INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
En référence à la , le transfert comprend après ladite implantation le collage du substrat donneur et du substrat support 20, la couche mince 11 de SiC monocristallin étant à l’interface. Le collage peut être un collage par diffusion atomique dit ADB pour « Atomic Diffusion Bonding ».
En référence à la , le transfert comprend ensuite le détachement du substrat donneur 10 le long du plan de fragilisation 12 de sorte à transférer la couche mince de SiC monocristallin 11 sur le substrat support 20. De manière connue, ce détachement peut être provoqué par un traitement thermique, une action mécanique ou une combinaison de ces moyens. Le reliquat 10’ du substrat donneur peut éventuellement être recyclé en vue d’une autre utilisation.
Une ou plusieurs opérations de finition peuvent ensuite être appliquées à la couche de SiC monocristallin transférée 11. Il est par exemple possible de réaliser un lissage, un nettoyage ou encore un polissage, par exemple par un polissage mécano-chimique (CMP, acronyme du terme anglo-saxon « Chemical Mechanical Polishing »), pour retirer les défauts liés à l’implantation des espèces ioniques et réduire la rugosité de la couche de SiC monocristallin transférée 11. Un traitement thermique à haute température peut également être réalisé qui a pour effet de stabiliser la structure et ainsi de garantir sa géométrie pour les étapes suivantes, tant que des éléments de composants électriques transistor en surface n’ont pas été déposés en surface.
Comme représenté sur la , des éléments 30 de composants électroniques sont ensuite formés sur la couche mince de SiC monocristallin 11, typiquement par une combinaison d’étapes de dépôt ou d’épitaxie de film semi-conducteur, de lithographie, de gravure, de dopage, de dépôt métallique et de passivation. Ces éléments 30 de composants électroniques comprennent par exemple des éléments de transistors verticaux. Ces éléments 30 sont disposés sur une face avant FF de la structure composite située du côté de la couche mince de SiC monocristallin 11. La structure composite présente par ailleurs une face arrière BF opposée à la face avant FF.
Une fois ces éléments 30 de composants électroniques formés du côté de la face avant FF, il est procédé au conditionnement de la structure composite. Ce conditionnement comprend un amincissement de la structure composite depuis sa face arrière BF pour l’amener à une épaisseur cible conforme aux exigences du processus de « Back-End ». Cette épaisseur cible est par exemple de 180 µm, voire moins.
Comme représenté sur la , ce conditionnement comprend un meulage de la face arrière BF de la structure composite, i.e. un meulage de la face libre du substrat support de SiC polycristallin 20. La face avant FF est quand elle typiquement couverte d’un ruban de protection. Comme indiqué précédemment, ce meulage engendre un gondolement qui peut se révéler plus de deux fois plus important que celui constaté lorsqu’un meulage identique est appliqué à la face arrière d’un substrat support de SiC monocristallin portant des éléments de composants électroniques similaires en face avant.
Ce gondolement important pourrait, selon les inventeurs, s’expliquer : de par la mise en œuvre du procédé Smart Cut TM qui associe une couche mince de SiC monocristallin et un substrat support de SiC polycristallin, soit des matériaux qui présentent des coefficients d’expansion thermique légèrement différents et dont l’interface de collage peut dès lors présenter une contrainte résiduelle à même d’entraîner une sensibilité au gondolement ; de par une contribution du substrat support massif qui, en raison de son processus de fabrication par dépôt chimique en phase vapeur suivi d’un recuit, peut conserver une contrainte résiduelle ; de par une contribution de la surface du substrat support qui sous l’effet du meulage entraîne une rugosité de surface spécifique ou une zone superficielle endommagée venant induire une contrainte de surface.
Selon l’invention, le meulage en face arrière de la structure composite peut comprendre un meulage grossier suivi d’un meulage fin.
Le meulage grossier permet d’enlever une épaisseur de matériau significative, par exemple de l’ordre de 170 µm de SiC polycristallin, à une vitesse compatible avec un procédé industriel. Il peut être réalisé au moyen d’une meule dont une grosseur du grain abrasif est supérieure à 4 µm (mesh inférieur à 5000), par exemple une grosseur de 10 µm (mesh 2000).
