INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
D’une manière surprenante, il a été constaté qu’une solution de gravure chimique comprenant du peroxyde d’hydrogène, un agent complexant dérivé de l’acide phosphonique de type acide diéthylènetriamine-pentaméthylènephosphonique (DTPMP) ou acide aminotrimethylènephosphonique (ATMP), et du phosphate tribasique de potassium (K 3 PO 4 ) présente des propriétés optimisées en terme de stabilité au cours du temps, en particulier en présence de contaminants de type métalliques, et permet de graver les barrières à base de titane sélectivement aux autres matériaux exposés tels que le cuivre, l’aluminium/cuivre, l’étain et ses alliages, ou encore les matériaux diélectriques et le polyimide, tout en maintenant un bon contrôle des profils de gravure. En outre, une telle solution est satisfaisante en termes de critères environnementaux.
L’invention a pour objet une solution de gravure chimique d’un matériau à base de titane comprenant : de 26 % en poids à 39 % en poids de peroxyde d'hydrogène, de 1% en poids à 6 % en poids de phosphate tribasique de potassium (K3PO4), de 0,015 % en poids à 0,2 % en poids d’un composé choisi parmi l’acide diéthylènetriamine-pentaméthylènephosphonique (DTPMP), l’acide aminotrimethylènephosphonique (ATMP) et leurs mélanges de l'eau,
L’invention a également pour objet une méthode de gravure chimique d'une couche d’un matériau à base de titane sur un dispositif microélectronique, ladite méthode comprenant la mise en contact de ladite couche avec la solution de gravure chimique telle que décrite ci-dessus pendant une durée suffisante pour éliminer ladite couche, ledit matériau à base de titane étant constitué de titane, de nitrure de titane ou de titane-tungstène, préférentiellement de titane.
Avantageusement, la solution de gravure chimique, après gravure du dispositif microélectronique, est réutilisée pour graver un ou plusieurs autres dispositifs microélectroniques.
Avantageusement, la solution de gravure chimique est chauffée et mise en contact avec le dispositif microélectronique à une température de 20 °C à 60 °C, de préférence de 35 °C à 50 °C.
L’invention a également pour objet une méthode de préparation d'une solution de gravure chimique telle que décrite ci-dessus comprenant le mélange : d'une composition comprenant : le phosphate tribasique de potassium (K3PO4), le composé choisi parmi l’acide diéthylènetriamine-pentaméthylènephosphonique (DTPMP), l’acide aminotrimethylènephosphonique (ATMP) et leurs mélanges de l'eau, et d’une solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène à une concentration massique en peroxyde d’hydrogène de 30 % en poids à 40 % en poids par rapport au poids de la solution aqueuse.
Avantageusement, la solution de gravure chimique est préparée en utilisant une technique de mélange au point d’utilisation consistant à mélanger juste avant la distribution la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène et la composition comprenant le sel de phosphate de potassium, le composé choisi parmi l’acide diéthylènetriamine-pentaméthylènephosphonique (DTPMP), l’acide aminotrimethylènephosphonique (ATMP) et leurs mélanges et l’eau.
Définitions Dans le présent texte, l'expression « le reste étant de l'eau » signifie que le pourcentage en poids d'eau correspond à 100 % moins la somme des pourcentages en poids des autres substances chimiques présentes dans la composition.
Dans le présent texte, le terme « dispositif microélectronique » désigne les substrats semi-conducteurs, les écrans plats, les dispositifs de mémoire à changement de phase, les panneaux solaires et d'autres produits, y compris les dispositifs à cellules solaires, les systèmes photovoltaïques et les systèmes microélectromécaniques (MEMS), fabriqués pour être utilisés dans la microélectronique, les systèmes intégrés applications de circuits, de collecte d'énergie ou de puces informatiques.
Cette étape de création repose sur les données d’entrées suivantes : - l’excès d’air appliqué sur ledit brûleur, - la plage de variation du taux d’hydrogène (par exemple de 2 à 50%), - la nature de l'hydrocarbure gazeux et la nature de l’hydrogène.
