REVENDICATIONS. 1/Système de répartition homogène de la température à la surface de contact (4) d'une semelle (2) sur laquelle surface de contact un élément à traiter est disposé, cet élément pouvant être une plaquette de silicium caractérisé en ce que ladite semelle comporte des micro-canaux (5) creusés depuis la surface (4) et qu'un fluide possédant des propriétés de conduction thermique circule dans lesdits micro-canaux, ledit fluide étant au contact de l'élément à traiter et que les micro-canaux (5) sont réalisés par sérigraphie de couches épaisses. 2/Système de répartition homogène de la température selon la revendication 1, caractérisé en ce que le fluide possédant des propriétés de conduction thermique est un gaz. 3/Système de répartition homogène de la température selon la revendication 2 caractérisé en ce que le gaz est de l'hélium ou de l'argon. 4/Système de répartition homogène de la température selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la face de contact (4) est pourvue d'une bordure périphérique continue formant une barrière périphérique, les micro-canaux étant formés à l'intérieur de la zone délimitée par cette bordure, l'élément à traiter prenant appui également sur ladite bordure. 5/Système de répartition homogène de la température selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les microcanaux (5), par leurs extrémités, sont à écartement des côtés de la surface de contact (4). 6/Système de répartition homogène de la température selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les microcanaux (5) sont réalisés selon plusieurs axes afin de former une trame (6) recouverte entièrement par l'élément (1) disposé sur la semelle (2). 7/Système de répartition homogène de la température selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le gaz est amené dans les micro-canaux et extrait de ces derniers par des perçages (7) traversant la semelle (2), et débouchant dans les micro-canaux. 8/Système de répartition homogène de la température selon la revendication 7, caractérisé en ce que les embouchures des perçages traversants dans la surface de la trame (6) sont équiréparties. 9/Système de répartition homogène de la température selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les microcanaux (5) sont réalisés par sérigraphie de couches épaisses de tout type de matériau sérigraphiable. 10/Système de répartition homogène de la température selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les microcanaux (5) sont réalisés dans la semelle (2) par la technologie de sérigraphies de couches épaisses de diélectriques céramiques. 11/Système de répartition homogène de la température selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la semelle (2) est pourvue d'un circuit d'évacuation de la chaleur réalisé par des conduites d'eau (8) traversant ladite semelle (2) parallèlement à la surface de contact 12/Système de répartition homogène de la température selon la revendication 1 caractérisé en ce que la pression de collage d'une plaquette maintenue par un dispositif de collage électrostatique est mesurable et correspond à la pression maximum de gaz envoyé.