INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Les cibles sont fabriquées en poudre compactée permettant d’obtenir une cible solide d’épaisseur uniforme, et ainsi permettant d’obtenir une couche uniforme déposée sur le substrat. Cependant, lors de dépôt sur des surfaces larges (par exemple supérieures à 25 cm 2 ), il est difficile d’obtenir des cibles de la surface du dépôt. En particulier, la densité de pression pour faire une cible devant être constante, la force exercée par la presse doit être augmentée proportionnellement à la surface. Ainsi, pour des surfaces larges, des presses exerçant de grandes pressions sont nécessaires. De plus, les poudres compactées étant friables et les cibles étant de faible épaisseur, une densité de pression même supérieure peut être nécessaire pour obtenir une cible solide de grande surface ayant une épaisseur uniforme.
Ainsi, il est possible de réaliser des cibles sous forme de pavage, c’est-à-dire plusieurs sous-cibles chacune représentant une portion de la cible. La surface apparente des sous-cibles faisant la dimension du dépôt et agencée en surface continue (i.e. ne possédant pas de « trous »). En d’autres termes, les sous-cibles sont des cibles de plus petites surfaces qui peuvent ensuite être assemblées sur un suscepteur. Les cibles de plus petites surfaces sont plus facilement fabricables car elles ne nécessitent pas des presses de grande pression. Par exemple, il existe des cibles comprenant un pavage de sous-cibles ayant des sous-cibles rectangulaires ou carrées, comme illustré par exemple dans la représentant une cible comprenant quatre sous-cibles vue du dessus.
Cependant, la sublimation s’effectue non seulement normalement à la surface supérieure des sous-cibles du pavage mais également par les tranches des sous-cibles. Par conséquence la surface des sous-cibles diminue pendant le dépôt, celles-ci deviennent disjointes et le dépôt vis-à-vis des jointures est moins épais. Ainsi, un pavage simple, tel que représenté dans la ne permet pas d’obtenir un dépôt uniforme.
Pour répondre aux problèmes rencontrés dans l’état de l’art, l’invention a pour objet un procédé de dépôt par sublimation d’une couche de matériaux inorganiques ou hybrides organiques/inorganiques uniforme sur un substrat de grande surface (typiquement sur des surfaces supérieures ou égales à 25 cm 2 ).
En particulier, l’invention vient à améliorer la situation en proposant un procédé de dépôt d’une couche d’un matériau inorganique ou hybride organique/inorganique sur un substrat pour la fabrication d’un dispositif électronique, optoélectronique et/ou optique, ledit procédé comprenant : une étape de préparation d’une cible ; une étape de positionnement de la cible sur un suscepteur dans un four de sublimation, ladite cible étant positionnée dans le four en vis-à-vis du substrat à couvrir ; et une étape de chauffe de la cible via le suscepteur pour déposer la couche de matériau inorganique sur le substrat par sublimation ; caractérisé en ce que la cible comprenant une pluralité de sous-cibles, l’étape de préparation de la cible permet d’obtenir des sous-cibles ayant une épaisseur variable et/ou l’étape de préparation de la cible permet d’obtenir des sous-cibles se chevauchant.
Comme indiqué ci-dessus, la sublimation s’effectue non seulement par le centre des sous-cibles mais également par les tranches des sous-cibles du pavage. L’invention est particulièrement avantageuse car elle permet de compenser la sublimation par les tranches en proposant une épaisseur non-uniforme et/ou avec un chevauchement entre les plusieurs sous-cibles. Ainsi, il est possible de fabriquer des sous-cibles permettant la sublimation de matériaux sur des substrats de grandes surfaces tout en obtenant une couche sublimée uniforme. De plus, l’invention est particulièrement avantageuse car elle ne nécessite pas l’utilisation de presse à haute pression et simplifie ainsi la fabrication des cibles.
Dans un mode de réalisation, chaque sous-cible ayant une région centrale et une région périphérique, l’épaisseur de ladite sous-cible est plus importante dans ladite région périphérique.
Dans un mode de réalisation, au moins deux sous-cibles de la cible s’emboitent.
Dans un mode de réalisation les deux sous-cibles sont biseautées.
Dans un mode de réalisation, les deux sous-cibles sont en forme de créneau.
