INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
la Société AMERICAN CYANAMID. On peut également citer les copolymères d'acide acrylique et de méthacrylate d'alkyle en C1-C4 et les terpolymères de vinylpyrrolidone, d'acide acrylique et de méthacrylate d'alkyle en C1-C20 par exemple de lauryle tel que celui vendu par la société ISP sous la dénomination ACRYLIDONE LM et les terpolymères acide méthacrylique/ acrylate d'éthyle/ acrylate de tertiobutyle tel que le produit vendu sous la dénomination LUVIMER 100 P par la société BASF C) les copolymères dérivés d'acide crotonique tels que ceux comportant dans leur chaîne des motifs acétate ou propionate de vinyle et éventuellement d'autres monomères tels que esters allylique ou méthallylique, éther vinylique ou ester vinylique d'un acide carboxylique saturé linéaire ou ramifié à longue chaîne hydrocarbonée tels que ceux comportant au moins 5 atomes de carbone, ces polymères pouvant éventuellement être greffés et réticulés ou encore un ester vinylique, allylique ou méthallylique d'un acide carboxylique a.- ou (3-cyclique De tels polymères sont décrits entre autres dans les brevets français 1.222 944, 1 580 545, 2 265 782, 2 265 781,1 564 110 et 2 439 798 Des produits commerciaux entrant dans cette classe sont les résines 28-29-30, 26-13-14 et 28-13-10 vendues par la société NATIONAL STARCH D) les copolymères dérivés d'acides ou d'anhydrides carboxyliques monoinsaturés en C4-C8 choisis parmi - les copolymères comprenant (i) un ou plusieurs acides ou anhydrides maléique, fumarique, itaconique et (ii) au moins un monomère choisis parmi les esters vinyliques, les éthers vinyliques, les halogénures vinyliques, les dérivés phénylvinyliques, l'acide acrylique et ses esters, les fonctions anhydrides de ces copolymères étant éventuellement monoestérifiées ou monoamidifiées. ; De tels polymères sont décrits en particulier dans les brevets US 2 047.398, 2.723 248,2 102.113, le brevet GB 839 805 et notamment ceux vendus sous les dénominations GANTREZ AN ou ES par la société ISP - les copolymères comprenant (i) un ou plusieurs anhydrides maléique, citraconique, itaconique et (ii) un ou plusieurs monomères choisis parmi les esters allyliques ou méthallyliques comportant éventuellement un ou plusieurs groupements acrylamide, méthacrylamide, a-oléfine, esters acryliques ou méthacryliques, acides acrylique ou méthacrylique ou vinylpyrrolidone dans leur chaîne,
les fonctions anhydrides de ces copolymères étant éventuellement monoestérifiées ou monoamidifiées Ces polymères sont par exemple décrits dans les brevets français 2 350 384 et 2 357.241 de la demanderesse E) les polyacrylamides comportant des groupements carboxylates Les polymères comprenant les groupements sulfoniques sont des polymères comportant des motifs vinylsulfonique, styrène sulfonique, naphtalène sulfonique ou acrylamido alkylsulfonique Ces polymères peuvent être notamment choisis parmi - les sels de l'acide polyvinylsulfonique ayant un poids moléculaire compris entre environ 1 000 et 100 000 ainsi que les copolymères avec un comonomère insaturé tel que les acides acrylique ou méthacrylique et leurs esters ainsi que l'acrylamide ou ses dérivés, les éthers vinyliques et la vinylpyrrolidone.
