REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'articles en aluminium ou alliage d'ahlminium destinés à former des cibles pour pulvérisation cathodique, à partir d'ébauches formées par coulée de métal liquide de composition correspondant audit aluminium ou alliage d'aluminium, caractérisé par les étapes suivantes successives: 1) on élimine la couche d'oxyde recouvrant lesdites ébauches, et on met en oeuvre des moyens pour éviter la reformation de ladite couche d'oxyde, 2) on effectue un traitement thermique d'homogénéisation et de remise en solution des précipités comportant des éléments d'alliage présents dans la matrice d'alumnm:n, dans un four ayant une atmosphère et dans des conditions non susceptibles d'oxyder la surface desdits articles, 3) on prolonge ledit traitement thermique d'homogénéisation dans des conditions qui permettent d'extraire une majorité de l'hydrogène initialement contenu dans lesdits articles, jusqu'à l'amener à une teneur inférieure à 0,05 ppm et de préférence inférieure à 0,03 ppm. 5) on soumet lesdites ébauches à un corroyage correspondant à une réduction d'épaisseur ou de section d'au moins 10%. 2. Procédé selon la revendication 1 dans lequel ladite ébauche est une billette brute de coulée, de section circulaire ou rectangulaire, et dans lequel, après l'étape 3) et avant l'étape 4) de corroyage, ladite billette est découpée en tranches, chacune d'entre elles constituant une ébauche de cible soumise à corroyage lors de l'étape 4). 3. Procédé selon la revendication 1 dans lequel ladite ébauche, utilisée pour l'étape 1), est une ébauche partiellement corroyée et obtenue par écrasement ou laminage d'une billette brute de coulée de section circulaire ou rectangulaire, éventuellement homogénéisée, formant ladite ébauche brute de coulée, jusqu'à une épaisseur finale au moins égale à 1,1 fois l'épaisseur finale visée pour ladite cible. 4. Procédé selon une quelconque des revendications 1 à 3 dans lequel l'étape 4) de corroyage est suivie d'une étape de traitement thermique de recristallisation visant à stabiliser la taille de grain, et d'une étape d'usinage final donnant à ladite cible ses dimensions définitives. 5. Procédé selon une quelconque des revendications 1 à 4 dans lequel l'élimination de la couche d'oxyde consiste en un usinage à sec de la surface desdites ébauches, suivie d'un transfert immédiat dans ledit four de traitement thermique. 6. Procédé selon une quelconque revendications 1 à 4 dans lequel l'élimination de la couche d'oxyde de la surface desdites ébauches est assurée par dissolution des oxydes dans une solution aqueuse d'acide, à pH inférieur à 3,5, la surface ainsi traitée étant ensuite recouverte d'une couche mince d'un métal à bas point d'ébullition, de manière à empêcher la reformation d'une couche d'oxyde à la surface desdites ébauches. 7. Procédé selon la revendication 6 dans lequel on effectue un dépôt de cadmium ou de zinc en solution aqueuse acide, à pH inférieur à 3,5, de préférence par électrolyse, ladite ébauche en aluminium ou alliage étant à un potentiel cathodique. 8. Procédé selon une quelconque des revendications 5 à 7 dans lequel la pression résiduelle en gaz oxydants dans ladite atmosphère est inférieure à 0,13 Pa. 9. Procédé selon la revendication 8 dans lequel ledit traitement thermique est effectué sous vide. 10. Procédé selon la revendication 8 ou 9 dans lequel le traitement thermique est effectué en atmosphère de gaz neutre à faible teneur résiduelle en gaz oxydants, et de préférence sous argon purifié. Il. Procédé selon une quelconque des revendications 6 et 7, et une quelconque des revendications 8 à 10, dans lequel ledit four de traitement thermique comprend un piège froid, maintenu à une température inférieure à 200"C, capable de condenser les vapeurs métalliques des métaux desdites couches minces déposées à la surface desdites ébauches. 12. Procédé selon une quelconque des revendications 1 à 11 dans lequel l'étape 2) d'homogénéisation est effectuée à une température inférieure à la température eutectique dudit alliage d'aluminium, et dans lequel l'étape 3) d'extraction de l'hydrogène est effectuée à une température supérieure à cette température eutectique, mais inférieure à la température de solidus dudit alliage homogène. 13. Procédé selon une quelconque des revendications 1 à 12 dans lequel ladite ébauche utilisée au départ de l'étape 1) contient plus de 100 décohésions internes par dm3, décohésions de taille supérieure à 100 clam, et contient plus de 0,03 ppm d'hydrogène dissous ou occlus. 14. Procédé selon une quelconque des revendications 1 à 12 dans lequel ladite ébauche utilisée au départ de l'étape 1) contient de 10 à 100 décohésions internes par dm3, décohésions de taille supérieure à 100 ,um et contient plus de 0,03 ppm d'hydrogène dissous ou occlus. 15. Article corroyé pour cible, obtenu selon le procédé de la revendication 13 comportant moins de 100 décohésions internes par dm3 et moins de 0,03 ppm d'hydrogène dissous ou occlus. 16. Article corroyé pour cible, obtenu selon le procédé de la revendication 14 comportant moins de 10 décohésions internes par dm3, et moins de 0,03 ppm d'hydrogène dissous ou occlus.