INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
STRUCTURE COMPRENANT UNE COUCHE SUPERFICIELLE REPORTEE SUR UN SUPPORT MUNI D’UNE COUCHE DE PIEGEAGE DE CHARGES A CONTAMINATION LIMITEE ET PROCEDE DE FABRICATION DOMAINE TECHNIQUE DE L’INVENTION L'invention concerne une structure comprenant une couche superficielle reportée sur un support muni d’une couche de piégeage de charges, la structure étant capable de limiter la pollution de la couche de piégeage de charges par des contaminants. L’invention s’étend à un procédé de fabrication de cette structure.
ARRIERE PLAN TECHNOLOGIQUE Les dispositifs intégrés sont usuellement élaborés sur des substrats en forme de plaquettes, qui servent principalement de support à leur fabrication. Toutefois, l’accroissement du degré d’intégration et des performances attendues de ces dispositifs entrainent un couplage de plus en plus important entre leurs performances et les caractéristiques du substrat sur lequel ils sont formés. C’est particulièrement le cas des dispositifs radiofréquences (RF), traitant des signaux dont la fréquence est comprise entre environ 3kHz et 300GHz, qui trouvent notamment leur application dans le domaine des télécommunications (téléphonie, Wi-Fi, Bluetooth…).
A titre d’exemple de couplage dispositif/substrat, les champs électromagnétiques, issus des signaux hautes fréquences se propageant dans les dispositifs, pénètrent dans la profondeur du substrat et interagissent avec les éventuels porteurs de charges électriques qui s’y trouvent. Il s’en suit une consommation inutile d’une partie de l’énergie du signal par perte d’insertion et des influences possibles entre composants par diaphonie (« crosstalk » selon la terminologie anglo-saxonne).
On connaît ainsi les substrats de silicium sur isolant hautement résistif (HR SOI, pour « High Resistivity Silicon On Insulator » selon la terminologie anglo-saxonne habituellement employée) comprenant un substrat support en silicium présentant une résistivité supérieure à 1 kOhm.cm, une couche diélectrique sur le substrat support, et une couche superficielle de silicium disposée sur la couche diélectrique. Le substrat support peut également comporter une couche de piégeage de charges qui sera disposée du côté de la couche diélectrique, préférablement en contact avec celle-ci. La couche de piégeage peut comprendre du silicium polycristallin non dopé. La fabrication de ce type de substrat est par exemple décrite dans les documents FR2860341, FR2933233, FR2953640, US2015115480, US7268060, US6544656 ou WO20211008742.
On connait également des dispositifs à ondes élastiques de surface (SAW pour Surface Acoustic Wave en terminologie anglaise) à structures composites intégrant une couche superficielle de matériau ferroélectrique et une couche de piégeage de charge, formant un substrat similaire à celui décrit dans le paragraphe précédent, comme détaillé par exemple dans le document WO 2020/200986. Ces dispositifs sont employés dans de nombreuses applications, et en particulier dans les applications électroniques où ils forment l’élément central de filtres, d’oscillateurs, de lignes de retard ou encore de transformateurs.
Lorsqu'un signal électrique alternatif est appliqué à un transducteur formé d’une ou plusieurs électrodes en contact avec le matériau ferroélectrique, outre une onde électrique telle que décrite plus haut, un signal mécanique correspondant (c'est-à-dire une oscillation ou une vibration) est généré au niveau de ce matériau : le signal électrique est traduit en un signal mécanique présentant une dépendance en fréquence par rapport au signal électrique alternatif, dépendance qui est fonction des caractéristiques de la ou des électrodes, des propriétés du matériau ferroélectrique et d'autres facteurs dont les caractéristiques du support semiconducteur du dispositif.
Or, les dispositifs à ondes élastiques exploitent cette dépendance pour fournir une ou plusieurs fonctions dépendantes de la fréquence, et donc des caractéristiques du support. Une couche diélectrique interposée entre la couche ferroélectrique et son support permettent d’améliorer le comportement mécanique du transducteur, et plus particulièrement de limiter l’apparition de réponses parasites, les pertes induites liés aux propriétés du substrat et des effets d’interfaces au sein de l’empilement. Augmenter les fréquences de travail peut nécessiter un amincissement de la couche diélectrique pour des raisons purement mécaniques.
