INPI-France/Brevets-Francais-2024-Chunked huggingface dataset:
Le seul paramètre matériellement disponible sur un satellite en ce qui concerne son attitude étant 1'angle de roulis du vecteur moment du couple, c'est donc à partir de la mesure de cet angle de roulis qu'est mis en oeuvre le système de contrôle selon l'invention. L'angle de-roulls est mesuré par un senseur approprié, connu en soi, à des instants précis deux fois par jour: une fois à 6.00 heures, temps du satellite, lorsque la direction du soleil et celle de la terre sont orthogonales entre elles et une seconde fois à 12.00 heures, temps du satellite, lorsque la direction du soleil et celle de la terre sont antiparallèles.La première mesure correspond à un instant où l'axe de roulis coincide avec l'axe alpha et elle est utilisée selon l'invention pour corriger l'angle de l'axe alpha par rapport à sa direction nominale. La seconde mesure correspond à un instant où l'axe de roulis coïncide avec l'axe bêta et elle est utilisée pour corriger 12angle de l'axe bêta par rapport à sa direction nominale.
Les angles des axes alpha et beta mesurés à 6000 heures et à 12.00 heures sont appelés dans ce qui suit respectivement angle alpha et angle bêta. Ces angles sont enre gistrés et contrôlés séparément dans un dispositif de contrôle pour produire un couple de correction.Le dispo- sitif de contrôle est décrit avec référence à la figure 2.
Ce dispositif comprend deux circuits de contrôle similaires: l'un (A) pour le contrôle de l'angle alpha et l'autre (B) pour le contrôle de l'angle bêta. Chaque circuit de contrôle comporte un commutateur d'entrée 1 qui se trouve actionné à l'instant voulu chaque jour par une impulsion de commande C engendrée par une horloge embarquée. Le commutateur 1A du circuit de contrôle A est actionné à 6.00 heures, temps du satellite, tandis que le commutateur 1B du circuit de contrôle B est actionné à 12000 heures, temps du satellite, Le commutateur 1A, à l'état travail, applique l'angle mesuré alpha provenant du senseur de roulis (dispositif connu en sol) à un dispositif mémoire 2A.Celui-ci est par exemple un registre à décalage à deux étages. Chaque étage est connecté à une entrée d'un comparateur 3A qui, à l'instant où l'angle alpha est enregistré, compare la valeur actuelle à la valeur précédente (Wo) et détermine la dérive moyenne (différence entre valeur actuelle et valeur précédente, divisée par 24).
L'opération décale T à 0 et, si un report "1" n'apparait pas, le pas JST68 donne une réponse NON suggérant que la longueur de passage conservée dans le registre ADR est celle du code d'arrêt. L'organigramme suit alors un processus dans lequel les données d'éléments d'image correspondant à la longueur du passage sont créées et est transférées à la zone RBF.
Entre temps, le registre ADR a conservé une longueur de passage d'appoint M qui, comme décrit précédemment, est un code numérique donné par division de la longueur de passage correspondant à un code d'appoint par 64. En conséquence, si le résultat du pas JST68 est OUI, les données d'élément d'image sont créées et transférées à la zone RBF un nombre égale 64 fois la longueur de passage d'appoint.
Dans cet organigramme, la longueur de passage d'appoint du registre ADR est introduite dans le compteur M.
Ansuite, le pas PST69 détermine si le traitement octet par octet est possible ou si le traitement doit être effectué bit par bit.
Plus précisément, au cours de l'exécution de cet organigramme, lorsque les données d'élément d'image précédemment transférées dans la zone RBF sont inférieures à 8 bits, les bits de fraction doivent être transférés d'abord et l'adresse doit être remplie avec les données S 8 bits.
Le nombre de bits de fraction a té mémorisé dans le compteur BTCI.
En conséquence, le pas JST69 détermine si le compteur BTCI est à 8 et, s'il l'est, les données sont traitées octet par octet alors que, s'il ne l'est pas, elles. sont traitées bit par bit.
