INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
On entend par diamètre la dimension transverse la plus grande du nanofil. Dans la présente invention, les structures 3D ne présentent pas nécessairement une section transverse circulaire. Les structures 3D peuvent notamment présenter une section transverse hexagonale ou polygonale. En particulier, dans le cas de structures 3D à base de GaN, cette section peut être hexagonale. Le diamètre correspond alors à un diamètre moyen calculé à partir du diamètre d’un cercle inscrit dans le polygone de la section transverse et du diamètre d’un cercle circonscrit de ce polygone.
M-i réfère au matériau M intrinsèque ou non intentionnellement dopé, selon la terminologie habituellement utilisée dans le domaine de la microélectronique pour le suffixe -i.
M-n réfère au matériau M dopé N, N+ ou N++, selon la terminologie habituellement utilisée dans le domaine de la microélectronique pour le suffixe -n.
M-p réfère au matériau M dopé P, P+ ou P++, selon la terminologie habituellement utilisée dans le domaine de la microélectronique pour le suffixe -p.
On entend par un substrat, une couche, un dispositif, « à base » d’un matériau M, un substrat, une couche, un dispositif comprenant ce matériau M uniquement ou ce matériau M et éventuellement d’autres matériaux, par exemple des éléments d’alliage, des impuretés ou des éléments dopants. Ainsi, une structure 3D à base de nitrure de gallium (GaN) peut par exemple comprendre du nitrure de gallium (GaN ou GaN-i) ou du nitrure de gallium dopé (GaN-p, GaN-n). Une région active à base de nitrure de gallium-indium (InGaN) peut par exemple comprendre du nitrure de gallium-aluminium (AlGaN) ou du nitrure de gallium avec différentes teneurs en aluminium et en indium (GaInAlN). Dans le cadre de la présente invention, le matériau M est généralement cristallin.
est une vue schématique de détail en perspective partielle de l’appui-tête des figures précédentes,
est une vue schématique en coupe horizontale de l’appui-tête des figures précédentes, le corps secondaire étant en position de réglage intermédiaire et la traverse n’étant pas actionnée en déverrouillage,
sont des vues schématiques en coupe horizontale de l’appui-tête des figures précédentes, le corps secondaire étant dans deux positions de réglage extrêmes et la traverse étant actionnée en déverrouillage,
est une vue schématique en perspective partielle de l’appui-tête des figures précédentes pourvu d’un dispositif de verrouillage du corps secondaire selon un mode de réalisation.
En référence aux figures, on décrit un appui-tête 1 de siège de véhicule automobile, ledit appui-tête comprenant : une armature de montage sur un dossier dudit siège, ladite armature comprenant deux tiges 2 parallèles s’étendant verticalement, un corps principal 3 en matériau plastique moulé monté en coulissement sur lesdites tiges de manière à pouvoir adopter une pluralité de positions de réglage vertical, un premier dispositif de verrouillage dudit corps principal dans la position de réglage choisie, un corps secondaire 4 en matériau plastique moulé monté en coulissement longitudinal sur ledit corps principal, de sorte que ledit corps secondaire puisse adopter une pluralité de positions de réglage longitudinal, ledit corps secondaire étant pourvu d’une paroi d’appui 17 de la tête d’un occupant dudit siège, un deuxième dispositif de verrouillage dudit corps secondaire dans la position de réglage choisie, une traverse 5 commune de déverrouillage desdits dispositifs, ladite traverse étant montée en coulissement transversal sur ledit corps principal, ladite traverse présentant une partie extrême 6 coopérant avec un bouton poussoir 7, monté en coulissement transversal sur ledit corps secondaire, permettant son actionnement en déverrouillage, de manière à libérer le coulissement desdits corps principal et secondaire, un ressort de renvoi 8 de ladite traverse en position de verrouillage,
ledit appui-tête comprenant en outre : une pièce d’équilibrage d’effort 9 interposée entre ledit bouton et ladite traverse, ladite pièce s’étendant longitudinalement, ladite pièce présentant une face externe 10 sur laquelle prend appui ledit bouton et une face interne 11 sous forme de piste s’étendant longitudinalement, ladite piste recevant en appui une saillie 12, située sur ladite partie extrême, selon une pluralité de positions définies par la position de réglage longitudinal dudit corps secondaire, deux ressorts de redressement 13 de ladite pièce quand ladite saillie prend appui en zone longitudinale non médiane de ladite piste, lesdits ressorts s’interposant en extrémités avant et arrière de ladite pièce entre ladite pièce et ledit corps secondaire.
