INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Le composant électronique 400A de la se distingue du composant électronique 200 de la principalement en ce que la région diélectrique 234, ainsi que le matériau diélectrique 414 du premier niveau de métal 410A, sont traversés par une cavité de gaz 420, par exemple une cavité d’air, connue sous la dénomination "air gap" en anglais, sensiblement centrée au-dessus du transistor 210. Une telle cavité vise à réduire l’effet capacitif du composant électronique, en particulier pour l’application RF switch. Par exemple, la cavité de gaz 420 comprend un liner oxyde 422, par exemple en SiO2, enfermant un volume de gaz sous vide 424.
La cavité de gaz 420 peut être formée en utilisant une gravure chimique isotrope de la région diélectrique 234, ainsi que du matériau diélectrique 414. Lors de cette gravure, la couche de revêtement 231, qui est par exemple en nitrure de silicium, permet avantageusement de stopper la gravure par sélectivité, afin de protéger le contact 250.
Le composant électronique 400B de la se distingue du composant électronique 400A de la principalement en ce que le premier niveau de métal 410B de la région d'interconnexion comprend des plots métalliques 412B en aluminium (Al), au lieu du cuivre, et en ce qu’il ne comprend pas de couche d’arrêt de gravure.
Divers modes de réalisation et variantes ont été décrits. La personne du métier comprendra que certaines caractéristiques de ces divers modes de réalisation et variantes pourraient être combinées, et d’autres variantes apparaîtront à la personne du métier. En particulier, dans les modes de réalisation décrits, le contact est un contact électrique pour transistor de type MOS, et est formé sur une région semiconductrice surmontée d’une couche d’interface de siliciure (région siliciurée). La région semiconductrice est, par exemple, une région de source, ou une région de drain, voire une région de grille. Ceci n'est pas limitatif, les modes de réalisation décrits pouvant s'appliquer à tout composant électronique, par exemple tout type de transistor ou tout type de diode, comprenant une région semiconductrice destinée à être reliée électriquement à une liaison électriquement conductrice par l'intermédiaire d'un contact, la région semiconductrice étant siliciurée ou non siliciurée. En outre, dans les modes de réalisation décrits, les contacts présentent une forme de cylindre circulaire droit, c’est-à-dire une section circulaire. Ceci n’est pas limitatif, les modes de réalisation décrits pouvant s'appliquer à des contacts présentant d’autres formes, par exemple une forme de cylindre non nécessairement circulaire et/ou droit, ou une forme parallélépipédique, les modes de réalisation permettant d’adapter au moins une dimension transversale du contact.
Un hydroptère comportant plusieurs flotteurs de chaque côté de la coque ne sort pas du cadre de la présente invention. Un hydroptère dans lequel les flotteurs ne s’étendent pas sur toute la longueur de la coque ne sort pas du cadre de la présente invention.
Dans les exemples décrits, les flotteurs se déplacent d’une position à l’autre de manière simultanée. Un hydroptère dans lequel le déplacement de l’un des flotteurs précède le déplacement de l’autre flotteur ne sort pas non plus du cadre de la présente invention.
Grâce à l’invention, la stabilité lors du chargement des barges est sensiblement augmentée sans avoir à augmenter de manière conséquente la largeur des barges, ce qui réduit leur encombrement notamment lors de leur stockage.
Les flotteurs peuvent être commandés séparément les uns des autres. Il est envisageable qu’un seul des flotteurs soit déployé.
Il est également envisageable que les flotteurs restent déployés en vol.
Dans un exemple de réalisation, les flotteurs peuvent être au moins en partie remplis d’eau lorsqu’ils sont déployés et vider lorsqu’il sont rapprochés de la coque, formant des ballasts. Des pompes sont alors prévues pour remplir et vider les flotteurs.
L’hydroptère peut comporter au moins un stabilisateur gyroscopique, qui participe à la stabilité de l’hydroptère en vol.
