INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Ce procédé de dépôt représente la première étape d’un procédé de fabrication d’une plaque en SiC polycristallin selon l’invention. Il utilise la technique de dépôt chimique en phase vapeur (CVD, Chemical Vapor Deposition), qui est mise en œuvre dans une enceinte chauffée. Le procédé fait intervenir un mélange gazeux comprenant au moins un gaz précurseur de silicium (tel qu’un silane ou un chlorosilane) et/ou au moins un gaz précurseur de carbone (tel qu’un alcane ou un alcène), et/ou au moins un gaz précurseur de silicium et de carbone (tel que le méthyltrichlorosilane, abrégé MTCS), et au moins un gaz dopant comprenant de l’azote (par exemple le NH 3 , le N 2 H 4 , le N 2 ) et/ou de phosphore. Ledit gaz dopant peut aussi être un précurseur de carbone et/ou de silicium (par exemple une amine telle que le H 2 NCH 3 ). Ces gaz peuvent être dilués dans un gaz porteur, qui peut être un gaz réducteur tel que l’hydrogène et/ou un gaz inerte tel que l’argon.
Dans un mode de réalisation particulier de ce procédé de dépôt, ladite phase gazeuse comprend du trichlorométhylsilane, et de préférence ne comprend pas d’autres précurseurs de silicium et/ou de carbone. Ledit gaz dopant est avantageusement sélectionné dans le groupe formé par : NH 3 , N 2 H 4 , N 2 , H 2 NCH 3 .
La température du réacteur lors du dépôt par CVD du SiC doit se situer entre environ 1 300 K et environ 1 800 K, et de préférence entre environ 1 350 K et environ 1 700 K, plus préférentiellement entre environ 1 400 K et environ 1 650 K, et encore plus préférentiellement entre environ 1 450 K et environ 1 650 K. La pression totale dans le réacteur ne dépasse avantageusement pas 350 mbar, et de préférence ne dépasse pas 300 mbar.
Dans un mode réalisation avantageux du procédé de fabrication de la plaque en p-SiC selon l’invention, on effectue le dépôt par la voie CVD sur une surface en graphite d’un substrat comprenant une surface en graphite. De manière très avantageuse, ledit substrat est un substrat en graphite isostatique à grain fin et purifié, ceci pour éviter toutes contaminations et dégazage d’impuretés lors du dépôt. A titre d’exemple, pour obtenir un wafer de diamètre 150 mm, le dépôt est réalisé sur un cylindre de graphite en forme de disque, de diamètre approchant un nominal de 150 mm et d’épaisseur supérieur à 2 mm pour assurer une planéité suffisante du substrat. Le réacteur peut comprendre une pluralité de ces disques, dont le diamètre peut être identique ou différent. Les deux faces des disques ont de préférence une planéité < 15 µm, obtenue par un usinage suffisamment précis. Le coefficient de dilatation thermique du graphite isostatique est choisi judicieusement pour être compatible avec la couche de SiC lors du refroidissement après dépôt. Un substrat commercialisé par la société MERSEN sous la désignation « grade 2303 » peut être utilisé.
On décrit maintenant le déroulement d’un mode de réalisation typique de ce procédé de dépôt d’une ébauche brute pouvant être utilisée pour réaliser une plaque en p-SiC selon l’invention, et on décrit d’abord en relation avec la , à titre d’exemple, un réacteur dans lequel ce procédé de dépôt peut être exécuté. Ce procédé de dépôt se déroule dans un réacteur 1 de type particulier. Il comprend une enceinte réactionnelle 2, qui renferme un espace réactionnel 3, un espace de chauffe 4 et un espace d’évacuation 5 des gaz réactionnels. Ladite enceinte 2 est conçue pour pouvoir atteindre des basses pressions jusqu’à un minimum de quelques dizaines de milli-bar par pompage des gaz jusqu’à un dispositif de traitement des effluents (non montré sur la figure). Les gaz précurseurs sont admis dans l’espace réactionnel 3 du réacteur 1 à travers une pluralité d’injecteurs 11 alimentés par une ligne de gaz 8 dite entrée gaz précurseurs. Les gaz réactionnels quittent l’espace réactionnel 3 vers l’espace d’évacuation 5, d’où ils sont aspirés à travers un embout de sortie 10 dans la ligne de gaz 9 dite sortie des gaz réactionnels. L’espace de chauffe 4 comporte une pluralité d’éléments de chauffage 6, typiquement des solénoïdes. Des cylindres ou disques en graphite 12, appelée ici aussi substrats, sont chargés dans l’enceinte 2 ; pour simplifier la ne montre pas les supports qui maintiennent lesdits substrats 12 dans le réacteur 1.
