INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Comme illustré aux figures 13A, 13B, un dépôt de cuivre est effectué comme précédemment, de façon à remplir les motifs de pistes. Les pistes 20 du deuxième niveau de piste 20A sont ainsi formées. Une planarisation par CMP est ensuite effectuée, de façon à obtenir une surface plane en face supérieure du deuxième niveau de piste 20A.
D’autres niveaux de pistes et d’interconnexions peuvent être réalisés au-dessus des niveaux 10A, 30A, 20A.
Un réseau de vias 30 aléatoirement connectés est ainsi obtenu, avec des vias totalement connectés 30 OK et des vias 30 KO qui ne sont pas connectés ou qui sont partiellement connectés. La position des différents vias 30 OK , 30 KO et leur nombre varie d’une zone PUF à une autre zone PUF, d’une puce microélectronique à une autre puce microélectronique.
Au vu de la description qui précède, il apparaît clairement que le procédé proposé offre une solution particulièrement efficace pour réaliser une zone d’individualisation de type PUF.
Le mode de réalisation décrit ci-dessus s’intègre dans la fabrication de composés semi-conducteur au niveau du back end dit « cuivre ». L’invention s’étend néanmoins à des modes de réalisation utilisant un autre matériau conducteur que le cuivre. Pour cela, l’homme du métier saura sans difficulté effectuer les adaptations nécessaires en termes de choix de matériaux et d’étapes de procéder.
Procédé de détection de geste, destiné notamment au pilotage d’un ouvrant de véhicule automobile L’invention concerne un procédé de détection de geste. Un tel procédé est avantageusement mis en œuvre, dans le but de piloter, à l’aide d’un geste prédéterminé effectué par un opérateur humain, l’ouverture d’un ou plusieurs ouvrants d’un véhicule automobile, notamment l’ouverture de la malle arrière ou d’une portière latérale. L’invention couvre également un microcontrôleur, destiné à être installé au sein d’un véhicule automobile, et configuré pour mettre en œuvre les étapes du procédé selon l’invention.
Etat de la technique On connaît dans l’art antérieur différents procédés de détection de geste basés sur l’émission et la réception de signaux radiofréquence, pour piloter l’ouverture d’un ouvrant de véhicule automobile.
Dans tout le texte, un signal radiofréquence désigne un signal fréquentiel dont la fréquence de la porteuse est comprise entre 3 kHz et 300 GHz. De préférence, la fréquence de la porteuse est comprise, dans l’invention, entre 5 GHz et 20 GHz, plus préférentiellement entre 5 GHz et 10 GHz.
Selon un autre exemple de réalisation particulier et non limitatif, le dispositif 2 comprend une interface de communication 23 qui permet d’établir une communication avec d’autres dispositifs via un canal de communication 230. L’interface de communication 23 correspond par exemple à un transmetteur configuré pour transmettre et recevoir des informations et/ou des données via le canal de communication 230. L’interface de communication 23 correspond par exemple à un réseau filaire de type CAN (de l’anglais « Controller Area Network » ou en français « Réseau de contrôleurs »), CAN FD (de l’anglais « Controller Area Network Flexible Data-Rate » ou en français « Réseau de contrôleurs à débit de données flexible »), FlexRay (standardisé par la norme ISO 17458) ou Ethernet (standardisé par la norme ISO/IEC 802-3).
Selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif, le dispositif 2 peut fournir des signaux de sortie à un ou plusieurs dispositifs externes, tels qu’un écran d’affichage 24, tactile ou non, un ou des haut-parleurs 25 et/ou d’autres périphériques 26 via respectivement des interfaces de sortie 240, 250 et 260. Selon une variante, l’un ou l’autre des dispositifs externes est intégré au dispositif 2.
Le procédé est par exemple mis en œuvre par le dispositif 2 de la .
Dans une première étape 31, un nombre prédéterminé de dispositifs du réseau de communication distribué NET3 sont associés au dispositif émetteur E et un même nombre prédéterminé de dispositifs du réseau de communication distribué NET3 sont associés au dispositif R.
