INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
La terminologie de « vitrage pincé » tient au fait que, dans la direction normale au plan du vitrage 10, le maintien du vitrage est assuré par le pincement des plis structuraux 11, 12 par la structure du véhicule, typiquement par deux éléments de montage 40, 50 positionnés de part et d’autre des plis structuraux 11, 12 et délimitant un logement 60 dans lequel le vitrage 10 est maintenu. A titre d’exemple, et comme illustré par la , ce pincement du joint peut être réalisé entre un élément de montage 50 appelé presse-glace (ou bien encore rapplique), jouant le rôle d’élément de retenue (encore appelé “retainer” en anglais), et un autre élément de montage 40 positionné en regard du pli structurel interne 12.
Parmi les exigences fonctionnelles auxquelles doit répondre un vitrage pincé soumis à des différentiels de pression se trouve la résistance à la pression (i.e. le vitrage doit rester dans son logement), qui doit être garantie non seulement lorsque le vitrage est intact (cas standard) mais également en cas de casse d’un pli structural du vitrage (cas appelé en anglais « fail safe »).
A cela vient parfois s’ajouter une exigence supplémentaire (cas appelé en anglais « full fail safe ») correspondant à la résistance à la pression en cas de casse de tous les plis structuraux du vitrage. A titre d’exemple, dans le cadre d’une application aéronautique, cette exigence supplémentaire vise notamment à permettre à un aéronef de terminer son vol sans que l’aéronef soit mis en danger.
Les montages pincés connus actuellement ne permettent pas de répondre de manière optimale à cette exigence de sécurité supplémentaire, en particulier pour les vitrages de grande taille. En effet, la casse de l’ensemble des plis verriers structuraux peut conduire à une perte de la rigidité du vitrage, ce qui fragilise son maintien en position. Cette fragilisation peut contribuer à initier un mouvement de rotation du vitrage au sein du logement dans lequel il est initialement maintenu.
A titre illustratif pour ce qui concerne l’exemple de la , le mouvement de rotation en question est orienté de l’intérieur vers l’extérieur de l’aéronef (du fait du différentiel de pression entre intérieur et extérieur), et s’effectue autour d’un axe contenu dans la zone où le pincement est exercé par la structure, plus particulièrement situé en zone supérieure (i.e. du côté opposé à la cale de rigidification) de l’encapsulation réalisée par le joint d’étanchéité. Un tel axe de rotation est représenté à titre illustratif sur la par la référence « A_ROT ». La manière dont le mouvement de rotation s’effectue autour de cet axe A_ROT est quant à elle représentée à titre nullement limitatif dans la .
Cette mise en rotation du vitrage est problématique dans la mesure où elle génère des pertes d’étanchéité à la pression. Elle peut en outre entraîner une déflection suffisamment importante du vitrage allant jusqu’à son déchaussement (et donc sa perte).
Il est à noter que la problématique ainsi exposée ne se limite pas au cas d’un vitrage pincé intégré à un véhicule, mais concerne in fine toute configuration dans laquelle un vitrage est utilisé selon un montage pincé, comme par exemple un vitrage anti-effraction.
Les flotteurs semi-submersibles constituent le modèle de flotteur le plus répandu actuellement. Il s’agit d’une fondation en acier ou en béton qui se pré - sente généralement sous la forme d’un trépied avec trois colonnes cylindriques (ou quatre) reliées entre elles par des structures métalliques. La stabilité de la structure est assurée grâce à un système de ballastage qui permet l’immersion d’une partie de la fondation. Cette structure est caractérisée par sa grande taille et son tirant d’eau réduit. On pourra se référer à la publication WO 2019/106283 qui décrit une structure de flotteur semi-submersible et un procédé d’installation d’une éolienne munie d’une telle structure de flotteur.
Les plateformes de type « TLP » sont des flotteurs qui présentent la particularité d’être majoritairement immergés, la plateforme étant reliée au fond marin par des câbles sous tension qui s’opposent à la remontée du flotteur en exerçant une force vers le fond.
Le flotteur de type « SPAR » se caractérise par sa forme cylindrique s’inscrivant dans le prolongement du mât de l’éolienne. Sa stabilité lui est conférée par un lourd ballast qui abaisse le centre de gravité de l’ensemble et qui est dotée d'ancrages caténaires permettant de fixer l’éolienne par accrochage au fond marin. On pourra se référer aux publications WO 2005/021961, WO 2006/121337 et WO 2006/132539 qui décrivent des exemples de réalisation d’une plateforme « SPAR », de son ancrage et de son procédé d’installation en mer.
