INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Selon encore d’autres caractéristiques avantageuses et non limitatives applicables au premier ou au second aspect de l’invention, prises seules ou selon toute combinaison techniquement réalisable : la roue d’implantation présente un axe de symétrie définissant un axe de rotation et chaque surface d’accueil de la pluralité de supports de plaquette est orientée vers l’axe de rotation de sorte qu’une composante normale à la surface d’accueil de la force centrifuge s’applique à la plaquette donneuse lors de la rotation de la roue et presse celle-ci contre la surface d’accueil ; chaque support de plaquette est muni d’une cale permettant de retenir une plaquette donneuse en s’opposant à une composante coplanaire à la surface d’accueil de la force centrifuge s’appliquant à la plaquette donneuse lors de la rotation de la roue ; la surface d’accueil de chaque support de plaquette présente une élévation maximale au niveau de la cale ; chaque support de plaquette est muni d’un pion rétractable ; chaque support de plaquette est muni d’au moins un clip permettant de positionner et retenir une plaquette contre la cale.
La représente une vue schématique une configuration d’un équipement d’implantation ionique de l’état de la technique et conforme à l’invention ;
La représente de manière schématique, en vue de face, une roue d’implantation selon l’état de la technique et conforme à l’invention ;
Les figures 2a et 2b représentent une plaquette donneuse disposée sur un support de plaquette de l’état de la technique respectivement avant et pendant une étape d’implantation ionique ;
Les figures 3a, 3b, 3c, 3d et 3e représentent des supports de plaquette d’une roue d’implantation conforme à l’invention.
DESCRIPTION DETAILLEE DE L’INVENTION L’expression « coefficient de dilatation thermique » employée dans la suite de cette description en relation à une couche ou à un substrat fait référence au coefficient de dilatation selon une direction définie dans le plan principal définissant cette couche ou ce substrat. Si le matériau est anisotrope, la valeur du coefficient retenue sera celle de plus grande amplitude. La valeur du coefficient est celle mesurée à température ambiante.
Expériences préparatoires Pour comprendre l’origine de ce phénomène d’exfoliation présenté en introduction de cette demande, la Demanderesse a mené une série d’expériences exploratoires. Au cours de ces expériences, on a mesuré le profil spatial de température d’une hétérostructure donneuse qui se développe dans cette hétérostructure au cours d’une étape d’implantation dans des conditions visant à former un plan de fragilisation selon la technologie Smart Cut®. Plus précisément un équipement d’implantation ionique de l’état de la technique a été employé pour introduire une dose d’hydrogène de 3.0 10^16 at/cm^2 à un courant d’implantation de 16mA et à une énergie de 137 keV environ. L’hétérostructure donneuse était formée d’une couche d’un matériau piézoélectrique, dont l’épaisseur était comprise entre 15-20 microns, assemblée à une plaquette de silicium. La température de l’hétérostructure a été mesurée en répartissant sur sa face avant, c’est-à-dire sur la face exposée au faisceau d’ions, une pluralité de patchs adhésifs thermosensibles recouverts d’un film de kapton®. Chaque patch présente un indicateur visuel de la température maximale à laquelle il a été exposé. En disposant ces patchs sur une face de la plaquette, et en relevant à l’issue de l’expérience les indicateurs visuels de chaque patch, on peut estimer le profil spatial de température qui s’est développé dans la plaquette au cours de l’étape d’implantation.
La même expérience a été reproduite, dans les mêmes conditions d’implantation, en appliquant cette fois l’étape d’implantation à une plaquette de silicium massive, identique à la plaquette formant le substrat manipulateur de l’hétéro structure donneuse. Le tableau ci-dessous présente les résultats de ces expériences. Température au bord Température au centre Plaquette silicium 54-64°C 46-49°C Hétéro-structure 132-166°C >166°C
On observe sur les résultats issus de ces expériences, que la température à laquelle s’est élevée une hétérostructure donneuse est étonnamment très supérieure à celle à laquelle s’est élevée la simple plaquette de silicium. On note que cette température, qui peut atteindre et même dépasser les 160°C s’approche, voire même atteint, la température d’exfoliation, cette température étant proche de celle provoquant le détachement d’une couche mince ferroélectrique dans le cadre de l’application de la technologie Smart Cut®, comme cela a été rappelé en introduction. On comprend donc pourquoi, l’exfoliation de la couche mince peut être observée pendant l’étape d’implantation elle-même.
