INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Ainsi, les particules déplacées par le tampon sont réparties aléatoirement sur la couche de masque préalablement à la formation de la couche de lithographie. La formation des motifs d’ouvertures dans la couche de lithographie est perturbée. En particulier, certains motifs d’ouvertures sont mal définis au sein de la couche de lithographie du fait de la présence des particules. Ces motifs d’ouvertures perturbés, qui peuvent être en partie obstrués ou totalement bouchés, sont ensuite transférés dans la couche de masque sous forme d’ouvertures altérées lors de l’ouverture de la couche de masque. Ces ouvertures de masque altérées empêchent ensuite que certaines ouvertures de vias soient correctement formées. Des ouvertures de vias dégradées sont ainsi formées, qui peuvent être typiquement soit totalement bouchées soit partiellement bouchées. Le matériau électriquement conducteur ne peut plus être correctement déposé dans ces ouvertures de vias dégradées. Les particules déposées avant formation de la couche de lithographie conduisent in fine à la formation de vias dysfonctionnels, qui peuvent être inactifs – c’est-à-dire sans conduction électrique – ou dégradés – c’est-à-dire avec une conduction électrique très inférieure à une conduction nominale d’un via fonctionnel.
Selon un exemple, le traitement plasma étant effectué simultanément à et/ou après l’injection du précurseur à base de la première espèce, la première espèce est à base d’un métal. Le traitement plasma permet ainsi l’élimination du ligand du précurseur métallique et donc l’adsorption métal sur métal, par création de liaisons pendantes lorsque le plasma est généré à partir d’un gaz inerte, par exemple de l’argon, ou réducteur, par exemple H 2 .
Selon un exemple, le traitement plasma étant effectué entre l’injection du précurseur à base de la première espèce et l’injection du précurseur à base de la deuxième espèce et/ou simultanément à au moins l’une desdites injections, la première espèce est à base d’un métal et la deuxième espèce est à base d’un métal.
Selon un exemple, lorsque le plasma est généré, le traitement plasma est exempt d’injection de dihydrogène. Lors du développement de l’invention, il a en effet été mis en évidence que le procédé ne nécessite pas de réduction de la couche en croissance par du dihydrogène.
De préférence, lorsque la première espèce est un métal, la puissance de la polarisation radiofréquence peut être inférieure ou égale à 80 W. La pression dans la chambre de réaction peut être inférieure ou égale à 80 mTorr. La durée du traitement plasma au cours d’un cycle de dépôt peut être inférieure ou égale à 1 minute. La dose apportée par le bombardement ionique permet d’éliminer et/ou de modifier les ligands du précurseur pour favoriser le dépôt d’une couche métallique. La dose déposée est limitée, ce qui améliore encore l’élimination du ligand sans risquer d’enlever le métal déposé.
Selon un exemple, le métal présente une électronégativité comprise entre 1,1 et 2,4.
De préférence, le métal est choisi parmi le groupe constitué de titane, tantale, aluminium, argent, zinc, ruthénium, platine, cuivre.
Selon un exemple, la première espèce comprend le métal et des ligands alkyls, amines, oxygénés (par exemple des carbonyles) ou halogénés.
Selon un exemple, le traitement plasma étant effectué simultanément à l’injection du précurseur à base de la première espèce, le traitement plasma et l’injection du précurseur sont chacun faits par impulsions simultanées ou séquentielles entre le traitement plasma et l’injection du précurseur. Une réduction in situ du précurseur est ainsi faite soit dans la phase gazeuse, soit au niveau des adsorbats. Le procédé obtenu peut être qualifié de mode CVD pulsé, et autolimitant avec le déphasage entre l’impulsion du précurseur et le traitement plasma. De préférence, selon cet exemple, la première espèce comprend le métal et des ligands alkyls.
