FR 3146372 A1 20240906 FR 2302011 A 20230303 Commutateur à base de matériau à changement de phase La présente description concerne un commutateur (100) comprenant : – des première, deuxième, troisième et quatrième électrodes (101a, 101b, 101c, 101d) ; – une première région (105a) en un matériau à changement de phase reliant les première et deuxième électrodes ; – une deuxième région (105b) en un matériau à changement de phase reliant les deuxième et troisième électrodes ; et – une troisième région (105c) en un matériau à changement de phase reliant les deuxième et quatrième électrodes. Figure pour l’abrégé : Fig. 1A Commutateur à base de matériau à changement de phase La présente description concerne de façon générale les dispositifs électroniques. La présente description concerne plus particulièrement les commutateurs à base d’un matériau à changement de phase, capable d’alterner entre une phase cristalline, électriquement conductrice, et une phase amorphe, électriquement isolante. Diverses applications tirent profit de commutateurs, ou interrupteurs, à base d’un matériau à changement de phase pour permettre ou empêcher une circulation d’un courant électrique dans un circuit. De tels commutateurs peuvent notamment être mis en œuvre dans des applications de communication radiofréquence, par exemple pour commuter une antenne entre des modes d’émission et de réception, activer un filtre correspondant à une bande de fréquences, etc. Les commutateurs à base d’un matériau à changement de phase existants souffrent toutefois de divers inconvénients. Il existe un besoin d’améliorer les commutateurs à base d’un matériau à changement de phase existants. Pour cela, un mode de réalisation prévoit un commutateur comprenant : – des première, deuxième, troisième et quatrième électrodes ; – une première région en un matériau à changement de phase reliant les première et deuxième électrodes ; – une deuxième région en un matériau à changement de phase reliant les deuxième et troisième électrodes ; et – une troisième région en un matériau à changement de phase reliant les deuxième et quatrième électrodes. Selon un mode de réalisation, le commutateur comprend en outre des premier, deuxième et troisième éléments chauffants situés respectivement en vis-à-vis des première, deuxième et troisième régions en matériau à changement de phase, chaque élément chauffant étant électriquement isolé de ladite région située en vis-à-vis. Selon un mode de réalisation, le troisième élément chauffant est destiné à être commandé indépendamment des premier et deuxième éléments chauffants. Selon un mode de réalisation, les premier et deuxième éléments chauffants sont destinés à être commandés simultanément. Selon un mode de réalisation, les premier et deuxième éléments chauffants sont connectés en série entre deux électrodes de commande. Selon un mode de réalisation, les première, deuxième et troisième régions en matériau à changement de phase sont en un matériau chalcogénure. Selon un mode de réalisation, chacune des première, deuxième et troisième régions en matériau à changement de phase est en tellurure de germanium ou en germanium-antimoine-tellure. Selon un mode de réalisation, la troisième région en matériau à changement de phase présente un volume inférieur à celui des première et deuxième régions en matériau à changement de phase. Selon un mode de réalisation, les première et deuxième régions en matériau à changement de phase présentent, en vue de dessus, des aires différentes. Selon un mode de réalisation, les première et deuxième régions en matériau à changement de phase présentent, le long de la direction de conduction du commutateur, une même dimension latérale. Selon un mode de réalisation, les première et deuxième régions en matériau à changement de phase présentent, le long d’une direction orthogonale à la direction de conduction du commutateur, des dimensions latérales différentes. Un mode de réalisation prévoit un dispositif comprenant un commutateur tel que décrit et un plan de masse auquel est connectée la quatrième électrode du commutateur. Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d’autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la et la sont des vues schématiques et partielles, respectivement de dessus et en coupe selon le plan AA de la , d’un exemple d’un commutateur à base d’un matériau à changement de phase selon un mode de réalisation ; la , la et la sont des vues de dessus, schématiques et partielles, illustrant différents états du commutateur des figures 1A et 1B ; la est un schéma électrique équivalant au commutateur des figures 1A et 1B ; la est une vue de dessus, schématique et partielle, d’un exemple de ligne à microruban comprenant le commutateur des figures 1A et 1B selon un mode de réalisation ; la est une vue de dessus, schématique et partielle, d’un exemple de ligne coplanaire comprenant le commutateur des figures 1A et 1B selon un mode de réalisation ; la est une vue de dessus, schématique et partielle, d’un exemple d’un commutateur à base d’un matériau à changement de phase selon un mode de réalisation ; et la est une vue de dessus, schématique et partielle, d’un exemple d’un commutateur à base d’un matériau à changement de phase selon un mode de réalisation. De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures. En particulier, les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différents modes de réalisation peuvent présenter les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques. Par