FR 3116630 A1 20220527 FR 2012213 A 20201126 Interface haptique Interface haptique de type à distance (« mid-air »), comportant : un circuit de commande (3), une pluralité de transducteurs ultrasonores (2) reliés audit circuit, dont un premier ensemble (25) de transducteurs émettant à une première fréquence porteuse ultrasonore et au moins un deuxième ensemble (26) de transducteurs émettant à une seconde fréquence porteuse ultrasonore différente de la première ; le circuit de commande étant configuré pour moduler les signaux (30) envoyés aux transducteurs (2) afin de : générer avec les ondes ultrasonores émises par au moins une partie des transducteurs du premier ensemble une pression acoustique détectable tactilement en au moins une première zone focale (10), et générer avec les ondes ultrasonores émises par au moins une partie des transducteurs du deuxième ensemble une pression acoustique détectable tactilement en au moins une seconde zone focale (11). Figure pour l’abrégé : Fig. 1 Interface haptique La présente invention concerne les interfaces homme-machine, et plus particulièrement celles utilisant des effets haptiques. Une interface haptique permet à l’utilisateur d’interagir avec l’environnement par le sens du toucher. L’effet haptique est aujourd’hui de plus en plus utilisé dans de nombreuses applications, notamment pour des dispositifs de réalité virtuelle ou augmentée. Il est connu d’utiliser une matrice de transducteurs ultrasonores excités à une fréquence supérieure à 20kHz, dit fréquence porteuse, pour générer une pluralité d’ondes ultrasonores lesquelles, non audibles, sont focalisées en jouant sur le déphasage des porteuses en une zone de l’espace prédéfinie, pour générer une pression acoustique. Cette dernière est perceptible au toucher grâce à une modulation basse fréquence de l’amplitude des porteuses. Cette technologie générant un effet à distance permet par exemple une meilleure immersion dans les jeux vidéo, notamment via l’adjonction d’effets haptiques lors de l’utilisation de lunettes de réalité virtuelle (VR), réalité augmentée (AR) ou réalité mixte (MR). Elle peut également s’appliquer à la fonctionnalisation de tableaux de bord, notamment automobiles, en permettant au conducteur d’obtenir une information tactile tout en gardant son attention sur la route. La demande US20180181203A1 divulgue une interface haptique permettant de générer un effet haptique sur la main d’un utilisateur grâce à une matrice de transducteurs ultrasonores dont les fréquences porteuses sont identiques, mais dont les fréquences de modulation basse fréquence sont différentes, afin de solliciter des récepteurs tactiles différents sensibles à des fréquences d’excitation différentes et créer ainsi un effet haptique multipoint. La demande FR3092680A1 décrit un dispositif de réalité virtuelle comportant une monture destinée à être portée sur la tête d’un utilisateur et comportant une pluralité de transducteurs identiques de type piézoélectrique micro-usiné (PMUT) générant un effet haptique sur la main de l’utilisateur. Les interfaces haptiques existantes utilisent des matrices de transducteurs identiques émettant à une même fréquence porteuse. Il est relativement difficile de complexifier les effets haptiques obtenus avec de tels transducteurs. Il existe par conséquent un besoin pour perfectionner encore les interfaces haptiques de type « à distance » (en anglais / « mid-air »), notamment afin de disposer d’une interface permettant de générer plus facilement des effets haptiques variés et relativement complexes, si cela est souhaité. L’invention vise à répondre à ce besoin et elle y parvient, selon un premier de ses aspects, grâce à une interface haptique de type « mid-air », comportant : un circuit de commande, une pluralité de transducteurs ultrasonores reliés audit circuit, dont un premier ensemble de transducteurs émettant à une première fréquence porteuse ultrasonore et au moins un deuxième ensemble de transducteurs émettant à une seconde fréquence porteuse ultrasonore différente de la première ; le circuit de commande étant configuré pour moduler les signaux envoyés aux transducteurs, afin de : générer avec les ondes ultrasonores émises par au moins une partie des transducteurs du premier ensemble une pression acoustique détectable tactilement en au moins une première zone focale, et générer avec les ondes ultrasonores émises par au moins une partie des transducteurs du deuxième ensemble une pression acoustique détectable tactilement en au moins une seconde zone focale. Par « zone focale », parfois encore appelée « point focal », on désigne la zone où les ondes ultrasonores sont concentrées et génèrent une pression acoustique détectable. Cette zone focale peut être une région de l’espace plus ou moins étendue, selon le but poursuivi. L’invention simplifie la création d’effets haptiques complexes puisque de par sa construction l’interface permet de générer des effets en des zones situées à des distances différentes et/ou d’étendue différentes, en