REVENDICATIONS 1. Procédé de caractérisation optique d'au moins une couche d'un matériau dans un intervalle de longueurs d'ondes [# min, max], cette couche étant formée sur un substrat, ce procédé étant caractérisé en ce que : - on effectue un ensemble de mesures de réflectométrie et/ou d'ellipsométrie, cet ensemble de mesures conduisant à un spectre mesuré, noté #, - on choisit m longueurs d'ondes initiales #1 ...#m appartenant à cet intervalle, m étant un nombre entier au moins égal à 1, on associe, à chaque longueur d'onde, un indice de réfraction, - on choisit une loi d'interpolation au moins pour l'indice de réfraction du matériau, pour les longueurs d'ondes comprises entre les longueurs d'ondes initiales #1...#m, - on choisit M paramètres initiaux, M étant au moins égal à m, à savoir un indice de réfraction initial ni pour chaque longueur d'onde initiale #i, 1 # i m, les longueurs d'ondes initiales étant choisies de manière à pouvoir déterminer par interpolation au moins l'indice de réfraction pour toute longueur d'onde de l'intervalle [# min, , max], les couples (#i,ni) étant appelés n#uds, - on choisit des méthodes de calcul de réflectométrie et d'ellipsométrie, - on choisit aussi une fonction d'erreur Er, représentative de l'écart entre deux spectres #1 et #2, les spectres #1 et #2 étant calculés ou mesurés sur un nombre de points supérieur au nombre m de n#uds, - à l'aide des m longueurs d'ondes initiales, des M paramètres initiaux et de la loi d'interpolation, on met en #uvre le processus d'optimisation suivant : - on détermine un spectre théorique, noté #, en fonction des méthodes de calcul choisies, et de l'indice déduit par interpolation de sa valeur en #i, i allant de 1 à m, sur le spectre [,min, tanax] , - on détermine l'erreur Er (#, #), entre le spectre mesuré et le spectre théorique - on minimise cette erreur en faisant varier la position des valeurs des indices inconnus et/ou l'épaisseur de la couche et/ou les valeurs des indices de réfraction aux longueurs d'ondes initiales, et l'on obtient un spectre, - on ajoute des longueurs d'ondes aux longueurs d'ondes initiales #1 ... #m, les longueurs d'ondes ajoutées constituant de nouveaux n#uds, - on répète le procédé en choisissant un nombre m' de longueurs d'ondes initiales, m' étant supérieur à m, et M' paramètres initiaux, M' étant supérieur à M, jusqu'à ce que la précision sur chaque spectre ainsi représenté au mieux soit égale à une précision prédéfinie. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel m est au moins égal à 2. 3. Procédé selon la revendication 1, dans lequel m est égal à 1 et l'on choisit des indices de réfraction initiaux égaux. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel le matériau est non absorbant et le nombre M est égal à m, le coefficient d'extinction du matériau étant pris égal à 0. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel : - M est au moins égal à 2 m, - on choisit en outre une loi d'interpolation pour le coefficient d'extinction du matériau, - pour chaque longueur d'onde initiale #i, 1 # i m, on choisit en outre un coefficient d'extinction initial ki, les longueurs d'ondes initiales étant en outre choisies de manière à pouvoir déterminer par interpolation le coefficient d'extinction pour toute longueur d'onde de l'intervalle [À. min, max], - dans le processus d'optimisation, on minimise l'erreur en faisant varier en outre les valeurs des coefficients d'extinction aux longueurs d'ondes initiales et les longueurs d'ondes ajoutées sont en outre placées de façon à représenter au mieux le spectre du coefficient d'extinction du matériau. 6. Procédé selon la revendication 5, dans lequel m est égal à 1 et l'on choisit des indices de réfraction initiaux égaux et des coefficients d'extinction initiaux égaux. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel la couche de matériau est mince, c'est-à-dire a une épaisseur inférieure à la longueur de cohérence de la lumière utilisée pour les mesures, on choisit un paramètre initial supplémentaire, à savoir une épaisseur initiale de couche, et dans le processus d'optimisation on minimise l'erreur en faisant en outre varier la valeur de l'épaisseur de couche. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel la couche de matériau est épaisse, c' est-à-dire n'est pas mince, et M est au plus égal à 2 m. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel l'épaisseur de la couche de matériau est connue avec une précision prédéfinie et M est au plus égal à 2 m. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel chaque loi d'interpolation est choisie parmi les lois d'interpolation linéaires, les lois d'interpolation cubiques, les lois d'interpolation polynômiales et les lois d'interpolation de type fonction spline. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10 , dans lequel la répartition des n#uds est homogène.