INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Le composé vinylique peut être également un sel de dialkyldiallylammonium tel que le chlorure de diéthyldiallylammonium. Les copolymères d'acide acrylique et de ce dernier monomère sont proposés sous les appelations MERQUAT 280, MERQUAT 295 et MERQUAT PLUS 3330 par la société CALGON.
(2) Les polymères comportant des motifs dérivant : a) d'au moins un monomère choisi parmi les acrylamides ou les méthacrylamides substitués sur l'azote par un radical alkyle, b) d'au moins un comonomère acide contenant un ou plusieurs groupements carboxyliques réactifs, et c) d'au moins un comonomère basique tel que des esters à substituants amine primaire, secondaire, tertiaire et quaternaire des acides acrylique et méthacrylique et le produit de quaternisation du méthacrylate de diméthylamino- éthyle avec le sulfate de diméthyle ou diéthyle.
Les acrylamides ou méthacrylamides N-substitués plus particulièrement préférés selon l'invention sont les groupements dont les radicaux alkyle contiennent de 2 à 12 atomes de carbone et plus particulièrement le N-éthylacrylamide, le Ntertiobutyl-acrylamide, le N-tertiooctyl-acrylamide, le N-octylacrylamide, le Ndécylacrylamide, le N-dodécylacrylamide ainsi que les méthacrylamides correspondants.
Les comonomères acides sont choisis plus particulièrement parmi les acides acrylique, méthacrylique, crotonique, itaconique, maléique, fumarique ainsi que les monoesters d'alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone des acides ou des anhydrides maléique ou fumarique.
Dans un autre mode de réalisation, l'élément dioptrique constitue plusieurs lentilles Fresnel moulées en une seule pièce avec un support.
L'invention concerne aussi l'application d'une matière plastique transparente à la réalisation d'un élément dioptrique pour dispositif optique d'éclairage qui comporte corps transparent, le procédé étant du type qui comprend le formage du corps de l'élément dioptrique à l'aide de la matière plastique transparente. Selon l'invention, procédé comporte en outre la sélection, pour le formage du corps de l'élément dioptrique, d'une matière plastique transparente qui possède les propriétés suivantes : une transmission au moins égale à 90 % déterminée sur une épaisseur de 3 mm dans le spectre visible, une température de ramollissement Vicat B supérieure ou égale à environ 150 C, et une constringence au moins égale à 40.
Dans un mode d'exécution, le formage du corps de l'élément dioptrique comprend une opération de moulage par injection. Dans un autre mode d'exécution, le formage du corps de l'élément dioptrique comprend une opération de moulage par injection-compression. De préférence, cette opération de moulage par injection-compression comprend la fabrication d'un moule ayant une cavité de moulage correspondant à la forme voulue pour l'élément dioptrique, la fermeture du moule, l'injection de la matière plastique transparente dans le volume du moule, la compression de la matière plastique transparente contenue dans moule, puis l'ouverture du moule et l'éjection de l'élément moulé.
Dans ce dernier mode d'exécution, il est préférable que l'injection de matière plastique transparente soit effectuée dans le volume du moule en quantité comprise entre 1,4 et 1,8 fois la quantité nécessaire pour la réalisation de l'élément dioptrique. De préférence, la compression effectuée par fermeture du moule.
Sur les dessins annexés - la figure 1 est une partielle schématique en perspective du principe d'un projecteur selon l'invention - la figure 2 est une vue en coupe dans un plan vertical du projecteur de la figure 1, - la figure 3 est une de face de l'extrémité du conduit de lumière du projecteur des figures 1 et 2, - la figure 4 est schématique d'une lame transparente inclinée de sorte que sa face avant de sortie de lumière ne soit plus verticale, - la figure 5 une vue schématique en perspective d'une réalisation pratique du projecteur, et - la figure 6 est une vue de dessus en perspective de la platine de montage sur laquelle sont positionnées la pièce de maintien et les lames transparentes superposées du projecteur de la figure 5.
