INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Avantageusement, le volet 26 est réalisé dans un matériau amagnétique.
Avantageusement, le volet 26 comprend un premier panneau 262 et un deuxième panneau 264.
Ici, les premier et deuxième panneaux 262, 264 s’étendent chacun selon un plan P262, P264.
Exemple 1 : si la zone à risques 3 est catégorisée comme étant un abord d'habitation et que l'opération agricole à effectuer par l’engin agricole 1 mobile est un traitement phytosanitaire, alors l’unité de traitement et de commande du dispositif de commande selon l’invention commandera automatiquement à l’engin agricole 1 mobile de couper la distribution de ces produits dans la zone à risques 3 définie en tant que comportement spécifique.
Exemple 2 : si la zone à risques 3 est identifiée comme étant une étendue d'eau (lac, étang, etc.), alors la zone à risques 3 est associée à une catégorie qui correspond à un obstacle non-franchissable par l'engin agricole 1 mobile et alors l’unité de traitement et de commande du dispositif de commande selon l’invention commandera automatiquement à l’engin agricole 1 mobile le comportement spécifique consistant à ne pas travailler dans la zone à risques 3 définie, peu importe le type d'opération agricole pratiquée.
Exemple 3 : si la zone à risques 3 est identifiée comme étant un passage d'irrigation, alors la zone à risques 3 est associée à une catégorie qui correspond à un obstacle franchissable par l'engin agricole 1 mobile et alors l’unité de traitement et de commande du dispositif de commande selon l’invention commandera automatiquement à l’engin agricole 1 mobile le comportement spécifique consistant à ne pas travailler dans la zone à risques 3 définie, peu importe le type d'opération agricole pratiquée.
De préférence, ladite unité de traitement et de commande est configurée pour commander ledit au moins un comportement spécifique audit engin agricole 1 mobile, si la position dudit engin agricole 1 est située strictement dans ladite au moins une zone à risques 3 et ledit engin agricole 1 mobile est agencé pour évoluer en autonomie à l’intérieur ladite au moins une zone à risques 3 selon ledit au moins un comportement spécifique commandé par ladite unité de traitement et de commande.
Par exemple dans le cas d’une zone à risque 3 de type dévers, l’engin agricole 1 mobile adopte le comportement spécifique uniquement quand il rentre dans le contour fermé réel de la zone à risques 3 en dévers.
De manière alternative et de préférence, ladite unité de traitement et de commande est configurée pour commander ledit au moins un comportement spécifique audit engin agricole 1 mobile, si la position dudit engin agricole 1 est située à proximité de ladite au moins une zone à risques 3 et ledit engin agricole 1 mobile est agencé pour évoluer en autonomie à proximité de ladite au moins une zone à risques 3 selon ledit au moins un comportement spécifique commandé par ladite unité de traitement et de commande.
Avantageusement, l’engin agricole 1 mobile adopte le comportement spécifique à l’approche ou à proximité de la zone à risques 3. Pour ce faire, des valeurs de distances définissant la proximité de la zone à risques 3 peuvent être définies automatiquement par l’automate selon la catégorie et/ou le comportement sélectionné/imposé ou bien par l’utilisateur.
De manière alternative et de préférence, ladite au moins une mémoire comprend au moins des données d’entrée de cartographie d’au moins une zone élargie 30 autour de ladite au moins une zone à risques 3, ladite unité de traitement et de commande est configurée pour commander ledit au moins un comportement spécifique audit engin agricole 1 mobile, si la position dudit engin agricole 1 est située dans ladite au moins une zone élargie 30 autour de ladite au moins une zone à risques 3 et ledit engin agricole 1 mobile est agencé pour évoluer en autonomie à l’intérieur ladite au moins une zone élargie 30 selon ledit au moins un comportement spécifique commandé par ladite unité de traitement et de commande.
