INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
La présente description est donnée à titre non limitatif, chaque caractéristique exposée seulement dans un mode de réalisation pouvant être généralisée aux autres modes de réalisation. De même, une ou plusieurs caractéristiques exposées seulement dans un mode de réalisation peuvent être combinées avec une ou plusieurs autres caractéristiques exposées seulement dans un autre mode de réalisation. On note dès à présent que les figures annexées sont très simplifiées, les éléments qui y sont représentés ne sont donc pas nécessairement à l'échelle les uns par rapport à l'autre ou d'une figure à l'autre. Chaque référence conserve la même signification d'une figure à l'autre.
La présente invention vise en premier lieu un système destiné à produire une solution désinfectante à base d’acide hypochloreux, de préférence, une solution désinfectante contenant de l’acide hypochloreux à une teneur en chlore libre supérieure 5 ppm. Ce système peut être utilisé par des utilisateurs pour produire la solution désinfectante à petite échelle, sur site ou à la demande ou encore à échelle industrielle.
Par « ppm », il faut comprendre partie par million. Il faut savoir que dans le cas d’une solution aqueuse, une concentration de 1 ppm peut être exprimée de la façon suivante 1 ppm = 1 mg/kg ≈ 1 mg/L.
Par exemple, la pièce ferreuse est au moins en partie usinée.
La pièce en acier est par exemple en un acier à basse teneur en carbone.
Un acier à basse teneur en carbone désigne ici un acier dont la teneur en carbone est comprise entre 0,05 wt.% et 0,8 wt.%, voire entre 0,05 wt.% et 0,2 wt.%, par rapport à la masse du fer.
Par exemple, la pièce traitée est un piston de frein.
Par exemple, la pièce traitée comporte une couche d’imprégnation formant une surface de la pièce traitée.
Par exemple, la couche d’imprégnation a un aspect gras.
Par exemple, la couche d’imprégnation comporte au moins un parmi du glycérol trioléate, et/ou de l’huile de ricin, optionnellement un sulfonate parmi un sulfonate de calcium, de baryum, de sodium, d’aluminium ou encore de magnésium.
Le glycérol trioleate a tendance à laisser un film gras à la surface de la pièce, lui donnant ainsi un aspect gras.
Le sulfonate est possiblement présent en surface, bien qu’en faible quantité ; il contribue à conférer des propriétés anticorrosion et anti-oxydation à la pièce traitée.
Par exemple, la pièce traitée comporte une zone de diffusion.
La zone de diffusion s’étend par exemple sur une profondeur d’au moins 50 µm, par exemple comprise entre 50 µm et 500 µm.
La zone de diffusion s’étend par exemple à partir d’une surface initiale de la pièce ferreuse formant le substrat.
Par exemple, la zone de diffusion comprend de l’azote.
Par exemple, la pièce traitée comporte une couche de combinaison.
Par exemple, la couche de combinaison est formée sur la surface du substrat ; autrement dit elle recouvre au moins en partie la zone de diffusion.
Par exemple, la couche de combinaison comporte des nitrures, par exemple, des nitrures de fer de phases ε et/ou γ'.
De préférence, le polymère P1 est un copolymère d’acrylamide et d’acrylate de sodium, lequel comprend préférentiellement entre 10 et 40 mol% et encore plus préférentiellement entre 15 et 30 mol% d’acrylate de sodium, la somme totale des deux monomères étant de façon préférée égale à 100% du polymère P1 .
Le polymère P1 peut être linéaire ou structuré. Par « polymère structuré », on entend un polymère non linéaire qui possède des chaînes latérales de manière à obtenir, lorsque ce polymère est mis en solution dans l’eau, un fort état d’enchevêtrement conduisant à des viscosités à bas gradient très importantes. La structuration peut provenir de la présence d’au moins un monomère à insaturation polyéthylénique (c’est-à-dire ayant au minimum deux fonctions insaturées carbone=carbone), comme par exemple les fonctions vinylique, allylique, acrylique et époxy. On peut citer par exemple l’allyl sulfonate de sodium, le méthallyl sulfonate de sodium, le méthallyl disulfonate de sodium, le méthylènebisacrylamide, la diallylamine, la triallylamine, le chlorure de triallylammonium, ou le chlorure de tétraallylammonium. La structuration peut encore être obtenue par au moins un macroamorceur tel que polypéroxyde ou polyazoique, ou par au moins un polyagent de transfert tel que polymercaptan.