Dans le cas du traitement par octet, le pas JST70 détermine si les données considérées sont "BLANC" ou "NOIR" et, si la réponse est "NOIR" un traitement décrit ultérieurement est exécuté. Si la réponse est "NOIR", le traitement réalisé est tel- que des données d'élément d'image "NOIR" sont formées pour chaque groupe de 8 bits et transférées à la zone RBF. Ce traitement des données "NOIR" est pratiquement analogue à celui du traitement des données "BLANC" comme décrit dans la suite, à part la différence sur la nature des données d'élément d'image et en conséquence on ne décrit pas en détail ce traitement.
Dans le cas du traitement par bit, le pas JST71 détermine si les données considérées sont "BLANC" ou "NOIR".
Il faut se rappeler que les données transmises par un poste d'expéditeur ont toujours des données codées "BLANC" suivant immédiatement un code de synchronisation EOL. En conséquence, lorsque la table est consultée d'après les données codées par exécution de l'organigramme des figures 31(a)-î à 31(a)-3, et lorsque la longueur correspondante de passage est prélevée, la longueur initiale est "BLANC" et aucun changement de couleur n'apparaît ensuite avec une longueur d'appoint, alors que la couleur change avec un code d'arrêt chaque fois qu'une longueur d'arrêt est détectée.En conséquence, la mémorisation d'un changement de couleur qui apparaît chaque fois qu'un report "0" est déterminé au pas JST71 provoque le décalage du contenu du registre ADR et la vérification du report à "1", le pas JST71 déterminant ainsi si les données sont "BLANC" ou "NOIR".
Si le résultat du pas JST70 est "NOIR", des données "NOIR" sont produites et transmises par la zone RBF. L'organigramme se poursuit alors de la même manière que dans le cas de données "BLANC" et ne les décrit donc pas plus en détail.
-Lorsque le résultat du pas JST71 est "BLANC", l'unité centrale charge temporairement les données à 8 bits dans l'accumulateur ACC, correspondant à l'adresse dans laquelle les bits de fraction des données d'image' doivent être écrits.
Le contenu de l'accumulateur ACC est alors ajouté à celui de cet accumulateur afin que le contenu soit décalé d'un bit. En conséquence, l'accumulateur contient un bit de données "0" d'image "BLANC" à côté des données à 8 bits chargées précédemment.
Lorsqu'un bit de la fraction est traité de cette manière, une unité est retranchée du compteur BTCI et le pas JST72 vérifie que la fraction a été entièrement traitée.
Si le traitement de la fraction n'est pas terminé et le pas JST72 donne un résultat NON, le contenu de l'accumulateur ACC est à nouveau décalé afin qu'un "0" soit introduit, d'une manière répétitive.
Lorsque le compteur de bits atteint "0" et la zone de fraction est totalement remplie de "O", le contenu de l'accumulateur ACC est transféré à la zone RBF et l'adresse d'écriture dans cette zone est remise à jour.
Le sabot de blocage 22 comporte, notamment, plusieurs jambes 24, 25, 26 dans ltesemple représenté, ménageant entre-elles une série de logements de réception de l'étriper 17, à fond orienté vers le bas, correspondant chacun à un réglage déterminé. Bien entendu, il est prévu autant de logements de réception que 1'on souhaite de positions de réglage.
La tige 23 est chassée à travers des orifices coa- xiaux ménagés dans les jambes du sabot de blocage, d'axe parallèle à la barre-support 1, en position de blocage.
Cette tige 23 s'étend au moins d'un sabot d'étrier à ltau- tre, il y en a, rappelons le, deux qui sont associés respectivement aux deux dispositifs de fixation. La tige 23 possède, à une extrémité, une molette de serrage 27 et, à l'autre extrémité, une partie filetée 28, destinée à recevoir un écrou associé, non representé, prévu pour prendre appui sur la partie latérale externe du sabot adjacent, la molette 27 prenant appui sur la partie latérale externe de l'autre sabot, et rapprocher ainsi les deux sabots de blocage, l'un vers l'autre. L'écrou pourrait d'ailleurs, et de préférence, etre inséré dans la jambe d'extrémité extérieure du sabot et être ainsi fixé en rotation.
