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En général, l’huile végétale est choisie parmi : l’huile de colza, l’huile de soja, l’huile de tournesol, l’huile de ricin, l’huile de copra (coco), l’huile d’olive, l’huile de pulpe de bois (Tall), l’huile de palme, l’huile de noyau de palme, l’huile de lin, l’huile de coco, l’huile de noisette, le baume de cajou (cardanol), l’huile d’arachide, l’huile de maïs, l’huile de courge, l’huile de pépin de raisin, l’huile de jojoba, l’huile de sésame, l’huile de noix, l’huile de bois de chine ou un de leurs mélanges.
A titre d’exemple, une graisse végétale peut être issue de la fève de cacao et les graisses animales peuvent être des graisses obtenues par fusion des tissus gras des animaux : saindoux, graisse d’oie ou de canard, suif de bœuf ou de cheval
Tel que mentionné ci-dessus, les matières grasses d'origine naturelle utilisables dans la présente invention peuvent également être issues de produits à recycler, tels que des huiles alimentaires usagées et leurs dérivés ou encore des huiles dites de troisième génération issues de la biomasse comme les algues ou les microorganismes.
Sont donc préférentiellement exclues du cadre de l'invention les huiles et graisses fossiles, qui ne sont pas renouvelables et ne présentent pas d'intérêt dans le cadre du développement durable.
Selon un mode de réalisation de l’invention, le composé à base de matières grasses d'origine naturelle (ii) sera choisi parmi les huiles végétales ou les graisse en provenance directe de la nature (à savoir n’ayant pas subi de réaction chimique ou n’ayant pas été fonctionnalisées chimiquement).
Selon une autre caractéristique de l’invention, le composé à base de matières grasses d'origine naturelle (ii) est un dérivé d’une huile végétale ou d’une graisse naturelle et a été fonctionnalisé chimiquement.
A titre d’exemple, le composé à base de matières grasses d'origine naturelle (ii) a subi au moins une réaction chimique choisie parmi : une estérification, une transestérification, une hydrolyse, une oxydation, une réaction de Diels-Alder, une réaction radicalaire, une maléinisation, une thiolation, une réaction d’isomérisation.
Les matières grasses d'origine naturelle utilisables dans la présente invention peuvent subir une réaction d’isomérisation. Comme cela est bien connu, le but du traitement d'isomérisation est l'augmentation du nombre de doubles liaisons C=C conjuguées, qui se traduit par une augmentation du pouvoir siccatif, et une diminution de la viscosité initiale. Les conditions de cette réaction d'isomérisation ont été largement décrites dans la littérature, par exemple dans Bailey's Industrial Oil and Fat Products, 6th Edition (2005), Fereidoon Shahidi Ed., John Wiley & Sons, Inc.
Les matières grasses d'origine naturelle peuvent également être issues d’une réaction de Diels-Alder/réaction radicalaire permettant de modifier la longueur de la chaîne grasse hydrocarbonée et correspondre par exemple à la gamme Pripol® de la société Croda.
De préférence, le composé à base de matières grasses d'origine naturelle (ii) a subi ou est issu d’une réaction d’estérification ou d’une transestérification.
En particulier, le composé à base de matières grasses d'origine naturelle (ii) est obtenu par transestérification d’un triglycéride comprenant une ou plusieurs chaînes grasses hydrocarbonées saturées ou insaturées comprenant de 6 à 22 atomes de carbone, de préférence de 8 à 20 atomes de carbone avec un alcool mono-hydroxylé en C1-C4, tel que le méthanol.
Alternativement, le composé à base de matières grasses d'origine naturelle (ii) peut être obtenu à partir d'au moins un triglycéride transestérifié au moyen d'un alcool gras, tels que le triméthylolpropane, le pentaérythritol, le dipentaérythritol, le néopentylglycol, le tripentaérythritol, le ditriméthylolpropane et leurs mélanges, et peut correspondre par exemple à des esters de triméthylolpropane.
Au sens de la présente invention, on entend par « alcools gras » des alcools ou polyols aliphatiques en C5-C28, de préférence en C14-C24, mieux en C16-C22, saturés, mono-insaturés ou poly-insaturés, linéaires ou ramifiés, cycliques ou acycliques. À titre illustratif et non limitatif, il peut être cité comme polyols, le triméthylolpropane, le pentaérythritol, le dipentaérythritol, le néopentylglycol, le tripentaérythritol, le ditriméthylolpropane et leurs mélanges.