On observe par ailleurs un profil spatial de température opposé dans le cas de l’implantation d’une plaquette de silicium (le centre s’élevant à une température plus faible que le bord) que dans le cas de l’implantation d’une hétérostructure donneuse (le bord s’élevant à une température plus faible que le centre).
En cherchant à interpréter ces résultats, la demanderesse a observé que dans l’équipement d’implantation de l’état de la technique employé pour mener ces expériences, la partie superficielle en élastomère des supports de la roue d’implantation, qui assure le contact thermique entre un support et la plaquette implantée, ne s’étendait pas entièrement sous toute la face arrière de cette plaquette. Comme cela est visible sur la qui représente une hétérostructure donneuse 3 disposée sur un support de plaquette avant le début de l’étape d’implantation, cette partie superficielle en élastomère 2b de forme circulaire et sur laquelle une plaquette 3 également circulaire est centrée, présente un diamètre plus petit que celui de la plaquette. Une couronne périphérique C de la face arrière de la plaquette (de quelques millimètres) n'est donc pas en contact intime avec cette couche superficielle élastomère 2b, et la chaleur qui s’y accumule au cours de l’étape d’implantation ne peut s’évacuer. Cette chaleur tend donc à diffuser vers une portion centrale de la plaquette 3 et élève donc la température moyenne de celle-ci. S’agissant d’une hétérostructure donneuse 3 formée, comme on l’a rappelé en introduction, d’une couche épaisse en matériau ferroélectrique et d'un substrat manipulateur, présentant des coefficients de dilatation différents, l’élévation de la température moyenne tend à déformer l’hétérostructure donneuse 3, qui prend une forme convexe pour accommoder ces contraintes. Cette situation est illustrée sur la qui représente l’hétérostructure donneuse 3 déformée par son élévation de température qui intervient au cours de l’étape d’implantation. Cette forme convexe tend à éloigner la partie centrale de l’hétérostructure du support de la roue d’implantation, et préserver un contact au niveau d’un cercle périphérique uniquement comme cela est bien visible sur la . Les contraintes générées par la différence de coefficients de dilatation sont plus importantes que la force centrifuge qui tend à maintenir plaquée l’hétérostructure en contact intime sur la partie superficielle élastomère du support. Ce contact intime perdu, la chaleur qui s’accumule dans l’hétéro structure donneuse 3 au cours de l’implantation ne peut plus s’évacuer avec la même efficacité, ce qui tend à amplifier le phénomène de déformation de l’hétéro structure et, par effet d’emballement thermique, provoque un accroissement de sa température jusqu’à atteindre localement au moins la température d’exfoliation. On comprend également à travers cette explication la raison pour laquelle la partie centrale de l’hétérostructure donneuse 3, qui n’est plus en contact avec le support 2, tend à atteindre une température plus importante que le bord qui reste quant à lui en contact avec ce support 2.
Ainsi, le calculateur en charge de contrôler le dispositif d’affichage 101 (par exemple le calculateur IVI), le calculateur en charge de contrôler le système DMS et tout autre calculateur du véhicule 10 (par exemple le calculateur en charge de contrôler le système de reconnaissance de panneau) forment le système embarqué du véhicule 10. La ou les antennes du système de communication, l’unité TCU (de l’anglais « Telematic Control Unit » ou en français « unité de contrôle télématique »), les capteurs du véhicule et les calculateurs forment par exemple une architecture multiplexée pour la réalisation de différents services utiles pour le bon fonctionnement du véhicule et pour assister le conducteur et/ou les passagers du véhicule dans le contrôle du véhicule 10, par exemple en affichant des informations relatives au véhicule 10 sur le dispositif d’affichage 101 embarqué dans le véhicule 10. Les calculateurs et l’unité TCU communiquent et échangent des données entre eux par l’intermédiaire d’un ou plusieurs bus informatiques, par exemple un bus de communication de type bus de données CAN (de l’anglais « Controller Area Network » ou en français « Réseau de contrôleurs »), CAN FD (de l’anglais « Controller Area Network Flexible Data-Rate » ou en français « Réseau de contrôleurs à débit de données flexible »), FlexRay (selon la norme ISO 17458) ou Ethernet (selon la norme ISO/IEC 802-3).