L’étape (a) peut consister à engager l’organe de couplage dans l’écrou par l’aval ou l’amont.
L’étape (a) peut consister à engager des moyens de rappel élastiques et la butée axiale par l’amont.
L’étape (a) peut consister à engager des moyens de rappel élastiques dans l’écrou dans un premier temps et à engager la butée axiale dans l’écrou dans un second temps.
Les étapes (a) et (b) peuvent être interchangeables.
L’étape (c) peut consister à déplacer axialement l’organe de couplage à l’aide de l’outil apte à coopérer avec la zone de préhension de l’organe de couplage.
L’étape (d) peut consister à déplacer axialement l’organe de couplage vers la première position de couplage dans un premier temps et à déplacer axialement l’organe de couplage vers la position de couplage dans un second temps.
L’étape (d) peut consister à déplacer axialement l’organe de couplage à l’aide de l’outil apte à coopérer avec la zone de préhension de l’organe de couplage.
L’étape (d) peut consister à libérer l’organe de couplage de sorte que l’organe de couplage se déplace axialement de la seconde position de couplage à la position de couplage par l’effort de rappel élastique des moyens de rappel élastiques.
Le présent document peut également concerner un procédé de démontage d’un tel ensemble du type précité, ledit procédé comportant les étapes consistant à : déplacer axialement l’organe de couplage de sa position de couplage vers sa première position de découplage ou vers sa seconde position de découplage, et dévisser l’écrou par rapport à l’arbre.
est une demi-vue schématique en coupe axiale d’une turbomachine de l’art antérieur,
est une demi-vue schématique en coupe axiale d’un ensemble selon une forme de réalisation du présent document, l’organe de couplage étant en position de couplage,
une demi-vue schématique en coupe axiale d’une partie de l’ensemble de la , l’organe de couplage étant dans la première position de découplage,
est une vue correspondant à la , dans laquelle l’organe de couplage est dans la seconde position de découplage,
est une vue en coupe axiale et en perspective d’un ensemble selon l’étape (a) du procédé de montage,
est une vue en coupe axiale et en perspective d’un ensemble selon l’étape (b) du procédé de montage,
La est une vue générale schématique partielle d’un module d’inversion de poussée d’un réacteur d’aéronef selon un troisième mode de réalisation de l’invention ;
La est une vue schématique partielle de dessus montrant un module d’inversion de poussée selon un quatrième mode de réalisation de l’invention ;
La est une vue schématique partielle de dessus montrant un module d’inversion de poussée selon un cinquième mode de réalisation de l’invention ;
La est une vue schématique partielle d’un assemblage tenon-mortaise entre longeron et élément d’aubage.
Description détaillée La illustre une nacelle 20 d’aéronef de type connu, comprenant, alignés suivant l’axe longitudinal XX’, un capotage avant 22 et un capotage arrière 24 délimitant entre eux une ouverture annulaire O destinée à accueillir un anneau d’inversion de poussée pour inverseur de poussée de nacelle d’aéronef. L’inverseur de poussée comprend notamment, en plus de l’anneau d’inversion de poussée, des actionneurs qui, lorsqu’ils sont commandés par une ou plusieurs unités d’actionnement (moteur(s)), permettent d’activer les éléments fonctionnels de l’anneau et donc de dévier de manière contrôlée le flux d’air traversant l’anneau. La nacelle d’aéronef forme avec le moteur ou turbomachine un ensemble propulsif de l’aéronef.
