INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
entière de (X'- d i x 1)+1 et la partie entière de (Y'-dy 1)+1. Le calcul de grad Ix et de grad Iy consiste à lire, dans la mémoire stockant l'image précédente, les valeurs de luminance Ia , Ib , Ic , Id aux adresses correspondant aux abscisses et aux ordonnées ainsi défi nies, puis à calculer les composantes du grad_ent selon les formules (10) et (11).
La figure 4 représente 'Le cas où l'élément homolo gue H est centré sur un point h dont l'abscisse est une valeur entière et dont l'ordonnée est une valeur non entière, de telle façon que l'élément H est situé entre des éléments centrés sur des points a, f, b, c, e, d, et telle que le centre est situé sur le segment reliant e et f. Dans ce cas, les composantes du gradient et la valeur de luminance dans l'élément homologue sont calcu lées conformément aux formules suivantes dans lesquelles If et Ie sont les valeurs de luminance des éléments centrés sur les points f et e respective ment. Le point f a pour coordonnées respectivement
(X'- d i x 1) et la partie entière de (Y'-dyl 1). Le point e a pour coordonnées respectivement (X'- d i x 1) et la partie entière (Y'-dy 1)+1. Les @#aleurs de luminance If et Ie sont lues respectivement à des adresses de la mémoire stockant l'image précédente, correspondant. à ces coor données. La figure 5 représente le cas où l'élément homolo gue H est centré sur un point h ayant une ordonnée en tière et une abscisse non entière. L'élément H est en touré par des éléments de l'image précédente centrée sur des points a, , m, d, c, k. Le point k a des coordonnées
égales respectivement à la partie entière de (X'-dxi-1) et à (Y'-d#_1.). Le point m a des coordonées égales res pectivement à la partie entière de (X'-dxi-1)+1 et à (Y'-dy 1). Les composantes du gradient et la valeur de luminance dans l'élément H sont calculées selon les for mules suivantes dans lesquelles Ik et Im son" les valeurs de luminance des éléments de l'image précédente, centrée sur les points k et m respectivement, ces valeurs de luminance étant lues dans la mémoire stockant l'image précédente à des adresses correspondant respectivement aux coor données du point k et du point m.
La figure 6 représente le cas où l'élément homolo gue H a une abscisse et une ordonnée entières. Il est alors confondu avec un élément de l'image précédente qui est entouré par des éléments de l'image précédente res pectivement centrée sur des points a, f, b, m, d, e, c, k, ayant des coordonnées dort; la définition est la même que celles données précédemment. Les composantes du gra dient de luminance sont données par les formules sui vantes La valeur de luminance est obtenue tout simplement en lisant dans la mémoire stockant l'image cédente, la valeur de luminance de l'élément centré sur le point
de coordonnées (X'-dx 1,Y'-d 1). La seconde partie du procédé selon l'invention con siste à déterminer des coordonnées X et Y du centre du bloc homologue à chaque bloc d'observation pour lequel la première partie du procédé a fourni une estimation (dx,dy) valide de la translation élémentaire. Ces coor données sont calculées selon les fDrmules (6).
Soit N le nombre de blocs d'observation pour les quels l'estimation de la translation est valide. Le pro cédé consiste ensuite à reporter dans les équations (4) et (5) les valeurs X et Y ainsi obtenues, puis il con siste à résoudre par la méthode des moindres carrés le système de 2N équations à six inconnues, ainsi obtenu. Ce système peut se mettre sous la forme matricielle sui vante H = M x P (21) avec La résolution du système de 2N équations équivaut à la solution de l'équation matricielle (21 qui peut se mettre sous la forme suivante P - (M T . M) . MT . H (22) Le calcul de la matrice P selon cette formule (22) fournit la valeur des six paramètres a1 , a , a3 , a6 , a7 , a8 , caractérisant le mouvement entre l'image pré cédente et l'image courante.