raison des fréquences de porteuse différentes. Le circuit de commande est de préférence configuré de façon à calculer des déphasages à introduire dans les porteuses des différentes ondes ultrasonores émises par les transducteurs actionnés, et à générer ces déphasages de façon à concentrer les ondes ultrasonores émises en des zones focales prédéfinies. Le circuit de commande peut recevoir des données d’un équipement définissant le(s) effet(s) haptique(s) à générer, en fonction par exemple de la position de la main de la personne à laquelle cet effet est destiné, relativement aux transducteurs. Le circuit de commande peut être configuré de manière à déterminer quels transducteurs actionner et les signaux à envoyer avec ceux-ci selon le(s) effet(s) haptique(s) désiré(s). De préférence, la première zone focale est différente de la seconde. Les zones focales peuvent être localisées à des endroits différents dans l’espace et/ou être de tailles différentes. De préférence, les première et deuxième fréquences de porteuse sont séparées d’au moins 10kHz, mieux d’au moins 20kHz, encore mieux d’au moins 30kHz, ce qui permet d’obtenir des effets haptiques relativement éloignés l’un de l’autre ou d’étendues nettement différentes sans avoir à moduler la puissance des transducteurs. Les transducteurs peuvent être agencés pour fonctionner à des porteuses différentes de plusieurs façons. Pour un transducteur donné, la fréquence de la porteuse peut correspondre à la fréquence de résonnance du transducteur. On peut jouer par exemple sur la taille des transducteurs ou sur les matériaux employés, ces deux paramètres ayant une action sur la fréquence de résonance. Par exemple, les transducteurs du premier ensemble et ceux du deuxième ensemble ont des membranes actives de tailles différentes, de préférence réalisées de manière identique, notamment avec le ou les mêmes matériaux. Cela simplifie la réalisation des transducteurs, en permettant si on le souhaite de réaliser simultanément, par exemple sur un même support, une pluralité de transducteurs dont certains avec une taille de membrane donnée et d’autres avec une taille différente. Les transducteurs ayant la membrane active la plus grande peuvent émettre à la fréquence de porteuse la plus basse. Les transducteurs du premier ensemble et ceux du deuxième ensemble peuvent être modulés en amplitude à une basse fréquence identique, ou en variante à des fréquences différentes. La basse fréquence de modulation des porteuses est de préférence comprise entre 10 Hz et 5kHz, mieux entre 50Hz et 500Hz. Les transducteurs du premier ensemble peuvent être regroupés de diverses façons, notamment selon un ou plusieurs sous-ensembles, de même que ceux du deuxième ensemble, en fonction des effets que l’on cherche à générer. De préférence, les transducteurs des premier et deuxième ensembles sont portés par un même support, ayant tous une de leurs extrémités située dans un même plan par exemple. Ce support peut être rigide ou flexible, et prendre par exemple des configurations variées, notamment concave ou convexe, en fonction des effets recherchés. L’interface peut comporter au moins un troisième ensemble de transducteurs émettant à une fréquence de porteuse ultrasonore différente de celles des premier et deuxième ensembles. L’interface n’est pas limitée à un nombre particulier d’ensembles et peut comporter plus de trois ensembles, chaque ensemble ayant de préférence une fréquence porteuse différente de celle de chacun des autres ensembles. Dans un exemple, les ensembles de transducteurs sont disposés suivant une répartition généralement imbriquée par ordre de hauteur de fréquence de porteuse. Par exemple, les transducteurs sont disposés selon un agencement généralement concentrique par ordre de taille des membranes actives, l’ensemble présentant la plus petite membrane active étant par exemple situé au centre. D’autres agencements sont possibles, par exemple une alternance d’ensembles de transducteurs de fréquences de porteuse différentes dans une ou deux directions, ou des ensembles de transducteurs situés à des niveaux différents, ou pointant dans des directions différentes. De préférence, l’interface comprend un système de détection configuré pour détecter la position, relativement aux transducteurs, d’au moins une zone à stimuler tactilement, le circuit de commande étant agencé pour contrôler les transducteurs et notamment la position des première et deuxième zones focales en fonction de la position de la zone de l’utilisateur ainsi détectée. Le système de détection peut utiliser pour cette détection au moins une partie des transducteurs ultrasonores, en analysant le signal retour réfléchi sur l’utilisateur, à la manière d’un sonar. Le système de détection peut aussi utiliser tout autre système, par exemple optique ou capacitif, adapté à cette détection. Le système de détection peut être utilisé, le cas échéant, pour permettre à l’interface de passer d’un état de veille à un état actif, ou inversement. Chaque transducteur