INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Dans le mode de réalisation des et 2B, l’électro-aimant 260 est un électro-aimant discret unique. De même, l’aimant permanent/ferro-aimant 270 est un aimant permanent/ferro-aimant discret unique. Dans de tels modes de réalisation, l’électro-aimant discret unique et l’aimant permanent/ferro-aimant discret unique doivent s’aligner au moins partiellement dans le sens radial. Dans certains modes de réalisation, cependant, l’électro-aimant 260 s’étend radialement sur au moins 180 degrés autour du boîtier extérieur 210 ou de l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250 (p. ex. selon qu’il se trouve au premier ou au second emplacement). Dans certains autres modes de réalisation, l’électro-aimant 260 s’étend radialement sur 360 degrés autour du boîtier extérieur 210 ou de l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250 (p. ex. selon qu’il se trouve au premier ou au second emplacement). Dans d’autres modes de réalisation encore, l’électro-aimant 260 est un premier électro-aimant, et la SSSV 200 comprend en outre un ou plusieurs électro-aimants supplémentaires espacés de manière circonférentielle. Dans un tel mode de réalisation, la SSSV 200 peut comprendre des aimants permanents/ferro-aimants correspondants ou en variante un seul aimant permanent/ferro-aimant discret plus grand.
La SSSV 200, dans un ou plusieurs modes de réalisation, peut comprendre un système de commande primaire 280. Le système de commande primaire 280, dans le mode de réalisation illustré, est configuré pour faire passer l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250 depuis le premier état (p. ex., comme illustré sur la ) vers le second état (p. ex., comme illustré sur la ) lorsque le système de commande primaire 280 reçoit un signal primaire provenant d’un circuit de commande primaire. Dans au moins un mode de réalisation, le système de commande primaire 280 est un système de commande primaire hydraulique, le circuit de commande primaire est un circuit de commande primaire hydraulique et le signal primaire est un signal primaire hydraulique. Dans un ou plusieurs autres modes de réalisation, le système de commande primaire 280 est un système de commande primaire électrique, le circuit de commande primaire est un circuit de commande primaire électrique et le signal primaire est un signal primaire électrique.
La SSSV 200, dans un ou plusieurs modes de réalisation, peut en outre comprendre un système de commande primaire 290. Dans un ou plusieurs modes de réalisation, le système de commande de sécurité 290 se trouve sur un circuit de commande de sécurité séparé du circuit de commande primaire. En conséquence, le circuit de commande primaire et le circuit de commande de sécurité peuvent fonctionner indépendamment l’un de l’autre. Le système de commande de sécurité 290, ainsi que l’électro-aimant 260, est configuré pour maintenir l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250 dans le second état quand l’électro-aimant 260 est alimenté et le circuit de commande primaire est inopérant. Le terme « inopérant », tel qu’il est utilisé ici, est destiné à englober toutes les situations dans lesquelles le système de commande primaire 280 et/ou le circuit de commande primaire ne parviennent pas à maintenir l’actionneur de gestion de débit d’alésage dans le second état. Ainsi, le terme « inopérant » inclut les situations dans lesquelles le système de commande primaire 280 et/ou le circuit de commande primaire sont éteints ou en variante dans lesquelles le système de commande primaire 280 et/ou le circuit de commande primaire sont en cours d’entretien.
Quant aux et 3B, elles illustrent un mode de réalisation d’une SSSV 300 conçue, fabriquée et/ou exploitée selon un ou plusieurs modes de réalisation alternatifs de la divulgation. La SSSV 300 est similaire à de nombreux égards à la SSSV 200. En conséquence, des numéros de référence similaires ont été utilisés pour indiquer des caractéristiques similaires, ou même identiques. La SSSV 300 diffère, en grande partie, de la SSSV 200 en ce que l’électro-aimant 360 et la ligne électrique 365 ne sont pas situés dans les alésages entrecroisés. En variante, la SSSV 300 des et 3B insère son électro-aimant 360 dans une fente formée dans l’alésage central 215, puis amène sa ligne électrique 365 en contact avec l’électro-aimant 360. Dans le mode de réalisation des et 3B, l’électro-aimant 360 et l’aimant permanent/ferro-aimant 270 ne sont pas annulaires et ne s’étendent donc pas sur 360 degrés autour du boîtier extérieur 210 ou de l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250.