Dans cet exemple, le nombre 2N d'équations du sys tème est égal au double du nombre de blocs d'observation pour lesquels l'estimation de la translation est jugée comme valide. Dans d'autres exemples de mise en oeuvre, le nombre d'équations peut être limité à une valeur in férieure au nombre de blocs d'observation, de façon à résoudre un système comportant toujours le même ;ombre d'équations, c'est-à-dire résoudre une équation matri cielle (22) comportant des matrices ayant des dimensions fixées et non pas variables en fonction de l'image cou rante considérée.
La figure 7 représente le schéma synoptique d'un exemple de réalisation du dispositif pour la mise en oeuvre de la première partie du procédé selon l'inven tion. Une borne d'entrée 20 de ce dispositif reçoit une suite de valeurs de luminance numérisées, fournies par une caméra de télévision, et un convertisseur analogique- numéri,ue classique. Pour chaque bloc d'observation, une borne de sortie 60 fournit des coordonnées (X'b,Y'b) permettant de repérer ce bloc dans l'image courante ; une borne de sortie 61 fournit un signal de validation indiquant que l'estimation (dx,dy)de la translation élémentaire du bloc d'observation considéré, est valide ; deux bornes de sortie, 62 et 63, fournissent la valeur des composantes dx et dy.
Le dispositif peut comprendre en outre des moyens de support auxquels sont fixées les cibles et qui sont aptes à laisser passer le faisceau laser en direction de ces cibles, les moyens de déplacement étant prévus pour déplacer ces moyens de support et donc les cibles.
Ces moyens de support peuvent être aptes à absorber des rayonnements émis par la première face de chaque cible qui reçoit le faisceau laser et réémettre ces rayonnements vers cette cible.
Selon un premier mode de réalisation particulier du dispositif objet de l'invention, moyens de support comprennent une ouverture en regard de chaque cible, cette ouverture étant délimitée par deux parois sensiblement parallèles l'une à l'autre et perpendiculaires à cette cible. Selon un deuxième mode de réalisation particulier, les moyens de support comprennent une ouverture en regard de chaque cible, cette ouverture etant délimitée par deux parois qui vont vers la cible s'écartant l'une de l'autre.
Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, le dispositif comprend en outre des moyens auxiliaires fixes qui sont aptes à laisser passer le faisceau laser en direction de la cible, à absorber le faisceau laser en direction de la cible, à absorber des rayonnements émis par la première face de cette cible et à réémettre ces rayonnements vers cette cible.
Selon un mode de réalisation préféré de l'invention, l'empilement que comporte chaque miroir multicouches est subdivisé en ensembles d'au moins une paire de première et deuxième couches l'épaisseur de ces ensembles est une fonction monotone de la profondeur dans l'empilement, cette profondeur étant comptée à partir de la surface libre de 'empilement.
Selon un-mode de réalisation particulier de l'invention, les accroissements d'épaisseur de ces ensembles forment une progression arithmetique.
De préférence, les première et deuxième couches de chaque ensemble ont sensiblement la même épaisseur.
A titre d'exemple, les premier et deuxième matériaux peuvent être respectivement le molybdène et le béryllium ou le molybdène et le silicium.
Le substrat peut être par exemple en silicium ou en germanium. De préférence, l'épaisseur du substrat est comprise dans l'intervalle allant d'environ 5 mm à environ 40 mm et l'épaisseur de l'empilement vaut environ 1 um.
Selon un mode de réalisation préféré de l'invention, chaque miroir multicouches est muni de moyens de refroidissement de ce miroir multicouches pour en réduire les déformations lors un éclairement par le rayonnement EUV.
De préférence, ces moyens de refroidissement sont prévus pour refroidir le miroir jusqu' une température environ égale à K.
On utilise par exemple des moyens de refroidissement du miroir par l'hélium liquide, le fréon, 'azote liquide ou un fluide de refroidissement caloporteur à basse température proche de 0 K.
