INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Dans le cadre de l’invention, on pourrait aussi prévoir des variantes de conception sans air ventilé, dans quel cas les première et seconde embouchures 43, 64 et les premier et second connecteurs 44, 65 sur les premier et second étriers permanent 31, 53 seraient supprimés et les couloirs 14, 15 ne présenteraient pas de canal de propagation de l’air ventilé.
Dans le cadre de l’invention, des variantes de conception sont envisageables avec un support de couloir 20 qui permettrait la réception des tronçons d’extrémité de trois voire de quatre couloirs présentant une section identique grâce à la présence de trois voire de quatre bras support sur ledit support de couloir 20, en dupliquant en cascade la mise en œuvre du premier bras support 23 et du second bras support 24 sur les suivants. Par exemple, le support de couloir 20 pourrait comprendre un premier bras support avec un premier étrier permanent permettant la réception d’un couloir de section S1, un second bras avec un second étrier permanent permettant la réception d’un couloir de section S2, un troisième bras avec un troisième étrier permanent permettant la réception d’un couloir de section S3, un quatrième bras avec un quatrième étrier permanent permettant la réception d’un couloir de section S4, un étrier amovible pouvant être placé dans le premier étrier permanent et permettant la réception d’un couloir de section S2, un jeu de deux étriers amovibles pouvant être placés respectivement dans les premier et second étriers permanents et permettant la réception de couloirs de section S3 et, un jeu de trois étriers amovibles pouvant être placés respectivement dans les premier, second et troisième étriers permanents et permettant la réception de couloirs de section S4.
La machine IS comprend également un dispositif de ventilation pour créer de l’air ventilé et des circuits raccordés sur les connecteurs 44, 65 sous les étriers permanents 31, 53, pour le cas de réalisation du support de couloir 20 des figures 3 à 13, voire pour toute autre variante de conception dans le cadre de l’invention.
Dans une variante envisageable, les premier et second étriers permanents 31 et 53 pourraient être supportés par une même pièce de support monté sur une même tige de support, ce qui offrirait toutefois moins de liberté dans le positionnement des déflecteurs 21, 22 vis-à-vis du dispositif ébaucheur 13 sur chaque section 8.
Support de couloir d’une machine de formage d’articles creux en verre, équipé de moyen d’injection d’air ventilé dans des couloirs d’acheminement de paraisons La présente invention concerne le domaine de la fabrication d’articles creux en verre, et porte tout particulièrement sur un support de couloir d’une machine de formage d’articles creux en verre, dite machine IS.
La présente invention vise à optimiser l’acheminement des gouttes de verre en fusion, également appelées des paraisons, jusqu’aux moules ébaucheurs des sections de la machine IS, par l’intermédiaire de couloirs, tout en impactant pas sur le temps de changement des couloirs lors d’une modification de la production.
La présente invention vise également à optimiser le temps d’adaptation de la machine IS lors d’un changement de fabrication d’articles creux en verre imposant une modification de la taille et/ou du nombre de couloirs.
Dans un autre mode de réalisation possible pouvant ou non être combiné avec le mode précédent, l’étape de traitement thermique est précédée d’une étape de nettoyage de la plaque 1 de p-SiC.
Le traitement thermique est réalisé à une température supérieure à une température du dépôt du p-SiC sur le substrat de croissance lors de la formation de la plaque. Ce traitement thermique est par ailleurs réalisé à une température supérieure à la température la plus élevée du ou des traitements thermiques ultérieurs, par exemple supérieure à la température d’un traitement thermique ultérieur de fabrication de composants électroniques.
Le traitement thermique est de préférence réalisé à une température comprise entre 1650°C et 2000°C pendant une durée supérieure à 10 minutes. Ce traitement thermique peut notamment être réalisé à une température d’au moins 1700°C, par exemple à 1850°C, à 1900°C ou encore à 2000°C. Il peut être mené à basse pression (typiquement à moins de 100 mbar, par exemple à moins de 50 mbar, en particulier entre 10 et 30 mbar) sous atmosphère d’argon.
