FR 3127628 A1 20230331 FR 2110075 A 20210924 Procédé de fabrication d’un moule pour nano-impression et moule associé. L’invention concerne un procédé de fabrication d’un moule (1) pour nano-impression et le moule (1) associé, comprenant une fourniture d’un substrat (10) comprenant une couche (11), et au moins une implantation ionique configurée de façon à obtenir dans la couche (10) au moins une première portion (111) non implantée ou présentant une première implantation, au moins une deuxième portion (111) présentant une deuxième implantation, et une troisième portion (113) non implantée distincte de la première portion (111) ; après l’implantation, le procédé comprend une gravure de la couche (10) configurée de façon à présenter une vitesse de gravure différente entre au moins la deuxième portion (112) et la troisième portion (113), de façon à graver à travers des ouvertures (130a, 130b) d’un masque de gravure (13) une pluralité de motifs (114a, 114b) de différentes hauteurs dans la couche (11). Figure pour l’abrégé : Fig. 4B Procédé de fabrication d’un moule pour nano-impression et moule associé La présente invention concerne le domaine de la lithographie par impression nanométrique, aussi désignée nano-impression. Elle trouve pour application particulièrement avantageuse la fabrication de moules maitres servant à réaliser des moules pour la réalisation de motifs présentant une haute résolution, c’est-à-dire des motifs dont les dimensions critiques sont de quelques centaines de nanomètres (10 -9 mètres), voire quelques dizaines de nanomètres. ETAT DE LA TECHNIQUE Les techniques de lithographie par impression nanométrique reposent sur l’impression avec un moule d’une résine déformable, déposée sur un substrat. Le moule comporte des motifs qui sont transférés dans la résine lors de l’impression. Ces motifs se mesurent couramment en dizaines de nanomètres. Le film de résine structuré par nano-impression pourra servir de masque de gravure pour des étapes suivantes de fabrication d’un dispositif microélectronique, optique ou micromécanique par exemple. Les techniques standards d’impression nanométrique peuvent être différenciées notamment selon trois critères : Réplication directe ou indirecte Pour une réplication directe, le moule est directement mis en contact du film de résine à structurer. On a alors une polarité inversée entre le moule et la résine structurée. Pour une réplication indirecte, les motifs d’un moule dit maître (communément désigné par le vocable anglais master) sont copiés dans un moule secondaire qui sera à son tour imprimé dans la résine à structurer. Le moule secondaire peut être utilisé une ou plusieurs fois selon les technologies. Ce procédé est devenu la référence des solutions industrielles car il limite le risque d’endommagement, voire de casse du moule maître. Procédé thermique ou UV Le choix d’un procédé mettant en œuvre une étape de solidification de la résine par un moyen thermique ou UV, dépend de la nature de la résine à structurer. Les procédés thermiques sont généralement utilisés pour la mise en forme des résines thermoplastiques non liquide à température ambiante, ou pour réticuler des résines thermodurcissables. Les procédés UV sont généralement utilisés pour réticuler les résines photosensibles. La combinaison de ces deux types de procédés est possible pour les résines hybrides pouvant demander une photo et une thermo-activation. Rigidité des moules et du substrat Les moules et/ou le substrat peuvent être rigides, c’est-à-dire être peu déformables peu sous l’action de leur propre poids pour des épaisseurs de quelques centaines de micromètres et avoir un module d’Young supérieur à 10 GPa (par exemple en étant à base de silicium ou d’aluminium). Les moules notamment peuvent être souples, c’est-à-dire être déformable de façon macroscopique sous l’action de leur propre poids pour des épaisseurs allant jusque quelques centaines de micromètres et avoir un module d’Young inférieur à 10 GPa (par exemple en étant à base de polyéthylène téréphtalate PET, polycarbonate PC, etc.). Quelle que soit la technique employée, la nano-impression implique des déplacements et/ou écoulement de résine lors du transfert de motif, afin que les espaces libres entre les motifs du moule soient remplis par la résine. En pratique l’homme du métier choisit la quantité de résine initiale de façon à laisser une épaisseur résiduelle 30 sous les motifs 31a, 31b, tel qu’illustré par exemple sur la . Ce remplissage par la résine implique que la quantité de résine nécessaire dépend de la densité de motifs si la hauteur de ces derniers est constante. De ce fait, si la densité des motifs varie en fonction des endroits sur un moule, alors les volumes de résine pour les remplir et obtenir une épaisseur résiduelle homogène seront