INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Les lames des 2 résonateurs ont une longueur légèrement différente de façon à ce que l’une résonne à 17 kHz et l’autre à 19 kHz. Par exemple, l’une des lames pourra être en maillechort avec une longueur de 10 mm et une largeur de 2 mm, pour une épaisseur de 0.1 mm, tandis que l’autre aura une longueur de 10,5 mm pour une fréquence de fonctionnement plus basse, les deux fréquences étant situées entre 15 kHz et 22 kHz.
Les transducteurs PZT1 et PZT2 sont des pastilles piézoélectriques, de type Titanate zirconate de plomb, par exemple en matériau PZ27 de la société Ferroperm Meggit, de forme rectangulaire et de dimensions 2 mm x 1.25 mm x 0.1 mm. Ces dimensions correspondent au format 0805 (8 millièmes de pouce x 5 millièmes de pouce) habituellement utilisé pour les composants CMS. Les pastilles piézoélectriques sont brasées sur la lame en maillechort et positionnées à un quart et trois quart soit 2.5 mm et 7.5 mm de la longueur de la lame. Dans cette configuration, le coefficient de température du résonateur est d’environ 330 ppm/°C ou 5 Hz/°C, ce qui implique que sur une plage de 400°C la fréquence de résonance se décalera d’environ 2000 Hz. Les deux capteurs ayant des fréquences centrales à 17kHz et 19kHz ont donc des plages de fonctionnement distinctes sur +/-200°C par rapport à l’ambiante.
En ce qui concerne la résolution en température, elle dépend du facteur de qualité de la résonance et de la résolution fréquentielle. Pour une résolution de 0.001°C, la résolution fréquentielle est donc théoriquement de 0.005 Hz, soit une longueur d’acquisition théorique de 200 s représentant 44100 éch/s x 200 s = 8.8 millions d’échantillons. Le traitement d’un aussi grand nombre d’échantillons n’engendre aujourd’hui plus de problème de lenteur pour la puissance de calcul des ordinateurs portables, ni même pour les smartphones.
En pratique, il n’est bien sûr pas nécessaire de faire l’acquisition durant 200 s, mais durant environ 1 s, soit 44100 échantillons, par balayage sinusoïdal linéaire entre 16 kHz et 20 kHz, le reste des points étant obtenu par la technique du padding, consistant à remplacer les points manquants par des zéros.
Les résonateurs piézoélectriques à ligne à retard tels qu’ils viennent d’être décrits ici sont donc parfaitement adaptés pour être utilisés en combinaison de thermistances de type résistance de platine qui ont également des plages de fonctionnement comparables de plusieurs centaines de degrés Celsius, typiquement -50°C à +500°C.
En outre, l’amplitude des signaux, en entrée comme en sortie, sont comparables et c’est un avantage de la présente invention. Ils peuvent être gérés par les mêmes réglages audio en particulier le même réglage de gain du microphone de l’unité électronique distante, réglé à température ambiante de 25°C à 30% ou 40% de la pleine échelle pour une résistance de platine CTP et 6% à 15% de la pleine échelle du microphone pour une thermistance CTN.
On aura alors un triple capteur, constitué d’un capteur de température absolue faible résolution et de deux capteurs haute résolution. Enfin la sélectivité des résonateurs pourra être améliorée en remplaçant la lame de maillechort par une lame silicium ou en arséniure de gallium qui pourra être traitée par les techniques conventionnelles de la microélectronique et être métallisée aux endroits des emplacements des transducteurs, les pastilles PZT pouvant être remplacées par des couches de matériaux piézoélectriques d’épaisseur encore plus faible, de l’ordre du micron, tel l’oxyde de zinc (ZnO) ou simplement métalisées pour un substrat piézoélectrique en arséniure de gallium (AsGa).
Le fait de disposer d’une mesure de température absolue à 0.1°C près et une résolution à 0.001°C donne ainsi accès à des expériences impliquant l’échange de faibles quantités de chaleur et donc implicitement de faible consommation électrique, ce qui pourra engendrer des applications par exemple en débitmétrie massique thermique ou en calorimétrie.