Que l’on considère des substrats semiconducteurs ou des substrats ferroélectriques, la problématique est la même : La couche de piégeage de charge, en capturant d’éventuels porteurs de charges électriques, limite les interactions avec les champs électromagnétiques issus des signaux hautes fréquences issus des dispositifs formés sur le substrat et permet a ces dispositif d’atteindre de hauts niveaux de performances.
Cependant, une tendance continue dans l’évolution de ces dispositifs est d’employer des fréquences de travail de plus en plus élevées, qui nécessitent des couches diélectriques, interposées entre la couche superficielle et la couche de piégeage, de plus en plus minces.
Trois approches anti-entropie différentes seront comparées, dans lesquelles les manières dont la base de données est partitionnée diffèrent. La première méthode correspond à l’état de la technique, dans laquelle la base de données est divisée en 2 16 partitions, comme cela a été expliqué ci-dessus en relation avec les protocoles anti-entropie basés sur un arbre de Merkle. Dans la deuxième méthode, la base de données est divisée en deux dimensions avec 2 15 partitions sur chaque dimension. La troisième méthode divise la base de données en quatre dimensions et 2 14 partitions par dimension. La deuxième comme la troisième méthode suivent le procédé de partitionnement proposé dans la présente invention.
Les différents systèmes sont comparés l’un à l’autre en ce qui concerne leur imprécision, dans lequel l’imprécision est définie comme le rapport entre les clés (entrées de base de données), qui sont identifiées comme potentiellement incohérentes, et le nombre de clés réellement incohérentes (différentes). La meilleure imprécision possible est ainsi 1, car dans ce cas, seules les clés potentiellement incohérentes coïncident avec celles réellement incohérentes. Plus l’imprécision est élevée, plus le nombre de clés qui sont identifiées comme potentiellement incohérentes mais sont en réalité cohérentes est élevé. Dans une mise en œuvre donnée à titre d’exemple, on pourrait recourir à l’échange direct de toutes les clés potentiellement incohérentes. L’imprécision est également une mesure pour savoir combien de données doivent être échangées dans la seconde phase du protocole anti-entropie, dès que les différences ont été délimitées.
La illustre l’imprécision des trois procédés précédemment expliqués. Comme on peut le voir, le procédé proposé dans la présente invention surpasse l’état de la technique lorsque le nombre de différences est inférieur à 10 4 , ce qui correspond au domaine dans lequel les systèmes pertinents pratiques fonctionnent. Si par exemple, le nombre de différences est inférieur à 100, l’imprécision du procédé selon l’invention est d’environ 1 (la meilleure possible), tandis que les procédés selon l’état de la technique présentent une imprécision de 16. Lorsque les clés potentiellement incohérentes sont simplement envoyées, la présente invention réduit la quantité de données qui doivent être échangées d’un facteur de 16.
Si les procédés sont comparés en termes de temps système, on peut établir que pour les trois procédés, au total 2 16 étiquettes (valeurs de hachage) sont calculées. Le temps système lors de l’échange des étiquettes sur la base d’un arbre de Merkle ou d’une approche de Slepian-Wolf serait également semblable.
Domaine d’application de la présente invention
La présente invention peut être appliquée pour résoudre le problème d’adaptation de quantité dit approximatif (distribué) (également appelé set reconciliation en anglais), dont la manifestation la plus importante est des bases de données répliquées redondantes comme Amazon Dynamo ou Apache Cassandra, pour n’en citer que quelques-unes. D’autres exemples d’application possibles sont :
• des bases de données
• un stockage distribué
• une synchronisation distante de fichiers
• des réseaux pair-à-pair (P2P)
Description des figures Les figures 1 à 7 ont déjà été expliquées ci-dessus.