En plus des données de cartographies qui définissent le contour fermé réel ou propre de la zone à risques 3, il est additionnellement possible de définir une zone élargie 30 de la zone à risques 3 qui peut également être délimitée par un contour fermé élargi de plus grande dimension que le contour fermé réel ou propre de la zone à risques 3. Le contour fermé réel est situé à l’intérieur du contour fermé élargi de la zone à risques 3. Cela est particulièrement avantageux lorsque certaines catégories sont sélectionnées, par exemple un obstacle non-franchissable. La montre par exemple une zone élargie 30 qui correspond sensiblement à la zone hachurée autour de l’obstacle, à savoir un étang dans l’exemple illustré. Dans cette zone élargie 30, l’engin agricole 1 mobile adopte au moins le comportement spécifique commandé. Dans le cas d’un obstacle non-franchissable, cela permet à l’engin agricole 1 de ralentir à l’approche de l’obstacle et de ne pas freiner soudainement devant celui-ci. Cette zone élargie 30 peut être définie automatiquement à partir du contour arpenté par l’automate ou par l’utilisateur, à savoir la forme géométrique de la zone élargie 30 et les dimensions de celle-ci.
De préférence, ladite unité de traitement et de commande est reliée à une interface homme-machine décrite ci-après et l’unité de traitement et de commande est configurée pour afficher sur ladite interface homme-machine les données d’entrée de cartographie d’au moins une zone élargie 30. Les données d’entrée de cartographie d’au moins une zone élargie 30 peuvent être entrées puis affichées sur un écran, par exemple sous la forme d’une liste de paramètres 31 comme l’illustrent les figures 5 et 6.
En pratique, pour commander ledit au moins un comportement spécifique audit engin agricole 1 mobile, si la position dudit engin agricole 1 est située dans ou à proximité de ladite au moins une zone à risques 3, l’unité de traitement et de commande est de préférence configurée pour envoyer au moins un signal de commande représentatif du comportement spécifique à l’engin agricole 1 mobile. De son côté, ledit engin agricole 1 mobile est configuré pour traiter le signal de commande représentatif du comportement spécifique, de sorte à évoluer dans la parcelle agricole 2 ou dans la zone à risques 3 en adoptant le comportement spécifique. De préférence, la transmission/réception du signal de commande se fait à distance entre l’unité de traitement et de commande et ledit engin agricole 1 mobile par des moyens de communication sans-fil, par exemple de type radiofréquence. Cette configuration est préférée, lorsque l’unité de traitement et de commande et ledit engin agricole 1 mobile sont deux entités distinctes et séparés, distantes l’une de l’autre.
On entend par engin agricole 1 mobile un véhicule agricole 4 ou un véhicule agricole 4 associé à au moins un outil agricole 5 ou un véhicule agricole 4 intégrant au moins un outil agricole 5. L’engin agricole 1 mobile peut être autonome, c’est-à-dire qu’il ne nécessite pas l’intervention d’un conducteur pour se déplacer dans la parcelle agricole 2 et/ou réaliser une opération dans la parcelle agricole 2. L’engin agricole 1 mobile autonome peut consister en un robot agricole. Ledit au moins un engin agricole 1 mobile peut consister par exemple en une flotte d’engins agricoles 1 mobiles.
On entend par parcelle agricole 2, une zone agricole délimitée par un contour de préférence fermé, comme l’illustrent les figures 1 à 4.
On entend par unité de traitement et de commande, un système de traitement de l'information programmable. L’unité de traitement et de commande peut être distante et consister par exemple en un ordinateur ou une tablette ou un smartphone. L’unité de traitement et de commande peut alternativement faire partie de l’engin agricole 1 mobile. L’unité de traitement et de commande étant programmable, elle peut comprendre au moins un logiciel. L’unité de traitement et de commande permet au moins la transmission dudit au moins un signal de commande audit au moins un engin agricole 1 et réalise donc une fonction de commande. L’unité de traitement et de commande permet également au moins d’associer les différents types de données précités entre eux et réalise donc une fonction de traitement des données. L’unité de traitement et de commande peut comprendre un sous-système de commande qui réalise la fonction de commande et un sous-système de traitement distinct qui réalise la fonction de traitement. De manière alternative, l’unité de commande et de traitement peut comprendre un unique système de traitement et de commande qui réalise à la fois la fonction de traitement et la fonction de commande.