Dans une deuxième étape 32, le dispositif émetteur E initie une demande de transaction de données relatives à au moins une partie d’un véhicule, avec le dispositif récepteur R, par intégration d’informations caractérisant ladite transaction de données dans un bloc B de données.
Dans une troisième étape 33, le bloc B de données est sécurisé à partir d’une clé C.
Dans une quatrième étape 34, la clé C est transmise aux dispositifs du réseau de communication distribué NET3 qui ont le droit d’accéder aux données de ce bloc B de données et au dispositif récepteur R.
Dans une cinquième étape 35, la demande de transaction de données est validée par les dispositifs S11 et S12 et par les dispositifs S21 et S22.
Dans une sixième étape 36, si la demande de transaction est validée, les données à transmettre et la signature du dispositif émetteur E sont ajoutées au bloc B de données, et, dans une septième étape 37, le bloc B de données est ajouté à une chaîne de blocs stockée sur chaque dispositif S11, S12, S21 et S22. Les adresses cryptées des dispositifs S21 et S22 sont obtenues à partir de la clé publique.
Dans une huitième étape 38, optionnelle, un historique des transactions de données effectuées entre les dispositifs émetteur E et récepteur R est stocké sur chaque dispositif S11, S12, S21 et S22 et, dans une neuvième étape 39, optionnelle, l’historique est mis à jour après chaque transaction de données entre les dispositifs émetteur E et récepteur R.
En décomptant les incréments de 2π sur ladite valeur du déphasage, on décompte donc des variations de λ 2 /2 sur la distance à la cible. Le résultat du décompte de ces variations définit la valeur du complément de distance à la cible.
Le complément de distance à la cible présente donc une marge d’erreur Δd 2 définie par : [Maths 2] Δd 2 = λ 2 /2=c/(2*f 2 ), avec c la célérité de la lumière dans le vide, et f 2 la fréquence la porteuse du signal impulsionnel émis.
La fréquence f 2 de la porteuse du signal impulsionnel émis est bien supérieure à la fréquence maximale f 1 de l’enveloppe des impulsions, avec par exemple un rapport supérieur ou égal à 10 entre les deux. Par conséquent, la marge d’erreur sur la détermination du complément de distance à la cible est bien inférieure à la marge d’erreur sur la détermination de la distance approximative à la cible, avec par exemple un rapport inférieur ou égal à 0,1 entre les deux.
Le complément de distance à la cible offre une marge d’erreur réduite. Un inconvénient est cependant qu’il existe une incertitude sur le point d’origine à compter duquel est défini le complément de distance à la cible.
A l’étape c), le complément de distance à la cible est combiné avec la distance approximative, pour obtenir une valeur estimée de distance à la cible. De préférence, ladite combinaison est une somme. On combine ainsi les avantages liés à chacune de ces deux valeurs, à savoir une origine connue, grâce à la distance approximative à la cible, et une marge d’erreur réduite, grâce au complément de distance à la cible. Ladite origine connue correspond l’emplacement du dispositif d’émission et réception.
La répétition des étapes a) à c) permet d’obtenir une suite de valeurs estimées de distance à la cible, définissant un mouvement effectué par la cible.
De manière avantageuse, le procédé selon l’invention comporte en outre une étape d’émission du signal impulsionnel émis, et une étape de réception du signal impulsionnel retour, ces étapes étant mises en œuvre par un système d’émission et réception radiofréquence pourvu d’au moins une antenne radiofréquence.
De préférence, l’étape a) comporte l’identification, sur un signal d’amplitude échantillonné temporellement, d’une fenêtre temporelle d’échantillonnage recevant un maximum local dudit signal d’amplitude.
A l’étape b), les valeurs de déphasage sont avantageusement constituées chacune d’une composante basse fréquence d’un déphasage entre le signal impulsionnel retour et le signal impulsionnel émis.
De préférence, à l’étape b), les valeurs de déphasage se rapportent chacune à un instant prédéterminé appartenant à une fenêtre temporelle d’échantillonnage identifiée à l’étape a).
