INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Il est également proposé un ensemble pour barrière de type cornadis, l’ensemble comprenant : - un balancier tel que décrit ci-avant ; - une embase destinée à être fixée à, ou formée par, un élément fixe d’une barrière de type cornadis, l’embase comprenant un premier flasque et un second flasque espacés l’un de l’autre dans la direction transversale, l’arbre étant relié au premier flasque et au second flasque ; et dans lequel le bras tubulaire est disposé, dans la direction transversale, entre le premier flasque et le second flasque.
Le fait que le bras tubulaire du balancier soit disposé entre le premier flasque et le second flasque de l’embase permet de limiter, voire d’empêcher, un déplacement du bras tubulaire dans la direction transversale. Chaque flasque peut s’étendre perpendiculairement au premier axe transversal. Le premier flasque et le second flasque peuvent comporter respectivement un premier trou et un second trou centré sur le premier axe transversal, l’arbre s’étendant au travers du trou de chaque flasque. Le diamètre du premier trou à travers le premier flasque peut être supérieur au diamètre du second trou à travers le second flasque. Le diamètre de la première portion de guidage de l’arbre peut être supérieur au diamètre du trou à travers le second flasque. On assure ainsi un sens unique d’insertion de l’arbre à travers le bras tubulaire, le premier flasque et le second flasque.
L’arbre peut être fixe en rotation autour du premier axe transversal par rapport à l’embase par complémentarité de formes entre une portion de verrouillage de l’arbre et l’embase. La portion de verrouillage de l’arbre peut être reçue dans le premier trou à travers le premier flasque. La portion de verrouillage peut présenter une section adaptée pour coopérer avec une face interne du premier trou à travers le premier flasque pour solidariser en rotation l’arbre par rapport au premier flasque autour du premier axe transversal. La portion de verrouillage de l’arbre peut présenter une section ayant un profil anti-rotation, par exemple une section carrée, polygonale, ovale ou encore une forme comportant au moins un méplat.
L’arbre peut comprendre une tête au niveau d’une première extrémité dans la direction transversale, la tête présentant une surface d’appui qui est en appui, dans la direction transversale, avec une face externe du premier flasque. La face externe du premier flasque peut être opposée au second flasque dans la direction transversale. Lors de l’assemblage du balancier, la mise en appui de la tête de l’arbre sur la face externe du premier flasque assure le bon positionnement de l’arbre selon la direction transversale.
La tête de l’arbre peut présenter un profil externe anti-rotation. Cela permet de mettre en prise la tête de l’arbre avec un outil adapté pour maintenir l’arbre en rotation autour du premier axe transversal et/ou avec un outil adapté pour entrainer l’arbre en rotation autour du premier axe transversal afin d’engendrer une pré-tension dans le ressort lors de l’assemblage de l’ensemble, permettant ainsi un meilleur rappel du balancier dans la première position autour du premier axe transversal. La pré-tension peut être appliquée au ressort spiral avec l’arbre disposé de sorte que la portion de verrouillage de l’arbre ne soit pas engagée avec la face interne du premier trou à travers le premier flasque de l’embase.
L’arbre peut comprendre une portion filetée au niveau d’une seconde extrémité dans la direction transversale, la portion filetée s’étendant d’un côté du second flasque qui est opposé au premier flasque dans la direction transversale. L’ensemble peut comprendre en outre un écrou vissé sur la portion filetée de l’arbre pour être serré contre une face externe du second flasque. La face externe du second flasque peut être opposée au premier flasque dans la direction transversale.
La portion filetée de l’arbre peut s’étendre transversalement depuis la seconde extrémité de l’arbre jusqu’à une partie de l’arbre coïncidant avec la face externe du second flasque. Cela permet d’éviter, voire d’empêcher, un serrage trop important de l’écrou pouvant déformer les flasques.
