l’intérieur de la poignée 4b de manière à avoir un fonctionnement qui n’est pas modifié par la préhension de l’utilisateur sur la poignée 4b. L’enrouleur 7 est complètement intégré dans la poignée 4b ce qui facilite l’utilisation du connecteur 2.
Il est avantageux que la commande 6 soit montée à pivotement autour d’un arbre de pivotement 16 qui est parallèle à l’axe de rotation du tambour 8. La commande 6 peut être munie d’un obstacle 17 monté mobile par rapport au corps 4. L’obstacle 17 peut être un pion et il forme un obstacle qui empêche le doigt 5 de quitter la position de fermeture lorsque la commande 6 est dans la position de verrouillage. Dans la position de déverrouillage de la commande 6, l’obstacle 17 ne s’oppose pas au déplacement du doigt 5.
Cette configuration de longe est particulièrement avantageuse pour former une longe antichute comme cela est illustrée à la . La deuxième extrémité 3b de l’élément filaire 3 est destinée à être fixée à un absorbeur d’énergie 18. L’absorbeur d’énergie 18 est configuré pour se fixer d’une part à l’élément filaire 3 et pour se fixer d’autre part à un harnais d’encordement. L’absorbeur d’énergie se trouve disposé entre le harnais d’encordement et la longe de sorte qu’en cas de chute, l’absorbeur d’énergie est soumis à un effort et il absorbe une partie de l’énergie de la chute pour limiter la sollicitation sur le harnais d’encordement. Avantageusement, deux longes 1 ou au moins deux longes 1 sont fixées à l’absorbeur d’énergie 18.
De manière préférentielle, l’absorbeur d’énergie possède des liaisons fusibles, par exemple des coutures entre deux nappes ou un lien entre deux nappes. La première nappe peut être connectée au harnais d’encordement tandis que la deuxième nappe est connectée à l’élément filaire. L’effort de la chute tend à séparer les deux nappes ce qui a pour effet de solliciter les liaisons fusibles qui se déforment jusqu’à se rompre. La déformation des liaisons puis leur rupture permettent d’absorber au moins une partie de l’énergie de la chute. Le fonctionnement de l’absorbeur d’énergie est connu en soi.
Lors d’une chute, le connecteur 2 est accroché à un point d’ancrage. Il est donc fixe ou sensiblement fixe. La chute applique un effort sur l’élément filaire 3 qui cause le déroulement de l’élément filaire 3 depuis le tambour 8. La vitesse de rotation du tambour 8 augmente jusqu’à atteindre la vitesse seuil. Une fois la vitesse seuil atteinte, il est avantageux que le bloqueur 15 bloque le tambour 8. Le blocage du tambour 8 permet d’éviter que le tambour atteigne des vitesses plus élevées représentative d’une vitesse de chute plus importante et donc d’une énergie de chute à dissipée qui sera plus importante.
Une fois le tambour 8 bloqué, l’effort de chute est appliqué à l’absorbeur d’énergie 18 disposé entre le harnais d’encordement et l’élément filaire 3.
L’absorbeur d’énergie 18 peut être fixé au harnais d’encordement à un point de suspension ombilical, à un point de suspension sternal, à un point de suspension dorsal ou à tout autre point de suspension adapté à supporter une chute.
Préférentiellement, le corps 4 définit une cavité recevant l’enrouleur 7 et le corps 4 interdit l’accès à l’enrouleur. Le corps 4 définit une fente de sortie de l’élément filaire qui est le seul accès à l’enrouleur 7.
Dans un mode de réalisation avantageux, le corps 4 possède deux flasques 19 fixés l’un à l’autre pour former tout ou partie du corps 4. Préférentiellement, les deux flasques 19 sont montés en vis-à-vis selon l’axe de rotation du tambour 8. Les deux flasques 19 peuvent être reliées par une entretoise 20 qui délimite la cavité destinée à recevoir l’enrouleur 7.
Le déroulement et l’enroulement de l’enrouleur sont indépendants de l’état du doigt 5.
Le point de fixation ombilical peut être utilisé pour assurer la fixation de manière amovible des bretelles ce qui facilite l’installation du harnais sur l’utilisateur. Cependant, l’utilisation du même anneau pour assurer la fixation des bretelles et pour suspendre l’utilisateur par la ceinture dégrade l’ergonomie du point de suspension ce qui complique le travail du cordiste.
Il est connu du document EP2401038 de former un harnais d’encordement qui possède deux anneaux de sangle disposés l’un dans l’autre et fermés par la ceinture. Un premier anneau de sangle forme une première boucle dite boucle interne et elle est munie d’un connecteur non démontable en forme de D. Le connecteur sert de point de suspension ventral. Un deuxième anneau de sangle forme une deuxième boucle, dite boucle externe qui est destinée à la fixation des bretelles avec la ceinture. Les deux boucles sont fixées sensiblement au même endroit de la ceinture de sorte que la reprise d’effort entre les bretelles et le point de suspension ventral s’effectue au même endroit par rapport au centre de gravité de l’utilisateur. Les anneaux interne et externe sont formés par les sangles qui prolongent les tours de cuisses. Il ressort cependant que cette configuration ne procure pas une ergonomie optimale.
Dans les harnais d’escalade, une construction différente est utilisée afin de procurer une plus grande liberté de mouvement à l’utilisateur entre les tours de cuisse et la ceinture. La ceinture et les tours de cuisse traversent un anneau qui se trouve en position ventrale. Cependant, cette construction n’est pas la plus adaptée pour travailler longtemps tout en étant suspendu dans son harnais, notamment car il est dépourvu de bretelle.