INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
En effet, et de façon surprenante, les caractéristiques du mortier à base de terre selon l’invention, et notamment sa prise rapide, permette sa projection sur une surface verticale par couche d’une dizaine de centimètres et sans observer d’affaissement. Il est en outre possible d’effectuer des applications successives du mortier selon l’invention en appliquant un délai de recouvrement compris entre 30 minutes à 6 heures entre deux couches successives, de préférence entre 1 et 3 heures.
Avantageusement, le procédé selon l’invention permet la réalisation d’une épaisseur de mortier à base de terre pouvant aller jusqu’à 50 cm, de préférence jusqu’à 25 cm. A noter que cette épaisseur peut être réalisée au moyen d’une ou plusieurs applications du mortier sur la surface. Typiquement, chaque application permettra d’augmenter l’épaisseur d’au plus 10 cm.
Maintenant et préférentiellement, la surface sur laquelle est projetée le mortier à base de terre comprend un élément de renfort, lequel peut par exemple prendre la forme d’une armature, laquelle armature peut être métallique, en plastique (polyéthylène, polypropylène, etc.) végétale (bambou, canne de Provence, etc.).
D'autres caractéristiques, détails et avantages de l'invention ressortiront plus clairement de la description détaillée donnée ci-après à titre indicatif.
Préparation de la machine à projeter :
La machine à projeter est adaptée comme suit :
1 / Changement de la jaquette de projection monocouche (2L6) standard par une jaquette à chape liquide (60/12 ou T 25) plus ou moins longue selon le débit de projection désiré référence de jaquette ou 2l7 ou équivalent)
2 / Mise en place d’un tuyau de diamètre 50 pour les premières longueurs et réduction en diamètre 35 pour les derniers 10 mètres si la ligne est supérieure à 10 mètres. Sinon mise en place d’un réducteur 50/35 en sorti de cône de machine avec une ligne en 35 mm.
3/ Mise en place une ligne d’air branché au compresseur de la machine avec un T et deux vannes permettant le pilotage le réglage du débit d’air afin de réguler la projection du mortier
4/ Mise en place d’un corps de lance de projection en diamètre intérieur en 35 mm avec une buse de diamètre de 16 à 22 mm de diamètre an fonction de la projection
L’orchestrateur de services qui devient l’orchestrateur esclave du réseau fédéré se place dans un mode d’écoute des commandes de l’orchestrateur maître. Lorsqu’il reçoit une commande de l’orchestrateur maître, il la relaie vers l’un ou l’autre des contrôleurs locaux (ceux du second réseau dans notre exemple). L’orchestrateur de services fonctionne ainsi sous la supervision de l’orchestrateur maître.
Par ailleurs, l’orchestrateur esclave remonte vers l’orchestrateur maître des informations locales permettant à l’orchestrateur maître de maintenir la partie de l’état du réseau fédérée relatif à cet autre réseau.
En variante, l’orchestrateur maitre communique directement avec les contrôleurs locaux de l’autre réseau qu’il ne gérait pas avant la fédération, l’orchestrateur esclave étant alors placé dans un mode de veille.
Dans le mode de réalisation particulier de la , le procédé 300 débute, suite à l’établissement de la liaison physique 20 en une étape de découverte 310 entre les premier et second orchestrateurs de services 150 et 250. Cette étape consiste en l’échange d’un message de présence entre les premier et second orchestrateurs de services 150 et 250, à travers la liaison 20, suivi d’une procédure d’authentification mutuelle des deux orchestrateurs. En cas d’authentification réussie, un plan d’orchestration 25 est établi entre les premier et second orchestrateurs de services 150 et 250 pour l’échange de messages d’orchestration au format prédéfini.
Est par exemple mis en œuvre le protocole de découverte SEND (« Secure Neighbor Discovery » pour « découverte sécurisée d’hôtes voisins»). Chaque orchestrateur diffuse (« broadcast ») un message incluant une clé publique. Ces clés permettent ensuite la mise en place du plan de communication entre les deux orchestrateurs de services. L’ensemble des clefs cryptographiques est de préférence chargé dans la mémoire d’un orchestrateur lors de la préparation de sa mission
De manière avantageuse, dans une étape 320, un premier niveau hiérarchique du premier orchestrateur de services et transmis au second orchestrateur de services. Ce dernier compare son propre niveau hiérarchique (second niveau hiérarchique) avec le premier niveau hiérarchique reçue.