souci de clarté, seuls les étapes et éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. En particulier, les circuits de commande des commutateurs à base d’un matériau à changement de phase et les applications dans lesquelles peuvent être prévus de tels commutateurs n’ont pas été détaillés, les modes de réalisation et variantes décrits étant compatibles avec les circuits de commande des commutateurs à base d’un matériau à changement de phase usuels et avec les applications usuelles mettant en œuvre des commutateurs à base d’un matériau à changement de phase. Sauf précision contraire, lorsque l’on fait référence à deux éléments connectés entre eux, cela signifie directement connectés sans éléments intermédiaires autres que des conducteurs, et lorsque l’on fait référence à deux éléments reliés (en anglais « coupled ») entre eux, cela signifie que ces deux éléments peuvent être connectés ou être reliés par l’intermédiaire d’un ou plusieurs autres éléments. Dans la description qui suit, lorsque l’on fait référence à des qualificatifs de position absolue, tels que les termes « avant », « arrière », « haut », « bas », « gauche », « droite », etc., ou relative, tels que les termes « dessus », « dessous », « supérieur », « inférieur », etc., ou à des qualificatifs d’orientation, tels que les termes « horizontal », « vertical », etc., il est fait référence, sauf précision contraire, à l’orientation des figures. Sauf précision contraire, les expressions « environ », « approximativement », « sensiblement », et « de l’ordre de » signifient à 10 % près, de préférence à 5 % près. La et la sont des vues schématiques et partielles, respectivement de dessus et en coupe selon le plan AA de la , d’un exemple d’un commutateur 100 à base d’un matériau à changement de phase selon un mode de réalisation. Dans l’exemple représenté, le commutateur 100 comprend des électrodes 101a, 101b, 101c et 101d coplanaires. Les électrodes 101a et 101c sont situées de part et d’autre de l’électrode 101b. Dans l’orientation de la , les électrodes 101a et 101c sont situées aux extrémités gauche et droite, respectivement, du commutateur 100. L’électrode 101b est interposée latéralement entre les électrodes 101a et 101c. L’électrode 101d est située en vis-à-vis de l’électrode 101b. Dans l’orientation de la , l’électrode 101d est située à l’extrémité inférieure du commutateur 100. Les électrodes 101a et 101c sont par exemple destinées à être connectées à un circuit de communication radiofréquence, non détaillé. L’électrode 101b est par exemple une électrode intermédiaire, ou électrode centrale. L’électrode 101d est par exemple une électrode de référence destinée à être portée à un potentiel de référence, par exemple la masse. À titre d’exemple, les électrodes 101a, 101b, 101c et 101d sont en un matériau conducteur, par exemple un métal ou un alliage métallique. Chaque électrode 101a, 101b, 101c, 101d peut présenter une structure monocouche ou multicouche. Afin de simplifier la réalisation du commutateur 100, les électrodes 101a, 101b, 101c et 101d présentent par exemple des structures et des compositions sensiblement identiques, aux dispersions de fabrication près. À titre d’exemple, chaque électrode 101a, 101b, 101c, 101d présente, en vue de dessus, un pourtour de forme sensiblement rectangulaire. Cet exemple n’est toutefois pas limitatif, chaque électrode 101a, 101b, 101c, 101d pouvant présenter une forme quelconque. Bien que cela n’ait pas été détaillé, les électrodes 101a, 101b, 101c et 101d du commutateur 100 sont par exemple situées sur et en contact avec une face d’une couche isolante, par exemple en dioxyde de silicium, revêtant un substrat, par exemple une plaquette ou un morceau de plaquette en un matériau semiconducteur, par exemple le silicium. Dans l’exemple représenté, une couche électriquement isolante 103 revêt les faces latérales des électrodes 101a, 101b, 101c et 101d et comble les espaces libres s’étendant latéralement entre les électrodes 101a, 101b, 101c et 101d. La couche 103, non représentée en afin de ne pas surcharger le dessin, isole électriquement les électrodes 101a, 101b, 101c et 101d entre elles. Dans l’exemple illustré, la couche isolante 103 affleure la face supérieure des électrodes 101a, 101b, 101c et 101d. À titre d’exemple, la couche isolante 103 est en dioxyde de silicium. Dans l’exemple représenté, le commutateur 100 comprend en outre des régions 105a, 105b et 105c en un matériau à changement de phase. Les régions 105a, 105b et 105c sont disjointes et relient chacune deux électrodes adjacentes du commutateur 100. Plus précisément, dans l’exemple illustré, la région 105a relie les électrodes 101a et 101b, la région 105b relie les électrodes 101b et 101c, et la région 105c relie les électrodes 101b et 101d. Dit autrement, l’électrode 101b est reliée à chacune des autres électrodes 101a, 101c et 101d par les régions en matériau à changement de phase 105a, 105b et 105c, respectivement. Chaque région 105a, 105b, 105c en matériau à changement de phase revêt la face supérieure d’une partie de la couche 103 s’étendant latéralement entre les deux électrodes adjacentes qu’elle relie, et se prolonge sur et en contact avec une partie de la face supérieure de chacune desdites électrodes. Chaque région 105a, 105b, 105c en matériau à changement de phase présente par exemple, en vue de dessus, un pourtour de forme sensiblement rectangulaire. Cet exemple n’est toutefois pas