INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Dans le cadre du développement de la présente invention, certaines conditions pour la croissance par épitaxie de la couche piézoélectrique ont été déterminées. La première électrode doit de préférence présenter au moins certaines des propriétés suivantes : Avoir une structure cristalline et/ou un paramètre de maille compatible avec un substrat à base de silicium. Cela permet par exemple d’épitaxier la première électrode sur le substrat. Avoir une structure cristalline et/ou un paramètre de maille proche ou compatible avec le niobate de lithium ou le tantalate de lithium. Cela permet d’épitaxier la couche piézoélectrique sur la première électrode, qui forme ainsi une couche de nucléation. Avoir un coefficient de dilatation thermique proche du niobate de lithium ou du tantalate de lithium. Cela permet de limiter l’apparition de fissures due aux variations de températures lors de la formation de la couche piézoélectrique. Etre électriquement conductrice. Pouvoir bloquer la diffusion des atomes de Li dans le Si. Cela permet d’éviter une perte de stœchiométrie d’une couche piézoélectrique à base de niobate de lithium ou de tantalate de lithium, dite couche LN/LT. Confiner une onde acoustique, notamment en vue de garantir de hautes performances pour les dispositifs électro-acoustiques.
Un préjugé technique de l’état de la technique est que la couche de nucléation doit nécessairement être à base d’oxyde afin d’éviter une perte de stœchiométrie de la couche LN/LT due à une diffusion de l’oxygène depuis la couche LN/LT vers la couche de nucléation.
Au contraire, pour répondre à ce cahier des charges, la première électrode formant la couche de nucléation est choisie selon la présente invention en un matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure. Ce matériau est typiquement un nitrure réfractaire de transition à base d’un métal de transition, par exemple TiN, VN, ZrN, TaN, HfN, NbN, ou leurs alliages. Dans le cadre du développement de la présente invention, il a en effet été observé qu’une telle couche de nucléation permet, de manière parfaitement inattendue, l’épitaxie de la couche LN/LT dans de bonnes conditions. De façon surprenante, il a été également observé qu’une telle couche de nucléation permet de bloquer à la fois la diffusion d’oxygène et la diffusion du lithium vers le substrat à base de silicium. Il en résulte que la couche LN/LT épitaxiée sur une telle couche de nucléation conserve la stœchiométrie requise.
Par ailleurs, les différentes structures cristallines et les paramètres de maille des nitrures réfractaires de transition sont parfaitement compatibles avec celles et ceux des matériaux LN/LT et du silicium. Une telle couche de nucléation peut donc avantageusement être épitaxiée sur un substrat à base de silicium, puis permettre l’épitaxie de la couche LN/LT.
Par ailleurs, les nitrures réfractaires de transition sont conducteurs et peuvent donc être utilisés comme première électrode d’un filtre BAW. Si ces matériaux sont épitaxiés sur silicium, ils peuvent présenter des valeurs de résistivités de l’ordre de 15µOhm.cm, ce qui est parfaitement compatible avec la fabrication d’un filtre BAW.
Par ailleurs, les nitrures réfractaires de transition sont résistants aux conditions de croissance du LiNbO3, en particulier la température élevée requise pour la croissance du LiNbO3, qui peut être de l’ordre 1000°C.
Par ailleurs, les nitrures réfractaires de transition sont suffisamment durs pour protéger la surface du silicium lors de la croissance  du LiNbO3. Ils protègent par exemple le silicium du plasma et de l’impact des ions utilisés dans la mise en œuvre d’une technique de dépôt physique en phase vapeur PVD pour la croissance  du LiNbO3.
Les nitrures réfractaires de transition peuvent également présenter des valeurs de rigidité et d’impédance acoustique intéressantes pour confiner davantage les ondes acoustiques dans la couche piézoélectrique.