- les sels de l'acide polystyrène sulfonique les sels de sodium ayant un poids moléculaire d'environ 500 000 et d'environ 100 000 vendus respectivement sous les dénominations Flexan 500 et Flexan 130 par National Starch Ces composés sont décrits dans le brevet FR 2 198 719 - les sels d'acides polyacrylamide sulfoniques ceux mentionnés dans le brevet US 4 128 631 et plus particulièrement l'acide polyacrylamidoéthylpropane sulfonique vendu sous la dénomination COSMEDIA POLYMER HSP 1180 par Henkel Selon l'invention, les polymères fixants anioniques sont de préférence choisis parmi les copolymères d'acide acrylique tels que le terpolymère acide acrylique/ acrylate d'éthyle / N-tertiobutylacrylamide vendu sous la dénomination ULTRAHOLD STRONG par la société BASF, les copolymères dérivés d'acide crotonique tels que les terpolymères acétate de vinyle / tertio-butyl benzoate de vinyle/ acide crotonique et les
terpolymères acide crotonique/ acétate de vinyle/néododécanoate de vinyle vendus sous la dénomination Résine 28-29-30 par la société NATIONAL STARCH, les polymères dérivés d'acides ou d'anhydrides maléique, fumarique, itaconique avec des esters vinyliques, des éthers vinyliques, des halogénures vinyliques, des dérivés phénylvinyliques, l'acide acrylique et ses esters tels que le copolymère méthylvinyléther/anhydride maléique mono estérifié vendu sous la dénomination GANTREZ ES 425 par la société ISP, les copolymères d'acide méthacrylique et de méthacrylate de méthyle vendus sous la dénomination EUDRAGIT L par la société ROHM PHARMA, le copolymère d'acide méthacrylique et d'acrylate d'éthyle vendu sous la dénomination LUVIMER MAEX ou MAE par la société BASF, le copolymère acétate de vinyle/acide crotonique vendu sous la dénomination LUVISET CA 66 par la société BASF et le copolymère acétate de vinyle/acide crotonique greffé par du polyéthylèneglycol sous la dénomination ARISTOFLEX A par la société BASF Les polymères fixants anioniques les plus particulièrement préférés sont choisis parmi le copolymère méthylvinyléther/ anhydride maléique mono estérifié vendu sous la dénomination GANTREZ ES 425 par la société ISP, le terpolymère acide acrylique/ acrylate d'éthyle/ N-tertiobutylacrylamide vendu sous la dénomination ULTRAHOLD STRONG par la société BASF, les copolymères d'acide méthacrylique et de méthacrylate de méthyle vendus sous la dénomination EUDRAGIT L par la société ROHM PHARMA, les terpolymères acétate de vinyle/ tertio-butyl benzoate de vinyle / acide crotonique et les terpolymères acide crotonique/ acétate de vinyle/ néododécanoate de vinyle vendus sous la dénomination Résine 28-29-30 par la société NATIONAL STARCH, le copolymère d'acide méthacrylique et d'acrylate d'éthyle vendu sous la dénomination LUVIMER MAEX OU MAE par la société BASF, le terpolymère de vinylpyrrolidone / acide acrylique/méthacrylate de lauryle vendu sous la dénomination ACRYLIDONE LM par la société ISP.
Les polymères fixants amphotères utilisables conformément à l'invention peuvent être choisis parmi les polymères comportant des motifs B et C répartis statistiquement dans la chaîne polymère où B désigne un motif dérivant d'un monomère comportant au moins un atome d'azote basique et C désigne un motif dérivant d'un monomère acide
comportant un ou plusieurs groupements carboxyliques ou sulfoniques ou bien B et C peuvent désigner des groupements dérivant de monomères zwittérioniques de carboxybétaïnes ou de sulfobétaines, B et C peuvent également désigner une chaîne polymère cationique comportant des groupements amine primaire, secondaire, tertiaire ou quaternaire, dans laquelle au moins l'un des groupements amine porte un groupement carboxylique ou sulfonique relié par l'intermédiaire d'un radical hydrocarboné ou bien B et C font partie d'une chaîne d'un polymère à motif éthylène [alpha],ss-dicarboxylique dont l'un des groupements carboxyliques a été amené à réagir avec une polyamine comportant un ou plusieurs groupements amine primaire ou secondaire Les polymères fixants amphotères répondant à la définition donnée ci-dessus plus particulièrement préférés sont choisis parmi les polymères suivants .
Des composés de type céramides particulièrement préférés selon l'invention sont par exemple : - le 2-N-linoléoylamino-octadécane-1,3-diol, - le 2-N-oléoylamino-octadécane-1,3-diol, - le 2-N-palmitoylamino-octadécane-1,3-diol, - le 2-N-stéaroylamino-octadécane-1,3-diol, - le 2-N-béhénoylamino-octadécane-1,3-diol, - le 2-N-[2-hydroxy-palmitoyl]-amino-octadécane-1,3-diol,
- le 2-N-stéaroyl amino-octadécane-1,3,4 triol et en particulier la Nstéaroyl phytosphingosine, - le 2-N-palmitoylamino-hexadécane-1,3-diol - le (bis-(N-hydroxyéthyl N-cétyl) malonamide), - le N-(2-hydroxyéthyl)-N-(3-cétyloxy-2-hydroxypropyl)amide d'acide cétylique .
