FR 3127632 A1 20230331 FR 2110183 A 20210928 Circuit intégré à puces superposées et connexion capacitive Circuit intégré (1) comprenant une première puce (10) et une deuxième puce (20) assemblées l’une sur l’autre, la première puce étant connectée électriquement à la deuxième puce par un condensateur de couplage (C) qui est situé dans une zone de jonction (30) entre puces, entre la première puce et la deuxième puce, le condensateur de couplage comprenant une première armature (100) conductrice, en contact électrique avec la première puce, et une deuxième armature (200) conductrice en contact électrique avec la deuxième puce, une partie au moins de la première armature étant formée par un ou plusieurs micropoteaux (110) électriquement conducteurs qui s’étendent chacun à partir de la première puce, en direction de la deuxième puce. Figure à publier avec l’abrégé : Figure 3 Circuit intégré à puces superposées et connexion capacitive De manière générale, le domaine technique est celui de la micro-électronique, en particulier celui des circuits intégrés réalisés sous la forme d’empilements de plusieurs puces assemblées ensemble, et connectées électriquement ensemble. ARRIERE-PLAN TECHNOLOGIQUE Dans le domaine de la micro-électronique, il est fréquent d’assembler ensemble plusieurs puces ayant des fonctions différentes, notamment des puces obtenues par des techniques de fabrications différentes. Le circuit intégré ainsi obtenu a alors la structure d’un empilement tridimensionnel. Un tel circuit est représenté schématiquement sur la . Ce circuit 5 comporte une première puce 10 et une deuxième puce 20, assemblées l’une sur l’autre. La première puce est connectée électriquement à la deuxième puce au moyen de micropiliers 4 qui s’étendent chacun de la première puce à la deuxième puce, à travers une couche de jonction 3 (par exemple en oxyde, ou en polymère), qui lie les puces entre elles. Un tel micropilier comprend généralement deux demi-micropiliers, c’est-à-dire deux micropoteaux (souvent appelés « post », en anglais, l’un réalisé sur la première puce, et l’autre sur la deuxième puce) raccordés l’un à l’autre par une microbille de soudure (formée par exemple à partir d’un matériau à base d’étain). Un tel micropilier a par exemple une hauteur totale d’une dizaine de microns. Une telle connexion électrique est essentiellement équivalente à une résistance R en série avec une inductance L (inductance propre du pilier ; pilier qui forme en quelque sorte une portion de fil électrique conducteur). A haute fréquence, l’impédance totale associée à cette connexion devient importante à cause de cette composante inductive (comme illustré sur la ), ce qui peut gêner la transmission de signaux d’une puce à l’autre en entrainant des réflexions indésirables lors du passage d’une puce à l’autre et des pertes causées par cette impédance élevée. RESUME Dans ce contexte, on propose un circuit intégré comprenant une première puce et une deuxième puce assemblées l’une sur l’autre, la première puce étant connectée électriquement à la deuxième puce par un condensateur de couplage qui est situé dans une zone de jonction entre puces, entre la première puce et la deuxième puce, et qui permet une liaison électrique à haute fréquence (fréquence supérieure à 10, ou même supérieure à 100 ou 300 GHz) entre ces deux puces. Un tel condensateur, de capacité C, a une impédance qui varie comme 1(/ jC2 π f ), et qui décroit donc lorsque la fréquence f augmente, devenant très faible à haute fréquence. Il est donc bien adapté pour réaliser une liaison dans le but de transmettre un signal électrique à haute fréquence, de l’une à l’autre. Dans un circuit intégré, les questions d’encombrement sont toutefois critiques, en général, et l’on pourrait donc, à première vue, être dissuadé d’employer un tel condensateur, par nature assez encombrant, pour réaliser cette connexion. Mais justement, pour des fréquences très élevées, par exemple de l’ordre de la centaine de gigahertz ou plus, même un condensateur de faible capacité électrique (par exemple de l’ordre d’une cinquantaine de femtofarads), peu encombrant, permet d’obtenir une impédance de connexion faible, par exemple inférieure à une dizaine d’Ohms. Autrement dit, dans cette gamme de fréquence, ce type de connexion par condensateur de couplage devient intéressante en termes d’encombrement et d’intégration. Agencer