limitatif, chaque région 105a, 105b, 105c pouvant présenter une forme quelconque. Le commutateur 100 présente, dans l’orientation de la , une forme générale en T dont la barre horizontale, parallèle à une direction de conduction du commutateur 100, comprend les électrodes 101a, 101b et 101c et les régions en matériau à changement de phase 105a et 105b, et dont la barre verticale, s’étendant le long d’une direction orthogonale à la direction de conduction du commutateur 100, comprend les électrodes 101b et 101d et la région en matériau à changement de phase 105c. Cet exemple n’est toutefois pas limitatif, le commutateur 100 pouvant présenter une forme quelconque. La direction de conduction du commutateur 100 et la direction selon laquelle s’étendent l’électrode 101d et la région 105c peuvent par exemple être obliques. À titre d’exemple, chaque région 105a, 105b, 105c du commutateur 100 est en un matériau dit « chalcogénure », c’est-à-dire un matériau ou un alliage comprenant au moins un élément chalcogène, par exemple un matériau de la famille du tellurure de germanium, du tellurure d’antimoine ou du germanium-antimoine-tellure, plus communément désigné par l’acronyme « GST ». À titre de variante, au moins l’une des régions 105a, 105b, 105c peut être en dioxyde de vanadium. La région 105c du commutateur 100 est par exemple dimensionnée différemment des régions 105a et 105b. À titre d’exemple, la région 105c présente un volume, ou une surface active, différente du volume, ou des surfaces actives, de chacune des régions 105a et 105b. À titre de variante, ou de façon complémentaire, la région 105c peut être en un matériau à changement de phase différent de celui des régions 105a et 105b. Dans l’orientation de la , la face supérieure de chaque région 105a, 105b, 105c est revêtue d’une couche électriquement isolante 107. À titre d’exemple, la couche isolante 107 est en un matériau diélectrique et thermiquement conducteur, par exemple le nitrure de silicium ou le nitrure d’aluminium. La couche isolante 107 n’a pas été représentée en afin de ne pas surcharger le dessin. Dans l’exemple illustré, le commutateur 100 comporte en outre des éléments chauffants 109a, 109b et 109c situés sur et en contact avec la face supérieure de la couche 107 à l’aplomb des régions 105a, 105b et 105c, respectivement. Dans cet exemple, chaque élément chauffant 109a, 109b, 109c est électriquement isolé de la région 105a, 105b, 105c sous-jacente par la couche 107. Dans l’exemple représenté, les éléments chauffants 109a et 109b présentent chacun la forme d’une bande rectangulaire s’étendant le long d’une direction sensiblement orthogonale à la direction de conduction du commutateur 100, et l’élément chauffant 109c présente la forme d’une bande rectangulaire s’étendant le long d’une direction sensiblement parallèle à la direction de conduction du commutateur 100. Dans l’exemple illustré en , les éléments chauffants 109a et 109b sont connectés en série entre des électrodes de commande 111-1 et 111-2 situées de part et d’autre de l’électrode 101b. Dans cet exemple, les éléments chauffants 109a et 109b font partie d’une même piste conductrice 113, par exemple une piste métallique, dont les extrémités gauche et droite sont connectées respectivement aux électrodes de commande 111-1 et 111-2. Une partie de la piste 113 connectant l’élément chauffant 109a à l’élément chauffant 109b est située à l’aplomb d’une région dépourvue de matériau à changement de phase, par exemple une région électriquement isolante. Dans l’exemple illustré, les éléments chauffants 109a et 109b sont destinés à être commandés de façon simultanée, par exemple par l’application d’une différence de potentiel entre les électrodes 111-1 et 111-2. À titre de variante, les éléments chauffants 109a et 109b peuvent être isolés électriquement l’un de l’autre. Dans ce cas, les éléments chauffants 109a et 109b sont par exemple formés dans des pistes conductrices distinctes, isolées l’une de l’autre et connectées chacune entre des électrodes de commande analogues aux électrodes 111-1 et 111-2. Dans ce cas, les électrodes de commande de chaque élément chauffant 109a, 109b sont par exemple situées de part et d’autre de la direction de conduction du commutateur 100. Les éléments chauffants 109a et 109b peuvent, dans cette variante, être commandés simultanément, par exemple par l’application simultanée d’une différence de potentiel entre les électrodes de commande de chaque élément chauffant 109a, 109b. Dans l’exemple représenté, l’élément chauffant 109c est connecté entre des électrodes de commande 115-1 et 115-2 et fait partie d’une piste conductrice 117, par exemple une piste métallique, dont les extrémités gauche et droite sont connectées respectivement aux électrodes de commande 115-1 et 115-2 de l’élément chauffant 109c. Dans cet exemple, la piste 117 dont fait partie l’élément chauffant 109c est isolée électriquement de la piste 113 dont font partie les éléments chauffants 109a et 109b, et les électrodes de commande 115-1 et 115-2 sont isolées électriquement des électrodes de commande 111-1 et 111-2. Cela permet de commander l’élément chauffant 109c indépendamment des éléments chauffants 109a et 109b. À titre d’exemple, les électrodes de commande 111-1 et 111-2 des éléments chauffants 109a et 109b du commutateur 100 sont reliées ou connectées à un premier circuit de commande, et les électrodes de commande 115-1 et 115-2 de l’élément chauffant 109c sont reliées ou