INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
De plus, l'objectif Cassegrain possède un miroir central qui génère une zone d'ombre centrale qui provoque une perte sensible de l'énergie laser et limite ainsi l'énergie déposée ou réduit l'ouverture utilisée pour le laser si l'on travaille hors axe ( off axis ). En outre le miroir central génere aussi de la diffraction. Ces derniers points se traduisent par une perte de résolution.
La technique connue par le document [2] limite façon rédhibitoire les performances termes de résolution spatiale. Elle ne permet pas d'obtenir une résolution spatiale suffisante pour pouvoir être appliquee à la cartographie de pastilles du combustible MOX. EXPOSÉ L'INVENTION La présente invention a pour but de remédier aux inconvénients précédents et plus généralement de proposer un dispositif d'analyse élémentaire par SEOPPL susceptible d'avoir une haute résolution spatiale et de permettre une cadence de mesure élevée tout en dégradant au minimum l'état de surface de l'objet analysé.
Elle a pour objet un dispositif d'analyse élémentaire par spectrométrie d'émission optique sur plasma produit par laser, ce dispositif étant caractérisé en ce qu'il comprend - une source laser pulsée, - un diaphragme apte à sélectionner une partie du faisceau laser émis par la source, et éventuellement à délimiter la forme de l'impact du faisceau laser sur objet à analyser, ce faisceau laser n'etant pas focalisé dans le plan du diaphragme, - des premiers moyens optiques aptes à projeter à l'infini l'image du diaphragme, - des deuxièmes moyens optiques aptes à recevoir l'image du diaphragme projetée à l'infini les premiers moyens optiques et à la focaliser sur l' et à analyser de façon à produire un plasma sur la surface de cet objet, l'ensemble formé le diaphragme et les premiers et deuxièmes moyens optiques satisfaisant en outre aux conditions suivantes # l'image du diaphragme focalisée sur l'objet atteint la dimension voulue sur cet objet (cette dimension correspondant à la résolution spatiale recherchée et étant par exemple de l'ordre de 1 um à 10 um) # le point focal du faisceau laser, après traversée du diaphragme et des premiers et deuxièmes moyens optiques, est en dehors du plan image du diaphragme, - des moyens d'analyse d'un spectre du rayonnement lumineux émis par le plasma, et - des moyens de détermination, à partir de cette analyse de spectre, de la composition élémentaire de l'objet. La formation de l'image du diaphragme est entièrement régie par l'Optique géométrique.
Si l'on fait abstraction de l'énergie apportée par le faisceau laser, on constate que le diaphragme est un objet réel placé devant une optique, préférentiellement constituée de manière réfractive par une ou plusieurs lentilles.
Cette optique peut donc être conçue manière à projeter à l'infini l'image du diaphragme.
En revanche, le faisceau de lumière laser, qui ne se focalise pas dans le plan du diaphragme, sortira pas de cette optique en étant parfaitement parallèle. En conséquence, après avoir traversé les deuxiemes moyens optiques, ce faisceau ne se focalisera pas dans le plan de l'image du diaphragme.
On peut ainsi dire que le montage optique utilisé évite de faire coïncider le plan image diaphragme et le point focal du laser, ce qui permet maîtriser la taille d'interaction (résolution d'analyse). L'invention permet à la source laser de coopérer avec le diaphragme et les premiers deuxiemes moyens optiques pour créer, sur l'objet, une seule impulsion laser, un impact avec une puissance surfacique supérieure à 1 GW/cm2, cette puissance surfacique étant de préférence environ égale ou supérieure à 10 GW/cmz.
Selon un mode de réalisation préféré l'invention, les deuxièmes moyens optiques ont ouverture numérique environ égale ou supérieure à 0,1.
La taille de l'impact du faisceau laser sur l'obj peut être supérieure ou égale à 1 um.
Des électrons liés sont alors susceptibles d'être arrachés aux atomes, d'être accélérés par le champ électrique engendré par le laser et d'acquérir une énergie cinétique suffisante pour, à leur tour, arracher d'autres électrons liés. On crée ainsi des ions multichargés, la température du milieu augmente rapidement jusqu'à atteindre des valeurs extrêmes (plusieurs centaines de milliers voire plusieurs millions de degrés) et des processus microscopiques conduisant à l'émission de photons peuvent avoir lieu. En effet sous l'action du champ laser le milieu de transforme en plasma constitué d'ions multichargés, d'électrons et de photons.