Dans un mode de réalisation, les sous-cibles se chevauchent pour former plusieurs strates.
Dans un mode de réalisation, chaque strate a une même épaisseur.
Dans un mode de réalisation, chaque strate a une épaisseur différente.
Dans un mode de réalisation, au moins deux strates sont en matériau différent.
La montre un exemple de segment 14. Le segment 14 a une forme allongée entre deux extrémités. Le segment 14 est configuré pour orienter un jet 15 de fluide de nettoyage vers la surface optique 13. Le segment est configuré pour suivre la forme de la surface optique 13. Le segment 14 peut avoir une forme d’arc de cercle, tel que défini ci-dessus. L’arc de cercle formé par le segment 14 peut s’étendre en trois dimensions, le segment 14 pouvant comporter une pente entre ses extrémités. En vue de dessus, le segment 14 demeure un arc de cercle. La forme du segment peut présenter en outre des tronçons avec d’autres formes, telles que rectilignes ou quelconques, selon l’environnement de la surface optique 13. Le segment 14 s’adapte à l’encombrement autour de la surface optique 13. Les segments 14 peuvent comporter une forme qui diffère d’un segment à l’autre. Ceci permet de s’adapter à la forme et à l’environnement de la surface optique 13.
Le segment 14 comprend une arrivée 18 de fluide de nettoyage. L’arrivée 18 est reliée à un réseau de distribution de fluide de nettoyage et permet l’alimentation du canal 16 en fluide de nettoyage. Chaque segment 14 du dispositif 10 comprend sa propre arrivée 18 de fluide ; les segments 14 sont alors alimentés chacun de manière indépendante en fluide. L’arrivée 18 peut s’étendre selon l’axe Z, mais on peut envisager une autre orientation, telle que coudée, pour s’adapter à l’environnement du capteur. Le segment 14 comprend une base 20 et un couvercle 22 délimitant entre eux le canal 16 de circulation de fluide de nettoyage.
La montre une perspective d’un détail du dispositif 10. Le segment 14 est montré en perspective et en coupe. L’au moins une buse 24 du segment 14 comporte un conduit 32 de sortie du fluide de nettoyage et un déflecteur 34 apte à dévier le jet de fluide de nettoyage selon un certain angle vers la surface optique. Le conduit 32 permet au fluide de nettoyage de sortir du canal 16 au travers du couvercle et de se diriger vers le déflecteur 34. Le déflecteur 34 est au moins partiellement dans le couvercle. Ceci permet de protéger le déflecteur 34 en le rendant moins saillant du couvercle 22. Ceci permet de protéger l’au moins une buse 24 lors du transport du segment 14 jusqu’à son montage sur un véhicule. Ceci permet aussi de protéger tout opérateur manipulant le segment 14 en réduisant la taille de la buse et donc la taille de toute arrête vive de l’au moins une buse 24. De préférence, le déflecteur 34 est noyé dans le couvercle 22. Le déflecteur 34 est totalement dans le couvercle 22. Le déflecteur n’est pas saillant de la face supérieure du couvercle 22. En étant absent de la face supérieure du couvercle 22, le déflecteur 34 est encore plus protégé. Ceci permet de protéger l’au moins une buse 24 lors du transport du segment 14 jusqu’à son montage sur un véhicule. Ceci permet aussi de protéger tout opérateur manipulant le segment 14 contre une potentielle blessure sur une arrête vive de l’au moins une buse 24. La définition de l’emballage pour le transport du segment 14 est aussi facilitée. En outre, ceci permet de s’affranchir de toute protection sur le dispositif 10 visant à protéger l’intégrité des buses 24.
Selon la , le canal 16 est délimité par le couvercle 22 fixé à la base 20. Le canal 16 est alimenté en liquide de nettoyage depuis l’arrivée 18. Le liquide de nettoyage est destiné à circuler dans le canal 16 et à sortir du canal par le conduit 32 au travers du couvercle 22. Le liquide est projeté sous forme de jet 15 en direction de la surface optique 13. Le liquide de nettoyage est projeté par le déflecteur 34 de la buse 24, représentée comme noyée dans le couvercle 22 à titre d’exemple – le déflecteur 34 pouvant être en partie saillant du couvercle 22. Le déflecteur 34 est une paroi définissant l’angle de déviation du jet 15 en direction de la surface optique 13. L’angle d’inclinaison de la paroi peut être déterminé selon la portion à nettoyer de la surface optique 13.