Selon la réalisation représentée, le ressort de renvoi 8 est sous forme d’une rondelle en mousse élastiquement compressible, ladite rondelle s’interposant entre le corps secondaire 4 et le bouton 7.
En variante non représentée, le ressort de renvoi 8 est à base de métal à ressort.
Selon la réalisation représentée, les ressorts de redressement 13 sont sous forme de pavés de mousse élastiquement compressible.
En variante non représentée, les ressorts de redressement 13 sont à base de métal à ressort.
Selon la réalisation représentée, la partie extrême 6 est en forme générale de U, une première branche 14 du U s’inscrivant dans le prolongement du reste de la traverse 5 et la deuxième branche 15 du U coulissant dans un moyen de guidage 16 prévu dans le corps secondaire 4.
Un tel agencement permet d’assurer un guidage optimisé de la traverse 5 pour limiter sa déformation quand elle est actionnée en déverrouillage.
Selon la réalisation représentée, la saillie 12 est située en partie médiane du U.
Selon la réalisation représentée, la saillie 12 présente une forme bombée, de manière à limiter la surface de contact entre la traverse 5 et la pièce d’équilibrage 9, et à limiter ainsi le frottement entre les deux lors du réglage du corps secondaire 4.
Selon la réalisation représentée, le corps secondaire 4 est monté sur le corps principal 3 par deux tenons 23 disposé en sa périphérie, lesdits tenons présentant en vue longitudinale une forme s’inscrivant dans un trapèze présentant une grande base tournée vers l’intérieur et une petite base tournée vers l’extérieur, lesdits tenons coulissant dans deux mortaises 24 respectives de forme complémentaires, débouchant par ladite petite base vers l’extérieur, prévues dans ledit corps principal, de manière à former des fixations de type « queue d’aronde ».
Les polymères amphiphiles peuvent être basés sur au moins un monomère hydrophile A éthyléniquement insaturé et sur au moins un monomère hydrophobe B. De préférence, le monomère A comprend une fonction acide fort, en particulier une fonction acide sulfonique ou acide phosphonique. Le monomère hydrophobe B comprend au moins un radical hydrophobe, choisi parmi : des radicaux alkyle linéaires en C 6 -C 18 saturés ou insaturés (par exemple, n-hexyle, n-octyle, n-décyle, n-hexadécyle, n-dodécyle ou oléyle) ; des radicaux alkyle ramifiés (par exemple, isostéariques) ou des radicaux alkyle cycliques (par exemple, cyclododécane ou adamantane) ; des radicaux fluoro ou alkylfluoro en C 6 -C 18 (par exemple, le groupe de formule —(CH 2 ) 2 —(CF 2 ) 9 —CF 3 ) ; un radical ou des radicaux cholestéryle dérivé(s) du cholestérol (par exemple, hexanoate de cholestéryle) ; des groupes polycycliques aromatiques, par exemple, naphthalène ou pyrène ; et des radicaux de silicone ou alkylsilicone ou alkylfluorosilicone. Parmi ces radicaux, les radicaux alkyle linéaires et ramifiés sont préférés.