peut être de tout type, piézoélectrique, ferroélectrique, électromagnétique, thermique, ces matériaux pouvant être déposés en couches minces ou mis en forme à partir de matériaux piézoélectriques céramiques. De préférence, le transducteur est de type piézoélectrique micro-usiné (PMUT), ce type de transducteur convenant à la réalisation simultanée d’un grand nombre de transducteurs. Les transducteurs émettent par exemple dans une gamme de fréquence porteuse 20 kHz-150 kHz, et plus généralement toute gamme de fréquence supérieure à la gamme audible. L’invention a encore pour objet un procédé pour générer au moins une perception tactile « mid air » sur un utilisateur en utilisant une interface selon l’invention, telle que définie plus haut, ce procédé comportant l’étape consistant à : Moduler grâce à un circuit de commande les signaux de commande envoyés aux transducteurs afin de : générer avec les ondes ultrasonores émises par au moins une partie des transducteurs du premier ensemble une pression acoustique détectable tactilement en au moins une première zone focale, et générer avec les ondes ultrasonores émises par au moins une partie des transducteurs du deuxième ensemble une pression acoustique détectable tactilement en au moins une seconde zone focale. Le procédé peut comporter l’étape consistant à détecter la présence de l’utilisateur grâce à un système de détection et identifier l’emplacement où la perception tactile doit être générée. Selon l’effet recherché, les pressions acoustiques détectables tactilement peuvent être générées simultanément à la première zone focale et à la seconde zone focale. Elles peuvent aussi être générées successivement à la première zone focale et à la seconde zone focale. Dans un exemple, une perception tactile d’une première surface est générée à la première zone focale et une perception tactile d’une deuxième surface est générée à la deuxième zone focale, de telle sorte que la perception de la deuxième surface donne l’impression à l’utilisateur qu’elle est plus petite que la première surface. Dans d’autres modes de réalisation, une perception tactile d’une première surface est générée à la première zone focale et une perception tactile d’une deuxième surface est générée à la deuxième zone focale, de telle sorte que la perception de la deuxième surface donne l’impression à l’utilisateur qu’elle se situe plus loin que la première surface. L’invention a encore pour objet un procédé de fabrication de matrices de transducteurs de type PMUT, utilisées dans une interface selon l’invention telle que définie plus haut, comportant les étapes consistant à : Déposer au moins une première couche d’un matériau pour former les membranes des transducteurs sur la face supérieure d’un support, de préférence rigide, le support étant par exemple à base de silicium, déposer au moins un empilement piézoélectrique sur ladite au moins une première couche de formation des membranes, basé notamment sur la succession de dépôt et gravure de matériaux d’électrode et de matériau piézoélectrique, former une pluralité de transducteurs sur le support par masquage et gravure des couches précédemment déposées, découper le support par masquage et gravure afin d’exposer la face inférieure de la membrane de chaque transducteur, et connecter électriquement chaque transducteur au circuit de commande, notamment grâce à des connecteurs flexibles ou des connecteurs traversant le support. De préférence, au moins les premier et deuxième ensembles de transducteurs sont ainsi réalisés sur le même support. L’invention pourra être mieux comprise à la lecture de la description détaillée qui va suivre, d’exemples de mise en œuvre non limitatifs de celle-ci, et à l’examen du dessin annexé, sur lequel : la représente de manière partielle et schématique un exemple d’interface haptique de type « mid air » selon l’invention, la illustre de manière schématique le principe de focalisation des ondes ultrasonores en jouant sur le déphasage, la est une vue de dessus, partielle et schématique, d’un exemple de transducteur ultrasonore, la représente de manière partielle et schématique un exemple de réalisation d’une matrice de transducteurs comportant des transducteurs de tailles différentes, la représente de manière partielle et schématique un exemple de réalisation d’un ensemble de matrices de transducteurs, la représente de manière partielle et schématique un autre exemple de réalisation d’un ensemble de matrices de transducteurs, la représente de manière partielle et schématique un autre exemple de réalisation d’un ensemble de matrices de transducteurs, la illustre de manière partielle et schématique une matrice de transducteurs de tailles différentes pouvant générer des sensations tactiles variées, la illustre de manière partielle et schématique la possibilité de générer des sensations tactiles variées à partir d’une matrice de transducteurs de tailles différentes, la illustre de manière partielle et schématique la possibilité de générer d’autres sensations