INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Le système de canalisation d'air 52 comprend en outre un conduit de dériva tion 82 faisant office de passage de communication d'atmosphère, raccordé depuis une partie de conduit du côté montage 75, c'est-à-dire une partie une partie du système de canalisation d'air 52 entre l'unité de montage de moteur 10 et la valve de commutation 72. A l'extrémité ouverte du conduit de dérivation 82, est connectée une valve de régulation de pression 84, de manière que le conduit de dérivation 82 soit susceptible d'être connecté à l'atmosphère par la valve de régulation de pression 82. La valve de régulation de pression 82 est réglée pour être ouverte auto matiquement afin de connecter le conduit de dérivation 82 à l'atmosphère, lorsque le niveau de pression négative du système de canalisation d'air 52 augmente et dépasse le niveau de pression négative prédéterminé, de manière que la pression négative de valeur excessive soit automatiquement atténuée par l'introduction d'air atmosphéri que via la valve de régulation de pression 82, de manière que le niveau de la pression négative appliquée au système de canalisation d'air 52 et à la chambre pneumatique de travail 50 soit efficacement régulé, précisément soit maintenu pour être égal ou inférieur au niveau prédéterminé.
Comme illustré sur la figure 1, la valve de régulation de pression 82 comprend un alésage de valve 86, ayant une section transversale de forme circulaire et débou chant, sur une extrémité ouverte opposée, vers l'atmosphère et, à l'autre extrémité ouverte, dans le conduit de dérivation 82, un clapet de valve 88 en forme de bille et un ressort hélicoïdal 90 apte à déplacer le clapet de valve 88 à l'extrémité ouverte de l'alésage de valve 86 sur le côté du conduit de dérïvation 82, de manière à fermer l'extrémité ouverte de l'alésage de valve 86. Dans l'état que l'on voit sur la figure 1, le clapet de valve 88 est placé de façon forcée sur l'extrémité ouverte côté conduit de dérivation de l'alésage de valve 86 par l'effet la force de déplacement exercé par le ressort hélicoïdal 90, étant donné qu'une force de retenue appliquée au clapet de valve 88, basée sur la différence existant entre la pression négative régnant dans le système de canalisation d'air et d'atmosphère, est de valeur insuffisante pour entraî ner le déplacement du clapet de valve 88 dans la direction d'écartement vis-à-vis de l'alésage de valve 88, à l'encontre de la force de déplacement. En fait le niveau de pression négative régnant dans le système de canalisation d'air est inférieur au niveau de pression négative prédéterminé. Lorsque la pression négative régnant dans le système de canalisation d'air augmente et dépasse le niveau de pression négative prédéterminé, d'autre part, la force de rétraction appliquée au clapet de valve 88 est de valeur suffisante pour entraîner le déplacement de ce clapet de valve 88, à l'encontre de la force de déplacement, dans la direction d'écartement vis-à-vis de l'alésage de valve 88, c'est-à-dire en direction du conduit de dérivation 82, si bien qu'une certaine quantité d'air l'atmosphérique est introduite dans le conduit de déri vation 82 et est appliquée à la chambre pneumatique de travail 52. Ainsi, le niveau de la pression négative appliquée à la chambre pneumatique de travail 50 est effica cement rendu inférieur au niveau de pression négative prédéterminé (plus proche de la pression atmosphérique).
Dans la valve de régulation de pression construite telle que décrite ci-dessus, le niveau de pression négative prédéterminé peut être déterminé, de façon optionnelle, par un réglage de la force de déplacement du ressort hélicoïdal 90 appliquée au clapet de valve 88, par la longueur et par le diamètre de l'alésage de valve 86, et analogue.
En plus, l'extrémité ouverte du côté atmosphère de l'alésage de valve 86 est raccordée à un silencieux 92. Lors de l'actionnement de la valve de régulation 84 de l'air atmosphérique est introduit dans le conduit de dérivation 82, en passant par le silencieux 92 et l'alésage de valve 86, dans cet ordre de passage. Le fait de prévoir le silencieux 92 élimine ou même réduit le problème du bruit provoqué par une réso nance de l'air s'écoulant dans l'alésage de valve 86,à une vitesse relativement élevée, lors de l'ouverture de la valve de régulation de pression 84. Le silencieux 92 peut être du type à laine de verre, du type à résonance, du type à interférence, du type à cavité, ou bien de tout autre type classique.
