INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Dans le mode de réalisation préféré, la traverse 6 a globalement une forme de T avec une branche principale solidaire du premier axe de pivot A1 et une branche transversale portant les deux extrémités longitudinales. En particulier, la traverse 6 présente deux parois opposées en forme de T dont la branche principale définie la partie complémentaire 60 mâle de la traverse 6 apte à s’emboîter dans la découpe 50 femelle du bras principal 5a. La découpe 50 ayant une forme de trapèze isocèle, la partie complémentaire 60 a également une forme de trapèze isocèle. Afin d’assurer l’emboîtement de la partie complémentaire 60 dans la découpe 50, la face portant la partie complémentaire 60 est coplanaire de la face correspondante du bras principal 5a portant la découpe 50.
La découpe 50 et la partie complémentaire 60 sont configurées de telle sorte que, lorsque le bras secondaire 5b a coulissé dans le bras principal 5a et que sa seconde extrémité se trouve en saillie par rapport à la seconde extrémité du bras principal 5a, la partie complémentaire 60 n’est pas en contact avec la découpe 50 et n’est pas reçue dans celle-ci, permettant alors à la traverse 6 de pivoter autour du premier axe de pivot A1. Et, lorsque le bras secondaire 5b a coulissé dans le bras principal 5a de telle sorte que la partie complémentaire 60 est reçue dans la découpe 50 et emboîtée dans celle-ci, la traverse 6 n’est plus autorisée à pivoter autour du premier axe de pivot A1. Ainsi, la au moins une découpe 50 et la au moins une partie complémentaire 60 correspondante constituent des moyens de blocage du pivotement de la traverse 6 par rapport au bras 5.
La traverse 6 porte, à chacune de ses deux extrémités longitudinales, une fourche 7 porteuse de roue. Les deux fourches 7 porteuses de roue sont destinées à recevoir deux roues d’un même essieu d’un véhicule à remorquer, par exemple les deux roues avant ou les deux roues arrière.
Chaque fourche 7 comprend une première branche 70 rectiligne qui s’étend dans le prolongement de l’axe longitudinal de la branche transversale de la traverse 6, et une seconde branche 71 en forme de L, qui s’étend en arrière de la traverse 6, c’est-à-dire du côté de la traverse 6 opposé au bras 5. La seconde branche 71 est reliée à l’extrémité longitudinale correspondante de la traverse 6 par un axe de pivot 72, de telle sorte que l’angle formé entre la seconde branche 71 et la traverse 6, et donc l’espace entre les première 70 et seconde 71 branches, est réglable. Ainsi, la seconde branche 71 est apte à pivoter entre une position dans laquelle la seconde branche 71 est en regard de la première branche 70, et une position dans laquelle la seconde branche 71 est en regard de la traverse 6.
La seconde branche 71 est également articulée à l’extrémité longitudinale correspondante de la traverse 6 par un second axe d’articulation X2, de telle sorte que l’angle formé entre le plan de la seconde branche 71 et le plan de la traverse 6 est variable. Le second axe d’articulation X2 est solidaire de l’extrémité de la seconde branche 71 qui est reliée à la traverse 6 et s’étend orthogonalement au premier axe de pivot A1 et parallèlement à l’axe longitudinal de la branche transversale de la traverse 6 lorsque la seconde branche 71 est en regard de la première branche 70. Ce second axe d’articulation X2 traverse une pièce de liaison 73 interposée entre la traverse 6 et la seconde branche 71 et solidaire de l’axe de pivot 72 entre la traverse 6 et la seconde branche 71.
Afin de limiter le mouvement de pivotement de la seconde branche 71 à l’opposé de la face côté flèche 4 du bras 5, donc en direction du sol lorsque le panier 2 est placé au-dessus du sol en position de transport, le bord de la pièce de liaison 73 et le bord de l’extrémité de la seconde branche 71 qui est en regard de cette pièce de liaison 73 sont configurés de manière à autoriser une rotation autour du second axe d’articulation X2 sur une certaine plage angulaire et pour constituer des moyens formant butée au-delà de cette plage angulaire. En particulier, le bord de la pièce de liaison 73 présente une forme en cavité contre laquelle le bord correspondant de la seconde branche 71 est apte à venir en appui.