ce condensateur dans la zone de jonction entre puces permet d’ailleurs d’exploiter avantageusement l’espace disponible dans cette zone interstitielle, pour y réaliser une fonction plus élaborée qu’une connexion DC ou une liaison mécanique entre puces. Le condensateur de couplage en question peut comprendre : une première armature conductrice, en contact électrique avec la première puce, et une deuxième armature conductrice en contact électrique avec la deuxième puce, une partie au moins de la première armature étant située en vis-à-vis de la deuxième armature, les première et deuxième armatures étant isolées électriquement l’une de l’autre, une partie au moins de la première armature étant formée par un ou plusieurs micropoteaux électriquement conducteurs, qui s’étendent chacun à partir de la première puce, en direction de la deuxième puce. Par « micropoteau » on désigne un élément, par exemple de forme cylindrique, faisant saillie par rapport à la puce considérée, s’étendant en direction de l’autre puce, mais pas totalement jusqu’à l’autre puce. Les dimensions (diamètre, hauteur) d’un tel micropoteau sont typiquement supérieures à 1 micron, et inférieures à 100 microns, par exemple comprises entre 10 et 50 microns. Par « micropilier », ou, de manière équivalente, par « micropilier complet » on désigne un élément qui s’étend depuis l’une des deux puces jusqu’à l’autre puce, en raccordant directement ces deux puces entre elles. Un tel micropilier est par exemple formé de deux micropoteaux, l’un réalisé sur la première puce, et l’autre sur la deuxième puce, raccordés l’un à l’autre par une microbille de soudure. Les micropoteaux et les micropiliers en question sont électriquement conducteurs. Ils sont typiquement formés d’un ou plusieurs matériaux métalliques. Chaque micropoteau peut être d’un seul tenant, formé d’un même matériau métallique (par exemple du cuivre ou un alliage à base de cuivre), ou comprendre plusieurs portions (plusieurs couches) formés de matériaux métalliques différents. Par ailleurs, par « armature », on désigne une structure électriquement conductrice, typiquement à base de métal, dont la forme peut être simple (par exemple une forme de plaque) ou plus complexe. Les différents éléments de l’armature sont en contact électrique les uns avec les autres. En d’autres termes, par « armature », on désigne l’une des deux électrodes du condensateur de couplage. Réaliser l’une des armatures du condensateur à partir d’un ou plusieurs micropoteaux est particulièrement intéressant. En effet, la réalisation de tels micropoteaux (qui servent de base aux micropiliers mentionnés dans la partie relative à l’arrière-plan technologique) est bien maitrisée technologiquement, en particulier dans une telle zone de jonction entre puces. Cela permet par ailleurs de rapprocher certaines portions de la première armature de la deuxième armature, pour obtenir une capacité par unité de surface élevée malgré la distance qui sépare les deux puces dans la zone de jonction entre puces. En effet, cette distance est typiquement supérieure à 5 microns, pour un assemblage entre puces par micropiliers (du fait des dimensions des micro-poteaux eux-mêmes, et de la microbille de soudure qui assure la jonction entre eux). On notera d’ailleurs que, en général, dans le circuit intégré en question, des connexions DC entre les deux puces (connexion classique, par conduction électrique) sont réalisées en plus de la connexion capacitive haute fréquence mentionnée plus haut, ces connexions DC étant réalisées au moyen d’un ou plusieurs micropiliers complets. L’écart entre puces est alors assez important (plusieurs microns), et il est donc particulièrement intéressant de rapprocher les deux armatures l’une de l’autre, au moins par endroits, pour augmenter la capacité du condensateur (ce qui est obtenu astucieusement par l’emploi d’un ou plusieurs micropoteaux, reliés électriquement à la première puce, mais isolés de la deuxième armature du condensateur). Dans la présente demande, on entend par puce une structure globalement plane (dont la forme d’ensemble est celle d’une petite plaque), à base d’un ou plusieurs matériaux semi-conducteurs (ainsi que d’autres matériaux, en particulier des matériaux métalliques et/ou des oxydes isolant électriquement), et pouvant intégrer différents composants, actifs ou passifs (transistor, diode, résistance, structure rayonnante ou de guidage). La puce en question peut être formée par un wafer complet (et fonctionnalisé), ou par une portion seulement d’un tel wafer (c’est-à-dire par un Die). La première puce et la deuxième puce sont assemblées l’une sur l’autre en ce sens qu’elles sont liées (liées mécaniquement) l’une à l’autre, avec la deuxième puce située juste au-dessus de la première puce, parallèlement à celle-ci, quasiment contre la première puce. En d’autres termes, la première puce présente une première surface (qui délimite la première puce), la deuxième puce présente une deuxième surface (qui délimite la première puce), et les deux puces sont assemblées de manière à ce que la première surface s’étende en vis-à-vis de la deuxième surface, parallèlement et à distance réduite de celle-ci (par exemple avec un écart inférieur à 30 microns). Les deux puces sont ainsi assemblées l’une à l’autre au niveau de ces première et deuxième surfaces. La zone de jonction mentionnée plus haut, qui est une zone d’assemblage entre puces et qui constitue une zone interstitielle entre puces, est délimitée par les première et deuxième surfaces en question. En pratique, la liaison mécanique entre puces est obtenue en faisant adhérer certains éléments de la première puce, qui s’étendent dans la zone d’assemblage en question (par exemple des micropoteaux), avec des éléments de la deuxième puce (là aussi des micropoteaux, par exemple). Un matériau de remplissage optionnel, par exemple un polymère (ou un oxyde, typiquement un oxyde de silicium), peut remplir la partie inoccupée de la zone d’assemblage, pour obtenir un assemblage plus robuste mécaniquement, en formant une couche de liaison entre puces. La technologie d’assemblage employée ici est typiquement une technologie de type micropiliers, parfois appelée « Copper Pillar bonding » ou « Copper Pillar Bump » en anglais. Outre les caractéristiques présentées ci-dessus, le dispositif présenté ci-dessus peut présenter une ou plusieurs des caractéristiques optionnelles suivantes, considérées individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement envisageables : chaque micropoteau s’étend perpendiculairement à la première puce, depuis la première puce jusqu’à une face d’extrémité du micropoteau ; la deuxième armature comprend, pour chaque micropoteau, une face ou une portion de face plane située en vis-à-vis et à une distance réduite de la face d’extrémité de ce micropoteau ; une partie au moins de la deuxième armature est formée par un ou plusieurs micropoteaux supplémentaires électriquement conducteurs, qui s’étendent chacun en direction de la première puce, depuis la deuxième puce jusqu’à une face d’extrémité du micropoteau supplémentaire ; chaque micropoteau, ainsi que chaque micropoteau supplémentaire, est délimité latéralement par une surface latérale, et au moins certains des micropoteaux supplémentaires sont décalés latéralement par rapport auxdits micropoteaux, leurs surfaces latérales respectives étant situées chacune en vis-à-vis de la surface latérale de l’un desdits micropoteaux ; cette disposition contribuent à augmenter la capacité du condensateur ; elle autorise par ailleurs des tolérances assez importantes en termes d’alignement latéral entre puces ; au moins certains desdits micropoteaux supplémentaires sont intercalés entre des micropoteaux de la première armature ; Cela permet d’augmenter la densité surfacique de micropoteaux, et la capacité du condensateur ; au moins certains des micropoteaux supplémentaires s’étendent chacun en vis-à-vis de l’un desdits micropoteaux, la face d’extrémité du micropoteau supplémentaire considéré étant située en vis-à-vis et à distance réduite de la face d’extrémité du micropoteau correspondant, en étant isolée électriquement de la face d’extrémité de ce micropoteau ; la deuxième armature comprend une plaque plane qui s’étend en face du ou desdits micropoteaux ; la deuxième armature est dépourvue de micropoteau ; cette disposition facilite la fabrication ; lesdits micropoteaux sont disposés périodiquement en formant un réseau régulier ; une partie au moins de la première armature est séparée de la deuxième armature par une distance inférieure à 2 microns, voire inférieure à 0,5 micron ; le condensateur de couplage a une capacité électrique moyenne par unité de surface supérieure ou égale à 5 picofarad