Si ces deux niveaux sont différents, l’orchestrateur de services ayant le niveau hiérarchique le plus élevé est immédiatement choisi comme orchestrateur maître, l’autre orchestrateur étant choisi comme orchestrateur esclave (étape 322).
Par exemple, si parmi les utilisateurs courants du premier réseau se trouve le commandant de la manœuvre en cours, est attribué au premier orchestrateur de services un niveau hiérarchique élevé. Ainsi, si le premier réseau doit être fédéré avec un second réseau, le premier orchestrateur sera systématiquement choisi comme maître du réseau fédéré, et contrôlera le second orchestrateur de services. Ceci permet de garantir la qualité des services mis à disposition de cet utilisateur privilégié.
En revanche, si les deux réseaux à fédérer relèvent d’un même niveau hiérarchique, le procédé passe à l’étape 330 correspondant à une négociation entre les premier et second orchestrateurs de services dans le but de décider de l’orchestrateur allant prendre la main pour l’orchestration globale du réseau fédéré.
Une fonction de poids commune à tout réseau de radiocommunication est prédéfinie conventionnellement. La fonction de poids est une métrique permettant d’agréger, dans un unique indicateur quantitatif, différentes informations relatives aux ressources mises à disposition par un réseau de radiocommunication à un instant courant, ainsi qu’à leur niveau de disponibilité (ou d’utilisation) audit instant courant.
La fonction de poids est par exemple calculée à partir :
- du nombre courant d’utilisateurs du réseau à l’instant courant, en tant que mesure de la charge du réseau ;
- une mesure de la capacité CPU totale et/ou disponible à l’instant courant dans le SDDC du réseau ;
- une mesure de la capacité mémoire totale et/ou disponible à l’instant courant dans le SDDC du réseau ; et,
- du type de chacune des applications instanciées à l’instant courant sur le réseau, chaque type étant associé à un mesure d’importance. La mesure de chaque type de ressource (par exemple CPU, mémoire, disque, …) peut être modifié via une mesure de pertinence : par exemple, en prenant en compte le nombre de requêtes d’utilisation de la même ressource avec, sa disponibilité actuelle et attendue dans le futur, son poids relatif et importance. A chaque requête est associée une mesure d’efficacité qui tient en compte des demandes en ressources de la requête elle-même et des mesures de pertinence pour chaque ressource calculée itérativement.
Avantageusement, une ressource contribue à la fonction de poids sur la base d’un niveau de priorité qui leur est attribuée. Les niveaux de priorité des ressources peuvent être statiques ou redéfinis lors d’une actualisation à tout moment de l’utilisation du réseau. Par exemple, pour chaque utilisateur, un niveau de priorité est défini à partir d’un profil de l’utilisateur (un utilisateur ayant une importance haute devant contribuer d’avantage au poids total). Par exemple encore, un niveau de priorité est associé à chaque nœud du réseau (un nœud offrant une connectivité vers un réseau étendu – WAN devant contribuer d’avantage au poids total).