La montre le segment 14 du dispositif 10 en coupe. Le couvercle 22 peut comporter une cavité 36 ouverte en direction de la face supérieure 38 du couvercle 22. Le conduit 32 débouche dans la cavité 36. La cavité 16 est une portion creuse de la face supérieure 38 du couvercle 22. Le conduit 32 permet l’acheminent du liquide de nettoyage depuis le canal 16 à l’intérieur du segment 14 jusque dans la cavité 36 vers l’extérieur du segment 14. Le déflecteur 34 est une paroi de la cavité 36. L’angle d’inclinaison de la paroi – de préférence plane – permet d’orienter le jet 15. Le déflecteur 34 est au moins partiellement dans le couvercle 22 dans le sens où la paroi définissant le déflecteur 34 s’étend en partie dans l’épaisseur du couvercle 22, le long de la portion creuse définissant la cavité 36, et en partie à l’extérieur du couvercle 22, en étant en saillie de la face supérieure 38 du couvercle 22. La partie du déflecteur 34 en saillie est moindre dans le sens où une partie du déflecteur 34 est dans le couvercle 22 et permet d’orienter le jet 15 selon un certain angle depuis l’intérieur (l’épaisseur) du couvercle 22. Ceci permet de protéger le déflecteur 34 – et donc la buse 24 – lors du transport et le montage du couvercle.
De préférence, et selon la , le déflecteur 34 est noyé dans le couvercle 22 dans le sens où la paroi définissant le déflecteur 34 s’étend dans l’épaisseur du couvercle 22, le long de la portion creuse définissant la cavité 36, sans être en saillie à l’extérieur du couvercle 22. Toute la paroi du déflecteur 34 est dans le couvercle 22 et permet d’orienter le jet 15 selon un certain angle depuis uniquement l’intérieur (l’épaisseur) du couvercle 22. Ceci permet de protéger encore plus le déflecteur 34 – et donc la buse 24 – lors du transport et le montage du couvercle. Ceci évite à un opérateur une quelconque blessure car il n’y a pas d’arrête vive saillante du couvercle 22.
La paroi de la cavité 36 formant le déflecteur 34 est inclinée par rapport à la normale au couvercle 22 selon un angle de déviation du jet de fluide de nettoyage vers la surface optique. La normale au couvercle 22 peut être selon l’axe Z. La paroi est inclinée d’un angle dans le sens trigonométrique sur la . La paroi de la cavité 36 définissant le déflecteur 34 est en regard de la surface optique 13. Plus l’angle d’inclinaison est fort, plus le jet de liquide de nettoyage et orienté vers le bas de la surface optique 13 – et inversement. Dans l’hypothèse où le segment 14 comporte une pluralité de buses 24, les déflecteurs 34 respectifs sont aptes à dévier le jet de fluide de nettoyage selon un premier angle ou un autre angle différent du premier angle vers la surface optique. L’angle d’inclinaison de chaque déflecteur 34 peut être différent des autres. On peut envisager qu’une partie des déflecteurs dévient le jet selon un premier angle et l’autre partie des déflecteurs dévient le jet selon un deuxième angle différent du premier. Par exemple sur la , deux des quatre déflecteurs dévient le jet selon un premier angle et les deux autres déflecteurs dévient le jet selon un deuxième angle différent du premier angle. On peut ainsi avoir une partie des buses 24 orientant le jet vers le haut de la surface optique et une autre partie des buses 24 orientant le jet vers le bas de la surface optique. Alternativement, tous les déflecteurs d’un segment sont aptes à dévier le jet de fluide de nettoyage selon un même angle vers la surface optique. Au sein du dispositif 10, une pluralité de segments orientent le ou les jets selon des angles propres à chaque buses 24.
La cavité 36 peut comporter une autre paroi 40 en regard de la paroi formant le déflecteur 34. La paroi 40 est inclinée par rapport à la normale au couvercle 22 selon un angle supérieur à l’angle d’inclinaison de la paroi formant le déflecteur 34. Ceci permet au jet de fluide de nettoyage de ne pas être entravé dans la projection vers la surface optique 13.