tactiles variées à partir d’une matrice de transducteurs de tailles différentes, la est une coupe partielle et schématique d’un exemple de réalisation d’un transducteur ultrasonore de type PMUT, la est un schéma en blocs illustrant des étapes d’un exemple de procédé de fabrication d’une pluralité de transducteurs ultrasonores de type PMUT, la est une coupe partielle et schématique illustrant la deuxième étape de la , la est une coupe partielle et schématique de la pluralité de transducteurs de type PMUT après la troisième étape de la , la est une coupe partielle et schématique de la pluralité de transducteurs de type PMUT de la avant le découpage par matrice, la est une coupe partielle et schématique illustrant un exemple de connexion électrique du transducteur de la , et la est un schéma en blocs illustrant un exemple de fonctionnement de l’interface haptique selon l’invention. Description détaillée On a illustré schématiquement à la un exemple d’interface haptique 1 selon l’invention. L’interface 1 comprend une pluralité de transducteurs ultrasonores 2, par exemple portés par un même support 4, et un circuit de commande 3. La pluralité de transducteurs 2 comporte un premier ensemble 25 de transducteurs émettant à une première fréquence porteuse ultrasonore et un deuxième ensemble 26 de transducteurs émettant à une seconde fréquence porteuse ultrasonore, différente de la première. Le circuit de commande 3 est configuré pour moduler les signaux 30 envoyés aux transducteurs 2 afin de générer avec les ondes ultrasonores émises par le premier ensemble de transducteurs une pression acoustique détectable tactilement sur une surface S, définie par exemple par la paume et/ou les doigts d’une main, en une première zone focale 10, et avec les ondes ultrasonores émises par le second ensemble de transducteurs une pression acoustique détectable tactilement par la surface S en une seconde zone focale 11. Chaque zone focale présente des caractéristiques spatiales dépendant notamment de la fréquence de porteuse de l’ensemble de transducteurs à l’origine de la pression acoustique correspondante. Les zones focales 10 et 11 peuvent être localisées à des endroits distincts de la surface S ou se recouper au moins partiellement. Elles peuvent être de tailles différentes ou non. Dans l’exemple considéré, l’interface 1 comporte en outre un système de détection 5 configuré pour détecter la position de la surface S à stimuler tactilement et transmettre des données de localisation correspondantes 50 au circuit de commande 3. L’interface 1 est dite de type « mid-air » car la surface S à stimuler tactilement se situe à distance des transducteurs 2, et les zones focales 10 et 11 se situent dans l’air à distance des transducteurs, étant visuellement invisibles par l’utilisateur. Les pressions acoustiques détectables tactilement sont générées suivant un principe dit de « focalisation électronique acoustique », connu de l’art antérieur et illustré de manière schématique à la . Pour concentrer les ondes ultrasonores 20 émises par les transducteurs 2 d’un même ensemble de transducteurs en une zone focale 10 prédéfinie, le circuit de commande 3 envoie de façon connue en soi aux transducteurs 2 des signaux alternatifs complexes 30 afin d’introduire des déphasages entre les différentes ondes ultrasonores émises par les transducteurs 2 actionnés, générant ainsi la forme de front d’onde voulue, cette forme de front d’onde résultant en une augmentation de la pression acoustique dans la zone focale 10. On a représenté à la un exemple de transducteur 2 porté par un support 4. Le transducteur 2 comporte par exemple un actionneur piézolélectrique 21 et une membrane active 22 mise en vibration par l’actionneur 21. Dans l’exemple considéré, la membrane active 22 est de forme circulaire. Dans d’autres modes de réalisation, la membrane active 22 est de forme non circulaire, par exemple polygonale, notamment carrée, rectangle, ou tout autre forme appropriée, 2D ou 3D, la membrane pouvant être de forme convexe ou concave. Le rayon de l’actionneur piézoélectrique 21 est par exemple de l’ordre de 50% du rayon de la membrane active 21, ce ratio étant avantageux pour une bonne déformation de la membrane, comme décrit dans l’article de Casset, F., et al. "Piezoelectric membrane actuator design." (2011 12th Intl. Conf. on Thermal, Mechanical & Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems. IEEE, 2011). Au sein de chaque ensemble de transducteurs, ces derniers sont identiques et émettent par conséquent à la même fréquence de porteuse. D’un ensemble à l’autre, les transducteurs 2 diffèrent par exemple dans leur dimension, chaque dimension correspondant à une fréquence de porteuse respective. La membrane active 22 des transducteurs 2 varie par exemple en épaisseur et/ou en rayon, de préférence en rayon, d’un ensemble à l’autre. Les transducteurs des différents ensembles de l’interface selon l’invention peuvent être disposés au sein d’une ou plusieurs matrices 40. Par « matrice », on désigne