INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
- la formation d’une zone de fragilisation 5 dans le substrat donneur 6 au moyen du procédé selon l’invention. Cette étape comprend donc la formation 102 de la couche écran 4 sur la première face 61 du substrat donneur, ainsi que l’implantation 103 d’espèces au travers de cette première face. À l’issue de cette étape, on obtient une zone de fragilisation 5 plane, sensiblement parallèle à la première face 61,
- le retrait 104 de la couche écran 4, de sorte à exposer la première face 61,
- le collage 105 du substrat donneur 6 sur le substrat receveur 7. La première face 61 du substrat donneur est collée sur le substrat receveur 7, la couche électriquement isolante 2 étant disposée entre les deux substrats,
- la séparation 106 du substrat donneur 6 au niveau de la zone de fragilisation 5, de sorte à transférer une couche semi-conductrice du substrat donneur 6 sur le substrat receveur 7. Cette couche semi-conductrice forme la couche active 13 du substrat SOI.
Support comprenant une couche de piégeage de charges, substrat composite comprenant un tel support et procédé de fabrication associés DOMAINE TECHNIQUE DE L’INVENTION L'invention concerne un support présentant une couche de piégeage de charges électriques, le support étant destiné à former un substrat composite en recevant une couche mince cristalline par une technique de report de couche. Un tel substrat composite trouve son application dans le domaine des composants électroniques intégrés, en particulier des composants radiofréquences (RF) traitant des signaux dont la fréquence peut être typiquement comprise entre 20 kHz et 300 GHz, ou plus. La couche mince du substrat composite peut être constituée d’un matériau semi-conducteur tel que du silicium ou d’un matériau isolant tel qu’un matériau présentant des propriétés piézoélectrique et/ou ferroélectrique. Outre le support en tant que tel, l’invention concerne également le substrat composite comportant ce support et sur lequel on a reporté la couche mince. L’invention concerne également le procédé de fabrication du support et le procédé de fabrication du substrat composite incorporant un tel support.
ARRIERE PLAN TECHNOLOGIQUE Il existe un riche état de la technique dans ce domaine.
Ainsi, et à titre d’exemple d’une première approche, les documents US7585748 et US9293473 proposent de former la couche de piégeage de charges électriques (et plus concisément désignée « couche de piégeage » dans la suite de cette description) sous la forme d’une couche de silicium polycristallin disposée sur un substrat de base en silicium.
Pour répondre aux problèmes évoqués ci-dessus de fuites d’air engendrées par des défauts de placage, le demandeur propose d’installer une bague d’étanchéité encochée aux extrémités des brides de viroles et d’anneau mobile pour envelopper les zones inter-festons entre les liaisons boulonnées.
Selon un premier aspect, l’invention concerne un assemblage de disques pour turbine de turbomachine, comprenant : un premier disque comportant une première virole amont et une première virole aval, un second disque comportant une seconde virole amont et une seconde virole aval, un anneau mobile monté entre la première virole aval et la seconde virole amont, et plusieurs liaisons boulonnées montées circonférentiellement à une extrémité interne de l’anneau mobile pour maintenir ledit anneau mobile avec la première virole aval et la seconde virole amont, caractérisé en ce qu’il comporte, en outre, une bague d’étanchéité encochée, enveloppant des zones inter-festons s’étendant entre deux liaisons boulonnées à la jonction de la première virole aval, de la seconde virole amont et de l’anneau mobile.
La bague d’étanchéité encochée permet de garantir l’étanchéité dans les zones situées entre deux festons, ou deux liaisons boulonnées, malgré les défauts de placage et, ainsi, limiter les fuites d’air et maintenir le débit de purge suffisamment élevé.
Le terme « encoché » de l’expression « bague d’étanchéité encochée » doit être interprété comme partiellement évidé ou percé d’encoches, une encoche étant une ouverture engendrant un espace vide entre deux traverses.
Outre les caractéristiques qui viennent d’être évoquées dans le paragraphe précédent, l’assemblage de disques selon un aspect de l’invention peut présenter une ou plusieurs caractéristiques complémentaires parmi les suivantes, considérées individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles : la bague d’étanchéité comporte une première et une deuxième parois circulaires entre lesquelles s’étendent des traverses en alternance avec des encoches. la première paroi s’étend circulairement le long de la première virole aval, la deuxième paroi s’étend circulairement le long de la seconde virole amont, chaque encoche est positionnée autour d’une zone de feston et chaque traverse est positionnée en regard d’une zone inter-feston. la bague d’étanchéité encochée est creuse et présente, à l’endroit des traverses, une section en forme de U. la bague d’étanchéité encochée est fixée autour de la première virole aval, de la seconde virole amont et de l’anneau mobile par les liaisons boulonnées. la bague d’étanchéité encochée est fendue à l’endroit d’une encoche. la bague d’étanchéité encochée est fabriquée dans une tôle pliée et usinée. la bague d’étanchéité encochée comporte au moins une trouée positionnée en regard d’une lunule de l’anneau mobile.