Ce projecteur comprend une source lumineuse réelle, des moyens pour concentrer le rayonnement lumineux issu de cette source sur l'extrémité d'un conduit lumière comportant une pluralité de lames transparentes juxtaposées selon au moins une direction, chaque lame transparente s'étendant selon l'axe longitudinal du conduit de lumière et comportant, au moins à son extrémité la plus éloignée de la source lumineuse réelle, une facette de réflexion oblique, lesdites facettes constituant autant de sources lumineuses virtuelles et étant disposées de manière à coopérer optiquement avec des éléments dioptriques d'axe parallèle ' la direction d'éclairement pour que ceux-ci projettent dans cette direction des images correspondant aux facettes de façon à constituer un ensemble de faisceaux élémentaires venant se fondre dans un faisceau unique.
En référence aux figures 1 à 4, on décrit tout d'abord de façon générale le principe du projecteur selon l'invention, puis en référence aux figures 5 et 6, une réalisation pratique d'un tel projecteur.
Sur les figures 1 à 3 de la présente demande de brevet, on représenté un projecteur de véhicule automobile qui comprend une source lumineuse réelle 101 et moyens 102 pour concentrer le rayonnement lumineux issu de cette source sur l'extrémité d'un conduit de lumière 200.
Le flux lumineux issu de la source lumineuse réelle 101 réfléchi par le réflecteur elliptique 102 selon un ensemble de rayons qui converge vers la zone focale du deuxième foyer dudit réflecteur elliptique.
On pourra prévoir que le réflecteur elliptique 102 soit muni d'une ouverture (ici non représentée) constituant une fenêtre de lumière laissant passer directement les rayons issus de la source lumineuse réelle. Dans l'axe du réflecteur elliptique 102 s'étend le conduit de lumière 200.
Ce conduit de lumière 200 comporte une pluralité de lames transparentes, de différentes longueurs, juxtaposées selon au moins une direction chaque lame transparente s'étendant suivant l'axe longitudinal du conduit de lumière 200 et sensiblement transversalement à la direction d'éclairement E.
Dans cet exemple de réalisation, l'axe longitudinal conduit de lumière étend horizontalement.
Ceci est schématiquement illustré par la figure 4 où l'on voit une cible solide de faible épaisseur (par exemple 1 gm) sous forme d' ruban fixé à un support souple 44 qui est par exemple en matière plastique et pourvu d'une ouverture longitudinale 46 pour laisser passer le faisceau focalisé 34. L'ensemble cible-support forme un ruban composite souple qui est déroulé à partir d'une première bobine 48 et s'enroule sur une deuxième bobine 50 susceptible d'être mise en rotation par des moyens appropriés (non représentés), ce qui permet de déplacer la cible en regard du faisceau laser focalisé dont les impulsions atteignent successivement différentes zones de la cible. On peut alors considérer qu'on a plusieurs cibles assemblées les unes aux autres.
Dans une variante (non représentée), on peut encore utiliser un ruban souple en matière plastique en tant que support de cible et fixer plusieurs cibles à intervalles réguliers sur ce support, une ouverture étant alors prévue dans le support en regard de chaque cible pour laisser passer le faisceau focalisé.
De préférence, au lieu d'un ruban en matière plastique, on utilise, en tant que support de cible, un ruban 52 (figure 5) par exemple en cuivre, en argent, en étain, en samarium ou en rhénium, apte à absorber le ou les rayonnements émis par la face avant de la cible 42 sous l'impact du faisceau focalisé 34 et à réémettre ce ou ces rayonnements en direction de cette cible (qui est mobile avec le ruban 52). Ce ruban 52 a par exemple une épaisseur de l'ordre de 5 um à 10 j.im.
L'ouverture longitudinale permettant le passage du faisceau laser 34 qui est focalisé sur la cible peut être délimitée par deux parois 54 et 56 sensiblement parallèles l'une à l'autre et sensiblement perpendiculaires à la cible comme on le voit sur la figure Cependant, pour une meilleure absorption du ou des rayonnements émis par la face avant de la cible et une meilleure réémission de ceux-ci vers la cible, il est préférable que les deux parois délimitant l'ouverture aillent en s'écartant l'une de l'autre vers la cible comme on le voit sur la figure 6 où ces deux parois les références 55 et 57.