On entend par une zone à risques 3, un contour fermé se situant à l’intérieur de la parcelle agricole 2, comme l’illustrent les figures 1 à 4.
Selon une première possibilité représentée à la , la parcelle agricole 2 comprend trois zones à risques 3 à savoir une zone à risques 3 de type « étang », une zone à risques 3 de type « poteau électrique » et une zone à risques 3 de type « abord d’habitations ».
De plus, la conduite de refoulement 35 peut présenter un logement pour recevoir un silencieux de la pompe à vide 1, interposé entre la sortie S du dernier étage de pompage 3c et le refoulement 5. Le silencieux est donc raccordé fluidiquement aux sorties du ou de chaque canal de sortie 29 ainsi qu’à la sortie S du dernier étage de pompage 3c. Le clapet 31 de refoulement est généralement agencé en amont du silencieux selon le sens de circulation du gaz.
De façon alternative, comme représenté sur les figures 7 à 9, le clapet 31 de refoulement est agencé entre les deux demi-coquilles 2A, 2B de façon similaire aux clapets 13 de délestage, comme précédemment décrit. Selon cette forme de réalisation, le canal d’évacuation associé au clapet 31 de refoulement est un canal de refoulement 37 raccordé à la sortie S du dernier étage de pompage 3c. Le canal de refoulement 37 est ménagé dans l’une des demi-coquilles, en débouchant en au moins une embouchure dans la surface d’assemblage 8. Ce canal de refoulement 37 peut être agencé dans la même demi-coquille, que le ou les canaux de délestage 11. Il est dans les exemples illustrés agencé dans la demi-coquille inférieure 2B.
De plus, le clapet 31 de refoulement est monté au moins en partie mobile dans une cavité 39 raccordée fluidiquement au refoulement 5 de la pompe à vide 1. Cette cavité 39 est également désignée par cavité de refoulement. Une telle cavité 39 est ménagée dans la demi-coquille opposée au canal de refoulement 37, par exemple la demi-coquille supérieure 2A. Cette cavité 39 de refoulement peut être prévue dans la même demi-coquille que les cavités 15 logeant les clapets 13 de délestage.
Comme représenté sur la , la cavité 39 de refoulement peut être ménagée dans la même demi-coquille que le canal de sortie 29 et déboucher dans ce canal de sortie 29. Ainsi, tout le gaz refoulé ou délesté peut être évacué de la demi-coquille par le canal de sortie 29. Dans ce cas, un silencieux peut être interposé entre le refoulement 5 et la sortie du canal de sortie 29. Un tel silencieux peut être simplifié par rapport aux modes de réalisation avec plusieurs sorties raccordées au silencieux. La pompe à vide 1 est d’autant plus compacte.
Il est aussi envisageable que la cavité 39 de refoulement et le ou les canaux de sortie 29 débouchent dans une conduite de refoulement 35 commune raccordée au refoulement 5. La conduite de refoulement 35 peut être fixée sur la première demi-coquille 2A ( ou 8b) ou sous la deuxième demi-coquille 2B ( ). En particulier, lorsque la conduite de refoulement 35 est fixée sur la première demi-coquille 2A, cette conduite de refoulement 35 peut s’arrêter avant l’aspiration 4 ( ), ou au contraire la conduite d’entrée reliant l’aspiration 4 à l’entrée du premier étage 3a peut traverser cette conduite de refoulement 35 ( ). Comme précédemment décrit, ces configurations permettent d’atteindre les températures requises dans la pompe à vide 1, voire de chauffer la conduite d’entrée raccordée à l’aspiration 4 ( ).