Une fois ces données d’entrées connues, on déduit le débit d’air stœchiométrique théorique dans l'hydrocarbure gazeux en l'absence d'injection d'hydrogène. Ensuite, on calcule le débit du mélange d'hydrogène et d'hydrocarbure gazeux admis en fonction de la teneur en hydrogène, car la masse volumique dudit mélange varie en fonction du taux d’hydrogène dans ledit mélange. Avec un débit d'air injecté par un ventilateur au niveau du brûleur constant, on peut alors obtenir la valeur de l’excès d’air en fonction du taux d’hydrogène dans ledit mélange, de laquelle on déduit le taux d’oxygène présent dans les fumées sortant de la chaudière à gaz.
Ainsi, au final on obtient, pour un type d'hydrocarbure gazeux donné, un abaque représentant l’évolution du taux d’oxygène dans les fumées sortant de la chaudière à gaz en fonction du taux d’hydrogène présent dans le mélange injecté dans le brûleur pour différentes valeurs de débit d'air injecté au niveau dudit brûleur, ledit abaque ayant en abscisse une échelle donnant le taux d’hydrogène dans le mélange produit par la dispositif 1 entre 0 et 60%, et en ordonnée une échelle donnant le taux d’oxygène présent dans les fumées sortant de la chaudière à gaz entre 3 et 10%. Sur l'exemple d'abaque représenté à la , sont représentées l’évolution du taux d’oxygène dans les fumées sortant de la chaudière à gaz en fonction du taux d’hydrogène présent dans le mélange injecté dans le brûleur pour différentes valeurs du taux d’oxygène dans les fumées sortant de la chaudière à gaz en l'absence d'hydrogène présent dans le mélange, ces valeurs dudit taux d’oxygène allant de bas en haut de 3,5 à 6 % ce qui correspond à des valeurs de réglage classique de chaudière à gaz.
On comprend bien qu'avec la configuration particulière du dispositif 1 selon l'invention, le taux d’hydrogène dans le mélange produit par ledit dispositif 1 sera compris entre 0 et 60%. Ce taux est particulièrement adapté à un brûleur à gaz, car au-delà de 60% les autres équipements associés audit brûleur à gaz risquent de ne plus fonctionner en toute sécurité.
Le dispositif 1 pour produire un mélange variable d'hydrocarbure gazeux et d'hydrogène selon l'invention trouve une application particulière pour alimenter au moins un brûleur à gaz d'une chaudière, mais il va de soi que ledit dispositif 1 pourra être adapté pour être mis en œuvre sur d'autres équipements tels que, par exemple, une station de mélange pour laboratoire de chimie ou encore un procédé de soudage industriel.
Broyeur polyvalent La présente invention concerne un broyeur polyvalent à fonction de broyeur et de réacteur.
Elle concerne en particulier un broyeur comprenant au moins un bâti, des corps de broyage de préférence sous forme de billes et, portés par ledit bâti, au moins une chambre de broyage délimitée au moins par une paroi de forme générale cylindrique entourant un axe formant l’axe longitudinal de la chambre de broyage, un agitateur disposé au moins partiellement à l’intérieur de la chambre de broyage et comprenant un arbre porte-doigts rotatif s’étendant coaxialement à l’axe longitudinal de la chambre de broyage, un moteur présentant au moins une partie rotative et un système de chauffage de la chambre de broyage, la chambre de broyage destinée à être remplie au moins partiellement avec les corps de broyage étant équipée d’au moins une entrée, appelée première entrée, et d’une sortie, et la partie rotative du moteur étant couplable à l’arbre porte-doigts pour un entraînement en rotation dudit arbre porte-doigts.
Un tel broyeur est connu pour réaliser des réactions de dépolymérisation et synthèse de chimie minérale ou organique ou pour broyer, fractionner et fonctionnaliser un composé de départ. Les concepteurs de tels broyeurs sont à la recherche de solutions permettant de manière aisée de s’adapter à des compositions extrêmement différentes pour accroitre le spectre d’applications d’un tel broyeur.