De manière particulièrement avantageuse, le bateau comporte des moyens de secours assurant le déploiement des flotteurs en cas de dysfonctionnement de la source principale d’énergie. Par exemple si la source d’énergie électrique est hors service, les moyens de propulsion du bateau s’arrêtent provoquant l’amerrissage du bateau, les moyens de secours par exemple pneumatiques sont alors déclenchés provoquant le déploiement des flotteurs à la place des moteurs électriques.
De manière connue, une turbomachine, par exemple un turbomoteur, notamment pour un hélicoptère, comporte une turbine à gaz ayant un générateur de gaz et une turbine libre entraînée en rotation par le flux de gaz généré par le générateur de gaz. De manière connue en soi, la turbine libre est complètement indépendante du générateur de gaz, comprenant un ou deux compresseurs (haute et basse pression) et une ou deux turbines (haute et basse pression). En particulier, l’arbre de la turbine libre et l’arbre du générateur de gaz (portant le ou les compresseur(s) et la ou les turbine(s)) ne sont pas liés. La turbine libre est donc distincte de la ou des turbine(s) (haute et basse pression) portées par l’arbre du générateur de gaz, qui sont liées quant à elles au compresseur. Ainsi, la particularité d’un turbopropulseur à turbine libre réside dans la séparation des éléments « moteur » (générateur de gaz) et « turbine de puissance » (ou turbine libre).
Certains aéronefs comportent deux turbomachines ou plus, comprenant chacune une turbine à gaz telle que décrite ci-dessus. C’est le cas notamment des hélicoptères bimoteurs ou multi moteurs. De tels aéronefs permettent un fonctionnement en mode SEO (pour « Single Engine Operative » en anglais). Le mode SEO est un mode de fonctionnement d’une architecture bimoteur dans lequel une des turbines à gaz est volontairement mise en veille, chambre de combustion éteinte ou allumée, l’autre assurant l’intégralité de la fourniture de puissance. Ce mode permet d’optimiser la consommation spécifique, qui diminue avec la puissance fournie par une turbomachine. En effet, la consommation spécifique d’une turbine diminuant avec la puissance fournie, il est en effet préférable de fournir 100% de la puissance avec une turbine, plutôt que 50% par chacune d’entre elle.
Un des points essentiels du mode SEO réside dans la capacité à réactiver la turbine mise en veille en cas de perte de puissance de la turbine en fonctionnement. Afin d’assurer une réactivation la plus rapide possible, il est possible de maintenir la turbine mise en mode veille (ou « super ralenti »), c’est-à-dire de continuer à faire tourner son générateur de gaz au moyen exclusif d’une machine électrique, sans apport de carburant. Le générateur étant alors maintenu dans sa « fenêtre d’allumage » (typiquement 10-30% de la vitesse de rotation nominale du générateur de gaz) afin de permettre un allumage immédiat de la chambre de combustion, soit en mode « super-ralenti » au moyen d’une combustion à un seuil de vitesse faible et assisté par l’intermédiaire d’un apport de puissance mécanique via une machine électrique, afin de bénéficier d’une chambre de combustion déjà allumée mais avec une température interne maitrisée.
Les applications bimoteur impliquent de nombreuses fonctions, telles que le démarrage ou la réactivation en vol du générateur de gaz, la génération d’électricité à bord, ou la fourniture de puissance mécanique au rotor principal. Les solutions existantes, permettant de réaliser certaines de ces fonctions ne sont pas entièrement optimisées. En particulier, elles ne permettent pas de maximiser le nombre de fonctions réalisables tout en limitant l’impact du prélèvement électrique sur le moteur, ni le nombre de pièces que comportent ces architectures, et donc la masse. Il existe donc un besoin pour un ensemble propulsif d’aéronef bimoteur ou multi moteurs présentant une architecture répondant au moins en partie aux inconvénients précités.