Le polymère P1 peut aussi être structuré en utilisant les techniques de polymérisation radicalaire contrôlée (CRP acronyme de « Controlled Radical Polymerization » en anglais), et plus particulièrement, de type RAFT (acronyme de « Reversible Addition Fragmentation Chain Transfer » en anglais ).
Le polymère P1 peut être structuré sous forme de peigne, d’étoile ou tout autre structure connue de la personne du métier. Le polymère P1 structuré reste hydrosoluble.
De manière avantageuse, le polymère P1 est structuré sous forme d’étoile, c’est-à-dire qu’il présente une partie centrale (appelée le noyau) et des bras à base de polymères s’étendant radialement à partir de ladite partie centrale.
Selon l’invention, le polymère P1 se présente sous forme de particules solides, de taille médiane en nombre de particules solides (D 50 ) généralement supérieure à 500 micromètres (µm).
Le polymère P1 est obtenu par un procédé de polymérisation par voie gel d’au moins un monomère non-ionique ou anionique en présence : - d’au moins 1% en poids d’un polymère P3, ledit polymère P3 contenant au moins 10% en poids d’au moins un monomère hydrophobe, et/ou - d’au moins 1% à 20% en poids d’au moins un monomère hydrophobe.
Par « A et/ou B », on entend selon l’invention soit A, soit B, soit A et B.
La polymérisation par voie gel du procédé de l’invention est effectuée par voie radicalaire. Cela inclut la polymérisation par radicaux libres au moyen d’initiateur(s) UV, azoïques, rédox ou thermiques, ainsi que les techniques de polymérisation radicalaire contrôlée (CRP) et plus particulièrement de type RAFT.
Au moins un agent de transfert peut être utilisé. Il peut notamment être choisi parmi les composés soufrés tels que l’acide thioglycolique, ou un mercapto alcool, ou le dodécyl mercaptan ; les amines telles que l’éthanolamine, la diéthanolamine ou la morpholine ; et les phosphites tel que l‘hypophosphite de sodium. Dans le cas d’une polymérisation de type RAFT, un ou des régulateurs de polymérisation spécifiques tels que ceux comprenant un groupe de transfert comprenant la fonction -S-CS-, peuvent être utilisés. On peut notamment citer les composés de la famille des xanthates (-S-CS-O-), les dithioesters (–S-CS-Carbone), les trithiocarbonates (-S-CS-S-), ou les dithiocarbamates (-S-CS-Azote). Parmi les composés de la famille des xanthates, le O-ethyl-S-(1-méthoxy carbonyl éthyl) xanthate peut être avantageusement employé en raison de sa compatibilité avec les monomères de nature acrylique.
Le ou les amorceurs de polymérisation utilisés pour l’obtention du polymère P1 peuvent être tous les composés qui se dissocient en radicaux dans les conditions de polymérisation, tels par exemple : les peroxydes organiques, les hydroperoxydes, le peroxyde d’hydrogène, les persulfates, les composés azoïques et les catalyseurs rédox. L’utilisation d’initiateurs solubles dans l’eau est préférée. Dans certains cas, il est avantageux d’utiliser des mélanges de divers initiateurs de polymérisation, par exemple mélanges de catalyseurs rédox et composés azoïques.
Lesdits amorceurs de polymérisation sont utilisés en quantité habituelle, par exemple en quantité pouvant varier de 0,0001 à 2%, de préférence de 0,001 à 1% en poids, par rapport aux monomères à polymériser.
En tant que composant oxydant, les catalyseurs rédox contiennent avantageusement au moins l’un des composés précités. En tant que composant réducteur, les catalyseurs rédox sont avantageusement choisis parmi l’acide ascorbique, le glucose, le sorbose, l’hydrogénosulfite, le sulfite, le thiosulfate, l’hyposulfite, le pyrosulfite, un métal alcalin, des sels métalliques, tels que sous forme d’ions de fer (II) ou d’ions d’argent ou d’hydroxyméthylsulfoxylate de sodium. Le composant réducteur du catalyseur rédox utilisé de préférence est le sel de Mohr (NH 4 ) 2 Fe(SO 4 ) 2 , 6 H 2 O.
