INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Cyclobutyl- [6- (3-fluoro-phényl)-6-phényl-6, 7-dihydro-1 H-indazol-3-yl]- méthanone O-méthyloxime 6- (3-Fluoro-phényl)-6-phényl-1- (toluène-4-sulfonyl)-6, 7-dihydro-1 H-indazol-3ylamine (N-cyclopropyl)-6- (3-fluoro-phényl)-6-phényl-1- (toluène-4-sulfonyl)-6, 7dihydro-1 H-indazol-3-ylamine (N-cyclobutyl)-6- (3-fluoro-phényl)-6-phényl-1- (toluène-4-sulfonyl)-6, 7-dihydro- 1 H-indazol-3-ylamine (N-phényl) -6- (3-fluoro-phényl) -6-phényl-1- (toluène-4-suIfonyl) -6, 7 -dihydro-1 Hindazol-3-ylamine 1- [3-Amino-6- (3-ftuoro-phény !)-6-phényi-6, 7-dihydro-indazo)-1-yt]-propènone 1-[3-Cyclopropylamino-6- (3-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihydro-indazol-1-yl]propènone 1- [3-Cyc) obuty ! amino-6- (3-f ! uoro-phényt)-6-phényt-6, 7-dihydro-indazo !-1-yt]propènone 1- [3-Ani ! ino-6- (3-f) uoro-phényt)-6-phény !-6, 7-dihydro-indazo !-1-y !]-propènone Acide 6- (3-fluoro-phényl)-6-phényl-1- (toluène-4-sulfonyl)-6, 7-dihydro-1 H- indazole-3-carboxylique 1-[3-Carboxy-6-(3-fluoro-phényl)-6-phényl-6,7-dihydro-indazol-1-yl]- propènone Cyclopropanecarboxylique acide [6- (3-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihydro- 1 H-indazol-3-yl]-amide Cyclobutanecarboxylique acide [6-(3-fluoro-phényl)-6-phényl-6,7-dihydro-1 H- indazol-3-yl]-amide 6- (3-Fluoro-phényl) -3, 6-diphényl-6, 7 -dihydro-1 H-indazole 6- (3-Fluoro-phényl)-6-phényl-3- (pyridin-2-yl)-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (3-Fluoro-phényl) -6-phényl-3- (pyridin-3-yl) -6, 7 -dihydro-1 H-indazole
6- (3-Fluoro-phényl) -6-phényl-3- (pyridin-4-yl) -6, 7 -dihydro-1 H-indazole 6- (3-Fluoro-phényl) -6-phényl-3- (thiophèn-2-yl) -6, 7 -d ihyd ro-1 H-indazole 6- (3-F) uoro-phényt)-6-phény !-3- (thiophèn-3-y !)-6, 7-dihydro-1H-indazo ! e 6- (3-Fluoro-phényl) -3- ( oxazol-2-yl) -6-phényl-6, 7 -dihyd ro-1 H-indazole 6- (3-Fluoro-phényl) -3- ( oxazol-4-yl) -6-phényl-6, 7 -dihydro-1 H-indazole 6- (3-Fluoro-phényl) -3- ( oxazol-5-yl) -6-phényl-6, 7 -dihydro-1 H-indazole 6- (3-F) uoro-phény !)-6-phényt-3- (thiazo !-2-y !)-6, 7-dihydro-1H-indazote 6- (3-Fluoro-phényl)-6-phényl-3- (thiazol-4-yl)-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (3-Fluoro-phényl)-6-phényl-3- (thiazol-5-yl)-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (3-F ! uoro-phényt)-3- (imidazo)-2-y !)-6-phény)-6, 7-dihydro-1H-indazote 6- (3-Fluoro-phényl)-3- (imidazol-4-yl)-6-phényl-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (3-Fluoro-phényl) -3- (imidazol-5-yl) -6-phényl-6, 7 -dihyd ro-1 H-indazole 6- (3-Fluoro-phényl) -3- (3-méthyl-[1, 2, 4]oxadiazol-5-yl) -6-phényl-6, 7 -dihydro- 1 H-indazole 6- (3-F ! uoro-phényt)-3- (3-méthoxy- [1, 2, 5] thiadiazot-4-y !)-6-phény)-6, 7-dihydro- 1 H-indazole 6- (3-Fluoro-phényl)-6-phényl-3- (tétrazol-5-yl)-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (3-Fluoro-phényl)-6-phényl-3- (tétrazol-1-yl)-6, 7-dihydro-1 H-indazole
Ester de méthyle de l'acide 6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7-dihydro-1 Hindazole-3-carboxyliq ue Ester d'éthyle de l'acide 6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7-dihydro-1 Hindazole-3-carboxyliq ue
(N-cyclopropyl)-6- (4-fluoro-phényl)-6-phényl-6, 7-dihydro-1 H-indazole-3- carboxamide Aziridin-1-yl-[6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihyd ro-1 H-indazol-3-yl]méthanone Azétidin-1-yl-[6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihydro-1 H-indazol-3-yl]méthanone (N-méthoxy-N-méthyl) -6- ( 4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -d ihyd ro-1 H-indazole- 3-carboxamide 6- (4-fluoro-phényl)-6-phényl-6, 7-dihydro-1 H-indazole-3-carbonitrile Cyclopropyl-[6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -d ihyd ro-1 H-indazol-3-yl]méthanone Cyclobutyl- [6- (4-fluoro-phényl)-6-phényl-6, 7-dihydro-1 