De manière avantageuse, la détermination d’un complément de distance à la cible met en œuvre : - une détection d’au moins un maximum local, sur des données relatives au suivi de valeurs de déphasage entre le signal impulsionnel retour et le signal impulsionnel émis ; et - lorsqu’un nouveau maximum local est détecté, une mise à jour d’une valeur courante du complément de distance à la cible, pour la faire varier d’une valeur élémentaire de décalage de la cible.
Ladite mise à jour peut comprendre la détermination d’un sens de déplacement de la cible, pour déterminer si la mise à jour consiste à ajouter ou à retrancher la valeur élémentaire de décalage de la cible.
Avantageusement, la détermination du sens de déplacement de la cible met en œuvre une recherche du signal qui est en avance de phase sur l’autre, parmi le signal impulsionnel retour mixé avec le signal impulsionnel émis ou sa porteuse, et le signal impulsionnel retour mixé avec le signal impulsionnel émis déphasé de 90° d’angle ou sa porteuse déphasée de 90° d’angle.
De préférence, la détermination du complément de distance à la cible met en œuvre une remise à la valeur nulle de la valeur courante du complément de distance à la cible, lorsqu’il a été détecté, à l’étape a), une variation du décalage temporel entre une impulsion du signal impulsionnel retour et l’impulsion correspondante du signal impulsionnel émis.
Les étapes a) à c) sont avantageusement mises en œuvre via la mise en œuvre des étapes suivantes, pour chacune d’une pluralité d’impulsions du signal impulsionnel émis : i) détermination d’un décalage temporel entre ladite impulsion du signal impulsionnel émis et l’impulsion correspondante du signal impulsionnel retour, ce décalage temporel définissant la valeur de la distance approximative à la cible ; ii) comparaison entre le décalage temporel déterminé à l’étape i), et un décalage temporel de référence ; iii) lorsque le décalage temporel déterminé à l’étape i) est différent du décalage temporel de référence, mise à jour de la valeur du décalage temporel de référence pour le mettre à la valeur déterminée à l’étape i), et mise à la valeur nulle du complément de distance à la cible ; iv) calcul d’une valeur de déphasage entre ladite impulsion du signal impulsionnel émis et l’impulsion correspondante du signal impulsionnel retour, et utilisation de ladite valeur de déphasage pour compléter des données de suivi de valeurs de déphasage ; v) recherche, sur lesdites données de suivi, d’un nouveau maximum local ; vi) lorsqu’un nouveau maximum local est détecté, détermination d’un sens de déplacement de la cible, et mise à jour de la valeur du complément de distance à la cible pour l’augmenter ou la diminuer en fonction du sens de déplacement de la cible ; vii) somme de la distance approximative à la cible et du complément de distance à la cible, pour obtenir la valeur estimée de la distance à la cible.
L’invention couvre également un produit programme d'ordinateur comprenant des instructions qui, lorsque le programme est exécuté par un processeur, conduisent celui-ci à mettre en œuvre le procédé selon l’invention.
- un système MET d’enregistrement et de traitement de la transaction,
- un serveur MCT de commande d’ouverture/fermeture d’un casier.
La boîte de retrait DF est également dotée d'un module COM F de communication radio sans fil courte ou moyenne portée, tel que par exemple Bluetooth, LTE, WiFi, DSRC, C-V2X, etc.
Le système MET d’enregistrement de la transaction est configuré pour enregistrer les transactions, ici les retraits de colis, et initier une opération de retrait de colis vers le serveur MCT de commande de l’ouverture/fermeture d’un casier.
Le serveur MCT de commande de l’ouverture/fermeture d’un casier est relié au système MET d’enregistrement et de traitement de la transaction et doté d'une connectivité vers l'extérieur pour communiquer avec l’environnement EGT de gestion de la transaction, et en particulier avec un serveur SERV de gestion de la transaction qui comprend un serveur de gestion SEN appartenant à l’enseigne qui a vendu la marchandise contenue dans le colis COL, lequel serveur SEN communique avec un serveur de gestion STR appartenant au transporteur ayant acheminé le colis jusqu’à la boîte de retrait DF.