Les polymères amphiphiles peuvent être réticulés. Les agents de réticulation peuvent être choisis par exemple parmi les composés polyoléfiniquement insaturés communément utilisés pour la réticulation des polymères obtenus par polymérisation radicalaire. Selon un mode de réalisation préféré de l'invention, l'agent de réticulation est choisi parmi méthylènebisacrylamide, méthacrylate d'allyle ou triacrylate de triméthylolpropane (TMPTA). Le degré de réticulation va de préférence de 0,01 % en moles à 10 % en moles, et de préférence de 0,2 % en moles à 2 % en moles, par rapport au polymère, y compris toutes les plages et sous-plages entre elles.
De préférence, le cas échéant, l'agent/les agents gélifiant(s) est/sont présent(s) dans les compositions de la présente invention dans des quantités allant d'environ 0,05 à environ 5 % en poids, de préférence de 0,1 à 2,5 % en poids, de préférence de 0,3 à 2 % et de préférence de 0,5 à 1 % en poids, tous les poids étant basés sur le poids de la composition dans son ensemble, y compris toutes les plages et sous-plages entre elles telles que, par exemple, 0,1 à 1,5 %, 0,25 à 1,25 %, 0,4 à 0,75 %, etc.
Selon des modes de réalisation de la présente invention, les compositions de la présente invention peuvent en outre comprendre optionnellement au moins une huile. « Huile » signifie n'importe quel milieu non aqueux qui est liquide à température ambiante (25 C) et à la pression atmosphérique (760 mm Hg). Les huiles appropriées peuvent être volatiles ou non volatiles.
Les huiles appropriées incluent les huiles volatiles sans silicone et peuvent être sélectionnées parmi les huiles hydrocarbonées volatiles, les esters volatils et les éthers volatils. Des exemples de ces huiles sans silicone volatiles incluent, mais sans s'y limiter, les huiles hydrocarbonées volatiles ayant de 8 à 16 atomes de carbone et leurs mélanges et en particulier, les alcanes ramifiés en C 8 à C 16 tels que les isoalcanes en C 8 à C 16 (également connus sous le nom d'isoparaffines), l'isododécane, l'isodécane, et par exemple, les huiles commercialisées sous les marques Isopar ou Permethyl. De préférence, les huiles sans silicone volatiles ont un point éclair d'au moins 40 °C.
Les huiles appropriées incluent les huiles ou esters synthétiques de formule R 5 COOR 6 dans laquelle R 5 représente un résidu d'acide gras supérieur linéaire ou ramifié contenant de 1 à 40 atomes de carbone, y compris de 7 à 19 atomes de carbone, et R 6 représente une chaîne à base d'hydrocarbure ramifiée contenant de 1 à 40 atomes de carbone, y compris de 3 à 20 atomes de carbone, avec R 6 + R 7  10, tels que, par exemple, huile de Purcellin (octanoate de cétostéaryle), isononanoate d'isononyle, benzoate d'alkyle en C 12 à C 15 , myristate d'isopropyle, palmitate de 2-éthylhexyle et octanoates, décanoates ou ricinoléates d'alcools ou de polyalcools ; les esters hydroxylés, par exemple lactate d'isostéaryle ou malate de diisostéaryle ; les esters de pentaérythritol ; et les éthers synthétiques contenant de 10 à 40 atomes de carbone.