La est une vue de face de l’antenne passive. La base comporte un anneau de fixation (5). L’anneau de fixation est utilisé pour fixer l’antenne passive à un mât d’antenne (9). La base (3) est une boîte conductrice, par exemple une boîte métallique. La est une vue de face de l’antenne passive sans le couvercle de la base, et sans les vis utilisées pour fixer le couvercle de la base à la base. La est une vue de derrière de l’antenne passive, montrant un connecteur coaxial (7) qui matérialise l’accès de l’antenne passive. La montre que le dispositif linéaire à accès unique se trouve dans le deuxième élément. La première borne de l’accès de l’antenne passive est le conducteur central du connecteur coaxial, qui est couplée à la seconde extrémité du conducteur interne de T1. La seconde borne de l’accès de l’antenne passive est le conducteur périphérique du connecteur coaxial, qui est directement couplé à la base, et donc couplé à la seconde extrémité du conducteur externe de T1 à travers la base.
T1 et T2 sont des lignes de transmission rigides. Chacune de ces lignes de transmission est une ligne de transmission coaxiale ayant une impédance caractéristique qui est voisine de 50 ohms à 100 MHz. Au moins une des lignes de transmission T1 et T2 peut par exemple comporter un câble coaxial rigide ou semi-rigide, convenablement courbé. Au moins une des lignes de transmission T1 et T2 peut par exemple comporter un câble coaxial flexible inséré dans un tube rigide constitué d’un matériau diélectrique comportant un polymère, le tube rigide ayant une section droite circulaire et étant courbé. Au moins une des lignes de transmission T1 et T2 peut par exemple comporter un câble coaxial flexible ayant un conducteur central, un diélectrique entourant le conducteur central, et une tresse métallique entourant le diélectrique, le câble coaxial n’ayant pas de gaine isolante entourant la tresse métallique, le câble coaxial étant inséré dans un tube métallique rigide, le tube métallique rigide ayant une longueur, le tube métallique rigide ayant une section droite circulaire et étant courbé, la tresse métallique étant en contact électrique avec le tube métallique rigide sur toute la longueur du tube métallique rigide, le conducteur interne de ladite au moins une des lignes de transmission T1 et T2 étant le conducteur central, le conducteur externe de ladite au moins une des lignes de transmission T1 et T2 étant constitué de la tresse métallique en contact électrique avec le tube métallique rigide.
Le spécialiste voit que le conducteur externe de T1, la base et le conducteur externe de T2 forment un enroulement ayant une seule spire, l’enroulement étant utilisé comme un cadre monospire. Ledit cadre monospire ne doit pas être confondu avec ledit cadre blindé.
Le dispositif linéaire à accès unique est constitué d’une résistance de 49,9 ohms connectée en parallèle avec un condensateur de 39 pF. La résistance et le condensateur sont des composants miniatures. La montre un schéma électrique équivalent de l’antenne passive de ce troisième mode de réalisation. Dans la , nous voyons : une ligne de transmission idéale (41) correspondant à T1 ; une ligne de transmission idéale (42) correspondant à T2 ; l’accès de l’antenne passive (43) ; une source de tension (44) qui représente une tension induite dans ledit cadre monospire lorsque l’antenne passive est utilisée pour la réception ; une impédance (45) du dit cadre monospire ; ladite résistance (81) ; et ledit condensateur (82). Ainsi, le dispositif linéaire à accès unique a une résistance en courant continu, la résistance en courant continu étant proche de 49.9 ohms. Ainsi, nous pouvons dire que : la résistance en courant continu est proche de l’impédance caractéristique de T1 ; la résistance en courant continu est supérieure à la moitié de la partie réelle de l’impédance caractéristique de T1 ; la résistance en courant continu est inférieure au double de la partie réelle de l’impédance caractéristique de T1 ; la résistance en courant continu est proche de l’impédance caractéristique de T2 ; la résistance en courant continu est supérieure à la moitié de la partie réelle de l’impédance caractéristique de T2 ; et la résistance en courant continu est inférieure au double de la partie réelle de l’impédance caractéristique de T2.