Selon un exemple, le traitement plasma étant effectué après l’injection du précurseur à base de la première espèce, par exemple avant et/ou simultanément à l’injection du précurseur à base de la deuxième espèce, et/ou après l’injection du précurseur à base de la deuxième espèce, la première espèce est à base d’un métal et la deuxième espèce comprend l’un au moins parmi les éléments oxygène, azote et soufre. Selon la dose de précurseur métallique déposée, la quantité et la réactivité du précurseur à base d’oxygène, azote ou soufre peut être limitée pour moduler la réactivité de surface avant l’injection du précurseur métallique du cycle suivant.
Selon un exemple, le traitement plasma étant effectué simultanément à l’injection du précurseur à base de la deuxième espèce, la deuxième espèce est choisie parmi le groupe constitué de O 2 , N 2 (éventuellement en mélange avec H 2 ), NH 3 , H2 S .
Selon un exemple, le traitement plasma étant effectué après l’injection du précurseur à base de la deuxième espèce, la deuxième espèce est choisie parmi le groupe constitué de H 2 O, O 2 , NH 3 .
Selon un exemple, lorsque la première espèce est à base d’un métal et la deuxième espèce comprend l’un au moins parmi les éléments oxygène, azote et soufre, la puissance de la polarisation radiofréquence peut être inférieure ou égale à 80 W. La pression dans la chambre de réaction peut être inférieure ou égale à 80 mTorr. La durée du traitement plasma au cours d’un cycle de dépôt est inférieure ou égale à 1 minute. Ainsi, la réactivité de surface entre le précurseur à base de la première espèce, le précurseur à base de la deuxième espèce (réactant thermique ou plasma) et/ou les radicaux du plasma d’oxydation, de nitruration ou de sulfuration peut être activée et/ou modifiée. Ces conditions plasma peuvent modifier avantageusement les propriétés du matériau déposé
Selon un exemple alternatif, lorsque la première espèce est à base d’un métal et la deuxième espèce comprend l’un au moins parmi les éléments oxygène, azote et soufre, la puissance de la polarisation radiofréquence peut être supérieure ou égale à 50 W. La pression dans la chambre de réaction peut être inférieure ou égale à 20 mTorr. La durée du traitement plasma au cours d’un cycle de dépôt est supérieure ou égale à 1 minute. Le précurseur chimisorbé à la surface peut ainsi être retiré, voire pulvérisé. Ces conditions plasma peuvent être utiles pour des dépôts sélectifs sur des substrats 3D.
Selon un exemple, le plateau étant configuré pour être ajusté en hauteur dans la chambre de réaction, le procédé comprend un ajustement de la hauteur du plateau préalablement au traitement plasma, de préférence préalablement au cycle de dépôt. Ainsi, la distance d peut être ajustée par la hauteur du plateau, par exemple pour différentes valeurs de pression ou de tension de polarisation, selon les besoins. Le réacteur gagne donc en versatilité. Lorsque le réacteur comprend en outre une source plasma à couplage inductif déportée de la chambre de réaction, cela permet en outre d’ajuster la distance d entre le plateau et la paroi latérale, ce qui est particulièrement avantageux en synergie avec une source ICP additionnelle. Il est ainsi possible de coupler ou de découpler les plasmas CCP et ICP selon les besoins.
Selon un exemple, le traitement plasma est configuré de sorte que le plasma présente les caractéristiques de flux ionique suivantes : densité de puissance : 0,05 à 0,5 W/cm 2 , flux ionique : 10 12 à 10 14 ions/cm 2 , énergie des ions : 0 à 300 eV.
Pour cela, la pression dans la chambre, la fréquence de la polarisation radiofréquence et la puissance de la polarisation fréquence peuvent notamment être adaptées, comme décrit plus en détail ultérieurement.
Le nombre de nœuds de chacune des couches cachées 202 est inférieur au nombre de nœuds des couches d’entrée 201 et de sortie 203, ce qui provoque l’origine de la compression de l’image d’entrée
Dans une période d’apprentissage, l’auto-encodeur 200 peut recevoir une pluralité d’images d’entrée sans anomalie, et essayer de reconstruire une image de sortie de sorte à minimiser l’écart entre l’image d’entrée et l’image de sortie.