L’arbre peut comprendre un épaulement en appui, dans la direction transversale, contre une face interne du second flasque. La face interne du second flasque peut être en regard du premier flasque dans la direction transversale. Cela permet un maintien de l’écartement entre le premier flasque et le second flasque dans la direction transversale lors du serrage de l’écrou. La collerette du premier palier, respectivement du second palier, peut être interposée entre le bras tubulaire et le premier flasque, respectivement le second flasque. La collerette du premier palier permet de maintenir un espacement entre le bras tubulaire et le premier flasque de l’embase. De même, la collerette du second palier permet de maintenir un espacement entre le bras tubulaire et le second flasque de l’embase. Cela permet de limiter, voire d’empêcher, que le bras tubulaire frappe contre l’un et/ou l’autre des flasques. Le bruit émis par l’ensemble lors de son utilisation est ainsi réduit.
Le premier palier et/ou le second palier peuvent être chacun réalisés en un matériau plastique. Cela permet de diminuer le bruit produit lors de la rotation du bras tubulaire et des paliers par rapport aux flasques de l’embase. Aussi, cela permet d’éviter encore mieux le phénomène d’ovalisation du premier trou et du second trou à travers le bras tubulaire.
Il est également proposé une barrière de type cornadis comprenant : - un longeron supérieur et un longeron inférieur s’étendant chacun selon une direction longitudinale ; - un premier montant vertical et un second montant vertical chacun reliés au longeron inférieur et au longeron supérieur de sorte à définir un cadre, - un ensemble pour barrière cornadis tel que décrit ci-avant, et dans laquelle le premier flasque et le second flasque de l’embase sont fixés au cadre.
La direction transversale peut être perpendiculaire à la direction longitudinale. En d’autres termes, le premier axe transversal peut être normal à un plan de la barrière, i.e. un plan contenant chacun des axes longitudinaux selon lesquels s’étendent le longeron supérieur et le longeron inférieur.
Le premier flasque et le second flasque peuvent être solidaires d’une barre coudée qui est fixée au cadre. La barre coudée peut s’étendre à l’intérieur du cadre. La barre coudée peut être fixée au longeron supérieur et au longeron inférieur. Alternativement, la barre coudée peut être fixée au premier montant vertical et à l’un parmi le longeron supérieur et le longeron inférieur.
Selon un deuxième aspect, indépendant du premier aspect, dans lequel la fonction de rappel décrite ci-dessus peut être omise, il est proposé un balancier adapté pour une barrière de type cornadis, le balancier comprenant : - un arbre s’étendant suivant un premier axe transversal et destiné à être fixé rigidement à une embase, - un bras tubulaire définissant un axe d’extension, le bras tubulaire étant monté pivotant sur l’arbre autour du premier axe transversal, le bras tubulaire présentant un premier trou et un second trou disposés en vis-à-vis l’un de l’autre selon le premier axe transversal, l’arbre comprenant une première portion de guidage et une seconde portion de guidage qui sont reçues respectivement dans le premier trou et le second trou du bras tubulaire de manière à guider le bras tubulaire en rotation autour du premier axe transversal, - un premier palier et un second palier fixes par rapport au bras tubulaire, le premier palier et le second palier comprenant chacun un fût tubulaire s’étendant suivant le premier axe transversal, le fût du premier palier étant interposé entre la première portion du guidage de l’arbre et une face interne du premier trou à travers le bras tubulaire et le fût du second palier étant interposé entre la seconde portion du guidage de l’arbre et une face interne du second trou à travers le bras tubulaire.
Un tel agencement permet d’éviter un contact direct entre la face interne de chaque trou à travers le bras tubulaire et l’arbre. Cela permet de limiter, voire d’éviter, une ovalisation ou une déformation du premier trou et du second trou à travers le bras tubulaire.