La est un graphique montrant le module d’une impédance de l’antenne passive de ce troisième mode de réalisation, en fonction de la fréquence. La est un graphique montrant un niveau de champ de référence de l’antenne passive de ce troisième mode de réalisation, en fonction de la fréquence, pour un emplacement de référence proche de l’antenne passive, l’impédance interne du générateur couplé à l’accès de l’antenne passive étant supposée égale à 50 ohms à toute fréquence.
L’antenne passive de l’état de la technique antérieure montrée sur la et l’antenne passive montrée sur la sont basées sur le même cadre blindé, c’est-à-dire le même premier élément, le même deuxième élément et la même base. L’emplacement de référence utilisé pour obtenir la est le même que l’emplacement de référence utilisé pour obtenir la et la , si bien que nous pouvons significativement comparer la à la et à la . Cette comparaison montre que les caractéristiques du cadre blindé et du dispositif linéaire à accès unique interagissent de façon telle que, pour un emplacement de référence proche de l’antenne passive, l’antenne passive montrée sur la a un niveau de champ de référence qui est sensiblement indépendant de la fréquence jusqu’à environ 50 MHz, tandis que la première variante de l’antenne passive de l’état de l’art antérieur montrée sur la a un niveau de champ de référence qui est sensiblement indépendant de la fréquence seulement jusqu’à environ 10 MHz, et que la deuxième variante de l’antenne passive de l’état de l’art antérieur montrée sur la a un niveau de champ de référence qui est sensiblement indépendant de la fréquence seulement jusqu’à environ 30 MHz.
La montre que le module de l’impédance de l’antenne passive montrée sur la est sensiblement indépendant de la fréquence jusqu’à environ 20 MHz. Le spécialiste comprend donc que les caractéristiques du cadre blindé et du dispositif linéaire à accès unique interagissent pour produire un effet de stabilisation de l’impédance jusqu’à environ 20 MHz. De plus, une comparaison de la à la montre que l’effet de stabilisation de l’impédance, qui rend le module de l’impédance de l’antenne passive montrée sur la sensiblement indépendant de la fréquence jusqu’à environ 20 MHz, est distinct du phénomène par lequel les caractéristiques du cadre blindé et du dispositif linéaire à accès unique interagissent de façon telle que, pour un emplacement de référence proche de l’antenne passive, l’antenne passive montrée sur la a un niveau de champ de référence qui est sensiblement indépendant de la fréquence jusqu’à une borne supérieure, la borne supérieure étant voisine de 50 MHz.
Cette borne supérieure correspond à une longueur d’onde dans le vide, égale à la vélocité de la lumière dans le vide divisée par la borne supérieure. Puisque la plus grande largeur de l’antenne passive montrée sur la est environ 133 mm, nous pouvons dire qu’une somme d’une longueur de T1, mesurée entre la première extrémité de T1 et la seconde extrémité de T1, d’une longueur de T2, mesurée entre la première extrémité de T2 et la seconde extrémité de T2, et d’une longueur, mesurée sur la base entre la seconde extrémité du conducteur externe de T1 et la seconde extrémité du conducteur externe de T2, est inférieure au quart de ladite longueur d’onde dans le vide. Le cadre blindé, comportant le premier élément, le deuxième élément et la base, est donc électriquement petit à toute fréquence inférieure à ladite borne supérieure.