Les sels d'ammonium quaternaires sont par exemple : - ceux qui présentent la formule générale (IV) suivante : dans laquelle les radicaux Ri à R4, qui peuvent être identiques ou différents, représentent un radical aliphatique, linéaire ou ramifié, comportant de 1 à 30 atomes de carbone, ou un radical aromatique tel que aryle ou alkylaryle. Les radicaux aliphatiques peuvent comporter des hétéroatomes tels que notamment l'oxygène, l'azote, le soufre, les halogènes. Les radicaux aliphatiques sont par exemple choisis parmi les radicaux alkyle, alcoxy, polyoxyalkylène(C2-C6), alkylamide, alkyl(C12-C22)amido alkyle(C2-C6), alkyl(C12-C22)acétate, hydroxyalkyle, comportant environ de 1 à 30 atomes de carbone; X est un anion choisi dans le groupe des halogénures, phosphates, acétates, lactates, alkyl(C2-C6)sulfates, alkyl-ou-alkylarylsulfonates, - les sels d'ammonium quaternaire de l'imidazolinium, comme par exemple celui de formule (V) suivante :
dans laquelle R5 représente un radical alcényle ou alkyle comportant de 8 à 30 atomes de carbone par exemple dérivés des acides gras du suif, R6 représente un atome d'hydrogène, un radical alkyle en C1-C4 ou un radical alcényle ou alkyle comportant de 8 à 30 atomes de carbone, R7 représente un radical alkyle en C1-C4, R8 représente un atome d'hydrogène, un radical alkyle en Ci-C4, X est un anion choisi dans le groupe des halogénures, phosphates, acétates, lactates, alkylsulfates, alkyl-ou-alkylarylsulfonates. De préférence, R5 et R6 désignent un mélange de radicaux alcényle ou alkyle comportant de 12 à 21 atomes de carbone par exemple dérivés des acides gras du suif, R7 désigne méthyle, R8 désigne hydrogène Un tel produit est par exemple commercialisé sous la dénomination REWOQUAT W 75 par la société REWO, - les sels de diammonium quaternaire de formule (VI) : dans laquelle R9 désigne un radical aliphatique comportant environ de 16 à 30 atomes de carbone, Rio, Ru, R12, R13 et R14 , identiques ou différents sont choisis parmi l'hydrogène ou un radical alkyle comportant de 1 à 4 atomes de carbone, et X est un anion choisi dans le groupe des halogénures, acétates, phosphates, nitrates et méthylsulfates. De tels sels de diammonium quaternaire comprennent notamment le dichlorure de propanesuif diammonium.
- les sels d'ammonium quaternaire contenant au moins une fonction ester Les sels d'ammonium quaternaire contenant au moins une fonction ester utilisables selon l'invention sont par exemple ceux de formule (VII ) suivante
dans laquelle : - R15 est choisi parmi les radicaux alkyles en C1-C6 et les radicaux hydroxyalkyles ou dihydroxyalkyles en C1-C6 ; - R16 est choisi parmi 0 # - le radical R19-C- - les radicaux R20 hydrocarbonés en C1-C22 linéaires ou ramifiés, saturés ou insaturés, - l'atome d'hydrogène, - R1 g est choisi parmi : 0 Il - le radical R21-C- - les radicaux R22 hydrocarbonés en C1-C6 linéaires ou ramifiés, saturés ou insaturés, - l'atome d'hydrogène, - R17, R19 et R21, identiques ou différents, sont choisis parmi les radicaux hydrocarbonés en C7-C21, linéaires ou ramifiés, saturés ou insaturés ; - n, p et r, identiques ou différents, sont des entiers valant de 2 à 6 ; - y est un entier valant de 1 à 10 ; - x et z, identiques ou différents, sont des entiers valant de 0 à 10 ; - X- est un anion simple ou complexe, organique ou inorganique ; sous réserve que la somme x + y + z vaut de 1 à 15 , que lorsque x vaut 0 alors R16 désigne R20 et que lorsque z vaut 0 alors R1désigne R22.
