INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Les composants actifs 91 sont par exemple des transistors. Ils sont de préférence formés dans la couche active 33 du substrat SOI ou en surface du substrat massif 31, autrement dit dans la partie dite FEOL (« front-end of line » en anglais) du circuit intégré 400. Dans le cas d’un substrat massif, la couche diélectrique 32 est entièrement retirée avant de former les composants actifs 91 à la surface du substrat.
Les composants passifs 90 sont par exemples des bobines, des condensateurs, des résistances…. Ils sont situés à la verticale des premières cavités 50 dans le substrat 31 afin d’optimiser leurs performances électriques. Ils sont de préférence formés au-dessus des niveaux d’interconnexion électrique 92 (ou niveaux métalliques). A l’instar des niveaux d’interconnexion électrique 92, les composants passifs 90 appartiennent à la partie dite BEOL (« back-end of line » en anglais) du circuit intégré 400.
Les composants actifs 91 peuvent être formés dans une première zone Z1 de la structure multicouche, tandis que les composants passifs 90 sont formées dans une deuxième zone Z2. La deuxième zone Z2 est distincte de la première zone Z1 et munie des premières cavités 50. Les première et deuxième zones Z1-Z2 sont de préférence séparées par une tranchée d’isolation électrique 80.
Procédé de fabrication d'un circuit électronique pour auto-assemblage à un autre circuit électronique La présente description concerne de façon générale l'intégration tridimensionnelle de composants microélectroniques, et concerne plus particulièrement la fabrication de circuits électroniques aptes à être assemblés l’un sur l’autre par un procédé d’auto-assemblage.
Pour réaliser l'intégration tridimensionnelle de composants microélectroniques, plusieurs techniques existent, et en particulier l'approche dite « puce à plaque » (« Die-to-Wafer » en anglais). Cette technique vise à utiliser les puces fonctionnelles d'une plaque et à les reporter, après découpe, sur une autre plaque qui peut également être préalablement fonctionnalisée, c’est-à-dire préparée en vue de son assemblage avec la puce.
L'alignement de puces sur une plaque peut être obtenu avec des machines robotisées permettant le prélèvement et le positionnement des puces, une à une, pour leur assemblage sur la plaque. Cette technique et les machines associées sont connues sous la terminologie anglo-saxonne « pick-and-place ». Cependant, du fait de la baisse des dimensions en intégration tridimensionnelle, induisant une augmentation de l’exigence de la précision d’alignement entre la puce et la plaque (par exemple erreur d’alignement inférieure à 1 µm voire à 0,5 µm), combinée avec des exigences de cadence d’assemblage (par exemple supérieure à 10000 puces par heure), cette technique devient de moins en moins adaptée. En outre, sa mise en oeuvre implique l'utilisation de machines généralement coûteuses et complexes.
Les techniques d'auto-assemblage sont de plus en plus envisagées comme alternatives ou en complément à la robotique, et notamment à la technique pick-and-place.
Un procédé d'auto-assemblage connu, permettant d’aligner puis d’assembler un circuit électronique sur un support, consiste à utiliser un fluide comme média d'auto-alignement, notamment une goutte de liquide.
Comme illustré à la , la réalisation des structures comprend ensuite une étape de retrait sélectif de la deuxième couche MD2 du masque dur, puis, comme illustré à la , une étape de gravure de l’empilement semi-conducteur, c’est-à-dire, dans l’exemple choisi, de la première couche de matériau semi-conducteur SI1 du substrat selon les motifs formés dans la première couche MD1 du masque dur.
Comme illustré à la , la réalisation des structures comprend enfin une étape de retrait sélectif de la première couche MD1 de masque dur. A l’issue de cette étape, une matrice d’ouvertures de forme carré est présente sur l’empilement semi-conducteur, c’est-à-dire, dans l’exemple choisi, sur la première couche de matériau semi-conducteur SI1 du substrat, ces ouvertures laissant apparaitre la couche d’oxyde BOX du substrat lorsque l’empilement comprend une telle couche. Comme déjà mentionné, ces ouvertures améliorent le confinement électrostatique au sein du dispositif DI selon l’invention.
