INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
tives) obtenue dans l'étape 104c de dérivation de régions de réflexion de lumière, afin qu'une surface réfléchissante destinée à être utilisée pour la fabrication du réflecteur
1 soit sélectionnée.
Un problème de défaut important d'uniformité de la
lumière émise par la lampe pendant les périodes de fonction-
nement de celle-ci se pose lorsque les régions de réflexion de lumière formées sur la surface réfléchissante 10a comprennent des régions qui présentent un taux important de parties sans réflexion optique (appelées parties sombres dans la suite) cachées derrière un autre élément de surface réfléchissante qui assure une réflexion optique (appelé partie brillante dans la suite) pour chaque élément de surface réfléchissante 40, ou des régions présentant des écarts de distribution entre des parties brillantes et sombres, par exemple des régions ayant de nombreuses parties sombres, de régions ayant de nombreuse parties brillantes ou
analogues, sur l'ensemble de la surface réfléchissante 10a.
Par exemple, dans le cas o les éléments 40 de surface réfléchissante sont affectés à une région de forme concave ou proche d'une forme concave sur la surface formée librement 20 observée depuis la source lumineuse, comme la
région 20b indiquée sur la figure 4, ou une région pré-
sentant un changement important de forme de surface à la surface formée librement 20, cette différence de luminosité est accrue, si bien que le défaut d'uniformité optique
devient très apparent dans certains cas.
Une condition de tolérance sur la distribution des régions est établie au préalable pour la solution de ce problème, et la distribution des régions de réflexion de lumière obtenues pour la surface réfléchissante lOa est évaluée d'après cette condition afin qu'une surface
réfléchissante avantageuse 10a soit sélectionnée.
Il est préférable, pour l'obtention de la distribution des régions de réflexion de lumière, de préparer la distribution de ces régions de réflexion de lumière par traitement de données avec un ordinateur ou analogue, à
partir des données des régions de réflexion de lumière (don-
nées de présence et d'absence de réflexion optique) obtenues pour les parties respectives de la surface réfléchissante lOa dans l'étape 104c de dérivation de régions de réflexion
(12) Les polymères quaternaires de vinylpyrrolidone et de vinylimidazole tels que par exemple les produits commercialisés sous les dénominations Luviquat FC 905, FC 550 et FC 370 par la société B.A S.F.
(14) Les polymères réticulés de sels de méthacryloyloxyalkyl(C1-C4) trialkyl(C1- C4)ammonium tels que les polymères obtenus par homopolymérisation du diméthylaminoéthylméthacrylate quaternisé par le chlorure de méthyle, ou par copolymérisation de l'acrylamide avec le diméthylaminoéthylméthacrylate quaternisé par le chlorure de méthyle, l'homo ou la copolymérisation étant suivie d'une réticulation par un composé à insaturation oléfinique, en particulier le méthylène bis acrylamide. On peut plus particulièrement utiliser un copolymère réticulé acrylamide/chlorure de méthacryloyloxyéthyl triméthylammonium (20/80 en poids) sous forme de dispersion contenant 50 % en poids dudit copolymère dans de l'huile minérale. Cette dispersion est commercialisée sous le nom de " SALCARE SC 92 " par la Société ALLIED COLLOIDS On peut également utiliser un homopolymère réticulé du chlorure de méthacryloyloxyéthyl triméthylammonium contenant environ 50 % en poids de l'homopolymère dans de l'huile minérale ou dans un ester liquide. Ces dispersions sont commercialisées sous les noms de " SALCARE SC 95 " et " SALCARE SC 96 " par la Société ALLIED COLLOIDS.
Les polymères filmogènes amphotères répondant à la définition donnée ci-dessus plus particulièrement préférés sont choisis parmi les polymères suivants (1) Les polymères résultant de la copolymérisation d'un monomère dérivé d'un composé vinylique portant un groupement carboxylique tel que plus particulièrement l'acide acrylique, l'acide méthacrylique, l'acide maléique, l'acide alpha-chloracrylique, et d'un monomère basique dérivé d'un composé vinylique substitué contenant au moins un atome basique tel que plus particulièrement les dialkylaminoalkylméthacrylate et acrylate, les dialkylaminoalkylméthacrylamide et acrylamide. De tels composés sont décrits dans le brevet américain n 3 836 537. On peut également citer le copolymère acrylate de sodium / chlorure d'acrylamidopropyl trimethyl ammonium vendu sous la dénomination POLYQUART KE 3033 par la Société HENKEL.