Le meulage grossier est susceptible de générer un stress de surface significatif sur le SiC polycristallin, conduisant à un gondolement important. Notamment, le meulage grossier engendre des défauts cristallins sur quelques micromètres de profondeur dans la microstructure colonnaire du SiC polycristallin et conduit à la formation d’une couche écrouie en surface de la face arrière du substrat support.
Le meulage fin permet de réduire le stress précédemment créé en venant retirer, par exemple, entre 1 et 3 µm de matière. Il peut être réalisé au moyen d’une meule dont une grosseur du grain abrasif est inférieure à 4 µm (mesh supérieur à 5000), par exemple une grosseur de 3 µm (mesh 8000). A l’issue du meulage fin, le gondolement est considérablement réduit mais reste supérieur au niveau de gondolement acceptable pour la mise en œuvre du processus de « Back-End ». Le meulage fin vient ainsi réduire l’épaisseur de la couche écrouie, sans totalement la supprimer.
Comme représenté sur la , la structure composite présente ainsi, suite à son amincissement en face arrière, une couche écrouie 22 en surface du substrat de SiC polycristallin aminci 21, cette couche écrouie 22 n’ayant pas été totalement supprimée par le meulage fin.
Selon l’invention, et en référence à la , il est ensuite procédé à un retrait de la couche écrouie 22 présente en surface de la face arrière de la structure composite à l’issue de l’amincissement. Ce retrait est par exemple réalisé par polissage de la face arrière amincie. Ce polissage peut être réalisé de manière à retirer une épaisseur inférieure à 3 µm, par exemple une épaisseur inférieure à 2 µm ou encore une épaisseur comprise entre 0,2 µm et 1 µm ou de préférence comprise entre 0,2 µm et 0,5 µm. Ce polissage présente l’intérêt, outre de réduire la rugosité de surface, de réduire le gondolement à un niveau acceptable pour la mise en œuvre du processus de « Back-End ».
La bague de renfort 14b de la figure 4B est dépourvue de protubérances radiales. En lieu et place de ces protubérances radiales, la bague de renfort 14b présente des encoches radiales 18’ réparties régulièrement autour de sa surface externe. Les encoches radiales 18’ permettent d’améliorer la solidarisation de la bague de renfort 14 au goulot 6 du liner 4 grâce à une pénétration du matériau du liner 4 dans les encoches radiales 18’. En outre, le bandeau 20 ne sépare pas les rainures axiales 16 dans le sens où les rainures axiales 16 traversent le bandeau 20.
La bague de renfort 14c de la figure 4C est dépourvue de protubérances radiales. Sa surface externe présente un ensemble plus dense de rainures axiales 16. Ici, les rainures axiales 16 sont dimensionnées de sorte que deux rainures axiales sont séparées d’un espace inférieur ou égal à l’épaisseur d’une rainure axiale. Certaines des rainures axiales 16 se prolongent sur une surface axiale de la bague de renfort 14.
Le réservoir 2 comprend des moyens de fixation 24 de l’embout 8 à la bague de renfort 14 configurés pour réaliser un ancrage mécanique de l’embout 8 à la bague de renfort 14. Il s’agit ici d’un ancrage mécanique par vissage, mais selon une variante de réalisation, il s’agit d’un ancrage mécanique par encliquetage. On définit une zone axiale de longueur A dans laquelle s’étend l’intégralité des moyens de fixation 24 et du goulot 6 du liner 4. La longueur A correspond à l’augmentation de l’encombrement axial du réservoir causé par le goulot 6 du liner 4 et les moyens de fixation 24 dans la configuration où le goulot 6 s’étend vers l’extérieur du volume interne du réservoir 2. La longueur A caractérise le ratio entre le volume utile du réservoir 2, c’est-à-dire son volume interne, et l’encombrement du réservoir 2, lié notamment au volume total du réservoir 2. En réduisant la longueur A, on réduit l’augmentation de l’encombrement du réservoir. On observe sur la que selon l’invention, le goulot 6 du liner 4 et les moyens de fixation 24 s’étendent radialement l’un par rapport à l’autre. De la sorte, la longueur A n’est pas égale à la somme des longueurs selon l’axe principal 5 du goulot 6 du liner 4 et des moyens de fixation 24, mais est égale au maximum des longueurs selon l’axe principal 5 du goulot 6 du liner 4 et des moyens de fixation 24. Lorsque ces deux longueurs sont égales ou sensiblement égales, comme cela est le cas dans le présent mode de réalisation, on optimise le ratio entre la résistance mécanique de la fixation permise par les moyens de fixation 24 et l’encombrement du réservoir 2. La valeur de la longueur A est préférentiellement inférieure à 30 mm, de manière plus préférée inférieure à 20 mm, de manière encore plus préférée inférieure à 10 mm.