A l'exception de conditions particulières de densité, de température et/ou de champ de rayonnement, les différentes espèces mentionnées ci- dessus ne sont pas à l'équilibre entre elles. On observe notamment cela dans la couronne d'un plasma qui correspond à la zone de détente où l'onde électromagnétique du laser se propage et interagit fortement avec le milieu. Cette couronne est caractérisée par une faible densité de matière (inférieure à 0,001 fois la densité du solide) et une température élevée. La probabilité qu'un photon émis dans la couronne y soit réabsorbé est extrêmement faible. Cette couronne est dite optiquement mince.
Les photons émis quittent le plasma et peuvent alors être utilisés à des fins diverses, par exemple pour un diagnostic des conditions thermodynamiques du milieu par spectroscopie ou pour une lithographie.
On revient sur les inconvénients des sources connues de rayonnement EUV.
Ces sources posent un problème d'efficacité : des conditions thermodynamiques (densité, température, nombre d'électrons libres) très variées se rencontrent dans la couronne d'un plasma engendré par laser aussi bien au cours du temps que dans l'espace. Le spectre caractéristique d'émission de rayonnement d'une couronne au voisinage de 10 nm est très complexe et comprend de nombreuses raies d'émission provenant d'émission atomique ou d'états de charge différents. Lorsque l'on sélectionne une raie bien précise avec une bande passante très étroite (de l'ordre de 2â), on constate qu'une grande partie de l'énergie émise par le plasma sous forme de rayonnement se trouve en dehors de cette bande passante et se trouve donc perdue.
L'efficacité (énergie EUV produite et utilisée /énergie laser utilisée) est par conséquent fortement réduite. De plus, un rayonnement parasite est émis de façon isotrope, en particulier dans l'angle solide de collection des photons utiles et donc vers les moyens optiques de collection de ces photons.
En ce qui concerne la collection du rayonnement EUV, l'émission de photons par un jet chaud étant isotrope, des moyens optiques de collection appropriés doivent être prévus. On utilise en général un collecteur optique en forme de parapluie, obtenu par juxtaposition de collecteurs optiques élémentaires (en général au nombre de six). Afin que son angle solide soit maximum, ce collecteur doit présenter une grande superficie et doit être placé le plus près possible du plasma qui émet le rayonnement EUV.
ceci est matériellement très difficile (notamment dans le cas d'une utilisation d'agrégats de xénon à cause de la présence d'une buse et d'un système de récupération du xénon) et cela pose aussi des problèmes en terme de durée de vie du collecteur et de la réalisation de ce dernier. I1 convient donc d'éloigner ce collecteur de la source de rayonnement EUV mais on diminue alors l'angle de collection (à moins de former un collecteur gigantesque dont le coût serait prohibitif). Il en résulte donc une perte d'efficacité. Les mêmes problèmes se posent dans le cas de l'utilisation d'une cible solide où le rayonnement EUV est émis par la face avant de cette cible. De plus, dans ce cas, la couronne de plasma engendrée par le laser possède, même pour un éclairement laser modéré, une très forte vitesse de détente (supérieure à 106 cm/s). Des particules de matière sont donc susceptibles de polluer et d'endommager les diverses optiques utilisées, d'où un risque de diminution des propriétés de réflexion de ces optiques et donc du nombre de photons qui parviennent à la couche de résine photosensible que l'on veut insoler. Il faut alors concevoir des dispositifs spécifiques, destinés à éliminer ces particules ou débris.
De plus, l'émission par fluorescence d'un plasma chaud et peu dense n'ayant pas de direction privilégiée, il faut insérer des moyens optiques spécifiques entre le collecteur et le masque afin de mettre spatialement en forme le champ d'irradiation. Ces moyens optiques spécifiques sont constitués de miroirs multicouches et conduisent donc à une perte de photons. Ils sont aussi une cause supplémentaire de coût et de difficulté d'alignement optique.