Pour la réalisation d’un anneau d’inversion de poussée selon un mode de réalisation de l’invention, une pluralité de modules d’anneau d’inversion de poussée du type de ceux qui vont être décrits ci-après sont utilisés pour constituer des grilles d’anneau d’inversion de poussée qui sont ensuite mises en place sur la nacelle. Une grille est par exemple formée de plusieurs longerons (par exemple de 2 à 40 longerons) assemblés les uns avec les autres comme décrit ci-après.
Comme représenté sur la (vue de dessus) et désigné de manière générale par la référence 30, un module d’inversion de poussée selon un premier mode de réalisation comprend, de manière générale, un premier longeron 32 et un deuxième longeron 34 qui est positionné de manière adjacente au premier longeron et parallèlement à ce dernier.
Le premier longeron 32 s’étend suivant une direction longitudinale D et porte des éléments d’aubage, dont seuls deux sont représentés ici, 32a1, 32a2 (le nombre d’éléments d’aubage est généralement bien supérieur à deux), et qui s’étendent chacun transversalement relativement à la direction longitudinale D. Les éléments d’aubage transversaux 32a1, 32a2 sont répartis, généralement de manière régulière, sur la longueur du longeron 32 et sont solidaires de celui-ci. En pratique, les longerons et les éléments d’aubage peuvent être réalisés en une seule pièce par fabrication par injection dans un moule à injection. Plus particulièrement, le premier longeron 32 et les éléments d’aubage transversaux 32a1, 32a2 font partie d’une seule et même pièce fabriquée d’un seul tenant. Le deuxième longeron 34, quant à lui, n’est pas issu de matière avec les éléments d’aubage transversaux 32a1, 32a2 du premier longeron 32.
Comme représenté sur la , le premier longeron 32 comprend deux grandes faces opposées qui s’étendent principalement, dans un repère tridimensionnel X, Y, Z, suivant deux axes X (direction longitudinale) et Z (hauteur ou direction radiale lorsque le module est installé sur la nacelle) : une première grande face 32a à laquelle sont raccordés les éléments d’aubage 32a1, 32a2 s’étendant suivant le troisième axe Y (largeur) en éloignement de cette grande face et une deuxième grande face opposée 32b qui, dans ce mode, ne porte pas d’éléments d’aubage. On notera que dans un autre mode non représenté, la deuxième grande face opposée 32b peut porter des éléments d’aubage qui s’étendent dans une direction opposée à celle des éléments d’aubage 32a1, 32a2.
Le deuxième longeron 34 comprend également une première et une deuxième grandes faces opposées 34a, 34b, la première grande face 34a étant disposée en regard de la première grande face 32a et des éléments d’aubage 32a1, 32a2 portés par cette dernière.
La deuxième grande face 34b du deuxième longeron 34 porte ici également des éléments d’aubage 34b1, 34b2 (au nombre de deux dans cet exemple ; la remarque appliquée aux éléments d’aubage du premier longeron s’applique également ici) et qui s’étendent chacun transversalement relativement à la direction longitudinale du deuxième longeron 34, en éloignement d’une zone z1, z2 du deuxième longeron appelée zone de raccordement de l’élément d’aubage considéré. Plus particulièrement, le deuxième longeron 34 et les éléments d’aubage transversaux 34b1, 34b2 font partie d’une seule et même pièce fabriquée d’un seul tenant.
