INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Une première étape critique consiste en l'extraction et la purification ultérieure des acides nucléiques contenus initialement dans l'échantillon, c'est-à-dire principalement des acides nucléiques contenus dans les divers organismes composant la microflore de cet échantillon.
La qualité de la purification de l'ADN extrait est déterminante sur le résultat obtenu.
Une seconde étape importante d'un procédé de construction d'une banque d'acides nucléiques provenant d'un échantillon de l'environnement est l'évaluation de la diversité génétique des acides nucléiques extraits et purifiés. La mise au point d'une étape de réalisation simple et fiable de pré-criblage de l'ADN extrait et purifié afin de vérifier qu'il rend compte, au moins partiellement, de la diversité phylogénétique des organismes présents initialement dans l'échantillon de départ, permet en effet de déterminer l'intérêt ou non d'utiliser la source initiale d'ADN extrait et purifié pour la construction de la banque d'acides nucléiques proprement dite ou au contraire de ne pas poursuivre la construction de la banque d'acides nucléiques du fait d'artefacts trop importants introduits au moment de l'extraction et de la purification des acides nucléiques. Il a en outre été identifié selon l'invention que la qualité des inserts introduits dans les vecteurs pour construire la banque est déterminante. Il a ainsi été déterminé que l'utilisation d'enzymes de restriction pour cliver l'ADN extrait et purifié à partir de l'échantillon de l'environnement était de nature à introduire des artefacts ou " biais " dans la structure des inserts obtenus.
En effet, l'ADN extrait du sol ou d'autres environnements, provenant en très grande majorité d'organismes non cultivables, est composé de molécules dont le taux de bases G et C est par définition inconnu et de plus variable en fonction de l'origine de ces organismes Une troisième étape critique est l'insertion des acides nucléiques extraits et purifiés dans des vecteurs capables d'intégrer des acides nucléiques de longueur choisie, d'une part, et, d'autre part, d'en permettre la transfection ou encore l'intégration dans le génome dans des hôtes cellulaires déterminés ainsi que, le cas échéant, d'en permettre l'expression dans de tels hôtes cellulaires.
Constituent des vecteurs d'intérêt, les vecteurs capables d'intégrer des acides nucléiques de grande taille, c'est-à-dire de taille supérieure à 100 kb lorsque l'objectif poursuivi consiste en un clonage et en une identification d'un opéron complet capable de diriger une voie complète de biosynthèse d'un composé d'intérêt industriel, en particulier d'un composé d'intérêt pharmaceutique ou agronomique.
DEFINITIONS Au sens de la présente invention, on entend par " acides nucléiques ", " polynucléotides " et " oligonucléotides " aussi bien des séquences d'ADN, d'ARN, que des séquences hybrides ARN/ADN de plus de 2 nucléotides, indifféremment sous la forme simple brin ou double brin.
Le terme " banque " ou " collection " est utilisé dans la présente description en référence indifféremment à un ensemble d'acides nucléiques extraits et, le cas échéant purifiés, provenant d'un échantillon de l'environnement, à un ensemble de vecteurs recombinants, chacun des vecteurs recombinants de l'ensemble comprenant un acide nucléique provenant de l'ensemble d'acides nucléiques extraits et, le cas échéant purifiés précités, ainsi qu'à un ensemble de cellules hôtes recombinantes comprenant un ou plusieurs acides nucléiques provenant de l'ensemble des acides nucléiques extraits et, le cas échéant, purifiés précités, lesdits acides nucléiques étant soient portés par un ou plusieurs vecteurs recombinants, soit intégrés dans le génome desdites cellules hôtes recombinantes.
On désigne par " échantillon de l'environnement " indifféremment un échantillon d'origine aquatique, par exemple d'eau douce ou saline, ou un échantillon tellurique provenant de la couche superficielle d'un sol, de sédiments ou encore de couches inférieures du sol (sous-sol), ainsi que des échantillons d'organismes eucaryotes, le cas échéant multicellulaires, d'origine végétale, provenant d'organismes marins ou encore d'insectes et possédant une microflore associée, cette microflore associée constituant des organismes d'intérêt.
On entend par " opéron " selon l'invention, un ensemble de cadres ouverts de lecture dont la transcription et/ou la traduction est co-
régulée par un ensemble unique de signaux de régulation de la transcription et/ou de la traduction. Selon l'invention, un opéron peut également comprendre lesdits signaux de régulation de la transcription et/ou de la traduction.
