Procédé (100) de mesure d’un défaut de recouvrement affectant un motif résultant de la superposition d’un premier réseau de lignes (40) porté par un premier niveau d’un composant microélectronique (C) et d’un second réseau de lignes (50) porté par un second niveau du composant microélectronique, un repère orthonormé xyz étant associé au composant microélectronique, les lignes des premier et second réseaux de lignes étant orientées selon la direction y, et les premier et second réseaux de lignes étant superposés selon la direction z, le procédé de mesure mettant en œuvre une technique de diffusion des rayons X aux petits angles par transmission (T-SAXS), caractérisé en ce que le procédé comporte les étapes de : acquérir (110), en éclairant le motif, une pluralité de mesures d’intensité d’un faisceau de rayons X transmis pour une pluralité d’angles d’incidence du faisceau de rayons X, l’angle d’incidence étant défini comme l’angle, évalué dans le plan défini par les directions x et z, entre la direction z et la direction d’incidence du faisceau de rayons X ; reconstruire (120), à partir de la pluralité de mesures d’intensité, au moins deux tiges de Bragg d’intérêt d’une figure de diffraction selon des fréquences spatiales et , associées respectivement aux directions x et z ; déterminer (130) un angle de translation à partir d’un écart entre les positions selon la direction des maximums principaux des deux tiges de Bragg ; et/ou, déterminer (140) un angle de déformation à partir d’un écart entre les positions selon la direction des i ème maximums secondaires des deux tiges de Bragg. Procédé de mesure selon la revendication 1, dans lequel l’angle de translation est l’angle α défini entre la direction x et la direction reliant les centres géométriques des sections transversales d’une ligne du premier réseau de lignes et d’une ligne correspondante du second réseau de lignes. Procédé de mesure selon la revendication 2, dans lequel l’étape de détermination de l’ange de translation utilise la relation : où et , m et n étant les ordres respectifs des deux tiges de Bragg reconstruites. Procédé de mesure selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel l’angle de déformation est l’angle défini comme la moyenne entre un premier angle de bord et un second angle de bord, le premier angle de bord étant l’angle entre la direction x et la direction joignant le coin inférieur droit d’une ligne du premier réseau de lignes et le coin supérieur droit de la ligne correspondante du second réseau de lignes et le second angle de bord étant l’angle entre la direction x et la direction joignant le coin inférieur gauche d’une ligne du premier réseau de lignes et le coin supérieur gauche de la ligne correspondant du second réseau de lignes. Procédé de mesure selon la revendication 4, dans lequel l’étape de détermination de l’ange de déformation utilise la relation : où et , m et n étant les ordres respectifs des deux tiges de Bragg reconstruites. Système instrumental (1) du type par diffusion des rayons X aux petits angles par transmission (T-SAXS), comportant un détecteur, une électronique d’acquisition et un calculateur, caractérisé en ce que le calculateur est convenablement programmé pour que ledit système instrumental mette en œuvre un procédé de mesure d’un défaut de recouvrement selon l’une quelconque des revendications 1 à 5. Système instrumental selon la revendication 6, comportant un détecteur adapté pour mesurer l’intensité du faisceau transmis sur une plage d’angle de diffraction réduite permettant de suivre les aux moins deux tiges de Bragg d’intérêt au cours de l’étape d’acquisition. Produit programme d’ordinateur comportant des instructions logicielles qui, lorsqu’elles sont exécutées par un calculateur d’un système instrumental conforme à l’une quelconque des revendication 6 et 7 permet à ce dernier de mettre en œuvre un procédé de mesure d’un défaut de recouvrement selon l’une quelconque des revendications 1 à 5.