Le présent exposé concerne un ensemble propulsif pour aéronef hybridé, notamment d’hélicoptère multi-moteurs, comprenant : - au moins un premier moteur et un deuxième moteur ayant chacun un générateur de gaz et une turbine libre entraînée en rotation par un flux de gaz généré par le générateur de gaz, - un rotor principal couplé à la turbine libre du premier et du deuxième moteur, - le premier et le deuxième moteur comprenant chacun une première machine électrique apte à être couplée au générateur de gaz uniquement, et une deuxième machine électrique apte à être couplée au générateur de gaz par l’intermédiaire d’un premier moyen de couplage lorsqu’elle tourne dans un premier sens de rotation, et à être couplée à un arbre de la turbine libre par l’intermédiaire d’un deuxième moyen de couplage lorsqu’elle tourne dans un deuxième sens de rotation opposé au premier sens de rotation, la première machine électrique étant apte à fonctionner sélectivement dans un mode moteur ou dans un mode générateur, et la deuxième machine électrique étant apte à fonctionner dans le mode moteur lorsqu’elle tourne dans le premier sens de rotation, et à fonctionner sélectivement dans le mode moteur ou le mode générateur lorsqu’elle tourne dans le deuxième sens de rotation.
On comprend que selon le présent exposé, chacun du premier et du deuxième moteur est équipé d’une première machine électrique et d’une deuxième machine électrique, de préférence de manière symétrique.
Le procédé peut comprendre les étapes : - déterminer une température réelle de la batterie, - déterminer la valeur de consigne de quantité d’énergie électrique à fournir à la batterie à partir de la température minimale déterminée et à partir de la température réelle déterminée.
Le procédé peut comprendre l’étape : - déterminer une position géographique pour laquelle la batterie fournit la puissance électrique maximale, et à l’étape de sélection d’une borne de recharge, la borne de recharge est sélectionnée telle qu’une distance entre la borne de recharge sélectionnée et la position géographique pour laquelle la batterie fournit la puissance électrique maximale est inférieure à une distance maximale prédéterminée.
Par exemple, la borne de recharge sélectionnée est, parmi un sous-ensemble de bornes de recharge accessibles ayant une puissance électrique de charge supérieure au seuil prédéterminé, la borne de recharge la plus proche de la position géographique pour laquelle la batterie fournit la puissance électrique maximale.
La valeur maximale prédéterminée de la consigne de quantité d’énergie électrique à fournir à la batterie dépend d’une distance à parcourir entre le point d’arrivée prédéfini et une position géographique de la borne de recharge sélectionnée.
La batterie est ainsi suffisamment rechargée pour permettre la chauffe souhaitée de la batterie, tout en permettant éventuellement de procéder à une recharge supplémentaire d’ici la fin du trajet vers le point d’arrivée prédéfini. La récupération des pertes thermiques générées par l’opération de recharge de la batterie peut ainsi être réalisée plusieurs fois sur un même trajet.
La divulgation concerne également un système de gestion d’énergie électrique d’un véhicule électrique, comportant : - une batterie de stockage d’énergie électrique configurée pour fournir de l’énergie électrique à un moteur électrique de propulsion d’un véhicule et pour recevoir de l’énergie électrique d’une borne de recharge, - une unité électronique de contrôle configurée pour mettre en œuvre un procédé tel que décrit précédemment.
Selon un mode de réalisation, le système de conditionnement thermique comporte : - un système de gestion d’énergie électrique, - un circuit de fluide réfrigérant configuré pour faire circuler un fluide réfrigérant, le circuit de fluide réfrigérant comportant : -- un dispositif de compression, -- un premier échangeur de chaleur couplé thermiquement avec la batterie, l’échangeur étant configuré pour fonctionner au moins en évaporateur de fluide réfrigérant.