Un but de l’invention est de proposer un broyeur dont la conception permet de manière simple d’adapter le broyeur à différentes compositions ou d’obtenir pour un même produit de départ des réactions différentes.
Un autre but de l’invention est de proposer un broyeur dont la conception permet de réaliser en parallèle plusieurs opérations dans une même chambre pour simplifier les procédés de production et/ou de traitement.
A cet effet, l’invention a pour objet un broyeur comprenant au moins un bâti, des corps de broyage de préférence sous forme de billes et, portés par ledit bâti, au moins une chambre de broyage délimitée au moins par une paroi de forme générale cylindrique entourant un axe formant l’axe longitudinal de la chambre de broyage, un agitateur disposé au moins partiellement à l’intérieur de la chambre de broyage et comprenant un arbre porte-doigts rotatif s’étendant coaxialement à l’axe longitudinal de la chambre de broyage, un moteur présentant au moins une partie rotative couplable à l’arbre porte-doigts pour un entraînement en rotation dudit arbre porte-doigts et un système de chauffage de la chambre de broyage, la chambre de broyage destinée à être remplie au moins partiellement avec les corps de broyage étant équipée d’au moins une entrée, appelée première entrée, et d’au moins une sortie, caractérisé en ce que la chambre de broyage comprend au moins une deuxième entrée et une troisième entrée, en ce que lesdites première, deuxième et troisième entrées sont des entrées obturables équipées chacune d’au moins un organe d’obturation, en ce que la chambre de broyage, l’agitateur et au moins la partie rotative du moteur forment un ensemble monté mobile à rotation autour d’un axe orthogonal à l’axe longitudinal de la chambre de broyage pour un déplacement de la chambre de broyage entre une première position, dite horizontale, dans laquelle l’arbre porte-doigts s’étend sensiblement à l’horizontale et une deuxième position, dite verticale, dans laquelle l’arbre porte-doigts s’étend sensiblement à la verticale et en ce que les doigts de l’arbre porte-doigts sont montés de manière amovible sur l’arbre porte-doigts pour pouvoir faire varier le nombre et/ou la position des doigts sur l’arbre en fonction au moins de la position occupée par ledit ensemble.
La présence d’au moins trois entrées au niveau de la chambre de broyage permet l’introduction dans ladite chambre en sus du produit de départ, de liquide et/ou de gaz permettant si nécessaire la réalisation de réactions chimiques, biochimiques et physiques au sein de la chambre et/ou la mise sous pression de ladite chambre. La combinaison de doigts amovibles avec un arbre rotatif porte-doigts orientable permet une adaptation aisée du broyage à des compositions diverses et variées en un temps court. Un tel broyeur peut être considéré comme un broyeur universel adaptable à de nombreuses situations. Il doit être noté que par « sensiblement à la verticale », ou respectivement « sensiblement à l’horizontale », on entend que l’arbre porte-doigts s’étend à la verticale, ou respectivement à l’horizontale, à plus ou moins 30° près.
Selon un mode de réalisation de l’invention, le broyeur comprend un système d’alimentation en produit de la chambre de broyage raccordable à la première entrée de la chambre de broyage, ce système d’alimentation comprenant un récipient de stockage de produit équipé d’au moins une sortie et un dispositif de transfert de produit interposé entre la sortie du récipient de stockage et la première entrée de la chambre de broyage, ledit récipient étant, au niveau de sa sortie, couplé au dispositif de transfert par une liaison mécanique mobile pour pouvoir faire varier le positionnement relatif du récipient et du dispositif de transfert en fonction de la position occupée par ledit ensemble. La conception du système d’alimentation permet l’utilisation dudit système quelle que soit l’orientation dudit ensemble.