Également, le composé à base de matières grasses d'origine naturelle (ii) est obtenu par estérification d’un acide mono-ou poly-carboxylique gras comprenant une chaîne grasse hydrocarbonée saturée ou insaturée comprenant de 4 à 28, de préférence de 6 à 22 atomes de carbone, et en particulier de 8 à 20 atomes de carbone avec un alcool mono-hydroxylé ou poly-hydroxylé.
En effet, le composé à base de matières grasses d'origine naturelle (ii) peut être produit à partir d’alcools mono-hydroxylé et d’acides poly-carboxyliques, ou à partir d’alcools poly-hydroxylé et d’acides monocarboxyliques. Les alcools et les acides utilisés pour préparer les esters peuvent contenir de un à six groupes fonctionnels, ce qui permet la production de mono-, di-, tri- et tétra-, penta- et hexa-esters. Sont englobés les esters d’alcools, diols, triols et pentaerythritols, lesdits alcools ou polyols ayant de 2 à 20 atomes de carbone, et les acides mono- et di-carboxyliques ayant de 2 à 20 atomes de carbone, de préférence de 4 à 12 atomes de carbone.
La est une représentation schématique d’un dispositif de manutention selon l’invention dans une installation de tri colis.
La est une représentation schématique d’une buse d’aspiration en forme sinusoïdale selon l’invention vue de profil avec la section d’entrée d’air et la section intermédiaire en transparence.
La est une représentation schématique d’une buse d’aspiration en forme sinusoïdale selon l’invention selon un autre profil avec la section d’entrée intermédiaire et la section d’échappement d’air en transparence.
La est une représentation très schématique d’une buse d’aspiration en forme de U selon l’invention vue de profil.
La est une représentation schématique d’une tête de préhension vue de dessous selon l’invention.
La est une représentation schématique d’une tête de préhension selon l’invention reliée à des électrovannes du dispositif d’injection.
La est une représentation schématique d’une tête de préhension vue de dessus selon l’invention.
La est une représentation schématique d’une ventouse selon l’invention vue de dessous.
Description détaillée de l’invention Le dispositif de manutention 1 de colis 2 selon l’invention, représenté en , est particulièrement bien adapté pour être utilisé dans les centres de tri de colis et les centres logistiques.
A titre d’exemple, le dispositif de manutention 1 selon l’invention peut notamment être utilisé pour saisir un par un les colis 2 qui sont stockés en vrac sur un convoyeur d’alimentation 3, les déplacer et les déposer sur un convoyeur de tri 4.
Comme représenté en figures 1, 5 et 6, le dispositif de manutention selon l’invention comprend une tête de préhension 5 montée à l’extrémité aval d’un bras 6 mobile. Le bras 6 mobile est conçu pour déplacer la tête de préhension 5 latéralement et/ou verticalement au-dessus du convoyeur d’alimentation 3 et des colis 2 à saisir.
La tête de préhension 5, quant à elle, comprend des buses d’aspiration 7, chacune terminée par une ventouse 8 conçue pour saisir par aspiration un colis 2. Il faut comprendre ici que les ventouses 8 s’étendent verticalement vers le bas de sorte que la tête de préhension est apte à saisir un colis par le dessus. Les ventouses 8 peuvent également se présenter sous la forme de ventouses 8 à soufflets 9 aptes à supporter un certain écrasement pour augmenter l’étanchéité entre le colis 2 et la ventouse 8. Les ventouses 8 à soufflets 9 peuvent également comprendre une bague 10 de rigidification, visible en , à une extrémité aval de la ventouse 8 délimitant un périmètre intérieur de la ventouse visant à limiter les obstructions de la ventouse 8 lorsque celle-ci est écrasée au contact d’un colis 2.
Chaque buse d’aspiration 5 comprend également un conduit de circulation d’air 11 et une pompe à vide 12 disposée dans le conduit de circulation d’air 11.
L’alimentation en air des conduits de circulation 11 se fait ici grâce à un dispositif d’injection d’air 13 relié aux buses de préhension 5 par des tuyaux 14 d’alimentation en air. Le dispositif d’injection 13 selon l’invention est ici conçu pour injecter de l’air dans les conduits de circulation d’air 11 selon le sens de circulation de l’air représenté par les flèches F1 en figures 4 et 7, de manière à ce que chaque pompe à vide 12 créée un vide dans une ventouse 8.