Par " voie métabolique " aux fins de l'invention ou encore " voie de biosynthèse " on entend un ensemble de réactions biochimiques anaboliques ou cataboliques réalisant la conversion d'une première espèce chimique en une seconde espèce chimique.
Par exemple, une voie de biosynthèse d'un antibiotique est constituée de l'ensemble des réactions biochimiques convertissant des métabolites primaires en produits intermédiaires des antibiotiques, puis subséquemment en antibiotiques.
Ces moyens optiques 7 de collection et de transmission, le masque 5, qui est utilisé en réflexion, et les moyens optiques 8 de réduction et de projection sont des miroirs multicouches 14 qui réfléchissent sélectivement le rayonnement EUV et sont conçus de telle façon que leurs réponses spectrales soient centrées sur la longueur d'onde choisie pour 1 insolation de la couche de résine photosensible 3.
On précise que le motif suivant lequel on veut graver l'échantillon est formé le miroir multicouches correspondant au masque 5, avec un facteur grandissement adapté aux moyens optiques de réduction et de projection, et ce miroir multicouches est recouvert, sauf au niveau de ce moti d'une couche (non représentée) qui est apte à absorber le rayonnement EUV incident.
Dans le domaine des longueurs d'onde des rayonnements EUV, la résolution spectrale AX/X des miroirs vaut environ 4%.
La largeur du domaine spectral utile pour 1 insolation est obtenue par convolution de la largeur spectrale de la source de rayonnement et de cette résolution spectrale.
Les miroirs multicouches connus, sur lesquels on reviendra par la suite et qui sont utilisés dans le dispositif de lithographie des figures 1 et 2, présentent en particulier l'inconvénient suivant : leur bande spectrale, qui est centrée sur la longueur d'onde choisie pour l'insolation, est étroite.
I1 en résulte une réduction de 'efficacité du dispositif de lithographie.
Ces miroirs multicouches EUV présentent également l'inconvénient de se déformer lorsqu'ils sont exposés au flux thermique important, provenant de la source de rayonnement EUV du dispositif.
EXPOSÉ DE L'INVENTION Un but de l'invention est de proposer un dispositif de lithographie EUV beaucoup plus efficace que les dispositifs connus, considérés plus haut.
Le dispositif objet de l'invention comprend une source de rayonnement EüV qui est anisotrope. Ce rayonnement EUV est émis par la face arrière d'une cible solide d'épaisseur appropriée sur face avant de laquelle est focalisé un faisceau laser.
Une telle source anisotrope permet augmenter la partie utile du faisceau de rayonnement EUV et de simplifier la collection de ce rayonnement.
De plus, le dispositif objet de l'invention comprend des miroirs multicouches aptes à réfléchir le rayonnement EUV engendré, chaque miroir multicouches ayant une bande spectrale (encore appelée largeur spectrale ou bande passante ) plus importante que celle des miroirs multicouches connus, mentionnés plus haut. La source utilisée dans l'invention, dont spectre d'émission est plus proche du corps noir sur large domaine spectral, et les miroirs multicouches à large bande spectrale, également utilisés dans l'invention, coopèrent pour conduire à un dispositif apte à fournir, à l'échantillon que 1.'on veut insoler, un rayonnement EUV plus intense que dans l'art antérieur.
Un autre but de l'invention de minimiser les déformations thermiques des miroirs multicouches qui sont utilisés dans l'invention lorsque ces miroirs multicouches sont exposés au flux intense de rayonnement EUV.