Selon un mode de réalisation de l’invention, le dispositif de transfert comprend une enveloppe tubulaire présentant une extrémité raccordable à la première entrée de la chambre de broyage, une vis sans fin rotative disposée de manière coaxiale à l’intérieur de l’enveloppe, et la liaison mécanique de couplage du dispositif de transfert à la sortie du récipient de stockage s’étend entre la sortie du récipient de stockage de produit et une ouverture ménagée dans ladite enveloppe.
Selon un mode de réalisation de l’invention, la liaison mécanique a la forme d’un conduit apte à tourner sur lui-même sur au moins une partie de sa longueur .
Il doit être entendu que les termes « dispositif microélectronique », « substrat microélectronique » et « matériau de dispositif microélectronique » ne sont en aucun cas destinés à être limitatifs et incluent tout substrat ou structure qui deviendra éventuellement un dispositif microélectronique ou un assemblage microélectronique.
Dans le présent texte, on entend par « couche barrière à base de Titane », tout film mince d'épaisseur allant de 5 nm à 500 nm, composé de Titane, de Nitrure de Titane, de Titane Tungstène ou d'un mélange de ceux-ci.
Tel qu'il est utilisé ici, le terme "environ" est destiné à correspondre à ± 5 % de la valeur indiquée.
Tel qu'utilisé ici, le terme "température ambiante" signifie une température allant de 20°C à 25°C.
Tel qu’il est défini dans le présent document, le terme « agent complexant » comprend les composés qui sont compris par un homme de l’art comme étant des agents complexants, chélatants, séquestrants et des combinaisons de ceux-ci. Les agents complexants se combinent chimiquement ou s’associent physiquement avec l’atome de métal et/ou l’ion métallique à éliminer. Les agents complexants sont utilisés pour capter les contaminants, en particulier les contaminants métalliques, dans la solution de gravure chimique, ce qui a pour effet d’améliorer la stabilité de la solution de gravure chimique et de donc de limiter l’attaque ou corrosion des matériaux potentiellement exposés autres que les matériaux à base de titane. Les termes « agents complexants » et « agents anti-corrosion » sont ici équivalents.
Les termes « solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène » et « eau oxygénée » sont ici équivalents.
Les « pourcentages » d’un composé, tels qu’indiqués ici, sont des pourcentages en poids ou en masse dudit composé par rapport au poids de la composition comprenant ledit composé.
Par « la solution de gravure est constituée de », il s’entend que la solution de gravure ne comprend pas d’autres composants que ceux cités.
Par « la solution de gravure est essentiellement constituée de », il s’entend que la solution de gravure contient d'autres composants que les composants obligatoires dans la solution de gravure, à condition que les caractéristiques essentielles de la solution de gravure, telle que sa stabilité, la vitesse de gravure des matériaux à base de titane et la sélectivité de la gravure vis-à-vis des matériaux exposés ne soient pas affectées par la présence de ces composants.
Par « la solution de gravure est stable ou présente une stabilité satisfaisante », s’entend d’une solution de gravure dont la stabilité est évaluée dans le test de stabilité décrit dans les exemples (point 1.3) et pour laquelle la variation du pH (Δ[pH]) en valeur absolue va de 0 à 10% et la variation de la teneur en peroxyde d’hydrogène (Δ[H 2 O 2 ]) en valeur absolue va de 0 à 35%.
FIGURES illustre l’évolution de l’épaisseur de la couche de titane restante (exprimée en pourcentage de l’épaisseur initiale) selon le test de gravure décrit au paragraphe 1.1. des exemples en fonction du temps d'immersion pour les différentes solutions de gravure de l’exemple 1 à 25°C ( solution 1 / ▲ solution 2 / solution 3).
illustre l’évolution de l’épaisseur de la couche de titane restante (exprimée en pourcentage de l’épaisseur initiale) selon le test de gravure décrit au paragraphe 1.1. des exemples en fonction du temps d’immersion et de la température pour la solution de gravure de l’exemple 6.