Un ori-fice, non représenté, est percé dans la tige 23, par exemple au niveau de sa tête moletée 27, pour le passage par exemple d'une branche de cadenas et l'immobis lisation de la tige 23 en rotation par rapport à la barresupport 1, et donc à l'écrou, à l'aide de l'autre branche du cadenas rendue solidaire du sabot 22.
Ayant décrit le porte-charge, décrivons maintenant son montage et son fonctionnement.
Après avoir monté les deux dispositifs de fixation 2, avec les étriers de blocage 17 solidaires de leurs pièces rotatives 12, ou non, et dans ce cas, on les engage alors dans les orifices 16 de ces pièces, on fait basculer les étriers 17 par-dessus la barre-support 1. On place les sabots de blocage 22 sur les traverses supérieures 20 de ces étriers, au niveau des logements appropriés, on enfile la tige de blocage dans un premier sabot, en prenant soin de la faire passer sous la traverse supérieure 20 de 1'd- trier associé, on la fait sortir de ce sabot et on l'engage dans le deuxième sabot, à l'intérieur duquel on la fait coulisser, toujours en prenant soin de la faire passer sous la traverse supérieure de l'étrier associé, et on la sort de ce deuxième sabot.On prend l'écrou de la tige 23 et on le visse sur sa partie filetée, à l'aide de la molette de serrage 27.
Au départ, la tige 23 est à une certaine hauteur par rapport à la barre-support 1.
Au fur et à mesure qu'on visse la tige 23 dans son écrou, on rapproche l'un de l'autre les sabots 22 qui coulissent sur la tige 23. Pour que les traverses 20, qui sont prisonnières des sabots 22, puissent se rapprocher également l'une de l'autre, les étriers 17 sont obligés de pivoter autour des axes des orifices 16 des pièces 12. Ainsi, et les étriers pivotant, les traverses supérieures 20, tout en se rapprochant l'une de l'autre, s'abaissent vers la barre-support lt dans un mouvement de déplacement vertical. Dans ce mouvement vertical descendant, elles en- trament la tige 23, dont elles sont solidaires et qui est disposée en dessous d'elles, dans le mme mouvement vertical.La position basse de la tige 23, de serrage, est atteinte, soit quand les sabots 17 arrivent au contact do la barre-support 1 ou, plut8t, quand la tige 23 arrive au contact serré de la charge disposée sur la barre-support 1.
Il suffit ensuite d'immobiliser la tige 23 en rotation, à l'aide du cadenas évoqué plus haut chassé par une branche, à travers l'orifice de la tige, ou de tout autre moyen connu.
Les sabots 22 ne peuvent plua s'écarter l'un de l'autre, les étriers 17 ne peuvent plus pivoter vers le haut et les dispositifs de fixation sont ainsi verrouillés.
En définitive, le verrouillage en rotation de la tige 23 permet le verrouillage en hauteur de la tige de serrage et le verrouillage des deux dispositifs latéraux de fixation de la barre-support. Avec une seule clé, on obtent donc un anti-volpri'maire à trois points secondaires, un point supérieur et deux points latéraux.
On vient de décrire un système de serrage à une seule tige. I1 est clair qu'on pourrait également en prévoir deux, avec un sabot central et deux écrous taraudés opposés insérés dans ce sabot.
On a représenté sur la figure 5 une variante de réalisation du porte-charge de l'invention, dont les disposi- tifs pour la fixation sur les gouttières du toit du véhi- cule sont les mêmes que précédemment, ainsi que les étriers de blocage 17, qui n'ont donc pas été représentés ou ne le sont que partiellement.
La traverse supérieure 20 de étrier de blocage 17 s'étend entre la barre-support 1 et une barre de serrage 29, la traversé 20 étant donc disposée sous la barre de serrage 29. Cette barre 29, assez similaire à la barre support 1 dans sa forme générale, peut autre déplacée ver ticalement et parallèlement à elle-mtme et à la barresupport 1 sur une vis 30 verticale traversant un orifice ménagé dans la barre 29, d'axe vertical.