Enfin, les flotteurs semi-submersibles de type « barge » se présentent sous la forme d’une fondation plus compacte qui est comparable à une barge rectangulaire percée en son centre et constituée principalement de béton ou d’acier.
La plupart des structures de support flottant n’ont pas été conçues pour s’inscrire dans le cadre d’une industrialisation à grande échelle. En effet, ces flotteurs se composent généralement d’un grand nombre d’éléments à assembler, ce qui nécessite du temps et de la place au sol.
L’invention a donc pour objet de proposer une structure de support flottant (de type « SPAR », semi-submersible ou de type « TLP ») pour éolienne offshore qui permette de simplifier son assemblage et d’accélérer le temps d’assemblage tout en minimisant l’espace requis à terre.
Conformément à l’invention, ce but est atteint grâce à une structure de support flottant à multiples colonnes centrales pour éolienne offshore, comprenant : au moins deux colonnes centrales tubulaires identiques et indépendantes qui sont assemblées les unes aux autres autour d’un axe d’un mât de l’éolienne de façon à former un pylône de support flottant s’inscrivant dans le prolongement vertical du mât de l’éolienne ; un connecteur inférieur centré sur l’axe du mât de l’éolienne et destiné à assurer un maintien et une reprise des efforts des colonnes centrales au niveau de leur extrémité inférieure respective ; et un connecteur supérieur centré sur l’axe du mât de l’éolienne et comprenant, dans une partie supérieure, des moyens de réception du mât de l’éolienne et, dans une partie inférieure, au moins deux réceptacles supérieurs pour recevoir une extrémité supérieure des colonnes centrales.
L’invention est remarquable en ce qu’elle se base sur une approche modulaire pour la réalisation de la structure de support flottant. En particulier, à partir de connecteurs inférieur et supérieur, l’invention prévoit de former le pylône de support flottant en utilisant une pluralité de colonnes centrales identiques et indépendantes qui sont assemblées grâce à ces connecteurs. Le nombre de colonnes centrales pourra être de 2, 3, 4, 5, 6, etc. et faire varier ainsi le design de la structure de support flottant en fonction des conditions du site d’implantation de la structure.
Du fait que les colonnes centrales soient toutes identiques, cela simplifie grandement l’assemblage de la structure de support flottant. En effet, ces colonnes centrales, mais aussi les connecteurs inférieur et supérieur, peuvent être préfabriquées en série sur un même modèle et rapidement assemblées sur site. Il en résulte une simplification d’assemblage et un gain de temps.
Le pylône de support flottant peut être dépourvu de traverse de façon à former un flotteur de type SPAR.
Alternativement, chaque colonne centrale peut être raccordée à au moins une traverse tubulaire dont une extrémité opposée à la colonne centrale constitue un nœud de flottaison espacé radialement du pylône de support flottant de façon à former un flotteur de type semi-submersible.
Dans une variante, chaque colonne centrale est raccordée, d’une part au niveau de son extrémité inférieure à au moins une traverse radiale, et d’autre part au-dessus de son extrémité inférieure à au moins une traverse diagonale, la traverse radiale et la traverse diagonale étant raccordées l’une à l’autre au niveau du nœud de flottaison de façon à former un ensemble unitaire flottant de forme triangulaire.
Dans une autre variante, chaque colonne centrale est raccordée, d’une part au niveau de son extrémité inférieure à au moins une première traverse radiale, et d’autre part au-dessus de son extrémité inférieure à au moins une seconde traverse radiale, les traverses radiales étant raccordées l’une à l’autre au niveau du nœud de flottaison de façon à former un ensemble unitaire flottant de forme rectangulaire.
De façon avantageuse, chaque ensemble unitaire flottant comprend au moins un module de flottaison positionné au niveau de son nœud de flottaison.
Chacun de ces modules de flottaison peut comprendre une tige centrale s’étendant parallèlement à l’axe du mât de l’éolienne et sur lequel sont emboîtés au moins un anneau en acier et/ou au moins un anneau en matériau non métallique.
L’axe du mât de l’éolienne peut être aligné sur un centre de symétrie du flotteur. Alternativement, l’axe du mât de peut être excentré par rapport à un centre de symétrie du flotteur.
Ces enceintes de transport déterminent un espace confiné sous pression atmosphérique, séparé de l'environnement d'utilisation et de transport du substrat, pour le transport et le stockage d'un ou de plusieurs substrats dans les salles blanches, dans lesquelles l'atmosphère intérieure est maintenue avec un taux de contamination très bas. Ces enceintes de transport sont des éléments standardisés dont l’ouverture et la fermeture peuvent être gérées de manière automatique directement par les équipements de fabrication.