La présente invention propose ainsi une solution permettant de former un dispositif électro-acoustique sur un substrat à base de silicium – sans étape de report – par l’intermédiaire de la première électrode à base d’un nitrure réfractaire de transition, jouant le rôle de couche de nucléation. Grâce à une telle couche de nucléation en un matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure, la couche piézoélectrique LN/LT est stœchiométrique et de haute qualité cristalline.
La couche piézoélectrique présente ainsi les propriétés requises pour une application de type filtre BAW haute fréquence.
Selon un autre aspect de l’invention, on prévoit un dispositif électro-acoustique, notamment un dispositif à onde acoustique de volume (BAW), comprenant, en empilement selon une direction verticale : un substrat à base de silicium, une première électrode sur ledit substrat, une couche piézoélectrique sur ladite première électrode, ladite couche piézoélectrique étant à base d’un matériau du type ABO3, O étant l’oxygène, A étant au moins un premier élément chimique pris parmi le sodium (Na), le potassium (K), le baryum (Ba), le lithium (Li), le plomb (Pb), et B étant au moins un deuxième élément chimique pris parmi le zirconium (Zr), le titane (Ti), le niobium (Nb), le tantale (Ta), une deuxième électrode disposée sur la couche piézoélectrique.
Avantageusement, la première électrode du dispositif BAW est en un matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure. De façon préférée, la couche piézoélectrique est à base de niobate de lithium LiNbO3, ou de tantalate de lithium LiTaO3, ou d’un alliage Li(Nb,Ta)O3. Les avantages mentionnés ci-dessus s’appliquent mutatis mutandis . Un tel dispositif est en outre directement intégrable en technologie silicium. Il peut être facilement co-intégré avec d’autres dispositifs microélectroniques ou optoélectroniques ou encore avec des microsystèmes (opto-) électromécaniques (MEMS ou MOEMS, acronymes respectifs de « Microelectromechanical systems » et « Microoptoelectromechanical systems »).
La illustre en coupe transverse un dispositif électro-acoustique de type BAW selon un mode de réalisation la présente invention.
La illustre en coupe transverse un dispositif électro-acoustique de type BAW FBAR selon un mode de réalisation la présente invention.
La illustre en coupe transverse un dispositif électro-acoustique de type BAW SMR selon un mode de réalisation la présente invention.
La illustre en coupe transverse un dispositif électro-acoustique de type BAW SMR selon un autre mode de réalisation la présente invention.
Les figures 4A à 4E illustrent des étapes d’un procédé de fabrication d’un dispositif électro-acoustique de type BAW FBAR selon un mode de réalisation la présente invention.
Selon un exemple, le matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure de la première électrode est choisi de façon à présenter ou à former : Une résistance à l’oxydation, Une barrière à la diffusion du lithium.
Cela permet d’éviter une diffusion de l’oxygène et du lithium depuis la couche piézoélectrique LN/LT vers la première électrode. La stœchiométrie de la couche LN/LT est ainsi préservée.
Selon un exemple, le matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure de la première électrode est choisi de façon à présenter une dureté ou une rigidité mécanique suffisamment élevée pour permettre de confiner une onde acoustique dans la couche piézoélectrique LN/LT. Par exemple, le module d’Young de ce matériau est supérieur à 300 GPa. Sa dureté ou résistance peut être supérieure à 9000 MPa.
Selon un exemple, le matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure de la première électrode est choisi de façon à présenter une structure cristallographique compatible avec le substrat et la couche piézoélectrique LN/LT, telle qu’une structure hexagonale ou cubique face centrée. Cela permet de limiter l’apparition de défauts structuraux lors de la formation de la couche LN/LT par épitaxie.
Selon un exemple, la formation de la première électrode est configurée de sorte que ladite première électrode présente une épaisseur e2 comprise entre 10 nm et 1000 nm, par exemple 100 nm. Cela permet d’obtenir la qualité cristalline souhaitée et/ou de limiter l’apparition de défauts structuraux.