Lorsque l'unité de montage du moteur 10 et le système de canalisation d'air 52 sont installés sur le véhicule automobile, l'actionneur électromagnétique 94 de la valve de commutation 72 est actionné, d'après un signal électrique de commande lui étant appliqué par un conducteur. Le signal électrique de commande correspond à la vibration à amortir, c'est-à-dire que la fréquence et la phase du signal d'actionnement correspondent à la fréquence et à la phase de la vibration à amortir. De préférence, le signal de commande peut être un signal d'impulsion d'allumage, détecté depuis le moteur à combustion interne, et d'autres signaux correspondant à la vibration à amortir, qui sont détectés à l'aide de capteurs appropriés. Ainsi, la valve de commutation 72 est actionnée selon le signal d'actionnement électrique correspondant à la vibration à amortir, ce qui entraîne une variation périodique de la pression d'air dans la chambre pneumatique de travail 50, à une fréquence qui correspond à celle de la vibration à amortir. La variation périodique de la pression d'air dans la chambre pneumatique de travail 50 entraîne l'oscillation de la plaque élastomère 44 à la même fréquence, générant de cette manière une variation périodi que de la pression de fluide dans la chambre de fluide oscillante 48, sous une fréquence correspondant à la vibration à amortir. La variation périodique de la pression d'air dans la chambre de fluide oscillante 48 est transmise à la chambre de réception de pression 56 par le flux de fluide passant par le passage d'orifice 60, appliquant de cette manière une force oscillante dont la fréquence correspond à la vibration à amortir, entre les premier et deuxième éléments de montage 12, 14, c'est-à-dire entre l'unité motrice et la caisse ou carrosserie du véhicule.
Dans le présent mode de réalisation, le moteur à combustion interne peut être du type à injection directe qui inclut des modes de combustion sélectifs, précisément un mode de combustion à charge stratifiée et un mode de combustion stcechiométri- que. Lorsque le moteur à combustion interne sélectionne son mode de combustion stoechiométrïque, la pression négative régnant dans la source de dépression 18 augmente (la valeur absolue de la pression négative est élevée), tandis que lorsque le moteur à combustion interne sélectionne son mode de combustion à charge stratifiée la pression négative à la source de dépression 18 diminue (la valeur absolue de la pression négative est faible). Ceci signifie que la valeur de la pression négative à la source de dépression 18 varie en fonction des conditions de combustion du moteur à combustion interne du type à injection directe.
Au vu de la caractéristique indiquée ci-dessus de la source de dépression 18, le niveau de pression négative prédéterminé utilisée pour l'actionnement de la valve de régulation de pression 84 est déterminé pour un niveau approprié qui est sensible ment égal ou légèrement inférieur ou supérieur à celui de la pression négative à la source de dépression 18 dans le fonctionnement en combustion à charge stratifiée du moteur à combustion interne, dans le présent mode de réalisation. Cet agencement permet d'avoir une application efficace de la pression négative à la chambre pneumatique de travail 50 dans l'actionnement en combustion à charge stratifiée du moteur. En conséquence, la variation périodique de la pression d'air dans la chambre pneumatique de travail 50 est d'une amplitude souhaitée grâce à l'application alternée de l'atmosphère et de la pression négative régnant à la source de dépression 18, par l'opération de commutation de la valve de commutation 72, mettant de cette manière en oscillation la plaque élastomère 44 sous une amplitude souhaitée. De manière correspondante, la variation périodique de la pression du fluide remplissant la chambre de fluide oscillante sous pression 48 est induite à une amplitude souhaitée qui est transmise à la chambre de réception de pression 56 de manière à générer acti vement la force oscillante à l'amplitude souhaitée correspondant à la différence de pression entre l'atmosphère et la pression négative appliquée à la chambre pneumatique de travail 50.
Lorsque le moteur est en actionnement en mode de combustion stoechiométri- que, d'autre part, la valve de régulation de pression 84 qui est disposée sur le système de canalisation d'air 52 est actionnée ou ouverte du fait de l'application de la pression fortement négative dont le niveau est supérieur au niveau de la pression négative prédéterminé. En effet, la valve de régulation de pression 84 est actionnée pour relier à l'atmosphère le système de canalisation d'air 52 de manière que le niveau de la pression négative appliquée à la chambre pneumatique de travail 50 soit rendue infé rieure au niveau prédéterminé. De manière correspondante, l'amplitude de la varia tion de pression du fluide se trouvant dans la chambre de réception de pression 56 et l'amplitude de la force oscillante résultante appliquée entre les premier et deuxième éléments de montage 12, 14 sont réduites efficacement, de manière à éliminer ou à réduire le problème subi classiquement, qui est celui d'avoir une force oscillante augmentée de façon significative et qui est celui de la détérioration des conditions de vibration, détérioration qui est due à l'augmentation significative de la force oscil lante.
