FR 3120936 A1 20220923 FR 2102583 A 20210316 Système de réfrigération (10) pour recevoir des modules (20) indépendants comprenant des puces quantiques (22) fonctionnant à très basses températures, comprenant : - une première enceinte cryogénique (30) reliée thermiquement à au moins une première source froide (32), la première enceinte cryogénique et la première source froide étant configurées pour permettre de maintenir une température inférieure ou égale à 150 K à l’intérieur de la première enceinte cryogénique (30), - une deuxième enceinte cryogénique (40) comprise à l’intérieur de la première enceinte cryogénique (30) et reliée thermiquement à au moins une deuxième source froide (42), la deuxième enceinte cryogénique et la deuxième source froide étant configurées pour permettre de maintenir une température inférieure ou égale à 6 K à l’intérieur de la deuxième enceinte cryogénique (40), - une pluralité de sas thermiques (50) indépendants permettant chacun un accès autonome et indépendant depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique (30) à l’intérieure de la deuxième enceinte cryogénique (40) d’un module (20) comprenant des puces quantiques (22). Figure à publier avec l’abrégé : Fig. 1 Système de réfrigération pour des modules comprenant des puces quantiques DOMAINE DE L’INVENTION L’invention a pour objet un système de réfrigération pour recevoir des modules indépendants comprenant des puces quantiques. ETAT DE LA TECHNIQUE L’émergence de l’ordinateur quantique dont le cœur fonctionne dans un environnement caractérisé par des températures basses ou très basses pose la problématique de la génération et la distribution des frigories dans une architecture industrielle compatible avec les contraintes d’exploitation d’un centre de calcul. On entend ici par températures basses ou très basses des températures potentiellement jusque dans la gamme de températures du milliKelvin à la centaine de milliKelvin. L’utilisation de la réfrigération à des températures inférieures à la centaine de milliKelvin concerne essentiellement les applications pour l’étude de la matière et des phénomènes quantiques, pour la réalisation de détecteurs de rayonnement électromagnétique. Les phénomènes quantiques donnent lieu à des développements théoriques et technologiques susceptibles de les mettre en œuvre pour effectuer des opérations (« quantum computing » ) pour le développement de supercalculateurs (effectuant par exemple un milliard de milliard de calculs par seconde) en manipulant des « qubits » supraconducteurs à des températures proches du milliKelvin ou à base de silicium à quelques centaines de milliKelvin. Généralement, ces applications utilisent des réfrigérateurs à dilution pour les besoins de refroidissement qui leur permettent de manipuler une centaine de qubits et intégrer les centaines de liaisons filaires et coaxiales (environ 4 par qubit) nécessaires pour les contrôler et lire leur état. Ainsi, le moyen traditionnel d’obtenir de la puissance de réfrigération à des températures de l’ordre du miliKelvin à la centaine ou plusieurs centaines de miliKelvin est le réfrigérateur à dilution d’hélium3 et hélium4. D’autres technologies offrent des puissances froides de 8 à 30 microWatt à 20 mK ou 250 à 1000 microWatt à 100mK. Pour manipuler à terme des dizaines de milliers jusqu’à des millions de qubits dans un ordinateur quantique, les solutions existantes ne sont plus adaptées. Un but de la présente invention est de pallier tout ou partie des inconvénients de l’art antérieur, en particulier en permettant une solution adaptée à une exploitation industrielle des ordinateurs quantiques. BREVE DESCRIPTION DE L’INVENTION A cet effet, la présente invention a pour objet un système de réfrigération pour recevoir des modules indépendants comprenant des puces quantiques fonctionnant à très basses températures, comprenant : - une première enceinte cryogénique reliée thermiquement à au moins une première source froide, la première enceinte cryogénique et la première source froide étant configurées pour permettre de maintenir une température inférieure ou égale à 150 K à l’intérieur de la première enceinte cryogénique, - une deuxième enceinte cryogénique comprise à l’intérieur de la première enceinte cryogénique et reliée thermiquement à au moins une deuxième source froide, la deuxième enceinte cryogénique et la deuxième source froide étant configurées pour permettre de maintenir une température inférieure ou égale à 6 K à l’intérieur de la deuxième enceinte cryogénique, - une pluralité de sas thermiques indépendants permettant chacun un accès autonome et indépendant depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique à l’intérieure de la deuxième enceinte cryogénique d’un module comprenant des puces quantiques. L’invention propose la mise en œuvre d’un chainage de températures de la température ambiante à une température inférieure à 6K qui permet une efficacité énergétique. La présence des sas thermiques indépendants permet une flexibilité d’utilisation du système. En particulier, il est possible d’agir sur une partie des modules comprenant des puces quantiques sans affecter les autres modules comprenant des puces quantiques. Le système selon l’invention permet le passage à l’échelle industrielle où il ne s’agit plus de refroidir quelque cm2 à 15mK mais de proposer une solution industrielle permettant de refroidir une surface beaucoup plus conséquente de l’ordre de 1 m2 à plusieurs m2. L’utilisation des premières et deuxièmes enceintes cryogéniques permet d’obtenir un environnement à une température