Les enceintes de transport comportent une enveloppe rigide périphérique dont l’ouverture peut être obturée par une porte amovible, un joint de porte étant interposé entre la porte et l’enveloppe. L’enceinte de transport n’est cependant pas totalement étanche car des ports de ventilation (« breathing port » en anglais) pourvus de filtres, sont ménagés dans l’enveloppe ou la porte pour permettre l’équilibrage des pressions entre l’intérieur et l’extérieur de l’enceinte.
Pour diminuer encore les risques de contamination à l’intérieur de ces enceintes, il est actuellement préconisé de purger régulièrement l’atmosphère interne de ces enceintes.
L’atmosphère intérieure de l’enceinte est importante à contrôler car directement liée au rendement de production. Toutefois, la plupart des enceintes du marché sont plus ou moins fuyardes de sorte que de l’air extérieur peut entrer dans l’enceinte, notamment au niveau du joint de porte, et contaminer les substrats, en particulier lorsque la pression à l’intérieur de l’enceinte est inférieure à la pression extérieure et que l’air extérieur contient des traces de gaz corrosifs et/ou d’humidité. Également, les substrats à l’intérieur des enceintes peuvent dégazer des contaminants gazeux issus des précédentes étapes de fabrication. Or la présence de gaz corrosifs et/ou d’humidité à l’intérieur de l’enceinte de transport peut conduire à la réduction du nombre de puces électroniques exploitables sur une plaquette (« wafer » en anglais) ou peut conduire à l’endommagement d’un masque de lithogravure, ce qui peut avoir des conséquences particulièrement néfastes car la valeur d’un masque est très importante.
Il convient donc de pouvoir mesurer de manière simple le niveau de contamination gazeuse d’une enceinte de transport pour éviter d’endommager les substrats qu’elle contient.
Une solution connue consiste à mesurer l’atmosphère intérieure de l’enceinte en prélevant un échantillon de gaz à travers un port de ventilation. Il est ainsi possible de mesurer la contamination moléculaire de l’enceinte sans avoir besoin de l’ouvrir.
Cependant, l’aspiration de l’atmosphère intérieure de l’enceinte pour mesure peut favoriser une entrée d’air extérieure compensatrice à travers les parties fuyardes de l’enceinte, et notamment par la porte. Cette entrée d’air extérieure compensatrice peut contenir des traces de contaminants gazeux, ce qui peut conduire à la contamination les substrats et rendre la mise en place d’une mesure fiable de la contamination de l’enceinte difficile à mettre en œuvre.
Un des buts de la présente invention est donc de proposer un dispositif et un procédé de mesure de la contamination d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats pour semi-conducteurs améliorés.
A cet effet, l’invention a pour objet un dispositif de mesure de la contamination gazeuse d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique d’au moins un substrat semi-conducteur, ladite enceinte comprenant une porte et une coque pouvant être fermée par la porte au niveau d’une zone de joint, l’enceinte étant munie d’au moins un port de ventilation, le dispositif de mesure comprenant au moins un analyseur configuré pour mesurer la concentration d’au moins un contaminant gazeux, le dispositif de mesure comprenant : - une interface configurée pour s’accoupler à l’enceinte de transport, ladite interface comprenant une plateforme en regard de laquelle la porte de l’enceinte de transport est destinée à s’accoupler en ménageant un interstice entre la plateforme et la porte, - une tête de mesure reliée audit au moins un analyseur et configurée pour être accouplée de manière étanche à l’un du, au moins un, port de ventilation de l’enceinte de transport, - au moins une buse d’injection configurée pour injecter un gaz contrôlé dans l’interstice formé entre la plateforme et la porte, de sorte que le gaz contrôlé se répande au moins face à la zone de joint entourant la porte.
L’utilisation d’une plateforme sur laquelle vient s’accoupler l’enceinte en ménageant un interstice en regard des zones fuyardes de l’enceinte et d’une buse d’injection configurée pour injecter un gaz contrôlé dans l’interstice lors d’une mesure de contamination permet de réduire le risque de contamination des substrats durant une mesure de contamination sans avoir à modifier l’enceinte. De plus cette solution est simple à mettre en œuvre.
La présente invention peut également concerner l’un des aspects suivants qui peuvent être pris seuls ou en combinaison pour former de nouveaux modes de réalisation.
