Modulateur (1) de phase optique comprenant : une première couche (21) en matériau diélectrique s’étendant dans un plan (P), dans laquelle s’étend, selon une première direction (X) parallèle au plan, au moins un guide d’onde (11) et au moins une chaufferette (12), ladite au moins une chaufferette étant disposée au-dessus dudit au moins un guide d’onde et couplée thermiquement à une portion dudit au moins un guide d’onde, la première couche en matériau diélectrique comprenant, pour chaque guide d’onde : au moins une première tranchée (41), s’étendant selon un deuxième direction (Y), parallèle au plan et perpendiculaire à la première direction, disposée au-dessus de la chaufferette couplée thermiquement au guide d’onde ; une deuxième tranchée (42) et une troisième tranchée (43) s’étendant chacune selon la première direction, de part et d’autre du guide d’onde et de la chaufferette couplée thermiquement au guide d’onde, ladite au moins une première tranchée disposée au-dessus de la chaufferette couplée thermiquement au guide d’onde débouchant dans la deuxième tranchée et dans la troisième tranchée ; une deuxième couche (22) en matériau diélectrique s’étendant parallèlement au plan et sur la première couche en matériau diélectrique et recouvrant chaque première, deuxième et troisième tranchées. Modulateur (1) selon la revendication précédente, dans lequel pour chaque guide d’onde (11), la deuxième tranchée (42a-e) et la troisième tranchée (43a-e) sont discontinues et comprennent chacune des tronçons (42a-e, 43a-e) séparés les uns des autres par le matériau diélectrique (212, 213) de la première couche (21), alignés selon la première direction (X). Modulateur (1) selon l’une des revendications précédentes, comprenant un substrat semiconducteur (30) sur lequel s’étend la première couche (21) en matériau diélectrique, le substrat semiconducteur comprenant, pour chaque guide d’onde (11), une quatrième tranchée (44) s’étendant selon la première direction (X) et disposée sous ledit guide d’onde, chaque deuxième tranchée (42a-e) et chaque troisième tranchée (43a-e) de part et d’autre du guide d’onde débouchant dans la quatrième tranchée. Modulateur (1) selon l’une des revendications 1 à 3, dans lequel pour chaque guide d’onde (11), une distance (W 211 ) séparant deux premières tranchées (41) consécutives selon la première direction (X) est inférieure à 5 µm. Modulateur (1) selon l’une des revendications 1 à 3, dans lequel pour chaque guide d’onde (11), la première couche (21) en matériau diélectrique comprend une seule première tranchée (41) dont la largeur (W 41 ), mesurée selon la première direction (X), est supérieure 50 % de la longueur (L 12 ) de la chaufferette (12) couplée thermiquement au guide d’onde. Modulateur (1) selon l’une des revendications précédentes, comprenant au moins dix guides d’onde (11) et préférentiellement au moins cent guides d’onde. Procédé (100) de fabrication d’un modulateur (1) de phase optique, comprenant les étapes suivantes : former (101) une première couche (21) en matériau diélectrique s’étendant dans un plan (P), dans laquelle s’étend, selon une première direction (X) parallèle au plan, au moins un guide d’onde (11) et au moins une chaufferette (12), ladite au moins une chaufferette étant disposée au-dessus dudit au moins un guide d’onde et couplée thermiquement à une portion dudit au moins un guide d’onde ; graver (102) la première couche en matériau diélectrique de manière à former, pour chaque guide d’onde, au moins une première tranchée (41), s’étendant selon une deuxième direction (Y), parallèle au plan et perpendiculaire à la première direction, disposée au-dessus de la chaufferette couplée thermiquement au guide d’onde ; graver (103) la première couche en matériau diélectrique de manière à former, pour chaque guide d’onde, des deuxième et troisième tranchées (42, 43) s’étendant chacune selon la première direction, de part et d’autre du guide d’onde et de la chaufferette couplée thermiquement au guide d’onde, chaque première tranchée disposée au-dessus de la chaufferette couplée thermiquement au guide d’onde débouchant dans la deuxième tranchée et dans la troisième tranchée ; former (104) d’une deuxième couche (22) en matériau diélectrique s’étendant parallèlement au plan et sur la première couche en matériau diélectrique et recouvrant chaque tranchées. Procédé (100) selon la revendication précédente, dans lequel l’étape de formation (104) de la deuxième couche (22) en matériau diélectrique comprend, avant l’étape de gravure (103) des deuxième et troisième tranchées, les sous-étapes suivantes : remplir (104a) chaque première tranchée (41) avec un matériau sacrificiel (1041) ; déposer (104b) la deuxième couche en matériau diélectrique sur la première couche en matériau diélectrique et recouvrant le matériau sacrificiel dans chaque première tranchée ; dans lequel l’étape de gravure des deuxième et troisième tranchées est réalisée à travers la deuxième couche en matériau diélectrique, dans lequel l’étape de formation de la deuxième couche en matériau diélectrique comprend également, après l’étape de gravure des deuxième et troisième tranchées, les sous-étapes suivantes : retirer (104c) le matériau sacrificiel de chaque première tranchée disposée au-dessus de chaque chaufferette ; et épaissir (104d) la deuxième couche en matériau diélectrique de sorte qu’elle recouvre chaque deuxième et troisième tranchées. Procédé (100) de fabrication selon la revendication précédente, dans lequel l’étape d’épaississement (104d) de la deuxième couche (22) en matériau diélectrique est réalisée en déposant un oxyde de faible densité. Réseau (5) d’antennes phasées comprenant : une pluralité d’antennes (52), alignées selon une direction et réparties le long de cette direction selon un pas (d) constant ; un diviseur (51) de puissance configuré pour diviser la puissance optique d’un faisceau optique cohérent incident, le faisceau optique incident présentant une longueur d’onde supérieure ou égale au pas constant ; le réseau d’antennes phasées étant caractérisé en ce qu’il comprend : un modulateur (1) de phase optique selon l’une des revendications 1 à 6, ledit modulateur comprenant une pluralité de guides d’onde (11), chaque guide d’onde du modulateur faisant partie du chemin optique entre le diviseur de puissance et une antenne de la pluralité d’antennes ; ou une pluralité de modulateurs de phase optique selon l’une des revendications 1 à 6, chaque modulateur comprenant un seul guide d’onde, le guide d’onde de chaque modulateur faisant partie du chemin optique entre le diviseur de puissance et une antenne de la pluralité d’antennes. Système de télédétection par laser comprenant un réseau (5) d’antennes phasées selon la revendication précédente.