Le traitement thermique peut comporter un palier. Il peut également être réalisé avec une régulation de la descente en température depuis le palier jusqu’à une température cible. Dans un exemple de réalisation, le traitement thermique comprend un palier à 1850°C. Ce palier peut présenter une durée de 30 minutes. La montée en température peut s’opérer avec une rampe de 10°C/min. La descente en température peut être régulée, par exemple jusqu'à 1000°C avec une rampe de 10°C/min. La descente en température depuis la température cible vers la température ambiante s’opère ensuite en suivant l’inertie thermique du four utilisé pour opérer ce traitement thermique.
Comme représenté sur la , le traitement thermique est susceptible d’engendrer une déformation (courbure, gondolement) de la plaque 1. L’amincissement de la plaque est alors adapté pour comprendre (le cas échéant consister en) une correction, par retrait de matière de la plaque de carbure de silicium polycristallin, de la déformation engendrée par le traitement thermique. Le retrait de matière est typiquement adapté localement de sorte que la plaque n’est pas amincie de la même manière en tout point. Il découle de cette correction de la déformation une diminution de la valeur de courbure ( bow ) ou de gondolement (warp) observée après le traitement thermique.
La illustre une réalisation possible de cet amincissement, ici mené jusqu’à atteindre les lignes pointillés parallèles. La illustre quant à elle la plaquette 2 obtenue conformément à l’invention à partir de la plaque 1 de la .
Selon un mode de réalisation possible, le retrait de matière visant à corriger la déformation engendrée par le traitement thermique est réalisé par meulage de la plaque de p-SiC. Dans un autre mode de réalisation, ce retrait de matière est réalisé par électroérosion. Le retrait de matière par électroérosion présente l’avantage par rapport au meulage de pouvoir être réalisé sans contact avec la plaque et sans corriger artificiellement la déformation par flexion élastique. Dans encore un autre mode de réalisation, le retrait de matière combine électroérosion et meulage. Dans ce dernier mode, l’électroérosion peut réaliser un amincissement grossier tandis que le meulage réalise un amincissement plus fin.
Dans un exemple de réalisation, l’amincissement comprend en succession un amincissement très grossier (par électroérosion ou meulage) venant par exemple retirer une épaisseur de l’ordre de 150 µm ou plus, un meulage grossier venant par exemple retirer une épaisseur de l’ordre de 20 µm et un meulage fin venant par exemple retirer une épaisseur de l’ordre de 3 µm. Les différents meulages se distinguent par la taille des grains de la meule utilisée, ces grains étant de plus en plus petits dans la succession des meulages.
Comme représenté par la , l’amincissement peut être effectué à la fois en face avant et en face arrière de la plaque de p-SiC. Et comme représenté par les figures 3 et 4, cet amincissement est préférentiellement réalisé de manière à ce que les faces avant et arrière de la plaquette obtenue à l’issue du procédé soient planes et parallèles entre elles. Ces faces avant et arrière de la plaquette 2 ne sont pas nécessairement parallèles aux faces avant et arrière de la plaque initiale 1.
A titre d’exemple, l’amincissement vient retirer une épaisseur au moins égale à la valeur de déformation après le traitement thermique moins 25 µm.
De manière générale, l’épaisseur retirée de chacune des faces de la plaque lors de l’amincissement suite au traitement thermique est, par exemple, supérieure ou égale à 50 µm, notamment supérieure ou égale à 100 µm voire à 150 µm.
L’amincissement est, notamment, tel qu’il débouche sur une plaquette autosupportée, c’est-à-dire dont l’épaisseur est telle qu’elle ne brise pas ni ne se déforme plastiquement sous l’effet de son propre poids. Une telle épaisseur est, par exemple, supérieure ou égale à 200 µm, notamment supérieure ou égale à 300 µm.
En particulier, une épaisseur comprise entre 175 µm et 200 µm peut être retirée de chacune des faces de la plaque, pour un amincissement de 350 à 400 µm au total. Une plaquette d’épaisseur comprise entre 325 et 375 µm peut ainsi être obtenue à partir d’une plaque ayant subi un premier amincissement avant le traitement thermique l’amenant à une épaisseur de 725 µm.
