REVENDICATIONS 1. Procédé de caractérisation optique d'au moins une couche d'un matériau dans un intervalle A de valeurs prises par une fonction a d'une longueur d'onde optique #, lorsque À varie dans un intervalle de longueurs d'ondes , cette couche étant formée sur un substrat, ce procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : 1) on effectue un ensemble de mesures de réflectométrie et/ou d'ellipsométrie sur l'intervalle A, cet ensemble de mesures conduisant à un spectre mesuré, noté #, et l'on choisit les méthodes de calcul associées à la nature des mesures et au type de couche à caractériser, 2) on choisit m valeurs initiales [alpha]1 ...On, de la fonction a, appartenant à cet intervalle A, m étant un nombre entier au moins égal à 1, et l'on définit un intervalle B comme étant l'ensemble des points a de l'intervalle allant du plus petit au plus grand des nombres [alpha]1...[alpha]m, lorsque m est supérieur à 1, et comme étant l'intervalle A lorsque m vaut 1, 3) on choisit m valeurs initiales complexes d'un indice de réfraction complexe n*=n+jk aux m points [alpha]i, i allant de 1 à m, 4) lorsque m est différent de 1, on choisit une loi d'interpolation qui permet de calculer l'indice de réfraction n(a) du matériau sur l'intervalle B, à partir des points (ai, ni), avec ni=n(ai), i allant de 1 à m, et lorsque m vaut 1, n([alpha]) est pris égal au nombre ni (ai) sur tout l'intervalle B, 5) on choisit M paramètres variables, M étant inférieur ou égal à 2m+l, 6) on choisit une fonction d'erreur Er(#, #) qui caractérise l'écart entre un spectre mesuré # et un spectre expérimental #, 7) à l'aide d'une fonction de minimisation de Er(#, #) à M paramètres, on effectue la série d'étapes suivante : a) à l' aide de la loi d'interpolation des ([alpha]i,ni) sur l'intervalle B, on déduit n(a), a appartenant à B, b) à l' aide de n(a) et de l' épaisseur # de la couche, et de méthodes de calcul de spectres, on calcule un spectre théorique (n (oc) ,e , c) on comparez et Y à l' aide de Er (Y, P ) et, si Er(#, #) est suffisamment petite, c'est-à-dire inférieure à une valeur prédéfinie e, ou est minimale, on passe à l'étape e), sinon on passe à l'étape d), d) on fait varier les M paramètres variables de façon à tendre vers le minimum de Er(#, #) et l'on retourne à l'étape a), e) si Er(#, #) est inférieure à e, on obtient donc un ensemble de M paramètres variables, pour lequel Er(#, # (n([alpha],M),#)) est minimum et l' indice de réfraction est alors pris égal à celui qui a été obtenu en dernier, et si Er (#, #) est supérieure ou égale à e on passe à l'étape 8), 8) on augmente le nombre m de valeurs initiales de la fonction a et l'on retourne à l'étape 2). 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on augmente le nombre de valeurs initiales de la fonction a en ajoutant une ou plusieurs valeurs aux valeurs initiales existantes. 3. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on augmente le nombre de valeurs initiales de la fonction a en remplaçant les valeurs initiales existantes par de nouvelles valeurs initiales dont le nombre est supérieur au nombre des valeurs initiales existantes. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel chaque loi d'interpolation est choisie parmi les lois d'interpolation linéaires, les lois d'interpolation cubiques, les lois d'interpolation polynômiales et les lois d'interpolation par exemple de type fonction spline. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4 , dans lequel les valeurs initiales de la fonction a sont réparties de manière uniforme dans l'intervalle A, la répartition des n#uds étant ainsi homogène. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel [alpha](#) est choisi parmi À, 1/# et hc/À, où h est la constante de Planck et c est la vitesse de la lumière dans le vide. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel on mesure l'erreur, à l'étape 6), sur un intervalle d'intérêt C qui est inclus dans l'intervalle B ou égal à cet intervalle B. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel les M paramètres variables sont les parties réelles des indices de réfraction aux points ai, i allant de 1 à m. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel les M paramètres variables sont les parties imaginaires des indices de réfraction aux points ai, i allant de 1 à m. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel les M paramètres variables sont constitués par l'épaisseur du matériau dont on cherche l'indice de réfraction.