INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Une couche diélectrique 200 à base de SiO2 formée à partir d’un précurseur TEOS ou TMOS sous N2O présente typiquement une concentration d’azote inférieure à une couche diélectrique 200 à base de SiO2 formée à partir d’un précurseur silane sous N2O. La concentration d’azote dans une couche diélectrique 200 de type « TEOS » atteint généralement quelques %at, par exemple 1 à 4 %at. La concentration d’azote dans une couche diélectrique 200 de type « silane » peut atteindre plusieurs dizaines de %at, par exemple de 10 à 50%at. Les résidus azotés formés à partir d’une couche diélectrique 200 « TEOS » seront donc moins nombreux et/ou moins denses que les résidus azotés formés à partir d’une couche diélectrique 200 « silane ». On pourra par exemple avantageusement choisir une couche diélectrique 200 « TEOS » pour des niveaux back end présentant une faible densité de pistes électriques, par exemple inférieure à 10 -2 µm -2 . On pourra par exemple choisir une couche diélectrique 200 « silane » pour des niveaux back end présentant une densité de pistes électriques plus élevée, par exemple supérieure ou égale à 10 -2 µm -2 .
Le lecteur pourra notamment se référer au document « Effects of process parameters on the properties of silicon oxide films using plasma enhanced chemical vapor deposition with tetramethoxysilane, T.H. Chung, M.S. Kang, C.J. Chung, Y. Kim, Current Applied Physics 9 (2009) 598–604 », , pour estimer la concentration atomique d’azote (quelques %at) présente dans une couche diélectrique 200 à base de SiO2 formée à partir de TMOS et de N2O, en fonction du rapport des pressions partielles de TMOS et de N2O dans le réacteur CVD.
Le lecteur pourra notamment se référer au document « Comparative study between silicon-rich oxide films obtained by LPCVD and PECVD, A. Moralesa,, J. Barretoa , C. Domı´ngueza , M. Rieraa , M. Acevesb , J. Carrilloc, Physica E 38 (2007) 54–58 », table 1, pour estimer la concentration atomique d’azote présente dans une couche diélectrique 200 à base de SiO2 formée par PECVD à partir de silane et de N2O. Celle-ci peut atteindre une dizaine de %at.
Le lecteur pourra notamment se référer au document « Study of nitrogen-rich silicon oxynitride films obtained by PECVD, D. CriadoI. PereyraM.I. Alayo, Materials Characterization 50 (2003) 167–171 », figure 3, pour estimer la concentration atomique d’azote présente dans une couche diélectrique 200 à base de SiO2 formée par PECVD à partir de silane et d’un mélange N2;N2O. Celle-ci peut atteindre plusieurs dizaines de %at.
Selon une possibilité, la couche diélectrique 200 est à base de nitrure de silicium, par exemple SiN ou Si3N4.
La couche diélectrique 200 peut présenter une épaisseur typiquement comprise entre 50 nm et 500 nm, par exemple de l’ordre de 100 nm.
De façon optionnelle, après formation de la couche diélectrique 200, un ou plusieurs recuits thermiques sous flux d’azote sont effectués. Cela permet d’augmenter encore la concentration d’azote dans la couche diélectrique 200.
Par ailleurs, il est possible d’ajuster les conditions de dépôt de sorte à rendre le dépôt non homogène sur une même plaque comprenant différentes puces microélectroniques ou entre différentes plaques comprenant différentes puces microélectroniques. Cette inhomogénéité peut être obtenue en contrôlant l’inclinaison de la plaque dans la chambre de dépôt vis-à-vis des buses d’injection des gaz, ou par exemple en modifiant la distance respective des buses d’injection par rapport à la plaque. Une variation de concentration d’azote de quelques % à 20% peut ainsi être obtenue entre différentes zones d’une même plaque lors du dépôt de la couche diélectrique 200. Une variable supplémentaire peut ainsi être introduite dans la distribution aléatoire des résidus azotés entre différentes puces. Cela permet de renforcer le caractère aléatoire et non clonable des zones d’individualisation formées par le procédé.
Le masque de gravure 300 est formé sur la couche diélectrique 200. Il est choisi de préférence en un matériau A présentant une sélectivité de gravure importante vis-à-vis de du matériau diélectrique, pour une gravure HF vapeur. La sélectivité de gravure S diélec:A entre le matériau diélectrique et le matériau A est de préférence supérieure ou égale à 10:1. Pour une couche diélectrique 200 à base de SiO2, le masque de gravure 300 peut être à base de SiN ou de TiN. Pour une couche diélectrique 200 à base de SiN, le masque de gravure 300 peut être à base de Si.
