Procédé de purification d’une solution aqueuse contenant du peroxyde d’hydrogène, comprenant au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation ; la membrane étant choisie dans le groupe constitué par une membrane de type polyamide, cellulose, polypipérazine, polyacrylonitrile et polysulfone. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la membrane d’osmose inverse est une membrane de type polyamide. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le flux de perméation au cours du traitement sur membrane varie de 10 à 200 L/h.m2, de préférence de 30 à 120 L/h.m2. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu’il comprend successivement au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le facteur de concentration volumique varie de 1,1 à 15, plus préférentiellement de 2 à 10. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le traitement d’électrodésionisation est mis en œuvre au moyen d’un module d’électrodésionisation comprenant une anode (1), une cathode (2), un compartiment de purification (3), disposée entre deux compartiments de concentration (4) et (5), dont les parois sont pourvues d’une première membrane échangeuse d’anions (6) et une première membrane échangeuse de cations (7). Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le traitement sur membrane et le traitement d’électrodésionisation sont mis en œuvre à une température inférieure à 20°C, de préférence inférieure à 15°C. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’il comprend un ou deux traitements sur membrane d’osmose inverse. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, après purification, comprend une teneur en nitrates inférieure à 3 ppm, de préférence inférieure à 2 ppm, plus préférentiellement inférieure à 1 ppm. Procédé de préparation d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, comprenant : au moins la production d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, de préférence par un procédé à l’anthraquinone, au moins un traitement sur membrane, tel que défini selon l’une quelconque des revendications 1 à 5 et 8, et au moins un traitement d’électrodésionisation, tel que défini selon l’une quelconque des revendications 1, 6 et 7, de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène. Solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène susceptible d’être obtenue par un procédé de purification, tel que défini selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, ou un procédé de préparation tel que défini selon la revendication 10. Solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène selon la revendication 11, caractérisée en ce que la teneur en nitrates est inférieure à 3 ppm, de préférence inférieure à 2 ppm, plus préférentiellement inférieure à 1 ppm. Utilisation de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, telle que définie selon la revendication 11 ou 12, dans le domaine de l’électronique, de préférence comme agent de nettoyage, de préférence pour le nettoyage des plaquettes de semi-conducteurs.