L'amortisseur de vibration construit selon le premier mode de réalisation de la présente invention est en mesure de générer une force oscillante efficace indépen damment du mode de combustion ou de l'état du moteur à combustion interne. En conséquence, le présent amortisseur de vibrations peut manifester un effet d'amortis sement des vibrations actif avec une haute stabilité, en appliquant cette force oscil lante efficace sur la carrosserie du véhicule, de manière à annuler activement ou à étouffer les vibrations de la carrosserie du véhicule, à l'aide de la force oscillante. En variante, l'amortisseur de vibrations du présent mode de réalisation peut réaliser un effet d'isolement actif à l'égard des vibrations en réduisant activement la valeur de la variation de la pression du fluide se trouvant dans la chambre de réception de pression 56 afin de réduire la rigidité élastique de l'unité de montage de moteur 10. I1 est souhaitable que l'unité de montage du moteur 10 soit agencée pour présenter l'effet d'amortissement des vibrations actif indiqué ci-dessus, ou l'effet d'isolation de vibrations actif, pour la vibration dont la bande de fréquence est suffisamment plus haute que la bande de fréquence à laquelle le passage de fluide 62 est accordé. Cet agencement permet à l'amortisseur de vibrations du présent mode de réalisation de d'assurer un effet d'amortissement des vibrations souhaité, sans l'influence négative du débit de fluide traversant le passage de fluide 62.
Durant le fonctionnent en combustion stoechiométrique du moteur, la pression négative régnant à la source de dépression 18 est augmentée (la valeur absolue de la pression négative est élevée), tandis que l'amplitude des vibrations à amortir tend à être réduite. Dans ce cas, la valve de régulation de pression 84 est actionnée pour relier à l'atmosphère le système de canalisation d'air 52 de manière que la pression négative de faible valeur soit appliquée à la chambre pneumatique de travail 50, en provoquant une force oscillante suffisamment faible. Ainsi le présent amortisseur de vibrations est en mesure d'empêcher la génération d'une force oscillante de valeur inutilement grande. En conséquence, même si l'amortisseur de vibrations du présent mode de réalisation est accordé à la vibration générée lors de l'actionnement en combustion à charge stratifiée du moteur, lorsque le niveau de pression négative est faible et que l'amplitude des vibrations à amortir est susceptible d'être grande, l'amortisseur de vibrations est en mesure d'assurer un effet d'amortissement souhaité par rapport aux vibrations générées lors de l'actionnement en combustion en charge stratïfiée du moteur, étant donné que la pression négative excessive du système de canalisation d'air 52 durant l'actionnement en combustion à charge stratifiée du moteur est efficacement atténué du fait de la liaison à l'atmosphère de ce système, par l'intermédiaire de la valve de régulation de pression 82.
Z représente un ensemble d'atomes nécessaires pour former le groupe hydrocarboné alicyclique. Le groupe hydrocarboné alicyclique être un groupe hydrocarboné alicyclique quelconque, mais, de préférence, il comporte un squelette constitué par l'un des composés suivants adamantane et ses dérivés, norbomane et ses dérivés, perhydroanthracène et ses dérivés, perhydronaphtaléne et ses dérivés, tricyclo[5.2.1.0',6]décane et ses dérivés, bicyclohexane et ses dérivés, spiro[4,4]nonane et ses dérivés, spiro[4,5]decane et ses dérivés.
Parmi ces groupes hydrocarbonés alicycliques, on préfère en particulier ceux ayant squelette d'adamantane et de ses dérivés, par exemple le composé représenté par la formule (III-1) suivante où R et Y sont tels que définis ci-dessus.
Structure d'alcool tertiaire préférée (IV) où R et Y sont tels que définis ci-dessus.
BA représente un groupe d'atomes nécessaires pour former le cycle bicycloalcane. Le cycle bicycloalcane peut être un cycle bicycloalcane quelconque mais c'est de préférence bicyclohexane, le bicyclooctane ou le bicyclodécane, et de préférence encore le bicyclooctane. Le bicyclooctane peut être représenté par la formule (IV-1) suivante 'Y où R et Y sont tels que définis ci-dessus.
Il est possible faire varier largement la proportion de la seconde unité monomère dans le polymère filmogène selon la présente invention en fonction des propriétés souhaitées pour la composition de résist, mais habituellement elle est situee dans le domaine de 0,1 à 70 mol % par rapport à la quantité totale de polymère filmogène.
