Procédé de suivi de fragilisation d’une interface (13) entre une couche (12) et un substrat (11) lors d’un recuit de fragilisation de ladite interface (13), l’ensemble substrat (11)/couche (12) présentant au moins une première et une deuxième face (10A, 10B), le procédé comprenant les étapes suivantes : - éclairage de la première face (10A) avec un faisceau de lumière (25) monochromatique selon une première direction (25A), la longueur d’onde dudit faisceau de lumière (25) étant choisie pour que la couche (12) et le substrat (13) soient sensiblement transparents à ladite longueur d’onde, - mesure d’une intensité du faisceau de lumière (25) diffusée par l’ensemble (10) substrat (11)/couche (12) selon au moins une deuxième direction (25B), la deuxième direction (25B) présentant un angle (2θ) non nul avec la première direction (25A), - détermination d’un état de fragilisation de l’interface (13) à partir de ladite intensité. Procédé de suivi de fragilisation selon la revendication 1, dans lequel lors de la mesure de l’intensité du faisceau de lumière (25), l’intensité est mesurée selon une pluralité de deuxièmes directions (25B, 25B’) présentant chacune un angle non nul avec la première direction (25A), et dans lequel, de manière préférentielle, au moins deux desdites deuxièmes directions (25B, 25B’) présentes des angles distincts l’un de l’autre vis-à-vis de la première direction (25). Procédé de suivi de fragilisation selon la revendication 1 ou 2, dans lequel il est prévu une étape préalable d’étalonnage réalisée avant le recuit de fragilisation comprenant les sous étapes suivantes : éclairage de la première face avec le faisceau de lumière (25) selon la première direction (25A), mesure d’une intensité de référence du faisceau de lumière (25) diffusée par l’ensemble (10) substrat (11)/couche (12) selon l’au moins une deuxième direction (25B), dans lequel, lors de l’étape de détermination d’un état de fragilisation il est prévu une sous-étape de correction de l’intensité mesurée à partir de l’intensité de référence. Procédé de suivi de fragilisation selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel lors de l’éclairage de la première face (10A) avec le faisceau de lumière (25) selon la première direction, le faisceau de lumière (25) est déplacé en au moins deux emplacements de la première face (10A). Procédé de suivi de fragilisation selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel le faisceau de lumière (25) monochromatique présente une longueur d’onde comprise dans plage de longueur d’onde des infrarouges, préférentiellement du proche infrarouge, ladite longueur d’onde étant de manière encore plus avantageuse comprise entre 1050 nm et 1550 nm. Procédé de fragilisation d’une interface (13) entre une couche (12) et un substrat (11) comprenant une étape de recuit de fragilisation de l’ensemble (10) substrat (11)/couche (12) afin de fragiliser ladite interface (13), dans lequel lors de ladite étape de recuit il est mis en œuvre un procédé de suivi de fragilisation selon l’une quelconque des revendications 1 à 6. Procédé de fragilisation d’une interface (13) selon la revendication 6, dans lequel l‘étape de recuit de fragilisation est stoppée lorsqu’un état de fragilisation de l’interface déterminé par le procédé de suivi de fragilisation atteint un seuil donné, l’état de fragilisation correspondant préférentiellement à une fracturation de l’interface (13), ladite fracturation étant alors détectée par une variation d’intensité selon l’au moins une deuxième direction (25B) et/ou un déplacement de pic de diffusion. Procédé de fragilisation d’une interface (13) selon la revendication 6 ou 7, dans lequel les conditions de recuit utilisées pendant l’étape de recuit sont modifiées en fonction de l’état de fragilisation de l’interface (13) déterminé pendant la mise en œuvre du procédé de suivi de fragilisation. Dispositif de suivi de fragilisation (30) d’interface pour suivre la fragilisation d’une interface (13) entre une couche (12) et un substrat (11) lors d’un recuit de fragilisation de ladite interface (13), l’ensemble (10) substrat (11)/couche (12) présentant au moins une première et une deuxième face (10A, 10B), comprenant : - une source optique (31) apte à émettre un faisceau de lumière (25) monochromatique en direction de la première face (10A) selon une première direction, - un détecteur de rayonnement électromagnétique (32) apte à mesurer une intensité du faisceau de lumière (25) après diffusion par l’ensemble (10) substrat (11)/ couche (12), le détecteur de rayonnement électromagnétique étant agencé pour mesurer ladite intensité du faisceau de lumière (25) selon une deuxième direction présentant un angle (2θ) non nul avec la première direction (25A). Dispositif de suivi de fragilisation (30) selon la revendication 9, dans lequel le détecteur de rayonnement électromagnétique est agencé pour permettre une mesure de l’intensité du faisceau de lumière (25) après diffusion selon une pluralité de deuxièmes directions (25B, 25B’) présentant chacune un angle non nul avec la première direction (25A), et dans lequel, de manière préférentielle, au moins deux desdites deuxièmes directions (25B, 25B’) présentent des angles distincts l’un de l’autre vis-à-vis de la première direction (25). Dispositif de suivi de fragilisation (30) selon la revendication 9 ou 10 comprenant en outre une unité de traitement (33) configurée pour récupérer une valeur d’intensité du faisceau de lumière (25) mesurée par le détecteur (32) et pour déterminer un état de fragilisation de l’interface (13) à partir de ladite valeur d’intensité du faisceau de lumière (25). Dispositif de suivi de fragilisation (30) selon la revendication 11 dans lequel l’unité de traitement (33) est en outre configurée pour, lors de la détermination de l’état de fragilisation de l’interface, corriger l’intensité mesurée à partir d’une intensité de référence déterminée avant le recuit de fragilisation. Four de recuit (40) apte à réaliser un recuit de fragilisation afin de fragiliser une interface entre une couche et un substrat, le four de recuit (40) comprenant un dispositif de suivi de fragilisation selon l’une quelconque des revendications 9 à 12. Four de recuit (40) selon la revendication 13, comprenant un premier emplacement pour l’ensemble substrat (11)/couche (12) et au moins un deuxième emplacement pour un autre ensemble substrat/couche afin de permettre un recuit de fragilisation simultané de l’ensemble substrat (11)/couche (12) et de l’autre ensemble substrat/couche, dans lequel le deuxième emplacement est agencé de manière à ce qu’une face de de l’autre ensemble substrat/couche soit éclairée par le faisceau de lumière après que le faisceau de lumière ait traversé l’ensemble substrat (11)/couche (12) et dans lequel le détecteur de rayonnement électromagnétique (32) est en outre apte à mesurer une intensité du faisceau de lumière (25) après diffusion par l’autre ensemble substrat/couche, le détecteur de rayonnement électromagnétique (32) étant agencé pour mesurer ladite intensité du faisceau de lumière (25) selon une autre deuxième direction présentant un angle (2θ) non nul avec la première direction (25A). Four de recuit (40) selon la revendication 13 ou 14 configuré pour que, lors de la mise en œuvre d’un recuit de fragilisation, un recuit de l’ensemble (10) substrat (11)/ couche (12) est stoppé lorsque le dispositif de suivi de fragilisation (30) détermine que l’état de fragilisation de l’interface (13) mesurée atteint un seuil donné.