Sur la base de la quantité de monomères utilisés dans la polymérisation, de 5 x 10 -6 à 1 mol% du composant réducteur du système de catalyseur rédox et de 5 x 10 -5 à 2 moles % du composant oxydant du catalyseur rédox peuvent, à titre d’exemple, être utilisés. Au lieu du composant oxydant du catalyseur rédox, un ou plusieurs initiateurs azoïques solubles dans l’eau peuvent également être utilisés.
La polymérisation du polymère hydrosoluble P1 est effectuée en l’absence d’oxygène en introduisant les initiateurs dans l’ordre adéquat, connus de la personne du métier, dans la solution à polymériser. Les initiateurs sont introduits soit sous forme soluble en milieu aqueux, soit sous la forme d’une solution dans un solvant organique.
Tous les constituants sont avantageusement solubilisés, plus avantageusement dans l’eau.
Dans un mode de réalisation, les sous-cibles se chevauchent de manière désorganisée.
L’invention vient aussi à améliorer la situation en proposant une cible pour réaliser un dépôt par sublimation d’une couche d’un ou plusieurs matériaux inorganiques ou hybrides organiques/inorganiques sur un substrat, la cible étant formée de plusieurs sous-cibles, les sous-cibles ayant une épaisseur variable et/ou se chevauchant.
la illustre un exemple de l’état de l’art d’une cible avec un pavage simple ;
la représente un exemple de procédé de dépôt par sublimation d’une couche d’un ou plusieurs matériaux inorganiques ou hybrides organiques/inorganiques sur un substrat ;
la représente un exemple de système pour déposer une couche d’un ou plusieurs matériaux inorganiques ou hybrides organiques/inorganiques sur un substrat par sublimation ;
la représente un exemple de cible comprenant un pavage de sous-cibles, vu en coupe ;
la représente un exemple de cible comprenant un pavage de sous-cibles vu en coupe ;
la représente un exemple de cible comprenant un pavage de sous-cibles vu en coupe ; et
DESCRIPTION DÉTAILLÉE La illustre un procédé de dépôt 100 d’une couche d’un matériau inorganique ou hybride organique/inorganique sur un substrat 302 pour la fabrication d’un dispositif électronique, optoélectronique et/ou optique.
Au bloc 1002, le procédé 1000 comprend une étape de préparation d’une cible 500a, 500b, 500c, 500d, 500e, 500f. Comme illustré dans les figures 4a à 6c représentant des exemples de cibles, la cible 500a, 500b, 500c, 500d, 500e, 500f comprend une pluralité de sous-cibles 502. L’étape de préparation de la cible 500a, 500b, 500c, 500d, 500e, 500f permet d’obtenir des sous-cibles 502 ayant une épaisseur variable et/ou l’étape de préparation de la cible 500a, 500b, 500c, 500d. 500e, 500f permet d’obtenir des sous-cibles se chevauchant. En particulier, les figures 4a, 4b, 6a, 6b et 6c représentent des cibles 500a, 500b, 500d, 500e, 500f ayant des sous-cibles 502 se chevauchant et la figure 500c représente une cible 500c ayant des sous-cibles ayant une épaisseur variable.
Par exemple, lorsque les sous-cibles se chevauchent, les sous-cibles 502 forment une cible pour lesquelles sur une fraction (de 1% à 25%) d’une surface totale de la cible, plusieurs sous-cibles se superposent dans l’épaisseur de la cible. Le chevauchement peut être établi sur quelques millimètres (de 0.5 à 10 mm et préférentiellement 2 mm). Dans un autre exemple, lorsque les sous-cibles se chevauchent , la cible comprend des sous-cibles 502 pour lesquelles sur la totalité de la surface de la cible, plusieurs sous-cibles 502 se superposent dans l’épaisseur de la cible. Cette superposition peut être obtenue par un nombre quelconque de sous-cibles supérieur à deux (et préférentiellement inférieur à cinq). Le chevauchement peut être ordonné (agencement ordonné des sous-cibles, caractérisé notamment par le fait qu’en chaque point du pavage le nombre de sous cibles superposé dans l’épaisseur est identique) ou désordonné.
