REVENDICATIONS 1. Procédé d'inspection d'un substrat configuré, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes consistant à: a. préparer une image de référence et une image de test (610); b. extraire des particularités à partir de l'image de référence et extraire des particularités à partir de l'image de test (620); c. mettre en concordance des particularités de l'image de référence et des particularités de l'image de test (625); et d. comparer des particularités de l'image de référence et de l'image de test afin d'identifier des défauts (630). 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'étape consistant à: aligner l'image de test avec l'image de référence (615) avant de mettre en concordance des particularités de l'image de référence et des particularités de l'image de test. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'étape consistant à: enregistrer des défauts identifiés lors de la comparaison de particularités de l'image de référence et de l'image de test (635). 4. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'image de référence est une image de contraste de tension d'un premier substrat configuré et l'image de test est une image de contraste de tension d'un deuxième substrat. 5. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'image de référence est une image de contraste de tension d'une première région d'un substrat configuré et l'image de test est une image de contraste de tension d'une deuxième région du même substrat configuré. 6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que l'image de référence est une image de cellules qui se répètent d'un substrat configuré et l'image de test est une duplication de l'image de référence, décalée d'une cellule par rapport à l'image de référence. 7. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que préparer l'image de référence et l'image de test comprend les sous-étapes consistant à lisser l'image de référence et lisser l'image de test (7610B, 9610B, 9610D). 8. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que préparer l'image de référence et l'image de test comprend les sous-étapes consistant à normaliser l'image de référence et normaliser l'image de test (7610C, 9610E). 9. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que préparer l'image de référence et l'image de test comprend les sous-étapes consistant à mémoriser l'image de référence (9610A) et mémoriser de l'image de test (9610C). 10. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'extraire des particularités comprend les sous-étapes consistant à: extraire des particularités à partir de l'image de référence (9620A) et ensuite extraire des particularités à partir de l'image de test (9620B). 11. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que préparer une image de référence et une image de test et extraire des particularités à partir des images comprennent les étapes consistant à: mémoriser une image de référence (9610A) et extraire des particularités à partir de l'image de référence (9620A), et mémoriser une image de test (9610C) et extraire des particularités à partir d'une image de test (9620B). 12. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'image de test et l'image de référence comprennent des données de pixels qui incluent une information d'emplacement et d'intensité et en ce qu'extraire des particularités à partir de l'image de référence et de l'image de test comprend les sous- étapes consistant à: appliquer un effet de seuil à l'information d'intensité pour produire une image à niveau binaire qui inclut des régions de particularités et des régions sans particularités ; utiliser l'image de niveau binaire en tant que masque pour définir comme particularités les régions de l'image de test qui correspondent aux régions de particularités de l'image de niveau binaire. 13. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'image de test et l'image de référence comprennent des données de pixels qui incluent une information d'emplacement et d'intensité et en ce qu'extraire des particularités à partir de l'image de référence et de l'image de test comprend les sous- étapes consistant à: comparer de façon répétitive l'image de test à une particularité modèle pour produire des données de corrélation qui représentent une corrélation de particularités de l'image de test avec l'image modèle; appliquer un effet de seuil aux données de corrélation pour identifier les emplacements de particularités à l'intérieur de l'image de test ; détecter des bords de particularités aux emplacements de particularités identifiés. 14. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que comparer des particularités de l'image de référence et de l'image de test pour identifier des défauts comprend les sous-étapes consistant à: calculer des propriétés (8630A) de particularités, comparer des propriétés (8630B) de particularités calculées, et déterminer des résultats de comparaison qui satisfont à des critères prédéterminés (8630C) de défauts. 15. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que comparer des particularités de l'image de référence et de l'image de test pour identifier des défauts comprend les sous-étapes consistant à: calculer des propriétés de particularités dans l'image de référence (10-630A); calculer des propriétés de particularités dans l'image de test (10-630A); comparer des propriétés de particularités calculées dans l'image de test à des propriétés de particularités calculées dans l'image de référence (10-630B); calculer des statistiques (10-630C) de comparaison de propriétés de particularités ; déterminer des statistiques de comparaison qui satisfont à des critères prédéterminés (10-630D) de défauts. 16. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un compte-rendu de statistiques (635) de propriétés de défauts. 17. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'extraire des particularités à partir de l'image de référence comprend les sous- étapes consistant à: calculer un niveau moyen d'arrière-plan de l'image de référence (13-9620A1), enlever de l'image de référence le niveau moy-en d'arrière-plan afin de produire une première image de référence modifiée (13-9620A2), appliquer un effet de seuil à la première image de référence modifiée pour produire une deuxième image de référence modifiée (13-9620A3), et identifier des particularités de la deuxième image de référence modifiée (13-9620A4). 18. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'extraire des particularités à partir de l'image de test comprend les sous-étapes consistant à: calculer un niveau moyen d'arrière-plan de l'image de test (14-9620A1), enlever de l'image de test le niveau moyen d'arrière-plan afin de produire une première image de test modifiée (14-9620A2), appliquer un effet de seuil à l'image de test modifiée pour produire une deuxième image de test modifiée (14-9620A3), et identifier des particularités de la deuxième image de test modifiée (14-9620A4). 19. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'extraire des particularités à partir de l'image de référence comprend les sous- étapes consistant à: mettre en concordance un gabarit de particularités dans l'image de référence (15-9620A3) et identifier des particularités de l'image de référence qui concordent avec le gabarit de particularités (15-9620A4). 20. Procédé selon la revendication 11, dans caractérisé en ce qu'extraire des particularités à partir de l'image de référence comprend les sou-s- étapes consistant à: calculer un niveau moyen d'arrière-plan de l'image de référence (15-9620A1), enlever de l'image de référence le niveau moyen d'arrière-plan afin de produire une première image de référence modifiée (15-9620A2), mettre en concordance un gabarit de particularités dans la première image de référence modifiée (15-9620A3), et identifier des particularités dans la deuxième image de référence modifiée qui concordent avec le gabarit de particularités (15-9620A4). 21. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'extraire des particularités à partir de l'image de test comprend les sous-étapes consistant à: mettre en concordance un gabarit de particularités dans l'image de test (16-9620B3) et identifier des particularités dans l'image de test qui concordent avec le gabarit des particularités (16-9620B4). 22. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'extraire des particularités à partir de l'image de test comprend les sous-étapes consistant à: calculer un niveau moyen d'arrière-plan de l'image de test (16-9620B1), enlever de l'image de test le niveau moyen d'arrière-plan afin de produire une première image de test modifiée (16-9620B2), mettre en concordance un gabarit de particularités dans la première image de test modifiée (16-9620B3), et identifier des particularités dans la deuxième image de test modifiée qui concordent avec le gabarit de particularités (16-9620B4). 23. Appareil d'inspection d'un substrat configuré caractérisé en ce qu'il comprend un système informatique ; et des instructions de commande du système informatique destinées à préparer une image de référence et une image de test (610) d'au moins un substrat configuré, extraire des particularités de l'image de référence et d'extraire des particularités de l'image de test (620), mettre en concordance des particularités de l'image de référence et les particularités de l'image de test (625); et comparer des particularités de l'image de référence et de l'image de test afin d'identifier des défauts (630). 24. Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce que les instructions commandent le système informatique de manière à aligner l'image de test avec l'image de référence (615) avant de mettre en concordance des particularités de l'image de référence et des particularités de l'image de test. 25. Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce que les instructions commandent le système informatique de manière à enregistrer des défauts identifiés lors de la comparaison de particularités de l'image de référence et de l'image de test (635). 26. Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: un sous-système d'imagerie à faisceau électronique pour acquérir des images de contraste de tension d'un substrat configuré à utiliser comme images de test. 27. Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce que les instructions commandent le système informatique de manière à lisser au moins soit l'image de référence, soit l'image de test (7610B,9610B, 9610D). 28. Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce que les instructions commandent le système informatique de manière à normaliser au moins soit l'image de référence, soit l'image de test (7610C,9610E). 29. Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce que les instructions commandent le système informatique de manière à extraire en premier lieu des particularités de l'image de référence (9620A) et extraire ensuite des particularités de l'image de test(9620B). 30. Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce que les instructions commandent le système informatique de manière à calculer des propriétés (8630A) de particularités de l'image de référence et de l'image de test, comparer des propriétés (8630B) de particularités calculées, et déterminer des résultats de comparaison qui satisfont à des critères prédéterminés (8630C) de défauts. 31. Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce que les instructions commandent le système informatique de manière à calculer un niveau moyen d'arrière-plan de l'image de référence (13-9620A1), enlever de l'image de référence le niveau moyen d'arrière-plan afin de produire une première image de référence modifiée (13-9620A2), appliquer un effet de seuil à la première image de référence modifiée pour produire une deuxième image de référence modifiée (13-9620A3), et identifier des particularités de la deuxième image de référence modifiée (13-9620A4). 32. Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce que les instructions commandent le système informatique de manière à calculer un niveau moyen d'arrière-plan de l'image de test (14-9620A1), enlever de l'image de test le niveau moyen d'arrière-plan afin de produire une première image de test modifiée (14-9620A2), appliquer un effet de seuil à l'image de test modifiée pour produire une deuxième image de test modifiée (14-9620A3), et identifier des particularités de la deuxième image de test modifiée (14-9620A4). 33. Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce que les instructions commandent le système informatique de manière à extraire des particularités d'une image en mettant en concordance un gabarit de particularités dans l'image et en identifiant des particularités dans l'image qui concordent avec le gabarit de particularités. 34. Produit programme informatique comprenant un support lisible par ordinateur contenant des instructions de commande d'un système informatique caractérisé en ce que ces instructions consistent à: préparer une image de référence et une image de test (610) qui représentent des configurations d'au moins un substrat configuré, extraire des particularités de l'image de référence et des particularités de l'image de test- 620), mettre en concordance des particularités de l'image de référence et des particularités de l'image de test (625), et comparer des particularités de l'image de référence et de l'image de test afin de d'identifier des défauts (630).