Ici, la illustre un exemple pour un premier arbre de Merkle binaire avec n = 8 nœuds feuilles (M A ) pour la représentation d'un premier jeu de données D A et la illustre un exemple pour un second arbre de Merkle binaire avec n = 8 nœuds feuilles (M B ) pour la représentation d'un second jeu de données D B . Sur la , les nœuds dont les étiquettes se différencient de ceux de la sont représentés en gras.
Sur la , la construction du codage de sources distribué est illustrée de manière schématique. Le codeur considère la variable aléatoire X et le décodeur la variable aléatoire Y. Le codeur compresse son message, dans lequel il n’a accès qu’à X, tandis que le décodeur réalise la décompression, dans lequel il n’a accès qu’à Y et au message (compressé) reçu du codeur. Une compression parfaite (sans perte) est possible avec un débit R, qui est supérieur ou égal à H(X|Y).
Sur la , l’approche de syndrome pour le codage de sources distribué est illustrée de manière schématique.
En outre, la illustre l’approche de parité pour le codage de sources distribué.
Sur la , le temps système lié au protocole anti-entropie est représenté en fonction du nombre de différences entre D A et D B , et ce en supposant une taille de base de données avec 10 6 entrées. Les arbres de Merkle utilisés sont binaires et présentent 2 16 feuilles.
R' a G 3-a -Si(OSiG 2 ) n -(OSiG b R' 2-b ) m -O-SiG 3-a ’ -R' a ’ (B)
- G, identique ou différent, désigne un atome d'hydrogène, un groupement phényle, OH, alkyle en C 1 -C 8 , par exemple méthyle, ou alcoxy en C 1 -C 8 , par exemple méthoxy, - a, a’, identiques ou différents, désignent 0 ou un entier de 1 à 3, en particulier 0, sous réserve qu’au moins l’un de a ou a’ soit égal à zéro,
- b désigne 0 ou 1, en particulier 1, - m et n sont des nombres tels que la somme (n + m) varie de 1 à 2000, en particulier de 50 à 150, n pouvant désigner un nombre de 0 à 1999, et notamment de 49 à 149 et m pouvant désigner un nombre de 1 à 2000, et notamment de 1 à 10; - R', identique ou différent, désigne un radical monovalent de formule -CqH2qL dans laquelle q est un nombre allant de 2 à 8, et L est un groupement aminé éventuellement quaternisé choisi parmi les groupements : -N(R")2 ; -N+(R")3 A- ; -NR"-Q-N(R")2 et -NR"-Q-N+(R")3 A-, dans lesquels R", identique ou différent, désigne hydrogène, phényle, benzyle, ou un radical hydrocarboné saturé monovalent, par exemple un radical alkyle en C 1 -C 20 ; Q désigne un groupement de formule C r H 2r , linéaire ou ramifié, r étant un entier allant de 2 à 6, de préférence de 2 à 4; et A- représente un anion cosmétiquement acceptable, notamment halogénure tel que fluorure, chlorure, bromure ou iodure.
De façon préférée, la ou les silicones aminées sont choisies parmi les silicones aminées de formule (B). De façon préférée, les silicones aminées de formule (B) sont choisies parmi les silicones aminées répondant aux formules (C), (D), (E), (F), (G), seules ou en mélange, suivantes :
1/ les silicones dénommées "triméthylsilylamodiméthicone" répondant à la formule (C) :
2/ les silicones de formule (D) suivante :
- m et n sont des nombres tels que la somme (n + m) varie de 1 à 1000, en particulier de 50 à 250 et plus particulièrement de 100 à 200; n pouvant désigner un nombre de 0 à 999 et notamment de 49 à 249 et plus particulièrement de 125 à 175 et m pouvant désigner un nombre de 1 à 1000, notamment de 1 à 10, plus particulièrement de 1 à 5; - R 1 , R 2 , R 3 , identiques ou différents, représentent un radical hydroxy ou alcoxy en C 1 -C 4 , l’un au moins des radicaux R 1 à R 3 désignant un radical alcoxy.