inférieure ou égale à 6K pouvant accueillir de manière indépendante plusieurs modules portant des puces quantiques et éventuellement un ou plusieurs dispositifs de réfrigération sub-Kelvin. Ceci permet d’offrir une solution industrielle au développement des ordinateurs quantiques. Le système de réfrigération selon l’invention peut également comprendre une ou plusieurs des caractéristiques suivantes considérées individuellement ou selon toutes les combinaisons possibles : la première enceinte cryogénique est reliée thermiquement à la première source froide par un circuit apte à transférer de la puissance froide de ladite première source froide à ladite première enceinte cryogénique ; et/ou la deuxième enceinte cryogénique est reliée thermiquement à la deuxième source froide par un circuit apte à transférer de la puissance froide de ladite deuxième source froide à ladite deuxième enceinte cryogénique ; et/ou la première enceinte cryogénique est comprise dans une enceinte externe étanche à température ambiante ; et/ou l’ensemble des enceintes partageant une même pression inférieure ou égale à 10 -4 mbar et supérieure ou égale à 10 -7 mbar et les sas thermiques permettant chacun un accès autonome et indépendant depuis l’extérieur de l’enceinte externe ; et/ou le système comprend une troisième enceinte cryogénique comprise à l’intérieur de la deuxième enceinte cryogénique et reliée thermiquement à au moins une troisième source froide, la troisième enceinte cryogénique et la troisième source froide étant configurées pour permettre de maintenir une température inférieure ou égale à 2 K à l’intérieur de la troisième enceinte cryogénique, et au moins une partie des sas thermiques permet un accès autonome et indépendant depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique à l’intérieure de la troisième enceinte cryogénique d’un module comprenant des puces quantiques ; et/ou la troisième enceinte cryogénique est reliée thermiquement à la troisième source froide par un circuit apte à transférer de la puissance froide de ladite troisième source froide à ladite troisième enceinte cryogénique ; et/ou les sas thermiques sont configurés pour recevoir depuis l’extérieur de l’une des enceintes cryogéniques des modules comprenant des puces quantiques et les liaisons permettant de communiquer avec desdites puces quantiques ; et/ou les sas thermiques sont configurés pour recevoir depuis l’extérieur de l’enceinte extérieure des modules comprenant des puces quantiques et les liaisons permettant de communiquer avec lesdites puces quantiques ; et/ou le système de réfrigération comprend en outre des liaisons inter-modules permettant de connecter entre elles des puces quantiques de différents modules ; et/ou le système de réfrigération comprend en outre un dispositif de protection anti-radioactivité autour de l’une au moins des première et/ou deuxième et/ou troisième enceintes cryogéniques, le dispositif de protection anti-radioactivité étant configuré pour protéger l’intérieur du système de réfrigération des radiations extérieures ; et/ou les dispositifs et les matériaux mis en œuvre à l’intérieur du dispositif de protection anti-radioactivité sont sélectionnés et fabriqués afin de maîtriser le niveau de radioactivité à l’intérieur du dispositif de protection anti-radioactivité ; et/ou le système de réfrigération comprend une pluralité de dispositifs de réfrigération sub-Kelvin disposés au moins en partie dans la deuxième enceinte cryogénique, chaque dispositif de réfrigération étant configuré pour produire de la puissance froide de sorte à permettre l'obtention d’une température inférieure ou égale à 1K, notamment inférieure ou égale à une centaine de milliKelvin ; et/ou au moins un des sas thermiques indépendants permet un accès à un module comprenant des puces quantiques depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique à au moins un des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin ; et/ou au moins une partie des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin sont disposés dans la troisième enceinte cryogénique ; et/ou le système de réfrigération comprend au moins un module et au moins un dispositif de réfrigération, ledit au moins un module comprenant des puces quantiques, ledit au moins un dispositif de réfrigération étant configuré pour produire de la puissance froide de sorte à permettre l'obtention d’une température inférieure ou égale à 1K, notamment inférieure ou égale à une centaine de milliKelvin, et au moins un sas thermiques permettant l’accès audit au moins un module depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique à l’intérieure de le deuxième enceinte cryogénique ; et/ou le système de réfrigération comprend au moins un module, ledit au moins un module comprenant des puces quantiques et au moins un dispositif de réfrigération, ledit dispositif de réfrigération étant configuré pour produire de la puissance froide de sorte à permettre l'obtention d’une température inférieure ou égale à 1K, notamment inférieure ou égale à une centaine de milliKelvin, et au moins un sas thermiques permettant l’accès audit au moins un module depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique à l’intérieure de le deuxième enceinte cryogénique ; et/ou au moins un des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin est un dispositif de réfrigération à 3 He ; et/ou au moins un des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin est un dispositif de réfrigération à désaimantation adiabatique ; et/ou au moins un des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin est un dispositif de réfrigération à dilution ; et/ou le dispositif de réfrigération sub-Kelvin comprend au moins un organe de pompage cryogénique situé dans son circuit de travail ; et/ou au moins deux des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin sont des dispositifs de réfrigération de même nature et partagent un même organe de pompage cryogénique ; et/ou l’organe de pompage cryogénique est situé à l’intérieur de la première enceinte cryogénique et à l’extérieur de la deuxième enceinte cryogénique ; et/ou l’organe de pompage cryogénique est situé à l’intérieur de la deuxième enceinte cryogénique et à l’extérieur de la troisième enceinte cryogénique ; et/ou l’organe de pompage cryogénique est situé à l’intérieur de la troisième enceinte cryogénique; et/ou le dispositif de réfrigération sub-Kelvin est à l’intérieur de la troisième enceinte cryogénique ; et/ou chaque dispositif de réfrigération sub-Kelvin est configuré pour fonctionner à des températures sub-Kelvin différentes. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES D’autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaitront à la lecture de la description et des figures suivantes : - est une représentation schématique d’un système de réfrigération selon un premier mode de réalisation de l’invention, - est une représentation schématique d’un système de réfrigération selon un deuxième mode de réalisation de l’invention, - est une représentation schématique d’un système de réfrigération selon un troisième mode de réalisation de l’invention, et - est une représentation schématique et partielle illustrant un exemple de structure de dispositif de réfrigération sub-Kelvin pouvant être utilisé dans un système de réfrigération selon l’invention. Il est à noter que ces dessins n’ont d’autre but que d’illustrer le texte de la description et ne constituent en aucune sorte une limitation de la portée de l’invention. Sur les différentes figures, les éléments analogues sont désignés par des références identiques. DESCRIPTION DETAILLEE DE L’INVENTION Comme représenté sur la , l’invention concerne un système de réfrigération 10 configuré pour recevoir des modules indépendants 20 comprenant des puces quantiques 22 fonctionnant à très basses températures. Au sens de l’invention, une température très basse est une température inférieure ou égale à 1,8 K, de préférence inférieure ou égale à 800 mK, de préférence inférieure ou égale à 100 mK et supérieure ou égale à 2 mK. Au sens de l’invention, une puce quantique correspond à un système électronique permettant de réaliser des qubits. Une source froide peut comprendre au moins l’un parmi : un bain de fluide cryogénique, par exemple un bain d’hélium liquide, un bain d’azote liquide, un bain d’hélium superfluide, un cryogénérateur ou cryoréfrigérateur (« cryocooler » en anglais), un réfrigérateur à gaz de cycle, ou tout autre appareil ou système permettant de produire du froid en particulier à des températures cryogéniques, par exemple inférieures à -150°C. Le système de réfrigération selon l’invention n’est pas limité à recevoir de modules comprenant des puces quantiques, mais peut recevoir des capteurs, par exemple des bolomètres, qui nécessitent des températures très basses. Comme représenté sur la , un système de réfrigération 10 selon l’invention comprend au moins : une première enceinte cryogénique 30, une deuxième enceinte cryogénique 40, et une pluralité de sas thermiques indépendants 50. La première enceinte cryogénique 30 est reliée thermiquement à au moins une première source froide 32. La première enceinte cryogénique 30 et la première source froide 32 sont configurées pour permettre de maintenir une température inférieure ou égale à 150 K, de préférence inférieure ou égale à 77 K et supérieure ou égale à 50K, à l’intérieur de la première enceinte cryogénique. Typiquement, la première enceinte cryogénique 30 est reliée thermiquement à la première source froide 32 par un circuit 34 apte à transférer de la puissance froide de la première source froide 32 à la première enceinte cryogénique 30. Le transfert thermique entre la première source froide 32 et la première enceinte cryogénique 30 peut être réalisé par un échange de chaleur direct ou par un échange de chaleur indirect. Par exemple un fluide caloporteur refroidi par la source froide est mis en circulation en contact direct ou indirect avec la paroi de l’enceinte. Alternativement ou cumulativement, la paroi de l’enceinte pourrait être connectée à une source froide par une liaison mécanique conductrice de la chaleur (par exemple une tresse ou un barreau en cuivre). Tout autre mode de transfert thermique approprié peut être envisagé. Selon un mode de réalisation préféré de l’invention, la première source froide 32 est à base d’azote liquide ou tout autre caloporteur et permet de fournir une puissance froide de l’ordre de 100 W au MW pour une température comprise en 50 K et 150 K. Par exemple un fluide cryogénique de la première source froide (azote ou autre ou mélange) est mis en circulation en échange thermique avec un échangeur ou un organe d’échange de chaleur relié aux parois de la première enceinte, ou par échange thermique gazeux avec le volume de la première enceinte. La deuxième enceinte cryogénique 40 est à l’intérieur de la première enceinte cryogénique 30. De plus la deuxième enceinte cryogénique est reliée thermiquement à au moins une deuxième source froide 42. Par exemple, comme mentionné précédemment, un fluide caloporteur refroidi par la source froide est mis en circulation en contact direct ou indirect avec