L’amincissement de la plaque peut être suivie d’étapes de finition de surface de la plaquette visant notamment à la rendre plus lisse.
L’invention s’étend par ailleurs à un procédé de fabrication d'une structure composite, comprenant la fabrication d’une plaquette de p-SiC tel que précédemment exposé et le transfert d’une couche mince en carbure de silicium monocristallin depuis un substrat de carbure de silicium monocristallin vers la plaquette de carbure de silicium polycristallin. Ce transfert peut s’opérer selon la technologie Smart Cut TM et ainsi comprendre une implantation d’espèces ioniques dans le substrat de carbure de silicium monocristallin de sorte à y former un plan de fragilisation délimitant la couche mince à transférer, le collage du substrat de carbure de silicium monocristallin avec la plaquette de carbure de silicium polycristallin (le cas échéant par l’intermédiaire d’une ou plusieurs couches de collage) puis le détachement (provoqué par un traitement thermique, une action mécanique, ou une combinaison de ces moyens) du substrat de carbure de silicium monocristallin le long du plan de fragilisation de sorte à transférer la couche active mince vers la plaquette de carbure de silicium polycristallin. Le procédé de fabrication de la structure composite peut en outre comprendre la formation de composants électroniques, notamment de composants de puissance ou radiofréquence dans la couche mince transférée.
Le fait de prévoir un traitement thermique en amont du processus de wafering permet d’éviter une déformation excessive de la plaquette une fois celle-ci amincie et aplanie sous l’effet de son exposition ultérieure à des températures élevées.
Le panneau 27 s’étend entre un bord amont 27a et un bord aval 27b suivant la première direction longitudinale L. Le panneau 27 présente une longueur (mesurée entre le bord amont 27a et le bord aval 27b) qui est sensiblement égale à la longueur L1 des d’ailettes. Le bord amont 27a du panneau 27 est relié à la deuxième extrémité 25b du premier panneau 25. Le bord aval 27b est relié à la deuxième extrémité 26b de la deuxième paroi 26. Le panneau 27 s’étend suivant la première direction L entre le premier panneau 25 et le deuxième panneau 26.
En référence à la , le panneau 27 présente une surface externe 28 ayant une continuité de surface avec une surface externe 29 de la première paroi 25. La surface externe 28 présente également une continuité de surface avec une surface externe 30 de la deuxième paroi 26.
L’échangeur de chaleur 21 peut être équipé d’éléments de support (non représentés) permettant de fixer la première paroi 25 et/ou la deuxième paroi 26 à la paroi de support 22. Ces éléments de support sont placés à distance des ailettes 23, en amont des ailettes 23, et/ou en aval des ailettes 23.
Sur la , l’échangeur de chaleur 21 comprend un système diffusion d’air. Le système de diffusion comprend un dispositif d’admission d’air 35 configuré de manière à ralentir le flux d’air entrant dans l’échangeur suivant la troisième direction C. Le dispositif d’admission d’air 35 comporte plusieurs ouvertures 36 d’admission d’air qui sont distinctes et qui sont agencées en amont des ailettes 23 suivant la première direction. De manière avantageuse, les ouvertures 36 sont réparties suivant la troisième direction C et autour de l’axe longitudinal X. Ces ouvertures 36 sont formées par des cloisons 37 qui sont espacées des unes des autres et qui sont réparties autour de la troisième direction C. Chaque ouverture 36 d’admission d’air est délimitée suivant la troisième direction par deux cloisons 37 espacées suivant la troisième direction C. En d’autres termes, les ouvertures d’admission 36 s’étendent sur un secteur angulaire α (alpha) compris entre 1 et 360°. Les ouvertures 36 (et les cloisons 37) sont réparties azimutalement et de préférence d’une manière équidistante. Les cloisons 37 s’étendent, vers l’amont, depuis la première extrémité 26a de la première paroi 25 jusqu’à la paroi de support 22. En d’autres termes, les cloisons 37 prolongent la première paroi 25 et sont reliées à la paroi de support 22.
