Ligne de vide (1) comportant un dispositif (3) de pompage comprenant au moins une pompe à vide (4) primaire, caractérisée en ce que la ligne de vide (1) comporte un système (5) d’injection d’éléments en suspension dans la ligne de vide (1) afin de former un aérosol dans la ligne de vide (1) pour utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide (4) primaire. Ligne de vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle le système (5) d’injection comporte un dispositif (15) de génération d’éléments en suspension. Ligne de vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle les éléments en suspension comportent de l’eau et/ou un alcool et/ou du dioxyde de carbone. Ligne de vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle les éléments en suspension comportent en outre un tensioactif afin de calibrer la taille des éléments en suspension. Ligne de vide (1) selon la revendication 3 ou 4, dans laquelle les éléments en suspension comportent en outre des nanoparticules et/ou des microparticules afin de calibrer la taille des éléments en suspension. Ligne de vide (1) selon l’une des revendications précédentes, dans laquelle le système (5) d’injection comporte en outre un dispositif (14) de régulation thermique afin d’injecter les éléments en suspension dans la ligne de vide (1) à une température prédéterminée. Ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le système (5) d’injection est configuré pour former l’aérosol en amont de la pompe à vide (4) primaire. Ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le système (5) d’injection est configuré pour former l’aérosol dans au moins un étage (11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f) de pompage de la pompe à vide (4) primaire. Dispositif (3) de pompage destiné à être raccordé à une ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes et comprenant au moins une pompe à vide (4) primaire, caractérisé en ce que le dispositif (3) de pompage comporte un système (5) d’injection configuré pour former au moins un aérosol en amont du dispositif (3) de pompage afin d’utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide (4) primaire. Dispositif (3) de pompage destiné à être raccordé à une ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8 et comprenant au moins une pompe à vide (4) primaire, caractérisé en ce que le dispositif (3) de pompage comporte un système (5) d’injection configuré pour former au moins un aérosol dans le dispositif (3) de pompage afin d’utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide (4) primaire. Installation (21) comportant au moins une chambre (17) de procédé raccordée à une ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8 dans laquelle le système (5) d’injection comporte une unité (13) de contrôle, caractérisée en ce que l’unité (13) de contrôle du système (5) d’injection est reliée à une unité (18) de commande de la chambre (17) de procédé afin de déterminer le type de gaz utilisé dans la chambre (17) de procédé pour adapter le flux d’éléments en suspension injectés au type de gaz utilisé dans la chambre (17) de procédé. Installation (21) selon la revendication précédente, dans laquelle l’unité (13) de contrôle est configurée pour arrêter le système (5) d’injection quand l’unité (18) de commande pilote une phase de nettoyage de la chambre (17) de procédé. Installation (21) comportant au moins un sas (25) de chargement raccordé à une ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8 dans laquelle le système (5) d’injection comporte une unité (13) de contrôle, caractérisé e en ce que l’unité (13) de contrôle du système (5) d’injection est reliée à une unité (23) de commande de la pompe à vide (4) primaire afin de déterminer le moment où le sas (25) de chargement est rempli pour adapter le flux d’éléments en suspension injectés aux variations de pression du sas (25) de chargement. Installation (21) selon la revendication précédente, dans laquelle l’unité (13) de contrôle est configurée pour introduire un débit d’éléments en suspension dans la ligne de vide (1) proportionnel à la puissance électrique consommée par le moteur (22) de la pompe à vide (4) primaire fournie par l’unité (23) de commande. Installation (21) selon la revendication 13 ou 14, dans laquelle l’unité (13) de contrôle est configurée pour introduire un débit d’éléments en suspension dans la ligne de vide (1) proportionnel à la pression en amont de la pompe à vide (4) primaire fournie par un capteur (28) de pression relié à l’unité (23) de commande. Installation (21) selon l'une quelconque des revendications 13 à 15, dans laquelle l’unité (13) de contrôle est configurée pour introduire un débit d’éléments en suspension prédéterminé dans la ligne de vide (1) pendant une durée prédéterminée. Procédé de régulation thermique d’une pompe à vide (4) primaire, caractérisé en ce que le procédé comporte au moins une étape d’injection d’éléments en suspension dans un flux pompé par la pompe à vide (4) primaire afin de former un aérosol dans la ligne de vide (1) pour utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide (4) primaire.