FR 3127642 A1 20230331 FR 2110184 A 20210928 Microcircuit à guide d’onde intégré Microcircuit (100) intégrant un guide d’onde (1) à section rectangulaire, le microcircuit comprenant une première puce (101) et une deuxième puce (102) assemblées l’une sur l’autre, le guide d’onde étant situé dans une zone de jonction (103) entre puces et s’étendant parallèlement aux puces, le guide d’onde comprenant une première plaque (11) conductrice, située du côté de la première puce et parallèle à la première puce, ainsi qu’une deuxième plaque (12) conductrice, située du côté de la deuxième puce et parallèle à la deuxième puce, le guide d’onde étant délimité latéralement, d’un côté et de l’autre du guide, par un ou des éléments de liaison (15) électrique, reliant électriquement la première puce à la deuxième puce. Figure à publier avec l’abrégé : Figure 1 Microcircuit à guide d’onde intégré De manière générale, le domaine technique est celui de la micro-électronique, en particulier celui des microcircuits configurés pour émettre, transmettre ou traiter des signaux électriques à des fréquences très élevées, typiquement supérieures à une centaine de GHz. ARRIERE-PLAN TECHNOLOGIQUE Les systèmes de communication sans fil opérant à des fréquences très élevées connaissent actuellement un fort développement, notamment en lien avec le déploiement à venir des systèmes de communication dits « 6G » (sixième génération de technologies de communication sans fil prenant en charge les réseaux de données cellulaires, destinée à succéder à la technologie 5G). Dans ce contexte, il est souhaitable d’améliorer les performances des dispositifs électroniques, en particulier micro-électroniques, opérant dans cette gamme de fréquence (typiquement entre 0,1 et 2 THz). Dans un tel circuit électronique, pour transmettre un signal à haute fréquence d’un point à un autre, il est connu d’employer un guide d’onde coplanaire, également appelé ligne coplanaire ou « CPW » (pour « coplanar waveguide », en anglais). Un tel guide d’onde est formé de deux ou trois pistes métalliques parallèles qui s’étendent à la surface d’un même substrat. Mais avec ce type de guide d’onde, de même qu’avec les lignes de type microruban (« microstrip »), les pertes dues à la transmission par le guide sont généralement assez élevées (typiquement supérieures à 3 ou 4 dB par mm parcouru à plusieurs dizaines de GHz). Ces pertes sont causées notamment par des pertes par rayonnement, ainsi que par la présence d’un substrat en silicium au-dessous et/ou au-dessus des lignes de transmission métalliques (substrat qui peut être conducteur, notamment aux interfaces, et induire ainsi des pertes). Pour guider des signaux à haute fréquence, il est connu aussi d’employer un guide d’onde métallique creux, à section rectangulaire, réalisé sur la face supérieure d’un substrat, la section du guide ayant une largeur d’un ou quelques millimètres, ou d’une fraction de millimètre. Un tel guide est décrit par exemple dans l’article "Monolithic Wafer-Level Rectangular Waveguide and Its Transition to Coplanar Waveguide Line Using a Simplified 3-D Fabrication Process", par N. Vahabisani et M. Daneshmand, IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology, vol. 4, no. 1, pp. 168-176, Jan. 2014. Les pertes par transmission avec le guide d’onde décrit dans cet article sont de l’ordre de 1dB (à 70GHz environ) pour une longueur de propagation de 2,6 mm. Elles sont donc plus faibles que pour un guide d’onde à lignes coplanaires. Mais un tel guide augmente l’encombrement du microcircuit et sa fabrication reste relativement complexe. RESUME Dans ce contexte, on propose un microcircuit intégrant un guide d’onde à section rectangulaire, comprenant une première puce et une deuxième puce assemblées l’une sur l’autre, le guide d’onde étant situé dans une zone de jonction entre puces et s’étendant parallèlement aux puces. Le guide d’onde comprend une première plaque conductrice (éventuellement ajourée), située du côté de la première puce et parallèle à la première puce, ainsi qu’une deuxième plaque conductrice (éventuellement ajourée), située du côté de la deuxième puce et parallèle à la deuxième puce, le guide d’onde étant délimité latéralement, d’un côté et de l’autre du guide, par un ou des éléments de de liaison électrique, reliant électriquement la première puce à la deuxième puce. Dans le domaine de la micro-électronique, il est courant d’assembler plusieurs puces les unes sur les autres pour obtenir un