Une source de rayonnement EUV utilisant une cible solide épaisse, qui émet le rayonnement EUV par la face avant, face qui reçoit le faisceau laser focalisé, présente ainsi divers inconvénients, à savoir l'émission de débris et l'émission isotrope d'un rayonnement EUV ayant donc une grande divergence angulaire. Il en résulte en particulier qu'un dispositif de lithographie utilisant une telle source est peu efficace. EXPOSÉ DE L'INVENTION La présente invention a pour but de remédier aux inconvénients précédents en proposant une source de rayonnement EUV qui est anisotrope. Ce rayonnement EUV (par exemple destiné à être utilisé dans un dispositif de lithographie) est émis par la face arrière d'une cible solide d'épaisseur appropriée sur la face avant de laquelle est focalisé le faisceau laser.
Une telle source anisotrope permet d'augmenter la partie utile du faisceau de rayonnement EUV et de simplifier les moyens optiques de collection de ce rayonnement.
De façon précise, la présente invention a pour objet un procédé d'obtention de rayonnement extrême ultraviolet, procédé selon lequel on utilise au moins une cible solide, ayant des première et deuxième faces, cette cible étant apte à émettre un rayonnement extrême ultraviolet par interaction avec un faisceau laser, et on focalise le faisceau laser sur la première face de la cible, procédé caractérisé en ce que la cible est apte à émettre, de façon anisotrope, une partie du rayonnement extrême ultraviolet à partir de la deuxième face de cette cible, et en ce qu'on collecte et on transmet cette partie du rayonnement extrême ultraviolet en vue d'une utilisation de cette partie. L'invention a également pour objet une source de rayonnement extrême ultraviolet, cette source comprenant au moins une cible solide, ayant des première et deuxième faces, cette cible étant apte à émettre un rayonnement extrême ultraviolet par interaction avec un faisceau laser focalisé sur la première face de la cible, cette source étant caractérisée en ce que la cible est apte à émettre, de façon anisotrope, une partie du rayonnement extrême ultraviolet à partir de la deuxième face de cette cible, cette partie du rayonnement extrême ultraviolet étant collectée et transmise en vue d'une utilisation de cette partie.
Selon un mode de réalisation préféré de la source objet de l'invention, la cible contient un matériau qui est apte à émettre le rayonnement extrême ultraviolet par interaction avec le faisceau laser et dont l'épaisseur est comprise dans un intervalle allant d'environ 0,05 pm à environ 5 um.
Selon un mode de réalisation particulier de la source objet de l'invention, cette source comprend une pluralité de cibles qui sont rendues solidaires les unes des autres, la source comprenant en outre des moyens de déplacement de cette pluralité de cibles pour que ces cibles reçoivent successivement le faisceau laser. La source peut comprendre en outre des moyens de support auxquels sont fixées les cibles et qui sont aptes à laisser passer le faisceau laser en direction de ces cibles, les moyens de déplacement étant prévus pour déplacer ces moyens de support et donc les cibles.
Ces moyens de support peuvent être aptes à absorber des rayonnements émis par la première face de chaque cible qui reçoit le faisceau laser et à réémettre ces rayonnements vers cette cible.
