INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Ainsi, grâce à la micronisation des compositions contaminées, cela avant l’extraction (et non après, comme c’est souvent le cas pour obtenir des particules purifiées), et en spécifiant cette micronisation pour obtenir la plage de diamètre 0,1 mm – 1 mm pour les particules, une décontamination en 140 minutes, et extrêmement efficace, supérieure à 99%, de tous les contaminants testés est obtenue. Dit autrement, une décontamination rapide et efficace est obtenue de façon simple, cela quels que soient les contaminants testés.
Dans ces mêmes conditions de température, pression et durée dans l’extracteur, une efficacité moindre, inférieure à l’efficacité ciblée, est obtenue lorsque la micronisation n’est pas réalisée et que la matière entrante dans l’extracteur est sous forme de granulés ou de films.
Des expériences complémentaires ont montré qu’en utilisant comme matière entrante les films, il était possible d’effectuer une décontamination aussi efficace, celle-ci étant toutefois plus lente. Il faut en effet augmenter le temps dans l’extracteur à 480 min pour mesurer un rendement de décontamination égal à 99,8% pour chacun des contaminants CONT1, CONT2, CONT3 et CONT4.
Etat de la technique Le carbure de silicium monocristallin (m-SiC) est utilisé pour la formation de composants électroniques, par exemple pour les applications en électronique de puissance ou radiofréquences.
La préparation du m-SiC est complexe et coûteuse. Pour cette raison, au lieu d’utiliser un substrat massif de m-SiC, on utilise couramment un substrat de carbure de silicium polycristallin (p-SiC) comportant à sa surface une couche de m-SiC dans laquelle les composants électroniques sont formés. De tels substrats sont typiquement fabriqués par un procédé du type Smart Cut TM , dans lequel une couche de m-SiC est transférée sur un substrat support en p-SiC à partir d’un substrat donneur.
Afin d’assurer un bon contact mécanique et électrique entre le substrat support et la couche de m-SiC, le substrat support doit présenter une qualité cristalline homogène et une surface très lisse. Un tel procédé du type Smart Cut TM nécessite donc une préparation soigneuse du substrat support en p-SiC. Cette préparation comprend le dépôt d’une couche épaisse de p-SiC sur un substrat temporaire, suivi par le retrait du substrat temporaire. On retire ensuite une épaisseur importante de la couche de p-SiC afin de conserver uniquement une portion fine présentant une qualité cristalline adaptée pour le dépôt d’une couche de m-SiC. Ainsi, la couche épaisse de p-SiC présente typiquement une épaisseur initiale comprise entre 900 et 3000 µm. Après le retrait de la portion de qualité cristalline inférieure, on conserve typiquement une épaisseur d’environ 350 µm qui présente une qualité cristalline adaptée pour recevoir une couche de m-SiC. Ce procédé implique donc une consommation importante de p-SiC qui est éliminé avant le dépôt de la couche de m-SiC et n’est donc pas utilisé dans le substrat à fabriquer.
La préparation pour le procédé du type Smart Cut TM comprend en outre des étapes laborieuses de préparation de la surface du p-SiC pour obtenir une surface très lisse. Une telle préparation est nécessaire pour le dépôt de la couche de m-SiC afin d’obtenir un bon contact mécanique et électrique à l’interface entre le substrat support en p-SiC et la couche de m-SiC. Ces étapes de préparation comprennent typiquement des traitements tel que des polissages mécaniques et chimiques. Cependant, ces traitements sont difficiles à réaliser sur du carbure de silicium et nécessitent un temps considérable en raison de sa dureté élevée. Les joints de grains présents dans le matériau polycristallin rendent le lissage de la surface encore plus difficile. En outre, le traitement mécanique implique un risque de casse, rendant le substrat inutilisable.
Un but de l’invention est de concevoir un procédé de fabrication d’un substrat comprenant une couche de carbure de silicium polycristallin et une couche de carbure de silicium monocristallin, ce procédé permettant de s’affranchir des étapes de préparation d’un substrat support en carbure de silicium polycristallin décrites ci-dessus.
A cet effet, l’invention propose un procédé de fabrication d’un substrat d’un substrat comprenant une couche de carbure de silicium polycristallin et une couche de carbure de silicium monocristallin en contact direct avec la couche de carbure de silicium polycristallin, ledit procédé comprenant les étapes suivantes : le transfert d’une première couche de carbure de silicium monocristallin sur une face avant d’un substrat support temporaire en graphite, un dépôt de carbure de silicium polycristallin sur la première couche de carbure de silicium monocristallin pour former la couche de carbure de silicium polycristallin, le retrait du substrat support temporaire en graphite.