Le conduit 32 de sortie de fluide de nettoyage est positionné dans le couvercle 22 (ou en d’autres termes dans l’épaisseur du couvercle) de sorte à faire sortir le fluide dans la cavité 36 afin de l’orienter vers le déflecteur 34. Le conduit peut être selon une normale. Le conduit 32 est alors selon l’axe Z. Cela facilite la fabrication du couvercle 22, par exemple obtenu par moulage. Alternativement, le conduit 32 peut être incliné par rapport à la normale au couvercle, selon la . Le conduit 32 est alors incliné par rapport à l’axe Z. Cela permet d’allonger le conduit 32 et de renforcer le couvercle 22.
Le conduit 32 de sortie de fluide peut déboucher dans le canal 16 au travers d’un téton 42 du couvercle. Le téton 42 est une surépaisseur de la face interne du couvercle 22, tournée vers l’intérieur du canal 16. Ceci permet de prolonger la longueur du conduit 32. Ceci permet de mieux guider le jet de fluide en sortie du canal 16. Ainsi, le jet de fluide est mieux formé en sortie du couvercle 22. Ceci permet de réduire l’épaisseur du couvercle 22 par ailleurs sans nuire à la qualité du jet formé par la buse 24.
Le couvercle 22 peut être fixé sur la base 20 par soudure, soudure au laser, soudure par ultrasons, emboîtement, clipsage, collage ou vissage. Le couvercle 22 peut comprendre des nervures 44 sollicitant la base 20 du canal 16. Ceci permet de renforcer l’étanchéité des segments 14, et donc d’éviter les pertes de fluide de nettoyage. Plus spécifiquement, le canal 16 est entre deux nervures 44 ; les nervures 44 et le canal 16 du segment 14 peuvent être concentriques en arc de cercle. La base 20 peut aussi comporter des nervures 46 sollicitant le couvercle 22 pour renforcer l’étanchéité. Le pourtour du couvercle 22 interne et externe peut en outre reposer sur le pourtour de la base 20 de sorte à augmenter encore l’étanchéité des segments.
Le segment 14 comporte par ailleurs au moins une patte 26 de fixation du dispositif 10 au véhicule, visible sur les figures 1 et 2. La ou les pattes 26 permettent de positionner le segment 14 dans le véhicule, par rapport à un support. La ou les pattes 26 permettent un positionnement précis du segment 14 par rapport à la surface optique 13 de sorte que l’au moins une buse 24 du segment oriente le jet 15 de fluide de nettoyage sur la partie de la surface optique 13 qui lui est dédiée. Le segment 14 peut comporter deux pattes 26 de fixation du dispositif 10 au véhicule. Selon la , une patte 26 est prévue à chaque extrémité du segment 14 de forme allongée. Cela assure la stabilité du segment 14 et le positionnement précis de la ou les buses 24 par rapport à la surface optique 13.
L’au moins une patte 26 de fixation et l’au moins une buse 24 peuvent être portées par le couvercle 22. Ainsi, la même pièce du dispositif 10 – le couvercle 22 – supporte la ou les buses 24 et la ou les pattes 26. La position relative de la ou les buses 24 et de la ou les pattes 26 est déterminée dès la conception et la fabrication du couvercle 22 (par exemple par moulage). Il n’y a pas d’ajustement intermédiaire entre la position des pattes 26 et la position des buses 24. Cela permet de réduire la chaine de cotes entre la fixation du segment 14 au véhicule et la position relative de la ou des buses 24 par rapport à la surface optique 13. La ou les pattes 26 permettent la fixation au véhicule via un support. Ce support peut supporter également le capteur 12 de position – améliorant la précision de la position des buses 24.
Les monomères hydrophobes sont généralement choisis parmi la même liste de monomères hydrophobes que celle citée plus haut pour le polymère P3 . Pour ce faire, préférentiellement, de 1 à 20% d’au moins un monomère hydrophobe sont introduits dans la charge de polymérisation de P1 . Cependant, de préférence, le polymère P3 ne comporte pas de monomère cationique ni de monomère zwittérionique.