La vis 30 est fixée sur un socle 36 luiwmême fixé sur la barre-support 1.
Au-dessus de la barre de serrage 29 est disposée une plaque de serrage 31 prolongée, vers le bas, par un écrou 32 vissé sur la tige 30 et en appui sur la face supérieure de la barre de serrage 29. Deux échancrures rectilignes 33 sont percées dans la plaque 31 pour recevoir une barrette de verrouillage 34 montée pivotante sur une serrure 35 fixée au socle 36 et pouvant être immobilisée en position verticale, gr ce à cette serrure, et à son tour, immobiliser en rotation la plaquede serrage 31.
Enceinte 9 est par exemple une portion de cylindre d axe vertical z zl, qui est accolée contre la paroi cylindrique de la chambre 1. L'enceinte 9 comporte à sa partie supérieure un orifice il qui communique par une canalisation 12 avec la sortie 6 Le milieu de culture liquide - 2 pénètre dans l'enceinte 9 à travers l'ouverture 10 et il s'écoule en continu, à travers L'oar verture 11 .et la canalisation - 12, vers la sortie 6, après que les flocons en suspension aient été séparés du liquide dans la traiwersee de l'enceinte 9, de sorte que le liquide qui sort par la g#rt# 6 est du liquide epuré qui ne contient que des mi-cro-organastes dispersables.
Pour séparer les flocons du liquide, l'enceinte 9 comporte des plateaux 13 qui la divisent en compartiment superposés, de forme très plate. La distance entre plateaux est de l'ordre du centimètre. Les plateaux 13 ont la forme de portions de disques dont le diamètre extérieur est égal au diamètre intérieur de l'enceinte 9. ils peuvent être incorporés à l'enceinte 9 qui peut etre construite sous forme d'un empilage de cylindres plats ou bien ils peuvent être montés coulissants dans l'enceinte 9.
Si les plateaux 13 étaient des disques entiers, ils pénè- treraient dans la chambre 1 et ils generaient le brassage du liquide 2. Pour éviter cela, les disques 13 sont tronqués. Ils sont découpés suivant une ligne circulaire 14 #qui est centrée sensiblement sur l'axe x xi de la cuve 1 et qui prolonge la paroi laterale de cette cuve. La troncature des plateaux permet le passage des flocons qui retournent dans la cuve.
Les plateaux 13 et le fond de l'enceinte 9 sont percés en leur centre d'un orifice à travers lequel passe un arbre 15, de section carrée ou polygonale. L'arbre 15 est entraîné en rotation continue ou intermittente å vitesse très lente, de l'ordre de 12 toursl heure, par un groupe moto-réducteur 16. Le groupe moto-réducteur 16 peut entraîner l'extrémité inférieure de l'arbre 14 comme le représente la figure ou bien l'extrémité supérieure. Dans le cas de la figure 1, la-canalisation 12 est coaxiale avec l'arbre 15 mais il est bien précisé qu'elle pourrait ne pas l'entre dans le cas où le groupe moto-réducteur entraînerait. l'extrémité supérieure de l'arbre 15. Sur l'arbre 15 sont montés des moyeux 17 portant des pales 18 qui sont situées entre les plateaux 13.
Les moyeux 17 comportent en leur centre un trou de section carrée ou polygonale à travers lequel passe l'arbre d'entraînement 15. Ils comportent sur leurs deux faces supérieure et inférieure une gorge 19 ou un évidement circulaire et ces gorges communiquent entre elles par des perçages 20 parallèles l'axe z zi. La coupe II-II passe par l'une des gorges 19.
Des fentes radiales 21 sont découpées dans les plateaux 13 et ces fentes dépassent de part et d'autre du moyeu 17, de sorte que chaque fente 21 met en communication une gorge 19 avec la partie centrale de l'enceinte 9 où se trouve-le liquide décante.
