Pompe à vide (1) turbomoléculaire destinée à être fluidiquement raccordée à une chambre de procédés (101) d’un équipement (100), la pompe à vide (1) comportant un stator (2) et un rotor (3) configuré pour tourner dans le stator (2) caractérisée en ce que la pompe à vide (1) comporte en outre une unité de contrôle (30) configurée pour contrôler un dispositif de chauffage (21) et un dispositif de refroidissement (22) de la pompe à vide (1) et pour communiquer avec une unité de commande (104) de l’équipement (100) pour lancer une étape de nettoyage (201) sur commande de l’équipement (100), ladite étape de nettoyage (201) comprenant : - une phase de chauffage (202) dans laquelle l’unité de contrôle (30) pilote le dispositif de chauffage pour augmenter la température interne de la pompe à vide (1) pendant une durée de chauffage (Tc), et - une phase de refroidissement (203), dans laquelle l’unité de contrôle (30) pilote le dispositif de refroidissement pour abaisser de ladite température pendant une durée de refroidissement (Tr). Pompe à vide (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce que l’unité de commande (104) de l’équipement (100) est configurée pour communiquer à l’unité de contrôle (30) une durée de nettoyage allouée à l’étape de nettoyage (201), l’unité de contrôle (30) étant configurée pour déterminer la durée de chauffage (Tc) et la durée de refroidissement (Tr) de l’étape de nettoyage (201), compatibles avec la durée de nettoyage allouée. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle est configurée pour être chauffée en continu à une consigne prédéterminée supérieure à 60°C et inférieure à 100°C, comme par exemple 70°C, en dehors de l’étape de nettoyage (201). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’au cours de la phase de chauffage (202) de l’étape de nettoyage (201), le dispositif de chauffage (21) est piloté pour que la température interne de la pompe à vide (1) dépasse 100°C, telle que 150°C, comme 200°C, voire 250°C. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l’unité de contrôle (30) est configurée pour commander un ralentissement de la vitesse de rotation nominale du rotor (3) durant la phase de chauffage (202) et pour commander une accélération de la vitesse de rotation du rotor (3) durant la phase de refroidissement (203). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif de chauffage (21) comporte d’une part, un circuit électrique (29) comprenant un élément résistif (23) et/ou un élément radiatif, inséré dans le chemin de gaz pompés et d’autre part, un commutateur (28) électriquement raccordé au circuit électrique (29) et pilotable par l’unité de contrôle (30) pour autoriser ou couper l’alimentation électrique des éléments résistif (23) ou radiatif. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif de refroidissement (22) comporte d’une part, un circuit fluidique (24) en contact thermique avec le stator (2) configuré pour être parcouru par un fluide de refroidissement et d’autre part, une vanne (25) pilotable par l’unité de contrôle (30) pour autoriser ou couper la circulation du fluide de refroidissement dans le circuit fluidique (24). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un circuit fluidique de refroidissement permanent (26) dans lequel un fluide de refroidissement est destiné à circuler en permanence, le circuit fluidique de refroidissement permanent (26) étant agencé dans une embase (27) du stator (2). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce qu’elle comporte un isolant thermique (32) interposé entre l’embase (27) et un carter (7) du stator (2) susceptible d’être chauffé par le dispositif de chauffage (21). Pompe à vide (1) selon la revendication 7 et selon l’une des revendications 8 ou 9, caractérisée en ce que la vanne (25) pilotable est une vanne trois voies intercalée entre le circuit fluidique de refroidissement permanent (26) et le circuit fluidique (24), la vanne (25) pilotable pouvant soit raccorder fluidiquement le circuit fluidique de refroidissement permanent (26) en série avec le circuit fluidique (24), soit court-circuiter le circuit fluidique (24). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l’unité de contrôle (30) est configurée pour commander un contrôleur de flux ou une vanne pilotable d’un dispositif de purge annexe afin d’injecter un gaz de purge dans le chemin des gaz pompés durant l’étape de nettoyage (201). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que des rainures hélicoïdales (14) sont ménagées dans le stator (2) en regard d’une jupe Holweck (13) du rotor (3). Procédé de nettoyage (200) d’une pompe à vide (1) turbomoléculaire raccordée à une chambre de procédés (101) d’un équipement (100), caractérisé en ce qu’on lance une étape de nettoyage (201) de ladite pompe à vide (1) sur commande de l’équipement (100), ladite étape de nettoyage (201) comprenant une phase de chauffage (202) dans laquelle on pilote le dispositif de chauffage (21) pour augmenter la température interne de la pompe à vide (1) pendant une durée de chauffage (Tc) et une phase de refroidissement (203), dans laquelle on pilote le dispositif de refroidissement (22) pour abaisser ladite température pendant une durée de refroidissement (Tr). Procédé de nettoyage (200) selon la revendication 13, caractérisé en ce qu’on détermine la durée de chauffage (Tc) et la durée de refroidissement (Tr) de l’étape de nettoyage (201), compatibles avec une durée de nettoyage allouée communiquée par l’équipement (100). Procédé de nettoyage (200) selon l’une des revendications 13 ou 14, caractérisé en ce que, en dehors de l’étape de nettoyage (201), la pompe à vide (1) est chauffée en continu à une consigne prédéterminée supérieure à 60°C et inférieure à 100°C, comme par exemple 70°C. Procédé de nettoyage (200) selon l’une des revendications 13 à 15, caractérisé en ce qu’au cours de la phase de chauffage (202) de l’étape de nettoyage (201), la pompe à vide (1) est chauffée pour dépasser 100°C, telle que 150°C, comme 200°C, voire 250°C. Procédé de nettoyage (200) selon l’une des revendications 13 à 16, caractérisé en ce qu’à l’issue de la phase de refroidissement (203) de l’étape de nettoyage (201), la température interne est retournée à plus ou moins 5 % de la température de fonctionnement avant la phase de chauffage (202) ou est repassée sous un seuil de température de 100°C. Procédé de nettoyage selon l’une des revendications 13 à 17, caractérisé en ce qu’on commande un ralentissement de la vitesse de rotation nominale du rotor (3) durant la phase de chauffage (202) et une accélération de la vitesse de rotation du rotor (3) durant la phase de refroidissement (203). Procédé de nettoyage selon l’une des revendications 13 à 18, caractérisé en ce que l’étape de nettoyage (201) est inférieure à quarante minutes, par exemple comprise entre quinze et trente minutes. Procédé de nettoyage selon l’une des revendications 13 à 19, caractérisé en ce que deux étapes de nettoyage (201) successives sont séparées l’une de l’autre d’au moins vingt-quatre heures, telle qu’au moins une semaine, ou telle qu’au moins un mois.