Un tel substrat support temporaire en graphite est particulièrement adapté en raison de son coefficient de dilatation thermique qui est proche de celui du carbure de silicium monocristallin. Ainsi, les contraintes mécaniques se produisant lors du refroidissement après les étapes de dépôt sont minimisées. L’utilisation d’un tel substrat support temporaire prévient ainsi la rupture du substrat lors de cette étape.
Avantageusement, le procédé comprend en outre, avant le dépôt de carbure de silicium polycristallin, le transfert d’une seconde couche de carbure de silicium monocristallin sur une face arrière du substrat support temporaire, le dépôt de carbure de silicium polycristallin comprenant la formation d’une seconde couche de carbure de silicium polycristallin sur la seconde couche de carbure de silicium monocristallin.
L’utilisation du substrat support temporaire sur ses deux faces libres permet d’augmenter le rendement du procédé.
Le procédé peut comprendre l’application d’une couche de collage entre chaque couche de carbure de silicium monocristallin et le substrat support temporaire.
De préférence, le transfert de chaque couche de carbure de silicium monocristallin sur le substrat support temporaire comprend les étapes suivantes : la formation d’une zone de fragilisation par implantation d’espèces atomiques dans un substrat donneur en carbure de silicium monocristallin, le collage dudit substrat donneur sur une face libre du substrat support temporaire, le détachement du substrat donneur le long de la zone de fragilisation de sorte à transférer une couche de carbure de silicium monocristallin sur le substrat support temporaire.
De manière avantageuse, le dépôt de chaque couche de carbure de silicium polycristallin est réalisé par dépôt chimique en phase vapeur. Le dépôt chimique en phase vapeur permet d’assurer un très bon contact électrique et mécanique entre la couche de p-SiC et la couche de m-SiC.
Avantageusement, le procédé comprend en outre un traitement thermique après le dépôt d’une couche de carbure de silicium polycristallin à une température supérieure à la température de dépôt. De préférence, le traitement thermique est réalisé à une température supérieure ou égale à 1700°C.
Le retrait du substrat support temporaire peut comprendre une combustion du graphite sous un flux d’oxygène à une température comprise entre 800°C et 900°C. Dans certains modes de réalisation, le retrait du substrat support temporaire comprend une attaque chimique ou gravure au plasma d’oxygène. Le retrait du substrat support temporaire peut comprendre une étape de meulage.
Avantageusement, l’épaisseur du substrat support temporaire est comprise entre 1 et 15 mm. De préférence, l’épaisseur de la première couche de carbure de silicium monocristallin est comprise entre 400 et 5000 nm. De manière avantageuse, l’épaisseur de la première couche de carbure de silicium polycristallin est comprise entre 100 et 2000 µm.
Dans certains modes de réalisation, la face avant du support temporaire en graphite présente une première taille, et la première couche de carbure de silicium monocristallin présente une seconde taille inférieure ou égale à la moitié de la première taille, de sorte que ladite première couche forme un premier pavé, le procédé comprenant en outre le transfert d’au moins un second pavé de carbure de silicium monocristallin sur la face avant du substrat support temporaire de sorte que les premiers et seconds pavés soient agencés côte à côte sur la face avant du substrat support temporaire, le dépôt de la couche de carbure de silicium polycristallin comprenant la formation d’une couche respective de carbure de silicium polycristallin sur chaque pavé.
- une étape b) d’application de colle sur la première partie 86 du longeron 82,
- une étape c) d’introduction de la première partie 86 du corps 85 du longeron 82 recouverte de colle dans la cavité 80 de la préforme 88,
- une étape d) de dépose du longeron 82 et de la préforme 88 dans un moule 90 en deux parties 90A, 90B et de fermeture du moule 90,
- une étape f) d’injection une résine dans le moule 90 à l’aide d’un cylindre injecteur 92 afin d’imprégner la préforme 88,
L’invention propose donc un longeron 82 permettant de remédier à cet inconvénient en empêchant un tel fluage de la colle lors du chauffage du moule 90.
Dans ce cadre, le longeron 86 permet de mettre en œuvre dans le procédé une étape i) de refroidissement du longeron 82.
