INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
RMN 1H 400 MHz (CDCl3) (6 ppm, J Hz): 5.06 (1H, t, J = 6.9, HC=); 3.04 et 2.78 (2H, 2d, JAB = 17.1, CH2C02); 2.25 1.20 (4H, m, 2ECH2); 1.67 (3H, s, CH3); 1.60 (3H, s, CH3).
Exemple 4 Préparation de l'acide 2-carboxyméthyl-6,6-diméthyl-2-tétrahydro- pvranecarboxvlique ou acide O-déméth ylanh ydrohomoharrinqtoniaue: 1 ) Méthode A A une solution agitée du diester cyclique issu de l'exemple 2 (1,94 ,94 g; 7,5 mmol) dans l'éthanol (75 ml), on ajoute une solution de potasse (4,2 g; 75 mmol) dans l'eau (45 ml) et on porte le mélange au reflux. Après 5 heures de réaction, le mélange est ramené à température ambiante et concentré sous pression réduite afin d'éliminer méthanol. On reprend le résidu avec de l'eau (10 ml) et on extrait par de l'éther diéthylique (2 x 50 ml). On acidifie la phase aqueuse avec de l'acide chlorhydrique 2N (-35 ml) et on extrait par de l'éther diéthylique (3 x 50 ml) en saturant la phase acide avec du chlorure de sodium.
Les 3 phases organiques sont rassemblées, lavées avec une solution de chlorure de sodium saturée (2 x 100 ml), séchées sur sulfate de magnésium, concentrées sous pression réduite, puis sous vide poussé pour donner une huile jaune pâle (1,6 6 g g brut; 98%). Le composé obtenu présente les caractéristiques suivantes: IR (ATR) (cm-1): 2974; 2941; 1709; 1215.
RMN 1H 400 MHz (CDCI3)( # ppm, J Hz): 3.01 et 2.95 (2H, 2d, JAS = 16.1, CH2C02); 1.89 (1H, m); 1.75 (2H, m, CH2); 1.58 (3H, m); 1.31 (6H, s, 2ECH3).
2 ) Méthode B A une solution du diacide éthylénique issu de l'exemple 3 (50 mg; 0,23 mmol) dans du toluène anhydre (500 pLI), on ajoute du chlorure de zinc (6 mg; 0,04 mmol) et on porte le mélange à 80 C. Après 15 heures d'agitation à 80 C, le mélange est ramené à température ambiante, hydrolysé par une solution d'acide chlorhydrique à 10%. La phase aqueuse est extraite à l'acétate d'éthyle (3 fois). Les phases organiques réunies sont séchées sur du sulfate de sodium puis concentrées sous pression réduite pour donner un solide jaune pâle (38 mg brut; 76%) dont les caractéristiques sont identiques à celles du produit issu de la méthode A.
% obtenu : C 69,64 %, H 6,08 %.
# Pouvoir rotatoire : [a]20 = -70,0 (# = 436 nm, c = 0,7 g/dm3, CHC13).
EXEMPLE 4 : COMPARATIF SYNTHESE DE L' a-PHENYL PROPIONATE DE CELLULOSE DANS UN MELANGE PYRIDINE/TOLUENE : Dans un ballon tricol de 100 ml muni d'un réfrigérant surmonté d'une garde à chlorure de calcium, d'une ampoule à addition et d'un thermomètre, on place 0,4g (2,5 mmol) de cellulose microcristalline Avicel (Merck 2331, [(162)n]g sur la base du monomère glucose), préalablement séchée pendant toute une nuit à 120 C à l'étuve à vide, et 60 ml de toluène, préalablement distillé et séché sur tamis moléculaire. On agite et on chauffe pendant une heure à 80 C. On ajoute 4 ml de pyridine préalablement distillée et déposée sur KOH. On laisse le mélange revenir à température ambiante et on ajoute, goutte à goutte en 10 min, 1,3g (8 mmol, 3 équivalents) de chlorure d'acide a-phényl propionique racémique, fraîchement préparé, en mélange avec 10 ml de toluène. La réaction est portée à 125 C pendant 5 h. On laisse le mélange revenir à
température ambiante et on rajoute, goutte à goutte en 10 min, 2,1g (12 mmol, 5 équivalents) de chlorure d'acide a-phényl propionique, fraîchement préparé, en mélange avec 10 ml de toluène. La réaction est de nouveau portée à 125 C pendant 43 h.