Lors de l’apprentissage, l’encodeur et le décodeur collaborent afin de trouver la méthode la plus efficace afin de compresser l’image d’entrée.
L’auto-encodeur 200 ne nécessite pas d’étiquetage des images d’entrée. Lors de la mise en œuvre du procédé, l’auto-encodeur traite les images d’entrée telles que reçues et commence immédiatement à analyser l’image et à reconnaître des structures spatiales et temporelles dans les images.
L’auto-encodeur 200 apprend ainsi à détecter des structures spatiales et temporelles dans la séquence d’images, et à trouver une représentation compressée efficace qui lui permet de reconstruire une image de sortie tout en minimisant l’écart entre l’image de sortie et l’image d’entrée.
Les images d’entrée qui ne présentent pas d’anomalie ont des structures et caractéristiques communes de nature non-aléatoires qui sont reconnues par l’auto-encodeur 200.
Lorsque l’image d’entrée contient une anomalie, l’auto-encodeur 200 n’est pas capable de reconstruire cette anomalie dans l’image de sortie.
L’auto-encodeur 200 évalue ensuite l’erreur de reconstruction de l’image d’entrée par la couche de sortie 203. L’erreur de reconstruction peut correspondre à une mesure d’écart entre l’image de sortie et l’image d’entrée, et peut être interprété comme un « score d’anomalie ».
Un écart inférieur à un seuil signifie que l’auto-encodeur 200 a réussi à reconstruire correctement l’image d’entrée dans la couche de sortie. Dans ce cas, l’auto-encodeur 200 peut conclure que l’image d’entrée ne présente pas d’anomalie.
Si l’écart est supérieur à un seuil, l’auto-encodeur 200 peut conclure que l’image d’entrée contient une anomalie, car l’auto-encodeur 200 n’a pas réussi à reconstruire l’image correctement.
Le seuil peut être prédéterminé ou être déterminé par l’auto-encodeur 200 lors de la mise en œuvre du procédé.
En l’espèce, l’auto-encodeur 200 est configuré (suite à une période d’apprentissage) pour reproduire des images telles que montrées dans la . Les pixels encerclés dans la constituent une anomalie et ne sont pas reproduits ou reproduits de manière différente dans l’image de sortie, et il y a donc un écart entre l’image d’entrée et l’image de sortie. L’écart peut dépasser un seuil, et l’image selon la est alors classifiée comme « anomalie ».
L’auto-encodeur 200 peut comprendre deux composantes principales, une pour l’apprentissage de structures spatiales dans les images, et une autre pour l’apprentissage de l’évolution temporelle des structures spatiales.
Avantageusement, un codeur spatial peut se composer de deux couches cachées 202 convolutives, et un décodeur spatial de deux couches cachées 202 convolutives transposées.
Un codeur-décodeur temporel peut être composé de trois couches cachées 202 LSTM convolutives, situées entre le codeur spatial et le décodeur spatial.
L’information relative à la compression d’image est stockée dans les couches cachées 202.
Cette boîte de collecte 10 définit des chambres de collecte 26 de fluide communiquant avec les canaux tel que cela va être décrit ci-après, et est entourée par deux coques 11 par exemple sertie puis soudées l’une contre l’autre.
Pour amener ou évacuer le fluide caloporteur de ces chambres de collecte 26, les coques 11, portant chacune au moins un de préférence des manchons de raccordement 18, sont disposées de part et d’autre de la boîte de collecte 10, en prenant la forme de portions tubulaires creuses permettant de guider la circulation de fluide.
Selon un exemple non limitatif, une fois assemblées, la boîte de collecte 10 et les deux coques 11 portant les deux manchons de raccordement 18 forment un ensemble monobloc, c’est-à-dire un ensemble qui ne peut pas être désassemblé sans entraîner la destruction de l’une et/ou l’autre des parties formant cet ensemble. Cet ensemble monobloc peut notamment être obtenu, préalablement à l’assemblage des dispositifs de régulation thermique 4 au contact des organes de stockage d’énergie électrique 2, par une opération de brasage et/ou de soudage.