Un processus de contrôle d’un dispositif d’affichage 101 du véhicule 10 est avantageusement mis en œuvre par un ou plusieurs processeurs d’un dispositif embarqué dans le véhicule 10, un tel dispositif correspondant par exemple à un calculateur ou à une combinaison de calculateurs du véhicule 10.
Dans une première opération, des données représentatives d’un état d’attention du conducteur du véhicule 10 sont reçues du système DMS du véhicule 10.
Les données sont par exemple représentatives de l’état d’attention du conducteur parmi 2 ou plus d’états comprenant :
Dans une deuxième opération, un ensemble d’informations relatives au véhicule sont sélectionnées en fonction de l’état d’attention du conducteur.
Par exemple, lorsque l’état d’attention correspond au premier état, un premier ensemble d’informations est sélectionné. Ce premier ensemble comprend par exemple l’ensemble des informations affichées selon un premier mode d’affichage correspondant à un mode standard (ou mode complet) d’affichage selon lequel toutes les informations prévues pour être affichées le sont.
De par leur(s) profil(s) ONVIF, les caméras IP PhC1, PhC2 et PhC3 ont ainsi chacune une ou plusieurs fonctionnalités ONVIF, chaque fonctionnalité étant définie par un ou plusieurs paramètres de fonctionnement. À titre d’exemple illustratif : - La caméra PhC1 possède une fonctionnalité de diffusion vidéo, une fonctionnalité d’encodage vidéo, une fonctionnalité d’enregistrement vidéo, une fonctionnalité de diffusion audio, une fonctionnalité de déplacement PTZ, mais aucune fonctionnalité liée aux métadonnées ; - La caméra PhC2 possède une fonctionnalité de diffusion vidéo, une fonctionnalité d’enregistrement vidéo, une fonctionnalité de déplacement PTZ, une fonctionnalité de diffusion de métadonnées, mais pas de fonctionnalité liée à l’audio ; - La caméra PhC3 possède une fonctionnalité de diffusion vidéo, une fonctionnalité d’encodage vidéo, une fonctionnalité de diffusion audio, une fonctionnalité de diffusion de métadonnées, mais pas de fonctionnalité liée au PTZ.
De par leur(s) profil(s) ONVIF, les caméras PhC1, PhC2 et PhC3 ont une ou plusieurs fonctionnalités ONVIF qui sont communes aux profils ONVIF desdites caméras IP. Dans l’exemple précité, la fonctionnalité commune est la diffusion vidéo. Une ou plusieurs autres fonctionnalités ONVIF peuvent être communes aux différentes caméras IP, par exemple une fonctionnalité de diffusion audio, une fonctionnalité de déplacement PTZ, une fonctionnalité de diffusion de métadonnées, etc. Les caméras IP peuvent également avoir en commun l’ensemble des fonctionnalités d’un profil ONVIF, par exemple toutes les fonctionnalités du profil ONVIF S. La illustre le recoupement des fonctionnalités des caméras IP. Les cercles F1, F2 et F3 représentent respectivement les fonctionnalités propres aux caméras PhC1, PhC2 et PhC3. La zone hachurée FC correspond à la ou les fonctionnalités communes.