Le premier palier et le second palier peuvent chacun comprendre une collerette faisant saillie d’une partie du fût respectif qui est située à l’extérieur du bras tubulaire, le bras tubulaire étant serré, dans la direction transversale, entre la collerette du premier palier et la collerette du second palier. Le premier palier et le second palier peuvent chacun comprendre une patte d’accrochage solidaire de la collerette respective. La patte d’accrochage du premier palier et la patte d’accrochage du second palier peuvent être disposées en vis-à-vis l’une de l’autre dans la direction transversale. La patte d’accrochage du premier palier peut être fixée à la patte d’accrochage du second palier, notamment par vissage.
Selon un exemple, la couche 20 peut former la couche superficielle du sous-substrat donneur 2. On peut réaliser un collage direct de semi-conducteur ou piézoélectrique contre semi-conducteur, et notamment silicium, lorsque la couche 20 est à base d’un matériau semi-conducteur ou piézoélectrique. Suite à leur assemblage, la couche 20 va former la deuxième couche 31 du substrat 3.
Notons qu’il est préférable d’avoir pour l’assemblage une épaisseur de matériau diélectrique, et notamment d’oxyde, d’au moins 10 nm à l’interface de collage pour éviter l’apparition de défauts.
Le procédé de fabrication d’un dispositif microélectronique 4 est maintenant décrit en référence aux figures 6A à 8D.
Dans ce procédé, les vias 32 peuvent servir à établir des interconnexions. Les vias 32 peuvent en alternative ou en complément servir à former des portions d’un dispositif microélectronique sans nécessairement être des interconnexions métalliques, par exemple dans un dispositif MEMS.
Le procédé peut comprendre une fourniture du substrat 3. Le procédé peut comprendre le dépôt de couches de composants, par exemple de transistor, de diode, de point mémoire. Ce dépôt peut par exemple comprendre les étapes du FEOL.
Comme par exemple illustré sur la , le procédé peut comprendre le dépôt d’au moins une portion de couche 40, aussi appelé portion 40 de dispositif, sur la surface avant 3a du substrat 3. Dans la suite, on considère à titre non limitatif que plusieurs portions 40 sont déposées. En alternative ou en complément, la ou les portion(s) de dispositif peut/peuvent être gravée(s) dans la surface exposée avant 3a du substrat 3.
Ces portions peuvent être métalliques 40 et peuvent notamment former des lignes d’interconnexions métalliques. Typiquement ces portions métalliques 40 peuvent servir à redistribuer des signaux électriques. Ces portions métalliques peuvent aussi être désignées niveaux de métallisation. Il peut y avoir plusieurs portions métalliques 40 avec des interconnexions entre ces portions. Ce dépôt peut par exemple comprendre les étapes du BEOL.
Dans la suite, on considère à titre non-limitatif que ces portions 40 sont métalliques et que le via gravé 32 sert à établir une interconnexion. Les étapes suivantes s’appliquent tout à fait au cas où des portions 40 de dispositif 4 non métalliques sont déposées et/ou gravées.
Le dépôt d’au moins une portion de couche 40 peut être fait après la formation des vias 32 comme illustré, et le cas échéant après la formation des organes conducteurs ou semi-conducteurs 45, ou avant.
Afin de faciliter la manipulation du substrat 3, le procédé peut comprendre le montage d’un support 41 du côté de la surface avant 3a et/ou de la surface arrière 3a exposée du substrat 3, selon les étapes de fabrication. Ce montage peut être fait par exemple par le biais d’un collage 410, comme illustré par la . Cela permet en outre de protéger les dépôts réalisés en surface du substrat 3. Le procédé peut en outre comprendre le démontage de ce support 41, par exemple lorsqu’il est nécessaire d’accéder à la surface recouverte par le support 41 ou en fin de procédé
Le procédé comprend la gravure d’au moins un via 32 afin de réaliser au moins une mise en continuité électrique entre une portion 40, le via 32et la surface arrière 3b du substrat. Pour cela, plusieurs exemples sont possibles et sont maintenant décrits. Par souci de simplification des figures, les portions 40 ne sont pas représentées sur toutes les figures. Dans la suite, on considère à titre non limitatif que l’on grave plusieurs vias 32.