Le réservoir 2 est fabriqué par un procédé de fabrication comprenant les étapes suivantes. On commence par fabriquer le liner 4, celui-ci étant réalisé par moulage par injection de deux coques formant deux moitiés du liner qui sont ensuite soudées ensemble. On fixe la bague de renfort 14 dans le goulot 6 du liner 4, par exemple par surmoulage du goulot 6 du liner 4 sur la bague de renfort 14 lors de la fabrication du liner 4. On insère ensuite l’embout 8 au moins partiellement dans le goulot 6 du liner 4. On fixe enfin l’embout 8 à la bague de renfort 14 à l’aide des moyens de fixation 24 à l’intérieur du goulot 6 du liner 4 de sorte que la bague de renfort 14 est positionnée entre le goulot 6 du liner 4 et l’embout 8.
On va maintenant décrire des réservoirs destinés à contenir un gaz sous pression selon d’autres modes de réalisation de l’invention. Dans ce qui suit, on ne décrira que ce qui différencie les réservoirs selon ces modes de réalisation du réservoir 2 selon le premier mode de réalisation de l’invention. Les éléments de ces réservoirs similaires à ceux du réservoir 2 selon le premier mode de réalisation de l’invention portent des références numériques identiques.
On a représenté en un réservoir 102 destiné à contenir un gaz sous pression selon un deuxième mode de réalisation de l’invention. Le réservoir 102 se démarque de celui du premier mode de réalisation en ce que la bague de renfort 14 comprend un épaulement 26 de coopération avec l’embout 8 configuré pour recevoir une extrémité axiale de l’embout 8. L’épaulement 26 de coopération avec l’embout 8 forme ainsi une butée axiale permettant de faciliter le bon positionnement de l’embout 8 par rapport à la bague de renfort 14. Par exemple, lorsque les moyens de fixation 24 forment une fixation par vissage, l’épaulement 26 de coopération avec l’embout 8 forme une butée de vissage de l’embout 8 par rapport à la bague de renfort 14.
On a représenté en un réservoir 202 destiné à contenir un gaz sous pression selon un troisième mode de réalisation de l’invention. Le réservoir 202 se démarque de celui du premier mode de réalisation en ce que la bague de renfort 14 comprend un épaulement 28 de coopération avec le liner 4 configuré pour recevoir un épaulement complémentaire 30 ménagé sur le liner 4, à la base du goulot 6. L’épaulement 28 de coopération avec le liner 4 forme ainsi une butée axiale permettant de faciliter le bon positionnement du goulot 6 du liner 4, et plus généralement du liner 4, par rapport à la bague de renfort 14. Dans un mode de réalisation avantageux, l’épaulement 28 inclut les protubérances radiales 18 ou les encoches radiales 18’.
On a représenté en un réservoir 302 destiné à contenir un gaz sous pression selon un quatrième mode de réalisation de l’invention. Le réservoir 302 se démarque de celui du premier mode de réalisation en ce qu’il combine les deuxième et troisième modes de réalisation de l’invention. La bague de renfort 14 comprend un épaulement 26 de coopération avec l’embout 8 configuré pour recevoir une extrémité axiale de l’embout 8, ainsi qu’un épaulement 28 de coopération avec le liner 4 configuré pour recevoir un épaulement complémentaire 30 ménagé sur le liner 4, à la base du goulot 6. Le fonctionnement de l’épaulement 26 de coopération avec l’embout 8 et de l’épaulement 28 de coopération avec le liner 4 sont tels que décrits dans les deuxième et troisième modes de réalisation de l’invention.
