INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Comme montré dans , un filtre qui est conforme à l’invention et désigné par la référence 10 est destiné à être utilisé par transmission. Le filtre 10 possède une forme générale plane, et est contenu entre deux faces parallèles F 1 et F 2 . Un rayonnement électromagnétique à filtrer, désigné par RI, est envoyé sur une des faces du filtre 10, par exemple sa face F 1 , et la partie filtrée du rayonnement RI, désignée par T, est transmise à travers le filtre 10 et émerge à partir de sa face F 2 . Par exemple, le rayonnement à filtrer RI possède au moins une partie de sa distribution spectrale qui est dans la bande II ou dans la bande III. Pour le mode de réalisation qui est illustré par , le filtre 10 est constitué par une répétition le long d’un axe x, d’un motif de structure M qui est invariant parallèlement à un axe y, les axes x et y étant parallèles aux faces F 1 et F 2 du filtre 10, et perpendiculaires entre eux. De façon générale, il n’est pas nécessaire pour l’invention que le motif de structure M du filtre 10 soit répété selon un pas de répétition qui est constant le long de l’axe x et, dans la suite, une telle constance du pas de répétition sera mentionnée lorsqu’elle est mise en œuvre pour produire une caractéristique du filtre 10. L’angle d’incidence du rayonnement à filtrer RI, noté θ, est alors mesuré par rapport à un axe z qui est perpendiculaire à la face F 1 , et dans un plan qui est parallèle aux deux axes x et z. montre deux conditions alternatives d’utilisation du filtre 10, pour lesquelles l’angle d’incidence θ est nul et non-nul. Pour obtenir une efficacité de filtrage optimale, le rayonnement à filtrer RI peut être polarisé linéairement, avec une direction de champ électrique qui est dans le plan des axes x et z.
Conformément à qui est une vue en coupe d’une partie du filtre 10 dans un plan parallèle aux axes x et z, le motif de structure M comprend une fente 1 et au moins un sillon 2, qui sont formés dans un film conducteur 11. Dans l’exemple de , le motif M comprend aussi un sillon supplémentaire 3. Le sillon 3 est moins profond que le sillon 2, et les profondeurs respectives des deux sillons sont notées p 2 pour le sillon 2 et p 3 pour le sillon 3. e désigne l’épaisseur du film conducteur 11 dans lequel le motif M est formé, de préférence avec plusieurs répétitions de ce même motif le long de l’axe x. est limitée à trois répétitions successives du motif M, mais un nombre quelconque de répétitions peut être utilisé pour obtenir un filtre dont la taille est adaptée aux besoins de son utilisation. Par exemple, le film 11 peut être en or (Au), mais il peut être constitué alternativement de tout autre matériau conducteur électriquement, de préférence métallique. Ainsi, le film 11 peut aussi être en polysilicium fortement dopé, ou tout autre matériau semiconducteur dégénéré. Le film 11 peut être autosupporté, ou porté par un substrat non-représenté qui est transparent pour le rayonnement à filtrer RI. Dans l’exemple d’utilisation illustré par , le rayonnement à filtrer RI est incident sur la face F 1 du filtre 10 et chacun des sillons 2 et 3 est formé dans le film 11 en étant ouvert sur cette même face F 1 , mais cela n’est pas indispensable et l’un quelconque des deux sillons, ou les deux, peut (peuvent) être ouvert(s) alternativement sur la face F 2 du filtre 10 de laquelle émerge la partie filtrée T du rayonnement RI.
est un diagramme spectral de transmission et réflexion du filtre 10 de . L’axe horizontal repère les valeurs de longueur d’onde du rayonnement à filtrer RI, notées λ et exprimées en micromètres, et l’axe vertical repère les valeurs de transmission spectrale du filtre 10, notées T(λ) et exprimées en tant qu’éclairement spectral de la partie T du rayonnement RI qui est transmise à travers le filtre 10, normalisé par rapport à l’éclairement spectral du rayonnement RI. Le rayonnement à filtrer RI possède une structure de faisceau parallèle. La fenêtre de transmission spectrale du filtre 10, aussi appelée bande passante, est désignée par BP et comprise entre une valeur limite λ d de début de bande passante et une valeur limite λ f de fin de bande passante. La valeur centrale de la bande passante BP, ou longueur d’onde centrale de transmission, est notée λ m et peut être définie selon , et la largeur de la bande passante BP est L BP =λ f - λ d . Dans la partie générale de la présente description, les valeurs limites λ d et λ f ont été appelées limites inférieure et limite supérieure, respectivement, de la fenêtre de transmission spectrale du filtre. Le diagramme de montre aussi les valeurs de réflexion spectrale du filtre 10, notées R(λ) et exprimées en tant qu’éclairement spectral d’une partie du rayonnement RI qui est réfléchie par le filtre 10, normalisé par rapport à l’éclairement spectral du rayonnement RI.