une structure d’un seul tenant portant plusieurs transducteurs, identiques ou non. Une matrice peut comporter des transducteurs qui ont été réalisés simultanément, comme détaillé plus loin. On a représenté à la une matrice 40 de transducteurs ultrasonores 2 comportant trois ensembles 25, 26 et 27 de transducteurs de tailles respectives différentes, les transducteurs 2 étant disposés sur le support 4 en suivant par exemple une répartition concentrique, comme illustré. Par exemple, l’ensemble 25 correspond à celui comportant les transducteurs 2 de plus petite taille, disposés au centre de la matrice, l’ensemble 26 à celui comportant les transducteurs 2 de taille intermédiaire, et l’ensemble 27 à celui comportant les transducteurs 2 de plus grande taille, répartis sur la périphérie de la matrice. Les membranes actives 22 des transducteurs 2 des ensembles 25, 26 et 27 présentent par exemple des rayons de 1000, 1600 et 2200 micromètres, respectivement. La fréquence de porteuse correspondant à une taille de membrane donnée peut être estimée grâce à l’équation suivante, issue de l’article de Nguyen, M. D., et al. "Optimized electrode coverage of membrane actuators based on epitaxial PZT thin films."(Smart materials and structures 22.8 (2013): 085013.): avec et le module de Young et le coefficient de Poisson de la membrane, respectivement, sa masse volumique moyenne, son épaisseur et son rayon. est la valeur propre de résonance de la membrane avec le mode de résonance. Dans l’exemple considéré, la fréquence de porteuse des transducteurs 2 des ensembles 25, 26 et 27 est ainsi approximativement de 107 kHz, 44kHz et 22kHz, respectivement. Suivant ces fréquences, l’effet haptique peut être généré à une distance de l’ordre de 10 cm à 1m. Les transducteurs de différents ensembles peuvent être disposés au sein d’une même matrice 40 de diverses façons, par exemple de manière généralement concentrique comme illustré à la , ou bien mélangés aléatoirement ou en respectant d’autres règles de disposition des transducteurs les uns relativement aux autres. Dans d’autres modes de réalisation, comme illustré par exemple aux figures 5a, 5b et 5c, les ensembles sont disposés sur des matrices respectives distinctes 40 qui sont par exemple regroupées, les matrices 40 étant par exemple assemblées selon un même plan. Les matrices 40 peuvent être de tailles et formes différentes, tel que sur la , ou de taille semblable telle que sur la . Les membranes 22 des transducteurs 2 de chaque matrice 40 peuvent différer en épaisseur, tel qu’illustré sur la , la fréquence de porteuse variant avec l’épaisseur. Le dimensionnement de la ou des matrices 40 de transducteurs 2 dépend du ou des effet(s) haptique(s) désiré(s). Il est possible d’estimer le nombre de transducteurs nécessaires à partir de la pression acoustique que l’on souhaite générer et de sa localisation. Par exemple, pour des transducteurs présentant un rayon de membrane active de l’ordre de 1000 micromètres, un effet haptique perceptible au doigt, correspondant à une pression acoustique de 198 Pa, peut être obtenu à une distance de 0.2m avec environ 550 transducteurs. Cette pression acoustique est la somme des pressions acoustiques unitaires générées par chaque transducteur. La pression acoustique unitaire générée par un transducteur peut être calculée à partir de la surface de sa membrane, de sa fréquence porteuse et de la distance à laquelle elle est générée, en utilisant l’équation de la pression acoustique issue d’un piston plan suivante : Avec la masse volumique moyenne de la membrane et l’amplitude de la vibration. Similairement au calcul précédent, il est possible de générer à la même distance de 0.2m un effet haptique perceptible au doigt, correspondant à une pression acoustique de 199 Pa, avec 700 transducteurs présentant un rayon de membrane de l’ordre de 1600 micromètres. Environ 900 transducteurs de rayon de membrane de 2200 micromètres peuvent être utilisés pour générer une pression acoustique du même ordre à une distance similaire. Il est possible d’obtenir simplement des effets haptiques qui seraient relativement complexes à obtenir autrement en utilisant les contributions acoustiques des transducteurs opérant aux différentes fréquences de porteuse. Ce principe est illustré sur les figures 6a, 6b et 6c. On utilise par exemple comme illustré à la une matrice 40 comportant trois ensembles 25, 26 et 27 de transducteurs disposés selon une répartition concentrique par ordre de taille, des plus petits transducteurs (ensemble 25) au centre aux plus grands transducteurs (ensemble 27) à la périphérie. L’utilisation des transducteurs de taille et donc de fréquence de porteuse variée permet de générer simultanément ou successivement des effets haptiques plus ou moins localisés, ou de complexifier un effet haptique en un point de l’espace. Par exemple, les transducteurs 2 de plus grande taille, c’est-à-dire émettant à la fréquence porteuse la plus basse (correspondant à l’ensemble 27 dans l’exemple considéré) peuvent