Comme déjà mentionné, la réalisation de structure selon l’une des variantes qui viennent d’être décrites est optionnelle.
Le procédé 400 comprend ensuite une étape de dépôt d’un premier empilement de grille comprenant une première couche de diélectrique OX1, par exemple de l’oxyde de silicium et une deuxième couche d’un matériau conducteur PO, par exemple une couche de polysilicium dégénéré.
Comme illustré à la , cette étape est suivie d’une étape de dépôt d’un masque dur MD sur l’empilement de grille.
Comme illustré à la , le procédé comprend ensuite une étape de lithographie de sorte à définir, par exemple à l’aide d’une résine RE, un motif associé aux premières grilles QG1 et aux grilles de mesure EM. Dans un mode de réalisation, la largeur des grilles est comprise entre 80 nm et 120 nm, par exemple égale à 100 nm.
Le procédé comprend aussi une étape de gravure du masque dur MD1 selon le motif défini lors de l’étape de lithographie précédente de sorte à transférer ledit motif dans le masque dur MD1. La structure obtenue après retrait de la résine RE est illustrée à la .
Comme illustré à la , le procédé comprend ensuite une étape de gravure de l’empilement de grille selon le motif défini lors de l’étape de lithographie précédente et transféré au masque dur MD1. A l’issue de cette étape, la pluralité de première grilles QG1 et de grilles de mesure EM ont été formées.
Comme illustré à la , le procédé comprend ensuite une étape de dépôt conforme d’une deuxième couche diélectrique OX2 sur la structure obtenue à l’issue de l’étape précédente. Dans un mode de réalisation, cette deuxième couche de diélectrique OX2 est dans le même matériau que la première couche de diélectrique OX1 du premier empilement de grille, mais il peut bien entendu en être autrement. Dans un mode de réalisation, l’épaisseur déposée est comprise entre 2 nm et 10nm, de préférence égale à 5nm.
Comme illustré à la , le procédé comprend ensuite une étape de dépôt d’une deuxième couche d’un matériau conducteur PO, par exemple du polysilicium dégénéré de sorte à constituer, avec la deuxième couche de diélectrique déposée précédemment, un deuxième empilement de grille. Les matériaux utilisés dans le deuxième empilement de grille peuvent être différents ou, au moins en partie, identique aux matériaux utilisés dans le premier empilement de grille.
Dans un mode de réalisation, cette étape est suivie d’un une étape de planarisation du deuxième empilement de grille au niveau de la deuxième couche d’un matériau conducteur dudit empilement. Bien que facultative, cette étape permet de faciliter l’étape de gravure à suivre.
Comme illustré à la , le procédé comprend ensuite une étape de dépôt d’un masque dur MD1 sur le deuxième empilement de grille, puis, comme illustré à la , une étape de lithographie de sorte à définir, par exemple à l’aide d’une résine RE, un motif associé à la pluralité de deuxièmes grilles QG2.
Le procédé comprend ensuite une étape de gravure du masque dur MD1 selon le motif défini lors de l’étape de lithographie précédente de sorte à transférer ledit motif dans le masque dur MD1. La structure obtenue à l’issue de cette étape après retrait de la résine est illustrée à la .
Comme illustré à la , le procédé comprend ensuite une étape de gravure de l’empilement de grille selon le motif défini lors de l’étape de lithographie précédente et transféré au masque dur. A l’issue de cette étape, la pluralité de deuxièmes grilles QG2 a été formée.
A l’issue de ces étapes, une première pluralité de grilles QG1, une deuxième pluralité de grilles QG2 et une pluralité de grilles de mesure EM ont été obtenues, ces dernières étant disposée relativement à la zone active ZA conformément à la description qui a été faite du dispositif semi-conducteur selon l’invention.