Les fentes 21 découpées dans les plateaux occupent une position fixe qui est située dans la zone où se trouve le liquide décanté.
La figure 3 représente une coupe axiale partielle à plus grande échelle d'un moyeu 17 placé entre deux plateaux 13. On voit sur cette coupe les gorges 19, les perçages 20 et les fentes 21 découpées dans les plateaux 13.
La figure 2 représente un mode de réalisation préférentiel des pales 18 qui ont une forme courbe ou spiralée dont la face convexe est dirigée vers l'avant dans le sens de rotation, de sorte que les pales 18 balayent les flocons qui se déposent sur les plateaux 13 en les chassant vers la périphérie et que le liquide qui se trouve près du centre de l'enceinte est débarrassé de flocons. Bien entendu, les pales 18 peuvent présenter d'autres formes.La hauteur des moyeux 17 et des pales 18 est légèrement inférieure à l'écartement entre plateaux. Le diamètre externe des pales 18 est tres légèrement inférieur au diamètre interne de l'enceinte 9.
On voit sur la figure 2 que le moyeu 17 est sensiblement tangent au prolongement de la paroi cylindrique# de la chambre 1, de sorte que les pales 18 pénètrent a l'intérieur de la chambre '1 dans leur mouvement tournant et sont débarrassées des flocons qui peuvent adhérer aux pales par l'agitation du liquide.
Le liquide qui se trouve placé à l'intérieur de l'enceinte 9, entre les pales 18, est protégé de l'agitation par les pales tell s mêmes qui forment un écran et les flocons de micro-organismes peuvent se déposer par sédimentation sur les plateaux 13.
On notera que les bords d'entrée des plateaux forment une grille qui arrête les plus gros flocons et que les pales constituent un dégrilleur tournant. Cet effet de grille s'ajoute àlteffet de dé- cantation pour séparer les flocons du liquide.
Le mouvement tournant des pales est très lent, de sorte qu'il ne crée pas des turbulences dans le liquide. Les pales balayent les flocons vers la périphérie de l'enceinte 9 et vers la cuve 1. Il se forme au centre de. enceinte 9, une zone de liquide débarrassé de flocons ét c'est ce liquide qui s'écoule à travers les découpes 21, les gorges - t9 et les conduits 20, puis à travers la canalisation 12 et qui s'écoule par la sortie 6 avec un débit horaire Wl, qui est voisin du débit horaire W.
On voit sur la figure 1 que la sortie 6 communique par un conduit incliné 22 avec le haut du bio-réacteur pour l'eva- cuation de l'air et des gaz qui se forment dans la chambre 1.
Le conduit 6 peut être maintenu en légère surpression, par exemple par passage à travers un barboteur, afin de maintenir dans le bio-réacteur une légère surpression,de l'ordre de quelques diziemes de bar, pour faciliter l'évacuation des flocons par la deuxiame sortie 7.
La figure 1 représente un mode de réalisation préférentiel de la deuxième sortie 7 qui part de la cuve 1 avec une inclinaison vers le haut, de telle sorte que lorsque la vanne 8 est fermée, il se forme, à l'amont de la vanne, une bulle d'air prisonnière qui évite la formation dans le conduit 7 d'un bouchon de flocons qui risquerait de boucher celui-ci.