De façon connue, la fente 1 constitue un premier résonateur de Fabry-Pérot, à composantes d’onde stationnaire qui se propagent parallèlement à l’axe z, et dont la longueur d’onde de résonance pour la partie T du rayonnement RI qui est transmise entre les faces F 1 et F 2 par la fente 1 seule, est déterminée par l’épaisseur e du film 11. Lorsque le film 11 est métallique, cette longueur d’onde de résonance de la fente 1, notée λ f1 , est égale à 2,5·n 1 ·e, où n 1 est l’indice de réfraction d’un premier milieu homogène et transparent qui est présent à l’intérieur de la fente 1. Alors, l’épaisseur e du film 11 peut être sélectionnée pour être égale à λ m /(2,5·n 1 ), de sorte que la valeur centrale λ m de la bande passante BP soit égale à la longueur d’onde de résonance individuelle λ f1 du premier résonateur de Fabry-Pérot qui est constitué par la fente 1.
De façon aussi connue, le sillon 2 constitue un deuxième résonateur de Fabry-Pérot, aussi à composantes d’onde stationnaire qui se propagent parallèlement à l’axe z, et dont la longueur d’onde de résonance pour la partie du rayonnement RI qui est réfléchie par le sillon 2 seul, est déterminée par la profondeur p 2 de ce sillon 2. Cette longueur d’onde de résonance du sillon 2, notée λ s2 , est égale 5·n 2 ·p 2 , où n 2 est l’indice de réfraction d’un deuxième milieu homogène et transparent qui est présent à l’intérieur du sillon 2, encore lorsque le film 11 est métallique. Alors, la profondeur p 2 du sillon 2 peut être sélectionnée pour que la longueur d’onde de résonance λ s2 soit égale à la limite supérieure λ f de la bande passante BP. Ainsi, le sillon 2 détermine la valeur de cette limite supérieure de la bande passante BP, avec une pente de la transmission spectrale T(λ) du filtre 10 qui est très importante à la limite supérieure λ f , et avec une valeur pour la transmission spectrale T(λ) du filtre 10 qui est nulle ou presque nulle pour au moins une autre valeur de la longueur d’onde λ qui est peu supérieure à λ f . La transmission spectrale T(λ) du filtre 10 présente alors un profil de coupure qui est abrupt au niveau de la limite supérieure λ f de la bande passante BP, grâce à un effet d’interférence entre un premier chemin optique qui correspond au passage du rayonnement RI à travers le film 11 par la fente 1, et un deuxième chemin optique qui correspond à une réflexion du rayonnement RI dans le sillon 2 suivie d’une transmission par la fente 1. Un tel profil, qui résulte des deux résonances individuelles respectives de la fente 1 et du sillon 2, et de l’existence d’un couplage entre ceux-ci, est connu sous le nom de profil de Fano. Deux conditions pour que le couplage existe sont que la fente 1 et le sillon 2 soient séparés par une distance, mesurée selon l’axe x dans le cas présent, qui est plus petite que la limite inférieure λ d de la bande passante BP, et que des intervalles spectraux de résonance individuelle de la fente 1 et du sillon 2 aient un recouvrement entre eux. Ces intervalles spectraux de résonance individuelle sont [λ f1 (1-1/Q 1 ), λ f1 (1+1/Q 1 )] pour la fente 1 lorsque Q 1 est le facteur de qualité de la résonance individuelle du premier résonateur de Fabry-Pérot constitué par la fente 1, et [λ s2 (1-1/Q 2 ), λ s2 (1+1/Q 2 )] pour le sillon 2 lorsque Q 2 est le facteur de qualité de la résonance individuelle du deuxième résonateur de Fabry-Pérot constitué par le sillon 2. Les valeurs des facteurs de qualité Q 1 et Q 2 peuvent être mesurées expérimentalement sur des échantillons dédiés, pourvus seulement de fentes 1 ou seulement de sillons 2. Alternativement, elles peuvent être calculées. Elles dépendent notamment du milieu qui est contenu dans la fente 1 ou le sillon 2, et de leurs largeurs respectives, notées l 1 et l 2 .
