REVENDICATIONS 1. Procédé de génération d'un brouillard (23) composé de gouttelettes d'un liquide (4), ce procédé étant caractérisé en ce qu'on pressurise le liquide (4) et l'on injecte le liquide ainsi pressurisé dans une buse (10) dont le diamètre est compris entre 20 um et 2 mm, cette buse débouchant dans une zone où la pression est égale ou inférieure à 10-2 Pa, et l'on engendre ainsi, dans la zone, à la sortie de la buse (10), un brouillard dense (23) de gouttelettes du liquide dont les tailles sont environ égales ou inférieures à 10 um, ce brouillard dense, étant sensiblement localisé sur l'axe (X) de la buse. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on chauffe la buse (10). 3. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, dans lequel on focalise en outre un faisceau laser (36) sur le brouillard dense (23) ainsi obtenu, ce faisceau laser étant apte à interagir avec ce brouillard dense pour engendrer une lumière (42) dans le domaine extrême ultraviolet. 4. Procédé selon la revendication 3, dans lequel on focalise le faisceau laser (36) sur le brouillard dense (23), à une distance (D) de la buse (10) égale ou supérieure à 5 mm. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 3 et 4, dans lequel on utilise la lumière (42) engendrée dans le domaine extrême ultraviolet pour l'insolation d'un substrat (48) sur lequel est déposée une couche (50) de résine photosensible. 6. Dispositif de génération d'un brouillard (23) composé de gouttelettes d'un liquide (4), ce dispositif (A) étant caractérisé en ce qu'il comprend : - un réservoir (2) destiné à contenir le liquide (4), - des moyens (6) de pressurisation du liquide contenu dans le réservoir, - une buse (10) dont le diamètre est compris entre 20 um et 2 mm et qui est reliée au réservoir, - une chambre à vide (20) contenant la buse, et - des moyens (22) de pompage pour établir dans cette chambre à vide une pression environ égale ou inférieure à 10-2 Pa, pour engendrer ainsi, dans la chambre à vide (20), à la sortie de la buse (10), un brouillard dense (23) de gouttelettes du liquide dont les tailles sont environ égales ou inférieures à 10 m, ce brouillard dense étant sensiblement localisé sur l'axe (X) de la buse. 7. Dispositif selon la revendication 6, comprenant en outre des moyens (24) de chauffage de la buse (10). 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 6 et 7, dans lequel les moyens de pressurisation comprennent des moyens (6) d'injection d'un gaz sous pression dans le réservoir (2). 9. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, dans lequel la buse (10) est munie de moyens (30) de pulsation pour produire le brouillard dense sous forme pulsée. 10. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 6 à 9, dans lequel le liquide (4) est de l'eau. 11. Source de lumière dans le domaine extrême ultraviolet, cette source comprenant : - le dispositif (A) selon l'une quelconque des revendications 6 à 10, - des moyens (34) de génération d'un faisceau laser (36) apte à interagir avec le brouillard dense (23) engendré grâce au dispositif, et - des moyens (38) de focalisation du faisceau laser sur ce brouillard dense. 12. Appareil de lithographie de substrats semiconducteurs, cet appareil comprenant : - des moyens (46) de support d'un substrat semiconducteur (48) sur lequel est déposée une couche (50) de résine photosensible qui est destinée à être insolée suivant un motif déterminé, - un masque (52) comprenant le motif déterminé sous une forme agrandie, - une source (44) de lumière dans le domaine extrême ultraviolet, - des moyens optiques (54) de transmission de la lumière au masque, ce dernier fournissant une image du motif sous forme agrandie, et - des moyens optiques (56) de réduction de cette image et de projection de l'image réduite sur la couche de résine photosensible, appareil dans lequel la source est conforme à la revendication 11.