illustre l’évolution de la vitesse de gravure en nm/min de la couche de titane selon le test de gravure décrit au paragraphe 1.1. des exemples en fonction de la température pour la solution de gravure de l’exemple 6.
illustre l’efficacité du nettoyage de la couche de titane de piliers de cuivre selon l’exemple 6 par des solutions de gravures vieillies à 50°C pendant des durées différentes : en haut à gauche (1) : solution de gravure chimique vieillie pendant 5 min à 50°C en haut à droite (2) : solution de gravure chimique vieillie pendant 1h30 à 50°C en bas à gauche (3) : solution de gravure chimique vieillie pendant 3h à 50°C en bas à droite (4) : solution de gravure chimique vieillie pendant 6h à 50°C.
représente le pied d’un pilier de cuivre gravé selon l’exemple 6 au moyen de la solution de gravure chimique 1 non vieillie (photo de gauche - A) et de cette même solution de gravure vieillie 2 heures à 50°C (photo de droite - B).
DESCRIPTION DETAILLEE DE L’INVENTION La principale difficulté dans le développement d’une solution de gravure chimique efficace d’une couche barrière à base de titane réside dans la nécessité de graver la surface ou l'interface d'oxyde de titane à une vitesse acceptable tout en restant sélectif vis-à-vis des métaux exposés, tel que le cuivre, l’aluminium/cuivre ou l’étain.
la , représente une vue en perspective d’une structure de véhicule selon l’invention mettant en œuvre au moins deux dispositifs de renforcement de la ;
la , représente une vue en perspective d’un dispositif de renforcement selon l’invention permettant d’obtenir la structure de véhicule de la ;
Une structure 1 de véhicule automobile à motorisation électrique selon l’invention, illustrée sur la , permet la fixation d’une batterie 2 de motorisation, illustrée également sur la , à la structure 1 de manière optimisée.
La structure 1 selon l’invention comporte au moins deux longerons 3 délimitant au moins partiellement un logement 4 conçu pour accueillir la batterie 2. Chaque longeron 3 est formé d’une tôle 5 présentant un profil 6 en U pourvue de deux rebords 7.
Chaque longeron 3 comprend une pluralité de zones de fixation 8, distinctes, réparties sur au moins une partie du pourtour 9 du logement 4. Chaque zone de fixation 8 est conçue pour permettre la fixation de la batterie 2 au longeron 3. La fixation de la batterie 2 est, par exemple, effectuée par vissage de la batterie 2 au niveau de chaque zone de fixation 8.
Sur chaque longeron 3, au moins une des zones de fixation 8 constitue une zone de fixation renforcée 10 comprenant au moins un renfort de levage 11 conçu pour former un point de levage du véhicule. Ainsi, la structure 1 de véhicule selon l’invention comporte des zones de fixation 8 dont au moins deux d’entre elles forment une zone de fixation renforcée 10.
Comme illustré sur la , chaque zone de fixation 8 comporte une plaque 12 de renfort conçue pour permettre le vissage du longeron 3 entre la batterie 2 et la plaque 12 de renfort. La plaque de renfort 12 est, par exemple, soudée sur le longeron 3. Chaque plaque 12 de renfort est pourvue d’un orifice de vissage 13. L’orifice de vissage 13 est évidemment disposé en regard d’un trou ménagé dans le longeron 3 pour permettre le passage d’une vis 14 de fixation.
Dans l’exemple illustré sur la , chaque zone de fixation renforcée 10 comporte un dispositif 15 de renforcement, illustré sur la , formant la plaque 12 de renfort ainsi que le renfort de levage 11. Avantageusement, chaque dispositif 15 est formé d’une tôle emboutie 16. Comme illustré sur la , la tôle emboutie 16 du dispositif 15 est pliée en trois parties 17, 18, 19 chacune conçue pour venir en appui du profil 6. Une 18 des parties 17, 18, 19 forme la plaque 12 et une autre 19 vient en appui sur un rebord 7 du longeron 3, lorsque le dispositif 15 est positionné sur le longeron 3. Comme illustré sur la , chaque dispositif 15 de renforcement comporte une nervure 20 de renforcement dimensionnée pour renforcer la zone de fixation renforcée 10, en renforçant le profil 6 pour former le renfort de levage 11. La nervure 20 est conçue pour renforcer la pliure entre deux parties 17, 18 de la tôle emboutie 16. Le dispositif 15 comporte évidement un orifice de vissage 13 ménagé dans la partie 18 qui forme la plaque 12.