(2) Les polymères comportant des motifs dérivant a) d'au moins un monomère choisi parmi les acrylamides ou les méthacrylamides substitués sur l'azote par un radical alkyle, b) d'au moins un comonomère acide contenant un ou plusieurs groupements carboxyliques réactifs, et c) d'au moins un comonomère basique tel que des esters à substituants amine primaire, secondaire, tertiaire et quaternaire des acides acrylique et méthacrylique et le produit de quaternisation du méthacrylate de diméthylaminoéthyle avec le sulfate de diméthyle ou diéthyle.
Les comonomères basiques préférés sont des méthacrylates d'aminoéthyle, de butyl aminoéthyle, de N,N'-diméthylaminoéthyle, de N-tertio-butylaminoéthyle On utilise particulièrement les copolymères dont la dénomination CTFA (4ème Ed., 1991) est Octylacrylamide/acrylates/butylaminoethylmethacrylate copolymer tels que les produits vendus sous la dénomination AMPHOMER ou LOVOCRYL 47 par la société NATIONAL STARCH.
Certes, il est connu d'utiliser des multicouches ayant une configuration comparable à celle de la figure 10 mais pour un tout autre domaine de longueurs d'onde et pour une tout autre fonction : ces empilements multicouches connus servent de filtres passe-bande pour des rayonnements du domaine visible.
I1 convient de noter que, dans le domaine EUV, la conception des miroirs multicouches utilisables dans l'invention est particulière notamment en qui concerne la nature, les épaisseurs, les densités les constantes optiques des matériaux et la qualité des dépôts.
Dans le dispositif de lithographie de la figure 3 les miroirs multicouches avec lesquels sont formés le collecteur 26, le masque 24 et les moyens optiques 29 de projection et de réduction sont des miroirs multicouches du genre de celui de la figure 10 et aptes à réfléchir des rayonnements EUV dont les longueurs d'onde sont centrées sur une longueur d'onde determinée (par exemple 12 nm).
En particulier le collecteur 26 peut être formé par la réunion de plusieurs collecteurs élémentaires constituant des miroirs multicouches du genre de celui de la figure 10.
La figure 9 montre la courbe II représentative des variations du pouvoir réflecteur P ( unités arbitraires) en fonction de l'énergie En (en eV), pour un miroir multicouches utilisable dans l'invention, par exemple du genre de celui de la figure On voit l'augmentation importante de la largeur à mi-hauteur qui vaut 9 eV pour la courbe rapport à un miroir multicouches de l'art antérieur (courbe I).
Dans l'invention on augmente donc bien bande passante des miroirs multicouches pour rayonnement EUV.
On explique maintenant une manière minimiser les déformations thermiques subies par un miroir multicouches quelconque, en particulier miroir multicouches utilisable dans l'invention lorsque ce miroir multicouches est exposé à un rayonnement EUV intense.
Pour obtenir un tel miroir, on dépose par exemple, sur un substrat en silicium, poli optiquement à la forme désirée, une centaine de paires de couches épaisseurs appropriées (les couches de matériau lourd alternant avec les couches de matériau léger), pour obtenir une épaisseur totale de couches de l'ordre de um. Cette épaisseur est donc négligeable par rapport à celle du substrat (par exemple quelques millimètres) qui assure la forme du miroir multicouches.
Les déformations d'un miroir plan soumis à densité de flux thermique sur sa face avant sont nature géométrique. Ces déformations ont deux composantes.
La première composante est parallèle à surface de la plaque formant le miroir. Cette première composante conduit à une courbure sphérique générale un effet de bilame et résulte de la différence température entre la face avant et la face arrière du miroir.
La deuxième composante est perpendiculaire à la surface du miroir et provoque une déformation locale, à savoir une augmentation locale, de l'épaisseur du miroir. Elle est due à l'inhomogénéité de la densité du flux thermique auquel est soumis le miroir.
La courbure générale (effet de bilame) est schématiquement illustrée par la figure 11. On voit le rayonnement EUV 84 incident sur le miroir multicouches 86.
La différence de température ATs entre face avant et la face arrière du miroir provoque courbure générale sphérique avec une pente maximale associée Ap. Pour un miroir non refroidi, dont les bords sont libres, cette pente s'exprime par l'équation suivante où (p est la densité de flux thermique W/mma), (X le coefficient de dilatation thermique du miroir, k la conductivité thermique du miroir, C une constante qui vaut 1 pour une courbure sphérique et 1/2 dans le cas d'une courbure cylindrique et 1i la moitié de la longueur du miroir Ap = C x (oc/k) x (p x l i.