Chaque cloison 37 est plane et légèrement incurvée afin de suivre le profil aérodynamique de la première paroi 25 et pour ne pas perturber le flux d’air. Plus précisément encore, chaque cloison 37 comprend un bord amont 37a relié à la paroi de support 22 et un bord aval 37b relié à la première extrémité 25a de la première paroi 25. Le bord aval 37a présente une hauteur supérieure à la hauteur du bord amont qui se présente sous la forme d’un sommet (celui-ci étant lié à la paroi de support ou la paroi annulaire 18). Chaque cloison 37 s’étend également entre un premier bord latéral 37c et un deuxième bord latéral 37d suivant la troisième direction C. Chaque cloison présente une paroi d’une fine épaisseur comprise entre 0,2 et 2mm. Les cloisons présentent une telle configuration, et notamment un tel profil, afin de minimiser la perturbation et par la suite la perte de charge correspondante. Le flux d’air peut circuler en-dessous de la cloison.
Les ouvertures 36 débouchent dans l’entrée d’air 25aa formée par la première extrémité 25a et par la paroi de support 22. Le flux d’air F3a entre par chaque ouverture 36 d’admission (prises d’air), circule, sous la première paroi 25 puis traverse les ailettes 23. L’air entrant dans l’échangeur de chaleur 21 est doublement ralenti grâce aux ouvertures 36 et à la paroi première 25. En particulier, le flux d’air F3a qui entre par les ouvertures d’admission 36 occupe une partie de la circonférence de l’échangeur de chaleur 21. Comme nous l’avons vu, chaque ouverture 36 s’étend sur un secteur angulaire α et la somme des secteurs angulaires est définie comme αT compris entre 1° et 360° (pas toute la circonférence (360°)). Le flux d’air F3 qui se trouve au niveau de l’entrée d’air 25aa de la première paroi 25 est réparti sur toute la circonférence de la première paroi 25 (soit 360°). Cela implique une variation de la section du passage du flux d’air entre le plan radial passant par 37a (dont la somme des secteurs angulaires est αT) et le plan radial passant par l’entrée d’air 25aa qui occupe toute la circonférence 360°. Cette variation de section correspond au rapport 1/αT. Si le rapport est de 0.5 (les ouvertures d’amission 36 occupent 50% de la circonférence), il y aura un rapport d’augmentation de section de 2 entre la section d’admission d’air (au niveau de niveau 37a) et la section d’entrée (au niveau de l’entrée d’air 25aa), d’où un ralentissement de l’écoulement dans la direction azimutale d’un facteur 2. S’ajoute à cela le ralentissement dû à la variation de la section dans la direction radiale, d’où également la notion de « double ralentissement ».
Le nombre d’ouvertures 36 d’admission d’air du dispositif d’admission d’air 35 est compris entre 1 et 100. Ce nombre dépend de plusieurs facteurs (type d’application, secteur angulaire occupé par l’échangeur de chaleur 21, rapport de changement de section dans la deuxième radiale, forme de l’échangeur de chaleur (annulaire, cubique ou autre), etc…).
Sur la , le dispositif d’admission 35 comprend 15 (quinze) ouvertures d’admission 36 réparties régulièrement autour de l’axe longitudinal.
Sur la , le dispositif 35 comprend 6 (six) ouvertures 36.