Selon cet aspect de l’invention, optionnellement, ce ou ces monomères hydrophobes sont mis en contact avec un ou plusieurs agents tensioactifs.
Un « agent tensioactif » est un agent capable d’émulsionner une huile dans de l’eau. Généralement, on considère qu’un agent tensioactif est un composé ayant un HLB supérieur ou égal à 10.
L’équilibre hydrophile-lipophile (HLB) d’un composé chimique est une mesure du degré auquel il est hydrophile ou lipophile, déterminé en calculant les valeurs des différentes régions de la molécule, comme décrit par Griffin en 1949. Griffin a attribué un nombre sans dimension entre 0 et 20, pour donner des informations sur la solubilité dans l’eau et l’huile. Les substances ayant une valeur HLB de 10 sont réparties entre les deux phases de sorte que le groupe hydrophile (masse moléculaire Mh) se projette complètement dans l’eau tandis que le groupe hydrophobe hydrophobe (masse moléculaire Mp) est adsorbé dans la phase non aqueuse. La valeur HLB d’une substance ayant une masse moléculaire totale M et une partie hydrophile d’une masse moléculaire Mh est donnée par : HLB = 20 (Mh/Mp)
Le tensioactif peut être tout tensioactif approprié choisi parmi les tensioactifs anioniques, les tensioactifs cationiques, les tensioactifs non-ioniques et une combinaison de ceux-ci. Dans certains modes de réalisation, le ou les tensioactifs peuvent exister sous forme de dimère. Par exemple, le tensioactif peut comprendre un groupe à tête polaire et deux groupes à queues non polaires, ou deux groupes à têtes polaires et un groupe à queue non polaire, ou deux groupes à tête polaires et deux groupes à queues non polaires. Le tensioactif ou mélange de tensioactifs peut être choisi parmi les composés de la liste suivante : les esters de sorbitan éthoxylés tels que l’oléate de sorbitan éthoxylé avec 20 moles d’éthylène oxyde (EO210), le laurate de sorbitan avec 20 moles d’éthylène oxyde ou le monostéarate de sorbitan éthoxylé avec 20 moles d’éthylène oxyde ; l’oléodécyl alcool decaéthoxylé ; le lauryl alcool heptaéthoxylé ; l’huile de ricin éthoxylée avec 40 moles d’éthylène oxyde ; les alkyles phénols polyéthoxylés ; les cétyls éthers polyéthoxylés ; les dérivés d’amines quaternaires ; le lauryl sulfate de sodium ; les produits de condensation d’alcools gras avec l’oxyde d’éthylène ; les produits de condensation d’alkyl phénols avec l’oxyde d’éthylène ; les produits de condensation d’acide gras aminés avec 5 ou plus unités d’oxyde d’éthylène ; l’éthylènoxyde tristérylphenol ; un alkyl polyglucoside ; un oxyde d’amine, un glucamide ; un sel de l’acide alkylbenzène sulfonique, un polymère surfactant hydrosoluble. Préférentiellement, moins de 10 % poids de tensioactifs sont ajoutés à la charge de polymérisation.
Selon un troisième aspect de l’invention , le polymère P1 est obtenu par un procédé de polymérisation par voie gel d’au moins un monomère non-ionique ou anionique en présence d’au moins 1% en poids d’un polymère P3 et d’au moins 1% à 20% en poids d’au moins un monomère hydrophobe tel que décrit précédemment, auquel cas la composition finale inclut P1 et P3 et auquel cas P1 contient au moins un monomère hydrophile et au moins un monomère hydrophobe.
Polymère P2 La composition liante selon l’invention comprend, en plus du polymère P1 , un polymère synthétique hydrosoluble non-ionique ou anionique P2 de poids moléculaire moyen en poids supérieur à 2 millions (2. 10 6 ) Daltons. Le polymère hydrosoluble P2 a un poids moléculaire moyen en poids plus préférentiellement supérieur à 5 millions Daltons. Le polymère hydrosoluble P2 présente un poids moléculaire moyen en poids généralement inférieur à 40 millions Daltons. Le polymère P2 comprend au moins un monomère non-ionique ou anionique.