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Ser Gly Ile Val Gly Ala Leu Met Glu Val Met Gin Lys Arg Ser Lys 465 470 475 480 Ala Ile His Ser Ser Asp Glu Asp Glu Asp Glu Asp Asp Asp Glu Asp 485 490 495 Phe Glu Asp Asp Asp Glu Trp Glu Asp 500 505 57 303 ADN Séquence artificielle Description de la séquence artificielle : de la protéine N-WASP bovine CDS (1)..(303) 57 agc aaa gca gct ctt tta gat caa att aga gag ggt gct cag cta aaa 48 Ser Lys Ala Ala Leu Leu Asp Gin Ile Arg Glu Gly Ala Gin Leu Lys 1 5 10 15 aaa gtg gaa cag aac agt cgg ccg gtg tcc tgc tct gga agg gat gca 96 Lys Val Glu Gin Asn Ser Arg Pro Val Ser Cys Ser Gly Arg Asp Ala 20 25 30 ctt tta gac cag ata cga cag ggt att caa ctg aaa tct gta act gat 144 Leu Leu Asp Gin Ile Arg Gin Gly Ile Gin Leu Lys Ser Val Thr Asp 35 40 45 gcc cca gag tct aca cca cca gca cct gca ccc act tca gga att gta 192 Ala Pro Glu Ser Thr Pro Pro Ala Pro Ala Pro Thr Ser Gly Ile Val 50 55 60 ggt gca tta atg gaa gtg atg cag aag agg agc aaa gcc att cat tct 240 Gly Ala Leu Met Glu Val Met Gin Lys Arg Ser Lys Ala Ile His Ser 65 70 75 80 tca gac gaa gat gag gat gaa gat gat gat gaa gat ttt gag gat gat 288 Ser Asp Glu Asp Glu Asp Glu Asp Asp Asp Glu Asp Phe Glu Asp Asp 85 90 95 gat gaa tgg gaa gac 303 Asp Glu Trp Glu Asp 100 58 101 PRT Séquence artificielle Description de la séquence artificielle : de la protéine N-WASP bovine
58 Ser Lys Ala Ala Leu Leu Asp Gin Ile Arg Glu Gly Ala Gin Leu Lys 1 5 10 15 Lys Val Glu Gin Asn Ser Arg Pro Val Ser Cys Ser Gly Arg Asp Ala 20 25 30 Leu Leu Asp Gin Ile Arg Gin Gly Ile Gin Leu Lys Ser Val Thr Asp 35 40 45 Ala Pro Glu Ser Thr Pro Pro Ala Pro Ala Pro Thr Ser Gly Ile Val 50 55 60 Gly Ala Leu Met Glu Val Met Gin Lys Arg Ser Lys Ala Ile His Ser 65 70 75 80 Ser Asp Glu Asp Glu Asp Glu Asp Asp Asp Glu Asp Phe Glu Asp Asp 85 90 95 Asp Glu Trp Glu Asp 100 59 252 ADN Séquence artificielle Description de la séquence artificielle : de la protéine N-WASP bovine CDS (1)..(252) 59 agc aaa gca gct ctt tta gat caa att aga gag ggt gct cag cta aaa 48 Ser Lys Ala Ala Leu Leu Asp Gin Ile Arg Glu Gly Ala Gin Leu Lys 1 5 10 15 aaa gtg gaa cag aac agt cgg ccg gtg tcc tgc tct gga agg gat gca 96 Lys Val Glu Gin Asn Ser Arg Pro Val Ser Cys Ser Gly Arg Asp Ala 20 25 30 ctt tta gac cag ata cga cag ggt att caa ctg aaa tct gta act gat 144 Leu Leu Asp Gin Ile Arg Gin Gly Ile Gin Leu Lys Ser Val Thr Asp 35 40 45 gcc cca gag tct aca cca cca gca cct gca ccc act tca gga att gta 192 Ala Pro Glu Ser Thr Pro Pro Ala Pro Ala Pro Thr Ser Gly Ile Val 50 55 60 ggt gca tta atg gaa gtg atg cag aag agg agc aaa gcc att cat tct 240 Gly Ala Leu Met Glu Val Met Gin Lys Arg Ser Lys Ala Ile His Ser 65 70 75 80 tca gac gaa gat 252 Ser Asp Glu Asp
