FR 3129211 A1 20230519 FR 2112117 A 20211117 Fluxmètre thermique résistif à dérive compensée et un procédé de fabrication d’un tel fluxmètre L’invention concerne un fluxmètre thermique résistif à dérive thermique compensée (1) comprenant un substrat (2) sur lequel est déposé un pont de Wheatstone (3) déposé par un procédé de dépôt par couche mince, le pont de Wheatstone (3) comportant deux premières branches résistives (4) formées dans une première couche (6) et deux secondes branches résistives (5) formées dans une seconde couche (7), la première et la seconde couches (6, 7) étant séparées par une couche de silice (8) déposée par un procédé de dépôt par couche mince. Il comprend en outre quatre résistances de compensation (9), chaque résistance de compensation (9) étant couplée en parallèle d’une branche résistive (4, 5) distincte du pont de Wheatstone (3), une résistance équivalente de chaque branche résistive ayant un coefficient de variation de température équivalent à celui des autres branches résistives (4, 5) à un écart type près, la résistance équivalente d’une branche résistive (4, 5) correspondant à la résistance issue d’un couplage en parallèle d’une branche résistive (4, 5) du pont de Wheatstone (3) avec la résistance de compensation (9) associée. Figure pour l’abrégé : Fig.1 Fluxmètre thermique résistif à dérive compensée et un procédé de fabrication d’un tel fluxmètre L'invention concerne un capteur de flux thermique résistif, ou fluxmètre thermique, et plus particulièrement une compensation de la dérive de mesure d’un fluxmètre thermique résistif. Avec notamment la pression et la température, le flux thermique est un des paramètres majeurs à prendre en compte dans la conception d’un moteur et pour l’amélioration de l’aérodynamisme d’un véhicule. La mesure d’un flux thermique est particulièrement importante dans la détermination directe des besoins en refroidissement de zones chaudes de pâles ou d’aubes. En outre, si la température sur la surface et la température des gaz sont connues, la mesure d’un flux thermique permet de fournir une valeur du coefficient de transfert thermique qui peut être comparé avec la valeur théorique fournie. Un capteur de flux thermique ou fluxmètre est un transducteur produisant un signal proportionnel au flux thermique local. Ce flux de chaleur peut avoir des origines différentes ; en principe les flux thermiques par convection, radiation et conduction peuvent être mesurés. Les fluxmètres sont constitués de petits thermocouples connectés en série. Certains instruments sont en fait des capteurs spécifiques du flux thermique comme les pyranomètres (pour la mesure de rayonnement solaire). On trouve aussi les jauges de Boelter Schmidt (pour la mesure de flux de chaleur du feu). Il existe aussi les fluxmètres à jauge Gardon, les jauges « plug », les réseaux de thermocouples sur couche mince, et les ponts de Wheatstone sur couche mince. L’utilisation de fluxmètres à couche mince, à thermocouples ou à pont de Wheatstone, offre plusieurs avantages par rapport aux autres capteurs. Les fluxmètres à couche mince n’ont pas besoin d’une conformation particulière du composant sur lequel ils sont montés. En outre, avec une épaisseur généralement inférieure à 10 microns, ils sont plus minces que les autres fluxmètres. Les fluxmètres à couche mince sont ainsi moins encombrants et gênant pour l’environnement de fonctionnement, et ont un impact minimal sur les caractéristiques physiques et thermiques de la structure de support. En général, le fonctionnement d’un fluxmètre dépend des lois de Fourier sur la conduction thermique. On mesure la différence de température ΔT au travers d’une épaisseur donnée Δx d’un matériau dont la conductivité thermique k est aussi connue pour déterminer le flux thermique Q ensuite. Dans un fluxmètre à pont de Wheatstone à couche mince, la différence de température au travers de l’épaisseur Δx est mesurée grâce à la variation de résistance dans un ou plusieurs bras du pont de Wheatstone. Dans une configuration de fluxmètre à pont de Wheatstone dite à double face, deux bras du pont se situent sur une première surface du substrat tandis que les deux autres bras sont situés sur la face opposée. Dans une configuration