la paroi de l’enceinte. Alternativement ou cumulativement, la paroi de l’enceinte pourrait être connectée à une source froide par une liaison mécanique (par exemple une tresse ou un barreau en cuivre). La deuxième enceinte cryogénique 40 et la deuxième source froide 42 sont configurées pour permettre de maintenir une température inférieure ou égale à 6 K, par exemple inférieure ou égale à 5 K, et supérieure ou égale à 2,8K à l’intérieur de la deuxième enceinte cryogénique. Typiquement, la deuxième enceinte cryogénique 40 est reliée thermiquement à la deuxième source froide 42 par un circuit 44 apte à transférer de la puissance froide de la deuxième source froide 42 à la deuxième enceinte cryogénique 40. Le transfert thermique entre la deuxième source froide 42 et la deuxième enceinte cryogénique 40 peut être réalisé par un échange de chaleur direct ou par un échange de chaleur indirect. Selon un mode de réalisation préféré de l’invention, la deuxième source froide 42 est à base d’hélium liquide et permet de fournir une puissance froide de l’ordre de 10 W à 100kW pour une température comprise entre 2,8K et 6K. La deuxième source froide 42 est par exemple un réfrigérateur soumettant un gaz de cycle (tel que de l’hélium ou de l’hydrogène ou tout mélange approprié) à un cycle thermodynamique pour produire du froid à une extrémité. De préférence, la deuxième source froide 42 peut être disposée à l’extérieure de la première enceinte cryogénique et alimente en froid la deuxième enceinte par le circuit 44. Alternativement, la deuxième source froide 42 peut être disposée dans la première enceinte cryogénique. Le système de réfrigération selon l’invention comprend également une pluralité de sas thermiques 50 indépendants. Chaque sas thermique permet un accès autonome et indépendant depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique à l’intérieure de la deuxième enceinte cryogénique d’un module 20. Par exemple, chaque sas est mobile entre une position fermée étanche permettant la réfrigération du module et une position ouverte assurant le chargement et/ou le déchargement du module dans le système. Le module 20 comprend par exemple des puces quantiques 22 permettant de réaliser des qubits. Chaque sas thermique 50 permet au module d’avoir une interface extérieure à la première enceinte cryogénique, typiquement à température ambiante, comprenant des connexions électriques et/ou électroniques et/ou fluidiques permettant de connecter respectivement les fonctions électriques et/ou électroniques et/ou fluidiques du module, par exemple la fourniture de fluides à un réfrigérateur sub-K intégré dans le module 20. Afin d’assurer un fonctionnement indépendant de chaque sas thermique 50, chaque sas thermique dispose d’un dispositif de prévidage, une ouverture permettant l’insertion d’un module 20, de raccords fluidiques et/ou thermiques permettant d’établir des liens thermiques avec l’ensemble des parties froides. Avantageusement, chaque module peut ainsi être géré indépendamment, en particulier, il est possible d’intervenir sur un des modules sans affecter les autres modules. Selon un mode de réalisation de l’invention, au moins une partie, par exemple l’ensemble, des sas thermiques sont configurés pour recevoir depuis l’extérieur de l’une des enceintes cryogéniques des modules comprenant des puces quantiques et les liaisons permettant de communiquer avec lesdites puces quantiques. La communication avec les puces quantiques peut comprendre le fait de piloter lesdites puces individuellement, de lire et modifier l’état de chaque puce quantique individuellement. Le système de réfrigération selon l’invention peut également comprendre, un système de liaisons inter-modules permettant de faire communiquer entre elles des puces quantiques de différents modules, par exemple de faire communiquer entre elles des puces quantiques de même nature ou de natures différentes (par exemple des puce quantiques supra-conductrices ou à effet Josephson et des puces quantiques CMOS). Avantageusement, cela peut permettre une communication entre des puces de différents modules. Le système de liaisons peut comprendre par exemple des connexions électriques ou électroniques, ou des connexions par ondes électromagnétiques (par exemple micro-ondes ou lumineuses), ou tout autre méthode de communication appropriée. Afin d’assurer un fonctionnement optimal, le système selon l’invention est de préférence à très basse pression. Typiquement la pression à l’intérieure du système selon l’invention est inférieure ou égale à 10 -4 mbar, par exemple inférieure ou égale à 10 -5 mbar, de préférence inférieure ou égale à 10 -6 mbar et supérieure ou égale à 10 -7 mbar. Comme représenté sur la , selon un mode de réalisation de l’invention, le système de réfrigération selon l’invention peut comprendre une enceinte externe 60 à température ambiante, c’est-à-dire en contact avec l’atmosphère ambiant entourant le système, par exemple dans une installation dans un pays tempéré cette température pourrait se situer entre 0°C et 40°C. Avantageusement, l’enceinte externe 60 est étanche et permet la mise sous vide du système selon l’invention. Typiquement, la première enceinte cryogénique 30 est comprise dans l’enceinte externe 60. Dans ce cas, la première enceinte cryogénique 30 peut ne pas être étanche. L’enceinte externe 60 peut être reliée à au moins une pompe à vide 62 qui permet que l’ensemble des enceintes comprises dans l’enceinte externe 60 partagent une même pression inférieure ou égale à 10 -4 mbar, par exemple inférieure ou égale à 10 -5 mbar, de préférence