Les résonances de Fabry-Pérot qui ont été mentionnées ci-dessus pour la fente 1 et le sillon 2 sont appelées résonances individuelles de la fente et du sillon, respectivement, par opposition au couplage entre la fente 1 et le sillon 2 qui est utilisé selon l’invention.
De la même façon que pour le sillon 2, le sillon 3 constitue un troisième résonateur de Fabry-Pérot, encore à composantes d’onde stationnaire qui se propagent parallèlement à l’axe z, et dont la longueur d’onde de résonance individuelle pour la partie du rayonnement RI qui est réfléchie par le sillon 3 seul, est déterminée par la profondeur p 3 de ce sillon 3. Cette longueur d’onde de résonance individuelle du sillon 3, notée λ s 3 , est donc égale 5·n 3 ·p 3 , où n 3 est l’indice de réfraction d’un troisième milieu homogène et transparent qui est présent à l’intérieur du sillon 3, encore lorsque le film 11 est métallique. Alors, la profondeur p 3 du sillon 3 peut être sélectionnée pour que la longueur d’onde de résonance λ s 3 soit égale à la limite inférieure λ d de la bande passante BP diminuée de la moitié de la largeur de cette bande passante BP : λ s 3 = λ d - L BP /2. Ainsi, le sillon 3 détermine la valeur de la limite inférieure λ d de la bande passante BP, avec une valeur pour la transmission spectrale T(λ) du filtre 10 qui est nulle ou presque nulle pour au moins une valeur de la longueur d’onde λ qui est peu inférieure à λ d . La transmission spectrale T(λ) du filtre 10 possède de cette façon un profil de coupure qui est aussi abrupt au niveau de la limite inférieure λ d de la bande passante BP, grâce à une interférence entre le premier chemin optique qui correspond au passage du rayonnement RI à travers le film 11 par la fente 1, et un troisième chemin optique qui correspond à une réflexion du rayonnement RI dans le sillon 3 suivie d’une transmission par la fente 1. Il s’agit encore d’un profil de Fano, cette fois au niveau de la limite inférieure λ d de la bande passante BP, avec un sens de variation de la transmission spectrale T(λ) qui est opposé à celui du profil situé au niveau de la limite supérieure λ f de la bande passante BP. Cet autre profil de Fano résulte du couplage entre la fente 1 et le sillon 3. Pour cela, la fente 1 et le sillon 3 doivent être séparés par une distance qui est plus petite que la limite inférieure λ d de la bande passante BP, et les intervalles de résonance individuelle de la fente 1 et du sillon 3 doivent avoir un recouvrement. L’intervalle de résonance individuelle de la fente 1 est encore [λ f1 (1-1/Q 1 ), λ f1 (1+1/Q 1 )], et celui du sillon 3 est [λ s3 (1-1/Q 3 ), λ s3 (1+1/Q 3 )] lorsque Q 3 est le facteur de qualité de la résonance individuelle du troisième résonateur de Fabry-Pérot constitué par le sillon 3. La valeur du facteur de qualité Q 3 peut être déterminée de la même façon que celles de Q 1 et Q 2 . Elle dépend notamment du troisième milieu qui est contenu dans le sillon 3, et de la largeur l 3 de ce dernier.
D’après le mode de détermination des dimensions du motif M qui vient d’être présenté, la profondeur p 2 du sillon 2 est supérieure à celle p 3 du sillon 3.
La caractéristique de transmission spectrale T(λ) du filtre 10 ne dépend presque pas des distances de séparation entre la fente 1 et chacun des sillons 2 et 3. Il n’importe pas non plus que le sillon 2 soit plus proche de la fente 1 que le sillon 3, ou l’inverse, tant que chaque sillon 2, 3 est séparé de la fente 1 d’une distance qui est plus petite que la limite inférieure λ d de la bande passante BP.