Selon un mode de réalisation du système de conditionnement thermique, le circuit de fluide réfrigérant comporte : - un deuxième échangeur de chaleur couplé thermiquement avec un flux d’air intérieur au véhicule, le deuxième échangeur de chaleur étant configuré pour fonctionner au moins en refroidisseur de fluide réfrigérant.
Selon un mode de réalisation du système de conditionnement thermique, le circuit de fluide réfrigérant comporte un troisième échangeur de chaleur couplé thermiquement avec un flux d’air extérieur au véhicule. Le troisième échangeur de chaleur est configuré pour fonctionner au moins en évaporateur de fluide réfrigérant.
Le système de conditionnement thermique peut fonctionner selon un mode dit pompe à chaleur, dans lequel le flux d’air intérieur est chauffé au niveau du deuxième échangeur par le fluide réfrigérant à haute pression, et dans lequel l’évaporation du fluide réfrigérant à basse pression utilise la chaleur d’un flux d’air extérieur au niveau du troisième échangeur. Ce mode de fonctionnement, avantageux pour limiter la consommation énergétique du chauffage de l’habitacle, peut être difficile à utiliser pendant une longue durée lorsque la température ambiante est négative ou proche de 0°C, car le troisième échangeur est susceptible de givrer. Dans ces conditions, il est avantageux de faire fonctionner le système de conditionnement thermique selon un mode dit de récupération d’énergie, dans lequel la vaporisation du fluide réfrigérant à basse pression est réalisée au niveau du premier échangeur. La chaleur de vaporisation est fournie par le liquide caloporteur, qui n’est pas sujet au givre. Cependant, ce mode fonctionnement tend à refroidir la batterie, et doit donc être employé de manière limitée de façon à ne pas refroidir excessivement la batterie. En réchauffant la batterie grâce à la phase de recharge, il est possible de prolonger les phases de fonctionnement en mode de récupération d’énergie.
Selon un mode de réalisation, le système de conditionnement thermique comprend un quatrième échangeur de chaleur configuré pour échanger de la chaleur avec un flux d’air intérieur à l’habitacle du véhicule.
Selon un exemple de réalisation du système de conditionnement thermique, le circuit de fluide réfrigérant comporte : - Une boucle principale comprenant successivement selon le sens de parcours du fluide réfrigérant : -- Un dispositif de compression, -- Un échangeur de chaleur dit deuxième échangeur de chaleur, couplé thermiquement avec un flux d’air intérieur à l’habitacle du véhicule, -- Un premier dispositif de détente, -- Un échangeur de chaleur dit premier échangeur de chaleur, couplé thermiquement avec la batterie de stockage d’énergie électrique, - Une première branche de dérivation reliant un premier point de raccordement disposé sur la boucle principale en aval du deuxième échangeur et en amont du premier dispositif de détente à un deuxième point de raccordement disposé sur la boucle principale en aval du premier échangeur de chaleur et en amont du dispositif de compression, la première branche de dérivation comportant successivement un deuxième dispositif de détente et un échangeur de chaleur, dit troisième échangeur de chaleur, configuré pour échanger de la chaleur avec un flux d’air extérieur à l’habitacle du véhicule, - Une deuxième branche de dérivation reliant un troisième point de raccordement disposé sur la boucle principale en aval du premier point de raccordement et en amont du premier dispositif de détente à un quatrième point de raccordement disposé sur la boucle principale en aval du deuxième point de raccordement et en amont du compresseur, la deuxième branche de dérivation comportant successivement un troisième dispositif de détente et un quatrième échangeur de chaleur configuré pour échanger de la chaleur avec un flux d’air intérieur à l’habitacle, - Une troisième branche de dérivation reliant un cinquième point de raccordement disposé sur la première branche de dérivation en aval du troisième échangeur et en amont du deuxième point de raccordement à un sixième point de raccordement disposé sur la boucle principale entre le troisième point de raccordement et le premier détendeur.
Le troisième point de raccordement peut être confondu avec le sixième point de raccordement.