Au titre d’un quatrième mode de réalisation d’un dispositif selon l’invention, donné à titre d’exemple non limitatif, nous considérons une antenne passive selon l’invention, qui est réalisée à partir d’une section de câble coaxial (c’est-à-dire, un segment de câble coaxial), d’une résistance, d’un condensateur et d’un peu de soudure, l’antenne passive étant représentée sur la , l’antenne passive comportant : un premier élément (1), le premier élément étant une ligne de transmission nommée T1, T1 ayant un conducteur externe (11) et un conducteur interne (12), T1 ayant une première extrémité (101) et une seconde extrémité (102), le conducteur externe de T1 ayant une première extrémité à la première extrémité de T1, le conducteur externe de T1 ayant une seconde extrémité à la seconde extrémité de T1, le conducteur interne de T1 ayant une première extrémité à la première extrémité de T1, le conducteur interne de T1 ayant une seconde extrémité à la seconde extrémité de T1, le premier élément étant une première partie de la section de câble coaxial ; un deuxième élément (2), le deuxième élément étant une ligne de transmission nommée T2, T2 ayant un conducteur externe (21) et un conducteur interne (22), T2 ayant une première extrémité (201) et une seconde extrémité (202), le conducteur externe de T2 ayant une première extrémité à la première extrémité de T2, le conducteur externe de T2 ayant une seconde extrémité à la seconde extrémité de T2, le conducteur interne de T2 ayant une première extrémité à la première extrémité de T2, le conducteur interne de T2 ayant une seconde extrémité à la seconde extrémité de T2, la première extrémité du conducteur interne de T2 étant directement couplée à la première extrémité du conducteur interne de T1, la seconde extrémité du conducteur externe de T2 étant directement couplée à la seconde extrémité du conducteur externe de T1, le deuxième élément étant une deuxième partie de la section de câble coaxial ; un dispositif linéaire à accès unique (8), le dispositif linéaire à accès unique étant composé de la résistance et du condensateur connectés en parallèle, le dispositif linéaire à accès unique ayant une première borne et une seconde borne, la première borne du dispositif linéaire à accès unique étant directement couplée à la seconde extrémité du conducteur interne de T2, la seconde borne du dispositif linéaire à accès unique étant directement couplée à la seconde extrémité du conducteur externe de T1 (si bien que la seconde borne du dispositif linéaire à accès unique est couplée à la seconde extrémité du conducteur externe de T2) ; et un accès de l’antenne passive (6), l’accès de l’antenne passive ayant une première borne et une seconde borne, une troisième partie (65) de la section de câble coaxial étant utilisée pour coupler la première borne de l’accès de l’antenne passive à la seconde extrémité du conducteur interne de T1, et pour coupler la seconde borne de l’accès de l’antenne passive à la seconde extrémité du conducteur externe de T1.
Dans ce quatrième mode de réalisation, le premier élément est une partie d’un cadre blindé, et le deuxième élément est une partie du cadre blindé.
Ce quatrième mode de réalisation est une antenne passive très simple et très économique comportant un cadre blindé, l’antenne passive ayant un niveau de champ de référence qui, pour un emplacement de référence proche de l’antenne passive, est sensiblement indépendant de la fréquence à toute fréquence inférieure à une borne supérieure, la borne supérieure étant augmentée par rapport à celle qui serait obtenue en utilisant une antenne passive de l’état de la technique antérieure comportant un cadre blindé de mêmes dimensions.
Dans un cinquième mode de réalisation d’un dispositif selon l’invention, donné à titre d’exemple non limitatif, une antenne passive selon l’invention comporte : un premier élément, le premier élément comportant un “tube du premier élément” et une ligne de transmission nommée T1, le tube du premier élément étant un conducteur électrique ayant une longueur, T1 ayant un conducteur externe et un conducteur interne, T1 ayant une première extrémité, une seconde extrémité et une longueur, le conducteur externe de T1 ayant une première extrémité à la première extrémité de T1, le conducteur externe de T1 ayant une seconde extrémité à la seconde extrémité de T1, le conducteur interne de T1 ayant une première extrémité à la première extrémité de T1, le conducteur interne de T1 ayant une seconde extrémité à la seconde extrémité de T1, au moins une portion de la longueur de T1 se trouvant dans le tube du premier élément, le conducteur externe de T1 n’étant, sur une portion de la longueur du tube du premier élément, pas en contact électrique avec le tube du premier élément, la première extrémité du conducteur externe de T1 étant connectée au tube du premier élément, le premier élément étant une partie d’un cadre blindé ; un deuxième élément, le deuxième élément comportant un “tube du deuxième élément” et une ligne de transmission nommée T2, le tube du deuxième élément étant un conducteur électrique ayant une longueur, T2 ayant un conducteur externe et un conducteur interne, T2 ayant une première extrémité, une seconde extrémité et une longueur, le conducteur externe de T2 ayant une première extrémité à la première extrémité de T2, le conducteur externe de T2 ayant une seconde extrémité à la seconde extrémité de T2, le conducteur interne de T2 ayant une première extrémité à la première extrémité de T2, le conducteur interne de T2 ayant une seconde extrémité à la seconde extrémité de T2, au moins une portion de la longueur de T2 se trouvant dans le tube du deuxième élément, le conducteur externe de T2 n’étant, sur une portion de la longueur du tube du deuxième élément, pas en contact électrique avec le tube du deuxième élément, la première extrémité du conducteur externe de T2 étant connectée au tube du deuxième élément, le deuxième élément étant une partie du cadre blindé, la première extrémité du conducteur interne de T2 étant directement couplée à la première extrémité du conducteur interne de T1 ; un dispositif linéaire à accès unique ayant une première borne et une seconde borne, la première borne du dispositif linéaire à accès unique étant couplée à la seconde extrémité du conducteur interne de T2, la seconde borne du dispositif linéaire à accès unique étant couplée à la seconde extrémité du conducteur externe de T2, le dispositif linéaire à accès unique comportant une résistance et un condensateur ; et un accès de l’antenne passive, l’accès de l’antenne passive ayant une première borne et une seconde borne, la première borne de l’accès de l’antenne passive étant couplée à la seconde extrémité du conducteur interne de T1, la seconde borne de l’accès de l’antenne passive étant couplée à la seconde extrémité du conducteur externe de T1.