De préférence, le procédé comprend une sélection d’uniquement une partie des vias 32, pour définir un groupe de vias à graver 32’. Ainsi, à partir du substrat générique 3, on peut utiliser uniquement les vias d’intérêt pour la fabrication du dispositif microélectronique 4. Dans la suite, on considère à titre non-limitatif que le procédé comprend cette sélection et qu’une partie uniquement des vias 32 sont utilisés, et non la totalité.
Selon un premier exemple, comme illustré par la à 6D, à partir de la surface avant 3a, une cavité 43 peut être créée pour atteindre les via 32’. Pour cela, un masque 42 peut être appliqué sur la surface avant du substrat 3. Le masque peut comprendre des ouverture 420 ou être gravé pour présenter les ouvertures 420. Le masque peut être un masque dur, par exemple à base ou fait de SiO 2 . Le masque est par exemple déposé par PECVD.
Des cavités 43 peuvent être gravées de façon à atteindre les vias 32’, et plus particulièrement de façon à atteindre et de préférence dépasser leur paroi supérieure 322, comme par exemple illustré par la . Pour cela, une gravure silicium en SF 6 est par exemple effectuée. De préférence, la gravure ne met à jour à jour le matériau conducteur du via 32’ à ce moment-là afin d’éviter une contamination du substrat. Cela pourrait en effet être nuisible si des dispositifs actifs sont ensuite réalisés. Afin de mettre à jour le matériau conducteur 323 du via, le procédé peut comprendre une gravure RIE (abrégé de l’anglais Reactive Ion Etching , que l’on peut traduire par gravure ionique réactive) pour ouvrir le fond de la cavité, aussi désignée « etch back ». Il est préférable que le matériau conducteur électriquement du via ne soit découvert qu’après la formation des parois diélectriques 450, décrite ultérieurement.
Une fois les cavités 43 formées, le procédé peut comprendre le dépôt d’un organe électriquement conducteur ou semi-conducteur 45. Cet organe 45 peut être à base ou fait d’un matériau métallique 45, par exemple du cuivre électrolytique ou du tungstène CVD. En alternative, cet organe 45 peut être à base ou fait d’un matériau semi-conducteur, par exemple du poly-Si. Le dépôt peut être configuré de façon à remplir ces cavités 43 du matériau métallique pour former une interconnexion électrique ou une portion de dispositif 40, comme par exemple illustré par la .
À partir de la surface arrière 3b du substrat 3, la première couche 30 peut être gravée jusqu’à affleurer, ou dépasser la paroi de fond 321 des vias 32. Pour cela, la première couche 30 peut être amincie et gravée par une gravure du matériau de la première couche 30. L’ensemble de la surface arrière 3b du substrat 3 peut être gravée. Tous les vias 32 seront ainsi atteints.
De préférence, afin de rigidifier la cage centrale dans ce mode de réalisation, la cage centrale 11 comporte un volet de contreventement 11d de liaison entre l’embase 11c et à la face 11a, et perpendiculaire à elles. Un tel volet de contreventement peut également équiper la cage des modes de réalisations des figures précédentes, ce qui permet de réduire l’épaisseur des parois tout en préservant la rigidité.
Dans un mode de réalisation préféré, un boîtier d’attente 100 selon l’invention, illustrée aux figures 5 et 6, comprend un profilé 110 présentant un caisson central 111 et des canaux latéraux 112 séparés par une paroi 18 présentant, vue en coupe, une section en Y. Les deux parois 18 définissent ainsi deux cannelures longitudinales 19 séparant la cage centrale 111 et les canaux latéraux 112. Les tampons d’extrémités ne sont pas représentés.
Avantageusement, au moins une cannelure longitudinale 19, de préférence les deux cannelures 19, comprend une nervure longitudinale 19a.
Comme le montrent les figures 7 et 8, les cannelures longitudinales 19 sont destinées à recevoir, en utilisation, une extrémité 161 en forme de fourche d’une entretoise 160, la fourche 161 étant de forme complémentaire à la section des cannelures longitudinales 19.