Le deuxième point de raccordement peut être confondu avec le quatrième point de raccordement.
La boucle principale peut comprendre une première vanne d’arrêt disposée entre le premier point de raccordement et le troisième point de raccordement.
Dans l’exemple illustré, les moyens de fixation F2 de la plaque inférieure de fermeture 9 sur le plancher supérieur 2 permettent en outre de fixer le plancher supérieur 2 sur le cadre central.
Les orifices ménagés sur le pourtour 11 du plancher supérieur 2 et les moyens de fixation F2, qui permettent la fixation du plancher supérieur 2 sur le cadre central et sur la plaque inférieure de fermeture 9, sont disposés entre les première et deuxième zones d’étanchéité 11a et 11b.
Le premier moyen d’étanchéité 13, positionné entre la deuxième zone 11b du pourtour 11 du plancher supérieur 2 et le pourtour de la plaque inférieure de fermeture 9, est disposé en regard de la zone de stockage d’énergie électrique ZE, à distance des moyens de fixation F2 de sorte que le perçage des orifices destinés aux moyens de fixation F2 ne dégrade pas l’étanchéité ainsi formée de la zone de stockage d’énergie électrique ZE vis-à-vis de l’habitacle du véhicule.
Le deuxième moyen d’étanchéité 14, positionné entre la première zone 11a du pourtour 11 du plancher supérieur 2 et le cadre central, est disposé en regard de l’extérieur du véhicule, à distance des moyens de fixation F2 de sorte que le perçage des orifices destinés aux moyens de fixation F2 ne dégrade pas l’étanchéité ainsi formée de l’habitacle du véhicule vis-à-vis de l’extérieur du véhicule.
Avantageusement, la plateforme centrale 10 et le pourtour 11 s’étendent dans deux plans sensiblement parallèles.
Dans l’exemple illustré, le pourtour 11 du plancher supérieur 2, la face du cadre central destinée à l’accostage du pourtour 11 du plancher supérieur 2 et le pourtour de plaque inférieure de fermeture 9 sont sensiblement plats.
Les différents moyens d’étanchéité de la zone de stockage d’énergie électrique permettant une étanchéité de la zone de stockage d’énergie électrique ZE vis-à-vis de l’intérieur de l’habitacle du véhicule et inversement sont avantageusement portés par une seule et même pièce formée par le plancher supérieur 2.
De plus, le pourtour 11 du plancher supérieur 2 forme une zone multifonction permettant de former des pistes d’étanchéité ainsi que l’accostage du plancher supérieur 2 sur le reste du soubassement 1.
En outre, la zone de stockage d’énergie électrique ZE peut comprendre un espace 15, pouvant par exemple être délimité par une boîte, pour le stockage d’éléments électrotechniques tels que des câbles électriques, ou d’un dispositif de refroidissement des modules de batterie 6.
Le plancher supérieur 2 peut être fabriqué par emboutissage.
En référence à la , les traverses centrales 4 sont fixés par des moyens de fixation F3 sur des traverses supplémentaires 16 du soubassement 1.
Dans l’exemple illustré, les traverses centrales 4 sont fixés par vissage. Les moyens de fixation F3 des traverses centrales 4 sur des traverses supplémentaires 16 comprennent, par exemple, une pluralité d’ensemble vis et écrou.
Comme cela est illustré à la , le soubassement 1 comprend une pluralité d’éléments de renfort locaux 17 destinés à renforcer la résistance mécanique des zones des organes de fixation 5 traversées par les moyens de fixations F1 des modules de batterie 6.
Chaque renfort local 17 d’un organe de fixation 5 est positionné localement entre l’écrou des moyens de fixation F1 et l’organe de fixation 5.
Avantageusement, les renforts locaux 17 comprennent une feuille, telle qu’une feuille en acier, sensiblement en forme de U de façon à épouser au moins partiellement la forme de la poutre de l’organe de fixation 5 en oméga.