On connait notamment des filtres de couleur de type métal/diélectrique réalisés à partir d’une cavité de Fabry-Pérot. Ces filtres comprennent une ou plusieurs cavités diélectriques (ou éventuellement semiconductrices) formées entre deux films minces de métal ayant une fonction de miroir métallique de façon à former une cavité de Fabry-Pérot. Un exemple de ce type de filtre est décrit dans le document US6031653. Généralement, les empilements métal/diélectrique sont différents suivant la position sur le composant optoélectronique (un capteur d’image par exemple). La transmission du filtre est réglée en ajustant l'épaisseur de la cavité. Ainsi, en fonctionnement, une partie de la lumière incidente correspondant à la longueur d'onde du filtre est transmise à travers celui-ci sous la forme d'un faisceau coloré, tandis que le reste de la lumière incidente est réfléchie. De façon générale, l'épaisseur de la couche diélectrique fixe la longueur d'onde centrale transmise, tandis que l'épaisseur des couches métalliques permet de régler la largeur spectrale de transmission. Par ailleurs, l'utilisation de plusieurs cavités de Fabry-Pérot permet de modifier le profil spectral de la transmission du filtre. Un filtre de ce type est réalisé en utilisant des techniques classiques de fabrication de semi-conducteurs. Ainsi, pour obtenir un filtre rouge-vert-bleu, il convient de former au moins une cavité diélectrique dont l'épaisseur doit présenter trois valeurs différentes.
Cependant, même si la sélectivité en longueur d'onde peut être obtenue en modifiant l'épaisseur de la cavité, un filtre de cavité de Fabry-Pérot est également très sensible à l'angle d'incidence. La présente la réponse spectrale d’un filtre de couleur à une onde électromagnétique, pour une épaisseur de couche de diélectrique fixe et différents angles d’incidence de l’onde électromagnétique.
De nombreuses études ont été menées pour remédier à ce défaut de sensibilité des filtres à l’angle d’incidence des ondes électromagnétiques. Une façon de réduire la sensibilité, décrite dans l’article suivant : « Non-iridescent Transmissive Structural Color Filter Featuring Highly Efficient Transmission and High Excitation Purity. Sci Rep 4, 4921 (2014) », Shrestha, V., Lee, SS., Kim, ES. et al., est d'utiliser des cavités multiples avec un matériau de cavité à indice plus élevé. Les auteurs de l’article ont utilisé le fait que le décalage fractionnel de longueur d'onde dépendant de l'angle est déterminé par l'indice de réfraction de la cavité : , où θ est l'angle d'incidence de l’onde électromagnétique et n est l'indice de réfraction de la cavité. Les solutions proposées réduisent la sensibilité à l'angle, mais elles nécessitent plusieurs étapes de lithographie et de gravure pour leur fabrication.
Une autre manière de réduire la sensibilité angulaire est proposée dans le document US4466699A qui décrit un filtre Fabry-Pérot avec deux plaques de surfaces courbes ou, plus particulièrement, des surfaces asphériques qui sont mobiles les unes par rapport aux autres le long d'un axe. Les surfaces courbes permettent d’avoir un angle d'incidence du rayonnement qui n’est pas perpendiculaire à la surface en tout point de la surface. La courbure des plaques est choisie de telle sorte que l'erreur introduite par le fait que l'angle d'incidence n'est pas perpendiculaire est compensée par la différence de distance entre les plaques, pour obtenir la longueur d’onde souhaitée en sortie du filtre.
Cependant, le filtre Fabry-Pérot proposé dans le document US4466699A permet de varier l’écart entre les plaques pour obtenir une longueur d’onde à la fois et non plusieurs longueurs d’ondes à la fois. De plus, le filtre ayant une distance variable entre les plaques, celui-ci ne peut pas être utilisé en imagerie, et en particulier à des dimensions de la micro-électronique avec des capteurs d’image CMOS, à cause des contraintes de fabrication.
L’invention offre une solution aux problèmes évoqués précédemment, en proposant une matrice comprenant des filtres de Fabry-Pérot permettant d’obtenir plusieurs longueurs d’ondes, peu sensible à la variation de l’angle d’incidence d’une radiation électromagnétique et utilisable en technologie CMOS.