L'échantillon que l'on veut insoler peut comprendre un substrat semiconducteur sur lequel est déposée une couche de résine photosensible qui est destinée à être insolée suivant le motif déterminé.
BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés ci-après, à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels # les figures 1 et 2 illustrent schématiquement un dispositif connu de lithographie EUV et ont déjà été décrites, # la figure 3 est une vue schématique d'un mode de réalisation particulier du dispositif de lithographie objet de l'invention, # la figure 4 est une vue en perspective schématique d'un ruban formant un ensemble de cibles qui sont utilisables dans l'invention, # les figures 5 et 6 sont des vues en perspectives schématiques et partielles de sources rayonnement EUV utilisables dans l'invention, # la figure 7 est une vue en perspective schématique et partielle d'une autre source rayonnement EUV utilisable dans l'invention, # la figure 8 est une vue en coupe schématique d'un miroir multicouches connu, # la figure 9 montre la courbe représentative variations du pouvoir réflecteur en fonction de 1 énergie pour ce miroir multicouches connu (courbe I) et pour un miroir multicouches utilisable dans l'invention (courbe II), # figure 10 est une vue en coupe schématique d'un mode de réalisation particulier d'un miroir multicouches utilisable dans l'invention, # la figure 11 illustre schématiquement courbure générale subie par un miroir multicouches soumis à un flux thermique important, # la figure 12 illustre schématiquement déformation locale subie par un miroir multicouches soumis à un flux thermique important, # la figure 13 montre la courbe représentative des variations de la conductivité thermique k (courbe I) et du coefficient dilatation thermique a (courbe II), pour silicium, en fonction de la température, # la figure 14 montre la courbe représentative des variations du rapport a/k en fonction de la température, et # la figure 15 est une vue schématique de moyens de refroidissement d'un miroir multicouches, qui sont utilisables dans l'invention.
EXPOSE DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Un plasma créé par interaction d'une cible solide et d'un faisceau laser comporte plusieurs zones. I1 y certes la zone d'interaction 'on appelle la couronne mais il y a aussi, de façon successive et simplifiée - une zone appelée zone de conduction où le faisceau laser ne pénètre pas et dont 'evolution est commandée par les conductions thermique, électronique et radiative, une partie des photons émis par les ions de la couronne étant émise en direction de la partie froide et dense de la cible, et - la zone d'absorption et de ré-émission où les photons d'énergies élevées, qui arrivent de la couronne ou de la zone de conduction, sont absorbés la matière dense et froide et contribuent ainsi au chauffage de cette matière et donc à l'émission de photons d'énergies inférieures. Ces derniers forment une onde radiative qui possède, dans le milieu, une direction privilégiée de propagation le long du gradient de température et qui peut, lorsque la cible n'est pas trop épaisse sortir de la cible par la face arrière de celle-ci, face qui est géométriquement opposée à celle ou le laser a interagi. L'efficacité de conversion en la face arrière (rapport entre l'énergie radiative, toutes longueurs d'onde comprises, à l'énergie laser incidente) peut être voisine de 30%.
Cette émission à partir de la face arrière de la cible se caractérise par une distribution spectrale très différente de celle de la face avant car les conditions de température et de densité des zones responsables de l'émission de photons sont très férentes. Le rayonnement émis possède naturellement distribution angulaire, même avec une cible parfaitement plane : ce rayonnement n'est pas isotrope.
Point de fusion : 146-148 C.
Le spectre infrarouge et le diffractogramme des rayons X sur poudre étaient identiques à ceux de l'exemple 3 .
Exemple 15 Du méthanesulfonate de paroxétine (1,06 g) a été ajouté à de l'acétate d'éthyle (70 ml) et la solution a été chauffée à la température du reflux, sous agitation. La solution a été refroidie à 18 C et ensemencée avec des cristaux de méthanesulfonate de paroxétine. Un précipité blanc de grands cristaux en aiguille (0,4 à 1 mm de longueur) s'est formé et a été séparé par filtration, lavé avec de l'acétate d'éthyle et séché dans un dessiccateur sous vide sur de l'anhydride phosphorique, ce qui a donné le méthanesulfonate de paroxétine cristallin. Quantité obtenue 0,92 g.