De façon similaire au fonctionnement des clapets 13 de délestage, le clapet 31 de refoulement est agencé de façon à obturer ou libérer l’embouchure du canal de refoulement 37 raccordé à la sortie du dernier étage de pompage 3c. Lorsqu’il est fermé le clapet 31 de refoulement, tel qu’une bille, peut être en appui sur un siège de clapet et lorsqu’il s’ouvre il peut s’en écarter. Le siège de clapet peut être défini par un joint d’étanchéité 17 tel que décrit en référence aux figures 3 et 4. Le clapet 31 de refoulement peut être sollicité vers la position de fermeture obturant l’embouchure du canal 37 par la force de gravité ou par le biais d’un organe de rappel élastique, tel qu’un ressort 25, comme décrit en référence à la .
Par ailleurs, dans les exemples des figures 7 à 9, les demi-coquilles 2A, 2B logent entre elles à la fois un clapet 31 de refoulement et des clapets 13 de délestage. Selon une autre forme de réalisation, le clapet 31 de refoulement peut être agencé entre les demi-coquilles 2A, 2B sans par ailleurs prévoir d’interposer entre ces dernières des clapets 13 de délestage.
La montre un exemple de réalisation d’un groupe de pompage 100 comportant une pompe à vide 1 et au moins une pompe additionnelle 200. La pompe additionnelle 200 est dans cet exemple agencée en amont de la pompe à vide 1, selon le sens de circulation du gaz. Cette pompe additionnelle 200 peut venir en complément de la pompe à vide 1 selon l’un ou l’autre des modes de réalisation précédemment décrits en référence aux figures 1 à 9.
Une telle pompe additionnelle 200 aussi nommée « booster » en anglais permet d’augmenter la vitesse de pompage. Il peut s’agir en particulier d’un dépresseur ou compresseur Roots aussi nommé « Roots blower » en anglais, qui peut comprendre un étage ou être multiétagé. Chaque pompe comporte un moteur d’entrainement configuré pour entrainer les rotors en rotation.
Le groupe de pompage 100 peut comporter de plus une ou plusieurs canalisations 41, 43 entre la pompe additionnelle dite « booster » 200 et la pompe à vide 1.
Dans un tel groupe de pompage 100, lors d’une ouverture de vanne (non représenté), les pompes 1, 200 subissent une onde de pression qui peut contraindre les parties mécaniques. Afin d’absorber ponctuellement des flux de pompage importants à l’entrée de la pompe additionnelle dite « booster » 200, le groupe de pompage 100 comporte au moins un clapet 45, aussi nommé clapet de délestage.
Ce clapet 45 peut être agencé entre la pompe additionnelle dite « booster » 200 et la pompe à vide 1. Le clapet de délestage 45 peut être agencé entre les stators de la pompe additionnelle dite « booster » 200 et de la pompe à vide 1. Plus précisément, le clapet de délestage 45 est agencé de manière à court-circuiter les étages 3a-3c de la pompe à vide 1. Le clapet de délestage 45 peut être raccordé fluidiquement au refoulement 5 de la pompe à vide 1. Pour cela, le clapet 45 est agencé mobile entre les stators des deux pompes 1, 200, de façon à obturer ou libérer une embouchure d’une canalisation 43, en fonction d’une différence de pression de part et d’autre du clapet 45.
Le clapet de délestage 45 peut être réalisé de façon similaire au clapet de délestage 13 ou au clapet de refoulement 35 de la pompe à vide 1.
Une canalisation 41 peut être raccordée à la sortie de la pompe additionnelle dite « booster » 200. Cette canalisation 41 peut comporter au moins deux portions en dérivation, dont une première portion est raccordée à l’entrée du premier étage de pompage 3a de la pompe à vide 1 et une deuxième portion est raccordée au clapet de délestage 45. L’autre canalisation 43 peut être raccordée en sortie du clapet de délestage 45 et au refoulement 5 de la pompe à vide 1.