Par exemple, comme illustré dans les figures 4a et 4b, au moins deux sous-cibles 502 de la cible 500a s’emboitent. En particulier, dans la , les sous-cibles 502 sont biseautées. Dans l’exemple de la , les sous-cibles 502 sont en forme de créneau. En particulier, dans ces deux exemples, les cibles 500a, 500b comprennent au moins trois sous-cibles, une première sous-cible, une deuxième sous-cible et une troisième sous-cible. Les trois sous-cibles sont placées côte à côte. Chacune des cibles fait un même volume et ont un même angle de biseautage, avec un côté supérieur et un côté inférieur, un des côtés étant plus grand que l’autre. Pour les premières et troisièmes sous-cibles, le côté inférieur est plus grand que le côté supérieur et pour les deuxièmes sous-cibles, le côté supérieur est plus grand que le côté inférieur.
Dès que la polymérisation commence, le mélange réactionnel est chauffé ou se réchauffe (réaction exothermique) en fonction des conditions de départ choisies. De manière avantageuse, en raison de la chaleur de polymérisation libérée, la température du mélange réactionnel s’élève de 80 à 150°C, de préférence de 80°C à 100°C. La polymérisation est avantageusement effectuée à pression atmosphérique. La personne du métier sait choisir le matériel adéquat pour une polymérisation optimale.
En fin de réaction de polymérisation, le gel de polymère P1 est mis à vieillir généralement pendant au moins 60 minutes.
Par « vieillissement », on entend laisser le gel dans le réacteur de polymérisation à température finale de polymérisation.
Le produit issu de la polymérisation est généralement un gel visqueux de polymère P1 qui est ensuite granulé. La granulation consiste à découper le gel en petits morceaux. Selon la présente invention, avantageusement, la taille moyenne de ces morceaux de gel est inférieure à 1cm, plus avantageusement comprise entre 4 et 8mm. La personne du métier sait choisir le moyen adapté pour une granulation optimale. L’étape suivante consiste à broyer ces morceaux de gels. L’étape de broyage consiste à casser les grosses particules de polymère en particules de plus petite taille. Cela peut s’effectuer par cisaillement ou par écrasement mécanique de la particule entre deux surfaces dures. Différents types d’équipements connus de la personne du métier peuvent être employés à cet effet, tels que, par exemple, les broyeurs à rotor, où l’on vient écraser la particule sur une lame de compression à l’aide de la partie rotative, ou bien les broyeurs à cylindres, où la particule est écrasée entre deux cylindres en rotation. Le tamisage qui suit le broyage a ensuite pour but d’éliminer, en fonction des spécifications, les particules de taille moyenne trop petites ou trop grosses. L’étape suivante consiste à sécher le polymère P1 . Le moyen de séchage et ses conditions (durée + température) sont des choix de routine pour la personne du métier. Industriellement, le séchage est avantageusement effectué par sécheur à lit fluidisé ou à rotors, avantageusement à l’aide d’air chauffé à une température comprise entre 70°C et 200°C, la température de l’air étant fonction de la nature du produit ainsi que du temps de séchage appliqué. Le polymère P1 est alors sous formes de poudre.
Préférentiellement, selon un aspect de l’invention, le polymère P1 est caractérisé en ce qu’il est obtenu par un procédé de polymérisation par voie gel connu de la personne du métier, en présence d’au moins 1% en poids d’un polymère P3, ledit polymère P3 contenant au moins 10% en poids d’au moins un monomère hydrophobe. En complément du ou des monomères hydrophobes, le polymère P3 peut comprendre au moins un monomère hydrophile. Dans ce cas, le polymère P1 fait alors partie d’une composition incluant le polymère P1 et le polymère P3 .
Le ou les monomères hydrophiles du polymère P3 ont un coefficient de partage Kow inférieur à 1 et sont préférentiellement choisis dans le groupe contenant l’acrylamide, le méthacrylamide, les N-alkylacrylamides, les N-alkylméthacrylamides, les N,N-dialkyl acrylamides, les N,N-dialkylméthacrylamides, les esters alkoxylés de l’acide acrylique, les esters alkoxylés de l’acide méthacrylique, la N-vinylpyridine, la N-vinylpyrrolidone, les hydroxyalkylacrylates, les hydroxyalkyl méthacrylates, et leurs mélanges ; les monomères possédant une fonction acide carboxylique et leurs sels, dont l’acide acrylique, l’acide méthacrylique, l’acide itaconique, et l’acide maléique ; les monomères possédant une fonction acide sulfonique et leurs sels, dont l’acide acrylamido tertio butyl sulfonique (ATBS), l’acide allyl sulfonique et l’acide méthallyl sulfonique, et leurs sels ; les monomères ayant une fonction acide phosphonique et leurs sels ; et leurs mélanges. De manière générale, les sels de monomères sont des sels d’au moins un métal alcalin (préférentiellement le sodium), d’au moins un métal alcalino-terreux (préférentiellement le calcium ou le magnésium) ou d’au moins un ammonium (préférentiellement un ammonium quaternaire).