Quant aux et 4B, elles illustrent un mode de réalisation d’une SSSV 400 conçue, fabriquée et/ou exploitée selon un ou plusieurs modes de réalisation alternatifs de la divulgation. La SSSV 400 est similaire à de nombreux égards à la SSSV 300. En conséquence, des numéros de référence similaires ont été utilisés pour indiquer des caractéristiques similaires, ou même identiques. La SSSV 400 diffère, en grande partie, de la SSSV 300 en ce que l’électro-aimant 460 et/ou l’aimant permanent/ferro-aimant 470 s’étendent radialement sur au moins 180 degrés autour du boîtier extérieur 210 ou de l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250. Dans un ou plusieurs modes de réalisation, tels qu’illustrés, l’électro-aimant 460 et/ou l’aimant permanent/ferro-aimant 470 s’étendent radialement sur 360 degrés autour du boîtier extérieur 210 ou de l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250.
Quant à la , elle illustre une SSSV 500 conçue, fabriquée et/ou exploitée selon un ou plusieurs modes de réalisation alternatifs de la divulgation. La SSSV 500 est similaire à de nombreux égards à la SSSV 300. En conséquence, des numéros de référence similaires ont été utilisés pour indiquer des caractéristiques similaires, ou même identiques. La SSSV 500 diffère, en grande partie, de la SSSV 300 en ce que la SSSV 500 comprend un manchon de verrouillage 510.
Quant à la , elle illustre une SSSV 600 conçue, fabriquée et/ou exploitée selon un ou plusieurs modes de réalisation alternatifs de la divulgation. La SSSV 600 est similaire à de nombreux égards à la SSSV 500. En conséquence, des numéros de référence similaires ont été utilisés pour indiquer des caractéristiques similaires, ou même identiques. La SSSV 600 diffère, en grande partie, de la SSSV 500 en ce que l’électro-aimant 660 et/ou l’aimant permanent/ferro-aimant 670 s’étendent radialement sur au moins 180 degrés autour du boîtier extérieur 210 ou de l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250. Dans un ou plusieurs modes de réalisation, tels qu’illustrés, l’électro-aimant 660 et/ou l’aimant permanent/ferro-aimant 670 s’étendent radialement sur 360 degrés autour du boîtier extérieur 210 ou de l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250.
Quant à la , elle illustre une SSSV 700 conçue, fabriquée et/ou exploitée selon un ou plusieurs modes de réalisation alternatifs de la divulgation. La SSSV 700 est similaire à de nombreux égards à la SSSV 500. En conséquence, des numéros de référence similaires ont été utilisés pour indiquer des caractéristiques similaires, ou même identiques. La SSSV 700 diffère, en grande partie, de la SSSV 500 en ce que la position de l’électro-aimant 760 et/ou de l’aimant permanent/ferro-aimant 770 est inversée. Par exemple, dans le mode de réalisation de la , l’électro-aimant 760 est situé dans le second emplacement et l’aimant permanent/ferro-aimant 770 est situé dans le premier emplacement.
Dans l’exemple illustré, l’électro-aimant 760 est positionné dans une ouverture sur une paroi latérale de l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250, la ligne électrique 765 s’étendant à travers l’ouverture et en contact avec l’électro-aimant 760. Par exemple, la ligne électrique 765 pourrait avoir une longueur suffisante pour rester connectée à l’électro-aimant 760 pendant que l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250 se déplace vers son second état, mais en même temps s’enrouler lorsque l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250 est dans son premier état.
Dans un mode de réalisation alternatif, l’électro-aimant 760 pourrait recevoir du courant électrique par un autre couplage physique (p. ex. contact physique avec un ou plusieurs contacts électriques lorsque l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250 coulisse), et donc aucune ligne électrique 765 ne serait directement couplée à l’électro-aimant 760 (p. ex., mais à son tour directement couplée à un ou plusieurs contacts électriques). Dans un autre mode de réalisation, l’électro-aimant 760 pourrait recevoir du courant électrique par couplage inductif (p. ex. contact inductif lorsque l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250 coulisse), de sorte qu’aucun contact physique n’est requis. Dans un mode de réalisation, le couplage inductif ne se produit que si l’actionneur de gestion de débit d’alésage est dans son second état. Ces deux modes de réalisation aideraient à éliminer tout problème réel et/ou perçu qui pourrait exister lorsque la ligne électrique 765 est physiquement couplée à l’électro-aimant 760, comme cela pourrait être le cas avec un mode de réalisation tel que celui illustré sur la .