différents, ou bien, à volume initial équivalent de résine, l’épaisseur résiduelle de résine ne sera pas homogène dans la couche de résine imprimée, comme illustré sous les motifs 31a et 31b en . C’est en particulier le cas pour les technologies qui utilisent du dépôt à la tournette (généralement désigné par le terme anglais spin- coatin g) pour l’étalement de résine, suite auquel l’épaisseur de résine est sensiblement constante en tout point de la surface du substrat avant l’impression. La variation de l’épaisseur résiduelle induit des limitations pour la gravure des motifs 31a, 31b dans le substrat 3. En effet, cette gravure comprend généralement une étape préliminaire de retrait de l’épaisseur résiduelle 30 de résine par un procédé anisotrope. Le retrait complet de cette épaisseur résiduelle 30 intervient généralement d’abord dans les motifs 31a les moins denses, comme illustré par la , puis dans les motifs 31b les plus denses, comme illustré par la . Cela entraine un risque de perte des dimensions critiques des motifs par rapport aux motifs du moule, et une diminution importante de la quantité de résine pouvant être ensuite consommée lors de la gravure du motif. Pour éviter cela, des solutions consistent à adapter la hauteur des motifs sur le moule en fonction de la densité des motifs, pour obtenir une épaisseur résiduelle de résine sensiblement homogène. Pour cela, une première solution consiste à séparer les motifs à réaliser en ensembles de motifs, chaque ensemble présentant des motifs avec une densité moyenne donnée, les ensembles entre eux présentant des densités de motifs différentes. Un moule par ensemble est alors réalisé et les étapes de copie du master et de dépôt de la résine sont effectuées successivement par ensemble de motifs, de façon à avoir une épaisseur résiduelle homogène entre les différents ensemble. Une deuxième solution consiste à fabriquer un master présentant différentes hauteurs de motifs correspondant aux différentes densités. Sur le master à fabriquer, on sépare les motifs à réaliser en ensembles de motifs, chaque ensemble présentant des motifs avec une densité moyenne donnée, les ensembles entre eux présentant des densités de motifs différentes. Les différents ensembles de motifs du moule sont fabriqués par application d’un masque puis lithographie successivement pour chaque ensemble, de sorte que chaque ensemble présente la hauteur de motif appropriée. Quelle que soit la solution ci-dessus, ces solutions demandent de nombreuses étapes et sont complexes à mettre en œuvre. Notamment, ces solutions présentent de fortes contraintes en termes d’alignement des différents ensembles de motifs au cours des étapes successives de fabrication. Pour l’alignement de ces ensembles, les équipements actuels permettent de façon générale une résolution latérale comprise entre 2 et 10 µm. Une résolution inférieure à 100 nm, et de préférence de l’ordre de 10 nm serait à avoir pour permettre un alignement fiable et reproductible. Il existe donc un besoin consistant à proposer une solution pour améliorer la fabrication d’un moule pour la nano-impression, permettant de contrôler l’épaisseur résiduelle de résine. Les autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront à l'examen de la description suivante et des dessins d'accompagnement. Il est entendu que d'autres avantages peuvent être incorporés. RESUME Pour atteindre cet objectif, selon un mode de réalisation on prévoit un procédé de fabrication d’un moule pour nano-impression comprenant une fourniture d’un substrat comprenant une couche présentant une face supérieure et une face inférieure opposée à la face supérieure. Le procédé comprend en outre au moins une implantation ionique dans au moins une portion de la couche, l’implantation ionique étant configurée de façon à obtenir au sein de la couche au moins une première portion non implantée ou présentant une première implantation, et au moins une deuxième portion présentant une deuxième implantation, la première implantation et la deuxième implantation étant différentes, les première et deuxième portions s’étendant chacune depuis ladite face supérieure, l’implantation ionique définissant en outre une troisième portion non implantée, s’étendant au moins depuis la première portion, et de préférence depuis les première et deuxième portions, jusqu’à la face inférieure de la couche. Après ou avant l’implantation, le procédé comprend la réalisation un masque dit de gravure surmontant la face supérieure et présentant une pluralité d’ouvertures. Après l’implantation, le procédé comprend une gravure de la couche configurée de façon à présenter une vitesse de gravure différente au moins entre la deuxième portion et la troisième portion, de préférence entre les première et deuxième portions et la troisième