Dans un autre exemple schématiquement représenté sur la figure 7 la cible 42 est fixée à un support mobile 44 du genre de celui qui a été décrit en faisant référence à la figure 4. De plus, dans l'exemple de la figure 7, la source de rayonnement EUV comprend une pièce 58 fixe par rapport au faisceau laser focalisé 34 et disposée en regard de la face avant la cible.
Cette pièce comprend une ouverture permettant le passage du faisceau laser que l'on focalise sur cette face avant de la cible et l'ouverture dont est pourvue cette pièce va en s'évasant vers la cible et comprend donc deux parois 60 et 62 inclinées par rapport à cette cible et allant en s'éloignant l'une de l'autre vers la cible.
Le ou les rayonnements 64 émis par la face avant la cible 42 sont alors absorbés ces parois 60 et et réémis en direction de la face avant de la cible.
Le rayonnement EUV 36 émis la face arrière la cible est ainsi plus intense. Avant de décrire un exemple de miroir multicouches utilisable dans l'invention, on revient sur un miroir multicouches connu, destiné à réfléchir des rayonnements du domaine extrême ultraviolet, en faisant référence à la figure 8.
Ce miroir multicouches connu comprend un substrat 64 par exemple en silicium et, sur ce substrat 64 un empilement de couches 66 d'un premier matériau et de couches 68 d'un deuxième matériau qui alternent avec les couches du premier matériau.
Ce premier matériau (par exemple le molybdène) a un numéro atomique supérieur à celui du deuxième matériau (par exemple le silicium).
Les premières et deuxièmes couches coopèrent pour réfléchir les rayonnements du domaine extrême ultraviolet dans un intervalle longueurs d'onde centré sur une longueur d'onde déterminée.
L'empilement a une surface libre 70 sur laquelle arrivent les rayonnements 40 l'on veut réfléchir.
Dans ce miroir multicouches connu, l'épaisseur d des paires de couches acentes de l'empilement est constante. Cette épaisseur s'appelle la distance inter-réticulaire .
On note 6 l'angle d'attaque d'un rayonnement 40 que l'on veut réfléchir. angle est le complémentaire de l'angle d'incidence de ce rayonnement. En outre on note X la longueur d'onde du rayonnement réfléchi et k l'ordre de réflexion.
L'alternance des couches premier matériau, ou matériau lourd, et des couches deuxième matériau, ou matériau léger, induit une variation périodique de l'indice optique en fonction l'épaisseur. Cette variation permet de réfléchir selectivement les rayonnements incidents.
En effet, si une onde électromagnétique frappe un grand nombre de couches réfléchissantes équidistantes, les interférences sont partout destructives dans la direction des ondes réfléchies sauf si la différence de marche est égale à un nombre entier de longueurs d'onde.
ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE On connaît principalement deux techniques de production d'un rayonnement EUV intense. E1 reposent toutes deux sur la collection des photons produits, grâce au processus microscopique d'émission spontanée, par un plasma chaud et peu dense qui est engendré au moyen d'un laser. La première technique utilise un de xénon irradié par un laser YAG dont la puissance est voisine de 1 kW. En effet, lorsque la nature du et les conditions de détente dans le vide ( vacuum ) sont bien choisies, il se crée naturellement dans le jet, par interaction à plusieurs corps, des agrégats ( clusters ). Ce sont des macro-particules qui peuvent contenir jusqu'à un million d'atomes et présentent une densité suffisamment élevée (environ un dixième de la densité du solide) pour absorber le faisceau laser et chauffer ainsi les atomes du gaz environnant qui peuvent alors, par fluorescence, émettre des photons.
La deuxième technique utilise la couronne d'un plasma de numéro atomique élevé, obtenu par interaction d'un faisceau laser, qui provient laser KrF et dont l'intensité est voisine de 1012 W/cm2 et d'une cible solide de forte épaisseur (au moins 1M).
