Ligne de vide (1) comportant un dispositif (3) de pompage comprenant au moins une pompe à vide (4) primaire et un dispositif (5) de dilution configuré pour injecter du diazote comme fluide de dilution dans le flux des gaz pompés dans le dispositif (3) de pompage afin de diminuer le caractère inflammable et/ou condensable et/ou corrosif des gaz pompés, caractérisée en ce que le dispositif (5) de dilution est configuré pour injecter au moins un autre fluide de dilution que le diazote afin de substituer au moins partiellement le diazote par l’autre fluide pour diminuer la proportion de diazote dans les gaz refoulés par la pompe à vide (4) primaire. Ligne de vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle le dispositif (5) de dilution comporte une source (12) de l’autre fluide comprenant un composé comportant de l’oxygène, un composé comportant du fluor et/ou un combustible. Ligne de vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle le composé comportant de l’oxygène comprend du dioxygène et/ou de l’air et/ou de la vapeur d’eau et/ou de l’eau liquide ou solide en suspension dans un aérosol et/ou du dioxyde de carbone liquide ou solide en suspension dans un aérosol. Ligne de vide (1) selon la revendication 2 ou 3, dans laquelle le composé comportant du fluor comprend un hydrocarbure perfluoré et/ou un fluorure d'hydrogène. Ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, dans laquelle le combustible est un hydrocarbure saturé, un hydrocarbure insaturé et/ou du dihydrogène. Ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle la pompe à vide (4) primaire comporte au moins un support (8, 9) d’extrémité couplé avec des éléments de stator pour former au moins un étage (11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f) de pompage monté entre une entrée d’aspiration (6) et une sortie de refoulement (7), et deux arbres munis de rotors configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans chaque étage (11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f) de pompage pour entraîner les gaz pompés dans un sens de circulation allant depuis l’entrée d’aspiration (6) vers la sortie de refoulement (7). Ligne de vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle le dispositif (5) de dilution est configuré pour injecter l’autre fluide de dilution que le diazote dans le support (8, 9) d’extrémité. Ligne de vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle le dispositif (5) de dilution comporte une source (12) de l’autre fluide de dilution injecté dans le support (8, 9) d’extrémité qui est un combustible et/ou un composé comportant du fluor et/ou un composé comportant de l’oxygène. Ligne de vide (1) selon l’une quelconque des revendications 6 à 8, dans laquelle le dispositif (5) de dilution est configuré pour injecter l’autre fluide de dilution que le diazote dans au moins un étage (11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f) de pompage. Ligne de vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle l’autre fluide de dilution est injecté dans au moins le premier étage (11a, 11b, 11c, 11d, 11e) de pompage communiquant avec l’entrée d’aspiration (6). Ligne de vide (1) selon la revendication 9 ou 10, dans laquelle le dispositif (5) de dilution comporte une source (12) de l’autre fluide de dilution injecté dans l’étage (11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f) de pompage qui est un composé comportant de l’oxygène et/ou un composé comportant du fluor et/ou un combustible. Ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, dans laquelle le dispositif (5) de dilution comporte une source (12) de l’autre fluide de dilution et est configuré pour injecter du diazote et/ou un combustible dans le dernier étage (11f) de pompage communiquant avec la sortie de refoulement (7). Installation (21) comportant au moins une chambre (17) de procédé raccordée à une ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes dans laquelle le dispositif (5) de dilution comporte une unité (13) de contrôle, caractérisée en ce que l’unité (13) de contrôle du dispositif (5) de dilution est reliée à une unité (18) de commande de la chambre (17) de procédé afin de déterminer le type de gaz utilisé dans la chambre (17) de procédé pour adapter le flux et la nature de fluide de dilution aux gaz pompés. Installation (21) selon la revendication précédente, dans laquelle l’unité (13) de contrôle est configurée pour arrêter le dispositif (5) de dilution après que l’unité (18) de commande ait arrêté l’arrivée de gaz de procédé dans la chambre (17) de procédé. Installation (21) selon la revendication 13 ou 14, dans laquelle l’unité (13) de contrôle est configurée pour arrêter le dispositif (5) de dilution, au moins dans les étages (11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f) de pompage, après que l’unité (18) de commande ait initié une phase de nettoyage de la chambre (17) de procédé afin de nettoyer en même temps au moins les étages (11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f) de pompage. Installation (21) selon l'une quelconque des revendications 13 à 15, comportant en outre au moins un dispositif (19) de traitement des gaz refoulés par le dispositif (3) de pompage raccordé en aval de la ligne de vide (1), l’unité (13) de contrôle du dispositif (5) de dilution étant reliée à une unité (20) de commande du dispositif (19) de traitement des gaz afin de déterminer le type de dispositif de traitement de gaz pour adapter le flux et la nature de fluide de dilution aux gaz pompés et au type de dispositif (19) de traitement des gaz.