H-indazol-3-yl]méthanone Cyclopropyl-[6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihyd ro-1 H-indazol-3-yl]méthanone oxime Cyclopropyl- [6- (4-fluoro-phényl)-6-phényl-6, 7-dihydro-1 H-indazol-3-yl]méthanone O-méthyloxime Cyclobutyl-[6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihydro-1 H-indazol-3-yl]méthanone oxime Cyclobutyl-[6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihyd ro-1 H-indazol-3-yl]méthanone O-méthyloxime 6- (4-Fluoro-phényl)-6-phényl-1- (toluène-4-sulfonyl)-6, 7-dihydro-1 H-indazol-3ylamine (N-cyclopropyl)-6- (4-fluoro-phényl)-6-phényl-1- (toluène-4-sulfonyl)-6, 7- dihydro-1 H-indazol-3-ylamine (N-cyclobutyl)-6-(4-fluoro-phényl)-6-phényl-1-(toluène-4-sulfonyl)-6,7-dihydro- 1 H-indazol-3-ylamine
(N-phényl) -6- ( 4-fluoro-phényl) -6-phényl-1- (toluène-4-sulfonyl) -6, 7 -d ihyd ro-1 Hindazol-3-ylamine 1-[3-Amino-6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihyd ro-indazol-1-yl]-propènone 1- [3-Cyc ! opropy ! amino-6- (4-f) uoro-phény !)-6-phény !-6, 7-d ! hydro-indazo)-1-y)]propènone 1-[3-Cyclobutylamino-6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihydro-indazol-1-yl]propènone 1- [3-Ani ! ino-6- (4-f) uoro-phényi)-6-phény !-6, 7-dihydro-indazo !-1-y !]-propènone Acide 6- (4-fluoro-phényl)-6-phényl-1- (toluène-4-sulfonyl)-6, 7-dihydro-1 Hi ndazo le-3-carboxyl iq ue 1-[3-Carboxy-6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -d ihydro-indazol-1-yl]propènone Cyclopropanecarboxylique acide [6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihydro- 1 H-indazol-3-yl]-amide Cyclobutanecarboxylique acide [6- (4-fluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihydro-1 Hindazol-3-yl]-amide 6- (4-Fluoro-phényl) -3, 6-diphényl-6, 7 -dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl) -6-phényl-3- (pyridin-2-yl) -6, 7 -dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl) -6-phényl-3- (pyridin-3-yl) -6, 7 -dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl)-6-phényl-3- (pyridin-4-yl)-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl) -6-phényl-3- (thiophèn-2-yl) -6, 7 -dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl)-6-phényl-3- (thiophèn-3-yl)-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl)-3- (oxazol-2-yl)-6-phényl-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl)-3- (oxazol-4-yl)-6-phényl-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl)-3- (oxazol-5-yl)-6-phényl-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl) -6-phényl-3- (thiazol-2-yl) -6, 7 -dihyd ro-1 H-indazole
6- (4-Fluoro-phényl)-6-phényl-3- (thiazol-4-yl)-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluorolphény) -6-phényl-3- (thiazol-5-yl) -6, 7 -d ihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl) -3- (imidazol-2-yl) -6-phényl-6, 7 -dihyd ro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl)-3- (imidazol-4-yl)-6-phényl-6, 7-dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl) -3- (imidazol-5-yl) -6-phényl-6, 7 -dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl)-3- (3-méthyl- [1, 2, 4] oxadiazol-5-yl)-6-phényl-6, 7-dihydro- 1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl) -3- (3-méthoxy-[ 1, 2, 5] th ! adiazo !-4-y))-6-phényt-6, 7-dihydro- 1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl) -6-phényl-3- (tétrazol-5-yl) -6, 7 -dihydro-1 H-indazole 6- (4-Fluoro-phényl) -6-phényl-3- (tétrazol-1-yl) -6, 7 -d ihyd ro-1 H-indazole Ester de méthyle de l'acide 6-(3,4-difluoro-phényl)-6-phényl-6,7-dihydro-1Hindazole-3-carboxylique Ester d'éthyle de l'acide 6-(3,4-difluoro-phényl)-6-phényl-6,7-dihydro-1H- indazole-3-carboxylique (N-cyclopropyl)-6-(3,4-difluoro-phényl)-6-phényl-6,7-dihydro-1H-indazole-3carboxamide Aziridin-1-yl-[6- (3, 4-difluoro-phényl) -6-phényl-6, 7 -dihydro-1 H-indazol-3-yl]- méthanone Azétidin-1-yl-[6-(3,4-difluoro-phényl)-6-phényl-6,7-dihydro-1H-indazol-3-yl]- méthanone