Dans un mode de réalisation, afin de réaliser des espaceurs pour les pluralités de grilles évoquées précédemment, le procédé de fabrication selon l’invention comprend une étape de dépôt conforme d’une couche d’un matériau diélectrique OX3, dit matériau espaceur, suivie d’une étape de gravure (dite de type espaceur). La structure obtenue à l’issue de ces deux étapes est illustrée à la .
Le véhicule comprend une batterie 10, un système d’allumage 20 du moteur thermique M et une unité électronique de contrôle 30.
B atterie 10
La batterie 10 comprend une borne d’alimentation via laquelle la batterie 10 est apte à fournir une tension électrique V batt . La batterie 10 est ainsi connectée à différents éléments du véhicule et est apte à alimenter lesdits équipements.
Système d’allumage 20
Le système d’allumage 20 est apte à démarrer le moteur. Le système d’allumage 20 est également relié électroniquement à la batterie 10 afin d’être alimenté en énergie électrique par la batterie 10.
Le système d’allumage 20 comprend une pluralité de circuits d’allumage. Chaque circuit d’allumage C20 ( ) est affecté à un cylindre du moteur thermique M.
Chaque circuit d’allumage C20 est apte à générer au moins une étincelle qui va ensuite déclencher la combustion du mélange d’air et de carburant présent dans le cylindre. Plus précisément, afin de démarrer le moteur thermique M, il est nécessaire de générer une suite d’étincelles.
En référence à la , chaque circuit d’allumage C 2 0 comprend un transformateur T 2 0 et une bougie d’allumage B20. Le transformateur T 2 0 comprend une bobine primaire B1 et une bobine secondaire B2.
Le transformateur T 2 0 est également appelé « bobine d’allumage » par l’homme du métier.
Une première extrémité de la bobine primaire B1 est reliée à la batterie 10. Autrement dit, la bobine primaire B1 est alimentée en énergie électrique par la tension électrique V batt fournie par la batterie 10. Il est appelé « courant I B1 », le courant traversant la bobine primaire B1.
La bobine secondaire B2 est reliée électriquement d’une part à la masse et d’autre part à la bougie d’allumage B20. Il est appelé « courant I B 2 », le courant traversant la bobine secondaire B2.
On appelle « circuit primaire 21 » l’ensemble comprenant la bobine primaire B1 et « circuit secondaire 22 » l’ensemble comprenant la bobine secondaire B2 et la bougie d’allumage B20.
Afin de générer une étincelle, la bobine primaire B1 se charge puis se décharge dans la bobine secondaire B2. Plus précisément, une étincelle est générée par la bougie d’allumage B20 au moment de la décharge dans la bobine secondaire B2.
Pour générer une suite d’étincelles il est donc nécessaire de réaliser à plusieurs reprises la charge et la décharge du circuit primaire 21.
Unité électronique de contrôle 30
En référence aux figures 1 et 2, l’unité électronique de contrôle 30 comprend un interrupteur I 30 . L’interrupteur I 30 est relié entre la masse et la deuxième extrémité de la bobine primaire B1. Plus précisément, l’interrupteur I 30 est un transistor et notamment un transistor bipolaire.
L’organe de fixation 4 est configuré pour permettre la fixation du dispositif 1a, 1b sur un pourtour d’un orifice 6 traversant une paroi 7 de la structure 3, telle que par exemple un tablier supérieur. L’organe de fixation 4 entoure la portion d’écoulement 5a, 5b. L’organe de fixation 4 présente une première partie 8 formant un tube 9 muni d’au moins une lèvre de fixation 10 souple conçue pour coopérer avec la paroi 7 de sorte à maintenir l’étanchéité sur le pourtour de l’orifice 6. L’organe de fixation 4 comporte également une deuxième partie 11 rigide réalisée en matière plastique. Cette deuxième partie 11 présente une forme cylindrique dimensionnée pour être introduite partiellement dans la première partie 8 de l’organe de fixation 4, en position dans l’orifice 6, pour presser la première partie 8 contre la paroi 7 afin de maintenir l’organe de fixation 4 du dispositif 1a, 1b dans l’orifice 6. La première partie 8 est introduite dans l’orifice 6 par une face de la paroi 7 tandis que la deuxième partie 11 est introduite par la face opposée de la paroi 7. La deuxième partie 11 présente avantageusement une ailette 12 conçue pour venir en appui du pourtour de l’orifice 6.