microcircuit ayant la structure d’un empilement tridimensionnel. Cela permet par exemple de déporter commodément des connexions électriques, à l’aide d’un interposer comprenant une structure d’interconnexion. Cela permet aussi de combiner des fonctions assez différentes réalisées sur des puces de natures différentes (par exemple réalisées à partir de semi-conducteurs différents). Quoiqu’il en soit, ce type d’assemblage est courant et bien maitrisé en termes de fabrication. L’assemblage de deux puces l’une sur l’autre, avec des connexions électriques entre puces, peut être réalisée par exemple au moyen de micropiliers métalliques, généralement à base de cuivre (technique généralement appelée « Copper Pillar bonding » ou « Copper Pillar Bump ») ou par la technique dite « Direct Hybrid Bonding » (qui sera présentée succinctement plus bas). Réaliser un tel guide d’onde dans la zone de jonction entre deux puces permet d’exploiter l’espace disponible dans cette zone et d’ajouter de nouvelles fonctionnalités électriques sans encombrement supplémentaire. Cette zone de jonction a par ailleurs une géométrie propice à la réalisation d’un tel guide : les faces respectives des deux puces, situées en vis-à-vis l’une de l’autre, forment chacune un support bien adapté pour les première et deuxièmes plaques en question (qui délimitent le guide verticalement), tandis que les bordures latérales du guide sont formées d’éléments de liaison entre puces (tels que des micropiliers par exemple) dont la réalisation, sans une telle zone de jonction, est bien maitrisée. Dans la présente demande, on entend par puce une structure globalement plane (dont la forme d’ensemble est celle d’une petite plaque), à base d’un ou plusieurs matériaux semi-conducteurs (ainsi que d’autres matériaux, en particulier des matériaux métalliques et/ou des oxydes isolant électriquement), et pouvant intégrer différents composants, actifs ou passifs (transistor, diode, résistance, structure rayonnante ou de guidage). La puce en question peut être formée par un wafer complet (et fonctionnalisé), ou par une portion seulement d’un tel wafer (c’est-à-dire par un Die). Ce type de solution est particulièrement intéressant pour guider des ondes électromagnétiques à très hautes fréquences (notamment dans la gamme allant de 0,1 et 2 THz, adaptée aux futures applications de télécommunication « 6G »), car les longueurs d’onde correspondantes sont alors petites (quelques mm, à quelques fractions de mm), ce qui permet de réaliser un guide peu encombrant, adapté à un microcircuit. Les éléments de liaison électrique mentionné plus haut peuvent par exemple être des éléments de contactage, tels que des micropiliers ou des microbilles, électriquement conducteurs, permettant chacun une conduction électrique de la première plaque à la deuxième plaque. En d’autres termes, ces éléments de liaison peuvent former chacun un pont conducteur entre la première plaque et la deuxième plaque, en permettant le passage d’un courant électrique, par conduction, d’une plaque à l’autre. Les éléments de liaison électrique peuvent aussi être des éléments qui relient la première plaque à la deuxième plaque par une liaison capacitive (sans contact électrique direct). Dans ce cas, chaque élément de liaison comprend : soit un micropoteau, qui s’étend depuis l’une des deux plaques, en direction de l’autre plaque, jusqu’à une distance réduite de cette autre plaque (pour obtenir un effet capacitif entre une face d’extrémité du micropoteau et cette autre plaque), soit un premier et un deuxième micropoteaux qui se raccordent respectivement à la première plaque et à la deuxième plaque et qui s’étendent en vis-à-vis l’un de l’autre, mais sans contact électrique entre ces deux micropoteaux. Dans le deuxième cas (avec deux mricropoteaux situés en vis-à-vis l’un de l’autre, le couplage capacitif peut etre optimisé en rajoutant une pastille metallique sur la face d’extremité de chacun des premier et deuxieme micropoteaux. Ces pastilles sont par exemple imprimés sur le substrat dielectrique entre les deux rangées de micropoteaux et sont dimensionnés pour minimiser les pertes de transmission du guide. Outre les caractéristiques présentées ci-dessus, le dispositif présenté ci-dessus peut présenter une ou plusieurs des caractéristiques optionnelles suivantes, considérées individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement envisageables : les éléments de liaison électrique comprennent des micropoteaux ou des