par millimètre carré ; le condensateur de couplage a une capacité électrique supérieure ou égale à 50 femtofarad ; la première puce est formée au moins en partie, voire majoritairement d’un premier type de matériau semi-conducteur tandis que la deuxième puce est formée au moins en partie, voire majoritairement d’un deuxième type de matériau semi-conducteur différent du premier type de matériau semi-conducteur ; le premier type de matériau est par exemple du silicium ; le deuxième type de matériau est par exemple un semiconducteur de type III-V ; dans le domaine de la micro-électronique, le type de matériau semi-conducteur et les technologies de fabrication employées peuvent être assez différentes selon le type de fonction à réaliser ; assembler ainsi deux puces réalisées à base de matériaux semi-conducteurs de type différents permet donc d’intégrer dans ce même circuit des fonctions assez différentes ; la première armature du condensateur de couplage est reliée électriquement, par exemple par un conducteur électrique, à un premier composant électronique de type transistor, diode, amplificateur, antenne, guide d’onde ou filtre, tandis que sa deuxième armature est reliée électriquement , par exemple par un conducteur électrique, à un deuxième composant électronique de type transistor, diode, amplificateur, antenne, guide d’onde ou filtre ; le premier composant électronique est configuré pour générer, émettre, transmettre ou filtrer un signal électrique de fréquence supérieure ou égale à 10 GHz, voire supérieure à 100 ou même 300 GHz, ou même plus (le spectre du signal en question peut par exemple s’étendre jusqu’à 325 GHz) ; le premier composant électronique et/ou le deuxième composant électronique est un composant actif (alimenté électriquement). La présente technologie et ses différentes applications seront mieux comprises à la lecture de la description qui suit et à l’examen des figures qui l’accompagnent. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES Les figures sont présentées à titre indicatif et nullement limitatif. La représente schématiquement un circuit intégré à puces superposées de l’art antérieur. La représente schématiquement un circuit intégré selon un premier mode de réalisation, comprenant deux puces assemblées l’une sur l’autre et reliées électriquement l’une à l’autre par un condensateur de couplage. La représente schématiquement le circuit intégré de la , vu de côté. La représente schématiquement un ensemble de micropoteaux du condensateur de couplage en question, vu de dessus. La représente schématiquement le condensateur de couplage, en perspective. La représente le circuit intégré des figures 2 et 3, sous la forme d’un schéma électrique équivalent. La représente, sous la forme d’un schéma électrique équivalent, un circuit intégré selon un deuxième mode de réalisation, comprenant lui aussi deux puces assemblées l’une sur l’autre et reliées par un condensateur de couplage. La représente schématiquement un circuit intégré selon un troisième mode de réalisation, comprenant lui aussi deux puces assemblées l’une sur l’autre et reliées par un condensateur de couplage à micropoteaux. La représente schématiquement un circuit intégré selon un quatrième mode de réalisation, comprenant lui aussi deux puces assemblées l’une sur l’autre et reliées par un condensateur de couplage à micropoteaux. Circuit intégré (1 ; 1’ ; 1’’ ; 1’’’) comprenant une première puce (10) et une deuxième puce (20) assemblées l’une sur l’autre, la première puce étant connectée électriquement à la deuxième puce par un condensateur de couplage (C ; C’ ; C’’ ; C’’’) qui est situé dans une zone de jonction (30) entre puces, entre la première puce (10) et la deuxième puce (20), le condensateur de couplage comprenant : une première armature (100 ; 100’’ ; 100’’’) conductrice, en contact électrique avec la première puce (10), et une deuxième armature (200 ; 200’’ ; 200’’’) conductrice en contact électrique avec la deuxième puce (20), une partie au moins de la première armature (100 ; 100’’ ; 100’’’) étant située en vis-à-vis de la deuxième armature (200 ; 200’’ ; 200’’’), les première et deuxième armatures étant isolées électriquement l’une de l’autre, une partie au moins de la première armature (100 ; 100’’ ; 100’’’) étant formée par un ou plusieurs micropoteaux (110 ; 110’’) électriquement conducteurs qui s’étendent