Après refroidissement, le mélange réactionnel est versé dans 100 ml de méthanol sous agitation. Le précipité formé est récupéré par filtration, puis dissous dans 30 ml de dichlorométhane. La solution est filtrée et concentrée sous pression réduite. Le résidu est versé dans 100 ml de méthanol sous agitation et on récupère, par filtration, le polymère greffé sous forme d'une poudre de couleur sombre. Ces opérations de dissolution-précipitation sont effectuées une deuxième fois. Le produit obtenu est séché à l'étuve à vide pendant deux heures à 50 C. On obtient 1,13g (rdt = 80 % sur la base d'une trisubstitution) d'un polymère chiral a-phényl propionate de cellulose avec un degré de substitution de 2,5 déterminé par analyse élémentaire.
ANALYSES : - IR(KBr) Vrnax (ci'1) : 3500 (OH), 3100-2800 (-CH3),1760 (C=O), 1610/1510/710 (C=C aromatiques en para), 1480 (ôas-CH3), 1170 et 1090 (C=O/C-O).
#'H-RMN (CDCI3, 200 MHz) ô (ppm) : 0,9-1,9 (m, a-CH3), 2,4-5,1 (m, H cellulosiques + H benzyliques), 6,7-7,5 (m, H aromatiques).
% obtenu : C 69,51 %, H 6,07 %.
#Pouvoir rotatoire : [cr]20= -75,0 (X = 436 nm, c = 0,7 g/dm3, CHC13). EXEMPLE 5 : COMPARATIF SYNTHESE DE L'a-PHENYL PROPIONATE DE CELLULOSE DANS UN MELANGE DE TOLUENE ET TRIETHYLAMINE - On opère comme dans l'exemple 3, mais en remplaçant la pyridine par de la triéthylamine ; avec 0,41g de cellulose, 60 ml de toluène, 1,3 g puis 2 g (7 équivalents) de chlorure d'acide a-phényl propionique racémique en mélange avec 10 ml de toluène, 5 ml de triéthylamine et un reflux à 120 C. On obtient la cellulose initiale non estérifiée (polymère totalement insoluble dans le dichlorométhane, IR identique à la cellulose initiale).
EXEMPLE 6 : SYNTHESE DU DI-a-PHENYL PROPIONATE DE CELLULOSE DANS LA PYRIDINE : On opère comme dans l'exemple 1, mais à une température de réaction de 90 C au lieu de 115 C, avec trois équivalents de chlorure d'acide cc-phényl propionique au lieu de huit et en effectuant une agitation ultrasonique pendant 30 min au moment de la dissolution de la phase dans le dichlorométhane (0,6g de cellulose, 1,9g (trois équivalents) de chlorure d'acide a-phényl propionique racémique, 45 ml de pyridine, chauffage à 90 C). On obtient alors 0,93g (rdt = 58,9 % sur la base d'une disubstitution) d'un polymère chiral a-phényl propionate de cellulose avec un degré de substitution de 1,99 déterminé par analyse élémentaire.
ANALYSES : IR(KBr) v# (crri 1) : 3530-2900 (OH), 3100-2800 (-CH3),1760 (C=O), 1610/1510/700 (C=C aromatiques en para), 1480 (5as-CH3), 1170 et 1090 (C=O/C-O). 'H-RMN (CDCI3, 200 MHz) 8 (ppm) : 0,9-1,8 (m, a-CH3), 2,5-5,3 (m, H cellulosiques + H benzyliques + OH résiduels), 6,7-7,4 (m, H aromatiques).
# Analyse Elémentaire : % calculé : C 67,6 %, H 6,1 % (pour une disubstitution).
% obtenu : C 67,56 %, H 6,1 %.
# Le pouvoir rotatoire n'a pas été mesuré à cause de la solubilité insuffisante du polymère dans le CHCI3.
gamme de cellules variées diploïdes ou primaires de mammifères. Ce milieu est ensuite additionnée : - d'une quantité de 5% de SVF (Sérum de Veau Foetal) décomplémenté à 56 C pendant 1 heure, - de 0,6 mg/ml de L-glutamine, - de 200 IU/ml de pénicilline, - de 200 pg/ml de streptomycine, - de 0,1mg/ml de gentamicine.