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels : - la figure 1 représente schématiquement le principe d'une centrale inertielle hybride selon l'invention ; - la figure 2 représente un organigramme de fonctionnement du filtre de Kalman ; - la figure 3 représente la structure générale d'un récepteur de positionnement par satellite, comprenant un oscillateur à commande numérique dont la sortie représente la phase de la porteuse du signal satellite ; - la figure 4 représente l'architecture générale des calculs de rayons de protection.
La centrale inertielle hybridée comporte une centrale inertielle proprement dite C-INERT, un récepteur de positionnement par satellites, qu'on appellera par la suite récepteur GPS en référence au système de positionnement le plus courant dit Global Positionning System , et un calculateur électronique d'hybridation CALC~HYB.
La centrale inertielle C~INERT est le plus souvent composée de - plusieurs accéléromètres, typiquement trois, d'orientations fixes par rapport à l'aéronef, fournissant des valeurs d'accélération selon ces axes,
- plusieurs gyromètres, typiquement trois, ayant chacune un axe fixe par rapport à l'avion et fournissant des valeurs de vitesse de rotation angulaire autour de ces axes, - un calculateur qui détermine des données numériques de position géographique (Lat, Lon, Ait), vitesse géographique (Vn, Ve, Vv), attitudes en cap roulis et tangage ( (p, 0, ), etc. à partir des indications fournies par les accéléromètres et gyromètres ; le calculateur fournit aussi une impulsion de marquage temporel définissant l'instant auquel ces données sont valides.
Toutes ces données, appelées ci-après données inertielles brutes D~INERT, sont fournies par la centrale inertielle au calculateur d'hybridation.
Eventuellement, d'autres capteurs peuvent être associés à la centrale pour affiner les calculs, tels qu'un altimètre barométrique (ALTBARO). Le calculateur de la centrale inertielle utilise alors les informations de ce ou ces capteurs supplémentaires en même temps que les informations des gyromètres et accéléromètres.
Le récepteur GPS fournit classiquement une position géographique en longitude, latitude et altitude, appelée aussi position résolue, incluant aussi un temps de mesure de position. Le récepteur fournit en principe aussi des vitesses de déplacement par rapport à la terre. L'ensemble de cette position, ce temps et cette vitesse est appelée point PVT. Une impulsion de marquage temporel définissant l'instant de validité du point PVT est également fournie.
Le récepteur GPS utilise pour son fonctionnement une mesure de distances entre le récepteur et chaque satellite en vue du récepteur. Ces distances sont en réalité des pseudo-distances PD, (i désignant un numéro de satellite) obtenues sous forme de durées de propagation de signal entre le satellite de rang i et le récepteur le long de l'axe (axe satellite) joignant le satellite et le récepteur. C'est la combinaison des pseudo-distances sur plusieurs axes satellites avec la connaissance des positions des satellites à un moment donné (envoyée sous forme d'éphémérides par les satellites euxmêmes) qui permet de calculer la position résolue PVT.
Les pseudo-distances PD, sont donc disponibles dans le récepteur GPS et elles vont être utilisées pour l'hybridation entre la centrale inertielle et
le récepteur GPS. On pourrait bien entendu utiliser l'information de position résolue pour faire l'hybridation en comparant la position résolue GPS avec la position calculée par intégration dans la centrale inertielle, mais, comme on le verra plus loin, l'utilisation de pseudo-distances permet de faire l'hybridation en prenant en compte des pannes ou défauts possibles présents sur le signal issu d'un satellite.