chacun à partir de la première puce (10), en direction de la deuxième puce (20). Circuit intégré (1 ; 1’ ; 1’’ ; 1’’’) selon la revendication 1, dans lequel : chaque micropoteau (110 ; 110’’) s’étend perpendiculairement à la première puce, depuis la première puce (10) jusqu’à une face d’extrémité (111) du micropoteau, et dans lequel la deuxième armature (200 ; 200’’ ; 200’’’) présente, pour chaque micropoteau (110 ; 110’’), une face (211) ou une portion (202) de face plane située en vis-à-vis et à une distance (e Z ) réduite de la face d’extrémité (111) de ce micropoteau (110 ; 110’’). Circuit intégré (1 ; 1’ ; 1’’) selon l’une des revendications 1 ou 2, dans lequel une partie au moins de la deuxième armature (200 ; 200’’) est formée par un ou plusieurs micropoteaux supplémentaires (210 ; 210’’) électriquement conducteurs, qui s’étendent chacun en direction de la première puce (10), depuis la deuxième puce (20) jusqu’à une face d’extrémité (211) du micropoteau supplémentaire (210 ; 210’’). Circuit intégré (1 ; 1’) selon la revendication 3, dans lequel chaque micropoteau (110), ainsi que chaque micropoteau supplémentaire (210), est délimité latéralement par une surface latérale (112, 212), et dans lequel au moins certains des micropoteaux supplémentaires (210) sont décalés latéralement par rapport auxdits micropoteaux (110), leurs surfaces latérales (212) respectives étant situées chacune en vis-à-vis de la surface latérale (112) de l’un desdits micropoteaux (110). Circuit intégré (1 ; 1’) selon la revendication 4, dans lequel au moins certains desdits micropoteaux supplémentaires (210) sont intercalés entre des micropoteaux (110) de la première armature (100). Circuit intégré (1’’) selon les revendications 1 et 3, dans lequel au moins certains des micropoteaux supplémentaires (210’’) s’étendent chacun en vis-à-vis de l’un desdits micropoteaux (110’’), la face d’extrémité (211) du micropoteau supplémentaire (210’’) considéré étant située en vis-à-vis et à distance (e Z ) réduite d’une face d’extrémité (111) du micropoteau (110’’) correspondant, en étant isolée électriquement de la face d’extrémité (111) de ce micropoteau. Circuit intégré (1’’’) selon la revendication 2, dans lequel la deuxième armature (200’’’) est dépourvue de micropoteau. Circuit intégré (1 ; 1’ ; 1’’ ; 1’’’) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel lesdits micropoteaux (110 ; 110’’) sont disposés périodiquement en formant un réseau régulier. Circuit intégré (1 ; 1’ ; 1’’ ; 1’’’) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel une partie au moins (111) de la première armature (100 ; 100’’ ; 100’’’) est séparée de la deuxième armature (200 ; 200’’ ; 200’’’) par une distance (e Z ) inférieure à 2 microns, voire inférieure à 0,5 micron. Circuit intégré (1 ; 1’ ; 1’’ ; 1’’’) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le condensateur de couplage (C ; C’ ; C’’ ; C’’’) a une capacité électrique moyenne par unité de surface supérieure ou égale à 5 picofarad par millimètre carré. Circuit intégré (1 ; 1’ ; 1’’ ; 1’’’) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le condensateur de couplage (C ; C’ ; C’’ ; C’’’) a une capacité électrique supérieure ou égale à 50 femtofarad. Circuit intégré (1 ; 1’ ; 1’’ ; 1’’’) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel la première puce (10) est formée au moins en partie d’un premier type de matériau semi-conducteur tandis que la deuxième puce (20) est formée au moins en partie d’un deuxième type de matériau semi-conducteur différent du premier type de matériau semi-conducteur. Circuit intégré (1 ; 1’ ; 1’’ ; 1’’’) selon l’une des revendications précédentes dans lequel : la première armature (100 ; 100’’ ; 100’’’) du condensateur de couplage (C ; C’ ; C’’ ; C’’’) est reliée électriquement à un premier composant électronique (11 ; 40) de type transistor, diode, amplificateur, antenne, guide d’onde ou filtre, tandis que sa deuxième armature (200 ; 200’’ ; 200’’’) est reliée électriquement à un deuxième composant électronique (21) de type transistor, diode, amplificateur, antenne, guide d’onde ou filtre. Circuit intégré (1 ; 1’ ; 1’’ ; 1’’’) selon la revendication précédente, dans lequel le premier composant électronique (11 ; 40) est configuré pour générer, émettre, transmettre ou filtrer un signal électrique de fréquence supérieure ou égale à 10 GHz, voire à 300 GHz.