Le ou les monomères hydrophobes du polymère P3 ont un coefficient de partage Kow supérieur à 1 et sont préférentiellement choisis parmi les composés de la liste suivante : - les esters d’acide (méth)acrylique ayant une chaîne alkyle et/ou arylalkyle et/ou éthoxylée et/ou propoxylée ; les dérivés du (méth)acrylamide ayant une chaîne alkyle et/ou arylalkyle et/ou dialkyle et/ou éthoxylée et/ou propoxylée ; les dérivés cationiques d’allyle ayant une chaîne alkyle et/ou arylalkyle et/ou dialkyle et/ou éthoxylée et/ou propoxylée ; les dérivés hydrophobes anioniques ou cationiques de (méth)acryloyle ; et les dérivés monomères anioniques ou cationiques de (méth)acrylamide portant une chaîne hydrophobe ; - le (méth)acrylate de n-hexyle, le (méth)acrylate de n-octyle, (méth)acrylamide d’octyle, le (méth)acrylamide de n-tert-butyle, le (méth)acrylate de lauryle, (méth)acrylamide de lauryle, le (méth)acrylate de myristyle, (méth)acrylamide de myristyle, le (méth)acrylate de pentadécyle, (méth)acrylamide de pentadécyle, le (méth)acrylate de cétyle, (méth)acrylamide de cétyle, le (méth)acrylate d’oléyle, (méth)acrylamide d’oléyle, le (méth)acrylamide d’érucyle, (méth)acrylamide d’érucyle, et leurs combinaisons ; - les monomères hydrophobes répondant à la formule générale CH 2 =CR 1 -COO-(EO) n -(PO) m -R 2 dans laquelle R 1 est un hydrogène ou un méthyle ; n est un nombre au moins égal à deux, de préférence compris entre 6 et 100, de façon encore plus préférée compris entre 10 et 40 ; m est un nombre compris entre 0 et 50, de préférence entre 0 et 20, EO est un groupe oxyde d’éthylène (-CH 2 -CH 2 -O-), PO est un groupe oxyde de propylène (-CH 2 -CH(CH 3 )-O-) et R 2 est un groupe alkyle en C 8 -C 30 ou un groupe arylalkyle en C 8 -C 30 , et n+m étant de préférence compris de 6 à 100 ou de 10 à 40. Il s’agit préférentiellement d’alkyles linéaires.
Parmi les monomères hydrophobes de P3 ayant une chaîne alkyle, notamment les esters d’acide (méth)acrylique, les dérivés du (méth)acrylamide et les dérivés cationiques d’allyle, les groupes alkyles sont avantageusement en C 1 -C 5 , plus avantageusement en C 1 -C 3 . Il s’agit préférentiellement d’alkyles linéaires. Un groupe dialkyle comprend donc deux groupes alkyles avantageusement en C 1 -C 5 . Les groupes arylalkyle de ces monomères sont avantageusement en C 8 -C 30 .
Plus préférentiellement, les monomères hydrophobes de P3 sont choisis parmi les composés de la liste suivante : les dérivés halogénoalkylés (préférentiellement bromoalkylés) de méthacrylamidodiméthyl aminopropyle comprenant une chaîne alkyle en C 8 -C 16 , le méthacrylate de béhényle éthoxylé, le diéthylacrylamide, le n-tert-butylacrylamide et leurs mélanges.
Le polymère P3 contient entre 10 et 100 % en poids, et encore plus préférentiellement entre 10 et 90 % en poids, d’au moins un monomère hydrophobe.
Avantageusement, le polymère P3 est un terpolymère de diéthylacrylamide, de n-tert-butylacrylamide et de 2-acrylamido-2-méthylpropanesulfonate de sodium.