Le récepteur GPS établit encore d'autres données, et notamment les éphémérides représentant la position des satellites à tout instant, un rapport signal/bruit (S/N), pour chaque satellite, et une ou plusieurs valeurs de rayon de protection Rp1 (en distance horizontale), Rp2 (en distance verticale) qui représentent une précision de mesure et sur lesquels on reviendra plus loin.
Le récepteur GPS fournit au calculateur d'hybridation CALCHYB toutes ces données, appelées ci-après D~GPS (données GPS).
Les données inertielles brutes D~INERT et les données GPS sont traitées dans le calculateur d'hybridation pour fournir des données inertielles hybrides D~HYB qui sont une attitude hybride, une vitesse hybride et une position hybride. Le calculateur d'hybridation fournit aussi une ou plusieurs valeurs de rayon de protection RPH représentant la précision des données issues de l'hybridation. Enfin, le calculateur peut fournir des données d'identification de satellite fautif et bien entendu éventuellement des signaux d'alarme lorsque le calcul des rayons de protection démontre une fiabilité insuffisante de l'information fournie.
Pour la mise en oeuvre de l'invention, le récepteur GPS fournit également au calculateur d'hybridation une indication, pour chaque satellite observé, de la phase , de la porteuse du signal satellite de rang i à l'instant d'observation.
L'hybridation est réalisée par des algorithmes de filtrage de Kalman pour obtenir à la fois les qualités de stabilité et d'absence de bruit à court terme de la centrale inertielle et la précision très élevée mais fortement bruitée à court terme du récepteur GPS. Le filtrage de Kalman permet de prendre en compte les erreurs de comportement intrinsèques de la centrale inertielle C-INERT, et de corriger ces erreurs. L'erreur de mesure de la centrale inertielle est déterminée au cours du filtrage ; elle est ajoutée à la
mesure fournie par la centrale pour donner une mesure hybride dans laquelle les erreurs dues au comportement de la centrale sont minimisées.
La grille isolée inférieure 49 est reliée par une métallisation M5' à un puits conducteur 55 qui traverse de part en part le circuit monolithique pour atteindre la face supérieure où un contact de grille 56 est réalisé. Le puits 55 est réalisé dans une portion 57 du substrat qui est isolée de la partie active du commutateur par le mur périphérique 41 qui se prolonge par un mur d'isolement complémentaire 58. Le puits 55 peut être réalisé par un procédé de fabrication de mur traversant standard.
Le puits 55 peut également correspondre à une zone de type P fortement dopée réalisée selon une technique de fusion de zone à gradient de température dite TGZM (Température Gradient Zone Melting), à un mur formé à partir de tranchées ou à un via métallique. Des bornes de grilles Gl, G2 sont reliées respectivement à la grille isolée 46 et au contact de grille 56.
La figure 3 représente, de façon très simplifiée et schématique, un exemple de répartition des différents éléments situés au niveau de la face supérieure du circuit monolithique.
Les cellules supérieures 42 sont simplement représentées par des carrés. Les limites de l'anneau de type P 51 sont représentées par les lignes référencées 51-1 et 51-2. La limite de la grille isolée supérieure 46 est représentée par une ligne en pointillés 59. La limite de la métallisation Ml' est représentée par la ligne 60. Le plot de contact 56 de la grille isolée inférieure 49 est représenté en bas à droite sur la figure 3. Un plot de contact 61 de la grille isolée supérieure 46 est représenté en haut au centre de la figure 3 par une surface carrée. Les contacts entre la métallisation Ml' et l'anneau de type P 51 sont symbolisés par des rectangles en traits pointillés 62. Le plot de contact 61 de la grille supérieure 46 peut comprendre une portion en anneau, non représentée, qui entoure le réseau de cellules supérieures 42.
Le fonctionnement du commutateur bidirectionnel selon l'invention est le suivant.
Le commutateur se comporte comme deux transistors de type IGBT disposés en antiparallèle.
Les bornes principales Al, A2, représentées sur la figure 2, du commutateur sont prises d'une part sur la métallisation Ml' et sur le support conducteur 54. Le commutateur est commandé, par les bornes de contact Gl, G2 des grilles supérieure 46 et inférieure 49.