De façon précise, la présente invention a pour objet un dispositif de lithographie comprenant - un support d'un échantillon destiné à être insolé suivant un motif déterminé, - un masque comprenant le motif déterminé sous une forme agrandie, - une source de rayonnement dans le domaine extrême ultraviolet, des moyens optiques de collection et de transmission du rayonnement au masque, ce dernier fournissant une image du motif sous forme agrandie, et des moyens optiques de réduction de cette image de projection de l'image réduite sur l'échantillon, le masque, les moyens optiques de collection et de transmission et les moyens optiques de réduction et de projection comprenant des miroirs multicouches, chaque miroir multicouches comprenant un substrat et, sur ce substrat, un empilement de couches d'un premier matériau et de couches d'un deuxième matériau qui alternent avec les couches du premier matériau, ce premier matériau ayant un numéro atomique supérieur à celui du deuxième matériau, les premières et deuxièmes couches coopérant pour réfléchir le rayonnement extrême ultraviolet, l'empilement ayant une surface libre sur laquelle arrive le rayonnement à réfléchir, dispositif étant caractérisé en que la source comprend au moins une cible solide, ayant des première deuxième faces, cette cible étant apte à émettre le rayonnement extrême ultraviolet par interaction avec un faisceau laser focalisé sur la première face de la cible, cette cible étant apte à émettre, de façon anisotrope, une partie du rayonnement extrême ultraviolet à partir de la deuxième face de cette cible, en ce que les moyens optiques collection et de transmission sont prévus pour transmettre, au masque, la partie du rayonnement extreme ultraviolet provenant de la deuxième face de la cible de la source, et en ce que l'épaisseur de paires de couches adjacentes de l'empilement de couches que comprend chaque miroir est une fonction monotone de la profondeur dans l'empilement, cette profondeur étant comptée à partir de la surface libre de l'empilement.
Par fonction monotone , on entend une fonction qui est soit croissante soit décroissante. Selon un mode de réalisation préféré du dispositif objet de l'invention, la cible contient un matériau qui est apte à émettre le rayonnement extrême ultraviolet par interaction avec le faisceau laser et dont l'épaisseur est comprise dans un intervalle allant d'environ 0,05 um à environ 5 um.
De préférence, la cible contient un matériau qui est apte à émettre le rayonnement extrême ultraviolet par interaction avec le faisceau laser et dont le numéro atomique appartient à l'ensemble des numéros atomiques allant de 13 à 92.
Selon un mode de réalisation particulier du dispositif objet de l'invention, ce dispositif comprend pluralité de cibles qui sont rendues solidaires les unes des autres, le dispositif comprenant en outre des moyens de déplacement de cette pluralité de cibles pour ces cibles reçoivent successivement le faisceau laser.
pondant aux restrictions de forme, pour la détermination de la disposition des surfaces réfléchissantes, et la disposition des surfaces réfléchissantes en fonction de la
surface courbe de base pour la réalisation du réflecteur.
Les inventeurs ont examiné la réalisation d'un tel réflecteur et ont constaté que les problèmes suivants se posaient lors de la réalisation d'un réflecteur destiné à donner d'excellentes propriétés compte tenu des performances optiques demandées à la lampe, dans le respect des restrictions de forme imposées par le véhicule. Les inventeurs ont aussi constaté que les performances optiques du réflecteur étaient séparées en (1) performances optiques associées à la forme de la surface courbe de base, et (2) performances optiques associées aux formes et dispositions des différentes surfaces réfléchissantes. Ces performances optiques du réflecteur ont été évaluées après que la
réalisation du réflecteur a atteint un stade particulier.
A la suite d'études complémentaires de ces performances considérées séparément, les inventeurs ont constaté que ces performances présentaient les caractéristiques suivantes: l'évaluation des performances (2) ne peut pas être effectuée
tant que la forme et la disposition des surfaces réflé-
chissantes individuelles n'ont pas été déterminées, et les performances (1) peuvent cependant être évaluées après la
détermination de la surface courbe de base.
En d'autres termes, si l'on dispose d'une technique
convenant à l'évaluation des performances (1), une répéti-
tion superflue lors de la conception du réflecteur peut être supprimée. En outre, comme un espace de logement d'une lampe de véhicule est différent d'autres espaces de logement, la surface courbe de base déterminée pour la lampe est aussi différente des autres surfaces. Si les performances optiques d'une surface courbe de base peuvent être évaluées par une
telle technique à un stade précoce des opérations de concep-
tion, il est possible d'utiliser une réaction convenant
mieux à ce stade de la conception pour obtenir des carac-
téristiques optiques excellentes.