de fluxmètre à pont de Wheatstone dite mono face, les quatre bras sont réalisés sur la même face du substrat, deux des bras ayant une épaisseur d’isolant différente des deux autres. Si on considère un fluxmètre présentant une épaisseur l et une conductivité thermique k 1 , pour mesurer le flux thermique dans un substrat d’épaisseur L et de conductivité thermique k 2 , le signal mesuré vérifiera l’équation suivante : Avec V la tension de polarisation du pont, β le coefficient de température de résistance du matériau du pont, et Q le flux thermique. Typiquement, dans une configuration double face, on aurait une épaisseur de fluxmètre l d’une valeur de 1,016 mm, une épaisseur de substrat L à mesurer d’environ 2,54 cm, une conductivité thermique k 1 du fluxmètre de 36 W/m/K pour l’alumine, et une conductivité thermique k 2 du substrat à mesurer de 15 W/m/K pour l’inox, et un coefficient de température de résistance du matériau du pont de l’ordre de 3,98x10 -3 K -1 . Avec un tension de polarisation V de l’ordre de 1 V et un flux thermique de l’ordre de 1 W/cm 2 , on obtiendrait un signal V sig de l’ordre de 528 (µV/V)/(W/cm²). Un fluxmètre à couche mince à pont de Wheatstone fonctionne de la façon suivante. Sans flux thermique appliqué au fluxmètre, tous les éléments du pont, c’est-à-dire les quatre bras résistifs, sont à une température initiale T 0 , et présentent une résistance initiale R 0 . Lorsqu’un flux thermique est appliqué au fluxmètre, les deux bras résistifs du pont qui ne sont pas recouverts par une couche d’isolant sont à une température de surface T S et les deux bras résistifs du pont recouverts par une couche d’isolant sont à une température de fond T F . La résistance des bras est alors respectivement égale à R 0 [1+β(T S -T 0 )] pour les bras non isolés, et R 0 [1+β(T F -T 0 )] pour les bras isolés, avec β le coefficient de température linaire des résistances. Avec une tension de polarisation V, le signal de sortie d’un bras isolé vérifie l’équation suivante : Et le signal de sortie d’un bras non isolé vérifie l’équation suivante : Le signal de sortie du fluxmètre vérifie alors l’équation suivante : Les principaux fluxmètres connus sont basés sur un pont de Wheatstone déposé par un procédé de dépôt de couche mince sur deux étages séparés par une couche de silice déposée par un procédé de dépôt de couche mince. L’ensemble des couches est déposé sur un substrat isolant. Il a malheureusement été observé que l’échauffement du fluxmètre conduisait à une dérive de la mesure. Cette dérive altère la mesure lorsque le capteur est soumis au flux thermique. De plus, en l’absence de flux, la mesure ne revient pas à zéro, compromettant ainsi les mesures ultérieures. Cette dérive provient de l’élévation globale de la température en surface du capteur. En effet, le pont déposé n’est pas parfait, c’est-à-dire que les résistances de chacun des quatre bras, ou des quatre branches, du pont de Wheatstone ne sont pas identiques ; autrement dit, les valeurs des résistances à une température donnée sont différentes et leur évolution en température est différente. Ainsi, chaque résistance évolue différemment avec la température ce qui crée un déséquilibre parasite du pont de Wheatstone qui constitue une partie de la dérive observée et qui est responsable du non-retour à zéro de la mesure en l’absence de flux. La présente invention a donc pour but principal de proposer une solution pour compenser la dérive du fluxmètre, c’est-à-dire pour compenser l’imperfection du pont de Wheatstone. Dans un premier objet de l’invention, il est proposé un procédé de fabrication d’un fluxmètre thermique résistif à dérive compensée, le fluxmètre comprenant un substrat sur lequel est déposé par un procédé de dépôt par couche mince un pont de Wheatstone comportant deux premières branches résistives formées dans une première couche et deux secondes branches résistives formées dans une seconde couche, la première et la seconde couches étant séparées par une couche de silice déposée par un procédé de dépôt par couche mince, le procédé de fabrication comprenant : - au moins deux séries de mesures à au moins deux températures différentes, chaque série de mesure comportant au moins une mesure de la résistance