micropiliers ou des microbilles disposés en ligne les uns à la suite des autres, le long du côté considéré du guide d’onde ; lesdits micropoteaux ou micropiliers ou microbilles sont répartis le long du côté considéré du guide d’onde avec un taux d’occupation linéïque supérieur à 50% ; la première plaque est recouverte d’une première couche électriquement isolante traversée par des premiers vias conducteurs, la deuxième plaque est recouverte d’une deuxième couche électriquement isolante traversée par des deuxièmes vias conducteurs, la deuxième couche est en contact (généralement directement en contact) avec la première couche et adhère à la première couche, les deuxièmes vias étant en contact avec les premiers vias, directement ou par l’intermédiaire d’éléments de raccordement, chaque élément de liaison comprenant l’un des premiers vias, ainsi que le deuxième via correspondant avec lequel il est en contact ; au moins certains desdits éléments de liaison sont des éléments de contactage électriquement conducteur, permettant chacun une conduction électrique de la première plaque à la deuxième plaque ; au moins l’un desdits éléments de liaison comprend un micropoteau électriquement conducteur qui s’étend à partir de la première plaque en direction de la deuxième plaque, et qui est isolé électriquement de la deuxième plaque, pour relier la première plaque à la deuxième plaque par une liaison capacitive ; ledit élément de liaison, qui relie la première plaque à la deuxième plaque par une liaison capacitive, comprend un micropoteau supplémentaire électriquement conducteur, qui s’étend à partir de la deuxième plaque, en direction de la première plaque, jusqu’à une face d’extrémité du micropoteau supplémentaire, la face d’extrémité du micropoteau supplémentaire étant située en vis-à-vis et à distance réduite d’une face d’extrémité dudit micropoteau, le micropoteau supplémentaire étant isolé électriquement de la première plaque ; en alternative, on peut prévoir que ledit micropoteau s’étende depuis la première plaque jusqu’à une face d’extrémité du micropoteau située en vis-à-vis et à distance réduite de la deuxième plaque (plutôt qu’en vis-à-vis d’un micropoteau supplémentaire). le guide d’onde est dimensionné pour guider une onde électromagnétique ayant une fréquence f supérieure ou égale à 100 GHz ; l’espace intérieur du guide, situé entre les première et deuxième plaques et entre lesdits éléments de liaison, est occupé par un milieu diélectrique ayant une permittivité relative εr à la fréquence f, et dans lequel le guide d’onde a une section dont la largeur, selon une direction parallèle aux puces, est supérieure à λ/2, où λ=c/(f.(ε r ) 1/2 ), c étant la vitesse des ondes électromagnétiques dans le vide ; l’espace intérieur du guide, situé entre les première et deuxième plaques et entre lesdits éléments de liaison, est occupé par une structure composite formée de plusieurs matériaux diélectriques différents ; l’une au moins des première et deuxième puces intègre un ou plusieurs composants de type transistor, diode ou amplificateur, configuré pour générer, amplifier ou filtrer un signal électrique de fréquence supérieure ou égale à 100 GHz ; une extrémité du guide est ouverte et une partie au moins du guide, qui débouche par cette ouverture, est évasée et s’élargit en direction de ladite ouverture ; en d’autres termes, au niveau de cette partie évasée, chaque section du guide section a une largeur qui est d’autant plus grande que la section est proche de l’ouverture de sortie du guide ; le guide présente un ou plusieurs changements de section abrupts (c’est-à-dire avec une discontinuité de section, par exemple un changement de largeur, avec un saut, d’une première largeur à une deuxième largeur différente) ; le guide d’onde comprend un éléments de liaison supplémentaires, situés chacun à l’intérieur du guide ; ce ou ces éléments de liaison supplémentaires sont répartis à l’intérieur du guide, par exemple selon une distribution spécifique d’une fonction (par exemple de filtrage) à réaliser par le guide ; ces éléments de liaison supplémentaires sont répartis en une ou plusieurs lignes d’éléments de liaison supplémentaires, qui s’étendent chacune transversalement par rapport au guide, à l’intérieur du guide, pour former un étranglement dans le guide ; le guide d’onde comprend un ou plusieurs lignes micropoteaux internes, situés chacun à l’intérieur du guide, chaque micropoteau interne s’étendant à partir de la première