Les 12 lignées cellulaires cancéreuses humaines qui ont été utilisées ont été obtenues auprès de l'American Type Culture Collection (ATCC, Rockville, MD, USA).
Ces 12 lignées cellulaires sont : - U-373MG (code ATCC : et U-87MG (code ATCC : qui sont deux glioblastomes, - SW1088 (code ATCC : HTB-12) qui est un astrocytome, - A549 (code ATCC : et A-427 (code ATCC HTB-53) qui sont deux cancers du poumon non-à-petites-cellules, - HCT-15 (code ATCC : CCL-225) et LoVo (code ATCC : CCL-229 qui sont deux cancers colorectaux, - J82 (code ATCC : HTB-1) et T24 (code ATCC : qui sont deux cancers de la vessie, -PC-3 (code ATCC : CRL-1345) qui est un cancer de la prostate.
Au niveau expérimental 100 l d'une suspension cellulaire contenant 20. 000 à 50. 000 (selon le type cellulaire utilisé) cellules/ml de milieu de culture sont ensemencés dans des plaques multi-puits de 96 puits à fond plat. Les cellules sont laissées au repos dans un incubateur à 37 C, 5% CO2 et 70% d'humidité jusqu'au traitement, c'est-à-dire jusqu'au lendemain. Après ce temps d'incubation de 24 heures, le milieu de culture est remplacé par 100 l de milieu frais contenant les différents composés testés. Au bout de 72 heures, le milieu de culture est remplacé par 100 l d'une solution jaunâtre de MTT dissous à raison de 1 mg/ml dans du RPMI 1640. Les microplaques sont ainsi incubées pendant 3 heures à 37 C. Après quoi, ces dernières sont centrifugées pendant 10 minutes à 400 g. La solution de MTT est alors remplacée par 100 l de diméthylsulfoxyde. Les microplaques sont agitées pendant 5 minutes. L'intensité de la coloration bleue résultant de la transformation du produit MTT jaune en formazan bleu
par les cellules encore vivantes au terme de l'expérience est quantifiée par spectrophotométrie à l'aide d'un appareil de type DYNATECH IMMUNOASSAY SYSTEM à la longueur d'onde de 570 nm. Un logiciel intégré au spectrophotomètre calcule les valeurs moyennes de densité optique ainsi que les valeurs de déviation standard (Dév. Std. ) et d'erreur standard sur la moyenne (ESM).
A titre d'exemple, on donnera dans les tableaux Il et III les résultats obtenus avec les composés 10 et 17.
TABLEAU II COMPOSE 10 (CRL8245) lignées cellulaires CONCENTRATIONS cancéreuses 10-5 10-6 10-7 10-8 10-9 10-'" U-87MG 58,6 1,7 *** 79,4 + 2,5 *** 79,7 1,8 *** 79,5 + 2,2 *** 88,6 + 3,8 * 100,3 + 4,8 NS U-373MG 63,7 2,7 *** 92,8 3,6 NS 96,0 + 2,2 NS 92,4 + 2,0 95,0 + 3,7 NS 97,5 + 3,3 NS SW 1088 75,1 1 2,0 *** 97,7 1,6 NS 98,9 + 3,5 NS 97,7 + 2,4 NS 102,8 + 4,0 NS 95,8 + 3,4 NS T24 51,1 + 1,g *** 89,8 + 3,4 83,1 + 2,g *** g0,4 + 3,7 80,4 + 4,5 ** 87,0 + 2,8 ** J82 31,1 0,6 *** 84,2 + 3,0 *** 86,3 + 2,7 ** 87,1 1,7 *** 90,0 2,3 ** 97,7 + 2,3 NS HCT-15 