Sur la , les caméras IP PhC1, PhC2, PhC3 sont connectées de manière filaire ou sans fil (par exemple par Wifi®) à un module d’interface EW une communication bidirectionnelle étant établie entre ledit module et lesdites caméras. Le module EW se présente avantageusement sous la forme d’une passerelle EDGEWAY®, d’un routeur, d’un module pare-feu (firewall), d’un PC, ou d’un mini-ordinateur NUC (pour l’acronyme anglais de Next Unit of Computing), installé dans la zone géographique d’intérêt Zi et faisant partie du réseau local (LAN) regroupant les caméras PhC1, PhC2, PhC3. Selon un mode de réalisation, le module EW comprend notamment une unité de traitement 10, une ou plusieurs mémoires 11 et un module de communication 12, qui sont mutuellement connectés via un bus 13. Une ou plusieurs applications informatiques sont enregistrées dans la ou les mémoires 11 et dont les instructions, lorsqu’elles sont exécutées par l’unité de traitement 10, permettent de réaliser les fonctionnalités décrites plus avant dans la description.
La ou les mémoires 11 doivent être considérées comme un dispositif de stockage également adapté pour stocker des données (vidéo, audio, métadonnées, …) et/ou des fichiers de données. Il peut s’agir d’une mémoire native ou d’une mémoire rapportée telle qu’une carte Secure Digital (SD), disque dur, HDD, SSD (de l'anglais Solid-State Drive), etc. L’unité de traitement 10 et la mémoire 11 peuvent être intégrées dans une carte SIM (pour l’anglais Suscriber Identity Module), cette dernière étant connectée au bus 13.
Le module de communication 12 est adapté pour relier le réseau local (LAN) et le réseau de communication R (notamment le réseau internet) par liaison satellite ou par liaison hertzienne ou par liaison par câble.
Selon un mode de réalisation, le module EW est configuré pour fournir un chemin d’accès aux caméras PhC1, PhC2, PhC3 et peut fonctionner comme un routeur. Il permet également d’isoler les caméras IP du LAN, ledit module étant leur seul point d’accès. Pour s’affranchir de tout protocole propriétaire et donc pour dialoguer avec chaque caméra IP quel que soit leur constructeur, le module EW met en œuvre un processus de découverte standard, préférentiellement un processus de découverte supporté par la norme ONVIF, par exemple WS-Discovery (Web Services Dynamic Discovery) ou GetDiscoveryMode. Par ce processus de découverte, le module EW interroge chaque caméra PhC1, PhC2, PhC3 et récupère non seulement leur identifiant respectif (notamment leur adresse IP), mais également leur(s) profil(s) ONVIF, c’est-à-dire leur(s) fonctionnalité(s) ONVIF et/ou leur(s) paramètre(s) de fonctionnement.
Selon un mode de réalisation, une entité informatique, dite « caméra virtuelle » ViC, est créée dans un serveur informatique S. Sur la , ce serveur informatique S est un serveur distant du LAN, hébergé dans le cloud (serveur cloud), dans une architecture Vsaas. Selon une variante de réalisation, le serveur S (et la caméra virtuelle ViC) est hébergé dans le LAN ou dans un autre réseau local. La caméra virtuelle ViC est une composante logicielle du serveur S. Elle n’a pas de matérialité physique, mais se comporte pour l’utilisateur (ou est perçue par l’utilisateur), comme une caméra réelle de vidéosurveillance. Une communication bidirectionnelle est établie entre le module EW et la caméra virtuelle ViC.
Le module EW communique à la caméra virtuelle ViC les identifiants et les profils ONVIF des caméras IP. La caméra virtuelle ViC peut ainsi recenser les caméras PhC1, PhC2, PhC3 et agréger une ou plusieurs fonctionnalités ONVIF qui sont communes aux profils ONVIF desdites caméras. La caméra virtuelle ViC peut ainsi être contrôlée et/ou configurée comme si c’était une caméra IP supportant la ou les fonctionnalités ONVIF communes.
En reprenant l’exemple précité, si la fonctionnalité ONVIF commune est la diffusion vidéo (et/ou audio), alors l’utilisateur contrôlera et/ou configurera la caméra virtuelle ViC comme si c’était une caméra IP réelle comportant seulement une fonctionnalité de diffusion vidéo (et/ou de diffusion audio le cas échéant). Les caméras PhC1, PhC2, PhC3 sont simplement utilisées comme des « capteurs optiques ». Selon un autre exemple, si la caméra PhC1 supporte les profils ONVIF G, S et T, la caméra PhC2 les profils ONVIF G et S, et la caméra PhC3 uniquement le profil ONVIF S, la caméra virtuelle ViC agrège les fonctionnalités communes au profil ONVIF S. L’utilisateur contrôlera et/ou configurera alors la caméra virtuelle ViC comme si c’était une caméra IP réelle supportant un profil ONVIF S.