Dans un premier mode de réalisation du dispositif 1, illustré sur la , la portion d’écoulement 5a vient de matière avec l’organe de fixation 4.
Dans un second mode de réalisation, illustré sur la , la portion d’écoulement 5b forme un manchon 13 emmanchable dans la première partie 8 de l’organe de fixation 4. Afin de parfaire l’étanchéité du dispositif 1b, le manchon 13 est dimensionné de sorte à être introduit partiellement en force dans le tube 9, le manchon 13 présentant un rebord 14 faisant saillie du tube 9 et venant recouvrir une extrémité 15 du tube 9, lorsqu’il est emmanché dans la première partie 8.
Dans les deux modes de réalisation, la portion d’écoulement 5a, 5b comporte, d’une part, une zone de raccordement 16 permettant le raccordement du conduit 2 à la portion d’écoulement 5a, 5b et, d’autre part, une zone d’évacuation 17 souple en communication fluidique avec la zone de raccordement 16.
La portion d’écoulement 5a, 5b est configurée pour permettre l’écoulement d’un liquide, notamment de l’eau, susceptible d’être contenu dans le conduit 2 à travers la paroi 7, lorsque le dispositif 1a, 1b traverse la paroi 7.
La zone de raccordement 16 est conçue et dimensionnée pour permettre le raccordement du conduit 2 par emboitement dudit conduit 2 dans la zone de raccordement 16 formée d’une partie du tube 9.
La zone d’évacuation 17 est conformée pour se fermer en l’absence de liquide dans la portion d’écoulement 5a, 5b et pour se déformer élastiquement en présence d’un liquide dans la portion d’écoulement 5a, 5b pour évacuer le liquide à l’extérieur 20 de la portion d’écoulement 5a, 5b.
Dans les modes de réalisation illustrés sur les figures 1 et 2, la zone d’évacuation 17 présente une extrémité 18 présentant deux bords 19, dont un seul est visible sur les figures, au moins en partie jointifs et formant au moins une partie d’un pourtour en forme de S, en l’absence de liquide dans la portion d’écoulement 5a, 5b. Par absence de liquide il est entendu ici que la quantité de liquide, notamment de l’eau, est inférieure à un seuil prédéterminé. Dans ces modes de réalisation du dispositif 1a, 1b, la zone d’évacuation 17 est conformée pour que, lors de sa déformation en présence d’un liquide, au moins une partie des deux bords 19 s’écartent l’une de l’autre. L’écartement partiel des bords 19 permet de créer une ouverture faisant communiquer la portion d’écoulement 5a, 5b avec l’extérieur 20 de la structure 3. La présence d’un liquide, c’est-à-dire la présence d’une quantité de liquide supérieure à un seuil prédéterminé exerce une pression sur la zone d’évacuation 17 de nature à provoquer sa déformation et son ouverture pour permettre l’évacuation d’une partie au moins du liquide.
Ainsi, lorsque la zone d’évacuation 17 est fermée, c’est-à-dire lorsque les deux bords 19 sont au moins en partie jointifs les effets du vent relatif créés par les déplacements du véhicule selon l’invention, équipé de la structure 3, n’ont pas ou peu d’effet sur la pression à l’intérieur de la portion d’écoulement 5a, 5b et ne provoque donc pas les bruits mentionnés plus haut.
Le dispositif 1a, 1b permet toutefois d’évacuer un liquide, en l’occurrence de l’eau, présent dans la structure 3 en quantité suffisante par déformation élastique de la zone d’évacuation 17.