On a représenté en un réservoir 402 destiné à contenir un gaz sous pression selon un cinquième mode de réalisation de l’invention. Le réservoir 402 se démarque de celui du premier mode de réalisation en ce que le goulot 6’ du liner 4 s’étend vers l’intérieur du volume interne du réservoir 2 et en ce que la bague de renfort 14 solidaire et indémontable du goulot 6’ du liner 4 est au moins partiellement ménagée autour du goulot 6’ du liner 4. Dans l’exemple illustré, le goulot 6’ du liner 4 est surmoulé sur la bague de renfort 14 de sorte que la bague de renfort 14 est surmoulée par l’intérieur autour du goulot 6’ du liner 4. La configuration du goulot 6’ du liner 4 s’étendant vers l’intérieur du volume interne du réservoir 402 génère la présence d’un volume mort 32 dans le volume interne comme cela est décrit dans le préambule de la présente demande. Les moyens de fixation 24 sont situés dans un prolongement axial du goulot 6’ du liner 4 en direction du volume interne du réservoir, de sorte que le goulot 6’ du liner 4 est positionné entre la bague de renfort 14 et l’embout 8. La bague de renfort 14 est située au moins partiellement autour du goulot 6’ du liner 4, et c’est sa surface interne, c’est-à-dire la surface en contact avec le goulot 6’ du liner 4, qui peut présenter des rainures axiales, un bandeau, des protubérances radiales et/ou des encoches radiales tels que présentés dans le premier mode de réalisation et dans les figures 3, 4A, 4B et 4C.
Le réservoir 402 est fabriqué par un procédé de fabrication comprenant les étapes suivantes. On commence par fabriquer le liner 4, celui-ci étant réalisé par moulage par injection de deux coques formant deux moitiés du liner qui sont ensuite soudées ensemble. On fixe la bague de renfort 14 autour du goulot 6’ du liner 4, par exemple par surmoulage du goulot 6’ du liner 4 sur la bague de renfort 14 lors de la fabrication du liner 4. On insère ensuite l’embout 8 au moins partiellement dans le goulot 6’ du liner 4. On fixe enfin l’embout 8 à la bague de renfort 14 à l’aide des moyens de fixation 24 situés dans un prolongement axial du goulot 6’ du liner 4 en direction du volume interne du réservoir 402, de sorte que le goulot 6’ du liner 4 est positionné entre la bague de renfort 14 et l’embout 8.
On a représenté en un réservoir 502 destiné à contenir un gaz sous pression selon un sixième mode de réalisation de l’invention. Le réservoir 502 se démarque de celui du premier mode de réalisation en ce que le goulot 6’ du liner 4 s’étend vers l’intérieur du volume interne du réservoir 2 et en ce que la bague de renfort 14 solidaire et indémontable du goulot 6’ du liner 4 est au moins partiellement ménagée autour du goulot 6’ du liner 4. Dans l’exemple illustré, le goulot 6’ du liner 4 est surmoulé sur la bague de renfort 14 de sorte que la bague de renfort 14 est surmoulée par l’intérieur autour du goulot 6’ du liner 4. La configuration du goulot 6’ du liner 4 s’étendant vers l’intérieur du volume interne du réservoir 402 génère la présence d’un volume mort 32 dans le volume interne comme cela est décrit dans le préambule de la présente demande. Les moyens de fixation 24 sont situés radialement par rapport au goulot 6’ du liner 4 à l’intérieur du goulot 6’ du liner 4, de sorte que le goulot 6’ du liner 4 est positionné entre la bague de renfort 14 et l’embout 8. La bague de renfort 14 est située au moins partiellement autour du goulot 6’ du liner 4, et c’est sa surface interne, c’est-à-dire la surface en contact avec le goulot 6’ du liner 4, qui peut présenter des rainures axiales, un bandeau, des protubérances radiales et/ou des encoches radiales tels que présentés dans le premier mode de réalisation et dans les figures 3, 4A, 4B et 4C.