La pompe à vide 12 selon l’invention est spécifiquement agencée pour être en connexion fluidique avec le conduit de circulation d’air 11 et la ventouse 8.
Plus particulièrement, la pompe à vide 12 pourra par exemple s’étendre dans le prolongement de la ventouse 8 de manière à former un conduit d’aspiration d’air qui s’étend sensiblement longitudinalement vers le haut.
TH (°f) THCa/ THMg THCa (°f) THMg (°f) TA (°f) TAC (°f) CNa (mg/L) CCl (mg/L) CS (mg/L) pH c1 17 3 12.8 4.3 0 9.0 12 43 44 7.4 cfc 8.5 2 5.7 2.8 0 4.0 10 33 19 7.0
Selon cet exemple, le dispositif de préparation 50 comprend un osmoseur inverse 27, relié au premier réservoir 33, mais ne comprend pas d’échangeur de cations 20. Il n’est donc possible de réaliser que deux solutions aqueuses caractérisées par deux compositions : - la solution d’eau industrielle 3 caractérisée par la première composition c1 ; et - la solution d’eau déminéralisée 7 caractérisée par une deuxième composition c2.
La solution d’eau industrielle 3, par exemple stockée dans le premier réservoir 33, ou disponible directement sur site, alimente l’osmoseur inverse 27, ce qui permet de produire la solution d’eau déminéralisée 7 par l’étape de déminéralisation E41 d’une partie de la solution d’eau industrielle 3, puis de la stocker dans le troisième réservoir 37.
De manière avantageuse, la solution d’eau industrielle 3 servant à produire la solution d’eau déminéralisée 7 est filtrée par un filtre ayant une maille de filtration de 5µm. Cela permet d’éviter l’encrassement des membranes (en particulier au niveau des espaceurs) et augmente leur durée de vie. De manière avantageuse, on injecte en continu un produit séquestrant à base de polyphosphates Cela permet d’éviter la précipitation des ions calcium en présence de carbonates dans la boucle de concentration de l’osmoseur inverse 27.
Dans le cadre de cet exemple, la solution d’eau industrielle 3 stockée dans le premier réservoir 33 peut avoir une composition c1 qui varie en fonction notamment des appareils utilisant cette eau, de la saison, et du fonctionnement du système de contrôle de température 61. Ainsi, il peut être prévu de mettre en œuvre une ou plusieurs deuxièmes étapes d’analyse E2 afin de connaitre à chaque instant une bonne estimation de la première composition c1 de cette solution d’eau industrielle 3 stockée.
Contrairement à la solution d’eau industrielle 3, la solution d’eau déminéralisée 7 présente une composition c2 sensiblement constante et connue. Il n’est donc pas nécessaire de réaliser de deuxième étape d’analyse E2 à chaque étape de déminéralisation E41. Un contrôle de conductivité en ligne suffit à s’assurer du bon fonctionnement de l’osmoseur et de la qualité constante de l’eau. Le tableau 6 ci-dessous dresse les première et deuxième compositions c1, c2 des solutions d’eau industrielle 3 et d’eau déminéralisée 7.
TH (°f) THCa/ THMg THCa (°f) THMg (°f) TAC (°f) CNa (mg/L) CCl (mg/L) CS (mg/L) pH c1 17 3 12.8 4.3 9.0 12 44 44 7.4 c2 5 5
A partir des solutions aqueuses disponibles et de la composition finale cible cfc, il est possible de mettre en œuvre l’étape de calcul E7. Dans cet exemple, il n’est pas possible d’utiliser d’autres solution aqueuses que celle citées ci-avant, ni d’utiliser d’éléments d’addition.
La composition de mélange de la solution de mélange cm1, pour un volume Vm1 (connu), est alors décrite par l’équation suivante, qui se décline pour chaque paramètre utile de chaque composition (par exemple THCa, THMg, TAC, Sodium, Chlorures, Sulfates). On obtient donc dans ce cas 6 équations correspondant à 6 paramètres utiles différents : ci.Vm1 = V1.c1i + V2.c2i,
L’indice i faisant référence aux 6 paramètres utiles décrits dans cet exemple (THCa, THMg, TAC, CNa, CCl, CS), avec Vm1=V1+ V2.