Point de fusion : 146-147 C.
Le spectre infrarouge et le diffractogramme des rayons X sur poudre étaient identiques à ceux de l'exemple 3.
Exemple 16 Du méthanesulfonate de paroxétine (1,11 g) a été ajouté à du toluène (4 ml) et la solution a été chauffée à la température du reflux, sous agitation. La solution résultante a été refroidie à 18 C et ensemencée avec des cristaux de méthanesulfonate de paroxétine. Un précipité blanc de cristaux en aiguille s'est formé et a été séparé par filtration, lavé avec du toluène et séché dans un dessiccateur sous vide sur de l'anhydride phosphorique, ce qui a donné le méthanesulfonate de paroxétine cristallin.
Exemple 17 Une solution (1,0 litre) dans le toluène, contenant de la paroxétine-base non purifiée (approximativement 225 g), a été introduite dans un réacteur purgé à l'azote et agitée à 20 C. Le récipient a été ensemencé avec du méthanesulfonate de paroxétine, puis une solution d'acide méthanesulfonique (70 g) dans du propane-2-ol (0,4 litre) a été ajoutée lentement en un temps de 50 minutes. Le méthanesulfonate de paroxétine a précipité sous forme d'une substance solide cristalline blanche au cours de l'addition et la temnérature à la fin de l'addition était égale à 29,6 C. La suspension a été agitée pendant un temps supplémentaire de 1 heure, pendant lequel la température a été abaissée à 22 C. Le produit a été séparé par filtration, lavé sur le filtre avec du propane-2-ol (2 x 0,4 litre) et séché dans une étuve sous vide à 40 C pendant 24 heures. Quantité obtenue : 230 g.
Exemple 18 Du méthanesulfonate de paroxétine (0,81 g) a été ajouté à de la méthyléthylcétone (10 ml) et le mélange a été chauffé à la température du reflux sous agitation pour la dissolution, puis a été refroidi à 18 C. Un précipité blanc de cristaux en aiguille s'est formé et a été séparé par filtration, lavé avec de la méthyléthylcétone et séché dans un dessiccateur sous vide sur de l'anhydride phosphorique, ce qui a donné le méthanesulfonate de paroxétine cristallin.
Exemple 19 Du méthanesulfonate de paroxétine (1,06 g) a été ajouté à du butane-1-ol (2 ml) et le mélange a été chauffé à la température du reflux sous agitation pour la dissolution, puis a été refroidi à 18 C. Un précipité blanc de cristaux en aiguille s'est formé et a été séparé par filtration, lavé avec de l'acétone et séché sous vide sur de l'anhyhride
phosphorique, ce qui a donné le méthanesulfonate de paroxétine cristallin.
Exemple 20 Du méthanesulfonate de paroxétine (1,05 g) a été ajouté à du tétrahydrofuranne (9 ml) et le mélange a été chauffé à la température du reflux sous agitation pour sa dissolution, puis a été refroidi à 18 C. Un précipité blanc de cristaux en aiguille s'est formé et a été séparé par filtration, lavé avec du tétrahydrofuranne et séché dans un dessiccateur sous vide sur de l'anhydride phosphorique, ce qui a donné le méthanesulfonate de paroxétine cristallin.
Exemple 21 Un mélange de méthanesulfonate de paroxétine (5,0 g) et de propane-2-ol (30 ml) a été agité et chauffé à 70 C pour produire une solution limpide. Puis la solution a été refroidie à une vitesse de 2 C par minute jusqu'à 55 C et a été ensuite ensemencée avec des cristaux de méthanesulfonate de paroxétine. Le mélange a été maintenu à cette température pendant 10 minutes, puis refroidi à 20 C en un temps de 35 minutes. La substance solide cristalline a été séparée par filtration, lavée avec du propane-2-ol (10 ml) et séchée à 40 C sous vide pendant 2 heures, ce qui a donné le méthanesulfonate de paroxétine en une quantité de 4,5 g.