Tout en restant sous vide, l’ensemble formé par le substrat 1100, la première couche électrique 1300 en TiN, la couche sacrificielle 1200 en LiPON et la couche fonctionnelle diélectrique 1400 en HfO 2 , tel qu’obtenu au point 3.4 ci-avant, est déplacé vers une chambre ALD, dédiée aux dépôts de couches électriques.
Un dépôt par ALD est mis en œuvre dans les mêmes conditions que celles décrites au point 3.1.
Ainsi, la couche fonctionnelle électrique 1500 en TiN, d’une épaisseur de 10 nm, est déposée sur la surface de la couche fonctionnelle diélectrique 1400. Elle n’est pas déposée sur la couche sacrificielle.
La structure obtenue est représentée sur la .
3.6 – Élimination de la couche sacrificielle en LiPON :
L’ensemble obtenu au point 3.5 ci-avant est placé dans une chambre sous une pression de 1 Pa.
Une méthode de gravure au plasma, avec un plasma fluoré à base de CHF 3 , est mise en œuvre pendant 10 secondes, éliminant ainsi la totalité de la couche sacrificielle 1200 en LiPON.
Ainsi, une structure telle qu’illustrée sur la est obtenue. Elle comprend le substrat 1100 dont sa surface est recouverte par la première couche électrique 1300 en TiN, la surface de cette couche électrique 1300 étant recouverte localement, de manière sélective, par un empilement de la couche fonctionnelle diélectrique 1400 et de la couche fonctionnelle électrique 1500.
Une capacitance de type MIM est ainsi obtenue par l’empilement de ces trois couches.
Dans cet exemple 3, le substrat présente une surface plane.
Cependant, les différentes étapes de l’exemple 3 pourraient être mises en œuvre sur un substrat ayant une surface microstructurée.
Structure comprenant une couche diélectrique ionique ultramince et son procédé de fabrication L’invention se rapporte au domaine de micro- et nano-structures pour des dispositifs micro- et nano-électroniques.
Plus spécifiquement, l’invention se rapporte à une structure comprenant un empilement d’une couche diélectrique ionique ultramince – utilisée comme électrolyte – imbriquée entre deux électrodes ainsi qu’à son procédé de fabrication.
L’invention a aussi pour objet une couche diélectrique ionique.
L’invention trouve notamment application dans la fabrication de capacitances hautes densités, par exemple de type MIM (pour Métal-Isolant-Métal) ou la fabrication de transistors synaptiques pour des dispositifs de stockage d’énergie.
La platine de distribution 102 regroupe des distributeurs hydrauliques connus en eux-mêmes et est agencée pour alimenter l’une des chambres de chaque actionneur en fluide hydraulique sous pression et simultanément mettre l’autre chambre de cet actionneur à l’échappement de telle manière que : lorsque la chambre de rétraction 103.1 d’un des actionneurs principaux 103 est alimentée en fluide hydraulique sous pression, le piston de l’actionneur principal 103 déplace la jambe Lp, Lf de sa position sortie vers sa position rentrée ; lorsque la chambre d’extension 103.2 d’un des actionneurs principaux 103 est alimentée en fluide hydraulique sous pression, le piston de l’actionneur principal 103 déplace la jambe Lp, Lf de sa position rentrée vers sa position sortie ; lorsque la chambre de fermeture 104.1 d’un des actionneurs principaux 104 est alimentée en fluide hydraulique sous pression, le piston de l’actionneur principal 104 déplace la trappe Tp, Tf de sa position ouverte vers sa position fermée ; lorsque la chambre d’ouverture 104.2 d’un des actionneurs principaux 104 est alimentée en fluide hydraulique sous pression, le piston de l’actionneur principal 104 déplace la trappe Tp, Tf de sa position fermée vers sa position ouverte.
Ceci correspond au mode de fonctionnement nominal. L’agencement de la platine de distribution et ce mode de fonctionnement nominal sont connus en eux-mêmes et ne seront pas plus décrits ici.
Le circuit hydraulique 101 comprend en outre des vannes de secours, à savoir une vanne d’isolement 105 et au moins une vanne de retour 106, ici deux vannes de retour 106 (distinguées, comme les atterrisseurs, par les lettres f et p sur la ).