Selon une possibilité, le dispositif 15 est soudé au longeron 3.
Ainsi, la structure 1 selon l’invention, grâce à la zone de fixation renforcée 10, permet de s’affranchir d’au moins deux zones de fixation 8 et de points de levage distincts. La structure 1 et le dispositif 15 selon l’invention présente donc des coûts de fabrication réduits.
L’invention ne se limite pas au mode de réalisation de la structure de véhicule et/ou du dispositif de renforcement décrit ci-avant, seulement à titre d’exemple, mais d’autres modes de réalisation peuvent être conçus par l’homme de métier sans sortir du cadre et de la portée de la présente invention.
Dispositif de signalisation et d’espacement pour cycles La présente divulgation est relative à un dispositif de signalisation et d’espacement, ainsi qu’à un cycle équipé d’un tel dispositif.
Le cycle peut être un cycle dont la propulsion est assurée uniquement par les muscles, ou encore assistée d’un moteur typiquement électrique.
La présente divulgation relève du domaine de la sécurité des cyclistes sur la route. Plus précisément, on s’intéresse ici aux dispositifs de signalisation et d’espacement pour vélo incitant les usagers de la route à élargir leur trajectoire par exemple lors du dépassement ou du croisement du vélo.
Le dispositif comprend classiquement un bras ou un objet allongé s’étendant le côté du vélo et fixé sur le vélo, en porte-à faux latéral du cycle.
Indépendamment du fait que le mode de fourniture d'écran actuel soit le mode de mise en miroir ou le mode d'extension, des informations d'écran pour l'écran contenant la notification de restriction peuvent être générées au moins pour le terminal externe 110 qui est la source de demande en S13 de la . Ceci permet de fournir une notification de restriction à l'utilisateur du terminal externe 110 source de demande.
En S21, l'unité d'acquisition d'informations de véhicule 151 acquiert des informations de véhicule comportant des informations de vitesse de véhicule (informations représentant la vitesse de véhicule). En S22, l'unité d'exécution de restriction 155 se réfère aux informations de restriction de déplacement 121.
En S23, l'unité d'exécution de restriction 155 met en œuvre une détermination d'un besoin de restriction, qui est une détermination concernant le fait de savoir s'il faut ou non désactiver la première demande d'opération, en fonction des informations d'acquisition de véhicule obtenues en S21 et des informations de restriction de déplacement 121 référencées en S22. Par exemple, les informations de restriction de déplacement 121 peuvent représenter une ou une pluralité d'opérations qui sont restreintes pendant le déplacement. Chaque opération peut être définie, par exemple, pour chacun parmi un ou une pluralité d'articles soumis à restriction (par exemple, « fonction », « zone » et « type d'opération » comme représenté sur la ). De plus, l'opération de l'objet restreint peut varier avec la vitesse de véhicule. Si l'opération représentée par la première demande d'opération correspond à une opération soumise à restriction représentée par les informations de restriction de déplacement 121, le résultat de la détermination d'un besoin de restriction en S23 est vrai (en d'autres termes, le résultat est qu'une restriction est applicable).
En S31, l'unité d'identification de terminal externe 154 identifie le terminal externe 110 qui est la source de demande de la seconde demande d'opération en fonction de la seconde demande d'opération reçue. En S32, l'unité d'exécution de restriction 155 se réfère aux informations de gestion de mode 130 pour déterminer si le mode de fourniture d'écran actuel est le mode de mise en miroir.