inférieure ou égale à 10 -6 mbar et supérieure ou égale à 10 -7 mbar. Selon un mode de réalisation alternatif, les différentes enceintes du système selon l’invention peuvent avoir des niveaux de vide différents, par exemple si l’on souhaite insérer un gaz d’échange à l’intérieur d’une seule enceinte. Dans ce cas, les enceintes internes peuvent être étanches et un sas peut être prévu entre chaque enceinte. Selon un tel mode de réalisation, le système comprend des vannes et des tuyaux pour gérer la mise sous vide et le pompage. Dans le mode de réalisation comprenant une enceinte externe 60, les sas thermiques 50 sont configurés pour permettre chacun un accès autonome et indépendant depuis l’extérieur de l’enceinte externe 60. De même dans le mode comprenant une enceinte externe 60, les sas thermiques 50 sont de préférence configurés pour recevoir depuis l’extérieur de l’enceinte externe des modules comprenant des puces quantiques et les liaisons permettant de communiquer avec lesdites puces quantiques. Les puces quantiques peuvent être très sensibles aux radiations externes, en particulier leur fonctionnement peut être altéré par ces radiations, notamment par les rayonnements cosmiques. Il peut donc être intéressant de permettre de protéger les puces quantiques de ce type de radiations, en particulier lorsqu’elles sont disposées à l’intérieur du système de réfrigération selon l’invention. Ainsi, selon un mode de réalisation de l’invention, le système de réfrigération comprend en outre un dispositif de protection anti-radioactivité autour de l’une au moins des première et/ou deuxième enceintes cryogéniques et/ou enceinte externe, le dispositif de protection anti-radioactivité étant configuré pour protéger l’intérieur du système de réfrigération des radiations extérieures. Par exemple, il est possible d’utiliser un écran de plomb autour des puces quantiques pour les protéger des radiations extérieures. De préférence les matériaux mis en œuvre à l’intérieur du dispositif de protection anti-radioactivité sont sélectionnés et fabriqués afin de maîtriser le niveau de radioactivité à l’intérieur du dispositif de protection anti-radioactivité. Par exemple, le plomb utilisé autour des puces quantiques peut être du plomb archéologique, dont la radioactivité intrinsèque est très faible. Selon un mode de réalisation de l’invention représenté en , en plus des enceintes et sources froides décrites en lien avec le mode de réalisation de la , le système de réfrigération selon l’invention peut également comprendre une troisième enceinte cryogénique 70. La troisième enceinte cryogénique 70 est comprise à l’intérieur de la deuxième enceinte cryogénique 40 et reliée thermiquement à au moins une troisième source froide 72. Par exemple un fluide caloporteur refroidi par la source froide est mis en circulation en contact direct ou indirect avec la paroi de l’enceinte. Alternativement, la paroi de l’enceinte pourrait être connectée à une source froide par une liaison mécanique conductrice thermique, par exemple une tresse ou un barreau en cuivre. La troisième enceinte cryogénique 70 et la troisième source froide 72 sont configurées pour permettre de maintenir une température inférieure ou égale à 3 K, de préférence inférieure ou égale à 2K, et supérieure ou égale à 1,8 K à l’intérieur de la troisième enceinte cryogénique. Le transfert thermique entre la troisième source froide 72 et la troisième enceinte cryogénique 70 peut être réalisé par un échange de chaleur direct ou par un échange de chaleur indirect. Par exemple un fluide cryogénique de la troisième source froide (par exemple de l’hélium) est mis en circulation en échange thermique avec un échangeur ou un organe d’échange de chaleur relié aux parois de la troisième enceinte, ou par échange thermique gazeux avec le volume de la troisième enceinte. Selon un mode de réalisation préféré de l’invention, la troisième source froide 72 est par exemple à base d’hélium liquide et permet de fournir une puissance froide comprise entre environ 100W et environ 10kW autour de 2K, par exemple une puissance froide entre 100W et 7,2kW, ou une puissance froide entre 100W et 5kW peuvent être fournies dans la plage 1,6K-2,2K. Typiquement la troisième source froide est un réfrigérateur hélium capable d’abaisser la température de l’hélium à 2 K ou même 1,8 K par pompage sur un bain d’hélium réfrigéré obtenu en soumettant l’hélium (ou autre fluide ou mélange) à un cycle thermodynamique produisant du froid à une extrémité. De préférence, la troisième source froide 72 peut être disposée à l’extérieure de la première enceinte cryogénique, voir à l’extérieur de l’enceinte externe, et alimenter en froid la troisième enceinte par un circuit 74. Alternativement, la troisième source froide 72 peut être disposée soit dans l’enceinte externe, soit dans la première enceinte cryogénique ou la deuxième enceinte cryogénique. Selon le mode de réalisation représenté en , au moins une partie, par exemple l’ensemble, des sas thermiques 50 permet un accès autonome et indépendant depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique, par exemple depuis l’extérieur de l’enceinte externe, à l’intérieure de la troisième enceinte cryogénique d’un module comprenant des puces quantiques. Afin d’assurer une température de fonctionnement très basse pour les puces quantiques, le système de réfrigération selon l’invention comprend au moins un dispositif de réfrigération sub-Kelvin 80. Chaque dispositif sub-Kelvin permet de produire une puissance froide de sorte à permettre l'obtention d’une température inférieure