Dans ce mode de réalisation, les éléments d’aubage 32a1, 32a2 du premier longeron 32 sont disposés à la même cote ou position axiale (suivant l’axe X) le long du premier longeron que la cote ou position axiale des éléments d’aubage 34b1, 34b2 du deuxième longeron 34 le long de ce longeron. Autrement dit, les éléments d’aubage 32a1, 32a2 sont alignés transversalement (suivant la direction Y) avec les éléments d’aubage 34b1, 34b2.
Comme représenté sur la , les éléments d’aubage 32a1, 32a2 du premier longeron 32 sont assemblés chacun sur la première grande face 34a du deuxième longeron 34 par raccordement à cette face 34a, au droit de la zone de raccordement z1, z2 d’un élément d’aubage 34b1, 34b2 porté par la deuxième grande face 34b et qui s’étend dans une direction opposée à la face 34a. On notera qu’ici tous les éléments d’aubage 32a1, 32a2 du premier longeron 32 participent à l’assemblage avec le deuxième longeron, ce qui permet d’assurer un assemblage solide et fiable entre les deux longerons. Toutefois, selon une variante non représentée, seuls certains des éléments d’aubage portés par la première grande face 32a peuvent servir à l’assemblage.
L’assemblage entre les éléments d’aubage (ou une partie seulement d’entre eux) du premier longeron 32 et la première grande face 34a du deuxième longeron 34 est généralement réalisé en utilisant des premiers et deuxièmes moyens de fixation mécanique complémentaires l’un de l’autre, par exemple du type tenon-mortaise, qui sont répartis entre les éléments d’aubage du premier longeron 32 portant des premiers moyens de fixation et la première grande face 34a du deuxième longeron 34 portant des deuxièmes moyens de fixation complémentaires des premiers moyens.
Les éléments d’aubage 32a1, 32a2 du premier longeron 32 comportent chacun une extrémité distale 32a1.1, 32a2.1 qui est considérée comme libre lorsqu’elle n’est pas encore assemblée avec le deuxième longeron 34. Chaque extrémité distale 32a1.1, 32a2.1 est configurée pour être assemblée à la première grande face 34a du deuxième longeron par l’intermédiaire des premiers et deuxièmes moyens de fixation mécanique complémentaires l’un de l’autre.
A titre d’exemple, les éléments d’aubage 32a1, 32a2 portent à leur extrémité distale 32a1.1, 32a2.1 au moins un élément formant tenon 32a1.2, 32a2.2 (par exemple en forme de pion) et la première grande face 34a du deuxième longeron porte des éléments formant mortaises 34a1, 34a2 (par exemple prenant la forme d’une cavité), de formes complémentaires et qui sont agencés en correspondance géométrique avec la position des éléments formant tenons disposés en regard. La illustre en perspective le tenon 32a1.2 agencé sur le chant d’extrémité distale 32a1.1 de l’élément d’aubage 32a1.
Par exemple, sur la , au lieu que le capteur magnétique 66 réagisse à l’angle du champ magnétique 68, le capteur magnétique 66 peut en variante être un capteur de proximité réagissant à une distance de l’aimant 64 par rapport au capteur magnétique 66. Le capteur magnétique 66 est à une position fixe sur l’articulation 72, et donc à une position fixe par rapport au clapet 42. Étant donné que l’intensité d’un champ magnétique peut varier en fonction de la distance, un capteur de proximité magnétique peut être utilisé pour déduire la distance entre les emplacements fixes sur la base d’une intensité du champ magnétique détecté. Ainsi, lorsque le clapet 42 pivote, la distance entre l’aimant 64 et le capteur magnétique 66 et l’intensité correspondante du champ magnétique 68 varient, de sorte que l’intensité du champ magnétique 68 détecté par le capteur magnétique 66 pourrait être utilisée pour déterminer l’angle du clapet 42.
Dans d’autres exemples, un capteur de proximité peut être utilisé pour détecter la proximité d’un élément capteur par rapport à un profil défini par l’un des composants de soupape autour de l’axe de rotation, mais pas nécessairement par rapport à un emplacement fixe sur ce profil. Lorsque la fermeture de soupape se déplace, le profil tourne autour de l’axe de rotation et dépasse l’élément capteur. L’élément capteur peut détecter des variations le long du profil à mesure que le profil passe devant l’élément capteur. Ces informations peuvent être analysées pour déterminer la position de rotation de la fermeture de soupape.