Dans ce contexte de l’établissement de la transaction de l’invention, à l’approche de l’utilisateur UT de la boîte de retrait DF, le smartphone OC commence par s’appairer en S0 avec la boîte de retrait DF, via les modules de communication MCO O et MCO F respectifs, afin d’établir un canal de communication sans contact sécurisé pour mettre en œuvre la transaction, ici une commande d’ouverture/fermeture d’un casier.
Le signal d’appairage réussi est alors transmis au système MET d’enregistrement et de traitement de la transaction et au serveur MCT de commande de l’ouverture/fermeture du casier E contenant le colis COL à retirer.
Le serveur MCT de commande de l’ouverture/fermeture de casier et/ou le système MET d’enregistrement et de traitement de la transaction vérifient en S1 que la boîte de retrait DF est opérationnelle.
En S2, le serveur MCT de commande de l’ouverture/fermeture de casier ou la boîte de retrait DF envoie au smartphone OC, via le canal sécurisé établi en S0, une requête REQ_LECT demandant si le smartphone OC contient un lecteur LECT.
Le smartphone OC reçoit en S3 la requête REQ_LECT
Le smartphone OC contenant un tel lecteur LECT, une authentification mutuelle conforme à l’invention est alors exécutée en S4 entre le serveur MCT et le lecteur LECT, de manière à émuler un terminal de commande d’ouverture ou de fermeture de casier.
En S5 le serveur MCT ou la boîte de retrait DF envoie une requête REQ_TR à l’utilisateur UT lui demandant de présenter son étiquette de retrait MAST, soit à l’aide d’un message sonore DAT délivré sur le haut-parleur du smartphone OC, soit à l’aide d’un message textuel DAT qui s’affiche sur l’écran du smartphone. En complément ou alternativement, les données DAT peuvent contenir un identifiant, un logo ou un nom de l’enseigne de la boutique d’où provient le colis COL, le prix de la commande, un identifiant du casier qui contient le colis COL, etc.
En S7, l’interface utilisateur IU est alors activée pour demander à l’utilisateur UT de présenter son étiquette de retrait MAST au lecteur LECT.
Le lecteur LECT lit alors en S8 des données d’identification ID MAST de l’étiquette MAST, ici le code-barres ou le QR code.
Dans le cas où l’étiquette MAST est un support physique, par exemple une feuille de papier, un autocollant ou autres, l’utilisateur UT approche en S8 l’étiquette MAST de la surface du lecteur LECT qui est adapté pour lire de tels codes.
Dans le cas où l’étiquette MAST a été transmise au smartphone OC, une telle lecture S8 est mise en œuvre suite à l’accès, via le module d’accès ACC de la , à l’étiquette MAST, dans la mémoire MEM 1 du smartphone OC. S’il existe plusieurs étiquettes stockées en mémoire, l’accès est exécuté suite à une sélection par l’utilisateur UT de l’étiquette MAST à lire.
Comme illustré aux figures 3A, 3B, un masque 400 à base de résine comprenant des ouvertures 401 formant des motifs de vias est déposé sur le masque de gravure 300. Ces ouvertures 401 du masque 400 servent notamment à ouvrir le masque de gravure 300. Les ouvertures 401 sont situées au moins en partie au droit des pistes électriques 10. Les ouvertures 401 présentent une dimension latérale, typiquement un diamètre, comprise entre 70 nm et 1000 nm.
En fonction de la technique mise en œuvre pour ouvrir le masque 300, le masque 400 peut être formé d’une ou plusieurs couches. Il peut être à base de résine photosensible, par exemple à tonalité positive. Un revêtement antireflets sous-jacent de type BARC (Bottom Anti Reflective Coating signifiant revêtement anti-reflexion de fond) est de préférence intercalé entre le masque 300 et le masque 400. Le masque 400 en résine photosensible peut présenter une épaisseur comprise entre 50 nm et 300 nm. Cette épaisseur peut être ajustée par exemple suivant le niveau de pistes considéré dans l’empilement et par conséquent la résolution des vias. Le revêtement antireflets peut présenter une épaisseur comprise entre 25 nm et 35 nm, par exemple de l’ordre de 30 nm.