Description détaillée de l'invention Le tampon de polissage de l'invention convient pour polir au moins l'un parmi les substrats semi-conducteurs, optiques, magnétiques et électromécaniques. L'élément clé de la présente invention est la modification des propriétés de surface supérieure du tampon pour faciliter la suspension d'oxyde de cérium ou d'autres particules au-delà de leur point isoélectrique pour un polissage avec la surface supérieure ou la couche de polissage. En particulier, l'invention permet une augmentation de l'efficacité ou du rendement des particules de suspension d'oxyde de cérium sur la surface supérieure, qui augmente le taux de polissage. Un effet nouveau et inattendu dans les tampons de la présente invention est que l'addition de copolymères contenant du fluor à une concentration relativement faible (environ 1 à 20 % en masse de la concentration totale de segments mous) dans le segment mou d'un copolymère à blocs d'uréthane engendre un meilleur taux de retrait. Pour les besoins de cette demande, toutes les quantités sont en pourcentages en masse, sauf mention contraire spécifique. De préférence, l’espèce fluorée a une concentration de 8 à 30 % en masse de l'espèce fluorée totale plus la teneur en groupes polymères aliphatiques exempts fluor dans le segment mou. En outre, le tampon de polissage doit permettre une meilleure performance avec un tampon de polissage qui est hydrophile durant le polissage. L'obtention d'un tampon de polissage hydrophile durant le polissage facilite l'obtention d'un espace tampon-galette mince et efficace pour un polissage efficace. De plus, un effet imprévu de l'addition de copolymères contenant du fluor est un abaissement de l'électronégativité ou du potentiel zêta du tampon, qui rend la surface du tampon très hydrophile durant le polissage.
Étant donné ce qui précède, une découverte inattendue de la présente invention est qu'un meilleur potentiel zêta dans l'eau, et de meilleurs taux de retrait pour des suspensions avec des particules cationiques, telles que CeO 2 , peuvent être obtenus dans un tampon à très faible énergie de surface par addition sélective d'un petit pourcentage d'un segment polymère fluoré au segment mou du copolymère à blocs d'uréthane. De façon plus spécifique, comme le montre la , l'addition des composants segments mous fluorés produit une séparation de phases significative en domaines enrichis en fluor (gris foncé) et appauvris en fluor (gris clair et blanc). La montre les régions riches en fluor ayant des concentrations de fluor plus élevées et plus faibles entourant les microéléments polymères. Les zones riches en fluor pixélisées en gris foncé sont toutefois presque exclusivement concentrées de façon adjacente aux microsphères polymères contenant du chlore adjacentes concentrées pixélisées en noir. Cette migration de la phase riche en fluor vers les microéléments forme la microstructure en mélange hétérogène de l'invention. La phase riche en fluor adjacente aux microsphères a une épaisseur inférieure à 50 % du diamètre moyen des microéléments polymères. Est également inattendue l'accumulation de phase molle riche en fluor au niveau de la surface de polissage. Cette phase molle apparaît maculer et revêtir une grande partie de la surface de polissage. La masse de la polyurée pixélisée en gris clair et blanc illustre une matrice de polyurée contenant un fluorocarbone.
Le tampon de polissage a une couche de polissage en polyurée. La couche de polissage en polyurée inclut une matrice de polyurée, qui comprend une phase molle et une phase dure. La phase molle est formée à partir d'un segment mou ayant deux ou plus de deux groupes polymères aliphatiques exempts fluor et au moins une espèce fluorée ayant deux groupes terminaux. Typiquement, l'espèce fluorée a une longueur d'au moins six atomes de carbone. De préférence, la longueur de l'espèce fluorée est d'au moins huit atomes de carbone. De préférence encore, l'espèce fluorée a une longueur d'au moins dix atomes de carbone. Les groupes polymères aliphatiques exempts fluor sont liés aux deux groupes terminaux de l'au moins une espèce fluorée avec une liaison contenant de l’azote. Des exemples de liaisons azotées incluent les groupes urée et uréthane. Les groupes polymères aliphatiques exempts fluor ont une extrémité rattachée à l'au moins une espèce fluorée avec une liaison azotée. Typiquement, les groupes polymères aliphatiques exempts fluor ont une masse moléculaire moyenne en nombre comprise entre 200 et 7 500. Dans un but de clarté, les groupes polymères aliphatiques exempts fluor se terminent avant les groupes terminaux isocyanate, tels que le diisocyanate de toluène, et n'englobent pas les groupes terminaux isocyanate, les liaisons contenant de l’azote ou le durcisseur de type amine. De préférence encore, les groupes polymères aliphatiques exempts fluor ont une masse moléculaire moyenne en nombre comprise entre 250 et 5 000, telle que mesurée après réaction avec le durcisseur de type amine. Un groupe isocyanate coiffe les extrémités réactives des groupes polymères aliphatiques exempts fluor. Le segment mou forme une phase molle à l'intérieur de la matrice de polyurée. Tout spécialement, le groupe polymère aliphatique exempt de fluor est un polytétraméthylène-éther qui se lie avec l'espèce fluorée. L'espèce fluorée peut contenir au moins un éther fluoré. De préférence, l'espèce fluorée contient de l'oxyde d'éthylène fluoré, de l'oxyméthylène fluoré et de l'oxyde d'éthylène. Tout spécialement, le rapport atomique des groupes éther fluorés tels que l'oxyde d'éthylène fluoré et l'oxyméthylène fluoré à l'oxyde d'éthylène est inférieur à 3.