3/ les silicones de formule (E) suivantes :
Les huiles issues de sources renouvelables utilisées dans la présente invention comprennent également des huiles produites par des micro-organismes, soit des micro-organismes naturels soit des micro-organismes génétiquement modifiés, tels que des bactéries, des levures, des algues, des procaryotes ou des eucaryotes. En particulier de telles huiles peuvent être récupérées par des méthodes d'extraction mécanique ou chimique bien connues.
De préférence, les huiles issues de sources renouvelables sont une huile issue de conversions thermiques et/ou catalytiques de biomasse, en particulier de la pyrolyse de biomasse, en particulier une huile de pyrolyse de biomasse cellulosique.
La biomasse utilisée pour être convertie, notamment par pyrolyse peut notamment comprendre les combustibles ligneux provenant de forêts et de terres boisées naturelles (par exemple le bois, les résidus de bois, la sciure, les écorces, les résidus forestiers), les résidus agricoles (par exemple, les balles de riz, le fumier de paille, la bagasse, la fibre de maïs, la canne de maïs, les grappes de fruits vides, les feuilles, feuilles de palmier, le lin, la paille, la paille à faible teneur en cendres), les cultures énergétiques qui sont cultivées exclusivement pour la production d'énergie (par exemple, le maïs et le palmier à huile), les déchets urbains (par exemple, les déchets de bois, riz, fumier de paille), les déchets urbains (par exemple, les déchets solides municipaux et les eaux usées) et le combustible de biomasse dérivé de déchets (par exemple, les granulés de bois).
La biomasse utilisée pour être convertie, notamment par pyrolyse, comprend de préférence des polymères glucidiques (cellulose, hémicellulose) et un polymère aromatique (lignine).
Pour mettre en œuvre la pyrolyse, la biomasse est traitée mécaniquement et thermiquement. Le traitement mécanique inclut par exemple un broyage et/ou un meulage. Le traitement thermique inclut de préférence une pyrolyse thermique rapide. La pyrolyse thermique rapide est par exemple effectuée à une température supérieure à 300°C, par exemple comprise entre 400°C et 600°C, avec un temps de résidence inférieur à 30 secondes, notamment inférieur à 10 secondes. L'opération est réalisée en l'absence d'oxygène ou en atmosphère pauvre en oxygène par exemple avec moins de 1% en volume d’oxygène pour éviter l'oxydation et la combustion sans produire de flamme.
Des exemples de procédés de pyrolyse pour produire de l’huile issue de sources renouvelables 22 sont donnés dans US5792340 ou dans WO2012062924.
L’huile issue de sources renouvelables comporte généralement de l’eau, des hydrocarbures, des composés oxygénés tels que des acides carboxyliques, des alcools, des aldéhydes, des esters, des cétones, et éventuellement des composés de sucre, des composés phénoliques, des composés furaniques, etc.
En référence à la , l’installation 10 comporte une unité 30 de traitement conjoint des charges 20, 22 pour produire un produit craqué 32, une colonne 34 de distillation du produit craqué, produisant au moins un courant de gaz de tête 36 et une unité 38 de fractionnement du courant de gaz de tête 36 selon l’invention propre à produire les fractions d’hydrocarbures 12, 14, et 16A à 16C.
L’unité de traitement 30 comporte au moins un craqueur catalytique à lit fluidisé 40. Le craqueur catalytique 40 comprend typiquement au moins une colonne montante 42 (« riser » en anglais) contenant le catalyseur de réaction sous forme d’un lit fluidisé, et au moins un régénérateur 44 de catalyseur pour régénérer le catalyseur issu de la colonne montante 42.
Le craqueur catalytique 40 comporte au moins un conduit d’alimentation 46 du bas de la colonne montante 42 en catalyseur régénéré provenant du régénérateur 44, et un conduit d’évacuation 48 de catalyseur à régénérer prélevé en haut de la colonne montante 42 pour l’amener au régénérateur 44.
Le traitement mis en œuvre dans le craqueur catalytique 40 convertit les fractions d'hydrocarbures à haut point d'ébullition et à poids moléculaire élevé provenant du pétrole brut en essence, gaz oléfiniques et autres produits à l’aide du catalyseur en lit fluidisé de particules.
