Dispositif micro-électromécanique MEMS de détection de vibration suivant un axe sensible (S), par mesure capacitive différentielle, - le dispositif MEMS comprenant une matrice (1) de cellules actives (10) réparties dans un plan actif parallèle à l’axe sensible (S), - ladite matrice (1) étant formée d’un nombre i de cellules actives dites positives (10P) et d’un nombre i de cellules actives dites négatives (10N), i étant un nombre pair, - chacune des cellules actives positives et négatives (10P, 10N) étant formée d’au moins un peigne mobile (3) et d’au moins un peigne fixe (2), les doigts (21) du peigne fixe (2) et les doigts (31) du peigne mobile (3) formant respectivement des électrodes fixes et mobiles, s’étendant dans le plan actif perpendiculairement à l’axe sensible (X) et étant interdigités, - les peignes mobiles (3) de toutes les cellules actives positives et négatives (10P, 10N) se déplaçant simultanément dans une même direction sensiblement parallèle à l’axe sensible (S) en réponse à un déplacement appliqué au dispositif MEMS, induisant une première valeur capacitive entre des électrodes fixes et mobiles adjacentes dans chaque cellule active positive (10P), et une deuxième valeur capacitive entre des électrodes fixes et mobiles adjacentes dans chaque cellule active négative (10N), la différence entre la première et la deuxième valeurs capacitives étant représentative du déplacement appliqué au dispositif MEMS. Dispositif MEMS selon la revendication 1, dans lequel chaque cellule active positive et négative (10P, 10N) comprend une poutre centrale (20) fixe s’étendant dans la direction de l’axe sensible (S), et positionnée dans un cadre (30) mobile par rapport à la poutre centrale (20), les doigts (21) du peigne fixe (2) s’étendant latéralement de part et d’autre de cette poutre centrale (2), et les doigts (31) du peigne mobile s’étendant du cadre mobile (30). Dispositif MEMS selon la revendication 1 ou 2, dans lequel les doigts (31) des peignes mobiles (3) de deux cellules actives (10) adjacentes suivant un axe (Y) qui s’étend dans le plan actif et qui est perpendiculaire à l’axe sensible (S), s’étendent d’une même partie latérale du cadre mobile (30). Dispositif MEMS selon l’une des revendications 1 à 3, dans lequel les cellules actives positives et négatives (10P, 10N) sont réparties en une matrice de jxj cellules actives, j étant un nombre pair, et il y a autant de cellules actives positives et négatives (10P, 10N) sur les lignes de la matrice et sur les colonnes de ladite matrice. Dispositif MEMS selon la revendication 4, dans lequel les lignes et les colonnes de la matrice présentent une alternance de cellules actives positives (10P) et de cellules actives négatives (10N). Dispositif MEMS selon la revendication 4, dans lequel les lignes et les colonnes de la matrice présentent une alternance de sous-matrices de lxl cellules actives positives (10P) et de sous-matrices de l x l cellules actives négatives (10N), l étant un nombre pair. Système de détection suivant deux axes d’un référentiel comprenant au moins deux dispositifs MEMS de détection (50) de vibration suivant un axe sensible (S) selon l’une des revendications 1 à 6, l’axe sensible (S) de l’un des dispositifs MEMS de détection (50) étant perpendiculaire à l’axe sensible (S) de l’autre dispositif MEMS de détection (50). Système de détection selon la revendication 7, comprenant une pluralité de dispositifs MEMS de détection (50) de vibration selon l’une des revendications 1 à 6, les axes sensibles (S) d’un premier ensemble de dispositifs MEMS de détection (50) étant positionnés perpendiculairement aux axes sensibles (S) d’un deuxième ensemble de dispositifs MEMS de détection (50). Système de détection selon la revendication 8, dans lequel la pluralité de dispositifs MEMS de détection (50) est répartie en matrice et/ou en sous-matrices sur une puce.