Dans l’exemple illustré, la bague de renfort 14 est en fait une double bague de renfort 14d, 14e dans laquelle une première bague de renfort 14d est ménagée à l’extérieur du goulot 6’ du liner 4 de sorte que la première bague de renfort 14d entoure et enserre le goulot 6’ du liner 4 et une seconde bague de renfort 14e porte les moyens de fixation 24. La première bague de renfort 14d est coaxiale à la seconde bague de renfort 14e et son rayon intérieur est supérieur au rayon extérieur de la seconde bague de renfort 14e de sorte qu’un espace annulaire est ménagé entre la première bague de renfort 14d et la seconde bague de renfort 14e. La première bague de renfort 14d est reliée à la seconde bague de renfort 14e par une âme de renfort 15 en forme de rondelle. L’âme de renfort 15 a un rayon extérieur correspondant au rayon extérieur de la première bague de renfort 14d et un rayon intérieur correspondant au rayon intérieur de la seconde bague de renfort 14e. L’espace annulaire ménagé entre la première bague de renfort 14d et la seconde bague de renfort 14e est prévu pour recevoir le goulot 6’ du liner 4 et une extrémité axiale de l’embout 8 de sorte que le goulot 6’ du liner 4 est protégé de l’environnement extérieur par l’embout 8.
Le réservoir 502 est fabriqué par un procédé de fabrication comprenant les étapes suivantes. On commence par fabriquer le liner 4, celui-ci étant réalisé par moulage par injection de deux coques formant deux moitiés du liner qui sont ensuite soudées ensemble. On fixe la bague de renfort 14 autour du goulot 6’ du liner 4, par exemple par surmoulage du goulot 6’ du liner 4 sur la bague de renfort 14 lors de la fabrication du liner 4. On insère ensuite l’embout 8 au moins partiellement dans le goulot 6’ du liner 4. On fixe enfin l’embout 8 à la bague de renfort 14 à l’aide des moyens de fixation 24 situés radialement par rapport au goulot 6’ du liner 4 à l’intérieur du goulot 6’ du liner 4, de sorte que le goulot 6’ du liner 4 est positionné entre la bague de renfort 14 et l’embout 8.
On a représenté en un réservoir 602 destiné à contenir un gaz sous pression selon un septième mode de réalisation de l’invention. Le réservoir 602 se démarque de celui du premier mode de réalisation en ce qu’il comprend une surface 10’ de contact étanche entre l’embout 8 et le goulot 6 du liner 4, de sorte que le gaz sous pression ne peut pas sortir du réservoir 2 par un interstice entre le goulot 6 du liner 4 et l’embout 8. Dans l’exemple illustrée, une couche d’un matériau étanche au gaz constitue la surface 10’ de contact étanche entre l’embout 8 et le goulot 6 du liner 4, par exemple, une couche de colle appliquée entre l’embout 8 et le goulot 6 du liner 4. Dans un autre mode de réalisation de l’invention (non représenté), le goulot 6 du liner 4 et l’embout 8 possèdent chacun une portée lisse formant ensemble la surface 10’ de contact étanche entre l’embout 8 et le goulot 6 du liner 4.
On a représenté en un réservoir 3 destiné à contenir un gaz sous pression selon l’état de la technique. Le réservoir 3 comprend un liner 104 réalisé en matière plastique définissant un volume interne du réservoir 3 destiné à recevoir le gaz sous pression. Le liner 104 présente ici une partie centrale de forme générale cylindrique ou tubulaire, en référence à un axe principal 105 du réservoir 3, et deux parties d’extrémité dont une est représentée sur la . La partie d’extrémité du liner 104 représentée comprend un goulot 106 entourant une ouverture axiale du liner mettant en communication le volume interne du réservoir avec l’environnement extérieur. Le goulot 106 s’étend ici vers l’extérieur du volume interne du réservoir 3 et présente un décalage axial vers l’intérieur du volume interne du réservoir 3. La configuration du goulot 106 du liner 3 axialement décalé vers l’intérieur du volume interne du réservoir 3 génère la présence d’un volume mort 132 dans le volume interne comme cela est décrit dans le préambule de la présente demande.
