.Système de mesure de la planéité (1) d’une surface , ladite surface étant la surface d’un substrat (2) maintenu par un support, ledit système de mesure de la planéité comprenant un module détecteur (10) et une source lumineuse (12), ladite source lumineuse générant un faisceau lumineux (F) et étant agencée pour être fixée sur la surface du substrat ou sur le support pour servir de référence, ledit module détecteur comprend une surface réceptrice (102) portée par un capteur (102’) et apte à être placée en regard de la source lumineuse pour être pointée par ledit faisceau lumineux et fournir un signal électrique représentatif de la position pointé de la surface de détection, caractérisé en ce que ledit module détecteur est agencé pour que le capteur photoélectrique soit monté mobile orthogonalement par rapport au plan du substrat. système de mesure de la planéité d’une surface selon la revendication précédente, dans lequel le capteur photoélectrique comprend une jonction PN. système de mesure de la planéité d’une surface selon la revendication précédente, dans lequel la jonction PN est du type PIN. système de mesure de la planéité d’une surface selon la revendication précédente, dans la couche I présente une résistivité supérieure aux couches P et N, la couche P comprenant deux électrodes. système de mesure de la planéité d’une surface selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le module détecteur comprend des moyens de guidage (104) du capteur photoélectrique et un élément de contact (106) permettant audit capteur photoélectrique d’être en contact avec la surface du substrat. système de mesure de la planéité d’une surface selon la revendication précédente, dans lequel les moyens de guidage comprennent en outre au moins un élément ressort (1044) permettant d’assurer le contact entre le capteur photoélectrique et le substrat. système de mesure de la planéité d’une surface selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le module détecteur et /ou la source lumineuse comprennent en outre des moyens de positionnement. système de mesure de la planéité d’une surface selon l’une des revendications précédentes, dans lequel les moyens de guidage comprennent en outre des moyens de réglage de la position de la surface réceptrice par rapport au faisceau lumineux. système de mesure de la planéité d’une surface selon l’une des revendications précédentes, dans lequel au moins le module détecteur est monté sur un module de déplacement. procédé de mesure de la planéité d’un substrat disposé sur un support, ledit procédé comprenant le system selon l’une des revendications précédentes et comprenant les étapes : Se munir d’un substrat sur un support ; Se munir d’un système de mesure de la planéité ; Placer la source lumineuse sur le support ou le substrat et le module détecteur sur le substrat et orienter le faisceau lumineux vers la surface réceptrice, ledit module détecteur étant apte à générer un signal électrique représentatif de la position pointée de la surface de détection Déplacer le module détecteur par rapport à la source lumineuse en gardant la source lumineuse orientée vers la surface réceptrice pour obtenir la variation de la position du faisceau lumineux sur la surface receptrice. procédé de mesure selon la revendication précédente, dans lequel le système comprend des moyens de guidage comprenant en outre des moyens de réglage de la position de la surface réceptrice par rapport au faisceau lumineux et en ce que ledit procédé comprend une étape de réglage permettant d’aligner le faisceau et la surface réceptrice pat rapport à un point de référence. procédé de mesure selon la revendication précédente, dans lequel au moins le module détecteur est monté sur un module de déplacement, ledit module de déplacement étant activé pour obtenir la variation de la position du faisceau lumineux sur la surface réceptrice