Avantageusement, R17, R19 et R21, identiques ou différents, sont choisis parmi les radicaux hydrocarbonés en C11-C21, linéaires ou ramifiés, saturés ou insaturés, et plus particulièrement parmi les radicaux alkyle et alcényle en C11-C21, linéaires ou ramifiés, saturés ou insaturés De préférence, x et z, identiques ou différents, valent 0 ou 1.
Pour les constructions contenant l'ensemble du cDNA SGS2 (en orientation sens ou antisens) il faut réaliser une digestion SphI partielle car il existe un site SphI en 5' du gène SGS2 alors que la digestion SphI est totale pour la construction AsSGS22.
PORTE-CREUSET POUR LE TIRAGE DE MONOCRISTAUX Domaine de l'invention L'invention concerne les dispositifs destinés à la production de lingots monocristallins par tirage à partir d'un bain fondu, notamment la production de lingots de silicium monocristallins suivant le procédé Czochralski. L'invention concerne plus spécifiquement les porte-creusets (ou "suscepteurs") en matériaux carbonés utilisés dans ces dispositifs.
Etat de la technique La production de composants microélectroniques à base de silicium, tels que les mémoires et les microprocesseurs, utilise comme matière première des tranches de lingots de silicium, communément appelées "wafers", découpées dans des lingots de silicium monocristallin. Le procédé le plus couramment répandu pour la production de ces lingots monocristallins comprend essentiellement un tirage d'un lingot solide à partir d'un bain de silicium fondu connu sous le nom de "procédé Czochralski", ou plus simplement "procédé CZ".
Ce procédé de base a fait l'objet de nombreux développements industriels visant à faire face à la demande toujours croissante de wafers et à améliorer la perfection des cristaux obtenus, qui est critique pour le rendement de fabrication des composants micro-électroniques. Les équipements de tirage CZ de l'état de l'art sont relativement standardisés et comprennent essentiellement une enceinte métallique étanche (ou "four"), des moyens d'isolation thermique, des moyens de chauffage, un creuset, un porte-creuset (ou "suscepteur"). Lors des opérations de tirage, le creuset contient du silicium de très haute pureté, qui est fondu puis "tiré" en monocristal. Le creuset est généralement en quartz afin de ne pas mettre le silicium en contact avec un matériau contenant d'autres éléments que le silicium et l'oxygène, ce qui permet d'éviter la pollution du bain de silicium fondu par des impuretés nuisibles à la qualité du monocristal. La température de fusion du silicium étant très élevée (1430 C), le creuset en quartz doit être supporté par un porte-creuset car, à une telle température, le quartz n'a plus la résistance mécanique suffisante pour supporter son propre poids et, moins encore, celui du silicium liquide qu'il contient. Le porte-creuset, qui constitue une sorte d'enveloppe externe, a pour rôle principal de supporter le creuset lors du tirage du cristal de silicium.
Pour plusieurs raisons techniques et économiques, le porte-creuset est, en règle générale, à base de graphite. D'une part, les propriétés mécaniques du graphite restent élevées aux températures de travail normalement utilisées. D'autre part, il est possible d'obtenir un graphite ne contenant pas d'impuretés métalliques susceptibles de polluer par diffusion le bain de silicium fondu. Enfin, le graphite constitue un matériau compétitif sur le plan des coûts.