En présence du couple d'amorces a1-a2 , la taille des produits PCR obtenus à partir de l'ADN cosmidique extrait de pools de 48 ou 96 clones était d'environ 700 bp, donc en accord avec les résultats attendus.
L'intensité des bandes obtenues était variable, mais une seule bande d'amplification était présente pour chaque pool d'ADN cible.
Dans ces conditions, 8 groupes d'ADN cible ont été détectés, correspondant à 9 clones positifs après déréplication.
Le criblage effectué avec le second couple d'amorces, b1-b2, a donné des résultats d'amplification moins spécifiques puisque de nombreuses bandes satellites étaient observées à côté de la bande de 700 bp. Néanmoins, 9 groupes d'ADN cible ont été détectés, correspondant à 14 clones positifs après déréplication à partir de ces clones positifs, l'ADN a
été extrait pour les étapes de séquençage et de transformation de .S. lividans.
Analyse des cosmides La digestion des cosmides identifiés par PCR avec l'enzyme Dral, reconnaissant un site riche en AT, libère un fragment supérieur à 23 kb (figure 22). Ceci suggère que la méthode PCR cible préférentiellement l'ADN du sol contenant un haut pourcentage en G+C. Ce résultat est la conséquence de la dégénérescence des amorces utilisées, biaisées en GC pour le choix des codons. Les inserts, comme attendu dans le cas de cosmides, ont une taille supérieure à 23 kb, sauf dans un cas ( clone a9B12), ce qui pourrait traduire une certaine instabilité des cosmides.
D'autre part, parmi tous les clones sélectionnés, seulement deux d'entre eux, GS.F1 et GS.G11, ont montré le même profil de restriction indiquant un faible taux de redondance dans la banque.
Les cosmides sélectionnés ont été transférés dans Streptomyces lividans par transformation de protoplastes en présence de PEG 1000.
L'efficacité de transformation varie entre 30 et 1000 transformants par g d'ADN cosmidique utilisé.
Séquençage et analyse phylogénétique des gènes PKS 1 du sol La méthode de PCR mise à point sur les souches pures a été utilisée comme décrite sur les cosmides de la banque et 24 clones ont ainsi été identifiés.
Les produits de PCR d'environ 700 bp obtenus à partir de l'ADN de deux pools (48 clones) et de 8 clones uniques, ont été clonés, après purification sur gel d'agarose , et séquences. Cela a permis l'identification de 11 séquences.
L'alignement des séquences protéiques déduites PKSs 1 du sol avec d'autres PKSs # présentes dans différents micro-organismes (figure 24) montre la présence d'une région très conservée qui correspond à la région consensus du site active de la b-kétoacyl synthétase.
L'analyse des séquences obtenues avec la méthode " Codonpreference " (Gribskov et al., 1984 ; Bibb et al., 1984) a révélé la présence d'un fort biais dans l'usage des codons riches en G+C dans une seule phase de lecture. Les protéines déduites selon cette phase de lecture montrent une forte similarité avec des KSs du type 1 connus ( programme Blast). En particulier, la similarité entre les séquences de KSs du sol et des KSs du cluster de l'érythromycine est d'environ 53%.
Après déréplication d'un pool et identification du clone unique, la séquence du produit PCR obtenu à partir de ce clone est identique à celle du pool ce qui confirme la fiabilité de la méthode utilisée.
L'analyse de la séquence du produit PCR d'un clone a permis l'identification probable de 3 gènes KSI différents. Une de ces séquences (SEQ ID N 34) a une similarité de 98,7% avec la séquence d'un autre pool, suggérant qu'elles codent pour la même enzyme. Les deux autres séquences sont différentes mais fortement homologues.