A titre d’exemple, les largeurs l 1 de la fente 1, l 2 du sillon 2 et l 3 du sillon 3 peuvent être égales à λ d /10, λ d /10 et λ d /20, respectivement, et les premier, deuxième et troisième milieux qui remplissent la fente 1, le sillon 2 et le sillon 3 peuvent être tous de l’air, du sulfure de zinc (ZnS), du germanium (Ge), du fluorure de magnésium (MgF 2 ), du fluorure d’yttrium (YF 3 ), du séléniure de zinc (ZnSe) ou du silicium amorphe (Si), lorsque les limites inférieure λ d et supérieure λ f de la bande passante BP sont prises sensiblement égales à 8 µm et 10 µm, respectivement. Les distances successives de séparation entre la fente et les sillons à l’intérieur du motif M, d 12 et d 23 pour le mode de réalisation de , peuvent être égales chacune à λ d /10. Chacune des distances de séparation d 12 et d 23 , ainsi que la distance de séparation d 31 entre une fente et un sillon voisin qui appartiennent à des répétitions successives du motif M, est de préférence supérieure à deux fois une épaisseur de peau d m du matériau conducteur du film 11 pour la limite inférieure λ d de la bande passante BP. De cette façon, les plasmons d’une fente et d’un sillon, ou de deux sillons, qui sont voisins l’un de l’autre, ne sont pas directement couplés ou confondus. Pour les modes de réalisation où le motif M à une fente et deux sillons est répété, un pas de cette répétition, noté p dans , est ainsi avantageusement supérieur à l 1 + l 2 + l 3 + 6·d m .
Enfin, lorsque le motif M est répété périodiquement le long de l’axe x, et lorsque la limite inférieure λ d de la bande passante BP est déterminée par le sillon 3, comme cela vient d’être décrit, il est préférable que le pas de répétition p soit plus petit que 0,8·λ d /[1 + sin(θ)]. De cette façon, aucun effet de diffraction du rayonnement RI par le réseau périodique que constituent alors les répétitions du motif M ne vient perturber la courbe de transmission spectrale T(λ) dans la bande passante BP. Il est possible de fournir le filtre 10 avec une valeur maximale prescrite θ max pour l’angle d’incidence θ. Dans ce cas, il suffit que le pas de répétition p soit plus petit que 0,8·λ d /[1 + sin(θ max )]. Il est aussi possible pour éviter que l’effet de diffraction par réseau perturbe la courbe de transmission spectrale T(λ) telle que déterminée par le sillon 3, de répéter le motif M le long de l’axe x avec des distances de répétition qui sont variables entre répétitions successives.
A l’inverse, la limite inférieure λ d de la bande passante BP peut être définie en utilisant l’effet de diffraction par réseau périodique qui est obtenu en répétant le motif M le long de l’axe x avec le pas de répétition p qui est constant et plus grand que la moitié de la limite inférieure λ d voulue pour la bande passante BP du filtre 10. Dans ce cas, le motif M peut être dépourvu de sillon 3 comme montré par . La condition p d /[1 + sin(θ max )] reste applicable pour un filtre qui est conforme à . Lorsque les deux conditions p > λ d /2 et p d /[1 + sin(θ max )] sont applicables simultanément, il est alors nécessaire que la valeur maximale prescrite θ max soit plus grande que Arcsin(0,6), où Arcsin( ) désigne la fonction réciproque du sinus.
Afin d’obtenir des valeurs pour la transmission spectrale T(λ) du filtre 10 qui soient plus élevées dans sa bande de transmission BP, il est avantageux que le motif M soit répété le long de l’axe x à chaque fois avec un pas de répétition p qui est plus petit que la limite inférieure λ d de la bande passante BP, que ce pas soit constant ou non entre des répétitions successives, et que la limite inférieure λ d de la bande passante BP soit fixée par le sillon 3 ou par l’effet de diffraction de réseau sans sillon 3. Toutefois, et comme cela a été indiqué plus haut, d’autres raisons peuvent conduire à adopter avantageusement une valeur maximale pour le pas de répétition p qui est plus petite que la limite inférieure λ d de la bande passante BP.