En variante, chaque fourche 7 porteuse de roue pourrait se présenter sous la forme d’un cadre destiné à encadrer la roue qu’il reçoit. En particulier, la seconde branche 71 pourrait être en forme de U au lieu de la forme de L.
Les caractéristiques de la fourche 7 décrites ci-dessus, en particulier la présence d’un second axe d’articulation X2, sont indépendantes des autres caractéristiques de l’ensemble de dépannage-remorquage 1, en particulier de celles liées au système de support de charge 3, et l’on pourra donc prévoir de munir un panier de remorquage classique d’une telle fourche 7.
La paroi 70a de la première branche 70 destinée à venir en regard de la seconde branche 71 est une paroi inclinée 70a, permettant ainsi de recevoir une roue et de la maintenir en place dans l’espace entre les deux branches 70, 71.
La première branche 70 porte, sur sa paroi située côté bras 5, un organe de verrouillage 10 apte à permettre le maintien en position du système de support de charge 3. Dans le mode de réalisation représenté, cet organe de verrouillage 10 se présente sous la forme de deux axes inclinés 10 à l’opposé du bras 5 et faisant saillie par rapport à la première branche 70.
Ce panier de remorquage 2 est relié et articulé à la flèche 4 par l’intermédiaire du bras 5, en particulier du bras principal creux 5a, et d’une platine 8 interposée entre la seconde extrémité 4b de la flèche 4 et la première extrémité du bras principal 4a.
La platine 8 se présente sous la forme d’un profilé en U ayant une âme et deux ailes perpendiculaires à l’âme et disposées en regard l’une de l’autre. L’âme vient en appui contre le bras principal 5a et se trouve donc dans un plan parallèle au plan du bras 5 et de la traverse 6. Cette âme comporte un trou traversant 80 recevant un deuxième axe de pivot A2 solidaire du bras principal 5a et parallèle au premier axe de pivot A1, autrement dit s’étendant perpendiculairement au plan du bras 5 et de la traverse 6. Les ailes comportent des perçages réalisés en regard l’un de l’autre et recevant le premier axe d’articulation X1 qui traverse également la seconde extrémité de la flèche 4. Les ailes comportent également des perçages réalisés en regard l’un de l’autre et recevant une seconde extrémité du vérin 9, notamment du vérin hydraulique, relié au troisième perçage 45 de la flèche 4. Un tel agencement permet donc au vérin 9 de commander le pivotement du bras 5 par rapport à la flèche 4 autour du premier axe d’articulation X1, lequel est un axe d’articulation horizontal une fois la flèche 4 articulée au véhicule remorqueur V.
En outre, avec un tel agencement, le deuxième axe de pivot A2 constitue une liaison pivot libre entre le bras 5 et la platine 8, et donc entre le panier de remorquage 2 et la flèche 4, laquelle autorise un pivotement d’axe vertical, donc dans un plan horizontal, lorsque le panier de remorquage 2 se trouve dans un plan horizontal.
Cette liaison pivot libre permet une rotation du bras 5 par rapport à la flèche 4 sur une certaine plage angulaire qui est limitée par des moyens de limitation de l’angle de pivotement. Ces moyens de limitation comprennent un doigt 82 solidaire du bras 5 et une lumière en arc de cercle 81 pratiquée dans la platine 8. En particulier, le doigt 82 est une tige cylindrique d’axe parallèle au deuxième axe de pivot A2 et positionné dans l’alignement du deuxième axe de pivot A2 le long de l’axe longitudinal du bras 5. Ce doigt 82 s’étend entre la première extrémité du bras 5 et le deuxième axe de pivot A2. La lumière en arc de cercle 81 est réalisée dans l’âme de la platine 8 et décrit un arc de cercle centré sur le trou traversant 80. Le doigt 82 est engagé dans la lumière 81, permettant ainsi de limiter la rotation du bras 5 par rapport à la flèche 4 entre deux positions angulaires extrêmes définies par la butée du doigt 82 à chaque extrémité de la lumière 81.