Selon un exemple, la formation de la couche piézoélectrique LN/LT est configurée de sorte que ladite couche LN/LT présente, après épitaxie, une épaisseur e3 comprise entre plusieurs centaines de nanomètres et plusieurs microns. Une telle épaisseur e3 permet d’obtenir la fréquence de résonnance voulue pour le filtre BAW.
Selon un exemple, le matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure est pris parmi les nitrures réfractaires de transition à base d’un métal de transition tel que du nitrure de titane TiN, du nitrure de tantale TaN, du nitrure de Niobium NbN, du nitrure de zirconium ZrN, du nitrure d’hafnium HfN, du nitrure de vanadium VN, ou leurs alliages.
Selon un exemple, le matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure de la première électrode est choisi parmi un nitrure réfractaire de transition tel que du nitrure de titane TiN, du nitrure de tantale TaN, du nitrure de Niobium NbN, du nitrure de zirconium ZrN, du nitrure d’hafnium HfN, du nitrure de vanadium VN, ou leurs alliages.
Selon un exemple, le dispositif électro-acoustique est un filtre à ondes acoustiques de volume du type à membrane suspendue. Selon un exemple, le procédé comprend, après formation par épitaxie de la couche piézoélectrique, une gravure du substrat à base de silicium sous la première électrode portant la couche piézoélectrique, de façon à former une cavité.
Selon un exemple, le dispositif électro-acoustique est un filtre à ondes acoustiques de volume guidées sur réflecteur de Bragg. Selon un exemple, le procédé comprend, avant formation de la première électrode, une formation d’un empilement de couches présentant alternativement des impédances acoustiques fortes et faibles.
Selon un exemple, les couches de faible impédance sont à base de TiN ou de VN, et les couches de forte impédance sont à base de HfN ou de TaN.
Avantageusement, la matrice polymère bio-érodable est disposée dans le volume intérieur du membre creux, de sorte que sa désintégration progressive, en particulier sa solubilisation progressive, est ralentie par la structure du membre creux longiligne.
De plus, la combinaison de l’âme longiligne et du membre creux longiligne permettent d’apporter les propriétés de résistance mécanique en tension et en torsion recherchées pour reproduire les propriétés d’un tendon ou d’un ligament.
Cette disposition particulière du dispositif permet de contrôler la libération progressive du ou des agent(s) fonctionnel(s).
La libération progressive est ainsi contrôlée d’une part par le caractère bio-érodable en milieu aqueux de la matrice mais également par la barrière mécanique du membre creux dont la structure est déterminée pour permettre d’une part la libération du ou des agent(s) fonctionnel(s) à travers ses orifices mais également pour permettre la formation d’os selon sa surface extérieure.
On comprend par dispositif implantable dans le présent texte tout dispositif configuré pour pouvoir être implanté dans un corps humain ou animal, pendant une période de plusieurs jours à plusieurs mois ou plusieurs années.
Matrice polymère bio-érodable On comprend dans le présent texte par bio-érodable, la dégradation, le désassemblage, ou la digestion de la matrice polymère, et notamment du ou des polymère(s) bio-résorbable(s) que la matrice comprend, par l’action d’un ou plusieurs facteur(s) biologique(s) environnemental(aux) (par exemple l’acidité, la température, ou l’humidité du site ciblé, l’existence d’enzyme(s), de protéine(s) ou d’autre(s) molécule(s) sur le site ciblé) ou par l’action des propriétés physiques ou chimiques du ou des agent(s) fonctionnel(s) dispersé(s) dans la matrice, de préférence par l’action au moins d’un milieu aqueux, encore de préférence par l’action de l’eau contenue dans le milieu du site d’implantation.
On comprend dans le présent texte par matrice polymère, une structure physique de polymère(s) qui retient/retiennent un ou des agent(s) fonctionnel(s).
Avantageusement, la matrice polymère comprend un ou plusieurs polymère(s) bio-résorbable(s), notamment a une structure déterminée solide avant sa mise en contact avec un milieu aqueux.
De préférence, on comprend dans le présent texte par le terme « polymère » : un polymère ou un oligomère comprenant un motif de répétition ou deux ou trois ou plus motifs de répétition différents entre-eux.