La vanne d’isolement 105 est une vanne de type monostable (d’une part commandée électriquement et, d’autre part, avec un retour par ressort), trois orifices, deux positions ; interposée entre la platine de distribution 102 et le circuit hydraulique d’alimentation H. La vanne d’isolement 105 comprend de manière classique un corps comportant un premier orifice connecté à un port d’alimentation du circuit hydraulique d’alimentation H (port par lequel le circuit hydraulique d’alimentation H fournit du fluide sous pression), un deuxième orifice connecté à un port de retour du circuit hydraulique d’alimentation H (port par lequel le fluide hydraulique retourne au circuit hydraulique d’alimentation H lorsqu’il est évacué des actionneurs 103, 104), un troisième orifice connecté au port d’alimentation de la platine de distribution 102. Le port d’alimentation et le port de retour du circuit hydraulique d’alimentation H forment un port d’alimentation externe et un port de retour externe par rapport au circuit hydraulique de distribution 101. Le corps de la vanne d’isolement 105 reçoit un tiroir à coulissement entre deux positions, à savoir : une position de fonctionnement nominal dans laquelle le tiroir met en communication fluidique le premier orifice et le troisième orifice, et obture le deuxième orifice ; une position d’isolement dans laquelle le tiroir met en communication fluidique le deuxième orifice et le troisième orifice, et obture le premier orifice pour isoler le circuit de toute puissance hydraulique lorsque l’on n’a pas besoin d’effectuer une extension ou une rétraction, prévenant ainsi tout mouvement intempestif des portes ou trains en cas de défaillance du système de contrôle.
La vanne de retour 106p est interposée entre les actionneurs 103, 104 des atterrisseurs principaux LGp et le port de retour du circuit hydraulique d’alimentation H ; la vanne de retour 106f est interposée entre les actionneurs 103, 104 de l’atterrisseur frontal LGf et le port de retour du circuit hydraulique d’alimentation H. Les vannes de retour 106 ont des structures identiques. Chaque vanne de retour 106 est une vanne de type monostable, trois orifices, deux positions. Chaque vanne de retour 106 comprend de manière classique un corps comportant un premier orifice connecté au port de retour du circuit hydraulique d’alimentation H, un deuxième orifice connecté à chaque chambre de rétraction 103.1, un troisième orifice connecté à chaque chambre d’ouverture 104.2. Le corps de chaque vanne de retour 106 reçoit un tiroir à coulissement entre deux positions, à savoir : une position de fonctionnement nominal dans laquelle le tiroir obture le premier orifice, le deuxième orifice et le troisième orifice ; une position de secours dans laquelle le tiroir met en communication fluidique le deuxième orifice et le troisième orifice avec le premier orifice.
Le tiroir 110 de chaque vanne de secours 106 est rappelé élastiquement vers la position de secours par un organe élastique, ici un ressort de compression 107 (voir sur la ) ou tout autre moyen pouvant assurer cette fonction. Le tiroir 110 en position de fonctionnement nominal comprend une portion en butée latéralement contre un verrou 108 ayant une position de maintien dans laquelle il s’étend transversalement par rapport à la direction de déplacement du tiroir entre ses deux positions : le ressort de compression 107 pousse donc le tiroir contre un côté du verrou 108 qui s’oppose au déplacement du tiroir 110 vers sa position de secours. Le verrou 108 peut être déplacé dans une position escamotée par un actionneur de commande électrique, ici un solénoïde 109, position dans laquelle le tiroir 110 échappe au verrou 108 et peut donc se déplacer vers sa position de secours sous l’effort exercé par le ressort 107.
On comprend dès lors que, en cas de défaillance de l’actionnement des atterrisseurs en position sortie, il est possible d’alimenter les solénoïdes 109 pour amener les verrous 108 en position escamotée, ce qui a pour effet de provoquer le déplacement des tiroirs 110 des vannes de secours 106 en position de secours.