En variante, la liaison pivot libre entre le bras 5 et la flèche 4 pourrait être permise par une couronne de rotation comportant un anneau externe et un anneau interne, par exemple, un anneau externe solidaire du bras 5 et mobile en rotation autour d’un anneau interne solidaire de la platine 8.
Dans chacun des modes de réalisations décrits, le robot comporte un tronc, au moins un bras et une partie supérieure.
En particulier, le tronc est relié d’une part à la plateforme et d’autre part à la partie supérieure et le bras est relié au moyen d’une liaison de type pivot ou de type rotule au tronc. Le robot peut comporter une pluralité de bras, en particulier deux bras, chacun relié au moyen d’une liaison de type pivot ou de type rotule au tronc.
Le bras comporte un segment distal et un segment proximal et un préhenseur robotique 20, en particulier une main. Le segment proximal du bras est d’une part relié au tronc au moyen d’une liaison rotule ou d’une liaison pivot, et d’autre part relié au segment distale au moyen d’une liaison rotule ou d’une liaison pivot. Le segment distal est lui relié d’autre part au préhenseur 20 au moyen d’une liaison pivot ou d’une liaison rotule.
Lorsque le robot comporte une pluralité de bras, chacun des bras comporte un segment distal et un segment proximal et un préhenseur robotique 20. Le segment proximal est d’une part relié au tronc au moyen d’une liaison rotule ou d’une liaison pivot, et d’autre part relié au segment distale au moyen d’une liaison rotule ou d’une liaison pivot. Le segment distal est lui relié d’autre part au préhenseur 20 au moyen d’une liaison pivot ou d’une liaison rotule.
Chaque bras est configuré pour être mobile entre une position tendue dans laquelle le segment distal et le segment proximal sont alignés et une position fléchie dans laquelle le segment proximal est incliné par rapport au segment distal.
Le préhenseur 20, représenté sur les figures 8 à 10, forme une main robotisée, comportant un dos 27 et une paume 21 et au moins deux doigts 22 formant une pince.
En particulier, et selon le mode de réalisation représenté sur les figures, le préhenseur 20 comporte quatre doigts 22.
Chaque doigt 22 est relié à la paume 21 du préhenseur 20 au moyen d’une liaison de type pivot, ou au moyen d’une liaison de type rotule.
Tel que représenté sur la , trois doigts 22 sont reliés au sommet de la paume 21 au moyen d’une liaison pivot, permettant aux doigts 22 d’être mobiles entre une position tendue dans laquelle ils sont dans le prolongement de la paume 21 et un position fléchie dans laquelle les doigts 22 se fléchissent en direction de la paume 21. Un quatrième doigt 22, formant le pouce, est relié à un bord latéral de la paume 21 au moyen d’une liaison rotule, lui permettant d’être mobile, entre une position vers le dos 27 du préhenseur 20 et une position vers la paume 21, mais également entre la position tendue et la position fléchie.
Les trois doigts et le quatrième doigt forment une pince, de sorte à permettre la saisie, ou la manipulation, ou le déplacement d’objets.
Chaque doigt 22 comporte une phalange proximale 23 et une phalange distale 24. La phalange proximale 23 est reliée à la phalange distale 24 au moyen d’une liaison pivot 25 formant une articulation interphalangienne. La liaison pivot 25 permet à la phalange distale 24 d’être mobile par rapport à la phalange proximale 23, en particulier d’effectuer une rotation autour de l’axe de la liaison 25.
De plus, le sommet de la paume 21 comporte une alcôve de préhension 26 configurée pour coopérer avec le dispositif de moyen de préhension 1.
Selon un mode de réalisation, non représenté, le préhenseur peut comporter deux mors formant une pince et configurés pour coopérer avec le dispositif de moyen de préhension 1.
Le dispositif de moyen de préhension universel 1 est destiné à être relié à une pluralité d’objets 4 et il est configuré pour être préhensible au moyen du préhenseur 20.
Le dispositif de moyen de préhension universel 1 comporte une étiquette 3 contenant une donnée d’identification permettant l’identification de l’objet 4 et une d’autorisation à être saisi et/ou manipulé et/ou déplacé par le préhenseur 20 du robot 2.