L’invention ne se limite pas au mode de réalisation du dispositif passe-gaine décrit ci-avant, seulement à titre d’exemple, mais d’autres modes de réalisation peuvent être conçus par l’homme de métier sans sortir du cadre et de la portée de la présente invention.
Passe-gaine permettant d’éviter l’entrée d’air grâce à une partie mobile. Le domaine technique concerne les dispositifs passe-gaine pour conduit de liquide, les structures de toits ouvrants équipées de tels dispositifs et les véhicules équipés de telles structures de toits ouvrants.
Les constructeurs d’automobiles mettent à disposition de leurs clients diverses options susceptibles d’équiper leurs véhicules et notamment des toits ouvrants. Les toits ouvrants représentent un attrait tout particulier pour les clients qui considèrent un tel toit ouvrant comme une amélioration notable du confort pour leur véhicule ainsi équipé. Du point de vue des constructeurs d’automobiles, les toits ouvrants sont porteurs d’enjeux et de contraintes techniques non négligeables. En effet, il est primordial d’assurer l’étanchéité d’un ensemble de toit ouvrant en toutes circonstances et notamment il est nécessaire d’évacuer vers l’extérieur de l’eau susceptible de se trouver dans l’ensemble. Il est ainsi connu d’évacuer cette eau à l’aide de gaines qui conduisent l’eau à travers une ou plusieurs parois d’un ensemble de toit ouvrant. La gaine est passée à travers la paroi à l’aide d’un manchon passe-gaine. Un manchon passe gaine est typiquement installé dans un orifice traversant la paroi à traverser ; le manchon dispose d’un passage pour la gaine tandis que la forme et les dimensions du manchon permettent au manchon passe-gaine d’assurer l’étanchéité sur le pourtour de l’orifice et autour de la portion de la gaine traversant la paroi. La gaine est emboitée dans le manchon passe-gaine de sorte que son extrémité débouche dans le manchon ou à l’extérieur de celui-ci.
L’extrémité de la gaine, avec un tel manchon, est exposée à l’air extérieur, par ailleurs dans une zone particulièrement soumise aux vents relatifs et/ou aux dépressions dynamiques dues aux déplacements du véhicule. Cette exposition aux vents et aux dépressions dynamiques engendre des variations de pression dans la gaine, qui génèrent des bruits aérodynamiques ou pire des bruits d’écoulements de liquides du type glougloutement.
L’invention concerne encore une unité électronique de contrôle d’un circuit d’allumage de moteur thermique de véhicule automobile, ledit circuit d’allumage comprenant un transformateur, comprenant une bobine primaire et une bobine secondaire, et une bougie d’allumage reliée électroniquement à la bobine secondaire du transformateur, la bobine primaire étant apte à se charger, et apte à se décharger dans la bobine secondaire, la durée de décharge de la bobine primaire étant prédéfinie, l’unité électronique de contrôle étant apte à commander l’activation et la désactivation de la charge de la bobine primaire et l’activation de la décharge de la bobine primaire dans la bobine secondaire, et à recevoir la valeur du courant dans la bobine primaire, l’unité électronique de contrôle étant remarquable en ce qu’elle est configurée pour mettre en œuvre le procédé tel que décrit précédemment.
De préférence, la bobine primaire est reliée à une borne d’alimentation apte à fournir une tension électrique, l’unité électronique de contrôle comprenant un interrupteur connecté électriquement entre la bobine primaire et une masse et étant apte à connecter ou non la bobine primaire à la masse, l’unité électronique de contrôle étant configurée pour commander la fermeture de l’interrupteur afin d’activer la charge de la bobine primaire, et pour commander l’ouverture de l’interrupteur afin de désactiver la charge de la bobine primaire et d’activer la décharge de la bobine primaire dans la bobine secondaire.