plaque, en direction de la deuxième plaque, et ayant une hauteur inférieure à un écart qui sépare la première plaque de la deuxième plaque, par exemple inférieure aux deux tiers dudit écart ; le ou les micropoteaux internes sont répartis à l’intérieur du guide, par exemple selon une distribution spécifique d’une fonction (par exemple de filtrage) à réaliser par le guide ; en particulier, le ou les micropoteaux internes peuvent être répartis en une ou plusieurs lignes de micropoteaux internes, qui s’étendent chacune transversalement par rapport au guide, à l’intérieur du guide. La présente technologie et ses différentes applications seront mieux comprises à la lecture de la description qui suit et à l’examen des figures qui l’accompagnent. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES Les figures sont présentées à titre indicatif et nullement limitatif. La représente schématiquement un microcircuit comprenant deux puces assemblées l’une sur l’autre et comprenant un guide d’onde situé dans une zone d’assemblage, entre ces deux puces, vu de côté. La représente schématiquement et partiellement le guide d’onde de la , en perspective. La montre l’évolution d’un coefficient de transmission du guide d’onde de la , en fonction de la fréquence de l’onde guidée. La représente schématiquement une variante du guide de la , vue de côté. La représente schématiquement, vu de dessus, un deuxième mode de réalisation d’un guide d’onde pouvant équiper le microcircuit de la , à la place ou en complément du guide d’onde de la . La représente schématiquement le guide d’onde de la , vu de côté. La représente schématiquement, vu de dessus, un troisième mode de réalisation d’un guide d’onde pouvant équiper le microcircuit de la , à la place ou en complément du guide d’onde de la . La représente schématiquement le guide d’onde de la , vu de côté. La représente schématiquement, vu de dessus, un quatrième mode de réalisation d’un guide d’onde pouvant équiper le microcircuit de la , à la place ou en complément du guide d’onde de la . La représente schématiquement le guide d’onde de la , vu de côté. La représente schématiquement une variante du guide d’onde de la , vu de dessus. ] La représente schématiquement le guide d’onde de la , vu de face, en coupe. La représente schématiquement un microcircuit selon un autre mode de réalisation, comprenant deux puces assemblées l’une sur l’autre et comprenant un guide d’onde située dans une zone d’assemblage, entre ces deux puces, vu de côté. La représente schématiquement encore un autre mode de réalisation d’un guide d’onde, pouvant par exemple équiper le microcircuit de la , à la place ou en complément du guide d’onde de la . Microcircuit (100 ; 500) intégrant un guide (1 ; 1’ ; 2 ; 3 ; 4 ; 4’ ; 5 ; 6) d’onde à section rectangulaire, caractérisé en ce qu’il comprend une première puce (101 ; 501) et une deuxième puce (102 ; 502) assemblées l’une sur l’autre, le guide (1 ; 1’ ; 2 ; 3 ; 4 ; 4’ ; 5 ; 6) d’onde étant situé dans une zone de jonction (103 ; 503) entre puces et s’étendant parallèlement aux puces, le guide d’onde comprenant une première plaque (11 ; 51) conductrice, située du côté de la première puce (101 ; 501) et parallèle à la première puce, ainsi qu’une deuxième plaque (12 ; 52) conductrice, située du côté de la deuxième puce (102 ; 502) et parallèle à la deuxième puce, le guide (1 ; 1’ ; 2 ; 3 ; 4 ; 4’ ; 5 ; 6) d’onde étant délimité latéralement, d’un côté et de l’autre du guide, par un ou des éléments de liaison (15 ; 55 ; 65) électrique, reliant électriquement la première puce à la deuxième puce. Microcircuit (100) selon la revendication 1, dans lequel les éléments de liaison comprennent des micropoteaux (151, 152 ; 651, 652), ou des micropiliers (15), ou des microbilles disposés en ligne (13, 14) les uns à la suite des autres, le long du côté considéré du guide (1 ; 1’ ; 2 ; 3 ; 4 ; 4’ ; 6) d’onde. Microcircuit (100) selon la revendication 2, dans lequel lesdits micropoteaux (151, 152 ; 161, 162), ou micropiliers (15) ou microbilles sont répartis le long du côté considéré du guide (1 ; 1’ ; 2 ; 3 ; 4 ; 4’ ; 6) d’onde avec un taux d’occupation linéïque supérieur à 50%. Microcircuit (500) selon la revendication 2, dans lequel la première plaque (51) est recouverte d’une première couche (506) électriquement isolante traversée par des premiers vias (55a) conducteurs, la deuxième plaque (52) est recouverte d’une deuxième couche (507) électriquement isolante traversée par des