Selon un mode de réalisation représenté sur les figures, le dispositif de moyen de préhension universel 1 comporte un corps 5 et au moins un moyen de fixation 6.
MICROCANAL POUR DIFFUSION DU COSOLVANT
Le microcanal ou tube dans lequel a lieu la diffusion du cosolvant dans une solution aqueuse est avantageusement en téflon et d’au moins 30 cm à un mètre de longueur. Dans le dispositif microfluidique, la micropuce ou le micromélangeur sont directement connectés à sa sortie à un microcanal en téflon (PTFE). L’émulsion formée au sein du réacteur est envoyée avec un débit de 0,1 m/s dans un microcanal en Polytétrafluoroéthylène (PTFE) d'au moins 30 cm, ou d’au moins, un mètre de longueur, Le diamètre du tube ou microcanal en Polytétrafluoroéthylène est compris entre 500 µm et 2000 µm.
Il est important que ce microcanal ne présente pas de propriété hydrophobe, propriété qui engendrerait à sa paroi l’adhérence des microgouttelettes puis leur coalescence.
Exemple 1 : Fabrication de microgouttelettes et de microcapsules par micropuce Dolomite
Cet exemple décrit la fabrication, à l’aide d’une micropuce Dolomite, de microcapsules composées d’une enveloppe de polyurée et d’un cœur comprenant un filtre solaire. Les expériences présentées montrent la faisabilité de produire des microcapsules de polyurée très monodisperses (coefficient de variation inférieur à 7%) avec une taille minimale d'environ 20 µm par la méthode selon l’invention.
Différentes conditions opératoires ont été testées pour étudier l’influence : Des débits des phases continue et dispersée ; Du pourcentage de cosolvant utilisé ; Du choix du cosolvant utilisé ;
Dans chaque cas, la taille des microgouttelettes de pré-diffusion est comparée à la taille des microgouttelettes de post-diffusion. La stabilité des microgouttelettes et des capsules dans le temps est aussi analysée.
Dispositif expérimental
Les expériences sont réalisées à l’aide d’une micropuce hydrophile en verre borosilicate (Droplet Junction Chip, Dolomite Microfluidics ©, UK) pour la préparation d'une émulsion huile dans l’eau (H/E). La géométrie de la puce est nommée flow-focusing avec une largeur de jonction de 105 µm, une largeur de canal collection de 300 µm et une hauteur de 100 µm.
L'alimentation des phases aqueuse et organique est réalisée à l'aide de deux pompes à pression (Mitos P-Pump, temps de réponse < 4s, Dolomite Microfluidics ©, UK), équipées de deux types de capteurs de débit (Mitos Flow Rate Sensors de 0,2-7 µL/min pour la phase dispersée et 6-1000 µL/min pour la phase continue, temps de réponse < 30ms, Dolomite Microfluidics ©, UK). La formation des gouttes et les régimes d'écoulement sont visualisés à l'aide d'une caméra rapide avec un microscope intégré (Meros High Speed Digital Microscope, 4000 fps, Dolomite Microfluidics ©, UK). Le dispositif expérimental pour l’émulsification microfluidique est présenté sur la Figure 1 (a).
Les microgouttelettes organiques de pré-diffusion initialement formées passent ensuite dans un microcanal en téflon de 30 cm, où le cosolvant est extrait des microgouttelettes par diffusion et/ou convection. Il en résulte une réduction de la taille de ces microgouttelettes (étape 2 de la Figure 1 (b)).
Pour la dernière étape (l'étape 3 de la Figure 1 (b)), la polymérisation interfaciale se poursuit pendant quatre jours à température ambiante (25°C).
Système chimique
La phase dispersée comprend un cosolvant, un prépolymère polyisocyanate, le HDB-LV et un principe actif, l’octyl salicylate (OS); la phase aqueuse comprend de l’eau et du dodécylsulfate (SDS).
