Procédé de fabrication d'un compartiment rempli d'un fluide et scellé (401 ; 800 ; 900 ; 1000) comprenant les étapes suivantes : (a) former au moins une première cavité (301 ; 803 ; 1003, 1004) à partir d'une première face (303) d'un premier substrat (300 ; 403 ; 801 ; 1001) ; (b) positionner une deuxième face d'un deuxième substrat (405 ; 802 ; 1002) en regard de la première face (303) dudit premier substrat (300 ; 403 ; 801 ; 1001) ; (c) remplir (607) au moins partiellement ladite au moins une première cavité (301 ; 803 ; 1003, 1004) avec un fluide (407) ; (d) coller (615) ladite première face (303) dudit premier substrat (300 ; 403 ; 801 ; 1001) à ladite deuxième face dudit deuxième substrat (405 ; 802 ; 1002) en effectuant un recuit et en pressant, simultanément, lesdits premier et deuxième substrats (303 ; 403, 405 ; 801, 802 ; 1001, 1002) l'un contre l'autre. Procédé selon la revendication 1, dans lequel ledit compartiment est une chambre à vapeur, et le fluide est un fluide de refroidissement. Procédé selon la revendication 1 ou 2, comprenant, en outre, une première étape (e) de dégazage (605) desdits premier et deuxième substrats (303 ; 403, 405) effectuée avant l'étape (c) de remplissage (607). Procédé selon la revendication 3, dans lequel la première étape (e) de dégazage est un dégazage à chaud. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, comprenant, en outre, une deuxième étape (f) de dégazage (611) de l'environnement desdits premier et deuxième substrats (403, 405) effectuée après l'étape (c) de remplissage (607). Procédé selon la revendication 5, dans lequel, pendant la deuxième étape (f) de dégazage, les premier et deuxième substrats (403, 405) sont approchés l'un de l'autre pour limiter l'évaporation du fluide (407). Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel au moins une deuxième cavité est formée à partir de la deuxième face du deuxième substrat (405). Procédé selon la revendication 7, dans lequel l'étape (b) de positionnement comprend l'alignement (603) de ladite au moins une deuxième cavité avec ladite au moins une première cavité (301). Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel, pendant l'étape (c) de remplissage (607) ladite au moins une première cavité (301) est remplie avec un volume de fluide de refroidissement (407) supérieure au volume de ladite au moins une première cavité (301). Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel le premier substrat (300 ; 403 ; 801 ; 1001) et le deuxième substrat (405 ; 802 ; 1002) sont en un matériau semiconducteur, en silicium, ou en verre. Procédé selon la revendication 10, dans lequel le matériau semiconducteur comprend du silicium. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel le recuit est effectué à une température comprise entre environ 175 et environ 400 °C. Procédé selon la revendication 12, dans lequel le recuit est effectué à une température de l'ordre de 200 °C. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, dans lequel la pression desdits premier et deuxième substrats (403, 405) est effectuée avec une force comprise entre 0,5 et 2 kN. Procédé selon l'une quelconque des revendications 2 à 14, dans lequel le fluide de refroidissement (407) est choisi parmi le groupe, non exhaustif, comprenant : l'eau, l'hélium, l'hydrogène, l'oxygène, l'azote, le sulfure, le néon, l'argon, le méthane, le krypton, le mercure, l'ammoniaque (NH3), l'acétone (C3H6O), l'éthane (C2H6), le pentane (C5H12), l'heptane (C7H16), l'éthanol (C2H5OH), le méthanol (CH3OH), l'éthylène glycol (C2H6O2), le toluène (C7H8), le naphtalène (C10H8), le trichlorofluorométhane (CClL3F, aussi connu sous la dénomination commerciale Fréon 11), le dichlorofluorométhane (CHClL2F, aussi connu sous la dénomination commerciale Fréon 21), le chlorodifluorométhane (CHClF2, aussi connu sous la dénomination commerciale Fréon 22), le 1,1,2-Trichloro-1,2,2-trifluoroéthane (C2Cl3F3, aussi connu sous la dénomination commerciale Freon 113), le fluide connu sous la dénomination commerciale Flutec PP2, le fluide connu sous la dénomination commerciale Flutec PP9, le fluide connu sous la dénomination commerciale Dowtherm, le fluide connu sous la dénomination commerciale Novec, et les dérivés et mélanges de ces fluides. Chambre à vapeur (401) fabriquée en utilisant le procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 15. Appareil adapté à mettre en oeuvre le procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 15. Appareil selon la revendication 17, adapté à effectuer simultanément un recuit et une pression du premier substrat et du deuxième substrat l'un contre l'autre avec une force comprise entre 0,5 et 2 kN.