Dans l’exemple ci-dessus, le capteur de proximité est basé sur un champ magnétique, qui est un exemple de paramètre électrique variable. Un capteur de proximité peut en variante détecter d’autres paramètres électriques qui changent en réponse au changement de proximité. Par exemple, le paramètre électrique peut en variante comprendre une inductance, une capacité, une résistance et/ou une tension, qui changent avec la position de rotation de la fermeture de soupape par rapport au corps de soupape. En détectant le paramètre électrique modifié, le capteur de rotation peut déterminer la position de rotation de la fermeture de soupape.
Les figures 4 à 7 fournissent des exemples de profils autour d’un axe de rotation qui présentent des caractéristiques détectables le long du profil. Ces profils peuvent être définis, par exemple, par l’articulation d’une charnière (c’est-à-dire un profil d’articulation) où la charnière couple de manière rotative la fermeture de soupape au corps de soupape. Le clapet ou autre fermeture de soupape peut être couplé de manière rigide à l’articulation, avec le capteur de proximité sur le corps de soupape de sorte que la rotation de la fermeture de soupape déplace le profil d’articulation par rapport au capteur de proximité. Bien qu’une articulation de charnière fournisse une structure utile pour définir un profil autour d’un axe de rotation, ces profils peuvent en variante être définis par une certaine structure de la fermeture ou du corps de soupape autre que par une charnière. Dans l’un quelconque de ces exemples, les profils peuvent être généralement arqués, par exemple circulaires ou partiellement circulaires autour de l’axe de rotation, mais avec une certaine variation détectable.
La est un schéma d’un premier exemple de profil 100 défini, à titre d’exemple, par l’articulation 72 d’une charnière 70 utilisée pour monter une fermeture de soupape 142 sur un corps de soupape 146. La fermeture de soupape peut être par exemple le clapet d’une soupape à clapet ou la bille d’une soupape à bille. Un capteur de proximité comprend un élément capteur 110 à proximité du profil 100. L’élément capteur 110 peut être couplé à un emplacement fixe sur le corps de soupape 40. L’articulation 72 peut être incorporé ou autrement fixé à la fermeture de soupape 142. L’articulation 72 peut tourner autour de la broche 74 lorsque la fermeture de soupape 142 est déplacée autour de l’axe de rotation 45 correspondant. L’élément capteur 110 réagit à une variation le long du profil 100 d’articulation lorsque l’articulation 72 tourne par rapport à l’élément capteur 110. Le profil 100 d’articulation comprend un rayon « r » qui varie le long du profil depuis un rayon « r 1 » au niveau d’une première partie d’articulation 102 à un rayon « r 2 » au niveau d’une seconde partie d’articulation 104 espacée circonférentiellement de la première partie d’articulation 102.
Dans cet exemple, la première partie d’articulation 102 comprend un évidement et la seconde partie d’articulation 104 comprend une saillie. L’élément capteur 110 réagit à l’évidement ou à la saillie en fonction de la proximité du profil 100 par rapport à l’élément capteur 110. Les deux parties d’articulation 102, 104 sont associées à différentes positions du clapet ou autre fermeture de soupape 142. Par exemple, la première partie d’articulation 102 peut être proche de l’élément capteur 110 lorsque l’élément de fermeture 142 est en position fermée et la seconde partie d’articulation 104 peut être proche de l’élément capteur de proximité lorsque l’élément de fermeture est dans la position ouverte ou inversement. Ainsi, le dispositif de commande 65 peut déterminer si la soupape est ouverte ou fermée selon que l’évidement au niveau du premier emplacement 102 ou la saillie au niveau du second emplacement 104 sont adjacents à l’élément capteur 110.