connectées à un deuxième circuit de commande, par exemple distinct du premier circuit de commande. Afin de ne pas surcharger le dessin, les circuits de commande des éléments chauffants 109a, 109b et 109c n’ont pas été représentés. Chaque élément chauffant 109a, 109b, 109c présente par exemple une épaisseur de l’ordre de 100 nm et une largeur comprise entre quelques centaines de nanomètres et quelques micromètres. À titre d’exemple, chaque élément chauffant 109a, 109b, 109c est en un métal, par exemple le tungstène, ou en un alliage métallique, par exemple le nitrure de titane. Bien que cela n’ait pas été représenté, le commutateur 100 peut être revêtu d’une couche thermiquement isolante destinée à confiner la chaleur produite par les éléments chauffants 109a, 109b et 109c. La , la et la sont des vues de dessus, schématiques et partielles, illustrant différents états du commutateur des figures 1A et 1B. De manière générale, les matériaux à changement de phase sont des matériaux capables d’alterner, sous l’effet d’une variation de température, entre une phase cristalline et une phase amorphe, la phase amorphe présentant une résistivité électrique supérieure à celle de la phase cristalline. Dans le cas du commutateur 100, il est tiré profit de ce phénomène pour obtenir : – un premier état ( ), appelé « état passant », permettant la circulation d’un courant entre les électrodes 101a, 101b et 101c, lorsque le matériau des régions 105a et 105b est dans la phase cristalline et lorsqu’une partie au moins du matériau de la région 105c est dans la phase amorphe ; – un deuxième état ( ), appelé « état bloqué réfléchissant », empêchant la circulation d’un courant entre les électrodes 101a et 101c, lorsqu’une partie au moins du matériau des régions 105a et 105b est dans la phase amorphe et lorsque le matériau de la région 105c est dans la phase cristalline ; et – un troisième état ( ), appelé « état bloqué absorbant », permettant la circulation d’un courant entre les électrodes 101a, 101b et 101d, et éventuellement entre les électrodes 101a, 101b et 101c, lorsque le matériau des régions 105a, 105b et 105c est dans la phase cristalline. Lors des commutations du commutateur 100 entre les états passant et bloqué réfléchissant, les électrodes de commande 111-1 et 111-2 des éléments chauffants 109a et 109b et les électrodes de commande 115-1 et 115-2 de l’élément chauffant 109c sont par exemple simultanément soumises à des tensions de commande provoquant une circulation de courant à travers les éléments chauffants 109a, 109b et 109c. Ce courant entraîne, par effet Joule puis par rayonnement et/ou conduction à l’intérieur de la structure du commutateur 100, notamment à travers les couches 107, une élévation de température des régions 105a, 105b et 105c sous-jacentes depuis leurs faces supérieures, situées en regard des éléments chauffants 109a, 109b et 109c respectifs. Plus précisément, pour faire basculer le commutateur 100 de l’état bloqué réfléchissant à l’état passant, les régions 105a et 105b en matériau à changement de phase sont chauffées, au moyen des éléments chauffants 109a et 109b, par exemple à une température T1 et pendant une durée d1. La température T1 et la durée d1 sont choisies de sorte à provoquer un changement de phase du matériau des régions 105a et 105b depuis la phase amorphe vers la phase cristalline. La température T1 est par exemple supérieure à une température de cristallisation et inférieure à une température de fusion du matériau des régions 105a et 105b. À titre d’exemple, la température T1 est comprise entre 150 et 350 °C et la durée d1 est inférieure à 1 µs. Dans le cas où les régions 105a et 105b sont en tellurure de germanium, la température T1 est par exemple égale à environ 300 °C et la durée d1 est par exemple comprise entre 100 ns et 1 µs. Par ailleurs, la région 105c en matériau à changement de phase est chauffée, au moyen de l’élément chauffant 109c, par exemple à une température T2 supérieure à la température T1, et pendant une durée d2 inférieure à la durée d1. La température T2 et la durée d2 sont choisies de sorte à provoquer un changement de phase du matériau de la région 105c depuis la phase cristalline vers la phase amorphe. La température T2 est par exemple supérieure à la température de fusion du matériau à changement de phase. À titre d’exemple, la température T2 est comprise entre 600 et 1 000 °C et la durée d2 est inférieure à 500 ns. Dans le cas où la région 105c est en tellurure de germanium, la température T2 est par exemple égale à environ 700 °C et la durée d2 est par exemple égale à environ 100 ns. Lors de la commutation du commutateur 100 entre l’état bloqué réfléchissant et l’état passant, l’élément chauffant 105c et les éléments chauffants 105a et 105b sont par exemple commandés de façon simultanée. Cela permet avantageusement de réduire la durée de commutation. À l’inverse, pour faire basculer le commutateur 100 de l’état passant à l’état bloqué réfléchissant, les régions 105a et 105b sont chauffées, au moyen des éléments chauffants 109a et 109b, par exemple à la température T2 et pendant la durée d2. Par ailleurs, la région 105c est chauffée, au moyen de l’élément chauffant 109c, par exemple à la température T1 et pendant la durée d1. La commutation entre les états bloqué réfléchissant et bloqué absorbant est par exemple analogue à la commutation entre les états passant et bloqué réfléchissant décrite ci-dessus, à la différence que seuls les éléments