Ici, il est décrit pour la première fois le clonage et l'identification dans une banque d'ADN du sol de voies de biosynthèse de métabolites secondaires contenant des gènes codant des KS du type I.
Mesure de la viscosité intrinsèque des polymères isolés par précipitation de 10 g d'émulsion inverse dans 100 g d'acétone, le polymère étant ensuite repris dans 300 ml d'acétone pour conduire à une poudre qui est séchée 24h en étuve à 40 C.
0,5 g de copolymère est dissous dans 200 ml d'une solution aqueuse molaire de NaCI. Cette solution est rediluée plusieurs fois et les viscosités cinématiques correspondantes mesurées à chaque fois. La viscosité intrinsèque peut alors être déterminée.
EXEMPLES 1 2 3 Amorceur AZDN DMAB DEAB Taux de grains 3,7 % 0 % 0 % Viscosité intrinsèque (dg/l) 12,7 15 12,5 EXEMPLE 4 : La réaction est réalisée comme décrit précédemment en maintenant un palier de polymérisation à 45 C au lieu de 47 C et en utilisant comme amorceur le DMAB.
EXEMPLE 5 Amorceur DMAB ~~~~Taux de grains~~~~0 % Viscosité intrinsèque (dg/l) 17
DISPOSITIF OPTIQUE DE COMMANDE, EN PARTICULIER DE MISE EN FORME, D'UN FAISCEAU DE LUMIÈRE COHÉRENTE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un dispositif optique de commande, et en particulier, de mise en forme, d'un faisceau de lumière cohérente.
L'invention se situe dans le domaine de l'optique diffractive et, dans un mode de réalisation particulier, constitue un dispositif reconfigurable.
L'invention s'applique notamment à la mise en forme dynamique de faisceaux laser pour la génération d'images éventuellement holographiques ou l'obtention de signes graphiques tels que les logos pour le marquage d'objets.
ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE L'optique diffractive est une branche de l'optique dans laquelle on considère des composants optiques comportant des motifs ( patterns ) élémentaires dont les dimensions caractéristiques sont de l'ordre de grandeur de la longueur d'onde de la lumière avec laquelle on utilise ces composants.
La forme particulière de ces derniers (en général la forme de leur surface) leur confère des propriétés intéressantes comme, par exemple, dans le cas des réseaux de diffraction ( diffraction
gratings ) qui conduisent à une dispersion chromatique de la lumière.
Cette dispersion peut également être mise à profit dans le cas des lentilles diffractives pour compenser la dispersion chromatique.
Bien d'autres besoins peuvent être satisfaits par l'optique diffractive, comme la réalisation de microsystèmes optiques par intégration d'éléments de micro-optique.
Très généralement, on recherche .la modification de la forme d'un faisceau lumineux pour : - la mise au point contrôlée d'un dispositif optique, - la commande de faisceaux laser par exemple pour le marquage par laser ou la formation de signes tels que les logos, et - la génération d'hologrammes dynamiques.
Pour des questions d'efficacité de diffraction, les éléments d'optique diffractive sont souvent constitués par des objets de phase avec lesquels l'amplitude des ondelettes diffractées est conservée.
Ces éléments d'optique diffractive sont souvent conçus à l'aide de calculs itératifs sur ordinateur, en particulier dans le cas des hologrammes engendrés par ordinateur ( computer generated holograms ), et sont réalisés dans des matériaux (comme par exemple le silicium) qui peuvent être gravés ou dans des matériaux (comme par exemple certaines matières plastiques) qui peuvent être estampés ( embossed ).
Ces éléments d'optique diffractive sont fixes et, pour changer les conditions de diffraction, il faut changer ces éléments.
La relation entre les deux positions successives de chaque point 'un objet rigide représenté par les images étant représentée par deux équations à huit paramètres, il est possible de déterminer la valeur des huit para mètres à partir des coordonnées d'un certain nombre de points de l'objet dans une première image et des coor données des mêmes points de l'objet dans la seconde image.