Condition Gaz utilisés Débit d'écoulement Rapport des débits Puissance Epaisseur de (cm /min) d'écoulement ou de dé- la couche des surfaces charge ( m) (W/cm) tranche de Si: 12-1D Ar 200 tranche de graphite 0,3 0,5 =1,5:8,5 tranche de Si: 12-2D Ar 200 tranche de graphite 0,3 0,3 =0,5:9,5 tranche de Si: 12-3D Ar 200 tranche de graphite 0,3 1,0 =6:4 SiH4/He=1 SiH4=15 SiH4:C2H4=0,4::9,6 0,18 0,3 12-4D C2H4 SiH4/He=0,5 SiH4=100 SiH4:C2H4=5:5 0,18 1,5 12-5D C2H4 SiH4/He=0,5 SiH4+SiF4=150 SiH4:SiF4:C2H4 12-6D SiF4/He=0,5 =1,5:1,5:7 0,18 0,5 C2H4 SiH4/He=0,5 SiH4+SiF4=15 SiH4:SiF4:C2H4 12-7D SiF4/He=0,5 =0,3:0,1:9,6 0,18 0,3 C2H4 SiH4/He=0,5 SiH4+SiF4=150 SiH4:SiF4:C2H4 12-8D SiF4/He=0,5 =3:3::4 0,18 1,5 C2H4 T A B L E A U D13A
Conditions de préparation de la N d'échantillon / Evaluation couche amorphe (II) 12-201D 12-301D 12-401D 12-501D 12-601D 12-701D 12-801D 12-901D 12-1001D 12-1D # # # # # # # # # # # # # # # # # # 12-202D 12-302D 12-402D 12-502D 12-602D 12-702D 12-802D 12-902D 12-1002D 12-2D # # # # # # # # # # # # # # # # # # 12-203D 12-303D 12-403D 12-503D 12-603D 12-703D 12-803D 12-903D 12-1003D 12-3D # # # # # # # # # # # # # # # # # # 12-204D 12-304D 12-404D 12-504D 12-604D 12-704D 12-804D 12-904D 12-1004D 12-4D # # # # # # # # # # # # # # # # # # 12-205D 12-305D 12-405D 12-505D 12-605D 12-705D 12-805D 12-905D 12-1005D 12-5D # # # # # # # # # # # # # # # # # # 12-206D 12-306D 12-406D 12-506D 12-606D 12-706D 12-806D 12-906D 12-1006D 12-6D # # # # # # # # # # # # # # # # # # 12-207D 12-307D 12-407D 12-507D 12-607D 12-707D 12-807D 12-907D 12-1007D 12-7D # # # # # # # # # # # # # # # # # # 12-208D 12-308D 12-408D 12-508D 12-608D 12-708D 12-808D 12-908D 12-1008D 12-8D # # # # # # # # # # # # # # # # # #
N d'échantillon/Evaluation Evaluation de la qualité Evaluation de globale de l'image la longévité Normes d'évaluation : # : Excellent #: bon T A B L E A U D14
N 1301D 1302D 1303D 1304D 1305D 1306D 1307D d'échantillon Cible de Si: cible de C 9:1 6,5:3,5 4:6 2:8 1:9 0,5:9,5 0,2:9,8 (rapport des surfaces) Si:C (rapport des 9,7:0,3 8,8:1,2 7,3:2,7 4,8:5,2 3:7 2:8 0,8:9,2 teneurs) Evaluation de la qualité de # # # # # # # l'image # : très bon # : bon # : satisfaisant en pratique # : image défectueuse formée T A B L E A U D15
N d'échan1401D 1402D 1403D 1404D 1405D 1406D 1407D 1408D tillon SiH4:C2H4 (rapport des 9:1 6:4 4:6 2:8 1:9 0,5:9,5 0,35:9,65 0,2:9,8 débits d'écoulement) Si:C (rapport des 9:1 7:3 5,5:4,5 4:6 3:7 2:8 1,2:8,8 0,8:9,2 teneurs) Evaluation de la qualité de # # # # # # # # l'image # : très bon # : bon # : satisfaisant en pratique # : image défectueuse formée T A B L E A U D16