de chaque première et seconde branche résistive du pont de Wheatstone, une mesure d’une tension d’alimentation du fluxmètre, une mesure de la tension de sortie du fluxmètre, et une mesure de la température du fluxmètre, - pour chaque première et seconde branche résistive du pont de Wheatstone, une détermination, à partir des mesures effectuées, d’un jeu de résistances de compensation, une résistance équivalente d’une branche résistive correspondant à la résistance issue d’un couplage en parallèle d’une branche résistive du pont de Wheatstone avec la résistance de compensation associée, - un couplage des résistances de compensation à toutes ou partie des branches résistives du pont de Wheatstone. Dans un premier aspect du procédé de compensation, le pont de Wheatstone peut être réalisé par un procédé de dépôt par couche mince à base de platine, et les températures auxquelles sont réalisées les mesures des résistances peuvent être comprises dans une plage de températures trois fois plus petite que la plage de températures d’utilisation du pont de Wheatstone. Lorsqu’on a un coefficient de variation de température relativement constant des résistances du pont de Wheatstone, il n’est pas nécessaire de faire la caractérisation des résistances sur l’ensemble de la plage de température d’utilisation du pont de Wheatstone. On peut ainsi réduire la plage de température des mesures à une plage plus restreinte. Dans un deuxième aspect du procédé de compensation, la détermination d’une valeur de résistance de compensation pour chaque première et seconde branche résistive peut comprendre une sélection d’une valeur de résistance parmi un jeu de résistances donné. Le jeu de résistances donné comprend de préférence des résistances du commerce. Dans un second objet de l’invention, il est proposé un fluxmètre thermique résistif comprenant un substrat sur lequel est déposé un pont de Wheatstone déposé par un procédé de dépôt par couche mince, le pont de Wheatstone comportant deux premières branches résistives formées dans une première couche et deux secondes branches résistives formées dans une seconde couche, la première et la seconde couches étant séparées par une couche de silice déposée par un procédé de dépôt par couche mince. Selon une caractéristique générale du fluxmètre thermique résistif selon l’invention, le fluxmètre comprend en outre quatre résistances de compensation, chaque résistance de compensation étant couplée en parallèle d’une branche résistive spécifique du pont de Wheatstone, une résistance équivalente de chaque branche résistive ayant un coefficient de variation de température équivalent à celui des autres branches résistives à un écart type près, la résistance équivalente d’une branche résistive correspondant à la résistance issue d’un couplage en parallèle d’une branche résistive du pont de Wheatstone avec la résistance de compensation associée. L’ajout des résistances de compensation permet ainsi de réduire fortement voire d’annuler le non-retour à zéro et la dérive observée pendant la mesure. Selon un premier aspect du fluxmètre thermique résistif, chaque résistance de compensation possède de préférence une valeur fixe. Selon un deuxième aspect du fluxmètre thermique résistif, ledit substrat peut être en alumine. Selon un troisième aspect du fluxmètre thermique résistif, les premières et secondes branches résistives du pont de Wheatstone peuvent être en platine. Selon un quatrième aspect du fluxmètre thermique résistif, les résistances de compensation peuvent être montées sur un circuit déporté par rapport au substrat sur lequel sont déposées les branches résistives du pont de Wheatstone D’autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description faite ci-dessous, en référence aux dessins annexés qui en illustrent un exemple de réalisation dépourvu de tout caractère limitatif. La représente schématiquement une vue de dessus d’un fluxmètre thermique résistif à dérive compensée selon l’un mode de réalisation de l’invention. La représente schématiquement une vue de en coupe du fluxmètre thermique résistif à dérive compensée de la . La est une représentation graphique de l’évolution temporelle de la tension de sortie du fluxmètre thermique résistif de