Procédé de contrôle des paramètres de fonctionnement d’une pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant : - un stator (2), - un rotor (3), - un moteur (16) configuré pour entrainer le rotor (3) en rotation dans le stator (2), - un dispositif de chauffage interne (21) agencé dans le chemin d’écoulement des gaz de la pompe à vide (1) et configuré pour chauffer le rotor (3), - un capteur de température configuré pour mesurer la température du rotor (3), - un dispositif de chauffage externe (27) configuré pour chauffer le stator (2), caractérisé en ce que le procédé de contrôle comporte : - un mode de fonctionnement nominal dans lequel on chauffe le rotor (3) via le dispositif de chauffage interne (21), tant que la température mesurée du rotor (3) est inférieure à un seuil de température pour un paramètre représentatif de la puissance consommée par le moteur (16) donné, et - un mode de fonctionnement de surrégime dans lequel on coupe le chauffage interne du rotor (3) lorsque la température mesurée du rotor (3) est supérieure ou égale au seuil de température. Procédé de contrôle selon la revendication 1, caractérisé en ce que le seuil de température est variable et diminue à l’intérieur d’une plage de température donnée, notamment comprise entre 100°C et 140°C, tel qu’entre 118°C et 120°C, avec l’augmentation du paramètre représentatif de la puissance consommée par le moteur (16). Procédé de contrôle selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la diminution est linéaire. Procédé de contrôle selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la puissance consommée par le moteur (16) est plafonnée à un seuil de consommation moteur maximale. Procédé de contrôle selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la puissance consommée en mode de fonctionnement de surrégime est au moins deux fois supérieure à la puissance consommée en fonctionnement nominal. Procédé de contrôle selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le paramètre représentatif de la puissance consommée par le moteur (16) est le courant ou la puissance consommée. Procédé de contrôle selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la pompe à vide (1) est utilisée pour le pompage cyclique de chambres de procédés (101) d’équipements (100), dans lesquelles ont lieu des procédés de fabrication comprenant des étapes de fabrication (104) où les flux gazeux à pomper sont modérés et des étapes de nettoyage (105) où les flux gazeux à pomper sont importants. Pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant : - un stator (2), - un rotor (3), - un moteur (16) configuré pour entrainer le rotor (3) en rotation dans le stator (2), - un dispositif de chauffage interne (21) agencé dans le chemin d’écoulement des gaz de la pompe à vide (1) et configuré pour chauffer le rotor (3), - un capteur de température configuré pour mesurer la température du rotor (3), - un dispositif de chauffage externe (27) configuré pour chauffer le stator (2), caractérisé en ce que le moteur (16) est configuré d’une part, pour pouvoir entrainer le rotor (3) avec une puissance nominale et d’autre part, pour pouvoir entrainer le rotor (3) avec une puissance de surrégime, supérieure à la puissance nominale, et en ce que la pompe à vide (1) comporte une unité de contrôle (30) configurée pour mettre en œuvre un procédé de contrôle selon l’une des revendications précédentes. Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le moteur (16) est configuré pour fournir une puissance nominale adaptée pour pouvoir pomper un débit maximal continu, équivalent azote, inférieur à 5 Pa.m 3 /s. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 8 ou 9, caractérisé en ce que le moteur (16) est configuré pour fournir une puissance de surrégime adaptée pour pouvoir pomper un débit équivalent azote supérieur ou égal à 5 Pa.m 3 /s, tel que supérieur à 6,755 Pa.m 3 /s. Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications 8 à 10, caractérisée en ce que le capteur de température (23) est un capteur de température infrarouge. Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications 8 à 11, caractérisée en ce que le dispositif de chauffage interne (21) comporte des éléments radiatifs agencés dans les rainures hélicoïdales (14) d’une douille (22) du stator (2) de la pompe à vide (1).