Dans le cas de ce premier exemple, les paramètres suivants sont connus : - Vm1 : volume de solution à fabriquer ; - c1i, c2i : qui correspondent respectivement aux paramètres utiles des solutions aqueuses disponibles (3, 7),
Selon une variante non limitative, un coefficient de pondération γi peut être utilisé pour prioriser un des paramètres utiles. Dans cet exemple, par exemple une importance plus grande est donnée à la concentration en magnésium THMg et à la concentration en calcium THCA par rapport aux autres paramètres utiles. Les coefficients de pondération γi suivants sont donc choisis, permettant d’obtenir la composition de mélange cm1 suivante (tableau 7) :
TH Ca (°f) TH Mg (°f) TAC (°f) CNa (mg/L) CCl (mg/L) CS (mg/L) c1 12.8 4.3 9.0 12 44 44 γ i 200 200 20 2 20 1 cfc 5.7 2.8 4.0 10 33 19 Cm1 6.4 2.1 4.5 6 22 22
L’étape de calcul E7 comprend donc ensuite la détermination des volumes à mélanger. Dans cet exemple, les inconnues sont les 2 volumes des solutions aqueuses à mélanger V1, V2.
L’unité de calcul 30 utilise alors un solveur qui permet de minimiser la somme des écarts suivante : Σ i=1=>6 γ i .[(V1.c1 i + V2.c2 i ) – Vm1.cm1 i ] 2
Afin d’obtenir des solutions réelles, des conditions aux limites souhaitées sont ajoutées. Par exemple, toutes les valeurs sont positives, les volumes ne peuvent pas être supérieurs à la capacité des réservoirs 33, 37 de façon à obtenir les volumes de chaque solution à ajouter ainsi que la composition de mélange cm1 de la solution de mélange.
Les filtres organiques préférentiels sont choisis parmi : Ethylhexyl Methoxycinnamate, Ethylhexyl Salicylate, Homosalate, Butyl Methoxydibenzoylmethane, Octocrylene, Phenylbenzimidazole Sulfonic Acid, Benzophenone-3, Diethylamino hydroxybenzoyl hexyl benzoate, 4-Methylbenzylidene camphor, Terephthalylidene Dicamphor Sulfonic Acid, Disodium Phenyl Dibenzimidazole Tetra-sulfonate, Methylène bis-Benzotriazolyl Tetramethylbutylphénol, Bis-Ethylhexyloxyphenol Methoxyphenyl Triazine, Ethylhexyl Triazone, Diethylhexyl Butamido Triazone, 2,4,6-tris-(bi-phenyl)-triazine, 2,4,6-tris-(ter-phenyl)-triazine, Drometrizole Trisiloxane, Polysilicone-15, Bis-(diethylaminohydroxybenzoyl benzoyl) piperazine, et leurs mélanges.
Les filtres organiques particulièrement préférés sont choisis parmi : Ethylhexyl Salicylate, Homosalate, Butyl Methoxydibenzoylmethane, Octocrylene, Diethylamino hydroxybenzoyl hexyl benzoate, Terephthalylidene Dicamphor Sulfonic Acid, Bis-Ethylhexyloxyphenol Methoxyphenyl Triazine, Ethylhexyl Triazone, Diethylhexyl Butamido Triazone, Bis-(diethylaminohydroxybenzoyl benzoyl) piperazine, Drometrizole Trisiloxane, 2,4,6-tris-(bi-phenyl)-triazine, et leurs mélanges.
Les filtres UV inorganiques utilisés conformément à la présente invention sont des pigments d’oxyde métallique. Plus préférentiellement, les filtres UV inorganiques de l’invention sont des particules d’oxyde métallique ayant une taille moyenne de particule élémentaire inférieure ou égale à 0,5 µm, plus préférentiellement comprise entre 0,005 et 0,5 µm et encore plus préférentiellement comprise entre 0,01 et 0,2 µm, encore mieux entre 0,01 et 0,1 µm, et plus particulièrement entre 0,015 et 0,05 µm. Ils sont notamment décrits dans l’annexe VI mise à jour le 22/09/2021 du règlement européen des produits cosmétiques numéro 1223/2009, mais ne se limitent pas à cette liste.
De tels pigments d'oxydes métalliques, enrobés ou non enrobés sont en particulier décrits dans la demande de brevet EP-A- 0 518 773. A titre de pigments commerciaux on peut mentionner les produits vendus les sociétés CRODA, TAYCA, et MERCK.