La caméra virtuelle va ensuite pouvoir transmettre aux caméras PhC1, PhC2, PhC3 un fichier de configuration adapté pour configurer lesdites caméras selon l’agrégation de la ou des fonctionnalités ONVIF communes. La configuration des caméras IP est alors modifiée et/ou adaptée en fonction du fichier de configuration reçu. Certaines fonctionnalités des caméras IP vont ainsi pouvoir être activées ou désactivées.
En reprenant l’exemple précité, la fonctionnalité ONVIF commune est la diffusion vidéo. Seule cette fonctionnalité va être activée dans les caméras IP de sorte qu’elles vont faire uniquement de la diffusion vidéo. Les fonctionnalités d’encodage vidéo, d’enregistrement vidéo, de diffusion audio, de déplacement PTZ de la caméra PhC1 ne seront pas activées ; les fonctionnalités d’enregistrement vidéo, de déplacement PTZ, et de diffusion de métadonnées de la caméra PhC2 ne seront pas activées ; et les fonctionnalités d’encodage vidéo, de diffusion audio, et de diffusion de métadonnées de la caméra PhC3 ne seront pas activées. Selon un autre exemple, si les fonctionnalités communes sont celles du profil ONVIF S, chaque caméra IP fonctionnera selon les fonctionnalités du profil ONVIF S. En d’autres termes, le fonctionnement des caméras IP est limité (ou bridé) à la ou les fonctionnalités ONVIF communes. Cela présente l’avantage de pouvoir piloter aisément un réseau de caméras IP ayant des fonctionnalités natives distinctes, depuis la seule caméra virtuelle ViC, ce qui est beaucoup plus simple et rapide pour l’utilisateur.
Selon un mode de réalisation, plusieurs fonctionnalités ONVIF sont communes aux caméras PhC1, PhC2, PhC3. Par exemple, les caméras IP peuvent avoir en commun un profil ONVIF S et un profil ONVIF G. On peut alors configurer aux choix les caméras IP selon le profil S ou selon le profil G. Pour se faire, on crée un premier fichier de configuration adapté pour configurer les caméras IP selon une première combinaison de fonctionnalités ONVIF communes (ex : les fonctionnalités du profil ONVIF S) et un deuxième fichier de configuration adapté pour configurer lesdites caméras IP selon une deuxième combinaison de fonctionnalités ONVIF communes (ex : les fonctionnalités du profil ONVIF G). En sélectionnant l’un ou l’autre de ces fichiers de configuration et en le transmettant aux caméras PhC1, PhC2, PhC3 depuis la caméra virtuelle ViC, on peut modifier et/ou adapter au choix la configuration desdites caméras IP.
Selon un autre mode de réalisation, si plusieurs fonctionnalités ONVIF sont communes aux caméras PhC1, PhC2, PhC3, on peut choisir de configurer lesdites caméras IP selon tout ou partie de ces fonctionnalités communes. Par exemple, si les caméras IP ont en commun une fonctionnalité de diffusion vidéo et une fonctionnalité de diffusion audio et/ou une fonctionnalité de métadonnées, lesdites caméras peuvent être configurées seulement selon la fonctionnalité de diffusion vidéo. Le fichier de configuration est alors adapté pour activer seulement la diffusion vidéo et désactiver la diffusion audio et/ou la fonctionnalité de métadonnées.
Comme mentionner précédemment, les fonctionnalités ONVIF sont définies par des paramètres de fonctionnement. Aussi, le fichier de configuration transmis aux caméras PhC1, PhC2, PhC3 comprend également des instructions pour modifier et/ou adapter les paramètres de fonctionnement de la ou des fonctionnalités ONVIF communes. Par exemple, si la fonctionnalité ONVIF commune est la diffusion vidéo, le fichier de configuration comporte avantageusement des instructions pour définir le protocole de communication (ex : RTSP/RTP) et le format de compression vidéo (ex : H.264), etc. Si la diffusion audio est également une fonctionnalité ONVIF commune, le fichier de configuration comporte également des instructions pour définir le format de compression audio (ex : G.711), un débit ou une fréquence d'échantillonnage, etc. On règle de la même façon les paramètres de fonctionnement de la caméra virtuelle ViC.