Quant à la , elle illustre une SSSV 800 conçue, fabriquée et/ou exploitée selon un ou plusieurs modes de réalisation alternatifs de la divulgation. La SSSV 800 est similaire à de nombreux égards à la SSSV 700. En conséquence, des numéros de référence similaires ont été utilisés pour indiquer des caractéristiques similaires, ou même identiques. La SSSV 800 diffère, en grande partie, de la SSSV 700 en ce que l’électro-aimant 860 et/ou l’aimant permanent/ferro-aimant 870 s’étendent radialement sur au moins 180 degrés autour du boîtier extérieur 210 ou de l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250. Dans un ou plusieurs modes de réalisation, tels qu’illustrés, l’électro-aimant 860 et/ou l’aimant permanent/ferro-aimant 870 s’étendent radialement sur 360 degrés autour du boîtier extérieur 210 ou de l’actionneur de gestion de débit d’alésage 250.
Les aspects divulgués ici comprennent :
A. Une vanne de sécurité de subsurface (SSSV), la vanne de sécurité de subsurface (SSSV) comportant : 1) un boîtier extérieur comportant un alésage central s’étendant axialement à travers le boîtier extérieur, l’alésage central pouvant être utilisé pour transporter des fluides de production de subsurface à travers celui-ci ; 2) un mécanisme de fermeture de vanne couplé au boîtier extérieur dans l’alésage central ; 3) un actionneur de gestion de débit d’alésage disposé dans l’alésage central, l’actionneur de gestion de débit d’alésage étant configuré pour passer d’un premier état à un second état afin de déplacer le mécanisme de fermeture de vanne entre un état fermé et un état ouvert ; 4) un électro-aimant positionné à : a) un premier emplacement, le premier emplacement dans le boîtier extérieur à proximité de l’endroit où se trouve l’actionneur de gestion de débit d’alésage lorsque l’actionneur de gestion de débit d’alésage est dans le second état ; ou b) un second emplacement, le second emplacement étant couplé à proximité d’une extrémité de fond de trou de l’actionneur de gestion de débit d’alésage ; 5) un système de commande primaire sur un circuit de commande primaire couplé à l’actionneur de gestion de débit d’alésage, le système de commande primaire étant configuré pour faire passer l’actionneur de gestion de débit d’alésage du premier état au second état ; et 6) un système de commande de sécurité sur un circuit de commande de sécurité séparé couplé à l’électro-aimant, le circuit de commande de sécurité séparé et l’électro-aimant étant configurés pour maintenir l’actionneur de gestion de débit d’alésage dans le second état lorsque l’électro-aimant est alimenté et le circuit de commande primaire est inopérant.
- il comprend en outre, après correction de l’état de surface de la face avant, le collage de la plaquette de carbure de silicium polycristallin avec le substrat de carbure de silicium monocristallin avec la face avant de la plaquette de carbure de silicium polycristallin à l’interface de collage ;
- il comprend en outre, après la correction de l’état de surface de la face avant et avant le collage, une réitération de la caractérisation de l’état de surface de la face avant et :
lorsque l’état de surface caractérisé par la réitération de la caractérisation ne répond pas à la spécification prédéterminée, une correction additionnelle, par retrait de matière, de l’état de surface de la face avant ; ou lorsque l’état de surface caractérisé par la réitération de la caractérisation répond à la spécification prédéterminée, la réalisation dudit collage.
D'autres aspects, buts, avantages et caractéristiques de l’invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée suivante de formes de réalisation préférées de celle-ci, donnée à titre d'exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés sur lesquels la est un schéma illustrant différentes étapes d’un procédé Smart Cut TM intégrant un traitement d’une plaquette de pSiC conforme à l’invention.
L’invention porte sur un procédé de traitement d’une plaquette de pSiC destinée à servir de support pour une couche mince de mSiC. Ce procédé peut comprendre une étape préalable de formation de la plaquette à partir d’une plaque de pSiC ( slab ). Pour ce faire, la plaque de pSiC est soumise à un processus de wafering . Ce processus peut notamment comprendre un amincissement double face de la plaque et éventuellement une planarisation de la plaque afin d’en rattraper une éventuelle courbure. L’amincissement peut être réalisé par meulage. Ce meulage peut comprendre en succession un meulage très grossier ( coarse grinding en anglais) qui vient amener l’épaisseur vers 400 µm, un meulage grossier ( rough g rinding en anglais) qui vient amener l’épaisseur vers 360 µm et un meulage fin ( fine g rinding en anglais) qui vient éliminer les derniers microns de matériau. Les différents meulages se distinguent par la taille des grains de la meule utilisée, ces grains étant de plus en plus petits dans la succession des meulages.
Dans un mode de réalisation possible, la plaquette issue de la plaque de pSic présente une épaisseur de 350 µm +/- 25 µm, répondant ainsi à la norme SEMI.
