R E V E N D I C A T I O N S - 7 - Procédé destiné à effectuer en cycle automatique la préhension et le transfert, leenfournement et le défournement des plaquettes de silicium notamment, dans les fours à diffusion, caractérisé en ce que l'on opère le transfert automatique dans des nacelles D, des plaquettes A portant les circuits intégrés qui se trouvent dans les paniers C, et inversement, en mettant en oeuvre des moyens porteurs ou préhenseurs qui viennent an contact sur la tranche de chaque plaquette A g on transporte ensuite la ou les plaquettes ainsi prises ou portées depuis la ou les encochas du panier jusqu'a' la ou aux encoches correspondantes de la nacelle, et inversement - 2 - Procédé suivant la revendication 1, caracterîse en ce que l'on assure la prise sur tranche des plaquettes A en mettant en action des moyens E - E1 qui poussent de bas en haut les plaquettes ou certaines plaquettes demeurant positionnées par la partie supérieure des encoches G2 des côtés des paniers C, de façon à rendre les dites piaquattes préhensiblas en donnant un accus aux parties d'appui des moyens préhenseurs ; on commande l'action diun ou des moyens préhenseurs dont une partie est amenée en face de la tranche de la ou des plaquettes ; on agit sur les moyens préhensaurs afin d'amener leurs parties de préhension en appui et en sers rage radial ou sensiblement contre la tranche de la ou des plaquettes ; on déplace la ou les moyens préhenseurs et la ou les plaquettes prises du panier C à la nacelle D , ou inversement - 7 - Procédé suivant la revendication 12 caractérisé en ce que l~ on agit sur les moyens préhenseurs afin d'amener les parties de préhension en appui et en serrage radial ou sensiblement, contre la tranche de la ou des plaquettes A, par une déformation des moyens préhenseurs. - 4 - Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que 1i on assure la prise sur la tranche des plaquettes A en mettant en action des moyens E E1 qui poussent de bas haut les plaquettes ou certaines plaquettes demeurant positionnées par la partie supérieure des encoches des cotés des paniers, de façon à rendre les dites plaquettes préhensibles en donnant un accès aux parties d' appui des moyens préhenseurs ; on amène les parties d'appui des moyens préhenseurs, qui présentent des encoches ou un agencement de positionnement pour la ou les plaquettes, en appui de simple retenue par l'effet de gravité, sans serrage, contre la tranche de la ou des plaquettes, en un ou plusieurs points de leur partie périphérique inférieure demi-circulaire ; on déplace le ou les moyens préhenseurs et la ou les plaquettes prises, du panier à la nacelle, ou inversement. - 5 - Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que pendant le déplacement entre le panier et la nacelle, ou inversement, du ou des moyens préhenseurs ou porteurs des plaquettes transférées, on met en action des moyens modifiant l'écartement ou pas des moyens préhenseurs ou porteurs, et par conséquent le pas ou intervalle entre les plaquettes. - 6 - Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que l'on opère automatiquement le cycle : approche du four 8, transfart, enfournement, défournement, transfert et éloignement du four, et, pour cela, on déplace le support de chaque panier C porte-plaquettes le long d'un moyen ou voie de guidage, jusqu'à proximité de l'entrée du four 8 ou d'un compartiment du four, on fait agir les moyens E - El de poussée de bas en haut sur les plaquettes du panier, puis les moyens préhenseurs que l'on déplace avec une ou des plaquettes en meme temps qu'on réduit le pas ou intervalles entre les dites plaquettes, on dépose les plaquettes dans une nacelle D en quartz, montée sur un support mobile guidé longitudinalement en face de l'entrée du four ou du compartiment, et, lorsque la nacelle est garnie de plaquettes, on enfourne la dite nacelle d'une manière régulière et automatique ; après l'action thermique dans le four, on défourne la nacelle et les plaquettes au moyen du support mobile, d'une manière régulière et automatique, puis on saisit les plaquettes à l'aida des moyens préhenseurs, on déplace les moyens préhenseurs avec les plaquettes en meme temps qu'on augmente le pas ou intervalles entre les plaquettes, et on dépose les plaquettes dans un panier dont le support est guidé longitudinalement pour l'éloigner du four en direc tion de l'opération suivante du traitement. - 7 - Moyen de mise en oeuvre du procédé suivant l'une quelcon- que des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les moyens préhenseurs sont constitués par des paires de tiges ou branches enveloppantes 1 - la - 2 - 2a - dont les extrémités libres présentent des parties d'appui et de maintien sur tranche des plaquettes, les branchas de chaque paire étant fixées aux extré- mités d'une spire interrompue de tubes creux hélicoîdaux 4 - 5 - 6 et a capacité de déformatiu-n élastique, en nombre correspondant au nombre de paires de branches, les tubas creux ont un système d'afin tentation en fluide gazeux que l'on met en pression lorsqu'on vaut écarter les branches. - 8 - Moyen suivant la revendication 7, caractérisé en ce que l'or peut modifier Les intervalles entre les paires de branches en donnant au tube médian 5 et a' la paire de branches Z - 2a cerrespon- dents , une position médiane longitudinale fixa par rapport au boî- tier-support ss de l'ensemble X de part et d'autre; les tubas et leurs paires de branches correspondantes peuvent être déplacés 5y- métriquemant an étant solidaires chacun d'organes-supports 13 - 14 coulissants sur un manchon 12 dans lequel sont montés des moteurs électriques 10 d'entraînement longitudinal des