Procédé (100) de mesure d’un écart d’alignement (OVL) entre un premier réseau de lignes (40) porté par un premier niveau d’un composant microélectronique (C) et un second réseau de lignes (50) porté par un second niveau du composant microélectronique, un repère orthonormé xyz étant associé au composant microélectronique, les lignes des premier et second réseaux de lignes étant orientées selon la direction y, les premier et second réseaux de lignes étant superposés l’un sur l’autre selon la direction z, et l’écart d’alignement (OVL) étant mesuré selon la direction x, le procédé de mesure mettant en œuvre une technique de diffusion des rayons X aux petits angles par transmission (T-SAXS), caractérisé en ce que le procédé comporte les étape de : acquérir à partir du composant microélectronique une pluralité de mesures d’intensité d’un faisceau de rayons X transmis pour une pluralité d’angles d’incidence du faisceau de rayons X, l’angle d’incidence étant défini comme l’angle, évalué dans le plan défini par les directions x et z, entre la direction z et la direction d’incidence du faisceau de rayons X ; reconstruire, à partir de la pluralité de mesures d’intensité, une figure de diffraction selon des fréquences spatiales et , associées respectivement aux directions x et z ; déterminer, sur la figure de diffraction, une position selon la fréquence spatiale d’une tige de Bragg d’intérêt et les positions selon la fréquence spatiale de chaque point d’une paire de points caractéristiques de la tige de Bragg d’intérêt ; et, calculer l’écart d’alignement à partir des positions déterminées. Procédé de mesure selon la revendication 1, dans lequel la paire de points caractéristiques de la tige de Bragg d’intérêt est constituée du minimum d’indice i et du minimum correspondant d’indice –i de la tige de Bragg d’intérêt, i étant un entier supérieur ou égal à l’unité. Procédé de mesure selon la revendication 2, dans lequel l’écart d’alignement OVL est calculé en utilisant la relation : , où n est l’ordre de Bragg de la tige de Bragg d’intérêt, i est l’indice de la paire de minimums pris en compte, est la position selon la fréquence spatiale de la tige de Bragg d’intérêt, est la position selon la fréquence spatiale du minimum d’indice i et est la position selon la fréquence spatiale du minimum correspondant d’indice –i. Procédé de mesure selon la revendication 3, dans lequel déterminer une position selon la fréquence spatiale de la tige de Bragg d’intérêt comporte la détermination des positions selon la fréquence spatiale de chaque point d’une autre paire de points caractéristiques de la tige de Bragg d’intérêt à partir de la figure de diffraction. Procédé de mesure selon la revendication 4, dans lequel ladite autre paire de points caractéristiques est constituée du minimum d’indice j et du minimum correspondant d’indice –j de la tige de Bragg d’intérêt, l’indice j étant différent de l’indice i. Procédé de mesure selon la revendication 1, dans lequel la paire de points caractéristiques de la tige de Bragg d’intérêt est constituée du maximum d’indice i et du maximum correspondant d’indice –i de la tige de Bragg d’intérêt. Procédé de mesure selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’étape de déterminer, sur la figure de diffraction, une position selon la fréquence spatiale d’une tige de Bragg d’intérêt et les positions selon la fréquence spatiale de chaque point d’une paire de points caractéristiques de la tige de Bragg d’intérêt est itérée pour une autre paire de points caractéristiques de la tige de Bragg d’intérêt et/ou pour une autre tige de Bragg d’intérêt, l’écart d’alignement résultant de la moyenne des écarts d’alignement calculés pour chaque itération. Système instrumental (1) du type par diffusion des rayons X aux petits angles par transmission (T-SAXS), comportant un détecteur, une électronique d’acquisition et un calculateur, caractérisé en ce que le calculateur est convenablement programmé pour que ledit système instrumental mette en œuvre un procédé de mesure d’un écart d’alignement selon l’une quelconque des revendications 1 à 7. Système instrumental selon la revendication 8, comportant un détecteur adapté pour mesurer l’intensité du faisceau transmis sur une plage d’angle de diffraction réduite permettant de suivre la tige de Bragg d’intérêt au cours de l’étape d’acquisition. Produit programme d’ordinateur comportant des instructions logicielles qui, lorsqu’elles sont exécutées par un calculateur d’un système instrumental conforme à l’une quelconque des revendication 8 et 9 permet à ce dernier de mettre en œuvre un procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 7.