Tel qu’évoqué, deux manchons de raccordement forment une paire 19 en étant alignés et disposés de part et d’autre de la boîte de collecte 10. Dans le mode de réalisation illustré, le dispositif de régulation thermique 4 est tel que deux paires 19 de manchons de raccordement sont solidaires de la boîte de collecte 10, avec pour chaque paire un manchon de raccordement disposé de part et d’autre de la boîte de collecte. De la sorte, chaque paire 19 de manchons de raccordement peut communiquer avec l’une des chambres de collecte 10.
est une illustration d’un système modulaire de refroidissement et d’extinction d’incendie, conformément à divers principes de la présente description. Dans divers exemples, le système modulaire 700 comporte un logement 710 tel que, par exemple, un logement portatif 710. Dans des exemples, le logement 710 est configuré pour loger une pompe 720, un réservoir 730, une pluralité de lignes de liquide de refroidissement 740 et un échangeur de chaleur 750. Dans des exemples, la pompe 720 peut être configurée pour pousser le liquide de refroidissement (par exemple, du SCO 2 ) à travers les lignes de liquide de refroidissement 740 agencées au niveau dʼun composant générateur de chaleur tel que, par exemple, une électronique de puissance, un moteur de propulsion, une batterie, des piles à combustible, et similaires lorsque les lignes de liquide de refroidissement 740 sont déployées, ou à travers les lignes de liquide de refroidissement dʼun système de refroidissement existent du composant générateur de chaleur. Dans divers exemples, les lignes de liquide de refroidissement 740 peuvent comporter des orifices de pulvérisation et des vannes de régulation (non représentées) sur leur longueur. Dans d’autres exemples, à la fois le refroidissement et l’extinction d’incendie du composant générateur de chaleur peuvent être assurés par un liquide de refroidissement maintenu dans le réservoir 730 et mis en circulation à travers les lignes de liquide de refroidissement 740 déployées, ou mis en circulation à travers des lignes de liquide de refroidissement existantes lors du couplage du logement 710 avec le système de refroidissement existant.
Dans divers exemples de fonctionnement, le système modulaire 700 peut être couplé au composant générateur de chaleur existant en déployant les lignes de liquide de refroidissement 740. Les milieux de refroidissement du système existant peuvent être remplacés par du SCO 2 fourni par le réservoir 730. Dans des exemples, les lignes de liquide de refroidissement 740 peuvent être déployées le long du composant générateur de chaleur dans une configuration classique pour refroidir le composant générateur de chaleur, et du SCO 2 peut être mis en circulation à travers les lignes de liquide de refroidissement 740 déployées. Il en résulte que le composant générateur de chaleur peut être correctement refroidi à l’aide du SCO 2 , le SCO 2 fournissant la capacité supplémentaire pour éteindre l’incendie dû à lʼexistence de sorties de pulvérisation (non représentées), comme abordé ci-dessus en relation avec la . Dans d’autres exemples, le fonctionnement du système modulaire de refroidissement et d’extinction d’incendie 700 peut être commandé et surveillé par le biais d’un dispositif informatique tel que, par exemple, le dispositif informatique 600 abordé précédemment en référence à la .
Cette description a décrit quelques exemples de la présente technologie en référence aux dessins annexés dans lesquels seuls certains des exemples possibles ont été représentés. D’autres aspects peuvent, cependant, être réalisés sous de nombreuses formes différentes et ne doivent pas être interprétés comme étant limités aux exemples présentés ici. Par exemple, alors qu’il a été décrit en référence à un aéronef électrique et, plus particulièrement, à un système de refroidissement embarqué pour un moteur de propulsion électrique et l’avionique d’un aéronef électrique, on aura à l’esprit que le système de refroidissement décrit sera applicable à tout composant générateur de chaleur en tout emplacement. Par exemple, un tel système de refroidissement pourrait être utilisé dans tout véhicule électrique ou même à un emplacement fixe logeant des composants générateurs de chaleur.