portion, de façon à graver à travers les ouvertures du masque de gravure une pluralité de motifs de différentes hauteurs dans la couche, au moins un motif s’étendant dans la première portion et au moins un motif s’étendant dans la deuxième portion. L’implantation ionique permet de modifier les propriétés de gravure de la deuxième portion, le cas échéant de la première portion, par l’implantation d’ions dans la couche. Ainsi, lors de la gravure des motifs dans chacune de ces portions, la vitesse de gravure différant entre les portions implantées et non implantées, éventuellement entre portions implantées de différente nature, des motifs de hauteurs différentes sont obtenues pour une même étape de gravure, par exemple pour un même temps de gravure. Il n’est dès lors plus nécessaire de réaliser successivement les motifs pour chaque hauteur de motif. Les contraintes d’alignements sont dès lors minimisées, et de préférence évitées. Le procédé de fabrication du moule est par conséquent simplifié. Le coût de fabrication du moule est réduit. En outre, le procédé de fabrication est fiabilisé, puisque les contraintes liées à l’alignement entre différents motifs de hauteurs différentes sont relâchées. Selon un exemple, la première implantation et la deuxième implantation diffèrent par au moins un paramètre parmi : une profondeur d’implantation, une nature des ions implantés, une dose en ions implantées. Ainsi, les première et deuxième portions diffèrent par l’un de ces paramètres, modifiant la vitesse de gravure entre ces portions. Un autre aspect concerne un moule pour nano-impression comprenant un substrat comprenant une couche présentant une face supérieure et une face inférieure opposée à la face supérieure et une pluralité de motifs s’étendant depuis la face supérieure, la couche étant destinée à pénétrer dans une couche à imprimer pour y transférer les motifs, au moins un motif présentant une hauteur différente d’un autre motif. Avantageusement, la couche comprend au moins une première portion non implantée ou présentant une première implantation, et au moins une deuxième portion présentant une deuxième implantation, la première implantation et la deuxième implantation étant différentes, les première et deuxième portions s’étendant chacune depuis ladite face supérieure, et une troisième portion non implantée s’étendant au moins depuis la première portion, et de préférence depuis les première et deuxième portions, jusqu’à la face inférieure de la couche. Le moule présente ainsi les avantages du procédé de fabrication selon le premier aspect. Notamment, les motifs de différentes hauteurs portés par la couche sont fiabilisés par rapport aux motifs que l’on souhaite obtenir par nano-impression. Les alignements entre les motifs de différentes hauteurs sont en effet facilités grâce au procédé de fabrication. Au final, par rapport aux solutions connues, le moule proposé permet de réduire les imprécisions d’alignement et améliore la précision globale de l’impression réalisée. Le moule permet donc de simplifier la nano-impression en évitant de multiples étapes d’impression sur le substrat à imprimer, et de fiabiliser la nano-impression par rapport aux solutions existantes mettant en œuvre un moule présentant des motifs de hauteurs différentes. En outre, le coût du moule est réduit par rapport à ces solutions. Selon un exemple le moule est un moule dit maître, destiné à servir à la réalisation de moules secondaires. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES Les buts, objets, ainsi que les caractéristiques et avantages de l’invention ressortiront mieux de la description détaillée d’un mode de réalisation de cette dernière qui est illustré par les dessins d’accompagnement suivants dans lesquels : Les figures 1A et 1C représentent des étapes de transfert de motifs et de gravure pour éliminer l’épaisseur résiduelle de résine après transfert, selon une solution de l’état de la technique existant. Les figures 2A et 2B représentent une vue en coupe transversale du substrat comprenant un masque d’implantation présentant une première épaisseur E 1 et une deuxième épaisseur E 2 selon deux exemples de réalisation du procédé. Les figures 3A et 3B représentent une vue en coupe transversale du substrat respectivement illustré par les figures 2A et 2B, après une implantation ionique selon un exemple de réalisation du procédé. La représente une vue en coupe transversale du substrat illustré par la , après une implantation ionique selon un autre exemple de réalisation du procédé que celui illustré par les figures 3A et 3B. Les figures 4A à 4C représentent une vue en coupe transversale du substrat illustré par la , lors des étapes de gravure des motifs selon un exemple de réalisation du procédé. Les figures 5A à 5C représentent une vue en coupe