Alternativement, le masque 400 peut comprendre deux couches de type SOC (spin on carbon) et SiARC (silicon anti reflective coating signifiant revêtement anti réflexion à base de silicium), ainsi qu’une couche de résine photosensible (masque dit « Tri Layer »). Les épaisseurs de ces trois couches varient selon la nature des couches et selon les dimensions des vias visées. Elles sont typiquement de l’ordre de 150 nm pour le SOC, 30 nm pour le SiARC et environ 100 nm pour la résine.
Les différentes couches de ce masque 400 peuvent être déposées par une méthode classique de spin coating (à la tournette).
Les ouvertures 401 du masque 400 sont réalisées en mettant en œuvre des techniques classiques de lithographie, telles que la lithographie optique, la lithographie électronique par faisceau d’électrons (ebeam), la lithographie par nanoimpression ou toute autre technique de lithographie connue de l’homme du métier.
Comme illustré aux figures 4A, 4B, une gravure est effectuée dans le masque de gravure 300 pour y transférer les motifs 401 du masque 400. Cette gravure est configurée pour former les ouvertures de masque 301.
Le revêtement antireflets et le masque de gravure 300 peuvent être gravés par plasma, à l’aide d’une chimie de gravure à base de chlore, par exemple Cl2 /BCl3. Ce type de plasma permet d’utiliser un masque 400 à base de résine présentant une fine épaisseur, par exemple inférieure à 200 nm.
Comme illustré aux figures 5A, 5B, le masque 400 est de préférence retiré après ouverture du masque de gravure 300. Ce retrait peut se faire classiquement par une étape dite de « stripping », par exemple par plasma à base d’oxygène.
Comme illustré aux figures 6A, 6B, la couche diélectrique 200 est ensuite gravée au travers des ouvertures 301 du masque de gravure 300. Cette gravure est typiquement effectuée par HF vapeur. Le matériau diélectrique de la couche diélectrique 200 est ainsi gravé en laissant des résidus R dans certaines ouvertures 320 R de la couche diélectrique 200. Ces résidus R sont des résidus azotés provenant de l’azote contenu dans la couche diélectrique 200, et formés lors de la gravure HF vapeur. Les résidus R sont typiquement à base de fluoro-silicates d’ammonium.
Pour une couche diélectrique 200 à base d’oxyde de silicium, la réaction chimique lors de la gravure HF est potentiellement la suivante :
SiO 2 (s) + 4HF(g) + 2NH 4 F(s) → (NH 4 ) 2 SiF 6 (s) + SiF 4 (g) + 2H 2 O(g).
Pour une couche diélectrique 200 à base de nitrure de silicium, la réaction chimique lors de la gravure HF est potentiellement la suivante :
Si 3 N 4 (s) + 16HF(g) → 2(NH 4 ) 2 SiF 6 (s) + SiF 4 (g).
Après gravure, on obtient ainsi des ouvertures 320 sans résidus et des ouvertures 320 R avec résidus R. Les ouvertures 320 R avec résidus R peuvent être totalement ou partiellement bouchées par les résidus R. La distribution des résidus R est totalement aléatoire.
La illustre une image acquise par microscopie électronique à balayage (MEB) d’une couche d’oxyde de silicium de type « silane » gravée par HF vapeur selon un exemple de mise en œuvre du procédé. Les résidus se présentent sous forme de piliers résiduels. Le diamètre des piliers résiduels est ici compris entre 300 nm et 1,2 µm.
Comme illustré aux figures 7A, 7B, de façon optionnelle, après gravure de la couche diélectrique 200 au niveau des ouvertures de masque 301, le masque de gravure 300 peut être avantageusement retiré sélectivement par rapport à la couche diélectrique 200 et aux résidus R.