La est un schéma d’un second exemple de profil 200 comprenant une pluralité de saillies espacées circonférentiellement 204A, 204B, 204C, etc. Chaque saillie 204 correspond à une position angulaire différente d’une fermeture de soupape. Par exemple, une de ces saillies peut correspondre à une position complètement ouverte, une autre de ces saillies peut correspondre à une position complètement fermée, et d’autres saillies intermédiaires peuvent correspondre à des positions ouvertes, telles que des positions de débit réduit qui est inférieur à celui de la position complètement ouverte. Au fur et à mesure que le profil 200 tourne autour de l’axe de rotation 45, les saillies 204 passent successivement sous l’élément capteur 110. L’élément capteur 110 peut être configuré pour détecter la proximité de chaque saillie 204. Les saillies 204 peuvent toutes avoir un rayon r égal, auquel cas l’élément capteur 110 peut être configuré pour détecter une direction de rotation lorsque les saillies 204 passent devant l’élément capteur 110, afin de garder une trace de la position de rotation. En variante, les saillies 204 peuvent toutes recevoir un rayon unique de sorte que l’élément capteur 110 peut déterminer, sur la base du rayon, quelle saillie 204 est adjacente à l’élément capteur 110 et la position de rotation correspondante. L’élément capteur 110 pourrait en variante être configuré pour détecter les évidements espacés circonférentiellement (rayon réduit) entre les saillies adjacentes.
La est un schéma d’un troisième exemple de profil 300 dont le rayon « r » varie progressivement sur une partie du profil 300. Le rayon variable r est en corrélation avec une position angulaire (θ) de la fermeture de soupape de sorte que le rayon augmente dans une direction circonférentielle et diminue dans une direction circonférentielle opposée. Le profil 300 peut être généralement circulaire et encercler complètement l’axe de rotation 45, comme cela pourrait être le cas avec l’articulation d’une charnière autour d’une broche comme discuté ci-dessus. Cependant, le profil 300 n’est pas obligé d’encercler complètement l’axe de rotation 45. Au lieu de cela, le profil 300 pourrait plutôt s’étendre uniquement partiellement autour de l’axe de rotation 45. Par exemple, une fermeture de type clapet ou une fermeture de type bille peut se déplacer de l’ordre d’environ quatre-vingt-dix degrés entre une position complètement ouverte et une position complètement fermée, auquel cas le profil ou au moins une partie détectable du profil 300 ne peut que couvrir un montant similaire. Sur la , le profil 300 s’étend sur trois cent soixante degrés autour de l’axe de rotation 45, mais seulement environ quatre-vingt-dix degrés de ce profil 300 passent à côté de l’élément capteur 110 depuis un premier emplacement 302 correspondant à une ouverture totale jusqu’à un second emplacement 304 correspondant à une fermeture totale. L’élément capteur 110 détecte sa proximité avec le profil 300 et est utilisé pour en obtenir la position angulaire (θ). Dans une variante, le profil 300 peut entrer en contact avec le capteur électromagnétique 110 afin de pouvoir créer une connexion électrique à faible résistance.
La est un schéma d’un quatrième exemple de profil 400 ayant une caractéristique détectée à un emplacement fixe le long du profil 400. La caractéristique détectée dans cet exemple peut être un aimant 410 (par exemple, l’aimant 64 sur la ). Une partie environnante du profil 400 peut être non magnétique ou avoir des propriétés magnétiques diminuées, de sorte que l’élément capteur 110 peut détecter l’aimant 410 mais pas la partie non magnétique du profil 400. L’élément capteur 110 se trouve à un emplacement fixe, par exemple sur un corps de soupape. Ainsi, l’élément capteur 110 réagit à un changement de proximité entre l’élément capteur 110 à son emplacement fixe et l’aimant 410 à son emplacement fixe lorsque le profil 400 tourne autour de l’axe de rotation 45.