Un aspect de l’invention concerne une matrice de filtrage multispectral pour une onde électromagnétique, la matrice comportant au moins un premier et un deuxième éléments optoélectroniques, chaque élément optoélectronique comprenant un filtre de couleur et un transducteur photoélectrique en regard dudit filtre, chaque filtre de couleur formant une cavité Fabry-Pérot comportant une première couche réfléchissante, une deuxième couche réfléchissante et une couche en matériau diélectrique de cavité de Fabry-Pérot entre la première couche réfléchissante et la deuxième couche réfléchissante, la couche de matériau diélectrique comportant : une surface inférieure, au contact de la première couche réfléchissante, la surface inférieure étant courbe; Une surface supérieure au contact de la deuxième couche réfléchissante, la surface supérieure étant courbe; les épaisseurs des deux couches en matériau diélectrique des deux filtres de couleur étant différentes.
Grâce à l’invention, la transmission des filtres de couleurs est indépendante de l’angle d’incidence d’une onde électromagnétique incidente, ce qui permet d’obtenir une longueur d’onde souhaitée pour chaque filtre uniquement en faisant varier les épaisseurs des couches de diélectrique sans se soucier des angles d’incidence. De plus, la matrice comprend des filtres de cavités de Fabry-Pérot utilisés pour l’imagerie en microélectronique, et en particulier dans des technologies CMOS.
Outre les caractéristiques qui viennent d’être évoquées dans le paragraphe précédent, la matrice selon un premier aspect de l’invention peut présenter une ou plusieurs caractéristiques complémentaires parmi les suivantes, considérées individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles : pour chaque filtre de couleur : la première couche réfléchissante présente une surface inférieure courbe et une surface supérieure courbe de même rayon de courbure, la surface supérieure de la première couche réfléchissante étant au contact de la surface inférieure de la couche en matériau diélectrique; La deuxième couche réfléchissante présente une surface inférieure courbe et une surface supérieure courbe de même rayon de courbure, la surface inférieure de la deuxième couche réfléchissante étant au contact de la surface supérieure de la couche en matériau diélectrique. les rayons de courbure de la surface inférieure et de la surface supérieure de la couche de matériau diélectrique de chaque filtre de couleur sont strictement supérieurs à 300 nm. pour chaque filtre de couleur, les courbures de la surface inférieure et de la surface supérieure de la couche de matériau diélectrique de chaque filtre de couleur sont toutes les deux convexes ou toutes les deux concaves. le profil courbe de la surface inférieure de la couche en matériau diélectrique d’au moins un filtre de couleur parmi le premier et le deuxième filtres de couleur est défini par l'équation suivante :
et le profil courbe de la surface supérieure de ladite couche est défini par l'équation suivante :
dans un repère (O,X,Y,Z) de l’espace, O étant l’origine de la surface inférieure de la première couche réfléchissante;
Avec: hi l'épaisseur de la couche en matériau diélectrique dudit filtre, l'épaisseur, selon l'axe Y, de la première couche réfléchissante du filtre , Ry le rayon de courbure de la surface inférieure et de la surface supérieure de la couche en matériau diélectrique selon l'axe Y pour x=0, m et n respectivement un entier naturel et un entier naturel non nul, Avec f*Sx le rayon de courbure de la surface inférieure et de la surface supérieure de la couche en matériau diélectrique selon l'axe X, Sx étant la taille, selon l'axe X, du transducteur photoélectrique en regard du filtre et f une constante; le profil courbe de la surface inférieure de la couche en matériau diélectrique d’au moins un filtre de couleur parmi le premier et le deuxième filtres de couleur est défini par l'équation suivante :
Et le profil courbe de la surface supérieure de ladite couche en matériau diélectrique du filtre de couleur est défini par l'équation suivante :
Dans un repère (O,X,Y,Z) de l’espace, O étant l’origine de la surface inférieure de la première couche réfléchissante du filtre;
Avec: hi l'épaisseur de la couche en matériau diélectrique dudit filtre, l'épaisseur, selon l'axe Y, de la première couche réfléchissante du filtre , R Z le rayon de courbure de la surface inférieure et de la surface supérieure de la couche en matériau diélectrique selon l'axe Z, m et n respectivement un entier naturel et un entier naturel non nul, Avec f*Sx le rayon de courbure de la surface inférieure et de la surface supérieure de la couche en matériau diélectrique selon l'axe X, étant la taille, selon l'axe X, du transducteur photoélectrique en regard du filtre et f une constante, Avec f*Sy le rayon de courbure de la surface inférieure et de la surface supérieure de la couche en matériau diélectrique selon l'axe Y, étant la taille, selon l'axe Y, du transducteur photoélectrique en regard du filtre. pour chaque filtre de couleur, lorsque les courbures de la surface inférieure et de la surface supérieure de la couche de matériau diélectrique sont toutes les deux convexes, la courbure de la surface supérieure et de la surface inférieure de la couche en matériau diélectrique est choisie de manière à focaliser l’onde électromagnétique sur le transducteur en regard dudit filtre . Cette caractéristique permet éventuellement de s’affranchir d’une microlentille, qui est habituellement utilisée en imagerie pour focaliser les ondes électromagnétiques reçues par un filtre vers le transducteur.