Selon l’un de ses aspects, la présente invention concerne un procédé de communication de données relatives à au moins une partie d’un véhicule entre un premier dispositif d’un réseau de communication centralisé et un deuxième dispositif d’un autre réseau de communication centralisé. Le procédé met en œuvre un partage de données entre les premiers et deuxième dispositifs par utilisation d’une technologie dite de chaîne de blocs (en anglais « blockchain ») aussi appelée technologie des registres distribués (de l’anglais « distributed ledger technology »).
La technologie de chaine de blocs est un outil numérique de stockage et de communication de données sans organe de contrôle central. La technologie de chaîne de bloc est configurée pour permettre aux utilisateurs de la chaine de blocs, connectés en réseau, d’effectuer des transactions de données pour partager entre eux ces données directement, sans intermédiaire. Une chaine de blocs est un registre ou une base de données qui présente la particularité d’être partagée simultanément avec tous ses utilisateurs, tous également détenteurs de ce registre (ou base de données), et qui ont également tous la capacité d’y inscrire des données, selon des règles spécifiques fixées par un protocole informatique sécurisé par le biais d’une cryptographie. L’identification de chaque utilisateur s’effectue par un procédé cryptographique. Un bloc d’une chaîne de blocs peut regrouper plusieurs transactions de données. Chaque bloc d’une chaîne de blocs peut contenir un nombre maximal de données à partager.
Selon la présente invention, la technologie de chaîne de blocs est mise en œuvre par un nombre prédéterminé de dispositifs d’un réseau de communication distribué associés au premier dispositif et un même nombre de dispositifs du réseau de communication distribué associés au second dispositif.
La présente invention est mise en œuvre à partir d’une architecture hybride qui associe des architectures de réseau de communication centralisés privés actuellement en place chez les constructeurs automobiles et chez leurs fournisseurs, et une architecture de réseau de communication distribuée.
La présente invention ne requiert pas de remplacer les réseaux de communication centralisés privés car l’espace de travail est formé à partir de dispositifs du réseau de communication distribué qui est externe à ces réseaux de communication centralisés privés.
La présente invention permet de créer un espace de travail collaboratif car une même chaîne de blocs de données est stockée sur chacun des dispositifs du réseau de communication distribué qui est associé au premier ou au deuxième dispositif.
Le présente invention assure une traçabilité des différentes transactions de données effectuées entre les premier et deuxième dispositifs en mémorisant un historique de ces transactions de données sur les dispositifs du réseau de communication distribué qui sont associés aux premier et deuxième dispositifs.
Le partage de données par la technologie de chaîne de blocs mise en œuvre par des dispositifs du réseau de communication distribué et le cryptage des données échangées permet d’authentifier les premier et deuxième dispositifs participants aux transactions de ces données sans faire appel à un tiers de confiance, ce qui fluidifie le partage de ces données entre ces premier et deuxième dispositifs. En effet, chaque transaction est validée par des dispositifs du réseau de communication distribué avant d’être autorisée.
La décentralisation de la gestion de la sécurité empêche la falsification des transactions de données. Chaque nouveau bloc ajouté à la chaine de blocs est lié au précédent (sauf pour le premier bloc de la chaine de blocs) et une copie de ce nouveau bloc est transmise à tous les dispositifs du réseau de communication distribué associés aux premier et deuxième dispositifs. L’intégration des blocs est chronologique, indélébile et infalsifiable.
De plus, la chaîne de blocs est inaltérable et les blocs de données sont horodatés et signés ce qui permet de fiabiliser les données échangées.
La présente invention permet d’obtenir un système de partage de données sans multiplier et complexifier les rapprochements de données ; Un système de partage de données qui est simple, peu coûteux, sécurisé et qui permet la traçabilité de données relatives à des informations de conformité entre fournisseurs de pièces, tout au long d’une chaîne d’approvisionnement jusqu’aux constructeurs automobiles.
illustre schématiquement un exemple d’un environnement de communication de données selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif de la présente invention.
L’environnement de communication 1 comprend par exemple un dispositif émetteur E d’un réseau de communication centralisé privé NET1 et un dispositif récepteur R d’un réseau de communication centralisé privé NET2. Le réseau de communication centralisé privé NET1 est distinct du réseau de communication centralisé privé NET2. Les dispositifs émetteur E et récepteur R communique au travers d’un réseau de communication distribué NET3 comme expliqué par la suite.
Le nombre de dispositif émetteur E ou récepteur R est quelconque, allant par exemple de quelques dispositifs à plusieurs centaines voire plusieurs milliers de dispositifs.