Dans un autre mode de réalisation possible, la plaquette issue de la plaque de pSic présente une distribution d’épaisseur décalée vers 365 µm, par exemple une épaisseur de 365 µm +/- 10 µm. Ce mode de réalisation permet à l’épaisseur finale de la plaquette de pSiC de rester conforme à la norme SEMI alors que conformément à l’invention décrite ci-après une ou plusieurs opérations de correction de l’état de surface de la plaquette de pSiC sont réalisées afin d’assurer la bonne mise en œuvre du procédé Smart Cut TM suite à son collage avec un substrat de mSiC.
Comme représenté par la , le procédé selon l’invention peut ainsi comprendre une étape R1 de fourniture d’une plaquette de pSiC. Le procédé selon l’invention comprend par ailleurs une étape (désignée par R2 sur la ) consistant à procéder à une caractérisation d’un état de surface d’une face avant de la plaquette de pSiC, typiquement une caractérisation d’une rugosité de cette face avant. Cette caractérisation peut notamment comprendre une mesure de haze par diffusion de lumière. Une telle mesure de haze permet de caractériser la rugosité de surface de la face avant de la plaquette de pSiC. Ce haze est issu d'une méthode utilisant les propriétés de réflectivité optique de la surface à caractériser et correspond à un signal optique diffusé par la surface, en raison de sa microrugosité. La mesure de haze peut par exemple être effectuée au moyen du système d’inspection Surfscan SP1 de la société KLA-Tencor ou par le système d’inspection SICA88 de la société Lasertec.
Le procédé selon l’invention comprend ensuite une étape consistant à déterminer si l’état de surface caractérisé répond ou non à une spécification prédéterminée pour le collage, avec la face avant à l’interface de collage, de la plaquette de pSiC avec un substrat de mSiC. Dans un mode de réalisation possible, cette détermination consiste à vérifier si le niveau de haze mesuré est inférieur ou non à un seuil prédéterminé.
Si l’état de surface de la face avant répond à la spécification prédéterminée, le procédé selon l’invention se poursuit avec le collage (désigné par C sur la ), par exemple selon la technique ADB, de la plaquette de pSiC avec un substrat de mSiC, la face avant de la plaquette de pSiC étant à l’interface de collage. Conformément au procédé Smart Cut TM , il est ensuite procédé au détachement (désigné par D sur la ), provoqué par un traitement thermique, une action mécanique ou une combinaison de ces moyens, du substrat mSiC le long d’un plan de fragilisation préalablement formé dans celui-ci par implantation ionique afin de venir transférer une couche mince de mSiC sur la plaquette de pSiC et former ainsi une structure composite. A cet égard, la désigne par D1 la fourniture du substrat mSiC et par D2 l’implantation ionique permettant de le fragiliser. A l’issue du détachement D et du transfert de la couche mince de mSiC sur la plaquette de pSiC, il est procédé, d’une part, à un traitement de finition (désigné par F sur la ) de la structure composite et, d’autre part, à un éventuel recyclage R du reliquat du substrat de mSiC pour en permettre sa réutilisation.
Si l’état de surface de la face avant ne répond pas à la spécification prédéterminée, le procédé selon l’invention comporte une étape (désignée par R3 sur la ) de correction, par retrait de matière de la face avant de la plaquette de pSiC, de l’état de surface de cette face avant.
Ce retrait de matière de la face avant peut venir retirer une épaisseur de matière comprise entre 3 et 10 µm. Il peut être réalisé par meulage de la face avant. On relèvera qu’à la différence de l’amincissement double face préalable de la plaque de pSiC, le meulage de la plaquette de pSiC peut être réalisé ici uniquement sur la face avant destinée à être collée au substrat de mSiC. Ce meulage uniquement en face avant est rendu possible du fait du meulage en double face réalisé préalablement lors du processus de wafering et qui a permis d’équilibrer les contraintes entre les faces avant et arrière.
Le meulage peut comprendre en succession un meulage grossier et un meulage fin. Le meulage grossier peut être réalisé avec une meule dont une grosseur du grain abrasif est caractérisée par un mesh inférieur à 5000. Le meulage grossier vient de préférence retirer une épaisseur de matière inférieure à 10 µm, par exemple une épaisseur de 5 µm.
Le meulage fin peut quant à lui être réalisé avec une meule dont une grosseur du grain abrasif est caractérisée par un mesh supérieur à 5000, par exemple un mesh compris entre 8000 et 1200. Le meulage fin vient de préférence retirer une épaisseur de matière inférieure à 3 µm.