ou égale à 1K, notamment inférieure ou égale à une centaine de milliKelvin. Comme représenté sur la , au moins une partie, de préférence l’ensemble, des sas thermiques indépendants permet un accès à un module comprenant des puces quantiques depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique à au moins un des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin. Typiquement, au moins une partie, de préférence l’ensemble, des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin sont disposés dans deuxième, par exemple la troisième, enceinte cryogénique. Selon un mode de réalisation une partie des éléments des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin 80 peuvent être disposés dans la deuxième enceinte cryogénique 40 alors qu’une autre partie des éléments des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin 80 sont disposés dans la troisième enceinte cryogénique 30. Selon une configuration d’un système de réfrigération non représenté sur les figures, il est possible qu’au moins un dispositif de réfrigération sub-Kelvin produise une puissance froide permettant l'obtention d’une température inférieure ou égale à 1K au niveau de plusieurs modules comprenant des puces quantiques. Comme représenté sur la , selon un mode de réalisation de l’invention, chaque module comprenant des puces quantiques comprend également au moins un dispositif de réfrigération sub-Kelvin configuré pour produire de la puissance froide de sorte à permettre l'obtention d’une température inférieure ou égale à 1K, notamment inférieure ou égale à une centaine de milliKelvin. Selon ce mode de réalisation, le dispositif de réfrigération sub-Kelvin est lié directement au module comprenant les puces quantiques à refroidir. Selon une variante possible, une partie des modules comprennent un dispositif de réfrigération sub-Kelvin alors que les modules restants sont refroidis par des modules de réfrigération sub-Kelvin installés dans la deuxième ou dans la troisième enceinte cryogénique. Tous dispositifs de réfrigération sub-Kelvin permettant de générer une puissance froide d’au moins 1 µW à une température sub-Kelvin peuvent être utilisés dans le système de réfrigération selon l’invention. Selon un mode de réalisation de l’invention, au moins un, par exemple l’ensemble, des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin est un dispositif de réfrigération à 3 He. Ce type de dispositif de réfrigération repose sur le principe de la réfrigération par évaporation. Une réduction de la pression au-dessus d’un bain d’hélium permet de faire baisser la température du bain d’hélium. Ainsi, il est possible avec l’utilisation d’hélium 3 d’atteindre une température inférieure ou égale à 1K, notamment inférieure ou égale à une centaine de milliKelvin. Selon un mode de réalisation de l’invention, au moins un, par exemple l’ensemble, des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin est un dispositif de réfrigération à désaimantation adiabatique. Ce type de dispositif se base sur la réduction d’entropie d’un matériau paramagnétique, par exemple en soumettant le matériau paramagnétique à un champ magnétique extérieur, suivi d’une désaimantation adiabatique, en exemple en retirant le champ magnétique extérieur, permettant une réduction de la température du matériau paramagnétique. Le choix du matériau paramagnétique permet d’atteindre des températures très basses. Pour atteindre une température sub-Kelvin, on peut utiliser des aluns dont le magnétisme se base sur des ions fer, chrome ou cérium. Selon un mode de réalisation de l’invention, au moins un, par exemple l’ensemble, des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin est un dispositif de réfrigération à dilution. Un exemple de dispositif de réfrigération à dilution est illustré en . Le dispositif de réfrigération à dilution illustré en , comprend un circuit de travail 81 en boucle contenant un fluide de cycle comprenant un mélange d'hélium d'isotope 3 (3He) et d'hélium d'isotope 4 (4He). Ce circuit de travail 81 comprend, disposés en série et reliés fluidiquement via un premier ensemble de conduites 82, 84, une chambre de mélange 83, un bouilleur 85 et un organe de transfert 86. Le premier ensemble de conduites 82, 84 est configuré pour transférer du fluide de cycle d’une sortie de la chambre de mélange 83 à une entrée du bouilleur 85 et d’une sortie du bouilleur 85 à une entrée de l’organe de transfert 86. Le circuit de travail 81 comprend un deuxième ensemble de conduites 87 reliant une sortie de l’organe de transfert 86 à une entrée de la chambre de mélange 83. Le circuit de travail 81 comprend au moins une première portion 88 d’échange de chaleur entre au moins une partie du premier ensemble de conduite 82,84 et le deuxième ensemble de conduite 87. La première portion 88 d’échange de chaleur est située entre le bouilleur 85 et la chambre de mélange 83. Le dispositif comprend en outre au moins un organe de refroidissement 89 en échange thermique avec le circuit de travail 81 et configuré pour transférer des frigories au fluide de cycle, c’est-à-dire pour refroidir le fluide de cycle. Selon un mode de réalisation de l’invention, au moins une, par exemple l’ensemble, des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin peut comprendre au moins un organe de pompage cryogénique situé dans son circuit de travail. Un exemple de ce mode de réalisation est représenté en avec un réfrigérateur à dilution. Comme représenté, le circuit de travail 81 du réfrigérateur à dilution peut comprendre un organe de pompage cryogénique 90 situé entre le