Préférentiellement, le polymère P2 a un poids moléculaire moyen en poids supérieur au poids moléculaire moyen en poids du polymère P1 .
Les monomères non-ioniques et anioniques sont préférentiellement choisis parmi les mêmes composés cités précédemment pour P1 . Avantageusement, le ou les monomères anioniques peuvent être salifiés comme précédemment décrit.
Préférentiellement, le polymère hydrosoluble P2 contient entre 5% et 100 mol%, plus préférentiellement entre 10% et 70 mol%, et encore plus préférentiellement entre 20 % et 50% mol%, d’au moins un monomère anionique.
Avantageusement, le polymère hydrosoluble P2 ne contient pas d’unité monomère possédant une fonction acide sulfonique ou leurs sels, tel que l’acide acrylamido tertio butyl sulfonique (ATBS), l’acide allyle sulfonique et l’acide méthallyl sulfonique.
Le polymère P2 est linéaire ou structuré. Le polymère P2 peut être structuré tel que décrit précédemment pour P1 . Le polymère P2 structuré reste hydrosoluble.
Le polymère P2 est présent sous forme de particules solides, par exemple sous forme de poudre ou de microbilles. La poudre du polymère P2 peut être obtenue par polymérisation gel, par polymérisation par précipitation, ou par polymérisation en solution aqueuse suivie d’un séchage au tambour ou d’un séchage par pulvérisation ou d’un séchage par rayonnement tel que le micro-séchage par ondes ou le séchage dans un lit fluidisé. La forme pulvérulente peut aussi être obtenue par polymérisation en émulsion eau-dans-huile (émulsion inverse), suivie d’une étape de distillation/concentration et d’un séchage par pulvérisation du liquide résultant.
Selon l’invention, le polymère P2 se présente sous la forme de particules solides, de telle sorte que la taille médiane en nombre des particules solides (D 50 ) est supérieure à 500 micromètres (µm).
Comme on le comprend en regardant à titre d’exemple à la , l’extrémité radialement externe 25 des pales 18 de la rangée rotorique amont 14 et de la rangée statorique aval 16 sont inscrites, respectivement, dans une enveloppe externe 20 de la rangée rotorique amont 14 et une enveloppe externe 22 de la rangée statorique aval 16.
Le diamètre D ou cercle de rayon Re1, dans un plan de coupe radial au niveau de l’enveloppe externe 20 de la rangée rotorique amont 14, peut représenter le diamètre externe du propulseur considéré, la turbomachine 10 dans l’exemple (cf. ou 3).
La dimension radiale de chaque pale 18 de la rangée statorique aval 16 peut être inférieure à la dimension radiale individuelle (possiblement de chacune) des pales 18 de la rangée rotorique amont 14 de manière à limiter l’impact des tourbillons formés au niveau de l’extrémité radialement externe des pales 18 de la rangée rotorique amont 14 avec les pales 18 de la rangée statorique aval 16. L’enveloppe externe 20 de la rangée rotorique amont 14 entourera alors l’enveloppe externe 22 de la rangée statorique aval 16 lorsque celles-ci sont projetées dans un plan de projection commun normal à l’axe longitudinal X, tel qu’ici le plan de coupe IV-IV.
Ceci doit être compatible avec un clipping (c’est-à-dire une troncature des pales statoriques aval, comme sur la/les solutions associées aux figures 3 ou 15, à titre d’exemples non limitatifs) sur 360°, étant précisé qu’un clipping homogène n’est pas nécessairement un besoin. Autrement dit, il peut exister au moins une pale 18 de la rangée statorique aval (16) présentant un rayon Re2 permettant de définir le cercle 22, mais d’autres pales de la rangée statorique aval 16 pourrait présenter un rayon inférieur à Re2.
Par ailleurs, pour favoriser, là aussi un contrôle plus équilibré des charges sur les pales et du bruit généré, il est proposé : - que chaque pale de la rangée statorique aval de pales statoriques 16 présentant donc une hauteur, L2 ou L21 dans l’exemple non limitatif de la , entre l’extrémité radialement interne 23 et l’extrémité radialement externe 25, - les hauteurs respectives, telles que L2 et L21, d’au moins deux pales 18 de ladite rangée statorique aval 16 soient utilement et avantageusement différentes.