Le réseau de communication distribué NET3 comprend plusieurs dispositifs, par exemple 4 référencés S11, S12, S21, S22 encore appelés nœuds. Ces dispositifs (nœuds) communiquent entre eux via le réseau de communication distribué NET3.
Un nœud peut être n’importe quel dispositif électronique actif, y compris un serveur, un ordinateur, un téléphone ou même une imprimante, à condition qu’il soit connecté au réseau de communication NET3 et qu’il possède une adresse d’identification dans ce réseau de communication (pour l’authentification). Le rôle d’un nœud est de soutenir le réseau de communication NET3 en gérant une copie de chaînes de blocs et de traiter des transactions de données (approbation et validation d’une transaction de données). Ainsi des copies de chaîne de blocs sont stockées par chaque nœud du réseau de communication NET3.
la illustre une vue arrière en perspective d’un ensemble composé d’un dispositif de chargement selon l’invention solidarisé à un robot mobile dont les pieds escamotables sont en position rétractée ;
la illustre une vue arrière en perspective d’un ensemble composé d’un dispositif de chargement selon l’invention solidarisé à un robot mobile dont les pieds escamotables sont en position de soutien ;
[Fig 5 la figure 5 illustre une vue arrière en perspective d’un dispositif de chargement selon l’invention dont le deuxième ensemble mobile est déployé en dehors de l’enceinte ;
la illustre une vue arrière en perspective d’un dispositif de chargement selon l’invention dont les premier et deuxième ensembles mobiles occupent leur position de préhension ;
la illustre une vue de détail des crochets en position escamotée ;
la illustre une vue de détail des crochets en position déployée ;
la illustre une vue de dessous en détail des modules de préhension en position de préhension et les crochets en position de soutien ;
la illustre une vue de détail illustrant l’interaction entre des butées d’arrêt et les roues d’un chariot logé dans le volume de chargement de l’enceinte d’un dispositif de chargement selon l’invention.
6. Description de modes de réalisation particuliers
6.1. Architecture On présente en relation avec les figures 1 à 10 un exemple de dispositif de chargement selon l’invention.
Ainsi que cela est représenté, un tel dispositif de chargement 1 comprend une structure définissant un volume de chargement. Dans ce mode de réalisation, cette structure comprend une enceinte de protection 10. Cette enceinte de protection 10 comprend un fond 101, trois côtés 102 et un dessus 103. Cette enceinte délimite ainsi un volume de chargement 104 auquel il est possible d’accéder par une ouverture latérale 105.
Le fond 101 de l’enceinte comprend des moyens de solidarisation réversible à la plateforme supérieure 21 d’un robot mobile 2. Ces moyens de solidarisation permettent d’arrimer le dispositif de chargement au robot mobile de sorte qu’ils soient solidarisés l’un à l’autre. Ces moyens de solidarisation sont classiques en soient et ne sont donc pas décrits. Ils peuvent par exemple comprend des tiges filetées ou autre. Des moyens de connexion électrique peuvent également être mis en œuvre pour permettre d’alimenter en énergie le dispositif de chargement via le robot mobile.
Les moyens de solidarisation sont configurés pour solidariser le dispositif de chargement 1 de telle sorte que le volume de chargement 104 soit disposé au-dessus et dans le prolongement de la plateforme supérieure 21 du robot mobile 2.
Le dispositif de chargement 1 comprend des moyens de préhension 20 aptes à prélever au moins un chariot 3 et à le charger dans le volume de chargement 104.
Ces moyens de préhension 20 comprennent des crochets de soutènement 201. Ces crochets de soutènement 201 sont disposés, par paires, le long de deux côtés opposés 102 du volume de chargement 104, plus précisément le long des côtés 102 autres que celui faisant face à l’ouverture latérale 105.
Ces moyens de préhension 20 sont montés mobiles en translation horizontalement (cf. flèche H sur la ) et verticalement (cf. flèche V sur la ) entre au moins une position de prélèvement (cf. ) et une position de chargement (cf. figures 2, 3, 4).
La zone d’individualisation est accessible distinctement de la zone fonctionnelle. La zone d’individualisation est localisée sur une zone bien délimitée de la puce. La zone d’individualisation est par exemple de forme polygonale, par exemple rectangulaire. Ainsi, n’importe quelle zone défectueuse ne peut pas être assimilable à une zone d’individualisation PUF. De même, n’importe quelle zone non défectueuse ne peut pas être assimilable à une zone fonctionnelle.