On désigne ainsi dans le présente texte par le terme copolymère, tout polymère ou oligomère comprenant deux, ou plus, motifs de répétition différents entre-eux.
En particulier, dans le présent texte, un oligomère comprend un nombre de motifs de répétition inférieur ou égal à 10, et un polymère comprend un nombre de motifs de répétition supérieur à 10.
On comprend dans le présent texte par bio-résorbable (ou résorbable), tout matériau qui, disposé dans un organisme vivant, disparaîtra au terme d’une période déterminée, par exemple à l’issue de trois jours ou encore à l’issue de 3 mois ou 6 mois ou davantage de temps.
L’homme du métier sait quel matériau bio-résorbable choisir, en particulier selon son degré de polymérisation et/ou son degré de réticulation et/ou sa nature chimique, pour obtenir une résorption au terme d’une période déterminée.
Avantageusement, le dispositif implantable est un ligament artificiel ou un tendon artificiel, en particulier ostéo-conducteur et/ou ostéo-inducteur.
Avantageusement, la matrice polymère est hydrosoluble, c’est-à-dire qu’au contact de l’eau, en particulier au contact d’un milieu physiologique, ladite matrice se dissout progressivement, par exemple ladite matrice est dissoute totalement au terme de 3 mois ou 6 mois ou davantage selon les besoins.
En particulier, la matrice polymère est hydrosoluble au contact du milieu aqueux de la zone de l’organisme vivant dans lequel elle est implantée.
Une telle troisième étape prend fin lorsque le curseur 16, et plus particulièrement son extrémité libre 22, loge entre les deux bras 30 de la partie de fixation 26. Ainsi, à l’issue de la troisième étape et selon un des exemples de l’invention, le curseur 16 logeant entre les deux bras 30 est bloqué en position suivant la direction longitudinale L, par l’au moins un ergot de maintien 32 faisant saillie d’au moins un des bras 30 tel qu’évoqué précédemment.
A une quatrième étape, la partie de préhension 28 pivote de sa position pliée à sa position alignée. Un tel pivotement de la partie de préhension 28 peut s’exercer au moyen de l’organe de rappel élastique 42 évoqué précédemment, ou encore par l’opérateur qui exerce une pression contre la partie de préhension 28 de telle sorte qu’elle pivote jusqu’à sa position alignée. On comprend par ailleurs que lors de cette quatrième étape, la première butée 44a permet de limiter la rotation de la partie de préhension 28 par rapport à la partie de fixation 26 dans sa position alignée.
On tire avantage d’une telle fourchette selon l’invention en ce qu’elle permet de faciliter son montage sur l’extrémité libre du curseur tout en permettant de réduire sa proximité avec d’autres éléments implantés dans la portière du véhicule, par exemple la commande d’ouverture électrique de porte. On permet ainsi d’éviter toute interférence mécanique de l’ensemble vitrée de la portière avec d’autres composants qui l’entoure.
Dispositif d’obstruction de passage et portillon d’accès associé La présente invention concerne un dispositif d’obstruction et un portillon d’accès comportant un tel dispositif d’obstruction. La présente invention concerne également un dispositif de contrôle d’accès comprenant de tels portillons.
Des portillons d’accès sont couramment utilisés pour contrôler l’accès à des zones réservées, telles que des intérieurs de bâtiments ou des réseaux de transport en commun. A titre d’exemple, des portillons d’accès sont employés dans les transports en commun terrestres ou aériens et se trouvent notamment dans les gares, les stations de métro ou les aérogares.
De tels portillons permettent le filtrage des utilisateurs à l’entrée et, le cas échéant, à la sortie de ces zones réservées, de manière à limiter l’accès auxdites zones réservées aux seuls utilisateurs autorisés. A cet effet, ils comprennent des dispositifs d’obstruction qui qui créent une gêne, voire un empêchement total, à la circulation des utilisateurs vers et/ou depuis les zones réservées. Les portillons comprennent au moins un obstacle qui est habituellement positionné dans une position déployée, dans laquelle il s’étend en travers d’un passage d’accès à la zone réservée, et est déplacé dans une position escamotée à l’écart du passage, au moyen d’un ensemble mécanique motorisé, lorsqu’un utilisateur autorisé se présente à l’entrée du passage.