deuxièmes vias (55b) conducteurs, la deuxième couche (507) est en contact avec la première couche (506) et adhère à la première couche, les deuxièmes vias (55b) étant en contact avec les premiers vias (55a), directement ou par l’intermédiaire d’éléments de raccordement (55c, 55d), et dans lequel chaque élément de liaison (55) comprend l’un des premiers vias (55a), ainsi que le deuxième via (55b) correspondant avec lequel il est en contact. Microcircuit (100 ; 500) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel au moins certains desdits éléments de liaison sont des éléments de contactage (15 ; 55) électriquement conducteur, permettant chacun une conduction électrique de la première plaque (11 ; 51) à la deuxième plaque (12 ; 52). Microcircuit selon l’une des revendications 1 à 3, dans lequel au moins l’un desdits éléments de liaison (65) comprend un micropoteau (651) électriquement conducteur qui s’étend à partir de la première plaque (11) en direction de la deuxième plaque (12), et qui est isolé électriquement de la deuxième plaque, (12) pour relier la première plaque à la deuxième plaque par une liaison capacitive. Microcircuit selon la revendication précédente, dans lequel ledit élément de liaison (65), qui relie la première plaque (11) à la deuxième plaque (12) par une liaison capacitive, comprend un micropoteau supplémentaire (652) électriquement conducteur, qui s’étend à partir de la deuxième plaque (12) en direction de la première plaque (11), jusqu’à une face d’extrémité(654) du micropoteau supplémentaire (652), la face d’extrémité (654) du micropoteau supplémentaire (652) étant située en vis-à-vis et à distance réduite (ez) d’une face d’extrémité (653) dudit micropoteau (651), et en étant isolée électriquement de face d’extrémité (653) dudit micropoteau (651). Microcircuit (100 ; 500) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le guide (1 ; 1’ ; 2 ; 3 ; 4 ; 4’ ; 5 ; 6) d’onde est dimensionné pour guider une onde électromagnétique ayant une fréquence f supérieure ou égale à 100 GHz. Microcircuit (100 ; 500) selon la revendication précédente, dans lequel l’espace intérieur du guide (1 ; 2 ; 3 ; 4 ; 4’ ; 5 ; 6), situé entre les première (11 ; 51) et deuxième (12 ; 52) plaques et entre lesdits éléments de liaison (15 ; 55 ; 65), est occupé par un milieu diélectrique ayant une permittivité relative ε r à la fréquence f, et dans lequel le guide (1 ; 2 ; 3 ; 4 ; 4’ ; 5 ; 6) d’onde a une section dont la largeur (L), selon une direction (y) parallèle aux puces, est supérieure à λ/2, où λ=c/(f.(ε r ) 1/2 ), c étant la vitesse des ondes électromagnétiques dans le vide. Microcircuit (100) selon l’une des revendications 1 à 8, dans lequel l’espace intérieur du guide (1’), situé entre les première (11) et deuxième (12) plaques et entre lesdits éléments de liaison (15), est occupé par une structure composite formée de plusieurs matériaux diélectriques différents. Microcircuit (100 ; 500) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel l’une au moins des première (101 ; 501) et deuxième (102 ; 502) puces intègre un ou plusieurs composants de type transistor, diode ou amplificateur, configuré pour générer, amplifier ou filtrer un signal électrique de fréquence supérieure ou égale à 100 GHz. Microcircuit (100) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel une extrémité du guide (2 ; 4 ; 4’) est ouverte et dans lequel une partie (24 ; 45) au moins du guide, qui débouche par cette ouverture, est évasée et s’élargit en direction de ladite ouverture. Microcircuit (100) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le guide (3) présente un ou plusieurs changements de section abrupts. Microcircuit (100) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le guide (4) d’onde comprend une ou plusieurs lignes (43, 43’, 44, 44’, 46, 46’) d’éléments de liaison supplémentaires (15’), qui s’étendent chacune transversalement par rapport au guide (4), à l’intérieur du guide, pour former un ou plusieurs étranglements dans le guide. Microcircuit (100) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le guide (4’) d’onde comprend un ou plusieurs micropoteaux internes (151’), situés chacun à l’intérieur du guide, chaque micropoteau interne (151’) s’étendant à partir de la première plaque (11), en direction de la deuxième plaque (12), et ayant une hauteur (h m ) inférieure à un écart (h) qui sépare la première plaque (11) de la deuxième plaque (12), par exemple inférieure aux deux tiers dudit écart (h).