bouilleur et l’organe de transfert. Cet organe de pompage cryogénique 90 peut être configuré pour pomper le fluide par exemple à une température supérieure ou égale à 0,5K, par exemple supérieure ou égale à 1,8 K, et inférieure ou égale à 150K, par exemple inférieure ou égale à 80 K. Cet organe de pompage cryogénique 90 comprend par exemple une pompe de type turbo moléculaire, ou de type par exemple « Holweck », ou à roue centrifuge ou toute autre technologie ou combinaison de technologies appropriée. Cet organe de pompage cryogénique 90 est configuré pour pomper le fluide ayant une pression supérieure ou égale à 0.01 mbar et inférieure ou égale à 100mbar. Par exemple, l’organe de pompage cryogénique 90 est configuré pour pomper le fluide à environ 0,1 mbar, et une température basse, de l’ordre de 700 à 850 mK, conformes au fonctionnement du bouilleur 85. Cet organe de pompage cryogénique 90 est de préférence configuré pour pomper de l’hélium 3 ayant une pression d’environ 0,1 mbar ou moins. La présence de l’organe de pompage cryogénique 90 permet d’augmenter le débit de fluide de cycle et donc la puissance froide produite par le dispositif de réfrigération sub-Kelvin. Dans un mode de réalisation de l’invention selon lequel au moins deux des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin sont des dispositifs de réfrigération de même nature, par exemple deux dispositifs de réfrigération à dilution ou deux dispositifs de réfrigération à 3He, il peut être avantageux que ces dispositifs de réfrigération sub-Kelvin partagent un même organe de pompage cryogénique. Selon un mode de réalisation préféré de l’invention, lorsqu’au moins un, par exemple l’ensemble, des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin comprend un organe de pompage cryogénique, l’organe de pompage est situé à l’intérieur de la deuxième enceinte cryogénique et à l’extérieur de la troisième enceinte cryogénique. Les dispositifs de réfrigération sub-Kelvin peuvent être situés à l’intérieur de la troisième enceinte cryogénique 70. Lorsque le dispositif de réfrigération selon l’invention comprend plusieurs dispositifs de réfrigération sub-Kelvin, ces dispositifs de réfrigération sub-Kelvin peuvent être configurés pour fonctionner à des températures sub-Kelvin différentes. L’invention a été décrite ci-dessus avec l’aide de modes de réalisation présentés sur les figures, sans limitation du concept inventif général. Bien d’autres modifications et variations se suggèrent d’elles-mêmes à l’homme du métier, après réflexion sur les différents modes de réalisation illustrés dans cette demande. Ces modes de réalisation sont donnés à titre d’exemple et ne sont pas destinés à limiter la portée de l’invention, qui est déterminée exclusivement par les revendications ci-dessous. Dans les revendications, le mot « comprenant » n’exclut pas d’autres éléments ou étapes, et l’utilisation de l’article indéfini « un » ou « une » n’exclut pas une pluralité. Le simple fait que différentes caractéristiques sont énumérées en revendications mutuellement dépendantes n’indique pas qu’une combinaison de ces caractéristiques ne puisse être avantageusement utilisée. Enfin, toute référence utilisée dans les revendications ne doit pas être interprétée comme une limitation de la portée de l’invention. Système de réfrigération (10) pour recevoir des modules (20) indépendants comprenant des puces quantiques (22) fonctionnant à très basses températures, comprenant : une première enceinte cryogénique (30) reliée thermiquement à au moins une première source froide (32), la première enceinte cryogénique et la première source froide étant configurées pour permettre de maintenir une température inférieure ou égale à 150 K à l’intérieur de la première enceinte cryogénique (30), une deuxième enceinte cryogénique (40) comprise à l’intérieur de la première enceinte cryogénique (30) et reliée thermiquement à au moins une deuxième source froide (42), la deuxième enceinte cryogénique et la deuxième source froide étant configurées pour permettre de maintenir une température inférieure ou égale à 6 K à l’intérieur de la deuxième enceinte cryogénique (40), une pluralité de sas thermiques (50) indépendants permettant chacun un accès autonome et indépendant depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique (30) à l’intérieure de la deuxième enceinte cryogénique (40) d’un module (20) comprenant des puces quantiques (22). Système de réfrigération selon la revendication 1, dans lequel la première enceinte cryogénique (30) est reliée thermiquement à la première source froide (32) par un circuit (34) apte à transférer de la puissance froide de ladite première source froide (32) à ladite première enceinte cryogénique (30). Système de réfrigération selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la deuxième enceinte cryogénique (40) est reliée thermiquement à la deuxième source froide (42) par un circuit (44) apte à transférer de la puissance froide de ladite deuxième source froide (42) à ladite deuxième enceinte cryogénique (40). Système de réfrigération selon l’une des revendications précédentes, dans lequel la première enceinte cryogénique (30) est comprise dans une enceinte externe (60) étanche à température ambiante. Système de réfrigération selon la revendication précédente, dans lequel l’ensemble des enceintes partageant une même pression inférieure ou égale à 10 -4 mbar et supérieure ou égale à 10 -7 mbar et les sas thermiques (50) permettant chacun un accès autonome et indépendant depuis l’extérieur de l’enceinte externe. Système de réfrigération selon l’une