La phase dure est formée à partir d'un segment dur contenant un diisocyanate qui ne contient pas de groupe fluor et d'un agent durcisseur contenant une amine. Le segment dur contient un groupe urée formé à partir du groupe isocyanate coiffant des extrémités extérieures des groupes polymères aliphatiques exempts de fluor ayant réagi avec un agent durcisseur contenant une amine. De préférence, les segments durs précipitent sous la forme d'une phase dure à l'intérieur de la phase molle. Cette morphologie donne une phase riche en fluor pour améliorer les interactions avec l'oxyde de cérium et une phase dure pour renforcer la phase molle afin d'améliorer l'intégrité des aspérités de polissage pour une meilleure stabilité et une plus longue durée de vie du tampon lors du polissage de multiples galettes. De préférence, le segment dur et le segment mou forment un prépolymère avant de faire réagir le prépolymère avec l'agent durcisseur contenant une amine pour former la matrice de polyurée. La présence de fragments fluorure dans le segment mou élève la température de transition vitreuse, ou Tg, du segment mou de la phase molle. Cette augmentation inattendue de la température de transition vitreuse améliore la stabilité thermique du polymère. A la surface la plus supérieure du polymère dans l'air, un enrichissement en les composants segments mous fluorés se produit durant le polissage. Cette génération in situ et continue de phase riche en fluor à la surface amplifie encore l'impact bénéfique d'une quantité mineure de polymère fluoré. A des concentrations relativement faibles de segments mous fluorés (par exemple inférieures à 20 % en masse de la teneur totale en segments mous), la teneur des espèces fluorées est insuffisante pour empêcher un réarrangement des dipôles moléculaires de l'eau quand le polymère est ensuite exposé à l'eau, en particulier sous cisaillement. Ceci a pour résultat un comportement de mouillage complexe quand une gouttelette est exposée à un cisaillement. Plus spécifiquement, on pense que la surface de l'eau se réarrange en conduisant à une interaction accrue de l'eau avec les portions hydrophiles du polymère. Ceci a pour résultat une réduction de l'angle de contact sortant de la gouttelette et une augmentation correspondante de l'énergie de surface durant le polissage. Le résultat est que, sous cisaillement, le tampon de polissage de l'invention peut être encore plus hydrophile que son analogue exempt de fluor.