Les pigments enrobés sont plus particulièrement des oxydes de titane enrobés : - de silice hydratée tels que le produit « MT-100WP » de la société TAYCA, - de silice et d'oxyde de fer tels que le produit "SUNVEIL F®" de la société IKEDA, - de silice et d'alumine tels que les produits " MT-500SA®" et " MT-100SA®" de la société TAYCA, "TIOVEIL™ AQ-N" de la société CRODA, - d'alumine tels que les produits "TTO-55 (A)®" de la société ISHIHARA, - d'alumine et de stéarate d'aluminium tels que les produits " MT-100TV®, MT-100Z®, MT-01®" de la société TAYCA, le produit "Solaveil™ CT100" de la société CRODA et le produit "Eusolex T-AVO®" de la société MERCK, - de silice, d'alumine et d’acide alginique tel que le produit "MT-100AQ®" de la société TAYCA, - d'alumine et de laurate d'aluminium, - d'oxyde de fer et de stéarate de fer, - d'oxyde de zinc et de stéarate de zinc, - de silice et d'alumine et traités par une silicone tels que les produits " MTY-500SAS®" ou "MICROTITANIUM DIOXIDE MT-100SAS®" de la société TAYCA, - de silice, d'alumine, de stéarate d'aluminium et traités par une silicone, - de silice et traité par une silicone, - d'alumine et traités par une silicone tels que les produits "TTO-55(S)®" de la société ISHIHARA, - de triéthanolamine, - d'acide stéarique tels que le produit "TTO-55 (C)®" de la société ISHIHARA, - d'hexamétaphosphate de sodium, - le TiO2 traité par l'octyl triméthyl silane, - le TiO2 traité par un polydiméthylsiloxane, - le TiO2 anatase/rutile traité par un polydiméthylhydrogénosiloxane, - le TiO2 enrobé de triethylhexanoin, de stéarate d’aluminium, d’alumine vendu sous la dénomination commerciale « Solaveil™ CT-200 » de CRODA, - le TiO2 enrobé de stearate d’aluminium, d’alumine et de silicone vendu sous la dénomination commerciale « Solaveil™ CT-12W » de CRODA, - le TiO2 enrobé de lauroyl lysine, - le TiO2 enrobé de C9-C15 fluoroalcohol phosphate et d’hydroxyde d’aluminium.
On peut également citer les pigments de TiO2 dopés par au moins un métal de transition tel que le fer, le zinc, le manganèse et plus particulièrement le manganèse. De préférence lesdits pigments dopés sont sous forme de dispersion huileuse. L’huile présente dans la dispersion huileuse est de préférence choisie parmi les triglycérides dont ceux des acides capriques/capryliques. La dispersion huileuse de particules d’oxyde de titane peut comporter en plus un ou plusieurs agents dispersants comme par exemple un ester de sorbitan comme l’isostéarate de sorbitan, un ester d’acide gras et de glycérol polyoxyalkyléné comme le TRI-PPG3 MYRISTYLETHER CITRATE et le POLYGLYCERYL-3 POLYRICINOLEATE. De préférence, la dispersion huileuse de particules d’oxyde de titane comporte au moins un agent dispersant choisi parmi les esters d’acide gras et de glycérol polyoxyalkyléné. On peut citer plus particulièrement la dispersion huileuse de particules de TiO2 dopées au manganèse dans le triglycéride d’acide caprique/caprylique en présence de TRI-PPG-3 MYRISTYLETHER CITRATE et de POLYGLYCERYL-3-POLYRICINOLEATE et de SORBITAN ISOSTERATE de nom INCI : TITANIUM DIOXIDE (and) TRI-PPG-3 MYRISTYLETHER CITRATE (and) POLYGLYCERYL-3 RICINOLEATE (and) SORBITAN ISOSTEARATE ou le produit vendu sous le nom commercial « OPTISOL™ OTP-1 » par la société CRODA.
Les pigments d'oxyde de titane non enrobés sont par exemple vendus par la société TAYCA sous les dénominations commerciales " MT-500B" ou " MT-600B®", par la société Evonik sous la dénomination "DEGUSSA P 25".
Les pigments d'oxyde de zinc non enrobés, sont par exemple : - ceux commercialisés sous la dénomination "Z-COTE®" par la société BASF ; - ceux commercialisés sous la dénomination "NanoArc® Zinc Oxide" par la société Nanophase Technologies.
