REVENDICATIONS 1. Procédé de contrôle de l'uniformité traitement de surface d'un substrat (100) par faisceau particules (F), caractérisé en ce qu'une mesure instantanée du nombre de photons émis par l'interaction particules sur la surface est effectuée en liaison avec une détection par imagerie de l'émission photonique chaque zone élémentaire de la surface définie à partir de la résolution de l'image formée, pendant toute la durée du traitement, et en ce qu'une variation de cette mesure est ensuite déterminée en fonction de la position zones d'émission, afin de déterminer une moyenne distribution spatiale d'intensité d'émission et mesurer un défaut d'uniformité de traitement proportionnellement à l'écart à cette moyenne. 2. Procédé de contrôle selon la revendication 1, dans lequel une étape de réglage ou d'arrêt du traitement est déclenchée lorsque le défaut d'uniformité est supérieur à une valeur critique prédéterminée. 3. Procédé de contrôle selon la revendication 1 ou 2, dans lequel une étape de mesure de l'énergie photons détectés localement est prévue afin de suivre l'état d'avancement du traitement, et d'ajuster arrêter le traitement lorsque cette énergie varie au-delà d' écart prédéterminé sur une période de temps donnée. 4. Procédé de contrôle selon la revendication 3, dans lequel une étape de mesure du nombre total de photons pour au moins un niveau d'énergie donné est prévue afin de suivre l'état d'avancement du traitement, et d'ajuster ou arrêter le traitement lorsque ce nombre varie au-delà d'un écart prédéterminé sur une période de temps donnée. 5. Procédé de contrôle selon l'une quelconque revendications précédentes, dans lequel une analyse de la distribution spatiale de l'intensité émise détermine un défaut d'uniformité local et une modulation de balayage correspondante du faisceau de particules afin de corriger ce défaut. 6. Procédé de contrôle selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel des moyens de sélection en vitesse et en direction particules de traitement sont asservis à une analyse distribution spatiale de l'intensité émise, ces moyens comportant des moyens de collimation, qui sélectionnent les particules en direction. 7. Procédé de contrôle selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la mesure de l'uniformité du traitement du substrat est enregistrée pour tracer l'historique des paramètres des applications successives subis par chacune des tranches passant sur une ligne de production. 8. Equipement de contrôle pour mettre en #uvre le procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte au moins un détecteur de photons (1) capable de former une image numérique, couplé à une unité de traitement du signal (S) et de gestion des données (l04). 9. Equipement de contrôle selon la revendication 8, dans lequel le détecteur de photons est une caméra numérique ou appareil photonumérique (103) équipé d'un capteur CCD qui mesure l'intensité, la longueur d'onde de la lumière émise en chaque zone élémentaire de la surface traitée correspondant à chacun de ses pixels et, après calibrage, le nombre photons (1) reçus par chaque pixel. 10. Equipement de contrôle selon la revendication 9, dans lequel l'unité de traitement des données (104) détermine une évolution d'intensité des couleurs dominantes pour suivre l'évolution du traitement et ajuster ou arrêter ce traitement lorsque rapport varie sensiblement. 11. Equipement de contrôle selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, dans lequel le détecteur de photons est refroidi par un dispositif à effet Peltier. 12. Equipement de contrôle selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, dans lequel le détecteur de photons est refroidi par un fluide cryogénique. 13. Equipement de contrôle selon l'une quelconque revendications 8 à 12, dans lequel des moyens de selection des particules commandées par l'unité de gestion (104) en fonction des mesures effectuées comportent ensemble de caches réglables pour ajuster localement flux de particules afin de compenser le défaut d'uniformité. Equipement de contrôle selon l'une quelconque des revendications 8 à 13, dans lequel, afin d'augmenter la résolution de la détection, le détecteur de photons focalise en zoom sur une partie de la surface à traiter, balayage de cette surface par le détecteur de photons pouvant alors être synchronisé sur le balayage du faisceau ions. 15. Equipement de contrôle selon la revendication 14, dans lequel le détecteur de photons est monté sur un plateau motorisé et asservi aux zones successivement irradiées. 16. Equipement de contrôle selon la revendication 14, dans lequel plusieurs détecteurs de photons monochromatiques sont utilisées en combinaison avec un élément séparateur en longueurs d'onde.