- La plateforme comprend au moins deux entretoises configurées pour décaler l’enceinte de transport de la plateforme pour former l’interstice dont la hauteur est comprise entre 0,1mm et 10mm, notamment 1mm ;
- Le débit du gaz contrôlé injecté dans l’interstice est compris entre 1 et 20L/min, notamment entre 1 et 10L/min, notamment 5L/min de manière à remplir l’interstice formé entre la plateforme et la porte par du gaz contrôlé ;
- Le gaz contrôlé comprend l’un des gaz suivants : - de l’air sec comprimé (CDA), - de l’air sec extra propre (XCDA), - de l’azote (N2) ;
- Au moins un port de ventilation, tel qu’au moins deux ports de ventilation, est ménagé dans la porte de ladite enceinte ;
- Au moins un port de ventilation, tel qu’au moins deux ports de ventilation, est ménagé dans la coque de ladite enceinte ;
Le dispositif extérieur de contrôle d’accès peut également être omis. Dans ce dernier cas, le déverrouillage de la porte 4 est uniquement possible à l’aide d’une clé mécanique introduite dans le cylindre 46.
Dans un mode de réalisation simplifié, le cylindre 46 est omis. Dans ce cas, c’est le dispositif extérieur de contrôle d’accès qui est systématiquement utilisé pour déverrouiller la porte 4 depuis l’extérieur.
Dans un mode de réalisation particulier, les droits d’accès ne sont pas enregistrés dans la mémoire 82 mais dans la mémoire d’un serveur externe de contrôle d’accès. Ce serveur externe est situé à l’extérieur du domicile et raccordé à l’unité 80, par exemple, par l’intermédiaire du réseau 28. Dans ce cas, les droits d’accès acquis par la tête 48 ou la tête 100 ou par l’intermédiaire du clavier sont transmis à ce serveur externe. Le serveur externe compare alors les droits d’accès reçus aux droits d’accès pré-enregistrés. Si les droits d’accès reçus correspondent aux droits d’accès pré-enregistrés, alors de serveur externe transmet une commande de déverrouillage à l’unité 80 qui l’exécute.
Le mécanisme 50 à pêne peut comporter un seul pêne. Les pênes peuvent être déplacés entre leur position rentrée et sortie par une rotation.
Variantes du procédé de contrôle d’accès :
Lors des étapes 174 et 184, la durée pré-déterminée pendant laquelle l’établissement de la communication visiophonique est inhibée, n’est pas nécessairement une durée constante. Par exemple, en variante, après que le badge 94 ait été présenté devant la tête 48 de lecture, le module 92 est automatiquement ré-activé dès que l’ouverture puis la fermeture de la porte 4 est détectée à l’aide du capteur 102. Dans ce cas, la durée prédéterminée est écourtée si la fermeture de la porte 4 est détectée avant l’expiration d’une durée maximale prédéterminée.
Les étapes 170, 172, 174 ou les étapes 180, 182, 184 peuvent être omises.
D’autres modes de réalisation du terminal 6 sont possibles. Par exemple, en variante, le terminal 6 est un smartphone ou une tablette portable.
Le système 2 a été décrit dans le cas où il est utilisé pour aider au maintien à domicile de personnes atteintes de maladies neurodégénératives. Toutefois, le même système peut aussi être utilisé pour aider au maintien à domicile d’autres personnes que celles atteintes de maladies neurodégénératives. Par exemple, le système 2 peut aussi être utilisé pour aider au maintien d’enfants à l’intérieur du domicile en absence des parents. Dans ce cas, le terminal distant est typiquement le smartphone d’un des parents.
Le second dispositif intérieur de contrôle d’accès peut être mis en œuvre dans un système d’aide au maintien à domicile identique à ceux décrits ici, sauf qu’il est dépourvu de la capacité à établir automatiquement, en réponse à l’enfoncement de la poignée 38, une communication visiophonique avec un terminal distant afin de recevoir une commande de déverrouillage transmise par ce terminal distant. Dans ce cas, le second dispositif intérieur de contrôle d’accès est utilisé pour interdire le déverrouillage de la porte d’accès par une personne, située à l’intérieur du domicile, mais qui n’a pas le droit de déverrouiller la porte d’entrée. Typiquement, cette personne est un enfant et le système d’aide au maintien à domicile est alors utilisé pour interdire aux enfants de déverrouiller la porte d’entrée en absence des parents. Pour cette application, le terminal 6, le capteur 98 et le module logiciel 90 peuvent être omis. A l’inverse, le bandeau de porte doit au moins comporter le premier ou le second dispositif intérieur de contrôle d’accès.
Le fait d’intégrer dans un seul bandeau de porte l’ensemble des éléments nécessaires à l’aide au maintien à domicile permet de simplifier l’installation du système d’aide au maintien à domicile. En effet, il n’y a qu’une seule pièce à installer à l’intérieur du domicile, c’est le bandeau de porte.