Le système de diffusion de l’échangeur de chaleur 21 comprend également un dispositif d’échappement d’air 38 qui est situé en aval des ailettes 23. Le dispositif d’échappement d’air 38 présente une configuration similaire à celle du dispositif d’admission 35. Le dispositif 38 comprend en particulier des ouvertures d’échappement 39 qui sont réparties régulièrement autour de la troisième direction C (et axe longitudinal X) et qui sont séparées par des cloisons 40. Chaque cloison 40 s’élève depuis la surface externe 24 suivant la deuxième direction R. Chaque cloison 40 comprend un bord amont 40a relié à la première extrémité 26a de la deuxième paroi 26 et un bord aval 40b relié à la paroi de support 22. Le bord amont 40a présente une hauteur supérieure à la hauteur du bord aval 40b. Le bord aval 40b se présente sous la forme d’un sommet également. Chaque cloison 40 s’étend également entre un premier bord latéral 40c et un deuxième bord latéral 40d suivant la troisième direction. Les ouvertures 39 débouchent dans la sortie d’air 26aa formée par la paroi de support 22 et la première extrémité 26a de la deuxième paroi 26. De la sorte, l’air qui quitte les ailettes 23, circule sous la deuxième paroi 26 puis dans les ouvertures d’échappement 39 du dispositif 38. Dans ce mode de réalisation, le nombre d’ouvertures d’admission 36 et d’ouvertures d’échappement 39 est identique mais peut être différent.
La illustre un mode de réalisation d’un échangeur de chaleur 21. Les éléments identiques et/ou ayant la même fonction du mode de réalisation précédent sont représentés par les mêmes références numériques. Cet échangeur de chaleur 21 diffère de l’échangeur de chaleur précédent en ce qu’il s’étend sur un secteur angulaire suivant la troisième direction. Le secteur angulaire est inférieur à 360°. A titre d’exemple, l’échangeur de chaleur 21 s’étend sur un secteur angulaire compris entre 25° et 120°. La première paroi 25, la deuxième paroi 26, et le panneau 27 présentent une largeur suivant la troisième direction identique. Le panneau 27 présente une largeur égale ou supérieure à la distance sur laquelle sont disposées les ailettes 23 les unes à côté des autres. Dans cet exemple, l’échangeur de chaleur 21 comprend un dispositif d’admission d’air 35 en amont de la première paroi 25 et un dispositif d’échappement d’air en aval de la deuxième paroi 26. Chacun des dispositifs 35, 38 comprend ici trois ouvertures 36, 39 qui sont séparées par délimitées par quatre cloisons 37, 40. Bien entendu, le nombre d’ouvertures d’admission 36 peut être différent du nombre d’ouvertures d’échappement 39.
Les figures 8 et 9 illustrent encore un autre mode de réalisation de l’échangeur de chaleur 21. Les éléments identiques et/ou ayant la même fonction du mode de réalisation précédent sont représentés par les mêmes références numériques. Ce mode de réalisation diffère du mode de réalisation des figures 2 à 7 en ce que le dispositif d’admission d’air 35 est situé en aval du plan dans lequel est définie la première extrémité 25a. La première extrémité de la première paroi est reliée à la paroi de support 22. Ici, chaque ouverture 36 d’admission d’air est formée dans la première paroi 25. En d’autres termes, le flux d’air entre dans l’échangeur de chaleur 21 uniquement par les ouvertures 36 (l’échangeur de chaleur est dépourvu de cloison). Dans le cas où l’échangeur de chaleur 21 est annulaire, la première paroi 25 est annulaire. De manière alternative, l’échangeur de chaleur 21 et la première paroi 25 s’étendent sur un secteur angulaire.
Les ouvertures 36 traversent la première paroi 25 de part et d’autre transversalement et débouchent en amont des bords d’attaque 23a des ailettes 23. Chaque ouverture 36 d’admission est agencée à une distance prédéterminée D1 de la première extrémité 25a de la première paroi 25. De même, le dispositif 38 est situé en amont du plan dans lequel est définie la première extrémité 26a. Dans ce mode de réalisation, le flux d’air qui entre par les ouvertures 36 circule suivant deux directions, à savoir suivant une direction radiale et suivant une direction axiale. Le flux d’air peut circuler, en-dessous de la première paroi 25, jusqu’à l’extrémité 25a puis se diriger axialement vers les ailettes 23. Cela génère un double ralentissement. Suivant une caractéristique avantageuse, mais non limitative, l’échangeur de chaleur comprend des supports de fixation agencés entre la première paroi 25 et la paroi de support 22, et en aval des ouvertures 36. Ces supports de fixation permettant de réaliser la tenue mécanique de l’échangeur de chaleur.