Le catalyseur est un catalyseur de craquage catalytique à lit fluidisé, notamment un catalyseur à base de zéolite, en particulier une zéolite ZSM-5.
Le craqueur catalytique 40 comporte également au moins un système 50 d’injection conjointe ou séparée des charges 20, 22 dans la colonne montante 42 et une sortie 52 de récupération du produit craqué 32.
est une vue générale en perspective d’un ensemble comprenant quatre vannes et un dispositif d’actionnement motorisé commun selon l’invention ;
est une vue en perspective en éclatée de l’ensemble de la montrant une partie du dispositif d’actionnement motorisé ;
est une vue de dessus de l’ensemble de la qui illustre une roue moteur et des engrenages du dispositif d’actionnement motorisé et leur coopération avec une unité d’actionnement rotative de chacune des vannes ;
est une vue de dessus de l’ensemble de la dans lequel la roue moteur et les engrenages ont été retirés pour illustrer une came du dispositif d’actionnement motorisé participant au pilotage de l’unité d’actionnement rotative de chacune des vannes ;
est une vue en coupe selon un plan A-A de l’ensemble de la qui montre l’agencement des engrenages et un arbre moteur du dispositif d’actionnement motorisé ;
est une vue en coupe selon un plan B-B de l’ensemble de la qui montre l’agencement des vannes et de leur unité d’actionnement rotative ;
est une vue de détail de la came du dispositif d’actionnement motorisé lorsqu’elle se positionne dans une première position angulaire ;
est une vue de détail de la came du dispositif d’actionnement motorisé lorsqu’elle se positionne dans une deuxième position angulaire ;
est une vue de détail de la came du dispositif d’actionnement motorisé lorsqu’elle se positionne dans une troisième position angulaire ;
est une vue de détail de la roue moteur du dispositif d’actionnement motorisé, d’un des engrenages et leur coopération lorsque la came du dispositif d’actionnement motorisé est dans la première position angulaire de la ;
est une vue de détail de la roue moteur du dispositif d’actionnement motorisé, d’un des engrenages et leur coopération lorsque la came du dispositif d’actionnement motorisé est dans la deuxième position angulaire de la ;
est une vue de détail de la roue moteur du dispositif d’actionnement motorisé, d’un des engrenages et leur coopération lorsque la came du dispositif d’actionnement motorisé est dans la troisième position angulaire de la .
La illustre un ensemble 10 selon un exemple de l’invention, comprenant quatre vannes 12 et un dispositif d’actionnement motorisé 14 commun.
Selon l’exemple de l’invention illustré, l’ensemble 10 comprend quatre vannes 12, mais on comprend que l’invention s’applique mutatis mutandis à un ensemble 10 comprenant au moins deux vannes 12 ou plus.
est une vue en perspective d’un premier exemple de mode de réalisation d’une barrière de stationnement selon l’invention en position de fermeture ;
est une vue de côté de la barrière de stationnement de la ;
est une vue en perspective de la barrière de stationnement de la en position d’ouverture ;
est une vue en coupe longitudinale d’un montant d’une jambe de force de la barrière de la au niveau d’une serrure en position de déverrouillage ;
est une vue en coupe longitudinale d’un montant d’une jambe de force de la barrière de la au niveau de la serrure en position de verrouillage ;
est une vue de côté d’un deuxième exemple de mode de réalisation d’une barrière de stationnement selon l’invention ;
est une vue en perspective d’un troisième exemple de mode de réalisation d’une barrière de stationnement selon l’invention en position de d’ouverture ;
est une vue de dessus de la barrière de la en position d’ouverture.
La est une vue en perspective d’un premier exemple de mode de réalisation d’une barrière de stationnement 1 selon l’invention en position de fermeture. La est une vue de côté de la barrière de stationnement 1. La est une vue en perspective de la barrière de stationnement 1 en position d’ouverture.
La barrière de stationnement 1 comprend un système d'ancrage au sol, un arceau 2 et une jambe de force télescopique 3. Ces différents éléments sont avantageusement réalisés à base de métal, par exemple de l’acier.