chauffants 109a et 109b sont mis en œuvre pour la commutation entre les états bloqué réfléchissant et bloqué absorbant, le matériau de la région 105c restant dans la phase cristalline lors de cette commutation. À titre d’exemple, pour faire basculer le commutateur 100 de l’état bloqué réfléchissant à l’état bloqué absorbant, les régions 105a et 105b sont chauffées à la température T1 et pendant la durée d1. À l’inverse, pour faire basculer le commutateur 100 de l’état bloqué absorbant à l’état bloqué réfléchissant, les régions 105a et 105b sont par exemple chauffées à la température T2 et pendant la durée d2. Par ailleurs, la commutation entre les états passant et bloqué absorbant est par exemple analogue à la commutation entre les états passant et bloqué réfléchissant décrite ci-dessus, à la différence que seul l’élément chauffant 105c est mis en œuvre pour la commutation entre l’état passant et l’état bloqué absorbant, le matériau des régions 105a et 105b restant dans la phase cristalline lors de cette commutation. À titre d’exemple, pour faire basculer le commutateur 100 de l’état passant à l’état bloqué absorbant, la région 105c est chauffée à la température T1 et pendant la durée d1. À l’inverse, pour faire basculer le commutateur 100 de l’état bloqué absorbant à l’état passant, la région 105c est par exemple chauffée à la température T2 et pendant la durée d2. Les valeurs des températures T1 et T2 et des durées d1 et d2 de chauffage peuvent être identiques pour chacune des régions 105a, 105b, 105c. À titre de variante, au moins l’une des régions 105a, 105b, 105c, par exemple la région 105c, peut présenter des valeurs de température T1 et/ou T2 et/ou de durée d1 et/ou d2 de chauffage différentes de celles des autres régions (les régions 105a et 105b, dans cet exemple). Le commutateur 100 est dit « à chauffage indirect », l’élévation de température du matériau à changement de phase s’obtenant par circulation d’un courant à travers un élément chauffant électriquement isolé du matériau à changement de phase, par opposition aux commutateurs de type « à chauffage direct » qui sont dépourvus d’élément chauffant et dans lesquels l’élévation de température résulte d’une circulation de courant à travers le matériau à changement de phase. Dans le cas d’un commutateur à chauffage direct, les électrodes de commande sont par exemple connectées à deux côtés opposés de la région en matériau à changement de phase, par exemple le long d’une direction orthogonale au chemin de conduction du commutateur. Un inconvénient des commutateurs à chauffage direct tient au fait que, lorsque le commutateur est passant, un chemin de conduction électrique est créé à travers le matériau à changement de phase entre les électrodes de commande et les électrodes de conduction du commutateur. Cela entraîne des courants de fuite qui perturbent le signal transmis entre les électrodes de conduction. Un avantage du commutateur 100 tient au fait que l’état bloqué réfléchissant permet d’obtenir une meilleure isolation, par exemple améliorée d’environ -20 dB, entre les électrodes 101a et 101c par rapport au cas d’un commutateur analogue mais comprenant une seule région en matériau à changement de phase reliant deux électrodes de conduction. Un autre avantage du commutateur 100 réside dans le fait qu’il est possible de tirer profit de l’état bloqué absorbant pour atténuer le signal transmis entre les électrodes de conduction 101a et 101c. La est un schéma électrique équivalant au commutateur 100 des figures 1A et 1B. Dans l’exemple représenté : – la région en matériau à changement de phase 105a est symbolisée par un élément résistif Ra et un élément capacitif Ca associés en parallèle entre les électrodes 101a et 101b ; – la région en matériau à changement de phase 105b est symbolisée par un élément résistif Rb et un élément capacitif Cb associés en parallèle entre les électrodes 101b et 101c ; et – la région en matériau à changement de phase 105c est symbolisée par un élément résistif Rc et un élément capacitif Cc associés en parallèle entre les électrodes 101b et 101c. Les éléments résistifs Ra, Rb et Rc symbolisent la résistance électrique des régions en matériau à changement de phase 105a, 105b et 105c du commutateur 100. La résistance de chaque élément résistif Ra, Rb et Rc varie selon que la région 105a, 105b, 105c correspondante est dans l’état cristallin ou dans l’état amorphe. Plus précisément, la résistance de chaque élément résistif Ra, Rb, Rc peut par exemple prendre : – une première valeur Ra_on, Rb_on, Rc_on correspondant à la résistance de l’élément résistif Ra, Rb, Rc lorsque la région en matériau à changement de phase 105a, 105b, 105c correspondante est dans l’état cristallin ; et – une deuxième valeur Ra_off, Rb_off, Rc_off supérieure à la première valeur Ra_on, Rb_on, Rc_on et correspondant à la résistance de l’élément résistif Ra, Rb, Rc lorsque la région en matériau à changement de phase 105a, 105b, 105c correspondante est au moins partiellement dans l’état amorphe. À titre d’exemple, dans un cas où les régions en matériau à changement de phase 105a, 105b et 105c sont en tellurure de germanium, les rapports Ra_off/Ra_on, Rb_off/Rb_on, Rc_off/Rc_on sont de l’ordre de 10 5 . Dans ce cas, le volume de chaque région 105a, 105b, 105c est par exemple dimensionné de sorte que les valeurs Ra_on, Rb_on et Rc_on soient sensiblement égales, et que les valeurs Ra_off, Rb_off et Rc_off soient sensiblement égales. À titre de