Il existe plusieurs types d’obstacles. A titre d’exemple, l’obstacle est formé d’un vantail basculant (dit « flap ») monté pivotant par rapport à un caisson autour d’un axe parallèle au passage, le vantail étant reçu dans le caisson lorsqu’il est en position escamotée.
Afin de maximiser le flux piétonnier, il est usuel d’installer plusieurs portillons dans un même couloir ou un même espace afin d’augmenter le nombre d’usagers pouvant passer simultanément.
Pour permettre l’installation de plusieurs portillons côte à côte pour une surface au sol restreinte, tout en conservant un passage piétonnier suffisant, il est connu de disposer dans un même caisson deux ensembles mécaniques actionnant chacun un vantail de chaque côté du caisson, afin de réduire le nombre de caissons nécessaire.
Les deux ensembles mécaniques sont disposés l’un derrière l’autre, selon la direction du passage, afin de réduire la largeur du caisson quasiment à la largueur d'un seul ensemble mécanique.
Toutefois, une telle solution présente des inconvénients. En effet, une telle juxtaposition en tandem de deux ensembles mécaniques permet de minimiser la largeur du caisson, mais cela se fait au détriment de sa longueur. Dans des zones où plusieurs flux d’usagers se croisent, la circulation des usagers est rendue plus difficile. De plus, l’installation de tels portillons nécessite une surface au sol importante.
Un objectif de la présente invention est de réduire l’encombrement des portillons d’accès à une zone réservée.
A cet effet, l’invention a pour objet un dispositif d’obstruction de passage d’accès comportant :
- un châssis s’étendant sensiblement selon une direction d’élévation et présentant une face avant et une face arrière ;
- un premier volet mobile entre une position déployée, dans laquelle il s’étend au moins partiellement en travers d’un premier passage d’accès, et une position escamotée, dans laquelle il est dégagé dudit premier passage ;
SOLVANTS AROMATIQUES ET NAPHTENIQUES A PARTIR D’ETHANOL DOMAINE TECHNIQUE DE L’INVENTION L’invention concerne un procédé de préparation d’un solvant hydrocarboné aromatique ou naphténique à partir d’une charge hydrocarbonée de type éthanol et un solvant hydrocarboné obtenu à partir d’une charge de type éthanol.
ETAT DE LA TECHNIQUE Les fluides spéciaux sont des liquides utilisés comme fluides industriels, fluides agricoles, et fluides à usage domestique obtenus généralement à partir d'hydrocarbures fossiles transformés par voies de raffinage mais aussi à partir de nombreux produits issus de l'oligomérisation d'oléfines de 2 à 4 carbones et également d'hydrocarbures de synthèse résultant de la transformation du gaz naturel ou du gaz de synthèse issu de la biomasse et/ou du charbon. Parmi ceux-ci, nous trouvons des fluides de forage, des lubrifiants pour l'industrie, des fluides pour formulations destinées à l'automobile, des produits phytosanitaires, des fluides de base pour formulations des encres, des combustibles pour applications domestiques, des huiles d'extension pour les mastics, des abaisseurs de viscosité pour formulations à base de résine, des compositions pharmaceutiques et des compositions pour contact alimentaire, des fluides destinés aux formulations cosmétiques, des fluides caloporteurs, des fluides diélectriques, des fluides de base lubrifiant, des fluides dégraissants.
Les industriels cherchent de plus en plus à remplacer les produits d’origine fossile par des produits biosourcés (qui ne sont pas d’origine fossile).
Le document WO2016185047 décrit un fluide hydrocarboné lourd présentant plus de 95% en masse d’isoparaffines et moins de 100 ppm d’aromatiques, obtenu par un procédé d’hydrodésoxygénation et hydroisomérisation d’une biomasse.
