Groupe de pompage (2) destiné à être fluidiquement raccordé en aval d’une chambre de procédés (101) et en amont d’un dispositif de traitement des gaz (3) dans la direction d’écoulement des gaz pompés (F1), le groupe de pompage (2) comprenant une pompe à vide primaire (4) et une pompe à vide secondaire Roots (5), montée en série et en amont de la pompe à vide primaire (4) et comportant un moteur (M2), caractérisé en ce que le groupe de pompage (2) comporte une unité de contrôle (17) configurée pour commander un paramètre de sortie du groupe de pompage (2) et/ou du dispositif de traitement des gaz (3) en fonction d’un paramètre d’entrée, le paramètre d’entrée étant la puissance électrique consommée par le moteur (M2) de la pompe à vide secondaire Roots (5). Groupe de pompage (2) selon la revendication précédente, comportant en outre un dispositif de purge (15) configuré pour injecter un gaz de purge dans le chemin d’écoulement des gaz pompés entre une sortie de la chambre de procédés (101) et une entrée du dispositif de traitement des gaz (3), caractérisé en ce que le paramètre de sortie du groupe de pompage (2) est le débit de gaz de purge à injecter par le dispositif de purge (15). Groupe de pompage (2) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que pour un premier état de fonctionnement de la pompe à vide secondaire Roots (5) à une première puissance électrique, le débit de gaz de purge à injecter est plus élevé que pour un second état de fonctionnement de la pompe à vide secondaire Roots (5) à une seconde puissance électrique qui est plus élevée que la première puissance électrique. Groupe de pompage (2) selon l’une des revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que l’unité de contrôle (17) est configurée pour pouvoir commander une pluralité de débits de gaz de purge à injecter par le dispositif de purge (15) et correspondant à une pluralité de plages de puissances électriques consommées par le moteur (M2) de la pompe à vide secondaire Roots (5), chaque plage de puissance électrique correspondant à une recette (103) distincte pouvant être mise en œuvre dans la chambre de procédés (101). Groupe de pompage (2) selon l’une des revendications précédentes, comportant en outre un dispositif de purge (15) configuré pour injecter un gaz de purge dans le chemin d’écoulement des gaz pompés entre une sortie de la chambre de procédés (101) et une entrée du dispositif de traitement des gaz (3), caractérisé en ce que le dispositif de purge (15) comporte un dispositif de chauffage (18) du gaz de purge, le paramètre de sortie du groupe de pompage (2) étant la puissance électrique du dispositif de chauffage (18). Dispositif de pompage et de traitement (1) comprenant au moins un groupe de pompage (2) selon l’une des revendications précédentes et au moins un dispositif de traitement des gaz (3) comportant une unité de traitement (6) et/ou un laveur (8) et/ou une cartouche de chimisorption et/ou de physisorption. Dispositif de pompage et de traitement (1) selon la revendication précédente, et dont l’unité de traitement (6) comporte un brûleur (7), caractérisé en ce que le brûleur (7) comporte en outre un dispositif d’injection de comburant et de combustible (11) configuré pour injecter un comburant et un combustible dans le chemin d’écoulement des gaz pompés, le paramètre de sortie du dispositif de traitement des gaz (3) étant les débits de comburant et de combustible injectés par le dispositif d’injection de comburant et de combustible (11). Dispositif de pompage et de traitement (1) selon la revendication 6, et dont l’unité de traitement (6) comporte un système électrique et/ou un dispositif de génération d’un plasma caractérisé en ce que le paramètre de sortie du dispositif de traitement des gaz (3) est la puissance électrique du système électrique ou du dispositif de génération d’un plasma. Dispositif de pompage et de traitement (1) selon la revendication 6, caractérisé en ce qu’il comporte un dispositif de mise en communication (20) configuré pour orienter les gaz pompés par le groupe de pompage (2) vers l’unité de traitement (6) du dispositif de traitement des gaz (3) ou vers un laveur (8) du dispositif de traitement des gaz (3) ou vers un laveur central ou vers un autre dispositif de traitement des gaz, le paramètre de sortie du dispositif de traitement des gaz (3) étant l’orientation du dispositif de mise en communication (20). Dispositif de pompage et de traitement (1) selon l’une des revendications 6 à 9, caractérisé en ce que l’unité de contrôle (17) est configurée pour communiquer avec une unité centrale (9) d’une usine de fabrication, notamment d’éléments semi-conducteur ou de panneaux photovoltaïques ou d’écrans plats, comprenant des équipements de fabrication (100) et des dispositifs de pompage et de traitement (1) fluidiquement raccordés aux équipements de fabrication (100). Procédé de pompage et de traitement des gaz au moyen d’un dispositif de pompage et de traitement (1) selon l’une des revendications 6 à 10, caractérisé en ce qu’on commande un paramètre de sortie du groupe de pompage (2) et/ou du dispositif de traitement des gaz (3) en fonction d’un paramètre d’entrée, le paramètre d’entrée étant la puissance électrique consommée par le moteur (M2) de la pompe à vide secondaire Roots (5). Procédé de pompage et de traitement des gaz selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu’il est mis en œuvre dans une chambre de procédés (101) dans laquelle sont mises en œuvre des recettes (103) alternant des étapes de dépôt avec des étapes de nettoyage.