Les pigments d'oxyde de zinc enrobés sont par exemple : - ZnO enrobé par polymethylhydrogenesiloxane ; - le « Solaveil™ CZ-100 » de CRODA dispersé dans C12-15 alkyl benzonate (INCI : Zinc Oxide (and) C12-15 Alkyl Benzoate (and) Polyhydroxystearic Acid (and) Isostearic Acid) ; - ceux commercialisés sous la dénomination et "DAITOPERSION Zn-60VA®" par la société Daito Kasei (dispersions dans C9-12 alcane avec un agent dispersant) ; - ceux commercialisés sous la dénomination "SPD-Z5®" par la société Shin-Etsu (ZnO enrobé par polymère acrylique greffé silicone, dispersé dans cyclodiméthylsiloxane).
Les pigments d'oxyde de cérium non enrobés peuvent être par exemple ceux vendus sous la dénomination RHODIGARD® W185 par la société Solvay.
On peut également citer les mélanges d'oxydes métalliques, notamment de dioxyde de titane et de dioxyde de cérium, dont le mélange équipondéral de dioxyde de titane et de dioxyde de cérium enrobés de silice, ainsi que le mélange de dioxyde de titane et de dioxyde de zinc enrobé d'alumine, de silice et de silicone ou enrobé d'alumine, de silice et de glycérine.
Conformément à la , le procédé 300 selon l’invention comporte une étape 308 de retrait du substrat poignée 400 avec arrêt sur la couche d’arrêt 401 qui sert de couche de protection pour les motifs de résine 404Ai. Cette opération peut être par exemple faite par gravure, polissage de type CMP ou meulage de type grinding.
Le procédé 300 comporte ensuite une étape 309 de retrait de la couche d’arrêt 401 illustrée en , par exemple par un procédé de gravure sèche ou humide de sorte à libérer en surface les motifs de résines 404Ai et l’emplacement libre 419.
Selon les étape 310 à 312 du procédé 300 selon l’invention, on réalise une opération de photolithogravure en commençant par déposer ou étaler une couche de masque dur 420 (en SiO2 par exemple) au-dessus des motifs 404Ai et de l’emplacement libre 419. Une couche de résine photosensible 421 est ensuite étalée sur la couche de masque dur ( ). Une opération de lithographie connue de l’homme du métier permet d’ouvrir (ouverture 422) la couche de résine 421 à la verticale de l’emplacement libre 419 prévu pour la réalisation d’une cavité de Fabry-Pérot d’un second type ( ). L’ouverture 422 est ensuite transférée de la couche de résine 421 dans le masque dur 420 par gravure ( ) de sorte que l’ouverture 422 surplombe verticalement l’emplacement libre 419. La couche de résine est ensuite retirée.
Selon l’étape 313 du procédé 300 illustrée en , deux étapes de gravure sèche sont réalisées afin de retirer la partie 423 de la couche d’encapsulation 405 en regard de l’ouverture 422 et le matériau diélectrique destiné à former les cavités de Fabry-Pérot de premier type remplissant l’emplacement libre 419. L’étape de gravure du matériau diélectrique s’arrête sur la couche réfléchissante 415 de façon à former une ouverture vide 425 dans l’emplacement libre 419.
Le procédé 300 selon l’invention comporte ensuite une étape 314 illustrée en visant à déposer une couche 424 réalisée dans le matériau diélectrique destiné à former le motif diélectrique d’au moins une cavité de Fabry-Pérot d’un second type. La couche 424 de matériau diélectrique recouvre ici la totalité du masque dur 420 et remplit entièrement l’ouverture 425 en débordant de celle-ci. En d’autres termes, la couche 424 présente une surface supérieure 426 (non nécessairement plane) dont chaque point est situé à une hauteur, relativement au substrat poignée, supérieure à la hauteur maximale de référence Hmax à laquelle on ajoute la hauteur h HM du masque dur 420. Le matériau de la couche 424 peut être un matériau diélectrique organique ou inorganique.
Le procédé 300 comporte alors en une étape de planarisation 315 avec arrêt sur le masque dur 420, de la couche 424 réalisée dans le matériau diélectrique destiné à former les motifs diélectriques des cavités de Fabry-Pérot d’un second type de façon à éliminer le matériau diélectrique en excès au-dessus du masque dur 420 et à planariser la surface supérieure du volume de diélectrique remplissant l’ouverture 425 formant ainsi un motif 426 de diélectrique de la cavité électrique d’un second type. L’étape de planarisation peut être réalisée par une étape de gravure de gravure sèche réactive de type RIE (Reactive Ion Etching en anglais) ou une étape de polissage mécano-chimique CMP (Chemical Mechanical Polishing selon la terminologie anglaise).