L'utilisation de porte-creusets à base de graphite pose toutefois quelques problèmes techniques. D'une part, le coefficient de dilatation des graphites utilisés étant systématiquement très supérieur à celui du quartz dans la zone de températures où le quartz conserve des propriétés mécaniques élevées (soit, jusqu'à environ 1015 C, typiquement de 3 à 6 .10-6 K"1 pour les graphites les plus utilisés et 0,5 .10-6 K"1 pour le quartz), l'utilisation de porte-creusets monolithiques conduit à la mise sous contrainte mécanique élevée du porte-creuset et du creuset lors d'un cycle de température et entraîne fréquemment la destruction de l'un ou de l'autre. Plus précisément, lors de la montée en température du creuset et du porte-creuset, le premier se dilate moins que le second, ouvrant dès lors un espace entre ces deux composants ; lorsque la température atteint des valeurs qui permettent au quartz de fluer, le creuset se déforme et remplit l'espace entre les deux éléments ; lorsque l'ensemble est refroidi (normalement après l'opération de tirage), le graphite se contracte, comprime le creuset et le déforme tant que celui-ci est en phase pâteuse, c'est-à-dire tant que la température est supérieure à environ 1015 C ; dans la suite du refroidissement, le creuset redevient très solide et s'oppose à la contraction du porte- creuset, entraînant le développement de contraintes de compression sur le creuset et des contraintes de traction sur le porte-creuset. Pour résoudre ce problème, il connu, depuis plus de 15 ans, d'utiliser des porte-creusets constitués de pièces distinctes qui peuvent être réunies ou assemblées de manière sensiblement jointive. En utilisation, les pièces sont maintenues sensiblement réunies à l'aide d'un plateau-support adapté qui permet toutefois un léger déplacement relatif des unes par rapport aux autres lors des cycles de tirage. Ces déplacements relatifs, qui sont essentiellement soit un écartement relatif, soit un rapprochement relatif, permettent d'absorber les dilatations du creuset et du porte-creuset. Typiquement, le nombre de pièces est d'au moins trois.
D'autre part, les hautes températures atteintes lors des opération de tirage provoquent des réactions chimiques dans les zones de contact entre le porte-creuset en graphite et le creuset en quartz. En particulier, on observe une consommation du porte-creuset et une production de carbure de silicium en surface du graphite. La consommation progressive du porte-creuset limite sa durée de vie et crée des dépôt peu adhérents de particules de carbure de silicium qui se libèrent sous forme de poussières nuisibles aux instruments et à la qualité des cristaux de silicium. Cette usure des porte-creusets oblige les utilisateurs à les changer tous les 30 à 50 cycles de tirage.
La demanderesse a donc recherché des solutions économiques et industriellement applicables qui permettent de prolonger la durée de vie des porte-creusets en matériau carboné, notamment les porte-creusets à base de graphite, tout en préservant leur propriétés d'usage.
Description de l'invention L'invention a pour objet un porte-creuset en matériau carboné, notamment à base de graphite, destiné à des opérations de tirage de cristaux et comportant au moins deux pièces distinctes et complémentaires pouvant être réunies par des surfaces dites de jonction, et caractérisé en ce que des portions spécifiques desdites surfaces de jonction se recouvrent, lorsque lesdites pièces sont réunies pour former le porte- creuset, formant ainsi des zones dites de recouvrement. La demanderesse a eu l'idée que la consommation du creuset et la production de carbure de silicium en surface du matériau carboné pouvait être liée, en grande partie, au développement de jours ou d'interstices entre les pièces des creusets de l'art antérieur lors de leur utilisation, lesquels jours ou interstices pourraient favoriser les réactions thermochimiques entre la silice du creuset et le carbone du porte-creuset. La demanderesse a émis l'hypothèse qu'une grande partie des mécanismes de dégradation pouvait être attribuée aux réactions thermochimiques qui impliquent la production d'oxydes de carbone par réaction de la silice avec le carbone (telles que les réactions Si02 + C --> Si0 + CO et Si0 + 2 C -> SiC + CO).
Par des essais, la demanderesse a pu vérifier que la présence de surfaces de recouvrement entre les pièces du creuset, malgré les déplacements relatifs qui se produisent lors des cycles de tirage, conduit à une nette réduction de la consommation des creusets et de la production de carbure de silicium. La demanderesse estime que le recouvrement permet de rendre plus étanche les surfaces de jonction et produit un allongement du trajet de diffusion des gaz. Le recouvrement permettrait de limiter, et éventuellement bloquer, la diffusion gazeuse entre les surfaces intérieure et extérieure du porte-creuset, de façon à ce que les réactions thermochimiques de dégradation du porte-creuset qui font intervenir des phases gazeuses deviennent négligeables. La demanderesse estime également que les pièces ne séparent pratiquement pas, ou très peu, lors des cycles de tirage, ce qui permettrait de maintenir l'étanchéité produite par le recouvrement.