60 84 PRT Séquence artificielle Description de la séquence artificielle : de la protéine N-WASP bovine 60 Ser Lys Ala Ala Leu Leu Asp Gin Ile Arg Glu Gly Ala Gin Leu Lys 1 5 10 15 Lys Val Glu Gin Asn Ser Arg Pro Val Ser Cys Ser Gly Arg Asp Ala 20 25 30 Leu Leu Asp Gin Ile Arg Gin Gly Ile Gin Leu Lys Ser Val Thr Asp 35 40 45 Ala Pro Glu Ser Thr Pro Pro Ala Pro Ala Pro Thr Ser Gly Ile Val 50 55 60 Gly Ala Leu Met Glu Val Met Gin Lys Arg Ser Lys Ala Ile His Ser 65 70 75 80 Ser Asp Glu Asp 61 219 ADN Séquence artificielle Description de la séquence artificielle : de la protéine N-WASP bovine CDS (1)..(219) 61 gga agg gat gca ctt tta gac cag ata cga cag ggt att caa ctg aaa 48 Gly Arg Asp Ala Leu Leu Asp Gin Ile Arg Gin Gly Ile Gin Leu Lys 1 5 10 15 tct gta act gat gcc cca gag tct aca cca cca gca cct gca ccc act 96 Ser Val Thr Asp Ala Pro Glu Ser Thr Pro Pro Ala Pro Ala Pro Thr 20 25 30 tca gga att gta ggt gca tta atg gaa gtg atg cag aag agg agc aaa 144 Ser Gly Ile Val Gly Ala Leu Met Glu Val Met Gin Lys Arg Ser Lys 35 40 45 gcc att cat tct tca gac gaa gat gag gat gaa gat gat gat gaa gat 192 Ala Ile His Ser Ser Asp Glu Asp Glu Asp Glu Asp Asp Asp Glu Asp 50 55 60
ttt gag gat gat gat gaa tgg gaa gac 219 Phe Glu Asp Asp Asp Glu Trp Glu Asp 65 70 62 73 PRT Séquence artificielle Description de la séquence artificielle : de la protéine N-WASP bovine 62 Gly Arg Asp Ala Leu Leu Asp Gin Ile Arg Gin Gly Ile Gin Leu Lys 1 5 10 15 Ser Val Thr Asp Ala Pro Glu Ser Thr Pro Pro Ala Pro Ala Pro Thr 20 25 30 Ser Gly Ile Val Gly Ala Leu Met Glu Val Met Gin Lys Arg Ser Lys 35 40 45 Ala Ile His Ser Ser Asp Glu Asp Glu Asp Glu Asp Asp Asp Glu Asp 50 55 60 Phe Glu Asp Asp Asp Glu Trp Glu Asp 65 70 63 168 ADN Séquence artificielle Description de la séquence artificielle : de la protéine N-WASP bovine CDS (1)..(168) 63 gga agg gat gca ctt tta gac cag ata cga cag ggt att caa ctg aaa 48 Gly Arg Asp Ala Leu Leu Asp Gin Ile Arg Gin Gly Ile Gin Leu Lys 1 5 10 15 tct gta act gat gcc cca gag tct aca cca cca gca cct gca ccc act 96 Ser Val Thr Asp Ala Pro Glu Ser Thr Pro Pro Ala Pro Ala Pro Thr 20 25 30 tca gga att gta ggt gca tta atg gaa gtg atg cag aag agg agc aaa 144 Ser Gly Ile Val Gly Ala Leu Met Glu Val Met Gin Lys Arg Ser Lys 35 40 45 gcc att cat tct tca gac gaa gat 168 Ala Ile His Ser Ser Asp Glu Asp 50 55
64 56 PRT Séquence artificielle Description de la séquence artificielle : de la protéine N-WASP bovine 64 Gly Arg Asp Ala Leu Leu Asp Gin Ile Arg Gin Gly Ile Gin Leu Lys 1 5 5 10 15 Ser Val Thr Asp Ala Pro Glu Ser Thr Pro Pro Ala Pro Ala Pro Thr 20 25 30 Ser Gly Ile Val Gly Ala Leu Met Glu Val Met Gin Lys Arg Ser Lys 35 40 45 Ala Ile His Ser Ser Asp Glu Asp 50 55 65 3023 ADN Saccharomyces cerevisiae CDS (772)..(2670) 65 agttagaaga taactcacta gacttaacac cagaaaatcc tactctgtaa taaaataatc 60 ccggggtaat ggattggatt tttctatcag gatcgtttac gtatatataa tacactgtcg 120 gagtttagcg cgcttacagc cgctacttgt ggagtccttt tttttttttt ttttttgggg 180 tttcagacat ccagtaaaga atagaaacaa gcaacaaact tcagaactga aacaatgctt 240 ttttaagtta tcgcctaaat atattcaaaa aatatagata tgctagattt tcaattatac 300 caaagttcat attttcaaaa tgaatgttaa caaaaagaca agttgatggc cctttttcat 360 aaagtatgcg tttagtttca agtaacgccg gctgacgtgg acgatttatc aaagaagtgg 420 ttttggaata ctcttctttt gcaattagaa aaaaggcaaa actaaatgca atgcaagcag 480 ttgcccatgg tacttgaaat tgtgtctctg gtttaaaaga tctatgatat aagtcttaac 540 tgatcttata gttgtttttt tttgaatttt ccaaatagtt tatatgatca ttgaatacgt 600 gcgagacgtc cgaaaagggg ccagtcaata cctatgaaaa aaaatcatga atatgtaata 660 ataaatattg aatgtagaat atacatagta gaaaaggaag tgctgtagcg attgccatct 720 ccgctacaaa ttacagttcg ttactttaag tgttgatagg cgtgatttaa t atg gga 777 Met Gly 1
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