Ceci provoque simultanément : l’isolement de la platine de distribution 102 vis-à-vis du port d’alimentation du circuit hydraulique d’alimentation H et le raccordement de la platine de distribution 102 au port de retour du circuit hydraulique d’alimentation H ; une mise au retour des chambres des actionneurs 103, 104 en connectant celles-ci au port de retour du circuit hydraulique d’alimentation H.
Les trappes Tp, Tf peuvent alors s’ouvrir et les jambes Lp, Lf sont libérées et peuvent se déplacer vers leur position de sortie en tombant sous leur propre poids. On notera que les trappes et atterrisseurs doivent au préalable avoir été déverrouillés pour permettre leurs mouvements, ce qui est réalisé de manière classique.
Les solénoïdes 109 ne sont alimentés que le temps de dégager le verrou 108 et c’est le ressort de compression 107 qui assure le déplacement du tiroir 110 vers sa position de secours ; en outre, aucune énergie n’est consommée par les vannes de secours 106 en mode de fonctionnement nominal : la consommation électrique liée aux vannes de secours 106 est minimale.
Une fois les tiroirs 110 des vannes de secours 106 en position de secours et après atterrissage de l’aéronef A, il est nécessaire de recourir à une opération de maintenance pour ramener les tiroirs des vannes de secours 106 en position de fonctionnement nominal et de les bloquer avec les verrous 108 en position en saillie. Ceci n’est pas préjudiciable, une opération de maintenance étant de toute façon nécessaire après chaque défaillance du train d’atterrissage.
Les éléments identiques ou analogues à ceux précédemment décrits porteront une référence numérique identique à ces derniers dans la description qui suit d’un deuxième mode de réalisation en relation avec la .
Ce deuxième mode de réalisation est plus particulièrement destiné aux aéronefs A dans lesquels les atterrisseurs sont maintenus en position rentrée sans boîtier d’accrochage, uniquement en empêchant le fluide hydraulique de s’échapper de la chambre de rétraction des actionneurs principaux 103.
Dans un tel cas, la platine de distribution 102 est remplacée par un unique distributeur 1025 monostable à quatre orifices et trois positions. Le distributeur 1025 comprend un corps comportant un premier orifice connecté au port d’alimentation du circuit hydraulique d’alimentation H de l’aéronef A, un deuxième orifice connecté au port de retour du circuit hydraulique d’alimentation H, un troisième orifice connecté à une ligne d’extension 121 reliée à la chambre d’extension de chaque actionneur 103, un quatrième orifice connecté à une ligne de rétraction 122 reliée à la chambre de rétraction de chaque actionneur 103. Le corps du distributeur reçoit un tiroir à coulissement entre deux positions extrêmes de part et d’autre d’une position centrale d’équilibre, à savoir : une première position extrême de sortie des atterrisseurs dans laquelle le tiroir met en communication fluidique le premier orifice avec le troisième orifice et le deuxième orifice avec le quatrième orifice ; une deuxième position extrême de rentrée des atterrisseurs dans laquelle le tiroir met en communication fluidique le premier orifice avec le quatrième orifice et le deuxième orifice avec le troisième orifice.
Dans la position centrale d’isolement, le tiroir obture le premier orifice et met en communication fluidique le deuxième orifice avec le troisième orifice et le quatrième orifice.
Des ressorts de compression disposés de chaque côté du tiroir ramènent le tiroir en position centrale. Le déplacement du tiroir vers chacune de ses positions extrêmes est assuré par un solénoïde commandé de manière classique.
illustre schématiquement un support de vitre fixé à une vitre d’un ouvrant latéral d’un véhicule ;
illustre schématiquement une vue en détail du support de vitre ;
illustre schématiquement une vue en coupe transversale d’un élément de fixation inséré dans un orifice de la vitre ;
illustre schématiquement une vue en coupe transversale d’un élément de maintien supportant une partie de la vitre et en appui contre la vitre ;
illustre schématiquement une vue en coupe transversale d’une languette latérale de maintien supportant une partie de la vitre.
Les termes « inférieur » et « supérieur » s’entendront selon leur définition usuelle, dans laquelle le terme « inférieur » indique une proximité avec le sol plus importante selon la direction verticale que le terme « supérieur ».