transversale du substrat illustré par la , lors des étapes de gravure des motifs selon un exemple de réalisation du procédé. Les figures 6A et 6B représentent une vue en coupe transversale du substrat après une implantation ionique localisée, selon deux autres exemples de réalisation du procédé. Les figures 6C et 6D représentent une vue en coupe transversale du substrat illustré par l’une quelconque des figures 6A et 6B, lors des étapes de gravure des motifs selon un exemple de réalisation du procédé. Les figures 7A et 7B représentent des diagrammes d’implantation d’ions respectivement dans la silice SiO 2 et dans une photorésine. Les dessins sont donnés à titre d'exemples et ne sont pas limitatifs de l’invention. Ils constituent des représentations schématiques de principe destinées à faciliter la compréhension de l’invention et ne sont pas nécessairement à l'échelle des applications pratiques. En particulier les dimensions relatives des masques, des couches, des portions de couches et des motifs et ouvertures ne sont pas représentatives de la réalité. Procédé de fabrication d’un moule (1) pour nano-impression comprenant : une fourniture d’un substrat (10) comprenant une couche (11) présentant une face supérieure (110) et une face inférieure (115) opposée à la face supérieure (110), au moins une implantation ionique dans au moins une portion de la couche (11), l’implantation ionique étant configurée de façon à obtenir au sein de la couche (11) au moins une première portion (111) non implantée ou présentant une première implantation, et au moins une deuxième portion (112) présentant une deuxième implantation, la première implantation et la deuxième implantation étant différentes, les première (111) et deuxième (112) portions s’étendant chacune depuis ladite face supérieure (110), l’implantation ionique définissant en outre une troisième portion (113) non implantée, s’étendant au moins depuis la première portion (111), jusqu’à la face inférieure (115) de la couche (10), après ou avant l’implantation, la réalisation d’un masque, dit de gravure (13), surmontant la face supérieure (110) et présentant une pluralité d’ouvertures (130a, 130b), après l’implantation, une gravure de la couche (10) configurée de façon à présenter une vitesse de gravure différente au moins entre la deuxième portion (112) et la troisième portion (113), de façon à graver à travers les ouvertures (130a, 130b) du masque de gravure (13) une pluralité de motifs (114a, 114b) de différentes hauteurs dans la couche, au moins un motif (114a) s’étendant dans la première portion (111) et au moins un motif (114b) s’étendant dans la deuxième portion (112). Procédé selon la revendication précédente, dans lequel la première implantation et la deuxième implantation diffèrent par au moins un paramètre parmi : une profondeur d’implantation, une nature des ions implantés, une dose en ions implantées. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la gravure est configurée pour graver dans la première portion (111) un premier ensemble de motifs (114a) et pour graver dans la deuxième portion (112) un deuxième ensemble de motifs (114b) : le premier ensemble de motifs (114a) présentant une première densité D 1 de motifs et une première hauteur H 1 , le deuxième ensemble de motifs (114b) présentant une deuxième densité D 2 de motifs, et une deuxième hauteur H 2 , et dans lequel D 2 >D 1 et/ou H 2 >H 1 . Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes dans lequel la gravure est configurée de sorte que la vitesse de gravure au moins de la deuxième portion (112), est supérieure à la vitesse de gravure de la troisième portion non-implantée (113). Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes dans lequel, préalablement à l’implantation ionique, le procédé comprend la réalisation d’un masque (12) dit d’implantation sur au moins une portion (110a) de la face supérieure (110) de la couche (11), et l’implantation ionique est au moins en partie réalisée à travers le masque d’implantation (12) de sorte que la première portion implantée (111) présente une première profondeur d’implantation P 1 et la deuxième portion implantée (112) présente une deuxième profondeur d’implantation P 2 , avec P 2 strictement supérieure à P 1 et P 1 nulle ou supérieure à 0. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel le masque d’implantation (12) est configuré de sorte à présenter un gradient d’épaisseur entre au moins une première épaisseur E 1 et une deuxième épaisseur E 2 , avec E 1 strictement supérieure à E 2 et E 2 nulle ou supérieure à 0. Procédé selon l’une quelconque des deux revendications précédentes, dans lequel l’implantation ionique est configurée de sorte qu’au moins la deuxième profondeur d’implantation P 2 est supérieure à 30 nm. Procédé selon l’une quelconque des revendications 5 et 6, dans lequel l’implantation ionique est configurée de sorte que les première P 1 et deuxième P 2 profondeurs d’implantation sont inférieures ou égale à 30 nm, de préférence inférieure ou égale à 10 nm. Procédé selon l’une quelconque des quatre revendications précédentes, dans lequel le masque d’implantation (12) est configuré de sorte que les première (111) et deuxième (112) portions sont espacées, selon une direction parallèle à un plan d’extension principale de la face supérieure (110) de la couche (11), d’une distance (L 0 ) inférieure à la plus petite distance (L 1 ) séparant deux motifs (114a, 114b) adjacents de différentes hauteurs. Procédé selon l’une quelconque des cinq revendications précédentes, dans lequel le masque d’implantation (12) est configuré de sorte que les première (111) et deuxième (112) portions sont séparées par une portion intermédiaire (116) dans laquelle la profondeur d’implantation varie. Procédé selon l’une quelconque des revendications 5 à 9, dans lequel le masque d’implantation (12) est configuré de sorte que les première (111) et deuxième (112) portions sont directement adjacentes. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel, préalablement à la gravure, le procédé comprend plusieurs implantations ioniques de façon à implanter une pluralité de premières portions (111) et une pluralité de deuxièmes portions (112), les implantations ioniques étant configurées entre elles de sorte que : les premières portions (111) diffèrent des deuxième portions (112) par au moins un paramètres pris parmi : une nature des ions implantés, une dose en ions implantés, et/ou les première et deuxième portions (111, 112) présentent des profondeurs d’implantation P 1 , P 2 différentes entre les premières portions (111) et les deuxièmes portions (112). Procédé selon la revendication précédente, dans lequel les implantations ioniques sont effectuées à travers le masque de gravure (13) de sorte que chacune des premières et deuxièmes portions implantées (111, 112) s’étend au droit des ouvertures (130a, 130b) du masque de gravure (13). Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 7 et 9 à 13, dans lequel la gravure est configurée pour graver sélectivement chaque portion implantée (111, 112) par rapport à la troisième portion non implantée (113). Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 7 et 9 à 14, dans lequel la gravure est stoppée après avoir consommée toute l’épaisseur de la deuxième portion (112) située au droit des ouvertures (130b) du masque de gravure (13). Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’implantation ionique est configurée pour implanter au moins l’un parmi les ions oxygène, hydrogène, hélium, arsenic, phosphore et carbone, dans la couche (11). Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la couche (11) est à base d’au moins un parmi le silicium ou un matériau transparent à la longueur d’onde de 365 nm. Moule (1) pour nano-impression comprenant : un substrat (10) comprenant une couche (11) présentant une face supérieure (110) et une face inférieure (115) opposée à la face supérieure (110) et plusieurs motifs (114a, 114b) s’étendant depuis la face supérieure (110), la couche (11) étant destinée à pénétrer dans une couche à imprimer pour y transférer les motifs (114a, 114b), au moins l’un des motifs (114a) présentant une hauteur différente d’un autre motif (114b), caractérisé en ce que la couche (11) comprend au moins une première portion (111) non implantée ou présentant une première implantation, et au moins une deuxième portion (112) présentant une deuxième implantation, la première implantation et la deuxième implantation étant différentes, les première (111) et deuxième (112) portions s’étendant chacune depuis ladite face supérieure (110), et une troisième portion (113) non implantée, s’étendant au moins depuis la première portion (111), jusqu’à la face inférieure (115) de la couche (10). Moule (1) selon la revendication précédente, dans laquelle le moule est un moule dit maître, destiné à servir à la réalisation de moules secondaires pour nano-impression. Moule (1) selon l’une quelconque des deux revendications précédentes, dans lequel la première portion implantée (111) présente une première profondeur d’implantation P 1 et la deuxième portion implantée (112) présente une deuxième profondeur d’implantation P 2 , avec P 2 strictement supérieure à P 1 et P 1 nulle ou supérieure à 0. Moule (1) selon la revendication précédente, dans lequel les première (111) et deuxième (112) portions sont espacées, selon une direction parallèle au plan d’extension principale de la face supérieure (110) de la couche (11), d’une distance (L 0 ) inférieure à la plus petite distance (L 1 ) séparant deux motifs (114a, 114b) adjacents de différentes hauteurs.