L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation présentés et d'autres modes de réalisation apparaîtront clairement à l'homme du métier. En particulier, les modes de réalisation de l’invention visant un réservoir dans lequel le goulot du liner est orienté vers l’intérieur du volume interne du réservoir sont également applicable à un réservoir dans lequel le goulot du liner est orienté vers l’extérieur du volume interne du réservoir. Et inversement, les modes de réalisation de l’invention visant un réservoir dans lequel le goulot du liner est orienté vers l’extérieur du volume interne du réservoir sont également applicable à un réservoir dans lequel le goulot du liner est orienté vers l’intérieur du volume interne du réservoir. De manière générale, il est possible de combiner les différents modes de réalisation entre eux, notamment en ce qui concerne la configuration du goulot du liner, l’anneau amovible, la bague de renfort et la présence des épaulements de coopération.
Dans la réalisation de la pièce de carrosserie 13 illustrée aux figures, le clip de la peau externe 15 est agencé au niveau d’une face arrière 24 de la peau externe 15. D’autres positionnements de l’ensemble de clippage peuvent cependant être envisagés.
On se réfère à la qui est une vue en coupe selon la ligne IV-IV de la , la peau externe 15 n’étant pas complètement rabattue sur l’élément de renfort structurel 17 pour une meilleure visibilité.
La pièce de carrosserie 13 est insérée dans la face avant 1 du véhicule automobile 3, sous la glace extérieure 11 du bloc optique 7 et le long d’un axe sensiblement longitudinal du véhicule automobile 3.
La peau externe 15 de la pièce de carrosserie 13 comporte une face supérieure 25, sensiblement plane, directement reliée au film charnière 19.
Selon une réalisation de l’invention, une échancrure 26 peut être prévue entre la face supérieure 25 et le film charnière 19. Cela permet d’amincir le film charnière 19 au niveau de l’échancrure 26, ce qui permet de favoriser le pliage entre la peau externe 15 et l’élément de renfort structurel 17.
La face supérieure 25 s’étend sensiblement horizontalement relativement au véhicule automobile 3, c’est-à-dire qu’elle s’étend selon un plan (L, T) lorsque la pièce de carrosserie 13 est montée dans la face avant 1 du véhicule automobile 3.
Lorsque la pièce de carrosserie 13 est montée dans la face avant 1 du véhicule automobile 3, une partie inférieure 27 du boîtier 9 du bloc optique 7, s’étendant également sensiblement horizontalement relativement au véhicule automobile 3, prend appui sur la face supérieure 25. En d’autres termes, la face supérieure 25 de la peau externe 15 de la pièce de carrosserie 13 supporte la partie inférieure 27 du boîtier 9 du bloc optique 7.
La partie inférieure 27 du boîtier 9 du bloc optique 7 est prolongée vers le bas par un pied 29 sensiblement vertical, s’étendant sensiblement en vis-à-vis de l’élément de renfort structurel 17.
Au droit du pied 29 du boîtier 9 du bloc optique 7 s’étendent deux plots de support 31.
Les plots de support 31 s’étendent sensiblement perpendiculairement relativement au pied 29.
Un nombre distinct de plots de support 31 peut équiper le boîtier 9 du bloc optique 7.
L’élément de renfort structurel 17 de la pièce de carrosserie 13 comporte quant à lui au moins un plot d’appui 33, par exemple deux plots d’appui 33 (un seul plot est visible à la ; les deux plots sont mieux visibles à la ).
Lorsque la pièce de carrosserie 13 est montée dans la face avant 1 du véhicule automobile 3, les plots d’appui 33 de l’élément de renfort structurel 17 prennent appui sur les plots de support 31 du pied 29 du boîtier 9 du bloc optique 7.
Le jeu entre la partie inférieure 27 du boîtier 9 du bloc optique 7 et la face supérieure 25 de la peau externe 15 est limité grâce à la présence des plots d’appui 33 de l’élément de renfort structurel 17 qui prennent appui sur les plots de support 31 du pied 29 du boîtier 9 du bloc optique 7.
L’élément de renfort structurel 17 et la peau externe 15 sont en contact direct l’un avec l’autre au niveau de deux zones de contact 35, 37.