L’échangeur de chaleur 21 de ce mode de réalisation comprend également un dispositif d’échappement 38. La deuxième paroi 26 est reliée à la paroi de support 22 au niveau de sa première extrémité 26a. Comme pour les ouvertures 36, les ouvertures 39 d’admission d’air traversent la deuxième paroi 26 de part et d’autre transversalement et débouchent en aval des bords de fuite 23b des ailettes 23. Chaque ouverture 39 d’échappement est agencée à une distance prédéterminée D2 de la première extrémité 26a de la deuxième paroi 26. De manière avantageuse, la distance prédéterminée D1, D2 est comprise entre 15 et 50 cm. Les distances D1, D2 peuvent varier en fonction des applications de l’échangeur de chaleur 21. Le flux d’air qui s’échappe des ailettes 23 circule vers les ouvertures 36 pour sortir de l’échangeur de chaleur. Le flux d’air sortant des ailettes peut circuler sous la deuxième paroi 26 suivant deux directions également, à savoir suivant une direction radiale et suivant une direction axiale. Le flux d’air peut circuler, en-dessous de la deuxième paroi 26, jusqu’à l’extrémité 26a puis se diriger axialement vers les ouvertures 39.
La représente un autre mode de réalisation de l’échangeur de chaleur 21. L’échangeur de chaleur 21 est similaire à celui illustré sur les figures 8 et 9. Cet échangeur de chaleur 21 comprend les dispositifs d’admission et d’échappement 35, 38 agencés en amont et en aval des ailettes 23. Les ouvertures 36 d’admission d’air sont formées dans la première paroi 25 et les ouvertures 39 d’échappement sont formées dans la deuxième paroi 26. En particulier, les dispositifs 35, 38 comprennent chacun plusieurs ouvertures 36, 39 qui sont alignées suivant la première direction et dans un même plan axial. Ici deux ouvertures 36a, 36b sont alignées suivant la première direction L. Cette disposition forme une première rangée R1 annulaire d’ouvertures 36a et une deuxième rangée R2 annulaire d’ouvertures 36b. Une telle configuration des dispositifs permet d’améliorer la répartition de l’écoulement en amont de l’échangeur de chaleur 21, ce qui permet de réduire les pertes de charge. Cela s’applique également pour le flux d’air qui s’échappe de l’échangeur de chaleur 21 au niveau des ouvertures 39.
La représente une variante du mode de réalisation précédent dans lequel plusieurs ouvertures 36a, 36b sont agencées en quinconce. Cela s’applique également pour les ouvertures 39 du dispositif 38. En particulier, les dispositifs 35, 38 comprennent la première rangée R1 annulaire d’ouvertures 36a, 39a et la deuxième rangée R2 annulaire d’ouvertures 36b, 39b. Les ouvertures 36a, 39a de la première rangée présentent un décalage angulaire avec les ouvertures 36b, 39b de la deuxième rangée. L'agencement des ouvertures 36, 39 en quinconce permet une uniformisation de l’écoulement en amont de l’échangeur de chaleur 21. Cela s’applique également pour le flux d’air qui s’échappe de l’échangeur de chaleur 21 au niveau des ouvertures 39.
Une antenne 2, Une chaîne 20 de réception radiofréquence et de conversion numérique, Un calculateur 3, Un dispositif 4 de pointage de l’antenne 2, Un dispositif 5 d’enregistrement d’une cartographie.
Etapes du procédé de suivi Dans une réalisation préférée, les étapes du procédé de relevé selon l’invention suivent la description donnée ci-dessous. Elles décrivent les différentes opérations qui contribuent à l’invention. Elles se déroulent en fait de façon non séquentielle, c’est-à-dire que plusieurs étapes se déroulent de façon concourante. Une ou plusieurs de ces étapes peut être omises ou être implémentées selon des alternatives, en référence à la .
- Etape E0 : configuration du dispositif 1 :