Ces exemples ont plutôt été proposés pour que cette description soit approfondie et complète et transporte complètement la portée des exemples possibles à l’homme du métier.
Des exemples de la description peuvent être décrits selon les aspects suivants.
1. Système de gestion thermique pour un composant générateur de chaleur au sein dʼun aéronef, le système de gestion thermique comprenant :
une ligne de liquide de refroidissement sʼétendant au-delà du composant générateur de chaleur pour permettre à un liquide de refroidissement de sʼécouler au-delà du composant générateur de chaleur pendant le fonctionnement normal du composant générateur de chaleur ;
un échangeur de chaleur couplé à la ligne de liquide de refroidissement pour éliminer la chaleur de la ligne de liquide de refroidissement ;
une sortie de pulvérisation disposée au niveau de la ligne de liquide de refroidissement à proximité du composant générateur de chaleur, la sortie de pulvérisation étant configurée pour diriger le liquide de refroidissement au niveau du composant générateur de chaleur ;
une vanne au niveau de la sortie de pulvérisation, la vanne étant configurée pour commander lʼécoulement du liquide de refroidissement depuis la ligne de liquide de refroidissement à travers la sortie de pulvérisation ; et
un détecteur de fumée ou d’incendie disposé au sein de l’aéronef, le détecteur de fumée ou d’incendie envoyant un signal pour ouvrir la vanne de régulation lorsque la fumée ou l’incendie est détecté(e).
2. Système de gestion thermique selon l’aspect 1, dans lequel le liquide de refroidissement comporte du SCO 2 .
3. Système de gestion thermique selon l’aspect 1 ou l’aspect 2, comprenant en outre :
un dispositif de commande couplé au détecteur de fumée ou d’incendie et à la vanne, le dispositif de commande étant configuré pour recevoir le signal provenant du détecteur de fumée ou d’incendie et pour actionner l’ouverture de la vanne pour pulvériser le liquide de refroidissement à travers la sortie de pulvérisation.
4. Système de gestion thermique selon l’aspect 3, dans lequel la sortie de pulvérisation est lʼune dʼune pluralité de sorties de pulvérisation disposées le long de la ligne de liquide de refroidissement, chaque sortie de pulvérisation ayant une vanne correspondante, et le détecteur de fumée ou dʼincendie est lʼun dʼune pluralité de détecteurs de fumée et dʼincendie disposés à différents emplacements à lʼintérieur de lʼaéronef.
5. Système de gestion thermique selon l’aspect 4, dans lequel le dispositif de commande est configuré pour activer une ou plusieurs des vannes lorsquʼun ou plusieurs des détecteurs de fumée ou dʼincendie les plus proches de la ou des vannes détecte une occurrence de fumée ou d’incendie.
montre, en vue perspective coupée, une vanne et un circuit de refroidissement,
montre, en vue schématique, une vanne refroidie par le turbocompresseur,
montre, en vue schématique, un moyen de pression obtenu par une prise d’air en dépression aérodynamique,
montre, en vue schématique, un moyen de pression obtenu par une prise d’air en écope,
montre, en vue perspective coupée, un moyen de pression obtenu par une dépression issue d’un orifice percé dans l’arbre,
montre, en vue perspective coupée, un moyen de pression obtenu par une dépression issue d’un obstacle,
montre, en vue perspective coupée, un moyen de pression obtenu par une dépression issue d’un venturi,
montre, en vue perspective, un moyen de pression obtenu par une dépression issue d’une canule divergente,
montre, en vue coupée, une vanne d’échappement à un seul palier, et un moyen de pression obtenu par une dépression issue d’une coupe en biseau de l’arbre,
montre, en vue schématique, un moyen de pression obtenu par un piquage sur la ligne d’échappement.