Le faisceau laser est focalisé sur une face cette cible, appelée face avant et l'on utilise le rayonnement EUV émis par cette face avant et engendré par interaction du faisceau laser et du matériau de la cible.
Que l'on utilise la première ou la deuxième technique, le rayonnement EUV obtenu comprend un spectre continu en énergie et d'intenses raies d'émission.
Les sources de rayonnements EUV qui mettent en oeuvre la première ou la deuxième technique présentent les inconvénients suivants. Ces sources ont une émission isotrope, présentant donc une grande divergence angulaire, et le spectre du rayonnement EUV émis comporte des raies de faible largeur spectrale.
A chaque source, il faut alors associer moyens optiques de collection complexes, permettant de récupérer le maximum du large domaine angulaire d'émission de la source.
Ces moyens optiques formés à partir de miroirs multicouches, doivent être réalisés de façon que leurs réponses spectrales soient centrées sur la raie d'émission choisie pour l'insolation d'un échantillon, en limitant au mieux la perte d'intensité due aux multiples réflexions sur les miroirs multicouches.
Un exemple connu de dispositif de lithographie utilisant des rayonnements EUV, dont les longueurs d'onde se situent par exemple aux environs de 10 nm à 14 nm, est schématiquement représenté sur figures 1 et 2. Un tel dispositif est également appelé dispositif de lithographie EUV .
Ce dispositif connu est destiné à insoler échantillon E. I1 s'agit en général d'un substrat semiconducteur 2 (par exemple en silicium) sur lequel t déposée une couche de résine photosensible ( photoresist layer ) 3 et l'on veut insoler cette couche suivant un motif ( pattern ) déterminé.
Après insolation de la couche 3, développe cette dernière et l'on peut alors graver ( etch ) le substrat 2 suivant le motif.
Le dispositif des figures 1 et 2 comprend - un support 4 de l'échantillon, - un masque 5 comprenant le motif déterminé sous une forme agrandie, - une source 6 de rayonnement dans le domaine extrême ultraviolet (figure 2), des moyens optiques 7 de cdllection et transmission du rayonnement au masque 5, ce dernier fournissant une image du motif sous forme agrandie et des moyens optiques 8 de réduction de cette image et de projection de l'image réduite sur la couche de résine photosensible (choisie de façon à être sensible au rayonnement incident).
La source connue 6 de rayonnement comprend des moyens de formation d'un jet J d'agrégats ( clusters ) de xénon. Seule la buse 9 que comprennent ces moyens de formation est représentée sur la figure 2.
La source comprend aussi un laser (non représenté) dont le faisceau F est focalisé en un point S du jet J par des moyens optiques de focalisation 10. L'interaction de ce faisceau F et des agrégats de xénon engendre le rayonnement EUV référencé R.
Le point S est visible sur la figure 1 (mais pas la buse ni le jet d'agrégats de xénon).
Parmi les moyens optiques 7 de collection et de transmission du dispositif se trouve un collecteur optique 11 pourvu d'une ouverture centrale 12 pour laisser passer le faisceau laser focalisé F.
Ce collecteur optique 11 est placé en regard du jet d'agrégats de xénon et destiné à collecter une partie du rayonnement EUV émis par les agrégats de xénon et à transmettre rayonnement collecté 13 vers d'autres composants optiques faisant également partie des moyens optiques 7 de lection et de transmission.
Selon une autre caractéristique avantageuse de l'invention, la donnée de sensibilité est obtenue lors de tests réalisés de préférence sur le site de fabrication dans le cas de la mesure de la vitesse de circulation d'un fluide circulant à une vitesse connue.
Selon une autre caractéristique avantageuse, la donnée de correction du signal comprend au moins la valeur de l'angle du faisceau Doppler émis par le transducteur Doppler par rapport à l'axe de la sonde, de sorte que la valeur de vitesse tient compte de cette valeur d'angle effective de travail du faisceau du transducteur Doppler, effectivement monté sur la sonde.