Les études précitées ont donné les résultats suivants: il est souhaitable de disposer d'un outil permettant une assistance à la conception des surfaces courbes de base en fonction des expériences des concepteurs, et il est aussi souhaitable d'évaluer les performances optiques à un stade
Selon un onzième aspect de la présente invention, qui est basé sur le cinquième aspect de l'invention, il est prévu un dispositif formant convertisseur de puissance, dans lequel la charge polyphasée comprend une charge triphasée. Selon un douzième aspect de la présente invention, il est prévu un dispositif formant convertisseur de puissance, caractérisé en ce qu'il comporte un circuit principal formant onduleur comprenant des éléments de commutation aptes à répondre à des signaux de commande de commutation, et des moyens pour appliquer des tensions de phase à une charge polyphasée par l'intermédiaire des éléments de commutation, des moyens de sortie de valeurs de commande pour délivrer des valeurs de commande de tension de base respectivement pour des phases de la charge polyphasée, des moyens de conversion des valeurs de commande pour comparer les valeurs de commande de tension de base délivrées par les moyens de sortie des valeurs de commande et pour convertir les valeurs de commande de tension de base respectivement en des valeurs de commande de tension finales en réponse à des résultats de ladite comparaison, auquel cas pendant un intervalle de temps spécifié incluant un instant auquel au moins deux des valeurs de commande de tension de base sont égales, les valeurs de commande de tension finales correspondant auxdites valeurs de commande de tension de base sont égales à un maximum ou à un minimum, et des moyens de sortie de signaux de commande pour soumettre une onde porteuse à une modulation d'impulsions en durée en réponse aux valeurs de commande de tension finales produites par les moyens de conversion des valeurs de commande pour produire les signaux de commande de commutation, et pour délivrer les signaux de commande de commutation aux éléments de commutation situés dans le circuit principal formant onduleur.
Selon un treizième aspect de la présente invention, qui est basé sur le premier aspect de l'inven tion, il est prévu un dispositif formant convertisseur de puissance, dans lequel les valeurs de commande de tension de base sont basées sur des variations d'amplitude d'ondes sinusoïdales.
Selon un quatorzième aspect de la présente invention, il est prévu un procédé pour commander l'activation d'une charge polyphasée. Le procédé comprend les étapes consistant à appliquer une tension de phase à la charge polyphasée par l'intermédiaire d'éléments de commutation dans un circuit principal formant onduleur, produire des valeurs de commande de tension de base respectivement pour des phases de la charge polyphasée, convertir les valeurs de commande de tension de phase respectivement en des valeurs de commande de tension finales, auquel cas pendant un intervalle de temps pendant lequel au moins deux des valeurs de commande de tension de base sont approximativement égales, les valeurs de commande de tension finales correspondant auxdites deux valeurs de commande de tension de base sont égales à un maximum ou à un minimum, soumettre une onde porteuse à une modulation d'impulsions en durée en réponse aux valeurs de commande de tension finales pour produire des signaux de commande de commutation, et délivrer les signaux de commande de commutation aux éléments de commutation présents dans le circuit principal formant onduleur.
Selon un quinzième aspect de la présente invention, qui est basé sur le quatorzième aspect de l'invention, il est prévu un procédé qui comprend en outre l'étape consistant à rendre au moins l'une des valeurs de commande de tension finales, qui a une phase différente de phases formant l'objet de conversion, égale à une moyenne de tensions entre lignes avec les valeurs de commande de tension de base des phases faisant l'objet de la conversion.
Selon un seizième aspect de la présente invention, qui est basé sur le quatorzième aspect de l'invention, il est prévu un procédé, selon lequel la charge polyphasée comprend un moteur à courant alternatif polyphasé.
Selon un dix-septième aspect de la présente invention, qui est basé sur le seizième aspect de l'inven tion, il est prévu un procédé, selon lequel le moteur à courant alternatif polyphasé comprend un moteur à courant alternatif triphasé.
Selon un dix-huitième aspect de la présente invention, il est prévu un procédé pour commander l'activation d'une charge polyphasée. Ce procédé comprend les étapes consistant à appliquer une tension de phase à la charge polyphasée par l'intermédiaire d'éléments de commutation dans un circuit principal formant onduleur, produire des valeurs de commande de tension de base respectivement pour des phases de la charge polyphasée, convertir les valeurs de commande de tension de base délivrées par les moyens de sortie de valeurs de commande respectivement en des valeurs de commande de tension finales, un intervalle de temps, pour lequel au moins deux des valeurs de commande de tension de base sont approximativement égales entre elles, incluant une alternance de premiers intervalles de temps de conversion et de seconds intervalles de temps de conversion, auquel cas pendant chacun des premiers intervalles de temps de conversion, les valeurs de commande de tension finales correspondant auxdites deux valeurs de commande de tension de base sont égales à un maximum ou à un minimum, et pendant chacun des seconds intervalles de temps, seule l'une des valeurs de commande de tension finales correspondant auxdites deux valeurs de commande de tension de base est égale au maximum ou au minimum, soumettre une onde porteuse à une modulation d'impulsions en durée en réponse aux valeurs de commande de tension finales pour produire des signaux de commande de commutation, et envoyer les signaux de commande de commutation aux éléments de commutation dans le circuit principal formant onduleur. Selon un dix-neuvième aspect de la présente invention, qui est basé sur le dix-huitième aspect de l'invention, il est prévu un procédé qui comprend l'étape consistant à régler une période d'alternance des premiers intervalles de temps de conversion et des seconds intervalles de temps de conversion sur un nombre entier de périodes de l'onde porteuse.