Pour les tampons de polissage de l'invention, les méthodes dynamiques d'angle de contact liquide-solide représentent la meilleure technique pour mesurer un angle de contact. La raison de cela est que le polissage est un traitement dynamique où l'eau subit des forces de cisaillement entre une galette tournant à une certaine vitesse et un tampon de polissage de plus grand diamètre tournant à une autre vitesse. La différence entre les diamètres a pour résultat que les surfaces se déplacent dans des directions identiques, opposées, partiellement identiques et partiellement opposées. En raison de la différence des vitesses, tout le fluide de polissage entre la galette et le tampon de polissage subit une gamme de forces de cisaillement. Pour une gouttelette en mouvement, l'angle de contact rentrant représente le degré de cohésion liquide/solide, tandis que l'angle de contact sortant représente le degré d'adhérence liquide/solide. En général, l'angle de contact rentrant est supérieur de façon mesurable à l'angle sortant. Le degré de différence entre les deux est appelé hystérésis d'angle de contact. L'hystérésis de contact lors du mouillage de surface peut être influencée par plusieurs facteurs. Les effets principaux sont provoqués par la rugosité de surface (par exemple l'effet feuille de lotus), des contaminants, le caractère hétérogène de la surface, le degré d'interaction solvant/surface (y compris une liaison hydrogène et des réactions directes), et le taux de cisaillement. Quels que soient les autres facteurs, l'hystérésis de contact et, par conséquent, l'énergie de surface du solide, augmentent directement quand le taux de cisaillement augmente. Pour le cas où les surfaces d'un jeu de matériaux sont équivalentes, une augmentation de l'hystérésis de contact constitue une mesure directe de l'augmentation de l'attraction solvant/surface (c'est-à-dire que, pour l'eau, la surface est davantage hydrophile), et est corrélée à la mouillabilité telle que mesurée par la différence des polarisations en surface. Il est important de noter que les tampons de polissage de l'invention sont hydrophiles, comme mesuré avec l'angle de contact sortant pour une meilleure mouillabilité pendant un polissage dans des conditions de cisaillement. En particulier, la couche de polissage est hydrophile durant un polissage dans des conditions de cisaillement, comme l'indique un test d'angle sortant avec de l'eau désionisée et de l'iodure de méthylène.
Les tampons de polissage CMP selon la présente invention peuvent être produits par des procédés comprenant : la fourniture du prépolymère d'uréthane à terminaison isocyanate ; la fourniture du composant durcisseur séparément; et la combinaison du prépolymère d'uréthane à terminaison isocyanate et du composant durcissseur pour former une combinaison ; le fait de laisser la combinaison réagir pour former un produit ; la formation d'une couche de polissage à partir du produit, par exemple par parage du produit pour former une couche de polissage ayant une épaisseur souhaitée et rainurage de la couche de polissage, par exemple par usinage de celle-ci et formation du tampon de polissage mécano-chimique avec la couche de polissage.
Les tampons de la présente invention sont des copolymères à blocs de polyurée contenant des segments tant durs que mous. Le prépolymère d'uréthane à terminaison isocyanate utilisé dans la formation de la couche de polissage du tampon de polissage mécano-chimique de la présente invention comprend de préférence : un produit réactionnel d'ingrédients comprenant : un isocyanate polyfonctionnel et un mélange de prépolymères contenant deux composants ou plus, dont l'un est fluoré.
De préférence, l'isocyanate est un diisocyanate. De préférence encore, l'isocyanate polyfonctionnel est un diisocyanate choisi dans le groupe constitué par le diisocyanate de 2,4-toluène ; le diisocyanate de 2,6-toluène ; le diisocyanate de 4,4'-diphénylméthane ; le 1,5-diisocyanate de naphtalène ; le diisocyanate de toluidine ; le diisocyanate de paraphénylène ; le diisocyanate de xylylène ; le diisocyanate d'isophorone ; le diisocyanate d'hexaméthylène ; le diisocyanate de 4,4'-dicyclohexylméthane ; le diisocyanate de cyclohexane ; et leurs mélanges. De façon tout spécialement préférée, le diisocyanate est le diisocyanate de toluène.