variante, dans un cas où les régions en matériau à changement de phase 105a, 105b et 105c sont en GST, les rapports Ra_off/Ra_on, Rb_off/Rb_on, Rc_off/Rc_on sont par exemple de l’ordre de 10 2 , c’est-à-dire bien inférieurs aux rapports obtenus dans l’exemple où les régions 105a, 105b et 105c sont en tellurure de germanium. Dans ce cas, le volume de chaque région 105a, 105b, 105c est par exemple dimensionné de sorte que la valeur Rc_on soit par exemple 10 à 50 fois plus grande que chaque valeur Ra_on, Rb_on, et que la valeur Rc_off soit par exemple 10 à 50 fois plus grande que chaque valeur Ra_off, Rb_off. La région 105c présente alors par exemple un volume inférieur à celui des régions 105a et 105b. Cela permet de compenser le fait que les rapports Ra_off/Ra_on, Rb_off/Rb_on, Rc_off/Rc_on sont dans ce cas moins importants que dans le cas où les régions 105a, 105b et 105c sont en tellurure de germanium. À titre d’exemple, dans le cas où les régions 105a, 105b et 105c sont en GST : – les valeurs Ra_on et Rb_on sont comprises entre 0,5 et 5 Ω, par exemple égales à environ 1 Ω ; – les valeurs Ra_off et Rb_off sont comprises entre 50 et 500 Ω, par exemple égales à environ 100 Ω ; – la valeur Rc_on est comprise entre 5 et 250 Ω, par exemple égale à environ 20 Ω ; et – la valeur Rc_off est comprise entre 500 et 25 000 Ω, par exemple égale à environ 2 000 Ω. La présence des éléments capacitifs Ca, Cb et Cc tient au fait que les régions en matériau à changement de phase 105a, 105b et 105c sont séparées des éléments chauffants 109a, 109b et 109c, respectivement, par la couche isolante 107. À titre d’exemple, chaque élément capacitif Ca, Cb, Cc présente, lorsque la région 105a, 105b, 105c correspondante est dans la phase amorphe, une capacité de l’ordre de 10 fF. Par ailleurs, dans l’exemple représenté, la piste conductrice 113, dans laquelle sont formés les éléments chauffants 109a et 109b, est symbolisée par un élément résistif R1 connecté entre les électrodes de commande 111-1 et 111-2, et la piste conductrice 117, dans laquelle est formé l’élément chauffant 109c, est symbolisée par un élément résistif R2 connecté entre les électrodes de commande 115-1 et 115-2. La est une vue de dessus, schématique et partielle, d’un exemple de ligne à microruban 300 comprenant le commutateur 100 des figures 1A et 1B selon un mode de réalisation. Dans l’exemple représenté, le commutateur 100 est situé à l’aplomb d’un plan de masse 301. L’électrode 101d du commutateur 100 est connectée au plan de masse 301 sous-jacent par un via conducteur 303, par exemple un via métallique. La mise en œuvre du commutateur 100 dans la ligne microruban 300 permet d’obtenir une isolation supérieure à celle qui serait obtenue avec un commutateur dépourvu de la région 105c, de l’électrode 101d et du via 303, par exemple un commutateur ne comportant qu’une seule région en matériau à changement de phase reliant les électrodes 101a et 101c. La est une vue de dessus, schématique et partielle, d’un exemple de ligne ou guide d’ondes coplanaire 400 (« Coplanar Waveguide » - CPW, en anglais) comprenant le commutateur 100 des figures 1A et 1B selon un mode de réalisation. Dans l’exemple représenté, le commutateur 100 est interposé latéralement entre deux plans de masse 401 et 403. Les plans de masse 401 et 403 et les électrodes 101a, 101b, 101c et 101d du commutateur 100 sont par exemple coplanaires. Dans l’exemple illustré, l’électrode 101d du commutateur 100 est connectée au plan de masse 401. La mise en œuvre du commutateur 100 dans la ligne coplanaire 400 permet d’obtenir une isolation supérieure à celle qui serait obtenue avec un commutateur dépourvu de la région 105c, de l’électrode 101d et du via 303, par exemple un commutateur ne comportant qu’une seule région en matériau à changement de phase reliant les électrodes 101a et 101c. La est une vue de dessus, schématique et partielle, d’un exemple d’un commutateur 500 à base d’un matériau à changement de phase selon un mode de réalisation. Le commutateur 500 de la comprend des éléments communs avec le commutateur 100 des figures 1A et 1B. Ces éléments communs ne seront pas détaillés à nouveau ci-après. Le commutateur 500 de la diffère du commutateur 100 des figures 1A et 1B en ce que le commutateur 500 de la comprend une pluralité d’électrodes intermédiaires 501b (trois électrodes intermédiaires 501b-1, 501b-2 et 501b-3, dans l’exemple représenté) interposées latéralement entre les électrodes 101a et 101c. Chaque électrode 501b est par exemple analogue ou identique à l’électrode 101b du commutateur 100. Dans l’exemple illustré, le commutateur 500 comprend des régions 505a, 505b-1, 505b-2 et 505b-3 en matériau à changement de phase. La région 505a relie les électrodes 101a et 501b-1, la région 505b-1 relie les électrodes 501b-1 et 501b-2, la région 505b-2 relie les électrodes 501b-2 et 501b-3 et la région 505b-3 relie les électrodes 501b-3 et 101c. Chaque région 505a, 505b-1, 505b-2, 505b-3 est par exemple analogue ou identique aux régions 105a et 105b du commutateur 100. Dans l’exemple représenté, le commutateur 500 comporte en outre une pluralité d’électrodes 501d (trois électrodes 501d-1, 501d-2 et 501d-3, dans l’exemple représenté) situées respectivement en vis-à-vis des électrodes 501b. Chaque électrode 501d est par exemple analogue ou identique à l’électrode 101d du commutateur 100. Dans l’exemple illustré, le commutateur 500 comporte en outre des régions 505c-1, 505c-2 et 505c-3 en