Selon un vingtième aspect de la présente invention, qui est basé sur le dix-neuvième aspect de l'invention, il est prévu un procédé selon lequel, pendant chacun des seconds intervalles de temps, seule l'une desdites valeurs de commande de tension finales correspond à l'une des valeurs de commande de tension de base, qui est maximale dans la tension entre lignes avec une autre des valeurs de commande de tension de base.
Selon un vingt-et-unième aspect de la présente invention, qui est basé sur le dix-neuvième aspect de cette dernière, il est prévu un procédé qui comprend en outre des étapes consistant à régler une longueur des seconds intervalles de conversion sur un nombre réel positif correspondant à "n" fois une longueur des premiers intervalles de temps de conversion, soumettre, pendant chacun des premiers intervalles de temps de conversion, au moins l'une desdites valeurs de commande de tension finales, qui a une phase différente de phases formant l'objet de la conversion, à un décalage de niveau de manière à maintenir une tension entre lignes avec la valeur de tension de commande d'une phase faisant l'objet de la conversion dans chacun des seconds intervalles de temps de conversion, et soumettre, pendant chacun des seconds intervalles de temps de conversion, l'une des valeurs de commande de tension finales, qui est celle d'une phase faisant l'objet de la conversion, uniquement pour chacun des premiers intervalles de temps de conversion à un décalage de niveau pour multiplier par (1+1;n) une tension entre lignes avec la valeur de commande de tension de base d'une phase faisant l'objet de la conversion dans chacun des seconds intervalles de conversion.
Selon un vingt-deuxième aspect de la présente invention, qui est basé sur le vingt-et-unième aspect de l'invention, il est prévu un procédé comprenant en outre l'étape consistant à régler le nombre réel positif "n" sur 1.
Selon un vingt-troisième aspect de la présente invention, qui est basé sur le dix-huitième aspect de l'invention, il est prévu un procédé comprenant en outre l'étape consistant à accroître une longueur des seconds intervalles de temps de conversion par rapport aux premiers intervalles de temps de conversion, lorsqu'une différence entre les valeurs de commande de la tension de base des phases faisant l'objet de la conversion dans les premiers intervalles de temps de conversion augmente.
Selon un vingt-quatrième aspect de la présente invention, qui est basé sur le dix-huitième aspect de l'invention, il est prévu un procédé selon lequel la charge polyphasée comprend une charge triphasée.
Selon un vingt-cinquième aspect de la présente invention, il est prévu un procédé pour commander l'activation d'une charge polyphasée. Ce procédé comprend les étapes consistant à appliquer des tensions de phase à la charge polyphasée par l'intermédiaire d'éléments de commutation situés dans un circuit principal formant onduleur, produire les valeurs de commande de tension de base respectivement pour des phases de la charge polyphasée, comparer les valeurs de commande de tension de base, convertir les valeurs de commande de tension de base respectivement en des valeurs de commande de tension finales en réponse à des résultats de ladite comparaison, auquel cas pendant un intervalle de temps spécifié incluant un instant auquel au moins deux des valeurs de commande de tension de base sont égales, les valeurs de commande de tension finales correspondant auxdites valeurs de commande tension de base sont égales à un maximum ou un minimum, soumettre une onde porteuse à une modulation d'impulsions en durée en réponse aux valeurs de commande de tension finales pour produire des signaux de commande de commutation, et délivrer les signaux de commande de commutation aux éléments de commutation présents dans le circuit principal formant onduleur.
Selon un vingt-sixième aspect de la présente invention, qui est basé sur le quatorzième aspect de 'invention, et fournit un procédé selon lequel les valeurs de commande de tension de base sont basées sur des variations d'amplitude d'ondes sinusoïdales.