Dispositif de détection photoacoustique (1), comportant : une source de lumière (10), configurée pour émettre un faisceau de lumière autour d’un axe d’illumination ; une cavité (40), destinée à recevoir un gaz; un détecteur (50), configuré pour détecter une onde acoustique se propageant à travers la cavité ; le dispositif comportant un substrat (2), s’étendant entre une face inférieure (20) et une face supérieure (30), le substrat étant tel que : la cavité est ménagée dans le substrat, entre la face inférieure et la face supérieure ; une tranchée (31) est ménagée dans le substrat, délimitée par la face supérieure, la source de lumière étant insérée dans la tranchée, sur la face supérieure, la face supérieure s’étendant ainsi entre la cavité (40) et la source de lumière (10); le substrat comporte une portion d’illumination (32), délimitant la tranchée, disposée face à la source de lumière, la portion d’illumination s’étendant entre : une face proximale (33), ménagée sur la face supérieure, disposée en regard de la source de lumière ; et une face distale (34), ménagée sur la face supérieure, la face distale formant un réflecteur configuré pour réfléchir la lumière vers la cavité ; de telle sorte que le faisceau de lumière, émis par la source de lumière, se propage, à travers la portion d’illumination, entre la face proximale et la face distale, avant d’être réfléchi, par la face distale, vers la cavité. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel la face distale (34) comporte une couche réfléchissante (34 2 ) formant le réflecteur. Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel une couche anti-reflet (33 1 ) est déposée sur la face proximale (33). Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes dans lequel : la face proximale s’étend perpendiculairement à un axe normal proximal (N 1 ); l’axe d’illumination (Δ 1 ) est incliné par rapport à l’axe normal proximal. Dispositif selon la revendication 4, dans lequel l’axe d’illumination (Δ 1 ) est incliné par rapport à l’axe normal proximal, d’un angle d’inclinaison (θ 1 ) compris entre 50° et 60° ou compris entre 3° et 10°. Dispositif selon l’une quelconque des revendications 4 ou 5, dans lequel : la face distale (34) s’étend perpendiculairement à un axe normal distal (N 2 ) ; l’axe normal distal (N 2 ) est sécant de l’axe normal proximal (N 1 ). Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes dans lequel : la tranchée s’étend jusqu’à un fond ; l’axe d’illumination (Δ 1 ) est parallèle au fond de la tranchée. Dispositif selon la revendication 7, dans lequel la face distale (34) s’étend parallèlement à l’axe d’illumination (Δ 1 ). Dispositif selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel : le substrat comporte une tranchée auxiliaire (35), délimitée par la face supérieure (30) ; la face distale (34) délimite la tranchée auxiliaire ; la portion d’illumination (32) s’étend entre la tranchée (31) et la tranchée auxiliaire (35). Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes dans lequel : la cavité est délimitée par une face interne (41) ; la face interne comporte une portion d’admission (42), destinée à une admission du faisceau de lumière se propageant vers la cavité à partir de la face distale ; la face interne (41) comporte une couche réfléchissante (41 2 ), en dehors de la portion d’admission. Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le détecteur (50) est disposé en contact fluidique avec la cavité (40), entre la face inférieure (20) et la face supérieure (30). Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la cavité est reliée à au moins un canal fluidique (45, 46), s’étendant à travers le substrat, pour permettre le remplissage de la cavité par le gaz, et/ou l’évacuation du gaz. Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la source de lumière émet dans une bande spectrale d’émission, dans le domaine infra-rouge, le substrat étant formé d’un matériau présentant une transmittance, dans la bande spectrale d’émission, telle qu’au moins 10% de la puissance lumineuse du faisceau de lumière, émis par la source, atteint la cavité après s’être propagée de la face proximale vers la face distale puis de la face distale vers la cavité. Procédé d’analyse d’un gaz à l’aide d’un dispositif (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, le procédé comportant : admission du gaz dans la cavité (40); activation de la source de lumière (10), de telle sorte que la source de lumière émet un faisceau de lumière périodiquement modulé en amplitude ; détection, par le détecteur, d’une variation périodique d’une pression générée dans la cavité par effet photoacoustique ; le procédé étant tel que le faisceau de lumière, émis par la source de lumière, se propage, à travers le substrat : de la face proximale (33) vers la face distale (34) de la portion d’illumination (32) ; puis de la face distale (34) vers la cavité (40).