Le polymère filmogène utilisé comme résine de base selon la présente invention contient des première et seconde unités monomères mentionnées ci- dessus. Dans un mode de realisation de l'invention que l'on préfère, la première unité monomère ou la seconde unité monomère, ou les deux unités monomères peuvent contenir en outre, plus du groupe soluble en milieu alcalin qui doit être inclus dans la première unité monomère, un groupe soluble en milieu alcalin plus faible. Ce groupe soluble en milieu alcalin supplémentaire sera normalement lié à la chaîne latérale de l'unité monomère. Les groupes solubles en milieu alcalin appropriés comprennent, mais sans limitation, par exemple, les cycles lactone, les cycles imide et les anhydrides d'acide. Dans certains cas, le groupe soluble en milieu alcalin supplémentaire dans le polymère filmogène peut être inclus dans des troisièmes unités monomères, des quatrièmes unités monomères ou des unités monomères d'ordre supérieur qui sont utilisées en plus des première et seconde unités monomères.
Le polymère filmogène dont il est question ici est un copolymère binaire comprenant une première unité monomère comprenant un groupe phénolique en tant que groupe soluble en milieu alcalin sur la chaîne latérale, et une seconde unité monomère contenant un groupe adamantyle semblable à la formule (III-1) ci-dessus en tant que structure d'alcool tertiaire sur la chaîne latérale, comme le montre le schéma réactionnel représenté ci-dessous. Dans ce schéma, Y tel que défini ci-dessus et X est un substituant facultatif, par exemple un atome d'hydrogène, un atome d'halogène (comme le chlore ou le brome), un groupe alkyle inférieur (comme méthyle ou éthyle), notamment. Les indices m n représentent les nombres d'unités monomères (unités répétées) nécessaires pour obtenir la masse moléculaire voulue pour le copolymère.
Quand une composition de résist comprenant le polymère filmogène et le photogénerateur d'acide (PAG) est appliquée en revêtement sur un substrat cible et quand le film de résist est précuit puis exposé à un rayonnement formateur d'image, le PGA dans la composition de résist absorbe le rayonnement et se décompose pour produire un acide. La cuisson après exposition (CAE) subséquente permet à l'acide produit de jouer le rôle de catalyseur pour produire une réaction (représentée ci-dessous) au niveau des parties exposées film. Autrement dit, il se produit une réaction de déshydratation au niveau de la structure d'alcool tertiaire de la seconde unité monomère et du cycle phénolique voisin. De nombreuses réactions de ce type ont lieu simultanément, ce conduit à des produits de réaction entre les cycles phénoliques et des structures d'alcool tertiaire et à des produits de protection des cycles phénoliques avec les structures d'alcool tertiaire, ce qui modifie la solubilité du polymère en milieu alcalin.
Dans cette réaction, le cation résultant de la réaction de déshydratation entraîne une réaction de substitution électrophile avec le groupe hydroxyle du cycle vinylphénol ou l'atome de carbone en position ortho du cycle. Dans le premier cas, le cation réagit directement avec le groupe soluble en milieu alcalin, ce qui réduit la solubilité en milieu alcalin, tandis dans le second cas, la forte hydrophobie et l'empêchement stérique du groupe adamantyle réduisent la solubilité en milieu alcalin. Ainsi, la solubilité milieu alcalin est considéra blement abaissée au niveau des parties exposées à la lumière, ce qui conduit à un motif négatif.
Le schéma réactionnel représenté ci-dessous correspond au cas où la résine de base utilisée est un copolymère binaire comprenant une première unité monomère contenant un groupe carboxyle en tant que groupe soluble en milieu alcalin sur chame latérale et une seconde unité monomère contenant même groupe adamantyle que ci-dessus en tant que structure d'alcool tertiaire sur la chaîne latérale. Dans ce cas, Y, X, m et n sont définis comme ci-dessus. Dans le cas d'une composition de résist contenant un copolymère binaire, une irradiation avec un rayonnement formateur d'image conduit aussi à une réaction de déshydratation entre l'alcool tertiaire et le groupe carboxyle voisin. Il résulte que la solubilité en milieu alcalin du polymère est réduite. Ainsi, la solubilité en milieu alcalin est considérablement abaissée au niveau des parties exposees à la lumière, ce conduit à un motif négatif. composition de résist selon la présente invention une "composition à amplification" qui comprend une structure d'alcool dans le polymère filmogène utilisé comme résine de base, dont la réaction peut génerer un acide protonique, ce qui permet d'obtenir une haute résolution. De plus, comme la composition de résist perd son groupe soluble en milieu alcalin après la protection du groupe sensible (plus précisément après sa conversion en un ester ou ether), les parties exposées du film de résist deviennent insolubles en milieu alcalin ce qui permet la formation d'un motif négatif après le développement avec solution aqueuse basique. Par ailleurs, comme la formation d'un motif selon la présente invention est réalisée grâce à un changement de polarité produit dans ce polymère, la formation du motif peut être accomplie sans gonflement.