A titre d'exemple, lorsque la borne A2 est polarisée positivement par rapport à la borne Al, que la borne de grille Gl est commandée, et que la borne de grille G2 n'est pas commandée,
le trajet du courant de la borne A2 vers la borne Al est schématiquement le suivant. Depuis la métallisation M2', le courant franchit, pour chaque cellule inférieure 48, la jonction en direct entre la région fortement dopée de type P et le substrat 40 de type N, puis traverse, pour chaque cellule supérieure 42, le canal formé dans la région du caisson 43 extérieure à l'anneau 45 pour rejoindre la métallisation Ml'. Le courant peut traverser les cellules supérieures 42, grâce à l'application sur la borne de grille Gl d'une tension de commande permettant, dans chaque cellule supérieure 42, la formation d'un canal dans la région du caisson 43 extérieure à l'anneau 45.
Lorsque que la borne Al est polarisée positivement par rapport à la borne A2, que la borne de grille G2 est commandée et que la borne de grille Gl n'est pas commandée, le trajet du courant de la borne Al vers la borne A2 est schématiquement le suivant. Depuis la métallisation Ml', le courant franchit, pour chaque cellule supérieure 42, la jonction en direct entre la région fortement dopée de type P et le substrat 40 de type N, puis traverse, pour chaque cellule inférieure 48, le canal formé dans la région du caisson 43 extérieure à l'anneau 45 pour rejoindre la métallisation M2'. Le courant peut traverser les cellules inférieures 48, grâce à l'application sur la borne de grille G2 de la tension de commande qui permet, dans chaque cellule inférieure 48, la formation d'un canal dans la région du caisson extérieure à l'anneau.
On obtient donc un composant qui se comporte comme un commutateur vertical bidirectionnel commandé en tension.
Le commutateur selon l'invention est particulièrement adapté pour des applications de moyenne puissance, par exemple pour tenir des tensions de l'ordre de 600 V, et des intensités de courants comprises entre 1 et 50 A. A titre d'exemple, pour des courants de l'ordre de 8 A, le circuit monolithique peut avoir des dimensions globales de 3,6 millimètres par 4,2 millimètres.
Le mur 41,58 entourant le puits 55 délimite une surface d'environ 200 m par 200 m. Chaque cellule peut avoir des dimensions
de 25 m par 25 m et être espacée des cellules voisines de 25 m.
L'homme de l'art notera que la tenue en tension à l'état bloqué du commutateur selon l'invention est essentiellement définie par les jonctions entre le substrat et les caissons des cellules. Le dopage de ces caissons sera optimisé pour atteindre la tension de claquage choisie tout en permettant une commande satisfaisante des régions de canal des cellules.
La présente invention présente de nombreux avantages.
En ajoutant un cinquième bobinage 405 qui ceinture l'ensemble des quatre premiers bobinages 401, 402,403, 404, et qui se trouve dans le même plan x, y qu'eux ou dans un plan parallèle, il est possible d'obtenir un déplacement de la partie magnétique mobile 1 dans une direction perpendiculaire au plan des bobinages 401 à 405, c'est à dire dans ce cas selon l'axe z.
Sur la figure 7, la partie magnétique mobile 1 est similaire à celle de la figure 6, les moyens 4 pour déclencher le déplacement également à l'exception du cinquième bobinage 405 qui a été omis, dans un but de simplification mais qui pourrait être
présent. La différence se situe maintenant au niveau des moyens magnétiques fixes 3 qui comportent maintenant quatre éléments magnétiques fixes 31,32, 33,34 formant une croix avec la partie magnétique mobile 1. Chacun de ces éléments 31,32, 33,34 de la partie magnétique fixe 3 chevauche une portion de spire de deux bobinages respectivement (401,404), (401, 402), (402,403), (403,404). La partie magnétique mobile 1 peut alors être contrôlée suivant les mêmes directions que celles de la figure 6. L'ajout du cinquième bobinage pourrait être envisagé pour obtenir un déplacement selon une direction perpendiculaire au plan des premiers bobinages 401,402, 403,404.
Dans cette configuration, l'actionneur peut prendre quatre positions stables, la partie magnétique mobile 1 peut se coller sur chacun des quatre éléments magnétiques fixes 31,32, 33,34.
Sur la figure 6, il ne possédait que deux positions stables puisqu'il n'y avait que deux éléments magnétiques fixes 3-1.