être utilisés pour générer l’effet haptique le plus lointain et/ou la perception tactile d’un motif avec le moins de résolution, c’est-à-dire le plus gros. A l’inverse, les transducteurs 2 de plus petite taille, c’est-à-dire émettant à la fréquence porteuse la plus haute (correspondant à l’ensemble 25) peuvent être utilisés pour générer l’effet haptique le plus proche et/ou la perception d’un motif plus petit. Dans l’exemple illustré à la , les transducteurs de l’ensemble 27 génèrent par exemple une perception tactile 17 donnant l’impression à l’utilisateur de toucher le front d’un éléphant, tandis que les transducteurs de l’ensemble 25 génèrent une perception tactile 15 donnant l’impression à l’utilisateur de toucher une zone plus petite et plus anguleuse du même éléphant, par exemple la pointe de sa défense. Les transducteurs de l’ensemble 26, de taille intermédiaire, peuvent générer une perception tactile 16 donnant par exemple l’impression à l’utilisateur de toucher la trompe de l’éléphant. Dans un autre exemple, illustré à la , l’utilisateur peut avoir l’impression de tenir dans sa main un poussin P grâce à trois effets haptiques 15, 16 et 17 générés par les ensembles 25, 26 et 27, respectivement, et reproduisant virtuellement les perceptions tactiles du bec, de la tête et du corps du poussin, respectivement. On a représenté à la un exemple de réalisation d’un transducteur 2 de l’interface 1. Dans l’exemple considéré, le transducteur 2 est de type piézoélectrique micro-usiné (PMUT) et comprend, comme décrit précédemment, une membrane active 22 fixée sur un support rigide 4 et un actionneur piézoélectrique 21 disposé sur la membrane 22. Le support rigide 4 est par exemple en silicium. Une couche isolante 41, par exemple en oxyde de silicium, peut être ajoutée entre le support 4 et la membrane 22. La membrane 22 est fixée sur le support uniquement par sa périphérie, sa partie centrale étant libre de se courber. La membrane 22 est formée d’une ou plusieurs couches constitutives superposées et présente une épaisseur totale par exemple comprise entre 0.5 et 10 µm. Dans l’exemple considéré, la membrane 22 est composée de deux couches superposées 220 et 221. La couche inférieure 220 est par exemple en poly silicium et d’épaisseur 4 µm. La couche supérieure 221 est par exemple en oxyde de silicium et d’épaisseur 1,9 µm. L’actionneur piézoélectrique 21 comprend par exemple quatre couches superposées 210, 211, 212 et 213. La couche 210 est en contact avec la couche supérieure 221 de la membrane 22. La couche 210 est par exemple en platine et constitue l’électrode inférieure de l’actionneur 21. L’électrode supérieure de l’actionneur comprend dans cet exemple une couche 212, par exemple en ruthénium, et une couche conductrice 213, par exemple en or. La couche 211 qui se situe entre les deux électrodes est en matériau piézoélectrique ou ferroélectrique, par exemple de type titano-zirconate de plomb (PZT). Elle peut aussi être en nitrure d’aluminium (AIN), en oxyde de zinc (ZnO) ou tout autre matériau piézoélectrique ou ferroélectrique approprié. Pour obtenir le transducteur PMUT illustré à la , on peut mettre en œuvre un procédé de fabrication comprenant les étapes représentées à la , et permettant de réaliser simultanément un grand nombre de transducteurs. A l’étape 71, on dépose une ou plusieurs couche(s), par exemple en poly silicium et oxyde de silicium, sur la face supérieure d’un substrat rigide 4, afin de former les membranes actives 22 des transducteurs. Une couche isolante 41 peut être déposée entre le substrat 4 et la première couche de la membrane au préalable. A l’étape 72, on dépose successivement en couche mince les matériaux qui formeront les actionneurs piézoélectriques 21. On commence par exemple par déposer une couche de platine 210 pour former l’électrode inférieure, puis on la recouvre avec une couche 211 d’un matériau piézoélectrique de type PZT, qui est par la suite elle-même recouverte par une couche mince de ruthénium 212. A la fin de l’étape 72 et comme illustré à la , on obtient un empilement continu des couches précédemment décrites, à savoir de bas en haut : le support 4, la couche isolante 41, les couches 220 et 221 formant la membrane 22, et les couches 210, 211 et 212 formant l’actionneur piézoélectrique 21. On forme alors à l’étape 73, et comme illustré à la , la pluralité de transducteurs sur le support 4 par application d’un masque et par gravure des couches 210, 211 et 212 constituant l’actionneur piézo-électrique. Cette étape peut en outre comprendre l’application d’une couche isolante de passivation 214, par exemple en oxyde de silicium, et d’une couche conductrice 213, par exemple en or, sur au moins une partie de la couche 212. A l’étape 74, la face inférieure du support 4 et la couche isolante 41 sont découpées, par exemple via l’application d’un masque puis par gravure, de façon à exposer la face inférieure de la partie centrale de la membrane active 22 de chaque transducteur tel qu’illustré à la . On