L’invention concerne également un procédé de montage du soubassement 1 sur un véhicule automobile.
Par exemple, si le dépôt de la couche de barrière de diffusion 136 est un dépôt ALD, l’épaisseur de la couche de barrière de diffusion peut être sensiblement uniforme, et elle peut être inférieure à 30 nm. Si le dépôt de la couche de barrière de diffusion 136 est un dépôt CVD ou PVD, l’épaisseur de la couche de barrière de diffusion peut être plus grande au-dessus de la région diélectrique 134 gravée, que sur les parois latérales et au fond de l’orifice 144.
Du fait des contraintes de procédé de fabrication, et notamment des contraintes de coût, le diamètre D0 des orifices est généralement fixé. Par exemple, les orifices sont fabriqués lors d’une même étape de photolithographie et de gravure d’une ligne de fabrication. En outre, l’épaisseur de la couche barrière de diffusion est généralement également fixée, par exemple du fait des techniques de dépôt mises en œuvre. Ainsi, il n’est généralement pas simple de modifier le diamètre utile des contacts métalliques, en particulier sans modifier l’étape de photolithographie et de gravure dans une ligne de fabrication. Par exemple, modifier le diamètre des orifices peut nécessiter de changer de technique et/ou de paramètres de photolithographie (par exemple de changer d’équipement, de masque de gravure, et/ou de résine photosensible), et/ou de changer de technique et/ou de paramètres de gravure (par exemple de changer d’équipement de gravure) ce qui peut induire des coûts supplémentaires, voire une perte de temps lors de ces changements. On peut parler de noeud technologique plus avancé, qui peut impliquer la nécessité de disposer d’équipements plus performants, généralement plus chers.
Les inventeurs proposent un contact sur une région semiconductrice de composant électronique et un procédé de fabrication d’un tel contact permettant de répondre aux besoins d'amélioration décrits précédemment, et de pallier tout ou partie des inconvénients des contacts décrits précédemment. En particulier, les inventeurs proposent un contact et un procédé de fabrication d’un tel contact permettant d'adapter la section, ou une dimension transversale, par exemple le diamètre, d’un ou plusieurs contacts, par exemple dans une même ligne de fabrication.
Des modes de réalisation de contacts vont être décrits ci-après. Les modes de réalisation décrits sont non limitatifs et diverses variantes apparaîtront à la personne du métier à partir des indications de la présente description.
La , la , la , la et la sont des vues en coupe représentant des structures obtenues à l’issue d’étapes d’un procédé de fabrication d’un contact électrique 250 pour composant électronique 200 selon un mode de réalisation.
La structure de départ du procédé de fabrication décrit est une structure issue d’un procédé de fabrication d’orifices traversant une région diélectrique, de manière à définir l’emplacement de futurs contacts sur des régions semiconductrices, par exemple avec formation préalable d’une couche de siliciure sur les régions semiconductrices. Dans les modes de réalisation représentés, les contacts sont des contacts électriques pour transistors MOS 210, tel que les transistors MOS 110 décrits en relation avec la , les régions semiconductrices étant des régions de drain ou source 224, de source ou drain 226, voire de grille 212 des transistors MOS. La région de formation de canal 222 est localisée entre les régions de drain et de source.
Par exemple, la structure de départ peut être une structure issue d’un procédé similaire à celui décrit en relation avec les figures 1A, 1B et 1C, jusqu’à l’étape, incluse, de gravure des orifices 244 dans une région diélectrique 234. Les orifices 244 débouchent sur une couche de siliciure 232 recouvrant les régions semiconductrices 224, 226.
Dans les modes de réalisation représentés, la direction longitudinale des orifices et des contacts correspond sensiblement à la verticale, sans que cela ne soit limitatif.
La représente une structure obtenue à l’issue du dépôt d’une couche en matériau diélectrique 235 (couche diélectrique) sur la structure de départ.