Les figures 1 et 2 illustrent un support de vitre 1 fixé à une partie inférieure 30 d’une vitre 2. Le support de vitre 1 est destiné à mettre en liaison la vitre 2 avec un dispositif de lève vitre d’un ouvrant latéral d’un véhicule, telle une portière.
Le support de vitre 1 est formé d’une pièce unique. Le support de vitre 1 est en polymère et est formé d’une seule matière, par moulage par injection plastique, par exemple.
Le support de vitre 1 comprend une partie inférieure 3 destinée à être connectée au dispositif de lève vitre, une partie intermédiaire 4 et une paroi supérieure 5 s’étendant depuis la partie intermédiaire 4 suivant une direction opposée à la partie inférieure 3, c’est-à-dire suivant une première direction X. La partie intermédiaire 4 est positionnée entre la partie inférieure 3 et la paroi supérieure 5. La partie intermédiaire 4 s’étend le long d’un premier bord inférieur 26 de la partie inférieure 30 de la vitre 2 suivant une deuxième direction Y, perpendiculaire à la première direction X.
La paroi supérieure 5 est destinée à être en regard et en appui contre une première face 8 de la vitre 2.
Le support de vitre 1 comprenant un élément de maintien 14 s’étendant depuis la partie intermédiaire 4 suivant une direction opposée à la partie inférieure 3, c’est-à-dire suivant la première direction X. L’élément de maintien 14 comporte une languette de maintien flexible 6 destinée à être en appui contre une deuxième face 9 de la vitre 2, opposée à la première face 8.
L’élément de maintien 14 comprend une surface d’appui 7, comme illustré sur la , destinée à supporter le premier bord inférieur 26 de la vitre 2. La surface d’appui 7 s’étend perpendiculairement par rapport aux directions X et Y.
La paroi supérieure 5 et la languette de maintien flexible 6 sont distantes de façon à permettre le maintien de la vitre 2 sur la surface d’appui 7 entre la paroi supérieure 5 et la languette de maintien flexible 6.
La paroi supérieure 5 comprend deux éléments de fixation 10, 11 dont un premier élément de fixation 10 positionné dans un premier coin supérieur 16 de la paroi supérieure 5 et un deuxième élément de fixation 11 positionné dans un deuxième coin supérieur 17 de la paroi supérieure 5. Chaque élément de fixation 10, 11 fait saillie depuis la paroi supérieure 5 et s’insère dans un orifice 12, 13 respectif prévu dans la vitre 2 pour fixer la vitre 2 au support de vitre 1. La représente le détail du premier élément de fixation 10.
De préférence, les éléments de fixation 10, 11 sont des clips permettant leur insertion et leur blocage automatique dans les orifices 12, 13 de la vitre 2.
Selon l’invention, l’arbre 16 de l’adapteur de couple 12 est par contre creux lui aussi. Ledit arbre 16 de l’adaptateur de couple 12 présente ainsi un deuxième évidement 30 et ladite pièce de couplage 18 est logée dans lesdits premier et deuxième évidements 28, 30 de sorte à transmettre un couple entre lesdits arbres 14, 16 du générateur de couple 10 et de l’adaptateur de couple 12. La rotation de l’arbre 14 du générateur de couple 10 est ainsi transmise à l’arbre 16 de l’adapteur de couple 12 par l’intermédiaire de la pièce de couplage 18. Lesdits premier et deuxième évidements 28, 30 sont préférentiellement formés par un alésage sensiblement cylindrique.
Une portion 16’, dite d’extrémité, dudit arbre 16 de l’adaptateur de couple 12 est avantageusement logée dans le premier évidement 28, sur une partie de sa longueur. A l’intérieur dudit arbre 16 de l’adapteur de couple 12, une partie dudit deuxième évidement 30 s’étend axialement le long de ladite portion d’extrémité 16’ pour déboucher sur ledit premier évidement 28. Ledit premier évidement 28 est situé au niveau d’une portion 14d, dite distale, dudit arbre 14 du générateur de couple 10, prolongeant axialement une partie 14p, dite proximale, destinée à être raccordée au rotor de ladite machine électrique. Ici, ledit arbre 14 du générateur de couple 10 est creux sur toute sa longueur. Dans ladite partie distale 14d, il présente un diamètre supérieur à celui de ladite partie proximale 14b, intérieurement et/ou extérieurement.
