Instrument de mesure de courbure d’une surface d’un échantillon (8), l’instrument comprenant une source de lumière (1) et un masque (2) disposé entre la source de lumière (1) et la surface de l’échantillon (8), la source de lumière (1) étant apte à éclairer le masque (2) de façon à générer par transmission à travers le masque un faisceau lumineux incident (10) sur la surface de l’échantillon (8) et à former un faisceau lumineux réfléchi (20) par l’échantillon, caractérisé en ce que le masque (2) comporte un fond transparent et des motifs opaques (14) disposés à des positions prédéterminées sur la surface du masque, les motifs opaques (14) du masque ayant une surface totale inférieure à la surface du fond transparent, l’instrument comprenant un système d’imagerie (5) et une caméra (6), le système d’imagerie (5) et la caméra (6) étant adaptés pour recevoir au moins une partie (21) du faisceau lumineux réfléchi et pour former une image (32) du masque par réflexion sur l’échantillon (8), un système de traitement d’image étant adapté pour traiter l’image (32) du masque par réflexion sur la surface de l’échantillon, calculer les positions respectives des motifs dans ladite image (32) et pour comparer les positions prédéterminées des motifs (14) du masque avec les positions calculées des motifs (34) dans l’image (32), de façon à en déduire au moins un rayon de courbure de la surface de l’échantillon (8). Instrument selon la revendication 1 dans lequel les motifs opaques (14) du masque (2) ont une surface relative inférieure à 15%, 10%, 5% ou 1% de la surface du masque. Instrument selon l’une des revendications 1 à 2 dans lequel les motifs du masque (14) sont disposés en matrice périodique à deux dimensions. Instrument selon l’une des revendications 1 à 3 comprenant en outre un séparateur optique de faisceau (4) et un spectromètre (7), le séparateur optique de faisceau (4) étant disposé pour recevoir le faisceau lumineux réfléchi (20) et transmettre une partie (21) du faisceau réfléchi en direction du système d’imagerie (5) et une autre partie (22) du faisceau lumineux réfléchi en direction du spectromètre (7), le spectromètre (7) étant apte à mesurer une puissance de l’autre partie (22) du faisceau lumineux réfléchi. Instrument selon la revendication 4 dans lequel le séparateur optique de faisceau (4) comprend une lame séparatrice ayant une répartition de puissance optique 50-50, 40-60, 30-70, 10-90 ou 20-80. Instrument selon l’une des revendications 1 à 5 dans lequel l’instrument comporte un autre détecteur (17) disposé pour mesurer une puissance d’un faisceau lumineux diffusé (23) par l’échantillon et un système de traitement du signal adapté pour extraire de la mesure de lumière diffusée une mesure de rugosité de la surface de l’échantillon (8). Instrument selon l’une des revendications 1 à 6 dans lequel l’instrument comprend un système de traitement du signal adapté pour recevoir une mesure de puissance du faisceau réfléchi détecté par le spectromètre et pour en déduire une réflectivité spectrale de l’échantillon. Instrument selon l’une des revendications 1 à 7 dans lequel la source de lumière (1) comprend une seule source de lumière, choisie parmi une lampe halogène et une diode électroluminescente. Utilisation d’un instrument selon l’une des revendications 1 à 8 en combinaison avec un appareil (3) de traitement pour des mesures in situ. Procédé de mesure de courbure d’une surface d’un échantillon (8), le procédé comprenant les étapes suivantes : utiliser une source de lumière (1) pour éclairer un masque (2) disposé entre la source de lumière et la surface de l’échantillon (8), de façon à générer par transmission à travers le masque un faisceau lumineux incident (10) sur la surface de l’échantillon (8) et à former un faisceau lumineux réfléchi (20) par l’échantillon, le masque (2) comportant un fond transparent et des motifs opaques (14) disposés à des positions prédéterminées sur la surface du masque, les motifs opaques (14) du masque ayant une surface totale inférieure à la surface du fond transparent ; recevoir au moins une partie (21) du faisceau lumineux réfléchi (20), disposer un système d’imagerie (5) et une caméra (6) pour recevoir la partie (21) du faisceau réfléchi et pour former une image (32) du masque par réflexion sur la surface de l’échantillon (8), traiter l’image (32) du masque par réflexion sur la surface de l’échantillon pour calculer les positions respectives des motifs dans ladite image, comparer les positions prédéterminées des motifs (14) du masque avec les positions calculées des motifs (34) dans l’image (32), de façon à en déduire au moins un rayon de courbure de la surface de l’échantillon (8).