35,8 1,2 *** 71,0 1,7 *** 68,9 2,3 *** 75,2 2,1 *** 81,5 2,6 *** 85,5 3,1 ** LoVo 65,5 1,1 *** 90,5 2,0 ** 89,2 2,8 ** 105,7 3,6 NS 97,7 + 2,2 NS 107,6 + 3,0 NS MCF7 46,9 1,0 *** 87,6 3,6 * 89,5 3,4 * 91 ,6 2,8 * 86,9 2,2 *** 95,3 + 2,3 NS T-47D 59,6 2,9 *** 97,9 + 0,9 NS 98,3 + 3,7 NS 109,4 + 3,8 NS 110,8 + 3,4 NS 107,7 + 2,6 NS A549 74,1 2,1 *** 102,2 1,2 NS 96,8 3,7 NS 94,9 1,9 NS 91,4 1,8 * 97,0 2,1 NS A-427 69,0 + 1,9 *** 103,4 + 2,4 NS 110,4 + 2,8 * 106,7 + 2,2 NS 107,7 2,3 * 102,5 3,6 NS PC-3 74,4 1,9 *** 98,3 2,2 NS 93,4 + 2,1 NS 95,6 + 4,7 NS 99,0 + 3,8 NS 98,0 + 3,9 NS x +y = valeur moyenne + erreur standard condition contrôle = 100%(NS . p>0,05; * : p<0,05; ** : *** :
p lignées cellulaires CONCENTRATIONS cancéreuses 10-' 10-6 10-f 10 1 a-II icf# U-87MG 69,9 3,4 *** 93,4 1,7 NS 104,1 3,6 NS 101,6 2,8 NS 102,5 2,6 NS 104,0 1,1 NS U-373MG 93,4 1,5 NS 99,8 + 2,3 NS 96,9 + 1,3 NS 94,0 + 2,0 NS 96,3 + 1,8 NS 94,4 + 2,6 NS SW108884,7+3,1 **89,9 + 4,0 * 90,8 + 2,6 92,2 + 2,1 * 94,1 1 3,4 NS 92,7 + 2,1 * T2472,9+0,9***92,7 + 2,6 NS88,2+1,4***87,6 + 3,2 **99,8 + 2,2 NS 83,0 + 2,2 *** J82 71,6 + 2,2 *** 73,8 + 1,1 1 *** 78,4 + 3,2 *** 84,8 + 2,0 *** 85,5 + 2,1 ** 86,9 + 1,6 ** HCT-15 58,2 + 4,3 ***73,7 + 3,9 ***80,8+3,7**94,9 + 3,6 NS 95,1 4,2 NS 83,7 3,3 ** LoVo 97,3 + 3,6 NS 86,2 + 3,4 ** 96,9 + 4,1 NS 99,0 + 4,6 NS 92,5 + 3,6 NS 89,2 + 2,8 * MCF7 76,2 + 0,9 *** 88,5 + 2,5 ** 91,6 + 2,1 * 81,8 + 2,1 *** 98,2 + 2,5 NS 95,5 + 3,4 NS T-47D81,0+3,1 ***91,2 + 4,3 NS 85,8 + 3,3 ** 94,4 + 3,1 NS 102,2 + 2,3 NS 109, 1 2,6 A549 63,6 + 4,2 ***84,8 + 3,6 NS 103,3 + 3,4 NS 100,6 + 4,3 NS 96,4 + 4,3 NS 97,5 + 3,6 NS A-42773,1+1,7***88,7+3,5*86,9 + 2,0 ***73,7+3,1 ***106,3 + 3,0 NS96,2 + 3,3 NS PC-392,4+1,7*96,9 + 3,8 NS 101,2 + 2,9 NS 99,3 + 2,8 NS 114,2 + 2,0 *** 97,7 + 3,5 NS x+y = valeur moyenne + erreur standard condition contrôle = 100%(NS : p>0,05; * : p<0,05; ** : p<0,01, *** :
p<0,001).Il apparaît que les composés 10 et 17 induisent une inhibition significative de plus de 50% des lignées cellulaires étudiées à la concentration de 10-7 M. L'inhibition qu'ils induisent à la concentration de 10-5 M est globalement, sur les 12 lignées cellulaires considérées, très hautement significative.
3 - Activité antitumorale in vivo d'une association avec un agent cytotoxique Dans ces essais, les agents cytotoxiques suivants ont été utilisés : - cyclophosphamide, - étoposide, - doxorubicine.
Les essais ont été réalisés sur le modèle de l'adénocarcinome mammaire murin MXT hormono-sensible (MXT-HS) greffé sur des souris B6D2F1/Jlco âgées de 4 à 6 semaines.
On donnera à titre d'exemple les résultats obtenus en utilisant le composé 1 soit seul, soit en association avec les agents cytotoxiques.