Le spécialiste comprend que, dans ce cinquième mode de réalisation d’un dispositif selon l’invention, le premier élément est identique au premier élément de l’antenne active divulguée dans la revendication 1 de la demande internationale numéro PCT/IB2021/053502 (WO 2021/234479) intitulée “Active antenna including a screened loop aerial”. Le spécialiste comprend que certains aspects des modes de réalisation de ladite demande internationale numéro PCT/IB2021/053502 pourraient par conséquent être appliqués au premier élément et au deuxième élément de ce cinquième mode de réalisation d’un dispositif selon l’invention.
La présente invention propose selon un premier aspect une interface 1 de préparation de matériel, notamment biologique, pour son transfert dans un spectromètre de masse, le matériel étant sous forme d’aérosol, l’interface 1 comprenant : - un dispositif d’ionisation 2 pour générer un nébulisat ionisé, et - une chambre d’ionisation 3 comprenant deux entrées 31 , 32 et est configurée pour recevoir le matériel sous forme d’aérosol par l’une de ses entrées 31 , 32 et pour être connectée au dispositif d’ionisation 2 par l’autre de ses entrées 31 , 32 afin de mettre en contact le matériel sous forme d’aérosol avec le nébulisat ionisé dans une zone de mélange 30 , la chambre d’ionisation 3 comprenant une sortie 33 pour le matériel en aval de la zone de mélange; et caractérisée en ce que : - le dispositif d’ionisation 2 est configuré pour générer le nébulisat ionisé en amont de la zone de mélange 30 .
Cette interface 1 peut avantageusement remplacer la source habituelle du spectromètre de masse et être configurée pour s’insérer directement sur l’entrée de l’instrument (zone à partir de laquelle le spectromètre de masse est sous vide). Le nébulisat ionisé comprend notamment des gouttelettes de solvant chargées, dont la taille est suivant une distribution dépendante de la taille de l’orifice de sortie du système utilisé pour générer le nébulisat ionisé mais étant habituellement comprise entre 100 nm et 500 nm.
Le matériel qui est ionisé dans l’interface 1 se présente sous la forme de particules, notamment de particules de tissus biologiques, désorbées ou ablatées. La désorption ou l’ablation peuvent notamment être réalisées par un laser. Les tissus biologiques à partir desquels le matériel biologique est prélevé peuvent être n’importe quel tissu d’origine biologique avec ou sans transformation comme des tissus végétaux (y compris des matériaux à base de cellulose), des tissus animaux y compris humains (par exemple : des tissus nerveux, des tissus musculaires, des tissus épithéliaux, des tissus cancéreux, ou des tissus conjonctifs), ou encore des microorganismes (par exemple : bactéries, virus, levures). Le matériel biologique est ainsi principalement constitué d’agrégats de biomolécules (protéines, métabolites, lipides, etc.). Ils contiennent en général très peu de charges. En ce qui concerne les matériels non biologiques, on peut citer des médicaments, des xénobiotiques, des matériaux inorganiques, des composés métalliques, organométalliques ou plastiques. Par la suite, la description fera référence à des matériels biologiques. Néanmoins, la description englobe également le cas des matériels non-biologiques.
Lors de l’ablation ou de la désorption, un certain volume de matériel est éjecté en phase gazeuse. Ainsi, lorsque les échantillons à analyser sont prélevés, ils se trouvent sous la forme d’un aérosol comprenant des particules solides, notamment des agrégats de molécules de matériel biologique, dans un milieu gazeux. Ce milieu gazeux peut notamment être un mélange comprenant de l’air, de l’azote, du dioxyde de carbone, de l’hélium ou autre gaz rare et de la vapeur d’eau.
Lors du fonctionnement, l’acheminement du matériel biologique peut-être réalisé par le vide du spectromètre de masse directement ou via un système de transfert dédié (un tube d’acheminement). La zone d’ablation étant à pression atmosphérique, le vide à l’intérieur du spectromètre de masse entraîne l’aspiration du matériel biologique de la zone d’ablation.