Cette pente associée à la courbure générale varie de manière linéaire avec le flux incident. Elle est d'autant plus grande que le rapport ec/k est grand et que les dimensions du faisceau sur le miroir sont importantes.
La pente dp est indépendante de l'épaisseur du miroir et de l'angle d'attaque du rayonnement sur miroir. Le rayon de courbure associé à la déformation du miroir ne dépend pas des dimensions de ce miroir. rayon de courbure R s'exprime par la relation R = (p-1 x (k/(c) .
On considère maintenant la déformation locale qui est schématiquement illustrée sur la figure 12. Cette déformation locale est due à la dilatation du miroir perpendiculairement à sa surface. Elle est due à l'inhomogénéité du flux incident sur le miroir. Cette inhomogénéité est induite par la divergence angulaire du faisceau 84 qui peut par exemple suivre une loi de distribution gaussienne.
Les documents que constituent les pages publiées dans les sites Internet doivent être restructurés pour permettre d'en distinguer les contenus et contenants qui les constituent.
Le texte ci-dessous est un exemple simple de document en langage XML : exemple d'informations de toutes sortes
exemple informations texte exemple informations texte Un exemple de feuille de style XSL, permettant d'obtenir le rendu, est présenté dans les dix paragraphes suivants.
Entête de la feuille de style : Les n#uds du code source pour lesquels aucun traitement particulier n'est prévu sont copiés dans la page HTML :
Les attributs du code source pour lesquels aucun traitement n'est prévu prennent les valeurs spécifiés dans le code source : Pour le tag Root, sont ajoutés un titre et un paragraphe : FAMILLE/AMITIE/ETC... Dans la rue, il y a plein de gens : La valeur de l'attribut name est inscrite en caractères gras.
Si le n#ud possède un attribut id, la valeur de l'attribut est placée dans le rendu entre parenthèses: (id= )
Si le n#ud possède un attribut myfriend, la valeur de l'attribut est placée dans le rendu entre parenthèses : (ami de ) Si le n#ud possède un attribut myenemies, la valeur de l'attribut est placée dans le rendu entre parenthèses : (ennemi de ) Si un n#ud possédant un attribut name possède des sous-n#uds avec des attributs name, ces sous-n#uds sont présentés dans une liste précédé du label "Enfants:" : Enfants :
Si un n#ud possédant un attribut name ne possède pas des sous-n#uds avec des attributs name, le label "Aucun enfant" est affiché : - Aucun enfant La structure de données XML est ici décomposée en un ensemble de contenants et de contenus. Ces derniers contiennent les éléments de la structure XML initiale. Dans un but de classification, les contenants peuvent optionnellement être associés à des catégories, de telle sorte que les contenus qu'ils possèdent soient classés dans cette catégorie.
Sur la figure 68, dans la structure arborescente d'un document, on voit apparaître des contenants (illustrés en pointillés).
La figure 69 illustre le fait qu'une telle structure permet de prendre des éléments d'un contenant pour les placer dans d'autres par le procédé importation.
On décrira également un procédé de dérivation permettant de placer un contenant dans un autre, dans le but de profiter du contenu du contenant d'origine, comme schématisé par la figure 70.
La figure 71 illustre le fait que ces manipulations peuvent également être effectuées d'un document à l'autre.
On cherche à pouvoir, à partir de pages Internet, restructurer les informations qui s'y trouvent afin de permettre à l'utilisateur de se composer ses propres pages, et ceci à partir de contenants et de contenus qu'il trouve au cours de sa navigation. Cela
implique de définir une macrostructure de contenants/contenus, et de dissocier les contenus, qui pourront ainsi être déplacés ou reproduits d'une page à l'autre.
Sur cette base, les données XML d'un document de la Toile seront décomposées pour adopter la structure suivante : - un arbre de structure définissant l'imbrication des différents contenants d'information, chacun portant les références de ses contenus ; - une suite de contenus, regroupant les éléments référencés dans les contenants.
Etapes de la transformation L'administrateur d'une page d'un site dispose d'un code XML initial (on reprendra l'exemple déjà présenté plus haut), qu'il désire faire partager aux utilisateurs du système .