Traitements 1 et 1 bis Le composé 1 est administré seul. La première injection du produit est réalisée au septième jour post-greffe (J7) pendant quatre semaines consécutives à raison de 5 injections par semaine (lundi, mardi, mercredi, jeudi et vendredi) et à la dose de 20 mg/kg.
Traitement 2 Le cyclophosphamide (CPA) est administré seul. La première injection du produit est réalisée au quatorzième jour post-greffe (J14) pendant trois semaines consécutives à raison de 3 injections par semaine (lundi, mercredi et vendredi) et à la dose de 10 mg/kg.
Traitement 3 Le composé 1 est co-administré avec le cyclophosphamide. Dans ce cas, la première injection du composé 1 est réalisée au septième jour post-greffe (J7) pendant quatre semaines consécutives à raison de 5 injections par semaine (lundi, mardi, mercredi, jeudi et vendredi) à la dose de 20 mg/kg et la première injection du cyclophosphamide est réalisée au quatorzième jour post-greffe (J14) pendant trois
semaines consécutives à raison de 3 injections par semaine (lundi, mercredi et vendredi) à la dose de 10 mg/kg.
lumière réfléchie par le réflecteur et qui est passée à tra- vers la lentille, présentant une limite supérieure du clair- obscur.15 On connaît un tel phare par le document DE-
32 18 703-A1. Ce phare présente un réflecteur, une source de lumière et une lentille à travers laquelle passe la lumière réfléchie par le réflecteur. En outre le phare présente un élément qui laisse passer la lumière et entoure la lentille au moins sur une partie de son pourtour, élément qui présente des profils optiques et à travers lequel peut passer et peut être concentrée la lumière émise par la source de lumière et
ne pouvant pas être captée par le réflecteur. L'élément pré-
sente comme profils optiques des prismes par lesquels la lu-
mière qui passe à travers est déviée.
Au moyen de cette configuration de l'élément, la surface d'éclairage du phare est agrandie par rapport à la
surface de la lentille quand la source de lumière est allu-
mée, de telle sorte que le phare ne cause pas d'éblouissement ou ne cause qu'un faible éblouissement subjectif. La quantité de lumière qui est émise par la source de lumière et qui
passe à travers l'élément, ne suffit pas toutefois dans cer-
tains cas pour obtenir un éclairage suffisant de l'élément.
Quand la source de lumière est coupée, l'élément paraît som-
bre et le phare présente un aspect non homogène indésirable.
Dans le cas des phares qui fonctionnent selon le principe de projection de la lumière, la lumière émise par ces phares présente une limite supérieure caractéristique précise de clair - obscur, ce qui est avantageux pour éviter d'éblouir le trafic qui vient en sens inverse, mais présente toutefois l'inconvénient que des objets disposés en hauteur, tels que
par exemple des panneaux indicateurs ou des panneaux de cir-
culation, ne sont pas éclairés ou ne sont pas suffisamment éclairés. Avantages de l'invention Le phare selon l'invention est caractérisé en ce qu'il présente au moins une source de lumière additionnelle qui sert à produire un feu de position, disposé d'une manière telle que la lumière émise par cette source passe au moins en
partie à travers l'élément.
Tableau 5 Quantité de P-glucane libre dans les types respectifs de champignons, respectivement non traités et traités par grillage aux rayons dans l'infrarouge lointain et par fermentation par "Koji"
Type de Spécimen Quantité de traitement ss-glucane Aucun Agaricus (AGARIKUSUTAKE) 9,0 g/100 g traitement Maitake (MAITAKE, noir) 24,4 g/100 g Grillage aux Agaricus (AGARIKUSUTAKE) 14,2 g/100 g rayons dans l'infrarouge lointain Maitake (MAITAKE, noir) 30,4 g/100 g + fermentation par "Koji" ~~~~~~~~~
D'autre part, des quantités de P-glucane libre, en tant qu'ingrédient efficace présentant une activité anti-tumorale, furent mesurées dans le cas du traitement pour renforcer la manifestation de l'effet antitumoral mentionné ci-dessus et dans le cas où on n'applique aucun traitement. Les champignons utilisés étaient agaricus (AGARIKUSUTAKE) et le champignon maitake (MAITAKE, champignon maitake noir (Kuromaitake)) qui présentaient des taux d'efficacité importants dans les tableaux 2 à 4. Par parenthèse, les analyses furent effectuées au Food Analysis Center, à Suita, Osaka, Japon. Les résultats sont indiqués dans le tableau 5.