Dans cet exemple le biuret d'hexaméthylène diisocyanate (HDB-LV, Vencorex Chemicals), présente une proportion de groupe isocyanate libre dans une molécule de 23,5 ± 1,0 % en poids par rapport au poids total de la phase organique. Le dodécylsulfate de sodium (Across Organics, grade pur), l'éthylènediamine (Sigma Aldrich, > 99 %), l’octyle salicylate (Sigma Aldrich, > 99 %), l'acétate de butyle (Sigma Aldrich, ACS reagent, > 99 %), l'acétate d’éthyle (ACS reagent, > 99 %) sont utilisés sans purification supplémentaire. L'eau distillée est produite par le mono-distillat 2008, GFL. Tous les liquides sont préalablement filtrés par un filtre à seringue (JVLAB, PTFE avec des pores de 0,45 µm).
L’acétate d’éthyle et l’acétate de butyle ont été utilisés en tant que cosolvant.
Selon une possibilité avantageuse, le procédé est effectué après la formation de tranchées d’isolation 20, typiquement de tranchées d’isolation superficielles STI (acronyme de « Shallow Trench Insulator »). Cela permet d’éviter d’appliquer un budget thermique supplémentaire au dispositif lors de ou après la mise en œuvre du procédé. Les tranchées d’isolation 20 peuvent être à base d’un matériau ayant tendance à se contracter. Cela favorise l’obtention d’un état de contrainte en tension pour les couches situées entre les tranchées d’isolation 20. Certains oxydes de silicium, par exemple formés par dépôt chimique en phase vapeur à pression sub-atmosphérique SACVD (acronyme de « sub-atmospheric chemical vapor deposition »), sont connus pour présenter un tel état de contrainte intrinsèque.
Les tranchées d’isolation 20 sont néanmoins uniquement optionnelles. Le procédé peut être mis en œuvre sur un substrat dépourvu de tranchées d’isolation.
Comme illustré à la , selon ce premier mode de réalisation, une cavité R est formée entre les tranchées d’isolation 20, par gravure de la couche de topSi 11. Cette gravure du topSi 11 peut se faire de façon classique, par voie sèche ou par voie humide. La couche de topSi 11 est gravée partiellement, sur une partie seulement de l’épaisseur e11 initiale, de façon à conserver un germe 11b d’épaisseur e11b supérieure ou égale à 5 nm.
Comme illustré à la , une couche 12 à base de silicium-germanium est ensuite formée par épitaxie sur le germe 11b. Cette couche 12 présente une épaisseur e12 comprise de préférence entre 15 et 50 nanomètres. La composition chimique de la couche 12 présente de préférence une teneur en germanium comprise entre 20 % et 50 %at. Cette couche 12 est naturellement contrainte en compression lors de la croissance sur le germe 11b en silicium. La couche 12 est également dénommée par la suite couche précontrainte. Elle peut présenter un état de contrainte biaxial en compression dans le plan xy, avec des composantes selon x et/ou selon y typiquement comprises entre -0.5 GPa et -2 GPa.
L’hétéro-épitaxie de la couche précontrainte 12 est de préférence configurée de façon à conserver un léger retrait vis-à-vis du sommet 200 des STI 20. L’épaisseur e12 de la couche précontrainte est donc de préférence inférieure à la profondeur de la cavité R. Cela permet de conserver un espace d’intégration pour la couche active formée par la suite.
Comme illustré à la , la couche active 13 est ensuite formée par épitaxie sur la couche précontrainte 12. La couche active 13 présente typiquement une épaisseur e13 comprise entre 5 nm et 15 nm. Selon une possibilité, l’épitaxie est configurée de sorte à ce que la surface 130 de la couche active 13 affleure les sommets 200 des tranchées d’isolation 20. L’intégration du dispositif est ainsi améliorée. La position relative de la surface 130 vis-à-vis des sommets 200 peut varier, par exemple selon la précision atteignable par l’équipement d’épitaxie.
La couche active 13 formée sur la couche précontrainte 12, est typiquement relaxée mécaniquement. À ce stade, un empilement comprenant les couches 11b, 12, 13 présentant les états de contraintes respectifs suivant : non contraint, en compression, non contraint, est obtenu.
Comme illustré à la , un motif de grille 14 comprenant classiquement un oxyde de grille 141 et une grille 142, et des espaceurs 15 flanquant le motif de grille 14, sont formés de façon connue à la surface 130 de la couche active 13.