Dans l’exemple illustré sur la , la canalisation 43 en sortie du clapet de délestage 45 débouche dans le canal de sortie 29 ménagé dans l’une des demi-coquilles 2A de la pompe à vide 1. Selon une variante non représentée, cette canalisation 43 peut déboucher dans une conduite de refoulement 35 de la pompe à vide 1 comme précédemment décrit.
Le clapet de délestage 45 permet de contourner les étages de pompage 3a-3c de la pompe à vide 1 en cas de surpression. Lorsque la différence de pression est inférieure au seuil de tarage du clapet de délestage 45, le gaz pompé suit le chemin représenté par les flèches F1 en traits pleins et est aspiré par le premier étage de pompage 3a. Au contraire, lorsque la différence de pression est supérieure au seuil de tarage du clapet de délestage 45, le gaz en sortie de la pompe additionnelle 200 suit le chemin représenté par les flèches F2’ blanches dont le contour est représenté en traits pleins, de façon à « court-circuiter la pompe à vide » et être évacué vers le refoulement 5 de la pompe à vide 1.
Un autre paramètre que l’on souhaite pouvoir détecter est le focus. Au cours d’un procédé de photolithographie, un système d’éclairage projette dans une couche de matériau photosensible une image d’un réticule au travers d’un objectif. Les caractéristiques de l’image projetée peuvent varier à travers l’épaisseur de la couche de matériau photosensible mais aussi, selon la topographie du support de la couche photosensible. Par conséquent, la position focale photo-lithographique est définie comme une position par rapport à une hauteur référence qui est celle de la surface de la couche de matériau photosensible. Par exemple, pour une hauteur HT de matériau photosensible, le focus sera défini comme étant à une hauteur HTk compris dans l’intervalle [0;HT], pour laquelle l’image obtenue aura le meilleur contraste.
Pour déterminer le focus, il est connu d’utiliser sur un masque de photolithographie des mires en forme de peigne.
Il existe un besoin d’une structure de métrologie adaptée à plusieurs des techniques précitées.
Il existe également un besoin d’une structure de métrologie permettant d’effectuer une mesure ou de détecter, de préférence à temps de mesure constant et à partir d’un même équipement, plusieurs voire l’ensemble des paramètres précités.
Le document US2016/179017 présente une structure de métrologie d'imagerie munie d’une cible fournissant un signal bidimensionnel. La structure décrite permet de mesurer un seul paramètre métrologique : celui de recouvrement (overlay).
Il se pose le problème de trouver une nouvelle structure de métrologie qui soit compatible avec la mesure de plusieurs paramètres.
Selon un mode de réalisation, la présente invention concerne une structure de métrologie formée sur au moins un support et dotée de cibles élémentaires identiques, chaque cible élémentaire comprenant un premier motif et un deuxième motif superposés,
- le premier motif étant formé d’un premier ensemble de segments agencés dans un premier plan et répartis le long d’un contour polygonal, en particulier rectangulaire ou carré,
- le deuxième motif étant formé d’un deuxième ensemble de segments agencés dans un deuxième plan parallèle ou sensiblement parallèle au premier plan et distinct du premier plan, les segments du deuxième ensemble étant répartis de sorte qu’un premier segment du deuxième ensemble est orthogonal ou sensiblement orthogonal et joint en un point donné un deuxième segment du deuxième ensemble, de sorte à former une croix, lesdites cibles élémentaires étant réparties selon un agencement matriciel comportant parallèlement à une première direction, une ou plusieurs premières rangées de cibles élémentaires identiques et parallèlement à une deuxième direction orthogonale à la première direction, une ou plusieurs autres rangées de cibles élémentaires identiques.
Avec une telle structure et la présence d’une telle cible répétée on peut à la fois réaliser des mesures de dimension critique, d’overlay et de focus.
Au moins un segment donné parmi lesdits segments du premier motif et/ou du deuxième motif peut comporter des dents de part et d’autre dudit segment donné, de sorte à former une structure de peigne.