Lorsque l’une ou les deux cannelures 19 comprennent une nervure longitudinale 19a, la fourche 161 de l’entretoise 160 comprend une (respectivement deux) rainure 162 de forme complémentaire à la section de la nervure longitudinale 19a, de sorte qu’en utilisation, la fourche est retenue dans les cannelures 19 lorsque la nervure longitudinale 19a est logée dans la rainure 162 (position illustrée en ).
La présence de ces cannelures longitudinales 19 et l’utilisation d’entretoises 160 sont permises par le fait que les faces de sorties 14, en matériau souple et ductile coextrudé avec le matériau rigide, assurent une force de retrait faible du profilé hors du matériau de construction sec. Ainsi, la force nécessaire à séparer le profilé à la fois du matériau de construction sec et des entretoises est suffisamment faible pour que le retrait du profilé puisse être effectué manuellement par un seul ou deux utilisateurs.
Les figures 9 et 10 illustrent deux variantes du mode de réalisation des figures 5 et 6, similaires aux variantes des figures 3 et 4.
Ainsi, dans le mode de réalisation des figures 5 et 6, un des deux rebords 15a de chaque gorge 15 est solidaire d’un jambage 16 de rigidification agencé à proximité du fond de la gorge 15, c’est-à-dire à proximité de la face de sortie 14, et reliant une paroi latérale 18 ou 112c des canaux latéraux 112. En d’autres termes, un tel jambage 16 relie une paroi latérale 18 ou 112c d’un canal latéral 112 à l’extrémité 15a1 du rebord 15a connectée au fond de la gorge 15, c’est-à-dire l’extrémité du rebord 15a connectée à la face de sortie 14. L’autre rebord 15a est solidaire d’un second jambage 17 reliant l’embase 112a d’un canal latéral 112 à la face de contact 112b dudit canal latéral 112, de préférence reliant l’embase 112a à l’extrémité 15a2 du rebord 15a connectée à la face de contact 112b du canal latéral 112.
Alternativement, dans le profilé 130 de la , les deux rebords 15a de chaque gorge 15 sont solidaires d’un jambage 16 reliant rigidement une paroi latérale 18 (ou 12c) d’un canal latéral 12 à l’extrémité du rebord 15a connectée à la face de sortie 14.
La liaison, par des jambages 16-17, des extrémités du rebord 15a connectées à la face de sortie 14 à une paroi latérale 12c-18 et/ou à l’embase 12a assure une rigidification de la partie du profilé en premier matériau rigide, qui évite toute déchirure/séparation de la face de sortie en deuxième matériau souple et ductile.
Dans le mode de réalisation des figures 5 à 9, le caisson central 111 est muni d’une embase 11b coplanaire avec chaque embase des canaux latéraux.
Dans le mode de réalisation de la , le profilé 140 selon l’invention comprend un caisson central 111 muni d’une embase 11c non coplanaire avec les embases 12a des canaux latéraux 112. Ainsi, l’embase 11b du caisson central est reliée à ces dernières par la portion basse de la paroi latérale 18 en Y de manière à définir une rainure d'insertion 60 pour une réglette magnétique 61, la section transversale de la rainure d'insertion 60 étant en forme de queue d'aronde. Cette forme permet le maintien du profilé 140 contre la banche 2 par la réglette magnétique 61.
De préférence, afin de rigidifier la cage centrale 111 dans ce mode de réalisation, cette dernière comporte un volet de contreventement 111d de liaison entre l’embase 111c et à la face 111a, et perpendiculaire à elles. Comme précédemment, un tel volet de contreventement peut également équiper la cage de s modes de réalisation des figures 5 à 9.