Le fait que l’intention de sortir soit détectée par la prise en main de la poignée 38 simplifie l’utilisation du système. En effet, grâce à cela la personne qui est maintenue à domicile n’a pas besoin de mémoriser une nouvelle façon de signaler son intention de sortir comme, par exemple, enfoncée une touche sur l’écran tactile ou présenter un badge devant une tête de lecture.
Le fait d’utiliser la poignée 38 pour déplacer le pêne demi-tour et pour détecter l’intention de sortir simplifie la réalisation du bandeau de porte puisque la même pièce est utilisée pour remplir ces deux fonctions.
Chaque canal 15, 20 de chaque circuit 13, 14 comporte une section rectangulaire et comprend une surface radialement interne 26 et une surface radialement externe 27 en forme de portion de cylindre, reliées par des flancs radiaux 28.
La surface radialement interne peut être formée par la surface radialement externe du corps 4 du stator 2. En d’autres termes, les canaux 15, 20 peuvent être débouchant radialement vers l’intérieur et être refermés par le corps 4.
Chaque turbulateur 25 comporte une forme générale de V comportant deux branches 29 ( ) inclinées l’une par rapport à l’autre et inclinées par rapport à la direction circonférentielle, c’est-à-dire par rapport à la direction d’écoulement du fluide le long du canal 15.
Les branches 29 sont reliées l’une à l’autre au niveau d’un sommet 30 tourné vers l’amont par rapport au sens d’écoulement S du fluide.
Chaque branche 29 est rectiligne et comporte en particulier une première extrémité destinée à former le sommet 30 du turbulateur 25 et une seconde extrémité 31 opposée. Les premières extrémités des branches 29 forment ainsi une extrémité amont 30 du turbulateur 25, les secondes extrémités 31 des branches 29 formant une extrémité aval du turbulateur 25. Les branches 29 sont disposées de façon symétrique par rapport à la direction d’écoulement S du fluide.
Les branches 29 sont inclinées l’une par rapport à l’autre d’un angle compris entre 45° et 135°, par exemple de l’ordre de 90°.
Le nombre de turbulateurs 25 est par exemple compris entre 2 et 20 par canal.
Chaque branche 29 peut présenter une section de forme semi- cylindrique, rectangulaire ou carrée, comme illustré aux figures 5 à 9. Selon une variante illustrée à la , chaque branche 29 peut présenter une section de forme triangulaire quelconque (équilatérale, isocèle, rectangle…).
Chaque turbulateur 25 s’étend depuis la surface interne ou depuis la surface externe 27 du canal 26 correspondant, sur une partie seulement de la dimension radiale ou hauteur h du canal 15.
Le turbulateur 25 peut s’étendent sur 30 à 80% de la hauteur dudit canal 15, par exemple sur 60 à 70 % de la hauteur dudit canal.
Les secondes extrémités 31 des branches 29 sont écartées des flancs latéraux 28 du canal 15, d’une distance inférieure à 10 % de la largeur l du canal 15, c’est-à-dire de la dimension axiale du canal 15.
En variante, les secondes extrémités 31 des branches 29 peuvent être reliées audits flancs 28.
Les turbulateurs 25 sont écartés l’un de l’autre le long du canal 15 d’une distance supérieure à deux fois la largeur l du canal 15. Ladite distance est par exemple comprise entre 2 et 3 fois la largeur l du canal 15.
L’élément de refroidissement 11 peut être réalisé en un matériau élastomère apte à résister aux huiles et/ou à des températures élevées, par exemple de l’ordre de 150°C, sur des périodes de temps longues ou en continu.
Ledit élément de refroidissement 11 est par exemple réalisé dans un élastomère choisi parmi la liste suivante : polyacryliques ACM, copolymères d'éthylène acrylate AEM, polymères fluorocarbonés FKM, fluorosilicones FVMQ, nitrile hydrogéné HNBR, ou est constitué d’un mélange de plusieurs élastomères parmi cette liste.
Par ailleurs, ledit élastomère peut comporter des charges, telles par exemple que des charges carbonées (par exemple du graphite, des nanotubes de carbone, du noir de carbone ou du graphène), des charges métalliques (par exemple Ag, Cu, Al, TiO2, AlN) et/ou des charges céramiques (BN, Si).
Lors du montage du module 42, les sections de contact 64 des broches de contact 62 individuelles sont orientées vers les emplacements d’enfichage 90 par l’intermédiaire des surfaces de rampe 102 respectives des éléments d'alignement 94 correspondants. Une éventuelle déformation est généralement compensée par l'élasticité des broches de contact 62.