Comme l’illustre la , le procédé selon l’invention comporte une étape i) de refroidissement ou de maintien du longeron 82 à une troisième température qui est inférieure à la première température. Cette étape i) débute avant l’étape e) et se termine après l’étape f). S'ensuit alors l'étape g) de consolidation au cours de laquelle le moule 90 est maintenu à la deuxième température de cuisson pendant une durée déterminée, par exemple 2h, pour assurer la réticulation de la résine.
Comme l’illustre la qui est relative à une installation de moulage 104 et aux figures 8 à 10 relatives à un longeron 82 conforme à l’invention, on utilise un longeron 82 qui est traversé par au moins un circuit interne de refroidissement interne 96, dans lequel on fait circuler un fluide de refroidissement.
Plus particulièrement, comme l’illustrent les figures 8 à 10, le corps 85 du longeron 82 présente une forme allongée suivant l’axe principal Z et il comporte successivement suivant cet axe Z la première partie 86 qui est configurée pour être à l'intérieur de la pale de l'aube, et la seconde partie 67 configurée pour être à l’extérieur de la pale de l'aube et pour former le pied 66 de l’aube.
Dans le contexte de la présente invention, le drageoir est un élément mécanique permettant de positionner et de maintenir des batteries électriques de l’ensemble modulaire électrique. Le drageoir forme ainsi un flasque contre lequel les batteries électriques sont destinées à être placées, une extrémité des batteries électriques – formant l’un de leurs pôles électriques – étant mis en appui contre le drageoir et maintenu dans une telle disposition prédéterminée.
Dans le contexte de la présente invention, l’arrangement de bridage déformable permet de maintenir en position une batterie électrique dans son emplacement par bridage mécanique. En d’autres termes, l’arrangement de bridage déformable est configuré pour pouvoir être déformé élastiquement lors de la mise en place de la batterie électrique correspondante dans son emplacement, et d’être ensuite maintenu dans un tel état de déformation afin d’être en contact d’une partie d’un contour périphérique de la batterie électrique. Cette déformation élastique permet d’annuler un éventuel jeu radial qui n’autoriserait pas une tenue efficace dans un environnement vibratoire. L’arrangement de bridage déformable est situé en périphérie de l’emplacement de la batterie électrique, de sorte à être mis en contact contre ladite batterie électrique lors de son insertion. L’arrangement de bridage déformable est au moins en partie déformable élastiquement.
Dans le contexte de la présente invention, la plaque support a une forme et des dimensions quelconques. De préférence, bien que non limitativement, la plaque support est plane. La plaque support d’étend dans un plan de référence formant une surface d’appui pour les batteries électriques. Plus particulièrement, l’une des extrémités de l’une des batteries électriques est destinée à être mise en appui contre la plaque support. Les batteries électriques sont destinées à s’étendre dans une direction sécante au plan formé par la plaque support, et plus particulièrement de manière perpendiculaire.
Dans le contexte de la présente invention, les éléments de maintien des batteries électriques permettent de délimiter une pluralité d’emplacements sur la plaque support, chaque emplacement étant destiné à être occupé par l’une des batteries électriques, et plus particulièrement par l’une de ses extrémités, afin de mettre en contact – ou à proximité – l’un de ses pôles électriques avec la plaque support. D’une manière générale, les éléments de maintien sont configurés pour permettre un encastrement de l’une des batteries électriques – prise au niveau de l’une de ses extrémités – dans l’un des éléments de maintien. Cet encastrement se fait préférentiellement sans jeu, voire par déformation partielle de tout ou partie de l’élément de maintien correspondant.
Ainsi, le drageoir conforme au premier aspect de l’invention permet de positionner et de maintenir sur la plaque support une pluralité de batteries électriques, chaque batterie électrique étant maintenue en prise entre les arrangements de bridage déformables répartis en périphérie de la batterie électrique à laquelle ils sont associés, réduisant ainsi les risques de décollement en cas de vibrations. L’invention permet ainsi de réduire voire annuler les jeux radiaux entre la batterie électrique et ses éléments de maintien sur le drageoir, améliorant ainsi les performances du drageoir dans un environnement vibratoire.