Dans un mode de réalisation possible, le retrait de matière de la face avant peut en outre comprendre, suite au meulage, un polissage de la face avant. Ce polissage peut être un polissage chimique ou mécano-chimique. Le polissage vient de préférence retirer une épaisseur de matière inférieure à 1 µm.
Selon des modes de réalisation particuliers :
- ladite enceinte de cuisson est subdivisée en au moins deux zones de cuisson ;
- au moins une zone de cuisson est équipée de moyens d’apport d’humidité, notamment sous forme d’une rampe d’injection de vapeur ;
- chaque zone de cuisson comporte des moyens de chauffage contrôlés par des moyens de mesure et de gestion de la température ;
- chaque zone de cuisson comporte des moyens d’apport d’humidité associés à des moyens de pilotage desdits moyens d’apport d’humidité ;
- chaque zone de cuisson comporte au moins un oura d’extraction d’air depuis ladite zone de cuisson associé à des moyens de pilotage du oura et des moyens de mesure du débit d’extraction d’air en sorte que le débit d’extraction d’air par le oura soit égal, ou sensiblement égal, à la somme des débits générés par les produits dans la zone de cuisson et du débit entrant ;
- chaque zone de cuisson est équipée d’au moins un moyen de mesure de l’hygrométrie régnant à l’intérieur de ladite zone de cuisson ;
- chaque zone de cuisson comporte au moins un moyen d’injection d’air à l’intérieur de ladite zone de cuisson comportant des moyens d’obturation et des moyens de gestion d’air injecté, en sorte que le débit d’extraction d’air par le oura soit égal, ou sensiblement égal, à la somme des débits générés par les produits dans la zone de cuisson et du débit entrant composé au moins du débit d’air injecté ;
- au moins un oura d’évacuation communique avec un condenseur et/ou un échangeur pour le réchauffement de l’air frais injecté par ledit au moins un moyen d’injection d’air ;
Le fait de pouvoir régler la position du bras longitudinal, en l’approchant ou en l’éloignant de la pièce, notamment du capot de l’aube par l’intermédiaire des moyens de réglage de position, permet de régler la pression exercée par les ressorts de torsion sur le capot.
Dans certains modes de réalisation, le bras longitudinal est fixé de manière articulée aux moyens de réglage de position, de telle sorte à pouvoir modifier un angle entre le bras longitudinal et un axe principal des moyens de réglage de position.
Dans le cas où la surface de la pièce, en particulier la surface du capot sur laquelle les ressorts viennent en appui, n’est pas plane et n’est pas horizontale, en d’autres termes n’est pas perpendiculaire à l’axe principal des moyens de réglage de position, le bras longitudinale peut pivoter par rapport aux moyens de réglage de position et ainsi s’incliner pour compenser cette absence d’horizontalité.
Dans certains modes de réalisation, les moyens de réglage de position comprennent une tige au moins en partie filetée traversant la structure de maintien et dont une extrémité est fixée au bras d’un premier côté de la structure de maintien, et un écrou vissé sur la tige filetée d’un deuxième côté de la structure de maintien opposé au premier côté.
On comprend que le premier côté de la structure de maintien est le côté faisant face à la partie fixe et au capot de la pièce lorsque la partie mobile est dans la deuxième position. On comprend donc que la structure de maintien est traversée par un orifice débouchant sur le première côté et sur le deuxième côté, et dans lequel est logé la tige au moins en partie filetée. L’axe principal des moyens de réglage de position est donc l’axe de la tige filetée, qui est sensiblement perpendiculaire au capot de la pièce.
L’écrou vissé sur la tige filetée est mobile en rotation par rapport à la structure de maintien et autour de l’axe principal de la tige, mais est de préférence fixé à la structure de maintien de manière à être bloqué en translation par rapport à celle-ci, dans la direction de l’axe principal. Ainsi, lorsque l’écrou est vissé ou dévissé, la tige filetée se déplace en translation par rapport à l’écrou, et par rapport à la structure de maintien. Il est ainsi possible, en vissant ou dévissant l’écrou, de déplacer la tige filetée en translation, et donc de régler la position du bras longitudinal fixé à l’extrémité de ladite tige, de manière à le rapprocher ou à l’éloigner du capot de la pièce.
Cette configuration permet de régler, par des moyens mécaniques simples, la position du bras longitudinal portant les ressorts de torsion, et donc la pression exercée par les ressorts sur le capot de la pièce.
Dans certains modes de réalisation, les moyens de réglage de position comprennent une entretoise de butée fixée autour de la tige et agencée de telle sorte à limiter la course de la tige en venant en butée contre l’écrou, l’écrou étant disposé entre la structure de maintien et l’entretoise de butée.