L'invention sera mieux comprise à l'aide des figures et de la description détaillée qui suit.
Figures La figure 1 montre les éléments de base d'un dispositif de tirage CZ (1) selon l'état de la technique.
La figure 2 illustre un porte-creuset de l'art antérieur. La figure 3 illustre un porte-creuset (50) selon l'invention : a) vue en perspective ; b) vue du dessus ; c) vue éclatée en section transversale.
La figure 4 illustre, en section, de manière simplifiée, une zone de recouvrement entre les pièces d'une porte-creuset selon le mode de réalisation de l'invention représenté à la figure 3.
La figure 5 illustre un porte-creuset (50) selon une variante de l'invention : a) vue en perspective ; b) vue partielle, éclatée et en perspective partielle ; c) vue du dessus ; d) vue éclatée en section transversale.
Comme le montre la figure 1, un dispositif de tirage CZ (1) selon l'état de la technique comprend typiquement une enceinte métallique étanche (ou "four") (2), des moyens d'isolation thermique (3), des moyens de chauffage (4), un porte-creuset (ou "suscepteur") (5), un creuset (6) et des moyens de tirage (8). Le porte-creuset (5) peut être supporté par un moyen de support (7) adapté à celui-ci. Le creuset (6) est apte à contenir le silicium (9) destiné à la formation d'un lingot monocristallin (10) par tirage.
Cependant afin d'invalider les informations contenues dans cette ligne pour qu'elle ne soit pas prise en compte lors d'une évaluation ultérieure de l'équation, le module indicateur place à l'étape (215) un drapeau indiquant que le n-uplet d'instances d'attribut n'est pas valide. De plus, puisqu'il s'agit de la dernière ligne l'étape de vérification se termine.
Si la valeur du deuxième compteur est différente du nombre de ligne, la ligne courante est supprimée à l'étape (216). Ensuite le premier compteur est décrémenté à l'étape (217) de 1. Une étape de test à l'étape (218) permet de vérifier la valeur du premier compteur. Si le premier compteur est égal à zéro l'étape de vérification est terminée, sinon la ligne suivante est traitée de la même façon.
Le choix de conserver une ligne, même non valide dans la table N 1, permet d'effectuer ultérieurement une nouvelle mise à jour sur cette adresse IP et cette équation pour suivre ainsi, l'apparition ou la disparition d'équipements ou d'applications sur cette adresse IP.
Comme expliqué précédemment une mise à jour est effectuée périodiquement pour prendre en compte dynamiquement l'évolution du domaine à superviser. Dans une variante de réalisation la période appliquée pour les mises à jour est plus longue. Ainsi, plusieurs évaluations d'une équation peuvent intervenir entre deux mises à jour. De plus, la période de mise à jour peut être décalée par rapport à la période d'évaluation de l'équation correspondante de sorte qu'une mise à jours n'intervienne pas en même temps qu'une évaluation afin de ne pas surcharger le réseau, de ne pas utiliser d'instance d'index non valide et de ne pas provoquer d'accès simultané en lecture et en écriture dans la table N 1.
Ainsi, le procédé de calcul d'indicateur d'un système d'administration de réseau selon l'invention se caractérisé par le fait qu'au moins une équation définissant un indicateur et évaluée par un module indicateur du sousadministrateur comprend au moins un attribut d'objet, dont au moins un index est variable, et que le procédé comprend - une étape de réception, par le module indicateur, d'une notification transmise par un module de configuration des modèles, cette notification comprenant une adresse d'un équipement et une identification d'une équation représentative d'un indicateur, - une étape d'initialisation, dans laquelle les instances des index variables prennent une valeur d'initialisation ne permettant pas le calcul de l'équation spécifiée, - une étape de détermination de toutes les instances valides de tous les index variables de tous les attributs de l'équation.
Dans un autre mode de réalisation le procédé comprend : - une étape de recherche, dans l'équation, d'un attribut appelé attribut fédérateur comprenant le plus grand nombre d'index variable, - une étape d'envoi d'une requête d'interrogation demandant successivement l'instance suivante de l'attribut fédérateur, - une étape d'extraction des instances de chaque index variable de l'attribut fédérateur,