Selon une autre caractéristique avantageuse de l'invention, la donnée de sensibilité comprend au moins une moyenne de plusieurs mesures de sensibilité obtenues avec le nombre correspondant d'utilisations du transducteur Doppler, chaque mesure de sensibilité résultant de l'amplitude du signal reçu sur le transducteur.
Selon une autre caractéristique avantageuse de l'invention, la centrale de calcul et de commande du transducteur calcule en permanence la moyenne de plusieurs mesures de sensibilité dernièrement calculées et les compare avec la moyenne de sensibilité initialement introduite comme données de sensibilité dans la mémoire programmable et au-delà d'un certain décalage par rapport à la mesure de sensibilité initiale programmée, émet un signal à destination de l'utilisateur pour l'informer d'une perte de sensibilité, grâce au moyen d'émission de signal précité.
Selon une autre caracténistique avantageuse de l'invention, le dispositif précité comprend encore un transducteur complémentaire travaillant en combinaison avec le transducteur Doppler, ce transducteur étant, par exemple, destiné à mesurer le diamètre d'un conduit dans lequel le fluide précité circule, de préférence, la mémoire programmable précitée contient aussi au moins une donnée de sensibilité de ce transducteur complémentaire, afin de vérifier sa sensibilité au cours du temps et d'émettre aussi un signal à destination de l'utilisateur dans le cas de perte de sensibilité par l'intermédiaire des moyens d'émission de signal précités.
On comprend ainsi que grâce à l'invention, on obtient tous les avantages précédemment indiqués.
D'autres buts, caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront clairement à partir d'un mode de réalisation actuellement préféré de l'invention donné simplement à titre d'illustration et qui ne saurait donc en aucune façon limiter la portée de l'invention. Dans les dessins : - la figure 1 représente une sonde comprenant un transducteur Doppler conforme à la figure 1 du brevet US 5,479,928, mais modifiée pour incorporer une mémoire programmable selon la présente invention, et selon une coupe en élévation, cette sonde étant représentée, conformément à la figure 1 du brevet US 5,479,928 en position opératoire dans l'oesophage en regard d'une conduit sanguin, ici - l'aorte la figure 10 ; 2 représente schématiquement l'opération de calibrage de la sonde de la figure 1 incorporant la mémoire programmable selon l'invention pour déterrniner les caractéristiques du transducteur Doppler effectivement monté sur la sonde , et _ la figure 3 représente une courbe d'étalonnage obtenue lors des essais réalisés sur le site de fabrication pour étalonner le transducteur Doppler 4, avec l'appareillage de la figure 2.
Exemple préféré de réalisation de l'invention En référence à la figure 1 qui reprend la figure 1 avec essentiellement les mêmes numéros de référence du US-A-5,479,928 FR-A-2 695 999 = EP-A-0 595 666, on fabrique, de manière connue, une sonde 1 en forme de cathéter, de mesure de la vitesse de circulation d'un fluide F, par exemple et de préférence destinée à mesurer la vitesse de circulation du sang dans l'aorte 10, cette sonde 1 comprenant un transducteur Doppler 4 à faisceau large 4a et étant, par exemple, du type décrit dans le brevet US-A-5,479,928 FR-A-2- 695 999 = EP-A-0 595 666 auquel l'homme de l'art pourra se reporter.
Ce transducteur Doppler 4 est prévu, dans cet exemple préféré, à la fabrication pour présenter un angle d'inclinaison de son faisceau ultrasonore de 60' par rapport à l'axe longitudinal x-x de la sonde 1. incidemment, et de préférence, ce transducteur Doppler 4 fonctionne en combinaison avec un transducteur complémentaire 5, par exemple et de préférence dans le cadre d'une mesure de la vitesse de circulation du sang dans un conduit sanguin, ici l'aorte 10, un transducteur à faisceau étroit 5a tel que décrit dans le document US-A-5,479,928, qui est disposé parallèlement à l'axe longitudinal de la sonde pour avoir son faisceau ultrasonore disposé perpendiculairement à l'axe longitudinal de la sonde, afin de mesurer le diamètre, donc la section S, du conduit 10 dans lequel circule le fluide F dont la vitesse doit être mesurée, comme décrit dans les documents ci-dessus indiqués, et comme cela est connu par ailleurs de l'homme de l'art notamment à partir de ces documents.