Optionnellement, les groupes polymères aliphatiques exempts de fluor sont choisis dans l'ensemble constitué par les diols, les polyols, les polyol-diols, leurs copolymères, et leurs mélanges. Par exemple, il est possible de faire réagir les groupes polymères aliphatiques exempts de fluor avec un diisocyanate et ensuite de lier l'espèce fluorée au diisocyanate. De façon spécifique, le polyol prépolymère peut être choisi dans l'ensemble constitué par les polyéther-polyols (par exemple poly(oxytétraméthylène)glycol, poly(oxypropylène)glycol, poly(oxyéthylène)glycol) ; les polycarbonate-polyols ; les polyester-polyols ; les polycaprolactone-polyols ; leurs mélanges ; et leurs mélanges avec un ou plusieurs polyols de faible masse moléculaire choisis dans l'ensemble constitué par l'éthylèneglycol ; le 1,2-propylèneglycol ; le 1,3-propylèneglycol ; le 1,2-butanediol ; le 1,3-butanediol ; le 2-méthyl-1,3-propanediol ; le 1,4-butanediol ; le néopentylglycol ; le 1,5-pentanediol ; le 3-méthyl-1,5-pentanediol ; le 1,6-hexanediol ; le diéthylèneglycol ; le dipropylèneglycol ; et le tripropylèneglycol. Mieux encore, le polyol prépolymère est choisi dans l'ensemble constitué par au moins l'un parmi le polytétraméthylène-étherglycol (PTMEG) ; les polypropylène-étherglycols (PPG), et les polyéthylène-étherglycols (PEG) ; éventuellement en mélange avec au moins un polyol de faible masse moléculaire choisi dans l'ensemble constitué par l'éthylèneglycol ; le 1,2-propylèneglycol ; le 1,3-propylèneglycol ; le 1,2-butanediol ; le 1,3-butanediol ; le 2-méthyl-1,3-propanediol ; le 1,4-butanediol ; le néopentylglycol ; le 1,5-pentanediol ; le 3-méthyl-1,5-pentanediol ; le 1,6-hexanediol ; le diéthylèneglycol ; le dipropylèneglycol ; et le tripropylèneglycol. Tout spécialement, le polyol prépolymère est principalement (c'est-à-dire à > 90 % en masse) un polytétraméthylène-éther. Le polyol fluoré peut être préparé à partir de n'importe lequel des polyols non fluorés cités ci-dessus, ajoutés par remplacement. Ceci crée une variation minimale des propriétés mécaniques finales.
De préférence, le prépolymère d'uréthane à terminaison isocyanate a une concentration d'isocyanate n'ayant pas réagi (NCO) de 8,5 à 9,5 % en masse. Des exemples de prépolymères d'uréthane à terminaison isocyanate disponibles dans le commerce incluent les prépolymères Imuthane™ (disponibles auprès de COIM USA, Inc., tels que PET-80A, PET-85A, PET-90A, PET-93A, PET-95A, PET-60D, PET-70D, PET-75D) ; les prépolymères Adiprene™ (disponibles auprès de Chemtura, tels que LF 800A, LF 900A, LF 910A, LF-930A, LF-931A, LF 939A, LF 950A, LF 952A, LF 600D, LF 601D, LF 650D, LF 667, LF 700D, LF750D, LF751D, LF752D, LF753D et L325) ; les prépolymères Andur™ (disponibles auprès d'Anderson Development Company, tels que 70APLF, 80APLF, 85APLF, 90APLF, 95APLF, 60DPLF, 70APLF, 75APLF).
De préférence, le prépolymère d'uréthane à terminaison isocyanate est un prépolymère d'uréthane à faible teneur en terminaison isocyanate libre ayant une teneur en monomère de diisocyanate de toluène (TDI) libre inférieure à 0,1 % en masse.
Le composant durcisseur utilisé dans la formation de la couche de polissage du tampon de polissage CMP de la présente invention contient éventuellement un durcisseur de type polyol ou un durcisseur de type amine aromatique polyfonctionnelle, tel qu'un durcisseur difonctionnel. Des exemples de durcisseurs de type polyol disponibles dans le commerce incluent les polyols Specflex™, les polyols Voranol™ et les polyols Voralux™ (disponibles auprès de The Dow Chemical Company). Ces durcisseurs multifonctionnels contiennent tous au moins trois groupes hydroxyle libres pour augmenter la réticulation du polymère.
La gorge 34 s’étend transversalement par rapport à un axe longitudinal de la deuxième branche 26. Elle s’étend sur tout la largeur de la face interne 28 de la deuxième branche 26 et sur une partie de sa longueur et délimite un logement de réception 32 de forme sensiblement rectangulaire.
La gorge 34 définit un fond de contour sensiblement rectangulaire et définissant une surface d’appui des cheveux 15 de la mèche de cheveux 14 reçue dans la gorge 34.
Le fond est avantageusement une surface monochrome, par exemple noire ou blanche.
En variante, le fond est une surface transparente, une surface réfléchissante ou comporte des motifs.