Le procédé de fabrication du filtre 10 peut alors comprendre au moins les étapes successives suivantes : étape 1 : prescription des valeurs des limites inférieure λ d et supérieure λ f de la fenêtre de transmission spectrale, ou bande passante BP, du filtre 10 ; étape 2 : calcul de la profondeur p 2 du sillon 2 à partir de la valeur de la limite supérieure λ f selon la formule : p 2 = λ f /(5·n 2 ) ; étape 3 : lorsque la valeur de la limite inférieure λ d est à produire par un sillon 3, calcul de la profondeur p 3 de ce sillon 3 à partir de la valeur de cette limite inférieure λ d selon la formule : p 3 = (λ d - L BP /2) /(5·n 3 ), ou lorsque la valeur de la limite inférieure λ d est à produire par effet de diffraction de réseau, sélection d’une valeur pour le pas de répétition p du motif M qui est plus grande que λ d /2 ; étape 4 : calcul de la longueur d’onde centrale λ m de la bande passante BP du filtre 10 selon la formule : ; étape 5 : fourniture du film métallique 11, avec une épaisseur effective e qui correspond à la longueur d’onde centrale λ m au moins à l’endroit de la fente 1, selon la formule : e = λ m /(2,5·n 1 ) ; étape 6 : graver chaque fente 1 et chaque sillon 2, ainsi que chaque sillon 3 le cas échéant, dans le film métallique 11 à des endroits de celui-ci tels que déterminés aux étapes 3 et 5 ; et étape 7 optionnelle : remplir les fentes 1 et chacun des sillons 2, 3 avec le milieu diélectrique correspondant, lorsque ce milieu n’est pas l’air. Un tel procédé de fabrication est économique, facilement re-paramétrable à la demande en fonction de l’application à laquelle est destiné un nouveau filtre à fabriquer, et rapide à mettre en œuvre.
Le diagramme de correspond au filtre 10 de lorsque les premier, deuxième et troisième milieux qui remplissent la fente 1 et les sillons 2 et 3 sont tous de l’air. Ce filtre 10 a été conçu en prescrivant λ d =8,0 µm et λ f =10,1 µm, toutes les autres dimensions du motif M étant déterminées comme indiqué plus haut à partir de ces deux valeurs prescrites, et le pas de répétition p du motif M selon l’axe x, constant le long de cet axe, est égal à λ d . La valeur maximale de la transmission spectrale T(λ) est supérieure à 0,8 dans une partie principale de la bande passante BP, avec un profil au sommet qui est assez plat, et la transmission spectrale T(λ) est environ égale à 10 -3 pour les valeurs 7,2 µm et 10,8 µm de la longueur d’onde λ.
Le diagramme de correspond à celui de lorsque l’angle d’incidence θ du rayonnement à filtrer RI est égal à 50° (degré), pour le même filtre 10 et lorsque l’éclairement en transmission est évalué dans l’alignement de la direction d’incidence, c’est-à-dire sans déviation entre le rayonnement à filtrer RI et sa partie T qui est transmise à travers le filtre 10. La comparaison des deux diagrammes montre que les caractéristiques de filtrage sont peu modifiées par une telle valeur de l’angle d’incidence θ, malgré l’importance de cette valeur angulaire.
montre une variante de réalisation de l’invention dans laquelle le film métallique 11 porte un empilement appelé MIM, pour Métal-Isolant-Métal. Cet empilement est constitué par une couche intermédiaire 12 qui a été déposée sur la face F 1 du film 11, et par une couche supérieure 13 qui a été déposée sur la couche intermédiaire 12. Pour un tel mode de réalisation, le film 11 a été appelé film conducteur de base dans la partie générale de la présente description. Par exemple, la couche intermédiaire 12 peut être en sulfure de zinc (ZnS), en germanium (Ge), en fluorure de magnésium (MgF 2 ), en fluorure d’yttrium (YF 3 ), en séléniure de zinc (ZnSe) ou en silicium amorphe (Si) qui sont diélectriques pour la bande III de rayonnement, et la couche supérieure 13 peut être en or. Dans l’exemple représenté, le motif M comprend la fente 1 et le sillon 2 seulement. La profondeur p 2 du sillon 2 peut être contrôlée précisément, en utilisant l’interface entre le film 11 et la couche intermédiaire 12 comme interface d’arrêt lors d’une étape de gravure sélective utilisée pour former le sillon 2.