Les résultats du tableau 5 montrent que les quantités de ss-glucane libre augmentent lorsqu'on applique le traitement mixte de grillage aux rayons dans l'infrarouge lointain et de fermentation par "Koji" à la fois au champignon agaricus (AGARIKUSUTAKE) et au champignon maitake (MAITAKE). En ce qui concerne un champignon maitake (MAITAKE) autre que le champignon maitake noir (Kuromaitake), on peut également obtenir les mêmes effets dans POLYPORUS (CHOREIMAITAKE, Polyporus umbellatus FRIES) . D'autre part, les résultats des tests cliniques des tableaux 2 à 4 montrent que les effets anti-tumoraux sont plus élevés dans le cas où on applique le traitement mixte de grillage aux rayons dans l'infrarouge lointain et de fermentation par "Koji" par rapport au cas où on n'applique aucun traitement.
Ainsi, en examinant en combinaison les résultats des tableaux 2 à 4 et ceux du tableau 5 , on peut considérer que, parmi les (3-glucanes efficaces en ce qui concerne l'activité anti-tumorale des champignons, notamment lorsque la quantité de (3-glucane libre est importante, les effets anti-tumoraux se manifestent de
Le présent inventeur a terminé la série mentionnée ci-dessus d'études en émettant l'hypothèse mentionnée ci-dessus que, dans le cas des champignons non traités, les ss-glucanes ayant une action antitumorale sont dans un état immobile en se liant les uns aux autres pour former une chaîne (à titre de simple comparaison), qui est ce qu'il est convenu d'appeler un état non activé, et que, lorsque les champignons sont administrés par voie interne, la chaîne ne peut pas être coupée par le suc gastrique d'une personne normale, d'où il résulte que l'action anti-tumorale ne se présente pas comme on pouvait s'y attendre. Toutefois, comme mentionné ci-dessus, on a trouvé que l'augmentation de la quantité de ssi-glucane libre augmente notablement la manifestation de l'action antitumorale et qu'on pouvait obtenir les résultats attendus par l'hypothèse des présents inventeurs.
sans aucun traitement. Dans l'ordre présenté dans le tableau 1, en ce qui concerne les trois types de PORIA (BUKURYO), champignon Matsutake (MATSUTAKE) et le champignon Shiitake (SHIITAKE), ils présentent une possibilité de changement de l'ordre, c'est-à-dire de l'efficacité de l'activité anti-tumorale dans les trois méthodes de traitement, à savoir l'absence de traitement, la fermentation par "Koji" et le traitement mixte de grillage aux rayons dans l'infrarouge lointain + de fermentation par "Koji".
Cette étape consiste à déterminer, pour plusieurs couples de valeurs des paramètres énergie E et dose D, l'épaisseur de la couche 13 de résine carbonisée ou endommagée, en s'appuyant sur des plaquettes de test de référence ayant subi des cycles d'implantation ionique dans une machine d'implantation bien réglée. Le tableau 1 ci-après décrit en relation avec la figure 2 les diverses étapes permettant d'obtenir, pour un couple de valeurs E et D, trois valeurs d'épaisseurs eîr, e2r e3r et trois valeurs d'indices de réfraction nir n2rw n3r définissant un modèle de plaquette de test de référence. Les étapes décrites dans le tableau 1 sont répétées pour plusieurs couples de valeurs E, D jusqu'à l'obtention d'un ensemble de modèles de plaquettes de test de référence, à partir desquels on peut tracer des courbes du type représenté sur les figures 3 et 4.