matériau à changement de phase. La région 505c-1 relie les électrodes 501b-1 et 501d-1, la région 505c-2 relie les électrodes 501b-2 et 501d-2, et la région 505c-3 relie les électrodes 501b-3 et 501d-3. Chaque région 505c-1, 505c-2, 505c-3 est par exemple analogue ou identique aux régions 105c du commutateur 100. Dans l’exemple illustré en , le commutateur 500 comporte en outre des éléments chauffants 509a, 509b-1, 509b-2 et 509b-3 situés respectivement à l’aplomb des régions 505a, 505b-1, 505b-2 et 505b-3 en matériau à changement de phase. Chaque élément chauffant 509a, 509b-1, 509b-2, 509b-3 est connecté entre des électrodes de commande 511-1 et 511-2 situées de part et d’autre de la direction de conduction. Dans cet exemple, chaque élément chauffant 509a, 509b-1, 509b-2, 509b-3 fait partie d’une piste conductrice 513, par exemple une piste métallique, dont les extrémités supérieure et inférieure sont connectées respectivement aux électrodes de commande 511-1 et 511-2. Les éléments chauffants 509a, 509b-1, 509b-2 et 509b-3 sont par exemple destinés à être commandés de façon simultanée. Dans l’exemple représenté, les éléments chauffants 509a, 509b-1, 509b-2 et 509b-3 sont isolés les uns des autres. À titre de variante, les éléments chauffants 509a, 509b-1, 509b-2 et 509b-3 peuvent être connectés, par exemple au moyen d’une piste conductrice interconnectant les électrodes 511-1 des éléments chauffants 509a, 509b-1, 509b-2 et 509b-3. Dans l’exemple illustré, le commutateur 500 comporte en outre des éléments chauffants 509c (trois éléments chauffants 509c-1, 509c-2 et 509c-3, dans l’exemple représenté) connectés en série entre des électrodes de commande 515-1 et 515-2 et faisant partie d’une même piste conductrice 517, par exemple une piste métallique, dont les extrémités gauche et droite sont connectées respectivement aux électrodes de commande 515-1 et 515-2. Les éléments chauffants 509c-1, 509c-2 et 509c-3 sont destinés à être commandés de façon simultanée, par exemple par l’application d’une différence de potentiel entre les électrodes 515-1 et 515-2. À titre de variante, les éléments chauffants 509c-1, 509c-2 et 509c-3 peuvent être isolés électriquement l’un de l’autre. Dans ce cas, les éléments chauffants 509c-1, 509c-2 et 509c-3 sont par exemple formés dans des pistes conductrices distinctes, isolées l’une de l’autre et connectées chacune entre des électrodes de commande analogues aux électrodes 515-1 et 515-2. Dans ce cas, les électrodes de commande de chaque élément chauffant 509c-1, 509c-2, 509c-3 sont par exemple parallèles à la direction de conduction du commutateur 500. Les éléments chauffants 509c-1, 509c-2 et 509c-3 peuvent, dans cette variante, être commandés simultanément, par exemple par l’application simultanée d’une différence de potentiel entre les électrodes de commande de chaque élément chauffant 509c-1, 509c-2, 509c-3. Les éléments chauffants 509c-1, 509c-2 et 509c-3 sont isolés électriquement des éléments chauffants 509a, 509b-1, 509b-2 et 509b-3. Cela permet de commander les éléments chauffants 509c-1, 509c-2 et 509c-3 indépendamment des éléments chauffants 509a, 509b-1, 509b-2 et 509b-3 comme exposé ci-dessus en relation avec les figures 1A et 1B pour le commutateur 100. Le fonctionnement du commutateur 500 de la est analogue au fonctionnement du commutateur 100 des figures 1A à 1B. La personne du métier est capable, à partir des indications de la présente description, de commander les éléments chauffants 509a, 509b-1, 509b-2, 509b-3, 509c-1, 509c-2 et 509c-3 du commutateur 500 pour obtenir des états passant, bloqué réfléchissant et bloqué absorbant analogues à ceux précédemment décrits en relation avec les figures 1A et 1B pour le commutateur 100. Le commutateur 500 présente des avantages analogues ou identiques à ceux du commutateur 100. Le fait de prévoir plusieurs régions 505a, 505b-1, 505b-2 et 505b-3 en matériau à changement de phase permet avantageusement de réduire la quantité d’énergie électrique et la durée nécessaires à chaque commutation tout en permettant, à l’état bloqué, d’atteindre une tenue en tension élevée, par exemple supérieure ou égale à 4 V, entre les électrodes 101a et 101c du commutateur 500. Le commutateur 500 présente ainsi, par rapport au commutateur 100, une vitesse de commutation plus élevée, une consommation énergétique moindre et une fiabilité supérieure. La est une vue de dessus, schématique et partielle, d’un exemple d’un commutateur 600 à base d’un matériau à changement de phase selon un mode de réalisation. Le commutateur 600 de la comprend des éléments communs avec le commutateur 500 de la . Ces éléments communs ne seront pas détaillés à nouveau ci-après. Le commutateur 600 de la diffère du commutateur 500 de la en ce que les régions en matériau à changement de phase 505a, 505b-1, 505b-2 et 505b-3 du commutateur 600 présentent, en vue de dessus, des aires différentes. Dans l’exemple illustré, les régions 505a, 505b-1, 505b-2 et 505b-3 présentent, le long de la direction de conduction du commutateur 600, depuis l’électrode 101a vers l’électrode 101c, des aires strictement croissantes. Dans l’exemple représenté, les régions 505a, 505b-1, 505b-2 et 505b-3 en matériau à changement de phase présentent la même longueur, aux dispersions de fabrication près, et des largeurs différentes, par exemple strictement croissantes entre les deux électrodes 101a et 101c du commutateur 600. À titre d’exemple, l’électrode 101c en contact avec la