organes-supports 13 - 14 par système à vis et doigt d'entraînement guidés dans des fentes 12a du manchon 12-; des capteurs de contact 16 assurant les déplacements Et arrêts aux positions précisas des paires de bran chas. 9 Moyen suivant la revendication 7, caractérisé an ce que pou: modifier les intervalles entre les paires de branches se trouvant de part et d'autre du tube médian 24 et de la paire de branches 19 - 19a fixes dans la position longitudinale médiane par rapport au boîter support de l'ensemble, on fait agir des moteurs électriquas 32 sur les arbres 32a desquels sont an appui des trains de galets de friction 33a - 34s dont les axes sont inclinés par rapport à l'arbre 32a des moteurs, ces galets étant solidaires d' organes entraîneurs 33 - 34 dont les prolongements périphériques 33b - 34b sont solidaires des organes-suppnrts des tubes et paires de branches, lesdits organes-supports (33 - 34) coulissant sur le manchon (31) portant les moteurs électriques ; les différences d' inclinaison des galets de friction permettant de règler la valeur des déplacements dans le sens axial des tubes et paires de branches. -10- Moyen préhenseur suivant la revendication 7, caractérisé en ce que les branches de préhension (36 - '37) sont croisées et articulées (36b), leurs extrémités inférieures présentant deux parties de contact sur tranche contre les plaquettes. -11- Moyen préhenseur suivant la revendication 7, caractérisé en ce que les branches de préhension (38 - 39) sont croisées et articulées, et leurs extrémités inférieures présentent chacune deux parties de contact (38a - 39a) articulées librement (38b - 39b). -12- Moyen préhenseur suivant la revendication 7, caractérisé en ce que les branches (40 - 41) sont dissymétriques et articulées (40b), l'extrémité d'une branche (40) présentant une partie de contact et de positionnement, l'autre branche (41) qui a une forme générale en équerre, présentant une extrémité inférieure avec deux parties (41a) de contact et de positionnement sur la tranche des plaquettes. -13- Moyen préhenseur suivant la revendication 7, caractérisé en ce qu'il présente un bras vertical (42) dont l'extrémité inférieure présente un bras transversal avec des parties de contact (42b) donnant appui aux parties inférieures des plaquettes, le bras vertical (42) portant aussi un moyen d'appui sur la tranche, sous forme d'une enveloppe gonflable (43). -14- Moyen préhenseur suivant la revendication 7, caractérisé en ce qu'il est constitué par un tube creux (44) ayant une capacité de déformation élastique, qui entoure les plaquettes sur un secteur circulaire étendu et qui porte, du côté de la tranche des plaquettes, des parties (44a) de contact et de positionnement. -15- Moyen préhenseur suivant la revendication 7, caractérisé en ce qu'il est constitué par une lame flexible (45) qui entoure partiellement les plaquettes sur un large secteur circulaire, les extrémités de la lame présentant des parties de contact (45a), et ladite lame étant équipée de câbles (46) avec poulies de renvoi et patins d' appui. -16- Moyen préhenseur suivant la revendication 7,. caractérisé en c qu'il est constitué par une lame-ressort (49) prenant appui sur de portées (49c) et dont les extrémités sont solidaires de bras (49a) portant un ou des patins de contact et de positionnement sur la tranche des plaquettes, un vérin (50) agissant pour mettre la lame en flexion afin de pivoter les bras -17- Moyen préhenseur suivant la revendication 7, caractérisé en c qu'il est constitué par une lame-ressort (52) en forme de U renver fixé à un support, les extrémités de la lame sont solidaires de br (52b) portant des patins -18- Moyen préhenseur suivant la revendication 7, caractérisé en c qu'il est constitué par un ressort à lame (55) fixé sur des plots élastiques (58) déformables, les extrémités de la lame étant soli dairesde bras (55a) portant des patins (55b) de contact sur la tranche des plaquettes, la lame pouvant être déformée en pivotant 1 es bras et patins, au moyen d'une pression pneumatique exercée er envoyant un fluide gazeux sous pression dans une enveloppe déformable (56) tel qu'un soufflet métallique. -19- Moyen préhenseur selon la revendication 7 et l'une quelconque des revendications 10 à 18 caractérisé en ce que chacun des moyei préhenseurs, est asservi à un moyen de commande indépendant. -20- Moyen de mise en oeuvre du procédé suivant l'une quelconque revendications 1 à #, caractérisé en ce que les paniers (C) porta les plaquettes tels que vérins, systèmes mécaniques, afin d'opérer l'enfournement puis ensuite le défournement ; le long d'une barre ou moyen équivalent de guidage peut être déplacé, avec précision, avec des contacteurs d'arrêt, au moyen de tout système de vérins ou moyens mécaniques, un ensemble 64 portant un bras transversal 65 sur lequel peut être déplacé au moyen de vérins ou moyens mécaniques, d'une manière précise par des contacteurs d'arrêt, le ou les moyens préhenseurs des plaquettes et les moyens modificateurs du pas ou intervalles entre les plaquettes ; le dispositif de poussée E - El de bas en haut, sous les plaquettes, se trouve au-dessous de l'emplacement d'arrêt du support 60 et du panier C ; des moyens permettant et assurant le guidage et le déplacement transversal du support 60 et du panier C, puis leur guidage et déplacement transversal jusqu'au poste suivant de traitement des plaquettes, ces déplacements étant commandés par vérins et/ou moyens mécaniques ; des moyens de contacts et de positionnements précis étant prévus dans les diverses phases des déplacements, et des commandes étant mises en oeuvre pour assurer les déplacements synchronisés.