Un niveau d’interconnexions comprend des portions conductrices généralement qualifiées de vias, qui sont destinées à connecter des pistes d’un premier niveau avec des pistes d’un deuxième niveau. Les différents niveaux de pistes électriques et d’interconnexion sont en outre généralement isolés des autres éléments du circuit intégré par au moins une couche diélectrique. On notera que des vias peuvent connecter des pistes de deux niveaux qui ne sont pas directement successifs mais qui sont eux même séparés par un ou plusieurs autres niveaux.
Le procédé est typiquement mis en œuvre dans les étapes de fabrication de « fin de ligne », dites BEOL (acronyme de Back End Of Line), correspondant à la réalisation des niveaux d’interconnections électriques.
Dans la présente demande, les termes « puce » et « circuit intégré » sont employés en synonymes.
Il est précisé que, dans le cadre de la présente invention, le terme via regroupe toutes les connexions électriques tels que les plots, lignes et structures conductrices qui s’étendent, de préférence perpendiculairement, entre deux couches, successives ou non, du circuit intégré, soit entre deux niveaux de pistes électriques. Chaque niveau des pistes électriques s’étend principalement selon un plan et peut comporter des structures micromécaniques fonctionnelles telles que des transistors par exemple. De préférence les vias forment chacun un plot, de section sensiblement circulaire.
On entend par un substrat, un film, une couche, « à base » d’un matériau A, un substrat, un film, une couche comprenant ce matériau A uniquement ou ce matériau A et éventuellement d’autres matériaux, par exemple des éléments dopants.
Le mot « diélectrique » qualifie un matériau dont la conductivité électrique est suffisamment faible dans l’application donnée pour servir d’isolant. Dans la présente invention, un matériau diélectrique présente de préférence une constante diélectrique inférieure à 7.
Dans le cadre de la présente invention, on qualifie de résine un matériau organique ou organo-minéral pouvant être mis en forme par une exposition à un faisceau d’électrons, de photons ou de rayons X ou mécaniquement.
On peut citer à titre d’exemple des résines classiquement employées en microélectronique, des résines à base de polystyrène (PS), de méthacrylate (par exemple le Polymethyl methacrylate PMMA), d’Hydrosilsesquioxane (HSQ), de polyhydroxystyrène (PHS) etc. L’intérêt d’utiliser une résine est qu’il est facile d’en déposer une épaisseur importante, de plusieurs centaines de nanomètres à plusieurs microns.
L’utilisation du système est basé sur le prise en compte automatique des commandes décidé par l’utilisateur par une action sur un des équipements, de l’état local de l’équipement pour asservir l’évolution des actionneurs locaux, et de l’état global du système par un asservissement de chaque actionneur local par une combinaison d’une éventuelle commande décidée localement, l’état local fourni par les capteurs locaux, et l’état de chacun des autres équipements connectés à partir des signaux broadcastés. Le processeur de chaque équipement exécute donc plusieurs fonctionnalités : Commande locale pour déterminer l’état local en fonction des données locales et les états externes enregistrés Écoute des messages de broadcasts pour déterminer la topologie actuelle de l’écosystème et l’état des différents équipements en présence ainsi que les informations remontées par les capteurs et actuateurs locaux.
Exemple d’une architecture matérielle La illustre de façon schématique une architecture matérielle d’un système selon l’invention.
Le système est formé dans cet exemple de deux objets connectés (1 ; 2) et d’un téléphone intelligent (3). Bien entendu, le nombre d’objets et d’équipements connectés peut être plus important.
