Dispositif de nettoyage (50) du tube quartz (30) d’un four LPCVD (10) comportant : - un support (52), - une brosse (54) montée sur le support (52) comportant : ○ une âme (55), ○ une pluralité d’éléments flexibles (56) de nettoyage s’étendant de l’âme (55) et de longueur, prise d’un axe longitudinal de l’âme (55) à leur extrémité distale, supérieure ou égale au rayon interne du tube quartz (30) du four LPCVD, et - un système d’aspiration (70) configuré pour aspirer vers l’extérieur du tube quartz des particules détachées de la paroi du tube quartz par la brosse durant le nettoyage. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel la longueur des éléments flexibles, prise d’un axe longitudinal de l’âme (55) à leur extrémité distale, est inférieure ou égale à 130%, de préférence inférieure ou égale à 105%, du rayon interne du tube quartz. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la brosse (54) présente une surface enveloppe (S) cylindrique de révolution. Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’âme (55) comporte deux brins torsadés, les éléments flexibles (56) s’étendant entre les deux brins. Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la brosse (54) est montée mobile en translation et/ou en rotation relativement au support (52). Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes, comportant un moteur rotatif (58) relié à la brosse (54) et/ou au support (52) pour entrainer la brosse et/ou le support en rotation. Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes, comportant une structure de maintien (62) de la brosse en amont des éléments flexibles (56), notamment entre le moteur rotatif (58) et les éléments flexibles (56). Dispositif selon la revendication 7, dans lequel la structure de maintien (62) comporte une surface de maintien de la brosse en regard des éléments flexibles accolée à la brosse, notamment accolée à la partie de brossage de la brosse, Dispositif selon la revendication 7 ou 8, dans lequel la structure de maintien (62) présente un diamètre inférieur au diamètre intérieur du tube quartz, le diamètre de la structure de maintien (62) étant notamment supérieur ou égal à 80%, mieux à 90%, encore mieux 95%, du diamètre intérieur du tube quartz. Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le système d’aspiration (70) comporte un tube d’aspiration configuré pour s’étendre au moins partiellement dans le tube quartz durant le nettoyage du four, notamment le tube d’aspiration s’étendant le long du support (52) ou le support (52) étant creux sur sa longueur et formant le tube d’aspiration. Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le moteur rotatif (58) est fixé au support (52) et la brosse (54), notamment la partie proximale de l’âme, est fixée à l’arbre du moteur rotatif (58), notamment logée dans un logement de ce dernier. Dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le moteur rotatif (58) est agencé à l’extrémité proximale du dispositif (10), notamment du support (52), l’arbre du moteur étant fixé au support (52) et la brosse (54) étant montée sur le support (52). Dispositif selon la revendication précédente, dans lequel le support (52) se présente sous la forme d’une vis sans fin mobile en rotation et l’âme de la brosse (55) est sous forme d’écrou monté sur la vis sans fin, le dispositif comportant un guide (90) de l’âme de la brosse (55) en translation le long du support (52). Ensemble d’un four LPCVD comportant un tube quartz (30) et du dispositif selon l’une quelconque des revendications précédentes. Procédé de nettoyage du tube quartz (30) d’un four LPCVD à l’aide du dispositif de nettoyage selon l’une quelconque des revendications 1 à 13, le procédé comportant : - l’insertion du dispositif de nettoyage (50) par son extrémité distale dans l’enceinte de traitement du four LPCVD vide formée par le tube quartz (30), - le déplacement relatif de la brosse (54) du dispositif de nettoyage par rapport à l’enceinte du four LPCVD contenant le tube quartz.