Un deuxième aspect de l’invention concerne un procédé de fabrication d’une matrice de filtrage multispectral selon l’invention dans lequel l’épaisseur de la couche en matériau diélectrique du premier filtre de couleur est inférieure à l’épaisseur de la couche en matériau diélectrique du deuxième filtre de couleur et la réalisation du premier et du deuxième filtres de couleur comporte les étapes suivantes: Dépôt sur un substrat porteur d’une couche de résine ; Structuration de la couche de résine, pour obtenir un premier motif de résine définissant une première zone de motif et un deuxième motif de résine définissant une deuxième zone de motif, chaque motif de résine ayant une surface supérieure courbe, les première et deuxième zones de motif définissant une zone globale de motifs; Dépôt conforme d’une première couche réfléchissante sur la zone globale de motifs, formant les premières couches réfléchissantes du premier et deuxième filtres de couleurs ; Dépôt conforme d'une première couche en matériau diélectrique sur la zone globale de motifs, la première couche en matériau diélectrique ayant une épaisseur égale à l’épaisseur de la couche en matériau diélectrique de cavité de Fabry-Pérot du premier filtre ; Dépôt d'une couche de résine photosensible sur la zone globale de motifs ; Elimination, par photolithographie, de la partie de la couche de résine photosensible recouvrant la deuxième zone de motif, Dépôt conforme d'une deuxième couche en matériau diélectrique sur la deuxième zone de motif, l’épaisseur totale de la deuxième couche en matériau diélectrique et de la première couche en matériau diélectrique de la deuxième zone de motif étant égale à l’épaisseur de la couche en matériau diélectrique du deuxième filtre de couleur ; Retrait de la couche de résine photosensible, de sorte à libérer en surface la première couche en matériau diélectrique de la première zone de motif formant la couche en matériau diélectrique de cavité de Fabry-Pérot du premier filtre de couleur; Dépôt conforme d’une deuxième couche réfléchissante sur la zone globale de motifs, formant les première couche réfléchissante du premier et deuxième filtres de couleurs.
L’effet Raman étant le plus faible de ces phénomènes d’interaction lumière/matière, l’appareil de mesure (spectromètre à laser), pour capturer le moindre photon, se doit d’éliminer par une série de filtres et par un choix de longueur d’onde adaptée ces autres phénomènes non désirés. Par exemple, les lasers à 532nm générant souvent de la fluorescence dans les milieux biologiques, les spectromètres Raman reposent plutôt sur l’utilisation de lasers de longueur d’onde supérieure, notamment à 785nm ou 830nm.
De plus, lorsque l’on souhaite effectuer une mesure de liquide in situ dans de tels milieux biologiques, du fait de la grande sensibilité à l’humidité et à la chaleur des éléments optiques, il est impossible de venir directement plaquer l’appareil de mesure contre ou dans ce liquide et il est donc nécessaire de déporter cette mesure au moyen de fibres optiques.