Le boîtier d'attente selon l’invention comprend une section de l’un des profilés 10, 40, 50, 110, 130, 140 décrits précédemment, occultée à chaque extrémité par un tampon rapporté 30, et dans laquelle au moins une, de préférence plusieurs armatures métalliques 20, 120 sont agencées de sorte qu’une première partie des armatures est introduite dans les canaux latéraux au travers de la face de sortie 14, et une deuxième partie des armatures est agencée à l’extérieure du profilé.
Dans les modes de réalisation illustrés, les armatures 20, 120 sont en forme d'étrier en U dont les extrémités libres sont coudées et forment la première partie 20a, 120a des armatures retenues librement dans les canaux latéraux 12, 112 au travers des faces de sortie 14, la portion en U restante formant la seconde partie 20b, 120b des armatures destinées à être coulées dans le matériau de construction.
La fabrication d’un profilé selon l’invention comprend les étapes suivantes :
Tel qu’illustré sur la , la plateforme interne 18 et la plateforme externe 19 s’étendent dans une même première direction tangentielle, sécante à l’axe radial X-X, par exemple perpendiculaire.
L’aube illustrée sur la présente une forme en C.
On pourrait également prévoir que la plateforme interne 18 et/ou la plateforme externe 19 comprenne un renfort textile (non représenté) tissé dans une armure différente de l’armure de la pale, notamment plus raide.
Grace à l’invention, l’encombrement tangentiel de la zone de fixation de l’aube fixe sur les structures fixes de la turbomachine est considérablement réduit. Par ailleurs, le procédé de fabrication de l’aube fixe en matériaux composites est également simplifié par la suppression d’une des plateformes latérales et ainsi de la simplification de l’armure de tissage dans la zone de fixation.
Des avantages sont également notables au moment de la préparation de la préforme tissée et de sa mise en forme dans le moule d’injection.
Fourniture d’un élément de maintien inter-rangée 40 (étape E4).
Dépôt de l’élément de maintien inter-rangée 40 sur la première rangée de cellules électrochimiques 10, radialement par rapport à l’axe de chacune des cellules électrochimiques de la première rangée de cellules électrochimiques (étape E5), donc selon la direction DEC .
Fourniture de cellules électrochimiques d’une seconde rangée de cellules électrochimiques (étape E6), dépôt de chaque cellule électrochimique 10 de cette seconde rangée radialement par rapport à son axe central sur l’élément de maintien inter-rangée 40 (étape E7) en formant une seconde rangée de cellules électrochimiques.
Ensuite, éventuellement d’autres éléments de maintien inter-rangée 40 et d’autres cellules électrochimiques 10 d’autres rangées sont fournis successivement et ces éléments de maintien et ces cellules électrochimiques sont déposés ou empilés de manière analogue à ceux déposés précédemment, donc selon la direction DEC . Dans l’exemple de la sont fournis et déposés deux éléments de maintien inter-rangée 40 et deux rangées de cellules électrochimiques 10 supplémentaires.
Ensuite, fourniture d’un second élément de maintien d’extrémité 42 (étape E8).
Dépôt du second élément de maintien d’extrémité 42 sur la seconde rangée de cellules électrochimiques ou sur l’une des rangées de cellules supplémentaires (étape E9), radialement par rapport à l’axe de chacune des cellules électrochimiques de la rangée de cellules électrochimiques associée, donc selon la direction DEC .
Ainsi on obtient la partie du module électrochimique de la . Cette partie du module électrochimique est un empilement successif des éléments de maintien 36 et des cellules électrochimiques 10, en l’occurrence un empilement d’un premier élément de maintien d’extrémité 42, d’une rangée de cellules électrochimiques 10, d’un élément de maintien inter-rangée 40, d’une rangée de cellules électrochimiques 10, …, et d’un second élément de maintien d’extrémité 42.
Ensuite, on dépose la première bride terminale 50 sur les extrémités axiales des cellules électrochimiques, dépassant les surfaces de maintien 38. Ce dépôt est effectué selon un mouvement axial selon les axes centraux X-X des cellules électrochimiques 10. Ce mouvement axial est montré sur la en tant que direction DEB .