La caméra virtuelle ViC collecte les données obtenues à partir des caméras PhC1, PhC2, PhC3. Le type de données fournies par les caméras IP dépend de la configuration desdites caméras suite à la réception du fichier de configuration, et plus particulièrement des fonctionnalités qui sont activées ou désactivées au sein de chacune desdites caméras. Si la fonctionnalité ONVIF commune est seulement de la diffusion vidéo, les caméras IP PhC1, PhC2, PhC3 ne génèreront que des données vidéo et le module EW ne transmettra que ces données vidéo à la caméra virtuelle ViC. Si les fonctionnalités ONVIF communes sont la diffusion vidéo, la diffusion audio et/ou la diffusion de métadonnées, les caméras IP PhC1, PhC2, PhC3 génèreront des données vidéo, des données audio et/ou des métadonnées et le module EW transmettra ces différents types de données à la caméra virtuelle ViC.
Selon un mode de réalisation, les données générées par les caméras PhC1, PhC2, PhC3 et collectées par la caméra virtuelle ViC, sont agrégées par ladite caméra virtuelle. Cette agrégation consiste à récupérer dans la caméra virtuelle ViC toutes les données générées par les caméras IP et à les rendre accessibles, notamment en les mettant à disposition de l’utilisateur final.
La caméra virtuelle ViC3 récupère ici les données obtenues aux étapes A21 et E22. Les étapes de post-traitement A31 et A32 ne sont pas utiles pour obtenir les résultats recherchés par la caméra virtuelle ViC3.
Les données d’entrée traitées par la caméra virtuelle ViC3 sont donc les données obtenues aux étapes A21 et A22. En reprenant le deuxième exemple précité, il s’agit respectivement : des données d’identification du nombre d’individus dans les voitures circulant dans la voie réservée (étape A21 de la caméra PhC1) ; et des données d’identification des plaques d’immatriculation des voitures circulant dans la voie réservée (étape A22 de la caméra PhC2).
La caméra virtuelle ViC3 réalise ensuite l’étape de post-traitement A33’. Cette étape consiste par exemple en une combinaison des étapes A31 et A32 et A32’ décrites précédemment en référence au deuxième exemple. Par exemple, la caméra virtuelle ViC peut extraire les données utiles et les insérer seulement sur les images captées par une des caméras PhC1 ou PhC2. Par exemple, l’étape A33’ consiste à sélectionner les images captées par la caméra PhC1 pour lesquelles le nombre d’individus décompté est égal à 1 et à insérer sur ces mêmes images les numéros des plaques d’immatriculation correspondants. Le résultat (une seule image) peut alors être transmis sous forme de fichier à une application tierce, par exemple au serveur informatique de gestion de contravention S2.
La caméra virtuelle ViC3 exécute donc l’ensemble de sa chaine d’IA, mais avec les étapes de prétraitement et d’application du modèle d’IA réalisées dans et par les caméras PhC1 et PhC2. L’étape A23’ correspond à une combinaison des étapes A21 et A22 réalisées par les caméras PhC1 et PhC2, de sorte que le modèle d’IA appliqué à l’étape A23’ (dans la seule caméra virtuelle ViC3) correspond à une combinaison des modèles d’IA appliqués aux étapes A21 et A22 (dans deux caméras distinctes PhC1 et PhC2). En outre, le résultat obtenu à A33’ peut être distinct de la juxtaposition des résultats obtenus aux étapes A31 et A32, et donc plus pertinents.
Les données d’entrée traitées par la caméra virtuelle ViC3 peuvent provenir de plusieurs autres caméras PhCi installées dans le même réseau local LAN ou dans des réseaux distincts. La caméra virtuelle ViC3 récupère alors les données obtenues aux étapes A2i de chacune de ces différentes caméras PhCi.