Le drageoir conforme au premier aspect de l’invention comprend avantageusement au moins un des perfectionnements ci-dessous, les caractéristiques techniques formant ces perfectionnements pouvant être prises seules ou en combinaison :
- selon un mode préféré de l’invention, chaque arrangement de bridage déformable comporte (i) au moins trois plots de contact répartis en périphérie de l’emplacement, lesdits plots de contact étant configurés collectivement pour autoriser un maintien en prise de l’une des batteries électriques entre lesdits plots de contact, et (ii) au moins une nervure reliant deux plots de contact adjacents. Dans le contexte de la présente invention, l’élément de bridage comporte les plots de contact et l’au moins une nervure. Les plots de contacts ont des formes et des dimensions qui permettent l’insertion de l’extrémité de l’une des batteries électriques entre eux, sans jeu, de sorte à ce que la batterie électrique soit en prise entre lesdits plots. Dans le contexte de la présente invention, chaque plot de contact a une forme cylindrique ou conique. Chaque plot s’étend depuis la plaque support. Une courbe directrice de chaque plot peut être quelconque, et notamment circulaire, elliptique ou polygonale. D’une manière générale, il est avantageux que chaque plot de contact présente une surface d’appui contre la batterie électrique destinée à être logée dans l’emplacement en regard qui soit tangentielle ou sensiblement tangentielle à ladite batterie électrique. Chaque nervure relie deux plots adjacents d’un même élément de maintien. La nervure forme une paroi de moindre épaisseur que les plots auxquels elle est reliée ;
- les emplacements délimités par les éléments de maintien et/ou les arrangements de bridage déformables sont organisés en plusieurs lignes sur la plaque support, les plots de contact étant alignés en plusieurs lignes et régulièrement espacés sur ladite plaque support. Cette configuration avantageuse permet de lier un grand nombre de batteries électriques à la plaque support, et de faciliter une connexion électrique ultérieure entre elles. En particulier, selon un premier mode de réalisation, les plots de contact forment tous un réseau bidimensionnel, les plots de contacts étant alignés selon deux dimensions propres sécantes l’une de l’autre. Dans ce premier mode de réalisation, les plots de contacts sont avantageusement tous alignés selon des lignes et des colonnes, préférentiellement perpendiculaires entre elles. Selon un deuxième mode de réalisation, les plots de contacts forment tous un réseau bidimensionnel, les plots de contacts étant répartis en quinconce sur la plaque support ;
- au niveau d’un bord libre situé à distance de la plaque support, chaque arrangement de bridage déformable comportent un chanfrein. Cette configuration avantageuse permet de faciliter la mise en place des batteries électrique sur le drageoir et à l’intérieur des emplacements prévus à cet effet et délimités par les éléments de maintien. En particulier, de manière particulièrement avantageuse, pour chaque arrangement de bridage déformable du drageoir conforme au premier aspect de l’invention, le bord libre de la nervure et/ou le bord libre de chaque plot de contact comporte un tel chanfrein. Par chanfrein, on comprend que le bord libre de la nervure ou du plot de contact comporte une face inclinée en direction de l’emplacement situé en regard. Dans le cas où la nervure et/ou le plot de contact donné est partagé entre un premier élément de maintien et un deuxième élément de maintien adjacent audit premier élément de maintien, alors ladite nervure et/ou ledit plot de contact comporte un premier chanfrein orienté du côté de l’emplacement de l’emplacement du premier élément de maintien et un deuxième chanfrein orienté du côté de l’emplacement du deuxième élément de maintien ;
- de manière préférée, chaque arrangement de bridage déformable comporte quatre plots de contact répartis en périphérie de l’emplacement pour la batterie électrique. Cette configuration avantageuse permet d’obtenir une prise optimale pour la batterie électrique destinée à être placée dans son emplacement ;
- d’une manière générale, les plots de contact sont angulairement régulièrement répartis autour de l’emplacement correspondant. Dans le cas où les arrangements de bridage déformables comportent quatre plots de contact, alors les plots de contact de chaque arrangement de bridage déformable sont répartis selon un carré autour de l’emplacement de la batterie électrique. De manière avantageuse, les plots de contacts sont situés en périphérie extérieure de la batterie électrique destinée à être logée entre eux ;
- chaque plot de contact est creux. Cette configuration avantageuse permet d’alléger la masse de la drageoir conforme au premier aspect de l’invention. En d’autres termes, chaque plot de contact prend la forme d’un cylindre creux ou d’un cône creux ;