L’invention concerne également un véhicule automobile comprenant un moteur thermique et au moins un circuit d’allumage monté dans ledit moteur, ledit circuit d’allumage comprenant un transformateur, comprenant une bobine primaire et une bobine secondaire, et une bougie d’allumage reliée électroniquement à la bobine secondaire du transformateur, la bobine primaire étant apte à se charger, et apte à se décharger dans la bobine secondaire, la durée de décharge de la bobine primaire étant prédéfinie, le véhicule étant caractérisé en ce qu’il comprend une unité électronique de contrôle telle que présentée précédemment.
La est une vue schématique d’un moteur thermique, d’un système d’allumage et d’une unité électronique de contrôle selon l’invention.
La est une représentation schématique d’un circuit d’allumage du système d’allumage selon l’invention,
La illustre le procédé selon l’invention.
La est un graphique représentant l’ouverture et la fermeture de l’interrupteur d’un circuit d’allumage, la variation du courant dans la bobine primaire du circuit d’allumage et la variation du courant dans la bobine secondaire du circuit d’allumage en fonction du temps lorsque la valeur du courant de reprise dans la bobine primaire est supérieure à la valeur du courant de reprise de référence,
La illustre graphiquement l’ouverture et la fermeture de l’interrupteur d’un circuit d’allumage, la variation du courant dans la bobine primaire du circuit d’allumage et la variation du courant dans la bobine secondaire du circuit d’allumage en fonction du temps selon le premier mode de réalisation du procédé selon l’invention lorsque la valeur du courant de reprise dans la bobine primaire est supérieure à la valeur du courant de reprise de référence,
La illustre graphiquement l’ouverture et la fermeture de l’interrupteur d’un circuit d’allumage, la variation du courant dans la bobine primaire du circuit d’allumage et la variation du courant dans la bobine secondaire du circuit d’allumage en fonction du temps selon le deuxième mode de réalisation du procédé selon l’invention lorsque la valeur du courant de reprise dans la bobine primaire est supérieure à la valeur du courant de reprise de référence,
La est un graphique représentant l’ouverture et la fermeture de l’interrupteur d’un circuit d’allumage, la variation du courant dans la bobine primaire du circuit d’allumage et la variation du courant dans la bobine secondaire du circuit d’allumage en fonction du temps lorsque la valeur du courant de reprise dans la bobine primaire est inférieure à la valeur du courant de reprise de référence,
La illustre graphiquement l’ouverture et la fermeture de l’interrupteur d’un circuit d’allumage, la variation du courant dans la bobine primaire du circuit d’allumage et la variation du courant dans la bobine secondaire du circuit d’allumage en fonction du temps selon le premier mode de réalisation du procédé selon l’invention lorsque la valeur du courant de reprise dans la bobine primaire est inférieure à la valeur du courant de reprise de référence,
La illustre graphiquement l’ouverture et la fermeture de l’interrupteur d’un circuit d’allumage, la variation du courant dans la bobine primaire du circuit d’allumage et la variation du courant dans la bobine secondaire du circuit d’allumage en fonction du temps selon le deuxième mode de réalisation du procédé selon l’invention lorsque la valeur du courant de reprise dans la bobine primaire est inférieure à la valeur du courant de reprise de référence.
En référence à la , il va maintenant être décrit une forme de réalisation du véhicule selon l’invention. Le véhicule est un véhicule hybride ou thermique et comprend donc un moteur thermique M. De manière connue, le moteur thermique M comprend une pluralité de cylindres, délimitant chacun une chambre de combustion dans laquelle coulisse un piston dont le mouvement est entrainé par compression et détente des gaz issus de la compression d’un mélange d’air et de carburant introduit dans les chambres de combustion.
Un cycle de combustion du moteur thermique comprend une phase d’admission d’air et de carburant dans un cylindre du véhicule, une phase de compression du mélange d’air et de carburant dans le cylindre, une phase de combustion du mélange d’air et de carburant due à la compression dudit mélange et de détente et enfin une phase d’échappement des gaz émis lors de la combustion.