N d'échan1501D 1502D 1503D 1504D 1505D 1506D 1507D 1508D tillon SiH4:SiF4:C2H4 (rapport des 5:4:1 3:3,5:3,5 2:2:6 1:1:8 0,6:0,4: 0,2:0,3: 0,2:0,15: 0,1:0,1: débits d'écou- 9 9,5 9,65 9,8 lement) Si:C (rapport des 9:1 7:3 5,5:4,5 4:6 3:7 2:8 1,2:8,8 0,8:9,2 teneurs) Evaluation de la qualité de # # # # # # # # l'image # : très bon # : bon # : satisfaisant en pratique # : image défectueuse formée T A B L E A U D17
N d'échan- Epaisseur de tillon la couche Résultats amorphe (II) ( m) 1601D 0,001 Risque de formation d'image défectueuse 1602D 0,02 Aucune image défectueuese pendant 20 000 répétitions 1603D # 0,05 Stable pendant 50 000 répétitions ou plus 1604D 1 Stable pendant 200 000 répétitions cru plus T A B L E A U E1
Constitution des Débit d'écoule- Rapport des débits Puissance Vitesse de Epaisseur Gaz utilisés couches ment (cm /min) d'écoulement de dé- formation de la charge des couches couche (W/cm) (nm/s) ( m) SiH4/He=0,05 SiH4+GeH4=50 GeH4/SiH4=3/10 0,18 0,5 1 Première GeH4/He=0,05 Couche B2H6/(GeH4+SiH4) couche B2H6/He=10-3 =3x10-3 amorphe Deuxième (I) SiH4/He=0,5 SiH4=200 0,18 1,5 20 couche Couche amorphe SiH4/He=0,5 SiH4=100 SiH4:C2H4=3::7 0,18 1,0 0,5 (II) C2H4 T A B L E A U E2
Constitution des Débit d'écoule- Rapport des débits Puissance Vitesse de Epaisseur Gaz utilisés couches ment (cm /min) d'écoulement de dé- formation de la charge des couches couche (W/cm) (nm/s) ( m) SiH4/He=0,05 GeH4/SiH4=1/10 Première GeH4/SiH4=0,05 SiH4+GeH4=50 0,18 0,5 1 B2H6/(GeH4+SiH4) couche B2H6/He=10-3 =3x10-3 Couche amorphe Deuxième SiH4/He=0,05 SiH4+GeH4=50 GeH4/SiH4=1/10 0,18 0,5 19 (I) couche GeH4/He=0,05 Troisième SiH4/He=0,5 SiH4=200 0,18 1,5 5 couche T A B L E A U E3
Constitution des Débit d'écoule- Rapport des débits Puissance Vitesse de Epaisseur Gaz utilisés couches ment (cm /min) d'écoulement de dé- formation de la charge des couches couche (W/cm) (nm/s) ( m) SiH4/He=0,05 Première SiH4+GeH4=50 GeH4/SiH4=3/10 0,18 0,5 2 GeH4/He=0,05 couche Couche B2H6/He=10-3 B2H6/(GeH4+SiH4) amor =5x10-3 phe SiH4/He=0,5 (I) Deuxième SiH4=200 B2H6/SiH4=2x10-4 0,18 1,5 20 couche B2H6/He=10-3 T A B L E A U E4
N 401E 402E 403E 404E 405E 406E 407E 408E d'échantillon GeH4/SiH4 5/100 1/10 2/10 4/10 5/10 7/10 8/10 1/1 Rapport des débits d'écoulement Teneur en Ge 4,3 8,4 15,4 26,7 32,3 38,9 42 47,6 (% atomique) Evaluation # # # # # # # # # : excellent # : bon T A B L E A U E5
N 501E 502E 503E 504E 505E 506E 507E 508E d'échantillon Epaisseur de 3,0 nm 50,0 nm 0,1 m 0,3 m 0,8 m 3 m 4 m 5 m la couche Evaluation # # # # # # # # # : excellent # : bon # : satisfaisant en pratique T A B L E A U E6
Constitution des Débit d'écoule- Rapport des débits Puissance Vitesse de Epaisseur Gaz utilisés couches ment (cm /min) d'écoulement de dé- formation de la charge des couches couche (W/cm) (nm/s) ( m) SiH4/He=0,05 Première SiH4+GeH4=50 GeH4/SiH4=5/10 0,18 0,5 2 GeH4/He=0,05 couche Couche B2H6/He=10-3 B2H6/(GeH4+SiH4) amor5x10-3 phe SiH4/He=0,5 (I) Deuxième SiH4=200 PH3/SiH4=9x10-5 0,18 1,5 20 couche PH3/He=10-3 T A B L E A U E7