Les autres repères de la figure 1, qui sont identiques à ceux de la figure 1 de US-A-5,479,928 FR-A-2 695 999 = EP-A60 595 666 ont la signi ication suivante : le numéro de référence 1 représente la partie externe de la sonde en forme de cathéter qui, en position montée dans un conduit, ici l'oesophage 13, en regard d'un conduit sanguin, ici l'aorte 10, sera en position fixe après avoir gonflée le ballonnet gonflable 6 comme cela est connu de l'homme de l'art.
La sonde formant cathéter 1 comprend à l'intérieur un flexible 2 qui est relié par l'une de ses extrémités au bloc support 3 sur lequel sont montés les transducteurs ultrasonores 4 et 5. Les transducteurs 4, 5 sont reliés à un câble électrique 7 placé dans la sonde 1 à son extrémité distale, et sortant à l'extérieur de la sonde 1 pour être connectés à une unité ou centrale de calcul et de commande des transducteurs ainsi que de traitement des signaux délivrés par ces derniers. L'extrémité externe du flexible 2, opposée de celle pourvue du bloc support 3, est reliée à un organe de manoeuvre 9, ici modifié selon la présente invention sous forme d'une poignet permettant une préhension assurant une rotation convenable du flexible 2 sur lui-même de manière à réaliser une rotation du bloc support 3 pour aboutir à une orientation convenable des faisceaux ultrasonores respectivement 4a et 5a des transducteurs 4 et 5 vis-à-vis du conduit 10 tel que l'aorte dans lequel on veut mesurer la vitesse de circulation du fluide F, ici le sang. La centrale de calcul et de commande 8 comprend, comme décrit dans US-A- 5,479,928 et ses équivalents, des moyens 14 reliés au transducteur 5 par une liaison 71 conçue pour déterminer l'amplitude des signaux reçus en échos par le transducteur à faisceau étroit 5. Les moyens de détermination 14 sont reliés à des moyens 15 conçus pour détecter les maximums de l'amplitude des signaux réfléchis. Des moyens 16 sont également prévus dans la centrale de commande de traitement 8 pour déterminer l'intervalle P2-P, qui circonscrit la section du conduit 10 en deux points extrêmes opposés par prise en compte uniquement des échos du transducteur 5 provenant de cet intervalle P2-PI. Les moyens 16 sont reliés au moyen 15 afin de déterrniner l'intervalle d,-dj correspondant aux deux points extrêmes du conduit, ici l'aorte 10, détectés à partir des maximums d'amplitude des échos relatifs aux signaux du transducteur 5. La connaissance de l'intervalle d2-dj pen-net de calculer la section S puisqu'il est connu considéré que le conduit 10, ici l'aorte, est de section circulaire. Les moyens 16, qui comprennent habituellement un ordinateur micro-ordinateur, pourvu des logiciels adéquats, tiennent aussi compte de l'angle d'inclinaison 0 entre les deux faisceaux 4a, 5a, montrés à la figure 1, connus en particulier par construction. Ces moyens 16 pilotent les moyens de sélection 17 reliés au transducteur 4 par une liaison 72. Ces moyens 17 permettent de sélectionner uniquement les échos des signaux de transducteur 4 qui sont obtenus dans une plage de temps de réponse correspondant à l'intervalle P2-Pi. Les moyens de section 17 sont reliés à des moyens de traitement classique de signal 19 assurant l'obtention d'un signal Doppler. Ces moyens de traitement 19 sont aussi connectés à des moyens 20 connus en soi, aptes à déterminer la vitesse moyenne spatiale V,, du fluide F, ici le sang, traversant la section S du conduit 10, ici l'aorte.