Le système d’ancrage au sol comprend ici deux platines 43 et 44 pour l’arceau 2 et deux platines 41 et 42 pour la jambe de force 3. Chaque platine 41 à 44 pourra par exemple présenter quatre points d’ancrage au sol, typiquement quatre orifices pour des corps de vis.
L’arceau 2 est monté pivotant par rapport au système d’ancrage au sol autour d’une direction transversale. L’arceau 2 peut par exemple pivoter entre une position ouverte ou rabattue illustrée à la , et une position fermée ou relevée illustrée aux figures 1 et 2. L’arceau 2 comporte une poutre 23 s’étendant selon la direction transversale. La poutre 23 est destinée à former une butée d’arrêt en hauteur pour un véhicule. La poutre 23 est ici solidarisée au système d’ancrage par l’intermédiaire de montants verticaux 21 et 22. Les montants verticaux 21 et 22 sont ici solidarisés aux platines 43 et 44.
La jambe de force télescopique 3 est également montée pivotante selon la direction longitudinale par rapport au système d’ancrage au sol par une première extrémité. La première extrémité de la jambe de force 3 est ici solidarisée aux platines 41 et 42. Une deuxième extrémité de la jambe de force 3 est montée pivotante par rapport à la poutre 23 autour de la direction longitudinale.
La jambe de force 3 comporte un premier montant 31 muni d'un premier tube 311 monté coulissant par rapport à un premier guide 313 et un deuxième montant 32 muni d'un deuxième tube 312 monté coulissant par rapport à un deuxième guide 314. Le coulissement des tubes 311 et 312 par rapport aux guides 313 et 314 respectivement permet de rendre la jambe de force 3 télescopique et d’autoriser le pivotement de l’arceau 2.
Le premier montant 31 est muni d'un dispositif de verrouillage 317 immobilisant sélectivement la course du premier tube 311 par rapport au premier guide 313 dans une première position intermédiaire de leur coulissement relatif. Par position intermédiaire, on entend que le coulissement du tube 311 pourrait se poursuivre en direction du système d’ancrage au sol en l’absence d’immobilisation par le dispositif de verrouillage 317.
Le deuxième guide 314 est muni d'une butée 318 interférant avec le deuxième tube 312 pour brider son coulissement au niveau d'une deuxième position intermédiaire. Par position intermédiaire, on entend que le coulissement du tube 312 pourrait se poursuivre en direction du système d’ancrage au sol en l’absence d’immobilisation par la butée 318. La butée peut être solidarisée sur le guide 314 comme un élément mécanique fusible, destiné à absorber l’essentiel des efforts et limiter les dégâts sur le reste de la barrière, afin de faciliter des travaux de réparation.
Selon cette deuxième variante, la contrainte σ, exprimée en Pa, subie par ladite conduite lors du soulèvement à ladite hauteur f, exprimée en mètres, est égale à :
M x D / (2 x I) + La x ma x g x sin(αa) / S,
avec M égal au moment de la flexion liée au poids de la conduite à protéger (1), exprimé en N.m et M = L1 / 3 x g x m1 x cos(αb).
est un schéma d’une conduite, telle une conduite forcée, supportée sur plusieurs berceaux de support et retenue de manière fixe dans un massif d’ancrage amont et dans un massif d’ancrage aval.
est un schéma similaire à celui de la , mais dans lequel la conduite est soulevée, le point de soulèvement étant situé à une distance du massif d’ancrage aval inférieure ou égale à 20 mètres.
est un schéma similaire à la , mais dans lequel le point de soulèvement envisagé est situé à une distance du massif d’ancrage amont supérieure à 20 mètres.
est un schéma similaire à la , mais dans lequel la conduite est soulevée.
est une vue en perspective d’une partie d’une conduite prête à être soulevée au-dessus de son berceau de support.
est une vue en perspective d’une partie d’une conduite reposant sur son berceau de support, après la mise en œuvre du procédé conforme à l’invention.