DISPOSITIF FORMANT CONVERTISSEUR DE PUISSANCE PROCEDE UTILISANT UN TEL DISPOSITIF présente invention concerne un dispositif formant convertisseur de puissance ou un dispositif formant onduleur servant à transformer une puissance à courant continu en une puissance à courant alternatif. En outre, la présente invention concerne un procédé pour commander l'activation d'une charge polyphasée alimentée courant alternatif, par l'intermédiaire d'un dispositif formant convertisseur de puissance ou d'un dispositif formant onduleur.
D une manière générale, un dispositif formant onduleur ou un dispositif formant convertisseur de puissance est prévu entre une source d'alimentation à courant continu et une charge alimentée en courant alternatif. Le dispositif formant onduleur reçoit la puissance à courant continu de la part de la source de puissance à courant continu. Le dispositif formant onduleur transforme la puissance à courant continu en une puissance à courant alternatif. Le dispositif formant onduleur envoie la puissance à courant alternatif à la charge alimentée en courant alternatif et de ce fait commande ou active la charge alimentée en courant alternatif.
Un dispositif formant convertisseur de puissance typique pour un moteur à courant alternatif polyphasé inclut des transistors IGBT (c'est-à-dire des transistors bipolaires à grille isolée) en tant qu'éléments de commutation. L'action de commutation de chacun des transistors IGBT entraîne une perte de puissance désignée sous l'expression perte par commutation. Lorsque la fréquence de commutation augmente, la perte par commutation augmente. Il est souhaitable de faire fonctionner le moteur à courant alternatif polyphasé tout en réduisant les pertes par commutation produites par les transistors IGBT.
La demande de brevet japonais mise à l'inspection publique sans examen 59-139871 (numéro de demande 58-11678) décrit un système de modulation d'impulsions en durée pour la commande d'un moteur à courant alternatif triphasé. Dans la demande de brevet japonais 59-139871, une modulation sur deux phases est réalisée. De façon spécifique, le système inclut trois unités formant onduleurs unités respectivement pour les trois phases. Pendant chaque durée égale à un sixième d'une période (un cycle), l'un des trois onduleurs unités est commandé de manière à fixer une tension de phase correspondante, tandis que les deux autres onduleurs unités sont commandés pour conformer les tensions correspondantes entre phases sous la forme de sinusoïdes. Par conséquent un signal de commande du moteur pour l'une des trois phases n'est pas modulé alors que les signaux de commande du moteur pour les deux autres phases sont modulés conformément aux sinusoïdes. La sélection de l'un parmi les trois onduleurs unités comme correspondant à une phase non modulée est conçue de manière à réduire le nombre de commutations par cycle et par conséquent à réduire les pertes par commutation.
Un premier but de la présente invention est de fournir un dispositif formant convertisseur de puissance qui permette de réduire la perte de puissance provoquée par l'action de commutation de chaque élément de commutation.
Un second but de la présente invention est de fournir un procédé de commande de l'activation d'une charge polyphasée alimentée en courant alternatif, qui permette de réduire la perte de puissance provoquée par l'action de commutation de chaque élément de commutation.
Selon un premier aspect de l'invention, il est prévu un dispositif formant convertisseur de puissance, caractérisé en ce qu'il comprend un circuit principal formant onduleur comprenant des éléments de commutation aptes répondre à des signaux de commande de commutation, et des moyens pour appliquer des tensions de phase à une charge polyphasée par l'intermédiaire des éléments de commutation, des moyens de sortie de valeurs de commande pour délivrer des valeurs de commande de tension de base respectivement pour des phases de la charge polyphasée, moyens de conversion des valeurs de commande pour convertir des valeurs de commande de tension de base délivrées par les moyens de délivrance de valeurs de commande respectivement en des valeurs de commande de tension finales, auquel cas pendant un intervalle de temps pendant lequel au moins deux valeurs de commande de tension de base sont approximativement égales, les valeurs de commande de tension finales correspondant auxdites valeurs de commande de tension de base sont égales à un maximum ou à minimum, et des moyens de sortie de signaux de commande pour soumettre une onde porteuse à une modulation d'impulsions en durée en réponse aux valeurs de commande de tension finales produites par les moyens de conversion des valeurs de commande pour produire les signaux de commande de commutation, et pour délivrer les signaux de commande de commutation aux éléments de commutation situés dans le circuit principal formant onduleur.
Selon un second aspect de la présente invention, qui est basé sur le premier aspect, il est prévu un dispositif formant convertisseur de puissance, dans lequel les moyens de conversion des valeurs de commande comprennent des moyens pour rendre au moins l'une des valeurs de commande de tension finales, qui possède une phase différente de phases faisant l'objet d'une conversion, égale à une moyenne de tension entre lignes avec les valeurs de commande de tension de base des phases faisant l'objet de la conversion.