montre encore une autre variante de l’invention, dans laquelle le motif M comprend deux fentes 1 et 1’, et les sillons 2 et 3. Par exemple, la fente 1 est remplie d’air pendant une utilisation du filtre 10, et la fente 1’ est remplie lors de la fabrication du filtre 10 avec un matériau diélectrique tel que du sulfure de zinc (ZnS), du germanium (Ge), du fluorure de magnésium (MgF 2 ), du fluorure d’yttrium (YF 3 ), du séléniure de zinc (ZnSe) ou du silicium amorphe (Si). Chacune des deux fentes 1 et 1’ détermine individuellement, de la façon qui a été décrite plus haut, une valeur centrale de longueur d’onde d’une bande passante qui est séparée de celle déterminée par l’autre fente. La bande passante qui est déterminée par la fente 1 est située à plus courtes valeurs de la longueur d’onde λ pour le rayonnement à filtrer RI que la fente 1’, avec un minimum de la transmission spectrale T(λ) entre les deux bandes passantes jusqu’à des valeurs possiblement très faibles. Les deux sillons 2 et 3 déterminent alors simultanément les limites inférieure et supérieure respectives des deux bandes passantes, par leurs couplages respectifs avec l’une et l’autre des deux fentes 1 et 1’ qui sont effectifs simultanément. A titre d’illustration, le filtre 10 de peut avoir une première bande passante qui s’étend de 8,1 µm à 9,9 µm, produite par le couplage de la fente 1 avec les deux sillons 2 et 3, et une seconde bande passante qui s’étend de 10,2 µm à 10,8 µm, produite par le couplage de la fente 1’ aussi avec les deux sillons 2 et 3. Les deux bandes passantes sont séparées par un minimum de la transmission spectrale T(λ) qui est égal à environ 0,07 pour la valeur de longueur d’onde 10,05 µm.
illustre une autre façon de réaliser un filtre 10 à deux bandes passantes qui sont séparées. Au lieu d’être différenciées par la valeur d’indice de réfraction de leurs milieux diélectriques de remplissage respectifs, les deux fentes 1 et 1’ peuvent être différenciées par des valeurs effectives pour l’épaisseur e du film conducteur 11, qui sont différentes entre la fente 1 et la fente 1’. Par exemple, les deux fentes 1 et 1’peuvent être remplies d’air, le film métallique 11 possède l’épaisseur e à l’endroit de la fente 1, et possède une épaisseur réduite e’ à l’endroit de la fente 1’. Possiblement, l’épaisseur réduite e’ peut être réalisée en gravant un retrait RT dans le film 11 sur l’une des faces F 1 ou F 2 , voire les deux. Dans la pratique, il peut être suffisant que le retrait RT ne soit formé que sur un seul bord de la fente 1’, comme représenté.
Tous les modes de réalisation de l’invention qui ont été décrits ci-dessus mettent en œuvre des fentes et des sillons qui s’étendent uniquement parallèlement à l’axe y. Ces filtres ont donc un effet polarisant, c’est-à-dire que leurs caractéristiques de transmission spectrale T(λ) en incidence normale, correspondant à la valeur nulle pour l’angle θ, varient chacune entre la direction de polarisation linéaire qui est parallèle à l’axe x pour le rayonnement à filtrer RI, et celle parallèle à l’axe y. Un filtre 10 non-polarisant peut être obtenu en utilisant les mêmes fentes et sillons, avec des motifs et des répartitions qui sont identiques le long des deux axes x et y. Autrement dit, le filtre comporte une première répartition le long de l’axe x de fentes et sillons couplés qui s’étendent parallèlement à l’axe y, et une seconde répartition le long de l’axe y de fentes et sillons couplés qui s’étendent parallèlement à l’axe x, les deux répartitions étant identiques et seulement transposées de l’axe x à l’axe y. Le filtre 10 qui est obtenu ainsi, tel que représenté dans , n’est pas polarisant, c’est-à-dire que sa caractéristique de transmission spectrale T(λ) pour θ=0 est identique entre les deux directions de polarisation linéaire, parallèles à l’axe x et à l’axe y, pour le rayonnement à filtrer RI.
De préférence, la teneur en oxygène dans le réacteur est inférieure à 1 %.
De préférence, une vitesse d'agitation pour la réaction de co-précipitation est de 300 à 500 t/min ; et de manière plus préférée, la vitesse d'agitation pour la réaction de co-précipitation est de 350 à 450 t/min.