Les objets connectés (1, 2) sont par exemple un gant droit et un gant gauche d’une paire de gants chauffants ou munis d’actionneurs haptique ou d’affichages lumineux, une veste chauffante ou munie de signalétique lumineuse, une poignée de commande d’une moto, etc…
Chacun des objets connectés (1, 2) comporte : un ou plusieurs capteurs (11, 21), par exemple des capteurs de température ou un accéléromètre, capteur de champs électrique, magnétique ou de rayonnements ionisants, capteur de signaux transdermiques émotionnels … un ou plusieurs actionneurs (12, 22), par exemple des résistances chauffantes, un vibreur, un afficheur, des diodes électroluminescentes,… un circuit de communication RF (13, 23), par exemple un circuit Bluetooth Une batterie (14, 24) Un contrôleur de type ECU (unité de commande électronique) (15, 25). La mise en marche d’un objet connecté peut se faire de manière classique par un interrupteur, ou de manière automatique par une détection de mouvement, par exemple par un accéléromètre, dont le signal fait passer le calculateur d’un mode veille avec une très basse consommation électrique à un mode actif. A cet effet, il est usuel d’utiliser un calculateur avec un processeur double-cœur, l’un ayant une capacité de traitement très réduite spécialisée pour le traitement d’une application limitée à l’acquisition du signal d’un capteur de mouvement, avec un code rudimentaire, l’autre ayant une capacité de traitement plus importante et commandant le chargement d’un code applicatif lors de la sortie du mode veille, puis l’exécution de ce code. La mise en marche de l’un des objets peut commander le réveil des contrôleurs (15, 25) des autres objets connectés appartement au même système. Le pilotage de l’actionneur (22) de chacune des objets (2) est fonction des données fournis par le ou les capteurs locaux (21), intégrés dans cet objet (2) et également de données fournies par le ou les capteurs (11) le ou les autres objets (1) ainsi éventuellement de données fournies par le téléphone intelligent (3) soit directement, soit en provenance de ressources externes (4), par exemple des données météorologiques ou de circulation. Exemple d’architecture fonctionnelle : Connexion/déconnection
Le diagramme de flux représenté en décrit le dialogue entre de deux objets (1, 2), mais peux être généralisé à un système à N objets. Tous les objets écoutent et parlent en même temps à tous les autres objets, ce qui permet à chacun des objets de dresser une liste des objets connectés au groupe : La communication est du type « multidiffusion asynchrone » ou (« broadcast ») et non pas séquentielle ni centralisée, avec un « chef d’orchestre » distribuant les séquences d’émission aux objets du système.
La colonne de droite correspond aux actions de l’objet (1) en mode actif et la colonne de gauche correspond aux actions d’un objet (2) passant du mode veille au mode actif au début du chronogramme.
L’objet (1) en mode actif émet épisodiquement des signaux selon le protocole de communication propre au système, par exemple Bluetooth, les paquets de signaux émis de type [ID 1 ; GROUP 1 ; Data(t)] contenant : Un identifiant ID 1 correspondant par exemple à un numéro de série de l’objet (1), un ou plusieurs identifiants GROUP 1 d’un ou de plusieurs groupes d’objets auquel appartient l’objet (1) des données DATA (t) par exemple des paramètres calculés par le contrôleur (15) à partir des données provenant du ou des capteurs locaux (11) et/ou de l’état du ou des actionneurs (12) à l’instant t selon l’horloge local du contrôleur (11) de l’objet (1). Dans le cas où aucune information est disponible, le champ contient une valeur de référence, par exemple un octet de valeur « 0 ».
Lorsque l’objet (2) passe en mode actif, il charge dans le microcontrôleur un code informatique enregistré dans une mémoire non volatile puis exécute ce code. Ce code commande (200) le passage du circuit de communication (23) en mode de réception (« mode beaconing ») et le contrôleur (25) en mode « écoute » pour recevoir les signaux émis par d’autres objets appartenant au système.
Par ailleurs, l’objet (2) étant à présent en mode actif, il émet épisodiquement, comme l’objet (1) et les autres objets actifs, de manière asynchrone et en mode broadcast, des signaux selon le protocole de communication propre au système, par exemple Bluetooth, les paquets de signaux émis de type [ID 2 ; GROUP 2 ; Data(t)].
Les autres objets du système notamment l’objet (1), reçoivent ces informations multidiffusés et le contrôleur commande un traitement (100) consistant à enregistrer l’identifiant ID 2 du nouvel objet (2) dans un enregistrement de la liste des identifiants des objets appartenant au groupe GROUP 1 auquel il appartient également.
De même les objets nouvellement connectés (2) exécutent à la réception d’un signal un traitement (201) consistant à enregistrer l’identifiant ID 1 de l’objet émetteur (1) dans un enregistrement de la liste des identifiants des objets appartenant au groupe GROUP 1.
Le contrôleur (15) de chacun des objets (1) en mode actif exécute ensuite une temporisation (101) démarrant à l’heure donnée par l’horloge locale, d’une durée supérieure à l’intervalle normal (c’est-à-dire prédéterminée pour le système considéré) entre deux émissions de l’objet (2). Cet intervalle normal est généralement le même pour tous les objets d’un système.
Après la mise hors service d’un objet, par exemple l’objet (2), les autres objets (1) en service ne recevront plus de signaux dans l’intervalle considéré et commandera l’exécutions d’une fonction d’effacement de l’identifiant ID 2 de l’objet déconnecté (2) dans l’enregistrement de la liste des identifiants des objets appartenant au groupe GROUP 1 auquel il appartient également. Exemple d’architecture fonctionnelle : Synchronisation des horloges