Tableau 1 : caractérisation d'un modèle de plaquette test
Étapes préparatoires Étapes de caractérisation du modèle étape 1.1 étape 1.4 Choix de E (énergie, en keV) Mesure des paramètres tan# cos# Choix de D (dose, en ions/cm) de la plaquette de test de référence étape 1.2 étape 1.5 Choix d'un modèle structurel Calcul des paramètres initial de plaquette de test ayant théoriques un substrat et un film de résine tan#m et cos#m organique comprenant une couche de du modèle résine carbonisée ou endommagée et (bloc 28) une couche de résine intacte étape 1.@ étape 1.6 Fournir à l'unité de calcul 26 Calcul des erreurs e (#) et e (#) (bloc 27) des valeurs initiales entre les paramètres tan#m cos#m d'épaisseurs e1, e2 e3 et du modèle et les paramètres d'indices n1, n2, n3 du modèle mesurés tan# cos# initial de la plaquette de test de référence (bloc 29) étape 1.3 étape 1.7 Appliquer un cycle d'implantation Correction du modèle de ionique à une plaquette de test au plaquette de test (bloc 27) moyen d'une machine d'implantation de référence pour les valeurs de E répétition des étapes 1.5 à 1.7 et de D choisies (itération) étape 1.8 Obtention d'un modèle définitif de plaquette de test de référence épaisseurs e1r, e2r e3r, indices : nir n2r, n3r tels que cosys, = cos# et tant, = tanW Pour fixer les idées, les figures 3 et 4 illustrent schématiquement des résultats d'évaluation de la méthode pour une implantation au bore, réalisés au moyen d'une résine organique de type HIPR6512 commercialisée par la société OLIN et d'un spectro-ellipsomètre de marque SOPRA. On trouve sur la figure 3 des courbes 40, 41, 42 donnant l'épaisseur e3 de résine carbonisée en fonction de la dose D, pour des énergies d'implantation de 30, 35 et 40 keV respectivement. Ces courbes ont un profil régulier et proportionnel qui montre que l'épaisseur de résine carbonisée calculée par spectro-ellipsométrie est un paramètre fiable pour évaluer la dose D. Par ailleurs, la figure 4 représente des courbes 43, 44, 45, 46 donnant l'épaisseur e3 de résine carbonisée en fonction de l'énergie E, pour des doses de 1015, 1,25 1015 1,5 1015 15 et 2 1015 ions/cm2 respectivement. Le profil régulier et proportionnel de ces courbes montre que l'épaisseur de résine carbonisée est. également un paramètre fiable pour contrôler l'énergie d'implantation ionique E.
Bien entendu, les valeurs numériques données par les figures 3 et 4 ne sont pas absolues et dépendent du modèle structurel retenu, qui est susceptible de diverses variantes. Ainsi, par exemple, pour des doses supérieures à 1014 ions/cm2, on pourrait choisir un modèle à quatre couches comprenant : le substrat 31, une couche profonde de résine non endommagée, une couche intermédiaire de résine endommagée et une couche supérieure de résine carbonisée. Avec un tel modèle, les valeurs calculées de ltépaisseur de la couche carbonisée seraient différentes.
Toutefois, le modèle à trois couches choisi par la demanderesse semble pleinement satisfaisant en ce qu'il a permis, après plusieurs itérations, de faire coïncider les paramètres ellipsométriques théoriques tant,, cor6, du modèle avec les paramètres mesurés tant, cos6, sur toute la plage des longueurs d'onde x offertes par le spectro-ellipsomètre.
Enfin, le choix d'un substrat 31 en silicium monocristallin n'est également pas impératif. Le substrat pourrait par exemple être en céramique et revêtu d'une fine couche de métallisation permettant de réfléchir le faisceau de lumière polarisée. Le dépôt d'une métallisation est également envisageable sur un substrat de silicium.
Applcation de la méthode selon l'invention au réglage et/au contrôle d'un processus d'implantation ionique La méthode étant évaluée et étalonnée pour diverses espèces dopantes et divers couples énergie/dose, on va maintenant pouvoir l'appliquer au réglage ou au contrôle d'une machine d'implantation. Rappelons ici que le réglage d'une machine d'implantation est nécessaire au démarrage de la fabrication d'un nouveau lot de plaquettes produits, lorsque les paramètres E et D sont modifiés. Une fois réglée, la machine doit être contrôlée régulièrement afin de détecter une éventuelle dérive de ces paramètres.
On utilise maintenant une ou plusieurs plaquettes de test de même structure que les plaquettes de test de référence, auxquelles on applique un cycle d'implantation ionique. En pratique, la durée du cycle d'implantation ne représente que quelques minutes. De plus, les plaquettes de test sont recyclables car la résine organique carbonisée peut être retirée au moyen d'un solvant, d'un acide ou d'une machine de gravure à plasma. La méthode est donc rapide et peu coûteuse.