peut ainsi réaliser simultanément sur un même support une pluralité de transducteurs de manière simple. A l’étape 75, le support peut ensuite être découpé afin d’obtenir des matrices 40 de transducteurs de taille souhaitée. On peut jouer sur la taille et l’épaisseur des membranes pour obtenir des transducteurs de fréquences différentes. A l’étape 76, chaque transducteur est connecté électriquement à une électronique de pilotage grâce, par exemple, à des connexions traversantes 7. Pour connecter électriquement les transducteurs ainsi obtenus à leur électronique de pilotage, des connecteurs flexibles peuvent être reliés à chacun des transducteurs. Les matrices 40 ainsi obtenues peuvent ensuite être intégrées à un boîtier et les connecteurs flexibles reliés à l’électronique de pilotage. Alternativement et comme illustré à la , des connexions traversantes 7 peuvent être utilisées pour amener des contacts électriques sur la face inférieure du support 4. Les matrices 40 de transducteurs peuvent alors être directement intégrées sur l’électronique de pilotage. Lorsqu’une différence de tension est appliquée entre les électrodes 210 et 213, la couche piézoélectrique 211 peut se déformer sous l’action du champ électrique généré, induisant une déformation de la membrane active 22 et l’émission d’une onde acoustique. A l’inverse, le transducteur 2 ainsi connecté peut agir en récepteur d’onde acoustique, par exemple en tant que système de détection de la surface S sur laquelle l’effet haptique doit être généré. Dans ce cas, la réception d’une onde acoustique déforme le couche 211 et donc la membrane 22, entrainant une variation du champ électrique qui peut être traduite par un signal électrique sur les électrodes, mesuré grâce aux connexions électriques 7. Une interface haptique 1 selon l’invention, couplée avec un système de détection 5, peut fonctionner selon les étapes décrites à la . A l’étape 81, l’interface haptique est par exemple en veille, en l’absence d’un utilisateur dans le champ de détection du système de détection 5. A l’étape 82, le système de détection 5, par exemple réalisé avec une partie des transducteurs 2 ou avec n’importe quel autre système de détection adapté, par exemple optique, détecte la présence d’une surface S d’un utilisateur dans le champ de détection et localise l’endroit où doit être généré(s) le ou les effet(s) haptique(s). A l’étape 83, le circuit de commande 2 envoie les signaux de commande appropriés 30 pour actionner au moins une partie transducteurs 2 de façon à générer les effets haptiques désirés. A l’étape 84, les transducteurs émettent des ondes ultrasonores à des fréquences porteuses différentes, selon les ensembles actionnés, permettant de générer un ou plusieurs effets haptiques en une ou plusieurs zones focales, donnant par exemple l’impression à l’utilisateur de toucher des surfaces plus ou moins grosses, en mouvement et/ou présentant du relief. A l’étape 85, l’utilisateur se retire du champ de détection et l’interface 1 se remet en veille. Bien entendu, l’invention n’est pas limitée aux exemples qui viennent d’être décrits. Par exemple, les transducteurs ultrasonores peuvent être de tout autre type que PMUT, et émettre dans toute gamme de fréquence porteuse supérieure à la gamme audible. Les transducteurs peuvent être réalisés autrement que par le procédé de fabrication décrit ci-dessus. Les membranes actives sont par exemple réalisées sur un support en verre ou sur une feuille souple d’un polymère. L’actionneur piézoélectrique peut se trouver au centre de la membrane ou non, sous forme de disque ou d’anneau ou tout autre forme, et être de taille diverse par rapport à la taille de la membrane. Il peut y avoir plusieurs actionneurs piézoélectriques sur une même membrane, par exemple un en son centre et un sur la périphérie. Les transducteurs peuvent être déposés en couche mince ou transférés directement sur la membrane. Comme décrit précédemment, les transducteurs de taille de membrane différente peuvent être disposés sur le support selon toute répartition. Les ondes ultrasonores dans les exemples considérés se propagent dans l’air, mais tout type de milieu peut être considéré, par exemple un liquide. Les effets haptiques peuvent être générés à différents points repérés par rapport à une zone de peau prédéfinie d’un utilisateur, et/ou en un ou plusieurs points fixes dans l’espace, indépendamment de la détection d’un utilisateur, par exemple pour donner à toute personne franchissant la zone l’impression de la présence d’un obstacle. Ils peuvent être générés sur les deux mains d’un utilisateur, simultanément ou non, ou sur toute autre partie du corps de l’utilisateur. Les effets haptiques peuvent être générés de manière à donner l’impression à un utilisateur de toucher différentes textures. L’interface haptique peut être reliée à un ou plusieurs système(s) générant un effet visuel, par exemple au moins un écran, miroir ou hologramme. Interface haptique de type « à distance », comportant : un circuit de commande (3), une pluralité de transducteurs ultrasonores (2) reliés audit circuit, dont un premier ensemble (25) de transducteurs émettant à une première fréquence porteuse ultrasonore et au moins un deuxième ensemble (26) de transducteurs émettant à une seconde fréquence porteuse ultrasonore différente de la première ; le circuit de commande étant configuré pour moduler les signaux (30) envoyés aux transducteurs (2) afin de : générer avec les ondes ultrasonores émises par au moins une partie des transducteurs du premier ensemble une pression acoustique détectable tactilement en au moins une première zone focale (10), et générer avec les ondes ultrasonores émises par au moins une partie des transducteurs du deuxième ensemble une pression acoustique détectable tactilement en au moins une seconde zone focale (11). Interface selon la revendication 1, les première et deuxième fréquences de porteuse étant séparées d’au moins 10kHz, mieux d’au moins 20kHz, encore mieux d’au moins 30kHz. Interface selon l’une des revendications précédentes, les transducteurs du premier ensemble et ceux du deuxième ensemble ayant des membranes actives (22) de tailles différentes, de préférence réalisées de manière identique. Interface selon l’une quelconque des revendications précédentes, les transducteurs du premier ensemble étant regroupés selon un ou plusieurs sous-ensembles, de même que ceux du deuxième ensemble. Interface selon l’une des revendications précédentes, les transducteurs du premier et ceux du deuxième ensemble étant portés par un même support (4). Interface selon l’une des revendications précédentes, comportant au moins un troisième ensemble (27) de transducteurs (2) émettant à une fréquence de porteuse ultrasonore différente de celles des premier et deuxième ensembles. Interface selon l’une quelconque des revendications précédentes, comprenant un système de détection (5) configuré pour détecter la position relativement aux transducteurs d’au moins une surface (S) à stimuler tactilement, le circuit de commande (3) étant agencé pour contrôler les transducteurs et notamment la position des première et deuxième zones focales en fonction de la position de la surface de l’utilisateur ainsi détectée. Interface selon l’une quelconque des revendications précédentes, chaque transducteur (2) d’un ensemble étant de type piézoélectrique, ferroélectrique, électromagnétique, thermique ou piézoélectrique céramique , de préférence de type piézoélectrique, en particulier de type piézoélectrique micro-usiné (PMUT). Procédé pour générer au moins une perception tactile à distance sur un utilisateur en utilisant une interface telle que définie dans l’une quelconque des revendications 1 à 8, comportant l’étape consistant à : Moduler grâce à un circuit de commande les signaux de commande envoyés aux transducteurs afin de : générer avec les ondes ultrasonores émises par au moins une partie des transducteurs du premier ensemble une pression acoustique détectable tactilement en au moins une première zone focale, et générer avec les ondes ultrasonores émises par au moins une partie des transducteurs du deuxième ensemble une pression acoustique détectable tactilement en au moins une seconde zone focale. Procédé selon la revendication 9, une perception tactile d’une première surface étant générée à la première zone focale et une perception tactile d’une deuxième surface étant générée à la deuxième zone focale, de telle sorte que la perception de la deuxième surface donne l’impression à l’utilisateur qu’elle est plus petite que la première surface. Procédé selon l’une des revendications 9 et 10, une perception tactile d’une première surface étant générée à la première zone focale et une perception tactile d’une deuxième surface étant générée à la deuxième zone focale, de telle sorte que la perception de la deuxième surface donne l’impression à l’utilisateur qu’elle se situe plus loin que la première surface. Procédé de fabrication de matrices de transducteurs de type PMUT d’une interface telle que définie dans l’une quelconque des revendications 1 à 8 le procédé comportant les étapes consistant à : déposer au moins une première couche d’un matériau pour former les membranes des transducteurs sur la face supérieure d’un support, déposer au moins un empilement piézoélectrique sur ladite au moins une première couche de formation des membranes, basé sur la succession de dépôt et gravure de matériaux d’électrode et de matériau piézoélectrique, former une pluralité de transducteurs sur le support par masquage et gravure des couches précédemment déposées, découper le support par masquage et gravure afin d’exposer la face inférieure de la membrane de chaque transducteur, et connecter électriquement chaque transducteur au circuit de commande, notamment grâce à des connecteurs flexibles ou des connecteurs traversant le support. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel au moins les premier et deuxième ensembles de transducteurs sont réalisés de cette manière sur le même support.