Module de contrôle (12) de gradients, notamment optiques, d’un ou plusieurs substrats (6) à traiter dans une enceinte (2) sous vide de dépôt de couche mince (8), l’enceinte (2) comprenant une source (5) destinée à libérer un flux de vapeur (11) en direction du substrat (6), caractérisé en ce qu’il comprend une structure mécanique (13) destinée à être placée entre le substrat (6) et ladite source (5), un ensemble de caches (15) soutenu par la structure mécanique (13) et positionné sur le trajet du flux de vapeur (11) de manière à en diminuer localement le flux, un ensemble de moteurs (16) actionnant la structure mécanique (13) et l’ensemble de caches (15), un ensemble de capteurs (17), une batterie d’alimentation (18) du module de contrôle (12), et une carte mère (20) électronique comportant une carte radiofréquence (22) d’émission/réception et un microcontrôleur (21) comprenant un programme de pilotage de l’ensemble de moteurs (16) et de l’ensemble de capteurs (17) à partir de données reçues d’un appareil distant (23). Module selon la revendication 1, dans lequel l’ensemble de moteurs (16) comprend des servomoteurs et/ou des moteurs pas à pas, l’ensemble de moteurs (16) fonctionnant en électronique basse tension. Module selon l’une des revendications 1 et 2, dans lequel l’ensemble de caches (15) comprend des caches de dispersion et/ou des écrans destinés à se déplacer en translation et en rotation à l’aide de l’ensemble de moteurs (16) au travers du flux de vapeur (11) de manière à faire varier des caractéristiques physiques, notamment l’épaisseur et la densité, du dépôt de couche mince (8) sur le substrat (6) en obstruant localement une fraction du flux de vapeur (11). Module selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel l’ensemble de caches (15) comprend une grille de collimation destinée à se déplacer en translation et en rotation au moyen de l’ensemble de moteurs (16) et destinée à ne laisser passer qu’une fraction configurable du flux de vapeur (11). Module selon la revendication 4, dans lequel la fraction configurable comprend l’ensemble des particules du flux de vapeur (11) ayant un angle d’incidence prédéterminé. Module selon l’une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel l’ensemble de capteurs (17) comprend des capteurs de température de l’enceinte (2) et/ou des capteurs de déplacement de l’ensemble de caches (17), l’ensemble de capteurs (17) étant relié à la carte mère (20), le programme de pilotage de l’ensemble de moteurs (16) et de l’ensemble de capteurs (17) étant pourvu d’un module de gestion de température adapté pour transmettre des données de température audit appareil distant (23) pourvu d’un programme de supervision du fonctionnement du module de contrôle (12). Machine de dépôt (1) sous vide comprenant une enceinte (2) à vide et des moyens de dépôt de couches minces (8) sur substrat (6) dans l’enceinte (2) à vide, caractérisée en ce qu’elle comprend au moins un module de contrôle (12) selon l’une quelconque des revendications 1 à 6 disposé dans l’enceinte (2), et un appareil distant (23) apte à communiquer avec le module de contrôle et pourvu d’un programme de supervision du fonctionnement du module de contrôle (12) pour piloter les mouvements du module de contrôle (12) et d’un support (10) de substrats (6). Machine de dépôt (1) sous vide selon la revendication 7, pour laquelle l’appareil distant (23) comprend un ordinateur ou un calculateur industriel pourvu d’une interface homme-machine adaptée pour la programmation des conditions de dépôt des multicouches et interfacé avec le module de contrôle (12) au moyen de la liaison radio pour piloter à distance le module de contrôle (12) disposé dans l’enceinte (2).