Réacteur (1) de dépôt assisté par plasma comprenant : une chambre (10) de réaction délimitée par des parois (100, 101, 102, 103) et comprenant un plateau (110) électriquement conducteur présentant une face supérieure (110a) destinée à recevoir un substrat (2), une arrivée de précurseur gazeux (12) configurée pour amener des précurseurs gazeux dans la chambre (10) de réaction, un module de pompage (13) de la chambre (10) de réaction, une source de puissance (14) configurée pour appliquer une puissance radiofréquence au plateau (110) et générer le plasma, caractérisé en ce que une paroi latérale (100) de la chambre (10) de réaction est au moins en partie non parallèle à la face supérieure (110a) du plateau (110) et est électriquement conductrice, et en ce que la face supérieure (110a) du plateau (110) et la paroi latérale (100) sont séparées d’une distance (d) configurée de façon à générer un plasma par couplage capacitif entre le plateau (110) et la paroi latérale (100). Réacteur (1) selon la revendication précédente, dans lequel la distance (d) entre la face supérieure (110a) du plateau (110) et la paroi latérale (100) est comprise entre 5 cm et 15 cm. Réacteur (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la paroi latérale (100) est au moins en partie disposée de façon oblique par rapport au plan d’extension principale de la face supérieure (110a) du plateau (110). Réacteur (1) selon la revendication précédente, dans lequel la paroi latérale (100) forme au moins en partie un cône au-dessus du plateau (110), de préférence la paroi latérale (100) présente une géométrie conique d’axe de révolution sensiblement centré par rapport au plateau (110). Réacteur (1) selon la revendication 3, dans lequel la paroi latérale (100) forme au moins en partie un dôme au-dessus du plateau (110), de préférence la paroi latérale (100) présente au moins en partie une géométrie hémisphérique, de préférence sensiblement centrée par rapport au plateau (110). Réacteur (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, configuré de sorte que le plasma est généré uniquement dans la chambre (10) de réaction. Réacteur (1) selon la revendication précédente, configuré de sorte que le plasma est généré entre deux électrodes uniquement et le réacteur est configuré de sorte que le plateau (110) constitue l’une des deux électrodes. Réacteur (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 5, le réacteur (1) comprenant en outre une source plasma à couplage inductif (15) déportée de la chambre (10) de réaction. Réacteur selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le plateau (110) n’est pas configuré pour être ajusté en hauteur dans la chambre (10) de réaction. Réacteur (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel le plateau (110) est configuré pour être ajusté en hauteur dans la chambre (10) de réaction. Réacteur (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’arrivée de précurseurs gazeux (12) et le module de pompage (13) sont configurés pour maintenir une pression sensiblement comprise entre 5 et 200 mTorr, de préférence comprise entre 5 mTorr et 100 mTorr, de préférence comprise entre 5 mTorr et 80 mTorr dans la chambre (10) de réaction. Réacteur (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la source de puissance (14) est configurée pour appliquer la puissance radiofréquence avec une fréquence comprise entre 2 et 100 MHz lorsque le plasma est généré par couplage capacitif entre le plateau (110) et la paroi latérale (100). Réacteur (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la source de puissance (14) est configurée pour appliquer la puissance radiofréquence avec une puissance inférieure ou égale à 100 W, lorsque le plasma est généré par couplage capacitif entre le plateau et la paroi latérale. Réacteur (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la source de puissance (14) comprend un atténuateur configuré pour limiter la puissance de la polarisation radiofréquence.