Selon un troisième aspect de la présente invention, qui est basé sur le premier aspect de l'inven- tion, il est prevu un dispositif formant convertisseur de puissance, dans lequel la charge polyphasée comprend un moteur à courant alternatif polyphasé.
Selon un quatrième aspect de la présente invention, qui basé sur le troisième aspect de l'inven tion, il est prévu un dispositif formant convertisseur de puissance, dans lequel le moteur à courant alternatif polyphasé comprend un moteur à courant alternatif triphasé.
Selon un cinquième aspect de la présente invention, il est prévu un dispositif formant convertisseur de puissance comprenant un circuit principal formant onduleur comprenant des éléments de commutation aptes à répondre à des signaux de commande de commutation, et des moyens pour appliquer des tensions de phase à une charge polyphasée par l'intermédiaire des éléments de commutation, des moyens de sortie de valeurs de commande pour délivrer des valeurs de commande de tension de base respectivement pour des phases de la charge polyphasée, des moyens de conversion des valeurs de commande pour convertir les valeurs de commande de tension de base délivrées par les moyens de sortie de valeurs de commande respectivement en des valeurs de commande de tension finales, un intervalle de temps, pour lequel au moins deux des valeurs de commande de tension de base sont approximativement égales entre elles, incluant une alternance de premiers intervalles de temps de conversion et de seconds intervalles de temps de conversion, auquel cas pendant chacun des premiers intervalles de temps de conversion, les valeurs de commande de tension finales correspondant auxdites deux valeurs de commande de tension de base sont égales à un maximum ou à un minimum, et pendant chacun des seconds intervalles de temps, seule l'une des valeurs de commande de tension finales correspondant auxdites deux valeurs de commande de tension de base est égale au maximum ou au minimum, et des moyens de sortie de signaux de commande pour soumettre une onde porteuse à une modulation d'impulsions en durée en réponse aux valeurs de commande de tension finales produites par les moyens de conversion des valeurs de commande pour produire signaux de commande de commutation, et pour délivrer les signaux de commande de commutation aux éléments de commutation situés dans le circuit principal formant onduleur.
Selon un sixième aspect de la présente invention, qui est basé sur le cinquième aspect de l'invention, il est prévu un dispositif formant convertisseur de puissance, dans lequel les moyens de conversion des valeurs de commande comprennent des moyens pour régler une période d'alternance des premiers intervalles de temps de conversion et des seconds intervalles de temps de conversion sur un nombre entier de périodes de l'onde porteuse.
Selon un septième aspect de la présente invention, qui est basé sur le premier aspect de l'inven tion, il est prévu un dispositif formant convertisseur de puissance, dans lequel, pendant chacun des seconds intervalles de temps, seulement l'une desdites valeurs de commande de tension finales correspond à l'une des valeurs de commande de tension de base, qui a une tension maximale entre lignes avec une autre des valeurs de commande de tension de base.
Selon un huitième aspect de la présente invention, qui est basé sur le cinquième aspect de l'inven tion, il est prévu un dispositif formant convertisseur de puissance, caractérisé en ce que les moyens de conversion des valeurs de commande comprennent des moyens pour régler une longueur des seconds intervalles de conversion sur un nombre réel positif correspondant à "n" fois une longueur des premiers intervalles de temps de conversion, des moyens pour soumettre, pendant chacun des premiers intervalles de temps de conversion, au moins l'une desdites valeurs de commande de tension finales, qui est une phase différente des phases formant l'objet de la conversion, à un décalage de niveau de manière à maintenir la tension entre lignes avec la valeur de tension de commande de phase d'une phase faisant l'objet de la conversion dans chacun des seconds intervalles de temps de conversion, et des moyens pour soumettre, pendant chacun des seconds intervalles de temps de conversion, l'une des valeurs de commande de tension finales, qui est celle d'une phase faisant l'objet de la conversion, uniquement pour chacun des premiers intervalles de temps de conversion à un décalage de niveau pour multiplier par (1+1/n) une tension entre lignes avec la valeur de commande de tension de base d'une phase faisant l'objet de la conversion dans chacun des seconds intervalles de conversion.
Selon un neuvième aspect de la présente invention, qui est basé sur le huitième aspect de l'inven tion, il est prévu un dispositif formant convertisseur de puissance, dans lequel les moyens de conversion des valeurs de commande comprennent des moyens pour régler un nombre réel positif "n" sur 1.