REVENDICATIONS 1. Dispositif de mesure et de visualisation de l'illumination due à un faisceau de particules chargées dans un système comprenant une source (1, 2, 3) pour émettre les particules de ce faisceau selon un axe moyen d'émission (b) et des éléments optiques interagissant sur le faisceau de particules chargées, le faiscau émis présentant une section minimale (4) dans un plan de première convergence (PO) dispositif caractérisé en ce qu'il comprend, disposés sur l'axe moyen d'émission (Q), en sortie de ladite source, des moyens d'optique électronique (5) pour former l'image (40) de la section (4) du faisceau de particules dans le plan de première convergence (PO) avec un grandissement déterminé dans un second plan (PO), des moyens de captation (7, 8) d'une fraction du faisceau particules traversant le second plan (P'O), des moyens électroniques de déviation (6, 9) selon deux axes de coordonnées orthogonaux (X, Y) du faisceau de particules créant un déplacement de l'image (40) selon un agencement prédéterminé (72) et couplés à des moyens (10) d'acquisition de données représentant la carte des variations énergétiques de ladite image projetée obtenue par la conversion en signaux proportionnels desdites fractions du faisceau de particules captée en tout point de limage (40). 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que, les particules étant des électrons, les moyens d'optique électronique (5) sont constituées par une lentille électronique comprenant un enroulement conducteur (S0) et une pièce polaire (51) de centre optique (0) sur ledit axe moyen d'émission et formant une image (40) de ladite section minimale (4) avec un grandissement plus grand que 1 lorsque l'enroulement (50) est parcouru par un courant de commande et en ce que les moyens électroniques de déviation (6, 9) comprennent des première (60) et seconde (61) séries d'enroulements conducteurs centrés sur ledit axe moyen d'émission (1) et destinés à imprimer des déviations au faisceau suivant respectivement le premier (X) et le second (Y) des deux axes orthogonaux et un générateur de signaux (9) de commande délivrant des premier (Vx) et second (VY) signaux de commande synchronisés entre eux et transmis, respectivement aux première (60) et seconde (61) série d'enroulements conducteurs pour im primer au faisceau des déviations occasionnant le déplacement de I'image (40) selon ledit agencement (72) prédéterminé. 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que lesdits éléments optiques du système interagissant sur le faisceau de particules comprenant plusieurs lentilles électroniques, ladite lentille électronique (5) à grandisse ment plus grand que 1 est constituée par l'une de ces lentilles. 4. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'agencement prédéterminé (72) étant constitué par un balayage en lacet comprenant des lignes parallèles équidistantes à l'un desdits axes orthogonaux (X), chaque ligne étant divisée en n positions discrètes de balayage équidistantes, m et n étant des nombres entiers plus grand que 1, le générateur de signaux (9) de commande délivre deux signaux périodiques (Vx, Vy) en marches d'escalier, transmis respectivement aux première (60) et seconde (1) séries d'enroulements conducteurs, -le premier (Vx) comportant de façon répétitive, n échelons croissants suivis de n échelons décroissants, d'amplitudes égales (A Vx) et uniformément répartis dans le temps, et le second de façon répétitive, m échelons croissant d'amplitudes constantes (boy) et uniformément répartis dans le temps, suivis d'une décroissance brutale égale à l'amplitude des m échelons; la durée (T) d'un échelon du second signal étant égale à celle de n échelons du premier signal. 5. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de captation (7, 8) comprennent un diaphragme (7) comportant un orifice (70) centré sur ledit axe moyen d'émission (Q) et un collecteur de particule (8) disposé en aval de ce diaphragme recueillan les particules chargées traversant l'orifice et les transformant en courant proportionnel au nombre de charges interceptées. 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le collecteur (8t comprend par une sonde (80) montée sur un substrat isolant (81) solidaire d'un support (83) la sonde étant couplée (83) auxdits moyens d'acquisition (10) et en ce que la sonde (80) est constituée par un puits de Faraday, une pièce métallique ou un élément semi-conducteur sensible auxdites particules. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que le collecteur de particules (8) est amovible, le support (82) étant un chariot déplaçable pour permettre une commutation entre des première (I) et seconde (II) positions fixes et en ce que, dans la première position (I) la sonde (80) est centrée sur ledit axe moyen d'émission %) et dans la seconde position (II), la sonde est placée dans une région éloignée dè cet axe (A) de manière à ne pas intercepter les particules chargées du faisceau. 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que le diaphragme (7) est solidaire du collecteur (8) et déplaçable entre lesdites deux positions fixes (I, 1I). 9. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que le diaphragme (7) est fixe et en ce que lesdits éléments optiques du système comprenant au moins un diaphragme de limitation de faisceau comportant un orifice centrée, sur ledit axe moyen d'émission (A) et disposé en regard de la source (1, 2, 3) de particules, le diaphragme (7) des moyens de captation (7, 8) est constitué par ce diaphragme. 10. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que le collecteur de particules chargées (8) est disposé dans une région éloignée dudit axe moyen d'émission (A) et en ce qu'il comprend en outre des moyens électroniques supplémentaires de déviation (73) imprimant une déviation, la direction de propagation des particules traversant l'orifice (70) du diaphragme (7) de manière à ce qu'elles soient interceptées par le collecteur de particules chargées (8) lorsque ce bloc déviateur reçoit un signal de commande de déviation; le collecteur n'interceptant pas ces particules en l'absence de signal de commande de déviation. 11. Dispositif selon la revendication 6, le système comprenant en outre pour assurer des fonctions qui lui sont propres, un support situé en aval dudit diaphragme (7) et déplacable dans un plan orthogonal audit axe moyen d'émission (A > , caractérisé en ce que le collecteur (8) est solidaire de ce support. 12. Dispositif selon la revendication 11, le système étant un microscope électronique ou un appareil de microlithographie, caractérisé en ce que ledit support est constitué par un porteechantillon. 13. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens d'acquisition (10) comprennent un oscilloscope affichant sur un écran (100) la carte des variations énergétiques de l'image (40) de la section (4) du faisceau dans le plan de première convergence (P0) formée sur le second plan (P'O). 14. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens d'acquisition (10) comprennent un calculateur numérique programmable (119), muni d'une mémoire enregistrant lesdites données représentant la carte des variations énergétiques de l'image (40) de la section (4) du faisceau dans le plan de première convergence formée sur le second plan, des moyens pour comparer ces données à des valeurs de consignes et des moyens pour élaborer à partir des résultats de ces comparaisons des signaux de commande (VC) de modification des caractéristiques électrique (122) regissant ladite source de particules chargées (110). 15. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que le système comprenant une source de faisceau de particules chargees et des éléments optiques interagissant sur ce faisceau est un microscope électronique à balayage. 16. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que le système comprenant une source de faisceau de particules chargées et des éléments optiques interagissant sur ce faisceau est un système de microlithographie par faisceau d'électrons.