Des procédés connus de détection de geste sont basés sur l’émission d’un signal radiofréquence émis en direction d’une cible, et la réception d’un signal radiofréquence retour qui correspond à la réflexion du signal radiofréquence émis, sur ladite cible. La cible est par exemple le pied d’un utilisateur, effectuant un geste prédéterminé.
Il est connu également, dans ces procédés, d’utiliser un signal radiofréquence de type impulsionnel, constitué d’impulsions dites radiofréquence, c’est-à-dire dont la fréquence de porteuse appartient au spectre radiofréquence. De tels procédés peuvent mettre en œuvre la mesure d’un temps de vol, c’est-à-dire la mesure d’une durée mise par une impulsion effectuer l’aller-retour entre un dispositif d’émission et réception et la cible. Le temps de vol est relié à la distance parcourue par l’impulsion par c, la vitesse de déplacement de la lumière dans le vide. Le temps de vol permet ainsi de déterminer la distance entre la cible et le dispositif d’émission et réception.
En pratique, les impulsions du signal radiofréquence retour sont détectées sur un signal d’amplitude, échantillonné temporellement par un convertisseur analogique numérique. La fréquence de l’échantillonnage temporel définit des fenêtres temporelles d’échantillonnage, et donc une précision sur la mesure du temps de vol. Afin de maximiser cette précision, la fréquence d’échantillonnage doit être la plus élevée possible. Or, le critère de Shannon fixe la valeur maximale de la fréquence d’échantillonnage à deux fois la plus haute fréquence de l’enveloppe du signal impulsionnel reçu, c’est-à-dire deux fois la plus haute fréquence de l’enveloppe du signal impulsionnel émis.
Une valeur typique de la plus haute fréquence de l’enveloppe du signal impulsionnel émis est 500 MHz, ce qui correspond à une valeur maximale de la fréquence d’échantillonnage égale à f ech =1 GHz. Cela correspond à une marge d’erreur Δd AR = c/f ech sur la détermination de la distance aller-retour à la cible, soit une marge d’erreur Δd 1 = c/2*f ech =15 cm sur la distance aller à la cible.
Un objectif de la présente invention est de proposer une solution permettant de déterminer une distance à la cible avec une précision améliorée (c’est-à-dire une marge d’erreur réduite) en comparaison avec les solutions de l’art antérieur.
Cet objectif est atteint avec un procédé de détection de geste, utilisant un signal impulsionnel retour issu de la réflexion sur une cible d’un signal impulsionnel émis de type radiofréquence, le signal impulsionnel retour et le signal impulsionnel émis étant chacun constitués d’impulsions de type radiofréquence, le procédé comportant les étapes suivantes : a) détermination d’une distance approximative à la cible, mettant en œuvre une mesure de décalage temporel entre une impulsion du signal impulsionnel retour et l’impulsion correspondante du signal impulsionnel émis; b) détermination d’un complément de distance à la cible, mettant en œuvre un suivi de valeurs de déphasage entre le signal impulsionnel retour et le signal impulsionnel émis ; c) combinaison de la distance approximative à la cible et du complément de distance à la cible, pour obtenir une valeur estimée de distance à la cible ; et d) répétition des étapes a) à c) , pour obtenir une série de valeurs estimées de distance à la cible, ladite série de valeurs définissant un geste.
Lesdites étapes sont avantageusement mises en œuvre au sein d’un microcontrôleur.
Le signal impulsionnel émis est émis par un dispositif d’émission et réception, et reçu par le même dispositif d’émission et réception.
Dans tout le texte, une distance à la cible désigne une distance entre ladite cible, et le dispositif d’émission et réception.
De préférence, le procédé de détection de geste est mis en œuvre pour piloter une ouverture d’un ouvrant de véhicule automobile.
L’étape a) met en œuvre la détermination d’un écart entre un instant de réception, par le dispositif d’émission et réception, d’une impulsion du signal impulsionnel retour, et un instant d’émission, par le même dispositif d’émission et réception, de l’impulsion correspondante du signal impulsionnel émis. Il s’agit donc de mesurer un temps de vol. L’étape a) permet d’obtenir la valeur d’une distance approximative à la cible, avec une marge d’erreur Δd 1 .