Dans un mode de réalisation préférentiel, le polymère P3 est fonctionnalisé en extrémité de chaîne polymérique par au moins un groupe choisi parmi : hydroxyle, cyano, amine, phosphate, phosphonate, sulfate, sulfonate, xanthate, trithiocarbonate, dithiocarbamate, et dithioester. Ledit polymère P3 peut également être exempt de fonctionnalisation de sa chaîne.
De façon préférée, le polymère P3 est exempt de toute double liaison carbone-carbone.
Selon cet aspect de l’invention, le polymère P1 est obtenu selon les conditions suivantes : - Préparation d’une solution aqueuse de polymère P1 comprenant entre 1 et 25% en poids, avantageusement entre 2 et 20% en poids, et encore plus avantageusement entre 3 et 15% en poids, de polymère P3 , le % étant exprimé en poids par rapport au poids total de la solution aqueuse, le polymère P3 contenant les monomères choisis dans la liste décrite plus haut ; de l’eau ; et éventuellement des additifs, la concentration massique totale en monomères étant comprise entre 10 et 60 %, avantageusement entre 20 et 55% et encore plus avantageusement entre 25 et 50 %, en poids par rapport au poids total de la solution aqueuse. Les composés de polymérisation sont dissous, par exemple sous agitation dans le milieu aqueux à polymériser. Cette solution, aussi appelée charge à polymériser, est ajustée à une température d’initiation comprise entre -20°C et 50°C. Avantageusement cette température d’initiation est ajustée entre -5°C et 30°C, et encore plus avantageusement entre 0 et 20°C. La personne du métier sait définir le pH à atteindre ainsi que la quantité et le choix des régulateurs de pH en fonction de la chimie du polymère à synthétiser, notamment en fonction de la nature des monomères (non-ioniques, anioniques…). - Dégazage après dissolution afin d’éliminer tout trace d’oxygène résiduel, grâce à au moins un gaz inerte. Le gaz inerte est habituellement passé à travers la solution. Les gaz inertes appropriés à cet effet sont, par exemple, l’azote, le dioxyde de carbone ou des gaz rares tels que le néon ou l’hélium. L’argon peut également être utilisé.
Les monomères hydrophiles présents dans le polymère P3 peuvent favoriser la solubilisation du polymère P3 dans l’eau, même lorsqu’il comprend majoritairement des monomères hydrophobes. Dans ce cas, les monomères hydrophiles jouent le rôle de co-solvant du polymère P3 . Ainsi, la solution de polymérisation est dépourvue d’insolubles. De manière générale, le polymère P1 est hydrosoluble alors que le polymère P3 ne l’est pas forcément.
Selon un second aspect de l’invention , le polymère P1 est obtenu par un procédé de polymérisation par voie gel en présence d’au moins 1% en poids d’au moins un monomère hydrophobe. Dans ce cas précis, le polymère P1, en plus de son ou ses monomères hydrosolubles anioniques et/ou non-ioniques décrit(s) plus haut, comporte au moins un monomère hydrophobe.
Le dépôt de couches de matériaux inorganiques ou hybrides organiques/inorganiques est utilisé dans diverses applications, telles que la fabrication de dispositifs électroniques, optiques ou optoélectroniques à base de matériaux inorganiques ou hybrides organiques/inorganiques (par exemple, il peut s’agir de LEDs, de photo-détecteurs, de scintillateurs, ou encore de transistors). Actuellement, il est possible de déposer une couche de matériaux inorganiques ou hybrides organiques/inorganiques, tels que les pérovskites, en utilisant la méthode de sublimation à faible distance (ou CSS pour « Close Space Sublimation »). Pour cela, une cible comprenant les matériaux inorganiques ou hybrides organiques/inorganiques est placée sur un suscepteur, face à un substrat sur lequel la couche doit être déposée, dans un four de sublimation à faible distance. Le four comprend également un système de chauffage ainsi qu’un système de pompage permettant d’atteindre un vide dans le four. Lorsque la cible est chauffée avec le système de chauffage, les matériaux de la cible sont sublimés et se condensent sur le substrat. Le dépôt est directif, c’est-à-dire que la géométrie de la cible se retrouve dans celle du dépôt (par conséquent la surface du dépôt est identique à celle de la cible). En effet la sublimation est normale à la surface de la cible et le libre parcourt moyen des espèces en phase vapeur étant supérieur ou comparable à la distance entre la cible et le substrat.