Sur la figure 8, il n'y a pas de changement par rapport à la figure 7 ni pour la partie magnétique mobile 1, ni pour les moyens 4 pour déclencher son déplacement. Par contre, au lieu d'être formée de plusieurs éléments voisins, la partie magnétique fixe 3 est formée d'un seul élément 30 qui ceinture la partie magnétique mobile 1. La partie magnétique mobile 1 peut alors prendre une infinité de positions stables lorsqu'elle vient se coller contre l'élément magnétique fixe 30. On peut alors obtenir un positionneur.
Sur la figure 8, la partie magnétique fixe a été représentée telle une plaque carrée évidée. D'autres formes sont bien sûr envisageables, par exemple en anneau. La partie magnétique mobile doit avoir une forme compatible avec celle de la partie magnétique fixe. A une forme en anneau pour la partie magnétique fixe correspondrait une forme en disque pour la partie magnétique mobile.
Le contrôle de la position de la partie magnétique mobile est similaire à ce qui a été décrit aux figures 6 et 7. Dans cette configuration également un cinquième bobinage pourrait être ajouté pour contrôler la position dans un plan perpendiculaire à celui des quatre premiers bobinages.
De tels actionneurs peuvent être utilisés en groupe. Un dispositif avec une pluralité d'actionneurs A selon l'invention a été représenté sur les figures 9A, 9B. Sur la figure 9A, les différents actionneurs A sont disposés en matrice M sur un même support 9, à la croisée entre n conducteurs de lignes il à i3 et m conducteurs de colonnes jl à j4 (n et m sont des entiers, n et m peuvent être différents ou non). De cette manière, des signaux se propageant sur une nappe formée des n conducteurs de lignes il à i3 peuvent être commutés vers les m conducteurs de colonne jl, j2, j3, j4. Ces signaux peuvent être des signaux électriques ou optiques en fonction de la nature des actionneurs A. Du fait de la bistabilité des actionneurs A de la matrice M, cette dernière peut être programmée et garder sa configuration sans qu'il soit nécessaire de l'alimenter électriquement.
Si les actionneurs fonctionnement en positionneurs, une telle matrice permet d'accéder à plusieurs mémoires montées en parallèle, chaque position du positionneur correspondant à une position mémoire d'une des mémoires.
Les actionneurs peuvent être regroupés en une matrice particulière B comme sur la figure 9B avec un conducteur de ligne il et plusieurs conducteurs de colonne jl à j4. En connectant un bus sur le conducteur de ligne il, les signaux qu'il véhicule peuvent être orientés vers les différents conducteurs de colonne jl à j4 en fonction de l'état des différents actionneurs A.
On va voir maintenant différentes étapes de réalisation en microtechnologie de microactionneurs selon l'invention. Ces microactionneurs ont leurs parties magnétiques mobile et fixe réalisées par des aimants. Les moyens de déclenchement du déplacement de la partie magnétique mobile sont réalisés par des bobinages. Sur les figures on ne voit qu'un microactionneur mais en fait l'avantage de ce procédé est de pouvoir en réaliser plusieurs en même temps sur un même substrat.
Sur les figures 14A, 14B le microactionneur se trouve encastré totalement dans le substrat réalisé en deux parties assemblées. Sur les figures 13A, 13B, seuls les moyens de déclenchement sont encastrés dans le substrat également réalisé en deux parties assemblées, les parties magnétiques mobile et fixe sont placées sur le substrat. Sur les figures 13A, 13B, les deux parties sont des substrats semi-conducteurs
classiques massifs tandis que sur la figures 14A, 14B, l'une d'entre elle est un substrat classique massif tandis que l'autre est un substrat SOI (sigle de silicon on insulator, pour silicium sur isolant). Un tel substrat en silicium possède une couche de matériau isolant 93-1, de l'oxyde de silicium, enfouie au sein du silicium. Son avantage est que lorsqu'on fait une opération de gravure, la couche de matériau isolant peut servir de couche d'arrêt.
Sur un premier substrat soit classique massif 91 en matériau semi-conducteur, soit de type SOI 93 on va réaliser les microaimants (figures 10A à 101 et 11A à 111). Sur un second substrat 92 massif en matériau semi-conducteur ou de type SOI, on va réaliser les moyens de déclenchement du déplacement prenant la forme d'un cu plusieurs conducteurs pouvant être agencés en bobinage (figures 12A à 12G). Sur ces figures 12A à 12G on a représenté un substrat massif.
Toutefois sur la figure 12B on a schématisé par des pointillés la position de que prendrait la couche de matériau isolant d'un substrat SOI.
Tableau (6) (suite)