Si le polymère filmogène utilisé comme résine de base est sous forme d'un terpolymère, il comporte de préférence un groupe soluble en milieu alcalin relativement fort représenté par un acide carboxylique ou un phénol introduit dans la première unité monomère, et un groupe soluble en milieu alcalin plus faible tel qu'une structure lactone, un anhydride d'acide comme l'anhydride succinique ou l'anhydride glutarique, une structure cyclique d'imide, notamment, introduit dans la seconde unité monomère. Dans de tels cas, il est possible de réguler teneurs du groupe soluble en milieu alcalin fort et du groupe soluble en milieu alcalin faible pour permettre un ajustement aisé de la vitesse de dissolution milieu alcalin de la resine de base à la valeur préférée. De préférence, la troisième unité monomère comporte un groupe fonctionnel présentant une résistance à la gravure. Ainsi, en choisissant de manière appropriée les substituants introduits dans chacune des unités monomères et en tirant avantage des fonctions respectives des groupes fonctionnels, il est possible d'obtenir un résist à plus hautes performances.
La structure d'alcool dans le polymère filmogène de la composition de résist est de 'férence une structure d'alcool tertiaire. Ceci est dû au fait que la présence d'une structure d'alcool tertiaire permet plus aisément une réaction de déshydratation. Selon la présente invention, un composé ayant une structure d'alcool rendant possible une telle réaction (appelée dans toute la présente description "composé contenant une structure d'alcool") est inclus dans la composition de résist en tant qu'additif, en même temps que la structure d'alcool mentionné ci-dessus dans une unité monomère du polymère. La structure de ce composé contenant une structure d'alcool ajouté n'est pas limitée particulièrement, mais compte tenu du fait que sa fonction principale consiste à contribuer à une plus grande résistance à la gravure, il s'agit de préférence d'un composé alicyclique polycyclique ou d'un composé dont la molécule renferme un cycle benzénique. De plus, le composé a de préférence une structure d'alcool tertiaire qui subit plus aisément une réaction de déshydrations avec un acide. On va maintenant revenir à la description du polymère filmogène présentant une structure préférée d'un polymère approprié pour la mise en oeuvre de l'invention.
Le polymère filmogène utilisé comme résine de base dans composition de résist selon l'invention n'est pas limité particulièrement dans mesure où les conditions mentionnées ci-dessus, en particulier la condition d'une vitesse de dissolution en milieu alcalin appropriée, sont remplies. Pour obtenir résistance ' la gravure à sec comparable à celle des résist à base de résines novolaques, les polymères filmogènes utiles comprennent, mais sans limitation les suivants : les polymères à base d'acide (méth)acrylique, les polymères à base de vinylphenol, les polymères à base d'acide vinylbenzoïque, les polymères à base de maléimide N-substitué, les polymères à base de styrène, les polymères à base d'acide bicyclo[2.2.1 ]hept-5-ène-2-carboxylique, notamment, et les polymères ayant des groupes esters contenant des entités hydrocarbonés alicycliques polycycliques.
Parmi les polymères filmogènes mentionnés ci-dessus, les polymères a base d'acide (méth)acrylique ou de (méth)acrylate, c'est-à-dire à base d'acrylate ou à base de méthacrylate, sont importants pour obtenir une faible absorption d'une lumière ayant une longueur d'onde située dans la région des ultraviolets moyens, quand une source d'ultraviolets moyens et en particulier une source lumineuse ayant une longueur d'onde de 220 nm ou moins est utilisée comme source lumineuse d'exposition. Autrement dit, quand des rayons ultraviolets moyens sont utilisés comme source lumineuse d'exposition, on préfère généralement utiliser un copolymère dont la structure ne contient pas de cycles aromatiques qui absorbent la lumière dans la région des ultraviolets moyens ou de groupes chromophores ayant un grand coefficient d'absorption molaire, comme les doubles liaisons conjuguées.