En outre, selon l’invention, ladite pièce de couplage 18 est configurée pour venir en prise avec ledit premier et/ou ledit deuxième arbre par des dentures permettant mutuellement une liaison mobile entre ladite pièce de couplage 18, d’une part, et le premier et/ou ledit deuxième arbre, d’autre part.
Dans le mode de réalisation illustré, de telles dentures 32a, 34a sont mieux visibles pour ce qui est des dentures de la pièce de coupage 18. Elles sont visibles pour les dentures 32b, 34b des arbres 14, 16 dudit générateur de couple 10 et dudit adaptateur de couple 12.
Ainsi, grâce auxdites dentures, la pièce de couplage 18 offre un entrainement de l’arbre 16 de l’adapteur de couple 12 par l’arbre 16 du générateur de couple 10 avec des degrés de liberté permettant de compenser des mouvements axiaux ou des défauts d’alignement des arbres, ceci dans un environnement réduit par le positionnement de la pièce de couplage 18 à l’intérieur des arbres 14, 16.
Ladite liaison mobile est, par exemple, une double liaison linéaire annulaire, à savoir une première liaison linéaire annulaire entre ladite pièce de liaison 18 et l’arbre 14 du générateur de couple 10 et une deuxième liaison linéaire annulaire entre ladite pièce de liaison 18 et l’arbre 16 de l’adaptateur de couple 12. Lesdites liaisons linéaire annulaires donnent de la sorte des degrés de liberté axiaux et radiaux entre ladite pièce de liaison 18 et chacun des arbres 14, 16 du générateur de couple 10 et de l’adaptateur de couple 12.
Dans le mode de réalisation illustré, comme déjà dit, des premières desdites dentures sont situées sur ledit arbre 14 du générateur de couple 10 et sur ladite pièce de couplage 18. Il s’agit des dentures illustrées 32a, 34a. Les dentures 32a de la pièce de couplage 18 sont situées au niveau d’une première zone d’entrainement 18a de ladite pièce de couplage 18 Ladite première zone d’entrainement 18a s’étend axialement entre une extrémité axiale libre 36 dudit arbre 16 l’adaptateur de couple 12 et un fond 38 dudit premier évidement 28. Des deuxièmes desdites dentures sont situées sur ledit arbre 16 de l’adapteur de couple 12 et ladite pièce de couplage 18. Il s’agit des dentures 32b, 34b. Les dentures 32b de la pièce de couplage 18b sont situées au niveau d’une deuxième zone d’entrainement 18b de ladite pièce de couplage, à savoir celle s’étendant à l’intérieur dudit deuxième logement 30.
Ladite pièce de couplage 18 présente préférentiellement une section droite de configuration circulaire formant une base à partir de laquelle les dentures 32a, 32b s’étendent radialement, vers l’extérieur. Il en est de même pour lesdits premier et deuxième évidements 28, 30 dans lesquels lesdites dentures 34a, 34b s’étendent radialement, vers l’intérieur (comme cela est mieux visible à la pour le deuxième évidement 30).
Ladite première zone 18a présente un diamètre supérieur à un diamètre de ladite seconde zone 18b. Une telle configuration est ici associée à l’insertion de l’arbre 16 dudit adaptateur de couple dans l’arbre 14 dudit générateur de couple 10, déjà évoquée plus haut. En variante, non illustrée, elle pourra présenter une section droite relativement constante, notamment dans des cas où l’arbre 16 dudit adaptateur de couple et l’arbre 14 dudit générateur de couple 10 présentent un même diamètre interne et sont dans le prolongement axial l’un de l’autre au lieu que l’un soit inséré dans l’autre.
Ladite première zone 18a présente une face libre 19, opposée à un côté 20 en liaison avec ladite deuxième zone 18b. Ladite face libre 19 de la première zone 18a est bombée. Un avantage d’une telle configuration sera évoqué plus loin.