– l'au moins une nervure de chaque arrangement de bridage déformable est déformable, de sorte que lorsque la batterie électrique est insérée dans son emplacement, une déformation élastique de l’au moins une nervure est autorisée. A cet effet, une épaisseur de l’au moins une nervure est particulièrement faible en comparaison d’une hauteur ou d’une longueur de ladite au moins une nervure. La longueur de la nervure est prise entre les deux blocs de contact que ladite nervure relie. La hauteur de la nervure est prise perpendiculairement à la plaque support. L’épaisseur de la nervure est prise dans une direction simultanément perpendiculaire à l’épaisseur et la hauteur. En particulier, l’épaisseur de la nervure est au moins inférieure au cinquième de la hauteur et de la longueur, préférentiellement inférieure au dixième. La nervure est préférentiellement déformable de manière élastique lorsque la batterie électrique est insérée dans son logement. Cette configuration avantageuse permet de pouvoir rendre possible le remplacement d’une éventuelle batterie électrique défectueuse, la nervure conservant sa capacité de déformation durant le remplacement ;
– les éléments de maintien et la plaque support sont issus de matière. Par issu de matière, on comprend que la plaque support et les éléments de maintien ne peuvent être séparés les uns des autres sans porter atteinte à l’intégrité physique des uns ou des autres, c’est à dire sans détériorer voire casser tout ou partie du drageoir. Préférentiellement, le drageoir conforme au premier aspect de l’invention est obtenu par moulage ;
- chaque arrangement de bridage déformable comporte une première nervure reliant deux premiers plots de contact situés d’un premier côté de l’emplacement de la batterie électrique et deux deuxièmes plots de contact situés d’un deuxième côté dudit emplacement, le deuxième côté étant situé à l’opposé du premier côté relativement audit emplacement. Ainsi, cette configuration avantageuse permet de maintenir la batterie électrique destinée à être placée dans l’emplacement correspondant entre deux nervures situées de part et d’autre de la batterie électrique, diamétralement opposées l’une de l’autre ;
- une hauteur des plots de contact et de l’au moins une nervure, mesurée entre la plaque support et leur bord libre est inférieure à 15 mm. Préférentiellement, les plots de contact et l’au moins une nervure d’un ensemble de maintien donné présentent tous une même hauteur. Par ailleurs, les plots de contact et l’au moins une nervure de tous les ensembles de maintien sont avantageusement tous de la même hauteur ;
- l’étape E410a de transformation de Walsh du deuxième signal de canal en fréquence intermédiaire délivre un deuxième signal de canal transformé ;
- l’étape E410b de filtrage de Hilbert, transposé dans le domaine de Walsh, du deuxième signal de canal transformé délivre un deuxième signal de canal transformé filtré ;
- l’étape E410c de transformation de Walsh inverse du deuxième signal de canal transformé filtré délivre le deuxième signal de canal déphasé.
Le premier signal en fréquence intermédiaire est linéairement dépendant d’une somme du premier signal de canal en fréquence intermédiaire et du deuxième signal de canal en fréquence intermédiaire . Le deuxième signal en fréquence intermédiaire est linéairement dépendant d’une différence entre le premier signal de canal déphasé et le deuxième signal de canal déphasé. Il s’agit là des opérations correspondant au cas illustré sur la . Cependant, comme discuté ci-dessus en relation avec la , le même effet est obtenu lorsqu’alternativement, le premier signal en fréquence intermédiaire est linéairement dépendant d’une différence entre le premier signal de canal en fréquence intermédiaire et le deuxième signal de canal en fréquence intermédiaire . Le deuxième signal en fréquence intermédiaire est linéairement dépendant d’une somme du premier signal de canal déphasé et du deuxième signal de canal déphasé.
Par exemple, comme discuté ci-dessus en relation avec la , le premier signal en fréquence intermédiaire est proportionnel à la somme du premier signal de canal en fréquence intermédiaire et du deuxième signal de canal en fréquence intermédiaire . Le deuxième signal en fréquence intermédiaire est proportionnel à une différence entre le premier signal de canal déphasé et le deuxième signal de canal déphasé . Préférentiellement, le coefficient de proportionnalité est sensiblement le même pour la génération du premier signal en fréquence intermédiaire et pour la génération du deuxième signal en fréquence intermédiaire .
Ainsi, deux canaux pouvant véhiculer des données différentes sont générés en une seule étape de transposition en fréquences vers les radiofréquences.
Plus particulièrement, le mélangeur en quadrature 120 est alimenté par deux signaux d’oscillateur local en quadrature. Les deux signaux d’oscillateur local ont une composante à la fréquence radiofréquences . Ainsi :
- le premier canal est centré sur une fréquence égale à la fréquence radiofréquences plus la fréquence intermédiaire ; et
- le deuxième canal est centré sur une fréquence égale à la fréquence radiofréquences moins la fréquence intermédiaire .