Le motif de grille 14 définit typiquement le canal de conduction C dans la couche active 13 sous-jacente. Le canal de conduction C se trouve ainsi à l’aplomb du motif de grille 14. Les espaceurs 15 permettent typiquement de définir les régions source et drain, de part et d’autre des espaceurs 15 et du canal de conduction C.
Les espaceurs 15 présentent une largeur e15 selon y de préférence supérieure ou égale à l’épaisseur e13 de la couche active 13. Cela permet d’éviter que des défauts structuraux se développant en oblique depuis les régions situées de part et d’autre des espaceurs 15, jusque sous l’espaceur 15 dans la couche active 13, n’atteignent le canal de conduction C. Les zones de la couche active 13 situées à l’aplomb des espaceurs 15 forment donc des zones tampons de part et d’autre du canal de conduction C.
Comme illustré à la , après formation du motif de grille 14 et des espaceurs 15, une modification des régions source et drain est effectuée. Dans ce mode de réalisation, les régions source et drain sont au moins en partie modifiées par amorphisation sur une profondeur dp s’étendant jusque dans la couche précontrainte 12. Cette amorphisation se fait typiquement par implantation selon z d’ions ou d’espèces suffisamment massives, par exemple de masse atomique de l’ordre de 70 ou plus. Selon un exemple, cette amorphisation se fait par implantation de germanium. Le germanium, non dopant, permet de choisir le type de dopants ultérieurement lors du dopage des régions source et drain. Selon un exemple alternatif, cette amorphisation se fait par implantation d’arsenic. L’arsenic permet à la fois de doper et d’amorphiser les régions source et drain. Cela permet de gagner une étape de procédé lors de la réalisation du dispositif.
Comme illustré à la , les régions amorphisées 16S, 16D ont pour effet de relâcher la contrainte de la couche précontrainte 12,12b. La partie 12b de la couche précontrainte 12 située sous le canal de conduction C se relâche ainsi de façon élastique dans le plan xy, notamment selon y. Cette relaxation de la partie 12b entraîne une mise en tension du canal de conduction C et des zones tampons 13b. La relation d’épitaxie entre la partie 12b et les parties 13b, C de la couche active 13 permet d’exercer efficacement la contrainte en tension dans le canal de conduction C. Le canal de conduction C peut typiquement présenter un état de contrainte biaxial en tension dans le plan xy, avec des composantes selon x et/ou selon y typiquement comprises entre 0.5 GPa et 1,5 GPa. Pour augmenter la relaxation de la couche précontrainte 12, l’amorphisation se fait de préférence selon toute l’épaisseur e12 de la couche précontrainte 12. Cela permet in fine d’augmenter la contrainte en tension dans le canal de conduction C. Pour augmenter encore la contrainte en tension dans le canal de conduction C, l’épaisseur e12 est de préférence au moins trois fois supérieure à l’épaisseur e13.
Comme illustré à la , après amorphisation, une recroissance par épitaxie en phase solide des régions source et drain S, D est effectuée. Cette recroissance peut être effectuée à une température supérieure ou égale à 600°C, selon un procédé connu de type SPER (acronyme de « Solid-phase Epitaxial Regrowth »). La recristallisation des régions source et drain S, D peut être également effectuée plus rapidement et à plus haute température, par un recuit de type activation ou RTA (acronyme de « Rapid Thermal Annealing »). Cela permet par exemple, en cas d’implantation d’arsenic, d’activer les dopants en même temps que la recristallisation des régions source et drain. Cela permet de gagner une étape de procédé lors de la réalisation du dispositif.
Lors de la recristallisation des régions source et drain S, D, des défauts structuraux 160 apparaissent typiquement. Ces défauts 160 sont essentiellement du type fautes d’empilement ou dislocations inclinées à environ 55° vis-à-vis du plan xy. Les zones tampons 13b permettent avantageusement de contenir ce type de défauts 160 en dehors du canal de conduction C. Le dispositif ainsi réalisé présente un canal de conduction C en tension et sans défauts structuraux.