En outre le fait que dans la chambre de pulvérisation, les magasins contenant les substrats non traités doivent etre déplacés au cours de leur enlèvement, à partir de la chambre de sas et que les magasins des substrats traités doivent etre déplacés, au cours de leur réintroduction,7 vers cette chambre de sas procure une économie de temps supplémentaire.En effet les magasins contenant les substrats non traités doivent ajustement être amenés de la chambre de sas dans la chambre de pulvérisation. tandis que les magasins contenant les substrats traités sont déjà prêts pour le passage dans la chambre de sas Suivant un autre mode de réalisation le déplacement du moyen de transport muni des supports de substrats a lieu pas à pas, le dépôt des substrats non traités et la prise des substrats traitées par les manipulateurs ayant lieu suivant la cadence du déplacement du transporteur, de meme que l'avance des magasins Ces caractéristiques garantissent que l7opération de transfert entre les supports du moyen de transport en circulation et les manipulateurs a lieu lorsque ce moyen de transport est momentanément à l'arrêt9 ce qui fait que la construction et le mode de fonctionnement des manipulateurs sont simplifiés et qu'on évite les difficulté dues à une adaptation mutuelles des mouvements, avec le risque de rupture des substrats qui en résulte Suivant un autre mode de réalisation, les supports de substrats du moyen de transport sont constitués par des plaques porteuses articulées pour pivoter autour d'un axe horizontal en haut de leur face arrière sur une chaîne en circulation, l'axe s'étendant dans la direction d'avance de la chaîne7 en ce que ces plaques porteuses s'appuient par le bas de leur face arrière contre une seconde chaîne circulant conjointement, en ce que la chaîne inférieure circule avec un décalage en avant en direction de la face avant des plaques porteuses par rapport à la chalne supérieure, et en ce que les plaques porteuses comportent sur le bas de leur face avant des tiges d'appui des substrats en saillie perpendicuclairement Ces caractéristiques garantissent, d'une part, un appui des substrats sur les plaques porteuses défini par gravité et, autre parte en cas de substrats incorrectement posés avec rupture correspondante, une élimination de ces substrats rompus par chute par les tiges d'appuis Suivant un autre mode de réalisation2 au poste de prise des substrats traités sur les plaques porteuses la chalne inférieure est déviée à l'écart de ces plaques en ce que le bord infé rieur des plaques porteuses est saisi par une fourchette pivotant lors du fonctionnement du manipulateur correspondant, et en ce que les plaques peuvent etre pivotées par la fourchette d'un angle de 200 environ sur leur face inférieure vers la chaîne inférieure déviée et ramenées en sens inverse Suivant un autre mode de réalisation, les substrats basculant à l'écart des plaques porteuses par leur face supérieure, lors du pivotement de ces plaques9 sont suivis à cet emplacement par une griffe et sont maintenus également, lors du pivotement de retour des plaques porteuses, de telle sorte que ces substrats sont alors verticaux et se trouvent dans le plan de travail de la pince de prise du manipulateur associé Ces caractéristiques ont pour conséquence que la face supérieure des substrats arrive a' distance des plaques porteuses, de telle sorte que.ces substrats puissent etre saisis sans gêne et sûrement par le manipulateur pour la prise sur le moyen de transport et pour l'introduction dans le magasin destiné aux substrats traités L'invention sera mieux comprise en regard de la description ci-après et des dessins annexés représentant un exemple de réalisation de l'invention, dessins dans lesquels - la figure 1 est une vue de-dessuss en coupe horizontale9 de l'installation conforme à l'invention - la figure 2 est une vue partielle, en élévation, et en coupe suivant la ligne II-II de la figure 1 ; - la figure 3 est une vue partielle, en élévation, et en coupe suivant la ligne III-III de la figure I - la figure 4 est une vue en élévation suivant la ligne IV-IV de la figure 2, représentant le poste de prise des substrats traités et de réintroduction dans un magasin - la figure 5 est une vue de-dessus du poste représenté en figure 4 ; Suivant la figure 1, l'installation conforme à l'invention se compose d'une chambre de sas 1 et d'une chambre de pulvérisation 2; reliées par une ouverture 3 qui peut etre fermée de façon étanche au vide par un registre 4.Du côté situé à l'opposé de l'ouverture 3 la chambre de sas 1 est munie d'une porte 5 pouvant être fermée de façon étanche au vide.