La présente invention a pour objectif de fournir un procédé de préparation d’un solvant hydrocarboné biosourcé de type aromatique ou naphténique et un solvant hydrocarboné biosourcé de type aromatique ou naphténique ayant une composition et des propriétés adaptées aux applications visées.
Température moyenne d’hydrotraitement (WABT) °C 303 Pression Partielle d’Hydrogène MPa abs 6,0 H 2 /HC (Couverture volumique d’hydrogène par rapport au volume de charge) Nm 3 /m 3 700 VVH (débit volumique de charge/volume de catalyseurs) h -1 0,5
Les conditions indiquées dans le tableau 5 correspondent à des conditions de début de cycle et la température moyenne (WABT) est augmentée de 1°C par mois de manière à compenser la désactivation catalytique.
L’effluent hydrotraité 7 issu de l’étape b) d’hydrotraitement est soumis à une étape c) de séparation à une pression sensiblement identique à celle de l’étape b) et dont la température est contrôlée à 300°C, permettant d’obtenir un effluent gazeux et un effluent liquide dont une partie est chauffée à 382°C puis recyclée vers l’étape a) d’hydrogénation, cette partie liquide recyclée constituant un recycle chaud 9a.
Le premier effluent gazeux issu de c) 8 et la partie de l’effluent liquide issu de c) 9b qui n’est pas recyclée vers l’étape a) sont mélangés puis soumis à une étape d) de séparation : un flux d’eau 10 est injecté dans le mélange de l’effluent gazeux issu de c) et la partie de l’effluent liquide 9b issu de c) qui n’est pas recyclée vers l’étape a); le mélange final atteint une température de 40°C dans un ballon froid HP opérant à une pression sensiblement identique à celle de l’étape c), en sortie duquel on obtient une fraction gaz riche en hydrogène, une fraction aqueuse et l’effluent liquide lavée. La fraction gaz riche en hydrogène est recyclée en amont de la section réactionnelle. La fraction aqueuse issue du ballon froid HP est envoyée dans une colonne de stripage opérant à environ 0,4 MPa abs. pour obtenir une fraction aqueuse strippée et une fraction gaz acides. L’effluent liquide lavée est traitée dans une colonne de stabilisation opérant à environ 0,8 MPa abs. permettant d’obtenir des gaz légers et un effluent hydrocarboné 13 liquide stabilisé. La fraction gaz légers et les gaz acides constituent le deuxième effluent gazeux 11. Les rendements des différentes fractions obtenues après séparation sont indiqués dans le tableau 6 (les rendements correspondent aux rapports des quantités massiques des différents produits obtenus par rapport à la masse de charge en amont de l’étape a), exprimés en pourcentage et notés % m/m).
Tableau 6 : rendements des différents produits obtenus après séparation
Fraction gaz 11 (NH 3 + H 2 S + C1-C4) % m/m 0,93 Fraction liquide 13 % m/m 99,40
Tout ou partie de la fraction liquide obtenue peut ensuite être valorisée dans une étape de vapocraquage en vue de former des oléfines qui pourront être polymérisées en vue de former des plastiques recyclés.
Le procédé mis en œuvre selon l’invention conduit à des désactivations catalytiques réduites lors de l’étape a) d’hydrogénation et lors de l’étape b) d’hydrotraitement par rapport aux désactivations catalytiques observées selon l’art antérieur.
En particulier, la cloison transversale peut présenter un contour extérieur qui est circulaire.
Avantageusement, la cloison transversale est formée directement lors du moulage d’une matière plastique réalisant le manchon intérieur.
Avantageusement, le joint périphérique souple est formé par le moulage d’un élastomère.
Dans ce cas, avantageusement le joint périphérique souple comporte une base annulaire formant en section en « U » qui couvre le contour extérieur de la cloison.
Avantageusement, le joint périphérique souple comporte sur son contour extérieur une lèvre radiale souple.