La structure de peigne peut être pourvue d’une ou plusieurs premières dents situées d’un premier côté dudit segment donné et d’une ou plusieurs deuxièmes dents situées d’un deuxième côté dudit segment donné opposé au premier côté.
Selon une possibilité de mise en œuvre, au moins une première dent est prévue avec une largeur WT1 différente de la largeur WT2 d’une deuxième dent en regard de laquelle la première dent est agencée (WT1 et WT2 étant mesurées parallèlement à une direction donnée),
- au moins une première dent est prévue avec une longueur LT1 différente d’une longueur LT2 d’une deuxième dent en regard de laquelle la première dent est agencée (LT1 et LT2 étant mesurées orthogonalement à la direction donnée),
et/ou dans laquelle
Emplacement de réducteur : Dans des modes de réalisation avec réducteur 30, la turbine à gaz 10 a un emplacement de réducteur (marqué comme 112 dans les Figures 6A et 6B) correspondant à une position relative du réducteur 30 le long de la longueur de moteur 110. L'emplacement de réducteur 112 peut être mesuré entre : l'intersection d'un bord d'attaque 64a d'une des aubes de soufflante 64 et du moyeu 66 ; et un plan central radial du réducteur 30, le plan central radial étant au niveau d'un point médian entre la face avant d'un engrenage le plus avant du réducteur et la face arrière d'un engrenage le plus arrière du réducteur. Dans le mode de réalisation décrit ayant un réducteur épicycloïdal 30, l'emplacement de réducteur 112 peut être défini comme la distance axiale entre : l'intersection d'un bord d'attaque 64a d'une des aubes de soufflante 64 et du moyeu 66 ; et un plan radial coupant le point central axial de la couronne dentée 38 du réducteur 30.
Dans le mode de réalisation décrit, l'emplacement de réducteur se situe dans l'intervalle allant de 50 cm à 110 cm de l'intersection d'un bord d'attaque 64a d'une des aubes de soufflante 64 et du moyeu de soufflante 66.
Dans certains modes de réalisation, le diamètre de soufflante se situe dans la plage allant de 220 cm à 300 cm et l'emplacement de réducteur 112 est dans la plage allant de 50 cm à 80 cm. Dans certains modes de réalisation alternatifs, le diamètre de soufflante se situe dans la plage allant de 310 cm à 400 cm et l'emplacement de réducteur 112 se situe dans la plage allant de 80 cm à 110 cm.
Diamètre de la turbine à l'étage de rotor de plus basse pression (diamètre de turbine) :
En référence aux Figures 11A et 11B, le moteur à turbine à gaz 10 a un diamètre 122 de la turbine basse pression 19 à son étage de rotor de plus basse pression 19b. Celui-ci peut être dénommé ici « diamètre de turbine ». L'homme du métier appréciera que le diamètre de la turbine 19 peut varier le long de la longueur de la turbine 19, et qu'une position axiale particulière (ici celle de l'étage de rotor de plus basse pression 19b) est donc identifiée pour définir une valeur de diamètre spécifique.
L'homme du métier comprendra que l'étage de rotor de plus basse pression 19b est l'étage de rotor le plus arrière de la turbine 19, et que l'étage de rotor le plus arrière 19b de la turbine 19 sera désigné comme l'étage de rotor de plus basse pression de la turbine 19 même lorsque le moteur 10 n'est pas en cours d'utilisation ; à savoir même lorsque la pression ne varie essentiellement pas au sein du moteur.
Dans le mode de réalisation décrit le diamètre 122 à l'étage de rotor de plus basse pression 19b est mesuré à l'emplacement axial de bords de fuite d'extrémités d'aubes 44 de l'étage de rotor de plus basse pression 19b. Le diamètre de turbine 122 est défini comme le diamètre au point d'intersection entre le bord de fuite de l'aube d'étage de rotor de plus basse pression 44 et le bord externe de l'anneau de trajet de gaz.