En référence à la , l’invention concerne une vanne d’échappement 1. Une telle vanne d’échappement 1 comprend un corps 2 sensiblement tubulaire s’étendant selon un axe d’extension A. La section du corps 2 définit une section de passage S de la vanne d’échappement 1. La vanne d’échappement 1 comprend encore au moins un palier 4, 5. Ledit au moins un palier 4, 5 est solidaire du corps 2, et accueille un arbre 3 de manière rotative relativement au corps 2 grâce audit au moins un palier 4, 5. Cette rotation de l’arbre 3 s’effectue autour d’un axe de rotation B sécant à l’axe d’extension A. Un volet 6, sensiblement plan, disposé dans le corps 2 est solidaire de l’arbre 3. Ainsi, la rotation de l’arbre 3 permet une rotation du volet 6 alternativement entre une orientation fermée où le volet 6 obture la section de passage S et une orientation ouverte où le volet 6 libère, au moins partiellement, la section de passage S.
Du fait de la circulation des gaz d’échappement au travers du corps 2 de la vanne d’échappement 1, le corps 2 s’échauffe. Ce faisant, il transmet de la chaleur audit au moins palier 4, 5. Ceci est préjudiciable.
Selon une caractéristique, l’arbre 3 comprend un creux 7, au moins au droit dudit au moins un palier 4, 5. Le creux 7 de l’arbre 3 est intégré dans un circuit de fluide refroidissant, circulé par un moyen de pression P. Ceci permet une circulation d’un fluide refroidissant dans le creux 7 de l’arbre 3 au droit dudit au moins un palier 4, 5. Ceci permet de refroidir l’arbre 3 au droit dudit au moins palier 4, 5 et ainsi ledit au moins palier 4, 5.
Le circuit de fluide refroidissant et le moyen de pression P peuvent être quelconques, y compris dédiés à cette fonction de refroidissement de la vanne d’échappement 1. Cependant, il est préféré réutiliser un circuit ou un moyen de pression P préexistant.
Selon un premier mode de réalisation, le fluide refroidissant est un liquide de refroidissement moteur. Le circuit est alors avantageusement une dérivation du circuit de refroidissement, préexistant, du moteur M. Ceci permet de réutiliser ce circuit, son liquide de refroidissement et sa pompe. Un tel mode de réalisation ne nécessite qu’une conduite en dérivation du circuit de refroidissement existant. Le creux 7 est alors connecté en entrée et en sortie, le circuit étant nécessairement fermé, pour récupérer le liquide de refroidissement. Le creux 7 est ici étanche tant vis-à-vis de l’air ambiant que vis-à-vis du gaz d’échappement.
Selon une autre famille de mode de réalisation, le fluide refroidissant est de l’air, préférentiellement prélevé à l’extérieur de la vanne d’échappement 1. Cet air ambiant est avantageusement disponible et généralement plus frais que la vanne d’échappement 1.
Selon une particularité de réalisation, le dispositif de connexion comporte un joint d’étanchéité surmoulé avec la portion d’interface, ou un joint d’étanchéité rapporté sur la portion d’interface présentant une première partie recouvrant au moins partiellement une face supérieure de la portion d’interface, laquelle face supérieure étant tournée vers la deuxième extrémité de l’au moins une barre conductrice. Le joint d’étanchéité présente une deuxième partie recouvrant une face latérale périphérique de la portion d’interface destinée à coopérer avec des parois de l’ouverture du carter.
Selon une particularité de l’invention, la deuxième partie du joint d’étanchéité présente une surface externe ondulée. La surface externe est destinée à coopérer avec les parois de l’ouverture du carter du moteur électrique. L’ondulation de la surface externe permet de former une pluralité de zones de contact ponctuelles avec les parois de l’ouverture du carter, et donc de réduire la surface de frottement par rapport à une surface lisse. Le joint d’étanchéité peut ainsi glisser plus facilement le long des parois de l’ouverture du carter du moteur électrique. Lorsque le joint d’étanchéité est rapporté sur la portion d’interface, une telle surface ondulée permet de limiter l’étirement du joint d’étanchéité et de conserver une épaisseur suffisante pour assurer une étanchéité satisfaisante.