des revendications précédentes, comprenant une troisième enceinte cryogénique (70) comprise à l’intérieur de la deuxième enceinte cryogénique (40) et reliée thermiquement à au moins une troisième source froide (72), la troisième enceinte cryogénique (70) et la troisième source froide (72) étant configurées pour permettre de maintenir une température inférieure ou égale à 2 K à l’intérieur de la troisième enceinte cryogénique (70), et au moins une partie des sas thermiques (50) permet un accès autonome et indépendant depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique (30) à l’intérieure de la troisième enceinte cryogénique (70) d’un module (20) comprenant des puces quantiques (22). Système de réfrigération selon la revendication précédente, dans lequel la troisième enceinte cryogénique (70) est reliée thermiquement à la troisième source froide (72) par un circuit (74) apte à transférer de la puissance froide de ladite troisième source froide (72) à ladite troisième enceinte cryogénique (74). Système de réfrigération selon l’une des revendications précédentes, dans lequel les sas thermiques (50) sont configurés pour recevoir depuis l’extérieur de l’une des enceintes cryogéniques (30, 40, 70) des modules (20) comprenant des puces quantiques (22) et les liaisons permettant de communiquer avec lesdites puces quantiques (22). Système de réfrigération selon la revendication 4, dans lequel les sas thermiques (50) sont configurés pour recevoir depuis l’extérieur de l’enceinte externe (60) des modules (20) comprenant des puces quantiques (22) et les liaisons permettant de communiquer avec lesdites puces quantiques (22). Système de réfrigération selon l’une des revendications précédentes, comprenant en outre des liaisons inter-modules permettant de connecter entre elles des puces quantiques (22) de différents modules (20). Système de réfrigération selon l’une des revendications précédentes, comprenant en outre un dispositif de protection anti-radioactivité autour de l’une au moins des première et/ou deuxième et/ou troisième enceintes cryogéniques et/ou de l’enceinte externe, le dispositif de protection anti-radioactivité étant configuré pour protéger l’intérieur du système de réfrigération des radiations extérieures. Système de réfrigération selon l’une des revendications précédentes, comprenant une pluralité de dispositifs de réfrigération sub-Kelvin (80) disposés au moins en partie dans la deuxième enceinte cryogénique (40), chaque dispositif de réfrigération sub-Kelvin (80) étant configuré pour produire de la puissance froide de sorte à permettre l'obtention d’une température inférieure ou égale à 1K, notamment inférieure ou égale à une centaine de milliKelvin. Système de réfrigération selon la revendication précédente, dans lequel au moins un des sas thermiques (50) indépendants permet un accès à un module (20) comprenant des puces quantiques (22) depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique (30) à au moins un des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin (80). Système de réfrigération selon l’une des revendications 12 ou 13 la revendication 6 s’appliquant, dans lequel au moins une partie des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin (80) sont disposés dans la troisième enceinte cryogénique (70). Système de réfrigération selon l’une des revendications 1 à 11, comprenant au moins un module (20) comprenant des puces quantiques (22) et au moins un dispositif de réfrigération sub-Kelvin (80) configuré pour produire de la puissance froide de sorte à permettre l'obtention d’une température inférieure ou égale à 1K, notamment inférieure ou égale à une centaine de milliKelvin, et au moins un sas thermique permettant l’accès audit au moins un module (20) depuis l’extérieur de la première enceinte cryogénique (30) à l’intérieure de le deuxième enceinte cryogénique (40). Système de réfrigération selon l’une des revendications 12 à 15, dans lequel au moins un des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin (80) est un dispositif de réfrigération à 3 He. Système de réfrigération selon l’une des revendications 12 à 16, dans lequel au moins un des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin (80) est un dispositif de réfrigération à désaimantation adiabatique. Système de réfrigération selon l’une des revendications 12 à 17, dans lequel au moins un des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin (80) est un dispositif de réfrigération à dilution. Système de réfrigération selon la revendication 16 ou 18, dans lequel le dispositif de réfrigération sub-Kelvin (80) comprend au moins un organe de pompage cryogénique (90) situé dans son circuit de travail (81). Système de réfrigération selon la revendication précédente, dans lequel au moins deux des dispositifs de réfrigération sub-Kelvin (80) sont des dispositifs de réfrigération de même nature et partagent un même organe de pompage cryogénique (90). Système de réfrigération selon l’une des revendications 19 ou 20 la revendication 6 s’appliquant, dans lequel l’organe de pompage cryogénique (90) est situé à l’intérieur de la deuxième enceinte cryogénique (40) et à l’extérieur de la troisième enceinte cryogénique (70). Système de réfrigération selon la revendication précédente, dans lequel le dispositif de réfrigération sub-Kelvin (80) est à l’intérieur de la troisième enceinte cryogénique (70). Système de réfrigération selon l’une des revendications 12 à 17, dans lequel chaque dispositif de réfrigération sub-Kelvin (80) est configuré pour fonctionner à des températures sub-Kelvin différentes.