région 505b-3 présentant l’aire la plus grande est adaptée à être portée à un potentiel haut, par exemple supérieur ou égal à 4 V, l’autre électrode 101a, en contact avec la région 505a présentant l’aire la plus petite, dans cet exemple, étant destinée à être portée à un potentiel de référence, par exemple la masse. Par ailleurs, l’écart d’aires, ou de largeurs, entre deux régions 505a, 505b-1, 505b-2, 505b-3 successives est d’autant plus important que les régions 505a, 505b-1, 505b-2 et 505b-3 sont proches de l’électrode 101c en contact avec la région 505b-3 présentant l’aire la plus grande (proches de l’extrémité droite, dans l’orientation de la ). La largeur, ou l’aire, de chaque région 505a, 505b-1, 505b-2, 505b-3 est par exemple déterminée de sorte que, lorsque le commutateur 600 est à l’état bloqué et qu’une tension, résultant de l’application du signal radiofréquence, est appliquée entre ses électrodes 101a et 101c, les tensions résultantes individuellement appliquées à chaque région 505a, 505b-1, 505b-2, 505b-3, c’est-à-dire, pour chaque région 505a, 505b-1, 505b-2, 505b-3, la tension appliquée entre les deux électrodes qu’elle relie, soient sensiblement identiques, ou équilibrées. Cela permet avantageusement d’améliorer la tenue en tension du commutateur 600 par rapport au commutateur 500. Divers modes de réalisation et variantes ont été décrits. La personne du métier comprendra que certaines caractéristiques de ces divers modes de réalisation et variantes pourraient être combinées, et d’autres variantes apparaîtront à la personne du métier. En particulier, la personne du métier est capable, dans la ligne microruban 300 ou dans la ligne coplanaire 400, de remplacer le commutateur 100 par le commutateur 500 ou par le commutateur 600. Enfin, la mise en œuvre pratique des modes de réalisation et variantes décrits est à la portée de la personne du métier à partir des indications fonctionnelles données ci-dessus. En particulier, la personne du métier est capable, à partir des indications de la présente description, de choisir le matériau et de dimensionner le volume de chaque région en matériau à changement de phase en fonction des caractéristiques électriques recherchées. Commutateur (100 ; 500 ; 600) comprenant : – des première, deuxième, troisième et quatrième électrodes (101a, 101b, 101c, 101d ; 101a, 501b-1, 501b-2, 501d-1) ; – une première région (105a ; 505a) en un matériau à changement de phase reliant les première et deuxième électrodes ; – une deuxième région (105b ; 505b-1) en un matériau à changement de phase reliant les deuxième et troisième électrodes ; et – une troisième région (105c ; 505c-1) en un matériau à changement de phase reliant les deuxième et quatrième électrodes. Commutateur selon la revendication 1, comprenant en outre des premier, deuxième et troisième éléments chauffants (109a, 109b, 109c ; 509a, 509b-1, 509c-1) situés respectivement en vis-à-vis des première, deuxième et troisième régions (105a, 105b, 105c ; 505a, 505b-1, 505c-1) en matériau à changement de phase, chaque élément chauffant étant électriquement isolé de ladite région située en vis-à-vis. Commutateur selon la revendication 2, dans lequel le troisième élément chauffant (109c ; 509c-1) est destiné à être commandé indépendamment des premier et deuxième éléments chauffants (109a, 109b ; 509a, 509b-1). Commutateur selon la revendication 2 ou 3, dans lequel les premier et deuxième éléments chauffants (109a, 109b ; 509a, 509b-1) sont destinés à être commandés simultanément. Commutateur selon l’une quelconque des revendications 2 à 4, dans lequel les premier et deuxième éléments chauffants (109a, 109b ; 509a, 509b-1) sont connectés en série entre deux électrodes de commande (111-1, 111-2). Commutateur selon l’une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel les première, deuxième et troisième régions (105a, 105b, 105c ; 505a, 505b-1, 505c-1) en matériau à changement de phase sont en un matériau chalcogénure. Commutateur selon la revendication 6, dans lequel chacune des première, deuxième et troisième régions (105a, 105b, 105c ; 505a, 505b-1, 505c-1) en matériau à changement de phase est en tellurure de germanium ou en germanium-antimoine-tellure. Commutateur selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel la troisième région (105c ; 505c-1) en matériau à changement de phase présente un volume inférieur à celui des première et deuxième régions (105a, 105b ; 505a, 505b-1) en matériau à changement de phase. Commutateur (600) selon l’une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel les première et deuxième régions (505a, 505b-1) en matériau à changement de phase présentent, en vue de dessus, des aires différentes. Commutateur selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel les première et deuxième régions (105a, 105b ; 505a, 505b-1) en matériau à changement de phase présentent, le long de la direction de conduction du commutateur, une même dimension latérale. Commutateur (600) selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel les première et deuxième régions (505a, 505b-1) en matériau à changement de phase présentent, le long d’une direction orthogonale à la direction de conduction du commutateur, des dimensions latérales différentes. Dispositif (300 ; 400) comprenant un commutateur (100 ; 500 ; 600) selon l’une quelconque des revendications 1 à 11 et un plan de masse (301 ; 401) auquel est connectée la quatrième électrode (101c ; 501d-1) du commutateur.