la comparé celle d’un flux thermique résistif selon l’état de la technique. La présente schématiquement un logigramme d’un procédé de fabrication d’un fluxmètre thermique résistif de la selon un mode de mise en œuvre de l’invention. Procédé de fabrication d’un fluxmètre thermique résistif à dérive thermique compensée, le fluxmètre comprenant un substrat sur lequel est déposé par un procédé de dépôt par couche mince un pont de Wheatstone comportant deux premières branches résistives formées dans une première couche et deux secondes branches résistives formées dans une seconde couche, la première et la seconde couches étant séparées par une couche de silice déposée par un procédé de dépôt par couche mince, le procédé de fabrication comprenant : - au moins deux séries de mesures (410) à au moins deux températures différentes, chaque série de mesure comportant au moins une mesure de la résistance de chaque première et seconde branche résistive du pont de Wheatstone, une mesure d’une tension d’alimentation du fluxmètre, une mesure de la tension de sortie du fluxmètre, et une mesure de la température du fluxmètre, - pour chaque première et seconde branche résistive du pont de Wheatstone, une détermination (420), à partir des mesures effectuées, d’un jeu de résistances de compensation, une résistance équivalente de chaque branche résistive ayant un coefficient de variation de température équivalent à celui des autres branches résistives à un écart type près, la résistance équivalente d’une branche résistive correspondant à la résistance issue d’un couplage en parallèle d’une branche résistive du pont de Wheatstone avec la résistance de compensation associée, - un couplage (430) des résistances de compensation à toutes ou partie des résistances du pont de Wheatstone. Procédé selon la revendication 1, dans lequel le pont de Wheatstone est réalisé par un procédé de dépôt par couche mince à base de platine, et les températures auxquelles sont réalisées les mesures des résistances sont comprises dans une plage trois fois plus petite que la plage de températures d’utilisation du pont de Wheatstone. Procédé selon l’une des revendications 1 ou 2, dans lequel la détermination d’une valeur de résistance de compensation pour chaque première et seconde branche résistive comprend une sélection d’une valeur de résistance parmi un jeu de résistances donné. Procédé selon la revendication 3, dans lequel le jeu de résistances comprend seulement des résistances du commerce. Fluxmètre thermique résistif à dérive thermique compensée (1) comprenant un substrat (2) sur lequel est déposé un pont de Wheatstone (3) déposé par un procédé de dépôt par couche mince, le pont de Wheatstone (3) comportant deux premières branches résistives (4) formées dans une première couche (6) et deux secondes branches résistives (5) formées dans une seconde couche (7), la première et la seconde couches (6, 7) étant séparées par une couche de silice (8) déposée par un procédé de dépôt par couche mince, caractérisé en ce qu’il comprend en outre quatre résistances de compensation (9), chaque résistance de compensation (9) étant couplée en parallèle d’une branche résistive (4, 5) spécifique du pont de Wheatstone (3), une résistance équivalente de chaque branche résistive ayant un coefficient de variation de température équivalent à celui des autres branches résistives (4, 5) à un écart type près, la résistance équivalente d’une branche résistive (4, 5) correspondant à la résistance issue d’un couplage en parallèle d’une branche résistive (4, 5) du pont de Wheatstone (3) avec la résistance de compensation (9) associée. Fluxmètre (1) selon la revendication 5, dans lequel chaque résistance de compensation possède une valeur fixe. Fluxmètre (1) selon l’une des revendications 5 ou 6, dans lequel ledit substrat (2) est en alumine. Fluxmètre(1) selon l’une des revendications 5 à 7, dans lequel les premières et secondes branches résistives (4, 5) du pont de Wheatstone (3) sont en platine. Fluxmètre (1) selon l’une des revendications 5 à 8, dans lequel les résistances de compensation (9) sont montées sur un circuit déporté par rapport au substrat (2) sur lequel sont déposées les branches résistives (4, 5) du pont de Wheatstone (3).